1、目录一、建设项目基本情况.1二、建设项目工程分析.5三、区域环境质量现状、环境保护目标及评价标准.15四、主要环境影响和保护措施.20五、环境保护措施监督检查清单.36六、结论.37建设项目污染物排放量汇总表.38附图 1项目地理位置图.39附图 2厂区平面布置图.40附图 3丙类车间平面布置图.41附图 4环境保护目标分布图.42附图 5xx区环境管控单元图.43附图 6xx区声环境功能区划图.44附图 7xx市生态保护红线图.45附件 1营业执照.46附件 2不动产权证.47附件 3原有项目环评批复及验收意见.50附件 4原有项目排污登记回执.55附件 5危废处理协议.561一、建设项目基2、本情况建建设设项项目目名名称称光刻胶用硅片二次回收清洗项目项项目目代代码码/建建设设单单位位联联系系人人/联联系系方方式式/建建设设地地点点地地理理坐坐标标国国民民经经济济行行业业类类别别C3985 电 子 专用材料制造建建设设项项目目行行业业类类别别“三十六、计算机、通信和其他电子设备制造业 39”中的“81 电子元件及电子专用材料制造 398”建建设设性性质质新建（迁建）改建扩建技术改造建建设设项项目目申申报报情情形形首次申报项目不予批准后再次申报项目超五年重新审核项目重大变动重新报批项目项项目目审审批批（核核准准/备备案案）部部门门（选选填填）/项项目目审审批批（核核准准/备备案案）文文3、号号（选选填填）/总总投投资资（万万元元）295环环保保投投资资（万万元元）30环环保保投投资资占占比比（%）10.2%施施工工工工期期2 个月是是否否开开工工建建设设否是用用地地面面积积（m2）0专专项项评评价价设设置置情情况况无规规划划情情况况规划名称：“芯港小镇”规划（初步）规规划划环环境境影影响响评评价价情情况况无规规划划及及规规划划环环境境影影响响评评价价符符合合性性分分析析根据“芯港小镇”规划（初步），本项目所在位置属于初步规划中的核心区，为“芯港小镇”规划（初步）中的高端制造生产区，本项目为光刻胶用硅片二次回收清洗项目，属于电子专用材料制造，符合该规划要求。其其他他符符合合性性分4、分析析1、“三线一单”生态环境分区管控方案根据xx市“三线一单”生态环境分区管控方案（甬政发2202065 号，xx市生态环境局，2020 年 12 月），本项目所在区域位于xx市xx区柴桥-白峰-郭巨产业集聚重点管控单元（ZH33020620008）。本项目管控措施符合性对照见表 1-1，项目“三线一单”符合性分析见表 1-2。表表 1-1“三线一单三线一单”管控措施对照表管控措施对照表类别管控要求符合性分析空间布局约束优化产业结构，鼓励发展汽车制造、金属制品、关键基础件、智能家电等高端装备制造业。除主导产业配套项目及橡胶制品硫化工序外，禁止新建、扩建不符合园区发展规划主导产业的其他三类工业5、。鼓励对现有不符合园区主导产业的三类工业项目进行淘汰和提升改造，其改扩建不得增加污染物排放总量。禁止新建、扩建废水污染物排放量大的三类项目及涉及一类重金属排放的工业项目。合理规划居住区与工业功能区，在居住区和工业区、工业企业之间设置防护绿地、生活绿地等隔离带。本项目属于二类项目，满足空间布局约束管控要求污染物排放管控严格实施污染物总量控制制度，根据区域环境质量改善目标，削减污染物排放总量。新建二类、三类工业项目污染物排放水平要达到同行业国内先进水平。加强污水处理厂建设及提升改造，推进工业园区（工业企业）“污水零直排区”建设，所有企业实现雨污分流。加强区域内涉水污染企业监管监控，强化企业污染治理6、设施运行维护管理。全面推进重点行业 VOCs 治理和工业废气清洁排放改造，强化工业企业无组织排放管控。新改扩建排放 VOCs 的项目，加强源头控制，优先使用低（无）VOCs 含量的涂料、油墨、胶黏剂等，并配套安装高效的收集处理措施。集中供热范围内禁止新、扩建蒸汽锅炉。加强土壤和地下水污染防治与修复。本项目严格实施污染物总量控制制度，项目废气、废水经收集处理达标后排放；厂区已实现雨污分流，可实现污水零直排；项目不涉及 VOCs 废气；企业场地已硬化，地面按相关要求进行防渗、防漏处理。故本项目符合污染物排放管控要求。环境风险防控定期评估沿河海工业企业、工业集聚区环境和健康风险，落实防控措施。强化工7、业集聚区企业环境风险防范设施设备建设和正常运行监管，加强重点环境风险管控企业应急预案制定，建立常态化的企业隐患排查整治监管机制，加强风险防控体系建设。本项目不属于重点环境风险管控企业，满足环境风险防控要求。资源开发推进工业集聚区生态化改造，强化企业清洁生产改造，推进节水型企业创建等。落实煤本项目采用电能等清洁能源；用3效率要求炭消费减量替代要求，提高能源使用效率。水量相对区域甚微，符合资源开发效率要求。表表 1-2“三线一单三线一单”符合性分析符合性分析内容符合性分析符合性生态保护红线根据xx市生态保护红线划定方案及xx区“三区三线”划定成果，本项目不在生态保护红线内，满足生态保护红线要求。符8、合环境质量底线大气环境质量底线目标项目废气经收集处理后达标排放，对周围环境影响较小，不会影响限期达标规划的实现。符合水环境质量底线目标本项目废水达标纳管，经污水处理厂集中处理达标后排环境，不会突破水环境质量底线。符合土壤环境质量底线目标本项目不存在地下水、土壤污染途径，不会突破土壤环境质量底线。符合资源利用上线能源利用上线目标本项目所需能源为电能，不涉及煤等能源使用。不会突破区域能源利用上线。符合水利用上线目标本项目用水量相对区域水资源使用量甚微，不会突 破区域水资源利用上线。符合土地利用上线目标本项目依托现有厂房，不新增用地，不会突破土地利用上线。符合生态环境准入清单根据表 1-1 分析可知9、，本项目不在生态环境准入清单的空间布局约束之内。符合综上可知，本项目符合“三线一单”相关要求。4、产业政策符合性分析对照产业结构调整指导目录（2019 本），本项目不属于限制类及禁止类项目，符合国家的产业政策要求。5、环境保护综合名录（2021 年版）符合性分析对照环境保护综合名录（2021 年版），本项目不在“高污染、高环境风险”产品名录内，不属于“双高”项目。6、长江经济带发展负面清单指南（试行，2022 年版）xx省实施细则符合性分析对照长江经济带发展负面清单指南（试行，2022 年版）可知，本项目不属于xx省实施细则中禁止建设的项目，因此符合长江经济带发展要求。7、碳排放符合性分析4根10、据xx省生态环境厅关于印发实施xx省建设项目碳排放评价编制指南（试行）的通知（浙环函2021179 号），本项目不属于钢铁、火电、建材、化工、石化、有色、造纸、印染、化纤等九大重点行业，故无需进行碳排放评价。5二、建设项目工程分析建设内容1、项目由来xxxx光电材料有限公司厂址位于xx市xx区柴桥街道青山路 21 号，厂区现有生产项目为先进光刻胶及高纯配套材料的开发与产业化项目，建设内容包括研发线、试验线和生产线，设计生产能力为年产高纯显影液 350 吨。目前，该项目仅xx研发线，已xx年研发高纯显影液 8 吨的生产规模。为节约生产成本，满足发展需要，企业拟投资 295 万元，在现有丙类车间内11、设 1 间千级无尘车间，实施“光刻胶用硅片二次回收清洗项目”。项目布置 1 条回收硅片清洗线，将用于高纯显影液产品检测后的表面残留有机物的硅片清洗后重复利用（原为委外处置），预计年清洗回收硅片 6000 片。本项目回收硅片不属于企业产品，故项目xx后企业不新增产品和产能。对照建设项目环境影响评价分类管理名录（2021 年版），该项目属于“三十六、计算机、通信和其他电子设备制造业81 电子元件及电子专用材料制造398”中的“电子专用材料制造”类别，环评类别为报告表。2、建设内容与规模（1）工程组成本项目在保持原有生产线和生产区域不变的前提下，主要建设内容如下：表表 2-1本本项目项目工程组成工程12、组成一览表一览表序号类别工程名称建设内容1主体工程生产车间丙类车间内设千级无尘车间 1 间，面积约 50m2，无尘车间内布置 1 条回收硅片清洗线。1公用工程给水自来水由当地市政供水系统供给。2排水排水采取雨污分流制，雨水排入市政雨水管网，废水排入市政污水管网。3供电用电取自城市电网。1环保工程废气治理新增 1 套“水喷淋+除湿+活性炭吸附”装置，设计总风量 3500m3/h。2废水治理新增 1 座中和调节池，设计处理能力 5t/d。3噪声治理针对高噪声设备采取隔声降噪措施。1依托工程生产车间依托现有丙类车间。2成品仓库依托现有甲类仓库。3原辅料仓库4化学品仓库5纯水系统依托现有纯水系统，产水13、能力 2t/hr，产水率 50%。66固废治理依托现有危废间和一般固废暂存间。（2）产品方案与生产规模本项目年清洗回收硅片 6000 片，回收硅片来自厂内显影液产品检测工序，清洗后重复利用，不属于企业产品。