1、 建设项目环境影响报告表（污染影响类）项目名称：硅基氮化镓（GaN）HEMT 结构电力电子 芯片技术改造项目 建设单位（盖章）：xxxxxx微电子有限公司 编制日期：2023 年 7 月 目目 录录 一、建设项目基本情况.1 二、建设项目工程分析.16 三、区域环境质量现状、环境保护目标及评价标准.64 四、主要环境影响和保护措施.79 五、环境保护措施监督检查清单.105 六、结论.107 专题一：大气专题一：大气.108 专题二：环境风险专题二：环境风险.142 附表.178 1 一、建设项目基本情况 建设项目名称 硅基氮化镓（GaN）HEMT 结构电力电子芯片技术改造项目 项目代码 建设2、单位联系人 联系方式 建设地点 地理坐标 国民经济 行业类别 C3973 集成电路制造 建设项目 行业类别 80 电子器件制造 397 建设性质 新建（迁建）改建 扩建 技术改造 建设项目 申报情形 首次申报项目 不予批准后再次申报项目 超五年重新审核项目 重大变动重新报批项目 项目审批（批准/备案）部门（选填）xx新区行政审批局 项目审批（批准/备案）文号（选填）/总投资（万元）10239.29 xx投资（万元）100 xx投资占比（%）0.98 施工工期 24 个月 是否开工建设 否 是：用地（用海）面积（m2）0 专项评价设置情况 本项目专项评价设置情况详见表 1-1。表表1-1 项目专3、项评价设置情况一览表项目专项评价设置情况一览表 专项评价类别 设置原则 对照分析 是否设置 大气 排放废气含有毒有害污染物、二噁英、苯并a芘、氰化物、氯气且厂界外 500 米范围内有环境空气保护目标的建设项目 本项目排放氯气且厂界外最近距离约 85m 处有居住区天元公寓。是 地表水 新增工业废水直排建设项目（槽罐车外送污水处理厂的除外）；新增废水直排的污水集中处理厂 本项目废水经预处理达标后纳管排放。否 环境风险 有毒有害和易燃易爆危险物质存储量超过临界量的建设项目 本项目有毒有害和易燃易爆危险物质存储量超过临界量。是 2 生态 取水口下游 500 米范围内有重要水生生物的自然产卵场、索饵场、4、越冬场和洄游通道的新增河道取水的污染类建设项目 本项目所在地取水口下游500m 范围无内重要水生生物的自然产卵场、索饵场、越冬场等生态保护目标。否 海洋 直接向海排放污染物的海洋工程建设项目 本项目不涉及直接向海洋排放污染物。否 由上表可知，本项目需设置大气及环境风险 2 个专项评价章节。规划情况 xx大创小镇综合发展规划由xxxx建筑设计有限公司编制，2018 年 8 月 10 日xx省特色小镇规划建设工作联席会议办公室以浙特镇办201819 号文件公布了xx省省级特色小镇第四批创建名单，xx大创小镇作为大学城、大学生、大众创业首选地进入第四批创建名单。规划环境影响 评价情况 文件名称：xx5、大创小镇综合发展规划环境影响报告书 召集审查机关：xx市生态环境局 审查文件名称及文号：关于抄告xx大创小镇综合发展规划环境影响报告书审查会审查小组意见和关于xx大创小镇综合发展规划环境影响报告书的复核报告的函（杭环函2019308 号）规划及规划环境 影响评价符合性分析 1、xx大创小镇综合发展规划符合性分析、xx大创小镇综合发展规划符合性分析（1）规划范围及面积 xx大创小镇位于xxxx区xx区块，规划区红线东至25 号大街，南至 10 号大街、西至 9 号大街，北至 2 号大街；规划总用地面积 3.8km2。（2）规划期限 2018-2025 年，评价基准年为 2018 年。（3）规划结6、构 规划形成“一核一街、三区三带”的总体布局。其中一核指核心创业街（由 2 号、23 号、6 号、15 号大街围合而成）；一街指拇指路（科技园）创业大街；三区分别为西部拓展区、南部拓展区和东部教育生活配套区；三带分别指高教园区双创带（14 所高校）、xx江围垦文化带和南部转型升级带。（4）产业发展规划 3 xx大创小镇作为全国双创示范区，以数字经济（信息技术产业）为主导，重点发展集成电路、新型显示、柔性制造、智能应用产业及研发创新产业。（5）符合性分析 根据xx大创小镇用地规划图，本项目位于大创小镇产业规划布局中的“集成电路产业区”，用地性质为工业用地。本项目主要生产内容为硅基氮化镓（GaN）7、HEMT 结构电力电子芯片，符合xx大创小镇的总体发展规划。2、xx大创小镇综合发展规划环境影响报告书符合性分析、xx大创小镇综合发展规划环境影响报告书符合性分析 根据xx大创小镇综合发展规划环境影响报告书，规划环评主要成果如下：（1）规划环评总结论 本次规划实施后，规划定位与城市总体规划、土地利用规划、环境功能区划等上位规划的定位要求基本一致，规划目标与当前xx要求相符，发展定位符合大环境背景要求，但局部布局需进一步优化。在规划层面上土地资源、水资源和能源能够得到保障，xx基础设施已配套建设；大气环境容量存在短板，规划实施后污染物总量可以实现减排，规划实施有助于改善区域环境质量。报告认为，规8、划方案在目标定位、产业结构和规模等方面较为合理，在进一步优化规划实施和局部用地布局、完善基础设施建设、健全环境管理体系、严格落实资源保护和环境影响减缓对策措施后，从资源环境保护而言是可行的，也有利于促进区域经济、社会的协调、可持续发展。（2）管控要求 本项目位于xx区白杨街道19 号大街 656 号，根据xx大创小镇综合发展规划环境影响报告书，项目所在区块生态空间管控要求详见表 1-2、环境准入要求详见表 1-3。4 规划及规划环境影响评价符合性分析 表表1-2 项目所在区块生态空间管控要求项目所在区块生态空间管控要求 类别 所含空间单元 面积 现状用地类型 所在环境功能区划小区 规划图 管控9、要求 生产空间 工业区 127.9万 m2 工业 为主 xx南部产业发展环境优化准入区 1、禁止新建、扩建三类工业项目，鼓励对三类工业项目进行淘汰和提升改造；2、新建二类工业项目污染物排放水平需达到同行业国内先进水平；3、禁止新建、技改项目设置挥发性有机物工段（排放量大于 0.5t/a）和表面有机涂层工段；4、禁止新建入河排污口，现有的入河排污口应限期纳管；5、合理规划生活区与工业区，在居住区和工业园、工业企业之间设置隔离带。表表1-3 项目所在区块环境准入条件清单项目所在区块环境准入条件清单 所属区域 类型 产业领域 项目类别 分类 行业 清单 工艺 清单 产品 清单 制定依据 xx南部环境10、优化准入区 主导产业 1、信息技术（集成电路、人工智能、物联网）；2、新型显示；3、柔性制造及智能应用；计算机、通信和其他电子设备制造业 禁止准入类 涉及化学反应电子专用材料合成产业 涉及电镀、化学镀工艺；涉及有机涂层（喷塑除外）、电路板印刷 万元产值耗能、水量高于xx市上年度平均指标的项目及产品 xx市区（六城区）环境功能区划、xx市产业发展导向目录与产业平台布局（2019）协同发展产业 研发创新服务 研究和试验发展 禁止准入类 涉及化工类中试内容的/其他产业 非主导行业/禁止非主导产业新建；现有非主导产业在污染物总量不增加前提下技改。/（3）符合性分析 根据xx市“三线一单”生态环境分区管11、控方案（2020.9），本项目属于江干区xx南部、xx园区北部产业集聚重点管控单元（编号 ZH33010420002）。本项目主要生产内容为硅基氮化镓（GaN）HEMT 结构电力电子芯片，属于电子器件制造行业，为二类工业项目；同时 VOCs 排放量小于 0.5t/a。根据环境准入条件清单表对照，本项目属于其主导产业，不5 属于环境准入条件清单中禁止准入类和限制准入类产业；项目属于 C3973 集成电路制造，不属于电子专用材料合成产业，不属于禁止准入行业。同时本项目生产工艺不涉及电镀、化学镀、有机涂层，不属于其禁止类工艺清单。项目实施后，项目废水经厂区污水处理设施预处理后纳入xx市七格污水处理厂12、处理达标后排放；酸性废气经碱液喷淋吸收塔处理后高空排放；碱性废气经酸液喷淋吸收塔处理后高空排放；有机废气收集后经沸石浓缩转轮焚烧系统处理后高空排放。生活垃圾经集中收集后委托当地环卫部门清运；危险固废暂存危废仓库委托有资质的单位处理；一般固废出售综合利用；厂区内进行构筑物隔声、基础减震。项目“三废”经采取适当的污染防治措施后能够达到规划环评中提出的相应污染物排放标准要求。综上所述，本项目的建设符合xx大创小镇综合发展规划环境影响报告书的相关要求。其他符合性分析 1、xx市“三线一单”生态环境分区管控方案符合性判定、xx市“三线一单”生态环境分区管控方案符合性判定 根据xx市“三线一单”生态环境分13、区管控方案（2020.9），本项目属于江干区xx南部、xx园区北部产业集聚重点管控单元（编号 ZH33010420002）。项目与管控单元生态环境准入清单符合性分析见表 1-4。表表1-4 管控单元生态环境准入清单符合性一览表管控单元生态环境准入清单符合性一览表 管控要求 符合性分析 空间布局引导 根据产业集聚区块的功能定位，建立分区差别化的产业准入条件。合理规划居住区与工业功能区，在居住区和工业区、工业企业之间设置防护绿地、生活绿地等隔离带。本项目位于xx市xx区19 号大街 656 号，属于大创小镇产业规划布局中的“集成电路产业区”，用地性质为工业用地，厂区与周边企业、居住区之间均设有防护14、绿地。符合空间布局要求。符合空间布局要求。污染物排放管控 严格实施污染物总量控制制度，根据区域环境质量改善目标，削减污染物排放总量。所有企业实现雨污分流。企业已完成雨污分流，已申领排污许可证并已进行总量交易。本项目实施后，严格落实污染物总量控制制度。符合污染物排放管控。符合污染物排放管控。环境风险防控 强化工业集聚区企业环境风险防范设施设备建设和正常运行监管，加强重点环境风险管控企业应急预案制定，建立常态化的企业隐患排查整治监管机制，加强风险防控体系建设。现有企业已经建立企业隐患排查整治监管机制；本项目实施后，要求企业重视环境风险防控，及时更新企业应急预案。符合环境风险防控。符合环境风险防控。15、资源开发效率要求/综上所述，项目的建设符合xx市“三线一单”生态环境分区管控方案中的相关要求。6 2、xx省“十四五”挥发性有机物综合治理方案符合性分析、xx省“十四五”挥发性有机物综合治理方案符合性分析 本项目与xx省“十四五”挥发性有机物综合治理方案符合性分析详见下表。表表1-5 xx省“十四五”挥发性有机物综合治理方案符合性分析xx省“十四五”挥发性有机物综合治理方案符合性分析 内容 符合性分析 结论 优化产业结构。引导石化、化工、工业涂装、包装印刷、合成革、化纤、纺织印染等重点行业合理布局，限制高 VOCs 排放化工类建设项目，禁止建设生产和使用 VOCs 含量限值不符合国家标准的涂料16、油墨、胶粘剂、清洗剂等项目。贯彻落实产业结构调整指导目录 国家鼓励的有毒有害原料（产品）替代品目录，依法依规淘汰涉 VOCs 排放工艺和装备，加大引导退出限制类工艺和装备力度，从源头减少涉 VOCs 污染物产生。项目不涉及使用 VOCs 含量限值不符合国家标准的涂料、油墨、胶粘剂、清洗剂。根据产业结构调整指导目录等文件，项目不涉及产业禁止或限制的工艺和装备，符合产业政策要求。符合 严格环境准入。严格执行“三线一单”为核心的生态环境分区管控体系，制（修）订纺织印染（数码喷印）等行业绿色准入指导意见。严格执行建设项目新增 VOCs 排放量区域削减替代规定，削减措施原则上应优先来源于纳入排污许可管17、理的排污单位采取的治理措施，并与建设项目位于同一设区市。xx年度环境空气质量达标的区域，对石化等行业的建设项目VOCs 排放量实行等量削减；xx年度环境空气质量不达标的区域，对石化等行业的建设项目 VOCs 排放量实行 2 倍量削减，直至达标后的下一年再恢复等量削减。项目所在地属于江干区xx南部、xx园区北部产业集聚重点管控单元（ZH33010420002），符合xx市“三线一单”生态环境分区管控方案中的相关要求。本项目为芯片制造项目，项目所在区域 2021 位环境空气质量不达标区，新增VOCs 按 1:2 的比例削减替代。符合 全面提升生产工艺绿色化水平。石化、化工等行业应采用原辅材料利用率18、高、废弃物产生量少的生产工艺，提升生产装备水平，采用密闭化、连续化、自动化、管道化等生产技术，鼓励工艺装置采取重力流布置，推广采用油品在线调和技术、密闭式循环水冷却系统等。工业涂装行业重点推进使用紧凑式涂装工艺，推广采用辊涂、静电喷涂、高压无气喷涂、空气辅助无气喷涂、热喷涂、超临界二氧化碳喷涂等技术，鼓励企业采用自动化、智能化喷涂设备替代人工喷涂，减少使用空气喷涂技术。包装印刷行业推广使用无溶剂复合、共挤出复合技术，鼓励采用水性凹印、醇水凹印、辐射固化凹印、柔版印刷、无水胶印等印刷工艺。鼓励生产工艺装备落后、在既有基础上整改困难的企业推倒重建，从车间布局、工艺装备等方面全面提升治理水平。本项目19、为芯片制造项目，不属于石化、化工等行业，不涉及工业涂装。项目有机废气经过沸石浓缩转轮焚烧系统处理后高空排放，可以做到达标排放。符合 全面推行工业涂装企业使用低 VOCs 含量原辅材料。严格执行大气污染防治法第四十六条规定，选用粉末涂料、水性涂料、无溶剂涂料、辐射固化涂料等环境友好型涂料和符合要求的（高固体分）溶剂型涂料。工业涂装企业所使用的水性涂料、溶剂型涂料、无溶剂涂料、辐射固化涂料应符合低挥发性有机化合物含量涂料产品技术要求规定的 VOCs 含量限值要求，并建立台账，记录原辅材料的使用量、废弃量、去向以及 VOCs 含量。本项目为芯片制造项目，不涉及工业涂装工序。符合 7 大力推进低 VO20、Cs 含量原辅材料的源头替代。全面排查使用溶剂型工业涂料、油墨、胶粘剂、清洗剂等原辅材料的企业，各地应结合本地产业特点和本方案指导目录（见附件 1），制定低 VOCs 含量原辅材料源头替代实施计划，明确分行业源头替代时间表，按照“可替尽替、应代尽代”的原则，实施一批替代溶剂型原辅材料的项目。加快低 VOCs 含量原辅材料研发、生产和应用，在更多技术成熟领域逐渐推广使用低 VOCs 含量原辅材料，到 2025 年，溶剂型工业涂料、油墨、胶粘剂等使用量下降比例达到国家要求。本项目为芯片制造项目，不涉及溶剂型工业涂料、油墨、胶粘剂。项目光刻等工序涉及有机溶剂，工艺、原材料和废气处理设施均为行业内先进21、。符合 严格控制无组织排放。在保证安全前提下，加强含 VOCs 物料全方位、全链条、全环节密闭管理，做好 VOCs 物料储存、转移和输送、设备与管线组件泄漏、敞开液面逸散以及工艺过程等无组织排放环节的管理。生产应优先采用密闭设备、在密闭空间中操作或采用全密闭集气罩收集方式，原则上应保持微负压状态，并根据相关规范合理设置通风量；采用局部集气罩的，距集气罩开口面最远处的 VOCs无组织排放位置控制风速应不低于 0.3 米/秒。对 VOCs 物料储罐和污水集输、储存、处理设施开展排查，督促企业按要求开展专项治理。本项目生产车间均为洁净车间，化学品容器仅在开启时有少量无组织废气产生，通过供应间排风系统22、接至相应的废气排气筒后有组织排放，可消除生产车间的无组织排放情况。符合 全面开展泄漏检测与修复（LDAR）。不涉及 符合 规范企业非正常工况排放管理。引导石化、化工等企业合理安排停检修计划，制定开停工（车）、检修、设备清洗等非正常工况的环境管理制度。在确保安全的前提下，尽可能不在 O3污染高发时段（4 月下旬6 月上旬和 8 月下旬9 月，下同）安排全厂开停车、装置整体停工检修和储罐清洗作业等，减少非正常工况 VOCs 排放；确实不能调整的，应加强清洗、退料、吹扫、放空、晾干等环节的 VOCs 无组织排放控制，产生的 VOCs 应收集处理，确保满足安全生产和污染排放控制要求。不涉及 符合 建设23、适宜高效的治理设施。企业新建治理设施或对现有治理设施实施改造，应结合排放 VOCs 产生特征、生产工况等合理选择治理技术，对治理难度大、单一治理工艺难以稳定达标的，要采用多种技术的组合工艺。采用活性炭吸附技术的，吸附装置和活性炭应符合相关技术要求，并按要求足量添加、定期更换活性炭。组织开展使用光催化、光氧化、低温等离子、一次性活性炭或上述组合技术等 VOCs治理设施排查，对达不到要求的，应当更换或升级改造，实现稳定达标排放。到 2025 年，完成 5000家低效 VOCs 治理设施改造升级，石化行业的 VOCs 综合去除效率达到 70%以上，化工、工业涂装、包装印刷、合成革等行业的 VOCs 24、综合去除效率达到 60%以上。项目有机废气经过沸石浓缩转轮焚烧系统处理后高空排放，综合去除效率可以达到 90%，确保废气达标排放。符合 加强治理设施运行管理。按照治理设施较生产设备“先启后停”的原则提升治理设施投运率。根据处理工艺要求，在治理设施达到正常运行条件后方可启动生产设备，在生产设备停止、残留 VOCs 收集处理完毕后，方可停运治理设施。VOCs 治理设施发生故障或检修时，对应生产设备应停止运行，待检修完毕后投入使用；因安全等因素生产设备不能停止或不能及时停止运行的，应设置废气应急处理设要求企业在后续生产过程中加强治理设施运行管理，在在治理设施达到正常运行条件后方可启动生产设备，在生产25、设备停止、残留 VOCs 收集处理完毕后，方可停运治理设施。VOCs 治理设施符合 8 施或采取其他替代措施。发生故障或检修时，对应生产设备应停止运行，待检修完毕后投入使用；因安全等因素生产设备不能停止或不能及时停止运行的，应设置废气应急处理设施或采取其他替代措施。规范应急旁路排放管理。推动取消石化、化工、工业涂装、包装印刷、纺织印染等行业非必要的含 VOCs排放的旁路。因安全等因素确须保留的，企业应将保留的应急旁路报当地生态环境部门。应急旁路在非紧急情况下保持关闭，并通过铅封、安装监控（如流量、温度、压差、阀门开度、视频等）设施等加强监管，开启后应做好台账记录并及时向当地生态环境部门报告。本26、项目不设相关含 VOCs 排放的旁路。符合 由上表可知，本项目的建设符合xx省“十四五”挥发性有机物综合治理方案中的相关内容。3、产业政策符合性分析、产业政策符合性分析 本项目主要产品为 8 英寸的硅基氮化镓（GaN）HEMT 结构电力电子芯片，属于 C3973 集成电路制造，对照产业结构调整指导目录（2019 年本），属于目录中“第一类：鼓励类，二十八、信息产业：22、新型电子元器件”。对照市场准入负面清单（2022 年版），项目不在市场准入负面清单内。对照xx市产业发展导向目录与产业平台布局指引（2019 年本），本项目属于“鼓励类”中的“B52 移动智能终端芯片、数字电视芯片、网络通信芯27、片、可穿戴设备芯片、数字集群（PDT）、数字对讲机、数字电视机顶盒等芯片及操作系统的设计、研发和制造”。对照xx区产业发展导向目录与产业平台布局指引（钱政办发 20226 号），本项目属于“鼓励类目录”中的“B01 8 英寸半导体硅片、12 英寸半导体硅片等；8 英寸及以下特色工艺生产线、虚拟 IDM 生产线、12 英寸数字芯片生产线”。此外，项目已获得区行政审批局出具的xx省工业企业“零土地”技术改造项目备案通知书（项目代码：2012-330155-89-02-581443）。因此，本项目的建设符合国家和地方产业政策要求。9 其他符合性分析 4、“三线一单”符合性分析、“三线一单”符合性分析28、（1）生态保护红线 本项目位于xx市xx区19 号大街 656 号，评价范围内不涉及xx市“三线一单”生态环境分区管控方案和xx省人民政府关于发布xx省生态保护红线的通知（浙政发201830 号）等相关文件划定的生态保护红线范围。项目的建设不触及生态保护红线。（2）环境质量底线 根据现状监测及环境公报，项目拟建地声环境能满足相应功能区要求，地表水环境能稳定达到地表水环境质量标准（GB3838-2002）类标准，但由于xx市区2022 年臭氧日最大 8 小时平均浓度第 90 百分位数存在超标现象，区域环境空气为不达标。为改善区域环境空气质量，xx市先后出台了xx市大气环境质量限期达标规划、xx市29、空气质量改善“十四五”规划、xx市建设全市域大气“清洁排放区”的实施意见等文件，xx市从能源结构与产业布局调整、加快重污染企业转型审计和重点企业整治提升、绿色低碳交通推进、工业废气污染防治等多个方面加强大气污染防治，推动大气环境质量改善，环境空气质量将会逐步好转并实现达标。项目实施后，废气经治理后能够实现达标排放；废水经厂区配套污水处理站预处理后纳管排入xx七格污水处理厂集中处理达标后排放，对附近水体无影响，能维持区块水环境质量现状；生产设备噪声经过减振降噪等措施后可实现达标排放；固体废物均有合理出路；企业落实好地下水源头控制和防渗措施后，项目不会对厂区周边地下水、土壤环境产生不利影响。因此，30、项目的建设可确保不突破环境质量底线要求。（3）资源利用上线 项目不属于高耗能、高污染、资源型企业，用水来自工业区供水管网，用电来自市政供电。项目利用现有厂房，无需新增用地；建成运行后通过内部管理、设备选择、自动化控制、原辅材料的选用和管理、废物回收利用、污染治理等多方面采取合理可行的防治措施，以“节约、降耗、减污”为目标，实现节能减排。因此，项目的实施不会突破该区域的资源利用上线。（4）环境准入负面清单 10 对照xx市“三线一单”生态环境分区管控方案，项目不在环境准入负面清单中，符合生态空间管制清单中有关管控措施要求，不属于生态空间管制清单中的负面清单。综上所述，项目符合“三线一单”相关要求31、。5、长江经济带发展负面清单指南（试行，、长江经济带发展负面清单指南（试行，2022 年版）年版）xx省实施细则xx省实施细则符合性分析符合性分析 本项目选址于xx市xx区19 号大街 656 号，利用现有已建厂房实施本项目，所在位置属于大创小镇产业规划布局中的“集成电路产业区”。项目主要进行硅基氮化镓（GaN）HEMT 结构电力电子芯片的生产，属于 C3973 集成电路制造，不属于实施细则中所列禁止及落后产能、严重过剩产能、高耗能的建设项目；且项目符合产业结构调整指导目录（2019 年本）（修正）、杭州市产业发展导向目录与产业平台布局指引（2019 年本）、xx区产业发展导向目录与产业平台布32、局指引等相关产业政策要求。因此，本项目的建设符合 长江经济带发展负面清单指南（试行，2022 年版）xx省实施细则相关要求。6、产品排水量相关符合性分析、产品排水量相关符合性分析 对照电子工业水污染物排放标准（GB39731-2020）中表 2 的规定，新建项目应执行单位产品基准排水量要求，具体要求如下表。表表1-6 单位产品基准排水量要求单位产品基准排水量要求 适用企业 产品规格 单位 单位产品基准排水量 排水量计量位置 半导体器件 8 英寸芯片 m3/片 6.0 与污染物排放监控位置一致 本项目产品规格为 8 英寸芯片，项目建成后年排水量为 10332.125t，项目芯片产能为 1 万片/33、年，折合单位产品排水量为 1.03m3/片，小于电子工业水污染物排放标准（GB39731-2020）中表 2 要求（6.0m3/片）。因此，本项目单位产品排水量符合电子工业水污染物排放标准（GB39731-2020）。7、“四性五不批”符合性分析、“四性五不批”符合性分析 根据建设项目环境保护管理条例（国务院令第 682 号），本项目“四性五不批”符合性分析见下表。11 表表1-7 建设项目环境保护管理条例重点要求（四性五不批）符合性分析建设项目环境保护管理条例重点要求（四性五不批）符合性分析 建设项目环境保护管理条例 项目情况 是否符合 四性 建设项目的环境可行性 项目符合产业政策、达标排放34、选址规划、环境规划、总量控制原则及环境质量要求等，从xx角度看，本项目的建设可行。符合 环境影响分析预测评估的可靠性 根据建设项目环境影响报告表编制技术指南的技术要求进行评价，项目噪声、废气、废水对环境的影响是可接受的。符合 环境保护措施的有效性 项目采用可行技术进行处理，只要切实落实各项污染防治措施，各类污染物均可得到有效控制并能做到达标排放或者不对外排放，其环境保护措施可靠合理。符合 环境影响评价结论的科学性 本环评结论客观、过程公开、评价公正，并综合考虑建设项目实施后对各种环境因素可能造成的影响，环评结论是科学的。符合 五不批 建设项目类型及其选址、布局、规模等不符合环境保护法律法规和35、相关法定规划。项目选址符合xx大创小镇综合发展规划、杭州市“三线一单”生态环境分区管控方案，建设内容符合国家及地方产业政策；项目运营过程中各类污染物均能得到有效控制，并做到达标排放，符合总量控制xx标排放原则，不会对环境造成不良影响。本项目不属于不批准的项目 所在区域环境质量未达到国家或者地方环境质量标准，且建设项目拟采取的措施不能满足区域环境质量改善目标管理要求。项目所在区域声环境质量和地表水环境质量均达标，大气环境质量现状中臭氧浓度略有超标，随着xx市大气环境质量限期达标规划、xx市空气质量改善“十四五”规划、xx市建设全市域大气“清洁排放区”的实施意见等文件的发布，xx市从能源结构与产业36、布局调整、加快重污染企业转型审计和重点企业整治提升、绿色低碳交通推进、工业废气污染防治等多个方面加强大气污染防治，推动大气环境质量改善，xx市的环境空气质量将会逐步好转。同时本项目废气中不含影响臭氧浓度的污染因子，且项目废气、废水、噪声经处理后均不会改变所在环境功能区的质量，项目实施不会改变所在地的环境质量水平和环境功能。建设项目采取的污染防治措施无法确保污染物排放达到国家和地方排放标准，或者未采取必要措施预防和控制生态破坏。项目采用可行技术进行处理，只要切实落实各项污染防治措施，各类污染物均可得到有效控制并能做到达标排放或者不对外排放，其环境保护措施可靠合理。改建、扩建和技术改造项目，未针对37、项目原有环境污染和生态破坏提出有效防治措施。本项目属于扩建项目，环评中对企业原有项目的环境管理措施等提出了进一步要求。建设项目的环境影响报告书、环境影响报告表的基础资料数据明显不实，内容存在重大缺陷、本评价基础资料数据具有真实性，内容不存在重大缺陷、遗漏，环境影响评价结论明确、合理。12 遗漏，或者环境影响评价结论不明确、不合理。8、清洁生产水平分析、清洁生产水平分析 本项目生产工艺要求高，生产环境要求高，主要生产设备先进，在现阶段基本上属于清洁生产工艺。但是清洁生产是一个持续不断的过程，企业必须加强清洁生产的实施。本环评的清洁生产评价指标分为：生产工艺与装备要求、资源能源利用、产品指标、能耗38、指标和环境管理要求。（1）生产工艺与设备要求 生产工艺先进性 xxxx已经建立了多门类、宽领域、有特色的功率半导体产品和技术研发平台，掌握了高压集成电路芯片、功率分立器件芯片和 MEMS 传感器芯片领域中多项核心技术，并已在硅基高压 BCD 工艺技术、HV VDMOS 工艺技术、IGBT 工艺技术、惯性传感器-MEMS 陀螺仪等核心技术方面实现了产品的批量产出。企业具有全国领先的半导体芯片制造工艺水平，依托于自有芯片生产线，在国内电力电子和特色工艺领域确立了独特的竞争优势。公司成功开发和引进了 SIPEX 公司 2u 双极工艺和 CMOS/BICMOS 工艺技术。开发“BCD 工艺技术创新”项39、目，该项目是xx市科技发展计划项目，开发出 1 微米的 BCD 工艺技术平台，电压覆盖了 25V 到 650V，是国内能够量产的最高工艺技术水平。开发 60V800V 的高低压 VDMOS 产品，该项目是信息产业部电子信息产业发展基金管理办公室“VDMOS 工艺技术开发及产业化”项目，主要针对电源、显示屏、电力电子、汽车等市场。目前公司已达到0.60.8 微米的工艺技术，主要针对能源管理、照明、家电、计算机、通讯类产品，较同行业的 0.81.2 微米的工艺水平，尚属领先水平。设备先进性 a、化学气相沉积设备 化学气相沉积设备包括 LPCVD 和 CVD 等。本项目选用的 LPCVD 和CVD 40、主要特点为：加热方式采用感应加热，热效率高；选用国内新型保温材料、隔热保温性强；可有效抑制自掺杂同时还能提高生产效率；薄膜、电阻率均匀，沟槽覆盖填充能力强。b、匀胶显影机 13 采用先进的单片微型机程序自动控制，显影质量好、工艺条件稳定可靠；该设备显影工艺采用了先进的喷雾方式，喷雾显影工艺后电路图形清晰完整，程序时间的工艺参数都可在很宽的数值范围内调整。c、有机废气治理系统 本项目有机废气采用沸石转轮焚烧处理工艺，相比活性炭吸附系统更加提高有机废气的治理效果。同时，采用沸石转轮焚烧处理工艺可以节约运行能耗、减少末端治理设备的规格，大大降低了设备投入成本及后期运行成本。该方案的实施可稳定有机废气41、的治理效果，同时在处理过程中可减少废活性炭等危险固废的产生和处理，具有显著的环境效益。d、空压机 本工程使用水冷离心式空压机和变频螺杆式空压机用于设备气动以及吹扫等，公司空压机经对比分析输入比功率优于容积式空气压缩机能效限定值及能效等级（GBT19153-2009）能效等级级的要求，属于节能型设备。e、冷水机组 本项目使用冷水机组用于设备冷却和车间恒温，公司制冷机组配备水冷却装置，经对比分析公司使用的冷冻机能效比均符合冷水机组能效限定值及能源效率等级（GB19577-2004）水冷式制冷机 CC50kW 性能系数不小于 2.40的规定。f、照明灯 本工程车间使用 LED 照明灯，属于节能灯，有42、利于减少照明节约的耗电量。g、电力变压器 企业电力变压器选用节能型 SC10 系列，其设计效率符合三相配电变压器能效限定值及节能评价值（GB20052-2006）的要求也符合电力部门推荐的节能产品。（2）产品指标 对照 产业结构调整指导目录（2019 年本），本项目属于指导目录中“第一类：鼓励类，二十八、信息产业：22、新型电子元器件”。对照xx市产业发展导向目录与产业平台布局指引（2019 年本），本项目属于“鼓励类”14 中的“B52 移动智能终端芯片、数字电视芯片、网络通信芯片、可穿戴设备芯片、数字集群（PDT）、数字对讲机、数字电视机顶盒等芯片及操作系统的设计、研发和制造”。