1、xxxxxxxx微微电电子子科科技技有有限限公公司司xxxxxxxx新新增增 2 万万吨吨/年年集集成成电电路路材材料料生生产产项项目目环环境境影影响响报报告告书书（报批稿）xxxxxxxx环环保保科科技技有有限限公公司司编制日期编制日期2023 年年 5 月月v目目 录录1 概述概述.11.1 建设项目特点.11.2 环境影响评价的工作过程.31.3 分析判定情况.41.4 评价关注的主要环境问题及环境影响.61.5 报告书主要结论.62 总论总论.72.1 编制依据.72.2 环境影响要素与评价因子筛选.112.3 生态环境分区及评价标准.122.4 评价工作等级和评价重点.232.5 评2、价范围和环境敏感区.242.6 相关规划.262.7 区域基础设施概况.283 现有工程环境影响回顾评价现有工程环境影响回顾评价.293.1 项目审批及验收情况.293.2 现有工程主要生产工艺及产污环节.373.3 各类污染物产生与排放情况.423.4 主要污染防治措施.423.5 污染源现状监测与评价.443.6 现有工程总量控制情况.463.7 排污许可证申请情况.463.8 环境风险防范措施.463.9 存在的环保问题及整改要求.474 建设项目工程分析建设项目工程分析.484.1 项目基本信息.484.2 项目建设内容与规模.484.3 总图布置及选址合理性分析.574.4 生产工艺3、流程及产污环节.624.5 污染源强分析.72vi4.6 总量控制分析.895 环境现状环境现状调查与调查与评价评价.935.1 自然环境概况.935.2 周边污染源调查.945.3 环境空气质量现状调查与评价.945.4 水环境质量现状调查与评价.995.5 地下水环境质量现状监测与评价.1005.6 声环境现状质量调查与评价.1005.7 土壤环境质量监测与评价.1015.8 生态环境现状调查与评价.1016 环境影响环境影响预测预测与评价与评价.1026.1 施工期环境影响分析与评价.1026.2 营运期环境影响预测与评价.1027 环境风险影响分析环境风险影响分析.1157.1 评价依4、据.1157.2 环境敏感目标概况.1167.3 环境风险识别.1177.4 环境风险分析.1187.5 环境风险后果计算和评价.1187.6 应急管理.1227.7 环境风险防范措施及应急要求.1238 环境保护措施及其可行性分析环境保护措施及其可行性分析.1308.1 施工期环境保护措施及其可行性分析.1308.2 营运期环境保护措施及其可行性分析.1308.3 环保治理措施汇总.1418.4 项目清洁生产分析.1419 环境影响经济损益分析环境影响经济损益分析.1459.1 环保投资估算.1459.2 环境经济损益分析.14610 环境管理与环境环境管理与环境监测监测.14710.1 环5、境管理机构.14710.2 污染物排放清单.148vii10.3 排污许可证申领要求.15210.4 环境监测计划.15211 环境影响评价结论与建议环境影响评价结论与建议.15411.1 结论.15411.2“三线一单”符合性分析.15911.3 审批原则符合性分析.15911.4 综合结论.16111.5 建议.161附件与附图附件与附图.163附件一附件一项目项目备案登记表备案登记表.-168-附件二附件二营业执照营业执照.-170-附件三附件三不动产权证书不动产权证书.-171-附件四附件四原环评批复及验收意见原环评批复及验收意见.-176-附件五附件五危废协议危废协议.错误！未定义书6、签。错误！未定义书签。附件六附件六固定污染源排污登记回执固定污染源排污登记回执.198附件七附件七建设项目环境影响评价自查表建设项目环境影响评价自查表.199附件附件八八检测报告检测报告.错误！未定义书签。错误！未定义书签。附件附件九九专家评审意见及会议签到单专家评审意见及会议签到单.202附件附件 10专家意见修改清单专家意见修改清单.205建设项目环境保护建设项目环境保护“三同时三同时”措施一览表措施一览表.207xxxx新增 2 万吨/年集成电路材料生产项目环境影响报告书11 1概述概述1.1建设项目特点建设项目特点1.1.1建设项目由来建设项目由来xxxx微电子科技有限公司成立于2017、7年5月，主要从事一般项目：电子专用材料研发；电子专用材料制造；电子专用材料销售；化工产品销售（不含许可类化工产品）；技术服务、技术开发、技术咨询、技术交流、技术转让、技术推广。（除依法须经批准的项目外，凭营业执照依法自主开展经营活动）。许可项目：货物进出口；技术进出口，进出口代理（依法须经批准的项目，经相关部门批准后方可开展经营活动，具体经营项目以审批结果为准）。xxxx微电子科技有限公司曾于2018年6月委托编制了集成电路材料基地项目环境影响报告书，次月取得环评批复（仑环201834号），2020年9月通过了企业组织的建设项目第一阶段竣工环境保护自主验收工作；于2020年7月委托编制了xx8、xx微电子科技有限公司xxxx集成电路材料基地二期项目环境影响报告表，次月取得环评批复（仑环2020148号），该项目厂房还在建设；于2022年2月委托编制了xxxx微电子科技有限公司xxxx集成电路基础材料纯化研发及生产项目环境影响报告书，次月取得环评批复（仑环202217号），该项目设备正在调试；于2022年5月委托编制了xxxx微电子科技有限公司xxxx微电子湿电子化学品研发项目环境影响报告表，次月取得环评批复（仑环202259号），该项目设备正在调试；于2022年11月委托编制了宁波xx微电子科技有限公司xxxx化学机械抛光液建设项目环境影响报告书，次月取得环评批复（仑环20221329、号），该项目设备正在调试。根据市场需求，2023年4月10日经xx区经济和信息化局备案登记（项目代码：2301-330206-07-02-124587），企业拟投资8000万元，利用位于xx区柴桥街道青山路79号的已建厂房（建筑面积20107.24m2），实施“xxxx新增2万吨/年集成电路材料生产项目”，项目xx后，预计年增产集成电路材料2万吨。根据建设项目环境影响评价分类管理名录（2021年版），本项目属于三十六、计算机、通信和其他电子设备制造业，81、电子元件及电子专用材料制造，半导体材料制造；电子化工材料制造，应当编制环境影响报告书。为此，xx安xxxx新增 2 万吨/年集成电路材料生10、产项目环境影响报告书2集微电子科技有限公司委托xxxx环保科技有限公司承担本项目的环境影响评价工作，我公司接受委托后在现场踏勘、资料收集、工程分析以及征求有关部门意见的基础上，于2023年5月10日编制完成了xxxx微电子科技有限公司xxxx新增2万吨/年集成电路材料生产项目环境影响报告书（送审稿）。1.1.2项目特点项目特点1、本项目位于xx区柴桥街道青山路79号，利用位于xx区柴桥街道青山路79号的一期已建厂房（建筑面积20107.24m2），实施“xxxx新增2万吨/年集成电路材料生产项目”，项目xx后，预计年增产集成电路材料2万吨。2、最近环境敏感点为芦渎中学，位于厂界东侧，距厂界7311、0m，距厂房735m。3、项目产生的污染物主要为集成电路材料生产废气、交换柱清洗废气和设备动静密封点泄露废气，生产废水，此外还有废包装袋/桶、废活性炭、废滤芯、废油桶和废导热油等危险废物。上述污染物经有效治理后，对周边环境影响较小。主要治理措施如下：1）各液体配料及产品灌装均在密闭箱中进行，均采用全自动化操作，配料及灌装过程均通入氮气进行排空，排空过程中物料挥发的废气将一同经集气管道收集排入废气处理装置；粉末投料位于密闭集中供料间中进行，混合釜投料口设有集气罩装置经废气收集；混合过程则在密闭混合釜内进行，混配时挥发的废气则由混合釜上的集气管道负压收集排入废气处理装置，废气收集效率按90%计。交12、换柱清洗废气由管道抽吸引入废气处理装置，废气收集效率按95%计。上述废气汇总经一套“水喷淋+碱喷淋+除湿+活性炭吸附”废气处理装置，本项目废气收集风量为19000m3/h，其中有机废气喷淋去除效率为50%，活性炭吸附效果约为70%，综合污染物去除率为85%；碱液喷淋对氮氧化物（硝酸雾）的处理效率为30%，酸雾（硫酸雾、氯化氢、氟化物）的去除效率为70%，颗粒物去除效率90%，水喷淋氨去除率为75%。2）本项目通过选用高效密封零件减少设备动静密封点泄漏废气的产生。3）废水处理站各池加盖，减少废气的产生。4）本项目生产工艺废水、清洗废水和废气处理废水经污水处理站处理达标后排入市政污水管道。xxxx13、新增 2 万吨/年集成电路材料生产项目环境影响报告书35）本项目纯水制备废水主要用于厂区绿化、车间地面冲洗、废气处理及循环冷却系统用水，剩余废水排入市政污水管网。6）本项目生活污水经化粪池预处理后排入市政污水管道，最终经xxxx柴桥净化水厂处理达城镇污水处理厂污染物排放标准（GB18918-2002）一级A标准后排海（其中化学需氧量、氨氮、总氮和总磷等4项主要水污染物控制项目执行城镇污水处理厂主要水污染物排放标准（DB33/2169-2018）中表2标准）。1.2环境影响评价的工作过程环境影响评价的工作过程本次环境影响评价的工作过程主要包括以下三个阶段。表表 1.2-1主要环境要素影响识别矩阵14、主要环境要素影响识别矩阵阶段工作内容工作依据、要求及细节一确定项目环境影响评价文件类型为报告书根据建设项目环境影响分类管理名录，本项目主要为电子化工材料生产，需编制环境影响报告书研究相关技术文件和其他相关文件；进行初步工程分析；开展初步的环境现状调查根据项目特点，研究相关技术文件和其他有关文件，进行初步的工程分析，开展初步的环境现状调查环境影响识别和评价因子筛选；明确评价重点和环境保护目标；确定工作等级、评价范围和评价标准根据对项目初步调查，筛选评价因子；对项目选地进行实地踏勘，明确项目实施过程中的评价重点和环境保护目标；根据初步工程分析确定工作等级、评价范围和评价标准现场实地踏勘、调查分析现15、状对项目选址地进行实地踏勘，对厂区及项目所在地气象、水文、周围污染源分布情况进行调查分析制定工作方案制定了监测方案、现场调查方案等，开展第二阶段工作二环境现状调查监测和评价对区域大气、地表水、地下水及声环境进行监测、收集、分析与评价收集拟建地环境特征资料包括自然环境、区域污染源情况对建设项目进行工程分析根据项目工程内容及相关资料，分析核算项目各类污染物产生及排放情况各环境要素环境影响预测与评价依据各环境要素导则，从大气环境、水环境、声环境、固体废物、地下水、生态环xxxx新增 2 万吨/年集成电路材料生产项目环境影响报告书4境六方面展开环境影响预测与评价三提出环境保护措施，进行技术经济论证根据16、工程分析，提出环境保护措施，并进行技术经济论证环境效益给出污染物排放清单根据工程分析，给出污染物排放清单给出建设项目环境影响评价结论根据污染物排放情况、环境保护措施以及各环境要素环境影响预测评价给出建设项目环境影响评价结论1.3分析判定情况分析判定情况公司在接受委托后，首先通过现场踏勘及相关资料收集，对项目选址、规模、性质和工艺路线等合理性进行初步判定。具体如下：1.3.1生态环境分区符合性判定生态环境分区符合性判定根据xx市“三线一单”生态环境分区管控方案，本项目位于xx市北仑区柴桥-白峰-郭巨产业集聚重点管控单元（ZH33020620008），主要为电子专用材料生产，属于“106、电子元件17、及电子专用材料制造（除属于一类工业项目外的）”，为扩建的二类工业项目，经对照分析，未列入空间布局的约束条件中，符合生态环境分区管控方案。1.3.2总体规划和控制性详规符合性判定总体规划和控制性详规符合性判定本项目位于规划的二类工业用地，符合土地利用总体规划、城乡规划的要求。1.3.3产业政策符合性判定产业政策符合性判定项目主要生产电子专用材料，不属于国家发改委产业结构调整指导目录（2019年本）中的限制类和淘汰类，不属于xx省淘汰落后生产能力指导目录（2012年本）中淘汰类项目，不包含限期淘汰产生严重污染环境的工业固体废物的落后生产工艺设备名录中的淘汰设备，符合国家及地方产业政策。1.3.4“18、三线一单三线一单”符合性判定符合性判定1、环境质量底线根据监测结果，项目所在地块的特征污染物氟化物、氮氧化物、甲醛、颗粒物、硫酸雾、氨、非甲烷总烃和氯化氢均满足相关标准；2021年度xx区内六项基本污染物均能满足环境空气质量标准（GB3095-2012）二级标准，为城市环xxxx新增 2 万吨/年集成电路材料生产项目环境影响报告书5境空气质量达标区。2021年度项目附近地表水所有监测因子均可满足地表水环境质量标准（GB3838-2002）中III类标准；2021年度纳污海域pH、COD、石油类、汞、铜、铅、镉、无机氮和活性磷酸盐的平均浓度达到海水水质标准三级标准，无机氮有所超标，海域水质总体为19、劣四类，与所在区域陆域污染入海有关。项目所在地东侧和北侧昼夜间噪声满足声环境质量标准（GB3096-2008）中2类标准，南侧满足4a类标准，西侧满足3类标准。根据工程分析，项目营运期产生的各类污染物通过采取有效的污染治理措施后，所排污染物均能实现达标排放。综上，项目所在地环境质量现状总体较好；施工期及营运期排放的各类污染物均能实现达标排放，基本符合区域环境质量改善目标和环境质量底线。2、生态保护红线根据xx市生态保护红线划定方案，本项目不在生态红线范围内，因此满足生态红线保护要求。3、资源利用上线本项目不属于高耗能、高污染、资源型企业，用水来自工业区供水管网，用电来自市政供电。本项目xx后通20、过内部管理、设备选择、原辅材料的选用和管理、废物回收利用、污染治理等方面采取合理可行的防治措施，以“节能、降耗、减污”为目标，有效的控制污染。项目的水、电等资源利用不会突破区域的资源利用上线，因此符合资源利用上线。4、生态环境准入清单本项目未列入空间布局约束条件的行业中，严格实施污染物总量控制制度，实现雨污分流，其建设符合生态环境分区管控方案。综上所述，本项目建设符合“三线一单”要求。1.3.5评价类型判定评价类型判定根据中华人民共和国环境影响评价法、建设项目环境保护管理条例和建设项目环境影响评价分类管理名录的规定，本项目需进行环境影响评价。对照国民经济行业分类（GB/T4754-2017），21、项目属于“C3985电子专用材料xxxx新增 2 万吨/年集成电路材料生产项目环境影响报告书6制造”；对照建设项目环境影响评价分类管理名录（2021年版），本项目电子专用材料生产属于“三十六、计算机、通信和其他电子设备制造业，81、电子元件及电子专用材料制造，半导体材料制造；电子化工材料制造”，应当编制环境影响报告书。1.4评价关注的主要环境问题及环境影响评价关注的主要环境问题及环境影响本项目为扩建项目，评价重点为分析评价项目生产过程中主要污染物的产生情况，并提出相应的污染治理措施，确保项目排放的废气、废水、噪声、固体废物符合相关标准及xx省VOCs整治规范要求。同时分析评价项目实施过程中潜在22、环境风险及对周围环境的影响。1.5报告书主要结论报告书主要结论xxxx微电子科技有限公司利用位于xx区柴桥街道青山路79号的一期已建厂房，实施“xxxx新增2万吨/年集成电路材料生产项目”，项目选址符合环境管控单元要求，符合相关规划要求，符合国家和xx省产业政策要求，采用的工艺和设备符合清洁生产要求，污染物排放量符合污染物排放标准和主要污染物排放总量控制指标要求，符合“三线一单”要求。从预测结果来看，本项目造成的环境影响基本符合项目所在地环境功能区划确定的环境质量要求，公众参与满足相关要求，从环保角度而言，本项目在该厂址实施是可行的。xxxx新增 2 万吨/年集成电路材料生产项目环境影响报告书23、72 2总论总论2.1编编制依据制依据2.1.1法律法规法律法规及其他文件及其他文件1）中华人民共和国环境保护法（修订）（2015.1.1）；2）中华人民共和国环境影响评价法（修订）（2018.12.29修订）；3）中华人民共和国大气污染防治法（修订）（2018.10.26）；4）中华人民共和国水污染防治法（修订）（2018.1.1）；5）中华人民共和国噪声污染防治法（2022.6.5）；6）中华人民共和国固体废物污染环境防治法（修订）（2020.9.1）；7）中华人民共和国土壤污染防治法（2019.1.1）；8）工矿用地土壤环境管理办法（试行）（部令第3号，2018.8.1）；9）建设项目环24、境保护管理条例（2017修订版）（国务院令第682号，2017.10.1）；10）建设项目环境影响评价分类管理名录（2021年版）（2021.1.1）；11）国家危险废物名录（2021年版）（2021.1.1）；12）固定污染源排污许可分类管理名录（2019版）（2019.12.20）；13）环境影响评价公众参与办法（2019.1.1）；14）关于切实加强环境影响评价监督管理工作的通知，环办2013104号；15）关于落实大气污染防治行动计划严格环境影响评价准入的通知，环办201430号；16）关于进一步加强环境影响评价管理防范环境风险的通知，环发 201277号；17）关于印发企业事业单位突25、发环境事件应急预案备案管理办法（试行）的通知，环发20154号；xxxx新增 2 万吨/年集成电路材料生产项目环境影响报告书818）国务院关于印发大气污染防治行动计划的通知，国发201337号；19）国务院关于印发水污染防治行动计划的通知，国发201517号；20）国务院关于印发土壤污染防治行动计划的通知，国发201631号；21）关于切实加强风险防范严格环境影响评价管理的通知，环发201298号；22）挥发性有机物VOCs污染防治技术政策，环境保护部2013年第31号公告；23）排污单位自行监测技术指南 总则（2017年6月）；24）污染源源强核算技术指南 准则（2018年3月）；25）xx26、省大气污染防治条例（2020年修正文本）；26）xx省水污染防治条例（第三次修正）（2020年12月）；27）xx省固体废物污染环境防治条例，2022年修订；28）xx省建设项目环境保护管理办法，2021年修正；29）xx省生态环境保护条例，2022年8月；30）关于印发xx省建设项目环境影响评价文件分级审批管理办法的通知，浙政办发201486号；31）xx省生态环境厅关于进一步加强工业固体废物环境管理的通知（浙环20192号）；32）关于进一步规范建设项目主要污染物总量管理相关事项的通知（甬环发201448号），xx市环境保护局，2014.5；33）xx市大气污染防治条例，2016年7月；327、4）打赢蓝天保卫战三年行动计划（国发201822号）；35）xx省打赢蓝天保卫战三年行动计划（浙环发201835号）；36）xx市打赢蓝天保卫战三年行动方案（甬政办发2018149号）；37）xx市生态环境局 xx市应急管理局关于加强生态环境和应急管理部xxxx新增 2 万吨/年集成电路材料生产项目环境影响报告书9门联动工作的通知（甬环发20218号）；38）xx省应急管理厅 xx省生态环境厅关于加强工业企业环保设施安全生产工作的指导意见（浙应急基础2022143号）。2.1.2相关政策相关政策及规划及规划1）产业结构调整指导目录（2019年本），国家发改委令第29号；2）市场准入负面清单（228、018年版），发改经体20181892号；3）xx省淘汰落后生产能力指导目录（2012年本），浙淘汰办201220号。4）xx市城市总体规划（2006-2020年）；5）xx市生态环境局关于印发的通知（甬环发202056号）；6）xx市人民政府关于xx市“三线一单”生态环境分区管控方案的批复（甬环发202065号）；7）xx市环境空气质量功能区划分技术报告，xx市环境保护局，1997.01；8）xx省人民政府关于xx省水功能区水环境功能区划分方案（2015）的批复（浙政函201571号）；9）关于加强xx省水功能区、水环境功能区和近岸海域环境功能区调整管理工作的通知（浙环发200844号）；129、0）关于印发xx区声环境功能区划分（调整）方案的通知（仑政201922号）；2.1.3技术规范技术规范1）建设项目环境影响评价技术导则总纲（HJ2.1-2016）；2）环境影响评价技术导则大气环境（HJ2.2-2018）；3）环境影响评价技术导则生态影响（HJ19-2022）；4）环境影响评价技术导则声环境（HJ2.4-2021）；xxxx新增 2 万吨/年集成电路材料生产项目环境影响报告书105）环境影响评价技术导则地下水环境（HJ610-2016）；6）环境影响评价技术导则地表水环境（HJT2.3-2018）；7）环境影响评价技术导则土壤环境（试行）（HJ964-2018）；8）建设项目环30、境风险评价技术导则（HJ 169-2018）。2.1.4项目技术文件及其他依据项目技术文件及其他依据1）xx省企业投资项目备案（赋码）信息表（项目代码：2301-330206-07-02-124587），2023年04月；2）xxxx微电子科技有限公司集成电路材料基地项目环境影响报告书（xx省工业环保设计研究院有限公司），2018年6月；3）关于xxxx微电子科技有限公司集成电路材料基地项目环境影响报告书的批复（仑环建201834号），2018年7月；4）xxxx微电子科技有限公司集成电路材料基地项目（第一阶段）竣工环境保护验收监测报告，2020年9月；5）xxxx微电子科技有限公司xxxx集31、成电路材料基地二期项目环境影响报告表（xxxx环保咨询有限公司），2020年7月；6）关于xxxx微电子科技有限公司xxxx集成电路材料基地二期项目环境影响报告表的批复（仑环建2020148号），2020年8月；7）xxxx微电子科技有限公司xxxx集成电路基础材料纯化研发及生产项目环境影响报告书（xxxx环保科技有限公司），2022年2月；8）关于xxxx微电子科技有限公司xxxx集成电路基础材料纯化研发及生产项目环境影响报告书的批复（仑环建202217号），2022年3月；9）xxxx微电子科技有限公司xxxx微电子湿电子化学品研发项目环境影响报告表（xxxx环保科技有限公司），2022年32、5月；10）关于xxxx微电子科技有限公司xxxx微电子湿电子化学品研发项目环境影响报告表的批复（仑环建202259号），2022年6月；11）xxxx微电子科技有限公司xxxx化学机械抛光液建设项目环境xxxx新增 2 万吨/年集成电路材料生产项目环境影响报告书11影响报告书（xxxx环保科技有限公司），2022年11月；12）关于xxxx微电子科技有限公司xxxx化学机械抛光液建设项目环境影响报告书的批复（仑环建2022132号），2022年12月；13）业主提供的其他技术文件和资料。2.2环境影响要素与评价因子筛选环境影响要素与评价因子筛选2.2.1环境影响因素识别环境影响因素识别在工程33、分析的基础上，通过对各环境要素影响的初步分析，建立主要环境影响要素识别矩阵和评价因子筛选矩阵，见表2.2-1、表2.2-2。表表 2.2-1主要环境要素影响识别矩阵主要环境要素影响识别矩阵环境要素施工期生产期服务期满备注大气质量“”有利影响，“”不利影响，“”可逆影响，“”不可逆影响，“”直接影响，“”间接影响，“”累积影响，“”非累积影响；“”轻微或无影响；地表水质量地下水质量土壤植被声学环境表表 2.2-2评价因子矩阵评价因子矩阵环境识别污染因子施工期运营期生产单元生活排放空气TSPPM10PM2.5SO2NO2氟化物氮氧化物甲醛硫酸雾非甲烷总烃臭气浓度氨氯化氢水pHCODCrBOD5氨氮34、xxxx新增 2 万吨/年集成电路材料生产项目环境影响报告书12SSTP动植物油总镍总铜总银总铅噪声噪声固废固体废物2.2.2评价因子筛选评价因子筛选根据环境影响评价技术导则有关要求、项目所在区域环境特点以及项目主要污染物排放特征，确定本项目环境影响评价因子如下：表表 2.2-3现状及预测评价因子一览表现状及预测评价因子一览表环境要素现状评价因子预测评价因子大气环境SO2、NOX、PM2.5、PM10、CO、O3、TSP、氟化物、氮氧化物、甲醛、硫酸雾、非甲烷总烃、臭气浓度和氯化氢TSP、非甲烷总烃、氮氧化物、氨、甲醛、氯化氢、硫酸雾、氟化物地表水环境pH、DO、CODMn、BOD5、氨氮、总35、磷、挥发酚、氰化物、铁、砷、汞、六价铬、阴离子表面活性剂/地下水环境K+、Na+、Ca2+、Mg2+、CO32-、HCO3-、Cl-、SO42-、pH、氨氮、硝酸盐、亚硝酸盐、挥发性酚类、氰化物、砷、汞、六价铬、总硬度、铅、氟、镉、铁、锰、溶解性总固体、高锰酸盐指数、硫酸盐、氯化物、总大肠菌数、细菌总数/土壤/声环境等效连续 A 声级 LAeq等效连续 A 声级 LAeq固体废物/一般工业废物、危险废物、生活垃圾2.3生态环境分区及评价标准生态环境分区及评价标准2.3.1生态环境分区生态环境分区1、生态环境分区根据xx市“三线一单”生态环境分区管控方案附表4xx市xx区环境管控单元生态环境准入36、清单，本项目位于xx市xx区柴桥-白峰-郭巨产业集聚重点管控单元（ZH33020620008），具体位置见下图。xxxx新增 2 万吨/年集成电路材料生产项目环境影响报告书13图图 2.3-1 xx市xx区管控单元分类图xx市xx区管控单元分类图2、环境空气功能区划根据xx市环境空气质量功能区划分技术报告，项目所在地环境空气属环境空气质量标准（GB3095-2012）二类功能区。见下图。图图 2.3-2xx市环境空气质量划分图xx市环境空气质量划分图3、水环境功能区划根据xx省人民政府关于xx省水功能区水环境功能区划分方案（2015）的批复（浙政函201571号），本项目附近地表水属于甬江3437、，位于芦江北项目位置项目位置xxxx新增 2 万吨/年集成电路材料生产项目环境影响报告书14仑农业用水区，现状水质为地表水环境质量标准（GB3838-2002）类标准，目标水质为类标准。具体如下图。图图 2.3-3xx省水功能区、水环境功能区划图xx省水功能区、水环境功能区划图4、声环境功能区划本项目位于xx区柴桥街道青山路79号，根据xx市xx区人民政府关于印发xx区声环境功能区划分（调整）方案的通知，企业西侧一期厂区位置区域编号为0206-3-03，属于3类声功能区，执行声环境质量标准（GB3096-2008）中的3类标准（昼间65dB(A)，夜间55dB(A)）；东侧二期厂区位置区域编号38、为0206-2-04，属于2类声功能区，执行声环境质量标准（GB3096-2008）中的2类标准（昼间60dB(A)，夜间50dB(A)）；厂区南侧紧邻云台山路（主干道），属于4类声功能区，执行声环境质量标准（GB3096-2008）中的4a类标准（昼间70dB(A)，夜间55dB(A)）。项目位置xxxx新增 2 万吨/年集成电路材料生产项目环境影响报告书15图图 2.3-4xx区声环境功能区划方案xx区声环境功能区划方案2.3.2评价标准评价标准1、环境质量标准1）环境空气质量标准根据环境空气质量功能区划，项目所在区域属二类功能区，执行环境空气质量标准（GB3095-2012）二级标准及239、018年第1号修改单；氨、甲醛、硫酸和氯化氢环境质量标准执行环境影响评价技术导则大气环境（HJ2.2-2018）附录D其他污染物空气质量浓度参考值；非甲烷总烃参照大气污染物综合排放标准详解（原国家环境保护局）中的相关规定。表表 2.3-1环境空气质量标准环境空气质量标准污染物名称平均时间二级浓度限值单位备注SO2年平均60g/m3GB3095-2012 二级标准及 2018 年第1 号修改单24 小时平均1501 小时平均500NO2年平均4024 小时平均801 小时平均200NOX年平均5024 小时平均100项目位置xxxx新增 2 万吨/年集成电路材料生产项目环境影响报告书161 小时40、平均250PM10年平均7024 小时平均150PM2.5年平均3524 小时平均75TSP年平均20024 小时平均300O3日最大 8 小时平均1001 小时平均160CO24 小时平均40001 小时平均10000氟化物1 小时平均2024 小时平均7非甲烷总烃一次值2000大气污染物综合排放标准详解氨1 小时平均200环境影响评价技术导则 大气环境（HJ2.2-2018）附录 D甲醛1 小时平均50硫酸1 小时平均300日平均100氯化氢1 小时平均50日平均152）地表水环境质量标准根据xx省人民政府关于xx省水功能区水环境功能区划分方案（2015）的批复，项目所在地地表水执行地表水41、环境质量标准（GB3838-2002）类标准，主要标准值见下表。表表 2.3-2地表水环境质量标准地表水环境质量标准序号项目标准值（mg/L，pH 无量纲）类类类类类1pH692DO饱和率 90%（或 7.5）65323BOD53346104COD15152030405氨氮0.150.51.01.52.06石油类0.050.050.050.51.07总磷0.020.10.20.30.48阴离子表面活性剂0.20.20.20.51.09粪大肠菌群20020001000020000400003）地下水环境质量标准参照地表水评价标准，执行地下水环境质量标准（GB/T14848-2017）类标准，主要42、参数见下表。