1、建设项目环境影响报告表（污染影响类）项目名称：【2022 】9 号 6 英寸半导体集成电路制造生产线项目 建设单位（盖章）：xx集成电路（xx）有限公司 编制日期： 2023 年 3 月 目 录一、建设项目基本情况1二、建设项目工程分析21三、区域环境质量现状、环境保护目标及评价标准 104四、 主要环境影响和保护措施 129五、环境保护措施监督检查清单234六、结论 240附表241专题一：环境风险专项评价 243附图：1 、项目地理位置图；2 、项目周边环境示意图；3 、项目厂区平面布置图；4 、xx市“三线一单”生态环境分区管控方案；5 、地表水环境功能区划图；6 、xxxx芯谷核心区块2、用地规划图；7 、项目分区防渗图。附件：1 、xx省企业投资项目备案（赋码）信息表；2 、企业营业执照复印件；3 、不动产权证书；4 、环境质量现状监测报告；5 、危废处置承诺书；6 、项目污水纳管承诺书；7 、环评措施法人承诺书、法人承诺书；8 、物料 MSDS；9 、授权委托书；10 、企业投产前落实交易的承诺；11 、删除不宜信息公开说明、信息公开说明；12 、信用承诺书；13 、请求审批的函；14 、专家评审意见及修改清单。一、建设项目基本情况建设项目名称 9 号 6 英寸半导体集成电路制造生产线项目项目代码建设单位联系人联系方式建设地点地理坐标国民经济 行业类别集成电路制造（39733、）建设项目 行业类别三十六、计算机、通信和其 他 电 子 设 备 制 造 业 3980 电 子 器 件 制 造 397集成电路制造建设性质新建（迁建） 改建扩建技术改造建设项目 申报情形首次申报项目不予批准后再次申报项目超五年重新审核项目重大变动重新报批项目项目审批（核准/备案）部门（选填）xx区xxxx新区行政审批局项目审批（核准/备案）文号（选填）2203-330114-89-01-215549总投资（万元） 85000xx投资（万元）4750xx投资占比（%）5.59%施工工期36 个月是： 是否开工建设 否用地（用海） 面积（亩）70.60专项评价设 置情况根据建设项目环境影响报告表编4、制技术指南（污染影响类）（试 行），环境风险开展专项评价，大气、地表水、生态和海洋不开展专项评价，判定依据见表1-1。表1-1 专项评价设置判定情况专项评价 的类别设置原则本项目情况是否设置 专项评价大气排放废气含有毒有害 污染物1、二噁英、苯 并a芘、氰化物、氯 气且厂界外500米范围 内有环境空气保护目 标2的建设项目。本项目排放废气涉及有 毒有害污染物氯气，但 项目厂界外500米范围 内无环境空气保护目标 （含规划保护目标）， 因此本项目无需设置大 气专项评价。否 1 地表水新增工业废水直排建 设项目（槽罐车外送污 水处理厂的除外）；新 增废水直排的污水集 中处理厂。本项目生产废水纳管排5、 放。否环境风险有毒有害和易燃易爆 危险物质存储量超过 临界量的建设项目。本项目有毒有害和易燃易爆危险物质存储量超 过临界量。是生态取水口下游500米范围 内有重要水生生物的 自然产卵场、索饵场、 越冬场和洄游通道的 新增河道取水的污染 类建设项目。本项目所在地取水口下游500米范围内无重要水生生物的自然产卵场、索饵场、越冬场等生态保护目标。否海洋直接向海排放污染物 的海洋工程建设项目。本项目不涉及直接向海 洋排放污染物。否注：1.废气中有毒有害污染物指纳入有毒有害大气污染物名录的污染物（不包括无排放标准的污染物）。环境空气保护目标指自然保护区、风景名胜区、居住区、文化区和农村地区中 人群较集6、中的区域。规划情况规划名称：xx大xx产业集聚区管理委员会和xx市城市规划设计研究院于2017年2月由共同编制完成xx大xx产业集聚区（大江东新区）分区规划；审批机关：/；审查文件名称及文号：/规划环境影响评价情况规划环评：xxxx芯谷核心区块总体规划环境影响报告书；召集审查机关：xx省生态环境厅；审查文件名称及文号：规划及规划环境影响评价符合性分析1 、与xx大xx产业集聚区（大xx新区）分区规划符合性分析1）规划简介xx 大xx产业集聚区管理委员会和xx 市城市规划设计研究院于 2017 年 2 月由共同编制完成xx 大xx产业集聚区（大xx新区）分区规划。规划范围：东、西、北均以xx江界7、线为界，南至红十五线、十二棣横河及绍兴县接壤的北侧河道，西南至xxxx工业园区与xx 2 空港经济开发区的边界线。规划总面积 427 平方千米，其中陆域面积348 平方千米，xx江水域面积 79 平方千米。地域范围覆盖河庄、义蓬、新湾、xx、前进 5 个街道的行政管辖区域及党湾镇部分用地。规划期 限： 20152030 年 。其中 ：近期 20152020 年； 远期20212030 年。目标定位：战略目标建设国家级新区，打造“智慧大xx、魅力生态城”。近期重点建设以智慧和人才为导向的产业平台，侧重吸引人口集 聚，逐步强化制造业功能，并结合智慧产业及生态特色带动区内公共服务配套完善。远期逐步成8、为产城融合、生态和谐、创新高效、服务完善的国际一流的智慧新区和魅力彰显的生态新区。功能定位三区一城，即“ 国家自主创新示范区、长三角产城人融合先行区、xx产业转型升级引领区、xxxx智慧生态新城”。特色定位：创新智造航母、陆空海一体门户、生态休闲江湾、宜居宜业家园。规划布局结构：规划形成“ 四区多园、三心多片” 的产业空间结构。“ 四区” ：即xx、前进、xx、临空四大产业片，分别分布于由钱江通道和xx大道构成的四个象限内。每个人产业片区基本包含四项要素，分别为特色产业园、物流园、创新单元和创新策源地。“ 多园” ：即“7+X”产业园，包括汽车及零部件产业园、新能源新 材料产业园、轨道交通产业9、园、机器人及自动化产业园、临空产业园、生命健康产业园、航空航天产业园等 7 个主导产业园区。“三心”：即三级服务中心，包括“城市服务核心产业服务中心产业邻里中心和创新单元中心”。“ 多片” ：即多个旅游休闲片，包括江海湿地休闲片、xx观潮度 3 假园、生态都市农业园，分别位于大xx 的东西南北。产业空间布局引导（节选四大产业片）：A.xx产业片区：重点发展xx先进装备制造园、xx战略新兴产业园等 2 处特色产业园区，1 处公铁联运物流园，智慧服务园、总 部经济园、花园研发园等 3 处创新单元，职教小镇、高教科研园等 3处创新策源地。B.前进产业片区：重点发展前进先进装备制造园、前进战略新兴 产10、业园等 2 处特色产业园区，1 处前进物流园，1 处前进创新单元，以 2 所中等专业学校作为创新策源地。C.xx产业片区：重点发展xx高新技术产业园、xx新材料产 业园等 4 处特色产业园区，1 处xx智慧物流园，3 处xx创新单元，xx职业高中、xx高中等 2 处创新策源地。D.临空产业片区：重点发展临空会展商贸园、临空制造园、民营经济创新园等 3 处特色产业园，1 处临空xx物流园，以xx高教科研园为创新策源地。2）规划符合性分析：本项目位于xx 市xx 区xx片区，该区是重点发展xx先进装备制造园、xx战略新兴产业园等 2 处特色产业园区。本项目属于集成电路制造，不属于禁止、 淘汰类项目11、，符合该区域的功能定位。根据xx大xx产业集聚区（大xx新区）分区规划（2015-2030）的用地规划图可知，项目拟建地规划为工业用地，本项目属于集成电路制造，其未与规划冲突。同时对照xx区产业发展导向目录与产业平台布局指引（钱政办发20226 号）， 本项目属于“鼓励类目录” 中的“B01 39 英寸半导体硅片、12 英寸半导体硅片等；8 英寸及以下特色工艺生产线、虚拟 IDM 生产线、12 英寸数字芯片生产线” 。综合上述分析，本项目建设符合xx大xx产业集聚区（大xx新区）分区规划要求。2 、与xxxx芯谷核心区块总体规划环境影响报告书符合性分析 4 1与规划环境影响评价结论符合性分析生12、态空间清单符合性本项目所在区域生态空间清单见下表1-2。表1-2 项目所在区域生态空间清单（修编后）环境管控单元编码环境管控单元名称生态空间范围示范 图管控要求现状用地类型ZH330 109200 13单元山 大 东 业 聚 点 控萧 区 江 产 集 重 管1.根据产业集聚区块的功 能定位， 建立分区差别化 的产业准入条件；2.合理规划居住区与工业 功能区， 在居住区和工业 区、工业企业之间设置防 护绿地、生活绿地等隔离 带；3.严格实施污染物总量控 制制度，根据区域环境质 量改善目标，削减污染物 排放总量；4.所有企业实现雨污分流； 5.强化工业集聚区企业环 境风险防范设施设备建设 和正常运13、行监管，加强重 点环境风险管控企业应急 预案制定，建立常态化的 企业隐患排查整治监管机 制，加强风险防控体系建 设。工业 用地、 农林 用地符合性分析：（1）本项目属于集成电路制造，不属于禁止、淘汰类项目，符合该区域的功能定位。（2）本项目所在地与周边的居住区之间设置了一定的防护隔离带，能够确保人居环境安全和群众身体健康。（3）本项目严格实施污染物总量控制制度，新增污染物总量进 行区域平衡替代削减，不会改变项目所在区域环境质量等级，不突破环境质量底线。（4）本项目要求企业落实雨污分流，落实“污水零直排”建设。（5）本项目建设单位承诺严格按照环评要求落实各项风险防范 5 措施、应急措施，并在项目14、投产前编制突发环境事件应急预案，建立风险防控体系。综上，本项目符合所在区域生态空间清单的管控要求。环境条件准入清单符合性本项目所在区域环境准入条件清单见下表 1-3。表 1-3 环境准入条件清单（修编后）-节选区块示意范围图分 类行业清单工艺清单产 品 清 单xx区大xx产业集聚重点管控单元 2（ZH33010920013）准禁止农 入 类 产 业新建、扩建火力 发电（燃煤）； 49 、饲料添加 剂、食品添加剂 制造（单纯混合 或分装外的）； 111、纺织品制 造（有染整工段 的）；114 、原 油加工、天然气 加工、油母页岩 提炼原油、煤制 原油、生物制油 及其他石油制 品；117 、基本 15、化学原料制造；药制造；涂料、染料、颜料、 油墨及其类似 产品制造；合成 材料制造；专用 化学品制造；炸 药、火工及焰火 产品制造；水处 理剂等制造（单 纯混合或分装 外的）；118 、 肥料制造：化学 肥料制造（单纯 混合和分装外 的）；119 、 日 用化学品制造 （肥皂及洗涤 剂制造中的以 油脂为原料的/ 6 肥皂或皂粒制 造，香料、香精 制造中的香料 制造，以上均不 含单纯混合或 者分装的）；120 、化学药品 制造（单纯混合 或分装外的）； 121 、化学纤维 制造（单纯纺丝 除外）；123 、 轮胎制造、再生 橡胶制造、橡胶 加工、橡胶制品 制造及翻新（轮 胎制造；有炼化 及硫化工艺16、的）； 131 、铁合金制 造；132 、有色 金属冶炼（含再 生有色金属冶 炼）；133 、有 色金属合金制 造；135 、金属 制品表面处理 及热处理加工 （有电镀工艺 的（现有企业不 增加总量技改 项目除外）；有钝化工艺的热 镀锌）。/涉及电 镀、酸洗、 磷化、电 化学镀、 铸造工艺 金属制品 制造（省、 市重点项 目配套的 金属表面 处理等必 须工艺环节除外/单纯的表 面喷涂项/ 7 目/55 、含湿 法印花、染色、水洗工艺的服装制造/在距离居住区边界200 米范围内布置溶剂型油漆喷涂项目/禁止危化品货 物分拨中心和 仓库建设；危险 化学品/危险废 物仓储（企业配套原料或产品 库除外）17、/废旧资源（含生物质）加工再生、利用等/57、制鞋业制造（使用有机溶 剂的）；/限 制 准 入 类 产 业/现有氨纶、锦纶等三类项目技改不得增加产能，且污染物削减量不低于区域减排目标。/规划环评符合性分析本项目属于“xx区大xx产业集聚重点管控单元 2（ZH33010920013）”。根据环境准入条件清单表对照，本项目不属于 环境准入条件清单中禁止准入类和限制准入类产业，符合开发区的空间准入标准、产业准入和行业准入要求。项目实施后，生活污水经化粪池预处理、生产废水经厂区污水处 8 理设施预处理后纳入xx xx污水处理厂处理达标排放；酸性废气经酸性废气洗涤塔处理后高空排放；工艺尾气经过 POU（18、燃烧水洗/触 媒吸附/干式吸附）后经酸性废气洗涤塔处理后高空排放；碱性废气经 碱性废气喷淋塔处理后高空排放；有机废气收集后经沸石浓缩转轮焚 烧系统处理后高空排放；锅炉天然气燃烧装置配备低氮燃烧器。生活 垃圾经集中收集后委托当地环卫部门清运；危险固废暂存危废仓库委 托有资质的单位处理；一般固废出售；厂区内进行构筑物隔声、基础 减震。因此，“三废”和噪声经采取适当的污染防治措施后能够达到规 划环评中提出的相应污染物排放标准要求。另外通过预测分析可知，项目在采取适当的污染防治措施后，废水、废气均能达标排放，不会对区域环境造成明显影响。因此，本项目建设总体符合xxxx芯谷核心区块总体规划环境影响报告书19、 相应要求。其他符合性 分析1 、关于以改善环境质量为核心加强环境影响评价管理的通知（环环评2016150号）中“三线一单”符合性分析表 1-2 “三线一单”符合性分析“三线一单”符合性生态保护红 线本项目位于xx市xx区，地块东至建一路，南至xx七路，西 至空地，北至xx二路规划绿化，属于xx区大xx产业集聚重点管控单元 2。根据xx省人民政府关于发布xx省生态保护红线的通知（浙政发201830 号），本项目不在生态功能生态保 护红线内，不触及生态保护红线。环境质量底 线环境空气质量目标为环境空气质量标准（GB3095-2012）中的 二级标准，项目所在区域为达标区；水环境质量目标为地表水 20、环境质量标准（GB3838-2002）类水标准；声环境质量目标为 声环境质量标准（GB3096-2008） 中3类标准规定要求。根据 环境质量现状监测数据，本项目拟建区域大气环境、水环境、声 环境和土壤环境质量均能达到相应标准的要求。根据环境影响分 析，若能依照本环评要求的措施合理处置各项污染物，则本项目 各项污染物不会改变项目所在区域环境质量等级，不触及环境质 量底线。资源利用上 线本项目不属于高耗能项目，用水来自工业区供水管网， 用电来自 市政供电。项目建成运行后通过内部管理、设备选择、 自动化控 制、原辅材料的选用和管理、废物回收利用、污染治理等多方面 采取合理 可行的防治措施，以“节约21、降耗、减污”为目标，实现 节能减排。因此， 本项目的实施不会突破该区域的资源利用上线。生态环境准 入清单经对照xx市 三“线一单 生”态环境分区管控方案，本项目符 合xx市“三线一单”生态环境分区管控方案中的“xx区大江 东产业集聚重点管控单元 2（ZH33010920013）” 的管控要求。 9 2 、“三线一单”生态环境分区管控方案符合性分析根据xx市“三线一单”生态环境分区管控方案，本项目位于xx区大xx产业集聚重点管控单元2，编码：ZH33010920013。生态环境分区符合性分析见表1-3。表1-3 “三线一单”生态环境分区管控方案符合性分析项目要求项目实际情况结论空间分布约束根据22、产业集聚区块的功能定位，建 立分区差别化的产业准入条件。合 理规划居住区与工业功能区，在居 住区和工业区、工业企业之间设置防护绿地、生活绿地等隔离带。本项目位于xx市钱塘区，地块东至建一 路，南至xx七路，西至空地，北至xx二路规划绿化。项目所在区 以先进制造业为主体， 本项目属于集成电路 制造，不属于禁止、淘 汰类项目，符合该区域 的功能定位，本项目与 周围居住区之间存在 道路防护绿地，满足空 间布局引导方面的管 控要求。符合污染物排放管控严格实施污染物总量控制制度，根 据区域环境质量改善目标，削减污 染物排放总量。所有企业实现雨污分流。本项目严格按照相关 要求落实污染物总量 控制及排污权交23、易，要求建设废气、废水治 理措施，排放浓度控制 限值严格于排放标准，达到国内同行业先 进水平,企业废水雨污 分流，厂区建设要求符 合“污水零直排区”要 求。严格按照环评要求 落实土壤、地下水污染防治措施。符合环境风险防控强化工业集聚区企业环境风险防范 设施设备建设和正常运行监管，加 强重点环境风险管控企业应急预案 制定，建立常态化的企业隐患排查 整治监管机制，加强风险防控体系建设。建设单位承诺严格按 照环评要求落实各项 风险防范措施、应急 措施，并在项目投产前 编制突发环境事件应 急预案，建立风险防 控体系。符合资源开发效率要求/本项目所在地用电用 水供给充裕，在区域资 源利用上线的承受范围之24、内。/ 10 符合性分析：项目严格按照相关要求落实污染防治措施要求污染 物总 量控制要求，确保各类污染物长期稳定达标排放，符合相应的 管控要求。严格按照环评要求落实各项风险防范措施、应急措施，并 在项目投产前编制突发环境事件应急预案，符合环境风险防控要求。项目生产过程使用天然气，资源能源利用效率较高。3 、xx省建设项目环境保护管理办法（xx省人民政府令第388号）符合性分析1）建设项目应当符合生态保护红线、环境质量底线、资源利用 上线和生态环境准入清单管控的要求；排放污染物应当符合国家、省规定的污染物排放标准和重点污染物排放总量控制要求。符合性分析：本项目符合生态保护红线、环境质量底线、资源25、利 用上线和生态环境准入清单管控的要求；本项目污染物达标排放，且符合总量控制要求。2）建设项目还应当符合国土空间规划、国家和省产业政策等要求。符合性分析：本项目位于xx市xx区，地块东至建一路， 南至 xx七路，西至空地，北至xx二路规划绿化，根据土地证，用途 为工业用地，符合国土空间规划。本项目属于C3973 集成电路制造，对照产业结构调整指导目录 （2019 年本）（2021年修订），本项目属于指导目录中“第一类： 鼓励类，二十八、信息产业：22 、新型电子元器件” 。对照市场准 入负面清单（2022 年版），本项目不在其市场准入负面清单。对照关于印发长江经济带发展负面清单指南（试行，2026、22 年版）xx省实施细则的通知，本项目不占用实施细则中的各类敏感区域，不属于实施细则禁止开展的生产活动和工程建设。此外，项目已获得区行政审批局出具的xx省企业投资项目备案（赋码）信息表（项目代码：2203-330114-89-01-215549）。 因此，本项目建设符合国家和地方产业政策的要求。 11 4 、建设项目环境保护管理条例(国务院令第682号) “ 四性五不批”相符性分析表1-4 “ 四性五不批”相符性分析审批要求符合性分析是否符合 要求四 性建设项目的环境可 行性本项目符合产业政策、达标排放、选 址规划、生态规划、总量控制原则及 环境质量要求等，从xx角度看，本项目在所选场地上实27、施是基本可行 的。符合环境影响分析预测 评估的可靠性本项目环境影响分析章节均依据国 家相关规范及建设项目的设计资料 进行影响分析，符合环境影响分析预 测评估的可靠性。符合环境保护措施的有 效性本项目产生的污染物均有较为成熟 的技术进行处理，从技术上分析，只 要切实落实本报告提出的污染防治 措施，本项目废气、废水、噪声可做 到达标排放，固废可实现零排放。符合环境影响评价结论 的科学性本环评结论客观、过程公开、评价公 正，并综合考虑建设项目实施后对各 种环境因素可能造成的影响，环境结 论是科学的。符合五 不 批（一）建设项目类型 及其选址、布局、规 模等不符合环境保 护法律法规和相关法定规划。项目28、符合当地总体规划，符合国家、 地方产业政策，项目营运过程中各类 污染源均可得到有 效控制并能做到 达标排放，符合清洁生产、总量控制 xx标排放的原则 ，对环境影响不大，环境风险不大，项目实施不会改 变所在地的环 境质量水平和环境功 能，可实现经济效益、社会效益、环 境效益的统一 ，符合环境保护法律 法规和相关法定规划。不属于不予批准的情形（二）所在区域环境 质量未达到国家或 者地方环境质量标 准，且建设项目拟采 取的措施不能满足 区域环境质量改善 目标管理要求。根据对项目拟建地环境质量状况分析，项目区域地表水、声和环境空气 都能够达到国家质量标准。项目营运过程中各类污染源均可得到有效控制并能做29、到达标排放，对当 地环境质量影响不大。不属于不予批准的情形（三）建设项目采取 的污染防治措施无 法确保污染物排放 达到国家和地方排 放标准，或者未采取 必要措施预防和控 制生态破坏。项目采取污染防治措施符合规范，能够起到预防和控制生态破坏的作用， 污染物排放达到国家和xx省排放标准。不属于不予批准的情形 12 （四）改建、扩建和 技术改造项目，未针 对项目原有环境污 染和生态破坏提出 有效防治措施。本项目为新建项目，不适用于本条。不属于不予批准的情形（五）建设项目的环 境影响报告书、环境 影响报告表的基础 资料数据明显不实， 内容存在重大缺陷、 遗漏，或者环境影响 评价结论不明确、不 合理。本30、项目在编制过程中数据真实，内容 精简，条例有序，未存在重大缺陷、 遗漏。且本项目结论客观、过程公开、 评价公开，并综合考虑建设项目实施 对各种环境因素可能造成的影响。不属于不予批准的情形5 、xx省实施细则符合性分析对照xx省实施细则，本项目符合相关要求。表 1-5长江经济带发展负面清单指南（试行，2022 年版）符合性分析序号要求项目实际情况结论1港口码头项目建设必须严格遵守中 华人民共和国港口法、交通运输部 港口规划管理规定、港口工程 建设管理规定 以及xx省港口管理条例的规定。本项目不涉及港口、 码头建设内容。符合2禁止建设不符合全国沿海港口布局 规划、全国内河航道与港口布局 规划、xx31、省沿海港口布局规划、 xx省内河航运发展规划 以及项目所在地港口总体规划、国土空间规 划的港口码头项目。经国务院或国家 发展改革委审批、核准的港口码头项 目，军事和渔业港口码头项目，按照 国家有关规定执行。城市休闲旅游配 套码头、陆岛交通码头等涉及民生的 港口码头项目，结合国土空间规划和 督导交通专项规划等另行研究执行。本项目不涉及港口、 码头建设内容。符合3禁止在自然保护地的岸线和河段范围 内投资建设不符合xx省自然保护地建设项目准入负面清单（试行） 的项目。