本项目实施后，企业现有产品及生产规模维持不变，详见表 2-2。表表 2-2企业企业产品方案产品方案与生产规模与生产规模序号产品名称生产规模单位现有项目本项目实施后变化情况1高纯显影液3503500t/a（3）主要生产设备本项目设备均为新增设备，具体见表 2-3。表表 2-3本本项目项目主要设备主要设备序号设备名称规格型号数量单位1硅片清洗线清洗设备定制，槽体参数详见表 2-51台2CDS 供14、液装置定制3台3热水箱定制1个（4）主要原辅材料本项目新增原辅材料主要包括回收硅片、硫酸、氨水、双氧水等，项目实施后现有原辅材料消耗维持不变，具体见表 2-4。表表 2-4本项目本项目主要原辅材料消耗情况主要原辅材料消耗情况序号名称规格用量单位包装规格备注现有项目本项目实施后变化情况1回收硅片0.3 微米颗粒残留 20-30 颗06000+6000片/a/298%硫酸UPS013750+13750L/a200L/桶硅片酸洗331%双氧水UPS05000+5000L/a200L/桶硅片酸洗、碱洗430%氨水UPS01250+1250L/a200L/桶硅片碱洗5四甲基氢氧化铵（99.5%）104215、4-65-4833083300kg/a25kg/袋生产原料6硝酸（68%）（分析纯）7697-37-2280028000kg/a4L/桶设备清洗7片碱（分析纯）1310-73-2280028000kg/a10kg/袋设备清洗8液氮/12000120000L/a储罐设备使用9加仑瓶4L17500175000个/a/产品灌装10包装桶200L140014000个/a/产品灌装7硫酸：硫酸：硫酸化学式 H2SO4，CAS 号 7664-93-9，外观为透明无色无臭液体，熔点 10.37，沸点 338。与水以任意比例混溶，与水混合时会放出大量热能。是一种最活泼的二元无机强酸，具有强烈的腐蚀性和氧化性。16、本项目采用的 98%硫酸密度约为 1.84g/cm。双氧水：双氧水：过氧化氢化学式 H2O2，CAS 号 7722-84-1，纯过氧化氢是淡蓝色的黏稠液体，熔点-0.43，沸点 150.2（分解），可任意比例与水混溶，是一种强氧化剂。双氧水是指过氧化氢水溶液，为无色透明液体，贮存时会分解为水和氧，见光、受热或有杂质进入会加快分解速率，在不同的情况下可有氧化作用或还原作用，可用作氧化剂、漂白剂、消毒剂、脱氯剂等。本项目采用 31%双氧水，密度约为 1.12g/cm。氨水：氨水：氨水指氨的水溶液，主要成分为 NH3H2O，无色透明且具有刺激性气味。浓度为 25%的氨水沸点约 37.7，浓度为 3217、%的氨水沸点约 24.7。氨水见光受热易分解成 NH3和水，易挥发，随温度升高和放置时间延长而挥发率增加，且随浓度的增大挥发量增加。氨水中仅有一小部分氨分子与水反应形成铵离子和氢氧根离子，即一水合氨，是仅存在于氨水中的弱碱。氨水有弱的还原性，可被强氧化剂氧化。本项目采用 30%氨水，密度约为 0.89g/cm。3、水平衡本项目消耗自来水主要用于废气处理和纯水制备，制取的纯水用于硅片清洗。本项目水平衡见表 2-1。图图 2-1本项目水平衡图本项目水平衡图单位：单位：t/a本项目实施后全厂水平衡见表 2-2。8图图 2-2本项目实施后全厂水平衡图本项目实施后全厂水平衡图单位：单位：t/a94、劳动18、定员和工作制度现有工程劳动定员 40 人，实行 3 班制生产，每班 8h，年运行 250 天，厂区不设食堂及宿舍。本项目不新增劳动定员，实行单班制生产，日工作 8h，年工作 250 天。项目实施后企业新增食堂。5、总平面布置厂区主出入口位于地块北侧，次出入口位于地块东侧，主出入口设门卫室；厂区北侧自西向东布置有研发车间 1、研发车间 2、分析车间，厂区南侧自西向东布置为丙类车间、光刻车间（丁类）和仓库（甲类）。本项目清洗线布置于丙类车间内东北角区域的千级无尘车间内；新增中和调节池位于车间外北侧；依托的现有纯水系统、现有危废间均位于丙类车间内。厂区总平面布置见附图 2，车间平面布置见附图 3。工19、艺流程和产排污环节1、工艺流程本项目在千级无尘车间内新增 1 条硅片清洗线，将用于高纯显影液产品检测后的表面残留有机物的硅片进行清洗，洗净后的硅片重复利用，计划每天清洗 2批次，每批次 12 片，年清洗 500 批次，主要工艺为酸洗、碱洗、纯水清洗及吹干。本项目工艺均为新增，项目实施后现有产品生产工艺维持不变。本项目硅片清洗工艺流程见图 2-3。图图 2-3本项目生产工艺流程及产污节点图本项目生产工艺流程及产污节点图工艺工艺流程说明流程说明：（1）酸洗将一批次（12 片）待清洗硅片放入清洗篮，手动转移至酸洗槽，在 120进行超声波清洗，清洗时间 10min。本项目共设 1 个酸洗槽，分内槽和外20、槽，内槽注满槽液并设溢流口，多余槽液溢流至外槽，经滤芯过滤净化后泵送回内槽循环10使用，有效总容积 65L。槽液采用“硫酸+双氧水”混合溶液，槽液配制方法为：通过 CDS 供液装置将密闭料桶内的 98%浓硫酸(55L)和 31%双氧水(10L)输送至酸洗槽，并电加热至120。根据工艺设计资料，清洗两批次硅片后，酸洗槽液浓度降低，不能满足产品要求，需进行更换。（2）纯水清洗 1硅片经酸洗后，手动转移至纯水清洗槽 1，在 50下进行喷淋清洗，清洗时间 1h。本项目在酸洗工艺后设置 1 个纯水槽，有效容积 50L，所用超纯水由现有纯水系统生产，输送至本项目新增的热水箱内并通过电加热至 50，然后输送21、至纯水槽内使用。纯水槽给排水方式为上喷淋、下给水、溢流更新洁净纯水，更新次数平均为 7 次/批硅片。（3）碱洗经纯水洗净表面酸液的硅片手动转移至碱洗槽，在常温下进行超声波清洗，清洗时间 10min。本项目共设 1 个碱洗槽，分内槽和外槽，内槽注满槽液并设溢流口，多余槽液溢流至外槽，经滤芯过滤净化后泵送回内槽循环使用，有效总容积 65L。槽液采用“氨水+双氧水+纯水”混合溶液，槽液配制方法为：通过 CDS 供液装置将 30%氨水(5L)、31%双氧水(10L)输送至碱洗槽，并加入超纯水(50L)。超纯水由现有纯水系统生产、供给。根据工艺设计资料，清洗两批次硅片后，碱洗槽液浓度降低，不能满足产品要22、求，需进行更换。（4）纯水清洗 2硅片经碱洗后，手动转移至纯水清洗槽 2，在常温下进行喷淋清洗，清洗时间 1h。本项目在碱洗工艺后设置 1 个纯水槽，有效容积 50L，所用超纯水由现有纯水系统生产、供给。纯水槽给排水方式为上喷淋、下给水、溢流更新洁净纯水，更新次数平均为 7 次/批硅片。（5）吹干手动将洗净后的硅片从清洗篮中取出，转移至吹干区，通过 60的氮气吹扫烘干，吹干时间约 12min，加热方式为电加热。吹扫收集的纯水水质较为洁净，回用至上道纯水清洗工序。11（6）工艺参数本项目清洗槽参数汇总具体如下：表表 2-5本项目清洗槽参数一览表本项目清洗槽参数一览表工序操作方式温度()时间(s)23、槽数量(只)尺寸(mm)有效容积(L)添加药剂给排水情况酸洗手动放入，自动清洗1206001内槽 452*300*381外槽 550*406*906598%硫酸55L+31%双氧水10L内槽溢流，外槽过滤后泵送至内槽循环使用，更换频率 1 次/天纯水清洗 1手动放入，自动清洗5036001452*300*381(不含喷淋、排水层)50超纯水(自产)上喷淋、下给水、溢流更新洁净纯水，更新次数平均为 7 次/批硅片碱洗手动放入，自动清洗常温6001内槽 452*300*381外槽 550*406*906530%氨水5L+31%双氧水 10L+超纯水(自产)50L内槽溢流，外槽过滤后泵送至内槽循环使24、用，更换频率 1 次/天纯水清洗 2手动放入，自动清洗常温 36001452*300*381(不含喷淋、排水层)50超纯水(自产)上喷淋、下给水、溢流更新洁净纯水，更新次数平均为 7 次/批硅片吹干手动放入，自动吹干6072001/氮气吹扫吹落收集的纯水较为洁净，回用至纯水清洗 22、产污环节及主要污染因子项目酸洗过程中会产生硫酸雾，碱洗过程中会产生氨、臭气，酸洗槽、碱洗槽拟设置侧吸风装置，酸洗废气、碱洗废气分别收集后，通过同 1 套“水喷淋+除湿+活性炭吸附”装置处理后，通过 1 根 15m 高排气筒高空排放。废气处理装置会产生喷淋废水、废吸附介质。项目酸洗和碱洗槽槽液过滤循环会产生废滤芯，25、槽液更换会产生酸性废液、碱性废液；纯水清洗槽更新排水会产生清洗废水；项目依托现有纯水系统制备纯水，会新增产生浓水和反冲洗水，不会改变现有过滤吸附介质更换频次；此外，项目原辅料使用后会产生废包装桶，硅片清洗约 4-5 次后报废。本项目产污环节及主要污染因子汇总见表 2-6。