本项目产品43、指标水平属于国内先进水平。（3）能耗指标 本项目能耗指标见表 1-8。表表1-8 项目能耗指标一览表项目能耗指标一览表 序号 名 称 年消耗量 单位 折标煤系数 折标煤量（吨）1 电 150 万度 1.229 吨标煤/万 kWh(当量)0.02 3.82 吨标煤/万 kWh(等价)0.06 2 水 1.137 万吨 2.xx 吨标煤/万吨 2.92 合计 综合能耗（当量）/3.0 本项目达产后，工业增加值可达 1664 万元/年，项目万元工业增加综合能耗（当量）为 3.0 吨标煤/万元，远远低于 2022 年全省及xx市的平均水平。（4）清洁生产的环境管理要求 a、强化清洁生产的管理，包括完善44、生产工艺和生产过程的控制能力，优化操作，尽量减少“三废”的产生；b、建立和健全相应的规章制度及奖惩原则，提高员工的环境保护意识；c、生产过程环境管理。所有岗位进行严格培训，有完善的岗位操作规程，运行无故障，设备完好率能达到 98%；主要设备有完好的管理制度并严格执行；主要环节进行计量并进行定量考核制度；生产区内各种标识明显，严格定期检查。（5）清洁生产措施 建议本项目进一步采取以下清洁生产措施：由于芯片生产对水质的特殊要求，水的进一步回用在目前实现起来有一定困难时，企业已经将其用于某些对水质要求较低的地方，建立中水回用系统，进一步提高这部分水的利用率。控制工艺参数，对烘干的工艺参数温度、时间等45、严格要求控制，避免温度过高或过低导致产品损耗。建立设备维护保养制度，定期对设备维护保养，保证生产设备的正常运行。15 编制生产工艺单和作业指导书，生产过程的控制需按照生产计划有序进行，按原材料、产品质量标准实施检验，对产品质量实施有效的控制。加强清洁生产的宣传教育，制定培训计划。由于清洁不是绝对的，建议公司在今后的发展过程中，按照质量管理体系（ISO9002/QS-9000/ISO14001）的要求，持续采取世界先进的清洁生产工艺，切实贯彻落实各项清洁生产措施，保障清洁生产的推行，不断进步。16 二、建设项目工程分析 建设内容 2.1 建设内容建设内容 2.1.1 项目由来及环评类别判定项目由46、来及环评类别判定 近年来，我国集成电路产业发展迅速，面对消费类电子、通讯设备、网络设备及计算机或服务器等设备的电源系统、电动汽车等对 GaN HEMT 器件的强烈需求，杭州xxxx微电子有限公司拟利用现有厂房，在已有的芯片产品研发平台的基础上，引进具有国际先进水平的光刻机、刻蚀机、金属溅射台等设备 11 台（套），购入国产设备清洗机 1 台（套），形成新增年产 1 万片硅基氮化镓（GaN）HEMT 结构电力电子芯片的生产能力。该项目已由xx区行政审批局进行备案（项目代码：2012-330155-89-02-581443xxxxxx微电子有限公司由xxxx微电子股份有限公司、xxxx集成电路有限47、公司、国家集成电路产业投资基金股份有限公司和xx高新科技创业服务有限公司共同投资建设的集成电路芯片制造企业。公司成立于 2015 年 11 月，位于xx市xx区19 号大街 656 号，厂区占地面积约 80 亩。xxxx现有一条8 英寸集成电路芯片生产线（规模为年产 8 英寸硅片 43.2 万片）已投入运行，主要生产高压集成电路和电源管理集成电路芯片、功率半导体器件芯片、MEMS 传感器芯片；另有一条 12英寸芯片生产线（规模为年产 36 万片 12 英寸芯片）正在建设中。）。项目主要生产内容为硅基氮化镓（GaN）HEMT 结构电力电子芯片，对照国民经济行业分类（GB/T4754-2017），48、本项目应属于“C3973 集成电路制造”；对照建设项目环境影响评价分类管理名录（2021 年版），本项目应编制环境影响报告表，项目评价类别判定情况详见表 2-1。表表2-1 项目评价类别项目评价类别判定表判定表 环评类别 项目类别 报告书 报告表 登记表 三十六、计算机、通信和其他电子设备制造业 39 80 电子器件制造397/显示器件制造；集成电路制造；使用有机溶剂的；有酸洗的；以上均不含仅分割、焊接、组装的/为了科学客观的评价项目建设过程中以及建成后对周围环境造成的影响，xx xx微电子有限公司委托我司（xx省工业xx设计研究院有限公司）承担该项目的环境影响评价工作。接受委托后，我司通过资49、料收集、现场踏勘后，对项目建成后17 可能产生的环境问题进行了全面分析和预测，并提出了具有针对性和可操作性的污染防治对策和建议，在此基础上，编制了本项目环境影响报告表。2.1.2 项目主要建设内容项目主要建设内容 本项目利用xxxx现有土地和厂房，在已有的芯片产品研发平台和芯片生产线的基础上，引进具有国际先进水平的光刻机、刻蚀机、金属溅射台等设备 11 台（套），购入国产设备清洗机 1 台（套），形成新增年产 1 万片硅基氮化镓（GaN）HEMT 结构电力电子芯片的生产能力。项目名称：硅基氮化镓（GaN）HEMT 结构电力电子芯片技术改造项目 建设性质：扩建 建设单位：xxxxxx微电子有限公50、司 建设地点：xx市xx区xx新区（xx）19 号大街 656 号 投资投：10239.29 万元 项目主要建设内容详见表 2-2。表表2-2 项目主要建设内容一览表项目主要建设内容一览表 类别 工程内容 备注 主体工程 氮化镓芯片生产线 位于现有 8 英寸芯片生产厂房内的空置区域（2F），通过引进具有国际先进水平的光刻机、刻蚀机、金属溅射台等设备 11 台（套），购入国产设备清洗机 1台（套），形成新增年产 1 万片硅基氮化镓（GaN）HEMT 结构电力电子芯片的生产能力。/辅助工程 原料仓库 企业建有 1 个 345m2甲类化学品仓库、1 个 4265m2乙类化学品仓库，采用分类贮存管理。51、目前甲类化学品仓库已使用 60%区域，乙类化学品仓库共 4 层，目前已启用 1F、2F 区域，剩余 3F、4F 暂时空置，其中在建 12 英寸项目建成后，甲类仓库使用区域将达到 90%，乙类仓库使用区域将达到 85%。本项目扩建后，所有物料按照属性均共同存放在现有化学品仓库内，本次扩建项目物料消耗少，仅占现有项目使用量的 2%，现有化学品仓库可满足扩建项目的需求。依托现有 综合动力站 利用企业现有 8 英寸生产线配置的制冷机组，其中现有制冷机组（低温）的供给能力为 2400 冷吨，中温的供给能力为 4800 冷吨。目前 8 英寸项目所需的低温供给为 2040 冷吨、中温供给为 4080 冷吨，52、剩余低温、中温供给能力分别为360 冷吨、720 冷吨。本次扩建项目所需低温、中温分别 50 冷吨和 95 冷吨，剩余供给可以满足扩建项目所需。（12 英寸在建项目制冷机组不依托现有，新建 2 套低温离心式冷水机组和 3 套中温离心式冷水机组）依托现有 工艺真空采用现有的供给系统，现有吸真空机组规模为 500 m3/h，设备真空机组规模为 3360 m3/h，供计 3860 m3/h。8 英寸和 12 英寸项目共用现有真空系统，其中 8 英寸项目所需真空规模为 2315 m3/h，12 英寸项目设计所需真空规模为 1150m3/h，剩余 395 m3/h。本次扩建项目所需真空规模为 80 m353、/h，剩余真空系统供给能力能满足扩建项目所需。依托现有 压缩空气采用原有厂房供给系统，原有系统供给能力为 240 m3/h，其中 8 英寸依托18 项目所需压缩空气为 145m3/h，12 英寸项目设计所需压缩空气为 65m3/h，剩余压缩空气 30m3/h。本次扩建项目所需压缩空气为 3.5 m3/h，剩余压缩空气系统供给能力能满足扩建项目所需。现有 厂区现有中水回用系统处理能力为 200m3/h，内含 RCM 废水回用系统，处理能力为 90m3/h。现有 8 英寸项目需处理回用的后段清洗废水量为 44.54 m3/h，在建 12 英寸项目后段清洗废水量为 41.04m3/h，本次扩建项目后54、段清洗废水量为0.228m3/h，合计需处理的水量为 85.808m3/h。现有 RCM 废水回用系统可满足扩建后废水处理需求。依托现有 现有纯水系统处理能力为 200m3/h，在建 12 英寸项目纯水系统处理能力为150m3/h，全厂纯水系统处理能力可达 350m3/h，采用预处理-反渗透-MB 等处理工艺。现有已建 8 英寸项目纯水需求为 157m3/h，在建 12 英寸项目纯水需求为 143m3/h，本次扩建项目纯水需求为 26.763 m3/h，合计纯水需求为 326.763 m3/h。企业现有设备能满足扩建后全厂所需。依托现有 气体站 企业大宗气体均外购，均暂存在厂区东北侧的气体储罐55、区。依托现有 公用工程 供水 本项目用水利用原有厂房建设的供水系统，并在原有系统的基础上根据项目需求配置相应的系统及设备。给水水源取自xx新区（xx）市政给水管网，并在厂区内形成环网，保证厂区用水。依托现有 排水 排水系统利用原有完成建设的系统，采用雨污分流制。废水经厂区污水处理站处理达标后，再经现有污水排放口排入周边市政污水管网，最终送xx市七格污水处理厂处理达标后排放。依托现有 供电 采用市政供电，利用原有目厂房供电系统，从厂区的 110kV 站引入。依托现有 xx工程 废水 企业现已建成一座废水处理站，内设含氟废水系统 1 套（100m3/h）、酸碱废水系统 1 套（350m3/h）、研56、磨废水系统 1 套（50m3/h）。同时，企业正在新建废水处理站 1 座，内设含氟废水系统 1 套（60m3/h）、酸碱废水系统 1 套（180m3/h）、研磨废水系统 1 套（60m3/h）。根据计算，企业全部达产后（包括现有 8 英寸项目、在建 12 英寸项目、本次扩建项目），含氟废水产生量为 86.175m3/h、酸碱废水产生量为 326 m3/h、研磨废水产生量为 46.25 m3/h，上述产生量均小于再用污水处理站处理能力，可满足废水处理的需求。项目建成后，按废水产生情况，按需开启各个废水处理系统，处理后的废水，通过厂区现有一个污水排放后接入周边市政污水管网。同时，在建污水处理站作为57、备用污水处理站，仅在现有污水处理站检修或发生事故时开启。依托现有 废气 酸性废气：在利用现有 5 套碱液喷淋吸收塔处理酸性废气（合计风机风量 49 万m3/h）。根据企业设计方案，现状企业实际使用的风量为 29.5 万 m3/h，在建项目所需风量为 17.5 万 m3/h，剩余 2 万 m3/h 可供本次扩建项目使用。根据设计，本次项目所需风量为 8000m3/h，企业现状剩余风量可满足项目生产所需 依托现有 碱性废气：利用现有 1 套酸液喷淋吸收塔进行处理（配套风机风量 5 万 m3/h）。企业现有项目实际开启的风量为 3 万 m3/h，在建项目需启用 1.5 万 m3/h，企业剩余 50058、0m3/h 可供本次扩建项目使用。根据设计，本项目新增风量为 2500m3/h，企业现状剩余风量可满足项目生产所需。依托现有 有机废气：利用现有 1 套沸石浓缩转轮焚烧系统对有机废气进行处理。根据设计资料，该设备配置 2 台 5 万 m3/h 的主风机（一用一备），浓缩风机风量为3000m3/h，浓缩倍数不低于 20 倍。企业现有 8 英寸项目有机废气收集风量共计依托现有 19 3.5 万 m3/h，在建 12 英寸项目有机废气收集风量为 1 万 m3/h，本次扩建项目有机废气收集风量为 4500m3/h，则全厂有机废气收集风量需 4.95 万 m3/h，现状设备配置的风机能满足废气收集要求。59、噪声 对主要产噪设备进行隔声、吸声、减振。/固废（1）利用现有废油、废酸及废有机废液储存间。（2）利用厂区西北侧空地正在新建的 1 个 200m2危废仓库。（3）xxxx现有危险废物（除液体类危险固废）均不再厂区内暂存，每隔1天均由相关危废处置单位的清运车进厂清运危废。依托现有 2.1.3 产品方案产品方案 本项目产品内容为年产 1 万片硅基氮化镓（GaN）HEMT 结构电力电子芯片，具体产品方案详见表 2-3。表表2-3 项目产品方案项目产品方案 序号 产品名称 月产量（万片）年产量（万片）1 硅基氮化镓（GaN）HEMT 结构电力电子芯片 0.08 1 本项目投产后，xxxxxx微电子有限60、公司全厂产品规模详见表 2-4。表表2-4 项目实施后全厂产品规模项目实施后全厂产品规模 序号 产品名称 原有产量（万片/年）本次扩建产量（万片/年）扩建后全厂产量（万片/年）1 8 英寸芯片 高压集成电路芯片 12 0 12 2 功率半导体器件芯片 26.4 0 26.4 3 MEMS 传感器芯片 4.8 0 4.8 4 硅基氮化镓 HEMT 结构电力电子芯片 0 1 1 5 12 英寸芯片 FS-IGBT 12 0 12 6 T-DPMOSFET 12 0 12 7 SGT-MOSFET 12 0 12 合 计 79.2 1 80.2 2.1.4 主要设备主要设备 根据企业提供的资料，本项61、目新增设备清单详见表 2-5。表表2-5 项目主要新增设备项目主要新增设备 序号 设备名称 型号规格 数量（台/套）1 1 2 3 3 1 4 2 5 1 6 1 7 1 20 8 1 9 1 项目采用的设备均为国内外先进水平的设备，均不属于淘汰类设备。主要设备先进性分析：2.1.5 主要原辅材料主要原辅材料 根据企业提供的可研报告，项目主要原辅材料消耗情况详见表 2-6。21 建设内容 表表2-6 项目主要原辅材料消耗项目主要原辅材料消耗 序号 原料名称 主要化学成分及浓度 单位/年 现有项目原环评达产消耗量 本次扩建项目消耗量 本项目建成后全厂变化情况 形态 包装规格 所属工序 1 2 362、 4 5 6 7 8 9 10 11 13 14 15 16 17 22 18 19 20 21 22 23 24 25 26 27 28 29 30 31 32 33 34 35 36 37 38 39 40 41 23 42 43 44 45 46 47 48 49 50 51 52 53 54 55 56 57 58 59 60 61 24 建设内容 2.1.6 劳动定员及生产时间劳动定员及生产时间 本项目需新增员工 25 人，均为车间生产工人，生产时间为 24h，为三班制，年工作天数为 330d。2.1.7 总平面布置情况总平面布置情况 根据厂区布置情况，厂区南侧为芯片主厂房，厂区中间63、为综合动力站（设动力站、纯水站、废水站、应急水池、变电站及辅助用房），北侧由西向东分别为污水处理站、危废暂存仓库（本项目新建内容，目前为空地）、甲类化学品仓库、乙类化学品仓库、气体储罐区。芯片主厂房分生产区和辅助区，生产区共两层，位于建筑单位的中间区域，一层为回风下夹层，二层为工艺核心生产区。生产区四周为辅助区，南侧辅助区为三层，其余三侧辅助区为两层。南侧生产辅助区设置人员主入口、更衣、吹淋用房、休息室、生产辅助用房等；北侧生产辅助区设人员辅助入口、物流通道、配变电站、废水提升站、泵房、工艺冷却水间、废酸和废有机废液暂存间等；东侧生产辅助区为空调机房；西侧生产辅助区设置配变电站等。厂区主要道路64、和东侧xxxx集成电路有限公司相通、并共用xxxx集成电路有限公司主入口，在厂区西侧 19 号路上设置一个次要入口。2.1.8 水平衡水平衡 本项目水平衡情况详见图 2-1；扩建后全厂水平衡情况详见图 2-2。图图2-1 本次扩建项目水平衡图（本次扩建项目水平衡图（t/d）25 图图2-2 扩建后全厂水平衡图（扩建后全厂水平衡图（t/d）2.1.9 物料平衡物料平衡 本次环评对项目使用物料中，用量较大或者毒性较大的物料，如氟、氨、氯等物质进行物料平衡分析。（1）氟平衡 项目生产中使用的含氟物料主要有：SF6、CF4、CHF3、C4F8、C2F6、WF6、SiF4、49%氢氟酸等。涉及含氟物料的65、工序主要为：干法刻蚀、薄膜沉积、清洗等工序。干刻工序主要用到 C4F8、CF4、CHF3、SF6等，上述气体刻蚀后产生的废气主要为 SiF4，以及未反应的废气，产生的工艺尾气除 SF6外，全部排入“燃烧+水洗”POU净化处理装置（机台端自带 POU 本地废气处理系统，采用电加热燃烧，燃烧温度不低于 700），SF6废气排入“等离子解离”POU，经 POU 装置处理后再进入酸性废气洗涤塔处理后排放；POU 净化装置及酸性废气洗涤塔排水进入含氟废水处理系统处理。26 CVD 工序主要用到 WF6、SiF4、C2F6等，废气主要为 SiF4，以及未反应的废气，全部排入“燃烧+水洗”POU，经 POU66、 装置处理后再进入酸性废气洗涤塔处理后排放；POU 净化装置及酸性废气洗涤塔排水进入含氟废水处理系统处理。清洗工序主要用到 49%的 HF 溶液，废气主要为 HF，产生的工艺尾气全部排入酸性废气洗涤塔处理后排放，酸性废气洗涤塔排水进入含氟废水处理系统处理。本项目氟平衡见图 2-3。图图2-3 项目氟平衡图（项目氟平衡图（kg/a）（2）氯平衡 本项目涉及使用含氯物质为：BCl3、Cl2、36%盐酸。BCl3、Cl2用于干刻工序，大部分参与反应生成 GaClx、TiCl3、AlCl3等气体，收集后进入“干式吸附”POU；小部分不参与反应，以抽真空进入进入“干式吸附”POU。36%盐酸用于湿法清洗67、工序，少量挥发产生酸性废气，大量进入废水中。酸性废气排入酸性废气处理系统进行处理。本项目氯平衡见图 2-4。27 图图2-4 项目氯平衡图（项目氯平衡图（kg/a）（3）氨平衡 项目生产使用的含氨物料主要有：氨气、氨水。涉及含氨物料的工序主要为：CVD工序和清洗工序。CVD 工序：主要用到氨气，氨气部分参与 CVD 反应，部分进入废气，工艺尾气全部排入“燃烧+水洗”POU 净化处理装置（机台端自带 POU 本地废气处理系统，采用电加热燃烧，燃烧温度不低于 700），经 POU 装置处理后再进入碱性废气洗涤塔处理后排放；POU 净化装置及碱性废气洗涤塔排水进入含氟废水处理系统处理。清洗工序：主要68、用到氨水，含氨废水直接进入酸碱中和处理系统，少量进入废气排入碱性废气洗涤塔处理。碱性废气处理系统排水进入含氟废水处理系统进行处理。本项目氨平衡见图 2-5。28 建设内容 图图2-5 项目氨平衡图（项目氨平衡图（kg/a）（4）氮元素平衡 项目生产使用的含氮物料主要有：氨气、氨水、显影液、BOE、笑气等。涉及含氨物料的工序主要为：CVD 工序、清洗工序、显影、薄膜沉积。CVD 工序：主要用到氨气，氨气部分参与 CVD 反应，部分进入废气，工艺尾气全部排入“燃烧+水洗”POU 净化处理装置，经 POU 装置处理后再进入碱性废气洗涤塔处理后排放；POU 净化装置及碱性废气洗涤塔排水进入含氟废水处理69、系统处理。清洗工序：主要用到氨水，含氨废水直接进入酸碱中和处理系统，少量进入废气排入碱性废气洗涤塔处理。碱性废气处理系统排水进入含氟废水处理系统进行处理。29 显影：项目使用的显影液主要成分为四甲基氢氧化铵，显影过程中绝大部分四甲基氢氧化铵成为废液、作为固废收集，小部分挥发、收集排入碱性废气洗涤塔处理。薄膜沉积：项目沉积时，采用硅烷与笑气反应生成二氧化硅淀积在器件表面，未参与反应部分的笑气与其他反应生成物等收集进入全部排入“燃烧+水洗”POU 净化处理装置，经 POU 装置处理后再进入酸性废气洗涤塔处理后排放；POU 净化装置及酸性废气洗涤塔排水进入含氟废水处理系统处理。本项目氮元素平衡见图 70、2-6。图图2-6 氮元素平衡图氮元素平衡图（5）有机溶剂平衡 本项目生产过程使用到会产生挥发性有机废气（VOCs）的溶剂包括：光阻、光阻稀释剂 EBR、显影液等。涉及有机溶剂的工序主要为：光刻涂胶工序、光刻显影工序等。30 建设内容 光刻涂胶显影工序：根据企业提供的资料，光刻胶滴在硅片表面，同时硅片进行旋转，部分光刻胶将甩掉，而后采用光刻胶洗边剂对芯片侧边附着光刻胶进行清洗，将产生废 EBR（含废光刻胶）；附着在芯片表面的光刻胶在光刻固化工序少量挥发进入废气；其余通过剥离液剥离去除（进入废去光阻剂中）。显影工序：使用丙二醇甲醚醋酸酯等物料，使用时物料中少量挥发进入废气，少量通过清洗进入废水，71、剩余收集作为危废委外处置。项目有机溶剂平衡情况详见下表 2-7。表表2-7 挥发性有机物平衡表挥发性有机物平衡表 工艺流程和产排污环节 2.2 工艺流程工艺流程 本项目具体工艺流程图详见图 2-7。2.3 工艺说明工艺说明 2.3.1 清洗清洗 硅片清洗的目的是清除所有表面沾污，包括尘埃颗粒、有机物残留薄膜、吸附在表面的金属离子和自然氧化层等。本项目采用槽式清洗，硅片先按各自的要求放入各种药液槽进行表面化学处理，再送入清洗槽，用纯水反复清洗，将其表面粘附的药液清洗干净后进入下一道工序。清洗过程如图 2-8 所示。31 工艺流程和产排污环节 图图2-7 项目工艺流程示意图项目工艺流程示意图 3272、 工艺流程和产排污环节 本项目清洗过程中分酸洗和碱洗。酸洗第一道采用硫酸、过氧化氢、超纯水的混合溶剂，常温操作，第二道采用氢氟酸，酸洗过程产生酸性废气、定期更换的废酸液以及含氟废水。碱洗采用氨水、过氧化氢、超纯水的混合溶剂，常温操作，碱洗过程产生碱性废气、高浓度含氨废水（氨含量10%）、含氨废水。酸洗和碱洗后均须送入冲洗槽用纯水冲洗，将其表面粘附的酸液冲洗干净。本项目采用三级超纯水清洗的方式进行清洁、常温状态。其中第一级和第二级清洗废水根据其性质分别进入相应的废水处理系统进行处理，第三级清洗废水排入工艺清洗水系统处理后回收利用。图图2-8 清洗方式示意图清洗方式示意图 2.3.2 薄膜沉积薄膜73、沉积 本项目使用 PECVD 设备进行薄膜沉积。等离子体增强化学气相沉积（PECVD）是借助微波或射频等使含有薄膜成分原子的气体电离，在局部形成等离子体，而等离子体化学活性很强，很容易发生反应，在基片上沉积出所期望的薄膜。本项目沉积主要包括二氧化硅沉积、氮化硅沉积和金属钨沉积。其原理是先将腔体抽至低压，再流进特定气体（SiH4和 N2O、SiH4和 4NH3、正硅酸乙酯、WF6等），并将腔体控制在特定压力下，温度约设定 300，以射频产生电浆，使反应腔空间中的气体活化，可以在更低的温度下制成硅氧化层薄膜。PECVD过程中产生工艺尾气接入燃烧水洗式尾气处理装置，确保 SiH4等完全分解，再经酸性74、废气处理系统处理后排放。二氧化硅淀积过程分 2 种情况，分别是（1）硅烷与笑气反应生成二氧化硅淀积在器件表面，（2）正硅酸乙酯应生成氮化硅淀积在器件表面。其化学反应方程式分别为：SiH4+2N2OSiO2+2N2+2H2 废药液 前段清洗排水 后段清洗排水 药液 超纯水 药液槽药液槽 清洗槽清洗槽 废液收集系统废液收集系统 清洗水回收系统清洗水回收系统 废水处理系统废水处理系统 芯片移动芯片移动 33 Si(OC2H5)4 SiO2+4C2H4+2H2O 氮化硅沉积过程是硅烷与氨气反应生成氮化硅淀积在器件表面，其化学反应方程式为：3SiH4+4NH3Si3N4+12H2 金属钨沉积过程是六氟化75、钨与氢气反应生成金属钨沉积层，其化学反应方程式为：WF6+3H2=W+6HF PECVD 使用后，设备内腔及管道等也会被淀积上 SiO2、Si3N4，因此需每天进行清洁。清洁操作类似于气体蚀刻，将内壁上的 SiO2、Si3N4薄膜层气体蚀刻掉，反应气为 CF4、O2。反应气体在射频作用下产生高能等离子体，同 SiO2、Si3N4反应达到刻蚀效果，生成挥发性的氟化物，生成物被泵抽离反应腔体，由燃烧水洗式尾气处理器进行处理后，再经酸性废气处理系统处理后排放。具体生产工艺流程及产污环节示意详见图 2-9图 2-11。图图2-9 二氧化硅二氧化硅沉积沉积工艺流程及产污环节图工艺流程及产污环节图 34 76、图图2-10 氮化硅沉积工艺流程及产污环节图氮化硅沉积工艺流程及产污环节图 图图2-11 金属钨沉积工艺流程及产污环节图金属钨沉积工艺流程及产污环节图 35 2.3.3 光刻光刻（11 层）层）光刻是通过光刻胶的感光性能，外延片表面涂胶后，在紫外光的照射下将光刻版上的图形转移至外延片，最终加工成所需的产品图形。光刻包括涂胶、前烘、曝光、后烘、显影。（1）涂胶：光刻胶的涂布是用转速和旋转时间可自由设定的匀胶机来进行的。首先，用真空吸引法将外延片吸在匀胶机的吸盘上，将具有一定粘度的光刻胶滴在基片的表面，然后以设定的转速和时间匀胶。由于离心力的作用，光刻胶在外延片表面均匀地展开，多余的光刻胶被甩掉并77、回收起来，获得一定厚度的光刻胶膜，光刻胶的膜厚是由光刻胶的粘度和匀胶的转速来控制。光刻胶主要是由对光与能量非常敏感的高分子聚合物和有机溶剂组成，光刻胶直接使用外购成品，无需调胶。该过程会产生有机废气、光刻胶废液等。（2）前烘：涂胶完成后，仍有一定量的溶剂残留在胶膜内，故涂胶后要经过一个高温加热的步骤，即前烘。其目为使胶膜内的溶剂挥发，增加光刻胶与衬底间黏附性、光吸收以及抗腐蚀能力；缓和涂胶过程胶膜内产生的应力等。该过程会产生有机废气。（3）曝光：使掩膜版与涂上光刻胶的基片对准，用光源经过掩膜版照射基片，使接受光照的光刻胶的光学特性发生变化，即为曝光。（4）曝光后烘烤：曝光后的芯片采用热板烘烤法78、烘烤约 12min，烘焙温度为90130，从而减少光刻胶中溶剂的含量及爆光区与非爆光区的边界变得比较均匀。该过程会产生有机废气。（5）显影：将曝光后的外延片放到显影机里，片子在机台内高速旋转，同时片子上方滴落有显影液，使正光刻胶的曝光部分被溶解。显影在常温下进行。该过程会产生废显影液。（6）清洗：显影后外延片需放入纯水冲洗槽进行清洗。冲洗方式同前文所述，不再赘述。清洗甩干后进入下一工序。具体工艺流程及及产污环节详见图 2-12。2.3.4 刻蚀刻蚀 经过曝光和显影后，光刻胶薄膜层中形成了微图形结构，为获得器件的结构，需要通过刻蚀，在光刻胶下面的材料上重现光刻胶层上的图形，实现图形的转移。刻蚀技79、术主要包括液态的湿法刻蚀和气态的干法刻蚀两大类。36 图图2-12 光刻工艺流程及及产污环节图光刻工艺流程及及产污环节图 2.3.4.1 湿法刻蚀湿法刻蚀 湿法刻蚀是将基片浸在 BOE 蚀刻液中进行腐蚀，将无光刻胶保护的 SiO2层去除。湿法蚀刻操作温度为常温。湿法刻蚀后，对硅片表面进行清洗，以去除附着的杂质、颗粒及金属离子。2.3.4.2 干法刻蚀干法刻蚀 干法离子刻蚀是指反应气体通过放电产生各种活性等离子体，靠射频溅射使活性离子作固定的定向运动，产生各间异性腐蚀；同时活性离子在电场作用下加速化学反应过程，从而获得高速腐蚀。光刻后的图形所在区域用气体蚀刻方式去除不需要的电极部分，露出基质。气80、体刻蚀使用的设备为感应耦合电浆蚀刻机，反应气主要有氯气、氦、三氯化硼、六氟化硫、四氟化碳、八氟环丁烷、三氟甲烷等，利用低压放电对反应气体电离产生的等离子或游离基，同刻蚀物反应达到刻蚀效果。氯气、BCl3等气体用于刻蚀 GaN、Al、Ti 等材料，生成挥发性的 Ga、GaClx、AlClx、TiClx、Ga+、GaClx+、N2，生成的挥发性氯化镓等被泵抽离反应腔体；氦主37 要是冷却气体。此过程产生干法蚀刻废气，主要成分为未反应的氯气、三氯化硼等。六氟化硫、四氟化碳、八氟环丁烷、三氟甲烷、CO 等气体用于刻蚀 SiO2、SiN、W 等，生成挥发性的 SiFx、CFx、WFx 等材料。该过程产生81、的干法蚀刻废气主要成分为未反应的六氟化硫、四氟化碳、八氟环丁烷、三氟甲烷、CO 等以及刻蚀生成物。图图2-13 二氧化硅二氧化硅/氮化硅干法刻蚀工艺流程及产污环节图氮化硅干法刻蚀工艺流程及产污环节图 图图2-14 金属钛干法刻蚀工艺流程及产污环节图金属钛干法刻蚀工艺流程及产污环节图 38 图图2-15 氮化镓氮化镓/金属铝干法刻蚀工艺流程及产污环节图金属铝干法刻蚀工艺流程及产污环节图 图图2-16 金属钨干法刻蚀工艺流程和产污环节图金属钨干法刻蚀工艺流程和产污环节图 39 2.3.5 去胶去胶 经过刻蚀后，将光刻胶从晶片表面除去的过程称为去胶。去胶的方法分为湿法去胶和干法去胶。本项目均采用干法82、去胶。干法去胶的原理是通过氧原子和光刻胶在等离子体环境中发生反应来去除光刻胶。光刻胶的基本成分是碳氢聚合物，氧原子可以和光刻胶反应生成 CO、CO2和 H2O等，反应式为：CxHy+O2CO+CO2+H2O，这些反应生成物通过真空排气排出腔体，达到去除光刻胶的目的。2.3.6 电极电极溅射溅射 电极的作用是芯片封装时，通过焊线，使芯片与外部电路进行连接。本项目制作电极采用电子束蒸镀方式，使用的材料为铝/钛，使用的主要设备为金属溅射台。在真空环境下，用溅射的方法在基片表面沉积铝/钛金属薄膜，形成导电电极。电极溅射示意图详见下图。图图2-17 电极溅射示意图电极溅射示意图 金属溅射的主要气体为氩气83、，本身氩气与金属靶材不会发生化学反应，但此过程会产生废金属靶材和未反应的氩气。此外，后续的清洗过程中电极上的金属会被光刻胶保护起来，不会溶解到废水中。2.3.7 研磨研磨 化学机械研磨（CMP）就是把原来凹凸的晶片表面，利用机械和化学的共同作用，去除多余的薄膜，实现晶片表面的全局平坦化。CMP 研磨结束后，对研磨产物的清洗十分关键，一般使用刷洗、喷洗和超声波清洗等方法。该过程会产生研磨废水、清洗废水等。40 2.3.8 测试测试 使用高倍显微镜对芯片进行检测，并使用探针台和测试机对芯片的尺寸、电压、电流进行检验，排除有缺陷或者电极有磨损的不合格芯片。测试不合格的芯片属于一般固废。综上所述，项目84、产污环节及主要污染物汇总情况详见下表。