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半导体技术公司集成电路封装测试研发及产业化项目(一期)环境影响报告表(83页)
半导体技术公司集成电路封装测试研发及产业化项目(一期)环境影响报告表(83页).pdf
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环评报告
上传人:Le****97 编号:891686 2024-01-25 83页 1.16MB
1、 3 建设项目环境影响报告表(污染影响类)项目名称:xxxx半导体技术有限公司集成电路 封装测试研发及产业化项目(一期)建设单位(盖章):xxxx半导体技术有限公司 编制日期:2021 年 11 月 2021 年 11 月 1 一、建设项目基本情况一、建设项目基本情况 建设项目建设项目名称名称 xxxx半导体技术有限公司集成电路封装测试研发及产业化项目(一期)项目代码项目代码 建设单位建设单位联系人联系人 联系方联系方式式 建建设设地点地点 地理坐标地理坐标 国民经济国民经济 行业类别行业类别 C3973 集成电路制造 建设项目建设项目 行业类别行业类别 三十六、计算机、通信和其他电子设备制造2、业第 103 条“电子器件制造”中“集成电路制造”建设性质建设性质 新建(迁建)改建 扩建 技术改造 建设项目建设项目 申报情形申报情形 首次申报项目 不予批准后再次申报项目 超五年重新审核项目 重大变动重新报批项目 项目审批项目审批(核准(核准/备案)部备案)部门(选填)门(选填)xx经济技术开发区经济发展局 项目审批(核准项目审批(核准/备案)文号(选备案)文号(选填)填)2108-340760-04-01-729908 总投资总投资(万元)(万元)30000(一期)环保投资(万元)环保投资(万元)400 环保投资环保投资占比(占比(%)1.33%施工工期施工工期 36 个月 是否开工是否3、开工建设建设 否 是:用地(用海)用地(用海)面积(面积(m m2 2)42815.82(厂房占地 18000m2)专项评专项评价设置价设置情况情况 无 2 规划情规划情况况 规划文件:xx省xx经济技术开发区总体规划(2013-2030),1993年5月xx省人民政府铜政秘93141号文批准为省级开发区;2011年4月,国务院办公厅批准为国家级开发区,规划面积为8km2,四至范围:东至华山大道(原石城北路),南至翠湖二路(原芜铜公路)、宁铜铁路,西至黄山大道、铜朱公路,北至翠湖六路(原环城北路)。规规划划环环境影境影响响评价情评价情况况 (1)规划环境影响评价文件:xxxx经济开发区规划环境4、影响报告书(2)召集审查机关:xx省生态环境厅(原xx省环保局)(3)审查文件名称及文号:关于xxxx经济开发区规划环境影响报告书审查意见的函(环评审20071229号),2007年12月25日 规划及规划及规划环规划环境影境影响响评评价符价符合性分合性分析析 1、规划符合性分析规划符合性分析 项目选址位于xx经济技术开发区西湖一路1588号(xx市xx新能源科技有限公司现有厂区),根据xx省xx经济技术开发区总体规划(2013-2030),xx省铜陵经济技术开发区功能定位为:皖江城市带具备创新和转型示范性的专业化国家级经济技术开发区、循环经济示范园区,xx市铜及铜基材料 产业科技创新、孵化中5、心,xx市港口-铁路-公路联运型现代物流基地,具有新城区性质的现代化工业新区。xx省xx经济技术开发区实施产业倍增计划。突出以科技创新为核心的全面创新,提升创新平台开发合作水平,努力建设世界级铜产业研发基地和长三角科技成果转化应用基地。抓住新一轮转型发展的历史机遇,依托铜基新材料和新能源汽车及零部件产业2个基地,全力打造助推经济转型升级的新航母;抓好电子信息、先进装备制造、精细化工3个战略性新兴产业集群的协调发展。(1)打造千亿铜基新材料产业。今后重点围绕产业链条的延伸和新产品的拓展,全力推进项目的高端化、规模化。在未来5年,铜基新材料产业整体水平达到国内领先,总产值突破1200亿。(2)打造6、百亿新能源汽车产业。目前经济开发区新能源汽车及零部件产业呈蓬勃发展态势。围绕汽车动力电池、驱动电机、电控系统关键零部件配套领域谋划项目,发挥龙头带动作用,形成产业集聚。力争在未来5年,实现产值超过100亿。(3)打造50亿级电子信息产业。重点围绕手机及关联产业、动力电池用薄 3 膜、高精密LED支架等领域谋划和推进项目,力争形成50亿规模的电子信息产业集聚区。(4)打造50亿级先进装备制造产业。未来将重点推进模具、测控等领域成套装备智能化、柔性化升级,推进传统企业信息化改造,加快先进装备制造业的集聚,力争形成50亿的产业规模。(5)打造50亿级精细化工产业。今后将重点发展重大疾病防治生物技术药7、物等创新药物大品种,推进生物制药关键技术开发,引进新项目。力争在未来5年形成产值50亿元的精细化工产业集群。本项目租用工业厂房,属于“计算机、通信和其他电子设备制造业”中的集成电路制造,与园区规划“打造50亿级电子信息产业”相契合。2、规划环评及审查意见符合性分析规划环评及审查意见符合性分析 结合规划环评审查意见,本项目与其相符性主要见表1-1。表表1 1-1 1 项目建设与园区规划环评审查意见的相符性项目建设与园区规划环评审查意见的相符性 序号 审查意见 项目概况 符合性 1 按照开发区产业功能定位,进一步优化开发区内产业结构,严格限制非开发区产业定位方向的项目入区建议,国家产业政策、技术政8、策和环保法律法规策命令禁止的项目不得入区建设。本项目属于“计算机、通信和其他电子设备制造业”中的集成电路制造,属于开发区的主导产业(电子信息产业)之一,不属于国家产业政策、技术政策和环保法律法规政策禁止建设的项目。符合 2 开发区实行雨污分流,加快污水管网等配套工程建设进度,完善环保基础设施,污水进入西湖污水处理厂集中处理前,所有入区的工业企业污水必须达标排放;西湖污水处理厂投入运行后,工业企业污水必须达到接管标准,开发区内所有排污口停止使用。由于xx经济技术开发区排水管线调整,园区内企业排水去向最终均进城北污水处理厂。本项目污水排放达到城北污水处理厂接管标准,通过市政污水管网进入城北污水处理9、厂进一步处理。本项目在城北污水处理厂纳管范围内。符合 3 开发区内危险废物的收集、贮存应符合危险废物贮存污染控制标准(GB18697-2001)的规定要求。项目按要求设置危废间(100m2),用于危废暂存,建立危险废物环境管理台账和信息档案,严格执行危险废物转移联单管理办法。符合 4 加强环境监督管理,工业园内所有建设项目,要认真履行有关环境保护法律法规,严格执行建设项目环境影响评价制度和环境保护“三同时”制度。项目认真履行有关环境保护法律法规,严格执行建设项目环境影响评价制度和环境保护“三同时”制度 符合 5 规划实施中新增污染物排放总量应按有关污染物排放总量控制的要求,在xx市污染物排放总10、量消减计划中予以落实。本项目废水COD和氨氮污染物排放总量纳入城北污水处理厂总量指标,需申请0.145t/aVOC排放总量指标。符合 4 其他符其他符合合性性分分析析 1、选址合理性选址合理性、及及与周边与周边环境相容性环境相容性分析分析(1)本项目租用xx市xx新能源科技有限公司现有厂区,位于xx经济技术开发区西湖一路 1588 号,本项目所在地土地使用用途为工业用地,未改变原有用地性质,符合用地性质的要求。对照国土资源部、国家发改委关于发布实施限制用地项目目录(2012 年本)和禁止用地项目目录(2012 年本)的通知,本项目不在限制用地项目目录和禁止用地项目目录内。(2)根据xx市环境功11、能区划,项目选址区地表水体(xx和小汊江)功能为 III 类水;空气环境功能为二类区,声环境功能为 3 类区,根据现场勘查,项目周边 500m 范围内无居民点。同时项目在营运过程中排放的污染物均采取有效措施治理后达标排放,满足环保要求,对周边环境影响较小,不会改变区域环境质量功能区划。综上分析本项目选址基本可行。2、“三线一单三线一单”相相符性符性(1)生态红线 xx省划定并严守生态保护红线实施方案中规定“将生态功能重要区域和生态环境敏感区域进行叠加合并,并与以下保护地进行校验,形成生态保护红线空间叠加图,确保划定范围涵盖国家级和省级禁止开发区域,以及其他有必要严格保护的各类保护地”。本项目位12、于xx经济技术开发区西湖一路 1588 号(铜陵市xx新能源科技有限公司现有厂区)(地理坐标东经 117 度 49 分 58.688 秒,北纬 30 度 59 分 41.802 秒),对照xx市生态保护红线区域分布图,项目不在生态保护红线范围内,且项目远离国家级和省级禁止开发区域、以及其他有必要严格保护的各类保护地。见附图 3。(2)环境质量底线 a、根据xx省生态环境厅于 2021 年发布的2020 年xx省环境状况公报中的数据,xx市环境空气污染物六项基本项目,均满足 GB3095-2012环境空气质量标准及 2018 年修改单中二级标准。因此,项目所在区域为达标区。项目营运期有组织废气主13、要为上芯烘干、塑封产生的废气,主要污染物为VOC,以及电镀线产生的酸雾(主要污染物为硫酸雾和甲基磺酸雾);无组织废气主要为上芯烘干和塑封工序未被收集的 VOC,以及电镀线未被收集的硫酸雾和甲基磺酸雾。采取镀锡线、上芯烘干、塑封、激光打标等设备全密闭,并负压 5 收集,减少废气无组织排放;上芯烘干和塑封废气均经“一级活性炭纤维吸附+一级活性炭吸附”处理装置处理;电镀废气经酸雾喷淋塔处理;总体上不会降低评价区域大气环境质量现有功能级别。b、xx和小汊江监测因子均满足 GB3838-2002地表水环境质量标准中类标准,表明地表水环境现状良好,具有一定的环境容量。本项目生活污水(经化粪池+隔油池预处理14、);纯水制备浓水 69.12t/d 回用于去溢料工序,167.04t/d 进城北污水处理厂;冷却系统置换废水和进城北污水处理厂;磨片废水和划片废水经磨划片废水处理系统处理后进电镀废水处理系统的中间水箱(2)进一步后续处理;电镀废水中,其中去氧化物槽置换液、中和 2 槽置换液、软化清洗水经中和调节后进电镀废水处理系统酸性、碱性有机废液处理装置(采取“酸化+还原+氧化+絮凝沉淀”处理工艺)处理后,进电镀废水处理系统锡化废水处理装置进一步处理;电镀清洗废水、退镀清洗废水、去溢料废水、中和 1 槽液、中和清洗水、去氧化清洗水、地面冲洗废水、酸雾吸收废水、处理后的酸碱废水经电镀废水处理系统锡化废水处理装15、置(采取“PH 调节+重捕+絮凝沉淀+多介质过滤+活性炭过滤”处理工艺)处理后进城北污水处理厂。总体上不会改变区域地表水环境质量功能级别。c、根据现状监测数据:厂区厂界声环境质量均满足 GB3096-2008声环境质量标准中 3 类标准,声环境质量现状较好;本项目各设备噪声经隔声降噪和距离衰减后,厂界噪声不超标,对周围环境影响较小。综上所述,本项目各类污染物均能达标排放,各类固废均能合理处理处置,对所在区域的环境影响甚微,不会突破环境质量底线。(3)资源利用上线 本项目运营期间供水来自市政供水管网,用电来自市政供电系统;本项目建成后通过内部管理、设备选择、污染治理等多方面采取合理可行的防治措施16、,以“节能、降耗、减污”为目标,有效控制污染,项目的水、电等资源利用不会突破区域的资源利用上线要求。(4)环境准入清单 本项目为芯片的封装测试,根据国家发改委 产业结构调整指导目录(2019年本),本项目属于鼓励类二十八项“信息产业”中第 19 条:“集成电路设计,线宽 0.8 微米以下集成电路制造”项目;且xx经济技术开发区经济发展局于 6 2021 年 8 月对本项目进行了备案。因此,本项目的建设符合相关产业政策的规定。根据推动xx经济带发展领导小组办公室 2019 年第 89 号文发布的xx经济带发展负面清单指南(试行)一文,禁止在生态保护红线和永久基本农田范围内投资建设除国家重大战略资17、源勘查项目、生态保护修复和环境治理项目、重大基础设施项目、军事国防项目。禁止在xx干支流1 公里范围内新建、扩建化工园区和化工项目。禁止在合规园区外新建、扩建钢铁、石化、化工、焦化、建材、有色等高污染项目。本项目距离xx4810m、小汊江 3120m,不涉及生态保护红线和基本农田;因此本项目不属于xx经济带发展负面清单项目。综上,本项目符合“三线一单”要求。3、与中华人民共和国xx保护法(与中华人民共和国xx保护法(2021.3.1)符合性)符合性分析分析 表表 1-2 与中华人民共和国xx与中华人民共和国xx保护法保护法符合性分析符合性分析一览表一览表 相关内容摘要 项目概况 符合性 第三条18、xx流域经济社会发展,应当坚持生态优先、绿色发展,共抓大保护、不搞大开发;xx保护应当坚持统筹协调、科学规划、创新驱动、系统治理。第四条国家建立xx流域协调机制,统一指导、统筹协调xx保护工作,审议xx保护重大政策、重大规划,协调跨地区跨部门重大事项,督促检查xx保护重要工作的落实情况。拟建项目位于xx省铜陵市经开区,厂址距长江xx段最近距离约4810m,符合严禁1公里范围内新建项目的相关要求。符合 禁止在xx干流一公里范围内新建、扩建化工园区和化工项目。禁止在xx干流岸线三公里范围内和重要支流岸线一公里范围内新建、改建、扩建尾矿库;但是以提升安全、生态环境保护水平为目的的改建除外。4、与皖发19、与皖发202119 号文相关内容号文相关内容的的符符合性分析合性分析 本项目为新建项目,对照中共xx省委xx省人民政府关于全面打造水清岸绿产业优美丽xx(xx)经济带的实施意见(升级版)(皖发 2021 19 号,2021 年 8 月 9 日)中关于新建项目相关要求的符合性分析如下:表表 1-3 与皖发与皖发202119 号文符合性分析号文符合性分析 序号 文件要求 本项目情况 符合性 1 严禁 1 公里范围内新建化工项目。xx干支流岸线 1 公里范围内,严禁新建、扩建化工园区和化工项目。已批未开工的项目,依法停止建设,支持重新选址。已经开工建设的项目,严格进行检查评估,不符合岸线规划和环保、20、安全要求的,全部依法依规停建搬迁。本项目为集成电路的封装测试,属于半导体产业。距离xx干流 4810m,支流小汊江 3120m,不在xx干流及主要支流岸线1km 范围内。符合 2 严控 5 公里范围内新建重化工重污染项目。本项目距离xx干流符合 7 xx干流岸线5 公里范围内,全面落实xx岸线功能定位要求,实施严格的化工项目市场准入制度,除提升安全、环保、节能水平,以及质量升级、结构调整的改扩建项目外,严控新建石油化工和煤化工等重化工、重污染项目。严禁新建布局重化工园区。合规化工园区内,严禁新批环境基础设施不完善或长期不能稳定运行的企业新建和扩建化工项目。4810m;本项目为集成电路的封装测试21、,属于半导体产业,不属于煤化工及石油化工重污染、重化工项目。本项目为新建项目,产生的污染物均能得到有效处理。3 严管 15 公里范围内新建项目。xx干流岸线15 公里范围内,严把各类项目准入门槛,严格执行环境保护标准,把主要污染物和重点重金属排放总量控制目标作为新(改、扩)建项目环评审批的前置条件,禁止建设没有环境容量和减排总量项目。在岸线开发、河段利用、区域活动和产业发展等方面,严格执行xx经济带发展负面清单指南(试行)xx省xx经济带发展负面清单实施细则(试行)。实施备案、环评、安评、能评等并联审批,未落实生态环保、安全生产、能源节约要求的,一律不得开工建设。本项目距离xx干流4810m,22、在xx干流15km 范围内。本项目外排污染物均为常规污染因子,不涉及重点重金属,且均有环境容量。本项目不属于减排总量项目。符合 5、与xx省人民政府关于印发xx省打赢蓝天保卫战三年行动计划实施与xx省人民政府关于印发xx省打赢蓝天保卫战三年行动计划实施方案的通知方案的通知(皖发皖发201883 号号)相符性相符性分析分析 表表 1-4 与皖发与皖发201883 号文符合性分析号文符合性分析 分类分类 文件文件要求要求 本项目情况本项目情况 符合符合性性 二、调整优化产业结构,推进产业绿色发展(三)优化产业布局:完成生态保护红线、环境质量底线、资源利用上线、环境准入清单编制工作,明确禁止和限制发23、展的行业、生产工艺和产业目录。严格执行国家高耗能、高污染和资源型行业准入条件,环境空气质量未达标城市应制定更严格的产业准入门槛。积极推行区域、规划环境影响评价,新、改、扩建钢铁、石化、化工、焦化、建材、有色等项目的环境影响评价,应满足区域、规划环评要求。本项目不在生态红线范围内,根据分析,项目符合“三线一单”相关要求 符合(五)强化“散乱污”企业综合整治:全面开展“散乱污”企业及集群综合整治行动。根据国家规定,细化“散乱污”企业及集群整治标准。实行拉网式排查,建立管理台账。按照“先停后治”的原则,实施分类处置。列入关停取缔类的,基本做到“两断三清”(切断工业用水、用电,清除原料、产品、生产设备24、);列入整合搬迁类的,要按照产业发展规模化、现代化的原则,搬迁至合规工业园区并实施升级改造;列入升级改造类的,树立行业标杆,实施清洁生产技术改造,全面提升污染治理水平。建立“散乱污”企业动态管理机制,坚决杜绝“散乱污”企业项目建设和已取缔的“散乱污”企业异地转移、死灰复燃。以上工作任务 2019 年底前全面完成。本项目为新建项目,符合相关要求 符合 8 七、强化区域联防联控,有效应对重污染天气 强化长三角区域大气污染联防联控工作。实施 长三角区域空气质量改善深化治理方案(20172020 年),全面完成各项大气污染治理任务。完善区域协作工作机制,落实长三角区域大气环境监测预报、应急联动、标准统25、一、信息共享、联合执法、科研合作、重大活动保障等方面协作重点工作。积极参与区域重污染天气联合应对工作。本项目废气均达标排放,项目产生的废气对周围环境主影响较小 符合 6、与与长长三三角角地区地区 2020-2021 年秋冬季大气污染综合治理攻坚行动方案年秋冬季大气污染综合治理攻坚行动方案相符性相符性分析分析 对照长三角地区 2020-2021 年秋冬季大气污染综合治理攻坚行动方案第十三条,强化扬尘管控,加强施工扬尘控制,严格执行城市施工过程“六个百分之百”。将因施工扬尘污染受到行政处罚或行政处理的信息纳入建筑市场信用管理体系,情节严重的,列入建筑市场主体“黑名单”。强化道路扬尘管控,提高城市道26、路水洗机扫作业比例,加大各类工地、物料堆场、渣土消纳场等出入口道路清扫保洁力度,鼓励建设智慧道路扬尘在线监控系统。加强堆场、码头扬尘污染控制,全面推进主要港口大型煤炭和矿石码头堆场、干散货码头物料堆场围挡、苫盖、自动喷淋等抑尘设施,物料输送装置吸尘、喷淋等防尘设施建设。拟建项目施工期按照xx省施工扬尘防治管理办法、xx市大气污染防治行动计划实施方案、防治城市扬尘污染技术规范、清洁城市空气行动方案具体要求,做到“六不开工”,“三个 100%”。即审批手续不全不开工,围档不合要求不开工,地面硬化不达标不开工,冲洗排放设备不到位不开工,保洁人员不到位不开工,不签订市容环境卫生责任书不开工;工地内非施27、工区裸土覆盖率 100%,工程车辆驶离工地车轮冲洗率 100%,暂不建设地绿化率 100%。拟建项目采取的措施符合长三角地区 2020-2021 年秋冬季大气污染综合治理攻坚行动方案的要求。7、与与“十三五”挥发性有机物污染防治工作方案(环大气“十三五”挥发性有机物污染防治工作方案(环大气2017121 号)、号)、xxxx省大气办关于印发省大气办关于印发的通知的通知(皖大气办皖大气办20195 号号)、重点行业挥发性有机物综合治理方案、重点行业挥发性有机物综合治理方案、2020 年挥发性年挥发性有机物治理攻坚方案有机物治理攻坚方案相符性相符性分析分析 9 表表 1-5 与其他相关政策符合性分28、析与其他相关政策符合性分析符合性分析符合性分析 政策名称政策名称 相关要求相关要求 符合性符合性分析分析 相符性相符性 十三五”挥发性有机物污染防治工作方案 新建涉 VOCs 排放的工业企业要入园区。严格涉 VOCs 建设项目环境影响评价,实行区域内 VOCs 排放等量或倍量削减替代,并将替代方案落实到企业排污许可证中,纳入环境执法管理。新、改、扩建涉 VOCs排放项目,应从源头加强控制,使用低(无)VOCs 含量的原辅材料,加强废气收集,安装高效治理设施。项目选址位于xx经济技术开发区内,镀锡线、上芯烘干、塑封、激光打标等设备全密闭,并负压收集,减少废气无组织排放;上芯烘干和塑封废气均经“一29、级活性炭纤维吸附+一级活性炭吸附”处理装置处理,项目产生的有机废气可以做到稳定达标排放。符合 大力推广使用高固体分涂料,到2020 年底前,使用比例达到 50%以上。大力推广高压无气喷涂、空气辅助无气喷涂、热喷涂等涂装技术,限制空气喷涂使用。逐步淘汰钢结构露天喷涂,推进钢结构制造企业在车间内作业,建设废气收集与治理设施。符合 xx省大气办关于印发2020 年xx省大气污染防治重点工作任务的通知 推广使用低 VOCs 含量涂料、油墨、胶粘剂;加强含 VOCs 物料储存、转移和输送、设备与管线组件泄漏、敞开液面逸散以及工艺过程等 VOCs 无组织排放管控:加强执法监管,重点检查有机溶剂使用量较大、30、使用低温等离子、光氧化等低效治理技术等的企业,不能稳定达标排放 符合 重点行业挥发性有机物综合治理方案(二)全面加强无组织排放控制。含 VOCs 物料生产和使用过程,应采取有效收集措施或在密闭空间中操作。通过采用全密闭、连续化、自动化等生产技术,以及高效工艺与设备等,减少工艺过程无组织排放。提高废气收集率。遵循“应收尽收、分质收集”的原则,科学设计废气收集系统,将无组织排放转变为有组织排放进行控制。采用全密闭集气罩或密闭空间的,除行业有特殊要求外,应保持微负压状态,并根据相关规范合理设置通风量。镀锡线、上芯烘干、塑封、激光打标等设备全密闭,并负压收集,减少废气无组织排放;上芯烘干和塑封废气均经31、“一级活性炭纤维吸附+一级活性炭吸附”处理装置处理。符合(三)推进建设适宜高效的治污设施。企业新建治污设施或对现有治污设施实施改造,应依据排放废气的浓度、组分、风量,温度、湿度、压力,以及生产工况等,合理选择治理技术。鼓励企业采用多种技术的组合工艺,提高 VOCs 治理效率。采用一次性活性炭吸附技术的,应项目上芯烘干和塑封废气均经“一级活性炭纤维吸附+一级活性炭吸附”处理装置处理。废活性炭等危废收集后委托有危废处置资质单位进行处理。符合 10 定期更换活性炭,废旧活性炭应再生或处理处置。规范工程技术。采用吸附处理工艺的,应满足吸附法工业有机废气治理工程技术规范要求。进入活性炭吸附装置的废气风速32、和温度能够满足吸附法工业有机废气治理工程技术规范要求。符合 严格涉 VOCs 建设项目环境影响评价,实行区域内 VOCs 排放等量或倍量削减替代,并将替代方案落实到企业排污许可证中,纳入环境执法管理。新、改、扩建涉 VOCs 排放项目,应从源头加强控制,使用低(无)VOCs 含量的原辅材料,加强废气收集,安装高效治理设施。