1、 xxxx半导体有限公司xxxx半导体有限公司高性能激光器项目高性能激光器项目（报批稿报批稿环境影响报告书环境影响报告书）xxxx环境建设有限公司xxxx环境建设有限公司二二三年一月二二三年一月高性能激光器项目环境影响报告书 xxxx环境建设有限公司 I xx市xx区上塘路 329 号 目目 录录 1 概述概述.1 1.1 建设项目特点.1 1.2 环境影响评价的工作过程.3 1.3 分析判定相关情况.4 1.4 本环评关注的主要环境问题.7 1.5 环境影响评价的主要结论.7 2 总则总则.8 2.1 编制依据.8 2.2 环境影响因素识别与评价因子筛选.13 2.3 评价标准.14 2.42、 评价工作等级.25 2.5 评价范围及环境敏感区.29 2.6 相关规划及政策符合性分析.32 3 建设项目概况及工程分析建设项目概况及工程分析.49 3.1 基本概况.49 3.2 项目工程分析.54 3.3 清洁生产水平.94 4 环境质环境质量量现现状调查状调查与评价与评价.97 4.1 自然环境概况.97 4.2 环境质量现状与评价.99 4.3 区域污染源调查.114 5 环境影响预测与评价环境影响预测与评价.115 5.1 施工期影响分析.115 5.2 大气环境影响分析.116 5.3 地表水环境影响分析.127 5.4 地下水环境影响分析.132 5.5 声环境影响分析.133、9 5.6 固体废物影响分析.143 5.7 土壤环境影响分析.146 5.8 生态环境影响分析.150 高性能激光器项目环境影响报告书 xxxx环境建设有限公司 II xx市xx区上塘路 329 号 5.9 环境风险影响评价.151 6 环境保护措施及其可行性分析环境保护措施及其可行性分析.164 6.1 废气污染防治措施及可行性分析.164 6.2 地表水污染防治措施及可行性分析.172 6.3 地下水污染防治措施.176 6.4 噪声污染防治措施及可行性分析.177 6.5 固废污染防治措施及可行性分析.178 6.6 土壤保护措施.181 6.7 环境事故风险防范措施和应急管理要求.14、81 6.8 污染防治措施汇总.188 7 环境影响经济损益分析环境影响经济损益分析.190 7.1 xx设施投资估算.190 7.2 经济效益分析.190 7.3 社会效益分析.190 7.4 环境损益分析.190 7.5 小结.191 8 环境管理、监测计划与总量控制环境管理、监测计划与总量控制.192 8.1 环境管理.192 8.2 总量控制和排污许可.193 8.3 排污口设置及规范化管理.196 8.4 环境监测计划.197 8.5 污染物排放清单.199 9 结论与建议结论与建议.204 9.1 基本结论.204 9.2 建设项目环境可行性分析.211 9.3 公众意见采纳情况.5、215 9.4 建议和要求.216 9.5 总结论.216 附图：附图：附图 1 项目所在地地理位置示意图 附图 2 项目周围环境概况 高性能激光器项目环境影响报告书 xxxx环境建设有限公司 III xx市xx区上塘路 329 号 附图 3 项目周边实景图 附图 4 项目生产车间布置图 附图 5 xx区地表水环境功能区划图 附图 6 xx市“三线一单”图集-xx市市辖区环境管控单元分类图 附图 7 xx大xx产业集聚区分区规划结构 附图 8 xx大xx产业集聚区远期（2030 年）土地利用规划图 附图 9 xxxx新区战略规划-土地利用规划图 附图 10-1 项目环境空气、地表水环境监测点位6、示意图 附图 10-2 项目环境噪声、土壤环境监测点位示意图 附件：附件：附件 1 xx省企业投资项目备案（赋码）信息表 附件 2 营业执照和名称变更通知书 附件 3 土地证和厂房租赁合同 附件 4 关于“高性能激光器项目室外附属工程”的协议 附件 5 环境检测报告 附件 6 纳管排放承诺书 附件 7 危险废物处置承诺书 附件 8 建设项目环境保护承诺书 附件 9 环评文件确认书 附件 10 授权委托书 附件 11 报告书信息公开说明材料 附件 12 审批前全文信息公开截图 附件 13 报告书评审会评审意见和修改反馈单 附件 14 专家复核意见和修改反馈单 附表附表：附表 1 建设项目环境影响7、报告书审批基础信息表高性能激光器项目环境影响报告书 xxxx环境建设有限公司 1 xx市xx区上塘路 329 号 1 概述概述 1.1 建设项目特点建设项目特点 1.1.1 项目由来项目由来 xxxx半导体有限公司成立于2021 年 06 月 29 日，注册地位于xx省xx市钱塘新区河庄街道青西二路 1099 号综合楼 602-69 号，经营范围包括一般项目：电子元器件制造，光电子器件销售，电子专用材料制造，半导体器件专用设备制造，技术服务、技术开发、技术咨询、技术交流、技术转让、技术推广，软件开发，5G 通信技术服务（除依法须经批准的项目外，凭营业执照依法自主开展经营活动）。公司曾用名为xx8、集成电路（xx）有限公司，于2021 年 8 月 27 日办理了变更登记（见附件 2）。光电子技术是信息技术的核心技术之一，是继微电子技术之后迅猛发展的又一高新技术。光电子技术几乎覆盖了信息的采集（成像）、信息的传输和显示、信息的存储和处理等信息产业的所有功能，具有强大的生命力和潜力。发展光有源器件，特别是高端激光器芯片，对于我国光通信的发展具有重要的意义。为了市场需要，xxxx半导体有限公司拟 投资10 亿元人民币，租赁xx大xx地产开发有限公司坐落在xx大xx产业集聚区xx片区的厂房为生产场所，具体地址为xx市xx区东围路599 号博潮城 6 幢北一层、二层，建设高性能激光器项目，进行高性9、能激光器芯片的生产。项目分期实施，其中一期年产高性能激光器芯片 300万颗，二期年产高性能激光器芯片 700 万颗，共计 1000 万颗。本项目两期工程内容同步建设，二期增加少量生产设备，增加劳动人员，调整工作制度即可。本项目目前已在xx新区行政审批局进行备案赋码，项目代码2106-330155-89-02-337432（见附件 1）。根据中华人民共和国环境影响评价法、建设项目环境保护管理条例、浙江省建设项目环境保护管理办法（2021 年修订）中的有关规定，本项目应进行环境影响评价，从xx角度论证项目建设的可行性。因此，xxxx半导体有限公司委托xxxx环境建设有限公司进行该项目的环境影响评价10、工作。本项目从事激光器芯片的生产，涉及到中间产品外延片的加工，外延片、激光器芯片分别属于国民经济行业分类（GB/T4754-2017）中的 C 制造业中 C3985 电子专用材料制造和 C3976 光电子器件制造。项目生产工艺涉及到化学镀，对照建设项目环境影响评价分类管理名录（2021 年版），本项目属于“三十六、计算机、通信高性能激光器项目环境影响报告书 xxxx环境建设有限公司 2 xx市xx区上塘路 329 号 和其他电子设备制造业 39”“81 电子元件及电子专用材料制造 398”中的“半导体材料制造”和“80 电子器件制造 397”及“三十、金属制品业 33”“67、金属表面处理及热11、处理加工”的“有电镀工艺的”。按从严规定，判定为报告书。依据xxxx新区“区域环评+环境标准”改革实施方案（xx管办发 201954 号），实施范围为原xx大xx产业集聚区（大xx新区）分区规划环境影响报告书评价范围和大创小镇，未列入环评审批简化管理负面清单且满足环境准入要求的建设项目按照改革方案执行。xx管办发201954 号文件改革不适用以下重污染、高环境风险的行业（负面清单）：（1）环评审批权限在生态环境部、xx省生态环境厅的项目；（2）编制环境影响报告书的电磁类项目和核技术利用项目；（3）新建、扩建省生态环境厅确定的重污染、高环境风险以及严重影响生态的项目；新建、扩建环境功能区划中列入12、三类工业（含工段）的项目；（4）重点污染物（化学需氧量、氨氮、二氧化硫、氮氧化物、挥发性有机物）排放量 0.5 吨/年及以上的项目；（5）涉及重金属项目；（6）生活垃圾处置项目、危险废物处置项目。本项目位于大xx产业集聚区（大xx新区）评价范围内，生产过程中使用到砷化氢，会产生类重金属砷及其化合物；且根据后文计算，本项目二期实施后重点污染物化学需氧量排放量0.5t/a。因此，本报告不作降级处理。我公司接受委托后，组织人员在对项目建设地及其周边进行了现场踏勘、监测和调查等工作的基础上，根据工程项目的环境影响特点，按照相关规范要求，编制了本项目的环境影响报告书（送审稿）。2022 年 8 月 1913、 日，因疫情原因，xx省环境影响评价与环境监理行业协会以视频会议的形式，组织召开了本报告的技术评审会，后环评单位根据技术评审会专家组意见对报告进行了修改完善，形成了报批稿。敬请报批。1.1.2 项目特点项目特点 本项目主要特点有：（1）本项目主要从事高速激光器芯片的生产，最终产品为芯片，生产芯片所用的砷化镓外延片为自行生产，涉及到半导体材料加工。（2）本项目为新建项目，租赁已建成厂房进行生产，只需对租赁厂房进行改造，对甲类库、危废暂存库、一般固废仓库和废水处理设施建设，施工量较少，施工期影响主要为装修过程对环境的影响。高性能激光器项目环境影响报告书 xxxx环境建设有限公司 3 xx市xx区上14、塘路 329 号（3）本项目主要生产工艺有外延、沉积、金属蒸镀、化学镀金、镀透光膜、湿法蚀刻、干法蚀刻、有机溶剂清洗等，产生的废气包括工艺尾气（外延废气、沉积废气）、酸性废气、有机废气，产生的生产废水包括酸洗废水、有机废水、研磨废液、切割清洗废水、纯水制备装置废水、循环冷却系统定期排污水、废气洗涤塔排水等，固体废物主要包括危险废物及其他一般工业固体废物。（4）本项目各项污染物通过采取本环评建议的处理措施处理后，均可做到稳定达标排放，周围环境影响较小。1.2 环境影响评价的工作过程环境影响评价的工作过程 1、第一阶段：（1）按照建设项目环境影响评价技术导则-总纲（HJ2.1-2016）要求，在接15、受企业委托后，研究国家和地方有关环境保护的法律法规、政策、标准及相关规划等，确定项目环境影响评价文件类型。（2）根据项目特点，研究相关技术文件和其他有关文件，明确本项目的评价重点，识别环境影响因素、筛选评价因子，对项目进行初步工程分析。对项目选址地进行实地踏勘，对厂区及周围地区气象、水文、项目所在地周围污染源分布情况进行了调查分析，确定项目环境保护目标、环评工作等级、评价范围和标准。（3）制定工作方案 2、第二阶段：（1）收集项目所在区域环境质量公报，对项目所在区域环境现状资料进行收集和补充监测，并进行分析。（2）根据企业建设内容、同类型企业污染源调查情况，建设单位提供的相关资料，完成建设项目16、工程分析章节，确定项目总量控制指标。（3）收集项目所在地环境特征资料包括自然环境、区域污染源情况，完成环境现状调查与评价章节。（4）根据工程分析，完成大气环境、水环境、声环境、地下水环境、土壤环境等环境要素影响分析、固废影响分析、环境风险分析等章节。3、第三阶段：（1）根据工程分析，完成环境保护措施及可行性论证章节。（2）根据建设项目环境影响情况，完成环境影响经济损益分析、环境管理与监测计划章节的撰写。高性能激光器项目环境影响报告书 xxxx环境建设有限公司 4 xx市xx区上塘路 329 号（3）完成环境影响评价书的编制工作。具体工作流程图见图 1.2-1。环境影响评价委托 依据相关规定确定17、环境影响评价文件类型 1 研究相关技术文件和其他有关文件 2 进行初步工程分析 3 开展初步的环境现状调查 1 环境影响识别和评价因子筛选 2 明确评价重点和环境保护目标 3 确定工作等级、评价范围和评价标准 制定工作方案 环境现状调查 监测与评价 建设项目 工程分析 1 各环境要素环境影响预测与评价 2 各专题环境影响分析与评价 1 提出环境保护措施，进行技术经济论证 2 给出污染物排放清单 3 给出建设项目环境影响评价结论 编制环境影响报告书 第三阶段 第二阶段 第一阶段 图图 1.2-1 环评工作流程环评工作流程 1.3 分析判定相关情况分析判定相关情况 1.3.1 产业政策符合性判定产18、业政策符合性判定 本项目从事高速激光器芯片生产，属于 C3976 光电子器件。对照产业结构调整指导目录（2019 年本）及其 2021 修改决定，属于“二十八、信息产业”-“22、半导体、光电子器件、新型电子元器件（片式元器件、电力电子器件、光电子器件、敏感元器件及传感器、新型机电元件、高频微波印制电路板、高速通信电路板、柔性电路板、高性能覆铜板等）等电子产品用材料”，为鼓励类鼓励类产业；对照外商投资准入特别管理措施（负面清单）（2021 年版）（发展改革委 商务部令 2021 年第 47 号），高性能激光器项目环境影响报告书 xxxx环境建设有限公司 5 xx市xx区上塘路 329 号 本项19、目不属于负面清单项；对照xx市产业发展导向目录与产业平台布局指引（2019）年本和xx区产业发展导向目录与产业平台布局指引（钱政办发 20226 号），本项目属于“电子信息产品制造产业”中“电子专用设备仪器、新型元器件、新型显示器件、电力电子器件、高性能电池、新型传感器、信息功能材料与器件、光电子器件、光机电组件、现代科学仪器设备、变流装置等电子器件的研发和产业化”，为鼓鼓励类励类；对照xx大xx产业集聚区产业指导目录（试行）（大xx管201432号），本项目不属于限制类、淘汰类。综上，本项目建设符合国家、xx市相关产业政策要求。1.3.2 城市规划和土地规划分析判定情况城市规划和土地规划分析20、判定情况 本项目位于xx大xx产业集聚区xx片区，隶属于义蓬组团，规划为大型综合性工业发展基地，根据企业提供的不动产权证书显示，所在地块用地性质为工业用地。因此本项目建设符合xx市城市总体规划要求。本项目从事高性能激光器芯片的生产，属于光电子器件制造，涉及到半导体的应用。项目选址位于xxxx新区战略规划中的四组团的xx半导体与未来产业组团内，位于五大制造集群的半导体集群内。因此项目建设符合xxxx新区战略规划的要求。1.3.3 xx大xx产业集聚区（大xx新区）规划及规划环评分析判定情况xx大xx产业集聚区（大xx新区）规划及规划环评分析判定情况 本项目拟建于xx市xx区东围路599 号博潮城21、，对照规划环评（调整报告）中环境准入条件区块图，属于空间准入标准要求中七区块，根据环境准入条件清单表对照。本项目从事高速激光器芯片的生产，属于电子工业，不属于禁止准入类和限制准入类项目；项目将采用先进的设计理念和生产装备，按照密闭化、自动化、信息化、管道化要求进行设计、安装和生产，并配套完善的“三废”治理设施；本项目能够落实规划环评提出的主要环境影响减缓对策和措施，实施清洁生产，控制废气污染物排放，废水经预处理达标后纳入xx污水处理厂，危险固废无害化处置不外排，严格落实地下水污染防治措施，以减少项目实施对周边环境的影响，符合环境标准清单。因此，本项目建设总体符合xx大xx产业集聚区（大xx新区22、）分区规划环境影响报告书（调整报告）相应要求。1.3.4“三线一单”符合性判定“三线一单”符合性判定 1.生态保护红线 本项目位于xx大xx产业集聚区xx片区，具体地址为xx市xx区东围路高性能激光器项目环境影响报告书 xxxx环境建设有限公司 6 xx市xx区上塘路 329 号 599 号（坐标：东经 1202848.41，北纬 302120.98），此片区原属于xx区大xx产业集居区（大xx新区），该区域位于xx区大xx产业集聚重点管控单元 2（编码：ZH33010920013），周边不涉及自然保护区、风景名胜区、森林公园、湿地公园、地质遗迹保护区、饮用水源保护地等各类保护地及其他河湖滨岸23、带、生态公益林等生态功能极重要、生态功能极敏感的区域，也不涉及风景资源外围保护区、森林公园缓冲区域、饮用水水源外围缓冲保护区、历史文化保护小区、生态保障区、水源涵养与水土保持区、湿地保护区、环境绿带生态保障区、洪水调蓄保障区、江河滨岸带生态保障区等区域的一般生态空间，未触及xx省人民政府关于发布xx省生态保护红线的通知（浙政发201830 号）划定的生态保护红线。2.环境质量底线 本项目所在区域的环境质量底线为：环境空气质量目标为环境空气质量标准（GB3095-2012）二级标准及修改清单，水环境质量目标为地表水环境质量标准（GB3838-2002）类标准，土壤环境质量达到相应的土壤环境功能区24、要求。根据项目区域环境质量现状调查和现状监测数据分析：项目所在区域属于空气质量不达标区，超标因子为臭氧，其他基本污染因子和特征因子满足相应环境标准要求；项目所在区域地表水环境质量现状可以满足类水质标准要求，水环境质量较好；土壤环境质量满足相应土壤环境功能区要求。本项目废水、废气经处理后均能达到相关污染物排放标准，区域环境质量可维持现状，不会明显改变项目所在区域环境功能区质量。因此，本项目的建设不会突破当地环境质量底线。3.资源利用上线 本项目位于已建成工业园区内，生产、生活过程用水、用电等均能通过周边公共设施供应，消耗的水资源相对较小；企业通过内部管理、设备选择、原辅材料的选用和管理、废物回收25、利用、污染治理等多方面采取合理可行的防治措施，以“节能、降耗、减污”为目标，有效地控制污染；本项目单位产品的排水量一期为 3.07m3/片，二期建成后为 2.93m3/片，满足电子工业水污染物排放标准（GB39731-2020）中单位电子产品基准排水量中“6 英寸及以下芯片单位产品的基准排水量为 3.2m3/片”基准排水量指标的要求，因此本项目建设符合能源和水资源利用上线要求。4.生态环境准入清单 本项目所在地属于“萧山区大江东产业集聚重点管控单元 2（编码：ZH33010920013）”，项目从事高性能激光器芯片生产，对照xx省“三线一单”高性能激光器项目环境影响报告书 xxxx环境建设有限26、公司 7 xx市xx区上塘路 329 号 生态环境分区管控方案，属于二类工业项目，不属于市场准入负面清单（2022 年版）禁止准入类项目，也不属于xx大xx产业集聚区产业指导目录（试行）中禁止类及限制类项目，因此本项目符合区域生态环境准入清单。因此，本项目建设符合“三线一单”的准入要求。1.4 本环评本环评关注的主要环境关注的主要环境问题问题 根据本项目的内容及方案，可以确定本项目关注的主要环境问题为：1.废气方面：主要关注项目各类废气的污染因子、污染源强及治理措施，评价污染物排放对区域环境尤其是周边敏感点的影响程度。2.废水方面：主要关注项目生产废水水量、水质及相应的废水收集系统、处理系统，27、评价生产废水污水处理厂可行性和对污水处理厂的负荷冲击。3.噪声方面：主要关注项目运营后园区厂界噪声达标可行性，以及对评价范围内声环境影响程度。4.固废方面：主要关注项目各类固废的处置措施和暂存区设置。5.地下水、土壤方面：主要关注项目不同区域的防渗措施和要求，避免废水、废液进入地下水系统，保护地下水、土壤环境不受影响。6.污染防治措施方面：对本项目拟设xx措施进行经济技术论证，确保污染物达标排放并满足总量控制要求。7.针对项目建设运行情况，对可能发生的事故风险进行环境影响情况分析，提出突发性事故防范对策和环境风险应急预案要求。1.5 环境影响评价的主要结论环境影响评价的主要结论 xxxx半导体28、有限公司高性能激光器项目拟建于xx市xx区东围路599 号，租用已建厂房进行生产经营。项目选址符合xx市城市总体规划、xx大xx产业集聚区（大xx新区）规划及规划环评的要求，符合自然生态红线、环境质量底线、资源利用上线及生态环境准入清单要求。项目的建设符合国家及地方产业政策，污染物排放符合国家、省规定的排放标准及重点污染物排放总量控制指标，符合环境风险防范措施的要求。通过预测，项目实施后能维持当地的环境质量现状。同时，本项目的建设，具有较好的经济效益、环境效益和社会效益。根据建设单位编制的公众参与说明材料，本项目环评期间未收到相关意见及建议。因此，从环境保护角度看，本项目的建设是可行的。高性能29、激光器项目环境影响报告书 xxxx环境建设有限公司 8 xx市xx区上塘路329 号 2 总则总则 2.1 编制依据编制依据 2.1.1 国家相关的法律法规及国家相关的法律法规及文件文件（1）中华人民共和国环境保护法（2014 年修订，2015 年 1 月 1 日施行）；（2）中华人民共和国环境影响评价法（2018 年第二次修正，2018 年 12 月29 日起施行）；（3）中华人民共和国水污染防治法（2017 年修订，2018 年 1 月 1 日起施行）；（4）中华人民共和国大气污染防治法（2018 年 10 月 26 日第三次修正并施行）；（5）中华人民共和国噪声污染防治法（2022 年 30、6 月 5 日施行）；（6）中华人民共和国固体废物污染环境防治法（2020 年第二次修订，2020年 9 月 1 日施行）；（7）中华人民共和国清洁生产促进法（2012 年修订，2012 年 7 月 1 日施行）；（8）中华人民共和国节约能源法（2018 年第二次修正，2018 年 10 月 26 日施行）；（9）中华人民共和国循环经济促进法（2018 年修订，2018 年 10 月 26 日施行）；（10）危险化学品安全管理条例（2013 第二次修订，2013 年 12 月 7 日施行）；（12）建设项目环境保护管理条例（2017 年修订，2017 年 10 月 1 日施行）；（13）排污许31、可管理条例（2021 年 3 月 1 日施行）；（14）国务院关于印发大气污染防治行动计划的通知（国发201337 号，2013 年 9 月 10 日施行）；（15）国务院关于印发水污染防治行动计划的通知（国发201517 号，2015年 4 月 2 日施行）；（16）国务院关于印发土壤污染防治行动计划的通知（国发201631 号，2016 年 5 月 28 日施行）；（17）国务院办公厅关于印发控制污染物排放许可制实施方案的通知（国办发201681 号，2016 年 11 月 10 日）；（18）工矿用地土壤环境管理办法（生态环境部令 第 3 号，2018 年 8 月 1高性能激光器项目环境32、影响报告书 xxxx环境建设有限公司 9 xx市xx区上塘路329 号 日）；（19）环境影响评价公众参与暂行办法（生态环境部令 第 4 号，2019 年 1月 1 日起施行）（20）建设项目环境影响评价分类管理名录（生态xx部令第16 号，2021年 1 月 1 日施行）；（21）关于进一步加强环境影响评价管理防范环境风险的通知（环发201277 号，2012 年 7 月 3 日）；（22）关于切实加强风险防范严格环境影响评价管理的通知（环发201298 号，2012 年 8 月 7 日）；（23）关于印发的通 知（环发2014197 号，2014 年 12 月 30 日）；（24）关于印发33、的通知（环发20154 号，2015 年 1 月 8 日）；（25）关于以改善环境质量为核心加强环境影响评价管理的通知（环环评 2016150 号，2016 年 10 月 26 日）；（26）关于落实实施区域差别化环境准入的指导意见（环环评2016190 号，2016 年 12 月 27 日）；（27）生态环境部关于加强高耗能、高排放建设项目生态环境源头防控的指导意见（环环评202145 号，2021 年 5 月 31 日）；（28）关于印发的通知（环大气 201953 号，2019 年 6 月 26 日）；（29）危险废物转移管理办法（生态环境部 公安部 交通运输部 部令 第 23号 20234、2 年 1 月 1 日）；（30）推动长江经济带发展领导小组关于引发的通知（推动长江经济带发展领导小组办公室文件，长江办 20227 号，2022 年 1 月 19 日）。2.1.2 地方相关的法律法规及文件地方相关的法律法规及文件（1）xx省水污染防治条例（2020 年 11 月 27 日修正）；（2）xx省大气污防治条例（2020 年 11 月 27 日修正）；（3）xx省固体废物污染环境防治条例（2022 年 9 月 29 日修订，2023 年 1高性能激光器项目环境影响报告书 xxxx环境建设有限公司 10 xx市xx区上塘路 329 号 月 1 日施行）；（4）xx省建设项目环境保护35、管理办法（省政府令388 号第三次修改，2021年 2 月 10 日施行）；（5）xx省生态环境保护条例（2022 年 8 月 1 日起施行）；（6）xx省人民政府关于发布xx省生态保护红线的通知（浙政发201830 号，2018 年 7 月 20 日）；（7）xx省人民政府办公厅关于印发xx省排污许可证管理实施方案的通知（浙政办发201779 号，2017 年 7 月 28 日）；（8）xx省生态环境厅关于发布的通知（浙环发201922 号，2019 年 12 月20 日）；（9）xx省生态环境厅关于印发 的通知（浙环发20207 号，2020 年 5 月 23 日）；（10）关于印发xx省36、“十四五”挥发性有机物综合治理方案的通知（浙环发202110 号，2021 年 8 月 17 日）；（11）xx省生态环境厅 关于印发xx省重金属污染防控工作方案的通知（浙环发202214 号，2022 年 6 月 17 日）；（12）关于印发的通知（浙环函2011247 号，2011 年 5 月 13 日）；（13）省发展改革委 省生态环境厅 关于印发的通知（浙发改规划2021204 号，2021 年 5 月 31 日印发）；（14）省发展改革委 省生态环境厅关于印发的通知（浙发改规划2021215 号，2021 年 5 月 31 日印发）；（15）省发展改革委 省生态环境厅关于印发的通知（37、浙发改规划2021215 号，2021 年 5 月 31 日印发）；（16）xx省推动长江经济带发展领导小组办公室 xx省实施细则（浙长江办20226 号，2022 年 3 月 31日）；（17）xx市人民政府关于印发xx市打赢蓝天保卫战行动计划的通知（杭政函2018103 号，2018 年 11 月 28 日）；高性能激光器项目环境影响报告书 xxxx环境建设有限公司 11 xx市xx区上塘路 329 号（18）关于印发的通知（杭环发2015143 号，2015 年 9 月 17 日）；（19）xx市生态环境局关于印发 的通知（杭环发202056 号，2020 年 8 月 18 日）；（2038、）xx市生态环境局 xx市发展和改革委员会关于印发的通知（杭环发202166 号，2021 年 11 月 5 日）；（21）xx市生态环境局关于明确建设项目环评审批及规划环评审查分工的通知（杭环发202173 号，2021 年 12 月 13 日）；（22）xx市生态环境局关于加强低效挥发性有机物治理设施改造升级工作的通知（杭环便函2022192 号）；（23）xx大xx产业集聚区管理委员会办公室关于印发的通知（大xx管办发201838 号）。