1、建设项目环境影响报告表（污染影响类）项目名称： 硅基氮化镓（GaN）HEMT 结构电力电子芯片技术改造项目 建设单位（盖章）： xxxxxx微电子有限公司 编制日期： 2023 年 7 月 目 录一 、建设项目基本情况 1二 、建设项目工程分析 16三 、区域环境质量现状、环境保护目标及评价标准 64四 、主要环境影响和保护措施 79五 、环境保护措施监督检查清单 105六 、结论 107专题一：大气108专题二：环境风险142附表178一 、建设项目基本情况建设项目名称硅基氮化镓（GaN）HEMT 结构电力电子芯片技术改造项目项目代码建设单位联系人联系方式建设地点地理坐标国民经济行业类别C32、973 集成电路制造建设项目行业类别80 电子器件制造 397建设性质新建（迁建）改建扩建技术改造建设项目申报情形首次申报项目不予批准后再次申报项目超五年重新审核项目重大变动重新报批项目项目审批（批准/备案）部门（选填）新区行政审批局项目审批（批准/备案）文号（选填）/总投资（万元）10239.29投资（万元）100投资占比（%）0.98施工工期24 个月是否开工建设否是： 用地（用海）面积（m2）0专项评价设置情况本项目专项评价设置情况详见表 1- 1。表1-1 项目专项评价设置情况一览表专项评价 类别设置原则对照分析是否设置大气排放废气含有毒有害污染物、二噁 英、苯并a芘、氰化物、氯气且厂3、 界外 500 米范围内有环境空气保 护目标的建设项目本项目排放氯气且厂界外最 近距离约 85m 处有居住区天 元公寓。是地表水新增工业废水直排建设项目（槽罐 车外送污水处理厂的除外） ；新增 废水直排的污水集中处理厂本项目废水经预处理达标后 纳管排放。否环境风险有毒有害和易燃易爆危险物质存 储量超过临界量的建设项目本项目有毒有害和易燃易爆 危险物质存储量超过临界量。是1生态取水口下游 500 米范围内有重要 水生生物的自然产卵场、索饵场、 越冬场和洄游通道的新增河道取 水的污染类建设项目本项目所在地取水口下游 500m 范围无内重要水生生物 的自然产卵场、索饵场、越冬 场等生态保护目标。否海4、洋直接向海排放污染物的海洋工程 建设项目本项目不涉及直接向海洋排 放污染物。否由上表可知，本项目需设置大气及环境风险 2 个专项评价章节。规划情况 大创小镇综合发展规划由 建筑设计有限公司编制， 2018 年 8 月 10 日 省特色小镇规划建设工作联席会议办公室 以浙特镇办201819 号文件公布了 省省级特色小镇第四批创建 名单， 大创小镇作为大学城、大学生、大众创业首选地进入第四批创建名单。规划环境影响评价情况文件名称： 大创小镇综合发展规划环境影响报告书召集审查机关： 市生态环境局审查文件名称及文号： 关于抄告 大创小镇综合发展规划环境影 响报告书审查会审查小组意见和关于 大创小镇综合5、发展规划环境影响报告书的复核报告的函（杭环函2019308 号）规划及规划环境影响评价符合性分析1、 大创小镇综合发展规划符合性分析（1）规划范围及面积大创小镇位于 区 区块，规划区红线东至 25 号大街，南至 10 号大街、西至 9 号大街，北至 2 号大街；规划总用地面积 3.8km2。（2）规划期限2018-2025 年，评价基准年为 2018 年。（3）规划结构规划形成“一核一街、三区三带”的总体布局。其中一核指核心 创业街（由 2 号、23 号、6 号、 15 号大街围合而成） ；一街指拇指路 （科技园） 创业大街； 三区分别为西部拓展区、南部拓展区和东部教 育生活配套区； 三带分别6、指高教园区双创带（14 所高校） 、 江围垦文化带和南部转型升级带。（4）产业发展规划2大创小镇作为全国双创示范区， 以数字经济（信息技术产业） 为主导， 重点发展集成电路、新型显示、柔性制造、智能应用产业及研发创新产业。（5）符合性分析根据 大创小镇用地规划图， 本项目位于大创小镇产业规划布 局中的“集成电路产业区 ”，用地性质为工业用地。 本项目主要生产内容为硅基氮化镓（GaN）HEMT 结构电力电子芯片，符合 大创小镇的总体发展规划。2、 大创小镇综合发展规划环境影响报告书符合性分析根据 大创小镇综合发展规划环境影响报告书， 规划环评主要成果如下：（1）规划环评总结论本次规划实施后， 规7、划定位与城市总体规划、土地利用规划、环 境功能区划等上位规划的定位要求基本一致， 规划目标与当前 要 求相符，发展定位符合大环境背景要求，但局部布局需进一步优化。 在规划层面上土地资源、水资源和能源能够得到保障， 基础设施 已配套建设； 大气环境容量存在短板， 规划实施后污染物总量可以实现减排，规划实施有助于改善区域环境质量。报告认为， 规划方案在目标定位、产业结构和规模等方面较为合 理， 在进一步优化规划实施和局部用地布局、完善基础设施建设、健 全环境管理体系、严格落实资源保护和环境影响减缓对策措施后， 从 资源环境保护而言是可行的，也有利于促进区域经济、社会的协调、可持续发展。（2）管控要8、求本项目位于 区白杨街道 19 号大街 656 号，根据 大创小镇综合发展规划环境影响报告书， 项目所在区块生态空间管控要求详见表 1-2、环境准入要求详见表 1-3。3规划及规划环境影响评价符合性分析表1-2 项目所在区块生态空间管控要求类 别所含空间 单元面积现状用 地类型所在环境功 能区划小区规划图管控要求生 产 空 间工业区127.9万 m2工业为主南部产业发展环境 优化准入区1、禁止新建、扩建三类工业项目， 鼓励对三类工业项 目进行淘汰和升改造；2、新建二类工业项目污染物排放水平需达到同行业国 内先进水平；3、禁止新建、技改项目设置挥发性有机物工段（排放 量大于 0.5t/a）和表面9、有机涂层工段；4、禁止新建入河排污口， 现有的入河排污口应限期纳 管；5、合理规划生活区与工业区，在居住区和工业园、 工业企业之间设置隔离带。表1-3 项目所在区块环境准入条件清单所属区域类型产业领域项目类别分类行业清单工艺清单产品清单制定依据南部环境优化准入区主导产业1、信息技术（集成电路、 人工智能、物联网）；2、新型显示；3、柔性制造及智能应用；计算机、 通信和其 他电子设 备制造业禁止准入类涉及化学反应 电子专用材料 合成产业涉及电镀、化学镀 工艺；涉及有机涂 层（喷塑除外）、 电路板印刷万元产值耗能、水 量高于 市上年度平均指标的 项目及产品 市区（六城区） 环 境功能区划、 市 产10、业发展导向目录与产 业平台布局（2019）协同发展 产业研发创新服务研究和试验发展禁止准入类涉及化工类中 试内容的/其他产业非主导行业/禁止非主导产业新建； 现有非主导产业在污染物总量不增加前下技改。/（3）符合性分析根据 市“三线一单”生态环境分区管控方案（ 2020.9）， 本项目属于江干区 南部、 园区北部产业集聚重点管控单元（编号 ZH33010420002）。本项目主要生产内容为硅基氮化镓（GaN）HEMT 结构电力电子芯片，属于电子器件制造行业，为二类工业项目；同时 VOCs 排放量小于 0.5t/a。根据环境准入条件清单表对照，本项目属于其主导产业，不4属于环境准入条件清单中禁止11、准入类和限制准入类产业； 项目属于 C3973 集成电路制造， 不属于电子专用材料合成产业， 不属于禁止准入行业。同时本项目生产工艺不涉及电镀、化学镀、有机涂层，不属于其禁止类工艺清单。项目实施后， 项目废水经厂区污水处理设施预处理后纳入 市七格污水处理厂处理达标后排放； 酸性废气经碱液喷淋 吸收塔处理后高空排放； 碱性废气经酸液喷淋吸收塔处理后高空排放； 有机废气收集后经沸石浓缩转轮焚烧系统处理后高空 排放。生活垃圾经集中收集后委托当地环卫部门清运； 危险固废暂存危废仓库委托有资质的单位处理； 一般固废出售综合利 用；厂区内进行构筑物隔声、基础减震。项目“三废”经采取适当的污染防治措施后能够12、达到规划环评中出的相应污染物排放标准要求。综上所述，本项目的建设符合 大创小镇综合发展规划环境影响报告书的相关要求。其他符合性分析1、 市“三线一单”生态环境分区管控方案符合性判定根据 市“三线一单”生态环境分区管控方案（ 2020.9）， 本项目属于江干区 南部、 园区北部产业集聚重点管控单元（编号 ZH33010420002）。项目与管控单元生态环境准入清单符合性分析见表 1-4。表1-4 管控单元生态环境准入清单符合性一览表管控要求符合性分析空间布局引导根据产业集聚区块的功能定位，建立分区差别化的产业准入条件。 合理规划居住区与工业功能区，在居住区和工业区、工业企业之间 设置防护绿地、生13、活绿地等隔离带。本项目位于 市 区 19 号大街 656 号，属于大创小镇产业规划布 局中的“集成电路产业区”，用地性质为工业用地， 厂区与周边企业、 居住区之间均设有防护绿地。 符合空间布局要求。污染物排放管控严格实施污染物总量控制制度，根据区域环境质量改善目标，削减 污染物排放总量。所有企业实现雨污分流。企业已完成雨污分流， 已申领排污许可证并已进行总量交易。本项目实 施后，严格落实污染物总量控制制度。 符合污染物排放管控。环境风险防控强化工业集聚区企业环境风险防范设施设备建设和正常运行监管， 加强重点环境风险管控企业应急预案制定， 建立常态化的企业隐患 排查整治监管机制，加强风险防控体系14、建设。现有企业已经建立企业隐患排查整治监管机制； 本项目实施后， 要求企 业重视环境风险防控，及时更新企业应急预案。 符合环境风险防控。资源开发效率要求/综上所述，项目的建设符合 市“三线一单”生态环境分区管控方案中的相关要求。52、 省“十四五”挥发性有机物综合治理方案符合性分析本项目与 省“十四五”挥发性有机物综合治理方案符合性分析详见下表。表1-5 省“十四五”挥发性有机物综合治理方案符合性分析内容符合性分析结论优化产业结构。引导石化、化工、工业涂装、包装印刷、合成革、化纤、纺织印染等重点行业合理布 局， 限制高 VOCs 排放化工类建设项目， 禁止建设生产和使用 VOCs 含量限值不符15、合国家标准的涂料、 油墨、胶粘剂、清洗剂等项目。贯彻落实产业结构调整指导目录国家鼓励的有毒有害原料（产品） 替代品目录，依法依规淘汰涉 VOCs 排放工艺和装备， 加大引导退出限制类工艺和装备力度， 从源头 减少涉 VOCs 污染物产生。项目不涉及使用 VOCs 含量限值不符合国家标准 的涂料、油墨、胶粘剂、清洗剂。根据产业结 构调整指导目录等文件，项目不涉及产业禁止 或限制的工艺和装备，符合产业政策要求。符合严格环境准入。严格执行“三线一单 ”为核心的生态环境分区管控体系，制（修）订纺织印染（数码 喷印）等行业绿色准入指导意见。严格执行建设项目新增 VOCs 排放量区域削减替代规定，削减措施16、 原则上应优先来源于纳入排污许可管理的排污单位采取的治理措施，并与建设项目位于同一设区市。年度环境空气质量达标的区域，对石化等行业的建设项目 VOCs 排放量实行等量削减； 年度环境空气质量不达标的区域，对石化等行业的建设项目 VOCs 排放量实行 2 倍量削减，直至达标后的 下一年再恢复等量削减。项目所在地属于江干区 南部、 园区北部产业集聚重点管控单元（ZH33010420002），符合 市 “三线一单 ”生态环境分区管控方案 中的相关要求。本项目为芯片制造项目， 项目所 在区域 2021 位环境空气质量不达标区，新增 VOCs 按 1:2 的比例削减替代。符合全面升生产工艺绿色化水平。石17、化、化工等行业应采用原辅材料利用率高、废弃物产生量少的生产 工艺，升生产装备水平，采用密闭化、连续化、自动化、管道化等生产技术，鼓励工艺装置采取重 力流布置，推广采用油品在线调和技术、密闭式循环水冷却系统等。工业涂装行业重点推进使用紧凑 式涂装工艺，推广采用辊涂、静电喷涂、高压无气喷涂、空气辅助无气喷涂、热喷涂、超临界二氧化 碳喷涂等技术，鼓励企业采用自动化、智能化喷涂设备替代人工喷涂，减少使用空气喷涂技术。包装 印刷行业推广使用无溶剂复合、共挤出复合技术，鼓励采用水性凹印、醇水凹印、辐射固化凹印、柔 版印刷、无水胶印等印刷工艺。鼓励生产工艺装备落后、在既有基础上整改困难的企业推倒重建，从 车18、间布局、工艺装备等方面全面升治理水平。本项目为芯片制造项目， 不属于石化、化工等行 业，不涉及工业涂装。项目有机废气经过沸石浓 缩转轮焚烧系统处理后高空排放，可以做到达标 排放。符合全面推行工业涂装企业使用低 VOCs 含量原辅材料。严格执行大气污染防治法第四十六条规定， 选用粉末涂料、水性涂料、无溶剂涂料、辐射固化涂料等环境友好型涂料和符合要求的（高固体分） 溶剂型涂料。工业涂装企业所使用的水性涂料、溶剂型涂料、无溶剂涂料、辐射固化涂料应符合低 挥发性有机化合物含量涂料产品技术要求规定的 VOCs 含量限值要求，并建立台账，记录原辅材料 的使用量、废弃量、去向以及 VOCs 含量。本项目为芯19、片制造项目，不涉及工业涂装工序。符合6大力推进低 VOCs 含量原辅材料的源头替代。全面排查使用溶剂型工业涂料、油墨、胶粘剂、清洗剂 等原辅材料的企业， 各地应结合本地产业特点和本方案指导目录（见附件 1），制定低 VOCs 含量原辅 材料源头替代实施计划，明确分行业源头替代时间表，按照“可替尽替、应代尽代” 的原则， 实施一批 替代溶剂型原辅材料的项目。加快低 VOCs 含量原辅材料研发、生产和应用，在更多技术成熟领域逐 渐推广使用低 VOCs 含量原辅材料， 到 2025 年， 溶剂型工业涂料、油墨、胶粘剂等使用量下降比例达 到国家要求。本项目为芯片制造项目， 不涉及溶剂型工业涂料、 油墨20、胶粘剂。项目光刻等工序涉及有机溶剂， 工艺、原材料和废气处理设施均为行业内先进。符合严格控制无组织排放。在保证安全前下，加强含 VOCs 物料全方位、全链条、全环节密闭管理，做 好 VOCs 物料储存、转移和输送、设备与管线组件泄漏、敞开液面逸散以及工艺过程等无组织排放环 节的管理。生产应优先采用密闭设备、在密闭空间中操作或采用全密闭集气罩收集方式， 原则上应保 持微负压状态， 并根据相关规范合理设置通风量； 采用局部集气罩的， 距集气罩开口面最远处的 VOCs 无组织排放位置控制风速应不低于 0.3 米/秒。对 VOCs 物料储罐和污水集输、储存、处理设施开展排 查，督促企业按要求开展专项21、治理。本项目生产车间均为洁净车间，化学品容器仅在 开启时有少量无组织废气产生，通过供应间排风 系统接至相应的废气排气筒后有组织排放，可消 除生产车间的无组织排放情况。符合全面开展泄漏检测与修复（LDAR）。不涉及符合规范企业非正常工况排放管理。引导石化、化工等企业合理安排停检修计划， 制定开停工（车）、检修、 设备清洗等非正常工况的环境管理制度。在确保安全的前下， 尽可能不在 O3 污染高发时段（4 月下 旬6 月上旬和 8 月下旬9 月，下同） 安排全厂开停车、装置整体停工检修和储罐清洗作业等， 减少 非正常工况 VOCs 排放；确实不能调整的，应加强清洗、退料、吹扫、放空、晾干等环节的 V22、OCs 无 组织排放控制，产生的 VOCs 应收集处理，确保满足安全生产和污染排放控制要求。不涉及符合建设适宜高效的治理设施。企业新建治理设施或对现有治理设施实施改造，应结合排放 VOCs 产生特 征、生产工况等合理选择治理技术，对治理难度大、单一治理工艺难以稳定达标的，要采用多种技术 的组合工艺。采用活性炭吸附技术的，吸附装置和活性炭应符合相关技术要求，并按要求足量添加、 定期更换活性炭。组织开展使用光催化、光氧化、低温等离子、一次性活性炭或上述组合技术等 VOCs 治理设施排查，对达不到要求的，应当更换或升级改造，实现稳定达标排放。到 2025 年，完成 5000 家低效 VOCs 治理设23、施改造升级，石化行业的 VOCs 综合去除效率达到 70%以上，化工、工业涂装、 包装印刷、合成革等行业的 VOCs 综合去除效率达到 60%以上。项目有机废气经过沸石浓缩转轮焚烧系统处理后 高空排放， 综合去除效率可以达到 90%，确保废 气达标排放。符合加强治理设施运行管理。按照治理设施较生产设备“先启后停 ”的原则升治理设施投运率。根据处理工艺要求，在治理设施达到正常运行条件后方可启动生产设备，在生产设备停止、残留 VOCs 收集处理完毕后， 方可停运治理设施。VOCs 治理设施发生故障或检修时， 对应生产设备应停止运行， 待检 修完毕后投入使用；因安全等因素生产设备不能停止或不能及时停24、止运行的，应设置废气应急处理设 要求企业在后续生产过程中加强治理设施运行管 理，在在治理设施达到正常运行条件后方可启动 生产设备，在生产设备停止、残留 VOCs 收集处 理完毕后，方可停运治理设施。VOCs 治理设施符合7施或采取其他替代措施。发生故障或检修时，对应生产设备应停止运行， 待检修完毕后投入使用； 因安全等因素生产设备 不能停止或不能及时停止运行的，应设置废气应 急处理设施或采取其他替代措施。规范应急旁路排放管理。推动取消石化、化工、工业涂装、包装印刷、纺织印染等行业非必要的含 VOCs 排放的旁路。因安全等因素确须保留的，企业应将保留的应急旁路报当地生态环境部门。应急旁路在 非紧25、急情况下保持关闭，并通过铅封、安装监控（如流量、温度、压差、阀门开度、视频等）设施等 加强监管，开启后应做好台账记录并及时向当地生态环境部门报告。本项目不设相关含 VOCs 排放的旁路。符合由上表可知，本项目的建设符合 省“十四五”挥发性有机物综合治理方案中的相关内容。3、产业政策符合性分析本项目主要产品为 8 英寸的硅基氮化镓（GaN）HEMT 结构电力电子芯片， 属于 C3973 集成电路制造， 对照产业结构 调整指导目录（2019 年本） ， 属于目录中“第一类： 鼓励类， 二十八、信息产业： 22、新型电子元器件 ”。对照市场准入负面清单（2022 年版），项目不在市场准入负面清单内。26、对照 市产业发展导向目录与产业平台布局指引（ 2019 年本） ， 本项目属于“鼓励类”中的“B52 移动智能终端 芯片、数字电视芯片、网络通信芯片、可穿戴设备芯片、数字集群（PDT）、数字对讲机、数字电视机顶盒等芯片及操作系统的设计、研发和制造”。对照 区产业发展导向目录与产业平台布局指引（钱政办发 20226 号），本项目属于“鼓励类目录 ”中的“B018 英寸半导体硅片、 12 英寸半导体硅片等； 8 英寸及以下特色工艺生产线、虚拟 IDM 生产线、 12 英寸数字芯片生产线 ”。此外， 项目已获得区行政审批局出具的 省工业企业“零土地”技术改造项目备案通知书（项目代码： 2012-3327、0155-89-02-581443）。因此，本项目的建设符合国家和地方产业政策要求。8其他符合性分析4、“三线一单”符合性分析（1）生态保护红线本项目位于 市 区 19 号大街 656 号，评价范围内不涉及 市“三线一单”生态环境分区管控方案和 省人民政府关于发布 省生态保护红线的通知（浙政发201830 号） 等相关文件划定的生态保护红线范围。项目的建设不触及生态保护红线。（2）环境质量底线根据现状监测及环境公报， 项目拟建地声环境能满足相应功能区要求， 地 表水环境能稳定达到地表水环境质量标准（GB3838-2002）类标准，但由 于 市区 2022 年臭氧日最大 8 小时平均浓度第 9028、 百分位数存在超标现象，区域环境空气为不达标。 为改善区域环境空气质量， 市先后出台了市大气环境质量限期达标规划、 市空气质量改善“十四五”规划、 市建设全市域大气“清洁排放区”的实施意见等文件， 市从能源结构与产业布局调整、加快重污染企业转型审计和重点企业整治升、绿色低 碳交通推进、工业废气污染防治等多个方面加强大气污染防治， 推动大气环境质量改善，环境空气质量将会逐步好转并实现达标。项目实施后， 废气经治理后能够实现达标排放； 废水经厂区配套污水处理站预处理后纳管排入 七格污水处理厂集中处理达标后排放， 对附近水体无影响， 能维持区块水环境质量现状； 生产设备噪声经过减振降噪等措施后可实 29、现达标排放； 固体废物均有合理出路；企业落实好地下水源头控制和防渗措施 后， 项目不会对厂区周边地下水、土壤环境产生不利影响。因此， 项目的建设可确保不突破环境质量底线要求。（3）资源利用上线项目不属于高耗能、高污染、资源型企业， 用水来自工业区供水管网， 用 电来自市政供电。项目利用现有厂房， 无需新增用地； 建成运行后通过内部管 理、设备选择、自动化控制、原辅材料的选用和管理、废物回收利用、污染治 理等多方面采取合理可行的防治措施， 以“节约、降耗、减污”为目标， 实现节能减排。因此，项目的实施不会突破该区域的资源利用上线。（4）环境准入负面清单9对照 市“三线一单”生态环境分区管控方案，30、 项目不在环境准入负面清单中， 符合生态空间管制清单中有关管控措施要求， 不属于生态空间管制清单中的负面清单。综上所述，项目符合“三线一单”相关要求。5、长江经济带发展负面清单指南（试行， 2022 年版） 省实施细则符合性分析本项目选址于 市 区 19 号大街 656 号，利用现有已建厂房实施本项目，所在位置属于大创小镇产业规划布局中的“集成电路产业区 ”。项目主 要进行硅基氮化镓（GaN）HEMT 结构电力电子芯片的生产， 属于 C3973 集成 电路制造， 不属于实施细则中所列禁止及落后产能、严重过剩产能、高耗能的 建设项目； 且项目符合产业结构调整指导目录（2019 年本）（修正）、 31、杭 州市产业发展导向目录与产业平台布局指引（2019 年本） 、 区产业发 展导向目录与产业平台布局指引等相关产业政策要求。因此，本项目的建设符合长江经济带发展负面清单指南（试行， 2022 年版） 省实施细则相关要求。6、产品排水量相关符合性分析对照电子工业水污染物排放标准（GB39731-2020）中表 2 的规定， 新建项目应执行单位产品基准排水量要求，具体要求如下表。表1-6 单位产品基准排水量要求适用企业产品规格单位单位产品基 准排水量排水量计量位置半导体器件8 英寸芯片m3/片6.0与污染物排放监控位置一致本项目产品规格为 8 英寸芯片，项目建成后年排水量为 10332.125t 32、，项目 芯片产能为 1 万片/年，折合单位产品排水量为 1.03m3/片，小于电子工业水 污染物排放标准（GB39731-2020）中表 2 要求（6.0m3/片）。因此，本项目单位产品排水量符合电子工业水污染物排放标准（GB39731-2020）。7、“四性五不批”符合性分析根据建设项目环境保护管理条例（国务院令第 682 号） ，本项目“ 四性五不批 ”符合性分析见下表。10表1-7 建设项目环境保护管理条例重点要求（四性五不批）符合性分析建设项目环境保护管理条例项目情况是否 符合四 性建设项目的环境可行性项目符合产业政策、达标排放、选址规划、环境规划、 总量控制原则及环境质量要求等， 从33、 角度看， 本 项目的建设可行。符合环境影响分析预测评估的可靠 性根据建设项目环境影响报告表编制技术指南的技 术要求进行评价， 项目噪声、废气、废水对环境的影 响是可接受的。符合环境保护措施的有效性项目采用可行技术进行处理， 只要切实落实各项污染 防治措施， 各类污染物均可得到有效控制并能做到达 标排放或者不对外排放，其环境保护措施可靠合理。符合环境影响评价结论的科学性本环评结论客观、过程公开、评价公正， 并综合考虑 建设项目实施后对各种环境因素可能造成的影响， 环 评结论是科学的。