1、3建设项目环境影响报告表（污染影响类）项目名称：xxxx科技有限公司年产 8.4 万片6 英寸频率元器件芯片（温度补偿型声表面波滤波器芯片）生产线技改项目建设单位（盖章）：xxxx科技有限公司编制日期：2023 年 2 月4目目录录一、建设项目基本情况.1二、建设项目工程分析.21三、区域环境质量现状、环境保护目标及评价标准.48四、主要环境影响和保护措施.57五、环境保护措施监督检查清单.99六、结论.101附表.102建设项目污染物排放量汇总表.102专题一：环境风险评价专题专题一：环境风险评价专题.104附图附图 1 项目地理位置图附图 2 项目总平面布置图附图 3 项目噪声及地下水监测2、点布置图附图 4 xx市环境管控单元分类图附图 5 建设项目水环境功能区划图附图 6 环境空气质量功能区划图附件附件 1 备案表附件 2 营业执照附件 3 法人身份证附件 4 土地证附件 5 租房协议附件 6 原环评批复及验收意见附件 7 主要原辅材料 MSDS附件 8 污水处理处置协议附件 9 总量交易单附件 10 VOCs 告知函附件 11 现状检测报告附件 12 专家函审意见及修改清单附件 13 专家复核意见及修改清单1一、建设项目基本情况建设项目名称xxxx科技有限公司年产 8.4 万片 6 英寸频率元器件芯片（温度补偿型声表面波滤波器芯片）生产线技改项目项目代码建设单位联系人联系方式3、建设地点地理坐标xx经济行业类别C3989 其他电子元件制造建设项目行业类别81、电子元件及电子专用材料制造，398建设性质新建（迁建）改建扩建技术改造建设项目申报情形首次申报项目不予批准后再次申报项目超五年重新审核项目重大变动重新报批项目项目审批（核准/备案）部门（选填）xx市经济和信息化局项目审批（核准/备案）文号（选填）2012-330481-07-02-680521总投资（万元）21311.21环保投资（万元）21.6环保投资占比（%）0.1施工工期无是否开工建设否是：用地（用海）面积（m2）13619专项评价设置情况对照建设项目环境影响报告表编制技术指南（污染影响类）（试行 专项评价4、设置原则表，详见1.1-1。表表1.1-1 专专项项评评价价设设置置原原则则表表专项评价的类别专项评价设置原则表本项目情况大气排放废气含有毒有害污染物、二噁英、苯并a芘、氰化物、氯气且厂界外500 米范围内有环境空气保护目标的建设项目本项目排放的废气中不含有毒有害大气污染物名录的有毒有害污染物，无需设大气专项评价地表水新增工业废水直排建设项目（槽罐车外送污水处理厂的除外）；新增废水直排的污水集中处理厂本项目废水全部纳管排放。环境风险有毒有害和易燃易爆危险物质存储量超过临界量的建设项目项目Q值为1.1324，大于1，需设环境风险专2项评价生态取水口下游500米范围内有重要水生生物的自然产卵场、索5、饵场、越冬场和洄游通道的新增河道取水的污染类建设项目不涉及海洋直接向海排放污染物的海洋工程建设项目不涉及注：废气中有毒有害污染物指纳入有毒有害大气污染物名录的污染物（不包括无排放标准的污染物）。环境空气保护目标指自然保护区、风景名胜区、居住区、文化区和农村地区中人群较集中的区域。临界量及其计算方法可参考建设项目环境风险评价技术导则（HJ 169）附录B、附录C。由上表可知，本项目需设置环境风险专项评价。规划情况已开展规划，规划名称：xx经济开发区（中心区）总体规划修编（2017-2035）规划环境影响评价情况已开展规划环评并通过审查，规划环评名称：xx经济开发区（中心区）总体规划修编（20176、-2035）环境影响报告书；审查机关：xx省生态环境厅，审查文件名称及文号：浙环函2019237号规划及规划环境影响评价符合性分析1.1规划符合性分析规划符合性分析xx经济开发区总体规划修编（2013-2030）规划面积50.448km2，城市规划区范围调整为：xx经济开发区行政区范围和长山河以南由拳路以北的三角区块，四至范围：东至杭平申航道，南至长山河、沪杭铁路及由拳路，北至盐湖公路及杭平申航道，西至环西二路及市域西界”。东区东区四至范围为：东至欣旺小区，南至长山河，西至俞家桥路，北至盐湖公路和港口大道。西区西区：东、南至沪杭铁路，北至长山河，西至环西二路及市域西界。北区北区：东至沪杭铁路，7、南至长山河，西至环西二路，北至规划中的杭平申航道及盐湖公路。本项目位于xx经济开发区北区，北区的职能定位：皮革制造业、轻工机械、物流业基地、市场；漕河泾新兴技术开发区xx分区规划形成两条以机电装备业、新材料为主导，相关产业和生产性服务产业为配套的健全而成熟的产业链。根据xx经济开发区（中心区）总体规划修编（2017-2035）可知，项目拟建地规划为工业用地，未与规划冲突。本项目属于电子元件制造，属于电子及通信设备制造业，不属3于区内禁止类项目，因此，项目符合规划要求。1.2规划环评符合性分析规划环评符合性分析本项目位于xx经济开发区泛半导体产业园，位于xx经济开发区北区范围内，对照xx经济开发8、区（中心区）总体规划修编（2017-2035）环境影响报告书、规划环评审查意见和xx经济开发区（中心区）总体规划修编（2017-2035）环境影响报告书六张清单修订稿（2020年12月）等规划环评资料，项目与规划环评有关结论清单符合性分析如下。（1）生态空间管控清单符合性项目位于xx市海昌街道产业集聚重点管控单元（ZH33048120001）-漕河泾区块。xx市海昌街道产业集聚重点管控单元的管控措施及与项目的符合性见1.2-1。表表 1.2-1xx经济开发区（中心区）生态空间清单及符合性分析xx经济开发区（中心区）生态空间清单及符合性分析规规划划区区块块生态空间范围示意图生态空间范围示意图管控9、措施管控措施本项目情本项目情况况海宁市海昌街道产业集聚重点管控单元-漕河泾区块1、优化产业布局和结构，实施分区差别化的产业准入条件。2、合理规划布局三类工业项目，控制三类工业项目布局范围和总体规模，鼓励对现有三类工业项目进行淘汰和提升改造。3、禁止新增钢铁、铸造、水泥和平板玻璃等行业产能，严格执行相关污染物排放量削减替代管理要求和产能置换实施办法；提高电力、化工、印染、造纸、化纤等重点行业环保准入门槛，控制新增污染物排放量。4、严格限制新、扩建医药、印染、化纤、合成革、工业涂装、包装印刷、塑料和橡胶等涉 VOCs 重污染项目，新建涉 VOCs 排放的工业企业全部进入工业功能区，严格执行相关污染10、物排放量削减替代管理要求。5、所有改、扩建耗煤项目，严格执行相关新增燃煤和污染物排放减量替代管理要1、本项目已经通过经信备案，符合产业准入条件。2、本项目属于二类工业项目。3、本项目属于电子元器件行业，项目有机废气经二级活性炭吸附处理后可实现达标排放。4、本项目属于电子元器件行业，新增污染物总量指标通过区域调剂获得。5、项目能项目位置4综上，项目的建设符合规划环评中的生态空间管控清单。（2）现有问题整改措施清单本项目属于电子元器件行业，为二类工业项目，选址位于xx国际装备制造及电子信息产业园，租用园区现有厂房进行生产，用地性质为工业用地。企业有机废气经二级活性炭吸附处理，酸碱废气经喷淋塔喷淋处11、理后达标排放；生产废水利用园区污水处理系统处理达标后纳管，生活污水纳管，营运期产生的各类污染物通过采取有效的污染防治措施后，均能实现达标排放。项目不涉及现有问题整改措施清单中的内容。（3）总量管控限值清单根据规划环评，本项目所在区域各污染物总量管控限值为（规划 2030 年）：CODCr754.04 t/a、NH3-N 75.41 t/a、SO2291.49t/a、NOx 896 t/a、VOCs2036.77 t/a，危险废物 8751.2 t/a。本项目污染物均经治理后达标排放，新增污染物总量指标通过总量调剂获得，符合总量管控限值清单。（4）规划优化调整建议清单本项目不新增用地，租用园区现12、有厂区内进行生产，用地性质为工业用地，且位于工业园区内，距离居民点较远；项目用地范围内不涉及永久基本农田。项目的建设不涉及园区规划优化调整建议相关内容。（5）环境准入条件清单求，且排污强度、能效和碳排放水平必须达到国内先进水平。6、合理规划居住区与工业功能区，在居住区和工业区、工业企业之间设置防护绿地、生态绿地等隔离带。7、饮用水水源准保护区按照中华人民共和国水污染防治法、xx省饮用水水源保护条例、饮用水水源保护区污染防治管理规定等相关法律法规实施管理。耗主要以电为主，根据能评分析，项目能效和碳排放水平已达到国内先进水平。6、本项目周边以工业企业为主。5表表 1.2-2项目环境准入条件清单符合13、性分析项目环境准入条件清单符合性分析区区域域分分类类行业清单行业清单/工艺清单工艺清单/产品清单产品清单本本项项目目情情况况产业集聚重点管控单元（漕河泾区块）禁止准入类产业（一）禁止新增钢铁、铸造、水泥和平板玻璃等行业产能。（二）耗煤项目。（三）焦化、电解铝、造纸行业。（四）在饮用水水源准保护区内，禁止下列行为：新建、扩建水上加油站、油库、规模化畜禽养殖场等严重污染水体的建设项目，或者改建增加排污量的建设项目。设置装卸垃圾、粪便、油类和有毒物品的码头。运输剧毒物品、危险废物以及国家规定禁止通过内河运输的其他危险化学品。其他法律、法规禁止污染水体的行为。本项目属电子元器件行业，不属于禁止行业，不14、在饮用水水源准保护区内；技改项目污染物治理达标后排放，严格执行相关污染物排放量削减替代管理要求。限制准入类产业（一）严格限制新、扩建医药、印染、化纤、合成革、工业涂装、包装印刷、塑料和橡胶等涉 VOCs 重污染项目，新建涉 VOCs 排放的工业企业全部进入工业功能区，严格执行相关污染物排放量削减替代管理要求。本项目属于电子元器件行业，有机废气经二级活性炭吸附处理，酸碱废气经喷淋塔喷淋处理后达标排放，排放量相对较小。新增污染物通过调剂获得。其他（一）合理规划布局三类工业项目，控制三类工业项目布局范围和总体规模。（二）提高电力、化工、印染、造纸、化纤等重点行业环保准入门槛，控制新增污染物排放量。（15、三）合理规划居住区与工业功能区，在居住区和工业区、工业企业之间设置防护绿地、生态绿地等隔离带。项目已取得经信备案文件，用地性质为工业用地，位于工业功能区。项目能耗主要以电为主，根据能评及碳排放分析，项目能效和碳排放水平已达到国内先进水平。本项目周边以工业企业为主。经对照所在区域环境准入条件清单，本项目符合准入要求。（6）环境标准清单在运营阶段，项目有机废气经二级活性炭吸附处理，酸碱废气经喷淋塔喷淋处理后达标排放，非甲烷总烃、氟化物有组织排放执行大气污染物综合排放标准（GB16297-1996）中的二级标准；氨气排放执行 恶臭污染物排放标准(GB14554-93)中表2排放标准；厂区内 VOCs16、 无组织排放监控浓度执行挥发性有机物无组织排放控制标准（GB37822-2019）表 A.1 中的特别排放限值。本项目属于电子元器件行业，属于规划园区鼓励入园类企业，符合xx经济开发区（中心区）总体规划修编（2017-2035）的空间准入标准、产业准入和行业准入要求。6本项目废气经处理后排放量相对较小，可实现达标排放。项目废水利用xx（中国）泛半导体产业园一期xx区块现有的污水站处理达标后纳管，新增污染物总量指标可通过区域平衡替代，符合生态空间清单中的管控要求。综上，本项目的建设能够符合xx经济开发区（中心区）总体规划修编（2017-2035）环境影响报告书、规划环评审查意见以及 xx经济开发17、区（中心区）总体规划修编（2017-2035）环境影响报告书六张清单修订稿相关要求。其他符合性分析1.3“四性五不批四性五不批”符合性分析符合性分析根据建设项目环境保护管理条例（2017 年 07 月 16 日修正版），本项目“四性五不批”要求符合性分析具体见表 1.3-1。表表 1.3-1“四性五不批四性五不批”要求符合性分析要求符合性分析建设项目环境保护管理建设项目环境保护管理条例条例符合性分析符合性分析是否是否符合符合四性建设项目的环境可行性本项目位于xx经济开发区泛半导体产业园，项目建设符合关于以改善环境质量为核心加强环境评价管理的通知（环环评2016150号）中“三线一单”要求。符合18、审批要求环境影响分析预测评估的可靠性根据环境影响分析，本项目废水利用产业园污水站处理达标后纳管，酸碱废气经喷淋处理，有机废气经活性炭吸附处理后可实现达标排放。符合审批要求环境保护措施的有效性从技术上分析，只要切实落实本报告提出的污染防治措施，本项目废气、废水、噪声可做到达标排放，固废可做到妥善处置。符合审批要求环境影响评价结论的科学性本环评结论客观、过程公开、评价公正，并综合考虑建设项目实施后对各种环境因素可能造成的影响，环评结论是科学的。符合审批要求五不批（一）建设项目类型及其选址、布局、规模等不符合环境保护法律法规和相关法定规划项目符合当地总体规划，符合国家、地方产业政策，符合“三线一单”19、要求，项目营运过程中各类污染源均可得到有效控制并能做到达标排放，符合总量控制和达标排放的原则，对环境影响不大，项目实施不会改变所在地的环境质量水平和环境功能，符合环境保护法律法规和相关法定规划。符合审批要求7（二）所在区域环境质量未达到国家或者地方环境质量标准，且建设项目拟采取的措施不能满足区域环境质量改善目标管理要求项目所在区域空气质量为达标区。地表水环境达到地表水环境质量标准（GB3838-2002）中的类标准，满足功能区划要求；声环境质量较好。项目废水经达标处理后排入xxxx污水处理厂，不排入周围水环境，不会对周边水环境质量造成冲击；通过对噪声采取隔声、降噪等措施后，外排噪声均能达标排放20、。因此采取本环评提出的相关防治措施后，本项目排放的污染物不会对区域环境质量底线造成冲击。符合（三）建设项目采取的污染防治措施无法确保污染物排放达到国家和地方排放标准，或者未采取必要措施预防和控制生态破坏根据预测分析，项目废水利用产业园污水站处理达标后纳管，酸碱废气经喷淋处理，有机废气经活性炭吸附处理后可实现达标排放。符合审批要求（四）改建、扩建和技术改造项目，未针对项目原有环境污染和生态破坏提出有效防治措施/基本符合（五）建设项目的环境影响报告书、环境影响报告表的基础资料数据明显不实，内容存在重大缺陷、遗漏，或者环境影响评价结论不明确、不合理。建设项目环境影响报告的基础资料数据真实可靠，内容不21、存在缺陷、遗漏，环境影响评价结论明确、合理。符合1.4 审批原则符合性分析审批原则符合性分析根据 xx省建设项目环境保护管理办法（2021 年修正），建设项目环评审批原则符合性分析如下：1、xxxx市市“三线一单三线一单”符合性分析符合性分析（1）生态保护红线对照xx市“三线一单”生态环境分区管控方案，企业位于xx经济开发区泛半导体产业园，属于产业集聚重点管控单8元。对照xx省生态保护红线划定方案（浙政发201830号）和xx市“三线一单”生态环境分区管控方案，本项目不在当地饮用水源、风景区、自然保护区等生态保护区内，不涉及相关文件划定的生态保护红线，满足生态保护红线要求。（2）环境质量底线本22、项目所在区域的环境质量底线：环境空气质量目标为 环境空气质量标准（GB3095-2012）二级，水环境质量目标为 地表水环境质量标准（GB3838-2002）类标准；声环境质量目标为声环境质量标准（GB3096-2008）3 类。根据项目环境质量现状监测结果可知，项目所在区域空气环境属于达标区。地表水环境满足地表水环境质量标准（GB3838-2002）中的类标准；声环境质量较好。根据环境影响分析，各主要污染物经处理后可以做到达标排放，对周围环境的影响较小。综上所述，企业污染物排放不会对周边环境造成不良影响，不会改变区域环境功能区要求，能维持环境功能区现状等级。因此项目符合维持环境质量原则。（323、）资源利用上线项目用水来自市政供水管网。项目建成运行后通过内部管理、设备选择的选用和管理等多方面采取合理可行的防治措施，以“节能、降耗、减污”为目标，有效地控制污染。项目的水、气等资源利用不会突破区域的资源利用上线。（4）环境管控单元划定本项目位于xx经济开发区泛半导体产业园 A16 厂房内，根据xx市“三线一单”生态环境分区管控方案（xx市人民政府，2020 年 9 月），本项目所在地处于xx市海昌街道产业集聚重点管控单元（ZH33048120001）中的漕河泾区块。本项目与该管控单元符合性分析见表 1.1-1。9表表 1.1-1 xx市海昌街道产业集聚重点管控单元xx市海昌街道产业集聚重点24、管控单元“生态环境生态环境准入清单准入清单”符合性分析表符合性分析表内容管控措施本项目情况符合性分析空间布局约束1、优化产业布局和结构，实施分区差别化的产业准入条件。本项目属于电子元器件制造，已经备案，符合园区准入条件。符合2、合理规划布局三类工业项目，控制三类工业项目布局范围和总体规模，鼓励对现有三类工业项目进行淘汰和提升改造。对照xx市“三线一单”生态环境分区管控方案，本项目行业属于电子元器件制造，属于二类工业项目。3、禁止新增钢铁、铸造、水泥和平板玻璃等行业产能，严格执行相关污染物排放量削减替代管理要求和产能置换实施办法；提高电力、化工、印染、造纸、化纤等重点行业环保准入门槛，控制新增污25、染物排放量。项目行业属于电子元器件制造，不属于钢铁、铸造、水泥和平板玻璃、电力、化工、印染等行业。4、严格限制新、扩建医药、印染、化纤、合成革、工业涂装、包装印刷、塑料和橡胶等涉 VOCs 重污染项目，新建涉 VOCs 排放的工业企业全部进入工业功能区，严格执行相关污染物排放量削减替代管理要求。本项目不属于涉VOCs 重污染项目，且项目位于泛半导体产业园，要求企业严格控制污染物排放。5、所有改、扩建耗煤项目，严格执行相关新增燃煤和污染物排放减量替代管理要求，且排污强度、能效和碳排放水平必须达到国内先进水平。本项目不耗煤6、合理规划居住区与工业功能区，在居住区和工业区、工业企业之间设置防护绿地、26、生态绿地等隔离带。本项目用地为工业用地，属于第二类用地，与居住区尚有一定距离，规划较合理。7、饮用水水源准保护区按照 中华人民共和国水污染防治法、xx省饮用水水源保护条例、饮用水水源保护区污染防治管理规定等相关法律法规实施管理。本项目不在饮用水源保护区污染物排1、严格实施污染物总量控制制度，根据区域环境质量改善目标，本项目 CODCr、NH3-N和VOCs根据符合10放管控削减污染物排放总量。要求削减，符合总量控制要求。2、新建二类、三类工业项目污染物排放水平要达到同行业国内先进水平。本项目污染物排放水平能达到同行业国内先进水平。3、加快落实污水处理厂建设及提升改造项目，推进工业园区（工业企业27、）“污水零直排区”建设，所有企业实现雨污分流。项目实施雨污分流，生产废水通过产业园区污水处理设施处理后纳入市政污水管网。4、加强土壤和地下水污染防治与修复。项目拟采取必要的防腐防渗措施，避免对土壤和地下水造成污染。环境风险防控1、定期评估沿江河湖库工业企业、工业集聚区环境和健康风险。企业附近水体为长山河，项目实施后将定期评估企业环境和健康风险。符合2、强化工业集聚区企业环境风险防范设施设备建设和正常运行监管，加强重点环境风险管控企业应急预案制定，建立常态化的企业隐患排查整治监管机制，加强风险防控体系建设。本项目生产过程涉及的风险物质主要为危险废物及原料使用过程的剥离液等，企业在后续实施中将配备28、应急物资，定期维护废气处理设施，加强员工日常管理和安全知识培训，同时加强演练。资源开发效率要求推进工业集聚区生态化改造，强化企业清洁生产改造，推进节水型企业、节水型工业园区建设，落实煤炭消费减量替代要求，提高资源能源利用效率。本项目严格控制水、电使用，生产过程中无需燃煤。企业后续实施将落实清洁生产理念，做好节能减排建设。符合因此，本项目符合xx市海昌街道产业集聚重点管控单元（ZH33048120001）中的相关要求。1.5 与与xx省xx省“十四五十四五”挥发性有机物综合治理方案挥发性有机物综合治理方案符合性分符合性分析析本项目属于电子元器件制造行业，与xx省“十四五”挥发性有机物综合治理方案29、对照分析，本项目符合各项环保准入及整治标准要求。11表表 1.5-1xx省xx省“十四五十四五”挥发性有机物综合治理方案符合性分挥发性有机物综合治理方案符合性分析析内容序号判断依据本项目情况是否符合优化产业结构1引导石化、化工、工业涂装、包装印刷、合成革、化纤、纺织印染等重点行业合理布局，限制高 VOCs 排放化工类建设项目，禁止建设生产和使用 VOCs 含量限值不符合国家标准的涂料、油墨、胶粘剂、清洗剂等项目。贯彻落实产业结构调整指导目录 国家鼓励的有毒有害原料（产品）替代品目录，依法依规淘汰涉 VOCs 排放工艺和装备，加大引导退出限制类工艺和装备力度，从源头减少涉 VOCs 污染物产生。30、本项目属于电子元器件制造，不属于产业结构调整指导目录中限制、淘汰类，不涉及国家鼓励的有毒有害原料（产品）替代品目录中相关物质，不属于限制类工艺和装备力度。