1、目录一、建设项目基本情况.1二、建设项目工程分析.11三、区域环境质量现状、环境保护目标及评价标准.66四、主要环境影响和保护措施.81五、环境保护措施监督检查清单.115六、结论.117附表附表 1 建设项目污染物排放量汇总表专项评价1 大气环境影响专项评价2 环境风险专项评价附件附件 1 环评委托书附件 2 营业执照附件 3 厂区建设项目情况说明附件 4 厂区现有项目环评批复附件 5 规划环评批复附件 6 环境质量现状监测报告附件 7 突发环境事件应急预案备案表附件 8 固定污染源排污登记回执附件 9 排污权证附件 10 主要原辅材料 MSDS附件 11 同类工程验收监测报告及验收批复文件2、附件 12 专家意见及签到表附图附图 1 项目地理位置示意图附图 2 厂区总平面布置图附图 3 厂房内平面布置图附图 4 项目周围环境保护目标分布示意图附图 5 xx高新区土地利用规划图附图 6 本项目涉及污染物排口位置示意图附图 7 区域地表水系图附图 8 现场照片1一、建设项目基本情况建设项目名称集成电路成套装备国产化集成及验证平台扩产项目项目代码无建设单位联系人联系方式建设地点地理坐标国民经济行业类别C3973 集成电路制造建设项目行业类别三十六、计算机、通信和其他电子设备制造业-80.电子器件制造建设性质新建（迁建）改建扩建技术改造建设项目申报情形首次申报项目不予批准后再次申报项目超五3、年重新审核项目重大变动重新报批项目项目审批（核准/备案）部门（选填）无项目审批（核准/备案）文号（选填）无总投资（万元）275000环保投资（万元）4552环保投资占比（%）1.66施工工期24 个月是否开工建设否是：用地（用海）面积（m2）项目在现有厂区内建设，不新增用地面积专项评价设置情况由于本项目排放的废气涉及有毒有害污染物砷化物、氯气且厂界外500 米范围内有环境空气保护目标，根据建设项目环境影响报告表编制技术指南（污染影响类）（试行）（环办环评（2020）33 号）可知，本项目需要设置大气环境专项评价。由于本项目厂区涉及的风险物质盐酸储存量超出临界量，根据建设项目环境影响报告表编制技4、术指南（污染影响类）（试行）（环办环评（2020）33 号）可知，本项目需要设置环境风险专项评价。规划情况规划文件名称：xx高新技术产业开发区麓谷新区控制性详细规划；审批机关：xx市人民政府审批文件，名称及文号：2016 年 4月 29 日，xx高新技术产业开发区麓谷新区控制性详细规划的批复（长政函2016148 号）。xx高新技术产业开发区“麓谷新区”规划是对原麓谷四、五、六期用地规划进行整合协调的成果，总体规划范围北至望城县县界，东至绕城高速公路，南至长宁路，西至真人桥村界范围。规划总用地面积 2414.01 公顷，新区土地利用以工业用地为主，居住、市政、公共设施、生态用地为辅，规划人口规5、模 15 万人，规划期限为 2015-20252年。规划环境影响评价情况规划环境影响评价文件名称：xx高新技术产业开发区（调扩区）“麓谷新区”环境影响报告书；审批机关：xx省生态环境厅（原xx省环境保护厅）；审批文件名称及文号：2015 年 3 月 3 日，xx省生态环境厅（原xx省环境保护厅）关于xx高新技术产业开发区（调扩区）“麓谷新区”环境影响报告书的批复（湘环评函201516 号）。跟踪评价情况：2021 年 6 月取得xx省生态环境厅出具的关于xx国家高新技术产业开发区环境影响跟踪评价工作意见的函（湘环评函202111 号）规划及规划环境影响评价符合性分析1、规划符合性分析xx高新技6、术产业开发区（调扩区）“麓谷新区”产业定位为以先进制造（含汽车制造）、生物医药、新材料（高新材料研发、环保材料，全为一类工业）为主导，辅助发展电子信息、现代物流等产业。本项目为集成电路制造项目，属于电子信息产业，符合产业规划。且根据xx高新区土地利用规划图及规划用地许可证，项目所在地规划为工业用地。综上所述，项目符合高新区产业及用地规划。详见附图 5。2、规划环境影响评价符合性分析根据xx高新技术产业开发区（调扩区）“麓谷新区”环境影响报告书及审查意见（湘环评函201516 号），本项目建设与其符合性分析见下表：规划环评中企业准入条件一览表本项目情况符合性进一步优化用地规划布局，按报告书建议要7、求，将岳麓大道以北、雷芙路以南、金南路以东、绕城高速以西的用地调整为二类工业用地，原规划的二类工业用地调整为一类工业用地（现有已建企业用地总体维持用地现状）；处理好麓谷新区内部及新区与周边工业、生活、配套服务等各功能组团的关系，做好工业用地与居住等其它用地之间的隔离，充分利用自然地形和绿化隔离带使各功能区隔离，确保功能区划明确、产业相对集中、生态环境优良。项目位于xx市xx高新区青山西路 60 号，属于岳麓大道以北区域，项目工业用地与周边居民点之间有道路和绿化带隔离。符合严格执行新区环保准入条件要求。入园项目选址必须符合xx省xx保护条例、新区总体规划、用地规划、产业布局、环保规划要求，不得引8、进国家明令淘汰和禁止发展的能耗物耗高、环境污染严重、不符合产业政策的建设项目，综合考虑新区排水等环境约束性条件，区内禁止引进排水涉重金属企业，限制引进三类工业、原药生产项目及持久性有机污染物的项目；具体按照报告书提出的“麓谷新区准入行业、条件一览表”做好项目的前期招商把关。引进项目应项目所用能源为电能，不属于国家明令淘汰和禁止发展的能耗物耗高、环境污染严重、不符合产业政策的建设项目；本项目涉重金属废水均处理后回用不外排，涉重金属废液、MVR 蒸发结晶、符合3严格执行建设项目环评及“三同时”管理制度，做好全流程环境监管槽渣做危废处理，不属于排水涉重金属企业；本项目不属于三类工业、原药生产项目及持9、久性有机污染物的项目；项目建设符合xx保护条例，符合园区产业规划、环保规划，项目执行建设项目环评及“三同时”管理制度加快落实厂区环保基础设施建设。新区排水严格实施雨污分流，按xx市排水分区规划落实新区排水管网建设，管网工程应与道路建设改造、区域开发等同步实施，加快实施新区北部接入望城污水处理厂的管道建设，确保新区引进项目排水按相应污水处理厂纳污范围及时接入望城污水处理厂和雷锋水质净化厂深度处理。加快岳麓和望城污水处理厂二期工程的建设进程，按环保部关于xxxx综合枢纽 1 程环境影响报告书的批复（环审2009417 号）要求尽快实施雷锋水质净化厂尾水排放口下移工程，避免污水处理厂尾水排放影响库区10、水质。该项目所在厂区已实施雨污分流，雨水接入麓延路市政雨水管网后排入xx；本项目生活污水经隔油化粪池处理，生产废水（除涉重废水）经污水处理站集中处理，排入市政污水管网后接入望城污水处理厂，经处理后达标排放至xx。涉重废水处理后回用，不外排。符合高新区应全面使用清洁能源，禁止燃煤、生物质及重油。推行企业清洁生产制度，在达标排放、总量控制的基础上进一步减少无组织气型污染物排放；做好原料工业固废、生产工业固废和生活垃圾的分类收集，转运，综合利用和无害化处理，建立统一的固废收集、贮存、运输、综合利用和安全处置的运营管理体系。推行清洁生产，减少固体废物产生量；加强固体废物的资源化进程，提高综合利用率：规11、范固体废物处理措施，对工业企业产生固体废物特别是危险废物应按国家有关规定综合利用或安全处置，严防二次污染。项目能源采用电能，不涉及燃煤、生物质及重油等高污染能源。项目废气经有效收集、处理后高空有组织达标排放，固废按要求处理。符合麓谷新区要建立专职的环境监督管理机构，建立健全环境风险事故防范措施和厂区现有工程已办理突发环境应符合4应急预案，严防环境风险事故发生。地方政府及相关部门应严格按照相关行业准入条件要求，项目环评提出的环境防护距离要求做好功能区及具体项目用地周边规划控制，按麓谷新区的开发规划统筹制定拆迁安置方案，落实移民生产生活安置措施，防止移民再次安置和次生环境问题。急预案。本项目位于已12、建成厂区，不涉及移民，不涉及环境防护距离。根据xx高新技术产业开发区（调扩区）“麓谷新区”环境影响报告书及审查意见（湘环评函201516 号）结论：本区适宜建设的项目类型应为节水型、清洁型、轻污染的生产性企业；对于生产工艺落后、单位产品水耗能耗大、水气等污染物排放量大的等企业严格限制进入。区域引进项目的具体名录建议如下表：规划环评中企业准入条件一览表本项目情况符合性鼓励鼓励及允许及允许类：类：先进制造：汽车零配件、医疗器械、机械制造、汽车制造，符合国家产业中鼓励类低污染、技术含量高、节省资源的环保型机械加工类企业。生物医药：化学药、生物制品（生物药）研发、物流、贸易等；中药及天然产物、新型诊断13、试剂的开发和生产；高端医疗器械的研发创新和产业化以及生物医药产业配送、贸易等。新材料：主要是高新技术材料的研发、环保型新材料等。基础设施项目：供水、供热（不含煤锅炉、油锅炉集中供热）、供气、污水处理等；仓储物流业；一类用地鼓励引入企业技术研发机构、环境科技咨询机构、无工业废水、工艺废气排放的环保型产业。限制类：限制类：符合产业结构调整指导目录（现行）中鼓励类，且符合厂区产业定位，但高耗能、高水耗、低效高污染以及市面上生产能力大，市场容量小的项目。禁止类：禁止类：禁止不符合厂区的产业定位的项目进入；一类工业用地禁止引进二、三类企业，二类工业用地禁止引进三类企业；产业结构调整指导目录（现行）中限制14、类和淘汰类企业入园、国家产业政策明令禁止的项目，大量增加大气污染物和水污染物排放的工业项目。厂区内所有项目禁止使用燃煤锅炉。禁止引进排水涉重金属和持久项目属于集成电路制造项目，为电子产业，不属于重气型污染企业和水型污染企业，本项目不属于限制类与禁止类项目。本项目建设在公司现有厂区内，项目为电子产业，且已取得用地规划许可证，符合用地规划。本项目污染物有效处理处置，排放达标率100%。本项目涉重废水处理后回用，不外排。外排废水中不涉及重金属、持久性有机污染物、含放射性物质，符合要求。符合5性有机物的企业。先进制造：禁止引入原材料熔铸、钝化、酸洗、磷化、电镀等表面处理生产工艺。生物医药：原药及化学合15、成类；细胞因子、生长因子、人生长激素类（生物工程类）；庆大霉素、卷曲霉素、维生素（发酵类）等排水量大的水污染企业。新材料：禁止引进生产过程中会产生有毒有害气体的、排水量大及涉重金属、持久性有机污染物、含放射性的工艺企业。本项目为集成电路制造项目，属电子工业，不属于规划环评中禁止项目，项目与xx高新技术产业开发区（调扩区）“麓谷新区”规划环评要求相符。3、跟踪环境影响评价符合性分析跟踪环境影响评价要求本项目情况符合性进一步严格产业环境准入。高新区后续发展与规划调整须符合xx高新区”三线一单”环境准入要求及报告书提出的环境准入条件和负面清单要求。对不符合开发区用地规划的现有企业，按报告书建议对其优16、先实施“退二进三”政策，逐步将企业搬迁至城区较远的二类工业用地，且不得在原址新增污染物排放量。入园企业应优先考虑使用清洁能源、能耗低、技术工艺先进、清洁生产和环境管理水平高、污染防治技术成熟的企业，须严格执行环境保护“三同时”制度，确保外排污染物满足排污许可证管控要求。本项目属于厂区内允许类项目，符合xx高新区“三线一单”环境准入要求及报告书提出的环境准入条件和负面清单要求，企业拟使用电能等清洁能源。符合进一步落实高新区污染管控措施。高新区各片区应按开发进度完善区域雨污分流和污污分流系统、污水收集管网及集中污水处理设施建设，确保高新区废水应收尽收，全部送至配套的集中污水处理厂处理。加强污水处理17、设施日常运营维护，确保可长期稳定运行，积极推进龙王港等区域水环境综合整治工程。优化能源结构，推广清洁能源。加强厂区大气污染防治，加大对区内重点排污企业废气治理措施运行情况及废气无组织排放的监管，确保大气污染物达标排放，对治理设施不能有效运行的企业，采取停产措施。做好工业固体废物和生活垃圾的分类收集、转运、综合利用和无害化处理，建立完善的固废管理体系。对危险废物应严格按照国家有关规定综合利用或妥善处置，对危险废物产生企业和经营单位，应强化日常环境监管。高新区项目采用燃气锅炉，不使用燃煤锅炉。厂区内雨污分流，污水（除涉重废水）经预处理达到污水综合排放标准GB3838-1996三级标准及望城污水处理18、厂进水水质要求后排入望城污水处理厂处理，涉重废水处理后回用不外排。危险废物暂存设危废符合6须严格落实排污许可制度和污染物排放总量控制，重点抓好企业环保手续的完善，全面落实高新区内现有企业污染物特别排放限值控制要求，采取有效措施减少污染物排放总量，确保实现区域环境质量改善目标，促进高新区发展与生态环境保护相协调。完善高新区环境监测体系。高新区应严格落实跟踪评价提出的监测方案，结合高新区规划的功能分区、产业布局、重点企业分布、特征污染物的排放种类和状况、环境敏感目标分布等，建立健全环境空气、地表水、地下水、土壤等环境要素的监控体系，并按报告书提出的要求，对相应点位（断面）开展的跟踪监测。加强对高新19、区重点排放单位、环保投诉较多企业的监督性监测。暂存间暂存，定期交由有资质单位处理。其他符合性分析1、产业政策相符性根据中华人民共和国国家发展和改革委员会制定的 2019 年第 29 号令产业结构调整指导目录，本项目建设属于鼓励类项目中的“第二十八、信息产业，第 19 子项”。根据市场准入负面清单（2022 年版），本项目不属于市场准入负面清单的禁止类，符合产业政策。2、选址合理性分析本项目位于xx高新区青xx路 60 号，在现有厂房内实施改扩建，且已取得用地规划许可证。因此，本项目选址合理。3、平面布局合理性分析本项目布局在厂区已建成并投入使用的一期厂房内，本项目在充分利用场地现有条件的基础上20、，按功能分区布置，保证了生产工艺流程顺畅、生产及辅助系统的完整配套；项目生产车间内按生产工艺流程转化布置各生产单元和辅助设置，便于实施规模化生产，易于污染物的集中收集与防治。从环境保护的角度考虑本项目平面布置较合理可行。4、“三线一单”符合性分析（1）生态保护红线本项目不在生态红线范围内，不涉及自然保护区、风景名胜区、森林公园、地质公园、生态绿心区及重要水生生物的自然产卵场、索饵场、越冬场和洄游通道。（2）环境质量底线根据项目所在区域基本污染物统计结果可知，项目周边环境空气中SO2、PM10、NO2年平均质量浓度、CO 24h 平均浓度第 95 百分位数、O3日最大 8h 平均浓度第 90 百21、分位数均达到环境空气质量标准（GB3095-2012）及其修改单中二级浓度限值，PM2.5年平均质量浓度不满足环境空气质量标准（GB3095-2012）及其修改单中浓度限值要求；项目区域地表水满足 地表水环境质量标准（GB3838-2002）类水质标准要求；项目区域声环境质量满足声环境质量标准（GB3096-2008）3 类标准要求。针对环境空气质量现状存在的问题，根据xx市生态环境局发布的7xx市大气环境质量限期达标规划（2020-2027）文件内容要求，采取的主要措施如下：推动产业转型升级，全面促进绿色发展；优化能源结构，控制煤炭消费总量；落实扬尘污染精细化治理；积极调整运输结构，强化移动22、源污染防治；深入开展工业企业污染治理与提标改造；深化生活和农业面源污染综合防治；建立健全监测监控体系，强化环保科技能力建设；积极应对污染天气，有效降低污染程度；积极推动大气污染防治联防联控联动。通过采取以上措施，确保城市环境空气质量持续改善直至达标。本项目排放污染物可实现达标排放，满足总量控制指标要求，投产后对区域环境无明显不利影响，本项目污染物排放不会对区域环境质量底线造成冲击。（3）资源利用上线本项目选址用地性质为工业用地，不占用耕地、林地、牧地、水域等土地资源。本项目采用较先进的技术装备，并注重节能减耗，资源能源利用率较高，从源头减少污染物产生。本项目用电由市政电网供给，用水由市政管网供23、给，不会突破区域资源利用上线。（4）生态环境准入清单本项目位于xx高新区雷高路与青山路交界处东北角，属于xx高新技术产业开发区麓谷片区规划范围内，项目与xx省“三线一单”生态环境总体管控要求暨省级以上产业厂区生态环境准入清单中长沙高新技术产业开发区（环境管控单元编码 ZH43010520003）。相符性分析见下表：管控维度清单中管控要求项目符合情况结论空间布局约束岳麓山科技园（麓谷）：严禁化工、冶炼、造纸等高能耗、高水耗的重污染型企业入园。本项目不属于化工、冶炼、造纸等高能耗、高水耗的重污染型企业符合污染物排放管控（2.1）废水：（2.1.1）按雨污分流原则完善各片区排水管网建设，生产废水经处24、理达标后进入区内市政污水管网，同生活污水一起按污水处理厂服务范围分别排入相应城市污水处理厂处理。加快雷锋河流域污水收集管网建设，加快区域内雷锋河流域截污和肖河入河排口整治。（2.1.2）麓谷片区（岳麓山高科技园）：岳麓山科技产业园（麓谷）区域排水进入雷锋水质净化厂处理达标后汇入xx下游；麓谷二、三期和“麓谷新区”已开发区域岳麓大道南部，以及信息产业园已开发区域东南部污水进入雷锋水质净化厂处理达标后排废水：本项目外排废水（不包括涉重废水）排放的污染物为常规污染物，废水经预处理后污染物浓度均能达到望城污水处理厂的进水水质要求；各项废气采取防治措施后均可实现达标排放；涉重废水处理后回用不外排，废化镀25、液、废渣等均做危废处理，各项固体废物均可得到妥符合8入湿地，再进入龙王港；“麓谷新区”已开发区域岳麓大道北部和信息产业园已开发区域西北部污水进入望城污水处理厂处理达标后排入沩水。区内雨水采用就近排放的原则，流经支管后就近排至雷锋河、肖河、龙王港，最终经龙王港汇入xx。（2.2）废气：（2.2.1）全面推进涉 VOCs 工业企业综合治理，对汽修行业、表面涂装、包装印刷、家具制造、汽车制造等重点行业进行综合治理，推进油性漆改水性漆工作，加强监管，督促企业落实排污许可证管理要求，改进生产工艺、加强日常环境管理，减少无组织废气排放，废气应严格按国家和地方标准达标排放。（2.2.2）强化特护期污染管控，26、落实机动车分流、限行等措施；制定特护期工作方案、重污染天气应急预案，明确重污染天气下需停产、限产的企业清单和细化应急减排措施至各产排污环节。（2.2.3）建设大气污染防控综合平台，实施重点污染源在线监控，重点企业要结合“一厂一策”成果，按规定对 VOCs 排口进行整合，在 5 万 m3/h 以上风量（或VOCs污染物排放量在2.5kg/h以上）的单个排气口安装在线监控设备，对大气污染物和企业特征污染物开展实时监控，并与在线监控国家平台或厂区综合平台联网，实现随时调取、展示、超标报警等功能。（2.2.4）加快推进燃气锅炉低氮改造工作，减少氮氧化物排放，削减氮氧化物浓度，要求厂区内新建和整体更换后27、的燃气锅炉（设施）氮氧化物排放浓度低于30mg/m3；在用的锅炉（设施）经改造后氮氧化物排放浓度低于50mg/m3以下。（2.2.5）厂区内无机化学等行业及涉锅炉大气污染物排放应满足xx省生态环境厅关于执行污善处置。废气：本项目不涉及油漆使用；VOCs排口风量及排放量均未达到需安装在线监控设备的标准，无需安装在线监控；厂区燃气锅炉已进行低氮燃烧改造，颗粒物、氮氧化物污染物排放满足特别排放限值要求。固废：厂区已建设符合标准的一般固废暂存间、废液收集系统、危险废物暂存间并完善管理，目前仍有可供本项目依托的余量，可以进行依托。9染物特别排放限值（第一批）的公告中的要求。（2.3）固废：做好原料工业固28、废、生产工业固废和生活垃圾的分类收集、转运、综合利用和无害化处理，建立统一的固废收集、贮存、运输、综合利用和安全处置的运营管理体系。推行清洁生产，减少固体废物产生量；加强固体废物的资源化进程，提高综合利用率；规范固体废物处理措施，对工业企业产生的固体废物特别是危险废物应按国家有关规定综合利用或安全处置，严防二次污染。环境风险防控厂区可能发生突发环境事件的污染物排放企业，生产、储存、运输、使用危险化学品的企业，产生、收集、贮存、运输、利用、处置危险废物的企业等应当编制和实施环境应急预案；鼓励其他企业制定单独的环境应急预案，或在突发事件应急预案中制定环境应急预案专章，并备案。厂区内已建项目已编制环29、境应急预案并备案。要求本项目建设后对厂区应急预案进行修订。符合资源开发效率要求（4.1）能源：（4.1.1）禁燃区内，天然气管道已建成的区域，禁止燃用生物质成型燃料；天然气管道未建成的区域，可使用专用锅炉或配备高效除尘设施的专用锅炉燃用生物质成型燃料。（4.1.2）评估区域内能耗“双控”指标：2020 年能源消费增量控制在 27802.39 吨标准煤（等价值）以下，单位 GDP 能耗下降率为2%，2020 年能源消费总量控制718202.00 吨标准煤（等价值）以内。预测“十四五”期间能源消费增量控制在1296912.59吨标准煤（等价值）以下，单位 GDP 能耗下降率为 11.51%，20230、5 年能源消费总量控制在2015114.59吨标准煤（等价值）以内。煤炭消费总量控制目标为在 2015 年基础上，2020 年和 2025 年煤炭消费增量均为零。（4.2）水资源：水资源开发利用红线控制目标采用用水总量指标本项目使用低氮燃烧天然气锅炉作为热水来源，不使用燃煤锅炉。本项目生产设备均以电作为能源，不涉及高污染能源。符合10进行考核。（4.3）土地资源：坚持集约节约用地，实施投资强度最低标准制度，从 2019 年 4 月 1 日开始，新入园的购地产业项目，入国家级厂区投资强度不低于 350 万元/亩（均不含土地出让金等前期费用）。综上所述，项目符合xx省“三线一单”生态环境总体管控要31、求暨省级以上产业厂区生态环境准入清单各项要求，符合xx高新技术开发区生态环境准入清单。5、xx保护条例符合性分析本建设项目与xx保护条例相符性分析见下表：条例要点本项目概况相符性分析xx流域用水单位应当加快实施节水技术改造，加强节水管理，逐步淘汰落后、耗水量高的用水工艺、设备和产品。本项目加强节水管理，未使用耗水量高的工艺设备。符合对xx流域内化学需氧量、氨氮、石油类、汞、镉、铅、砷、铬、锑等重点水污染物排放实行总量控制。本项目化学需氧量、氨氮实行总量控制，涉重废水不外排。符合新建、改建、扩建建设项目，建设单位应当组织进行建设项目环境影响评价，并将环境影响评价文件依法报环境保护行政主管部门审批32、。本项目正在履行手续。符合直接或者间接向xx流域水体排放污染物的企业、事业单位和个体工商户，应当依法向县级以上人民政府环境保护行政主管部门申请排污许可证并达标排放。厂区不存在直接排向xx的排口。符合在xx干流两岸各二十公里范围内不得新建化学制浆、造纸、制革和外排水污染物涉及重金属的项目。本项目为集成电路制造项目，涉重废水处理后回用，不外排符合11二、建设项目工程分析建设内容一、项目由来一、项目由来以集成电路产业为代表的信息技术产业是经济发展的“倍增器”、发展方式的“转换器”和产业升级的“助推器”。三十多年来，中国集成电路产业经历了自主研发创业、引进提高和重点建设三个重要发展阶段，中国集成电路产33、业已有了相当的产业基础，产品设计开发能力和大生产技术水平也有了较大提高；但是，其综合发展和技术水平与世界上经济发达国家相比仍有相当的距离，产品的技术档次不高，核心的关键产品仍然需要进口。面对国内外集成电路广阔的市场需求和发展机遇，大力发展中国的集成电路产业，以信息化带动工业化，以工业化促进信息化，是实现国民经济发展的迫切需要，也是增强综合经济实力和竞争实力的必然要求，国家出台了一系列政策集成电路产业进行了规划布局。近年来，xx省引进了三安光电、泰科天润、比亚迪等一批重大项目，产业集聚规模不断扩大，初步形成了xx高新区、xx经开区以及株洲中车三大产业集聚区，集成电路产业链完整性不断提高。xx推行34、“三智一芯”战略，瞄准功率芯片等产业，高质量完成强链补链延链工作，推进关键核心技术攻关，并以xx半导体为建设主体，推动“国家功率半导体制造业创新中心”建设。2019 年，xx下发关于印发xx市加快新一代半导体和集成电路产业发展若干政策的通知，重点支持设计和设备、功率半导体等领域的融合应用，按照技术、市场、资金、人才、产业“五统一”的要求，精准、持续发力，为重点企业、高校、科研院所提供“点对点”的优质高效服务。xxxx半导体科技有限公司围绕“服从国家产业战略、服从xx产业布局”，“坚持市场导向、坚持自主创新”，不但要全面融入xx省对于半导体产业的总体战略，更要在国家战略中重新找准定位。xxxx半35、导体科技有限公司是国内专门从事集成电路成套装备生产的高新企业。位于xx高新区青xx路 60 号，主要进行集成电路成套装备研发及生产，现有工程为提供产品工艺及设备验证服务 20 次/年，LCD 驱动电路等相关产品达到月产 2000 片。厂区内现有工程的环评报告xxxx半导体科技有限公12司集成电路成套装备国产化集成及验证平台建设项目（一期）环境影响报告表于2019年11月12日取得xx高新技术产业开发区管理委员会城管环保局的批复（长高新环评201964 号）；xxxx半导体科技有限公司集成电路成套装备国产化集成及验证平台建设项目（一期）技改项目环境影响报告表于 2020 年12 月 11 日取得36、xx市生态环境局高新分局的批复（长环评（高新）202023 号）。基于市场需求，xx半导体公司启动了集成电路成套装备国产化集成及验证平台扩产项目项目，项目总投资 275000 万元，在厂区现有主厂房生产车间二层建设北线洁净室及南线洁净室、在主厂房办公区一楼建设铂扩洁净室，北线洁净室年产 9.6 万片 TMBS 器件、6 万片 MOS 器件，南线洁净室年产 18 万片 SGT 器件、6 万片 IGBT 器件，铂扩洁净室年产 18 万片 FRED 器件。根据中华人民共和国环境保护法中华人民共和国环境影响评价法及建设项目环境保护管理条例的有关规定，一切可能对环境产生影响的新建、扩建或改扩建项目均必须37、实行环境影响评价审批制度。根据建设项目环境影响评价分类管理名录（2021 年版），本项目属于“三十六、计算机、通信和其他电子设备制造业-80.电子器件制造”类，其环评类别属于应编制环境影响报告表的范畴。二二、项项目目概概况况1、主要建设内容本项目在已建主厂房（集成电路成套装备国产化集成验证平台所在厂房）内布置生产线，依托已建主厂房布置南线洁净室、北线洁净室、铂扩车间，新增根据环境影响评价法建设项目环境保护管理条例的有关规定，受xxxx半导体科技有限公司委托，xxxx设计研究院有限公司承担了xxxx半导体科技有限公司集成电路成套装备国产化集成及验证平台扩产项目的环境影响评价工作。通过对项目区现场38、勘查、资料收集和分析，按照环评导则要求和有关环保规定要求，编制完成了xxxx半导体科技有限公司集成电路成套装备国产化集成及验证平台扩产项目环境影响报告表。本环评报告于 2023 年 3 月 17 日通过了由xxxx新区行政审批服务局在xx市组织召开的专家技术评审会，现修改完善呈报审批。设13备 260 台/套。不新建厂房，土建内容仅新建涉重废水处理系统、含磷废水处理系统及扩建原有废水处理系统。本项目总投资 275000 万元，本项目建设具体内容及规模见表 2-1。表表 2-1 本项目具体建设内容一览表本项目具体建设内容一览表类型具体内容主体工程不新建建筑，依托已建主厂房布置南线洁净室、北线洁净39、室、铂扩车间，新增设备 260 台/套。主厂房生产车间共两层，在二层建设北线洁净室及南线洁净室；主厂房办公区共四层，在一层建设铂扩洁净室。辅助工程新增纯水站，制备纯水能力 120m3/h。新增涉重工艺专用纯水站，制备纯水能力20m3/h。环保工程废水新建涉重废水处理设施，设计处理能力 240m3/d，废水处理后回用，不外排，MVR 蒸发结晶、沾染性废物做危废处理新建含磷废水处理设施，设计处理能力 360m3/d，废水处理后进入酸碱废水处理系统进行进一步处理，达标后从厂区排污口排放在原有的废水处理系统基础上，新增氨氮系统设计处理能力 360m3/d、新增含氟处理系统设计处理能力 720m3/d、40、新增酸碱废水处理系统设计处理能力 3000m3/d，新建对应槽体、池体及相应设备废气新增一套 11 万 m3风机+33m 高排气筒（MAU 洁净室新风机组）新增两套 3.3 万 m3风机+干式活性炭吸附（工艺废气处理系统），处理后废气排入酸性废气处理系统新增三套 4 万 m3风机+碱性喷淋塔+通风机、排气管、加药系统，经一个新增 33m 高排气筒排出（酸性废气处理系统）新增一套 1.2 万 m3风机+酸性喷淋塔+通风机、排气管、加药系统+经一个新增 33m 高排气筒排出（碱性废气处理系统）南线、北线有机废气依托原有的活性炭吸附+RTO 系统脱附+33m 高排气筒；铂扩有机废气经新增一套 0.241、5 万 m3风机+活性炭吸附装置的有机废气处理系统处理，依托原有的 RTO 系统进行活性炭脱附。部分产生废气的设备内置废气处理设施不新建锅炉，启用厂区已建的备用锅炉作为本项目热水来源，锅炉排放废气增加。噪声生产设备优先选用低噪声设备，采用减振、降噪等措施。固废依托厂区内已建的一般固废暂存间、危废暂存间储运工程依托厂区内已建的化学品库、大宗气站、甲类库、硅烷站、一般固废暂存间、危废暂存间等公用工程依托厂区内已引入的市政供水管及雨、污水管，依托厂区内现有的供电系统依托工程依托厂区内已引入的市政供水管及雨、污水管，依托厂区内现有的供电系统，依托厂区内已建的化学品库、大宗气站、甲类库、硅烷站等。2、投42、资及组成14本项目投资 275000 万元，其中银行贷款融资 91800 万元，其余为新增资本金。3、建设性质：扩建。4、建设周期：24 个月，2023 年 5 月到 2025 年 5 月。5、工作定员及制度本项目新增劳动定员 330 人。工作采用两班制，每班 12 小时，年工作 300天。生产设备及配套污染防治设施 24 小时运行。6、本项目生产规模北线洁净室年产 9.6 万片 TMBS 器件、6 万片 MOS 器件，南线洁净室年产18 万片 SGT 器件、6 万片 IGBT 器件，铂扩洁净室年产 18 万片 FRED 器件。