符合五 不 批建设项目类型及其选址、布局、 规模等不符合环境保护法律法 规和相关法定规划。项目选址符合 大创小镇34、综合发展规划、杭州市“三线一单”生态环境分区管控方案， 建设内 容符合国家及地方产业政策； 项目运营过程中各类污 染物均能得到有效控制， 并做到达标排放， 符合总量 控制 标排放原则，不会对环境造成不良影响。本项 目不 属于 不批 准的 项目所在区域环境质量未达到国家 或者地方环境质量标准， 且建设 项目拟采取的措施不能满足区 域环境质量改善目标管理要求。项目所在区域声环境质量和地表水环境质量均达标，大气环境质量现状中臭氧浓度略有超标， 随着市大气环境质量限期达标规划、 市空气质量改善“十四五”规划、 市建设全市域大气“清 洁排放区”的实施意见等文件的发布， 市从能源结构与产业布局调整、加快重35、污染企业转型审计和 重点企业整治升、绿色低碳交通推进、工业废气污 染防治等多个方面加强大气污染防治， 推动大气环境 质量改善， 市的环境空气质量将会逐步好转。同时本项目废气中不含影响臭氧浓度的污染因子， 且项 目废气、废水、噪声经处理后均不会改变所在环境功 能区的质量， 项目实施不会改变所在地的环境质量水 平和环境功能。建设项目采取的污染防治措施 无法确保污染物排放达到国家 和地方排放标准， 或者未采取必 要措施预防和控制生态破坏。项目采用可行技术进行处理， 只要切实落实各项污染 防治措施， 各类污染物均可得到有效控制并能做到达 标排放或者不对外排放，其环境保护措施可靠合理。改建、扩建和技术改36、造项目， 未 针对项目原有环境污染和生态 破坏出有效防治措施。本项目属于扩建项目，环评中对企业原有项目的环境 管理措施等出了进一步要求。建设项目的环境影响报告书、环 境影响报告表的基础资料数据 明显不实，内容存在重大缺陷、本评价基础资料数据具有真实性， 内容不存在重大缺 陷、遗漏，环境影响评价结论明确、合理。11遗漏， 或者环境影响评价结论不 明确、不合理。8、清洁生产水平分析本项目生产工艺要求高， 生产环境要求高， 主要生产设备先进， 在现阶段 基本上属于清洁生产工艺。但是清洁生产是一个持续不断的过程， 企业必须加 强清洁生产的实施。本环评的清洁生产评价指标分为：生产工艺与装备要求、资源能源37、利用、产品指标、能耗指标和环境管理要求。（1）生产工艺与设备要求生产工艺先进性已经建立了多门类、宽领域、有特色的功率半导体产品和技术研发平台， 掌握了高压集成电路芯片、功率分立器件芯片和 MEMS 传感器芯片领 域中多项核心技术，并已在硅基高压 BCD 工艺技术、 HV VDMOS 工艺技术、 IGBT 工艺技术、惯性传感器-MEMS 陀螺仪等核心技术方面实现了产品的批量 产出。企业具有全国领先的半导体芯片制造工艺水平， 依托于自有芯片生产线，在国内电力电子和特色工艺领域确立了独特的竞争优势。公司成功开发和引进了 SIPEX 公司 2u 双极工艺和 CMOS/BICMOS 工艺技术。开发“BC38、D 工艺技术创新 ”项目，该项目是 市科技发展计划项目，开发出 1 微米的 BCD 工艺技术平台， 电压覆盖了 25V 到 650V，是国内能够量 产的最高工艺技术水平。开发 60V800V 的高低压 VDMOS 产品， 该项目是信 息产业部电子信息产业发展基金管理办公室“VDMOS 工艺技术开发及产业 化 ”项目， 主要针对电源、显示屏、电力电子、汽车等市场。目前公司已达到 0.60.8 微米的工艺技术， 主要针对能源管理、照明、家电、计算机、通讯类产品，较同行业的 0.8 1.2 微米的工艺水平，尚属领先水平。设备先进性a、化学气相沉积设备化学气相沉积设备包括 LPCVD 和 CVD 等。39、本项目选用的 LPCVD 和 CVD 主要特点为：加热方式采用感应加热， 热效率高；选用国内新型保温材料、 隔热保温性强；可有效抑制自掺杂同时还能高生产效率；薄膜、电阻率均匀，沟槽覆盖填充能力强。b 、匀胶显影机12采用先进的单片微型机程序自动控制，显影质量好、工艺条件稳定可靠； 该设备显影工艺采用了先进的喷雾方式，喷雾显影工艺后电路图形清晰完整，程序时间的工艺参数都可在很宽的数值范围内调整。c 、有机废气治理系统本项目有机废气采用沸石转轮焚烧处理工艺， 相比活性炭吸附系统更加 高有机废气的治理效果。同时， 采用沸石转轮焚烧处理工艺可以节约运行能耗、减少末端治理设备的规格，大大降低了设备投入成40、本及后期运行成本。该方案的实施可稳定有机废气的治理效果， 同时在处理过程中可减少废活性炭等危险固废的产生和处理，具有显著的环境效益。d 、空压机本工程使用水冷离心式空压机和变频螺杆式空压机用于设备气动以及吹 扫等， 公司空压机经对比分析输入比功率优于容积式空气压缩机能效限定值及能效等级 （GBT19153-2009）能效等级级的要求，属于节能型设备。e 、冷水机组本项目使用冷水机组用于设备冷却和车间恒温， 公司制冷机组配备水冷却 装置， 经对比分析公司使用的冷冻机能效比均符合冷水机组能效限定值及能 源效率等级 （GB19577-2004）水冷式制冷机 CC50kW 性能系数不小于 2.40的规41、定。f、照明灯本工程车间使用 LED 照明灯，属于节能灯，有利于减少照明节约的耗电量。g 、电力变压器企业电力变压器选用节能型 SC10 系列，其设计效率符合三相配电变压 器能效限定值及节能评价值 （GB20052-2006）的要求也符合电力部门推荐的节能产品。（2）产品指标对照产业结构调整指导目录（2019 年本），本项目属于指导目录中“第一类： 鼓励类， 二十八、信息产业： 22、新型电子元器件 ”。对照 市产业发展导向目录与产业平台布局指引（2019 年本） ， 本项目属于“鼓励类 ”13中的“B52 移动智能终端芯片、数字电视芯片、网络通信芯片、可穿戴设备芯 片、数字集群（PDT）、数42、字对讲机、数字电视机顶盒等芯片及操作系统的设计、研发和制造 ”。 本项目产品指标水平属于国内先进水平。（3）能耗指标本项目能耗指标见表 1-8。表1-8 项目能耗指标一览表序号名 称年消耗量单位折标煤系数折标煤量（吨）1电150万度1.229吨标煤/万 kWh(当量)0.023.82吨标煤/万 kWh(等价)0.062水1.137万吨2.xx吨标煤/万吨2.92合计综合能耗（当量）/3.0本项目达产后， 工业增加值可达 1664 万元/年，项目万元工业增加综合能耗（当量）为 3.0 吨标煤/万元，远远低于 2022 年全省及 市的平均水平。（4）清洁生产的环境管理要求a、强化清洁生产的管理， 43、包括完善生产工艺和生产过程的控制能力， 优化操作，尽量减少“三废 ”的产生；b 、建立和健全相应的规章制度及奖惩原则，高员工的环境保护意识；c 、生产过程环境管理。所有岗位进行严格培训， 有完善的岗位操作规程， 运行无故障， 设备完好率能达到 98%；主要设备有完好的管理制度并严格执行； 主要环节进行计量并进行定量考核制度； 生产区内各种标识明显， 严格定期检查。（5）清洁生产措施建议本项目进一步采取以下清洁生产措施：由于芯片生产对水质的特殊要求， 水的进一步回用在目前实现起来有一 定困难时， 企业已经将其用于某些对水质要求较低的地方， 建立中水回用系统，进一步高这部分水的利用率。控制工艺参数44、， 对烘干的工艺参数温度、时间等严格要求控制， 避免温度过高或过低导致产品损耗。建立设备维护保养制度， 定期对设备维护保养， 保证生产设备的正常运行。14编制生产工艺单和作业指导书， 生产过程的控制需按照生产计划有序进行，按原材料、产品质量标准实施检验，对产品质量实施有效的控制。加强清洁生产的宣传教育，制定培训计划。由于清洁不是绝对的， 建议公司在今后的发展过程中， 按照质量管理体系 （ISO9002 / QS-9000 / ISO14001）的要求， 持续采取世界先进的清洁生产工艺，切实贯彻落实各项清洁生产措施，保障清洁生产的推行，不断进步。15二 、建设项目工程分析建 设 内 容2.1 建45、设内容2.1.1 项目由来及环评类别判定微电子有限公司由 微电子股份有限公司、 集成电路有限公司、国家集成电路产业投资基金股份有限公司和 高新科技创业服务有限公司共同投资建设的集成电路芯片制造企业。公司成立于 2015 年 11 月， 位于 市区 19 号大街 656 号，厂区占地面积约 80 亩。 现有一条 8 英寸集成电路芯片生产线（规模为年产 8 英寸硅片 43.2 万片） 已投入运行，主要生产高压集成电路 和电源管理集成电路芯片、功率半导体器件芯片、 MEMS 传感器芯片；另有一条 12英寸芯片生产线（规模为年产 36 万片 12 英寸芯片）正在建设中。近年来， 我国集成电路产业发展迅46、速， 面对消费类电子、通讯设备、网络设备及 计算机或服务器等设备的电源系统、电动汽车等对 GaN HEMT 器件的强烈需求， 杭州 微电子有限公司拟利用现有厂房，在已有的芯片产品研发平台的基础上，引进具有国际先进水平的光刻机、刻蚀机、金属溅射台等设备 11 台（套），购入国 产设备清洗机 1 台（套），形成新增年产 1 万片硅基氮化镓（GaN）HEMT 结构电力 电子芯片的生产能力。该项目已由 区行政审批局进行备案（项目代码： 2012-330155-89-02-581443）。项目主要生产内容为硅基氮化镓（GaN）HEMT 结构电力电子芯片，对照国民 经济行业分类（GB/T4754-201747、），本项目应属于“C3973 集成电路制造 ”；对照 建设项目环境影响评价分类管理名录（2021 年版） ， 本项目应编制环境影响报告 表， 项目评价类别判定情况详见表 2-1。表2-1 项目评价类别判定表环评类别项目类别报告书报告表登记表三十六、 计算机、通信和其他电子设备制造业 3980电子器件制造397/显示器件制造；集成电路制造；使用有机 溶剂的；有酸洗的；以上均不含仅分割、焊接、组装的/为了科学客观的评价项目建设过程中以及建成后对周围环境造成的影响， xx微电 子有限公司委托我司（ 省工业 设计研究院有限公司） 承担该项目的环境影响评价工作。接受委托后， 我司通过资料收集、现场踏勘后48、， 对项目建成后16可能产生的环境问题进行了全面分析和预测， 并出了具有针对性和可操作性的污染防治对策和建议，在此基础上，编制了本项目环境影响报告表。2.1.2 项目主要建设内容本项目利用 现有土地和厂房， 在已有的芯片产品研发平台和芯片生产线的基础上， 引进具有国际先进水平的光刻机、刻蚀机、金属溅射台等设备 11 台（套）， 购入国产设备清洗机 1 台（套） ，形成新增年产 1 万片硅基氮化镓（GaN）HEMT 结构电力电子芯片的生产能力。项目名称： 硅基氮化镓（GaN）HEMT 结构电力电子芯片技术改造项目建设性质：扩建建设单位： 微电子有限公司建设地点： 市 区 新区（ ） 19 号大街49、 656 号投资投： 10239.29 万元项目主要建设内容详见表 2-2。表2-2 项目主要建设内容一览表类别工程内容备注主体工程氮化镓芯 片生产线位于现有 8 英寸芯片生产厂房内的空置区域（2F），通过引进具有国际先进水 平的光刻机、刻蚀机、金属溅射台等设备 11 台（套） ，购入国产设备清洗机 1 台（套） ，形成新增年产 1 万片硅基氮化镓（GaN）HEMT 结构电力电子芯片 的生产能力。/辅助工程原料仓库企业建有 1 个 345m2 甲类化学品仓库、1 个 4265m2 乙类化学品仓库， 采用分类 贮存管理。目前甲类化学品仓库已使用 60%区域，乙类化学品仓库共 4 层， 目 前已启50、用 1F、2F 区域， 剩余 3F、4F 暂时空置，其中在建 12 英寸项目建成后， 甲类仓库使用区域将达到 90%，乙类仓库使用区域将达到 85%。本项目扩建后， 所有物料按照属性均共同存放在现有化学品仓库内，本次扩建项目物料消耗 少，仅占现有项目使用量的 2%，现有化学品仓库可满足扩建项目的需求。依托现有综合动力 站利用企业现有 8 英寸生产线配置的制冷机组， 其中现有制冷机组（低温） 的供 给能力为 2400 冷吨， 中温的供给能力为 4800 冷吨。目前 8 英寸项目所需的低 温供给为 2040 冷吨、中温供给为 4080 冷吨，剩余低温、中温供给能力分别为 360 冷吨、 720 冷51、吨。本次扩建项目所需低温、中温分别 50 冷吨和 95 冷吨， 剩余供给可以满足扩建项目所需。 （12 英寸在建项目制冷机组不依托现有，新 建 2 套低温离心式冷水机组和 3 套中温离心式冷水机组）依托现有工艺真空采用现有的供给系统，现有吸真空机组规模为 500 m3/h，设备真空机 组规模为 3360 m3/h ，供计 3860 m3/h 。8 英寸和 12 英寸项目共用现有真空系 统，其中 8 英寸项目所需真空规模为 2315 m3/h ，12 英寸项目设计所需真空规 模为 1150m3/h，剩余 395 m3/h。本次扩建项目所需真空规模为 80 m3/h，剩余真 空系统供给能力能满足扩52、建项目所需。依托现有压缩空气采用原有厂房供给系统，原有系统供给能力为 240 m3/h ，其中 8 英寸依托17项目所需压缩空气为 145m3/h ，12 英寸项目设计所需压缩空气为 65m3/h，剩余 压缩空气 30m3/h 。本次扩建项目所需压缩空气为 3.5 m3/h ，剩余压缩空气系统 供给能力能满足扩建项目所需。现有厂区现有中水回用系统处理能力为 200m3/h，内含 RCM 废水回用系统， 处理能 力为 90m3/h 。现有 8 英寸项目需处理回用的后段清洗废水量为 44.54 m3/h，在 建 12 英寸项目后段清洗废水量为 41.04m3/h，本次扩建项目后段清洗废水量为 0.53、228m3/h，合计需处理的水量为 85.808m3/h 。现有 RCM 废水回用系统可满足 扩建后废水处理需求。依托现有现有纯水系统处理能力为 200m3/h ，在建 12 英寸项目纯水系统处理能力为 150m3/h，全厂纯水系统处理能力可达 350m3/h ，采用预处理-反渗透-MB 等处 理工艺。现有已建 8 英寸项目纯水需求为 157m3/h，在建 12 英寸项目纯水需求 为 143m3/h，本次扩建项目纯水需求为 26.763 m3/h，合计纯水需求为 326.763 m3/h。企业现有设备能满足扩建后全厂所需。依托现有气体站企业大宗气体均外购，均暂存在厂区东北侧的气体储罐区。依托现54、有公用工程供水本项目用水利用原有厂房建设的供水系统， 并在原有系统的基础上根据项目需 求配置相应的系统及设备。给水水源取自 新区（ ）市政给水管网， 并在厂区内形成环网，保证厂区用水。依托现有排水排水系统利用原有完成建设的系统， 采用雨污分流制。废水经厂区污水处理站 处理达标后，再经现有污水排放口排入周边市政污水管网，最终送 市七格 污水处理厂处理达标后排放。依托现有供电采用市政供电，利用原有目厂房供电系统，从厂区的 110kV 站引入。依托现有工程废水企业现已建成一座废水处理站， 内设含氟废水系统 1 套（100m3/h）、酸碱废水 系统 1 套（350m3/h）、研磨废水系统 1 套（5055、m3/h）。 同时，企业正在新建废 水处理站 1 座，内设含氟废水系统 1 套（60m3/h）、酸碱废水系统 1 套（180m3/h）、 研磨废水系统 1 套（60m3/h）。 根据计算，企业全部达产后（包括现有 8 英寸 项目、在建 12 英寸项目、本次扩建项目） ，含氟废水产生量为 86.175m3/h、酸 碱废水产生量为 326 m3/h 、研磨废水产生量为 46.25 m3/h，上述产生量均小于 再用污水处理站处理能力，可满足废水处理的需求。项目建成后， 按废水产生情况，按需开启各个废水处理系统， 处理后的废水， 通过厂区现有一个污水排放后接入周边市政污水管网。 同时， 在建污水处理站56、 作为备用污水处理站，仅在现有污水处理站检修或发生事故时开启。依托现有废气酸性废气： 在利用现有 5 套碱液喷淋吸收塔处理酸性废气（合计风机风量 49 万 m3/h）。根据企业设计方案， 现状企业实际使用的风量为 29.5 万 m3/h，在建项 目所需风量为 17.5 万 m3/h，剩余 2 万 m3/h 可供本次扩建项目使用。根据设计， 本次项目所需风量为 8000m3/h，企业现状剩余风量可满足项目生产所需依托现有碱性废气： 利用现有 1 套酸液喷淋吸收塔进行处理（配套风机风量 5 万 m3/h）。 企业现有项目实际开启的风量为 3 万 m3/h，在建项目需启用 1.5 万 m3/h，企业57、 剩余 5000m3/h 可供本次扩建项目使用。根据设计，本项目新增风量为 2500m3/h， 企业现状剩余风量可满足项目生产所需。依托现有有机废气： 利用现有 1 套沸石浓缩转轮焚烧系统对有机废气进行处理。 根据设 计资料，该设备配置 2 台 5 万 m3/h 的主风机（一用一备） ，浓缩风机风量为 3000m3/h，浓缩倍数不低于 20 倍。企业现有 8 英寸项目有机废气收集风量共计依托现有183.5 万 m3/h，在建 12 英寸项目有机废气收集风量为 1 万 m3/h ，本次扩建项目 有机废气收集风量为 4500m3/h ，则全厂有机废气收集风量需 4.95 万 m3/h，现 状设备配58、置的风机能满足废气收集要求。噪声对主要产噪设备进行隔声、吸声、减振。/固废（1）利用现有废油、 废酸及废有机废液储存间。（2）利用厂区西北侧空地正在新建的 1 个 200m2 危废仓库。（3） 现有危险废物（除液体类危险固废） 均不再厂区内暂存， 每隔 1天均由相关危废处置单位的清运车进厂清运危废。依托现有2.1.3 产品方案本项目产品内容为年产 1 万片硅基氮化镓（GaN）HEMT 结构电力电子芯片，具体产品方案详见表 2-3。表2-3 项目产品方案序号产品名称月产量（万片）年产量（万片）1硅基氮化镓（GaN）HEMT 结构电 力电子芯片0.081本项目投产后，表 2-4。微电子有限公司全厂59、产品规模详见表2-4 项目实施后全厂产品规模序号产品名称原有产量（万片/ 年）本次扩建产量（万 片/年）扩建后全厂产量（万片/年）18 英寸 芯片高压集成电路芯片120122功率半导体器件芯片26.4026.43MEMS 传感器芯片4.804.84硅基氮化镓 HEMT 结构 电力电子芯片011512 英寸芯片FS-IGBT120126T-DPMOSFET120127SGT-MOSFET12012合 计79.2180.22.1.4 主要设备根据企业供的资料，本项目新增设备清单详见表 2-5。表2-5 项目主要新增设备序号设备名称型号规格数量（台/套）11233142516171198191项目采60、用的设备均为国内外先进水平的设备，均不属于淘汰类设备。主要设备先进性分析：2.1.5 主要原辅材料根据企业供的可研报告，项目主要原辅材料消耗情况详见表 2-6。20建 设 内 容表2-6 项目主要原辅材料消耗序 号原料名称主要化学成分及浓度单位/年现有项目原环评达产消耗量本次扩建项 目消耗量本项目建 成后全厂 变化情况形态包装规格所属工序123456789101113141516172118192021222324252627282930313233343536373839404122424344454647484950515253545556575859606123建 设 内 容2.1.6 61、劳动定员及生产时间本项目需新增员工 25 人，均为车间生产工人，生产时间为 24h ，为三班制，年工作天数为 330d。2.1.7 总平面布置情况根据厂区布置情况， 厂区南侧为芯片主厂房， 厂区中间为综合动力站（设动力站、 纯水站、废水站、应急水池、变电站及辅助用房） ，北侧由西向东分别为污水处理站、 危废暂存仓库（本项目新建内容， 目前为空地） 、甲类化学品仓库、乙类化学品仓库、气体储罐区。芯片主厂房分生产区和辅助区， 生产区共两层， 位于建筑单位的中间区域， 一层为 回风下夹层， 二层为工艺核心生产区。生产区四周为辅助区， 南侧辅助区为三层， 其余 三侧辅助区为两层。南侧生产辅助区设置人员62、主入口、更衣、吹淋用房、休息室、生产 辅助用房等； 北侧生产辅助区设人员辅助入口、物流通道、配变电站、废水升站、泵 房、工艺冷却水间、废酸和废有机废液暂存间等； 东侧生产辅助区为空调机房； 西侧生产辅助区设置配变电站等。厂区主要道路和东侧 集成电路有限公司相通、并共用 集成电路有限公司主入口，在厂区西侧 19 号路上设置一个次要入口。2.1.8 水平衡本项目水平衡情况详见图 2-1；扩建后全厂水平衡情况详见图 2-2。图2-1 本次扩建项目水平衡图（t/d）24图2-2 扩建后全厂水平衡图（t/d）2.1.9 物料平衡本次环评对项目使用物料中， 用量较大或者毒性较大的物料， 如氟、氨、氯等物质63、进行物料平衡分析。（1）氟平衡项目生产中使用的含氟物料主要有： SF6 、CF4 、CHF3 、C4F8 、C2F6 、WF6 、SiF4、49%氢氟酸等。涉及含氟物料的工序主要为： 干法刻蚀、薄膜沉积、清洗等工序。干刻工序主要用到 C4F8 、CF4 、CHF3 、SF6 等， 上述气体刻蚀后产生的废气主要 为 SiF4 ，以及未反应的废气， 产生的工艺尾气除 SF6 外， 全部排入“燃烧+水洗 ”POU 净化处理装置（机台端自带 POU 本地废气处理系统，采用电加热燃烧， 燃烧温度不低 于 700), SF6 废气排入“等离子解离 ”POU，经 POU 装置处理后再进入酸性废气洗涤塔处理后64、排放； POU 净化装置及酸性废气洗涤塔排水进入含氟废水处理系统处理。25CVD 工序主要用到 WF6 、SiF4、C2F6 等， 废气主要为 SiF4 ，以及未反应的废气， 全部排入“燃烧+水洗 ”POU，经 POU 装置处理后再进入酸性废气洗涤塔处理后排放；POU 净化装置及酸性废气洗涤塔排水进入含氟废水处理系统处理。清洗工序主要用到 49%的 HF 溶液，废气主要为 HF，产生的工艺尾气全部排入酸性废气洗涤塔处理后排放，酸性废气洗涤塔排水进入含氟废水处理系统处理。本项目氟平衡见图 2-3。图2-3 项目氟平衡图（kg/a）（2）氯平衡本项目涉及使用含氯物质为： BCl3 、Cl2 、3665、%盐酸。BCl3、Cl2 用于干刻工序， 大部分参与反应生成 GaClx、TiCl3、AlCl3 等气体， 收集后进入“干式吸附”POU；小部分不参与反应，以抽真空进入进入“干式吸附”POU。 36%盐酸用于湿法清洗工序， 少量挥发产生酸性废气， 大量进入废水中。酸性废气排入酸性废气处理系统进行处理。本项目氯平衡见图 2-4。26图2-4 项目氯平衡图（kg/a）（3）氨平衡项目生产使用的含氨物料主要有： 氨气、氨水。涉及含氨物料的工序主要为： CVD工序和清洗工序。CVD 工序： 主要用到氨气， 氨气部分参与 CVD 反应， 部分进入废气， 工艺尾气 全部排入“燃烧+水洗 ”POU 净化处理66、装置（机台端自带 POU 本地废气处理系统，采 用电加热燃烧，燃烧温度不低于 700),经 POU 装置处理后再进入碱性废气洗涤塔处理后排放； POU 净化装置及碱性废气洗涤塔排水进入含氟废水处理系统处理。清洗工序： 主要用到氨水， 含氨废水直接进入酸碱中和处理系统，少量进入废气排入碱性废气洗涤塔处理。