表表2-8 项目主要污染工序及污染因子汇总项目主要污染工序及污染因子汇总 类型 产生环节 污染物名称 主要污染因子 废气 清洗 酸碱废气 氟化物、氯化氢、硫酸雾、氨等 沉积 工艺尾气 非甲烷总烃、氨、氯化氢、氟化物、硅烷等 涂胶 有机废气 非甲烷总烃 曝光 含氟废气 氟化物 显影 有机废气 非甲烷总烃 湿法刻蚀 酸性废气 氟化物等 干法刻蚀 工艺尾气 氯化氢、三氯化硼、氟化物、氯气等 去胶 有机废气 非甲烷总烃 物料暂存 酸碱废气、有机废气 氨、氯化氢、氟化物、硫酸雾等 污水处理站 恶臭气体 氨、硫化氢等 废水 清洗 含氟废水 COD、SS、氨氮、总磷、氟85、化物、总氮 清洗，光刻 含氨/有机废水 COD、氨氮等 湿法刻蚀、清洗 酸碱废水 pH、COD、SS 等 化学机械研磨 研磨废水 pH、COD、SS 等 POU 废气处理 洗涤废水 COD、氨氮、总磷、氟化物、总氮、SS 等 纯水制备 浓水、再生酸碱废水 pH、COD、氨氮等 员工日常生活 生活污水 pH、COD、氨氮、动植物油 噪声 设备运行 机械噪声 固废 原辅材料使用 废试剂容器瓶、废包装袋/箱 清洗 废酸等 光刻刻蚀 废光阻、废显影液、废光刻胶、废灯管等 溅射/蒸镀 废靶材 测试 废芯片、废电子五金材料 废水处理 污泥、废活性炭、废 RO 膜、离子交换树脂 废气处理 废吸附材料、废沸石86、 设备维修保养 废机油等 员工日常生活 生活垃圾 41 与项目有关的原有环境污染问题 2.4 与项目有关的原有环境污染问题与项目有关的原有环境污染问题 2.4.1 现有工程履行环境影响评价、竣工环境保护验收、排污许可手续等情况现有工程履行环境影响评价、竣工环境保护验收、排污许可手续等情况 xxxxxx微电子有限公司（简称xxxx）由xxxx微电子股份有限公司、xxxx集成电路有限公司、国家集成电路产业投资基金股份有限公司和xx高新科技创业服务有限公司共同投资建设的集成电路芯片制造企业。公司成立于 2015 年 11月，位于xx市xx区19 号大街 656 号，厂区占地面积约 80 亩。xxxx87、于现有一条 8 英寸集成电路芯片生产线（规模为年产 8 英寸硅片 43.2 万片），主要生产高压集成电路和电源管理集成电路芯片、功率半导体器件芯片、MEMS 传感器芯片；另有一条 12 英寸芯片生产线（规模为年产 36 万片 12 英寸芯片）正在建设中。现有工程环评审批、验收、排污许可手续等情况详见表 2-9。表表2-9 现有工程环评审批、验收、排污许可手续等情况现有工程环评审批、验收、排污许可手续等情况 项目名称 环评审批情况 验收情况 排污许可证 新增年产 43.2 万片 8 英寸芯片技术改造项目 2020 年 2 月 5 日xx市生态环境局xx新区分局出具了审批意见（杭环钱环评批202088、8 号）于 2022.7 进行了自主验收 登记管理（编号：91330101MA27W6YC2A001U）年产 36 万片 12英寸芯片生产线项目 2022 年 9 月 15 日xx市生态环境局出具了审批意见（杭环钱环评批202258 号）正在建设中 2.4.2 现有工程基本情况核查现有工程基本情况核查 2.4.2.1 现有工程产品及产能情况现有工程产品及产能情况 根据企业台账，2022 年 8 英寸芯片已做到了达规模生产，12 英寸芯片还在建设中。企业现有产品及产能情况详见表 2-10。表表2-10 现有工程产品及产能情况现有工程产品及产能情况 序号 产品名称 环评审批规模（万片/年）202289、 年实际产能（万片/年）备注 1 8 英寸芯片 高压集成电路芯片 12 12/2 功率半导体器件芯片 26.4 26.4/3 MEMS 传感器芯片 4.8 4.8/4 12 英寸芯片 FS-IGBT 12 0 正在建设中、未投产 5 T-DPMOSFET 12 0 6 SGT-MOSFET 12 0 2.4.2.2 主要设备配置情况主要设备配置情况 根据新增年产 43.2 万片 8 英寸芯片技术改造项目竣工环境保护验收监测报告表（2022.7），结合现场踏勘，年产 43.2 万片 8 英寸芯片工程生产设备配置情况详42 见表 2-11。表表2-11 现有工程主要生产设备配置情况现有工程主要生产90、设备配置情况 序号 设备名称 设备型号 验收核定的数量 实际配置情况 变化情况 1 生产设备 37 37 0 2 3 3 0 3 15 15 0 4 23 23 0 5 2 2 0 6 6 6 0 7 4 4 0 8 6 6 0 9 5 5 0 10 21 21 0 11 7 7 0 12 3 3 0 13 25 25 0 14 5 5 0 15 18 18 0 16 19 19 0 17 28 28 0 18 22 22 0 19 5 5 0 20 40 40 0 21 22 22 0 22 6 6 0 23 1 1 0 24 16 16 0 25 49 49 0 26 20 20 0 2791、 1 1 0 28 10 10 0 29 9 9 0 30 20 20 0 31 11 11 0 32 6 6 0 33 2 2 0 34 2 2 0 35 xx设备 1 1 0 36 1 1 0 37 2 2 0 38 2 2 0 43 39 1 1 0 40 2 2 0 41 公用工程设备 2 2 0 42 2 2 0 43 20 20 0 44 3 3 0 45 2 2 0 46 4 4 0 47 4 4 0 48 2 2 0 49 1 1 0 50 若干 若干/由上表可知，现有 8 英寸项目配置的设备与验收核定的设备一致。因 12 英寸芯片还在建设中，其设备配置情况引用年产 36 万片92、 12 英寸芯片生产线项目环境影响报告表中的相关内容，具体详见表 2-12。表表2-12 项目主要新增设备项目主要新增设备 序号 设备名称 型号规格 数量（台/套）1 5 2 46 3 9 4 4 5 5 6 50 7 3 8 18 9 15 10 17 11 3 12 2 13 10 14 11 15 11 16 4 17 3 18 5 19 11 20 1 44 21 7 22 4 23 8 24 8 25 19 26 4 27 10 28 4 39 1 30 8 31 1 32 10 33 10 34 1 35 6 36 1 37 1 38 1 39 2 40 1 41 3 42 2 493、3 2 44 2 2.4.2.3 现有工程原辅材料消耗情况现有工程原辅材料消耗情况 根据企业提供的物料领用记录台账，8 英寸芯片生产线 2022 年原辅材料消耗情况详见表 2-13。表表2-13 现有工程原辅材料消耗情况表现有工程原辅材料消耗情况表 序号 原料名称 单位/年 原环评确定的年使用量 2022 年实际耗量 变化情况 所属工序 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 45 12 13 14 15 16 17 18 19 20 21 22 23 24 25 26 27 28 29 30 31 32 33 34 35 36 37 38 39 40 41 42 43 44 45 494、6 47 48 49 50 51 52 46 53 54 55 56 57 58 59 60 因原环评硅晶圆的使用量中未考虑报废产品，2022 年原辅材料消耗情况中已考虑报废产品的硅晶圆耗量，因此用量较原环评有所增加；企业用于去胶工序的物料中，丙酮用量较原环评增加了 236.5kg/a，但去胶物料总体用量较原环评减少；其余物料较原环评均有所减少。物料变化的主要原因：新增年产 43.2 万片 8 英寸芯片技术改造项目环境影响报告表中确定的平均掩膜层数为 15.8 层，可确保产品的良率为 95%。企业在实际运行过程中对工艺进行优化，通过对设备部分参数以及工艺程序设置的拉偏、优化，重复测试不同条件下95、清洗机水样的电阻率、颗粒值、ICP-MS，最终确定了新的设备参数和清洗程序，将芯片平均掩膜层数减少至 7.8 层，即可保证 95%的良率。2022 年在年产 36 万片 12 英寸芯片生产线项目环境影响报告表中通过“以新带老”，确定 8 英寸项目的平均掩膜层数为 7.8 层，因此物料消耗较原环评有所下降。12 英寸芯片还在建设中，其物料消耗引用年产 36 万片 12 英寸芯片生产线项目环境影响报告表中的相关内容，具体详见表 2-14。表表2-14 年产年产 36 万片万片 12 英寸芯片生产线物料消耗情况英寸芯片生产线物料消耗情况 序号 原料名称 单位/年 消耗量 包装规格 所属工序 1 2 96、3 4 5 6 7 8 9 10 11 13 14 47 15 16 17 18 19 20 21 22 23 24 25 26 27 28 29 30 31 32 33 34 35 36 37 38 39 40 41 42 43 44 45 46 47 48 49 50 51 52 53 54 55 56 57 48 58 59 60 61 2.4.2.4 生产工艺生产工艺 芯片生产主要包括硅片清洗、化学气相沉积、物理气相沉积、光刻、刻蚀、扩散、离子注入、化学机械研磨等工序。现有项目中 8 英寸和 12 英寸芯片的生产工艺基本相同，仅部分工序循环次数不同。简化的工艺流程详见图 2-18。图图97、2-18 现有项目工艺流程简述图现有项目工艺流程简述图 工艺流程步骤简要说明：本项目工艺流程的开端为硅片投入生产。在进行氧化薄膜、SiN 淀积、多晶硅淀积等工序前均需要对硅片进行清洁处理。本项目使用多种酸按照工艺要求单独使用或按照不同的比例配比使用，以去除硅片表面残留的有机物、氧化物、颗粒、金属离子等，确保产品硅片在进行下一步工序不被这些杂质污染，保证产品的质量；硅片完成清洗工序后，循环进行氧化、SiN 淀积、多晶硅淀积、金属溅射、表面平坦化、钝化层淀积各道工序，然后将感光胶均匀涂覆在硅片表面做出产品图形，通过紫外线光透过光刻版将图形曝光在硅片表面的感光胶上，获得图形的转移，而后将其显影。干、98、湿法刻蚀及离子注入为循环工序，其中，离子注入是将器件49 功能需要的离子注入到光刻显影后或蚀刻后的图形中，形成不同功能的器件。以上工序完成后，硅片表面带有光刻胶，去胶后将集成电路各器件上的金属线与硅片有效结合。产品经过以上所有工序，检验合格后，成品包装出库。2.4.2.5 现有工程污染防治措施落实情况现有工程污染防治措施落实情况 根据企业 新增年产 43.2 万片 8 英寸芯片技术改造项目竣工环境保护验收监测报告表（2022.7），结合现场踏勘，企业现有工程xx措施具体落实情况详见 表 2-15。表表2-15 现有工程污染防治措施落实情况一览表现有工程污染防治措施落实情况一览表 污染物 原环评99、确定的措施 实际建设情况 废气 废气收集 项目生产在超洁净室内进行，每道工序均在独立机台内进行全封闭式操作，各机台均配备相应的气体供应装置、抽排装置及管道，收集效率可做到 100%。与环评一致。酸性废气（1）设置 5 套碱液喷淋洗涤塔，收集的酸性废气经喷淋洗涤后，通过 3 个不低于 25m 的排气筒高空排放，每套废气处理装置风量为 80000m3/h，合计风量为 400000m3/h。（2）设置 1 套碱液喷淋吸收塔用于处理 EPI 酸性废气，风机风量为 10000 m3/h，处理后的废气通过 1 根不低于 25m 的排气筒高空排放。处理装置不变，排气筒数量由 4个变为 3 个，每套处理装置配100、置的风机风量不变（均为变频风机），但废气的收集处理方式是“三进一出”1 套（DA001）、“两进一出”1 套（DA002）、“一进一出”1 套（DA003）。碱性废气 设置一套风量不低于 30000 m3/h 的酸液喷淋洗涤塔，收集的碱性废气经喷淋洗涤后通过 1 根不低于 25m 的排气筒高空排放。设置一套酸液喷淋洗涤塔，配套2 台风机（一用一备，风量分别为 5 万 m3/h 和 3 万 m3/h）。有机废气 设置一套沸石浓缩转轮焚烧系统处理有机废气，风量50000m3/h，处理后的废气通过 1 根不低于 25m 的排气筒排放。低浓度废气先通过沸石，约 95%有机物被沸石吸附，吸附有机物后的沸101、石进入解析段，通过燃烧器将这部分吸附并浓缩后的废气进行燃烧处理，燃烧处理效率高于 95%，处理后的尾气与之前未被吸附的废气通过排气筒有组织排放。该系统综合处理效率为 90%以上。与环评一致。根据监测报告，有机 废 气 综 合 去 除 效 率 高 于90.4%。废水 生产废水 设置 1 套处理规模为 350t/h 的酸碱废水中和处理系统，酸碱废水、有机废水、经处理后的含氟废水和研磨废水等收集后进入酸碱废水中和处理系统处理达污水综合排放标准（GB8978-1996）三级标准后、经厂区废水总排口纳入市政污水管网，送xx市七格污水处理厂处理达城镇污水处理厂污染物排放标准（GB18918-2002）一级102、 A 标准后集中排放。与环评一致。根据调查，现有企业酸碱废水中和处理系统废水处理量约为 174.2t/h，现有废水处理站完全能容纳该部分废水。根据 2022 年的在线监测数据及例行监测报告，废水经处理后符合 污 水 综 合 排 放 标 准（GB8978-1996）三级标准。设置 1 套处理规模为 100t/h 的含氟废水处理系统，含氟废水收集后经该处理系统处理后送至酸碱废水中和处理系统进一步处理达污水综合排放标准（GB8978-1996）三级标准后、经厂区废水总排口纳入市政污水管网，送xx市七格污与环评一致。根据调查，2022 年企业含氟废水处理量约为 45t/h，现有废水处理站含氟废水处理系103、统完全能容纳该部分废水。根50 水处理厂处理达城镇污水处理厂污染物排放标准（GB18918-2002）一级 A 标准后集中排放。据 2022 年的在线监测数据及例行监测报告，废水经处理后符合污水综合排放标准（GB8978-1996）三级标准。设置 1 套处理规模为 50t/h 的研磨废水处理系统，研磨废水经该系统预处理后送至酸碱废水中和处理系统进一步处理达污水综合排放标准（GB8978-1996）三级标准后、经厂区废水总排口纳入市政污水管网，送xx市七格污水处理厂处理达 城镇污水处理厂污染物排放标准（GB18918-2002）一级 A 标准后集中排放。与环评一致。根据调查，2022 年企 业 104、研 磨 废 水 处 理 量 约 为24.7t/h，现有废水处理站研磨废水处理系统完全能容纳该部分废水。根据 2022 年的在线监测数据及例行监测报告，废水经处理后符合污水综合排放标准（GB8978-1996）三级标准。设置 1 套处理能力为 90t/h 的 RCM 废水回用水系统，生产过程中产生的较为清洁的后段清洗废水收集后进入该系统进行统一处理，处理后的水回用至纯水制备系统。设置 1 套处理能力为 90t/h 的RCM废水回用水系统，生产过程中产生的较为清洁的后段清洗废水收集后进入该系统进行统一处理，处理后的水回用于废气喷淋塔补水、冲厕用水。根据调查，2022 年 RCM 废水产生量约44.105、5t/h，现有 RCM 废水回用水系统可完全接纳企业产生的RCM废水。该系统规模与原环评一致，水的回用去向与原环评不一致。生活污水 生活污水经化粪池处理后，经厂区废水总排口纳入市政污水管网，送xx市七格污水处理厂处理达城镇污水处理厂污染物排放标准（GB18918-2002）一级 A 标准后集中排放。与环评一致。固废 一般固废 未沾染危化品的包装材料收集后外售给废品回收利用公司。与环评一致。废水处理产生的污泥委托xxxx环境服务有限公司清运处理。与环评一致。危险废物 危险废物主要有废酸、含氨废液、废有机溶剂、废光刻胶、废显影液、废试剂容器等，收集后委托有资质公司清运处理。2022 年度产生的高浓106、度含氨废液暂未签订委托处置协议，废液存放在厂区废液储罐内；其余危险废物委托有资质的危废处理公司清运处理，危废均有合理去向。生活垃圾 委托环卫定期上门清运处理。与环评一致。排污总量 项目达产后，废水总量为257.928万t/a、VOC排放量为1.9t/a，氮氧化物排放量为 0.8t/a。根据验收监测数据，2022 年企业废水排放量为 137.905 万 t/a、VOCs 排放量为 1.006t/a、NOx 排放量为0.754t/a，均小于原环评确定的排污量。51 由上表可知，本项目实施过程中基本按照原环评要求落实了各项污染防治措施，但因未找到有高浓度含氨废液资质（900-355-35）的处置单位107、，企业 2022 年高浓度含氨废液均暂存在厂区储罐内（高浓度含氨废液存量为 12.5t，储罐容量为 20t）。同时，企业现有 RTO 装置于 2021 年 3 月正式建成并投入使用，按照设计要求，沸石填充量为 2t、需 3 年更换一次，根据废气监测数据，目前 RTO 装置总的废气去除效率不低于 90%，去除效率达到设计要求，因此暂未产生更换的废沸石。年产 36 万片 12 英寸芯片生产线项目正在建设中，项目需严格按照年产 36 万片 12 英寸芯片生产线项目环境影响报告表及其批复落实各项污染防治措施。2.4.3 现有工程污染物达标排放情况现有工程污染物达标排放情况 年产 36 万片 12 英寸108、芯片生产线项目正在建设中，本次环评主要对现有年产 43.2万片 8 英寸芯片生产线项目污染达标情况进行分析。（1）废水 根据新增年产 43.2 万片 8 英寸芯片技术改造项目竣工环境保护验收监测报告表（2022.7），企业废水总排口监测情况详见表 2-16。表表2-16 企业废水总排口监测结果一览表（单位：企业废水总排口监测结果一览表（单位：mg/L，pH 为无量纲）为无量纲）采样日期 pH CODCr 氨氮 TP SS BOD5 TN 氟化物 2022.6.30 第一次 7.3 251 9.98 0.24 32 81.5 18.7 1.15 第二次 7.4 242 9.94 0.23 25 109、85.5 19.2 1.11 第三次 7.3 257 10.0 0.23 27 83.5 18.7 1.15 第四次 7.5 247 9.84 0.23 26 80.5 18.7 1.11 2022.7.1 第一次 7.2 163 15.2 0.21 23 54.7 34.2 1.02 第二次 7.3 171 15.4 0.20 24 56.9 35.6 0.98 第三次 7.1 174 15.7 0.21 24 57.7 35.4 0.94 第四次 7.2 169 15.1 0.19 25 54.3 34.3 0.98 纳管标准 GB8978-1996 69 500 35*8*400 300110、/20 是否达标 达标 达标 达标 达标 达标 达标 达标 达标 注：氨氮和总磷指标执行工业企业废水氮、磷污染物间接排放限值（DB33/887-2013）。根据验收监测，现有项目厂区污水总排口水质符合 污水综合排放标准（GB8978-1996）三级标准。本次环评期间，调取了企业废水在线监测数据及 2022 年三季度例行监测数据，具体详见表 2-17、表 2-18。52 表表2-17 2022 年废水总排口污染物在线监测情况年废水总排口污染物在线监测情况 污染物名称 pH（无量纲）CODCr（mg/L）氨氮（mg/L）监测值 6.797.67 17.32308.92 6.6224.71 GB89111、78-1996 限值 69 500 35*注：氨氮执行工业企业废水氮、磷污染物间接排放限值（DB33/887-2013）。表表2-18 2022 年三季度废水总排口污染物例行监测情况年三季度废水总排口污染物例行监测情况 污染物名称 pH（无量纲）CODCr（mg/L）氨氮（mg/L）总氮（mg/L）SS（mg/L）TP（mg/L）氟化物（mg/L）监测值 7.5 163 4.76 8.66 67 0.66 5.21 GB8978-1996 限值 69 500 35*/400 8*20 注：氨氮和总磷指标执行工业企业废水氮、磷污染物间接排放限值（DB33/887-2013）。根据在线监测数据及例112、行监测数据可知，现有项目厂区污水总排口水质符合污水综合排放标准（GB8978-1996）三级标准限值。（2）废气 根据现场核实，企业各项废气防治措施均按原环评要求进行了落实，并运行正常。本次环评废气排放情况主要引用 新增年产 43.2 万片 8 英寸芯片技术改造项目竣工环境保护验收监测报告表（2022.7）中的相关数据，现有项目有组织废气排放监测情况详见表 2-19表 2-28；无组织废气排放监测情况详见表 2-29。表表2-19 酸性废气排放监测一览表（酸性废气排放监测一览表（1）序号 项目 单位 检测结果 限值 1 测试地点/酸性废气排放口（DA001）/2 测试时间/2022.7.7 3113、 工况负荷%92 4 排气筒高度 m 25 5 废气温度 37 38 38 6 废气流速 m/s 6.7 6.8 6.7 7 实测废气流量 m3/h 2.35105 2.38105 2.47105 8 标干态废气流量 N.d.m3/h 2.04105 2.12105 2.22105 9 氟化物排放浓度 mg/m3 0.271 0.285 0.279 9.0 10 氟化物排放速率 kg/h 5.5310-2 6.0410-2 6.1910-2 0.38 11 硫酸雾排放浓度 mg/m3 2.63 2.45 2.48 45 12 硫酸雾排放速率 kg/h 0.54 0.52 0.55 5.7 13114、 氨排放浓度 mg/m3 1.11 1.20 1.15/14 氨排放速率 kg/h 0.23 0.25 0.26 14 15 氯气排放浓度 mg/m3 0.22 0.16 0.25 65 16 氯气排放速率 kg/h 4.4910-2 3.3910-2 5.5510-2 0.52 17 NOx 排放浓度 mg/m3 0.7 0.7 0.7 240 53 18 NOx 排放速率 kg/h 7.110-2 7.410-2 7.810-2 2.8 表表2-20 酸性废气排放监测一览表（酸性废气排放监测一览表（2）序号 项目 单位 检测结果 限值 1 测试地点/酸性废气排放口（DA001）/2 测试时115、间/2022.7.8 3 工况负荷%90 4 排气筒高度 m 25 5 废气温度 36 35 39 6 废气流速 m/s 6.5 6.9 7.0 7 实测废气流量 m3/h 2.48105 2.52105 2.55105 8 标干态废气流量 N.d.m3/h 2.12105 2.18105 2.15105 9 氟化物排放浓度 mg/m3 0.235 0.267 0.31 9.0 10 氟化物排放速率 kg/h 4.9810-2 5.8210-2 6.6710-2 0.38 11 硫酸雾排放浓度 mg/m3 2.73 2.62 2.65 45 12 硫酸雾排放速率 kg/h 0.59 0.57 116、0.57 5.7 13 氨排放浓度 mg/m3 1.22 1.18 1.25/14 氨排放速率 kg/h 0.26 0.26 0.27 14 15 氯气排放浓度 mg/m3 0.31 0.24 0.28 65 16 氯气排放速率 kg/h 6.5710-2 5.2310-2 6.0210-2 0.52 17 NOx 排放浓度 mg/m3 0.7 0.7 0.7 240 18 NOx 排放速率 kg/h 7.410-2 7.610-2 7.510-2 2.8 表表2-21 酸性废气排放监测一览表（酸性废气排放监测一览表（3）序号 项目 单位 检测结果 限值 1 测试地点/酸性废气排放口（DA00117、2）/2 测试时间/2022.7.7 3 工况负荷%93 4 排气筒高度 m 25 5 废气温度 37 38 38 6 废气流速 m/s 6.5 6.4 6.7 7 实测废气流量 m3/h 2.45104 2.38104 2.52104 8 标干态废气流量 N.d.m3/h 2.07104 2.00104 2.12104 9 氟化物排放浓度 mg/m3 0.381 0.452 0.399 9.0 10 氟化物排放速率 kg/h 7.8910-3 9.0410-3 8.4610-3 0.38 11 硫酸雾排放浓度 mg/m3 2.62 2.66 2.42 45 12 硫酸雾排放速率 kg/h 5118、.4210-2 5.3210-2 5.1310-2 5.7 13 氯化氢排放浓度 mg/m3 1.01 0.921 1.10 100 14 氯化氢排放速率 kg/h 2.0910-2 1.8410-2 2.3310-2 0.92 15 氯气排放浓度 mg/m3 0.14 0.14 0.19 65 16 氯气排放速率 kg/h 2.9010-3 2.8010-3 4.0310-3 0.52 17 NOx 排放浓度 mg/m3 0.7 0.7 0.7 240 18 NOx 排放速率 kg/h 7.210-2 7.010-2 7.410-2 2.8 19 氨排放浓度 mg/m3 1.20 1.22 119、1.49/54 20 氨排放速率 kg/h 2.4810-2 2.4410-2 3.1610-2 14 表表2-22 酸性废气排放监测一览表（酸性废气排放监测一览表（4）序号 项目 单位 检测结果 限值 1 测试地点/酸性废气排放口（DA002）/2 测试时间/2022.7.8 3 工况负荷%88 4 排气筒高度 m 25 5 废气温度 38 39 38 6 废气流速 m/s 6.8 7.1 6.8 7 实测废气流量 m3/h 2.55104 2.66104 2.55104 8 标干态废气流量 N.d.m3/h 2.14104 2.22104 2.14104 9 氟化物排放浓度 mg/m3 0120、.236 0.280 0.272 9.0 10 氟化物排放速率 kg/h 5.0510-3 6.2210-3 5.8210-3 0.38 11 硫酸雾排放浓度 mg/m3 2.72 2.55 2.59 45 12 硫酸雾排放速率 kg/h 5.8210-2 5.6610-2 5.5410-2 5.7 13 氯化氢排放浓度 mg/m3 1.09 1.01 0.925 100 14 氯化氢排放速率 kg/h 2.3310-2 2.2410-2 1.9810-2 0.92 15 氯气排放浓度 mg/m3 0.14 0.18 0.23 65 16 氯气排放速率 kg/h 3.0010-3 4.0010121、-3 4.9210-3 0.52 17 NOx 排放浓度 mg/m3 0.7 0.7 0.7 240 18 NOx 排放速率 kg/h 7.510-2 7.810-2 7.510-2 2.8 19 氨排放浓度 mg/m3 1.35 1.26 1.12/20 氨排放速率 kg/h 2.8910-2 2.8010-2 2.4010-2 14 表表2-23 酸性废气排放监测一览表（酸性废气排放监测一览表（5）序号 项目 单位 检测结果 限值 1 测试地点/酸性废气排放口（DA003）/2 测试时间/2022.7.7 3 工况负荷%85 4 排气筒高度 m 25 5 废气温度 35 36 35 6 废122、气流速 m/s 6.3 6.7 6.5 7 实测废气流量 m3/h 2.39104 2.38104 2.38104 8 标干态废气流量 N.d.m3/h 2.02104 2.05104 2.16104 9 氟化物排放浓度 mg/m3 0.255 0.260 0.268 9.0 10 氟化物排放速率 kg/h 5.1510-3 5.3310-3 5.7910-3 0.38 11 硫酸雾排放浓度 mg/m3 2.25 2.43 2.48 45 12 硫酸雾排放速率 kg/h 4.5410-2 4.9810-2 5.3610-2 5.7 13 氨排放浓度 mg/m3 1.15 1.19 1.15/1123、4 氨排放速率 kg/h 2.3210-2 2.4410-2 2.4810-2 14 15 氯气排放浓度 mg/m3 0.26 0.27 0.26 65 16 氯气排放速率 kg/h 5.2510-3 5.5410-3 5.6210-3 0.52 17 NOx 排放浓度 mg/m3 0.7 0.7 0.7 240 55 18 NOx 排放速率 kg/h 7.110-3 7.210-3 7.610-3 2.8 表表2-24 酸性废气排放监测一览表（酸性废气排放监测一览表（6）序号 项目 单位 检测结果 限值 1 测试地点/酸性废气排放口（DA003）/2 测试时间/2022.7.8 3 工况负荷124、%90 4 排气筒高度 m 25 5 废气温度 37 36 38 6 废气流速 m/s 6.5 6.5 6.6 7 实测废气流量 m3/h 2.45104 2.45104 2.52104 8 标干态废气流量 N.d.m3/h 2.08104 2.08104 2.14104 9 氟化物排放浓度 mg/m3 0.310 0.288 0.275 9.0 10 氟化物排放速率 kg/h 6.4510-3 6.0010-3 5.8910-3 0.38 11 硫酸雾排放浓度 mg/m3 2.55 2.58 2.62 45 12 硫酸雾排放速率 kg/h 5.3010-2 5.3710-2 5.6110-2125、 5.7 13 氨排放浓度 mg/m3 1.25 1.24 1.30/14 氨排放速率 kg/h 2.6010-2 2.5810-2 2.7810-2 14 15 氯气排放浓度 mg/m3 0.31 0.32 0.28 65 16 氯气排放速率 kg/h 6.4510-3 6.6610-3 5.9910-3 0.52 17 NOx 排放浓度 mg/m3 0.7 0.7 0.7 240 18 NOx 排放速率 kg/h 7.310-3 7.310-3 7.510-3 2.8 表表2-25 碱性废气排放监测结果一览表（碱性废气排放监测结果一览表（1）序号 项目 单位 检测结果 限值 1 测试地点/126、酸液喷淋洗涤塔废气排放口（DA005）/2 测试时间/2022.7.7 3 工况负荷%92 4 排气筒高度 m 25 5 废气温度 36 37 37 6 废气流速 m/s 6.2 6.0 6.4 7 实测废气流量 m3/h 4.45104 4.31104 4.67104 8 标干态废气流量 N.d.m3/h 3.77104 3.64104 3.94104 9 氨排放浓度 mg/m3 1.29 1.41 1.56/10 氨排放速率 kg/h 4.8610-2 5.1310-2 6.1510-2 14 表表2-26 碱性废气排放监测结果一览表（碱性废气排放监测结果一览表（2）序号 项目 单位 检测127、结果 限值 1 测试地点/酸液喷淋洗涤塔废气排放口（DA005）/2 测试时间/2022.7.8 3 工况负荷%89 4 排气筒高度 m 25 5 废气温度 37 37 36 6 废气流速 m/s 6.4 6.4 6.5 56 7 实测废气流量 m3/h 4.60104 4.67104 4.73104 8 标干态废气流量 N.d.m3/h 3.88104 3.94104 4.00104 9 氨排放浓度 mg/m3 1.51 1.54 1.24/10 氨排放速率 kg/h 5.8610-2 6.0710-2 4.9610-2 14 表表2-27 RTO 装置有机废气排放监测结果一览表（装置有机废128、气排放监测结果一览表（1）序号 项目 单位 检测结果 限值 1 测试地点/沸石转轮焚烧处理装置（DA006）/2 测试时间/2022.7.7 3 工况负荷%92 4 排气筒高度 m 25 5 废气温度 进口 38 38 37 出口 36 37 37 6 废气流速 进口 m/s 6.2 6.6 6.0 出口 5.2 5.4 5.6 7 实测废气流量 进口 m3/h 2.96104 3.15104 2.86104 出口 2.48104 2.59104 2.70104 8 标干态废气流量 进口 N.d.m3/h 2.46104 2.61104 2.38104 出口 2.09104 2.18104 2129、.27104 9 非甲烷总烃排放浓度 进口 mg/m3 57.0 57.4 54.9/出口 5.66 5.22 5.20 120 10 非甲烷总烃排放速率 进口 kg/h 1.40 1.50 1.31/出口 0.118 0.114 0.118 35 表表2-28 RTO 净化装置有机废气排放监测结果一览表（净化装置有机废气排放监测结果一览表（2）序号 项目 单位 检测结果 限值 1 测试地点/沸石转轮焚烧处理装置（DA006）/2 测试时间/2022.7.8 3 工况负荷%92 4 排气筒高度 m 25 5 废气温度 进口 39 38 38 出口 38 38 37 6 废气流速 进口 m/s 130、6.4 6.6 6.3 出口 5.4 5.6 5.5 7 实测废气流量 进口 m3/h 3.06104 3.15104 3.01104 出口 3.06104 3.15104 3.01104 8 标干态废气流量 进口 N.d.m3/h 2.54104 2.62104 2.50104 出口 2.54104 2.62104 2.50104 9 非甲烷总烃排放浓度 进口 mg/m3 60.0 56.5 56.0/出口 5.44 5.39 5.41 120 10 非甲烷总烃排放速率 进口 kg/h 1.52 1.48 1.40/出口 0.138 0.141 0.135 35 根据监测结果可知，验收监测期131、间废气处理设施出口的氟化物、氯化氢、硫酸雾、57 氮氧化物、氯气、非甲烷总烃的排放速率和排放浓度均达到大气污染物综合排放标准（GB16297-1996）二级排放标准限制要求；废气中的氨的排放速率达到恶臭污染物排放标准（GB14554-93）中的表 2 限值要求。