表表 2-6主要污染物产生环节及污染因子汇总表主要污染物产生环节及污染因子汇总表废物类别编号产污环节主要污染物污染因子废气G1酸洗酸洗废气硫酸雾12G2碱洗碱洗废气氨、臭气浓度废水W1纯水清洗清洗废水pH、COD、NH3-NW2废气处理喷淋废水pH、COD、NH3-NW3纯水制备纯水制备废水COD、SS噪声N1设备运行设备噪声26、LAeq固体废物S1酸洗酸性废液有机物、酸S2碱洗碱性废液有机物、碱S3槽液过滤废滤芯有机物、酸、碱S4废气处理废吸附介质酸、碱S5原辅料包装废包装桶酸、碱S6硅片报废硅片硅与项目有关的原有环境污染问题1、现有工程情况xxxx光电材料有限公司于 2019 年 6 月在青山路 21 号厂区（云台山路北(芯港小镇)）设立“先进光刻胶及高纯配套材料的开发与产业化项目”，该项目于 2019 年 7 月 3 日通过xx市生态环境局xx分局审批（仑环建2019155 号），审批规模为年产高纯显影液 350 吨。项目于 2020 年 3 月 20 日完成阶段性自主验收（xx研发线），验收规模为年产高纯显影液27、 8 吨。历年建设项目环评审批及验收情况见表 2-7。表表 2-7历年建设项目环评审批及验收回顾一览表历年建设项目环评审批及验收回顾一览表序号项目名称环评审批情况竣工验收情况备注批复文号审批时间验收文号验收时间1先进光刻胶及高纯配套材料的开发与产业化项目仑环建2019155 号2019.7.3自主验收2020.3.20仅xx研发线并通过环保验收全厂总量控制因子的排放情况见表 2-8。表表 2-8总量控制因子排放情况单位：总量控制因子排放情况单位：t/a项目CODCrNH3-N全厂总量控制建议值0.2940.029企业已完成排污许可登记，登记编号为 91330206MA2AGQ8Q11001W。28、2、现有工程污染物实际排放总量根据先进光刻胶及高纯配套材料的开发与产业化项目环境影响报告表及先进光刻胶及高纯配套材料的开发与产业化项目竣工环境保护（阶段性）验收监测报告表，现有工程“三废”污染物实际产生及排放情况如下：（1）废气13现有工程废气主要为硝酸雾（氮氧化物），收集至“水喷淋+除湿+活性炭吸附”装置处理后通过 15m 高排气筒排放。项目实际仅xx了研发线，根据阶段性验收监测报告表，验收期间废气排放量较小，排放速率无法测出，因此无法核定废气污染物实际排放总量。（2）废水现有工程废水包括各类生产废水和生活污水，其中生产废水包括：光刻分析中心废水、包装物清洗废水、产线清洗废水、试验设备清洗废29、水、研发设备清洗废水、研发设备废水、废气处理废水。项目实际仅xx了研发线，根据阶段性验收监测报告表，生产废水及主要水污染物排放量为：废水量 4262.6t/a、COD 0.213t/a、NH3-N 0.021t/a；生活污水及主要水污染物排放量为：废水量 531t/a、COD 0.027t/a、NH3-N 0.003t/a。由于污水处理厂尾水排放标准提标，生产废水中主要水污染物排放以新带老削减量为 COD 0.042t/a、NH3-N 0.009t/a，削减后实际排放量为 COD 0.171t/a、NH3-N 0.012t/a；生活污水中主要水污染物排放以新带老削减量为 COD 0.006t/30、a、NH3-N 0.001t/a，削减后实际排放量为 COD 0.021t/a、NH3-N 0.002t/a。（3）固体废物现有工程阶段性验收期间未调查固废实际产生量，根据建设单位提供资料及现场核实，固体废物实际产生及处置情况见表 2-9。表表 2-9现有工程固体废物类别及处置情况一览表现有工程固体废物类别及处置情况一览表序号固废名称产生工序属性实际排放量（t/a）处置方式1废滤芯过滤危险废物32 个/a分类收集后委托有资质单位处置2产线设备清洗废液清洗危险废物3.6743试验、研发车间废液研发危险废物4.0954废包装袋/桶原料包装危险废物0.1595废吸附介质废气处理危险废物0.0156废31、树脂纯水制备危险废物0.1377废活性炭纯水制备一般固废0.137委托环卫部门清运8生活垃圾日常生活一般固废6.25注：固废排放量以产生量表述。（4）污染物实际排放量汇总14表表 2-10污染物实际排放量核算一览表污染物实际排放量核算一览表类别污染物名称实际排放量（t/a）许可排放量（t/a）废气硝酸雾（氮氧化物）少量0.034废水生产废水废水量4262.65881.4COD0.1710.294氨氮0.0120.029生活污水废水量531850COD0.0210.043氨氮0.0020.004固废废滤芯32 个/a350 个/a产线设备清洗废液3.67440.3755试验、研发车间废液4.0932、545废包装袋/桶0.1591.75废吸附介质0.0150.17废树脂0.1371.5废活性炭0.1371.5生活垃圾6.2510注：上表中固废排放量以产生量表述。3、现有工程主要环境问题及整改措施根据工程验收情况及现场调查，现有工程基本不存在相关环境问题，无需整改。15三、区域环境质量现状、环境保护目标及评价标准区域环境质量现状1、环境空气质量现状根据xx市环境空气质量功能区划分方案，项目所在区域属二类功能区，执行环境空气质量标准（GB3095-2012）二级标准。为了解本项目所在区域环境空气质量现状，本环评引用xx市生态环境质量报告书（2021 年）中xx区相关监测数据进行说明。2021 33、年xx区环境空气质量现状评价结果见表 3-1。表表 3-1xx区xx区 2021 年空气质量现状评价表年空气质量现状评价表污染物年评价指标现状浓度（g/m3）标准值（g/m3）占标率（%）达标情况SO2年均值96015.0达标NO2年均值4040100达标CO日均值第 95 百分位数1000400025.0达标O3-8h日最大 8 小时平均第 90百分位浓度12816080.0达标PM10年均值407057.1达标PM2.5年均值203557.1达标由上表分析，2021 年度xx区环境空气中各项基本污染物均能满足环境空气质量标准（GB3095-2012）二级标准。2、地表水环境质量现状（1）周34、边地表水体本项目附近主要河流为柴桥河，属芦江水系，水质目标为地表水环境质量标准（GB3838-2002）中的类标准。芦江水域的山门断面距离本项目较近，根据xx市生态环境质量报告书（2021 年）有关内容，该监测断面的监测结果见下表 3-2。表表 3-22021 年芦江山门断面水质状监测结果年芦江山门断面水质状监测结果（单位：除（单位：除 pH 外，外，mg/L）项目pH 值DOCODMnBOD5氨氮总磷石油类平均值88.54.12.20.230.1230.01类标准值6952041.00.20.05是否达标达标达标达标达标达标达标达标由监测结果可知，2021 年芦江山门断面监测因子均达到了地表35、水环境质量标准（GB3838-2002）类水体水质要求。（2）纳污水体16本项目纳污海域为镇海-xx-xx四类区海域，水质目标为第三类，执行 海水水质标准（GB3097-1997）中的第三类标准。本环评采用xx市生态环境质量报告书(2021 年)中该海域水质监测数据对其水环境质量现状进行说明，具体数据见表 3-3。表表 3-32021 年镇海年镇海-xxxx-xx四类区海域水质监测及评价结果xx四类区海域水质监测及评价结果监测项目pHCODMn(mg/L)石油类(mg/L)Hg(g/L)Cu(g/L)Pb(g/L)Cd(g/L)无机氮(mg/L)活性磷酸盐(mg/L)测值范围7.938.08036、.801.840.0080.0300.0160.0261.313.160.1020.4080.0290.0630.3831.3410.0040.046平均值/1.140.0130.0232.040.2040.0460.8350.030水质类别一类一类一类一类一类一类一类劣四类四类监测结果表明，2021 年项目纳污海域 pH、CODMn、石油类、Hg、Cu、Pb、Cd 均符合第一类海水水质标准，活性磷酸盐符合第四类海水水质标准，无机氮超第四类海水水质标准，海域水质总体为劣四类。污染物超标原因主要是受钱塘江、长江口大环境海水水质、本地工业企业及生活排污的叠加影响。3、声环境质量现状根据xx区声环境37、功能区划分（调整）方案，本项目位于 2 类声环境功能区（区域编号：0206-2-04），企业所在区域声环境执行声环境质量标准（GB3096-2008）2 类标准；企业南厂界与云台山路道路边界线距离在 35m 内，执行声环境质量标准（GB3096-2008）4a 类标准。本项目厂界外周边 50 米范围内不存在声环境保护目标，不进行声环境质量现状调查与评价。4、生态环境本项目利用现有厂房实施生产，不新增用地，不会对生态环境造成影响，因此无需开展生态现状调查与评价。