碱性废气处理系统排水进入含氟废水处理系统进行处理。本项目氨平衡见图 2-5。27建 设 内 容图2-5 项目氨平衡图（kg/a）（4）氮元素平衡项目生产使用的含氮物料主要有： 氨气、氨水、显影液、 BOE、笑气等。涉及含氨物料的工序主要为： CVD 工序、清洗工序、显影、薄膜沉积。CVD 工序：67、 主要用到氨气， 氨气部分参与 CVD 反应， 部分进入废气， 工艺尾气全部排入“燃烧+水洗 ”POU 净化处理装置，经 POU 装置处理后再进入碱性废气洗涤塔处理后排放； POU 净化装置及碱性废气洗涤塔排水进入含氟废水处理系统处理。清洗工序： 主要用到氨水， 含氨废水直接进入酸碱中和处理系统，少量进入废气排入碱性废气洗涤塔处理。碱性废气处理系统排水进入含氟废水处理系统进行处理。28显影： 项目使用的显影液主要成分为四甲基氢氧化铵， 显影过程中绝大部分四甲基氢氧化铵成为废液、作为固废收集， 小部分挥发、收集排入碱性废气洗涤塔处理。薄膜沉积：项目沉积时，采用硅烷与笑气反应生成二氧化硅淀积在器件68、表面，未参与反应部分的笑气与其他反应生成物 等收集进入全部排入“燃烧+水洗 ”POU 净化处理装置， 经 POU 装置处理后再进入酸性废气洗涤塔处理后排放； POU 净化装置及酸性废气洗涤塔排水进入含氟废水处理系统处理。本项目氮元素平衡见图 2-6。图2-6 氮元素平衡图（5）有机溶剂平衡本项目生产过程使用到会产生挥发性有机废气（VOCs）的溶剂包括： 光阻、 光阻稀释剂 EBR、显影液等。涉及有机溶剂的工序主要为：光刻涂胶工序、光刻显影工序等。29光刻涂胶显影工序： 根据企业供的资料， 光刻胶滴在硅片表面， 同时硅片进行 旋转， 部分光刻胶将甩掉， 而后采用光刻胶洗边剂对芯片侧边附着光刻胶进69、行清洗， 将 产生废 EBR（含废光刻胶）；附着在芯片表面的光刻胶在光刻固化工序少量挥发进入废气；其余通过剥离液剥离去除（进入废去光阻剂中）。显影工序： 使用丙二醇甲醚醋酸酯等物料， 使用时物料中少量挥发进入废气， 少量通过清洗进入废水，剩余收集作为危废委外处置。项目有机溶剂平衡情况详见下表 2-7。表2-7 挥发性有机物平衡表建 设 内 容工 艺 流 程 和 产 排 污 环 节2.2 工艺流程本项目具体工艺流程图详见图 2-7。2.3 工艺说明2.3.1 清洗硅片清洗的目的是清除所有表面沾污， 包括尘埃颗粒、有机物残留薄膜、吸附在表 面的金属离子和自然氧化层等。本项目采用槽式清洗，硅片先按各70、自的要求放入各种 药液槽进行表面化学处理， 再送入清洗槽， 用纯水反复清洗， 将其表面粘附的药液清洗 干净后进入下一道工序。 清洗过程如图 2-8 所示。30工 艺 流 程 和 产 排 污 环 节图2-7 项目工艺流程示意图31工 艺 流 程 和 产 排 污 环 节本项目清洗过程中分酸洗和碱洗。酸洗第一道采用硫酸、过氧化氢、超纯水的混 合溶剂， 常温操作， 第二道采用氢氟酸， 酸洗过程产生酸性废气、 定期更换的废酸液 以及含氟废水。碱洗采用氨水、过氧化氢、超纯水的混合溶剂， 常温操作， 碱洗过程产生碱性废气、高浓度含氨废水（氨含量10%）、含氨废水。酸洗和碱洗后均须送入冲洗槽用纯水冲洗， 将其71、表面粘附的酸液冲洗干净。本项 目采用三级超纯水清洗的方式进行清洁、常温状态。其中第一级和第二级清洗废水根 据其性质分别进入相应的废水处理系统进行处理， 第三级清洗废水排入工艺清洗水系统处理后回收利用。药液槽药液清洗槽超纯水芯片移动清洗水回收系统废水处理系统后段清洗排水废药液废液收集系统前段清洗排水图2-8 清洗方式示意图2.3.2 薄膜沉积本项目使用 PECVD 设备进行薄膜沉积。等离子体增强化学气相沉积（PECVD） 是借助微波或射频等使含有薄膜成分原子的气体电离， 在局部形成等离子体， 而等离 子体化学活性很强， 很容易发生反应， 在基片上沉积出所期望的薄膜。 本项目沉积主要包括二氧化硅沉72、积、氮化硅沉积和金属钨沉积。其原理是先将腔体抽至低压，再流进特定气体（SiH4 和 N2O 、SiH4 和 4NH3 、正 硅酸乙酯、WF6 等） ，并将腔体控制在特定压力下，温度约设定 300,以射频产生 电浆， 使反应腔空间中的气体活化， 可以在更低的温度下制成硅氧化层薄膜。PECVD 过程中产生工艺尾气接入燃烧水洗式尾气处理装置， 确保 SiH4 等完全分解，再经酸性废气处理系统处理后排放。二氧化硅淀积过程分 2 种情况， 分别是（1）硅烷与笑气反应生成二氧化硅淀积在器件表面，（2）正硅酸乙酯应生成氮化硅淀积在器件表面。其化学反应方程式分别为：SiH4+2N2O SiO2+2N2 +2H73、2 32Si (OC2H5) 4 SiO2+4C2H4 +2H2O氮化硅沉积过程是硅烷与氨气反应生成氮化硅淀积在器件表面， 其化学反应方程式为：3SiH4+4NH3 Si3N4+12H2 金属钨沉积过程是六氟化钨与氢气反应生成金属钨沉积层，其化学反应方程式为：WF6+3H2=W+6HFPECVD 使用后， 设备内腔及管道等也会被淀积上 SiO2 、Si3N4 ，因此需每天进行 清洁。清洁操作类似于气体蚀刻， 将内壁上的 SiO2、Si3N4 薄膜层气体蚀刻掉， 反应气 为 CF4、O2。反应气体在射频作用下产生高能等离子体， 同 SiO2、Si3N4 反应达到刻蚀效果， 生成挥发性的氟化物，生74、成物被泵抽离反应腔体， 由燃烧水洗式尾气处理器进行处理后，再经酸性废气处理系统处理后排放。具体生产工艺流程及产污环节示意详见图 2-9图 2-11。图2-9 二氧化硅沉积工艺流程及产污环节图33图2-10 氮化硅沉积工艺流程及产污环节图图2-11 金属钨沉积工艺流程及产污环节图342.3.3 光刻（11 层）光刻是通过光刻胶的感光性能， 外延片表面涂胶后， 在紫外光的照射下将光刻版 上的图形转移至外延片，最终加工成所需的产品图形。光刻包括涂胶、前烘、曝光、后烘、显影。（1）涂胶： 光刻胶的涂布是用转速和旋转时间可自由设定的匀胶机来进行的。首 先， 用真空吸引法将外延片吸在匀胶机的吸盘上， 将具75、有一定粘度的光刻胶滴在基片 的表面， 然后以设定的转速和时间匀胶。由于离心力的作用， 光刻胶在外延片表面均 匀地展开， 多余的光刻胶被甩掉并回收起来， 获得一定厚度的光刻胶膜， 光刻胶的膜 厚是由光刻胶的粘度和匀胶的转速来控制。光刻胶主要是由对光与能量非常敏感的高 分子聚合物和有机溶剂组成， 光刻胶直接使用外购成品， 无需调胶。 该过程会产生有机废气、光刻胶废液等。（2）前烘： 涂胶完成后，仍有一定量的溶剂残留在胶膜内， 故涂胶后要经过一个 高温加热的步骤， 即前烘。其目为使胶膜内的溶剂挥发， 增加光刻胶与衬底间黏附性、光吸收以及抗腐蚀能力； 缓和涂胶过程胶膜内产生的应力等。该过程会产生有机废76、气。（3）曝光： 使掩膜版与涂上光刻胶的基片对准， 用光源经过掩膜版照射基片， 使接受光照的光刻胶的光学特性发生变化，即为曝光。（4）曝光后烘烤：曝光后的芯片采用热板烘烤法烘烤约 12min，烘焙温度为 90130,从而减少光刻胶中溶剂的含量及爆光区与非爆光区的边界变得比较均匀。该过程会产生有机废气。（5）显影： 将曝光后的外延片放到显影机里， 片子在机台内高速旋转， 同时片子 上方滴落有显影液， 使正光刻胶的曝光部分被溶解。显影在常温下进行。该过程会产生废显影液。（6）清洗： 显影后外延片需放入纯水冲洗槽进行清洗。冲洗方式同前文所述， 不再赘述。清洗甩干后进入下一工序。具体工艺流程及及产污环77、节详见图 2-12。2.3.4 刻蚀经过曝光和显影后， 光刻胶薄膜层中形成了微图形结构， 为获得器件的结构， 需 要通过刻蚀， 在光刻胶下面的材料上重现光刻胶层上的图形， 实现图形的转移。刻蚀技术主要包括液态的湿法刻蚀和气态的干法刻蚀两大类。35图2-12 光刻工艺流程及及产污环节图2.3.4.1 湿法刻蚀湿法刻蚀是将基片浸在 BOE 蚀刻液中进行腐蚀， 将无光刻胶保护的 SiO2 层去除。 湿法蚀刻操作温度为常温。湿法刻蚀后，对硅片表面进行清洗，以去除附着的杂质、颗粒及金属离子。2.3.4.2 干法刻蚀干法离子刻蚀是指反应气体通过放电产生各种活性等离子体， 靠射频溅射使活性 离子作固定的定向78、运动， 产生各间异性腐蚀； 同时活性离子在电场作用下加速化学反应过程，从而获得高速腐蚀。光刻后的图形所在区域用气体蚀刻方式去除不需要的电极部分， 露出基质。气体 刻蚀使用的设备为感应耦合电浆蚀刻机， 反应气主要有氯气、 氦、三氯化硼、六氟化 硫、四氟化碳、八氟环丁烷、三氟甲烷等，利用低压放电对反应气体电离产生的等离子或游离基，同刻蚀物反应达到刻蚀效果。氯气、 BCl3 等气体用于刻蚀 GaN 、Al 、Ti 等材料， 生成挥发性的 Ga 、GaClx、AlClx 、TiClx 、Ga+ 、GaClx+、N2 ，生成的挥发性氯化镓等被泵抽离反应腔体； 氦主36要是冷却气体。此过程产生干法蚀刻废气79、，主要成分为未反应的氯气、 三氯化硼等。六氟化硫、四氟化碳、八氟环丁烷、三氟甲烷、 CO 等气体用于刻蚀 SiO2 、SiN、 W 等， 生成挥发性的 SiFx、CFx、WFx 等材料。该过程产生的干法蚀刻废气主要成分为未反应的六氟化硫、四氟化碳、八氟环丁烷、三氟甲烷、 CO 等以及刻蚀生成物。图2-13 二氧化硅/氮化硅干法刻蚀工艺流程及产污环节图图2-14 金属钛干法刻蚀工艺流程及产污环节图37图2-15 氮化镓/金属铝干法刻蚀工艺流程及产污环节图图2-16 金属钨干法刻蚀工艺流程和产污环节图382.3.5 去胶经过刻蚀后， 将光刻胶从晶片表面除去的过程称为去胶。去胶的方法分为湿法去胶和干80、法去胶。本项目均采用干法去胶。干法去胶的原理是通过氧原子和光刻胶在等离子体环境中发生反应来去除光刻 胶。光刻胶的基本成分是碳氢聚合物， 氧原子可以和光刻胶反应生成 CO、CO2 和 H2O 等，反应式为： CxHy+O2CO+CO2+H2O，这些反应生成物通过真空排气排出腔体，达到去除光刻胶的目的。2.3.6 电极溅射电极的作用是芯片封装时， 通过焊线， 使芯片与外部电路进行连接。 本项目制作 电极采用电子束蒸镀方式， 使用的材料为铝/钛，使用的主要设备为金属溅射台。在真 空环境下， 用溅射的方法在基片表面沉积铝/钛金属薄膜， 形成导电电极。 电极溅射示意图详见下图。图2-17 电极溅射示意图81、金属溅射的主要气体为氩气， 本身氩气与金属靶材不会发生化学反应， 但此过程 会产生废金属靶材和未反应的氩气。此外， 后续的清洗过程中电极上的金属会被光刻胶保护起来，不会溶解到废水中。2.3.7 研磨化学机械研磨（CMP）就是把原来凹凸的晶片表面， 利用机械和化学的共同作用， 去除多余的薄膜， 实现晶片表面的全局平坦化。CMP 研磨结束后， 对研磨产物的清洗 十分关键， 一般使用刷洗、喷洗和超声波清洗等方法。该过程会产生研磨废水、清洗废水等。392.3.8 测试使用高倍显微镜对芯片进行检测，并使用探针台和测试机对芯片的尺寸、电压、 电流进行检验， 排除有缺陷或者电极有磨损的不合格芯片。测试不合格82、的芯片属于一般固废。综上所述，项目产污环节及主要污染物汇总情况详见下表。表2-8 项目主要污染工序及污染因子汇总类型产生环节污染物名称主要污染因子废气清洗酸碱废气氟化物、氯化氢、硫酸雾、氨等沉积工艺尾气非甲烷总烃、 氨、氯化氢、氟化物、硅烷等涂胶有机废气非甲烷总烃曝光含氟废气氟化物显影有机废气非甲烷总烃湿法刻蚀酸性废气氟化物等干法刻蚀工艺尾气氯化氢、 三氯化硼、氟化物、氯气等去胶有机废气非甲烷总烃物料暂存酸碱废气、有机废气氨、氯化氢、氟化物、硫酸雾等污水处理站恶臭气体氨、硫化氢等废水清洗含氟废水COD 、SS 、氨氮、总磷、 氟化物、总氮清洗，光刻含氨/有机废水COD 、氨氮等湿法刻蚀、清洗酸83、碱废水pH 、COD 、SS 等化学机械研磨研磨废水pH 、COD 、SS 等POU 废气处理洗涤废水COD 、氨氮、总磷、氟化物、总氮、SS 等纯水制备浓水、再生酸碱废水pH 、COD 、氨氮等员工日常生活生活污水pH 、COD 、氨氮、动植物油噪声设备运行机械噪声固废原辅材料使用废试剂容器瓶、废包装袋/箱清洗废酸等光刻刻蚀废光阻、废显影液、废光刻胶、废灯管等溅射/蒸镀废靶材测试废芯片、废电子五金材料废水处理污泥、废活性炭、废 RO 膜、离子交换树脂废气处理废吸附材料、 废沸石设备维修保养废机油等员工日常生活生活垃圾40与 项 目 有 关 的 原 有 环 境 污 染 问 题2.4 与项目有关84、的原有环境污染问题2.4.1 现有工程履行环境影响评价、竣工环境保护验收、排污许可手续等情况微电子有限公司（简称 ）由 微电子股份有限公司、集成电路有限公司、国家集成电路产业投资基金股份有限公司和 高新科技创业服务有限公司共同投资建设的集成电路芯片制造企业。公司成立于 2015 年 11月， 位于 市 区 19 号大街 656 号， 厂区占地面积约 80 亩。 于现有一条 8 英寸集成电路芯片生产线（规模为年产 8 英寸硅片 43.2 万片） ，主要生产高压集成电路和电源管理集成电路芯片、功率半导体器件芯片、MEMS 传感器芯片；另有一条 12 英寸芯片生产线（规模为年产 36 万片 12 英85、寸芯片）正在建设中。现有工程环评审批、验收、排污许可手续等情况详见表 2-9。表2-9 现有工程环评审批、验收、排污许可手续等情况项目名称环评审批情况验收情况排污许可证新增年产 43.2 万片 8 英寸芯片技术改造项目2020 年 2 月 5 日 市生态环境局 新区分局出具了审批意见（杭环钱环评批20208 号）于 2022.7 进行了 自主验收登记管理（编号：91330101MA27W6YC2A001U）年产 36 万片 12英寸芯片生产线项目2022 年 9 月 15 日 市生态环境局出具了审批意见（杭环钱环评批202258 号）正在建设中2.4.2 现有工程基本情况核查2.4.2.1 现86、有工程产品及产能情况根据企业台账， 2022 年 8 英寸芯片已做到了达规模生产，12 英寸芯片还在建设 中。企业现有产品及产能情况详见表 2-10。表2-10 现有工程产品及产能情况序号产品名称环评审批规模（万片 /年）2022 年实际产能（万片/年）备注18 英寸芯 片高压集成电路芯片1212/2功率半导体器件芯片26.426.4/3MEMS 传感器芯片4.84.8/412 英寸 芯片FS-IGBT120正在建设中、 未投产5T-DPMOSFET1206SGT-MOSFET1202.4.2.2 主要设备配置情况根据新增年产 43.2 万片 8 英寸芯片技术改造项目竣工环境保护验收监测报告表87、（2022.7），结合现场踏勘， 年产 43.2 万片 8 英寸芯片工程生产设备配置情况详41见表 2-11。表2-11 现有工程主要生产设备配置情况序号设备名称设备型号验收核定 的数量实际配置 情况变化情况1生产设备3737023303151504232305220666074408660955010212101177012330132525014550151818016191901728280182222019550204040021222202266023110241616025494902620200271102810100299903020200311111032660332203488、22035设备11036110372203822042391104022041公用工程设备22042220432020044330452204644047440482204911050若干若干/由上表可知， 现有 8 英寸项目配置的设备与验收核定的设备一致。因 12 英寸芯片还在建设中，其设备配置情况引用年产 36 万片 12 英寸芯片生 产线项目环境影响报告表 中的相关内容，具体详见表 2-12。表2-12 项目主要新增设备序号设备名称型号规格数量（台/套）1524639445565073818915101711312213101411151116417318519112014321722489、23824825192642710284391308311321033103413563613713813924014134224324422.4.2.3 现有工程原辅材料消耗情况根据企业供的物料领用记录台账，8 英寸芯片生产线 2022 年原辅材料消耗情况详见表 2-13。表2-13 现有工程原辅材料消耗情况表序号原料名称单位/年原环评确定的 年使用量2022 年实际 耗量变化情况所属工序123456789101144121314151617181920212223242526272829303132333435363738394041424344454647484950515245535490、555657585960因原环评硅晶圆的使用量中未考虑报废产品， 2022 年原辅材料消耗情况中已考虑 报废产品的硅晶圆耗量，因此用量较原环评有所增加；企业用于去胶工序的物料中， 丙酮用量较原环评增加了 236.5kg/a，但去胶物料总体用量较原环评减少；其余物料较 原环评均有所减少。物料变化的主要原因： 新增年产 43.2 万片 8 英寸芯片技术改造 项目环境影响报告表中确定的平均掩膜层数为 15.8 层， 可确保产品的良率为 95%。 企业在实际运行过程中对工艺进行优化， 通过对设备部分参数以及工艺程序设置的拉 偏、优化， 重复测试不同条件下清洗机水样的电阻率、颗粒值、ICP-MS，最终确91、定了 新的设备参数和清洗程序， 将芯片平均掩膜层数减少至 7.8 层， 即可保证 95%的良率。 2022 年在年产 36 万片 12 英寸芯片生产线项目环境影响报告表 中通过“以新带老”，确定 8 英寸项目的平均掩膜层数为 7.8 层，因此物料消耗较原环评有所下降。12 英寸芯片还在建设中， 其物料消耗引用年产 36 万片 12 英寸芯片生产线项目环境影响报告表中的相关内容，具体详见表 2-14。表2-14 年产 36 万片 12 英寸芯片生产线物料消耗情况序号原料名称单位/年消耗量包装规格所属工序1234567891011131446151617181920212223242526272892、293031323334353637383940414243444546474849505152535455565747585960612.4.2.4 生产工艺芯片生产主要包括硅片清洗、化学气相沉积、物理气相沉积、光刻、刻蚀、扩散、离子注入、化学机械研磨等工序。现有项目中 8 英寸和 12 英寸芯片的生产工艺基本相同，仅部分工序循环次数不 同。 简化的工艺流程详见图 2-18。图2-18 现有项目工艺流程简述图工艺流程步骤简要说明： 本项目工艺流程的开端为硅片投入生产。在进行氧化薄 膜、 SiN 淀积、多晶硅淀积等工序前均需要对硅片进行清洁处理。本项目使用多种酸 按照工艺要求单独使用或按照不同93、的比例配比使用，以去除硅片表面残留的有机物、 氧化物、颗粒、金属离子等， 确保产品硅片在进行下一步工序不被这些杂质污染， 保 证产品的质量；硅片完成清洗工序后，循环进行氧化、 SiN 淀积、多晶硅淀积、金属 溅射、表面平坦化、钝化层淀积各道工序， 然后将感光胶均匀涂覆在硅片表面做出产 品图形， 通过紫外线光透过光刻版将图形曝光在硅片表面的感光胶上， 获得图形的转移， 而后将其显影。干、湿法刻蚀及离子注入为循环工序， 其中， 离子注入是将器件48功能需要的离子注入到光刻显影后或蚀刻后的图形中， 形成不同功能的器件。以上工 序完成后， 硅片表面带有光刻胶， 去胶后将集成电路各器件上的金属线与硅片有94、效结合。产品经过以上所有工序，检验合格后，成品包装出库。2.4.2.5 现有工程污染防治措施落实情况根据企业新增年产 43.2 万片 8 英寸芯片技术改造项目竣工环境保护验收监测报 告表（2022.7），结合现场踏勘， 企业现有工程 措施具体落实情况详见 表 2-15。表2-15 现有工程污染防治措施落实情况一览表污染物原环评确定的措施实际建设情况废 气废气收集项目生产在超洁净室内进行， 每道工序均在独立机台内进行 全封闭式操作， 各机台均配备相应的气体供应装置、抽排装 置及管道，收集效率可做到 100%。与环评一致。酸性废气（1）设置 5 套碱液喷淋洗涤塔，收集的酸性废气经喷淋洗涤 后， 通95、过 3 个不低于 25m 的排气筒高空排放， 每套废气处理 装置风量为 80000m3/h，合计风量为 400000m3/h。（2）设置 1 套碱液喷淋吸收塔用于处理 EPI 酸性废气，风机 风量为 10000 m3/h，处理后的废气通过 1 根不低于 25m 的排 气筒高空排放。处理装置不变，排气筒数量由 4 个变为 3 个， 每套处理装置配置 的风机风量不变（均为变频风 机） ，但废气的收集处理方式是 “三进一出 ”1 套（DA001）、 “两进一出 ”1 套（DA002）、 “一进一出”1 套（DA003）。碱性废气设置一套风量不低于 30000 m3/h 的酸液喷淋洗涤塔， 收集的 碱96、性废气经喷淋洗涤后通过 1 根不低于 25m 的排气筒高空 排放。设置一套酸液喷淋洗涤塔， 配套 2 台风机（一用一备，风量分别 为 5 万 m3/h 和 3 万 m3/h）。有机废气设置一套沸石浓缩转轮焚烧 系统处理有机废气， 风量 50000m3/h，处理后的废气通过 1 根不低于 25m 的排气筒排 放。低浓度废气先通过沸石， 约 95%有机物被沸石吸附， 吸 附有机物后的沸石进入解析段， 通过燃烧器将这部分吸附并 浓缩后的废气进行燃烧处理， 燃烧处理效率高于 95%，处理 后的尾气与之前未被吸附的废气通过排气筒有组织排放。该 系统综合处理效率为 90%以上。与环评一致。 根据监测报告，97、 有 机 废 气 综 合 去 除 效 率 高 于90.4%。废 水生产废水设置 1 套处理规模为 350t/h 的酸碱废水中和处理系统， 酸碱 废水、有机废水、经处理后的含氟废水和研磨废水等收集后 进入酸碱废水中和处理系统处理达污水综合排放标准 （GB8978- 1996）三级标准后、经厂区废水总排口纳入市政污 水管网， 送 市七格污水处理厂处理达城镇污水处理厂污染物排放标准（GB18918-2002）一级 A 标准后集中排放。与环评一致。根据调查， 现有企 业酸碱废水中和处理系统废水 处理量约为 174.2t/h，现有废水 处理站完全能容纳该部分废水。 根据 2022 年的在线监测数据及 例98、行监测报告， 废水经处理后符 合 污 水 综 合 排 放 标 准 （GB8978- 1996）三级标准。设置 1 套处理规模为 100t/h 的含氟废水处理系统， 含氟废水 收集后经该处理系统处理后送至酸碱废水中和处理系统进 一步处理达污水综合排放标准（GB8978- 1996）三级标准 后、经厂区废水总排口纳入市政污水管网， 送 市七格污与环评一致。根据调查， 2022 年 企业含氟废水处理量约为 45t/h， 现有废水处理站含氟废水处理 系统完全能容纳该部分废水。根49水处理厂处理达 城镇污水 处理厂污染物排放标准 （GB18918-2002）一级 A 标准后集中排放。据 2022 年的在99、线监测数据及例 行监测报告， 废水经处理后符合 污水综合排放标准（GB8978- 1996）三级标准。