禁止在自然保护地的岸线和 河段范围内采石、采砂、采土、砍伐 及其他严重改变地形地貌、破坏自然 生态、影响自然景观的开发利用行为。 禁止32、在 I 级林地、一级国家级公益林 内建设项目。 自然保护地由省林业局本项目位于xx市钱塘区xx芯谷核心区块，不涉及自然保护 地、I 级林地、一级 国家级公益林。符合 13 会同相关管理机构界定。4禁止在饮用水水源一级保护区、二级 保护区、准保护区的岸线和河段范围 内投资建设不符合xx省饮用水源保护条例的项目。饮用水水源一级 保护区、二级保护区、准保护区由省 生态环境厅会同相关管理机构界定。本项目不涉及饮用水 水源一级保护区、二 级保护区、准保护区 的岸线和河段。符合5禁止在水产种质资源保护区的岸线和 河段范围内新建围湖造田、围海造地 或围填海等投资建设项目。水产种质 资源保护区由省农业农村厅会33、同相关 管理机构界定。本项目不涉及水产种 质资源保护区。符合6在国家湿地公园的岸线和河段范围 内：（一）禁止挖沙、采矿；（二）禁止任何不符合主体功能定位 的投资建设项目；（三）禁止开（围）垦、填埋或者排 干湿地；（四）禁止截断湿地水源；（五）禁止倾倒有毒有害物质、废弃 物、垃圾；（六）禁止破坏野生动物栖息地和迁 徙通道、鱼类洄游通道，禁止滥采滥捕野生动植物；（七）禁止引入外来物种；（八）禁止擅自放牧、捕捞、取土、 取水、排污、放生；（九）禁止其他破坏湿地及其生态功 能的活动。国家湿地公园由省林业局会同相关管 理机构界定。本项目位于xx市钱塘区xx芯谷核心区块，不涉及国家湿地 公园。符合7禁止违34、法利用、 占用长江流域河湖岸 线。本项目位于xx市钱塘区xx芯谷核心区块，不涉及利用、 占 用长江流域河湖岸 线。符合8禁止在长江岸线保护和开发利用总 体规划划定的岸线保护区和保留区 内投资建设除事关公共安全及公众利 益的防洪护岸、河道治理、供水、生态环境保护、国家重要基础设施 以外的项目。本项目不在长江岸 线保护和开发利用总 体规划划定的岸线 保护区和岸线保留区 内。符合9禁止在全国重要江河湖泊水功能区 划划定的河段及湖泊保护区、保留 区内投资建设不利于水资源及自然生 态保护的项目。本项目不涉及全国 重要江河湖泊水功能 区划划定的河段及 湖泊保护区、保留区。符合10禁止未经许可在长江支流及湖35、泊新本项目废水纳管排符合 14 设、改设或扩大排污口。放，不涉及设、改设 或扩大排污口。11禁止在长江支流、太湖等重要岸线一 公里范围内新建、扩建化工园区和化 工项目。本项目不属于长江支 流、太湖等重要岸线 一公里范围内，且本 项目不属于新建、扩 建化工园区和化工项 目。符合12禁止在长江重要支流岸线一公里范围 内新建、改建、扩建尾矿库、冶炼渣 库和磷石膏库，以提升安全、生态环 境保护水平为目的的改扩建除外。本项目不属在长江重 要支流岸线一公里范 围内，且不属于新建、 改建、扩建尾矿库、 冶炼渣库和磷石膏库 项目。符合13禁止在合规园区外新建、扩建钢铁、 石化、化工、焦化、建材、有色、制 浆造36、纸等高污染项目。高污染项目清 单参照生态环境部环境保护综合目 录中的高污染产品目录执行。本项目位于xx市钱塘区xx芯谷核心区块，该园区属于合规 园区，本项目不属于 钢铁、石化、化工、 焦化、建材、有色、 制浆造纸等高污染项 目，此外，对照环 境保护综合目录， 本项目不属于目录中 的高污染产品。符合14禁止新建、扩建不符合国家石化、现 代煤化工等产业布局规划的项目。本项目不属于石化、 现代煤化工项目。符合15禁止新建、扩建法律法规和相关政策 明令禁止的落后产能项目，对列入产 业结构调整指导目录淘汰类中的落 后生产工艺装备、落后产品投资项目， 列入外商投资准入特别管理措施（负 面清单）的外商投资项37、目，一律不 得核准、备案。禁止向落后产能项目 和严重过剩产能行业项目供应土地。本项目不属于落后产 能项目，不属于产 业 结 构 调整 指 导 目 录淘汰类中的落后 生产工艺装备、落后 产品投资项目，不属 于外商投资项目，本 项目属于不属于落后 产能项目和严重过剩 产能行业。符合16禁止新建、扩建不符合国家产能置换 要求的严重过剩产能行业的项目。部 门、机构禁止办理相关的土地（海域） 供应、能评、环评审批和新增授信支 持等业务。本项目不属于严重过 剩产能项目，无需进 行产能置换。符合17禁止新建、扩建不符合要求的高耗能 高排放项目。本项目不属于高耗能 高排放项目。符合18禁止在水库和河湖等水利工38、程管理范 围内堆放物料，倾倒土、石、矿渣、 垃圾等物质。本项目用地不涉及在 水库和河湖等水利工 程管理范围内。符合 15 6 、与xx省“十四五”挥发性有机物综合治理方案符合性分析对照xx省“ 十四五” 挥发性有机物综合治理方案（浙环发202110 号），本项目与其符合性分析具体见下表 1-6。表 1-6 本项目与浙环发202110 号符合性分析（摘选）序 号文件要求本项目情况是否符合1优化产业结构。引导石化、化工、 工业涂装、包装印刷、合成革、化 纤、纺织印染等重点行业合理布局， 限制高 VOCs 排放化工类建设项 目，禁止建设生产和使用 VOCs 含 量限值不符合国家标准的涂料、油 墨、胶39、粘剂、清洗剂等项目。贯彻 落实产业结构调整指导目录国 家鼓励的有毒有害原料（产品） 替 代品目录，依法依规淘汰涉 VOCs 排放工艺和装备，加大引导退出限 制类工艺和装备力度，从源头减少 涉 VOCs 污染物产生。本项目属于 C3973 集 成电路制造，主要从事 6 英寸半导体集成电路 晶圆的生产，不涉及生 产和使用含 VOCs 的 涂料、油墨、胶粘剂、 清洗剂等原辅材料。根 据产业结构调整指导 目录等文件，项目 不涉及产业禁止或限 制的工艺和装备，符合 产业政策要求。符合2严格环境准入。严格执行“三线一单” 为核心的生态环境分区管控体系， 制（修）订纺织印染（数码喷印） 等行业绿色准入指导意40、见。严格执 行建设项目新增 VOCs 排放量区域 削减替代规定，削减措施原则上应 优先来源于纳入排污许可管理的排 污单位采取的治理措施，并与建设 项目位于同一设区市。根据关于以改善环境 质量为核心加强环境 影响评价管理的通知 （环 环 评 2016150 号）中“三线一单” 以及 xx 市 三“ 线一单 ” 生态环境分区管控方 案符合性分析，本项 目的建设符合生态保 护红线 、环境质量底 线、资源利用上线和生 态环境准入清单管控 的要求。项目严格执行 建 设 项 目 新增 VOCs 排放量区域削减替代 规定。符合3全面提升生产工艺绿色化水平。石 化、化工等行业应采用原辅材料利 用率高、废弃物产41、生量少的生产工 艺，提升生产装备水平，采用密闭 化、连续化、 自动化、管道化等生 产技术，鼓励工艺装置采取重力流 布置，推广采用油品在线调和技术、 密闭式循环水冷却系统等。工业涂 装行业重点推进使用紧凑式涂装本项目为集成电路制 造项目，不属于石化、 化工等行业，不涉及工 业涂装。项目有机废 气经过沸石浓缩转轮 焚烧系统处理后高空 排放，可以做到达标排 放。符合 16 工艺，推广采用辊涂、静电喷涂、 高压无气喷涂、空气辅助无气喷涂、 热喷涂、超临界二氧化碳喷涂等技术，鼓励企业采用自动化、智能 化喷涂设备替代人工喷涂，减少使 用空气喷涂技术。包装印刷行业推 广使用无溶剂复合、共挤出复合技 术，鼓励42、采用水性凹印、醇水凹印、 辐射固化凹印、柔版印刷、无水胶印等印刷工艺。鼓励生产工艺装 备落后、在既有基础上整改困难的 企业推倒重建，从车间布局、工艺 装备等方面全面提升治理水平。4全 面 推 行 工业涂装企业使用 低VOCs 含量原辅材料。严格执行中华 人民共和国大气污染防治法第四十 六条规定，选用粉末涂料、水性涂料、无溶剂涂料、辐射固化涂料等环 境友好型涂料和符合要求的（高固体 分）溶剂型涂料。工业涂装企业所使 用的水性涂料、溶剂型涂料、无溶剂 涂料、辐射固化涂料应符合低挥发 性有机化合物含量涂料产品技术要求规定的 VOCs 含量限值要求，并建立台账，记录原辅材料的使用量、废弃量、去向以及 43、VOCs 含量。本项目为集成电路制 造项目，不涉及工业涂 装工序。5大力推进低 VOCs 含量原辅材料的 源头替代。全面排查使用溶剂型工 业涂料、油墨、胶粘剂、清洗剂等 原辅材料的企业，各地应结合本地 产业特点和本方案指导目录，制定 低 VOCs 含量原辅材料源头替代实 施计划， 明确分行业源头替代时间 表，按照“可替尽替、应代尽代” 的原 则，实施一批替代溶剂型原辅材料 的项目。加快低 VOCs 含量原辅材 料研发、生产和应用，在更多技术 成熟领域逐渐推广使用低 VOCs 含 量原辅材料，到 2025 年，溶剂型工 业涂料、油墨、胶粘剂等使用量下 降比例达到国家要求。本项目为集成电路制 造项44、目，不涉及溶剂型 工业涂料、油墨、胶粘 剂。项目清洗、光刻 等工序涉及有机溶剂， 工艺、原材料和废气 处理设施均为行业内 先进。符合6严格控制无组织排放。在保证安全 前提下，加强含 VOCs 物料全方位、 全链条、全环节密闭管理， 做好 VOCs 物料储存、转移和输送、设备 与管线组件泄漏、敞开液面逸散以 及工艺过程等无组织排放环节的管 理。生产应优先采用密闭设备、在 密闭空间中操作或采用全密闭集气本项目生产车间均为 洁净车间，生产过程中 全密闭，均为有组织排 放。符合 17 罩收集方式，原则上应保持微负压 状态，并根据相关规范合理设置通 风量；采用局部集气罩的，距集气 罩开口面最远处的 VO45、Cs 无组织排 放位置控制风速应不低于 0.3 米/秒。 对 VOCs 物料储罐和污水集输、储 存、处理设施开展排查，督促企业 按要求开展专项治理。7全面开展泄漏检测与修复（LDAR）。不涉及符合8规范企业非正常工况排放管理。引 导石化、化工等企业合理安排停检 修计划，制定开停工（车）、检修、 设备清洗等非正常工况的环境管理 制度。在确保安全的前提下，尽可 能不在 O3 污染高发时段（4 月下 旬6 月上旬和 8 月下旬9 月， 下同）安排全厂开停车、装置整体 停工检修和储罐清洗作业等，减少 非正常工况 VOCs 排放；确实不能 调整的，应加强清洗、退料、吹扫、 放空、晾干等环节的 VOCs 46、无组织 排放控制，产生的 VOCs 应收集处 理，确保满足安全生产和污染排放 控制要求。不涉及符合9建设适宜高效的治理设施。企业新 建治理设施或对现有治理设施实施 改造，应结合排放 VOCs 产生特征、 生产工况等合理选择治理技术，对 治理难度大、单一治理工艺难以稳 定达标的，要采用多种技术的组合 工艺。采用活性炭吸附技术的，吸 附装置和活性炭应符合相关技术要 求，并按要求足量添加、定期更换 活性炭。组织开展使用光氧、光氧 化、低温等离子、一次性活性炭或 上述组合技术等 VOCs 治理设施排 查，对达不到要求的，应当更换或 升级改造，实现稳定达标排放。对收集后的有机废气 “沸石浓缩转轮焚烧系 47、统” 处理装置处置达标 后，35m 高空排放。符合10加强治理设施运行管理。按照治理 设施较生产设备“ 先启后停” 的原则 提升治理设施投运率。根据处理工 艺要求，在治理设施达到正常运行 条件后方可启动生产设备，在生产 设备停止、残留 VOCs 收集处理完 毕后 ，方可停运治理设施 。VOCs 治理设施发生故障或检修时，对应 生产设备应停止运行，待检修完毕 后投入使用； 因安全等因素生产设要求企业按照治理设 施较生产设备“ 先启后 停” 的原则提升治理设 施投运率。在治理设施 达到正常运行条件后 方可启动生产设备，在 生产设备停止 、残留 VOCs 收 集 处 理 完 毕 后 ，方可停运治理设48、 施。VOCs 治理设施发符合 18 备不能停止或不能及时停止运行 的，应设置废气应急处理设施或采 取其他替代措施。生故障或检修时，对应 生产设备应停止运行， 待检修完毕后投入使 用。11加强治理设施运行管理。按照治理 设施较生产设备“ 先启后停” 的原则 提升治理设施投运率。根据处理工艺要求，在治理设施达到正常运 行条件后方可启动生产设备，在生 产设备停止、残留 VOCs 收集处理 完毕后，方可停运治理设施。VOCs 治理设施发生故障或检修时，对应 生产设备应停止运行，待检修完毕后投入使用； 因安全等因素生产 设备不能停止或不能及时停止运行 的，应设置废气应急处理设施或采 取其他替代措施。要49、求企业在后续生产 过程中加强治理设施 运行管理，在在治理设 施达到正常运行条件 后方可启动生产设备， 在生产设备停止、残 留 VOCs 收集处理完 毕后，方可停运治理设 施。VOCs 治理设施发 生故障或检修时，对 应生产设备应停止运 行，待检修完毕后投入 使用；因安全等因素生 产设备不能停止或不 能及时停止运行的，应 设置废气应急处理设 施或采取其他替代措 施。符合12规范应急旁路排放管理。推动取消 石化、化工、工业涂装、包装印刷、 纺织印染等行业非必要的含 VOCs 排放的旁路。因安全等因素确须保 留的，企业应将保留的应急旁路报 当地生态环境部门。应急旁路在非 紧急情况下保持关闭，并通过铅50、封、 安装监控（如流量、温度、压差、 阀门开度、视频等）设施等加强监管，开启后应做好台账记录并及 时向当地生态环境部门报告。本 项 目 不 设 相 关 含 VOCs 排放的旁路。符合7 、产品排水量相符性分析对照电子工业水污染物排放标准(GB39731-2020)中的表 2 的 规定，新建项目应执行单位产品基准排水量要求，半导体器件企业具体要求如下表 1-7。 19 表 1-7 单位产品基准排水量适用企业产品规格单位单位产品基准排水量排水量计量位置半导体器件6 英寸及以下芯片m3/片3.2与污染物 排放监控 位置一致8 英寸芯片m3/片6.012 英寸芯片m3/片m3/片11掩膜层数 35 层51、 以上20封装产品传统封装产品m3/千块产品2.0圆片级封装产品m3/片11分立器件m3/千块产品3.5本项目产品规格为 6 英寸芯片，则单位产品基准排水量为 3.2m3/ 片。项目建成后全厂年排水量为 2355418 吨，6 英寸芯片产能为 100 万片/年，折合单位产品排水量为 2.355m3/片。项目单位产品排水量均符合“6 英寸芯片单位产品基准排水量为 3.2m3/片” 的要求。 20 二、建设项目工程分析建设内容2.1 建设内容2.1.1 项目由来xx 集成电路（xx ）有限公司成立于 2021 年 12 月 20 日，公司位于xx市xx区，地块东至建一路，南至xx七路，西至空地，北52、至xx 二路规划绿化，主要从事 6 英寸半导体集成电路晶圆的生产销售。企业在xx市xx区购买工业用地 47068m2（70.6 亩），新建 FAB 厂房、生产车间 、 动力站等厂房和配套公用辅助设施 ， 新增地上建筑面积 103590.96m2 ，新增地下建筑面积 12142.39m2 ，总建筑面积 115733.35m2 ，收购 国外机台产线，规划和研发工艺技术，建设高品质 6 英寸晶圆的生产基地，形成年产 100 万片 6 英寸半导体集成电路晶圆的生产规模。根据中华人民共和国环境影响评价法及建设项目环境保护管理条例 （中华人民共和国国务院令第 682 号）中有关规定，该建设项目应进行环境影53、 响评价。本项目为集成电路制造（3973），根据建设项目环境影响评价分类 管理名录（2021 年版），本项目属于“三十六、计算机、通信和其他电子设备制造业 39-80 电子器件制造 397-集成电路制造” ，环评类别为报告表。为此，xx集成电路（xx）有限公司委托xxxx科技咨询有限公司对该项目进行环境影响评价。我公司接受委托后，即组织有关人员赴现场进 行踏勘、对周围环境进行了调查，并收集有关资料，在此基础上根据相关技术导则和规范要求，编制本环境影响报告表报送审批。2.1.2 工程组成表 2.1-1 工程组成工程名称工程规模主 体 工 程芯 片 生 产 厂 房FAB 厂房 核心区位于芯片生产厂54、房中间位置，共 3 层。1F：为生产支持区，主要布置废水提升间、纯水抛光间、PCW 间、真 空站、工艺设备腔体废气处理等。2F：为生产支持区，主要布置背面加工设备、工艺设备辅机。3F：主要为洁净生产车间，主要布置工艺设备主机。内设薄膜区（PVD、 CVD 工序）、炉管区、黄光区（曝光、显影工序）、干法刻蚀区、湿 法刻蚀区、离子注入区、化学机械研磨区等。检测车间位于 FAB 厂房核心区南侧，共 5 层。 21 1F 布置芯片检测设备，对芯片进行测试。2F 至 5F 为办公区域。化学品区位于 FAB 厂房核心区北侧，共 1 层。布置有机化学品间、可燃气体间、 惰性气体间、腐毒气体间、废液收集间等。55、动力辅房位于 FAB 厂房核心区东侧，共 4 层。1F：气体纯化间、酸碱供应间、变电站等。2F 至 3F：工艺设备。4F：新风机房。动力站1 幢，位于芯片生产厂房东侧，共 3 层。地下 1F：水池、泵房。1F：锅炉房、废水处理站。2F：纯水站、空压机房。3F：柴发机房、变电站、冰机房。生产车间 1 至 生产车间 31 幢，位于芯片生产厂房东侧，共 6 层。暂时闲置。丙类库1 幢，位于芯片生产厂房北侧，共 4 层。存放一般性零部件，备品备 件等。甲类库1 幢，位于丙类库东侧，共 1 层。存放毒性气体（如氯气、砷烷、磷 烷等）、双氧水以及 IPA 等有机溶剂。氢气站/氦气 站1 幢，位于甲类库东侧56、，共 1 层。现场布置氢气鱼雷车，主要负责氢 气的供应。硅烷站1 幢，位于氢气站/氦气站东侧，共 1 层。现场布置 Y 型瓶钢瓶，主要 负责硅烷的供应。室外大宗气站位于氢气站/氦气站东侧及硅烷站北侧，现场布置液体储罐、汽化器、 阀组等设备，制氮机包括空压机、预冷机、干燥机、冷箱等设备，主 要负责提供氮气、氢气、氧气、氩气、氦气等大宗气体及制氮机。公 用 工 程给水本工程项目供水系统主要包括生产、生活用水系统，各系统相互独立。 项目生产用水、生活用水均由园区市政给水管网供给。排水厂区排水实行雨污分流，生产废水经厂区污水处理站处理后与经化粪 池预处理的生活污水一起纳管排放。污水和雨水分别汇集后统一57、排入 市政排污和雨水管道系统。供电市政电网供给，由xx供电公司 110kV 变电所提供不同母线段两回路 20kV 电源引入项目设置的高压进线柜，根据设备需求再进行电压变换，其中冷水机/制氮机采用 10KV 配电，其余低压配电电压为 480V/380V/208V/220V。天然气由园区天然气管网接入，由xxxx管道燃气有限公司供应天然气。供热由xx航民xx热电有限公司提供的 0.8MPa ，170饱和蒸汽。另外 项目设置 3 台燃气锅炉作为备用热源。辅 助 工 程循环水系统循环水系统分为工艺用低温循环冷却水系统和冷冻站冷却循环水系 统。其中供外延炉、光刻机等工艺设备用低温冷却水循环水量为125058、m3/h ，供水温度20 , 回水温度34 , 供水压力为 0.45、 0.65MPa。冷冻站屋顶设冷却塔 6 组，与冷冻机配套使用。纯水系统本系统供给工艺生产设备所需用纯水，供水压力为 0.4MPa ，电阻率大 于 18Mcm（25) , 流量为 220 m3/h。空压站本项目生产工艺设备需要无油干燥压缩空气， 压缩空气的品质要求如 下：压力：0.75MPa 、露点：-70（压力露点）；空压站位于动力站 一层；压缩空气经鼓风式干燥装置处理，达到工艺专业要求的露点， 22 并经后过滤器及精密过滤器过滤，达到规定控制的含尘要求，送至使 用点；项目配备 4 台（3 用 1 备）水冷变频螺杆空气压缩59、机。冷冻站项目生产车间洁净度要求 100 级和 1000 级，要求恒温恒湿（需要温 度调节的车间面积 16000m2 ）。公司配置离心式冷水机组 12 台（10 用 2 备），其中低温冷水机组 5 台（4 用 1 备），中温冷水机组 7 台 （6 用 1 备）（其中 4 台为热回收机组），合计制冷量为 61900kW， xx满足项目制冷量需求。冷冻站设置在动力站三层，冷冻水采用闭式循环系统，供回水温度：低温系统 6/12 , 中温系统 12/18 , 冷却水供回水温度为：32/38。换热站本项目设置换热站位于动力站二层，与中温热回收系统一起为本项目 提供低温热水。低温热水优先使用中温热回收系统60、，在中温热回收系 统无法满足热量需求时，再开启蒸汽换热机组。蒸汽换热机组热源采 用xx航民xx热电有限公司提供的 0.8MPa ，170饱和蒸汽，二次侧热水供回水温度为 38/32 , 设置 2 套 8000kW 的板式汽水换热 器；凝结水回收至 UT 水池。暖通空调本项设置净化空调系统，洁净室净化级别分别为 100 级和 1000 级。洁 净室为三层结构形式：三层为洁净生产区，二层为回风下夹层，一层 为辅助生产区。净化空调系统为采用 MAU(新风机组)+FFU（风机过 滤单元）+DC（干表冷盘管）的方式。其气流流程如下：回风DC 和 MAU 新风混合FFU生产区 回风格栅地板 下夹层 回风夹61、 道。其中新风集中处理系统采用组合式空调机组 MAU，新风加湿采用 淋水室加湿， 以保证生产区的相对湿度。通讯信息厂区通信系统包括火灾自动报警系统、广播系统、通信系统、闭路电 视监控系统、门禁系统、停车场管理系统、周界报警系统等。本工程火灾自动报警系统采用集中报警形式，在接入园区报警系统后 形成控制中心报警系统。项目设置可燃气体探测报警系统、特气泄漏报警系统、化学品液体泄 漏报警系统。可燃气体探测报警系统：在使用可燃气体处设置可燃气体探测器，气 体探测器报警后， 由可燃气体探测控制器联锁启动保护区域的声光报 警器，并开启相应的事故排风机；火警系统接收可燃气体报警控制器 的报警信号和故障信号。特62、气泄漏报警系统：在化学品库、主厂房特气供应间等设置特气泄漏 探测器。当气体探测器报警， 自动关闭相关气体管路上的阀门，并联 锁启动现场声光警报器和应急广播系统，同时启动事故排放系统。化学品液体泄漏报警系统：对本工程内使用液体化学品（酸、碱、有 机）的场所进行化学品泄漏探测，采用泄漏电缆探测方式，发生泄漏 报警时，联动专用声光报警器，同时联动事故排风机。