5、电磁辐射本项目不涉及。6、地下水、土壤环境本项目不涉及重金属、持久性有机污染物、难降解有机物的大气沉降。企业17做好车间、危废暂存间38、等的防渗漏措施，不存在垂直入渗、地面漫流影响，不存在地下水、土壤环境污染途径，无需开展现状调查与评价。环境保护目标1、大气环境本项目厂界外 500 米范围内均为工业企业，无大气环境保护目标。2、声环境本项目厂界外 50 米范围内均为工业企业，无声环境保护目标。3、地下水本项目厂界外 500 米范围内均为工业企业，无地下水环境保护目标。4、生态环境本项目利用厂区现有土地和厂房，无新增用地，无需调查生态环境保护目标。污染物排放控制标准1、废气本项目废气包括酸洗废气（主要污染因子为硫酸雾）、碱洗废气（主要污染因子为氨、臭气浓度）。其中，硫酸雾排放执行大气污染物综合排放标准（GB16297-1996）39、中表 2 中的二级标准，氨、臭气浓度执行恶臭污染物排放标准（GB14554-93）中限值，具体标准限值见表 3-43-5。表表 3-4大气污染物综合排放标准大气污染物综合排放标准污染因子最高允许排放浓度(mg/m3)最高允许排放速率(kg/h)无组织排放监控浓度限值 mg/m3)排气筒(m)二级监控点浓度硫酸雾45151.5周界外浓度最高点1.2表表 3-5恶臭污染物排放标准恶臭污染物排放标准序号控制项目有组织排放标准无组织排放标准排气筒高度(m)标准值(kg/h)新扩改建二级标准(mg/m3)监控点位置1氨154.91.5厂界2臭气浓度152000(无量纲)20(无量纲)2、废水本项目废水包40、括清洗废水、喷淋废水、纯水制备废水。生产废水纳管执行 电子工业水污染物排放标准（GB 39731-2020）中的间接排放限值（氨氮、总磷执行工业企业废水氮、磷污染物间接排放限值（DB33/887-2013）。废水纳管后排入xx污水处理厂集中处理达标后排放，xx污水处理厂尾水排放执行城镇污水处理厂污染物排放标准（GB18918-2002）中一级 A 标准（其中化学需氧量、氨氮、总氮和总磷等 4 项主要水污染物控制项目执行城镇18污水处理厂主要水污染物排放标准（DB33/2169-2018）表 1 现有城镇污水处理厂主要水污染物排放限值）。具体标准限值见表 3-63-7。表表 3-6电子工业水污染41、物排放标准电子工业水污染物排放标准单位：单位：mg/L（pH 值除外）值除外）序号污染物项目间接排放限值1pH692SS4003石油类204CODCr5005氨氮356总磷87单位产品基准排水量2200m3/t 产品（电子专用材料-硅单晶材料）与污染物排放监控位置一致注：氨氮、总磷执行工业企业废水氮、磷污染物间接排放限值（DB33/887-2013）。表表 3-7xx污水处理厂废水排放标准xx污水处理厂废水排放标准单位：单位：mg/L（pH 值除外）值除外）项目pHCOD氨氮BOD5SS总磷石油类排放标准69402（4）10100.31注：化学需氧量、氨氮、总氮和总磷等 4 项主要水污染物控制42、项目执行城镇污水处理厂主要水污染物排放标准（DB33/2169-2018）表 1 现有城镇污水处理厂主要水污染物排放限值；括号内数值为每年 11 月 1 日至次年 3 月 31 日执行。3、噪声本项目营运期南厂界噪声排放执行工业企业厂界环境噪声排放标准（GB12348-2008）中的 4 类标准，即昼间 70dB(A)、夜间 55dB(A)；其余厂界执行 2 类标准，即昼间 60dB(A)、夜间 50dB(A)；4、固体废物一般工业固体废物执行中华人民共和国固体废物污染环境防治法中有关规定，妥善处置，不得形成二次污染，且其贮存过程应满足相应防渗漏、防雨淋、防扬尘等环境保护要求。危险废物按照国家43、危险废物名录（2021 版）和危险废物鉴别标准-通则（GB 5085.7-2019）中相关规定进行分类，并按要求进行处理；贮存过程执行危险废物贮存污染控制标准（GB18597-2023）中有关规定。19总量控制指标根据xx市环保局关于进一步规范建设项目主要污染物总量管理相关事项的通知（甬环发201448 号）、建设项目主要污染物排放总量指标审核及管理暂行办法（环发2014197 号）等相关文件要求，纳入xx市总量控制计划的主要为化学需氧量（COD）、NH3-N、二氧化硫（SO2）、氮氧化物、工业烟粉尘、挥发性有机物（VOCs）和重金属等。根据关于加强重点行业建设项目区域削减措施监督管理的通知（44、环办环评 202036 号），严格区域削减要求，所在区域、流域控制单元环境质量达到国家或者地方环境质量标准的，原则上建设项目主要污染物实行区域等量削减，确保项目投产后区域环境质量不恶化。根据xx市生态环境质量报告书（2021 年）相关结论，2021 年xx区为达标区，污染物排放实行 1:1 等量削减。本项目纳入总量控制的污染物为 COD、氨氮，总量控制方案详见表 3-9。表表 3-9本项目总量控制方案本项目总量控制方案单位：单位：t/a类别污染物名称原环评批复量本项目排放量以新带老削减量总体工程排放量全厂增减量区域替代削减量总量控制建议值生产废水废水量5881.4111006991.4111045、/COD0.2940.0440.0590.279-0.015/0.279氨氮0.0290.0030.0120.020-0.009/0.020注：上表中以新带老削减量来自污水处理厂尾水排放标准提标。根据xx市生态环境局关于做好排污权有偿使用和交易工作纳入省排污权交易平台有关事项的通知（甬环发函202242 号），全市建设项目需新增污染物排放的，新增排污权必须通过省交易平台开展排污权公开交易获得（单独排放口的生活污水除外），现阶段纳入交易的为化学需氧量、氨氮、二氧化硫、氮氧化物四项污染物指标。本项目实施后全厂纳入总量的主要污染物排放量为：COD 0.279t/a、氨氮0.020t/a，需按要求进行46、排污权交易；本项目不新增 COD、氨氮排放总量，无需进行区域替代削减。20四、主要环境影响和保护措施施工期本项目利用现有的厂房，无施工期影响。营运期环境影响和保护措施1、废气、废气本项目废气包括酸洗废气（主要污染因子为硫酸雾）、碱洗废气（主要污染因子为氨、臭气浓度）。废气产生、排放及污染治理设施情况详见表 4-14-4。表表 4-1有组织废气产排污环节、污染物及污染防治设施信息表有组织废气产排污环节、污染物及污染防治设施信息表序号产排污环节污染物种类污染物产生情况排放形式污染防治措施mg/m3kg/ht/a核算方法设施名称设施编号处理能力m3/h收集率%处理设施或工艺去除效率%是否为可行技术147、酸洗硫酸雾3.140.0055 0.011产污系数法有组织废气处理设施TA002350090水喷淋+除湿+活性炭吸附75是2碱洗氨8.570.0150.03臭气浓度/少量/注：本项目酸洗废气、碱洗废气分别收集至废气处理设施 TA002 进行处理，收集风量均为 1750m3/h。表表 4-2有组织废气产排污环节、污染物及污染防治设施信息表（续表）有组织废气产排污环节、污染物及污染防治设施信息表（续表）序号产排污环节污染物种类排放口编号及名称污染物排放排放标准浓度mg/m3速率kg/h排放量t/a浓度mg/m3速率kg/h1酸洗硫酸雾废气排放口DA0020.430.00150.003451.52碱48、洗氨1.140.0040.008/4.9臭气浓度/少量/2000(无量纲)表表 4-3有组织废气排放口基本信息有组织废气排放口基本信息表表序号排放口编号及名称排放口类型排气筒高度/m排气筒内径/m烟气量m3/h出口温度/年排放小时数/h经纬度坐标2废气排放口DA002一般排放口150.3535002020001215343.588295241.736表表 4-4无组织废气产排污环节、污染物、污染防治设施信息表无组织废气产排污环节、污染物、污染防治设施信息表序号产排污环节污染物种类污染物产生量 t/a污染防治措施污染物排放量 t/a排放标准mg/m31酸洗硫酸雾0.001清洗线布置在无尘车间内，49、车间采取整体通风措0.0011.22碱洗氨0.0030.0031.521施，并加强车间环保管理臭气浓度少量少量20(无量纲)具体分析如下：（1）酸洗废气本项目采用 98%硫酸和 31%双氧水配制“硫酸+双氧水”混合溶液进行酸洗，硫酸和双氧水均储存于密闭料桶内，通过 CDS 供液装置输送至酸洗槽内，在超声波作用下进行混合与清洗。酸洗槽参数见表 4-5。表表 4-5本项目酸洗槽参数一览表本项目酸洗槽参数一览表工序操作方式温度()时间(s)槽数量(只)尺寸(mm)有效容积(L)添加药剂给排水情况酸洗手动放入，自动清洗1206001内槽452*300*381外槽550*406*906598%硫酸55L50、+31%双氧水 10L内槽溢流，外槽过滤后泵送至内槽循环使用，更换频率 1 次/天酸洗废气主要污染因子为硫酸雾，来自于溶液在清洗设备内进行混合和超声波清洗过程。