表表 2.3-3地下水环境质量标准地下水环境质量标准序号项目标准值（mg/L，pH 无量纲）xxxx新增 2 万吨/年集成电路材料生产项目环境影响报告书17类类类类类1pH6.58.55.56.5，8.5992总硬度1503004506506503溶解性总固体3005001000200020004硫酸盐501502503503505氯化物501502503503506铁0.10.20.32.02.07锰0.050.050.11.51.58铜0.010.051.001.501.509锌0.050.51.005.005.0010铝0.010.050.200.500.5011挥发性酚类043、.0010.0010.0020.010.0112阴离子表面活性剂不得检出0.10.30.30.313耗氧量1.02.03.0101014氨氮0.020.10.51.51.515硫化物0.0050.010.020.100.1016钠10015020040040017总大肠菌数3.03.03.010010018菌落总数1001001001000100019亚硝酸盐0.010.11.04.84.820硝酸盐2.05.020303021氰化物0.0010.010.050.10.122氟化物1.01.01.02.02.023碘化物0.040.040.080.500.5024汞0.00010.00010.44、0010.050.0525砷0.0010.0010.010.050.0526硒0.010.010.010.10.127铬（六价）0.0050.010.050.10.128铅0.0050.0050.010.100.104）声环境质量标准本项目厂区西侧执行声环境质量标准（GB3096-2008）中的3类标准，东侧和北侧执行2类标准，南侧执行4a类标准，具体详见下表。表表 2.3-4声环境质量标准声环境质量标准类别昼间 dB(A)夜间 dB(A)4a 类70553 类65552 类60505）土壤环境质量标准区域土壤环境执行土壤环境质量 建设用地土壤污染风险管控标准（试行）（GB36600-201845、）中第二类用地的筛选值标准，具体详见下表。表表 2.3-5土壤环境质量土壤环境质量 建设用地土壤污染风险管控标准（单位：除建设用地土壤污染风险管控标准（单位：除 pH 外均外均为为xxxx新增 2 万吨/年集成电路材料生产项目环境影响报告书18mg/kg）序号序号污染物项目污染物项目筛选值筛选值管制值管制值第一类用地第一类用地第二类用地第二类用地第一类用地第一类用地第二类用地第二类用地重金属和无机物重金属和无机物1砷20601201402镉2065471723铬（六价）3.05.730784铜2000180008000360005铅40080080025006汞83833827镍150900646、002000挥发性有机物挥发性有机物8四氯化碳0.92.89369氯仿0.30.951010氯甲烷123721120111,1-二氯乙烷3920100121,2-二氯乙烷0.525621131,1-二氯乙烯1266420014顺-1,2-二氯乙烯66596200200015反-1,2-二氯乙烯10543116316二氯甲烷946163002000171,2-二氯丙烷15547181,1,1,2-四氯乙烷2.61026100191,1,2,2-四氯乙烷1.66.8145020四氯乙烯115334183211,1,1-三氯乙烷701840840840221,1,2-三氯乙烷0.62.851523三47、氯乙烯0.72.8720241,2,3-三氯丙烷0.050.50.5525氯乙烯0.120.431.24.326苯14104027氯苯682702001000281,2-二氯苯560560560560291,4-二氯苯5.6205620030乙苯7.2287228031苯乙烯129012901290129032甲苯120012001200120033间二甲苯+对二甲苯16357050057034邻二甲苯22264064040半挥发性有机物半挥发性有机物xxxx新增 2 万吨/年集成电路材料生产项目环境影响报告书1935硝基苯347619076036苯胺92260211663372-氯酚250248、2565001195038苯并a蒽5.5155515139苯并a芘0.551.55.51540苯并b荧蒽5.5155515141苯并k荧蒽55151550150042490129349001290043二苯并a，h蒽0.551.55.51544茚并1，2,3-cd芘5.5155515145萘2570255700其他项目其他项目-石油烃类石油烃类46石油烃（C10-C40）826450050009000备注：1.体地块土壤汇总污染物检测超过筛选值，但等于或者低于土壤环境背景值水平，不纳入污染地块管理。土壤环境背景值可参见附录 A。2、污染物排放标准1）废气污染物排放标准本项目集成电路材料生产废气49、（颗粒物、非甲烷总烃、氮氧化物、氟化物、甲醛和硫酸雾）和交换柱清洗废气（氯化氢）排放执行大气污染物综合排放标准（GB16297-1996）中表2新污染源大气污染物排放限值中的二级标准；动静点泄露废气排放执行大气污染物综合排放标准（GB16297-1996）中表2新污染源大气污染物排放限值中的无组织排放监控浓度限值，主要排放限值见下表。表表 2.3-6大气污染物排放限值大气污染物排放限值污染物最高允许排放浓度（mg/m3）最高允许排放速率，kg/h无组织排放监控浓度限值排气筒高度，m二级监控点浓度(mg/m3)颗粒物120153.5周界外浓度最高点1.0非甲烷总烃12015104.0甲醛251550、0.260.2氮氧化物240150.770.12氟化物9.0150.120（g/m3）氯化氢100150.260.2硫酸雾45151.51.2本项目集成电路材料生产废气中的氨和臭气浓度（由氨和二甲基亚砜产生）排放执行恶臭污染物排放标准（GB14554-93），详见下表。表表 2.3-7恶臭污染物排放标准恶臭污染物排放标准污染物排放标准值厂界标准值排气筒高度（m）排放量（kg/h）二级单位氨154.91.5mg/m3xxxx新增 2 万吨/年集成电路材料生产项目环境影响报告书20臭气浓度152000（无量纲）20无量纲厂区内的挥发性有机物排放执行挥发性有机物无组织排放控制标准（GB37822-251、019）附录A表A.1厂区内VOCs无组织排放限值，主要排放限值见下表。表表 2.3-8挥发性有机物无组织排放控制标准挥发性有机物无组织排放控制标准污染物项目特别排放限值(mg/m3)限值含义无组织排放监控位置NMHC6监控点处 1h 平均浓度值在厂房外设置监控点20监控点处任意一次浓度值2）废水污染物排放标准本项目纯水制备废水达到城市污水再生利用城市杂用水水质（GB/T18920-2020）中的表1标准后回用于厂区绿化、车间地面冲洗、废气处理及循环冷却系统，剩余废水排入市政污水管网；本项目生产工艺废水、清洗废水和废气处理废水经污水处理站处理达到电子工业水污染物排放标准（GB39731-20252、0）表1水污染物排放限值中电子专用材料间接排放标准（其中氨氮达到xx省地方标准工业企业废水氮、磷污染物间接排放限值（DB33/887-2013）间接排放浓度限值，总铁排放指标参照执行酸洗废水排放总铁浓度限值（DB33/844-2011）二级标准，甲醛达到污水综合排放标准（GB8978-1996）中的三级标准）后排入市政污水管道；本项目生活污水经化粪池预处理后达到污水综合排放标准（GB8978-1996）中的三级标准（其中氨氮和总磷达到xx省地方标准工业企业废水氮、磷污染物间接排放限值（DB33/887-2013）间接排放浓度限值）排入市政污水管道，最终经xxxx柴桥净化水厂处理达标后排海。表表53、 2.3-9电子工业水污染物排放标准电子工业水污染物排放标准序号污染物标准限值标准出处间接排放电子专用材料1pH（无量纲）6.09.0电子工业水污染物排放标准（GB39731-2020）表 1 水污染物排放限值中电子专用材料间接排放标准2CODCr（mg/L）5003总有机碳（mg/L）2004SS（mg/L）4005阴离子表面活性剂（mg/L）206石油类（mg/L）207总氮（mg/L）708总磷（mg/L）8.09氟化物（mg/L）20 xxxx新增 2 万吨/年集成电路材料生产项目环境影响报告书2110总镍（mg/L）0.511总银（mg/L）0.312总铅（mg/L）0.213总铜（54、mg/L）2.014甲醛（mg/L）5.0污水综合排放标准（GB8978-1996）表 4 第二类污染物最高允许排放浓度的三级标准15氨氮（mg/L）35工业企业废水氮、磷污染物间接排放限值（DB33/887-2013）间接排放浓度限值16总铁（mg/L）10酸洗废水排放总铁浓度限值（DB33/844-2011）二级标准17单位产品基准排水量（m3/t 产品）5.0电子工业水污染物排放标准（GB39731-2020）表 1 水污染物排放限值中电子专用材料间接排放标准注：本项目生产废水中氨氮指标从严执行工业企业废水氮、磷污染物间接排放限值（DB33/887-2013）间接排放浓度限值。表表 2.55、3-10城市杂用水质基本控制项目及限值城市杂用水质基本控制项目及限值序号项目冲厕、车辆冲洗城市绿化、道路清扫、消防、建筑施工1pH6.09.06.09.02色度，铂钴色度单位15303嗅无不快感无不快感4浊度/NTU5105五日生化学氧量（BOD5）/（mg/L）10106氨氮/（mg/L）587阴离子表面活性剂/（mg/L）0.50.58铁/（mg/L）0.3-9锰/（mg/L）0.1-10溶解性总固体/（mg/L）1000（2000）a1000（2000）b11溶解氧/（mg/L）2.02.012总氯/（mg/L）1.0（出厂），0.2（管网末端）1.0（出厂），0.2（管网末端）13大肠56、埃希氏菌/（MPN/100mL，或CFU/100mL）无c无c注：“-”表示对此项无要求。a括号内指标值为沿海及本地水源中溶解性固体含量较高的区域的指标；b用于城市绿化时，不应超过 2.5mg/L；c大肠埃希氏菌不应检出。表表 2.3-11生活污水排入市政污水管道标准生活污水排入市政污水管道标准序号污染物标准限值标准出处1pH（无量纲）69污水综合排放标准（GB8978-1996）表 4 第二类污染物最高允许排放浓度的三级标准2CODCr（mg/L）5003BOD5（mg/L）3004SS（mg/L）4005LAS（mg/L）206石油类（mg/L）20 xxxx新增 2 万吨/年集成电路材料57、生产项目环境影响报告书22序号污染物标准限值标准出处7挥发酚（mg/L）2.08氨氮（mg/L）35工业企业废水氮、磷污染物间接排放限值（DB33/887-2013）9总磷（mg/L）8xxxx柴桥净化水厂废水经其处理后最终排入镇海-xx-xx海域，其出水水质中化学需氧量、氨氮、总氮和总磷等4项主要水污染物控制项目执行城镇污水处理厂主要水污染物排放标准（DB33/2169-2018)中表2标准，总铁排放指标参照执行酸洗废水排放总铁浓度限值（DB33/844-2011）二级标准，其他污染物控制指标仍执行城镇污水处理厂污染物排放标准（GB18918-2002)中一级A标准。主要污染物排放标准限值见58、下表。表表 2.3-12 xxxx柴桥净化水厂排放标准xxxx柴桥净化水厂排放标准序号污染物标准限值备注1化学需氧量（mg/L）30城镇污水处理厂主要水污染物排放标准（DB33/2169-2018)中表 2 标准2氨氮（mg/L）1.5（3）*3总氮（mg/L）10（12）*4总磷（mg/L）0.35pH（无量纲）69城镇污水处理厂污染物排放标准（GB18918-2002)中一级 A 标准6BOD5（mg/L）107SS（mg/L）108LAS（mg/L）0.59石油类（mg/L）110动植物油（mg/L）111总铁（mg/L）10酸洗废水排放总铁浓度限值（DB33/844-2011）二级标准59、*注：括号内数值为每年 11 月 1 日至次年 3 月 31 日执行；3）噪声排放标准营运期东侧和北侧厂界噪声排放执行工业企业厂界环境噪声排放标准（GB12348-2008）2类标准（昼间60dB(A)，夜间50dB(A)），南侧执行4类标准（昼间70dB(A)，夜间55dB(A)），西侧执行3类标准（昼间65dB(A)，夜间55dB(A)）。4）其他污染物控制标准其他污染物控制标准见下表。表表 2.3-13 其它污染物控制标准其它污染物控制标准标准名称标准号危险废物贮存污染控制标准GB18597-2023xxxx新增 2 万吨/年集成电路材料生产项目环境影响报告书23危险废物鉴别标准GB5060、85.7-20192.4评价评价工作工作等级和等级和评价重点评价重点2.4.1评价工作等级评价工作等级根据项目工程内容及周围的自然环境状况，结合环境影响评价技术导则，确定评价等级如下。表表 2.4-1工程环境影响评价等级划分表工程环境影响评价等级划分表环境要素划分依据评价等级声环境项目所在区域声环境为 2 类区和 3 类区，xx投产前后对周围声压级增幅不大，且评价范围内周边无声环境保护对象。根据环境影响评价技术导则声环境（HJ2.4-2021）评价工作等级划分的基本原则和判据，噪声评价等级确定为二级。二级环境空气根据前文预测计算，占标率最大为一期车间无组织排放的氯化氢，最大落地浓度为 4.6661、E-03mg/m3，占标率 P 为 9.33%，未达占标率 10%不存在占标率 10%的最远距离 D10%（所有筛选点的占标率均低于 10%）。根据环境影响评价技术导则大气环境（HJ2.2-2018），大气环境影响评价等级为二级。二级地表水工程影响范围不涉及饮用水水源保护区、重点保护与珍稀水生生物栖息地等水环境保护目标；本项目生产工艺废水、清洗废水和废气处理废水经污水处理站处理达标后排入市政污水管道。本项目纯水制备废水主要用于厂区绿化、车间地面冲洗、废气处理及循环冷却系统，剩余废水排入市政污水管网；生活污水经化粪池预处理后排入市政污水管道，最终经xxxx柴桥净化水厂处理后排放。根据 环境影响评62、价技术导则 地表水环境(HJ2.3-2018)中水污染影响性建设项目评价等级判定，间接排放建设项目的地表水评价等级为三级 B。三级B地下水本项目电子专用材料生产属于三十六、计算机、通信和其他电子设备制造业，81、电子元件及电子专用材料制造，半导体材料制造；电子化工材料制造中的电子化工材料制造，因环境影响评价技术导则地下水环境（HJ610-2016）发布时间较早，未对该行业提出明确要求，本环评参照同类行业“K、机械、电子，82、半导体材料、电子陶瓷、有机薄膜、荧光粉、贵金属等电子专用材料，全部”，地下水环境影响评价项目类别为类，本项目位于工业园区，环境敏感程度为不敏感，本项目不需开展地下水环境评63、价。/土壤环境根据环境影响评价技术导则 土壤导则（试行）（HJ964-2018）表A.1，本项目不在壤名录里，根据项目性质，参照石油、化工-其他类，属于 III 类项目，本项目占地面积 18796m2，属于小型规模；项目周边0.2km 内不存在居民住宅，敏感程度为不敏感。综上，项目可不展开土壤环境影响评价工作。/生态环境根据环境影响评价技术导则生态影响（HJ19-2011）评价工作等级划分表有关内容，本项目位于工业区，利用已建厂房实施生产，可简化为生态影响分析，无需确定评价等级。二级风险根据建设项目环境风险评价技术导则（HJ169-2018），本项目环境风险潜势为级，评级工作等级为简单分析。简64、单分析2.4.2评价重点评价重点1）根据项目生产内容及排放的主要污染物，开展环境质量现状调查，了解项xxxx新增 2 万吨/年集成电路材料生产项目环境影响报告书24目所在地环境质量现状。2）根据工程分析结果，分析评价项目污染物排放量，重点分析评价废气、废水、噪声等污染物对周边环境的影响，提出污染防治措施及环境风险防范措施，并对企业污染物排放实行总量控制。2.5评价范围和环境敏感区评价范围和环境敏感区2.5.1评价范围评价范围1）环境空气：以厂区中心向四周延伸2.5km，总面积约为25km2。2）声环境：厂界外200m的区域。图图 2.5-1评价范围示意图（声、大气、地表水）评价范围示意图（声、65、大气、地表水）2.5.2环境保护目标环境保护目标根据现状调查，项目周边无自然保护区、风景名胜区、文物古迹等保护对象，按环境要素区分，各环境要素保护对象见下表。表表 2.5-1环境要素保护对象和级别环境要素保护对象和级别一览表一览表序号环境保护对象保护级别1环境空气霞浦街道主城区环境空气质量标准（GB3095-2012）二级柴桥街道主城区N庙河江环境空气评价范围声环境评价范围xxxx新增 2 万吨/年集成电路材料生产项目环境影响报告书25同盟村穿山村山前村2地表水环境芦江河地表水环境质量标准（GB3838-2002）中的类3地下水环境/4声环境厂界声环境质量标准（GB3096-2008）2、3 66、和 4a 类评价范围内的环境保护目标情况见下表。表表 2.5-2环境保护环境保护目标目标情况情况一览表一览表环境要素名称坐标保护对象保护内容规模环境功能区相对厂址方位相对厂界距离/m经度纬度大气环境柴桥街道主城区121.90574129.874301居住区人群40000 人大气二类区E730霞浦街道主城区121.88866129.883231居住区人群35000 人NW915同盟村121.91020429.882115居住区人群320 户/970人NE1500穿山村121.92076129.881668居住区人群700 户/1607人NE2100山前村121.87132329.884496居住67、区人群420 户/1274人NW2100注：上表中的环境保护目标均位于环境空气二类区。柴桥街道及霞浦街道主城区内包含居民区、学校、医院、政府机构等环境保护对象。xxxx新增 2 万吨/年集成电路材料生产项目环境影响报告书26图图 2.5-2项目周边环境敏感目标图项目周边环境敏感目标图2.6相关规划相关规划2.6.1xx市xx市“三线一单三线一单”生态环境分区管控方案生态环境分区管控方案根据xx市“三线一单”生态环境分区管控方案xx市xx区环境管控单元生态环境准入清单，本项目所在地属xx市xx区柴桥-白峰-郭巨产业集聚重点管控单元，编号为“ZH33020620008”，具体生态环境准入清单符合性68、见下表。表表 2.6-1生态环境准入清单符合性生态环境准入清单符合性一览表一览表生态环境准入清单要求本项目情况符合性分析空间布局约束优化产业结构，鼓励发展汽车制造、金属制品、关键基础件、智能家电等高端装备制造业。除主导产业配套项目及橡胶制品硫化工序外，禁止新建、扩建不符合园区发展规划主导产业的其他三类工业。鼓励对现有不符合园区主导产业的三类工业项目进行淘汰和提升改造，其改扩建不得增加污染物排放总量。合理规划居住区与工业功能区，在居住区和工业区、工业企业之间设置防护绿地、生活绿地等隔离带。对照工业项目分类表，本项目属于电子专用材料制造，属于 106、电子元件及电子专用材料制造（除属于一类工业项目69、外的），属于扩建的二类工业项目。本项目污染物通过治理后能稳定达标排放，不增加控制单元污染物排放总量，符合空间布局约束要求。符合污染物排放管控严格实施污染物总量控制制度，根据区域环境质量改善目标，削减污染物排放总量。新建二类、三类工业项目污染物本项目区域已进行了雨污分流，本项目生产废水和生活污水处理达标后排放，废符合N山前村2.1m穿山村2.1km同盟村1.5km霞浦街道主城区915m柴桥街道主城区730mxxxx新增 2 万吨/年集成电路材料生产项目环境影响报告书27排放水平要达到同行业国内先进水平。加强污水处理厂建设及提升改造，推进工业园区（工业企业）“污水零直排区”建设，所有企业实现雨污分70、流。加强区域内涉水污染企业监管监控，强化企业污染治理设施运行维护管理。全面推进重点行业 VOCs 治理和工业废气清洁排放改造，强化工业企业无组织排放管控。新改扩建排放 VOCs 的项目，加强源头控制，优先使用低（无）VOCs 含量的涂料、油墨、胶黏剂等，并配套安装高效的收集处理措施。集中供热范围内禁止新、扩建蒸汽锅炉。加强土壤和地下水污染防治与修复。气通过收集处理后再达标排放，厂界噪声达标排放，因此本项目符合污染物排放管控要求。环境风险防控定期评估沿河海工业企业、工业集聚区环境和健康风险，落实防控措施。强化工业集聚区企业环境风险防范设施设备建设和正常运行监管，加强重点环境风险管控企业应急预案制71、定，建立常态化的企业隐患排查整治监管机制，加强风险防控体系建设。从建设单位提供的原辅材料来看，本项目涉及到危险化学品较少，只要加强管理，规范操作，发生环境风险事故的概率较低。符合资源开发效率要求推进工业集聚区生态化改造，强化企业清洁生产改造，推进节水型企业创建等。落实煤炭消费减量替代要求，提高能源使用效率。本项目推进节水，工业水少量外排，符合资源开发效率要求符合综上，本项目符合xx市“三线一单”生态环境分区管控方案要求。2.6.2xx市生态保护红线划定方案xx市生态保护红线划定方案根据xx市生态保护红线划定方案（xx市生态环境局、xx市发改委，2018年12月），我市划定的生态保护红线面积为172、670.4km2，占全市国土面积的17.1%，共划分四大类型54个功能小区，其中水源涵养生态保护红线27个，面积1396.3km2；生物多样性维护生态保护红线11个，面积70.4km2；水土保持生态保护红线12个，面积181.1km2；其它生态功能保护红线4个，面积17.7km2。xx区共涉及1处水源涵养生态保护红线及1处生物多样性维护生态保护红线，分别为“xx区新路岙水库水源涵养生态保护红线”（小区编号：330206-11-001）及“xx区瑞岩寺森林公园生物多样性维护态保红线”（小区编号：330206-12-001）。其中“xx区新路岙水库水源涵养生态保护红线”小区主要涵盖新路岙水库水源地73、保护区，总面积24.6km2，小区主导功能为水源涵养，农业灌溉，兼有水土保持和洪水调蓄。“xx区瑞岩寺森林公园生物多样性维护态保红线”主要涵盖瑞岩寺森林公园的生态保育区，总面积4.3km2，小区主导功能为保护动植物资源，以及维持区内其他生物多样性，保障自然环境本地状态。由下图所示，本项目所在地不在生态保护红线范围之内，符合xx市生态保护红线划定方案的相关要求。xxxx新增 2 万吨/年集成电路材料生产项目环境影响报告书28图图 2.6-1xx市生态保护红线规划图xx市生态保护红线规划图2.7区域基础设施概况区域基础设施概况2.7.1xxxx柴桥净化水厂xxxx柴桥净化水厂xxxx柴桥净化水厂位74、于xx区柴桥街道横一路北侧，环区路南侧，台塑工业区东侧，目前已通水运行，于21年4月通过竣工环保自主验收。该污水处理厂采取“预处理+改良A/O+磁混凝沉淀”的处理工艺，一期工程处理规模为2.5万m3/d，远期工程xx后处理规模为7.5万m3/d。本项目位置xxxx新增 2 万吨/年集成电路材料生产项目环境影响报告书293 3现有工程环境影响回顾评价现有工程环境影响回顾评价3.1项目审批及验收情况项目审批及验收情况xxxx微电子科技有限公司历次项目环保审批及验收情况如下表：表表 3.1-1公司历次项目环保审批及验收情况公司历次项目环保审批及验收情况项目名称建设地址审批内容实际生产内容主要生产工艺75、批复文号验收文号集成电路材料基地项目xx区柴桥街道青山路79 号年产半水性光刻胶去除剂 1200 吨、胺类光刻胶去除剂 1500 吨、强碱性光刻胶去除剂500 吨、甘氨酸 300 吨年产半水性光刻胶去除剂1200 吨、强碱性光刻胶去除剂 500 吨调配、电渗析提纯等2018.7仑环201834 号2020.9自主验收（第一阶段）xx安集集成电路材料基地二期项目新建二期厂房，完善一期项目质量检测、研发、中试、仓储等职能。原生产规模保持不变。/混合搅拌、过滤、检测、试验等2020.8仑环建2020148 号厂房正在建设xx安集集成电路基础材料纯化研发及生产项目光刻胶去除剂配套材料提纯研发项目，年增76、产。/溶解、重结晶、离心分类和包装等2022.3仑环建202217 号设备调试xx安集微电子湿电子化学品研发项目研发刻蚀液、PSD、抛光后清洗液/混合、过滤、检测等2022.6仑环建202259 号设备调试xx安集化学机械抛光液建设项目年增产化学机械抛光液 15000 吨/投料、预混合、检验、混合、灌装2022.12仑环建2022132 号车间装修3.1.1主要产品主要产品表表 3.1-2 现有项目主要产品及生产规模一览表现有项目主要产品及生产规模一览表序号产品名称单位产品产能2022 年实际产量备注1化学机械抛光液吨/年150000生产2半水性光刻胶去除剂1200630研发及生产3胺类光刻胶77、去除剂15000研发及生产4强碱性光刻胶去除剂500440研发及生产5甘氨酸3000研发及生产6刻蚀液（1#）100研发xxxx新增 2 万吨/年集成电路材料生产项目环境影响报告书307刻蚀液（2#）20研发8PSD100研发9抛光后清洗液（1#）30研发10抛光后清洗液（2#）70研发111800研发及生产12600研发及生产13720030%水溶液，研发及生产1460030%水溶液，研发及生产1560研发及生产1612030%水溶液，研发3.1.2主要生产设备主要生产设备表表 3.1-3 现有项目主要设备一览表现有项目主要设备一览表序号设备名称型号单位数量布置位置环评数量第一阶段验收数量178、实验室混配釜SUS304+FACoating台10研发车间2氧含量测试仪/台103温度感应器/台104PLC 控制系统/台105加热降温系统/台106隔膜泵PTFE台507过滤器PFA台608层流罩Class100台109平台秤/台1010真空泵/台1011压力传感/台1012半水性光刻胶去除剂生产线搅拌罐6t台11车间13隔膜泵DN50台4414隔膜泵DN25台4415平台秤15t台2216过滤器1 芯 20 寸台151517层流罩Class100台1118胺类光刻胶去除剂生产线搅拌罐6t台1019隔膜泵DN50台4020隔膜泵DN25台4021平台秤15t台2022过滤器1 芯 20 寸台79、15023层流罩Class100台1024强碱性光刻胶去除剂搅拌罐6t台1125搅拌罐3台1126隔膜泵DN50台3327隔膜泵DN25台33xxxx新增 2 万吨/年集成电路材料生产项目环境影响报告书31序号设备名称型号单位数量布置位置环评数量第一阶段验收数量28平台秤1.5t台3329过滤器7 芯 30 寸台121230层流罩Class100台1131甘氨酸生产线搅拌溶解釜1000L条1032干燥机300L条3033真空泵700L台2034除尘器/台2035电渗析机组/台3036导热油炉（与电加热炉配套）/台1037电加热炉/台1038溶解系统一中试溶解釜1.5 吨套20洁净室39进料泵480、0模温机41溶解系统二溶解釜3 吨套1042进料泵43模温机44溶解系统三溶解釜3 吨套1045进料泵46模温机47溶解系统四溶解釜3 吨套1048进料泵49模温机50重结晶系统一中试重结晶釜1 吨套2051模温机52重结晶系统二重结晶釜1 吨套1053模温机54重结晶系统三重结晶釜1 吨套1055模温机56重结晶系统四重结晶釜1 吨套1057模温机58干燥系统一双锥干燥器定制套1059真空泵60模温机61干燥系统二双锥干燥器定制套1062真空泵63模温机64干燥系统三双锥干燥器定制套1065真空泵66模温机67干燥系双锥干燥器定制套10 xxxx新增 2 万吨/年集成电路材料生产项目环境影响81、报告书32序号设备名称型号单位数量布置位置环评数量第一阶段验收数量统四68真空泵69模温机70连续精馏系统进料釜800L套10精馏区71精制塔72产品釜73氨合反应系统(研发)模温机1.5 吨套10洁净室74进料泵75反应釜76氨合反应系统(研发)模温机3 吨套1077进料泵78反应釜79离子交换系统一进料泵定制套1080离子交换柱81离子交换系统二进料泵定制套2082离子交换柱83化学机械抛光液（1#）预混釜5000L个10洁净室84成品釜10000L个1085化学机械抛光液（2#）预混釜3000L个1086预混釜1000L个1087成品釜10000L个1088化学机械抛光液（3#）预混釜582、00L个3089预混釜1500L个1090预混釜5000L个1091成品釜12000L个2092化学机械抛光液（4#）预混釜1000L个2093成品釜5000L个1094地秤1.5T套6095隔膜泵/台20096过滤器定制台11097投料系统/套4098釜内清洗设备/套2099提升机2T台20100灌装机/台20101洁净车间十万级套10102新风系统4.5 万套10103实验室pH 计/台10研发车间104天平ML004T台10105粘度计DV-2T台10 xxxx新增 2 万吨/年集成电路材料生产项目环境影响报告书33序号设备名称型号单位数量布置位置环评数量第一阶段验收数量106自动滴定仪83、/台10107RIONKS-18F台10108GC7890台10109HPLC/台10110ICAQ台10111水浴TC-250MX台10112ICP-MSG3273B台1011UVS230-B台10114电导率仪P25台10115动力设备变电站10KV-630KVA座10116超纯水系统5T座10117废水系统10T座10118废气处理系统/座10119CDA30KW座10120中央空调/座10121液氮供应系统/座10车间（二期）122实验研发设备（二期）单片机SP323台10123X 射线光电子能谱仪Nesa台10124扫描电子显微镜SU8220台10125控片检测系统SPx套1012684、表面张力仪K100C台10127椭偏仪theta-SE台10128金属厚度测量仪RG300C台10129非金属厚度测量仪NanoSPECI台10130酸碱滴定仪T7台10131搅拌罐200L台10132隔膜泵1”台10133隔膜泵2”台10134平台称50kg台10135过滤器20”台20136桶清洗机200L台10137空压机AA6-37A-F台20138冷热水机组/套10139二甲亚砜储存储罐/个20储罐区3.1.3主要原辅材料及消耗量主要原辅材料及消耗量表表 3.1-4原辅材料及消耗量清单原辅材料及消耗量清单序号名称单位数量备注环评数量2022 年使xxxx新增 2 万吨/年集成电路材料85、生产项目环境影响报告书34用量1半水性光刻胶去除剂（一期项目）t/a408214/2t/a240126/3t/a4825/4t/a2413/5t/a150796t/a40217t/a2901528胺类光刻胶去除剂（一期项目）t/a3000尚未投入生产9t/a200010t/a75011t/a150012t/a75013t/a350014t/a40015t/a6016t/a120017t/a180018强碱性光刻胶去除剂（一期项目）t/a433.75381.7/19t/a4035.2/20t/a26.2523.1/21甘氨酸（一期项目）t/a3000尚未投入生产22t/a0.1023中试（二期项86、目）t/a60尚未投入生产24t/a2025t/a2026t/a2027t/a0.2028刻蚀液（1#）t/a10029t/a0.4030t/a0.2031刻蚀液（2#）t/a1032t/a1033t/a0.1034t/a0.1035PSDt/a0.2036t/a0.7037t/a0.7038t/a0.5039t/a8.3040t/a0.20 xxxx新增 2 万吨/年集成电路材料生产项目环境影响报告书3541抛光后清洗液（1#）t/a0.4042t/a2.8043t/a0.1044t/a0.1045抛光后清洗液（2#）t/a2046t/a4.2047t/a1048t/a0.2049t/a0.87、15050t/a187.5051t/a753.6052t/a63.1053t/a317054t/a249.54055t/a516056t/a18057t/a54058t/a2059t/a1060t/a6.72061t/a21.85062t/a21.85063t/a2928064t/a6.72065t/a5.184066t/a3067t/a1.5068机械抛光液t/a6163069t/a25070t/a136071t/a159.8072t/a9073t/a7.6074t/a21.1075t/a9.3076t/a877077t/a76.7078t/a3.7079t/a75.5080t/a580 x88、xxx新增 2 万吨/年集成电路材料生产项目环境影响报告书3681t/a7082t/a32083t/a3.5084t/a0.6085t/a25.2086t/a10.5087t/a0.5088液氮t/a4710/3.1.4厂区总平面布局及现有工程建设组成厂区总平面布局及现有工程建设组成企业各厂房功能布局见表3.1-5。