表表 2-2 本项目生产规模一览表本项目生产规模一览表序号产品名称43、规格产能存储区域1TMBS 器件8 英寸9.6 万片/年产品库2MOS 器件8 英寸6 万片/年产品库3SGT 器件8 英寸18 万片/年产品库4IGBT 器件8 英寸6 万片/年产品库5FRED 器件8 英寸18 万片/年产品库表表 2-3 扩建前后全厂生产规模对比一览扩建前后全厂生产规模对比一览序号产品名称改扩建前改扩建后变化情况规格产能规格产能1TMBS 器件8 英寸2.4 万片/年8 英寸12 万片/年+9.6 万片/年2MOS 器件/8 英寸6 万片/年+6 万片/年3SGT 器件/8 英寸18 万片/年+18 万片/年4IGBT 器件/8 英寸6 万片/年+6 万片/年5FRED 44、器件/8 英寸18 万片/年+18 万片/年7、本项目新增设备清单本项目新增设备清单详见下表。表表 2-4 本项目本项目设备清单设备清单建设位置工序设备名称设备型号数量（台/套）1北线洁净扩散氧化炉（P 推阱）设备M51200-1/UM22氧化炉（N 推阱）设备M51200-1/UM215室3立式氧化炉（退火）M51200-1/UM14LPCVD(D-Poly)设备TEL-8S25LPCVD(TEOS)设备TEL-8S16LPCVD(D-Poly)设备M51200-1/UM27LPCVD(TEOS)设备M51200-1/UM28氧化炉（合金）设备M51200-1/UM19真空合金炉定制110快45、速退火炉AG 8108211快速退火炉HELIOS 200112光刻匀胶显影ZHT-200113匀胶显影CLEAN TRACK ACT8314i 线光刻机I12115光刻机FPA-3000 EX6316i 线光刻机Nikon I8117涂胶显影机Mark 7118湿法栅氧前湿法清洗机（CWOXC01)Ultron B200C119工艺湿法清洗机(CWPRS01)Ultron B200C120湿法铝刻蚀机Ultron B200C121湿法去硅渣设备定制122湿法清洗机FC-821L223湿法清洗机WS-820L124湿法清洗机Ultron B200C125湿法腐蚀机Ultron B200C12646、湿法去胶机Ultron B200C127去应力机(si 蚀刻)RST 323128双面擦片机SS-W80-AR129刻蚀干法去胶机SINO Plasma 1000130钨刻蚀腔W-ET131铝刻蚀机KESSEL-E200M132二氧化硅刻蚀机EAMX133二氧化硅刻蚀机NMC 508134多晶硅刻蚀机鲁汶仪器135硅刻蚀机NMC508 GT136硅刻蚀机Alliance 9400PTX137二氧化硅刻蚀机Unitye855DS138去胶机Allegro-ICE200139薄膜金属溅射台(AlCu)Endura 5500140PVDConcept-Two Inova141CVDCentura T47、ectra11642氧化硅淀积设备(USG)PF-200T143减薄机DISCO 8540144减薄机WG-8501145背面金属蒸发设备Ei-501Z946半自动贴膜机定制147半自动脱模机定制148量测+辅助线宽检测仪S9220149颗粒检测仪SPUCE 600150缺陷检测仪(图案明场表面检测)KLA 2139151显微镜NIKON L200352电阻率检测仪RS55153膜厚测试设备TFX3200154膜厚测试设备OP2600155CP 测试仪STS802+UF200A456烘箱定制157炉管清洗机SZSI-HTC203B158Cassette 清洗机定制259烘箱非标160立式氧化炉48、（LP-SiN)8SE161去胶机ICE200162湿法 SIN 腐蚀机WS-820L11南线洁净室开始激光打标机LASER MARK12炉管高温氧化炉TEL/Alpha-8S23氮化硅沉积炉TEL/Alpha-8S24高温氧化炉TEL/Alpha-8S25掺杂多晶硅沉积炉TEL/Alpha-8S26非掺杂多晶硅沉积炉TEL/Alpha-8S27高温氧化炉TEL/Alpha-8S28高温推阱炉TEL/Alpha-8S39高温氧化炉TEL/Alpha-8S210高温氧化炉TEL/Alpha-8S211高温推阱炉TEL/Alpha-8S212掺杂多晶硅沉积炉TEL/Alpha-8S313高温推阱炉49、TEL/Alpha-8S214高温氧化炉TEL/Alpha-8S215快速退火炉（双腔）前段屹唐 HELIOS216快速退火炉（单腔）后段LEVITOR（1）217注入中束流离子注入机EXCEED 2000A118大束流离子注入机NV-GSD-LE21719大束流离子注入机CI C200120薄片高能 H 注入AMAT Vista 1500H121薄片中束流注入ULVAC/AMAT122CVDPETEOS 5000/PETEOS 1500EAGLE-10Trident-3RC（3）323SRO+SRN建议拓荆 pf-200t224HDP TEOSAMAT/UltimaHDP-CVD Centu50、ra（1）225BPSGCentura SA-NSGDxZ(1)226T/TNENDURA5500327ALCU40KENDURA5500228W 沉积Centura WxZ(1)229PVDTINIAG背金630干法去胶机（PR)Plasma 1000231去胶机（descum)Plasma 1000132TR 刻蚀华创/鲁汶 3ch133硅刻蚀华创/鲁汶 3ch234多晶刻蚀华创/鲁汶 3ch135金属刻蚀（AL)华创/鲁汶 2ch336金属刻蚀（W)华创/鲁汶 2ch137光刻OX 刻蚀（前段）UNITY SCCM(1)Unitye855DS/EMAX2CH338OX 刻蚀（后段）UNI51、TY SCCM(1)Unitye855DS/EMAX2CH239CMPCMP(OX)240CMPCMP(POLY)241TR/CT 两层曝光（KRF)DUV206/207142coat/devLITHIUS143I-line(P1/P2/PB/NSD/MT/PA)SF120/130244I-line（背面对准）SF155145湿法coat/devLITHIUS346湿法清洗机（PR)Ultron B200C147湿法清洗机（腐蚀)前段Ultron B200C148湿法清洗机（腐蚀)前段 RCAUltron B200C149湿法清洗机（SAC)中段Ultron B200C150湿法清洗机（EKC52、)后段Ultron B200C151湿法清洗机（SIN)Ultron B200C152湿法清洗机（POST CLEAN)Ultron B200C153SCRUBBER（前段）沈阳芯源154SCRUBBER（后段）沈阳芯源155背面减薄减薄21856贴膜NITTO157脱膜NITTO158背面腐蚀SEZ203259CPSTS802+UF200A560OVLArcher XT+161CD-SEMS9220162明场KLA2139163暗场AIT XP164Review sem定制165膜厚F5X/睿励166颗粒xx飞测/SP1167RS 测试仪RS55168显微镜Oly671DetapeNitto53、 HR9200172Backside wet etchingLAM203L173Taiko GrinderDisco DTG8440174MounterNitto MV3200175CP test联动/MPI176Die sawDisco DFD6340177UV curing定制178RoundingCDE200/80179去 RingDisco DFD6240180背溅射SPTS sigma FXP181激光退火中微/华卓182翻片机xx昕坤/定制183烘箱350烘箱184Backside alloyTEL/ASM/KA11铂扩车间清洗金属前势垒清洗机FC821L12湿法 PT 腐蚀清洗机54、定制13金属前清洗机FC821L14金属后湿法清洗机通用机台15化学镀化学镀0.8m*0.8m*1m16扩散立式氧化炉（退火）设备TEL 8SE17立式氧化炉（合金）设备TEL 8SE18立式氧化炉（合金）设备TEL 8SE19薄膜金属溅射台ENDURA5500110钝化层沉积设备EAGLE-10Trident-3RC111刻蚀去胶机Allegro-ICE200112金属刻蚀机LAM960011913钝化层刻蚀机Unitye855DS114匀胶显影设备ACT8115匀胶显影设备ACT8116光刻机I8117量测+辅助套刻测试设备KLA5200XP118显微镜AL2100119显微镜AL210055、120高温烘箱高温烘箱(400 度）121烘箱烘箱122TRR 测试机定制123CP 测试机DTS-1000124CP 测试机DTS-1000425I-V 曲线测试仪定制126膜厚仪3290127RS 测试RS55128颗粒测试SPUCE 600129炉管清洗机非标130出货检验设备EagleT-i131缺陷扫描设备EagleT-i132开盒器定制233冰箱定制11动力站热水锅炉2500kW启用原有备用锅炉 1 台表表 2-5 本项目建成后全厂设备变化情况本项目建成后全厂设备变化情况序号序号 位置位置设备名称设备名称单位单位扩建扩建前数量前数量 扩建扩建后数量后数量 变化情况变化情况备注备注156、北线洁净室氧化炉（P 推阱）设备台24+2/2氧化炉（N 推阱）设备台24+2/3立式氧化炉（退火）台12+1/4氧化炉（干氧）设备台11+0/5氧化炉（栅氧）设备台11+0/6LPCVD(D-Poly)设备台15+4/7LPCVD(TEOS)设备台14+3/8氧化炉（合金）设备台23+1/9中束流注入机台11+0/10大束流离子注入机台02+2/11真空合金炉台01+1/2012快速退火炉台14+3/13匀胶显影台04+4/14i 线光刻机台13+2/15光刻机台14+3/16涂胶显影机台23+1/17栅氧前湿法清洗机（CWOXC01)台12+1/18工艺湿法清洗机(CWPRS01)台12+57、1/19湿法铝刻蚀机台01+1/20湿法去硅渣设备台01+1/21金属后湿法清洗机(CWMEC01)台11+0/22金属前湿法清洗机(CWOXC02)台11+0/23湿法清洗机台02+2/24湿法清洗机台01+1/25湿法清洗机台01+1/26湿法腐蚀机台12+1/27湿法去胶机台01+1/28去应力机(si 蚀刻)台12+1/29激光打标机台11+0/30双面擦片机台23+1/31干法去胶机台23+1/32钨刻蚀腔台12+1/33铝刻蚀机台12+1/34二氧化硅刻蚀机台14+3/35多晶硅刻蚀机台12+1/36硅刻蚀机台02+2/37去胶机台01+1/38UV 固胶机台11+0/39金属溅射58、台(AlCu)台12+1/40PVD台01+1/41CVD台23+1/2142掺硼磷氧化硅淀积设备(BPSG)台11+0/43钝化层沉积设备台11+0/44氧化硅淀积设备(USG)台01+1/45减薄机台13+2/46背面金属蒸发设备台211+9/47半自动贴膜机台12+1/48半自动脱模机台12+1/49套刻检测仪台11+0/50线宽检测仪台12+1/51颗粒检测仪台12+1/52自动传片机台22+0/53缺陷检测仪(图案明场表面检测)台12+1/54图案暗场表面检测仪台11+0/55显微镜台47+3/56电阻率检测仪台12+1/57膜厚测试设备台13+2/58硼磷含量检测仪台11+0/5959、CP 测试仪台26+4/60台阶测试仪台11+0/61烘箱台57+2/62炉管清洗机台12+1/63Cassette 清洗机台57+2/64立式氧化炉（LP-SiN)台01+1/65去胶机台01+1/66湿法 SIN 腐蚀机台01+1/67南线洁净室0135+135南线设备全部为新增68铂扩洁净室037+37铂扩线设备全部为新增注：部分已建项目设备满足已建项目需求外仍有剩余产能，可供本项目使用。8、主要原辅材料主要原辅材料如表 2-6 所示，能源消耗情况如表 2-7 所示。22表表 2-6 主要原辅材料主要原辅材料变化变化一览表一览表序号名称物态扩建前扩建后单位存储位置年用量变化情况储存方式规60、格年用量最大暂存量年用量最大暂存量1反式-1,2-二氯乙烯DCE液0.010.00830.41280.0754吨化学品仓库+0.4028瓶装1.5L/瓶2正硅酸四乙酯TEOS液0.140.06675.280.3540吨+5.14(5gallon）/17.7KG/瓶3氙 Xe气0.0060.00330.08570.0070吨+0.07972L/瓶4三氟化硼BF3气0.0020.00030.00430.0006吨+0.00232.2L/305G/瓶5砷化氢AsH3气000.00210.0009吨+0.00212.2L/440G/瓶6硅烷 SiH4气0.080.00331.48560.03吨+1.461、056B47/10KG/瓶71%磷化氢+氮1%PH3/N2气001.65240.15吨+1.6524B47/150KG/瓶8磷化氢PH3气0.10.050.00070.0004吨-0.09932.2L/瓶9氯气 Cl2气0.080.01672.050.196吨+1.97B47/49KG/瓶10四氟化碳CF4气0.080.03330.72630.06吨+0.6463B47/30KG/瓶11溴化氢HBR气0.10.0251.60570.098吨+1.5057B44/50KG/瓶12三氟甲烷CHF3气0.0120.010.34200.2745吨+0.3300B47/30KG/瓶13三氯化硼BCL3气62、0.10.03330.52480.1222吨+0.4248B47/50KG/瓶14六氟化硫SF6气0.080.03330.65940.157吨+0.5794B47/50KG/瓶15八氟环丁烷 C4F8气0.060.03330.73120.06吨+0.6712B47/30KG/瓶1630%氧气/氦气30%HeO2气0.040.0250.53930.15吨+0.4993B47/150KG/瓶23174%氢气/氮气H2(4%)N2气0.80.1511.64840.28吨+10.8484B47/140KG/瓶18氟甲烷CH3F气0.0020.00170.00300.0021吨+0.0010UF(7.363、)/1.36KG/瓶19六甲基二硅氮烷HMDS液0.040.03331.84340.0544吨+1.80344L/瓶20稀释剂OK73THINNER液00243.1026.32吨+243.102桶装200L/桶21光刻胶DHK-BF511液001.97110.084吨+1.9711瓶装4L/瓶22正性光刻胶RZJ-6101液000.52920.022吨+0.52924L/瓶23正性光刻胶RZJ-5513PG液0.208.99640.3748吨+8.79644L/瓶24正性光刻胶RZJ-5322液005.89470.2456吨+5.89474L/瓶251.25%氪气与氖气的混合气气0.0003564、0.10.40.1吨+0.399749L/瓶260.95%氟气，1.25%氪气与氖气的混合气气0.0000170.10.40.1吨+0.400049L/瓶27防反射薄膜生成液DUV44液000.00040.000044吨+0.0004桶装4L/瓶28显影剂NMD-32.38%TMAH液007669.6吨+766200L/桶29光刻胶PI(非光敏性)液001.11630.48吨+1.1163瓶装4L/瓶30N-甲基吡咯烷酮NMP液0018.5040.77吨+18.504桶装4L/瓶31聚酰亚胺液000.1940.01吨+0.194L/瓶24原液PI-752024232显影液HTRD-2液005165、.31.5267吨+51.3200L/桶33去边剂RER 600液40.5833271.125吨+23200L/桶34光刻胶去除剂EKC270液82.6667143.00553.8607吨+135.0055200L/桶35硫酸H2SO4液445.8333686.20648.072吨+642.2064200L/桶36811 硅腐蚀液液81179.9282.496吨+171.928200L/桶37氟化铵腐蚀液BOE10:1固0012.84310.632吨+12.8431200L/桶38二氧化碳CO2气0.40.08339.720.432吨+9.32瓶装47L/27kg/瓶39异丙醇IPA液80.866、333144.45153.52吨+136.4515桶装200L/桶401%氢氟酸100:1HF液50.583366.67925.04吨+61.6792200L/桶41过氧化氢H2O2液83.66672645.096吨+256200L/桶42氢氟酸HF液2.60.9660.480.96吨+57.88200L/桶43氨水NH4OH液1.80.7561.1522.184吨+59.352200L/桶44盐酸HCL液363.3314.3280.892吨-21.672200L/桶45铝腐蚀液M2液51.2814.851.28吨+9.85200L/桶46硅腐蚀液PBE液0012.4742.016吨+12.467、74200L/桶47清洗剂EDTA液000.10840.05吨+0.1084500G/瓶48硝化酸混合物NIAG283液0013.21.4992吨+13.2200L/桶49去胶液HJC1101液007.562.64吨+7.56200L/桶50磷酸H3PO4液0037.10521.968吨+37.1052200L/桶51硝酸HNO3液2.4125.742.4吨+23.34200L/桶2552三氟化氮NF3气0.020.08335.70480.5264吨+5.6848瓶装B47/20KG/瓶53硼酸三乙酯 TEB液0.0080.00830.08160.0151吨+0.07365GAL/15750G68、/瓶54磷酸三乙酯 TEPO液0.010.00670.0720.021吨+0.0625GAL/19500G/瓶55六氟乙烷C2F6气0.020.01674.1760.08吨+4.156B47/40KG/瓶56氩中甲烷10%CH4/Ar气0.060.050.5760.12吨+0.516B47L/120KG/瓶57四(二甲胺基)钛TDMAT液0.00060.00050.01600.0016吨+0.01541.3L(800g）/瓶58六氟化钨WF6液0.020.08330.60.025吨+0.58B10L/25KG/瓶59一氧化二氮 N2O气000.6960.029吨+0.696B47L/29KG/69、瓶60高纯氨NH3气0.080.00830.06290.023吨-0.0171B47L/23KG/瓶61丙酮液0.040.03330.40.08吨+0.364L/瓶62乙二醇液0.120.050.53280.045吨+0.41284L/瓶63二氯二氢硅 DCS气000.740.074吨+0.7440L/37kg/瓶64硅腐蚀液液81151.5吨+7桶装200L65电子氟化液FC3283液0.10.03334.80.4吨+4.720KG/瓶66氦气 He气000.10.02吨+0.1瓶装10Kg/瓶67光刻胶PW2500液000.22710.0031吨+0.22714L/瓶68紫外正性光刻胶KM70、PC6230液000.98880.04吨+0.98884L/瓶69深紫外正性光刻胶KMPDK1089液000.92740.0097吨+0.92744L/瓶7031%盐酸液0066415吨化+664储罐20 吨/罐26学药剂间7130%氢氧化钠液1601883030吨+67040 吨/罐7230%氯化钙液00140020吨+140030 吨/罐7350%硫酸液00907吨+9010 吨/罐7410%PAC液002627吨+26210 吨/罐7530%亚硫酸氢钠液00457吨+4510 吨/罐76PAM固000.50.08吨+0.50.1 吨/罐7710%NaCLO液00180.8吨+181 吨/71、罐78钛线靶材IMP TiCoil target固002510个原材料仓库+25纸箱10 个/箱79钛靶 IMPTi target固002310个+2310 个/箱80钛靶Target固2.50810个+5.510 个/箱81铝铜靶Target固27.5030010个+272.510 个/箱82蓝膜固001920200卷+192010 个/箱83磨轮(Z1)固0062.410个+62.410 个/箱84磨轮(Z2)固006010个+6010 个/箱85钛锥台 Tislug固006010千克+6010 个/箱86镍锥台 Nislug固0022210千克+22210 个/箱87银锥台 Agslug72、固0056110千克+56110 个/箱88锡锥台 Snslug固00510千克+510 个/箱89晶振片固00105601000片+1056010 个/箱90外延片固0076000020000片+76000010 个/箱91钛锥形台固009330个+9310 个/箱92镍锥形台固0017730个+17710 个/箱93钼坩埚套固007030个+7010 个/箱94石墨坩埚套固008030个+8010 个/箱95铝硅铜Target固0015030个+15010 个/箱2796Pt 靶材固00410个+410 个/箱97ALSI 靶材固0021610个+21610 个/箱98化学镀钯补充剂 LL73、液000.150.1吨化学品仓库+0.15桶装25L/桶99化学镀钯开缸剂 LL液000.50.1吨+0.525L/桶100化学镀钯还原剂LL2液000.50.1吨+0.525L/桶101化学镀调节剂液000.50.1吨+0.525L/桶102化学镀铝蚀刻剂MA液000.50.1吨+0.525L/桶103化学镀锌CFA液0010.1吨+125L/桶104化学镀镍RE开缸剂1液000.50.1吨+0.525L/桶105化学镀镍RE开缸剂2液000.50.1吨+0.525L/桶106化学镀镍RE补充剂A液000.150.1吨+0.1525L/桶107化学镀镍RE补充剂B液000.150.1吨+0.74、1525L/桶108化学镀镍RE补充剂D液000.050.05吨+0.0525L/桶109化学镀金TG C络合剂液000.50.1吨+0.525L/桶110化学镀金TG C 添加剂 1液000.50.1吨+0.525L/桶111化学镀金TG C还原剂液000.50.1吨+0.525L/桶112化学镀金TG C 添加剂 2液000.50.1吨+0.525L/桶113化学镀金Au TG C液000.50.1吨+0.525L/桶28pH 矫正液114氮 N2气7000.00753978540吨大宗气站+39085储罐50m3/罐115氢 H2气500400L21550240m3+21050瓶装49L75、/瓶116氧 O2气302.416712716吨+1241储罐10m3/罐117氩 Ar气202.52456吨+22510m3/罐118氦 He气500350L24441192m3+23941瓶装49L/瓶表表 2-7 能源能源消耗一览表消耗一览表序号名称年用量单位来源1水1097892m3市政供水2电85848000kWh市政供电3压缩空气2400 万m3大宗气站4天然气1104600Nm3市政天然气管道表表 2-8 主要原辅材料主要原辅材料理化性质一览表理化性质一览表序号名称理化性质1DCE反式-1,2-二氯乙烯，无色略带刺激气味液体，熔点57，沸点 48，密度 1.256g/mL。易燃，76、其蒸气与空气可形成爆炸性混合物。与氧化剂能发生强烈反应。与酸碱需隔离存放。2TEOS正硅酸四乙酯，无色透明液体，熔点77，沸点 169，密度 0.93g/mL。在空气中较稳定；微溶于水，在纯水中水解缓慢；在酸或碱的存在下能加速水解作用。3氙 Xe无色无臭气体，熔点（）：-112，沸点（）：-107.1，饱和蒸气压（kPa）：724.54，蒸汽密度（空气=1）：4.56，相对密度（水=1）：3.52，溶解性：微溶于水，辛醇/水分配系数：1.4，临界温度（）：16.6，临界压力（Mpa）：5.88，易燃性：不燃分子量：131.24三氟化硼有毒气体，易燃液体，无色易燃液体，具有刺激性。沸点 8.2，77、临界温度 176.3，蒸气密度 3.5。遇水或水蒸气剧烈反应，生成盐酸烟雾。与卤素及其它氧化剂剧烈反应。易燃。能与空气形成燃烧范围极广的爆炸性混合物。遇热源、火源有燃烧爆炸的危险。爆炸极限 1.3-98%。剧毒。吸入时会引起呼吸系统发炎和刺激，喉部有痰，肺水肿。其它症状为咳嗽、窒息、呼吸困难或伴有哮喘声的呼吸。眼睛接触会流泪，随后眼部受损。皮肤或粘膜接触会引起严重刺激，导致组织受损和坏死。5砷化氢无色气体，具有令人不愉快的大蒜臭味。遇光时潮湿的砷化氢即迅速沉淀出发光的黑色砷。相对密度 3.48（0）。熔点-116。沸点-62.48。临界温度 99.9。蒸汽压力 1.46106Pa。蒸汽密度 278、.66。微溶于水，溶液成中性。微溶于碱和乙醇。强还原剂。在空气中虽不能自然着火，但可以燃烧爆炸。在某些情况下砷化氢分解释放氢气。氢气易然，在空气中的爆炸既极限为 4.075%。吸入极少量砷化氢也是剧毒的。中毒时。经过潜伏期后发生溶血，潜伏期的长短与暴露时间成正比。急性毒性：29LC50：390mg/m3，10 分钟(大鼠吸入)；250mg/m3，10 分钟(小鼠吸入)250ppm 砷化氢立即致死；2550ppm 砷化氢 30 分钟死亡；10ppm 砷化氢较长时间才致死。6硅烷易燃气体，毒害品，无色带有令人讨厌的臭味。相对密度 0.68(-185)，熔点-185，沸点-112，临界温度-4，蒸气79、密度 1.1。遇水缓慢水解。不溶于乙醇、乙醚和苯。在常温下稳定，高温时能自燃。为强还原剂。能与空气形成爆炸性混合物，爆炸极限 1100%。在高温时自燃，遇热源和火源有燃烧爆炸的危险，并释放出剧毒气体。有毒，能激烈刺激皮肤、眼睛、粘膜和呼吸器官。在 400左右完全分解成硅和氢，与卤素和氧化剂接触剧烈反应。健康危害：吸入甲硅烷蒸气后，引起头痛、头晕、发热、恶心、多汗；严重者面色苍白，脉搏微弱，陷入半昏迷状态。急性毒性：LC509600ppm，4 小时（大鼠吸入）7磷化氢一种无色气体，极毒，有鱼腥臭气味。是一种无色、高毒、易燃的储存于钢瓶内的液化压缩气体。化学性质活泼，能与氧气、卤素发生剧烈反应;通80、过灼热金属块生成磷化物，放出氢气;还能与铜、银、金及他们的盐类反应。与空气混合物爆炸下限:1.79%(26g/m)。如遇含有其它磷的氢化物如乙磷化氢，会引起自燃，浓度达到一定程度时可发生爆炸。高于500分解为磷和氢。8氯气黄绿色有刺激性臭味的气体。在常温下 7.09105Pa 以上压力时为液体，液态氯呈金黄色。相对密度 3.214，熔点-100.9，沸点-34.6，临界温度 114，临界压力 7.71106Pa，蒸气压 6.40105Pa（20），蒸气密度 2.49。氯可从溴或碘的盐中将它们置换出来。能与有机物和无机物进行取代和加成反应。干的氯稍不活泼，湿氯能直接与大多数元素结合。在空气中不燃81、。一般可燃物大都能在氯气中燃烧。它能与许多化学品猛烈反应发生爆炸或生成爆炸性物质。几乎能对金属和非金属都起腐蚀作用。对眼睛和呼吸系统的粘膜有极强的刺激性。对皮肤也有强刺激性，形成可见刺激症状和水疮。急性毒性：LC50：850mg/m3，1 小时(大鼠吸入)3.5ppm 时可感到臭味；15ppm 时对眼睛和呼吸道有刺激作用，并感到疼痛、咳嗽、窒息感及胸部紧迫感；50ppm 时可引起严重损害，有胸痛、吐粘痰及咯血；100ppm 时瞬间可引起呼吸困难，脉搏减少，发绀；1000ppm时立即死亡。美国ACGIH生产环境化学物质阈限值（TLV）：TWA：0.5ppm（1.5mg/m3）；STEL：1ppm82、（3.0mg/m3）。9四氟化碳无色无臭气体，熔点()：-183.6，沸点()：-128.0，分子式：CF4，饱和蒸气压(kPa)：13.33(-150.7)，临界温度()：-45.5，燃烧性：不燃，溶解性：不溶于水，相对密度(水=1)：1.61(-130)，相对蒸气密度(空气=1)：无资料分子量：88.01，临界压力(MPa)：3.7410溴化氢有毒气体、无色有刺激性气体。比重大，具有令人讨厌的窒息性臭味。与潮湿空气可发出具有腐蚀性的有毒烟雾。相对密度 2.16（0），熔点-86.86，沸点-66.72，临界温度 90，临界压力 8.51106Pa，蒸气密度 3.645。液化时成为浅黄色液体83、，液体相对密度 2.77（-67）。溶于水和醇。纯品在空气中较稳定，但遇光及热易被氧化而游离出溴。与臭氧能发生爆炸反应。不燃。但能与金属发生反应放出氢气，与空气形成爆炸性混合物。遇水时有强腐蚀性。剧毒。气体或蒸气都有刺鼻恶臭，能刺激眼睛和呼吸系统。11三氟甲烷物理状态:压缩液化气体，外观:无色气体，颜色:无色，气味:轻微气味，熔点:-155C/-247F，沸点:-84.4C12三氯化无色带有强烈窒息性臭味的液体或气体，在潮湿空气中可形成白色腐蚀30硼性浓厚烟雾。相对密度 1.35(12)，熔点-107，沸点-12.5，蒸汽压1.01105Pa(12.7)，蒸气密度 4.03。非易燃气体。有极强84、反应性。遇水发生爆炸性分解，散发出有刺激性的和腐蚀性的氯化氢气体。与金属、有机物等可发生激烈反应。遇潮气对大多数金属有强腐蚀性，也能腐蚀玻璃。有毒。兼有氯化氢和硼两者的毒性。长期接触会侵犯胃神经。刺激性极强，接触气体能刺激眼睛、皮肤和呼吸系统，液体能灼伤眼睛和皮肤，急性毒性：LC50：12171mg/m3，1 小时(大鼠吸入)13六氟化硫无色、无臭、非易燃液化气体。