2.1.3 产业政策及相关产业政策及相关区域区域规划规划 1、产业政策（1）产业结构调整指导目录（2019 年本）（中华人民共和国国家发展和改革委员会令39、第 29 号，2020 年 1 月 1 日起施行）；（2）国家发展改革委关于修改的决定（中华人民共和国国家发展和改革委员会令第 49 号，2021 年 12 月 30 日起施行）；（3）国家危险废物名录（2021 年版）（部令 第 15 号，2021 年 1 月 1 日起施行）；（4）市场准入负面清单（2022 年版）（发改体改规2022397 号，2022年 3 月 12 日）；（5）xx市产业发展导向目录与产业平台布局指引（2019 年本）（杭发改产业2019330 号，2019 年 7 月）；（6）xx区产业发展导向目录与产业平台布局指引（钱政办发20226 号，2022 年 3 月 340、 日）；（7）xx大xx产业集聚区产业指导目录（试行）（大xx管201432号，2014 年 12 月 31 日）。2、区域规划（1）xx省环境空气质量功能区划分方案（xx环境保护局、xx省环境监高性能激光器项目环境影响报告书 xxxx环境建设有限公司 12 xx市xx区上塘路 329 号 测中心站）；（2）xx省人民政府关于xx省水功能区水环境功能区划分方案（2015）的批复（浙政函201571 号，2015 年 6 月 29 日）；（3）xx大xx产业集聚区（大xx新区）分区规划（2015-2030 年）；（4）xx大xx产业集聚区（大xx新区）分区规划环境影响报告书；（5）xx大xx产业41、集聚区（大xx新区）分区规划环境影响报告书“六张清单”调整报告（备案稿）。2.1.4 技术导则与规范技术导则与规范（1）建设项目环境影响评价技术导则 总纲（HJ2.1-2016）；（2）环境影响评价技术导则 大气环境（HJ2.2-2018）；（3）环境影响评价技术导则 地表水环境（HJ2.3-2018）；（4）环境影响评价技术导则 声环境（HJ2.4-2021）；（5）环境影响评价技术导则 生态影响（HJ19-2022）；（6）环境影响评价技术导则 地下水环境（HJ610-2016）；（7）建设项目环境风险评价技术导则（HJ169-2018）；（8）环境影响评价技术导则 土壤环境（试行）（HJ42、964-2018）；（9）建设项目危险废物环境影响评价指南（xx部公告2017 年 第 81 号）；（10）环境空气质量评价技术规范（试行）（HJ663-2013）；（11）环境空气质量监测点位布设技术规范（试行）（HJ664-2013）；（12）污染源源强核算技术指南 准则（HJ884-2018）；（13）排污许可证申请与核发技术规范 总则（HJ942-2018）；（14）排污许可证申请与核发技术规范 电子工业（HJ1031-2019）；（15）排污许可证申请与核发技术规范 工业固体废物（试行）（HJ1200-2021）；（16）排污单位自行监测技术指南 总则（HJ819-2017）；（1743、）工业企业土壤和地下水自行监测技术指南（试行）（HJ1209-2021）；（18）固体废物鉴别标准 通则（GB34330-2017）；（19）一般工业固体废物贮存和填埋污染控制标准（GB18599-2020）；（20）危险废物收集 贮存 运输技术规范（HJ2025-2012）；（21）危险废物鉴别标准 通则（GB5085.7-2019）。2.1.5 项目技术文件及其它项目技术文件及其它 高性能激光器项目环境影响报告书 xxxx环境建设有限公司 13 xx市xx区上塘路 329 号（1）xx新区行政审批局xx省企业投资项目备案（赋码）信息表（代码：2106-330155-89-02-33743244、）；（2）生产废水处理设施、废气处理设施设计方案；（3）xxxx半导体有限公司提供的其它相关资料；（4）xxxx半导体有限公司委托xxxx环境建设有限公司编制本报告的技术委托合同。2.2 环境影响环境影响因素识别因素识别与与评价因子评价因子筛选筛选 2.2.1 环境影环境影响因响因素素识别识别 项目利用已租赁车间、场地内进行实施，施工期仅为设备安装和生产废水处理设施施工安装，施工量较小，对环境基本不产生影响，因此本环评只对营运期的生产进行识别，利用矩阵法进行环境影响要素识别，具体见表 2.2-1。表表 2.2-1 环境影响因素识别表环境影响因素识别表 影响类型影响类型 影影响阶段响阶段 及环境45、要素及环境要素 影响性质影响性质 影响范围影响范围 影响程度影响程度 有有利利 不不利利 可可逆逆 不不可可逆逆 短短期期 长长期期 直直接接 间间接接 累累积积 非非累累积积 小小 中中 大大 较较小小 一一般般 明明显显 营运期环境影响 环境空气 地表水 地下水 声环境 土壤 事故风险 2.2.2 评价因子识别评价因子识别 根据项目污染源特点及周边区域环境特征的分析，确定各环境影响要素的评价因子见表 2.2-2。表表 2.2-2 评价因子一览评价因子一览表表 环境要素环境要素 现状评价因子现状评价因子 影响评价因子影响评价因子 大气环境 基本污染物：SO2、NO2、PM10、PM2.5、C46、O、O3；其他污染物：砷、氟化物、氯化氢、氯、硫酸、非甲烷总烃 粉尘、砷及其化合物、非甲烷总烃、硫酸雾、氯化氢、磷酸雾、氟化物、氯气、氮氧化物、氨、甲醇、异丙醇、DMF、丙酮 地表水环境 pH、溶解氧、CODMn、CODCr、BOD5、氨氮、石油类、氟化物、总磷 CODCr、SS、氟化物、TP、TN、NH3-N 地下水环境 基本因子：pH、氨氮、硝酸盐、亚硝酸盐、挥发酚、氰化物、砷、汞、铬（六价）、总硬度、溶解性总固体、铅、氟化物、镉、铁、锰、耗氧量、硫酸盐、氯化物、总大肠菌群、细菌总数；八大阴阳离子：K+、Na+、Ca2+、Mg2+、CO32-、HCO3-、CODMn、氟化物 高性能激光器项47、目环境影响报告书 xxxx环境建设有限公司 14 xx市xx区上塘路 329 号 Cl-、SO42-声环境 等效连续声级 Leq（A）等效连续声级 Leq（A）固体废物-危险废物、一般固废 土壤环境 建设用地：重金属和无机物：砷、镉、铬（六价）、铜、铅、汞、镍；挥发性有机污物：四氯化碳、氯仿、氯甲烷、1,1-二氯乙烷、1,2-二氯乙烷、1,1-二氯乙烯、顺-1,2-二氯乙烯、反-1,2-二氯乙烯、二氯甲烷、1,2-二氯丙烷、1,1,1,2-四氯乙烷、1,1,2,2-四氯乙烷、四氯乙烯、1,1,1-三氯乙烷、1,1,2-三氯乙烷、三氯乙烯、1,2,3-三氯丙烷、氯乙烯、苯、氯苯、1,2-二氯苯、48、1,4-二氯苯、乙苯、苯乙烯、甲苯、间二甲苯+对二甲苯、邻二甲苯；半挥发性有机物：硝基苯、苯胺、2-氯酚、苯并a蒽、苯并a芘、苯并b荧、苯并k荧蒽、二苯并a,h蒽、茚并1,2,3-cd芘、萘；特征因子：pH、石油烃、氟化物。砷 农用地：pH、镉、汞、砷、铅、铬、铜、镍、锌 2.3 评价标准评价标准 2.3.1 环境功能区划环境功能区划（1）空气环境质量功能区划 根据xx省环境空气质量功能区划分，本环评区域环境空气质量为二类功能区，执行环境空气质量标准（GB3095-2012）二级标准和关于发布（GB3095-2012）修改单的公告（生态环境部公告 2018 年 第 29 号）要求。（2）水环境49、质量功能区划 地表水 本项目附近水体为钱江直河，根据xx省水功能区水环境功能区划分方案（2015），钱江直河未进行水环境功能区划分，周边地表水为四工段直河、永丰河和六工段直河、头蓬直河、生产湾，属于xx江水系（见附图5），水功能区为萧绍河网xx工业、农业用水区，水环境功能区为工业、农业用水区，目标水质为类。本项目废水纳入xx污水处理厂，xx污水处理厂尾水排入xx江；相邻xx江水系为xx 191；根据关于印发xx省近岸海域环境功能区划（调整）的通知，该排放口位置属于xx江口三类区（C02），该功能区的海水水质保护目标为三类水质标准。地下水 本项目位于xx大xx产业集聚区东片区，为河口围涂而成，地50、下水为冲积海积层孔隙潜水，水质为微咸水，没有利用价值。项目区域地下水尚未划分功能区，高性能激光器项目环境影响报告书 xxxx环境建设有限公司 15 xx市xx区上塘路 329 号 参照使用功能进行评价，地下水质量标准执行地下水质量标准（GB/T14848-2017）中的类环境功能区。（3）声环境质量功能区划 本项目所在地声功能未作划分。项目位于工业区内。根据规划环评，工业园区属于声环境质量标准（GB3096-2008）中 3 类声环境功能区。2.3.2 环境质量标准环境质量标准和污染物排放标准和污染物排放标准 1.环境质量标准（1）环境空气 根据环境空气质量功能区划，评价范围内的六项常规污染物51、以及氮氧化物、砷、氟化物环境空气质量执行环境空气质量标准（GB3095-2012）中的二级标准；非甲烷总烃采用大气污染物综合排放标准详解中规定的一次值浓度；其他特征污染物氨、丙酮、甲醇、硫酸、氯、氯化氢、五氧化二磷环境空气质量执行环境影响评价技术导则大气环境（HJ2.2-2018）附录 D 其他污染物空气质量浓度参考限值。详见下表 2.3-1。表表 2.3-1 环境空气质量标准环境空气质量标准 序号序号 污染因子污染因子 平平均均时间时间 浓度浓度限值限值 单位单位 标准来源标准来源 1 二氧化硫（SO2）年平均 60 g/m3 环境空气质量标准（GB3095-2012）二级标准 24 小时平52、均 150 1 小时平均 500 2 二氧化氮（NO2）年平均 40 24 小时平均 80 1 小时平均 200 3 一氧化碳（CO）24 小时平均 4 mg/m3 1 小时平均 10 4 臭氧（O3）日最大 8 小时平均 160 g/m3 1 小时平均 200 5 颗粒物（粒径小于等于 10m、PM10）年平均 70 24 小时平均 150 6 颗粒物（粒径小于等于2.5m、PM2.5）年平均 35 24 小时平均 75 7 氮氧化物（NOX）年平均 50 24 小时平均 100 1 小时平均 250 8 砷（As）年平均 0.006 9 氟化物（F）1 小时平均 20 24 小时平均 7 53、月平均 1.8/3.0 g/（dm3高性能激光器项目环境影响报告书 xxxx环境建设有限公司 16 xx市xx区上塘路 329 号 植物生长季平均 1.2/2.0 d）10 非甲烷总烃 一次值 2.0 mg/m3 大气污染物综合排放标准详解 11 氨 1 小时平均 200 g/m3 环境影响评价技术导则大气环境（HJ2.2-2018）附录 D 12 丙酮 1 小时平均 800 13 甲醇 1 小时平均 3000 日均值 1000 14 硫酸 1 小时平均 300 15 氯 1 小时平均 100 日均值 30 16 氯化氢 1 小时平均 50 日均值 15 17 五氧化二磷 1 小时平均 15054、 日均值 50 18 DMF 一次值 0.03 mg/m3 前苏联 CH245-71 昼夜均值 0.03 19 异丙醇 一次值 0.6 昼夜均值 0.6 注：适用于牧业区和以牧业为主的半农半牧区，蚕桑区；适用于农业和林业区。（2）水环境 地表水 根据xx省水功能区水环境功能区划分方案（2015），该区域地表水执行地表水环境质量标准（GB3838-2002）类水质标准，具体标准值见表 2.3-2。表表 2.3-2 地表水环境质量标准地表水环境质量标准（单位：单位：mg/L，pH 为无量纲）为无量纲）序序号号 项目项目 I 类类 II 类类 III 类类 类类 类类 1 pH（无量纲）69 2 D55、O 饱和率90%（或7.5）6 5 3 2 3 高锰酸钾指数 2 4 6 10 15 4 化学需氧量（COD）15 15 20 30 40 5 五日生化需氧量（BOD5）3 3 4 4 10 6 氨氮（NH3-N）0.15 0.5 1.0 1.5 2.0 7 总磷（以P计）0.02（湖、库 0.01）0.1（湖、库 0.025）0.2（湖、库0.05）0.3（湖、库 0.1）0.4（湖、库 0.2）8 总氮（湖、库，以 N 计）0.2 0.5 1.0 1.5 2.0 9 氟化物（以 F-计）1.0 1.0 1.0 1.5 1.5 10 石油类 0.05 0.05 0.05 0.5 1.0 近岸56、海域 依据xx省近岸海域环境功能区划（调整）（2001 年），xx污水处理厂污水排放口所处xx湾区域为三类环境功能区，执行海水水质标准（GB3097-1997）高性能激光器项目环境影响报告书 xxxx环境建设有限公司 17 xx市xx区上塘路 329 号 第三类标准，具体见表 2.3-3。表表 2.3-3 海水水质海水水质标准标准（单位：单位：mg/L，pH 为无量纲）为无量纲）序序号号 项目项目 第一类第一类 第二类第二类 第三类第三类 第四类第四类 1 pH（无量纲）7.88.5 同时不超过该海域正常变动范围的 0.2pH单位 6.88.8 同时不超过该海域正常变动范围的0.5pH单位 257、 DO 6 5 4 3 3 化学需氧量（COD）2 3 4 5 4 生化需氧量（BOD5）1 3 4 5 5 无机氮（以 N 计）0.20 0.30 0.40 0.50 6 非离子氨（以 N 计）0.020 7 活性磷酸盐（以 P 计）0.015 0.030 0.045 8 石油类 0.05 0.30 0.50 地下水 本项目所在区域地下水尚未划分功能区，参考规划环评，参照执行地下水质量标准（GB/T14848-2017）类标准，具体见表 2.3-4。表表 2.3-4 地下水质量标准地下水质量标准 序号序号 指标指标 类类 类类 类类 类类 类类 1 pH（无量纲）6.5pH8.5 5.5pH58、6.5 8.5pH9.0 pH9.0 2 总硬度（以 CaCO3计）/（mg/L）150 300 450 650 650 3 溶解性总固体/（mg/L）300 500 1000 2000 2000 4 硫酸盐/（mg/L）50 150 250 350 350 5 氯化物/（mg/L）50 150 250 350 350 6 铁/（mg/L）0.1 0.2 0.3 2.0 2.0 7 锰/（mg/L）0.05 0.05 0.10 1.50 1.50 8 挥发性酚类（以苯酚计）/（mg/L）0.001 0.001 0.002 0.01 0.01 9 耗氧量（CODMn法，以 O2计）/（mg/L）59、1.0 2.0 3.0 10.0 10.0 10 氨氮（以 N 计）/（mg/L）0.02 0.10 0.50 1.50 1.50 11 亚硝酸盐（以 N 计）/（mg/L）0.01 0.10 1.00 4.80 4.80 12 硝酸盐（以 N 计）/（mg/L）2.0 5.0 20.0 30.0 30.0 13 氰化物/（mg/L）0.001 0.01 0.05 0.1 0.1 14 氟化物/（mg/L）1.0 1.0 1.0 2.0 2.0 15 砷/（mg/L）0.001 0.001 0.01 0.05 0.05 16 汞/（mg/L）0.0001 0.0001 0.001 0.002 60、0.002 17 铬（六价）/（mg/L）0.005 0.01 0.05 0.10 0.10 18 铅/（mg/L）0.005 0.005 0.01 0.10 0.10 19 镉/（mg/L）0.0001 0.001 0.005 0.01 0.01 20 总大肠菌群/（MPN/100mL 或CPU/100mL）3.0 3.0 3.0 100 100 21 菌落总数（CPU/mL）100 100 100 1000 1000（4）声环境 高性能激光器项目环境影响报告书 xxxx环境建设有限公司 18 xx市xx区上塘路 329 号 项目所在区域声环境执行声环境质量标准（GB3096-2008）中 61、3 类声环境功能区标准。具体指标见表 2.3-5。表表 2.3-5 声环境质量标准声环境质量标准 单位：单位：dB（A）时段时段 声环境功能区类别声环境功能区类别 昼间昼间 夜间夜间 3 类 65 55（5）土壤环境 本项目评价范围用地涉及建设用地和农用地，其中建设用地主要是工业用地，土壤环境质量执行土壤环境质量 建设用地土壤污染风险管控标准（试行）（GB36600-2018）第二类用地筛选值标准；农用地土壤环境质量执行土壤环境质量 农用地土壤污染风险管控标准（试行）（GB15618-2018）中的风险筛选值，具体指标见表 2.3-6 和表 2.3-7。表表 2.3-6 土壤环境质量标准值土壤62、环境质量标准值（单位：单位：mg/kg）GB36600-2018 序号序号 污染物项目污染物项目 CAS 编号编号 筛选值筛选值 管制值管制值 第一类用地第一类用地 第二类用地第二类用地 第一类用地第一类用地 第二类用地第二类用地 重金属和无机物 1 砷 7440-38-2 20 60 120 140 2 镉 7440-43-9 20 65 47 172 3 铬（六价）18540-29-9 3.0 5.7 30 78 4 铜 7440-50-8 2000 18000 8000 36000 5 铅 7439-92-1 400 800 800 2500 6 汞 7439-97-6 8 38 33 63、82 7 镍 7440-02-0 150 900 600 2000 挥发性有机物 8 四氯化碳 56-23-5 0.9 2.8 9 36 9 氯仿 67-66-3 0.3 0.9 5 10 10 氯甲烷 74-87-3 12 37 21 120 11 1,1-二氯乙烷 75-34-3 3 9 20 100 12 1,2-二氯乙烷 107-06-2 0.52 5 6 21 13 1,1-二氯乙烯 75-35-4 12 66 40 200 14 顺-1,2-二氯乙烯 156-59-2 66 596 200 2000 15 反-1,2-二氯乙烯 156-60-5 10 54 31 163 16 二氯64、甲烷 75-09-2 94 616 300 2000 17 1,2-二氯丙烷 78-87-5 1 5 5 47 18 1,1,1,2-四氯乙烷 630-20-6 2.6 10 26 100 19 1,1,2,2-四氯乙烷 79-34-5 1.6 6.8 14 50 20 四氯乙烯 127-18-4 11 53 34 183 21 1,1,1-三氯乙烷 71-55-6 701 840 840 840 22 1,1,2-三氯乙烷 79-00-5 0.6 2.8 5 15 高性能激光器项目环境影响报告书 xxxx环境建设有限公司 19 xx市xx区上塘路 329 号 23 三氯乙烯 79-01-6 65、0.7 2.8 7 20 24 1,2,3-三氯丙烷 96-18-4 0.05 0.5 0.5 5 25 氯乙烯 75-01-4 0.12 0.43 1.2 4.3 26 苯 71-43-2 1 4 10 40 27 氯苯 108-90-7 68 270 200 1000 28 1,2-二氯苯 95-50-1 560 560 560 560 29 1,4-二氯苯 106-46-7 5.6 20 56 200 30 乙苯 100-41-4 7.2 28 72 280 31 苯乙烯 100-42-5 1290 1290 1290 1290 32 甲苯 108-88-3 1200 1200 120066、 1200 33 间二甲苯+对二甲苯 108-38-3,106-42-3 163 570 500 570 34 邻二甲苯 95-47-6 222 640 640 640 半挥发性有机物 35 硝基苯 98-95-3 34 76 190 760 36 苯胺 62-53-3 92 260 211 663 37 2-氯酚 95-57-8 250 2256 500 4500 38 苯并a蒽 56-55-3 5.5 15 55 151 39 苯并a芘 50-32-8 0.55 1.5 5.5 15 40 苯并b荧蒽 205-99-2 5.5 15 55 151 41 苯并k荧蒽 207-08-9 55 67、151 550 1500 42 218-01-9 490 1293 4900 12900 43 二苯并a,h蒽 53-70-3 0.55 1.5 5.5 15 44 茚并1,2,3-cd芘 193-39-5 5.5 15 55 151 45 萘 91-20-3 25 70 255 700 石油烃类 1 石油烃（C10-C40）-826 4500 5000 9000 注：具体地块土壤中污染物检测含量超过筛选值，但等于或者低于土壤环境背景值（见 3.6）水平的，不纳入污染地块管理。土壤环境背景值可参见附录 A。表表 2.3-7 农用地土壤污染风险筛选值（基本项目）农用地土壤污染风险筛选值（基本项目68、）（单位：单位：mg/kg，pH 为无量纲）为无量纲）序号序号 项目项目 风险筛选值风险筛选值 pH5.5 5.5 pH6.5 6.57.5 1 镉 水田 0.3 0.4 0.6 0.8 其他 0.3 0.3 0.3 0.6 2 汞 水田 0.5 0.5 0.6 1.0 其他 1.3 1.8 2.4 3.4 3 砷 水田 30 30 25 20 其他 40 40 30 25 4 铅 水田 80 100 140 240 其他 70 90 120 170 5 铬 水田 250 250 300 350 其他 150 150 200 250 6 铜 果园 150 150 200 200 其他 50 569、0 100 100 高性能激光器项目环境影响报告书 xxxx环境建设有限公司 20 xx市xx区上塘路 329 号 7 镍 60 70 100 190 8 锌 200 200 250 300 2.污染物排放标准（1）废气 根据企业提供设计资料，企业生产车间所在建筑楼层高度约 27m，外延废气通过30m 高排气筒 DA001 排放；酸性废气（包括干法蚀刻废气、湿法蚀刻废气、酸液清洗废气、化学镀金废气）、沉积废气通过 35m 高排气筒 DA002 排放；有机废气通过 35m高排气筒 DA003 排放；一般废气通过 35m 高排气筒 DA004 排放。外延废气排气筒（DA001）外延废气主要污染物为70、颗粒物（粉尘）、非甲烷总烃、砷化氢、硫化氢，其中粉尘、非甲烷总烃执行大气污染物综合排放标准（GB16297-1996）中“表 2 新污染源大气污染物排放限值”二级排放限值要求；砷化氢、溴化氢排放浓度参照执行上海大气污染物综合排放标准（DB31/933-2015）中“表 1 大气污染物项目排放限值”和“附录 A 固定源大气污染物名录及有组织排放限值”。酸性废气、沉积废气排气筒（DA002）酸性废气主要污染物有硫酸雾、氯化氢、氟化物、NOX、氯气、粉尘、磷酸雾、溴化氢、乙酸、乙烯、硅烷、氨等。本项目属于电子工业，设有化学镀工序，化学镀工序废气并入酸性废气处理装置中进行处理，电子工业无废气行业排放标71、准。根据电镀污染物排放标准（GB21900-2008），其适用范围为“电镀企业和拥有电镀设施企业”，因此酸性废气中的硫酸雾、氯化氢、氟化物、NOX排放浓度执行电镀污染物排放标准（GB21900-2008）中“表 5 新建企业大气污染物排放限值”，排放速率参照执行大气污染物综合排放标准（GB16297-1996）中“表 2 新污染源大气污染物排放限值”二级排放限值要求。非甲烷总烃、氯气、粉尘执行大气污染物综合排放标准（GB16297-1996）中“表 2 新污染源大气污染物排放限值”二级排放限值要求；磷酸雾、溴化氢、乙酸、乙烯参照执行上海大气污染物综合排放标准（DB31/933-2015）中“表72、 1 大气污染物项目排放限值”和“附录 A 固定源大气污染物名录及有组织排放限值”；硅烷的排放浓度参照执行荷兰排放导则；氨、臭气浓度执行恶臭污染物排放标准（GB14554-93）中二级标准。高性能激光器项目环境影响报告书 xxxx环境建设有限公司 21 xx市xx区上塘路 329 号 有机废气排气筒（DA003）有机废气主要污染物为非甲烷总烃、甲醇、NMP、丙酮、异丙醇、DMF、丁酮、氨等。非甲烷总烃、甲醇执行 大气污染物综合排放标准（GB16297-1996）中“表 2 新污染源大气污染物排放限值”二级排放限值要求；NMP、丙酮、异丙醇、DMF、丁酮参照执行上海大气污染物综合排放标准（DB373、1/933-2015）中“表 1 大气污染物项目排放限值”和“附录 A 固定源大气污染物名录及有组织排放限值”；氨、臭气浓度执行恶臭污染物排放标准（GB14554-93）中二级标准。一般废气排气筒（DA004）本项目部分设备抽风过程中可能存在微量废气经过管道、接口等泄漏至生产车间，该部分泄漏的废气经整体车间空调换风系统收集后，与一般排风系统收集的一般废气、高温排气一起经风管引至楼顶由排气筒（DA004）高空排放，主要污染物为硫酸雾、氯化氢、磷酸雾、氟化物、溴化氢、乙酸、乙烯、甲醇、NMP、丙酮、异丙醇、DMF、丁酮、非甲烷总烃、氨等，其中硫酸雾、氯化氢、氟化物执行电镀污染物排放标准（GB21974、00-2008）中“表 5 新建企业大气污染物排放限值”；磷酸雾、溴化氢、乙酸、乙烯参照执行上海大气污染物综合排放标准（DB31/933-2015）中“表 1 大气污染物项目排放限值”和“附录 A 固定源大气污染物名录及有组织排放限值”；非甲烷总烃、甲醇执行大气污染物综合排放标准（GB16297-1996）中“表 2 新污染源大气污染物排放限值”二级排放限值要求；NMP、丙酮、异丙醇、DMF、丁酮参照执行上海大气污染物综合排放标准（DB31/933-2015）中“表 1 大气污染物项目排放限值”和“附录 A 固定源大气污染物名录及有组织排放限值”；氨、臭气浓度执行 恶臭污染物排放标准（GB1475、554-93）中二级标准。本项目各大气污染物有组织排放标准见表 2.3-8。