设置 1 套处理规模为 50t/h 的研磨废水处理系统，研磨废水 经该系统预处理后送至酸碱废水中和处理系统进一步处理 达污水综合排放标准（GB8978- 1996）三级标准后、经厂 区废水总排口纳入市政污水管网， 送 市七格污水处理厂处理达城镇污水处理厂污染物排放标准（GB18918-2002） 一级 A 标准后集中排放。与环评一致。根据调查， 2022 年 企 业 研 磨 废 水 处 理 量 约 为 24.7t/h，现有废水处理站研磨废 水处理系统完全能容纳该部分 废水。 根据 2022 年100、的在线监测 数据及例行监测报告， 废水经处 理后符合污水综合排放标准 （GB8978- 1996）三级标准。设置 1 套处理能力为 90t/h 的 RCM 废水回用水系统， 生产过 程中产生的较为清洁的后段清洗废水收集后进入该系统进 行统一处理，处理后的水回用至纯水制备系统。设置 1 套处理能力为 90t/h 的 RCM 废水回用水系统，生产过程 中产生的较为清洁的后段清洗 废水收集后进入该系统进行统 一处理， 处理后的水回用于废气 喷淋塔补水、冲厕用水。根据调 查， 2022 年 RCM 废水产生量约 44.5t/h，现有 RCM 废水回用水 系统可完全接纳企业产生 的 RCM 废水。该系统101、规模与原环评 一致， 水的回用去向与原环评不 一致。生活污水生活污水经化粪池处理后， 经厂区废水总排口纳入市政污水 管网， 送 市七格污水处理厂处理达城镇污水处理厂污染物排放标准（GB18918-2002）一级 A 标准后集中排放。与环评一致。固 废一般固废未沾染危化品的包装材料收集后外售给废品回收利用公司。与环评一致。废水处理产生的污泥委托 环境服务有限公司清运处理。与环评一致。危险废物危险废物主要有废酸、含氨废液、废有机溶剂、废光刻胶、 废显影液、废试剂容器等， 收集后委托有资质公司清运处理。2022 年度产生的高浓度含氨废 液暂未签订委托处置协议，废液 存放在厂区废液储罐内；其余危 险废102、物委托有资质的危废处理 公司清运处理， 危废均有合理去 向。生活垃圾委托环卫定期上门清运处理。与环评一致。排污总量项目达产后，废水总量为257.928 万t/a、VOC 排放量为 1.9t/a， 氮氧化物排放量为 0.8t/a。根据验收监测数据， 2022 年企业 废水排放量为 137.905 万 t/a 、 VOCs 排放量为 1.006t/a、NOx 排 放量为0.754t/a，均小于原环评确 定的排污量。50由上表可知，本项目实施过程中基本按照原环评要求落实了各项污染防治措施， 但因未找到有高浓度含氨废液资质（900-355-35）的处置单位， 企业 2022 年高浓度含 氨废液均暂存在103、厂区储罐内（高浓度含氨废液存量为 12.5t，储罐容量为 20t）。同时， 企业现有 RTO 装置于 2021 年 3 月正式建成并投入使用， 按照设计要求， 沸石填充量 为 2t、需 3 年更换一次，根据废气监测数据，目前 RTO 装置总的废气去除效率不低于 90%，去除效率达到设计要求，因此暂未产生更换的废沸石。年产 36 万片 12 英寸芯片生产线项目正在建设中，项目需严格按照年产 36 万片 12 英寸芯片生产线项目环境影响报告表及其批复落实各项污染防治措施。2.4.3 现有工程污染物达标排放情况年产 36 万片 12 英寸芯片生产线项目正在建设中， 本次环评主要对现有年产 43.2万104、片 8 英寸芯片生产线项目污染达标情况进行分析。（1）废水根据新增年产 43.2 万片 8 英寸芯片技术改造项目竣工环境保护验收监测报告 表（2022.7）， 企业废水总排口监测情况详见表 2-16。表2-16 企业废水总排口监测结果一览表（单位： mg/L ，pH 为无量纲）采样日期pHCODCr氨氮TPSSBOD5TN氟化物2022.6.30第一次7.32519.980.243281.518.71.15第二次7.42429.940.232585.519.21.11第三次7.325710.00.232783.518.71.15第四次7.52479.840.232680.518.71.1120105、22.7.1第一次7.216315.20.212354.734.21.02第二次7.317115.40.202456.935.60.98第三次7.117415.70.212457.735.40.94第四次7.216915.10.192554.334.30.98纳管标 准GB8978-19966950035*8*400300/20是否达标达标达标达标达标达标达标达标达标注： 氨氮和总磷指标执行工业企业废水氮、磷污染物间接排放限值（DB33/887-2013）。根据验收监测， 现有项目厂区污水总排口水质符合污水综合排放标准（GB8978-1996）三级标准。本次环评期间，调取了企业废水在线监测数据106、及 2022 年三季度例行监测数据， 具体详见表 2-17、表 2-18。51表2-17 2022 年废水总排口污染物在线监测情况污染物名称pH（无量纲）CODCr（mg/L）氨氮（mg/L）监测值6.797.6717.32308.926.6224.71GB8978- 1996 限值6950035*注：氨氮执行工业企业废水氮、磷污染物间接排放限值（DB33/887-2013）。表2-18 2022 年三季度废水总排口污染物例行监测情况污染物名 称pH（无量纲）CODCr （mg/L）氨氮 （mg/L）总氮 （mg/L）SS（mg/L）TP（mg/L）氟化物 （mg/L）监测值7.51634.7107、68.66670.665.21GB8978-1996 限值6950035*/4008*20注：氨氮和总磷指标执行工业企业废水氮、磷污染物间接排放限值（DB33/887-2013）。根据在线监测数据及例行监测数据可知， 现有项目厂区污水总排口水质符合污水综合排放标准（GB8978- 1996）三级标准限值。（2）废气根据现场核实， 企业各项废气防治措施均按原环评要求进行了落实， 并运行正常。 本次环评废气排放情况主要引用新增年产 43.2 万片 8 英寸芯片技术改造项目竣工环 境保护验收监测报告表（2022.7）中的相关数据，现有项目有组织废气排放监测情 况详见表 2-19表 2-28；无组织废108、气排放监测情况详见表 2-29。表2-19 酸性废气排放监测一览表（1）序号项目单位检测结果限值1测试地点/酸性废气排放口（DA001）/2测试时间/2022.7.73工况负荷%924排气筒高度m255废气温度3738386废气流速m/s6.76.86.77实测废气流量m3/h2.351052.381052.471058标干态废气流量N.d.m3/h2.041052.121052.221059氟化物排放浓度mg/m30.2710.2850.2799.010氟化物排放速率kg/h5.5310-26.0410-26.1910-20.3811硫酸雾排放浓度mg/m32.632.452.484512硫109、酸雾排放速率kg/h0.540.520.555.713氨排放浓度mg/m31.111.201.15/14氨排放速率kg/h0.230.250.261415氯气排放浓度mg/m30.220.160.256516氯气排放速率kg/h4.4910-23.3910-25.5510-20.5217NOx 排放浓度mg/m30.70.70.72405218NOx 排放速率kg/h7.110-27.410-27.810-22.8表2-20 酸性废气排放监测一览表（2）序号项目单位检测结果限值1测试地点/酸性废气排放口（DA001）/2测试时间/2022.7.83工况负荷%904排气筒高度m255废气温度36110、35396废气流速m/s6.56.97.07实测废气流量m3/h2.481052.521052.551058标干态废气流量N.d.m3/h2.121052.181052.151059氟化物排放浓度mg/m30.2350.2670.319.010氟化物排放速率kg/h4.9810-25.8210-26.6710-20.3811硫酸雾排放浓度mg/m32.732.622.654512硫酸雾排放速率kg/h0.590.570.575.713氨排放浓度mg/m31.221.181.25/14氨排放速率kg/h0.260.260.271415氯气排放浓度mg/m30.310.240.286516氯气排放111、速率kg/h6.5710-25.2310-26.0210-20.5217NOx 排放浓度mg/m30.70.70.724018NOx 排放速率kg/h7.410-27.610-27.510-22.8表2-21 酸性废气排放监测一览表（3）序号项目单位检测结果限值1测试地点/酸性废气排放口（DA002）/2测试时间/2022.7.73工况负荷%934排气筒高度m255废气温度3738386废气流速m/s6.56.46.77实测废气流量m3/h2.451042.381042.521048标干态废气流量N.d.m3/h2.071042.001042.121049氟化物排放浓度mg/m30.3810.112、4520.3999.010氟化物排放速率kg/h7.8910-39.0410-38.4610-30.3811硫酸雾排放浓度mg/m32.622.662.424512硫酸雾排放速率kg/h5.4210-25.3210-25.1310-25.713氯化氢排放浓度mg/m31.010.9211.1010014氯化氢排放速率kg/h2.0910-21.8410-22.3310-20.9215氯气排放浓度mg/m30.140.140.196516氯气排放速率kg/h2.9010-32.8010-34.0310-30.5217NOx 排放浓度mg/m30.70.70.724018NOx 排放速率kg/h7113、.210-27.010-27.410-22.819氨排放浓度mg/m31.201.221.49/5320氨排放速率kg/h2.4810-22.4410-23.1610-214表2-22 酸性废气排放监测一览表（4）序号项目单位检测结果限值1测试地点/酸性废气排放口（DA002）/2测试时间/2022.7.83工况负荷%884排气筒高度m255废气温度3839386废气流速m/s6.87.16.87实测废气流量m3/h2.551042.661042.551048标干态废气流量N.d.m3/h2.141042.221042.141049氟化物排放浓度mg/m30.2360.2800.2729.01114、0氟化物排放速率kg/h5.0510-36.2210-35.8210-30.3811硫酸雾排放浓度mg/m32.722.552.594512硫酸雾排放速率kg/h5.8210-25.6610-25.5410-25.713氯化氢排放浓度mg/m31.091.010.92510014氯化氢排放速率kg/h2.3310-22.2410-21.9810-20.9215氯气排放浓度mg/m30.140.180.236516氯气排放速率kg/h3.0010-34.0010-34.9210-30.5217NOx 排放浓度mg/m30.70.70.724018NOx 排放速率kg/h7.510-27.810-115、27.510-22.819氨排放浓度mg/m31.351.261.12/20氨排放速率kg/h2.8910-22.8010-22.4010-214表2-23 酸性废气排放监测一览表（5）序号项目单位检测结果限值1测试地点/酸性废气排放口（DA003）/2测试时间/2022.7.73工况负荷%854排气筒高度m255废气温度3536356废气流速m/s6.36.76.57实测废气流量m3/h2.391042.381042.381048标干态废气流量N.d.m3/h2.021042.051042.161049氟化物排放浓度mg/m30.2550.2600.2689.010氟化物排放速率kg/h5.116、1510-35.3310-35.7910-30.3811硫酸雾排放浓度mg/m32.252.432.484512硫酸雾排放速率kg/h4.5410-24.9810-25.3610-25.713氨排放浓度mg/m31.151.191.15/14氨排放速率kg/h2.3210-22.4410-22.4810-21415氯气排放浓度mg/m30.260.270.266516氯气排放速率kg/h5.2510-35.5410-35.6210-30.5217NOx 排放浓度mg/m30.70.70.72405418NOx 排放速率kg/h7.110-37.210-37.610-32.8表2-24 酸性废气117、排放监测一览表（6）序号项目单位检测结果限值1测试地点/酸性废气排放口（DA003）/2测试时间/2022.7.83工况负荷%904排气筒高度m255废气温度3736386废气流速m/s6.56.56.67实测废气流量m3/h2.451042.451042.521048标干态废气流量N.d.m3/h2.081042.081042.141049氟化物排放浓度mg/m30.3100.2880.2759.010氟化物排放速率kg/h6.4510-36.0010-35.8910-30.3811硫酸雾排放浓度mg/m32.552.582.624512硫酸雾排放速率kg/h5.3010-25.3710-2118、5.6110-25.713氨排放浓度mg/m31.251.241.30/14氨排放速率kg/h2.6010-22.5810-22.7810-21415氯气排放浓度mg/m30.310.320.286516氯气排放速率kg/h6.4510-36.6610-35.9910-30.5217NOx 排放浓度mg/m30.70.70.724018NOx 排放速率kg/h7.310-37.310-37.510-32.8表2-25 碱性废气排放监测结果一览表（1）序号项目单位检测结果限值1测试地点/酸液喷淋洗涤塔废气排放口（DA005）/2测试时间/2022.7.73工况负荷%924排气筒高度m255废气温119、度3637376废气流速m/s6.26.06.47实测废气流量m3/h4.451044.311044.671048标干态废气流量N.d.m3/h3.771043.641043.941049氨排放浓度mg/m31.291.411.56/10氨排放速率kg/h4.8610-25.1310-26.1510-214表2-26 碱性废气排放监测结果一览表（2）序号项目单位检测结果限值1测试地点/酸液喷淋洗涤塔废气排放口（DA005）/2测试时间/2022.7.83工况负荷%894排气筒高度m255废气温度3737366废气流速m/s6.46.46.5557实测废气流量m3/h4.601044.67104120、4.731048标干态废气流量N.d.m3/h3.881043.941044.001049氨排放浓度mg/m31.511.541.24/10氨排放速率kg/h5.8610-26.0710-24.9610-214表2-27 RTO 装置有机废气排放监测结果一览表（1）序号项目单位检测结果限值1测试地点/沸石转轮焚烧处理装置（DA006）/2测试时间/2022.7.73工况负荷%924排气筒高度m255废气温度进口383837出口3637376废气流速进口m/s6.26.66.0出口5.25.45.67实测废气流 量进口m3/h2.961043.151042.86104出口2.481042.591121、042.701048标干态废气 流量进口N.d.m3/h2.461042.611042.38104出口2.091042.181042.271049非甲烷总烃 排放浓度进口mg/m357.057.454.9/出口5.665.225.2012010非甲烷总烃 排放速率进口kg/h1.401.501.31/出口0.1180.1140.11835表2-28 RTO 净化装置有机废气排放监测结果一览表（2）序号项目单位检测结果限值1测试地点/沸石转轮焚烧处理装置（DA006）/2测试时间/2022.7.83工况负荷%924排气筒高度m255废气温度进口393838出口3838376废气流速进口m/s6.122、46.66.3出口5.45.65.57实测废气流 量进口m3/h3.061043.151043.01104出口3.061043.151043.011048标干态废气 流量进口N.d.m3/h2.541042.621042.50104出口2.541042.621042.501049非甲烷总烃 排放浓度进口mg/m360.056.556.0/出口5.445.395.4112010非甲烷总烃 排放速率进口kg/h1.521.481.40/出口0.1380.1410.13535根据监测结果可知， 验收监测期间废气处理设施出口的氟化物、氯化氢、硫酸雾、56氮氧化物、氯气、非甲烷总烃的排放速率和排放浓度均123、达到大气污染物综合排放标 准（GB16297- 1996）二级排放标准限制要求； 废气中的氨的排放速率达到恶臭污染物排放标准 （GB14554-93）中的表 2 限值要求。表2-29 无组织废气监测结果一览表采样点检测项目单位检测结果（2022.7.7）检测结果（2022.7.8）限值频次监测值频次监测值西南厂界（参照点）氟化物ug/m330.50.7430.470.7920硫酸雾mg/m330.1710.18130.1770.1941.2非甲烷总烃mg/m330.610.6430.630.684.0氨mg/m330.060.0830.070.091.5氯化氢mg/m330.0960.1083124、0.0990.110.20氮氧化物mg/m330.0250.02930.0250.0270.12氯气mg/m330.0330.030.40北厂界（监控点）氟化物ug/m331.25 1.5931.25 1.6720硫酸雾mg/m330.3060.31330.3230.331.2非甲烷总烃mg/m331.31 1.4331.11 1.454.0氨mg/m330.110.1430.120.161.5氯化氢mg/m330.1260.14330.1280.1450.20氮氧化物mg/m330.030.03330.0310.0330.12氯气mg/m330.0330.030.40东北厂界（监控点）氟化物125、ug/m331.38 1.9231.19 1.8320硫酸雾mg/m330.2630.26930.2680.2821.2非甲烷总烃mg/m331.18 1.3531.13 1.264.0氨mg/m330.110.1430.10.121.5氯化氢mg/m330.1360.15130.1330.1510.20氮氧化物mg/m330.030.03330.0290.0330.12氯气mg/m330.0330.030.40东厂界（监控点）氟化物ug/m331.43 1.8231.02 1.8320硫酸雾mg/m330.2730.27930.280.2881.2非甲烷总烃mg/m331.12 1.1531126、.24 1.334.0氨mg/m330.110.1530.110.141.5氯化氢mg/m330.1320.15530.1330.1580.20氮氧化物mg/m330.030.03330.0290.0350.12氯气mg/m330.0330.030.40由监测结果可知， 验收期间厂界无组织排放的氟化物、硫酸雾、丰甲烷总经、氯 化氢、氮氧化物、氯气浓度均达到大气污染物综合排放标准（GB16297- 1996）表 2 中的限值要求； 氨的排放浓度达到恶臭污染物排放标准（GB14554- 1993）中无组织厂界排放浓度限值要求。（3）噪声57现有项目厂界噪声监测情况详见表 2-30。表2-30 厂界127、噪声监测情况一览表序号测点位置监测时间监测值（dB）标准值（dB）达标情 况昼间夜间昼间夜间1#厂界北侧2022.6.3058.750.76555达标2022.7.156.950.2达标2#厂界东侧2022.6.3058.750.46555达标2022.7.158.452.1达标3#厂界南侧2022.6.3056.949.46555达标2022.7.157.450.9达标4#厂界西侧2022.6.3060.049.66555达标2022.7.158.550.2达标由上表可知， 项目厂界昼间噪声监测值为 56.960dB、夜间噪声监测值为 49.452.1dB ，均符合工业企业厂界环境噪声排放标128、准（GB12348-2008）中 3 类标准。2.4.4 现有工程污染物实际排放量2.4.4.1 8 英寸生产线（1）废水项目废水主要包括工艺酸碱废水、含氨废水、含氟废水、有机废水、CMP 研磨废 水、废气洗涤塔排水、纯水站 RO 浓缩废水、冷却塔循环水排水、员工生活污水等。 根据新增年产 43.2 万片 8 英寸芯片技术改造项目环境影响报告表、年产 36 万 片 12 英寸芯片生产线项目环境影响报告表，企业全厂核定废水排放量为 2579280t/a，其中 8 英寸芯片生产线废水核定排放量为 1379400t/a。根据企业 2022 年 1 月2022 年 12 月在线监控数据显示，企业废水排129、放量为 137.905 万 t/a，和原环评理论计算的废水排放量（137.94 万 t/a）基本一致， 现有工程废水源强可信。厂区废水经处理达污水综合排放标准（GB8978- 1996）三级标准后纳入市政 污水管网， 最终由 七格污水处理厂统一达标处理至城镇污水处理厂污染物排放标准（GB18918-2002）中的一级 A 标准后排放。企业实际废水及污染物纳管量和环境排放量详见下表。58表2-31 现有工程废水实际排放情况污染物产生情况纳管情况排放情况浓度（mg/L）产生量（t/a）浓度（mg/L）纳管量（t/a）浓度（mg/L）排放量（t/a）废水量/1731820/1379050/13790130、50CODCr217375.805209288.2215068.953氟化物2.293.9661.0551.455/氨氮18.9532.81812.6517.44556.895总氮40.269.61926.8537.0271520.686总磷0.250.4330.220.3030.50.689（2）废气根据新增年产 43.2 万片 8 英寸芯片技术改造项目竣工环境保护验收监测报告 表（2022.7）中的废气监测报告以及监测时的工况，计算得到现有工程废气实际排放情况，具体详见表 2-32。表2-32 现有工程废气实际排放情况序号污染物名称排放量（t/a）1氟化物0.6082氯化氢0.7473氮氧131、化物0.7544氨2.3865氯气0.286硫酸雾4.5147VOCs1.005（3）固废根据现场调查， 结合企业固废台账记录， 现有工程固废主要包括： 未沾染危化品 的废包装材料、废水处理产生的污泥、生产过程中产生的废酸、废有机溶剂、高浓度 含氨废液、废光刻胶、废显影液、废试剂容器、废润滑油、废弃的抹布（含手套）、废靶材、废弃的电子元件及生活垃圾等。固废产生及处置情况详见表 2-33。