符合严格环境准入2严格执行“三线一单”为核心的生态环境分区管控体系，制(修)订纺织印染(数码喷印)等行业绿色准入指导意见。严格执行建设项目新增 VOCs 排放量区域削减替代规定，削减措施原则上应优先来源于纳入排污许可管理的排污单位采取的治理措施，并与建设项目位于同一设区市。上一年度环境空气质量达标的区域，对石化等行业的建设项目 VOCs 排放量实行等量削减；上一年度环境空气质量不达标的区域，对石化等行业的建设项目 VOCs 排放量实行2 倍量31、削减，直至达标后的下一年再恢复等量削减。技改项目新增VOCs 排放量严格按要求实施总量削减替代后可满足总量控制要求。符合全面提升生产工艺绿色化水平。3石化、化工等行业应采用原辅材料利用率高、废弃物产生量少的生产工艺，提升生产装备水平，采用密闭化、连续化、自动化、管道化等生产技术，鼓励工艺装置采取重力流布置，推广采用油品在线调和技术、密闭式循环水冷却系统等。工业涂装行业重点推进使用紧凑式涂装工艺，推广采用辊涂、静电喷涂、高压无气喷涂、空气辅助无气喷涂、热喷涂、超临界二氧化碳喷涂等技术，鼓励企业采用自动化、智能化喷涂设备替代人工喷涂，减少使用空气喷涂技术。包装印刷行业推广使用无溶剂复合、共挤出复合32、技术，鼓励采用水性凹印、醇水凹印、辐射固化凹印、柔版印刷、无水胶印等印刷工艺。鼓励生产工艺装备落后、在既有基础上整改困难的企业推倒重建，从车间布局、工艺装备等方面全面提升治理水平。项目优先选用原辅材料利用率高、废弃物产生量少的生产工艺，提升生产装备水平，采用密闭化、连续化、自动化、管道化等生产技术符合全面推行工业涂装企业使用低 VOCs含量原辅材料。4严格执行大气污染防治法第四十六条规定，选用粉末涂料、水性涂料、无溶剂涂料、辐射固化涂料等环境友好型涂料和符合要求的（高固体分）溶剂型涂料。工业涂装企业所使用的水性涂料、溶剂型涂料、无溶剂涂料、辐射固化涂料应符合 低本项目不涉及涂装符合12挥发性有33、机化合物含量涂料产品技术要求规定的 VOCs 含量限值要求，并建立台帐，记录原辅材料的使用量、废弃量、去向以及 VOCs 含量。大力推进低 VOCs含量原辅材料的源头替代。5全面排查使用溶剂型工业涂料、油墨、胶粘剂、清洗剂等原辅材料的企业，各地应结合本地产业特点和本方案指导目录（见附件 1），制定低 VOCs 含量原辅材料源头替代实施计划，明确分行业源头替代时间表，按照“可替尽替、应代尽代”的原则，实施一批替代溶剂型原辅材料的项目。加快低 VOCs 含量原辅材料研发、生产和应用，在更多技术成熟领域逐渐推广使用低VOCs 含量原辅材料，到 2025 年，溶剂型工业涂料、油墨、胶粘剂等使用量下降比34、例达到国家要求。本项目不涉及溶剂型工业涂料、油墨，项目使用的光刻胶和 PI 胶不属于胶粘剂范畴。项目为半导体行业，使用的清洗剂（异丙醇和丙酮）不适用于清洗剂挥发性有机化合物含量限值（GB38508-2020）标准。符合严格控制无组织排放。6在保证安全前提下，加强含 VOCs 物料全方位、全链条、全环节密闭管理，做好VOCs 物料储存、转移和输送、设备与管线组件泄漏、敞开液面逸散以及工艺过程等无组织排放环节的管理。生产应优先采用密闭设备、在密闭空间中操作或采用全密闭集气罩收集方式，原则上应保持微负压状态，并根据相关规范合理设置通风量；采用局部集气罩的，距集气罩开口面最远处的 VOCs 无组织排放35、位置控制风速应不低于 0.3 米/秒。对 VOCs 物料储罐和污水集输、储存、处理设施开展排查，督促企业按要求开展专项治理。要求企业对各废气产生工段设置集气管道、集气罩或密闭收集，并根据相关规范合理设置通风量。符合全面开展泄漏检测与修复（LDAR）7石油炼制、石油化学、合成树脂企业严格按照行业排放标准要求开展 LDAR 工作；其他企业载有气态、液态 VOCs 物料设备与管线组件密封点大于等于 2000 个的，应开展 LDAR 工作。开展 LDAR 企业 3 家以上或辖区内开展 LDAR 企业密封点数量合计 1 万个以上的县（市、区）应开展 LDAR数字化管理，到 2022 年，15 个县（市、36、区）实现 LDAR 数字化管理；到 2025 年，相关重点县（市、区）全面实现 LDAR 数字化管理不涉及符合规范企业非正常工况排放管理8引导石化、化工等企业合理安排停检修计划，制定开停工（车）、检修、设备清洗等非正常工况的环境管理制度。在确保安全的前提下，尽可能不在 O3污染高发时段（4 月下旬6 月上旬和 8 月下旬9 月，下同）安排全厂开停车、装置整体停工检修和储罐清洗作业等，减少非正常工况VOCs 排放；确实不能调整的，应加强清洗、退料、吹扫、放空、晾干等环节的 VOCs无组织排放控制，产生的 VOCs 应收集处理，确保满足安全生产和污染排放控制要求。要求企业合理安排停检修计划，制定开37、停工（车）、检修、设备清洗等非正常工况的环境管理制度。符合建设适宜高效的治理设施9企业新建治理设施或对现有治理设施实施改造，应结合排放 VOCs 产生特征、生产工况等合理选择治理技术，对治理难度大、单一治理工艺难以稳定达标的，要采用多企业碱性废气通过集中收集至屋顶酸碱喷淋塔处理后 15m 排气筒符合13种技术的组合工艺。采用活性炭吸附技术的，吸附装置和活性炭应符合相关技术要求，并按要求足量添加、定期更换活性炭。组织开展使用光催化、光氧化、低温等离子、一次性活性炭或上述组合技术等VOCs 治理设施排查，对达不到要求的，应当更换或升级改造，实现稳定达标排放。到 2025 年，完成 5000 家低效38、 VOCs 治理设施改造升级，石化行业的 VOCs 综合去除效率达到 70%以上，化工、工业涂装、包装印刷、合成革等行业的 VOCs 综合去除效率达到 60%以上。高空排放；涂胶、光刻、显影废气负压收集至废气处理系统二级活性炭吸附处理后15m高空排放；干法刻蚀废气经设备自带的燃烧器燃烧+喷淋处理后再与晶片药剂清洗废气一并通过酸碱喷淋塔喷淋处理后 15 米排放；要求企业按要求足量添加活性炭、定期更换符合质量要求的活性炭，即选择碘值不低于800毫克/克的活性炭。企业对治理设施达不到要求的，应当更换或升级改造，实现稳定达标排放。加强治理设施运行管理10按照治理设施较生产设备“先启后停”的原则提升治理39、设施投运率。根据处理工艺要求，在治理设施达到正常运行条件后方可启动生产设备，在生产设备停止、残留VOCs 收集处理完毕后，方可停运治理设施。VOCs 治理设施发生故障或检修时，对应生产设备应停止运行，待检修完毕后投入使用；因安全等因素生产设备不能停止或不能及时停止运行的，应设置废气应急处理设施或采取其他替代措施要求企业加强治理设施运行管理符合规范应急旁路排放管理11推动取消石化、化工、工业涂装、包装印刷、纺织印染等行业非必要的含 VOCs 排放的旁路。因安全等因素确须保留的，企业应将保留的应急旁路报当地生态环境部门。应急旁路在非紧急情况下保持关闭，并通过铅封、安装监控（如流量、温度、压差、阀门40、开度、视频等）设施等加强监管，开启后应做好台账记录并及时向当地生态环境部门报告不涉及符合综上分析，项目符合 xx省“十四五”挥发性有机物综合治理方案。1.1.6 6 与与长江经济带发展负面清单指南（试行，长江经济带发展负面清单指南（试行，2022 年版）年版）xx省实施细则符合性分析xx省实施细则符合性分析根据长江经济带发展负面清单指南（试行，2022 年版）xx省实施细则，与本项目相关条目的符合性分析见表 1.6-1。14表表 1.6-1长江经济带发展负面清单指南长江经济带发展负面清单指南（试行试行，2022 年年版）版）xx省实施细则相符性分析xx省实施细则相符性分析内容要求本项目情况是否41、符合第三条港口码头项目建设必须严格遵守 中华人民共和国港口法、交通运输部港口规划管理规定、港口工程建设管理规定以及xx省港口管理条例的规定本项目不涉及港口码头符合第四条禁止建设不符合 全国沿海港口布局规划、全国内河航道与港口布局规划、xx省沿海港口布局规划、xx省内河航运发展规划以及项目所在地港口总体规划、国土空间规划的港口码头项目。经国务院或国家发展改革委审批、核准的港口码头项目，军事和渔业港口码头项目，按照国家有关规定执行。城市休闲旅游配套码头、陆岛交通码头等涉及民生的港口码头项目，结合国土空间规划和督导交通专项规划等另行研究执行。本项目不涉及港口码头符合第五条禁止在自然保护地的岸线和河段42、范围内投资建设不符合 xx省自然保护地建设项目准入负面清单（试行）的项目。禁止在自然保护地的岸线和河段范围内采石、采砂、采土、砍伐以及其他严重改变地形地貌、破坏自然生态、影响自然景观的开发利用行为。禁止在 I 级林地、一级国家级公益林内建设项目。自然保护地由省林业局会同相关管理机构界定。本项目不在自然保护地的岸线和河段范围内，不涉及采石、采砂、采土、砍伐以及其他严重改变地形地貌、破坏自然生态、影响自然景观的开发利用行为，本项目不涉及I 级林地、一级国家级公益林。符合第六条禁止在饮用水水源一级保护区、二级保护区、准保护区的岸线和河段范围内投资建设不符合 xx省饮用水源保护条例 的项目。饮用水水源43、一级保护区、二级保护区、准保护区由省生态环境厅会同相关管理机构界定。本项目不涉及饮用水水源保护区符合15第七条禁止在水产种质资源保护区的岸线和河段范围内新建围湖造田、围海造地或围填海等投资建设项目。水产种质资源保护区由省农业农村厅会同相关管理机构界定。本项目不在水产种质资源保护区的岸线和河段范围内符合第八条在国家湿地公园的岸线和河段范围内：（一）禁止挖沙、采矿；（二）禁止任何不符合主体功能定位的投资建设项目；（三）禁止开（围）垦、填埋或者排干湿地；（四）禁止截断湿地水源；（五）禁止倾倒有毒有害物质、废弃物、垃圾；（六）禁止破坏野生动物栖息地和迁徙通道、鱼类洄游通道，禁止滥采滥捕野生动植物；（七44、）禁止引入外来物种；（八）禁止擅自放牧、捕捞、取土、取水、排污、放生；（九）禁止其他破坏湿地及其生态功能的活动。本项目不在国家湿地公园的岸线和河段范围内符合第九条禁止违法利用、占用长江流域河湖岸线。本项目不涉及长江流域河湖岸线符合第十条禁止在长江岸线保护和开发利用总体规划 划定的岸线保护区和保留区内投资建设除事关公共安全及公众利益的防洪护岸、河道治理、供水、生态环境保护、国家重要基础设施以外的项目。本项目不在长江岸线保护和开发利用总体规划划定的岸线保护区和保留区内符合第十一条禁止在全国重要江河湖泊水功能区划划定的河段及湖泊保护区、保留区内投资建设不利于水资源及自然生态保护的项目。本项目不在全国45、重要江河湖泊水功能区划划定的河段及湖泊保护区、保留区内符合第十二条禁止未经许可在长江支流及湖泊新设、改设或扩大排污口。本项目不涉及在长江支流及湖泊新设、改设或扩大排污口符合第十三条禁止在长江支流、太湖等重要岸线一公里范围内新建、扩建化工园区和化工项目。本项目不在长江支流、太湖等重要岸线一公里范围内，本项目不属于化工项目符合16第十四条禁止在长江重要支流岸线一公里范围内新建、改建、扩建尾矿库、冶炼渣库和磷石膏库，以提升安全、生态环境保护水平为目的的改建除外。本项目不在长江重要支流岸线一公里范围内，本项目不属于尾矿库、冶炼渣库和磷石膏库项目符合第十五条禁止在合规园区外新建、扩建钢铁、石化、化工、焦46、化、建材、有色、制浆造纸等高污染项目。高污染项目清单参照生态环境部环境保护合目录 中的高污染产品目录执行本项目不属于钢铁、石化、化工、焦化、建材、有色、制浆造纸等高污染项目。符合第十六条禁止新建、扩建不符合国家石化、现代煤化工等产业布局规划的项目。本项目为电子元器件制造，不属于石化、现代煤化工等产业项目。符合第十七条禁止新建、扩建法律法规和相关政策明令禁止的落后产能项目，对列入产业结构调整指导目录淘汰类中的落后生产工艺装备、落后产品投资项目，列入外商投资准入特别管理措施（负面清单）的外商投资项目，一律不得核准、备案。禁止向落后产能项目和严重过剩产能行业项目供应土地。本项目不属于产业结构调整指导47、目录（2019 年本）淘汰类中的落后生产工艺装备、落后产品投资项目。且项目不属于外商投资准入特别管理措施（负面清单）的外商投资项目。符合第十八条禁止新建、扩建不符合国家产能置换要求的严重过剩产能行业的项目。部门、机构禁止办理相关的土地（海域）供应、能评、环评审批和新增授信支持等业务。项目不属于产能过剩行业项目符合第十九条禁止新建、扩建不符合要求的高耗能高排放项目。项目不属于高耗能高排放项目。符合第二十一条法律法规及相关政策文件有更加严格规定的从其规定。本项目废水排放执行电子工业水污染物排放标准（GB39731-2020）中的间接排放标准。符合符合性分析：本项目从事电子元器件制造，不属于严重过剩48、产能行业，产品未列入环境保护综合目录（2021 年版）的高污染、高环境风险产品目录。根据项目建设地的土地证，项目所在地块为工业地块，符合xx经济开发区（中心区）总体规划修编（2017-2035）。综上，项目的建设符合长江经济带发展负面清单指南（试行，2022 年版）xx省实施细则要求。171.1.7 7 与与重点行业挥发性有机物综合治理方案符合性分析重点行业挥发性有机物综合治理方案符合性分析本报告对照关于印发的通知（环大气201953 号）的要求对企业实际情况进行对照评估，具体见表 1.7-1。表表 1.7-1与重点行业挥发性有机物综合治理方案符合与重点行业挥发性有机物综合治理方案符合性分析性49、分析源项源项检查检查环节环节检查要点检查要点本项目情况本项目情况是是否否符符合合VOCs 物料储存容器、包装袋1.容器或包装袋在非取用状态时是否加盖、封口，保持密闭；盛装过 VOCs物料的废包装容器是否加盖密闭。2.容器或包装袋是否存放于室内，或存放于设置有雨棚、遮阳和防渗设施的专用场地。本项目原料均为密闭桶装，设置于原料仓库内。符合挥发性有机液体储罐3.储罐类型与储存物料真实蒸气压、容积等是否匹配，是否存在破损、孔洞、缝隙等问题。本项目原料均为密闭桶装，不涉及储罐符合4.内浮顶罐的边缘密封是否采用浸液式、机械式鞋形等高效密封方式。5.外浮顶罐是否采用双重密封，且一次密封为浸液式、机械式鞋形等50、高效密封方式。6.浮顶罐浮盘附件开口（孔）是否密闭（采样、计量、例行检查、维护和其他正常活动除外）。7.固定顶罐是否配有VOCs处理设施或气相平衡系统。8.呼吸阀的定压是否符合设定要求。9.固定顶罐的附件开口（孔）是否密闭（采样、计量、例行检查、维护和其他正常活动除外）。储库、料仓10.围护结构是否完整，与周围空间完全阻隔。11.门窗及其他开口（孔）部位是否关闭（人员、车辆、设备、物料进出时，以及依法设立的排气筒、通风口除外）。本项目 VOCs 物料储存库围护结构完整，与周围空间完全阻隔；无其他开口（孔）部位，正常情况下关闭门窗。符合VOCs 物液态VOCs1.是否采用管道密闭输送，或者采用密51、闭容器或罐车。本项目液态物料采用管道密闭输符合18料转移和输送物料送。粉状、粒状VOCs物料2.是否采用气力输送设备、管状带式输送机、螺旋输送机等密闭输送方式，或者采用密闭的包装袋、容器或罐车。本项目涉及VOCs 物料均为桶装。符合挥发性有机液体装载3.汽车、火车运输是否采用底部装载或顶部浸没式装载方式。4.是否根据年装载量和装载物料真实蒸气压，对 VOCs 废气采取密闭收集处理措施，或连通至气相平衡系统；有油气回收装置的，检查油气回收量。本项目涉及VOCs 物料均为密闭桶装。符合工艺过程VOCs 无组织排放VOCs物料投加和卸放1.液态、粉粒状 VOCs 物料的投加过程是否密闭，或采取局部气52、体收集措施；废气是否排至 VOCs 废气收集处理系统。2.VOCs 物料的卸（出、放）料过程是否密闭，或采取局部气体收集措施；废气是否排至 VOCs 废气收集处理系统。本项目液态VOCs 物料投加均采用管道密闭计量投加，废气收集后至废气处理装置处理。符合化学反应单元3.反应设备进料置换废气、挥发排气、反应尾气等是否排至 VOCs 废气收集处理系统。4.反应设备的进料口、出料口、检修口、搅拌口、观察孔等开口（孔）在不操作时是否密闭。本项目不涉及反应符合分离精制单元5.离心、过滤、干燥过程是否采用密闭设备，或在密闭空间内操作，或采取局部气体收集措施；废气是否排至 VOCs废气收集处理系统。6.其他53、分离精制过程排放的废气是否排至 VOCs 废气收集处理系统。7.分离精制后的母液是否密闭收集；母液储槽（罐）产生的废气是否排至VOCs 废气收集处理系统。本项目不涉及/真空系统8.采用干式真空泵的，真空排气是否排至 VOCs 废气收集处理系统。9.采用液环（水环）真空泵、水（水蒸汽）喷射真空泵的，工作介质的循环槽（罐）是否密闭，真空排气、循环槽（罐）排气是否排至 VOCs 废气收集处理系统。本项目不涉及/配料加工与产品包装过程10.混合、搅拌、研磨、造粒、切片、压块等配料加工过程，以及含 VOCs产品的包装（灌装、分装）过程是否采用密闭设备，或在密闭空间内操作，或采取局部气体收集措施；废气是否54、排至VOCs 废气收集处理系统。本项目不涉及/含11.调配、涂装、印刷、粘结、印染、涉及 VOCs 的液符19VOCs产品的使用过程干燥、清洗等过程中使用 VOCs 含量大于等于 10%的产品，是否采用密闭设备，或在密闭空间内操作，或采取局部气体收集措施；废气是否排至 VOCs废气收集处理系统。12.有机xx物（合成树脂、合成橡胶、合成纤维等）的混合/混炼、塑炼/塑化/熔化、加工成型（挤出、注射、压制、压延、发泡、纺丝等）等制品生产过程，是否采用密闭设备，或在密闭空间内操作，或采取局部气体收集措施；废气是否排至 VOCs 废气收集处理系统。体原料全部经管道计量输送至生产设备上，生产过程废气经集55、气收集后引至废气处理装置处理后排放合其他过程13.载有 VOCs 物料的设备及其管道在开停工（车）、检维修和清洗时，是否在退料阶段将残存物料退净，并用密闭容器盛装；退料过程废气、清洗及吹扫过程排气是否排至 VOCs 废气收集处理系统。本项目清洗槽内使用后的溶剂直接作为危废，管道内不会残留溶剂，溶剂使用时产生的废气经集气收集后经废气处理后排放符合VOCs无组织废气收集处理系统14.是否与生产工艺设备同步运行。15.采用外部集气罩的，距排气罩开口面最远处的 VOCs 无组织排放位置，控制风速是否大于等于 0.3 米/秒（有行业具体要求的按相应规定执行）。16.废气收集系统是否负压运行；处于正压状态56、的，是否有泄漏。17.废气收集系统的输送管道是否密闭、无破损。废气处理装置与生产工艺设备同步运行。项目采用外部集气罩，集气罩下方风速控制在 0.3 米/秒以上。符合设备与管线组件泄漏LDAR 工作1.企业密封点数量大于等于2000个的，是否开展 LDAR 工作。2.泵、压缩机、搅拌器、阀门、法兰等是否按照规定的频次进行泄漏检测。3.发现可见泄漏现象或超过泄漏认定浓度的，是否按照规定的时间进行泄漏源修复。4.现场随机抽查，在检测不超过 100 个密封点的情况下，发现有 2 个以上（不含）不在修复期内的密封点出现可见泄漏现象或超过泄漏认定浓度的，属于违法行为。企业密封点数量小于 2000 个，故对57、 LDAR 不做要求。符合敞开液面VOCs 逸散废水集输系统1.是否采用密闭管道输送；采用沟渠输送未加盖密闭的，废水液面上方 VOCs检测浓度是否超过标准要求。2.接入口和排出口是否采取与环境空气隔离的措施。项目生产过程经密闭管道收集后排入产业园区污水站处理，污水站设有废气收集处理装置符合20废水储存、处理设施3.废水储存和处理设施敞开的，液面上方 VOCs 检测浓度是否超过标准要求。4.采用固定顶盖的，废气是否收集至VOCs 废气收集处理系统。项目生产过程不涉及废水储存，废水产生后直接经密闭管道输送至产业园区污水站处理符合开式循环冷却水系统5.是否每6个月对流经换热器进口和出口的循环冷却水中58、的TOC或POC浓度进行检测；发现泄漏是否及时修复并记录。项目生产过程冷却水循环使用，定期会检测水中POC 浓度符合有组织VOCs 排放排气筒1.VOCs 排放浓度是否稳定达标。2.车间或生产设施收集排放的废气，VOCs 初始排放速率大于等于 3 千克/小时、重点区域大于等于 2 千克/小时的，VOCs 治理效率是否符合要求；采用的原辅材料符合国家有关低 VOCs含量产品规定的除外。3.是否安装自动监控设施，自动监控设施是否正常运行，是否与生态环境部门联网。根据工程分析，企业有机废气经二级活性炭吸附处理后，VOCs 排放能够实现稳定达标排放。符合废气治理设施冷却器/冷凝器1.出口温度是否符合设59、计要求。2.是否存在出口温度高于冷却介质进口温度的现象。3.冷凝器溶剂回收量。本项目不涉及/吸附装置4.吸附剂种类及填装情况。5.一次性吸附剂更换时间和更换量。