通风本项目动力站（冷冻空压站、锅炉房、变电站）、车间通风、化学品 库均设置机械通风， 自然进风。真空系统本项目工艺真空泵设置在厂房真空泵房内，设置工艺真空系统，螺杆 式真空机组 4 台（3 用 1 备）单台吸气量 730Am3/h，极限真空：0.63、35mbar， 功率：11KW/380V/50HZ。大宗气体供应由大宗气体站为本项目提供氮气、氧气等大宗气体以及压缩空气。本 项目所需氮气由空分制氮系统供应。特气供应系统特殊气体由设在芯片生产厂房的化学品区的特气柜（瓶）分配到 FAB 生产厂房的支管/阀门箱。氢气站主要负责氢气的供应。 23 硅烷站主要负责硅烷的供应。储 运 工 程厂区动力管道厂区天然气管道采用直埋方式敷设；压缩空气管道和生产热水管道采 用沿通廊架空方式敷设。危险品库位于甲类库中，存放风险较大的毒性气体、易燃气体、易燃液体等。化学品库位于 FAB 厂房核心区北侧，共 1 层。布置有机化学品间、可燃气体间、 惰性气体间、腐毒气体64、间、废液收集间等。甲类库1 幢，位于丙类库东侧，共 1 层。存放毒性气体（如氯气、砷烷、磷 烷等）、双氧水以及 IPA 等有机溶剂。运输本项目原材料绝大部分为进口原材料，运输方式为陆运、海运、空运 均有。该项目的原辅材料对运输条件要求较高，市区内运输由专业运 输公司承担， 以专用货车运至厂区内。化学品及特殊气体，视需要送 至厂内，置于专设的化学品仓库（化学品供应间及化学品库）或生产 厂房动力辅助区气体及化学品中央供应间，并做好安全卫生防护措施。 化学品仓库内的气态和液态化学品，根据需要由专人领料，用叉车运 至 FAB 底层化学品、气体供应室或生产车间本地供应处。 项目的大 宗气体压缩空气（CD65、A/XCDA）、一般氮气（GN2）、高纯氮气（PN2）、 高纯氢气（PH2 ）、高纯氧气（PO2 ）来源于项目地块东北侧的大宗气 体站，该气体站提供满足用气点需求的气体，通过管道输送至工艺生 产区。环 保 工 程废水废水处理规模t/d处理方式本项目各 类废水经 厂区污水 处理站处 理达到纳 管标准后 纳入市政 污水管网， 最终由临 江污水处理厂集中处理后达标排放。酸碱废水1500二级酸碱中和池酸碱废气洗涤塔 废水纯水机反冲洗水高浓度氨氮废水10“pH 调节池+二级吹脱塔”处理后进入低浓度氨氮废水 处理系统低浓度氨氮废水1500“调节池+氧化反应池+还原反应池”处理后进入有机废水处理系统有机废水66、1800pH 调节池+综合废水调配池+水解酸化池+缺氧池+好氧池+MBR 膜池POU 洗涤塔废水（部分）含氟废水2300pH 调节池+一级反应池+一级混凝池+一级絮凝化池+一级沉淀池+二级反应池+二级混凝池+二级絮凝化池+二级沉淀池氟化氨废水POU 洗涤塔废水（含氟部分）研磨废水360pH 调节池+混凝池+絮凝化 池+沉淀池普通金属化废水 （含 Al 和磷）90pH 调节池+一级反应池+一级混凝池+一级絮凝化池+一级沉淀池+二级反应池+二级混凝池+二级絮凝化池+二级沉淀池含磷废水含镍废水30调节池+反应池+混凝池+絮 24 凝化池+沉淀池含镍银废水20一级反应池+一级混凝池+ 一级絮凝化池+一67、级沉淀池 +二级反应池+二级混凝池+ 二级絮凝化池+二级沉淀池含镍钒废水10调节池+反应池+混凝池+絮 凝化池+沉淀池含钴废水10一级反应池+一级混凝池+ 一级絮凝化池+一级沉淀池 +二级反应池+二级混凝池+ 二级絮凝化池+二级沉淀池废气废气风量 m3/h处理方式排气筒编号高度内径一般酸性废气6 50000（6 用 1 备）碱液喷淋吸 收塔DA001-DA00735m1.5m碱性废气3 18000（3 用 1 备）酸液喷淋吸 收塔DA008-DA01135m0.8m有机废气3 55000（3 用 1 备）沸石浓缩转 轮焚烧系统DA012-DA01535m1.6m工艺尾气（不含 砷）/POU 净68、化装置处理后纳入酸性废气处理系统DA001-DA00735m1.5m含砷工艺尾气4800（1 用 1 备）POU 净化装置（干式吸附）DA016-DA01735m0.4mPOU 废气处理设施天然气燃烧废气/DA001-DA00735m2m沸石转轮天然气 燃烧废气/DA012-DA01535m1.6m燃气锅炉/低氮燃烧DA018-DA02035m0.6m废水处理站废气30000碱喷淋+次 氯酸钠喷淋DA02130m1m食堂油烟12000油烟净化设 施/固废一般固废仓库厂区内设有 1 个一般工业固废暂存库，位于丙类库， 面积约 414m2危废仓库厂区内设有 1 个危险废物暂存库，位于甲类库，面积 69、约 130m2。废液收集罐厂区光刻胶废液间有 1 个 15m3 光刻胶混合废液罐， 有机废液收集间有 1 个 5m3IPA 废液罐体和 1 个 2m3 丙酮废液罐体；废液收集间有 1 个 2m3BOE 含氟化铵 废液罐、1 个 2m3 含钴废液罐、1 个 2m3 镍钒废液罐、 1 个 2m3 含磷废液罐、1 个 5m3 镍银废液罐。污泥暂存间厂区内设有 1 个污泥暂存库，位于动力站 1 层，面积 约 144m2。 25 事故应急池及在动力站地下一层设置一个事故应急池（容积约 1400m3）及一个室外初期雨水池应急池（容积约 500m3 ）。2.1.3 产品及产能表 2.1-2 产能情况产品单位70、产量规格（线宽）备注6 英寸半导体集成电路晶圆万片/年100130-500nm/2.1.4 生产单元、工艺、生产设施及设施参数表 2.1-3 设备清单序 号生产单元1湿法清洗23成膜4567891011图形化1213141516 26 1718192021222324252627282930功能化313233343536硅片背面加工3738394041 27 42检验4344454647484950515253545556设备和备件清洗57585960辅助616263实验室64656667大宗气 站6869707172 28 锅炉设备情况说明：本项目设置燃气真空锅炉作为项目备用热源，当蒸汽管网71、故障维修期间，启 动备用锅炉供热，项目冬季厂区供热需求主要包括：FAB 厂房空调热负荷需求 11700KW/h ，动力站各辅助用房一般空调热负荷 80KW/h ，丙类库热负荷 200KW/h ，纯水制备热负荷 3900KW/h ，综上总计热负荷 16380KW/h ，根据项目实际需求，企业配备 3 台“单台 5600KW 燃气真空锅炉”。设备先进性分析：（一）化学气相沉积设备化学气相沉积设备包括真空合金炉、氧化/推进炉、LPCVD 和 CVD 等。本项目选用的真空合金炉、氧化/推进炉、LPCVD 由温控系统、石英管、 进出舟装置、真空和压力控制系统、流量及温度控制系统、安全保护系统、计 算机控72、制等部分组成。CVD 主要由特气系统、电源系统、传送系统、真空系统、 流量及温度控制系统、安全保护系统、计算机控制等部分组成。其主要特点如下：1 、炉体加热系统共有六层。顶层配置有水冷散热器及排热风扇，每层加热炉体间也配置一层水冷系统，隔绝每层炉管的温度相互影响。2 、加热方式采用感应加热，热效率高，选用国内新型保温材料、隔热保温性强。3、进出舟系统采用软着陆系统，与悬臂桨系统相比对墙体的影响更小， 29 温度控制更均匀，减少了工艺气体在 SiC 桨上的沉积，从而颗粒更少。（二）物理气相沉积设备-溅射台溅射台主要是指磁控溅射台，他是通过二极溅射中一个平行于靶表面的封 闭磁场，和靶表面上形成的正73、交电磁场，把二次电子束缚在靶表面特定区域， 实现高离子密度和高能量的电离，把靶原子或分子高速率溅射沉积在基片上形 成薄膜。溅射是物理气相沉积（Physical Vapor Deposition ，PVD）的一种。一 般的溅射法可被用于制备金属、半导体、绝缘体等多材料，且具有设备简单、 易于控制、镀膜面积大和附着力强等优点。磁控溅射法更是实现了高速、低温、 低损伤。因为是在低气压下进行高速溅射，必须有效地提高气体的离化率。磁 控溅射通过在靶阴极表面引入磁场，利用磁场对带电粒子的约束来提高等离子体密度以增加溅射率。本项目溅射台主要由靶材、电源系统、传送系统、真空系统、流量及温度控制系统、安全保护系74、统、计算机控制等部分组成。（三）注入机离子注入机是集成电路制造前工序中的关键设备，离子注入是对半导体表 面附近区域进行掺杂的技术，其目的是改变半导体的载流子浓度和导电类型。 离子注入与常规热掺杂工艺相比可对注入剂量、注入角度、注入深度、横向扩 散等方面进行精确的控制，克服了常规工艺的限制，提高了电路的集成度、开 启速度、成品率和寿命，降低了成本和功耗。离子注入机广泛用于掺杂工艺，可以满足浅结、低温和精确控制等要求。2.1.5 主要原辅材料及燃料的种类和用量本项目主要原辅材料消耗情况见表 2.1-4。本项目各工序主要原辅材料消耗情况见表 2.1-5。本项目主要能源消耗消耗情况见表 2.1-6。 75、30 序号123456789101112131415161718192021表 2.1-4 本项目主要原辅材料及能资源消耗一览表 31 222324252627282930313233343536373839 32 40414243444546474849505152535455565758 33 596061626364656667686970717273747576777879 34 8081828384858687888990919293949596 35 979899100101102103104105106107*备注 ： 由于半导体（含集成电路）制造用清洗剂不适用清洗剂挥发性有机化76、合物含量限值（GB38508-2020）标准要求，因此 EBR 边胶清洗剂不进行清洗剂挥发性有机化合物含量限值（GB38508-2020）标准符合性分析。表 2.1-5 本项目各工序主要原辅材料及能资源消耗一览表序 号生产单 元生产工艺1/2湿法清 洗湿法清洗345 36 678成膜外延沉积EPI介质沉积9101112131415161718192021222324252627282930 37 31CVD-腔体清洗金属沉积（溅射）金属沉积（蒸镀）热氧化3233343536373839404142434445464748495051525354 38 555657图形化碱洗光刻湿法刻蚀585977、60616263646566676869707172737475SC1 39 76湿法去胶干法刻蚀77787980818283848586878889909192939495 40 96干法去胶979899100101102103104105106107108109功能化离子注入化学机械研磨研磨垫 S-pad pad 固态 片/年 2500 /110111112113114115116117118 41 119退火120121122123124125126127128129130湿法清 洗湿法清洗湿法刻蚀131132133134135136减薄贴膜硅片减薄137138139成膜金属沉积140178、41 42 142143144145清洗清洗146147148149测试测试150 43 表 2.1-6 本项目主要能资源消耗一览表序号名称规格单位 年使用量 来源1电力KVA万 KWh/a2自来水0.2MPam3/d 市政自来水供应3纯水/m/h 自建纯水站供应4冷却水PCWm3/h自建动力站供应（可内循环使用）5天然气/Nm3/h市政天然气管网ocal scrubber 及 EPI 使用）/Nm3/h市政天然气管网使用，仅在启用备用锅炉才涉及）/Nm3/h市政天然气管网（沸石转轮使用）6蒸汽/t/h 低压蒸汽7工艺真空/Nm3/h 公司内真空站8压缩空气/Nm3/h 大宗气体站9氮气/Nm79、3/h 大宗气体站10高纯氮气/Nm3/h 大宗气体站11高纯氢气/Nm3/h 大宗气体站12高纯氧气/Nm3/h 大宗气体站13高纯氩气/Nm3/h 瓶装供应14高纯氦气/Nm3/h 瓶装供应2.1.6 主要原辅料中与污染排放有关的物质或元素本次环评对项目使用物料中，用量较大或者毒性较大的物料，如氟、氮、氯、 磷、镍、银、钴、钒、砷、有机物、硫酸、硅烷等物质或元素进行物料平衡分析，物料平衡如下。 44 1 、氟平衡图 2.1-1 氟平衡图（单位：kg/a） 45 2 、氮平衡图 2.1-2 氮平衡图（单位：kg/a） 46 3 、氯平衡图 2.1-3 氯平衡图（单位：kg/a） 47 4 、80、磷平衡图 2.1-4 磷平衡图（单位：kg/a） 48 5 、镍平衡图 2.1-5 镍平衡图（单位：kg/a） 49 6 、钛平衡图 2.1-6 钛平衡图（单位：kg/a） 50 7 、银平衡图 2.1-7 银平衡图（单位：kg/a） 51 8 、钴平衡图 2.1-8 钴平衡图（单位：kg/a） 52 9 、钒平衡图 2.1-9 钒平衡图（单位：kg/a） 53 10 、砷平衡图 2.1-10 砷平衡图（单位：kg/a） 54 11、挥发性有机物平衡表 2.1-7 挥发性有机物平衡表产 排 污 环 节物料名称挥发性有机物 含量年用量 kgVOCS 浓度比例取值%VOCS 含量 kg/aVOCS81、 进入 废液VOCS 进 入废水VOCS 进 入废气比 例%含量 kg/a比 例%含量 kg/a比 例%含量 kg/a 55 图 2.1-11 有机物平衡图（单位：kg/a） 56 12 、硫酸平衡图 2.1-12 硫酸平衡图（单位：kg/a）13 、硅烷平衡 57 图 2.1-13 硅烷平衡图（单位：kg/a）2.1.7 水平衡本项目用水主要包括生产用水和生活用水，其中生产用水主要包括 W1 酸碱废水、 W2 含氟废水、W3 高浓度氨氮废水、 W4 含氨废水、W5 有机废水、W6 含磷废水、 W7 氟化氨废水、W8 普通金属化废水（含 Al 和磷）、W9 含镍废水、W10 含钴废 水、W1182、 研磨废水、W12 含镍银废水、W13 含镍钒废水、W14 含钛钨银废水、W15 酸性废气洗涤塔排水、W16 碱性废气洗涤塔排水、W17 POU 洗涤塔排水、W18 纯 水制程排水（RO 浓水）、W19 纯水机反冲洗水、W20 冷却塔排水、W21 冷冻水排 水等。本项目水平衡主要依据企业设计资料、同类项目的用水、排水情况核算。全厂水平衡详见图 2.1- 14。 58 图 2.1-14 水平衡图 59 2.1.8 劳动定员及工作制度本项目劳动定员 800 人，三班制生产，年工作 365 天。2.1.9 厂区平面布置本项目位于xx省xx市xx区前进街道，地块东至建一路，南至xx七路，西至空地，北至83、xx二路规划绿化， 占地面积 47068m2（70.6 亩）， 总建 筑面积 115733.35m2 。厂区平面布局按照功能分区明确、工艺流程顺畅、物流 运输短捷、交通组织安全、公用动力系统经济实用的原则布置。厂区内厂房建 设、工艺、生产辅助设施、办公生活设施、厂区道路、绿化、管网系统等均满足项目生产纲领要求。厂区建筑物功能分区明确，建筑物布局合理。在整体设计上，考虑到了人 员分流，人货分流，管控人员进入区域，避免了人流、车流路线的相互交叉， 提高企业的安全系数。建筑物布局与开发区整体规划协调一致，并符合国家及 地方各项相关的设计法规和规范。注重厂区环境、绿化、美化。满足消防、防震、xx、职业84、安全卫生及城市规划部门的要求。厂区建筑物包括：FAB 厂房，动力站，丙类库，甲类库，氢气站，硅烷站， 主门卫，连廊，生产车间及地下车库。总图采取分区布置的原则，将厂区分为 生产区、生产支持区，各区域功能划分明确。将生产厂房（FAB 厂房和生产车 间）布置于厂区中部，动力站位于生产厂房西侧，丙类库，甲类库，氢气站，硅烷站及大宗气站等辅助设施位于生产厂房北侧，对生产区形成良好的支持。厂区东侧、西侧及南侧布置机动车停车场，北侧设置非机动车停车区。厂 区共设置 2 个出入口。其中厂区南侧中间为主门卫室为生产、办公区主要人流出入口，物流出入口主要布置在厂区西南角。项目主要经济技术指标汇总如下表 2.1-85、 8 和表 2.1-9，厂区平面布置图见附图 4。表 2 1-8 新建厂房技术经济指标序号指标名称单位指标规划1项目总用地面积m2470682项目总建筑面积m2115733.353地上建筑面积m2103590.96 60 4地下建筑面积m212142.395计容建筑面积m2103590.966容积率2.20大于 2.27绿地面积m210429.898绿地率%22.16大于 20%9建筑基底面积m224218.0310建筑密度%51.4511非生产性用房占地面积m2012非生产性用房占地面积占 比%013非生产性用房建筑面积m2014非生产性用房建筑面积占 比%015机动车位车位个42816地上86、机动车位个13517地下机动车位个29318非机动车位个793表 2.1-9 主要建筑物指标序号名称总建筑面积（m2）建筑基底面 积（m2）建筑高度（m）火灾危害性备注1FAB 厂房15556.9163253.3630.05丙类/其中核心区9580.7938323.15/丙类/检测车间2254.3211271.6/丙类/动力辅房2482.612319.4/丙类/化学品区1339.21339.2/丙类/2动力站4254. 1221270.624.3丁类/3生产车间25201368027.7丙类/其中生产车间 11080648027.7丙类/生产车间 21080648027.7丙类/生产车间 3387、607208.6丙类/4丙类库900450024. 1丙类合生活垃圾 用房 127m25甲类库4504506.7甲类/6氢气站2522526.5甲类/7硅烷站1201205.8甲类/8主门卫65654.5民用建筑/ 61 工艺 流程 和产 排污环节2.2 营运期工程分析2.2.1 集成电路产业链生产工艺集成电路是通过一定的工艺技术，将一些元器件（如晶体管、电阻、电容等） 制作在一块晶片上，并在相互之间接线，做成电路，能实现一定功能的 电子器件。集成电路的生产是一个非常复杂而又精密的系统工程，完整的集成 电路产业链包括 “产品设计（含掩膜设计）- 晶圆制造-芯片封装” 三大块。 本项目主要是晶圆88、制造，晶圆制造也称之为芯片制造，其生产过程中需要用到 氧化，扩散，退火，离子注入，光刻，干法刻蚀，湿法刻蚀，干法去胶，湿法 去胶，湿法清洗，介质沉积，金属沉积，化学机械研磨，硅片减薄，贴揭膜，电学测试等工序，简化的产业链工艺流程见下图 2.2- 1。 62 光 刻 版产品设计理论设计 电路设计图形设计晶 圆 产 品工 艺 流 程原材料硅片气体化学品金属其它硅片制造流程（本项目）外延沉积介质沉积化学机械研磨贴揭膜硅片减薄干法去胶干法刻蚀湿法清洗湿法刻蚀湿法去胶金属沉积离子注入电学测试扩散氧化退火光刻图 2.2-1 集成电路产业链简化工艺流程图芯片封装划片封装键合塑封性能测试 63 2.2.2 芯89、片生产工艺及产污环节分析本项目芯片生产工艺流程图如下图 2.2-2。图 2.2-2 芯片生产工艺流程图 64 工艺 流程 和产 排污环节2.2.2.1 清洗工序简介及产污环节分析清洗工序包括硅片的清洗和工器具的清洗。集成电路芯片对沾污非常敏感， 65 图 2.2-3 硅片清洗生产工艺流程图及产污环节图2.2.2.2 成膜工序生产工艺流程及产污环节分析1 、化学气相沉积工艺流程及产物环节分析化学气相沉积（CVD ）是通过气态物质的化学反应在硅晶圆片表面淀积 一层固态薄膜材料的工艺。化学气相沉积是以适当的流速将含有构成薄膜元素 的气态反应剂或液态反应剂的蒸汽引入反应室，在衬底表面发生化学反应并在衬90、底表面淀积薄膜的过程。化学气象沉积反应过程见下图 2.2-4。 66 图 2.2-4 化学气相沉积过程图其中各过程叙述如下：（a ）反应物已扩散通过界面边界层；（b）反应物吸附在基片的表面；（c ）化学沉积反应发生；（d）部分生成物已扩散通过界面边界层；（e ）生成物与反应物进入主气流里，并离开系统。 67 68 69 图 氮化钛( )沉积工艺流程及产污环节图 70 2 、硅外延工艺流程及产物环节分析硅外延（Epitaxy）生长意义是在具有一定晶向的硅单晶衬底上生长一层具有和衬底相同晶向的电阻率与厚度不同的晶格结构完整性好的晶体。 71 3 、热氧化工艺流程及产物环节分析 72 4 、金属化(91、PVD)相关工序简介及产污环节分析PVD 全称 Physical Vapor Deposition ，中文全称为物理气相沉积，是在真空 条件下，采用物理方法将靶材（可为金属、金属合金）气化成气态分子、原子 或部分电离成离子，并通过气相过程在衬底上沉积一层具有特殊性能的薄膜技术。 73 74 75 76 77 （2）蒸镀蒸镀是在真空条件下，采用一定的加热蒸发方式蒸发镀膜材料（或称膜料） 并使之气化，粒子飞至基片表面凝聚成膜的工艺方法。蒸镀是使用较早、用途 较广泛的气相沉积技术，具有成膜方法简单、薄膜纯度和致密性高、膜结构和性能独特等优点。蒸镀的物理过程包括：沉积材料蒸发或升华为气态粒子气 78 92、态粒子快速从蒸发源向基片表面输送气态粒子附着在基片表面形核、长大成固体薄膜薄膜原子重构或产生化学键合。2.2.2.3 图形化工序生产工艺流程及产污环节分析光刻技术的构想源于印刷技术中的照相制版技术。一次掩膜光刻过程通常包括：涂胶、曝光、显影、刻蚀、去胶等工艺步骤，详细流程如下图 2.2-22。 79 图 2.2-22 光刻过程示意图1 、涂胶、曝光、显影工序工艺流程及产物环节分析 80 2 、刻蚀工序工艺流程及产物环节分析在光刻工艺中，经过曝光和显影后，光刻胶薄膜层中形成了微图形结构， 为获得器件的结构，需要通过刻蚀，在光刻胶下面的材料上重现光刻胶层上的图形，实现图形的转移。集成电路工艺中应用93、的刻蚀技术主要包括液态的湿法刻蚀和气态的干法刻蚀两大类。1）湿法刻蚀：通过特定的溶液与需要刻蚀的薄膜材料发生化学反应，除去 81 光刻胶未覆盖区域的薄膜，称为湿法刻蚀。