表表2-29 无组织废气监测结果一览表无组织废气监测结果一览表 采样点 检测项目 单位 检测结果（2022.7.7）检测结果（2022.7.8）限值 频次 监测值 频次 监测值 西南厂界（参照点）氟化物 ug/m3 3 0.50.74 3 0.470.79 20 硫酸雾 mg/m3 3 0.1710.181 3 0.1770.194 1132、.2 非甲烷总烃 mg/m3 3 0.610.64 3 0.630.68 4.0 氨 mg/m3 3 0.060.08 3 0.070.09 1.5 氯化氢 mg/m3 3 0.0960.108 3 0.0990.11 0.20 氮氧化物 mg/m3 3 0.0250.029 3 0.0250.027 0.12 氯气 mg/m3 3 0.03 3 0.03 0.40 北厂界（监控点）氟化物 ug/m3 3 1.251.59 3 1.251.67 20 硫酸雾 mg/m3 3 0.3060.313 3 0.3230.33 1.2 非甲烷总烃 mg/m3 3 1.311.43 3 1.111.45133、 4.0 氨 mg/m3 3 0.110.14 3 0.120.16 1.5 氯化氢 mg/m3 3 0.1260.143 3 0.1280.145 0.20 氮氧化物 mg/m3 3 0.030.033 3 0.0310.033 0.12 氯气 mg/m3 3 0.03 3 0.03 0.40 东北厂界（监控点）氟化物 ug/m3 3 1.381.92 3 1.191.83 20 硫酸雾 mg/m3 3 0.2630.269 3 0.2680.282 1.2 非甲烷总烃 mg/m3 3 1.181.35 3 1.131.26 4.0 氨 mg/m3 3 0.110.14 3 0.10.12 134、1.5 氯化氢 mg/m3 3 0.1360.151 3 0.1330.151 0.20 氮氧化物 mg/m3 3 0.030.033 3 0.0290.033 0.12 氯气 mg/m3 3 0.03 3 0.03 0.40 东厂界（监控点）氟化物 ug/m3 3 1.431.82 3 1.021.83 20 硫酸雾 mg/m3 3 0.2730.279 3 0.280.288 1.2 非甲烷总烃 mg/m3 3 1.121.15 3 1.241.33 4.0 氨 mg/m3 3 0.110.15 3 0.110.14 1.5 氯化氢 mg/m3 3 0.1320.155 3 0.1330.135、158 0.20 氮氧化物 mg/m3 3 0.030.033 3 0.0290.035 0.12 氯气 mg/m3 3 0.03 3 0.03 0.40 由监测结果可知，验收期间厂界无组织排放的氟化物、硫酸雾、丰甲烷总经、氯化氢、氮氧化物、氯气浓度均达到大气污染物综合排放标准（GB16297-1996）表 2 中的限值要求；氨的排放浓度达到恶臭污染物排放标准（GB14554-1993）中无组织厂界排放浓度限值要求。（3）噪声 58 现有项目厂界噪声监测情况详见表 2-30。表表2-30 厂界噪声监测情况一览表厂界噪声监测情况一览表 序号 测点位置 监测时间 监测值（dB）标准值（dB）达标情136、况 昼间 夜间 昼间 夜间 1#厂界北侧 2022.6.30 58.7 50.7 65 55 达标 2022.7.1 56.9 50.2 达标 2#厂界东侧 2022.6.30 58.7 50.4 65 55 达标 2022.7.1 58.4 52.1 达标 3#厂界南侧 2022.6.30 56.9 49.4 65 55 达标 2022.7.1 57.4 50.9 达标 4#厂界西侧 2022.6.30 60.0 49.6 65 55 达标 2022.7.1 58.5 50.2 达标 由上表可知，项目厂界昼间噪声监测值为 56.960dB、夜间噪声监测值为 49.452.1dB，均符合工业企137、业厂界环境噪声排放标准（GB12348-2008）中 3 类标准。2.4.4 现有工程污染物实际排放量现有工程污染物实际排放量 2.4.4.1 8 英寸生产线英寸生产线（1）废水 项目废水主要包括工艺酸碱废水、含氨废水、含氟废水、有机废水、CMP 研磨废水、废气洗涤塔排水、纯水站 RO 浓缩废水、冷却塔循环水排水、员工生活污水等。根据新增年产 43.2 万片 8 英寸芯片技术改造项目环境影响报告表、年产 36 万片 12 英寸芯片生产线项目环境影响报告表，企业全厂核定废水排放量为 2579280t/a，其中 8 英寸芯片生产线废水核定排放量为 1379400t/a。根据企业 2022 年 1 138、月2022 年 12 月在线监控数据显示，企业废水排放量为137.905 万 t/a，和原环评理论计算的废水排放量（137.94 万 t/a）基本一致，现有工程废水源强可信。厂区废水经处理达污水综合排放标准（GB8978-1996）三级标准后纳入市政污水管网，最终由xx七格污水处理厂统一达标处理至城镇污水处理厂污染物排放标准（GB18918-2002）中的一级 A 标准后排放。企业实际废水及污染物纳管量和环境排放量详见下表。59 表表2-31 现有工程废水实际排放情况现有工程废水实际排放情况 污染物 产生情况 纳管情况 排放情况 浓度（mg/L）产生量（t/a）浓度（mg/L）纳管量（t/a）139、浓度（mg/L）排放量（t/a）废水量/1731820/1379050/1379050 CODCr 217 375.805 209 288.221 50 68.953 氟化物 2.29 3.966 1.055 1.455/氨氮 18.95 32.818 12.65 17.445 5 6.895 总氮 40.2 69.619 26.85 37.027 15 20.686 总磷 0.25 0.433 0.22 0.303 0.5 0.689（2）废气 根据新增年产 43.2 万片 8 英寸芯片技术改造项目竣工环境保护验收监测报告表（2022.7）中的废气监测报告以及监测时的工况，计算得到现有工程废140、气实际排放情况，具体详见表 2-32。表表2-32 现有工程废气实际排放情况现有工程废气实际排放情况 序号 污染物名称 排放量（t/a）1 氟化物 0.608 2 氯化氢 0.747 3 氮氧化物 0.754 4 氨 2.386 5 氯气 0.28 6 硫酸雾 4.514 7 VOCs 1.005（3）固废 根据现场调查，结合企业固废台账记录，现有工程固废主要包括：未沾染危化品的废包装材料、废水处理产生的污泥、生产过程中产生的废酸、废有机溶剂、高浓度含氨废液、废光刻胶、废显影液、废试剂容器、废润滑油、废弃的抹布（含手套）、废靶材、废弃的电子元件及生活垃圾等。固废产生及处置情况详见表 2-33。141、表表2-33 现有工程固废产生及处置情况现有工程固废产生及处置情况 序号 固废名称 产生工序 主要物质 属性 危险废物代码 产生量（t/a）去向 1 未沾染危化品的废包装材料 原料外包装 纸张、塑料等包装材料 一般固废/124.5 收集后外售给物资回收利用公司 2 污泥 废水处理 CaF2 一般固废/458.36 委托xxxx环境服务有限公司清运处置 3 废酸液 刻蚀清洗 磷酸、硫酸危险固HW34 302.63 委托xx中荷环境科技有限60 等 废 900-300-34 公司清运处置 4 高浓度含氨废液 湿法刻蚀 氟化铵等 危险固废 H35 900-355-35 12.5 收集后暂存在厂区内，142、未委托处置 5 废有机溶剂 刻蚀、光刻等 异丙醇、丙酮、光阻稀释剂、邻苯二酚等 危险固废 HW06 900-402-06 62.6 委托绍兴华鑫xx科技有限公司清运处置 6 废感光材料 光刻、显影 光刻胶、显影液等 危险固废 HW16 398-001-16 213.28 委托xxxx环境服务有限公司、绍兴华鑫xx科技有限公司、湖州明境xx科技有限公司清运处置 7 废化学品包装 原料外包装 塑料、玻璃等制品 危险固废 HW49 900-041-49 15.9 委托xxxx环境服务有限公司、绍兴鑫杰xx科技有限公司清运处置 8 实验室废液 实验 沾染 HF、氟化铵等有毒有害物质 危险固废 HW49143、 900-047-49 0.41 9 废润滑油 设备维修保养 矿物质油 危险固废 HW08 900-214-08 0.1 委托xxxx环境服务有限公司 10 废抹布（含手套）设备维修保养 沾染润滑油等 危险固废 HW49 900-041-49 0.05 委托xxxx环境服务有限公司 11 废弃的电子元器件 检验/一般固废/18.9 收集后外售给物资回收利用公司 12 废靶材 物理气相沉积/一般固废/0.1 13 生活垃圾 员工日常工作 纸张、塑料袋等 一般固废/245 委托当地环卫部门定期上门清运 由上表可知，因高浓度含氨废液处置单位较少，企业 2022 年产生的高浓度含氨废液暂存在厂区内，待144、与相关危废处置单位签订协议后，尽快将该部分危废清运处置；除此之外，本项目固废均有合理去处。2.4.4.2 12 英寸生产生产线英寸生产生产线 年产 36 万片 12 英寸芯片生产线项目正在建设中，污染物排放情况引用年产 36万片 12 英寸芯片生产线项目环境影响报告表中的相关数据，具体详见表 2-34。表表2-34 年产年产 36 万片万片 12 英寸芯片生产线项目英寸芯片生产线项目污染物产排情况污染物产排情况 类型 污染物名称 产生量（t/a）削减量（t/a）排放量（t/a）废水 废水量 1522851 325050 1197801 CODCr 329.768 317.64 59.89 氨氮145、 19.055 18.801 5.989 总氮 48.536 47.896 17.967 总磷 1.939 1.877 0.599 废气 氨气 1.939 2.203 0.174 61 磷酸 1.089 0.981 0.109 氯化氢 36.989 36.528 0.460 氯气 0.536 0.531 0.005 氟化物 22.978 22.501 0.477 硫酸雾 8.842 7.957 0.884 氮氧化物 23.349 17.477 5.872 非甲烷总烃 13.649 12.285 1.365 磷烷 0.102 0.101 0.001 硅烷 1.440 1.426 0.014 固废146、 废弃的电子元器件 15 15 0 废包装材料 100 100 0 污泥 240 240 0 废靶材 0.07 0.07 0 高浓度含氨废液 50.64 50.64 0 废有机溶剂 废去胶液 75.2 75.2 0 废异丙醇 18.64 18.64 0 废丙酮 2.95 2.95 0 废光刻胶 10.2 10.2 0 废酸 废磷酸液 57.35 57.35 0 废硫酸 43.75 43.75 0 废显影液 125.27 125.27 0 废化学品包装 20 20 0 废擦拭布 0.15 0.15 0 废沸石 2t/3 年 2t/3 年 0 废活性炭 15 15 0 废 RO 膜及离子交换树脂 147、10 10 0 废汞灯 0.1 0.1 0 废润滑油 0.5 0.5 0 生活垃圾 198 198 0 2.4.4.3 主要污染物排放情况汇总主要污染物排放情况汇总 综上所述，企业现状主要废水、废气污染物排放汇总情况详见表 2-35；企业固废产生情况详见表 2-36。表表2-35 主要污染物排放情况汇总主要污染物排放情况汇总 类型 污染物名称 现有 8 英寸项目排放量（t/a）在建 12 英寸项目排放量（t/a）合计排放量（t/a）企业核定总量（t/a）废水 废水量 1379050 1197801 2576851 2579280 CODCr 68.953 59.89 128.843 128.9148、6 氨氮 6.895 5.989 12.884 12.9 总氮 20.686 17.967 38.653 38.689 总磷 0.689 0.599 1.288 1.29 废气 氨气 2.386 0.174 2.56/62 氯化氢 0.747 0.460 1.207/氯气 0.28 0.005 0.285/氟化物 0.608 0.477 1.085/硫酸雾 4.514 0.884 5.398/氮氧化物 0.754 5.872 6.626 6.672 非甲烷总烃 1.005 1.365 2.37 3.265 磷烷 0.0005 0.001 0.0015/硅烷 0.0855 0.014 0.099149、5/由上表可知，现有项目总量控制指标污染物排放量均在企业核定总量范围内。表表2-36 企业固废产生情况汇总表企业固废产生情况汇总表 序号 固废名称 属性 危险废物 代码 现有 8 英寸项目2022 年产生量（t/a）在建 12 英寸项目预计产生量（t/a）去向 1 未沾染危化品的废包装材料 一般固废/124.5 100 收集后由物资公司回收 2 污泥 一般固废/458.36 240 委托xxxx环境服务有限公司清运处置 3 废酸 危险固废 HW34 900-300-34 302.63 101.1 委托xx中荷环境科技有限公司清运处置 4 高浓度含氨废液 危险固废 H35 900-355-35 150、12.5 99.64 收集后暂存在厂区内，未委托处置 5 废有机溶剂 危险固废 HW06 900-402-06 62.6 106.99 委托绍兴华鑫xx科技有限公司清运处置 6 废感光材料 危险固废 HW16 398-001-16 213.28 125.27 委托绍兴华鑫xx科技有限公司、湖州明境xx科技有限公司清运处置 7 废试剂容器 危险固废 HW49 900-041-49 15.9 20 委托xxxx环境服务有限公司、绍兴鑫杰xx科技有限公司清运处置 8 废抹布 危险固废 0.05 0.15 9 实验室废液 危险固废 HW49 900-047-49 0.41/10 废活性炭 危险固废 H151、W49 900-041-49 0 15 委托xxxx环境服务有限公司清运处置 11 废沸石 危险废物 0 2t/3 年 12 废 RO 膜及离子交换树脂 危险废物 HW13 900-015-13 0 10 因暂未产生该类固废，企业未与相关有资质单位签订委托处置协议 13 废汞灯 危险废物 HW29 900-023-29 0 0.1 委托xxxx环境服务有限公司清运处置 14 废润滑油 危险废物 HW08 900-214-08 0.1 0.5 15 废弃的电子元器件 一般固废/18.9 15 收集后由物资公司回收 16 废靶材 一般固废/0.1 0.07 63 17 生活垃圾 一般固废/245 152、198 环卫部门定期清运 2.4.5 现有工程主要环境问题及整改措施现有工程主要环境问题及整改措施 根据现场调查、结合监测结果，企业现有工程的废水、废气、噪声等污染物能够做到达标排放，各xx设施均运行良好。截止2023 年 4 月 30 日，企业未收到过相关xx投诉。根据现场调查，企业还未完成有机废气处理装置自动监测系统的安装、使用。根据企业出具的延期安装自动监测系统的说明，企业已于 2022 年向当地xx主管部门申请延期安装自动监测系统，xx主管部门已同意企业在2023 年年底完成该项工作。目前该项工作已进入招标阶段，确保 2023 年年底完成并投入使用。根据排污单位自行监测技术指南 电子工153、业（HJ1253-2022）、排污许可证申请与核发技术规范 电子工业（HJ1031-2019），有机废气排放口自动监测设备的污染因子应包括非甲烷总烃，监测内容应包括废气排放压力、温度、浓度、速率。64 三、区域环境质量现状、环境保护目标及评价标准 区域环境质量现状 3.1 环境质量标准环境质量标准 3.1.1 环境空气环境空气 根据xx省环境空气质量功能区划分，项目所在区域属于二类环境空气质量功能区，环境空气质量执行环境空气质量标准（GB3095-2012）及其修改单（生态环境部公告 2018 年第 29 号）二级标准、环境影响评价技术导则 大气环境（HJ 2.2-2018）附录 D 中的限值154、。非甲烷总烃参照执行大气污染物综合排放标准详解中的相关限值。具体标准值详见表 3-1。表表3-1 环境空气质量标准环境空气质量标准 污染物名称 取值时间 浓度限值 单位 来源 SO2 年平均 60 ug/m3 环境空气质量标准（GB3095-2012）二级标准及修改清单 24 小时平均 450 1 小时平均 500 NO2 年平均 40 24 小时平均 80 1 小时平均 200 PM10 年平均 70 24 小时平均 150 PM2.5 年平均 35 24 小时平均 75 CO 24 小时平均 4 mg/m3 1 小时平均 10 O3 日最大 8 小时平均 160 ug/m3 1 小时平均 155、200 NOX 年平均 50 24 小时平均 100 1 小时平均 250 氟化物（F）24 小时平均 20 1 小时平均 7 氨 1 小时平均 200 ug/m3 环境影响评价技术导则 大气环境（HJ 2.2-2018）中附录 D 硫酸 1 小时平均 300 日平均 100 氯 1 小时平均 100 日平均 30 氯化氢 1 小时平均 50 日平均 15 非甲烷总烃 一次值 2.0 mg/m3 大气污染物综合排放标准详解 65 3.1.2 地表水环境地表水环境 项目附近水体为 6 号渠、12 号渠等，对照xx省水功能区水环境功能区划分方案（2015 年），项目周边河流未具体划分；根据xx大创156、小镇综合发展规划环境影响报告书，6 号渠、12 号渠等内河按照地表水环境质量标准（GB3838-2002）类水质标准执行。具体标准值详见表 3-2。表表3-2 地表水环境质量标准（地表水环境质量标准（GB3838-2002）序号 项目 类（mg/L）序号 项目 类（mg/L）1 pH 69（无量纲）7 总磷（以 P 计）0.3 2 DO 3 8 石油类 0.5 3 CODMn 10 9 总氮 1.5 4 BOD5 6 10 氟化物 1.5 5 CODCr 30 11 砷 0.1 6 氨氮 1.5 12 铜 1.0 3.1.3 地下水地下水 项目所在区域不采用地下水作为日常饮水，也不采用地下水作157、为农业和工业用水。项目所在区域尚无地下水功能区划，地下水参照地表水环境功能进行评价，执行地下水质量标准（GB/T14848-2017）中的类标准。具体标准值详见表 3-3。表表3-3 地下水质量标准（地下水质量标准（GB/T14848-2017）序号 评价项目 类 类 类 1 pH 6.5pH8.5 5.5pH6.5 8.5pH9.0 pH9.0 2 总硬度（以 CaCO3计）/（mg/L）450 650 650 3 溶解性总固体/（mg/L）1000 2000 2000 4 硫酸盐/（mg/L）250 350 350 5 氯化物/（mg/L）250 350 350 6 挥发性酚类（以苯酚计）158、/（mg/L）0.002 0.0l 0.01 7 耗氧量（CODMn，以 O2计）/（mg/L）3.0 10.0 10.0 8 氨氮（以 N 计）/（mg/L）0.50 1.50 1.50 9 铁/（mg/L）0.3 2.0 2.0 10 锰/（mg/L）0.10 1.50 1.50 11 砷/（mg/L）0.01 0.05 0.05 12 亚硝酸盐（以 N 计）/（mg/L）1.00 4.80 4.80 13 硝酸盐（以 N 计）/（mg/L）20.0 30.0 30.0 14 氰化物/（mg/L）0.05 0.1 0.1 15 氟化物/（mg/L）1.0 2.0 2.0 16 汞/（mg/159、L）0.001 0.002 0.002 17 镉/（mg/L）0.005 0.01 0.01 18 铬（六价）/（mg/L）0.05 0.10 0.10 66 19 铅/（mg/L）0.01 0.10 0.10 20 总大肠菌群/（MPNh/100mL 或 CFU/100mL）3.0 100 100 21 菌落总数/（CFU/mL）100 1000 1000 3.1.4 声环境声环境 根据xx市主城区声环境功能区划方案（2020 年修订版），项目所在区域为3 类声环境功能区，厂界声环境执行声环境质量标准（GB3096-2008）中 3 类标准，项目周边敏感点所在区域为 2 类声环境功能区，声环160、境执行声环境质量标准（GB3096-2008）中 2 类标准。具体标准值详见表 3-4。表表3-4 声环境质量标准（声环境质量标准（GB3096-2008）声环境功能区类别 时段 昼间/dB（A）夜间/dB（A）2 类 60 50 3 类 65 55 3.1.5 土壤土壤 项目所在地土壤执行环境质量标准 建设用地土壤污染风险管控标准（试行）（GB36600-2018）中的相关标准值。具体标准值详见表 3-5。表表3-5 环境质量标准环境质量标准 建设用地土壤污染风险管控标准（试行）（建设用地土壤污染风险管控标准（试行）（GB36600-2018）序号 项目 CAS 编号 筛选值（mg/kg）管161、控值（mg/kg）第一类用地 第二类用地 第一类用地 第二类用地 1 砷 7440-38-2 20*60*120 140 2 镉 7440-43-9 20 65 47 172 3 铬（六价）18540-29-9 3.0 5.7 30 78 4 铜 7440-50-8 2000 18000 8000 36000 5 铅 7439-92-1 400 800 800 2500 6 汞 7439-97-6 8 38 33 82 7 镍 7440-02-0 150 900 600 2000 8 四氯化碳 56-23-5 0.9 2.8 9 36 9 氯仿 67-66-3 0.3 0.9 5 10 10 162、氯甲烷 74-87-3 12 37 21 120 11 1,1-二氯乙烷 75-34-3 3 9 20 100 12 1,2-二氯乙烷 107-06-2 0.52 5 6 21 13 1,1-二氯乙烯 75-35-4 12 66 40 200 14 顺-1,2-二氯乙烯 156-59-2 66 596 200 2000 15 反-1,2-二氯乙烯 156-60-5 10 54 31 163 16 二氯甲烷 75-09-2 94 616 300 2000 17 1,2-二氯丙烷 78-87-5 1 5 5 47 18 1,1,1,2-四氯乙烷 630-20-6 2.6 10 26 100 19 163、1,1,2,2-四氯乙烷 79-34-5 1.6 6.8 14 50 67 20 四氯乙烯 127-18-4 11 53 34 183 21 1,1,1-三氯乙烷 71-55-6 701 840 840 840 22 1,1,2-三氯乙烷 79-00-5 0.6 2.8 5 15 23 三氯乙烯 79-01-6 0.7 2.8 7 20 24 1,2,3-三氯丙烷 96-18-4 0.05 0.5 0.5 5 25 氯乙烯 75-01-4 0.12 0.43 1.2 4.3 26 苯 71-43-2 1 4 10 40 27 氯苯 108-90-7 68 270 200 1000 28 1,2164、-二氯苯 95-50-1 560 560 560 560 29 1,4-二氯苯 106-46-7 5.6 20 56 200 30 乙苯 100-41-4 7.2 28 72 280 31 苯乙烯 100-42-5 1290 1290 1290 1290 32 甲苯 108-88-3 1200 1200 1200 1200 33 间二甲苯+对二甲苯 108-38-3,106-42-3 163 570 500 570 34 邻二甲苯 95-47-6 222 640 640 640 35 硝基苯 98-95-3 34 76 190 760 36 苯胺 62-53-3 92 260 211 663 165、37 2-氯酚 95-57-8 250 2256 500 4500 38 苯并a蒽 56-55-3 5.5 15 55 151 39 苯并a芘 50-32-8 0.55 1.5 5.5 15 40 苯并b荧蒽 205-99-2 5.5 15 55 151 41 苯并k荧蒽 207-08-9 55 151 550 1500 42 218-01-9 490 1293 4900 12900 43 二苯并a,h蒽 53-70-3 0.55 1.5 5.5 15 44 茚并1,2,3-cd芘 193-39-5 5.5 15 55 151 45 萘 91-20-3 25 70 255 700 注：*具体地166、块土壤中污染物检测含量超过筛选值，但等于或低于土壤环境背景值（见 3.6）水平的，不纳入污染地块管理。土壤环境背景值可参见附录 A。3.2 区域环境质量现状区域环境质量现状 3.2.1 环境空气环境空气（1）基本污染物环境质量情况 为了解项目所在区域环境质量达标情况，本次评价收集了xx政服务网发布的2022 年xx市生态环境状况公报相关数据和结论，具体如下：按照环境空气质量标准（GB 3095-2012）评价，xx市区（xx区、xx区、xx区、xx区、xx区、xx区、临平区、xx区、xx区和临安区，下同）环境空气优良天数为 304 天，同比减少 17 天，优良率为 83.3%，同比下降 4.6167、 个百分点。xx市区细颗粒物（PM2.5）达标天数为 354 天，同比减少 8 天，达标率为 97.0%，68 同比下降 2.2 个百分点。2022 年xx市区主要污染物为O3，日最大 8 小时平均浓度第 90 百分位数170ug/m3。SO2、NO2、PM10和 PM2.5等 4 项主要污染物年均浓度分别为 6 ug/m3、32 ug/m3、52 ug/m3和 30 ug/m3，CO 日均浓度第 95 百分位数为 0.9 mg/m3。