6.再生型吸附剂再生周期、更换情况。7.废吸附剂储存、处置情况。本项目废活性炭要求 500h 更换一次，要求选择碘值不低于 800 毫克/克的活性炭。更换后活性炭需委托有资质单位处置。符合催化氧化器8.催化（床）温度。9.电或天然气消耗量。10.催化剂更换周期、更换情况。本项目不涉及/热氧化炉11.燃烧温度是否符合设计要求。本项目不涉及/洗涤器/吸收塔12.酸碱性控制类吸收塔，检查洗涤/吸收液 pH 值。13.药剂添加周期和添加量。1460、.洗涤/吸收液更换周期和更换量。15.氧化反应类吸收塔，检查氧化还原电位（ORP）值。本项目碱性废气经喷淋塔喷淋处理后 15 米排放，喷淋塔配有自动加药系统，一旦pH 值偏高，循环水中会自动加酸/台账企业是否按要求记录台账。企业按要求记录台账。符合21二、建设项目工程分析建设内容2.1 项项目目由由来来xxxx科技有限公司（原名xx市xx科技有限公司）创立于 2017 年 4月，注册资本：2 亿元人民币，其中xx高新集团有限公司出资 11200 万人民币，占注册资本的 56%；xx东方天力创新产业投资合伙企业(有限合伙)出资 3000 万人民币，占注册资本的 15%；xx市泛半导体产业投资有限61、公司出资 5800 万人民币，占注册资本的 29%。企业地址位于xx省xx市xx市海昌街道谷水路 306号 1 幢（东），公司经营范围包括：从事电子、节能及环保领域内的技术研发、技术咨询服务；电子元件及组件、电力电子元器件的制造、加工；经营本企业自产产品的出口业务和本企业生产所需的机械设备、零配件、原辅材料及技术的进口业务。企业于 2017 年、2018 年和 2019 年和 2022 年分别编制了xx市xx科技有限公司年产 28800 万只声表滤波器建设项目环境影响报告表、xx市xx科技有限公司年新增 30000 万只声表滤波器建设项目环境影响报告表、xxxx科技有限公司年产 125 万套磁62、性元件技改项目环境影响报告表、xx科技有限公司年产 18 万片频率元器件（声表面波滤波器）芯片生产线技改项目环境影响报告表和xxxx科技有限公司年产 12 亿颗面向 5G 智能手机用系列声表滤波器迁建项目环境影响报告表，并分别通过xx市环境保护局审批（审批文号：海环经审201719 号、海环审2018178 号、嘉环海建201979 号和嘉环海建2019166 号）。其中年产 28800 万只声表滤波器和年新增 30000 万只声表滤波器 2 个项目生产地位于xx国际装备制造及电子信息产业园一期 A16 号厂房（地址xx市海昌街道谷水路 306 号），目前已通过自主验收，正常生产；而年产 1263、5 万套磁性元件技改项目生产地位于xx经济开发区双联路 128 号 5 号创业楼 4 楼，该项目已于 2019 年 5 月通过自主验收，2020 年开始该项目不再生产，后续不再实施。年产 18 万片频率元器件（声表面波滤波器）芯片生产线技改项目生产地位于xx郭店镇建设路 1 号，该项目已于 2020 年停产，目前已搬迁至xx市海昌街道谷水路 306 号，具体已在xxxx科技有限公司年产 12 亿颗面向225G 智能手机用系列声表滤波器迁建项目环境影响报告表中明确。为依托控股母公司在电子功能材料技术积累，把握 5G 商业化临近的契机，企业拟承租xx经开产业园区开发建设有限公司建设的xx泛半导体产64、业园内生产及配套用房 16122（位于xx市海昌街道谷水路 306 号），引进国际领先的瑞士产溅射台（溅射系统）、PAD 镀膜机（蒸发系统）、日本产抛光机、光刻机、显影机等设备共 14（台）套，并选购国产自动化程度较高的全自动剥离机、全自动探针台等配套设备 28（台）套，形成年产 8.4 万片 6 英寸频率元器件芯片（温度补偿型声表面波滤波器芯片）的生产能力。对照xx经济行业分类（2017 年版），本项目属于 39 计算机、通信和其他电子设备制造业中的“3989 其他电子元件制造”。根据建设项目环境影响评价分类管理名录（2021 年版），该项目属于“三十六、计算机、通信和其他电子设备制造业”中65、的 81 电子元件及电子专用材料制造 398，名录规定：电子专用材料制造全部编制“环境影响报告表”。根据固定污染源排污许可分类管理名录（2019 年版），本项目属于电子元件及电子专用材料制造 398 中的其他（企业暂未纳入重点排污单位名录，也不使用 10 吨及以上溶剂型涂料（含稀释剂）的，后续如有重大调整，则应按属地管理要求适时变更排污许可证），管理类别综合判定为“登记管理”，排污许可管理类别判定见表 2.1-1。表表 2.1-1企业固定污染源排污许可管理类别判定表企业固定污染源排污许可管理类别判定表行业类别重点管理简化管理登记管理三十四、计算机、通信和其他电子设备制造业 39计算机制造 3966、1，电子器件制造397，电子元件及电子专用材料制造 398，其他电子设备制造 399纳入重点排污单位名录的除重点管理以外的年使用 10 吨及以上溶剂型涂料（含稀释剂）的其他2.2 投资、规模投资、规模企业拟投资 21311.21 万元，承租xx经开产业园区开发建设有限公司建设的xx泛半导体产业园内生产及配套用房 2000（土地为xx泛半导体产业园所有），引进国际领先的瑞士产溅射台（溅射系统）、PAD 镀膜机（蒸发系统）、日本产抛光机、光刻机、显影机等设备共 14（台）套，并选购国产自动化程度较23高的全自动剥离机、全自动探针台等配套设备 28（台）套，形成年产 8.4 万片 6英寸频率元器件芯67、片（温度补偿型声表面波滤波器芯片）的生产能力。表表 2.2-1本项目产品方案一览表本项目产品方案一览表序号产品名规格技改项目产品产量技改项目所在厂区原有项目产品产量技改后所在厂区产品产量合计1温度补偿声表面波滤波器芯片6 英寸8.4 万片/年08.4 万片/年2智能手机用系列声表滤波器/012 亿颗/年（即 12万片/年）12 亿颗/年（即12 万片/年）3声表滤波器/58800 万只/年58800 万只/年2.3 项目组成项目组成本项目利用xx泛半导体产业园内现有厂房，不新增土地。项目具体组成情况如表 2.3-1 所示：表表 2.3-1项目组成表项目组成表项目名称主要内容主体工程1生产车间本68、次租赁xx泛半导体产业园 A16 栋厂房的一楼，技改项目位于厂区一楼，一楼生产车间南侧为企业现有办公楼，二楼为企业现有办公室，厂区三楼为企业现有声表滤波器的生产车间。辅助工程1办公区利用企业一楼和二楼现有的办公区域，不新增储运工程1仓库利用现有仓库公用工程1供电工程利用原有变配电设施，不需再增加外线供电容量，只需完善车间动力、照明配电等设施，可满足项目生产用电要求。2供水工程用水来自市政供水管网3排水工程厂区实施清污分流、雨污分流。4供热工程/5供气工程/环保工程1废水处理设施项目生产废水利用xx（中国）泛半导体产业园一期xx区块现有的废水处理站处理后纳管。2废气处理设施酸碱废气经二级酸碱喷淋69、塔处理后 15 米高空排放，有机废气经活性炭吸附装置处理后 15 米高空排放；干法刻蚀废气经设备自带的燃烧器燃烧+喷淋处理后再与晶片药剂清洗废气一并通过酸碱喷淋塔喷淋处理后 15 米排放。3固废贮存设施企业已在车间外南侧设有一危废暂存场所，面积为 43.3m2。4噪声治理设施选用低噪声设备，设备室内安装，高噪声设备增加隔声罩或消声器，加强设备的维护和保养。2.4 生产设备及原辅材料生产设备及原辅材料2.4.1 技改项目设备清单技改项目设备清单24（1）生产设备）生产设备根据企业提供的资料，设备见表 2.4-1 所示。表表 2.4-1主要设备清单一览表主要设备清单一览表序号设备名称数量（台/套）70、型号使用工段备注1溅射台（溅射系统）1CLUSTERLINERAD溅射新增设备2溅射台（溅射系统）1CLUSTERLINE200E溅射新增设备3PAD 镀膜机（蒸发系统）1BAKSAW镀膜新增设备4SiO2抛光机1ChaMP211抛光新增设备5离子束修频机2SCIATrim 200修频新增设备6多腔刻蚀去胶机1VCX600HB刻蚀新增设备7光刻机1SF120光刻新增设备8涂胶显影机2ACT8显影新增设备9S204 激光光源2CYMER 6400光刻新增设备10AOI 检测机（缺陷分析）1Candela 8420检测新增设备11晶圆分析仪1定制检测新增设备12全自动剥离机3AS4剥离新增设备1371、椭偏仪1/检测新增设备14刻蚀机台尾气处理装置1/废气处理新增设备15来片清洗机13 槽冲洗，单槽尺寸：40cm40cm120cm晶片清洗新增设备16高温洁净烘箱1/新增设备17掩膜清洗机11 槽纯水冲洗，槽内尺寸：40cm40cm120cm清洗新增设备18晶圆减薄机1/减薄新增设备19晶圆贴膜机1/新增设备20晶圆剥膜机1/新增设备21激光打标机1/新增设备22全自动探针台2/检测新增设备23网络分析仪2/检测新增设备24正置显微镜2/检测新增设备25particle 量测仪1SPRUCE-600检测新增设备26氮气柜6/新增设备2527冰柜2/新增设备28光刻机1NSR S204B光刻利用72、现有29新科隆镀膜机1PMC-800-2M镀膜利用现有（2）产能匹配性分析）产能匹配性分析本项目产品为年产 8.4 万片 6 英寸频率元器件芯片（温度补偿型声表面波滤波器芯片）。项目达产后生产部门实行三班制，每班工作 8 小时，年工作时间为300 天，则产能匹配性核算如下：1、光刻机产能核算项目新增 1 台 SF120 光刻机，同时利用现有项目的 1 台 NSRS204B 光刻机，总计 2 台光刻机投入生产，光刻机产能核算如下：表表 2.4-2光刻机产能估算光刻机产能估算设备名称型号数量（套）加工速度（片/h）年最大产能（片）设计产能（片）年工作时间设备负荷率（%）光刻机SF12016432073、039000720090.3光刻机NSRS204B175040045000720089.3合计/21393600840007200/由上表可知，本项目光刻机年产能能满足本项目产能的需求。2、溅射台产能核算项目新增 2 台溅射台投入生产，则溅射台产能核算如下：表表 2.4-3溅射台产能估算溅射台产能估算设备名称型号数量（套）加工速度（片/h）年最大产能（片）设计产能（片）年工作时间设备负荷率（%）溅射台CLUSTERLINEAD142880028000720097.2溅射台CLUSTERLINE200E185760056000720097.2合计2128640084000/由上表可知，本项目 274、 台溅射台年生产 7200h 能满足本项目产能的需求。3、多腔刻蚀去胶机产能核算项目配置 1 台多腔刻蚀去胶机，刻蚀去胶机平均生产速度约为 12 片/h，则产能核算如下：26表表 2.4-4多腔刻蚀去胶机多腔刻蚀去胶机产能估算产能估算设备名称型号数量（套）加工速度（片/h）年最大产能（片）设计产能（片）年工作时间设备负荷率（%）多腔刻蚀去胶机VCX600HB1128640084000720097.2由上表可知，本项目 1 台多腔刻蚀去胶机平均年生产 7200h 能满足本项目产能的需求。4、全自动剥离机产能核算本项目配置 3 台全自动剥离机，主要用于剥离工序。则预计全自动剥离机产能核算如下：表表75、 2.4-5全自动剥离机产能估算全自动剥离机产能估算设备名称型号数量（套）加工速度（片/h）年最大产能（片）设计产能（片）年工作时间设备负荷率（%）全自动剥离机AS434.59720084000720086.4由上表可知，本项目 3 台全自动剥离机平均年生产 7200h 能满足本项目产能的需求。2.4.2 技改项目原辅材料消耗技改项目原辅材料消耗项目主要原辅材料如表 2.4-6 所示。表表 2.4-6主要原辅材料清单主要原辅材料清单序序号号原辅料名原辅料名称称单位单位技改项目技改项目消耗量消耗量技改项目技改项目所在厂区所在厂区现有项目现有项目消耗量消耗量技改后技改后全厂消全厂消耗量耗量最大存最76、大存储量储量使用工段使用工段包装形式包装形式1晶片万片/a8.512.220.72.1产品基材/2靶材 1（钛）kg/a1725426镀膜0.5kg/瓶3靶材 2（铝铜）kg/a2130514镀膜0.5kg/瓶4靶材 3（铝）kg/a7711018722镀膜0.5kg/瓶5光刻胶光刻胶TOKt/a0.08350.120.20350.032涂胶1 加仑/桶9光刻胶光刻胶K7250t/a0.07920.1130.19220.03涂胶1 加仑/桶2710光刻胶光刻胶1150t/a0.1710.2460.4170.067涂胶1 加仑/桶11光刻胶光刻胶8510t/a0.0630.0890.1520.277、59涂胶1 加仑/桶12HMDSt/a0.1960.280.4760.0585涂胶1 加仑/桶13丙酮丙酮t/a0.2180.3120.530.02光刻4L/桶，密度0.78g/cm14正胶显影正胶显影液液t/a8.1911.719.892显影4L/桶，密度1.0g/cm15异丙醇异丙醇t/a5.2317.5412.7710.5剥离/清洗4L/桶16边胶清洗边胶清洗剂剂ZBQ-73L/a2.5663.676.2360.564光刻4L/桶17PIt/a0.0740.1060.180.022涂胶100ml/瓶18NMPt/a3.1664.5237.6890.95剥离/清洗4L/桶，密度1.028g78、/cm19抛光液t/a270275.4化学机械抛光25L/桶20氨水（25%）t/a0.9681.522.4880.12来料清洗4L/桶21双氧水（50%）t/a0.50.7931.2930.102来料清洗4L/桶22氪氪/氖混合氖混合气气瓶/a3472光刻光源气体40L/瓶23氟氟/氪氪/氖氖混合气混合气瓶/a123140L/瓶（含0.95%氟和1.25%氪的氖气）24氮气氮气瓶/a347240L/瓶25氩气氩气瓶/a2738655溅射/刻蚀/修频/镀膜40L/瓶26氧气氧气瓶/a11216027223刻蚀/溅射40L/瓶27四氟化碳四氟化碳瓶/a2352刻蚀30kg/瓶28氦气氦气瓶/a179、231刻蚀/修频30kg/瓶29抛光布抛光布t/a0.00100.001/30芯片万只/a05880058800/31基板万只/a05880058800/32环氧膜万只/a05880058800/33金丝卷/a028912891/2834CO2m3/a01470014700/注：项目使用的加仑单位为美制加仑，按注：项目使用的加仑单位为美制加仑，按 1 加仑加仑(美美)=3.785 升换算。升换算。本项目原料基本采用桶装，使用时打开原料桶上方盖子，将管道接入，用计量泵输送至相关设备内使用，全程基本为密闭操作，基本无无组织挥发。2.4.3 技改项目原辅材料性质说明技改项目原辅材料性质说明企业所采用80、的主要原辅材料性质如下：1、光刻胶光刻胶 TOK根据厂家提供的 MSDS，本项目使用的光刻胶 TOK，其成分组成为 4560%丙二醇-甲醚乙酸酯，3040%乳酸乙酯、120%丙烯酸类树脂、1%光酸产生剂。相对密度（水以 1 计）0.991.05（环评按 1.05 考虑）。按丙二醇-甲醚乙酸酯、乳酸乙酯全挥发考虑，则光刻胶 TOK 中 VOCs 含量为 918g/L。2、光刻胶、光刻胶 K7250根据厂家提供的 MSDS，本项目使用的光刻胶 K7250，其成分组成为 5080%丙二醇甲醚醋酸酯，1030%1-甲氧基-2-丙醇、120%酚类化合物。相对密度（水以 1 计）0.996。按丙二醇-甲醚81、乙酸酯、1-甲氧基-2-丙醇全挥发考虑，则光刻胶K7250 中 VOCs 含量为 794.6g/L。3、光刻胶、光刻胶 1150根据厂家提供的 MSDS，本项目使用的光刻胶 1150，其成分组成为 5868%丙二醇甲醚醋酸酯，3240%酚醛树脂、15%感光剂。相对密度（水以 1 计）约1.1。按丙二醇-甲醚乙酸酯全挥发考虑，则光刻胶 1150 中 VOCs 含量为 694.7g/L。4、光刻胶、光刻胶 8510根据厂家提供的 MSDS，本项目使用的光刻胶 8510，其成分组成为 5095%丙二醇甲醚醋酸酯，35%丙烯酸脂共聚物合物。相对密度（水以 1 计）0.98。按丙二醇-甲醚乙酸酯全挥发考82、虑，则光刻胶 8510 中 VOCs 含量为 715g/L。5、HMDS（六甲基二硅胺烷）（六甲基二硅胺烷）根据厂家提供的 MSDS，本项目使用的 HMDS 为增粘剂，其成分为 100%的六甲基二硅胺烷，密度 0.774g/cm3。6、正胶显影液正胶显影液29根据厂家提供的 MSDS，本项目使用的正胶显影液，其主要成分为 2.380.01%四甲基氢氧化铵，其余部分均为水。7、剥离液剥离液本项目使用的剥离液为 NMP(甲基吡咯烷酮)，为无色透明油状液体，微有胺的气味。有吸湿性，在中性介质中稳定，在强碱/酸中容易分解。熔点-24，沸点：202，能与水、醇、醚、酯、酮、卤代烃、芳烃互溶。8、异丙醇、83、异丙醇无色透明液体，有似乙醇和丙酮混合物的气味。熔点()：-88.5，沸点()：82.3，饱和蒸气压(kPa)：4.40(20)，爆炸上限%(V/V)：12.7，爆炸下限%(V/V)：2.0。溶于水、醇、醚、苯、氯仿等多数有机溶剂。9、边胶清洗剂、边胶清洗剂 ZBQ-73根据厂家提供的 MSDS，本项目使用的边胶清洗剂，其主要成分为 70%丙二醇单甲醚、30%丙二醇单甲醚醋酸酯。相对密度（水以 1 计）约 0.934。按物质全挥发考虑，则边胶清洗剂中 VOCs 含量为 935.3g/L。10、PI（聚酰亚胺溶液）（聚酰亚胺溶液）根据厂家提供的 MSDS，本项目使用的 PI（聚酰亚胺溶液），其主84、要成分为2540%聚丙二醇单甲醚、1530%-丁内酯（GBL）、1530%乳酸乙酯、320%聚酰亚胺、315 添加剂、12时的控制指标，括号内数值为水温12时的控制指标。注 3：参照 GB8978-1996污水综合排放标准一级标准。注 4：总氮参照污水排入城镇下水道水质标准（CJ343-2010）表 1 中 A 等级标准。533.3.1.2 废气排放标准废气排放标准企业位于xx市海昌街道谷水路 306 号的现有项目生产过程中不产生废气。3.3.1.3 噪声控制标准噪声控制标准企业位于xx市海昌街道谷水路 306 号的厂区东侧厂界噪声执行 工业企业厂界环境噪声排放标准（GB12348-2008）85、中 4 类标准，其他各厂界噪声执行工业企业厂界环境噪声排放标准（GB12348-2008）中 3 类标准，详见表 3.3-2。表表 3.3-2工业企业厂界环境噪声排放标准（工业企业厂界环境噪声排放标准（GB12348-2008）厂界外声环境功能区类别昼间夜间3 类65554 类70553.3.1.4 固废暂存和处置标准固废暂存和处置标准企业现有厂区一般固体废物均采用库房、包装桶或包装袋贮存，不适用于 一般工业固体废物贮存、处置场污染物控制标准(GB18599-2020)标准，现有一般固废贮存场所应满足防雨淋、防泄漏、防扬散、放流失等相关要求。危险废物执行危险废物贮存污染控制标准（GB1859786、-2001）及其修改单中相关要求。3.3.2 技改项目污染物排放标准技改项目污染物排放标准3.3.2.1 废水排放标准废水排放标准技改项目生产废水（纯水制备产生的浓水除外）排至xx（中国）泛半导体产业园一期xx区块污水处理系统中的有机废水处理系统集中处理后与经化粪池预处理后的生活污水，以及纯水制备产生的浓水一并达到电子工业水污染物排放标准（GB39731-2020）中的间接排放标准后纳入市政污水管网，由xx丁 桥 污水处理厂集中处理 达到城镇污 水处理厂污染物排放标准（GB18918-2002）一级 A 标准后排放。项目执行的有关参数标准值见表 3.3-1。3.3.2.2 废气排放标准废气排放87、标准技改项目废气排放执行大气污染物综合排放标准（GB16297-1996）中的二级标准，具体指标见表 3.3-3。54表表 3.3-3大气污染物综合排放标准大气污染物综合排放标准污染物最高允许最髙允许排放速率无组织排放监控浓度限值排放浓度排气筒排放速率监控点浓度(mg/m3)高度(m)7(kg/h)(mg/m3)非甲烷总烃1201510周界外浓度最高点4.0氟化物9.0150.10周界外浓度最高点0.02氨气排放执行恶臭污染物排放标准(GB14554-93)中表 2 排放标准，具体指标见表 3.3-4。表表 3.3-4恶臭污染物排放标准恶臭污染物排放标准序号控制项目排气筒高度(m)标准值(kg88、/h)标准来源1氨(NH3)154.9恶臭污染物排放标准(GB14554-93)表 2厂区内挥发性有机物（VOCs）无组织排放限值执行挥发性有机物无组织排放控制标准（GB37822-2019）中表 A.1 的特别排放限值。