2）干法刻蚀：干法刻蚀是指利用等离子体激活的化学反应或者利用高能离子束轰击完成去除物质的方法。由于在刻蚀中不使用液体，故称为干法刻蚀。湿法刻蚀和干法刻蚀示意图见下图 2.2-24。 82 83 84 85 86 （2）干法刻蚀 87 88 89 90 91 3 、去胶工艺流程及产物环节分析经过刻蚀后，将光刻胶从晶片表面除去的过程称为去胶。去胶的方法分为湿法去胶和干法去胶。 92 1 、离子注入工艺流程及产物环节分析离子注入是一种94、给硅片掺杂的过程，采用离子注入技术进行掺杂，可以达 到改变材料电学性质的目的。离子注入的的基本原理是把掺杂物质（原子）离 子化后，在数千到数百万伏特电压的电场下得到加速，以较高的能量注入到硅 片表面或其它薄膜中。经高温退火后，消除因离子注入造成的衬底晶圆片晶格 的损伤；同时注入的杂质离子被活化，恢复晶圆片中少数载流子寿命和载流子迁移率。示意见下图 2.2-44。图 2.2-44 离子注入工艺示意图离子注入之后的退火中造成的掺杂扩散迁移常常产生问题，因此，在离子 注入前，加入 Xe 可中和掺杂过程产生的正电荷。本项目离子注入工序简介见下表 2.2-8 ，其产工艺流程及产污环节见图 2.2-45 95、至 2.2-48。 93 94 95 2 、化学机械研磨相关工序简介及产污节点分析化学机械研磨（CMP）就是把原来凹凸的晶片表面，利用机械和化学的共同作用，去除多余的薄膜，实现晶片表面的全局平坦化。 96 97 2.2.2.5 背面加工相关工序简介及产污节点分析 98 2.2.3 污染因子识别、环境风险因素识别本项目营运期污染因子识别情况汇总见表 2.2- 11。 99 表 2.2-11 本项目营运期污染因子汇总污染物类型产生单元废气FAB 厂房核心区动力站污水处理xx工程员工生活FAB 厂废水房核心区 100 涂胶、曝光、显影湿法刻蚀去胶化学机械研磨背面加工 101 辅助、环 保工程废气处理96、废气处理废气处理纯水制备纯水制备冷却塔冷冻系统员工生活噪声生产工 艺设备运行固体废物FAB 厂房核心区涂胶湿法刻蚀去胶溅射蒸镀背面加工湿法刻蚀（背面返工）原辅料 使用原辅材料使用 102 原辅材料使用原辅料使用超纯水制备超纯水制备超纯水制备超纯水制备超纯水制备废气处理（PO干式吸附）沸石转轮废气处理装置污水处理污水处理污水处理污水处理污水处理污水处理污水处理污水处理设备维修保养生产生活员工生活xx工程辅助工 程与项 本项目为新建项目，项目拟建地块现状为空地。根据现场实地勘察，不存目有 在与项目有关的原有污染物的环境问题。关的原有环境污染问 103 三、区域环境质量现状、环境保护目标及评价标准区97、 域 环 境 质 量 现 状3.1 区域环境质量现状3.1.1 环境空气（1）空气质量达标区判定本项目所在地属环境空气二类区，根据xx市生态环境状况公报（2021 年度）中的相关数据，2021 年xx市区主要污染物为 O ，3SO2、NO2、PM10、PM2.5四项主要污染物年均浓度分别为 6 g/m3 、34 g/m3、55 g/m3、28 g/m3，CO 日均浓度第 95 百分位数 0.9 mg/m3 ，O3 日最大 8 小时平均浓度第 90 百分位数162g/m3 ，其中，SO2、NO2 、CO 达到国家空气质量一级标准，PM10、PM2.5 达到国家空气质量二级标准，臭氧（O3 ）略超98、过国家二级标准。因此xx市为环境空气质量不达标区。（2）基本污染物环境质量现状2021 年xx市空气质量基本污染物环境质量现状具体情况见表 3.1- 1。表 3.1-1 环境空气质量达标分析污染物年评价指标现状浓度 (g/m3）标准值 (g/m3）占标率（%）达标情况SO2年均浓度66010达标NO2年均浓度344085达标PM10年均浓度557079达标PM2.5年均浓度283580达标CO第 95 百分位数日平均浓度900400023达标O3第 90 百分位数日最大 8 小时平均浓度162160101不达标由上表可知，xx市 2021 年环境空气质量为不达标区。xx市区域达标规划如下：重点99、工程：主要包括能源结构调整，燃煤锅炉、热电、水泥行业清洁排放改 造，重点区域、重点行业 VOCs 污染治理，产业结构调整， 自动监测网络建设等工程项目。重点领域与主要任务（一）调整优化产业结构，统筹区域环境资源。 104 1.优化城市布局。2.保护城市自然本底。3.建设特色风廊。4.优化产业布局。5.淘汰落后产能。（二）深化调整能源结构，加强能源清洁利用。1.严控煤炭消费总量。2.深化禁燃区建设。3.推进园区集中供热。4. 强化能源清洁、高效利用。5.提升清洁能源利用水平。6.推动绿色建筑发展。7.推进煤改气、煤改电。（三）全面治理燃煤烟气，强化工业废气治理。1.全面治理“燃煤烟气”。2.深入100、治理“工业废气”。3.加强消耗臭氧层物质控制。（四）实施 VOCs 专项整治，强化臭气异味治理。1.推进重点区域、重点行业 VOCs 减排。2.推进环境友好型原辅材料替代。3.发展清洁的绿色xx产品。4.推广清洁生产工艺。5.实施密闭化生产。6.深入开展泄漏检测与修复（LDAR）。7.开展臭气异味源排查治理。（五）积极调整运输结构，加快治理“车船尾气”。1.加强机动车xx管理。 105 2.提升燃油品质。3.加强油气回收治理。4.发展清洁交通。5.加强船舶污染排放监管。6.加强非道路移动机械污染排放监管。（六）调整优化用地结构，强化治理“扬尘灰气”。1.加强施工场地扬尘管理。2.强化道路扬尘治101、理。3.加强堆场扬尘治理。4.加强矿山粉尘防治。5.推进绿化造林工程。（七）深入治理“城乡排气” ，重点推进源头防治。1.严格控制餐饮油烟。2.控制装修和干洗废气污染。3.加强农业废气管理。（八）加强区域联防联控，积极应对重污染天气。1.完善区域大气污染联合防治机制。2.完善区域空气质量监测体系。3.构建区域应急预警体系。4.实施季节性污染排放调控。5.实施区域大气环境联合执法监管。综合以上分析，随着区域大气污染防治工作的持续有效推进，预计区域整体环境空气质量将会有所改善。（3）特征污染物环境质量现状为进一步了解建设项目所在地环境空气质量现状，本次评价委托xx普洛赛斯检测科技有限公司对项目周边102、大气环境进行了补充监测。具体方案如下：监测因子：TSP 、非甲烷总烃、氟化物、氯化氢、硫酸雾、氯气、氨、异 106 丙醇、砷、臭气浓度。监测点位：共设置 2 个监测点 Q1 和 Q2 ，分别位于项目所在地 Q1 和主导风向东北风(EN)下风向距离厂界约 1600m 处新江村（Q2）。图 3.1-1 环境空气监测点位图监测时间、频率：连续监测 7 天。测小时浓度（每天监测四次，监测时段 为 02 、08 、14 、20 时）。砷、TSP 测日均值。氟化物、氯化氢、硫酸雾、氯气监测日均值和小时浓度。各监测点位的环境空气监测结果见表 3.1-2。表 3.1-2 环境空气现状监测结果表采样点检测项目时103、段检测结果（单位：mg/m3）2022.5.142022.5.152022.5.162022.5.172022.5.182022.5.192022.5.20项目所在地Q1非甲烷总烃 （以碳计）021.391. 121.341.441.081.261.08081.331. 111.351.341.131.061.17141.231.241.201.201.101.381.38201.471.351.271. 141.361.401.25总悬浮颗粒 物日均0.1160.1100.1270. 1440.1280. 1240.107氟化物020.001040.000700.000950.000670.104、000960.000330.00096 107 080.000640.000920.000580.000810.000560.000740.00073140.000960.000640.001270.000880.000460.000650.00084200.000580.001130.000730.000640.000500.000840.00064日均0.000470.000230.000190.000170.000180.000160.00020氯化氢020.0220.0220.0230.0230.0230.0220.022080.0220.0220.0230.0220.0220.024105、0.022140.0220.0220.0220.0230.0220.0220.022200.0220.0220.0220.0220.0220.0220.023日均0.0110.0110.0120.0100.0110.0130.013硫酸雾020.0130.0090.0170.0170.0060.0110.015080.0120.0080.0150.0070.0150.0080.007140.0130.0100.0090.0090.0070.0100.007200.0060.0130.0080.0160.0140.0150.013日均0.0050.0070.0060.0060.0050.0070106、.006氯气020.030.030.030.030.030.030.03080.030.030.030.030.030.030.03140.030.030.030.030.030.030.03200.030.030.030.030.030.030.03日均0.0010.0010.0010.0010.0010.0010.001氨020.050.030.020.040.060.020.03080.020.050.050.040.050.060.04140.040.040.040.030.040.030.06200.020.040.030.050.050.040.05臭气浓度021010101010107、101010101010101010101010101010101010101010101008101010101010101010101010101010101010101010101010101010101410101010101010101010101010101010101010101010101010101010砷日均2 10-72 10-72 10-72 10-72 10-72 10-72 10-7新江村 Q2非甲烷总烃 （以碳计）021.401.161.161.301.281. 121.06081.281.381.211.331.221.041.27141.181.161.131108、. 121.361.321.38201.091.301.311.381.241.351.35总悬浮颗粒 物日均0. 1220. 1210.1350.1150.1300.1040.140氟化物020.000840.000840.000580.000460.000240.000880.00084 108 080.000460.001040.000800.000370.000850.000670.00070140.000640.000670.000100.000770.000560.000460.00050200.000910.000950.000700.000740.000840.000700.0109、0068日均0.000490.000190.000170.000120.000160.000170.00024氯化氢020.0220.0220.0220.0230.0220.0220.022080.0220.0220.0230.0220.0220.0220.022140.0220.0220.0230.0220.0220.0220.022200.0220.0230.0220.0240.0220.0240.023日均0.0100.0090.0100.0110.0090.0150.010硫酸雾020.0070.0150.0100.0100.0090.0070.013080.0140.0160.006110、0.0180.0070.0090.009140.0110.0110.0140.0150.0160.0160.008200.0090.0100.0070.0090.0120.0080.019日均0.0060.0060.0050.0070.0060.0060.005氯气020.030.030.030.030.030.030.03080.030.030.030.030.030.030.03140.030.030.030.030.030.030.03200.030.030.030.030.030.030.03日均0.0010.0010.0010.0010.0010.0010.001氨020.050.0111、50.020.060.040.050.04080.030.030.050.050.050.020.04140.030.040.060.030.030.040.05200.020.040.030.050.020.050.03臭气浓度02101010101010101010101010101010101010101010081010101010101010101010101010101010101010101010101010101014101010101010101010101010101010101010101010101010101010102010101010101010101010101112、010101010101010101010101010101010砷日均2 10-72 10-72 10-72 10-72 10-72 10-72 10-7由表可知，项目拟建区域的特征污染因子氟化物、砷、总悬浮颗粒物符合环境空气质量标准（GB3095-2012）中的二级标准要求，HCl 、硫酸雾、氯气、NH3 符合 HJ2.2-2018 附录 D 标准要求，非甲烷总烃符合大气污染物综合排放 109 标准详解中的取值标准。其中砷、氟化物、氯气、臭气浓度均未检出。3.1.2 地表水环境本项目附近地表水为沿塘抢险河、钱江直河，根据xx省水功能区、水环境功能区划分方案，项目所在地水系属于xx江 337113、 水系，水环境质量执行 地 表水环境质量标准（GB3838-2002）IV 类标准。为了解本项目附近水体水环境质量现状，本次评价对周边地表水进行监测，具体内容如下：监测断面：在项目附近沿塘抢险河上布设 1 个地表水监测断面 W1。图 3.1-2 地表水水质监测点位图监测因子水温、pH 、DO 、高锰酸盐指数、CODCr 、BOD5 、氨氮、总磷、铜、氟化物、砷、硫化物、钴、银、镍。监测时间、频率连续监测 3 天，每天采样一次。水温观测频次，应每间隔 6h 观测一次水温，统计计算日平均水温。具体监测断面评价结果见下表 3.1-3。 110 表 3.1-3 项目附近地表水监测结果检测项目单位检测结114、果沿塘抢险河地表水监测断面 W12022.5.142022.5.152022.5.16*pH 值/7.57.67.5*水温19.618.622.4*溶解氧mg/L5.625.615.62高锰酸盐指数mg/L3. 13.53. 1化学需氧量mg/L171413五日生化需氧 量mg/L3.33.43.3氨氮mg/L0.2360.3270.393总磷mg/L0.040.030.005铜mg/L0.01L0.01L0.01L氟化物mg/L0.1740.1590.173砷mg/L0.0003L0.0003L0.0003L硫化物mg/L0.01L0.01L0.01L钴mg/L0.005L0.005L0.0115、05L银mg/L0.0025L0.0025L0.0025L镍mg/L0.005L0.005L0.005L注：1.有*为现场测试值；2.L 表示检测结果小于检出限。由上表可知，项目附近沿塘抢险河监测断面水质均满足地表水环境质量标准（GB 3838-2002）III 类标准。3.1.3 声环境为了解本项目附近声环境质量现状，本次评价委xx求实环境监测有限公司于 2022 年 5 月对项目拟建区域声环境进行了采样监测，具体情况如下：（1）监测项目：等效连续 A 声级 Leq(A)。（2）监测点位：在厂界四至共设 4 个监测点。 111 图 3.1-3 噪声监测点位图（3）监测时间及频次：监测一天，昼116、夜间各一次。监测期间气象条件满足要求。（4）监测结果与评价分析声环境质量现状监测结果见表 3.1-4。表 3.1-4 噪声现状监测结果 单位：dB(A)监测编号监测点位监测时间监测值标准值昼间夜间昼间夜间1#厂界东2022.5.2256.647.965552#厂界南2022.5.2257. 146.365553#厂界西2022.5.2255.745.865554#厂界北2022.5.2256.446.66555从监测结果可知，本项目所在地东、南、西、北四侧厂界的昼、夜噪声均能达到声环境质量标准（GB3096-2008）中 3 类标准要求。3.1.4 生态环境本项目周边主要为工业厂房和空地（待117、建工业用地）以及少量农田。根据现 场踏勘，周边农田主要为临时农田，且无桑蚕养殖，因此项目用地周边无生态环境保护目标，本项目无需进行生态现状调查。3.1.5 电磁辐射 112 项目不涉及有关电磁辐射类项目，无需对项目电磁辐射现状开展监测与评价。3.1.6 地下水环境为了解建设项目所在地地下水质量现状，本次评价委托xx普xx检测科技有限公司对项目所在地地下水环境进行监测。具体方案如下：监测因子：取水位，K+、Na+、Ca2+、Mg2+、CO32-、HCO3-、Cl-、SO42-、pH、 氨氮、硝酸盐、亚硝酸盐、挥发性酚类、氰化物、砷、汞、铬(六价) 、总硬度、 铅、氟化物、镉、铁、锰、溶解性总固体118、耗氧量、硫酸盐、氯化物、总大肠菌群、细菌总数、钴、银、镍；监测点位：共设置 6 个监测点位(D1D6)，其中 3 个水质监测点位(D1D3)， 6 个水位监测点位(D1D6)；其中 3 个水位监测点位同水质监测点位，分别于企业所在地及周边区域，可利用现有水井。图 3.1-4 地下水监测点位图监测频次：有效监测 1 次，监测 1 天。取样点深度应在井水位以下 1.0m 113 以内。地下水位监测结果见表 3.1-5。表 3.1-5 地下水位监测结果采样点水位采样点水位D14.24D24.28D34.25D44.24D54.20D64.32地下水阴阳离子监测结果见表 3.1-6。表 3.1-6 119、地下水阴阳离子监测结果监测项目D1D2D3CC 当量CC 当量CC 当量mg/Lmeq/Lmg/Lmeq/Lmg/Lmeq/L阳 离 子K+24.40.6325.20.6524.70.63Na+24.31.0623.91.0424.01.04Ca2+61.23.0659.62.9859.62.98Mg2+16.01.3316.21.3516.41.37合计/6.08/6.02/6.02阴 离 子CO32-50.0050.0050.00HCO3-2303.772253.692273.72Cl-26.00.7326.30.7425.90.73SO42-71.41.4971.91.5071.31.4120、9合计/5.99/5.93/5.94离子平衡 误差*/-0.75%/-0.75%/-0.67%注：C 当量（meq/L）= C（mg/L） 离子的化合价/离子的原子量。离子平衡误差的检查公式为 E=(mc-ma ）/(mc+ma ） 100% ，式中 E 为相对误差， mc 、ma 分别为阴离子和阳离子的当量总数。根据上表，阴阳离子相对误差未超过5% ，阴阳离子摩尔浓度基本平衡，监测数据有效。地下水水质监测和评价结果见表 3.1-7。表 3.1-7 地下水水质监测和评价结果表检测项目单位检测结果(2022.5.14)D1D2D3pH 值/7. 17.07.2水温16.717.216.4氨氮mg121、/L0.1910.1490.206 114 硝酸盐mg/L4.314.544.79亚硝酸盐mg/L0.005L0.005L0.005L挥发酚mg/L0.0003L0.0003L0.0003L氰化物mg/L0.004L0.004L0.004L砷mg/L0.001L0.001L0.001L汞mg/L0.0001L0.0001L0.0001L六价铬mg/L0.004L0.004L0.004L总硬度mg/L220217218铅mg/L0.00007L0.00007L0.00007L氟化物mg/L0.0440.0430.037镉mg/L0.00006L0.00006L0.00006L铁mg/L0.03L122、0.03L0.03L锰mg/L0.040.070.05溶解性总固体mg/L453448449耗氧量(高锰酸盐指数)mg/L2. 12.62.2硫酸盐mg/L71.471.971.3氯化物mg/L26.026.325.9总大肠菌群MPN/100mL未检出未检出未检出细菌总数CFU/mL394247钴mg/L0.00003L0.00003L0.00003L银mg/L0.00003L0.00003L0.00003L镍mg/L0.00007L0.00007L0.00007L注：1.有*为现场测试值；2.L 表示检测结果小于检出限。监测结果表明，对照地下水质量标准（GB/T14848-2017），本项目123、附近地下水水质总体为 III 类。3.1.7 土壤环境为了解建设项目附近土壤质量现状，本次评价委托xx普xx检测科技有限公司对项目所区域土壤环境进行监测。具体方案如下：（1）监测点位及监测因子共设置 6 个监测点位，其中厂区内设置 3 个柱状样点(T1-T3) ，1 个表层样点(T4) ，厂界外 2 个表层样点（T5-T6）。监测点位见表 3.1-8。