表表 2.3-8 本项目大气污染物本项目大气污染物有组织有组织排放标准排放标准 排气筒编号排气筒编号 污染物污染物 最最高高允允许许排放排放浓度浓度（mg/m3）最高允许排放速率最高允许排放速率 标准来源标准来源 排排气气筒筒（m）排放速率排放速率（kg/h）DA001 颗粒物（粉尘）120 30 23 大气污染物综合排放标准（GB16297-1996）非甲烷总烃 120 30 53 砷化氢 1.0-0.0036 上海大气污染物综合排放标准（DB31/933-2015）磷化氢 1.0-0.022 DA002 氮氧化物 76、200 35 6.0 排放浓度：电镀污染物排放标准（GB21900-2008）；氟化物 7 35 0.80 高性能激光器项目环境影响报告书 xxxx环境建设有限公司 22 xx市xx区上塘路 329 号 硫酸雾 30 35 11.9 排放速率：大气污染物综合排放标准（GB16297-1996）氯化氢 30 35 2.0 氯气 65 35 1.89 大气污染物综合排放标准（GB16297-1996）颗粒物（粉尘）120 35 31 非甲烷总烃 120 35 77 磷酸雾 5.0-0.55 上海大气污染物综合排放标准（DB31/933-2015）溴化氢 5.0-0.144 乙酸 80-乙烯 20-77、硅烷 5.0-荷兰排放导则 氨气-35 27 恶臭污染物排放标准（GB14554-93）臭气浓度（无量纲）-35 15000 DA003 非甲烷总烃 120 35 77 大气污染物综合排放标准（GB16297-1996）甲醇 190 35 40 NMP 80-上海大气污染物综合排放标准（DB31/933-2015）丙酮 80-异丙醇 80-DMF 20-2-丁酮 80-氨气-35 27 恶臭污染物排放标准（GB14554-93）臭气浓度（无量纲）-35 15000 DA004 氟化物 7 35 0.80 排放浓度：电镀污染物排放标准（GB21900-2008）；排放速率：大气污染物综合排放标准78、（GB16297-1996）硫酸雾 30 35 11.9 氯化氢 30 35 2.0 非甲烷总烃 120 35 77 大气污染物综合排放标准（GB16297-1996）甲醇 190 35 40 磷酸雾 5.0-0.55 上海大气污染物综合排放标准（DB31/933-2015）溴化氢 5.0-0.144 乙酸 80-NMP 80-丙酮 80-异丙醇 80-DMF 20-2-丁酮 80-氨气-35 27 恶臭污染物排放标准（GB14554-93）臭气浓度（无量纲）-35 15000 注：GB16297-1996 中 30m 高排气筒排放速率通过内插法计算得出。本项目厂界无组织污染物执行大气污染物综79、合排放标准（GB16297-1996）中“表 2 新污染源大气污染物排放限值”有关“无组织排放监控浓度限值”和恶臭污染物排放标准（GB14554-93）中“表 1 恶臭污染物厂界标准值”的二级新扩改建标高性能激光器项目环境影响报告书 xxxx环境建设有限公司 23 xx市xx区上塘路 329 号 准，具体排放标准见表 2.3-9。表表 2.3-9 本项目大气污染物本项目大气污染物无无组织组织排放标准排放标准 污染物污染物 无组织排放无组织排放监控监控浓度浓度限值限值 标准来源标准来源 监控点监控点 浓度（浓度（mg/m3）氮氧化物 周界外浓度最高点 0.12 大气污染物综合排放标准（GB16280、97-1996）颗粒物（粉尘）1.0 硫酸雾 1.2 氟化物 20g/m3 氯气 0.40 氯化氢 0.20 甲醇 12 非甲烷总烃 4.0 氨 1.5 恶臭污染物排放标准（GB14554-93）臭气浓度（无量纲）20 厂区内 VOCs 无组织排放监控点浓度应符合 挥发性有机物无组织排放控制标准（GB37822-2019）附录 A 表 A.1 厂区内 VOCs 无组织排放限值中特别排放限值的要求。具体见表 2.3-10。表表 2.3-10 厂区内厂区内 VOCs 无组织排放限值（单位无组织排放限值（单位：mg/m3）污染项目污染项目 排放限值排放限值 特别特别排放限排放限值值 限值含限值含义义81、 无组织排放监控位置无组织排放监控位置 NMHC 10 6 监控点处 1h 平均浓度值 在厂房外设置监控点 30 20 监控点处任意一次浓度值（2）废水 本项目排水系统采用雨污分流制，雨水汇集后直接排入附近的雨水管网。企业生产废水经自建生产废水处理设施处理后、生活污水经园方隔油池、化粪池预处理后，一并接入管网送xx污水处理厂处理。厂区内生活污水和生产废水完全隔绝。根据生态环境部关于行业标准中生活污水执行问题的回复：“橡胶制品工业污染物排放标准（GB27632-2011）和 电池工业污染物排放标准（GB 30484-2013）均在“排水量”定义中明确外排废水包括厂区生活污水，主要考虑是防范与生产82、相关的厂区生活污水中混入行业特征污染物，以及生产废水经由生活污水排水管道排放等情况的发生。为此，相关企业的厂区生活污水原则上应当按行业排放标准进行管控。若生活与生产废水完全隔绝，且采取了有效措施防止二者混排等风险，这类生活污水可按一般生活污水管理”，因此本项目生产废水纳管标准执行电子工业水污染物排放标准（GB39731-2020）“表 1 水污染物排放限值”中半导体器件的间接标准和xx污水处理厂的纳管标准中较严者；生活污水执行xx污水处理厂的纳管标准。临 江 污 水 处 理 厂 出 水 水 质 执 行 城 镇 污 水 处 理 厂 污 染 物 排 放 标 准 高性能激光器项目环境影响报告书 xx83、xx环境建设有限公司 24 xx市xx区上塘路 329 号（GB18918-2002）中的一级 A 标准要求。具体见表 2.3-11表 2.3-12。表表 2.3-11 本项目生产废水接管标准（单位：本项目生产废水接管标准（单位：mg/L，pH 为无量纲）为无量纲）污染物名称污染物名称 电子工业水污染物排电子工业水污染物排放标准放标准（GB39731-2020）xx污水处理厂企业进xx污水处理厂企业进管控制标准管控制标准 最终确定本项目生最终确定本项目生产废水接管标准值产废水接管标准值 pH 6.09.0 610 69 SS 400 400 400 石油类 20 25 20 CODCr 50084、 500 500 BOD5-B/C0.25-NH3-N 45 35 35 TN 70 70 70 TP 8.0 8.0 8.0 氟化物 20 20 20 注：xx污水处理厂企业纳管控制标准根据萧水务 201020号关于同意实施xx东部地区排污企业并网要求的批复。氨氮和总磷的纳管标准参照工业废水氮、磷污染物间接排放限值（DB33/887-2013）中的限值。总氮执行污水排入城镇下水道水质标准（GB/T31962-2015）中70 mg/L。表表 2.3-12 xx污水处xx污水处理厂进管标准和排放标准理厂进管标准和排放标准（单位：（单位：mg/L，pH 为为无量无量纲纲）污染物名称污染物名称 进85、进管管标准标准 排放标准排放标准 城镇污水处理厂污染物排放标准城镇污水处理厂污染物排放标准（GB18918-2002）中的一级）中的一级 A 标准要求标准要求 pH 610 69 CODCr 500 50 NH3-N 35 2.5*TN 70 15 TP 8.0 0.5 SS 400 10 石油类 25 1 BOD5 B/C0.25 10 注：*根据相关管理部门的要求，xx污水处理厂氨氮最终出水水质标准为：氨氮2.5mg/L。本项目单位产品基准排水量执行 电子工业水污染物排放标准（GB39731-2020）中表 2 的相关要求，见表 2.3-13。表表 2.3-13 电子工业水污染物排放标准（86、电子工业水污染物排放标准（GB39731-2020）表）表 2 适用企业适用企业 产品规格产品规格 单位产品基准排水量单位产品基准排水量 半导体器件 6 英寸及以下芯片 3.2m3/片（3）噪声 本项目施工期场界噪声执行 建筑施工场界环境噪声排放标准（GB12523-2011）中的标准，具体标准限值见表 2.3-14。高性能激光器项目环境影响报告书 xxxx环境建设有限公司 25 xx市xx区上塘路 329 号 表表 2.3-14 建筑施工场界环境噪声建筑施工场界环境噪声排放标准排放标准（单位：单位：dB（A）昼昼间间 夜间夜间 70 55 本项目营运期园区厂界噪声执行工业企业厂界环境噪声排放87、标准（GB12348-2008）中的 3 类标准。详见表 2.3-15。表表 2.3-15 工业企业厂界环境噪声排放标准工业企业厂界环境噪声排放标准 单位：单位：dB（A）时段时段 厂界外声环境功能区类别厂界外声环境功能区类别 昼间昼间 夜间夜间 3 类 65 55（4）固废 本项目一般工业固体废物采用库房、包装工具（罐、桶、包装袋等）贮存，按照中华人民共和国固体废物污染环境防治法的工业固体废物管理条款要求执行，其贮存场所应满足防渗漏、防雨淋、防扬尘等环境保护要求，不得形成二次污染。固体废物根据固体废物鉴别标准 通则（GB34330-2017）进行判定，危险废物分类执行国家危险废物名录（20288、1 版），收集、贮存、运输等过程应符合危险废物贮存污染控制标准（GB18597-2001）及其修改单（环境保护部公告 2013 年第 36 号）、危险废物收集贮存运输技术规范（HJ2025-2012）等标准要求，并符合xx省危险废物产生和经营单位“双达标”创建工作方案（浙环发201219 号）要求；一般工业固废贮存场应参照执行 一般工业固体废物贮存和填埋污染控制标准（GB18599-2020）中的相关规定。2.4 评价工作等级评价工作等级 1.大气环境 根据环境影响评价技术导则大气环境（HJ2.2-2018）计算其最大落地浓度占标率 Pi（下标 i 为第 i 个污染物），Pi 的定义为：%1089、00=iiCCiP 式中：Pi第 i 个污染物的最大地面空气质量浓度占标率，%；Ci采用估算模型计算出的第 i 个污染物的最大 1h 地面空气质量浓度，g/m3；C0i第 i 个污染物的环境空气质量浓度标准，g/m3。一般选用 GB 3095 中 1h平均质量浓度的二级浓度限值，如项目位于一类环境空气功能区，应选择相应的一级浓度限值；对该标准中未包含的污染物，使用 5.2 确定的各评价因子 1h 平均质量浓度限值。对仅有 8h 平均质量浓度限值、日平均质量浓度限值或年平均质量浓度限值的，高性能激光器项目环境影响报告书 xxxx环境建设有限公司 26 xx市xx区上塘路 329 号 可分别按 290、 倍、3 倍、6 倍折算为 1h 平均质量浓度限值。大气环境影响评价工作等级的划分判据见表 2.4-1。表表 2.4-1 评价工作级别评价工作级别 评价工作等级评价工作等级 评价工作分级评价工作分级判据判据 一级评价 Pmax10%二级评价 1%Pmax10%三级评价 Pmax1%（1）评价因子和评价标准筛选 评价因子和评价标准表见表 2.4-2。表表 2.4-2 评价因子和评评价因子和评价标价标准表准表 序序号号 评价因子评价因子 平均时段平均时段 标准值（标准值（g/m3）标准来源标准来源 1 PM10 1 小时平均 450 按 GB3095-2012 二级标准值中 24小时平均值的 3 91、倍取 2 砷 0.036 按 GB3095-2012 二级标准值中年均值的 6 倍取 3 氟化物 20 GB3095-2012 二级标准值中 1 小时平均值 4 氨 200 HJ2.2-2018 附录 D 5 丙酮 800 6 甲醇 3000 7 硫酸 300 8 氯 100 9 氯化氢 50 10 磷酸雾 150 参照 HJ2.2-2018 附录 D 中五氧化二磷 1 小时平均取 11 非甲烷总烃 2000 大气污染物综合排放标准详解 12 DMF 30 前苏联 CH245-71 13 异丙醇 600（2）估算模型参数 估算模型参数表见表 2.4-3。表表 2.4-3 估算模型参数表估算模型92、参数表 参数参数 取值取值 城市/农村选项 城市/农村 城市（规划区）人口数（城市选项时）76.9 万人（xx区人口）最高环境温度/k 310 最低环境温度/k 250 土地利用类型 城市 区域湿度条件 湿 是否考虑地形 考虑地形 是 否 地形数据分辨率/m 90 是否考虑岸线熏烟 考虑岸线熏烟 是 否 岸线距离/km 2.24 高性能激光器项目环境影响报告书 xxxx环境建设有限公司 27 xx市xx区上塘路 329 号 岸线方向/79（3）计算结果 本项目分期建设，部分工序二期建成后全厂污染物排放速率较一期时大，本环评以二期建成后全厂废气污染物源强进行预测。本环评采用三捷公司 AERSCR93、EEN 估算模式对本项目外排主要污染物进行评价等级判定，估算模型预测结果见下表。表表 2.4-4 本项目废气本项目废气污染源估算模型污染源估算模型计算结果表计算结果表 排放源排放源 污染物污染物 排放速率排放速率（kg/h）下风向最大下风向最大质量浓度质量浓度（g/m3）占标率占标率（%）最大落地最大落地浓度点浓度点（m）D10%最最远距离远距离（m）评价评价等级等级 DA001 粉尘（按 PM10）0.0002 0.004 9.86E-04 36-三 砷及其化合物（含砷粉尘、砷化氢）0.00016 0.003 8.56E+00-二二 非甲烷总烃（乙烷）0.00002 0.0004 1.93E94、-05-三三 DA002 硫酸雾 0.006 0.069 2.30E-02 44-三三 氯化氢 0.005 0.057 1.15E-01-三 磷酸雾 0.001 0.011 7.64E-03-三 氟化物 0.052 0.594 2.97E+00-二二 氯气 0.047 0.540 5.40E-01-三 NOX（笑气）0.0006 0.007 2.75E-03-三 非甲烷总烃（乙烯、乙酸）0.001 0.011 5.73E-04-三 氨 0.0002 0.002 1.00E-03-三 粉尘 0.00003 0.0003 7.63E-05-三 DA003 非甲烷总烃 0.014 0.242 1.295、1E-02 39-三 甲醇 0.004 0.069 2.30E-03-三 异丙醇 0.003 0.052 8.63E-03-三 DMF 0.004 0.069 2.30E-01-三 丙酮 0.009 0.155 1.94E-02-三 氨 0.0004 0.007 3.45E-03-三 DA004 硫酸雾 0.002 0.018 6.00E-03 47-三 氯化氢 0.001 0.014 2.80E-02-三 磷酸雾 0.0001 0.001 6.67E-04-三 氟化物 0.001 0.013 6.50E-02-三 非甲烷总烃 0.007 0.073 3.65E-03-三 甲醇 0.002 096、.020 6.67E-04-三 异丙醇 0.002 0.016 2.67E-03-三 DMF 0.002 0.020 6.67E-02-三 丙酮 0.004 0.047 5.88E-03-三 氨 0.0002 0.002 1.00E-03-三（4）评价等级确定 由上表可知，项目 DA001 排气筒排放的砷及其化合物 Pi值最大，为 8.56%。对照高性能激光器项目环境影响报告书 xxxx环境建设有限公司 28 xx市xx区上塘路 329 号 环境影响评价技术导则 大气环境（HJ2.2-2008）中“表 1 评价工作等级”的分级判据，确定本项目大气评价等级为二二级级。2.地表水环境 本项目营运后97、外排污水经预处理达标后，纳管排入城市污水处理厂，属于间接排放。根据环境影响评价技术导则 地表水环境（HJ2.3-2018）评价等级判定表规定，确定本项目地表水评价等级为三级三级 B。3.地下水环境 对照环境影响评价技术导则-地下水环境（HJ 610-2016）附录 A，本项目涉及到“K 机械、电子”类中“80、电子真空器件、集成电路、半导体分立器件制造、光电子器件及其他电子器件制造”和“I 金属制品”类中“51、表面处理及热处理加工”，地下水环境影响评价项目类别最高为类。根据现场勘查及收集资料，项目拟建区域不存在集中式饮用水水源准保护区及补给径流区、分散式饮用水水源地、特殊的地下水资源保护区、98、国家或地方政府设定的其他保护区等敏感区，地下水环境敏感程度分级为“不敏感”。因此，确定本项目地下水环境影响评价等级为三级三级。4.声环境 根据环境影响评价技术导则-声环境（HJ2.4-2021）评价等级：建设项目所处的声环境功能区为 GB3096 规定的 3 类、4 类地区，或建设项目建设前后评价范围内声环境保护目标噪声级增高量在 3dB(A)以下不含 3dB(A)，或受影响人口数量变化不大，按三级评价。本项目处于 3 类声环境功能区，200m 评价范围内没有声环境保护目标。根据环境影响评价技术导则声环境（HJ2.4-2021）规定，确定本项目噪声评价等级为三三级级。5.土壤环境 根据环境影响99、评价技术导则土壤环境（试行）（HJ 964-2018）附录 A.1 土壤环境影响评价项目类别，项目属于电子工业，环评从影响途径、影响源、影响因子选取相似类别“金属表面处理及热处理加工的、使用有机涂层的”，项目类别为类；项目占地规模按出租方园区计，出租方园区占地面积约 119470m2，为中型（550hm2）；项目位于工业园区，周边有农田，环境敏感。对照导则中“表 4 污染影响型评价工作等级划分表”（具体见下表），本项目土壤环境评价等级为一一级。级。高性能激光器项目环境影响报告书 xxxx环境建设有限公司 29 xx市xx区上塘路 329 号 表表 2.4-5 污染影响型污染影响型建设项目建设项100、目评价等级评价等级判定表判定表 土地规模土地规模 评价工作等级评价工作等级 敏感程度敏感程度 类类 类类 类类 大大 中中 小小 大大 中中 小小 大大 中中 小小 敏感 一级 一级一级 一级 二级 二级 二级 三级 三级 三级 较敏感 一级 一级 二级 二级 二级 三级 三级 三级-不敏感 一级 二级 二级 二级 三级 三级 三级-注：“-”表示可不开展土壤环境影响评价工作 6.生态环境 根据环境影响评价技术导则 生态影响（HJ19-2022）中评价等级判定：符合生态环境分区管控要求且位于原厂界（或永久用地）范围内的污染影响类改扩建项目，位于已批准规划环评的产业园区内且符合规划环评要求、不涉101、及生态敏感区的污染影响类建设项目，可不确定评价等级，直接进行生态影响简单分析。本项目租赁已建工业区厂房进行建设，项目选址位于已批准规划环评的产业园区内且符合规划环评要求，因此本环评可不确定生态环境评价等级，直接进行生态环境影响简单分析即可，不开展具体的生态现状调查、影响预测与评价。7.环境风险 本项目涉及风险物质较多，但用量较少。按照建设项目环境风险评价技术导则（HJ169-2018）附录 B 计算得出，本项目危险物质数量与临界值比值 Q 值为 0.909，小于 1，判断出该项目环境环境风险风险潜势为潜势为。根据建设项目环境风险评价技术导则（HJ169-2018）“表 1 评价工作等级划分”（102、具体见下表），本项目环境风险仅进行简单分析，在描述危险物质、环境影响途径、环境危害后果、风险防范措施等方面给出定性的说明即可。表表 2.4-6 评评价工价工作等作等级划分级划分 环环境风险潜势境风险潜势+、评价工作等级 一 二 三 简单分析 注：相对于详细评价工作内容而言，在描述危险物质、环境影响途径、环境危害后果、风险防范措施等方面给出定性的说明。2.5 评价范围评价范围及环境敏及环境敏感区感区 2.5.1 评价范围评价范围 根据各环境要素确定的评价等级，结合区域自然环境特征，本项目环境影响评价范围具体见表 2.5-1。高性能激光器项目环境影响报告书 xxxx环境建设有限公司 30 xx市x103、x区上塘路 329 号 表表 2.5-1 本项目本项目环境影响评价范围环境影响评价范围 环境要素环境要素 评价等级评价等级 评价范围评价范围 环境空气 二级 以租赁园区为中心，边长为 5km 的矩形范围，见图 2.5-1。地表水环境 三级 B-地下水环境 三级 以租赁园区为中心，面积 6km2的区域 声环境 三级 租赁园区厂界外 200m 的范围内，见图 2.5-2。生态环境 影响分析-土壤环境 三级 租赁园区占地范围内和占地范围外 1000m 范围内，见图 2.5-2。环境风险 简单分析 不设评价范围。2.5.2 环境敏感区环境敏感区 根据建设项目区域环境功能特征及地理位置和性质，结合建设项104、目所在片区总体规划，确定受本项目影响主要保护目标如下：（1）环境空气：项目所在区域为环境空气质量二类区，执行 环境空气质量标准（GB3095-2012）及 2018 年修改单中的二级标准，应维护区域环境空气质量现状，不因本项目建设导致环境空气质量等级下降。（2）地表水环境：本项目纳污水体钱塘江水质满足海水水质标准（GB3097-1997）第三类标准，不得因本项目建设导致其水环境质量等级下降。（3）声环境：本项目租赁园区厂界 200m 范围内无保护目标。（4）土壤环境：本项目租赁园区厂界外 1000m 范围内有农田等土壤环境敏感点，不得因本项目建设导致其土壤环境质量等级下降。（5）地下水环境：评105、价范围内无地下水保护目标。（6）生态保护环境：本项目位于工业区内，周边农田均为临时农田，规划为工业用地，无桑蚕养殖区，周边无生态保护目标。根据xxxx新区战略规划中土地利用规划图（见附图9），项目周边 2.5km范围内规划敏感点有规划居住区和规划教育科研区。本项目主要保护目标情况见表 2.5-2表 2.3-4。大气环境影响评价范围及保护目标分布见图 2.5-1，声环境、土壤环境评价范围及保护目标分布见图 2.5-2。表表 2.5-2 本本项目主要保护目标分布情况项目主要保护目标分布情况一览表（环境空气）一览表（环境空气）序序号号 敏感目标名称敏感目标名称 坐标（坐标（51R）（）（m）保护对保106、护对象象 保护内容保护内容 相对相对厂址厂址方位方位 与与厂界厂界距离距离（）环境环境功能功能区区 保护要保护要求求 x y 1 现有敏感点 新江村 256254 3360657 居住区 约 580 户/2090 人 西 1365m 环境空气功能区二GB3095-2012 及2018 年修改单2 xx村 256228 3359565 约 560 户/2200 人 西南 1730m 高性能激光器项目环境影响报告书 xxxx环境建设有限公司 31 xx市xx区上塘路 329 号 3 春雷村 260036 3359208 约 530 户/2000 人 东南 2600m 类区 中二级标准 4 河庄xx107、幼儿园 255373 3359488 文化区 师生200人 西南 2520m 5 xx市英才高级中学 255355 3358443-西南 3120m 6 规划敏感点 规划居住区 258278 3360492 居住区-东 420m 7 规划教育科研区 259091 3360225 文化区-东 1160m 注：表中的“方位”以拟建厂址为基准点，“距离”是指保护目标与园区厂界的最近距离。各环境保护目标与厂界距离从天地图中测量得出。表表 2.5-3 本本项目主要保护目标分布情况项目主要保护目标分布情况一览表（地一览表（地表水）表水）环境要环境要素素 名称名称 方位方位 与与厂界距离厂界距离（）保护对象108、保护对象 规模规模 功能特点功能特点 保护要求保护要求 地表水 小河 南 20m 河流 小河 工业、农业用水区 地表水环境质量标准（GB3838-2002）类标准 钱江直河 东 340m 河流 小河 xx江 北 2130m 河流 大河 景观娱乐、渔业用水区 地表水环境质量标准（GB3838-2002）类标准 图图 2.5-1 大气环境影响评价范围及保护目标分布图大气环境影响评价范围及保护目标分布图 大气评价范围大气评价范围 新江村新江村 xxxx村村 春雷村春雷村 1365m 1730m 2600m 340m 租赁园区范租赁园区范围围 2130m 项目位置项目位置 规规划划居居住住区区 规划规109、划教育科研用教育科研用地地 420m 1160m xx市英才高xx市英才高级中学级中学 xx幼儿园xx幼儿园 3120m 2520m 高性能激光器项目环境影响报告书 xxxx环境建设有限公司 32 xx市xx区上塘路 329 号 表表 2.5-4 本本项目主要保护目标分布情况项目主要保护目标分布情况一览表一览表（土壤（土壤环境）环境）环境要素环境要素 名称名称 方位方位 距离距离厂界厂界 环境特性环境特性 保护要求保护要求 土壤环境 农田 北 40m 现状为农田，规划为工业用地 土壤环境质量 农用地土壤污染风险管控标准（试行）（GB15618-2018）风险筛选值标准 东 390m 西南 37110、0m 西 800m 南 600m 现状为农田，规划为工业用地、居住用地 图图 2.5-2 声环境、土壤环境声环境、土壤环境评价范围及保护目标分评价范围及保护目标分布图布图 2.6 相关规划及相关规划及政策符合性分析政策符合性分析 2.6.1xx市城市xx市城市总体规划（总体规划（2001-2020）（）（2016 年修订）年修订）根据xx市城市总体规划（2001-2020 年）（2016 年修订），坚持“城市东扩、旅游西进，沿江开发、跨江发展”的空间策略。延续“一主三副六组团六条生态带”的空间结构，按照尊重现有行政区划、实现规划建设管理城乡全覆盖的原则，加强生态用地和乡镇用地管理，对主城、副城111、组团的范围和内涵进行了优化调整，撤消塘栖组团、新设瓶窑组团，将组团的范围由原来的集中城市化地区扩展到城乡统筹的行政区域。提升主城创新、高端服务等功能，健全副城、组团生活生产功能，结合创新发展、产业转型提升优化产业、居住等用地布局。“一主三副”：即主城和江南城、临平城、xx城三个副城；“双心”：即湖滨、声环境评价声环境评价范围范围 租赁园区厂界租赁园区厂界 土壤环境评土壤环境评价范围价范围 1000m 200m 新江村新江村 xx村xx村 农农田田（规划工业用地）（规划工业用地）农田（规划农田（规划工业用地）工业用地）农田农田（规划（规划工业用地）工业用地）农农田（规划田（规划工业用地）工业用112、地）农田（规划工业用地、居住用地）农田（规划工业用地、居住用地）高性能激光器项目环境影响报告书 xxxx环境建设有限公司 33 xx市xx区上塘路 329 号 武林广场的旅游商业文化服务中心和xx地区钱江北岸城市新中心和钱江南岸城市商务中心；“双轴”：为东西向以xx江为城市生态轴，南北向以主城江南城为城市发展轴；“六大组团”：即xx组团（未来科技城）、良渚组团、瓶窑组团、义蓬组团（大xx新城）、瓜沥组团和临浦组团；“六条生态带”：西南部生态带、西北部生态带、北部生态带、南部生态带、东南部生态带以及东部生态带。义蓬组团（大xx新城）是城市东部大型综合性工业发展基地，东部和东南部为工业区，西部和西113、南部为居住生活区，北部和东部xx地区为生态旅游区。符合性分析符合性分析：本项目位于xx大xx产业集聚区xx片区，隶属于义蓬组团，规划为大型综合性工业发展基地，根据企业提供的不动产权证书显示（见附件 3），所在地块用地性质为工业用地。因此本项目建设符合xx市城市总体规划要求。2.6.2xxxx新区战略规划xxxx新区战略规划 1.