表表 3.3-5企业边界大气污染物浓度限值企业边界大气污染物浓度限值项目污染物最高允许排放浓度（mg/m3）监控点厂区内挥发性有机物（VOCs）无组织排放限值VOCs6（1 小时平均浓度限值）在厂房外设置监控点VOCs20（任意一次浓度值）3.3.2.3 噪声控制标准噪声控制标准技改项目所在厂区东侧厂界噪声执行工业企业厂界环境噪声排放标准（GB12348-2008）中 4 类89、标准，其他各厂界噪声执行工业企业厂界环境噪声排放标准（GB12348-2008）中 3 类标准。3.3.2.4 固废暂存和处置标准固废暂存和处置标准技改项目一般固体废物均采用库房、包装桶或包装袋贮存，不适用于一般工业固体废物贮存、处置场污染物控制标准(GB18599-2020)标准，现有一般固废贮存场所应满足防雨淋、防泄漏、防扬散、放流失等相关要求。危险废物执行危险废物贮存污染控制标准（GB18597-2001）及其修改单中相关要求。55总量控制指标3.4 总量控制指标总量控制指标总量控制是我国环境保护与管理的有效方法。污染减排是调整经济结构、转变发展方式、改善民生的重要抓手，是改善环境质量、90、解决区域性环境问题的重要手段。“十三五”期间总量控制指标为CODCr、氨氮、工业烟粉尘、二氧化硫和氮氧化物。根据工程分析，并结合国家、地方文件和当地环境状况，确定本项目总量控制因子为：CODCr、氨氮和 VOCs。根据工程分析，技改项目废水排放量为 7291 t/a，CODCr排放量 0.365 t/a、NH3-N 排放量 0.037 t/a、VOCs 排放量 0.608 t/a。技改后企业全厂废水排放量为30803 t/a，CODCr排放量 1.541 t/a、NH3-N 排放量 0.154 t/a、VOCs 排放量 1.47 t/a。根据xx省生态环境厅 xx省发展和改革委员会xx省经济和91、信息化厅xx省住房和城乡建设厅 xx省交通运输厅 xx省市场监督管理局国家税务总局xx省税务局关于印发xx省“十四五”挥发性有机物综合治理方案的通知（浙环发202110 号），上一年度环境空气质量达标的区域，对石化等行业的建设项目 VOCs 排放量实行等量削减；上一年度环境空气质量不达标的区域，对石化等行业的建设项目 VOCs 排放量实行 2 倍量削减，直至达标后的下一年再恢复等量削减。同时，根据建设项目主要污染物排放总量指标审核及管理暂行办法（环发2014197 号），上一年度环境空气质量年平均浓度不达标的城市、水环境质量未达到要求的市县，相关污染物应按照建设项目所需替代的主要污染物排放总量92、指标的 2 倍进行削减替代（燃煤发电机组大气污染物排放浓度基本达到燃气轮机组排放限值的除外）；细颗粒物（PM2.5）年平均浓度不达标的城市，二氧化硫、氮氧化物、烟粉尘、挥发性有机物四项污染物均需进行 2 倍削减替代（燃煤发电机组大气污染物排放浓度基本达到燃气轮机组排放限值的除外）。地方有更严格倍量替代要求的，按照相关规定执行。根据现状分析，xx市 2022 年度为地表水达标区域，空气质量现状数据 2022 年尚未公布，按从严1:2 执行。因此技改项目新增的 VOCs 按 1:2 的比例削减替代，CODCr、氨氮排放按 1:1 的比例进行削减替代。56本项目投产后，企业总量控制指标见表 3.4-93、1。表表3.4-1污染物总量控制指标一览表污染物总量控制指标一览表单位：t/a污染物现有排放量总量控制指标本项目排放量以新带老削减量项目实施后总排放量削减比例项目实施后总量控制建议值区域平衡替代削减量化学需氧量1.1761.1760.36501.5411:11.5410.365氨氮0.1170.1170.03700.1541:10.1540.037VOCS0.8620.8620.60801.471:21.471.216综上所述，本项目实施后企业总量控制指标建议为：CODCr排环境总量1.541 t/a，氨氮排环境总量0.154 t/a、VOCS排放量1.47 t/a。57四、主要环境影响和保护94、措施施工期环境保护措施4.1 施工期环境保护措施施工期环境保护措施技改项目租用位于xx经济开发区泛半导体产业园内的现有车间及配套设施进行生产，无需新征用地和新建厂房，故没有施工期的环境影响。58运营期环境影响和保护措施4.2 运营期环境影响和保护措施运营期环境影响和保护措施4.2.1 大气污染物大气污染物4.2.1.1 大气污染源强分析说明大气污染源强分析说明本项目建成达产后，所排放的废气主要有：生产工艺过程的清洗工序使用氨水等化学试剂挥发产生的碱性废气；涂胶、光刻、显影、剥离等工序产生有机溶剂废气和刻蚀工序产生的一般工艺热气。本项目生产区域根据国际标准化组织 ISO 颁布的洁净室国际标准以及95、生产工艺要求设计，生产车间主要为千级洁净车间，部分区域为百级洁净车间，生产时车间呈微正压运行，全密闭且相关的产生废气的工艺设备参数为标准化设置，正常运行时采用设备全密封操作、集气收集、就近捕集（生产区域设置数十个送排风口，采取上送风，下吸风设计，使该区域内空气经过滤后循环往复，换风按照风压 0.25 千帕，次数不小于 50 次/h 设计；生产工段清洗药液槽内设置吸风装置，分类收集挥发的酸、碱及有机废气至针对性处理设施处理）；对工作环境的要求也极高，温度湿度皆为恒定，并严格控制进入作业现场人员数量以防止颗粒物含量升高。同时，由于生产时消耗大量的溶剂，在溶剂槽液浓度下降时的添加和更换都有严格规定，96、采用密闭容器从危化品仓库运送至化学品中转传递间，根据每种溶剂的更换周期首先将废液排至收集容器，后在极短时间打开清洗药液槽隔板，注入更换溶剂，由于隔板开启时间极短和清洗槽内集气收集风量较强，溶剂无组织挥发量极少。1、G1 碱性废气（氨气）碱性废气（氨气）主要来自晶片清洗工序，产生的氨气情况类比同工段生产企业，xxxx厂区现有的 LED 蓝宝石衬底材料药剂清洗工段使用的清洗机与本项目清洗机类似，xx该工段采用 6 槽清洗，最后一道药剂清洗采用氨水（25%）：双氧水：水按一定比例常温清洗，与本项目清洗工段运行条件基本一致。根据xx公司 2019 年 6 月 14 日的常规监测数据（ZJXH（HJ）-97、1906218），xx蓝宝石清洗工段氨平均排放浓度为 1.03mg/m3、平均排放速率为 0.013 kg/h，折算排放量为 0.14 t/a，处理效率按 60%考虑，年用 25%的氨水量为 4.5 t/a，则氨59水在清洗工序挥发比例为 31%。技改项目氨水（25%）年用量为 0.968 t/a，折纯后用量为 0.242 t/a，挥发量按挥发 35%考虑，则清洗工序氨气挥发量为 0.085 t/a。本项目清洗过程产生的氨气通过集中收集至屋顶酸碱喷淋塔（利用企业在建项目处理装置，喷淋的药剂采用硫酸和片碱进行调节）处理后 15m 排气筒高空排放，收集效率按 95%。根据企业酸碱喷淋塔设计方案，企98、业考虑后期同类型项目的实施，酸碱喷淋塔设计风量为 2 万 m3/h，风机为变频风机，现有的在建项目实施后变频风量预计为 5000m3/h，技改项目实施后根据来料清洗机数量，预计技改后变频风量按 8000m3/h 考虑。因项目氨水用量不大，氨气挥发浓度较低，本次环评处理效率按 60%考虑，则该工序废气产生和排放情况如下表所示。表表4.2-2清清洗洗工工序序废废气气产产生生和和排排放放情情况况产生工序废气类别产生量（t/a）有组织排放量（t/a）有组织排放速率(kg/h)有组织排放浓度（mg/m3）无组织排放量（t/a）无组织排放速率(kg/h)晶片药剂清洗工序氨气0.0850.0320.004599、0.5630.00430.0012注：企业在建项目进入酸碱喷淋塔的氨气量为注：企业在建项目进入酸碱喷淋塔的氨气量为 0.055 t/a，叠加在建项目工序废气后氨气，叠加在建项目工序废气后氨气排放速率为排放速率为 0.0121kg/h，浓度为，浓度为 1.51mg/m3。废气收集方案及风量计算：来料清洗机为全封闭设备，原料经管道计量输入清洗槽内，同时在清洗槽上方设置抽风装置，根据企业提供的酸碱喷淋塔设计方案，技改项目实施后酸碱喷淋塔的风机风量约8000m3/h。2、G2 涂胶有机废气涂胶有机废气（VOCs）、G3 光刻工序废气光刻工序废气（VOCs、丙酮丙酮）、G4显影工序废气（显影工序废气（V100、OCs）项目涂胶过程使用光刻胶、HMDS 和 PI。根据工艺要求，涂胶工序为封闭操作，光刻胶、HMDS 和 PI 经涂胶轨道喷洒在晶片上，根据企业提供资料，本项目涂胶过程使用的光刻胶 TOK 主要成分为 4560%丙二醇-甲醚乙酸酯（沸点 146），3040%乳酸乙酯（沸点 154）、120%丙烯酸类树脂、1%光酸产生剂；光刻胶 K7250 的主要成分为 5080%丙二醇甲醚醋酸酯（沸点146），1030%1-甲氧基-2-丙醇（沸点 118.54）、120%酚类化合物；光60刻胶 1150 的主要成分为 5868%丙二醇甲醚醋酸酯（沸点 146），3240%酚醛树脂、15%感光剂；光刻胶 85101、10 成分组成为 5095%丙二醇甲醚醋酸酯（沸点 146），35%丙烯酸脂共聚物合物。PI（聚酰亚胺溶液）主要成分为2540%聚丙二醇单甲醚、1530%-丁内酯（GBL，沸点 199-201）、1530%乳酸乙酯（沸点 154）、320%聚酰亚胺、315 添加剂、1%杂质。则涂胶工序废气产生情况如表 4.2-3 所示。表表 4.2-3涂胶工序涂胶工序废气的产生情况废气的产生情况名称用量（t/a）光刻胶TOK光刻胶K7250光刻胶1150光刻胶8510HMDSPI合计0.08350.07920.1710.0630.1960.0740.6667丙二醇甲醚醋酸酯%52.5656372.5/t/a0102、.0440.05150.1080.046/0.2495乳酸乙酯%35/22.5/t/a0.029/0.0170.0461-甲氧基-2-丙醇%/20/t/a/0.0158/0.0158-丁内酯%/22.5/t/a/0.0170.017HMDS%/100/t/a/0.196/0.196合计产生量t/a0.0730.06730.1080.0460.1960.0340.5243项目光刻工序晶片边缘需要用边胶清洗剂清洗，光刻胶盘需要使用丙酮进行清洗。边胶清洗剂主要成分为 70%丙二醇单甲醚、30%丙二醇单甲醚醋酸酯，按全部挥发考虑，因此光刻工序废气按使用量全挥发考虑，项目边胶清洗剂用量为 2.566 L103、/a（密度 0.934，即 2.4 kg/a），丙酮用量 0.218 t/a，即光刻清洗工序丙酮产生量为 0.218 t/a，其他 VOCs 排放量为 2.4 kg/a。项目显影过程使用显影液。根据厂家提供的技术说明书，本项目使用的显影液的主要成分为四甲基氢氧化铵 2.380.01%（按 2.38%计），其余部分均为水。四甲基氢氧化铵沸点 120，加热到沸点时易分解成三甲胺、二甲醚(90%)和甲醇(5%)。因此，本项目显影液用量为 8.19 t/a，显影工作常温下恒温操作。显影液内四甲基氢氧化铵常温下基本不挥发，本次环评按 20%分解挥发61计算（按 VOCs 计），则显影工序 VOCs 产生104、量为 0.039 t/a。本项目涂胶及光刻显影工序为封闭式操作，设备内负压抽风。考虑到产品进去会有少量无组织，环评按 95%的收集率，有机废气通过负压收集至废气处理系统二级活性炭吸附（利用现有在建项目处理设备）处理，再经 15m 高排气筒高空排放，有机废气处理系统收集风量利用 12 亿颗面向 5G 智能手机用系列声表滤波器项目预留的处理系统收集风量 15000m3/h，即技改后二级活性炭吸附装置处理总风量为 30000m3/h，处理效率按 80%考虑，则该工序废气产生和排放情况如表 4.2-5 所示。3、G5 剥离过程有机废气剥离过程有机废气技改项目剥离过程使用的剥离液为 NMP(甲基吡咯烷酮105、)溶剂，剥离之后使用 IPA(异丙醇)冲洗。根据设备情况，剥离设备为全封闭设备，NMP(甲基吡咯烷酮)溶剂密封在设备内，剥离过程是将产品浸泡于剥离液中，产品表面金属（铝）会剥离产品；剥离完后将含有金属沉淀的剥离液进行过滤后重复使用，定期作危废处置。NMP 情况按照以下公示计算：GzM(0.000352+0.000786U)PF式中：Gz液体的蒸发量，kg/h；M液体的分子量；U蒸发液体表面上的空气流速（m/s），应以实测数据为准。无条件实测时，可取 0.20.5 或查表计算；考虑上方设置了集气罩，U 取 0.5。P相应于液体温度下的空气中的蒸汽分压力，mmHg 柱；F液体的蒸发表面积，m2。相106、关参数选取及计算过程见表 4.2-4。表表4.2-4参参数数选选取取及及计计算算过过程程废气种类MU（m/s）P*（mmHg）F（m2）槽数量（个）单槽产生速率（kg/h）产生量（t/a）NMP990.50.30.06830.00150.032剥离之后采用 IPA(异丙醇)溶剂冲洗，冲洗过程会产生一定的异丙醇废气。根据企业提供资料，异丙醇冲洗时间为 8s/单片，饱和蒸气压(kPa)为624.40(20)，熔点：-88.5，属于易挥发溶剂。根据设备设计参数，IPA(异丙醇)冲洗用量为 80ml/片，根据企业提供的原有项目在xxxx厂区的试生产经验数据分析，剥离冲洗之后异丙醇的残留量约 54ml/107、单片，则挥发量约 26ml/单片，即 1.716 t/a（密度为 0.7855 g/cm）。本项目剥离机为全封闭设备，喷淋冲洗过程会自动开启抽风装置，将挥发的 NMP 和异丙醇收集后与涂胶、光刻显影废气一并经一套二级活性炭吸附装置处理，风机风量为 30000m3/h，处理后废气经 15 米高空排放。考虑到晶片进出时会有部分溶剂外溢，收集效率按 95%，处理效率按 80%计算，则剥离工序废气产生及排放情况见表 4.2-5 所示。表表4.2-5涂涂胶胶、光光刻刻显显影影及及剥剥离离工工序序废废气气产产生生和和排排放放情情况况产生工序废气类别产生量（t/a）有组织排放量（t/a）有组织排放速率(kg108、/h)有组织排放浓度（mg/m3）无组织排放量（t/a）无组织排放速率(kg/h)涂胶工序VOCs0.52430.09960.0140.470.02620.0036光刻丙酮0.2180.0410.00570.190.0110.0015其他VOCs0.00240.000460.000060.0020.000120.000017显影VOCs0.0390.0070.0010.030.0020.0003剥离NMP0.0320.0060.00080.030.0020.0003异丙醇1.7160.3260.0451.50.0860.012VOCs 合计2.52440.48010.06662.2220.12109、730.0177企业在建项目（涂胶、光刻、显影及剥离工序）VOCs0.68160.09493.16叠加在建项目后/0.16155.382废气收集方案及风量计算：光刻机、显影机及剥离机均为密闭操作，机器内部设置抽风装置，技改项目新增光刻机 1台，显影机 2 台，剥离机 3 台，根据企业提供的有机废气处理方案，有机废气经二级活性炭吸附处理，风机总风量为 30000m3/h，风机为变频风机，在建项目运行时风机风量约15000m3/h，技改项目实施后总的风机为 30000m3/h。4、G6 干法刻蚀废气干法刻蚀废气在等离子蚀刻工序采用氪/氖混合气、氟/氪/氖混合气、CF4、氦气等作为蚀刻剂，使用时需保110、证绝对的过量，该工序工作时间为 2h/d。根据相关企业现63有生产情况，CF4利用率约 90%，根据 CF4用量（0.06 t/a），可知 CF4产生量为 0.006t/a（氟化物含量 0.00518 t/a），而 SiF4产生量为 0.0638 t/a（氟化物含量 0.0466 t/a）。本项目干法刻蚀过程中酸性废气 CF4、SiF4等尾气经设备自带的燃烧器燃烧+喷淋处理后再与晶片药剂清洗废气一并通过酸碱喷淋塔喷淋处理，因多腔刻蚀去胶机为完全密闭状态下运行，收集效率 100%，处理效率按 80%计算，收集系统风量为 8000m3/h，则该工序废气产生和排放情况如下表所示。表表4.2-6干干法111、法刻刻蚀蚀工工序序废废气气产产生生和和排排放放情情况况序号废气类别产生量（t/a）有组织排放量（t/a）有组织排放速率(kg/h)有组织排放浓度（mg/m3）1CF40.0060.00120.0020.252SiF40.06380.01280.02132.6583CF4和 SiF4换算成氟含量0.05180.01040.01732.164叠加在建项目氟含量后0.05960.011960.01992.4855、恶臭影响分析、恶臭影响分析恶臭为人们对恶臭物质所感知的一种污染指标，其主要物质种类达上万种之多。由于各种物质之间的相互作用（相加、协同、抵消及掩饰作用等），人类的嗅觉功能和恶臭物质取样分析112、等因素，迄今还难以对大多数恶臭物质作出浓度标准。技改项目使用的显影液内四甲基氢氧化铵高温下会分解生成三甲胺、二甲醚，较有明显异味。技改项目显影工序为常温操作，四甲基氢氧化铵常温下基本不挥发，本次环评按 20%分解挥发考虑，即该工序 VOCs（三甲胺、二甲醚和甲醇）产生量为 0.039 t/a，产生量较少，且显影机为密闭设备，生产时为全封闭自动操作，设备运行时自动抽风将设备内废气引至二级活性炭吸附装置处理，无组织排放量较少。此外，企业车间属于千级车间，生产时车间呈微正压运行，正常运行时采用密闭隔离、集气收集、就近捕集（生产区域设置数十个送排风口，采取上送风，下吸风设计，车间内无组织挥发量极少。因113、此，项目生产过程中产生的少量废气对周围影响很小。6、项目废气汇总、项目废气汇总64废气产生、排放情况汇总见表 4.2-7。表表4.2-7项项目目废废气气产产生生、排排放放情情况况汇汇总总表表序号废气类别污染物产生量（t/a）削减量（t/a）排放量（t/a）1有机废气涂胶工序VOCs0.52430.39830.1262光刻工序丙酮0.2180.1660.0523其他VOCs0.00240.001820.000584显影工序VOCs0.0390.030.0095剥离工序NMP0.0320.0240.0086异丙醇1.7161.3040.4127VOCs 合计2.53171.92370.6088刻蚀114、酸性废气氟化物（以 F-计）0.05180.04140.01049碱性废气NH30.0850.0490.03665运营期环境影响和保护措施4.2.1.2 大气污染物产排及保护措施情况大气污染物产排及保护措施情况本项目大气污染物产排及保护措施情况，排放口基本情况及废气监测情况，见表4.2-8，4.2-9。表表4.2-8大气污染物产排及保护措施情况大气污染物产排及保护措施情况内容内容类型类型污染污染源源污染物名污染物名称称产生量产生量（t/a）治理设施治理设施风机风机风量风量是否技是否技术可行术可行收集收集效率效率（%）处理处理效率效率（%）排放浓度及排放量排放浓度及排放量有组织有组织标准标准无组115、织无组织排放量排放量(t/a)速率速率(kg/h)浓度浓度(mg/m3)速率速率(kg/h)浓度浓度(mg/m3)排放量排放量（t/a）大气大气污染污染物物晶片药剂清洗氨气0.085酸碱喷淋塔（DA001）8000可行95600.0320.00450.5634.9/0.0043干法刻蚀氟化物（换算成氟）合计0.0518燃烧器+喷淋处理+酸碱喷淋塔（DA001）可行100800.01040.01732.160.19.00剥离清洗NMP0.032二级活性炭吸附（DA002）30000可行95800.0060.00080.03/0.002异丙醇1.71695800.3260.0451.5/0.086116、涂胶VOCs0.524395800.09960.0140.47/0.0262光刻丙酮0.21895800.0410.00570.19/0.011其他VOCs0.002495800.000460.000060.002/0.00012显影VOCs0.03995800.0070.0010.03/0.002通过上表可知，晶片药剂清洗废气通过集中收集至屋顶酸碱喷淋塔处理后 15m 排气筒高空排放，排放速率能达到恶臭污染物排放标准(GB14554-93)中表 2 排放标准；干法刻蚀废气经设备自带的燃烧器燃烧+喷淋处理后再与晶片药剂清洗废气一并通过酸碱喷淋塔喷淋处理，氟化物排放速率及排放浓度满足大气污染物综117、合排放标准66（GB16297-1996）中的二级标准限值，涂胶、光刻、显影及剥离废气经负压收集后通过一套二级活性炭吸附处理后15 米高空排放，可实现达标排放。