特点是相对密度极大，约为空气的 5 倍左右。相对密度 1.88(-50.8，液体)，熔点-50.8，-63.8升华，800时分解，临界温度 45.6，临界压力 3.81105Pa，蒸气密度 6.6。难溶于水，微溶于醇。对热及化学品都85、非常稳定。药理上被认为是惰性气体。但一氟化硫、四氟化硫和五氟化硫等气体都是非常毒的刺激性气体，有类似光气对呼吸系统的危害作用，如商品中混有上述物质则会引起中毒。14八氟环丁烷形状：气体，颜色：无色，气味：无臭，pH 值：无数据，沸点（）：6.04，熔点/凝固点（）：-41.4，密度/相比密度（空气=1）：7，相对密度（水=1）：1.51（21.1）15一氟甲烷易燃气体，遇热可能爆炸，熔点/凝固点():-137，初始沸点和沸腾范围():-78.3，蒸汽密度(g/mL):1.195（空气=1），正辛醇/水分配系数:0.5116六甲基二硅胺烷HMDS外观：无色至黄色液体，气味：氨水味，熔点：-70，86、pH 值：8.5，沸点/沸点范围：122-127，闪火点：8，自燃温度：379，爆炸界限：0.7%31%，蒸气压：20mmHg20，蒸气密度：4.6(空气=1)，密度：0.77(水=1)，溶解度：与水起反应；可溶于丙酮、苯、醚、庚烷、四氯乙烯，挥发速率：1（乙醚1）17稀释剂OK73THINNER外观与性状：无色液体，熔点()：-10(凝固点)，闪点()：34/闭杯，相对密度(水以 1 计)：0.93(d254)，溶解性：可溶于水18光刻胶PRBF511性状液体，颜色淡黄色，气味温和的芬芳，pH7.35，沸点、初沸点和沸程 146，闪点 47，蒸发速率 0.39，引燃及爆炸上限/下限 1.5187、0.8，蒸气压 3.8mmHg(25)，溶解性 1.98E+0.05mg/L(25)，蒸气密度4.9mmHg(25)，比重 0.988(25)，自燃温度 354(669)，分解温度35910，粘度 4.85mPas(25)，分子量 1250019光刻胶PR6101外观（物理状态、颜色等）：淡黄色至黄色透明液体，气味：有特殊的芳香气味，熔点/凝固点：-20以下，初沸点和沸程范围：146以上，闪点：47.7，上下易燃极限或爆炸极限：爆炸上限（V/V）：7.0%爆炸下限（V/V）：1.5%，蒸气压力：PGMEA：3.5mmHg(20)，蒸气密度：4.6（空气=1），相对密度：1.05（水=1），可溶88、性：微溶于水，几乎可溶于所有的有机溶剂，粘度：4-50mPas20光刻胶PR5513外观（物理状态、颜色等）：红棕色粘稠液体，气味：有特殊的芳香气味，熔点/凝固点：-20以下，初沸点和沸程范围：146以上，闪点：47.7，上下易燃极限或爆炸极限：爆炸上限（V/V）：7.0%爆炸下限（V/V）：1.5%，蒸气压力：PGMEA：3.5mmHg(20)，蒸气密度：4.6（空气=1），相对密度：1.05（水=1），可溶性：微溶于水，几乎可溶于所有的有机溶剂，粘度：15-50mPas21光刻胶PR5322外观（物理状态、颜色等）：红棕色粘稠液体，气味：有特殊的芳香气味，熔点/凝固点：-26以下，初沸点和89、沸程范围：154以上，闪点：3148.89，蒸气压力：EL：0.27kPa(20)，蒸气密度：4.1（空气=1），相对密度：1.05（水=1），可溶性：微溶于水，几乎可溶于所有的有机溶剂22NeKr物理状态:压缩气体。，外观:无色气体。，颜色:无色，气味:无味，沸点:-246.1（Ne），-153.4（Kr），蒸气压:高于临界温度。，相对蒸气密度(空气以 1 计):0.694（Ne），2.89（Kr），相对密度:无资料，密度:0.92kg/m320（Ne），3.479kg/m320（Kr）23NeKrF2物理状态:压缩气体。，外观:无色气体。，颜色:无色，气味:无味至刺激性气味，气味阈值(pp90、m):0.02-0.126(氟)，沸点:-246.1C（氖），-153.4C（氪），-188.2C（氟），易燃性(固体、气体):不易燃气体24防反射薄膜生成液DUV441-甲氧基-2-丙醇 70%，乙酸-1-甲氧基-2-丙基酯 30%，树脂类/交联剂1-5%，物理状态：液体，外观：淡黄色液体，颜色：淡黄色，气味：稍有刺激性气味，pH：6.76.8（1:1（水）乳浊液），熔点：-96（CAS#107-98-2：1-甲氧基-2-丙醇），3，相对密度：0.921.1，密度：0.94g/ml，溶解性：与水部分可溶。，正辛醇/水分配系数(LogPow)：无资料，运动粘度：无资料，动力粘度：无资料，爆炸下91、限（LEL）：1.3，爆炸上限（UEL）：13.1，放射性：否，爆炸性：蒸气与空气可形成爆炸性混合物，氧化性：无氧化性25显影剂NMD-32.38%TMAH外观与性状：无色液体，pH 值：13.2，熔点()：110C，引燃温度：不自燃32硫酸纯品为无色油状液体，密度 1.84g/cm3，沸点 337,熔点 10.371,能与水以任意比例互溶，同时放出大量的热。浓硫酸有脱水性、强氧化性，稀硫酸能与金属、金属氧化物、碱等物质反应，不易燃，但当与金属发生反应后会释出易燃的氢气，有机会导致爆炸。33811 硅腐蚀液外观与性状：纯品为无色透明油状液体，无臭，pH 值：无资料，熔点()：无资料，相对密度(92、水1)：1.7，沸点()：无资料，相对蒸气密度(空气1)：3.4，溶解性：与水、乙醇混溶34氟化铵腐蚀液外观与性状：白色六角晶体或粉末，易潮解。相对密度（水=1）:1.0090。易燃性：不燃。溶解性：难溶于乙醇，易溶于水、甲醇，不溶于氨水。35二氧化碳 CO2pH：无资料，熔点()：-56.6(527kPa)，沸点()：-78.5(升华)，分子式：CO2，主要成分：纯品，饱和蒸气压(kPa)：1013.25(-39)，临界温度()：31，燃烧性：不燃，溶解性：溶于水、烃类等多数有机溶剂。，相对密度(水=1)：1.56(-79)，相对蒸气密度(空气=1)：1.53 分子量：44.01，外观与性状93、：无色无臭气体。，主要用途：用于制糖工业、制碱工业、制铅白等，也用于冷饮、灭火及有机合成。36异丙醇无色具有醇气味的挥发性液体。相对密度 0.7855，熔点-89.5，沸点82.4，折光率 1.3776，临界温度 234.9，临界压力 5.37106Pa，蒸气压 4418Pa(20);24kPa(50)，蒸气密度 2.1。能与水、醇、醚及苯类混合。易燃，蒸气能与空气形成爆炸性混合物。爆炸极限 2.012.7%（200）。闪点 12。自燃点 399。与氧化剂接触发生剧烈反应。在火场中，受热的容器有爆炸的危险。属微毒类。生理作用和中毒症状与乙醇相同，但毒性较乙醇强。对上呼吸道粘膜具有刺激作用，在体94、内几乎无蓄积。37氢氟酸100:1HF外观与性状无色透明有刺激性臭味的液体。，PH 值无资料，熔点（OC）-83.1，相对密度（水=1）1.26（75%），沸点（OC）120，相对蒸汽密度（空气=1）1.27，溶解性与水混溶，溶于乙醇，微溶于乙醚38过氧化氢无色透明液体，深层时略带淡蓝色。相对密度 1.4426(25)，冰点-0.4，沸点 150.2，折光率 1.4067(25)，饱和蒸气压 206.6Pa，临界温度459，临界压力 21683.6Pa。与水互溶。溶于醇类、乙二醇、吡啶、醋酸酯、酸类和酮。双氧水是微酸性液体，具有漂白作用。本身不燃，但分解放出的氧能强烈助燃。遇强氧化剂时也可被还95、原。对热、杂质、冲击、酸度、强光等均敏感，极易发生分解。与许多无机化合物或杂质接触后会迅速分解，放出大量的氧、热量和水蒸气。爆炸性强氧化剂。本身不燃，但能与可燃物反应并产生足够的热量引起着火，最终可导致爆炸。爆炸极限 26100%。其爆炸危险主要是因与有机物反应或杂质催化分解而产生。毒性主要是由过氧化氢的活性氧化作用所引起。可通过呼吸道吸入、皮肤接触吸收和吞入等途径引起中毒。由于其蒸气压小、挥发性低，且具有强烈烧灼感，蒸气吸入和吞入中毒的可能性小。39氢氟酸无色澄清的发烟液体。有刺激性气味。易挥发，空气中即冒白烟。对金、铂、铅、蜡及聚乙烯塑料不起腐蚀作用，但对许多金属发生腐蚀，与硅33及硅的化96、合物反应生成气态的四氟化硅。氟化氢熔点-83.1，沸点19.54，蒸气压 358.98mmHg,(0)，772.62mmHg(20)。不燃，但与金属反应生成氢气而易引起爆炸。对很多金属、硅和硅化合物发生腐蚀作用。对人体有强烈的腐蚀性和刺激性。眼睛、皮肤或粘膜接触氢氟酸和蒸气，会引起很难痊愈的严重烧灼痛。溅入眼睛内可致盲。吸入蒸气后可引起肺水肿。40氨水无色透明液体，有强刺激性气味，具强碱性，能从空气中吸收二氧化碳，市场上常为 1035%溶液，相对密度 0.880.957(15)2，为易燃性和腐蚀性液体。不燃。受热发出有毒、可燃烟雾。吸入后对鼻、喉、肺有刺激性，引起咳嗽、气短和哮喘等；重者发生喉97、头水肿、肺水肿及心、肝、肾损害。溅入眼内可造成灼伤。皮肤接触可灼伤。41盐酸外观与性状：无色或微黄色发烟液体，有刺鼻的酸味。熔点/凝固点（）:-114.8（纯）。沸点、初沸点和沸程（）:108.6（20%）。相对蒸气密度（空气=1）:1.26。相对密度（水=1）:1.20。易燃性：本品不燃。溶解性：与水混溶，溶于碱液。42M2 铝腐蚀液外观与性状：无臭，具有酸味。，相对密度(水1)：1.5，相对蒸气密度(空气1)：3.38，饱和蒸气压(kPa)：0.6725(纯)，溶解性：与水混溶，可混溶于乙醇。43PBE 硅腐蚀液外观与性状：纯品为无色透明发烟液体，有酸味，pH 值：无资料，熔点()：-4298、，相对密度(水1)：1.26，相对蒸气密度(空气1)：2.17，饱和蒸气压(kPa)：4.4(20)，溶解性：与水混溶44清洗剂EDTA外观与性状：白色粉末。，pH 值（指明浓度）:2.5（10g/l，23C），熔点/凝固点（）:250C，沸点、初沸点和沸程（）:614.2Cat760mmHg，密度:1.46g/cm3/20C，相对密度（水=1）:0.86g/cm3，闪点（）:105C(lit.)，n-辛醇/水分配系数:8.85-10.44/20C45NIAG283外观与性状：无色透明液体，有刺激性气味。，易燃性：本品不燃。，溶解性：溶于水、醚、甘油。，46HJC1101外观与性状:浅黄至无色99、液体。，pH 值:7，相对密度(水=1):1.050.05，爆炸下限(V/V):0.5，爆炸上限(V/V):45，易燃性：可燃，溶解性：易溶于水及多数有机溶剂47磷酸外观与性状：无色透明粘稠液体，气味：有酸味，熔点/凝固点（）：22，沸点、初沸点和沸程（）：261，蒸气压（KPa）：1.5220，蒸气密度（空气=1）：3.38，相对密度（水=1）：1.874，溶解性：与水混溶，溶于碱液，易燃性：不燃，是一种常见的无机酸。由五氧化二磷溶于热水中即可得到。正磷酸工业上用硫酸处理磷灰石即得。磷酸在空气中容易潮解。加热会失水得到焦磷酸，再进一步失水得到偏磷酸。磷酸主要用于制药、食品、肥料等工业。48硝100、酸透明、无色或带黄色有独特的窒息性气味的腐蚀性液体。相对密度 1.503（25），熔点-41.59，沸点 83。一水物熔-37.68。68%硝酸沸点120.5，相对密度 1.41。硝酸化学性质活泼，能与多种物质反应，是一种强氧化剂，可腐蚀各种金属和材料（除铝和特殊的铬合金钢）。遇潮气或受热分解而成有刺鼻臭味的二氧化氮。不燃。能与多种物质猛烈反应，发生爆炸。与可燃物、还原剂和有机物接触，引起燃烧，并散发出剧毒的棕色烟雾。与硝酸蒸气接触很危险。硝酸蒸气中除本身外，还含多种剧毒的氮氧化物。硝酸蒸气对眼睛、呼吸道的粘膜和皮肤具有强烈的腐蚀性，浓度高时可引起肺水肿。与皮肤接触能引起腐蚀性灼伤。3449三101、氟化氮 NF3形状：气体（常温常压下），颜色：无色，气味：无味（接触不纯物时有霉气味），沸点：-129.1，融点/凝固点：-208.5，闪点：不燃性，蒸气压：0.20MPa(-118.5（）)，蒸气密度：2.98kg/m3，密度/相比密度：2.46（Air=1）50硼酸三乙酯TEB外观透明液态，物理状态液态，气味微弱的气味，颜色无色，熔点-85C，沸点 117-120C，水蒸气密度（空气以 1 计）5.04，特别地心引力（水以 1 计）0.85851磷酸三乙酯无色易流动液体，微带水果香味。相对密度（g/mL,20/4）：1.06817，相对蒸汽密度（g/mL,空气=1）：6.28，熔点（C）：102、-56.4，沸点（C,常压）：210220，折射率（25C）：1.4948 闪点（C,开口）：117，与强氧化剂、强碱反应。能溶于醇、醚等有机溶剂，可与水以任何比例混溶；高温下在水溶液中会缓慢水解。常温下稳定。毒性小。52六氟乙烷无色无气味非易燃的气体。相对密度 1.607，熔点-101，沸点-78.3，蒸气密度 4.8。在 24.3以上不能保持液态，储存在高压钢瓶内，低温储运。低毒53氩气 Ar分子量39.95，无色无臭的惰性气体;蒸汽压202.64kPa(-179);熔点-189.2;沸点-185.7溶解性:微溶于水;密度:相对密度(水=1)1.40(-186);相对密度(空气=1)1.3103、8;稳定性:稳定;危险标记 5(不燃气体)54四(二甲氨基)钛TDMAT外观与性状：澄清、黄色液体。沸点：50C/0.5mmHg。密度：0.947g/cm，3(25C)55六氟化钨有毒，无色液体，沸点 17.5 度，迅速水解，水解后产生 HF，HF 与金属反应能产生 H2，对眼鼻呼吸系道黏膜有强烈刺激56高纯氨外观与性状:无色，有刺激性恶臭的气体。，pH 值:11.7（1%溶液），临界温度（）:132.5，熔点（）:（101.325kPa）-77.7，临界压力（Mpa）:11.40，沸点（）:-33.5，引燃温度（）:651，闪点（）:-54，分解温度（）:无资料，爆炸上限%(体积分数）:28104、%，燃烧热(kJ/mol):-316.25，爆炸下限%(体积分数）:15%，饱和蒸气压（kPa):506.62（4.7），相对密度（水=1）：0.7（-33），辛醇/水分配系数：0.230，相对蒸气密度（空气=1）：0.59，溶解性：易溶于水，溶于乙醇和乙醚57丙酮外观与性状：无色透明易流动液体，有芳香气味，极易挥发。，pH 值（指明浓度）:无资料，熔点/凝固点（）:-94.6，沸点、初沸点和沸程（）:56.5，相对蒸气密度（空气=1）:2.00，相对密度（水=1）:0.80，燃烧热（kJ/mol）:1788.7，饱和蒸气压（kPa）:53.3239.5，临界压力（MPa）:4.72，临界温度105、（）:235.5，闪点（）:-20，n-辛醇/水分配系数:-0.24，引燃温度（）:465，爆炸下限（V/V）:2.5，爆炸上限（V/V）:13.0，易燃性：极度易燃。，溶解性：与水混溶，可混溶于乙醇、乙醚、氯仿、油类、烃类等多数有机溶剂。58乙二醇外观与性状：无色、无臭、有甜味、粘稠液体。，pH 值（指明浓度）:无资料，熔点/凝固点（）:-13.2，沸点、初沸点和沸程（）:197.5，相对蒸气密度（空气=1）:2.14，相对密度（水=1）:1.11，燃烧热（kJ/mol）:281.9，饱和蒸气压（kPa）:6.21(20)，闪点（）:110，爆炸下限（V/V）:3.2，爆炸上限（V/V）:1106、5.3，易燃性：本品可燃。，溶解性：与水混溶，可混溶于乙醇、醚等。59DCS外观与性状:无色气体，气味阀值:无资料，熔点/凝固点(C):-122，闪点(C)(闭杯):不适用，易燃性:无资料，蒸汽压力(MPa):不适用相对密度(水35=1):不适用正辛醇/水分配系数:不适用分解温度(C):无资料，气味:无资料，pH 值:不适用，初始沸点和沸腾范围(C):8.3，蒸发速率:不适用，爆炸上限/下限%(v/v):上限:96;下限:4.7，相对蒸气密度(空气=1):不适用，可溶性:无资料，白燃温度(C):4147，运动粘度(mm2/s):不适用60硅腐蚀液硝酸 20%、氢氟酸 5%、冰乙酸 50%，外观107、与性状：无色透明发烟液体。，气味：有刺激性酸味，熔点/凝固点（）：-42(无水)，沸点、初沸点和沸程（）：86(无水)，蒸气密度（空气=1）：1.5，相对密度（水=1）：1.25，溶解性：与水混溶，饱和蒸气压(kPa):4.4(20)61氦气 He物理状态:气体，外观:无色气体，颜色:无色，气味:无味熔点:-271.4C，沸点:-268.9C，易燃性(固体、气体):不易燃62PW2500物态、形状和颜色：红褐色液体，气味：特殊气味，pH 值：NMP：7.78，熔点/凝固点（）：EL：-25，GBL：-44，NMP：-24.4（101.3kPa），沸点、初沸点和沸程（）：EL：154，GBL：2108、04，NMP：202（760mmHg），闪点（）：606663KMPC6230酚醛树脂 530%，感光剂 215%，乳酸乙酯 3080%，2-庚酮 2070%，液体，颜色：棕红色，气味：刺激性气味，闪火点：4564KMPDK1089聚合物 530%，光致产酸剂 215%，丙二醇甲醚乙酸酯 6090%，液体，颜色：浅黄色，气味：刺激性气味，熔点：-87，沸点：14965氢氧化钠外观与形状：白色不透明固体，易潮解。溶点()：318.4 沸点()：1390，相对密度(水=1)：2.12，饱和蒸气压（kPa）：0.13(739)，溶解性：易溶于水、乙醇、甘油，不溶于丙酮。主要用途：用于肥皂工业、石油精109、炼、造纸、人造丝、染色、制革、医药、有机合成等66氯化钙主要成分：纯品，外观与性状：白色粉末，块状，片状。，熔点()：782，沸点()：1600，相对密度(水=1)：2.152，溶解性：溶于水。主要用途：用作多用途干燥剂,重要的致冷剂,建筑防冻剂,食品中凝固剂,钙质强化剂。67PAC外观与性状：淡黄色液体，主要用途：聚合氯化铝是絮凝剂，主要用于净化饮用水，还用于给水的特殊水质处理、除铁、除镉、除氟、除放射性污染、除浮油等。也用于工业废水处理，如印染废水等，在铸造、造纸、医药、制革等方面也有广泛应用。熔点：190(253kPa)，相对密度（水=1）：2.44，饱和蒸汽压：0.13(100)，溶解110、性：易溶于水、醇、氯仿、四氯化碳，微溶于苯68次氯酸钠外观与性状：微黄色溶液，有似氯气的气味。PH 值 910，熔点（）：-6，沸点（）：40（分解），1.10 相对密度(水1)：1.10，辛醇/水分配系数：-3.42，易燃性：不燃，溶解性：溶于水69化学镀钯补充剂 LL外观与性状:液体，颜色:无色,淡黄，气味:无臭，pH 值:1,5-3,0(20C)，熔点/凝固点:未确定，各种成分的混合物，初沸点和沸程:100C，闪点:无闪火，水溶性:完全混溶70化学镀钯开缸剂 LL外观与性状:液体，颜色:无色,淡黄，气味:无适用资料。pH 值:1,5-3,0，蒸气压:大约 23 百帕(20C)，密度:1,111、05-1,15 克/cm3(20C)，水溶性:完全混溶71化学镀钯还原剂 LL2不含有害成分。外观与性状:液体颜色:无色 pH 值:6,5-9,5(20C)水溶性:完全混溶72化学镀调节剂外观与性状:液体，颜色:无色,浅奶油色，气味:无臭，pH 值:100，闪点:36无闪火，密度/相对密度:1,18-1,28(20)，参考物质:水，密度:1,18-1,28克/cm3(20)，水溶性:完全混溶73化学镀铝蚀刻剂 MA外观与性状:液体，颜色:无色，气味:无臭，pH 值:9,0-10,6(20C)，熔点/凝固点:未确定，各种成分的混合物，初沸点和沸程:100C，闪点:无闪火，水溶性:完全混溶74化学112、镀锌 CFA外观与性状:液体，颜色:绿色，气味:无适用资料。pH 值:4,5-6,0，密度:1,07-1,17 克/cm3(20C)，水溶性:完全混溶75化学镀镍 RE 开缸剂 1颜色:无色，气味:无适用资料。pH 值:4,0-5,8，熔点/熔点范围:未确定，各种成分的混合物，沸点/沸程:100C，密度:1,16-1,26 克/cm3(20C)，水溶性:完全混溶76化学镀镍 RE 开缸剂 2外观与性状:液体，颜色:绿色，气味:无适用资料。pH 值:3,0-5,6，熔点/熔点范围:未确定，各种成分的混合物，沸点/沸程:100C，密度:1,17-1,32 克/cm3(20C)，水溶性:完全混溶77113、化学镀镍 RE 补充剂 A外观与性状:液体，颜色:绿色，气味:无适用资料。pH 值:3,0-5,6，熔点/熔点范围:未确定，各种成分的混合物，沸点/沸程:100C，密度:1,18-1,33 克/cm3(20C)，水溶性:完全混溶78化学镀镍 RE 补充剂 B外观与性状:液体，颜色:无色,淡黄，气味:无适用资料。pH 值:3,5-6,8，熔点/熔点范围:未确定，各种成分的混合物，沸点/沸程:100C，密度:1,21-1,31 克/cm3(20C)，水溶性:完全混溶79化学镀镍 RE 补充剂 D外观与性状:液体，颜色:无色，气味:无适用资料。pH 值:3,5-8,5，熔点/熔点范围:未确定，各种成114、分的混合物，沸点/沸程:100C，密度:0,95-1,05 克/cm3(20C)，水溶性:完全混溶80化学镀金 TG C络合剂外观与性状:液体，颜色:淡黄,黄色,淡棕，气味:不愉快的，pH 值:5,7-6,3(20C)，熔点/凝固点:未确定，各种成分的混合物，初沸点和沸程:100C，闪点:无闪火，密度:1,15-1,26 克/cm3(20C)，水溶性:完全混溶81化学镀金 TG C添加剂 1外观与性状:液体，颜色:无色,淡黄，气味:无适用资料。pH 值:11,0-14,0，熔点/熔点范围:未确定，各种成分的混合物，沸点/沸程:100C，闪点:95C 方法:闭杯，密度:0,92-1,04 克/c115、m3(20C)，水溶性:完全混溶82化学镀金 TG C还原剂外观与性状:液体，颜色:无色，气味:刺鼻的，初沸点和沸程:100C，闪点:94C，密度:0,98-1,08 克/cm3(20C)，水溶性:完全混溶83化学镀金 TG C添加剂 2不含有害成分。外观与性状:液体颜色:无色,淡黄气味:无臭 pH值:4,0-7,0(20C)熔点/凝固点:未确定，各种成分的混合物初沸点和沸程:100C 闪点:无闪火密度:0,90-1,10 克/cm3(20C)水溶性:完全混溶84化学镀金 AuTG C pH矫正液外观与性状:液体，颜色:无色，气味:无臭，pH 值:2,0(20)，熔点/凝固点:100，闪点:无116、闪火，密度:0,98-1,08 克/cm3(20)，水溶性:完全混溶9、给排水（1）给水系统本项目的生活、生产用水均由城市自来水供给。项目周边规划市政道路青山路沿线已敷设给水管网，管径为 DN200，自来水水源由xx市自来水公司（日供水能力 40 万吨）和雷锋配水厂（日供水能力 30 万吨/日）市政给水管供给。项目37水源可就近从市政管网引入，水压约 1.21.5 公斤，以满足项目生活和生产用水的要求。本项目生活用水主要为员工办公生活等用水。本项目用水定额参照xx省地方标准xx省用水定额（DB43/T388-2020）及建筑给水排水设计标准（GB50015-2019），办公生活用水量按 50L117、/人d 计算，倒班宿舍用水量按 100L/人d 计算。企业每年正常生产 300 天计，则生活用水量 49.5m3/d（14850m3/a）。本项目生产用水主要为涉重用水（涉重工艺用纯水及涉重厂房地面拖洗废水）、纯水制备用水（所制纯水用于生产线和工艺冷却水）、废气处理设施喷淋用水、常规冷却用水、地面拖洗用水。本项目涉重用水约 0.14m3/d。生产线纯水需求量 2732.36m3/d，则纯水制备用水量为 3415.45m3/d。废气处理设施用水量参考现有工程，本项目用水约 74.55m3/d。冷却用水循环使用，仅补充损耗量，本项目约补充 100m3/d。地面拖洗废水用水量约 20m3/d。（2）118、排水系统项目南边市政道路青山路已敷设雨水管网，管径为 DN600。本项目建议厂区新增消防应急事故废水池容积为 2500m3，可同时兼做初期雨水收集池，项目地面初期雨水收集至消防应急事故废水池后接入厂区污水处理站，处理达标后外排；后期雨水从市政管网引入雨水管，排入周边排水明渠。工程实现“生态排水”，利用自然地形，高水高排、低水低排。雨水管道排入水系之前均需设置沉砂池进行沉砂处理。项目污水可排至距离项目距离较近的望城污水处理厂，处理污水量前三期总规模可达 12 万吨/日，四期一阶段规划建成后总规模达 20 万吨/日，四期二阶段规划建成后总规模达到 24 万吨/日。目前三期项目已于 2020 年 3119、 月通过竣工验收。本项目废水（不包括涉重废水）排放应满足污水综合排放标准（GB8978-1996）三级标准及望城污水处理厂进水水质要求后排入市政污水管网；涉重废水处理后回用，不外排。项目周边市政道路青山路、雷高路敷设有污水管网。本项目水平衡图如下：38图图 2-1 项目水平衡图项目水平衡图 单位单位 m3/d注：厂区现有废水处理能力酸碱废水 972m3/d、含氨废水 200m3/d、含氟废水 480m3/d，本项目建成后以上三项废水处理能力扩建为酸碱废水 3972m3/d、含氨废水 560m3/d、含氟废水391200m3/d。现有废水处理系统仍有负荷余量，因此本项目产生废水部分进入现有废水处120、理系统，部分进入扩建废水处理系统。10、供配电系统高新区曾家冲 110KV 变电站和延农 220KV 变电站可为本项目送电。并且，依据“xx市城市总体规划电力专项规划（2013-2030）”方案修编成果，在建的中电110KV变电站和望溪110KV变电站，均在本项目周边。另外，高新区还有220KV天顶变电站等 5 座变电站可为本项目补充送电，变电容量达 136 兆伏安。11、燃气根据xx市燃气发展规划，厂区气源近期采用西气东输二线管道输送至“忠武线”的天然气。远期以“西二线”、“西三线”天然气为主气源。根据 xx市燃气发展规划 规划一条管径 DN900 的高压燃气管道沿黄桥大道东侧防护绿带敷设，121、周边设有调压站 2 座。项目周边市政道路雷高路已规划敷设有 DN160 的中压燃气管网。项目所在xx高新区规划建设有燃气管道，为项目建设提供了燃气条件。目前，项目供气设施已全部建设完成，气源供应充足，已正常使用。12、平面布置本项目布局在厂区已建成并投入使用的一期厂房内，本项目在充分利用场地现有条件的基础上，按功能分区布置，保证了生产工艺流程顺畅、生产及辅助系统的完整配套；项目生产车间内按生产工艺流程转化布置各生产单元和辅助设置，便于实施规模化生产，易于污染物的集中收集与防治。厂区平面布置图见附图 3-1、3-2。工艺流程和产排污环节一、工艺流程简述（图示）一、工艺流程简述（图示）1、施工期工122、艺流程及产污环节本项目位于xx高新区青xx路 60 号xxxx半导体科技有限公司内，不新建厂房，依托现有已建厂房布置生产线，厂房内需装修及设备安装调试。土建内容仅新建涉重废水处理系统、含磷废水处理系统及扩建原有废水处理系统。施工期产污环节包括场地清表、土石方开挖、装饰工程、设备安装和调试、清理现场等。施工期主要污染物为废气、废水、固废以及噪声。施工期产污环节分析：40废气：污水处理系统建设过程中产生的粉尘以及运输车辆产生的尾气。废水：施工作业时产生的施工废水，其主要来源于施工设备维修、车辆冲洗和工程养护等过程，以及施工人员产生的生活污水。固废：土石方挖填产生的弃方、施工过程中的建筑装修垃圾、设123、备安装过程中的包装废弃物以及生活垃圾。噪声：施工机械设备产生的设备噪声、运输车辆产生的交通噪声以及设备器材安装产生的安装噪声。2、营运期工艺流程及产污环节本项目专注于 8 英寸特色功率器件，生产线技术和其它晶圆制造厂一样，生产工序主要包括：清洗(CLN)、扩散（DIFF）、光刻（Photolithography）、刻蚀（Etch）、去胶、离子注入（Ion Implant）、薄膜生长（Dielectric Deposition）、金属化（Metalization）、背面减薄（BG）等。主要的污染因素为废气、废水、固废、噪声以及工作人员产生的生活污水、生活垃圾等。主要生产工序以及测量等均在洁净厂房124、进行，每个生产工序都放有若干种半导体设备，满足不同工艺需要，如在光刻区，除了光刻机之外，还会有配套的涂胶/显影和测量设备。