表2-33 现有工程固废产生及处置情况序 号固废名称产生工序主要物质属性危险废物 代码产生量 （t/a）去向1未沾染危化品的废包装材料原料外包 装纸张、塑料 等包装材料一般固 废/124.5收集后外售给物资回收132、利用 公司2污泥废水处理CaF2一般固 废/458.36委托 环境服务有限公司清运处置3废酸液刻蚀清洗磷酸、硫酸危险固HW34302.63委托 中荷环境科技有限59等废900-300-34公司清运处置4高浓度含氨 废液湿法刻蚀氟化铵等危险固 废H35900-355-3512.5收集后暂存在厂区内，未委 托处置5废有机溶剂刻蚀、光 刻等异丙醇、丙酮、光阻稀释剂、邻苯二酚等危险固 废HW06900-402-0662.6委托绍兴华鑫 科技有限 公司清运处置6废感光材料光刻、显 影光刻胶、显 影液等危险固 废HW16398-001- 16213.28委托 环境服务有限公司、绍兴华鑫 科技有限公司、湖州133、明境 科技 有限公司清运处置7废化学品包 装原料外包 装塑料、玻璃 等制品危险固 废HW49900-041-4915.9委托 环境服务有限公司、绍兴鑫杰 科技有 限公司清运处置8实验室废液实验沾染 HF、氟化铵等有毒有害物质危险固 废HW49900-047-490.419废润滑油设备维修 保养矿物质油危险固 废HW08900-214-080.1委托 环境服务有限公司10废抹布（含 手套）设备维修 保养沾染润滑油 等危险固 废HW49900-041-490.05委托 环境服务有限公司11废弃的电子 元器件检验/一般固 废/18.9收集后外售给物资回收利用 公司12废靶材物理气相 沉积/一般固 废134、/0.113生活垃圾员工日常 工作纸张、塑料 袋等一般固 废/245委托当地环卫部门定期上门 清运由上表可知，因高浓度含氨废液处置单位较少，企业 2022 年产生的高浓度含氨 废液暂存在厂区内，待与相关危废处置单位签订协议后，尽快将该部分危废清运处置；除此之外，本项目固废均有合理去处。2.4.4.2 12 英寸生产生产线年产 36 万片 12 英寸芯片生产线项目正在建设中， 污染物排放情况引用年产 36 万片 12 英寸芯片生产线项目环境影响报告表 中的相关数据，具体详见表 2-34。表2-34 年产 36 万片 12 英寸芯片生产线项目污染物产排情况类型污染物名称产生量（t/a）削减量（t/135、a）排放量（t/a）废水废水量15228513250501197801CODCr329.768317.6459.89氨氮19.05518.8015.989总氮48.53647.89617.967总磷1.9391.8770.599废气氨气1.9392.2030.17460磷酸1.0890.9810.109氯化氢36.98936.5280.460氯气0.5360.5310.005氟化物22.97822.5010.477硫酸雾8.8427.9570.884氮氧化物23.34917.4775.872非甲烷总烃13.64912.2851.365磷烷0.1020.1010.001硅烷1.4401.4260136、.014固废废弃的电子元器件15150废包装材料1001000污泥2402400废靶材0.070.070高浓度含氨废液50.6450.640废有机溶 剂废去胶液75.275.20废异丙醇18.6418.640废丙酮2.952.950废光刻胶10.210.20废酸废磷酸液57.3557.350废硫酸43.7543.750废显影液125.27125.270废化学品包装20200废擦拭布0.150.150废沸石2t/3 年2t/3 年0废活性炭15150废 RO 膜及离子交换树脂10100废汞灯0.10.10废润滑油0.50.50生活垃圾19819802.4.4.3 主要污染物排放情况汇总综上所述，137、 企业现状主要废水、废气污染物排放汇总情况详见表 2-35；企业固废 产生情况详见表 2-36。表2-35 主要污染物排放情况汇总类型污染物名称现有 8 英寸项目 排放量（t/a）在建 12 英寸项目 排放量（t/a）合计排放量（t/a）企业核定总量（t/a）废水废水量1379050119780125768512579280CODCr68.95359.89128.843128.96氨氮6.8955.98912.88412.9总氮20.68617.96738.65338.689总磷0.6890.5991.2881.29废气氨气2.3860.1742.56/61氯化氢0.7470.4601.207138、/氯气0.280.0050.285/氟化物0.6080.4771.085/硫酸雾4.5140.8845.398/氮氧化物0.7545.8726.6266.672非甲烷总烃1.0051.3652.373.265磷烷0.00050.0010.0015/硅烷0.08550.0140.0995/由上表可知，现有项目总量控制指标污染物排放量均在企业核定总量范围内。表2-36 企业固废产生情况汇总表序 号固废名称属性危险废物代码现有 8 英寸项目2022 年产生量（t/a）在建 12 英寸项目预计产生量（t/a）去向1未沾染危化品 的废包装材料一般固废/124.5100收集后由物资公司回收2污泥一般固废/139、458.36240委托 环境服务有 限公司清运处置3废酸危险固废HW34900-300-34302.63101.1委托 中荷环境科技有 限公司清运处置4高浓度含氨废 液危险固废H35900-355-3512.599.64收集后暂存在厂区内，未 委托处置5废有机溶剂危险固废HW06900-402-0662.6106.99委托绍兴华鑫 科技有 限公司清运处置6废感光材料危险固废HW16398-001- 16213.28125.27委托绍兴华鑫 科技有 限公司、湖州明境 科 技有限公司清运处置7废试剂容器危险固废HW49900-041-4915.920委托 环境服务有限公司、绍兴鑫杰 科 技有限公司140、清运处置8废抹布危险固废0.050.159实验室废液危险固废HW49900-047-490.41/10废活性炭危险固废HW49900-041-49015委托 环境服务有 限公司清运处置11废沸石危险废物02t/3 年12废 RO 膜及离子 交换树脂危险废物HW13900-015- 13010因暂未产生该类固废，企业未与相关有资质单位签订委托处置协议13废汞灯危险废物HW29900-023-2900.1委托 环境服务有 限公司清运处置14废润滑油危险废物HW08900-214-080.10.515废弃的电子元 器件一般固废/18.915收集后由物资公司回收16废靶材一般固废/0.10.07621141、7生活垃圾一般固废/245198环卫部门定期清运2.4.5 现有工程主要环境问题及整改措施根据现场调查、结合监测结果， 企业现有工程的废水、废气、噪声等污染物能够 做到达标排放， 各 设施均运行良好。截止 2023 年 4 月 30 日， 企业未收到过相关投诉。根据现场调查， 企业还未完成有机废气处理装置自动监测系统的安装、使用。根据企业出具的延期安装自动监测系统的说明，企业已于 2022 年向当地 主管部门申请延期安装自动监测系统， 主管部门已同意企业在 2023 年年底完成该项工作。目前该项工作已进入招标阶段，确保 2023 年年底完成并投入使用。根据排污单位自行监测技术指南 电子工业（H142、J1253-2022）、排污许可证 申请与核发技术规范 电子工业（HJ1031-2019），有机废气排放口自动监测设备的污染因子应包括非甲烷总烃，监测内容应包括废气排放压力、温度、浓度、速率。63三 、区域环境质量现状、环境保护目标及评价标准区 域 环 境 质 量 现 状3.1 环境质量标准3.1.1 环境空气根据 省环境空气质量功能区划分， 项目所在区域属于二类环境空气质量功能 区，环境空气质量执行环境空气质量标准（GB3095-2012）及其修改单（生态环 境部公告 2018 年第 29 号）二级标准、环境影响评价技术导则 大气环境 （HJ 2.2- 2018）附录 D 中的限值。非甲烷总143、烃参照执行大气污染物综合排放标准详解中的 相关限值。 具体标准值详见表 3-1。表3-1 环境空气质量标准污染物名称取值时间浓度限值单位来源SO2年平均60ug/m3环境空气质量标准（GB3095-2012）二级标准及修改清单24 小时平均4501 小时平均500NO2年平均4024 小时平均801 小时平均200PM10年平均7024 小时平均150PM2.5年平均3524 小时平均75CO24 小时平均4mg/m31 小时平均10O3日最大 8 小时平均160ug/m31 小时平均200NOX年平均5024 小时平均1001 小时平均250氟化物（F）24 小时平均201 小时平均7氨1 144、小时平均200ug/m3环境影响评价技术导则大气环境（HJ 2.2-2018）中附录 D硫酸1 小时平均300日平均100氯1 小时平均100日平均30氯化氢1 小时平均50日平均15非甲烷总烃一次值2.0mg/m3大气污染物综合排放标 准详解643.1.2 地表水环境项目附近水体为 6 号渠、12 号渠等， 对照 省水功能区水环境功能区划分方 案（2015 年） ，项目周边河流未具体划分； 根据 大创小镇综合发展规划环境 影响报告书， 6 号渠、12 号渠等内河按照地表水环境质量标准（GB3838-2002）类水质标准执行。具体标准值详见表 3-2。表3-2 地表水环境质量标准（GB3838145、-2002）序号项目类（mg/L）序号项目类（mg/L）1pH69（无量纲）7总磷（以 P 计）0.32DO38石油类0.53CODMn109总氮1.54BOD5610氟化物1.55CODCr3011砷0.16氨氮1.512铜1.03.1.3 地下水项目所在区域不采用地下水作为日常饮水，也不采用地下水作为农业和工业用 水。项目所在区域尚无地下水功能区划， 地下水参照地表水环境功能进行评价， 执行地下水质量标准（GB/T14848-2017）中的类标准。具体标准值详见表 3-3。表3-3 地下水质量标准（GB/T14848-2017）序号评价项目类类类1pH6.5pH8.55.5pH6.58.5146、pH9.0pH9.02总硬度（以 CaCO3 计） /（mg/L）4506506503溶解性总固体/（mg/L）1000200020004硫酸盐/（mg/L）2503503505氯化物/（mg/L）2503503506挥发性酚类（以苯酚计） /（mg/L）0.0020.0l0.017耗氧量（CODMn ，以 O2 计） /（mg/L）3.010.010.08氨氮（以 N 计） /（mg/L）0.501.501.509铁/（mg/L）0.32.02.010锰/（mg/L）0.101.501.5011砷/（mg/L）0.010.050.0512亚硝酸盐（以 N 计） /（mg/L）1.004.80147、4.8013硝酸盐（以 N 计） /（mg/L）20.030.030.014氰化物/（mg/L）0.050.10.115氟化物/（mg/L）1.02.02.016汞/（mg/L）0.0010.0020.00217镉/（mg/L）0.0050.010.0118铬（六价） /（mg/L）0.050.100.106519铅/（mg/L）0.010.100.1020总大肠菌群/（MPNh/100mL 或 CFU/100mL）3.010010021菌落总数/（CFU/mL）100100010003.1.4 声环境根据 市主城区声环境功能区划方案（ 2020 年修订版） ， 项目所在区域为 3 类声环境功148、能区，厂界声环境执行声环境质量标准（GB3096-2008）中 3 类标 准，项目周边敏感点所在区域为 2 类声环境功能区，声环境执行声环境质量标准（GB3096-2008）中 2 类标准。具体标准值详见表 3-4。表3-4 声环境质量标准（GB3096-2008）声环境功能区类别时段昼间/dB（A）夜间/dB（A）2 类60503 类65553.1.5 土壤项目所在地土壤执行环境质量标准 建设用地土壤污染风险管控标准（试行） （GB36600-2018）中的相关标准值。具体标准值详见表 3-5。表3-5 环境质量标准 建设用地土壤污染风险管控标准（试行）（GB36600-2018）序号项目C149、AS 编号筛选值（mg/kg）管控值（mg/kg）第一类用地第二类用地第一类用地第二类用地1砷7440-38-220*60*1201402镉7440-43-92065471723铬（六价）18540-29-93.05.730784铜7440-50-82000180008000360005铅7439-92- 140080080025006汞7439-97-683833827镍7440-02-015090060020008四氯化碳56-23-50.92.89369氯仿67-66-30.30.951010氯甲烷74-87-3123721120111,1-二氯乙烷75-34-33920100121,2150、-二氯乙烷107-06-20.525621131,1-二氯乙烯75-35-412664020014顺- 1,2-二氯乙烯156-59-266596200200015反- 1,2-二氯乙烯156-60-510543116316二氯甲烷75-09-2946163002000171,2-二氯丙烷78-87-515547181,1,1,2- 四氯乙烷630-20-62.61026100191,1,2,2- 四氯乙烷79-34-51.66.814506620四氯乙烯127- 18-4115334183211,1,1-三氯乙烷71-55-6701840840840221,1,2-三氯乙烷79-00-50.151、62.851523三氯乙烯79-01-60.72.8720241,2,3-三氯丙烷96- 18-40.050.50.5525氯乙烯75-01-40.120.431.24.326苯71-43-214104027氯苯108-90-7682702001000281,2-二氯苯95-50- 1560560560560291,4-二氯苯106-46-75.6205620030乙苯100-41-47.2287228031苯乙烯100-42-5129012901290129032甲苯108-88-3120012001200120033间二甲苯+对二甲苯108-38-3,106-42-316357050057152、034邻二甲苯95-47-622264064064035硝基苯98-95-3347619076036苯胺62-53-392260211663372-氯酚95-57-82502256500450038苯并a蒽56-55-35.5155515139苯并a芘50-32-80.551.55.51540苯并b荧蒽205-99-25.5155515141苯并k荧蒽207-08-955151550150042218-01-9490129349001290043二苯并a,h蒽53-70-30.551.55.51544茚并1,2,3-cd芘193-39-55.5155515145萘91-20-325702557153、00注： *具体地块土壤中污染物检测含量超过筛选值， 但等于或低于土壤环境背景值（见 3.6）水平的， 不纳入污染 地块管理。土壤环境背景值可参见附录 A。3.2 区域环境质量现状3.2.1 环境空气（1）基本污染物环境质量情况为了解项目所在区域环境质量达标情况，本次评价收集了 政服务网发布的2022 年 市生态环境状况公报相关数据和结论，具体如下：按照环境空气质量标准（GB 3095-2012）评价， 市区（ 区、 区、区、 区、 区、 区、临平区、 区、 区和临安区， 下同） 环境空气优良天数为 304 天，同比减少 17 天，优良率为 83.3%，同比下降 4.6 个百分点。市区细颗粒物154、（ PM2.5）达标天数为 354 天， 同比减少 8 天，达标率为 97.0%，67同比下降 2.2 个百分点。2022 年 市区主要污染物为 O3 ， 日最大 8 小时平均浓度第 90 百分位数170ug/m3 。SO2 、NO2 、PM10 和 PM2.5 等 4 项主要污染物年均浓度分别为 6 ug/m3 、32 ug/m3 、52 ug/m3 和 30 ug/m3 ， CO 日均浓度第 95 百分位数为 0.9 mg/m3 。SO2、NO2、 和 CO 达到国家环境空气质量一级标准， PM10 和 PM2.5 达到国家二级标准， O3 略超过国家二级标准。（2）环境空气质量达标区判定155、因2022 年 市生态环境状况公报 中未给出 SO2 、NO2 、PM10 和 PM2.5 等 4项污染物“百分位上日平均 ”，仅给出了达标性结论， 根据环境影响评价技术导则 大气环境（HJ2.2-2018）第 6.2.1.1 条“项目所在区域达标判定， 优先采用国家或地 方生态环境主管部门公开发布的评价基准年环境质量公告或环境质量报告中的数据 或结论 ”的规定， 本次评价仅引用2022 年 市生态环境状况公报中的结论对项 目所在区域达标性进行判定。由于 市区 2022 年臭氧日最大 8 小时平均浓度第 90百分位数存在超标现象， 判定 市区 2022 年环境空气质量不达标。（3）区域达标规划156、根据 市人民政府办公厅关于印发 市大气环境质量限期达标规划的通知（杭政办函20192 号），规划目标： 通过二十年努力， 全市大气污染物排放总量 显著下降，区域大气环境管理能力明显高， 大气环境质量明显改善， 包括 SO2、NO2、 CO、O3、PM10、PM2.5 等 6 项主要大气污染物指标全面稳定达到国家环境空气质量二级标准，全面消除重污染天气，使广大市民尽情享受蓝天白云、空气清新的好天气。到 2025 年，实现全市域大气“清洁排放区 ”建设目标，大气污染物排放总量持续稳定下降，基本消除重污染天气，市区 PM2.5 年均浓度稳定达标的同时，力争年均浓度继续下降， 、 、 等 3 县（市）157、 PM2.5 年均浓度力争达到 30 ug/m3 以下，全市 O3 浓度出现下降拐点。到 2035 年， 大气环境质量持续改善， 包括 O3 在内的主要大气污染物指标全面稳 定达到国家空气质量二级标准， PM2.5 年均浓度达到 25 ug/m3 以下，全面消除重污染天气。同时， 市空气质量改善“十四五”规划已出台， 该规划目标： “十四五”时期， 市持续深化“五气共治”，实现全市大气主要污染物排放总量持续减少目68标，环境空气质量进一步改善。到 2025 年， O3 上升趋势得到有效控制，基本消除中度污染天气，力争超额完成省下达的目标。随着 市大气环境质量限期达标规划、 市空气质量改善 “十158、四五”规划等的持续推进， 市的环境空气质量将会逐步好转。（4）补充监测为进一步了解建设项目所在地环境空气质量现状， 本次评价利用 鸿博环境检 测有限公司于 2022 年 6 月 19 日2022 年 6 月 25 日在项目周边布点监测的相关数据。本章节仅给出补充监测评价结果，具体监测方案、评价结果详见专题一。监测结果表明： 氟化物小时浓度值为0.50.6ug/m3、最大占标率为 8.6% ，日均 浓度值为 0.060.12ug/m3、最大占标率为 0.6%，均满足环境空气质量标准（GB3095-2012）及其修改单（生态环境部公告 2018 年第 29 号）二级标准。氨小时浓度值为 0.050159、.08mg/m3，最大占标率为 40%；硫酸小时浓度值为0.02 0.06mg/m3、最大占标率为 20% ，日均浓度值为 0.00960.0175mg/m3、最大占标率为 17.5%；氯小时浓度值为 0.030.09mg/m3、最大占标率为 90%，日均浓度值为0.001 0.001mg/m3、最大占标率为 3.3%；氯化氢小时浓度值为 0.0260.03mg/m3、最大占标 率为 60% ， 日均浓度值为 0.0080.009mg/m3 、最大占标率为 60%；均能满足环境 影响评价技术导则 大气环境（HJ2.2-2018）附录 D“污染物空气质量浓度参考限值 ”。非甲烷总烃小时浓度值为 160、0.571.15mg/m3，最大占标率为 57.5%，均能满足大气污染物综合排放标准详解中规定的限值要求。综上所述， 项目所在区域设点监测得到的环境空气质量现状数据满足相应标准限值，项目所在区域空气环境质量良好。3.2.2 地表水环境根据2021 年 市生态环境状况公报 ， 市 14 个国控饮用水水源地点位 水质达标率均为 100% ，全市跨行政区域河流交接断面达标率和优于类比例均为 100% ，与 2020 年同期持平， 水质保持稳定。 入海监测断面（七堡断面） 全年水质保 持类，年均高锰酸盐指数为 2.3mg/L、氨氮为 0.102.3mg/L、总磷为 0.0692.3mg/L、总氮为 1161、.672.3mg/L，优于考核目标要求(类）。为了解项目拟建地周围地表水环境质量现状， 本次评价利用 鸿博环境检测有69限公司对项目北侧 6#渠水环境质量现状监测数据进行评价。具体监测方案详见表 3-6。表3-6 地表水水环境质量现状监测方案编号监测点名称方位距离监测时间监测因子监测频率1#6 号渠与三号大堤护塘河交叉口NW约 460m2022.6.2022，共 3 天pH 、DO 、CODMn、CODCr 、BOD5 、氨氮、 总磷、氟化物、铜、砷，并同步记录水温3 天，每 天 1 次2#6 号渠与 23 号 大街交叉口NE约 548m本报告采用单因子评价标准指数法进行水环境质量的现状评价，162、 评价标准为地 表水环境质量标准（GB3838-2002）类标准，地表水水环境质量现状调查结果见表 3-7。表3-7 地表水环境质量现状监测评价结果一览表名称6 号渠与三号大堤护塘河交叉口6 号渠与 23 号大街交叉口最大标 准指数采样日期6.206.216.226.206.216.22水温()27.727.827.127.427.627.5/pH（无量纲）7.67.77.67.57.57.50.35DO（mg/L）5.65.35.55.05.04.90.618CODMn（mg/L）4.024.184.123.463.543.520.418CODCr（mg/L）1517181013120.6B163、OD5（mg/L）3.63.83.72.62.82.90.63氨氮（mg/L）1.201.261.221.161.201.160.84总磷（mg/L）0.170.170.150.150.130.120.57氟化物（mg/L）0.3000.2900.2940.2920.2920.2830.2铜（mg/L）0.050.050.050.050.050.050.05砷（mg/L）2.210-32.010-32.610-31.010-31.110-31.110-30.026由上表可知， 项目各监测水质最大标准指数均小于 1，表明监测水质均达到了地 表水环境质量标准（GB3838-2002）中的类水标准。164、项目所在地地表水环境质量现状良好。3.2.3 声环境为了解项目拟建地声环境质量现状， 本次评价利用 鸿博环境检测有限公司于 2022 年 6 月 20 日对项目厂界四周声环境现状监测数据进行评价，具体监测结果详见表 3-8。