SO2、NO2、和 CO 达到国家环境空气质量一级标准，PM10和 PM2.5达到国家二级标准，O3略超过国家二级标准。（2）环境空气质量达标区判定 因2022168、 年xx市生态环境状况公报中未给出SO2、NO2、PM10和 PM2.5等 4项污染物“百分位上日平均”，仅给出了达标性结论，根据环境影响评价技术导则 大气环境（HJ2.2-2018）第 6.2.1.1 条“项目所在区域达标判定，优先采用国家或地方生态环境主管部门公开发布的评价基准年环境质量公告或环境质量报告中的数据或结论”的规定，本次评价仅引用2022 年xx市生态环境状况公报中的结论对项目所在区域达标性进行判定。由于xx市区2022 年臭氧日最大 8 小时平均浓度第 90百分位数存在超标现象，判定xx市区2022 年环境空气质量不达标。（3）区域达标规划 根据xx市人民政府办公厅关于印发x169、x市大气环境质量限期达标规划的通知（杭政办函20192 号），规划目标：通过二十年努力，全市大气污染物排放总量显著下降，区域大气环境管理能力明显提高，大气环境质量明显改善，包括 SO2、NO2、CO、O3、PM10、PM2.5等 6 项主要大气污染物指标全面稳定达到国家环境空气质量二级标准，全面消除重污染天气，使广大市民尽情享受蓝天白云、空气清新的好天气。到 2025 年，实现全市域大气“清洁排放区”建设目标，大气污染物排放总量持续稳定下降，基本消除重污染天气，市区 PM2.5年均浓度稳定达标的同时，力争年均浓度继续下降，xx、xx、xx等3 县（市）PM2.5年均浓度力争达到 30 ug/m170、3以下，全市 O3浓度出现下降拐点。到 2035 年，大气环境质量持续改善，包括 O3在内的主要大气污染物指标全面稳定达到国家空气质量二级标准，PM2.5年均浓度达到 25 ug/m3以下，全面消除重污染天气。同时，xx市空气质量改善“十四五”规划已出台，该规划目标：“十四五”时期，xx市持续深化“五气共治”，实现全市大气主要污染物排放总量持续减少目69 标，环境空气质量进一步改善。到 2025 年，O3上升趋势得到有效控制，基本消除中度污染天气，力争超额完成省下达的目标。随着xx市大气环境质量限期达标规划、xx市空气质量改善“十四五”规划等的持续推进，xx市的环境空气质量将会逐步好转。（4）171、补充监测 为进一步了解建设项目所在地环境空气质量现状，本次评价利用xx鸿博环境检测有限公司于 2022 年 6 月 19 日2022 年 6 月 25 日在项目周边布点监测的相关数据。本章节仅给出补充监测评价结果，具体监测方案、评价结果详见专题一。监测结果表明：氟化物小时浓度值为0.50.6ug/m3、最大占标率为 8.6%，日均浓度值为 0.060.12ug/m3、最大占标率为 0.6%，均满足 环境空气质量标准（GB3095-2012）及其修改单（生态环境部公告 2018 年第 29 号）二级标准。氨小时浓度值为 0.050.08mg/m3，最大占标率为40%；硫酸小时浓度值为0.020.172、06mg/m3、最大占标率为 20%，日均浓度值为 0.00960.0175mg/m3、最大占标率为17.5%；氯小时浓度值为 0.030.09mg/m3、最大占标率为 90%，日均浓度值为0.0010.001mg/m3、最大占标率为 3.3%；氯化氢小时浓度值为 0.0260.03mg/m3、最大占标率为 60%，日均浓度值为 0.0080.009mg/m3、最大占标率为 60%；均能满足环境影响评价技术导则 大气环境（HJ2.2-2018）附录 D“污染物空气质量浓度参考限值”。非甲烷总烃小时浓度值为 0.571.15mg/m3，最大占标率为 57.5%，均能满足大气污染物综合排放标准详解173、中规定的限值要求。综上所述，项目所在区域设点监测得到的环境空气质量现状数据满足相应标准限值，项目所在区域空气环境质量良好。3.2.2 地表水环境地表水环境 根据2021 年xx市生态环境状况公报，xx市14 个国控饮用水水源地点位水质达标率均为 100%，全市跨行政区域河流交接断面达标率和优于类比例均为100%，与 2020 年同期持平，水质保持稳定。入海监测断面（七堡断面）全年水质保持类，年均高锰酸盐指数为 2.3mg/L、氨氮为 0.102.3mg/L、总磷为 0.0692.3mg/L、总氮为 1.672.3mg/L，优于考核目标要求（类）。为了解项目拟建地周围地表水环境质量现状，本次评价174、利用xx鸿博环境检测有70 限公司对项目北侧 6#渠水环境质量现状监测数据进行评价。具体监测方案详见表 3-6。表表3-6 地表水水环境质量现状监测方案地表水水环境质量现状监测方案 编号 监测点名称 方位 距离 监测时间 监测因子 监测频率 1#6 号渠与三号大堤护塘河交叉口 NW 约 460m 2022.6.2022，共 3 天 pH、DO、CODMn、CODCr、BOD5、氨氮、总磷、氟化物、铜、砷，并同步记录水温 3 天，每天 1 次 2#6 号渠与 23 号大街交叉口 NE 约 548m 本报告采用单因子评价标准指数法进行水环境质量的现状评价，评价标准为地表水环境质量标准（GB3838175、-2002）类标准，地表水水环境质量现状调查结果见表 3-7。表表3-7 地表水环境质量现状监测评价结果一览表地表水环境质量现状监测评价结果一览表 名称 6 号渠与三号大堤护塘河交叉口 6 号渠与 23 号大街交叉口 最大标准指数 采样日期 6.20 6.21 6.22 6.20 6.21 6.22 水温（）27.7 27.8 27.1 27.4 27.6 27.5/pH（无量纲）7.6 7.7 7.6 7.5 7.5 7.5 0.35 DO（mg/L）5.6 5.3 5.5 5.0 5.0 4.9 0.618 CODMn（mg/L）4.02 4.18 4.12 3.46 3.54 3.52 176、0.418 CODCr（mg/L）15 17 18 10 13 12 0.6 BOD5（mg/L）3.6 3.8 3.7 2.6 2.8 2.9 0.63 氨氮（mg/L）1.20 1.26 1.22 1.16 1.20 1.16 0.84 总磷（mg/L）0.17 0.17 0.15 0.15 0.13 0.12 0.57 氟化物（mg/L）0.300 0.290 0.294 0.292 0.292 0.283 0.2 铜（mg/L）0.05 0.05 0.05 0.05 0.05 0.05 0.05 砷（mg/L）2.210-3 2.010-3 2.610-3 1.010-3 1.110-177、3 1.110-3 0.026 由上表可知，项目各监测水质最大标准指数均小于 1，表明监测水质均达到了 地表水环境质量标准（GB3838-2002）中的类水标准。项目所在地地表水环境质量现状良好。3.2.3 声环境声环境 为了解项目拟建地声环境质量现状，本次评价利用xx鸿博环境检测有限公司于2022 年 6 月 20 日对项目厂界四周声环境现状监测数据进行评价，具体监测结果详见表 3-8。71 表表3-8 声环境现状监测结果声环境现状监测结果 序号 测点位置 监测值（dB）标准值（dB）达标情况 昼间 夜间 昼间 夜间 1#厂界北侧 56.4 45.5 65 55 达标 2#厂界东侧 58.3178、 48.7 65 55 达标 3#厂界南侧 58.2 48.2 65 55 达标 4#厂界西侧 57.5 46.7 65 55 达标 注：监测期间受周边道路交通噪声影响。由监测结果可知，项目厂界昼间声环境监测值为 56.458.3dB、夜间声环境监测值为 45.548.7dB，均符合声环境质量标准（GB3096-2008）中 3 类标准，项目所在地声环境质量良好。3.2.4 生态环境生态环境 根据现场调查，项目位于xx市xx区白杨街道19 号大街 656 号，主要利用现有厂房进行扩建，无新增用地且用地范围内无生态环境保护目标，结合建设项目环境影响报告表编制技术指南（污染影响类）（试行）的要求，179、可不进行生态环境现状调查。3.2.5 电磁辐射电磁辐射 本项目不涉及广播电台、差转台、电视塔台、卫星地球上行站、雷达等电磁辐射类项目，可不对电磁辐射现状开展监测与评价。3.2.6 地下水、土壤环境地下水、土壤环境 项目厂房车间地面都按照规范和标准要求严格落实了硬化和防腐防渗措施，本项目正常生产情况下，不存在土壤、地下水环境污染途径，根据建设项目环境影响报告表编制技术指南（污染影响类）（试行），项目可不开展地下水、土壤环境现状调查。环境保护目标（1）环境空气 环境空气保护目标为厂界外 2.5km 范围内的学校、医院、居住区等，按功能区要求达到环境空气质量标准（GB3095-2012）二类标准。（180、2）地表水环境 水环境保护目标为纳污水体xx江（xx191），目标水质为类；区域内河水体，目标水质为类。（3）声环境 72 声环境保护目标为厂界外 50m 范围内的学校、医院、居住区等。本项目厂界 50m范围内无敏感点，不存在声环境保护目标。（4）地下水环境 本项目厂界外 500m 范围内不存在地下水集中式饮用水水源和热水、矿泉水、温泉等特殊地下水资源，无需进行地下水环境保护目标调查。环境保护目标具体情况详见表 3-9。表表3-9 项目主要环境保护目标一览表项目主要环境保护目标一览表 名称 坐标 保护 对象 保护内容 环境功能区 相对厂址方位 与厂界相对最近距离 经度（）纬度（）大气环境 闻潮181、 社区 天元公寓 120.360523 30.303435 居民 约 690 户 环境空气质量二类功能区 NW 约 85m 新雁公寓 120.372831 30.301670 居民 约 2771 户 E 约 840m 邻里社区 120.352811 30.29394 居民 约 2338 户 SW 约 1000m 云水社区 120.370192 30.307717 居民 约 3997 户 NE 约 810m 海天社区 120.380631 30.302409 居民 约 3051 户 E 约 1535m 朗琴社区 120.384386 30.301854 居民 约 3497 户 E 约 1895m182、 多蓝水岸社区 120.381329 30.297306 居民 约 2885 户 SE 约 1540m 伊萨卡社区 120.379848 30.292775 居民 约 3197 户 SE 约 1700m 晨光社区 120.373282 30.287106 居民 约 4756 户 SE 约 1595m xx花园社区 120.378630 30.287477 居民 约 4538 户 SE 约 1805m 高教社区 120.359377 30.315275 居民 约 2006 户 NW 约 1248m 月雅苑社区 120.346117 30.309556 居民 约 1804 户 NW 约 1115m183、 美达社区 120.342136 30.310871 居民 约 3221 户 NW 约 1823m 大北社区 120.343595 30.306365 居民 约 2731 户 NW 约 1680m 云滨社区 120.381157 30.315281 居民 约 1228 户 NE 约 2095m 江潮社区 120.385395 30.306918 居民 约 5003 户 NE 约 2015m xx理工大学 120.347565 30.315077 师生 在校师生约30000 人 NW 约 1435m xx电子科技大学 120.340827 30.314647 师生 在校师生约27000 人 NW184、 约 2120m xx职业技术学院 120.348788 30.321686 师生 在校师生约12000 人 NW 约 2245m xx警官职业学院 120.355333 30.314937 师生 在校师生约3228 人 NW 约 1285m xx计量大学 120.358315 30.322115 师生 在校师生约25800 人 N、NW 约 2070m xx水利水电学院 120.369323 30.315077 师生 在校师生约13000 人 N 约 1265m 73 xx经贸职业技术学院 120.378314 30.317609 师生 在校师生约12100 人 NE 约 1165m xx金185、融职业学院 120.378979 30.321707 师生 在校师生约11690 人 NE 约 2386m xx师范大学 120.388528 30.318016 师生 在校师生约23300 人 NE 约 2584m xx工商大学 120.383871 30.310570 师生 在校师生约34000 人 NE 约 1575m xx财金大学 120.387573 30.322125 师生 在校师生约16700 人 NE 约 2915m xx经济职业技术学院 120.374387 30.311107 师生 在校师生约10486 人 NE 约 980m xx育英职业技术学院 120.346277 3186、0.306290 师生 在校师生约7500 人 NW 约 1305m xx传媒学院 120.339363 30.322077 师生 在校师生约14000 人 NW 约 2747m xx市第四中学 120.374290 30.305796 师生 在校师生约1780 人 NE 约 1010m xx文海教育集团 120.372745 30.308038 师生 在校师生约2500 人 NE 约 1025m 文清小学 120.383120 30.306397 师生 在校师生约800 人 NE 约 1874m 学正中学 120.378319 30.296897 师生 在校师生约1560 人 SE 约 13187、98m 学正小学 120.378105 30.293828 师生 在校师生约850 人 SE 约 1520m 听涛小学 120.372794 30.284172 师生 在校师生约450 人 SE 约 1890m 实验外国语学校 120.341731 30.309031 师生 在校师生约2400 人 NW 约 2035m 省中医院 120.349378 30.306949 医院 860 张床位 NW 约 1145m 规划幼儿园 120.338062 30.297707 师生 15 班 SW 约 2300m 规划小学 120.336990 30.296892 师生 54 班 SW 约 2400m 188、规划住宅 120.343631 30.293545 居民/SW 约 1765 规划住宅 120.343191 30.292064 居民/SW 约 1835m 地表水 三号大堤护塘河 内河 按 GB3838-2002 类水质标准控制 W 约 507m 6 号渠 内河 N 约 175m 12 号渠 内河 S 约 590m xx江（xx191）纳污 水体 按 GB3838-2002 类水质标准控制 E、SE 约 2215m 声环境 项目厂址 50m 范围内无声环境保护目标。地下水 项目建设场地不涉及生活供水水源地准保护区、生活供水水源地准保护区以外的补给径流区及地下水环境相关的其他保护区等敏感区。7189、4 生态环境 本项目利用现有厂房进行生产，评价范围内不涉及自然保护区、森林公园、风景名胜区等生态敏感区。污染物排放控制标准 3.3.1 废气废气 企业扩建前后，废气污染物排放标准不发生变化。企业排放的 NOx、氟化物、硫酸雾、氯气、氯化氢和非甲烷总烃执行大气污染物综合排放标准（GB16297-1996）二级排放标准；氨等恶臭物质执行恶臭污染物排放标准（GB14554-93）中二级标准。本项目生产废气排气筒高 25m，具体标准限值详见表 3-10、表 3-11。表表3-10 恶臭污染物排放标准恶臭污染物排放标准（GB14554-93）污染物名称 最高允许排放速率（kg/h）厂界标准值 mg/m3190、 排气筒（m）二级 氨 25 14 1.5 硫化氢 0.9 0.06 臭气浓度 6000（无量纲）20（无量纲）表表3-11 大气污染物综合排放标准（大气污染物综合排放标准（GB16297-1996）污染物名称 最高允许排放浓度（mg/m3）最高允许排放速率（kg/h）无组织排放监控浓度限值mg/m3 排气筒（m）二级 氮氧化物 240 25 2.85 周界外浓度最高点 0.12 颗粒物 120 25 14.45 1.0 氯化氢 100 25 0.915 0.2 硫酸雾 45 25 5.7 1.2 氟化物 9 25 0.38 0.02 氯气 65 25 0.52 0.4 非甲烷总烃 120 2191、5 35 4 厂区内 VOCs 无组织排放监控点浓度应符合挥发性有机物无组织排放控制标准（GB37822-2019）附录 A 表 A.1 厂区内 VOCs 无组织排放限值中特别排放限值的要求。具体标准值详见表 3-12。表表3-12 厂区内厂区内 VOCs 无组织排放限值无组织排放限值 污染物项目 特别排放限值（mg/m3）限值含义 无组织排放监控位置 NMHC 6 监控点处 1h 平均浓度 在厂房外设置监控点 20 监控点处任意一处浓度值 3.3.2 废水废水 现有企业生产废水和生活污水经厂内预处理达到接管标准后接入管网，送xx市七格污水处理厂处理后排入环境。企业现有废水排放执行污水综合排放192、标准75（GB8978-1996）三级标准限值，其中氨氮和总磷指标执行工业企业废水氮、磷污染物间接排放限值（DB33/887-2013）。2021 年 7 月 1 日发布的电子工业水污染物排放标准（GB39731-2020）规定：新建企业自 2021 年 7 月 1 日起、现有企业自 2024 年 1 月 1 日起，执行表 1 规定的水污染物排放限值及其他污染控制要求。本项目预计 2023 年年底建成并投入运行，因其排放的废水通过现有废水排放口一并排放至市政污水管网，届时现有废水与本次扩建项目废水合并一起排放，无法区别。因此，本项目运行后，企业废水处理站出水水质全部执行电子工业水污染物排放标准193、（GB39731-2020）中的间接排放限值，因xx市七格污水处理厂纳管标准中的氨氮控制值为35mg/L，严于电子工业水污染物排放标准（GB39731-2020）中间接排放限值，因此氨氮按照 35mg/L 执行。具体标准值详见表 3-13。表表3-13 水污染物排放标准水污染物排放标准 序号 污染物 GB8978-1996 三级标准限值（mg/L、pH 除外）GB39731-2020 间接排放限值（mg/L、pH 除外）污染物排放监控位置 1 pH 6.09.0（无量纲）6.09.0（无量纲）企业废水总排放口 2 SS 400 400 3 石油类 20 20 4 CODCr 500 500 5194、 TOC/200 6 氨氮 35 35 7 总氮/70 8 总磷 8 8.0 9 LAS 20 20 10 总氰化物 1.0 1.0 11 硫化物 1.0 1.0 12 氟化物 20 20 13 总铜 2.0 2.0 14 总锌 5.0 1.5 15 总铅 1.0 0.2 车间或生产设施排放口 16 总镉 0.1 0.005 17 总铬 1.5 1.0 18 六价铬 0.5 0.2 19 总砷 0.5 0.5 20 总镍 1.0 0.5 21 总银 0.5 0.3 xx市七格污水处理厂出水水质执行城镇污水处理厂污染物排放标准76（GB18918-2002）中的一级 A 标准要求，具体标准值详见195、表 3-14。表表3-14 城镇污水处理厂污染物排放标准城镇污水处理厂污染物排放标准（GB18918-2002）污染物 pH（无量纲）COD（mg/L）BOD5（mg/L）SS（mg/L）NH3-N（mg/L）总氮（mg/L）总磷（mg/L）一级 A标准 69 50 10 10 5（8）*15 0.5 注：*括号外数值为水温12时的控制指标，括号内数值为水温12时的控制指标。3.3.3 噪声噪声 项目运营期厂界噪声执行工业企业厂界环境噪声排放标准（GB12348-2008）中 3 类标准。具体标准值详见表 3-15。表表3-15 工业企业厂界环境噪声排放标准（工业企业厂界环境噪声排放标准（GB196、12348-2008）厂界外声环境功能区类别 等效声级/dB（A）昼间 夜间 3 65 55 3.3.4 固体废弃物固体废弃物 一般固体废弃物按一般工业固体废物贮存和填埋污染控制标准（GB18599-2020）的相关要求和中华人民共和国固体废物污染环境防治法及xx省固体废物污染环境防治条例中的有关规定处置；危险废物执行危险废物贮存污染控制标准（GB18597-2023）；生活垃圾执行xx省生活垃圾管理条例。固体废物贮存、处置场环境保护图形标志应严格按照环境保护图形标志 固体废物贮存（处置）场（GB15562.2-1995）及其修改单、危险废物识别标志设置技术规范（HJ1276-2022）中的要197、求执行。总量控制指标 3.4.1 总量控制指标总量控制指标 根据重点区域大气污染防治“十二五”规划、xx省重金属污染防控工作方案 等要求，本项目实施后，纳入总量控制指标的污染物确定为 CODCr、氨氮、VOCs。3.4.2 现有总量指标现有总量指标 根据企业提供的主要污染物排放登记证（杭排污权登 330114111115 号），CODCr排环境量为 90.27t/a（排污浓度按 35mg/L 计）、氨氮排环境量为 6.45t/a（排污浓度按2.5mg/L 计）、氮氧化物排环境量为 0.8t/a。根据年产 36 万片 12 英寸芯片生产线项目环境影响报告表（报批稿），企业产达后，全厂 VOCs 198、核定排环境量为 3.265t/a、氮氧化物核定排放量为 6.672t/a。77 3.4.3 总量替代分析总量替代分析 根据分析，扩建后全厂主要污染物排放变化情况详见表 3-16。表表3-16 扩建后全厂主要污染物变化情况扩建后全厂主要污染物变化情况 污染 类型 污染物 企业许可排放量（t/a）现有企业审批总量（t/a）“以新带老”削减量（t/a）本项目新增量（t/a）扩建后全厂总量（t/a）变化情况（t/a）废水 废水量 257.928 万 257.72 万 0 258.82111011.325万+11011.325 CODCr（90.27）128.86（90.197）0 0.551（0.38199、5）129.411（90.582）（+0.385）氨氮（6.45）12.89（6.445）0 0.055（0.028）12.945（6.473）（+0.028）废气 NOx 0.8 6.672 0 0 6.672 0 VOCs 3.265 3.265 0 0.006 3.271+0.006 注：1、括号内数据以排污交易指标计算，即 COD 35 mg/L、氨氮 2.5mg/L；2、现有 COD、氨氮和 NOx 的总量根据企业主要污染物排放权登记证中的量；VOCs 的总量根据新增年产 43.2万片 8 英寸芯片技术改造项目环境影响报告表（报批稿）xx定的量；3、变化情况=扩建后全厂总量-现有企业200、审批总量。（1）根据xx市建设项目和排污权交易总量审核管理暂行规定（杭环发2015143 号），由上表可知，本项目实施后，COD、氨氮、VOCs 较企业现有审批总量有所增加，需进行总量平衡调剂。3.4.4 总量平衡方案总量平衡方案建设项目总量指标削减替代比例要求为：印染、造纸、化工、医药、制革等行业建设项目新增化学需氧量总量指标削减替代比例为 1:1.2，新增氨氮总量指标削减替代比例为 1:1.5。其他行业新增化学需氧量和氨氮总量指标削减替代比例均不低于 1：1。二氧化硫和氮氧化物新增总量指标削减替代比例为 1:2。生态环境功能区规划及其他相关规划明确主要污染物总量削减替代比例的地区，按规划要201、求执行。其他未作明确规定的地区，新增主要污染物总量削减替代比例不得低于 1:1。生态环境功能区规划及其他相关规划确定的削减替代比例低于本办法其他规定的，从严执行。（2）根据关于印发的通知（环发2014197 号）文件要求：xx年度环境空气质量年平均浓度不达标的城市、水环境质量未达到要求的市县，相关污染物应按照建设项目所需替代的主要污染物排放总量指标的 2 倍进行削减替代（燃煤发电机组大气污染物排放浓度基本达78 到燃气轮机组排放限值的除外）；细颗粒物（PM2.5）年平均浓度不达标的城市，二氧化硫、氮氧化物、烟粉尘、挥发性有机物四项污染物均需进行 2 倍削减替代（燃煤发电机组大气污染物排放浓度基202、本达到燃气轮机组排放限值的除外）。地方有更严格倍量替代要求的，按照相关规定执行。根据2021 年度xx市生态环境状况公报有关数据和结论，2021 年xx市为环境空气质量不达标区域，故本项目新增部分的 VOCs 按 1:2 的比例削减替代，新增的 COD 和氨氮按照 1:1 的比例削减替代。本项目总量平衡方案见下表。表表3-17 项目总量平衡方案项目总量平衡方案 污染类型 总量控制因子 企业许可排放量（t/a）扩建后全厂总量（t/a）扩建后新增量（t/a）削减替代比例 区域削减替代量（t/a）废水 CODCr 128.96（90.27）129.411（90.582）+0.451（+0.312）1203、:1+0.451（+0.312）氨氮 12.9（6.45）12.945（6.473）+0.045（+0.023）1:1+0.045（+0.023）废气 NOx 6.672 6.672 0/0 VOCs 3.265 3.271+0.006 1:2 0.012 注：括号内数据以排污交易指标计算，即 COD 35 mg/L、氨氮 2.5mg/L。本次扩建项目污染物排放总量控制如下：废水量 11011.325t/a，COD 0.551 t/a（按污水处理厂最终外排浓度 50 mg/L 计）、氨氮 0.055 t/a（按污水处理厂最终外排浓度5mg/L 计）、VOCs0.006t/a。本项目建成后企业整204、体排污情况为：废水量 258.821 万 t/a，COD129.411 t/a（按污水处理厂最终外排浓度 50 mg/L 计）、氨氮 12.945 t/a（按污水处理厂最终外排浓度5mg/L 计）、氮氧化物 6.672t/a、VOCs3.271 t/a。项目需按照规定进行区域替代削减和排污权交易，具体总量指标由xx市生态环境局xx区分局管理部门核准和调配。79 四、主要环境影响和保护措施 施工期环境保护措施 4.1 施工期环境保护措施施工期环境保护措施 项目位于xx市xx区xx新区（xx）19 号大街 656 号xxxxxx微电子有限公司现有厂区内，不新增用地，同时项目利用现有已建厂房及配套工205、程，无土建施工期；项目施工期主要进行设备安装，产生的污染很小，基本可忽略，故本环评不予定量分析。考虑到施工期间产生的装饰、包装垃圾，要求施工方及时清运处理处置。固体废物的处理、处置应满足中华人民共和国固体废物污染环境防治法中的有关规定要求。运营期环境影响和保护措施 4.2 运营期环境影响和保护措施运营期环境影响和保护措施 4.2.1 废气废气 本项目排放废气中含有氯气，且厂界外最近距离约 85m 处为居住区天元公寓。因此，本项目设置大气专项评价。本小节仅给出大气环境影响评价主要结论，具体分析情况详见专题一。废气评价结论如下：本项目有组织排放的氟化物、硫酸雾、氯气、氯化氢和非甲烷总烃等均符合 大206、气污染物综合排放标准（GB16297-1996）二级排放标准，氨符合恶臭污染物排放标准（GB14554-93）中二级标准。无组织气体产生量较小，企业落实本环评的治理措施后，无组织气体不会对周围环境造成不良影响。企业在落实环评提出的废气防治措施后，各污染物均能达标排放，正常工况下不会对周边环境造成不良影响。4.2.2 废水废水 本项目生产 8 英寸硅基氮化镓（GaN）HEMT 结构电力电子芯片，平均光刻层为 11 层，本项目废水产生及污染物排放情况详细分析如下。4.2.2.1 废水污染源强分析废水污染源强分析 排污许可证申请与核发技术规范 电子工业（HJ1031-2019）给出了电子行业废水类别207、污染物名称及对应可行污染防治措施，但未给出相应污染源源强核算依据。此外，本行业未发布相应污染源源强核算技术指南，本项目废水源强主要采80 用物料衡算法、产污系数法和类比法进行核算。结合项目工艺特点及物料使用情况，项目生产废水主要包括：W1 含氟废水、W2 含氨废水、W3 酸洗废水、W4 有机清洗废水、W5CMP 废水、W6 废气洗涤塔排水、W7 纯水站再生废水和 W8 员工生活污水。本项目利用现有项目配置的喷淋塔进行酸碱废气的进一步处理，因原有项目喷淋塔排水计算时已按设计最大风量、气液比等参数考虑，因此本项目不再重复计算该部分排水。（1）含氟废水 项目含氟废水主要来源为硅片清洗（氢氟酸和超纯208、水混合液，HF：H2O=1:40），其中混合液定期更换，根据物料衡算，该部分混合液产生量为 61.052t/a，纳入含氟废水处理系统，后续采用三级超纯水清洗方式（第一级水洗次数 10 次、第二级水洗次数 8、第三级水洗次数 7 次），水洗槽纯水容量为 30L，每次清洗片数为 30 片，每天清洗 3 批次，其中第一、二级清洗废水收集后进入废水处理系统进行处理，第三级清洗废水排入工艺清洗水系统处理后回收利用。由此可计算得到，前段含氟清洗废水（含 HF 废液）产生量为 1.8055t/d、595.652 t/a，后段含氟清洗废水产生量为0.63t/d、207.9t/a。（2）含氨废水 项目碱洗采用氨209、水、双氧水的混合液（NH4OH：H2O2=1:3），碱洗后均需要用纯水冲洗，其中混合液定期更换，根据物料衡算，该部分混合液产生量为 4.75t/a，其中 10%随工件带入后续水洗工序中，90%的混合液作为固废管理。