本项目生产线工序类似，取额外包含化学镀工序的 FRED 器件生产流程为示例，工艺流程图及工艺介绍如下：41图图 2-2 营运营运期工艺流程图期工艺流程图42各生产工序介绍如下：表表 2-9 生产工序简介及产污节点生产工序简介及产污节点工艺流程作用及目的污染因子氧化前清洗去除晶圆表面的颗粒及沾污酸碱废水、含氟废水、废异丙醇、有机废气、含氨废水、废酸液、废碱液牺牲氧生长在晶圆表面生长一层氧化层，做阻挡、保护作用酸性废气、工艺尾气0 层光刻涂胶在晶圆表面涂上均匀厚度的光刻胶碱性废125、气、有机废气、有机废液0 层光刻曝光将涂在晶圆表面的光刻胶进行曝光，曝光位置可在后续显影时溶解，得到需要的图形/0 层光刻显影将曝光后的晶圆放入显影液中显影，得到所需图形废显影液、有机废气Si 刻蚀光刻后的晶圆在刻蚀机台中进行等离子体刻蚀，将光刻图形转移到晶圆酸性废气、工艺尾气干法去胶去除晶圆表面的光刻胶工艺尾气湿法去光刻胶去除晶圆表面残留的聚合物酸碱废水、含氟废水、废异丙醇、有机废气、废去胶液NR 层光刻涂胶在晶圆表面涂上均匀厚度的光刻胶碱性废气、有机废液NR 层光刻曝光将涂在晶圆表面的光刻胶进行曝光，曝光位置可在后续显影时溶解，得到需要的图形/NR 层光刻显影将曝光后的晶圆放入显影液中显影126、，得到所需图形废显影液、有机废气N 型离子注入在晶圆表面一次或多次注入 N 型离子，改变晶圆局部电性能，形成器件工艺尾气PR 层光刻涂胶在晶圆表面涂上均匀厚度的光刻胶碱性废气、有机废气、有机废液PR 层光刻曝光将涂在晶圆表面的光刻胶进行曝光，曝光位置可在后续显影时溶解，得到需要的图形/PR 层光刻显影将曝光后的晶圆放入显影液中显影，得到所需图形废显影液、有机废气P 型离子注入在晶圆表面一次或多次注入 P 型离子，改变晶圆局部电性能，形成器件工艺尾气干法去胶去除晶圆表面的光刻胶工艺尾气湿法去胶去除晶圆表面残留的聚合物酸碱废水、含氟废水、废异丙醇、有机废气、废去胶液推进前清洗去除晶圆表面的颗粒及沾127、污酸碱废水、含氟废水、废异丙醇、有机废气、含氨废水、废酸液、废43碱液推结晶圆在高温炉管中退火，激活注入的离子，消除离子损伤等工艺尾气去除氧化层去除晶圆表面存在的自然氧化层酸碱废水、含氟废水、废异丙醇、有机废气、含氨废水、废酸液、废碱液Locos 前清洗去除晶圆表面的颗粒及沾污酸碱废水、含氟废水、废异丙醇、有机废气、含氨废水、废酸液、废碱液牺牲氧生长在晶圆表面生长一层氧化层，做阻挡、保护作用酸性废气、工艺尾气SiN 淀积在晶圆表面淀积一层 SiN 为做LOCOS 做准备碱性废气LOC 层光刻涂胶在晶圆表面涂上均匀厚度的光刻胶碱性废气、有机废气、有机废液LOC 层光刻曝光将涂在晶圆表面的光刻胶进128、行曝光，曝光位置可在后续显影时溶解，得到需要的图形/LOC 层光刻显影将曝光后的晶圆放入显影液中显影，得到所需图形废显影液、有机废气SiN 干法刻蚀刻蚀需要去除的 SiN酸性废气、工艺尾气干法去胶去除晶圆表面的光刻胶工艺尾气湿法去胶去除晶圆表面残留的聚合物废酸液、含氟废水、废异丙醇、有机废气、废去胶液场氧前清洗去除晶圆表面的颗粒及沾污废酸液、废碱液、酸碱废水、含氟废水、含氨废水、废异丙醇、有机废气初始氧生长在晶圆表面生长一层氧化层，为后续离子注入做阻挡、保护作用工艺尾气SiN 去除去除晶圆表面的 SiN废酸液、酸碱废水、含氟废水、含磷废水P 型离子注入在晶圆表面一次或多次注入 P 型离子，改变129、晶圆局部电性能，形成器件酸性废气、工艺尾气推进前清洗去除晶圆表面的颗粒及沾污废酸液、废碱液、酸碱废水、含氟废水、含氨废水、废异丙醇、有机废气推结晶圆在高温炉管中退火，激活注入的离子，消除离子损伤等工艺尾气氧化层去除去除晶圆表面存在的自然氧化层废酸液、含氟废水、废异丙醇、有机废气牺牲氧前清洗去除晶圆表面的颗粒及沾污废酸液、废碱液、酸碱废水、含氟废水、含氨废水、废异丙醇、有机废气44牺牲氧生长在晶圆表面生长一层氧化层，做阻挡、保护作用酸性废气、工艺尾气牺牲氧去除去除晶圆表面存在的氧化层废酸液、废碱液、含氨废水、含氟废水、废异丙醇、有机废气氧化前清洗去除晶圆表面的颗粒及沾污废酸液、废碱液、酸碱废水、130、含氟废水、含氨废水、废异丙醇、有机废气氧化层生长重新在晶圆表面生长一层氧化层，做阻挡、保护作用酸性废气、工艺尾气多晶淀积在晶圆表面淀积一层 DPoly酸性废气、工艺尾气PL 层光刻涂胶在晶圆表面涂上均匀厚度的光刻胶碱性废气、有机废气、有机废液PL 层光刻曝光将涂在晶圆表面的光刻胶进行曝光，曝光位置可在后续显影时溶解，得到需要的图形/PL 层光刻显影将曝光后的晶圆放入显影液中显影，得到所需图形废显影液、有机废气多晶刻蚀刻蚀光刻后暴露出的多晶氟化物、氯气、氯化氢干法去胶去除晶圆表面的光刻胶工艺尾气湿法去胶去除晶圆表面残留的聚合物废酸液、废碱液、酸碱废水、含氟废水、含氨废水、废异丙醇、有机废气氧化前131、清洗去除晶圆表面的颗粒及沾污废酸液、废碱液、酸碱废水、含氟废水、含氨废水、废异丙醇、有机废气牺牲氧生长在晶圆表面生长一层氧化层，做阻挡、保护作用酸性废气、工艺尾气淀积前清洗去除前面工序可能存在的污染物废酸液、废碱液、酸碱废水、含氟废水、含氨废水、废异丙醇、有机废气USG 淀积在晶圆表面淀积一层含硼磷的氧化硅酸性废气、酸性废水BPSG 淀积在晶圆表面淀积一层含硼磷的氧化硅酸性废气、酸性废水PSG 回流使晶圆表面更加平整和致密工艺尾气CNT 层光刻涂胶在晶圆表面涂上均匀厚度的光刻胶碱性废气、有机废气、有机废液CNT 层光刻曝光将涂在晶圆表面的光刻胶进行曝光，曝光位置可在后续显影时溶解，得到需要的图132、形/CNT 层光刻显影将曝光后的晶圆放入显影液中显影，得到所需图形废显影液、有机废气PSG 刻蚀接触孔刻蚀，此步刻蚀晶圆表面淀积的氧化层，刻蚀到硅界面停止酸性废气、工艺尾气45干法去胶去除晶圆表面的光刻胶工艺尾气湿法去胶去除晶圆表面残留的聚合物废酸液、废碱液、酸碱废水、含氟废水、含氨废水、废异丙醇、有机废气P 型离子注入在晶圆表面一次或多次注入 P 型离子，改变晶圆局部电性能，形成器件酸性废气、工艺尾气炉前清洗去除晶圆表面的颗粒及沾污废酸液、废碱液、酸碱废水、含氟废水、含氨废水、废异丙醇、有机废气RTA 退火晶圆在高温炉管中退火，激活注入的离子，消除离子损伤等/势垒前清洗去除前面工序可能存在的133、污染物废酸液、废碱液、酸碱废水、含氟废水、含氨废水、废异丙醇、有机废气溅射势垒在晶圆表面溅射一层金属 Pt废靶材硅化物腐蚀腐蚀晶圆表面的金属 Pt废酸液、废化镀液扩铂前清洗去除前面工序可能存在的污染物废酸液、废异丙醇、有机废气、涉重废水扩铂晶圆在高温炉管中退火，激活金属离子，消除离子损伤等工艺尾气正金前清洗去除前面工序可能存在的污染物废酸液、废碱液、废异丙醇、有机废气、含氨废水、涉重废水正金淀积在晶圆表面淀积一层金属废靶材AG 层光刻涂胶在晶圆表面涂上均匀厚度的光刻胶碱性废气、有机废气、有机废液AG 层光刻曝光将涂在晶圆表面的光刻胶进行曝光，曝光位置可在后续显影时溶解，得到需要的图形/AG 层134、光刻显影将曝光后的晶圆放入显影液中显影，得到所需图形废显影液、有机废气金属刻蚀刻蚀光刻后暴露的金属酸性废气、工艺尾气EKC 清洗 去除晶圆表面的有机物、颗粒及沾污废异丙醇、有机废气、有机废水、涉重废水合金使淀积的正面金属层不易脱落，更加紧密工艺尾气SiN 淀积在晶圆表面淀积一层 SiO2+SiN碱性废气PA 层光刻涂胶在晶圆表面涂上均匀厚度的光刻胶碱性废气、有机废气、有机废液、有机废气PA 层光刻曝光将涂在晶圆表面的光刻胶进行曝光，曝光位置可在后续显影时溶解，得到需要的图形工艺尾气PA 层光刻显影将曝光后的晶圆放入显影液中显影，得到所需图形废显影液、有机废气46SiN 刻蚀刻蚀光刻后暴露的 S135、iO2+SiN酸性废气、工艺尾气干法去胶去除晶圆表面的光刻胶工艺尾气有机湿法去胶去除晶圆表面残留的聚合物废异丙醇、有机废气、有机废水、涉重废水干法去胶去除晶圆表面的光刻胶工艺尾气PI 层光刻涂胶在晶圆表面涂上均匀厚度的 PI 胶碱性废气、有机废气、有机废液PI 层光刻曝光将涂在晶圆表面的 PI 胶进行曝光，曝光位置可在后续显影时溶解，得到需要的图形工艺尾气PI 层光刻显影将曝光后的晶圆放入显影液中显影，得到所需图形废显影液、有机废气贴膜在晶圆正面贴膜做保护，为下一步的背面研磨做准备废蓝膜研磨减薄晶圆背面研磨减薄到指定厚度废磨轮揭膜揭除晶圆表面的蓝膜废蓝膜背面漂洗晶圆背面减薄后漂洗，消除晶圆应力136、和研磨损伤废酸液、含氟废水背金在金圆背面蒸发金属，形成背面电极废混合五金合金等待合金部分冷却/贴膜在晶圆背面贴膜做保护，为下一步的化学镀做准备废蓝膜除油清洗表面，去除 AL 基材表面残留的污染物；去除表面氧化铝；润洗表面，杜绝气泡滞留。酸碱废水微蚀去除铝表面氧化层；基材表面粗化，使基材表面金属化学沉积层有良好的结合力。酸碱废水一次沉锌在基材表面置换一层特殊金属，作为化学沉积镍的初始反应催化触媒。涉重废水、废化镀液酸褪除把表面粗糙的活化锌层褪除，得到晶粒细小的锌层涉重废水二次沉锌在晶粒细小的锌层上沉积致密而均匀的锌层，为接下来沉积致密而均匀的镍层做准备。涉重废水、废化镀液化学镍使用化学镍液形成功137、能性镍磷合金层。涉重废水、废化镀液化学钯使用化学钯液形成功能性纯钯层。涉重废水、废化镀液化学金使用化学金液形成功能性金层。涉重废水、废化镀液揭膜揭除晶圆表面的蓝膜废蓝膜注：工艺尾气中包含氮气、氢气、氦气、氩气等气体。注：工艺尾气中包含氮气、氢气、氦气、氩气等气体。以上工艺流程已基本涵盖本项目大部分工艺与产污。47在离子注入环节，IGBT、MOS、SGT 使用砷烷，会产生含砷废气。二、产污情况（一）施工期本项目不新建厂房，新建部分仅为废水处理系统需新增的池体，另厂房内需装修及设备安装调试。施工期主要污染物为废气、废水、固废以及噪声。（1）废气本项目施工人员均为当地居民，不设施工营地，无生活废气产138、生；建筑施工采用商品混凝土，不设混凝土搅拌站。因此，施工期产生的废气主要为施工扬尘以及施工机械和运输车辆尾气。1）施工扬尘施工扬尘主要来源于场地清表、土石方挖填、建筑材料运输、物料堆放等过程。扬尘的产生与天气干燥程度和风速大小有关，天气越干燥，风速越大，产生的扬尘越大。施工现场近地面的粉尘量受施工机械、施工方式、管理方式及天气、地表土质等多种因素相互影响，一般施工现场大气环境中 TSP 浓度可达到1.530mg/m3。2）施工机械和运输车辆尾气施工机械设备运转以及车辆运送建筑材料时，均会排放一定量的 CO、NOx和 THC。由于施工机械设备和车辆运送建筑材料属间歇式作业，且施工场地开阔，扩散条139、件良好，通过大气自然稀释后贡献值可控制在较低水平。（2）废水项目施工人员生活用水量按 50L/（人d）、生活污水产生系数按用水量的85%计，则施工期施工人员生活污水产生量为 0.2m3/d，其主要污染物为 CODCr、BOD5，产生量分别为 0.06kg/d、0.03kg/d。施工废水主要来源于施工设备维修、车辆冲洗和工程养护等过程。施工废水往往偏碱性，含有大量悬浮物和石油类污染物，一般施工废水的 pH 值为 10 左右，SS 约为 350mg/L、CODCr约为 100mg/L，石油类约为 10mg/L。（3）固废施工期产生的固体废物主要为施工人员生活垃圾、土石方挖填产生的弃土弃48渣、临时140、隔油沉淀池内的淤泥、施工过程中的建筑装修垃圾以及设备安装过程中的包装废弃物。弃方渣土不得随意倾倒堆放，及时外运。临时隔油沉淀池内的沉淀淤泥经定期打捞后送至建筑垃圾填埋场进行处理。施工期产生的的建筑垃圾主要包括一些包装袋、碎石、废弃原料等，其产生量约为 1.0t。建筑垃圾中能够回收利用的尽量回收利用，无法回收的建筑垃圾经收集后送建筑垃圾填埋场处理。（4）噪声项目施工期噪声主要为各类施工机械设备噪声、运输车辆交通噪声、装修噪声以及设备安装过程产生的安装噪声。施工期产生的噪声具有噪声高、无规律、突发性强等特点，其噪声值约为 8095dB（A）。类比同类工程，本项目施工期间的主要设备噪声源及源强状况见141、表 2-10。物料运输阶段的交通噪声主要是运输车辆引起的噪声，各阶段的车辆类型与声级见下表 2-11。表表 2-10施工期主要噪声源及源强状况表施工期主要噪声源及源强状况表序号施工阶段噪声源单机最大噪声值 dB（A）噪声测距1土方挖掘机841m推土机851m装载机901m2结构振捣机801m电锯951m吊车801m3装修砂轮机851m电钻951m4安装电钻951m表表 2-11各阶段的车辆类型与声级表各阶段的车辆类型与声级表施工阶段运输内容车辆类型声级/dB(A)土方阶段土方外运大型载重车90底板及结构阶段钢筋、商品混凝土混凝土罐车、载重车8085仪器设备轻型载重车75（二）营运期1、废水本项142、目营运期产生的废水主要为生活污水、工艺废水、废气处理系统废水、49冷却用水更换废水。（1）生活污水本项目生活用水量为 49.5m3/d，生活污水产生量按生活用水量的 80%计，则本项目生活污水的产生量为 39.6m3/d，主要污染物为 COD、BOD5、SS、NH3-N等，通过隔油池、化粪池处理后排至市政管网。（2）工艺废水本项目工艺废水包括纯水制备废水、纯水清洗废水、车间地面冲洗废水，其中纯水清洗废水包括含氨废水、含氟废水、含磷废水、有机废水、酸碱废水、涉重废水、涉重车间地面拖洗废水。纯水制备废水为反冲洗水和再生废水，通过管道收集至酸碱废水处理系统进行处理后外排。纯水制备出水率 80%，废水143、产生量为 683.09m3/d。含氨废水主要污染物为氨氮、总氮，收集至含氨废水处理系统进行处理后进入含氟废水处理系统进一步处理，废水量约 300m3/d；含氟废水主要污染物为氟化物，收集至含氟废水处理系统进行处理后外排，废水量约 180m3/d；含磷废水主要污染物为总磷，收集至含磷废水处理系统进行处理后外排，废水量约260m3/d；有机废水主要污染物为 pH、SS、COD、氨氮、总氮，收集至酸碱废水处理系统进行处理后外排，废水量约 50m3/d；酸碱废水主要污染物为 pH、SS，收集至酸碱废水处理系统进行处理后外排，废水量约 1852.36m3/d；涉重废水主要污染物为 pH、镍、锌、钯、银，144、收集过滤回收金属后送至涉重废水处理系统（超滤+二级反渗透+电除盐膜堆+除硼树脂+MDG 膜除氧）处理后，清水进入涉重金属工艺单独设置的纯水制备系统，经处理后回用于重金属工艺生产所需，反渗透浓水进入 MVR 处理系统，不外排；涉重车间地面拖洗废水主要污染物为 pH、镍、锌、钯、银，与涉重废水一并收集过滤回收金属后送至涉重废水处理系统处理，不外排。地面拖洗废水主要污染物为 pH、SS，收集至酸碱废水处理系统进行处理后外排，废水量约 18m3/d。（3）废气处理系统用水本项目废气处理系统废水包括碱性废气喷淋塔废水、酸性废气喷淋塔废水、50燃烧水洗处理装置废水。本项目的碱性废气喷淋塔废水进入含氨废水处145、理系统进行处理，废水量约10.89m3/d，酸性废气喷淋塔废水进入含氟废水处理系统进行处理，废水量约21.6m3/d、燃烧水洗处理装置废水进入含氟废水处理系统进行处理，废水量约15.3m3/d。（4）工艺冷却水、常规冷却用水更换本项目工艺冷却水循环使用，利用制备出的纯水，到达一定时间后更换并对冷却塔进行冲洗。加湿过程约损耗 20m3/d，更换废水量约为 70m3/d。常规冷却用水循环使用，到达一定时间后更换并对冷却塔进行冲洗，更换废水量约为 100m3/d。项目水平衡图如下：51图图 2-3 项目水平衡图项目水平衡图 单位单位 m3/d（2）废气52详见大气专项评价。（3）噪声本项目新增清洗机146、刻蚀机、去胶机、擦片机、减薄机、金属溅射台、显影机、氧化炉、离子注入机等设备，大部分设备运行噪声较小，噪声主要为设备配备的水泵、风机运行等噪声，源强为 7075dB（A）。各设备噪声源强详见下表。表表 2-12 项目主要设备噪声源强项目主要设备噪声源强噪声单位噪声单位 dB（A）序号设置位置设备名称声源种类源强数量发声特性备注1主厂房水泵固定声源707521连续发声持续时间约 24h/d2风机固定声源707520连续发声持续时间约 24h/d（4）固体废物本项目营运期产生的固体废物主要为危险固废、一般固废和生活垃圾。危险固废本项目营运期产生的危险固废主要为废空桶、沾染性废物、废荧光灯管、废硫147、酸、废盐酸、废氢氟酸、废硝酸、废氨水、废双氧水、废氟化铵溶液、废显影液、废异丙醇、废有机溶剂、废活性炭、废离子交换树脂、废过滤芯、MVR 蒸发结晶、废化镀液等。危险废物经分类收集后贮存于危废暂存间，定期委托有资质的单位进行处置。一般固废本项目营运期产生的一般固废主要为硫酸铵废液、氟化钙污泥、废硅片、废靶材、废芯片、废包装材料、废混合五金、废蓝膜、废磨轮等。硫酸铵废液为动力站含氨废水处理系统配套硫酸吸收塔产生，达到一定浓度后更换，由厂家回收。其他一般固废暂存于一般固废暂存库，由资源回收商回收。生活垃圾生活垃圾经分类收集后，由环卫部门统一运送至垃圾处理场集中处理。53与项目有关的原有环境污染问题一148、原有项目环保竣工验收监测结果本项目建设用地为xxxx半导体科技有限公司现有厂区内，厂区其他已建项目已于 2019 年、2020 年编制了环境影响评价报告表，集成电路成套装备国产化集成及验证平台建设项目（一期）项目已于 2021 年通过了环保竣工验收，集成电路成套装备国产化集成及验证平台建设项目（一期）技改项目暂未验收。现有工程产量：工艺及设备验证服务 20 次/年、月产 2000 片 LCD 驱动电路等相关产品。1.1 环评、验收情况表表 2-13 厂区已建项目环评、验收情况厂区已建项目环评、验收情况序号项目名称批复文号时间验收情况生产现状1集成电路成套装备国产化集成及验证平台建设项目（一期149、）长高新环评201964号2019 年11 月 12日2021 年 11 月完成自主验收工艺及设备验证服务 20次/年、月产2000 片 LCD驱动电路等相关产品2集成电路成套装备国产化集成及验证平台建设项目（一期）技改项目长环评（高新）202023号2020 年12 月 11日暂未验收1.2 应急预案、排污许可证履行情况xxxx半导体科技有限公司已制定xxxx半导体科技有限公司突发环境事件应急预案，并于 2021 年 12 月 6 日在xx市生态环境局高新分局、于 2021年 12 月 7 日在xx市环境应急与调查中心完成备案。根据固定污染源排污许可分类管理名录（2019 年版）（生态环境部150、令第11 号），现有工程属于简化管理的行业，目前xxxx半导体科技有限公司现有工 程 已 于 2021 年 8 月按 要求进行 了固定污 染源排 污登记，登记编 号91430100MA4QKRGH11001Y。二、现有项目主要工艺流程54图图 2-4 生产工艺流程图生产工艺流程图主要生产工艺包括清洗、热氧化、气相沉积、光刻、刻蚀（包括干法刻蚀和湿法刻蚀）、去胶、离子注入等，这些工序反复交叉。上述主要生产工序以及测量等均在洁净厂房进行，每个生产工序都放有若干种半导体设备，满足不同工艺需要。如在光刻区，除了光刻机之外，还会有配套的涂胶/显影和测量设备。各生产工序介绍如下：1、清洗(CLN)集成电路151、芯片生产的清洗包括硅片的清洗和工器具的清洗。由于半导体生产对清洁度要求非常严格，清洗工艺需要消耗大量的高纯水；且通过特殊过滤和纯化的半导体级化学试剂、有机溶剂等被广泛使用。硅片清洗是完全清除半导体硅片表面的尘埃颗粒、有机物残留薄膜和吸附在表面的金属离子。在硅片的加工工艺中，硅片先按各自的要求放入各种药液槽进行表面化学处理，再送入清洗槽，将其表面粘附的药液清洗干净后进入下一道工序。最主要的清洗方式是将硅片沉浸在液体槽内或使用液体喷雾清洗，同时为有更好的清洗效果，通常使用超声波激励，在一些特定的情况下，高温蒸汽腐蚀和低温喷溅腐蚀也被采用。由于使用有机溶剂清洗带来的溶剂残留，一般在有机溶剂清洗后立即152、采用无机酸将其氧化去除，最后用纯水冲洗，如下图所示。55图图 2-5 硅片清洗工艺示意图硅片清洗工艺示意图2、扩散(DIFF)一般包括热氧化、扩散、退火等工艺。热氧化是在 8001250高温的氧气气氛和惰性携带气体（N2）下使硅片表面的硅氧化生成二氧化硅膜的过程，产生的二氧化硅用以作为扩散、离子注入的阻挡层，或介质隔离层。典型的热氧化化学反应为：Si+O2SiO2扩散是在高温条件下，利用热扩散原理将杂质元素按要求的深度掺入硅衬底中，使其具有特定的浓度分布，达到改变材料的电学特性，形成半导体器件结构的目的。在硅集成电路工艺中，扩散工艺用于制作 PN 结或构成集成电路中的电阻、电容、互连布线、二极153、管和晶体管等器件。退火也叫热处理，集成电路工艺中所有在氮气等不活泼气氛中进行热处理的过程都可叫退火，其作用主要是消除晶格缺陷和消除硅结构的晶格损伤。3、光刻（Photolithography）光刻包括涂胶、曝光、显影。涂胶是在硅片表面通过硅片高速旋转均匀涂上光刻胶的过程；曝光是使用光刻机，并透过光掩膜版对涂胶的硅片进行光照，使部分光刻胶得到光照，另外部分光刻胶得不到光照，从而改变光刻胶性质；显影是对曝光后的光刻胶进行去除，由于光照后的光刻胶和未被光照的光刻胶将分别溶于显影液和不溶于显影液，这样就使光刻胶上形成了沟槽。56图图 2-6 光刻工艺示意图光刻工艺示意图4、刻蚀（Etch）一般包括湿法154、刻蚀和干法刻蚀。通过光刻显影后，光刻胶下面的材料要被选择性地去除，使用的方法就是湿法腐蚀或干法刻蚀。湿法腐蚀或干法刻蚀后，要去除上面的光刻胶。湿法腐蚀是通过化学反应的方法对基材腐蚀的过程，对不同的去除物质使用不同的材料。对不同的对象，典型使用的腐蚀材料为：腐蚀硅(Si)使用氢氟酸加硝酸（HF+HNO3）腐蚀二氧化硅(SiO2)使用氢氟酸（HF）干法刻蚀是在等离子气氛中选择性腐蚀基材的过程，刻蚀气氛通常含有 F 等离子体或碳等离子体，因此刻蚀气体通常使用 CF4这一类的气体。在等离子体中，基本的气体被电离，产生离子、电子、激发原子、游离离子（游离基）等，因而具有很强的化学活性。其中 F*（氟的游155、离基，即被激发的氟）有极强的化学活性，可以和处于等离子体中的物体，例如 Si、SiO2、Si3N4等发生如下反应，进行蚀刻：Si+4F*SiF4SiO2+4F*SiF4+O2Si3N4+12F*3SiF4+2N25、去胶经过刻蚀后，将光刻胶从晶片表面除去的过程称为去胶。去胶的方法分为湿法去胶和干法去胶。湿法去胶：分为有机物溶液去胶和无机物溶液去胶。有机物去胶使用的溶剂主要有丙酮和芳香族的有机溶剂。无机物溶液去胶是利用某些无机溶液（例如硫酸+过氧化氢），将光刻胶中的碳氧化成二氧化碳，将光刻胶从晶片表面除去。干法去胶：则是用等离子体将光刻胶剥除。如光刻胶通过在氧等离子体中发生化学反应，生成气态的 156、CO、CO2和 H2O。湿法去胶和干法去胶经常搭配进行。本项目采用湿法去胶（有机物溶液去胶57和无机物溶液去胶相结合）的方式进行，去胶材料主要为去胶液、纯水等。6、离子注入（IonImplant）离子注入是由离子源得到所需要的离子，经过加速得到几百千电子伏能量的离子束流，束流扫描整个硅片，使硅片表面均匀掺杂。离子注入具有杂质含量和注入深度精确可控，注入温度低、掺杂均匀性好等优点，已成为集成电路制作中最主要的一种掺杂方法。离子注入工艺由离子注入机完成。7、背面减薄（BG）在芯片的生产过程中，芯片太厚不利于芯片后加工。通常在芯片生产结束后，用细砂轮将芯片的背面进行研削，使芯片减至一定的厚度。表表 157、2-14 工艺流程中产生污染物的类型及污染防治措施一览表工艺流程中产生污染物的类型及污染防治措施一览表污染类型分类主要来源排放规律主要污染因子防治措施废水酸碱废水硅片清洗、刻蚀过程连续COD、SS、BOD5、总磷1 套酸碱废水处理系统：位于废水处理站，处理能力50m3/h，采用“二级中和”处理工艺纯水制备废水纯水制备盐类、SS酸性废气洗涤塔水废气洗涤塔pH1 套含氟废水处理系统,位于废水处理站，处理能力15m3/h，采用“化学沉淀+混凝沉淀法”工艺，再进入酸碱废水处理系统含氟废水氢氟酸刻蚀、清洗COD、SS、BOD5、氨氮、氟化物、总氮、总磷含氨废水硅片清洗、刻蚀和显影过程COD、SS、BOD158、5、氨氮、氟化物、总氮1 套含氨污水处理系统，位于废水处理站，处理能力5m3/h，采用“吹脱+硫酸吸收液吸收法”处理工艺，再进入酸碱废水处理系统碱性废气洗涤塔水废气洗涤塔pH生活污水生活COD、SS、BOD5、氨氮、动植物油经化粪池、隔油池处理工艺设备冷却水冷却盐类、SS循环使用，不排放锅炉排水热水锅炉/正常情况下直接排放，有两个潜污泵可做切换，一路是排到雨水管，另一路是去酸碱废水事故水池废气酸性废气清洗HF、NH4F、HCl、NOx、H2SO4酸性废气经酸性废气处理系统（碱性喷淋塔处理）处理达标后由 33m 排气筒高58空排放碱性废气显影、清洗NH3碱性废气经碱性废气处理系统（酸性喷淋塔处理159、）处理达标后由 33m 排气筒高空排放含砷废气离子注入AsH3、As2O5、SiO2、As 等干式吸附+含砷废气二级吸附处理系统处理后通过33m 高排气筒排放有机废气显影、去胶VOCs有机废气经有机废气处理系统（活性炭吸附+RTO 系统脱附）处理达标后由 33m排气筒高空排放工艺尾气扩散、沉积、刻蚀WF6、SiF4、B2H6、N2、SiH4、TiCl4、NH3、HCl、CF4、CHF3、C4F8、CH2F2、C5F8、C4F6、CH3F、CO、SiF4等热氧化、化学气相沉积工艺尾气经内部设置的燃烧水洗处理、光刻工艺尾气经内部设置的干式吸附处理后并入酸性废气处理系统处理，处理达标后由 33m 排160、气筒高空排放燃气锅炉废气锅炉燃烧天然气二氧化硫、氮氧化物、颗粒物低氮燃烧后经排气筒排放含氨废水处理装置废气含氨废水吹脱NH3经酸液吸附塔内循环通过硫酸溶液吸收噪声设备运行/采取减振、隔振措施；选用低噪声设备、厂房进行隔声固废生活垃圾/办公区域设立垃圾箱统一收集，定期由环卫部门清运废硫酸、废盐酸、废氢氟酸、废硝酸、废氨水、废双氧水、废氟化铵、废显影液、废异丙醇、废空桶、实验室废液、沾染性废物、废荧光灯/分类收集后暂存，定期由湖南瀚洋环保科技有限公司处理硫酸铵废液/达到一定浓度后由厂家更换回收废靶材、废芯片、污水处理污泥、金属等固态物质/废靶材、废芯片、污水处理污泥、金属等固态物质由资源商回收三、161、现有工程主要污染物达标排放情况593.1 废气根据xxxx半导体科技有限公司集成电路成套装备国产化集成及验证平台建设项目和（一期）技改项目竣工环境保护验收报告表，项目废气监测时间为 2021 年 10 月 12 日和 11 月 1 日，根据监测结果统计，现有工程废气排放情况见下表。表表 2-15 现有工程废气达标排放情况现有工程废气达标排放情况采样点位检测项目检测结果标准限值2021.10.122021.11.1第一次第二次第三次第一次第二次第三次G1酸性废气排气筒出口标干流量（Nm3/h）229392074021841208032193820789/氮氧化物实测浓度（mg/m3）3.573.162、243.653.573.283.71240排放速率（kg/h）0.0810.0670.0800.0750.0720.0775.33标干流量（Nm3/h）229392074021841208032193820789/氯化氢实测浓度（mg/m3）0.050.070.060.060.080.08100排放速率（kg/h）0.00100.00150.00130.00120.00190.00161.76标干流量（Nm3/h）229392074021841208032193820789/氯气实测浓度（mg/m3）0.050.080.070.090.070.0865排放速率（kg/h）0.00120.001163、60.00150.00200.00150.00161.48标干流量（Nm3/h）218752294120745219282078921936/硫酸雾实测浓度（mg/m3）0.170.220.200.210.190.2045排放速率（kg/h）0.00360.00490.00400.00470.00390.004410.7G1酸性废气排气筒出口标干流量（Nm3/h）218752185821841219282078720793/氟化物实测浓度（mg/m3）0.040.060.050.050.060.059.0排放速率（kg/h）0.00090.00130.00100.00110.00120.001164、00.71标干流量207492187321845229942191520789/60（Nm3/h）砷及其化合物实测浓度（mg/m3）NDNDNDNDNDND0.50排放速率（kg/h）/0.021G2有机废气排气筒出口标干流量（Nm3/h）105041137011359112151076511630/挥发性有机物（VOCs）实测浓度（mg/m3）0.530.700.630.740.560.64100排放速率（kg/h）0.00560.00790.00720.00830.00600.0075/G3碱性废气排气筒出口标干流量（Nm3/h）387834653462347138803469/氨实测浓度165、（mg/m3）0.040.040.050.040.050.05/排放速率（kg/h）0.00020.00010.00020.00010.00020.000220G4锅炉烟气排气筒出口标干流量（Nm3/h）216223162201223721172274/含氧量（%）9.39.29.29.29.29.2/颗粒物实测浓度（mg/m3）1.00.91.10.91.11.0/折算浓度（mg/m3）1.51.31.61.41.71.520排放速率（kg/h）0.0020.0020.0020.0020.0020.002/二氧化硫实测浓度（mg/m3）1.51.31.61.31.51.5/折算浓度（mg/m166、3）2.12.02.42.02.12.150排放速率（kg/h）0.0030.0030.0030.0030.0030.003/氮氧化物实测浓度（mg/m3）2.22.01.82.01.81.7/折算浓度（mg/m3）3.32.92.72.92.72.530排放速率（kg/h）0.0050.0050.0040.0040.0040.004/由上表可知：验收监测期间，酸性废气排气筒中氮氧化物、氯化氢、氯气、硫酸雾、氟化物均未超过大气污染物综合排放标准（GB16297-1996）表 2 中二级标准限值要求；本次酸性废气排气筒中砷及其化合物分析结果为未检出，满61足北京市地方标准大气污染物综合排放标准（167、DB11/501-2017）第时段标准限值要求。本次有机废气排气筒中挥发性有机物（VOCs）满足xx市半导体行业污染物排放标准（DB31/374-2006）中表 3 大气污染物排放限值要求；本次碱性废气排气筒中氨气满足恶臭污染物排放标准（GB14554-93）表 2 中相关标准限值要求。本次锅炉烟气排气筒中颗粒物、二氧化硫满足锅炉大气污染物排放标准（GB13271-2014）表 3 中大气污染物特别排放标准要求，氮氧化物满足关于印发xx市燃气锅炉（设施）低氮改造工作有关文件的通知中的标准限值要求。