2022微电子科技公司湿电子化学品研发项目环评报告表(59页).pdf
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2024-04-03
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1、 建设项目环境影响报告表建设项目环境影响报告表 (污染影响类)项目名称:xxxx微电子湿电子化学品研发项目 建设单位(盖章):xxxx微电子科技有限公司 编制日期:2022 年 5 月 2 目目 录录 一、建设项目基本情况一、建设项目基本情况.1 二、建设项目工程分析二、建设项目工程分析.5 三、区域环境质量现状、环境保护目标及评价标准三、区域环境质量现状、环境保护目标及评价标准.24 四、主要环境影响和保护措施四、主要环境影响和保护措施.31 五、环境保护措施监督检查清单五、环境保护措施监督检查清单.47 六、结论六、结论.48 附表:附表:附表 1 建设项目污染物排放量汇总表 附图:附图:2、附图一 项目地理位置图 附图二 项目厂区周边环境示意图 附图三 厂区周边环境现状照片 附图四 项目厂区平面布置图 附图五 环境管控单元图 附图六 xx区声环境区划图 附件:附件:附件 1 营业执照 附件 2 不动产权证书 附件 3 原环评批复及验收意见 附件 4 危废协议 附件 5 固定污染源排污登记回执 附件 6 年度检测报告 1 一、建设项目基本情况一、建设项目基本情况 建设项目名称 xxxx微电子湿电子化学品研发项目 项目代码/建设单位联系人 联系方式 建设地点 地理坐标 国民经济 行业类别 M7320 工程和技术研究和试验发展 建设项目 行业类别 98、专业实验室、研发(试验基地)基地3、 建设性质 新建(迁建)改建 扩建 技术改造 建设项目 申报情形 首次申报项目 不予批准后再次申报项目 超五年重新审核项目 重大变动重新报批项目 项目审批(核准/备案)部门(选填)/项目审批(核准/备案)文号(选填)/总投资(万元)200 环保投资(万元)25 环保投资占比(%)12.50 施工工期 13 个月 是否开工建设 否 是:用地(用海)面积(m2)0 专项评价设置情况 无 规划情况 xx市人民政府于2018年6月29日对xx市中心城区xx片分区规划进行批复(甬政发201848号),根据规划,本项目位于工业用地区块。规划环境影响 评价情况 无 规划及规划环境影响评价符合性分析 根据不动4、产权证书(证号:浙(2020)xx区不动产权第0033575号),用地性质为工业用地,本项目属于二类工业项目,符合宁波市中心城区xx片分区规划功能定位及用地规划。2 其他符合性分析 1、“三线一单”符合性分析(1)环境质量底线 本项目位于xx区柴桥街道青山路79号,拟建地SO2、NO2、PM2.5、PM10、CO、O3均达到环境空气质量标准(GB3095-2012)中的二级标准,为城市环境空气质量达标区;pH、COD、活性磷酸盐、石油类、汞、铜、铅、镉的平均浓度达到海水水质标准(GB3097-1997)中的第三类标准,无机氮有所超标,海域水质总体为劣四类,与所在区域工业、生活等污染有关。项目西5、侧厂界声环境满足声环境质量标准(GB3096-2008)3类区标准;东侧、北侧厂界声环境满足声环境质量标准(GB3096-2008)2类区标准;南侧厂界声环境满足声环境质量标准(GB3096-2008)4类区标准,因此项目所在地声环境现状良好。根据工程分析,营运期产生的各类污染物通过采取有效的污染防治措施后,均能实现达标排放,因此符合环境质量底线。(2)生态红线 本项目建设地位于xx区xx街道青山路79号,根据xx市生态保护红线划定方案,本项目不在生态红线范围内,因此满足生态红线保护要求。(3)资源利用上线 本项目不属于高耗能、高污染、资源型企业,用水来自工业区供水管网,用电来自市政供电。本项6、目建成后通过内部管理、设备选择、原辅材料的选用和管理、废物回收利用、污染治理等方面采取合理可行的防治措施,以“节能、降耗、减污”为目标,有效的控制污染。项目的水、电等资源利用不会突破区域的资源利用上线。(4)生态环境准入清单 根据xx市“三线一单”生态环境分区管控方案xx3 市xx区环境管控单元生态环境准入清单,本项目所在地属xx市xx区重点管控单元,编号为“ZH33020620008”,属“xx市xx区xx-白峰-郭巨产业集聚重点管控单元”,具体生态环境准入清单符合性见表1-1。表表 1-1 生态环境准入清单符合性分析一览表生态环境准入清单符合性分析一览表 生态环境准入清单要?本项目概况 符7、合性分析 空间布局约束 优化产业结构,鼓励发展汽车制造、金属制品、关键基础件、智能家电等高端装备制造业。除主导产业配套项目及橡胶制品硫化工序外,禁止新建、扩建不符合园区发展规划主导产业的其他三类工业。鼓励对现有不符合园区主导产业的三类工业项目进行淘汰和提升改造,其改扩建不得增加污染物排放总量。禁止新建、扩建废水污染物排放量大的三类项目及涉及一类重金属排放的工业项目。合理规划居住区与工业功能区,在居住区和工业区、工业企业之间设置防护绿地、生活绿地等隔离带。对照工业项目分类表,本项目从事湿电子化学品研发,属于“98、专业实验室、研发(试验基地)基地”。本项目位于工业功能区内,企业周边设有防护绿地,8、符合空间布局要求。符合 污染物排放管控 严格实施污染物总量控制制度,根据区域环境质量改善目标,削减污染物排放总量。新建二类、三类工业项目污染物排放水平要达到同行业国内先进水平。加强污水处理厂建设及提升改造,推进工业园区(工业企业)“污水零直排区”建设,所有企业实现雨污分流。加强区域内涉水污染企业监管监控,强化企业污染治理设施运行维护管理。全面推进重点行业 VOCs 治理和工业废气清洁排放改造,强化工业企业无组织排放管控。新改扩建排放VOCs 的项目,加强源头控制,优先使用低(无)VOCs 含量的涂料、油墨、胶黏剂等,并配套安装高效的收集处理措施。集中供热范围内禁止新、扩建蒸汽锅炉。加强土壤和地9、下水污染防治与修复。项目实施后全厂总量符合总量控制要求。项目所在区域已落实雨污分流,研发废气收集后经碱液喷淋处理后通过 1 根 15m 高排气筒排放。因此本项目符合污染物排放管控要求。符合 环定期评估沿河海工业企业、工业本项目位于工业功能符合 4 境风险防?集聚区环境和健康风险,落实防控措施。强化工业集聚区企业环境风险防范设施设备建设和正常运行监管,加强重点环境风险管控企业应急预案制定,建立常态化的企业隐患排查整治监管机制,加强风险防控体系建设。区内,根据风险分析,项目风险等级为简单分析,环境风险较低 资源开发效率要求 推进工业集聚区生态化改造,强化企业清洁生产改造,推进节水型企业创建等。落实10、煤炭消费减量替代要求,提高能源使用效率。本项目推进节水,工业水循环利用,符合资源开发效率要求。符合 本项目符合xx市xx区环境管控单元生态环境准入清单要求。综上所述,本项目建设符合“三线一单”要求。2、产业政策符合性分析:1)根据产业结构调整指导目录(2019年本),本项目产品、设备和工艺不属于限制类和淘汰类。2)项目用地不属于限制用地项目目录(2012年本)和禁止用地项目目录(2012年本)中的限制、禁止用地。3)项目不属于长江经济带发展负面清单指南(试行,2022年版)中禁止建设的项目。综上所述,本项目建设符合相关产业政策要求。3、碳排放 根据xx省生态环境厅关于印发实施xx省建设项目碳排11、放评价编制指南(试行)的通知(浙环函【2021】179号),本项目属于“四十五、研究和试验发展”,不在钢铁、火电、建材、化工、石化、有色、造纸、印染、化纤等九大重点行业,故无需进行碳排放评价。5 二、建设项目工程分析二、建设项目工程分析 建设内容 1、项目概况、项目概况 项目名称:xxxx微电子湿电子化学品研发项目;建设单位:xxxx微电子科技有限公司;建设地址:xx区xx街道青山路79号;建设规模:研发规模为年研发刻蚀液(1#)10吨、刻蚀液(2#)2吨、PSD10吨、抛光后清洗液(1#)3吨、抛光后清洗液(2#)7吨。项目投资:200万元;劳动定员:企业现有员工140人,本项目员工由厂内现12、有员工调剂,不新增员工。工作制度:年生产天数300天,白班8小时制(8:0017:00)。周边环境情况:东侧为xx南大光电材料有限公司,南侧隔云台山路为中芯宁波十一科技项目部,西侧为妙峰山路隔河为xx润倍万灵润滑油有限公司,北侧隔青山路为弘硕科技(xx)有限公司。2、项目组成及主要建设内容项目组成及主要建设内容 本项目利用位于xx区xx街道青山路79号的一期已建厂房,一期总用地面积18796m2,建筑面积为20107.24m2,为钢筋混凝土结构建筑和钢架结构建筑。扩建前后厂房生产布置无变化,详见下表及附图四。表表2-1 项目项目主要建设内容主要建设内容 序号 名称 工程组成 建设内容 1 主体13、工程 车间 湿电子化学品研发区域位于车间光刻胶生产区域南侧,使用面积为 200m2 2 储运工程 仓库 用于存储原辅材料、产品及各类废物 3 辅助工程 办公室 位于厂区南侧,建筑面积为 100m2 4 公用工程(依托原有)供水 主要为生活用水和生产用水,由当地给水管网供给 纯水 配备1套超纯水系统,超纯水的制备能力为5m3/h。排水 企业排水采用雨、污分流制,雨水经收集后排入市政雨水管道。生产废水经收集后经污水处理站处理后排入市政污水管网。供电 本项目用电由厂区供电系统供给 其他 本项目无食堂,无宿舍 6 5 环保工程 废气治理 研发废气:收集后经碱液喷淋设施处理后通过 15m 高排气筒排放 14、废水治理 生产废水收集后经污水处理站处理后纳入市政污水管道(处理工艺为调节池水解酸化池接触氧化池混凝沉淀,10t/h,依托原有)噪声治理?加强日常维护,保持其良好的运行效果 固废治理 废滤芯、污水处理污泥、废包装桶经分类收集后委托有资质单位安全处置,污泥收集后外售处置,项目危废暂存间位于一期厂区仓库西侧,约 126m2,依托原有;一般工业废物堆放场所位于厂区西门处,约 100m2,依托原有;3、产品方案、产品方案 项目扩建前后产品及生产/研发规模具体如下表。表表2-2 本项目扩建前后研发及生产规模一览表本项目扩建前后研发及生产规模一览表 序号 产品名称 单位 生产/研发规模 备注 原项目 本项15、目 合计 1 刻蚀液(1#)t/a/10 10 研发 2 刻蚀液(2#)t/a/2 2 研发 3 PSD t/a/10 10 研发 4 抛光后清洗液(1#)t/a/3 3 研发 5 抛光后清洗液(2#)t/a/7 7 研发 6 半水性光刻胶去?剂?/a 1200/1200 研发及生产 7 胺类光刻胶去除剂 t/a 1500/1500 研发及生产 8 强碱性光刻胶去除剂 t/a 500/500 研发及生产 9 甘氨酸 t/a 300/300 研发及生产 10 亚氨基二乙酸(固态)t/a 180/180 研发及生产 11 苯并三氮唑(固态)t/a 60/60 研发及生产 12 吡唑(液态)t/a 16、720/720 30%水溶液,研发及生产 13 维生素 C(液态)t/a 60/60 30%水溶液,研发及生产 14 碳酸胍(固态)t/a 6/6 研发及生产 15 酒石酸铵(液态)t/a 12/12 30%水溶液,研发 3、主要设备主要设备 本项目扩建前后新增设备详见下表。