70表3-8 声环境现状监测结果序号测点位置监测值（dB）标准值（dB）达标情况昼间夜间昼间夜间1#厂界北侧56.445.56555达标2#厂界东侧58.348.76555达标3#厂界南侧58.248.26555达标4#厂界西侧57.546.76555达标注：监测期间受周边道路交通噪声影响。由监测结果可知， 项目厂界昼间声环境监测值为 56.458.3dB、夜间声环境监测 165、值为 45.548.7dB ，均符合声环境质量标准（GB3096-2008）中 3 类标准，项目所在地声环境质量良好。3.2.4 生态环境根据现场调查，项目位于 市 区白杨街道 19 号大街 656 号，主要利用现 有厂房进行扩建，无新增用地且用地范围内无生态环境保护目标， 结合建设项目环 境影响报告表编制技术指南（污染影响类） （试行） 的要求， 可不进行生态环境现状调查。3.2.5 电磁辐射本项目不涉及广播电台、差转台、电视塔台、卫星地球上行站、雷达等电磁辐射类项目，可不对电磁辐射现状开展监测与评价。3.2.6 地下水、土壤环境项目厂房车间地面都按照规范和标准要求严格落实了硬化和防腐防渗措166、施， 本项 目正常生产情况下， 不存在土壤、地下水环境污染途径， 根据建设项目环境影响报 告表编制技术指南（污染影响类） （试行） ， 项目可不开展地下水、土壤环境现状调查。环 境 保 护 目 标（1）环境空气环境空气保护目标为厂界外 2.5km 范围内的学校、医院、居住区等， 按功能区要求达到环境空气质量标准 （GB3095-2012）二类标准。（2）地表水环境水环境保护目标为纳污水体 江（ 191）， 目标水质为类； 区域内河水体，目标水质为类。（3）声环境71声环境保护目标为厂界外 50m 范围内的学校、医院、居住区等。本项目厂界 50m范围内无敏感点，不存在声环境保护目标。（4）地下水167、环境本项目厂界外 500m 范围内不存在地下水集中式饮用水水源和热水、矿泉水、温泉等特殊地下水资源，无需进行地下水环境保护目标调查。环境保护目标具体情况详见表 3-9。表3-9 项目主要环境保护目标一览表名称坐标保护对象保护内容环境功能 区相对厂址 方位与厂界相对最 近距离经度( )纬度( )大 气 环 境闻潮社区天元公 寓120.36052330.303435居民约 690 户环境空气质量二类功能区NW约 85m新雁公 寓120.37283130.301670居民约 2771 户E约 840m邻里社区120.35281130.29394居民约 2338 户SW约 1000m云水社区120.3168、7019230.307717居民约 3997 户NE约 810m海天社区120.38063130.302409居民约 3051 户E约 1535m朗琴社区120.38438630.301854居民约 3497 户E约 1895m多蓝水岸社区120.38132930.297306居民约 2885 户SE约 1540m伊萨卡社区120.37984830.292775居民约 3197 户SE约 1700m晨光社区120.37328230.287106居民约 4756 户SE约 1595m花园社区120.37863030.287477居民约 4538 户SE约 1805m高教社区120.3593773169、0.315275居民约 2006 户NW约 1248m月雅苑社区120.34611730.309556居民约 1804 户NW约 1115m美达社区120.34213630.310871居民约 3221 户NW约 1823m大北社区120.34359530.306365居民约 2731 户NW约 1680m云滨社区120.38115730.315281居民约 1228 户NE约 2095m江潮社区120.38539530.306918居民约 5003 户NE约 2015m理工大学120.34756530.315077师生在校师生约 30000 人NW约 1435m电子科技大 学120.3408170、2730.314647师生在校师生约 27000 人NW约 2120m职业技术学 院120.34878830.321686师生在校师生约 12000 人NW约 2245m警官职业学 院120.35533330.314937师生在校师生约 3228 人NW约 1285m计量大学120.35831530.322115师生在校师生约 25800 人N 、NW约 2070m水利水电学 院120.36932330.315077师生在校师生约 13000 人N约 1265m72经贸职业技 术学院120.37831430.317609师生在校师生约 12100 人NE约 1165m金融职业学 院120.37171、897930.321707师生在校师生约 11690 人NE约 2386m师范大学120.38852830.318016师生在校师生约 23300 人NE约 2584m工商大学120.38387130.310570师生在校师生约 34000 人NE约 1575m财金大学120.38757330.322125师生在校师生约 16700 人NE约 2915m经济职业技 术学院120.37438730.311107师生在校师生约 10486 人NE约 980m育英职业技 术学院120.34627730.306290师生在校师生约 7500 人NW约 1305m传媒学院120.33936330.322172、077师生在校师生约 14000 人NW约 2747m市第四中学120.37429030.305796师生在校师生约 1780 人NE约 1010m文海教育集 团120.37274530.308038师生在校师生约 2500 人NE约 1025m文清小学120.38312030.306397师生在校师生约 800 人NE约 1874m学正中学120.37831930.296897师生在校师生约 1560 人SE约 1398m学正小学120.37810530.293828师生在校师生约 850 人SE约 1520m听涛小学120.37279430.284172师生在校师生约 450 人SE约 1173、890m实验外国语学校120.34173130.309031师生在校师生约 2400 人NW约 2035m省中医院120.34937830.306949医院860 张床位NW约 1145m规划幼儿园120.33806230.297707师生15 班SW约 2300m规划小学120.33699030.296892师生54 班SW约 2400m规划住宅120.34363130.293545居民/SW约 1765规划住宅120.34319130.292064居民/SW约 1835m地 表 水三号大堤护塘河内河按 GB3838-2002 类水 质标准控制W约 507m6 号渠内河N约 175m12 号174、渠内河S约 590m江（ 191）纳污水体按 GB3838-2002 类水 质标准控制E 、SE约 2215m声环境项目厂址 50m 范围内无声环境保护目标。地下水项目建设场地不涉及生活供水水源地准保护区、生活供水水源地准保护区以外的补给径 流区及地下水环境相关的其他保护区等敏感区。73生态环境本项目利用现有厂房进行生产， 评价范围内不涉及自然保护区、森林公园、风景名胜区 等生态敏感区。污 染 物 排 放 控 制 标 准3.3.1 废气企业扩建前后， 废气污染物排放标准不发生变化。企业排放的 NOx、氟化物、硫酸雾、氯气、氯化氢和非甲烷总烃执行大气污染 物综合排放标准（GB16297- 199175、6）二级排放标准； 氨等恶臭物质执行恶臭污染物 排放标准 （GB14554-93）中二级标准。本项目生产废气排气筒高 25m，具体标准限 值详见表 3-10、表 3-11。表3-10 恶臭污染物排放标准 （GB14554-93）污染物名称最高允许排放速率（kg/h）厂界标准值 mg/m3排气筒（m）二级氨25141.5硫化氢0.90.06臭气浓度6000（无量纲）20（无量纲）表3-11 大气污染物综合排放标准（GB16297-1996）污染物名称最高允许排放浓度（mg/m3）最高允许排放速率（kg/h）无组织排放监控浓度限值 mg/m3排气筒（m）二级氮氧化物240252.85周界外浓度最高176、点0.12颗粒物1202514.451.0氯化氢100250.9150.2硫酸雾45255.71.2氟化物9250.380.02氯气65250.520.4非甲烷总烃12025354厂区内 VOCs 无组织排放监控点浓度应符合挥发性有机物无组织排放控制标 准（GB37822-2019）附录 A 表 A.1 厂区内 VOCs 无组织排放限值中特别排放限值 的要求。 具体标准值详见表 3-12。表3-12 厂区内 VOCs 无组织排放限值污染物项目特别排放限值（mg/m3）限值含义无组织排放监控位置NMHC6监控点处 1h 平均浓度在厂房外设置监控点20监控点处任意一处浓度值3.3.2 废水现有企业177、生产废水和生活污水经厂内预处理达到接管标准后接入管网， 送 市七格污水处理厂处理后排入环境。企业现有废水排放执行污水综合排放标准74（GB8978- 1996）三级标准限值，其中氨氮和总磷指标执行工业企业废水氮、磷污染物间接排放限值（DB33/887-2013）。2021 年 7 月 1 日发布的电子工业水污染物排放标准（GB39731-2020）规定： 新建企业自 2021 年 7 月 1 日起、现有企业自 2024 年 1 月 1 日起， 执行表 1 规定的水 污染物排放限值及其他污染控制要求。本项目预计 2023 年年底建成并投入运行，因 其排放的废水通过现有废水排放口一并排放至市政污水178、管网， 届时现有废水与本次扩 建项目废水合并一起排放， 无法区别。 因此， 本项目运行后， 企业废水处理站出水水 质全部执行电子工业水污染物排放标准（GB39731-2020）中的间接排放限值，因市七格污水处理厂纳管标准中的氨氮控制值为 35mg/L ，严于电子工业水污染物排放标准（GB39731-2020）中间接排放限值， 因此氨氮按照 35mg/L 执行。 具体标准值详见表 3-13。表3-13 水污染物排放标准序号污染物GB8978- 1996 三级标准限值（mg/L 、pH 除外）GB39731-2020 间接排放限值（mg/L 、pH 除外）污染物排放监控 位置1pH6.09.0（无179、量纲）6.09.0（无量纲）企业废水总排放 口2SS4004003石油类20204CODCr5005005TOC/2006氨氮35357总氮/708总磷88.09LAS202010总氰化物1.01.011硫化物1.01.012氟化物202013总铜2.02.014总锌5.01.515总铅1.00.2车间或生产设施 排放口16总镉0.10.00517总铬1.51.018六价铬0.50.219总砷0.50.520总镍1.00.521总银0.50.3市七格污水处理厂出水水质执行城镇污水处理厂污染物排放标准75（GB18918-2002）中的一级 A 标准要求，具体标准值详见表 3-14。表3-14 180、城镇污水处理厂污染物排放标准 （GB18918-2002）污染物pH（无 量纲）COD（mg/L）BOD5（mg/L）SS（mg/L）NH3-N（mg/L）总氮 （mg/L）总磷 （mg/L）一级 A标准695010105（8）*150.5注： *括号外数值为水温12时的控制指标，括号内数值为水温12时的控制指标。3.3.3 噪声项目运营期厂界噪声执行工业企业厂界环境噪声排放标准（GB12348-2008） 中 3 类标准。具体标准值详见表 3-15。表3-15 工业企业厂界环境噪声排放标准（GB12348-2008）厂界外声环境功能区类别等效声级/ dB（A）昼间夜间365553.3.4 固181、体废弃物一般固体废弃物按一般工业固体废物贮存和填埋污染控制标准（GB18599- 2020）的相关要求和中华人民共和国固体废物污染环境防治法及 省固体废 物污染环境防治条例中的有关规定处置； 危险废物执行危险废物贮存污染控制标准（GB18597-2023）；生活垃圾执行 省生活垃圾管理条例 。固体废物贮存、处置场环境保护图形标志应严格按照环境保护图形标志 固体 废物贮存（处置）场（GB15562.2- 1995）及其修改单、 危险废物识别标志设置技术规范（HJ1276-2022）中的要求执行。总 量 控 制 指 标3.4.1 总量控制指标根据重点区域大气污染防治“十二五”规划、 省重金属污染防182、控工作方案等要求，本项目实施后，纳入总量控制指标的污染物确定为 CODCr、氨氮、VOCs。3.4.2 现有总量指标根据企业供的主要污染物排放登记证（杭排污权登 330114111115 号），CODCr 排环境量为 90.27t/a（排污浓度按 35mg/L 计）、氨氮排环境量为 6.45t/a（排污浓度按2.5mg/L 计）、氮氧化物排环境量为 0.8t/a。根据年产 36 万片 12 英寸芯片生产线项目环境影响报告表（报批稿） ，企业产达后，全厂 VOCs 核定排环境量为 3.265t/a、氮氧化物核定排放量为 6.672t/a。763.4.3 总量替代分析根据分析，扩建后全厂主要污染物183、排放变化情况详见表 3-16。表3-16 扩建后全厂主要污染物变化情况污染类型污染物企业许可排 放量（t/a）现有企业审 批总量（t/a）“以新带老”削减量（t/a）本项目新增 量（t/a）扩建后全厂 总量（t/a）变化情况（t/a）废水废水量257.928 万257.72 万011011.325258.821 万+11011.325CODCr（90.27）128.86（90.197）00.551（0.385）129.411（90.582）（+0.385）氨氮（6.45）12.89（6.445）00.055（0.028）12.945（6.473）（+0.028）废气NOx0.86.672006184、.6720VOCs3.2653.26500.0063.271+0.006注： 1、括号内数据以排污交易指标计算，即 COD 35 mg/L 、氨氮 2.5mg/L；2、现有 COD 、氨氮和 NOx 的总量根据企业主要污染物排放权登记证中的量；VOCs 的总量根据新增年产 43.2 万片 8 英寸芯片技术改造项目环境影响报告表（报批稿） 定的量；3、变化情况=扩建后全厂总量-现有企业审批总量。由上表可知，本项目实施后， COD、氨氮、VOCs 较企业现有审批总量有所增加，需进行总量平衡调剂。3.4.4 总量平衡方案（1）根据 市建设项目和排污权交易总量审核管理暂行规定（杭环发2015143 号185、） ，建设项目总量指标削减替代比例要求为：印染、造纸、化工、医药、制革等行业建设项目新增化学需氧量总量指标削减 替代比例为 1:1.2，新增氨氮总量指标削减替代比例为 1:1.5。其他行业新增化学需氧量和氨氮总量指标削减替代比例均不低于 1：1。二氧化硫和氮氧化物新增总量指标削减替代比例为 1:2。生态环境功能区规划及其他相关规划明确主要污染物总量削减替代比例的地 区， 按规划要求执行。其他未作明确规定的地区， 新增主要污染物总量削减替代比例 不得低于 1:1。生态环境功能区规划及其他相关规划确定的削减替代比例低于本办法其他规定的，从严执行。（2）根据关于印发的通知（环发2014197 号）文186、件要求： 年度环境空气质量年平均浓度不达标的城市、水环境质量未达到要求的市县， 相关污染物应按照建设项目所需替代的主要污染物排放总量指标的 2 倍进行削减替代（燃煤发电机组大气污染物排放浓度基本达77到燃气轮机组排放限值的除外） ；细颗粒物（PM2.5）年平均浓度不达标的城市， 二氧 化硫、氮氧化物、烟粉尘、挥发性有机物四项污染物均需进行 2 倍削减替代（燃煤发 电机组大气污染物排放浓度基本达到燃气轮机组排放限值的除外） 。地方有更严格倍量替代要求的，按照相关规定执行。根据2021 年度 市生态环境状况公报有关数据和结论， 2021 年 市为环境空气质量不达标区域， 故本项目新增部分的 VOC187、s 按 1:2 的比例削减替代，新增的 COD 和氨氮按照 1:1 的比例削减替代。本项目总量平衡方案见下表。表3-17 项目总量平衡方案污染类 型总量控制 因子企业许可排放量（t/a）扩建后全厂总量（t/a）扩建后新增量（t/a）削减替代比 例区域削减替 代量（t/a）废水CODCr128.96（90.27）129.411（90.582）+0.451 （+0.312）1:1+0.451 （+0.312）氨氮12.9（6.45）12.945（6.473）+0.045 （+0.023）1:1+0.045 （+0.023）废气NOx6.6726.6720/0VOCs3.2653.271+0.006188、1:20.012注： 括号内数据以排污交易指标计算，即 COD 35 mg/L 、氨氮 2.5mg/L。本次扩建项目污染物排放总量控制如下： 废水量 11011.325t/a，COD 0.551 t/a（按 污水处理厂最终外排浓度 50 mg/L 计）、氨氮 0.055 t/a（按污水处理厂最终外排浓度5mg/L 计）、 VOCs0.006t/a。本项目建成后企业整体排污情况为：废水量 258.821 万 t/a ，COD129.411 t/a（按 污水处理厂最终外排浓度 50 mg/L 计）、氨氮 12.945 t/a（按污水处理厂最终外排浓度5mg/L 计）、氮氧化物 6.672t/a 、189、VOCs3.271 t/a。项目需按照规定进行区域替代削减和排污权交易，具体总量指标由 市生态环境局 区分局管理部门核准和调配。78四 、主要环境影响和保护措施施工 期环 境保 护措施4.1 施工期环境保护措施项目位于 市 区 新区（ ） 19 号大街 656 号 微电子有限公司现有厂区内， 不新增用地， 同时项目利用现有已建厂房及配套工程，无土 建施工期；项目施工期主要进行设备安装，产生的污染很小，基本可忽略，故本环评不予定量分析。考虑到施工期间产生的装饰、包装垃圾，要求施工方及时清运处理处置。固体 废物的处理、处置应满足中华人民共和国固体废物污染环境防治法中的有关规定要求。运营 期环 境影190、 响和 保护措施4.2 运营期环境影响和保护措施4.2.1 废气本项目排放废气中含有氯气，且厂界外最近距离约 85m 处为居住区天元公寓。 因此，本项目设置大气专项评价。本小节仅给出大气环境影响评价主要结论，具体分析情况详见专题一。废气评价结论如下：本项目有组织排放的氟化物、硫酸雾、氯气、氯化氢和非甲烷总烃等均符合大 气污染物综合排放标准（GB16297- 1996）二级排放标准， 氨符合恶臭污染物排放标准 （GB14554-93）中二级标准。无组织气体产生量较小，企业落实本环评的治理措施后，无组织气体不会对周围环境造成不良影响。企业在落实环评出的废气防治措施后，各污染物均能达标排放，正常工况191、下不会对周边环境造成不良影响。4.2.2 废水本项目生产 8 英寸硅基氮化镓（GaN）HEMT 结构电力电子芯片，平均光刻层为 11 层，本项目废水产生及污染物排放情况详细分析如下。4.2.2.1 废水污染源强分析排污许可证申请与核发技术规范 电子工业（HJ1031-2019）给出了电子行 业废水类别、污染物名称及对应可行污染防治措施，但未给出相应污染源源强核算依据。此外， 本行业未发布相应污染源源强核算技术指南， 本项目废水源强主要采79用物料衡算法、产污系数法和类比法进行核算。结合项目工艺特点及物料使用情况，项目生产废水主要包括： W1 含氟废水、 W2 含氨废水、W3 酸洗废水、W4 有192、机清洗废水、W5CMP 废水、W6 废气洗涤塔排 水、 W7 纯水站再生废水和 W8 员工生活污水。 本项目利用现有项目配置的喷淋塔 进行酸碱废气的进一步处理，因原有项目喷淋塔排水计算时已按设计最大风量、气液比等参数考虑，因此本项目不再重复计算该部分排水。（1）含氟废水项目含氟废水主要来源为硅片清洗（氢氟酸和超纯水混合液， HF：H2O=1:40）， 其中混合液定期更换，根据物料衡算，该部分混合液产生量为 61.052t/a，纳入含氟 废水处理系统， 后续采用三级超纯水清洗方式（第一级水洗次数 10 次、第二级水洗 次数 8、第三级水洗次数 7 次），水洗槽纯水容量为 30L，每次清洗片数为 193、30 片， 每天清洗 3 批次，其中第一、二级清洗废水收集后进入废水处理系统进行处理，第 三级清洗废水排入工艺清洗水系统处理后回收利用。由此可计算得到，前段含氟清 洗废水（含 HF 废液） 产生量为 1.8055t/d 、595.652 t/a，后段含氟清洗废水产生量为0.63t/d 、207.9t/a。（2）含氨废水项目碱洗采用氨水、双氧水的混合液（NH4OH：H2O2=1:3），碱洗后均需要用 纯水冲洗，其中混合液定期更换，根据物料衡算，该部分混合液产生量为 4.75t/a ， 其中 10%随工件带入后续水洗工序中， 90%的混合液作为固废管理。碱洗后采用三 级超纯水清洗方式（清洗次数、废194、水去向同上述），水洗槽纯水容量为 30L，每 次清洗片数为 30 片， 每天清洗 4 批次， 由此可计算得到前段含氨清洗废水（含部分废液） 产生量为 2.161t/d、713.275t/a，后段含氨清洗废水产生量为 0.84t/d、277.2t/a。（3）酸性废水项目生产过程中酸洗工段主要使用物料为盐酸/超纯水（HCl：H2O=1:40）或硫 酸/双氧水（H2 SO4 ：H2O2=1:3）混合液， 上述工段作业后需采用纯水对产品表面进 行三级清洗， 其中酸液定期更换。根据物料衡算， 盐酸混合液产生量为 28.15t/a，硫 酸混合液产生量为 2.25t/a，其中废硫酸混合液作为固废管理， 不进195、入废水处理系统， 其余废盐酸混合液与前道（第一、第二级）清洗废水收集后进入厂区废水处理系统进行处理，后道清洗废水排入工艺清洗水系统处理后回收利用。80采用三级超纯水清洗方式（清洗次数、废水去向同上述） ，水洗槽纯水容量 为 30L，每次清洗片数为 30 片， 每天清洗 8 批次， 由此可计算得到前段酸性清洗废 水（含盐酸废液）产生量为 4.405t/d、1453.75t/a，后段酸性清洗废水产生量为 1.68t/d、554.4t/a。（4）有机清洗废水显影后需要用超纯水进行冲洗，该过程产生有机清洗废水。本项目采用三级超 纯水清洗方式（清洗次数、废水去向同上述），水洗槽容量为 30L，每次清洗片196、 数为 30 片，每天清洗 11 批次， 由此可计算得到前段有机清洗废水产生量为 5.94t/d、1960.2t/a，后段有机清洗废水产生量为 2.31t/d 、762.3t/a。（5）研磨废水芯片研磨减薄过程是在纯水冲洗中进行，类比现有项目，研磨过程纯水用量为 6t/d。由于企业生产工艺均为精细化作业， 损耗水量极少， 因此该部分水量全部纳入研磨废水，则研磨废水产生量为 6t/d 、1980t/a。（6）POU 燃烧水洗净化装置排水本项目配套的 2 台化学气相沉积设备、1 台光刻机以及 2 台刻蚀机均配有 POU 燃烧水洗净化装置。根据设备参数，每套 POU 喷淋装置循环量为 3-5L/mi197、n，本项 目保守取循环量 5L/min，则项目 POU 喷淋装置年循环水量为 11880t/a。