3.2 废水根据xxxx半导体科技有限公司集成电路成套装备国产化集成及验证平台建设项目和（一期）技168、改项目竣工环境保护验收报告表，项目废水监测时间为 2021 年 10 月 12 日和 11 月 1 日，根据监测结果统计，现有工程废水排放情况见下表。表表 2-16 现有工程生产废水达标排放情况现有工程生产废水达标排放情况采样点位采样日期检测结果 mg/L（pH 值：无量纲）pH 值化学需氧量五日生化需氧量氨氮悬浮物总磷总氮氟化物W1废水处理站出口2021.10.12第一次6.9（16.4）10022.32.41400.1610.41.13第二次6.9（16.5）9220.13.02420.1712.10.96第三次7.0（16.5）10323.12.83390.1510.71.05第四次6.169、9（16.3）9520.73.24410.1312.91.212021.11.1第一次6.9（13.7）9821.63.08430.2012.41.06第二次6.8（14.2）10122.53.11380.1812.61.15第三次6.8（13.5）9420.52.97420.1511.30.99第四次6.9（14.2）10222.92.86400.1910.91.07W2废水2021.10.12第一次7.3（16.3）24062.111.2580.2624.15.1162总排口第二次7.2（16.3）24663.510.8620.3126.24.83第三次7.3（16.2）23761.613170、.4550.2825.35.26第四次7.4（16.2）24262.412.4590.3323.95.082021.11.1第一次7.3（13.1）23562.314.1530.3024.54.76第二次7.4（13.2）25064.412.6600.2722.84.93第三次7.4（12.9）24362.513.1540.2924.75.18第四次7.3（12.7）25264.713.8610.3125.35.35标准限值695003004540087020由上表可知：验收监测期间，废水处理站出口和废水总排口中“pH 值、化学需氧量、悬浮物、五日生化需氧量、氟化物”均未超过污水综合排放标准（171、GB8978-1996）表 4 中的三级标准限值要求。“氨氮、总氮、总磷”均未超过污水排入城镇下水道水质标准（GB 31962-2015）表 1 中 B 级标准要求。3.3 噪声根据xxxx半导体科技有限公司集成电路成套装备国产化集成及验证平台建设项目和（一期）技改项目竣工环境保护验收报告表，项目噪声监测时间为 2021 年 10 月 12 日和 11 月 1 日，现状四侧厂界噪声达标排放情况见下表。表表 2-17 现有工程噪声达标排放情况现有工程噪声达标排放情况监测点位检测结果 dB（A）标准限值 dB（A）2021.10.122021.11.1昼间夜间昼间夜间昼间夜间N1 厂界东侧外 1m172、 处58.237.657.438.16555N2 厂界南侧外 1m 处59.338.258.737.97055N3 厂界西侧外 1m 处55.636.456.136.67055N4 厂界北侧外 1m 处58.739.158.439.36555由上表可知：验收监测期间，对照工业企业厂界环境噪声排放标准（GB12348-2008）标准限值要求，厂界东侧、厂界南侧、厂界西侧和厂界北侧昼间最大噪声监测值为：59.3dB(A)；夜间最大噪声监测值为：39.3dB(A)；厂界东、北侧符合工业企业厂界环境噪声排放标准3 类标准，厂界西、南侧符合工63业企业厂界环境噪声排放标准4 类标准。3.4 固体废物原有173、项目固体废物产生种类多，成分复杂，固体废物的产生情况见下表。表表 2-18 固废情况一览表固废情况一览表类别名称储存位置防控措施产生量（t/a）采取措施危险废物废空桶、实验室废液、沾染性废物、废荧光灯危废暂存间收集桶、托盘、围堰、防渗、防雨淋3.1由xx瀚洋环保科技有限公司处置废硫酸、废盐酸、废氢氟酸、废硝酸、废氨水、废双氧水、废氟化铵、废显影液、废异丙醇废水废液提升站收集沟53.8废有机溶剂有机废液提升站收集沟10一般固废硫酸氨废液化学药剂间硫酸铵储罐收集沟12外售废品回收站利用氟化钙污泥污泥间托盘18废硅片、废芯片、废靶材、废塑料包装物、废空调滤芯、废工艺设备、废木料、废石英、粉尘、废吸附174、剂、废电子电器设备一般固废暂存间/80四、现有工程污染物总量现有工程污染物排放总量情况如下表所示。表表 2-19 现有工程污染物排放总量一览表现有工程污染物排放总量一览表 单位：单位：t/a项目污染因子环评批复排放量实际排放量废水COD13.231.486氨氮1.6370.0743废气SO20.830.0018NOx2.2830.0165VOCs0.95440.0559颗粒物2.31620.297064五、现有工程排污口规范化设置情况本公司现有工程排污口规范化设置照片见下图。含氨废水处理系统含氟废水处理系统酸碱废水处理系统废水排口标识酸碱废气处理系统有机废气处理系统65危废暂存间危废暂存间门口175、标识图图 2-7现有工程排污口规范化设置照片现有工程排污口规范化设置照片六、现有工程存在的环境问题及整改要求1、xxxx半导体科技有限公司现已完成两个项目的建设，分别为集成电路成套装备国产化集成及验证平台建设项目（一期）（长高新环评201964号）、集成电路成套装备国产化集成及验证平台建设项目（一期）技改项目（长环评（高新）202023 号）。两个项目目前在 2021 年 11 月以一个验收报告一次性完成自主验收，集成电路成套装备国产化集成及验证平台建设项目（一期）技改项目（长环评（高新）202023 号）项目需要单独验收。2、公司应根据危险废物识别标志设置技术规范（HJ1276-2022）、176、环境保护图形标志-固体废物贮存（处置）场（GB15562.2-1995）修改单、危险废物贮存污染控制标准（GB18597-2023）等相关要求及时更新、完善厂区危险废物暂存间、废液收集间门口相关识别标志。66三、区域环境质量现状、环境保护目标及评价标准区域环境质量现状一、环境空气质量现状根据 环境影响评价技术导则大气环境（HJ2.2-2018），本项目收集了 2022年度xx市环境空气质量 中污染物浓度检测数据，监测因子为 SO2、NO2、PM10、PM2.5、CO 和 O3，并对项目所在区域环境空气质量进行了区域达标判断，具体达标判定监测数据及评价结果见下表。表表 3-1 2022 年度xx177、市环境空气监测结果统计年度xx市环境空气监测结果统计污染物年评价指标单位浓度值标准值占标率达标情况SO2年平均浓度ug/m366010.0%达标NO2ug/m3244060.0%达标PM10ug/m3507071.43%达标PM2.5ug/m33835108.57%超标CO第 95 百分位数浓度mg/m31.0425.0%达标O3日最大 8h 平均值（第90 百分位数）ug/m3160160100.0%达标由上表可知，项目所在区域 PM2.5环境质量现状不满足环境空气质量标准（GB3095-2012）二级标准要求，项目所在区域为不达标区。引起 PM2.5超标的原因主要是：近年来城市发展快，工程178、建设项目多，污染物日浓度超标是大量的基建扬尘、地面扬尘及机动车尾气所致。根据xx市大气环境质量限期达标规划（2020 年-2027 年），2021 年 PM2.5的目标年均浓度为 43ug/m3，xx市市人民政府持续深入开展大气污染治理，2027 年 PM2.5目标年均浓度为 35ug/m3，根据xx市大气环境质量限期达标规划（2020 年-2027 年）中规划的重点任务和措施，可使xx市环境空气质量得到明显改善，xx高新区环境空气质量相应得到明显改善。本项目所在区域 PM2.5年平均质量浓度超标，所在区域环境空气基本污染物全部达标，所在区域为不达标区。本项目选址周边特征污染物 TSP、氟化物179、氯化氢、氯气、TVOC、氨、硫酸雾、丙酮、砷化物的环境空气质量满足环境空气质量标准(GB3095-2012)及 2018 年修改单、环境影响评价技术导则大气环67境(HJ2.2-2018)附录 D、工业企业设计卫生标准TJ36-79 中“居住区大气中有害物质的最高容许浓度”要求。详见大气专项评价。二、地表水环境质量现状本项目废水经市政管网排入望城污水处理厂深度处理后排入沩水最终排入湘江，为了解该区域水环境质量现状，本次环评引用xx市生态环境局发布的 2022年 1 月2022 年 12 月的地表水水质月报，沩水胜利断面和xx望城水厂、乔口断面地表水环境现状统计数据见下表：表表 3-2 水环境180、质量监测结果一览表水环境质量监测结果一览表月份沩水胜利断面xx望城水厂断面xx乔口断面2022 年 1 月类，优类，优类，优2022 年 2 月类，优类，优类，优2022 年 3 月类，优类，优类，优2022 年 4 月类，优类，优类，优2022 年 5 月类，优类，优类，优2022 年 6 月类，优类，优类，优2022 年 7 月类，优类，优类，优2022 年 8 月类，优类，优类，优2022 年 9 月类，优类，优类，优2022 年 10 月类，优类，优类，优2022 年 11 月类，优类，优类，优2022 年 12 月类，优类，优类，优由上表可知，2022 年沩水胜利断面和xx望城水厂、181、乔口断面地表水逐月水质均为地表水环境质量标准（GB3838-2002）的类，属于达标区，地表水环境质量优。三、声环境质量现状厂界周边 50 米范围内不存在声环境敏感点。为了解项目区域声环境质量现状情况，本次评价特委托xx中石检测有限公司于 2023 年 2 月 16 日2 月 17 日对项目区域声环境保护目标进行了现场监测，具体情况如下。1）监测点位：4 个N1厂界东侧外 1m；N2厂界南侧外 1m；68N3厂界西侧外 1m；N4厂界北侧外 1m。2）监测项目：等效连续 A 声级3）监测频次：昼、夜间各 1 次，连续 2 天4）执行标准：南、西侧声环境质量标准（GB3096-2008）4a 类182、标准；东、北侧声环境质量标准（GB3096-2008）3 类标准。5）监测结果：表表 3-3 项目声环境质量现状监测结果项目声环境质量现状监测结果单单位：位：dB（A）检测类型检测点位检测日期检测结果质量标准昼间夜间昼间夜间环境噪声N1厂界东侧外 1m2023.02.1655.045.865552023.02.1754.844.86555N2厂界南侧外 1m2023.02.1663.853.570552023.02.1762.552.87055N3厂界西侧外 1m2023.02.1664.052.170552023.02.1763.754.57055N4厂界北侧外 1m2023.02.1653183、.642.665552023.02.1752.642.26555备注根据中华人民共和国环境噪声污染防治法，“昼间”是指 6:00 至 22:00 之间的时段;“夜间”是指 22:00 至次日 6:00 之间的时段。由表中监测结果可知，项目厂界外周边 1m 范围昼、夜间噪声监测值均满足声环境质量标准（GB3096-2008）中相关标准要求，项目所在区域声环境质量现状较好。四、地下水环境质量现状为了解项目区域地下水环境质量现状情况，本次评价特委托xx中石检测有限公司于 2023 年 2 月 17 日2 月 18 日对项目区域地下水环境保护目标进行了现场监测，具体情况如下。1）监测点位：U1厂区外南184、侧，U2本项目涉及厂房外侧，U3厂区外北侧。2）监测项目：K+、Na+、Ca2+、Mg2+、CO32-、HCO3-、Cl-、SO42-、pH、氨氮、硝酸盐、亚硝酸盐、挥发性酚类、氰化物、砷、汞、铬（六价）、总硬度、铅、69氟、镉、铁、锰、溶解性总固体、高锰酸盐指数、总大肠菌群、镍、钯、锌、银、铜注：标明水位、埋深3）监测频次：每天一次，共 2 天。4）执行标准：地下水环境质量标准（GB14848-2017）III 类标准。5）监测结果：表表 3-4 项目地下水环境质量现状监测结果项目地下水环境质量现状监测结果单位：单位：总大肠菌群为总大肠菌群为MPN/100mL、水位埋深为、水位埋深为m、其余185、为、其余为mg/L采样日期采样日期检测项目检测项目检测点位及检测点位及检测结果检测结果标准限标准限值值U1厂区外南侧U2厂区外东侧U3厂区外北侧2023.02.16样品状态无色、无气味、无水面油膜及漂浮物无色、无气味、无水面油膜及漂浮物无色、无气味、无水面油膜及漂浮物/水位2.42.62.4/埋深151012/CO32-NDNDND/HCO3-47.546.343.8/氨氮0.025L0.025L0.025L0.50六价铬410-3L410-3L410-3L0.05砷3.710-33.510-33.310-30.01汞1.5010-44.0010-5L4.0010-5L0.001银4.010-186、5L4.010-5L4.010-5L0.05铅1.3610-32.1610-32.810-40.01镍6.1410-35.6410-36.710-40.02铜2.1410-32.5410-33.1010-41.00锌0.02000.01960.01391.00镉5.0010-5L5.0010-5L5.0010-5L0.005锰1.1410-31.0410-32.5110-30.10钯1.2010-46.0010-54.0010-5/铁0.250.220.280.3总硬度30.024.055.7450高锰酸盐指数2.82.52.7/溶解性总固体423484100070总大肠菌群未检出未检出未检出187、3.0F-0.0700.0620.0531.0NO2-0.8600.2730.2071.00NO3-2.582.8715.720.0Cl-1.781.544.51250SO42-3.803.322.38250挥发酚410-4310-4L310-4L0.002氰化物410-3L410-3L410-3L0.05K+*1.101.091.44/Na+*2.582.597.56/Ca2+*4.244.2515.1/Mg2+*4.704.757.96/2023.02.17样品状态无色、无气味、无水面油膜及漂浮物无色、无气味、无水面油膜及漂浮物无色、无气味、无水面油膜及漂浮物/水位2.42.62.4/埋深188、151012/CO32-NDNDND/HCO3-49.346.240.3/氨氮0.025L0.025L0.025L0.50六价铬410-3L410-3L410-3L0.05砷3.010-32.810-32.610-30.01汞2.1010-44.0010-5L4.0010-5L0.001银4.010-5L4.010-5L4.010-5L0.05铅2.3510-32.7910-31.1710-30.01镍5.8110-35.6010-35.410-40.02铜2.8010-33.2010-35.010-41.00锌0.02070.02040.01401.00镉5.0010-5L5.0010-5L189、5.0010-5L0.005锰1.0810-31.0410-32.3910-30.10钯1.9010-48.0010-52.0010-5L/铁0.260.220.200.3总硬度28.825.056.3450高锰酸盐指数2.82.62.8/溶解性总固体383787100071总大肠菌群未检出未检出未检出3.0F-0.0670.0520.0751.0NO2-0.7500.2270.1001.00NO3-3.172.8715.420.0Cl-1.981.104.66250SO42-3.963.142.10250挥发酚1.010-38.010-43.010-4L0.002氰化物410-3L410-3190、L410-3L0.05K+*1.151.091.41/Na+*2.652.577.51/Ca2+*4.274.2915.3/Mg2+*4.864.858.14/由表中监测结果可知，项目周边地下水监测值均满足 地下水环境质量标准（GB14848-2017）中相关标准要求，项目所在区域地下水环境质量现状较好。五、土壤环境质量现状为了解项目区域土壤环境质量现状情况，本次评价特委托xx中石检测有限公司于 2023 年 2 月 17 日对项目区域土壤环境保护目标进行了现场监测，具体情况如下。1）监测点位：厂区内本项目涉及厂房外设 3 个柱状样点（T1、T2、T3）、1 个表层样点（T4）；厂区外设置 2191、 个表层样点（T5、T6）。T1、T2、T3 柱状样在 0-0.5m，0.5-1.5m，1.5-3m 分别取样，T4、T5、T6 表层样在 0-0.2m 取样。2）监测项目：T4监测 GB36600-2018 中的表 1 所有基本项目（共 45 项）；T13、5、6pH、汞、砷、镉、铅、铬（六价）、镍、钯、锌、银、铜3）监测频次：一次。4）执行标准：土壤环境质量建设用地土壤污染风险管控标准（试行）（GB36600-2018）中表 1 建设用地土壤污染风险筛选值。5）监测结果：表表 3-5.1 项目土壤环境质量现状监测结果项目土壤环境质量现状监测结果72单位单位:pH 值无量纲，值无量纲，其余为192、其余为 mg/kg检测检测项目项目检测点位检测点位及检测结果及检测结果标准限标准限值值T1281448.18N，1125033.59ET2281444.59N，1125034.66E0-0.5m-0.5-1.5m-1.5-3.0m0-0.5m-0.5-1.5m-1.5-3.0m/样品状态黄棕色、中壤土黄棕色、轻壤土黄棕色、轻壤土黄棕色、中壤土黄棕色、轻壤土黄棕色、轻壤土/pH 值6.036.607.247.517.526.43/六价铬3.02.32.03.71.21.65.7铅243526274618800锌948341383651/镍544920212134900铜44.140.229.53193、0.628.838.318000镉0.210.200.170.120.080.1465总汞1.410.930.300.850.450.8438总砷19.515.07.0316.328.817.460银0.3870.0200.1430.1782.4L0.083/检测检测项目项目T3281445.25N，1125028.29ET5281448.65N，1125035.88ET6281439.64N，1125035.1E标准限标准限值值0-0.5m-0.5-1.5m-1.5-3.0m0-0.3m0-0.3m/样品状态黄棕色、中壤土黄棕色、轻壤土黄棕色、轻壤土黄棕色、中壤土黄棕色、中壤土/pH 值6.194、055.695.625.306.52/六价铬3.30.92.70.5L2.85.7铅1830292832800锌5958555352/镍3629282926900铜42.317.719.633.241.218000镉0.140.320.260.121.1665总汞0.402.160.710.121.1438总砷16.313.810.517.67.1260银0.2190.2200.1550.5650.084/表表 3-5.2 项目土壤环境质量现状监测结果项目土壤环境质量现状监测结果单位单位:pH 值无量纲，值无量纲，其余为其余为 mg/kg73检测检测项目项目检测点位检测点位及检测结果及检测结果195、标准限制标准限制T1，281448.18N，1125033.59E样品状态黄棕色、中壤土/pH 值6.26/总砷11.860总汞0.7138六价铬2.45.7铜33.918000镉0.2065铅24800镍24900氯乙烯1.510-3L6161,1-二氯乙烯810-4L0.43二氯甲烷2.610-3L66反式-1,2-二氯乙烯910-4L541,1-二氯乙烷1.610-3L9顺式-1,2-二氯乙烯910-4L596氯仿1.510-3L0.91,1,1-三氯乙烷1.110-3L840四氯化碳2.110-3L2.8苯1.610-3L41,2-二氯乙烷1.310-3L5三氯乙烯910-4L2.81196、,2-二氯丙烷1.910-3L5甲苯2.010-3L12001,1,2-三氯乙烷1.410-3L2.8四氯乙烯810-4L53氯苯1.110-3L2701,1,1,2-四氯乙烷1.010-3L10乙苯1.210-3L28间，对-二甲苯3.610-3L57074邻-二甲苯1.310-3L640苯乙烯1.610-3L12901,1,2,2-四氯乙烷1.010-3L6.81,2,3-三氯丙烷1.010-3L0.51,4-二氯苯1.210-3L201,2-二氯苯1.010-3L560氯甲烷310-3L37硝基苯0.09L76苯胺0.1L2602-氯酚0.06L2256苯并a蒽0.1L15苯并a芘0.1197、L1.5苯并b荧蒽0.2L15苯并k荧蒽0.1L1510.1L1293二苯并a,h蒽0.1L1.5茚并1,2,3-cd芘0.1L15萘0.09L70由表中监测结果可知，项目周边土壤监测值均满足土壤环境质量建设用地土壤污染风险管控标准（试行）（GB36600-2018）中表 1 建设用地土壤污染风险筛选值，项目所在区域土壤环境质量现状较好。六、区域生态环境现状本项目所在地为工业厂区，人为活动较频繁，根据现场踏勘得知，项目范围内的植被均是当地常见类型以及人工种植类型，评价区域未发现国家和省级重点保护的珍稀和濒危植物，无国家和省级重点保护的野生动物，生态环境质量一般。环境保护目标一、大气环境保护目标198、本项目根据环境影响评价技术导则大气环境（HJ2.2-2018）编制了湖南xx半导体科技有限公司集成电路成套装备国产化集成及验证平台扩产项目大气环境影响专项评价。本项目大气环境影响评价等级为二级，大气环境影响评75价范围为以项目厂址为中心区域，边长为 5km 的矩形区域。通过现场调查了解，本项目大气评价范围内无自然保护区、风景名胜区等，周边以居民住宅为主要环境保护目标，距离本项目厂界最近的环保目标为距离 160m 的伍家湾。表表 3-6 环境空气保护目标一览表环境空气保护目标一览表序号保护对象坐标保护内容环境功能区方位/距离1 伍家湾散户居民112.844567E，28.249050N住宅，约 199、100 人 环境空气质量标准（GB3095-2012）中的二类标准北，160m2桐林坳社区112.827695E，28.265791N住宅，约 1000人北，16601940m3桐林中心小学112.826837E，28.266362N住宅，约 100 人西北，1890m4文家冲112.835591E，28.270640N住宅，约 150 人北，1900m5金元村112.836885E，28.256459N住宅，约 200 人北，14852095m6何家湾112.857709E，28.266609N住宅，约 200 人东北，25853095m7 荣盛岳麓峰景112.858361E，28.2592200、35N小区，约 10000人东北，19002530m8金山桥社区112.857413E，28.253133N住宅，约 1000人东北，14001760m9米地亚家园112.861620E，28.258337N小区，约 5000人东北，24503030m10金地亚112.861190E，28.253917N小区，约 3500人东，22402740m11金南家园112.857763E，28.249046N小区，约 4000人东，18002340m12 xx高新区中心幼儿园金南园112.858986E，28.246935N学校，约 500 人东，2100m13金侨风华府112.861217E，28.201、246240N小区，约 2500人东，22702340m14金桥小学112.859436E，28.245790N学校，约 300 人东，2150m15尖山印象公馆112.859694E，28.244239N小区，约 5000人东，21402390m16恒定中学112.854984E，28.244379N学校，约 5000人东南，1750m17 雅礼麓谷中学112.853771E，28.241589N学校，约 3000人东南，1700m18 美的麓府（在112.855628E，小区，建成后约东南，76建）28.240543N3300 人18302080m19 保利恒伟时光印象（在建）112.85202、3466E，28.238285N小区，建成后约7000 人东南，16002170m20清控湖山雅居（在建）112.857999E，28.239926N小区，建成后约5000 人东南，21002320m21 长房云尚公馆（在建）112.857044E，28.237641N小区，建成后约3000 人东南，20802390m22 xx高新工程技术学校112.855670E，28.232456N学校，约 3000人东南，2470m23 碧桂园荟隽棠（在建）112.816301E，28.243775N小区，建成后约6000 人西南，13551990m24 通号 岭绣苑（在建）112.820292E，28203、.242659N小区，建成后约5000 人西南，10701500m25明华小学112.818179E，28.23858N学校，约 210 人西南，1800m26华龙家园112.816537E，28.235643N小区，约 10000人西南，17702360m二、声环境保护目标本项目厂界外 50 米范围内没有声环境保护目标。三、水环境保护目标本项目水环境保护目标详见下表：表表 3-7 水环境风险保护目标水环境风险保护目标名称功能方位及距离保护级别望城污水处理厂市政污水处理厂N，16.3km进水水质达到望城污水处理厂三期进水水质标准沩水工业用水区N，16.5km地表水环境质量标准GB3838-20204、02)中 III 类标准xx工业用水区N，17.3km项目厂界外 500m 范围内无地下集中式饮用水水源和热水、矿泉水、温泉等特殊地下水资源，不存在以上地下水环境保护目标。污染物排放控一、废气有组织：氮氧化物、氯化氢、氯气、硫酸雾、氟化物、颗粒物、VOCs（以非甲烷总烃计）执行大气污染物综合排放标准（GB16297-1996）表 2 中二级标准限值；氨执行恶臭污染物排放标准（GB14554-93）表 2 中相关标准限值；77制标准砷化物参照北京市地方标准大气污染物综合排放标准（DB11/501-2017）第时段标准限值要求；无组织：厂界氯化氢、氯气、硫酸雾、氟化物、颗粒物、VOCs（以非甲烷总205、烃计）执行大气污染物综合排放标准（GB16297-1996）表 2 中无组织排放监控浓度限值；厂房外非甲烷总烃执行挥发性有机物无组织排放控制标准（GB37822-2019）附录 A 中表 A.1 限值要求；厂界砷化物参照北京市地方标准 大气污染物综合排放标准（DB11/501-2017）表 3 无组织限值要求；厂界氨执行 恶臭污染物排放标准（GB14554-93）表 1 中的排放限值要求。表表 3-8 项目污染物排放标准项目污染物排放标准排污口类型检测指标排气筒高度（m）最高允许排放浓度（mg/m3）最高允许排放速率（kg/h）标准来源有组织氯化氢331001.76大气污染物综合排放标准（GB206、16297-1996）表 2 中二级标准限值氮氧化物2405.33氯气651.48硫酸雾4510.66氟化物90.71颗粒物12027.8VOCs（以非甲烷总烃计）12067.1氨/24.2恶臭污染物排放标准（GB14554-93）砷化物0.500.0206大气污染物综合排放标准（DB 11/501-2017）第时段标准限值有组织（锅炉废气）颗粒物2520/锅炉大气污染物排放标准（GB13271-2014）表 3 中大气污染物特别排放标准二氧化硫50/氮氧化物30/关于印发xx市燃气锅炉（设施）低氮改造工作有关文件的通知中的标准限值要求无组织厂界颗粒物/1.0/大气污染物综合排放标准（GB16207、297-1996）表 2 中无组织排放监控浓度限值氯化氢0.20/硫酸雾1.2/氯气0.4/氟化物0.02/VOCs（以非4.0/78甲烷总烃计）氨1.5/恶臭污染物排放标准（GB14554-93）砷化物0.0010/大气污染物综合排放标准（DB 11/501-2017）表 3 无组织限值厂房外非甲烷总烃10（监控点处 1h平均浓度值）/挥发性有机物无组织排放控制标准（GB37822-2019）附录 A 中表 A.1 限值要求二、噪声厂界东、北侧执行工业企业厂界环境噪声排放标准3 类标准；厂界西、南侧执行工业企业厂界环境噪声排放标准4 类标准。表表 3-9 工业企业厂界环境噪声排放限值工业企业208、厂界环境噪声排放限值 单位：单位：dB（A）点位执行标准类别时段昼间夜间厂界东、北侧3 类6555厂界西、南侧4 类7055三、废水本项目生活污水、生产废水（不包括涉重废水）分别经针对不同废水的污水处理系统处理后，排入市政污水管网，进入望城污水处理厂进一步处理后排入沩水，最终排入xx。涉重废水处理后结晶做危废，尾水回用不外排。pH 值、氟化物执行污水综合排放标准（GB8978-1996）表 4 中的三级标准限值要求，化学需氧量、五日生化需氧量、悬浮物、氨氮、总氮、总磷执行望城污水处理厂进水水质要求。排放标准限值详见下表。表表 3-10 废水排放标准废水排放标准污染因子pH 值化学需氧量五日生化209、需氧量氨氮悬浮物总磷总氮氟化物标准限值（mg/L）69320150252203.53220四、固体废物生活垃圾执行生活垃圾填埋场污染物控制标准（GB16889-2008）；一般固体废物执行一般工业固体废物贮存和填埋污染控制标准79（GB18599-2020）；危险废物执行危险废物贮存污染控制标准（GB18597-2023）。