表表2-3本项目扩建前后生产设备一览表本项目扩建前后生产设备一览表 序号 设备名称 型号 单位 数量 布置位置 原项目 本项目 合计 1 实验室 混配釜 SUS304+FA Coating 台 0 1 1 研发车间(本项2 氧含量测试仪/台 0 1 1 3 温度感应器/台 0 1 1 7 4 PLC 控制系统/台 0 1 17、1 目)5 加热降温系统/台 0 1 1 6 隔膜泵 PTFE 台 0 5 5 7 过滤器 PFA 台 0 6 6 8 层流罩 Class100 台 0 1 1 9 平台秤/台 0 1 1 10 真空泵/台 0 1 1 11 压力传感?/台 0 1 1 12 半水性光刻胶去除剂生产线 搅拌罐 6t 台 1 0 1 车间 13 隔膜泵 DN5?台 4 0 4 14 隔膜泵 DN25 台 4 0 4 15 平台秤 1?5t 台 2 0 2 16 过滤器 1 芯 20 寸 台 15 0 15 17 层流罩 Class100 台 1 0 1 18 胺类光刻胶去除剂生产线 搅拌罐 6t 台 1 0 1 18、19 隔膜泵 DN50 台 4 0 4 20 隔膜泵 DN25 台 4 0 4 21 平台秤 1?5t 台?0 2 22 过滤器 1 芯 20 寸 台 15 0 15 23 层流罩 Class100 台?0 1 24 强碱性光刻胶去除剂 搅拌罐 6t 台 1 0 1 25 搅拌罐 3?台 1 0 1 26 隔膜泵 DN50 台 3 0 3 27 隔膜泵 DN25 台 3 0 3 28 平台秤 1.5t 台 3 0 3 29 过滤器 7 芯 30 寸 台 12 0 12 30 层流罩 Class100 台 1 0 1 31 甘氨酸生产线 搅拌溶解釜?000L 条 1 0 1 32 干燥机?00L19、 条 3 0 3 33 真空泵 700L 台 2 0 2 34 除尘器/台 2 0 2 35 电渗析机组/台 3 0 3 36 导热油炉(与电加热炉配套)/台 1 0 1 37 电加热炉/台 1 0 1 38 溶解系统一 中试溶解釜 1.5 吨 套 2 0 2 洁净室 39 进料泵 40 模温机 41 溶解系统二 苯并三氮唑/亚氨基二乙酸溶解釜 3 吨 套 1 0 1 42 进料泵 8 43 模温机 44 溶解系统三 维生素 C 溶解釜 3 吨 套 1 0 1 45 进料泵 46 模温机 47 溶解系统四 碳酸胍溶解釜 3 吨 套 1 0 1 48 进料泵 49 模温机 50 重结晶系统一 中20、试重结晶釜 1 吨 套 2 0 2 51 模温机 52 重结晶系统二 苯并三氮唑重结晶釜 1 吨 套 1 0 1 53 模温机 54 重结晶系统三 亚氨基二乙酸重结晶釜 1 吨 套 1 0 1 55 模温机 56 重结晶系统四 维生素 C 重结晶釜 1 吨 套 1 0 1 57 模温机 58 干燥系统一 双锥干燥器 定制 套 1 0 1 59 真空泵 60 模温机 61 干燥系统二 双锥干燥器 定制 套 1 0 1 62 真空泵 63 模温机 64 干燥系统三 双锥干燥器 定制 套 1 0 1 65 真空泵 66 模温机 67 干燥系统四 双锥干燥器 定制 套 1 0 1 68 真空泵 69 21、模温机 70 连续精馏系统 进料釜 800L 套 1 0 1 精馏区 71 精制塔 72 产品釜 73 氨合反应系统(研发)模温机 1.5 吨 套 1 0 1 洁净室 74 进料泵 75 反应釜 76 氨合反应系统(研发)模温机 3 吨 套 1 0 1 77 进料泵 78 反应釜 79 离子交换系统一 进料泵 定制 套 1 0?1 80 离子交换柱 81 离子交进料泵 定制 套 2 0 2 9 82 换系统二 离子交换柱 83 实验室 pH 计 S?10-B 台?0 1 研发车间 84 天平 ML004T 台 1 0 1 85 粘度计 DV-2T 台 1 0 1 86 自动滴定仪/台 1 0 22、1 87 RION KS-18F 台 1 0 1 88 GC 7890 台 1 0 1 89 HPLC/台 1 0 1 90 IC AQ 台 1 0 1 91 水浴 TC-250MX 台 1 0 1 92 ICP-MS G3273B 台 1 0 1 93 UV S230-B 台 1 0 1 94 电导率仪 P25 台 1 0 1 95 动力 设备 变电站 10KV-630KVA 座 1 0 1 96 超纯水系统 5T 座 1 0 1 97 废水系统 10T 座 1 0 1 98 废气处理系统/座 1 0 1 99 CDA 30KW 座 1 0 1 100 中央空调/座 1 0 1 101 液氮23、供应系统/座 1 0 1 车间(二期)102 实验研发设备(二期)单片机 SP323 台 1 0 1 103 X 射线光电子能谱仪 Ne?sa 台 1?1 104 扫描电子显微镜 SU8220 台 1 0 1 105 控片检测系统 SPx 套 1 0 1 106 表面张力仪 K100C 台 1 0 1 107 椭偏仪 theta-SE 台 1 0 1 108 金属厚度测量仪 RG3?00C 台 1 0 1 109 非金属厚度测量仪 NanoSPEC?I 台 1 0 1 110 酸碱滴定仪 T7 台 1 0 1 111 搅拌罐 200L 台 1 0 1 112 隔膜泵 1”台 1?1 11?隔膜24、泵 2”台 1 0 1 114 平台称 50kg 台 1 0 1 115 过滤器 20”台 2 0 2 116 桶清洗机 200L 台 1 0 1 117 空压机 AA6-37A-F 台 2 0 2 118 冷热水机组/套 1 0 1 119 二甲亚砜储存 储罐/个 2 0 2 储罐区 10 4、主要原辅材料、主要原辅材料 本项目扩建前后原辅料使用情况,详见下表。表表2-4 项目扩建前后主要原辅材料消耗量清单项目扩建前后主要原辅材料消耗量清单 序号 名称 单位 数量 备注 原项目 本项目 合计 1 刻蚀液(1#)85%磷酸 t/a 0 10 10/2 硅烷类添加剂 t/a 0 0.4 0.4/25、3 滤芯 t/a 0 0.2 0.2/4 刻蚀液(2#)30%双氧水 t/a 0 1 1/5 超纯水(自产)t/a 0 1 1/6 硅烷类添加剂 t/a 0 0.1 0.1/7 滤芯 t/a 0 0.1 0.1/8 PSD 硫酸铜 t/a 0 0.2 0.2/9 硫酸(98%)t/a 0 0.7 0.7/10 盐酸(37%)t?a 0 0.7 0.7/11 硅烷类添加剂 t/a 0 0.5 0.5/12 超纯水(自产)t/a 0 8.3 8.3/13 滤芯 t/a 0 0.2 0.2/14 抛光后清洗液(1#)25%四甲基氢氧化铵 t/a 0 0.4 0.4/15 超纯水(自产)t/a 0 226、.8 2.6/16 硅烷类添加剂 t/a 0 0.1 0.1/17 滤芯 t/a 0 0.1 0.1/18 抛光后清洗液(2#)三羟乙基甲基氢氧化铵 t/a 0 2 2/19 超纯水(自产)t/a 0 4.2 4.2/20 二甲基乙醇胺 t/a 0 1 1/21 硅烷类添加剂 t/a 0 0.2 0.2/22 滤芯?/a 0 0.15 0.15/23 半水性光刻胶去除剂(研发生产)二甲亚砜 t/a 408 0 408/24 二丙二醇单甲醚 t/a 240 0 240/25 五甲基二乙烯三胺 t/a 48 0 48/26 氟化铵水溶液 t/?24 0 24/27 30%吡唑水溶液 t/a 15027、 0?50 28 维生素 C t/a 40 0 40 29 超纯水 t/a 290 0 290/30 胺类光刻胶去除剂(研发乙醇胺 t/a 300 0 300/31 异丙醇胺 t/a 200 0 200 11 32 生产)二甘醇胺 t/a 75 0 75 33 羟胺 50%水溶液 t/a 150 0 150 34 邻苯二酚 t/a 75 0 75 35 吡唑水溶液 t/a 350 0 350 36 苯并三氮唑 t/a 40 0 40 37 碳酸胍 t/a 6 0 6 38 亚氨基二乙酸 t/a 120 0 120 39 超纯水 t/a 180 0 180 40 强碱性光刻胶去除剂(研发生产)二28、甲亚砜 t/a 433.75 0 433.75/41 四甲基氢氧化铵 t/a 40 0 40/42 乙醇胺 t/a 26.25 0 26.25/43 甘氨酸(研发生产)甘?酸 t/a 300 0 300/44 导热油 t/a 0.1 0 0.1 45?中试 吡唑 t/a 6 0 6/46 酒石酸 t/a 2?2 47 N-甲基吡咯烷酮 t/a 2 0 2 48 苯并三氮唑 t/a 2 0 2 49 氢氟酸 t/a 0.2 0 0.2 50 亚氨基二乙酸(提纯)亚氨基二乙酸 t/a 187.5 0 187.5/51 超纯水(自产)t/a 753.6 0 753.6?52 苯并三氮唑(提纯)苯并三29、氮唑 t/a 63.1 0 63.1/53 超纯水(自产)t/a 317 0 317/54 吡唑(提纯)吡唑 t/a 249.54 0 249.54/5?超纯水(自产)t/a 516 0 516/56 维生素 C(提纯)维生素 C t/a 18 0 18/57 超纯水(自产)t/a 54 0 54/58 盐酸 t/a 2 0 2/59 树脂 t/a 1 0 1/60 碳酸胍(提纯)碳酸胍 t/a 6.72 0 6.72/61 超纯水(自产)t/a 21.85 0 21.85/62 异丙醇 t/a 21.85 0 21.85/63 酒石酸氨(研发)酒石酸 t?a 2?928 0 2?928/6430、 氨水 t/a 6.72 0 6.72/65 超纯水(自产)t/a 5.184 0 5.184/66 盐酸 t/a 3 0 3/67 树脂 t/a 1.5 0 1.5/70 液氮 t/a 36 1 37 12 表表2-5 药剂成分及质量比一览表药剂成分及质量比一览表 名称 理化性质 危险性 毒性 磷酸(7664-38-2)分子式:H3PO4 分子量:98 熔点():42 沸点():低于沸点在 213分解 密度(g/cm3):1.9 蒸汽压:20时 4Pa 溶解性:易溶 外观与性状:无色吸湿的晶体 化学危险性:在偶氮化合物和环氧化合物的作用下,该物质激烈聚合。燃烧时,生成氧化亚磷有毒烟雾。与醇类31、,醛类,氰化物,酮,苯酚,酯类,硫化物,卤代有机物接触时,该物质分解生成有毒烟雾。浸蚀许多金属,生成易燃/爆炸性气体氢。该物质是一种中强酸,与碱激烈反应。