表表 3.1-5厂区功能布局厂区功能布局一览表一览表序号车间楼层面积功能布局一一期厂房（已xx）1车间车间1F4593.45m2生产车间、纯化车间研发车间1F2F3155.59m2纯水车间、废水车间、研发实验室、QC实验室、压缩空气间、气体间、安防消控室、休息室、厂务室、机房、研发89、车间、生产管理区、质量管理区2仓库地下水池-1F127.72m2消防水池事故水池-1F66m2事故水池月台1F201.6m2月台仓库1F3F11323.72m2仓库、辅料间、配电间、危废间二二期厂房（在建）1厂房5F9876.312 层为中试车间及检测车间，35 层为办公2仓库3F12893.7用于存储原辅材料、产品3消防控制室1F51.58/4门卫1F25.61/5储罐区/2 个拱顶罐，容积均为 50m3，夹套保温（电加热，介质为水，保温温度为 25，常压）表表 3.1-6现有工程建设组成现有工程建设组成一览表一览表工程类别工程名称工程内容备注主体工程车间研发车间 2 层（5.5+4.5m）90、，生产车间（9.112m）用于生产高端微电子材料/仓库3 层仓库（局部 1 层），层高 14m（6m+4m+4m），用于存储原辅材料、产品及各类废物/门卫位于西侧出入口，层高 3.75m，建筑面积共 2.5m2/雨棚用于连接厂房与仓库，层高 55.6m/公用工程供水系统由当地给水管网供给/排水工程排水采取雨污分流制，雨水排入市政雨水管网，废水排入市政污水管网/xxxx新增 2 万吨/年集成电路材料生产项目环境影响报告书37供电系统由当地供电系统供给/环保工程废气治理在车间安装集气罩收集搅拌废气，并设置一套碱喷淋+除湿+活性炭吸附废气处理装置，设计风量 50000m3/h/废水治理在厂区内设置一91、套废水处理装置，设计规模 10t/h，用于处理设备清洗废水/噪声防治针对高噪声设备采取隔声降噪措施/固废处置位于仓库 1F，面积约 72m2，用于堆放危险废物/风险防范设置 1 个 66m3事故池；按照危险废物管理的要求设置防渗、防漏措施/其他办公区在厂房 2F 设置办公区，面积约 1000m2，用于企业员工办公/3.2现有工程主要生产工艺及产污环节现有工程主要生产工艺及产污环节3.2.1现有工程主要工艺流程示意图现有工程主要工艺流程示意图图图 3.2-1 半水性光刻胶去除剂生产工艺流程图（一期项目）半水性光刻胶去除剂生产工艺流程图（一期项目）图图 3.2-2 胺类光刻胶去除剂生产工艺流程图胺92、类光刻胶去除剂生产工艺流程图（尚未实施，一期项目）（尚未实施，一期项目）xxxx新增 2 万吨/年集成电路材料生产项目环境影响报告书38图图3.2-3强碱性光刻胶去除剂生产工艺流程图（一期项目）强碱性光刻胶去除剂生产工艺流程图（一期项目）图图3.2-4 甘氨酸生产线生产工艺流程图（尚未实施，一期项目）甘氨酸生产线生产工艺流程图（尚未实施，一期项目）图图 3.2-5 中试项目工艺流程图（尚未实施，二期项目）中试项目工艺流程图（尚未实施，二期项目）图图 3.2-6提纯工艺流程图提纯工艺流程图图图 3.2-7提纯工艺流程图提纯工艺流程图xxxx新增 2 万吨/年集成电路材料生产项目环境影响报告书3993、图图 3.2-8提纯工艺流程图提纯工艺流程图图图 3.2-9 提纯工艺流程图提纯工艺流程图图图 3.2-10提纯工艺流程图提纯工艺流程图图图 3.2-11研发工艺流程图研发工艺流程图xxxx新增 2 万吨/年集成电路材料生产项目环境影响报告书40图图 3.2-12刻蚀液（刻蚀液（1#）研发工艺流程图）研发工艺流程图图图 3.2-13刻蚀液（刻蚀液（2#）研发工艺流程图）研发工艺流程图图图 3.2-14PSD 研发工艺流程图研发工艺流程图图图3.2-15抛光后清洗液（抛光后清洗液（1#）研发工艺流程图）研发工艺流程图xxxx新增 2 万吨/年集成电路材料生产项目环境影响报告书41图图 3.2-194、6 抛光后清洗液（抛光后清洗液（2#）研发工艺流程图）研发工艺流程图图图 3.2-17 机械抛光液生产工艺流程图机械抛光液生产工艺流程图3.2.2主要产污环节及污染因子主要产污环节及污染因子现有项目主要产污环节及污染因子见下表。表表 3.2-1现有项目主要污染物产生环节及污染因子汇总表现有项目主要污染物产生环节及污染因子汇总表类别编号污染源名称主要污染物废气1投料废气、混合废气、灌装废气非甲烷总烃、乙醇、异丙醇、氨2中试搅拌非甲烷总烃、氟化物3储罐废气非甲烷总烃4树脂清理废气盐酸雾（氯化氢）5无组织废气非甲烷总烃6研发废气盐酸雾、硫酸雾非甲烷总烃7抛光液生产废气颗粒物、非甲烷总烃、氮氧化物、氨95、废水1生产废水（含检验不合格废液）COD、氨氮等2设备清洗废水COD、氨氮等3实验室检测废水COD、氨氮等4职工生活办公COD、氨氮等噪声/搅拌罐、隔膜泵、真空泵等设备等效连续 A 声级 LAeq固体废物1过滤废滤芯2仓储废包装桶3废气处理废活性炭4甘氨酸提纯废电渗析膜5纯水制备废树脂6导热油炉废导热油7纯水制备废砂及废活性炭8废水处理废水污泥9中试车间废液xxxx新增 2 万吨/年集成电路材料生产项目环境影响报告书42类别编号污染源名称主要污染物10日常生活生活垃圾3.3各类污染物产生与排放情况各类污染物产生与排放情况根据验收报告，现有项目各类污染物产生及排放情况见下表。表表 3.3-1原项96、目审批各类污染物产生与排放情况一览表原项目审批各类污染物产生与排放情况一览表内容排放源污染物名称排放浓度及排放量现有投产项目排放量环评审批量大气污染物树脂清理废气盐酸雾（氯化氢）/0.0008 t/a无组织废气非甲烷总烃/0.0013 t/a投料废气、混合废气、灌装废气非甲烷总烃0.199t/a1.1551t/a乙醇/0.1337 t/a异丙醇/0.0007 t/a氨/0.0021 t/a抛光液生产废气氨/0.02 t/a氮氧化物/0.015 t/a颗粒物/0.07 t/a非甲烷总烃/0.107 t/a中试废气非甲烷总烃/少量氟化物/少量储罐废气非甲烷总烃/少量水污染物生产废水（含检验不合格废97、液和纯水制备废水）废水量3172.83t/a42240.922t/aCOD0.158t/a1.268 t/a氨氮0.0158t/a0.092 t/a总铁/0.00003 t/a总铜/3831.25 t/a生活污水废水量/0.1152 t/aCOD/0.0116 t/a氨氮/42240.922t/a固体废物纯水制备废活性炭2 t/a6.4t/a污水处理污泥11.17t/a80.403t/a废包装袋/桶100t/a111t/a废树脂1t/a8.1t/a废活性炭3.075t/a9.118t/a废滤芯4t/a7.4t/a中试废液/12t/a废电渗析膜0.5t/a0.5t/a废导热油0.7t/3 年0.98、7t/3 年固态不合格品/5.3t/aPSD 不合格废液/0.3t/a生活垃圾42.25t/a45.25t/a注：污染物排放量根据一期项目一阶段验收数据计算所得。3.4主要污染防治措施主要污染防治措施现有项目主要污染防治措施及落实情况见下表。xxxx新增 2 万吨/年集成电路材料生产项目环境影响报告书43表表 3.4-1主要主要污染物污染物防治措施及防治措施及落实情况落实情况内容排放源污染物名称原环评治理措施实际落实情况大气污染物投料废气、混合废气、灌装废气非甲烷总烃经收集后通过“碱喷淋+除湿+活性炭吸附”装置（风量为 10000m3/h）处理后通过 15m 高排气筒排放经收集后通过“碱喷淋+99、除湿+活性炭吸附”装置（风量为50000m3/h，已用风量为 37000m3/h，剩余 13000m3/h 风量为厂房其他项目预留）处理后通过15m 高排气筒排放中试废气非甲烷总烃氟物通过中试车间集中排气系统排放尚未实施储罐废气非烷总烃户外扩散排放尚未实施树脂清废气盐酸雾（氯化氢）吡唑提纯线、碳酸胍提纯线产生的废气、树脂清理废气经碱喷淋+除湿+活性炭吸附装置处理后汇同经水喷淋处理后的酒石酸铵合成线废气通过15m 高排气筒排放尚未实施生产废气乙醇、非甲烷总烃、异丙醇、氨尚未实施抛光液生产废气颗粒物、非甲烷总烃、氮氧化物、氨水喷淋+碱喷淋+除湿+活性炭吸附装置处理后通过15m 高排气筒排放尚未实施100、研 发 废气盐酸雾、硫酸 雾 及 非甲烷总烃经碱液喷淋处理后通过15m 高排气筒排放尚未实施无组织废气非甲烷总烃选用高效密封零件减少设备动静密封点泄漏废气的产生尚未实施水污染物生活污水CODCr、氨氮等经化粪池预处理后排入市政污水管道与原环评一致反洗与再生水SS、COD用作车间地面冲洗用水、废气处理用水、循环冷却系统用与原环评一致生产废水（含检验不合格废液）SS、COD、氨氮等经污水处理站（调节池水解酸化池接触氧化池混凝沉淀，10t/d）处理后纳入市政污水管道交由xx污水处理厂处理经污水处理站（调节池水解酸化池接触氧化池混凝沉淀，10t/h）处理后纳入市政污水管道交由xx污水处理厂处理固体废物101、仓储废包装桶委托xx市xx环保固废处置有限公司进行安全处置委托xx炬鑫环保制品有限公司进行安全处置过滤废滤芯委托xx炬鑫环保制品有限公司进行安全储运废气处理废活性纯水制备废树脂xxxx新增 2 万吨/年集成电路材料生产项目环境影响报告书44内容排放源污染物名称原环评治理措施实际落实情况甘氨酸提纯废电渗析膜委托有资质的单位进行安全处置尚未实施导热油炉废导热油检验PSD 不合格废液中试中试废液纯水制备废砂及废活性炭分类收集、避雨存放后委托环卫部门统一清运与原环评一致废水处理废水污泥日常生活生垃圾图图 3.4-1现有废水处理站工艺流程图现有废水处理站工艺流程图图图 3.4-2现有废气治理设施收集与处102、理图现有废气治理设施收集与处理图3.5污染源现状监测与评价污染源现状监测与评价企业污染源现状监测参照xxxx微电子科技有限公司集成电路材料基地项目（第一阶段）竣工环境保护验收监测报告，具体见表3.5-13.5-3。3.5.1废气现状监测与评价废气现状监测与评价废气有组织排放监测结果具体见下表。表表 3.5-1废气有组织排放监测结果一览表废气有组织排放监测结果一览表采用日期采样位置/点位编号排气筒高度(m)频次检测项目检测结果排放浓度(mg/m3)排放速率(kg/h)2020.9.9生产车间废气治理设施进口1非甲烷总烃17.30.295216.50.276321.00.371生产车间废气治理设施103、出口151非甲烷总烃3.680.055323.750.057434.060.0578xxxx新增 2 万吨/年集成电路材料生产项目环境影响报告书452020.9.10生产车间废气治理设施进口1非甲烷总烃19.40.340218.90.343315.70.260生产车间废气治理设施出口151非甲烷总烃4.200.057023.690.054033.580.0505由上表分析，生产车间废气排气筒中非甲烷总烃排放浓度及排放速率，均满足大气污染物综合排放标准（GB 16297-1996）中表2新污染源大气污染物排放限值中的二级标准。表表 3.5-2废气无组织排放排放监测结果一览表废气无组织排放排放监测104、结果一览表采样日期采样位置/点位编号频次检测项目检测结果标准限值单位2020.9.9上风向1非甲烷总烃0.844.0mg/m320.8830.89下风向 1#1非甲烷总烃1.0321.0531.02下风向 2#1非甲烷总烃1.0421.0631.07下风向 3#1非甲烷总烃0.9720.9631.032020.9.10上风向1非甲烷总烃0.9020.8130.88下风向 1#1非甲烷总烃1.0521.0131.01下风向 2#1非甲烷总烃1.1021.0331.06下风向 3#1非甲烷总烃1.1421.2430.99由上表分析，废气无组织排放的非甲烷总烃排放浓度均满足大气污染物综合排放标准（G105、B 16297-1996）中表2新污染源大气污染物排放限值中的无组织排放监控浓度限值。3.5.2废水现状监测与评价废水现状监测与评价表表 3.5-3生产废水监测结果一览表生产废水监测结果一览表监测点位项目pH值悬浮物石油类化学需氧量五日生化需氧量氨氮总磷污水处理站出排放浓度（pH 外，mg/L）最大值/9/9/0.082/平均值/7.12/8/0.071/标准限值6940020500300358xxxx新增 2 万吨/年集成电路材料生产项目环境影响报告书46口达标分析/达标/达标/达标/废水总排口排放浓度（pH 外，mg/L）最大值7.07203.53165.40.0250.06平均值7.03106、17.752.8713.124.650.0250.035标准限值6940020500300358达标分析达标达标达标达标达标达标达标由上表可知，企业污水处理站出口污染物标准符合污水综合排放标准（GB8978-1994）表4中三级标准限值，氨氮、总磷符合工业企业废水氮、磷污染物间接排放限值（DB33/887-2013）相应标准，同时符合电子工业水污染物排放标准（GB39731-2020）表1水污染物排放限值中电子专用材料间接排放标准。3.6现有工程总量控制情况现有工程总量控制情况表表 3.6-1现有工程全厂总量控制建议值汇总表现有工程全厂总量控制建议值汇总表序号污染物类型主要污染物原环评批复量（107、t/a）现有排放量（t/a）总体工程（t/a）总量控制建议值（t/a）1废气VOCs1.3970.1991.3971.3972氮氧化物0.015/0.0150.0153颗粒物0.07/0.070.074生产废水废水量42240.9223172.8342240.92242240.9225COD1.2680.1581.2681.2686氨氮0.0920.01580.0920.0927总铜0.00003/0.000030.000033.7排污许可证申请情况排污许可证申请情况本项目对照固定污染源排污许可分类管理名录（2019 年版），属于“三十四、计算机、通信和其他电子设备制造业”中的“电子元件及电子108、专用材料制造 398-其他”类别，实行排污登记管理。企业已在全国排污许可证管理信息平台填报排污登记表，登记编号为：91330206MA2916KQ0K001Z。登记基本信息、污染物排放去向、执行的污染物排放标准以及采取的污染防治措施等信息。3.8环境风险防范措施环境风险防范措施企业已于2020年9月结合公司自身情况编制了xxxx微电子科技有限公司突发环境污染事件综合应急预案，并已上报xx市生态环境局xx分局备案（330206-2020-063-L），同时公司还定期组织应急演练。目前已落实的风险防范措施如下：1）已于生产车间外西北角南侧建有1 座有效容积约66m3的地下事故应急池，xxxx新增 109、2 万吨/年集成电路材料生产项目环境影响报告书47用于收集应急状态下的废水；事故应急水池2）已配备必要的应急物资和应急装备，并设置了由厂内职工兼职所组成的应急救援队伍。3.9存在的环保问题及整改要求存在的环保问题及整改要求企业现有工程总体上能较好地落实环评批复及验收意见的要求，建议加强日常环保工作的管理和设备的维护，确保污染物稳定达标排放。1、企业必须选用先进生产设备和工艺，减少生产过程中污染物的排放，降低产品的能耗，同时建议企业不断的对工艺进行探索和改进，提高生产效率和减少污染物的排放。2、项目投产运行后及时进行清洁生产审核和环境质量体系认证，以进一步提高生产工艺水平和管理水平。3、建设项目110、的性质、规模、地点、采用的生产工艺或者防治污染措施发生重大变动的，建设单位应当重新报批建设项目的环境影响评价文件。4、必须重视废气、废水处理设施的运行管理，确保废气、废水达标排放，同时做好风险事故防范措施和完善管理制度。xxxx新增 2 万吨/年集成电路材料生产项目环境影响报告书484 4建设项目工程分析建设项目工程分析4.1项目基本信息项目基本信息1）项目名称：xxxx新增2万吨/年集成电路材料生产项目；2）项目性质：扩建；3）建设单位：xxxx微电子科技有限公司；4）建设地点：经度：121.893160纬度：29.877706；xx区柴桥街道青山路79号；5）周边环境情况：项目东侧为xxx111、x光电材料有限公司；南侧隔云台山路为中芯xx十一科技项目部；西侧为妙峰山路，隔河为xx润倍万灵润滑油有限公司；北侧隔青山路为弘硕科技（xx）有限公司。6）项目总投资：8000万元，新增环保治理设施投资估算约132万元，占总投资额的1.65%。4.2项目建设内容与规模项目建设内容与规模本项目利用一期已建厂房，一期总用地面积18796m2，建筑面积为20107.24m2，从事集成电路材料的生产，本项目xx后，企业原有生产和研发情况不发生变更，项目主要建设内容如下表：表表 4.2-1项目主要建设内容项目主要建设内容序号项目工程组成建设内容备注1主体工程车间1 层（局部 2 层）厂房，1 层部分层高 112、14.6m（局部 12m）东部区域用于生产高端微电子材料（原项目+本项目）；2 层部分层高 12.3m，主要用于产品研发依托已建厂房，本项目洁净车间为新建2仓库3 层仓库（局部 1 层），层高 14m（6m+4m+4m），用于存储原辅材料、产品及各类废物依托3公用及辅助工程给水用水取自市政供水管网依托4排水排水采取雨污分流制，雨水排入市政雨水管网，生产废水排入市政污水管网依托7供电市政供电系统依托8氮气站主要作为生产的保护气体和用于设备吹扫，氮气用量为 400Nm3/h。（依托原有）依托9超纯水系统提供生产所需超纯水，超纯水制备量为 10t/h，设备内部超纯水循环制备率为 80%依托xxxx新113、增 2 万吨/年集成电路材料生产项目环境影响报告书4910新风系统本项目洁净车间内采用恒温恒湿洁净式空调机组，并配置风机过滤机组(设有过滤网)，对室内进行冷却(保温)、除湿、初高效过滤及加压送凤等，即冷却(加热)后的空气通过风机过滤机组高效过滤后送至洁净室，然后由洁净室内集气管道排出。新增11其他本项目无食堂，无宿舍/12环保工程废气治理1 套水喷淋+碱液喷淋+除湿+活性炭吸附设施新增13废水治理1 套生产废水治理设施改造，新增 pH调节池、化学沉淀用于处理重金属废水14噪声治理包括基础减振、隔声、消声等新增15固废治理危险废物和一般工业废物临时贮存场所依托16应急水池已设置一个 66m3的事114、故应急水池依托4.2.1产品方案及规模产品方案及规模表表 4.2-2项目扩建前后主要产品及生产规模变化一览表项目扩建前后主要产品及生产规模变化一览表序号产品名称单位产品生产规模/研发规模备注原项目本项目合计1光刻胶去除剂t/a01000010000200kg/桶2抛光后清洗液t/a050005000200kg/桶3电镀液及添加剂t/a0600600200kg/桶4化学机械抛光液t/a040004000200kg/桶5电子级添加剂1#t/a0161620kg/桶62#t/a0144144200kg/桶73#t/a0130130200kg/桶84#t/a0110110200kg/桶9化学机械抛光液115、1#t/a4000/4000200kg/桶102#t/a2300/2300200kg/桶113#t/a7200/7200200kg/桶124#t/a1500/1500200kg/桶13合计t/a15000/15000200kg/桶14半水性光刻胶去除剂t/a1200/1200/15胺类光刻胶去除剂t/a1500/1500/16强碱性光刻胶去除剂t/a500/500/17t/a300/300/18t/a180/180研发及生产19t/a60/60研发及生产20t/a720/72030%水溶液，研发及生产21t/a60/6030%水溶液，研发及生产xxxx新增 2 万吨/年集成电路材料生产项目环境116、影响报告书5022t/a6/6研发及生产23t/a12/1230%水溶液，研发24刻蚀液（1#）t/a10/10研发25刻蚀液（2#）t/a2/2研发26PSDt/a10/10研发27抛光后清洗液（1#）t/a3/3研发28抛光后清洗液（2#）t/a7/7研发注：电镀液及添加剂用于成电路制造中的电化学沉积工序。光刻胶去除剂、抛光后清洗液、化学机械抛光液所用原材料和生产工艺于已审批的产品略有差异。4.2.2原辅材料及消耗原辅材料及消耗1）原辅材料及消耗量主要原辅材料及消耗量详见下表。xxxx新增 2 万吨/年集成电路材料生产项目环境影响报告书51表表 4.2-4 本项目原辅材料及消耗量清单本项目117、原辅材料及消耗量清单序号名称(CAS.no)浓度/规格年消耗量（吨）仓库最大储存量（吨）包装规格199%58458200L/塑料桶299%27325kg/袋399%220.2200L/塑料桶440%27.53200L/塑料桶599%1161220kg/袋699%161.8161000L/塑料桶725%10010200L/塑料桶899%364200L/塑料桶950%100.510200L/塑料桶1099%16.52200L/塑料桶1199%34935200L/塑料桶1299%14915200L/塑料桶1330%11812200L/塑料桶1410%690.4200L/塑料桶1599%606200L118、/塑料桶1699%909200L/塑料桶1799%52553200L/塑料桶1899%75825kg/袋1925%20020200L/塑料桶2099%455200L/塑料桶2150%440441000L/塑料桶2299%36036200L/塑料桶xxxx新增 2 万吨/年集成电路材料生产项目环境影响报告书522399%1361425kg/袋2499%12513200L/塑料桶2599%12513200L/塑料桶2699%12513200L/塑料桶2799%12513200L/塑料桶2899%15225kg/袋2999%10010200L/塑料桶3099%10010200L/塑料桶3199%90119、9200L/塑料桶3296%420.4200L/塑料桶3330%6312200L/塑料桶3499%3.1850.325kg/袋3599%6.7910.61L/塑料桶3637%0.0120.0005500mL/塑料桶3799%0.1540.0151L/塑料桶3899%1.4670.011kg/袋3999%0.0920.011L/塑料桶4099%0.1580.025L/塑料桶4199%2.9160.325kg/袋4299%0.0010.00021L/塑料桶4370%10.6581200L/塑料桶4499%0.0520.0125kg/袋4599%0.3410.002155L/塑料桶4620%0.19120、20.0021kg/袋xxxx新增 2 万吨/年集成电路材料生产项目环境影响报告书534720%261.1890.8200L/塑料桶4899%9.8460.0525kg/袋4935%15001501000L/塑料桶5099.5%25225kg/袋5171%200.525kg/桶5299.5%1001020kg/桶5385%90.1346.7kg/桶5499.0%7.60.525kg/桶5599.5%4004025kg/袋5699.8%353.3220kg/桶5799.5%808250kg/桶58PEG-400&PEG-600182.3230kg/桶5960%583217.72kg/桶60/10121、/储罐61/0.340.17170kg/桶2）主要原辅材料理化性质主要原辅材料理化性质见表 4.2-5。表表 4.2-5 项目主要原辅材料理化性质项目主要原辅材料理化性质xxxx新增 2 万吨/年集成电路材料生产项目环境影响报告书544.2.3生产及辅助设备生产及辅助设备主要新增生产设备详见下表。表表 4.2-6项目主要生产设备清单及布置情况项目主要生产设备清单及布置情况序号设备名称型号规格单位数量布置位置用途1光刻胶去除剂混合釜10m3个4洁净室原料混合/预混合2过滤器/套1洁净室原料过滤3抛光后清洗液混合釜10m3个2洁净室原料混合/预混合4过滤器/套1洁净室原料过滤5电镀液及添加剂混合釜122、1m3个3洁净室原料混合6混合釜0.2m3个3洁净室原料预混合7混合釜0.1m3个2洁净室原料预混合8混合釜0.05m3个3洁净室原料预混合9过滤器/套1洁净室原料过滤10抛光液混合釜5m3个2洁净室原料预混合11混合釜10m3个2洁净室原料混合12过滤器/套1洁净室原料混合13电子添加剂2#3#4#溶解釜10m个4洁净室原料混合14盐酸釜1.5m个2洁净室交换柱清理15离子交换柱100L 树脂个8洁净室产品过滤16缓冲罐1m个1洁净室原料混合17电子添加剂1#转型釜10m个4洁净室原料混合18离心机/台4洁净室离心过滤19溶解釜3m个2洁净室原料混合20接收釜3m个2洁净室原料混合21干燥机123、/台2洁净室干燥22模温机/个4洁净室加热（导热油）23地秤1.5T套6洁净室/24隔膜泵/台21洁净室/25投料系统/套4洁净室投料26釜内清洗设备/套2洁净室混合釜清洗27提升机2T台2洁净室/28灌装机/台2洁净室/29洁净车间十万级套1/30新风系统4.5 万套1洁净室/4.2.4产能匹配性分析产能匹配性分析xxxx新增 2 万吨/年集成电路材料生产项目环境影响报告书55表表 4.2-7项目产品各工序工作时间项目产品各工序工作时间生产线加工工序单套产品有效工作时间（h）光刻胶去除剂/化学机械抛光液/电镀液及添加剂/化学机械抛光液投料1预混合0.5混合2过滤1灌装0.5清洗1合计6电子级124、添加剂（2#3#4#）投料0.5混合2过滤6灌装0.5清洗8（含设备清洗和交换柱清洗）合计17电子添加剂 1#投料0.5混合溶解1离心3过滤2水洗2干燥1包装0.5清洗8合计18（含设备清洗和交换柱清洗）表表 4.2-8 产能匹配性分析表产能匹配性分析表生产线名称计划生产天数单批生产时间计划生产批次最大生产批次负荷率是否符合光刻胶去除剂3006h1000 批1200 批83.33%是抛光后清洗液3006h500 批600 批83.33%是电镀液及添加剂3006h1600 批1800 批88.89%是化学机械抛光液3006h800 批1200 批66.67%是电子级添加剂（2#3#4#）3001125、7.5h73 批150 批48.67%是电子添加剂 1#30018h150 批300 批50%是由上表可知，设备最大产能大于项目设计产量并有一定富余，设备配置可满足生产需要。4.2.5劳动定员及工作时间劳动定员及工作时间本项目利用原项目公用工程设备及人力，新增企业员工10人，年工作日为300 xxxx新增 2 万吨/年集成电路材料生产项目环境影响报告书56天，每日12小时白班制（8:0020:00）。4.2.6公用工程公用工程1、给排水1）给水项目用水由当地给水管网供给。2）排水厂区实行雨污分流制，其中雨水经收集后排入市政雨水管道，生产废水经厂区污水处理站处理（改造），生活污水经化粪池预处理汇126、同纯水制备废水排入市政污水管道，最终经xxxx柴桥净化水厂处理后排海。2、供电项目供电由当地供电系统供给。