碱洗后采用三级超纯水清洗方式（清洗次数、废水去向同上描述），水洗槽纯水容量为 30L，每次清洗片数为 30 片，每天清洗 4 批次，由此可计算得到前段含氨清洗废水（含部分废液）产生量为 2.161t/d、713.275t/a，后段含氨清洗废水产生量为 0.84t/d、277.2t/a。（3）酸性废水 项目生产过程中酸洗工段主要使用物料为盐酸/超纯水（HCl：H2O=1:40）或硫酸/210、双氧水（H2SO4：H2O2=1:3）混合液，上述工段作业后需采用纯水对产品表面进行三级清洗，其中酸液定期更换。根据物料衡算，盐酸混合液产生量为 28.15t/a，硫酸混合液产生量为 2.25t/a，其中废硫酸混合液作为固废管理，不进入废水处理系统，其余废盐酸混合液与前道（第一、第二级）清洗废水收集后进入厂区废水处理系统进行处理，后道清洗废水排入工艺清洗水系统处理后回收利用。81 采用三级超纯水清洗方式（清洗次数、废水去向同上描述），水洗槽纯水容量为 30L，每次清洗片数为 30 片，每天清洗 8 批次，由此可计算得到前段酸性清洗废水（含盐酸废液）产生量为 4.405t/d、1453.75t/211、a，后段酸性清洗废水产生量为 1.68t/d、554.4t/a。（4）有机清洗废水 显影后需要用超纯水进行冲洗，该过程产生有机清洗废水。本项目采用三级超纯水清洗方式（清洗次数、废水去向同上描述），水洗槽容量为 30L，每次清洗片数为 30 片，每天清洗 11 批次，由此可计算得到前段有机清洗废水产生量为 5.94t/d、1960.2t/a，后段有机清洗废水产生量为 2.31t/d、762.3t/a。（5）研磨废水 芯片研磨减薄过程是在纯水冲洗中进行，类比现有项目，研磨过程纯水用量为6t/d。由于企业生产工艺均为精细化作业，损耗水量极少，因此该部分水量全部纳入研磨废水，则研磨废水产生量为 6t/212、d、1980t/a。（6）POU 燃烧水洗净化装置排水 本项目配套的 2 台化学气相沉积设备、1 台光刻机以及 2 台刻蚀机均配有 POU燃烧水洗净化装置。根据设备参数，每套 POU 喷淋装置循环量为 3-5L/min，本项目保守取循环量 5L/min，则项目 POU 喷淋装置年循环水量为 11880t/a。该设备整体损耗以 22%计，其中蒸发损耗 2%，定期排放量以 20%考虑，则 POU 燃烧水洗净化装置排水量为 7.2t/d、2376t/a。（7）纯水站废水 纯水站废水包括 2 部分：纯水制备浓水、反洗水。根据水平衡，项目生产工艺使用纯水约 8832t/a，设备纯水制备效率为 80%，则213、需要新鲜水 11040t/a，RO 浓水产生量 1656t/a、反洗水产生量 552t/a。其中 165t 浓水作为企业冲厕用水回用、811.8t浓水作为 POU 洗涤塔补水，剩余 679.2t 浓水、552t 反洗水纳入污水处理站。（8）生活污水 项目新增员工人数 25 人，类比企业现有情况，员工生活用水（含员工洁净服清洗）按 100L/人 班计，则生活用水量为 825t/a（全年以 330 天计）。废水量按用水量的 85%计，则生活污水产生量为 2.125t/d、701.25t/a，主要污染物为 COD、BOD5、SS、NH3-N 和动植物油等，经隔油池、化粪池处理后与生产废水一并纳管排放214、。82 运营期环境影响和保护措施 综上所述，本项目废水产生及去向情况详见表 4-1。表表4-1 废水废水产生及去向情况产生及去向情况 序号 废水类别 产生工序 主要污染物 排放方式 核算方法 产生量（t/a）处理措施及排放去向 1 W1-1、W1-4、W1-7 含氟废水 硅片投料清洗、研磨清洗 pH、COD、SS、氨氮、氟化物 间断、有周期性 物料衡算 61.05 含氟废水处理系统酸碱综合废水中和系统废水总排口污水处理厂 2 W1-2、W1-5、W1-8 前段含氟清洗废水 物料衡算 534.6 3 W2-1、W2-4、W2-7、W2-10 含氨废水 硅片投料清洗、湿法刻蚀清洗、研磨清洗 pH、215、COD、氨氮、SS 物料衡算 0.475 酸碱综合废水中和系统废水总排口污水处理厂 4 W2-2、W2-5、W2-8、W2-11 前段含氨清洗废水 物料衡算 712.8 5 W3-1、W3-4、W3-7、W3-10、W3-13、W3-16、W3-19、W3-22 酸性废水 硅片投料清洗、湿法刻蚀清洗、去胶后清洗 pH、COD、SS、氨氮、总磷 物料衡算 28.15 6 W3-2、W3-5、W3-8、W3-11、W3-14、W3-17、W3-20、W3-23 前段酸性清洗废水 物料衡算 1425.6 7 W4-1、W4-3、W4-5、W4-7、W4-9、W4-11、W4-13、W4-15、W4-216、17、W4-19、W4-21 前段有机清洗废水 光刻 pH、COD、SS、氨氮 物料衡算 1960.2 8 W6POU 洗涤塔排水 POU 系统 pH、COD、SS、总磷、氟化物、总氮 系数法 2376 9 W5-1、W5-2 研磨废水 CMP 研磨工序 pH、COD、SS 连续 类比法 1980 CMP 废水处理系统酸碱综合废水中和系统废水总排口污水处理厂 10 W1-3、W1-6、W1-9 后段含氟清洗废水 硅片投料清洗、研磨清洗 SS 间断、有周期性 类比法 207.9 中水回用处理系统 11 W2-3、W2-6、W2-9、W2-12 后段含氨清洗废水 硅片投料清洗、湿法刻蚀清洗、研磨清217、洗 SS 类比法 277.2 12 W3-3、W3-6、W3-9、W3-12、W3-15、W3-18、W3-21、W3-24 后段酸洗废水 硅片投料清洗、湿法刻蚀清洗、去胶清洗 SS 类比法 554.4 83 13 W4-2、W4-4、W4-6、W4-8、W4-10、W4-12、W4-14、W4-16、W4-18、W4-20、W4-22 后段有机清洗废水 光刻 SS 类比法 762.3 14 W7 纯水站废水 纯水制备 pH、COD、SS、氨氮 连续 系数法 2208 酸碱综合废水中和系统废水总排口污水处理厂 15 W9 洁净服清洗废水 洁净服清洗 pH、COD、SS、氨氮 间断 类比法 28218、0.5 16 生活污水 pH、COD、BOD5、NH3-N、SS、动植物油 间断 类比法 420.75 栅格、隔油池废水总排口污水处理厂 17 合计/13789.925/本项目生产废水处理系统主要包括：中和处理系统、含氟废水处理系统、CMP 废水处理系统、RCM 废水回用处理系统。项目生产废水分类收集进入污水处理站相应的废水处理系统进行处理。生活污水经化粪池处理后进入污水管网。经处理后的生产废水和生活污水一起经厂区废水总排口排入市政污水管网、送xx市七格污水处理厂统一处理达标后排放。项目废水污染源强及基本信息情况详见表 4-2表 4-4。表表4-2 项目废水污染源强汇总表项目废水污染源强汇总表219、 废水处理系统 主要 污染物 处 理 前 治理措施 处 理 后 年排放时间（d）废水产生量（t/d）产生量（kg/d）浓度（mg/L）处理能力 治理工艺 治理效率 是否为可行技术 判断依据 废水排放量（t/d）排放量（kg/d）排放浓度（mg/L）含氟废水处理系统 COD 9.005 2.702 300 100t/h pH 调节+混凝沉淀+中和 10%是 排污许可证申请与核发技术规范 电子工业（HJ1031-2019）9.005 2.431 270 330 氟化物 3.064 340.2 90%0.306 34.02 氨氮 0.053 5.9 0%0.053 5.9 总氮 0.126 14 1220、0%0.113 12.6 总磷 0.039 4.35 10%0.035 3.915 RCM 废水回用处理系统 SS 5.46 4.095 750 90t/h 砂滤+炭滤 90%是 5.46 0.41 75 330 CMP 废水处理系统 SS 6 2.4 400 60t/h 80%是 6 0.48 80 330 COD 0.9 150 10%0.81 135 84 氨氮 0.09 15 pH 调节+混凝沉淀+中和 10%0.081 13.5 中和废水处理系统 总磷 17.088 0.152 0.89 350t/h 二段式中和反应 0%是 17.088 0.152 0.89 330 总氮 0.51221、3 30 0%0.513 30 COD 5.015 293.5 0%5.015 293.5 SS 0598 35 0%0598 35 氨氮 0.171 10 0%0.171 10 生活污水 COD 1.275 0.446 350/化粪池+隔油池 0%是 1.275 0.446 350 330 BOD5 0.191 150 0%0.191 150 氨氮 0.045 35 0%0.045 35 表表4-3 项目废水间接排项目废水间接排放口基本情况表放口基本情况表 序号 排放口编号及名称 类型 排放口地理坐标 废水排放量（t/a）排放方式 排放去向 排放规律 排放标准 经度 纬度 1 DW001 企222、业总排口 主要排放口 1202141.2572 30184.2203 11011.325 间接排放 xx市七格污水处理厂 间歇排放，排放期间流量不稳定且无规律，但不属于冲击型排放 电子工业水污染物排放标准（GB39731-2020）中间接排放限值，其中氨氮执行工业企业废水氮、磷污染物间接排放限值（DB33/887-2013）表表4-4 本项目废水污染物排放浓度情况表本项目废水污染物排放浓度情况表 名 称 pH COD 氨氮 总氮 总磷 氟化物 SS 项目建成后预测排放浓度（mg/L）69（无量纲）260.8 10.5 18.8 5.6 9.2 32.3 纳管执行标准值（mg/L）69（无量纲）223、500 35 70 8.0 20 400 达标情况 达标 达标 达标 达标 达标 达标 达标 本项目废水产排情况汇总情况详见表 4-5。85 运营期环境影响和保护措施 表表4-5 项目废水产排情况一览表项目废水产排情况一览表 污染物 产生情况 纳管情况 排放情况 浓度（mg/L）产生量（t/a）浓度（mg/L）纳管量（t/a）浓度（mg/L）排放量（t/a）废水量/13789.925/11011.325/11011.325 CODCr 216.9 2.991 260.8 2.872 50 0.551 SS 169.7 2.341 32.3 0.356 10 0.110 氟化物 73.3 1.0224、11 9.2 0.101 /氨氮 8.6 0.118 10.5 0.115 5 0.055 总氮 15.3 0.211 18.8 0.207 15 0.165 总磷 4.6 0.063 5.6 0.062 0.5 0.006 综上所述，本项目外排废水在企业总排口能够达到电子工业水污染物排放标准（GB 39731-2020）中水污染物间接排放限值，其中氨氮能满足xx市七格污水处理厂纳管标准。项目废水经厂区污水处理站处理后，各项污染物排放浓度均能满足污水处理厂对本项目的纳管水质要求。4.2.2.2 治理措施治理措施（1）废水处理措施 本项目废水根据自身特性，分别进入相应的废水处理系统进行处理，处理225、后再进入最终中和处理系统进行中和处理后纳管排放。企业污水处理站工艺流程图详见图 4-1。86 图图4-1 项目废水处理工艺流程图项目废水处理工艺流程图（2）回用水处理工艺 本项目 RCM 回用水处理系统主要用于处理后道比较清洁的清洗废水，处理工艺详见图 4-2。图图4-2 RCM 回用水处理工艺流程图回用水处理工艺流程图 企业个废水处理系统设计处理能力与全厂废水处理需求匹配性情况详见表 4-6。87 表表4-6 各废水处理系统设计处理能力与废水处理需求匹配情况各废水处理系统设计处理能力与废水处理需求匹配情况 序号 处理装置名称 废水治理工艺 设计处理规模（t/h）废水量（t/h）已有处理规模 226、在建处理能力 合计 现有已建项目 在建项目 新建项目 合计 1 含氟废水处理系统 化学沉淀+中和调节 100 60 160 45 40.8 0.375 86.175 3 CMP 废水处理系统 混凝沉淀+中和调节 50 60 120 24.7 21.3 0.25 46.25 3 综合酸碱废水 酸碱中和调节 350 180 530 174.2 151.2 0.712 326.112 4 RCM 回用水系统 中和调节+碳滤 90 0 90 44.54 41.04 0.228 85.808 由上表可知，本项目建成达产后，全厂各股废水产生量均小于企业现有相应废水处理系统设计处理规模，能满足全厂废水处理需227、求，可做到全部收集进入现有废水处理站（在建污水处理站作为备用，若现有污水处理系统发生故障需暂停使用时，则开启在建污水处理系统）。处理后的废水，通过厂区现有的一个污水排放后接入周边市政污水管网。扩建后进入 RCM 回用水处理系统的水量为 85.808t/h，小于该系统设计处理规模（90t/h），后道清洗废水经该系统处理后全部回用至 POU 洗涤塔和冷却塔补水。根据计算，扩建后全厂达产情况下洗涤塔所需水量为 45.45t/h、冷却塔补充水需求量为89.25t/h，合计所需补充水量为 134.7t/h。RCM 回用水系统产生的水量小于补充所需水量，可得到全部回用。（3）达标处理可行性分析 对照排污许228、可证申请与核发技术规范 电子工业（HJ1031-2019），本项目废水治理措施均为其推荐的可行性技术，可满足项目废水处理需求。具体情况详见表 4-7。表表4-7 排污排污单位废水污染防治推荐可行技术符合性分析单位废水污染防治推荐可行技术符合性分析 废水类型 废水污染物 推荐可行技术 本项目情况 是否符合 含氟废水 氟化物 化学沉淀法、其他 化学沉淀+中和调节 符合 酸碱废水 pH、CODCr、氨氮/中和调节 符合 研磨废水 SS/絮凝沉淀+中和调节 综合废水 pH 值、CODCr、BOD5、石油类、氨氮、SS、TP、氟化物 中和调节法、生化法、其他 中和调节 符合 生活污水 CODCr、氨氮等229、 隔油池+化粪池、其他 化粪池 符合 同时，企业现状废水水质与本项目废水水质一致，污水处理工艺一致，根据对现88 有厂区废水总排口水质的调查（具体详见表 2-16、表 2-17），项目废水经厂区污水处理后，水质符合电子工业水污染物排放标准（GB39731-2020）中的间接排放限值。因此，本项目采用上述废水处理方式可行。4.2.2.3 影响分析影响分析（1）xx市七格污水处理厂概况 工程概况 xx市七格污水处理厂始建于1999 年，由主城区第三污水处理系统、临平污水系统及xx污水系统组成，污水处理总规模为150 万 m3/d，其中一期 40 万 m3/d，二期20 万 m3/d、三期 60 万230、 m3/d、四期 30 万 m3/d。为加快城市化建设进程，2014 年启动了一期、二期和三期提标改造工程，现已全部建成并通过xx竣工验收。提标改造后，一、二、三期出水分别通过独立尾水排放管排入xx江，四期工程排放口与二期工程为同一排放口，出水水质均执行城镇污水处理厂污染物排放标准（GB18918-2002）中的一级 A 标准。处理工艺 xx市七格污水处理厂废水处理工艺详见图4-3 至图 4-6。实际运行状况 根据“xx省排污单位执法监测信息公开平台”2022 年监测数据，xx市七格污水处理厂出水各主要指标均能达到城镇污水处理厂污染物排放标准（GB 18918-2002）中的一级 A 标准，具231、体出水水质标准见表 4-8。表表4-8 xx市七格污水处理厂出水水质监测情况（xx市七格污水处理厂出水水质监测情况（mg/L，pH 除外）除外）日期 pH（无量纲）TP CODCr SS NH3-N 总氮 BOD5 石油类 2022.1.17 6.6 0.06 14 4 0.018 7.72 0.7 0.04 2022.5.12 6.7 0.08 10 3 0.2 7.72 0.5 0.04 2022.8.17 7.0 0.09 12 4 0.025 6.23 0.6 0.06 2022.11.10 7.1 0.09 13 4 0.025 5.88 0.5 0.06 GB18918-2002一232、级 A 标准 69 0.5 50 10 5 15 10 1 达标情况 达标 达标 达标 达标 达标 达标 达标 达标 根据xx省污染源自动监控信息管理平台相关信息，xx市七格污水处理厂三期工程平均日处理量约 50 万 m3/d，四期工程平均日处理量约 25 万 m3/d，总体负荷约 83%，污水处理厂处理能力留有一定的余量。89 图图4-3 一期工程废水处理工艺流程图一期工程废水处理工艺流程图 图图4-4 二二期工程废水处理工艺流程图期工程废水处理工艺流程图 图图4-5 三三期工程废水处理工艺流程图期工程废水处理工艺流程图 90 图图4-6 四四期工程废水处理工艺流程图期工程废水处理工艺流程图233、（2）依托集中污水处理厂可行性分析 本项目所在区域位于xx市七格污水处理厂污水收集范围内，区域污水管网已建成并运行多年，项目废水水质满足xx市七格污水处理厂设计进水标准。根据xx省污染源自动监控信息管理平台查询数据，污水处理厂目前运行稳定，排放口各污染物在线监测数据均能稳定达标，且污水处理厂处理能力留有一定的余量。项目废水平均每天排放量为 33.367t/d，占污水处理厂的容量极少，未超出xx市七格污水处理厂处理能力上限。项目废水经厂内污水处理设施处理后各污染物排放浓度均满足污水综合排放标准（GB8978-1996）、工业企业废水氮、磷污染物间接排放限值（DB33/887-2013）和污水排入234、城镇下水道水质标准（GB/T 31962-2015）等相关要求，可纳管送至杭州市七格污水处理厂进行进一步处理达标排入环境。（3）小结 项目所采取的水污染控制和水环境影响减缓措施有效，项目废水纳管排放到xx市七格污水处理厂进一步处理达标后排入环境。只要企业严格执行废水达标纳管排放，废水接管后不会对污水处理厂污染负荷及正常运行产生不利影响；废水纳管排放，对项目周围水环境基本无影响。因此，项目建成后造成的地表水环境影响可以接受。4.2.2.4 监测要求监测要求 根据排污单位自行监测技术指南 电子工业（HJ1253-2022）、排污许可证申请与核发技术规范 电子工业（HJ1031-2019），制定本项235、目废水污染物监测计划，具体详见表 4-9。91 表表4-9 废水污染物监测计划废水污染物监测计划 监测点位 监测因子 监测频次 执行标准 总排口DW001 流量 自动监测/NH3-N 自动监测 工业企业废水氮、磷污染物间接排放限值（DB33/887-2013）pH 值、CODCr 自动监测 电子工业水污染物排放标准（GB39731-2020）间接排放限值 总磷、氟化物、BOD5、SS、总氮 次/月 4.2.3 噪声噪声 4.2.3.1 源强分析源强分析 本项目所使用的生产设备属于精细设备，生产设备的噪声级较低，且均位于洁净厂房内，通过厂房、围墙阻隔，声级很小；同时，本项目xx设备及动力设备均依236、托现有设备，不新增相关设备。本项目噪声污染源源强核算结果及相关参数见表 4-10。4.2.3.2 污染治理设施污染治理设施 为尽量减少项目噪声对周边环境的影响，项目在运营过程中可采取以下隔声降噪措施：合理布局生产设备在车间内的位置，与车间墙体保持一定的距离，以降低噪声的传播和干扰，减少对周围环境的影响，通过建筑物阻隔降低噪声的传播和干扰；定期对生产设备进行检修，避免因设备不正常运转产生的高噪现象。4.2.3.3 影响分析影响分析 本次环评采用环安科技公司研发的噪声预测软件 Noise System 进行预测，噪声预测过程中考虑了几何发散、空气吸收、地面吸收和屏障衰减等的影响。因本项目为扩建项目237、，本底监测时未包括在建项目，因此预测厂界噪声达标情况时需叠加现状背景值以及在建项目贡献值，具体预测结果详见表 4-11。92 运营期环境影响和保护措施 表表4-10 工业企业企业噪声源强调查清单（室内声源）工业企业企业噪声源强调查清单（室内声源）序号 建筑物名称 声源名称 声压级/距声源距离(dB(A)/m)声源控制措施 空间相对位置/m 距室内边界距离/m 室内边界声级/dB(A)运行时段 建筑物插入损失/dB(A)建筑物外噪声 X Y Z 声压级/dB(A)建筑物外距离/m 1 主生产厂房 光刻机 65/1/149.38 119.17 10 63.83 43.74 昼间 20 17.74 238、1 2 光刻机 65/1/149.38 119.17 10 57.74 43.75 昼间 20 17.75 1 3 光刻机 65/1/149.38 119.17 10 58.23 43.75 昼间 20 17.75 1 4 光刻机 65/1/149.38 119.17 10 105.70 43.74 昼间 20 17.74 1 5 光刻机 65/1/149.38 119.17 10 63.83 43.74 夜间 20 17.74 1 6 光刻机 65/1/149.38 119.17 10 57.74 43.75 夜间 20 17.75 1 7 光刻机 65/1/149.38 119.17 10239、 58.23 43.75 夜间 20 17.75 1 8 光刻机 65/1/149.38 119.17 10 105.70 43.74 夜间 20 17.74 1 9 刻蚀机 1 60/1/83.41 119.17 10 63.52 38.75 昼间 20 12.75 1 10 刻蚀机 1 60/1/83.41 119.17 10 123.71 38.74 昼间 20 12.74 1 11 刻蚀机 1 60/1/83.41 119.17 10 58.39 38.75 昼间 20 12.75 1 12 刻蚀机 1 60/1/83.41 119.17 10 39.73 38.76 昼间 20 12240、.76 1 13 刻蚀机 1 60/1/83.41 119.17 10 63.52 38.75 夜间 20 12.75 1 14 刻蚀机 1 60/1/83.41 119.17 10 123.71 38.74 夜间 20 12.74 1 15 刻蚀机 1 60/1/83.41 119.17 10 58.39 38.75 夜间 20 12.75 1 16 刻蚀机 1 60/1/83.41 119.17 10 39.73 38.76 夜间 20 12.76 1 17 刻蚀机 2 60/1/89.41 119.17 10 63.55 38.75 昼间 20 12.75 1 18 刻蚀机 2 60/1241、/89.41 119.17 10 117.71 38.74 昼间 20 12.74 1 19 刻蚀机 2 60/1/89.41 119.17 10 58.37 38.75 昼间 20 12.75 1 20 刻蚀机 2 60/1/89.41 119.17 10 45.73 38.76 昼间 20 12.76 1 21 刻蚀机 2 60/1/89.41 119.17 10 63.55 38.75 夜间 20 12.75 1 22 刻蚀机 2 60/1/89.41 119.17 10 117.71 38.74 夜间 20 12.74 1 23 刻蚀机 2 60/1/89.41 119.17 10 5242、8.37 38.75 夜间 20 12.75 1 24 刻蚀机 2 60/1/89.41 119.17 10 45.73 38.76 夜间 20 12.76 1 25 清洗机 65/1/116.02 119.17 10 63.67 43.74 昼间 20 17.74 1 93 26 清洗机 65/1/116.02 119.17 10 91.10 43.74 昼间 20 17.74 1 27 清洗机 65/1/116.02 119.17 10 58.31 43.75 昼间 20 17.75 1 28 清洗机 65/1/116.02 119.17 10 72.34 43.74 昼间 20 17.7243、4 1 29 清洗机 65/1/116.02 119.17 10 63.67 43.74 夜间 20 17.74 1 30 清洗机 65/1/116.02 119.17 10 91.10 43.74 夜间 20 17.74 1 31 清洗机 65/1/116.02 119.17 10 58.31 43.75 夜间 20 17.75 1 32 清洗机 65/1/116.02 119.17 10 72.34 43.74 夜间 20 17.74 1 33 溅射台 60/1/163.63 119.92 10 63.14 38.75 昼间 20 12.75 1 34 溅射台 60/1/163.63 11244、9.92 10 43.49 38.76 昼间 20 12.76 1 35 溅射台 60/1/163.63 119.92 10 58.95 38.75 昼间 20 12.75 1 36 溅射台 60/1/163.63 119.92 10 119.95 38.74 昼间 20 12.74 1 37 溅射台 60/1/163.63 119.92 10 63.14 38.75 夜间 20 12.75 1 38 溅射台 60/1/163.63 119.92 10 43.49 38.76 夜间 20 12.76 1 39 溅射台 60/1/163.63 119.92 10 58.95 38.75 夜间 2245、0 12.75 1 40 溅射台 60/1/163.63 119.92 10 119.95 38.74 夜间 20 12.74 1 41 显影机 1 65/1/106.65 124.04 10 58.76 43.75 昼间 20 17.75 1 42 显影机 1 65/1/106.65 124.04 10 100.44 43.74 昼间 20 17.74 1 43 显影机 1 65/1/106.65 124.04 10 63.20 43.75 昼间 20 17.75 1 44 显影机 1 65/1/106.65 124.04 10 62.97 43.75 昼间 20 17.75 1 45 显影246、机 1 65/1/106.65 124.04 10 58.76 43.75 夜间 20 17.75 1 46 显影机 1 65/1/106.65 124.04 10 100.44 43.74 夜间 20 17.74 1 47 显影机 1 65/1/106.65 124.04 10 63.20 43.75 夜间 20 17.75 1 48 显影机 1 65/1/106.65 124.04 10 62.97 43.75 夜间 20 17.75 1 49 显影机 2 65/1/106.65 119.54 10 63.26 43.75 昼间 20 17.75 1 50 显影机 2 65/1/106.6247、5 119.54 10 100.47 43.74 昼间 20 17.74 1 51 显影机 2 65/1/106.65 119.54 10 58.70 43.75 昼间 20 17.75 1 52 显影机 2 65/1/106.65 119.54 10 62.97 43.75 昼间 20 17.75 1 53 显影机 2 65/1/106.65 119.54 10 63.26 43.75 夜间 20 17.75 1 54 显影机 2 65/1/106.65 119.54 10 100.47 43.74 夜间 20 17.74 1 94 55 显影机 2 65/1/106.65 119.54 1248、0 58.70 43.75 夜间 20 17.75 1 56 显影机 2 65/1/106.65 119.54 10 62.97 43.75 夜间 20 17.75 1 57 显影机 3 65/1/107.03 114.67 10 68.13 43.74 昼间 20 17.74 1 58 显影机 3 65/1/107.03 114.67 10 100.12 43.74 昼间 20 17.74 1 59 显影机 3 65/1/107.03 114.67 10 53.83 43.75 昼间 20 17.75 1 60 显影机 3 65/1/107.03 114.67 10 63.35 43.75 249、昼间 20 17.75 1 61 显影机 3 65/1/107.03 114.67 10 68.13 43.74 夜间 20 17.74 1 62 显影机 3 65/1/107.03 114.67 10 100.12 43.74 夜间 20 17.74 1 63 显影机 3 65/1/107.03 114.67 10 53.83 43.75 夜间 20 17.75 1 64 显影机 3 65/1/107.03 114.67 10 63.35 43.75 夜间 20 17.75 1 65 退火炉 70/1/135.89 116.92 10 66.01 48.74 昼间 20 22.74 1 66250、 退火炉 70/1/135.89 116.92 10 71.25 48.74 昼间 20 22.74 1 67 退火炉 70/1/135.89 116.92 10 56.02 48.75 昼间 20 22.75 1 68 退火炉 70/1/135.89 116.92 10 92.21 48.74 昼间 20 22.74 1 69 退火炉 70/1/135.89 116.92 10 66.01 48.74 夜间 20 22.74 1 70 退火炉 70/1/135.89 116.92 10 71.25 48.74 夜间 20 22.74 1 71 退火炉 70/1/135.89 116.92 1251、0 56.02 48.75 夜间 20 22.75 1 72 退火炉 70/1/135.89 116.92 10 92.21 48.74 夜间 20 22.74 1 95 运营期环境影响和保护措施 表表4-11 噪声预测结果噪声预测结果 预测点位 东厂界 南厂界 西厂界 北厂界 本项目贡献值（dB）44.4 37.4 38.6 26.8 在建项目贡献值（dB）48.6 45.2 48.0 48.1 背景值（dB）昼间 58.3 58.2 57.5 56.4 夜间 48.7 48.2 46.7 45.5 预测值（dB）昼间 58.9 58.4 58.0 57.0 夜间 52.4 50.2 50.252、7 50.0 标准值（dB）昼间 65 夜间 55 达标情况 达标 达标 达标 达标 注：在建项目贡献值引用年产 36 万片 12 英寸芯片生产线项目环境影响报告表中的相关数据。