该设备整 体损耗以 22%计， 其中蒸发损耗 2%，定期排放量以 20%考虑， 则 POU 燃烧水洗净化装置排水量为 7.2t/d 、2376t/a。（7）纯水站废水纯水站废水包括 2 部分：纯水制备浓水、反洗水。根据水平衡，项目生产工艺 使用纯水约 8832t/a，设备纯水制备效率为 80%，则需要新鲜水 11040t/a ，RO 浓水 产生量 1656t/a、反洗水产生量 552t/a。其中 165t 浓水作为企业冲厕用水回用、811.8t浓水作为 POU 洗涤塔补水，剩余 679.2t 浓水、198、552t 反洗水纳入污水处理站。（8）生活污水项目新增员工人数 25 人， 类比企业现有情况， 员工生活用水（含员工洁净服清 洗） 按 100L/人班计， 则生活用水量为 825t/a（全年以 330 天计） 。废水量按用水 量的 85%计， 则生活污水产生量为 2.125t/d、701.25t/a，主要污染物为 COD、BOD5、SS 、NH3-N 和动植物油等，经隔油池、化粪池处理后与生产废水一并纳管排放。81运营期环境影响和保护措施综上所述，本项目废水产生及去向情况详见表 4- 1。表4-1废水产生及去向情况序号废水类别产生工序主要污染物排放方式核算方法产生量（t/a）处理措施及排放去向199、1W1- 1 、W1-4 、W1-7 含氟废水硅片投料清洗、研磨 清洗pH 、COD 、SS 、氨 氮、 氟化物间断、有 周期性物料衡算61.05含氟废水处理系统酸碱综合废水中和系统废水总排口污水处理厂2W1-2 、W1-5 、W1-8 前段含氟清洗废水物料衡算534.63W2- 1 、W2-4 、W2-7 、W2- 10 含氨废水硅片投料清洗、湿法 刻蚀清洗、研磨清洗pH 、COD、氨氮、 SS物料衡算0.475酸碱综合废水中和系统 废水总排口污水处理厂4W2-2 、W2-5 、W2-8 、W2- 11 前段含氨清洗废水物料衡算712.85W3- 1 、W3-4 、W3-7 、W3- 10 200、W3- 13 、W3-16 、W3- 19 、W3-22 酸性废水硅片投料清洗、湿法刻蚀清洗、去胶后清洗pH 、COD 、SS、氨 氮、总磷物料衡算28.156W3-2 、W3-5 、W3-8 、W3- 11 、W3- 14 、W3-17 、W3-20 、W3-23 前段酸性清洗废水物料衡算1425.67W4- 1 、W4-3 、W4-5 、W4-7 、W4-9 、W4- 11、W4- 13 、W4- 15 、W4- 17 、W4- 19 、W4-21 前段有机清洗废水光刻pH 、COD 、SS、氨氮物料衡算1960.28W6POU 洗涤塔排水POU 系统pH 、COD 、SS、总 磷、氟化201、物、总氮系数法23769W5- 1 、W5-2 研磨废水CMP 研磨工序pH 、COD 、SS连续类比法1980CMP 废水处理系统酸 碱综合废水中和系统废 水总排口污水处理厂10W1-3 、W1-6 、W1-9 后段含氟清洗废水硅片投料清洗、研磨 清洗SS间断、有 周期性类比法207.9中水回用处理系统11W2-3 、W2-6 、W2-9 、W2- 12 后段含氨清洗废 水硅片投料清洗、湿法 刻蚀清洗、研磨清洗SS类比法277.212W3-3 、W3-6 、W3-9 、W3- 12 、W3- 15 、W3-18 、W3-21 、W3-24 后段酸洗废水硅片投料清洗、湿法 刻蚀清洗、去胶清洗S202、S类比法554.48213W4-2 、W4-4 、W4-6 、W4-8 、W4- 10 、W4- 12、W4- 14 、W4- 16 、W4- 18 、W4-20 、W4-22 后段 有机清洗废水光刻SS类比法762.314W7 纯水站废水纯水制备pH 、COD 、SS、氨氮连续系数法2208酸碱综合废水中和系统 废水总排口污水处理厂15W9 洁净服清洗废水洁净服清洗pH 、COD 、SS、氨氮间断类比法280.516生活污水pH 、COD 、BOD5 、NH3-N 、SS、动植物油间断类比法420.75栅格、隔油池废水总排 口污水处理厂17合计/13789.925/本项目生产废水处理系统主要203、包括： 中和处理系统、含氟废水处理系统、CMP 废水处理系统、RCM 废水回用处理系统。项目生 产废水分类收集进入污水处理站相应的废水处理系统进行处理。生活污水经化粪池处理后进入污水管网。经处理后的生产废水和生活污水一起经厂区废水总排口排入市政污水管网、送 市七格污水处理厂统一处理达标后排放。项目废水污染源强及基本信息情况详见表 4-2表 4-4。表4-2 项目废水污染源强汇总表废水处理 系统主要污染物处 理 前治理措施处 理 后年排放时间（d）废水产生 量（t/d）产生量（kg/d）浓度 （mg/L）处理能 力治理工 艺治理效 率是否为可行技术判断依据废水排 放量 （t/d）排放量（kg/d204、）排放浓度 （mg/L）含氟废水 处理系统COD9.0052.702300100t/hpH 调节 +混凝沉 淀+中和10%是排污许 可证申请 与核发技 术规范9.0052.431270330氟化物3.064340.290%0.30634.02氨氮0.0535.90%0.0535.9总氮0.1261410%0.11312.6总磷0.0394.3510%0.0353.915RCM 废 水回用处 理系统SS5.464.09575090t/h砂滤+炭 滤90%是电子工业（HJ1031- 2019）5.460.4175330CMP 废水 处理系统SS62.440060t/h80%是60.4880330C205、OD0.915010%0.8113583氨氮0.0915pH 调节 +混凝沉 淀+中和10%0.08113.5中和废水 处理系统总磷17.0880.1520.89350t/h二段式中和反应0%是17.0880.1520.89330总氮0.513300%0.51330COD5.015293.50%5.015293.5SS0598350%059835氨氮0.171100%0.17110生活污水COD1.2750.446350/化粪池+ 隔油池0%是1.2750.446350330BOD50.1911500%0.191150氨氮0.045350%0.04535表4-3 项目废水间接排放口基本情况表序206、 号排放口编号 及名称类型排放口地理坐标废水排放量（t/a）排放方式排放去向排放规律排放标准经度纬度1DW001企业总排口主要排 放口1202141.257230 184.220311011.325间接排放市七格污水处理厂间歇排放，排放 期间流量不稳定 且无规律，但不 属于冲击型排放电子工业水污染物排放标准（GB39731-2020）中间接排放限值，其 中氨氮执行工业企业废水氮、磷污染 物间接排放限值（DB33/ 887-2013）表4-4 本项目废水污染物排放浓度情况表名 称pHCOD氨氮总氮总磷氟化物SS项目建成后预测排放浓度（mg/L）69（无量纲）260.810.518.85.69.2207、32.3纳管执行标准值（mg/L）69（无量纲）50035708.020400达标情况达标达标达标达标达标达标达标本项目废水产排情况汇总情况详见表 4-5。84运 营 期 环 境 影 响 和 保 护 措 施表4-5 项目废水产排情况一览表污染物产生情况纳管情况排放情况浓度（mg/L）产生量（t/a）浓度（mg/L）纳管量（t/a）浓度（mg/L）排放量（t/a）废水量/13789.925/11011.325/11011.325CODCr216.92.991260.82.872500.551SS169.72.34132.30.356100.110氟化物73.31.0119.20.101/氨氮8.208、60.11810.50.11550.055总氮15.30.21118.80.207150.165总磷4.60.0635.60.0620.50.006综上所述， 本项目外排废水在企业总排口能够达到电子工业水污染物排放标准（GB 39731-2020）中水污染物间接排放限值， 其中氨氮能满足 市七格污水处理厂纳管标准。项目废水经厂区污水处理站处理后， 各项污染物排放浓度均能满足污水处理厂对本项目的纳管水质要求。4.2.2.2 治理措施（1）废水处理措施本项目废水根据自身特性， 分别进入相应的废水处理系统进行处理， 处理后再进入最终中和处理系统进行中和处理后纳管排放。企业污水处理站工艺流程图详见图 209、4- 1。85图4-1 项目废水处理工艺流程图（2）回用水处理工艺本项目 RCM 回用水处理系统主要用于处理后道比较清洁的清洗废水，处理工艺详见图 4-2。图4-2 RCM 回用水处理工艺流程图企业个废水处理系统设计处理能力与全厂废水处理需求匹配性情况详见表 4-6。86表4-6 各废水处理系统设计处理能力与废水处理需求匹配情况序 号处理装置名 称废水治理工艺设计处理规模（t/h）废水量（t/h）已有处 理规模在建处 理能力合计现有已 建项目在建项 目新建项 目合计1含氟废水处 理系统化学沉淀+中 和调节100601604540.80.37586.1753CMP 废水处 理系统混凝沉淀+中 和210、调节506012024.721.30.2546.253综合酸碱废 水酸碱中和调节350180530174.2151.20.712326.1124RCM 回用水 系统中和调节+碳 滤9009044.5441.040.22885.808由上表可知，本项目建成达产后，全厂各股废水产生量均小于企业现有相应废水 处理系统设计处理规模， 能满足全厂废水处理需求，可做到全部收集进入现有废水处 理站（在建污水处理站作为备用，若现有污水处理系统发生故障需暂停使用时，则开 启在建污水处理系统）。处理后的废水， 通过厂区现有的一个污水排放后接入周边市政污水管网。扩建后进入 RCM 回用水处理系统的水量为 85.80211、8t/h，小于该系统设计处理规模 （90t/h），后道清洗废水经该系统处理后全部回用至 POU 洗涤塔和冷却塔补水。根据 计算，扩建后全厂达产情况下洗涤塔所需水量为 45.45t/h、冷却塔补充水需求量为 89.25t/h，合计所需补充水量为 134.7t/h。RCM 回用水系统产生的水量小于补充所需水量，可得到全部回用。（3）达标处理可行性分析对照排污许可证申请与核发技术规范 电子工业（HJ1031-2019），本项目废水治理措施均为其推荐的可行性技术，可满足项目废水处理需求。具体情况详见表 4-7。表4-7 排污单位废水污染防治推荐可行技术符合性分析废水类型废水污染物推荐可行技术本项目情况212、是否 符合含氟废水氟化物化学沉淀法、其他化学沉淀+中和调节符合酸碱废水pH 、CODCr、氨氮/中和调节符合研磨废水SS/絮凝沉淀+中和调节综合废水pH 值、 CODCr 、BOD5 、石油类、氨 氮、 SS 、TP、氟化物中和调节法、生化法、其他中和调节符合生活污水CODCr、氨氮等隔油池+化粪池、其他化粪池符合同时， 企业现状废水水质与本项目废水水质一致，污水处理工艺一致， 根据对现87有厂区废水总排口水质的调查（具体详见表 2- 16、表 2- 17），项目废水经厂区污水处 理后， 水质符合电子工业水污染物排放标准（GB39731-2020）中的间接排放限值。因此，本项目采用上述废水处理213、方式可行。4.2.2.3 影响分析（1） 市七格污水处理厂概况工程概况市七格污水处理厂始建于 1999 年， 由主城区第三污水处理系统、临平污水系 统及 污水系统组成，污水处理总规模为 150 万 m3/d，其中一期 40 万 m3/d，二期 20 万 m3/d、三期 60 万 m3/d、四期 30 万 m3/d。为加快城市化建设进程， 2014 年启动了一期、二期和三期标改造工程， 现已全部建成并通过 竣工验收。标改造后，一、二、三期出水分别通过独立尾水排放管排入 江，四期工程排放口与二期工程为同一排放口， 出水水质均执行城镇污水处理厂污染物排放标准（GB18918-2002）中的一级 A 214、标准。处理工艺市七格污水处理厂废水处理工艺详见图 4-3 至图 4-6。实际运行状况根据“ 省排污单位执法监测信息公开平台” 2022 年监测数据， 市七格污水处理厂出水各主要指标均能达到城镇污水处理厂污染物排放标准（GB 18918-2002）中的一级 A 标准，具体出水水质标准见表 4-8。表4-8 市七格污水处理厂出水水质监测情况（ mg/L ，pH 除外）日期pH（无 量纲）TPCODCrSSNH3-N总氮BOD5石油类2022.1.176.60.061440.0187.720.70.042022.5.126.70.081030.27.720.50.042022.8.177.00.09215、1240.0256.230.60.062022.11.107.10.091340.0255.880.50.06GB18918-2002一级 A 标准690.55010515101达标情况达标达标达标达标达标达标达标达标根据 省污染源自动监控信息管理平台相关信息， 市七格污水处理厂三期工程平均日处理量约 50 万 m3/d，四期工程平均日处理量约 25 万 m3/d，总体负荷约83%，污水处理厂处理能力留有一定的余量。88图4-3 一期工程废水处理工艺流程图图4-4 二期工程废水处理工艺流程图图4-5 三期工程废水处理工艺流程图89图4-6 四期工程废水处理工艺流程图（2）依托集中污水处理厂可行216、性分析本项目所在区域位于 市七格污水处理厂污水收集范围内， 区域污水管网已建成并运行多年，项目废水水质满足 市七格污水处理厂设计进水标准。根据 省污染源自动监控信息管理平台查询数据， 污水处理厂目前运行稳定，排放口各污染物 在线监测数据均能稳定达标，且污水处理厂处理能力留有一定的余量。项目废水平均 每天排放量为 33.367t/d， 占污水处理厂的容量极少， 未超出 市七格污水处理厂处理能力上限。项目废水经厂内污水处理设施处理后各污染物排放浓度均满足污水综合排放标 准（GB8978- 1996）、工业企业废水氮、磷污染物间接排放限值（DB33/ 887-2013） 和污水排入城镇下水道水质标准217、（GB/T 31962-2015）等相关要求， 可纳管送至杭州市七格污水处理厂进行进一步处理达标排入环境。（3）小结项目所采取的水污染控制和水环境影响减缓措施有效， 项目废水纳管排放到市七格污水处理厂进一步处理达标后排入环境。只要企业严格执行废水达标纳管排放， 废水接管后不会对污水处理厂污染负荷及正常运行产生不利影响；废水纳管排放，对项目周围水环境基本无影响。因此，项目建成后造成的地表水环境影响可以接受。4.2.2.4 监测要求根据排污单位自行监测技术指南 电子工业（HJ1253-2022）、排污许可证申 请与核发技术规范 电子工业（HJ1031-2019），制定本项目废水污染物监测计划， 具218、体详见表 4-9。90表4-9 废水污染物监测计划监测点位监测因子监测频次执行标准总排口DW001流量自动监测/NH3-N自动监测工业企业废水氮、磷污染物间接排 放限值（DB33/ 887-2013）pH 值、 CODCr自动监测电子工业水污染物排放标准 （GB39731-2020）间接排放限值总磷、氟化物、 BOD5 、SS、总氮次/月4.2.3 噪声4.2.3.1 源强分析本项目所使用的生产设备属于精细设备，生产设备的噪声级较低，且均位于洁净 厂房内， 通过厂房、围墙阻隔， 声级很小； 同时， 本项目 设备及动力设备均依托现有设备，不新增相关设备。本项目噪声污染源源强核算结果及相关参数见表219、 4-10。4.2.3.2 污染治理设施为尽量减少项目噪声对周边环境的影响，项目在运营过程中可采取以下隔声降噪 措施：合理布局生产设备在车间内的位置，与车间墙体保持一定的距离，以降低噪声 的传播和干扰，减少对周围环境的影响， 通过建筑物阻隔降低噪声的传播和干扰； 定期对生产设备进行检修，避免因设备不正常运转产生的高噪现象。4.2.3.3 影响分析本次环评采用环安科技公司研发的噪声预测软件 Noise System 进行预测，噪声预 测过程中考虑了几何发散、空气吸收、地面吸收和屏障衰减等的影响。因本项目为扩 建项目， 本底监测时未包括在建项目，因此预测厂界噪声达标情况时需叠加现状背景值以及在建项220、目贡献值，具体预测结果详见表 4-11。91运 营 期 环 境 影 响 和 保 护 措 施表4-10 工业企业企业噪声源强调查清单（室内声源）序 号建筑物名称声源名称声压级/距声源距离(dB(A)/m)声源控 制措施空间相对位置/m距室内边界 距离/m室内边界声 级/dB(A)运行时段建筑物插入 损失/dB(A)建筑物外噪声XYZ声压级/dB(A)建筑物外 距离/m1主生产厂房光刻机65/1/149.38119.171063.8343.74昼间2017.7412光刻机65/1/149.38119.171057.7443.75昼间2017.7513光刻机65/1/149.38119.171058221、.2343.75昼间2017.7514光刻机65/1/149.38119.1710105.7043.74昼间2017.7415光刻机65/1/149.38119.171063.8343.74夜间2017.7416光刻机65/1/149.38119.171057.7443.75夜间2017.7517光刻机65/1/149.38119.171058.2343.75夜间2017.7518光刻机65/1/149.38119.1710105.7043.74夜间2017.7419刻蚀机 160/1/83.41119.171063.5238.75昼间2012.75110刻蚀机 160/1/83.41119.222、1710123.7138.74昼间2012.74111刻蚀机 160/1/83.41119.171058.3938.75昼间2012.75112刻蚀机 160/1/83.41119.171039.7338.76昼间2012.76113刻蚀机 160/1/83.41119.171063.5238.75夜间2012.75114刻蚀机 160/1/83.41119.1710123.7138.74夜间2012.74115刻蚀机 160/1/83.41119.171058.3938.75夜间2012.75116刻蚀机 160/1/83.41119.171039.7338.76夜间2012.76117刻蚀223、机 260/1/89.41119.171063.5538.75昼间2012.75118刻蚀机 260/1/89.41119.1710117.7138.74昼间2012.74119刻蚀机 260/1/89.41119.171058.3738.75昼间2012.75120刻蚀机 260/1/89.41119.171045.7338.76昼间2012.76121刻蚀机 260/1/89.41119.171063.5538.75夜间2012.75122刻蚀机 260/1/89.41119.1710117.7138.74夜间2012.74123刻蚀机 260/1/89.41119.171058.3738224、.75夜间2012.75124刻蚀机 260/1/89.41119.171045.7338.76夜间2012.76125清洗机65/1/116.02119.171063.6743.74昼间2017.7419226清洗机65/1/116.02119.171091.1043.74昼间2017.74127清洗机65/1/116.02119.171058.3143.75昼间2017.75128清洗机65/1/116.02119.171072.3443.74昼间2017.74129清洗机65/1/116.02119.171063.6743.74夜间2017.74130清洗机65/1/116.02119.225、171091.1043.74夜间2017.74131清洗机65/1/116.02119.171058.3143.75夜间2017.75132清洗机65/1/116.02119.171072.3443.74夜间2017.74133溅射台60/1/163.63119.921063.1438.75昼间2012.75134溅射台60/1/163.63119.921043.4938.76昼间2012.76135溅射台60/1/163.63119.921058.9538.75昼间2012.75136溅射台60/1/163.63119.9210119.9538.74昼间2012.74137溅射台60/1/1226、63.63119.921063.1438.75夜间2012.75138溅射台60/1/163.63119.921043.4938.76夜间2012.76139溅射台60/1/163.63119.921058.9538.75夜间2012.75140溅射台60/1/163.63119.9210119.9538.74夜间2012.74141显影机 165/1/106.65124.041058.7643.75昼间2017.75142显影机 165/1/106.65124.0410100.4443.74昼间2017.74143显影机 165/1/106.65124.041063.2043.75昼间201227、7.75144显影机 165/1/106.65124.041062.9743.75昼间2017.75145显影机 165/1/106.65124.041058.7643.75夜间2017.75146显影机 165/1/106.65124.0410100.4443.74夜间2017.74147显影机 165/1/106.65124.041063.2043.75夜间2017.75148显影机 165/1/106.65124.041062.9743.75夜间2017.75149显影机 265/1/106.65119.541063.2643.75昼间2017.75150显影机 265/1/106.65228、119.5410100.4743.74昼间2017.74151显影机 265/1/106.65119.541058.7043.75昼间2017.75152显影机 265/1/106.65119.541062.9743.75昼间2017.75153显影机 265/1/106.65119.541063.2643.75夜间2017.75154显影机 265/1/106.65119.5410100.4743.74夜间2017.7419355显影机 265/1/106.65119.541058.7043.75夜间2017.75156显影机 265/1/106.65119.541062.9743.75夜间229、2017.75157显影机 365/1/107.03114.671068.1343.74昼间2017.74158显影机 365/1/107.03114.6710100.1243.74昼间2017.74159显影机 365/1/107.03114.671053.8343.75昼间2017.75160显影机 365/1/107.03114.671063.3543.75昼间2017.75161显影机 365/1/107.03114.671068.1343.74夜间2017.74162显影机 365/1/107.03114.6710100.1243.74夜间2017.74163显影机 365/1/10230、7.03114.671053.8343.75夜间2017.75164显影机 365/1/107.03114.671063.3543.75夜间2017.75165退火炉70/1/135.89116.921066.0148.74昼间2022.74166退火炉70/1/135.89116.921071.2548.74昼间2022.74167退火炉70/1/135.89116.921056.0248.75昼间2022.75168退火炉70/1/135.89116.921092.2148.74昼间2022.74169退火炉70/1/135.89116.921066.0148.74夜间2022.74170231、退火炉70/1/135.89116.921071.2548.74夜间2022.74171退火炉70/1/135.89116.921056.0248.75夜间2022.75172退火炉70/1/135.89116.921092.2148.74夜间2022.74194运 营 期 环 境 影 响 和 保 护 措 施表4-11 噪声预测结果预测点位东厂界南厂界西厂界北厂界本项目贡献值（dB）44.437.438.626.8在建项目贡献值（dB）48.645.248.048.1背景值（dB）昼间58.358.257.556.4夜间48.748.246.745.5预测值（dB）昼间58.958.458.0232、57.0夜间52.450.250.750.0标准值（dB）昼间65夜间55达标情况达标达标达标达标注：在建项目贡献值引用年产 36 万片 12 英寸芯片生产线项目环境影响报告表中的相关数据。