项目选址位于xx经济技术开发区内,镀锡线、上芯烘干、塑封、激光打标等设备全密闭,并负压收集,减少废气无组织排放;上芯烘干和塑封废气均经“一级活性炭纤维吸附+一级活性炭吸附”处理装置处理,项目产生的有机废气可以做到稳定达标排放。符合 2020 年挥发性有机物治理攻坚方案 以石化33、化工、工业涂装、包装印刷和油品储运销等为重点领域,以工业园区、企业集群和重点企业为重点管控对象,全面加强对光化学反应活性强的 VOCs 物质控制;坚持达标监管和帮扶指导相统一,加强技术服务和政策解读,强化源头、过程、末端全流程控制,引导企业自觉守法、减污增效;坚持资源节约和风险防控相协同,大力推动低(无)VOCs 原辅材料生产和替代,全面加强无组织排放管控,强化精细化管理,提高企业综合效益。项目上芯烘干和塑封废气均经“一级活性炭纤维吸附+一级活性炭吸附”处理装置处理。项目产生的废气可以做到稳定达标排放。11 二、建设项目工程分析二、建设项目工程分析 建设建设内容内容 1 1、项目背景及任务由34、来项目背景及任务由来 我国集成电路市场增长的主要动力来自于汽车电子、工业控制、消费电子以及通信设备等市场,在国内市场强劲需求的推动下,我国集成电路产业整体保持平稳较快增长,开始迎来发展的加速期。作为中国半导体产业的重要组成部分,半导体封装业在近几年同样保持了稳定快速发展的势头。在半导体行业,产业化分工基本分为:研发设计、晶圆流片、封装测试、销售等四大环节。而晶圆流片基本上是一些国际大公司在做,为了降低生产成本,国际半导体制造商以及封装测试代工企业纷纷将其封装产能转移至中国,从而直接拉动了中国半导体封装产业规模的迅速扩大。同时,中国芯片制造规模的不断扩大以及巨大且快速成长的终端电子应用市场也极大35、地推动了中国半导体封装产业的成长。封装测试业产值约占整个半导体产业的 50-60%,市场前景广阔。本项目已于 2021 年 7 月 6 日通过xx经济技术开发区经济发展局备案,项目编码为:2108-340760-04-01-729908;该项目分三期建设,本次评价只针对一期,一期投资 30000 万元。2 2、建设内容及规模建设内容及规模 本项目占地面积 42815.82m2(厂房占地 18000m2);一期主要建设内容为:通过购置磨片机、划片机、debonder(装片机)、Wrebonder(焊线机)、塑封模具架上料机、表面镀锡设备、切筋分离系统等设备,建设 QSOP24、ESOP8、SOP36、16、SOP8、QFN 等系列产品封测形式产线,配套建设 4 条镀锡生产线,形成年封 45亿颗、集成电路线宽小于等于 0.8 微米集成电路芯片的生产能力;并完善厂区的雨污管网等环保工程。表表2-1 项目项目一期工程一期工程主要建设内容一览表主要建设内容一览表 此处保密此处保密 3 3、产品方案产品方案 本项目主要从事集成电路封装,产品型号包括 QSOP24、SOP16、ESOP8、SOP8、QFN 等系列产品,具体产品方案见表 2-2。12 表表 2-2 产品方产品方案案一一览览表表 产品名称 集成电路芯片 型号 QSOP24 SOP16 ESOP8 SOP8 QFN 其他 生产规模 15 亿37、颗/年 8 亿颗/年 11 亿颗/年 2 亿颗/年 2 亿颗/年 7 亿颗/年 本项目集成电路封装过程中,对塑封后裸漏的电路引线进行电镀镀锡处理,以防止氧化、以增加引脚抗蚀性,提高可焊性。本项目产品型号包括 QSOP24、SOP16、ESOP8、SOP8、QFN 等系列产品,引线框架载体长度 237mm270mm,取平均值为长度约 250mm,宽度 71mm83mm,取平均值宽度约 75mm,单片引线框架电镀面积约 0.01875m2,单片引线框架经分切后平均可产生 250 只芯片,项目共使用引线框 1800 万片,电镀锡总面积约 67.5 万 m2。电镀层厚度 7-15um,平均厚度 10u38、m。表表 2-3 集成电路参数集成电路参数一览表一览表 产品名称 型号 规格 单个框架装芯片数 框架数(个/年)脚距(mm)脚数 引脚形状 集成电路芯片 QSOP24 0.65 24 海鸥脚 200 750 万 SOP16 1.27 16 海鸥脚 240 333 万 ESOP8 1.27 8 海鸥脚 432 255 万 SOP8 1.27 8 海鸥脚 432 46 万 QFN 0.5 24 隐形平面脚 1020 19.6 万 其他 根据需要 根据需要 根据需要 根据需要 3、项目主要、项目主要原辅原辅材料、能源消耗材料、能源消耗 本项目原辅材料、能源消耗分别见下表:表表 2-4 项目主要原辅料39、及项目主要原辅料及能源能源消耗消耗一一览览表表 此处保密此处保密 晶圆晶圆:是指制作硅半导体积体电路所用的硅晶片,其原始材料是硅。高纯度的多晶硅溶解后掺入硅晶体晶种,然后慢慢拉出,形成圆柱形的单晶硅。硅晶棒在经过研磨,抛光,切片后,形成硅晶圆片。Cas.no7440-21-3,具有灰色金属光泽的晶体。溶于氢氟酸和硝酸的混酸中,不溶于水、硝酸和盐酸。沸点 2355,熔点 1410,饱和蒸汽压 0.13(1724),相对密度(水=1)2.30(20)。单晶硅具有准金属的物理性质,有较弱的导电性,其电导率随温度的升高而增加,有显著的半导电性。蓝膜:蓝膜:晶圆切割xx保护膜,为半导体晶圆厂做晶圆切割或40、基板切割、背面研磨、减薄制程中所使用保护表面回路的保护膜,PVC 材质,有带 PET 离型膜,可在无尘室内使用。粘度适中,厚度在 0.75-0.08MM,透光率达到 30。银银浆浆:银白色粉末,主要成分为银粉,由环氧树脂(12%)、银粉(81%)、乙酸丁酯(6%)以及其他助剂(1%)组成;蒸气压:0.13kPa(1284);熔点 660;13 沸点 2056;不溶于水,溶于碱、盐酸、硫酸,相对密度 2.70;主要用于颜料、油漆和烟花等,也用于冶金工业。由高纯度的(99.9%)金属银的微粒、粘合剂、溶剂、助剂所组成的一种机械混和物的粘稠状的浆料。导电银浆对其组成物质要求是十分严格的。其品质的高低41、含量的多少,以及形状、大小对银浆性能都有着密切关系。塑封料:塑封料:一种白色无定性粉末,主要成分为二氧化硅,由环氧树脂(25%)、二氧化硅(70%)、固化剂磷系化合物(2%)以及阻燃剂(3%)组成;熔点与沸点较高,不溶于水、酸等溶剂,能溶于氢氟酸。环氧树脂环氧树脂:是分子中含有两个以上环氧基团的一类聚合物的总称。它是环氧氯丙烷与双酚 A 或多元醇的缩聚产物。由于环氧基的化学活性,可用多种含有活泼氢的化合物使其开环,固化交联生成网状结构,因此它是一种热固性树脂。熔点:145-155;-18闪点23,易燃,遇明火、高热能燃烧;溶于丙酮、乙二醇和甲苯等。环氧树脂阻燃性能较差,为改善其阻燃性能,通常42、在环氧树脂中加入卤素和磷,磷系阻燃剂具有低烟、低毒和低添加量的优点,含磷阻燃剂(即含磷的环氧固化剂)通过固化反应将阻燃性基团与树脂的环氧基开环反应引入磷基团,形成含磷环氧树脂,具有优异的阻燃性和热稳定性,塑化过程中不分解,无污染物产生。聚聚碳酸酯碳酸酯:是一组化学结构中含有碳酸酯基团的热塑性聚合物。聚碳酸酯的玻璃态转变温度约为 147(297;420 K),因此它在此点以上逐渐变软,并在超过大约155(311;428 K)时开始流动。工具必须保持高温,一般高于80(176;353 K)以制造无应变和无应力的产品。低分子量聚碳酸酯比高分子量的更容易成型,但其强度较低。最坚硬的聚碳酸酯具有最高的分43、子量,但其加工难度更大。聚碳酸酯主要因其综合安全特性而电子应用中使用。聚碳酸酯是一种良好的电绝缘材料,具有耐热和阻燃性能,它被用于电气和电信硬件相关的各种产品中。它也可以作为高稳定性电容器的电介质。聚苯乙烯聚苯乙烯:是指由苯乙烯单体经自由基加聚反应合成的聚合物,是一种无色透明的热塑性塑料。具有高于 100的玻璃转化温度,非晶态密度 1.041.06 克/立方厘米,晶体密度 1.111.12 克/立方厘米,熔融温度 240,降解:280,电阻率为 10201022 欧厘米。导热系数 30时 0.116 瓦/(米开)。通常的聚苯乙烯为非晶态无规聚合物,具有优良的绝热、绝缘和透明性,长期使用温度0744、0,14 但脆,低温易开裂。此外还有全同和间同以及无规立构聚苯乙烯。全同聚合物有高度结晶性,间同聚合物有部分结晶性。氢氧化钠:俗称烧碱、火碱、苛性钠,常温下是一种白色晶体,具有强腐蚀性。易溶于水,其水溶液呈强碱性,能使酚酞变红。相对密度 2.13,熔点 318,沸点1390。氢氧化钠是一种极常用的碱,在空气中易吸收水蒸气,对其必须密封保存,且要用橡胶瓶塞。广泛应用于污水处理剂、基本分析试剂配制分析用标准碱液、少量二氧化碳和水分的吸收剂、酸的中和钠盐制造。硫酸:硫酸是一种最活泼的二元无机强酸,能和绝大多数金属发生反应。高浓度的硫酸有强烈吸水性,可用作脱水剂,碳化木材、纸张、棉麻织物及生物皮肉等含45、碳水化合物的物质。与水混合时,亦会放出大量热能。其具有强烈的腐蚀性和氧化性,故需谨慎使用。是一种重要的工业原料,可用于制造肥料、药物、炸药、颜料、洗涤剂、蓄电池等,也广泛应用于净化石油、金属冶炼以及染料等工业中。常用作化学试剂,在有机合成中可用作脱水剂和磺化剂。熔点 10.37,沸点 337,密度 1.8305 g/cm。碳酸钠:又叫纯碱、苏打。熔点:851。碳酸钠易溶于水和甘油。碳酸钠的水溶液呈强碱性(pH=11.6)且有一定的腐蚀性,能与酸发生复分解反应,也能与一些钙盐、钡盐发生复分解反应。它是一种重要的有机化工原料,主要用于平板玻璃、玻璃制品和陶瓷釉的生产。还广泛用于生活洗涤、酸类中和以46、及食品加工等。甲基磺酸:又名甲烷磺酸、甲磺酸。分子式 CH4O3S,分子量 96.11。无色或微棕色油状液体,低温下为固体。熔点 20,沸点 167(13.33kPa),122(0.133kPa)。相对密度 1.4812(18),折射率 1.4317(16),饱和蒸汽压 0.13kpa(20)。LD50:无相关资料。溶于水、醇和醚,不溶于烷烃、苯、甲苯等,对沸水、热碱液不分解,对金属铁、铜和铅等有强烈腐蚀作用。可用于医药中间体,电镀,有机合成中间体。在电镀领域有着广泛的应用前景,已被证明是氟硼酸或酚磺酸的良好替代物。甲基磺酸盐电镀液已经应用到锡和锡铅合金电镀上,产品特点如下:甲基磺酸型的光亮纯47、锡电镀,镀层结晶细致,均匀,呈光亮银白色,具有良好的可焊性,适用于电子行业;该电镀液具有较高的电镀速度,较宽的电流密度范围,较快的沉积速度,极佳的深镀能力;经标准老化试验或长期存放后,仍能保持良好的焊接性能;不含氟硼酸,废水处理容易,腐蚀性低,利于环保。甲基磺酸锡:又名甲基磺酸亚锡,分子式 C2H6O6S2Sn,分子量 308.9,密度 1.55,15 熔点-27。主要用于电子电镀行业。急性毒性:LD50:2991mg/kg(大鼠经口),结构式:表表 2-5 银浆银浆与与胶粘剂挥发性有机化合物限量(胶粘剂挥发性有机化合物限量(GB33372-2020)符合性分析符合性分析 名称名称 组分组分 48、VOC 含量含量 VOC 限值限值 备注备注 银浆 银粉 65-75%,环氧树脂 10-20%,固化剂 510%,18g(5CC/5CC)51g/kg 100g/kg 成分报告见附件 7-2 参考 GB 33372-2020 表 3 中“装配业环氧树脂类”限值,本项目所用银浆符合胶粘剂挥发性有机化合物限量(GB33372-2020)的限值要求。4、主要、主要生产生产设备设备(1)本项目主要生产设备一览表,见表 2-6。表表 2-6 项项目目主要生产主要生产设设备备一览表一览表 此处保密此处保密(2)本项目主要设备产能匹配性分析,本项目采用直线型钢带式高速镀锡自动挂镀工艺,根据业主单位提供的设备49、设计参数,每条电镀生产线运行速度平均为 3 米/分钟、框架平均长度 250mm/条,单条生产线电镀加工量约 720 条/小时。本项目全年工作 300 天(7200 小时),单片引线框架经电镀处理后分切成型可产生产品平均约 250 只。电镀生产设备产能匹配性详见表 2-7。表表 2-7 项项目目主要生产主要生产设设备备生产能力生产能力一览表一览表 此处保密此处保密 由上表可知,电镀设备满负荷运行可完成集成电路封装 51.84 亿只/年,本项目设计生产规模为 45 亿只/年,设计生产规模占设备最大产能的 86.8%。因此项目电镀生产设备的生产能力满足生产需求。(3)电镀锡槽体及生产线操作条件,见表50、 2-8。表表 2-8 电镀锡电镀锡槽体及槽体及生产线操作条件一览表生产线操作条件一览表 此处保密此处保密 7 7、劳动定员及工作制度劳动定员及工作制度 劳动定员一期 500 人;项目年生产 300 天,三班制,每班 8 小时。8 8、总平总平面布面布置置合合理理性性分析分析 16 厂区总占地面积 42815.82 平方米,总建筑面积约 18000 平方米。出入口位于北面临西湖一路;厂区西面从北至南依次为 1厂房、2厂房、3厂房;办公楼位于厂区东北侧。1厂房内布置电镀车间、塑封烘箱区、软化区磨划片、化学品仓库;废水处理装置、酸雾塔位于 1厂房南面;2厂房为二期封测厂房(不在本次评价范围内);351、厂房一层布置装片及键合车间、磨片划片车间、装片烘箱房、塑封车间、打标及切筋车间;3厂房二层布置测试编带包装车间、烘烤室;危废库和初期雨水池、事故池位于 3厂房西面。考虑生产的特点,结合现有厂区的条件,本着尽可能节约用地的原则,力求做到流程合理、布置紧凑、运输通畅、管理方便。厂区平面布置情况详见附图 4、附图 5、附图 6、附图 7。工艺工艺流程流程和产和产排污排污环节环节 一一、施工期工艺流程施工期工艺流程 本项目施工期主要流程有以下几个阶段:基础工程、主体工程、设备安装工程、工程验收直至使用。本项目施工期建设流程及产污环节见下图。基础工程主体工程设备安装装饰工程工程验收噪声、扬尘、施工机械废52、气施工废水、建筑垃圾噪声、固废、装修废气 图图 2-1 施工建设流程及产污环节示意图施工建设流程及产污环节示意图 施工期污染源分析施工期污染源分析 1、废气 施工阶段的大气污染物主要为场地平整、基础工程及主体工程施工阶段产生的扬尘及施工机械排放的尾气。项目施工过程中,建筑材料、建筑垃圾装卸过程起尘及运输车辆往来造成的地面扬尘。据对施工现场的调查,扬尘污染一般来源于以下几方面:(1)土方挖掘、堆放、清运、回填及场地平整过程产生的扬尘;(2)装卸、运输、堆放建筑材料等过程中,因风力作用而产生扬尘;17 (3)搅拌车辆和运输车辆往来造成地面扬尘;(4)施工垃圾在其堆放过程和处理过程中产生扬尘。2、噪53、声 施工过程中使用施工机械设备,如挖掘机、推土机以及各种车辆等等,都是噪声的产生源。根据有关资料,主要施工机械产生的噪声源强见表 2-9。表表 2-9 主主要要施工机械施工机械的的噪声源强噪声源强 施工阶段 主要噪声源 距离源强5m处噪声 dB(A)施工阶段 主要噪声源 距离源强 5m 处噪声 dB(A)土石方 推土机 90 装修 电钻 95 挖掘机 95 切割机 90 载重机 90 吊车 95 翻斗车 90 升降机 90 结构 混凝振捣机 95/电锯 95 电焊机 90 3、废水 施工阶段的废水主要为施工人员的生活污水和施工废水。(1)生活污水 施工期期间,工地施工人员 15 人,生活污水按54、 50L/人 d(根据给排水设计手册),用水量为 0.75m3/d,以排放系数 0.8 计,则污水产生量约为 0.6m3/d。生活污水产生量较少,依托厂区现有化粪池处理后进污水管网。(2)施工废水 工程施工废水包括进出施工场地的车辆清洗废水等阶段产生的泥浆水等,主要污染物是 SS、石油类,水量较少。基本无有机污染物,经施工现场临时设置的排污沟收集,经隔油沉淀池处理后,处理后的废水用于施工现场洒水降尘,不外排。4、固体废物 施工现场应当设置固定的生活垃圾收集装置,禁止随意丢弃,防止雨水淋溶。统一收集的垃圾委托当地环卫部门外运处理。建筑垃圾主要是废建筑材料,如废混凝土块、废钢筋、砖块等。施工初期开55、挖、平整土地时会产生的废弃土石方。本项目不设永久弃渣场,但考虑各工程施工进度,挖方在转运过程中需要临时堆放,在施工现场选择平缓地带设临时弃渣场。临时堆放应严格按施工组织设计进行,如果无规则堆放会造成大面积土地被占用,失去原有的使用功能,使植被、景观等遭受破坏。因此,废弃土石方应由管理部门统一调 18 配,用于铺路、回填和其他地区的填方等再利用,不得随意抛出堆放侵压植被。施工时在充分回收利用的基础上,对固体废弃物进行分类收集,统一外运。建筑垃圾在堆放时,应当采取防雨和防尘措施,并对地面进行硬化处理,防止雨水淋溶后污染地下水。二、营运期工艺流程二、营运期工艺流程 本项目主要是将待封装的芯片进行封装56、镀锡、测试。烘干采用电加热。项目项目工艺流工艺流程简述程简述:1、来料质检:收到晶圆后先进行信息核对和外包装完整检验,晶圆批号、芯片型号、片数是否与委工单一致。本工序产生的不合格品(S1)由厂家回收利用。2、磨片:磨片前先将胶膜贴敷于晶圆正面(有电路面)再进行磨片,在磨片工序中起到保护作用;目测圆片与胶膜间有无异物、目测贴膜有无气泡、目测圆片有无裂片损伤、目测贴膜正反是否正确。晶圆是指硅半导体集成电路制作所用的硅晶片,由于其形状为圆形,故称为晶圆。本项目所用的主流硅片为 8 或 12 英寸,由于硅片尺寸直径不断增大,为了增加其机械强度,厚度也相应地增加,这就给后续的芯片切割带来了困难,所以在57、封装之前一定要对晶圆圆片进行减薄处理。硅片上电路层的有效厚度一般为 300um,为了保证其功能,有一定的衬底支持厚度,因此硅片的一般厚度为 900um。衬底材料是为了进行背面减薄,使其达到所需要的厚度,然后再对硅片进行切割加工,形成一个个减薄的裸芯片。本项目硅片背面减薄是利用纯水和微量研磨液为介质,纯水和研磨液通过计量泵总动混合泵入研磨轮中,纯水与研磨液混合比例为 2000:1,在研磨轮的作用下进行的一种减薄工艺,该减薄工艺为一种物理过程。此工序产生废水(W1)进磨片、划片废水处理系统(采取“酸、碱反应+混凝沉淀+斜管沉淀”处理工艺)处理后进电镀废水处理系统中间水箱(2)进一步处理。对磨片后晶58、圆片再进行质检(检查有无裂片、崩片、异物、气泡,测量厚度)和揭膜(揭膜时确保工作盘上无异物,开真空,一手接膜,一手摁住片子,以免真空跑掉后造成破片)。3、贴片:将晶圆片粘贴到xx胶膜上以铁环固定,形成后续工序芯片切割的载体。贴蓝膜时将晶圆正面向下,在晶圆的背面贴上蓝膜,使晶圆和钢圈连接起来,同时避免切割后的单个芯片散落。19 4、划片:将晶圆片按照晶粒大小和布局由划片机切割成各自独立小芯片,便于封装取片和后续封装单。划片机根据工艺要求对晶圆片进行切割,同时使用纯水和微量研磨液为介质进行冲洗,以降低圆片温度,并冲走划片过程会产生的少量硅屑。纯水和研磨液通过计量泵总动混合泵入研磨轮中,纯水与研磨液59、混合比例为2000:1。此工序产生的废水(W2)进磨片、划片废水处理系统(采取“酸、碱反应+混凝沉淀+斜管沉淀”处理工艺)处理后进电镀废水处理系统中间水箱(2)进一步处理。划片后再对芯片进行质检:检查其划痕是否合格,合格后入氮气柜等待包装。5、上芯:将胶膜上的单个的芯片吸提起来,并通过导电胶(银浆)黏贴在引线框架上。该工序将银浆点涂到引线框架(基片)上,再将芯片的被焊面与银浆接触压实,此过程由装片机自行控制。再将装有芯片的引线框架放入固化烘箱,温度170300。银浆在高温下受热形成白色银层,将芯片牢固的固定在基座上。烘干过程要在无氧条件下进行,项目采用动力房中 PSA 吸附制氮机制备氮气,以压60、缩空气为原料,以碳分子筛为吸附剂,采用变压吸附流程,在常温低压下,利用空气中的氧气和氮气在碳分子筛中的扩散速率不同,把氮气和氧气加以分离而获得高纯度的氮气作为烘干工序的保护气。同时,在纯化装置中使用氢气作还原剂,将氮气中残存的氧还原掉,以获得 99.999%的纯氮。上芯工序产生少量的废导电胶(S2)属于危废委托有资质单位处置;烘干产生的 VOC(G1)进上芯废气处理装置(“一级活性炭纤维吸附+一级活性炭吸附”)处理后通过 15m 高排气筒(DA001)排放。6、键合:以二十到五十微米直径的金线、铜线或合金线为引线,通过热超声键合技术连接芯片电极和引线框架的内引线,构成电回路,完成集成电路内部线61、路对外的信号传输链接。热超声键合为热压键合与超声波键合的混合技术。首先将引线穿过高温耐火材料所制成的毛细管状的金属线末端键合工具(也称为瓷嘴或焊针),用高压放电形式将金线熔融成球,金属表面张力效应使线的末端灼烧成球(其直径为金属线直径的 23 倍),再使用超声波脉冲进行金属线与金属基板(引线框架)进行结合,基板维持在 200。保护气体采用氮气和 6%氢气,用于防止焊接过程中的金属氧化,并对表面的部分氧化进行还原。热超声键合是将工件加热并加压到足以产生宏观变形的一种固态焊,因此不会产生焊接废气。线过程要在无氧条件下进行,项目采用自制的高纯度的氮气作为焊线工序的保护气。NH 混合气主要防止氧化和进62、行氧化 20 还原反应。7、塑封:通过密闭的塑封机将固态塑封料加热成 175-180熔融态后,注入每个引线框架芯片位中,并将其封装起来以保护芯片。塑料封装使用的材料为热固性聚合物,主要为环氧树脂、硅胶树脂、硅微粉填料等组成。该工艺将已贴装芯片并完成引线键合的框架置于模具中,先预热到 9095之间,然后放进塑封机的转移罐中。在塑封机活塞的压力下,塑封料被液压机顶杆挤压到浇道中,并经过浇口注入模具成型。本工序产生的 VOC(G2)进塑封废气处理装置(“一级活性炭纤维吸附+一级活性炭吸附”)处理后通过 15m 高排气筒(DA002)排放;产生的废压模胶(S3)属于危废委托有资质单位处置 8、热老化(63、后固化):塑封料在模具中保压几分钟后,模块的硬度足以达标并被顶出,但是聚合物的固化并未全部完成。由于材料的固化程度严重影响材料的玻璃化温度及热应力,所以塑封后需要在烘箱进行后固化、热老化处理,促使材料全部固化达到一个温度的状态,以提高元器件的可靠性。温度 170175。图图 2-2 项目项目工艺流程工艺流程及产污节点及产污节点图图 产品入库 检验测试 晶圆 不合格品 S1 减薄磨片 纯水 废水 W1 贴片 胶膜 废水 W2 划片 纯水 上芯 导电胶、引线框架 G1:VOC 废导电胶 S2 引线键合 H2、N2、金线、铜线 塑封 塑封胶 废压膜胶 S3 热老化 废水 W3 槽渣(液)S4 电镀锡64、 甲基磺酸锡、甲基磺酸、软化液、去氧化粉等 激光打标 切筋成型 G2:VOC G3:酸雾 边角料 S5 测试、编带、包装 废次品 S6 废包装 S7 21 9、电镀锡 对包封过后裸漏的引线框架进行电镀镀锡处理,以防止氧化、提高可焊性。本项目拟采用全自动半导体引线框架高速镀锡设备,该设备采用连续处理、自动上下料,完成化学浸料-喷淋全自动一体化整套工艺,可自动转入电镀高速线自动进料,上下料系统采用计算机控制。整条电镀线化学浸料采用透明视窗全封闭。