表表 4.2-9本项目本项目排放口基本情况排放口基本情况编号编号排放排放源源排气筒情况排气筒情况排放烟气情况排放烟气情况排排放放小小时时污染物污染物排放速排放速率率（kg/h）叠加在叠加在建项目建项目后排放后排放速率速率（kg/h）排放浓度排放浓度（mg/m3）叠加在建叠加在建项目后排项目后排放浓度放浓度（mg/m3）标准标准（mg/m3）底部中心坐标底部中心坐标高高度度m内内径径m流流速速m/s温温度度工工况况经度经度纬度纬度DA00118、1酸碱喷淋塔排气筒120.6604530.574255150.75.825正常7200氨气0.00450.01210.5631.51/600氟化物（换算成氟）合计0.01040.01732.162.4859.0DA002有机废气处理排气筒120.65992030.574392150.816.6257200NMP0.0008/0.03/异丙醇0.045/1.5/VOCs0.015/0.5/丙酮0.0057/0.19/VOCs 合计0.06660.16152.2225.382/4.2.1.3 环境影响分析环境影响分析正常工况本项目药剂清洗产生的废气经酸碱喷淋塔处理后 15 米高空排放，涂胶、光刻显119、影及剥离工序产生的有机废气经67二级活性炭吸附装置处理后 15 米高空排放，干法刻蚀废气经设备自带的燃烧器燃烧+喷淋处理后再与晶片药剂清洗废气一并通过酸碱喷淋塔喷淋处理。经工程分析，各项废气经处理后废气排放速率和排放浓度均可实现达标排放。另外，根据现状调查，企业周边 500 米范围内没有敏感点。因此，项目各项废气技改能处理后可实现达标排放，基本不会对周围环境及敏感点产生影响。非正常工况非正常排放包括生产过程开停车、设备检修、工艺设备运转异常等非正常工况下污染物排放，以及污染物防控措施达不到应有效率的情况下的排放。根据本项目的工程特性，非正常工况主要是污染物排放控制措施失效，其非正常工况排放情况120、见下表。表表4.2-10非正常排放情况非正常排放情况非正常排放源非正常排放原因非正常排放量单位持续时间年发生频次应对措施污染物名称排放速率（kg/h）排放浓度（mg/m3）h/次次/aDA001废气设施故障，去除率按0 计氨气0.080610.061-20-1立即停产整改氟化物0.086310.791-20-1立即停产整改DA002VOCs 合计0.807526.921-20-1立即停产整改备注：表格中排放速率和排放浓度为叠加在建项目污染源。备注：表格中排放速率和排放浓度为叠加在建项目污染源。4.2.1.4 废气处理技术可行性分析废气处理技术可行性分析根据排污许可证申请与核发技术规范电子工业（121、HJ11031-2019）表 B.1 电子工业排污单位废气污染防治可行技术进行判断，本项目废气处理工艺属于可行技术，具体见表 4.2-11。68表表 4.2-11废气污染防治技术可行性分析表废气污染防治技术可行性分析表行业类别主要生产单元主要生产设施污染物项目可行技术半导体分立器件制造、集成电路制造、半导体照明器件制造、光电子器件制造、其他电子器件制造排污单位清洗、光刻、封装清洗机、光刻机、显影机、涂胶机、塑封压机、烤箱挥发性有机物活性炭吸附法，燃烧法，浓缩+燃烧法、其他清洗、薄膜制备、刻蚀、封装清洗机、化学气相沉积设备、干法刻蚀设备、电镀设备氟化物、氨等本地处理系统（POU）；酸性处理系统、122、碱性处理系统、酸碱喷淋洗涤吸收法、其他本项目涂胶、光刻显影及剥离工序有机废气采用二级活性炭吸附处理，晶片药剂工序废气经酸碱喷淋塔装置处理；干法刻蚀产生的氟化物经设备自带的燃烧器燃烧+喷淋处理后再与晶片药剂清洗废气一并通过酸碱喷淋塔喷淋处理。根据排污许可证申请与核发技术规范电子工业（HJ11031-2019）表 B.1 电子工业分析，项目采用的各项废气处理装置均属于可行技术。根据挥发性有机物治理突出问题排查整治工作要求，本环评要求采用颗粒状活炭性，活性炭碘值不宜低于800mg/g。活性炭装填量参考xx省分散吸附-集中再生活性炭法挥发有机物治理体系建设技术指南（试行）附录A 废气收集参数和最少活性123、炭装填量参考表。表表 4.2-12废气收集参数和最少活性炭装填量参考表废气收集参数和最少活性炭装填量参考表序号风量(Q)范围 Nm3/hVOCs 初始浓度范围 mg/Nm3活性炭最少装填量/吨（按 500 小时使用时间计）1Q500002000.52003002300400340050046925000Q1000002001200300330040054005007310000Q2000002001.52003004300400740050010注：1.风量超过 20000 的活性炭最少装填量可参照本表进行估算。2.如以 NMHC 指标表征，VOCs 浓度：NMHC 浓度比可参照按 2：1 进124、行估算。表表 4.2-13本项目活性炭吸附装置本项目活性炭吸附装置装填量装填量序号活性炭吸附装置编号对应排气筒风量 Nm3/hVOCs 初始浓度范围mg/Nm3活性炭最少装填量/吨（按 500 小时使用时间计）11#DA0023000002001.5由上可知，本项目活性炭每级吸附装置活性炭最少装填量为 1.5t，两级活性炭装置最少填充量为 3 t。4.2.1.5 废气监测计划表废气监测计划表根据排污单位自行监测技术指南电子工业（HJ1253-2022），本项目废气日常监测计划详见 4.2-14。表表 4.2-14项目废气监测计划表项目废气监测计划表状态状态监测点位监测点位监测指标监测指标监测频125、次监测频次执行排放标准执行排放标准有组织DA001 排气筒氨气1 次/年恶臭污染物排放标准(GB14554-93)氟化物1 次/年大气污染物综合排放标准（GB16297-1996）DA002 排气筒非甲烷总烃1 次/年大气污染物综合排放标准（GB16297-1996）70无组织厂界氨气、臭气浓度1 次/年恶臭污染物排放标准(GB14554-93)非甲烷总烃1 次/年大气污染物综合排放标准（GB16297-1996）厂房外非甲烷总烃1 次/年挥发性有机物无组织排放控制标准（GB 37822-2019）71运营期环境影响和保护措施4.2.2 水污染物水污染物4.2.2.1 废水源强说明废水源强说明126、项目建成后产生的废水主要分为生产废水、生活污水两大类。项目使用的纯水利用泛半导体产业园一期xx区块超纯水站制备，产水量为 70%。纯水制备系统由园区统一管理运行，但产生的浓水由产生企业根据各自纯水用量核算污染物排放量。1）生产废水水量根据设计单位提供的资料，估算本项目达产情况下废水产生量，并明确生产废水排放规律，具体见表 4.2-15。表表 4.2-15项目项目废水废水/废液废液产生情况产生情况序号工序槽名称废水/废液代码规格槽数量（个）废水量（t/槽）更换频次废水/废液产生量（t/a）1来料清洗纯水W134L10.0310 次/天902H2O2：NH3OH：纯水（1：1：10）S134L10127、.033 天/次33纯水W1/6L/片溢流冲洗5044有机清洗（剥离清洗）NMPS530L10.037 天/次1.295NMPS530L10.037 天/次1.296IPAS630L10.033 天/次37纯水W3/16L/片溢流冲洗5048显影显影液：纯水（1:125）W2/212.3L/片溢流冲洗10339抛光抛光液S8/10.32 L/片循环使用，定期更换277210纯水W434L12L/片溢流冲洗16811修频纯水W5/12.4L/min溢流冲洗103712废气处理装置（酸碱喷淋塔）/W4/废水量：2 t/d（现有2t/d，技改后合计 4 t/d）60013干法刻蚀设备废气喷淋/W5/128、废水量：0.5t/d15014纯水制备产生的浓水W6产水率：70%158615生产废水合计/废水排放量：5672备注备注：表格中代码为表格中代码为 S 的废液作为固废处置的废液作为固废处置，车间内收集至桶内后暂存于危废暂存场所车间内收集至桶内后暂存于危废暂存场所，代码为代码为 W 的作为废水进入的作为废水进入泛半导体产业园泛半导体产业园一期xx区块一期xx区块的污水处理系统处理处理，纯水制备产生的浓水则直接接入污水排放口排放。的污水处理系统处理处理，纯水制备产生的浓水则直接接入污水排放口排放。根据估算，本项目达产情况下生产废水产生量为 5672 t/a。水质本项目生产废水水质、废液中污染物浓度129、参照项目迁建前在xxxx厂区的试生产经验数据分析技改后企业生产废水水质及废液浓度，见表 4.2-16。表表 4.2-16本项目生产本项目生产废水及污染物浓度废水及污染物浓度序号废水来源水量（t/a）因子及结果(mg/L)去向pH 值CODCrSS总氮氨氮氟化物1来料清洗废水594/600400110103.7/利用泛半导体产业园一期xx区块污水处理系统2显影废水1032/8003005020/3剥离清洗废水504/1500/4抛光清洗废水168/300500/73中的有机废水处理系统处理。5修频废水1037300200/6酸碱喷淋塔喷淋废水600/300/1008217.47电子尾气处理设备喷130、淋废水150/400/2078进入污水站废水合计4085/9纯水制备产生的浓水1586/150/直接纳管废水总计5672/污染物产生量，t/a/2.7770.8390.2070.1310.0414/综上，本项目生产废水排放量为 5672 t/a，污染物产生量为 CODCr2.777 t/a、SS 0.839 t/a、氨氮 0.131 t/a、总氮0.177 t/a、氟化物 0.0414 t/a。（2）生活废水）生活废水企业新增职工 60 人，厂区不设食堂和宿舍，年工作天数 300 天，新鲜用水量按 100L/人d 计算，则职工用水量为 1800 t/a（6 t/d），排放系数以 0.9 计，则131、生活废水排放量为 1620 t/a，生活污水水质参考城镇生活污水水质，CODCr约 350mg/L，NH3-N 约 35mg/L，由此计算生活污水中主要污染物产生量分别约为 CODCr：0.567 t/a，NH3-N：0.057 t/a。生活污水经化粪池预处理后纳入市政污水管网。4.2.2.2 废水基本情况废水基本情况本项目运营阶段废水污染源强核算情况详见表 4.2-17，4.2-18，废水间接排放口基本情况见表 4.2-19。表表 4.2-17厂区内污水处理设施废水污染源强核算结果及相关参数一览表厂区内污水处理设施废水污染源强核算结果及相关参数一览表工序/生产线装置污染源产生情况排放情况时间132、污染物核算方法产生废水量/(m3/a)产生浓度(mg/L)产生量(t/a)工艺效率/%排放方式排放废水量(m3/a)排放浓度/(mg/L)排放量/(t/a)74来料废水来料清洗机生产废水CODCr类比法5946000.356利用泛半导体产业园一期xx区块污水处理系统中的有机废水处理系统处理。（物化+生化）/间接排放5945000.2977200氨氮103.70.062/350.0217200总氮1100.065600.03567200SS4000.2376/4000.23767200有机清洗废水剥离CODCr类比法50415000.756/间接排放5045000.2527200显影废水显影机C133、ODCr类比法10338000.826/间接排放10335000.5167200SS3000.310/3000.3107200总氮500.0516500.05167200氨氮200.0206/350.02067200抛光清洗废水SiO2抛光机CODCr类比法1683000.0504/间接排放1683000.05047200SS5000.084/4000.0677200修频废水离子束修频机CODCr类比法10373000.311/间接排放10373000.3117200SS2000.207/2000.2077200酸碱喷淋塔废水酸碱喷淋塔CODCr类比法6003000.18/间接排放600300134、0.187200氨氮820.049/350.0217200总氮1000.06/700.0427200氟化物17.40.0104/17.40.01047200电子尾气处理设备喷淋废水尾气处理设备CODCr类比法1504000.06/间接排放1504000.06600氟化物2070.031/200.003600纯水制备产生的浓水纯水站CODCr类比法15861500.238直接纳管/间接排放15861500.238720075日常生活/生活污水CODCr类比法16203500.567化粪池/间接排放16203500.5677200氨氮350.057/350.0577200表表 4.2-18污水处理135、厂废水污染源强核算结果及相关参数一览表污水处理厂废水污染源强核算结果及相关参数一览表工序污染物进入污水处理厂污染物情况治理措施污染物排放产生废水量/(m3/a)产生浓度/(mg/L)产生量/(t/a)工艺综合处理效率/%核算方法排放废水量/(m3/a)排放浓度/(mg/L)排放量/(t/a)排放时间/h有机废水处理系统CODCr4086621.52.539物化+生化19.5排污系数法40865002.0437200氨氮32.10.131/32.10.1317200总氮43.30.177/43.30.1777200SS2050.839/2050.8397200氟化物10.10.0414/10.1136、0.04147200备注：本项目纯水制备产生的浓水备注：本项目纯水制备产生的浓水直接接入污水排放口，不排入园区污水站。直接接入污水排放口，不排入园区污水站。表表 4.2-19废水间接排放口基本情况表废水间接排放口基本情况表序号排放口编号排放口地理坐标 a废水排放量/（万 t/a）排放去向排放规律间歇排放时段受纳污水处理厂信息经度（）纬度（）名称b污染物种类国家或地方污染物排放标准浓度限值/(mg/L)1DW0011203930.87472303428.449080.7292进入城市污水处理厂间断排放，排放期间流量不稳定且无规律，但不属于冲击型排放工作时间xx市丁桥污水处理厂CODCr50NH3137、-N5氟化物10SS10a 对于排至厂外公共污水处理系统的排放口，指废水排出厂界处经纬度坐标。b 指厂外城镇或工业污水集中处理设施名称。764.2.2.3 项目水平衡分析项目水平衡分析根据工程分析，本项目水平衡图见图 4.2-1 所示。图图 4.2-1本项目水平衡图本项目水平衡图单位：t/a4.2.2.4 项目废水监测计划表项目废水监测计划表77根据排污单位自行监测技术指南电子工业（HJ1253-2022），企业废水监测计划详见 4.2-20。表表 4.2-20废水污染物排放信息表废水污染物排放信息表序号监测点位监测项目监测频次1废水总排放口流量、CODCr、氨氮、总氮、总磷、氟化物、SS1 138、年/次4.2.2.5 废水依托污水处理厂可行性分析废水依托污水处理厂可行性分析（1）水质）水质本项目位于xx经济开发区泛半导体产业园内，属于xx市xx污水处理厂管网覆盖范围内，本项目所在地具备纳管条件。本项目排外废水为生产废水、生活污水，生活污水水质较为简单，水质指标 pH7、CODCr350mg/L、NH3-N35mg/L，生活污水经化粪池预处理后满足xx市xx污水处理厂进水指标要求。生产废水包括来料清洗废水，显影废水、剥离清洗废水，抛光清洗废水、修频废水、酸碱喷淋塔废水，电子尾气处理设备喷淋废水，以及纯水制备产生的浓水。纯水制备产生的浓水水质较好，CODCr一般在 150mg/L 左右，可139、达到电子工业水污染物排放标准（GB39731-2020）中的间接排放标准，故无需处理直接纳管；其他生产废水经混合后利用泛半导体产业园一期xx区块污水处理系统中的有机废水处理系统处理达到电子工业水污染物排放标准（GB39731-2020）中的间接排放标准后纳入市政污水管网。项目生产废水经混合后 CODCr浓度约 621.5 mg/L、NH3-N 32.1 mg/L，总氮 43.3 mg/L，SS 205 mg/L，氟化物 10.1 mg/L。本项目进入园区污水站的有机废水处理系统，根据企业与xx经开产业园区开发建设有限公司签订的污水委托处置协议（附件 6），企业进入园区污水处理的有机废水处理系统140、的废水水质为 CODCr1500mg/L、氨氮100mg/L、总氮150mg/L、SS300mg/L。因此，技改项目生78产废水混合的水质满足园区污水站有机废水处理系统的进水水质要求，项目废水可进入园区污水处理系统处理。目前泛半导体产业园污水站刚建设完成，已基本稳定运行，尚未验收，目前仅与xx签订处理协议，其他企业尚未入驻，因此，污水站尚有余量处理本项目废水。因此，技改项目废水进入泛半导体产业园区污水站完全可行。此外，为确保企业废水满足园区污水站的进水水质要求，根据污水委托处置协议，企业生产运行稳定前，建议各类废水进站前原水水质检测 1 次/周，废水排放稳定后可放宽至每季度开展一次监测。企业若141、有可能导致废水污染物浓度或种类发生变化的技改项目实施，也建议重新按照 1 次/周的频次检测至运行稳定。4.2.2.6 园区园区污水处理厂污水处理厂情况介绍情况介绍根据泛半导体产业园提供的废水设计方案，泛半导体产业园现有一套设计处理能力为 2100 m3/d 的污水处理系统，专门用于处理泛半导体产业园内的电子企业的废水处理。根据项目废水处理设计方案，处理废水主要包括六个废水处理系统：含氟废水、含铜废水、研磨废水、有机废水（含有机抛光废水、含氨废水等）、划片清洗水和一般酸碱废水。针对六种废水的处理工艺分别是：含氟废水本项目含氟废水主要包括半导体企业废气处理排水、含氟废水（含 H2O2）以及少量的含142、磷清洗水，主要污染物为 F 和 P，采用化学混凝沉淀工艺进行处理。含氟废水经含氟废水调节池调节水量均匀水质后由泵输送至反应池 1，在反应池 1 中调节 pH 的同时投加 H2O2去除剂去除 H2O2后，自流进入反应池 2，在反应池 2 中精调 pH 值且投加氯化钙与氟离子反应，生成氟化钙沉淀后，自流至反应池 3，在混凝池、絮凝池中分别投加 PAC、PAM，使废水中的 F 离子以 CaF2矾花的形式析出，并形成易于沉淀的大颗粒，而后进入沉淀池进行固液分离，沉淀池中设有氟离子在线检测仪，若氟离子达标，则上清液自动79切换至含氟中继池排放，如不达标，则自流至二级沉淀反应槽。沉淀下来的污泥由泵输送至氟143、污泥池浓缩后，再由污泥泵送至压滤机进行脱水。含铜废水本项目含铜废水主要为集成板块电化学沉积废水，主要污染物为 Cu，采用碱性条件下铁铜共沉淀法处理。含铜废水经含铜废水调节池调节水量均匀水质后由泵输送至含铜废水 pH 调节池，调节 pH 至铜离子反应沉淀的最佳 pH 范围，后自流至含铜废水反应池 1，反应池 1 中投加氯化铁，铁铜共沉淀，使废水中的铜离子以氢氧化铜的形式析出，后自流至含铜废水反应池 2，池中投加液碱和重捕剂，捕捉细小的含铜絮体，在含铜废水反应池 3 中形成易于沉淀的大颗粒，而后进入沉淀池进行固液分离，上清液由泵输送至中继池，若出水合格，则由泵提升至研磨废水调节池进行后续的生化去处144、 COD 工艺。沉淀下来的污泥由泵输送至铜污泥池浓缩后，再由污泥泵送至压滤机进行脱水。研磨废水研磨废水主要为集成板块研磨废水，主要污染物为 SS，因此先采用化混预处理，再进入有机废水系统 A/O 生物活性污泥法处理。研磨废水经研磨废水调节池调节水量均匀水质后由泵输送至研磨废水 pH 调节池，在化混预处理阶段，去除绝大部分的 SS 后，进入缺氧池进行生化处理。有机废水（主要含抛光废水）有机废水主要为集成板块抛光机废水、含氨废水（含 H2O2）、稀有机清洗水，主要污染物为有机物，并含有一定浓度的 H2O2，因此采用 A/O 生物活性污泥法处理。80缺氧池中，大分子有机物水解为小分子有机物，提高废水145、 B/C 比，为后续好氧微生物将水中的小分子有机物进入细菌细胞内进一步降解。经过缺氧池的废水进入好氧池，接用鼓风机在水池底部曝气充氧，空气能自下而上，夹带待处理的废水，具有处理时间短、体积小、净化效果好、出水水质好而稳定，降解 COD 的同时脱除氨氮，出水流入沉淀池进行泥水分离，上清液进入 pH 调节池-1。沉淀后的污泥一部分回流至缺氧池，一部分进入生化污泥池。划片清洗水划片清洗水来自部分企业封装工艺中切割冷却清洗水，一般水质较好，污染物 COD 浓度低于纳管标准，选择多介质过滤器 MMF+活性炭 ACF 工艺组合降低浊度去除微量 COD，该处理设施为备用设施，划片清洗水进水在满足纳管限值条件146、下日常直接纳管排放。划片清洗水经调节池匀质匀量后，输送到多介质过滤器，过滤一般是指以石英砂等为滤料的粒状过滤层进一步截留水中微小的悬浮杂质，从而使水澄清的过程。过滤机理包括拦截、沉淀、惯性、扩散、粘附、水动力等。