急性毒性 LD50:1530mg/kg(大鼠经口)双氧水/过氧化氢(7722-84-1)分子式:H2O2 分子量:34 熔点():-11(90%),-39(70%)沸点():141(90%),125(70%)相对密度(水=1):1.4(90%),1.3(70%)蒸汽压:20时 0.2kPa(90%),0.1kPa(70%)水中溶解度(g/100ml):混溶 辛醇、水分配系数的对数值:-1.36 外观与性状:无色液体 化学危险性:加热或在光的作32、用下,该物质分解生成氧气,增加着火的危险。该物质是一种强氧化剂,与可燃物质和还原性物质激烈反应,有着火和爆炸的危险,特别是有金属存在时。浸蚀许多有机物质,如纺织品和纸张。/硫酸铜(7758-98-7)分子式:CuSO4 分子量:159.6 沸点:低于沸点在 650分解 密度(g/cm3):3.6 水中溶解度:20时 20.3g/100mL 外观与性状:白色吸湿的晶体 化学危险性:与羟基胺激烈反应,有着火的危险。与镁反应,生成易燃/爆炸性气体氢。有水存在时,浸蚀铁和锌。LD50=18.7mg/kg(大鼠腹腔)LD50=33mg/kg(小鼠腹腔)四甲基氢氧化铵(10424-65-4)分子式:C4H33、13NO;分子量:181.23 熔点():6770 密度(g/cm3):1.829 爆炸极限值:36%;水溶解性:可溶 蒸汽压:20时 97mmHg 外观与性状:无色结晶/硫酸(7664-93-9)分子式:HSO;分子量:98.1 熔点():10.371 沸点():在 340分解 相对密度(水=1):1.8(20)溶解性:与水任意比互溶 蒸汽相对密度(空气=1):3.4 外观与性状:无嗅无色油性吸湿性液体 化学危险性:加热时,分解生成含有硫氧化物的有毒、腐蚀性气体。该物质是一种强氧化剂。与可燃还原物质和有机材料发生反应,有着火和爆炸的危险。该物质是一种强酸,与碱激烈反应,腐蚀大多数常见金属,生34、成易燃易爆气体。与水急剧地发生反应,有热和着火或爆急性毒性 LD50=2140mg/kg(大鼠经口);13 炸的危险。浸蚀很多塑料。盐酸(7647-01-0)分子式:HCl;分子量:36.5 熔点():-114;沸点():-85 密度(g/l):1.00045(气体)水中溶解度(g/100ml):30时 67 蒸汽相对密度(空气=1):1.3 溶解性:极易溶于水 外观与性状:无色压缩液化气体,有刺鼻气味 物理危险性:气体比空气重。化学危险性:水溶液是一种强酸,与碱激烈反应,有腐蚀性。与氧化剂激烈反应,生成有毒氯气。有水存在时,浸蚀许多金属。急性毒性 LD50=4600mg/m3(大鼠吸入)二甲35、基乙醇胺(108-01-0)分子式:C4H11NO;分子量:89.1 熔点():-59;沸点():135 相对密度(水=1):0.89 水中溶解度:混溶 蒸汽压:20时 612Pa 蒸汽相对密度(空气=1):3.03 闪点():38(闭杯)自燃温度():220 爆炸极限:空气中 1.6%11.9%(体积)辛醇、水分配系数的对数值:-0.55 外观与性状:无色液体,有刺鼻气味 物理危险性:蒸气比空气重。化学危险性:燃烧时,该物质分解生成含氮氧化物有毒气体。该物质是一种中强碱。与酸、酰基氯、氧化剂和异氰酸酯激烈反应,有着火和爆炸的危险。浸蚀铜及其合金。急性毒性 LD50:2340mg/kg(大鼠经36、口)LD50:1370mg/kg(兔经皮)7、平面布置、平面布置 本次扩建项目(湿电子化学品研发区域)位于一期车间光刻胶生产区域南侧,不涉及已完成审批设备的挪动。厂区设计布置严格按安全、生产、环保等需求规范设计。因此,项目厂区平面布置基本合理。本项目平面布置图见附图 5。工艺流程和产排污环节 1、本扩建、本扩建项目工艺流程项目工艺流程 图图 2-1 刻蚀液(刻蚀液(1#)研发工艺流程图)研发工艺流程图 图图 2-2 刻蚀液刻蚀液(2#)研发工艺流程图研发工艺流程图 混合 中间检测 不合格废液 最终检测 包装 成品 滤芯过滤 废滤芯 双氧水、去离子水、添加剂 不合格废液 预混 混合 中间检测 不37、合格废液 最终检测 包装 不合格废液 成品 磷酸 滤芯过滤 废滤芯 磷 酸、添加剂 14 图图2-3 PSD研发工艺流程图研发工艺流程图 图图 2-4 抛光后清洗液(抛光后清洗液(1#)研发工艺流程图研发工艺流程图 图图 2-5 抛光后清洗液(抛光后清洗液(2#)研发研发工艺流程图工艺流程图 本项目研发刻蚀液、PSD、抛光后清洗液等湿电子化学原料的工艺基本一致,主要为混合、检测、过滤、包装等工序,即各种原料投入混配釜,各组分在釜内经过充分搅拌,均匀混合,混合后的半成品检测,然后通过多级精密过滤,去除原料中的颗粒物等杂质,最后检测合格后包装得到成品。本项目研发得到的成品供给xx微电子科技(xx)38、股份有限公司进行后续产品测试,研发过程中在常温常压条件下进行,研发过程无化学反应。表表2-6 主要污染工序一览表主要污染工序一览表 序号 污染物类型 主要污染源 主要污染物 1 废气 实验室废气 盐酸雾、硫酸雾、非甲烷总烃 2 噪声 各机械设备在运转过程产生的噪声 LAeq 3 废水 设备清洗废水 pH、SS、CODCr、氨氮、总铜、总磷等 4 纯水制备废水 SS、CODCr等 5 不合格废液 pH、SS、CODCr、氨氮、总磷等 6 废气处理废水 pH、SS、CODCr、氨氮等 7 固体废物 过滤 废滤芯 8 PSD 检验 PSD 不合格废液 9 废水治理 污水处理站污泥 混合 中间检测 不39、合格废液 最终检测 包装 不合格废液 成品 滤芯过滤 废滤芯 三羟乙基甲基氢氧化铵、二甲基乙醇胺、去离子水、添加剂 废气 混合 中间检测 不合格废液 最终检测 包装 不合格废液 成品 滤芯过滤 废滤芯 四甲基氢氧化铵、去离子水、添加剂 废气 混合 中间检测 不合格废液 最终检测 包装 不合格废液 成品 滤芯过滤 废滤芯 硫酸、盐酸、硫酸铜、去离子水 废气 15 10 药剂包装 废?装桶 本项目物料平衡:表表2-7 本项目产品物料平衡一览表本项目产品物料平衡一览表 产品名称 投入 产出 物料名称 t/a 去向 t/a 主要成分 刻蚀液(1#)85%磷酸 10 产品 10/硅烷类添加剂 0.5 废40、气 微量 非甲烷总烃 滤芯 0.2 不合格品(废液)0.4/废滤芯 0.3/总计 10.7 总计 10.7/刻蚀液(2#)30%双氧水 1 产品 2/超纯水 1 废气 微量 非甲烷总烃 硅烷类添加剂 0.15 不合格品(废液)0.1/滤芯 0.1 废滤芯 0.15/合计 2.25 总计 2.25/PSD 硫酸铜 0.2 产品 10/硫酸(98%)0.7 废气 微量 硫酸雾、盐酸雾、非甲烷总烃 盐酸(37%)0.7 硅烷类添加剂 0.5 超纯水 8.3 不合格品(危废)0.3/滤芯 0.2 废滤芯 0.3/合计 10.6 总计 10.6/抛光后清洗液(1#)25%四甲基氢氧化铵 0.4 产品 341、/超纯水 2.8 废气 微量 非甲烷总烃 硅烷类添加剂 0.15 不合格品(废液)0.3/滤芯 0.1 废滤芯 0.15/合计 3.45 总计 3.45/抛光后清洗液(2#)三羟乙基甲基氢氧化铵 2 产品 7/超纯水 4.25 废气 微量 非甲烷总烃 二甲基乙醇胺 1 不合格品(废液)0.4/硅烷类添加剂 0.2 废滤芯 0.2/滤芯 0.15 合计 7.6 总计 7.6/本项目总铜平衡见图2-6,本项目及全厂的水平衡情况见图2-78。图图 2-6 本项目总铜平衡图本项目总铜平衡图 原料 CuSO4 折合铜 0.08 进入产品 0.07648 进入废水 0.0004 废水处理 0.00037 42、排入环境 0.00003 单位:t/a 进入废液(危废)0.00312 16 自来水制备纯水废水处理站市政污水管道城市污水处理厂66.891.712267.1单位:t/a40纯水54.9反洗与再生排水损耗6废气处理3024设备清洗废水32实验室检测废水129.6产品2.424.9产品研发检验1.215.1损耗8产品13.92442.8 图图 2-7 本项目水平衡图本项目水平衡图 17 自来水制备纯水生活污水化粪池排放废水处理站市政污水管道城镇污水处理厂40153711.253711.253711.256805.1735849.0741275.487873.0337260.48单位:t/a38043、.9去离子水29454.55反洗与再生排水地面冲洗541.2损耗160.3损耗106废气处理742636实验室废水532529.6损耗600循环冷却水6007000损耗303.75甘氨酸提纯光刻胶去除剂产品研发检验70515.1301.330损耗271.3母液回用1绿化用水2238.725332.651940设备清洗废水1832产品提纯线1667.631140.72产品526.91包装物清洗废水2218.752675损耗108损耗456.2537树脂盐酸清洗废水36损耗11.2产品13.9损耗2.4图图 2-8 全厂水平衡图全厂水平衡图 18 与项目有关的原有环境污染问题 1、原项目概况、原项44、目概况 xxxx微电子科技有限公司位于xx区xx街道青山路79号,历次项目环保审批及验收情况如下表:表表 2-8 企业历次项目环保审批及验收情况企业历次项目环保审批及验收情况 项目名称 建设地址 审批内容 实际生产内容 主要生产工艺 批复文号 验收文号 集成电路材料基地项目 xx区柴桥街道青山路79 号 年产半水性光刻胶去?剂 1200 吨、胺类光刻胶去?剂 1500 吨、强碱性?刻胶去除?500?、甘氨酸 300 吨 年产半水性光刻胶去除剂1200 吨、强碱性光刻胶去除剂 500 吨 调配、电渗析提纯等 2018.7 仑环201834 号 2020.9 自主验收(第一阶段)xx安集集成电路材45、料基地二期项目 新建二期厂房,完善一期项目质量检测、研发、中试、仓储等职能。原生产规模保持不变。/混合搅拌、过滤、检测、试验等 2020.8 仑 环 建2020148 号 厂房正在建设 xx安集集成电路基础材料纯化研发及生产项目 光刻胶去除剂配套材料提纯研发项目,年增产亚氨基二乙酸 180吨、苯并三氮唑 60 吨、吡唑 720 吨、维生素C60 吨、碳酸胍 6 吨,并对酒石酸铵进行研发。/溶解、重结晶、离心分类和包装等 2022.3 仑 环 建202217 号 项目正在建设 企业已在全国排污许可证管理信息平台填报排污登记表,登记编号为:91330206MA2916KQ0K001Z。登记基本信息46、污染物排放去向、执行的污染物排放标准以及采取的污染防治措施等信息。2、主要产品及生产规模、主要产品及生产规模 原有项目产品规模及产能、主要设备和主要原辅材料清单详见表2-2,2-3,2-4扩建前数量。