危险废物收集、贮存、运输执行危险废物收集、贮存、运输技术规范（HJ2025-2012）。总量控制指标项目涉重废水经涉重废水处理系统处理后回用至涉重工艺线专用纯水制备系统，不外排，故本项目不涉及重金属总量指标。xx省主要污染物排污权有偿使用和交易管理办法（湘政办发202223210、号）中提出对xx省行政区域内主要污染物实行排污权有偿使用和交易管理。主要污染物是指化学需氧量、氨氮、二氧化硫、氮氧化物、铅、镉、砷、汞、铬、挥发性有机物、总磷等十一类污染物，结合本项目污染物排放特征，确定以下污染物为本项目总量控制因子。（1）废气污染物总量控制因子：二氧化硫、氮氧化物、挥发性有机物；（2）废水污染物总量控制因子：化学需氧量、氨氮、总磷。根据工程分析及大气专项评价，项目污染物总量控制指标情况见下表。表表 3-11 项目建成后全厂总量控制符合性一览表项目建成后全厂总量控制符合性一览表单位单位 t/a类别污染因子现有工程排放量本工程排放量“以新带老”削减量扩建后全厂排放量排放增减量废211、气SO20.00180.044/0.0458+0.044NOx0.01650.335/0.3515+0.335VOCs0.05591.3424/1.3983+1.3424废水CODCr1.48631.69/33.176+31.69氨氮0.07431.58/1.6543+1.58总磷/0.32/0.32+0.32因此，全厂总量指标为：SO2：0.0458t/a、NOx：0.3515t/a、VOCs：1.3983t/a、化学需氧量：33.176t/a、氨氮：1.6543t/a、总磷：0.32t/a。公司已购买总量与扩建后全厂排放量对比如下：表表 3-12 需购买需购买总量一览表总量一览表单位单位 212、t/a类别污染因子公司现已购买总量扩建后全厂排放量需购买总量废气SO20.830.0458/80NOx2.2830.3515/VOCs/1.39831.3983废水CODCr13.2333.17619.946氨氮1.6371.65430.0173总磷/0.320.32由上表可知，公司仍需购买排污总量：VOCs：1.3983t/a、化学需氧量：19.946t/a、氨氮：0.0173t/a、总磷：0.32t/a，项目新增总量指标需通过排污权交易取得。81四、主要环境影响和保护措施施工期环境保护措施本项目位于xx高新区青xx路 60 号，依托现有已建厂房布置生产线，土建内容仅新建涉重废水处理系统、含213、磷废水处理系统及扩建原有废水处理系统。一、空气环境影响分析项目污水处理系统建设过程中产生的粉尘对周围环境会存在一定的影响，评价建议建设单位施工作业时采用洒水降尘措施，并加强室内通风，装修尽量选用环保型材料，通过采取以上防护措施后，项目污水处理系统建设粉尘及装修废气对周围环境空气质量影响较小。经采取以上控制措施后，可减小项目施工期废气对周边大气环境的影响。二、废水环境影响分析项目施工期废水主要为施工废水和施工人员产生的生活污水。施工废水主要来源于施工设备维修、车辆冲洗和工程养护等过程，估算排水量为 2m3/d，收集至临时隔油沉淀池处理后排入厂区已建酸碱废水处理系统进行处理后接入市政污水管网。项目214、高峰期施工人员为 5 人，施工人员生活用水量按 50L/（人d）、生活污水产生系数按用水量的 85%计，则施工期施工人员生活污水产生量为 0.2m3/d，其主要污染物为 CODCr、BOD5，产生量分别为 0.06kg/d、0.03kg/d。项目施工期间施工人员生活污水经厂区内隔油化粪池处理后接入市政污水管网，最终经望城污水处理厂处理后达标排放，对周围水环境影响较小。经以上措施处理后，项目施工期产生的废水对区域水环境影响较小。三、噪声环境影响分析施工期间的噪声主要为施工设备噪声及生产线设备调试噪声。项目周边声环境敏感点较远，施工设备噪声及生产线设备调试噪声经规范作业、加强设备维护保养、距离、障215、碍物、空气吸收等因素衰减后对周边环境敏感点影响较小，且项目施工期短，施工结束后施工期噪声影响即结束。本评价建议必须严格执行操作规程和控制施工时段，夜间 22 点至次日 6 点禁止施工，尽可能缓解和减轻对周围敏感点的噪声影响。82通过采取上述噪声防治措施后，可减轻施工期产生的噪声对周边环境敏感点的影响。四、固体废物环境影响分析项目施工期产生的固体废物主要为建筑垃圾及施工人员生活垃圾。1）建筑垃圾施工期产生的的建筑垃圾主要包括一些包装袋、碎石、废弃原料等，其产生量约为 1.0t。建筑垃圾中能够回收利用的尽量回收利用，无法回收的建筑垃圾经收集后送建筑垃圾填埋场处理。2）生活垃圾项目高峰期施工人员为 216、5 人，其生活垃圾产生量按每人每天 0.25kg 计，则项目施工垃圾产生量为 2.5kg/d。项目施工期为 24 个月，根据计算，项目整个施工期内的生活垃圾产生量约为 0.9t。项目生活垃圾经厂区内垃圾收集桶收集后，定期送至垃圾收集站，由环卫部门定期运输至生活垃圾填埋场填埋处置。采取以上处理措施后，施工期固体废物均可得到妥善处置，对外环境影响较小。五、生态环境影响分析项目施工期土建工程量较小，评价建议尽量避免在雨天进行土方开挖和基础施工；渣土不得随意倾倒堆放，及时外运，防治冲刷而造成水土流失；运输车辆尽量避免在下雨时运输，以减少表土扰动等。经以上处理及保护措施后，项目建设期对生态环境的破坏可以217、得到有效的缓解，在一定程度上减缓水土流失。83运营期环境影响和保护措施一、地表水环境影响分析（1）废水排放情况本项目主要包括生活污水和生产废水，其中生产废水主要为酸碱废水、含氟废水、含氨废水、含磷废水、涉重废水、废气洗涤塔排水、有机废水、纯水制备废水、地面拖洗废水等。设备机台均配置有单独的上下水管道，运行时全密闭，废水经管道进入分质废水收集池。酸碱废水：排放方式为连续排放。集成电路加工对硅片的清洁度要求极高，几乎每道工序都穿插有清洗工序，本项目将采用硝酸、硫酸、氨水等物质进行清洗。此清洗废水主要污染物为酸、碱等。处置措施：进入废水站中和池，采用中和方式处理后，由厂区废水总排口排放。厂区原有酸碱218、废水处理系统处理能力 972m3/d，本项目新增酸碱废水处理能力3000m3/d，合计处理能力 3972m3/d。含氨废水：排放形式为连续排放。主要来源于硅片清洗、刻蚀和显影过程，所产生的含氨废水属高、中浓度的含氨废水，主要污染物为 pH、氨氮。处置措施：经过提升槽收集至含氨废水处理系统处理。废水由泵提升至板式换热器加热，进入氨氮吹脱系统，通过吹脱法去除水中的 NH3后，尾水进入含氟废水处理系统再经酸碱废水处理系统进一步处理达标后由厂区废水总排口排放。吹脱出的 NH3进入吸收塔与硫酸反应生成硫酸铵，达到一定浓度后外运处理。厂区原有含氨废水处理系统处理能力 200m3/d，本项目新增含氨废水处理219、能力 360m3/d，合计处理能力 560m3/d。含氟废水：排放形式为连续排放。含氟废水主要来源于生产过程中使用氢氟酸刻蚀、清洗产生含氟清洗废水，废水中主要污染物为 pH、COD、BOD5、NH3-N、SS、氟化物等。处置措施：经过提升槽收集至含氟废水处理系统。废水调节 pH 至 78 后进入反应池，反应池投加 CaCl2，F-与 Ca2+反应生成不溶的 CaF2，再进行混凝沉淀泥水分离，尾水进入酸碱废水处理系统进一步处理达标后由厂区废水总排口排放。项目拟采用将高浓度（49%氢氟酸废液）含氟废水和低浓度的含氟废水分别收集的方式，84低浓度的废水直接进入含氟废水处理系统进行处理；高浓度废水经管220、道收集在废水处理站的高浓度氢氟酸收集池，定量加入到低浓度含氟废水中进行处理。厂区原有含氟废水处理系统处理能力 480m3/d，本项目新增含氟废水处理能力 720m3/d，合计处理能力 1200m3/d。含磷废水排放形式为连续排放。主要来源于硅片去模和刻蚀过程，主要污染物为 SS、磷离子。处置措施：经过提升槽收集至含磷废水处理系统，调节 pH 后至 1011 后进入反应池，反应池投加 CaCl2，PO42-与 Ca2+反应生成不溶的羟基磷灰石并进行混凝沉淀泥水分离，尾水由厂区废水总排口排放。SS 经过混凝沉淀一起去除。本项目新建含磷废水处理系统，处理能力 360m3/d。涉重废水排放形式为连续排221、放。主要来源于铂扩线产生的含镍、锌、钯、金等重金属废水及北线产生的镍银废水。处理工艺流程图如下：图图 4-1 涉重废水处理工艺流程图涉重废水处理工艺流程图处置措施：铂扩线产生的重金属废水和北线的镍银废水从机台排出，经过 PDS重力排管道排放至重金属废水收集桶槽。重金属废水调节 pH 值后，由提升泵输送到 UF 超滤系统，去除全部悬浮物、细菌、大部分胶体、非溶解有机物。产水进入预处理水箱，进一步进入 1 级和 2 级 RO 系统去除水中的重金属等盐份。产水进一步进入中间水箱，接下来通过泵输送到 CEDI 电除盐膜堆，进一步去除水中的阴阳85离子。CEDI 产水进入去离子水箱，接下来产水进除硼树脂222、去除水中的硼离子，进入 MDG 膜去除水中的氧。出水进入超纯水箱，经过提升泵送入涉重废水专用纯水制水系统经过抛光混床和终端超滤，水质达到超纯水要求，送入北线车间和铂扩车间涉重产线再次利用，不外排不外排。涉重车间地面拖洗废水与涉重废水一并进入上述处理系统处理，不外排不外排。重金属废水处理过程中产生的一级反渗透膜后浓水重新进入超滤后预处理水箱，进入二级反渗透处理。二级反渗透浓水进入重金属废水收集槽，通过泵提升到MVR 蒸发器中蒸发，蒸发冷凝水进入中间水箱后经过 CEDI 电除盐膜堆+除硼树脂+MDG 脱气膜+纯水制备系统回收再利用不外排不外排，MVR 蒸发结晶进一步干燥做危废处理外运。废化镀液废化223、镀液设置本地储槽委外处理设置本地储槽委外处理，不外排不外排。本项目新建涉重废水处理系统，处理能力 240m3/d。有机废水：来源于主要来源于光刻显影、光刻SiO2湿法刻蚀、湿法刻蚀中有机清洗。处置措施：接入酸碱废水处理系统进行处理，达标后外排。废气洗涤塔装置排水：a.碱性废气洗涤塔排水：间歇式排放。本项目在清洗、显影、刻蚀等过程中排放的 NH3等碱性废气经酸液喷淋吸收塔吸收处理后，排放的废水为吸收塔中多次循环使用的吸收废液，主要污染物为 pH、氨氮等，因此排入含氨废水处理系统进行处理。b.酸性废气洗涤塔排水：间歇式排放。本项目清洗、刻蚀等过程中排放的 HF、HCl、硫酸雾等酸性废气经碱液喷淋吸224、收塔吸收处理后，排放的废水为吸收塔中多次循环使用的吸收废液，由于废水中含有氟化物，因此排入含氟废水处理系统进行处理。纯水制备废水：连续排放/间歇排放。纯水制备废水可分为反冲洗废水和酸碱再生废水。其中反冲洗废水主要来源于超纯水制备过程中使用阳离子树脂再生工艺中置换（慢冲洗、反冲洗）工序产生的酸性冲洗废水；这类废水通过管道输送至酸碱废水处理系统（中和处理法）处理；处理后的86废水通过厂区废水总排口排入市政管网；酸碱再生废水主要来源于超纯水制备过程中使用31%浓度的盐酸和30%浓度的NaOH分别对阳离子和阴离子树脂进行再生产生的酸性和碱性废水；这类废水通过管道输送至酸碱废水处理系统（中和处理法）处理225、；处理后的废水通过厂区废水总排口排入市政管网。循环冷却排水循环冷却用水主要为动力站房常温冷却系统用水和工艺设备冷却用水。此类水体接入酸碱废水处理设施处理后经厂区总排口排放。地面拖洗废水地面拖洗废水主要为厂房地面拖洗清洁用水。此类水体接入酸碱废水处理设施处理后经厂区总排口排放。生活污水生活污水经隔油池与化粪池处理后排入市政管网。根据建设方提供设计资料，各类废水水质如下表所示。表表 4-1 各类废水产生源强各类废水产生源强单位单位 mg/L序序号号废水类型废水类型废水废水量量m3/dpHSSCODCrBOD5氨氮氨氮总氮总氮总磷总磷氟化氟化物物1生活污水39.66914049029042607/2226、酸碱废水1852.3621260502016200.3/3有机废水5010123015006001520/4含氨废水300101220012060302302/6.45含氟废水1801220012052.421.8121.315.2274.56含磷废水260241005020850100/7废气洗涤塔装置排水47.7921260502016200.3/8纯水制备废水683.09/1005020/9循环冷却排水90/5020/10地面拖洗废水18692005020/11涉重废水20.09（不外排）311803010/Ni2+Zn2+总银总银氰化氰化物物总金总金/8736.852.5704.510227、2.5174.9/表表 4-2 废水污染物信息表废水污染物信息表废水种类污染物种类污染物处理设施污染物排放标准产生量（t/a）浓度（mg/L）排放量（t/a）浓度（mg/L）酸碱废水SS33.3460酸碱废水处理系统+望城污水处理厂2.785排放浓度为经污水处理厂后排入外界水体时的浓度，以望城污水处理厂出水水质标准计算CODCr27.795016.6730BOD511.11203.336氨氮8.89160.831.5总氮11.11205.5610总磷0.170.30.170.3有机废水SS0.45300.085CODCr22.5015000.4530BOD59.006000.096氨氮0.23228、150.021.5总氮0.30200.1510含氨废水SS18.00200含氨废水处理系统+含氟废水处理系统+酸碱废水处理系统+望城污水处理厂0.455CODCr10.801202.7030BOD55.40600.546氨氮27.183020.141.5总氮27.183020.9010氟化物0.586.40.141.5含氟废水SS10.80200含氟废水处理系统+酸碱废水处理系统+望城污水处理厂0.275CODCr6.481201.6230BOD52.8352.40.326氨氮1.1821.80.081.5总氮6.55121.30.5410总磷0.8215.20.020.3氟化物14.8227229、4.50.081.5含磷废水SS7.80100含磷废水处理系统+酸碱废0.395CODCr3.90502.3430BOD51.56200.476氨氮0.6280.121.588水处理系统+望城污水处理厂总氮3.90500.7810总磷7.801000.020.3废气洗涤塔装置排水SS0.8660（含氨废水处理系统+）含氟废水处理系统+酸碱废水处理系统+望城污水处理厂0.075CODCr0.72500.4330BOD50.29200.096氨氮0.23160.021.5总氮0.29200.1410总磷0.000.30.000.3纯水制备废水SS20.49100酸碱废水处理系统+望城污水处理厂1.230、025CODCr10.25506.1530BOD54.10201.236循环冷却排水CODCr1.35500.8130BOD50.54200.166地面拖洗废水SS1.082000.035CODCr0.27500.1630BOD50.11200.036涉重废水SS0.4880涉重废水处理系统，处理后尾水回用/不外排不外排CODCr0.1830/BOD50.0610/Ni2+0.2236.8/Zn2+0.3252.5/总银4.25704.5/氰化物0.62102.5/总金1.05174.9/生活污水SS1.66140隔油化粪池+望城污水处理厂0.065排放浓度为经污水处理厂后排入外界水体时的浓度231、，以望城污水处理厂出水水质标准计算CODCr5.824900.3630BOD53.452900.076氨氮0.50420.021.5总氮0.71600.1210总磷0.0870.000.3注：总排放量按总排水量和望城污水处理厂出水水质标准计算。（2）新增废水处理设施情况新增废水提升槽及均质池放置于主厂房东侧空地，埋地设计，地下设置水池，89地面设置含氟、酸碱处理系统。位置区域如图所示，新增提升槽及均质池情况如下表所示。图图 4-2 新增废水提升槽及均质池新增废水提升槽及均质池位置示意图位置示意图表表 4-3 新增废水提升槽及均质池新增废水提升槽及均质池情况一览表情况一览表名称容积 m3含氟废水232、提升槽60含氨废水提升槽60含磷废水提升槽60涉重废水提升槽60有机废水提升槽60应急提升槽100酸碱废水提升槽60酸碱废水均质池240含氟废水均质池140含氨废水均质池120含磷废水均质池120应急池2500重金属均质池20新增氨氮系统（处理能力 15m3/h），放置于动力站西侧，位于原有氨氮系统南边空地。位置区域如图所示。90图图 4-3 新增新增氨氮系统位置示意图氨氮系统位置示意图新增重金属蒸发系统（蒸发量 1m3/h），位于动力站北侧，位置区域如图所示。图图 4-4 新增新增重金属蒸发系统位置示意图重金属蒸发系统位置示意图新增含磷废水处理系统（处理能力 15m3/h），位于动力站 2 233、楼。位置区域如91图所示。图图 4-5 新增含磷废水处理系统位置示意图新增含磷废水处理系统位置示意图表表 4-4 废废水污染治理设施信息表水污染治理设施信息表序号污染治理设施名称治理工艺治理效率设计处理能力（m3/d）是否可行技术本次项目新增扩建后全厂总量1化粪池厌氧反应CODCr20%/240可行BOD59%SS30%氨氮3%总磷3%2酸碱废水处理系统酸碱中和/30003972可行3含氨废水处理系统吹脱工艺氨氮90%360560可行总氮90%4含氟废水处理系统沉淀氟化物96%7201200可行5含磷废水处理系统沉淀总磷80%360360可行6涉重废水处理系统超滤+二级反渗透+电除盐膜堆+MV234、R 蒸发结晶镍、锌、钯、银、金等重金属不外排240240可行92表表 4-5 废废水排放口基本情况水排放口基本情况序号排放口编号排放口名称排口类型排放口地理坐标排放方式排放去向排放规律收纳污水厂/水体名称经度纬度1DW001污水总排口 1废水112509.950281452.622间接排放进入城市污水处理厂连续排放，流量不稳定，但有周期性规律望城污水处理厂注：排放口位置详见附图 6。表表 4-6 自行监测信息表自行监测信息表序号排放口（监测点位）编号排放口（监测点位）名称污染物名称（监测因子）监测频次是否自动监测1DW001污水总排口 1pH、CODCr、BOD5、SS、氨氮、总磷、总氮、氟化235、物1 次/年否（3）废水处理措施可行性分析1）项目废水进入望城污水处理厂处理可行性分析望城污水处理厂位于雷锋大道东侧，望城区高塘岭镇境内与新康乡交界处，城区规划区东北部边缘。场地北面毗邻水，东面紧靠xx，西临雷锋大道，占地面积约 79.95 亩。纳污范围为望城区高星组团片区的中心城区和金南片区，其中金南片区位于xx市岳麓区，西侧为望雷大道，南侧为岳麓大道，东临东方红路和雷锋东大道，北侧以黄金大道为界，总面积为 7.3 平方公里。本项目位于金南片区，属望城污水处理厂的纳污范围。望城污水处理厂一期工程主体处理工艺采用卡鲁塞尔2000 型氧化沟工艺，二、三期工程主体处理工艺采用 MSBR 处理工艺。236、一期工程采用两座 2 万 m3/d 氧化沟，二期工程和三期工程均采用一座 4 万 m3/dMSBR 生化池，设计出水水质达到地表水环境质量标准（GB3838-2002）准 IV 类（其中TN10mg/L）水质标准要求，出水排入沩水最终汇入xx。望城污水处理厂一期建设 4 万 m3/d，2009 年 6 月通过环保竣工验收；二期工程设计规模 4 万 m3/d，2013年 8 月通过环保竣工验收；三期设计规模为 4 万 m3/d，2020 年 3 月通过环保竣工验收；四期一阶段正在建设中，设计规模为 8 万 m3/d。望城污水处理厂三期总处理规模为 12 万 m3/d，四期一阶段建成后（预计 20237、24 年 12 月竣工）总处理规模为 20m3/d。93望城污水处理厂现日均处理水量约 10 万 m3/d。本项目除涉重废水外，其他废水均分质进各污水处理系统处理后外排。根据本项目周边区域排水现状，项目区域已基本形成较为完善的污水收集系统，本项目废水可纳入望城污水处理厂处理。根据现有废水排口检测数据可知，本项目外排废水中，生产废水分质处理后进入酸碱废水处理系统处理后排出，生活污水经隔油化粪池排出，外排废水均能达到污水综合排放标准（GB8978-1996）表 4 中三级标准及望城污水处理厂进水水质标准，满足望城污水处理厂的进水水质要求。项目废水总排放量约为 3520.84m3/d，不会对污水处理238、厂造成冲击负荷。综上所述，本项目营运期废水可做到达标排放，废水处理措施可行，且对周围地表水环境影响很小。2）酸碱、有机、含氨、含氟废水依托治理措施可行性分析依托工艺可行性本项目产生的酸碱、有机、含氨、含氟废水与已建项目的酸碱、有机、含氨、含氟废水产生工艺类似，所用原料类似，废水性质相近，且现有污水处理系统可稳定达标排放，因此可以部分依托现有污水处理系统进行处理，其余部分进入扩建污水处理系统进行处理。依托水量可行性表表 4-7 扩建前后水量扩建前后水量信息表信息表序号废水种类从该处理系统排出水量（m3/d）废水处理系统设计处理能力（m3/d）依托水量可行性本次项目新增扩建后全厂总量本次项目新增扩239、建后全厂总量1酸碱废水处理系统3481.243644.3530003972可行2含氨废水处理系统310.89329.48360560可行3含氟废水处理系统527.79562.007201200可行3）涉重废水处理系统可行性分析技术可行性分析94本项目拟采用废水处理回用方式为：涉重废水进入涉重废水处理系统，涉重废水处理系统采用超滤+二级反渗透+电除盐膜堆+除硼树脂+MDG 膜除氧和 MVR 蒸发工艺，其中处理尾水进入涉重工序专用纯水制备系统的回用水箱，与系统补充自来水混合后，经纯水制备系统（二级反渗透）处理后回用于涉重工序清洗。浓水进入 MVR 蒸发器进行处理。上述处理工段对废水中大分子具有较好240、的处理效率。通过合理选择渗透膜、及时更换和维护膜系统，即可有效地处理目标废水。MVR 蒸发器是一种应用于制药行业的新型高效节能蒸发设备，该设备采用低温与低压蒸汽技术和清洁能源为能源产生蒸汽，将媒介中的水分离出来，是目前国际先进的蒸发技术，是替代传统蒸发器的升级换代产品。MVR 为单体蒸发器，集多效降膜蒸发器于一身，内部为排列的细管，管内部为产品，外部为蒸汽，在产品由上而下的流动过程中由于管内面积增大而使产品呈膜状流动，以增加受热面积，通过真空泵在效体内形成负压，降低产品中水的沸点，从而达到浓缩，产品蒸发温度为60左右。考虑项目废水中氯离子浓度较高，会对 MVR 蒸发器产生一定的影响，项目采用 241、TA2 材质，不与物料接触部分采用 SUS316L 材质，结晶器材质采用 TA2材质，强制循项目加热器材质与物料接触部环管材质采用 TA2 材质，工艺管件与物料接触部分采用 TA2 材质，不与物料接触部分采用 SUS316L，可将氯离子等对 MVR蒸发器的腐蚀影响降到最低。根据同类工程验收资料，项目涉重废水处理系统出水经纯水制备系统（二级反渗透处理）处理后可以满足涉重工序清洗用水水质要求。故本项目 MVR 蒸发冷凝水及涉重废水处理系统出水可全面回用于涉重工序清洗用水。同类工程与本项目对比情况如下：河南平高电气股份有限公司为高压、超高压、特高压开关及电站成套设备研发、制造企业。公司电镀废水主要包242、括含铬废水（20m3/h）、氰化银废水（10m3/h）、含氰废水（40m3/h）、氰化亚铜废水（10m3/h）、酸碱废水（90m3/h）等，其中含铜、含银废水分别经反渗透处理后清液回用到清洗槽重复使用，分离后浓液按需回用到电镀槽中补充槽液，剩余浓液再经反渗透膜再浓缩；定期排放的酸碱废水经本身混合反应后，加入氢氧化钠进行中和，中和之后的酸碱废水和酸雾吸收塔废水进95入酸碱废水综合废水处理系统，经反渗透处理后，部分废水回用（回用率 70%），剩余部分排至全厂污水处理站处理；含铬废水经还原+混凝沉淀预处理后进入重金属废水回用系统，含氰废水经二级破氰后进入重金属废水回用系统。重金属废水回用系统采用“砂243、滤+活性炭过滤+超滤+反渗透”工艺处理后，废水大部分回用于电镀前处理工序，剩余部分浓水含有盐分及少量的重金属，经多效蒸发器蒸发结晶，将盐分和重金属从废水中分离出来作为危废处置，冷凝水及反渗透膜前出水回用于电镀漂洗工序。根据环保竣工验收监测报告（平环监单2016YH-09 号）及平顶山市环保局验收意见（平环建验：20171 号），项目重金属废水不外排，外排污水排口可达到电镀污染物排放标准（GB21900-2008）表 3 中标准。本项目化镀废水主要重金属污染物为镍、银、氰化物及其他少量重金属，污染因子与同类工程相似。本项目涉重废水处理系统采用“超滤+反渗透+电除盐+除硼树脂+MDG 膜”，与同类244、工程涉重废水处理系统“混凝沉淀/二级破氰+过滤+超滤+反渗透”可达到的处理效果相近。本项目涉重废水处理系统出水经过“抛光混床和终端超滤”处理后回用于生产线，同类工程处理系统出水直接回用于生产线，本项目回用水水质更高，可达到生产线要求的水质。本项目剩余浓水经 MVR 蒸发器处理，产生的结晶做危废处理，冷凝水进入中间水箱处理后回用于生产线；同类工程剩余浓水经多效蒸发器处理，产生的结晶做危废处理，冷凝水直接回用于生产线。本项目回用水系统出水水质优于同类工程，故本项涉重废水可全部回用于生产线，不外排。经济可行性分析项目废水处理系统运行费用约为 81.3 元/m3废水（含系统运行废水成本为 75.0元/245、m3（含电费 13.39 元/m3、药剂费 8.2 元/m3、人工费 10.2 元/m3、蒸发器成本为 2.6元/m3、MVR 蒸发残渣处置费为 19.32 元/m3、化验费 0.65 元/m3、耗材费 12.42 元/m3、维修维护费 8.22 元/m3）、纯水制备成本为 6.3 元/m3，本项目涉重废水年污水量为6000m3，则项目涉重废水处理系统年运行费用约为 53.505 万元，加上设备固定资产折旧费用 200.0 万/年（设备折旧期按 10 年计算），则项目涉重废水处理系统年总运96行费用约为 253.505 万元。根据建设单位提供的资料，公司年产生净利润值为 16988万元，该污水246、处理站运行费用仅占该公司净利润值的 1.49%，故公司可承担涉重废水处理系统运行费用。因此，项目涉重废水处理系统经济上可行。综上所述，上述处理工艺，从工艺及经济上考虑均是可行的。二、大气环境影响分析详见大气专项评价。本项目营运期产生的废气中，各项污染物均采用对应的收集处理措施进行处理再经排气筒进行高空排放，可实现达标排放，同时根据预测结果可知，项目营运期外排废气对周边环境影响较小。三、声环境影响分析本项目新增清洗机、刻蚀机、去胶机、擦片机、减薄机、金属溅射台、显影机、氧化炉、离子注入机等设备，大部分设备运行噪声较小，噪声源主要为设备配备的水泵、风机运行等噪声，源强为 7075dB（A），均置于247、生产车间内，取隔声量 15dB(A)。本项目噪声源强及防治情况详见下表。表表 4-8新增噪声源情况一览表新增噪声源情况一览表位置噪声源数量（台）噪声源强/dB(A)产生方式降噪措施工艺降噪效果/dB(A)主厂房水泵217075连续安装减震基座、墙体隔声15风机207075连续由于本次新增噪声源均位于室内，本评价采用 环境影响评价技术导则声环境（HJ2.4-2021）附录 B 规定的室内声源声级计算公式进行影响预测，采用环境影响评价技术导则声环境(HJ2.4-2021)中的附录 B 室外工业噪声预测模式。（1）室内声源等效室外声源97上图所示，首先计算出某个室内靠近围护结构处的倍频带声压级：式中248、：LP1为某个室内声源在靠近围护结构处产生的倍频带声压级，dB；Lw为某个声源的倍频带声功率级，dB；r室内某个声源与靠近围护结构处的距离，m;R房间常数，mT；Q方向因子，无量纲值。计算出所有室内声源在靠近围护结构处产生的总倍频带声压级式中：Lp1i(T)靠近围护结构处室内 N 个声源 i 倍频带的叠加声压级，dB；Lp1ij室内 j 声源 i 倍频带的声压级，dB；N室内声源总数。在室内近似为扩散声场时，按中公式计算出靠近室外围护结构处的声压级。计算出室外靠近围护结构处的声压级式中：Lp2i(T)靠近围护结构处室外 N 个声源 i 倍频带的叠加声压级，dB；TLi围护结构 i 倍频带的隔声249、量，dB。98然后按中公式将室外声源的声压级和透过面积换算成等效的室外声源，计算出中心位置位于透声面积（S）处的等效声源的倍频带声功率级。将室外声级 Lp2(T)和透声面积换算成等效的室外声源，计算出等效声源第 i个倍频带的声功率级 Lw。式中：S透声面积，m2。等效室外声源的位置为围护结构的位置，其倍频带声功率级为 Lw，由此按室外声源方法计算等效室外声源在预测点产生的声级。（2）室外声源按照半自由声场下，室外点声源的距离衰减模式，计算出距离室外等效声源r 的噪声预测值。8-lgr20-rwpLL式中：Lp(r)距声源 r 米处的噪声贡献值，dB(A)；Lw等效室外声源的声级，dB(A)；r250、预测点位置与室外等效声源之间的距离，m。（3）预测点的预测等效声级式中：Leq建设项目声源在预测点的等效声级预测值，dB（A）；Leqg建设项目声源在预测点的等效声级贡献值，dB（A）；Leqb预测点的背值，dB（A）。项目主要设备位置及噪声源强见表 4-9。根据上述预测公式，项目厂界处的噪声预测结果见下表。