3、危险化学品仓库企业利用一期项目已建的独立危险化学品仓库，主要储存各类危险化学品原料等，暂存场地地面为环氧树脂漆地面，并做好防渗、防漏和防腐措施，场地面积约80m2。4、危废堆放位置危险废物堆放场所依托一期已建危险废物暂存场所，位于一期厂区仓库西侧1F，场地地面为环氧树脂漆地面，三面砌筑有围墙，顶部防雨，场地面积约72m2。5、氮气站项目依托现有氮气站，主要作为生产的保护气体，氮气用量为400Nm3/h。4.2.7依托工程依托工程本项目主要依托情况见下表。表表 4.2-9项目主要依托情况127、汇总项目主要依托情况汇总序号主要依托内容依托可行性1依托现有危险化学品仓库进行化学品的存放现有危险化学品仓库总存放规模为 80m2，现有项目最大占用存放面积约 38m2，剩余存放空间约 42m2，本项目所需最大存放面积约 27m2，剩余空间可满足本项目依托使用。xxxx新增 2 万吨/年集成电路材料生产项目环境影响报告书572依托现有危险废物暂存库进行危险废物暂存现有危险废物暂存库总存放规模为 72m2，现有项目最大占用存放面积约 23m2，剩余存放空间约 49m2，本项目实施后各类危废所需最大存放面积约 20m2，因此危废间可满足本项目依托使用。3依托现有一般废物暂存库进行一般废物暂存现有一128、般废物暂存库总存放规模为 80m2，现有项目最大占用存放面积约 40m2，剩余存放空间约 40m2，本项目无一般废物产生。4依托现有纯水系统供给车间生产所用现有纯水系统纯水制备能力为 10t/h（72000t/a），现工程纯水用量约为 25974.883t/a，剩余46025.117t/a，本项目纯水用量为 44356.484t/a，因此纯水系统剩余纯水制备量可满足本项目依托使用。4.2.8环保工程环保工程本项目主要环保设施为有机废气治理设施以及各类隔声降噪措施等，预计环保投资132万元，占总投资的1.65%。具体见下表。表表 4.2-10 环保工程一览表环保工程一览表序号治理设施名称治理对象129、数量主要处理工艺及参数投资额（万元）备注1水喷淋+碱喷淋+除湿+活性炭吸附装置生产废气1 套采用水喷淋+碱喷淋、吸附组合工艺，处理风量为 19000m3/h，其中活性炭填装量为 3m3（约 1.5t）90/2污水处理站生产废水1 套生产废水治理，处理能力为 10t/d（改造，新增 pH 调节池、化学沉淀用于处理重金属废水）40/3化粪池生活污水/化粪池（依托已建项目）/4危险废物暂存库危险废物1 个依托一期厂区仓库西侧危险废物堆放场，占地面积约 72m2/5一般工业废物暂存库一般工业废物1 个位于一期厂房西北侧，按一般工业废物堆放场所标准建设，占地面积约 80m2/6隔声降噪措施生产噪声/隔声130、罩、减震垫、消声器等2/7事故应急池事故应急1 个用于事故废水、消防水及受污染雨水等收集暂存，依托一期生产车间外西北角南侧已建事故应急池，其有效容积为 66m3/合计132/4.3总图布置及选址合理性分析总图布置及选址合理性分析1）厂区总平面xxxx微电子科技有限公司一期已建项目占地面积18796m2，建筑面积为20107.24m2。主要技术经济指标如下表。厂区总平面图见图4.3-1。xxxx新增 2 万吨/年集成电路材料生产项目环境影响报告书58表表 4.3-1主要技术经济指标主要技术经济指标序号项目工程内容备注1用地面积18796 m22建筑占地面积10816.44 m23建筑面积2010131、7.24 m24地上建筑面积19657.2 m25地下建筑面积149.72 m26计容面积23686.05 m2不包括地下水池及雨棚的建筑面积7容积率1.260.92.08绿化面积1880 m29绿化率10%20%10机动车停车位99 辆11货车停车位3 辆12非机动车停车区80 m2自行车2）项目生产布置厂房主要布置洁净室等。此外，危险化学品仓库、危险废物堆放场所依托一期已建工程。具体见表4.3-2及图4.3-1。表表 4.3-2项目生产布置一览表项目生产布置一览表序号项目层数面积（m2）生产布置备注原项目本项目1车间车间1F4593.45生产车间、纯化车间、洁净室、精馏室生产车间、纯化车间132、洁净室（现有+本项目）、精馏室/2研发车间1F2F3155.59纯水车间、废水车间、研发实验室、QC 实验室、压缩空气间、气体间、安防消控室、休息室、厂务室、机房、研发车间、生产管理区、质量管理区生产布置不发生变化/3仓库地下水池-1F127.72消防水池/4事故水池-1F22事故水池/5月台1F201.6月台/6仓库1F3F11323.72仓库、辅料间、配电间、危废间/本项目车间中部新增洁净室，混合釜上方设有专门的密闭集中供料间，该供料间上方设有层流罩保证车间洁净，投料期间混合釜投料口设有集气罩用于投料废气的收集。3）项目选址及总图布置合理性分析本项目位于xx区柴桥街道青山路79号，本项目133、主要生产工艺以原料混合、xxxx新增 2 万吨/年集成电路材料生产项目环境影响报告书59过滤等为主。根据现场调查，企业厂区周边主要为工业企业为主。本项目生产区域布置根据加工（转运）工艺流程走向布置，提高了生产效率；化学品仓库布置于厂区西侧，危险废物堆放场所布置于厂区西侧，一般工业废物堆放场所布置于厂区西侧，与生产车间保持了一定距离。废气治理设施等布置均远离环境保护目标，且做了隔声降噪处理。总体上，厂区平面布置功能分区明确，整体布局较为合理。综上，项目在选址及总图布置上较为合理。xxxx新增 2 万吨/年集成电路材料生产项目环境影响报告书60一般废物一般废物堆放位置堆放位置危废堆放位置危废堆放位134、置图图 4.3-1厂区总平面图厂区总平面图应急水池应急水池危险化学品仓库危险化学品仓库排气筒排气筒 DA001（一期已建）（一期已建）污水处理站污水处理站本 项目 主要 生产 区域排气筒排气筒 DA002（研发废气）（研发废气）排气筒排气筒 DA003（抛光液项目（抛光液项目排气筒排气筒 DA004本项目本项目电镀液生产区域xxxx新增 2 万吨/年集成电路材料生产项目环境影响报告书61图图 4.3-2一期车间生产区域平面图一期车间生产区域平面图现有项目生产区域洁净室（本项目主要生产区域）洁净室（电镀液生产区域）xxxx新增 2 万吨/年集成电路材料生产项目环境影响报告书624.4生产工艺流程135、及产污环节生产工艺流程及产污环节4.4.1工艺流程图工艺流程图本项目具体工艺流程见下图。图图 4.4-1光刻胶去除剂光刻胶去除剂、抛光后清洗液抛光后清洗液、电镀液及添加剂电镀液及添加剂、化学机械抛光液化学机械抛光液工艺流程图工艺流程图生产工艺流程说明：xxxx新增 2 万吨/年集成电路材料生产项目环境影响报告书63图图 4.4-2电子添加剂电子添加剂1#工艺流程图工艺流程图xxxx新增 2 万吨/年集成电路材料生产项目环境影响报告书64图图 4.4-3电子添加剂电子添加剂 2#、3#、4#工艺流程图工艺流程图xxxx新增 2 万吨/年集成电路材料生产项目环境影响报告书654.4.2物料平衡分析136、物料平衡分析见下表。表表 4.4-1光刻胶去除剂的生产物料平衡表，光刻胶去除剂的生产物料平衡表，1000 批批/年年投入产出去向t/akg/批去向t/akg/批233.6233.6氟化物0.010.01进去废气处理系统10.810.8氨0.010.0146.446.4非甲烷总烃1.121.1264.764.7颗粒物0.080.084040过滤滤渣0.20.2随废滤芯一同处理14.414.4检测废液11进入污水处理站40.240.2设备残留446.66.6光刻胶去除剂成品1000010000产品139.6139.6/59.659.6/47.247.2/2424/3636/210210/7575/137、200200/1818/440440/144144/125125/125125/125125/125125/xxxx新增 2 万吨/年集成电路材料生产项目环境影响报告书667656.327656.32/合计10006.4210006.42合计10006.4210006.42/表表 4.4-2 抛光后清洗液的生产物料平衡表，抛光后清洗液的生产物料平衡表，500 批批/年年投入产出去向物料名称t/akg/批去向t/akg/批350.4700.8氟化物0.020.04进去废气处理系统16.232.4氨0.010.022244非甲烷总烃0.561.1269.6139.2颗粒物0.150.397.119138、4.2过滤滤渣0.10.2随废滤芯一同处理60120检测废液0.51进入污水处理站21.643.2设备残留2460.3120.6抛光后清洗液产品500010000产品9.919.8/209.4418.8/89.4178.8/70.8141.6/69138/3672/54108/315630/2754/216432/136272/3073.646147.28/合计5003.3410006.68合计5003.3410006.68/表表 4.4-3 电镀液及添加剂的生产物料平衡表，电镀液及添加剂的生产物料平衡表，1600 批批/年年投入产出去向物料名称kg/ag/批去向kg/ag/批xxxx新增 2139、 万吨/年集成电路材料生产项目环境影响报告书6731851990.625甲醛0.0480.03进去废气处理系统67914244.375颗粒物2515.625127.5过滤滤渣127.5随废滤芯一同处理15496.25检测废液3220进入污水处理站1467916.875设备残留1601009257.5电镀液及添加剂产品600000375000产品15898.75/29161822.5/10.625/106586661.25/5232.5/341213.125/192120/261189163243.125/98466153.75/303175.048189484.405/合计600229.048140、375143.155合计600229.048375143.155/表表 4.4-4化学机械抛光液的生产物料平衡表，化学机械抛光液的生产物料平衡表，800 批批/年年投入产出去向物料名称t/akg/批去向t/akg/批15001875氮氧化物0.170.2125进去废气处理系统2531.25非甲烷总烃0.30.3752025颗粒物0.450.5625100125过滤滤渣0.160.2随废滤芯一同处理911.25检测废液0.81进入污水处理站7.69.5设备残留3.24400500化学机械抛光液40005000产品3543.75/xxxx新增 2 万吨/年集成电路材料生产项目环境影响报告书6880141、100/1822.5/5872.5/1752.482190.6/合计4005.085006.35合计4005.085006.35/表表 4.4-5电子级添加剂电子级添加剂 1#的生产物料平衡表，的生产物料平衡表，150 批批/年年投入产出去向物料名称t/akg/批去向t/akg/批15100颗粒物0.0150.1进去废气处理系统15300102000硫酸雾0.422.842280离心废液15339.665102264.43进入污水处理站/设备残留0.755/检测废液0.151/电子级添加剂 1#16106.67产品合计15357102380合计15357102380/表表 4.4-6电子级添加142、剂电子级添加剂 2#的生产物料平衡表，的生产物料平衡表，25 批批/年年投入产出去向物料名称t/akg/批去向t/akg/批1004000颗粒物0.14进去废气处理系统44.231769.2过滤滤渣0.0050.2随废滤芯一同处理/检测废液0.0251进入污水处理站/设备残留0.14/电子级添加剂 2#1445760产品合计144.235769.2合计144.235769.2/表表 4.4-7电子级添加剂电子级添加剂 3#的生产物料平衡表，的生产物料平衡表，26 批批/年年投入产出去向物料名称t/akg/批去向t/akg/批添加剂 3-11004000非甲烷总烃0.13.85进去废气处理系统x143、xxx新增 2 万吨/年集成电路材料生产项目环境影响报告书69纯水30.2351009.05过滤滤渣0.0050.2随废滤芯一同处理/检测废液0.0261进入污水处理站/设备残留0.1044/电子级添加剂 3#1305000产品合计130.2355009.05合计130.2355009.05/表表 4.4-8电子级添加剂电子级添加剂 4#的生产物料平衡表，的生产物料平衡表，22 批批/年年投入产出去向物料名称t/akg/批去向t/akg/批904000非甲烷总烃0.094.1进去废气处理系统20.2041009.3过滤滤渣0.0040.2随废滤芯一同处理/检测废液0.0221进入污水处理站/设144、备残留0.0884/电子级添加剂 4#1105000产品合计110.2045009.3合计110.2045009.3/xxxx新增 2 万吨/年集成电路材料生产项目环境影响报告书70图图 4.4-4本项目水平衡分析图本项目水平衡分析图xxxx新增 2 万吨/年集成电路材料生产项目环境影响报告书71图图 4.4-5全厂水平衡分析图全厂水平衡分析图xxxx新增 2 万吨/年集成电路材料生产项目环境影响报告书724.5污染源强分析污染源强分析4.5.1主要污染源分布及主要污染因子汇总主要污染源分布及主要污染因子汇总见下表：表表 4.5-1主要污染源分布及主要污染因子主要污染源分布及主要污染因子类别编145、号污染源名称主要污染物废气G1生产废气颗粒物、非甲烷总烃、氮氧化物、氨、氟化物、硫酸雾、甲醛G2交换柱清洗废气氯化氢废水W1生产工艺废水SS、COD、氨氮、氟化物、总磷、总铁、总镍、总铅、总银、总铜、甲醛等W2清洗废水SS、COD、氨氮、甲醛等W3废气处理废水SS、COD、氨氮、氟化物等W4纯水制备废水SS、CODW5生活污水SS、COD、氨氮等噪声各机械设备在运转过程中产生的噪声等效连续 A 声级 LAeq固体废物S1除湿除湿过滤棉S2废水治理污水处理污泥S3原料包装废包装袋/桶S4废气治理废活性炭S5产品过滤废滤芯S6导热油包装废油桶S7设备加热废导热油S8员工生活生活垃圾4.5.2废气废146、气本项目废气主要为生产废气、交换柱清洗废气、无组织废气。4.5.2.1生产废气生产废气根据建设单位提供的资料及相关物料平衡，本项目不设置原料储罐，液体易挥发原料均密封存放于包装桶内，硝酸、甲醛等液体原料被泵入混合釜的同时向原料桶中输入氮气，使原料桶保持微正压，氮气输送管与原料桶连接处设有密闭管道接入后续废气处理装置，因此无呼吸废气产生。本项目产生的挥发性有机物中乙二醇、二乙二醇丁醚等污染物均无相关排放标准，且单个污染物排放量较小，经检索目前无相关环境空气质量标准、污染物排放标准及检测方法，本项目以非甲烷总烃计，日后待相关标准制定后执行其标准。xxxx新增 2 万吨/年集成电路材料生产项目环境影147、响报告书73表表 4.5-2主要污染源分布及主要污染因子主要污染源分布及主要污染因子位置排气筒生产线污染物名称生产时间（h）产生量（t/a）洁净室DA004光刻胶去除剂氟化物7500.01氨0.01非甲烷总烃1.12颗粒物0.08抛光后清洗液氟化物7500.02氨0.01非甲烷总烃0.56颗粒物0.15电镀液及添加剂甲醛7500.00005颗粒物0.025化学机械抛光液氮氧化物7500.17非甲烷总烃0.3颗粒物0.45电子级添加剂 1#颗粒物7500.015硫酸雾0.42电子级添加剂 2#颗粒物7500.1电子级添加剂 3#非甲烷总烃7500.1电子级添加剂 4#非甲烷总烃7500.09合计148、氟化物/0.03氨0.02非甲烷总烃2.17颗粒物0.82甲醛0.00005氮氧化物0.17硫酸雾0.42注：污染物的产生情况依托表 4.4-18。投料、混合和灌装废气的收集：各液体配料及产品灌装均在密闭箱中进行，均采用全自动化操作，配料及灌装过程均通入氮气进行排空，排空过程中物料挥发的废气将一同经集气管道收集排入废气处理装置；粉末投料位于密闭集中供料间中进行，混合釜投料口设有集气罩装置经废气收集；混合过程则在密闭混合釜内进行，混配时挥发的废气则由混合釜上的集气管道负压收集排入废气处理装置。生产废气收集效率按90%计。废气经一套“水喷淋+碱喷淋+除湿+活性炭吸附”废气处理装置，本项目废气收集风149、量为19000m3/h，本项目多数废气易溶于水，其中有机废气喷淋去除效率为50%，活性炭吸附效果约为70%，综合污染物去除率为85%；碱液喷淋对氮氧化物（硝酸雾）的处理效率为30%，酸雾（硫酸雾、氯化氢、氟化物）的去除效率为70%，颗粒物去除效率90%，水喷淋氨去除率为75%。4.5.2.2交换柱清理废气交换柱清理废气xxxx新增 2 万吨/年集成电路材料生产项目环境影响报告书74本项目离子交换柱利用盐酸进行清洗，盐酸（36%）通过隔膜泵由包装桶转移至盐酸缓冲罐，加纯水稀释，稀释后的盐酸（5%）用隔膜泵以一定流速使稀盐酸溶液通过离子交换柱，对离子交换柱进行清洗。该工序废气主要在盐酸稀释过程中产150、生，废气由管道抽吸引入废气处理装置，废气收集效率为95%计，盐酸溶液原始浓度为36%，使用浓度为5%，盐酸挥发量约为使用量的0.1%。根据建设单位提供资料，本项目交换柱清洗工作时间约600h/a。本项目过滤树脂清洗在密闭设备内进行，气密性较好，废气收集效率为95%计，经计算，本项目酸雾产生情况见下表。表表 4.5-3主要污染源分布及主要污染因子主要污染源分布及主要污染因子位置排气筒污染物名称产生量（t/a）产生速率（kg/h）洁净室DA001盐酸雾（氯化氢）0.130.2174.5.2.3无组织废气无组织废气无组织废气主要来自设备动静密封点泄漏，动静密封点主要包括涉 VOCs 流经或接触的设备151、或管道，主要包括泵、搅拌器、压缩机、阀门、泄压设备、取样连接系统、开口阀或开口管线、法兰、连接件和其它密封点等。本项目为集成电路材料生产项目，产品精度要求较高，所用原辅材料大多为电子级纯度，为管控产品质量，企业选用高效密封零件。本次环评参考石化行业 VOCs 污染源排查工作指南中相关方程法进行计算。表表 4.5-4 装置动静密封点废气产生情况装置动静密封点废气产生情况密封件类型系数（kg/h/排放源）洁净室数量小计阀门（气体）6.60E-07301.98E-05阀门（有机液体）4.90E-07301.47E-05法兰6.10E-07301.83E-05泵7.50E-06352.63E-04泄压152、设备7.50E-06302.25E-04连接件6.10E-07402.44E-05压缩机7.50E-0600.00E+00搅拌器7.50E-06302.25E-04开口阀或开口管线2.00E-06306.00E-05其他4.00E-06401.60E-04合计/2950.001动静密封点核算结果0.001根据上表计算，本项目新增洁净室装置设备与管线组件密封点挥发性有机物xxxx新增 2 万吨/年集成电路材料生产项目环境影响报告书75排放量为0.001t/a(0.0033kg/h)，由于本项目原料品种较多，无组织废气产生量较小且成分无法判断，本次环评无组织废气污染物均以非甲烷总烃计。4.5.2.153、4水处理站废气水处理站废气本项目运营期产生的生产废水主要为生产工艺废水、清洗废水、废气处理废水，本项目废水的产生量合计为33121.182t/a，全厂废水的产生量合计为48843.548t/a。企业现有污水处理站处理规模为10t/h，由于污水产生量不大，混合污水中污染物浓度相对不高，本项目不对污水处理站臭气进行定量分析。为减少废水处理过程臭气的排放，本项目将对废水处理站各池进行加盖处理。综上本项目废气产生及排放情况见下表：表表 4.5-5 本项目废气排放情况一览表本项目废气排放情况一览表污染源主要污染物单位产生量削减量排放量有组织无组织生产废气氟化物t/a0.0300.0190.0080.00154、3kg/h0.0400.0250.0110.004氨t/a0.0200.0130.0050.002kg/h0.0270.0180.0060.003非甲烷总烃t/a2.1701.6600.2930.217kg/h2.8932.2130.3910.289颗粒物t/a0.8200.6640.0740.082kg/h1.0930.8860.0980.109甲醛t/a0.000050.000030.000010.00001kg/h0.000070.000050.000010.00001氮氧化物t/a0.170.0460.1070.017kg/h0.2270.0610.1430.023硫酸雾t/a0.42155、00.2650.1130.042kg/h0.5600.3530.1510.056交换柱清理废气氯化氢t/a0.1300.0860.0370.007kg/h0.2170.1440.0620.011无组织废气非甲烷总烃t/a0.001000.001kg/h0.0003000.0003表表 4.5-6 废气污染物达标排放分析（正常工况）废气污染物达标排放分析（正常工况）污染源主要污染物排放速率（kg/h）风量（m3/h）排放浓度（mg/m3）标准限值排放浓度(mg/m3)排放速率（kg/h）生产过程氟化物0.011190000.589.00.10氨0.0060.32/4.9非甲烷总烃0.39120.156、581203.5颗粒物0.0985.161203.5甲醛0.000010.00250.26xxxx新增 2 万吨/年集成电路材料生产项目环境影响报告书76氮氧化物0.1437.532400.77硫酸雾0.1517.95451.5氯化氢0.0623.261000.26（2）非正常工况下，废气污染物排放量分析本项目非正常工况主要分两种情况，一种为废气治理设施失效情况（如活性炭吸附饱和或失效），但排风系统运转正常；另一种为车间敞开工况，排风系统及废气治理设施均停运（如排风系统机械故障）。具体见下表。表表 4.5-7 废气污染物排放情况（废气治理设施失效，排风系统正常）废气污染物排放情况（废气治理设施157、失效，排风系统正常）污染源主要污染物单位排放量有组织无组织生产过程氟化物kg/h0.0360.004氨kg/h0.0240.003非甲烷总烃kg/h2.6040.289颗粒物kg/h0.9840.109甲醛kg/h0.000060.00001氮氧化物kg/h0.2040.023硫酸雾kg/h0.5040.056氯化氢kg/h0.2060.011表表 4.5-8废气污染物排放情况（排风系统及废气治理设施均停运）废气污染物排放情况（排风系统及废气治理设施均停运）污染源主要污染物单位无组织排放量生产过程氟化物kg/h0.04氨kg/h0.027非甲烷总烃kg/h2.893颗粒物kg/h1.093甲醛158、kg/h0.00007氮氧化物kg/h0.227硫酸雾kg/h0.56氯化氢kg/h0.2174.5.3废水废水本项目废水主要为生产工艺废水、清洗废水、废气处理废水、纯水制备废水、生活污水。4.5.3.1生产工艺废水生产工艺废水根据建设单位提供的资料及物料平衡，本项目产生的工艺废水如下：xxxx新增 2 万吨/年集成电路材料生产项目环境影响报告书77表表 4.5-9主要污染源分布及主要污染因子主要污染源分布及主要污染因子生产线废水量（t/a）污染物名称污染物浓度（mg/L）产生量(t/a)光刻胶去除剂5COD2000001.0000氨氮50000.0250总氮60000.0300SS20000159、.0040氟化物940.0005抛光后清洗液2.5COD3000000.7500氨氮40000.0100总氮50000.0125SS38000.0020氟化物4400.0011化学机械抛光液4COD200000.0800氨氮6000.0024总氮7000.0028SS200000.0800总磷700.0003电子级添加剂1#15340.565COD100.1534SS150.2301电子级添加剂2#0.125COD7000000.0875SS5000.0001电子级添加剂3#0.13COD7700000.1001SS5500.0001电子级添加剂4#0.11COD8000000.0880SS6160、000.0001合计15352.43COD/2.2590氨氮/0.0374总氮/0.0453SS/0.3163总磷/0.0003氟化物/0.0016电镀液及添加剂0.192COD200003.84kg/a氨氮4000.0768kg/a甲醛200.004kg/a总氮5000.096kg/a总磷15000.288kg/a总铁700.0134kg/a总镍20000.384kg/a总铅20.0004kg/a总银1320.0253kg/a总铜390007.488kg/a上述废水经收集后排入厂区污水处理站处理。4.5.3.2清洗废水清洗废水本项目清洗废水包含设备清洗废水、车间地面冲洗废水、包装物清洗废水。161、xxxx新增 2 万吨/年集成电路材料生产项目环境影响报告书78（1）设备清洗废水根据建设单位提供资料，本项目每批产品生产后需对生产设备利用纯水进行清洗，清洗采用淋洗+浸泡的方式，每次清洗23次，至清洗废水达到要求后清洗结束。废水产生系数为0.8，废水量合计13445.76t/a。由于本项目产品为电子专用材料，产品精度极高，对原料控制极为严格，清洗用水使用后无法满足生产要求。因此，本项目设备清洗废水不回用。废水经收集后排入污水处理站处理。表表 4.5-10 清洗用水核算一览表清洗用水核算一览表产品单批清洗用水（纯水）生产批次（批）合计（t/a）光刻胶去除剂210003000抛光后清洗液2500162、1500化学机械抛光液28002400电子级添加剂1#2.51505252#225753#226784#22266电镀液及添加剂0.11600160离子交换柱清洗30.37（含 5%的盐酸）2239003.2合计/16807.2（2）车间地面冲洗废水拟建项目地面冲洗面积约为1500m2，利用纯水制备浓水进行清洗，依据建筑给水排水设计手册，场地冲洗水每次用水量取3L/m2，全年约清洗48次，则拟建项目地面冲洗水用量为216m3/a，废水产生系数为0.8，车间地面冲洗废水产生量为172.8m3/a。（3）包装物清洗废水项目产品包装桶均为外购的新桶，不采用回收桶、也不周转使用。产品精度要求极高，产品163、灌装前需对包装物进行清洗，根据企业提供资料，本项自包装物由纯水进行清洗，纯水使用量为5000t/a，废水产生系数为0.8，废水量约为4000t。由于本项目产品为电子专用材料，产品精度极高，对原料控制极为严格，清洗用水使用后无法满足生产要求。因此，本项目产品包装物清洗废水不回用。该股废水水质较为清洁，经收集后排入污水处理站处理。具体水污染物产生情况见下表：表表 4.5-11清洗清洗/冲洗废水主要污染源分布及主要污染因子冲洗废水主要污染源分布及主要污染因子xxxx新增 2 万吨/年集成电路材料生产项目环境影响报告书79生产线废水量（t/a）污染物名称污染物浓度（mg/L）产生量设备清洗废水1344164、5.76COD500.6723氨氮100.1345总氮150.2017SS400.5378车间地面冲洗废水172.8COD5000.0864氨氮300.0052总氮400.0069SS300.0052包装物清洗废水4000COD500.2SS800.32合计17618.56COD/0.9587氨氮/0.1396总氮/0.2086SS/0.863因设备残留废液已在生产工艺废水中分析产生的污染物，故设备清洗废水产生的污染物较小。上述废水经收集后排入厂区污水处理站处理。4.5.3.3纯水制备废水纯水制备废水本项目纯水制备采用CDI技术（电容去离子技术），CDI水处理技术为一种无污染，低耗能，高附加价165、值的水处理技术，利用电容器的结构与充放电原理，以静电吸附，进行水质净化，污染防治或海水淡化。CDI以非破坏的物理过程，去除水中的带电物质，如金属，负离子与酸根等。全自动超滤活 性 炭 过一 级 RO 系CDI 系统TOC-UV-阴MDG-1TOC-UV-2一 级 抛 光二 级 抛 光MDG-终端超滤原水箱预处理水箱中 间 水二 级 RO 系纯水箱反 冲 洗 废反 冲 洗 废浓水浓水浓水图图4.5-1 纯水制备工艺流程图纯水制备工艺流程图纯水制备过程中（电容去离子技术）会有大量的制备浓水产生，设备会自动定时反冲洗反渗透膜并产生少量的反冲洗与再生废水，超纯水产水率约55%，根据xxxx新增 2 万166、吨/年集成电路材料生产项目环境影响报告书80企业实际运行情况，为保证纯水水质，纯水制备设施需全天运行，故全厂超纯水产生量为72000t/a，本项目实施后超纯水实际利用率约为98.55%，剩余的超纯水回到原水箱在系统内循环使用，在内部循环的超纯水因水质较好，本项目对纯水制备设备进行改造，使制备出的超纯水再在循环制备过程中制备率提高至80%，本项目超纯水的使用量为44356.484t/a，全厂超纯水的使用量为70331.367t/a，本项目新增纯水制备废水量25202.548t/a，全厂纯水制备废水量为57961.004t/a，据类比调查，该废水主要污染物为无机盐类、胶质物，主要污染物产生浓度较小167、（COD50mg/L，SS20mg/L），属于清净下水，作为厂区绿化用水、车间地面冲洗用水、废气处理用水及循环冷却系统用水，剩余废水（23306.548t/a）均直接排入市政污水管网。4.5.3.4废气处理废水废气处理废水本项目水喷淋+碱液喷淋塔废水每周更换一次，每次更换量为3t，废水产生量为150t/a，据类比调查，该废水中COD5000mg/L，SS600mg/L，氨氮150mg/L，总氮200mg/L，氟化物150mg/L，废水经收集后排入厂区污水处理站处理。