3、原项目生产工艺原项目生产工艺 1)生产工艺流程及简介 19 二丙二醇单醚、五甲基二乙烯三胺混合搅拌二甲亚砜混合搅拌氟化铵水溶液过滤检测包装废滤料废气、设备清洗废水废气实验室废水超纯水 图图 2-9 半水性光刻胶去除剂生产工艺流程图半水性光刻胶去除剂生产工艺流程图 邻苯二酚混合搅拌氮气(保护气)乙醇胺、异丙醇胺、二甘醇胺混合搅拌羟胺水溶液+超纯水过滤检测包装废滤料废气、设备清洗废水实验室废水废47、气 图图 2-10 胺类光刻胶去除剂生产工艺流程图胺类光刻胶去除剂生产工艺流程图 二甲亚砜、乙醇混合搅拌混合搅拌四甲基氢氧化铵过滤检测包装废滤料废气、设备清洗废水废气实验室废水废气 图图2-11强碱性光刻胶去除剂生产工艺流程图强碱性光刻胶去除剂生产工艺流程图 纯水溶解结晶干燥电渗析包装过滤重结晶离心甩干间接冷却间接冷却电加热甘氨酸去离子水电加热电加热废水、固废固废母液套用图图 2-12 甘氨酸生产线生产工艺流程图甘氨酸生产线生产工艺流程图 图图 2-13 中试项目工艺流程图中试项目工艺流程图 原料按比例 投料 混合搅拌 过滤 检测 试验 废气、设备清洗废水 废滤芯 实验室废水、废液 废液、废气48、 氮气(保护气)不合格品 20 图图 2-14 吡唑提纯工艺流程图吡唑提纯工艺流程图 图图 2-15 亚氨基二乙酸提纯工艺流程图亚氨基二乙酸提纯工艺流程图 图图 2-16 苯并三氮唑提纯工艺流程图苯并三氮唑提纯工艺流程图 图图 2-17 维生素维生素 C 提纯工艺流程图提纯工艺流程图 图图 2-18 碳酸胍提纯工艺流程图碳酸胍提纯工艺流程图 碳 酸胍 原料 溶解 萃取 离心分离 成品 超纯水 异丙醇 超纯水 30-50 废气、废滤液 包装 检验 不合格品 废气 维 生 素C 原料 溶 解 树脂过滤 成品 5%盐酸再生树脂 超纯水 30-50 包装 5%废盐酸 检验 不合格品 亚 氨基 二乙 酸49、原料 溶解 降温结晶 离心分离 成品 超纯水洗涤 超纯水 电加热 80100 废滤液 包装 检验 不合格品 苯 并三 氮唑 原料 溶解 降温结晶 离心分离 成品 超纯水 超纯水 电加热 80100 废滤液 包装 检验 不合格品 吡唑原料 轻组分分馏 重组分分馏 高纯度吡唑 检验 超纯水 电加热 180190 电加热 90110 废弃组分(主要为乙醇)废弃组分(主要为甘油烯丙基醚)成品 不合格品 包装 21 图图 2-19 酒石酸铵合成研发工艺流程图酒石酸铵合成研发工艺流程图 4、原项目污染源强及污染防治措施、原项目污染源强及污染防治措施 根据验收报告,现有项目各类污染物产生及排放情况见下表。表50、表 2-9 原项目审批各原项目审批各类污染物产生类污染物产生与排放与排放情况一览表情况一览表 内容 排放源 污染物 名称?排放浓度及排放量(单位)现有投产项目排放量 环评审批量 大气 污染物 树脂清理废气 盐酸雾(氯化氢)/0.0008 t/a 无组织废气 非甲烷总烃/0.0003 t/a 投料废气、混合废气、灌装废气 非甲烷总烃 0.199t/a 1.07t/a 乙醇/0.1337 t/a 异丙醇/0.0007 t/a 氨/0.0021 t/a 中试废气 非甲烷总烃/少量 氟化物/少量 储罐废气 非甲烷总烃/少量 水污染物 生产废水(含检验不合格废液)废水量 3172.83t/a 6738.51、366 t/a COD 0.158t/a 0.202 t/a 氨氮 0.0158t/a 0.017 t/a 纯水制备废水 废水量/29454.55 t/a 生活污水 废水量/3711.25 t/a COD/0.1116 t/a 氨氮/0.0113 t/a 固体废物 纯水制备废活性炭 2 t/a 3.4 t/a 污水处理污泥 11.17t/a 24.34 t/a 废包装袋/桶 100t/a 102.5 t/a 废树脂 1t/a 6.6 t/a 废活性炭 3.075t/a 4.597 t/a 废滤芯 4t/a 4.2 t/a 中试废液/12 t/a 废电渗析膜 0.5t/a 0.5 t/a 废导热52、油 0.7t/3 年 0.7t/3 年 固态不合格品/5.3 t/a 酒 石酸 原料 溶解 树脂过滤5%盐酸再生树脂 超纯水 30-50 氨合反应 5%废盐酸 氨水 离心分离 超纯水 废气、废滤液 酒石酸铵 废气 22 生活垃圾 42.25t/a 43.75 t/a 注:污染物排放量根据一期项目一阶段验收数据计算所得。表表 2-10 原项目主要原项目主要污染防治措施污染防治措施汇总表汇总表 内容 排放源 污染物 名称 原环评治理措施 实际落实情况 符合 情况 整改 建议 大气 污染物 投料废气、混合废气、灌装废气 非甲烷总烃 经收集后通过“碱喷淋+除湿+活性炭吸附”装置(风量为10000m3/53、h)处理后通过 15m 高排气筒排放 经收集后通过“碱喷淋+除湿+活性炭吸附”装置(风量为 50000m3/h,已用风量为 37000 m3/h,剩余 13000m3/h 风量为?厂房其他项目预留)处理后通过 15m 高排气筒排放 符合 无 中试废气 非甲烷总烃?氟?物 通过中试车间集中排气系统排放 尚未实施/无 储罐废气 非?烷总烃 户外扩散排放 尚未实施/无 树脂清?废气 盐酸雾(氯化氢)吡唑提纯线、碳酸胍提纯线产生的废气、树脂清理废气经碱喷淋+除湿+活性炭吸附装置处理后汇同经水喷淋处理后的酒石酸铵合成线废气通过 15m 高排气筒排放 尚未实施/无 生产废气 乙醇、非甲烷总烃、异丙醇、氨 54、尚未实施/无 无组织废气 非甲烷总烃 选用高效密封零件减少设备动静密封点泄漏废气的产生 尚未实施/无 水污染物 生活污水 CODCr、氨氮等 经化粪池预处理后排入市政污水管道 与原环评一致 符合 无 反洗与再生?水 SS、COD 用作车间地面冲洗用水、废气处理用水、循环冷却系统用?与原环评一致 符合 无 生产废水(含检验不合格废液)SS、COD、氨氮等 经污水处理站(调节池水解酸化池接触氧化池混凝沉淀,10t/d)处理后纳入市政污水管道交由xx污水处理厂处理 经污水处理站(调节池水解酸化池接触氧化池混凝沉淀,10t/h)处理后纳入市政污水管道交由岩东污水处理厂处理 符合 无 固体过滤 废滤芯 55、委托xx市xx环保固废处置有限公与原环评一致 符合 无 仓储 废包装?与原环评一致 符合 无 23 废物 废气处理 废活性?司进行安全处置 与原环评一致 符合 无 纯水制备 废?脂 与原环评一致 符合 无 甘氨酸提纯 废电渗析膜 委托有资质的单位进行安全处置 尚未实施/无 导热油炉 废导热油/无 中试 中试废液/无 纯水制备 废砂及?活性炭 分类收集、避雨存放后委托环卫部门统一清运 与原环评一致 符合 无 废水处理 废水污泥 符合 无 日常生活 生?垃圾 符合 无 5、污染源现状监测与评价、污染源现状监测与评价 企业2021年年度检测数据详见附件6,由附件检测数据可知,企业废气、废水均能达到相56、应标准。6、存在的环保问题及整改要求、存在的环保问题及整改要求 企业现有工程总体上能较好地落实环评批复及验收意见的要求,建议加强日常环保工作的管理和设备的维护,确保污染物稳定达标排放。后续项目实施过程中,提出如下要求:1)企业必须选用先进生产设备和工艺,减少生产过程中污染物的排放,降低产品的能耗,同时建议企业不断的对工艺进行探索和改进,提高生产效率和减少污染物的排放。2)项目投产运行后及时进行清洁生产审核和环境质量体系认证,以进一步提高生产工艺水平和管理水平。3)建设项目的性质、规模、地点、采用的生产工艺或者防治污染措施发生重大变动的,建设单位应当重新报批建设项目的环境影响评价文件。4)必须重57、视废气、废水处理设施的运行管理,确保废气、废水达标排放,同时做好风险事故防范措施和完善管理制度。24 三、区域环境质量现状、环境保护目标及评价标准三、区域环境质量现状、环境保护目标及评价标准 区域 环境 质量 现状 1、环境空气质量现状、环境空气质量现状 本项目位于xx街道,临近xx城区,根据xx市xx区环境质量报告书(2016-2020 年)有关内容,2020 年度xx区环境空气质量监测结果见下表。表表 3-1 2020 年度xx区空气质量监测结果年度xx区空气质量监测结果 污染物 年评价指标 现状浓度/(g/m3)标准值/(g/m3)占标率/%达标情况 PM2.5 年均值 20 35 5758、.14 达标 PM10 38 70 54.29 达标 SO2 7 60 11.67 达标 NO2 37 40 92.5 达标 CO 特定百分位日均值 1000 4000 25 达标 O3 135 160 84.38 达标 注:臭氧日均值为日最大 8 小时平均值 由上表分析,xx区内六项基本污染物SO2、NO2、PM2.5、PM10、CO、O3相关指标均能满足环境空气质量标准(GB3095-2012)二级标准,为城市环境空气质量达标区。2、水环境质量现状、水环境质量现状(1)纳污海域环境质量现状 本项目生产废水经污水处理站预处理后纳入市政污水管网,由xxxxxx净化水厂处理达到城镇污水处理厂污染59、物排放标准(GB18918-2002)中一级 A 标准,其中化学需氧量、氨氮、总氮和总磷等 4 项主要水污染物控制项目执行城镇污水处理厂主要水污染物排放标准(DB33/2169-2018)中表2 标准后排入镇海-xx-xx海域,该海域为四类功能区,执行第三类海水水质标准。本环评引用xx市xx区环境质量报告书(2016-2020 年)宁波市环境监测中心对镇海-xx-xx四类区海域的水质监测结果,具体监测结果汇总见下表。表表 3-2 2020 年度镇海年度镇海-xxxx-xx海域(xx海域(ZJ0256 监测点位)水质监测结果监测点位)水质监测结果 站位 监测 时间 层次 水温()pH DO(mg60、/L)无机氨(mg/L)活性磷酸盐(mg/L)化学需氧量(mg/L)石油类(mg/L)25 ZJ0256 金光粮 油码头 5 月 表层 17.1 7.99 7.71 0.406 0.035 1.42 0.021 底层 17.0 7.94 7.77 0.324 0.036 1.20/均值 17.0 7.96 7.74 0.365 0.036 1.31 0.021 PI/1 1 1 1 1 1 10 月 表层 23.5 8.02 7.44 0.597 0.030 1.39 0.013 底层 24.0 8.01 7.63 0.548 0.034 1.44/均值 23.8 8.02 7.51 0.5761、2 0.032 1.42 0.013 PI/1 1 1.14 1 1 1 由上表分析可知,pH、DO、石油类、活性磷酸盐和化学需氧量均达到第三类海水水质标准,无机氮是主要超标因子,海域水质总体为劣四类,与所在区域工业、生活等污染有关。3、声环境质量现状、声环境质量现状 项目厂界周边50米范围内不存在声环境保护目标,故不进行监测。4、土壤环境质量现状土壤环境质量现状 项目原料堆放区、危废暂存间己做防渗处理;厂区地面硬化处理,不存在地下水及土壤污染途径,因此不开展地下水及土壤环境质量现状调查。5 5、生态环境质量现状、生态环境质量现状 项目位于工业区内,利用已建厂房,处于人类活动频繁去,无原始植被62、生长和珍贵野生动物活动,区域生态系统敏感程度较低,无需进行生态现状调查。6 6、辐射环境质量现状、辐射环境质量现状 本项目无辐射类生产设备,无辐射影响,无需进行辐射现状调查。