表 3.1-8 土壤监测点位一览表位置编号监测点位类型监测因子厂区内T1厂区内（FAB 厂房）柱状样土壤环境质量 建设用地土壤污染风险 管控标准（试行）（GB36600-2018）表 1 中的基本项目共 45 项（其中包括了本项 目特征因子镍）、124、pH 、石油烃、钴、银 115 T2厂区（污水处理站）柱状样pH 、石油烃、钴、银、镍T3厂区（危废仓库）柱状样pH 、石油烃、钴、银、镍T4厂区（生产车间）表层样pH 、石油烃、钴、银、镍厂区外T5厂区外北侧工业 用地表层样土壤环境质量 建设用地土壤污染风险管控标准（试行）（GB36600-2018）表1 中的基本项目共 45 项（其中包括了本项目特征因子镍）、pH 、石油烃、钴、银T6厂区外东侧农田表层样土壤环境质量 农用地土壤污染风险管 控标准（试行）（GB 15618-2018）的基 本因子（其中包括了本项目特征因子镍）、pH 、石油烃、钴、银图 3.1-5 土壤监测点位图（2）监测时125、间及频率监测时间：2022 年 5 月 14 日。采样频率均为 1 次。（3）监测结果与评价分析 116 监测点的土壤环境质量监测结果见表 3.1-9 至 3.1- 11。表 3.1-9 土壤监测统计结果表检测项目单位检测结果T5T6T10-0.2m0-0.5m0.5- 1.5m1.5-3.0m3.0-6.0mpH 值/7.297.386.987.257.327.44镉mg/kg3.042.903.733.713.423.60汞mg/kg0.100. 110. 110.130.100.10砷mg/kg0.50.50.50.50.50.5铅mg/kg2467677六价铬mg/kg57.228.6126、29. 129.035.432. 1铜mg/kg0.07960.07840.1260.1450.1340.167镍mg/kg413134313733四氯化碳g/kg1.31.31.31.31.31.3氯仿g/kg1. 11. 11. 11. 11. 11. 1氯甲烷g/kg1.01.01.01.01.01.01, 1-二氯乙烷g/kg1.21.21.21.21.21.21,2-二氯乙烷g/kg1.31.31.31.31.31.31, 1-二氯乙烯g/kg1.01.01.01.01.01.0顺- 1,2-二氯乙烯g/kg1.31.31.31.31.31.3反- 1,2-二氯乙烯g/kg1.41.127、41.41.41.41.4二氯甲烷g/kg1.51.51.51.51.51.51,2-二氯丙烷g/kg1. 11. 11. 11. 11. 11. 11, 1, 1,2- 四氯乙烷g/kg1.21.21.21.21.21.21, 1,2,2- 四氯乙烷g/kg1.21.21.21.21.21.2四氯乙烯g/kg1.41.41.41.41.41.41, 1, 1-三氯乙烷g/kg1.31.31.31.31.31.31, 1,2-三氯乙烷g/kg1.21.21.21.21.21.2三氯乙烯g/kg1.21.21.21.21.21.21,2,3-三氯丙烷g/kg1.21.21.21.21.21.2氯128、乙烯g/kg1.01.01.01.01.01.0苯g/kg1.91.91.91.91.91.9氯苯g/kg1.21.21.21.21.21.21,2-二氯苯g/kg1.51.51.51.51.51.51,4-二氯苯g/kg1.51.51.51.51.51.5乙苯g/kg1.21.21.21.21.21.2苯乙烯g/kg1. 11. 11. 11. 11. 11. 1甲苯g/kg1.31.31.31.31.31.3间二甲苯+对二甲苯g/kg1.21.21.21.21.21.2邻二甲苯g/kg1.21.21.21.21.21.2硝基苯mg/kg0.090.090.090.090.090.09苯胺g129、/kg1.01.01.01.01.01.02-氯酚mg/kg0.060.060.060.060.060.06苯并a蒽mg/kg0. 10. 10. 10. 10. 10. 1 117 苯并a芘mg/kg0. 10. 10. 10. 10. 10. 1苯并b荧蒽mg/kg0.20.20.20.20.20.2苯并k荧蒽mg/kg0. 10. 10. 10. 10. 10. 1mg/kg0. 10. 10. 10. 10. 10. 1二苯并a,h蒽mg/kg0. 10. 10. 10. 10. 10. 1茚并1,2,3-cd芘mg/kg0. 10. 10. 10. 10. 10. 1萘mg/kg0.130、090.090.090.090.090.09石油烃（C10-C40）mg/kg611341486钴mg/kg191416151716银mg/kg0. 10. 10. 10. 10. 10. 1表 3.1-10 土壤监测统计结果表检测项目单位检测结果T4T20-0.2m0-0.5m0.5- 1.5m1.5-3.0m3.0-6.0mpH 值/7.527.177.367.247.48石油烃（C10-C40）mg/kg1319373135钴mg/kg1816171615银mg/kg0. 10. 10. 10. 10. 1镍mg/kg4130312829表 3.1-11 土壤监测统计结果表检测项目单位检131、测结果T30-0.5m0.5- 1.5m1.5-3.0m3.0-6.0mpH 值/7.197.237.387.18石油烃（C10-C40）mg/kg13666钴mg/kg18191818银mg/kg0. 10. 10. 10. 1镍mg/kg39403940由监测结果可知，项目监测点 T1T5 的各监测因子均低于土壤环境质量建 设用地土壤污染风险管控标准（试行）（GB36600-2018）中第二类用地筛选值, 监测点 T6 的各监测因子均低于土壤环境质量 农用地土壤污染风险管控标准（试行）（GB 15618-2018）中的风险筛选。环 境 保 护 目3.2 环境保护目标3.2.1 大气环境项目132、厂界外 500 米范围内没有自然保护区、风景名胜区、居住区、文化区等敏感保护目标，且项目厂界外 500 米范围内无规划敏感保护目标。 118 标图 3.2-1 大气环境保护目标图（厂界外 500 米范围内）3.2.2 声环境厂界外 50 米范围内无声环境保护目标。3.2.3 地下水环境厂界外 500 米范围内无地下水集中式饮用水水源和热水、矿泉水、温泉等特殊地下水资源。3.2.4 生态环境本项目位于工业区内，购买工业用地新建厂房进行生产，项目用地范围内没有生态环境保护目标。 119 污 染 物 排 放 控 制 标 准3.3 污染物排放控制标准3.3.1 废气（1）施工期废气排放标准本项目施工期133、产生的废气主要为扬尘，扬尘废气排放执行大气污染物综合 排放标准(GB16297- 1996)表 2 中的无组织排放监控浓度限值要求。具体见表3.3- 1。表 3.3-1 大气污染物综合排放标准（GB16297-1996）污染物无组织排放监控浓度限值监控点浓度（mg/m3）颗粒物周界外浓度最高点1.0（2）营运期废气排放标准本项目运营期生产过程的氯气、氟化物、HCl 、NOx 、硫酸、非甲烷总烃执行大气污染物综合排放标准（GB 16297- 1996）表 2 中的二级标准。硅烷排放 浓度参照执行荷兰排放导则（NER）；丙酮排放浓度参照执行上海大气污 染物综合排放标准（DB31/933-2015）134、中附录 A；磷烷、砷烷、异丙醇排放浓度 参照执行江苏省地方标准半导体行业污染物排放标准（DB32/3747-2020）表3 大气污染物排放限值，具体见表 3.3-2。表 3.3-2 大气污染物综合排放标准（GB16297-1996）污染物最高允许排放浓度（mg/m3）最高允许排放速(kg/h)无组织排放监控浓度限值排气筒(m)二级监控点浓度（mg/m3）氯气65351.9周界外浓度最 高点0.40氟化物9.00.820HCl1002.00.20非甲烷总烃12076.54.0硫酸4511.91.2NOx2406.00. 12硅烷*3.05.00.52丙酮*8030.63.2砷化氢*1.00.30135、.036磷化氢*1.00.80.08异丙醇*4023.02.4注：允许排放速率依据制定地方大气污染物排放标准的技术方案（GB/T13201-91）中 第 6 节所推荐公式计算：Q=CmRKe式中：Q 为排气筒允许排放速率；Cm 为环境质量一次值；R 为排放系数，排气筒为 15m、20m、 120 30 m 及40m时，xx 二类功能区为 6、12、32、58；本项目排气筒35m，R 系数取中间值45。Ke 为地区性经济技术参数，取值0.5 1.5，取0.85；根据大气污染物综合排放标准详解无组织监控点浓度取环境质量标准的 4 倍。生产废气氨和臭气浓度排放执行恶臭污染物排放标准（GB14554-136、93）表 2 标准，项目自建污水处理站在运行过程中产生的氨和硫化氢等臭气污染物恶臭污染物排放标准（GB14554-93）表 2 标准，执行见下表 3.3-3。表 3.3.-3 恶臭污染物排放标准（GB14554-93）污染物排放标准值厂界标准值排气筒高度，m排放量，kg/h新扩改建，mg/m3NH335271.53020H2S301.30.06臭气浓度306000(无量纲）20(无量纲）臭气浓度3515000(无量纲）企业厂区内 VOCs无组织排放监控点浓度执行挥发性有机物无组织排放控制标准（GB3782-2019）附录 A 中表 A. 1 特别排放限值，具体标准详见下表 3.3-4。表 3.137、3-4 挥发性有机物无组织排放控制标准（GB37822-2019）表 A.1污染物项目特别排放限值， mg/m3限值含义无组织排放监控位 置NMHC6监控点处 1h 平均浓度值在厂房外设置监控 点20监控点处任意一次浓度值本项目废气处理设备的天然气燃烧废气执行工业炉窑大气污染综合治理方案(环大气201956 号) 、xx省工业炉窑大气污染综合治理实施方案（浙环函2019315 号）中的限值要求，具体见表 3.3-5。表 3.3-5 xx省工业炉窑大气污染综合治理实施方案（浙环函2019315 号）污染物项目重点区域大气污染物排放限值（mg/m3）污染物排放监控位置颗粒物30烟囱或烟道二氧化硫2138、00氮氧化物300本项目锅炉烟气排放执行锅炉大气污染物排放标准(DB3301/T0250-2018）中的要求，根据xx省空气质量改善“十四五”规划（浙发改规划2021 215号），新建燃气锅炉的氮氧化物排放浓度原则上稳定在 30mg/m3 以下，具体见表3.3-6。 121 表 3.3-6 锅炉大气污染物排放标准（摘录）(DB3301/T0250-2018)序号污染物项目燃气锅炉限值(mg/m3)污染物排放监控位置1颗粒物10烟囱或烟道2二氧化硫203氮氧化物（以 NO2 计）30*4烟气黑度（xx曼黑度，级）1烟囱排放口本项目食堂设 6 个基准灶头，食堂油烟废气排放执行饮食业油烟排放标准（试139、行）（GB18483-2001）的大型规模标准，具体见表 3.3-7。表 3.3-7 饮食业油烟排放标准（试行）（GB18483-2001）规模小型中型大型基准灶头数1 ，33 ，66对应灶头总功率（108J/h）1.67 ，5.005.00 ，1010总投影面积（m2）1. 1 ，3.33.3 ，6.66.6最高允许排放浓（mg/m3）2.0净化设施最低去除率（%）607585注：单个灶头基准排风量：2000m3/h3.3.2 废水（1）施工期废水项目施工期产生的废水为生活污水和施工废水，施工废水经沉淀后回用，外排废水为生活污水，生活污水经简易化粪池处理达到污水综合排放标准(GB8978- 140、1996)三级标准和工业企业废水氨、磷污染物间接排放限值（DB33/887-2013）后纳管纳入污水管网。具体标准值见表 3.3-8。表 3.3-8 废水排放标准污染物pH化学需氧量SS动植物油总氮（以 N 计）氨氮总磷（以 P 计）污水综合排放标 准（GB8978- 1996）三级69500400100/35*8*注：氨氮、总磷排入污水处理厂，其纳管标准执行xx省地方标准工业企业废水氨、 磷污染物间接排放限值（DB33/887-2013）。（2）营运期废水本项目运营期排放生产废水和生活污水，生产废水经厂区废水处理系统处理 后和经过化粪池、隔油池处理后的生活污水一起纳管，纳管废水执行电子工业 141、水污染物排放标准（GB39731-2020）表 1 水污染物排放限值和表 2 单位产品基准排水量，具体标准值见表 3.3-9 和表 3.3- 10。 122 表 3.3-9 电子工业水污染物排放标准（GB39731-2020）表 1单位：mg/L ，除 pH 外序号污染物项目间接排放限值（1）污染物排放监控位置电子专用材料电子元件印刷电路板半导体 器件显示器件及光电子器件电子终 端产品1pH 值6.0-9.0企业废水 总排放口2悬浮物（SS）4003石油类204CODCr5005总有机碳（TOC）2006氨氮45（35*）7总氮708总磷8.09LAS2010总氰化物1.011硫化物-1.01142、.0-12氟化物20-13总铜2.02.0（2）14总锌1.51.5-1.51.51.5（2）15总铅0.20.2（2）车间或生 产设施废 水排放口16总镉0.050.05-1.51.51.5（2）17总铬1.01.0-1.0-1.0（2）18六价铬0.20.2-0.2-0.2（2）19总砷0.50.5-0.50.5-20总镍0.50.5（2）21总银0.30.3（2）22总钴*1.023总钒*1.0注：电子工业水污染物排放标准（GB39731-2020）中无总钴和总钒标准，参照执行上海 市地方标准污水综合排放标准 （DB31/199-2018） 。氨氮纳管标准从严执行xx省地标工业企业废水氮143、磷污染物间接排放限值（DB33/887-2013）中的 35mg/L 标准限值。表 3.3-10 电子工业水污染物排放标准（GB39731-2020）表 2序适用企业产品规格单位单位产品排水量计 123 号基准排水 量量单位1半导体器件6 英寸及以下芯片m3/片3.2与污染物 排放监控 位置一致8 英寸芯片m3/片6.012 英寸掩膜层数 35 层 及以下m3/片11掩膜层数 35 层 及以上20封 装 产 品传统封装产品m3/千块产品2.0圆片级封装产 品m3/片11分立器件m3/万块产品3.5纳管废水最终由xx污水处理厂处理后达到城镇污水处理厂排放标准（GB18918-2002）一级 A144、 标准。排放标准具体见表 3.3- 11。表 3.3-11 城镇污水处理厂污染物排放标准（GB18918-2002） 单位：除 pH 外为 mg/L序号项目xx 污水处理厂废水排放标准1pH692CODCr503BOD5104SS105氨氮2.5*6石油类17总磷0.58LAS0.59总氮1510总氰化物0.511硫化物112氟化物/13总铜0.514总锌1.015总铅0. 116总镉0.0117总铬0. 118六价铬0.0519总砷0. 120总镍0.0521总银0. 1 124 注：氨氮和总磷的纳管标准参照工业废水氮、磷污染物间接排放限值（DB33/887-2013） 中的 限值。xx污水145、处理厂企业进管控制标准根据萧水务201020 号关于同意实施萧 山东部地区排 污企业并网要求 的批复。 总氮执行污水排入城镇下水道水质标准 （GB/T31962-2015）中 70mg/L； xx污水处理厂出水氮按照 2.5mg/L。3.3.3 噪声（1）施工期噪声本项目建设期施工场界噪声执行建筑施工场界环境噪声排放标准（GB12523-2011），见表 3.3- 12。表 3.3-12 建筑施工场界环境噪声排放标准（GB12523-2011）单位：dB(A)昼间夜间7055注：夜间偶发噪声的最大声级超过限值的幅度不得高于 15 dB（A）。（2）营运期噪声本项目运营期厂区厂界噪声执行工业企业146、厂界环境噪声排放标准(GB12348-2008)中 3 类标准。具体标准值见表 3.3- 13。表 3.3-13 工业企业厂界环境噪声排放标准(GB12348-2008)厂界外声环境功能区类别昼间，dB(A)夜间，dB(A)365553.3.4 固废中华人民共和国固体废物污染环境防治法中的有关规定，一般工业废物妥善处理，不得形成二次污染。根据一般工业固体废物贮存和填埋污染控制标准（GB18599-2020），采 用库房、包装工具（罐、桶、包装袋等）贮存一般工业固体废物过程的污染控制， 不适用本标准，其贮存过程应满足相应防渗漏、防雨淋、防扬尘等环境保护要求。 危险废物应根据危险废物贮存污染控制标147、准（GB18597-2023) 、危险废物 识别标志设置技术规范 （HJ 12762022）、环境保护图形标志 固体废物 贮存（处置）场（GB 15562.2- 1995）修改单要求贮存，应根据国家危险废物名录委托有资质的单位进行处理。 125 总 量 控 制 指 标3.4总量控制指标1 、总量控制指标污染物排放实施总量控制是执行xx管理目标责任制的基本原则之一。本环 评结合xx管理要求，对项目主要污染物的排放量进行总量控制分析，根据环评 有关规范、xx管理部门要求，本项目实施后，纳入总量控制指标确定为CODCr、NH3-N 、VOCs 、SO2 、NOx 、工业烟粉尘、砷、总镍、总银、总钴、148、总钒。2 、总量平衡方案（1）根据关于加强重点行业建设项目区域削减措施监督管理的通知（环 办环评 202036 号）要求，所在区域、流域控制单元环境质量未达到国家或 者地方环境质量标准的，建设项目应提出有效的区域削减方案，主要污染物实行 区域倍量削减，确保项目投产后区域环境质量有改善；所在区域、流域控制单元 环境质量达到国家或者地方环境质量标准的，原则上建设项目主要污染物实行区域等量削减，确保项目投产后区域环境质量不恶化。（2）根据建设项目主要污染物排放总量指标审核及管理暂行办法（环 发2014197号）、建设项目主要污染物排放总量指标审核及管理暂行办法（环发2014197 号）和xx省工业污149、染防治“十三五 ”规划（浙环发201646号）、xx市建设项目和排污权交易总量审核管理暂行规定(杭环发2015143号）等相关规定：对重点区域的二氧化硫、氮氧化物、工业烟粉尘、挥发性有机 污染物(VOCs)提出控制要求。对于重点控制区和大气环境质量超标城市，新建项目实行区域内现役源2倍削减量替代；一般控制区实行1.5倍削减量替代。xx省境内属重点控制区为xx、宁波、xx、 湖州、绍兴5个城市，其它非重点区域建议参照执行。（3）重金属污染排放的削减替代比例根据该文件要求xx省生态环境厅关于印发xx省重金属污染防控工作方案的通知（浙环发202214号）执行：“重点重金属污染物。重点防控的重金属污染150、物是铅、汞、镉、铬、砷、铊和锑， 126 对铅、汞、镉、铬和砷五种重点重金属污染物排放量实施总量控制 ”、“重点区域。根据国家意见，xx市xx 区为“十四五”全国重金属污染防控重点区域；根据我省重金属污染物排放总量和风险防控需求，xx市鹿城区等19个县（市、区）和开发区作为省级重金属污染治理重点区 ”和“严格环境准入管理。纳入全 国重金属污染防控重点区域的新、改、扩建重点行业建设项目应遵循重点重金属 污染物排放“减量替代 ”原则，减量替代比例不低于1.2:1；其他区域遵循“等量替代 ”原则 ”。本项目属于计算机、通信和其他电子设备制造业，不属于环固体202217号、xx省生态环境厅关于印发xx151、省重金属污染防控工作方案的通知（浙环发202214号）中的重点行业；项目位于xx省xx市xx区，不属于重点区域。本项目涉及重点重金属污染物（砷），但不涉及重点行业、重点区域，其新增排放总量替代削减遵循“等量替代 ”原则。本项目排放的镍、银、钴和钒不属于总量控制的重金属指标，其新增排放不需要总量替代削减，仅需备案登记。综上所述，本项目新增CODCr 、氨氮按 1:1 比例削减替代；新增重金属砷按 按 1:1 的比例削减替代；新增烟粉尘、二氧 化硫、氮氧化物、VOCs 按 1:2 的比例削减替代。本项目总量平衡方案见下表3.4- 1。表 3.4-1 本项目污染物总量情况一览表 单位：t/a类别项目152、总量控制建议值区域削减替代比例区域削减替代总量废气SO20.1631:20.326NOx5.7991:211.598工业烟粉尘0.3571:20.714VOCs5.8101:211.620重金属（砷）1.620kg/a1:11.620kg/a废水CODCr117.7711:1117.771NH3-N5.8891:15.889总镍8.943 kg/a/总银1.752 kg/a/总钴2.920kg/a/总钒2.920 kg/a/本项目污染物排放情况为：废水量，2355418 t/a ，CODCr 117.771 t/a（按xx 127 污水处理厂最终外排浓度50 mg/L计）、氨氮5.889t/a153、（按xx污水处理厂最终外排浓度2.5 mg/L计）、二氧化硫0. 163t/a、氮氧化物5.799t/a、烟粉尘0.357t/a、VOCs 5.810 t/a 、重金属砷1.620kg/a 。项目需按照规定进行区域替代削减和排污权交易。具体总量指标由xx市生态环境局xx区分局管理部门核准和调配。 128 四、主要环境影响和保护措施施 工 期 环 境 保 护 措 施4.1 施工期环境保护措施4.1.1 施工废水建设项目施工期间产生的污水主要包括：含泥沙的施工废水、机械设备的冲洗水、生活污水等。含泥沙的施工废水 和机械设备的冲洗废水难以定量，废水中污染物主要是 SS。施工废水就近修建沉淀池经过预处154、理后回用，不直接排入当 地水环境。 类比相似工程，施工营地人员生活污水产生量约为 40kg(人 d) ，废水产生量小。按施工时场地最大人数为 100 人计，施工期产生的生活污水量为 4t/d 。生活污水主要污染物为 SS 、COD 、BOD 等。本项目在厂区内修建化粪池用于处理施工人员的生活污水，不直接外排，避免对周围水体产生不利影响。