1、建设项目环境影响报告表（污染影响类）项目名称：xxxx半导体有限公司超大功率半导体生产线项目建设单位（盖章）：xxxx半导体有限公司编制日期：二二三年七月I目目录录一、建设项目基本情况.1二、建设项目工程分析.39三、区域环境质量现状、环境保护目标及评价标准.73四、主要环境影响和保护措施.84五、环境保护措施监督检查清单.138六、结论.140建设项目污染物排放量汇总表.141附图 1建设项目地理位置图附图 2建设项目周围环境图附图 3项目周边环境敏感点分布示意图（500m 范围内）附图 4-1项目三层车间平面布置图附图 4-2项目四层车间平面布置图附图 5项目厂区平面布置图附图 6xx市市2、辖区环境管控单元分类图附图 7项目所在地水环境功能区划图附图 8xx市环境空气质量功能区划图附图 9xx大xx产业集聚区分区规划结构图附图 10 xx大xx产业集聚区远期（2030 年）土地利用规划图附图 11xx芯谷核心区块用地规划图附件 1企业营业执照附件 2 xx工业企业“零土地”技术改造项目备案通知书附件 3法人身份证复印件附件 4 房产证附件 5 主体工程厂房租赁合同附件 6 室外附属工程三方协议附件 7 环境检测报告附件 8 授权委托书附件 9 关于要求对项目环评进行审批的函附件 10 关于同意环境影响文件信息公开的情况说明附件 11 建设项目xx措施法人承诺书附件 12 纳管排放3、承诺书附件 13 危险废物处置承诺书附件 14 关于信息公开的说明附件 15 环评审核意见附件 16 审核意见修改清单 1 一、建设项目基本情况建设项目名称xxxx半导体有限公司超大功率半导体生产线项目项目代码建设单位联系人联系方式建设地点地理坐标国民经济行业类别C3824电力电子元器件制造建设项目行业类别三十五、电气机械和器材制造业38-77 电机制造 381；输配电及控制设备制造 382；电线、电缆、光缆及电工器材制造 383；电池制造 384；家用电力器具制造385；非电力家用器具制造 386；照明器具制造 387；其他电气机械及器材制造 389-其他（仅分割、焊接、组装的除外；年用非溶4、剂型低VOCs含量涂料10吨以下的除外）建设性质新建（迁建）改建扩建技术改造建设项目申报情形首次申报项目不予批准后再次申报项目超五年重新审核项目重大变动重新报批项目项目审批（核准/备案）部门（选填）xx市xx新区行政审批局项目审批（核准/备案）文号（选填）2106-330155-89-02-239333总投资（万元）21000 xx投资（万元）150 xx投资占比（%）0.71施工工期6 个月是否开工建设否是：用地（用海）面积（m2）5560.4（主体工程）专项评价设置情况根据 建设项目环境影响报告表编制技术指南（污染影响类）（试行）相关内容，确定大气、地表水、环境风险、生态和海洋专项评价具体5、设置原则见表 1-1。2 表表 1-1 专项评价设置对照表专项评价设置对照表专项评价类别设置原则本项目情况大气排放废气含有毒有害污染物1、二噁英苯并a芘、氰化物、氯气且厂界外 500 米范围内有环境空气保护目标2的建设项目。本项目不涉及有毒有害污染物、二噁英、苯并a芘、氰化物，产生极少量的氯气，但厂界外 500 米范围内无环境空气保护目标。地表水新增工业废水直排建设项目（槽罐车外送污水处理厂的除外）；新增废水直排的污水集中处理厂。本项目废水经预处理达标准后纳入xx污水处理厂。地下水涉及集中式饮用水水源和热水、矿泉水、温泉等特殊地下水资源保护区的开展地下水专项评价工作。本项目不涉及特殊地下水资源6、保护区。环境风险有毒有害和易燃易爆危险物质存储量超过临界量3的建设项目。本项目危险物质储存量未超过临界量。生态取水口下游 500 米范围内有重要水生生物的自然产卵场、索饵场、越冬场和洄游通道的新增河道取水的污染类建设项目。本项目不涉及。海洋直接向海排放污染物的海洋工程建设项目。本项目不涉及。注：1、废气中有毒有害污染物指纳入有毒有害大气污染物名录的污染物（不包括无排放标准的污染物）。2、环境空气保护目标指自然保护区、风景名胜区、居住区、文化区和农村地区中人群较集中的区域。3、临界量及其计算方法可参考建设项目环境风险评价技术导则（HJ169）附录 B、附录 C。综上所述，本项目无需设置专项评价。7、规划情况1、xx大xx产业集聚区管理委员会和xx市城市规划设计研究院于 2017 年 2 月共同编制完成 xx大xx产业集聚区（大xx新区）分区规划（2015-2030 年）。2、xx芯谷管理办公室委托编制了xxxx芯谷核心区块总体规划。规划环境影响评价情况1、xx大xx产业集聚区(大xx新区)分区规划环境影响报告书于 2018 年 3 月通过xx省生态环境厅审查，审批文件号：浙环函2018533 号。2、2021 年 5 月编制了xx大xx产业集聚区(大xx新区)分区规 3 划环境影响报告书“六张清单”调整报告，对 6 张清单中与“三线一单”管控要求不相符的内容作适当调整和完善，并通过杭xx8、分局审查。3、xxxx芯谷核心区块总体规划环境影响报告书于 2023 年 3月 3 日通过xx市生态环境局xx分局审查，审批文号：杭环钱20235 号。规划及规划环境影响评价符合性分析1、与与 xxxx大xx产业集聚区大xx产业集聚区（大xx新区大xx新区）分区规划分区规划（2015-2030年）年）符合性分析符合性分析（1）规划概述大xx位于xx市区东部，xx区东北部沿线的xx江区域，其紧邻xx主城区，处于环xx湾 V 字型产业带的拐点。大xx主要行政管辖范围包括河庄、义蓬、新湾、xx、前进 5 个街道行政管轴区域及党湾镇部分用地。大xx产业集聚区目标定位为：战略目标：建设国家级新区，打造“9、智慧大xx、魅力生态城”。功能定位：三区一城，即“国家自主创新示范区、长三角产城人融合先行区、xx产业转型升级引领区、xxxx智慧生态新城”。特色定位：创新智造航母、陆空海一体门户、生态休闲江湾、宜居宜业家园。（2）空间布局大xx产业集聚区形成“一城三园，一心三带”的总体结构。一城：即生态智慧新城。三园：即xx、前进、xx以产业功能为主导的三大功能园区。一心：即大xx综合公共服务主中心，市级副中心之一。三带：即产业创新服务带、城市生活服务带和江海湿地生态景观带。（3）产业布局规划形成“四区多园、三心多片”的产业空间结构。“四区”：即江东、前进、xx、临空四大产业片：4“多园”：即 7+X 产业10、园，包括汽车及零部件产业园、新能源新材料产业园、轨道交通产业园、机器人及自动化产业园、临空产业园、生命健康产业园、航空航天产业园等 7 个主导产业园区。“三心”：即三级服务中心，包括“城市服务核心产业服务中心产业邻里中心和创新单元中心”。“多片”：即多个旅游休闲片，包括江海湿地休闲片、xx观潮度假园、生态都市农业园，分别位于大xx的东西南北。（4）产业空间布局引导四大产业片A.xx产业片区：重点发展xx先进装备制造园、xx战略新兴产业园等 2 处特色产业园区，1 处公铁联运物流园，智慧服务园、总部经济园、花园研发园等 3 处创新单元，职教小镇、高教科研园等 3处创新策源地。B.前进产业片区：重11、点发展前进先进装备制造园、前进战略新兴产业园等 2 处特色产业园区，1 处前进物流园，1 处前进创新单元，以 2 所中等专业学校作为创新策源地。C.xx产业片区：重点发展xx高新技术产业园、xx新材料产业园等 4 处特色产业园区，1 处xx智慧物流园，3 处xx创新单元，xx职业高中、xx高中等 2 处创新策源地。D.临空产业片区：重点发展临空会展商贸园、临空制造园、民营经济创新园等 3 处特色产业园，1 处临空xx物流园，以xx高教科研园为创新策源地。“7+X”产业园A.汽车及零部件产业园：依托xx福特、东风裕隆、广汽等整车厂商，完善配套产业链，并向新能源汽车和智能汽车方向升级。B.新能源新12、材料产业园：依托智能制造企业，立足现有化工、化纤、纺织产业转型升级，建设循环经济示范高地。近期保留效益较好企业，逐步缩减规模；远期逐步向xx循环经济产业园集聚。5 C.轨道交通产业园：以电气设备制造为特色，打造长三角轨道交通技术研发中心。近期围绕汽车产业园周边进行布局；远期以关键零部件为主加快产业集聚。D.机器人及自动化产业园：依托新松机器人，服务机器换人需求，打造智能装备制造的高地。近期围绕新松机器人及周边进行布局，加快产业集聚，远期加快向周边拓展，形成组团发展。E.临空产业园：依托xx机场及空港组团发展，重点发展以物流、xx、培训等为主临空服务业。近期围绕xx机场进行布局；远期围绕xx机场13、进行拓展。F.生命健康产业园：依托xx制药、苏泊尔制药、费列罗、冠亚等企业，主动对接医药研发项目，打造产业化基地。近期围绕核心企业布局，加快产业集聚；远期进行整合，重点拓展前进区域。G.航空航天产业园：依托西子航空等关键零部件企业，打造国内重要的航空航天零部件产业基地。近期围绕西子航空及周边进行布局，加快产业集聚；远期向周边进行拓展，形成组团发展。H.“X”个生产性服务业产业园：依托大xx城市副中心建设，主要以楼宇经济为载体，聚焦发展创意、研发、设计、总部、金融、旅游等，支持 7 大主导产业园产业发展。三级服务中心三级服务中心主要包括：A 城市服务核心；B 产业服务中心；C产业邻里中心和创新单14、元中心。多个旅游休闲片A.江海湿地休闲片：位于大xx东侧，结合地方特色围垦文化，发展以游览、观光、体验为主体的湿地公园，结合湿地内的优质农田和鱼塘，打造湿地农耕体验、渔业捕捞体验等。B.xx观潮度假片：位于大xx西侧，依托紧邻xx江的景观优势及钱江潮资源，发展观潮主题的旅游度假休闲功能。C.生态都市农业片：位于钱江通道以西、xx三路以北及xx农 6 场、江海湿地区域，以现代化、智慧化为方向，积极发展都市花卉苗木、优质高档水产养殖、有机蔬菜种植、休闲农业，打造都市近郊新型农业发展示范区。规划符合性分析规划符合性分析：本项目拟建地属于 xx大xx产业集聚区（大xx新区）分区规划中规划四大片区的xx15、片区，根据xx大江东产业集聚区（大xx新区）分区规划可知，项目拟建地规划为工业用地，未与规划冲突，且本项目产品为大功率晶闸管，不违背该区域产业发展要求，故项目建设基本符合大xx产业集聚区（大xx新区）分区规划要求。2、与与xxxx芯谷核心区块总体规划xxxx芯谷核心区块总体规划符合性分析符合性分析规划范围：xx芯谷核心区块位于长三角南翼地理中心，xx市区东部，xx江沿岸，规划范围东至六工段直河，北至xx二路，西至靖江路，南至xx一路，总规划面积约为 15.64 平方公里。功能定位：以半导体为特色，以新能源新材料、先进装备为重点，集创新研发、金融服务、居住配套等功能于一体，产业优势明显、创新能力16、突出、景观环境良好、配套功能完善的高端智造园区。规划主导产业：规划主导产业为汽车制造和集成电路，其中集成电路产业将重点以半导体产业和未来产业为主导方向，发展集成电路、柔性电子显示、智能终端、人工智能、增材制造等产业，打造半导体千亿产业大平台和xx的芯片之城。规划用地布局：规划总用地面积为 1564.02hm2。其中，规划区块的建设用地约 1290.71hm2，占总用地面积的 82.53%；非建设用地273.31hm2，占总用地面积的 17.47%。规划工业用地 782.93hm2，占城市建设用地总量的 60.66%，其中一类工业用地 689.68hm2，一类工业兼容二类工业用地 93.25hm17、2。规划结构：规划形成“一核一轴一廊一带，三园一心多点”的空间结构。产业总体布局：形成“两园三区”的产业结构。两园：分别为xx 7 芯谷服务园和创新孵化产业园；三区：自北向南依次是重大项目承载区、高端装备智造区、新材料新能源智造区。符合性分析符合性分析：本项目产品为大功率晶闸管，符合规划“以半导体为特色”的功能定位，属于规划主导产业，故项目建设符合xx钱塘芯谷核心区块总体规划要求。3、与、与xx大xx产业集聚区xx大xx产业集聚区(大xx新区大xx新区)分区规划环境影响分区规划环境影响报告书以及报告书以及“六张清单六张清单”调整报告符合性分析调整报告符合性分析xx大xx产业集聚区（大xx新区）18、分区规划环境影响报告书由xx省环境科技有限公司于 2018 年 11 月编制完成，并于 2018年 12 月取得xx省生态环境厅审查意见（浙环函2018533 号）。2021年，xx市生态环境局xx分局委托xx省环境科技有限公司编制xx大xx产业集聚区（大xx新区）分区规划环境影响报告书结论清单调整报告，对 6 张清单中与“三线一单”管控要求不相符的内容，作适当调整和完善。2021 年5 月28 日，xx市生态环境局钱塘分局在xx组织召开xx大xx产业集聚区（大xx新区）分区规划环境影响报告书“六张清单”调整报告技术咨询会，并形成了备案稿。本评价引用xx大xx产业集聚区（大xx新区）分区规划环19、境影响报告书以及xx大xx产业集聚区（大xx新区）分区规划环境影响报告书“六张清单”调整报告（备案稿）中结论清单，对本项目与规划环评的符合性情况进行分析。（1）规划环评综合结论xx大xx产业集聚区经过多年的发展现形成化纤、化工、纺织等传统产业为主，汽车、先进装备制造、新能源、新材料、现代物流等新兴战略性产业迅速崛起的产业发展新格局，产业结构不断优化，产业链条逐步延伸，集聚效应日益明显。xx大xx产业集聚区于2015 年实体化运作以来，作为经济增长快、市场容量大的区城，提出实现“智慧大xx、魅力生态城“的战略目标。xx大xx产业集聚 8 区（大xx新区）分区符合国家、xx省和xx市总体发展战略要20、求，有利于促进区域成为全省经济转型升级的引领区，xx先进制造业主引肇，实现“再造一个xx新城，再造一个xx工业”的目标，也与浙江省及xx省主体功能区划、xx市城市总体规划、机州市xx区土地利用总体规划、xx市国民经济和社会发展第十三个五年规划、杭州市十三五环境保护规划等上位规划相一致。本次规划上地资源、水资源和能源供应能够得到保障：环境容量存在短板，通过区域消减可以满足环境质量底线和污染排总量要求。规划实施后对重要环境敏感目标的影响总体不大，立足于机州大xx产业集聚区经济社会发展和资源环境承载，本次规划确定的规划定位、发目标和产业规划结构较为合理：规划布局总体合理，但xx区块部分需要进一步优化21、，防止工业包围居住区：同时分区规划在后期修编过程中应充分考虑与大xx产业聚集环境功能区划的衔接，并给予调整。评价认为，xx大xx产业集聚区（大xx新区）分区在一步优化规划布局、完善生态环境建设规划、强化空间、总量和环境准入、严格执行资源保护和环境影响缓解措施、落实现有问题解决方案后，该规划的实施不会降低区城环境质量。（2）六张清单六张清单的具体内容可见表1-21-7，符合性分析可见表1-8。表表 1-2生态空间清单生态空间清单(部分部分)开发区内规划区块生态空间名称编号区块范围示意图管控要求现状用地类型xx区大xx产业集聚重点管控单元2ZH330109200131.根据产业集聚区块的功能定位，22、建立分区差别化的产业准入条件；2.合理规划居住区与工业功能区，在居住区和工业区、工业企业之间设置防护绿地、生活绿地等隔离带；3.严格实施污染物总量控制制度，根据区域环境质量改善目标，削减污染物排放总量；4.所有企业实现雨污分流；5.强化工业集聚区企业环境风险防范设施设备建设和正常运行监管，加强重点环境风险管控企业应急主要为工业用地、农林用地等类型的土地 9 预案制定，建立常态化的企业隐患排查整治监管机制，加强风险防控体系建设。表表 1-3现有问题整改措施清单现有问题整改措施清单类别存在问题整改方案目前已经落实情况产业结构与布局产业结构区域内化纤、化工、纺织等传统产业比重较大；相应的污染排放比重23、大。根据区域发展规划，区域不再审批废气污染严重的项目，核心区2017 年底前关停所有规下化工企业，2020年底前关停所有规上化工企业；中心区2018年底前关停所有规下化工企业，2021 年底前关停所有规上化工企业；临江园区及外六工段化工园区，2018年底前 对所有化工企业开展一轮整治，2019年底前关停所有外六工段规下化工企业(除危废处 置单位)；其余区域2018年底前对所有化工企业开展一轮整治，取消规下企业化工企业，2019年底前关停所有化工(除危废处置单位)及环境污染较大或未按时完成整治的规下化工企业；部队区块23家化工企业2017年启动关停转迁工作；同时大力开展智能制造引进，优化产业比重24、。根据目前情况，区域以提升整治为主，整个区域采取腾笼换鸟政策引进高质量企业，目前规下化工企业已经完成关停工作，外六工段化工区拟在2021年年底完成关停工作。根据现有工业企业分布情况，新湾街道和义蓬街道目前都存在居住区与工业区混杂，临江、义蓬、河庄、新湾街道存在工业用地与规划不符等现象。xx街道5 家、前进街道12家；义蓬街道80余家(其中规上企业38家)、新湾街道30余家、河庄40余家。以上企业均采取限制发展，对位于人居保障区或生态保障区的三类工业全部限期关停，对二类工业限制实施减排增效。目前根据原规划环评管控要求已经落实，根据规划的实施落实退出要求。资源利 用与环境保护环境质量根据现状监测结25、果，PM10、PM2.5年均浓度均有超 标，O3日均浓度超标严重，NO2日均浓度存在超标现象，但整体都是呈逐渐好转的趋势。(1)全面治理“燃煤烟气”，推动能源结构优化调整。(2)深入治理“工业废气”，推动产业结构转型升级。(3)加快治理“车船尾气”，打造绿色交通网络体系。(4)强化治理“扬尘灰气”，落实扬尘精细化管理。(5)加强治理“餐饮排气”，推进城乡废气综合整治。(6)开展智慧xx工程，完善智能监管网络。(1)区域已经基本完成燃煤废气治理，35 吨以下燃煤锅炉已经全部淘汰；(2)2020年xx新区xx局委托xx省生态环境科学设计研究院编制xx园区重点行业转型升级研究报告，根据报告建议，近期26、已经开展了环境整治工作；从环境监测数据来看，区域大气环境质量逐年下降，较2017年有大幅度下降。10 整体地表水水质情况不容乐观，区域水体中总磷和氨氮含量较高，无法达到地表水环境质量标准(GB3838-2002)中的IV类标准。开展“五水共治”，2017年年底完成集聚区“污水零直排”工程；2017年全面开展河道清淤工作。2018年区域基本完成了河道清淤改造工程；2020 年已完成工业园区污水零直排工作，争取2021年完成xx新区污水零直排工作。毗邻大xxxx江河口段区域近岸海域水质已超过海水四类标准，不能满足海水水质标准(GB3097-1997)中的第三类海水水质标准要求。主要超标因子为无机氮27、活性磷酸盐。完成“污水零直排”工程，开展内河河道清淤工作，完成xx污水处理厂提标改造工程。大xx产业集聚区地下水水质较差，氨氮、总大肠菌群和细菌总数大都呈现出地下水质量标准(GB/T14848-93)IV类或V类水质；氯化物、总硬度也大都为(GB/T14848-93)地下水质量标准 V类水质。全面开展地下水普查，重点开展对防渗重点区进行整治。根据2020年xx新区xx片提升整治区规划环评 对xx片区调查，区域地下水主要超标因子为氨氮，而氨氮超标的原因可能是受当地居民农灌或原生活废水排放污染导致；下一步应进一步加大区域地表水环境整治。污染防治措施企业废气治理基本能达标，但距离老百姓要求有一定距28、离。根据产业区域转型要求，xx炼胶项目转型、捷丰xx即将关停；规下化工项目于2017年年底全部关停；同时开展新的化工行业整治。xx炼胶项目已经关停、捷丰xx已经关停，根据2016年xx污水厂污水运行情况，xx污水厂近期运行时有超处理能力运行。根据xx污水处理厂改造工程，改造工程将与2018年完成改造，即时处理能力将达到50万吨/日。xx污水处理厂提标改造工程目前已经完成，扩建工程即将通过验收。部分农村区域生活污水未纳管。2017年年底完成所有村庄污水整治工作，完成污水“零”直排工作。农村生活污水零直排工程已经完成，十四五期间将进一步开展农村污水处理设施提标改造工程。基础设施xx污水处理厂提标改29、造工程尚未完成预计2017年年底完成一级A提标工程，2018年完成20万吨扩建工程已经完成，20万吨已经投入运行。xx市第三固废处理中心尚处于建设前期预计2017年年底开工建设xxxx环境能源公司已经目前已经运行，日可处置生活垃圾5200吨，年处理危险废物10万吨(填埋场和焚烧场)均已建成，已取得危废经营许可证。11 表表1-4规划优化调整建议清单规划优化调整建议清单优化调整类型规划内容调整建议调整依据预期环境效益(环境质量改善程度或避让环境敏感区类型及面积)落实清单用地布局xx街道在新世纪大道、长风路、东三路、南横河围成区域及长风路与东三路交叉口东北角规划住宅、学校用地。现阶段对该区域用地性30、质调整为备用地或远景用地，待周边化工、印染行业转型提升整治后在进行开发；在区域大气环境风险未完全解决前，区域暂缓开发住宅、学校、医院及大型的商业综合项目。将该区域住宅用地调整为一、二类工业用地。区域内受到多家企业大气污染物叠加影响，区域大气环境投诉量居高；同时根据对周边企业调查了解，周边化工企业规模大(例如百合花、吉华化工均为上市企业、圣山染整、桥南实业、汇丽均为大型企业)，近期对该区域周边企业进行搬迁存在很大难度。区域环境达标，环境风险可控企业已经开展多轮的废气环境整治，近年来也在实施腾笼换鸟工程，区域环境逐步改善。工业布局xx高新西侧，十六工段闸河以西规划三类工业用地在此首先建议分区规划在31、用地性质和产业空间布局上做相应的调整，以符合环境功能区划的要求；同时考虑到大xx产业集聚区为新成立新区，大xx环境功能区划编制在前，分区规划在后等特殊原因，如果确实因区域发展需求须要调整环境功能区划，大xx产业集聚区必须按照浙政函2016111号中第5条进行调整。与xx区环境功能区划冲突区域环境达标，环境风险可控前“三线一单”已将该区域纳入重点管控单元。基础设施配套方面规划仅对区域内现有的5座热电厂进行必要的改造或扩建，不再新增大型集中供热源。5座集中供热热源点分别为：钱江热电厂、xx热电厂、xx热电厂、临江xx热电厂及xx自备热电厂建议调整区域热力规划方案，将企业自备电厂(xx自备热电厂)调32、整为区域电厂或取缔自备电厂。与xx省地方燃煤热电联产行业综合改造升级行动计划(浙经信电力 2015371号)中要求冲突。区域环境达标，环境风险可控已经与临江xx热电并管，属于区域热电一部分。生活垃圾处置保留现有xxxx城市绿色能源有限公司(xx生活垃圾焚烧场)，焚烧处理规模为1800 吨/日；同时新规划建设大xx循环经济(静脉)产业园生活垃圾焚烧发电厂：总规划规模，焚烧生活垃圾5200吨/日；xx市第三建议在循环产业园区建成后逐步关停现有xxxx城市绿色能源有限公司(xx生活垃圾焚烧场)现有xxxx城市绿色能源有限公司(xx生活垃圾焚烧场)位于钱塘江边，且位于环境功能区生态红线内，不利于区域生33、态环境保护。避让环境敏感区xx环境能源生活垃圾5200吨/日，处理危险废物10万吨/年项目已经建成；目前因区域调整，12 固废处置中心项目近期年处理危险废物10万吨，远期年处理危险废物15万吨。xx城市绿色能源有限公司尚在运行，暂无退出时间表xx区域规划危险化学品作业区(xx危险品作业区占地面积17万平方米，吞吐能力150万吨。)建议调整为一般货物作业区或取消区域产业将逐步转型升级，危化品用量将减少，区域港口资源匮乏，大量危化品公路运输对周边环境风险较大；水路运输要穿越生态红线区，增大区域环境风险避让环境敏感区已取消表表1-5环境准入条件清单环境准入条件清单(部分部分)区块与三线一单管控分区叠34、加分析示意图及说明本次调整修改后的准入条件分类行业清单工艺清单产品清单区块七说明：该区块规划重点发展汽车及零部件、智能机械，本次涉及xx区大xx产业集聚重点管控单元 2（ZH33010920013）禁止准入类产业新建、扩建火力发电（燃煤）；49、饲料添加剂、食品添加剂制造；75、轮胎制造、再生橡胶制造、橡胶加工、橡胶制品制造及翻新；111、纺织品制造（有染整工段 的）；114、原油加工、天然气加工、油母页岩提炼原 油、煤制原油、生物制油及其他石油制品；117、基本 化学原料制造；农药制造；涂料、染料、颜料、油墨及其类似产品制造；合成材料制造；专用化学品制造；炸药、火工及焰火产品制造；水处理剂等35、制造；（单纯混合或分装外的）；118、肥料制造：化学肥料制造（单 纯混合和分装外的）；119、日用化学品制造（单纯混 合或分装的除外）；120、化学药品制造；121、化学纤维制造（单纯纺丝除外）；123、轮胎制造、再生橡胶 制造、橡胶加工、橡胶制品制造及翻新（轮胎制造；有炼化及硫化工艺的）；131、铁合金制造；132、有色金属冶炼（含再生有色金属冶炼）；133、有色金属合金制造；135、金属制品表面处理及热处理加工（有电镀工艺的；有钝化工艺的热镀锌）。/涉及电镀、酸洗、磷化、电化学镀、铸造工艺金属制品制造/13/单纯的表面喷涂项目；87、黑色金属压延加工；89、有色金属压延加工/55、含湿法印36、花、染色、水洗工艺的服装制造/36、日用化学品制造（仅单纯混合或分装的）/距离居住区规划边界200米范围内布置溶剂型油漆喷涂项目/禁止危化品货物分拨中心和仓库建设；危险化学品/危险废物仓储（企业配套原料或产品库除外）/废旧资源（含生物质）加工再生、利用等/57、制鞋业制造（使用有机溶剂的）；/限制准入类产业/现有氨纶、锦纶等三类项目技改不得增加产能，且污染物削减量不低于区域减排目标。/表表 1-6污染物排放总量管控限值清单污染物排放总量管控限值清单规划期规划近期规划远期总量环境质量变化趋势，能否达环境质量底线总量环境质量变化趋势，能否达环境质量底线水污染物总量管控限值化学需氧量现状排放量41837、0.72化学需氧量排放量3923.23吨/年，排入环境 量较现状减少，氨氮196.16吨/年，均在总量 控制值内4180.72化学需氧量排放量6412.43吨/年，氨氮320.62吨/年，均在总量控制值内总量管控限值8847.698847.69削减量257.50-2231.70氨氮现状排放量174.20174.20总量管控限值973.55973.55削减量-21.96-146.42大气污染物总量管控限值二氧化硫现状排放量4730.8近期减排后二氧化硫2248.7吨/年、氮氧化物3731.8 吨/年、VOCS4xx.0 1吨/年，排放后均在总量控制值内，较现有排放量减少，环境质量趋势变好。47338、0.8二氧化硫3072.0吨/年、氮氧化物4869.1吨/年、VOCS4xx.01 吨/年，较现有排放量减少，环境质量趋势变好总量管控限值6064.996064.99削减量2482.11658.9氮氧化物现状排放量5293.35293.3总量管控限值3802.313802.31削减量1561.4424.2VOCS现状排放量6177.046177.04总量管控限4xx.014xx.01 14 值削减量1606.031606.03危险废物管控 现状排放量5.10万吨区域处理能力满足5.10万吨区域处理能力满足总量限值总量管控限值5.85万吨8.26万吨削减量-0.75万吨-3.16 万吨表表1-739、环境标准清单（部分）环境标准清单（部分）序号类别主要内容1空间准入标准区块七管控措施：1.根据产业集聚区块的功能定位，建立分区差别化的产业准入条件；2.合理规划居住区与工业功能区，在居住区和工业区、工业企业之间设置防护绿地、生活绿地等隔离带；3.严格实施污染物总量控制制度，根据区域环境质量改善目标，削减污染物排放总量；4.所有企业实现雨污分流；5.强化工业集聚区企业环境风险防范设施设备建设和正常运行监管，加强重点环境风险管控企业应急预案制定，建立常态化的企业隐患排查整治监管机制，加强风险防控体系建设。禁止准入类产业：1.新建、扩建火力发电(燃煤)；49、饲料添加剂、食品添加剂制造；75、轮胎制40、造、再生橡胶制造、橡胶加工、橡胶制品制造及翻新(除 三类工业项目外的)；111、纺织品制造(有染整工段的)；114、原油 加工、天然气加工、油母页岩提炼原油、煤制原油、生物制油及其他 石油制品；117、基本化学原料制造；农药制造；涂料、染料、颜料、油墨及其类似产品制造；合成材料制造；专用化学品制造；炸药、火 工及焰火产品制造；水处理剂等制造；(单纯混合或分装外的)；118、肥料制造：化学肥料制造(单纯混合和分装外的)；119、日用化学品 制造(肥皂及洗涤剂制造中的以油脂为原料的肥皂或皂粒制造，香料、香精制造中的香料制造，以上均不含单纯混合或者分装的)；120、化 学药品制造；121、化学纤维制41、造(除单纯纺丝外的)；123、轮胎制 造、再生橡胶制造、橡胶加工、橡胶制品制造及翻新(轮胎制造；有 炼化及硫化工艺的)；131、铁合金制造；132、有色金属冶炼(含再 生有色金属冶炼)；133、有色金属合金制造；135、金属制品表面处 理及热处理加工(有电镀工艺的；有钝化工艺的热镀锌)。2.禁止涉及电镀、酸洗、磷化、电化学镀工艺；含有铸造工艺零部件 制造。3.禁止单纯的表面喷涂项目；87、黑色金属压延加工；89、有色金属 压延加工。4.禁止55、服装制造(含湿法印花、染色、水洗工艺的)。5.禁止36、日用化学品制造(仅单纯混合或分装的)。6.禁止距离居住区规划边界 200 米范围内布置溶剂型油42、漆喷涂项目。7.禁止危化品货物分拨中心和仓库建设；危险化学品/危险废物仓储。8.禁止废旧资源(含生物质)加工再生、利用等。9.禁止57、制鞋业制造(使用有机溶剂的)。限制准入类产业：现有氨纶、锦纶等三类项目技改不得增加产能，且污染物削减量不低于区域减排目标。对照xx大xx产业集聚区(大xx新区)分区规划环境影响报告书“调整报告”六张清单分析，项目符合性具体情况见表 1-8。