具体生产工艺说明如下:图图 2-3 电镀电镀工艺流程工艺流程及产污节点及产污节点图图(1)热煮软化 框架在热煮软化液中以 90,50min 工艺条件处理后65、,框架塑封体边缘的溢料高温软化 G3-1:碱雾 软化液 封装后芯片 三级水洗 废水 W3-1 甩干 去溢料 废水 W3-2 去氧化 1 去氧化 2 硫酸、过硫酸钾 过硫酸钠、双氧水 两级水洗 自来水、纯水 自来水、纯水 废水 W3-3 预浸 甲基磺酸 电镀锡 G3-2:硫酸雾 甲基磺酸 甲基磺酸锡 添加剂 G3-4:甲基磺酸雾 槽渣(液)S4-2 中和 1 中和(碳酸钠)三级水洗 废水 W3-5 纯水 中和 2 锡保护剂 三级水洗 纯水 废水 W3-6 纯水 废水 W3-7 风干 烘干 水蒸气 退镀 不合格品 合格品 甲基磺酸 G3-5:甲基磺酸雾 一级水洗 自 来 水水 废水 W3-8 返回66、电镀线 浓水 G3-3:甲基磺酸雾 三级水洗 自来水、纯水 废水 W3-4 超声波水洗 槽液 S4-1 槽渣(液)S4-3 槽渣(液)S4-4 22 被软化,通过三级自来水水洗和甩干后去高压去溢料工序;软化液呈碱性,主要组分为二乙基乙醇胺;每班补充软化过程中损耗的药液;置换的软化槽液委托有资质的危废处置单位处置。本工序产生的废水(W3-1)经进电镀废水处理系统酸性、碱性有机废液处理装置(采取“酸化+还原+氧化+絮凝沉淀”处理工艺)处理后进电镀废水处理系统锡化废水处理装置进一步处理,产生的废气(G3-1,碱雾)进酸雾塔处理。(2)高压水去溢料:框架经软化和漂洗后,通过高压水去溢料工艺槽,用35067、-450bar 高压水冲洗框架,用来去除已软化或松动的毛刺或飞边;去掉的溢料经过滤装置收集在高压水去溢料槽中,作为危废处理。本工序产生的废水(W3-2)进电镀废水处理系统锡化废水处理装置(采取“PH 调节+重捕+絮凝沉淀+多介质过滤+活性炭过滤”处理工艺)处理。(3)去氧化:本项目经过两次去氧化。工件经过前面几道工序后,表面会形成一层氧化膜。去氧化就是通过将工件放入 5%15%左右的混酸中(去氧化 1 主要由过硫酸钾,稀硫酸;去氧化 2 主要由过硫酸钠、过氧化氢组成)1 分钟,温度控制在 30,以去除其表面的氧化膜,从而露出活泼的金属界面,以保证后续电镀时镀层与基体的结合力。稀硫酸,过氧化氢平68、时补充,槽液循环使用,定期补充,5 天完全更换一次。去氧化后采用自来水洗,纯水洗两道水洗,洗掉工件表面附着的酸液。本工序产生的废水(W3-3)进电镀废水处理系统锡化废水处理装置(采取“PH 调节+重捕+絮凝沉淀+多介质过滤+活性炭过滤”处理工艺)处理。产生的废气(G3-2,硫酸雾)进酸雾塔处理。(4)预浸:预浸就是通过将工件放入 5%左右的甲基磺酸锡溶液中 0.31 分钟浸渍,不经清洗,直接下槽电沉积,温度控制在 30。预浸可以提高后续电镀加工过程中镀层结合力。预浸液过滤后循环使用,定期补充。槽渣半个月清理 1 次。本工序产生的槽渣(液)(S4-2)作为危废处理。产生的废气(G3-3,甲基磺酸69、雾)进酸雾塔处理。(5)电镀锡:电镀锡采用挂镀工艺。将工件放入电镀液中,通过电化学反应,在工件表面形成均匀、致密、结合良好的金属沉积层。电镀液由甲基磺酸、甲基磺酸锡、镀锡添加剂(十二烷基硫酸钠、苯磺酸钠等)与水配置而成,电镀液温度为4045。电镀时,锡球作为阳极,工件作为阴极,阳极发生氧化反应,锡氧化成锡离子进入电解液,同时析出少量氧气,阴极发生还原反应,锡离子还原为锡沉积 23 于工件表面,同时析出少量氢气。具体反应式如下:阳极:Sn+2e=Sn2+;阳极:Sn2+=Sn+2e 电镀液过滤后循环使用,定期补充药剂,过滤槽渣 15 天更换 1 次,每次约12.5kg。根据电镀废水治理工程技术规70、范(HJ 20022010),电镀溶液过滤后产生的滤渣和报废的电镀溶液不得进入废水收集和处理设施。本工序产生的电镀槽渣(液)(S4-3)委托资质单位处置。镀槽配套回收槽对工件带出液进行回收;产生的废气(G3-4,甲基磺酸雾)进酸雾塔处理。电镀后采用一级循环纯水喷淋、一级自来水漂洗、两级纯水喷淋,洗掉工件表面附着的电镀液。产生的废水(W3-4)经电镀废水处理系统锡化废水处理装置(采取“PH 调节+重捕+絮凝沉淀+多介质过滤+活性炭过滤”处理工艺)处理。(6)中和:本项目进行两次中和。第一次使用中和粉(碳酸钠)中和被镀件上酸液;该工序将中和粉与纯水配比,浓度控制在 2%4%,温度 4555;中和液71、循环使用,定期补充,7 天更换 1 次;中和后采用一级循环纯水喷淋、两级纯水喷淋。第二次使用锡保护剂,浓度控制在 4080%ml,温度 30;中和液循环使用,定期补充,14 天更换 1 次;中和后采用一级循环纯水喷淋、两级纯水喷淋;中和后采用一级循环纯水喷淋。两级纯水喷淋,再采用超声波清洗(采用纯水进行最后的超声波清洗,清洗温度为 50)。中和水洗后的进行吹干和烘干,合格品下料,不合格品进行退镀处理。产生的废水(W3-5、W3-6 和 W3-7)进电镀废水处理系统锡化废水处理装置(采取“PH 调节+重捕+絮凝沉淀+多介质过滤+活性炭过滤”处理工艺)处理。(7)退镀:其中下料后的钢带已被镀上锡,72、须在 10%的甲基磺酸退镀。此时,钢带为阳极,退锡板为阴极,经过电处理后锡被镀到退锡板上,钢带退完后经过自来水一级漂洗。电镀锡过程中约有 0.10.2的不合格品产生,也需要进行退镀处理。本项目采用产品退镀液线下退镀,退镀液主要为甲基磺酸,浓度 150g/L250 g/L。退镀液过滤后循环使用,定期补充,过滤槽渣半个月清理 1 次,每次产生量约 12.5kg。退镀清洗产生的废水(W3-8)经电镀废水处理系统锡化废水处理装置(采取“PH 调节+重捕+絮凝沉淀+多介质过滤+活性炭过滤”处理工艺)处理;产生的废气(G3-5,甲基磺酸雾)进酸雾塔处理;产生的电镀槽渣(液)(S4-4)委托资质单位处置。273、4 10、激光打标:使用激光在环氧树脂表面,高温烧灼出文字印记,以标明产品型号。11、切筋成型:该工序主要是将产品从引线框架上分离出来。切筋、成型是两道工序,但通常同时完成。所谓的切筋工艺,是指切除引线框架上连接引脚的横筋以及边框。所谓的成型工艺则是将引脚弯成一定的形状,以适合装配的需要。本工序产生的废边角料(S5)外售。12、测试;通过自动测试仪表,对每一个集成电路进行电信号的测量,以判断产品能否正常使用,加工过程中,要同时使用分选机即 handler,将良品和不良品区别摆放。实验室中设有 PLASMA 清洗机,清洗原理:用等离子中的离子(Ar+或 Ar-)撞击被清洗物品表面污染物的原子或分74、子结合键,使其转换为气体 H2O 和CO2,再由真空系统抽出,从而达到表面清洁的目的。本工序产生的废次品(S6)由厂家回收利用。13、编带:将产品放入载带中并封盖完成。本工序产生的废包装(S7)外售。项目项目主要产主要产污污环环节节:本项目运营期产生的污染物包括废气、废水、噪声和固体废物等影响因素。根据本项目的工艺流程分析,本项目产生的污染物如下:表表 2-10 主要产污工序及污染因子表主要产污工序及污染因子表 污染物类型 编号 生产工序 主要污染因子 排放方式 废水 W1 减薄磨片废水 COD、SS 连续 W2 划片废水 COD、SS 连续 W3-1 软化后清洗废水 pH、COD、铜、磷酸盐75、 连续 W3-2 去溢料废水 pH、COD、铜、磷酸盐 连续 W3-3 去氧化清洗废水 pH、COD、铜、磷酸盐 连续/去氧化槽液 pH、COD、铜、磷酸盐 间歇 W3-4 电镀清洗废水 pH、COD、铜、锡 连续 W3-5、6、7 中和后清洗废水 pH、COD、磷酸盐 连续/中和槽液 pH、COD、铜、磷酸盐、锡 间歇 W3-8 退镀后清洗废水 pH、COD、铜、锡 连续/车间地面冲废水 pH、COD、SS 间歇/酸雾吸收废水 pH、COD、SS、盐 连续/纯水制备浓水 COD、SS、盐 连续/初期雨水 COD、SS 间歇/办公生活废水 COD、BOD、SS、氨氮 间歇/冷却水 COD 连续76、 废气 G1 上芯固化 非甲烷总烃 DA001 G2 塑封 非甲烷总烃 DA002 G3 去氧化、预浸、镀锡、退镀 硫酸雾、甲基磺酸 DA003 25 固废 S1 检验测试 不合格品 S2 上芯固化 废导电胶 S3 塑封 废压膜胶 S4-1 软化 槽渣(液)S4-2 预浸 槽渣(液)S4-3 电镀锡 槽渣(液)S4-4 退镀 槽渣(液)S5 冲筋成型 金属边角料 S6 测试 废次品 S7 编带、包装 废包装 /螺杆机组等设备维修 废机油 /磨划片废水处理 一般污泥 /电镀废水处理 电镀污泥 /上芯、塑封废气处理装置 废活性炭 /电镀废气处理装置 污泥 /职工生活 生活垃圾 噪声/晶圆减薄机、晶77、圆切割机、键合机、电镀生产线、冷却系统、空压机以及鼓风干燥机、水泵等设备 噪声 与项与项目有目有关的关的原原有有环环境境污污染染问题问题 本项目为新建项目,租赁xx经济技术开发区西湖一路 1588 号xx市xx新能源科技有限公司。xx市xx新能源科技有限公司成立于 2011 年 11 月 07 日,主要从事塑料加工制造。该公司在运行期间,取得了环评批复,并通过了环保设施“三同时”验收;现该公司现已停产,厂房处于闲置状态,同时将厂房交由xx市xx招商服务有限公司处理租赁事宜。根据现场实地勘查,厂区雨污管网不完善;1厂房和 3厂房已完成生产设施的拆除,只留下空厂房;2厂房内仅残留少量的废弃材料,经78、清理后无其他遗留环境问题。26 三三、区域环区域环境质量境质量现状、环境保现状、环境保护护目目标标及及评评价价标标准准 区区域域 环环境境 质质量量 现现状状 一一、大气环境、大气环境 1、区域环境质区域环境质量达量达标标情况情况调调查查 根据环境影响评价技术导则大气环境(HJ2.2-2018)要求,拟建项目所在区域环境空气达标情况评价指标为 SO2、NO2、PM10、PM2.5、CO 和 O3,六项基本污染物全部达标即为城市环境空气质量达标。基本污染物环境质量现状数据优先采用国家或地方生态环境主管部门发布的评价基准年环境质量公告或环境质量报告中的数据或结论。本次评价采用xx省生态环境厅于2079、21 年发布的2020 年xx省环境状况公报中的数据,对区域达标情况进行判定具体结果见下表。表表 3-1 环境空气达标区判断结果一览表 污染污染物物 年年评评价指标价指标 现状浓度(现状浓度(g/m3)标准值(标准值(g/m3)占标占标率率%达达标标情况情况 PM10 年平均质量浓度 64 70 91.4 达标 PM2.5 35 35 100 达标 SO2 13 60 21.7 达标 NO2 37 40 92.5 达标 CO 第 95 百分位数日平均质量浓度 1200 4000 30 达标 O3 最大 8h 第 90 百分位数平均质量浓度 126 160 78.8 达标 xx市 2020 年 80、SO2、NO2、PM10、PM2.5年均浓度分别为 13g/m3、37g/m3、64g/m3、35g/m3;CO 24 小时平均第 95 百分位数为 1.2mg/m3,O3日最大 8 小时平均第 90 百分位数为 126g/m3;均满足环境空气质量标准(GB3095-2012)中二级标准限值的要求,因此xx市为达标区。2、评价区域补充评价区域补充监测环境质量现状监测环境质量现状(1)大气环境质量现状补充监测 监测因子:硫酸雾、非甲烷总烃,同步监测气温、气压、风向、风速等常规气象参数。监测时间:xxxx检测技术服务有限公司于 2021 年 8 月 28 日2021 年 8 月 30 日进行监测。81、监测点布设:布设 1 个监测点,厂区西南方向(位于项目所在地主导风向下风向评价范围内)为本次环评的现状监测点。具体监测点位见表 3-3 及附图 6。监测时间和频次:监测频率为一期连续 3 天,其中非甲烷总烃、硫酸雾小时平均浓 27 度监测时间为 02、08、14、20 时,每小时至少有 45 分钟的采样时间;日平均浓度硫酸雾采取 18 小时连续监测。监测方法:大气环境质量监测项目、分析方法及依据见表 3-2。表表 3-2 大气环境质量监测项目、分析方法及依据 监测项目 分析方法 方法依据 检出限 硫酸雾 固定污染源废气 硫酸雾的测定 离子色谱法 HJ 544-2016 0.005mg/m3 非82、甲烷总烃 环境空气 总烃、甲烷和非甲烷总烃的测定 直接进样-气相色谱法 HJ 604-2017 0.07mg/m3 监测结果:大气环境质量现状调查监测结果见表 3-3。表表 3-3 环境空气质量监测结果汇环境空气质量监测结果汇总表总表 单位单位:g/m3 监测点 监测项目 1 小时平均浓度 日平均浓度 浓度范围(mg/m3)超标率(%)超标率(%)浓度范围(mg/m3)超标率(%)最大超 标倍数 西南方向(主导风向下风向)硫酸雾 0.005 0 0 0.005 0 0 非甲烷总烃 0.610.86 0 0/根据上述评价结果可知,区域非甲烷总烃满足大气污染物综合排放标准详解(国家环保局科技标准司83、)要求;硫酸雾满足 环境影响评价技术导则 大气环境(HJ2.2-2018)附录 D 中表 D.1 其他污染物空气质量浓度参考限值相关限值要求。二二、地表水环境、地表水环境 1、小汊江 本次地表水环境质量现状评价引用xx城北污水处理厂一期提标改造工程一阶段竣工环境保护验收监测报告表(地表水监测报告见附件 8)中 2019 年 8 月 30 日-31 日对新兴闸入小汊江的监测数据。该项目在小汊江上设 2 个监测点位,分别位于新兴闸入小汊江上游 500 m、新兴闸入小汊江上游下游 1000m。本项目各类废水经处理后进城北污水处理厂处理,城北污水处理厂尾水经新兴闸排入小汊江。引用其对小汊江的现状监测数84、据进行评价合理。(1)监测断面设置 具体断面位置详见表 3-4。表表 3-4 地表水水质监地表水水质监测断面一览表测断面一览表 河流河流 断面断面 断面位置断面位置 小汊江 1#新兴闸入小汊江上游 500 m 2#新兴闸入小汊江上游下游 1000m(2)监测结果 28 地表水环境质量现状监测结果见表 3-5。表表 3-5 地表水环境质量现状监测结果单位:地表水环境质量现状监测结果单位:mg/L(pH 无量纲)无量纲)监测点位监测点位 新兴闸入小汊江上游新兴闸入小汊江上游 500500m m 新兴闸入新兴闸入小汊江小汊江下下游游 10100 00 0m m 评价评价 标准标准 达标情达标情况况 85、检测因子检测因子 2019.2019.8 8.3030 2019.2019.8 8.3131 2019.2019.8 8.3030 2019.2019.8 8.3131 pH 7.85 7.84 7.87 7.93 6-9 达标 溶解氧 6.0 6.2 5.9 6.1 5 达标 化学需氧量 8 9 8 10 20 达标 生化需氧量 1.2 1.4 2.0 1.9 4 达标 石油类 0.04 0.04 0.03 0.03 0.5 达标 氨氮 0.080 0.031 0.077 0.040 1.0 达标 总磷 0.188 0.105 0.182 0.124 0.2 达标 总氮 0.84 0.86 86、0.86 0.88 1.0 达标 挥发酚 0.0007 0.0006 0.0005 0.0005 0.005 达标 六价铬 0.026 0.022 0.030 0.026 0.05 达标 粪大肠菌群 3500 5400 3500 3500 10000 达标 硫化物 0.008 0.007 0.010 0.008 0.2 达标 氟化物 0.136 0.152 0.141 0.152 1.0 达标 总铜 0.005 0.005 0.005 0.005 1.0 达标 总镉 0.005 0.005 0.005 0.005 0.005 达标 总砷 5.4 10-3 4.6 10-3 6.2 10-3 087、.010 0.05 达标 汞 4.0 10-4 4.0 10-4 4.0 10-4 4.0 10-4 0.0001 达标 总镍 0.005 0.005 0.005 0.005 0.02 达标 总铅 0.01 0.01 0.01 0.01 0.05 达标 监测结果表明,监测期间地表水体新兴闸入小汊江上游 500 米和下游 1000 米所测各项指标均能满足地表水环境质量标准(GB3838-2002)中类标准要求,区域地表水环境总体质量良好。2、xx 根据 2020 年xx市环境质量报告:xxxx段2020 年xxxx段水质总体良好符合地表水环境质量标准(GB3838-2002)类标准水质要求,水质88、良好。三三、声环境质量现、声环境质量现状状 xxxx检测技术服务有限公司于 2021 年 8 月 29 日2021 年 8 月 30 日对厂界四周的声环境质量进行了现状监测,监测结果见表 3-6。29 表表 3-6 区域声环境现状监测结果 单位:dB(A)由表 3-6 可知,厂界北昼夜声环境满足声环境质量标准(GB3096-2008)中的 3类区要求,说明区域声环境质量较好。四四、地下水地下水环环境境质量现质量现状状 1、地下水环境质量现状监测 本次评价地下水环境质量现状等引用xxxx特种材料有限公司年产 15 万吨先进结构性新材料项目环境影响报告书中地下水环境现状监测数据。xxxx特种材料有89、限公司位于xxxx半导体技术有限公司西南方向,距离为 1.88km。xx省公众检验研究院有限公司于 2021 年 2 月 23 日对项目区域地下水环境质量进行现状监测。(1)监测点位 共设 3 地下水现状监测点,具体监测点位情况和点位分布见表 3-7。表表 3-7 地下水监测点位一览表地下水监测点位一览表 点位编号 监测点位经纬度 D1 E:117.80746937;N:30.98173916 D2 E:117.80483007;N:30.98238303 D3 E:117.80238390;N:30.98225426(2)监测项目 水质监测项目:pH、总硬度、硫酸盐、氯化物、铁、锰、铜、锌、90、铝、汞、铬(六价)、铅、镉、砷、挥发性酚类、氨氮、硫化物、硝酸盐、氟化物、亚硝酸盐、高锰酸盐指数;K+、Na+、Ca2+、Mg2+、CO32-、HCO3-、Cl-、SO42-,同步监测水位。(3)监测时间和频率 xx省公众检验研究院有限公司于 2021 年 2 月 23 日进行了一次性采样监测。(4)监测方法 地下水采样执行水质采样分析方法设计规定(HJ495-2009)、地下水环境监测技术规范(HJ/T164-2004)、水质采样技术指导(HJ494-2009)和水质采样样品保存和管理技术规定(HJ493-2009)中相关规定。分析方法按生活饮用水标准检验方法(GB/T5750-2006)的91、要求执行。监测点位 2021.8.29 2021.8.30 昼间 夜间 昼间 夜间 N1 厂界东侧外 1 米处 50.8 44.0 51.2 42.1 N2 厂界南侧外 1 米处 52.3 46.0 50.5 44.4 N3 厂界西侧外 1 米处 51.5 44.1 52.3 43.4 N4 厂界北侧外 1 米处 53.4 42.9 53.4 46.1 30 (5)监测结果 地下水环境质量现状监测结果见表 3-8。表表 3-8 地下水环境现状监测结果一览表地下水环境现状监测结果一览表 监测项目 监测点位 标准 D1 D2 D3 pH 6.65 6.60 6.57 6.58.5 总硬度 86.092、 89.2 88.8 450 挥发酚 0.0003L 0.0003L 0.0003L 0.002 耗氧量 1.02 0.91 1.06 3.0 氨氮 0.06 0.07 0.07 0.50 六价铬 0.004L 0.004L 0.004L 0.05 硫化物 0.02L 0.02L 0.02L 0.02 氟化物 0.15 0.14 0.14 1.0 氯化物 9.26 9.64 9.66 250 硫酸盐 56.3 56.6 56.9 250 亚硝酸盐 0.001 0.001 0.001L 1.0 硝酸盐 3.24 3.27 3.26 20 CO32-0 0 0/HCO3-43.0 42.0 43.93、2/钾 3.72 3.68 3.75/钠 8.67 8.82 8.76 200 钙 22.5 22.6 22.6/镁 7.94 8.01 8.00/汞 0.0001L 0.0001L 0.0001L 0.001 砷 0.00042 0.00043 0.00043 0.01 镉 0.00006L 0.00006L 0.00006L 0.005 铅 0.00007L 0.00007L 0.00007L 0.01 铜 0.0009L 0.0009L 0.0009L 1.00 铁 0.0045L 0.0045L 0.0045L 0.3 锰 0.0009 0.0009 0.0009 0.1 锌 0.0194、0 0.013 0.014 1.00 由表 3-8 可知,项目区域地下水采样点中,各监测点位的监测因子均能够满足地下水质量标准(GB/T14848-2017)中类水质标准,项目区域地下水质标准较好。五五、土壤土壤环境质环境质量现量现状状 1、土壤环境质量现状监测 本次评价土壤环境质量现状等引用xxxx特种材料有限公司年产 15 万吨先进结构性新材料项目环境影响报告书中土壤环境现状监测数据。xxxx特种材料有限公司位于xxxx半导体技术有限公司西南方向,距离为 1.88km。(1)监测点位 共设 3 土壤现状监测点,具体监测点位情况和点位分布见表 3-9。31 表表 3-9 地下水地下水监测监测95、点点位一位一览览表表 点位编号 样品类型 监测点位经纬度 备注 S1 表层样点 E:117.80746937;N:30.98173916 45 项 S2 E:117.80483007;N:30.98238303 重金属和无机物 S3 E:117.80238390;N:30.98225426 重金属和无机物(2)监测项目 监测点 S1 监测因子:砷、镉、铬(六价)、铜、铅、镍、汞、四氯化碳、氯仿、氯甲烷、1,1-二氯乙烷、1,2-二氯乙烷、1-1-二氯乙烯、顺 1,1-二氯乙烯、逆 1,2-二氯乙烯、二氯甲烷、1,2-二氯丙烷、1,1,1,2-四氯乙烷、1,1,2,2-四氯乙烷、四氯乙烯、1,196、,1-三氯乙烷、1,1,2-三氯乙烷、三氯乙烯、1,2,3-三氯丙烷、氯乙烯、苯、氯苯、1,2-二氯苯、1,4-二氯苯、乙苯、苯乙烯、甲苯、间二甲苯+对二甲苯、邻二甲苯、硝基苯、苯胺、2-氯酚、苯并a蒽、苯并a芘、苯并b荧蒽、苯并k荧蒽、二苯并a、h芘、茚并1,2,3-cda芘、萘,共 45 项。监测点 S2、S3 监测因子:砷、镉、铬(六价)、铜、铅、镍、汞。(3)监测时间和频率 xx省公众检验研究院有限公司于 2021 年 2 月 23 日进行了一次性采样监测。(4)监测方法 采样和分析方法按国家环保总局颁发的环境监测分析方法和中国环境监测总站编制的土壤元素的近代分析方法进行。(5)监测结97、果 土壤环境质量现状监测结果见表 3-10。