由上表可知，本项目厂界昼、夜间噪声预测值均符合工业企业厂界环境噪声排放标准（GB12348-2008）中 3 类标准。4.2.3.4 监测要求监测要求 根据排污单位自行监测技术指南 电子工业（HJ1253-2022），确定本项目噪声监测计划，具体详见表 4-12。表表4-12 噪声监测计划噪声监测计划 监测点位 监测指标 监测频次 执行标准 厂界 LAeq 1 次/季度 工业企业厂界环境噪声排放标准（GB12348-2253、008）中 3 类 注：项目采取昼夜三班制生产，噪声需监测昼夜间噪声值 4.2.4 固体废物固体废物 4.2.4.1 源强核算源强核算 依据中华人民共和国固体废物污染环境防治法（2020.4.29 修订）、固体废物鉴别标准 通则（GB 34330-2017）、国家危险废物名录（2021 年版）及危险废物鉴别标准 通则（GB 5085.7-2019）等进行判定。项目固废主要有废弃的电子元器件、废硫酸、废碱、废光刻胶、废显影液、废蚀刻液、废靶材、废化学品包装、废吸附材料、废活性炭、废沸石、废 RO 膜及离子交换树脂、废汞灯、废润滑油、污泥、废弃的擦拭抹布、废弃的一般包装材料以及员工生活垃圾等。项目254、固废源强核算详见表 4-13。表表4-13 本项目固体废物产生量核算表本项目固体废物产生量核算表 序号 固体废物种类 产生环节 核算方法 产生量（t/a）核算依据 1 废弃的电子元器检验 类比法 0.4 根据对现有企业的类比调查 96 件 2 废硫酸 清洗 物料平衡法 2.025 硫酸用量为 798.6kg/a，使用时和双氧水按照 1:3 进行混合，10%随工件带入后续工序，其余约作为废液收集 3 废碱 清洗 物料平衡法 4.275 氨水用量为 1012.5kg/a，使用时和双氧水按照 1:3 进行混合，氨挥发量按 15%计，10%随工件带入后续工序，其余作为废液收集 4 废光刻胶 涂胶 物料255、平衡法 0.275 光刻胶合计用量约为 325kg/a，约 85%进入固废 5 废显影液 显影 物料平衡法 3.48 显影液用量为 4093.88kg/a，约 85%进入固废 6 废蚀刻液 湿法刻蚀 物料平衡法 0.211 刻蚀液用量为 222.22kg/a，约 95%进入固废 7 废靶材 金属溅射 物料平衡法 0.003 靶材用量 12.8kg/a，约 20%未完全蒸发残留在设备内 8 废化学品包装 原料使用拆包 类比法 0.5 根据对现有企业的类比调查 9 废活性炭 废水处理 类比法 0.15 根据对同类型企业的类比调查 10 废沸石 废气处理 类比法 0 本项目有机废气接入现有沸石浓缩转256、轮焚烧系统，该套系统沸石填装量 2t，更换时间为 3 年，本项目不再重复计算废沸石产生量。11 废吸附材料 废气处理 类比法 0.65 吸附材料一月一换，本项目有 1 台 POU采用干式吸附，单台设备填料安装量为50kg 12 废 RO 膜及离子交换树脂 废水处理 类比法 0.05 根据对同类型企业的类比调查 13 废汞灯 曝光 类比法 0.003 根据对同类型企业的类比调查 14 废润滑油 设备维修保养 类比法 0.03 根据对现有企业的类比调查 15 废抹布（含手套）设备维修保养 类比法 0.015 根据对现有企业的类比调查 16 废弃的一般包装材料 原料使用拆包 类比法 0.5 根据对现257、有企业的类比调查 17 污泥 废水处理系统 类比法 3.5 现有企业处理 1 吨废水污泥产生量约0.3kg 18 职工生活垃圾 员工生活 系数法 12.375 员工生活垃圾按人均 1.5kg/d 计，项目劳动定员 25 人，年工作时间 330d 项目固废产生及利用、处置去向详见表 4-14。97 运营期环境影响和保护措施 表表4-14 项目固体废物源强汇总表项目固体废物源强汇总表 固体废物 名称 产生环节 固废属性 危险废物类别/一般固废类别代码 危险 特性 物理性状 主要有毒有害物质名称 产生量（t/a）贮存方式 利用处置方式和去向 利用或处置量（t/a）废弃的电子元器件 检验 一般固废 废258、电器电子产品 14/固/0.4 一般固废暂存间、袋装 收集后由物资公司回收 0.4 废包装材料 原料使用拆包 一般固废 废复合包装07/固/0.5 一般固废暂存间、扎捆/袋装 0.5 污泥 废水处理系统 一般固废 有机废水污泥 62/固/3.5 污水处理站、袋装 3.5 废靶材 物理气相沉积 一般固废 废有色金属10/固/0.003 一般固废暂存间、袋装 0.003 废蚀刻液（高浓度含氨废液）湿法刻蚀 危险废物 HW35 900-355-35 C,T 液 氟化铵等 0.211 废液暂存间、罐装 委托有资质公司清运处理 0.211 废光刻胶 涂胶 危险废物 HW06 900-402-06 T,I259、,R 液 丙二醇等 0.275 有机废液暂存间、罐装暂存 0.275 废碱 清洗 危险废物 H35 900-352-35 C,T 液 氨 4.275 废液暂存间、罐装 4.275 废酸 清洗 危险废物 HW34 900-300-34 C,T 液 硫酸 2.025 废液暂存间、罐装 2.025 废显影液 显影 危险废物 HW16 398-001-16 T 液 显影液 3.48 桶装后立即委托外运，不在厂区内暂存 3.48 废化学品包装 原料使用拆包 危险废物 HW49 900-041-49 T/In 固 沾染异丙醇、丙酮、HF、氟化铵等有毒有害物质 0.5 袋装/桶装后立即委托外运，不在厂区内暂260、存 0.5 废吸附材料 废气处理 危险废物 HW49 900-041-49 T/In 固 沾染 HF、氟化铵等有毒有害物质 0.65 袋装后立即委托外运，不在厂区内暂存 0.65 废活性炭 废水处理 危险废物 T 固 0.15 0.15 98 废 RO 膜及离子交换树脂 废水处理 危险废物 HW13 900-015-13 T 固 废弃的 RO 膜及离子交换树脂 0.05 0.05 废汞灯 曝光 危险废物 HW29 900-023-29 T 固 含汞荧光灯管 0.003 0.003 废润滑油 设备维修保养 危险废物 HW08 900-214-08 T,I 液 废润滑油 0.03 桶装后立即委托外261、运，不在厂区内暂存 0.01 废抹布（含手套）设备维修保养 危险废物 HW49 900-041-49 T/In 固 沾染润滑油等物质 0.015 袋装后立即委托外运，不在厂区内暂存 生活垃圾 员工生活 一般固废/固 纸张、塑料袋等 12.375/环卫部门定期清运 12.375 4.2.4.2 固废处置合理性分析固废处置合理性分析（1）一般固体废物管理要求 本项目产生的一般工业固废主要为一般废包装材料、污泥、废靶材和生活垃圾等。废包装材料和废靶材等一般工业固废收集后先进行安全分类贮存，出售给相关企业综合利用；污泥产生后袋装暂存于污水处理站，企业均委托xxxxxx环境服务有限公司清运处置。生活垃圾262、产生后委托当地环卫部门定期清运处置。企业应当建立健全固体废物污染环境防治责任制度，建立一般工业固体废物种类、产生量、流向、贮存、处置等资料档案。同时企业应生产过程中实行减少固废的产生量和危害性、充分合理利用和无害化处置固废的原则，促进清洁生产和循环经济发展。（2）危险废物管理要求 项目危险废物处置应严格按照中华人民共和国固体废物污染环境防治法（2020.4.29 修订）中有关危险废物的管理条款执行，危险废物按法规要求应委托有资质的单位进行处理。考虑企业危险废物难以保证及时外运处置，企业应设置有危废暂存库，对危险废物进行收集及临时存放，然后集中由有资质单位收集处理。危险废物进行临时存放时，需按危263、险废物贮存污染控制标准、中华人民共和国固体废物污染环境防治法的相关要求，使用密封容器进行贮存，且须采用防漏措施。99 运营期环境影响和保护措施 企业现有废酸及高浓度含氨废水暂存间、有机废液暂存间各 1 处，单个暂存间面积约 350m2。本项目达产后，全厂危废产生情况详见下表。表表4-15 达产后全厂危废产生情况达产后全厂危废产生情况 固废名称 危险废物 代码 现有 8 英寸项目 2022 年产生量（t/a）在建 12 英寸项目预计产生量（t/a）本次扩建项目预计产生量（t/a）合计产生量（t/a）包装方式 废酸 HW34 900-300-34 302.63 101.1 2.025 405.75264、5 罐装 高浓度含氨废液 H35 900-355-35 12.5 99.64 0.211 112.351 罐装 废碱 H35 900-352-35/4.275 4.275 罐装 废有机溶剂 HW06 62.6 106.99 0.295 169.885 罐装 900-402-06 废感光材料 HW16 213.28 125.27 3.48 342.03 桶装 398-001-16 废试剂容器、化学品包装等 HW49 900-041-49 15.9 20 0.5 36.4 袋装/桶装 废抹布 0.05 0.15 0.015 0.215 袋装 实验室废液 HW49 0.41/0.41 罐装 900-265、047-49 废活性炭（含吸附材料）HW49 900-041-49 0 15 0.8 15.8 袋装 废沸石 0 2t/3 年 0 2t/3 年 袋装 废 RO 膜及离子交换树脂 HW13 0 10 0.05 10.05 袋装 900-015-13 废汞灯 HW29 0 0.1 0.003 0.103 袋装 900-023-29 废润滑油 HW08 0.1 0.5 0.03 0.63 桶装 900-214-08 废液暂存间内设有 5 个废酸储罐（每个储罐容量为 5t、合计容量 25t）、1 个废氨储罐（容量 20t）以及 4 个有机废液储罐（2 个容量为 5t、其余 2 个容量分别为 2t、3266、t，合计容量 15t）。企业已经与各家危废处置单位签订了协议，废液清运车每 7 天必须清运一次，最大暂存周期不得超过 15 天，则需在厂内暂存的废酸为 18t、废碱液 5.3t、有机废液 7.7t，现有储罐可以满足全厂危废的暂存。其余危险固废产生后放置在厂房内固定的物流通道（位于洁净车间室内，通道已100 做好防腐防渗措施），相应的危废处置单位每隔 1 天均有清运车上门清运处置，确保危废产生后不在厂区内长时间滞留，做到立产立清。在建 200m2危废仓库预计于 2025 年年初建成并投入使用，届时企业将危险废物收集后暂存在危废暂存间内，危废均桶装或袋装放置在危废暂存间内，最大暂存周期为20 天。267、废显影液桶装（200L/桶）后按平放暂存，最大暂存量为 21t，占地面积约 85m2；废润滑油（20L/桶）后按平放暂存，最大暂存量为 45kg，占地面积约 1m2；其余危废均袋装后按平方暂存，最大暂存量为 8t，占地面积约 100m2；合计危废暂存所需面积约186m2。企业设有 200m2的危废暂存间，可满足项目扩建后全厂危废暂存要求。根据危险废物贮存污染控制标准（GB 18597）及其修改单的要求，结合区域环境条件可知，项目危险废物贮存间选址地质构造稳定，非溶洞区等地质灾害区域，设施场所高于最高的地下水位，项目距离居民点较远，其选址可行。本项目生产过程中产生的废酸、废光刻胶、废显影液、废去268、胶液等，应设置废液收集系统（包括管道收集系统和收集灌）分别收集暂存，由泵转至卡车外运。包装容器/收集灌必须及时贴上危险废物标签，必须包含以下说明（危险废物产生单位名称、联系人、联系电话、主要化学成分、危险类别、安全措施、入库时间等）。暂存：若产生的危险废物不能立即运往处置，则必须暂存于厂区内专用危险废物贮存设施内。本项目各危废产生点至危废堆场之间的转运均在厂区内完成，转运路线上不涉及环境敏感点。贮存场所四周应有以混凝土、砖或经防腐处理的钢材等材料监测的围墙或围栏，顶部设有防晒防雨防台风遮盖物，地面四周设有防溢漏的裙脚，同时建有渗滤液收集渠与收集池。贮存设施内应留有足够工作人员和搬运工具的通行过269、道。贮存设施只可供危险废物存放，不可混入一般非危险固废。化学性质不相容的危险废物必须分隔堆放，其间隔须为完整的不渗透墙体，同时各自渗滤液收集渠与收集池也必须独立设置。危险废物分类堆放区域的醒目位置须设置该类废物的标志牌，含危险废物名称、危废代码等信息。危险废物厂区内暂存时应加强管理，按照危险废物贮存污染控制标准（GB18597-2023）、危险废物收集贮存运输技术规范（HJ 2025-2012）进行控制，日常管理中要履行申报的登记制度、建立台帐制度。根据本项目危险废物特性，为固态和液态，液态危废可装在废桶内，因此对大气、地表水、地下水、土壤环境等不会产生污染；危险废物贮存场所具备防风、防雨、防270、渗、防晒、防辐射、防盗等功能，因此危险废物贮存期间对周边环境影响可接受。101 转移、处置：企业已经与具有危险废物处理资质的单位签定接收处理协议，各类危险废物委托有资质单位处置，转移时严格履行国家与地方政府关于危险废物转移的有关规定，并报生态环境主管部门备案，落实追踪制度，严防二次污染，杜绝随意交易和私自随意处置，危废厂外运输须由有资质的运输机构负责，采用封闭车辆运输，降低对运输沿线环境影响。企业位于xx市xx区，周边危险固废处理单位较多，现有企业各类危废均与各类危废处理单位签订了委托处置合同。本项目上马后，危废产生量较现有企业较少，危废意向处理单位主要情况详见下表。表表4-16 企业危废意向271、处置单位企业危废意向处置单位 序号 处置单位名称 营危险废物类别 地址 1 xxxx环境服务有限公司 HW02、HW03、HW04、HW05、HW06、HW07、HW08、HW09、HW11、HW12、HW13、HW14、HW16、HW17、HW18、HW19、HW21、HW23、HW31、HW33、HW34、HW35、HW37、HW38、HW39、HW40、HW45、HW49、HW50 xx市xx区崇贤街道佛日路100 号 2 绍兴绿嘉xx科技有限公司 HW17（336-058-17、336-062-17、336-064-17）、HW34（261-057-34、313-001-34、900-272、300-34、900-349-34、900-304-34）、HW35（261-059-35、900-350-35、900-351-35、900-352-35）绍兴市袍江工业园区海塘路 72 号 3 xx中荷环境科技有限公司 HW02、HW06、HW11、HW34（261-057-34、900-300-34、900-301-34、900-349-34）、HW35（261-059-35、900-352-35、900-399-35）、HW49（900-047-49）xx市大洋镇工业功能区 4 绍兴华鑫xx科技有限公司 HW02、HW03、HW04、HW05、HW06、HW08、HW09、HW11、H273、W12、HW13、HW14、HW16、HW18、HW19、HW21、HW34、HW37、HW39、HW40、HW45、HW49、HW50 绍兴市柯桥区滨海工业区 5 湖州明境xx科技有限公司 HW02、HW03、HW04、HW05、HW06、HW08、HW09、HW11、HW12、HW13、HW14、HW16、HW17、HW18、HW22、HW37、HW38、HW39、HW40、HW45、HW46、HW48、HW49、HW50 湖州市长兴县长兴经济技术开发区横山路南侧 综上，项目所产生的固体废弃物按相应的方式进行处置，各类固体废弃物均有可行的处置出路。只要建设单位落实以上措施，加强管理及时清除274、，则项目产生的固废不会对周围环境产生不良影响。4.2.5 地下水、土壤地下水、土壤 4.2.5.1 地下水、土壤污染源、污染物类型和污染途径地下水、土壤污染源、污染物类型和污染途径 项目不涉及重金属、持久难降解有机污染物排放。正常生产工况下，项目车间地面102 均硬化及设置防渗措施，不存在地下水、土壤污染途径。但在非正常工况、事故情况下（如危化品仓库和危废仓库地面破裂、污水站处理池发生破裂等），可能造成污染物垂直渗入土壤、地下水，造成污染。表表4-17 地下水、土壤污染源、污染物类型和污染途径识别表地下水、土壤污染源、污染物类型和污染途径识别表 污染源 工艺流程节点 污染影响途径 污染物类型 275、污染物指标 备注 废水处理设施 废水收集池 地面漫流 生产废水 CODCr、氨氮、氟化物等 事故 垂直入渗 危废暂存间、废液暂存间 固废储存 地面漫流 危险废物 废酸、废显影液等 事故 垂直入渗 危险物质仓库 危险物质原料储存 垂直入渗 原辅材料 硅烷、氨、盐酸、显影液、机械油等 事故 4.2.5.2 防控措施防控措施 地下水、土壤污染防治主要是以预防为主，防治结合。（1）厂区地面采用混凝土硬化，防止跑、冒、滴、漏的物料渗入土壤，进而对地下水 环境造成污染。（2）废水收集管道采用明沟套明管或架空敷设，污水管网采用高密度聚乙烯材料管，管路要全防护、管道接口熔融连接、无渗漏，以达到有效防止污水渗漏276、的目的。（3）生产车间等铺设防腐防渗地坪，有效防止废水和渗滤液下渗。（4）危险废物贮存场所做好防腐、防渗、防泄漏、防雨、防风措施，并在内部设置导流沟和废液收集池。本项目防渗区域划分及防渗要求见表 4-18。表表4-18 地下水、土壤分区防渗及技术要求地下水、土壤分区防渗及技术要求 防渗级别 工作区 防渗技术要求 重点防渗区 生产车间 危废暂存库、污水处理站防渗要求依据危险废物贮存污染控制标准（GB18597-2023）要求，渗透系数10-10cm/s；其余工作区防渗要求为：等效黏土防渗层厚6.0m，渗透系数1.010-7cm/s，或者参考 GB18598 执行 危化品仓库 生产废水处理设施 危277、废暂存间 一般防渗区 一般固废仓库 等效黏土防渗层厚1.5m，渗透系数1.010-7cm/s；或者参考GB16889 执行 简单防渗区 厂区道路、办公区 一般地面硬化 本项目各功能区均采取“源头控制”、“分区防控”的防渗措施，可以有效保证污染物不会进入地下水、土壤环境；而且厂区内地面已经完成硬化防渗建设，因此，本项目运营期不可能对拟建地土壤、地下水环境造成污染，项目建成后造成的地下水、土壤环境影响可以接受。103 4.2.5.3 跟踪监测要求跟踪监测要求 根据排污单位自行监测技术指南 电子工业（HJ1253-2022），土壤及地下水跟踪监测要求详见表 4-19。表表4-19 周边土壤及地下水环278、境质量影响监测要求周边土壤及地下水环境质量影响监测要求 目标环境 监测指标 监测频次 土壤 土壤环境质量 建设用地土壤污染风险管控标准（试行）（GB36600-2018）中的 45 项基本项目、石油烃（C10C40）1 年/次 地下水 pH、铜、锌、硫化物、氰化物、氟化物、砷、镉、六价铬、铅 1 年/次 4.2.6 生态环境生态环境 本项目在企业现有厂区内进行扩建，且项目的建设符合生态环境分区管控要求，故可不对生态环境进行分析。4.2.7 环境风险环境风险 因本项目涉及内容与现有工程的风险物质、工艺等属于同一风险单元，因此本次环境风险从全厂角度进行考虑、评价。本小节仅给出环境风险评价主要结论，279、具体分析情况详见专题二。环境风险境评价结论如下：企业可能出现的污染事故主要有废气洗涤塔系统故障、硅烷燃烧系统故障、污水处理事故等。可能出现的风险事故主要有盐酸、硫酸、氢氟酸和氨气、氯气等化工原料贮运过程中发生的泄漏、气体供应系统泄漏等。废水事故性排放对废水处理系统造成冲击，发生以上事故时，污染物泄漏将通过土壤和水体进入环境，会对环境造成一定的影响。废气事故性排放会引起大气环境污染事故并可能造成火灾。本项目通过制定风险防范措施，制定安全生产规范，通过加强员工的安全、xx知识和风险事故安全教育，提高职工的风险意识，了解其作业场所和工作存在的危险有害因素以及企业所采取的防范措施和环境突发事故应急措施280、，以减少风险发生的概率。因此，本项目通过落实上述风险防范措施，其发生概率可进一步降低，其影响可以进一步减轻，环境风险是可以承受的。4.2.8 退役后环境影响分析退役后环境影响分析 该项目退役后，不会再产生废气、废水、噪声和废渣等污染物，遗留的主要是房屋和设备。厂房可作它用，废弃的各种设备不含放射性、易腐蚀性或剧毒物质，因此设备经过清洗后可以拆除，设备的主要原料为金属，对设备作拆除分拣处理后可回收利用。104 尚未用完的原料须经妥善包装后由原料生产厂家回收或外售，不得随意倾倒。综上，该项目退役后对周围环境影响较小。105 五、环境保护措施监督检查清单 内容 要素 排放口（编号、名称）/污染源 污281、染物项目 环境保护措施 执行标准 大气环境 酸性废气DA001004 氟化物、HCl、H2SO4、Cl2等 经过 7 套二级碱液喷淋吸收塔处理后通过 4 个排气筒高空排放。大气污染物综合排放标准（GB16297-1996）中表 2的相关标准、恶臭污染物排放标准（GB14554-93）中表 2 的相关标准 工艺尾气 氟化物、氯化氢、氯气、硅烷等 经设备尾端本地处理净化装置（燃烧+水洗式 POU、吸附式 POU、等离子解 离 式POU）处理后，尾气再纳入酸性废气处理系统，最终由排气筒高空排放。碱性废气DA005 氨气 经过 1 套二级酸液喷淋吸收塔处理后通过 1 个排气筒高空排放。有机废气DA00282、6 VOCs 经过 1 套沸石浓缩转轮焚烧系统处理后高空排放。无组织废气 氟化物、HCl、H2SO4、Cl2、VOCs 等 车间为洁净车间，生产时全密闭且产生废气的工艺设备运行时采用密闭隔离、局部排风、就近捕集，基本杜绝无组织排放。地表水环境 DW001/企业总排口 生产废水 厂区现有废水预处理设施，主要包括：中和处理系统（350t/h）、含氟废水处理系统（100t/d）、CMP 废水处理系统（50t/d），生产废水分类收集进入污水处理站相应的废水处理系统进行处理后进入综合中和处理池再次中和处理达标后纳管排放。本项目建成达产后，全厂各股废水产生量均小于企业现有相应废水处理系统设计处电子工业水污283、染物排放标准（GB39731-2020）中间接排放限值，氨氮执行工业企业废水氮、磷污染物间接排放限值（DB33/887-2013）106 理规模，能满足全厂废水处理需求，可做到全部收集进入现有废水处理站。处理后的废水，通过厂区现有排污口接入周边市政污水管网。生活污水 生活污水经隔油池、化粪池处理达标后纳管排放。声环境 生产设备 Leq（A）选用高效低噪声设备，加强车间管理，定期检修设备，避免非正常运行噪声，加强员工xx意识，防止人为噪声影响等。工业企业厂界环境噪声排放标准（GB12348-2008）3 类标准 电磁辐射/固体废物 一般工业固废分类收集后，出售给回收公司综合利用，或委托有能力处置284、的单位处置；危险废物厂区规范化暂存后委托有资质单位处置；生活垃圾委托环卫部门清运。土壤及地下水污染防治措施 加强车间管理，危险物质随用随取，不得随便放置在车间内，危险物质在车间危险物质仓库集中存储，设置集液池、围堰等防泄漏收集措施，地面硬化不得有缝隙并铺设防渗层，做好分区防渗；定期检查。生态保护措施/环境风险 防范措施 1、生产车间进行事故预防；2、xx设施进行事故预防；3、设置故废水收集系统和事故应急池；4、企业制定突发环境事件应急预案并配备相应的应急物资。其他环境 管理要求 根据关于公布 2022 年xx省重点排污单位名录的通知，xxxx属于重点排污单位（名录类别：水环境），对照固定污染源285、排污许可分类管理名录（2019 年版），本项目管理类别为重点管理，具体判定情况见下表。表表5-1 企业排污许可管理类别归类表企业排污许可管理类别归类表 序号 行业类别 重点管理 简化管理 登记管理 三十四、计算机、通信和其他电子设备制造业 39 89 计算机制造 391，电子器件制造397，电子元件及电子专用材料制造398，其他电子设备制造 399 纳入重点排污名录的 除重点管理以外的年使用10 吨及以上溶剂型涂料（含稀释剂）的 其他 107 六、结论 xxxxxx微电子有限公司硅基氮化镓（GaN）HEMT 结构电力电子芯片技术改造项目符合国家和地方产业政策要求，符合xx市“三线一单”生态环境286、分区管控方案等相关规划要求；项目未涉及生态保护红线；项目排放的污染物能符合国家、省规定的污染物排放标准，排放污染物总量可通过区域调剂解决，项目实施后造成的环境影响符合项目所在地环境功能区划确定的环境质量要求，项目实施不触及环境质量底线；项目具有较高的清洁生产水平，其资源利用不会突破区域的资源利用上线；项目采取必要的风险防范对策和应急措施后，项目环境风险能够控制在可接受范围内。建设单位在项目实施过程中须严格执行“三同时”要求，认真执行本环评提出的各项xx措施，在此此基础上项目实施对周围环境及保护目标影响不大，并将产生较好的经济效益和社会效益。因此，从xx角度而言，本项目在拟建地实施是可行的。10287、8 专题一：大气专题一：大气 1.1 评价标准评价标准 1.1.1 环境质量标准环境质量标准 根据xx省环境空气质量功能区划分，项目所在地属于二类环境空气质量功能区，环境空气质量执行环境空气质量标准（GB3095-2012）及其修改单（生态环境部公告 2018 年第29 号）二级标准、环境影响评价技术导则 大气环境（HJ 2.2-2018）附录 D 中的限值。非甲烷总烃参照执行大气污染物综合排放标准详解中的相关限值。具体标准值详见表 1-1。表表 1-1 环境空气质量标准环境空气质量标准 污染物名称 取值时间 浓度限值 单位 来源 SO2 年平均 60 ug/m3 环境空气质量标准（GB309288、5-2012）二级标准及修改清单 24 小时平均 450 1 小时平均 500 NO2 年平均 40 24 小时平均 80 1 小时平均 200 PM10 年平均 70 24 小时平均 150 PM2.5 年平均 35 24 小时平均 75 CO 24 小时平均 4 mg/m3 1 小时平均 10 O3 日最大 8 小时平均 160 ug/m3 1 小时平均 200 NOX 年平均 50 24 小时平均 100 1 小时平均 250 氟化物（F）24 小时平均 20 1 小时平均 7 氨 1 小时平均 200 ug/m3 环境影响评价技术导则 大气环境（HJ 2.2-2018）中附录 D 硫酸289、 1 小时平均 300 日平均 100 氯 1 小时平均 100 日平均 30 氯化氢 1 小时平均 50 日平均 15 非甲烷总烃 一次值 2.0 mg/m3 大气污染物综合排放标准详解 109 1.1.2 污染物排放标准污染物排放标准 企业排放的 NOx、氟化物、硫酸雾、氯气、氯化氢和非甲烷总烃执行大气污染物综合排放标准（GB16297-1996）二级排放标准；氨等恶臭物质执行恶臭污染物排放标准（GB14554-93）中二级标准。具体标准限值详见表 1-2、表 1-3。表表 1-2 大气污染物综合排放标准（大气污染物综合排放标准（GB16297-1996）污染物名称 最高允许排放浓度（mg290、/m3）最高允许排放速率（kg/h）无组织排放监控浓度限值mg/m3 排气筒（m）二级 氮氧化物 240 25 2.85 周界外浓度最高点 0.12 颗粒物 120 25 14.45 1.0 氯化氢 100 25 0.915 0.2 硫酸雾 45 25 5.7 1.2 氟化物 9 25 0.38 0.02 氯气 65 25 0.52 0.4 非甲烷总烃 120 25 35 4 表表 1-3 恶臭污染物排放标准恶臭污染物排放标准（GB14554-93）污染物名称 最高允许排放速率（kg/h）厂界标准值 mg/m3 排气筒（m）二级 氨 25 14 1.5 硫化氢 0.9 0.06 臭气浓度 60291、00（无量纲）20（无量纲）厂区内 VOCs 无组织排放监控点浓度应符合挥发性有机物无组织排放控制标准（GB37822-2019）附录 A 表 A.1 厂区内 VOCs 无组织排放限值中特别排放限值的要求。具体标准值详见表 1-4。表表 1-4 厂区内厂区内 VOCs 无组织排放限值无组织排放限值 污染物项目 特别排放限值（mg/m3）限值含义 无组织排放监控位置 NMHC 6 监控点处 1h 平均浓度 在厂房外设置监控点 20 监控点处任意一处浓度值 1.2 评价等级及范围评价等级及范围 根据环境影响评价技术导则 大气环境（HJ2.2-2018），确定大气评价等级时，需根据项目污染源初步调查292、结果，分别计算项目排放主要污染物的最大地面浓度占标率 Pi（第 i 个污染物），及第 i 个污染物的地面浓度达标准限值 10%时所对应的最远距离 D10%。其中 Pi 定义为：%1000=iiiCCP 110 式中：Pi第 i 个污染物的最大地面浓度占标率，%；Ci采用估算模式计算出的第 i 个污染物的最大地面浓度，mg/m3；C0i第 i 个污染物的环境空气质量标准，mg/m3。