15 表表1-8规划环评六张清单对照分析情况规划环评六张清单对照分析情况序号类别符合性分析1生态空间布局清单本项目位于xx区大xx产业集聚重点管控单元2，周边规划为工业用地，在居住区和工业区、工业企业之间设置防护绿地、生活绿43、地等隔离带。项目建成后实施污染物总量控制制度，厂区实行雨污分流制，将加强风险防控体系建设。因此，项目符合生态空间布局清单要求。2现有问题整改措施清单本项目位于工业集聚区，不在现有问题整改措施清单中。3规划优化调整建议清单本项目所在地不在规划优化调整建议清单中，且本项目500m范围内无环境空气敏感点，符合将工业与敏感点有效分离的管控要求。4环境准入条件清单本项目位于区块七，本项目不属于其禁止准入类行业清单；本项目不属于涉及电镀、酸洗、磷化、电化学镀、铸造工艺金属制品制造单纯的表面喷涂项目；不涉及黑色金属压延加工；不属于有色金属压延加工；不属于含湿法印花、染色、水洗工艺的服装制造；不属于日用化学品44、制造（仅单纯混合或分装的）；项目500m范围内没有居民区。因此项目不涉及区块七禁止准入的工艺清单。本项目不属于氨纶和锦纶等三类项目，不属于金属制品制造项目，不属于限制准入类产业。因此，本项目符合环境准入条件清单。5总量管控清单本项目实施污染物总量控制制度，符合总量管控要求6环境标准清单本项目周边规划为工业用地，在居住区和工业区、工业企业之间设置防护绿地、生活绿地等隔离带。项目建成后实施污染物总量控制制度，厂区实行雨污分流制，将加强风险防控体系建设。本项目不属于禁止准入类产业和限制准入类产业，本项目能够落实规划环评提出的主要环境影响减缓对策和措施，控制废气污染物排放，废水经预处理达标后纳入xx污45、水处理厂，危险废物无害化处置，不外排。因此，项目符合环境标准清单。综上，本项目的建设能够符合xx大xx产业集聚区（大xx新区）分区规划环境影响报告书以及xx大xx产业集聚区（大xx新区）分区规划环境影响报告书“六张清单”调整报告（备案稿）相关要求。4、与与xxxx芯谷核心区块总体规划环境影响报告书xxxx芯谷核心区块总体规划环境影响报告书符合符合性分析性分析 16 2023 年 1 月，xxxx芯谷管理办公室委托xx省环境科技有限公司编制完成了xxxx芯谷核心区块总体规划环境影响报告书。2023 年 3 月 3 日，xx市生态环境局xx分局以杭环钱20235号文对报告书出具了审查意见。（1）报46、告书结论xxxx芯谷核心区块总体规划产业定位与 xx市xx区国民经济和社会发展第十四个五年规划和二三五年远景目标纲要、产业结构调整指导目录(2019 年本)（2021 修订）、外商投资产业指导目录(2017 年修订)、xx市产业发展导向目录与产业平台布局指引（2019 年本）、长江经济带发展负面清单指南（试行，2022 年版）xx省实施细则等上位规划一致，用地规划方面，本次规划与上层规划xx市城市总体规划(2001-2020)(2016 年修订)、xx大xx产业集聚区xx产业单元（DJD06）控制性详细规划、xx市国土空间“三区三线”划定成果一致。（2）六张清单符合性分析xxxx芯谷核心区块总47、体规划环境影响报告书 六张清单如下：表表 1-9生态空间生态空间清单清单(部分部分)环境管控单元编码环境管控单元名称管控单元分类管控单元与规划区位置空间布局引导现状用地类型ZH33010920013萧 山区 大江 东产 业集 聚重 点管 控单元产业集聚重点管控单元根据产业集聚区块的功能定位，建立分区差别化的产业准入条件。合理规划居住区与工业功能区，在居住区和工业区、工业企业之间设置防护绿地、生活绿地等隔离带。工 业用地、农 林用地 17 表表 1-10现有问题整改措施清单现有问题整改措施清单类别主要问题主要原因整改建议/解决方案环境质量大气环境质量大气环境质量不达标历史遗留问题规划区内全部采用48、电、蒸汽等清洁能源，同时严格按照 xx市大气环境质量限期达标规划 以及其他相关废气污染物治理要求，对区域内废气进行治理水环境质量地表水、地下水环境质量超标规划期园区内所有废水全部纳管，杜绝直排现象，从源头控制污染源；本次环评提出理农业面源治理措施，本次规划实施期间按本次环评要求落实污染防治与环境保护风险防范园区内企业应急预案备案率不高，xx芯谷核心区块未开展区域应急预案演练部分企业xx理念不强，管理不到位加强企业风险防范措施，生态环境局督促风险企业编制环境风险应急预案并备案，同时定期开展事故演练，此外建议xx芯谷管理办公室针对xx芯谷核心区块编制区域突发环境事件应急预案。固废处置部分企业一般固49、废存在露天堆放现象加强对企业的巡查以及管理，加大对固废（尤其是危废）暂存设施的巡查，发现固废暂存库容积不够需立即督查企业进行整改，整改期间需搭建挡雨棚或遮盖篷布，不允许露天堆放。部分企业危废未及时处置，在厂区内暂存要求企业及时处置危废，厂区内储存期不得超过 1 年废气防治部分企业污水处理站恶臭废气无有效收集处置要求企业对于污水站厌氧池、进水泵站、污泥池、脱水间等恶臭产生量大的构筑物加盖密闭，收集处理恶臭废气后排放。虽然园区内已开展了涉 VOCs 企业整治，但仍存在部分企业处理装置落后，VOCs 处理效率较低的问题持续开展 VOCs 整治，建议xxxx芯谷管理办公室编制园区内涉 VOCs 企业一50、厂一策整治方案，通过优化 VOCs处理方式、提升处理装置，减少区域VOCs 排放量产业布局目前规划区范围内有少量企业为化纤、印染等行业，与xx芯谷核心区块发展方向、产业定位不符历史遗留问题本次规划制定了转型升级规划，通过限制其扩产扩能，定期进行指标考核，促使其进行转型升级环境管理园区内部分现有企业未完成“三同时”xx验收历史遗留问题建议xx芯谷管理办公室和xx市生态环境局xx分局加强管理，督促企业按照 建设项目竣工环境保护验收暂行办法等文件通过自主验收表表 1-11污染物排放总量管控限值清单污染物排放总量管控限值清单规划期总量环境质量变化趋势，能否达环境质量底线水污染物总量管控限值COD(t/51、a)现状排放量425.214规划区废水全部截污纳管，地表水环境可维持现状不降级规划总量管控限值1012.947增减量+587.734氨氮(t/a)现状排放量42.521规划总量管控限值101.295 18 增减量+58.774总磷（t/a）现状排放量4.252规划总量管控限值10.129增减量+5.877大气污染物总量管控限值SO2(t/a)现状排放量106.183大气环境质量可以满足环境质量底线规划总量管控限值109.999增减量+3.816NOX(t/a)现状排放量312.622规划总量管控限值231.914增减量-80.708烟粉尘(t/a)现状排放量68.017规划总量管控限值92.552、02增减量+24.485VOCs(t/a)现状排放量335.78规划总量管控限值402.946增减量+67.166危险废物管控限值(万 t/a)现状产生量11421可得到妥善处置规划总量管控限值16604.478增减量+5183.478表表 1-12规划优化调整建议清单规划优化调整建议清单优化优化调整调整类型类型规划内容规划内容调整建议调整建议调整依据调整依据预期环境预期环境效益效益规划布局建议与该学校用地和居住用地紧邻的一侧设置一类工业紧邻二类工业用地降低工业污染，减少VOCs、恶臭污染，改善环境质量，降低环境投诉，提高老百姓对环境的满意度。基础设施规划区块北侧为规划xx污水处理厂，55 万53、吨/日。园区废水由xx污水处理厂处理积极与正在编制的国土空间规划对接，园区规划期废水由xx污水厂处理xx大xx产业集聚区（大xx新区）分区规划环境影响报告书。区域无水环境容量，xx污水厂可承载本次规划实施调整区块 19 建立相对完善的污水收集、处理模式。远期污水处理率达 98%，污水管网覆盖率 98%园区内规划期污水处理率达 100%，污水管网覆盖率 100%xx市生态环境保护“十四五”规划改善区域水环境质量表表 1-13环境准入负面清单环境准入负面清单区块与三线一单管控分区叠加分析示意图本次规划环评分类行业清单工艺清单产品清单xx区大xx产业集聚重点管控单元2（ZH33010920013）禁54、止准入类产业新建、扩建火力发电（燃煤）；49、饲料添加剂、食品添加剂制造；75、轮胎制造、再生橡胶制造、橡胶加工、橡胶制品制造及翻新；111、纺织品制造（有染整工段的）；114、原油加工、天然气加工、油母页岩提炼原油、煤制原油、生物制油及其他石油制品；117、基本化学原料制造；农药制造；涂料、染料、颜料、油墨及其类似产品制造；合成材料制造；专用化学品制造；炸药、火工及焰火产品制造；水处理剂等制造；（单纯混合或分装外的）；118、肥料制造：化学肥料制造（单纯混合和分装外的）；119、日用化学品制造（单纯混合或分装的除外）；120、化学药品制造；121、化学纤维制造（单纯纺丝除外）；123、轮胎制55、造、再生橡胶制造、橡胶加工、橡胶制品制造及翻新（轮胎制造；有炼化及硫化工艺的）；131、铁合金制造；132、有色金属冶炼（含再生有色金属冶炼）；133、有色金属合金制造；135、金属制品表面处理及热处理加工（有电镀工艺的；有钝化工艺的热镀锌）。涉及电镀、酸洗、磷化、电化学镀、发兰、铸造工艺金属制品制造（省、市重点项目配套的金属表面处理等必须工艺环节除外）单纯的表面喷涂项目55、含湿法印花、染色、水洗工艺的服装制造 20 距离居住区规划边界200 米范围内布置溶剂型油漆喷涂项目禁止危化品货物分拨中心和仓库建设；危险化学品/危险废物仓储（企业配套原料或产品库除外）废旧资源（含生物质）加工再生、利用56、等57、制鞋业制造（使用有机溶剂的）现有氨纶、锦纶等三类项目技改不得增加产能，且污染物削减量不低于区域减排目标。表表 1-14环境标准清单环境标准清单类别主要内容空间准入标准xx区大江东城镇生活重点管控单元空间布局约束：空间布局约束：禁止新建、扩建三类工业项目，现有三类工业项目改建不得增加污染物排放总量，鼓励现有三类工业项目搬迁关闭。除工业功能区（小微园区、工业集聚点）外，原则上禁止新建其他二类工业项目，现有二类工业项目改建、扩建，不得增加污染物排放总量。严格执行畜禽养殖禁养区规定。污染物排放管控：污染物排放管控：推进生活小区零直排区建设。加强噪声和臭气异味防治，强化餐饮油烟治理，严格施工扬尘57、监管。环境风险防控：环境风险防控：合理布局工业、商业、居住、科教等功能区块严格控制噪声、恶臭、油烟等污染排放较大的建设项目布局。资源开发效率要求：资源开发效率要求：全面开展节水型社会建设，推进节水产品推广普及，限制高耗水服务业用水。xx 区大江东产业集聚重点管控单元空间布局约束：空间布局约束：根据产业集聚区块的功能定位，建立分区差别化的产业准入条件。合理规划居住区与工业功能区，在居住区和工业区、工业企业之间设置防护绿地、生活绿地等隔离带。污染物排放管控：污染物排放管控：严格实施污染物总量控制制度，根据区域环境质量改善目标，削减污染物排放总量。所有企业实现雨污分流。环境风险防控：环境风险防控：强58、化工业集聚区企业环境风险防范设施设备建设和正常运行监管，加强重点环境风险管控企业应急预案制定，建立常态化的企业隐患排查整治监管机制，加强风险防控体系建设。污染废气大气污染物综合排放标准（GB16297-1996）、恶臭污染 21 物排放标准物排放标准（GB14554-93）、锅炉大气污染物排放标准（GB13271-2014）、工业炉窑大气污染物排放标准（GB9078-1996）、工业涂装工序大气污染物排放标准（DB33/2146-2018）、挥发性有机物无组织排放控制标准（GB 378222019）、燃煤电厂大气污染物排放标准(DB33/2147-2018)、合成树脂工业污染物排放标准(GB359、1572-2015)、纺织染整工业大气污染物排放标准（DB33/962-2015）、电镀污染物排放标准（GB201900-2008）、饮食业油烟排放标准(试行)(GB18483-2001)废水污水综合排放标准(GB 8978-1996)、工业企业废水氮、磷污染物间接排放限值（DB33/887-2013）、城镇污水处理厂污染物排放标准（GB18918-2002）、合成树脂工业污染物排放标准(GB31572-2015)、电子工业水污染物排放标准（GB39731-2020）、纺织染整工业水污染物排放标准（GB4287-2012）、电镀水污染物排放标准(DB33/2260-2020)、酸洗废水排放总铁60、浓度限值(DB33/844-2011)噪声工业企业厂界环境噪声排放标准（GB12348-2008）、社会生活环境噪声排放标准(GB 22337-2008)固废危险废物贮存污染控制标准（GB18597-2001）及修改单（原xx部公告 2013 年 第 36 号），一般工业固体废物贮存和填埋污染控制标准(GB18599-2020)环境质量管控标准污染物排放总量管控限值水污染物COD1012.947t/a、氨氮 101.295t/a、总磷 10.129t/a大气污染物SO2109.999t/a、NOX231.914t/a、烟粉尘 92.502t/a、VOCs402.946t/a危险废物16604.61、478t/a环境质量标准环境空气环境空气质量标准（GB3095-2012）水环境地表水环境质量标准（GB3838-2002），地下水质量标准（GB/T14848），海水水质标准(GB3097-1997)声环境声环境质量标准（GB3096-2008）土壤环境土壤环境质量 建设用地土壤污染风险管控标准(GB36600-2018)、土壤环境质量标准 农用地土壤污染风险管控标准（试行）（GB15618-2018）行业准入条件环境准入指导意见产业结构调整指导目录（2019 年版）（2021 修订）、外商投资产业指导目录(2017 年修订)、市场准入负面清单（2022年版）、限制用地项目目录(2012 年62、本)、禁止用地项目目录(2012 年本)、xx市“三线一单”生态环境分区管控方案、挥发性有机物治理实用手册、环境保护综合名录（2017 年版）22 表表1-15规划环评六张清单对照分析情况规划环评六张清单对照分析情况综上，本项目的建设能够符合 xxxx芯谷核心区块总体规划环境影响报告书相关要求。序号类别符合性分析1生态空间布局清单本项目位于xx区大xx产业集聚重点管控单元2，周边规划为工业用地，实施污染物总量控制制度，厂区实行雨污分流制，将加强风险防控体系建设，符合生态空间布局清单要求2现有问题整改措施清单本项目位于工业集聚区，不在现有问题整改措施清单中3总量管控清单本项目实施污染物总量控制制63、度，符合总量管控要求4规划优化调整建议清单本项目所在地不在规划优化调整建议清单中5环境准入负面清单本项目不属于其禁止准入类产业清单，本项目不属于涉及电镀、酸洗、磷化、电化学镀、发兰、铸造工艺金属制品制造，不属于表面喷涂项目，不属于服装制造项目，不属于油漆喷涂项目，不属于氨纶和锦纶等三类项目，故本项目符合环境准入条件清单6环境标准清单本项目不属于禁止准入类产业，本项目能够落实规划环评提出的主要环境影响减缓对策和措施，控制废气污染物排放，废水经预处理达标后纳入xx污水处理厂，危险废物无害化处置，不外排。项目符合环境标准清单。其他符合性分析1、与与xx市xx市“三线一单三线一单”生态环境分区管控方案64、生态环境分区管控方案的符合性分的符合性分析析根据xx市“三线一单”生态环境分区管控方案，本项目所在地位于xx区大xx产业集聚区重点管控单元 2(环境管控单元编码ZH33010920013)，属于重点管控单元。具体可见表 1-16。23 表表 1-16xx区大xx产业集聚区重点管控单元xx区大xx产业集聚区重点管控单元 2 准入清单准入清单类别管控单元分类空间布局引导污染物排放管控环境风险防控管控要求xx区大xx产业集聚区重点管控单元2(环境管控单元编码ZH33010920013)根据产业集聚区块的功能定位，建立分区差别化的产业准入条件。合理规划居住区与工业功能区，在居住区和工业区、工业企业之间65、设置防护绿地、生活绿地等隔离带。严格实施污染物总量控制制度，根据区域环境质量改善目标，削减污染物排放总量。所有企业实现雨污分流。强化工业集聚区企业环境风险防范设施设备建设和正常运行监管，加强重点环境风险管控企业应急预案制定，建立常态化的企业隐患排查整治监管机制，加强风险防控体系建设。项目情况-项目所在地为xx区大xx产业集聚区，本项目 500m 范围内无敏感点。本项目实施污染物总量控制制度，根据区域环境质量改善目标，削减污染物排放总量。项目实施雨污分流。本项目应加强环境风险防范设备建设和运行监管，建设单位拟配备相关应急物资，并及时按规定编制和落实环境突发事件应急预案，拟建立常态化隐患排查整治监66、管机制，加强风险防控体系建设符合情况-符合符合符合由表1-16可知，项目符合xx市“三线一单”生态环境分区管控方案中“xx区大xx产业集聚区重点管控单元2(环境管控单元编码ZH33010920013)”中的约束性要求。2、“三线一单三线一单”相符性分析相符性分析（1）项目与生态保护红线相符性分析项目位于xx市xx区河庄街道青西二路东围路599号博潮城6幢 3 层和 4 层，项目不在当地饮用水源、风景区、自然保护区等生态保护区内，不涉及xx市三区三线等相关文件划定的生态保护红线，满足生态保护红线要求。（2）项目与环境质量底线相符性分析 24 大气环境质量底线目标到2025年，全市PM2.5年均浓67、度达到33g/m3以下，空气质量优良天数比率达到省下达的目标；到2035年，全市大气环境质量进一步改善。符合性分析：符合性分析：根据2022年xx市生态环境状况公报，xx市SO2、NO2、PM2.5、PM10、CO均达到环境空气质量标准（GB3095-2012）及其修改单中二级标准，但臭氧略有超标。本项目废气不排放臭氧，项目废气经本评价提出的废气处理措施处理后，项目污染物均可达标排放，经预测对周边大气环境影响不大，不会导致所在区域环境质量降级。本项目不会对大气环境质量底线造成冲击。水环境质量底线目标到2025年，县以xx市集中式饮用水源地水质达标率100；国家考核断面水质-类的比例达到100%68、以上，省控断面水质-类的比例达到93%。到2035年，全市水环境质量总体改善，水生态系统功能基本恢复。符合性分析符合性分析：本项目附近地表水体为钱江直河（位于项目东侧约340m），水质目标参照执行类标准。根据智慧河道云平台 2022 年1 月3 月对钱江直河的现状监测结果，钱江直河监测断面 2022 年 1月、2 月的 pH、DO、COD、氨氮等各个监测指标满足地表水环境质量标准（GB3838-2002）中类标准要求；3 月 TP 不满足类标准要求，其余指标满足类标准要求。说明 3 月钱江直河水质超标。超标原因：生活污水未纳管排放、雨污分流不彻底、企业污水未经处理直排、不利气象条件下初期雨水直69、排以及农业面源和养殖面源污染等。本项目废水经预处理后纳管外排，不排入附近水体，对周边水体影响不大，不会导致周边地表水环境质量降级。土壤环境质量底线目标到2020年，全市土壤环境质量总体保持稳定，农用地和建设用地土壤环境安全得到基本保障，土壤环境风险得到基本管控，受污染耕 25 地安全利用率达到92%左右，污染地块安全利用率达到93%以上。到2025年，土壤环境质量稳中向好，受污染耕地安全利用率达到92%以上，污染地块安全利用率进一步提升。到2035年，土壤环境质量明显改善，农用地和建设用地土壤环境安全得到有效保障，土壤环境风险得到全面管控，受污染耕地安全利用率、污染地块安全利用率均达到95%以70、上。符合性分析：符合性分析：本项目生产车间位于3层、4层，产生的固废分类收集、妥善处置，零排放；污水站做好防腐防渗处理。项目不对周围土壤环境产生较大影响。（3）项目与资源利用上线相符性分析能源（煤炭）资源利用上线目标通过一手抓传统能源清洁化，一手抓清洁能源发展，实现“一控两降”的主要发展目标。“一控”：即能源消费总量得到有效控制。到2020年，全市能源消费总量控制在4650万吨标煤左右。“两降”：全市单位GDP能耗较2015年下降22以上；到2020年，全市煤炭消费总量比2015年下降5以上。水资源利用上线目标到2020年，xx市用水总量目标为43亿立方米，其中地表水目标42.75亿立方米，地71、下水目标0.25亿立方米，生活和工业用水目标为28.4亿立方米；万元GDP用水量下降25%以上，万元工业增加值用水量下降率23%以上，农田灌溉水有效利用系数达到0.608。土地资源利用上线目标到2020年，全市建设用地总规模控制在248986公顷以内，其中城乡建设用地规模控制在153933公顷以内，城镇工矿用地规模控制在85613公顷以内；耕地保有量为206513公顷（309.77万亩），基本农田保护面积为169667公顷（254.50万亩）；从2015年至2020年，新增建设用地总量不超过15200公顷，占用耕地规模不超过9109公顷，整 26 理复垦开发补充耕地任务量达到9109公顷；人均72、城镇工矿用地控制在112平方米以内，二、三产业万元耗地量降至17.20平方米以下。符合性分析：符合性分析：本项目不新增土地，项目用水来源为市政自来水管网，当地自来水厂能够满足项目的新鲜水使用要求；本项目无蒸汽使用；用电由市政电网统一供给。本项目的建设不会突破地区资源消耗上线。（4）项目与环境准入负面清单相符性分析对照市场准入负面清单（2022 年版）、产业结构调整指导目录(2019 年本)、xx市产业发展导向目录与空间布局指引（2019年本）、xx大xx产业集聚区分区规划环评中负面清单以及杭州市“三线一单”生态环境分区管控方案 中相应环境功能区的负面清单及管控措施，本项目所属行业、规划选址及环73、境保护措施等均满足环境准入基本条件，其采用的生产工艺、实施的生产规模、产品及使用原料等均未列入该环境准入负面清单内。（5）小结由上分析，本项目总体符合“三线一单”的管理要求。3、与与xxxx新区战略规划xxxx新区战略规划符合性分析符合性分析（1）规划范围xxxx新区包括原xx大xx产业集聚区和xx经济技术开发区，即江干区的xx、白杨两个街道，xx区的河庄、义蓬、新湾、xx、前进5个街道，以及原xx大xx产业集聚区规划控制范围内的其他区域（不含党湾镇所辖接壤区域的行政村），总面积 531.7 平方公里，常住人口106万人。（2）规划期限规划期限至2035年。其中近期至2025年，远期至203574、年，远景展望至2050 年。（3）目标定位世界级智能制造产业集群；长三角地区产城融合发展示范区；全 27 省标志性战略性改革开放大平台；xx湾数字经济与高端制造融合创新发展引领区。（4）规划结构江滩绿谷一江双城四组团。其中四组团为：xx生命健康产业组团、xx半导体与未来产业组团、前进智能交通装备产业组团和xx新材料产业组团。（5）建设高质量发展的创新圈塑造品牌，建设五大制造集群，探索产业未来布局。五大制造集群为：半导体、生命健康、智能汽车及智能装备、航空航天、新材料。符合性分析：符合性分析：本项目拟建于xx市xx区东围路599号博潮城，本项目从事超大功率半导体生产，属于光电子器件制造，涉及到半75、导体的应用。项目选址位于四组团的xx半导体与未来产业组团内，位于五大制造集群的半导体集群内。因此项目建设符合 xxxx新区战略规划的要求。4、产业政策符合性分析、产业政策符合性分析本项目属于超大功率半导体生产线项目，对照 产业结构调整指导目录（2019 年本），本项目属于指导目录中“第一类：鼓励类，二十八、信息产业：“22、半导体等电子产品用材料”。对照xx市产业发展导向目录与产业平台布局指引（2019 年本），本项目属于指导目录中“二、数字经济核心产业”的“（五）电子信息产品制造产业”的“B37-电子专用设备仪器、新型元器件、新型显示器件、电力电子器件、高性能电池、新型传感器、信息功能材料与76、器件、光电子器件、光机电组件、现代科学仪器设备、变流装置等电子器件的研发和产业化”，为鼓励类。对照xx市xx区人民政府办公室关于印发xx区产业发展导向目录与产业平台布局指引的通知(钱政办发20226 号)，本项目属于指导目录中“三、数字经济核心产业”的“（五）电子信息产品制造产业”的“C29-电子专用设备仪器、新型元器件、新型显示器件、电力电子器件、高性能电池、新型传感器、信息功能材 28 料与器件、光电子器件、光机电组件、现代科学仪器设备、变流装置等电子器件的研发和产业化”，为鼓励类。对照市场准入负面清单（2022 年版）等国家、地方产业政策文件，本项目不在其市场准入负面清单。对照长江经济带77、发展负面清单指南（试行，2022 年版）xx省实施细则，本项目不占用实施细则中的各类敏感区域，不属于实施细则禁止开展的生产活动和工程建设。此外，项目已获得xx区行政审批局出具的 xx省企业投资项目备案（赋码）信息表。因此，本项目建设符合国家和地方产业政策的要求。5、与与长江经济带发展负面清单指南长江经济带发展负面清单指南（试行试行，2022 年版年版）xxxx省实施细则省实施细则(浙长江办浙长江办20226 号号)相符性相符性分析分析经对照长江经济带发展负面清单指南（试行，2022 年版）浙江省实施细则(浙长江办20226 号)，本项目符合相关实施细则要求，具体见表 1-17。表表 1-17与78、xx省实施细则的符合性分析与xx省实施细则的符合性分析序号负面清单项目情况1港口码头项目建设必须严格遵守中华人民共和国港口法、交通运输部港口规划管理规定、港口工程建设管理规定以及xx省港口管理条例的规定。本项目不属于港口码头项目。2禁止建设不符合全国沿海港口布局规划、全国内河航道与港口布局规划、xx省沿海港口布局规划、xx省内河航运发展规划以及项目所在地港口总体规划、国土空间规划的港口码头项目。经国务院或国家发展改革委审批、核准的港口码头项目，军事和渔业港口码头项目，按照国家有关规定执行。城市休闲旅游配套码头、陆岛交通码头等涉及民生的港口码头项目，结合国土空间规划和督导交通专项规划等另行研究执79、行。本项目不属于港口码头项目。3禁止在自然保护地的岸线和河段范围内投资建设不符合xx省自然保护地建设项目准入负面清单(试行)的项目。禁止在自然保护地的岸线和河段范围内采石、采砂、采土、砍伐以及其他严重改变地形地貌、破坏自然生态、影响自然景观的开发利用行为。禁止在 I 级林地、一级国家级公益林内建设项目。自然保护地由省林业局会同相关管理机构界定。本项目拟建地不涉及自然保护地的 岸线和河段。4禁止在饮用水水源一级保护区、二级保护区、准本项目拟建地不 29 保护区的岸线和河段范围内投资建设不符合浙江省饮用水源保护条例的项目。饮用水水源一级保护区、二级保护区、准保护区由省生态环境厅会同相关管理机构界定80、。涉及饮用水水源一级保护区、二级保护区、准保护区的岸线和河段范围。5禁止在水产种质资源保护区的岸线和河段范围内新建围湖造田、围海造地或围填海等投资建设项目。水产种质资源保护区由省农业农村厅会同相关管理机构界定。本项目拟建地不涉及水产种质资源保护区的岸线和河段。6在国家湿地公园的岸线和河段范围内：（一）禁止挖沙、采矿；（二）禁止任何不符合主体功能定位的投资建设项目；（三）禁止开(围)垦、填埋或者排干湿地；（四）禁止截断湿地水源；（五）禁止倾倒有毒有害物质、废弃物、垃圾；（六）禁止破坏野生动物栖息地和迁徙通道、鱼类洄游通道，禁止滥采滥捕野生动植物；（七）禁止引入外来物种；（八）禁止擅自放牧、捕捞、81、取土、取水、排污、放生；（九）禁止其他破坏湿 地及生态功能的活动。本项目拟建地不涉及国家湿地公园 的 岸 线 和 河段。7禁止违法利用、占用长江流域河湖岸线。本项目拟建地不涉及利用、占用长江流域河湖岸线。8禁止在长江岸线保护和开发利用总体规划划定的岸线保护区和保留区内投资建设除事关公共安全及公众利益的防洪护岸、河道治理、供水、生态环境保护、国家重要基础设施以外的项目。本项目拟建地不涉及长江岸线保护和开发利用总体规划划定的岸线保护区和保留区。9禁止在全国重要江河湖泊水功能区划划定的河段及湖泊保护区、保留区内投资建设不利于水资源及自然生态保护的项目。本项目拟建地不涉及全国重要江河湖泊水功能区划划定82、的河段 及 湖 泊 保 护区、保留区。10禁止未经许可在长江支流及湖泊新设、改设或扩大排污口。本项目废水纳管排放，不涉及长江支流及湖泊新设、改设或扩大排污口。11禁止在长江支流、太湖等重要岸线一公里范围内新建、扩建化工园区和化工项目。本项目不涉及化工园区和化工项目，不涉及河湖岸线。30 12禁止在长江重要支流岸线一公里范围内新建、改建、扩建尾矿库、冶炼渣库和磷石膏库，以提升安全、生态环境保护水平为目的的改建除外本项目不涉及尾矿库、冶炼渣库和磷石膏库，不涉及河湖岸线。13禁止在合规园区外新建、扩建钢铁、石化、化工、焦化、建材、有色、制浆造纸等高污染项目。高污染项目清单参照生态环境部环境保护综合目83、录中的高污染产品目录执行。本项目不涉及钢铁、石化、化工、焦化、建材、有色、制浆造纸等高污染项目。14禁止新建、扩建不符合国家石化、现代 煤化工等产业布局规划项目。本项目不涉及石化、煤化工项目。15禁止新建、扩建法律法规和相关政策 明令禁止的落后产能项目，对列入 产业结构调 整指导目录淘汰类中的落后生产工艺装备、落后产品投资项目，列入外商投资准入特别管理措施(负面清单)的外商投资项目，一律不得核准、备案。禁止向落后产能项目和严重过剩产能行业项目供应土地。本项目不属于明令禁止的落后产能项目，不属于严重过剩产能行业，也不属于高耗 能 高 排 放 项目。16禁止新建、扩建不符合国家产能置换要求的严重过84、剩产能行业的项目。部门、机构禁止办理相关的土地(海域)供应、能评、环评审批 和新增授信支持等业务。本项目不属于严重过剩产能行业的项目。17禁止新建、扩建不符合要求的高耗能高排放项目。本项目不属于高耗 能 高 排 放 项目。18禁止在水库和河湖等水利工程管理范围内堆放物料，倾倒土、石、矿渣、垃圾等物质。