表表 3-10 土壤土壤环境现状监测结果一览表环境现状监测结果一览表 项目 单位 S1 S2 S3 筛选值 0-0.2m 0-0.2m 0-0.2m PH/6.44 5.83 6.14/砷 mg/kg 12.4 10.6 9.43 60 镉 mg/kg 0.04 0.12 0.08 65 六价铬 mg/kg 5.6 6.5 5.2 5.7 铜 mg/kg 29 50 44 18000 铅 mg/kg 18.5 11.4 19.1 800 汞 mg/kg 0.044 0.062 0.056 38 镍 mg/kg 14 16 14 900 四氯化碳 g/98、kg 1.3L/2.8 氯仿 g/kg 1.1L/0.9 氯甲烷 g/kg 1.0L/37 1,1-二氯乙烷 g/kg 1.2L/9 1,2-二氯乙烷 g/kg 1.3L/5 1,1-二氯乙烯 g/kg 1.0L/66 顺-1,2-二氯乙烯 g/kg 1.3L/596 32 反-1,2-二氯乙烯 g/kg 1.4L/54 二氯甲烷 g/kg 1.5L/616 1,2-二氯丙烷 g/kg 1.1L/5 1,1,1,2-四氯乙烷 g/kg 1.2L/10 1,1,2,2-四氯乙烷 g/kg 1.2L/6.8 四氯乙烯 g/kg 1.4L/53 1,1,1-三氯乙烷 g/kg 1.3L/840 1,99、1,2-三氯乙烷 g/kg 1.2L/2.8 三氯乙烯 g/kg 1.2L/2.8 1,2,3-三氯丙烷 g/kg 1.2L/0.5 氯乙烯 g/kg 1.0L/0.43 苯 g/kg 1.9L/4 氯苯 g/kg 1.2L/270 1,2-二氯苯 g/kg 1.5L/560 1,4-二氯苯 g/kg 1.5L/20 乙苯 g/kg 1.2L/28 苯乙烯 g/kg 1.1L/1290 甲苯 g/kg 1.3L/1200 间二甲苯+对二甲苯 g/kg 1.2L/570 邻二甲苯 g/kg 1.2L/640 硝基苯 mg/kg 0.09L/76 苯胺 mg/kg 0.01L/260 2-氯酚 m100、g/kg 0.06L/2256 苯并(a)蒽 mg/kg 0.1L/15 苯并(a)芘 mg/kg 0.1L/1.5 苯并(b)荧蒽 mg/kg 0.2L/15 苯并(k)荧蒽 mg/kg 0.1L/151 mg/kg 0.1L/1293 二苯并(a,h)蒽 mg/kg 0.1L/1.5 茚并(1,2,3-c,d)芘 mg/kg 0.1L/15 萘 mg/kg 0.09L/70 由上表可知,各监测点土壤环境质量均能满足土壤环境质量建设用地土壤污染风险管控标准(GB36600-2018)中第二类用地筛选值的要求,区域土壤环境质量较好。环环境境 保保护护 目目标标 项目位于xx经济技术开发区西湖一101、路1588 号(xx市xx新能源科技有限公司现有厂区),根据对建设项目周边环境的调查,项目周边距离厂址 500m 范围内无居民敏感点;项目周围无饮用水源地,无自然保护区、风景名胜区、饮用水水源保护区等重点保护目标。根据本项目排污特点和外环境特征确定环境保护目标如下:表 3-11 环境保护目标一览表 环境要素 名称 保护对象 保护内容 环境功能区 相对厂址位置 相对厂界最近距离/m 大气环境/环境空气质量标准(GB3095-2012)二级标准/地表水环境 小汊江/地表水环境质量标准(GB3838-2002)类 NW 3120 xx/E 4810 声环境 厂界四周/声环境质量标准(GB3096-2102、008)3 类/33 污污染染 物物排排 放放控控 制制标标 准准 1、废废水水污染物排放标准污染物排放标准 本项目废水主要污染物为 pH、COD、BOD5、总铜、氨氮、SS、总锡、磷酸盐等;其中 pH、总铜、CODcr、氨氮、SS 等污染物执行电子工业水污染物排放标准(GB39731-2020)表 1“半导体”间接排放限值和城北污水处理厂纳管标准,BOD5、磷酸盐执行城北污水处理厂纳管标准,总锡参照执行锡、锑、汞工业污染物排放标准(GB 30770-2014)中的表 2 要求;本项目外排废水达到城北污水处理厂接管标准后进城北污水处理厂处理,达城镇污水处理厂污染物排放标准(GB18918-20103、02)一级 A 标准后经新兴闸排入小汊江。表表 3-12 废水污染物排放标废水污染物排放标准准 单位单位:mg/L(pH 除外)除外)序号序号 污染污染物物名名称称 锡、锑、汞工业污染锡、锑、汞工业污染物排放标准(物排放标准(GB 30770-2014)表表 2 标准标准 电子工业水污染物排电子工业水污染物排放标准(放标准(GB39731-2020)表表 1 标准标准 城北污水处城北污水处理厂理厂接管标接管标准准 GB18918-2002一级一级 A 标准标准 1 pH/69 69 69 2 COD/500 450 50 3 BOD5/180 10 4 SS/400 300 10 5 氨氮/4104、5 40 5 6 总铜/2.0 0.5 0.5 7 总锡 2.0/8 磷酸盐(以磷计)/5 0.5 注:城北污水处理厂纳管标准中与本项目相关的各污染物排放限值均严于电子工业水污染物排放标准(GB39731-2020)表 1“半导体”间接排放限值,因此,本项目废水外排执行城北污水处理厂纳管标准。2、大气污染物排放标准大气污染物排放标准 工艺废气中硫酸雾、非甲烷总烃执行上海市地方标准大气污染物综合排放标准(DB31/933-2015)表 1 标准及表 3 厂界大气污染物监控点浓度限值,食堂油烟执行 饮食业油烟排放标准(试行)(GB18483-2001)要求。表表 3-13大气污染物综合大气污染物综105、合排排放放标准标准(DB31/933-2015)污染物 最高允许排放浓度(mg/m3)最高允许排放速率(kg/h)无组织排放监控浓度限值 监控点 浓度(mg/m3)非甲烷总烃 70 3.0/4.0 硫酸雾 5.0 1.1/0.3 注:大气污染物综合排放标准(DB31/933-2015)表 1 中硫酸雾排放限值严于 电镀污染物排放标准(GB21900-2008)排放限值,因此,硫酸雾执行大气污染物综合排放标准(DB31/933-2015)表 1 标准。表表 3-14 油烟排放标准油烟排放标准 规模规模 基准灶头数基准灶头数 最高允最高允许排许排放放浓度浓度 净化设施最低去除效率净化设施最低去除效106、率 中型 3,6 2.0mg/m3 75%3、噪声排放执噪声排放执行标行标准准 营运期项目厂界噪声执行工业企业厂界环境噪声排放标准(GB12348-2008)3 34 类标准。表表 3-15 噪声排噪声排放标准放标准 采用标准 适用区域 噪声限值 dB(A)昼间 夜间 3 类 厂界 65 55 4、固体固体废物废物 一般工业固体废物贮存、处置执行一般工业固体废物贮存、处置场污染控制标准(GB18599-2001)及其 2013 年修改单中有关规定,危险废物执行危险废物贮存污染控制标准(GB18597-2001)及其修改单。总总量量 控控制制 指指标标 根据 国务院关于印发的通知(国发20133107、7号)和xx省环保厅关于进一步加强建设项目新增大气主要污染物总量指标管理工作的通知(皖环发201719 号),目前xx省对化学需氧量(COD)、氨氮(NH3-N)、二氧化硫(SO2)、氮氧化物(NOx)、颗粒物、VOCs 等六种主要污染物纳入排放总量控制计划管理。项目运行后,COD、NH3-N 排放量分别为 10.63t/a、0.43t/a,纳入城北污水处理厂控制指标内。本项目 VOCs(以非甲烷总烃计)有组织排放量为 0.145t/a;总量控制建议为:VOCs 0.145t/a。35 四、主要环境四、主要环境影影响响和和保护措施保护措施 施施工工 期期环环 境境保保 护护措措 施施 一一、大108、气环境大气环境防治措施防治措施 施工期的废气主要是施工现场产生的扬尘、施工车辆的尾气、内外装修和配套设施建设时所产生的有机废气、粉尘等。施工单位需采取一系列的防护措施,严格按照安徽省建筑工程施工扬尘污染防治规定精神,通过以下措施减少扬尘对环境的影响,以降低对大气环境的影响。(1)洒水抑尘 装运土方时控制车内土方低于车厢挡板,减少途中撒落,对施工现场抛洒的砂石、水泥等物料应及时清扫,砂石堆、施工道路应定时洒水抑尘。经实验表明:每天洒水 4-5次,可使扬尘量减少 70%左右,扬尘造成的 TSP 污染距离可缩小到 20-50m 范围,因此本工程可通过及时洒水的方式来减缓施工扬尘。(2)封闭施工 施工109、现场对外围有影响的方向设置围栏或围墙,封闭施工,缩小施工现场扬尘和尾气扩散范围。(3)限制车速 施工场地的扬尘,大部分来自施工车辆。在同样清洁程度的条件下,车速越慢,扬尘量越小。本场地施工车辆在进入施工场地后,需减速行驶,以减少施工场地扬尘,建议行驶车速不大于 5km/h。此时的扬尘量可减少为一般行驶速度(15km/h 计)情况下的 1/3。(4)保持施工场地路面清洁 为了减少施工扬尘,必须保持施工场地、进出道路以及施工车辆的清洁,可通过及时清扫,对施工车辆及时清洗,禁止超载,防止洒落等有效措施来保持场地路面的清洁,减少施工扬尘。(5)其他措施 除此以外,为了减少施工扬尘,施工中还应注意减少表110、面裸士,开挖后及时回填、夯实,做到有计划开挖,有计划回填。施工现场扬尘产生的另一种情况是建材的露天堆放和搅拌作业,这类扬尘的主要特点是受作业风速的影响。施工扬尘的防治应参照相关要求进行,具体做到:1)建设施工现场沿工地四周设置连续围栏,外脚手架密目式安全网安装率达 100%;36 2)建设施工场地内水泥、石灰等易产生扬尘的建筑材料应存入库、池内,遮盖率达100%;3)建设施工场地主要道路硬化率 100%;4)建设施工现场余土集中堆放,采取固化、覆盖、绿化等措施落实率为 100%;5)施工现场出场车辆冲洗设施及冲洗制度落实率为 100%;6)运输建筑渣土等车辆密闭率 100%。施工单位除了落实以111、上措施外,并且还要做到:制定扬尘防治方案,明确扬尘污染防治设施及管理措施和资金保障,确保扬尘防治措施落实到位;建立扬尘防治工作管理责任制度,明确责任人,落实操作人员,加强考核,将扬尘防治管理列入日常管理工作中,把考核结果与奖惩挂钩;规范记录日常管理台帐、日常管理台账,主要包括:扬尘观测报告单、道路清扫洒水记录表、车辆进出工地冲洗记录表、建筑垃圾每日清理记录、化粪池、沉淀池清理记录等,台帐记录明确记录工作时间、工作内容、规范落实情况等相关信息。在严格执行上述规定和措施后,本项目施工期扬尘产生的影响在可接受范围内。综上,当采取以上措施后,施工期废气对周边环境影响较少。二二、地表水地表水环境环境防防112、治治措施措施 施工期产生的废水主要为生活污水和施工废水。生活污水主要为清洗废水,施工人员约 20 人,生活污水量约为 1.6m3/d,其主要污染物浓度为:COD 200300mg/L、BOD5 100150mg/L、SS 100200mg/L;施工污水主要含泥砂、悬浮颗粒和矿物油等。其特点是间歇式排放,废水量不稳定。施工中用水往往无节制,废水排放量大,若不采取措施,将会在施工现场随意流淌,对周围水环境造成一定影响。为了减小施工期产生的废水对周边环境的影响,本环评建议:施工期加强管理,因地制宜建造临时性集水池、沉淀池,施工废水经沉淀处理后回用,或者灌溉草木;生活污水水量较小,依托厂区现有化粪池处113、理后进园区污水管网。由于产生时间仅限于施工期间,时间较短,在采取相应措施后施工期废水对周围水环境影响较小。三三、噪声噪声防治防治措施措施 施工噪声具有阶段性、临时性和不固定性,不同的施工设备产生的噪声不同。噪声污染防治措施:施工期应严格执行建筑施工场界环境噪声排放标准(GB12523-2011)有关规定,37 加强管理,控制同时作业的高噪声设备的数量。施工机械噪声往往具有突发、无规则、不连续和高强度等特点,对于此类情况,一般可采取合理安排施工机械操作时间的方法加以缓解。对于施工期间的材料运输、敲击、人的喊叫等施工声源,要求施工队通过文明施工、加强有效管理加以缓解。考虑到项目施工期间工地来往车辆114、行驶可能会对沿途声环境造成一定的影响,本评价建议工程施工材料运输应安排在白天进行,禁止夜间扰民。运输车辆进入现场应减速,并减少鸣笛;同时应合理安排施工工期,禁止夜间施工,如需进行夜间施工作业,需征得当地环保部门的同意,并告知周围居民,取得当地居民的谅解和支持。四四、固固体体废物废物防治措施防治措施 施工期排放的固体废物主要为工人产生的生活垃圾以及建筑垃圾,其产生量为10kg/d,经统一收集至垃圾箱内,再定期外运到垃圾场统一处理。整个施工期建筑垃圾需按建筑垃圾有关管理要求及时清运出场并进行处置。对于施工期产生的固废,应注意以下几点:(1)建筑固体废物分类堆放,回收部分和不可回收部分分开,无机垃圾115、与有机垃圾分开,及时清运。(2)施工垃圾要求进行分类收集,其中可利用的物料(如纸质、木质、金属性和玻璃质的垃圾等)可由废品收购站回收;不能利用的,应按要求运送到指定地点。(3)施工人员产生的生活垃圾,应采取定点收集的方式。并派专人定时打扫清理。交由当地环卫部门统一进行处理。(4)施工开挖的表层土应单独存放,并采取相应的防护措施,防止雨水冲刷,以备施工结束后绿化和复垦用。(5)工程建设中尽量做到挖填平衡,施工过程中应边开挖、边回填、边碾压、边采取护坡措施;尽量缩短施工工期,减少疏松地面的裸露时间,合理安排施工时间,尽量避开雨季和汛期。38 运运营营 期期环环 境境影影 响响和和 保保护护 措措施116、施 一、一、废气废气环境影响与保护措施环境影响与保护措施 本项目有组织为上芯烘干、塑封产生的废气,主要污染物为 VOC;电镀线产生的酸雾,主要污染物为硫酸雾和甲基磺酸雾;以及危废库产生少量的废气,主要污染物为VOC。无组织废气主要为:上芯烘干、塑封等工序及危废库未被收集的 VOC,以及电镀线未被收集的硫酸雾和甲基磺酸雾等。1、有组织废气(1)上芯烘干废气 上芯过程将胶膜上的单个的芯片吸提起来,并通过导电胶(银浆)黏贴在引线框架上。导电胶外购,组分:银粉 65-75%,环氧树脂,10-20%,固化剂 510%。导电胶使用前低温冷冻保存,呈固态,使用时在室温下减冻后直接使用,基本不会有 VOC 废117、气产生。上芯将银浆点涂到引线框架(基片)上,再将芯片的被焊面与银浆接触压实,然后将装有芯片的引线框架放入烘箱固化,芯片进入烘箱后先通入氮气将空气排净,然后再进行电加热进行固化,固温度 150200,时间 22.5 小时,该温度条件下环氧树脂进行交联固化,部分树脂发生分解、降解,从而产生少量游离的单体 VOCs 废气(以非甲烷总烃计)。根据同类企业上海灿集电子科技有限公司(灿瑞半导体(上海)有限公司子公司)类比调查,上芯烘干废气产生量约为 4kg/t 原料。上海灿集电子科技有限公司主要从事集成电路封装,上芯及固化工艺、设备、使用的原料与本项目相同,废气产生情况与本项目基本相同。项目上芯烘干废气可118、比性分析见表 4-1。表表 4-1 上芯上芯烘干烘干废气可比性分析一览表废气可比性分析一览表 项目 产品 主要生产工艺 主要原辅料 主要污染物 废气产生系数 上海灿集电子科技有限公司 集成电路封装 上芯、固化、封装 导电胶(银粉 65-75%,环氧树脂,10-20%固化剂 510%)VOCs 4kg/t*本项目 集成电路封装 上芯、固化、封装 导电胶(银粉 65-75%,环氧树脂,10-20%固化剂 510%)VOCs 4kg/t*注:根据收集的企业废气监测数据、生产工况、原辅料用量等资料确定。本项目导电胶用量 1.62t/a,则上芯烘干工序 VOCs 产生量 6.48kg/a。固化结束后,将119、烘箱内废气从烘箱自带的吸风口通过吸风管道在负压下引入上芯废气处理装置(一级活性炭纤维吸附+一级活性炭吸附,处理效率为 90%),最后打开箱门将芯片取出,废气收集效率 90%以上;则上芯烘干工序有组织 VOCs 产生量 5.83kg/a。本项目共 30 台氮气烘箱,上芯烘干工序废气量为 5000m3/h。(2)危废库废气 39 本项目生产过程中产生的危险废物含有大量易挥发性物质等,储存过程中不可避免的会产生废气(以非甲烷总烃计),根据本项目危废产生量,本项目危废库产生的非甲烷总烃约为 0.06t/a,危废库拟设置抽风系统,对库内散发的废气收集(捕集率 90%计),收集的废气接入主管道,经上芯废气120、处理装置(一级活性炭纤维吸附+一级活性炭吸附,处理效率为 90%)处理;则危废库有组织 VOCs 产生量 0.054t/a。表表 4-2 本项目本项目上芯上芯及危废库及危废库有组有组织织有机废气有机废气产生、排放情况一产生、排放情况一览表览表 类别 污染物 VOCs 上芯烘干废气产生情况 废气量(Nm3/h)5000 产生浓度(mg/m3)0.161 产生速率(kg/h)0.0008 产生量(t/a)0.0058 治理措施 经收集后(收集效率约为 90%)进上芯废气处理装置(一级活性炭纤维吸附+一级活性炭吸附,处理效率为 90%)处理 危废库废气产生情况 废气量(Nm3/h)2000 产生浓度121、(mg/m3)3.75 产生速率(kg/h)0.0075 产生量(t/a)0.054 治理措施 经收集后(收集效率约为 90%)进上芯废气处理装置(一级活性炭纤维吸附+一级活性炭吸附,处理效率为 90%)处理 排放情况 废气量(Nm3/h)7000 排放浓度(mg/m3)0.12 排放速率(kg/h)0.0008 排放量(t/a)0.006 排气筒 15m(DA001)执行标准 排放浓度(mg/m3)70 排放速率(kg/h)3.0 上芯废气处理装置风量设计参数:根据前文分析,进入活性炭吸附装置内的风量约为 7000m3/h,因此活性炭纤维托板为 22502000100mm,分 3 层均匀置放122、于塔体中,通风间距 237.5mm,活性炭纤维单层厚 100mm,实际过滤面积为:2.25m2m3=13.5m2。吸附过滤风速 S=7000/3600/13.5=0.14m/s,满足 HJ2026-2013吸附法工业有机废气治理工程技术规范的规定,纤维状吸附剂(活性炭纤维毡)时废气流速宜低于 0.15m/s。由表 4-2 可知,本项目上芯烘干产生的 VOCs(以非甲烷总烃计)经处理后满足上海市地方标准大气污染物综合排放标准(DB31/933-2015)表 1 标准要求,通过 15m 高排气筒(DA001)排放,对周围大气环境影响较小。(3)塑封废气 塑料封装使用的材料为热固性聚合物,主要为环氧123、树脂、硅胶树脂、硅微粉填料等组成。该工艺将已贴装芯片并完成引线键合的框架置于模具中,先预热到 9095之间,然后放进转移成型机的转移罐中,成型温度 175180。该温度条件下环氧树脂、硅胶 40 树脂进行交联固化,部分树脂发生分解、降解,从而产生少量游离的单体 VOCs(以非甲烷总烃计)。参考浙江省环科院编制的 浙江省重点行业 VOCs 污染排放源排放量计算方法(1.1 版)中注塑废气污染物排放系数,取值 2.368kg/t.原料。本项目塑封胶料用量 650t/a,则塑封工序 VOCs(以非甲烷总烃计)产生量 1.539t/a。本项目塑封装置为封闭式箱体结构,带有强排风口,收集效率 90%以上124、。本项目共 20 台塑封排片机,风量约 10000m3/h,则塑封工序有组织 VOCs 产生量为 1.385t/a。塑封废气收集后进塑封废气处理装置(一级活性炭纤维吸附+一级活性炭吸附,处理效率为 90%)处理。项目塑封有组织废气污染物产排情况见表 4-3。表表 4-3 本项目本项目塑封塑封有组织有机废气有组织有机废气产生、排放情况一产生、排放情况一览表览表 类别 污染物VOCs 产生情况 排放情况 塑封废气 产生浓度(mg/m3)19.24 排放浓度(mg/m3)1.92 产生速率(kg/h)0.19 排放速率(kg/h)0.019 产生量(t/a)1.385 排放量(t/a)0.139 废125、气量(Nm3/h)10000 排气筒 15m(DA002)治理措施 经收集后(收集效率约为 90%)进塑封废气处理装置(一级活性炭纤维吸附+一级活性炭吸附,处理效率为 90%)处理 执行标准 排放浓度(mg/m3)70 排放速率(kg/h)3.0 塑封废气处理装置风量设计参数:根据前文分析,进入活性炭吸附装置内的风量约10000m3/h,因此活性炭纤维托板为 22502800100mm,分 3 层均匀置放塔体中,通风间距 237.5mm,活性炭纤维单层厚 100mm,实际过滤面积为:2.25m2.8m3=18.9m2。吸附过滤风速 S=10000/3600/18.9=0.147m/s,满足 H126、J2026-2013吸附法工业有机废气治理工程技术规范的规定,纤维状吸附剂(活性炭纤维毡)时废气流速宜低于 0.15m/s。由表 4-3 可知,本项目塑封产生的 VOCs(以非甲烷总烃计)经处理后满足上海市地方标准大气污染物综合排放标准(DB31/933-2015)表 1 标准要求,通过 15m 高排气筒(DA002)排放,对周围大气环境影响较小。(4)电镀线酸雾废气 本项目酸雾来源主要来自两方面,一是生产初始的配酸过程,二是电镀正常时的槽面挥发。项目采用液下注酸方式,可抑制配酸过程中的酸雾挥发。另外,只需在生产初期或定期置换时需要进行配酸,正常生产时只需定期添加少量酸液,新配次数较少,正常运127、行后基本没有配酸酸雾产生。项目酸雾主要来自正常生产时的电镀槽体(包括前后处理槽)表面挥发,环评对该酸雾进行具体核算统计。本项目酸雾种类情况见表 4-4。41 表表 4-4 电镀生产线酸雾种类产生情况一览表电镀生产线酸雾种类产生情况一览表 渡种 生产线条数 酸雾产生工序 产生酸雾种类 镀锡 4 去氧化槽 1 硫酸雾 预浸槽 甲基磺酸雾 电镀槽 甲基磺酸雾 退镀槽 甲基磺酸雾 硫酸雾、甲基磺酸雾的挥发量大小主要取决于各酸液在室温时的饱和蒸汽压力、风速和蒸发面积等因素。酸雾挥发量的计算采用环境统计手册中介绍的方法,其计算公式如下:Gz=M(0.000352+0.000786 U)P F 式中:Gz酸128、雾量,kg/h;M液体分子量;U蒸发液体表面上的空气流速(m/s),应以实测数据为准。无条件实测时,可取 0.10.5m/s;或查表计算,环评取值 0.4m/s。P相应于液体温度下空气中的饱和蒸汽分压力(mmHg);F蒸发面的面积(m2)。根据以上统计方法,电镀酸雾的产生量主要与电镀槽液浓度、槽液温度、镀槽面积有关。各电镀线镀槽工位参数见表 4-5。表表 4-5 电镀生产线电镀生产线各电镀线镀槽工位参数各电镀线镀槽工位参数一览表一览表 工艺槽 主要槽液配方 酸雾类别 操作温度()M U(m/s)P(mmHg)去氧化槽 1 20%硫酸 硫酸雾 30 98 0.4 0.975 预浸槽 8%甲基磺酸129、 甲基磺酸雾 30 96.11 0.4 0.975 电镀槽 12%甲基磺酸 甲基磺酸雾 40 96.11 0.4 0.975 退镀槽 5%甲基磺酸 甲基磺酸雾 30 96.11 0.4 0.975 本项目整条电镀线的化学浸料槽(包括去氧化槽、预浸槽、镀锡槽、中和槽、退镀槽)采用透明视窗全封闭,封闭室内槽边预留吸风口对槽体酸雾进行吸风收集,酸雾收集效率 95%以上,电镀线废气分别经收集后通入 1 套酸雾吸收塔,经碱液喷淋处理后通过一根 15m 排气筒(DA003)高空排放,净化效率 95%以上,风量 20000m3/h 以上。