表表 4-9 噪声预测结果噪声预测结果 噪声单位：噪声单位：dB（A）99预测点等效声源至厂界距离（m）主厂房边界至厂界距离（m）贡献值背景值预测值标准限值达标情况昼间夜间昼间夜间东侧厂界外1104037.5255.045.855.0846.40昼间：65夜间：55达标北侧厂界外11585251、34.5453.642.653.6543.23达标南侧厂界外14510032.6163.853.563.8053.54昼间：70夜间：55达标西侧厂界外34527025.2564.052.164.0052.11达标由上表可见，本项目投入运营后，噪声源经过降噪及距离衰减后，东、北厂界的噪声贡献值可满足工业企业厂界环境噪声排放标准（GB12348-2008）3 类标准要求，西、南厂界的噪声贡献值可满足工业企业厂界环境噪声排放标准（GB12348-2008）4 类标准要求。能够做到达标排放，预计对周边环境影响较小。表表 4-10 自行监测信息表自行监测信息表序号监测点位污染物名称（监测因子）监测频次252、是否自动监测1四周场界外1m处LeqdB（A）1 次/年否四、固体废物影响分析1、项目固体废物情况一般固废主要包括：硫酸铵废液、氟化钙污泥、废硅片、废靶材、废芯片、废包装材料、废混合五金、废蓝膜、废磨轮等以及办公生活垃圾等。本项目一般固废中氟化钙污泥交由有处理资质的单位处理；硫酸铵废液平时储存在储槽内，定期外售再利用；废硅片、废芯片、废靶材、废包装材料、废混合五金、废蓝膜、废磨轮等由资源回收商回收；办公生活垃圾由市政环卫部门统一清运。危险固废主要包括：废空桶、沾染性废物、废荧光灯管、废硫酸、废盐酸、废氢氟酸、废硝酸、废氨水、废双氧水、废氟化铵溶液、废显影液、废异丙醇、废有机溶剂、废活性炭、废离253、子交换树脂（包括抛光树脂）、废过滤芯、MVR 蒸发结晶、废化镀液等。本项目厂区内已设置废液回收系统（生产厂房一层东侧）、危险废物暂存间及一般废物暂存库，可依托用于分别对本项目危险废物及一般废物进行分类收集和暂存。其中废液回收系统（生产厂房一层东侧）及危险废物暂存库用于危险废物的收100集和暂存，一般废物暂存库用于一般废物的收集和暂存。其中：废液回收系统用于收集各种浓缩废酸、废有机溶液等至收集罐，定期由专业厂家处理。收集罐设置液位计，地面全部采用环氧树脂进行防渗、防腐处理，并设置了经过防渗、防腐处理的地沟以及废液收集槽，若发生泄漏，可经收集沟至收集槽，再根据漏液性质接入不同废水处理系统进行处理。254、危险废物暂存间用于收集废离子交换树脂、废抹布、废过滤芯、废容器等危险废物。定期由有资质单位进行回收处理。一般固体废物暂存库用于废芯片、废靶材及废包装材料等一般废物；进行分类堆放。详细处置情况见下表。表表 4-11 项目固体废物信息表项目固体废物信息表序号固体废物名称属性物理状态产生量（t/a）贮存方式利用处置方式1废硫酸危险废物液体560收集暂存于危废暂存间送有资质单位处置2废盐酸危险废物液体103废氢氟酸危险废物液体1004废硝酸危险废物液体205废酸液危险废物液体4106废氨水危险废物液体57废双氧水危险废物液体1808废氟化铵溶液危险废物液体19废异丙醇危险废物液体10010废显影液危险255、废物液体4011废有机溶剂危险废物液体26012废荧光灯管危险废物固态0.513废活性炭危险废物固态6.814废离子交换树脂危险废物固态515废过滤芯危险废物固态3.316废空桶危险废物固态3017沾染性废物危险废物固态2.818废化镀液危险废物液态219MVR 蒸发结晶危险废物固态620氟化钙污泥一般固废固态320收集暂存交有资质单位处101于一般废物暂存库理21硫酸铵废液一般固废液态292动力站硫酸铵储罐由厂家回收处理22废靶材一般固废固态1收集暂存于一般废物暂存库资源回收商回收23废芯片一般固废固态124废硅片一般固废固态1.525废包装材料一般固废固态1026废混合五金一般固废固态10256、27废蓝膜一般固废固态128废磨轮一般固废固态129生活垃圾一般固废/600集中清运送至垃圾处理场集中处理根据建设项目危险废物环境影响评价指南（环境保护部公告201743 号），对危险废物环境影响评价须按建设项目环境影响评价技术导则 总纲（HJ2.1）及其他相关技术标准的有关规定进行评价。项目危险废物防治措施汇总见表 4-12。表表 4-12 项目危险废物防治措施汇总表项目危险废物防治措施汇总表序号名称类别危险废物代码主要有毒有害成分产废周期危险特性污染防治措施1废硫酸HW34900-302-34、900-300-34酸半月/次C，T收集于废液回收系统暂存处后送有资质单位处置2废盐酸HW349257、00-300-34酸半月/次C，T3废氢氟酸HW34900-300-34酸半月/次C，T4废硝酸HW34900-300-34酸半月/次C，T5废酸液HW34900-300-34酸半月/次C，T6废氨水HW35900-352-35碱一月/次C，T7废双氧水HW33900-029-33强氧化剂半月/次C，T8废氟化铵溶液HW34900-300-34酸半月/次C，T9废异丙醇HW06900-402-06烃类等半月/次T，I，R10废显影液HW16398-001-16烃类等一月/T，I，102次R11废有机溶剂HW06900-404-06烃类等一月/次T，I，R12废荧光灯管HW29900-023-2258、9重金属一年/次T收集于危废暂存间后送有资质单位处理13废活性炭HW49900-039-49烃类等三月/次T14废离子交换树脂HW13900-015-13有机树脂一月/次T15废过滤芯HW49900-041-49重金属一月/次T16废空桶HW49900-041-49烃类等一月/次T17沾染性废物HW49900-041-49、336-052-17、336-054-17、336-057-17砷、烃类、重金属等一月/次T18废化镀液HW17336-052-17、336-054-17、336-057-17重金属一月/次T暂存于储槽后送有资质单位处理19MVR 蒸发结晶HW17336-052-17、33259、6-054-17、336-057-17重金属一月/次T收集于危废暂存间后送有资质单位处理注：注：T-毒性，毒性，C-腐蚀性，腐蚀性，I-易燃性，易燃性，R-反应性反应性2、危险废物收集、贮存、转运相关要求危险废物在送往处理处置前，应以密闭容器密封，存放于为危废暂存间。厂区内已建成危废暂存间及废液回收系统间，可用于本项目所产生的的危险废物暂存。该暂存场所的设置按照危险废物贮存污染控制标准（GB18597-2023）的有关规定来设计及建设。同时，该暂存场所的设置采取地面硬化防渗措施，“不露天、不落地”，以防对地下水造成污染。危险废物的运输应采用专门的车辆，密闭运输，严禁抛洒滴漏，杜绝在运输过程中造260、成不必要的二次污染。危险废物需建立管理台账，一律委托有具有相应危险废物处理资质的单位处理，并严格执行国家危险废物转移联单制度，确保危险废物依法得到妥善处理处置。根据危险废物贮存污染控制标准（GB18597-2023）要求，危险废物暂存间103相关要求如下：1）贮存设施应根据危险废物的形态、物理化学性质、包装形式和污染物迁移途径，采取必要的防风、防晒、防雨、防漏、防渗、防腐以及其他环境污染防治措施，不应露天堆放危险废物。2）贮存设施应根据危险废物的类别、数量、形态、物理化学性质和污染防治等要求设置必要的贮存分区，避免不相容的危险废物接触、混合。3）贮存设施或贮存分区内地面、墙面裙脚、堵截泄漏的围261、堰、接触危险废物的隔板和墙体等应采用坚固的材料建造，表面无裂缝。4）贮存设施地面与裙脚应采取表面防渗措施；表面防渗材料应与所接触的物料或污染物相容，可采用抗渗混凝土、高密度聚乙烯膜、钠基膨润土防水毯或其他防渗性能等效的材料。贮存的危险废物直接接触地面的，还应进行基础防渗，防渗层为至少 1m 厚黏土层（渗透系数不大于 10-7cm/s），或至少 2mm 厚高密度聚乙烯膜等人工防渗材料（渗透系数不大于 10-10cm/s），或其他防渗性能等效的材料。5）同一贮存设施宜采用相同的防渗、防腐工艺（包括防渗、防腐结构或材料），防渗、防腐材料应覆盖所有可能与废物及其渗滤液、渗漏液等接触的构筑物表面；采用不262、同防渗、防腐工艺应分别建设贮存分区。6）贮存设施应采取技术和管理措施防止无关人员进入。7）贮存库内不同贮存分区之间应采取隔离措施。隔离措施可根据危险废物特性采用过道、隔板或隔墙等方式。8）在贮存库内或通过贮存分区方式贮存液态危险废物的，应具有液体泄漏堵截设施，堵截设施最小容积不应低于对应贮存区域最大液态废物容器容积或液态废物总储量 1/10（二者取较大者）；用于贮存可能产生渗滤液的危险废物的贮存库或贮存分区应设计渗滤液收集设施，收集设施容积应满足渗滤液的收集要求。9）贮存易产生粉尘、VOCs、酸雾、有毒有害大气污染物和刺激性气味气体的危险废物贮存库，应设置气体收集装置和气体净化设施；气体净化设263、施的排气筒高度应符合 GB16297 要求。项目危险废物在转运过程中须严格执行危险废物转移管理办法，建设单位104在转移危险废物前，须按照国家有关规定报批危险废物转移计划。经批准后，危险废物产生单位应向移出地环境保护行政主管部门申请领取联单，并在危险废物转移前三日内向移出地环境保护行政主管部门报告，同时将预期到达时间报告接受地环境保护行政主管部门。经上述措施处理后，本项目固体废物均能得到妥善处理，对外环境影响较小。3、危废依托储存可行性分析厂区已设置危险废物暂存间，位于厂区东北侧，为室内形式，储存量约为 50m3。其地面为防渗水泥地面，满足防风、防雨、防晒、防渗漏的“四防”要求，符合危险废物贮264、存污染控制标准（GB18597-2023）规定。该建设场所选址、建设合理，当前仍有约 30m3余量，可满足该项目危险废物暂存要求。本项目危废依托储存可行。五、土壤、地下水影响分析土壤是污染物进入地下水的重要迁移通道，土壤污染与地下水污染之间存在密切的关系。一方面土壤具有一定的积累和净化污染物的能力，对于地下水起到保护作用。另一方面，污染物通过淋滤和迁移，经土壤（包气带）进入地下水含水层，造成地下水污染。同时，地下水及土壤保护与污染防治按照“源头控制、分区防治、污染监控、应急响应”的原则。故此，本评价将地下水环境影响与土壤环境影响、应采取防治措施合并分析。1、污染因子识别在初步工程分析和确定地下265、水环境保护目标的基础上进行地下水环境影响识别，根据建设项目施工期、运营期的工程特征，识别其“正常状况”和“非正常状况”下的地下水环境影响，确定项目可能导致地下水、土壤污染的特征因子。正常情况下，危废间、废液储存间、废水处理站、化学品库等均采取防渗措施，无污染途径，对地下水、土壤环境无明显影响；事故状态下，主要污染途径是危废暂存间、废液储存间、化学品库、蚀刻废液水回收系统管道或池体破裂后泄露，经土壤（包气带）渗入地下从而造成地下水和土壤污染。本项目使用原辅料涉及酸液、碱液、有机溶液、含重金属废液等，原料储存及生产过程中涉及污染因子如下。表表 4-13 污染因子识别结果污染因子识别结果105识别情266、景污染途径污染因子正常状况/非正常状况储罐、管道或污水处理池池体破裂，导致储存的化学品、危险废物、废水等泄漏pH 值、CODCr、镍、钯、锌、银、金、总磷、氟化物、砷化物、硫酸、盐酸等表表 4-14 建设项目土壤环境影响源及影响因子识别表建设项目土壤环境影响源及影响因子识别表污染源工艺流程/节点污染途径全部污染物指标特征因子废气光刻胶涂敷、脱水精馏、干法蚀刻等大气沉降氟化物、氯化氢、氯气、VOCs、氨、硫酸雾、砷化物、颗粒物氯气、氯化氢、氟化物、氨、砷化物废水湿法蚀刻、清洗等垂直入渗、地表漫流镍、钯、锌、银、金、非甲烷总烃二甲苯2、防控措施根据建设项目设计方案以及工艺流程中可能产生的潜在污染源267、，制定土壤、地下水环境保护措施，进行环境管理。（1）源头控制措施1）按照国家、行业和环保相关规范标准和工艺要求进行相关设备、设施、管道、建（构）筑物的设计和施工；2）工程整体应进行质量体系认证，实现“质量、安全、环境”三位一体的全面质量管理目标；3）在项目使用过程中应严格按照分区防控措施中相应原则进行防腐防渗处理；4）对生产车间、化学品仓库、危险废物暂存区、废水处理站地面每日检查，发现裂缝等及时修补；5）定期检查危险废物贮存容器，定期进行更换，防止老化、锈蚀发生撒漏；6）固体废弃物按类别放入相应的容器内，禁止一般废物与危险废物混放，不相容的危险废物分开存放并设有隔离间隔断。固体废物置场内暂存的268、固体废物定期运至有关部门处置。危险废物应选择防腐、防漏、防磕碰、密封严密的容器进行贮存和运输，储存于阴凉、通风良好的库房，远离火种、热源，与酸类化学品分开存放。7）放置于危险废物暂存区内的固体废物架空放置，并在容器下放置托盘。8）定期检测废气处理设施，防止净化装置损坏导致有毒大气污染物随大气沉降影响土壤环境。通过采用上述源头综合控制措施，可将污染物跑、冒、滴、漏降到最低限度，106将渗漏的环境风险事故发生的可能性降低到最低程度。（2）过程防控措施根据环境影响评价技术导则地下水环境（HJ610-2016）和环境影响评价技术导则土壤环境（HJ964-2018），结合污染途径识别结果，对本建设项目按269、照相关的技术要求采取过程阻断、污染物削减和分区防控措施。企业应主要阻断污染物与土壤的直接接触，防止污染物进入土壤环境中。本项目应根据拟建布局功能实际情况，分别针对大气沉降影响、地表漫流、垂直入渗途径影响，采取相应的过程防控措施。1）占地范围内应采取绿化措施，以种植具有较强吸附能力的植物为主；2）应根据相关标准规范要求，厂区污水处理站、危废间应设置应急事故池，当发生泄漏事故时，将泄漏液导入应急事故池。厂区已建设 1 个氨氮/含氟废水事故水池 382m3、1 个酸碱废水事故水池 382m3，均位于动力站，生产事故废水可通过地沟收集后用泵抽到事故水池。危废间已设置导流沟与应急池（4 个，每个 2m3270、），并在危废间门口设置围堰，泄漏液不会流出危废间外。本项目建议厂区新增消防应急事故废水池容积为 2500m3，同时兼顾 12h 废水储存量、消防废水量及初期雨水量。生产事故废水、消防废水及初期雨水可通过导流沟收集到消防应急事故废水池，根据废液性质接入不同的废水处理系统进行处理。雨水口与应急事故池均无连通。3）应根据相关标准规范要求，对设备设施采取相应的防渗措施，以防止土壤环境污染。4）应按上述要求设计实施防渗措施，还应建立定期巡查、检查的制度，及时发现异常或污染，以及结合地下水环境保护措施与对策建立完善的针对风险事故的土壤应急预案，极力避免污染物进入土壤、地下水环境。（3）分区防控措施参照环境271、影响评价技术导则地下水环境（HJ610-2016）以及危险废物贮存污染控制标准（GB18597-2023）等，结合地下水环境影响评价结果，对工程设计案提出优化调整的建议，给出不同分区的具体防渗技术要求。1）已颁布污染控制国家标准或防渗技术规范的行业，水平防渗技术要求按照相107应标准或规范执行。危险废物暂存区执行危险废物贮存污染控制标准（GB18597-2023）、危险废物收集贮存运输技术规范（HJ2025-2012）相关规定。防渗技术要求：地面与裙角要用坚固、防渗的材料建造，建筑材料必须与危险废物相容。必须有泄露液体收集装置、气体导出口及气体净化装置。设施内要有安全照明设施和观察窗口。用以存272、放装载液体、半固体危险废物容器的地方，必须有耐腐蚀的硬化地面，且表面无裂隙。应设计堵截泄露的裙角，地面与裙角所围建的容积不低于堵截最大容器的最大储量或总储量的 1/5。不相容的危险废物必须分开存放，并设有隔离间隔断。2）未颁布相关标准的行业，根据预测结果和场地包气带特征及其防污性能，提出防渗技术要求；或根据建设项目场地天然包气带的防污性能、污染控制难易程度和污染物特性，参照下表提出相应的防渗技术要求。表表 4-15 污染控制难易程度分级参照表污染控制难易程度分级参照表污染控制难易程度主要特征难对地下水环境有污染的物料或污染物泄漏后，不能及时发现和处理。易对地下水环境有污染的物料或污染物泄漏后，273、可及时发现和处理。表表 4-16 天然包气带防污性能分级参照表天然包气带防污性能分级参照表分级包气带岩土的渗透性能强岩（土）单层厚度 Mb1.0m，渗透系数 K110-6cm/s，且分布连续、稳定。中岩（土）单层厚度 0.5Mb1.0m，渗透系数 K110-6cm/s，且分布连续、稳定。岩（土）单层厚度 Mb1.0m，渗透系数 110-6cm/sK110-4cm/s，且分布连续、稳定。弱岩（土）层不满足上述“强”和“中”条件。表表 4-17 地下水污染防渗分区参照表地下水污染防渗分区参照表防渗分区天然包气带防污性能污染控制难易程度污染物类型防渗技术要求重点防渗区弱难重金属、持久性有机物污染物等274、效黏土防渗层 Mb6.0m，K110-7cm/s；或参照GB18598 执行中-强难弱易一般防渗区弱易-难其他类型等效黏土防渗层 Mb1.5m，K110-7cm/s；或参照GB16889 执行中-强难中易重金属、持久性有机物污染物强易108简单防渗区中-强易其他类型一般地面硬化根据本项目可能泄漏至地面区域污染物的性质和生产单元的构筑方式以及潜在的地下水污染源分类分析，由于本项目化学品库、甲类库、危险品库和生产厂房内暂存及使用的危险化学品种类多、数量大，因此，将厂区划分为重点防渗区、一般防渗区：一般防渗区为动力站。一般防渗区按照等效粘土防渗层 Mb1.5m，K110-7cm/s，或参考生活垃圾填275、埋场污染控制标准（GB16889-2008）来执行。重点防渗区根据本项目的设计用途，重点防渗区为化学品库、甲类库、危险品库和生产厂房。重点防渗区按照等效黏土防渗层 Mb6.0m，K110-7cm/s；或参照危险废物填埋污染控制标准（GB18598-2019）来执行。综上所述，本项目防渗分区见下图。图图 4-6 本项目防渗分区示意图本项目防渗分区示意图根据现有项目验收情况，现有危废暂存间、化学品库、废水站采用防渗水泥、防渗膜进行防渗处理，防止项目废水及其他污染物的下渗，减少项目对周围地下水环境的影响。项目运行过程中对化粪池、危废暂存间的防渗情况进行日常核查，发现问题及时采取措施，同时加强管理，采276、取以上措施后，现有项目稳定运行至今，因此拟建项目可依托现有项目防渗技术措施，不会对厂区周围土壤及地下水环境造未建区域未建区域本项目涉及厂房本项目涉及厂房109成明显的负面影响。3、环境监测与管理（1）土壤环境监测与管理为了及时准确掌握场地土壤环境质量状况，及时发现污染和异常，应有针对性地建立土壤长期监控系统，建立完善的监测制度。土壤环境监测过程中的采样、监测要求应严格按照土壤环境监测技术规范（HJ/T166-2004）进行。结合气候、环境地质条件和建设项目特点，考虑本项目污染特征等因素，建议结合本次工程特点制定跟踪监测计划如下：1）监测点位：监测点位应结合项目建成后布局和功能，布设在重点影响区277、和土壤环境敏感目标附近。因此，本项目重点关注生产车间、废水站、危废暂存区、化学品库等具有渗漏风险的重点区域。每个区域至少布置 1 个表层（020cm）土壤环境影响跟踪监测点。同时考虑到大气沉降污染途径，在场地外下风向位置至少布置1 个表层（020cm）土壤环境影响跟踪监测点。如发生污染事故等应开展专项调查。2）监测因子：监测指标选择建设项目的特征因子。因此，本项目的跟踪监测因子为镍、锌、银、砷。3）监测频次根据排污单位自行监测技术指南 电子工业（HJ1253-2017）、排污单位自行监测技术指南 总则（HJ819-2017），涉重金属、难降解类有机污染物等重点排污单位土壤、地下水每年至少监测一278、次，发生突发环境事故对周边环境质量造成明显影响的，或周边环境质量相关污染物超标的，应适当增加监测频次。（2）地下水环境监测与管理为了及时发现项目运行中出现对地下水环境的不利影响因素，有效防范地下水污染事故发生，并为地下水污染和的治理措施的制定和治理方案实施提供基础资料。建议建设单位在项目运行前，建立起地下水环境监测管理体系，包括制定地下水环境影响跟踪监测计划、建立地下水环境监控体系和地下水环境影响跟踪监测制度、配备先进的监测仪器和设备，以便及时发现问题，采取措施。1）监测点位建立地下水环境监测管理体系，参照环境影响评价技术导则地下110水环境（HJ610-2016）中相关要求，三级评价的建设项279、目，一般不少于 1 个，应至少在建设项目场地下游布置 1 个。2）监测频次根据排污单位自行监测技术指南电子工业（HJ1253-2017）、排污单位自行监测技术指南总则（HJ819-2017），涉重金属、难降解类有机污染物等重点排污单位土壤、地下水每年至少监测一次，发生突发环境事故对周边环境质量造成明显影响的，或周边环境质量相关污染物超标的，应适当增加监测频次。3）监测因子监测指标选择建设项目的特征因子。因此，本项目的跟踪监测因子为镍、锌、银、砷。六、环境风险详见环境风险专篇。本项目风险评价结论如下：1、项目生产加工过程中使用的化学品，可以分为易燃液体、易燃气体、毒性气体、氧化性物质以及酸性、碱280、性腐蚀品等。按照建设项目环境风险评价技术导则（HJ169-2018）相关规定，项目大气环境、地表水风险等级为三级，地下水环境风险等级为简单分析，综合环境风险等级为三级。2、项目采取有毒有害气体工程控制措施、危险化学品工程控制措施、废水工程控制措施、化学品及危险废物运输控制措施后，把有毒有害物质的泄漏可能降低到最低，杜绝未处理的废水直接排放。经分析本项目风险投资有较强针对性，合理可行。3、企业应加强对全体员工防范事故风险能力的培训，建立应急计划，及时更新应急预案。综上所述：本项目环境风险水平可接受；风险管理措施有效、可靠；从环境风险的角度分析，本项目建设可行。七、项目“以新带老”及总量控制（1）281、本项目建设用地为xxxx半导体科技有限公司内已建厂房，公司现有项111目均已通过环保竣工验收，污染物均达标排放，因此，该区域不存在与本项目有关的原有污染源情况及主要环境问题，无需“以新带老”。（2）总量控制项目建设后污染物排放情况总量控制如表 4-18。表表 4-18 项目建设后污染物排放情况总量控制情况表项目建设后污染物排放情况总量控制情况表单单位位 t/a类别污染因子现有工程排放量本工程排放量“以新带老”削减量扩建后全厂排放量排放增减量废气SO20.00180.044/0.0458+0.044NOx0.01650.335/0.3515+0.335VOCs0.05591.3424/1.398282、3+1.3424废水CODCr1.48631.69/33.176+31.69氨氮0.07431.58/1.6543+1.58总磷/0.32/0.32+0.32八、环保投资估算本项目总投资 275000 万元，环保投资估算为 4552 万元，占项目总投资的 1.66%左右。环境保护投资估算见表 4-19。表表 4-19 项目项目环保投资一览表环保投资一览表环保设施单价数量（套）环保投资（万元）废气处理系统3 个碱液喷淋塔+1 个33m高排气筒90190酸液废气喷淋塔+33m 高排气筒42142活性炭吸附设备60160RTO 燃烧设备+33m 高排气筒48010（依托现有）锅炉低氮燃烧器+25m 283、高排气筒1510（已建）废水处理系统酸碱废水处理系统3001300含氟废水处理系统3601360含氨废水处理系统3001300含磷废水处理系统3001300有机废水提升槽15115涉重废水处理系统300013000隔油化粪池330（依托现有）112噪声减振、消声、隔声措施/30固废废液回收系统1810（依托现有）一般固废暂存间21危险固废暂存间61其他涉重废水处理站应急事故池15115化镀液泄漏收集池5210厂区消防应急事故废水池30130合计/4552本项目环保投资占总投资比例1.66%九、竣工验收内容根据建设项目竣工环境保护验收暂行办法(国环规环评20174 号)和建设项目竣工环境保护验收284、技术指南 污染影响类(生态环境部公告 2018 年第 9 号)，建设项目竣工环境保护企业自行验收工作程序如下：（1）在建设项目竣工后、正式投入生产或运行前，企业按照环境影响报告表及其批复文件要求，对与主体工程配套建设的环境保护设施落实情况进行查验。（2）按照环境保护主管部门制定的竣工环境保护验收技术规范，企业自行编制或委托具备相应技术能力的机构，对建设项目环境保护设施落实情况进行调查，开展相关环境监测，编制竣工环境保护验收调查（监测）报告。企业、验收调查（监测）机构及其相关人员对验收调查（监测）报告结论终身负责。（3）验收调查（监测）报告编制完成后，由企业法人组织对建设项目环境保护设施和环境保285、护措施进行验收，形成书面报告备查，并向社会公开。（4）企业自行组织竣工环境保护验收时，应成立验收工作组，对建设项目环境保护设施及其他环境保护措施进行资料审查、现场踏勘，形成验收意见，验收组成员名单附后。验收意见应经三分之二以上验收组成员同意。验收工作组应可由设计单位、施工单位、环境影响报告书（表）编制机构、验收监测（调查）报告编制机构等单位代表以及专业技术专家等组成，代表范围和人数自定。（5）企业应对验收意见中提出的环保问题进行整改。环境保护设施未经验收或者验收不合格的，建设项目主体工程不得投入生产或者使用。113（6）验收报告编制完成后 5 个工作日内，公开验收报告，公示的期限不得少于20 286、个工作日。建设单位公开上述信息的同时，应当向所在地县级以上环境保护主管部门报送相关信息，并接受监督检查。（7）验收报告公示期满后 5 个工作日内，建设单位应当登录全国建设项目竣工环境保护验收信息平台，填报建设项目基本信息、环境保护设施验收情况等相关信息，环境保护主管部门对上述信息予以公开。项目环保竣工验收一览表见表 4-20。表表 4-20 项目竣工验收内容一览表项目竣工验收内容一览表污染类型污染物环保设施监测因子环保要求/执行标准废气酸性废气酸性废气：3 套碱液洗涤塔+1 个 33m 高排气筒；工艺尾气（不含砷）：设备自带燃烧水洗+接入酸性废气处理系统；含砷废气：设备自带干式吸附+活性炭吸附287、+接入酸性废气处理系统。氟化物、氯化氢、氮氧化物、硫酸雾、氯气、颗粒物大气污染物综合排放标准（GB16297-1996）表 2 中有组织排放标准砷化物大气污染物综合排放标准（DB 11/501-2017）第时段标准限值碱性废气1套酸液洗涤塔+33m高排气筒氨恶臭污染物排放标准（GB14554-93）有机废气1 套活性炭吸附+依托原有有机废气处理措施（RTO 系统脱附+33m 高排气筒）VOCs（以非甲烷总烃计）大气污染物综合排放标准（GB16297-1996）表 2 中有组织排放标准锅炉废气依托原有锅炉废气排放措施（低氮燃烧+25m 高排气筒）颗粒物、二氧化硫锅炉大气污染物排放标准（GB132288、71-2014）表 3 中大气污染物特别排放标准氮氧化物关于印发xx市燃气锅炉（设施）低氮改造工作有关文件的通知 中的标准限值要求无组织废气（厂界）/颗粒物、氯化氢、硫酸雾、氯气、氟化物、VOCs（以非甲烷总大气污染物综合排放标准（GB16297-1996）表 2 中无组织排放监控浓度限值114烃计）氨恶臭污染物排放标准（GB14554-93）砷化物大气污染物综合排放标准（DB 11/501-2017）表 3 无组织限值无组织废气（厂房外）/非甲烷总烃挥发性有机物无组织排放控制标准（GB37822-2019）附录 A 中表 A.1 限值要求废水酸碱废水酸碱废水处理系统（酸碱中和池）pH、SS、289、CODCr、BOD5、氨氮、总磷、总氮、氟化物pH、SS、CODCr、BOD5、氟化物执行污水排放综合标准（GB8978-1996）表 4 中三级标准有机废水含氨废水氨氮吹脱系统+酸碱废水处理系统含氟废水反应、混凝、沉淀+酸碱废水处理系统含磷废水反应、混凝、沉淀+酸碱废水处理系统氨氮、总氮、总磷执行污水排入城镇下水道水质标准（GB31962-2015）表 1 中 B级标准涉重废水超滤+二级反渗透+电除盐膜堆+除硼树脂+MDG 膜除氧+MVR 蒸发结晶，尾水回用不外排/不外排生活污水化粪池SS、CODCr、BOD5、氨氮、总磷污水排放综合标准（GB8978-1996）表 4 中三级标准噪声水泵、290、风机等设备噪声减振基础等LAeq厂界东、北侧执行工业企业厂界环境噪声排放标准3 类标准；厂界西、南侧执行工业企业厂界环境噪声排放标准4 类标准固体废物一般固废一般固体废物暂存间/一般工业固体废物贮存和填埋污染控制标准（GB18599-2020）危险废物危废暂存间/危险废物贮存污染控制标准（GB18597-2023）风险事故废水系统应急事故池/收集后根据事故废水类别选115废水择性排放至各类废水处理系统116五、环境保护措施监督检查清单内容要素排放口(编号、名称)/污染源污染物项目环境保护措施执行标准大气环境DA003 有机废气排气筒（依托原有）VOCs（以非甲烷总烃计）1套活性炭吸附+RTO系291、统脱附+33m 高排气筒大气污染物综合排放标准（GB16297-1996）表 2中二级标准限值DA005 酸性废气排气筒（新建）氟化物、氯化氢、氮氧化物、硫酸雾、氯气、颗粒物酸性废气：3 套碱液洗涤塔+1 个 33m 高排气筒；工艺尾气（不含砷）：设备自带燃烧水洗+接入酸性废气处理系统；含砷废气：设备自带干式吸附+活性炭吸附+接入酸性废气处理系统。大气污染物综合排放标准（GB16297-1996）表 2中有组织排放标准砷化物大气污染物综合排放标准（DB 11/501-2017）第时段标准限值DA006 碱性废气排气筒（新建）氨1 套酸液洗涤塔+33m高排气筒恶臭污染物排放标准（GB14554-292、93）DA007 锅炉废气排气筒（新启用）颗粒物、二氧化硫低氮燃烧+25m 高排气筒锅炉大气污染物排放标准（GB13271-2014）表 3中大气污染物特别排放标准氮氧化物关于印发xx市燃气锅炉（设施）低氮改造工作有关文件的通知中的标准限值要求厂界外无组织排放颗粒物、氯化氢、硫酸雾、氯气、氟化物、VOCs（以非甲烷总烃计）/大气污染物综合排放标准（GB16297-1996）表 2中无组织排放监控浓度限值氨恶臭污染物排放标准（GB14554-93）砷化物大气污染物综合排放标准（DB 11/501-2017）表3 无组织限值厂房外无组织排放非甲烷总烃/挥发性有机物无组织排放控制标准117（GB37293、822-2019）附录 A中表 A.1 限值要求地表水环境DW001 污水总排口 1pH、氟化物处理后排入市政污水管网进入望城污水处理厂污水综合排放标准（GB8978-1996）表 4 中三级标准SS、CODCr、BOD5、氨氮、总磷、总氮望城污水处理厂进水水质要求声环境水泵、风机运行噪声噪声选用低噪声设备、减振基础等厂界东、北侧执行工业企业厂界环境噪声排放标准（GB12348-2008）3类标准，西、南侧执行工业企业厂界环境噪声排放标准（GB12348-2008）4类标准。