本项目不涉及水库和河湖等水利工程管理范围内堆放物料，倾倒土、石、矿渣、垃圾等物质。6、xx省节能降耗和能源资源优化配置xx省节能降耗和能源资源优化配置“十四五十四五”规划规划符合符合性分析性分析根据xx省节能降耗和能源资源优化配置“十四五”规划中对“两高”项目的要求：以能源“双控”、碳达峰碳中和的85、强约束倒逼和引导产业全面绿色转型，坚决遏制地方“两高”项目盲目发展。建立能源“双控”与重大发展规划、重大产业平台规划、重点产业发展规划、年度重大项目前期计划和产业发展政策联动机制。研究制订严格控制地方新上“两高”项目的实施意见，对在建、拟建和存量“两高”项目开展分类处置，将已建“两高”项目全部纳入重点用能单位在线监测系统，强化对“两高”31 项目的闭环化管理。严格落实产业结构调整“四个一律”，对地方谋划新上的石化、化纤、水泥、钢铁和数据中心等高耗能行业项目进行严格控制。提高工业项目准入性标准，将“十四五”单位工业增加值能效控制标准降至 0.52 吨标准煤/万元，对超过标准的新上工业项目，严格落86、实产能和能耗减量（等量）替代、用能权交易等政策。强化对年综合能耗 5000 吨标准煤以上高耗能项目的节能审查管理。符合性分析：符合性分析：本项目属于超大功率半导体生产项目，不属于电力、钢铁、建材、有色、石化和化工等六大重点行业，不属于“两高”项目，基本符合xx省节能降耗和能源资源优化配置“十四五”规划。7、与与xx省xx省“十四五十四五”挥发性有机物综合治理方案挥发性有机物综合治理方案符合性分符合性分析析2021年8月17日xx省生态环境厅、xx省发展和改革委员会、xx省经济和信息化厅、xx省住房和城乡建设厅、xx省交通运输厅、xx省市场监督管理局、国家税务总局xx省税务局联合发布了xx省“十87、四五”挥发性有机物综合治理方案（浙环发202110号），结合本项目特点，对照该方案符合性分析见下表。表表 1-18xx省xx省“十四五十四五”挥发性有机物综合治理方案符合性分析挥发性有机物综合治理方案符合性分析序号内容项目情况是否符合1优化产业结构。引导石化、化工、工业涂装、包装印刷、合成革、化纤、纺织印染等重点行业合理布局，限制高VOCs排放化工类建设项目，禁止建设生产和使用VOCs含量限值不符合国家标准的涂料、油墨、胶粘剂、清洗剂等项目。贯彻落实产业结构调整指导目录国家鼓励的有毒有害原料(产品)替代品目录，依法依规淘汰涉VOCs排放工艺和装备，加大引导退出限制类工艺和装备力度，从源头减少涉88、VOCs污染物产生。本项目为超大功率半导体生产项目，不属于重点行业，项目产生的VOCs废气量较少符合2严格环境准入。严格执行“三线一单”为核心的生态环境分区管控体系，制（修）订纺织印染（数码喷印）等行业绿色准入指导意见。严格执行建设项目新增VOCs排放量区域削减替代规定，削减措施原则上应优先来源于纳入排污许可管理的排污单位采取的治理措施，并与建设项目位于同一设区市。xx年度环境空气质量达标的区域，对石化等行业的建设项目VOCs排放量实行等量削减；xx年度环境空气质量不达标的区域，对石化等行业的建设本项目严格执行“三线一单”等生态环境分区管控体系的要求；严格执行建设项目新增VOCs排放符合 3289、 项目VOCs排放量实行2倍量削减，直至达标后的下一年再恢复等量削减。量区域削减替代规定。3全面提升生产工艺绿色化水平。石化、化工等行业应采用原辅材料利用率高、废弃物产生量少的生产工艺，提升生产装备水平，采用密闭化、连续化、自动化、管道化等生产技术，鼓励工艺装置采取重力流布置，推广采用油品在线调和技术、密闭式循环水冷却系统等。工业涂装行业重点推进使用紧凑式涂装工艺，推广采用辊涂、静电喷涂、高压无气喷涂、空气辅助无气喷涂、热喷涂、超临界二氧化碳喷涂等技术，鼓励企业采用自动化、智能化喷涂设备替代人工喷涂，减少使用空气喷涂技术。包装印刷行业推广使用无溶剂复合、共挤出复合技术，鼓励采用水性凹印、醇水凹90、印、辐射固化凹印、柔版印刷、无水胶印等印刷工艺。鼓励生产工艺装备落后、在既有基础上整改困难的企业推倒重建，从车间布局、工艺装备等方面全面提升治理水平。本项目不涉及符合4全面推行工业涂装企业使用低VOCs含量原辅材料。严格执行大气污染防治法第四十六条规定，选用粉末涂料、水性涂料、无溶剂涂料、辐射固化涂料等环境友好型涂料和符合要求的（高固体分）溶剂型涂料。工业涂装企业所使用的水性涂料、溶剂型涂料、无溶剂涂料、辐射固化涂料应符合低挥发性有机化合物含量涂料产品技术要求规定的VOCs含量限值要求，并建立台账，记录原辅材料的使用量、废弃量、去向以及VOCs含量。本项目不涉及符合5大力推进低VOCs含量原辅91、材料的源头替代。全面排查使用溶剂型工业涂料、油墨、胶粘剂、清洗剂等原辅材料的企业，各地应结合本地产业特点和本方案指导目录（见附件1），制定低VOCs含量原辅材料源头替代实施计划，明确分行业源头替代时间表，按照“可替尽替、应代尽代”的原则，实施一批替代溶剂型原辅材料的项目。加快低VOCs含量原辅材料研发、生产和应用，在更多技术成熟领域逐渐推广使用低VOCs含量原辅材料，到2025年，溶剂型工业涂料、油墨、胶粘剂等使用量下降比例达到国家要求。本项目使用光刻胶量较小，源头替代指导目录，本项目没有源头替代要求，无需制定替代计划。符合6严格控制无组织排放。在保证安全前提下，加强含VOCs物料全方位、全链92、条、全环节密闭管理，做好VOCs物料储存、转移和输送、设备与管线组件泄漏、敞开液面逸散以及工艺过程等无组织排放环节的管理。生产应优先采用密闭设备、在密闭空间中操作或采用全密闭集气罩收集方式，原则上应保持微负压状态，并根据相关规范合理设置通风量；采用局部集气罩的，距集气罩开口面最远处的VOCs无组织排放位置控制风速应不低于0.3米/秒。对VOCs物料储罐和污水集输、储存、处理设施开展排查，督促企业按要求开展专项治理。本项目按照洁净车间要求建设，生产过程不使用敞口设备符合 33 7全面开展泄漏检测与修复（LDAR）。石油炼制、石油化学、合成树脂企业严格按照行业排放标准要求开展LDAR工作；其他企业93、载有气态、液态VOCs物料设备与管线组件密封点大于等于2000个的，应开展LDAR工作。开展LDAR企业3家以上或辖区内开展LDAR企业密封点数量合计1万个以上的县（市、区）应开展LDAR数字化管理，到2022年，15个县（市、区）实现LDAR数字化管理；到2025年，相关重点县（市、区）全面实现LDAR数字化管理。本项目物料设备与管线组件密封点小于2000个符合8规范企业非正常工况排放管理。引导石化、化工等企业合理安排停检修计划，制定开停工（车）、检修、设备清洗等非正常工况的环境管理制度。在确保安全的前提下，尽可能不在O3污染高发时段（4月下旬-6月上旬和8月下旬-9月，下同）安排全厂开停车94、装置整体停工检修和储罐清洗作业等，减少非正常工况VOCs排放；确实不能调整的，应加强清洗、退料、吹扫、放空、晾干等环节的VOCs无组织排放控制，产生的VOCs应收集处理，确保满足安全生产和污染排放控制要求。按要求执行，将规范企业非正常工况排放管理符合9建设适宜高效的治理设施。企业新建治理设施或对现有治理设施实施改造，应结合排放VOCs产生特征、生产工况等合理选择治理技术，对治理难度大、单一治理工艺难以稳定达标的，要采用多种技术的组合工艺。采用活性炭吸附技术的，吸附装置和活性炭应符合相关技术要求，并按要求足量添加、定期更换活性炭。组织开展使用光催化、光氧化、低温等离子、一次性活性炭或上述组合技95、术等VOCs治理设施排查，对达不到要求的，应当更换或升级改造，实现稳定达标排放。到2025年，完成5000家低效VOCs治理设施改造升级，石化行业的VOCs综合去除效率达到70%以上，化工、工业涂装、包装印刷、合成革等行业的VOCs综合去除效率达到60%以上。本项目按要求建设废气治理设施符合10加强治理设施运行管理。按照治理设施较生产设备“先启后停”的原则提升治理设施投运率。根据处理工艺要求，在治理设施达到正常运行条件后方可启动生产设备，在生产设备停止、残留VOCs收集处理完毕后，方可停运治理设施。VOCs治理设施发生故障或检修时，对应生产设备应停止运行，待检修完毕后投入使用；因安全等因素生产96、设备不能停止或不能及时停止运行的，应设置废气应急处理设施或采取其他替代措施。项目加强治理设施运行管理符合11规范应急旁路排放管理。推动取消石化、化工、工业涂装、包装印刷、纺织印染等行业非必要的含VOCs排放的旁路。因安全等因素确须保留的，企业应将保留的应急旁路报当地生态环境部门。应急旁路在非紧急情况下保持关闭，并通过铅封、安装监控（如流量、温度、压差、阀门开度、视频等）本项目不涉及符合 34 设施等加强监管，开启后应做好台账记录并及时向当地生态环境部门报告。由表1-18可知，本项目符合xx省“十四五”挥发性有机物综合治理方案（浙环发202110 号）的相关要求。8、与挥发性有机物无组织排放控制97、标准符合性分析、与挥发性有机物无组织排放控制标准符合性分析表表 1-19挥发性有机物无组织排放控制标准符合性分析挥发性有机物无组织排放控制标准符合性分析序号标准或文件要求本项目情况相符性1VOCs 物料应储存于密闭的容器、包装袋、储罐、储库、料仓中。盛装VOCs物料的容器或包装袋应存放于室内，或存放于设置有雨棚、遮阳和防渗设施的专用场地。盛装 VOCs 物料的容 器或包装袋在非取用状态时应加盖、封口、保持密闭。VOCs物料储罐应密封良好，其中挥发性有机液体储罐应符合5.2条规定，VOCs物料储库、料仓应满足3.6条对密闭空间的要求。本项目所用涉及VOCs物料的原料均密闭存放在仓库。相符2粉状、98、粒状VOCs物料应采用气力输送设备、管状带式输送机、螺旋输送机等密闭输送方式，或者采用密闭的包装袋、容器或罐车进行物料转移。本项目不涉及粉状、粒状VOCs物料。/3对于重点地区，收集的废气中NMHC 初始排放速率2kg/h，应配置VOCs处理设施，处理效率不应低于80%；采用的原辅材料符合国家有关低VOCs含量产品规定的除外。本项目VOCs均收集后进入二级活性炭吸附装置处理，处理效率为80%。相符由表1-19可知，本项目符合 挥发性有机物无组织排放控制标准（GB 37822-2019）的相关要求。9、xx市生态环境局关于加强低效挥发性有机物治理设施改xx市生态环境局关于加强低效挥发性有机物治理99、设施改造升级工作的通知符合性分析造升级工作的通知符合性分析经对照 xx市生态环境局关于加强低效挥发性有机物治理设施改造升级工作的通知（杭环便函2022192 号），本项目符合该通知的相关要求，详见下表。35 表表 1-20本项目与xx市生态环境局关于加强低效挥发性有机物治理设施改本项目与xx市生态环境局关于加强低效挥发性有机物治理设施改造升级工作的通知符合性分析造升级工作的通知符合性分析类别类别内容内容具体措施具体措施本项目情况本项目情况 结论结论规范工程治理严把治理技术除恶臭异味治理外，企业应淘汰原有单一或组合工艺中的光催化、光氧化、低温等离子等低效VOCs治理设施，并参照xx省挥发性有机物100、污染防治（可行）技术指南（系列），依据排放废气特征、VOCs 组分及浓度、生产工况等，合理选择规范吸附装置或升级高效VOCs治理设施，确保稳定达标排放。原料VOCs浓度高、污染严重的生产工艺原则上采用RTO、RCO等高效处理方式；采用活性炭吸附处理技术的，吸附装置和工艺设计应符合HJ2026-2013 等技术规范要求，废气中含颗粒物、油烟（油雾）、水分等影响吸附过程物质的，应采取相应的预处理措施。除恶臭异味治理外，一般不使用低温等离子、光催化、光氧化等技术。本项目有机废气采用二级活性炭吸附处理。吸附装置和工艺设计符合HJ2026-2013 等技术规范要求符合严控无组织排放VOCs 物料储存、转101、移和输送、物料投加和卸放、配料加工及含VOCs 产品（质量占比大于等于10%的使用等环节应采用密闭设备或严格落实密闭空 间操作，并合理选择废气收集方式，规范设计吸风风量，保证废气收集效率。本项目生产车间为洁净车间设计，严格落实密闭和废气收集措施。符合规范活性炭吸附运行管理严把活性炭质量关用于VOCs 治理的活性炭采用煤质活性炭或木质活性炭，活性炭结构应为颗粒活性炭。活性炭技术指标应符合 LY/T3284 规定的优级品颗粒活性炭技术要求，碘吸附值不低于800mg/g或四氯化碳化碳吸附率不低于60%。项目选用符合LY/T3284规定的活性炭。符合严格填充量和更换时间原则上活性炭更换周期一般不应超过102、累计运行 500 小时或 3 个月，用于吸附脱附燃烧废气处理设施的活性炭使用寿命原则上不超过6 个月。本项目正常情况下活性炭更换周期不超过500h或 3 个月。符合严格危废管理产生活性炭企业每年都与有资质的单位签订危废处置协议，并建议在合同中明确活性炭使用量及废活性炭产生量、处置量等。企业应按要求做好活性炭吸附日常运行维护台账记录，包括开启时间、关停时间、更换时间和装填数量，相关台账应保存 5 年以上。废活性炭纳入危险废物管理，每年定期委托资质单位处置，废活性炭设日常运行维护台账记录，同时本环评要求企业相关台账应保存 5年以上。符合 36 由表1-20可知，项目符合xx市生态环境局关于加强低效103、挥发性有机物治理设施改造升级工作的通知（杭环便函 2022 192 号）相关要求。10、xx审批原则符合性分析、xx审批原则符合性分析根据xx省建设项目环境保护管理办法（2021年修正）（浙江省人民政府令第388号）第三条：建设项目应当符合生态保护红线、环境质量底线、资源利用上线和生态环境准入清单管控的要求；排放污染物应当符合国家、省规定的污染物排放标准和重点污染物排放总量控制要求。建设项目还应当符合国土空间规划、国家和省产业政策等要求。（1）排放的污染物符合国家、省规定的污染物排放标准本项目产生的废水经预处理达标后纳入污水管网，最终排放至杭州xx污水处理厂处理，达一级A标准后排放。本项目废气104、产生量较少，无机废气经二级喷淋塔吸收处理，有机废气经二级活性炭吸附装置处理，处理后废气经4楼楼顶排气筒排放。本项目产生的噪声经隔声、降噪等处理后，其厂界达到工业企业厂界环境噪声排放标准（GB12348-2008）中3类标准；本项目产生的各类固废均能得到合理处理和处置，不会对周边环境产生影响。项目产生的各类污染物在经过本环评报告中提出的相应污染防治措施处理后，排放的污染物符合国家、省规定的污染物排放标准。（2）排放的污染物符合国家、省规定的重点污染物排放总量控制要求本项目排放的国家、省规定的重点污染物为：CODCr、NH3-N、挥发性有机物。根据工程分析，本项目 CODCr、NH3-N、挥发性有105、机物排放总量符合控制要求。（3）还应当符合国土空间规划、国家和省产业政策的要求本项目位于大xx产业集聚区楼，该地块为工业用地。根据前文分析，项目建设符合国家和地方产业政策要求。37（4）建设项目还应当符合生态保护红线、环境质量底线、资源利用上线和生态环境准入清单管控的要求根据前述分析，项目的建设符合xx市“三线一单”生态环境分区管控方案的生态保护红线、环境质量底线、资源利用上线和生态环境准入清单管控的要求。符合性分析：本项目建设符合 xx省建设项目环境保护管理办法中的xx审批原则。10、“四性五不批四性五不批”符合性分析符合性分析表表 1-21“四性五不批四性五不批”要求符合性分析要求符合性分106、析内容建设项目情况是否符合四性建设项目的环境可行性用现有的工业厂房来实施生产，符合关于以改善环境质量为核心加强环境影响评价管理的通知(环环评(2016)150 号)中的“三线一单”要求，因此项目的建设满足环境可行性的要求符合环境影响分析预测评估的可靠性项目根据 建设项目环境影响报告表编制技术指南（污染影响类）（试行）及国家相关规范的技术要求进行环境影响分析，预测评估是可靠的符合环境保护措施的有效性项目营运期产生的各类污染物成份均不复杂，属常规污染物，对于这些污染物的治理技术目前已比较成熟，因此从技术上分析，只要切实落实环评报告提出的各项污染防治措施，各类污染物均可得到有效控制并能做到达标排放，107、因此其环境保护措施是可靠合理的符合环境影响评价结论的科学性本环评结论客观、过程公开、评价公正，并综合考虑建设项目实施后对各种环境因素可能造成的影响，环评结论是科学的符合五不准建设项目类型及其选布局、规模等不符合环境保护法律法和相关法定规划本项目的建设符合当地总体规划，符合国家、地方产业政策，各类污染物均可得到有效控制并能做到达标排放，对环境影响不大。项目符合环境保护法律法规和相关法定规划不属于不予批准的情形所在区域环境质量未达到国家或者地方环境质量标准，且建设项目拟采取的措施能满足区域环境质量改善目标项目所在地属环境空气不达标区，地表水环境、声环境质量现状均较好。项目实施后，只要切实落实环评报108、告提出的各项污染防治措施，本项目各类污染物均可得到有效控制并能做到达标排放，对环境影响不大，项目实施不会改变所在地的环境质不属于不予批准的情形 38 管理要求量水平和环境功能建设项目采取的污染防治措施无法确保污染物排放达到国家和地方排放标准，或者未采取必要措施预防和控制生态破坏只要切实落实环评报告提出的各项污染防治措施，本项目各类污染物均可得到有效控制并能做到达标排放不属于不予批准的情形改建、扩建和技术改造项目，未针对项目原有环境污染和生态破坏提出有效防治措施本项目不涉及原有环境污染和生态破坏不于不予批准的情形建设项目的环境影响报告书、环境影响报告表的基础资料数据明显不实，内 容存 在 重 大109、缺陷、遗漏，或者环境影响评价结论不明确、不合理。本项目数据真实可靠，内容完善，环境影响评价合理不属于不予批准的情形由表 1-21 可知，本项目符合“四性五不批”要求。39 二、建设项目工程分析建设内容2.1 项目由来项目由来xxxx半导体有限公司成立于 2021 年 6 月 29 日，注册地位于xx省xx市xx新区河庄街道青西二路 1099 号综合楼 602-72 号。公司经营范围包括一般项目：半导体分立器件制造；半导体分立器件销售；半导体器件专用设备制造；技术服务、技术开发、技术咨询、技术交流、技术转让、技术推广；电子专用材料制造；电子元器件零售；电力电子元器件制造；电子专用设备销售；电子专110、用设备制造；电子元器件制造；集成电路芯片及产品销售；电容器及其配套设备制造；集成电路芯片及产品制造(除依法须经批准的项目外，凭营业执照依法自主开展经营活动)。许可项目：货物进出口(依法须经批准的项目，经相关部门批准后方可开展经营活动，具体经营项目以审批结果为准)。2022 年，建设单位拟投资 21000 万元，租赁xx市xx区东围路 599 号博潮城 6 幢北三层、四层厂房，实施超大功率半导体生产线项目。根据中华人民共和国环境影响评价法以及建设项目环境影响评价分类管理目录的有关规定，本项目属于“三十五、电气机械和器材制造业38-77 电机制造 381；输配电及控制设备制造 382；电线、电缆、111、光缆及电工器材制造 383；电池制造 384；家用电力器具制造 385；非电力家用器具制造 386；照明器具制造 387”中的“其他电气机械及器材制造 389-其他（仅分割、焊接、组装的除外；年用非溶剂型低 VOCs 含量涂料 10 吨以下的除外）”，需编制环境影响报告表。受xxxx半导体有限公司委托，我单位承担该项目的环境影响评价工作，在现场踏勘、资料收集和工程分析的基础上，根据环评技术导则、建设项目环境影响报告表编制技术指南（污染影响类）、法律法规及其它有关文件，编制了该项目的环境影响报告表。2.2 建设内容及规模建设内容及规模1、项目概况、项目概况项目名称：xxxx半导体有限公司超大功率112、半导体生产线项目建设单位：xxxx半导体有限公司 40 建设性质：新建建设地点：xx市xx区河庄街道青西二路东围路 599 号博潮城 3 幢 3层和 4 层项目投资：项目总投资 21000 万元，其xx保投资 150 万元，占总投资的 0.71%。项目组成如下：表表 2-1建设项目组成建设项目组成工程类别工程规模主体工程6 幢 3 层面积为 2623.36m2，高度为 5.5m，布置测试间、封装间、实验中心、发货区、废液回收间、组件区、造型区、辅助间、机加工区、中间仓库、产品等。6 幢 4 层面积为 2623.36m2，高度为 5.5m，布置喷硼灰区、喷硼区、扩散灰区、检测区、蒸发区、等离子刻113、蚀灰区、腐蚀清洗区、去胶间、曝光间、匀胶间、超声波清洗间、化试中转间、腐蚀间、涂胶间、制版间、暗室、纯水间、准备间、检测间、一般监控室等。储运工程辅助车间一位于 6 幢东侧，面积为 61.75m2，高度为 5.25m；辅助车间二位于 6 幢东南侧，面积为 106.25m2，高度为 5.25m；辅助车间三位于 6 幢东南侧，面积为 160m2，高度为 5.25m；甲类仓库位于博潮城南侧沿围墙处，面积为 183.6m2，高度为 5.25m；产品库位于三层仓库公用工程给水水源采用城市自来水,区域内市政水压拟为 0.25MPa，本工程给水接自厂区已建给水管网。排水项目排水实行雨污分流。雨水经雨水管道收114、集后排入市政雨水管道。生活污水经化粪池预处理后纳管排入市政污水管网，由xx污水处理厂集中处理。生产废水重力自流排入室外污水管，通过地埋式污水管道送厂区南侧的污水站。废水经预处理达到纳管标准后纳入市政污水管网，由xx污水处理厂集中处理。纯水制备系统位于生产厂房东侧纯化间，面积约 50m2供电由当地电网供给。在车间三层设置一处高压配电房，拟设置 2 台2500KVA干式变压器供电给本层用电设备用电。本工程采用两路10KV电源供电，能满足消防和大部分工艺负荷的供电要求。供气制氧站：在生产厂房东侧设置氧气站，设置 1 个 2m3氧气氮储罐。供氢站：在生产厂房东侧设置供氢站，设置集装格用于外购成品氢气气115、瓶储存，共设置 4 组氢气集装格，单组氢气集装格存放 16 个钢瓶，单瓶容量 47L。供氮站：在生产厂房东侧设置氮气站，设置 1 个 20m3液氮储罐。新风净化系统及排万级净化车间为全封闭设置，仅靠空调送风。本项目拟在生产车间内配置组合式空调机组与冷水机组各 1 套。空调系统含风机段及初效和中效过滤段、混合段，通过风道向操作区送风，在风道出口处再安装普通型过滤器。经净化处理后的空气可以满足生产工艺对洁净厂房的 41 气系统要求。车间及过道内的热排放风通过管道收集后在楼顶与补充的新风混合后经空气净化系统净化后又循环返回至车间内。扩散、烧结由于生产温度较高，设备加热处多余的热量由热排风系统排出屋顶116、。xx工程废气酸性废气经收集后由 1 套“二级碱液喷淋”处理，由 30m 高 DA001 排气筒排放；有机废气采用设备密闭收集+1 套“二级活性炭吸附装置”处理后，由30m 高 DA002 排气筒排放；废水治理厂区污水站位于厂区南侧沿围墙处的辅助车间四，车间面积为 288m2，高度为 6.5m，生产废水经“酸碱中和+氟化钙沉淀+絮凝沉淀工艺”后纳管排入市政污水管网，由xx污水处理厂集中处理。固废设置一个一般固废暂存库，位于辅助车间四内，暂存库面积约为 10m2；设置一个危险废物暂存库，位于甲类仓库，暂存库面积约为 20m2；各危险废物委托资质单位处置；生活垃圾委托环卫部门统一清运。噪声治理选用117、先进的低噪声设备；合理布局生产设备，不同功能布局的区域采用墙体进行分隔；对高噪声设备设置隔声、吸声/消声、减振等降噪措施。环境风险在厂区南侧沿围墙处（辅助车间四西侧）设一个应急池，容积为 400m3；分区防渗，危废间、辅料仓库、废水处理设施区进行重点防渗，防渗要求为基础必须防渗，防渗层为至少 1m 厚粘土层（渗透系数10-7cm/s），或 2mm 厚高密度聚乙烯，或至少 2mm 厚的其他人工材料，渗透系数10-10cm/s。制定突发事故应急预案并备案，配备相应应急物资，定期进行演练。依托工程项目生活污水依托园区现有化粪池处理达标后纳管排放，经xx污水处理厂集中处理后排放。项目不设办公楼、食堂，118、员工办公依托园区 2#综合楼现有办公室，食堂、宿舍依托园区 2#综合楼现有设施。2、产品及建设规模、产品及建设规模本项目产品主要为大功率的晶闸管（包括整流器、晶闸管及其派生器件），产品方案及主要技术指标具体见表 2-2。表表 2-2晶闸管主要技术指标晶闸管主要技术指标序号项目描述指标年产量1产品晶闸管（整流器、晶闸管及其派生器件）PNPN 四层半导体结构，它有三个极：阳极，阴极和门极30 万支2尺寸最大直径127mm最小直径50.8mm3电学特性功率范围300 KW 36000KW电流范围5005000A电压范围6007200V晶闸管主要生产设备与申报产能匹配性分析：42 项目晶闸管生产线主要119、限能设备有扩散炉、电子束真空镀膜机等。主要设备与产能匹配性分析见表 2-3。由表 2-3 可知，项目设备能满足年产 30 万支晶闸管生产需要。表表 2-3项目项目晶闸管晶闸管生产主要生产主要限能限能设备与产能匹配性核算表设备与产能匹配性核算表序号主要限能生产设备工序设备数量(台)生产能力设备生产能力(万支/a)申报产能(万支/a)匹配性1扩散炉铝扩/磷扩/氧化推进19150 片/天42.830匹配2电子束真空镀膜机蒸发34#70 面/小时30.530匹配5#35 面/小时6#40 面/小时图图2-1产品晶闸管产品晶闸管晶闸管（Thyristor）是晶体闸流管的简称，又可称做可控硅整流器，以前被120、简称为可控硅；晶闸管是 PNPN 四层半导体结构，它有三个极：阳极，阴极和门极；在性能上，晶闸管不仅具有单向导电性，而且还具有比硅整流元件更为可贵的可控性，它只有导通和关断两种状态。晶闸管主要用来组成整流、逆变、斩波、交流调压、变频等变流装置和交流开关以及家用电器实用电路等生活设施，由于变流装置为静止型的，具有体积小、寿命长、效率高、控制性能好，并且无毒、无噪声、造价低、维修方便等优点，因此在各个工业部门和民用领域都得到广泛地应用。晶闸管的优点很多，例如：以小功率控制大功率，功率放大倍数高达几十万倍；反应极快，在微秒级内开通、关断；无触点运行，无火花、无噪声；43 效率高，成本低等。因此，特别121、是在大功率 UPS 供电系统中，晶闸管在整流电路、静态旁路开关、无触点输出开关等电路中得到广泛的应用。3、周边概况及平面布置、周边概况及平面布置（1）周边概况博潮城北邻xx七路，南侧与临鸿东路隔河相望，东侧为代征道路，路对侧为中欣晶圆半导体股份有限公司，西侧为圣奥xx区智造基地。本项目租赁xx大xx地产开发有限公司坐落在xx大xx产业集聚区xx片区的厂房，具体地址为xx市xx区东围路 599 号博潮城 6 幢北三层、四层，一层、二层为xxxx半导体有限公司高性能激光器项目；租赁建筑东侧为园区道路，隔路为xx中欣晶圆半导体股份有限公司。建筑北侧为园区内至芯半导体（xx）有限公司和园区 1 幢综合122、楼；园区外北侧为xx七路，隔路为xx集成电路（xx）有限公司（在建企业）、农田（农田距离项目约 185m，规划为工业用地）；租赁建筑西侧为园区内赛德光电材料（xx）有限责任公司，园区外西侧紧邻圣奥xx区制造基地；租赁建筑南侧 6 幢南厂房，隔园区道路 8 幢厂房，园区南侧为园区河流、临鸿东路和工业用地。本项目具体地理位置见附图 1，周围环境概况详见附图 2，周边环境概况见表 2-4。表表 2-4周边环境概况表周边环境概况表方位距离（m）现状6 幢 1 层、2 层-xxxx半导体有限公司东紧邻园区道路80（隔路）xx中欣晶圆半导体股份有限公司南紧邻6 幢南厂房758 幢厂房西32赛德光电材料（x123、x）有限责任公司北20至芯半导体（xx）有限公司70园区 1 幢综合楼、2 幢综合楼（2）平面布置本项目位于xx市xx区东围路 599 号博潮城 6 幢北三层、四层。博潮 44 城共有三个已建的出入口，其中一个主出入口位于厂区北侧的xx七路上，两个次出入口位于东侧的代征道路上。本工程不新建出入口，利用已有的东侧两个出入口作为货运出入口，避免人流、物流交叉。项目 3 层由西到东主要布置测试间、封装间、实验中心、发货区、废液回收间、组件区、造型区、辅助间、机加工区、中间仓库等。项目 4 层由西到东主要布置预留生产区、喷硼灰区、喷硼区、扩散灰区、检测区、蒸发区、等离子刻蚀灰区、腐蚀清洗区、去胶间、曝124、光间、匀胶间、超声波清洗间、化试中转间、腐蚀间、涂胶间、制版间、暗室、洗衣间、纯水间、准备间、检测间、一般监控室等。在 6 幢楼的厂房外东面，由北至南依次扩建构筑物、辅助设备、辅助车间一、辅助车间二、辅助车间三。在厂区南侧沿围墙处依次布置仓库（甲类仓库和危废间）和辅助车间四（污水站）。项目拟设置 1 个危废仓库，位于甲类仓库，暂存库面积为 20m2；设置一般固废暂存库，位于辅助车间四内，暂存库面积为 10m2。从整个平面布置来看，各功能区按工艺流程、物料输送方向，降低能耗、便于检修、重视安全、有利生产为目标进行布局，功能明确。项目 3 层、4 层车间平面布置可见附图 4，厂区平面布置可见附图 125、5。4、项目主要原辅材料及消耗量项目主要原辅料消耗情况可见表 2-5。