4.1.2 施工废气施工期的主要大气污染为施工扬尘。在整个建设施工阶段，清场整地、挖 土、打桩、建材的运输和装卸以及混凝土搅拌等施工作业过程都会产生扬尘。施工扬尘会对周围环境带来一定影响。按起尘的原因，施工期间的扬尘可分为风力起尘和动力起尘。其中风力起 尘主要是155、由于露天堆放的建材（如黄沙、 水泥等）及裸露的施工区表层浮尘由 于天气干燥及大风，产生风力扬尘；而动力起尘，主要是建材的装卸、搅拌的 过 程中，由于外力而产生的尘粒再悬浮而造成，其中施工及装卸车辆造成的扬 尘最为严重。根据施工场地粉尘粒径、沉降特性等分析，建筑工地扬尘对大气 影响范围主要集中在 100m 以内。施工期间扬尘防治措施：施工场地四周设置围挡，高度不低于 2.5 米，该措施可以将施工扬尘影响距离缩小 40%； 建筑材料定点堆存，施工场地地面要定时清扫，施工现场各扬尘点、地面和道路要每天定时洒水抑尘，洒水次数根据天气状况而定，一般早、晚各一次，若遇大风或干燥天气可适当增加洒水次数； 工156、地出入口设置宽 3.5m、长 10m、深 0.2m 129 的水池，深入铺一层粒径 50mm碎石，以减少驶出车辆轮胎带的泥土量；运输建筑材料的车辆要加盖篷布减少洒落。施工单位应落实xx 市城市扬尘污染防治管理办法下列措施：（一）制定扬尘污染防治方案和应急预案；（二）设立信息公示牌，公示举报电话、扬尘污染防治措施、责任人、监 管主管部门等信息，鼓励在线监测数据向社会公开，接受社会监督；（三）工地周围设置硬质围挡措施，场内易扬尘堆放物应在周围设置不低 于堆放物高度的封闭性围栏，主体在建工程脚手架外侧必须使用密目式安全网 或更高效的防尘措施进行封闭；（四）工地出入口及场内主要道路进行硬化处理，工地出157、入口设置车辆清洗设施以及配套排水、泥浆沉淀设施，运输车辆经除泥、冲洗干净后，方可驶出施工工地。施工过程中，禁止使用超标排放的工程车辆和非道路移动机械；（五）开挖、拆除、爆破、洗刨、风钻等工程作业时，应采取洒水、喷雾等抑尘措施；（六）建筑土方、工程渣土、建筑垃圾等堆放物 48 小时内未能及时清运的，应采用密闭式防尘网遮盖等防尘措施；（七）项目竣工前，应平整施工工地并清除积土、堆放物。4.1.3 施工噪声施工期噪声主要来自施工机械噪声、施工作业噪声和运输车辆噪声。施工机械噪声由施工机械所造成，如挖土机械、 升降机等，多为点声源；施工作业噪声主要指一些零星的敲打声、装卸建材的撞击声、拆装模板的撞击声158、等，多为瞬间噪声；运输车辆的噪声属于交通噪声。在这些施工噪声中对声环境影响最大的是施工机械噪声。建设期主要施工机械设备的噪声源强见表 4.1- 1 ，当多台机械设备同时作业时，产生噪声叠加，根据类比调查，叠加后的噪声增加 38dB ，一般不会超过 10dB。 130 表 4.1-1 主要施工机械设备噪声强度序号施工机械测量声级 dB距声源距离 m频谱特征1压路机73-8815低中频2前斗式装料机72-9615低中频3铲土机72-9315低中频4推土机67-7030低中频5钻土机67-7030低中频6平土机80-9015低中频7卡车70-9515低中频8混凝土泵送车72-9015宽频9混凝土振捣159、器69-8115中高频10夯土机83-9010中高频根据上表分析，由于施工期间施工机械噪声较高，而且一般施工机械均在露天操作，周边环境对噪声的衰减作用较为不利，因此施工设备噪声的干扰影响范围还是比较大的，因此必须采取以下措施，严格管理。（一）合理安排施工时间，不允许夜间施工，如需夜间施工，需办理夜间施工许可审批。获得审批后合理安排高噪 声施工作业的时间，每天 22 点至次日凌晨 6 点禁止高噪声机械作业，并减少用哨音调度指挥，尽可能减少对周围地区 的影响。严格按照xx市建设工程文明施工管理规定的要求控制产生环境 噪声污染的建筑施工作业工噪声管理的有关规定执行，如需夜间施工必须另行申请并取得有关160、xx部门的批准。（二）严格执行建筑施工场界环境噪声排放标准（GB12523-2011）。（三）工地周围设立围护屏障，同时电可在高噪声设备附近加设可移动的简易隔声屏，尽可能减少设备噪声对环境的影响。（四）在工地布置时应考虑搅拌机等高噪声设备安置在离敏感点相对较远的一侧，运输车辆的进出口也建议安排在 131 该侧，并规定进、出路线，使行驶道路保持平坦，减少车辆的颠簸噪声和产生振动。（五）加强施工区附近交通管理，避免交通堵塞而增加的车辆鸣号综上，只要加强管理，切实落实好措施，施工期的噪声不会对周围环境产生不利影响。随着施工活动的结束，污染源及其对环境的影响也会在短时间内消除。4.1.4 施工固废施工161、期间主要固体废弃物为建筑渣土及施工人员的生活垃圾。项目施工地在基础开挖过程中会产生建筑渣土。应按照xx市建设工程文明施工管理规定等文件的相关要求及时外运、合理处 置。（一）建设或者施工单位在工程开工前向市渣土管理处或者区、县环境卫生管理部门申报建筑垃圾、工程渣土排放处置计划，并与渣土管理部门签订环境卫生责任书。（二）建设工程竣工后，施工单位应当将工地的剩余建筑垃圾、工程渣土处理干净。（三）运输车辆的运输路线，由渣土管理部门会同公安交通管理部门规定。运输单位和个人应当按规定的运输路线运输。（四）建筑垃圾、工程渣土分类堆放，临时储运场地四周应当设置 1 米以上且不低于堆土高度的遮挡围栏，并有防尘、162、灭蝇和防污水外流等防污染措施。（五） 有回收利用价值的应加以回收利用。（六）生活垃圾集中收集，委托环卫部门统一清运。综上所述，施工期固废经妥善处置后，对环境影响不大。随着施工活动的结束，污染源及其对环境的影响也会在短时间内消除。 132 运 营 期 环 境 影 响 和 保 护 措 施4.2 营运期环境影响和保护措施4.2.1 大气环境影响和保护措施4.2.1.1 废气污染源强分析本项目产生的废气主要有：厂房排风（废热）、酸性废气、碱性废气、有机废气（含天然气燃烧废气）、工艺尾气 （含天然气燃烧废气）、锅炉废气及废水站废气。其中，厂房排风（废热）直接经屋顶排气筒排放；酸性废气经碱液喷 淋塔处理系163、统进行处理后，由不低于 35m排气筒排放；碱性废气经酸液喷淋塔处理系统进行处理后，由不低于 35m 排 气筒排放；有机废气经沸石浓缩转轮焚烧系统处理后，由不低于 35m排气筒排放；含砷工艺尾气经干式吸附 POU 净化 装置（Point Of Use 装置）处理后不低于 35m排气筒排放；非含砷工艺尾气经燃烧+水洗式 POU 净化装置处理后产生的 尾气汇入酸性废气处理系统处理后，最终由不低于 35m排气筒排放；每台锅炉设置超低氮燃烧器，锅炉废气达标后经每台锅炉设置的排气筒经 35m排气筒排放；废水站废气经除臭系统处理后，经 30m排气筒排放。本项目生产在超洁净密闭生产车间内进行，物料输送均为密闭164、全自动操作，杜绝跑冒滴漏无组织排放现象。设备各 反应腔、气体物料储存及输送的管道及法兰通过设置双层套管，收集无组织逸散气体至相应类别废气处理系统处理。因此，本项目生产废气均为有组织排放。项目各种废气处理系统参数见下表 4.2- 1。 133 表 4.2-1 项目各种废气处理系统参数情况汇总废气种类位置处理系统名称废气处理设施数 量单套风量 （m3/h）排气筒数量（个）排气筒高度（m）排气筒内径（m）排气筒编号排气温 度()备用 （套）实用（套）一般排气芯片生产厂房（FAB）/酸性废气碱液喷淋吸收塔DA001-DA00720碱性废气酸液喷淋吸收塔DA008-DA01120有机废气沸石浓缩转轮焚 165、烧系统DA012-DA01550工艺尾气 （不含砷）POU 净化装置处理后纳入酸性废气处理系统DA001-DA00720含砷工艺尾 气POU 净化装置（干 式吸附）DA016-DA01720废气处理设施天然气燃烧废气芯片生产 厂房 POU依托酸性废气排 气系统DA001-DA007/芯片生产厂房沸石转轮天然气燃烧装置依托有机废气排 气系统DA012-DA015/锅炉烟气动力站低氮燃烧DA018-DA020150废水处理站 废气废水处理 站碱喷淋+次氯酸钠 喷淋DA02120食堂油烟员工食堂油烟净化设施/ 134 表 4.2-2 项目各种废气处理系统风量设置参数情况汇总一般排气系统酸性排气系统碱166、性排气系统有机排气系统含砷排气系统单 个 排 风 口 风 量单 台 设 备 排 风 风 口 数工艺总 风量单个排风口风量单 台 设 备 排 风 风 口 数工艺总 风量单个排风口风量单台设备排风风口数工艺总风量单个排风口风量单 台 设 备 排 风 风 口 数工艺总 风量单 个 排 风 口 风 量单 台 设 备 排 风 风 口 数工艺总风量m3/h个m3/hm3/h个m3/hm3/h个m3/hm3/h个m3/hm3/h个m3/h生 产 单 元生 产 工 艺生产设施名称数 量 ( 台/ 套 ) 135 136 137 138 139 140 （1）一般排气系统一般废气产生于芯片生产厂房（FAB）。该167、系统排放一般工艺热气，不需经处理而直接排放。（2）酸性废气酸性废气产生于芯片生产厂房（FAB），主要来源于生产工艺过程中的湿法清洗、湿法刻蚀工段及化学机械研磨等工序，主要污染物为氟化物、氯化氢、硫酸雾、氮氧化物、氨气和恶臭等，具体情况如下： 141 142 143 （4）碱性废气 144 145 （5）有机废气 146 147 （6）含砷工艺废气 148 （7）工艺废气（不含砷）工艺废气产生于芯片生产厂房（FAB），主要来自 CVD 、快速升降温、干法刻蚀、热氧化、离子注入等工序，尾气中含有氟化物、氯化氢、氮氧化物、氯气、磷烷、硅烷，具体情况如下： 149 150 151 152 （8）天然气168、燃烧废气本项目沸石转轮焚烧系统、燃烧式 POU 净化装置（工艺尾气处理）、燃气锅炉均使用天然气做燃料，天然气燃烧 废气主要污染物为 SO2 、NOx ，还有少量烟尘产生。基准烟气量、二氧化硫、氮氧化物系数采用第二次全国污染源 普查工业源产排污系数手册中 4430 工业锅炉行业系数，颗粒物系数采用排污许可证申请与核发技术规范 锅炉（HJ953-2018）表 F.3 燃气工业锅炉的废气产排污系数。天然气燃烧废气各污染物产污系数见表 4.2-8。 153 154 工业炉窑大气污染综合治理方案(环大气201956 号)中烟尘200mg/Nm3 、SO2200mg/Nm3 、NOx300mg/Nm3 的169、排放限值标准要求；锅炉燃气废气排放满足锅炉大气污染物排放标准（DB3301/T0250-2018）表 1 及xx省空气质量改善“十四五”规划中新建燃气锅炉的氮氧化物排放浓度原则上稳定在 30mg/m3 以下的要求。根据设计方案，沸石转轮焚烧系统燃气废气通过 3 根不低于 35m 排气筒排放，POU 净化装置燃气废气依托酸性废气的 6 根不低于 35m排气筒排放，天然气锅炉燃气废气通过 3 根不低于 35m排气筒排放。（9）食堂油烟食堂油烟废气收集后经油烟净化设备处理后排放。企业食堂共设 6 个基准灶头，为大型规模饮食业。本项目劳动定 员 800 人，食用油消耗量以 3kg/100 人 d 计，170、则全年消耗食用油量为 8.76t ，烹饪过程中的挥发损失约 2% ，则食堂油烟 产生量为 0. 175t/a。油烟经集气罩收集并经油烟净化器净化后高空排放，总收集风量为 12000m3/h ，以日平均运行 4h，年 运行 365 天，油烟净化效率以 85%计，油烟排放量为 0.026t/a，排放浓度 1.48mg/m3，符合饮食业油烟排放标准（试行）（GB18483-2001）中 2.0mg/m3 的标准限值。（10）污水处理设施恶臭本项目废水站废气主要来源于有机废水处理过程中产生的恶臭，主要污染物为 NH3 、H2S 。项目污水处理站内所有 池体均加盖密封处理，所有污水处理站内加盖罐体（其x171、x氧处理及研磨废水收集池设置有鼓风系统）排气经抽风装置收集后，经碱喷淋+次氯酸钠喷淋处理后，经 15m 排气筒排放。NH3 和 H2S 的排放源强根据同类企业污水处理设施的类比调查数据，各处理单元运行过程中 NH3 和 H2S 的排放系数根据本工程所设计的各装置的面积，计算本工程废气污染物排放量，NH3 和 H2S 的排放系数见表 4.2- 10。 155 污 理（11）无组织废气本项目生产在超洁净密闭生产车间内进行，物料输送均为密闭全自动操作，杜绝跑冒滴漏无组织排放现象。设备各 反应腔、气体物料储存及输送的管道及法兰通过设置双层套管，收集无组织逸散气体至相应类别废气处理系统处理。因此，本项目172、生产废气均为有组织排放。本项目无组织排放主要产生于化学品库储存的化学品挥发，以及废水处理站的少量溢出气体，具体分析如下： 156 化学品的储存过程本项目化学品（含气体）根据生产需要由供应商负责储存、运输、供货，本项目大宗气体均由厂家供应，钢瓶瓶装， 暂存于厂内化学品库内，不涉及气体生产。特殊气体采用钢质高压容器，工艺中所使用化学品的储存全部采用不锈钢、 或不锈钢聚已烯内胆、或锰钢等钢质桶、罐密封后用车运的方式运输入厂，然后根据其不同的用途和性质分别储存在化 学品库、生产厂房（车间内的化学品供应间）和特气柜内等。特气供应时，将装有特气的密闭钢瓶使用叉车转运到对应 的使用车间特气暂存间，放置于特气173、柜中暂存，气柜中设置有抽风装置。特气供应采用密闭管道供应到各使用机台，特 气在贮存和使用过程中均安装在特气柜中，当特气供应时管路连接完成后方可开启钢瓶阀，基本无无组织排放。氢气和 氮气通过密闭管道输送到纯化间内纯化后，经密闭管道输送到生产车间，供应到各使用机台。特气在输送至生产工序时 管道采用双层套管，避免了物料的跑、冒、滴、漏。项目化学品库整体集气，将储存过程中产生的极少量酸性废气、有 机废气进行收集后高空排放，可消除化学品库的无组织排放情况。液态危险化学品根据化学品的性质分类储存在化学品 库中的对应隔间内，由于液态化学品由塑料桶或玻璃瓶密封储存，部分易挥发有机物（丙酮和异丙醇等）、氨水、氯174、化 氢可能会在开闭盖的过程中有微量 VOCs 、酸性废气等散逸到环境中，造成少量无组织排放。通过供应间排风系统接至相应的废气排气筒后有组织排放，可消除生产车间的无组织排放情况。化学品的使用过程项目除少量化学品直接运送至生产车间内机台使用点外，其余均在生产厂房内的化学品供应间内进行供应。化学品 供应间设置有排风系统，根据供应化学品的性质将排风与厂区酸性和有机排风系统连接。将化学品供应过程中散逸的废 气排入相应的废气处理系统排放，消除了该过程中的无组织排放。本项目生产车间为洁净室，全封闭式操作，有机废气、酸碱废气、工艺尾气从机台内通过密闭管全部抽送到对应的废气处理系统处理，再通过对应排气筒排放，无175、无组织排放 157 情况。污水处理站项目废水处理站内污水处理过程中会有少量恶臭废气产生，主要污染物为氨、硫化氢等。项目污水处理站内所有池 体均加盖密封处理，可有效控制废水站恶臭的产生。项目高浓度氨氮废水处理系统中，高浓度氨氮废水吹脱吸附装置采用内循环设计，可最大限度降低废气无组织排放。本项目废气源强汇总情况见下表 4.2- 12。表 4.2-12 项目各类废气排放污染物源强表（单根排气筒）废气种类排气筒数量（个）排风量m3/h排 气 筒 高 度m内 径 (m)污染物处理前处理后处理 效率排放标准排放 方式排放浓度 mg/m3排放速率 kg/h排放浓度 mg/m3排放速率 kg/h排放浓度 mg176、/m3排放速率 kg/h酸性废气 G1 和 G46+1(DA001 DA007)50000351.5硫酸酸雾60%4511.9连续 8760h氟化物60%9.00.8HCl60%1002.0硅烷60%3.05.0磷烷0%1.00.8Cl263%651.9HBr60%5.00. 144NH343%/27NOx56%2406.0SO20%200/颗粒物0%30/ 158 臭气浓度（无量纲）50%15000/碱性废气 G23+1(DA008 DA011)17000351NH385%/27连续 8760h臭气浓度（无量纲）80%15000/有机废气 G33+1（DA012 DA015）55000351177、.6其他 VOCs90%12076.5连续 8760h丙酮90%8030.6IPA90%4023VOCs 合计90%12076.5NOx0%300/SO20%200/颗粒物0%30/含砷工艺废 气 G51+1（DA016 DA017）4500350.4砷烷90%1.00.3连续 8760h锅炉燃烧废 气3（DA018 DA020）/350.6NOx/30/连续 240hSO220/颗粒物10/废水处理站 废气1（DA021）30000301.0NH3有组织80%/20连续 8760h无组织/H2S有组织80%/1.3无组织/臭气浓度（无量纲）80%6000/从表中可见，通过相应的废气处理系统处178、理后，本项目氨、硫化氢、臭气浓度可达到恶臭污染物排放标准（GB14554-93）二级标准要求；丙酮可达到上海大气污染物综合排放标准（DB31/933-2015）中附录 A 标准要求； 159 砷烷、异丙醇可达到江苏省地方标准半导体行业污染物排放标准（DB32/3747-2020）表 3 大气污染物排放限值要求； 锅炉烟气能满足锅炉大气污染物排放标准(DB3301/T0250-2018）；其余指标能满足大气污染物综合排放标准（GB16297- 1996）表 2 的二级标准废气污染物排放统计。根据大气污染物综合排放标准（GB 16297- 1996）相关规定，“两个排放相同污染物(不论其是否由同一179、生产工艺 过程产生)的排气筒，若其距离小于其几何高度之和，应合并视为一根等效排气筒。若有三根以上的近距排气筒，且排放 同一种污染物时，应以前两根的等效排气筒，依次与第三、四根排气筒取等效值” 。经计算，本项目排放同种污染物的 生产废气排气筒均应分别进行等效。本项目排气筒等效后废气污染物排放情况下表。从表 4.2- 13 中可知，本项目排气筒等效后，生产废气可达到相应标准要求。表 4.2-13 项目排气筒等效后废气污染物排放情况汇总废气种类污染物单根排气筒等效排气筒排放标准达标情 况高度（m）废气风量 （mg/m3）排放速率（kg/h）个数高度（m）排放速率 （kg/h）排放速率 （kg/h）酸180、性废气DA001-DA007硫酸酸雾35500000.0301350.18011.9达标氟化物0.090.5400.8达标HCl0.0360.2162.0达标硅烷0.0040.0245.0达标磷烷0.00010.00060.8达标Cl20.0030.0181.9达标HBr0.00160.00960. 144达标NH30.0040.02427达标NOx0.0710.4266.0达标SO20.0010.006/达标颗粒物0.0020.012/达标 160 碱性废气DA008-DA011NH335170000.0281350.08427达标有机废气DA0012-DA015其他 VOCs3555000181、0.1051350.31576.5达标丙酮0.0090.02730.6达标IPA0.1090.32723达标VOCs 合计0.2230.66976.5NOx0.0620.186/达标SO20.0040.012/达标颗粒物0.0090.027/达标含砷废气DA016-DA017砷烷3545000.00021350.00040.3达标注： 1 、氨气执行恶臭污染物排放标准（GB14554-93）；2 、砷化氢、磷化氢参照执行上海市大气污染物综合排放标准（DB 31/9332015）；3 、锅炉烟气执行xx市锅炉大气污染物排放标准（DB 3301/T 0250-2018）；4 、其余指标执行大气污染182、物综合排放标准（GB 16297- 1996）表 2 的二级标准。从表中可知，本项目排气筒等效后，氨可达到恶臭污染物排放标准（GB14554-93）二级标准要求；丙酮可达到上海大气污染物综合排放标准（DB31/933-2015）中附录 A 标准要求；砷烷、异丙醇可达到江苏省地方标准半导 体行业污染物排放标准（DB32/3747-2020）表 3 大气污染物排放限值要求；其余指标能满足大气污染物综合排放标准（GB 16297- 1996）表 2 的二级标准废气污染物排放统计。表 4.2-14 项目实施后废气排放情况汇总表污染物名称产生量 t/a削减量 t/a排放量 t/aHCl37.15335.183、2991.854氟化物44.34439.6434.701氨气8.0486.8521.196硫酸酸雾3.9352.3611.574 161 Cl24.4104.2340.176硅烷5.0764.8730.203磷烷0.0500.0470.003HBr2.2502.1600.090砷烷16. 170 kg/a14.550 kg/a1.620kg/aNOx19.08413.2855.799SO20.16300.163颗粒物0.35700.357非甲烷总烃58.09952.2895.810硫化氢0.0660.0470.0194.2.1.2 非正常排放情况非正常排放包括生产过程开停车、设备检修、工艺设备184、运转异常等非正常工况下污染物排放，以及污染物防控措施达不到应有效率的情况下的排放。非正常排放情况如下表4.2-15。表4.2-15 非正常排放情况序号非正常排放源非正常排放原因污染物非正常排放浓 度，mg/m3非正常排放速 率，kg/h单次持续 时间年发生 频次/次应对措施1酸性废气DA001-DA007废气设施故障，去除率 按 0 计硫酸酸雾1.5000.0750.5h1定期检查，加强运行管理。