4.5.3.5污水处理站简介污水处理站简介本项目对原有污水处理站进行改造，增加重金属废水预处理工序（pH调节、化学沉淀），废水处理168、量不发生变更，最大设计处理水量为10t/h。由于原项目审批过的产生的废水量仅6805.166t/a，本项目新增废水量33121.182t/a，合计产生量48843.548t/a（162.81t/d240t/d），故厂区污水处理站仍能满足本项目新增废水的处理需求。污水处理工艺流程如下图。废水废水调节池pH调节池混凝池絮 凝 池池中和池池沉 淀 池池水解酸化池接触氧化池沉淀池池中 间 水池池排放污泥池池压滤机池污泥委外池一类重金属废水pH调节池化学沉淀池车间排放口图图 4.5-2废水处理站工艺流程图废水处理站工艺流程图xxxx新增 2 万吨/年集成电路材料生产项目环境影响报告书81表表 4.5-1169、2 项目生产废水量及水质情况项目生产废水量及水质情况废水类别污染因子产生浓度（mg/L）产生量（t/a）企业排放口最高允许排放浓度（mg/L）最终排放浓度（mg/L）最终排放量（t/a）生产废水废水量/33121.182/33121.182COD119.9093.97500300.994氨氮6.0260.20351.5（3）0.070总氮8.5720.287010（12）0.359SS38.3231.27400100.331总磷0.0090.000380.30.006氟化物0.7280.01420/0.014甲醛0.000040.00012510.04kg/a总铁0.1050.0134kg/a170、10100.013kg/a总镍2.9950.384kg/a0.5（预处理）0.050.006kg/a总铜58.4097.488kg/a2.0（预处理）0.50.064kg/a总银0.1970.0253kg/a0.3（预处理）0.10.013kg/a总铅0.0030.0004kg/a0.2（预处理）0.10.0004kg/a纯水制备废水废水量/23306.548/23306.548CODCr801.865500300.699氨氮/351.5（3）0.050SS601.398400100.233*注：产生浓度为所有生产废水混合后折算出的浓度区间，括号中的浓度为每年11月1日至次年3月31日的排放浓171、度，其余时间排放浓度按括号外的浓度计.4.5.3.6生活污水生活污水本项目新增劳动定员10人，生活用水按每人50L/d计，生活用水量为0.5m3/d（即150m3/a），排水量以用水量的80%计，则生活污水产生量为0.4m3/a（即120m3/a）。据类比调查，主要污染物为COD、BOD5、氨氮，水质一般为COD400mg/L，BOD5300mg/L，氨氮40mg/L，主要污染物产生量分别为COD0.048t/a，BOD0.036t/a，氨氮0.0048t/a。生活污水经化粪池预处理后排入市政污水管道，最终经xxxx柴桥净化水厂处理达城镇污水处理厂污染物排放标准（GB18918-2002）一级172、A标准后排海（其中化学需氧量、氨氮、总氮和总磷等4项主要水污染物控制项目执行城镇污水处理厂主要水污染物排放标准（DB33/2169-2018）中表2标准），排放量分别为COD0.0036t/a、氨氮0.00026t/a。4.5.3.7单位产品基准排水量分析单位产品基准排水量分析表表 4.5-13 项目生产废水量及水质情况项目生产废水量及水质情况项目产品产量（t）排水量（m3）单位产品基准排水量（m3/t 产品）单位产品基准排水量标准（m3/t 产品）达标分析xxxx新增 2 万吨/年集成电路材料生产项目环境影响报告书82本项目2000056427.732.825达标全厂3957098668.6173、522.493达标综上，本项目及xx后全厂单位产品基准排水量满足电子工业水污染物排放标准（GB39731-2020）表2单位产品基准排水量要求。4.5.4噪声噪声本项目主要噪声源为风机、泵等设备运行及加工过程产生的噪声，以及风机等辅助设备噪声。据现场调查，产生源强及噪声源分布情况如下：表表 4.5-14 工业企业噪声源强调查清单（室外声源）工业企业噪声源强调查清单（室外声源）序号声源名称型号空间相对位置/m声源源强（声压级/距声源距离）/（dB(A)/m）声源控制措施运行时段XYZ1新 风 系 统（已审批）定制-32.6-48.91.280/1减震装置12h/d2废气治理设施（已审批）定制-3174、5.7-42.21.280/1减震装置3废气治理设施（已审批）定制-20.5-43.21.280/1减震装置4新 风 系 统（本项目）定制-49.2-11.11.280/1减震装置5废气治理设施（本项目）定制-48.70.81.280/1减震装置xxxx新增 2 万吨/年集成电路材料生产项目环境影响报告书83表表 4.5-15 工业企业噪声源强调查清单（室内声源）工业企业噪声源强调查清单（室内声源）序号建筑物名称声源名称声源源强(声压级/距声源距离)/(dB(A)/m)声源控制措施空间相对位置/m距室内边界距离/m室内边界声级/dB(A)运行时段建筑物插入损失/dB(A)建筑物外噪声 声压级/175、dB(A)XYZ东南西北东南西北东南西北建筑物外距离1一期车间隔膜泵75/1厂房隔声、减震装置-31.62.81.239.666.950.85.157.057.057.057.812h/d3516.016.016.016.812一期车间隔膜泵,20台（按点声源组预测）75/1（等效后：83.0/1)-51.5-26.11.259.937.431.934.865.065.065.065.03524.024.024.024.013一期车间干燥器75/1-63.9-46.61.272.516.520.255.957.057.157.157.03516.016.116.116.014一期车间干燥器75176、/1-63.2-53.11.271.910.021.262.357.057.257.157.03516.016.216.116.015一期车间真空泵（已审批,2 台（按点声源组预测）75/1（等效后：78.0/1)-31.7-17.71.240.046.451.425.660.060.060.060.13519.019.019.019.116一期车间进料泵（已审批）,4 台（按点声源组预测）75/1（等效后：81.0/1)-10.5-33.71.218.931.173.240.763.163.063.063.03522.122.022.022.017一期车间干燥机（已审批）,7 台（按点声源组177、预测）75/1（等效后：83.5/1)-32.1-42.21.240.621.951.950.165.565.665.565.53524.524.624.524.518一期车间隔膜泵（已审批）,28台（按点声源组预测）75/1（等效后：89.5/1)-20.6-32.11.229.032.463.039.571.571.571.571.53530.530.530.530.51注：噪声源强调查清单含原项目未建设备。xxxx新增 2 万吨/年集成电路材料生产项目环境影响报告书844.5.5固体废物固体废物4.5.5.1除湿过滤棉除湿过滤棉废气治理设施中除湿工序的过滤棉每月更换一次，废过滤棉的产生量178、约为0.5t/a。根据国家危险废物名录（2021年版），属于HW49其他废物，废物代码900-041-49，收集暂存后委托有资质单位安全处置。4.5.5.2污水处理污泥污水处理污泥污水处理站污泥产生量与污水处理站沉淀彻底与否及所加试剂有关，以沉淀完全为条件，产生量通常按23kg/m3污水计算，污泥含水率为60%，则本项目污泥产生量约为82.8t/a。因生化污泥和混凝沉淀污泥混合处理，属于国家危险废物名录（2021版）中HW49其他废物，废物代码772-006-49。经收集后委托有资质的单位安全处置。4.5.5.3废包装袋废包装袋/桶桶主要为原料储存包装袋/桶，根据企业提供资料及原辅材料使用情况179、，收集量约300t/a。根据国家危险废物名录（2021版），属于HW49其他废物，废物代码为900-041-49，委托有资质单位处置。4.5.5.4废活性炭废活性炭本项目废气处理装置设1套活性炭吸附装置。根据xx市生态环境局关于印发xx市挥发性有机物治理低效设施升级改造实施方案（试行）的通知（甬环发202313号）附件2废气收集参数和最少活性炭装填量参考表，具体见下表。表表 4.5-16废气收集参数和最少活性炭装填量参考表废气收集参数和最少活性炭装填量参考表序号风量（Q）范围（Nm3/h）VOCs 初始浓度范围（mg/m3）活性炭最少装填量/吨备注1Q50000-2000.5/2200-300180、2/3300-4003/4400-5004/55000Q100000-2001/7200-3003/8300-4005/9400-5007/1010000Q200000-2001.5/11200-3004/12300-4007/xxxx新增 2 万吨/年集成电路材料生产项目环境影响报告书8513400-50010/注：1.风量超过20000Nm3/h的活性炭最少装填量可参照本表进行估算。2.如以NMHC指标表征，VOCs浓度：NMHC浓度比可参照按2:1进行估算。本项目活性炭吸附装置活性炭装填量、VOCs初始浓度及更换次数核算如下：表表 4.5-17 本项目活性炭填装量及更换次数核算表本项目活181、性炭填装量及更换次数核算表治理废气风量Nm3/hVOCs 初始浓度mg/m3活性炭装填量（t）活性炭有机废气吸附量（kg/t）本项目VOCs 吸附量（t/a）活性炭理论消耗量（t/a）年更换次数(次)活性炭实际更换量（t/a）方案要求本项目核算本项目废气190001371.521501.077.13449.07综上，根据本项目活性炭装填量及更换次数核算，废活性炭产生量为9.07t/a（其中活性炭消耗量为8t/a，VOCs吸附量为1.07t/a）。根据国家危险废物名录（2021年版），属于HW49其他废物，废物代码900-039-49，收集后委托有资质单位进行无害化处置。4.5.5.5废滤芯废滤182、芯项目产品提纯过程中利用滤芯去除杂质，废滤芯产生量为2t/a。根据国家危险废物名录（2021版），属于HW49其他废物，废物代码为900-041-49，委托有资质单位处置。4.5.5.6废油桶废油桶主要为盛装导热油的空桶，产生量约0.1t/a。根据国家危险废物名录（2021年版），废包装桶属于HW08废矿物油与含矿物油废物，废物代码900-249-08，收集暂存后委托有资质单位安全处置。4.5.5.7废导热油废导热油项目电子级添加剂1#生产线采用模温机（导热油加热）对溶解釜进行加热，导热油炉中导热油每年少量添加，一般3年一换，每次更换0.8t。根据国家危险废物名录（2021年版），废包装桶属于183、HW08废矿物油与含矿物油废物，废物代码900-249-08，收集暂存后委托有资质单位安全处置。4.5.5.8生活垃圾生活垃圾本项目劳动定员10人，生活垃圾产生量按每人0.5kg/d计，则产生量约1.5t/a，收集后委托当地环卫部门统一清运。根据上述分析，项目固体废物汇总见下表。xxxx新增 2 万吨/年集成电路材料生产项目环境影响报告书86表表 4.5-18 本项目固体废物产生情况一览表本项目固体废物产生情况一览表序号副产物名称产生工序形态主要成分产生量（t/a）1除湿过滤棉除湿固态过滤棉0.52污水处理污泥废水治理固态有机物82.83废包装袋/桶原料包装固态塑料、有机物3004废活性炭废气184、治理固态活性炭、有机物9.075废滤芯产品过滤固态有机物26废油桶导热油包装固态导热油0.17废导热油设备加热液态导热油0.8t/3 年8生活垃圾员工生活固态塑料、纸张等1.5根据危险废物鉴别标准通则（GB5085.7-2019），判定上述副产物属性情况见下表。表表 4.5-19 固体废物属性判定表固体废物属性判定表序号副产物名称产生工序形态主要成分是否属固体废物1除湿过滤棉除湿固态过滤棉是2污水处理污泥废水治理固态有机物是3废包装袋/桶原料包装固态塑料、有机物是4废活性炭废气治理固态活性炭、有机物是5废滤芯产品过滤固态有机物是6废油桶导热油包装固态导热油是7废导热油设备加热液态导热油是8生活185、垃圾员工生活固态塑料、纸张等是根据国家危险废物名录（2021版）及危险废物鉴别标准通则（GB5085.7-2019），判定是否属于危险废物如下表所示。表表 4.5-20 危险废物属性判定表危险废物属性判定表序号副产物名称产生工序是否属危险废物废物代码1除湿过滤棉除湿是HW49 900-041-492污水处理污泥废水治理是HW49 772-006-493废包装袋/桶原料包装是HW49 900-041-494废活性炭废气治理是HW49 900-039-495废滤芯产品过滤是HW49 900-041-496废油桶导热油包装是HW08 900-249-087废导热油设备加热是HW08 900-249-186、088生活垃圾员工生活否398-005-99本项目所产生的固体废物情况汇总见下表。表表 4.5-21 本项目固体废物分析结果汇总表本项目固体废物分析结果汇总表xxxx新增 2 万吨/年集成电路材料生产项目环境影响报告书87编号固体废物名称危险废物类别危险废物代码产生量(t/a)产生工序及装置形态主要成分有害成分产废周期危废特性污染防治措施1除湿过滤棉HW49900-041-490.5除湿固态过滤棉有机物每月毒性收集暂存后委托有资质的单位处置2污水处理污泥HW49772-006-4982.8废水治理固态有机物有机物每天毒性3废包装袋/桶HW49900-041-49300原料包装固态塑料、有机物有187、机物每月毒性4废活性炭HW49900-039-499.07废气治理固态活性炭、有机物有机物半年毒性5废滤芯HW49900-047-492产品过滤固态树脂、有机物有机物每月毒性6废油桶HW08900-249-080.1导热油包装固态导热油导热油每年毒性、易燃性7废导热油HW08900-249-080.27设备加热液态导热油导热油每三年毒性、易燃性8生活垃圾/1.5员工生活固态塑料、纸张等/委托环卫部门清运4.5.6本项目主要污染物产生与排放情况汇总本项目主要污染物产生与排放情况汇总具体见下表。表表 4.5-22 本项目主要污染物产生与排放情况本项目主要污染物产生与排放情况项目污染物名称产生量削减188、量排放量废气无组织废气非甲烷总烃(t/a)无组织0.00100.001生产废气氟化物(t/a)有组织0.0270.0190.008无组织0.0030.003氨(t/a)有组织0.0180.0130.005无组织0.0020.002非甲烷总烃(t/a)有组织1.9531.6600.293无组织0.2170.217颗粒物(t/a)有组织0.7380.6640.074无组织0.0820.082甲醛(t/a)有组织0.0000450.0000380.000007无组织0.0000050.000005氮氧化物(t/a)有组织0.1530.0460.107无组织0.0170.017硫酸雾(t/a)有组织0189、.3780.2650.113无组织0.0420.042交换柱清理废气氯化氢(t/a)有组织0.1240.0860.037无组织0.0070.007废水生产废水废水量（t/a）33121.182033121.182CODcr（t/a）3.6722.6780.994氨氮（t/a）0.1920.1220.070总镍（kg/a）0.3840.3780.006总铜（kg/a）7.4887.4240.064xxxx新增 2 万吨/年集成电路材料生产项目环境影响报告书88总银（kg/a）0.02530.01230.013总铅（kg/a）0.000400.0004纯水制备废水废水量（t/a）23306.548190、023306.548CODcr（t/a）1.8651.1660.699氨氮（t/a）/00.050生活污水废水量（t/a）1200120CODcr（t/a）0.0480.04440.0036氨氮（t/a）0.00480.00450.0003固体废物除湿过滤棉（t/a）0.50.5污水处理污泥（t/a）82.882.80废包装袋/桶（t/a）3003000废活性炭（t/a）9.079.070废滤芯（t/a）220废油桶（t/a）0.10.10废导热油（t/a）0.8t/3 年0.8t/3 年0生活垃圾（t/a）1.51.504.5.7全厂主要污染物产生与排放情况汇总全厂主要污染物产生与排放情况汇191、总具体见下表。表表 4.5-23 全厂主要污染物产生与排放情况全厂主要污染物产生与排放情况项目污染物名称排放量（t/a）增减量（t/a）总量控制指标（t/a）现有工程本项目以新带老削减量总体工程废气树脂清理废气盐酸雾（氯化氢）0.00080.044/0.0448+0.0440.0448无组织废气非甲烷总烃0.00130.001/0.0023+0.0010.0023生产废气乙醇0.1337/0.1337/0.1337氟化物/0.011/0.011+0.0110.011氮氧化物0.0150.124/0.139+0.1240.139颗粒物0.0700.156/0.226+0.1560.226非甲烷总192、烃1.26210.51/1.7721+0.511.7721甲醛/0.00001/0.00001+0.000010.00001硫酸雾/0.155/0.155+0.1550.155异丙醇0.0007/0.0007/0.0007氨0.02210.007/0.0291+0.0070.0291中试废气非甲烷总烃少量/少量/少量氟化物少量/少量/少量储罐废气非甲烷总烃少量/少量/少量研发废气盐酸雾少量/少量/少量硫酸雾少量/少量/少量非甲烷总烃少量/少量/少量废水生产废水废水量15722.36633121.182/48843.548+33121.18248843.548CODcr0.4720.994/1.193、466+0.9941.466xxxx新增 2 万吨/年集成电路材料生产项目环境影响报告书89氨氮0.03620.070/0.1062+0.0700.1062总镍（kg/a）/0.006/0.006+0.0060.006总铜（kg/a）0.030.064/0.094+0.0640.094总银（kg/a）/0.013/0.013+0.0130.013总铅（kg/a）/0.0004/0.0004+0.00040.0004纯水制备废水废水量26518.55623306.548/49825.104+23306.54849825.104CODcr0.7960.699/1.495+0.6991.495氨氮0194、.0560.050/0.106+0.0500.106生活污水废水量3831.25120/3951.25+1203951.25CODcr0.11520.0036/0.1188+0.00360.1188氨氮0.01160.0003/0.0119+0.00030.0119固体废物纯水制备废活性炭6.4/6.4/6.4除湿过滤棉/0.5/0.5+0.50.5污水处理污泥80.40382.8/163.203+82.8163.203废包装袋/桶111300/411+300411废树脂8.1/8.1/8.1废活性炭9.1189.07/18.188+9.0718.188废滤芯7.42/9.429.4废油桶/0195、.10.1+0.10.1中试废液12/12/12废电渗析膜0.5/0.5/0.5废导热油0.7t/3 年0.8t/3 年/1.5t/3 年+0.8t/3 年1.5t/3 年固态不合格品5.3/5.3/5.3PSD 不合格废液0.3/0.3/0.3生活垃圾45.251.5/46.75+1.546.754.6总量控制分析总量控制分析4.6.1总量控制原则和要求总量控制原则和要求区域污染物排放总量控制是对区域环境污染控制的一种有效手段，其目的在于使区域环境质量满足于社会和经济发展对环境功能的要求。为落实减排目标责任制，强化污染物减排和治理，将主要污染物总量控制种类要污染物扩大至四项，即化学需氧量、氨196、氮、二氧化硫、氮氧化物。根据关于印发2016年xx省大气污染防治实施计划的通知（浙环函2016145号），将二氧化硫、氮氧化物、烟粉尘和挥发性有机物排放是否符合总量控制要求，作为建设项目环境影响评价审批的前置条件。另外，根据xx省挥发性有机物污染整治方案的通知（浙环发201354号），xx省对VOCs也提出总量控制要求。根据工程分析，项目纳入总量控制的污染物为化学需氧量、氨氮、氮氧化物、颗粒物、挥发性有机物。xxxx新增 2 万吨/年集成电路材料生产项目环境影响报告书904.6.2本项目总量控制建议值本项目总量控制建议值根据工程分析，本项目总量控制指标值汇总如下。表表 4.6-1 本项目总量控197、制指标值汇总表本项目总量控制指标值汇总表4.6.3扩建后全厂总量控制建议值扩建后全厂总量控制建议值表表 4.6-2扩建后全厂总量控制建议值汇总表扩建后全厂总量控制建议值汇总表序号污染物类型主要污染物原环评批复量（t/a）本工程（t/a）以新带老削减量（t/a）总体工程（t/a）增减量（t/a）总量控制建议值（t/a）1废气VOCs1.3970.5101.907+0.511.9072氮氧化物0.0150.12400.139+0.1240.1393颗粒物0.070.15600.226+0.1560.2264生产废水废水量42240.92256427.73098668.652+56427.73986198、68.6525COD1.2681.69302.961+1.6932.9616氨氮0.0920.1200.212+0.120.2127总镍（kg/a）/0.0060.006+0.0060.0068总铜（kg/a）0.030.06400.094+0.0640.0949总银（kg/a）/0.01300.013+0.0130.01310总铅（kg/a）/0.000400.0004+0.00040.00044.6.4总量平衡方案总量平衡方案1、总量控制指标以及削减替代要求污染物总量控制是执行环境管理的目标和基本原则之一，是我国重点推行的环境管理政策。根据xx省建设项目主要污染物总量准入审核办法（试行）类199、别污染物产生量（t/a）削减量（t/a）排放量（t/a）废气VOCs2.171.660.51氮氧化物0.170.0460.124颗粒物0.820.6640.156生产废水废水量56427.73056427.73CODCr5.5373.8441.693氨氮0.1920.1220.12总镍（kg/a）0.3840.3780.006总铜（kg/a）7.4887.4240.064总银（kg/a）0.02530.01230.013总铅（kg/a）0.000400.0004xxxx新增 2 万吨/年集成电路材料生产项目环境影响报告书91中的相关规定：新建、改建、扩建项目应充分考虑当地环境质量和区域主要污染200、物总量减排要求，按照最严格的环境保护要求建设污染治理设施，立足于通过“以新带老”做到“增产减污”，以实现企业自身总量平衡。确需新增主要污染物排放量的，新增部分应按规定的比例要求对该（多）项主要污染物进行外部削减替代，以实现区域总量平衡。根据xx市环保局关于进一步规范建设项目主要污染物总量管理相关事项的通知（甬环发201448号）及关于印发xx省“十四五”挥发性有机物综合治理方案的通知（浙环发202110号）等相关文件要求，纳入xx市总量控制计划的主要为化学需氧量（CODCr）、氨氮（NH3-N）、二氧化硫（SO2）、氮氧化物（NOX）、工业烟粉尘、挥发性有机物（VOCs）及重金属等。根据关于印201、发xx省“十四五”挥发性有机物综合治理方案的通知（浙环发202110号）要求，上一年度环境空气质量达标的区域，对石化等行业的建设项目VOCs排放量实行等量削减。根据xx市生态环境质量报告书（2021年），2021年度本项目所在区域属于环境空气质量达标区域，故本项目VOCs排放量实行等量削减。根据关于加强重点行业建设项目区域削减措施监督管理的通知（环办环评202036号），“所在区域、流域控制单元环境质量达到国家或者地方环境质量标准的，原则上建设项目主要污染物实行区域等量削减，确保项目投产后区域环境质量不恶化。”根据xx区生态环境质量报告书（2021 年），2021年度本项目所在区域属于环境空气202、质量达标区域，故本项目产生的COD、氨氮、二氧化硫及氮氧化物排放量实行区域内排放量等量削减替代。2、排污权交易要求根据xx市生态环境局关于做好排污权有偿使用和交易工作纳入省排污权交易平台有关事项的通知（甬环发函202242号）：全市建设项目需新增污染物排放的，新增排污权必须通过省交易平台开展排污权公开交易获得，交易方式主要包括定价出让、竞价出让、挂牌转让和协议转让，现阶段纳入交易的为化学需氧量、氨氮、二氧化硫、氮氧化物四项污染物指标。政府储备排污权出让原则上采用竞价的方式开展市场化交易。xxxx新增 2 万吨/年集成电路材料生产项目环境影响报告书923、项目总量控制计削减替代要求根据工程分析，203、本项目xx后主要污染物排放总量控制建议值如下表。表表 4.6-3 本项目主要污染物需削减替代情况本项目主要污染物需削减替代情况序号指标排放总量（t/a）削减比例削减代替量（t/a）1VOCs0.511:10.512氮氧化物0.1241:10.1243颗粒物0.1561:10.1564COD1.6931:11.6935氨氮0.121:10.126总镍（kg/a）0.006/0.0067总铜（kg/a）0.064/0.0648总银（kg/a）0.013/0.0139总铅（kg/a）0.0004/0.0004根据xx市生态环境局关于做好排污权有偿使用和交易工作纳入省排污权交易平台有关事项的通知（甬环204、发函202242号）的要求，企业须在建设项目投产前按要求完成化学需氧量、氨氮、氮氧化物等污染物排放总量的排污权交易。未完成排污权交易手续前，建设项目不得投产使用。本项目新增颗粒物、VOCs、总镍、总铜、总银、总铅在区域内调剂削减替代，VOCs总量由企业从全市区域削减后市政府储备量中获得。xxxx新增 2 万吨/年集成电路材料生产项目环境影响报告书935 5环境现状环境现状调查与调查与评价评价5.1自然环境自然环境概况概况5.1.1地理位置地理位置本项目位于xx区柴桥街道青山路79号，周边环境现状：项目东侧为xx南大光电材料有限公司；南侧隔云台山路为中芯xx十一科技项目部；西侧为妙峰山路，隔河为205、xx润倍万灵润滑油有限公司；北侧隔青山路为弘硕科技（xx）有限公司。5.1.2地形、地貌和地质地形、地貌和地质xx地区地形呈狭长不规则三角形，西北为滨海水网平原，东南为低山丘陵区，即大矸、柴桥、郭巨一带，面积4.4万hm2，山脉走向以最高峰为657m的太白山为起始点，向东南延伸到峙头山，境内丘陵起伏，山间台地和山下平原狭小，构成穿山半岛楔入xx，太白山向西北由育王岭与水网平原低山交界，山地面积为25.5万hm2，其中海拨200m以上的为0.55万hm2，滨海及河网平原高程均在吴淞标高6.3m以下。区内地势平坦，河流池塘交错密布，地势向海岸方向略有倾斜，坡度小于0.1%，地面标高为1.93.8m206、，略低于高潮海水水面。xx区大地构造隶属我国东部华厦一级隆起浙东沿海断裂带，上侏罗系落石山组为本地域的基底，第四纪地层直接覆于其上，地层厚度50-110m，区内出露基岩为一整套火山岩系。大部分土壤以浅海相沉积形成，平原区松散层主要为海相一冲海相沉积。其地震活动特点是震级小、强度弱、频率低。根据地震部门对本区域基本裂度的鉴定值为度。本项目所在地区开发程度较高、基础设施较完善的工业区内，周边地势平坦。5.1.3气象、气候特征气象、气候特征xx区气候属亚热带季风气候，四季分明，气候温和湿润，雨量充沛。冬季少雨干冷，春末夏初为梅雨季节，78月受太平洋副热带高压控制，天气晴热少雨。由于地处沿海，受海陆风207、影响比较明显，夏秋季节受太平洋台风影响，伴有大风和暴雨。区域全年主导风向为西北风，其中夏季盛行东南风，冬季盛行西北风。主要xxxx新增 2 万吨/年集成电路材料生产项目环境影响报告书94灾害性天气：台风、暴雨、久雨、干旱、寒潮、霜冻等。5.1.4水文特征水文特征xx区内河属封闭型河流，河床浅、河面窄，水量较小，稀释自净能力较差。全区河网纵横交错，区内水系主要有甬江、小浃江、岩泰河水系和芦江水系，除甬江、小浃江由外区流入外，其余多发源于当地山区，为独立入海的短小河流，这些河网不仅密度小，而且河流的水深随季节及灌溉用水量的变化而变化。区域内的地下水含水层主要有两个承压含水层，分别埋藏深度为70m和208、90m左右。其含水层厚度为710m左右，受全新世海侵影响，水压含水层大部分地区被咸化，仅在平原的中部保持淡水体。上层水层面积约40km2，下层水层分布面积约160km2，且上层水质比下层水质咸，水质类型属Cl-Na型。xx市xx区附近的海域是金塘水道，由于其受水道两侧地形制约，水面宽度变化很大，域内水深变化剧烈，复杂的平面边界和起伏的水下地形，决定了该地区水流的基本特征。受潮汐作用，水流在峡道内具有某种往复流性质，涨、落潮最大流速的流线与各段岸线走向基本一致。本海域属于不正规半日潮，据xx海洋站的监测资料，平均涨潮历时5小时59分，平均落潮历时为6小时23分。历年最高潮位5.0m历年最低潮位-209、0.31m平均潮位2.17m平均高潮位3.03m平均低潮位1.12m历史最大潮差3.36m历史最小潮差0.30m平均潮差1.36m50年一遇防洪水位4.21m100年一遇防洪水位4.30m5.2周边污染源调查周边污染源调查本项目位于xx区柴桥街道青山路79号，经调查，本项目周边无在建污染源。