表表 2-5项目原辅材料及消耗量项目原辅材料及消耗量序号原料名称年消耗量规格备注1单晶硅片33 万片50.8127mm约 1860 平方米，2.78t2钼片33 万套50.8127mm3管壳30 万套50.8127mm4高纯铝60g纯度 99.99999%铝扩散5三氯氧磷20kg电子纯 500ml/瓶磷扩散630%过氧化氢4t分析纯 4L 瓶清洗736%盐酸0.8t分析纯 4L/瓶酸洗825%氨水2t分析纯 4L/瓶碱洗940%氟化铵0.8t分析纯 4L/瓶腐蚀1040%氢氟酸1t分析纯 4L/瓶腐蚀11混合酸2.6t分析纯126、 4L/瓶40%氢氟酸与65%硝酸混合（1:6）45 1295%硫酸10t分析纯 4L/瓶去胶1385%磷酸4t优级纯 500ml/瓶腐蚀14无水乙醇1500L优级纯 500ml/瓶硼扩15RFJ-220 负性光刻胶1600L4L/瓶混合二甲苯 85%、环化橡胶 15%、2,6-二（4-叠氮苯亚甲基）-4 甲基环己酮 0.35%光刻16RFX-2277 负性显影液1600L4L/瓶混合二甲苯 25%，正庚烷 75%显影17RFP-2202 负性漂洗液600L4L/瓶乙酸丁酯 100%漂洗18氮气150t液氮罐保护气19液氧3t液氧罐推进氧化、磷扩散20氢气35 集装格-21硼粉（B2O3）15127、kg100g/瓶硼扩22金钢砂1tW20，20kg/袋磨角23高纯水9449.85t-清洗24硅橡胶（液体硅橡胶）450kg1kg/瓶涂胶25丙酮20L500mL/瓶少量硅片擦洗时用26氢氧化钠（片碱）1.0t25kg/袋废气处理、水处理主要原辅材料理化性质：（1）单晶硅片硅的单晶体，是一种具有基本完整的点阵结构的晶体。不同的方向具有不同的性质，是一种良好的半导材料。纯度要求达到99.9999，甚至达到99.9999999以上。用于制造半导体器件、太阳能电池等。用高纯度的多晶硅在单晶炉内拉制而成。（2）钼片纯度：纯钼板 Mo99.97%，密度：10.15g/cm3，平整度：3%，熔点：2610128、。（3）硝酸铝英文名称：Aluminum nitrate，分子式 Al(NO3)3，分子量375.14，熔点 73(135时分解)。无色或白色易潮解的单斜晶体，易溶于冷水、乙醇、二硫化碳，不溶于乙酸乙酯，微溶于丙酮。46 急性毒性：LD50：264 mg/kg(大鼠经口)。危险特性：无机氧化剂。与可燃物的混合物易于着火，并会猛烈燃烧。高温时分解，释出剧毒的氮氧化物气体。（4）三氯氧磷英文名称：phosphorus oxychloride，分子式 POCl3，分子量153.33，熔点1.2，沸点105.1，相对密度1.68，饱和蒸气压（KPa）：5.33（27.3），透明、无色或带黄色有独特的窒129、息性气味的腐蚀性液体，溶于醇，溶于水。毒理性：三氯氧磷是一种工业化工原料，中毒机理是三氯氧磷水解产生磷酸和盐酸，一般情况下，氯化氢对皮肤粘膜有刺激和烧灼作用，重者可引起充血、水肿甚至坏死；大量吸入可引发肺水肿，导致通气功能障碍，出现胸闷、气急、呼吸困难等临床症状。LD50280mg/kg（大鼠经口）；LC50200.3mg/m3，4小时（大鼠吸入）。健康危害：本品遇水蒸气分解成磷酸与氯化氢，含磷可致磷中毒。对皮肤、粘膜有刺激腐蚀作用。毒性与光气类似。急性中毒：短期内吸入大量蒸气，可引起上呼吸道刺激症状、咽喉炎、支气管炎；严重者可发生喉头水肿窒息、肺炎、肺水肿、紫绀、心力衰竭。亦可发生贫血、肝脏130、损害、蛋白尿。口服引起消化道灼伤。眼和皮肤接触引起灼伤。长期低浓度接触可引起口、眼及呼吸道刺激症状。储存环境：储存于阴凉、干燥、通风良好的库房。远离火种、热源。库温不超过25，相对湿度不超过75。包装必须密封，切勿受潮。应与还原剂、活性金属粉末、醇类等分开存放，切忌混储。储区应备有泄漏应急处理设备和合适的收容材料。危险特性：遇水猛烈分解，产生大量的热和浓烟，甚至爆炸。对很多金属尤其是潮湿空气条件下有腐蚀性。（5）过氧化氢英文名称：Hydrogen peroxide，分子式 H2O2，分子量 34.01，熔点：-2（无水），沸点：158（无水），相对密度（水=1）：1.46（无水），饱和蒸气压（131、kPa）：0.13（15.3）。水溶液为无色透明液体，有微弱的特殊气 47 味。能与水、乙醇或乙醚以任何比例混合。不溶于苯、石油醚。毒理性：LD504060mg/kg(大鼠经皮)；LC502000mg/m3，4 小时(大鼠吸入)。危险特性：爆炸性强氧化剂。过氧化氢本身不燃，但能与可燃物反应放出大量热量和氧气而引起着火爆炸。过氧化氢在 pH 值为3.54.5 时最稳定，在碱性溶液中极易分解，在遇强光，特别是短波射线照射时也能发生分解。当加热到100以上时，开始急剧分解。它与许多有机物如糖、淀粉、醇类、石油产品等形成爆炸性混合物，在撞击、受热或电火花作用下能发生爆炸。过氧化氢与许多无机化合物或杂质132、接触后会迅速分解而导致爆炸，放出大量的热量、氧和水蒸气。大多数重金属（如铁、铜、银、铅、汞、锌、钴、镍、铬、锰等）及其氧化物和盐类都是活性催化剂，尘土、香烟灰、碳粉、铁锈等也能加速分解。浓度超过74的过氧化氢，在具有适当的点火源或温度的密闭容器中，能产生气相爆炸。（6）盐酸CAS号7647-01-0，英文名称Hydrochloric acid、Chlorohydric acid，别名氢氯酸，分子式 HCl，分子量36.46，熔点-114.8/纯，沸点108.6/20%。密度：相对密度(水=1)1.20、相对密度(空气=1)1.26，无色或微黄色发烟液体，有刺鼻的酸味，蒸汽压 30.66kPa(133、21)，溶解性：水混溶、溶于碱液，稳定性：稳定，主要用途：重要的无机化工原料，广泛用于染料、医药、食品、印染、皮革、冶金等行业。急性毒性：LD50900mg/kg(兔经口)；LC503124ppm，1 小时(大鼠吸入)。危险特性：能与一些活性金属粉末发生反应，放出氢气。遇氰化物能产生剧毒的氰化氢气体。与碱发生中合反应，并放出大量的热。具有强腐蚀性。（7）氨水英文名称ammonia，分子式NH3.H2O，分子量35，熔点-77.7，沸点-33.5，相对密度(水=1)0.82，爆炸极限：1625%（体积比）。蒸气密度(空气=1)0.6，蒸汽压 159mmHg(20)。无色有刺激性恶臭的气体，易溶于134、水、乙醇、乙醚。主要用途：用作致冷剂及制取铵盐和氮肥。急性毒性：LD50350mg/kg(大鼠经口)。48 危险特性：与空气混合能形成爆炸性混合物。遇明火、高热能引起燃烧爆炸。与氟、氯等接触会发生剧烈的化学反应。若遇高热，容器内压增大，有开裂和爆炸的危险。（8）氢氟酸英文名称：Hydrofluoric acid，分子式 HF，分子量20.01，熔点-83.1(纯)，沸点120，相对密度(水=1)1.26，无色透明有刺激性臭味的液体，与水混溶。急性毒性：LC501276ppm，1 小时(大鼠吸入)。健康危害：对皮肤有强烈的腐蚀作用。灼伤初期皮肤潮红、干燥。创面苍白，坏死，继而呈紫黑色或灰黑色。深135、部灼伤或处理不当时，可形成难以愈合的深溃疡，损及骨膜和骨质。本品灼伤疼痛剧烈。眼接触高浓度本品可引起角膜穿孔。接触其蒸气，可发生支气管炎、肺炎等。慢性影响：眼和上呼吸道刺激症状，或有鼻衄，嗅觉减退。可有牙齿酸蚀症。骨骼线异常与工业性氟病少见。储存环境：储存于阴凉、通风的库房。远离火种、热源。库温不超过30，相对湿度不超过85。保持容器密封。应与碱类、活性金属粉末、玻璃制品分开存放，切忌混储。储区应备有泄漏应急处理设备和合适的收容材料。危险特性：腐蚀性极强。遇H发泡剂立即燃烧。能与普通金属发生反应，放出氢气而与空气形成爆炸性混合物。（9）硝酸英文名称：Nitricacid，分子式HNO3，分子量136、63，熔点-42，沸点86，相对密度1.5(25)，透明、无色或带黄色有独特的窒息性气味的腐蚀性液体。毒理性：硝酸液及硝酸蒸气对皮肤和粘膜有强刺激和腐蚀作用。浓硝酸烟雾可释放出五氧化二氮（硝酐）遇水蒸气形成酸雾，可迅速分解而形成二氧化氮，浓硝酸加热时产生硝酸蒸气，也可分解产生二氧化氮，吸入后可引起急性氮氧化物中毒。人在低于30 mg/m3左右时未见明显的损害。吸入可引起肺炎。大鼠吸入LC5049 mg/kg/4小时。危险特性：不燃。能与多种物质如金属粉末、电石、硫化氢、松节油等猛烈反应，发生爆炸。与可燃物、还原剂和有机物如木屑、棉花、稻草或废 49 纱头等接触，引起燃烧，并散发出剧毒的棕色烟雾137、。与硝酸蒸气接触很危险。（10）硫酸英文名称：sulfuric acid，分子式H2SO4，分子量98.08，熔点 10.5，沸点330.0，相对密度1.83，饱和蒸气压(kPa)：0.13(145.8)，纯品为无色透明油状液体，无臭，与水混溶。急性毒性：LD50：2140 mg/kg(大鼠经口)；LC50：510mg/m3，2 小时(大鼠吸入)；320mg/m3，2 小时(小鼠吸入)。危险特性：遇水大量放热,可发生沸溅。与易燃物（如苯）和可燃物（如糖、纤维素等）接触会发生剧烈反应，甚至引起燃烧。遇电石、高氯酸盐、雷酸盐、硝酸盐、苦味酸盐、金属粉末等猛烈反应，发生爆炸或燃烧。有强烈的腐蚀性和吸138、水性。（11）磷酸英文名称：phosphoric acid，分子式 H3PO4，分子量 98.00，熔点42.4(纯品)，沸点260，相对密度1.87(纯品)，饱和蒸气压(kPa)：0.67(25，纯品)，纯磷酸为无色结晶，无臭，具有酸味，不燃，具腐蚀性、刺激性，可致人体灼伤。与水混溶，可混溶于乙醇。急性毒性：LD50：1530 mg/kg(大鼠经口)；2740 mg/kg(兔经皮)。危险特性：遇金属反应放出氢气，能与空气形成爆炸性混合物。受热分解产生剧毒的氧化磷烟气。具有腐蚀性。（12）无水乙醇英文名称：ethyl alcohol，分子式 C2H6O，分子量 46.07，熔点-114.1，沸139、点 78.3，相对密度 0.79，饱和蒸气压(kPa)5.33(19)，无色液体，有酒香。与水混溶，可混溶于醚、氯仿、甘油等多数有机溶剂。急性毒性：LD50：7060 mg/kg(兔经口)；7430 mg/kg(兔经皮)；LC5037620mg/m3，10 小时(大鼠吸入)。危险特性：易燃，其蒸气与空气可形成爆炸性混合物，遇明火、高热能引起燃烧爆炸。与氧化剂接触发生化学反应或引起燃烧。在火场中，受热的容器有爆炸危险。其蒸气比空气重，能在较低处扩散到相当远的地方，遇火 50 源会着火回燃。（13）负性光刻胶光刻胶指光照后能改变抗蚀能力的高分子惰性聚合物，其中负性光刻胶受光照部分产生交链反应而成为140、不溶物，非曝光部分被显影液溶解，获得的图形与掩模版图形互补。负性抗蚀剂的附着力强、灵敏度高、显影条件要求不严，适于低集成度的器件的生产。主要成分为混合二甲苯85%、环化橡胶15%、2,6-二（4-叠氮苯亚甲基）-4 甲基环己酮0.35%。外观为淡黄色透明粘稠液体；有类似甲苯的气味；熔点/凝固点-20以下；初沸点和沸程范围138以上；闪点23以上；爆炸上限（V/V）：7.0%爆炸下限（V/V）：0.9%；蒸气密度：3.66（空气=1）；相对密度：0.876-0.900（水=1）可溶性：不溶于水，可混溶于乙醇、乙醚等有机溶剂。（14）显影液显影液主要成分为混合二甲苯25%，正庚烷75%。无色易挥发141、液体，易燃，有类似甲苯的气味；初沸点和沸程范围：98.5-139；闪点：-4-25；易燃性（固态、气态）高度易燃液体和蒸气；爆炸上限（V/V）：6.7%爆炸下限（V/V）：1.1%；蒸气密度：3.45-3.66（空气=1）；相对密度：0.726（水=1；不溶于水，溶于醇、乙醚等有机溶剂。（15）漂洗液主要成分为乙酸丁酯。外观为无色透明液体；有果香味；熔点/凝固点-73.5；初沸点和沸程范围126.1；闪点：22；高度易燃液体和蒸气；爆炸上限（V/V）：7.5%，爆炸下限（V/V）：1.2%；蒸气密度4.1（空气=1）；相对密度0.88（水=1）；微溶于水，溶于醇、醚等多数有机溶剂。（16）硅橡142、胶硅橡胶是指主链由硅和氧原子交替构成，硅原子上通常连有两个有机基团的橡胶。硅橡胶的耐热性能也很突出，在180下可长期工作，稍高于200也能承受数周或更长时间仍有弹性，瞬时可耐300以上的高温。项目采用液体硅橡胶，主要加成反应交联组分。（17）丙酮 51 分子式：CH3COCH3，又名二甲基酮，为最简单的饱和酮。是一种无色透明易流动液体，有芳香气味，极易挥发。熔点：-94.6（无水），沸点：56.5（无水），蒸汽压：53.32kPa（39.5），闪点：-20，相对密度（水=1）：0.80，相对密度（空气=1）：2.00。与水混溶，可混溶于乙醇、乙醚、氯仿、油类、烃类等多数有机溶剂。低闪点易燃液体143、。毒性：属低毒类。急性毒性：LD50 5800mg/kg（大鼠经口）。其蒸气与空气可形成爆炸性混合物。遇明火、高热极易燃烧爆炸。与氧化剂能发生强烈反应。其蒸气比空气重，能在较低处扩散到相当远的地方，遇明火会引着回燃。若遇高热，容器内压增大，有开裂和爆炸的危险。5、项目主要生产设备、项目主要生产设备项目主要生产设备如下表：表表 2-6项目主要生产设备器项目主要生产设备器序号工序设备名称规格单位数量1硅片清洗/腐蚀硅片清洗腐蚀机QZ-603H台12清洗甩干机CXS-215D台5超声波清洗机FJD-400台42扩散炉铝扩铝扩扩散炉L6271-ZM台6磷扩磷扩扩散炉L6272-ZM台2氧化推进氧化扩散144、炉L6271-ZM台5硼扩氧化扩散炉L6271-ZM台63光刻自动匀胶机KW-5台2自动曝光机BG-406-6台54显影显影定影机XF/XY-2014-08台25蒸发电子束真空镀膜机ZSN-800A台36烧结/合金箱式真空烧结炉L4811-II-2/ORB台27磨角激光割圆机CT-LC500台2磨角机BM009台48烘干、固化烘箱HY02A-21H台99检测晶闸管 IH，IGT，VGT，VTM 自动测试仪CP57-DBC-031台3晶闸管电流上升率测试台DBC-083-DI/DI台1通态及正向峰值电压测试台DBC-016台1少字寿命测试仪HS-CLT台2高压阻断特性测试仪DBC-028 型台2145、晶闸管特性图示仪DZ01-0701台3 52 四探针测试仪DY-4台2综合测试台DBC-227台110封装冷压封装机LY5060CP台2公用/辅助/xx设备11液氧罐及气化器2m3套112液氮储罐及气化器20m3套113氢气集装格16 瓶套414螺杆式空压机台115纯水制备系统10m3/h套116空调净化系统-套317真空泵2X-8台1218冷却水系统-套120鼓风机-台221废水处理系统处理能力 10t/h套122酸雾废气洗涤塔风机风量 20000m3/h套123有机废气吸附塔风机风量 4000m3/h塔1表表 2-7主要设备特点及先进性说明主要设备特点及先进性说明序号设备名称特点及先进性1146、扩散炉应用软件程序精确控制扩散温度，恒温区内温度偏差小于0.5 度，保证杂质扩散深度一致性。2超声波清洗机应用软件程序精确控制清洗模式，智能化操作，清洗质量高，效率高。3自动曝光机通过均匀曝光，将设计的图形转移至硅片表面，线条清晰，套刻精准。4自动匀胶机采用全自动化方式将光刻胶涂敷在硅片表面，效率高，胶膜一致性好。5显影定影机加工速度快，显影效果好，节省显影液等特点。6硅片清洗腐蚀机应用软件程序精确控制腐蚀工艺，智能化操作，腐蚀均匀性好，偏差小于 2 微米，效率高。7电子束真空镀膜机在高真空条件下，通过电子束熔化金属，均匀蒸发到硅片表面，膜层均匀性好，效率高，全程自动化操作。8磨角机通过软件程147、序精确控制研磨厚度，研磨精度高。9测试仪全自动编程测试分选，测试效率高。6、劳动定员劳动定员本项目劳动定员 165 人，采用双班制，工作时间为 8:0022:00，2 班工作制，年工作日 300 天，厂区内不设食宿。项目不设食堂、宿舍，依托园区2#综合楼现有食堂、宿舍。7、公用工程公用工程1）给水 53 水源采用城市自来水，区域内市政水压拟为 0.25MPa，本工程给水接自厂区已建给水管网。消防给水系统：消防给水水源为城市自来水，采用一路水源。厂区消防系统包括室内外消火栓系统、自动喷水灭火系统与建筑灭火器。2）排水依托现有排水管网，采用雨污分流、清污分流排水系统。雨水经管道收集后分别排放至位于148、场地周围的市政雨水管。生活废水经管道收集至室外，污水经化粪池处理后经监测井后排入市政污水管网，由临江污水处理厂集中处理。生产废水经厂区污水站预处理达标后经排至市政污水管网，由xx污水处理厂集中处理。3）纯水制备系统项目自建 1 套 10m3/h 的纯水制备装置，采用二级反渗透工艺。根据建设单位提供资料，RO 纯水制备系统的纯水制备效率为 70%。原水原水箱石英砂过滤器活性炭过滤器一级反渗透装置二级反渗透装置纯水储罐车间用水点图图 2-2纯水制备工艺流程纯水制备工艺流程EDI 除盐技术精滤床浓水排入污水管网紫外线杀菌过滤器4)冷却循环水系统循环水系统组成：常温循环冷却水系统、工艺设备冷却水系统。149、常温循环冷却水系统常温冷却水用来冷却冷冻机的冷凝器系统。设计冷却塔进水温度 37，出水温度 32，设计湿球温度 29.2。经过冷却塔降温后的冷却水，由循环冷却水泵加压供给冷冻机，回水再 54 流入冷却塔降温 后供下一次循环使用。系统组成：冷却水循环泵、组合式冷却塔、加药装置、旁滤器、冷却水水温控制装置、阀门、管道系统。工艺设备循环冷却水系统工艺设备冷却水系统采用半开式循环系统，供工艺设备冷却需求。工艺设备冷却水经循环水泵加压后，依次通过过滤器、热交换器，再由输水管网送至各使用点。使用后的工艺设备冷却水再回流至开式水箱。工艺设备冷却水的冷媒采用冷冻水。5）供电由市政电网统一供应。全年消耗量 13150、5 万 Kw.h。6）供气制氧站：在生产厂房东侧设置氧气站，设置 1 个 2m3氧气氮储罐，配置1 套空温式气化器。供氢站：在生产厂房东侧设置供氢站，设置集装格，用于外购成品氢气气瓶储存，共设置 4 组氢气集装格，单组氢气集装格存放 16 个钢瓶，单瓶容量 47L。供氮站：在生产厂房东侧设置氮气站，设置 1 个 20m3液氮储罐，用于外购液成品液氮贮存，配置 2 套空温式气化器。使用时，氮气经气化后，由管道输送至生产车间纯化设备纯化处理后，再输送至车间各用气单元。7）新风净化系统以及废气收集系统根据本项目工艺流程及生产环境可知，本项目对生产车间要求恒温恒湿（设计温度 232，相对湿度 45%7151、0%），且生产工艺除磨角、检测、封装以及总装外，其余产生工艺均在万级净化车间内全封闭（负压）状态下进行，主要生产设备也均为封闭式。万级净化车间为全封闭，仅靠空调送风。根据工艺设备布置及车间面积，本项目拟在生产车间内配置组合式空调机组与冷水机组各 1 套。空调系统含风机段及初效和中效过滤段、混合段，通过风道向操作区送风，在风道出口处再安装普通型过滤器。经净化处理后的空气可以满足生产工艺对洁净厂房 55 的要求。车间内及过道空气、设备废气全由吸风集气罩以及热排风系统排出。光刻间等车间内及过道的热排放风经管道收集后在楼顶与补充的新风混合，然后经空气净化系统净化后又循环返回至车间内。因此，吸风集气罩收152、集率接近 100%，则万级净化车间内所产生的废气主要为有组织排放，不考虑无组织的排放量。扩散、烧结由于生产温度较高，设备加热处多余的热量由热排风系统排出楼顶，设备加热处均位于设备外部，因此热排风系统不会带走设备内部产生的废气。项目光刻间设备内有机废气经集气罩收集进入二级活性炭吸附装置。清洗等工序设备操作柜内产生的酸碱废气经集气罩收集进入二级碱喷淋装置。8、水平衡、水平衡、元素元素平衡平衡（1）水平衡项目水平衡如下：56 员工生活xx污水处理厂自来水酸雾喷淋塔用水14399.79碱液等化粪池单位：t/a损耗纯水制备系统纯水清洗中性清洗废水碱洗碱洗废水酸液等酸洗酸洗废水工艺用水酸液等酸性废水含氟废153、液委托处置循环回用反冲洗浓水损耗冷却水系统冷却塔冷却废水厂 区污 水处理站图图 2-3项目水平衡项目水平衡9449.8513499.799013.4151252801466.7014.4209.6217.66.45.259.25201.6201.6106.760030010.7968611.24049.943943.2490510损耗200100循环回用13164.443943.24酸性清洗废水碱性清洗废水16805866.7损耗 168损耗 586.7损耗 146.71320损耗 22.4损耗 22.4损耗 1.5 57（2）氟元素氟元素来源如下：氟化铵用量为 0.8t/a，浓度为 40%，154、则氟化铵中的氟含量为 0.169t。氢氟酸用量 1t/a，浓度为 40%，则氢氟酸中的氟含量为 0.383t。混合酸用量为 2.6t/a，其中 40%氢氟酸：60%硝酸=1:6，则混合酸中氟含量为 0.141t。氢氟酸、氟化铵、混合液用于腐蚀及去磷硅玻璃层工序，使用过程中挥发氟化氢废气，部分进入清洗废水，其余形成固废-废酸液。氟平衡见图 2-4。40%氟化铵中氟0.169t40%氢氟酸中氟0.383t混合酸中氟0.141t折合总氟 0.693t废气 0.097t废水 0.069t废气排放0.023t喷淋废水0.068t废水处理0.137t废水纳管 9t污泥 t废酸液 0.527t单位：t/a图155、图 2-4氟元素平衡氟元素平衡（3）磷平衡磷元素来源如下：磷酸用量为 4.0t/a，浓度为 85%，则磷酸中的磷含量 1.076t。三氯氧磷用量为 0.02t/a，则三氯氧磷中的磷含量为 0.004t。类比“xx西风半导体有限公司晶闸管项目”、“江苏华芯半导体科技有限 58 公司光通讯半导体光电芯片项目”、“威科赛乐微电子股份有限公司半导体芯片产业化项目”、“先导（昆明）新材料科技产业园项目（化合物半导体芯片）项目”等同类型项目，极少量的磷形成磷酸雾，约 10%磷元素进入产品，约20%随清洗废水进入废水，其余形成磷酸废液。磷元素平衡如下：85%磷酸中的磷1.076t三氯氧磷中磷0.004t折合156、总磷 1.080t废气 0.0002t废水 0.216t废气排放0.00005t喷淋废水0.00015t废水处理0.21615t废水纳管 0.043t污泥 0.173t废酸液 0.7558t进入产品 0.108t单位：t/a图图 2-5磷磷元素平衡元素平衡（4）氮平衡本项目使用的含N 元素的物料有 25%氨水、40%氟化铵、混合酸中的硝酸、光刻胶中的 2,6-二（4-叠氮苯亚甲基）-4 甲基环己酮等。氮元素来源如下：25%氨水用量为 2.0t/a，则氨含量 0.243t，氮含量 0.200t。氨挥发量以5%计，其余进入废水。40%氟化铵用量为 0.8t/a，则氨含量为 0.151t，氮含量 0157、.124t。氨挥发量以 5%计，10%进入废水，其余形成废酸液。59 混合酸中的硝酸为 1.45t/a，则氮含量为 0.312t。光刻胶中 2,6-二（4-叠氮苯亚甲基）-4 甲基环己酮含量为 0.0054t，氮含量为 0.001t。类比同类项目，氨挥发量以 5%计，其余进入废水；混合酸中硝酸雾挥发量以 0.0091t 计，按 10%进入清洗废水，其余形成废酸液；2,6-二（4-叠氮苯亚甲基）-4 甲基环己酮用于光刻胶，以全部挥发计。项目氮平衡如下：25%氨水中的氮0.2t光刻胶中的氮0.001t折合总氮 0.637t废气 0.01923t废水 0.2522t废气排放0.0048t喷淋废水0.158、0144t废水处理0.2666t废水纳管 0.0533t污泥 0.2133t废酸液 0.3656t40%氟化铵中的氮0.124t混合酸中的氮0.312t单位：t/a图图 2-6氮氮元素平衡元素平衡（5）VOC 平衡项目涉及 VOC 主要来源于光刻胶（混合二甲苯 85%、环化橡胶 15%、2,6-二（4-叠氮苯亚甲基）-4 甲基环己酮 0.35%）、显影液（混合二甲苯 25%，正庚烷 75%）、漂洗液（乙酸乙酯 100%）、乙醇、丙酮等，工序中产生的有机废气以 VOCs 计。本次乙醇、丙酮以全部挥发计，光刻胶、显影液、漂洗液按 50%来计算挥发性有机物的产生量。光刻胶、显影液、漂洗液按 5%60159、 进入废水，其余进入废液。VOC 平衡如下：无水乙醇1.2t显影液1.168t总计 4.320tVOC 废气 2.353t废水 0.216tVOC 排放0.471t废活性炭吸附1.882t废水纳管 0.043t污泥 0.173t废液 1.751t光刻胶1.424t漂洗液0.528t单位：t/a图图 2-7VOC 平衡平衡 61 工艺流程和产排污环节1、晶闸管工艺技术方案、晶闸管工艺技术方案晶闸管生产工序主要有硅片清洗、镓铝扩散、氧化、一次光刻、磷扩散、镀膜、二次光刻、金属化、后加工等九个部分。单晶硅片硅片清洗铝扩散推进氧化一次光刻磷扩散扩硼镀膜二次、三次光刻金属化后加工客户清洗清洗图图 2-8160、项目生产总流程项目生产总流程2、晶闸管生产工艺流程及排污节点分析 62（1）硅片清洗图图 2-9硅片清洗工序流程及硅片清洗工序流程及“三废三废”排放节点排放节点晶闸管生产对硅片的清洁度要求很高，必须通过超声波清洗、碱洗和酸洗，然后用纯水反复冲洗，清除硅表面的残留物和金属离子。超声波清洗：硅片在超声波槽内用纯水反复冲洗、翻转，清洗时间为 4h，每小时换水一次。碱洗（1 号液）：硅片在碱性溶液（高纯水：过氧化氢：氨水=5：2：1）中煮沸约 10min，再经纯水冲洗。原理：通过 H2O2的强氧化和 NH4OH 的溶解作用，使有机物沾污变成水溶性化合物，随纯水的冲洗而被去除。酸洗（2 号液）：硅片在酸161、性溶液（过氧化氢：盐酸：高纯水=1：1：3）维持浸洗约 10min，再经纯水冲洗。原理：它具有极强的氧化性和络合性，被氧化的金属离子与 Cl-作用生成的可溶性络合物亦随去离子水冲洗而被去除。纯水清洗采用滚动式清洗方式，且逆流清洗，清洗水量较少，清洗后的废水连续排放至废水收集池。1 号液、2 号液清洗液目前较节能、xx，把传统工艺中的煮王水（硝酸：盐酸=1：3）改成了煮碱性溶液、酸性溶液的方式，有以下优点：这两单晶硅片碱洗（加热）纯水清洗酸洗（加热）纯水清洗超声波清洗纯水W1 清洗废水、噪声纯水过氧化氢溶液氨水溶液W2 碱洗废水G1 含 NH3碱性废气纯水W3 清洗废水纯水过氧化氢溶液盐酸溶液W162、4 酸洗废水G2 含 HCl 酸性废气纯水W5 清洗废水下道工序 63 种清洗液能很好地清洗硅片上残存的蜡、松香等有机物及一些重金属如金、铜等杂质；相比其它清洗液，可以减少钠离子的污染；相比浓硝酸、浓硫酸、王水及铬酸洗液，这两种清洗液对环境的污染很小，操作相对方便。极少量硅片表面不干净时，会用丙酮擦拭，丙酮年使用量很小。硅片清洗工段将产生低浓度清洗废水 W1、W3、W5、碱洗废水 W2、酸洗废水 W4、清洗废水 W5 和碱性含氨废气 G1、酸性含 HCl 废气 G2。（2）铝扩散图图 2-10铝扩散工序流程及铝扩散工序流程及“三废三废”排放节点排放节点烘干：将硅片放入烘箱中烘干，烘箱温度 11163、5，烘干时间 0.51h。扩散：该工艺在高真空环境下，对高纯铝源进行加热蒸发，形成饱和的铝扩散环境，在高温下将铝原子扩散进入硅片体内。（3）推进氧化将硅插入载片舟，推入氧化炉内，通入氧气，12001220恒温约 9h（该过程采用电加热），在硅片表面生成约 1 微米厚度的 SiO2层，做为磷扩时的阻挡层。其化学反应方程为：Si+O2=SiO2。氧化过程通入的是纯氧，排气也以 O2为主，走一般排气管线。（4）一次光刻扩散（高温）烘干高纯铝 64 图图 2-11一次光刻工序流程及一次光刻工序流程及“三废三废”排放节点排放节点光刻包括匀胶、曝光、显影漂洗、腐蚀等。曝光显影、漂洗腐蚀去胶纯水清洗匀胶负性164、光刻胶G3 匀胶废气掩膜版紫外光照显影液漂洗液G4 显影、漂洗废气S1 显影废液S2 漂洗废液硫酸溶液S3 酸性腐蚀废液G3 含 HF 酸性废气纯水氢氟酸溶液氟化铵溶液S4 硫酸废液G6 硫酸雾废气纯水W6 清洗废水 65 匀胶：使用匀胶机，在硅片表面通过硅片高速旋转均匀涂上光刻胶的过程；图图 2-12匀胶设备示意图匀胶设备示意图曝光：使用曝光机，并透过光掩膜版对涂胶的硅片进行紫外光照（光照时间 60s），使部分光刻得到光照，另外部分光刻胶得不到光照，从而改变光刻胶性质；显影、漂洗：在显影液、漂洗液中漂洗 50s，对曝光后的光刻胶进行去 66 除，由于光照后的光刻胶和未被光照的光刻胶将分别溶于165、不溶于显影液和显影液，这样就使光刻胶上形成了沟槽，即形成窗口，以便选择性磷扩散。腐蚀：采用腐蚀剂（纯水：HF：NH4F=15:1:3）将硅片表面形成的二氧化硅沟槽进行腐蚀，废腐蚀液每 4 天排放一次。去胶：在硫酸中浸泡 58min，将硅片上的负性光刻胶去除。一次光刻工段将产生匀胶废气 G3、显影废气 G4、含 HF 酸性废气 G5、硫酸雾废气 G6、清洗废水 W6 和显影废液 S1、漂洗废液 S2、酸性腐蚀废液S3、硫酸废液 S4。（5）磷扩散氧气氮气三氯氧磷磷扩（高温）G7 酸性 Cl2废气下一工序图图 2-13磷扩散工序流程及磷扩散工序流程及“三废三废”排放节点排放节点磷扩：将硅片插入载片166、舟，放入磷扩炉，通入氧气 400ml/min、氮气300ml/min，磷扩炉升温至 1165时通入磷源（三氯氧磷），预沉积 100min关闭磷源（三氯氧磷），再升温至 1250，恒温 24h，形成 pnpn 结构。化学反应方程为：5POCl3=3PCl5+P2O54PCl5+5O2=P2O5+6Cl22P2O5+5Si=5SiO2+4P磷扩散将产生酸性含 Cl2废气 G7。（6）去除氧化层与磷硅玻璃薄膜 67 去磷硅玻璃层纯水清洗G8HF 酸性废气S5 含氢氟酸废液氢氟酸溶液纯水W7 清洗废水图图 2-14清洗工艺流程清洗工艺流程去磷硅玻璃层：在扩散时，硅片的正面形成一层很薄的磷硅玻璃层，为使167、电池表面颜色均匀一致，减少漏电流、提高效率，正反电极与电池形成良好的欧姆接触。利用氢氟酸在室温下把磷硅玻璃腐蚀（浸泡 5min 左右），腐蚀后再用纯水清洗，生成的硅氟酸 H2（SiF6）易溶于水。化学反应为：SiO26HF H2（SiF6）2H2O磷扩散清洗工段将产生 HF 酸性废气 G8、清洗废水 W7 和含氢氟酸废液S5。（6）扩硼预沉积扩散清洗纯水W8 清洗废水氮气再分布氧化推进喷硼氧气B2O3乙醇G9 乙醇废气S6 乙醇废液图图 2-15扩硼工艺流程扩硼工艺流程B 预沉积扩散在预沉积过程中硅片被送入高温扩散炉，杂质原子从源转移到扩散炉内。