规划简述（1）规划范围 xxxx新区包括原xx大xx产业集聚区和xx经济技术开发区，即江干区的xx、白杨两个街道，xx区的河庄、义蓬、新湾、xx、前进5 个街道，以及原杭州大xx产业集聚区规划控制范围内的其他区域（不含党湾镇所辖接壤区域的行政村），总面积 531.7 平114、方公里，常住人口 106 万人。（2）规划期限 规划期限至 2035 年。其中近期至 2025 年，远期至 2035 年，远景展望至 2050 年。（3）目标定位 世界级智能制造产业集群；长三角地区产城融合发展示范区；全省标志性战略性改革开放大平台；xx湾数字经济与高端制造融合创新发展引领区。（4）规划结构 江滩绿谷一江双城四组团。其中四组团为：xx生命健康产业组团、xx半导体与未来产业组团、前进智能交通装备产业组团和xx新材料产业组团。（5）建设高质量发展的创新圈 塑造品牌，建设五大制造集群，探索产业未来布局。高性能激光器项目环境影响报告书 xxxx环境建设有限公司 34 xx市xx区上塘路115、 329 号 五大制造集群为：半导体、生命健康、智能汽车及智能装备、航空航天、新材料。符合性分析：符合性分析：本项目拟建于xx市xx区东围路599 号博潮城，项目选址与xxxx新区战略规划的空间布局位置关系见附图 9。本项目从事高性能激光器芯片的生产，属于光电子器件制造，涉及到半导体的应用。项目选址位于四组团的xx半导体与未来产业组团内，位于五大制造集群的半导体集群内。因此项目建设符合xxxx新区战略规划的要求。2.6.3 xx大xxxx大xx产业集聚区（大xx新区）分区规划、规划环评及符合性分析产业集聚区（大xx新区）分区规划、规划环评及符合性分析 1.xx大xx产业集聚区（大xx新区）分区116、规划（xx大xx产业集聚区（大xx新区）分区规划（2015-2030 年）年）（1）规划范围 xx大xx产业集聚区（大xx新区）分区规划范围：东、西、北均以xx江界线为界，南至红十五线、十二棣横河及绍兴县接壤的北侧河道，西南至xxxx工业园区与xx空港经济开发区的边界线。规划总面积427 平方千米，其中陆域面积 348平方千米，xx江水域面积79 平方千米。地域范围覆盖河庄、义蓬、新湾、xx、前进 5 个街道的行政管辖区域及党湾镇部分用地。（2）产业空间布局引导 大xx产业集聚区形成“一城三园，一心三带”的总体结构。规划依据产业特色、园区规模、配套要求等，形成“四片多园”的工业用地格局。项目所117、在地属于四片区（xx产业片区、前进产业片区、xx产业片区和临空产业片区）中的xx产业片区，属于“7+X”产业园的轨道交通产业园。xx产业片区：重点发展xx先进装备制造园、xx战略新兴产业园等2 处特色产业园区，1 处公铁联运物流园，智慧服务园、总部经济园、花园研发园等 3 处创新单元，职教小镇、高教科研园等 3 处创新策源地。轨道交通产业园：以电气设备制造为特色，打造长三角轨道交通技术研发中心。近期围绕汽车产业园周边进行布局；远期以关键零部件为主加快产业集聚。（3）环境保护规划 环境重点准入区：禁止新、扩建限制类项目，禁止新、改、扩建禁止（淘汰）类项目，严控三类工业项目数量和排污总量；禁止畜禽118、养殖；禁止新建入河排污口，现有的入河排污口应限期纳管；合理规划生活区与工业区，在居住区和工业园、工业企业之间设置隔离带，确保人居环境安全和群众身体健康；最大限度保留区内原有自然高性能激光器项目环境影响报告书 xxxx环境建设有限公司 35 xx市xx区上塘路 329 号 生态系统，保护好河湖湿地生境，严格限制非生态型河湖岸工程建设范围。符合性分析：符合性分析：本项目位于xx产业片区的轨道交通产业园（见附图7），本项目从事高性能激光器芯片生产，属于二类工业项目，不属于xx大xx产业集聚区产业指导目录（试行）中禁止类及限制类项目，同时项目生产废水、生活污水全部纳管，不新增入河排污口，满足“xx区大119、xx产业集聚重点管控单元2（编码：ZH33010920013）”的相关要求。因此本项目符合xx大xx产业集聚区（大xx新区）分区规划要求。2.规划规划环评环评 2018 年由xx省环境科技有限公司编制完成了xx大xx产业集聚区（大xx新区）分区规划环境影响报告书，并通过xx省生态环境厅的审批（批文号：浙环函2018533 号）。2021 年，xx市生态环境局xx分局委托xx省环境科技有限公司承担编制xx大xx产业集聚区（大xx新区）分区规划环境影响报告书结论清单调整报告，对 6 张清单中与“三线一单”管控要求不相符的内容，作适当调整和完善。2021 年 5 月 28 日，xx市生态环境局xx分120、局在xx组织召开xx大江东产业集聚区（大xx新区）分区规划环境影响报告书“六张清单”调整报告技术咨询会，并形成了备案稿。本评价引用xx大xx产业集聚区（大xx新区）分区规划环境影响报告书以及xx大xx产业集聚区（大xx新区）分区规划环境影响报告书“六张清单”调整报告（备案稿）中结论清单，对本项目与规划环评的符合性情况进行分析。规划环评综合结论：xx大xx产业集聚区经过多年的发展现形成化纤、化工、纺织等传统产业为主，汽车、先进装备制造、新能源、新材料、现代物流等新兴战略性产业迅速崛起的产业发展新格局，产业结构不断优化，产业链条逐步延伸，集聚效应日益明显。xx大江东产业集聚区于 2015 年实体化121、运作以来，作为经济增长快、市场容量大的区域，提出实现“智慧大xx、魅力生态城”的战略目标。xx大xx产业集聚区（大xx新区）分区符合国家、xx省和xx市总体发展战略要求，有利于促进区域成为全省经济转型升级的引领区，xx先进制造业主引擎，实现“再造一个xx新城，再造一个xx工业”的目标，也与xx省及xx省主体功能区划、xx市城市总体规划、xx市萧山区土地利用总体规划、xx市国民经济和社会发展第十三个五年规划、xx市十三五环境保护规划等上位规划相一致。高性能激光器项目环境影响报告书 xxxx环境建设有限公司 36 xx市xx区上塘路 329 号 本次规划土地资源、水资源和能源供应能够得到保障；环境122、容量存在短板，通过区域消减可以满足环境质量底线和污染排总量要求。规划实施后对重要环境敏感目标的影响总体不大。立足于xx大xx产业集聚区经济社会发展和资源环境承载，本次规划确定的规划定位、发展目标和产业规划结构较为合理；规划布局总体合理，但xx区块部分需要进一步优化，防止工业区包围居住区；同时分区规划在后期修编过程中应充分考虑与大xx产业聚集环境功能区划的衔接，并给予调整。评价认为，xx大xx产业集聚区（大xx新区）分区在一步优化规划布局、完善生态环境建设规划、强化空间、总量和环境准入、严格执行资源保护和环境影响缓解措施、落实现有问题解决方案后，该规划的实施不会降低区域环境质量。本项目为新建性质123、，属于工业类建设项目。结合本项目情况，节选规划环评中与本项目有关的部分清单，具体为清单 1 生态空间清单、清单 5 环境准入条件清单（部分）进行对照分析。生态空间清单详见表 2.6-1，环境准入条件清单详见表 2.6-2。规划环评规划环评符合性符合性：本项目拟建于xx市xx区东围路599 号博潮城，对照规划环评（调整报告）xx境准入条件区块图，属于空间准入标准要求中七区块，根据环境准入条件清单表对照（表 2.6-2）。本项目从事高速激光器芯片的生产，设有电镀、酸洗等工艺，属于电子工业；参考区域已审批同类项目至芯半导体（xx）有限公司（批文号：杭环钱环评批202081 号）、xx中欣晶圆半导体股124、份有限公司（批文号：杭环钱环评批202242 号）等，本项目不属于禁止准入类和限制准入类项目；项目将采用先进的设计理念和生产装备，按照密闭化、自动化、信息化、管道化要求进行设计、安装和生产，并配套完善的“三废”治理设施；本项目能够落实规划环评提出的主要环境影响减缓对策和措施，实施清洁生产，控制废气污染物排放，废水经预处理达标后纳入xx污水处理厂，危险固废无害化处置不外排，严格落实地下水污染防治措施，以减少项目实施对周边环境的影响，符合环境标准清单。因此，本项目建设总体符合xx大xx产业集聚区（大xx新区）分区规划环境影响报告书（调整报告）相应要求。高性能激光器项目环境影响报告书 xxxx环境建125、设有限公司 37 xx市xx区上塘路 329 号 表表 2.6-1 生生态空间态空间清单（节选）清单（节选）开开发发区内规划区内规划区块区块 生态空生态空间名称间名称编号编号 区块范围示区块范围示意图意图 管控要求管控要求 xx区大xx产业集聚重点管控单元 2 ZH33010920013 1.根据产业集聚区块的功能定位，建立分区差别化的产业准入条件；2.合理规划居住区与工业功能区，在居住区和工业区、工业企业之间设置防护绿地、生活绿地等隔离带；3.严格实施污染物总量控制制度，根据区域环境质量改善目标，削减污染物排放总量；4.所有企业实现雨污分流；5.强化工业集聚区企业环境风险防范设施设备建设和正126、常运行监管，加强重点环境风险管控企业应急预案制定，建立常态化的企业隐患排查整治监管机制，加强风险防控体系建设。表表 2.6-2 环境准入条件清单（节选）环境准入条件清单（节选）区块区块 与三线一单管控分区叠加分与三线一单管控分区叠加分析示意图及说析示意图及说 明明 本次调整本次调整修改后的修改后的准入条件准入条件 分类分类 行行业业清单清单 工艺清单工艺清单 产品清产品清单单 区块七 说明：该区块规划重点发展汽车及零部件、智能机械，本次涉及xx区大xx产业集聚重点管控单元 2（ZH33010920013）禁止准入类产业 新建、扩建火力发电（燃煤）；49、饲料添加剂、食品添加剂制造；75、轮胎制127、造、再生橡胶制造、橡胶加工、橡胶制品制造及翻新；111、纺织品制造（有染整工段的）；114、原油加工、天然气加工、油母页岩提炼原油、煤制原油、生物制油及其他石油制品；117、基本化学原料制造；农药制造；涂料、染料、颜料、油墨及其类似产品制造；合成材料制造；专用化学品制造；炸药、火工及焰火产品制造；水处理剂等制造；（单纯混合或分装外的）；118、肥料制造：化学肥料制造（单纯混合和分装外的）；119、日用化学品制造（单纯混合或分装的除外）；120、化学药品制造；121、化学纤维制造（单纯纺丝除外）；123、轮胎制造、再生橡胶制造、橡胶加工、橡胶制品制造及翻新（轮胎制造；有炼化及硫化工艺的）；131128、铁合金制造；132、有色金属冶炼（含再生有色金属冶炼）；133、有色金属合金制造；135、金属制品表面处理及热处理加工（有电镀工艺的；有钝化工艺的热镀锌）。-高性能激光器项目环境影响报告书 xxxx环境建设有限公司 38 xx市xx区上塘路 329 号-涉及电镀、酸洗、磷化、电化学镀、铸造工艺金属制品制造-单纯的表面喷涂项目；87、黑色金属压延加工；89、有色金属压延加工-55、含湿法印花、染色、水洗工艺的服装制造-距离居住区规划边界 200 米范围内布置溶剂型油漆喷涂项目-禁止危化品货物分拨中心和仓库建设；危险化学品/危险废物仓储（企业配套原料或产品库除外）-废旧资源（含生物质）加工再生、129、利用等-57、制鞋业制造（使用有机溶剂的）；-限制准入类产业-现有氨纶、锦纶等三类项目技改不得增加产能，且污染物削减量不低于区域减排目标。-高性能激光器项目环境影响报告书 xxxx环境建设有限公司 39 xx市xx区上塘路 329 号 2.6.4 xx市“三线一单”生态环境分xx市“三线一单”生态环境分区管控方案区管控方案 本项目位于xx大xx产业集聚区xx片区，具体地址为xx市xx区东围路599 号，此片区原属于xx区大xx产业集居区（大xx新区）。对照xx市“三线一单”生态环境分区管控方案（杭环发202056 号），项目所在地位于xx区大xx产业集聚重点管控单元2（编码：ZH3301092130、0013）内，具体详见附图 6。本项目分区管控符合性分析详见下表。表表 2.6-3 “三“三线一线一单”生单”生态环境态环境分分区区管控符合性分析管控符合性分析 管控单元管控单元编码、名称编码、名称 管控要求管控要求 本项目对照分本项目对照分析析 是否是否符合符合 ZH33010920013xx区大xx产业集聚重点管控单元 2 空间布局约束：根据产业集聚区块的功能定位，建立分区差别化的产业准入条件。合理规划居住区与工业功能区，在居住区和工业区、工业企业之间设置防护绿地、生活绿地等隔离带。项目选址于xx区东围路599 号，该区块以先进制造业为主体，本项目从事电子元件-高速激光器芯片生产，不属于禁131、止、淘汰类项目，符合该区域的功能定位。项目所在地为工业区，与居住区距离较远，中间隔有农田等用地。符合 污染物排放管控：严格实施污染物总量控制制度，根据区域环境质量改善目标，削减污染物排放总量。所有企业实现雨污分流。本项目实施后，将实行雨污分流、污污分流，严格落实污染物总量控制制度，项目废水、废气经处理达标后排放，固体废物实现资源化、无害化处理处置。符合 环境风险管控：强化工业集聚区企业环境风险防范设施设备建设和正常运行监管，加强重点环境风险管控企业应急预案制定，建立常态化的企业隐患排查整治监管机制，加强风险防控体系建设。本项目拟建地不属于沿江河湖库区域，项目实施后，按要求编制突发环境事件应急预132、案并交主管部门备案，建立常态化的企业隐患排查整治监管机制，加强风险防控体系建设，项目建设符合环境风险防控要求。符合 资源开发效率要求。本项目在工业园区内，用电用水供给充裕，消耗的水资源相对较小，在区域资源利用上线的承受范围之内。符合 重点管控对象：大xx产业集聚区/从上表可以看出，项目建设符合xx市“三线一单”生态环境分区管控方案要求。2.6.5xx省“十四五”挥发性有机物综合治理方案符合性分析xx省“十四五”挥发性有机物综合治理方案符合性分析 2021 年 8 月 17 日xx省生态环境厅、xx省发展和改革委员会、xx省经济和信息化厅、xx省住房和城乡建设厅、xx省交通运输厅、xx省市场监督133、管理局、国家税务总局xx省税务局联合发布了xx省“十四五”挥发性有机物综合治理方案（浙环发202110 号），结合本项目特点，对照该方案符合性分析见下表。表表2.6-4 本项目与xx省“十四五”挥发性有机本项目与xx省“十四五”挥发性有机物综合治理方案符合物综合治理方案符合性分析性分析 内容内容 项项目目情况情况 是否是否符合符合 优化产业优化产业结构结构。引导石化、化工、工业涂装、包装印刷、合成革、化纤、纺织印染等重点行业合理布局，限制高 VOCs 排放本项目从事高速激光器芯片的生产，属于电子工业，不符合 高性能激光器项目环境影响报告书 xxxx环境建设有限公司 40 xx市xx区上塘路 3134、29 号 化工类建设项目，禁止建设生产和使用 VOCs 含量限值不符合国家标准的涂料、油墨、胶粘剂、清洗剂等项目。贯彻落实 产业结构调整指导目录国家鼓励的有毒有害原料（产品）替代品目录，依法依规淘汰涉 VOCs 排放工艺和装备，加大引导退出限制类工艺和装备力度，从源头减少涉 VOCs 污染物产生。涉及使用 VOCs 含量限值不符合国家标准的清洗剂、胶粘剂。根据产业结构调整指导目录（2019 年）等文件，本项目不涉及产业禁止或限制的工艺和装备，符合产业政策要求。严格环境严格环境准入准入。严格执行“三线一单”为核心的生态环境分区管控体系，制（修）订纺织印染（数码喷印）等行业绿色准入指导意见。严格执135、行建设项目新增 VOCs 排放量区域削减替代规定，削减措施原则上应优先来源于纳入排污许可管理的排污单位采取的治理措施，并与建设项目位于同一设区市。xx年度环境空气质量达标的区域，对石化等行业的建设项目 VOCs 排放量实行等量削减；xx年度环境空气质量不达标的区域，对石化等行业的建设项目 VOCs 排放量实行 2 倍量削减，直至达标后的下一年再恢复等量削减。经对照，本项目所在地属萧山区大xx产业集聚重点管控单元 2（编码：ZH33010920013），符合xx市“三线一单”生态环境分区管控方案中的相关管控要求。本项目属于电子工业，新增 VOCs 按 1:2 的比例削减替代。符合 大力推进低大力136、推进低 VOCs 含含量原辅材料的源头替代量原辅材料的源头替代。全面排查使用溶剂型工业涂料、油墨、胶粘剂、清洗剂等原辅材料的企业，各地应结合本地产业特点和本方案指导目录，制定低 VOCs 含量原辅材料源头替代实施计划，明确分行业源头替代时间表，按照“可替尽替、应代尽代”的原则，实施一批替代溶剂型原辅材料的项目。加快低 VOCs 含量原辅材料研发、生产和应用，在更多技术成熟领域逐渐推广使用低 VOCs 含量原辅材料，到2025 年，溶剂型工业涂料、油墨、胶粘剂等使用量下降比例达到国家要求。本项目从事高速激光器芯片的生产，属于电子工业，不涉及溶剂型工业涂料、油墨、胶粘剂。项目所属工艺和原材料使用等137、方面都不断更新迭代，项目清洗、光刻等工序涉及有机溶剂，工艺、原材料和废气处理设施均为行业内先进。符合 严格控制无组严格控制无组织排放织排放。在保证安全前提下，加强含 VOCs 物料全方位、全链条、全环节密闭管理，做好 VOCs 物料储存、转移和输送、设备与管线组件泄漏、敞开液面逸散以及工艺过程等无组织排放环节的管理。生产应优先采用密闭设备、在密闭空间中操作或采用全密闭集气罩收集方式，原则上应保持微负压状态，并根据相关规范合理设置通风量；采用局部集气罩的，距集气罩开口面最远处的 VOCs 无组织排放位置控制风速应不低于 0.3 米/秒。对 VOCs 物料储罐和污水集输、储存、处理设施开展排查，督138、促企业按要求开展专项治理。本项目生产车间为洁净车间，整个生产车间实行全封闭。生产车间内根据生产工序不同分为几个相应独立操作间，相关工艺设备分别采用密闭隔离，隔离操作间内抽风，保持操作间内处于负压状态，只有在往设备中添加溶剂时才会短时间打开隔板；同时生产所需的化学溶剂以瓶装或桶装形式储存于厂区甲类库中，待有需要时转运至车间设备前加注或更换。因此，由于本项目生产厂房整体呈微负压状态运行，基本可消除生产车间的无组织排放情况。符合 建设适宜高效的治理设施。建设适宜高效的治理设施。企业新建治理设施或对现有治理设施实施改造，应结合排放 VOCs 产生特征、生产工况等合理选择治理技术，对治理难度大、单一治理139、工艺难以稳定达标的，要采用多种技术的组合工艺。采用活性炭吸附技术的，吸附装置和活性炭应符合相关技术要求，并按要求足量添加、定期更换活性炭。组织开展使用光催化、光氧化、低温等离子、一次性活性炭或上述组合技术等 VOCs 治理设施排查，对达不到要求的，应当更换或升级改造，实现稳定达标排放。到 2025 年，完成 5000 家低效 VOCs 治理设施改造升级，石化行业的 VOCs项目有机废气处理设施采用“水喷淋+除雾器+活性炭吸附”组合工艺，及时更换喷淋用水和活性炭，以确保有机废气能稳定达标排放。符合 高性能激光器项目环境影响报告书 xxxx环境建设有限公司 41 xx市xx区上塘路 329 号 综140、合去除效率达到 70%以上，化工、工业涂装、包装印刷、合成革等行业的 VOCs 综合去除效率达到 60%以上。加强加强治理设施运行管理。治理设施运行管理。按照治理设施较生产设备“先启后停”的原则提升治理设施投运率。根据处理工艺要求，在治理设施达到正常运行条件后方可启动生产设备，在生产设备停止、残留 VOCs 收集处理完毕后，方可停运治理设施。VOCs 治理设施发生故障或检修时，对应生产设备应停止运行，待检修完毕后投入使用；因安全等因素生产设备不能停止或不能及时停止运行的，应设置废气应急处理设施或采取其他替代措施。企业按照治理设施较生产设备“先启后停”的原则提升治理设施投运率。VOCs 治理设施141、发生故障或检修时，对应生产设备应停止运行，待检修完毕后投入使用。符合 由上表可知，本项目建设符合xx省“十四五”挥发性有机物综合治理方案相关要求。2.6.6xx省实施细则xx省实施细则符合性符合性分析分析 2022 年 3 月 31 日xx省推动长江经济带发展领导小组办公室发布了关于印发 xx省实施细则的通知（浙长江办20226 号），与本项目有关的条目对照情况见下表。表表2.6-6 本本项项目与目与长江经济带发长江经济带发展负面清展负面清单指南单指南（试行，（试行，2022年版）xx省年版）xx省实施细则实施细则（摘抄）（摘抄）符合性分析符合性分析 条款条款 文件要求文件要求 项目情况项目情142、况 是否是否符合符合 第十五条 禁止在合规园区外新建、扩建钢铁、石化、化工、焦化、建材、有色、制浆造纸等高污染项目。高污染项目清单参照生态环境部环境保护综合目录 中的高污染产品目录执行。本项目位于xx市xx区东围路599 号博潮城，选址属于xx产业片区的轨道交通产业园，属于xx省长江经济带合规园区清单中的xxxx工业园区；本项目从事高速激光器芯片的生产，属于光电子器件制造，不属于环境保护综合名录（2021 年版）中所列高污染产品名录 符合 第十七条 禁止新建、扩建法律法规和相关政策明令禁止的落后产能项目，对列入 产业结构调整指导目录淘汰类中的落后生产工艺装备、落后产品投资项目，列入 外商投资准143、入特别管理措施（负面清单）的外商投资项目，一律不得核准、备案。禁止向落后产能项目和严重过剩产能行业项目供应土地。本项目属于产业结构调整指导目录（2019 年本）（修正）鼓励类产业，所用生产设备不属于淘汰类中的落后生产工艺装备；本项目不属于外商投资准入特别管理措施（负面清单）（2021年版）中的负面清单内容，且项目已在xx新区行政审批局进行备案赋码。符合 第十八条 禁止新建、扩建不符合国家产能置换要求的严重过剩产能行业的项目。部门、机构禁止办理相关的土地（海域）供应、能评、环评审批和新增授信支持等业务。本项目不属于严重过剩产能行业项目 符合 第十九条 禁止新建、扩建不符合要求的高耗能高排放项目。144、本项目不属于高耗能高排放项目 符合 符合性分析符合性分析：本项目从事高速激光器芯片的生产，项目不属于国家、省、市等落后产能的限制类、淘汰类项目，不属于严重过剩产能行业，产品未列入环境保护综高性能激光器项目环境影响报告书 xxxx环境建设有限公司 42 xx市xx区上塘路 329 号 合目录（2021 年版）的高污染、高环境风险产品目录。本项目拟建于xx产业片区的轨道交通产业园内，属于xx省长江经济带合规园区。综上，本项目的建设符合 xx省实施细则要求。2.6.7挥发挥发性有性有机物无组织排放控制标准机物无组织排放控制标准符合性分析符合性分析 2019 年 5 月 4 日，生态环境部发布了挥发性145、有机物无组织排放控制标准（GB 37822-2019），与本项目有关的条目对照情况见下表。表表2.6-7 挥发性有机物无组织排放控制标准（挥发性有机物无组织排放控制标准（GB37822-2019）符合性分析）符合性分析 类别类别 标准要求标准要求 本项目情况本项目情况 是否是否符合符合 5 VOCs物 料储 存无 组织 排放 控制 要求 5.1 基本 要求 5.1.1 VOCs 物料应储存于密闭的容器、包装袋、储罐、储库、料仓中。本项目涉及VOCs的物料均储存于密闭的容器。符合 5.1.2 盛装VOCs物料的容器或包装袋应存放于室内，或存放于设置有雨棚、遮阳和防渗设施的专用场地。盛装 VOCs146、 物料的容器或包装袋在非取用状态时应加盖、封口，保持密闭。盛装VOCs物料的容器存放于甲类库、生产车间或危废暂存库内，在非取用状态时封口保存，保持密闭。符合 5.1.1.3 VOCs 物料储罐应密封良好，其中挥发性有机液体储罐应符合 5.2 条规定。本项目不涉及储罐。符合 5.1.1.4 VOCs 物料储库、料仓应满足 3.6 条对密闭空间的要求。甲类库、危废暂存库均按封闭式建筑，设置必要的通风口，门窗随时保持关闭状态。符合 6 VOCs物 料转 移和 输送 无组 织排 放控 制要求 6.1 基本 要求 6.1.1 液态 VOCs 物料应采用密闭管道输送。采用非管道输送方式转移液态 VOCs 147、物料时，应采用密闭容器、罐车。采用密闭容器转移液态VOCs物料。符合 6.1.2 粉状、粒状 VOCs 物料应采用气力输送设备、管状带式输送机、螺旋输送机等密闭输送方式，或者采用密闭的包装袋、容器或罐车进行物料转移。本项目不涉及。-6.1.3 对挥发性有机液体进行装载时，应符合6.2条规定。本项目不涉及。-7 工艺 过程VOCs无 组织 排放 控制 要求 7.2 含VOCs产 品的 使用 过程：7.2.1 VOCs 质量占比大于等于 10%的含 VOCs产品，其使用过程应采用密闭设备或在密闭空间内操作，废气应排至 VOCs 废气收集处理系统；无法密闭的，应采取局部气体收集措施，废气应排至 VO148、Cs 废气收集处理系统。含 VOCs产品的使用过程包括但不限于以下作业：g）清洗（浸洗、喷洗、淋洗、冲洗、擦洗等）。本项目采用 NMP、异丙醇、甲醇、乙醇、DMF、丁酮、丙酮等有机溶剂清洗，清洗在密闭空间内操作，废气通过抽风口引至有机废气收集处理系统处理。符合 7.3 其他 要求 7.3.1 企业应建立台账，记录含 VOCs 原辅材料和含 VOCs 产品的名称、使用量、回收量、废弃量、去向以及 VOCs 含量等信息。台账保存期限不少于 3 年。本项目实施后，按照要求建立台账，记录含 VOCs 原辅材料的名称、使用量、废弃量、去向等信息，台账保存期限不少于 3 年。符合 高性能激光器项目环境影响149、报告书 xxxx环境建设有限公司 43 xx市xx区上塘路 329 号 7.3.2 通风生产设备、操作工位、车间厂房等应在符合安全生产、职业卫生相关规定的前提下，根据行业作业规程与标准、工业建筑及洁净厂房通风设计规范等的要求，采用合理的通风量。根据计算，项目有机废气需要风机风量为 2937m3/h。项目拟设置2台风机风量为3000m3/h的变频风机用于有机废气收集，1 用 1备，可以满足相应生产线所需风量要求，项目采用的通风量合理。符合 10 VOCs无 组织 排放 废气 收集 处理 系统 要求 10.1 基 本要求：10.1.1针对VOCs无组织排放设置的废气收集处理系统应满足本章要求。企业150、VOCs废气收集处理系统与生产工艺设备同步运行；VOCs废气收集处理系统发生故障或检修时，对应的生产工艺设备应停止运行，待检修完毕后同步投入使用；生产工艺设备能够及时停止运行。符合 10.1.2 VOCs废气收集处理系统应与生产工艺设备同步运行。VOCs 废气收集处理系统发生故障或检修时，对应的生产工艺设备应停止运行，待检修完毕后同步投入使用；生产工艺设备不能停止运行或不能及时停止运行的，应设置废气应急处理设施或采取其他替代措施。10.2废 气收 集系 统要求：10.2.1 企业应考虑生产工艺、操作方式、废气性质、处理方法等因素，对 VOCs 废气进行分类收集。