环境 保护 目标 5、主要环境保护目标(列出名单及保护级别):、主要环境保护目标(列出名单及保护级别):经调查,项目评价范围内主要环境保护目标详见下表。表表 3-3 项目周边敏感点特征情况项目周边敏感点特征情况 环境要素 环境敏感目标 坐标 保护级别 相对方位和距离 主要特征 经度 纬度 大气环境 本项目厂界 500m 范围内无大气环境保护目标 GB3095-2012 二级/声环境 本项目厂界 50m 范围内无声环境保护目63、标 GB3096-2008 3 类、2 类、4 类/地下水环境 厂界外 500 米范围内无地下水集中式饮用水水源和热水、矿泉水、温泉等特殊地下水资源 生态环境 本项目不新增用地,无生态环境保护目标 26 污染 物排 放控 制标 准 1、大气污染物排放标准、大气污染物排放标准 本项目研发废气中的非甲烷总烃、氯化氢、硫酸雾执行大气污染物综合排放标准(GB16297-1996)中表2新污染源大气污染物排放限值中的二级标准,主要排放限值见下表。表表 3-4 大气污染物排放限值大气污染物排放限值 污染物 最高允许排放浓度(mg/m3)最高允许排放速率,kg/h 无组织排放监控浓度限值 排气筒高度,m 二64、级 监控点 浓度(mg/m3)硫酸雾 70 15 1.8 周界外浓度最高点 1.5 氯化氢 100 15 0.26 0.2 非甲烷总烃 120 15 10 4.0 厂区内的挥发性有机物排放执行挥发性有机物无组织排放控制标准(GB 37822-2019)附录A表A.1厂区内VOCs无组织特别排放限值,主要排放限值见下表。表表 3-5 挥发性有机物无组织排放控制标准挥发性有机物无组织排放控制标准 污染物项目 特别排放限值(mg/m3)限值含义 无组织排放监控位置 NMHC 6 监控点处 1h 平均浓度值 在厂房外设置监控点 20 监控点处任意一次浓度值 2、水污染物排放标准、水污染物排放标准 本项65、目纯水制备废水主要用于厂区绿化、车间地面冲洗、废气处理及循环冷却系统,剩余废水排入市政污水管网;本项目生产废水经污水处理站处理达到电子工业水污染物排放标准(GB39731-2020)表1水污染物排放限值中电子专用材料间接排放标准(其中氨氮达到xx省地方标准工业企业废水氮、磷污染物间接排放限值(DB33/887-2013)间接排放浓度限值)后排入市政污水管道;本项目生活污水经化粪池预处理后达到污水综合排放标准(GB8978-1996)中的三级标准(其中氨氮和总磷达到xx省地方标准工业企业废水氮、磷污染物间接排放限值(DB33/887-2013)间接排放浓度限值)排入市政污水管道,最终经xxxxx66、x净化水厂处理达标后排海。表表 3-6 电子工业水污染物排放标准电子工业水污染物排放标准 序号 污染物 标准限值 标准出处 间接排放 电子专用材料 27 1 pH(无量纲)6.09.0 电子工业水污染物排放标准(GB39731-2020)表 1 水污染物排放限值中电子专用材料间接排放标准 2 CODCr(mg/L)500 3 总有机碳(mg/L)200 4 SS(mg/L)400 5 阴离子表面活性剂(mg/L)20 6 石油类(mg/L)20 7 总氮(mg/L)70 8 总磷(mg/L)8.0 9 总铜(mg/L)2.0 10 氨氮(mg/L)35 工业企业废水氮、磷污染物间接排放限值(D67、B33/887-2013)间接排放浓度限值 表表 3-7 生活污水排入市政污水管道标准生活污水排入市政污水管道标准 序号 污染物 标准限值 标准出处 1 pH(无量纲)69 污水综合排放标准(GB8978-1996)表 4 第二类污染物最高允许排放浓度的三级标准 2 CODCr(mg/L)500 3 BOD5(mg/L)300 4 SS(mg/L)400 5 阴离子表面活性剂(mg/L)20 6 石油类(mg/L)20 7 挥发酚(mg/L)2.0 8 氨氮(mg/L)35 工业企业废水氮、磷污染物间接排放限值(DB33/887-2013)9 总磷(mg/L)8 xxxxxx净化水厂废水经其处68、理后最终排入镇海-xx-xx海域,其出水水质中化学需氧量、氨氮、总氮和总磷等4项主要水污染物控制项目执行城镇污水处理厂主要水污染物排放标准(DB33/2169-2018)中表2标准,其他污染物控制指标仍执行城镇污水处理厂污染物排放标准(GB18918-2002)中一级A标准。主要污染物排放标准限值见下表。表表 3-8 xxxxxx净化水厂排放标准xxxxxx净化水厂排放标准 序号 污染物 标准限值 备注 1 化学需氧量(mg/L)30 城镇污水处理厂主要水污染物排放标准(DB33/2169-2018)中表 2 标准 2 氨氮(mg/L)1.5(3)*3 总氮(mg/L)10(12)*4 总磷(69、mg/L)0.3 5 pH(无量纲)69 城镇污水处理厂污染28 6 BOD5(mg/L)10 物排放标准(GB18918-2002)中一级 A 标准 7 SS(mg/L)10 8 石油类(mg/L)1 9 动植物油(mg/L)1 10 总铜(mg/L)0.5*注:括号内数值为每年 11 月 1 日至次年 3 月 31 日执行;3、噪声排放标准噪声排放标准 根据xx市xx区人民政府关于印发xx区声环境功能区划分(调整)方案的通知,企业西侧一期厂区位置区域编号为0206-3-03,属于3类声功能区,执行声环境质量标准(GB3096-2008)中的3类标准(昼间65dB(A),夜间55dB(A))70、;东侧二期厂区位置区域编号为0206-2-04,属于2类声功能区,执行声环境质量标准(GB3096-2008)中的2类标准(昼间60dB(A),夜间50dB(A));厂区南侧紧邻云台山路(主干道),属于4类声功能区,执行声环境质量标准(GB3096-2008)中的4a类标准(昼间70dB(A),夜间55dB(A))。项目营运期厂界噪声排放执行工业企业厂界环境噪声排放标准(GB12348-2008)中2类、3类、4a类标准,具体见下表。表表 3-9 工业企业厂界环境噪声排放标准工业企业厂界环境噪声排放标准 厂界 类别 昼间 dB(A)夜间 dB(A)东侧、北侧 2 类 60 50 西侧 3 类 71、65 55 南侧 4a 类 70 55 4、固体废物贮存、处置控制标准 一般工业固体废物贮存过程应满足相应防渗漏、防雨淋、防扬尘等环境保护要求,危险废物相关执行标准见下表。表表 3-10 危险废物控制标准危险废物控制标准 标准名称 标准号 危险废物贮存污染控制标准 GB18597-2001 及修改单 危险废物鉴别标准 GB5085.16-2007 危险废物鉴别标准 通知 GB5085.7-2019 危险废物鉴别技术规范 HJ298-2019 29 总量 控制 指标 区域污染物排放总量控制是对区域环境污染控制的一种有效手段,其目的在于使区域环境质量满足于社会和经济发展对环境功能的要求。根据“十三72、五”生态环境保护规划(国发201665号),“十三五”期间我国对CODCr、NH3-N、SO2和NOx共四种主要污染物实行排放总量控制计划管理。根据关于印发2016年xx省大气污染防治实施计划的通知(浙环函 2016145 号),将二氧化硫、氮氧化物、烟粉尘和挥发性有机物排放是否符合总量控制要求,作为建设项目环境影响评价审批的前置条件。另外根据建设项目主要污染物排放总量指标审核及管理暂行办法(环发2014197 号),烟粉尘、挥发性有机污染物、重点重金属污染物、沿海地级及以上城市总氮和地方实施总量控制的特征污染物参照该办法执行。根据xx市环保局关于进一步规范建设项目主要污染物总量管理相关事项的73、通知(甬环发201448 号),xx市市域范围内 COD、氨氮新增排放总量与削减替代量的比例为 1:1。SO2、NOx新增排放量的削减替代量的比例为 1:2。根据关于印发xx省“十四五”挥发性有机物综合治理方案的通知(浙环发202110 号)要求,上一年度环境空气质量达标的区域,对石化等行业的建设项目VOCs排放量实行等量削减。xx区2020年度区域空气质量达标,属于达标区,故VOCs排放量实行等量削减。根据xx市打赢蓝天保卫战三年行动方案,新改扩建项目的大气污染物排放严格执行特别排放限值要求,二氧化硫、氮氧化物、烟粉尘、VOCs 新增排放量实行区域内排放量减量替代。综上,xx市细颗粒物环境质74、量现状达标,颗粒物实行减量替代,比例为1:1.1。根据工程分析,本项目建成后全厂主要污染物排放总量控制建议值如下表。表表 3-11 全厂主要污染物排放总量控制指标一览表全厂主要污染物排放总量控制指标一览表 类别 污染物名排放量(t/a)总量控制30 称 原项目 本项目 以新带老削减量 区域替代削减量 总体工程 建议值(t/a)废气 VOC 1.29/1.29 1.29 生产废水 废水量 6738.366 66.8/66.8 6805.166 6805.166 COD 0.202 0.002/0.002 0.204 0.204 氨氮 0.017 0.0002/0.0002 0.0172 0.0175、72 总铜/0.00003/0.00003 0.00003 0.00003 生活污水 废水量 3711.25/3711.25 3711.25 COD 0.112/0.112 0.112 氨氮 0.011/0.011 0.011 本项目新增生产废水排放量66.8t/a,COD0.002t/a,氨氮0.0002t/a,总铜0.00003t/a。31 四、主要环境影响和保护措施四、主要环境影响和保护措施 施工期环境保护措施 本项目利用已建厂房,无施工期污染。运营 期环 境影 响和 保护 措施 1、废气(1)研发废气 本项目产品研发过程为物理过程,不涉及化学反应,研发工艺为室温下搅拌、过滤。根据原料的76、理化性质,本项目搅拌过程中均不会分解。本项目不设置原料储罐,液体易挥发原料均密封存放于包装桶内,硫酸、盐酸等原料被泵入混配釜的同时向原料桶中输入氮气,使原料桶保持微正压,氮气输送管与原料桶连接处设有密闭管道接入后续废气处理装置,因此无呼吸废气产生。该项目室温(常温)搅拌,原料存储使用高位槽、搅拌罐等均采用氮封,同时本项目所用原料为外购的电子级原料,原料纯度较高,原料中不含其他杂质有机物,生产过程基本不发生原料分解,因此研发废气主要污染因子为原料挥发产生的少量盐酸雾、硫酸雾及非甲烷总烃。本项目原料使用量较少,且仅在混配釜开关盖时有少量废气挥发,废气通过车间集中收集后经碱液喷淋装置处理后通过15m77、高排气筒排放,对周边环境影响较小。2、废水(1)废水污染源强分析 本项目的废水主要为设备清洗废水、纯水制备废水、不合格废液、废气处理废水。设备清洗废水 根据建设单位提供资料,为防止每批研发产品之间互相影响,本项目每批研发产品产生后需对设备利用纯水进行清洗,每批的用水量约为0.25t,共16032 批,合计用水量40t/a,废水产生率约为80%,研发项目设备清洗废水的产生量约为32t/a。由于本项目研发产品为电子专用材料,产品精度极高,对原料控制极为严格,清洗用水使用后无法满足生产要求。