杂质进入硅片中很薄一层，且其表面浓度是恒定的。在168、硅表面上形成一薄层氧化物(称为掩蔽氧化层)以防止杂质原子从硅中扩散出去。预沉积为 68 整个扩散过程建立了浓度梯度。表面浓度最高，并随着深度的加大而减少，从而形成梯度。将烘干的硅片插在石英周上，推进恒温区，在 N2的保护下进行预沉积，在 900下扩散 15min，B2O3在高温下与硅反应，形成硼硅玻璃薄膜。该过程反应为：2B2O3+3Si 3SiO2+4B(向硅中扩散)B 再分布氧化推进再分布氧化过程中是一个高温过程(1000 1250)，用以使淀积的杂质穿过硅晶体，在硅片中形成期望的结深。这一步的主要目的有两个：杂质在晶圆中向深处再分布、氧化晶圆的暴露面。先将硅片清洗(方法同清洗)，然后将烘169、干的硅片推入扩散炉的恒温区中进行再分布，在1100下再分布 55min(干氧 15min，湿氧 5min，干氧35min)，通入氧气，可增强 B 的扩散速率(氧化增强扩散：P、B 的扩散机制主要是推填隙扩散机制，氧化时硅片表面存在大量过剩填隙杂质原子，填隙原子数增加，导致空位数量减少(填隙原子-空位复合)。该过程反应为：SiH2OSiO22H2(湿氧化)SiO2SiO2(干氧化)扩硼工序将产生清洗废水 W10、乙醇废气 G9、乙醇废液 S6。（8）镀膜蒸发：电子束真空镀膜机，利用高电压加速并聚焦电子束，直接打在蒸发源表面，使铝源在高真空状态下迅速雾散，并溅落在芯片表面，形成一层致密的铝膜，以便170、引出电极。烧结：硅片-铝片-钼片按顺序叠放，摆入烧结炉中，升温至 660恒温20min，抽真空。目的是引出阳极电极，增加硅片的机械强度。（9）二次、三次光刻 69 图图 2-16二次、三次光刻工序流程及二次、三次光刻工序流程及“三废三废”排放节点排放节点其原理和操作步骤同一次光刻，形成阴极和控制极图形。二次光刻腐蚀剂用浓磷酸（腐蚀液每 1 天更换一次，更换后的废腐蚀液作为危废处理），去胶剂用硫酸和双氧水（去胶液，更换后的去胶废液作为危废处理）。利用85%的浓磷酸与铝反应生成可溶于水的酸式磷酸铝，使铝膜被溶解干净，其化学反应方程为：2Al+6H3PO4=2Al(H2PO4)3+3H2。三次光刻步171、骤同二次光刻。二次光刻、三次光刻工段将产生匀胶废气 G10、显影废气 G11、清洗废水 W9 和显影废液 S7、漂洗废液 S8、磷酸废液 S9、去胶废液 S10。（10）金属化在高温真空炉中退火，N2作为保护气体，530恒温 40min，使硅铝形成良好的欧姆接触。（11）后加工曝光显影、漂洗腐蚀去胶纯水清洗匀胶负性光刻胶G10 匀胶废气掩膜版紫外光照显影液漂洗液G11 显影、漂洗废气S7 显影废液S8 漂洗废液硫酸双氧水S9 磷酸废液磷酸溶液S10 去胶废液纯水W9 清洗废水 70 图图 2-17后加工工序流程及后加工工序流程及“三废三废”排放节点排放节点磨角：用金刚砂在磨角器上磨出两个角度，172、形成均匀的斜边造形，以展宽电场，提高芯片耐压。腐蚀：采用自动旋转腐蚀机喷腐磨角所形成的斜边，以去除磨角时造成的表面损伤层，使表面光亮，减小漏电流，提高耐压。腐蚀所用的腐蚀液为硝酸、氢氟酸的混合液（硝酸：氢氟酸=6:1），其化学反应方程为：Si+4HNO3=SiO2+4NO2+2H2OSiO2+6HF=H2(SiF6)+2H2O主要反应是硅片表面先被硝酸氧化为二氧化硅，氢氟酸作为络合剂和二氧化硅络合成可溶性的硅氟酸，而被水冲走。涂胶：在腐蚀后的斜边表面涂一层硅橡胶（绝缘保护胶）。固化：涂好胶的芯片放于鼓风干燥箱内，100200烘烤 12h。检测：利用专用测试仪器检测芯片的电特性参数，如：VDRM173、VRRM、VGT、IGT、dv/dt 等。腐蚀涂胶固化（加热）检测封装磨角纯水金刚砂酸雾废气（氢氟酸 G12、硝酸雾（氮氧化物）G13）S11 酸性腐蚀废液混合酸溶液硅橡胶G14 非甲烷总烃总装W10 磨角废水G14 非甲烷总烃 71 封装：采用氮气进行冷压封装，将已制成的合格管芯，密封于管壳之中，便于引出电极，增加电热接触的机械强度，保证芯片不受外界气氛的影响，稳定可靠地工作。总装：根据客户需求装配、引线、打包、发货。后加工工段将产生磨角废水 W10、酸雾废气（G 氢氟酸 G12、硝酸雾（氮氧化物）G13）、非甲烷总烃 G14 和、酸洗腐蚀废液 S11。2、产排污环节、产排污环节表表 2-174、8项目产排污环节项目产排污环节类别污染类型排放源污染源编号污染物排放去向生产废气碱洗G1碱性废气：NH3碱液喷淋塔酸洗G2酸性废气：HCl二级碱液喷淋塔一次光刻匀胶G3有机废气：二甲苯 二级活性炭吸附装置一次光刻显影、漂洗G4有机废气：二甲苯、正庚烷、乙酸丁酯二级活性炭吸附装置一次光刻腐蚀G5酸性废气：HF二级碱液喷淋塔一次光刻去胶G6酸性废气：硫酸雾二级碱液喷淋塔磷扩G7酸性废气：Cl2二级碱液喷淋塔去磷硅玻璃层G8酸性废气：HF二级碱液喷淋塔喷硼G9有机废气：乙醇二级活性炭吸附装置二次、三次光刻匀胶G10有机废气：二甲苯 二级活性炭吸附装置二次、三次光刻显影、漂洗G11有机废气：二甲苯、正175、庚烷、乙酸丁酯二级活性炭吸附装置后加工腐蚀G12酸性废气：HF二级碱液喷淋塔G13酸性废气：氮氧化物二级碱液喷淋塔涂胶、固化G14非甲烷总烃二级活性炭吸附装置废水超声波清洗W1清洗废水：COD厂区污水站碱洗W2碱洗废液（含氨水）：COD、氨氮纯水清洗W3清洗废水：COD、氨氮酸洗W4酸洗废水（含盐酸）：COD、Cl-纯水清洗W5清洗废水：COD、Cl-纯水清洗W6清洗废水：COD、SO42-72 纯水清洗W7清洗废水：COD、F-纯水清洗W8清洗废水：COD、氨氮纯水清洗W9清洗废水：COD、磷酸盐磨角废水W10磨角废水：COD酸雾洗涤W11废气处理废水：COD固体废物显影S1显影废液委托资质176、单位处置漂洗S2漂洗废液委托资质单位处置一次光刻腐蚀S3酸性腐蚀废液（含氢氟酸）委托资质单位处置去胶S4硫酸废液委托资质单位处置去磷硅玻璃层S5含氢氟酸废液委托资质单位处置扩硼S6乙醇废液委托资质单位处置显影S7显影废液委托资质单位处置漂洗S8漂洗废液委托资质单位处置腐蚀S9磷酸废液委托资质单位处置去胶S10去胶废液委托资质单位处置腐蚀S11酸性腐蚀废液（含氢氟酸、硝酸）委托资质单位处置废气处理S12废活性炭委托资质单位处置废水处理S13污水站污泥委托资质单位处置试剂/原料使用S14沾染危化品的废包装物委托资质单位处置原料使用S15一般废包装材料外售，综合利用纯水制备S16废 RO 膜、废滤芯177、废活性炭生产设备供应商回收维修S17废机油委托资质单位处置日常生产S18废抹布、手套委托资质单位处置噪声车间内外各设备-噪声-生活废水员工生活W12生活污水：COD、NH3-N化粪池固体废物员工生活S19生活垃圾当地环卫部门统一清运与项目有关的原有环境污染问题本项目租赁xx大xx地产开发有限公司坐落在xx大xx产业集聚区xx片区的厂房，具体地址为xx市xx区东围路 599 号博潮城 6 幢北 3层、4 层。目前厂房为空置，不存在与本项目有关的现有污染情况及相关环保问题。73 三、区域环境质量现状、环境保护目标及评价标准区域环境质量现状1、环境空气质量现状（1）区域环境空气质量达标区判定根据x178、x市生态环境局发布的2022 年xx市xx区生态环境状况公报，国控点（实况）有效监测天数 362 天，优良天数 293 天，污染天数 69天，大气优良率为 80.9%，全年污染天数中，首要污染物依次为臭氧、PM2.5和二氧化氮。2022 年环境空气为非达标区。同时，本次评价引用xx市生态环境局（）发布的2022 年度xx市生态环境状况公报 有关数据和结论，具体结果见表 3-1。表表 3-1大气污染物监测结果大气污染物监测结果单位：单位：g/m3，CO 为为 mg/m3污染物2022年度现状浓度标准值占标率%达标情况SO2年平均浓度66010达标NO2年平均浓度324080达标PM10年平均浓度179、527074.3达标PM2.5年平均浓度303585.7达标CO第95百分位数0.9422.5达标O3第90百分位数170160106.3超标由表 3-1 可知，xx市 2022 环境空气质量现状 SO2、NO2、PM10和 PM2.5年平均质量浓度分别为 6g/m3、32g/m3、52g/m3和 30g/m3，CO 第 95 百分位数为 0.9g/m3，均未超过标准限值。O3第 90 百分位数为 170g/m3，超出标准限值。说明项目拟建地所在区域 2022 年空气环境质量不能满足环境空气质量标准（GB3095-2012）中二类功能区的要求，属于环境空气质量不达标区。为切实做好xx市主要污染180、物总量减排工作，根据xx市人民政府办公厅关于印发xx市大气环境质量限期达标规划的通知（杭政办函20192号）要求，特制定以下达标计划。规划期限及范围规划范围：整体规划范围为xx市域，规划总面积为16596平方公里。规划期限：规划基准年为 2015年。规划期限分为近期（2016 年-2020 年）、中期（2021 年-2025 年）和远期（2026 年-2035 年）。目标点位：市国控监测站点(包含背景站)，同时考 74 虑xx大xx产业集聚区、xx区、临安区及xx县、xx县、xx市的点位。主要目标：通过二十年努力，全市大气污染物排放总量显著下降，区域大气环境管理能力明显提高，大气环境质量明显改181、善，包括 CO、NO2、SO2、O3、PM2.5、PM10等 6 项主要大气污染物指标全面稳定达到国家环境空气质量二级标准，全面消除重污染天气，使广大市民尽情享受蓝天白云、空气清新的好天气。到 2025 年，实现全市域大气“清洁排放区”建设目标，大气污染物排放总量持续稳定下降，基本消除重污染天气，市区 PM2.5年均浓度稳定达标的同时，力争年均浓度继续下降，xx、xx、xx等 3 县（市）PM2.5年均浓度力争达到 30 微克/立方米以下，全市 O3浓度出现下降拐点。到 2035 年，大气环境质量持续改善，包括 O3在内的主要大气污染物指标全面稳定达到国家空气质量二级标准，PM2.5年均浓度达182、到 25 微克/立方米以下，全面消除重污染天气。此外，根据 xx市生态环境保护“十四五”规划、xx市建设全市域大气“清洁排放区”的实施意见、xx市 2022 年“迎亚运”暨环境空气质量巩固提升实施计划等有关文件，xx市正积极致力于从能源结构与产业布局调整、加快重污染企业转型升级和重点企业整治提升、绿色低碳交通推进、工业废气污染防治、扬尘污染防治、农村废气污染控制、餐饮及其他生活源废气污染防治等多个方面加强大气污染防治，推动大气环境质量持续改善。随着区域大气污染防治工作的持续有效推进，预计区域整体环境空气质量将会有所改善。（2）特征污染物为了解项目拟建区域的特征污染物环境质量现状，本环评引用项目183、附近已有相关监测数据（注：引用xxxx半导体有限公司高性能激光器项目环境影响报告书监测数据），并委托xx普xx检测科技有限公司对氯化氢、氨、非甲烷总烃等进行补充监测，监测报告及点位可见附件 7，具体结果及分析如下：监测点位及数据来源引用监测点位基本信息具体见表 3-2。75 表表 3-2其他污染物补其他污染物补充充监测点位基本信息监测点位基本信息监测点名监测点名称称监测点监测点 UTM 坐标坐标/m监测因子监测因子监测时段监测时段相对厂相对厂址方位址方位相对厂相对厂址距离址距离/m备注备注XYA1（项目）2577993361178氯化氢、氨、非甲烷总烃2023.1.132023.1.15厂区内184、-补充监测A2（新江村）2577963360653非甲烷总烃2023.1.132023.1.15西侧1450补充监测氟化物、氯、氯化氢、硫酸2022.02.2403.02xxxx半导体有限公司高性能激光器项目环境影响报告书A3（项目北侧）-氟化物、氯、硫酸2020.09.1109.17东北400至芯半导体（xx）有限公司深紫外UVC 芯片项目环境影响报告表监测结果及评价分析补充监测点位监测结果统计及分析结果见表 3-3。表表 3-3监测数据统计监测数据统计及及分析结果表分析结果表监测监测点位点位污染物污染物平均时间平均时间评价标准评价标准(g/m3)监测浓度范围监测浓度范围(g/m3)最大浓度185、占最大浓度占标率标率(%)超标率超标率(%)达标达标情况情况A1氯化氢1h 平均5021-0达标氨1h 平均200205025.00达标非甲烷总烃一次值20001150139069.50达标A2非甲烷总烃一次值20001130137068.50达标氟化物1h 平均200.52.50达标24h 平均70.060.90达标氯化氢1h 平均50201.00达标24h 平均15213.30达标氯1h 平均1003030.00达标24h 平均3013.30达标硫酸1h 平均30051.70达标A3氟化物1h 平均200.52.50达标24h 平均70.060.90达标氯化氢1h 平均502025.00达186、标24h 平均15426.70达标 76 氯1h 平均1003030.00达标24h 平均3013.30达标硫酸1h 平均30051.70达标24h 平均10055.00达标注：氟化物执行环境空气质量标准（GB3095-2012）及修改单中二级标准（根据环境影响评价技术导则-大气环境（HJ2.2-2018），对仅有年平均质量浓度限值的，按2倍折算日均质量浓度限值）；非甲烷总烃采用大气污染物综合排放标准详解中规定的一次值浓度；氨、硫酸、氯和氯化氢执行环境影响评价技术导则-大气环境（HJ2.2-2018）附录D 其他污染物空气质量浓度参考限值。由上表可知，项目所在区域非甲烷总烃、氨、氟化物、氯化氢187、氯和硫酸大气环境特征因子浓度均达标。2、地表水环境质量现状本项目附近设有常规监测断面的地表水体为钱江直河（位于项目东侧约340m），水质目标参照执行类标准。本环评引用智慧河道云平台 2022 年1 月3 月对钱江直河的现状监测结果，具体监测数据详见表 3-4。表表 3-4钱江直河监测钱江直河监测点点水质监测结果水质监测结果（单位单位：mg/L，pH 为无量纲为无量纲）监测项目监测项目pHCODMnNH3-NTPDO标准值（类）69101.50.33.0钱江直河2022 年 1月监测数据7.43.80.890.1716.7达标情况达标达标达标达标达标2022 年 2月监测数据7.62.30.6188、560.0828.74达标情况达标达标达标达标达标2022 年 3月监测数据7.87.61.390.3757.45达标情况达标达标达标超标达标根据监测结果可知，钱江直河监测断面 2022 年 1 月、2 月的 pH、DO、COD、氨氮等各个监测指标满足地表水环境质量标准（GB3838-2002）中类标准要求；3 月 TP 不满足类标准要求，其余指标满足类标准要求。说明 3 月钱江直河水质超标。超标原因：生活污水未纳管排放、雨污分流不彻底、企业污水未经处理直排、不利气象条件下初期雨水直排以及农业面源和养殖面源污染等；针对地表水的超标情况，规划环评针对性地从截污纳管、河道整治修复、农业面源和养殖面189、源污染治理以及河道保洁和保护等多方面提出治理措施。3、声环境质量现状 77 本项目厂界外 50m 范围内无声环境敏感目标，因此无需对声环境现状进行监测及评价。4、生态环境本项目位于租赁xx大xx地产开发有限公司坐落在xx大xx产业集聚区xx片区的厂房，不属于新增用地，因此无需对生态现状进行调查。5、电磁辐射本项目不属于新建或改建、扩建广播电台、差转台、电视塔台、卫星地球上行站、雷达等电磁辐射类项目，故无需对电磁辐射现状进行监测及评价。6、土壤、地下水环境质量现状本项目租赁xx大xx地产开发有限公司坐落在xx大xx产业集聚区xx片区的厂房。项目不涉及重金属、持久性难降解有机污染物排放，生产车间已190、进行硬化、防渗、防漏。同时本环评要求在废水处理站建设中严格按照规范做好硬化、防腐、防渗、防漏等措施。建设项目不存在土壤、地下水环境污染途径，且厂界外 500 米范围内无地下水集中式饮用水水源和热水、矿泉水、温泉等特殊地下水资源。故根据建设项目环境影响报告表编制技术指南（污染影响类）原则上可不开展地下水、土壤环境现状调查。7、租赁厂区基本情况2025（xx）智造谷位于xx芯谷xx七路，总用地面积约 201.01 亩。项目由 8 幢单体组成，包括 4 幢框架结构标准厂房（3#-6#楼），2 幢钢结构重装厂房（7#-8#楼），1 幢检测厂房（2#楼）等。本项目位于 2025（xx）智造谷（xx市xx191、区东围路 599 号）6 幢北三层、四层，周边主要企业及主要污染因子情况见表 3-5。表表 3-5本项目周边主要企业生产及主要废气污染因子概况本项目周边主要企业生产及主要废气污染因子概况序号序号企业名称企业名称经营内容经营内容主要污染物主要污染物建设情建设情况况1xx xx 半导体有限公司从事高速激光器芯片的生产加工废气：粉尘、砷化氢、磷化氢、甲烷、硫酸雾、氯化氢、磷酸雾、氟化物、溴化氢、乙酸、柠檬酸、氯气、硅烷、NOX、氨、非甲烷总烃、NMP、丙酮、甲醇、乙醇、异丙醇、DMF、丁酮、乙烯；废水：CODCr、SS、氟化物、TP、NH3-N已建成 78 2至芯半导体（杭州）有限公司深紫外 UVC192、 芯片废气：氨、硅烷、氮氧化物、HCl、硫酸雾、氟化物、氯气、非甲烷总烃、丙酮；废水：COD、氨氮、氟化物、总氮、SS、石油类已建成3赛德光电材料（xx）有限责任公司可折叠超薄柔性玻璃废气：氟化物、硫酸雾、氮氧化物、二乙二醇丁醚；废水：COD、氨氮、氟化物、总氮、SS已建成4xx圣奥控股有限公司班台、会议桌木质文件柜、废气：颗粒物、非甲烷总烃、醋酸丁酯、二甲苯、乙烯、氮氧化物、二氧化硫；已建成钢制文件柜废水：COD、氨氮、氟化物、SS、石油类5xx 中欣晶圆半导体股份有限公司硅片废气：氟化物、氮氧化物、氨气、HCl、磷烷、硼烷、颗粒物；废水：COD、氨氮、氟化物、SS已建成6xx 东南绿建集成193、科技有限公司钢结构、钢筋桁架楼承板、新型墙板废气：粉尘、非甲烷总烃；废水：COD、氨氮已建成环境保护目标1、大气环境保护目标根据现场踏勘，项目厂界外 500m 范围内无自然保护区、风景名胜区、居住区居住区、文化区和农村地区中人群较集中的区域等保护目标。根据现场踏勘，项目南侧约 385 处，原为向前十一组，现已拆迁，正在施工造厂房。项目东北的约 230m 为中欣公寓，该公寓为xx中欣晶圆半导体股份有限公司的倒班宿舍。根据xxxx芯谷核心区块总体规划图，项目厂界外 500m 范围内无规划大气敏感点。2、声环境保护目标本项目厂界外 50m 范围内均无声环境保护目标。3、地下水环境本项目厂界外 500194、m 范围内均不存在地下水集中式饮用水水源和热水、矿泉水、温泉等特殊地下水资源。4、生态环境本项目不新增用地。本项目位于工业区内，周边农田均为临时农田，规划为工业用地，无桑蚕养殖，周边无生态保护目标。79 污染物排放控制标准1、废气、废气根据xx省环境空气质量功能区划分，本环评区域环境空气质量为二类功能区。本项目各废气排气筒引至建筑楼顶，建筑物总高约 26.5m，建筑物上排气筒高度约 4m，故本项目废气排气筒高度（从地面算起）约为 30m。项目氯化氢、氟化物、氮氧化物、氯气、硫酸雾、非甲烷总烃废气排放执行 大气污染物综合排放标准（GB16297-1996）表 2 二级排放标准。恶臭气体（氨、硫化195、氢、臭气浓度）执行恶臭污染物排放标准（GB14554-93）中的二级新扩改建标准。本项目各废气排放标准执行情况汇总见表 3-5、3-6。表表 3-5项目废气排放标准汇总表项目废气排放标准汇总表污染物名称最高允许排放浓度(mg/m3)最高允许排放速率(kg/h)*无组织排放监控浓度限值标准来源排气筒(m)二级标准监控点浓度(mg/m3)氯化氢100300.46周界外浓度最高点0.20GB16297-1996氟化物9300.2450.02氮氧化物240302.20.12氯气65300.4350.4硫酸雾45304.41.2二甲苯70305.91.2非甲烷总烃1203026.54.0注：*根据现场调196、查，由于 排气筒均未能高出周围200m 范围的建筑5m 以上，因此废气排放速率需按 GB16297-1996 大气污染物综合排放标准中新污染源二级标准限值要求严格 50%标准执行。表表3-6恶臭污染物排放标准（恶臭污染物排放标准（GB14554-93）污染物污染物排气筒高度排气筒高度排放量排放量新扩改建厂界标准新扩改建厂界标准（二级）（二级）臭气浓度15m2000（无量纲）20（无量纲）30m6000（无量纲）氨15m4.9kg/h1.5mg/m330m20kg/h硫化氢15m0.33kg/h0.06mg/m330m1.3kg/h 80 2、废水、废水本项目排水系统采用雨污分流制，雨水汇集后排197、入雨水管网。项目生产废水经自建生产废水处理设施处理，生活污水经园区现有化粪池预处理，预处理后的生产废水和生活污水接入管网送xx污水处理厂处理。厂区内生活污水和生产废水采用污污分流制。根据生态环境部关于行业标准中生活污水执行问题的回复：“橡胶制品工业污染物排放标准（GB27632-2011）和电池工业污染物排放标准（GB 30484-2013）均在“排水量”定义中明确外排废水包括厂区生活污水，主要考虑是防范与生产相关的厂区生活污水中混入行业特征污染物，以及生产废水经由生活污水排水管道排放等情况的发生。为此，相关企业的厂区生活污水原则上应当按行业排放标准进行管控。若生活与生产废水完全隔绝，且采取了198、有效措施防止二者混排等风险，这类生活污水可按一般生活污水管理”，因此项目生产废水纳管标准执行电子工业水污染物排放标准（GB39731-2020）“表 1 水污染物排放限值”中半导体器件的间接标准；生活污水执行污水综合排放标准（GB8978-1996）中表 2 的三级标准，其中氨 氮、总 磷 执 行 工 业 企 业 废 水 氮、磷 污 染 物 间 接 排 放 限 值（DB33/887-2013）；TN 执 行 污 水 排 入 城 镇 下 水 道 水 质 标 准（GB/T31962-2015）中的 B 级标准。污水处理厂出水水质执行城镇污水处理厂污染物排放标准（GB18918-2002）中的一级 199、A 标准要求。具体见表 3-7、3-8。表表 3-7污水纳管排放标准污水纳管排放标准单位：除单位：除 pH 外为外为 mg/L污染物名称pHSS石油类CODCrNH3-NTNTP氟化物电子工业水污染物排放标准（GB39731-2020）694002050035（1）70820污水综合排放标准（GB8978-1996）三级标准694002050035（1）70（2）8.0（1）20注注：（1）氨氮氨氮、总磷执行总磷执行 工业企业废水氮工业企业废水氮、磷污染物间接排放限值磷污染物间接排放限值（DB33/887-2013）；（2）TN 执行执行 污水排入城镇下水道水质标准污水排入城镇下水道水质标准（200、GB/T31962-2015）中的中的 B 级标准级标准。81 表表 3-8xx污水处理厂出水标准xx污水处理厂出水标准单位：单位：pH 除外均为除外均为 mg/L污染物名称城镇污水处理厂污染物排放标准（GB18918-2002）中的一级 A 标准要求pH69CODCr50NH3-N2.5*TN15TP0.5SS10石油类1BOD510LAS0.5注：*根据相关管理部门的要求，xx污水处理厂氨氮最终出水水质标准为：氨氮2.5mg/L。本项目单位产品基准排水量执行电子工业水污染物排放标准（GB39731-2020）中表 2 的相关要求，见表 3-9。表表 3-9电子工业水污染物排放标准（电子工业201、水污染物排放标准（GB39731-2020）表）表 2适用企业产品规格单位产品基准排水量半导体器件6 英寸及以下芯片3.2m3/片3、噪声、噪声本项目营运期园区厂界噪声执行噪声排放限值执行 工业企业厂界环境噪声排放标准（GB12348-2008）中 3 类标准，具体表 3-10。表表 3-10工业企业厂界环境噪声排放标准（工业企业厂界环境噪声排放标准（GB12348-2008）单位：单位：dB(A)类别类别昼间（昼间（6:0022:00）夜间（夜间（22:00次日次日 6:00）3 类65554、固体废物排放标准、固体废物排放标准本项目一般工业固体废物采用库房、包装工具（罐、桶、包装袋等）贮存202、，按照中华人民共和国固体废物污染环境防治法的工业固体废物管理条款要求执行，其贮存场所应满足防渗漏、防雨淋、防扬尘等环境保护要求，不得形成二次污染。固体废物根据固体废物鉴别标准 通则（GB34330-2017）进行判定，82 危险废物分类执行国家危险废物名录（2021 版），收集、贮存、运输等过程应符合危险废物贮存污染控制标准（GB18597-2023）、危险废物收集贮存运输技术规范（HJ2025-2012）等标准要求，并符合xx省危险废物产生和经营单位“双达标”创建工作方案（浙环发201219 号）要求；一般工业固废贮存场应参照执行一般工业固体废物贮存和填埋污染控制标准（GB18599-202203、0）中的相关规定。总量控制指标1、总量控制指标、总量控制指标根据现行的xx管理要求，污染物排放总量控制仍是我国现阶段强有力的xx管理措施，主要总量控制指标为：二氧化硫(SO2)、化学需氧量(COD)、氨氮（NH3-N）和氮氧化物(NOx)及工业烟粉尘、重金属、挥发性有机物(VOCs)。结合本项目污染特征和工程分析结果，本项目涉及总量控制指标为：CODCr、氨氮、NOX、VOCS。2、总量控制削减比例总量控制削减比例（1）根据 xx市建设项目和排污权交易总量审核管理暂行规定（杭环发2015143 号）相关规定：印染、造纸、化工、医药、制革等行业建设项目新增化学需氧量总量指标削减替代比例为 1:1204、.2，新增氨氮总量指标削减替代比例为 1:1.5。其他行业新增化学需氧量和氨氮总量指标削减替代比例均不低于 1:1。本项目不属于印染、造纸、化工、医药、制革等行业，因此新增的 CODCr、NH3-N 区域削减替代比例均为 1:1。（2）根据关于印发xx市 2021 年环境空气质量巩固提升实施计划的通知（杭大气办20213 号）：全市新增二氧化硫、氮氧化物、烟粉尘、VOCs 排放的工业项目均实行区域内现役源 2 倍削减量替代。本项目氮氧化物、VOCs 实行 2 倍削减量替代。3、项目总量控制指标、项目总量控制指标本项目新增COD、氨氮按11 比例削减替代；新增NOX、VOCs 按12 83 的比205、例削减替代。根据工程分析，本项目实施后企业总量控制建议指标详见表 3-11。表表 3-11本项目总量控制建议值本项目总量控制建议值 单位：单位：t/a序号类别污染物名称总量控制指标建议值（排环境量）总量控制指标建议值（交易量）*替代削减比例区域平衡替代削减量1废水废水量（m3/a）13164.44/2CODcr*0.6580.4611：10.6583NH3-N0.0330.0331：10.0334废气VOCs0.4710.4711：20.9425NOX0.0020.0021：20.004注：*交易量根据当地生态环境主管部门要求，按照 CODcr35mg/L、氨氮 2.5mg/L计算。综上所述，206、本项目实施后，企业总量控制指标建议值（交易量）为CODCr0.464t/a（35mg/L）、氨氮 0.033t/a（2.5mg/L）、VOCs0.471t/a，氮氧化物 0.002t/a；VOC 区域替代削减量为 0.942t/a，氮氧化物区域替代削减量为 0.004t/a。具体总量由xx市生态环境局xx分局核准和调配。84 四、主要环境影响和保护措施施工期环境保护措施4.1 施工期环境保护措施施工期环境保护措施本项目租用现有厂房，仅进行包括生产设备、公辅设备、xx设备等安装。主要污染为设备安装噪声、生活污水、废包装材料、生活垃圾等。建设单位应加强施工期隔声、减振等降噪措施，合理安排施工时间，207、将施工期噪声影响降至最低。施工期噪声具有临时性、阶段性和不固定性等特点，对周围声环境的影响随着施工的结束而停止。施工期生活污水依托园区化粪池，经预处理后全部纳入管网，不向周围水体排放。施工期设备安装废包材外卖处置，生活垃圾由环卫部门统一及时处理，避免二次污染。运营期环境影响和保护措施4.2 运营期环境影响分析和环境保护措施运营期环境影响分析和环境保护措施4.2.1 废气废气1、废气污染源强产排污情况根据本项目工艺流程及生产环境可知，本项目对生产车间要求恒温（环境温度为 20）恒湿，且生产工艺除磨角、检测、封装以及总装外，其余产生工艺均在万级净化车间内全封闭（负压）状态下进行，主要生产设备也均为208、封闭式。由于万级净化车间为全封闭，仅靠空调送风，车间内空气、设备废气全由吸风集气罩以及热排风系统排出。项目主要生产设备均为封闭式，碱洗、酸洗、清洗、腐蚀、光刻、显影、漂洗等工序均在密闭操作柜内作业。每个操作柜侧边设有吸风罩，风量为510m3/h，收集的酸碱废气、有机废气分别进入二级碱喷淋塔和二级活性炭吸附塔。车间内的热排放风经管道收集后在楼顶与补充的新风混合，然后经空气净化系统净化后又循环返回至车间内。因此，吸风集气罩收集率接近 100%，则万级净化车间内所产生的废气主要为有组织排放，不考虑无组织的排放量。扩散、烧结由于生产温度较高，设备加热处多余的热量由热排风系统排出楼顶，设备加热处均位于设209、备外部，因此热排风系统不会带走设备内部产生的废气。项目废气收集情况可见表 4-1。