则项目酸雾废气产生和排放情况详见表 4-6 和表 4-7。表表 4-6130、 电镀生产线酸雾电镀生产线酸雾产产生生情况一览表情况一览表 工艺槽 污染因子 散发率(g/(h m2)渡槽面积(m2)产生量(kg/h)去氧化槽 1 硫酸雾 0.002 0.825 0.665 4 0.14 预浸槽 甲基磺酸雾 0.002 0.675 0.665 4 0.112 电镀槽 甲基磺酸雾 0.002 2.335 1.32 4 0.775 退镀槽 甲基磺酸雾 0.002 1.225 0.665 4 0.203 合计 1.23 注:本项目共 4 条电镀线。42 表表 4-7 电镀生产线电镀生产线有组织有组织酸雾酸雾产产排排情况情况一览表一览表 污染因子 产生情况 处理措施 排放情况 执行131、标准 产生速率 kg/h 产生量t/a 排放浓度mg/m3 排放速率kg/h 排放量t/a 排放浓度(mg/m3)排放速率(kg/h)硫酸雾 1.17 8.42 进酸雾吸收塔经碱液喷淋处理后通过一根 15m 排气筒(DA002)排放,处理效率 95%2.92 0.058 0.421 5.0 1.1 注:由于甲基磺酸雾无相关环境质量标准和污染物排放标准,本报告参照硫酸雾排放进行分析。由上表可知,电镀废气经处理后满足上海市地方标准大气污染物综合排放标准(DB31/933-2015)表 1 标准要求,通过 15m 高排气筒(DA003)排放,对周围大气环境影响较小。2、无组织废气(1)上芯烘干废气:132、本项目上芯烘干 TVOC 产生量为 6.48kg/a,废气收集效率按 90%计算,则一期上芯烘干工序无组织 VOCs 排放量为 0.65kg/a。(2)危废库废气:本项目危废库 TVOC 产生量为 0.06t/a,废气收集效率按 90%计算,则危废库无组织 VOCs 排放量为 0.006t/a。(3 塑封废气:本项目塑封工序 VOCs 总的产生量 1.539t/a。废气收集效率按 90%计算,则一期塑封工序无组织 VOCs 排放量为 0.154t/a。(4)电镀废气:本项目电镀工序硫酸雾总的产生量 8.86t/a。废气收集效率按 95%计算,则一期电镀工序无组织硫酸雾排放量为 0.44t/a。133、表表 4-8 本项目本项目无组织废气污染物排放情况一览表无组织废气污染物排放情况一览表 位置位置 污染源污染源 污污染物染物 排放情况排放情况 治理治理 措施措施 排放系排放系数数 排放标准排放标准 排排放速放速率率(kg/h)排排放量放量(t/a)长(长(m)宽宽(m)高(高(m)排放浓度排放浓度(mg/m3)1厂房 电镀 硫酸雾 0.061 0.44 全封闭 77.6 44.6 9 0.3 上芯烘干 非甲烷总烃 0.022 0.155 全封闭 77.6 133.8 9 4.0 3厂房 塑封 全封闭 危废库 危废储存 0.0008 0.006 抽风 10 10 3 注:由于 1厂房、3厂房距134、离较近,计算非甲烷总烃无组织排放时,可以将 1厂房、3厂房看作 1 个矩形面源;因此计算非甲烷总烃无组织排放速率和排放浓度,将各个工序的非甲烷总烃的数据进行叠加。由上表可知,非甲烷总烃和硫酸雾均满足上海市地方标准大气污染物综合排放标准(DB31/933-2015)表 3 中的厂界大气污染物监控点浓度限值要求,对周围大气环境影响较小。3、食堂油烟废气 厂内设有食堂,内设 4 个天然气炉灶,每天为职工提供午餐、晚餐,拟建项目建成后,总共约 500 人就餐。能源为天然气,属于清洁能源,且使用量较小(约 6000m3/a),43 不作评价分析。食堂废气主要考虑食堂炊事过程中产生的含油烟废气。食用油用量135、按每人每次 0.03kg 计,日用量为 15kg,年用量为 4.5t。油的平均挥发量为总耗油量的 2.83%,油的挥发量为 0.127t/a。根据饮食业油烟排放标准(试行)(GB184832001)中规定,项目食堂属于中型集中餐饮单位,需要安装油烟净化装置,因此,建设单位食堂设 1 套油烟净化装置,确保油烟净化效率达到75。油烟净化设施的风量为 12000m3/h,净化效率按 80%计,烹饪时间按每天 4 计。油烟排放量为 0.025t/a,其排放速率为 0.021kg/h,排放浓度为 1.74mg/m3。油烟最高允许排放浓度符合2mg/m3要求,同时食堂应设置专用排烟道,排气筒高度高出屋顶。136、4、废气非正常排放 非正常排放主要是指生产过程中开、停车、检修、发生故障情况下污染物的排放,不包括事故。非正常排放大小及频率与生产装置的工艺水平、操作管理水平等因素有密切关系,若没有严格的处理措施,往往是造成污染的重要因素。本项目非正常工况主要包括开、停车,检修;电力供应突然中断;废气处理设施故障。项目非正常工况会引起污染物的非正常排放。项目非正常工况下情况分析如下:(1)开停车:项目计划停车,装置首先要停工,生产装置及环保设施等同步进行检修、维护和保养后,再开工生产。(2)设备故障:当生产系统出现故障如停电、废气处理系统故障,由于本项目采用双回路供电,出现停电的概率极低,因此出现上述情况的概137、率较低。由于开停车、设备检修等非正常工况产生的废气量均比正常工况的小,污染物也比正常工况时产生量少,废气经尾气处理装置处理后排放对周围环境的影响也相应地比正常工况轻。因此本次评价不考虑开停车及设备检修产生的污染物影响。(3)废气处置效率降低;鉴于拟建项目产污主要集中在生产车间,污染物产生种类较多,产生速率较大,故拟建项目非正常工况为配套的废气处理装置处理效率无法达到设计效率时,(非正常工况年排放时间按 1h 时间计算),废气在未经有效处理的情况通过排气筒排放,非正常工况下废气排放详见下表。本次评价要求企业实定期检查尾气处理装置,严格管理,避免失效工况发生。44 表表 4-9 本项目本项目非正常138、工况污染非正常工况污染物产排情况物产排情况 类别 污染物 VOCs 硫酸雾 上芯烘干、危废库废气产生情况 废气量(Nm3/h)7000/排放浓度(mg/m3)1.19/排放速率(kg/h)0.008/排放量(kg/a)0.024/塑封废气产生情况 废气量(Nm3/h)10000/排放浓度(mg/m3)19.24/排放速率(kg/h)0.192/产生量(t/a)0.00057/电镀废气 废气量(Nm3/h)/20000 排放浓度(mg/m3)/58.47 排放速率(kg/h)/1.17 排放量(t/a)/0.00351 去除率(%)0 0 持续时间(h/次)1 1 发生频次(次)3 3 5、污染139、物排放量核算(1)根据排污许可证申请与核发技术规范 总则(HJ942-2018)和排污许可证申请与核发技术规范 电子工业(HJ1031-2019)确定本项目有机废气排放口为主要排放口、电镀废气排污口为一般排放口。(2)污染物排放量核算 表表 4-10 本本项目项目运营期大气污染运营期大气污染物有组织排放量物有组织排放量核算核算表表 序号 排放口编号 污染物 核算排放浓度(g/m)核算排放速率(kg/h)核算年排放量(t/a)主要排放口 1 DA001 非甲烷总烃 120 0.0008 0.006 2 DA002 非甲烷总烃 1920 0.019 0.139 主要排放口合计 非甲烷总烃 0.14140、5 一般排放口 3 DA003 硫酸雾 2920 0.058 0.421 一般排放口合计 硫酸雾 0.421 有组织排放总计 有组织排放总计 非甲烷总烃 0.145 硫酸雾 0.421 表表 4-11 本项目本项目运营期大气污染物运营期大气污染物无无组织排放量核算表组织排放量核算表 位置 污染面源 产污环节 污染物 主要污染防治措施 国家或地方污染物排放标准 年排放量(t/a)标准名称 浓度限值(g/m)1 1厂房 电镀 硫酸雾 封闭+车间通风 上海市地方标准大气污染物综合排放标准(DB31/933-2015)表 3 中的厂界大气污染物监控点浓度限值 3000 0.44 2 上芯烘干 非甲烷总141、烃 4000 0.155 3 3厂房 塑封 4 危废库 危废储存 抽风 0.006 无组织排放总计 无组织排放总计 硫酸雾 0.44 非甲烷总烃 0.161 45 表表 4-12 本项目本项目运营期运营期大气污大气污染物年排放量核染物年排放量核算算 序号 污染物 年排放量/(t/a)1 硫酸雾 0.861 2 非甲烷总烃 0.306 6、大气环境防护距离的设置 根据环境影响评价技术导则大气环境(HJ2.2-2018)的有关规定,确定无组织排放源的大气环境防护距离。采用导则推荐模式中的大气环境保护距离模式计算各无组织源的大气环境保护距离。计算出的距离是以污染源中心为起点的控制距离,并结合厂区的平142、面布置图,确定控制距离的范围,超出厂界以外的范围,即为项目大气环境防护距离。当无组织源排放多种污染物时应分别计算,并按计算结果的最大值确定其大气环境保护距离,对于同属一生产单元(生产车间或工段)的无组织排放源,应合并作为单一面源计算并确定大气环境保护距离。大气环境防护距离计算结果见表 4-13。表表 4-13 大气环境防护距离计大气环境防护距离计算结算结果果一览表一览表 污染源污染源 污污染物名称染物名称 排放速率排放速率(kg/h)面源面源 环境防护距环境防护距离离(m)长长 m 宽宽 m 高度高度 m 电镀 硫酸雾 0.061 77.6 44.6 9 无超标点 上芯烘干 非甲烷总烃 0.0143、22 77.6 133.8 9 无超标点 塑封 危废库 0.0008 10 10 3 无超标点 7、卫生防护距离的设置 评价参照 大气有害物质无组织排放卫生防护距离推导技术导则(GBT39499-2020)中“各类工业企业卫生防护距离”的计算方法来计算本项目的卫生防护距离。公式如下:DCLrBLACmQc5.02)25.0(/+=式中 Cm标准浓度限值 mg/m3。Qc工业企业有害气体无组织排放量可以达到的控制水平,kg/h。A、B、C、D卫生防护距离计算系数,无因次,由当地平均风速及企业污染类型构成。由 GB/T13201-91 中查取。r有害气体排放源的所在单元的等次半径,m。L卫生防护距144、离,m。具体计算程序见表 4-14。表表 4-14 卫生卫生防护距离计算防护距离计算结果一览表结果一览表 污染源污染源 污污染物名称染物名称 排放速率排放速率(kg/h)面源面源 卫生卫生防护距防护距离离(m)长长 m 宽宽 m 高度高度 m 电镀 硫酸雾 0.061 77.6 44.6 9 8.021 上芯烘干 非甲烷总烃 0.022 77.6 133.8 9 0.057 塑封 危废库 0.0008 10 10 3 0.017 46 卫生防护距离计算结果为 1厂房、3厂房和危废库以外 100m 范围,根据制定地方大气污染物排放标准的技术方法(GB/T 3840-1991),无组织排放多种有害145、气体的工业企业,按 Qc/Cm 的最大值计算其所需卫生防护距离;但当按两种或两种以上的有害气体的 Qc/Cm 值计算的卫生防护距离在同一级别时,该类工业企业的卫生防护距离级别应该高一级。因此提级后的卫生防护距离为 100m。结合大气环境防护距离和卫生防护距离要求,确定本项目环境防护距离为厂界以外100m 范围。结合厂区平面布置图和现场勘察情况可知,本项目环境防护距离内无集中居民区等敏感点存在,满足环境防护距离的要求。环境防护距离包络线图见附图 6。8、废气污染防治措施(1)废气污染防治措施 本项目有组织为上芯烘干、塑封产生的废气,主要污染物为 VOC;以及电镀线产生的酸雾,主要污染物为硫酸雾和146、甲基磺酸雾;以及危废库产生少量的废气,主要污染物为 VOC。上芯烘干废气(密闭负压收集,收集效率为 90%)、危废库废气(拟设置抽风系统,收集效率为 90%)经收集后进上芯废气处理系统(一级活性炭纤维吸附+一级活性炭吸附,处理效率为 90%)处理后通过 15m 高排气筒(DA001)排放;塑封废气(密闭收集,收集效率为 90%)经收集后进塑封废气处理系统(一级活性炭纤维吸附+一级活性炭吸附,处理效率为 90%)处理后通过 15m 高排气筒(DA002)排放;电镀废气(密闭负压收集,收集效率为 95%)经收集后进酸雾吸收塔(碱液喷淋,处理效率为 95%)处理后通过 15m 高排气筒(DA003)147、排放。无组织废气主要为:上芯烘干、塑封等工序和危废库未被收集的 VOC,以及电镀线未被收集的硫酸雾和甲基磺酸雾等,采取“封闭+车间通风”处理措施。(2)废气处理措施可行性分析 本项目上芯烘干废气和危废库废气经收集后进上芯废气处理系统(一级活性炭纤维吸附+一级活性炭吸附)处理,处理效率为达到 90%以上;塑封废气经收集后进塑封废气处理系统(一级活性炭纤维吸附+一级活性炭吸附)处理,处理效率为达到 90%以上;以及电镀废气经收集后进酸雾吸收塔(碱液喷淋)处理,处理效率为达到 95%以上;经处理后硫酸雾、非甲烷总烃的排放速率和排放浓度均满足上海市地方标准大气污染物综合排放标准(DB31/933-20148、15)表 1 标准要求;同时采取“封闭+车间通风”措施后,无组织排放的硫酸雾、非甲烷总烃能够满足上海市地方标准大气污染物综合排放标准(DB31/933-2015)表 3 中的厂界大气污染物监控点浓度限值要求。因此本工艺技术可行。47 二二、废水废水环境影响与保护措施环境影响与保护措施 1、废水污染源 本项目废水包括生产废水与生活污水两部分。其中生产废水包括减薄磨片和划片工序产生的废水、电镀生产线产生的电镀废水以及公用工程产生的废水。(1)公用工程及其它废水 1)生活污水:项目员工共 500 人,年生产 300 天,均不在厂内住宿,用水量按 100L/天计,则项目生活用水量为 50m3/d,根据149、类比,其浓度分别为 COD350mg/L、BOD5200mg/L、NH3-N35mg/L、SS250mg/L。废水量以生活用水量的 80%计,则生活污水产生量约为 40m3/d(12000m3/a),生活污水经化粪、隔油处理后进城北污水处理厂。2)纯水制备浓水 本项目磨片、划片以及电镀生产过程中均使用纯水,本项目配备 1 套处理规模为16t/h,处理工艺为“双级反渗透+EDI”的纯水制备装置。纯水制备过程产生浓水,浓水水质相对较好,主要污染因子为盐类,COD60mg/L,一般可直接纳入污水管网排放。该设备设计纯水产生率 60%,浓水产生量为 40%,则本项目制备纯水消耗量为 354.24t/d150、,则所需自来水用量约为 590.4t/d,浓水产生量约 236.16t/d。浓水贮存于水箱内,其中69.12t/d 回用于去溢料工序,167.04t/d 进城北污水处理厂。3)冷却水 本项目压模塑封和车间配套的空调系统均需使用间接冷却水。冷却水循环使用,定期补充和排放。本项目纯水制备过程产生浓水水质较好,进城北污水处理厂。本项目配有规格 150t/h 的冷却水循环系统 1 套,每小时循环用水量以 120t 计,冷却水因蒸发损耗需定期补充,补充量占循环用水量以 1%计,循环水排放量占循环水用量以 0.5%计,循环水利用率以 99%计,则本项目循环水补充量 1.2t/h,冷却水排放量 0.6t/h151、,主要污染因子为盐类,COD 80 mg/L,一般可直接纳入污水管网排放。4)初期雨水:本项目初期雨水主要是厂区易造成污染的道路、生产区等区域等的初期雨水量,属于间歇性排水。前 15 分钟初期雨水用阀门切换到污水管网进入厂区初期雨水收集池,15 分钟后雨水经溢流排入厂区雨水管网。初期雨水将会夹带少量粉尘等。初期雨水收集范围主要包括生产区等区域。参照xx市暴雨强度计算公式:q=1986.8(1+0.777lgP)/(t+8.404)0.689 式中:P设计重现期(a),采用 2 年;t地面积水时间与管内流行时间之和(h),取 1。48 经计算,设计暴雨强度:q=278L/(s ha)初期雨水排放152、量公式:QqFT 式中:q暴雨强度;径流系数(取 0.45);F汇水面积(约 1.8ha);T收水时间,按 15min 计算。计算可得最大初期雨水需收集量 Q=2780.451.81560/1000=202.66m3,因此本项目初期雨水收集池有效容量为 V=210m3。(2)减薄磨片、划片废水 1)减薄磨片废水 本项目减薄磨片使用 2 台晶圆减薄机,根据建设单位提供的相关设备操作参数,该设备研磨水压 0.30.4MPa,水温比室温高 2 度;共用自来水和纯水供水系统;供水系统设计用水流量 70L/min(研磨液与纯水混合使用,纯水与研磨液配比为 2000:1,设计流量50L/min;主轴冷却使153、用自来水,设计流量 20 L/min),工作时间以 24 小时计,则日用水量 100.8t(其中纯水用量 72t/d,自来水用量 4.61t/d,回用水量 24.19t/d),排污系数以0.8 计,则废水产生量为 80.64t/d,进磨片、划片废水处理装置(采取“酸碱反应+混凝沉淀+斜管沉淀”处理)处理后进电镀废水处理系统中间水箱进一步处理。废水主要污染物为 SS1500mg/L,COD 150mg/L。2)划片废水 本项目划片使用 20 台划片机,根据建设单位提供的相关设备操作参数,该设备切割水压 0.20.4MPa,水温比室温高 2 度,设计用水流量 7L/min(研磨液与纯水混合使用,纯154、水与研磨液配比为 2000:1,设计流量 5L/min;主轴冷却使用自来水,设计流量 2L/min),日工作时间以 24 小时计,则日用水量约为 201.6t(其中纯水用量 144t/d,自来水用量9.22t/d,回用水量 48.38t/d),排污系数以 0.8 计,则废水产生量为 161.28t/d,进磨片、划片废水处理装置(采取“酸、碱反应+混凝沉淀+斜管沉淀”处理)处理后进电镀废水处理系统中间水箱进一步处理。废水主要污染物为 SS500mg/L,COD 150mg/L。(3)电镀生产线废水 电镀生产线废水主要包括电镀线清洗废水和其它废水。电镀其他生产废水包括去氧化(活化)置换液、中和置换155、液、地面清洗废水、酸雾吸收废水等。具体见表 4-15。49 表表 4-15 项目废水种类及来源项目废水种类及来源 序号 废水类别 产生工序 污染因子 1 酸性废水(液)去氧化物槽置换液、中和 2 槽置换液 pH、COD、铜、磷酸盐、锡 2 碱性废水(液)软化清洗水 pH、COD、铜、磷酸盐、锡 3 锡化废水 电镀清洗废水、退镀清洗废水、中和 1 槽液、中和清洗水、去氧化清洗水、地面冲洗废水、酸雾吸收废水、去溢料废水 pH、COD、磷酸盐、铜、锡 4 其它废水 地面清洗、酸雾吸收废水 pH、COD、SS 1)电镀线清洗废水 电镀线清洗废水包括软化、去氧化(活化)、电镀锡、中和及退镀后的清洗废水;156、因此,电镀线清洗废水用水量可以根据电镀线的设计用水参数进行计算。根据建设单位提供的数据,该生产线设计自来水用量为 11L/min,纯水用量 24L/min,浓水用量为 12L/min。本项目电镀生产线清洗废水产生情况详见表 4-16。表表 4-16 电镀生产线电镀生产线清清洗废水统计洗废水统计 清洗工段 每条电镀生产线清洗工艺设计用水量 产污系数 每条电镀线清洗废水产生量(t/d)全厂电镀清洗废水产生量(t/d)设计用水流量(L/min)日用量(m3/d)自来水 纯水 浓水 自来水 纯水 浓水 合计 软化清洗 5 0 0 7.2 0 0 7.2 0.9 6.48 25.92 去溢料 0 0 1157、2 0 0 17.28 17.28 15.55 62.2 去氧化清洗 2 4 0 2.88 5.76 0 8.64 7.78 31.12 电镀锡清洗 2 8 0 2.88 11.52 0 14.4 12.96 51.84 中和清洗 0 12 0 0 17.28 0 17.28 15.55 62.2 退镀后清洗 2 0 0 2.88 0 0 2.88 2.59 10.36 合计 11 24 12 15.84 34.56 17.28 67.68 60.91 243.64 注:电镀车间共 4 条电镀生产线。2)电镀其它废水 电镀其他生产废水包括去氧化(活化)置换液、中和置换液、地面清洗废水和酸雾吸收158、废水等。废槽液更换量根据槽液量与更换频率计算。具体见表 4-17。表表 4-17 电镀生产线其它废水统计电镀生产线其它废水统计 槽液 每条电镀生产线其它废水产生情况 全厂电镀其它废水产生量 槽液量 更换频率 废水量 软化槽液 250L 1 次/3 月 1t/a 4t/a 去氧化槽(1)液 175L 1 次/5 天 12.6t/a 50.4t/a 去氧化槽(2)液 175L 1 次/5 天 12.6t/a 50.4t/a 中和槽(1)液 150L 1 次/7 天 7.8t/a 31.2t/a 中和槽(2)液 150L 1 次/14 天 3.9t/a 15.6t/a 地面清洗废水 产污系数以1.2159、L/m2 d计,电镀车间面积约537m2 193.32 t/a 酸雾吸收废水 每月换水 8 次,每次约 4m3 320 t/a 合计 664.92 t/a 注:电镀车间共 4 条电镀生产线。3)电镀废水水质 本项目电镀前先进行塑封处理,塑封工序是用固态塑封料将芯片和引线在塑封模具 50 中包封起来,故塑封后电镀加工主要是针对金属架框进行镀锡处理,防止氧化,金属架框为铜材,故电镀废水中的重金属主要为铜和锡。本项目从事集成电路封装,产品与山东贞明半导体技术有限公司相同。本项目电镀工艺、原辅料使用情况与山东贞明半导体技术有限公司基本相同。根据业主提供的山东贞明半导体技术有限公司废水检测数据,项目电镀160、锡生产线废水水质见下表 4-18。表表 4-18 电镀锡生产线废水水质电镀锡生产线废水水质一览表一览表 单位:单位:mg/L,pH 除外除外 此处保密此处保密 4)电镀废水分类及处置 依据电镀废水治理工程技术规范(HJ2002-2010)、电镀污染防治最佳可行技术指南(HJ-BAT-11)等规范文件要求,根据分类收集、分质处理的原则及废水水质监测结果,将电镀废水治理工程技术规范生产废水分为:酸、碱废水、含锡废水和其它废水等 4大类。电镀废水处理工序及去向见表 4-19。表表 4-19 电镀废水处理工序及去向一览表电镀废水处理工序及去向一览表 废水种类 产生工序 废水处理工艺 去向 酸性废水(液161、)去氧化物槽置换液、中和 2槽置换液 酸性废水(液)与碱性废水(液)中和调节后进电镀废水处理系统酸性、碱性有机废液处理装置(采取“酸化+还原+氧化+絮凝沉淀”处理工艺)处理后,进电镀废水处理系统锡化废水处理装置进一步处理 经电镀废水处理系统处理后进城北污水处理厂。