5.3环境空气质量现状调查与评价环境空气质量现状调查与评价5.3.1常规污染物现状监测常规污染物现状监测为了解项目所在区域的环境空气质量现状，本环评引用xx区环境质量报xxxx新增 2 万吨/年集成电路材料生产项目环境影响报告书95告书（2021年）中有关内容，2021年度xx区环境空气质量监测结果汇总见下210、表。表表 5.3-1 常规污染物监测结果一览表常规污染物监测结果一览表污染物年评价指标现状浓度（g/m3）标准值（g/m3）占标率（%）达标情况PM2.5年均值223562.86达标PM10447062.86达标SO276011.67达标NO2324080达标CO特定百分位日均值1100400027.5达标O313216082.5达标注：臭氧日均值为日最大 8 小时平均值由上表分析，xx区内六项基本污染物均能满足环境空气质量标准（GB3095-2012）二级标准，为城市环境空气质量达标区。5.3.2特征污染物监测特征污染物监测项目废气特征污染物主要为TSP、氟化物、氮氧化物、甲醛、硫酸雾、非甲211、烷总烃、臭气浓度和氯化氢。为了解本项目所在地块的环境空气质量现状情况，企业委托绍兴市三合检测技术有限公司于2023年4月4日至2023年4月10日进行监测，对项目地块、钟灵村和霞南村的环境空气质量现状进行了监测。监测结果如表5.3-2。1、监测布点共3个环境空气现状监测点，具体点位见图5.3-1。图图 5.3-1监测点位布置图监测点位布置图2、监测项目xxxx新增 2 万吨/年集成电路材料生产项目环境影响报告书96监测因子：氟化物、甲醛和硫酸雾。监测时同步观察风向、风速、气温、气压等气象要素。3、监测时间与频率采样日期为2023年4月4日至2023年4月10日共监测7天。小时值：氟化物、甲醛和212、硫酸雾，每天4次，具体时段为02:00、08:00、14:00、20:00，每小时至少有45分钟的采样时间。表表 5.3-2特征污染物监测结果统计表特征污染物监测结果统计表从现状监测及评价结果可见，各监测点的甲醛、硫酸和氟化物均满足相关标准。本项目TSP、氮氧化物、非甲烷总烃、臭气浓度和氯化氢引用企业原项目宁波xx集成电路基础材料纯化研发及生产项目和xxxx化学机械抛光液建设项目，于2021年6月18日至2021年6月24日和2022年8月17日至2022年8月24日对项目地块及附近敏感点开展的环境空气现状监测数据，具体点位见图5.3-2和5.3-3，监测数据见表5.3-3和5.3-4。xxx213、x新增 2 万吨/年集成电路材料生产项目环境影响报告书97图图 5.3-2xxxx集成电路基础材料纯化研发及生产项目xxxx集成电路基础材料纯化研发及生产项目监测点位布置图监测点位布置图xxxx新增 2 万吨/年集成电路材料生产项目环境影响报告书98图图 5.3-3xxxx化学机械抛光液建设项目xxxx化学机械抛光液建设项目监测点位布置图监测点位布置图表表 5.3-3xxxx集成电路基础材料纯化研发及生产项目xxxx集成电路基础材料纯化研发及生产项目特征污染物监测结果特征污染物监测结果统计表统计表表表 5.3-4xxxx化学机械抛光液建设项目xxxx化学机械抛光液建设项目特征污染物监测结果统计214、表特征污染物监测结果统计表xxxx新增 2 万吨/年集成电路材料生产项目环境影响报告书99从现状监测及评价结果可见，各监测点的氨、氯化氢、TSP、氮氧化物和非甲烷总烃均满足相关标准。5.4水环境质量现状调查与评价水环境质量现状调查与评价1、地表水项目附近地表水属庙河江水系，该水域的监测点为霞浦工业园桥断面，根据xx区环境质量报告书（2021年）有关内容，该监测断面的监测结果见下表。表表 5.4-12021 年庙河江年庙河江（霞浦工业园桥霞浦工业园桥）水质监测结果水质监测结果（单位单位：除除 pH 外外，mg/L）监测断面pH 值DOCODBOD5氨氮石油类总磷霞浦工业园桥最小值7.115.07215、91.40.120.0050.07最大值8.048.96182.60.700.020.2平均值7.67.15142.00.310.010.12是否达标达标达标达标达标达标达标达标由上表可知，庙河江的霞浦工业园桥监测断面所有监测因子均可满足地表水环境质量标准（GB3838-2002）中III类标准。2、镇海-xx-xx海域本项目所在区域污水最终排入镇海-xx-xx海域，根据xx区环境质量报告书（2021年）有关内容，镇海-xx-xx海域（ZJ0257监测点位）2021年水质监测结果见下表。表表 5.4-22021 年镇海年镇海-xxxx-xx海域（xx海域（ZJ0257 监测点位）水质监测结果监216、测点位）水质监测结果站位监测项目pHCOD（mg石油Hg（g/Cu（g/Pb（g/Cd（g/无机活性xxxx新增 2 万吨/年集成电路材料生产项目环境影响报告书100时间/L）类（mg/L）L）LL）L）氮（mg/L）磷酸盐（mg/L）ZJ0257 大榭码头5 月均值8.061.17160.022.740.1680.0390.5460.014PI11111111.0919 月均值7.971.12150.0251.840.2360.0591.10.038PI11111112.201由上表分析，pH、COD、石油类、汞、铜、铅、镉和活性磷酸盐达到第三类海水水质标准，无机氮有所超标，海域水质总体为劣217、四类，与所在区域陆域污染入海有关。5.5地下水环境质量现状监测与评价地下水环境质量现状监测与评价本项目不需开展地下水环境质量现状监测。5.6声环境现状质量调查与评价声环境现状质量调查与评价为了解项目厂区声环境现状，在环评期间，企业委托绍兴市三合检测技术有限公司对本项目周边声环境进行了监测。1、监测布点在项目厂界东、南、西、北各设一个监测点。监测点位见图4.2-1。2、监测时间及频次噪声监测时间于2023年4月5日进行，昼、夜间各一次。3、监测与评价结果本项目噪声监测结果见表5.6-1。表表 5.6-1项目周边声环境监测结果表项目周边声环境监测结果表测点监测时间噪声值（dB）标准值（dB）达标情218、况与标准值之差（dB）项目东侧16：00-16：015360达标722：01-22：024550达标5项目南侧16：13-16：145670达标1422：20-22：215155达标4项目西侧16：25-16：265665达标922：45-22：464855达标7项目北侧16：40-16：415460达标6xxxx新增 2 万吨/年集成电路材料生产项目环境影响报告书10122：59-23：004650达标4从上表可知，项目东侧和北侧声环境均能达到声环境质量标准2类标准，西侧达到3类标准，南侧达到4a类标准。5.7土壤环境质量监测与评价土壤环境质量监测与评价根据导则，本项目不需开展土壤环境现状监219、测。5.8生态环境现状调查与评价生态环境现状调查与评价经调查，该区域内生态环境现状总结如下：（1）项目调查区域没有自然保护区、生态脆弱区等特殊环境敏感目标；（2）项目调查区域未发现大型的或受国家和xx省保护的野生动物种类；（3）项目调查区域内主要为经济作物，无国家重点保护野生植物和名木古树；项目运营期对周边生态环境影响较小，不会对自然生态系统整体性、连续性和周围景观造成破坏。项目xx后，通过厂区绿化等措施，可以减少项目造成的生态影响。总的来说，本项目的建设对生态环境影响是可以接受的。xxxx新增 2 万吨/年集成电路材料生产项目环境影响报告书1026 6环境影响环境影响预测预测与评价与评价6.220、1施工期环境影响分析与评价施工期环境影响分析与评价本项目利用xx后的厂房实施生产，施工期不涉及土建，影响主要为设备安装噪声影响。由于该噪声影响为暂时性，且噪声源强较小，其对周边声环境影响较小。此外，施工过程中将产生一定量的装修废弃物。建设单位应按照xx市建筑垃圾管理办法（xx市人民政府令 186 号）的规定委托具有资质的建筑垃圾经营服务企业清运至城管部门指定的地点处理。施工期生活垃圾须合理堆放，委托环卫部门清运，日产日清，经处理后对环境产生的影响较小；施工期产生的生活污水依托厂内现有生活污水处理系统预处理后纳管，对周边环境影响较小。6.2营运期环境影响预测与评价营运期环境影响预测与评价6.2.221、1大气环境影响预测与评价大气环境影响预测与评价根据环境影响评价技术导则大气环境（HJ2.2-2018）有关规定，大气预测因子应选主要污染物进行预测。根据工程分析结果及物质毒性情况，本环评选取生产废气中的颗粒物、非甲烷总烃、氮氧化物、氨、甲醛、氯化氢、硫酸雾、氟化物作为评价因子，预测分析评价其对周边大气环境的影响。6.2.1.1预测模式预测模式采用HJ2.2-2018环境影响评价技术导则-大气环境推荐模式（AERCREEN）估算模式计算，确定本项目大气评价等级为二级，不进行进一步预测和评价，只对污染物排放量进行核算。故本环评仅进行估算模式的计算。6.2.1.2预测内容预测内容有组织排放预测：集成222、电路材料生产废气排气筒（DA004）。分别预测其正常工况下有组织排放的最大地面浓度和占标率，以及最大地面浓度出现位置。无组织排放源：一期车间作为预测源，分别预测其正常工况下无组织排放的最大地面浓度和占标率，以及最大地面浓度出现位置。6.2.1.3预测因子和源强预测因子和源强1）本项目排放源（1）正常排放源本项目点源为1个集成电路材料生产废气排气筒，具体参数见下表。xxxx新增 2 万吨/年集成电路材料生产项目环境影响报告书103表表 6.2-1本项目点源参数表本项目点源参数表编号污染源名称排气筒底部中心坐标/m排气筒底部中心坐标/m排气筒出口内径(m)废气流速(m3/h)废气温度()年排放小时223、数(h)排放工况污染物排放速率(kg/h)经度经度DA004集成电路材料生产废气排气筒121.89312029.878390150.81900025750正常排放氟化物0.007氨0.006非甲烷总烃0.409颗粒物0.086甲醛0.00001氮氧化物0.143硫酸雾0.101氯化氢0.041表表 6.2-2本项目本项目面源参数表面源参数表编号名称面源起点坐标/m面源海拔高度/m面源长度/m面源宽度/m与正北向夹角/面源有效排放高度/m年排放小时数/h排放工况污染物排放速率（kg/h）经度纬度MF0001一期车间121.89408729.87784529070012750正常排放氟化物0.00224、4氨0.003非甲烷总烃0.303颗粒物0.096甲醛0.00001氮氧化物0.023硫酸雾0.056氯化氢0.011（2）非正常排放源本项目非正常情况下废气排放影响较大的是集成电路材料生产废气治理设施出现故障，集成电路材料生产废气治理设施发生故障后，废气去除效率为零，非正常工况下污染物排放见下表。表表 6.2-3 本项目非正常排放源参数本项目非正常排放源参数污染源非正常排放原因污染物非正常排放速率单次持续时间/h年发生频次/次生产过程废气治理设施故障氟化物0.03611氨0.024非甲烷总烃2.604颗粒物0.984甲醛0.00006氮氧化物0.204硫酸雾0.504氯化氢0.2066.2.225、1.4估算模式预测结果估算模式预测结果xxxx新增 2 万吨/年集成电路材料生产项目环境影响报告书1041、正常工况预测与评价结果根据导则推荐的AERCREEN估算模式计算，结果见下表。表表 6.2-4 集成电路材料生产废气排气筒（集成电路材料生产废气排气筒（DA004）有组织排放估算模型计算结果表）有组织排放估算模型计算结果表下风向距离（m）颗粒物非甲烷总烃氮氧化物氨甲醛氯化氢硫酸雾氟化物预测质量浓度mg/m3占标率%预测质量浓度mg/m3占标率%预测质量浓度mg/m3占标率%预测质量浓度mg/m3占标率%预测质量浓度mg/m3占标率%预测质量浓度mg/m3占标率%预测质量浓度mg/m3占标226、率%预测质量浓度mg/m3占标率%105.66E-040.072.25E-030.118.21E-040.333.45E-050.025.18E-080.003.57E-040.718.67E-040.286.51E-050.33255.16E-030.572.05E-021.027.49E-033.003.15E-040.164.72E-070.003.25E-036.507.91E-032.635.94E-042.97437.41E-030.822.93E-021.471.07E-024.304.51E-040.236.77E-070.004.66E-039.331.13E-023.788227、.52E-044.26506.92E-030.762.74E-021.371.00E-024.014.21E-040.216.32E-070.004.36E-038.711.06E-023.537.95E-043.98754.91E-030.551.95E-020.987.12E-032.852.99E-040.154.49E-070.003.10E-036.187.52E-032.515.64E-042.831005.61E-030.632.23E-021.118.13E-033.253.42E-040.175.12E-070.003.52E-037.068.58E-032.866.44E-228、043.222004.31E-030.481.71E-020.856.24E-032.502.62E-040.133.93E-070.002.71E-035.416.59E-032.204.95E-042.473002.84E-030.321.13E-020.564.12E-031.651.73E-040.092.60E-070.001.78E-033.574.35E-031.453.27E-041.634002.04E-030.238.11E-030.402.96E-031.191.25E-040.061.87E-070.001.29E-032.573.12E-031.052.34E-041229、.186001.22E-030.144.86E-030.241.78E-030.717.46E-050.041.12E-070.007.71E-041.541.87E-030.631.41E-040.719008.23E-040.093.26E-030.161.19E-030.485.01E-050.037.52E-080.005.19E-041.041.26E-030.429.46E-050.4712005.40E-040.062.14E-030.117.83E-040.313.29E-050.024.93E-080.003.40E-040.688.27E-040.276.21E-050.3230、116006.47E-040.072.57E-030.129.40E-040.383.95E-050.025.92E-080.004.08E-040.829.91E-040.337.45E-050.3820004.71E-040.061.86E-030.106.83E-040.272.87E-050.014.31E-080.002.96E-040.597.21E-040.245.41E-050.2725003.83E-040.051.52E-030.085.56E-040.222.34E-050.013.50E-080.002.42E-040.485.86E-040.194.40E-050.2231、2下风向最大质量浓度及占标率（%）7.41E-030.822.93E-021.471.07E-024.304.51E-040.236.77E-070.004.66E-039.331.13E-023.788.52E-044.26D10%最远距离（m）/xxxx新增 2 万吨/年集成电路材料生产项目环境影响报告书105表表 6.2-5 项目一期车间废气无组织排放估算模型计算结果表项目一期车间废气无组织排放估算模型计算结果表下风向距离（m）颗粒物非甲烷总烃氮氧化物氨甲醛氯化氢硫酸雾氟化物预测质量浓度mg/m3占标率%预测质量浓度mg/m3占标率%预测质量浓度mg/m3占标率%预测质量浓度mg/m3占232、标率%预测质量浓度mg/m3占标率%预测质量浓度mg/m3占标率%预测质量浓度 mg/m3占标率%预测质量浓度mg/m3占标率%102.48E-022.756.56E-023.285.22E-032.096.81E-040.341.59E-060.002.50E-035.001.27E-024.249.09E-044.54253.13E-023.478.30E-024.156.61E-032.648.62E-040.432.01E-060.003.16E-036.321.61E-025.361.15E-035.75504.01E-024.451.06E-015.318.45E-033.381.233、10E-030.552.57E-060.014.04E-038.092.06E-026.861.47E-037.35534.03E-024.471.07E-015.338.49E-033.401.11E-030.552.58E-060.014.06E-038.122.07E-026.891.48E-037.39753.50E-023.899.29E-024.647.39E-032.969.64E-040.482.25E-060.003.53E-037.071.80E-026.001.29E-036.431002.69E-023.007.14E-023.575.68E-032.277.41E-0234、40.371.73E-060.002.72E-035.441.38E-024.619.88E-044.942001.18E-021.323.14E-021.562.50E-031.003.26E-040.167.60E-070.001.19E-032.396.08E-032.034.34E-042.173006.99E-030.771.85E-020.931.48E-030.591.92E-040.104.49E-070.007.06E-041.413.59E-031.202.57E-041.284004.77E-030.531.27E-020.631.01E-030.401.31E-040.235、073.07E-070.004.82E-040.962.45E-030.821.75E-040.886002.77E-030.317.34E-030.375.85E-040.237.63E-050.041.78E-070.002.80E-040.561.42E-030.471.02E-040.519001.60E-030.184.25E-030.213.38E-040.144.41E-050.021.03E-070.001.62E-040.328.23E-040.275.88E-050.2912001.08E-030.122.87E-030.142.29E-040.092.98E-050.01236、6.96E-080.001.09E-040.225.57E-040.193.98E-050.2016007.36E-040.081.95E-030.101.55E-040.062.02E-050.014.72E-080.007.42E-050.153.78E-040.132.70E-050.1320005.43E-040.061.44E-030.081.15E-040.051.49E-050.013.49E-080.005.48E-050.112.79E-040.091.99E-050.1025004.01E-040.051.07E-030.068.46E-050.031.10E-050.01237、2.58E-080.004.05E-050.082.06E-040.071.47E-050.07下风向最大质量浓度及占标率（%）4.03E-024.471.07E-015.338.49E-033.401.11E-030.552.58E-060.014.06E-038.122.07E-026.891.48E-037.39D10%最远距离（m）/xxxx新增 2 万吨/年集成电路材料生产项目环境影响报告书106由上表分析，本项目颗粒物、非甲烷总烃、氮氧化物、氨、甲醛、氯化氢、硫酸雾、氟化物Pmax为9.33%，1%Pmax10%，评价等级为二级，大气环境评价范围为边长为5km的矩形区域。其中，集成238、电路生产废气排气筒（DA004）有组织排放的颗粒物、非甲烷总烃、氮氧化物、氨、甲醛、氯化氢、硫酸雾、氟化物下风向最大质量浓度分别为7.41E-03mg/m3、2.93E-02mg/m3、1.07E-02mg/m3、4.51E-04mg/m3、6.77E-07mg/m3、4.66E-03mg/m3、1.13E-03mg/m3、8.52E-04mg/m3，占标率分别为0.82%、1.47%、4.3%、0.23%、0.00%、9.33%、3.78%、4.26%，远低于标准限值（颗粒物0.9mg/m3、非甲烷总烃2.0mg/m3、氮氧化物0.25mg/m3、氨0.2mg/m3、甲醛0.05mg/m3、239、氯化氢0.05mg/m3、硫酸雾0.3mg/m3、氟化物0.02mg/m3）。一期车间无组织排放的颗粒物、非甲烷总烃、氮氧化物、氨、甲醛、氯化氢、硫酸雾、氟化物下风向最大质量浓度分别为4.03E-02mg/m3、1.07E-01mg/m3、8.49E-03mg/m3、1.11E-03mg/m3、2.58E-06mg/m3、4.06E-03mg/m3、2.07E-02mg/m3、1.48E-03mg/m3，占标率分别为4.47%、5.33%、3.40%、0.55%、0.01%、8.12%、6.89%、7.39%，远低于标准限值（颗粒物0.9mg/m3、非甲烷总烃2.0mg/m3、氮氧化物0.25240、mg/m3、氨0.2mg/m3、甲醛0.05mg/m3、氯化氢0.05mg/m3、硫酸雾0.3mg/m3、氟化物0.02mg/m3）。可见，项目废气排放对周边环境空气影响较小。6.2.1.5非正常工况预测与评价结果非正常工况预测与评价结果根据HJ2.2-2018推荐模式清单中的估算模式分别计算非正常情况下颗粒物、非甲烷总烃、氨等污染物的下风向轴线浓度，并计算相应浓度占标率，计算统计结果具体见下表。表表 6.2-6非正常排放预测计算结果统计非正常排放预测计算结果统计污染源污染物名称环境空气质量标准（mg/m3）最大 1h 地面空气质量浓度（mg/m3）下风向距离(m)Pi（%)一期车间氟化物0.241、022.71E-0312513.54氨0.21.81E-0300.9非甲烷总烃22.05E-014310.23颗粒物0.96.50E-0207.22甲醛0.054.51E-0600.01氮氧化物0.251.53E-0206.14硫酸雾0.33.79E-025012.64氯化氢0.051.55E-0232530.99集成电路材料生产废氟化物0.021.48E-0235073.85xxxx新增 2 万吨/年集成电路材料生产项目环境影响报告书107气排气筒（DA004）（吸附率为零）氨0.29.97E-0304.99非甲烷总烃21.12E+00127555.89颗粒物0.93.55E-0120039242、.39甲醛0.052.58E-0500.05氮氧化物0.258.38E-0217533.53硫酸雾0.32.07E-0132568.93氯化氢0.058.01E-02625160.26由以上估算模式计算结果可知，在事故排放情况下，项目事故排放的颗粒物、非甲烷总烃、氮氧化物、氨、甲醛、氯化氢、硫酸雾、氟化物对区域环境会造成影响，造成环境质量恶化。因此，建设单位必须高度重视废气的收集和处理，高标准、严要求地配套有机废气处理设施，并通过配套备用风机，确保治理设施长期稳定运行，切实防止废气非正常事故排放发生。恶臭污染物指一切刺激嗅觉器官引起人们不愉快及损害生活环境的气体物质。一般项目环境影响评价对于异243、味物质的评价均采用臭气浓度来表征。在异味影响分析中采用嗅阈值就很有必要，嗅阈值是指人的嗅觉器官对某种物质的最低检出量或能感觉到的最低浓度。本项目生产过程中除各类生产废气外，项目涉及的氨、二甲基亚砜有明显的异味，可视为臭气。恶臭为人们对恶臭物质所感知的一种污染指标，其主要物质种类达上万种之多。由于其各种物质之间的相互作用（相加、协同、抵消及掩饰作用等），加之人类的嗅觉功能和恶臭物质取样分析等因素，迄今还难以对大多数恶臭物质作出浓度标准。根据xx省工业企业恶臭异味管控技术指南（试行）中的评估标准。具体见下表。表表 3.8-10恶臭恶臭 6 级分级法级分级法恶臭强度等级特征0 级无臭1 级气味似有似244、无2 级微弱的气味，但是能确定什么样的气味3 级能够明显的感觉到气味4 级感觉到比较强烈气味5 级非常强烈难以忍受的气味根据对类似项目生产车间及企业现状调查，本项目厂房内的恶臭等级一般在 1级及以下，基本无气味。项目产生的树脂废气收集效率达 90%以上。废气利用 1套干式过滤+活性炭吸附装置处理。xxxx新增 2 万吨/年集成电路材料生产项目环境影响报告书108企业氟化铵等水溶液均密闭保存，企业混合搅拌等生产过程中设备均密闭，基本无废气泄漏，故氨气等主要在原料投料过程中产生，氟化铵、二甲基亚砜等投料采用隔膜泵进行投料，设有密闭的投料区，投料区上方设有层流罩和废气集气罩做到臭气的有效收集。水喷淋245、及活性炭装置也能对臭气进行有效处理，综上，本项目产生的臭气对周边环境的影响较小。氨的嗅阈值为1.5mg/m3，本次环评恶臭环境影响分析选取氨作为预测因子，根据贡献值地面浓度预测结果可知：氨的最大落地浓度为1.11E-03mg/m3。根据预测以上分析，本项目氨在各敏感点的最大落地浓度均小于其嗅觉阈值。因此，氨恶臭对周边敏感点影响不大。6.2.1.6大气防护距离计算大气防护距离计算1）大气环境防护距离根据环境影响评价技术导则-大气环境（HJ2.2-2018）8.7.5.1款：对于项目厂界浓度满足大气污染物厂界浓度限值，但厂界外大气污染物短期贡献浓度超过环境质量浓度限值的，可以自厂界向外设置一定范围246、的大气环境防护区域，以确保大气环境防护区域外的污染物浓度满足环境质量标准。根据估算模式计算结果，本项目排放污染物的最大1h地面空气质量浓度占标率均100%，不属于上述需要设置大气环境防护距离的情况，故本项目无需设置大气环境防护距离。6.2.2水环境影响预测与评价水环境影响预测与评价6.2.2.1本项目废水产生及排放情况本项目废水产生及排放情况根据工程分析，本项目纯水制备废水主要用于厂区绿化、车间地面冲洗、废气处理及循环冷却系统，剩余废水排入市政污水管网；生产废水经厂区污水处理站处理达到电子工业水污染物排放标准（GB39731-2020）表1水污染物排放限值中电子专用材料间接排放标准（其中氨氮达247、到xx省地方标准工业企业废水氮、磷污染物间接排放限值（DB33/887-2013）间接排放浓度限值；总铁排放指标参照执行酸洗废水排放总铁浓度限值（DB33/844-2011）二级标准），生活污水经化粪池预处理达到污水综合排放标准（GB8978-1996）三级标准，总磷、氨氮排放指标参照执行xx省地方标准工业企业废水氮、磷污染物间接排xxxx新增 2 万吨/年集成电路材料生产项目环境影响报告书109放限值（DB33/887-2013）间接标准后排入市政污水管网。6.2.2.2地表水环境影响分析地表水环境影响分析1）水污染控制和水环境影响减缓措施有效性评价目前xxxx柴桥净化水厂一期工程规划处理能248、力为2.5万t/d，本项目排水量占xxxx柴桥净化水厂处理能力可忽略，废水经污水处理厂处理达到城镇污水处理厂污染物排放标准（GB18918-2002）一级A标准后排海（其中化学需氧量、氨氮、总氮和总磷等4项主要水污染物控制项目执行城镇污水处理厂主要水污染物排放标准（DB33/2169-2018）中表2标准），排放量较小且达标排放，基本不会对纳污海域水环境质量造成影响。因此本项目废水达标排放造成的影响是可以接受的。2）依托污水处理设施的环境可行性评价本项目采用雨污分流，纯水制备废水主要用于厂区绿化、车间地面冲洗、废气处理及循环冷却系统，剩余废水排入市政污水管网，生产废水经厂区污水处理站处理，生活249、污水经化粪池预处理后排入市政污水管网，本评价认为项目排放的废水处理方式可行。3）废水类别、污染物及污染治理设施信息表详见下表表表 6.2-7 废水类别、污染物及污染治理设施信息表废水类别、污染物及污染治理设施信息表序号废水类别污染物种类排放去向排放规律污染治理设施排放口编号排放口设置是否符合要求排放口类型污染治理设施编号污染治理设施名称污染治理设施工艺1生产废水CODCrNH3-N、总镍、总铅、总银、总铜进入城市污水处理厂间断排放，排放期间流量不稳定且无规律，但不属于冲击型排放TW001污水处理站水解酸化、接触氧化、絮凝沉淀DW001是否企业总排口雨水排放口清净下水排放口温排水排放口车间或车间250、处理设施排放口2生活污水CODCrNH3-NTW002生活污水处理系统沉淀和厌氧发酵、隔油DW002是否企业总排口雨水排放口清净下水排放口温排水排放口车间或车间处理设施排放口3纯水制备废水CODcr、SS 等/DW003是否企业总排口雨水排放口清净下水排放口温排水排放口车间或车间处理设施排放口4重金属废总镍、总铅、总银、进入厂区污水TW003污水处理站（预处化学沉淀DW004是否企业总排口雨水排放口xxxx新增 2 万吨/年集成电路材料生产项目环境影响报告书110水总铜处理站理）清净下水排放口温排水排放口车间或车间处理设施排放口4）废水排放口基本情况详见表 6.2-8，废水污染物排放执行标准详251、见表6.2-9。