85 表表 4-1废气产生点位及集气罩设置情况废气产生点位及集气罩设置情况序号工序集气罩（个）单个集气罩风量（m3/h）总风量（m3/h）一、无机废气1RCA 清洗251010202手动 GMP 腐蚀清洗15105103手动 GZQX 腐蚀清洗251010204手动 ZF 清洗251010205SFQZ 自动腐蚀清洗251010206GKFK 腐蚀清洗15105107GKQJ 去胶清洗251010208GKZK 腐蚀清洗251010209GKZK 腐蚀清洗2510102010工艺管手动清洗151051011超声波210、清洗2510102012ZF 手动工艺器具清洗151051013芯片表面处理151051014台面腐蚀615562015扩散炉酸排（前）8510408016扩散炉酸排（后）88265617废液回收间151051018中转间1510510合计45-17086二、匀胶、光刻间有机废气1光刻匀胶机251010202光刻匀胶机15105103光刻显影漂洗251010204扩硼15105光刻烘箱11551556表面烘箱330907退火烘箱130308各种油泵废气630180合计17-3515本项目生产废气中主要污染因子为 NH3、HCl、乙醇、氮氧化物、氟化氢、硫酸雾、Cl2、非甲烷总烃等。废气污染源强211、产排污情况，具体见表 4-2。86 表表 4-2废气污染源源强核算结果及相关参数一览表废气污染源源强核算结果及相关参数一览表工序/生产线装置污染源污染物污染物产生治理措施污染物排放排放时间/h核算方法废气产生量/（m3/h）产生浓度（mg/m3）产生量（kg/h）工艺效率核算方法废气排放量（m3/h）排放浓度（mg/m3）排放量kg/h晶闸管生产线超声波清洗碱性废气DA001氨气系数法200000.2980.006/200000.298*0.006*4200酸洗酸性废气DA001氯化氢系数法0.8050.016二级碱喷淋75%系数法200000.2010.0044200腐蚀、去磷硅玻璃层氟化氢212、系数法1.0800.022系数法0.2700.005去胶硫酸雾系数法0.3150.006系数法0.0790.002磷扩Cl2/极少量极少量/极少量极少量腐蚀硝酸雾（氮氧化物）系数法0.1080.002系数法0.0270.001喷硼有机废气DA002乙醇根据物料MSDS400053.xx0.214二级活性炭吸附80%系数法400010.7140.0434200光刻、匀胶、显影、漂洗二甲苯44.7020.1798.9400.036乙酸丁酯7.8570.0311.xx0.006正庚烷33.9290.1356.7860.027固化合计VOC140.0600.56028.0120.112 87 罐装-无213、组织排放氨气类比法-0.0006-HCl类比法-0.0007-氟化氢类比法-0.0003-污水站污水处理单元无组织排放氨气系数法-0.00046-7200硫化氢系数法-0.00009-7200注：*氨气去除效率以最不利计，即不考虑去除效率。88 运营期环境影响和保护措施污染物源强分析如下：（1）碱性废气（G1）硅片清洗的碱洗工序会产生碱洗废气，其主要污染物为 NH3，碱洗工序在万级净化车间内全封闭（负压）状态下操作，并配套一套排风系统，产生的 NH3经操作室侧边吸风集气罩收集，汇集至废气总管后送至二级碱液喷淋塔吸收处理后由 30m 的排气筒高空排放。根据建设单位提供资料，硅片清洗工段（含碱洗、214、酸洗）在一个密闭设备间内完成，该密闭设备间内既设有碱洗槽，又设有酸洗槽，而工序又具有连续性，产生的碱性废气和酸性废气无法实现有效分开收集，先后通过密闭设备间的侧吸风送至一套二级碱液喷淋塔处理，处理达标后由 30m 排气筒 DA001 排放。工作槽集气罩设置示意图工作槽集气罩设置示意图排风系统风机总风量为 20000m3/h。通过类比xx西风半导体有限公司晶闸管项目污染源强（注：目前xx西风半导体有限公司年产量 20 万支晶闸管，其晶闸管的生产工艺、原理及产品均与本项目基本相同，其废气的产污节点与本项目基本一致），项目氨气产生量产物系数按照原料中氨含量的 5%计算，则氨气产生量为 0.025t/215、a。氨气产生量很少，按最不利考虑，即不考虑氨气的去除效率，则氨气排放浓度为 0.298mg/m3，排放速率为 0.006kg/h。（2）酸性废气（G2、G5、G6、G7、G8、G12、G13）89 晶闸管酸洗工序、一次光刻腐蚀、去胶、磷扩、去磷硅玻璃层以及后加工腐蚀等工序都将产生酸性废气，主要污染物为 HCl、HF、硫酸雾、Cl2、硝酸雾（氮氧化物）等，以上工序均在万级净化车间内全封闭（负压）状态下操作，每个操作工序设备废气经操作室内侧边吸风口吸风后汇入废气总管，送至玻璃钢酸雾二级碱液喷淋塔吸收处理后（净化效率不低于 75%，本环评以 75%计）由 30m 的排气筒高空排放。酸雾废气排风系统风216、机总风量为 20000m3/h。参照 污染源源强核算技术指南 电镀 中废气计算公式及附录 B 相应产污系数，估算项目表面处理过程中酸雾，具体公式如下：DGSAt 10-6式中：D核算时段内污染物产生量，t；GS单位镀槽液面面积单位时间废气污染物产生量，g/(m2h)；A渡槽液面面积，m2；t核算时段内污染物产生时间，h/a，本项目取 4200h。项目在磷扩工序会产生极少量的 Cl2，根据提供的资料，三氯氧磷年消耗量仅为 20kg，结合反应转化率，实际产生的 Cl2很少，报告不作定量分析。表表 4-3酸性废气产生源强一览表酸性废气产生源强一览表工段主要污染物产生量(g/(m2h)槽体表面积(m2217、)槽体个数工作温度()工作压力(Pa)废气收集方式产生量(t/a)酸洗G2氯化氢107.30.0537585常压密闭，设备，管道收集0.0676一次光刻腐蚀G5氟化氢720.053常温常压0.0454去胶G6硫酸雾25.20.05570100常压0.0265磷扩G7Cl2废气/0.0521250常压极少量去磷硅玻璃层G8氟化氢720.051常温常压0.0151后加工工序腐蚀G12氟化氢720.052常温常压0.0302后加工工序腐蚀G13氮氧化物10.80.12常温常压0.0091 90 酸洗、一次光刻腐蚀、去胶、磷扩、去磷硅玻璃层、后加工工序腐蚀产生的酸洗废气情况分别为：G2 氯化氢 0.0218、676t/a、G5 氟化氢 0.0454t/a、G6 硫酸雾0.0265t/a、G8 氟化氢 0.0151t/a、G12 氟化氢 0.0302t/a、G13 硝酸雾 0.0091t/a。合计项目酸性废气产生情况为：氯化氢 0.0676t/a、氟化氢 0.0907t/a、硫酸雾 0.0265t/a、硝酸雾 0.0091t/a。所有酸性废气经吸风装置收集后进入二级碱喷淋装置，经过喷淋吸附处置后由排气筒 DA001 排放，所有设备均为密闭设备，废气采用密闭管道收集。对应的风机风量为 20000m3/h，净化效率不低于 75%，本环评保守估计以 75%计。项目酸性废气产排情况可见下表：表表 4-4酸性219、废气污染源强酸性废气污染源强序号污染物项目产生量（t/a）去除率%风量m3/h项目排放量（t/a）排放速率kg/h排放浓度mg/m3排气筒编号/高度1#氯化氢0.067675200000.0170.0040.201DA001/30m氟化氢0.09070.0230.0050.270硫酸雾0.02650.0070.0020.079氮氧化物0.00910.0020.0010.027（3）有机废气 G3、G4、G9、G10、G11、G14项目有机废气主要来源于部分硅片的丙酮擦拭、扩硼、匀胶、显影、漂洗、固化等工序。项目少量硅片清洗时会用到丙酮，根据提供的资料，丙酮年用量约为 20L，丙酮全部挥发，产生220、量很少，本报告不作定量分析。光刻工序有机废气光刻有机废气主要来源于光刻胶（混合二甲苯 85%、环化橡胶 15%、2,6-二（4-叠氮苯亚甲基）-4 甲基环己酮 0.35%）、显影液（混合二甲苯 25%，正庚烷 75%）和漂洗液（乙酸丁酯 100%），工序中产生的有机废气以 VOCs 计。根据物料 MSDS，本次光刻胶、显影液、漂洗液按 50%来计算挥发性有机物的产生量，则此部分有机废气的产生量为 1.453t/a，其中，二甲苯 0.751t/a、乙酸丁酯 0.132t/a，其他非甲烷总烃（正庚烷等）0.570t/a。乙醇废气 91 项目浸泡硼源工序用乙醇作为溶剂，使其硅片表面附着硼源，在随后的221、烘干工序中会产生一定量的有机废气，主要污染物为乙醇。根据类比分析，乙醇挥发量按 75%计算，则乙醇废气产生量为 0.9t/a。涂胶固化废气在腐蚀后的斜边表面涂一层硅橡胶，放置于鼓风干燥箱内，100200烘烤12h，由于低于材料的裂解温度，生产过程基本无橡胶裂解废气。但在烘烤过程中有轻微的橡胶气味产生，主要污染物为非甲烷总烃。根据物料 MSDS，挥发量很少，本报告不作定量分析。以上工序均在万级净化车间内全封闭（负压）状态下操作，所有设备均为密闭设备，废气采用密闭管道收集，并配套一套排风系统，排风系统风机总风量为 4000m3/h。产生的二甲苯、乙酸丁酯、乙醇等经吸风集气罩收集（注：根据车间新风系222、统设置情况，车间内少量无组织废气以热排风方式收集后，在楼顶与新风系统合并，经净化过滤后作为车间补充新风，为此，废气收集效率 100%计算），送至二级活性炭废气净化器（活性炭废气净化器的处理效率按保守估计 80%计），经处理后由 30m 高排气筒排放。项目有机废气污染源强见表 4-5。表表 4-5项目工艺有机废气及固化废气污染源强项目工艺有机废气及固化废气污染源强废气源污染物项目产生量（t/a）去除率%风量m3/h项目排放量（t/a）排放速率kg/h排放浓度mg/m3排气筒编号/高度2#二甲苯0.75180%40000.1500.0368.940DA002/30m乙酸丁酯0.1320.0260.223、0061.xx正庚烷等0.5700.1140.0276.786乙醇0.90.1800.04310.714VOC（合计）2.3530.4710.11228.012（4）化学品罐装过程罐装液体的过程中，在罐装接口处有极微量液体泄漏。根据类比数据，化学材料在罐装过程中，在罐装等接口处可能的极微量泄漏约为总量的 0.05%。评价考虑的是使用量较大的氨水、盐酸以及腐蚀性较强的氢氟酸，年使用量分别按 4.8t/a（折纯为 1.2t/a）、4t/a（折纯为 1.44t/a）、1.51 t/a（折纯为 0.604t/a）92 计。泄漏量按最坏情况来考虑，为总量的 0.05%计，可得到氨水、盐酸、氢氟酸的极微量224、无组织排放约为 0.0006t/a、0.0007t/a、0.0003t/a。（5）污水处理站臭气本项目污水站会产生氨和硫化氢等恶臭物质，臭气污染源源强产生情况类比同类型项目情况，处理 1 万吨废水约产生氨气 0.005t，硫化氢 0.0001t。本项目建厂后全厂废水产生量约为 8611.2 吨，则氨和硫化氢产生量分别为 0.0043t/a、0.00009t/a。废气的产生量很小，对环境影响较小。2、废气处理设施及可行性分析（1）废气处理设施项目生产工艺过程中产生废气主要为酸碱废气、有机废气等。根据工程分析，项目碱性废气主要为碱洗工段的氨气，产生量很小。此外，根据建设单位提供资料，硅片清洗工段（225、含碱洗、酸洗）在一个密闭设备间内完成，该密闭设备间内既设有碱洗槽，又设有酸洗槽，而工序又具有连续性，产生的碱性废气和酸性废气无法实现有效分开收集，先后通过设备间的侧吸风送至一套二级碱液喷淋塔处理，处理达标后由 30m 排气筒 DA001 排放。实际碱性废气（氨气）无法单独收集和处理，少量的氨气与酸性废气一并经二级碱液喷淋塔处理后可达标排放。有机废气经收集后送至一套二级活性炭吸附装置处理，处理达标后由 30m 排气筒 DA002 排放。项目废气收集治理管线图见图 4-1。酸性废气密闭负压收集二级碱喷淋DA001 排气筒排放有机废气密闭负压收集二级活性炭吸附装置DA002 排气筒排放图图 4-1项226、目废气收集治理情况图项目废气收集治理情况图二级碱喷淋净化原理本项目产生的酸性废气采用二级碱液喷淋的方法净化，喷淋液为 NaOH 溶液，喷淋液循环使用，定期更换。93 喷淋洗涤塔是一种效率高、压力损失较低的吸收设备，该净化装置由吸收液贮槽、自动加药泵和主体部分组成。其工作原理为：在主体部分中装有填料，废气通过引风机作用在管箱中上升，采用的吸收液从喷淋装置分配到填料上形成薄膜层，产生较大的气液接触面。废气中污染物在填料表面被传质、吸收，随着填料层逐级下降，最后进入气液分离箱，未吸收气体进入下一级，液体由管道排入净化液贮槽，吸收液可循环使用。湿式填料吸收塔具有耐腐蚀性能优异、传质性能良好、不易结垢和227、安装维护简便等特点。图图 4-2二级废气洗涤塔示意图二级废气洗涤塔示意图废气处理时，HCl、HF 易溶于水，硫酸雾与水混溶，硝酸雾能溶于水，因此，该几类物质在强碱溶液中基本能被吸收，生成钠盐。废气经处理后，项目氯化氢、氟化物、氮氧化物、氯气、硫酸雾、非甲烷总烃废气排放执行大气污染物综合排放标准（GB16297-1996）表 2 二级排放标准。活性炭吸附装置本项目有机废气采用活性炭吸附装置进行吸附处理，活性炭具有大的比表面积、高的孔隙率、大的吸附容量，其主要是利用表面物理吸附作用，将有机废气污染物从气体中分离出来。本项目设置二级活性炭吸附设备，有机废气首 94 先进入碳纤维初效过滤层进行初效过滤228、，去除一部分有机废气，然后依次进入活性炭吸附层 1、2，进行进一步处理。根据xx省分散吸附-集中再生活性炭法挥发性有机物治理体系建设技术指南（试行），活性炭的结构应为颗粒活性炭，不宜采用蜂窝活性炭。如果采用集中再生后颗粒活性炭，碘吸附值不低于 800mg/g 或四氯化碳吸附率不低于 60%。集中再生后颗粒活性炭抽样并经检测的技术指标低于 LY/T 3284 规定颗粒活性炭合格品要求时，不应再用于本项目的废气治理。活性炭的装填量不少于 1.5t，原则上活性炭更换周期一般不应超过累计运行 500 小时或 3 个月。建设项目 VOCs 处理工艺流程图见图 4-3。图图 4-3废气处理工艺流程图废气处229、理工艺流程图（2）可行性分析与电子工业废气处理工程设计标准(GB51401-2019)相符性分析如下：95 表表 4-6与电子工业废气处理工程设计标准与电子工业废气处理工程设计标准(GB51401-2019)相符性分析相符性分析序号设计标准本项目1碱性废气系统应设置专用系统，其他排气不应排入碱性废气系统；碱性废气系统宜采用填料洗涤式处理设备；应设置循环液 pH 值、电导率、液位、填料压差和循环喷淋泵出口压力监控装置实际碱性废气（氨气）无法单独收集和处理，少量的氨气与酸性废气一并经二级碱喷淋塔处理后可达标排放2含氮氧化物的酸性废气处理宜采用多级喷淋处理方式；电镀工艺产生的废气系统应符合下列规定：230、溶液槽宜采用槽边排风罩、吹吸罩等有效的排风措施项目酸性废气采用二级碱喷淋处理。在万级净化车间内全封闭（负压）状态下操作，并配套一套排风系统，氮氧化物等酸性废气经吸风集气罩收集3挥发性有机物废气系统：当采用吸附、吸附浓缩等工艺处理挥发性有机物废气时，待处理废气的温度不宜高于 40，相对湿度不宜大于80%；浓度在 50mg/m3以下时，可采用活性炭吸附法项目有机废气产生浓度较低，采用二级活性炭吸附处理，进气温度和湿度均满足要求4尾气处理设备的效率应符合下列规定：三氟化氮不应低于 98%；其他不应低于 95%；尾气处理设备的排水应进入含氟废水处理系统本项目含氟废气主要是氟化氢，易溶于水，采用二级碱喷231、淋处理工艺，废气处理效率可达 75%以上。根据排污许可证申请与核发技术规范 电子工业(HJ1027-2019)，本项目产生的酸性废气采用二级碱液喷淋处理工艺，非甲烷总烃采用二级活性炭吸附处理工艺，均为可行技术。本项目治理设施可行性分析如下：表表 4-7治理设施可行性分析一览表治理设施可行性分析一览表序号产污环节名称污染物种类排放形式污染治理设施污染治理设施工艺处理能力收集效率去除率是否为可行技术1碱洗氨气有组织二级碱喷淋20000m3/h100%/2酸洗、腐蚀、去胶、磷扩HCl、HF、硫酸雾、Cl2、NO2有组织100%75%是3烘干、光刻、固化乙醇、非甲烷总烃有组织二级活性炭吸附4000m3232、/h100%80%是 96 3、项目排气口基本情况本项目废气排放口基本情况见表 4-8。表表 4-8本项目废气排放口基本情况本项目废气排放口基本情况排放口基本情况排放标准编号名称高度（m）排气筒内径（m）温度（）类型排放污染物DA001酸性废气排气筒300.525一般排放口氯化氢、氯气、氟化物、氮氧化物、氢氟酸、氨气GB16297-1996 大气污染物综合排放标准中表 2 二级排放标准DA002有机废气排气筒300.225一般排放口非甲烷总烃经计算，本项目排气筒烟气排放速率均符合大气污染治理工程技术导则(HJ2000-2010)中“5.3.5 排气筒的出口直径应根据出口流速确定，流速宜取10m233、/s15m/s 左右”相关要求。4、废气达标排放情况根据工程分析，本项目废气主要为氯化氢、氟化氢、氮氧化物、氯气、硫酸雾、非甲烷总烃、氨气、乙醇等，项目各类生产废气污染源强及排放达标情况见表 4-9。表表 4-9项目各类废气排放达标情况项目各类废气排放达标情况污染源污染物种类产生量排放量标准值是否达标种类工序kg/hkg/hmg/m3kg/hmg/m3有组织碱洗氨气0.0060.0060.29820达标酸洗HCl0.0160.0040.2010.46100达标一次光刻腐蚀去磷硅玻璃层腐蚀HF0.0220.0050.2700.2459达标去胶硫酸雾0.0060.0020.0794.445达标磷扩234、Cl2极少量极少量-0.43565达标腐蚀氮氧化物0.0020.0010.0272.2240达标喷硼、光刻、二甲苯0.1790.0368.9402.9570达标 97 固化非甲烷总烃0.5600.11228.01213.25120达标无组织罐装车间氨气-1.5-HCl-0.2HF-0.02-污水站氨气-1.5-硫化氢-0.06-注：*根据现场调查，由于 排气筒均未能高出周围200m 范围的建筑5m 以上，因此废气排放速率需按 GB16297-1996大气污染物综合排放标准中新污染源二级标准限值要求严格 50%标准执行。根据上表可知，本项目污染因子氯化氢、氟化氢、氮氧化物、硫酸雾、二甲苯、VOC235、s（以非甲烷总烃计）废气的排放速率及排放浓度均能达到GB16297-1996大气污染物综合排放标准相应排放标准要求。氨气去除效率以最不利计，即不考虑去除效率，排放速率仍能达到恶臭污染物排放标准（GB14554-93）中的二级新扩改建标准。6、监测计划应按照排污单位自行监测技术指南 总则(HJ819-2017)、排污许可证申请与核发技术规范 电子行业(HJ1031-2019)相关要求，本项目废气监测计划见表 4-10。表表 4-10废气监测计划废气监测计划监测点位监测点位名称监测因子监测频次排放标准DA001酸性废气排气筒氨气、氯化氢、氟化物、氮氧化物、硫酸雾、Cl21 次/半年大气污染物综合排236、放标准（GB16297-1996）中表2“新污染源大气污染物排放限值”恶臭污染物排放标准(GB14554-93)DA002有机废气排气筒二甲苯、非甲烷总烃1 次/半年厂界/氟化物、氯化氢、氨气1 次/年大气污染物综合排放标准（GB16297-1996）中表2 厂界无组织监控浓度限值恶臭污染物排放标准(GB14554-93)7、非正常工况 98 非正常排放是指生产过程中开停车（工炉）、设备检修、工艺设备运转异常等非正常工况下的污染物排放，以及污染物排放控制措施达不到应有效率等情况下的排放。项目废气非正常工况排放主要为喷淋装置、活性炭吸附装置接近饱和，废气治理效率下降至 50%的状态，但废气收集系237、统可以正常运行，废气通过排气筒排放等情况，废气处理设施出现故障不能正常运行时，应立即停产进行维修，避免对周围环境造成污染，非正常排放历时不超过 30 分钟。本项目废气在非正常工况下的排放量核算见表 4-11。表表 4-11非正常工况废气排放情况非正常工况废气排放情况污染源污染物名称废气处理设施排放浓度（mg/m3）排放速率（kg/h）一次排放量（kg/次）排放时间（h）排气筒DA001氯化氢二级碱喷淋塔0.4020.0080.0040.5氟化氢二级碱喷淋塔0.5400.0110.005硫酸雾二级碱喷淋塔0.1580.0030.002氮氧化物二级碱喷淋塔0.0540.0010.001排气筒DA0238、02乙醇活性炭吸附装置26.7860.5360.268二甲苯活性炭吸附装置22.3510.4470.224乙酸丁酯活性炭吸附装置3.9290.0790.039VOCs活性炭吸附装置70.0301.4010.7008、大气环境影响分析结论本项目所在地区为环境空气达标区，项目厂界外 500m 范围内无自然保护区、风景名胜区、居民居住区。项目产生的氨气、酸雾废气、有机废气在采取上述措施的情况下，对项目所在区域大气环境影响较小。4.2.2废水废水1、废水产污环节和源强计算项目产生的废水主要包括生产废水、清净下水和生活污水。1）生产废水生产废水主要包括工艺低浓度清洗废水、酸碱废水、废气洗涤塔排水等。目前239、xx西风半导体有限公司年产量 20 万支晶闸管，其晶闸管的生产工 99 艺、原理及产品均与本项目相同，其生产废水的产污节点与本项目基本一致，因此本项目各生产工序产生的废水源强（水量以及水质）可类比该企业废水的产生情况。低浓度清洗废水（W1、W3、W5、W6、W7、W8、W9、W10）项目产品生产过程中，晶闸管对硅片的清洁度要求较高，几乎每道工序都穿插有清洗，清洗过程会产生废水。清洗废水主要来自超声波纯水清洗（W1）、碱洗后进行纯水清洗（W3）以及酸洗后进行纯水清洗（W5）、一次光刻去胶后进行纯水清洗（W6），去磷硅玻璃层后进行纯水清洗（W7），扩硼后进行纯水清洗（W8）、二次、三次光刻去胶后进240、行纯水清洗的过程（W9）、磨角废水（W10）。W1、W8、W10 为中性废水，清洗时间为 4h，每小时换水一次，清洗机每台每次排水约 0.03t，各 4 台清洗机，则 W1、W8、W10 清洗废水产生量各约1.68t/d，504t/a，主要污染物为 COD、油类、SS。经类比分析，W1、W8、W10CODCr分别为 200mg/L、100mg/L、200mg/L。W3 为含碱废水，由于该清洗废水采用滚动式清洗方式，且逆流清洗，清洗水量较少，清洗后的废水连续排放至废水收集池，则 W3 清洗废水产生量约4.4t/d，1320t/a，主要污染物为 pH、COD、氨氮，其中 CODCr100mg/L、241、氨氮50mg/L。W5、W6、W7、W9 为含酸废水，同样采用滚动式清洗方式，且逆流清洗，则 W5 清洗废水产生量约 4.4t/d，1320t/a，主要污染物为 pH、COD、Cl-；W6清洗废水产生量约 4.4t/d，1320t/a，主要污染物为 pH、COD、SO42-；W7 清洗废水产生量约 4.4/d，1320t/a，主要污染物为 pH、COD、F-；W9 清洗废水产生量约 4.4t/d，1320t/a，主要污染物为 pH、COD、PO43-、SO42-。清洗废水中酸碱含量较高，故不符合xx污水处理厂的纳管浓度要求，由于清洗废水中部分为碱性废水，部分为酸性废水，可将其碱性废水和酸性废水242、收集中和后，共同排入自建的污水处理站预处理，达处理厂纳管标准后，经市政污水管网送xx污水处理厂处理达标后排放。100 酸碱废水（W2、W4）酸碱废水主要来自碱洗（W2）、酸洗（W4）过程。项目酸碱废水排放方式为间断排放。硅片碱洗池、酸洗池的大小均为 0.3m0.2m0.3m，其中碱洗池以及酸洗池均要采取加热工序，并需煮沸约 10min，平均约每半个时排水一次（0.008t），项目设 3 个碱洗池和 3 个酸洗池，则 W2（碱洗废液）、W4（酸洗废液）产生量各约为 0.672t/d，201.6t/a，其中碱洗废液主要污染物为 pH、COD、氨氮；酸洗废液主要污染物为 pH、COD、Cl-。由于碱243、洗采用氨水，因此其碱洗废水的碱性不高，可将其碱洗废水直接排入中和处理系统调节池，与上述工艺清洗废水、酸洗废水一并中和处理达xx污水处理厂纳管标准后，经市政污水管网送xx污水处理厂处理达标后排放，项目碱洗废水排放方式为间断排放。废气洗涤塔废水 W11该项目在生产过程中将产生一定量的硫酸雾、NO2、HF、HCl 等酸性废气；为使上述废气能做到达标排放，项目配备 1 台酸雾喷淋塔。酸雾喷淋塔采用碱液对酸雾进行喷淋吸收处理，碱液为氢氧化钠溶液，循环利用，吸收酸雾废气一段时间达到饱和状态后，需更换，平均 15 天更换一次，预计该酸雾净化塔废水排放量约为 4t/次，96t/a，该废水基本呈中性，主要含有钠244、盐（NaF、Na2SO4、NaCl、NaNO3）等物质。废气喷淋塔产生的废水排入污水处理站，经预处理达xx污水处理厂纳管标准后，经市政污水管网送xx污水处理厂处理达标后排放。2）生活污水本项目员工人数为 40 人，年工作约 300 天，工作时间为 8：00-22:00，公司不设食宿。根据 建筑给水排水设计规范，不住宿员工日用水量按 50L/d 计算，则用水量为600t/a。废水产生量按用水量85%计，则生活污水产生量约1.7t/d、510t/a。其主要污染物为 CODcr、氨氮，根据一般城镇生活污水水质类比，污染物产生浓度为 CODCr350mg/L、氨氮 35mg/L，则项目生活污水中污染物245、产生量 101 CODCr0.179t/a、氨氮 0.018t/a。生活污水经化粪池预处理后达到污水综合排放标准（GB8978-1996）中的三级标准后纳管排放，由xxxx污水处理厂集中处理。3）冷却废水、反冲洗浓水本项目扩散、烧结需用水对设备进行间接冷却，项目空调使用过程中也需要水对设备进行间接冷却，冷却系统为封闭循环式，日循环水量约 100t/d，年循环水量约 30000t，定期补充，需补充蒸发损耗的水分，约 200t/a。冷却水约半年更换一次，每次更换水量约 50t，排放至废水系统。年排放冷却水 100t。纯水制备采用二级反渗透工艺进行制备纯水，制备过程会产生 30%的浓水。该部分反冲洗246、浓水约为 4049.94t/a。该浓水主要含有少量的浓缩的盐类、SS，基本无其他污染物，本环评不定量，可直接排入市政污水管网。5）小计根据污染源源强核算技术指南 准则（HJ884-018）等相关规定，结合物料平衡，对本项目污染源源强进行了核算，具体如下表 4-12 所示。102 表表 4-12废水污染源源强核算结果及相关参数一览表废水污染源源强核算结果及相关参数一览表工序/生产线装置污染源污染物污染物产生治理措施污染物排放排放时间（h）核算方法产生废水量/（m3/h）产生浓度（mg/L）产生量（kg/h）工艺效率（%）核算方法排放废水量/（m3/h）排放浓度（mg/L）排放量（kg/h）生产线247、及喷淋塔生产车间超声波清洗W1COD类比分析法0.1202000.0240酸碱中和+CaCl2+絮凝沉淀/0.120/4200碱洗 W2COD0.0485260.0252/0.048/氨氮8800.0422/纯水清洗 W3COD0.3141000.0314/0.314/氨氮500.0157/酸洗 W4COD0.0482000.0096/0.048/Cl-5500.0264/纯水清洗 W5COD0.3141000.0314/0.314/Cl-800.0251/纯水清洗 W6COD0.3141000.0314/0.314/SO42-2300.0723/纯水清洗 W7COD0.3141000.031248、4/0.314/F-1000.0314/纯水清洗 W8COD0.1201000.0120/0.120/氨氮500.0060/纯水清洗 W9COD0.3141000.0314/0.314/磷酸盐5000.1xx/SO42-2000.0628/磨角废水W10COD0.1202000.0240/0.120/103 酸洗废气喷淋塔酸洗废气喷淋塔 W11COD类比分析法0.0233000.0069/0.023/4200F-500.0011/Cl-300.0007/SO42-200.0005/小计CODCr/2.050126.20.2587酸碱中和+CaCl2+絮凝沉淀/2.050/4200NH3-N31249、.20.0639/Cl-25.50.0522/F-15.90.0325/SO42-66.10.1356/磷酸盐76.60.1xx/办公生活化粪池化粪池 W12COD产污系数法0.1213500.0425化粪池预处理/0.121400.02034200氨氮350.00420.1212.50.0013生产线扩散、烧结冷却水COD类比分析法0.0238100/0.023840/纯水制备纯水制备系统浓水COD产污系数法3943.24100/3932.3440/104 运营期环境影响和保护措施本项目产排情况如下表 4-13。表表 4-13废水产排情况一览表废水产排情况一览表污染物名称废水产生量 t/a产250、生量产生浓度排放量(环境量)排放浓度t/amg/Lt/amg/L生产废水废水量8611.2/8611.2/CODCr/1.087126.20.43150NH3-N/0.26931.20.0222.5Cl-/0.22025.5/F-/0.13715.9/SO42-/0.56966.1/磷酸盐/0.66076.6/生活污水废水量510/510/CODCr/0.17853500.025550NH3-N/0.0179350.00262.5外排冷却水废水量100/100/COD/0.011000.00550反冲洗浓水废水量3943.24/3943.24/COD/0.4051000.20350合计废水量1251、3164.44/13164.44/CODCr/1.681126.6280.65850NH3-N/0.28721.6180.0332.5Cl-/0.22016.577/F-/0.13710.407/SO42-/0.56942.875/磷酸盐/0.66021.478/2、废水治理设施本项目实行雨污分流制，雨水排入雨水管网。