根据工艺设计资料，清洗两批次硅片后，酸洗槽液浓度降低，不能满足产品要求，需进行更换。根据设计单位提供资料，完全混合后溶液中硫酸浓度约 88%。硫酸雾产生量根据环境统计手册马扎克（B.T.M）公式进行计算：GS=（5.38+4.1u）PHFM1/2式中，GS有害物质散发量，g/h；u室内风速，m/s，利用当地气象台的年平均风速，本项目取镇海当地多年平均风速 2.0m/s；F有害物质的散露面积，m2，根据设备参数，本项目取 0.22m2；M51、有害物质的分子量，本项目为硫酸，分子量为 98；PH有害物质在室温时的饱和蒸汽压，毫米汞柱，调配后溶液中硫酸浓度约 88%，室温下饱和蒸气压约为 0.042 毫米汞柱。计算得本项目硫酸雾散发速率为 6.15g/h，散发时间 2000h/a，则硫酸雾产生量约 0.012t/a。根据废气处理设计方案，本项目酸洗槽拟设置侧吸风装置，将酸洗废气收集（设计收集风量为 1750m3/h，收集效率约 90%）至 1 套“水喷淋+除湿+活性炭吸附”装置处理后（TA002，设计处理效率 75%），汇同处理后的碱洗废气一并通过 1 根 15m 高排气筒高空排放（DA002），废气排放总风量为 3500m3/h。252、2则本项目硫酸雾有组织排放量 0.003t/a、排放速率 0.0015kg/h、排放浓度约0.43mg/m3；无组织排放量 0.001t/a。（2）碱洗废气本项目采用 30%氨水、31%双氧水以及超纯水配制“氨水+双氧水+超纯水”混合溶液进行碱洗，氨水和双氧水均储存于密闭料桶内，通过 CDS 供液装置转移至碱洗槽内，超纯水由现有纯水系统生产并供给至碱洗槽内，在超声波作用下进行混合与清洗。碱洗槽参数见表 4-6。表表 4-6本项目碱洗槽参数一览表本项目碱洗槽参数一览表工序操作方式温度()时间(s)槽数量(只)尺寸(mm)有效容积(L)添加药剂给排水情况碱洗手动放入，自动清洗常温6001内槽45253、*300*381外槽550*406*906530%氨水5L+31%双氧水 10L+超纯水 50L内槽溢流，外槽过滤后泵送至内槽循环使用，更换频率 1 次/天碱洗废气主要来自氨水挥发，主要污染因子为氨、臭气浓度。项目碱洗在常温下进行（约 20），根据设计单位提供资料，槽液配比后混合溶液中 NH3浓度约为 2%，氨水挥发量约为 10%，由此估算氨产生量约为 0.033t/a。项目运行时间 2000h/a，氨挥发速率约 0.017kg/h。根据废气处理设计方案，本项目碱洗槽拟设置侧吸风装置，将碱洗废气收集（设计收集风量为 1750m3/h，收集效率约 90%）至 1 套“水喷淋+除湿+活性炭吸附”装54、置处理后（TA002，设计处理效率 75%），汇同处理后的酸洗废气一并通过 1 根 15m 高排气筒高空排放（DA002），废气排放总风量为 3500m3/h。则计算得本项目氨有组织排放量 0.008t/a、排放速率 0.004kg/h、排放浓度约1.14mg/m3；无组织排放量 0.003t/a。臭气浓度无法定量计算，随氨浓度降低而降低，废气经处理后臭气较小。（3）废气处理设施可行性分析本项目酸洗废气主要污染因子为硫酸雾，碱洗废气主要污染因子为氨、臭气浓度，设计处理工艺为酸洗废气和碱洗废气共用 1 套“水喷淋+除湿+活性炭吸附”装置，考虑废气中硫酸和氨相互进行中和反应达到去除效果。根据排污许55、可证申请与核发技术规范 电子工业（HJ 1031-2019），喷淋洗涤吸收法是去除氨和硫酸雾的可行技术，此外，活性炭对氨和硫酸雾具有一23定的吸附作用，并能去除恶臭异味。根据废气处理设计方案，喷淋洗涤处理效率为 50%，活性炭吸附处理效率为 50%，综合处理效率为 75%，本项目酸洗废气、碱洗废气经收集处理后可实现达标排放。综上分析可知，本项目废气处理技术可行有效，可满足处理需求。（4）废气排放影响分析结论A、正常工况下废气排放环境影响分析根据xx市生态环境质量报告书（2021 年），本项目所在地区环境空气质量满足环境空气质量标准（GB3095-2012）二级标准。本项目酸洗过程产生少量硫酸雾56、，经“水喷淋+除湿+活性炭吸附”处理后通过 15m 高排气筒排放，硫酸雾排放浓度、速率均满足大气污染物综合排放标准（GB16297-1996）表 2 中的二级标准；碱洗过程中产生少量氨和臭气，经“水喷淋+除湿+活性炭吸附”处理后通过 15m 高排气筒达标排放，氨排放速率和臭气浓度均能满足恶臭污染物排放标准（GB14554-93）中标准限值。本项目周边 500m 范围内无大气环境保护目标，因此项目废气经收集处理后达标排放，对对周边环境影响较小。B、非正常工况下废气排放环境影响分析本项目非正常工况主要考虑废气收集措施或处理措施发生故障情况，具体见下表 4-7。表表 4-7污染源非正常工况下排放情况57、表污染源非正常工况下排放情况表序号污染源非正常排放原因污染物非正常排放浓度（mg/m3）非正常排放速率（kg/h）单次持续时间发生频率应对措施1DA002处理措施失效，废气未经处理直接从排气筒排放硫酸雾1.570.00550.5h一次/年立即停产维修氨4.290.015臭气浓度/2生产车间收集措施失效硫酸雾/0.0060.5h一次/年氨/0.017臭气浓度/为减小废气非正常排放对环境的影响，企业应采取以下措施：生产前先运行废气处理设施，确认正常运行后开始生产，使生产过程中产生的废气均得到有效收集、处理；废气处理设施需待生产停止且确认无废气排放后方可关闭；24加强对废气处理设施的管理与维护，及时58、发现隐患，一旦发生故障，立即停止生产，待设施恢复正常后重新启动生产；加强环保管理，并对员工进行岗位培训。在此基础上，项目废气非正常排放对环境影响很小。（5）废气监测计划根据排污单位自行监测技术指南 总则（HJ819-2017）相关要求，本项目废气自行监测计划见表 4-8。表表 4-8本项目废气监测计划一览表本项目废气监测计划一览表类别监测点监测项目监测频次执行标准有组织DA002硫酸雾1 次/年大气污染物综合排放标准（GB16297-1996）氨、臭气浓度1 次/年恶臭污染物排放标准（GB14554-93）无组织厂界硫酸雾1 次/年大气污染物综合排放标准（GB16297-1996）氨、臭气浓度59、1 次/年恶臭污染物排放标准（GB14554-93）2、废水、废水本项目不新增劳动定员，故不新增生活污水。项目废水包括清洗废水、喷淋废水、纯水制备废水，废水产生、排放及污染治理设施详见表 4-94-11。表表 4-9废水产排污环节、污染物及污染防治设施信息表废水产排污环节、污染物及污染防治设施信息表序号废水类别废水产生量m3/a废水产生情况污染治理设施污染物种类产生浓度 mg/L产生量t/a设施编号设施名称治理工艺处理能力1清洗废水297.5pH36TW002中和调节池中和调节5m3/dCODCr3500.104NH3-N50.0012喷淋废水450pH912CODCr500.023NH3-N60、350.0163浓水362.5CODCr400.015/SS200.007表表 4-10废水产排污环节、污染物及污染防治设施信息表（续表）废水产排污环节、污染物及污染防治设施信息表（续表）序号废水类别排放口编号及名称排放方式废水排放量m3/a水污染物排放情况排放标准mg/L排放去向污染物种类排放浓度mg/L排放量t/a1清洗生产废水排放间接297.5pH6969进入岩25废水口 DW001排放东污水处理厂集中处理后排入环境CODCr3500.104500NH3-N50.001452喷淋废水450pH6969CODCr500.023500NH3-N350.016353浓水362.5CODCr4061、0.015500SS200.007400NH3-N350.01535注：主要污染物最终排环境浓度为 CODCr40mg/L、NH3-N2.83mg/L（按时间加权平均浓度），项目新增污染物排环境量为生产废水 1110t/a、CODCr0.044t/a、NH3-N0.003t/a。表表 4-11废水排放口基本信息表废水排放口基本信息表序号排放口编号及名称排放口经纬度坐标排放口类型排放方式排放规律1生产废水排放口DW0011215342.698295244.060一般排放口间接排放间断排放，排放期间流量稳定且规律，不属于冲击型排放具体分析如下：（1）废水产生及排放情况1）清洗废水本项目清洗工艺参数62、及给排水情况见表 4-12。