一般选用 GB3095 中 1 小时评价取样时间的二级标准的浓度限值，如项目位于一类环境空气功能区，应选择相应的一级浓度限值；对该标准中未包含的污染物，使用 5.2 确定的各评价因子 1h 平均质量浓度限值。对仅有 293、8h 平均质量浓度限值、日平均质量浓度限值或年平均质量浓度限值的，可分别按 2 倍、3 倍、6 倍则算为 1h 平均质量浓度限值。大气环境影响评价工作等级的划分判据见表 1-5。表表 1-5 评价等级判别评价等级判别表表 评价工作等级 评价工作分级依据 一级评价 Pmax10%二级评价 1%Pmax10%三级评价 Pmax1%注：（1）同一项目有多个污染源（两个及以上，下同）时，则按各污染源分别确定评价等级，并取评价等级最高者作为项目的评价等级。（2）对电力、钢铁、水泥、石化、化工、平板玻璃、有色等高耗能行业的多源项目或以使用高污染燃料为主的多源项目，并且编制环境影响报告书的项目评价等级提高一294、级。根据工程分析确定的主要污染物排放源强，主要污染源估算模型计算结果详见表 1-6。表表 1-6 估算结果一览表估算结果一览表 序号 污染源名称 离源距离(m)氟化物|D10(m)氯化氢|D10(m)氯气|D10(m)硫酸|D10(m)氨|D10(m)非甲烷总烃|D10(m)1 DA001 酸性废气 101 4.30|0 0.52|0 0.39|0 1.41|0 0.95|0 0.00|0 2 DA002 酸性废气 100 1.43|0 2.65|0 0.13|0 0.48|0 0.32|0 0.00|0 3 DA003 酸性废气 102 1.45|0 0.18|0 0.13|0 0.48|0295、 0.32|0 0.00|0 4 DA004 酸性废气 101 1.44|0 0.17|0 0.13|0 0.48|0 0.32|0 0.00|0 5 DA005 碱性废气 32 0.00|0 0.00|0 0.00|0 0.00|0 0.53|0 0.01|0 6 DA006 有机废气 34 0.00|0 0.00|0 0.00|0 0.00|0 0.00|0 0.18|0 7 各源最大值-4.3 2.65 0.39 1.41 0.95 0.18 评价等级：根据表 1-6 计算结果可知，本项目 Pi 最大值为 4.3%，确定项目大气评价等级为二级。评价范围：根据估算结果，确定本次评价范围为以296、厂址为中心，边长 5km 的矩形范围。111 1.3 保护目标保护目标 根据确定的评价范围，确定本项目环境空气保护目标为评价范围内的学校、医院、居住区等，按功能区要求达到环境空气质量标准（GB3095-2012）二类标准。具体保护目标情况详见表 1-7。表表 1-7 项目主要环境保护目标一览表项目主要环境保护目标一览表 名称 坐标 保护 对象 保护内容 环境功能区 相对厂址方位 与厂界相对最近距离 经度（）纬度（）闻潮 社区 天元公寓 120.360523 30.303435 居民 约 690 户 环境空气质量二类功能区 NW 约 85m 新雁公寓 120.372831 30.301670 居297、民 约 2771 户 E 约 840m 邻里社区 120.352811 30.29394 居民 约 2338 户 SW 约 1000m 云水社区 120.370192 30.307717 居民 约 3997 户 NE 约 810m 海天社区 120.380631 30.302409 居民 约 3051 户 E 约 1535m 朗琴社区 120.384386 30.301854 居民 约 3497 户 E 约 1895m 多蓝水岸社区 120.381329 30.297306 居民 约 2885 户 SE 约 1540m 伊萨卡社区 120.379848 30.292775 居民 约 3197 298、户 SE 约 1700m 晨光社区 120.373282 30.287106 居民 约 4756 户 SE 约 1595m xx花园社区 120.378630 30.287477 居民 约 4538 户 SE 约 1805m 高教社区 120.359377 30.315275 居民 约 2006 户 NW 约 1248m 月雅苑社区 120.346117 30.309556 居民 约 1804 户 NW 约 1115m 美达社区 120.342136 30.310871 居民 约 3221 户 NW 约 1823m 大北社区 120.343595 30.306365 居民 约 2731 户 N299、W 约 1680m 云滨社区 120.381157 30.315281 居民 约 1228 户 NE 约 2095m 江潮社区 120.385395 30.306918 居民 约 5003 户 NE 约 2015m xx理工大学 120.347565 30.315077 师生 在校师生约30000 人 NW 约 1435m xx电子科技大学 120.340827 30.314647 师生 在校师生约27000 人 NW 约 2120m xx职业技术学院 120.348788 30.321686 师生 在校师生约12000 人 NW 约 2245m xx警官职业学院 120.355333 30.300、314937 师生 在校师生约 3228人 NW 约 1285m xx计量大学 120.358315 30.322115 师生 在校师生约25800 人 N、NW 约 2070m xx水利水电学院 120.369323 30.315077 师生 在校师生约13000 人 N 约 1265m xx经贸职业技术学院 120.378314 30.317609 师生 在校师生约12100 人 NE 约 1165m 112 xx金融职业学院 120.378979 30.321707 师生 在校师生约11690 人 NE 约 2386m xx师范大学 120.388528 30.318016 师生 在校师301、生约23300 人 NE 约 2584m xx工商大学 120.383871 30.310570 师生 在校师生约34000 人 NE 约 1575m xx财金大学 120.387573 30.322125 师生 在校师生约16700 人 NE 约 2915m xx经济职业技术学院 120.374387 30.311107 师生 在校师生约10486 人 NE 约 980m xx育英职业技术学院 120.346277 30.306290 师生 在校师生约 7500人 NW 约 1305m xx传媒学院 120.339363 30.322077 师生 在校师生约14000 人 NW 约 2747302、m xx市第四中学 120.374290 30.305796 师生 在校师生约 1780人 NE 约 1010m xx文海教育集团 120.372745 30.308038 师生 在校师生约 2500人 NE 约 1025m 文清小学 120.383120 30.306397 师生 在校师生约 800人 NE 约 1874m 学正中学 120.378319 30.296897 师生 在校师生约 1560人 SE 约 1398m 学正小学 120.378105 30.293828 师生 在校师生约 850人 SE 约 1520m 听涛小学 120.372794 30.284172 师生 在校师生303、约 450人 SE 约 1890m 实验外国语学校 120.341731 30.309031 师生 在校师生约 2400人 NW 约 2035m 省中医院 120.349378 30.306949 医院 860 张床位 NW 约 1145m 规划幼儿园 120.338062 30.297707 师生 15 班 SW 约 2300m 规划小学 120.336990 30.296892 师生 54 班 SW 约 2400m 规划住宅 120.343631 30.293545 居民/SW 约 1765 规划住宅 120.343191 30.292064 居民/SW 约 1835m 1.4 区域环境空304、气质量现状区域环境空气质量现状 1.1.1 项目所在区域达标判断项目所在区域达标判断（1）基本污染物环境质量情况 为了解项目所在区域环境质量达标情况，本次评价收集了xx政服务网发布的2022 年xx市生态环境状况公报相关数据和结论，具体如下：按照环境空气质量标准（GB 3095-2012）评价，xx市区（xx区、xx区、xx区、xx区、xx区、xx区、临平区、xx区、xx区和临安区，下同）环境空气优良天数为113 304 天，同比减少 17 天，优良率为 83.3%，同比下降 4.6 个百分点。xx市区细颗粒物（PM2.5）达标天数为 354 天，同比减少 8 天，达标率为 97.0%，同比下305、降 2.2 个百分点。2022 年xx市区主要污染物为O3，日最大 8 小时平均浓度第 90 百分位数 170ug/m3。SO2、NO2、PM10和 PM2.5等 4 项主要污染物年均浓度分别为 6 ug/m3、32 ug/m3、52 ug/m3和30 ug/m3，CO 日均浓度第 95 百分位数为 0.9 mg/m3。SO2、NO2、和 CO 达到国家环境空气质量一级标准，PM10和 PM2.5达到国家二级标准，O3略超过国家二级标准。（2）环境空气质量达标区判定 因2022 年xx市生态环境状况公报中未给出SO2、NO2、PM10和 PM2.5等 4 项污染物“百分位上日平均”，仅给出了达306、标性结论，根据 环境影响评价技术导则 大气环境（HJ2.2-2018）第 6.2.1.1 条“项目所在区域达标判定，优先采用国家或地方生态环境主管部门公开发布的评价基准年环境质量公告或环境质量报告中的数据或结论”的规定，本次评价仅引用2022年xx市生态环境状况公报中的结论对项目所在区域达标性进行判定。由于xx市区2022年臭氧日最大 8 小时平均浓度第 90 百分位数存在超标现象，判定xx市区2022 年环境空气质量不达标。（3）区域达标规划 根据xx市人民政府办公厅关于印发xx市大气环境质量限期达标规划的通知（杭政办函20192 号），规划目标：通过二十年努力，全市大气污染物排放总量显著下307、降，区域大气环境管理能力明显提高，大气环境质量明显改善，包括 SO2、NO2、CO、O3、PM10、PM2.5等 6 项主要大气污染物指标全面稳定达到国家环境空气质量二级标准，全面消除重污染天气，使广大市民尽情享受蓝天白云、空气清新的好天气。到 2025 年，实现全市域大气“清洁排放区”建设目标，大气污染物排放总量持续稳定下降，基本消除重污染天气，市区 PM2.5年均浓度稳定达标的同时，力争年均浓度继续下降，桐庐、xx、xx等3 县（市）PM2.5年均浓度力争达到 30 ug/m3以下，全市 O3浓度出现下降拐点。到 2035 年，大气环境质量持续改善，包括 O3在内的主要大气污染物指标全面稳308、定达到国家空气质量二级标准，PM2.5年均浓度达到 25 ug/m3以下，全面消除重污染天气。同时，xx市空气质量 改善“十四五”规划已出台，该规划目标：“十四五”时期，xx市持续深化“五气共治”，实现全市大气主要污染物排放总量持续减少目标，环境空气114 质量进一步改善。到 2025 年，O3上升趋势得到有效控制，基本消除中度污染天气，力争超额完成省下达的目标。随着xx市大气环境质量限期达标规划、xx市空气质量改善“十四五”规划等的持续推进，xx市的环境空气质量将会逐步好转。1.1.2 补充监测补充监测（1）监测点位、监测频次及监测因子 为进一步了解建设项目所在地环境空气质量现状，本次评价利309、用xx鸿博环境检测有限公司于 2022 年 6 月 19 日2022 年 6 月 25 日在项目周边监测的相关数据。具体方案详见表1-8。表表 1-8 环境空气监测点位设置情况一览表环境空气监测点位设置情况一览表 序号 监测点 相对厂址方位 相对厂界距离 监测因子 监测频次 1 文海实验学校与杭四中之间 NE 约 1150m 氯化氢、氟化物、非甲烷总烃、氯、氨、硫酸雾 7 天，小时均值，每天 4次 氯化氢、氟化物、氯、硫酸雾 7 天，日均值 根据环境影响评价技术导则 大气环境（HJ2.2-2018）“6.3.2 以近 20 年统计的当地主导风向为轴向，在厂址及主导风向下风向 5km 范围内设置310、 12 个监测点”的要求，通过查阅xx市气候分析数据，确定xx市6 月主导风向为南-西北风，本项目利用的监测点位于厂址下风向约 1.14km 处，符合导则要求。导则要求，二级评价项目，需调查评价范围内有环境质量标准的评价因子的环境质量监测数据或进行补充监测，本次引用的监测因子涵盖了本次扩建项目排放的污染物（有环境质量标准）。（2）评价结果 根据环境空气质量现状监测结果，采用单因子比值法对该区域的大气环境现状进行评价。环境空气质量现状监测统计评价结果详见表 1-9。表表 1-9 环境空气质量现状监测统计评价结果一览表环境空气质量现状监测统计评价结果一览表 监测点位 污染物 取值 时间 评价标准u311、g/m3 监测浓度范围 ug/m3 监测个数 最大浓度占标率/%达标情况 文海实验学校与杭四中之间 氯化氢 1h 平均 50 2630 28 60 达标 日平均 15 89 7 60 达标 氟化物 1h 平均 7 0.50.6 28 8.6 达标 日平均 20 0.060.12 7 0.6 达标 硫酸 1h 平均 300 2060 28 20 达标 日平均 100 9.617.5 7 17.5 达标 氯 1h 平均 100 3090 28 90 达标 115 日平均 30 11 7 3.3 达标 NMHC 一次值 2.0mg/m3 0.571.15 mg/m3 28 57.5 达标 NH3 1312、h 平均 200 5080 28 40 达标 上述监测结果表明：氟化物小时浓度值为0.50.6ug/m3、最大占标率为 8.6%，日均浓度值为 0.060.12ug/m3、最大占标率为 0.6%，均满足环境空气质量标准（GB3095-2012）及其修改单（生态环境部公告 2018 年第 29 号）二级标准。氨小时浓度值为 0.050.08mg/m3，最大占标率为 40%；硫酸小时浓度值为0.020.06mg/m3、最大占标率为 20%，日均浓度值为 0.00960.0175mg/m3、最大占标率为 17.5%；氯小时浓度值为 0.030.09mg/m3、最大占标率为 90%，日均浓度值为0.0313、010.001mg/m3、最大占标率为 3.3%；氯化氢小时浓度值为 0.0260.03mg/m3、最大占标率为 60%，日均浓度值为 0.0080.009mg/m3、最大占标率为 60%；均能满足 环境影响评价技术导则 大气环境（HJ2.2-2018）附录 D“污染物空气质量浓度参考限值”。非甲烷总烃小时浓度值为 0.571.15mg/m3，最大占标率为 57.5%，均能满足大气污染物综合排放标准详解中规定的限值要求。综上所述，项目所在区域设点监测得到的环境空气质量现状数据满足相应标准限值，项目所在区域空气环境质量良好。1.2 废气污染源强分析废气污染源强分析 根据前述工艺分析，本项目废气产314、生环节及主要污染物详见表 1-10。表表 1-10 废气产生环节及主要污染物一览表废气产生环节及主要污染物一览表 类型 产生环节 污染物名称 主要污染因子 废气 清洗 酸碱废气、有机废气 氟化物、氯化氢、硫酸雾、氨等 薄膜沉积 工艺尾气 非甲烷总烃、氨、氯化氢、氟化物、硅烷等 涂胶 有机废气 非甲烷总烃 曝光 含氟废气 氟化物 显影 有机废气 非甲烷总烃 湿法刻蚀 酸性废气 氟化物 干法刻蚀 工艺尾气 HCl、三氯化硼、氟化物、氯气等 去胶 有机废气 非甲烷总烃 污水处理站 恶臭气体 氨、硫化氢等 1.2.1 废气收集方式废气收集方式 项目生产在超洁净室内进行，每道工序均在独立机台内进行全封闭315、式操作，各机台均配备相应的气体供应装置、抽排装置及管道。洁净室温度控制在 2223，相对湿度控制在 4042%，洁净车间与室外大气的静压差大于 30Pa。净化空调系统采用组合式空调箱，全外气新116 风，经初效过滤、中效过滤、高效过滤后送至各洁净房间，再经洁净车间吊顶上的高效空气过滤送风口进入各洁净室，洁净室内可能排出各种有害物质、气体或粉尘的生产工艺设备装置全室排风装置，按生产工艺过程排出的废气类型排放至相应的废气处理设备，处理至符合排放标准后从排气筒排放。各机台产生的工艺尾气经抽排装置将其从密闭的腔体抽出后，分别通过相应的燃烧+水洗式、吸附式 POU 净化装置处理后，进入酸性废气处理系统进316、行处理。其余酸性废气、碱性废气和有机废气通过相应的管道分别进入碱性废气处理系统、酸性废气处理系统和有机废气处理系统（沸石浓缩转轮焚烧）处理。本项目生产在超洁净密闭生产车间内进行，物料输送均为密闭全自动操作，杜绝跑冒滴漏无组织排放现象。设备各反应腔、气体物料储存及输送的管道及法兰通过设置双层套管，收集无组织逸散气体至相应类别废气处理系统处理。因此，本项目生产废气均为有组织排放。1.2.2 风量匹配性分析风量匹配性分析 企业在建厂时已按照整体设计、分期实施的原则考虑废气收集风量的设计。企业各种废气处理系统参数具体详见表 1-11。117 表表 1-11 废气处理系统参数一览表废气处理系统参数一览表317、 废气种类 处理系统 处理设施数量（套）风量（m3/h）排气筒参数 备注 单台 合计 数量（个）单个排气筒风量 高度（m）内径（m）酸性废气 碱液喷淋吸收塔 7（其中 1套在建）80000（其中 1 套 EPI 酸性废气处理装置风量为10000m3/h）490000 1 240000 25 1.8/1 90000 25 1.0/2 80000 25 1.0 其中 1 个排气筒在建 碱性废气 酸液喷淋吸收塔 1 50000 50000 1 50000 25 0.8/有机废气 沸石浓缩转轮焚烧系统 1 50000 50000 1 50000 25 0.5/本次扩建项目，部分设备依托现有 8 英寸芯318、片生产线，新增部分设备产生的废气产生收集后进入相应的废气处理系统，项目各种废气处理系统风量参数设置情况详见表 1-12。表表 1-12 本项新增设备废气风量设置参数情况表本项新增设备废气风量设置参数情况表 生产单元 生产设备名称 新增设备数量 酸性排气系统 碱性排气系统 有机排气系统 单个排风口风量（m3/h）单台设备排风口数（个）工艺总风量（m3/h）单个排风口风量（m3/h）单台设备排风口数（个）工艺总风量（m3/h）单个排风口风量（m3/h）单台设备排风口数（个）工艺总风量（m3/h）清洗 清洗设备 1 500 3 1500 500 2 1000/光刻 光刻机 1 500 1 500/匀319、胶显影机 3/500 1 1500 500 3 4500 沉积 CVD 设备 2 500 3 3000/刻蚀 干法刻蚀 2 500 3 3000/废气治理系统收集风量合计/8000/2500/4500 118 企业酸性废气处理系统现状设计总收集风量为 41 万 m3/h，为实现“年产 36 万片 12 英寸芯片项目”，企业在现有 41 万 m3/h 风量的基础上，拟新增 1 套废气处理系统，设计风量为8 万 m3/h，则合计风量为 49 万 m3/h。根据调查，企业现状 8 英寸芯片生产线废气治理系统总收集风量为 29.5 万 m3/h，在建 12 英寸芯片生产线配套收集风量为 17.5 万 320、m3/h，合计所需风量为 47 万 m3/h，剩余 2 万 m3/h 风量可供本次项目使用。本项目新增风量为 8000m3/h，企业现状剩余风量可满足项目生产所需。碱性废气处理系统现状设计总收集风量为 5 万 m3/h。根据调查，企业现状 8 英寸芯片生产线碱性废气治理系统总收集风量为 3 万 m3/h，在建 12 英寸芯片生产线配套收集风量为 1.5万 m3/h，合计所需风量为 4.5 万 m3/h，剩余 0.5 万 m3/h 风量可供本次项目使用。本项目新增风量为 2500m3/h，企业现状剩余风量可满足项目生产所需。根据调查，现状 8 英寸芯片生产线有机废气收集风量为 3.5 万 m3/321、h；在建 12 英寸芯片生产线设计收集风量为 1 万 m3/h；本次扩建项目有机废气收集风量为 4500 m3/h，则全厂有机废气收集风量需 4.95 万 m3/h。该部分废气收集后进入沸石转轮浓缩吸附，浓缩倍数为 20 倍，目前 RTO 有机废气处理设备配置的风机风量为 50000m3/h（2 台、一用一备），可满足扩建后全厂废气处理所需风量。1.2.3 正常工况下废气产排情况正常工况下废气产排情况（1）酸性废气 酸性废气主要来源于生产工艺过程中的湿法刻蚀、清洗等工段，主要污染物为氟化物、氯化氢、硫酸雾。根据物料衡算，不同类酸进入废气比例分别按照氢氟酸 5%、盐酸 10%、硫酸 2%计。企业322、共设置 7 套二级碱液喷淋吸收塔（6 套为现有、1 套在建）对酸性废气进行处理，处理后由 4 根 25m 排气筒排放（排气筒编号：DA001004，其中 DA001 为三进一出，DA002为两进一出其，余均为一进一出）。（2）碱性废气 碱性废气产生于芯片生产厂房，主要来源于光刻工序中的湿法刻蚀清洗、显影以及化学气相沉积工段，主要成分为氨气。清洗工序的碱性废气主要来源于未参与反应的氨气、氨水、氟化氢铵和氟化铵等的挥发，根据物料衡算，清洗工段氨水挥发进入大气中的氨气按照 15%进行核算，碱性废气（氟化氢铵和氟化铵等）按照 5%进行核算；显影工序的碱性废气主要来源于四甲基氢氧化铵的挥发，该物质是一种323、有机化合物，有一定的氨气味，具有强碱性，废119 气产生量按照 5%进行核算；化学气相沉积过程中约有 30%的氨气未参与反应，需收集处理后排放。企业设置 1 套二级酸液喷淋吸收塔对碱性废气进行处理，其中未参与反应的氨气收集后先经 POU 净化装置（设备尾端本地处理装置）处理后，再与其他碱性废气一并进入酸液喷淋塔处理后由 1 根 25m 高的排气筒排放（排气筒编号 DA005）。（3）有机废气 有机废气产生于芯片生产厂房，主要来源于光刻工序中的涂胶、前烘、曝光后烘焙、去胶等过程，主要污染物为 VOCs。企业设有 1 套沸石浓缩转轮焚烧系统（电热式 RTO 设备）对有机废气进行处理，处理后由 1 324、根 25m 高的排气筒排放（排气筒编号 DA006）。本项目采用电热式 RTO 设备，不借助燃料助燃，因此处理过程中不会产生燃料型 NOx；同时，燃烧温度控制在 700，空气中的氮气在此温度下不会生成 NOx。同时，本次扩建项目进入 RTO 系统的废气中不含有含氮有机物，经 RTO 处理后，不会产生二次污染物 NOx。因此，本项目不考虑二次污染物（氮氧化物）。（4）工艺尾气 工艺尾气产生于芯片生产厂房，主要来自 CVD、干法刻蚀等工序，尾气中含有氟化物、氯化氢、氯气、硅烷等。工艺尾气经“POU 净化装置（设备尾端本地处理装置）+酸性废气处理系统”处理后，由 4 根 25m 排气筒排放（排气筒编325、号：DA001004，其中 DA001 为三进一出，DA002 为两进一出其，余均为一进一出）。（5）无组织废气 根据电子企业生产车间的洁净度要求，生产时全密闭且相关的产生废气的工艺设备正常运行时采用密闭隔离、局部排风、就近捕集，只有在往设备中添加溶剂时才会短时间打开隔板；同时生产所需的化学溶剂皆为入厂时已配制好，以瓶装或桶装形式储存于厂区危化品仓库，待有需要时通过化学品传递间送至设备前加注或更换。综上，由于生产车间呈微正压状态运行，产生的废气密闭集气收集，本项目基本不存在废气无组织排放，其源强可忽略不计。（6）污水处理站恶臭 项目废水处理站内污水处理过程中会有少量恶臭废气产生，主要污染物为氨326、硫化氢、氟化氢、氯化氢等。废水站各废水处理系统调节池、反应池等池体采用加盖密闭形式，可有效控制废水站恶臭的产生。120 综上所述，项目废气产生情况详见表 1-13、废气排放情况详见表 1-14，废气源强汇总情况详见表 1-15。表表 1-13 项目废气源强计算一览表项目废气源强计算一览表 产污环节 原料名称 用量（kg/a）相应污染因子 核算方法 取值说明 污染物产生量（kg/a）去向 沉积 湿法刻蚀 干法刻蚀 清洗 121 涂胶/去胶 显影 表表 1-14 项目项目废气产排情况表废气产排情况表 排污环节 污染因子 产生量（kg/a）产生速率（kg/h）废气收集方式 收集效率 废气治理措施 327、处理效率（%）削减量（kg/a）排放量（kg/a）排放速率（kg/h）化学气相沉积 氨 20.43 0.0026 洁净车间 设备密闭抽风 100%干式吸附/燃烧水洗式POU+二级碱液喷淋 99 20.226 0.204 0.00003 氟化物 70.325 0.0089 99 69.621 0.703 0.00009 硅烷 16.68 0.0021 99 16.513 0.167 0.00002 湿法刻蚀 氟化物 2.111 0.0003 二级碱液喷淋 90 1.900 0.211 0.00003 氨 0.145 0.0000 90 0.130 0.014 0.00000 干法刻蚀 氯气 15328、.47 0.0020 等离子解离/干式吸附/燃烧水洗式 POU+二级碱液喷淋 99 15.315 0.155 0.00002 HCl 35.228 0.0044 99 34.876 0.352 0.00004 氟化物 120.048 0.0152 99 118.847 1.200 0.00015 清洗 氯化氢 29.066 0.0037 二级碱液喷淋 90 26.160 2.907 0.00037 氟化物 43.243 0.0055 90 38.918 4.324 0.00055 硫酸雾 15.333 0.0019 90 13.800 1.533 0.00019 氨 44.044 0.0056329、 90 39.639 4.404 0.00056 涂胶/去胶 非甲烷总烃 14.122 0.0018 沸石浓缩转轮焚烧系统 90 12.709 1.412 0.00018 显影 非甲烷总烃 51.174 0.0065 二级酸液喷淋 90 46.056 5.117 0.00065 122 表表 1-15 项目废气源强汇总表项目废气源强汇总表 污染物名称 产生量（t/a）削减量（t/a）排放量（t/a）氨气 0.065 0.060 0.005 氯化氢 0.064 0.061 0.003 氯气 0.015 0.015 0.0002 氟化物 0.236 0.229 0.006 硫酸雾 0.015 0.330、014 0.002 非甲烷总烃 0.065 0.059 0.006 硅烷 0.017 0.017 0.0002 本项目同一性质的废气从不同工段通过相应的管道进入对应排气筒，排气筒主管路采用串联设计，非单独设立一直通管路，本环评按照单个排气筒的风量，考虑对应污染物排放速率。本扩建项目废气排放口基本情况详见表 1-16。表表 1-16 项目废气排放口基本情况表项目废气排放口基本情况表 排气筒编号 X Y 内径 m 高度 m 风量 m3/h 污染物名称 排放速率 kg/h 排放浓度 mg/m3 年工作 时长/h DA001 178 60 1.8 25 240000 氨气 2.86E-04 1.19E331、-03 7920 氯化氢 2.02E-04 8.40E-04 氯气 9.57E-06 3.99E-05 氟化物 3.85E-04 1.60E-03 硫酸雾 9.48E-05 3.95E-04 硅烷 1.03E-05 4.30E-05 DA002 168 60 1 25 90000 氨气 1.07E-04 1.19E-03 氯化氢 7.56E-05 8.40E-04 氯气 3.59E-06 3.99E-05 氟化物 1.44E-04 1.60E-03 硫酸雾 3.56E-05 3.95E-04 硅烷 3.87E-06 4.30E-05 DA003 170 65 1 25 80000 氨气 9.5332、3E-05 1.19E-03 氯化氢 6.72E-05 8.40E-04 氯气 3.19E-06 3.99E-05 氟化物 1.28E-04 1.60E-03 硫酸雾 3.16E-05 3.95E-04 硅烷 3.44E-06 4.30E-05 DA004 175 65 1 25 80000 氨气 9.53E-05 1.19E-03 氯化氢 6.72E-05 8.40E-04 氯气 3.19E-06 3.99E-05 氟化物 1.28E-04 1.60E-03 硫酸雾 3.16E-05 3.95E-04 硅烷 3.44E-06 4.30E-05 DA005 70 64 0.7 25 50000333、 四甲基氢氧化铵 6.46E-04 1.29E-02 DA006 105 66 0.8 60 50000 非甲烷总烃 1.78E-04 3.57E-03 123 根据上表可知，本项目生产过程中废气排放浓度和排放速率均可达到大气污染物综合排放标准（GB16297-1996）二级排放标准规定的排放限值，氨符合恶臭污染物排放标准（GB14554-93）中二级标准。1.2.4 非正常工况下废气排放量非正常工况下废气排放量 项目生产过程中的非正常工况主要指废气净化系统失效的事故性排放。本次环评主要考虑喷淋塔中吸收液未及时更换，废气去除效率降至 60%。表表 1-17 非正常工况下酸碱废气排放情况非正常工况下酸碱废气排放情况 类型 污染源名称 污染因子 排气筒参数 排气筒 污染源 污染物 名称 最大排放速率（kg/h）排放高度m 出口内径m 出口温度 排放气量m3/h 点源 DA001 酸性废气 氨气