污水处理站项目拟设一座污水预处理设施，设计规模为 10t/h 纯水制备废水为较清洁废水，可直接经出水池纳入市政污水管网)，其主要处理工艺如下图：105 工艺流程简述：车间生产废水主要包括三部分：（1）含酸碱浓度较低废水，pH 34，连续排放，设计排放量 10t/h；（2）含酸碱浓252、度较高的废酸水，pH 02；设计排放量 40kg/h，间隙性排放；（3）含磷酸废液、氢氟酸腐蚀废液、硫酸废液、乙醇等，交有资质单位集中处理，因此本次废水处理设备不考虑高浓度废液的处理。生产线所产生的低浓度废水，由单独的管网收集后排至污水处理车间，直接进入废水收集槽，再通过废水提升泵输送至一体反应沉淀装置，在沉淀装置前端设置反应区，分别投加碱液，经搅拌混合，调节 pH 至中性，然后投加一定浓度氯化钙溶液，让之与废水中氟离子进行反应形成氟化钙，再投加絮凝剂进行混合反应再进入沉降区，进行重力分离。下层氟化钙等沉降物进入泥斗，定期由污泥泵输送至压滤机进行脱水处理，上层清液则自流进入排水管网，达标排放。253、生产线所产生的其他高浓度废水（注：主要为酸碱废水 W2、W4）由于酸碱度较高，但其产生的量比较小，在车间由废水管运送至污水处理车间，再通清洗废水废水收集槽图图 4-4污水站处理工艺污水站处理工艺反应槽 1碱液CaCl2反应槽 2低浓度酸碱废水高浓度废酸水W2、W4废水管道反应槽 3絮凝剂沉淀槽污泥浓缩罐污泥压滤机干污外运水纳管排放上清液回流至收集槽 106 过废水转移泵直接输送低浓度废水收集槽中进行稀释，再进入低浓度废水处理系统中统一处理。污水站设备见下表：表表 4-14污水站设备清单污水站设备清单序号名称规格型号单位数量一低浓度废水处理系统1废水收集槽V=20m3，PE 材质，加厚型台22废254、水提升泵气动隔膜泵，Q=10t/h，H=30m台13一体化反应沉淀装置Q=10m3/h，5.62.43.5m，内防腐衬塑 5-6mm，外防腐底漆+面漆，包括 3 台反应搅拌机，N=1.1Kw,斜管填料，含操作爬梯、操作平台及扶梯套14应急收集槽V=20m3，PE 材质，加厚型台35排泥泵气动隔膜泵，Q=2t/h，H=30m台1二高浓度废水处理系统1废水转移泵气动隔膜泵，Q=2t/h，H=30m台1三加药系统1加碱装置1）碱液配制槽V=2.0m3，搅拌功率 N=1.1Kw，PE材质只12）加碱泵Q=100L/h，H=30m，N=0.25kW，包括 Y 型过滤器、背压阀、安全阀、缓冲器、压力表、转255、子流量计等台12加氯化钙装置1）氯化钙配制槽V=2.0m3，搅拌功率 N=1.1Kw，PE材质2）氯化钙投加泵Q=100L/h，H=30m，N=0.25kW，包括 Y 型过滤器、背压阀、安全阀、缓冲器、压力表、转子流量计等台13絮凝剂装置1）絮凝剂配制槽V=2.0m3，搅拌功率 N=1.1Kw，PE材质只12）絮凝剂投加泵Q=100L/h，H=30m，N=0.25kW，,包括 Y 型过滤器、背压阀、安全阀、缓冲器、压力表、转子流量计等台1三污泥处理系统污泥入料泵气动隔膜泵，Q=2t/h，H=30m台1 107 厢式压滤机压滤面积 5m2，套1四仪表部分1在线 PH 计0-14，4-20mA 信256、号输出套32在线氟离子仪0-1000mg/l，4-20mA 信号输出套13电磁流量计DN80，4-20mA 信号输出台14投入式液位计0-4m，4-20mA 信号输出套25液位开关开关量套3五动力配电及控制1动力配电柜（PLC 柜）GGD，西门子 PLC，含触摸屏台12动力配电柜GGD，正泰元气件台13现场仪表箱配套台6六管道阀门等1工艺管线UPVC/PE 材质批12加药管线UPVC 材质批13电线电缆桥架等按需配套批1污水处理设施的环境可行性评价本项目酸性废水采用酸碱中和法，含氟废水采用氯化钙化学沉淀；经沉淀预处理后再采用絮凝沉淀法。参考电子工业水污染物防治可行技术指南（征求意见稿），项目各257、类废水经上述方法预处理后，主要污染物排放水平可以达到：氟化物20mg/L、CODCr500mg/L、SS100mg/L、TN50mg/L、TP8mg/L，废水污染物排放浓度能满足电子工业水污染物排放标准（GB39731-2020）和xx污水出处理厂的纳管标准中较严者。本项目生活污水依托园区化隔油池+粪池进行处理后纳入市政污水管网。隔油池+化粪池是常规处理生活污水的技术，生活污水经处理后能满足纳管标准。本项目采用的各类废水处理技术属于 排污许可证申请与核发技术规范 电子工业（HJ1031-2019）中的推荐的可行技术。故本项目废水处理措施可行。根据排污许可证申请与核发技术规范 总则（HJ942-258、2018）中的相关要求，本项目废水治理设施可行性分析如下：108 表表 4-15废水治理设施可行性分析一览表废水治理设施可行性分析一览表序号废水类别污染物种类污染治理设施污染治理设施编号污染治理设施工艺处理能力治理效率是否为可行技术1生产废水COD、NH3-N 等TW001酸碱中和+CaCl2+絮凝沉淀10t/h/是2生活污水COD、NH3-N 等TW002化粪池5t/d/是3、建设项目废水污染物排放信息表建设项目废水污染物排放信息况见下表：表表 4-16本项目生产废水排放口基本情况本项目生产废水排放口基本情况废水排放方式间接排放排放去向进入xx污水处理厂排放规律间断排放，排放期间流量不稳定且259、无规律，但不属于冲击型排放排放口基本情况编号DW001名称废水排放口类型一般排放口地理坐标经度120.490407纬度30.3xx444、废水达标情况分析本项目纳管废水为生产废水和生活污水。本项目生产废水经厂区污水站预处理，生活污水经化粪池预处理后可达到市政污水管网纳管标准。经分析，本项目最终排环境情况符合城镇污水处理厂污染物排放标准(GB18918-2002)中的一级 A 标准排放。本项目废水排放情况达标。5、依托污水处理设施的环境可行性污水处理厂概况xx污水处理厂位于xx区东部围垦外十五工段，采用 BOT 方式运行，由上海大众公共事业（集团）股份有限公司和xxxx污水处理有限公司联合投资。260、xx污水处理厂远期规划污水处理能力 100 万 m3/d，一期工程规模为 30 109 万 m3/d，二期规模 20 万 m3/d。服务范围为：xx区xx新城 160.2km2，前进工业园区 40km2，xx新城 150km2、空港新城 71km2，以及xx片 6 个乡镇和xx片 5 个乡镇，总服务面积 610km2。目前该污水处理厂提标改造已完成，提标改造完成后，该污水处理厂出水水质执行城镇污水处理厂污染物排放标准（GB18918-2002）中一级 A 标准。xx污水处理厂二期工程已于 2017 年底建成，目前已投入使用。xx污水处理厂提标改造后一期、二期处理工艺流程见图 4-5 和图 4-261、6。图图 4-5一期提标改造后污水处理工艺流程图一期提标改造后污水处理工艺流程图图图4-6二期污水处理工艺流程图二期污水处理工艺流程图 110 水量处理可行性分析目前xx污水处理厂废水处理量为 32.2 万 t/d，尚有余量，本次项目生产废水产生量为 43.9t/d，占比较小，且水质简单，可满足要求。进出水水质可行性分析本次环评收集了xx省生态环境厅公开的xx污水处理厂 2022 年 5 月、8月和 10 月的监督性监测数据。xx污水处理厂水质监测结果见下表 4-17。表表 4-17xx污水处理厂污水总排放口在线监控数据统计表xx污水处理厂污水总排放口在线监控数据统计表监测项目单位排放浓度标准262、限值是否达标2022.5.172022.8.32022.10.18pH无量纲7.26.87.269达标CODmg/L28403750达标BOD5mg/L2.43.94.210达标氨氮(NH3-N)mg/L1.210.5090.1482.5达标总氮(以 N 计)mg/L7.057.434.9715达标总磷(以 P 计)mg/L0.040.040.060.5达标悬浮物mg/L86910达标石油类mg/L0.230.080.081达标阴离子表面活性剂(LAS)mg/L0.1780.210.210.5达标总砷mg/L0.00030.00030.00040.1达标总镍mg/L0.0070.0070.00263、70.05达标总铅mg/L0.001760.000480.000440.1达标总铬mg/L0.0080.0050.0120.1达标六价铬mg/L0.0040.0040.0040.05达标总汞mg/L0.000040.000140.000280.001达标总铜mg/L0.0310.0310.050.5达标总镉mg/L0.000170.000050.000050.01达标由上表可知，xx污水处理厂总排口主要污染因子均能满足城镇污水处理厂污染物排放标准(GB18918-2002)中的一级 A 标准要求，其中氨氮满足2.5mg/L 的标准。项目全厂总排口各污染物的排放浓度水质可达到污水处理厂接管水质的264、标准要求。项目废水不存在对污水处理站有毒害作用的物质，经预处理达接管要求后不会对xx污水处理厂的处理工艺造成大的冲击。因此，从水质来讲，建设项目废水排入xx污水处理厂是可行的。管网配套可行性分析 111 本项目周边路段设有污水管线与xxxx污水处理厂污水管网接通，因此，建设项目废水接管排入xxxx污水处理厂处理，从管网建设配套方面考虑是可行的。小结由上分析，本项目废水依托xx污水处理厂可行。6、地表水环境影响项目废水经厂内化粪池预处理后纳入市政污水管网，由xx污水处理厂进一步处理后，最终排放至xx江，废水属于间接排放。废水经化粪池预处理后水质能达到纳管标准。本项目所在地在xx污水处理厂的截污范265、围内，市政污水管网已接通至污水处理厂。同时，项目废水量小且水质简单，不会对污水处理厂造成冲击。项目所产生的废水经厂内预处理后可达到后纳管标准，再经过xx污水处理厂处理后，项目废水污染物得到进一步削减，对地表水环境影响较小。7、环境监测要求根据排污单位自行监测技术指南 总则(HJ819-2017)、排污许可证申请与核发技术规范 电子工业(HJ1031-2019)，本项目废水监测要求见表4-18。表表 4-18废水环境监测要求废水环境监测要求序号监测点位监测点位名称监测因子监测频次执行标准1DW001生产废水排放口pH、COD、SS、TP、TN、氟化物、石油类、LAS1 次/年电子工业水污染物排放266、标准（GB39731-2020）“表 1水污染物排放限值”中半导体器件的间接标准氨氮工业企业废水氮、磷污染物间接排放限值（DB33/887-2013）2DW002生活污水排放口pH、COD、SS1 次/年污水综合排放标准（GB8978-1996）表 2 三级标准NH3-N、TP1 次/年工业企业废水氮、磷污染物间接排放限值（DB33/887-2013）TN1 次/年执行污水排入城镇下水道水质标准（GB/T31962-2015）中的 B 级标准 112 4.2.3噪声噪声1、噪声污染源强情况本项目噪声源可分为两个部分：一是生产厂房内设备噪声污染源，二是动力设施噪声污染源。本项目除空压机、冷水机组267、冷却水泵、部分风机和生产废水处理设施设置于室外，其他生产设施均布置在生产厂房内。经类比调查，各主要设备噪声值在 6580dB 之间，噪声源强可见表 4-19、4-20。表表 4-19项目噪声源强清单（室内）项目噪声源强清单（室内）序号建筑物名称声源名称声压级（dB（A）/m）声源控制措施空间相对位置/m距室内边界距离/m室内边界声级/dB(A)运行时段建筑物插入损失/dB(A)建筑物外噪声XYZ声压级/dB(A)建筑物外距离/m14 楼车间超声波清洗机65采用低噪声设备，合理空间布局，采取消声措施，加强 设备维护和管 理等60202256014h53.912镀膜机6510202286014h268、1054.513烧结炉、扩散炉7015172276014h58.714曝光机6555022126014h54.415定影机6555522126014h54.616真空泵7520102256514h61.8173 楼车间激光割圆机6590251576014h53.118磨角机6580251586014h53.419封装机6520251556014h53.81注：以一层生产车间西南角为坐标原点，西向东为 X 轴，南向北为 Y 轴，下向上为 Z 轴；同区域类设备，取声源中心为测量点，下同。113 表表 4-20项目噪声源强清单（室外）项目噪声源强清单（室外）工序声源名称型号空间相对位置/m声压级/d269、B(A)声源控制措施运持续时间（h）XYZ1酸雾喷淋塔风机/502027.580隔声罩、消声、减振14h2活性炭吸附装置风机/602027.5803污水站风机/65251.5854冷却塔/70251.5805水泵/60201.5802、厂界和环境保护目标达标情况根据项目踏勘，本项目场界外 50m 范围内无声环境保护目标。为了减轻噪声对项目周围环境的污染影响，必须采用低噪声设备，并对设备采取隔声、减振措施尽量减小噪声对外环境的影响。本评价对噪声进行预测分析，具体如下：根据环境影响评价技术导则 声环境(HJ2.4-2021)，在进行声环境影响预测时，一般采用声源的倍频带声功率级，A计权声功率级或靠270、近声源某一位置的倍频带声压级，A声级来预测计算距声源不同距离的声级。分别计算室外和室内两种声源。(1)预测模式室内声源等效室外声源声功率级计算方法如图所示，声源位于室内，室内声源可采用等效室外声源声功率级法进行计算。设靠近开口处(或窗户)室内、室外某倍频带的声压级分别为Lp1和Lp2。若声源所在室内声场为近似扩散声场，则可按式 1 计算某一室内声源靠近围护结构处的倍频带声压级：图图4-7室内声源等效为室外声源图例室内声源等效为室外声源图例 114 LP1=Lw+10lg(+)式中：Q 指向性因数；通常对无指向性声源，当声源放在房间中心时，Q=1；当放在一面墙的中心时，Q=2；当放在两面墙夹角处271、时，Q=4；当放在三面墙夹角处时，Q=8。R房间常数；R=S/(1)，S为房间内表面面积，m2；为平均吸声系数，取0.02。r声源到靠近围护结构某点处的距离，m。然后按式2计算出所有室内声源在围护结构处产生的i倍频带叠加声压级：式中：LP1i(T)靠近围护结构处室内N个声源i倍频带的叠加声压级，dB；LP1ij室内j声源i倍频带的声压级，dB；N室内声源总数。在室内近似为扩散声场时，按式3计算出靠近室外围护结构处的声压级：LP2i(T)=LP1i(T)-(TLi+6)式中：LP2i(T)靠近围护结构处室外N个声源i倍频带的叠加声压级，dB；TLi围护结构i倍频带的隔声量，dB。然后按式4将室外272、声源的声压级和透过面积换算成等效的室外声源，计算出中心位置位于透声面积(S)处的等效声源的倍频带声功率级。LW=LP2(T)+10lgS室外的点声源在预测点产生的声级计算基本公式衰减计算简化为无指向性点声源几何发散衰减的基本公式：Lp(r)=Lp(r0)20 lg(r/r0)式中：r0参考位置与声源的距离，（m）；115 r测点与声源的距离，（m）；Lp(r)源在预测点处声压级，dB；Lp(r0)源在参考位置处r0 处的声压级，dB。噪声贡献值计算设第 i 个室外声源在预测点产生的 A 声级为 LAi，在 T 时间内该声源工作时间为 ti；第 j 个等效室外声源在预测点产生的 A 声级为 LA273、j，在 T 时间内该声源工作时间为 tj，则拟建工程声源对预测点产生的贡献值（Leqg）为：式中：tj在 T 时间内 j 声源工作时间，s；ti在 T 时间内 i 声源工作时间，s；T用于计算等效声级的时间，s；N室外声源个数；M等效室外声源个数。2）预测结果根据预测模式预测，项目场界四周预测结果如下表 4-21。表表 4-21项目厂界噪声预测结果项目厂界噪声预测结果单位：单位：dB(A)预测点预测值预测点预测值东厂界东厂界南厂界南厂界西厂界西厂界北厂界北厂界生产厂房贡献值58.659.058.560标准值（昼间）65656565达标情况达标达标达标达标注：项目夜间不生产。由计算结果可知，本项274、目场界昼间噪声贡献值满足工业企业厂界环境噪声排放标准（GB12348-2008）中 3 类标准。项目噪声可实现达标排放，对厂界声环境影响较小。3、防治措施本项目属于电子工业，工艺设备均为密闭式设备，且对环境微振动要求极高，均安装在洁净室内，噪声源强均小于 70dB(A)，再经建筑隔声、基础减振等有效的降噪措施，可大大降低其噪声对周围环境的影响。116 为进一步减小项目噪声对周围环境的影响，项目投入使用后应加强设备日常检修和维护，以保证各设备正常运转，以免由于设备故障原因产生较大噪声。对噪声较大的设备安装减震垫、消声器等，同时加强管理，教育员工文明作业，减少人为因素造成的噪声，合理安排生产时间。275、在此基础上，本项目产生的噪声对周围环境的影响在可以接受的范围内。4、监测要求表表 4-22噪声监测计划噪声监测计划监测点位监测指标监测频次排放执行标准场界LAeq1 次/季工业企业厂界环境噪声排放标准（GB12348-2008）中的 3 类标准4.2.4固体废物固体废物1、固体废物源强分析1）固体废物产生环节项目固体废物主要分为生产过程产生的固体废物、xx工程运行时产生的固体废物以及其他固体废物。生产过程固体废物有硅腐蚀、清洗、光刻、扩散、蚀刻等工序产生的废液。xx工程运行时产生的固体废物有污水站产生的污泥、废气处理产生的废活性炭等。其他固废有纯水制备工序产生的固废（废渗透膜、废滤芯、废活性炭276、）、原料的包装袋/桶、生活垃圾等。2）固废产生量核算根据提供的项目物料平衡，并结合现有的xx西风半导体有限公司固体废物产生量源强类比估算，本项目的固体废物产生情况如下：（1）显影废液 S1、S7、漂洗废液 S2、S8项目一次、二次、三次光刻工序的显影、漂洗工段会产生显影废液、漂洗废液。根据建设单位提供资料和物料平衡，显影废液产生量约 0.9t/a、漂洗废液约 0.9t/a。显影废液主要成分为二甲苯、正庚烷等，显影废液、漂洗废液属于危险废物，经收集后储存于危险废物暂存库，委托资质单位统一处理。117（2）含氢氟酸腐蚀废液 S3、S5、S11一次光刻腐蚀、去磷硅玻璃层、腐蚀工序会产生含氢氟酸的废液277、 S3、S5、S11，其中酸性腐蚀废液 S3、S5 主要成分为氢氟酸，酸性腐蚀废液 S11 主要成分为氢氟酸和硝酸。一次光刻腐蚀池槽体一个，大小为 10L，根据建设单位提供资料，约 2 周酸排一次，则一次光刻腐蚀酸液产生量约为 0.27t/a。去磷硅玻璃层池一个，大小为 10L，根据建设单位提供资料，去磷硅玻璃层废水每月酸排一次，排放量约为 0.01t，0.12t/a。腐蚀过程所用的自动旋转腐蚀机为先进的自动化数显控制系统，通过自控系统来自动补液，废腐蚀液约 5 天排放一次。项目设 2 个腐蚀槽，则排放量约为 0.075t，4.5t/a含氢氟酸腐蚀废液属于危险废物，经收集后储存于危险废物暂存库278、，应委托资质单位处置。（3）硫酸废液 S4项目去胶工段会产生硫酸废液 S4。根据建设单位提供资料和物料平衡，硫酸废液产生量约 2.5t/a。硫酸废液主要成分为硫酸，属于危险废物，经收集后储存于危险废物暂存库，委托资质单位处置。（4）乙醇废液 S6项目扩硼工序会产生乙醇废液 S6。根据建设单位提供资料和物料平衡，乙醇废液产生量约 1.2t/a。乙醇废液主要成分为乙醇，属于危险废物，经收集后储存于危险废物暂存库，委托资质单位处置。（5）磷酸废液 S9项目腐蚀工段会产生磷酸废液。根据建设单位提供资料和物料平衡，磷酸废液产生量约 1.0t/a。磷酸废液主要成分为磷酸，属于危险废物，经收集后储存于危险废279、物暂存库，委托资质单位处置。（4）去胶废液 S10项目去胶工段会产生去胶废液。根据建设单位提供资料和物料平衡，去胶 118 废液产生量约 0.67t/a。去胶废液主要成分为硫酸等属于危险废物，经收集后储存于危险废物暂存库，委托资质单位处置。（5）有机废气废活性炭 S12本项目有机废气采用“二级活性炭吸附”处理措施，活性炭定期更换，将产生废活性炭。参考xx省工业涂装工序挥发性有机物排放量计算暂行方法(浙环发201730 号)，一般活性炭对有机溶剂的吸附量为 0.15t/t 活性炭。根据前文计算，项目有机废气削减量为 1.88/a，活性炭一次装填量约 1.5t，由此计算一年更换约 8 次。则废活性280、炭产生量约 14t。根据xx市生态环境局关于加强低效挥发性有机物治理设施改造升级工作的通知(杭环便函 2022 192 号)：要求使用活性炭碘吸附值不低于 800mg/g的优级品颗粒活性炭(活性炭技术指标应符合 LY/T3284 规定的优级品颗粒活性炭技术要求)，原则上活性炭更换周期一般不应超过累计运行 500 小时或 3 个月。根据建设单位提供的废气方案，活性炭一次装填量约 1.5t，一年更换约 8 次。废活性炭属于危险废物，经收集后储存于危险废物暂存库，交由资质单位统一处理。（6）污水站污泥 S13本项目拟自建生产废水处理站，用于处理生产过程中的工艺废水及废气处理中的喷淋废水等。废水处理中281、会有污泥产生。本项目污泥产生量参照集中式污染治理设施产排污系数手册(环境保护部华南环境科学研究所)，其他工业废水集中处理设施单位含水污泥(含水率80%)产生系数为 2.0t/万 t-废水处理量计算，同时一般污泥考虑氟化物去除量。根据前文废水产排放计算，项目废水产生量约为 8611.2t/a，则污泥产生量约为 2.0t/a。（7）沾染危化品的废包装物 S14项目试剂及原料使用时会产生沾有危化品废包装物，产生量约 4.0t/a，沾有危化品的废包装物属于危险废物暂存库，委托资质单位处置。119（8）一般废包装物 S15一般废包装物为除沾有危化品的包装物以外的其他原辅料废包装纸、塑料、木材等。一般废包282、装物产生量约 2.0t/a，收集后出售给物资回收部门进行综合利用。（9）纯水制备过程产生的废 RO 膜、废滤芯、废活性炭 S16纯水制备设备会产生一定量的废 RO 膜、废滤芯、废活性炭等，类比同类企业，废 RO 膜、废滤芯、废活性炭一般 23 年换一次，每次更换产生量约 0.5t/a。上述废物属于一般工业固废，由生产厂商定期更换回收，不在厂区内暂存。(10)废机油 S17本项目生产设备和辅助生产设备维修保养会产生少量废机油。根据建设单位提供资料，废机油产生量约 0.1t/a。此类废物属于危险废物，经收集后储存于危险废物暂存库，委托资质单位处置。(11)废抹布/手套 S18本项目设备维修维修保养283、和生产过程中，会产生一定量沾染机油或化学品的抹布、手套等劳保用品。根据建设单位提供资料，废抹布/手套产生量约 0.2t/a。此类废物属于危险废物，经收集后储存于危险废物暂存库，交由资质单位统一处理。(12 生活垃圾 S19生活垃圾：本项目员工为 40 人，生活垃圾产生量以 0.5kg/d 人计，则生活垃圾产生为 20kg/d，6.0t/a。生活垃圾经厂区内定点收集后委托当地环卫部门清运处理。表表 4-23建设项目副产物产生情况汇总表建设项目副产物产生情况汇总表单位：单位：t/a序号固废编号废物名称产生工序形态主要成分产生量（t/a）1S1显影废液显影、漂洗液态C260，A515等0.452S2284、漂洗废液液态乙酸丁酯0.453S3酸性腐蚀废液一次光刻腐蚀液态氢氟酸0.274S4硫酸废液去胶液态硫酸2.5 120 5S5含氢氟酸废液去磷硅玻璃层液态氢氟酸0.126S6乙醇废液扩硼液态乙醇1.27S7显影废液显影、漂洗液态C260，A515等0.458S8漂洗废液液态乙酸丁酯0.459S9磷酸废液腐蚀液态磷酸1.010S10去胶废液去胶液态硫酸等0.6711S11酸性腐蚀废液腐蚀液态氢氟酸、硝酸4.512S12*废活性炭废气处理固态活性炭14.013S13污水站污泥废水处理半固态CaF22.014S14沾染危化品的废包装物试剂/原料使用固态包装材料4.015S15一般废包装材料原料使用固态285、包装材料2.016S16废 RO 膜、废滤芯、废活性炭纯水制备固态-0.5t/23 年17S17废机油维修固态矿物油0.118S18废抹布、手套日常生产固态布纤维0.219S19生活垃圾员工生活固态纸张、塑料等62、固废属性判定及危险废物属性判定本项目固废副产物产生情况表 4-19，副产物属性判定详见表 4-24，并根据固体废物鉴别标准 通则(GB34330-2017)的规定对上述副产物的属性进行判定。表表 4-24副产物属性判定表副产物属性判定表序号固废编号废物名称产生工序形态主要成分是否固体废物判定依据1S1显影废液显影、漂洗液态二甲苯、正庚烷等是4.2i2S2漂洗废液液态乙酸丁酯是3S3286、酸性腐蚀废液一次光刻腐蚀液态氢氟酸是4.2i4S4硫酸废液去胶液态硫酸是4.2l5S5含氢氟酸废液去磷硅玻璃层液态氢氟酸是4.2i 121 6S6乙醇废液扩硼液态乙醇是4.2i7S7显影废液显影、漂洗液态C260，A515 等是4.2l8S8漂洗废液液态乙酸丁酯是9S9磷酸废液腐蚀液态磷酸是4.2l10S10去胶废液去胶液态硫酸等是4.2l11S11酸性腐蚀废液腐蚀液态氢氟酸、硝酸是4.2i12S12*废活性炭废气处理固态活性炭是5.013S13污水站污泥废水处理半固态CaF2是4.3e14S14废包装物试剂/原料使用固态包装材料是4.1h15S15一般废包装材料原料使用固态包装材料是4.1h287、16S16废 RO 膜、废滤芯、废活性炭纯水制备固态-是4.3l17S17废机油维修固态矿物油是4.1h18S18废抹布、手套 日常生产固态布纤维是4.1i19S19生活垃圾员工生活固态纸张、塑料等是4.1i根据国家危险废物名录（2021 年版）、危险废物鉴别标准及一般固体废物分类与代码（GB/T 39198-2020），本项目固废属性产生情况见表4-25。表表 4-25项目固体废物产生情况项目固体废物产生情况序号废物名称产生工序形态主要成分属性废物类别废物代码危险特性1显影废液显影、漂洗液态C260，A515 等危险废物HW16398-001-16T2漂洗废液液态-危险废物398-001-1288、6T3酸性腐蚀废液一次光刻腐蚀液态氢氟酸危险废物HW34398-005-34C,T4硫酸废液去胶液态硫酸危险废物HW34900-300-34C,T5含氢氟酸废液去磷硅玻璃层液态氢氟酸危险废物HW34398-005-34C,T6乙醇废液扩硼液态乙醇危险废物HW06900-402-06 T,I,R 122 7磷酸废液腐蚀液态磷酸危险废物HW34900-300-34C,T8去胶废液去胶液态硫酸等危险废物HW13900-016-13C,T9酸性腐蚀废液腐蚀液态氢氟酸、硝酸危险废物HW34398-005-34C,T10*废活性炭废气处理固态活性炭危险废物HW49900-039-49T11污水站污泥 废水289、处理 半固态CaF2危废废物-900-999-99T/C12废包装物试剂/原料使用固态包装材料危险废物HW49900-041-49T/In13一般废包装材料原料使用固态包装材料一般固废/732-900-99/14废 RO 膜、废滤芯、废活性炭纯水制备固态-一般固废/732-900-99/15废机油维修固态矿物油危险废物HW08900-214-08T,I16废抹布、手套日常生产固态布纤维危险废物HW49900-041-49T/In17生活垃圾员工生活固态纸张、塑料等一般固废/900-999-99/3、固体废物处置分析表表 4-26固体废物利用处置方式固体废物利用处置方式单位：单位：t/a序号废物290、名称产生工序形态主要成分属性产生量（t/a）处置方式1显影废液显影、漂洗液态C260，A515 等危险废物0.9交由资质单位处置2漂洗废液液态危险废物0.9交由资质单位处置3酸性腐蚀废液一次光刻腐蚀液态氢氟酸危险废物0.27交由资质单位处置4硫酸废液去胶液态硫酸危险废物2.5交由资质单位处置5含氢氟酸废液去磷硅玻璃层液态氢氟酸危险废物0.12交由资质单位处置6乙醇废液扩硼液态乙醇危险废物1.2交由资质单位处置7磷酸废液腐蚀液态磷酸危险废物1.0交由资质单位处置8去胶废液去胶液态硫酸等危险废物0.67交由资质单位处置9酸性腐蚀废液腐蚀液态氢氟酸、硝酸危险废物4.5交由资质单位处置10*废活性炭废291、气处理固态活性炭危险废物14.0交由资质单位处置11污水站污泥 废水处理 半固态CaF2一般固废2.0作建材，综合利用12废包装物试剂/原料使用固态包装材料危险废物4.0交由资质单位处置13一般废包装材料原料使用固态包装材料一般固废2.0外售，综合利用 123 14废 RO 膜、废滤芯、废活性炭纯水制备固态-一般固废0.5t/23年生产厂商定期更换回收15废机油维修固态矿物油危险废物0.1交由资质单位处置16废抹布、手套日常生产固态布纤维危险废物0.2交由资质单位处置17生活垃圾员工生活固态纸张、塑料等一般固废6环卫部门统一清运4、贮存场所(设施)污染防治措施（1）一般固废环境管理要求项目设置292、一个一般固废暂存库，位于辅助车间四，暂存库面积约为 10m2；建设单位应加强一般固废管理，堆场选址及固废管理应一般工业固体废物贮存和填埋污染控制标准（GB18599-2020）中的相关要求。贮存、处置场的建设类型，必须与将要堆放的一般工业固体废物的类别相一致。为保障设施、设备正常运营，必要时应采取措施防止地基下沉，尤其是防止不均匀或局部下沉。贮存、处置场的使用单位，应建立档案制度。