表表 4-12本项目清洗工艺参数及给排水情况一览表本项目清洗工艺参数及给排水情况一览表工序清洗方式温度()时间(s)槽数量(只)有效容积(L)添加药剂给排水情况用水量（t/a）排水量（t/a）酸洗超声波清洗12060016598%硫酸55L+31%双氧水 10L内外槽循环，更换频率 1 次/天（250 次/a）/22.48(酸性废液)纯水清洗 1喷淋清洗503600150超纯水溢流更新洁净纯水，更新次数平均 7 次/批硅片（3500 次/a）175140碱洗超声波清洗常温60016530%氨水5L+31%双氧水 10L+超纯水 50L内外槽循环，更换频率 1 次/天63、（250 次/a）12.514.77(碱性废液)纯水清洗 2喷淋清洗常温 3600150超纯水溢流更新洁净纯水，更新次数平均 7 次/批硅片（3500 次/a）175157.5吹干吹扫烘干607200150氮气吹落收集的纯水回用至纯水清洗 2/注：本项目日生产 2 批次硅片，年生产 250d；98%硫酸密度约为 1.84g/cm3，31%双氧水密度约 1.12g/cm3，30%氨水密度约 0.89g/cm3；加热清洗过程槽液损耗以 20%计，常温清洗过程槽液损耗以 10%计。26本项目酸洗槽、碱洗槽产生的酸性废液、碱性废液均作为危废委托有资质单位处置。根据上表计算结果，项目清洗废水产生总量为 64、297.5t/a，根据建设单位提供资料，废水中主要污染物及浓度约为 pH 36、CODCr350mg/L、NH3-N 5mg/L。清洗废水经中和调节后纳入市政污水管道，排入xx污水处理厂集中处理。2）喷淋废水本项目废气处理装置设置 2m3的循环水箱，喷淋水循环使用，每天进行更换，喷淋用水总量约 500t/a。废水产生量按用水量的 90%，约为 450t/a，根据建设单位提供资料，废水中主要污染物及浓度约为 pH 912、CODCr50mg/L、NH3-N35mg/L。喷淋废水经中和调节后纳入市政污水管道，排入xx污水处理厂集中处理。3）纯水制备废水本项目纯水清洗所用超纯水依托现有纯水系统制取（65、产水率 50%），根据清洗工艺分析，项目超纯水需求量为 362.5t/a，则纯水系统新增用水量约 725t/a，新增废水量约 362.5t/a。该废水水质较为清洁，主要污染物及浓度约为CODCr40mg/L、SS 20mg/L，无需处理可直接纳入市政污水管道。（2）以新带老削减量厂区废水均纳管排入xx污水处理厂集中处理达标后排入环境，现有工程生产废水及主要水污染物许可排放量为：废水量 5881.4t/a、COD 0.294t/a、NH3-N0.029t/a；现有工程生活污水及主要水污染物许可排放量为：废水量 850t/a、COD0.043t/a、NH3-N 0.004t/a。目前，污水处理厂尾66、水排放标准已从 COD 50mg/L、NH3-N 5mg/L 提标为COD 40mg/L、NH3-N 2.83mg/L（按时间加权平均浓度）。故现有工程生产废水中主要水污染物排放以新带老削减量为 COD 0.059t/a、NH3-N 0.012t/a，削减后排放量为 COD 0.235t/a、NH3-N 0.017t/a；现有工程生活污水中主要水污染物排放以新带老削减量为 COD 0.009t/a、NH3-N 0.002t/a，削减后排放量为 COD0.034t/a、NH3-N 0.002t/a。（3）本项目废水处理措施可行性分析处理工艺可行性分析纯水制备废水：本项目纯水制备废水产生量为 1.67、45t/d，水质较为清洁，满足27电子工业水污染物排放标准（GB 39731-2020）间接排放限值和工业企业废水氮、磷污染物间接排放限值（DB33/887-2013），无需处理可直接纳管。清洗废水：本项目清洗废水产生量 1.19t/d，水质呈酸性，废水中 CODCr、NH3-N 等主要污染物浓度满足电子工业水污染物排放标准（GB 39731-2020）间接排放限值和 工业企业废水氮、磷污染物间接排放限值（DB33/887-2013），经中和调节后 pH 可满足相应限值，可实现达标纳管。喷淋废水：本项目喷淋废水产生量为 1.8t/d，水质呈碱性，废水中 CODCr、NH3-N 等主要污染物浓度68、满足电子工业水污染物排放标准（GB 39731-2020）间接排放限值和 工业企业废水氮、磷污染物间接排放限值（DB33/887-2013），经中和调节后 pH 可满足相应限值，可实现达标纳管。综上可知，本项目采取的废水处理工艺是可行的。处理能力可行性分析本项目清洗废水和喷淋废水产生总量为 2.99m3/d，新增中和调节池处理能力为 5m3/d，处理能力可满足本项目需求。综上，本项目采取的废水处理措施是可行的。（4）依托集中污水处理厂可行性分析xx污水处理厂位于xx经济技术开发区太河北路 68 号，主要负责xx城区的生活废水处理和xx经济技术开发区、保税区一些中小型企业的工业废水处理，同时在厂69、内设置有xx区粪便污水处理中心。污水处理厂采用以厌氧+氧化沟为主的处理工艺，目前实际处理量达 28 万吨/d。本项目新增废水总量 4.44t/d、1110t/a，占污水处理厂总处理量比例甚微，对其冲击负荷很小。项目废水水质较为简单且达标纳管，对其工艺处理效率和出水水质影响不大，不会影响其尾水达标排放。综上分析可知，本项目废水依托xx污水处理厂进行集中处理是可行的。（5）废水排放影响分析结论本项目回收硅片清洗后重复用于显影液检测，不属于企业产品，故不核算单位产品基准排水量。项目产生的各类废水经处理达标后纳入市政污水管网，排入xx污水处理厂集中处理达标后排入环境，不会对周边地表水环境造成影响，对纳70、污水体影响较小，不会造成纳污水体水环境质量下降。本项目废水排放对水环28境的影响是可接受的。（6）废水监测计划根据排污单位自行监测技术指南 电子工业（HJ 1253-2022）相关要求，制定本项目废水自行监测计划见表 4-13。表表 4-13本项目废水监测计划一览表本项目废水监测计划一览表行业类别监测点监测项目监测频次执行标准电子专用材料制造排污单位生产废水排放口 DW001流量、pH值、化学需氧量、氨氮、悬浮物1 次/年电子工业水污染物排放标准（GB 39731-2020），其中氨氮、总磷执行工业企业废水氮、磷污染物间接排放限值（DB33/887-2013）3、噪声（1）噪声源强本项目噪声主71、要为清洗设备、无尘车间风机及废气处理设施运行噪声，噪声源强在 7090dB(A)之间。新增设备噪声源强见表 4-144-15。表表 4-14噪声源强调查清单（室内声源）噪声源强调查清单（室内声源）序号位置声源名称数量声源强度dB(A)控制措施空间相对位置运行时段XYH1本项目生产车间内清洗设备（含机泵）17080设备选型、减震、墙体隔声48531昼间、连续2CDS供液装置（含机泵）1708047481昼间、间歇1708048481昼间、间歇1708049481昼间、间歇3无尘车间风机1759052474昼间、连续1759046524昼间、连续表表 4-15噪声源强调查清单（室外声源）噪声源强调72、查清单（室外声源）序号位置声源名称数量声源强度 dB(A)控制措施空间相对位置运行时段XYH1室外废气处理装置17590设备选型、减震50561昼间、连续（2）达标分析本评价采用环境影响评价技术导则声环境（HJ2.4-2021）提供的工业噪声预测计算模型进行噪声预测分析。1）室外声源预测方法单个室外的点声源在预测点产生的声压级 LP(r)计算公式为：29式中：Lw由点声源产生的声功率级，dB；Dc指向性校正，dB；Adiv几何发散引起的衰减，dB；Aatm大气吸收引起的衰减，dB；Agr地面效应引起的衰减，dB；Abar声屏障引起的衰减，dB；Amisc其他多方面效应引起的衰减，dB。2）室内73、声源等效室外声源声功率级计算方法如上图所示，声源位于室内，室内声源可以采用等效室外声源声功率级法进行计算。设靠近开口处（或窗户）室内、室外某倍频带的声压级分别为 LP1和 LP2。若声源所在室内声场为近似扩散声场，则室外的倍频带声压级可按下式近似求出：式中：TL隔墙（或窗户）倍频带的隔声量，dB。在室内近似为扩散声场时，按下式计算出靠近围护结构处室外 N 个声源 i倍频带的叠加声压级 Lp2i(T)：Lp2i(T)=Lp1i(T)-(TLi+6)式中：Lp1i(T)靠近围护结构处室内 N 个声源 i 倍频带的叠加声压级，dB；TLi围护结构 i 倍频带的隔声量，dB。然后将室外声源的声压级和透74、过面积换算成等效的室外声源，计算出中心位置位于透声面积（S）处的等效声源的倍频带声功率级 Lw，公式如下：式中：Lp2(T)靠近围护结构处室外声源的声压级，dB；30S透声面积，m2。然后按室外声源预测方法计算预测点处的声级。