本项目有机废气主要来自光刻、有机151、溶剂清洗等工序，光刻设备、有机溶剂清洗和冶具清洗分别设置在独立密闭操作区，全程密闭操作，各清洗线废气通过操作间抽风口分别抽取至相应支风管。废气收集系统应在负压下运行。符合 10.2.2 废气收集系统排风罩（集气罩）的设置应符合 GB/T16758 的规定。采用外部排风罩的，应按 GB/T16758、AQ/T4274-2016 规定的方法测量控制风速，测量点应选取在距排风罩开口面最远处的 VOCs 无组织排放位置，控制风速不应低于 0.3m/s（行业相关规范有具体规定的，按相关规定执行）。10.2.3 废气收集系统的输送管道应密闭。废气收集系统应在负压下运行，若处于正压状态，应对输送管道组件的密152、封点进行泄漏检测，泄漏检测值不应超过 500mol/mol，亦不应有感官可察觉泄漏。泄漏检测频次、修复与记录的要求按照第 8 章规定执行。10.3 VOCs排 放控 制要求：10.3.1 VOCs废气收集处理系统污染物排放应符合 GB16297 或相关行业排放标准的规定。本项目VOCs废气收集处理系统污染物排放符合大气污染物综合排放标准（GB16297-1996）和上海大气污染物综合排放标准（DB31/933-2015）相应标准。符合 10.3.2 收集的废气中 NMHC 初始排放速率3kg/h 时，应配置 VOCs 处理设施，处理效率不应低于 80%；对于重点地区，收集的废气中NMHC 初始153、排放速率2kg/h 时，应配置 VOCs处理设施，处理效率不应低于 80%；采用的原辅材料符合国家有关低 VOCs 含量产品规定的除外。本项目 NMHC 初始排放速率2kg/h，采用“水喷淋+除雾器+活性炭吸附”处理措施。符合 10.3.4 排气筒高度不低于 15m（因安全考虑或有特殊工艺要求的除外），具体高度以及与周围建筑物的相对高度关系应根据环境影响评价文件确定。项目有机废气排气筒高度为35m。符合 10.4 记 录企业应建立台账，记录废气收集系统、VOCS处理设施的主要运行和维护信息，如运行时间、本项目实施后，按照要求建立台账，记录废气收集系统、VOCS符合 高性能激光器项目环境影响报告154、书 xxxx环境建设有限公司 44 xx市xx区上塘路 329 号 要求 废气处理量、操作温度、停留时间、吸附剂再生/更换周期和更换量、催化剂更换周期和更换量、吸收液 pH 值等关键运行参数。台账保存期限不少于 3 年。处理设施的主要运行和维护信息，台账保存期限不少于 3 年。由上表可知，本项目的建设符合挥发性有机物无组织排放控制标准相关要求。2.6.8xx省工业企业恶臭异味管控技术指南（试行）xx省工业企业恶臭异味管控技术指南（试行）符合性分析符合性分析 为加强工业企业恶臭异味管控，改善群众身边的环境空气质量，xx省生态环境厅组织省环境科学学会和相关技术单位编制了xx省工业企业恶臭异味管控技155、术指南（试行），于 2021 年 11 月印发实施。该指南适用对象为xx省涉挥发性有机物（VOCs）企业、农副食品企业、铸造企业、涉酸洗工序企业及其他涉异味企业。本项目涉及到挥发性有机物和酸洗工序，与本项目有关的异味管控措施条目对照情况见下表。表表2.6-8 本项目与本项目与xx省工业企业恶臭异味管控技术指南（试行）xx省工业企业恶臭异味管控技术指南（试行）符合性分析符合性分析 类别类别 标准要求标准要求 本项目情况本项目情况 是否是否符合符合 5.1 一般措施 5.1.1 原辅料替代 企业依据自身情况、行业特征、现有技术，对涉异味的原辅材料开展源头替代，采用低挥发性、异味影响较低的物料，从源156、头上减少自身异味排放。本项目采用低挥发性、异味影响较低的物料，从源头上减少自身异味排放。符合 5.1.2 过程控制 企业优先对储存、运输、生产设施等异味产生单元进行密闭，封闭不必要的开口。由于生产工艺需求及安全因素无法密闭的，可采用局部集气措施，确保废气收集风量最小化、处理效果最优化。有条件的企业可通过废气循环化利用实现异味气体“减风增浓”。对异味影响较大的污水处理系统实施加盖或密闭措施，使用合理的废气管网设计，密闭区域实现微负压，确保异味气体不外泄。本项目所用涉及异味的物料均储存于密闭的容器，清洗槽设有独立密闭操作单元，密闭区域采用微负压抽风，确保异味气体不外泄；污水处理系统实施加盖措施，减157、少异味气体外泄。符合 5.1.3 末端高效治理 企业实现异味气体“分质分类”治理。氨、硫化氢、酸雾等无机废气采用吸收等工艺处理，水溶性有机废气采用氧化吸收、吸附等工艺处理，非水溶性有机废气采用冷凝、吸附、燃烧等工艺处理，实现废气末端治理水平进一步提升。异味气体中酸雾采用碱液吸收工艺，氨采用水吸收工艺，有机废气采用水吸收+活性炭吸附工艺。符合 5.1.4 治理设施运行管理 企业对废气治理设施进行有效的运行管理，定期检查设施工作状态，吸收类治理设施需定期更换循环液并添加药剂，吸附类治理设施需定期更换或再生吸附剂，燃烧类治理设施需设定有效的氧化温度和停留时间，确保设施运行效果。重点企业运用在线监测系158、统、视频监控等智慧化手段管理废气治理设施。项目实施后，要求对吸收用水定期更换，对吸收用碱液定期更换并添加新碱液，对活性炭定期更换。符合 5.1.5 排气筒设置 企业合理设置异味气体排气筒的位置、高度等参数，降低异味对周边区域影响。项目异味气体排气筒位于所在厂房的楼顶，高度约 35m，可以降低异味对周边区域影符合 高性能激光器项目环境影响报告书 xxxx环境建设有限公司 45 xx市xx区上塘路 329 号 响。5.1.6 异味管理措施 企业设置专业xx管理人员，并建立完善的xx管理制度，对产生异味的重点环节加强管理，按照 HJ 944、HJ 861 的要求建立台账。项目实施后，按要求执行。符合159、 5.2 异味管控重点领域及措施 5.2.1 涉 VOCs 企业管控环节与措施 涉 VOCs 企业为异味管控重点，其中各行业的重点管控环节见表 3。涉 VOCs 企业符合xx省挥发性有机物污染防治可行技术指南要求，污水处理设施中异味产生单元实施加盖或密闭措施，针对异味气体特征进行分质分类处理，对臭气浓度较高的处理尾气可增加深度除臭设施。废气应急排放旁路按规定配置治理设施，非正常工况废气排放满足标准要求。石化、化工企业定期开展泄漏检测与修复（LDAR）工作。涉 VOCs 企业管控措施详见附录 D 中表 D.1D.11。本项目不属于附录 D 中表D.1D.11 行业。本项目实施后，污水处理设施中异160、味产生单元实施加盖措施，针对异味气体特征进行分质分类处理。符合 5.2.4 涉酸洗工序企业管控措施 涉酸洗工序企业为异味管控重点。企业优化生产工艺，使用酸雾抑制剂减少酸雾产生。对酸洗工序优先采用区域全密闭的收集方式，或采用集气罩、吹吸罩兼全密闭的收集方式，确保密闭空间保持微负压，提高废气收集效率。治理设施需与生产设备“同启同停”，所收集的酸雾采用化学吸收等工艺处理，安装药剂自动添加装置，确保吸收液定期更换。涉酸洗工序企业管控措施详见附录 D 中表 D.14。项目酸洗工序采用区域全密闭的收集方式，确保密闭空间保持微负压，提高废气收集效率。治理设施与生产设备“同启同停”，所收集的酸雾采用二级碱液喷161、淋工艺处理，并安装药剂自动添加装置，确保吸收液定期更换。项目实施后，按照附录 D 中表 D.14 要求进行管控。符合 由上表可知，本项目的建设符合 xx省工业企业恶臭异味管控技术指南（试行）相关要求。2.6.9 xx市生态环境局关于加强低效挥发性有机物治理设施改造升级工作的通知xx市生态环境局关于加强低效挥发性有机物治理设施改造升级工作的通知符合性分析符合性分析 经对照xx市生态环境局关于加强低效挥发性有机物治理设施改造升级工作的通知（杭环便函2022192 号），本项目符合该通知的相关要求，详见下表。表表2.6-9 本项目与xx市生态环境局关于加强低效挥发性有机物治理设施改造升级工作的通知本162、项目与xx市生态环境局关于加强低效挥发性有机物治理设施改造升级工作的通知符合性分析符合性分析 类别类别 内容内容 具体措施具体措施 本项目情况本项目情况 结结论论 规范工程治理 严把治理技术 除恶臭异味治理外，企业应淘汰原有单一或组合工艺中的光催化、光氧化、低温等离子等低效 VOCs 治理设施，并参照xx省挥发性有机物污染防治（可行）技术指南（系列），依据排放废气特征、VOCs 组分及浓度、生产工况等，合理选择规范吸附装置或升级高效 VOCs 治理设施，确保稳定达标排放。原料 VOCs 浓度高、污染严重的生产工艺原则上采用 RTO、RCO 等高效处理方式；采用活性炭吸附处理技术的，吸附装置和工163、本项目有机废气采用“水喷淋+除雾器+活性炭吸附”处理。符合 高性能激光器项目环境影响报告书 xxxx环境建设有限公司 46 xx市xx区上塘路 329 号 艺设计应符合HJ2026-2013等技术规范要求，废气中含颗粒物、油烟（油雾）、水分等影响吸附过程物质的，应采取相应的预处理措施。除恶臭异味治理外，一般不使用低温等离子、光催化、光氧化等技术。严控无组织排放 VOCs 物料储存、转移和输送、物料投加和卸放、配料加工及含 VOCs 产品（质量占比大于等于 10%）的使用等环节应采用密闭设备或严格落实密闭空间操作，并合理选择废气收集方式，规范设计吸风风量，保证废气收集效率。本项目生产车间为洁净车164、间设计，针对涉及 VOCs 的环节，严格落实密闭和废气收集措施，设置合理的风量，确保废气收集效率。VOCs 物料采用小规格包装桶，储存过程仅有极少量无组织排放。符合 规范活性炭吸附运行管理 严把活性炭质量关 用于 VOCs 治理的活性炭采用煤质活性炭或木质活性炭，活性炭结构应为颗粒活性炭。活性炭技术指标应符合 LY/T3284 规定的优级品颗粒活性炭技术要求，碘吸附值不低于800mg/g或四氯化碳化碳吸附率不低于60%。本项目选用符合 LY/T3284 规定的活性炭。符合 严格填充量和更换时间 原则上活性炭更换周期一般不应超过累计运行 500 小时或 3 个月，用于吸附脱附燃烧废气处理设施的活165、性炭使用寿命原则上不超过6 个月。本项目正常情况下活性炭更换周期为 500h。符合 严格危废管理 产生活性炭企业每年都与有资质的单位签订危废处置协议，并建议在合同中明确活性炭使用量及废活性炭产生量、处置量等。企业应按要求做好活性炭吸附日常运行维护台账记录，包括开启时间、关停时间、更换时间和装填数量，相关台账应保存 5 年以上。废活性炭纳入危险废物管理，每年定时委托有资质单位清运处理，废活性炭设有日常运行维护台账记录，同时本环评要求企业相关台账应保存 5年以上。符合 由上表可知，项目符合xx市生态环境局关于加强低效挥发性有机物治理设施改造升级工作的通知（杭环便函2022192 号）相关要求。2.166、6.10 xxxx污水处理厂污水处理厂 xx污水处理厂位于xx区东部围垦外十五工段，采用BOT 方式运行，由上海大众公共事业（集团）股份有限公司和xxxx污水处理有限公司联合投资。xx污水处理厂远期规划污水处理能力 100 万 m3/d，一期工程规模为 30 万 m3/d，二期规模为20 万 m3/d。服务范围为：xx区xx新城160.2km2，前进工业园区 40km2，xx新城150km2、空港新城 71km2，以及xx片 6 个乡镇和xx片5 个乡镇，总服务面积 610km2。目前该污水处理厂提标改造已完成，提标改造完成后，该污水处理厂出水水质执行城镇污水处理厂污染物排放标准（GB1891167、8-2002）中一级 A 标准。xx污水处理厂二期工程已于2017 年底建成，目前已投入使用。xx污水处理厂提标改造后一期、二期处理工艺流程见图2.6-1 和图 2.6-2。高性能激光器项目环境影响报告书 xxxx环境建设有限公司 47 xx市xx区上塘路 329 号 进水格网槽均质调节池混凝反应池初沉池缺氧池好氧池二沉池硝化液回流污泥回流高效澄清池调节池提升泵房三相催化氧化反应池稳定塘高效沉淀池高效纤维滤池提升泵房出水排至xx江 图图 2.6-1 一期提标改造后污水处理工艺流程图一期提标改造后污水处理工艺流程图 二期进水稳流格栅井调节池折板絮凝池初沉池UBF水解池AO生化池二沉池提升水池三相168、催化氧化反应池稳定池高效澄清池紫外消毒池排海泵房厂内高位井出水排至xx江 图图 2.6-2 二期扩建工程污二期扩建工程污水处理工艺流程水处理工艺流程图图 xx污水处理厂属于工业污水处理厂，污水处理厂进水水质控制标准为：CODCr500mg/L、氨氮35mg/L 和 SS400mg/L。本次环评收集了xx省生态环境厅公开的xx污水处理厂2022 年 5 月、8 月和 10月的监督性监测数据。xx污水处理厂水质监测结果见下表2.6-10。表表2.6-10 xx污水处xx污水处理厂污水总排放理厂污水总排放口在线监控数据统计表口在线监控数据统计表 监测项目监测项目 排放浓度排放浓度 标准限值标准限值 169、单位单位 是否达标是否达标 2022.5.17 2022.8.3 2022.10.18 pH 7.2 6.8 7.2 69 无量纲 达标 COD 28 40 37 50 mg/L 达标 BOD5 2.4 3.9 4.2 10 mg/L 达标 氨氮（NH3-N）1.21 0.509 0.148 2.5 mg/L 达标 总氮（以 N 计）7.05 7.43 4.97 15 mg/L 达标 总磷（以 P 计）0.04 0.04 0.06 0.5 mg/L 达标 悬浮物 8 6 9 10 mg/L 达标 高性能激光器项目环境影响报告书 xxxx环境建设有限公司 48 xx市xx区上塘路 329 号 石170、油类 0.23 0.08 0.08 1 mg/L 达标 阴离子表面活性剂（LAS）0.178 0.21 0.21 0.5 mg/L 达标 总砷 0.0003 0.0003 0.0004 0.1 mg/L 达标 总镍 0.007 0.007 0.007 0.05 mg/L 达标 总铅 0.00176 0.00048 0.00044 0.1 mg/L 达标 总铬 0.008 0.005 0.012 0.1 mg/L 达标 六价铬 0.004 0.004 0.004 0.05 mg/L 达标 总汞 0.00004 0.00014 0.00028 0.001 mg/L 达标 总铜 0.031 0.03171、1 0.05 0.5 mg/L 达标 总镉 0.00017 0.00005 0.00005 0.01 mg/L 达标 由上表可知，xx污水处理厂总排口主要污染因子均能满足城镇污水处理厂污染物排放标准（GB18918-2002）中的一级 A 标准要求，其中氨氮满足 2.5mg/L 的标准。高性能激光器项目环境影响报告书 xxxx环境建设有限公司 49 xx市xx区上塘路 329 号 3 建设项目概况及工程分析建设项目概况及工程分析 3.1 基本概况基本概况 3.1.1 项目基本概况项目基本概况 项目名称项目名称：高性能激光器项目。建设单位建设单位：xxxx半导体有限公司。建设性质建设性质：新建项172、目。所属行业所属行业：C3976 光电子器件。建设地点建设地点：xx市xx区东围路599 号博潮城 6 幢北一层、二层。总投资总投资：10 亿元人民币。主要建设内容及规模主要建设内容及规模：本项目租赁xx大xx地产开发有限公司坐落在xx大xx产业集聚区xx片区的厂房为生产场所，具体地址为xx市xx区东围路599 号博潮城 6 幢北一层、二层，租赁建筑面积约 5628.68m2，购置金属有机化学气相沉积（MO-CVD）、光刻设备、二氧化硅干法蚀刻机（RIE）、磷化铟干法蚀刻机（ICP-RIE）、等离子化学气相沉积系统（PCVD）、电子束金属蒸镀机、镀金机、湿法蚀刻机、清洗机、磁控溅射镀膜机、电子173、束蒸发镀膜机、研磨机、切割机及其他相应生产设备、测试仪器等设备，通过外延、光刻、干法蚀刻、湿法蚀刻、沉积、蒸镀、化学镀、溅射镀膜、酸液清洗、有机溶剂清洗、研磨、切割等工艺，进行高性能激光器芯片的生产。本项目分期实施，其中一期年产高性能激光器芯片 300 万颗，二期年产高性能激光器芯片 700 万颗，共计 1000 万颗。一期计划 2023 年投产，二期计划 2026 年投产。劳动定员劳动定员：本项目拟定劳动定员一期 17 人，一班 8 小时制，其中 MO-CVD 工段为三班制；二期增至 40 人，所有工段均为三班制，年工作日 250 天。宿舍和食堂依托园区已有服务设施。3.1.2 工程内容工程174、内容 本项目工程内容一次建设完成，二期仅增加少量生产设备，增加劳动人员，调整工作制度即可。本项目主要工程内容见表 3.1-1。高性能激光器项目环境影响报告书 xxxx环境建设有限公司 50 xx市xx区上塘路 329 号 表表3.1-1 本项目主要工程内容一览表本项目主要工程内容一览表 项目名称项目名称 建设内容建设内容 主体工程 生产车间 租赁园区已建成厂房（共四层，建筑总高 27m）的北一层车间为生产车间，建筑面积约 2814.34m2，车间层高约 8.5m，车间内设置外延区、光刻区、干法蚀刻、沉积、蒸镀区、湿法作业区、化学镀金区和测试区。生产规模为一期年产高性能激光器芯片 300 万颗，175、二期增加 700 万颗，共计 1000万颗。储运工程 甲类库 位于租赁园区内南侧，占地面积约 86m2，用于化学品的存放。N2站 位于生产车间外东侧，设置 1 个 10m3立式液氮储罐，用于外购成品液氮储存。N2纯化间 位于生产车间内东侧，占地面积约 15m2。供氢站 位于生产车间外东侧，设置 10 组氢气集装格，用于外购成品氢气储存。H2纯化间 位于生产车间内东侧，占地面积约 20m2。气体储存间 位于生产车间内东侧，分为有毒和腐蚀性气体间、易燃易爆气体间和惰性气体间，占地面积分别约 20m2、15m2、20m2。原料仓库 位于生产车间内，占地面积约 30m2。成品仓库 位于生产车间内，占地176、面积约 40m2。辅助工程 办公区 租赁已建成厂房的北二层车间为办公室，车间层高约 6m。纯水制备 系统 设置纯水制备系统 1 套，位于生产车间内西侧，采用“三级过滤+两级 RO+EDI+UV-TOC+抛光树脂+微滤”工艺制备纯水，设计处理能力为 7.5m3/h，产水量为 5m3/h。冷却水系统 位于生产车间南侧的综合动力站，冷却用水循环使用，定期排放。公用工程 供水系统 生产用水、生活用水均由市政自来水管网供应。排水系统 实行雨污分流，雨水接入雨水管网。生产废水、生活污水分别经预处理后，一并接入市政污水管网，进入xx污水处理厂，处理达标后排入xx江。供电系统 由市政电网提供。xx工程 废气 177、外延废气：设置 1 套尾气处理设备；生产设备密闭，废气经管道收集后采用二级专用活性炭吸附装置处理后，经风管引至楼顶由 30m 高排气筒（DA001）排放。干法蚀刻废气：设置 1 套尾气处理装置；生产设备密闭，废气经管道经收集后采用水洗处理后，接入楼顶酸性废气处理装置，采用二级碱液喷淋处理后，通过 35m 高排气筒（DA002）排放。沉积废气：设置 1 套尾气处理装置；生产设备密闭，废气经管道收集后采用电热+水洗处理后，接入楼顶酸性废气处理装置，采用二级碱液喷淋处理后，通过35m 高排气筒（DA002）排放。酸性废气（干法蚀刻废气、湿法蚀刻废气、酸液清洗废气）：设置 1 套废气处理装置；湿法蚀刻178、机、酸液清洗机、镀金线和部件清洗机分别设置独立操作间，密闭操作，废气经管道收集后通过风管引至楼顶酸性废气处理装置，与含经预处理的干法蚀刻废气、沉积废气一并采用二级碱液喷淋处理后，通过 35m 高排气筒（DA002）排放。有机废气：设置 1 套处理设备；光刻设备、有机溶剂清洗机分别设置密闭操作间，废气经管道收集；废气收集后通过风管引至楼顶有机废气处理装置，经“水喷淋+除雾器+活性炭吸附”处理后由 35m 高排气筒（DA003）排放。车间内泄漏的少量废气经整体车间空调新风系统收集后，经风管引至楼顶由35m 高排气筒（DA004）排放。废水 生产废水经自建废水处理站处理后，纳管排放；废水处理站位于园179、区内南侧，设计处理规模为 72m3/d；生活污水经园区内隔油池+化粪池预处理后，纳管排放。噪声 采用低噪声型号设备、厂房隔声；高噪声设备设置减振基座；针对风机、水泵、空压机、冷水机组等高噪声设备采取减振、消声、隔声等降噪措施。高性能激光器项目环境影响报告书 xxxx环境建设有限公司 51 xx市xx区上塘路 329 号 固废处置 在甲类库东侧分别设置一般工业固废暂存库和危险废物暂存库，占地面积分别约 14m2；一般工业固废外售综合利用；危险废物分类收集后，由有资质单位处置；设置垃圾桶若干，生活垃圾收集后交由当地环卫部门统一清运处理。其他 进行分区防渗、防腐。依托工程 宿舍、食堂 依托园区已有服180、务设施。生活污水处理设施 依托园区已有生活污水收集管线、隔油池、化粪池和排放口 3.1.3 产品方案产品方案 本项目主要从事高速激光器芯片的生产加工，无封装加工。项目分期实施，具体产品方案见表 3.1-2。表表3.1-2 本项目本项目产品方案产品方案 产品产品名称名称 单位单位 产能产能 备注备注 一期一期 二期二期 合计合计 高速激光器芯片 万颗/年 300 700 1000 3 英寸，无封装加工 3.1.4 主要生产设备和产能匹配性分析主要生产设备和产能匹配性分析 1.主要生产设备 本项目主要设备清单见下表。（涉及商业秘密，不予公示）2.产能匹配性分析（涉及商业秘密，不予公示）3.1.5 181、主要原辅主要原辅料料及能（资）源情况及能（资）源情况 1.项目主要原辅料及能（资）源 本项目主要原辅料及能（资）源消耗情况见下表。（涉及商业秘密，不予公示）2.主要原辅料理化性质 本项目部分原辅料理化性质见下表。（涉及商业秘密，不予公示）3.1.6 厂区总平面布置图厂区总平面布置图及合理性分析及合理性分析 由企业提供资料可知，项目租赁博潮城 6 幢北侧的一、二层作为生产经营场所，其中一层为生产车间，二层为办公区。生产车间呈东西走向，生产区布置在车间中部，车间东侧设有特气间和气体纯化间，南侧设置综合动力站，西侧设置原料仓库、成品仓库、纯水站。生产车间外东侧设置供气站，分为氮气站和供氢站，距离园区182、次出入较近，便于高性能激光器项目环境影响报告书 xxxx环境建设有限公司 52 xx市xx区上塘路 329 号 气体运输。因受项目生产车间和园区内空间限制，项目生产废水处理站、甲类库、危险废物暂存库等辅助设施布置于园区南侧，远离园区综合楼（布置有倒班宿舍、食堂、园区办公区等）和项目办公区。当地主导风向为西南风，综合楼位于项目辅助设施的侧风向，也可最大限度降低项目对园区综合楼的影响。根据园区平面布置图，项目甲类库、危险废物暂存库选址在园区内南侧，距离厂区内道路、周边厂房建筑均能满足建筑设计防火规范（GB50016-2014）要求。因项目生产废水处理站、甲类库、危险废物暂存库等辅助设施距离生产车间183、有一定距离，要求企业加强生产废水收集、管道防渗以及危化品、危险废物安全转移工作，避免对园区内的影响。综上分析，项目厂区平面布置基本合理。本项目生产车间布置见附图 4，园区平面布置见附图 2。3.1.7 辅助工程辅助工程 1.循环冷却水系统 本项目采用风冷式冷水机组提供设备冷却用水，设置 11 台冷水机组，位于车间南侧综合动力站内。冷水机组采用板式换热器进行换热冷却，用于 MOCVD、涂布机、光刻机、曝光机、干法蚀刻机、PCVD、金属蒸镀机、退火炉等生产设备冷却用水。满负荷生产时，一期冷水机组循环水量 7.5m3/h，年运行约 4300h，二期建成后循环水量 10m3/h，年运行 6000h。为184、确保冷却效果和循环水水质，循环冷却水需要定期排入废水处理站，与其他经预处理的生产废水一起纳管排放。2.纯水系统 本项目设置 1 套纯水制备系统，制备的纯水主要用于生产过程中各阶段芯片清洗工序、湿法蚀刻工序、酸液稀释用水等。本项目采用“三级过滤+两级 RO+EDI（连续电除盐）+UV-TOC（紫外线除有机碳）+抛光树脂+微滤”工艺制备纯水，制备流程见图 3.1-1。根据设计方案，此套纯水设备设计处理能力为 7.5m3/h，产水率为 70%，产生的浓水部分用于酸性废气喷淋塔、有机废气水洗塔补充水，多余部分与其他经预处理的生产废水一起纳管排放；定期对抛光树脂进行再生，产生少量再生废水，进入自建废水处185、理站处理达标后纳管排放；定期更换的废 RO 膜、废滤芯、废活性炭和废离子树脂高性能激光器项目环境影响报告书 xxxx环境建设有限公司 53 xx市xx区上塘路 329 号 等废物，属于一般工业固废，由生产厂商定期更换回收，不在厂区内暂存。市政自来水原水箱石英砂过滤器活性炭过滤器一级反渗透二级反渗透反渗透产水箱保安过滤器精密过滤器EDI浓水（含反冲洗水）热交换器UV-TOC抛光树脂超滤水箱精密过滤器用水点N2反渗透产水箱絮凝剂还原剂、阻垢剂pH调节 图图 3.1-1 本项目纯水制备流程图本项目纯水制备流程图 3.供气系统 项目供气系统设有一套完整的气体监控系统。包括：监控工作站、服务器、可程控器186、网络界面、电脑周边设备、现场监控组件、警报显示系统等。（1）供氢站 在生产厂房东侧设置供氢站，设置集装格用于外购成品氢气气瓶储存，共设置 10组氢气集装格，5 用 5 备，单组氢气集装格存放 16 个钢瓶，单瓶容量 47L。（2）供氮站 在生产厂房东侧设置氮气站，设置 1 个 10m3液氮储罐，用于外购液成品液氮贮存，配置 2 套空温式汽化器。使用时，氮气经气化后，由管道输送至生产车间纯化设备纯化处理后，再输送至车间各用气单元。（3）特气间 包括有毒和腐蚀性气体间、易燃易爆气体间和惰性气体间，除大宗气体氮气和氢气外，其他气体以气瓶柜方式设置，并分类储存，气瓶柜具有自动关闭，自动上锁功能。各气187、柜及气柜间均设有安全防爆防泄漏等装置。特气间内设置一般排风兼事故排风系统。高性能激光器项目环境影响报告书 xxxx环境建设有限公司 54 xx市xx区上塘路 329 号 企业拟成立特气专业团队对全厂特气购买、运输、使用、废弃等各方面进行全过程管理。4.储运系统 本项目原辅材料涉及到一般物质、MO 源、酸碱化学品、有机化学品、特种气体、大宗气体等。各类原辅材料均由专业公司车运送至厂区后，按性质分别置于甲类库、气站或厂房内储存间暂存，并做好安全防护措施。本项目在租赁的厂区南侧设置 1 座甲类库，用于酸碱化学品、有机化学品等化学品的存放。甲类库由专人看管，并设置安全防范措施。3.2 项目工程分析项目188、工程分析 3.2.1 工艺流程与产污环节工艺流程与产污环节 1.工艺流程 本项目从事高性能激光器芯片生产加工，先对原料衬片进行外延片加工，然后进行晶圆芯片制作，再进行芯片测试，最后包装入库。项目总体工艺流程图架构图见图3.2-1。具体工艺流程详图见图 3.2-2 和图 3.2-3。