应将入场的一般工业固体废物 的种类和数量以及下列资料，详细记录在案，长期保存，供随时查阅。（2）危险废物环境管理要求1）危险废物贮存场所（设施）选址可行性建设单位拟在厂房南侧设置危废仓库 1 间，共 20m2。总体上293、项目选取的危废仓库位置相对合理，较为可行。2）危险废物贮存场所（设施）能力根据工程分析，项目危险废物产生量约 30.3t/a，建设单位危险废物暂存库总面积约 20m2，贮存能力 20t 左右。本项目危废暂存设施概况如下表 4-27。表表 4-27建设建设项目危险废物贮存场所（设施）基本情况表项目危险废物贮存场所（设施）基本情况表序号贮存场所（设施）名称危险废物名称危险废物类别危险废物代码位置占地面积贮存方式贮存能力贮存周期 124 1危废暂存间显影废液HW16398-001-16厂区南侧20m2吨桶15t半年2漂洗废液HW16398-001-16吨桶半年3酸性腐蚀废液HW34398-005-3294、4吨桶半年4硫酸废液H34W900-300-34吨桶半年5含氢氟酸废液HW34398-005-34吨桶半年6乙醇废液HW06900-402-06吨桶半年7磷酸废液HW、34900-300-34吨桶半年8去胶废液HW13900-016-13吨桶半年9酸性腐蚀废液HW34398-005-34吨桶半年10废活性炭HW49900-039-49吨袋半年11废包装物HW49900-041-49吨袋半年12废机油HW08900-214-08铁桶半年13废抹布、手套HW49900-041-49吨袋半年建设项目设置的危废暂存场所应满足如下要求：贮存物质相容性要求：在常温常压下不水解、不挥发的固体危险废物可在贮存295、场所内分别堆放，除此之外的其他危险废物必须存放于容器中，存放用容器也需符合(GB18597-2001)标准的相关规定；禁止将不相容(相互反应)的危险废物在同一容器中存放；无法装入常用容器的危险废物可用防漏胶袋等盛装。包装容器要求：危险废物贮存容器应当使用符合标准的容器盛装危险废物，装载危险废物的容器及材质要满足相应的强度要求，完好无损，盛装危险废物的容器材质和衬里要与危险废物相容。危险废物贮存场所要求：建设项目危废仓库拟按照危险废物贮存污染控制标准(GB18597-2023)及其修改单的相关要求建设：地面设置防渗层，配备通讯设备、照明设施、安全防护服装及工具，并设有应急防护设施。对危险废物的容296、器和包装物以及收集、贮存、运输、处置危险废物的设施、场所，拟设置危险废物识别标志。危废贮存过程必须分类存放、贮存，并必须要做到防雨、防渗、防漏、防扬散、防流失及其他防止污染环境的措施，不得随意露天堆放，地面进行耐腐蚀硬化处理，地基须防渗，地面表面无裂缝；不相容的危险废物需分类存放，125 并设置隔离间隔断；具备警示标识等方面内容。危险废物暂存管理要求：危废暂存间设立危险废物进出入台账登记管理制度，记录每次运送流程和处置去向，严格执行危险废物电子联单制度，实行对危险废物从源头到终端处理的全过程监管，确保危险废物 100%得到安全处置。本项目涉及的危险废物收集后应定期委托有相应的资质的危废处置单位297、进行处置，委托处置单位所经营的危废类别应包含本项目涉及的废物类别。经妥善处理后，本项目涉及的危险废物不会对周围环境产生影响。4.2.5 地下水、土壤地下水、土壤1、地下水、土壤污染类型及途径项目运营期地下水、土壤污染源主要为生产过程中产生的有机废气、酸碱废气大气沉降；废水输送管道破损，废水处理站个处理池垂直渗漏；危废仓库、原料仓库等的物料垂直渗漏等。建设单位已针对生产过程中废气、废水及固体废物在产生、运输和处理过程中采取了有效的工程措施，防止污染物对地下水、土壤造成污染。2、地下水、土壤分区防控措施（1）地下水针对项目生产过程中废水及固体废物产生、输送和处理过程，采取合理有效的工程措施可防止污298、染物对地下水的污染。本项目可能对地下水造成污染途径的主要有生产过程中产生的有机废气、酸碱废气大气沉降；废水输送管道破损，废水处理站个处理池垂直渗漏；危废仓库、原料仓库等的物料垂直渗漏等。正常情况下，地下水的污染主要是由于污染物迁移穿过包气带进入含水层造成。若发生渗漏，污染物不会很快穿过包气带进入浅层地下水，对浅层地下水的污染较小。尽管如此，项目仍存在造成地下水污染的可能性，且地下水一旦受污染其发现和治理难度都非常难，为了更好地保护地下水资源，将项目对 126 地下水的影响降至最低限度，建议采取相关措施。源头控制：项目危废仓库、原料仓库、废水处理站等废水处理设备、输水、排水管道等必须采取防渗措施299、，杜绝各类废水下渗的通道。另外，应严格废水的管理，强调节约用水，防止污水“跑、冒、滴、漏”，确保污水处理系统的正常运行。污水的转移运输管线敷设尽量采用“可视化”原则，即管道尽可能地上敷设，做到污染物“早发现、早处理”，以减少由于埋地管道泄漏而可能造成地下水污染。并且接口处要定期检查以免漏水。末端控制：分区防控。主要包括厂内污染区地面的防渗措施和泄漏、渗漏污染物收集措施，即在污染区地面进行防渗处理，防止洒落地面的污染物渗入地下，并把滞留在地面的污染物收集起来集中处理，从而避免对地下水的污染。结合项目各生产设备、贮存等因素，根据项目场地天然包气带防污性能、污染控制难易程度和污染物 特性对全厂进行分300、区防控。本项目地下水污染防渗分区防渗技术要求见表 4-28。表表 4-28地下水污染防渗分区防渗技术要求地下水污染防渗分区防渗技术要求序号名称污染控制难易程度污染物类型防渗分区防渗技术要求1危废仓库难酸碱、持久性有机物污 染物重点防渗区等效粘土防渗层Mb6.0m，K10-7cm/s2化学品仓库难酸碱、持久性有机物污 染物3污水处理站难持久性有机物污染物4一般固废库易持久性有机物污染物一般防渗区等效粘土防渗层Mb1.5m，K10-7cm/s5生产线易（3、4 层）酸碱、持久性有机物污 染物简单防渗区一般地面硬化6办公区易其他类型（2）土壤本项目所涉及液体原料均为密闭桶装存放于车间，正常情况下不会301、发生泄漏。一旦发生泄漏，车间工人能够在较短时间内发现并采取措施，且生产车间位于三层、四层，地面均采取硬化防腐防渗措施，不会对土壤造成影响。项目废液等均采用桶装密封贮存在危废仓库，贮存容器下方设置不锈钢托盘用以收 127 集泄漏液体，且危废仓库地面均采取硬化防腐防渗措施，不会对土壤造成影响。本项目厂区地面拟采取硬化处理，生产车间、危废仓库地面拟设置环氧地坪。营运期建设单位应加强管理，严格落实废气污染防治措施，减少大气污染物沉降；液体原料使用过程、危险废物收集、贮存转、运过程避免发生“跑、冒、滴、漏”现象。建设单位应采取以下污染防治措施：加强xx管理，确保污染物达标排放。全厂固废分类收集，储存期间302、严格按照相应储存要求，设置专用的储存场所，在固废的收集运输等过程，注意防止洒落并及时清扫。固废储存期间，尽可能采用专用桶盛放，密闭包装。项目固废储存场所等均应做好防渗措施，通过设置围堰、地面硬化等措施，控制污水下渗，减少土壤污染。污染监控措施安排专人定期进行检查生产车间、危废暂存间、废水收集管道、液体原料区，发生泄漏易于及时发现。应急响应措施建设单位通过严格管理，专人巡检等方式进行监管，非正常情况渗漏一经发现，启动应急预案，立即采取封堵、吸收、吸附等措施，防止大量泄漏。3、地下水、土壤环境监测本项目地下水、土壤跟踪监测方案见下表：表表 4-29地下水跟踪监测方案地下水跟踪监测方案监测点位监测指303、标监测频次执行标准污水站旁绿化带地下水质量标准(GB/T14848-2017)表 1中的 37 项一年/次地下水质量标准(GB/T14848 2017)化学品库旁绿化带对照点表表 4-30土壤跟踪监测方案土壤跟踪监测方案监测点位采样深度(m)监测指标监测频次执行标准生产车间旁绿化带00.2土壤基本 45项+pH+氟化物一年/次土壤环境质量 建 设用地土壤污染物风 险管控标准(试行)(GB36600-2018)第二类用地风险筛选值废水站旁的绿化带00.2化学品库旁的绿化带00.2 128 4.2.6 生态生态经分析，本项目不新增用地，且周边无生态环境保护目标，项目实施对生态环境影响较小。4.2.304、7 环境风险预测与评价环境风险预测与评价本环评事故风险评价不包括人为破坏和自然灾害引发的事故，主要考虑可能对厂区外敏感点和周围环境造成污染的危害事故，假想事故应当是可能对厂区外敏感点和周围环境造成最大影响的可信事故。1、建设项目风险源调查根据建设单位提供的原辅材料，对照建设项目环境风险评价技术导则（HJ 169-2018），具体风险源基本情况见表 4-31。表表 4-31建设项目风险源调查表建设项目风险源调查表序号原料名称年消耗量/产生量（t）最大储存量（t）临界量 Q（t）q/Q136%盐酸0.80.27.50.027225%氨水20.5100.050340%氢氟酸1.370.1410.14305、0465%硝酸2.20.5570.079595%硫酸100.5100.050685%磷酸40.5100.050730%过氧化氢40.5500.0108丙酮0.00480.0048100.0009二甲苯2.5860.6465100.06510显影废液0.90.9100.09011漂洗废液0.90.9100.09012乙醇废液1.21.22000.00613废酸9.069.062000.04514氢氧化钠10.51000.00515废活性炭等危险废物30.37.5500.150合计0.857注：根据建设项目环境风险评价技术导则(HJ 169-2018)中附录 B 表 B.1 突发环境事件风险物质及306、临界量，表 B.1 中没有的，参照企业突发环境事件风险分级方法(HJ941-2018)附录 A 突发环境事件风险物质及临界量清单中 391-危害水环境物质(慢性毒性类别：慢性 2)，临界量取 200t。2、环境风险物质与临界量比值（Q）129 计算所涉及的每种危险物质在厂界内的最大存在总量与其在建设项目环境风险评价技术导则（HJ 169-2018）附录 B 中对应临界量的比值 Q。当只涉及一种危险物质时，计算该物质的总量与其临界量比值，即为 Q；当存在多种危险物质时，则按下式计算物质总量与其临界量比值（Q）：Q=q1/Q1+q2/Q2+qn/Qn式中：q1，q2，qn每种危险物质的最大存在总量307、，t；Q1，Q2，Qn每种危险物质的临界量，t。当 Q1 时，该项目环境风险潜势为 I。当 Q1 时，将 Q 值划分为：（1）1Q10；（2）10Q100；（3）Q100。由上表可知，Q1，因此可直接判断企业环境风险潜势为。(3)评价等级根据 建设项目环境风险评价技术导则(HJ169-2018)，环境风险潜势为，项目风险评价工作等级为简单分析。表表 4-32评价工作等级划分表评价工作等级划分表环境风险潜势、+评价工作等级一二三简单分析*是相对于详细评价工作(4)环境敏感目标本项目环境风险潜势为，仅开展简单分析。根据现场踏勘，项目厂界外500m 范围内无自然保护区、风景名胜区、居住区居住区、文化308、区和农村地区中人群较集中的区域等保护目标。3、风险识别及风险事故情形分析根据对建设单位各功能单元的功能特征及污染物特性分析，项目环境危险源主要为原料仓库、危废暂存库、生产车间、污水站等风险单元。主要环境风险事故有火灾事故、泄漏事故、废气和废水处理设施超标排放事故等。污染特征主要表现为大气环境污染、水环境污染及土壤污染等。另外具体事故类型及其环境污染特征见表 4-33。130 表表 4-33项目环境风险识别结果项目环境风险识别结果危险单元涉及风险物质可能影响环境的途径原料仓库及车间氨水、硫酸、硝酸、氢氟酸、磷酸、双氧水、丙酮、光刻胶、显影液泄漏以及火灾、爆炸等引起的伴生/次生污染物排放危险废物仓309、库显影废液、废碱液、废酸、废混合酸、乙醇废液、去胶废液等各种危险废物泄漏及火灾、爆炸等引起的 伴生/次生污染物排放生产车间酸雾、氨气、非甲烷总烃等废气处理设施故障导致废气 超标排放污水处理站COD、SS、氨氮、TN、TP、石油类、氟化物等废水处理设施故障导致废水污染物超标排放4、环境风险分析经识别，本项目涉及的主要风险物质为：盐酸、氨水、双氧水、硫酸、硝酸、氢氟酸、磷酸、二甲苯（光刻胶、显影液中的成分）、废显影液、去胶废液、废酸等。含有挥发分的风险物质挥发会产生有机废气进入大气环境，导致周围大气环境中相应污染物浓度增高，造成环境空气质量污染；遇明火、火花则可能发生火灾爆炸事故，同时燃烧产生烟尘310、SO2、NOX等废气进入大气环境，导致周围大气环境中相应污染物浓度增高，造成环境空气质量污染。本项目风险物质如发生泄漏或者厂内发生火灾事故，泄漏废液、消防废水等如拦截不当则可能会进入周围水环境中，会导致受纳水体环境中相应污染物浓度增高，造成水环境质量污染。另厂区发生泄漏以及火灾、爆炸事故也可能会导致有毒有害物质渗透入土壤中，造成土壤、地下水污染。5、环境风险防范措施针对本项目可能发生的环境风险事故，提出以下风险防范措施：1）工程设计防范措施（1）工程总图布置严格执行建筑设计防火规范(GB50016-2014)和其它安全卫生规范的规定，合理划分功能分区，并充分考虑风向因素、安全防护距离、消防和311、疏散通道以及人货分流等问题，有利于安全生产。各设备间距、构筑物间距必须满足防火规范要求；项目的平面布局时，应充分考虑厂区内道路情况，并与厂外道路相连，道路通畅，有利于安全疏散和消防。131（2）根据建筑设计防火规范(GB50016-2014)和装置生产的火灾危险性分类的不同，进行建筑物的防火设计；封闭场所设置强制通风装置。2）贮运工程风险防范措施危险化学品运输应委托有资质单位进行运输，装运前需报有关部门批准，运输车辆必须具有“三证”(危险品运输资格证、危险品运输从业人员资格证、危险品押运员证)，运输车辆上还需要安装GPS定位系统，让车辆处于动态监控之下，运输车辆应配备相应品种和数量的消防器材及312、泄漏应急处理设备。运输时所用的车辆应有接地链，槽内可设孔隔板以减少震荡产生静电。严禁与氧化剂、食用化学品等混装混运。运输途中应防曝晒、雨淋，防高温。中途停留时应远离火种、热源、高温区。装运该物品的车辆排气管必须配备阻火装置，禁止使用易产生火花的机 械设备和工具装卸。公路运输时要按规定路线行驶，勿在居民区、地表水体附近停留。还应制定危险化学品的使用、进出库记录工作，加强管理，规范员工操作，避免在储运环境造成环境风险事故。3）危化品厂区内转运风险防范措施建设单位甲类库独立于生产车间，位于生产车间南侧约 270m，靠近生产废水处理设施。要求企业制定完善的化学品管理制度，并严格执行。做好化学品的采购、313、贮存、转运、使用、回收处理等全过程管理。化学品从化学品库转移至使用地点的过程，应有两人同时作业，一人负责化学品的搬运，一人携带应急物资，同时注意观察道路情况，避免撞击、颠簸等意外情况。搬运危化品时，搬运人员应做好个人防护。4）危化品泄漏应急防范措施疏散泄漏污染区人员至安全区，禁止无关人员进入污染区，建议应急处理人员戴好面罩，穿化学防护服。合理通风，不要直接接触泄漏物，勿使泄漏物与可燃物质(木材、纸、油等)接触，在确保安全情况下堵漏。喷水雾减慢挥发(或扩散)，但不要对泄漏物或泄漏点直接喷水。用沙土、干燥石灰或苏打灰混合，然后收集运至废物处理场所处置。如大量泄漏，利用围堤收容，然后收集、转移、回收314、或无害处理后交有资质单位处理。132 5）危险废物暂存设施风险防范应急措施对于厂内危废暂存库而言，风险影响主要为雨水进入危废仓库造成对区域地表水和土壤的影响。若危废仓库周围截排水措施不到位或未建，下雨水时将可能导致雨水进入危废仓库。此时对区域环境的影响主要体现在产生的淋浸液进入水体造成环境污染，若大量雨水进入危废仓库，还会造成危险废物冲刷流失，污染附近土壤环境。建设单位应在危废仓库的设计和建设中聘请正规的设计单位进行设计、施工，落实各项安全xx措施，并在危废仓库周围修截排水措施，对周围产生的雨水进行截流疏导，并在危废仓库的日常管理中定期对其运行情况进行安全检查，一旦发现问题，应立即停产检查，确315、保危废仓库安全可靠地运行。6）大气环境风险防范措施(1)对全厂特气进行全过程管理，针对每种特气泄漏的紧急响应程序，定期进行特气泄漏的培训和演练。特气运行管理人员必须取得危险化学品管理安全资质、压力容器及压力管道作业资质，另外相关人员还需要经过专业的特气设备操作维护运行及异常处理的专业培训后方可上岗作业。(2)各类特种气体均单独存放在独立区域内，在特种气体钢瓶阀门连接处等易发生泄漏处，设置气体抽风装置，并持续抽风形成微负压，气体抽风装置根据不同气体性质连接至厂内系统相应的废气处理装置，确保泄漏气体得到有效处置。(3)车间内设置有毒有害气体在线监控系统。(4)加强废气处理设施管理，确保废气处理设施316、正常运行以及废气达标排放。一旦发生废气设施故障或非正常运行情况，立即停止生产，安排维修人员进行维修。7）废水事故性排放防范措施（1）设专职xx人员进行管理及保养废水处理，定期对各污水处理系统进行巡检、调节、保养和维修，及时更换易坏或破损零部件，使之能长期有效地处于正常的运行之中；重要工段的泵件及风机等设备均设置备用，以降低事故发生的机 133 率。（2）废水处理站出水口设置截断阀，当废水处理站运转不正常时立刻关闭，切断废水事故性排放时整个废水处理和收集系统与厂内排水系统的联系，杜绝事故排放直接排入污水管道，避免对污水处理厂的冲击。（3）重视维护及管理各股废水处理系统，管道衔接应防止泄漏污染地下317、水。8）事故应急池项目应急池容积参照化工建设项目环境保护设计规范(GB50483-2009)和中石化集团以xx石化建标200643 号文印发的水体污染防控紧急措施设计导则要求计算，公式如下：V总=（V1+V2-V3）max+V4+V5式中：V1-收集系统范围内发生事故的一罐组或一套装置的物料量，m3。本项目化学品均为小包装桶式包装，按不利情况4L 计算。V2-发生事故的储罐或装置的消防水量，m3。根据建筑设计防火规范(GB50016-2014)和消防给水及消火栓系统技术规范(GB50974-2014)，本项目消火栓设计流量按 35L/s 考虑，火灾持续时间 1h，计算得出 V2=126m3。V318、3-发生事故时可以转输到其他储存或处理设施的物料量，m3。本项目不涉及，即V3=0。V4-发生事故时仍必须进入该收集系统的生产废水量，m3。根据电子工程环境保护设计规范(GB50814-2013)相关规定，事故池的设计应符合下列规定：事故池有效容积不宜小于最大一种废水处理能力 6h 的排水量。本项目最大一股废水为清洗废水，产生量为4.4m3/d，6h 排水量为1.9m3。V5发生事故时可能进入该收集系统的降雨量，m3。V5=10qFq 降雨强度，mm；按平均日降雨量；q=qa/nqa年平均降雨量，mm；取 1437.9mm；n年平均降雨日数，d；取 156.2d；134 F必须进入事故废水收集319、系统的雨水汇水面积，ha。本项目生产厂房位于租赁建筑的三、四层，甲类库、危废暂存库独立于生产厂房，因此本项目事故时雨水汇水面积按占地汇水面积计算，为 0.313ha。计算得出 V5=28.8m3。V总=0.04+126+1.9+28.8=156.74m3根据项目平面布置，拟在厂区南侧污水站西建设一个容量为 400m3（10m10m4m）的应急池。经调查，项目所在园区未配套相应事故应急系统(含消防废水截流收集系统和雨水排放口截留阀)。建议园区统一建设事故应急系统；园区所有的雨水排放口均设置截留阀，以满足园区内同类企业事故应急需要。建设单位应根据 xx省应急管理厅 xx省生态环境厅关于加强工业企业320、xx设施安全生产工作的指导意见（浙应急基础2022143 号）相关要求，把xx设施安全落实到生产经营工作全过程各方面，建立xx设施台账和维护管理制度，对xx设施操作、危险作业等相关岗位人员开展安全操作规程、风险管控、应急处置等专项安全培训教育。要依法依规开展xx设施安全风险辨识管控和隐患排查治理，定期进行安全可靠性鉴定，设置必要的安全监测监控系统和联锁保护，严格日常安全检查。要严格执行吊装、动火、登高、有限空间、检维修等危险作业审批制度，落实安全隔离措施，实施现场安全监护，配齐应急处置装备，确保xx设施安全、稳定、有效运行。9）风险事故应急预案根据关于印发xx省企业突发环境事件应急预案编制导则321、（浙环办函2015146 号）等技术规范的通知、危险废物经营单位编制应急预案指南中规定，建设单位应委托专业咨询机构或自行组织预案编制小组按以下程序开展应急预案编制工作，环境应急预案需报当地生态环境部门备案。应急预案主要内容见表 4-34。表表4-34应急预案纲要应急预案纲要序号项目内容及要求 135 1总则包括编制目的、编制依据、工作原则、事件分级、应急预案体系2基本情况 综合基本情况调查内容，简要描述企业基本情况调查结论3环境风险识别包括环境风险物质识别、生产工艺与环境风险控制水平、环境风险等级、环境风险单元、环境风险辨识等4应急能力建设依据应急能力评估，结合企业环境风险辨识内容，归纳企业环322、境应急能力，提出环境应急能力建设计划与目标5组织机构和职责明确应急组织机构的构成、一般由应急指挥部、应急功能小组等构成，并尽可能以结构图的形式表述。规定应急组织体系中各部门的应急工作职责、协调管理范畴、负责解决的主要问题和具体操作步骤等。6预防、预警及信息报告1、建立健全预案体系企业应该根据生产实际，及时修订综合环境应急预案，根据 环境风险单元及生产工艺的变化情况，必要时制定新增风险的重点岗位现场处置预案。2、环境风险监控企业定期对自身环境安全状况进行排查，对存在的环境安全 隐患及时进行整改。汇总分析自查情况，形成环境安全风险源管理台账。对重点废气、废水排放点位进行例行监测，分析汇总数据。3、323、预警根据环境风险监控状况、或有关部门提供的预警信息进行预警，明确预警的条件、方式、方法和信息发布的程序。4、信息报告信息接收与通报：明确24小时应急值守电话、事件信息接收、通报程序和责任人。信息上报：明确事件发生后向上级主管部门、上级单位报告事件信息的流程、内容、时限和责任人。信息传递：明确事件发生后向可能受影响的居民和单位，以及请求援助单位通报事件信息的方法、程序和责任人。7应急响应响应分级：根据事件紧急、危害程度和企业控制事态的能力，对应急响应进行分级，根据事件分级明确分级响应的启动标准。响应程序：根据事件级别的发展态势，明确应急指挥机构应急启动、应急资源调配、应急救援、扩大应急等响应程序324、和步骤，并以流程图表示。应急处置：企业应针对不同类型、不同级别的突发环境事件，参照“xx省企业突发环境事件应急预案编制导则”中有关应急处置、专项应急预案和现场处置方案相关内容，编写应急处置流程。每项应急处置流程应根据需要按顺序列出污染源切断、污染源控制、人员紧急撤离和疏散、人员防护监护措施、应急监测、现场洗消、次生灾害防范等应急处置步骤，并明确每个步骤的责任人及联系方式。8信息公开明确向有关新闻媒体、社会公众通报事件信息的部门、负责人和程序以及通报原则。9后期处置1、明确事件污染物处理及环境损害赔偿方案。2、配合有关部门对突发环境事件中的长期环境影响进行评估。3、根据当地xx部门要求，明确开展325、环境恢复与重建工作的内容和程序。10保障措施1、应急通信与信息保障依据突发环境事件分类、分级，明确与环境应急工作相关的单位和人员联系方式及方法。2、应急队伍保障明确环境应急响应的人力资源，包括专业环境应急队伍、兼职环境应急队伍等。3、应急装备保障明确企业的环境应急装备类型、数量、性能、存放位置、运输及使用条件、管理责任人及其联系方式等内容。主要包括应急堵漏设备、应急监测仪器、应急标识标牌和事故污水消纳、处理设施等。4、其他保障根据环境应急工作需求，确定其他相关保障措施(如经费 136 保障、交通运输保障、治安保障、技术保障、医疗保障、后勤保障等)。11预案管理培训：明确对员工开展的应急培训计划326、方式和要求。明确对可能受影响居民和单位的宣传、教育和告知等工作。演练：明确不同类型环境应急预案演练的形式、范围、频次、内容及演练评估、总结等要求，适时组织有关单位对演练进行观摩和交流。评估及修订：明确预案评估、修订、变更、改进的基本要求、时限及采取的方式等，以实现企业环境应急体系的可持续改进。备案：明确预案备案的方式、时限、报备部门以及报备文件目录等。签署发布：企业针对预案真实性及有效性进行审议，通过后由主要负责人签署负责，并发布实施。12现场处置预案根据环境危险较大的重点岗位(包括重点生产岗位、环境风险防控岗位、污染物处 置岗位)和可能发生的突发环境事件类型分析，确定污染源切断、污染物控制327、污染物应急处置的具体操作内容，要与专项应急预案相衔接，制定现场处置程序，以卡片形式置于岗位现场明显位置。重点生产岗位现场处置程序应明确污染物切断应 急响应流程(包括应急信息报告流程，污染源切断措施，现场工作人员应急防护、自救互救程序等)以及各步骤责任人员及联系方式。环境风险防控岗位现场处置程 序应明确污染物控制应急响应流程(包括应急信息报告流程，应急阀门切换流程，污染物扩散监控流程，现场工作人员应急防护、自救互救程序等)以及各步骤责任人员及联系方式。“三废”处置岗位现场处置程序应明确污染物处置应急响应流程(包括应急信息报告流程，“三废”应急处置流程，现场工作人员应急防护、自救互救程序等)以及328、各步骤责任人员及联系方式。13附件1、规范化格式文本；2、关键的路线、标识和图纸，主要包括：(1)企业所处位置图、区域位置及周围环境敏感点分布、位置关系图、本单位及周边区域人员撤离路线图；(2)企业环境风险单元分布图、应急设施(备)分布图、应急监测建议点位图；(3)企业厂区雨水、清净下水、各类污水收集、排放管网图、危险物质运输(输送)路线图；下游 10 公里以内包含城镇(县级)及以上集中式饮用水水源地的企业，还应绘制企业周边饮用水水源地情况示意图。3、环境应急联络表列出企业环境应急指挥部、环境应急功能小组、外部协议援助部门、外部可请求援助部门等环境应急联系人、联系方式。4、有关协议或备忘录列出329、与相关应急救援部门签订的应急救援协议或备忘录。5、环境风险评估报告依据“xx省企业环境风险评估技术指南(第二版)”编制的企业环境风险评估报告。6、应急资源调查报告依据环境应急资源调查指南(试行)编制的企业环境应急资源调查报告。6、风险评价结论根据环境风险事故分析，项目存在的潜在事故风险主要是化学试剂等泄露、爆炸、火灾、废气污染物超标排放等。只要建设单位加强风险管理，认真落实各项风险防范措施，通过相应的技术手段降低风险发生概率；并在风险事故发 137 生后，及时采取风险防范措施及应急预案，将事故风险控制在可以接受的范围内，本项目环境事故风险水平不大，是可以接受的。4.2.8 电磁辐射电磁辐射经分330、析，本项目不涉及电磁辐射内容，无相关要求。4.2.9 xx设施投资估算xx设施投资估算本项目总投资 21000 万元，xx投资预计为 150 万元，占项目总投资的0.71%，具体见表 4-35。表表 4-35本项目xx投本项目xx投资资估算表估算表序号序号类别类别项目项目xx投资xx投资（万元）（万元）1废气治理2 套废气气处理设备，1 套酸性废气处理系统，1 套有机废气处理系统，集气装置，排气筒502废水处理生产废水处理设施、厂区内管网铺设503噪声防治隔声、消声、减振等104固废处置一般工业固废暂存库，危险废物暂存间，废液收集池205风险防范分区防渗、事故应急池、应急物资20合计150建设331、单位应在项目实施和生产过程中留足xx治理资金，确保污染治理装置稳定运行。138 五、环境保护措施监督检查清单内容要素排放口(编号、名称)/污染源污染物项目 环境保护措施执行标准大气环境有组织DA001 酸性废气排放口氨气、HCl、硫酸雾、氟化氢、NOX二级碱喷淋塔大气污染物综合排放标准（GB16297-1996）中表 2 中二级排放标准恶臭污染物排放标准(GB14554-93)中二级新改扩建标准DA002 有机废气排放口二甲苯、NMHC二级活性炭吸附塔大气污染物综合排放标准（GB16297-1996）表 2 二级排放标准无组织-氨气、硫化氢、HCl、氟化氢-大气污染物综合排放标准（GB1629332、7-1996）中表 2 厂界无组织监控浓度限值恶臭污染物排放标准（GB14554-93）地表水环境DW001生产废水排风口pH、COD、SS、TP、TN、氟化物、石油类、LAS酸碱中和+CaCl2沉淀+絮凝沉淀电子工业水污染物排放标准（GB39731-2020）“表 1 水污染物排放限值”中半导体器件的间接标准；其中，NH3-N 执行工业企业废水氮、磷污染物间接排放限值（DB33/887-2013）标准DW002生活污水排放口pH、COD、氨氮、SS、TP、TN化粪池污水综合排放标准（GB8978-1996）表 4 中三级标准；其中，NH3-N、TP 执行工业企业废水氮、磷污染物间接排放限值（333、DB33/887-2013）标准，TN 执行污水排入城镇下水道水质标准(GB/T31962-2015)表 1 中 B 级标准声环境生产设备、风机等效 A 声级选用高效低噪声设备、安装减振底座等工业企业厂界环境噪声排放标准（GB12348-2008）中的 3类标准电磁辐射本项目不涉及电磁辐射，不进行评价。固体废物（1）显影废液、漂洗废液、酸性腐蚀废液、硫酸废液、含氢氟酸废液、磷酸废液、去胶废液、废活性炭炭、沾染危化品的废包装物、废机油、废抹布、废手套等危险废物委托资质单位处置；（2）一般废包装材料收集后出售给物资回收部门进行综合利用；（3）污泥外售，作建材综合利用；（4）纯水制备系统产生的废 RO 膜、废滤芯、废活性炭等由生产厂商定期更换回收；（5）生活垃圾：委托当地环卫部门清运处理；（6）应根据危险废物贮存污染控制标准（GB18597-2001）及修改清单有关要求做好分类收集工作，建设规范