3）工业企业噪声值计算设第 i 个室外声源在预测点产生的 A 声级为 LAi，在 T 时间内该声源工作时间为 ti；第 j 个等效室外声源在预测点产生的等效连续 A 声级为 LAj，在 T 时间内该声源工作时间为 tj，则拟建工程声源对预测点产生的贡献值（Leqg）为：式中：N室外声源个数；M等效室外声源个数。4）噪声贡献值预测结果项目厂界噪声最大贡献值预测结果及达标情况75、见表 4-16。表表 4-16项目厂界噪声预测项目厂界噪声预测计算计算结果结果单位：单位：dB(A)方位昼间东厂界南厂界西厂界北厂界背景值 dB(A)57.459.056.358.1贡献值 dB(A)32.733.954.050.3预测值 dB(A)57.459.058.358.8标准值 dB(A)60706060注：背景值引用先进光刻胶及高纯配套材料的开发与产业化项目竣工环境保护（阶段性）验收监测报告表中监测数据；本项目设施设备仅昼间运行，故夜间噪声不予评价。本项目评价范围内无声环境保护目标。根据预测结果，本项目实施后能做到厂界达标排放。为确保厂界噪声稳定达标，建议企业采取以下措施：选用先进76、的低噪声设备，对高噪声设备设防震基础或减震垫；加强设备的日常维护、更新，确保设备处于正常工作状态，杜绝因设备不正常运转产生的高噪声现象。采取以上综合治理措施后，厂界噪声可稳定达到 工业企业厂界环境噪声排放标准（GB12348-2008）中的 2 类和 4 类标准限值，对周围声环境影响较小。（3）监测计划根据排污单位自行监测技术指南 电子工业（HJ 1253-2022）相关要求，厂界环境噪声每季度至少开展一次监测。表表 4-17项目噪声污染源监测计划表项目噪声污染源监测计划表类别监管要求监测项目监测频次31厂界环境噪声达标监督管理Leq(A)1 次/季度4、固体废物本项目固体废物包括酸性废液、碱77、性废液、废滤芯、废吸附介质、废包装桶、硅片，产生及处置情况详见表 4-18。表表 4-18固废产生、处置情况一览表固废产生、处置情况一览表序号固废名称产生工序形态主要成分有毒有害物质属性环境危险特性年产生量t/a产废周期贮存方式利用处置方式和去向利用或处置量1酸性废液酸洗液态有机物、酸、水有机物、酸危险废物HW34900-300-34C,T22.48 每天 桶装委托资质单位处理22.482碱性废液碱洗液态碱、水有机物、碱危险废物HW35900-352-35C,T14.77 每天 桶装14.773废滤芯槽液过滤固态滤芯、有机物、酸、碱有机物、酸、碱危险废物HW49900-041-49T/In 878、 个/a 每季 袋装8 个/a4废吸附介质废气处理固态活性炭、酸、碱酸、碱危险废物HW49900-041-49T/In0.111 每年 袋装0.1115废包装桶原辅料包装固态酸、碱、塑料酸、碱危险废物HW49900-041-49T/In1不定时桶装16硅片硅片报废固态硅/一般工业固废/6000片/a每天 袋装外售给资源回收单位6000片/a具体分析如下：（1）固废产生情况1）酸性废液：根据工程分析，酸洗槽槽液更换产生酸性废液量为 22.48t/a。根据国家危险废物名录，本项目酸性废液属于 HW34 类危险废物，废物代码为 900-300-34，需委托有资质单位处置。2）碱性废液：根据工程分析，79、碱洗槽槽液更换产生碱性废液量为 14.77t/a。根据国家危险废物名录，本项目碱性废液属于 HW35 类危险废物，废物代码为 900-352-35，需委托有资质单位处置。3）废滤芯：项目酸洗槽、碱洗槽槽液经滤芯过滤净化后循环使用，酸、碱、有机物等均吸附在滤芯上，滤芯每季度更换一次，每次更换产生废滤芯 2 个，产生总量为 8 个/a。根据国家危险废物名录，本项目废滤芯属于 HW49 类危险废物，废物代码为 900-041-49，需委托有资质单位处置。324）废吸附介质：本项目采用“水喷淋+除湿+活性炭吸附”工艺处理酸性废气和碱性废气，吸附介质活性炭达到饱和后需进行更换。根据实际调查，活性炭吸附率80、为 0.15t 废气/t 活性炭，根据工程分析，本项目吸附废气量约 0.011t/a，则需使用活性炭约 0.073t。根废气处理设计方案，装置内活性炭单次填装量 100kg，每年更换一次，可满足本项目处理需求，废吸附介质产生量 0.111t/a。根据国家危险废物名录，该废吸附介质属于 HW49 类危险废物，废物代码为 900-041-49，需委托有资质单位处置。5）废包装桶：本项目废包装桶主要是硫酸、氨水、双氧水使用后产生的废桶，根据企业提供资料及原辅材料使用情况，产生量约 1t/a。根据国家危险废物名录，本项目废包装桶属于 HW49 类危险废物，废物代码为 900-041-49，需委托有资质81、单位处置。6）硅片：本项目硅片清洗 4-5 次后报废，报废数量 6000 片/a。清洗后的硅片表面洁净，不沾染有毒有害污染物质，收集后定期外售给回收单位。（2）环境管理要求A、一般固废环境管理要求一般工业固体废物应执行 中华人民共和国固体废物污染环境防治法 中有关规定，妥善处置，不得形成二次污染；采用库房、包装工具（罐、桶、包装袋等）贮存一般工业固体废物，贮存过程应满足相应防渗漏、防雨淋、防扬尘等环境保护要求。本项目一般工业固废贮存于现有一般固废暂存间内，定期外售给回收单位，满足相关环境管理要求。B、危险废物环境管理要求本项目危险废物管理应执行 危险废物贮存污染控制标准（GB18597-20282、3）中有关规定，贮存场所必须防风、防雨、防晒，地面必须要高于厂房的基准地面，确保雨水无法进入，渗漏液也无法外溢进入环境，地面与裙脚要用坚固、防渗的材料建造，防渗层为至少 1m 厚粘土层（渗透系数10-7cm/s），或 2mm 厚高密度聚乙烯，或至少 2mm 厚的其它人工材料，渗透系数10-10cm/s，堆放危险废物的高度应根据地面承载能力确定。33同时，应做好危险废物的申报登记，建立台帐管理制度，记录上须注明危险废物的名称、来源、数量、特征和包装容器的类别、入库时间、存放库位、废物出库日期及接受单位名称。在危险废物转运的时候必须报请当地生态环境局批准及填写危险废物转运单。必须对在生产运行过程中83、产生的危险固废进行申报登记，制定定期外运制度，并对危险废物的流向和最终处置进行跟踪，确保固废得到有效处置，禁止在转移过程中将危险废物排放至环境中，防止运输过程中危险废物的污染损害。因此，必须对危险废物的运输加以控制和管理。运输危险废物，必须同时符合两个要求，一是必须采取防止污染环境的措施，符合环境保护的要求，做到无害化的运输；二是必须将所运输的危险废物作为危险货物对待，遵守国家有关危险货物运输管理的规定，符合危险货物运输的安全防护要求，做到安全运输。本项目依托现有危废间，现有贮存场所设置情况具体见表 4-19。表表 4-19建设项目危险废物贮存场所（设施）基本情况表建设项目危险废物贮存场所（设84、施）基本情况表编号贮存场所（设施）名称危险废物名称危险废物类别危险废物代码位置占地面积(m2)贮存方式贮存能力(t)最大存在量(t)贮存周期1危废间酸性废液HW33900-300-34丙类车间东北角67桶装405.623 个月碱性废液HW35900-352-35桶装3.7183 个月废滤芯HW49900-041-49袋装2 个3 个月废吸附介质HW49900-041-49桶装0.1113 个月废包装桶HW49900-041-49桶装0.253 个月根据本项目危废产废周期、产生量及贮存周期可知，各类危废最大存在总量约 9.72t（废滤芯以 10kg/个计）。现有工程危险废物最大存在量约 23t，85、该危废间富余贮存能力可满足本项目需求。（3）固废环境影响分析本项目各类固体废物均能落实相应妥善处置措施，去向明确，预计对周边环境基本不会产生影响。5、地下水及土壤对照农用地土壤污染状况详查点位布设技术规定，需考虑大气沉降影响的行业包括 08 黑色金属矿采选业、09 有色金属矿采选业、25 石油加工、炼焦和核燃料加工业、26 化学原料和化学制品制造业、27 医药制造业、31 黑色金属冶炼和压延加工业、32 有色金属冶炼和压延加工业、38 电气机械和器材制造业（电34池制造）、77 生态保护和环境治理业（危废、医废处置）、78 公共设施管理业（生活垃圾处置），本项目不在上述行业之内，因此不需考虑大86、气沉降；项目废水收集处理后纳管，不存在地面漫流；项目厂区均进行了硬化，生产车间、仓库、危废间地面均进行了防渗处理。综上，本项目不存在土壤、地下水环境污染途径，不会对区域地下水、土壤环境影响造成影响，因此不进行地下水、土壤环境影响分析。6、生态本项目利用已建厂房，不新增用地，不会对生态环境造成影响，因此无需进行生态环境影响分析。7、环境风险对照建设项目环境风险评价技术导则（HJ 169-2018）附录 B，本项目涉及的危险物质主要包括硫酸、氨水、氨气及危险废物，其分布情况及最大存在量见表 4-20。