过滤是截住水中微小杂质的过程，但截留杂质逐渐增加时，滤速逐渐减小，产水量也降低，滤料达到饱和，出水水质恶化故需要反洗，把截留杂质冲洗干净，再进行过滤，循环往复进行。反洗前，可先进行气洗，使被压实的滤料层松动与膨胀以达到流动状态，利用气-水擦洗滤料表面，以提高反洗效率。反洗时，反洗径流从滤料层下端引入，在水流剪切力与滤料颗粒间碰撞摩擦力的双重作用下，粘附在滤料表面的悬浮物与胶体逐步脱落，147、并随反洗径流从滤料层上端排出，以达到清洗滤料的目的。反洗后，滤料层呈疏松状态，滤料层顶部或中部尚未形成污物滤饼及混凝体层，无法截留污染物，因此需持续一定时间的正洗过程。反洗水排入本系统研磨废水调节池，若实际运行中反洗水SS 可达标，可直接排至放流池。经多介质后的处理水，排入活性炭过滤器。活性碳吸附过滤器采用水力模拟长径设计，并采用粒径合理，比表面积大于 1000/g 的高效活性碳，使其既有上层特效过滤又有下层高效吸附等功能，81大大提高产水净化程度和碳的使用寿命。对水体中异味、有机物、胶体、铁及余氯等去除性能卓著，可以降低水体的浊度、色度，净化水质，确保冷却用水的 COD 达标。一般酸碱废水一148、般酸碱废水来源于集成板块酸碱废水。酸碱废水经调节池调节水量均匀水质后由泵输送至 pH 调节池-1，在pH 调节池-1 中混合含氟、含铜和有机系统预处理出水，再自流至 pH 调节池-2 再次调节 pH 值。经过调节 pH 后，进入放流池，放流池设置检测仪表，各项检测指标检测合格后，排入市政管网，若有不合格参数，排入事故池再进行后续处理。划片清洗水系统处理出水、纯水站浓水排水最后汇总进入放流池，一并排入市政管网。主要工艺流程如图4.2-2所示。82图图4.2-2泛半导体产业园废水处理系统工艺流程图泛半导体产业园废水处理系统工艺流程图根据废水设计方案，泛半导体产业园污水站设计进水水质情况如表4.2-149、21所示。83表表 4.2-21设计处理设计处理废水废水种类及处理能力一览种类及处理能力一览表表接收废水类别接收废水类别废水设计废水设计接收量接收量(m3/d)设计废水设计废水处理能力处理能力(m3/d)进入废水进入废水系统系统设施处理设施处理能力能力(m3/d)pHSSCODCrNH3-NTPFCuTN/(mg/L)(mg/L)(mg/L)(mg/L)(mg/L)(mg/L)(mg/L)废气处理排水101212含氟废水212320010/100/含磷清洗水4337/50/含氟废水68251001003550800/70电化学沉积废水4848含铜废水4851150500/20/研磨废水1501150、50研磨废水有机废水1505101500400/抛光有机废水115210有机废水360（含研磨系统出水）510500200050/70含氨废水（含H2O2）20415/300/350稀有机清洗水758105030050/70划片冷却清洗水10001000划片废水1000510201550/一般酸碱废水480480酸碱废水1100（含有机、含氟、含铜系统出水）311500100/40超纯水站浓水5000放流池0/050/合计26002100/2870/*注：研磨废水系统出水须进入有机废水系统处理后再经过酸碱废水系统调节 pH 后纳管排放；划片废水系统出水直接通过污水站放流池纳管排放；含氟废水系统151、含铜废水系统、有机废水系统出水经过酸碱废水系统调节 pH 后再纳管排放；超纯水站浓水直接通过污水站放流池与其它废水系统处理尾水一起排入管网，浓水水量按超纯水站满负荷运行产生量。污水站设施合计处理能力中部分废水系统有重叠，实际设计处理能力为 2100 m3/d。84项目废水经污水站的预期处理效果分析见表 4.2-22。表表 4.2-22污水处理站废水处理预期效果分析污水处理站废水处理预期效果分析废水处理系统废水处理量m/d主要污染物预计处理前（mg/L）预计处理后（mg/L）预计处理效率(%)含氟废水处理系统212pH（无量纲）2467-COD1009010%SS1005050%氨氮20200152、%TP25196%氟化物8001098%TN70700%含铜废水处理系统48pH（无量纲）511910-COD50040020%SS504020%总铜20195%研磨废水处理系统150pH（无量纲）51069-COD40036010%SS150010093%有机废水处理系统360pH（无量纲）51069-COD100015085%SS20010050%氨氮603542%总氮977027%酸碱废水480pH（无量纲）2369-COD1001000%SS50500%85总氮40400%划片清洗水1000COD151033%SS20480%超纯水站浓水500COD50500%技改项目位于泛半导体产园153、区内，生产废水经混合后 CODCr浓度约 621.5 mg/L、NH3-N32.1mg/L，总氮 43.3mg/L，SS 205 mg/L，氟化物 10.1 mg/L，符合产业园区污水站中的有机废水处理系统的进水水质要求。本次技改项目叠加企业在建项目生产废水，项目进入有机排废水处理系统的水量约 31 t/d，目前园区仅与xx一家企业签订处理协议，尚未有其他废水进入，根据设计园区有机排废水处理系统的废水处理能力为 210 t/d，有能力处理本项目废水。此外，项目生产废水基本为连续不间断出水，对有机排处理系统采用的生化处理基本不会产生影响，因此低负荷情况下生化处理系统也可稳定运行。综上分析，企业废154、水经有机废水处理系统处理后出水水质中 COD、氨氮、SS 等污染物出水浓度均可达到电子工业水污染物排放标准（GB39731-2020）中的间接排放标准，可实现达标排放。根据泛半导体产业园污水站污水站设计，污水站设有废水提升站，提升站内建各类废水收集池，各收集池均已设置独立管道，可将接收废水分类输送至西侧污水站相应处理单元。废水输送管道设置在地面管沟内，管沟采用混凝土结构，管沟内壁已采用 FRP 防腐，且管沟已连通污水处理站内收集沟，泄漏废水可经管沟输送至废水应急池。因此，在废水输送管道设置防渗管沟、连接污水处理站，并加强巡查的情况下，输送管道内废水外泄进入土壤、地下水的可能性不大，该环境风险影155、响水平是可防可控的。园区污水站运营单位应制定完善的监控制度，指定专人负责监察各企业废水出口端在线监测数据，记录水质、水量异常信息，确保废水能够达标排放。4.2.3 噪声噪声4.2.3.1 噪声源强分析噪声源强分析86本项目环保治理措施均依托企业现有，故技改项目并未新增室外噪声源强，技改项目运营阶段噪声污染源强主要来自新增的设备噪声，核算情况详见表 4.2-23。表表 4.2-23工业企业噪声源强调查清单（室内声源）工业企业噪声源强调查清单（室内声源）序号建筑物名称声源名称型号声源源强（任选一种）声源控制措施空间相对位置/m距室内边界距离/m室内边界声级/dB(A)运行时段建筑物插入损失/dB(156、A)建筑物外噪声（声压级/距声源距离）/（dB(A)/m）声功率级/dB(A)XYZ声压级/dB(A)建筑物外距离1一楼生产车间来片清洗机/75 dB(A)/1m/室内、建筑隔声，安装减振垫140851.23045昼夜20251m2光刻机/70dB(A)/1m/室内、建筑隔声，安装减振垫132611.22243昼夜20231m3涂胶显影机/70dB(A)/1m/室内、建筑隔声，安装减振垫140451.24038昼夜20181m4PAD 镀膜机/72dB(A)/1m/室内、建筑隔声，安装减振垫129721.24439昼夜20191m5SiO2抛光机/75dB(A)/1m/室内、建筑隔声，安装减振157、垫143731.21353昼夜20331m6离子束修频机/75dB(A)/1m/室内、建筑隔声，安装减振垫130761.22547昼夜20271m7多腔刻蚀去胶机/75dB(A)/1m/室内、建筑隔声，安装减振垫130491.24043昼夜20231m8全自动剥离机/75dB(A)/1m/室内、建筑隔声，安装减振垫134731.23444昼夜20241m备注：本次环评预测以项目所在的备注：本次环评预测以项目所在的 A16 号厂房西南角为坐标原点。号厂房西南角为坐标原点。874.2.3.2 噪声影响预测分析噪声影响预测分析根据项目建设内容及环境影响评价技术导则声环境（HJ2.4-2021）的要求158、，本项目环评釆用xx科技公司研发的噪声 NoiseSystem 噪声预测评价软件系统进行预测。考虑到企业在建项目与本次技改项目位于同一车间，故本次预测叠加了企业在建项目噪声源强。通过预测模型计算，项目厂界噪声预测结果与达标分析见表 4.2-24。表表 4.2-24项目投运后厂界噪声预测结果项目投运后厂界噪声预测结果单位：dB(A)预测方位预测方位空间相对位置空间相对位置/m时段时段贡献值贡献值（dB(A)）本底值本底值（dB(A)）预测值预测值（dB(A)）标准限值标准限值（dB(A)）达标情况达标情况XYZ东侧214.2052.911.2昼间48.5660.761.070达标214.2052159、.911.2夜间48.5652.654.055达标南侧96.820.481.2昼间50.7859.159.770达标96.820.481.2夜间50.7849.553.255达标西侧0.8065.141.2昼间48.5659.960.265达标0.8065.141.2夜间48.5652.554.055达标北侧97.05117.621.2昼间50.7760.656.065达标97.05117.621.2夜间50.7751.554.255达标*注：本次环评预测以项目所在的 A16 号厂房西南角为坐标原点。由上表可知，正常工况下，项目东侧和南侧厂界噪声贡献值均满足 工业企业厂界环境噪声排放标准(GB160、12348-2008)4 类标准，西侧和北侧厂界噪声贡献值能达到工业企业厂界环境噪声排放标准（GB12348-2008）中的 3类标准。叠加现状本底值后，预测值满足声环境质量标准（GB3096-2008）中相关标准要求。因此，本项目投88运后对周边声环境影响不大。4.2.3.3 噪声监测计划表噪声监测计划表根据排污单位自行监测技术指南电子工业（HJ1253-2022），企业噪声日常监测计划详见 4.2-25。表表 4.2-25项目项目噪声噪声监测计划表监测计划表状态状态监测点位监测点位监测指标监测指标监测频次监测频次执行排放标准执行排放标准正常生产厂界LA(dB)1 次/季工业企业厂界环境噪声161、排放标准（GB12348-2008）4.2.4固体废物固体废物4.2.4.1 固废源强分析固废源强分析技改项目生产过程中产生的副产物有：废氨液、废光刻胶、废去胶液、废 NMP、废异丙醇、废品、废 PI 胶、废抛光液、废抛光布、废活性炭、废包装桶及瓶、一般包装材料、废机油及机油桶、废汞灯、废过滤棉及职工生活垃圾，产生情况分析如下：废氨液 S1：项目来料清洗过程会使用氨水和双氧水，使用时按 1:1:10 的比例进行清洗，氨水（25%）用量为 0.968t/a，双氧水用量 0.5 t/a，混合使用后用量为 3 t/a，则产生废氨液 3 t/a。根据国家危险废物名录（2021 年版），废氨液属于危险废162、物，危废代码为 HW35900-352-35，需定期委托有危废资质单位进行处置。废光刻胶 S2：项目涂光刻胶时会产生废光刻胶，预计产生量为 0.4 t/a。根据国家危险废物名录（2021 年版），废光刻胶属于危险废物，危废代码为 HW13900-014-13，需定期委托有危废资质单位进行处置。废去胶液 S3：项目光刻后需要使用边胶清洗剂清洗，生产时会产生废去胶液，预计产生量为 2.4 t/a。根据国家危险废物名录（2021 年版），废去胶液属于危险废物，危废代码为 HW06900-402-06，需定期委托有危废资质89单位进行处置。废 NMPS4：项目剥离清洗过程使用 NMP 和异丙醇清洗，清163、洗过程会产生废 NMP，预计产生量为 2.58 t/a。据国家危险废物名录（2021 年版），废 NMP 属于危险废物，危废代码为 HW06900-404-06，需定期委托有危废资质单位进行处置。废异丙醇 S5：项目剥离清洗过程使用 NMP 和异丙醇清洗，清洗过程会产生废异丙醇，预计产生量为 3 t/a。据国家危险废物名录（2021 年版），废异丙醇属于危险废物，危废代码为 HW06900-402-06，需定期委托有危废资质单位进行处置。废品 S6：项目测试分选时会产生废品，预计废品产生量为 0.1t/a，属于一般固废，收集后外卖综合利用。废 PI 胶 S7：项目涂 PI 胶过程会产生废 PI164、 胶，根据原料使用量预计废 PI 胶产生量为 0.02 t/a。根据国家危险废物名录（2021 年版），废 PI 胶属于危险废物，危废代码为 HW13900-014-13，需定期委托有危废资质单位进行处置。废抛光液 S8：项目抛光工序使用抛光液，会产生废抛光液，预计产生量为 27 t/a。根据企业提供的抛光液 MSDS，抛光液的主要成分为水和氧化硅，其中氧化硅含量为 3941%，水的含量59%，属于一般固废，定期委托相关单位处置。废抛光布 S9：项目抛光机使用一定时间后需要使用抛光布进行擦拭，产生废抛光布，预计产生量为 0.001 t/a，属于一般固废，收集后定期委托相关单位处置。废活性炭 S165、10：项目有机废气采用二级活性炭吸附处理，活性炭在使用一段时间后其内部孔径将被吸附的废物填满，从而失去吸附能力，为保证处理效率，企业需定期对活性炭进行更换。废气处理效率本环评 80%计算，则活90性炭吸附有机废气量为 1.9237 t/a，活性炭吸附容量按 15g 有机物/100g 活性炭计算，则本项目废活性炭产生量为 14.75t/a。因技改项目废气处理装置依托企业现有在建项目，现有在建项目废活性炭预计产生量为 20.9 t/a，因此技改后企业废活性炭产生量合计为 35.65 t/a。根据xx省分散吸附-集中再生活性炭法挥发性有机物治理体系建设技术指南（试行），活性炭更换周期一般不应超过累计166、运行 500 小时，本项目企业活性炭装填量按 3 吨考虑，每年更换14 次，加上活性炭吸附的有机物含量（在建项目 2.726 t/a，技改项目 1.9237 t/a），则废活性炭产生量为 46.65 t/a。本次环评按全厂废活性炭产生量 46.65 t/a 考虑。根据国家危险废物名录（2021 年版）规定，废活性炭属于危险废物，危废代码为 HW49（900-039-49），应集中收集后送有处理危险废物资质的专业单位清运、处理。废包装桶及瓶 S11：项目光刻胶、显影液、丙酮、剥离液、异丙醇、边胶清洗剂、PI 等、钛靶材原料采用包装桶及瓶包装，使用过程会产生废包装及瓶，根据原料用量，预计废包装桶及167、瓶产生量约 2 t/a。根据国家危险废物名录（2021 年版）规定，废包装桶及瓶属于危险废物，危废代码为 HW49900-041-49，应集中收集后送有处理危险废物资质的专业单位清运、处理。一般包装材料 S12：项目晶片、铝铜靶材、抛光液等原料使用时会产生一定的包装材料，预计产生量为 1.5 t/a，属于一般固废，收集后外卖综合利用。废机油及机油桶 S13：项目设备需要定期维护及维修，维修及维护过程会替换设备内机油，预计产生量为 0.5 t/a。根据国家危险废物名录（2021 年版），废机油及机油桶属于危险废物，危废代码为 HW08900-249-08，需定期委托有危废资质单位进行处置。废汞灯168、 S14：项目光刻显影设备上配有汞灯，汞灯设备破损时需要更换汞灯，产生废汞灯，预计产生量为 0.05 t/a。根据国家危险废物名录（2021 年版），废汞灯属于危险废物，危废代码为 HW29900-023-29，需定期委托有危91废资质单位进行处置。废过滤棉 S15：技改项目生产车间均为洁净车间，洁净车间空气经过滤后进出车间，过滤系统采用过滤棉过滤，需要定期更换，预计 2 年更换一次，更换过程产生废过滤棉，预计产生量约 4 t/a，属于一般固废，收集后定期委托处置。职工生活垃圾 S16：技改项目新增职工 60 人，年工作 300 天，按每人每天 1kg 考虑，预计生活垃圾产生量为 18t/a，169、属于一般固废，收集后委托环卫部门定期清运。本项目运营阶段固废污染源强核算情况详见表 4.2-26。表表 4.2-26固废污染源源强核算结果及相关参数一览表固废污染源源强核算结果及相关参数一览表工序工序/生产生产线线固体废物名固体废物名称称固体废物属性固体废物属性产生情况产生情况处置措施处置措施最终去向最终去向核算方法核算方法产生量产生量/（t/a）工艺工艺处置量处置量/（t/a）来料清洗废氨液 S1危险废物HW35900-352-35物料平衡法3委托有资质单位处置3危废处置单位涂光刻胶废光刻胶 S2危险废物HW13900-014-13物料平衡法0.4委托有资质单位处置0.4危废处置单位光刻废去170、胶液 S3危险废物HW06900-402-06物料平衡法2.4委托有资质单位处置2.4危废处置单位剥离清洗废 NMP S4危险废物HW06900-404-06产污系数法2.58委托有资质单位处置2.58危废处置单位剥离清洗废异丙醇 S5危险废物HW06900-402-06物料平衡法3委托有资质单位处置3危废处置单位测试分选废品 S6一般固废物料平衡法0.1外卖综合利用0.1外卖综合利用涂 PI 胶废 PI 胶 S7危险废物HW13900-014-13产污系数法0.02委托有资质单位处置0.02危废处置单位抛光废抛光液 S8一般固废物料平衡法27委托相关单位处置27委托相关单位处置92抛光擦拭废171、抛光布 S9一般固废物料平衡法0.001委托相关单位处置0.001委托相关单位处置有机废气处理废活性炭S10危险废物HW49900-039-49物料平衡法4.65委托相关单位处置4.65委托相关单位处置原料使用废包装桶及瓶 S11危险废物HW49900-041-49物料平衡法2委托有资质单位处置2危废处置单位原料使用一般包装材料 S12一般固废物料平衡法1.5外卖综合利用1.5外卖综合利用设备维修废机油及机油桶 S13危险废物HW08900-249-08物料平衡法0.5委托有资质单位处置0.5危废处置单位光刻显影废汞灯 S14危险废物HW29900-023-29物料平衡法0.05委托有资质单位172、处置0.05危废处置单位空调过滤废过滤棉S15一般固废产污系数法4相关单位处置4相关单位处置职工生活生活垃圾S16一般固废产污系数法18环卫部门统一清运18环卫部门备注备注：技改项目废气处理利用企业在建项目废气处理装置技改项目废气处理利用企业在建项目废气处理装置，活性炭按活性炭按 500h 更换一次可以满足技改项目有机废气处理吸附量更换一次可以满足技改项目有机废气处理吸附量，故技改故技改项目按有机物吸附量考虑新增的废活性炭量（在建项目废活性炭已审批量为项目按有机物吸附量考虑新增的废活性炭量（在建项目废活性炭已审批量为 42 t/a）。）。表表 4.2-27工程分析中危险废物汇总样表工程分析中危173、险废物汇总样表序号危险废物名称危险废物类别危险废物代码产生量（t/a）形态主要成分有害成分产废周期危险特性贮存方式污染防治措施*1废氨液 S1HW35900-352-353液态氨水、双氧水氨水、双氧水3dC，T桶装暂存于危废暂存间，最终由有资质单位处理2废光刻胶 S2HW13900-014-130.4液态光刻胶光刻胶每天T桶装3废去胶液 S3HW06900-402-062.4液态去胶液去胶液每天T，I，R桶装4废 NMP S4HW06900-404-062.58液态NMPNMP7 天T，I，R桶装5废异丙醇 S5HW06900-402-063液态异丙醇异丙醇3 天T，I，R桶装936废 PI 174、胶 S7HW13900-014-130.02固态PI 胶PI 胶每天T袋装7废包装桶及瓶 S9HW49900-041-492固态残留原料残留原料每天T/In桶装8废活性炭 S10HW49900-039-494.65固态有机物有机物500hT袋装9废机油及机油桶 S11HW08900-249-080.5液态机油机油定期T，I桶装10废汞灯 S12HW29900-023-290.05固态含汞废物含汞废物定期T袋装4.2.4.2 固体废物环境管理要求固体废物环境管理要求（1）一般固废要求一般固废要求根据一般工业固体废物贮存和填埋污染控制标准(GB18599-2020)适用范围，企业内部使用库房、包装175、工具贮存一般工业固废应满足防渗漏、防雨淋、防扬尘的环境保护要求，并将一般固废分类、安全存放。企业应当建立健全工业固体废物产生、收集、贮存、运输、利用、处置全过程的污染环境防治责任制度，建立工业固体废物管理台账，如实记录产生工业固体废物的种类、数量、流向、贮存、利用、处置等信息，实现工业固体废物可追溯、可查询，并采取切断污染途径的方式防治工业固体废物污染环境。