建立污染物排放和控制台账并保存记录2氟化物4.4800.2243HCl1.7800.0894硅烷0.2000.0105磷烷0.0020.00016Cl20.1600.0087HBr0.0800.004185、 162 8NH30.1400.0079NOx3.2400.16210SO20.0200.00111颗粒物0.0400.00212碱性废气DA008-DA011废气设施故障，去除率 按 0 计NH310.1500.1820.5h113有机废气DA0012-DA015废气设施故障，去除率 按 0 计其他 VOCs18.7821.0330.5h114丙酮1.6360.09015IPA19.7641.08716VOCs 合计40.2002.21117NOx1.1270.06218SO20.0730.00419颗粒物0.1640.00920含砷废气DA016-DA017废气设施故障，去除率 按 0 计186、砷烷0.4170.0020.5h121锅炉燃烧废气 DA018-DA020废气设施故障，去除率 按 0 计NOx28.0400.0060.5h122SO211.1100.00223颗粒物10.0000.00124废水处理站废气 DA021废气设施故障，去除率 按 0 计NH33.770.1130.5h125H2S0.230.00726臭气浓度 （无量纲）3000/4.2.1.3 污染治理措施及可行性 163 表 4.2-16 污染治理措施一览表排气筒编 号生产线装置污染 源污染物治理设施收集方式收集率处理工艺处理能力处理效 率是否为可行技术可行性技术依据DA001- DA007湿法清 洗湿法清187、 洗酸洗 废气HF 、HCl设备密闭抽风100%碱液喷淋吸收塔单台风量50000m3/h, 总设计风量300000m3/h60%是排污许可证申请与核发技术规范 电子工业（HJ 1031-2019）光刻光刻HF湿法刻 蚀湿法刻 蚀HF 、HCl、NOx 、氨气、臭气浓度湿法去 胶湿法去 胶硫酸雾化学机 械研磨化学机 械研磨HF背面加 工背面加 工HF 、NOx辅助辅助HF 、HCl、 NOx硅外延硅外延不含 砷废 气氯化物、 磷烷POU+碱 液喷淋 吸收塔CVD 沉 积CVD 沉 积氟化物、 NOx、磷烷热氧化热氧化氯化物、 磷烷干法刻 蚀干法刻 蚀氟化物、 NOx、Cl2、氯化物离子注 入离子188、注 入氟化物、 NOx、磷烷 164 POU 燃 烧POU 燃 烧天然 气燃 烧废 气二氧化硫、 氮氧化物、烟尘/DA008- DA011湿法清 洗湿法清 洗碱性 废气氨气、臭 气浓度设备密闭抽风100%酸液喷淋吸收塔单台风量18000m3/h, 总设计风量54000m3/h85%是湿法刻 蚀清洗湿法刻 蚀清洗氨气、臭 气浓度化学机 械研磨化学机 械研磨氨气、臭 气浓度CVD 沉 积CVD 沉 积氨气、臭 气浓度POU+酸 液喷淋 吸收塔是DA012- DA015光刻光刻有机 废气BARC、 EBR、HMDS、Polyimide 、PR 光阻、 TMAH 等设备密闭抽风100%沸石转轮吸附脱附189、燃烧单台风量55000m3/h, 总设计风量165000m3/h90%是湿法去 胶湿法去 胶NMP、ANJICS10 00 、EKC、丙酮等干燥洗干燥洗IPA沸石转 轮吸附 脱附燃 烧装置沸石转 轮吸附 脱附燃 烧装置二氧化硫、 氮氧化物、烟尘/DA016- DA017离子注 入离子注 入含砷 废气砷烷设备密闭抽风100%POU 干 式吸附风量 4800m3/h90%是 165 DA018- DA020锅炉锅炉天然 气燃 烧废 气二氧化硫、 氮氧化物、烟尘设备密闭抽风100%低氮燃烧器/是排污许可证申请与核发技术规范 锅炉 （HJ953-2018）DA021废水处理站废水处理站废水处理站废气氨190、硫化氢、臭气浓度加盖密闭90%碱喷淋+次氯酸钠喷淋风量30000m3/h80%是排污许可证申请与核 发技术规范 水处理通用 工序（HJ1120-2020）/食堂食堂油烟 排气 筒油烟集气罩100%油烟净化 器风量12000m3/h85%是饮食业油烟净化设备 技术要求及检测技术规 范（试行）（HJ/T62-2001）本项目废气处理系统相关联系见下图 4.2-6： 166 图 4.2-6 本项目废气处理系统相关联图 167 （1）G1 酸性废气酸性废气产生于芯片生产厂房（FAB），主要来源于生产工艺过程中的光刻工序中的酸洗、湿法刻蚀工段及化学机械研磨工序，主要污染物为氟化物、氯化氢、硫酸雾、氮氧191、化物等。本项目酸性废气排入酸性废气处理系统（碱液喷淋装置）处理后，最终由 35m排气筒排放。图 4.2-7 酸性废气处理流程图处理工艺简介酸性废气处理系统（碱液喷淋装置）主要由废气洗涤塔、排风机、排气管和加药系统等组成。各股酸性废气先由生产设 备上的排气管道直接输入废气洗涤塔，废气一并进入吸收塔后，水平穿过填料，中和碱液由喷淋管上的喷头均匀分布在填料 上，水气两相在填料上得到充分接触，废气中的酸性物质与中和碱液中的 NaOH 发生化学反应，转移至液相，废气得到净化， 中和碱液循环使用。随着化学反应的进行，中和碱液的 pH 值不断降低，此时中和碱液的投放由控制系统自动完成。该装置对酸性废气吸收效192、率为 85%95% ，酸性废气经洗涤塔处理达标后排入大气。达标性分析碱液喷淋处理为目前半导体工厂普遍采用的酸性废气处理方法，污染物去除效果 稳定，且运行成本较低，操作便捷， 168 具有可行性。该系统对各类污染物的处理效果参 考国内同类工程的经验数据，具体情况见下表 4.2- 17：表 4.2-17 酸性废气处理系统污染物达标可行性分析废气种类污染物处理方式处理后浓度（mg/m3）北京某芯片项目上海某芯片项目武汉某芯片项目本项目酸洗废气氟化物碱液喷淋塔0. 1-0.6ND0.04-0.520.117HCl0.028-2.0ND-2.69ND-2.80.033Cl20.033-0.33/ND- 193、1.40.017NOx0. 1-2.0ND-30.7-5.70.816硫酸雾0.0034-2. 10.0085- 1.050. 1-0.480.133备注：“/”表示该厂区监测报告中未对该指标进行监测：ND 表示未检出由上表可知，本项目酸性废气采用碱液喷淋塔处理后，废气排放口处的污染物排 放浓度与国内同类工程处于同一水平。 根据工程分析可知，项目酸性废气排气筒排放各类污染物中均能达到相应污染物排放标准要求。因此，本项目酸性废气可实现达标 排放。因此，本项目酸性废气处理方式可行。（2）G2 碱性废气本项目碱性清洗、显影、化学机械研磨、CVD 沉积生产工序中将产生氨气，氨气排入碱性废气处理系统（酸194、液喷淋装置）处理后，最终由 35m排气筒排放。 169 图 4.2-8 碱性废气处理流程图处理工艺简介碱性废气处理系统主要由废气洗涤塔、通风机、排气管和加药系统等组成。废气 先由排气管道输入废气洗涤塔，酸液 经喷头喷洒而下，形成雾状，含碱废气经废气洗涤塔处理，补充 45%硫酸溶液作中和吸收液净化含碱废气。工艺碱性废气主要污染物 为氨，采用硫酸进行喷淋，处理过程发生如下反应：2NH3+H2 SO4（NH4 ）2 SO4达标性分析项目采用的处理工艺为目前半导体工厂普遍采用的方法，污染物去除效果稳定， 且运行成本较低，操作便捷，具有可行性。该系统对各类污染物的处理效果参考国内 同类工程的经验数据，具195、体情况见下表 4.2- 18：表 4.2-18 酸性废气处理系统污染物达标可行性分析废气种类污染物处理方式处理后浓度（mg/m3）北京某芯片项目上海某芯片项目武汉某芯片项目本项目碱洗废气氨气酸液喷淋塔0.03-0.61ND-2.350.011-0.3710.800由上表可知，本项目碱性废气采用酸液喷淋塔处理后，废气排放口处的污染物排 放浓度与国内同类工程处于同一水平。 170 根据工程分析可知：项目碱性废气排气筒排放的氨可达到恶臭污染物排放标准（GB14554-93）二级标准要求，可实现达标排放。 因此，本项目碱性废气可实现达标排放。因此，本项目碱性废气处理方式可行。（3）G3 有机废气本项目196、有机废气主要来源于光刻涂胶、固胶、去胶、有机清洗等过程，主要有机污染物为 IPA、NMP 、光刻胶等，废气都为密闭集气，由于整个车间呈微负压运行，只有微量无组织废气通过空调系统集中排出，无组织排放可不考虑。项目拟设置沸石浓缩转轮焚烧系统对有机废气进行处理，处理后由 35m排气筒排放。处理工艺简介有机废气通常采用直接焚烧、活性炭吸附、生物氧化等方法进行处理，但本项目排放的有机废气有大风量、低浓度的特 点，直接焚烧会造成大量的燃料消耗和不必要的污染，只有较高浓度的有机废气才建议直接焚烧；而活性炭吸附的方法，由 于其材料特性，存在易燃烧、水分敏感度高、脱附后残留负荷高等缺点，在半导体制造界基本不再使197、用。而生物氧化技术作 为一种较新的处理技术还有待在处理大风量方面做进一步的研究和发展。针对本项目有机废气浓度较低，风量大的特点，考虑将有机废气浓缩后再进行焚烧处理。因此，本项目设置沸石浓缩转轮焚烧方式处理有机废气。沸石浓缩转轮加焚烧处理的系统处理原理，是将大风量低浓度有机废气转换成小风量高浓度气流，再将浓缩后的高浓度有机废气进行焚化处理，其主要优点是系统处理效率高、操作简单并且易清洗保养。处理流程：含有 VOC 的废气通过系统排风机排放至 VOC 处理系统，本项目设计处理总风量 165000m3/h ，经过滤器预 处理后分流，废气分为两路，其中 90%的废气进入吸附区，通过沸石转轮吸附处理成为198、清洁空气，剩余 10%的废气被加热后 进入脱附区，用于对已经吸附有 VOC 成分的转轮部分进行脱附，由于转轮在不停地旋转，使得吸附和脱附的过程在同时不间断地进行。脱附后的高浓度 VOC 废气通过焚化炉风机被送入焚化炉进行焚烧处理（RTO 焚烧），为提高焚烧效率，本项 171 目通入天然气助燃。经脱附后焚烧处理废气与 90%经吸附处理洁净废气混合后经排气筒排放。同时，本项目对焚烧废气设置三段板换热，实现热回收。图 4.2-9 沸石浓缩转轮焚烧废气处理流程图达标性分析项目采用的沸石浓缩转轮焚烧处理工艺为目前半导体工厂普遍采用的方法，技术先进、成熟。该系统对各类污染物的处理效果参考国内同类工程的经验199、数据，具体情况见下表，具体情况见下表 4.2- 19：表 4.2-19 有机废气处理系统污染物达标可行性分析废气种类污染物处理方式处理后浓度（mg/m3）北京某芯片项目上海某芯片项目武汉某芯片项目本项目有机废气VOCs沸石浓缩转轮焚烧系统0.45-0.771.82-2.400.48- 12.55.583由上表可知，本项目有机废气采用沸石浓缩转轮焚烧处理后，废气排放口处的污染物排放浓度与国内同类工程处于同一 水平。根据工程分析可知，项目有机废气排气筒排放各类污染物中均能达到相应污染物排放标准要求。因此，本项目有机废气可实现达标排放。因此，本项目有机废气处理方式可行。 172 （4）G4（不含砷）200、和 G5（含砷）工艺尾气本项目含砷工艺尾气采用干式吸附 POU 净化装置处理后，尾气由 35m 排气筒排放；不含砷工艺尾气采用高温+水洗或干式吸附或等离子解离 POU 净化装置处理，处理后尾气再纳入酸性废气处理系统，最终由 35m排气筒排放。图 4.2-10 工艺尾气（含砷）处理流程图图 4.2-11 工艺尾气（不含砷）处理流程图POU 净化装置简介本项目工艺尾气的 POU 净化装置主要采用电热水洗/燃烧水洗/等离子水洗式 POU 装置处理三种处理方式，具体如下表4.2-20 所示。 173 表 4.2-20 工艺尾气处理措施一览表产生工序主要污染物废气处理设施一级处理措施二级处理措施硅外延S201、iHCl3 、SiH2Cl2 、HCl 、PH3 、B2H6 等燃烧水洗 POU进入酸性废气处理系统处理后， 由排气筒有组织排放CVD 沉积SiF4 、WF6 、NF3 、C2F6 、NH3 、N2O 、NF3 等等离子解离 POU进入酸性废气处理系统处理后， 由排气筒有组织排放热氧化C2H4Cl2 、POCl3 、H2 等等离子解离 POU进入酸性废气处理系统处理后， 由排气筒有组织排放干法刻蚀CF4、CHF3、C4F8、CH2F2 、 C5F8、C4F6、CH3F 等等离子解离 POU进入酸性废气处理系统处理后， 由排气筒有组织排放HBr 、BCl3 等干式吸附 POU进入酸性废气处理系统202、处理后， 由排气筒有组织排放离子注入BF3 、PH3 等干式吸附 POU进入酸性废气处理系统处理后， 由排气筒有组织排放AsH3干式吸附 POU由排气筒有组织排放本项目采用的三种 POU 处理系统原理及适用条件见下表：表 4.2-21 工艺尾气处理措施一览表POU 净化装置原理适用条件燃烧水洗式通过天然气燃烧、 电加热或电离等方式在反应腔内产生高温（800- 1100) , 使工艺尾气在反应腔内高温燃烧，产生固体废物和可溶于水的气体，再由水 洗系统吸收溶于水的气体并排走固体废物。可处理大部分工艺尾气，使其转化为达到 排放标准的气体或液体，对可燃气体的处 理范围更广。干式吸附式使用吸附剂，通过物203、理或化学吸附法处理砷烷、磷烷、 卤化物等有害气体。 化学反应通常是在氧化条件下将有害物质氧化为氧化物被吸附剂吸附。对砷烷、磷烷、卤化物等的 处理可达到排 放标准，但不适用于粉尘类废物的处理。等离子解离式等离子火焰中芯温度可达到 5000 1000以上，并产生 2000以上的高温操 作环境与强烈的紫外光线。废气由反应室高温氧化，反应成粉末，或溶解于 水中，再经由过滤程序，达标排放。可处理大部分工艺尾气。a ）燃烧水洗式 POU燃烧水洗式 POU 主要用于处理污染物大多为可燃气体，燃烧后的产物大多溶于水或成为固体废物，可通过后续的水洗 174 去除。燃烧水洗式工艺尾气处理流程及 POU 净化装置内204、部示意见以下两图。图 4.2-12 燃烧水洗式 POU 处理工艺流程及内部结构示意图系统中发生的主要反应方程式如下：SiH4+2O2 SiO2+2H2O；SiF4+ CH4+ 2O2 SiO2+4HF+CO2；SiF4+4H2OH4SiO4+4HF； 175 Si(OC2H5)4+12O2 SiO2+ 10H2O+8CO2；4NF3+ 3H2ONO+ NO2+6HF；4NH3+O2 2N2+6H2O；2NO+O22NO2；10PH3+5O22P2O5+3H2；SiH2Cl2+O2 SiO2+4HCl；系统中反应生成的 HF 、NO2 等以及原废气中的 HF 等溶于水，随水排入废水处理系统进行处205、理，SiO2 等固体废物随水排放，从而降低废气排放浓度。b）干式吸附式 POU本项目干式吸附 POU 使用专用药剂作为吸附剂，通过物理或化学吸附法处理各类有害气体。主要去除含砷烷、磷烷、BF3 等特气。图 4.2-13 干式吸附式装置示意图 176 含砷废气 POU 装置：项目用于处理含砷废气的 POU 处理装置活性炭表面主要附着金属氧化物层（如氧化铜），废气进入 POU 处理装置后与活性炭表现的金属氧化物发生化学反应，并与活性炭发生物理吸附从而去除。POU 内部主要的化学反应方程式为：2AsH3+ 3CuOCu3As2+3H2O 2PH3+3CuOCu3P2+3H2O本项目拟采用干式吸附式 206、POU 处理离子注入产生的工艺尾气。这部分工艺尾气毒性较大，且砷为类重金属，属重点控制的重金属，为减少其向大气和水环境的排放，采用干式吸附式去除较为合理。反应生成的 Cu3As2 和 Cu3P2 截留于碳中，当吸附剂吸附饱和时需对吸附剂进行更换。根据 POU 净化装置压力和排气端 毒气 sensor level ，含砷过滤芯平均 1 到 2 年更换一次。在 POU 净化装置中含砷过滤芯置于吸附桶（类似钢瓶）内，更换时由专人佩戴防护面具，在负压环境下进行更换。更换后，吸附桶入口和出口端均封锁后，暂存于负压环境中。含氟废气 POU 装置：项目用于处理含氟特气的干式吸附式 POU 装置中的活性炭上附207、着有碱土金属的氢氧化物，含氟废气能与碱土金属氢氧化物发生化学反应，并与活性炭发生物理吸附从而去除。如 BF3 去除过程中的化学反应式如下：2BF3+ 3Ca(OH)23CaF2+B2O3+3H2O当吸附剂吸附到一定程度时，POU 净化装置指示剂颜色发生变化，根据颜色变化情况确定是否对滤芯进行更换。当指 示剂显示吸附剂已达吸附饱和状态，即自动切换至备用组，操作人员可在此间隙对吸附饱和的材料进行更换。更换频率约为2 周 1 月/次，更换下来的吸附材料交由供货商回收。c)等离子解离式 POU 177 等离子解离式 POU 主要用于处理污染物大多为可燃气体，解离后的产物大多溶于水或成为粉末，可通过后续208、的水洗去除。项目拟采用等离子解离式 POU 处理干法刻蚀工序产生的工艺尾气。这部分工艺尾气以易燃气体为主，解离后的产物大 多溶于水或成为粉尘，可通过后续的水洗去除。此外，等离子介质采用 N2 ，可避免产生 NOx 副产物。因此，采用等离子解离式 POU 对这部分废气进行处理是可行的。达标性分析本项目采用的工艺尾气处理方式为目前半导体工厂普遍采用的方法。本项目对不同的工艺尾气，结合目前常用的不同 POU 净化装置特点和适用条件，进行了合理的选择。其中采用湿式法（燃烧水洗式/等离子解离式）处理的工艺尾气，大多 为易燃气体，且燃烧后产物为易溶于水的废气和固体，通过水洗可去除；采用干式法（吸附法）处理209、的工艺尾气，毒性较大 或燃点较高，吸附处理不仅效果良好且可减少外排入水和大气环境的有害物质。从而降低对环境的影响，故项目针对不同性质的工艺尾气所选取的 POU 净化装置合理可行。（5）G7 废水站废气污水处理站恶臭主要成分为氨和硫化氢。污水处理站内设置 1 套碱喷淋+次氯酸钠喷淋系统装置用于处理废气，处理后的废气经 15m排气筒排放。次氯酸钠喷淋、碱喷淋吸收法净化气态污染物，是用适当的吸收剂(次氯酸钠、碱) ，从废气中选择性地吸收，除去气态污染物以消除污染。此法适用于低浓度、中浓度的硫化氢与氨气等恶臭物质的处理。 178 碱喷淋+次氯 酸钠喷淋装置图 4.2-14 废水处理站恶臭处理流程图工艺210、流程介绍：污水处理站产生的臭气首先在引风机的作用下进入次氯酸钠溶液吸收塔，与塔内自上而下的次氯酸钠溶 液逆向充分接触，发生物理、化学反应，去除绝大部分的 NH3 及部分易溶于水的有机物，通过次氯酸钠的氧化作用将有机大 分子物质分解为小分子物质，可以强化除臭效果。经过氧化处理后的废气在引风机的作用下进入碱喷淋塔，去除绝残留的酸性污染物，调节臭气酸碱度。经处理后的废气最后通过排气筒达标排放。本项目污水处理站恶臭主要为酸性气体和碱性气体两大类，酸、碱吸收方法是最直接有效的处理方法，目前已广泛应用 于处理含 SO2 、NH3 、NO2 、H2 S 、HCl 、氟化物及其他气态污染物的净化上，现已成为控211、制工业废气中气态污染物的重要技术之一，废气处理效果较好。本项目污水处理站废气治理措施是先将 NH3 等和其他有机大分子物质分解降解除臭，再将 H2S 等酸性气体采用碱液吸收，大大降低污染物排放量。因此本项目污水处理站废气处理效率有保障。4.2.1.4 排放口基本情况本项目排气筒基本情况如表 4.2-22 所示。 179 表 4.2-22 废气排放口基本情况排气筒编号排气筒名称经度纬度排气筒高度，m排气筒内径/m烟气出口温度，排放口类型DA001酸性废气排放口2577093361168351.520一般排放口DA0022577093361174DA0032577093361180DA004257212、7093361186DA0052577093361192DA0062577093361198DA0072577093361204DA008碱性废气排放口2577023361195350.820一般排放口DA0092577023361198DA0102577023361201DA0112577023361204DA012有机废气排放口2577013361152351.650一般排放口DA0132577063361153DA0142577113361153DA0152577163361155DA016含砷工艺废气排放口2577183361180350.420一般排放口DA0172577183361213、191DA018锅炉烟气排放口2578023361231350.6150一般排放口DA0192577983361231DA0202577943361231DA021废水处理站废气排放口2577843361277151.020一般排放口4.2.1.5 监测要求 180 表 4.2-23 废气监测要求监测点位监测因子监测频次监测依 据执行标准备注酸性废气DA001-DA007H2SO4、氟化物、氯 气、氯化氢、1 次/半年排污 许可证 申请与 核发技 术规范 电子工 业（HJ1031-20 19）大气污染物综合排放标准(GB16297- 1996)/NH3 、臭气浓度恶臭污染物排放标准(GB145214、54-93)/NOx、颗粒物、SO2xx省工业炉窑大气污染综合治理实施方案由于颗粒物、SO2 排放浓度 远低于空气环境质量本底 浓度，监测结果仅做达标判 断，不纳入总量考核范围。碱性废气DA008-DA011NH3 、臭气浓度1 次/半年恶臭污染物排放标准(GB14554-93)/有机废气DA0012-DA015非甲烷总烃自动监测大气污染物综合排放标准(GB16297- 1996)/NOx、SO2、颗粒物1 次/半年xx省工业炉窑大气污染综合治理实施方案由于颗粒物、SO2 排放浓度 远低于空气环境质量本底 浓度，监测结果仅做达标判 断，不纳入总量考核范围。含砷废气DA016-DA017砷化氢1215、 次/半年大气污染物综合排放标准(GB16297- 1996)/锅炉废气DA018-DA020颗粒物、氮氧化物、二氧化硫、林格曼黑度1 次/半年锅炉大气污染物排放标准(DB3301/T0250-2018) 、 xx省空气质量改善 “十四五”规划 （浙发改规划2021215 号）/废水处理站废 气 DA021氨、硫化氢、臭气 浓度1 次/半年恶臭污染物排放标准(GB14554-93)/厂界氯气、硫酸雾、非 甲烷总烃和氟化物1 次/年大气污染物综合排放标准(GB16297- 1996)/氯化氢、NH3 、臭 气浓度恶臭污染物排放标准(GB14554-93)/厂区内非甲烷总烃1 次/年挥发性有机物无216、组织排放控制标准（GB37822-2019）表 A. 1 中特别排放限值/ 181 4.2.2 废水4.2.2.1 源强及达标排放情况本项目废水包括生产废水、生活污水。