（涉及商业秘密，不予公示）图图 3.2-1 项目总体项目总体工艺流工艺流程程架构架构图图（涉及商业秘密，不予公示）图图 3.2-2 外延片加外延片加工工艺流工工艺流程和产污环节图程和产污环节图 （涉及商业秘密，不予公示）图图 3.2-3 芯片加工工艺流程和产污环节图芯片加工工艺流程和产污环节图 高性能激光器项目环境影189、响报告书 xxxx环境建设有限公司 55 xx市xx区上塘路 329 号 3.2.2 污染工序及污污染工序及污染因子染因子 本项目营运期主要污染因子具体见表 3.2-1。表表 3.2-1 本项目营运本项目营运期污染工序及期污染工序及污染因子汇总污染因子汇总 序号序号 类别类别 产生工序产生工序 污染源污染源编号编号 主要污染因子主要污染因子 1 废气 G1 外延废气（粉尘、砷化氢、磷化氢、乙烷、甲烷）2 G2 酸雾（硫酸雾、氯化氢、氟化氢）3 G3 有机废气（非甲烷总烃）4 G4 干法蚀刻废气（氯气、氟化物）5 G5 湿法蚀刻废气（硫酸雾、氯化氢、磷酸雾、氟化氢、溴化氢、乙酸）6 G6 有机废190、气（NMP、甲醇、乙醇、异丙醇、DMF、丁酮、丙酮）7 G7 沉积废气（SiH4、NOX、C2H4、SiO2）8 G8 沉积废气（SiH4、NH3、Si3N4）9 G9 灰化废气（CO、CO2）10 废水 W1 一般酸性废水（pH、CODCr、SS）11 W2 含氟废水（pH、CODCr、SS、氟化物、总氮、氨氮）12 W3 含磷废水（pH、CODCr、SS、总磷）13 W4 有机废水（pH、CODCr、SS、总氮、氨氮）14 W5 切割废水（SS）15 W6 浓水、离子树脂再生水（CODCr、SS）16 W7 排污水（CODCr、SS）17 W8 酸性废气喷淋塔排水（pH、CODCr、SS、191、总氮、氨氮、总磷、氟化物）18 W9 水洗塔排水（pH、氟化物）19 W10 电热水洗装置排水（pH、SS）20 W11 喷淋塔排水（pH、COD、TN、NH3-N）21 W12 CODCr、SS、NH3-N 22 噪声 /Leq(A)23 固废 S1 废衬底片 24 S2 反应沉积物 25 S3 废酸液 26 S4 含氟废液 27 S5 废光刻胶、聚酰亚胺 28 S6 废显影液 29 S7 废次品 30 S8 有机废液 31 S9 废金属箔 高性能激光器项目环境影响报告书 xxxx环境建设有限公司 56 xx市xx区上塘路 329 号 32 S10 废镀金液 33 S11 研磨废液 34 S192、12 废靶材 35 S13 废化学品容器、一般废包装物 36 S14 RO 膜、废滤芯、废活性炭 37 S15 废离子树脂 38 S16 含砷废吸附材料 39 S17 有机废气废活性炭 40 S18 一般污泥 41 S19 危废污泥 42 S20 废机油 43 S21 废抹布/手套 44 S22 生活垃圾 3.2.3 物料物料平衡平衡和水平衡和水平衡 1.物料平衡（涉及商业秘密，不予公示）2.有毒有害物料及元素平衡（1）砷平衡（涉及商业秘密，不予公示）（2）磷平衡（涉及商业秘密，不予公示）（3）氟平衡（涉及商业秘密，不予公示）（4）氨平衡（涉及商业秘密，不予公示）（5）有机溶剂平衡（涉及商业秘193、密，不予公示）3.水平衡图（涉及商业秘密，不予公示）高性能激光器项目环境影响报告书 xxxx环境建设有限公司 57 xx市xx区上塘路 329 号 3.2.4 污染源强分析污染源强分析 3.2.4.1 废气废气 本项目产生的废气主要为工艺尾气（外延废气、沉积废气）、酸性废气（酸洗废气、湿法蚀刻废气、干法蚀刻废气）和有机废气。根据电子企业生产车间的洁净度要求，整个生产车间实行全封闭。生产车间内根据生产工序不同分为几个相应独立操作间，相关工艺设备分别采用密闭隔离、隔离操作间内抽风，保持操作间内处于负压状态，只有在往设备中添加溶剂时才会短时间打开隔板；同时生产所需的化学溶剂以瓶装或桶装形式储存于厂区194、甲类库中，待有需要时转运至车间设备前加注或更换。本项目外延废气、干法蚀刻废气、沉积废气通过与设备相连的管道收集；其他废气通过独立相应密闭间抽风口收集，少量废气会在产品进出密闭间时逸散至生产车间，该部分废气经整体车间空调换风系统收集后，与一般排风系统收集的一般废气、高温排气一起经风管引至楼顶由排气筒高空排放。1.外延废气（G1）本项目整个 MOCVD 反应过程在富 As、富 P 的环境下进行。经与建设单位核实，外延炉砷烷、磷烷仅有部分与 MO 源反应，反应过程中，MO 源完全反应生成 GaAs、InP、AlAs、InZnP3等粉尘，其中一部分 GaAs、InP、AlAs、InZnP3附着在基片上195、形成外延片，另一部分则在高温排气冷却时以细小颗粒物形式排放。外延炉工艺尾气经与外延炉相连的管道密闭收集后，通过本地 LSC 尾气处理装置（采用二级干式吸附工艺）处理后，引至建筑物楼顶通过 1 根 30m 高排气筒（DA001）排放。本项目生产在超洁净室内进行，所使用的外延炉为密封式，外延废气捕集效率按100%计；根据废气设计方案和企业提供资料，干式吸附剂对粉尘、砷烷、磷烷处理效率99.5%；本项目采用二级专用活性炭吸附装置，保守考虑，本环评按处理效率为95%计。根据设备工艺参数，排气筒 DA001 一期风机风量 2000m3/h，二期建成后风机风量为 4000m3/h。经计算，本项目外延废气产196、生和排放情况见下表。表表3.2-8 本项本项目外目外延废气产生和延废气产生和排放源强一览表排放源强一览表 工工评价时评价时污染物名污染物名称称 产生情况产生情况 有组织排放情况有组织排放情况 高性能激光器项目环境影响报告书 xxxx环境建设有限公司 58 xx市xx区上塘路 329 号 序序 段段 产生浓度产生浓度（mg/m3）产生速率产生速率(kg/h)产产生生量量(kg/a)排放浓度排放浓度（mg/m3）排放速率排放速率(kg/h)排放量排放量(kg/a)外延 一期 粉尘 1.16 0.002 7.73 0.06 0.0001 0.39 其中 含砷粉尘 0.65 0.001 4.34 0.197、03 0.0001 0.22 砷化氢 0.15 0.0003 0.98 0.01 0.00001 0.05 磷化氢 4.65 0.009 31.12 0.23 0.0005 1.56 非甲烷总烃 0.12 0.0002 0.83 0.01 0.00001 0.04 甲烷 0.45 0.001 3.03 0.02 0.00005 0.15 二期 工程 后全 厂 粉尘 1.16 0.005 25.78 0.06 0.0002 1.29 其中 含砷粉尘 0.65 0.003 14.46 0.03 0.0001 0.72 砷化氢 0.15 0.0006 3.28 0.01 0.00003 0.16 磷198、化氢 4.65 0.019 103.74 0.23 0.0009 5.19 非甲烷总烃 0.12 0.0005 2.76 0.01 0.00002 0.14 甲烷 0.45 0.002 10.09 0.02 0.0001 0.50 注：根据MO-CVD 生产能力和设备台数核算，一期工程外延加工时间约为 3350h；二期工程，外延加工时间约为 6000h；乙烷按非甲烷总烃计。2.酸性废气（G2酸洗酸雾、G4干法蚀刻废气、G5湿法蚀刻废气）、沉积废气（G7、G8）（1）酸洗、湿法蚀刻（G2酸洗酸雾、G5湿法蚀刻废气）项目外延片清洗、湿法蚀刻使用到硫酸、磷酸、盐酸、硝酸、氢氟酸、BOE 蚀刻液、双氧199、水、碘酸、氢溴酸、乙酸等。酸性液体使用过程中会挥发少量酸雾。根据企业提供资料，硝酸用量较少，酸雾产生量较少，本环评不予以定量计算。硫酸雾、氯化氢、磷酸雾废气产生系数参照污染源强核算技术指南 电镀（HJ984-2018）、简明通风设计手册（孙一坚主编 xx建筑工业出版社 1997 年）等资料，硫酸雾 25.2g/m2h、氯化氢 80g/m2h、磷酸雾 5g/m2h、氟化物 72g/m2h。因上述资料无溴化氢产生系数，溴化氢按下式计算：G=M（0.000352+0.000786V）PF 式中：G酸雾量，kg/h；M液体的分子量；V酸液表面上的空气流速，无条件实测时一般取 0.2-0.5m/s，本项200、目槽液清洗在密闭设备内进行，取 0.35m/s；P相应于酸液温度下的空气中的蒸汽分压力 mmHg 柱；溴化氢的蒸汽分压力从化工物性算图手册中查询得出。F酸液蒸发面表面积，m2。计算出本项目酸性废气产生源强情况见表 3.2-9表 3.2-11。高性能激光器项目环境影响报告书 xxxx环境建设有限公司 59 xx市xx区上塘路 329 号 表表3.2-9 本项目酸本项目酸性废气产性废气产生源生源强一强一览表览表（1）工工序序 槽名称槽名称 污染物污染物名称名称 散发率散发率 g/(h m2)单个槽单个槽表面表面积积(m2)槽个槽个数数 (个个)产生速产生速率率 (kg/h)一期产一期产生量生量 (201、kg/a)全厂产全厂产生量生量 (kg/a)清洗、湿法蚀刻 硫酸+双氧水槽 硫酸雾 25.2 0.04 8 0.008 14.52 48.38 硫酸槽*1 1 0.025 12.60 37.80 盐酸槽 氯化氢 80 0.04 2 0.006 11.52 38.40 盐酸+磷酸槽 氯化氢 80 0.04 6 0.019 34.56 115.20 磷酸雾 5 0.04 6 0.001 2.16 7.20 氢氟酸+BOE 蚀刻液槽 氯化氢 75 0.04 8 0.023 41.47 138.24 注：*硫酸槽用于部分设备零件清洗，一期工程清洗时长约 2h/d，二期建成后清洗时长约 6h/d。表表3202、.2-10 本项目酸性废气产生源强一览表（本项目酸性废气产生源强一览表（2）工工序序 槽名称槽名称 污染物污染物名称名称 分分子子量量 蒸汽分蒸汽分 压压力力(mmHg 柱柱)单单个个槽槽表表面积面积(m2)槽个数槽个数(个个)产生速产生速率率(kg/h)一期产一期产生量生量(kg/a)全全厂厂产产生量生量(kg/a)湿法蚀刻 氢溴酸+乙酸槽 溴化氢 80.9 0.6 0.04 2 0.001 4.38 14.61 表表3.2-11 本项目酸性废气产生源强一览表（本项目酸性废气产生源强一览表（3）工序工序 槽名称槽名称 污染物污染物 名称名称 产污系数产污系数 产生速率产生速率(kg/h)一期203、产生量一期产生量(kg/a)全厂全厂产生量产生量(kg/a)湿法蚀刻 乙酸 乙酸 10%0.002 3.78 12.60（2）干法蚀刻（G4干法蚀刻废气）本项目用于干法蚀刻的气体主要有 Cl2、CF4、SF6、SiCl4、CHF3、HBr、HI 等。干法蚀刻原理是在射频作用下，刻蚀气体产生高能等离子体，同 GaAs 反应达到蚀刻效果。此干法蚀刻产生的大气污染物主要为氟化物、未参加反应的 Cl2以及 SiCl4分解产生的 Cl2等。本着最不利原则，产生废气按 100%氯气及氟化物考虑（HBr、HI 用量较少，忽略不计）。本项目干法蚀刻废气产生情况见下表。表表3.2-12 本项目干法蚀刻废气产排放204、源强一览表本项目干法蚀刻废气产排放源强一览表 工序工序 污染物名称污染物名称 产生情产生情况况 产生速率产生速率(kg/h)一期产生量一期产生量(kg/a)全厂产生全厂产生量量(kg/a)干法蚀刻 氯气 0.237 426.48 1421.59 氟化物 0.238 428.40 1428.00（3）沉积废气（G7、G8）SiO2、Si3N4沉积反应过程中，反应气 SiH4和 N2O 反应生成 SiO2，Si(OC2H5)4 分解反应生成 SiO2和 C2H4，SiH4和 NH3反应生成 Si3N4，反应气体中 N2O、NH3过量，硅烷 SiH4基本完全反应，仅有少量未反应（按 10%考虑）。S205、i(OC2H5)4用量很少，按完全反应考虑。沉积废气主要为未反应完的 SiH4、反应剩余的 N2O、NH3、反应生成的 C2H4、未沉积的 SiO2和 Si3N4粉尘（按 20%计）。高性能激光器项目环境影响报告书 xxxx环境建设有限公司 60 xx市xx区上塘路 329 号 本项目沉积废气产生情况见下表。表表3.2-13 本项目沉积废本项目沉积废气产排放源强一气产排放源强一览表览表 工序工序 污染物名称污染物名称 产产生情况生情况 产生速率产生速率(kg/h)一期产生量一期产生量(kg/a)全厂产生量全厂产生量(kg/a)SiO2、Si3N4沉积 硅烷 0.00001 0.02 0.05 206、NOX 0.0064 10.17 33.90 乙烯 0.0001 0.14 0.47 氨 0.0031 4.89 16.29 粉尘 0.00004 0.07 0.22 本项目生产厂房为洁净室，各生产工段均布置在独立密闭无尘间内，且各湿法蚀刻、酸液清洗线、部件清洗线均设置独立密闭操作区，全程密闭操作，各清洗线废气通过密闭间内抽风口分别抽取至相应支风管，通过各支风管引至主风管，经过酸性废气处理装置处理后排放；配料在通风操作柜内进行，操作保持负压；干法蚀刻废气经与蚀刻机相连的管道密闭收集后，通过 LSC 尾气处理装置（水洗法）处理后，收集的废气引至主风管；沉积废气经与沉积设备相连的管道密闭收集后，通207、过本地 POU 尾气处理装置（采用电热+水洗措施）处理后，引至建筑物楼顶，一并经酸性废气处理装置，最终通过 1 根 35m 高排气筒（DA002）排放。干法蚀刻废气、沉积废气通过与设备相连的管道收集，废气捕集率 100%；各湿法蚀刻、酸液清洗线、部件清洗线废气在产品进出密闭间时，会有少量废气逸散至生产车间，废气收集效率按 95%计；未被收集的废气经整体车间空调换风系统收集后，与一般排风系统收集的一般废气、高温排气一起经风管引至楼顶由排气筒 DA004 高空排放。酸性废气处理装置为二级碱液喷淋系统，处理效率可以达到 80%以上（针对部分磷酸雾、溴化氢、乙酸等污染物产生量较低，处理效率按 50%计208、）；沉积废气“电热+水洗”措施综合处理效率可以到 95%以上，参考同类企业同类废气处理效率，保守考虑，本环评针对沉积废气中可燃或者高温分解的气体（硅烷、笑气、C2H4、NH3）按燃烧净化效率为 90%，针对废气中的粉尘（包括废气燃烧产生的粉尘）、燃烧残留的 NH3液体喷淋净化效率 50%计。根据设计方案，排气筒 DA002 风机总量为 10000m3/h，排气筒 DA004 风机总量为12000m3/h。本项目酸性废气、沉积废气产生和排放情况汇总见下表。高性能激光器项目环境影响报告书 xxxx环境建设有限公司 61 xx市xx区上塘路 329 号 表表3.2-14 本项目酸性废气、沉积废本项目209、酸性废气、沉积废气产排气产排放源强一览表放源强一览表 工工序序 评价评价时段时段 污染物污染物名名称称 产生情况产生情况 经经 DA002 排放情况排放情况 经经 DA004 排放情况排放情况 产生速率产生速率(kg/h)产生量产生量(kg/a)排放浓度排放浓度(mg/m3)排放速率排放速率(kg/h)排放排放量量(kg/a)排放浓排放浓度度(mg/m3)排放速排放速率率(kg/h)排放量排放量(kg/a)酸液清洗、湿法蚀刻、干法蚀刻、沉积 一期 硫酸雾 0.033 27.12 0.63 0.006 5.15 0.14 0.002 1.36 氯化氢 0.026 46.08 0.49 0.005210、 8.76 0.11 0.001 2.30 磷酸雾 0.001 2.16 0.06 0.001 1.03 0.01 0.0001 0.11 氟化物 0.261 469.87 5.20 0.052 93.56 0.10 0.001 2.07 溴化氢 0.002 4.38 0.12 0.001 2.08 0.01 0.0001 0.22 非甲烷总烃 0.002 3.921 0.10 0.001 1.81 0.01 0.0001 0.19 其中 乙酸 0.002 3.90 0.10 0.001 1.80 0.01 0.0001 0.19 乙烯 0.0001 0.14 0.001 0.00001 0.211、01-氯气 0.237 426.48 4.74 0.047 85.30-硅烷 0.00001 0.02 0.0001 0.000001 0.002-NOX 0.006 10.17 0.06 0.001 1.02-氨 0.003 4.89 0.02 0.0002 0.24-粉尘 0.00004 0.07 0.003 0.00003 0.05-二期 工程 后全 厂 硫酸雾 0.033 86.18 0.63 0.006 16.37 0.14 0.002 7.68 氯化氢 0.026 153.60 0.49 0.005 29.18 0.11 0.001 0.36 磷酸雾 0.001 7.20 0.06212、 0.001 3.42 0.01 0.0001 6.91 氟化物 0.261 1566.24 5.20 0.052 311.87 0.10 0.001 0.73 溴化氢 0.002 14.61 0.12 0.001 6.94 0.01 0.0001 7.68 非甲烷总烃 0.002 13.069 0.10 0.001 6.03 0.01 0.0001 0.63 其中 乙酸 0.002 12.6 0.10 0.001 5.99 0.01 0.0001 0.63 乙烯 0.0001 0.47 0.001 0.00001 0.05-氯气 0.237 1421.59 4.74 0.047 284.32213、-硅烷 0.00001 0.05 0.0001 0.000001 0.01-NOX 0.006 33.90 0.06 0.001 3.39-氨 0.003 16.29 0.02 0.0002 0.81-粉尘 0.00004 0.22 0.003 0.00003 0.11-注：表格中粉尘排放情况包括硅烷燃烧产生的粉尘（SiO2）的量。表格中非甲烷总烃包括乙酸、乙烯。3.有机废气（G3有机废气、G6有机废气）本项目有机废气主要来自光刻、有机溶剂清洗等工序。（1）光刻（G3有机废气、氨气）本项目光刻工序使用到六甲基二硅氮烷、光刻胶、苯甲醚、聚酰亚胺、二丙二醇甲醚、丙二醇甲醚醋酸酯等，物料中有机溶剂挥214、发产生有机废气（以非甲烷总烃计），按有机溶剂全部挥发考虑，一期工程非甲烷总烃产生量为 34.95kg/a，二期建成后非甲烷总烃产生量为 116.50kg/a，产生速率为 0.019kg/h。另外光刻工序使用到显影液，主要成分为四甲基氢氧化铵 3%，四甲基氢氧化铵会高性能激光器项目环境影响报告书 xxxx环境建设有限公司 62 xx市xx区上塘路 329 号 有氨产生，氨产生量按照最大值计算，根据物料平衡计算得一期工程氨气产生量为1.19kg/a，二期建成后氨气产生量为 3.97kg/a，产生速率为 0.004kg/h。（2）有机溶剂清洗（G6有机废气）主要为清洗去胶、剥离过程，上述过程使用到的215、主要有机溶剂为 NMP、甲醇、乙醇、异丙醇、DMF、丁酮等，有机溶剂使用过程中会有部分挥发，形成有机废气。参考同类项目，各类有机溶剂挥发量按使用量的 10%计。另外治具清洗使用丙酮，丙酮挥发量按使用量的 20%考虑。一期工程冶具清洗时长约 2h/d，二期建成后冶具清洗时长约 6h/d。则本项目有机溶剂清洗废气产生情况见下表。表表3.2-15 本项目有机溶剂清洗废气产生源强一览表本项目有机溶剂清洗废气产生源强一览表 工序工序 污染物名称污染物名称 产生情况产生情况 产生速率产生速率(kg/h)一期产生量一期产生量(kg/a)全厂全厂产生量产生量(kg/a)清洗去胶 NMP 0.037 38.52216、 128.4 甲醇 0.037 14.22 47.4 乙醇 0.037 1.68 5.6 DMF 0.031 55.2 184 丁酮 0.038 3.384 11.28 剥离 异丙醇 0.037 9.36 31.2 治具清洗 丙酮 0.090 40.32 134.40 注：清洗去胶使用单一的有机溶剂清洗，故排放速率按相应有机溶剂用量除以相应工作时间得出。本项目生产厂房为洁净室，各生产工段均布置在独立密闭无尘间内，且光刻设备、有机溶剂清洗线、冶具清洗线均设置独立密闭操作区，全程密闭操作，各工序有机废气通过抽风口分别抽取至相应支风管，通过各支风管引至主风管，经过有机废气处理装置处理后，最终通过 1217、 根 35m 高排气筒（DA003）排放。在产品进出密闭间时，会有少量废气逸散至生产车间，废气收集效率按 95%计；未被收集的废气经整体车间空调换风系统收集后，与一般排风系统收集的一般废气、高温排气一起经风管引至楼顶由排气筒 DA004 高空排放。有机废气处理装置采用“水喷淋+除雾器+活性炭吸附”处理工艺，废气处理效率可以达到 90%以上。根据设计方案，排气筒 DA003 风机总量为 3000m3/h，排气筒 DA004 风机总量为12000m3/h。本项目有机废气产生和排放情况汇总见下表。高性能激光器项目环境影响报告书 xxxx环境建设有限公司 63 xx市xx区上塘路 329 号 表表3.218、2-16 本项目有机废气产生和排放源强一览表本项目有机废气产生和排放源强一览表 工序工序 评评价价时时段段 污染物名称污染物名称 产生情况产生情况 经经 DA003 排放情况排放情况 经经 DA004 排放情况排放情况 产生产生速率速率(kg/h)产生量产生量(kg/a)排放浓排放浓度度(mg/m3)排放排放速速率率(kg/h)排放排放量量(kg/a)排放浓排放浓度度(mg/m3)排放速排放速率率(kg/h)排放量排放量(kg/a)光刻、有机溶剂清洗 一期 非甲烷总烃 0.146 197.63 4.63 0.014 18.78 0.61 0.007 9.88 其中 NMP 0.037 38.5219、2 1.18 0.004 3.66 0.16 0.002 1.93 甲醇 0.037 14.22 1.18 0.004 1.35 0.16 0.002 0.71 异丙醇 0.031 55.20 0.97 0.003 5.24 0.13 0.002 2.76 DMF 0.038 3.38 1.19 0.004 0.32 0.16 0.002 0.17 丁酮 0.037 9.36 1.18 0.004 0.89 0.15 0.002 0.47 丙酮 0.090 40.32 2.84 0.009 3.83 0.37 0.004 2.02 氨气 0.004 1.19 0.13 0.0004 0.11 220、0.02 0.0002 0.06 二期 工程 后全 厂 非甲烷总烃 0.146 658.78 4.63 0.014 62.58 0.61 0.007 32.94 其中 NMP 0.037 128.40 1.18 0.004 12.20 0.16 0.002 6.42 甲醇 0.037 47.40 1.18 0.004 4.50 0.16 0.002 2.37 异丙醇 0.031 184.00 0.97 0.003 17.48 0.13 0.002 9.20 DMF 0.038 11.28 1.19 0.004 1.07 0.16 0.002 0.56 丁酮 0.037 31.20 1.18 0221、.004 2.96 0.15 0.002 1.56 丙酮 0.090 134.4 2.84 0.009 12.77 0.37 0.004 6.72 氨气 0.004 3.97 0.13 0.0004 0.38 0.02 0.0002 0.20 注：此表格中非甲烷总烃包含乙醇、NMP、甲醇、异丙醇、DMF、丁酮、丙酮。4.灰化废气（G9）本项目针对干法蚀刻后，基片上可能残存碳化的光刻胶，采用氧气灰化机灰化处理，届时会产生少量废气，主要成分为 O2、N2、CO、CO2。因加工量较少，废气产生量也少，本环评不定量分析。为确保生产车间内环境，建议设置废气收集系统，将此部分废气引出车间排放。5.化学品库222、废气 本项目特殊气体和化学品根据生产需要由供应商负责储存、运输、供货。特殊气体采用钢质高压容器，工艺中所使用化学品的储存，全部采用不锈钢或不锈钢聚已烯内胆或锰钢等钢质桶、罐密封后用车运的方式运输入厂，然后根据其不同的用途和性质分别储存在甲类库和特气柜内。本项目涉及的特殊气体及其他化学品的全部采用密闭式小包装，在储存过程中仅有极少量无组织排放现象。本项目化学品使用时，转运至生产厂房内的专用化学品供应间，供应间均为洁净车间，化学品容器仅在开启时有少量无组织废气产生，通过供应间排风系统接至相应的废气排气筒后有组织排放，可消除生产车间的无组织排放情况。6.汇总 高性能激光器项目环境影响报告书 xxxx223、环境建设有限公司 64 xx市xx区上塘路 329 号 本项目各废气污染物产生和排放情况见表 3.2-17。表表3.2-17 本项目各废本项目各废气污染物产生气污染物产生和排放情况汇总表（单位：和排放情况汇总表（单位：kg/a）污染物污染物 一期一期工程工程 二二期期工程后工程后全厂全厂 产生量产生量 削减量削减量 排放量排放量 产产生生量量 削减量削减量 排排放放量量 粉尘 7.80 7.37 0.43 26.0 24.60 1.40 砷化氢 0.98 0.93 0.05 3.28 3.12 0.16 磷化氢 31.12 29.56 1.56 103.74 98.55 5.19 甲烷 3.0224、3 2.88 0.15 10.09 9.59 0.50 硫酸雾 27.12 20.61 6.51 86.18 65.5 20.68 氯化氢 46.08 35.02 11.06 153.6 116.74 36.86 磷酸雾 2.16 1.03 1.13 7.2 3.42 3.78 氟化物 469.87 374.24 95.63 1566.24 1247.46 318.78 溴化氢 4.38 2.08 2.3 14.61 6.94 7.67 氯气 426.48 341.18 85.3 1421.59 1137.27 284.32 硅烷 0.02 0.018 0.002 0.05 0.04 0.01225、 NOX 10.17 9.15 1.02 33.90 30.51 3.39 氨 6.08 5.66 0.42 20.26 18.87 1.39 非甲烷总烃 202.38 171.680 30.70 674.61 572.29 102.32 其中 NMP 38.52 32.921 5.599 128.4 109.78 18.62 甲醇 14.22 12.16 2.06 47.4 40.53 6.87 异丙醇 55.02 47.02 8.00 184 157.32 26.68 DMF 3.38 2.89 0.49 11.28 9.64 1.64 丁酮 9.36 8 1.36 31.2 26.68 226、4.52 丙酮 40.32 34.47 5.85 134.4 114.91 19.49 乙酸 3.78 1.8 1.98 12.6 5.98 6.62 乙烯 0.14 0.13 0.01 0.47 0.42 0.05 VOCS 205.41 176.49 30.85 684.70 588.28 102.82 注：此表格中非甲烷总烃包含乙烷、乙醇、NMP、甲醇、异丙醇、DMF、丁酮、丙酮、乙酸、乙烯和其他非甲烷总烃；VOCS包含甲烷、非甲烷总烃。