为加强监督管理，贮存场所应按 GB15562.2 设置环境保护图形标志。（2）危险危险固废要求固废要求企业已在车间外南侧设有一危废暂存场所，占地面积约 43.3m2，危废存放高度按照 1.5m 计，有效利用空间按照80%计，则暂存库有效使用176、面积 52m2。技改项目危废产生量为 18.6 t/a，技改后全厂危废产生量合计为 80.4 t/a，贮存周期为 3 个月，危险固废密度按照 1.2 g/cm3折算，则固废体积约 16.75 m3，因此企业新增的危废暂存场所容量可满足技改项目所需。危废暂存场所地面要求做硬化防腐防渗防漏措施，并设置密封的符合相关设计规范要求的截流设施。贮存企业要在信息化系统上进行网上备案登记，填报电子台账，并执行电子联单制度。941危险废物的收集危险废物要根据其成分，用符合国家标准的专门容器分类收集。装运危险废物的容器应根据危险废物的不同特性而设计，不易破损、变形、老化，能有效防止渗漏、扩散。装有危险废物的容器177、必须贴有标签，在标签上详细表明危险废物的名称、质量、成分、特性以及发生泄漏、扩散、污染事故时的应急措施和补救方法。盛装危险废物的容器装置可以是钢桶、钢罐或塑料制品，但必须符合以下要求：1）要有符合要求的包装容器、运输工具、收集人员的个人防护设备。2）危险废物收集容器应在醒目位置贴有危险废物标签，在收集场所醒目的地方设置危险废物警告标识。3）危险废物标签应表明下述信息：主要化学成分或商品名称、数量、物理形态、危险类别、安全措施以及危险废物产生车间的名称、联系人、联系电话，以及发生泄漏、扩散、污染事故时的应急措施(注明紧急电话)。4）液体和半固体的危险废物应使用密闭防渗漏的容器盛装，固态危险废物应178、采用防扬散的包装或容器盛装。危险废物应按规定或下列方式分类分别包装：易燃性液体，易燃性固体，可燃性液体，腐蚀性物质(酸、碱等)，特殊毒性物质，氧化物，有机过氧物。危废暂存场地建设要求1）库房内部各类危废划区堆放；同时应建有堵截泄漏的裙脚；地面与裙脚要用坚固防渗的材料建造；应有隔离设施、报警装置和防风、防晒、防雨设施。2）各类危废干湿分区，不同化学属性的固废间采用实体墙隔离，不同种类危废存放区域贴/挂标示标牌。3）干区进行地面硬化；湿区地面进行防腐、防渗处理，参照 GB18597-2001危险废物贮存污染控制标准相关要求设置防渗基础或防渗层。954）湿区出入口设置围挡，内部地面四周设渗滤液收集沟179、并汇流于一处收集槽，内置空桶，用于收集日常产生的少量渗滤液，收集后做危废处置。5）暂存区外围周边贴挂明显的标示标牌，注明主要暂存危废的种类、数量、危废编号等信息。6）合理选择危废包装物。危废贮存容器、材质满足相应的强度要求，日常确保完好无损；容器材质和衬里与危险废物相容(参考 GB18597-2001危险废物贮存污染控制标准附录 B-表 1)；盛装液体废物的桶开孔直径应不超过 70mm，并有放气孔。要求企业落实全过程规范处置，加强内部管理，执行排污许可管理制度，在xx市一般工业固废信息化监控系统中填报固废电子管理台账，依法如实记录固废种类、产生量、流向、贮存、利用、处置等有关信息，对运输、贮存180、利用、处置企业的主体资格和技术能力进行核实，依法签订书面合同，在信息化系统中上传备案。在此基础上，企业产生的各项固体废物在落实相应的环保措施后不会对周边环境产生影响。4.2.5土壤及地下水土壤及地下水（1）地下水、土壤污染源及污染途径）地下水、土壤污染源及污染途径项目地下水、土壤污染源及污染途径识别见表 4.2-28。表表 4.2-28本项目土壤及地下水环境影响源及影响因子识别表本项目土壤及地下水环境影响源及影响因子识别表污染源工艺流程/节点污染途径全部污染物指标特征因子备注生产车间刻蚀、涂胶、有机溶剂清洗等垂直入渗、地面漫流总石油烃、CODCr总石油烃事故、间歇危化品仓库、危废仓库仓储垂直181、入渗、地面漫流总石油烃等总石油烃事故、间歇（2）地下水和土壤污染防治措施）地下水和土壤污染防治措施96企业依据 地下工程防水技术规范(GB501082011)的要求，地下水污染防治措施按照“源头控制、末端防治、污染监控、应急响应”相结合的原则，从污染物的产生、入渗、扩散、应急响应全阶段进行控制。1分区防控土壤和地下水的防控措施主要包括厂内污染区地面的防渗措施和泄漏、渗漏污染物收集措施，即在污染区地面进行防渗处理，防止洒落地面的污染物渗入地下，并把滞留在地面的污染物收集起来，集中送至园区污水处理站处理；一般情况下应以水平防渗为主，对难以采取水平防渗的场地，可采用垂向防渗为主，局部水平防渗为辅的防182、控措施。分区防控原则，即：对重点防渗区、一般防渗区和简单防渗区采取有区别的防渗原则。根据厂区可能泄漏至地面区域污染物的性质和生产单元的构筑方式，将厂区划分为简单防渗区、一般防渗区和重点防渗区。防渗区域划分见表 4.2-29。表表 4.2-29本本项目地下水污染防渗分区表项目地下水污染防渗分区表防渗分区防渗分区天然包气带防污性能天然包气带防污性能污染控制难易污染控制难易防渗区名称防渗区名称重点防渗区弱难危废暂存场所、危化品仓库一般防渗区易生产车间、办公区、成品库简单防渗区中易配套用房、门卫防渗漏措施输送污水压力管道采用地上敷设，排水管道在穿越厂区干道时采用套管保护。危化品仓库、危险废物暂存场所地183、面做好防腐防渗措施。企业经采取以上防渗措施后，可有效预防对地下水、土壤的污染。97运营期环境影响和保护措施4.3 环境风险评价环境风险评价项目生产过程中涉及丙酮、异丙醇等危险物质，经计算 Q 值为 1.1324，大于 1，因此设置环境风险评价专项。项目环境风险评价详见专项一。（1）根据风险调查，本项目大气环境敏感程度分级为 E1（环境高度敏感区）类型，地表水环境敏感程度等级为 E2（环境中度敏感区）类型，地下水环境敏感程度等级为 E3（环境低度敏感区）类型。本项目危险物质及工艺系统危险性 P 为 P4，根据建设项目环境风险潜势划分，因此本项目环境风险潜势为，大气环境的风险评价等级为二级，地表水184、的风险评价等级为三级，地下水环境可做简要分析。（2）风险评价结果表明，在落实各项环保措施和本评价所列的环境风险防范措施，加强风险管理的条件下，项目的环境风险是可防可控的，环境风险可以接受。因此，企业要切实落实环评提出的各项风险防范措施，定期维护应急物资和设施，确保应急物资和设施运营正常，加强环境风险管理，及时制订突发环境事件应急预案，报xx市生态环境局xx分局备案，从源头把风险事件发生概率及对环境影响降到最低。4.4 环保投资环保投资（1）环保设施投资）环保设施投资本项目废气处理全部依托 12 亿颗面向 5G 智能手机用系列声表滤波器项目预留的处理系统，废水处理依托园区污水处理设施，危废暂存场185、所依托企业现有废危废暂存场所，故本次项目未新增固定环保投资。（2）环保运行费用环保运行费用废水处理设施运行费用估算废水处理设施运行费用估算根据建设单位估算，本项目废水处理站的废水处理费用约 20 元/吨水计，本项目进入污水站系统处理的水量 4805 t/a，则废水处理运行费用约 10 万元/年。废气处理设施运行费用估算废气处理设施运行费用估算本项目废气运行费用包括废气收集引风装置、活性炭吸附装置、酸碱喷98淋塔等所产生的费用，根据废气处理设计方案，估算项目实施后废气处理运行费用约 6 万/年左右。固废处理费用估算固废处理费用估算本项目危废产生量为18.6 t/a，委托有资质的单位处理，处理费用186、平均3000元/t，共计处理费用约 5.6 万元。本项目总投资为 21311.21 万元，环保投资 21.6 万，占总投资的 0.1%。99五、环境保护措施监督检查清单内容要素排放口(编号、名称)/污染源污染物项目环境保护措施执行标准大气环境DA001 排气筒/碱性废气氨气通过集中收集至屋顶酸碱喷淋塔处理后15m 排气筒高空排放恶臭污染物排放标准(GB14554-93)中表 2 排放标准DA002 排气筒/涂胶、光刻、显影废气丙酮、VOCs密闭操作，负压收集至废气处理系统二级活性炭吸附处理后15m 高空排放大气污染物综合排放标准（GB16297-1996）中的二级标准DA002 排气筒/剥离有187、机废气NMP、异丙醇DA001 排气筒/干法刻蚀废气氟化物经燃烧器燃烧+喷淋处理后再与晶片药剂清洗废气一并通过酸碱喷淋塔喷淋处理后15 米排放大气污染物综合排放标准（GB16297-1996）中的二级标准地表水环境生产废水CODCr纯水制备浓水直接纳管，其他生产废水利用泛半导体产业园一期xx区块污水处理系统中的有机废水处理系统处理。电子工业水污染物排放标准（GB39731-2020）中的间接排放标准SS石油类生活污水CODCr通过化粪池预处理后纳入市政污水管网NH3-N声环境设备噪声加强设备日常检修和维护，减少设备非正常运转时间，对高噪声设备底座安装减震垫，风机进出口安装消声器等措施，同时加强188、生产管理，教育员工进行文明生产，合理安排生产以减少人为因素造成的噪声。工业企业厂界环境噪声排放标准（GB12348-2008）中的3类和4类标准固体废物来料清洗废氨液委托有资质单位处置无害化涂光刻胶废光刻胶委托有资质单位处置无害化光刻废去胶液委托有资质单位处置无害化剥离清洗废 NMP委托有资质单位处置无害化剥离清洗废异丙醇委托有资质单位处置无害化测试分选废品外售综合利用资源化100涂 PI 胶废 PI 胶委托有资质单位处置无害化废气处理废活性炭委托有资质单位处置无害化原料使用废包装桶及瓶委托有资质单位处置无害化抛光废抛光液委托相关单位处置无害化抛光废抛光布委托相关单位处置无害化原料使用一般包装189、材料外售综合利用资源化设备维修废机油及机油桶委托有资质单位处置无害化废汞灯光刻显影委托有资质单位处置无害化职工生活生活垃圾委托环卫部门清运无害化土壤及地下水污染防治措施1、输送污水压力管道采用地上敷设，排水管道在穿越厂区干道时采用套管保护。2、企业需要在严格落实本环评提出的减缓措施的基础上，加强污染物源头控制，做好事故风险防范工作，做好厂内地面的硬化、防腐、防渗工作。3、为降低土壤污染风险，对工业活动区需开展特定的监管和检查。负责日常监管的人员须熟悉各种生产设施的运转和维护，对设备泄露能够正确应对。生态保护措施无环境风险防范措施1、总图布置和建筑方面安全防范措施2、工艺和设备、装置方面安全防范190、措施3、生产管理防范措施4、应急预案其他环境管理要求（1）建立和完善环保管理机构：本项目实施后由总经理负责企业环保管理工作，配备专职环保员一名，负责企业环保工作，监督、检查环保设施的运行和维护及保养情况与环保制度的执行情况，不断提高全厂的环保管理水平；（2）建立和完善各项规章制度建立和完善企业环保管理制度和岗位责任制，保障环保设施的正常运转，同时要按照环保部门的要求，按时上报环保运行情况，以接受环保部门的监督。对照固定污染源排污许可分类管理名录（2019 年版），本项目属于“三十六、计算机、通信和其他电子设备制造业”中的 81 电子元件及电子专用材料制造 398，属于登记管理类别，企业应当在本191、项目启动生产设施或者发生实际排污之前申请取得排污许可证，制订和完善各项规章制度，制订环保管理制度和责任制，健全环保设备管理制度、安全操作规程和岗位责任制，设置各种设备运行台帐记录，规范工作程序，同时应制定相应的经济责任制，实行工效挂钩；建立日常档案，搞好环保统计，并及时处理可能出现的环境污染问题，做好废气处理设施运行记录台账和固废处置记录台帐。101六、结论综上分析，综上分析，xxxx科技有限公司xxxx科技有限公司年产年产 8.4 万片万片 6 英寸频率元器件芯片（温度英寸频率元器件芯片（温度补偿型声表面波滤波器芯片补偿型声表面波滤波器芯片）生产线技改项目生产线技改项目符合xx市符合xx市“192、三线一单三线一单”生态环境分生态环境分区管控要求，符合建设项目环境保护管理条例区管控要求，符合建设项目环境保护管理条例(国务院令第国务院令第 682 号号)“四性五不四性五不批批”要求要求，符合污符合污染物达标排放和主要污染物排放总量控制指标染物达标排放和主要污染物排放总量控制指标，符合项目所在地符合项目所在地环境功能区确定的环境质量环境功能区确定的环境质量，符合国家符合国家、地方产业政策地方产业政策、选址符合选址符合xx经济开发区xx经济开发区（中心区）总体规划（中心区）总体规划 修编（修编（2017-2035）以及以及规划规划环评要求。环评要求。项目建成投产后对区项目建成投产后对区域环境造193、成的影响较小域环境造成的影响较小，基本上能维持区域环境质量现状基本上能维持区域环境质量现状，项目实施后能维持当地项目实施后能维持当地的环境质量达到相应的功能要求。的环境质量达到相应的功能要求。因此因此，本报告认为本报告认为，在全面认真落实本报告中提出的各项环保管理和防范措施在全面认真落实本报告中提出的各项环保管理和防范措施后后，并做好并做好“三同时三同时”及环保管理工作及环保管理工作，确保污染防治设施正常运转确保污染防治设施正常运转，污染物达标污染物达标排放，项目从环保角度来说是可行的。排放，项目从环保角度来说是可行的。102附表建设项目污染物排放量汇总表项目分类污染物名称现有工程排放量（固体194、废物产生量）现有工程许可排放量在建工程排放量（固体废物产生量）本项目排放量（固体废物产生量）以新带老削减量（新建项目不填）本项目建成后全厂排放量（固体废物产生量）变化量废气丙酮000.0750.05200.1270.052NMP000.0080.00800.0160.008氟化物000.001560.010400.011960.0104氨气000.070.03600.1060.036VOCs 合计000.8620.60801.470.608废水水量1.765200.5860.729203.08040.7292CODCr0.88300.2930.36501.5410.365NH3-N0.0880195、0.0290.03700.1540.037一般工业固体废物边角料及废品2.9700.10.103.170.1废薄膜0.01800000.0180废抛光液0002702727废抛光布0000.00100.0010.001生活垃圾2407.218049.218废过滤棉0004044一般包装材料000.51.5021.5危险废物废氨液004.5307.53废光刻胶000.50.400.90.4103注：=+-；=-废去胶液003.52.405.92.4废 NMP004.22.5806.782.58废异丙醇004.5307.53废 PI 胶000.250.0200.270.02废活性炭00424.65196、046.650废包装桶及瓶001.8203.82废机油及机油桶000.50.5010.5废汞灯000.050.0500.10.05104专题一：环境风险评价专题专题一：环境风险评价专题1、风险源调查、风险源调查按照建设项目环境风险评价技术导则（HJ169-2018）(以下简称“导则”)规定，在进行建设项目风险评价时，首先要调查建设项目危险物质数量和分布情况、生产工艺特点。1.1 建设项目风险源调查建设项目风险源调查1、建设项目风险源调查建设项目风险源调查本项目厂区涉及危险物质其存储情况详见表 1.1-1。表表 1.1-1危险物质分布情况危险物质分布情况物料名称技改项目最大存储量厂区最大存储量存197、储位置丙酮0.020.05危化品仓库异丙醇0.51.25危化品仓库氟/氪/氖混合气（含氟量）0.000330.00066危化品仓库氨水（浓度20%）0.120.27危化品仓库机油0.51危化品仓库高浓度废液2.8457.145危废暂存场所危险废物（不包括高浓度废液）1.80512.955危废暂存场所2、主要危险物质、主要危险物质 MSDS项目涉及危险物质理化性质和毒理特征调查见附件 7。1.2 环境敏感目标排查环境敏感目标排查项目所在区域大气环境属二类功能区，执行大气环境质量标准的二级标准。大气环境风险受体主要为周边的居民点。根据调查，在项目所在地附近区域内有长山河饮用水源保护区，周边地表水属198、 III类水体功能区。极端事故情况下，厂区内事故废水如未能在厂内截流而溢流出厂区，废水可能经罗秋港进入长山河。项目西侧罗秋港地表水为自北向南流向长山河，南侧长山河流向为自东向西，排放点位于长水塘饮用水源准保护区下游，项目排放点下游（顺水流向）10km 范围内无建设项目环境风险评价技术导则（HJ 1692018）中附录 D 表 D.4 中类型 1 和类型 2 包括的敏感保护目标。项目所在地区无地下水饮用水取水点等敏感目标。105建设项目环境敏感特征表见下表。环境风险敏感目标位置图见图 1.2-1。表表 1.2-1建设项目环境敏感特征表建设项目环境敏感特征表类别环境敏感特征环境空气 22厂址周边 199、5km 范围内序号敏感目标名称相对方位距离/m属性人口数1弘德家苑W1020居住区约 1000 人2双山二里NE1300居住区约 500 人3双山社区E2870居住区约 1382 人4利民村SE2640居住区约 1632 人5双喜村SE3320居住区约 1689 人6xx市双山实验学校SE2360学校约 600 人7碧海社区SE4450居住区约 8563 人8横山社区SE4750居住区约 3518 人9泾长社区SE1900居住区约 1000 人10胜利社区SE2140居住区约 3922 人11火炬社区SE2740居住区约 1826 人12隆兴社区SE3390居住区约 729 人13洛隆社区SE200、3360居住区约 1600 人14海星村WS665居住区约 3343 人15硖西社区S4110居住区约 2332 人16西山社区SE4780居民区约 5819 人17xx市鹃湖学校SE4100学校约 1300 人18xx梅里达花园S3130居住区约 1296 人19亲亲家园S4380居住区约 921 人20桐乡屠甸社区W3540居住区约 3150 人21三建社区N1240居住区约 3000 人22xx市花园S3630居住区约 1494 人厂址周边 500m 范围内人口数小计500 人厂址周边 5km 范围内人口数小计5 万人大气环境敏感程度 E 值E1地表水受纳水体序号受纳水体名称排放点水域环201、境功能24h 内流经范围/km1长山河类/内陆水体排放点下游 10km（近海岸一个潮周期最大水平距离两倍）范围内敏感目标序号敏感目标名称环境敏感特征水质目标与排放点距离/m1长山河饮用水源准保护区/地表水环境敏感程度 E 值E2地下水序号环境敏感区名称环境敏感特征水质目标包气带防污性能与下游厂界距离/m1/类D2/地下水环境敏感程度 E 值E3106图图 1.2-1大气环境风险评价范围及敏感点分布图大气环境风险评价范围及敏感点分布图大气风险评价范围大气风险评价范围107图图 1.2-2地表水环境风险敏感点分布图地表水环境风险敏感点分布图企业位置900m水流向水流向水流向水流向1082、风险潜势202、初判风险潜势初判2.1 危险物质及工艺系统危险性危险物质及工艺系统危险性(P)分级分级(1)危险物质数量与临界量比值(Q)计算所涉及的每种危险物质在厂界内的最大存在总量与其对应的临界值的比值Q。在不同厂区的同一种物质，按其在厂界内的最大存在总量计算。对于长输管线项目，按照两个截断阀室之间管段危险物质最大存在总量计算。本项目设置的危化品仓库位于厂区西北侧区域，物质总量与其临界量比值 Q 计算公式如下：QnqnQqQqQ.2211式中：q1，q2qn每种危险物质的最大存在总量，tQ1，Q2Qn每种危险物质的临界量，t。当 Q1 时，该项目环境风险潜势为 I。当 Q1 时，将 Q 值划分为：(1)1203、Q10；(2)10Q100；(3)Q100。项目涉及的危险物质量及其 Q 值的计算见表 2.2-1。表表 2.2-1项目涉及的危险物质数量与临界量比值项目涉及的危险物质数量与临界量比值物料名称临界量技改项目最大存储量厂区最大存储量q/Q丙酮100.020.050.005异丙醇100.51.250.125氟/氪/氖混合气（含氟量）0.50.000330.000660.0014氨水（浓度20%）100.120.270.027机油25000.510.0004高浓度废液102.8457.1450.7145危险废物（不包括高浓度废液）501.80512.9550.2591合计1.1324从上表可以看出，204、本项目 Q 值为 1.1324，在 1Q10 范围内。（2）行业及生产工艺（行业及生产工艺（M）根据建设项目环境风险技术导则（HJ169-2018）中附录 C 中表 C.1，对照企109业所属行业及生产工艺情况，企业所属行业属于电子元器件制造，生产工艺不涉及石化、化工、医药等工艺，M 值为 5，属于 M4 类别。