由上表可知， 本项目厂界昼、夜间噪声预测值均符合工业企业厂界环境噪声排放标准（GB12348-2008）中 3 类标准。4.2.3.4 监测要求根据排污单位自行监测技术指南 电子工业（HJ1253-2022），确定本项目噪声监测计划，具体详见表 4-12。表4-12 噪声监测计划监测点位监测指标监测频次执行标准厂界LAeq1 次/季度工业企业厂界环境噪声排放标准（GB12348- 2008）中 3 类注：项233、目采取昼夜三班制生产，噪声需监测昼夜间噪声值4.2.4 固体废物4.2.4.1 源强核算依据中华人民共和国固体废物污染环境防治法（2020.4.29 修订） 、固体废 物鉴别标准 通则（GB 34330-2017）、国家危险废物名录（2021 年版） 及危 险废物鉴别标准 通则（GB 5085. 7-2019）等进行判定。项目固废主要有废弃的电子 元器件、废硫酸、废碱、 废光刻胶、 废显影液、 废蚀刻液、 废靶材、 废化学品包装、 废吸附材料、废活性炭、废沸石、废 RO 膜及离子交换树脂、废汞灯、 废润滑油、 污泥、废弃的擦拭抹布、废弃的一般包装材料以及员工生活垃圾等。项目固废源强核算详见表 234、4-13。表4-13 本项目固体废物产生量核算表序 号固体废物种类产生环节核算方法产生量（t/a）核算依据1废弃的电子元器检验类比法0.4根据对现有企业的类比调查95件2废硫酸清洗物料平衡 法2.025硫酸用量为 798.6kg/a ，使用时和双氧水按照 1:3 进行混合， 10%随工件带入后续工序，其余约作为废液收集3废碱清洗物料平衡 法4.275氨水用量为 1012.5kg/a ，使用时和双氧水 按照 1:3 进行混合，氨挥发量按 15%计， 10%随工件带入后续工序，其余作为废液收集4废光刻胶涂胶物料平衡 法0.275光刻胶合计用量约为 325kg/a，约 85%进 入固废5废显影液显影235、物料平衡 法3.48显影液用量为 4093.88kg/a，约 85%进入固 废6废蚀刻液湿法刻蚀物料平衡 法0.211刻蚀液用量为 222.22kg/a，约 95%进入固 废7废靶材金属溅射物料平衡 法0.003靶材用量 12.8kg/a ，约 20%未完全蒸发残 留在设备内8废化学品包装原料使用 拆包类比法0.5根据对现有企业的类比调查9废活性炭废水处理类比法0.15根据对同类型企业的类比调查10废沸石废气处理类比法0本项目有机废气接入现有沸石浓缩转轮焚 烧系统， 该套系统沸石填装量 2t，更换时 间为 3 年，本项目不再重复计算废沸石产生量。11废吸附材料废气处理类比法0.65吸附材料一月236、一换，本项目有 1 台 POU采用干式吸附，单台设备填料安装量为50kg12废 RO 膜及离子 交换树脂废水处理类比法0.05根据对同类型企业的类比调查13废汞灯曝光类比法0.003根据对同类型企业的类比调查14废润滑油设备维修 保养类比法0.03根据对现有企业的类比调查15废抹布（含手 套）设备维修 保养类比法0.015根据对现有企业的类比调查16废弃的一般包装 材料原料使用 拆包类比法0.5根据对现有企业的类比调查17污泥废水处理 系统类比法3.5现有企业处理 1 吨废水污泥产生量约0.3kg18职工生活垃圾员工生活系数法12.375员工生活垃圾按人均 1.5kg/d 计，项目劳 动定员 237、25 人，年工作时间 330d项目固废产生及利用、处置去向详见表 4-14。96运 营 期 环 境 影 响 和 保 护 措 施表4-14 项目固体废物源强汇总表固体废物名称产生环节固废属性危险废物类别/一般固废类别代码危险特性物理性状主要有毒有害物 质名称产生量（t/a）贮存方式利用处置方式和去向利用或 处置量 （t/a）废弃的电子元 器件检验一般固废废电器电子 产品 14/固/0.4一般固废暂存间、袋 装收集后由物资公司回收0.4废包装材料原料使用拆包一般固废废复合包装07/固/0.5一般固废暂存间、扎 捆/袋装0.5污泥废水处理系统一般固废有机废水污 泥 62/固/3.5污水处理站、袋装3238、.5废靶材物理气相沉积一般固废废有色金属10/固/0.003一般固废暂存间、袋 装0.003废蚀刻液（高浓度含氨废 液）湿法刻蚀危险废物HW35900-355-35C,T液氟化铵等0.211废液暂存间、罐装委托有资 质公司清 运处理0.211废光刻胶涂胶危险废物HW06900-402-06T,I,R液丙二醇等0.275有机废液暂存间、罐 装暂存0.275废碱清洗危险废物H35900-352-35C,T液氨4.275废液暂存间、罐装4.275废酸清洗危险废物HW34900-300-34C,T液硫酸2.025废液暂存间、罐装2.025废显影液显影危险废物HW16398-001- 16T液显影液3.239、48桶装后立即委托外 运，不在厂区内暂存3.48废化学品包装原料使用拆包危险废物HW49900-041-49T/In固沾染异丙醇、丙 酮、HF、氟化铵 等有毒有害物质0.5袋装/桶装后立即委托外运，不在厂区内暂存0.5废吸附材料废气处理危险废物HW49900-041-49T/In固沾染 HF、氟化铵等有毒有害物质0.65袋装后立即委托外 运，不在厂区内暂存0.65废活性炭废水处理危险废物T固0.150.1597废 RO 膜及离 子交换树脂废水处理危险废物HW13900-015- 13T固废弃的 RO 膜及 离子交换树脂0.050.05废汞灯曝光危险废物HW29900-023-29T固含汞荧光灯240、管0.0030.003废润滑油设备维修保养危险废物HW08900-214-08T,I液废润滑油0.03桶装后立即委托外 运，不在厂区内暂存0.01废抹布（含手 套）设备维修保养危险废物HW49900-041-49T/In固沾染润滑油等物 质0.015袋装后立即委托外 运，不在厂区内暂存生活垃圾员工生活一般固废/固纸张、塑料袋等12.375/环卫部门 定期清运12.3754.2.4.2 固废处置合理性分析（1）一般固体废物管理要求本项目产生的一般工业固废主要为一般废包装材料、污泥、废靶材和生活垃圾等。废包装材料和废靶材等一般工业固废收集后先进行安全分类贮存，出售给相关企业综合利用；污泥产生后袋装241、暂存于污水处理站，企业均委托 环境服务有限公司清运处置。生活垃圾产生后委托当地环卫部门定期清运处置。企业应当建立健全固体废物污染环境防治责任制度， 建立一般工业固体废物种类、产生量、流向、贮存、处置等资料档案。 同时企业应生产过程中实行减少固废的产生量和危害性、充分合理利用和无害化处置固废的原则，促进清洁生产和循环经济发展。（2）危险废物管理要求项目危险废物处置应严格按照中华人民共和国固体废物污染环境防治法（2020.4.29 修订）中有关危险废物的管理条款 执行，危险废物按法规要求应委托有资质的单位进行处理。考虑企业危险废物难以保证及时外运处置，企业应设置有危废暂存 库， 对危险废物进行收集242、及临时存放， 然后集中由有资质单位收集处理。危险废物进行临时存放时， 需按危险废物贮存污染控制标准、中华人民共和国固体废物污染环境防治法的相关要求，使用密封容器进行贮存，且须采用防漏措施。98运 营 期 环 境 影 响 和 保 护 措 施企业现有废酸及高浓度含氨废水暂存间、有机废液暂存间各 1 处，单个暂存间面积约 350m2。本项目达产后，全厂危废产生情况详见下表。表4-15 达产后全厂危废产生情况固废名称危险废物 代码现有 8 英寸项 目 2022 年产 生量（t/a）在建 12 英寸项目预计产生 量（t/a）本次扩建项目预计产生量 （t/a）合计产生量（t/a）包装方式废酸HW34900243、-300-34302.63101.12.025405.755罐装高浓度含氨废 液H35900-355-3512.599.640.211112.351罐装废碱H35900-352-35/4.2754.275罐装废有机溶剂HW0662.6106.990.295169.885罐装900-402-06废感光材料HW16213.28125.273.48342.03桶装398-001- 16废试剂容器、 化学品包装等HW49900-041-4915.9200.536.4袋装/桶装废抹布0.050.150.0150.215袋装实验室废液HW490.41/0.41罐装900-047-49废活性炭（含吸附材料）244、HW49900-041-490150.815.8袋装废沸石02t/3 年02t/3 年袋装废 RO 膜及离 子交换树脂HW130100.0510.05袋装900-015- 13废汞灯HW2900.10.0030.103袋装900-023-29废润滑油HW080.10.50.030.63桶装900-214-08废液暂存间内设有 5 个废酸储罐（每个储罐容量为 5t、合计容量 25t）、 1 个废氨 储罐（容量 20t）以及 4 个有机废液储罐（2 个容量为 5t、其余 2 个容量分别为 2t 、3t， 合计容量 15t）。企业已经与各家危废处置单位签订了协议， 废液清运车每 7 天必须清 运一次245、，最大暂存周期不得超过 15 天， 则需在厂内暂存的废酸为 18t、废碱液 5.3t、有机废液 7.7t，现有储罐可以满足全厂危废的暂存。其余危险固废产生后放置在厂房内固定的物流通道（位于洁净车间室内，通道已99做好防腐防渗措施），相应的危废处置单位每隔 1 天均有清运车上门清运处置，确保危废产生后不在厂区内长时间滞留，做到立产立清。在建 200m2 危废仓库预计于 2025 年年初建成并投入使用， 届时企业将危险废物收 集后暂存在危废暂存间内，危废均桶装或袋装放置在危废暂存间内， 最大暂存周期为 20 天。废显影液桶装（200L/桶）后按平放暂存， 最大暂存量为 21t，占地面积约 85m2246、； 废润滑油（20L/桶）后按平放暂存， 最大暂存量为 45kg，占地面积约 1m2；其余危废均 袋装后按平方暂存，最大暂存量为 8t，占地面积约 100m2 ；合计危废暂存所需面积约186m2 。企业设有 200m2 的危废暂存间，可满足项目扩建后全厂危废暂存要求。根据危险废物贮存污染控制标准（GB 18597）及其修改单的要求，结合区域 环境条件可知， 项目危险废物贮存间选址地质构造稳定， 非溶洞区等地质灾害区域， 设施场所高于最高的地下水位，项目距离居民点较远，其选址可行。本项目生产过程中产生的废酸、废光刻胶、废显影液、废去胶液等， 应设置废液 收集系统（包括管道收集系统和收集灌） 分别247、收集暂存， 由泵转至卡车外运。包装容器 /收集灌必须及时贴上危险废物标签，必须包含以下说明（危险废物产生单位名称、联系人、联系电话、主要化学成分、危险类别、安全措施、入库时间等）。暂存：若产生的危险废物不能立即运往处置，则必须暂存于厂区内专用危险废 物贮存设施内。本项目各危废产生点至危废堆场之间的转运均在厂区内完成，转运路 线上不涉及环境敏感点。贮存场所四周应有以混凝土、砖或经防腐处理的钢材等材料 监测的围墙或围栏， 顶部设有防晒防雨防台风遮盖物， 地面四周设有防溢漏的裙脚， 同 时建有渗滤液收集渠与收集池。贮存设施内应留有足够工作人员和搬运工具的通行过 道。贮存设施只可供危险废物存放， 不可248、混入一般非危险固废。化学性质不相容的危险 废物必须分隔堆放，其间隔须为完整的不渗透墙体，同时各自渗滤液收集渠与收集池 也必须独立设置。危险废物分类堆放区域的醒目位置须设置该类废物的标志牌，含危 险废物名称、危废代码等信息。危险废物厂区内暂存时应加强管理， 按照危险废物贮 存污染控制标准（GB18597-2023）、危险废物收集贮存运输技术规范（HJ 2025-2012）进行控制，日常管理中要履行申报的登记制度、建立台帐制度。根据本项目危险废物特性， 为固态和液态， 液态危废可装在废桶内， 因此对大气、 地表水、地下水、土壤环境等不会产生污染； 危险废物贮存场所具备防风、防雨、防渗、防晒、防辐射249、防盗等功能，因此危险废物贮存期间对周边环境影响可接受。100转移、处置： 企业已经与具有危险废物处理资质的单位签定接收处理协议， 各类 危险废物委托有资质单位处置，转移时严格履行国家与地方政府关于危险废物转移的 有关规定， 并报生态环境主管部门备案， 落实追踪制度， 严防二次污染， 杜绝随意交易 和私自随意处置， 危废厂外运输须由有资质的运输机构负责， 采用封闭车辆运输， 降低对运输沿线环境影响。企业位于 市 区，周边危险固废处理单位较多，现有企业各类危废均与各类危废处理单位签订了委托处置合同。本项目上马后， 危废产生量较现有企业较少， 危废意向处理单位主要情况详见下表。表4-16 企业危废250、意向处置单位序号处置单位名称营危险废物类别地址1环境服务有限公司HW02 、HW03 、HW04 、HW05 、HW06 、HW07 、HW08、 HW09 、HW11 、HW12 、HW13 、HW14 、HW16 、HW17、 HW18 、HW19 、HW21 、HW23 、HW31 、HW33 、HW34、HW35 、HW37 、HW38 、HW39 、HW40 、HW45 、HW49、HW50市 区崇贤街道佛日路100 号2绍兴绿嘉 科技 有限公司HW17（336-058- 17 、336-062- 17 、336-064- 17）、 HW34 （261-057-34 、313-001251、-34 、900-300-34 、900-349-34 、900-304-34）、 HW35（261-059-35 、900-350-35 、900-351-35、900-352-35）绍兴市袍江工业 园区海塘路 72 号3中荷环境科技 有限公司HW02 、HW06 、HW11 、HW34（261-057-34 、900-300-34、900-301-34 、900-349-34）、HW35（261-059-35 、900-352- 35 、900-399-35）、HW49（900-047-49）市大洋镇工业功能区4绍兴华鑫 科技 有限公司HW02 、HW03 、HW04 、HW05 、HW0252、6 、HW08 、HW09、 HW11 、HW12 、HW13 、HW14 、HW16 、HW18 、HW19、HW21 、HW34 、HW37 、HW39 、HW40 、HW45 、HW49、HW50绍兴市柯桥区滨 海工业区5湖州明境 科技 有限公司HW02 、HW03 、HW04 、HW05 、HW06 、HW08 、HW09、 HW11 、HW12 、HW13 、HW14 、HW16 、HW17 、HW18、HW22 、HW37 、HW38 、HW39 、HW40 、HW45 、HW46、HW48 、HW49 、HW50湖州市长兴县长兴经济技术开发区横山路南侧综上，项目所产生的固体废弃物253、按相应的方式进行处置，各类固体废弃物均有可 行的处置出路。只要建设单位落实以上措施， 加强管理及时清除， 则项目产生的固废不会对周围环境产生不良影响。4.2.5 地下水、土壤4.2.5.1 地下水、土壤污染源、污染物类型和污染途径项目不涉及重金属、持久难降解有机污染物排放。正常生产工况下， 项目车间地面101均硬化及设置防渗措施， 不存在地下水、土壤污染途径。但在非正常工况、事故情况下 （如危化品仓库和危废仓库地面破裂、污水站处理池发生破裂等） ，可能造成污染物垂直渗入土壤、地下水，造成污染。表4-17 地下水、土壤污染源、污染物类型和污染途径识别表污染源工艺流程节点污染影响途径污染物类型污染254、物指标备注废水处理设施废水收集池地面漫流生产废水CODCr、氨氮、 氟化物等事故垂直入渗危废暂存间、废 液暂存间固废储存地面漫流危险废物废酸、废显影液等事故垂直入渗危险物质仓库危险物质原料 储存垂直入渗原辅材料硅烷、氨、 盐酸、 显影 液、 机械油等事故4.2.5.2 防控措施地下水、土壤污染防治主要是以预防为主，防治结合。（1）厂区地面采用混凝土硬化， 防止跑、冒、滴、漏的物料渗入土壤， 进而对地下水 环境造成污染。（2）废水收集管道采用明沟套明管或架空敷设， 污水管网采用高密度聚乙烯材料管， 管路要全防护、管道接口熔融连接、无渗漏，以达到有效防止污水渗漏的目的。（3）生产车间等铺设防腐防渗255、地坪，有效防止废水和渗滤液下渗。（4）危险废物贮存场所做好防腐、防渗、防泄漏、防雨、防风措施， 并在内部设置导流沟和废液收集池。本项目防渗区域划分及防渗要求见表 4-18。表4-18 地下水、土壤分区防渗及技术要求防渗级别工作区防渗技术要求重点防渗区生产车间危废暂存库、污水处理站防渗要求依据危险废物贮存污染控制标准（GB18597-2023）要求， 渗透系数10- 10cm/s；其余工作区防渗要求为：等效黏土防渗层厚6.0m，渗透系数1.010-7cm/s，或者参考 GB18598 执行危化品仓库生产废水处理设施危废暂存间一般防渗区一般固废仓库等效黏土防渗层厚1.5m，渗透系数1.010-7c256、m/s；或者参考 GB16889 执行简单防渗区厂区道路、办公区一般地面硬化本项目各功能区均采取“源头控制”、“分区防控”的防渗措施， 可以有效保证污 染物不会进入地下水、土壤环境； 而且厂区内地面已经完成硬化防渗建设， 因此， 本项 目运营期不可能对拟建地土壤、地下水环境造成污染， 项目建成后造成的地下水、土壤环境影响可以接受。1024.2.5.3 跟踪监测要求根据排污单位自行监测技术指南 电子工业（HJ1253-2022），土壤及地下水跟踪监测要求详见表 4-19。表4-19 周边土壤及地下水环境质量影响监测要求目标环境监测指标监测频次土壤土壤环境质量 建设用地土壤污染风险管控标准（试行）257、（GB36600- 2018）中的 45 项基本项目、石油烃（C10C40）1 年/次地下水pH、铜、锌、硫化物、氰化物、氟化物、砷、镉、六价铬、铅1 年/次4.2.6 生态环境本项目在企业现有厂区内进行扩建，且项目的建设符合生态环境分区管控要求，故可不对生态环境进行分析。4.2.7 环境风险因本项目涉及内容与现有工程的风险物质、工艺等属于同一风险单元， 因此本次环境风险从全厂角度进行考虑、评价。本小节仅给出环境风险评价主要结论，具体分析情况详见专题二。环境风险境评价结论如下：企业可能出现的污染事故主要有废气洗涤塔系统故障、硅烷燃烧系统故障、污水 处理事故等。可能出现的风险事故主要有盐酸、硫酸258、氢氟酸和氨气、氯气等化工原料贮运过程中发生的泄漏、气体供应系统泄漏等。废水事故性排放对废水处理系统造成冲击，发生以上事故时，污染物泄漏将通过 土壤和水体进入环境， 会对环境造成一定的影响。废气事故性排放会引起大气环境污染事故并可能造成火灾。本项目通过制定风险防范措施， 制定安全生产规范， 通过加强员工的安全、 知 识和风险事故安全教育，高职工的风险意识，了解其作业场所和工作存在的危险有害因素以及企业所采取的防范措施和环境突发事故应急措施， 以减少风险发生的概率。因此， 本项目通过落实上述风险防范措施， 其发生概率可进一步降低， 其影响可以进一步减轻，环境风险是可以承受的。4.2.8 退役后环259、境影响分析该项目退役后， 不会再产生废气、废水、噪声和废渣等污染物， 遗留的主要是房屋 和设备。厂房可作它用， 废弃的各种设备不含放射性、易腐蚀性或剧毒物质， 因此设备经过清洗后可以拆除， 设备的主要原料为金属， 对设备作拆除分拣处理后可回收利用。103尚未用完的原料须经妥善包装后由原料生产厂家回收或外售， 不得随意倾倒。综上， 该项目退役后对周围环境影响较小。104五 、环境保护措施监督检查清单内容要素排放口（编号、 名称） /污染源污染物项目环境保护措施执行标准大气环境酸性废气 DA001004氟化物、HCl、H2 SO4 、Cl2 等经过 7 套二级碱液喷淋吸收 塔处理后通过 4 个排气260、筒高 空排放。大气污染物 综合排放标准（GB16297- 1996）中表 2 的相关标准、 恶臭污染物 排放标准（GB14554- 93）中表 2 的相关标准工艺尾气氟化物、氯化氢、氯气、硅烷等经设备尾端本地处理净化装 置（燃烧+水洗式 POU、吸附 式 POU 、 等 离 子 解 离 式 POU）处理后，尾气再纳入 酸性废气处理系统，最终由 排气筒高空排放。碱性废气 DA005氨气经过 1 套二级酸液喷淋吸收 塔处理后通过 1 个排气筒高 空排放。有机废气 DA006VOCs经过 1 套沸石浓缩转轮焚烧 系统处理后高空排放。无组织废气氟化物、HCl、H2 SO4 、Cl2、 VOCs 等车间261、为洁净车间，生产时全 密闭且产生废气的工艺设备 运行时采用密闭隔离、局部 排风、就近捕集，基本杜绝 无组织排放。地表水环 境DW001/企业总排口生产废水厂区现有废水预处理设施， 主要包括：中和处理系统 （350t/h）、含氟废水处理系 统（100t/d）、 CMP 废水处 理系统（50t/d）， 生产废水 分类收集进入污水处理站相 应的废水处理系统进行处理 后进入综合中和处理池再次 中和处理达标后纳管排放。 本项目建成达产后，全厂各 股废水产生量均小于企业现 有相应废水处理系统设计处电子工业水 污染物排放标准（GB39731- 2020）中间接 排放限值，氨 氮执行工业 企业废水氮、 磷污染物间接排放限值（DB33/ 887- 2013）105理规模，能满足全厂废水处 理需求，可做到全部收集进 入现有废水处理站。处理后 的废水，通过厂区现有排污 口接入周边市政污水管网。生活污水生活污水经隔油池、 化粪池 处理达标后纳管排放。声环境生产设备Leq（A）选用高效低噪声设备， 加强 车间管理，定期检修设备， 避