碱性废水(液)软化清洗水 锡化废水 电镀清洗废水、退镀清洗废水、中和 1 槽液、中和清洗水、去氧化清洗水、地面冲洗废水、酸雾吸收废水、去溢料废水 地面冲洗、废气治理吸收废水、锡化废水、去溢料废水、处理后的酸碱废水经电镀废水处理系统锡化废水处理装置(采取“PH 调节+重捕+絮凝沉淀+多介质过滤+活性炭过滤”处理工艺)处理 其它废水 地面162、冲洗、废气治理吸收废水 2、水平衡图 此处保密此处保密 表表 4-20 废废水产水产排排情况一览表情况一览表 此处保密此处保密 51 2、废水处理方案 本项目生活废水生活污水经化粪、隔油处理后进城北污水处理厂;纯水制备浓水69.12t/d 回用于去溢料工序,167.04t/d 进城北污水处理厂;冷却系统置换废水进城北污水处理厂;磨片废水和划片废水经磨划片废水处理系统处理后进电镀废水处理系统中间水箱进一步后续处理;电镀废水中,其中去氧化物槽置换液、中和 2 槽置换液、软化清洗水经中和调节后进电镀废水处理系统酸性、碱性有机废液处理装置(采取“酸化+还原+氧化+絮凝沉淀”处理工艺)处理后,进电镀废水163、处理系统锡化废水处理装置进一步处理;电镀清洗废水、退镀清洗废水、中和 1 槽液、中和清洗水、去氧化清洗水、地面冲洗废水、酸雾吸收废水、去溢料废水、处理后的酸碱废水经电镀废水处理系统锡化废水处理装置(采取“PH 调节+重捕+絮凝沉淀+多介质过滤+活性炭过滤”处理工艺)处理后进城北污水处理厂。3、废水处理可行性分析(1)废水水质情况 本项目生活污水,主要污染物为 COD、BOD5、SS、NH3-N 等,水质简单,可生化性较高。磨片、划片废水水质较为简单,主要污染物为 COD 和 SS,COD 浓度 150mg/L,SS 浓度 5001500mg/L。电镀锡废水较为复杂,包括酸碱废水、锡化废水和其它164、废水;其中酸碱废水主要污染物为 pH、总铜,pH 在 0.759.88 左右,总铜浓度为 0.052570mg/L;锡化废水主要污染物为 pH、CODcr 和锡,pH 值 3.1612.67,总锡浓度为 1.2625mg/L;其它废水主要污染物为 pH 和 CODcr,pH 为 45.5,CODcr 浓度 120150mg/L。冷却水系统置换废水,以及纯水制备系统浓水水质较好,可直接纳管。(2)废水处理措施分析 根据本项目废水特点,磨片、划片废水和电镀废水分类收集和处置,共设 2 套污水处理系统,分别为磨片、划片废水处理系统和电镀废水处理系统各 1 套。磨片、划片废水单独收集后进磨片、划片废水165、处理系统(采取“酸、碱反应+混凝沉淀+斜管沉淀”处理工艺)处理后进电镀废水处理系统中间水箱进一步处理。电镀废水经收集后进电镀废水处理装置处置。考虑电镀废水包括酸碱废水、锡化废水和其它废水等,水质较为复杂,为此,电镀废水宜采取分质分类收集和分质处理工艺。其中去氧化物槽置换液、中和 2槽置换液呈酸性,软化清洗水呈碱性且 COD 浓度较高,为此,酸碱废水经中和调节后进电镀废水处理系统酸性、碱性有机废液处理装置(采取“酸化+还原+氧化+絮凝沉淀”处理工艺)处理后,进电镀废水处理系统锡化废水处理装置进一步处理;电镀清洗废水、52 退镀清洗废水等废水中主要含有、Sn2+、Cu2+、磷酸盐等,另还有少量甲基166、磺酸锡;Sn2+和 Cu2+在碱性条件下容易生成氢氧化亚锡沉淀物而被去除,因此电镀废水处理系统锡化废水处理装置采取“PH 调节+重捕+絮凝沉淀+多介质过滤+活性炭过滤”处理工艺。由于软化槽液是有一定寿命的,当其中杂质含量到达一定程度必须进行更新,软化液中含大量的有机溶剂、残碱液、乳化液、油脂皂化液等。软化槽液属间歇排放,软化清洗为连续排放;软化槽液浓度较高,产生量较小,单独收集贮存后委托有资质的危废处置单位处理。根据电镀废水治理工程技术规范(HJ 20022010),电镀溶液过滤后产生的滤渣和报废的电镀溶液不得进入废水收集和处理设施;酸、碱废水的处理应首先利用酸、碱废水本身的自然中和或利用酸、167、碱废液、废渣等相互中和处理。本项目电镀液和退镀液过滤后循环使用,定期更换,电镀槽渣(液)委托资质单位处置。去氧化槽液、中和 2槽液为酸性废水,属间歇排放,15 天排放 1 次,浓度较高,产生量较小,先将其收集贮存起来,然后有计划地进入电镀废水处理系统酸性、碱性有机废液处理装置。中和 1 槽液属间歇排放,产生量较小,先将其收集贮存起来,然后有计划地进入电镀废水处理系统锡化废水处理装置。冷却塔系统置换废水和纯水制备系统浓水水质较好,可直接纳管排放。生活污水经化粪池、隔油收集处理后排入市政污水管网。(3)废水处理工艺 1)磨片、划片废水处理系统 此处保密此处保密 污水处理原理概述:磨片、划片废水主要168、含有大量硅微粒、daima flow 清洗药剂等杂质;磨片、划片废水处理系统采用连续处理工艺。磨片、划片废水通过提升泵泵入反应池,投加 NaOH、HCl 调 PH 后进混凝沉淀池,先后投加 PAC、PAM,发生絮凝和斜管沉淀分离反应,使泥水分离。上清液进电镀废水处理系统中间水箱进一步处理,污泥经压滤后外运无害化处理,滤液返回废水调节箱。2)电镀废水处理系统 53 此处保密此处保密 污水处理原理概述 a、重金属离子中和沉淀 电镀废水主要污染物为重金属,本项目废水采取 pH/ORP 自动调节加药的化学处理法,国内的实践证明该技术较为可靠、成熟、经济实用,而且容易实现远距离监控,尤其现已普遍使用的智169、能化 pH/ORP 仪表本身具有计算机通讯功能,十分适合电镀废水的集中和分散处理系统采用,监测效果可靠,全自动操作,使用方便。电镀废水由各车间集水池提升至废水调节池,曝气搅拌,均质均量。通过对废水 pH 的控制,废水中的 Cu2+、Sn2+与 OH反应生成氢氧化铜沉淀和氢氧化亚锡沉淀,以沉淀、过滤等固液分离方式,或投加适量的混凝剂,结合凝聚、共沉等原理,达到去除污染净化废水之目的。Cu2+2OH-=Cu(OH)2 Sn2+2OH-=Sn(OH)2 b、电镀废水处理工艺简述 先将去氧化槽液、中和 2 槽液收集至酸性废液调节池,将软化清洗废水收集至碱性废水调节池,再通过提升泵将酸性废液调节池的废水170、均匀加入碱性废水调节池中进行调节,然后进行酸化处理,再进行芬顿高级氧化处理,处理后的废水经絮凝沉淀后,上清液再用小的计量泵均匀投入到锡化废水调节池中混合均匀,主要起到均质的目的,锡化废水中主要含有 Cu、Sn、锡化有机成份等。先进行 PH 调整,让大部分的游离态的铜形成铜的沉淀物,在后面的反应池中进一步投加 DTC,进一步捕捉水中残留的铜或络合态的铜,确保重金属铜有效的形成胶体等,再投加絮凝剂,使小的沉淀物絮凝成较大的繁花沉降。上清液与处理后的磨划废水进入多介质与活性炭过滤器,进一步去除水中的悬浮物,胶体,并吸附水中部分有机物。污泥进入污泥池进一步污泥浓缩、压滤处理。(4)污水处理设计条件 磨171、片、划片废水处理设施设计处理能力为 300m3/d;电镀废水设计处理能力 500m3/d。污水处理设施设计进水水质情况如下表 4-21。表表 4-21 污水处理工艺设计进水水质单位:污水处理工艺设计进水水质单位:mg/L,pH 除外除外 水质指标 pH COD 磷酸盐 SS 总铜 总锡 磨片、划片废水处理设施进水浓度 69 200/3000/电镀废水处理设施进水浓度 910 2000 10 200 50 10(5)污水处理达标可行性分析 54 本项目磨片划片废水和电镀废水处理效果分别见表 4-22 和表 4-23。表表 4-22 磨片划片废水设计处理磨片划片废水设计处理效率效率一览一览表表 处172、理单元 废水量(m3/a)COD(mg/L)SS(mg/L)酸、碱反应 进水 72516 150 834 去除率(%)/0 30%出水 72516 150 584 混凝沉淀 进水 72516 150 584 去除率(%)/10%40%出水 72516 135 350 斜管沉淀 进水 72516 135 350 去除率(%)/10%60%出水 72516 121.5 140 表表 4-23 电镀电镀废水设计废水设计处理效处理效率一览表率一览表(mg/L)处理系统 处理单元 废水量(m3/a)pH COD 磷酸盐 总锡 总铜 SS 酸性、碱性有机废水(液)处理装置 酸化+还原+氧化 进水 7892173、.4 910 934 2.1/34.3/去除率/0 65%0 0 0 10%出水 7892.4 78 327 2.1/34.3/絮凝沉淀 进水 7892.4 78 327 2.1/34.3/去除率/0 10%40%90%98%90%出水 7892.4 78 294.3 1.3/0.7/锡化废水处理装置 PH 调节 进水 73752.92 78 127.6 0.9 6.1 1.1 1.7 去除率/0 0 0 70%70%0 出水 73752.92 78 127.6 0.9 1.8 0.3 1.7 重捕池 进水 73752.92 78 127.6 0.9 1.8 0.3 1.7 去除率/0 0 0174、 83%83%0 出水 73752.92 78 127.6 0.9 0.3 0.05 1.7 絮凝沉淀 进水 73752.92 78 127.6 0.9 0.3 0.05 1.7 去除率/0 10%50%90%90%80%出水 73752.92 78 114.8 0.5 0.03 0.01 0.34 多介质过滤 进水 146268.92 78 118.1 0.25 0.02 0.01 69.6 去除率/0 10%0 0 0 60%出水 146268.92 78 106.3 0.25 0.02 0.01 27.8 活性炭过滤 进水 146268.92 78 106.3 0.25 0.02 0.0175、1 27.8 去除率/0 10%0 0 0 0 出水 146268.92 78 95.7 0.25 0.02 0.01 27.8 接管标准/69 450 5 5.0 0.5 300 由上表 4-22 和表 4-23 可知,磨片、划片废水处理系统和电镀废水处理系统出水各项指标均满足城北污水处理厂接管标准。4、废水接管可行性分析(1)城北污水处理厂设计规模、工艺 城北污水处理厂设计处理水量为 4 万 t/d。工艺流程为“进水粗格栅提升泵站细格栅曝气沉砂池混凝反应沉淀池调节池/事故池水解酸化池(可xx)曝气氧化沟二沉高效澄清池臭氧催化氧化处理单元(预留)纤维转盘滤布滤池紫外消毒 55 池出水”。现已176、正式投入运行,实际进入城北污水处理厂的混合污水大约 2 万 t/d,含PCB 环保中心处理后的工业废水大约 1.5 万 t/d,有充足余量接纳本项目污水。(2)城北污水处理厂进出水水质 进出水水质见表 4-24。表表 4-24 设计进设计进出出水水水质水质一览表一览表 项目项目 进水水质进水水质 (GB18918-2002)一级一级 A 标准标准 pH 69 69 CODcr 450mg/L 50mg/L BOD5 180mg/L 10mg/L SS 300mg/L 10mg/L NH3-N 40mg/L 5mg/L 总铜 0.5mg/L 0.5mg/L 总锡 2.0mg/L/磷酸盐(以磷计)177、5.0mg/L 0.5mg/L 注:总锡参照参照执行锡、锑、汞工业污染物排放标准(GB 30770-2014)中的表 2 要求。(3)接管可行性分析 城北污水处理厂一期一阶段收水范围为滨江大道以东,钟仓河以南,天门山大道以西,金昌冶炼厂以北,规划面积 27.8 平方公里,规划服务人口 12 万。本项目选址位于xx经济技术开发区西湖一路1588 号(xx市xx新能源科技有限公司现有厂区),属于城北污水处理厂的服务范围,同时污水处理厂配套建设的污水管网已铺设到本项目所在地,污水处理厂可以接纳本项目排放的废水。本项目全厂废污水量为 708.51t/d,约占城北污水处理厂处理能力的 1.77%,各类废178、水均经厂区污水处理设施处理后满足接管标准,不会对城北污水处理厂的处理工艺产生冲击,也不会对污水厂的正常运营产生冲击负荷,项目的废水经处理达标后,尾水经新兴闸排入小汊江,不会影响纳污河道的水质功能。因此本项目废水进城北污水处理厂处理是可行的。5、排污口规范化管理 根据环境保护总局环发199924 号文件关于开展排放口规范化整治工作的通知中相应规定:一切新建、扩建、改建和限期治理的排污单位必须在建设污染治理设施的同时建设规范化排放口,并作为落实环境保护“三同时”制度的必要组成部分和项目验收的内容之一。同时根据xx省环境保护局环法函2005114 号xx省污染源排放口规范化整治管理办法,环评要求对项179、目排污口进行规范化管理。项目污水排放口应进行规范化管理,只设一个总排口,污水总排放口的进水口应设置具备便于采样和流量测定条件的采样口,出水口安装在线监测装置;并在排污口处设立立式固定式标志牌,并对排 56 污口建档。综上所述,本评价认为,本项目产生的废水对区域地表水环境影响较小。表表 4-25 废水废水类别、污染物及治理设施信息表类别、污染物及治理设施信息表 废水类别 污染物种类 排放去向 排放规律 污染治理措施 排放口编号 排放口设置是否符合要求 排放类型 治理设施编号 治理设施名称 污染治理设施工艺 生活污水 COD、BOD5、NH3-N、SS 化粪池、隔油处理后进城北污水处理厂 间歇/化180、粪池、隔油池/DW001 符合 间接排放 纯水制备浓水 COD 69.12t/d 回用于去溢料工序,167.04t/d进城北污水处理厂 连续/冷却水 COD 进城北污水处理厂 连续/磨片、划片废水 COD、SS 经磨片、划片废水处理装置处理后进电镀废水处理系统中间水箱 连续/磨片、划片废水处理系统 酸、碱反应+混凝沉淀+斜管沉淀 电镀废水 pH、COD、磷酸盐、铜、锡、SS 经电镀废水处理系统处理后进城北污水处理厂 连续/电镀废水处理系统 酸碱废水处理装置:酸化+还原+氧化+絮凝沉淀;锡化废水处理装置:PH 调节+重捕+絮凝沉淀+多介质过滤+活性炭过滤 三三、噪声环境影响和保护措施噪声环境影响181、和保护措施 1、噪声源强 项目噪声通过选用低噪声设备、基础减振、优化平面布置等措施可使厂界噪声达标。参照环境噪声与振动工程技术导则(HJ2034-2013)附录 A 中噪声源强,运营期主要噪声源强见下表。表表 4-26 项目营运期主要噪声源源强项目营运期主要噪声源源强 序序号号 噪声源名称噪声源名称 距离厂界距离距离厂界距离/m/m 降噪前的降噪前的噪声级噪声级 降降噪措施噪措施 1 磨片机 E:391;W:19;S:100;N:53 80 基础减振厂房隔声 2 划片机 E:391;W:19;S:98;N:55 80 3 CO2发泡机 E:391;W:19;S:96;N:57 80 4 无油空182、压机组 E:391;W:20;S:94;N:59 90 5 制氮机组 E:391;W:20;S:92;N:61 85 6 氮氢混合气机组 E:391;W:20;S:90;N:63 80 57 7 净化空调系统 E:201;W:212;S:62;N:102 85 8 螺杆制冷机组 E:222;W:193;S:62;N:102 85 9 空气能热泵 E:243;W:172;S:62;N:102 90 10 高速电镀线 E:245;W:167;S:65;N:99 75 11 装片机 E:245;W:167;S:68;N:96 75 12 键合机 E:245;W:167;S:71;N:93 80 13183、 塑封系统 E:227;W:186;S:61;N:102 75 14 自动切筋及成型系统 E:227;W:186;S:67;N:96 85 15 激光刻印机 E:227;W:186;S:73;N:90 80 16 PLASMA 清洗机 E:227;W:186;S:79;N:84 80 17 切割刀 E:227;W:186;S:95;N:78 85 18 集成电路测试机 E:227;W:186;S:101;N:72 70 19 集成电路测编一体机 E:211;W:201;S:63;N:100 70 20 风机/95 21 泵/90 2、预测模式 项目采取三班制,据项目设备噪声排放特点,并结合环境184、影响评价技术导则声环境(HJ2.4-2009)中工业噪声预测计算模式。(1)计算某个室内靠近围护结构处的倍频带声压级 式中:Loct,t某个室内声源在靠近围护结构处产生的倍频声压级,dB;Lw,oct某个声源的倍频带声功率级,dB;r室内某个声源与靠近围护结构处的距离,m:R房间常数,m 2;Q方向性因子,无量纲。(2)计算所有室内声源在靠近围护结构处产生的总倍频声压级 (3)计算室外靠近围护结构处的声压级(4)将室外声级 Loct,2(T)和透声面积换算成等效的室外声源,计算等效声源第 i 个倍频带的声功率级 Lw,oc:式中:S 为透声面积,m2。58 (5)等效室外声源的位置为围护结构的185、位置,其倍频带声功率级为 Lw,oct,由此按室外声源在预测方法计算等效室外声源在预测点产生的声级。(6)计算某个室外声源在预测点产生的倍频带声压级 式中:Loct(r)点声源在预测点产生的倍频带声压级,dB;Loct(r0)参考位置 r0 处的倍频声压级,dB;r预测点距声源的距离,m;r0参考位置距声源的距离,m;Loct各种因素引起的衰减量(包括声屏障、遮挡物、空气吸收、地面效应引起的衰减量)。如果已知声源的倍频带声功率级 Lw,oct,且声源 可看作是位于地面上的,则:(7)等效连续 A 声级 式中:LAeq:在 T 段时间内的等效声级 dB(A);T:计算时间段的时间总数,对于昼间 186、T=16,夜间 T=8;t:某时段的时间序号;SLA:某时段的 A 声级 dB(A)。3、预测结果及分析 拟建项目运行时昼间的预测噪声排放值结果见表 4-27 所示。表表 4-27 各各预测点预测点环境环境噪声噪声影影响预测结果响预测结果 单位:单位:dB(A)预测点位置 预测值 标准值 超标情况 厂界东 1m 处 42.1 昼间:65,夜间:55 达标 厂界南 1m 处 48.4 达标 厂界西 1m 处 46.5 达标 厂界北 1m 处 46.2 达标 由上述计算结果可知,本项目运营过程中产生的噪声经基础减震、厂房隔声、绿化及距离衰减等措施后,厂界噪声贡献值满足工业企业厂界环境噪声排放标准(187、GB12348-2008)中的 3 类标准。因此,该项目产生的噪声对周围声环境影响不大。四四、固体废固体废物环境影物环境影响和保护措施响和保护措施 1、固体废物产生情况(1)不合格品:晶圆测试是对晶片上的每个晶粒进行针测,在检测头装上以金线制成细如毛发之探针,与晶粒上的接点(pad)接触,测试其电气特性,不合格的晶粒会被 59 标上记号,而后当晶片依晶粒为单位切割成独立的晶粒时,标有记号的不合格晶粒会被洮汰,不再进行下一个制程,以免徒增制造成本。不合格品率约万分之一,不合格品产生量约 0.01t/a。一般固废代码为:380-001-14,由厂家回收利用。(2)废导电胶:本项目上芯使用的导电胶原188、料为针管包装,导电胶使用前需要在冰箱内冷冻保存,使用时拿出来室温减冻 1 小时,然后将导电胶加入到固晶机的胶盘上进行使用,导电胶使用期限一般不能超过 24h,胶盘需要定期清理从而产生废导电胶。本项目导电胶用量为 1.62t/a,废导电胶产生量约为用量的 1%,废导电胶产生量约 0.02t/a。根据 国家危险废物名录(2021 版),废导电胶属于“HW13 有机树脂类废物:900-014-13”类项,为危险废物,要求收集后委托有资质单位处置。(3)废压模胶:塑封成型工序使用的模具设有投胶口,将导线架投入模穴中预热,闭合模具,然后将胶粒投入,先将胶粒预热胶粒达到最佳黏度时开始挤胶,胶装压模胶注入胶189、道,再由注胶口填入模穴,在膜内烘烤硬化后开模,用顶针顶起成型品,折去挤胶杆和胶道上的废胶,从而产生废压模胶。本项目塑封胶用量为 650t/a,废压模胶产生量约为塑封胶用量的 1%,则本项目废压模胶产生量为 6.5t/a。根据国家危险废物名录(2021 版),废压模胶属于“HW13 有机树脂类废物:900-014-13”类项,为危险废物,要求收集后委托有资质单位处置。(4)电镀槽渣(液):本项目预浸槽、镀锡槽和退镀槽均配有循环过滤装置对槽液过滤,有槽渣产生,槽渣平均半个月过滤一次,每槽每次清除槽渣约 12.5kg,本项目共 4条电镀线,则全年产生电镀槽渣约 3.6t。预浸槽槽液 7 天换 1 次190、,每次约 175kg;电镀槽槽液 6 个月换 1 次,每次约 1500kg;退镀槽液 2 个月更换 1 次,每次约 200kg;软化槽液槽液 3 个月换 1 次,每次约 250kg;则本项目槽液产生量为 50t/a;根据国家危险废物名录(2021 版),电镀槽渣(液)属于“HW17 表面处理废物:336-063-17”类项,为危险废物,要求收集后委托有资质单位处置。(5)边角料:电路封装和电镀处理后需要切筋成型,切筋是切除引线框架上连接引脚的横筋以及边框,成型是将引脚弯成一定的形状,以适合装配的需要。切筋成型产生金属边角料,产生量约 5t/a。一般固废代码为:900-999-99,外售综合利用191、。(6)电镀废水处理产生的污泥:根据类比调查,本项目电镀废水处理污泥产生量约为 300t/a,含水率为 80%。根据国家危险废物名录(2021 版),电镀废水处理污泥属于“HW17 表面处理废物:336-063-17”类项,为危险废物,要求收集后委托有资质单位处置。60 (7)废针管(废包装物):本项目上芯使用的导电胶原料采用塑料针管包装,导电胶使用过程产生废针管。单只废针管重量约 0.5g/支,本项目年用导电胶 1.62t,年用导电胶针管约 9 万只,则废针管产生量为 0.045t/a。根据国家危险废物名录(2021 版),废针管属于“HW49 其它废物:900-041-49”类项,为危险废192、物,要求收集后委托有资质单位处置。硫酸、软化剂、甲基磺酸、甲基磺酸锡、镀锡添加剂、氢氧化钠等化料使用过程产生沾染化学品的废包装物(包装桶、袋),根据原料用量、包装规格,废包装桶(袋)产生量约 1.7t/a。根据 国家危险废物名录(2021 版),废包装物(包装桶、袋)属于“HW49 其它废物:900-041-49”类项,为危险废物,要求收集后委托有资质单位处置。(8)废次品:本项目产品测试过程中有废次品产生,产生量约 1t/a。一般固废代码为:380-001-14,由厂家回收利用。(9)废包装材料:经检验合格的产品需要包装入库,使用的包装材料包括卷盘、料管、载带盖带等,包装过程会有废包装材料产193、生,根据类比调查,废包装材料产生量约2.5t/a。一般固废代码为:900-999-66,外售综合利用。(10)废油:螺杆机组等设备维修过程中产生的废机油约 0.2t/a。根据国家危险废物名录(2021 版),废油属于“HW08 废矿物油与含矿物油废物:900-219-08”类项,为危险废物,要求收集后委托有资质单位处置。(11)磨片划片废水处理污泥:根据类比调查,本项目污泥产生量约为 134t/a,含水率为 80%。一般固废代码为:900-999-61,外运无害化处置。(12)废活性炭:本项目采用活性炭吸附法处理挥发性有机物,活性炭需定期替换以保持吸附效率,活性炭吸更换量约为 VOCs 废气削194、减量的 6.7 倍。本项目 VOCs 削减量为 1.0438t/a,则废活性炭产生量约为 6.99t/a。根据国家危险废物名录(2021 版),废活性炭属于“HW49 其它废物:900-041-49”类项,为危险废物,要求收集后委托有资质单位处置。