（3）危险物质及工艺系统危险性危险物质及工艺系统危险性(P)分级分级根据危险物质数量与临界量比值（Q）和行业及生产工艺（M），按照下表确定危险物质及工艺系统危险性(P)分级。表表 2.2-2危险物质及工艺系统危险性等级判断（危险物质及工艺系统危险性等级判断（P）危险物质数量与临界量比值205、（Q）行业及生产工艺（M）M1M2M3M4Q100P1P1P2P310Q100P1P2P3P41Q10P2P3P4P4综上分析，本项目危险物质及工艺系统危险性等级为 P4。2.2 环境敏感要素环境敏感要素(E)分级分级分析危险物质在事故情形下的环境影响途径，如大气、地表水、地下水等，根据建设项目环境风险评价技术导则(HJ169-2018)附录 D(以下简称导则)，对建设项目各要素环境敏感程度(E)等级进行判断，大气、地表水、地下水敏感性均分为三种类型，E1 为环境高度敏感区、E2 为环境中度敏感区、E3 为环境低度敏感区。根据 1.2 章节的环境敏感目标的排查，本项目大气环境敏感程度分级为 E206、1（环境高度敏感区）类型，地表水环境敏感程度等级为 E2（环境中度敏感区）类型，地下水环境敏感程度等级为 E3（环境低度敏感区）类型。2.3 建设项目环境风险潜势判断建设项目环境风险潜势判断建设项目环境风险潜势划分为 I、II、III、IV/IV+级。根据建设项目涉及的物质和工艺系统的危险性及其所在地的环境敏感程度，结合事故情形下环境影响途径，对建设项目潜在环境危害程度进行概化分析，按照表 2.3-1确定环境风险潜势。表表 2.3-1建设项目环境风险潜势划分建设项目环境风险潜势划分环境敏感程度(E)危险物质及工艺系统危险性(P)极高危害(P1)高度危害(P2)中度危害(P3)轻度危害(P4)环207、境高度敏感程度(E1)IV+IVIIIIII环境中度敏感程度(E2)IVIIIIIIII环境低度敏感程度(E3)IIIIIIIII110注：IV+为极高环境风险表表2.3-2本项目环境风险潜势判定结果本项目环境风险潜势判定结果类别危险物质及工艺系统危险性(P)环境敏感程度（E）风险潜势单项综合大气环境P4E1IIIIII地表水环境E2II地下水环境E3根据表 2.3-2 建设项目环境风险潜势划分，本项目环境风险潜势为 III。2.4 评价等级评价等级根据评价工作等级划分表 2.4-1 所示，本项目大气环境的风险评价等级为二级，地表水环境的风险评价等级为三级，地下水可做简要分析。表表 2.5-1208、评价工作级别评价工作级别环境风险潜势、+评价工作等级一二三简单分析aa 是相对详细评价工作内容而言，在描述危险物质、环境影响途径、环境危害后果、风险防范措施等方面给出的定性的说明。2.5 环境敏感目标环境敏感目标项目地点位于xx经济开发区泛半导体产业园。根据现状调查，本项目风险环境敏感点分布如表 1.2-1 和图 1.2-1 所示。3、环境风险识别、环境风险识别3.1 物质风险性识别物质风险性识别本项目主要原材料包括丙酮、异丙醇等物质，其危险特性见表 2.2.2 章节中的原辅材料理化性质和附件 7。3.2 生产系统危险性识别生产系统危险性识别根据项目生产工艺，本项目主要事故类型可以分为泄漏、火209、灾与爆炸。本项目涉及生产系统危险性见表 3.2-1。表表 3.2-1生产系统危险性识别生产系统危险性识别序号危险单元危险物质风险源潜在风险源存在条件事故触发因素1生产车间氨水、异丙醇、丙酮、危险废物等危化品原料常压点火源、泄漏等2危化品仓库危化品原料常压3危废暂存场所桶装、防渗常温常压1114废气处理装置有机废气常温3.3 危险物质向环境转移的途径识别危险物质向环境转移的途径识别根据对环境风险物质的筛选和工艺流程确定风险单元主要为：生产车间，危化品仓库，危废暂存场所，环保处理设施：污染治理设施失效，使项目污染物大量排放，对环境产生影响以及火灾危险性。本项目潜在事故风险主要表现在以下几个方面：（210、1）大气污染环境风险生产过程大气污染环境风险主要体现在两个方面：一是在生产过程中由于操作不当或生产设备泄露导致化学危险品因挥发而产生废气；二是废气处理设施故障而导致废气非正常排放。（2）火灾、爆炸环境风险在生产过程中，原辅材料中有机原料属于易燃物质，遇到明火会发生火灾爆炸。（2）仓储过程危险性分析有毒有害原辅材料和危险固废的储放过程中保管不严密，发生泄漏，从而导致中毒和爆炸等事故，或被用于不正当途径；可燃物品（丙酮、异丙醇等）储存区发生火灾，造成财产损失，人员伤亡及环境污染；运输过程可能发生的风险主要有：物料包装桶封口不严、装卸过程碰撞、运输过程颠簸导致桶口松散、与锐物接触等原因而发生泄漏，遇211、明火可能发生火灾。3.4 环境风险类型及危害分析环境风险类型及危害分析项目环境风险类型包括危险物质泄漏、火灾、爆炸等引发的伴生/次生污染物排放，具体如表 3.4-1 所示。表表 3.4-1物质及生产系统危险性识别一览表物质及生产系统危险性识别一览表序号环境风险类型危险物质向环境转移的可能途径及影响方式1泄漏危化品仓库、生产车间和危废暂存场所泄漏污染地表水、大气和土壤环境，泄漏后可能排入 12 号渠2火灾遇到明火，易燃危险物质发生火灾，污染大气环境，消防水污染水环境3爆炸发生火灾后引发附近危险源，可能发生爆炸1123.5 环境风险识别结果环境风险识别结果表表 3.5-1建设项目环境风险识别表建设212、项目环境风险识别表序号危险单元主要风险物质环境风险类型环境影响途径可能受影响的环境敏感目标1生产车间氨水、异丙醇、丙酮等泄漏、火灾、爆炸大气扩散、地表径流大气环境，地表水环境2危化品仓库氨水、异丙醇、丙酮等泄漏、火灾、爆炸大气扩散、地表径流大气环境，地表水环境3危废暂存场所危险废物泄漏大气扩散大气环境4废气处理装置超标废气泄漏大气扩散大气环境4、风险事故情形分析、风险事故情形分析本次环评事故风险评价不考虑工程外部事故风险因素（如地震、雷电、战争、人为蓄意破坏等），也不考虑危害范围只限于厂内的小事故，主要考虑可能对厂区外居民和周围环境造成污染危害的事故。假想的事故应当是可能对厂区外敏感点和周围环213、境造成较大影响的可信事故。最大可信事故是在所有预测的概率不为零的事故中，对环境或健康危害最严重的事故。如果最大可信事故的风险值是在可以接受水平内，则项目的风险认为是可以接受的；如果最大可信事故的风险超过可接受水平，则需采取降低事故风险的措施，以达到可接受水平。（1）火灾爆炸风险火灾爆炸风险根据调查，物料泄漏的主要原因是投料时操作不当、储料桶使用时间过长而破损。其中较为常见的是由于操作失误所产生的泄漏。若不及时控制泄漏，将会对周边环境造成重大影响。本项目风险物质异丙醇在储存区最大储存量为 1.25 吨，丙酮最大储存量为 0.05吨，均属于易燃易爆物质，遇热、明火、火花会着火，污染周边环境。（2）214、废气治理风险事故影响分析）废气治理风险事故影响分析根据前述分析，废气事故排放主要来自有机废气处理系统。一旦处理系统发生事故，有机废气未经处置直接排放，将对周边环境产生一定不利影响。非正常工况下，活性炭吸附装置未经处理直接排放，有机废气将出现超标现象，对环境会产生一定影响。因此企业需要做好废气治理工作，同时日常生产过程中加强管理，一旦发生废气113收集效率或处理效率下降等非正常工况时，及时停产停车进行维修，确保废气不对周边环境造成不利影响。（3）废水事故排放风险分析）废水事故排放风险分析废水处理站在正常运行情况下不会对污水处理厂和周边水体造成不利影响，但随着设施的多年运转，在污水处理过程中难免发215、生设施故障，小故障可随时排除并恢复正常运行，遇到大故障就要避免污水处理过程的突发环境事件的发生。企业污水处理利用泛半导体产业的污水处理系统处理。事故发生时，为保证废水（包括消防水以及泄漏的物料等）不会排到环境水体当中，园区已建设相应的事故应急池及配套泵、管线，收集并暂存生产装置及原料仓库去发生重大事故进行事故应急处理时产生的废水。根据现场调查，园区事故应急池大小为 245m3。极端情况下，污水泵站由于长时间停电或污水水泵损坏，排水不畅时易引起污水满溢，造成大量污水外溢，污染地表水和地下水。根据调查，本项目所在xx市经济开发区北区范围内有一处饮用水源保护区，本项目厂界距离长水塘xx饮用水源准保护216、区约 900m。极端情况下可能存在外溢废水从地表水向长山河甚至准保护区转移扩散的风险。经过现场踏勘，项目建设地位于长水塘饮用水源准保护区下游，项目西侧罗秋港地表水为自北向南流向长山河，南侧长山河流向为自东向西，排放点水流向为远离饮用水源保护区方向，附近地表水体流向示意图见图 1.2-2。根据调查，长水塘饮用水源保护区两侧还建有长水塘生态湿地廊道，平均宽度不小于 450m，占地近 240 公顷，生态湿地中包含了预处理区、曝气充氧区、表流湿地区、根孔生态净化区、深度净化区等五大功能区，对保护水源水质起着非常重要的作用，在保障供水安全的同时提高区域供水的抗风险能力。综上分析，本项目距离水源保护区距离217、较远，同时结合附近地表水流向分析，本项目事故情况下废水泄漏向饮用水源转移的风险可能性较小。2）泄漏物料的处理措施）泄漏物料的处理措施对于泄漏物料，要求建设单位将其收集后送往有资质单位处理。（4）地下水及土壤事故排放风险分析）地下水及土壤事故排放风险分析本项目厂区地面已水泥硬化做好了防渗措施，一般情况不会对一楼周边土壤及地下水环境产生影响。危废暂存场所地面四周要求做好导排渠。本环评要求企业对各个114地上功能单元实行分级防渗，对危化品仓库、危废暂存场所作为重点防渗污染区，地上功能单元一旦出现泄漏容易发现，即使进行防漏、堵漏，并对泄漏物料及时进行转移处置，不会对地下水及土壤环境产生影响。5、环境风218、险影响预测、环境风险影响预测5.1 废气事故排放风险分析废气事故排放风险分析对于本项目的区域大气环境风险而言，废气治理设施发生故障造成废气超标排放，有机溶剂等物料桶泄漏，使泄漏物料挥发污染大气环境。根据4.2章节废气污染源分析中表4.2-7中给出了废气处理装置无法正常工作时废气非正常排放的排放量（假定非正常排放时有机废气的去除率为 0）。根据环境影响评价技术导则 大气环境（HJ2.2-2018），本次采用附录 A 中推荐的估算模型（AERSCREEN）对本项目非正常排放时的废气进行估算预测，预测参数见表 5.1-1 和表 5.1-2 所示，预测结果见表 5.1-3。表表 5.1-1本项目本项目219、废气处理装置失效情况下废气处理装置失效情况下点源排放参数汇总表点源排放参数汇总表编号排放源排气筒情况排放烟气情况排放小时排放速率（kg/h）底部中心坐标高度m内径m流速m/s温度工况DA001酸碱喷淋塔排气筒经度120.66045，纬度 0.574255150.75.825非正常/氨气0.057氟化物0.0863DA002有机废气处理排气筒经度120.659920，纬度 30.574392150.816.625非正常/VOCs 合计0.8075表表 5.1-2本项目本项目废气处理装置失效情况下废气处理装置失效情况下主要污染源估算结果表（主要污染源估算结果表（有组织有组织）污染源污染因子最大落地220、浓度（g/m3）最大浓度落地点（m）评价标准占标率是否达标DA001氨气8.01011012004.0%达标氟化物28.55910120142.8%超标DA002VOCs 合计113.5296512009.5%达标非正常工况下，本项目排放的废气中氟化物将超标排放，其他污染物虽然达标，但也较正常排放时对周围环境的影响明显增大，因此一旦发生事故，应立刻停止生产进行检修，并及时通知下风向居民疏散。为避免事故废气排放造成环境风险，企业应115设立专人负责厂内环保工作，负责对废气治理设施的管理和维修，并设立报警装置，加强危险化学品的管理，发现异常及时作出处理。一旦发生事故，应立刻停止生产进行检修，并及时221、通知下风向居民疏散。5.2 物料泄露对地表水、土壤及地下水环境影响分析物料泄露对地表水、土壤及地下水环境影响分析本项目液体原料均采用包装桶贮存，考虑多个包装桶同时泄漏的可能性很小，而单个包装桶容量较小，泄漏量不大。经及时收集、处置泄漏物料，同时将泄漏物料废液导入应急池，保证泄漏物料不进入周边地表水、土壤及地下水，则物料泄漏事故的影响可控制在较低水平。6、环境风险防范措施及应急要求、环境风险防范措施及应急要求项目实施后企业应根据企业事业单位突发环境事件应急预案备案管理实施办法（试行）和企业突发环境事件风险分级方法等文件规范要求，及时编制突发环境事件应急预案，报xx市生态环境局xx分局备案。6.1222、 泄漏事故应急处理措施泄漏事故应急处理措施本项目液体原料均采用包装桶贮存，单个包装桶容量较小，泄漏量不大。企业应在危化品仓库四周设置导排渠，一旦出现原料泄漏，可将原料堵在危化品仓库及围堰内，减少污染。同时根据物料特性做好防护措施。6.2 运输过程风险防范措施运输过程风险防范措施运输过程风险防范包括交通事故预防、运输过程设备故障性泄漏防范以及事故发生后的应急处理等。（1）本项目危险品的运输主要采用车运，应做到定车、定人、定线和定时。定车就是要把装运危险物品的车辆、工具相对固定，专车专用。定人就是要把管理、驾驶、押运及装卸等工作的人员加以固定，这样就保证危险物品的运输任务始终是有专业知识的专业人员223、来担负，从人员上保障危险物品运输过程的安全。定线和定时就是运输工具需在有关部门指定的时段内通过指定的运输路线运输。（2）运输装卸过程也要严格按照国家有关规定执行。装运的危险物品必须在其外包装的明显部位按规定粘贴危险货物包装标志（GB 190-85）规定的危险物资标记，包括标记的粘贴要正确、牢固。同时具有易燃、有毒等多种危险特性时，则应根据其不同危险特性而同时粘贴相应的集中包装标志，以便一旦发生问题时，可以进116行多种防护。（3）每次运输前应准确告诉司机和押运人员有关运输物质的性质和事故应急处理方法，确保在事故发生情况下仍能事故应急，减缓影响。6.3 贮存过程风险防范措施贮存过程风险防范措施贮224、存过程事故风险主要是因设备泄漏或遭雷击而造成的火灾爆炸、水质污染等事故，是安全生产的重要方面。（1）应防止事故情况下异丙醇、丙酮等泄漏物料进入项目附近水体。危化品仓库地面必须硬化，四周必须设置导排渠与事故应急池相连，一旦发生泄漏事故，可将事故废水或消防废水排入事故应急池中，送往有资质单位处理。（2）建立完善的应急措施，厂区内按规范配备足够的消防器材，以防止火灾、爆炸时物料外泄。（3）做好生产区的安全防护，加强通风、防火防爆设施的配备；装卸物料应严格操作规程，文明操作，防止事故性排放。（4）要严格遵守有关贮存的安全规定，具体包括仓库防火安全管理规则、建筑设计防火规范、易燃易爆化学物品消防安全监督225、管理办法等。（5）危险化学品出入库必须检查验收登记，贮存期间定期养护，控制好贮存场所的温度和湿度；装卸、搬运时应轻装轻卸，注意自我防护。（6）贮存危险化学品的仓库管理人员，必须经过专业知识培训，熟悉贮存物品的特性、事故处理办法和防护知识，持证上岗，且须配备个人防护用品。（7）贮存的危险化学品必须设有明显的标志，并按国家规定标准控制不同单位面积的最大贮存限量。6.4 生产过程风险方案措施生产过程风险方案措施生产操作过程中，必须加强安全管理，提高事故防范措施。做好突发性环境污染事故的预防，提高对突发事故性污染事故的应急处理和处置能力。生产操作过程中发生突发性污染事故的诱发因素很多，其中被认为重要的226、因素有以下几个方面：（1）设计路线上存在缺陷；（2）设备质量差，或因无判废标准（或因不执行判废标准）而过度超时、超负荷运转；（3）管理或指挥失误；（4）违章操作。对突发性污染事故的防治对策应从以下几点严格控制和管理，加强事故措施和事故应急处理的技能，懂得紧急救援的知识。“预防为主，安全第一”是减少事故发生、117降低污染事故或损害的主要保障，建议做好一下几方面的工作。（1）提高认识、完善制度、严格检查企业领导应提高对突发性事故的警觉和认识，做到警钟常鸣，企业安全与环保科应由企业领导直接领导，全权负责。主要负责检查和监督全场的安全生产和环保设施的正常运转情况。对安全和环保应建立严格的防范措施，制227、定严格的管理规章制度，列出潜在危险的过程、设备等清单，严格执行设备检验和报废制度。（2）加强技术培训，提高职工安全意识职工安全生产的经验不足，一定程度上会增加事故发生的概率。因此，企业对生产操作工人必须进行岗前培训，严格管理，提高职工安全环保意识。（3）提高事故应急处理的能力企业应对高危害设备设置保险措施，对危险车间设置消防装置，并辅以适当的通讯工具，定期进行安全环保宣传教育及应急模拟演习，提高事故应变能力。6.5 末端处置过程风险防范末端处置过程风险防范（1）废气治理措施必须确保正常运行，如发现人为原因不开启废气治理设施，责任人应受行政和经济处罚，并承担事故排放责任。若末端治理措施因故不能运228、行，则生产必须停止。（2）为确保处理效率，在车间设备检修期间，末端处理系统也应同时进行检修，日常应有专人负责进行维护。6.6 风险应急物资配备情况风险应急物资配备情况对照生态环境部发布的应急资源调查指南（试行），企业需配置一定数据的应急物质，具体见表 6.6-1 所示。表表 6.6-1公司应急物资汇总一览表公司应急物资汇总一览表名称数量存放位置消火栓若干各车间、仓库无线对讲机4 个各车间、办公楼耐酸碱长靴6 双危化品仓库安全头盔10 个各车间、仓库急救物资若干办公楼沙土若干危化品仓库118应急灯具若干各车间、仓库有盖空桶10 个仓库防毒面具3 个各车间、仓库7、分析结论、分析结论7.1 小结小229、结风险评价结果表明，在落实各项环保措施和本评价所列的环境风险防范措施，加强风险管理的条件下，项目的环境风险是可防可控的，环境风险可以接受。因此，企业要切实落实环评提出的各项风险防范措施，定期维护应急物资和设施，确保应急物资和设施运营正常，加强环境风险管理，及时制订突发环境事件应急预案，报xx市生态环境局xx分局备案，从源头把风险事件发生概率及对环境影响降到最低。7.2 建议建议项目实施后应加强应急演练，加强本单位应急体系建设，提高应急人员的应急能力，以保证若发生事故能第一时间采取正确的应急响应行动。7.3 环境风险评价自查表环境风险评价自查表表表 7.3-1环境风险评价自查表信息表环境风险评价230、自查表信息表工作内容完成情况风险调查危险物质名称异丙醇 1.25t、丙酮 0.05t、氟/氪/氖混合气 0.00066t、氨水 0.27t、机油 1t、高浓度废液 7.145t、危险废物 12.955t 等存在总量/t环境敏感性大气5km 范围内人口数大于 50000 人地表水地表水功能敏感性F1 F2 F3环境敏感目标分级S1S2 S3地下水地下水功能敏感性G1 G2 G3包气带防污性能D1 D2 D3物质及工艺系统危险性Q 值Q11Q1010Q100Q100M 值M1M2M3M4P 值P1P2P3P4环境敏感程度大气E1E2E3地表水E1E2E3地下水E1E2E3环境风险潜势+I评价等级一231、级二级三级简单分析风险识别物质危险性有毒有害易燃易爆环境风险类型泄漏火灾、爆炸引发伴生/次生污染物排放影响途径大气地表水地下水119事故情形分析源强设定方法计算法经验估算法 其他估算法 风险预测与评价大气预测模型SLAB AFTOX 其他 预测结果大气毒性终点浓度-1 最大影响范围/m大气毒性终点浓度-2 最大影响范围/m地表水最近环境敏感目标/，到达时间/h地下水下游厂区边界到达时间/d最近环境敏感目标/，到达时间/d重点风险防范措施做好建筑安全防范措施、原料及产品贮运、生产过程火灾风险防范措施、工艺技术设计安全防范措施、电气、电讯安全防范措施、消防及火灾报警系统、管道安全防范措施、事故应急232、预案等。评价结论与建议在防渗措施落实到位的前提下，风险可接受注：“”为勾选项，“”为填写项。附图附图 1项目地理位置图项目地理位置图企业所在位置附图附图 2-1项目一楼生产车间项目一楼生产车间平布置图平布置图废气处理装置（三楼楼顶）废气处理装置（三楼楼顶）园区污园区污水站水站危废暂存场所危废暂存场所（A18 号楼内号楼内）技改项目技改项目所在车间所在车间企业一楼厂区生产边界企业一楼厂区生产边界附图附图 2-2项目二楼生产车间项目二楼生产车间平布置图平布置图其他企业其他企业二楼区域范围二楼区域范围附图附图 2-3项目三楼生产车间项目三楼生产车间平布置图平布置图三楼区域范围三楼区域范围附图附图 3项目噪声项目噪声及地下水及地下水监测点布置图监测点布置图企业位置企业位置噪声监测点位噪声监测点位4#1#2#3#大气评价范围附图附图 4xx市环境管控单元分类图xx市环境管控单元分类图企业所在位置附附图图 5建设项目水环境功能区划图建设项目水环境功能区划图企业位置附图附图 6环境空气质量功能区划图环境空气质量功能区划图企业位置