表表 4-20本项目危险物质临界值比值表本项目危险物质临界值比值表危险单元危险物质CAS 号最大存87、在量qi/t临界量Qi/tqi/Qi生产现场硫酸7664-93-90.361100.0361氨水（浓度20%）1336-21-60.178100.0178氨气7664-41-7少量5/仓库硫酸7664-93-91.083100.1083氨水（浓度20%）1336-21-61.068100.1068废气处理装置区硫酸7664-93-9少量10/氨气7664-41-7少量5/危废暂存间危险废物/9.7250*0.1944（qi/Qi）0.4634*注：参考xx省企业环境风险评估技术指南（修订版）中确定临界存储量为 50t。根据上表计算结果，企业危险物质数量和临界量比值 Q=0.46341，环境风险88、潜势为，无需进行专项评价，仅进行简单分析。项目环境风险主要包括：包装或存放容器破裂、设备操作不当、地面存在破损等情况下，危险物质可能泄漏至地面，进而渗入土壤或进入周边地表水体，对环境造成污染；废气处理设施故障，废气未能有效收集处理，对环境空气造成污染，并对职工身体健康造成危害。本项目采取的环境风险防范措施如下：加强职工生产岗位培训，规范生产35操作，避免因操作不当造成危险物质泄漏并污染环境；危废间、仓库指派专员管理，定期检查包装容器，并制定相关责任制度；厂区及车间内地面做好硬化及防渗，危废间严格执行危险废物贮存污染控制标准（GB18597-2023）中有关规定；厂区内配备相应的应急设施（备）与89、物资，同时加强职工安全教育及应急培训与演练。根据xx省应急管理厅 xx省生态环境厅关于加强工业企业环保设施安全生产工作的指导意见（浙应急基础2022143 号）xx市生态环境局 宁波市应急管理局 关于加强生态环境和应急管理部门联动工作的通知（甬环发20218 号）和xx市应急管理局 xx市生态环境局关于进一步建立健全环保设施安全管理联动机制的通知（甬应急202322 号）中建立环保设施联动排查治理机制相关工作要求：企业是各类环保设施建设、运行、维护、拆除的责任主体，应对脱硫脱硝、挥发性有机物回收、污水处理（指地上有效池容300 立方米以上且地上水深 1.5 米以上的污水处理设施）、粉尘治理（指90、易燃易爆的粉尘治理设施）、RTO 焚烧炉等五类重点环保设施开展安全风险评估和隐患排查治理，并将相关信息报送生态环境部门和相关行业主管部门，抄送应急管理部门。应健全内部污染防治设施稳定运行和管理责任制度，严格依据标准规范建设环保设施，确保环保设施安全、稳定、有效运行。应将环保设施纳入安全评价范围。本项目新增中和调节池池容远小于 300 立方米，不属于上述五类重点环保设施。综上，在采取相应风险管理和防范措施的前提下，可有效防范和控制本项目环境风险。36五、环境保护措施监督检查清单内容内容要素要素排放口排放口(编号编号、名称名称)/污染源污染源污染物项目污染物项目环境保护措施环境保护措施执行标准执行91、标准大气环境大气环境DA002酸洗废气硫酸雾酸洗废气、碱洗废气经侧吸风装置分别收集至 1 套“水喷淋+除湿+活性炭吸附”装置处理后，通过 1 根 15m 高排气筒高空排放。大气污染物综合排放标准（GB16297-1996）中表2 中的二级标准碱洗废气 氨、臭气浓度恶臭污染物排放标准（GB14554-93）中限值地表水环地表水环境境DW001清洗废水pH、COD、氨氮经中和调节后纳入市政污水管网，排入xx污水处理厂集中处理。电子工业水污染物排放标准（GB 39731-2020）间接排放限值，其中氨氮、总磷执行工业企业废水氮、磷污染物间接排放限值（DB33/887-2013）喷淋废水pH、COD、92、氨氮纯水制备废水COD、SS纳入市政污水管网，排入岩东污水处理厂集中处理。声环境声环境设备噪声LAeq选用先进低噪声设备，高噪声设备设防震基础或减震垫；加强设备维护、更新。工业企业厂界环境噪声排放标准（GB12348-2008）中 2 类和 4 类标准电磁辐射电磁辐射无固体废物固体废物酸性废液、碱性废液、废滤芯、废吸附介质、废包装桶分类收集后暂存于现有危废间内，定期委托有资质单位外运无害化处理；报废硅片暂存于现有一般固废暂存间内，定期外售给回收单位。土壤及地土壤及地下水污染下水污染防治措施防治措施本项目在现有厂房内实施，企业全厂场地除绿化外已全部硬化，生产车间、危废间、仓库均进行了防渗处理，现93、有危废间符合相关建设规范。生态保护生态保护措施措施无环境风险环境风险防范措施防范措施加强职工生产岗位培训，规范生产操作；危废间、仓库指派专员管理，定期检查包装容器，并制定相关责任制度；厂区及车间内地面做好硬化及防渗，危废间严格执行危险废物贮存污染控制标准（GB18597-2023）中有关规定；厂区内配备相应的应急设施（备）与物资，同时加强职工安全教育及应急培训与演练。其他环境其他环境管理要求管理要求本项目为“C3985 电子专用材料制造”，对照固定污染源排污许可分类管理名录（2019年版），属于“三十四、计算机、通信和其他电子设备制造业”中的“电子元件及电子专用材料制造 398-其他”类别，实94、行排污登记管理。企业现有项目已进行排污许可登记，登记编号为 91330206MA2AGQ8Q11001W。本项目不需要申请取得排污许可证，需在启动生产设施或者发生实际排污之前，完成排污许可登记变更工作。37六、结论xxxx光电材料有限公司光刻胶用硅片二次回收清洗项目位于xx市xx柴桥街道青山路 21 号，属于xx市xx区柴桥-白峰-郭巨产业集聚重点管控单元（ZH33020620008）。本项目排放污染物符合国家、省规定的污染物排放标准；造成的环境影响符合建设项目所在地的环境质量要求；且符合“三线一单”管控要求、国家产业政策。只要建设单位认真执行建设项目“三同时”制度，采取本报告中所述的环保要求95、和治理措施并落到实处，能做到污染物达标排放，本建设项目在建址实施，从环保角度论证是可行的。38建设项目污染物排放量汇总表项目分类污染物名称现有工程排放量（固体废物产生量）现有工程许可排放量在建工程排放量（固体废物产生量）本项目排放量（固体废物产生量）以新带老削减量（新建项目不填）本项目xx后全厂排放量（固体废物产生量）变化量废气硫酸雾0000.00400.004+0.004氨0000.01100.011+0.011臭气浓度000少量0少量少量硝酸雾（氮氧化物）少量0.0340.034000.034+0.034废水生产废水废水量4262.65881.41618.8111006991.4+272896、.8COD0.2130.2940.0810.0440.0590.279+0.066氨氮0.0210.0290.0080.0030.0120.02-0.001生活污水废水量53185031900850319COD0.0270.0430.01600.0090.034+0.007氨氮0.0030.0040.00100.0020.002-0.001固体废物危险废物酸性废液00022.48022.48+22.48碱性废液00014.77014.77+14.77废滤芯32 个/a350 个/a318 个/a8 个/a0358 个/a+326 个/a产线设备清洗废液3.67440.375536.70150097、40.3755+36.7015试验、研发车间废液4.0954540.9050045+40.905废包装袋/桶0.1591.751.591102.75+2.591废吸附介质0.0150.170.1550.11100.281+0.266废树脂0.1371.51.363001.5+1.363一般工业固体废物硅片0006000 片/a06000 片/a+6000 片/a废活性炭0.1371.51.363001.5+1.363生活垃圾生活垃圾6.25103.750010+3.75注：=+-；=-单位：t/a39附图附图 1项目地理位置图项目地理位置图本项目所在地本项目所在地40附图附图 2厂区平面布置厂区平面布置图图现有危废间本项目位置现有仓库现有纯水系统新增中和调节池41附图附图 3丙类车间平面布置图丙类车间平面布置图危废间纯水车间本项目无尘车间42附图附图 4环境保护目标分布图环境保护目标分布图（500m 范围内无环境保护目标）范围内无环境保护目标）本项目周边 500m 范围中芯xx十一科技xx锦越新材料有限公司弘硕科技（xx）有限公司xxxx微电子科技有限公司云台山路青山路200m43附图附图 5xx区环境管控单元图xx区环境管控单元图本项目44附图附图 6xx区声环境功能区划图xx区声环境功能区划图本项目45附图附图 7xx市xx市生态保护红线图生态保护红线图本项目