电磁辐射无/固体废物一般工业固体废物尽量做到回收利用，不能回收的部分与生活垃圾一同送至垃圾处理场集中处理。危险废物经分类294、收集后贮存于危废暂存间，定期委托有资质的单位进行处置。生活垃圾经分类收集后，由环卫部门统一运送至垃圾处理场集中处理。危废收集应分类放至符合要求的容器中并做好登记，按照要求暂存及转运，妥善处理。土壤及地下水污染防治措施厂区地面全部硬化，并进行分区防渗。生态保护措施无环境风险防范措施设置风险应急事故池，有毒有害气体探测与报警系统，便携式气体侦测器，大宗气站和硅烷站气体抽排、净化系统及应急抢险设施设备，编制风险应急预案及相关配备的应急物资。其他环境管理要求（一）排污许可管理要求1、xxxx半导体科技有限公司应当在本项目启动或发生实际排污之前依据排污许可管理条例（国令第 736 号）第十五条的要求重新295、申请取得排污许可证。2、按排污许可证规定，定期在国家排污许可证管理信息平台填报信息，编制排污许可证执行报告，及时报送有核发权的环境保护主管部门并公开，执行报告主要内容包括生产信息、污染防治设施运行情况、污染物按证排放情况等。（二）竣工验收要求建设项目竣工后，建设单位应根据环评文件及审批意见进行自主验收，向社会公开并向环保部门备案。建设项目竣工验收通过后，方可正式运行。（三）切确落实废气、废水、固废、噪声的防治措施，加强环保设施的运行管理维护，确保各类污染物达标排放，并接受当地环保部门的监督检查。118六、结论综上所述，本项目建设符合国家产业政策，符合xx高新技术产业开发区定位和整体规划及土地利296、用规划要求。本项目建设于现有厂房内，总体布局按照其功能分区，总平面布置合理。通过认真落实本报告中提出的各项污染控制措施后，本项目施工期、营运期产生的各类污染物均可实现达标排放，不会对周围环境造成明显的影响；从环境保护角度分析，本项目建设可行。119附表建设项目污染物排放量汇总表项目分类污染物名称现有工程排放量（固体废物产生量）现有工程许可排放量在建工程排放量（固体废物产生量）本项目排放量（固体废物产生量）以新带老削减量（新建项目不填）本项目建成后全厂排放量（固体废物产生量）变化量废气SO20.0018/0.044/0.0458+0.044HCl0.0111/0.2672/0.2783+0.26297、72NOx0.01652.283/0.335/0.3515+0.335非甲烷总烃0.05590.9544/1.3424/1.3983+1.3424颗粒物0.2970/6.9556/7.2526+6.9556Cl20.01151.9/0.2757/0.2872+0.2757硫酸雾0.03721.32/0.8938/0.931+0.8938氟化物0.0096/0.1921/0.2017+0.1921氨0.0012/0.0298/0.031+0.0298砷化物0.000003/0.000062/0.000065+0.000062废水SS0.495/5.28/5.775+5.28CODCr1.4861298、3.23/31.69/33.17631.69BOD50.297/6.34/6.637+6.34氨氮0.0741.637/1.58/1.6541.58120总氮0.49510.5611.055+10.56总磷0.015/0.32/0.335+0.32氟化物0.074/1.58/1.654+1.58一般固体废物硫酸铵废液447.8/292/739.8+292废靶材0.1/1/1.1+1废芯片0.1/1/1.1+1废硅片0.21.51.7+1.5氟化钙污泥18.48/320/338.48+320废包装材料1/10/11+10废混合五金10/10/20+10废蓝膜0.5/1/1.5+1废磨轮1/1/2299、+1生活垃圾59/600/659+600危险废物废硫酸20/560/580+560废盐酸0.4/10/10.4+10废氢氟酸3/100/103+100废硝酸1.8/20/21.8+20废酸液2/410/412+410废氨水1/5/6+5废双氧水5/180/185+180121废氟化铵溶液0.1/1/1.1+1废异丙醇20/100/120+100废显影液0.5/40/40.5+40废有机溶剂6/260/266+260废荧光灯管0.1/0.5/0.6+0.5废活性炭0.2/6.8/7+6.8废离子交换树脂156+5废过滤芯0.13.33.4+3.3废空桶13031+30沾染性废物22.84.8+2300、.8废化镀液022+2MVR 蒸发结晶066+6注：=+-；=-xxxx半导体科技有限公司xxxx半导体科技有限公司集成电路成套装备国产化集成及验证平台集成电路成套装备国产化集成及验证平台扩产项目扩产项目大气环境影响专项评价大气环境影响专项评价xxxx设计研究院有限公司编制日期：2023 年 4 月目录1、总论、总论.11.1 评价目的.11.2 编制依据.11.3 评价因子.21.4 评价标准.21.5 评价等级与评价范围.41.6 大气环境保护目标.52、环境空气质量现状、环境空气质量现状.72.1 达标区判定.72.2 补充检测.73、污染源分析、污染源分析.83.1 产排污环节.83.301、2 大气污染物排放源强.94、大气环境影响分析与评价、大气环境影响分析与评价.154.1 环境空气污染预测因子确定.154.2 估算模型参数.194.3 评价工作等级确定.194.4 大气防护距离.344.5 非正常排放影响分析.345、大气环境保护措施可行性分析、大气环境保护措施可行性分析.385.1 有组织废气处理措施.385.2 无组织废气处理措施.385.3 废气治理措施合理性分析.396、项目监测要求、项目监测要求.457、大气环境影响评价结论、大气环境影响评价结论.4611、总论、总论xxxx半导体科技有限公司投资 275000 万元建设集成电路成套装备国产化集成及验证平台扩产项目302、，项目位于xx高新区雷高路与青山路交界处东北角，依托现有厂房，项目主要建设内容包括 FRED、IGBT、MOS、TMBS、SGT 产品生产线，并配套相应环保、消防设备设施。项目排放的废气含有毒有害污染物砷化物、氯气，且厂界 500m 范围内有环境空气保护目标。根据建设项目环境影响报告表编制技术指南（污染影响类）中专项评价的设置要求，本项目需设置大气环境影响专项评价。1.1 评价目的评价目的本评价工作是在通过详细的现状调查和准确的工程分析，核实项目污染物种类和数量等工作的基础上，分析工程建设和运行可能带来的大气环境问题及影响。根据影响预测结果，结合环境质量现状，提出防治不利影响的减缓措施，论证工303、程建设方案的可行性，并反馈于工程设计、建设和管理，确保污染物的达标排放和总量控制，为项目的环境管理和决策提供科学依据，力求经济与环境的协调发展。1.2 编制依据编制依据1、中华人民共和国环境保护法（2015 年 1 月 1 日施行）；2、中华人民共和国环境影响评价法（2018 年 12 月 29 日修订）；3、中华人民共和国水土保持法（2011 年 3 月 1 日施行）；4、中华人民共和国大气污染防治法（2018 年 10 月 26 日施行）；5、关于统筹和加强应对气候变化与生态环境保护相关工作的指导意见（生态环境部，环综合20214 号）；6、关于印发大气污染防治行动计划的通知，国发2013304、37 号，2013.9；7、建设项目环境保护管理条例（2017 年 7 月 16 日修订）；8、建设项目环境影响评价分类管理名录（2021 年 1 月 1 日施行）；9、关于进一步加强环境影响评价管理防范环境风险的通知（环发201277 号）；10、关于切实加强风险防范严格环境影响评价管理的通知（环发201298 号）；11、xx省环境保护条例（2019 年 9 月 28 日修订）；12、xx省大气污染防治条例（2020 年 6 月 12 日修正）；13、建设项目环境影响评价技术导则总纲（HJ2.1-2016）；214、环境影响评价技术导则大气环境（HJ2.2-2018）；15、有毒有害大气污305、染物名录（2018 年）；16、排污单位自行监测技术指南 总则（HJ819-2017）。1.3 评价因子评价因子根据区域环境特征和工程排污性质确定本项目评价因子见下表。表表 1-1 大气环境影响评价因子一览表大气环境影响评价因子一览表项目评价因子大气环境现状评价SO2、NO2、PM10、PM2.5、CO、O3、TSP、氟化物、氯化氢、氯气、TVOC、氨、硫酸雾、砷化物、丙酮环境影响预测分析氟化物、氯化氢、氯气、氨、硫酸雾、砷化物、氮氧化物、TVOC、颗粒物、二氧化硫1.4 评价标准评价标准（1）环境空气质量标准）环境空气质量标准项目属于二类区，环境空气中 TSP、PM10、PM2.5、SO2、306、NO2、CO、O3、氟化物、氮氧化物均执行环境空气质量标准（GB3095-2012）二级标准；氯化氢、氯气、TVOC、氨、硫酸雾、丙酮参照环境影响评价技术导则大气环境HJ2.2-2018 附录 D 中空气质量浓度参考限值，砷化物参考工业企业设计卫生标准TJ36-79 中“居住区大气中有害物质的最高容许浓度”。各标准限值详见下表。表表 1-2 环境空气质量标准环境空气质量标准序号项目限值单位标准来源1h 平均24h 平均年平均1SO20.50.150.06mg/m3环境空气质量标准（GB3095-2012）二级标准2NO20.20.080.04mg/m33PM10/0.150.07mg/m34P307、M2.5/0.0750.035mg/m35CO104/mg/m36O30.160.1（8h 平均）/mg/m37TSP/0.30.2mg/m38氟化物0.020.007/mg/m39氮氧化物0.250.10.05mg/m310TVOC/0.6（8h 平均）/mg/m3环境影响评价技术导则大气环境HJ2.2-2018 附录 D11氯化氢0.050.015/mg/m312氯气0.10.03/mg/m313硫酸雾0.30.1/mg/m3314氨0.2/mg/m315丙酮0.8/mg/m316砷化物/0.003/mg/m3工业企业设计卫生标准TJ36-79 中“居住区大气中有害物质的最高容许浓度（2）308、废气排放标准）废气排放标准有组织：氮氧化物、氯化氢、氯气、硫酸雾、氟化物、颗粒物、VOCs（以非甲烷总烃计）执行大气污染物综合排放标准（GB16297-1996）表 2 中二级标准限值；氨执行恶臭污染物排放标准（GB14554-93）表 2 中相关标准限值；砷化物参照北京市地方标准大气污染物综合排放标准（DB11/501-2017）第时段标准限值要求；无组织：厂界氯化氢、氯气、硫酸雾、氟化物、颗粒物、VOCs（以非甲烷总烃计）执行大气污染物综合排放标准（GB16297-1996）表 2 中无组织排放监控浓度限值；厂房外非甲烷总烃执行挥发性有机物无组织排放控制标准（GB37822-2019）附录309、 A 中表 A.1 限值要求；厂界砷化物参照北京市地方标准大气污染物综合排放标准（DB11/501-2017）表 3 无组织限值要求；厂界氨执行恶臭污染物排放标准（GB14554-93）表 1 中的排放限值要求。表表 1-3 项目污染物排放标准项目污染物排放标准排污口类型检测指标排气筒高度（m）最高允许排放浓度（mg/m3）最高允许排放速率（kg/h）标准来源有组织氯化氢331001.76大气污染物综合排放标准（GB16297-1996）表 2 中二级标准限值氮氧化物2405.33氯气651.48硫酸雾4510.66氟化物90.71颗粒物12027.8VOCs（以非甲烷总烃计）12067.1氨310、/24.2恶臭污染物排放标准（GB14554-93）砷化物0.500.0206大气污染物综合排放标准（DB 11/501-2017）第时段标准限值有组织（锅炉废气）颗粒物2520/锅炉大气污染物排放标准（GB13271-2014）表 3 中大气污染物特别排放标准二氧化硫50/氮氧化物30/关于印发xx市燃气锅炉（设施）低氮改造工作有关文件的通知中的标准限值要求无组 厂界颗粒物/1.0/大气污染物综合排放标准4织（GB16297-1996）表 2 中无组织排放监控浓度限值氯化氢0.20/硫酸雾1.2/氯气0.4/氟化物0.02/VOCs（以非甲烷总烃计）4.0/氨1.5/恶臭污染物排放标准（GB311、14554-93）砷化物0.0010/大气污染物综合排放标准（DB 11/501-2017）表 3 无组织限值厂房外非甲烷总烃10/挥发性有机物无组织排放控制标准（GB37822-2019）附录A 中表 A.1 限值要求备注：本项目排气筒为 33m，速率以内插法计算。1.5 评价等级与评价范围评价等级与评价范围依据环境影响评价技术导则-大气环境（HJ2.2-2018）中 5.3 节工作等级的确定方法，结合项目工程分析结果，选择正常排放的主要污染物及排放参数，采用附录 A 推荐模型中的AERSCREEN 模式计算项目污染源的最大环境影响，然后按评价工作分级判据进行分级。Pmax及 D10%的确定312、依据环境影响评价技术导则大气环境（HJ2.2-2008）中最大地面浓度占标率 Pi 定义如下：Pi第 i 个污染物的最大地面空气质量浓度占标率，%；Ci采用估算模型计算出的第 i 个污染物的最大 1h 地面空气质量浓度，g/m3；Coi第 i 个污染物的环境空气质量浓度标准，g/m3。评价工作等级按下表的分级判据进行划分，如污染物 i 大于 1，取 P 值中最大者（Pmax）。表表 1-4 表大气环境影响评价工作等级判别表表大气环境影响评价工作等级判别表评价工作等级评价工作分级依据一级Pmax10%二级1%Pmax10%三级Pmax1%根据大气预测章节计算，本项目所有污染源正常排放的占标统计一313、览表如下。表表 1-5 Pmax和和 D10%预测和计算结果一览表预测和计算结果一览表5污染源名称评价因子评价标准（g/m3）Cmax（g/m3）Pmax（%）对应距离（m）D10%（m）DA003TVOC12001.37090.1131/DA005氟化物200.05150.2658/氯化氢500.05150.1058/氮氧化物2503.10651.2458/硫酸雾3000.17160.0658/氯气1000.06870.0758/颗粒物9001.52750.1758/砷化物90.0000/DA006氨2000.04300.0229/DA007二氧化硫5001.24460.2527/氮氧化物2314、500.99570.4027/颗粒物9000.93350.1027/Gm1 化学品库氨气2000.17800.0919/氟化氢200.11610.5819氮氧化物2000.29600.1219/氯化氢501.74143.4819/Gm2 主厂房氯化氢501.03972.0873/硫酸雾3008.00952.6773/氯气1000.19250.1973/颗粒物90010.70501.1973/氮氧化物25014.05515.6273/氨2000.07700.0473/TVOC12006.58470.5573/本项目 Pmax最大值出现为主厂房无组织排放的氮氧化物，Pmax值为 5.62%，根据环315、境影响评价技术导则大气环境（HJ2.2-2018）分级判据，确定本项目大气环境影响评价工作等级为二级。1.6 大气环境保护目标大气环境保护目标项目周边大气环境保护敏感点具体情况见下表。表表 1-6 环境空气保护目标一览表环境空气保护目标一览表序号保护对象坐标保护内容环境功能区方位/距离1伍家湾散户居民112.844567E，28.249050N住宅，约 100 人环境空气质量标准（GB3095-2012）中的二类标准北，160m2桐林坳社区112.827695E，28.265791N住宅，约 1000 人北，16601940m3桐林中心小学112.826837E，28.266362N住宅，约 316、100 人西北，1890m4文家冲112.835591E，28.270640N住宅，约 150 人北，1900m5金元村112.836885E，28.256459N住宅，约 200 人北，14852095m6何家湾112.857709E，28.266609N住宅，约 200 人东北，25853095m67荣盛岳麓峰景112.858361E，28.259235N小区，约 10000 人东北，19002530m8金山桥社区112.857413E，28.253133N住宅，约 1000 人东北，14001760m9米地亚家园112.861620E，28.258337N小区，约 5000 人东北，24317、503030m10金地亚112.861190E，28.253917N小区，约 3500 人东，22402740m11金南家园112.857763E，28.249046N小区，约 4000 人东，18002340m12xx高新区中心幼儿园金南园112.858986E，28.246935N学校，约 500 人东，2100m13金侨风华府112.861217E，28.246240N小区，约 2500 人东，22702340m14金桥小学112.859436E，28.245790N学校，约 300 人东，2150m15尖山印象公馆112.859694E，28.244239N小区，约 5000 人东，2318、1402390m16恒定中学112.854984E，28.244379N学校，约 5000 人东南，1750m17雅礼麓谷中学112.853771E，28.241589N学校，约 3000 人东南，1700m18美的 麓府（在建）112.855628E，28.240543N小区，建成后约3300 人东南，18302080m19保利恒伟时光印象（在建）112.853466E，28.238285N小区，建成后约7000 人东南，16002170m20清控湖山雅居（在建）112.857999E，28.239926N小区，建成后约5000 人东南，21002320m21长房云尚公馆（在建）112.85319、7044E，28.237641N小区，建成后约3000 人东南，20802390m22xx高新工程技术学校112.855670E，28.232456N学校，约 3000 人东南，2470m23碧桂园荟隽棠（在建）112.816301E，28.243775N小区，建成后约6000 人西南，13551990m24通号岭绣苑（在建）112.820292E，28.242659N小区，建成后约5000 人西南，10701500m25明华小学112.818179E，28.23858N学校，约 210 人西南，1800m26华龙家园112.816537E，28.235643N小区，约 10000 人西南，1320、7702360m72、环境空气质量现状、环境空气质量现状2.1 达标区判定达标区判定根据环境影响评价技术导则大气环境（HJ2.2-2018），本项目收集了2022 年度xx市环境空气质量中污染物浓度检测数据，监测因子为 SO2、NO2、PM10、PM2.5、CO 和 O3，并对项目所在区域环境空气质量进行了区域达标判断，具体达标判定监测数据及评价结果见下表。表表 2-1 2022 年度xx市环境空气监测结果统计年度xx市环境空气监测结果统计污染物年评价指标单位浓度值标准值占标率达标情况SO2年平均浓度ug/m366010.0%达标NO2ug/m3244060.0%达标PM10ug/m35070321、71.43%达标PM2.5ug/m33835108.57%超标CO第 95 百分位数浓度mg/m31.0425.0%达标O3日最大 8h 平均值（第 90百分位数）ug/m3160160100.0%达标由上表可知，项目所在区域 PM2.5环境质量现状不满足环境空气质量标准（GB3095-2012）二级标准要求，项目所在区域为不达标区。引起 PM2.5超标的原因主要是：近年来城市发展快，工程建设项目多，污染物日浓度超标是大量的基建扬尘、地面扬尘及机动车尾气所致。根据xx市大气环境质量限期达标规划（2020 年-2027 年），2021 年 PM2.5的目标年均浓度为 43ug/m3，xx市市人民322、政府持续深入开展大气污染治理，2027 年 PM2.5目标年均浓度为 35ug/m3，根据xx市大气环境质量限期达标规划（2020年-2027 年）中规划的重点任务和措施，可使xx市环境空气质量得到明显改善，xx高新区环境空气质量相应得到明显改善。2.2 补充检测补充检测本项目特征因子氟化物、氯化氢、氯气、TVOC、氨、硫酸雾、砷化物、颗粒物、丙酮委托湖南中石检测有限公司于 2023 年 3 月 17 日3 月 23 日进行了现状检测，监测点位位于项目厂界外下风向。表表 2-2 其他污染物补充监测点位基本信息其他污染物补充监测点位基本信息监测点名称监测点坐标监测因子相对厂址方位相对厂界距离/m323、EN厂界外下风向G1112.837697762 28.247920265氟化物、氯化氢、氯气、TVOC、氨、硫酸雾、丙酮、砷化物、颗粒物SE208评价结果及统计分析见下表。表表 2-3 其他污染物环境质量现状监测结果其他污染物环境质量现状监测结果污染物评价标准/（mg/m3）监测结果/（mg/m3）最大浓度占标率/%达标情况03.1703.1803.1903.2003.2103.2203.23氟化物0.023.910-34.010-34.110-33.710-34.710-33.910-34.410-323.50%达标氯化氢0.050.0320.0290.0390.0460.0390.0460324、.03992.00%达标氯气0.10.080.03L0.060.040.070.070.0580.00%达标总挥发性有机物0.60.1260.1390.1330.1270.1260.1370.12523.17%达标氨0.20.070.080.090.100.090.090.0950.00%达标硫酸雾0.30.0790.0800.0780.0830.0770.0840.08729.00%达标砷及其化合物（以砷计）0.0032.010-7L 2.010-7L 2.010-7L 2.010-7L 2.010-7L 2.010-7L 2.010-7L/达标TSP0.30.1260.1390.1330.325、1270.1260.1370.12546.33%达标丙酮0.80.01L0.01L0.01L0.01L0.01L0.01L0.01L/达标由上表可知，项目所在区域环境空气中特征因子氯化氢、氯气、TVOC、氨、硫酸雾、丙酮浓度满足环境影响评价技术导则-大气环境（HJ2.2-2018）中附录 D 限值要求，TSP、氟化物、能满足环境空气质量标准（GB3095-2012）二级标准，砷化物能满足工业企业设计卫生标准TJ36-79 中“居住区大气中有害物质的最高容许浓度”。3、污染源分析、污染源分析3.1 产排污环节产排污环节本项目产生的废气主要来源于生产过程中的废气。项目生产在超洁净室内进行，每道工序326、均在独立机台内进行全封闭式操作，各机台均配备相应的气体供应装置、抽排装置及管道。项目各机台产生的废气经抽排装置将其从密闭的腔体抽出后，根据废气中各污染物的成分分别进入相应的废气处理系统进行处理。（1）酸性废气：酸性废气主要来源于生产工艺过程中的硅片清洗、湿法刻蚀等工序，主要污染物为氟化物、HCl、氮氧化物、硫酸雾、氯气等。项目拟设置碱液喷淋塔对酸性废气进行处理，处理后由 33m 排气筒排放。酸性废气处理系统主要由废气洗涤塔、通风机、排气管和加药系统等组成。废气先由排气管道输入废气洗涤塔，吸收液为氢氧化钠溶液，碱液经回圈喷洒而下，利用氢氧化钠中和溶液作吸收液净化酸雾废气，该装置对酸性废气吸收效率327、为 8495%，酸性废气经洗涤塔处理达标后排入大气。（2）碱性废气：碱性废气主要来源于硅片清洗、显影等工序，主要成分为氨。项目拟设置酸9液喷淋塔对碱性废气进行处理，处理后由 33m 排气筒排放。碱性废气处理系统主要由废气洗涤塔、通风机、排气管和加药系统等组成。废气先由排气管道输入废气洗涤塔，酸液经回圈喷洒而下，形成雾状，含碱废气经废气洗涤塔处理利用硫酸溶液作中和吸收液净化含碱废气。（3）有机废气：有机废气主要来源于硅片清洗、涂胶、去胶等工序，主要成份为有机溶剂，主要污染物为 VOCs。项目拟设置活性炭吸附塔或依托原有活性炭吸附塔对有机废气进行处理，并依托原有的 RTO 系统进行脱附处理，最后由328、 33m 排气筒排放。（4）工艺尾气：热氧化、化学气相沉积的工艺尾气、干法刻蚀的工艺尾气经过燃烧水洗后进入碱液喷淋塔，最后通过酸性废气排放系统外排；离子注入的工艺尾气（含砷）通过两级干式吸附后通过酸性废气喷淋洗涤塔处理后再通过排气筒外排。（5）锅炉废气：厂区内已建 2 台低氮燃烧燃气锅炉，目前为一用一备。本项目启用备用锅炉作为热源，单台锅炉热功率 2500KW，天然气使用量 263m3/h。本项目锅炉运行时间约为每天工作14 小时，年工作 300 天。锅炉采用低氮燃烧技术，烟气中主要污染物为二氧化硫、氮氧化物、颗粒物，通过 25m 高排气筒排放。具体废气来源及设计处置情况见下表。表表 3-1 329、废气产生情况及涉及处置情况废气产生情况及涉及处置情况废气名称废气名称污染物污染物处置措施处置措施槽式清洗机的酸性废气HF、NOx、HCl、H2SO4等3 套酸性废气喷淋洗涤塔+1 个 33m 高排气筒金属溅射台、钨 CVD 设备、立式扩散炉、二氧化硅刻蚀机、金属刻蚀机、钨刻蚀机、多晶刻蚀机等产生的酸性废气、工艺尾气惰性气体、氟化物、HCl、Cl2等设备内置的燃烧水洗工艺+活性炭吸附+接入酸性废气处理系统（酸性废气喷淋洗涤塔+33m 高排气筒）离子注入机产生的工艺尾气（含砷）AsH3、As2O5、As 等设备内置的干式吸附工艺+活性炭吸附+接入酸性废气处理系统（酸性废气喷淋洗涤塔+33m 高排气330、筒）涂胶显影机和槽式清洗机产生的碱性废气NH31 套碱性废气喷淋洗涤塔+33m 高排气筒涂胶显影机和去胶机产生的有机废气VOCs活性炭吸附/依托原有的活性炭吸附+依托原有的有机废气处理系统（RTO 系统脱附+33m 高排气筒）燃气锅炉产生的废气SO2、NOx、颗粒物低氮燃烧器+25m 高排气筒3.2 大气污染物排放源强大气污染物排放源强3.2.1 有组织排放有组织排放（1）本项目的生产工序的排气筒源强类比本公司同厂房已建项目的现有排气筒竣工验收数据和日常污染源监测数据，类比可行性分析如下表所示：10表表 3-2 废气排放源强类比可行性分析废气排放源强类比可行性分析废气种类同厂房已建项目（集成电331、路成套装备国产化集成及验证平台建设项目（一期）本项目生产工序原辅材料环保设施生产工序原辅材料环保设施酸性废气刻蚀、酸洗氢氟酸、盐酸、硫酸碱液洗涤塔刻蚀、酸洗氢氟酸、盐酸、硫酸碱液洗涤塔碱性废气显影、碱洗氨水酸液洗涤塔显影、碱洗氨水酸液洗涤塔有机废气涂胶、有机洗异丙醇、光刻胶活性炭吸附+RTO 系统脱附涂胶、有机洗异丙醇、光刻胶活性炭吸附+RTO 系统脱附工艺尾气热氧化、化学沉积氯气、六氟化硫等经工艺尾气装置处理后排入酸性废气处理系统热氧化、化学沉积氯气、六氟化硫等经工艺尾气装置处理后排入酸性废气处理系统由上表可知，本项目与已建项目所排废气涉及的原辅材料、工艺、环保设施基本相同，因此，具备类比可332、行性。本公司已建项目产能为 2.4 万片/年，扩建后全厂产能为 60 万片/年，同类工艺产生的污染物排放量同比增加，本扩建项目污染物排放量按照单位产品产量对应污染物排放量进行核算。本公司同厂房已建项目现有排气筒的竣工验收数据如下：表表 3-3 现有排气筒竣工验收数据现有排气筒竣工验收数据采样点位检测项目检测结果标准限值2021.10.122021.11.1第一次第二次第三次第一次第二次第三次G1 酸性废气排气筒出口标干流量（Nm3/h）229392074021841208032193820789/氮氧化物实测浓度（mg/m3）3.573.243.653.573.283.71240排放速率（kg333、/h）0.0810.0670.0800.0750.0720.0775.33标干流量（Nm3/h）229392074021841208032193820789/氯化氢实测浓度（mg/m3）0.050.070.060.060.080.08100排放速率（kg/h）0.00100.00150.00130.00120.00190.00161.76标干流量（Nm3/h）229392074021841208032193820789/氯气实测浓度（mg/m3）0.050.080.070.090.070.0865排放速率（kg/h）0.00120.00160.00150.00200.00150.00161.48标干流量（Nm3/h）218752294120745219282078921936/硫酸雾实测浓度（mg/m3）0.170.220.200.210.190.2045排放速率0.00360.00490