(13)生活垃圾:本项目劳动定员 500 人,每人每天垃圾产生量按 0.5kg 计,年工作 300 天,生活垃圾产生量为 75t/a,由环卫部门负责清运。经过以上对固废综合利用以及处理处置措施后,本项目产生的固废能够得到有效利用及处理处置。61 表表 4-28 本项目本项目固(液)体废物源强固(液)体废物源强 类类别别 产污环节产污环节 名称名称、成195、分及代码成分及代码 产生量产生量(t/a)储存方式储存方式 危险特危险特性性 处置措处置措施施 一般 固废 办公 生活垃圾 75 垃圾桶装/环卫部门统一收集 检验测试 不合格品 0.01 袋装/厂家回收利用 冲筋成型 边角料 5 袋装/外售 测试、打标 废次品 1 袋装/厂家回收利用 编带、包装 废包装材料 2.5 袋装/外售 磨划片废水处理 磨片划片废水处理装置污泥 134 袋装/外运无害化处置 危险 固废 上芯固化 废导电胶 HW13 900-014-13 0.02 袋装 毒性 定期交由有资质单位处理处置 塑封 废压模胶 HW13 900-014-13 6.5 袋装 毒性 电镀 电镀槽渣(196、液)HW17 336-063-17 53.6 桶装 毒性 电镀废水处理 电镀废水处理装置污泥 HW17 336-063-17 300 袋装 毒性 塑封及化学品包装 废针管(废包装物)HW49 900-041-49 1.745 捆装 毒性和感染性 有机废气处理 废活性炭 HW49 900-041-49 6.99 袋装 毒性和感染性 维修 废机油 HW08 900-219-08 0.2 桶装 毒性和易燃性 本项目在 3厂房东边设置一个 50m2一般固废暂存场,用于堆放不合格品等一般固废。项目危险废物交由具有处理危险废物资质的危险废物处置中心处理。同时,本项目拟建设一个 100m2危险废物暂存场,并197、设置导流地沟和集液井,用于危险废物临时堆置。危废暂存库要求贴有危险废物标志。采取防扬尘、防雨淋、防流失、防渗漏及排水措施,尽量避免在厂区长期堆存。各类固废在厂内暂存措施应分别按照一般工业固体废物贮存、处置场污染控制标准(GB16889-1997)、危险废物贮存污染控制标准(GB18597-2001)实施,对危险废物外运采取防渗透、防泄漏、防中途流失措施,并落实安全管理责任,避免二次污染。本项目对生产过程中产生危险废物的收集、运输、贮存、管理以及转运应严格按照危险废物污染防治技术政策(环发2001199 号)、危险废物转移联单管理办法(国家环境保护总局令第 5 号)和危险废物贮存污染控制标准(G198、B18597-2001)实行。综上所述,本项目对固体废物均进行了合理的处置,实现“无害化、减量化和资源化”的要求,预计对周围环境影响较小。因此,在严格按照固体废物管理法,确保固体 62 废物在中转、运输和综合利用的过程中不造成二次污染的情况下,加强生产管理,项目投产后产生的固体废物均得到妥善处置,对环境影响不大。五五、地下水环境影响和保护地下水环境影响和保护措施措施 1、地下水环境影响 根据环境影响评价技术导则 地下水环境(HJ610-2016)附录 A 的规定,本项目属于“K 机械、电子 80、电子真空器件、集成电路、半导体分立器件制造、光电子器件及其他电子器件制造”的“有分割、焊接、酸洗或199、有机溶剂清洗工艺的”,编制环境影响报告表,为 类建设项目,项目周边环境为“不敏感”,确定本项目地下水环境影响评价等级为三级。仅简要说明污染物类型、数量、给排水状况、排水去向,并进行一些简要的环境影响分析。2、区域水文地质基本特征(1)地下水赋存条件及分区特征 xx市沿江冲积层孔隙水含水层面积54.5 平方公里,地下水天然资源为 1.8 亿立方米/年,资源模数为 30.38 万立方米/年平方公里。岩溶裂隙水含水层面积为 316.5 平方公里,地水天然资源为 3652.04 万平方米/年,资源模数为 12.9 万立方米/年平方公里,径流模数 4.09/秒平方公里。全市地下水天然资源总量为 1.09200、37 亿立方米。xx市地下水资源含量少,不能保证城市用水需要,所以城市用水不采用地下水作为水源。本区的水文地质环境有以石灰岩丘陵为主、地层多样、构造复杂、降水充沛、孔隙、溶洞裂隙潜水和承压水分布广泛的特点。依据地层岩性、地质构造和自然地理条件,可划分为三个水文地质区。沿江冲积平原以孔隙水为主的水文地质区 xx沿岸平原区,地表透水性强,降水入渗补给条件好,地下水位与降雨量同步变化。xx沿岸地下水与江水关系密切,长观孔资料表明,丰水期江水略高于地下水位,江水补给地下水;平水期江水与地下水位基本持平或略高;枯水期地下水位略高于江水面,地下水补给江水。丘陵平原区以裂隙溶洞水为主的水文地质区 主要分布于201、境内的中部,地貌以石灰岩丘陵为主,地表岩溶发育。大气降水是石灰岩丘陵区的主要补给来源。降雨沿地表溶隙、岩溶洼地、落水洞直接流入或灌入,在极短时间里迅速到达地下岩溶管道系统中。其中一部分径流很短,沿山坡或山脚以下降泉排泄,泉流量变化大,大多数泉常年不干涸;另外一部分径流路径较远,通过断裂、层 63 面、接触带及裂隙溶洞向深部运移到各种形式的储水构造中,埋藏较深。部分以上升泉或泉群出露地表,泉流量较稳定。低山区以基岩裂隙水为主的水文地质区 主要分布于境内的东部,地貌多为低山、高丘,地势高,大多组成山脊,构成地表分水岭。大气降水是山区基岩裂隙水的唯一补给来源。降雨沿基岩构造裂隙下渗,径流很短,大部分202、在溪沟处以下降泉排泄,泉流量随季节变化大,与降雨量同步变化,但略有滞后。少部分沿断裂运移到深部裂隙储水构造中或侧向补给岩溶水、孔隙水。(2)地下水类型与富水程度 本区地下水划分为松散岩类孔隙水、碎屑岩类裂隙水、碳酸盐岩类岩溶水三种类型。(3)地下水开发利用条件 松散岩类孔隙水 区内松散岩类孔隙水分布广泛,主要是沿江冲积层孔隙水。该冲积层厚 35-60m,单井开采量一般可达 1000m3/d 以上。水质属 HCO3-CaMg 型,矿化度小于 1g/l,pH 值7.5,仅硬度及铁离子有超标现象,经适当处理,可以饮用。该冲积层地表透水性强,垂向补给条件良好,并且与xx水存在密切水力联系,开采时可获得203、江水侧向补给。丘陵地带孔隙水单井水量 100m3/d 左右。山区坡麓地带残坡积、冲洪积层及中更新统棕红色粘土层,厚 5-20m,含水贫乏,单井水量10m3/d,水质尚可,适宜农村土井开采利用。碳酸盐岩类岩溶水 区内岩溶水以三叠系南陵湖组及二叠系栖霞组分布最普遍,多沿向斜谷底及背斜两翼展布。裸露型、覆盖型、埋藏型均有,以覆盖型分布最广。裸露型:为石灰岩残丘,以二叠系栖霞组为主。岩溶现象发育,常见暗河、大泉出露。覆盖型:表现为向斜谷地,以三叠系南陵湖组为主,岩溶地层大面积被松散堆积物覆盖,覆盖层厚 1020m。局部地区存在相对较大的溶洞,其规模随深度增大而减小。岩溶水丰富,一般单井开采量可达 10204、00m3/d,岩溶相对发育地段可达 2000m3/d 以上,但超量开采往往会引发岩溶塌陷灾害等。埋藏型:表现为山前平原和褶皱山地,以二叠系栖霞组为主,多溶蚀裂隙,有较大的溶洞发育,地形位置有利时往往形成自流井。单井开采量一般可达 2000m3/d 以上,开发利用条件较好。但是含水层埋藏较深,一般 200-300m。64 基岩裂隙水 基岩裂隙水一般无供水意义。碎屑岩地层及岩浆岩体含水微弱,一般仅浅部含微弱风化裂隙水,只有在导水富水破碎带上建井,单井开采量可达 500-1000m3/d。(4)水文地质结构模型 根据评价区内的水文地质条件,评价区地下水类型为松散岩类孔隙水,按含水层的特性可进一步概化205、为两层,上层为黏土层,下层为黏土质砂岩层。通过开展第四系野外调查,并结合地区水文水质情况,确定地下水流方向整体由东南向西北流动。(5)边界条件概化 垂向边界:在垂向上,潜水含水层自由水面作为模型上边界,通过该边界潜水与系统外发生垂向上的水量交换,如大气降水入渗补给、蒸发排泄;侧向边界:东南侧上游山脊线概化为隔水边界,东北侧及西南侧概化为侧向流动边界,西北侧的地表水体xx概化为定水头边界。(6)源汇项处理 由水文地质条件可知,模拟区地下水的主要补给项为大气降雨入渗;地下水的主要排泄项为向地表径流排泄。3、地下水影响分析(1)在非正常工况发生废污水或污染物渗漏情况下,污染物对地下水的影响范围和距离206、大小主要取决于污染物渗漏量的大小、污染因子的浓度、地下水径流的方向、水力梯度、含水层的渗透性和富水性,以及弥散度的大小。(2)污染物长期泄漏会对地下水造成影响,但整体影响范围主要集中在地下水径流的下游方向,污染物在地下水对流作用的影响下,污染中心区域向西方向迁移,同时在弥散作用的影响下,污染羽的范围向四周扩散。由于项目所在区域地下水水力梯度较小,污染物迁移速度也较慢。对于事故池、废水处理池等可能产生的地下水污染问题,在防渗系统破损,污染物泄露的事故工况下,污染物将随地下水向周围及下游扩散,在监控井例行监测中可发现污染物浓度增长,其影响范围被控制在泄露区及周边地区。随着地下水运移和稀释作用,污染207、物浓度将衰减直至恢复到地下水类标准。(3)考虑到地下水环境监测及保护措施,在厂区下游设有地下水监测点,一旦监测到污染物超标,监测点监测信息会在较短时间内有响应,会及时启动应急预案,进行污染物迁移的控制和修复,可以有效控制污染物的迁移。65 4、污染防治措施(1)源头控制措施 严格按照国家相关规范要求,对厂区内各污水处理设备等采取相应措施,以防止和降低污染物的跑、冒、滴、漏,将污染物泄漏的环境风险事故降到最低程度。设备和管线尽量采用“可视化”原则,即尽可能地上敷设和放置,做到污染物“早发现、早处理”,以减少由于埋地泄漏而可能造成的地下水污染。对地下管道、管道内外均采用防腐处理,定期对管道进行检漏208、,对出现泄漏处的土壤进行换土。严格固体废物管理,不接触外界降水,使其不产生淋滤液,严防污染物泄漏到地下水中。(2)分区防渗措施 建设项目成品库、半成品库、纯水站、消防水池、辅材室、包材室、线边仓、离心机房、制氮机房、混合气站、危废库及其集液井和导流地沟、生产车间、化学品库、冷库、维修室、污水处理各水池、污水收集池、事故池、初期雨水池、化粪池、废水收集沟渠(管线)等地面进行硬化;危废库及其集液井和导流地沟、生产车间、化学品库、冷库、维修室、污水处理各水池、污水收集池、事故池、初期雨水池、化粪池、废水收集沟渠(管线)均需防渗处理,避免污染地下水。本评价地下水污染防治措施参考危险废物填埋污染控制标准209、(GB18598-2019)、危险废物安全填埋处置工程建设技术要求(环发200475 号)等相关要求。1)防渗区划分 合理进行防渗区域划分:根据项目厂区可能泄露至地面区域污染物的性质和生产单元的构筑方式,将厂区划分为重点防渗区、一般防渗区,针对不同区域提出相应的防渗要求。地下水污染防治分区见表 4-29。表表 4-29 地下水污染防渗分区地下水污染防渗分区表表 防治分区防治分区 名称名称 防护区域防护区域 措施措施 重点 污染 防治 区 危废库、生产车间、化学品库、冷库、维修室 地面 防渗基础+防腐蚀水泥涂层+防渗管道及水池;其中污水输送管道均采用防渗管。具体方法为各池体采用 50cm 后黏土210、层+2mm 的 HDPE 土工膜防渗,并对内壁采用玻璃纤维布或环氧树脂防渗,等效黏土防渗层 Mb6.0m,K110-10;或参照执行 GB18598 执行 危废库集液井及导流地沟、污水处理各水池、污水收集池、事故池、初期雨水池、废水收集沟渠(管线)地面、池底、池壁、管沟 一般防治区 成品库、半成品库、纯水站、消防水池、辅材室、包材室、线边仓、离心机房、制氮机房、混合气站 地面、池底、池壁 采用混凝土对地面进行硬化,不低于 1.5m厚渗透系数为 1.010-7cm/s 的粘土层的防渗性能,等效黏土防渗层 Mb1.5m,K110-7;或参照执行 GB18598 执行 66 (2)污染防治措施要求 211、项目防渗工程的设计使用年限宜按 50 年进行设计。项目地下水污染防治分区及采取防治措施分析如下:重点防渗区 重点污染防治区主要包括危废库及其集液井和导流地沟、生产车间、化学品库、冷库、维修室、污水处理各水池、污水收集池、事故池、初期雨水池、化粪池、废水收集沟渠(管线),防渗措施如下:a、危废库、生产车间、化学品库、冷库、维修室:底部采用 10cm 厚三合土处理,上层再用 10-15cm 水泥硬化,表层涂环氧树脂环氧树脂,以达到防腐、防渗漏目的,等效黏土防渗层 Mb6.0m,渗透系数1.010-10cm/s。b、危废库集液井及导流地沟、污水处理各水池、污水收集池、事故池、初期雨水池、废水收集沟渠212、(管线):在防渗结构上水池的底部采用 10cm 厚三合土处理,再用 35-40cm 钢筋混凝土浇底;池壁采用 10-15cm 钢筋混凝土浇制,池底、池壁面线用防渗水泥砂浆抹平,后涂环氧树脂防渗。c、排水管道采用耐腐塑料管材,铺设管道的地沟用防渗水泥砂浆做防渗处理。一般防渗区 主要包括厂区道路、成品库、半成品库、纯水站、消防水池、辅材室、包材室、线边仓、离心机房、制氮机房、混合气站等:水泥硬化处理,采取 10cm 后三合土铺底,再铺 15-20cm 的水泥进行硬化。在采取以上分区防渗措施后,可有效预防项目对地下水污染的发生。六六、土壤环境影响分析土壤环境影响分析 1、土壤环境影响 本项目事故池、213、废水处理池、污水收集池、危废库、化学品库等可能产生的地下水污染问题,在防渗系统破损,污染物泄露的事故工况下;以及废气污染物的沉降到土壤均对土壤产生影响。2、土壤保护措施与对策(1)源头控制措施 从原料和产品储存、装卸、运输、生产过程、污染处理装置等全过程控制各种原辅材料、中间材料,同时对重点防渗区域采取防渗措施,阻止渗滤液等其进入土壤中,即从源头到末端全方位采取控制措施,防止项目的建设对土壤造成污染。67 从生产过程入手,在工艺、管道、设备、给排水等方面尽可能地采取泄漏控制措施,从源头最大限度降低污染物质泄漏的可能性和泄漏量,使项目区污染物对土壤的影响降至最低,一旦出现泄漏等即可由区域内的各种214、配套措施进行收集、处置,同时经过硬化处理的地面有效阻止污染物的下渗。(2)过程控制措施 项目按重点防渗区、一般防渗区分别采取不同等级的防渗措施,其中危废库及其集液井和导流地沟、生产车间、化学品库、冷库、维修室、污水处理各水池、污水收集池、事故池、初期雨水池、化粪池、废水收集沟渠(管线)等重点防渗区域,基础底部夯实,上面铺装环氧树脂防腐防渗层,等效黏土防渗层厚度6m,渗透系数10-10cm/s。对其他厂区道路、成品库、半成品库、纯水站、消防水池、辅材室、包材室、线边仓、离心机房、制氮机房、混合气站等一般防渗区采取基底夯实、基础防渗及表层硬化措施,等效黏土防渗层厚度1.5m,渗透系数10-7cm/215、s。简单防渗区进行了地面硬化处理。企业在管理方面严加管理,并采取相应的防渗措施可有效防治物料暂存等过程造成对区域土壤环境的污染。此外,一旦发生土壤污染事故,立即企业启动环境风险应急预案,采取应急措施控制土壤污染,并使污染得到治理。在采取以上措施后,可有效预防项目对土壤污染的发生。七七、环境环境风险分析风险分析 1、评价依据 本项目废气处理系统涉及有毒有害和易燃易爆危险物质的使用、储存,可能发生突发性事故(不包括人为破坏及自然灾害引发的事故)。根据建设项目环境风险评价技术导则(HJ169-2018),对本项目环境风险潜势进行判定。(1)危险物质数量与临界量比值(Q)根据建设项目环境风险评价技术导216、则(HJ169-2018)中附录 B 重点关注的危险物质及临界量,拟建项目涉及的危险物质名称,贮存量及临界量详见下表。表表 4-30 危险物质临界量表危险物质临界量表 序号 物质名称 CAS 号 存储量 临界量(t)q/Q 1 片碱 1310-73-2 0.1t/2 甲基磺酸 75-75-2 2t/3 碳酸钠 497-19-8 1t/4 硫酸 7664-93-9 0.5t 10 0.05 5 双氧水 7722-84-1 1 t/68 6 甲基磺酸亚锡/0.1 t/7 退镀液(含有甲基磺酸)75-75-2 1t/8 锡保护剂/0.5t/9 热煮软化液(含有 n,n二乙基乙醇胺)100-37-8 217、5t/10 锡球/2t/11 添加剂(含有十二烷基硫酸钠、苯磺酸钠)151-21-3 3198-32-1 0.2t/根据建设项目环境风险评价技术导则(HJ1692018)附录 C,Q 按下式进行计算:式中:q1,q2,qn每种危险物质的最大存在总量,t;Q1,Q2,Qn每种危险物质的临界量,t;当 Q1 时,该项目环境风险潜势为。当 Q1 时,将 Q 值划分为:1Q10;10Q100,Q100。经计算本项目 Q=0.051,该项目环境风险潜势为,可开展简单分析。2、环境敏感目标概况 (1)厂区周围环境概况 项目租赁xx经济技术开发区西湖一路1588 号(xx市xx新能源科技有限公司现有厂区),218、项目厂区所在地周边均为企业。(2)居住区和社会关注区主要环境敏感点应为项目周边的居住区等,项目周边距离厂址 500m 范围内无居民敏感点,具体见表 3-11。(3)水环境敏感性 根据调查,项目所在区域评价范围内无集中式饮用水源保护区,也没有自然保护区和珍稀水生生物保护区。另外,本项目各类废水均不外排。3、环境风险识别 结合项目特点,本项目风险识别主要包括原辅材料运输、储存过程,生产过程和三废污染处置过程中可能产生的环境风险。(1)运输过程 原辅材料在运输过程中由于发生交通事故等原因,料桶或料袋破裂,导致原料泄露,造成对周围大气环境或水环境污染事故。(2)储存过程 甲基磺酸、硫酸等危险品储存过程219、中因操作不规范等原因造成有毒有害物质的事故 69 性排放,可能引起周围环境的恶化。甲基磺酸受热分解产生有毒的甲醛和二氧化硫烟雾。氢气蒸气与空气形成爆炸性混合物,遇明火、高热能引起燃烧爆炸,具有较强的腐蚀。(3)生产过程及三废处理过程 a、污水处理站因操作不当造成水污染事故。或因停电或处理设施故障,造成废水事故性排放。b、综合废水因高浓度废水冲击、生物菌种的毒害、停电等事故,造成污水处理站出现故障,使污水处理效率下降或污水处理设施停止运转,将会有大量超标的污水直接排入污水管网,对城北污水处理厂造成冲击。c、污水管道破裂或污水泵发生故障,造成废水外泄,污染周围水体。d、VOCs、酸雾等废气处理设施220、发生故障而导致废气超标排放污染周围大气环境。e、电镀污泥中含有重金属铜。若如对其处置不当,乱堆放,其中的重金属极易受雨水淋溶而造成重金属的浸出,产生二次污染。f、危险废物在厂区暂存时,盛装危废的包装桶或编制袋在挪动转移过程中可能造成破裂,导致危废渗滤液泄漏,造成二次污染。(4)次生、伴生风险识别 生产作业和化料仓库事故时引起物料泄漏、火灾爆炸,在事故处理过程中的伴生污染主要涉及到消防水、事故初期雨水等。消防水会携带部分物料,若不能及时得到有效的收集和处置将会排入附近河道,对周边水环境造成不同程度的污染。另外,事故泄露状态下的厂区初期雨水,如不能得到妥善管理,就会随着雨水排入附近河道,对水环境构221、成威胁。泄露事故发生后,泄露物料不能及时有效处理,将会对环境造成二次污染。4、环境风险分析 (1)原料桶泄漏事故风险影响分析 本项目原辅材料中的硫酸、氢氧化钠、甲基磺酸均具有较强的腐蚀性,如果包装发生破裂,泄漏物质可能会腐蚀到附近设施,若流入废水处理设施则可能引起水质 pH 值超标,若流入土壤可能会污染土壤或渗入地下污染地下水,若发生人体接触还可能会造成人体灼伤。因此,建设单位应重视使用危险物品的安全措施,严格按照不同原料的性质分类贮存,如酸、碱类原料不得共同存放;硫酸、甲基磺酸锡等液体化学品包装物四周必须设置围堰,地面及四周做防腐处理,防止泄漏液进入污水处理站或土壤;对各类原料的包装须定期进222、行检查,一旦发现有老化、破损现象须及时更换包装,杜绝风险事故 70 的发生。(2)废水事故性排放影响分析 废水事故性排放主要分为污水处理站停电等事故导致废水处理设施不能正常运行、以及分质分流出现问题导致废水超标排入污水管网,或排管出现问题导致废水排入河流两种情况。1)废水未经处理直接排入污水管网 如果发生污水处理站停电等事故,将导致废水处理设施不能正常运行,废水超标排入污水管网;如果废水在处理过程中分质分流出现问题,废水未按照设计分流进入相应废水处理设施,则也可能导致废水超标排入污水管网。由于本项目废水经市政污水管网接入城北污水处理厂,因此废水超标排入污水管网可能会对污水处理厂造成冲击。2)排223、管出现问题导致废水排入河流 电镀废水中主要是重金属(铜、锡)和酸碱废水的危害,根据重金属在水中的迁移规律,当含重金属的电镀废水排入河流后,很快就沉积在河流的底泥中,由于所含高毒物质的种类多,其危害性是很大的。未经处理的电镀废水或呈酸性或呈碱性。当不考虑酸、碱废水中其他有毒物时,单纯的 H+或 OH-浓度偏高,其危害性相对较小,但也不可忽视。如排入江河湖塘中的酸、碱废水会危害水中微生物的生活,而许多微生物对水质起着重要的净化作用;排入农田中的酸、碱废水,会破坏土壤的团粒结构,影响土壤的肥力及透气、蓄水性,影响农作物的生长。酸、碱废水还可能使施于农田的化肥失效或影响其溶解性能;鱼类、牲畜等食用了酸224、碱废水,对其肉质、乳汁将产生不良的影响,人若食用这些肉、乳将影响健康;若生活用水中混入了酸、碱废水,特别是长期饮用者,其不良后果难以设想;渗入地下的酸、碱废水,若被抽出用作工业用水,就会危害工业生产。特别是酸、碱废水还会加快设备的腐蚀。实际上,电镀所产生的酸、碱废水中往往还含有其他有毒物质,其危害性还要更大些。本项目所在区域河网密布,为了更好的保护周边水环境,防止对附近水体水质影响,建设单位须加强对废水管线、处理设施的运行管理,防止废水排入附近河流。3)废水事故防范措施 为了防止废水事故性排放,本环评要求生产废水管道采用明渠明管或架空敷设,污水总排放口安装在线监控装置。当生产中出现物料泄露和225、火灾、爆炸事故时,将产生消防废水,即事故状态废水,71 如果不对其加以收集、处置,必然会对当地地表水和地下水造成严重的污染。本项目事故救援过程中产生的消防废水全部由进入事故应急池,事故废水分批次进厂区污水处理站处置,其它废灭火剂、拦截、堵漏材料等在事故排放后统一收集送有资质单位进行处理。根据石油化工企业设计防火规范(GB50160-2008),应设置能够储存事故排水的储存设施,本项目储存设施包括事故池、围堰内区域等。事故池有效容积计算公式为:V总=(V1+V2-V3)max+V4+V5 其中:(V1+V2-V3)max是指对收集系统范围内不同罐组或装置分别计算V1+V2-V3,取其中最大值。V226、1收集系统范围内发生事故的一个罐组或一套装置的物料量(注:储存相同物料的罐组按一个最大储罐计,装置物料量按存留最大物料量的一台反应器或中间储罐计);V2 发生事故的储罐或装置的消防水量,m3;V3 发生事故时可以转输到其他储存或处理设施的物料量,m3;V4 发生事故时仍必须进入该收集系统的生产废水量,m3;V5 发生事故时可能进入该收集系统的降雨量,m3。