因此,本项目设备清洗废水不回用。该股废水水质较为清洁,经收集后排入污水处理站处理。实验室检测废水 实验室检测用78、水用于原料及产品检测过程中检测容器及仪器的清洗,根据企业提供数据,平均实验室用水量约为0.04t/d,即12t/a,废水产生率约为80%,则废水产生量为9.6t/a,实验室检测废水排入厂区污水处理站处理达标后纳入市政污水管道。不合格废液 刻蚀液、抛光后清洗液产品研发检验过程中有不合格废液产生,产生量约为1.2t/a,经收集后排入污水处理站处理。废气处理废水 本项目新增碱液喷淋塔废水一个月更换一次,每次更换量为2t,废水产生量为24t/a,据类比调查,该废水中COD500mg/L,SS50mg/L,氨氮50 mg/L,废水经收集后排入厂区污水处理站处理。纯水制备废水 本项目纯水设备依托一期已有设79、备,纯水制备采用CDI技术(电容去离子技术),CDI水处理技术为一种无污染,低耗能,高附加价值的水处理技术,利用电容器的结构与充放电原理,以静电吸附,进行水质净化,污染防治或海水淡化。CDI以非破坏的物理过程,去除水中的带电物质,如金属,负离子与酸根等。33 图图4-1 纯水制备工艺流程图纯水制备工艺流程图 纯水制备过程中(电容去离子技术)会有大量的制备浓水产生,设备会自动定时反冲洗反渗透膜并产生少量的反冲洗与再生废水,超纯水产水率约55%,根据企业实际运行情况,为保证纯水水质,纯水制备设施需全天运行,故全厂超纯水产生量为36000t/a,本项目实施后超纯水实际利用率约为20%,剩余的超纯水回80、到原水箱在系统内循环使用,本项目超纯水的使用量为64 t/a,全厂超纯水的使用量为7869.93t/a,小于全厂超纯水产生量,全厂纯水制备废水量仍为29454.55t/a,本项目不新增该废水产生量。据类比调查,该废水主要污染物为无机盐类、胶质物,主要污染物产生浓度较小(COD50mg/m3,SS20mg/m3),属于清净下水,作为厂区绿化用水、车间地面冲洗用水、废气处理用水及循环冷却系统用水,剩余废水均直接排入市政污水管网。表表 4-1 本项目生产废水主要污染源分布及主要污染因子本项目生产废水主要污染源分布及主要污染因子 生产线 废水量(t/a)污染物名称 污染物浓度(mg/m3)产生量 设备81、清洗废水 32 COD 1000 0.0320 氨氮 50 0.0016 SS 30 0.0010 总磷 10 0.0003 总铜 5 0.0002 实验室检测废水 9.6 COD 2000 0.0192 氨氮 100 0.0010 SS 50 0.0005 总磷 50 0.0005 全自动超滤 活性炭过滤 一级RO系统 CDI 系统 TOC-UV-1 阴床 MDG-1 TOC-UV-2 一级抛光床 二级抛光床 MDG-2 终端超滤 原水箱 预处理水箱 中间水箱 二级RO系统 纯水箱 反冲洗废水 反冲洗废水 浓水 浓水 浓水 34 总铜 20 0.0002 不合格废液 1.2 COD 500082、 0.006 氨氮 500 0.0006 总磷 5000 0.0048 废气处理废水 24 COD 500 0.0120 氨氮 30 0.0007 SS 100 0.0024 合计 66.8 COD 10001500 0.0692 氨氮 5070 0.0039 SS 6080 0.0039 总磷 60100 0.0056 总铜 410 0.0004 表表 4-2 全厂生产废水主要污染源分布及主要污染因子全厂生产废水主要污染源分布及主要污染因子 废水量(t/a)污染物名称 污染物浓度(mg/m3)产生量 4315.516 COD 60008000 22.8622 氨氮 50100 0.3499 83、SS 1030 0.0709 总磷 15 0.0056 总铜 0.52 0.0004 生产废水经收集后由污水处理站进行处理,污水处理工艺为水解酸化、接触氧化、气浮、沉淀(污水处理工艺流程图见污水处理工艺流程图见图图4-2)。根据企业提供的设计方案,污水处理站设计进水水质COD10000mg/L,石油类100mg/L,氨氮200mg/L,SS1000mg/L,总磷150mg/L,总铜5mg/L。经处理后出水水质COD500mg/l,石油类30mg/l,氨氮45mg/l,SS400mg/l,总磷8mg/L,总铜2mg/l。总去除率COD为95%,石油类为70%,SS为60%,总磷为95%,总铜为684、0%。最大设计处理水量为10t/h。原项目废水量为4257.55t/a,且本项目新增废水量为66.8t/a,故原有的厂区污水处理站仍能满足本项目新增废水的处理需求。污水处理工艺流程如下图。图图 4-2 污水处理工艺流程图污水处理工艺流程图 35 本项目生产废水产生和排放情况详见下表。表表4-3 生产废水产生和排放情况一览表生产废水产生和排放情况一览表 污染源 污染物 产生量 削减量 排放量 生产废水 废水总量 66.8m3/a/66.8m3/a pH 59/69 COD 0.069t/a 0.067 t/a 0.002 t/a 氨氮 0.0039t/a 0.0037 t/a 0.0002 t/85、a SS 0.0039t/a 0.0029 t/a 0.001 t/a 总磷 0.0056t/a 0.00558 t/a 0.00002t/a 总铜 0.0004t/a 0.00037t/a 0.00003 t/a*注:氨氮每年 11 月 1 日至次年 3 月 31 日的排放浓度按 3mg/L 计,其余时间排放浓度按 1.5mg/L 计.2)污水处理厂可行性分析 本项目废水属于间接排放,评价等级为三级B。生产废水经厂区污水处理站处理达到电子工业水污染物排放标准(GB39731-2020)表1水污染物排放限值中电子专用材料间接排放标准(其中氨氮排放指标参照xx省地方标准工业企业废水氮、磷污染物间86、接排放限值(DB33/887-2013)后排入市政污水管道,xxxxxx净化水厂一期工程规划处理能力为2.5万t/d,本项目排水量为0.22t/d,占xxxxxx净化水厂处理能力可忽略,对纳污海域水环境影响较小,排放量较小且达标排放,基本不会对纳污海域水环境质量造成影响。因此本项目废水达标排放造成的影响是可以接受的。综上所述,本项目废水排放量较少,只要企业做好废水的收集处理工作,切实做到污水达标排放,对地表水环境影响较小。废水类别、污染物及污染治理设施信息表详见表 4-4。表表 4-4 废水类别、污染物及污染治理设施信息表废水类别、污染物及污染治理设施信息表 序号 废水类别 污染物种类 排放去87、向 排放规律 污染治理设施 排放口编号 排放口设置是否符合要求 排放口类型 污染治理设施编号 污染治理设施名称 污染治理设施工艺 1 生产废水 CODCr NH3-N、总磷、总铜等 进入城市污水处理厂 间断排放,排放期间流量不稳定且无规律,但不属于冲击型排放 TW001 污水处理站 水解酸化、接触氧化等 DW001 是 否 企业总排口 雨水排放口 清净下水排放口 温排水排放口 车间或车间处理设施排放口 36 废水排放口基本情况详见表 4-5,废水污染物排放执行标准详见表 4-6。表表 4-5 废水间接排放口基本情况表废水间接排放口基本情况表 序号 排放口编号 排放口地理坐标 废水排放量/(万 88、t/a)排放去向 排放规律 间歇排放时段 受纳污水处理厂信息 经度 纬度 名称 污染物种类 污染物排放标准浓度限值/(mg/L)1 DW001 121.893708 29.878253 0.007 进入城市污水处理厂 间断排放,排放期间流量不稳定且无规律,但不属于冲击型排放 全天 xx北仑xx净化水厂 CODCr 30 NH3-N 1.5(3)总磷 0.3 总铜 0.5*注:氨氮括号内数值为每年 11 月 1 日至次年 3 月 31 日执行;表表 4-6 废水污染物排放执行标准表废水污染物排放执行标准表 序号 排放口编号 污染物种类 国家或地方污染物排放标准及其他按规定商定的排放协议 名称 浓89、度限值/(mg/L)1 DW001 CODCr 电子工业水污染物排放标准(GB39731-2020)表 1 水污染物排放限值中电子专用材料间接排放标准,氨氮排放指标参照xx省地方标准工业企业废水氮、磷污染物间接排放限值(DB33/887-2013)500 NH3-N 35 总磷 8 总铜 2 废水污染物排放信息详见下表。表表 4-7 废水污染物排放信息表废水污染物排放信息表 序号 排放口编号 污染物种类 排放浓度/(mg/L)日排放量/(t/d)年排放量/(t/a)1 DW001 CODCr 30 6.67E-06 0.002 NH3-N 1.5(3)/0.0002 总磷 0.3/0.000090、2 总铜 0.5/0.00003 全厂排放口合计 CODCr 0.002 NH3-N 0.0002 总磷 0.00002 总铜 0.00003*注:氨氮每年 11 月 1 日至次年 3 月 31 日的排放浓度按 3mg/L 计,其余时间排放浓度按 1.5mg/L 计.综上所述,本项目废水排放量较少,只要企业做好废水的收集处理工作,切实做到污水达标排放,对地表水环境影响较小。3)自行监测计划 37 根据排污单位自行监测技术指南 总则(HJ819-2017),本项目废水监测计划见下表。表表 4-8 废水废水排放排放自行自行监测计划表监测计划表 序号 监测点位 监测指标 监测频次 执行排放标准 1 91、DW001 pH 值、色度、悬浮物、化学需氧量、五日生化需氧量、氨氮、总磷、总氮、总铜 1 次/年 电子工业水污染物排放标准(GB39731-2020)表 1 水污染物排放限值中电子专用材料间接排放标准,氨氮排放指标参照xx省地方标准工业企业废水氮、磷污染物间接排放限值(DB33/887-2013)3、噪声 1)噪声污染源强分析 本项目噪声主要为混配釜、隔膜泵等在运行时产生的噪声,类比同类设备,噪声源强见下表。表表 4-9 噪声源及源强一览表噪声源及源强一览表 序号 噪声源 单位 数量 单个声源源强(dB(A))发声特点 1 混配釜 台 1 7080 间歇 2 氧含量测试仪 台 1 5060 92、间歇 3 加热降温系统 台 1 7080 间歇 4 隔膜泵 台 5 8090 间歇 5 过滤器 台 6 5060 间歇 6 真空泵 台 1 8090 间歇 2)主要防治措施(1)选购低噪声环保型设备;(2)合理布置车间布局,高噪声设备尽量远离厂界布置;(3)加强设备维护保养、避免非正常运行噪声。3)达标及影响分析(1)室内声源等效室外声源声功率级计算 如下图4-3所示,声源位于室内,室内声源可采用等效室外声源声功率级法进行计算。设靠近开口处(或窗户)室内、室外某倍频带的声压级分别为Lp138 和Lp2。若声源所在室内声场为近似扩散声场,则可按式4-3计算某一室内声源靠近围护结构处产生的倍频带声93、压级:图图 4-3 室内声源等效为室外声源图例室内声源等效为室外声源图例 (式 4-1)式中:Q 指向性因数;通常对无指向性声源,当声源放在房间中心时,Q=1;当放在一面墙的中心时,Q=2;当放在两面墙夹角处时,Q=4;当放在三面墙夹角处时,Q=8。