表表 6.2-8 废水间接排放口基本情况表废水间接排放口基本情况表序号排放口编号排放口地理坐标废水排放量/(万t/a)排放去向排放规律间歇排放时段受纳污水处理厂信息经度纬度名称污染物种类污染物排放标准浓度限值/（mg/L）1DW001121.89370829.8782533.3121进入城市污水处理厂间断排放，排放期间流量不稳定且无规律，但不属于冲击型排放工作日全天xx北仑柴桥净化水厂CODCr30NH3-N1.5（3）SS5总镍0.05总铜0.5总银0.1总铅0.12DW002121.89356329.8776200.012xx北仑柴桥净化水厂CODCr30NH3-N1.5（252、3）3DW003121.8937129.8782602.33xx北仑柴桥净化水厂CODCr30NH3-N1.5（3）4DW004121.89370829.8782530.0128进入厂区污水处理站/*注：氨氮每年11月1日至次年3月31日的排放浓度按3mg/L计，其余时间排放浓度按1.5mg/L计.表表 6.2-9 废水污染物排放执行标准表废水污染物排放执行标准表序号排放口编号污染物种类国家或地方污染物排放标准及其他按规定商定的排放协议名称浓度限值/（mg/L）1DW001CODCr电子工业水污染物排放标准（GB39731-2020）表 1 水污染物排放限值中电子专用材料间接排放标准；氨氮排放253、指标参照xx省地方标准 工业企业废水氮、磷污染物间接排放限值（DB33/887-2013）间接排放浓度限值）500NH3-N35SS4002DW002CODCr污水综合排放标准（GB8978-1996）三级标准，总磷、氨氮排放指标参照执行xx省地方标准工业企业废水氮、磷污染物间接排放限值（DB33/887-2013）500NH3-N353DW004总镍电子工业水污染物排放标准（GB39731-2020）表 1 水污染物排放限值中电子专用材料间接排放标准0.5总铜2.0总银0.3总铅0.25）废水污染物排放信息详见表 6.2-10。xxxx新增 2 万吨/年集成电路材料生产项目环境影响报告书11254、1表表 6.2-10 废水污染物排放信息表废水污染物排放信息表序号 排放口编号污染物种类排放浓度/（mg/L）日排放量/（t/d）年排放量/（t/a）1DW001CODCr303.31E-030.994NH3-N1.5（3）2.33E-040.0702DW002CODCr300.0000120.0036NH3-N1.5（3）0.0000010.00033DW003CODCr302.33E-030.699NH3-N1.5（3）1.67E-040.054DW004总镍0.052.00E-05kg/a0.006kg/a总铜0.52.13E-04kg/a0.064kg/a总银0.14.33E-05kg255、/a0.013kg/a总铅0.11.33E-06kg/a0.0004kg/a全厂排放口合计CODCr1.6966NH3-N0.1203总镍0.006kg/a总铜0.064kg/a总银0.013kg/a总铅0.0004kg/a*注：氨氮每年11月1日至次年3月31日的排放浓度按3mg/L计，其余时间排放浓度按1.5mg/L计.6.2.3声环境影响预测与评价声环境影响预测与评价6.2.3.1预测模型预测模型根据项目建设内容及环境影响评价技术导则声环境（HJ2.4-2021）的要求，项目环评采用的模型为环境影响评价技术导则 声环境(HJ2.4.2021)附录A（规范性附录）户外声传播的衰减和附录B（256、规范性附录）中“B.1工业噪声预测计算模型”。6.2.3.2预测参数预测参数1、噪声源强项目在生产过程中产生的噪声主要源自风机、泵等设备产生的噪声声级一般在65dB以上。项目产生噪声的噪声源强调查清单见表4.5-1415。噪声源分布见图6.2-1。2、基础数据表表 6.2-11项目噪声环境影响预测基础数据表项目噪声环境影响预测基础数据表序号名称单位数据备注1年平均风速m/s4.82/xxxx新增 2 万吨/年集成电路材料生产项目环境影响报告书1122主导风向/无主导风向/3年平均气温16.5/4年平均相对湿度%80/5大气压强hPa1014/6.2.3.3预测结果与评价预测结果与评价根据项目噪257、声源强，经Cadna/A软件预测。本项目取各厂界的噪声最大贡献值值进行评价，根据预测结果，将企业厂界预测和达标分析结果纳入下表中。表表 6.2-12项目厂界噪声预测结果项目厂界噪声预测结果厂界空间相对位置/m地面高度时段贡献值环境背景值预测值评价标准占标率%（叠加背景值后）是否达标XYZ单位：（dB(A)）东侧108.2-0.82.51.2昼间16.553536088.33达标南侧-1-97.11.31.2昼间21.956567080达标西侧-108.282.21.2昼间23.556566586.15达标北侧12.4950.71.2昼间22.754546090达标图图6.2-16.2-1 项目258、昼间等声级线图项目昼间等声级线图综上，项目营运后，西侧厂界噪声符合工业企业厂界环境噪声排放标准（GB12348-2008）3类标准；东侧、北侧厂界噪声符合工业企业厂界环境噪声排放标准（GB12348-2008）2类标准；南侧厂界噪声符合工业企业厂界环境噪声xxxx新增 2 万吨/年集成电路材料生产项目环境影响报告书113排放标准（GB12348-2008）4类标准。6.2.4固体废物处置与影响分析固体废物处置与影响分析6.2.4.1固体废物的种类和数量固体废物的种类和数量本项目产生的主要固体废物种类和数量，见下表。表表 6.2-13本项目产生的主要固体废物种类和数量本项目产生的主要固体废物种类259、和数量编号副产物名称产生工序形态主要成分属性判定危废代码1除湿过滤棉除湿固态过滤棉危险废物HW49900-041-492污水处理污泥废水治理固态有机物危险废物HW49772-006-493废包装袋/桶原料包装固态塑料、有机物危险废物HW49900-041-494废活性炭废气治理固态活性炭、有机物危险废物HW49900-039-495废滤芯产品过滤固态有机物危险废物HW49900-041-496废油桶导热油包装固态导热油危险废物HW08900-249-087废导热油设备加热液态导热油危险废物HW08900-249-088生活垃圾员工生活固态塑料、纸张等一般废物/6.2.4.2危废暂存技术要求危废260、暂存技术要求表表 6.2-18建设项目危险废物贮存场所（设施）基本情况表建设项目危险废物贮存场所（设施）基本情况表编号贮存场所（设施）名称危险废物名称危险废物类别危险废物代码位置占地面积贮存方式贮存能力贮存周期1危险废物存放仓库（依托原有）除湿过滤棉HW49900-041-49厂区西侧72m2袋装0.1t一个月2污水处理污泥HW49772-006-49袋装3t一周3废包装袋/桶HW49900-041-49/5t一周4废活性炭HW49900-039-49袋装3t一个月5废滤芯HW49900-041-49桶装1t一个月6废油桶HW08900-249-08/0.1t一个月7废导热油HW08900-2261、49-08桶装0.7t一个月根据项目危险废物的特性、成分以及危险废物污染防治技术政策（环发2001199号）、关于进一步加强危险废物管理防范事故风险的紧急通知（环办200951号）、危险废物收集、贮存、运输技术规范（HJ2025-2012）等文件，对危废按要求进行安全贮存。xxxx新增 2 万吨/年集成电路材料生产项目环境影响报告书1146.2.4.3运输过程要求运输过程要求根据建设项目危险废物环境影响评价指南（环保部公告2017年第43号）和危险废物收集贮存运输技术规范（HJ2025）的相关规定，采用专用贮存容器收集各类危废，危废暂存在危废仓库内；对危险废物的转移运输要实行危险废物转移联单管262、理办法，实行五联单制度，运出单位及当地生态环境部门、运输单位、接受单位及当地生态环境部门进行跟踪联单。运输公司制定运输路线时，尽量避开沿线环境敏感点。6.2.4.4固体废弃物环境影响分析固体废弃物环境影响分析根据国家对工业固体废弃物，尤其是废物处置减量化、资源化和无害化的技术政策，建设单位应优先对各类可回收的工业固废进行回收利用，对无法利用的固废委托当地环卫部门进行焚烧或填埋处置（如生活垃圾等）；对列入国家危险废物名录（2021）的废物应按中华人民共和国固体废物污染环境防治法和危险废物贮存污染控制标准(GB18597-2023)相关规定，委托有危废处理资质的单位进行安全处置。项目污水处理污泥收263、集暂存后委托处置；生活垃圾在厂区内定点收集，然后委托当地环卫部门统一清运至垃圾填埋厂进行卫生填埋；废包装袋/桶、废滤芯、废活性炭等危险废物需委托有资质的单位进行安全处置，并且需执行报批和转移联单等制度。各固废在外运处置前，须在厂内安全暂存，确保固废不产生二次污染。本项目依托一期厂区仓库西侧危险废物堆放场，占地面积约72m2，该危险废物堆放场已按要求做好防风、防雨、防晒、防渗漏等要求。综上所述，本项目固体废物处置符合国家技术政策，处置要求符合国家标准。因此，企业只要对固废加强管理，及时回收或清运，项目产生的固体废弃物基本上不会对周围环境造成不利影响。xxxx新增 2 万吨/年集成电路材料生产项目264、环境影响报告书1157 7环境风险影响分析环境风险影响分析7.1评价依据评价依据7.1.1风险调查风险调查根据企业提供的资料，主要环境风险物质为等，物质危险特性见下表。表表 7.1-1主要化学品及物质危险特性主要化学品及物质危险特性物质名称所属单元指标相态闪点爆炸极限V沸点引燃温度LD50原料仓库液/1530mg/kg（大鼠经口）固/18.7mg/kg（大鼠经口）液1241.610.824522920.76g/kg(鼠经皮)液/121/液/2529（25%）38/350mg/kg（大鼠经口）危险废物危废仓库固/液/7.1.2风险潜势初判风险潜势初判计算所涉及的每种危险物质在厂界内的最大存在总量265、与其在建设项目环境风险评价技术导则（HJ 169-2018）附录B中对应临界量的比值Q。当只涉及一种危险物质时，计算该物质的总量与其临界量比值，即为Q；当存在多种危险物质时，则按下列公式计算物质总量与其临界量比值（Q）：Q=q1/Q1+q2/Q2.+qn/Qn式中：q1，q2qn每种危险物质最大存在量（t）；Q1，Q2Qn每种危险物质的临界量（t）。按数值大小，将Q划分为4个水平：当Q1时，该项目环境风险潜势为I。当Q1时，将Q值划分为：（1）1Q10；（2）10Q小于100；（3）Q100。本项目主要环境风险物质为等，根据建设项目环境风险评价技术导则（HJ169-2018），全厂危险化学品实266、际贮存量及临界量详见下表。表表 7.1-2 全厂化学品临界量和贮存量一览表全厂化学品临界量和贮存量一览表xxxx新增 2 万吨/年集成电路材料生产项目环境影响报告书116序号危险物质最大储存量临界量11.947.50.258720.2100.0230.1139100.0113940.3557.50.0473350.040.250.1660.0010.250.00470.00040.250.001680.0001850.50.0003790.010.250.04100.2100.02110.4100.04120.0410.04130.1725000.000068140.5100.05151450267、0.28经计算分析，q/Q=0.971，该项目环境风险潜势为I。7.1.3评价等级确定评价等级确定表表 7.1-3 评价工作等级划分评价工作等级划分环境风险潜势、评价工作等级一二三简单分析aa是相对于详细评价工作内容而言，在描述危险物质，环境影响途径、环境危害后果、风险防范措施等方面给出定性的说明根据以上分析，本项目环境风险潜势为I，评价工作等级为简单分析。根据环境风险评价技术导则要求，简单分析工作内容主要通过描述危险物质、环境影响途径、环境危害后果、风险防范措施等方面进行说明。7.2环境敏感目标概况环境敏感目标概况本项目周边敏感目标分布情况详见下表。表表 7.2-1本项目评价范围内环境敏感目268、标调查本项目评价范围内环境敏感目标调查类别环境敏感特征环境空气厂址（项目）边界 5km 范围序号敏感目标名称相对方位相对装置距离/m属性人口数（人）1柴桥街道主城区E730居住区400002霞浦街道主城区NW915居住区350003同盟村NE1500居住区9704穿山村NE2100居住区16075山前村NW2100居住区1274地表水受纳水体序号名称排放点水域环境功能24h 内流径范围/km1镇海-xx-xx海域GB3097-1997 三类标准其他近岸海域一个潮周期最大水平距离两倍范围内敏感点目标序号敏感目标环境敏感特水质目标与排放点niiiQq1/xxxx新增 2 万吨/年集成电路材料生产项269、目环境影响报告书117征距离/m/地下水序号敏感目标环境敏感特征水质目标包气带防污性能与排放点距离/m/7.3环境风险识别环境风险识别7.3.1物质危险性识别物质危险性识别项目生产涉及的危险物质危险性及毒理特性见下表。表表 7.3-1危险物质危险性及毒理特性危险物质危险性及毒理特性物质名称所属单元指标相态闪点爆炸极限V沸点引燃温度LD50原料仓库液/1530mg/kg（大鼠经口）固/18.7mg/kg（大鼠经口）液1241.610.824522920.76g/kg(鼠经皮)液/121/液/2529（25%）38/350mg/kg（大鼠经口）危废仓库固/液/7.3.2生产系统危险性识别生产系统危270、险性识别本项目生产系统危险性主要表现在生产车间及化学品仓库区风险，识别如下：生产车间及化学品仓库的储存设施（储罐、容器）等的设计、制造、使用、管理、维护不到位，储存管理欠缺，储罐安全附件如液位计等失灵，有可能因超压引起容器或管道的泄漏、爆裂，有毒有害及易燃易爆物质的大量泄漏，会造成中毒、化学灼伤、火灾爆炸事故。围堰、隔堤等设施不符合规范，一旦发生泄漏，造成 的事故不利于事故控制。生产车间及化学品仓库管道及其安全附件设计、制造有缺陷，或使用过程中管理、维护、检测不到位，可因安全附件失效导致过载运行、金属材料疲劳出现裂缝、受热膨胀受冷收 缩等原因，出现储罐、管道、阀门等破裂或渗漏，引起储罐爆破事故271、。如储罐未按规定要求安装阻火器、呼吸阀等，可能会导致储罐内压力增加，有容器爆炸的危险。物料输送管道管理不到位，易燃易爆物质泄漏会造成火灾、爆炸事故。检修过程因清洗置换不彻底、安全措施不到位，有中毒的危险。xxxx新增 2 万吨/年集成电路材料生产项目环境影响报告书118物料在管道输送时，采用的泵、管道材料、管径以及输送速度、落差等不当，系统内易产生、集聚静电，当系统内有空气存在时形成的爆炸性混合物遇静电火花极易发生爆炸。储运过程危险、有害因素分析磷酸、氨水等化学物质在输送、装卸和储存过程中，因人为因素或包装容器不良导致泄漏，挥发气体浓度聚积达到一定浓度遇电或火源等引起的火灾爆炸事故。以上事故若272、没有相应的应急措施有可能进一步扩大事故范围，造成环境污染。7.4环境风险分析环境风险分析磷酸、氨水等化学物质及危险废物存放过程中发生泄漏，泄漏后通过雨水管网进入地下水，或下渗进入地下水。本项目化学品仓库和危废间均作防渗处理，并设置围堰，可将泄漏化学品控制在化学品仓库和危废间内，不会对地表水和地下水造成污染影响。上述物质在厂区内的贮存量较小，最大的危害是附近人群的安全问题，但在一定程度上，也可导致的人员伤亡和巨大财产损失。因此，企业在日常的生产管理中，应将上述物料列入重点风险源管理，定期检查，以防事故发生。7.5环境风险后果计算和评价环境风险后果计算和评价7.5.1氨水事故泄露大气风险氨水事故泄273、露大气风险1、源项分析本项目不涉及储罐，生产设备现场管理较好，考虑工作人员在储存、使用氨水过程，由于操作不当造成氨水原料桶倾倒、氨水原料桶破裂，导致氨水泄露情况。氨水原料桶容积为18.8kg，氨水原料浓度为20%。本评价将氨水原料桶作为本次风险泄漏量的计算对象，选取的氨水原料桶位于仓库，该区域采取原料桶+围堰的存储方式，围堰内作耐腐蚀、防泄漏处理，围堰内可储存该区最大一个桶发生泄漏时的液体储存量，围堰面积为10m2。考虑在20min 内，工作人员发现原料桶破裂并完成氨水清理收集工作。液体泄漏后，在围堰中形成液池，并随着表面风的对流而蒸发扩散。氨水泄xxxx新增 2 万吨/年集成电路材料生产项目274、环境影响报告书119漏主要考虑质量蒸发。其蒸发速率按下式计算：式中：Q3：质量蒸发速度，kg/aP：液体表面蒸气压，Pa；R：气体常数，J/（molk），值为8.314；T0：环境温度，k；M：物质的摩尔质量，kg/mol；u：风速，m/s；r：液池半径，m，本项目采取等效半径当量计算。a，n：大气稳定度系数。本项目大气环境风险评价等级为二级，根据导则需选取最不利气象条件进行后果预测。最不利气象条件取F 类稳定度，1.5m/s 风速，温度25，相对湿度50%。其中，大气稳定度F 相关的a、n 取值见导则表F.3。液体泄漏，液面蒸发速率的计算结果见下表：表表 7.5-1 质量蒸发估算一览表质量蒸275、发估算一览表物质大气稳定度u（m/s）T0（K）P（Pa）（1）M（kg/mol）r(m)anQ3(kg/s)氨水F1.529835000.0170.80.0052850.30.0005备注：（1）溶液饱和蒸汽压来源于化工物性算图手册（化学工业出版社，刘启光）；根据导则，泄漏液体的泄漏时间取终止20min 计算，则氨水泄漏氨气的蒸发源强为0.6kg。2、风险预测（1）气象参数选择根据二级评价要求，本次评价采用代表性风速进行评价，取最不利气象条件：F 稳定度，1.5m/s 风速，温度25，相对湿度50%。（2）预测模式筛选由计算可知，氨理查德森数Ri小于1/6，属于轻质气体。根据建设项目环境风险276、评价技术导则（HJ169-2018）AFTOX 模型适用于平坦地形下中性气体和轻xxxx新增 2 万吨/年集成电路材料生产项目环境影响报告书120质气体排放以及液池蒸发气体的扩散模型。因此，本环评对氨气的大气环境风险评价均采用AFTOX模型，预测模型参数取值见下表。表表 7.5-2 预测模型参数取值表预测模型参数取值表事故参数指标数值基本情况事故源经度121.892946E事故源纬度29.8789696N气象参数气象条件类型最不利气象环境温度25稳定度F平均风速 m/s1.5相对湿度%50地表粗糙度 cm130排放时长 min20其他参数氨水泄漏事故地表粗糙度/m1.3是否考虑地形不考虑地形数277、据经度/m/（3）大气毒性终点浓度值选取根据建设项目环境风险评价技术导则（HJ169-2018）附录H，氨气的大气毒性终点浓度值见下表：表表 7.5-3 污染因子大气毒性终点浓度值污染因子大气毒性终点浓度值/评价浓度阈值评价浓度阈值污染因子毒性终点浓度-1（mg/m3）毒性终点浓度-2（mg/m3）氨气770110备注：（1）毒性终点浓度来自 建设项目环境风险评价技术导则（HJ169-2018）附录H；（2）毒性终点浓度-1：当大气中危险物质浓度低于该限值时，绝大多数人员暴露1h 不会对生命造成威胁，当超过该值时，有可能对人群造成生命威胁；（3）毒性终点浓度-2：当大气中危险物质浓度低于该限值278、时，暴露1h 一般不会对人体造成不可逆的伤害，或出现的症状一般不会损害该个体采取有效防护措施的能力。（4）预测结果企业氨水泄漏氨气事故排放时，在最不利气象条件下，下风向不同距离处污染物的最大浓度见表7.5-45，图7.5-1。根据预测结果，在最不利气象条件下，氨水泄漏事故发生后，氨气最大浓度在0.56 min出现在泄漏点下风向50m 处，最大落地浓度为290.65 mg/m3，在泄漏点xxxx新增 2 万吨/年集成电路材料生产项目环境影响报告书121下风向范围内无超过大气毒性终点浓度-1（770 mg/m3）预测点；140 m 范围内将会超出大气毒性终点浓度-2（110 mg/m3）。表表 7279、.5-4 事故排放时氨气最大落地浓度预测表事故排放时氨气最大落地浓度预测表污染物气象条件最大落地浓度及出现位置最大影响范围（m）最大落地浓度（mg/m3）下风向距离（m）大气毒性终点浓度-1（770mg/m3）大气毒性终点浓度-2（110mg/m3）氨气最不利气象条件290.6550/140表表 7.5-5 事故源项及事故后果基本信息表事故源项及事故后果基本信息表风险事故情形分析A达标性风险事故情形描述氨水储存桶泄漏氨气事故排放环境风险类型泄漏泄漏设备类型塑胶储存桶操作温度/25操作压力/MPa0.101泄漏危险物质氨水最大储存量/m30.0188泄漏孔径/mm全破裂泄漏速率/kg/s0.00280、5泄漏时间/min20氨水泄漏量/kg18.8泄漏高度/m0.1泄漏液体蒸发/kg0.6泄漏频率5.0010-6/a事故后果预测大气危险物质大气环境影响氨气指标浓度值/mg/m3最远影响距离/m到达时间/min大气毒性终点浓度-1770/大气毒性终点浓度-21101401.56敏感目标名称超标时间/min超标持续时间/min最大浓度/mg/m3/A 按选择的代表性风险事故情形分别填写。xxxx新增 2 万吨/年集成电路材料生产项目环境影响报告书122图图 7.5-1 氨水事故泄漏时在下风向不同距离处氨气的最大浓度氨水事故泄漏时在下风向不同距离处氨气的最大浓度（最不利气象条件最不利气象条件）7.281、6应急管理应急管理建立环境治理设施联动排查治理机制：根据xx市生态环境局、xx市应急管理局关于加强生态环境和应急管理部门联动工作的通知（甬环发20218号），企业应健全废气治理设施稳定运行和管理责任制度，严格依据标准规范建设环境治理设施，确保环境治理设施安全、稳定、有效运行。对照xx市应急管理局 xx市生态环境局 关于进一步建立健全环保设施安全管理联动机制的通知（甬应急202322号），本项目实施情况见下表。表表 5-2 xx市生态环境局xx市生态环境局 xx市应急管理局关于加强生态环境和应急管理部xx市应急管理局关于加强生态环境和应急管理部门联动工作的通知对照表门联动工作的通知对照表要求本项282、目情况符合性企业新、改、扩建重点环保设施应纳入建设项目管理，并严格按照法律法规和上级要求做好立项、设计、建设和验收等阶段相关工作。已xx的重点环保设施且未进行正规设计的，应委托有相应资质的设计单位开展设计诊断，并组织专家评审，诊断结果不符合生态环境和安全生产要求的，应制定并落实整改措施，实行销号闭环管理。项目为扩建项目，重点环保设施已纳入建设项目管理，并按要求做好相关工作。符合企业应履行从危险废物产生、收集、贮存、运输、利用、处置等环节各项环保和安全职责；要制定危险废物管理计划并报属地生态环境部门备案。项目按要求设置规范化危废暂存场所，危险废物委托有资质单位处理，制定合理的危险废物管理计划。符283、合企业要对脱硫脱硝、挥发性有机物回收、污水处理、粉尘治理（指易燃易爆的粉尘治理设施）、RTO焚烧炉等五类重点环保设施开展安全风险评估和隐患排查治理，并将相关信息报送生态环境部门和相关行业主管部门，抄送应急管理部门。本项目涉及污水处理站开展安全风险评估和隐患排查治理，并将相关信息报送生态环境部门和相关行业主管部门，抄送应急管理部门。符合企业加强安全生产管理，落实全员安全生产责任制，改善安全生产条件，建立健全环保设施安全生产规章制度和操作规程，贯彻落实相关安全生产标准规范，组织建立并落实安全风险分级管控和隐患排查治理双重预防工作机制，健全风险防范化解机制，加强对从业人员安全生产教育和培训，组织制定284、并实施生产安全事故应急救援预案，强化事故应急救援处置。严格按要求实行。建立健全环保设施安全生产规章制度和操作规程；委托有资质的环保工程单位设计和建设环境治理设施；设置环保专员，确保环境治理设施的正常运行。符合对照xx省应急管理厅 xx省生态环境厅关于加强工业企业环保设施安全生产工作的指导意见（浙应急基础2022143号），本项目实施情况见下表。表表 5-3xx省应急管理厅xx省应急管理厅 xx省生态环境厅关于加强工业企业环保设施安全生xx省生态环境厅关于加强工业企业环保设施安全生xxxx新增 2 万吨/年集成电路材料生产项目环境影响报告书123产工作的指导意见对照表产工作的指导意见对照表要求本285、项目情况符合性企业应当依法依规对建设项目开展环境影响评价，不得采用国家、地方淘汰的设备、产品和工艺。在环评技术审查等环节，必要时可邀请应急管理部门、行业专家参与科学论证。企业已委托环评单位对本项目进行环境影响评价符合企业应当委托有相应资质(建设部门核发的综合、行业专项等设计资质)的设计单位对建设项目(含环保设施)进行设计，落实安全生产相关技术要求，自行开展或组织环保和安全生产有关专家参与设计审查，出具审查报告并按中查意见进行修改完善。企业按要求委托有相应资质的设计单位对本项目（含环保设施）进行设计，落实相关要求。自行开展或组织环保和安全生产有关专家参与设计审查，出具审查报告并按中查意见进行修改286、完善。符合施工单位应严格按照设计方案和相关施工技术标准、规范施工。建设项目竣工后，建设单位应当按照法律、法规规定的标准和程序，对环保设施进行验收，确保环保设施符合生态环境和安全生产要求，并形成书面报告。施工单位将严格按照设计方案和相关施工技术标准、规范施工。建设项目竣工后，企业将按照法律、法规规定的标准和程序，对环保设施进行验收，确保环保设施符合生态环境和安全生产要求，并形成书面报告。符合企业要把环保设施安全落实到生产经营工作全过程各方面，建立环保设施台账和维护管理制度，对环保设施操作、危险作业等相关岗位人员开展安全操作规程、风险管控、应急处置等专项安全培训教育。要依法依规开展环保设施安全风险287、辨识管控和隐患排查治理，定期进行安全可靠性鉴定，设置必要的安全监测监控系统和联锁保护严格日常安全检查。要严格执行吊装、动火、登高、有限空间、检维修等危险作业审批制度，落实安全隔离措施，实施现场安全监护，配齐应急处置装备，确保环保设施安全、稳定、有效运行。严格按要求实行。建立健全环保设施安全生产规章制度和操作规程；委托有资质的环保工程单位设计和建设环境治理设施；设置环保专员，确保环境治理设施的正常运行。符合7.7环境风险防范措施及应急要求环境风险防范措施及应急要求7.7.1总图布置和建筑安全措施总图布置和建筑安全措施1)项目厂区总平面布局与自然条件、工艺布置、工艺设备、电气照明、贮运、防火及消防288、设施应符合建筑设计防火规范(GB50016-2014)、工业企业总平面设计规范(GB50187-93)、生产过程安全卫生要求总则(GB12801-91)、洁净厂房设计规范(GB50073-2001)等相关规定。生产区车间、物料存储车间等建、构筑物的设计应与火灾类别相应的防火对策措施，建筑物耐火等级应符合建筑设计防火规范的有关规定，并通过消防、安全验收。2)工厂主要出入口不应少于两个，并且位于不同方位，厂内道路的布置应满足生产、运输、安装、检修、消防及环境卫生的要求。3)各功能区之间应设有联系通道，有利于安全疏散和消防。分区内部和相互之xxxx新增 2 万吨/年集成电路材料生产项目环境影响报告书289、124间保持一定的通道和安全间距。厂区应有应急救援设施及救援通道、应急救援设施及救援通道。4)按照建筑物防雷设计规范(GB50057-94，2000年版)的要求对建、构筑物采取防直击雷、防雷电感应、防雷电波侵入的措施。5)属于火灾爆炸危险场所的设计必须符合 爆炸和火灾危险环境电力装置设计规范(GB50058-92)和爆炸危险场所安全规定的相关规定。7.7.2危险品使用安全防范措施危险品使用安全防范措施1)车间应加强排风，使工作场所空气中有毒物料浓度符合有关规定。2)针对现场电线、电器设备等不安全因素，车间建筑电器进行消防电气安全检测。车间的电器设备、开关选用均应考虑防腐蚀和密闭。线路的材料和安290、装件等必须采用具有防腐蚀性能的材质，以保证作业人员的安全。3)装置每周应全面检查一次，检查是否有泄漏现象。4)企业应制定化学品泄漏物和包装物的废弃处理程序，加强对废弃物的管理。5)凡有化学危险物品存放、使用场所，都应在醒目位置张贴安全须知卡。7.7.3危险品储存安全防护措施危险品储存安全防护措施1)厂区涉及磷酸、氨水等有毒有害物品，对危险化学品的贮存应引起足够的重视。应严格按照常用化学危险品贮存通则(GB15603-1995)、腐蚀性商品储存养护技术条件(GB17915-2013)、毒害性商品贮藏养护技术条件(GB17916-1999)等标准、规范实施，原料分类、分区贮存，并制定申报登记、保管291、领用、操作等严格规章制度。2)采购有毒有害原料时，其品质必须符合技术安全和材质证明所规定的各项要求。3)要求供应商提供国家标准规定的容器盛装所采购的原料，同时要求供应商提供所采购原料的安全储藏、搬运、使用等的相关文件；4)危险化学品需有专门库房储存，化学品库房耐火等级应符合国标(GB50016-2014)相应标准要求，同时安装避雷设备；xxxx新增 2 万吨/年集成电路材料生产项目环境影响报告书1255)安装必要通风设备，同时在通风设备上设置导除静电的接地装置，通风管采用非燃烧材料制作；6)配置相应的消防设备、设施和灭火药剂(消防栓、干粉/二氧化碳灭火器等，严禁使用海龙型灭火器)，配备经过培292、训的兼职和专职的消防人员。7)进入仓库的人员、作业车辆，必须采取防火措施，装卸、搬运化学品时应按有关规定进行，做到轻装、轻卸，严禁摔、碰、撞、击、拖拉、倾倒和滚动；8)库房内化学品小量泄露时用砂土吸附或用大量水冲洗，清洗水稀释后放入废水系统；对于大量液体发生泄漏时，先必须迅速撤离泄漏污染区人员至安全区，应急人员应戴防尘面具或自给正压式呼吸器，穿防腐服，再设法对泄漏液进行回收，在不能回收时需要用大量的水冲洗，冲洗水排放事故应急池，不得排入雨水和清下水管道。