3.2.4.2 废水废水 本项目在营运期所产生的废水包括生产废水和职工办公生活污水，1.生产废水 本项目生产废水包括酸洗废水（包括一般酸性废水、含氟废水227、含磷废水）、有机废水、研磨废液、切割清洗废水、纯水制备装置废水、循环冷却系统定期排污水、废气洗涤塔排水等，具体分析如下：（1）酸洗废水 项目酸洗废水主要来自于外延后清洗、湿法蚀刻后清洗、镀金后清洗。酸性废液委外处置，清洗产生的废水则分类收集进入厂区内污水中和处理设施进行处理。根据所用酸洗液不同，酸洗废水分为一般酸性废水、含氟废水、含磷废水。高性能激光器项目环境影响报告书 xxxx环境建设有限公司 65 xx市xx区上塘路 329 号 一般酸性废水（W1）：包括硫酸+双氧水、盐酸、硫酸、乙酸+氢溴酸/碘酸等酸液清洗后的废水和镀金线清洗废水，均为连续排放；另外部件酸洗后清洗废水为间歇排放。此类废228、水不含氟、氮、磷。根据企业提供工艺参数和水平衡图分析，工艺xx般酸性废水一期工程产生量为5.96m3/d（1490m3/a），二期工程建成后全厂产生量为 19.87m3/d（4968m3/a）；部件酸性废水一期工程产生量为 0.03m3/d（6m3/a），二期工程建成后全厂产生量为 0.08m3/d（18m3/a）。废水主要污染因子为 pH、CODCr、SS，进入酸性废水处理系统进行处理。含氟废水（W2）：为硝酸+氢氟酸+BOE 蚀刻液等酸液清洗后的废水，为连续排放。根据企业提供工艺参数和水平衡图分析，此股废水一期工程产生量为 3.97m3/d（994m3/a），全厂产生量为 13.25m3/229、d（3312m3/a），废水主要污染因子为 pH、CODCr、SS、氟化物、TN、NH3-N，进入含氟废水处理系统处理。含磷废水（W3）：为盐酸+磷酸等酸液清洗后的废水，为连续排放。根据企业提供工艺参数和水平衡图分析，此股废水一期工程产生量为 2.98m3/d（745m3/a），二期工程建成后全厂产生量为 9.94m3/d（2484m3/a），废水主要污染因子为 pH、CODCr、SS、TP，进入含氮、磷废水处理系统处理。（2）有机废水（W4）本项目光刻工艺使用的显影液、光刻胶等有机溶剂，清洗去胶和剥离使用的 NMP、甲醇、乙醇、异丙醇、DMF、丁酮等有机溶剂，残留在基片上的有机溶剂经清洗后进230、入废水，形成有机废水，为连续排放。根据企业提供工艺参数和水平衡图分析，此类清洗废水一期工程产生量为1.86m3/d（464m3/a），二期工程建成后全厂产生量为 6.19m3/d（1548m3/a）。此股废水主要污染因子为 pH、COD、SS、氨氮、总氮，进入含氮、磷废水处理系统处理。（3）研磨废液 主要来源于研磨抛光工序中产生的含 SiO2磨料废水，据企业提供工艺参数，一期工程研磨用水量为 0.04m3/d（10m3/a），二期工程建成后全厂研磨用水量为 0.13m3/d（33.3m3/a），按损耗 10%计，一期工程研磨废液（含研磨料，下同）产生量为 9.026m3/a，全厂研磨废液产生量231、为 30.085m3/a，废水主要污染因子为 pH、COD、SS、石油类。根据研磨蜡、研磨液消耗量估算，此类废水 COD 约 1500mg/L，相对项目其他生产废水，此类废水有机物浓度较高，企业拟将此股废水单独收集，作为危险废物委托有资质单高性能激光器项目环境影响报告书 xxxx环境建设有限公司 66 xx市xx区上塘路 329 号 位处理。（4）切割清洗废水（W5）芯片切割过程产生一定量的清洗废水，据企业提供工艺参数，一期工程切割清洗用水量为 0.1m3/d（25m3/a），二期工程建成后全厂切割清洗用水量为 0.33m3/d（83.3m3/a），按损耗 10%计，一期工程切割清洗废水产生量232、为 0.09m3/d（22.5m3/a），全厂切割清洗废水产生量为 0.3m3/d（75m3/a），废水主要污染因子为 COD、SS，进入含氮、磷废水处理系统处理。（5）纯水制备装置废水（W6）本项目纯水站首先通过过滤等方式对自来水原水进行预处理，再用反渗透法（RO）先制得初纯水，进一步使用离子交换和紫外线杀菌等方法来制取高纯水。纯水制备过程将产生浓水（含反洗废水）和酸碱再生废水。根据设计，本项目纯水站制水率为 70%，根据水平衡计算，一期工程浓水产生量约 6.23m3/d、1559m3/a，再生废水产生量约 12m3/a；二期工程建成后全厂浓水产生量约 20.78m3/d、5194m3/a，233、再生废水产生量约 36m3/a。此类废水主要污染物为 CODCr、SS。浓水部分用于废气水洗塔/喷淋塔补充水，多余部分直接排入废水处理站混合池；再生废水进入酸性废水处理系统进行处理。根据水量平衡计算，浓水排入混合池量一期约 2.89m3/d（723m3/a），二期建成后全厂约 10.84m3/d（2711m3/a）。（6）循环冷却系统定期排污水（W7）本项目采用风冷式冷水机组提供设备冷却用水，用于设备的间接冷却，为确保冷却效果和循环水水质，循环冷却水需要每天排放一部分，形成排污水。排污水按循环水量 1%计，根据企业设备运行情况计算，则一期时冷却水循环量为 180m3/d、排污水约 1.8m3/234、d（322.5m3/a），二期时全厂冷却水循环量为 240m3/d、排污水约 2.4m3/d（600m3/a）。此类废水主要污染物为 CODCr、SS。此类废水污染物较低，直接排入废水处理站混合池。（7）废气洗涤塔排水 酸性废气洗涤塔废水（W8）、干法蚀刻废气水洗塔废水（W9）本项目酸液清洗、湿法蚀刻、干法蚀刻过程中产生的硫酸雾、HCl、磷酸雾、HF、溴化氢、Cl2、氟化物等酸性废气经二级碱液喷淋吸收塔吸收处理后排放，排放的废水为吸收塔中多次循环使用的吸收废水，平均 8h 更换一次。根据企业提供废气设计方案，高性能激光器项目环境影响报告书 xxxx环境建设有限公司 67 xx市xx区上塘路 3235、29 号 单个吸收塔初次装水量约 0.8m3。考虑 5%的损耗，则单次废水排放量约为 1.52m3，则一期排放量约 1.52m3/d（380m3/a），二期建成后排放量约 4.56m3/d（1140m3/a）。主要污染物为 pH、氟化物、总磷等。另外干法蚀刻废气采用水洗预处理，再接入碱液喷淋吸收塔。水洗塔用水定期更换，形成废水。根据企业提供设计资料，水洗塔用水量约 0.3L，平均 2h 更换一次。则此股废水产生量一期约 1.2m3/d、300m3/a，二期约 3.6m3/d、900m3/a，主要污染物为pH、氟化物等。上述废水进入含氟废水处理系统进行预处理。沉积废气电热水洗装置废水（W10）项236、目沉积废气采用电热+水洗处理，水洗塔用水定期更换，形成废水。根据企业提供设计资料，此装置水洗塔用水量约 0.1L，平均 2h 更换一次。则此股废水产生量一期约 0.4m3/d、90m3/a，二期约 1.2m3/d、300m3/a，主要污染物为 pH、SS、氨氮、总氮等。此股废水进入含氮、磷废水处理系统进行预处理。有机废气水洗塔装置废水（W11）本项目有机废气采用“水喷淋+除雾器+活性炭吸附”处理后排放，排放的废水为水洗塔中多次循环使用的吸收废水，平均 8h 更换一次。根据企业提供废气设计方案，吸收塔初次装水量约 0.4m3。考虑 5%的损耗，则单次废水排放量约为 0.38m3，则一期排放量约 237、0.38m3/d（95m3/a），二期建成后排放量约 1.14m3/d（285m3/a）。此股废水主要污染因子为 pH、COD、SS、氨氮、总氮，进入含氮、磷废水处理系统处理。（8）酸液配置用水 项目部分酸液使用时，需要添加一定比例的纯水稀释后使用，根据企业提供资料，一期工程需要纯水约 3.3m3/a，二期建成后需要纯水约 10.9m3/a。此部分用水除部分蒸发损耗外，其余与更换的酸液一起成为废酸液，作为危险废物处理。2.生活污水（W12）本项目分期建设，一期劳动定员 17 人，二期增加至 40 人，全年生产 250 天，宿舍和食堂依托园区已有服务设施，人均用水按 120L/d 计，生活污水的238、产生量按用水量的 85%计，则一期员工生活用水量为 2.0m3/d（510m3/a），生活污水产生量为 1.7m3/d（434m3/a）；二期员工生活用水量 4.8m3/d（1200m3/a），生活污水产生量为 4.1m3/d（1020m3/a）。生活污水主要污染因子为 COD、氨氮、总氮、总磷，进入园区生活污水处理系统。高性能激光器项目环境影响报告书 xxxx环境建设有限公司 68 xx市xx区上塘路 329 号 3.生产废水、生活污水处理和排放情况 本项目废水处理和排放情况见下表。表表3.2-18 本项目废水排放及处理情况表本项目废水排放及处理情况表 序序号号 废水废水预处预处理理系统系统239、 废水废水种类种类 主要污染物主要污染物 废水废水产产生量生量 处处理理工工艺艺 处理后废水处理后废水去向去向 一一 生产废水生产废水 1 酸性废水预处理系统 一般酸性废水（W1）pH、CODCr、SS 一期 15747m3/a，全厂 5153m3/a 化学中和+絮凝沉淀 混合池+总排口 离子树脂再生废水（W6）一期 12m3a，全厂36m3/a 2 含氟废水预处理系统 含氟废水（W2）pH、CODCr、SS、氟化物、TN、NH3-N 一期 994m3/a，全厂 3312m3/a 化学沉淀 pH 回调池 酸性废气洗涤塔废水（W8）pH、氟化物、TP 一期 380m3/a，全厂 1140m3/a240、 干法蚀刻废气水洗塔废水（W9）pH、氟化物 一期 300m3/a，全厂 900m3/a 3 含氮、磷废水预处理系统 含磷废水（W4）pH、CODCr、SS、TP 一期 745m3/a，全厂 2484m3/a 化学沉淀 pH 回调池 有机废水（W3）pH、COD、SS、TN、NH3-N 一期 464m3/a，全厂 1548m3/a 切割清洗废水（W5）COD、SS 一期 22.5m3/a，全厂 75m3/a 沉积废气电热水洗装置废水（W10）pH、SS、TN、NH3-N 一期 90m3/a，全厂300m3/a 有机废气水洗塔装置废水（W11）pH、COD、TN、NH3-N 一期 95m3/a，241、全厂285m3/a 4 pH 回调池-一期 4508.5m3/a，全 14729m3/a 化学中和 混合池+总排口 二二 清洁排水清洁排水 纯水制备装置浓水（W6）CODCr、SS 一期 723m3/a，全厂 2711m3/a-混合池+总排口 循环冷却系统定期排污水（W7）CODCr、SS 一期 322.5m3/a，全厂 600m3/a-三三 生活污水生活污水 员工生活污水（W12）CODCr、SS、NH3-N 一期 434m3/a，全厂 1020m3/a 隔油池+化粪池 总排口 合计合计 一期一期 6139m3/a，全，全厂厂 19564m3/a-园区总排园区总排口口 本项目外排废水主要为生242、产废水和员工生活污水，一期工程废水产生量为6139m3/a，二期工程建成后全厂废水产生量为 19564m3/a。生产废水经厂区污水预处理设施处理后纳管；生活污水经化粪池预处理后纳管，最终送xxxx污水处理厂统一处理达标后排放。根据本项目建设方案，采用类比国内同类型企业的废水源强和结合本项目物料衡算的方法，得出项目各类废水的源强，见下表。高性能激光器项目环境影响报告书 xxxx环境建设有限公司 69 xx市xx区上塘路 329 号 表表3.2-19 本项目各类废水污染物和浓度情况一览表本项目各类废水污染物和浓度情况一览表 序序号号 废水名称废水名称 污染物浓度（污染物浓度（mg/L）pH（无量纲243、）（无量纲）CODCr 氨氮氨氮 总氮总氮 总总磷磷 氟化物氟化物 SS 1 一般酸性废水 46 200-150 2 含氟废水 34 200 5 10-30 150 3 含磷废水 34 100-20-150 4 有机废水 69 500-20-150 5 切割废水-200-400 6 纯水制备废水-100-50 7 循环冷却系统排污水-100-50 8 酸性废气洗涤塔排水、干法蚀刻废气水洗塔废水 910-5 1000 100 9 沉积废气电热水洗装置废水 69 200 5 10-100 10 有机废气水洗塔装置废水-800 35 70-11 生活污水-350 35 45 5-注：生活污水污染物浓244、度参考排放源统计调查产排污核算方法和系数手册中生活污染源产排系数手册。项目涉及到砷元素的工艺为外延工艺，外延废气采用干式吸附法处理、管路和设备反应腔采用气体清洁，不涉及废水，无砷元素进入废水，故本项目生产废水不含砷元素。本项目一期和二期建成后全厂废水处理情况见表 3.2-20表 3.2-21。表表3.2-20 一期工程废水处理情况一览表一期工程废水处理情况一览表 废水种类废水种类 废水量废水量（m3/a）主要主要污污染物染物 处理前处理前 处理后处理后 处处理理效效率（率（%）浓浓度度（mg/L）产生产生量量（t/a）浓度浓度（mg/L）排放量排放量（t/a）一、酸性废水处理系统：化学一、酸性245、废水处理系统：化学中和中和+絮凝沉淀后排入混合池絮凝沉淀后排入混合池 一般酸性废水（W1）1547 pH 46-CODCr 200-SS 150 0.309 -离子树脂再生废水（W6）12 pH 69 0.232 -CODCr 100-SS 50 0.001 -小计 1559 pH-0.001 69-CODCr-159 0.248 20 SS-0.311 119 0.186 20 二、含氟废二、含氟废水处理系统水处理系统:化学沉淀后排入化学沉淀后排入 pH 回调池回调池 含氟废水（W2）994 pH 34-CODCr 200 0.199 -SS 150 0.149 -氟化物 30 0.030 246、-TN 5 0.005 -NH3-N 10 0.010 -酸性废气洗涤塔废680 pH 910-高性能激光器项目环境影响报告书 xxxx环境建设有限公司 70 xx市xx区上塘路 329 号 水（W8）、干法蚀刻废气水洗塔废水（W9）氟化物 1000 0.680-TP 10 0.007-小计 1670 pH-CODCr 119 0.199 95 0.159 20 SS 89 0.149 71 0.119 20 氟化物 424 0.710 42 0.071 90 TN 3 0.005 2 0.004 20 NH3-N 6 0.010 5 0.008 20 TP 4 0.007 3 0.005 2247、0 三、含氮、三、含氮、磷废水处理磷废水处理系统：化学沉淀系统：化学沉淀后后排入排入 pH 回调池回调池 含磷废水（W4）745 pH 34-CODCr 100 0.075 -SS 150 0.112 -TP 20 0.015 -有机废水（W3）464 pH 69-CODCr 500 0.232 -SS 150 0.070 -TN 20 0.009 -切割清洗废水（W5）22.5 CODCr 200 0.005-SS 400 0.009-沉积废气电热水洗装置废水（W10）100 pH 69-CODCr 200 0.020-SS 100 0.010-TN 10 0.001-NH3-N 5 0.0248、01-有机废气水洗塔装置废水（W11）95 pH 69-CODCr 800 0.076-TN 70 0.007-NH3-N 35 0.003-小计 1426.5 pH-CODCr 285 0.407 228 0.326 20 SS 140 0.200 112 0.160 20 TN 12 0.017 9 0.014 20 NH3-N 3 0.004 2 0.003 20 TP 10 0.015 8 0.012 20 四、四、pH 回回调调池：化学中池：化学中和后排入混和后排入混合池合池 pH 回调池 3100.5 pH-CODCr 156 0.485 156 0.485 -SS 90 0.28249、0 90 0.280 -氟化物 23 0.071 23 0.071 -TP 6 0.017 6 0.017 -TN 6 0.018 6 0.018 -NH3-N 4 0.011 4 0.011 -高性能激光器项目环境影响报告书 xxxx环境建设有限公司 71 xx市xx区上塘路 329 号 五、清洁排水五、清洁排水 纯水制备装置浓水（W6）723 CODCr 100 0.072 -SS 50 0.036 -循环冷却系统定期排污水（W7）322.5 CODCr 100 0.032-SS 50 0.016-小计 1045.5 CODCr 100 0.105 100 0.105 -SS 50 0.0250、52 50 0.052 -六、混六、混合池：合池：经处理后的生产废水与清洁排水混经处理后的生产废水与清洁排水混合后合后排放排放 混合池 5705 pH-CODCr 147 0.838 147 0.838 -SS 91 0.518 91 0.518 -氟化物 12 0.071 12 0.071 -TP 3 0.017 3 0.017 -TN 3 0.018 3 0.018 -NH3-N 2 0.011 2 0.011 -七七、生活污水处理系统生活污水处理系统：隔油池：隔油池+化化粪粪池池 生活污水 434 CODCr 350 0.152 245 0.106 30 NH3-N 35 0.015 3251、3 0.014 5 TN 45 0.020 45 0.020 0 TP 5 0.002 5 0.002 0 表表3.2-21 二期建成后全厂废水处理情二期建成后全厂废水处理情况一览表况一览表 废水种类废水种类 废水量废水量（m3/a）主要污主要污染物染物 处理前处理前 处理后处理后 处理效处理效率（率（%）浓度浓度（mg/L）产生量产生量（t/a）浓度浓度（mg/L）排放量排放量（t/a）一一、酸性废水处理系统：化学酸性废水处理系统：化学中中和和+絮凝沉淀后排入絮凝沉淀后排入混合池混合池 一般酸性废水（W1）5153 pH 46-CODCr 200 1.031 -SS 150 0.773 -离252、子树脂再生废水（W6）36 pH 69-CODCr 100 0.004 -SS 50 0.002 -小计 5189 pH-69-CODCr-1.034 159 0.827 20 SS-0.775 119 0.620 20 二、含氟废二、含氟废水处理系统水处理系统:化化学学沉淀后沉淀后排入排入 pH 回调池回调池 含氟废水（W2）3312 pH 34-CODCr 200 0.662 -SS 150 0.497 -氟化物 30 0.099 -TN 5 0.017 -NH3-N 10 0.033 -酸性废气洗涤塔废水（W8）、干法蚀刻废气水洗塔废水（W9）2040 pH 910-氟化物 1000 2253、.040 -TP 10 0.020 -高性能激光器项目环境影响报告书 xxxx环境建设有限公司 72 xx市xx区上塘路 329 号 小计 5352 pH-CODCr 124 0.662 99 0.530 20 SS 93 0.497 74 0.397 20 氟化物 400 2.139 40 0.214 90 TN 3 0.017 2 0.013 20 NH3-N 6 0.033 5 0.026 20 TP 4 0.020 3 0.016 20 三、含氮三、含氮、磷废水、磷废水处理处理系统：化学沉淀后排入系统：化学沉淀后排入 pH 回回调调池池 含磷废水（W4）2484 pH 34-CODCr254、 100 0.248 -SS 150 0.373 -TP 20 0.050 -有机废水（W3）1548 pH 69-CODCr 500 0.774 -SS 150 0.232 -TN 20 0.031 -切割清洗废水（W5）75 CODCr 200 0.015 -SS 400 0.030 -沉积废气电热水洗装置废水（W10）300 pH 69-CODCr 200 0.060 -SS 100 0.030 -TN 10 0.003 -NH3-N 5 0.002 -有机废气水洗塔装置废水（W11）285 pH 69-CODCr 800 0.228 -TN 70 0.020 -NH3-N 35 0.0255、10 -小计 4692 pH-CODCr 282 1.325 226 1.060 20 SS 142 0.665 113 0.532 20 TN 11 0.054 9 0.043 20 NH3-N 2 0.011 2 0.009 20 TP 11 0.050 8 0.040 20 四、四、pH 回调池：化学中和后排入混合回调池：化学中和后排入混合池池 pH 回调池 10044 pH-69-CODCr 158 1.590 158 1.590 -SS 93 0.929 93 0.929 -氟化物 21 0.214 21 0.214 -TP 6 0.056 6 0.056 -TN 6 0.056 6256、 0.056 -NH3-N 4 0.036 4 0.036 -五、清洁排水五、清洁排水 纯水制备装置浓水（W6）2711 CODCr 100 0.271 -SS 50 0.136 -高性能激光器项目环境影响报告书 xxxx环境建设有限公司 73 xx市xx区上塘路 329 号 循环冷却系统定期排污水（W7）600 CODCr 100 0.060 -SS 50 0.030 -小计 3311 CODCr 100 0.331 100 0.331 -SS 50 0.166 50 0.166 -六、六、混混合池：合池：经处理后的生产废水与清洁排水混合后排放经处理后的生产废水与清洁排水混合后排放 混合池 257、18544 pH 69-69-CODCr 148 2.749 148 2.749 -SS 92 1.715 92 1.715 -氟化物 12 0.214 12 0.214 -TP 3 0.056 3 0.056 -TN 3 0.056 3 0.056 -NH3-N 2 0.036 2 0.036 -七、生活污水处理系统：隔油池七、生活污水处理系统：隔油池+化化粪池粪池 生活污水 1020 CODCr 350 0.357 245 0.250 30 NH3-N 35 0.036 33 0.034 5 TN 45 0.046 45 0.046 0 TP 5 0.005 5 0.005 0 本项目一期258、和二期建成后全厂废水产生和排放情况见表 3.2-22。表表3.2-22 本项本项目废目废水产生和排放情况一览表水产生和排放情况一览表 实施实施阶段阶段 废水废水类类别别 废水量废水量（m3/a）名称名称 pH CODCr SS 氟化物氟化物 总磷总磷 总总氮氮 氨氮氨氮 一期工程 生产废水 5705 产生量（t/a）-1.021 0.634 0.710 0.017 0.022 0.014 生产废水处理设施排放浓度（mg/L）69 147 91 12 3 3 2 纳管标准（mg/L）69 500 400 20 8 70 35 达标情况 达标 达标 达标 达标 达标 达标 达标 生活污水 434 259、产生量（t/a）-0.152 -0.002 0.020 0.015 化粪池排放浓度（mg/L）-245 -5 45 33 纳管标准（mg/L）69 500-8 70 35 达标情况 达标 达标-达标 达标 达标 综合废水 6139 外排环境浓度（mg/L）69 50 10 20 0.5 15 2.5 外排环境量（t/a）-0.307 0.061 0.071 0.003 0.037 0.015 二期建成后全厂 生产废水 18544 产生量（t/a）-3.353 2.102 2.139 0.056 0.067 0.034 生产废水处理设施排放浓度（mg/L）69 148 92 12 3 3 2 纳260、管标准（mg/L）69 500 400 20 8 70 35 达标情况 达标 达标 达标 达标 达标 达标 达标 生活污水 1020 产生量（t/a）-0.357 -0.005 0.046 0.036 化粪池排放浓度（mg/L）-245 -5 45 33 纳管标准（mg/L）69 500-8 70 35 高性能激光器项目环境影响报告书 xxxx环境建设有限公司 74 xx市xx区上塘路 329 号 达标情况 达标 达标 达标 达标 达标 达标 达标 综合废水 19564 外排环境浓度（mg/L）69 50 10 20 0.5 15 2.5 外排环境量（t/a）-0.978 0.196 0.21261、4 0.010 0.102 0.049 注：城镇污水处理厂污染物排放标准（GB18918-2002）中无氟化物指标，参照电子工业水污染物排放标准（GB39731-2020）表 1 水污染物排放限值中半导体器件的间接标准要求执行；废水处理站总排口排放浓度低于外排环境浓度，排放量按纳管量计。本项目废水污染物产生及排放量统计见下表。表表3.2-23 本项目废水污染物产生及排放情况表本项目废水污染物产生及排放情况表 类别类别 污染物污染物 产生量产生量 削减量削减量 排放排放量量 一期 废水量（m3/a）6139 0.0 6139 CODCr（t/a）1.173 0.866 0.307 SS（t/a）262、0.634 0.573 0.061 氟化物（t/a）0.710 0.639 0.071 TP（t/a）0.024 0.021 0.003 TN（t/a）0.041 0.004 0.037 NH3-N（t/a）0.029 0.014 0.015 二期建成后全厂 废水量（m3/a）19564 0.0 19564 CODCr（t/a）3.710 2.732 0.978 SS（t/a）2.102 1.906 0.196 氟化物（t/a）2.139 1.925 0.214 TP（t/a）0.075 0.065 0.010 TN（t/a）0.116 0.014 0.102 NH3-N（t/a）0.080 263、0.031 0.049 3.2.4.3 噪声噪声 本项目噪声源可分为两个部分：一是生产厂房内设备噪声污染源，另一个为动力设施噪声污染源。本项目除空压机、冷水机组、冷却水泵、部分风机和生产废水处理设施设置于室外，其他生产设施均布置在生产厂房内。