R房间常数;R=S/(1),S为房间内表面面积,m2;为平均吸声系数。r声源到靠近围护结构某点处的距离,m。然后按下式4-2计算出所有室内声源在围护结构处产生的 i 倍频带叠加声压级:(式4-2)式中:LP1i(T)靠近围护结构处室内N个声源i倍频带的叠加声压级,dB;L P1ij室内 j 声源i 倍频带的声压级,dB;N室内声源总数。在室内近似为94、扩散声场时,按下式4-3计算出靠近室外围护结构处的声压级:LP2i(T)=LP1i(T)-(TLi+6)(式4-3)式中:LP2i(T)靠近围护结构处室外N个声源i倍频带的叠加声压级,dB;39 TLi围护结构 i 倍频带的隔声量,dB。然后按下式4-4将室外声源的声压级和透过面积换算成等效的室外声源,计算出中心位置位于透声面积(S)处的等效声源的倍频带声功率级。LW=LP2(T)+10Lg2s (式4-4)(2)室外声源衰减模式 噪声在传播过程中的衰减Ai包括距离衰减、屏障衰减、空气吸收衰减和地面吸收衰减。在预测时,为留有较大的余地,以噪声对环境最不利的情况为前提只考虑屏障衰减、距离衰减,而95、其它因素的衰减,如空气吸收衰减、地面吸收、温度梯度、雨、雾等均作为预测计算的安全系数而不计,故:AiAAb。距离衰减:A20Lgr+8 (式4-5)其中:r整体声源中心至受声点的距离(m)。屏障衰减Ab:即车间墙壁隔声量,考虑到窗子、屋顶等的透声损失,此处隔声量取20dB。(3)噪声叠加公式 不同的噪声源共同作用于某个预测点,该预测点噪声值为各声源传播到预测点声级的叠加后的总等效声级Leq,计算公式如下:(式 4-6)式中,Leqi第I个声源对某预测点的等效声级。本环评按环境影响评价技术导则 声环境(HJ2.4-2009)噪声导则进行了预测,噪声衰减因素中考虑了几何发散、空气吸收、地面吸收和屏96、障衰减等的影响。输入相关声源、敏感点以及周边建筑物、屏障、地面等数据后。项目所在厂区厂界噪声预测结果见下表。表表 4-10 噪声影响预测结果噪声影响预测结果 类别 厂界 预测点 东 南 西 北 背景值(dB(A))昼间 56.6 57.0 56.3 57.2 40 贡献值(dB(A))32.3 35.1 34.2 31.7 预测值(dB(A))昼间 56.6 57.0 56.3 57.2 标准值(dB(A))60 70 65 60 由上表可知,本项目生产噪声经过厂房墙体隔声和距离衰减后,项目西侧厂界昼间噪声符合工业企业厂界环境噪声排放标准(GB12348-2008)3类标准;东侧、北侧厂界昼间97、噪声符合工业企业厂界环境噪声排放标准(GB12348-2008)2类标准;南侧厂界昼间噪声符合工业企业厂界环境噪声排放标准(GB12348-2008)4a类标准。项目所在地位于xx市xx区xx街道青山路79号,项目厂界50m范围内无声环境敏感建筑。达标排放的噪声对周边声环境影响较小。4)监测要求 根据排污单位自行监测技术指南 总则(HJ819-2017)的相关要求,厂界环境噪声每季度至少开展一次监测,且根据项目特性,需要监控昼间噪声。4、固体废物污染源强分析 本项目新增固体废物主要为废滤芯、污水处理污泥、废包装桶、PSD不合格废液。废滤芯 项目研发产品提纯过程中利用滤芯去除杂质,废滤芯产生量为98、1.1t/a。根据 国家危险废物名录(2021版),属于HW49其他废物,废物代码为900-041-49,委托有资质单位处置。污水处理站污泥 污水处理站污泥产生量与污水处理站沉淀彻底与否及所加试剂有关,以沉淀完全为条件,产生量通常按23kg/m3污水计算,污泥含水率为60%,则本项目污泥产生量约为0.33t/a。根据国家危险废物名录(2021版),本项目所产生生化污泥不属于危险废物,经分类收集后外售处置。废包装桶 项目在药剂使用后,会产生废包装桶,其产生量约为0.5t/a,根据国家41 危险废物名录(2021年版),属于HW49其他废物,废物代码900-041-49,收集暂存后委托有资质的单位99、收集处置。PSD不合格废液 研发PSD产品过程中会产生不合格品,该不合格品产生量约为0.3t/a,根据国家危险废物名录(2021版),属于HW34废酸,废物代码为900-349-34,委托有资质单位处置。表表 4-11 项目固体废物产生情况汇总表项目固体废物产生情况汇总表 序号 副产物名称 产xx序 形态 主要成分 产生量(t/a)1 废滤芯 过滤 固态 含化学药剂 1.1 2 污水处理站污泥 废水治理 固态 有机物 0.33 3 废包装桶 药剂包装 固态 含化学药剂 0.5 4 PSD 不合格废液 PSD 检验 液态 含酸 0.3 根据固体废物鉴别标准 通则,判定上述产物属性情况见下表。表表100、 4-12 固体废物属性判定表固体废物属性判定表 序号 副产物名称 产xx序 形态 主要成分 是否属于固体废物 1 废滤芯 过滤 固态 含化学药剂 是 2 污水处理站污泥 废水治理 固态 有机物 是 3 废包装桶 药剂包装 固态 含化学药剂 是 4 PSD 不合格废液 PSD 检验 液态 废酸 是 根据国家危险废物名录及危险废物鉴别标准,危险废物判定见下表。表表 4-13 危险废物属性判定表危险废物属性判定表 序号 副产物名称 产xx序 是否属危险废物 废物类别 废物代码 1 废滤芯 过滤 是 HW49 900-041-49 2 污水处理站污泥 废水治理 否/3 废包装桶 药剂包装 是 HW4101、9 900-041-49 4 PSD 不合格废液 PSD 检验 是 HW34 900-349-34 产生的固体废物情况如见下表。表表 4-14 固体废物产生情况固体废物产生情况 42 编号 固体废物名称 危险废物类别 危险废物代码 产生量(t/a)产xx序及装置 形态 主要成分 有害成分 产废周期 危废特性 污染防治措施 1 废滤芯 HW49 900-041-49 1.1 过滤 固态 含化学药剂 含化学药剂 每月 T 委托有资质单位安全处置 2 废包装桶 HW49 900-041-49 0.5 药剂包装 固态 含化学药剂 含化学药剂 每月 T 3 PSD 不合格废液 HW34 900-349-102、34 0.3 PSD 检验 液态 废酸 废酸 每月 C、T 4 污水处理站污泥/0.33 废水治理 固态 有机物/收集后外售处置 表表 4-15 建设项目危险废物贮建设项目危险废物贮存场所(设施)基本情况表存场所(设施)基本情况表 编号 贮存场所(设施)名称 危险废物名称 危险废物类别 危险废物代码 位置 占地面积 贮存方式 贮存能力 贮存周期 1 危险废物暂存间 废滤芯 HW49 900-041-49 一期厂区仓库西侧 126m2 桶装 2t 三个月 2 废包装桶 HW49 900-041-49/5t 三个月 3 PSD 不合格废液 HW34 900-349-34 桶装 0.5t 三个月 本103、项目利用一期厂区西门处的一般工业废物堆放场所100m2,一般固废的贮存、处置需参照一般工业固体废物贮存和填埋场污染控制标准(GB18599-2020)执行,一般工业废物堆放场所应做好防渗漏、防雨、防扬尘等措施,确保固废不会流入外环境,雨水不会进入临时贮存场。根据中华人民共和国固体废物污染环境防治法(2020 年 9 月 1 日实施)中第三十六条、第三十七条要求,产生的工业固体废物的应当建立健全工业固体废物产生、收集、贮存、利用、处置全过程的污染环境防治制度,建立工业固体废物管理台账,如实记录产xx业固体废物的种类、数量、流向、贮存、利用、处置等信息,实现工业固体废物可追溯、可查询,并采取防治工104、业固体废物污染环境的措施;同时,禁止向生活垃圾收集设施中投放工业固体废物。本项目利用一期厂区仓库西侧的危险废物暂存间126m2,危废暂存场所按照危险废物贮存污染控制标准的要求设置,贮存场所做到防渗漏,防雨淋,防流失,防止二次污染,地面硬化防腐防渗处理,地面四周设置废水导排渠道,门口设置警示标志。同时必须做好危险废物的申报登记,建立台帐管理制度,记录上须注明危险废物的名称、来源、数量、特征和包装容器的类别、入库时43 间、存放库位、废物出库日期及接受单位名称。危险废物转运的时候必须申报危险废物转移计划,并执行危废转移联单制度。5、地下水和土壤 本项目不涉及重金属、持久性有机污染物、难降解有机物的105、大气沉降,大气沉降对土壤环境影响很小;本项目雨污分流,生活污水、生产废水纳管排放,厂区地面硬化处理,原料堆放区、危废暂存间及车间将做好防渗处理,不存在地下水及土壤污染途径。故本项目的实施对地下水、土壤环境基本无影响。5、环境风险评价 根据建设项目环境风险评价技术导则(HJ169-2018)附录B、C,本项目建成后全厂涉及的主要危险物质名称、最大储存量及比值(Q)如下表所示。表表 4-16 全厂危险物质最大储存量及比全厂危险物质最大储存量及比值(值(Q)序号 危险物质 最大储存量 临界量 1 盐酸(已折纯,浓度37%)1 吨 7.5 吨 0.133 2 异丙醇 2 吨 10 吨 0.200 3 106、氨水(浓度20%)1.5 吨 10 吨 0.150 4 铜及其化合物(以铜离子计)0.01 吨 0.25 吨 0.040 5 硫酸 0.2 吨 10 吨 0.020 6 磷酸(已折纯)0.5 吨 10 吨 0.050 7 氢氟酸 0.005 吨 1 吨 0.005 8 导热油 0.1 吨 2500 吨 0.00004 9 危险废物 10 吨 100 吨 0.100 经计算,本项目建成后全厂q1/Q1+q2/Q2.+qn/Qn=0.698041,全厂环境风险潜势为,评价工作等级为简单分析。根据环境风险评价技术导则要求,简单分析工作内容主要通过描述危险物质、环境影响途径、环境危害后果、风险防范措施107、等方面进行说明。根据环境风险评价技术导则要求,简单分析工作内容主要通过描述危险物质、环境影响途径、环境危害后果、风险防范措施等方面进行说明。(1)物质风险识别 具体见下表。表表 4-17 物质风险识别物质风险识别 物质名称 物质特性 风险事故类型 火灾 爆炸 泄漏(中毒)niiiQq1/44 盐酸(浓度37%)可燃/异丙醇 可燃 氨水(浓度20%)毒性/铜及其化合物(以铜离子计)毒性/硫酸 毒性/磷酸 毒性/危险废物 可燃 (2)生产设施风险识别 主要为危险化学品仓库、危险废物仓库等,具体见下表。表表 4-18 生产设施风险识别生产设施风险识别 生产设施名称 事故原因 风险事故类型 火灾 爆炸108、 泄漏(中毒)危险化学品仓库 泄漏以及遇明火引燃 窒息 危险废物仓库 泄漏以及遇明火引燃 窒息 生产车间 泄漏以及遇明火引燃 窒息 综上,企业可能发生的风险为泄漏、火灾、爆炸。(3)储运过程危险、有害因素分析 项目主要物料采用汽车运输,如未委托有危化品运输资质的单位进行运输或运输人员没有驾驶证、押运证等均有可能引发车辆伤害事故甚至引发火灾爆炸、人员中毒窒息或化学灼伤等。