7.7.4危险品运输安全防范措施危险品运输安全防范措施1)采购危险化学品时，应到已获得危险化学品经营许可证的企业进行采购，并要求供应商提供技术293、说明书及相关技术资料；采购人员须进行专业培训并取证。2)物料装卸运输应执行汽车危险货物运输装卸作业规程(JT/T3145-1991)，汽车危险货物运输规则（JT617-2004），机动车辆安全规范(GB10827-1989)，工业企业厂内铁路、道路运输安全规程（GB4387-2008）等有关要求。3)危险品原料的运装要委托有承运资质的运输单位承担；承担运输危险化学品的人员、车辆等必须符合危险化学品安全管理条例的规定。行车路线必须事先经当地公安交通部门批准，并制定路线和事件运输，不可在繁华街道行驶和停留；要悬挂“危险品”(“剧毒品”)标志。4)禁止超装、超载，禁止混装不相容类别的危险化学品。7.294、7.5污染防治措施的风险预防污染防治措施的风险预防1)废水处理设施在生产过程中由于种种原因，可能会有一些高浓度废水排入污水管道，从而造成废水处理设施处理效果下降。因此，在进行废水处理站设计时就考虑到这些因素，对不同种类的废水分别进行处理，同时在设计的时候要考虑各废水调节池xxxx新增 2 万吨/年集成电路材料生产项目环境影响报告书126废水容纳量，特别是综合废水调节池，要能容纳至少1天的废水量，当废水处理设施出现故障时，超标废水可以排入综合废水池再重新进行处理。通过采取上述预防措施后，废水处理站可以保证废水达标排放。2)废气事故排放当废气治理设施处理故障时，废气将在车间内呈无组织排放，必须加强295、废气治理设备的维护和管理。3）应急处理设施企业为了应对事故发生后的事故状态污水的收集，建有66m3事故应急水池，并采用水泵与调节池联通。根据中石化水体污染防控紧急措施设计导则确定事故性排放应急水池容积，厂区环境突发事件污水处理系统应能容纳一次消防用水量存储，计算事故排水储存事故池容量：V总（V1V2V3）maxV4+V5式中：（V1V2V3）max是指对收集系统范围内不同罐组或装置分别计算V1V2V3，取其中最大值。V1收集系统范围内发生事故的一个罐组或一套装置的物料量，取最大一个值，m3，本项目取V1=1.4 m3。V2发生事故的储罐或装置的消防水量，m3；2VtQ消 消式中：Q消发生事故的296、装置使用的消防设施给水流量，m3/h，按消防栓的流量15L/s计，消防历时1h计，则为54m3。t消消防设施对应的设计消防历时，h，按0.5h计；V3发生事故时可以转输到其他储存或处理设施的物料量，m3，不计；V4发生事故时仍必须进入该收集系统的生产废水量，m3，按1小时废水产生量考虑，全厂废水产生量为3.8m3/h，V4=3.8 m3；V5发生事故时可能进入该收集系统的降雨量，m3；xxxx新增 2 万吨/年集成电路材料生产项目环境影响报告书127V510qFq降雨强度，mm；按平均日降雨量；q=qa/nqa年平均降雨量，mm，取累年年平均1316.8mm；n年平均降雨日数，取158天。F必297、须进入事故废水收集系统的雨水汇水面积，hm2，面积约0m2。经计算，V总如下：V总（1.4540）max3.8+0=62.2m3故事故应急池容积应为62.2m3，现有66m3事故应急水池，可满足事故应急池容积要求。7.7.6厂内安全管理措施厂内安全管理措施1)各级领导和管理人员必须重视安全生产，健全各级安全生产责任制。2)厂部、车间或班组应建立由专职(或兼职)人员组成的安全生产管理体系，遇到情况及时上通下达。健全有关防毒的管理制度，制定防毒的操作规程、防毒的宣传教育制度、定期检测制度、设施维修制度、危险化学品登记制度、毒物的保管和领取制度、毒物的贮存运输制度、以及制定改善劳动条件措施计划等。3298、)涉及化学品操作的新工人及转岗工人必须经过企业专业技术培训和安全技术知识教育并考试合格后方可上岗操作。4)定期对全体职工进行安全教育(包括健康教育)，编制各级岗位及重要设备的安全检查表，并定期进行安全检查。危险性较大的操作岗位，企业应按操作人员的文化程度和技术等级定岗。5)生产设备检修前须采取安全措施予以消除和隔离危险物质。6)加强职工卫生保健措施，为有毒有害场所的作业人员进行健康检查，建立个人健康档案。7)企业应制定应急救援预案并定期演练，对危险源按照规定进行登记监控。xxxx新增 2 万吨/年集成电路材料生产项目环境影响报告书1287.7.7突发环境事故应急预案突发环境事故应急预案1、企业299、应急预案情况企业已对其现有工程于 2020年9月编制了xxxx微电子科技有限公司突发环境事件综合应急预案，并报于xx市生态环境局xx分局备案，备案编号330206-2020-063-L。建议企业按应急预案中的内容加强演练和应急物质的配备。本项目实施后，根据关于印发xx省企业突发环境事件应急预案编制导则（浙环办函2015146 号）等技术规范的通知，企业应根据增加的生产装置情况等对应急预案的内容进行补充和修订，并将事故应急预案落实到位，减少事故的影响，在发生事故时可按事先拟定的应急方案，进行紧急处理，有效减少和防止事故的影响和扩散。7.7.8分析结论分析结论本项目最大风险可信事故为化学品的泄露事300、故，可能引起火灾燃爆、人员中毒等。通过加强员工的安全、环保知识和风险事故安全教育，提高职工的风险意识，掌握本职工作所需的危险化学品安全知识和技能，严格遵守危险化学品安全规章制度和操作规程，了解其作业场所和工作存在的危险有害因素以及企业所采取的防范措施和环境突发事故应急措施，以减少风险发生的概率。突发事故需要求本企业内部及周边企业相关人员采取防护措施并进行安全撤离。只要企业对化学品仓库加强日常管理，本项目环境风险可以接受。项目环境风险简单分析内容见下表。表表 7.7-1 本项目环境风险简单分析内容表本项目环境风险简单分析内容表建筑项目名称xxxx新增 2 万吨/年集成电路材料生产项目建设地点（x301、x）省（xx）市（xx）区（/）县（/）园区地理坐标经度121.893847纬度29.877641主要危险物质及分布危险化学品仓库（硝酸、磷酸、氨水等）位于一期厂区西南侧，危险废物仓库位于一期厂区西侧环境影响途径及危害后果（大气、地表水、地下水等）泄漏、火灾、爆炸xxxx新增 2 万吨/年集成电路材料生产项目环境影响报告书129风险防范措施要求（1）本项目应落实事故、消防水的收集系统，确保消防水经处理达标后排放。厂内所有外排污水均设置切断装置与应急设施，确保一旦发生意外事故，所有污水均能通过管道进入事故应急池，不直接流入雨水管道。（2）为防止事故消防废水等的直接排放，本项目应在危险化学品仓库、302、危废仓库等周边设置防火堤或围堰，目的是防止火势蔓延至防火堤或围堰外，避免其他可燃物料的燃烧，同时设置事故应急池，将消防水和雨水收集起来，防止未经检测达标直接流入市政雨水管道。填表说明（列出项目相关信息及评价说明）：根据判别，本项目设计环境风险物质为磷酸、氨水等化学药剂，Q1，风险潜势为，在企业加强管理的情况下本项目环境风险可防控。xxxx新增 2 万吨/年集成电路材料生产项目环境影响报告书1308 8环境保护措施及其可行性分析环境保护措施及其可行性分析8.1施工期环境保护措施及其可行性分析施工期环境保护措施及其可行性分析本项目利用位于xx区柴桥街道青山路79号的已建厂房组织生产，因此施工期环境303、影响已消失。8.2营运期环境保护措施及其可行性分析营运期环境保护措施及其可行性分析8.2.1废气治理措施及其可行性分析废气治理措施及其可行性分析8.2.1.1废气排放源及排放去向废气排放源及排放去向图图 8.2-1 本项目废气生产及处置去向示意图本项目废气生产及处置去向示意图8.2.1.2有组织废气处理设施有组织废气处理设施1、废气治理设施根据建设单位提供资料及相关物料平衡，本项目不设置原料储罐，液体易挥发原料均密封存放于包装桶内，原料被泵入混合罐的同时向原料桶中输入氮气，使原料桶保持微正压，氮气输送管与原料桶连接处设有密闭管道接入后续废气处理装置，因此无呼吸废气产生。项目生产过程中收集的废气304、由管道汇集至废气处理装置。拟建项目废气收集方式如下：项目液体原料被泵入预混釜的同时向原料桶中输入氮气，使原料桶保持微正压，氮气输送管与原料桶连接处设有密闭管道接入后续废气处理装置。粉末原料投料在密闭集中供料间进行，供料间上方设有层流罩，投料口设置集气罩进行收集，生产过程产生的废气经管道收集后汇集至废气处理装置，本项目为电子材料生产项目，多数生产线在洁净车间内生产，车间配置独立的通风系统，本项目生产作业在10万级无尘、恒温车间内进行。混合灌装工序密闭管道负压收集19000 m3/h15m排气筒（DA004）水喷淋+碱喷淋+除湿+活性炭吸附装置液体投料工序集气管道负压收集粉末投料工序预混釜上方设有305、密闭集中供料间，供料间上方设有层流罩，投料口设置集气罩进行收集交换柱清洗工序密闭管道负压收集xxxx新增 2 万吨/年集成电路材料生产项目环境影响报告书131本项目产生的废气经一套“水喷淋+碱喷淋+除湿+活性炭吸附”废气处理装置，本项目多数废气易溶于水，其中有机废气喷淋去除效率为50%，活性炭吸附效果约为70%，综合污染物去除率为85%；水喷淋对氨的处理效率为75%，碱液喷淋对氮氧化物（硝酸雾）的处理效率为30%，颗粒物去除效率90%，酸雾（硫酸雾、氯化氢、氟化物）的去除效率为70%。本项目废气收集风量为19000m3/h，废气经处理装置处理后通过1根15m排气筒排放。2、废气风量可行性分析废306、气流速及换气次数参照环境工程技术手册：废气处理工程技术手册中的相关要求，具体见下表。表表 8.2-1 项目废气收集风量一览表项目废气收集风量一览表废气名称主要部位规格/m3尺寸/m3数量/个换气次数/次/h核算风量 m3/h收集风量m3/h是否可行集成电路材料生产废气混合釜102783064807200是溶解釜102743032403660是混合釜0.20.833072100是混合釜0.10.62303650是混合釜0.050.33302750是混合釜5162309601100是盐酸釜1.55230300360是溶解釜36.6230396480是密闭投料区/40/12048006000是合计1307、631119000是3、废气治理方案拟建项目有机废气中主要来自于集成电路材料生产废气和交换柱清洗废气，其中集成电路材料生产废气主要组分包括非甲烷总烃、氨、氟化物等污染物，主要为挥发性有机物组分(VOCs)。本项目多数有机废气极易溶于水。活性炭吸附是一种常用的吸附方法，主要利用高孔隙率、高比表面积的吸附剂，由物理性吸附(可逆反应)或化学性键结(不可逆反应)作用，将有机气体分子自废气中分离，以达成净化废气的目的。在有机废气处理过程中，活性炭常被用来吸附烷烃、烯烃、芳香烃、酮、醛、氯代烃、酯以等挥发性有机化合物(VOC)。活性炭吸附其实质是一个吸附浓缩的过程，是一种高效率经济实用型有机废气处理方法。308、xxxx新增 2 万吨/年集成电路材料生产项目环境影响报告书132废气处理装置配置一个活性炭箱，每隔活性炭箱一次装填量为3立方，约1.5t活性炭，项目废气产生量较小，根据工程分析，本项目处理废气所需活性炭量为6t/a，因此本项目活性炭更换周期为每季度。通过以上分析，拟建项目本着“简单可靠、经济效益高”的原则，选择投资成本低、净化效率高、运行稳定的活性炭吸附工艺对有机废气进行处理。本项目废气中的氨利用氨易溶于水，采用水喷淋的方式可以达标排放；废气中的酸雾（硫酸雾、氯化氢、氟化物（氟化氢）、氮氧化物（硝酸雾）和可以与碱液喷淋中的碱中和反应，采用碱喷淋的方式可以达标排放。综上所述，拟建项目废气浓度较309、低，经“水喷淋+碱喷淋+除湿+活性炭吸附”装置处理，处理装置有机废气去除率为85%，氨去除率为75%，氮氧化物（硝酸雾）去除率为30%、酸雾（硫酸雾、氯化氢、氟化物）的去除效率为70%。8.2.1.3技术可行性论证技术可行性论证参照 排污许可证申请与核发技术规范 电子工业中表2-4电子专用材料制造排污单位废气产污环节、污染物项目、排放形式及污染防治设施一览表。表表 8.2-2 废气治理设施可行性分析一览表废气治理设施可行性分析一览表大气污染物可行技术实际情况是否可行氨碱性处理系统：酸喷淋洗涤吸收法、其他水喷淋是颗粒物含尘废气处理系统：布袋除尘法、其他水喷淋+碱液喷淋是氮氧化物酸性废气处理系统：310、碱液喷淋洗涤吸收法、其他碱液喷淋是硫酸雾氟化物氯化氢非甲烷总烃有机废气处理系统：活性炭吸附法、燃烧法、其他水喷淋+碱喷淋+除湿+活性炭吸附是由上表可知，本项目废气治理是可行的。8.2.1.4达标排放可行性分析达标排放可行性分析本项目各股废气经上述废气处理装置处理，结合工程分析可知，各股废气污染物达标排放情况见下表。表表 8.2-3 本项目各股废气污染物达标排放分析一览表本项目各股废气污染物达标排放分析一览表序污染源污染物排放速排放浓度标准限值是否xxxx新增 2 万吨/年集成电路材料生产项目环境影响报告书133号率(kg/h)(mg/m3)达标排放速率(kg/h)排放浓度(mg/m3)1集成电311、路材料生产废气排气筒DA004氟化物0.0110.589.00.10是氨0.0060.32/4.9是非甲烷总烃0.39120.581203.5是颗粒物0.0985.161203.5是甲醛0.000010.00250.26是氮氧化物0.1437.532400.77是硫酸雾0.1517.95451.5是氯化氢0.0623.261000.26是综上可知，项目各股废气分别经对应废气治理设施处理后均可做到达标排放。8.2.1.5无组织废气控制措施无组织废气控制措施根据挥发性有机物无组织排放控制标准（GB 37822-2019）等有关要求，本项目无组织废气控制措施如下：1、本项目不设置挥发性有机液体储罐，312、盛装 VOCs 物料的包装桶及包装袋存放于甲类仓库内，并做好防渗措施，甲类仓库保持为密封空间；2、液态 VOCs 物料采用密闭管道输送或高位槽、桶泵等方式密闭投加；本项目生产厂房均为密闭空间，粉状物料投加废气经收集处理后排放；3、生产过程中进料置换废气、挥发排气等均通过管道收集处理后排放；生产过程汇总各开口保持密闭状态；4、过滤单元采用密闭式设备，废气排至废气收集处理系统；5、真空泵排气排至废气收集处理系统；6、物料混合、搅拌等加工在密闭设备内进行，废气排至废气收集处理系统；7、加强生产管理，规范操作，减少人为造成的无阻织排放；对设备进行定期检查和报告，确保环保设备正常运行；8、建立监测制度，313、对厂区内VOCs 无组织排放状况进行监测，污染物浓度应达到挥发性有机物无组织排放控制标准（GB37822-2019）特别排放限值。8.2.2废水治理措施及其可行性分析废水治理措施及其可行性分析本项目生产废水经收集混合后排入厂区污水处理站处理后纳入市政污水管网输送至xx柴桥净化水厂处理。xxxx新增 2 万吨/年集成电路材料生产项目环境影响报告书134本项目生活污水废水经厂区内化粪池处理达标后纳入市政污水管网输送xx至柴桥净化水厂处理。1）生产废水本项目对已建污水处理站进行改造，增加重金属废水预处理工序（pH调节、化学沉淀），处理能力仍为10t/h，具体工艺流程见下图。废水废水调节池pH调节池混314、凝池絮 凝 池池中和池池沉 淀 池池水解酸化池接触氧化池沉淀池池中 间 水池池排放污泥池池压滤机池污泥委外池一类重金属废水pH调节池化学沉淀池图图 8.2-3 改造后废水处理站工艺流程图改造后废水处理站工艺流程图主要工艺介绍：（1）化学沉淀化学沉淀是投加化学剂，使水中需要去除的溶解物质转化为难溶物质而析出的水处理方法。用在给水处理中，用以去除钙、镁、铁、锰等。废水中对健康有害的金属离子（如汞、镉、铬、铅、铜和锌等）的氢氧化物都是难溶或微溶的物质。用石灰提高废水的 pH 值，就可使它们从水中析出。对重金属的去除效率约为99%。（2）水解酸化水解酸化处理方法是一种介于好氧和厌氧处理法之间的方法，和315、其它工艺组合可以降低处理成本提高处理效率。水解酸化工艺根据产甲烷菌与水解产酸菌生长速度不同，将厌氧处理控制在反应时间较短的厌氧处理第一和第二阶段，即在大量水解细菌、酸化菌作用下将不溶性有机物水解为溶解性有机物，将难生物降解的大分子物质转化为易生物降解的小分子物质的过程，从而改善废水的可生化性，为后续处理奠定良好基础。（3 接触氧化xxxx新增 2 万吨/年集成电路材料生产项目环境影响报告书135接触氧化法是一种兼有活性污泥法和生物膜法特点的新的废水生化处理法。这种方法的主要设备是生物接触氧化滤池。在不透气的曝气池中装有焦炭、砾石、塑料蜂窝等填料，填料被水浸没，用鼓风机在填料底部曝气充氧，这种方316、式称为鼓风曝气；空气能自下而上，夹带待处理的废水，自由通过滤料部分到达地面，空气逸走后，废水则在滤料间格自上向下返回池底。活性污泥附在填料表面，不会随水流动，因生物膜直接受到上升气流的强烈搅动，不断更新，从而提高了净化效果。生物接触氧化法具有处理时间短、体积小、净化效果好、出水水质好而稳定、污泥不需回流也不膨胀、耗电小等优点。企业已建污水处理站标准排放口及生活污水排放口均按照排污口规范化整治技术要求（试行）等要求进行建设。（3）废水处理达标可行性分析废水处理可行性主要从处理能力和达标排放可行性方面进行分析。处理能力根据规划，项目废水处理站的设计处理能力为10t/h（120t/d），而本项目实施317、后，全厂生产废水产生量为162.81t/d，从处理能力来讲能够满足废水处理的需求。此外，由于本项目生产电镀液及添加剂过程中产生的废水中含有重金属，保证该种废水中的重金属预处理后能达标排放，废水处理站将增加化学沉淀工序单独处理含重金属废水。达标排放可行性表表 8.2-4 综合废水处理系统各单元处理效率一览表综合废水处理系统各单元处理效率一览表序号主要污染物进水浓度（mg/L）处理工段理论去除率%综合去除率%预测排放浓度（mg/L）排放标准（mg/L）1COD119混凝反应4088.31195002水解酸化353接触氧化705氨氮6水解酸化+接触氧化70706356总氮8水解酸化+接触氧化7070318、8708SS38沉淀80963840010终沉8011总磷0.01混凝反应85910.01812接触氧化4013氟化物0.7混凝沉淀50500.720 xxxx新增 2 万吨/年集成电路材料生产项目环境影响报告书13614总铁0.105化学沉淀99990.1051015总镍2.995化学沉淀99990.030.516总铜58.409化学沉淀99990.62.017总银0.197化学沉淀99990.0020.318总铅0.003化学沉淀99990.0030.2注 1：“理论去除率%”依据排放源统计调查产排污核算方法和系数手册中“机械行业系数手册、39 计算机、通信和其他电子设备制造业系数手册等有319、关数据。注 2：本项目污水经充分混合后主要污染物 COD 等产生浓度相对较低，实际处理效率无法准确估算，故预测排放浓度填进水浓度。根据上表可以看出，经混凝、絮凝沉淀+水解酸化+接触氧化、沉淀处理后废水纳管水质可以达到电子工业水污染物排放标准（GB39731-2020）表1水污染物排放限值中电子专用材料间接排放标准（其中氨氮达到xx省地方标准工业企业废水氮、磷污染物间接排放限值（DB33/887-2013）间接排放浓度限值；总铁排放指标参照执行 酸洗废水排放总铁浓度限值（DB33/844-2011）二级标准）。综上，本项目采用污水处理工艺可以满足项目需求，可确保纳管废水达标排放，因此本项目污水处320、理方案可行，水污染控制措施是有效的。8.2.3噪声治理措施及其可行性分析噪声治理措施及其可行性分析项目主要噪声源为泵、风机等机械设备运行及生产过程产生的噪声，源强在7080dB（A）。除要求设备符合规定的噪声标准外，本项目采取的噪声治理措施如下：1）设计选用同类产品中噪声低的机电设备。2）风机底部设减振基础，风管进出口采用软接头，并添加消音器。3）合理布置生产内容，风机等噪声级较高的设备尽量远离靠近东边界一侧布置。综上分析并结合预测结果，厂界噪声经采取措施后能西侧厂界达到工业企业厂界环境噪声排放标准（GB12348-2008）3类标准；东侧、北侧厂界达到工业企业厂界环境噪声排放标准（GB123321、48-2008）2类标准；南侧厂界达到工业企业厂界环境噪声排放标准（GB12348-2008）4类标准，项目噪声排放对周边环境及环境敏感点影响较小。8.2.4固体废物治理措施及其可行性分析固体废物治理措施及其可行性分析1、固体废物处置措施xxxx新增 2 万吨/年集成电路材料生产项目环境影响报告书137本项目产生的固体废物种类和处置措施见下表。表表 8.2-7 本项目固废种类和处置措施本项目固废种类和处置措施编号名称产生量（t/a）处置方式最终外排量1除湿过滤棉0.5收集暂存后委托有资质的单位安全处置02污水处理污泥82.803废包装袋/桶30004废活性炭9.0705废滤芯206废油桶0.1322、07废导热油0.8t/3 年08生活垃圾1.5委托环卫部门清运02、日常管理要求要求企业履行申报的登记制度、建立台账管理制度。根据xx省危险废物交换和转移办法(浙环发2001113号)和xx省危险废物经营许可证管理暂行办法(浙环发2001183号)以及xx省生态环境厅关于进一步加强工业固体废物环境管理的通知的规定，应将危险废物处置办法报请生态环境部门批准后才可实施，禁止私自处置危险废物。对危险废物的转移运输要实行危险废物转移联单管理办法，实行五联单制度，运出单位及当地生态环境部门、运输单位、接受单位及当地生态环境部门进行跟踪联单。同时加快完善工业固体废物源头管控、收集转运、能力建设、存量清零、323、执法监管各环节的闭环管理。项目固废处置时，尽可能采用减量化、资源化利用措施。纯水制备废活性炭、纯水制备废树脂、污水处理污泥经收集暂存后委托处置；生活垃圾在厂区内定点收集，然后委托当地环卫部门统一清运至垃圾填埋厂进行卫生填埋；废包装袋/桶、废滤芯、废活性炭等危险废物需委托有资质的单位进行安全处置，并且需执行报批和转移联单等制度。各固废在外运处置前，须在厂内安全暂存，确保固废不产生二次污染。3、一般工业废物暂存库设置要求建议企业在一般工业废物暂存库做好相应防渗漏、防雨淋、防扬尘等环境保护措施，禁止危险废物和生活垃圾混入，建立检查维护制度以及台账制度，做好定期清运工作，根据环境保护图形标志固体废物贮324、存（处置）场（GB15562.2-1995）及修改单设置有关标识。xxxx新增 2 万吨/年集成电路材料生产项目环境影响报告书1384、危废暂存库设置要求危险废物在厂区内临时堆放应严格执行危险废物贮存污染控制标准（GB18597-2023）有关规定专门设置临时堆放仓库，贮存场所必须防风、防雨、防晒，防漏、防渗、防腐，地面必须要高于厂房的基准地面，确保雨水无法进入，渗漏液也无法外溢进入环境，地面与裙脚要用坚固、防渗的材料建造，防渗层为至少1m厚粘土层（渗透系数10-7cm/s），或2mm厚高密度聚乙烯，或至少2mm厚的其它人工材料，渗透系数10-10cm/s，堆放危险废物的高度应根据地面承载能力325、确定，并按照危险废物识别标志设置技术规范（HJ 1276-2022）和环境保护图形标志固体废物贮存（处置）场（GB 15562.2-1995）及修改单要求设置有关标识。本项目危废仓库防风、防雨、防晒，地面高于厂房的基准地面，雨水无法进入，渗漏液也无法外溢进入环境，地面与裙脚用坚固、防渗的材料建造。符合危险废物贮存污染控制标准（GB18597-2023）有关规定。同时应做好危险废物的申报登记，建立台账管理制度，记录上须注明危险废物的名称、来源、数量、特征和包装容器的类别、入库时间、存放库位、废物出库日期及接受单位名称。在危险废物转运的时候必须报请当地生态环境局批准及填写危险废物转运单。8.2.5326、环境事故风险防范措施环境事故风险防范措施本项目存在一定程度的火灾爆炸和化学品泄漏风险，需采取相应的风险防范措施，以降低各类风险事故发生的概率。企业已于 2020 年9月结合公司自身情况编制了xxxx微电子科技有限公司突发环境事件综合应急预案，并报xx市生态环境局xx分局备案，备案编号为：330206-2020-063-L。同时公司还将定期组织应急演练。目前企业已落实的风险防范措施如下：1）生产车间和仓库均设有截流设施，正常情况雨水阀门处于关闭状态，且有专人负责雨污水阀门的切换；2）于厂区西北侧建有1座容积为66m3地下事故应急池，用于收集应急状态下的废水；xxxx新增 2 万吨/年集成电路材料327、生产项目环境影响报告书1393）配备必要的应急物资和装备，并设置由职工兼职所组成的应急救援队伍。本项目xx后，企业将从以下几方面做好环境风险防范措施：1大气环境风险防范措施（1）对于燃爆过程所产生的气体，绝大部分应是燃烧后生成的一氧化碳、二氧化碳和水，部分未反应的物料可通过消防水冲刷或被消防泡沫覆盖，减少对大气环境的污染。一旦发生物料泄漏，应当迅速撤离泄漏污染区的人员至安全区，进行隔离，严格限制出入。事故现场，必须切断火源及泄漏源，关闭各排水沟的进出口，防止进入下水道、排洪沟等限制性空间。小量泄漏：用砂土或工业覆盖层以吸附、吸收，部分可用大量的雾状喷淋水冲洗，废水进入废水系统。大量泄漏必须构筑328、围堤或是挖坑收容；用泡沫覆盖以降低蒸气灾害。用防爆泵转移至槽车或专用收集器内，回收或运废物处理场所处置。（2）为防止风险事故波及影响范围内人员，须对其进行及时疏散和撤离，要求如下：1）疏散、撤离负责人事故发生后，由生产运行班组安全员作为疏散、撤离组织负责人。2）事故现场人员清点、撤离方式、方法当发生重大泄漏事故时，由应急指挥部实施紧急疏散、撤离计划。事故区域所有员工必须执行紧急疏散、撤离命令。侦检抢救队员必须立即到达事故现场，设立警戒区域，在疏散和撤离的路线上可设立指示牌，指xx向，指导警戒区内员工有序离开。警戒区内各生产班组安全员应清点撤离人员，检查确认区域内确无任何人滞留后，向指挥组汇报撤329、离人数，进行最后撤离。人员不要在低洼处滞留；要查清是否有人滞留泄漏区或污染区。如没有则及时撤离人员，应由配戴适宜防护装备的抢险队员两人进入现场搜寻，并实施救助。当员工接到紧急撤离命令后，应对生产/储运装置进行紧急停车，并对物料进行安全处置无危险后，方可撤离岗位到指定点集合。员工在撤离过程中，应戴好岗位上所配备的防毒面具，在无防毒面具的情况下，不能剧烈奔跑和碰撞容易产生火花的铁器/石块，憋住呼吸，用湿毛巾捂住口、鼻部位，缓缓逆风方向集中。xxxx新增 2 万吨/年集成电路材料生产项目环境影响报告书1403）撤离路线描述相应负责人应将发生事故的场所，设施及周围情况、化学品的性质和危害程度，以及当时330、风向等气象情况向应急指挥部作详细报告，然后确定疏散、撤离路线。疏散警报响起，首先判断风向，原则上往上风处疏散，若气体泄漏源为上风处时，宜向与风向垂直方向疏散。为使疏散计划执行期间厂内员工能从容撤离灾区，要随时了解员工状况，采取必要应变措施，根据厂内疏散路线，员工按照指示迅速撤离、疏散至集合点，各班组安全员负责人清点人数。4）非事故原发点/非现场人员的紧急疏散事故警戒区外为非事故现场。当发生重大泄漏事故时，应急指挥部应根据事故可能扩大的范围和当时气象条件，抢险进展情况及预计延展趋势，综合分析判断，对可能涉及的装置决定是否紧急停车和疏散人员，并向其通报该决定。以防止恐慌或派生事故。5）周边区域的工331、厂、社区人员的疏散发生重大事故时，可能危及周边区域的单位、社区安全时，应据当时气象条件、污染物可能扩散的区域和污染物性质，由应急指挥部决定是否需向周边地区发布信息，并与政府有关部门联系。政府部门根据实际需要对周边区域的工厂，社区和村落的人员进行疏散时，由公安、民政部门、街道组织抽调力量负责组织实施，立即组织广播车辆和专业人员协助公安及其他政府有关部门人员进行动员和疏导，使周边区域人员安全疏散。6）人员撤离、疏散后的报告事故现场、非事故现场和周边区域的人员按指挥命令撤离、疏散至安全地点集中后，由相关负责人清点、统计人数后，及时向指挥组报告。2事故废水环境风险防范措施（1）贮存区四周设置收集沟，一332、旦泄漏，泄漏液体进入收集沟进行收集。（2）厂区污水处理站应有专人负责维护和检修，保证在生产过程中处于正常xxxx新增 2 万吨/年集成电路材料生产项目环境影响报告书141运行状态，防止超标排放。（3）建立事故排放事先申报制度，未经批准不得排放，便于相关部门应急防范，防止出现超标排放。（4）当泄漏事故发生时，应防止液体直接排入雨水排放口，应立即切断雨水排放口，通过设置围堰收集事故性废水及消防废水，并导入到事故应急水池，严禁事故废水在没有经过任何处理的情况下排放。故事故应急池容积应为62.18m3，现有66m3事故应急水池，可满足事故应急池容积要求，用于收集事故消防废水以及发生事故时可能进入该系统333、的泄漏的物料,并根据xx省企业突发环境事件应急预案编制导则（浙环办函2015146 号）等有关规定，要求及时变更相关应急预案，并报生态环境局备案。8.3环保治理措施汇总环保治理措施汇总具体见下表。表表 8.3-1本项目污染防治措施汇总本项目污染防治措施汇总类别污染源名称主要污染物污染防治措施执行标准及预治理效果废气交换柱清洗废气氯化氢水喷淋+碱喷淋+除湿+活性炭吸附装置处理后通过 15m 高排气筒排放大气污染物综合排放标准（GB16297-1996）中表 2 新污染源大气污染物排放限值中的二级标准集成电路材料生产废气颗粒物、非甲烷总烃、氮氧化物、氟化物、硫酸雾、甲醛氨恶臭污染物排放标准（GB14554-93）表 2 恶臭污染物排放标准值无组织/厂界颗粒物、非甲烷总烃、氮氧化物、氟化物、硫酸雾、甲醛选用高效密封零件减少设备动静密封点泄漏废气的产生大气污染物综合排放标准（GB16297-199