泄漏物料(V1):物料泄漏考虑热煮软化液最大一个的泄漏量,V1以 15m3计。消防废水(V2):参照建筑设计防火规范(GB50016-2006)中相关要求,本项目发生火灾时首先采用泡沫灭火剂和砂进行灭火,灭火后清洗场场地,清洗场地消防用水量为227、20L/s,清洗延续时间按1h计,则事故状态下消防废水产生量约72m3。集液井(V3):厂区磨划废水收集池和电镀废水收集池的有效容积均为 6m3。须进收集系统的废水量(V4):本项目为事故时生产废水,V4取值为 29.52 m3。事故雨水量(V5):对事故状态下雨水产生量进行计算,事故雨水量为 202.66m3。综上所述,事故状况下,项目废水产生量约302.18m3。厂内拟配置320m3事故废水收集池,位于厂区地势较低区(3厂房东边),能够确保事故废水自流进入事故池,满足事故废水收集要求,并能确保事故废水不外流,实现将污染控制在厂区内的目的,不会对地表水和地下水环境产生影响。事故应急池平时空置228、,与污水处理站相连;一旦发生废水事故,建设单位应在第一时间停止生产,关闭污水排放口阀门与雨水截止阀门,并将废水引入事故应急池暂存,待事故处理完毕后才能恢复生产;事故应急池内废水用泵打入污水处理站处理后纳管排 72 放。另外,本环评要求厂区内建设初期雨水收集系统。根据分析,初期雨水量为 202.66m3(以降雨 15min 计),本项目要求初期雨水池配备水泵,暴雨后 23min 分钟即开启抽水泵,则需建设一座不小于 210m3的初期雨水池,并在雨水排放口设置截止阀门以及 pH 在线监控设备。雨水应急池进口处设置三通阀门,一头连接厂区雨水管,一头通向雨水应急池,另一头通向雨水排放口;如遇暴雨,应打229、开连接厂区雨水管的一头与通向雨水应急池的一头,而将通向雨水排放口的一头关闭,将前 15min 雨水引入初期雨水池,继而用泵抽入污水处理站处理后纳管排放;15min 后再将连接厂区雨水管的一头与通向雨水排放口的一头打开,将通向雨水应急池的一头关闭,雨水可直接排放。建设单位平时应加强对废水处理设施的运行管理和在线监控,杜绝废水事故的发生。同时,运行管理方面,建设单位在对废水收集、废水处理药剂投加、废水停留时间等都要规范化操作;在线监测方面,要通过监测设备及时了解废水排放的水质、水量;一旦出现超标现象要及时查明原因,在查明原因前停止污水的排放甚至停产自查,同时充分利用应急池的作用,起到对污水事故排放230、的缓冲作用。(3)废气事故性排放影响分析 本项目废气事故性排放主要为废气治理设施出现故障,去除率达不到预期效果,导致废气非正常排放的情况。如果电镀废气碱液喷淋设施出现故障,如喷淋液长时间未更换,或有机废气处理系统出现故障,则废气的去除效率会降低。因此,建设单位须做好安全防范措施,定期对废气收集、处理设施进行维护、修理,使其处于正常运转状态,杜绝事故性排放;一旦发现废气收集、处理设施出现故障,须立即停止生产,待故障排除完毕、治理设施正常运行后方可恢复生产。(4)火灾爆炸事故影响分析 氢气属于易燃、爆炸性物质,如遇火源也可能发生火灾爆炸事故。火灾、爆炸事故影响主要是烟雾、热辐射、爆炸震动以及产生的231、受高热分解产生有毒的腐蚀性气体,对企业内部员工以及周边企业、近处农户可能会受到较为严重的影响。因此,建设单位应重视安全措施建设,除了配备必要的消防应急措施外,还应加强车间的通风设施建设,保证车间内良好通风。同时,车间内应杜绝明火,车间墙壁张贴相应警告标志,平时加强对生产设施的维护、检修,确保设备正常运行稳定。(5)危险废物暂存、转移事故影响分析 本项目产生的固体废物中,废导电胶、废压模胶、电镀槽渣、电镀污泥、废针管、73 废油均属于危险废物,若处置不当,如露天堆放,其中的重金属等污染物极易受雨水淋溶而造成重金属的浸出,产生二次污染。同时,在危险废物转移过程中,如包装发生破裂等原因导致危险废物遗232、失于环境中,则可能造成附近水体或土壤污染。因此,本环评要求厂区内设置危险废物贮存场所,配置导流地沟和集液井,并按照危险废物贮存污染控制标准(GB18597-2001)及环境保护部公告 2013 年第 36 号修改单中的规定做好防雨淋、防渗漏、防流失措施,各类危险废物平时收集后妥善贮存于危废贮存场所,液态危险废物(废油等)贮存于密闭容器中,定期委托有资质单位处置。同时,建设单位在危险废物转移过程中须严格执行转移联单制度,并做好记录台账,防止危险废物在转移过程中发生遗失事故。5、环境风险防范措施及应急要求 (1)泄漏风险防范措施 泄漏风险防范措施主要为事故应急池、初期雨水系统、防腐防渗措施等的建设233、。生产废水管道采用明渠明管或架空敷设,并使用耐腐、防渗管材;电镀生产设施均设于地面以上,电镀车间内实施干湿区分离,湿区地面敷设网格板,湿镀件作业在湿区进行;电镀槽、车间地面均采取防渗、防漏和防腐措施。厂区污水处理站附近建设一座不小于320m3的事故应急池,满足接纳事故废水;厂区内建设初期雨水收集系统,建设一座不小于 210m3的初期雨水池,并在雨水排放口设置截止阀门以及 pH 在线监控设备。事故应急池、初期雨水池以及污水处理站之间设置连通切换阀。一旦发生废水事故,建设单位应在第一时间停止生产,关闭污水排放口阀门与雨水截止阀门,并将废水引入事故应急池暂存,待事故处理完毕后才能恢复生产;如遇暴雨,234、应将前 15min 雨水引入初期雨水池,继而用泵抽入污水处理站处理后纳管排放,后期雨水可直接排放。(2)贮存过程风险防范措施 贮存过程风险防范措施主要包括危险化学品贮存与危险废物贮存。危险化学品应严格按照不同原料的性质分类贮存,对各类原料的包装须定期进行检查,一旦发现有老化、破损现象须及时更换包装,杜绝风险事故的发生。同时,贮存场所附近须备有消防栓、灭火器等消防设施以及干沙、活性炭等堵漏物资。硫酸、甲基磺酸等化学品四周必须设置围堰,地面及四周做防腐处理,防止泄漏液进入污水处理站或土壤。甲基磺酸等化料泄漏后应立即用吸附性材料吸收泄漏液,放入带盖的瓶子,并用水清洗污染区域。厂区内设置危险废物贮存场235、所,配置导流地沟和集液井,并按照危险废物贮存污染控制标准(GB18597-2001)及环境保护部公告 2013 年第 36 号修改单中的规定做好 74 防雨淋、防渗漏、防流失措施,贮存场所四周设置围墙或围堰,并设置废水导排管道或渠道,连接废水处理设施,危险废物贮存过程中产生的废水、废液全部纳入废水处理设施处理。各类危险废物平时收集后妥善贮存于危废贮存场所,液态危险废物(废油等)贮存于密闭容器中,定期委托有资质单位处置。同时,建设单位在危险废物转移过程中须严格执行转移联单制度,并做好记录台账,防止危险废物在转移过程中发生遗失事故。(3)生产过程风险防范措施 加强对工人的安全生产和环境保护教育及管236、理,特别是危险岗位的操作工,必须按规定经过安全操作的技术培训,取得合格证后才能单独上岗。严格按规范操作,任何人不得擅自改变工艺条件。制定风险事故应急预案并落实到人,一旦发生事故,就能迅速采取防范措施进行控制,把事故所造成的影响降低到最小程度。从事危险化学品的存储、运输、装卸等作业的工人应掌握化学品安全、卫生、消防等方面的知识。汽车运输过程风险防范包括交通事故预防、运输过程设备故障性泄漏防范以及事故发生后的应急处理等。运输过程风险防范应从包装着手,有关包装的具体要求可以参照危险货物分类和品名编号(GB6944-86)、危险货物包装标志(GB190-90)、危险货物运输包装通用技术条件(GB124237、63-90)等一系列规章制度进行,包装应严格按照有关危险品特性及相关强度等级进行,并采用堆码试验、跌落试验、气密试验和气压试验等检验标准进行定期检验,运输包装件严格按规定印制提醒符号,标明危险品类别、名称及尺寸、颜色。运输装卸过程也要严格按照国家有关规定执行,包括汽车危险货物运输规则(JT3130-88)、汽车危险货物运输、装卸作业规程(JT3145-91)、机动车运行安全技术条件(GB7258-87)、危险货物运输规则(铁运1987802 号)等。每次运输前应准确告诉司机和押运人员有关运输物质的性质和事故应急处理方法,确保在事故发生情况下仍能事故应急,减缓影响。建立档案制度,详细记录入场的危238、险固体废物的种类、数量等信息,长期保存,以供随时查阅生产过程事故风险防范是安全生产的核心,要严格采取措施加以防范,尽可能降低事故概率。必须组织专门人员每天每班多次进行周期性巡回检查,有跑冒滴漏或其他异常现象的应及时检修,严禁带病或不正常运转。(4)末端处置风险防范措施 污水总排放口安装在线监控装置,加强对废水处理设施的运行管理,杜绝废水事故 75 的发生。同时,运行管理方面,建设单位在对废水收集、废水处理药剂投加、废水停留时间等都要规范化操作;在线监测方面,要通过监测设备及时了解废水排放的水质、水量;一旦出现超标现象要及时查明原因,在查明原因前停止污水的排放甚至停产自查,同时充分利用应急池的作239、用,起到对污水事故排放的缓冲作用。加强对废气治理设施的运行管理,定期对废气收集、处理设施进行维护、修理,使其处于正常运转状态,杜绝事故性排放;一旦发现废气收集、处理设施出现故障,须立即停止生产,待故障排除完毕、治理设施正常运行后方可恢复生产。(5)事故处理伴生污染处置措施 在事故过程中和抢救过程中所产生的事故性排放的废水、消防废水都应纳入事故应急池,消除安全隐患后视情况作处理排放或交由有危险废物资质单位处理。(6)火灾爆炸风险防范措施 建设单位应配备必要的消防应急措施,加强车间的通风设施建设,保证车间内良好通。同时,车间内应杜绝明火,车间墙壁张贴相应警告标志,平时加强对生产设施的维护、检修,确240、保设备正常运行。甲基磺酸遇明火、高热可燃。受高热分解产生有毒的硫化物烟气。厂区需配备消防设施和灭火剂,灭火剂可用雾状水、泡沫、二氧化碳、砂土等。应急处理:疏散泄漏污染区人员至安全区,禁止无关人员进入污染区,建议应急处理冬员戴好防毒面具,穿化学防护服。不要直接接触泄漏物,在确保安全情况下堵漏。用沙土、干燥石灰或苏打灰混合,然后收集运至废物处理场所处置。也可以用大量水冲洗,经稀释的洗水放入废水系统。如大量泄漏,利用围堤收容,然后收集、转移、回收或无害处理后废弃。(7)主要危险化学品贮存要求 硫酸:储存于阴凉、通风的库房。库温不超过 30,相对湿度不超过 85%。保持容器密封。应与碱类、胺类、碱金属241、易(可)燃物分开存放,切忌混储。储区应备有泄漏应急处理设备和合适的收容材料。氢氧化钠:储存于阴凉、干燥、通风良好的库房。远离火种、热源。库内湿度最好不大于 85%。包装必须密封,切勿受潮。应与易(可)燃物、酸类等分开存放,切忌混储。储区应备有合适的材料收容泄漏物。甲基磺酸:储存于阴凉、通风的库房。远离火种、热源。应与还原剂、碱类、胺类分开存放,切忌混储。储区应备有合适的材料收容泄漏物。氢气:储存于阴凉、通风的库房。远离火种、热源。库温不宜超过 30。应与氧 76 化剂、卤素分开存放,切记混储。采用防爆型照明、通风设施。禁止使用易产生火花的机械设备和工具。储区应备有泄露应急处理设备。(8)编制242、突发环境事件应急预案 建设单位应根据相关规范要求编制突发环境事件应急预案,并在项目建成投产前报当地环保主管部门备案。并根据应急预案要求,定期演练。表表 4-31 环境风险简单分析内容表环境风险简单分析内容表 建设项目名称 xxxx半导体技术有限公司集成电路封装测试研发及产业化项目 建设地点 xx省 xx市 经济技术开发区 xx经济技术开发区西湖一路1588 号(xx市xx新能源科技有限公司现有厂区)地理坐标 经度 117度49分58.688 秒 纬度 30 度 59 分 41.802 秒 主要危险物质及分布 存放在化学品库 环境影响途径及危害后果(大气、地表水、地下水等)原料桶泄漏、废水事故性243、排放、废气事故性排放、火灾爆炸事故等对项目周围大气环境、地表水环境、土壤和地下水产生一定影响 风险防范措施要求 迅速组织事故区人员撤离,设置警戒。组织人员穿戴个人防护用品抢险救援。建设 320m3的事故应急池;危废库配置导流地沟和集液井;配备应急物资、应急设施;规范贮存化学品,硫酸、甲基磺酸等化学品四周必须设置围堰。地下水风险防范措施:危废库及其集液井和导流地沟、生产车间、化学品库、冷库、维修室、污水处理各水池、污水收集池、事故池、初期雨水池、化粪池、废水收集沟渠(管线)做防渗处理。填表说明(列出项目相关信息及评价说明):根据建设项目环境风险评价技术导则(HJ169-2018)中附录 C 中危244、险物质及工艺系统危险性(P)分级,Q1,该项目环境风险潜势为。按照建设项目环境风险评价技术导则(HJ169-2018)规定,本项目环境风险属于简单分析,则项目环境风险主要进行危险物质、环境影响途径、环境危害后果、防范措施给出定性分析。八八、环、环境境管理及环管理及环境境监测计划监测计划 1、环境管理 为确保本项目生产经营期间环保措施落实到位,环境质量不受重大影响,建议企业制定环境管理措施:1)由企业领导统筹,指点兼职环境环保人员负责全产环境质量问题,并组织企业员工定时学习有关环境问题保护措施及环保生产知识。2)企业制定生产过程中产污环节的环境保护章程,规范操作。制定常见环境问题的处理措施及流程245、。3)企业设置专门环保经费,且禁止该经费它用。4)每天对产生污染物区进行检查,并填写登记表。5)生产中发现环境问题,及时报告企业领导报告,并及时妥善处理。如遇重大问题 77 立即向环保部门汇报。6)企业每年对环境问题进行总结,并制定下一年度环保工作安排。7)认真听取受工程影响的附近居民及有关人员的意见,了解公众对厂区产生的环境污染的抱怨,妥善处理好矛盾。2、环境监测计划 参照排污许可证申请与核发技术规范 总则(HJ942-2018)和排污许可证申请与核发技术规范 电子工业(HJ1031-2019)中相关要求,厂内应定期进行环境监测;排污单位可自行或委托第三方监测机构进行监测,并安排专人专职对监246、测数据进行记录、整理、统计和分析。排污单位对监测结果的真实性、准确性、完整性负责。具体见下表。表表 4-32 废气、噪声、废气、噪声、地下水地下水、固废环境监测固废环境监测项目及频率一览表项目及频率一览表 类型 监测点位 监测项目 频率 监测方法 备注 废气 DA001 非甲烷总烃 在线监测 采用国家规定最新监测方法与标准 监测时段为运营期;委托当地环境监测站或第三方单位监测,在有自行监测能力情况下可自行监测 DA002 非甲烷总烃 在线监测 DA003 硫酸雾 1 次/半年 厂界 硫酸雾、非甲烷总烃 1 次/年 废水 DW001 pH、BOD、COD、SS、氨氮、总铜、总锡、总磷 在线监测 247、噪声 厂界外 1 米 Leq(A)1 次/年 地下水 监控井(厂区内地下水下游设置 1 个监控井)pH、总硬度、溶解性总固体、硫酸盐、氯化物、铁、锰、铜、锌、氨氮、硫化物、总大肠菌群、菌落总数、亚硝酸盐、硝酸盐、氰化物、氟化物、汞、砷、镉、铬(六价)、铅、镍、K+、Na+、Ca2+、Mg2+、CO32-、HCO3-等 1 次/年 固废 统计固废种类、处置方式及去向 每日统计一次/监测时段为运营期 3、与排污许可证制度衔接 根据“xx省生态环境厅文件2021 年 1 月 30 号xx省生态环境厅关于统筹做好固定污染源排污许可日常监管工作的通知皖环发2021 7 号文件要求,对照固定污染源排污许可248、分类管理名录(2019 年版),本项目属于名录中“三十四、计算机、通信和其它电子设备制造业 3989、电子器件制造 397”,排污许可为“简化管理”。具体内容见附表 114。78 五、五、环环境境保护保护措施措施监督检查清单监督检查清单 内内容容 要素要素 排放排放口口(编号、编号、名称名称)/)/污染源污染源)污染物项目污染物项目 环境保护措施环境保护措施 执行标准执行标准 大气环境大气环境 DA001(上芯烘干、危废库废气)非甲烷总烃 经密闭收集进上芯废气处理系统(一级活性炭纤维吸附+一级活性炭吸附,处理效率 90%)处理后,经 15m高排气筒(DA001)排放 硫酸雾、非甲烷总烃执行上海249、市地方标准大气污染物综合排放标准(DB31/933-2015)表 1 标准限值和表3 中的厂界大气污染物监控点浓度限值 DA002(塑封废气)非甲烷总烃 经密闭收集进塑封废气处理系统(一级活性炭纤维吸附+一级活性炭吸附,处理效率为 90%)处理后,通过15m 高排气筒(DA001)排放 DA003(电镀废气)硫酸雾 进酸雾吸收塔(碱液喷淋,处理效率为 95%)处理后,通 过15m高 排 气 筒(DA002)排放 地地表水表水环境环境 生活废水 COD、BOD5、NH3-N、SS 经化粪池、隔油处理后进城北污水处理厂 满足城北污水处理厂接管标准 纯水制备浓水 COD 69.12t/d 回用于去溢250、料工序,167.04t/d 进城北污水处理厂 冷却水 COD 进城北污水处理厂 磨、划片废水 COD、SS 经磨划废水处理系统处理后进电镀废水处理系统中间水箱进一步处理 电镀废水 COD、磷酸盐、总铜、总锡、SS 去氧化物槽置换液、中和 2槽置换液、软化清洗水经中和调节后进电镀废水处理系统酸性、碱性有机废液处理装置(采取“酸化+还原+氧化+絮凝沉淀”处理工艺)处理后,进电镀废水处理系统锡化废水处理装置进一步处理;电镀清洗废水、退镀清洗废水、中和 1 槽液、中和清洗水、去氧化清洗水、地面冲洗废水、酸雾吸收废水、去溢料废水、处理后酸碱废水经电镀废水处理系统锡化废水处理装置(采取“PH 调节+重捕+251、絮凝沉淀+多介质过滤+活性炭过滤”处理工艺);废水总排口安装在线监测装置。79 声环境声环境 设备运行噪声 噪声 选用低噪声设备,设减振垫及减振基础,加装消声措施等 工业企业厂界环境噪声排放标准(GB12348-2008)3 类标准 电磁辐电磁辐射射 /固体废固体废物物 本项目生活垃圾由环卫部门处理;不合格品和废次品由厂家回收利用;废导电胶、废压模胶、电镀槽渣(液)、电镀废水处理产生的污泥、废针管(废包装物)、废机油、废活性炭等危险废物,收集后委托有资质单位处置;边角料、废包装材料外售综合利用;磨片划片废水处理污泥外运无害化处置。经过以上对固废综合利用以及处理处置措施后,本项目产生的固废能够得252、到有效利用及处理处置。地下水及土壤地下水及土壤 污染防治措施污染防治措施 厂内分区防渗,成品库、半成品库、纯水站、消防水池、辅材室、包材室、线边仓、离心机房、制氮机房、混合气站等一般防渗;危废库及其集液井和导流地沟、生产车间、化学品库、冷库、维修室、污水处理各水池、污水收集池、事故池、初期雨水池、化粪池、废水收集沟渠(管线)等重点防渗 生态保护措生态保护措施施 无 环境风险环境风险 防范措施防范措施 建设 270m3的事故应急池;危废库配置导流地沟和集液井;配备应急物资、应急设施;规范贮存化学品,硫酸、甲基磺酸等化学品四周必须设置围堰。危废库及其集液井和导流地沟、生产车间、化学品库、冷库、维修253、室、污水处理各水池、污水收集池、事故池、初期雨水池、化粪池、废水收集沟渠(管线)做防渗处理。编制环境应急预案。其其他环他环境境 管理要求管理要求 1、环境管理 项目建成后,应按地方生态环境局的要求加强对企业的环境管理,建立健全企业的环保监督、管理制度。(1)环境管理制度 根据该项目的建设规模和环境管理的任务,建设期项目筹建处应设 1 名环保专职或兼职人员,负责工程建设期的环境保护工作;项目建成后应在公司设置环保处,公司副总经理负责环保工作,车间设置设 23 名专职环保管理人员,负责公司的环境管理以及对外的环保协调工作,污染源监测可委托第三方检测公司承担。(2)建立公司专门的环保设施档案,记录环254、保设施的运转及检修情况,以便督促有关人员加强对环保设施的管理和及时维修,保证治理设施的正常运行。(3)建立污染源监测数据档案,定期编写环保通报,便于政府环保部门和公司管理部门及时了解污染动态,以便于采取相应的对策措施。(4)制定环保奖惩条例。对于爱护环保设施、节能降耗、改善环境人员进行奖励;对于环保观念淡薄,不按环保要求管理、造成环境设施损坏、环境污染及资源和能源浪费人员一律予以重罚。根据排污单位自行监测技术指南总则(HJ819-2017)的要求,企业根据自身条件和能力,委托有资质的监测机构代开展自行监测,包括污染物排放监测(废气污染物、废水污染物和噪声污染等)、周边环境质量影响监测(周边的空255、气、地下水、地表水、土壤等)、关键工艺参数监测(通过对与污染物产生和排放密切相关的关键工艺参数进行测试)、污染治理设施处理效果监测。企业应建立自行监测质量管理制度,按照相关技术规范要求做好监测质量保证与质量控制,做好与监测相关的数据记录,按照规定进行保存,并依据企业事业单位环境信息公开办法(环境保护部令第 31 号)等规定向社会公开监测结果。2、监测资料管理 企业应按照有关法律和环境监测管理办法等规定,建立企业监测制度,制定监测方案,并向当地环境保护行政主管部门和行业主管部门备案。对污染物排放状况及其对周边环境质量的影响开展自行监测,保存原始监测记录,并公布监测结果。80 六、结论 本项目符合256、国家产业、环保政策要求,选址符合xx市经济开发区规划。通过本项目所在地环境现状调查、污染分析、环境影响分析可知,建设单位在严格落实本环评提出的环保对策及措施,执行“三同时”制度情况下,各项污染治理措施能够满足环保管理的要求,废气、废水、噪声、固体废物均能实现达标排放和合理处置,对大气环境、声环境、地表水环境的影响较小。从环境影响角度分析,该项目的建设是可行的。81 附表 建设项目污染物排放量汇总表 项目 分类 污染物名称 现有工程 排放量(固体废物产生量)现有工程 许可排放量 在建工程 排放量(固体废物产生量)本项目 排放量(固体废物产生量)以新带老削减量(新建项目不填)本项目建成后 全厂排放257、量(固体废物产生量)变化量 废气废气 硫酸雾 0.861 0.861+0.861 非甲烷总烃 0.306 0.306+0.306 废废 T TP P 废水量 212553 212553+212553 COD 10.63 10.63+10.63 BOD 2.13 2.13+2.13 SS 2.13 2.13+2.13 TP 0.04 0.04+0.04 总铜 0.002 0.002+0.002 总锡 0.004 0.004+0.004 NH3-N 0.43 0.43+0.43 一一般工业般工业 固体废物固体废物 不合格品 0.01 0.01+0.01 边角料 5 5+5 废次品 1 1+1 废包装材料 2.5 2.5+2.5 磨划片废水处理装置污泥 134 134+134 生活垃圾 75 75+75 危危险废物险废物 废导电胶 0.02 0.02+0.02 82 废压模胶 6.5 6.5+6.5 电镀槽渣(液)53.6 53.6+53.6 电镀废水处理装置污泥 300 300+300 废针管(废包装物)1.745 1.745+1.745 废活性炭 6.99 6.99+6.99 废机油 0.2 0.2+0.2 注:=+-;=-
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