另因厂区的平面布置、厂内道路的设计、交通标志和安全标志的设置、照明的质量、绿化的规划、厂房内行驶通道、车辆的管理等方面的缺陷,均可能引发厂内运输的车辆伤害事故。3)事故源项及影响简析 企业异丙醇等物质为易燃物,物料泄漏可继发火灾109、爆炸事故或其它原因引起的火灾爆炸事故,火灾事故的影响主要表现热辐射及燃烧废气对周围环境的影响。如果热辐射非常高可能引起其它易燃物质起火。此外,热辐射也会使有机体燃烧。由燃烧产生的废气大气污染一般比较小,从以往对事故的监测来看,对周围大气环境尚未形成较大的污染。盐酸、氨水等化学物质及危险废物存放过程中发生泄漏,泄漏后通过雨水管网进入地下水,或下渗进入地下水。企业化学品仓库和危废间均作防渗处理,并设置围堰,可将泄漏化学品控制在化学品仓库和危废间内,不会对地表水和地下水造成污染影响。45 上述物质在厂区内的贮存量较小,最大的危害是附近人群的安全问题,但在一定程度上,也可导致人员伤亡和巨大财产损失。110、因此,企业在日常的生产管理中,应将上述物料列入重点风险源管理,定期检查,以防事故发生。4)事故风险防范及应急措施 在满足安全生产有关规定的条件下,企业应建立相应的环境事故应急措施,具体如下:(1)企业应落实事故、消防水的收集系统,确保消防水经处理达标后排放。厂内所有外排污水均设置切断装置与应急设施,确保一旦发生意外事故,所有污水均能通过管道进入事故应急池,不直接流入雨水管道。(2)为防止事故消防废水、雨水等的直接排放,企业应在危险化学品仓库、危险废物仓库周边设置防火堤或围堰,目的是防止火势蔓延至防火堤或围堰外,避免其他可燃物料的燃烧,围堰高度必须符合相关规范要求。同时设置事故应急池,将消防水和111、雨水收集起来,防止未经检测达标直接流入市政雨水管道。(3)企业突发环境事件应急预案已于 2020年9月得到了当地环保部门的备案(330206-2020-063-L)。根据xx省突发环境事件应急预案编制导则(简本,企业版)、突发环境事件应急管理办法(环境保护部令第 34 号)、企业事业单位突发环境事件应急预案备案管理办法(试行)(环发20154 号)的有关要求,企业可以委托有资质的咨询机构,也可以自行组织预案编制小组进行编写。总之,企业须在投入运营前完成环境应急预案的修订工作,并报当地环保部门备案。项目环境风险简单分析内容见下表。表表 4-19 建设项目环境风险简单分析内容表建设项目环境风险简单112、分析内容表 建设项目名称 xxxx微电子湿电子化学品研发项目 建设地点 xx省 xx市 xx区(/)县 xx街道青山路79 号 地理坐标 经度 东经121度53分35.376 秒 纬度 北纬 29 度 52 分 39.742 秒 主要危险物质及分布 危险化学品仓库(盐酸、异丙醇、氨水等)位于一期厂区西南侧,危险废物仓库位于一期厂区西侧 46 环境影响途径及危害后果(大气、地表水、地下水等)泄漏、火灾、爆炸 风险防范措施要求(1)企业应落实事故、消防水的收集系统,确保消防水经处理达标后排放。厂内所有外排污水均设置切断装置与应急设施,确保一旦发生意外事故,所有污水均能通过管道进入事故应急池,不直接113、流入雨水管道。(2)为防止事故消防废水、雨水等的直接排放,企业应在危险化学品仓库、危险废物仓库等周边设置防火堤或围堰,目的是防止火势蔓延至防火堤或围堰外,避免其他可燃物料的燃烧,同时设置事故应急池,将消防水和雨水收集起来,防止未经检测达标直接流入市政雨水管道。填表说明(列出项目相关信息及评价说明):序号 危险物质 最大储存量 临界量 1 盐酸(浓度37%)1 吨 7.5 吨 0.133 2 异丙醇 2 吨 10 吨 0.200 3 氨水(浓度20%)1.5 吨 10 吨 0.150 4 铜及其化合物(以铜离子计)0.01 吨 0.25 吨 0.040 5 硫酸 0.2 吨 10 吨 0.020114、 6 磷酸 0.5 吨 10 吨 0.050 7 氢氟酸 0.005 吨 1 吨 0.005 8 导热油 0.1 吨 2500 吨 0.00004 9 危险废物 10 吨 100 吨 0.100 由上表分析,经计算,本项目建成后全厂 q1/Q1+q2/Q2.+qn/Qn=0.698041,该项目环境风险潜势为,在企业加强管理的情况下全厂环境风险可防控。niiiQq1/47 五、环境保护措施监督检查清单五、环境保护措施监督检查清单 内容 要素 排放口(编号、名称)/污染源 污染物项目 环境保护措施 执行标准 大气环境 研发废气(DA001)盐酸雾、硫酸雾非甲烷总烃 经碱液喷淋处理后通过15m 高115、排气筒排放 大气污染物综合排放标准(GB16297-1996)中表 2 新污染源大气污染物排放限值中的二级标准 地表水环境 生产废水(DW001)COD、氨氮、总磷、总铜等 经厂区污水处理站处理后排入市政污水管道 电子工业水污染物排放标准(GB39731-2020)表 1 水污染物排放限值中电子专用材料间接排放标准;氨氮排放指标参照xx省地方标准工业企业废水氮、磷污染物间接排放限值(DB33/887-2013)间接排放浓度限值 声环境 生产设备运行噪声 等效 A声级 加强日常维护,保持其良好的运行效果 西侧厂界执行工业企业厂界环境噪声排放标准(GB12348-2008)3 类标准;东侧、北侧厂116、界执行工业企业厂界环境噪声排放标准(GB12348-2008)2 类标准;南侧厂界执行工业企业厂界环境噪声排放标准(GB12348-2008)4a 类标准 固体废物 污水处理站污泥收集后外售处置;PSD不合格废液、废滤芯、废包装桶经分类收集后委托有资质单位安全处置。危废暂存间位于一期厂区仓库西侧,约126m2,依托原有;一般工业废物堆放场所位于厂区西门处,约100m2,依托原有 土壤及地下水污染防治措施 本项目原料不涉及有毒有害、有感染性的原料。生产车间地面全部硬化且防渗防漏。危险废物存于危废暂存间(危险废物暂存场严格执行 危险废物贮存污染控制标准相关要求,防渗层渗透系数10-7cm/s,或 117、2mm 厚高密度聚乙烯,或至少 2mm 厚的其它人工材料,渗透系数10-10cm/s)。无地下储罐等原料存储设备,厂区内均已用混凝土硬化,达到防渗要求。因此本项目对地下水和土壤没有污染途径。环境风险 防范措施 建立健全安全生产操作规程,制定严格的安全生产规章制度。其他环境 管理要求 1、落实台账管理,台账记录保存 5 年以上;2、生产项目发生重大变化,需要重新报批。3、排污许可管理:根据国民经济行业分类(GB/T4754-2017),本项目属于 M7320 工程和技术研究和试验发展,现有行业属于 C3985 电子专用材料制造,对照固定污染源排污许可分类管理名录 2019 年版中本项目所属行业无118、相关内容,故根据企业现有行业进行对照,根据“89、电子元件及电子专用材料制造 398,其他,故本项目固定污染源排污许可实施登记管理,企业应当在启动本项目生产设施或发生实际排污之前在全国排污许可证管理信息平台进行排污登记变更后方可排放污染物。具体见表5-1。表表 5 1 固定污染源排污许可分类管理名录(固定污染源排污许可分类管理名录(2019 年版)对照表年版)对照表 序号 行业类别 重点管理 简化管理 登记管理 三十四、计算机、通信和其他电子设备制造业 39 89 计算机制造 391,电子器件制造 397,电子元件及电子专用材料制造 398,其他电子设备制造 399 纳入重点排污单位名录的 除119、重点管理以外的年使用 10 吨及以 上溶剂型涂料(含稀释剂)的 其他 48 六、结论六、结论 xxxx微电子科技有限公司xxxx微电子湿电子化学品研发项目位于xx区xx街道青山路79 号,位于xx市xx区xx-白峰-郭巨产业集聚重点管控单元(编号为“ZH33020620008”)。项目符合国家相关产业政策,符合地方总体规划要求,选址合理。该项目产生的污染物经采取有效的治理措施后对环境影响较小,项目区域环境质量基本可达功能区要求,在采取本报告表提出的各项环保措施与对策,落实环保“三同时”制度前提下,从环境保护角度分析,该项目的建设是可行的。I 附表附表 建设项目污染物排放量汇总表 单位:吨/年 120、项目 分类 污染物名称 现有工程排放量(固体废物产生量)现有工程许可排放量 在建工程排放量(固体废物产生量)本项目排放量(固体废物产生量)以新带老削减量(新建项目不填)本项目建成后全厂排放量(固体废物产生量)变化量 废气 非甲烷总烃 0.199 0.22 0.021 0/0.22 0 废水 生产废水(万吨/a)0.317 0.674 0.357 0.007/0.681+0.007 COD 0.158 0.202 0.044 0.002/0.204+0.002 氨氮 0.016 0.017 0.001 0.0002/0.0172+0.0002 总铜 0 0/0.00003/0.00003+0.0121、0003 生活污水(万吨/a)/0.371 0.371 0/0.371 0 COD/0.112 0.112 0/0.112 0 氨氮/0.011 0.011 0/0.011 0 一般工业固体废物 纯水制备废活性炭 2 3.4 1.4 0/3.4 0 污水处理污泥 11.17 24.34 13.17 0.33/24.67+0.33 生活垃圾 42.25 43.75 1.5 0/43.75 0 危险废物 废包装袋/桶 100 102.5 2.5 0.5/103+0.5 废树脂 1 6.6 5.6 0/6.6 0 废活性炭 3.075 4.597 1.522 0/4.597 0 废滤芯 4 4.2 122、0.2 1.1/5.3+1.1 中试废液/12 12 0/12 0 废电渗析膜 0.5 0.5/0/0.5 0 废导热油 0.7t/3 年 0.7t/3 年/0/0.7t/3 年 0 固态不合格品/5.3 5.3 0/5.3 0 PSD 不合格废液/0.3/0.3+0.3 注:=+-;=-1-附图一附图一 项目地理位置图项目地理位置图 静风静风 1.83%1.83%N N NENE E E SESE S S SWSW W W NWNW 项目所在地-2-附图二附图二 项目厂区周边环境示意项目厂区周边环境示意 弘硕科技(xx)有限公司 -3-项目东面(xx南大光电材料有限公司)项目南面(中芯xx十123、一科技项目部)项目西面(xx润倍万灵润滑油有限公司)项目北面(弘硕科技(xx)有限公司)附图三附图三 厂区周边环境现状照片厂区周边环境现状照片-4-500m 附图四附图四 厂界周边厂界周边 500m 范围图范围图-5-附图三附图三 厂区周边环境现状照片厂区周边环境现状照片 附图五附图五 项目厂区平面布置图项目厂区平面布置图 xx锡铁隆汽车配件科技有限公司 建筑面积:3500 m2 本 项 目研发区-6-附图六附图六 环境管控单元图环境管控单元图 本项目所在地-7-附图七附图七 xx区声环境区划图xx区声环境区划图 本项目-8-本项目位置 本项目所在地 附图八附图八 xx市中心城区xx片分区规划图xx市中心城区xx片分区规划图