项目生产废水主要包括：W1 酸碱废水、W2 含氟废水、W3 高浓度氨氮废水、 W4 含氨废水、W5 有机废水、W6 含磷废水、W7 氟化氨废水、W8 普通金属化废水（含 Al 和磷）、W9 含 镍废水、W10 含钴废水、W11 研磨废水、W12 含镍银废水、W13 含镍钒废水、W14 含钛钨废水、W15 酸性废气洗涤塔排水、W16 碱性废气洗涤塔排水、W17POU 洗涤塔排水、W18 纯水制程排水（RO 浓水）、W19 纯水机反217、冲洗水、W20 冷却塔排水、W121 冷冻水排水等。本项目各工序废水产生源强情况见下表 4.2-24 ，各类废水处理及排放汇总情况见下表 4.2-25。表 4.2-24 本项目各工序废水产生情况 182 183 184 185 表 4.2-25 本项目各类废水处理及排放情况序 号废水类别产生工序主要污染物排放 方式废水排放 量（m3/d）处理措施及排放去向一工艺生产废水1W1 酸碱废水湿法清洗、湿法刻蚀工序pH 、CODcr 、SS连续850酸碱废水处理系统 总排口排放 市政污水管 网2W2 含氟废水湿法清洗、湿法刻蚀工 序、化学机械研磨工序pH 、CODcr 、SS 、总磷、 氟化物、总氮连218、续917含氟废水处理系统 总排口排放 市政污水管 网3W3 高浓度氨氮废水湿法清洗、湿法刻蚀工 序、CMP 研磨工序pH 、CODcr 、SS 、总氮连续8.7高浓度氨氮废水处理系统低浓度氨氮废水处理系统有机废水处理系统 总排口排放 市政污水管网4W4 含氨废水湿法清洗、光刻工序、湿 法刻蚀工序pH、CODcr、氨氮、总磷、 氟化物、总氮连续1106低浓度氨氮废水处理系统有机废水处理系统 总排口排放 市政污水管网5W5 有机废水光刻工序、湿法刻蚀工序pH 、CODcr 、SS 、总磷、 氟化物、总氮连续160有机废水处理系统 总排口排放 市政污水管 网6W6 含磷废水湿法刻蚀工序pH 、COD219、cr 、SS 、总磷、 氟化物、总氮连续13.5普通金属废水处理系统 总排口排放 市政污 水管网7W7 氟化氨废水湿法刻蚀工序pH 、CODcr 、SS 、总磷、 氟化物、总氮连续60含氟废水处理系统 总排口排放 市政污水管 网8W8 普通金属化废水（含 Al 和磷）湿法刻蚀工序pH 、CODcr 、SS 、总磷、 总氮连续60普通金属废水处理系统 总排口排放 市政污 水管网9W9 含镍废水湿法刻蚀工序pH 、CODcr 、总镍、SS连续25含镍废水处理系统 总排口排放 市政污水管 网10W10 含钴废水湿法刻蚀工序pH 、CODcr 、总钴、SS连续8含钴废水处理系统 总排口排放 市政污水管220、 网11W11 研磨废水CMP 研磨工序、减薄pH 、CODcr 、SS连续300研磨废水处理系统 总排口排放 市政污水管 网12W12 含镍银废水湿法刻蚀工序pH、CODcr、氨氮、总镍、 总银、SS连续16含镍银废水处理系统总排口排放市政污水 管网13W13 含镍钒废水湿法刻蚀工序pH、CODcr、氨氮、总镍、连续8含镍钒废水处理系统总排口排放市政污水 186 总钒、SS管网14W14 含钛钨废水湿法刻蚀工序pH 、CODcr 、氨氮、SS连续18含氟废水处理系统 总排口排放 市政污水管 网二公用配套及xx 设施15W15 酸性废气洗涤 塔排水酸性废气处理系统pH 、CODcr 、SS 、221、总磷、 氟化物、总氮连续8酸碱废水处理系统 总排口排放 市政污水管 网16W16 碱性废气洗涤 塔排水碱性废气处理系统pH 、CODcr 、SS 、总磷、 氟化物、总氮连续2酸碱废水处理系统 总排口排放 市政污水管 网17W17 POU 洗涤塔排 水POU 系统pH 、CODcr 、SS 、总磷、 氟化物、总氮连续1004含氟废水处理系统 总排口排放 市政污水管 网pH 、CODcr 、氨氮、SS连续194有机废水处理系统 总排口排放 市政污水管 网18W18 纯水制程排水（RO 浓水）纯水制备pH 、CODcr 、SS连续1680403回用于空气加湿和冷冻水1277直接排放19W19 纯水机222、反冲洗 水pH 、CODcr 、SS连续368酸碱废水处理系统 总排口排放 市政污水管 网20W20 冷却塔排水冷却pH 、CODcr 、氨氮、SS连续5直接排放21W21 冷冻水排水冷冻pH 、CODcr 、氨氮、SS连续3直接排放三职工生活22W22 生活污水职工生活pH 、CODcr 、氨氮、SS、 TN 、TP连续60化粪池 总排口 市政污水管网合计（厂区废水总排口）6453.2 187 表 4.2-26 项目主要废水治理设施情况表序号装置名称废水治理工艺处理废水类型设计能力 (m3/d)废水处理量(m3/d)1酸碱废水处理系统二级酸碱中和池W1 酸碱废水W15 酸性废气洗涤塔排水W1223、6 碱性废气洗涤塔排水W19 纯水机反冲洗水150012282含氟废水处理系统pH 调节池+一级反应池+一级混凝池+一级絮凝化池+一级沉淀池+二级反应池+二级混凝池+二级絮凝化池+二级沉淀池W2 含氟废水W7 氟化氨废水W17 POU 洗涤塔排水（部分）230019813研磨废水处理系统pH 调节池+混凝池+絮凝化池+沉淀池W11 研磨废水3603004含镍废水处理系统调节池+反应池+混凝池+絮凝化池+沉淀池W9 含镍废水30255含镍银废水处理系统一级反应池+一级混凝池+一级絮凝化池+一级沉淀池+二级反应池+二级混凝池+二级絮凝化池+二级沉淀池W12 含镍银废水20166含钴废水处理系统一级224、反应池+一级混凝池+一级絮凝化池+一级沉淀池+二级反应池+二级混凝池+二级絮凝化池+二级沉淀池W10 含钴废水1087含镍钒废水处理系统调节池+反应池+混凝池+絮凝化池+沉淀池W13 含镍钒废水108 188 8高浓度氨氮处理系统“pH 调节池+二级吹脱塔”处理后进入低浓度 氨氮废水处理系统W3 高浓度氨氮废水108.79低浓度氨氮废水处理 系统“调节池+氧化反应池+还原反应池”处理后进 入有机废水处理系统W4 含氨废水15001114.710有机废水处理系统pH 调节池+综合废水调配池+水解酸化池+缺 氧池+好氧池+MBR 膜池W5 有机废水W17 POU 洗涤塔排水（部分）18001468225、.711普通金属废水处理系 统pH 调节池+一级反应池+一级混凝池+一级絮凝化池+一级沉淀池+二级反应池+二级混凝池+二级絮凝化池+二级沉淀池W8 普通金属化废水（含 Al 和磷） W6 含磷废水9073.5根据本项目物料衡和同类型企业类比，本项目各类废水源强情况见下表 4.2-27。表 4.2-27 项目主要废水水质源强表序号废水种类产生 量水质浓度（mg/L ，pH 无量纲）pHCODcrBOD5氨氮氟化物总磷总氮SS总镍总银总钴总钒1酸碱废水处理系统1228263001052016/26120/2含氟废水处理系统19811430010515124/25200/3研磨废水处理系统30010226、 1225088/900/4含镍废水处理系统251415053/2000.01/5含镍银废水处理系统161415053/2000.91.6/6含钴废水处理系统81415053/200/1.25/ 189 7含镍钒废水处理系统81415053/2000.4/0.038高浓度氨氮处理系统（进入有机废水处理系统）8.7793001059000/9241120/9低浓度氨氮废水处理系统 （进入有机废水处理系统）1114.77930010580/85120/10有机废水（进入有机废水处理系统）1606981328520/50120/11有机废水处理系统1468.76931811126/30120/12普227、通金属废水处理系统73.51425088/455/200/根据建设单位提供初步设计资料，本项目各类废水污染物排放源强见表 4.2-28。表 4.2-28 项目主要废水污染物源强表废水处理系统或废水废水处理量 m3/d主要污染物处理前处理后预计处理效率(%)产生量 kg/d产生浓度mg/L排放量 kg/d排放浓度mg/L酸碱废水处理系统1228CODcr221.0300221.03000%BOD577.410577.41050%氨氮18.42018.4200%氟化物19.61619.6160%总氮31.92631.9260%SS147.4120147.41200%含氟废水处理系统1981CODc228、r396.2300396.23000%BOD5138.7105138.71050%氨氮8.7158.7150%氟化物245.612423.81290% 190 总氮49.5259.9250%SS396.2200396.22000%研磨废水处理系统300CODcr75.025075.02500%BOD526.48826.4880%SS270.090027.09090%含镍废水处理系统25CODcr3.81503.81500%BOD51.3531.3530%SS5.02001.04080%总镍0.00030.010.00030.010%含镍银废水处理系统16CODcr2.41502.41500%B229、OD50.8530.8530%SS3.22000.64080%总镍0.0150.90.0060.3660%总银0.0251.60.010.1690%含钴废水处理系统8CODcr1.21501.21500%BOD50.4530.4530%SS1.62000.34080%总钴0.011.250.00100.12590%含镍钒废水处理系统8CODcr1.21501.21500%BOD50.4530.4530%SS1.62000.34080%总镍0.00310.40.00310.40%总钒0.00020.030.00020.030%高浓度氨氮处理系统（进入有机废水处理系统）8.7CODcr2.6300230、2.63000%BOD50.91050.91050%氨氮78.390007.890090%总氮80.492418.092490% 191 低浓度氨氮废水处理系统（进 入有机废水处理系统）1114.7CODcr334.4300334.43000%BOD5117.0105117.01050%氨氮89.28026.82470%总氮94.78529.02670%有机废水（进入有机废水处理系统）160CODcr130. 1813/BOD545.6285/氨氮3.220/总氮8.050/有机废水处理系统1468.7CODcr467. 131870. 147.785%BOD5163.511124.516.7231、85%氨氮37.8267.65.280%总氮45.0319. 16.280%SS176.212035.224.080%普通金属废水处理系统73.5CODcr18.425018.4250.00%BOD56.5886.588.00%总磷33.44558.4113.875%SS14.720014.7200.00%生活污水（化粪池）60CODcr21.035014.7245.030%BOD57.41236.3104.615%氨氮2. 1352.033.35%总排口废水6453.2CODcr/1149.5178. 1/BOD5403.562.5氨氮63.99.9氟化物43.46.7总氮55.98.7总磷232、8.41.3SS587.591.0 192 备注：企业为保证含镍废水、含镍钒废水和含钴废水这三股含重金属废水能稳定达标，三股废水分别经预处理装置处理后纳管，但是这三股废 水中总镍、总钒和总钴浓度都很低，本次环评这三股废水的重金属预处理效率都按 0 核算。表 4.2-29 项目厂区工业废水排放口废水污染物浓度一览表排放口编 号名称pHCODcrBOD5氨氮氟化物总磷总氮SS总镍总银总钴总钒废水总排放口DW001排放浓度(mg/L)69178. 162.59.96.71.38.791/纳管执行标准(mg/L)69500300358870400/达标情况达标达标达标达标达标达标达标达标/含镍废水排放233、口DW002排放浓度(mg/L)/15053/400.01/纳管执行标准(mg/L)/500300/4000.5/达标情况/达标达标/达标达标/含镍钒废 水排放口 DW003排放浓度(mg/L)/15053/400.40/0.03纳管执行标准(mg/L)/500300/4000.5/1.0达标情况/达标达标/达标达标/达标含镍银废 水排放口 DW004排放浓度(mg/L)/15053/400.360.16/纳管执行标准(mg/L)/500300/4000.50.3/达标情况/达标达标/达标达标达标/含钴废水排放口DW005排放浓度(mg/L)/15053/40/0.125/纳管执行标准(mg/234、L)/500300/400/1.0/达标情况/达标达标/达标/达标/ 193 综上所述， 本项目企业废水各个排放口均能够达到 电子工业水污染物排放标准（GB 39731-2020）中水污染物间接排放限值要求，均满足污水处理厂对本项目的纳管水质要求。本项目年生产 365 天，因此本项目废水产生及排放情况汇总见表 4.2-30。表 4.2-30 废水产生及排放情况汇总表来源污染因子产生量(t/a)纳管排放量(t/a)环境排放量(t/a)生产废水、生活污水废水量235541823554182355418CODcr566.714419.500117.771氨氮49.22823.3195.889TN59235、. 12120.49235.331SS306.440214.34323.554总磷13.4473.0621.178氟化物100.81115.78147.108总镍6.600（kg/a）3.370（kg/a）8.943 （kg/a）总银9.22（kg/a）0.920（kg/a）1.752 （kg/a）总钴2.660（kg/a）2.660（kg/a）2.920 （kg/a）总钒0.08（kg/a）0.08（kg/a）2.920 （kg/a）注：排放量按照xx 污水处理厂的排放标准进行核算。根据相关管理部门的要求，xx污水处理厂氨氮最终出水水质标准为：氨氮2.5mg/L。 镍或银环境排放量 = 镍或236、银车间（生产设施）废水排放量 电子工业水污染物排放标准（GB39731-2020）间接排放浓度标准。钴或钒环境排放量 = 钴或钒车间（生产设施）废水排放量 污水综合排放标准（DB31/199-2018）中第一类污染物排放限值标准， 因此产生量会小于排放量。本项目废水排放总量为 2355418t/a ，单位产品排水量为 2.355m3/片3.2m3/片，满足电子工业水污染物排放标准（GB39731-2020）表 2 中单位产品基准排水量的限值要求。4.2.2.2 排放口情况、污染治理措施及可行性 194 表 4.2-31 废水排放口、污染治理措施及可行性工序/生产线装 置污染源 类别污染物 种类237、排 放 方 式排 放 去 向排 放 规 律排放口编号排放口名称地理坐标/度治理设施经度纬度处理工艺处理能 力处 理 效 率是否为可行技术可行性技术 依据生 活员 工 生 活生活污 水CODCr、 NH3-N分 流 制纳 管间 歇DW001废水纳管口120.284130.2127化粪池、隔 油池/是排污许可证 申请与核发技术规范 电子 工业（HJ1031-2019）生 产生 产 过 程酸碱废水、废气喷淋废水等pH、CODcr、NH3-N等分 流 制纳 管间 歇DW001废水纳管口120.284130.2127酸碱中和1500t/d/是高浓度含氨废水二级吹脱塔10t/d/是低浓度含氨废水氧化+还原238、1500t/d/是含氨废 水、有机 废水等生化1800t/d/是含磷废水、普通金属废水两级混凝沉 淀90t/d/是研磨废 水一级混凝沉 淀360t/d/是含氟废两级混凝沉2300t/d/是 195 水淀含镍废 水镍DW002120.284830.2132一级混凝沉 淀30t/d/是含镍钒 废水镍、钒DW003120.284830.2556一级混凝沉 淀10t/d/是含镍银 废水镍、银DW004120.284830.2132两级混凝沉 淀20t/d/是含钴废 水钴DW005120.284830.2056两级混凝沉 淀10t/d/是1 、含氟废水处理系统（1）工艺流程介绍含氟废水首先由水泵自含氟废239、水处理系统原水槽提升至 pH 调节槽，调节 pH 至沉淀反应所需的最佳 pH 值后进入反应槽 并投加 CaCl2 使之生成氟化钙沉淀后，之后在混凝池和絮凝池内分别投加絮凝剂（PAC）、絮凝剂（PAM）帮助矾花的生成，再流入沉淀池进行泥水分离，溢流出的清水排入排放水池。图 4.2-15 含氟废水处理系统工艺流程图（2）技术可行性和经济合理性分析 196 氢氧化钙、石灰石、电石渣、氯化钙等均可以作为含氟废水的沉淀剂。 目前，液晶面板制造、芯片制造等电子行业普遍采用氢氧化钙和氯化钙作为沉淀剂。氯化钙：直接投加氯化钙是沉淀氟离子的经典技术。采用氯化钙需配合使用氢氧化钠。首先在废水中投加氢氧化钠调节pH240、 ，之后再投加氯化钙，反应形成氟化钙沉淀，其反应原理方程式如下：2HF+NaOHNaF+H2 O；H2SiF62NaOHNa2SiF62H2ONaFCaCl2 CaF2 2NaCl；Na2SiF6 +CaCl2 CaSiF2 2NaCl采用氢氧化钙或氯化钙沉淀能有效去除废水中的氟离子，处理后出水氟离子浓度能达到 12 15mg/L。（3）达标可行性分析氯化钙沉淀法现已很成熟，对废水中氟离子的处理去除效率较高，运行效果良好，属于排污许可证申请与核发技术规范 电子工业中的可行技术。因此，本项目含氟废水处理工艺可行。2 、氨氮废水和有机废水处理系统（1）工艺流程介绍高浓度氨氮废液的处理采用“ 空气吹241、脱+酸洗吸收” 工艺进行处理。含氨废水首先通过投加 NaOH 将废水 pH 提高至 10.5 11.5 后送入填料吹脱塔将废水中的氨吹脱出来。从吹脱塔出来的含氨废气再进入填料吸收塔用硫酸溶液酸洗，将氨溶解 于硫酸溶液形成硫酸铵溶液。吸收后的废气通过风机循环，再次进入吹脱塔用作吹脱。经吹脱处理合格的废水由泵加压输送 至低浓度氨氮废水处理系统（采用“氧化+还原”工艺），汇同低浓度氨氮废水一起进一步处理，最后汇同有机废水进入有机废水处理系统处理（采用“水解酸化+缺氧+好氧+MBR 膜” ）后排入排放水池。 197 图 4.2-16 氨氮废水和有机废水处理系统工艺流程图 198 （2）技术可行性和经济242、合理性分析氨的吹脱法基于：废水中的氨氮一般以氨离子（NH4+ ）和游离氨（NH3 ）两种形式保持平衡的状态存在。其平衡关系如下式所示：NH3H2ONH4+OH-这一平衡关系受 pH 值的影响，当 pH 值高时，平衡向左移动，游离氨（NH3 ） 占的比例较大，氨易逸出。此时让污水通过吹脱塔，便可使氨从废水中逸出，达到脱氮的目的。氨的吹脱过程是：将废水中的离子态氨通过调节 pH 值，转化为分子态的氨，随后被通入废水中的空气吹出。吹脱出的气态氨采用硫酸溶液吸收去除。“ 吹脱法+硫酸吸收法”处理含氨废水现已很成熟，处理效率高，完全能满足达标排放的要求。有机废水进入废水处理站的 pH 调节池（通过投加 243、H2 SO4 、NaOH 调节 pH ），再依次流入水解酸化池、缺氧池、好氧 池。废水进入水解酸化池、缺氧池中，先将大分子物质分解为小分子，便于后续好氧分解；废水中的有机物在好氧池的好氧 细菌的作用下得到去除，再进入 MBR 系统经生物膜处理固液分离后，上清液进入酸碱废水处理系统。废水处理产生的污泥进入污水污泥浓缩池，污泥经脱水形成泥饼。（3）达标可行性分析项目排入有机废水处理系统的废水主要为有机废水和氨氮废水出水，主要采用生化法，其处理系统自动化程度高，操作 简便，系统稳定可靠，能达到很好的处理效果，确保处理后的废水达标排放，属于排污许可证申请与核发技术规范 电子工业中的可行技术。故本项目有244、机废水和氨氮废水处理工艺可行。3 、普通金属废水处理系统 199 （1）工艺流程介绍普通金属废水（含磷）由管路收集进入原水槽，首先进入 pH 调节槽，进行 PH 调节。后进入反应槽，进入反应槽并投加 CaCl2 使之生成磷酸钙沉淀后，之后在混凝池和絮凝池内分别投加絮凝剂（PAC）、絮凝剂（PAM）帮助矾花的生成，再流入沉淀池进行泥水分离，溢流出的清水流入中间槽。图 4.2-17 普通金属废水处理系统工艺流程图（2）技术可行性和经济合理性分析化学除磷是通过化学方法将废水中的溶解性含磷物质转变成不溶性含磷物质。常用的方法是投加无机金属盐药剂如铁盐、 铝盐或钙盐，与可溶性磷酸盐反应生成磷酸铁、磷酸铝245、磷酸钙等溶度积小的化合物。这些细小的不溶性固体物经过投加混凝剂、絮凝剂后聚集成较大的不溶性固体物沉淀下来，经浓缩压滤，达到固液分离，磷进入到污泥中。（3）达标可行性分析氯化钙沉淀法现已很成熟，对废水中磷离子的处理去除效率较高，运行效果良好，属于排污许可证申请与核发技术规范 电子工业中的可行技术。因此，本项目普通金属废水（含磷）处理工艺可行。 200 4 、研磨处理系统（1）工艺流程介绍图 4.2-18 研磨废水处理系统工艺流程图（2）技术可行性和经济合理性分析絮凝沉淀法是指通过投加絮凝剂使水中难以自然沉淀的胶体物质以及细小的悬浮物聚集成较大的颗粒，使之能与水分离的过程。 目前，絮凝沉淀法是去除悬浮物的有效常用方法。研磨废水从厂房流至研磨废水处理系统废水均和池，再依次泵入 pH 调节槽和反应槽（投加 H2SO4 、NaOH），然后在混 凝池中加入 PAC；接着泵入絮凝池，在絮凝池中加入 PAM 进行絮凝，并在经充分搅拌后，废水流入沉淀池，最后排入排放水池。废水处理产生的污泥进入污水污泥浓缩池，污泥经压滤机脱水形成泥饼。