本项目属于电子工业，工艺设备均为密闭式设备，且对环境微振动要求极高，均安装在洁净室内，噪声源强均小于 70dB（A），再经建筑隔声、基础减震等有效的降噪措施，可大大降低其噪声对周围环境的影响。本项目主要噪声设备为空压机、冷水机组、各类水泵、风机等，类比调查，各噪声设备声压级见表 3.2-24。表表3.2-24 本项目主要本项目主要噪声源强一览表噪声源强一览264、表 序序号号 噪声源噪声源 数量（台）数量（台）源强源强（dB）设施布置位置设施布置位置 声源特声源特性性 一期一期 二期二期增加增加 1 真空泵 10 2 7585 生产车间内 测量点距设备2 水泵 5 0 7585 高性能激光器项目环境影响报告书 xxxx环境建设有限公司 75 xx市xx区上塘路 329 号 3 冷水机组 11 0 8085 综合动力站 1m 处 4 冷却水泵 11 0 7585 5 空压机 1 0 8595 7 风机 4 0 7585 生产厂房建筑物楼顶 8 水泵 3 0 7585 9 水泵 10 0 7585 废水处理站 3.2.4.4 固废固废 1.副产物产生情况 265、本项目实施后各类副产物分析如下：（1）废衬片（S1）、废次品（S7）根据企业原辅料消耗情况和物料平衡，计算得一期工程废衬片、废次品产生量为19.54kg/a，二期工程后全厂废衬片、废次品产生量 65.15kg/a。废衬片、废次品属于一般工业固废，外售综合利用。（2）MOCVD 室反应沉积物（S2）主要来自外延工序，为沉积在管路和 MOCVD 反应腔壁内沉积物，经气体清洁后收集。根据企业提供资料和物料平衡计算，一期工程反应沉积物产生量约 0.97kg/a；二期工程后全厂产生量为 3.22kg/a。此类废物属于一般工业固废，由专业厂家回收综合利用。（3）废酸液（S3）主要来自硫酸+双氧水、盐酸+磷266、酸、乙酸+氢溴酸/碘酸等酸液清洗、湿法蚀刻和部件硫酸清洗等工序，根据企业提供资料和物料平衡、水平衡计算，一期工程废酸液产生量约 5.12t/a；二期工程后全厂产生量为 17.067t/a。此类废物属于危险废物，经收集后储存于危险废物暂存库，交由有资质单位统一处理。（4）含氟废液（S4）主要来自硝酸+氟化氢+BOE 蚀刻液等酸液清洗以及湿法蚀刻工序，根据企业提供资料和物料平衡计算，一期工程含氟废液产生量约 0.775t/a；二期工程后全厂产生量为2.583t/a。此类废物属于危险废物，经收集后储存于危险废物暂存库，交由有资质单位统一处理。（5）废光刻胶、聚酰亚胺（S5）主要来自光刻工序，根据企业267、提供资料和物料平衡计算，一期工程废光刻胶、聚酰亚胺产生量约 15.75kg/a；二期工程后全厂产生量为 52.50kg/a。此类废物属于危险废高性能激光器项目环境影响报告书 xxxx环境建设有限公司 76 xx市xx区上塘路 329 号 物，经收集后储存于危险废物暂存库，交由有资质单位统一处理。（6）废显影液（S6）主要来自光刻工序，根据企业提供资料和物料平衡计算，一期工程废显影液产生量约 0.191t/a；二期工程后全厂产生量为 0.635t/a。此类废物属于危险废物，经收集后储存于危险废物暂存库，交由有资质单位统一处理。（7）有机废液（S8）主要来自有机溶剂清洗去胶、剥离和治具丙酮清洗工序268、，根据企业提供资料和物料平衡计算，一期工程废有机溶剂产生量约 0.798t/a（其中废丙酮、异丙醇、乙醇产生量约 0.225t/a）；二期工程后全厂产生量为 2.067t/a（其中废丙酮、异丙醇、乙醇产生量约 0.751t/a）。此类废物属于危险废物，经收集后储存于危险废物暂存库，交由有资质单位统一处理。（8）废金属箔（S9）主要来自金属蒸镀工序，一期工程废金属箔产生量约 0.915kg/a；二期工程后全厂产生量为 3.05kg/a。此类废物属于一般工业固废，由专业厂家回收综合利用。（9）废镀金液（S10）主要来自化学镀金工序，根据企业提供资料和物料平衡计算，一期工程废镀金液产生量约 0.07269、2t/a；二期工程后全厂产生量为 0.240t/a。此类废物属于危险废物，经收集后储存于危险废物暂存库，交由有资质单位统一处理。（10）研磨废液（S11）根据前文分析，一期工程研磨废液产生量为 9.026t/a；二期工程后全厂研磨废液产生量为 30.085t/a。经收集后储存于危险废物储存间，交由有资质单位统一处理。（11）废靶材（S12）主要来自镀透光膜工序，根据企业提供资料和物料平衡计算，一期工程废镀金液产生量约 0.113kg/a；二期工程后全厂产生量为 0.375kg/a。此类废物属于一般工业固废，由专业厂家回收综合利用。（12）废包装物（S13）本项目使用原辅料较多，会产生一定量的废270、包装物，可分为废化学品容器和一般废包装物两类；其中废化学品容器为沾有危化品的包装物，一般废包装物为除沾有危化品的包装物以外的其他原辅料废包装纸、塑料、木材等。根据企业所用化学品量、包装品规格，一期废化学品容器产生量约 0.5t/a，一般废包装物产生量约 1.5t/a；二期高性能激光器项目环境影响报告书 xxxx环境建设有限公司 77 xx市xx区上塘路 329 号 工程后全厂废化学品容器产生量约 1.7t/a，一般废包装物产生量约 5.1t/a。废化学品容器属于危险废物，经收集后储存于危险废物暂存库，交由有资质单位统一处理；一般废包装物属于一般工业固废，外售综合利用。（13）纯水制备过程产生的271、废 RO 膜、废滤芯、废活性炭（S14）、废离子树脂（S15）纯水制备设备会产生一定量的废 RO 膜、废滤芯、废活性炭和废离子树脂等，类比同类企业，核算一期工程废 RO 膜、废滤芯、废活性炭产生量约 0.2t/a；二期工程后全厂产生量约 0.8t/a，一期工程废离子交换树脂产生量约 0.1t/a、全厂产生量约 0.3t/a。上述废物属于一般工业固废，由生产厂商定期更换回收，不在厂区内暂存。（14）含砷废吸附材料（S16）本项目外延废气采用二级干式吸附法处理，会产生含砷废吸附材料，根据企业提供废气方案，吸附材料一次填充量约 1.4t，为确保吸附材料吸附效率，一期工程拟半年更换一次，二期工程实施后272、两个月更换一次。根据前文计算，一期工程外延废气削减量为 41.51kg/a，二期工程后全厂削减量为 138.36kg/a，则一期工程含砷废吸附材料产生量约 2.842t/a、全厂产生量约 8.538t/a。此类废物属于危险废物，更换后，吸附桶入口和出口端均封锁后，收集储存于危险废物暂存库专区，交由有资质单位统一处理。（15）有机废气废活性炭（S17）本项目有机废气采用“水喷淋+除雾器+活性炭吸附”处理措施，活性炭定期更换，形成废活性炭。参考xx省工业涂装工序挥发性有机物排放量计算暂行方法（浙环发201730 号），一般活性炭对有机溶剂的吸附量为 0.15t/t 活性炭。根据前文计算，一期工程有273、机废气削减量为 169kg/a，二期工程后全厂削减量为 563kg/a，按最不利考虑，即有机废气全部由活性炭吸附削减，则一期工程需要活性炭约 1.13t/a、二期工程后全厂需要活性炭约 3.76t/a。根据xx市生态环境局关于加强低效挥发性有机物治理设施改造升级工作的通知（杭环便函2022192 号）要求：原则上活性炭更换周期一般不应超过累计运行 500 小时或 3 个月。根据企业提供废气方案，活性炭一次填充量约 1.0t，按更换周期为 500h 考虑，则一期工程平均 62 天更换一次，需要活性炭 4t/a；二期工程平均 20天更换一次，需要活性炭 13t/a。故本环评按活性炭用量较大计算废活274、性炭产生量，一期工程废活性炭产生量为高性能激光器项目环境影响报告书 xxxx环境建设有限公司 78 xx市xx区上塘路 329 号 4.2t/a，二期工程全厂废活性炭产生量为 13.6t/a。此类废物属于危险废物，经收集后储存于危险废物暂存库，交由有资质单位统一处理。（16）生产废水处理站污泥（S18、S19）本项目拟自建生产废水处理站，用于处理生产过程中工艺废水及废气处理中喷淋废水等，生产废水处理中会有污泥产生。项目生产废水分质处理，其中酸性废水处理系统涉及到化学镀金工序排水，此系统产生污泥含有少量金元素，属于危险废物；其余生产废水处理单元产生的污泥主要成分为氟化钙和有机物，属于一般工业固废275、。本项目污泥产生量按集中式污染治理设施产排污系数手册（环境保护部华南环境科学研究所），其他工业废水集中处理设施单位含水污泥（含水率 80%）产生系数为 6.0t/万 t-废水处理量计算，同时一般污泥考虑氟化物去除量。根据前文废水产排放计算，进入酸性废水处理系统水量一期工程为 1559t/a、二期建成后全厂为 5189t/a，则一期工程危废污泥产生量为 0.9t/a，二期建成后全厂污泥产生量为 3.1t/a。此部分污泥委托有资质单位处置。进入其余生产废水处理单元水量一期工程为 3100.5t/a、二期建成后全厂为10044t/a，则一期工程一般污泥产生量为 15.0t/a，二期建成后全厂一般污泥276、产生量为45.5t/a。此部分污泥委托相关处理单位处置。（17）废机油（S20）本项目生产设备和辅助生产设备维修保养会产生少量废机油，一期产生量约0.1t/a，二期产生量约 0.3t/a。此类废物属于危险废物，经收集后储存于危险废物暂存库，交由有资质单位统一处理。（18）废抹布/手套（S21）本项目设备维修维修保养和生产过程中，会产生一定量沾染机油或化学品的抹布、手套等劳保用品，一期产生量约 0.3t/a，全厂产生量约 1.0t/a。此类废物属于危险废物，经收集后储存于危险废物暂存库，交由有资质单位统一处理。（19）生活垃圾（S22）本项目一期定员 17 人，二期建成后，全厂定员 40 人，生277、活垃圾产生量以 1.0kg/p d计，则一期生活垃圾产生量约 4.25t/a，二期建厂后全厂生活垃圾产生量为 10t/a。生活垃圾收集后，委托当地环卫部门清运。高性能激光器项目环境影响报告书 xxxx环境建设有限公司 79 xx市xx区上塘路 329 号 本项目副产物产生情况统计见下表。表表3.2-25 本项目本项目副产物产生情况统计表副产物产生情况统计表 序序号号 副产物副产物名称名称 产产生生工序工序 形态形态 主主要要成分成分 预计预计产生量产生量 计算依计算依据据 一期一期 二期后全二期后全厂厂 1 废衬片、废次品 检验、分选、划片成条、测试等 固态 衬片、芯片 19.54kg/a 6278、5.15kg/a 产污系数法 2 MOCVD 室反应沉积物 外延 固态 GaAs、InP、AlAs、InZnP3等 0.97kg/a 3.22kg/a 物料衡算法 3 废酸液 酸液清洗、湿法蚀刻、部件清洗 液态 硫酸、磷酸、双氧水、盐酸、碘酸、氢溴酸、乙酸等 5.120t/a 17.067t/a 4 含氟废液 酸液清洗、湿法蚀刻 液态 氟化氢、BOE 蚀刻液、硝酸 0.775t/a 2.583t/a 5 废光刻胶、聚酰亚胺 光刻 液态 光刻胶、聚酰亚胺 15.75kg/a 52.50kg/a 6 废显影液 液态 显影液 0.191t/a 0.635t/a 7 废丙酮、异丙醇、乙醇 清洗去胶、剥279、离、治具丙酮清洗 液态 丙酮、异丙醇、乙醇 0.225t/a 0.751t/a 8 其他废有机溶剂 清洗去胶 液态 NMP、DMF、甲醇、丁酮 0.395t/a 1.316t/a 9 废金属箔 蒸镀 固态 钛、铂、金、镍、锗 0.915kg/a 3.05kg/a 10 废镀金液 化学镀金 液态 亚硫酸金钠 0.072t/a 0.240t/a 11 研磨废液 背面减薄 液态 研磨蜡 9.026t/a 30.085t/a 12 废靶材 镀透光膜 固态 硅、二氧化硅、五氧化二钽 0.113kg/a 0.375kg/a 13 一般废包装物 原料包装 固态 包装纸、塑料、木材 1.5t/a 5.1t/a280、 14 废化学品容器 固态 玻璃/塑料、酸液、有机溶剂等 0.5t/a 1.7t/a 15 废离子交换树脂 纯水制备 固态 离子树脂 0.1t/a 0.3t/a 类比法 16 废过滤芯、废活性炭、废反渗透膜 固态 过滤芯、活性炭、反渗透膜 0.2t/a 0.8t/a 17 含砷废吸附材料 外延废气处理装置 固态 活性炭、金属、砷化物 2.842t/a 8.538t/a 物料衡算法 18 有机废气废活性炭 有机废气处理装置 固态 活性炭、有机溶剂 4.2t/a 13.6t/a 19 酸洗废水污泥 酸洗废水处理系统 半固态 金属、有机物 0.9t/a 3.1t/a 产污系数法 20 其他废水污泥 281、其余生产废水处理系统 半固态 氟化钙、有机物 15.0t/a 45.5t/a 21 废机油 设备维修保养 液态 矿物油 0.1t/a 0.3t/a 类比法 22 废抹布/手套 设备维修保养、生产过程 固态 布纤维、矿物油、有机溶剂等 0.3t/a 1.0t/a 类比法 23 生活垃圾 员工办公 固态 塑料，有机质等 4.25t/a 10.0t/a 产污系数法 高性能激光器项目环境影响报告书 xxxx环境建设有限公司 80 xx市xx区上塘路 329 号 2.副产物属性判定（1）固体废物属性 根据固体废物鉴别标准 通则（GB34330-2017），对本项目各类副产物进行属性判定，判定结果如下表。282、表表3.2-26 本项目本项目固体废物属性判定表固体废物属性判定表 序序号号 副产物副产物名称名称 产生工序产生工序 形态形态 主要成分主要成分 是否属是否属于于固废固废 判断判断依据依据 1 废衬片、废次品 检验、分选、划片成条、测试等 固态 衬片、芯片 是 4.2 2 MOCVD室反应沉积物 外延 固态 GaAs、InP、AlAs、InZnP3等 是 4.2 3 废酸液 酸液清洗、湿法蚀刻、部件清洗 液态 硫酸、磷酸、双氧水、盐酸、硝酸、碘酸、氢溴酸、乙酸等 是 4.2 4 含氟废液 酸液清洗、湿法蚀刻 液态 氟化氢、BOE 蚀刻液、硝酸 是 4.2 5 废光刻胶、聚酰亚胺 光刻 液态 光283、刻胶、聚酰亚胺 是 4.2 6 废显影液 液态 显影液 是 4.2 7 废丙酮、异丙醇、乙醇 清洗去胶、剥离、治具丙酮清洗 液态 丙酮、异丙醇、乙醇 是 4.2 8 其他废有机溶剂 清洗去胶 液态 NMP、DMF、甲醇、丁酮 是 4.2 9 废金属箔 蒸镀 固态 钛、铂、金、镍、锗 是 4.2 10 废镀金液 化学镀金 液态 亚硫酸金钠、柠檬酸 是 4.2 11 研磨废液 背面减薄 液态 研磨蜡 是 4.2 12 废靶材 镀透光膜 固态 硅、二氧化硅、五氧化二钽 是 4.2 13 一般废包装物 原料包装 固态 包装纸、塑料、木材 是 4.1 14 废化学品容器 固态 玻璃/塑料、酸液、有机溶剂284、等 是 4.1 15 废离子交换树脂 纯水制备 固态 离子树脂 是 4.3 16 废过滤芯、废活性炭、废反渗透膜 固态 过滤芯、活性炭、反渗透膜 是 4.3 17 含砷废吸附材料 外延废气处理装置 固态 活性炭、金属、砷化物 是 4.3 18 有机废气废活性炭 有机废气处理装置 固态 活性炭、有机溶剂 是 4.3 19 酸洗废水污泥 酸洗废水处理系统 半固态 金属、有机物 是 4.3 20 其他废水污泥 其余生产废水处理系统 半固态 氟化钙、有机物 是 4.3 21 废机油 设备维修保养 液态 矿物油 是 4.1 22 废抹布/手套 设备维修保养、生产过程 固态 布纤维、矿物油、有机溶剂等 是285、 4.1 23 生活垃圾 员工办公 固态 塑料，有机质等 是 4.1（2）危险废物属性 高性能激光器项目环境影响报告书 xxxx环境建设有限公司 81 xx市xx区上塘路 329 号 根据危险废物鉴别标准（GB5085.7-2007）和国家危险废物名录（2021 年版），对本项目产生的固体废物进行危险废物属性判定，判定结果如下表所示。表表3.2-27 本本项项目目危危险险废物属性判废物属性判定定 序号序号 副产物副产物名称名称 产生工序产生工序 是否是否属于危废属于危废 危废代码危废代码 1 废衬片、废次品 检验、分选、划片成条、测试等 否-2 MOCVD 室反应沉积物 外延 否-3 废酸液 286、酸液清洗、湿法蚀刻、部件清洗 是 HW34 900-300-34 4 含氟废液 酸液清洗、湿法蚀刻 是 HW32 900-026-32 5 废光刻胶、聚酰亚胺 光刻 是 HW16 398-001-16 6 废显影液 是 HW16 398-001-16 7 废丙酮、异丙醇、乙醇 清洗去胶、剥离、治具丙酮清洗 是 HW06 900-402-06 8 其他废有机溶剂 清洗去胶 是 HW06 900-404-06 9 废金属箔 蒸镀 否-10 废镀金液 化学镀金 是 HW17 336-057-17 11 研磨废液 背面减薄 是 HW08 900-200-08 12 废靶材 镀透光膜 否-13 一般废包287、装物 原料包装 否-14 废化学品容器 是 HW49 900-041-49 15 废离子交换树脂 纯水制备 否-16 废过滤芯、废活性炭、废反渗透膜 否-17 含砷废吸附材料 外延废气处理装置 是 HW24 261-139-24 18 有机废气废活性炭 有机废气处理装置 是 HW39 900-041-39 19 酸洗废水污泥 酸洗废水处理系统 是 HW17 336-057-17 20 其他废水污泥 其余生产废水处理系统 否-21 废机油 设备维修保养 是 HW08 900-217-08 22 废抹布/手套 设备维修保养、生产过程 是 HW49 900-041-49 23 生活垃圾 员工办公 否288、-根据建设项目危险废物环境影响评价指南（2017）要求，明确危险废物收集、贮存、运输、利用、处置环节应采取的污染防治措施，并说明危险废物的名称、数量、类别、形态、危险特性和污染防治措施等内容，详见表 3.2-28。表表3.2-28 本项目危险废物汇总样表本项目危险废物汇总样表 序序号号 危险废危险废 物名称物名称 危险废危险废 物类别物类别 危险废危险废 物代码物代码 产产生生量量 产生工序产生工序 及装置及装置 形形态态 主要主要 成分成分 有害有害 成分成分 产产废废 周期周期 危险危险 特性特性 污染防治污染防治措措施施 一期一期 二期后二期后全厂全厂 1 废酸液 HW34 900-30289、0-34 5.120t/a 17.067t/a 酸液清洗、湿法蚀刻、部件清洗 液态 硫酸、磷酸、双氧水、盐酸、碘酸、氢溴酸、乙酸等 硫酸、磷酸、双氧水、盐酸、碘酸、氢溴酸、乙酸等 每天 C,T 各危险废物采用防渗容器盛装；贮存于自产危高性能激光器项目环境影响报告书 xxxx环境建设有限公司 82 xx市xx区上塘路 329 号 2 含氟废液 HW32 900-026-32 0.775t/a 2.583t/a 酸液清洗、湿法蚀刻 液态 氟化氢、BOE 蚀刻液、硝酸 氟化氢、氟化铵、硝酸 每天 C,T 废暂存场所（污泥存放于污泥间），并分类、分区堆放，做好防渗漏、防晒、防风措施；最终委托有危废处理290、资质的单位处置 3 废光刻胶、聚酰亚胺 HW16 398-001-16 15.75kg/a 52.50kg/a 光刻 液态 光刻胶、PI 光刻胶、PI 每天 T 4 废显影液 HW16 398-001-16 0.191t/a 0.635t/a 液态 显影液 显影液 每天 T 5 废丙酮、异丙醇、乙醇 HW06 900-402-06 0.225t/a 0.751t/a 清洗去胶、剥离、治具丙酮清洗 液态 丙酮、异丙醇、乙醇 丙酮、异丙醇、乙醇 每天 T,I,R 6 其他废有机溶剂 HW06 900-404-06 0.395t/a 1.316t/a 清洗去胶 液态 NMP、DMF、甲醇、丁酮 NM291、P、DMF、甲醇、丁酮 每天 7 废镀金液 HW17 336-057-17 0.072t/a 0.240t/a 化学镀金 液态 亚硫酸金钠 金 每天 T 8 研磨废液 HW08 900-200-08 9.026t/a 30.085t/a 背面减薄 液态 研磨蜡 矿物油 每天 T,I 9 废化学品容器 HW49 900-041-49 0.5t/a 1.7t/a 原料包装 固态 玻璃/塑料、酸液、有机溶剂等 酸液、有机溶剂等 每天 T/In 10 含砷废吸附材料 HW24 261-139-24 2.842t/a 8.538t/a 外延废气处理装置 固态 活性炭、金属、砷化物 砷化物 半年（一期）/292、两个月（全厂）T 11 有机废气废活性炭 HW39 900-041-39 4.2t/a 13.6t/a 有机废气处理装置 固态 活性炭、有机溶剂 有机溶剂 62 天（一期）/20 天（全厂）T 12 酸洗废水污泥 HW17 336-057-17 0.9t/a 3.1t/a 酸洗废水处理系统 半固态 金属、有机物 金、有机物 每天 T 13 废机油 HW08 900-217-08 0.1t/a 0.3t/a 设备维修保养 液态 矿物油 矿物油 每天 T,I 14 废抹布/手套 HW49 900-041-49 0.3t/a 1.0t/a 设备维修保养、生产过程 固态 布纤维、矿物油、有机溶剂等 矿293、物油、有机溶剂等 每天 T/In 3.固废汇总 本项目固废汇总见表 3.2-29。表表3.2-29 本项目固体废物汇总表本项目固体废物汇总表 序号序号 副产物副产物名称名称 预计产预计产生量生量 属性属性 废废物物代码代码 处置去向处置去向 一期一期 二期后全厂二期后全厂 1 废衬片、废次品 19.54kg/a 65.15kg/a 一般工业固废-由专业厂家回收综合利用 2 MOCVD 室反应沉积物 0.97kg/a 3.22kg/a-3 废酸液 5.120t/a 17.067t/a 危险废物 HW34 900-300-34 委托有资质危废处置单位处置 4 含氟废液 0.775t/a 2.583294、t/a HW32 900-026-32 高性能激光器项目环境影响报告书 xxxx环境建设有限公司 83 xx市xx区上塘路 329 号 5 废光刻胶、聚酰亚胺 15.75kg/a 52.50kg/a HW16 398-001-16 6 废显影液 0.191t/a 0.635t/a HW16 398-001-16 7 废丙酮、异丙醇、乙醇 0.225t/a 0.751t/a HW06 900-402-06 8 其他废有机溶剂 0.395t/a 1.316t/a HW06 900-404-06 9 废金属箔 0.915kg/a 3.05kg/a 一般工业固废-由专业厂家回收综合利用 10 废镀金液295、 0.072t/a 0.240t/a 危险废物 HW17 336-057-17 委托有资质危废处置单位处置 11 研磨废液 9.026t/a 30.085t/a HW08 900-200-08 12 废靶材 0.113kg/a 0.375kg/a 一般工业固废-由专业厂家回收综合利用 13 一般废包装物 1.5t/a 5.1t/a-14 废化学品容器 0.5t/a 1.7t/a 危险废物 HW49 900-041-49 委托有资质危废处置单位处置 15 废离子交换树脂 0.1t/a 0.3t/a 一般工业固废-由生产厂商定期更换回收 16 废过滤芯、废活性炭、废反渗透膜 0.2t/a 0.8t296、/a-17 含砷废吸附材料 2.842t/a 8.538t/a 危险废物 HW24 261-139-24 委托有资质危废处置单位处置 18 有机废气废活性炭 4.2t/a 13.6t/a HW39 900-041-39 19 酸洗废水污泥 0.9t/a 3.1t/a HW17 336-057-17 20 其他废水污泥 15.0t/a 45.5t/a 一般工业固废-由相关处理单位处置 21 废机油 0.1t/a 0.3t/a 危险废物 HW08 900-217-08 委托有资质危废处置单位处置 22 废抹布/手套 0.3t/a 1.0t/a HW49 900-041-49 23 生活垃圾 4.2297、5t/a 10.0t/a 一般固废-委托环卫部门清运处置 3.2.4.5 污染源强汇总污染源强汇总 1.本项目污染源强汇总本项目污染源强汇总 本项目实施后污染源强汇总见表 3.2-30。表表3.2-30 本本项目污染源强汇总表项目污染源强汇总表（单位：单位：t/a，除注明外），除注明外）评价评价时段时段 类别类别 污染物污染物 产生量产生量 削减量削减量 排放量排放量 一期 废气 粉尘（kg/a）7.80 7.36 0.44 砷化氢（kg/a）0.98 0.93 0.05 磷化氢（kg/a）31.12 29.56 1.56 硫酸雾（kg/a）27.12 20.61 6.51 氯化氢（kg/a）298、46.08 35.02 11.06 磷酸雾（kg/a）2.16 1.03 1.13 氟化物（kg/a）469.87 374.24 95.63 溴化氢（kg/a）4.38 2.08 2.3 氯气（kg/a）426.48 341.18 85.3 硅烷（kg/a）0.02 0.018 0.002 NOX（kg/a）10.17 9.15 1.02 高性能激光器项目环境影响报告书 xxxx环境建设有限公司 84 xx市xx区上塘路 329 号 氨（kg/a）6.08 5.66 0.42 有机废气 非甲烷总烃（kg/a）202.38 171.680 30.70 其中 NMP（kg/a）38.52 32.9299、21 5.599 甲醇（kg/a）14.22 12.16 2.06 异丙醇（kg/a）55.02 47.02 8 DMF（kg/a）3.38 2.89 0.49 丁酮（kg/a）9.36 8 1.36 丙酮（kg/a）40.32 34.47 5.85 乙酸（kg/a）3.78 1.8 1.98 乙烯（kg/a）0.14 0.13 0.01 甲烷（kg/a）3.03 2.88 0.15 合计 VOCS（kg/a）205.41 174.56 30.85 废水 废水量（m3/a）6139 0.0 6139 CODCr 1.173 0.866 0.307 SS 0.634 0.573 0.061 氟化300、物 0.710 0.639 0.071 TP 0.024 0.021 0.003 TN 0.041 0.004 0.037 NH3-N 0.029 0.014 0.015 固废 一般工业固废 废衬片、废次品（kg/a）19.54 19.54 0 MOCVD 室反应沉积物（kg/a）0.97 0.97 0 废金属箔（kg/a）0.915 0.915 0 废靶材（kg/a）0.113 0.113 0 一般废包装物 1.5 1.5 0 废离子交换树脂 0.1 0.1 0 废过滤芯、废活性炭（纯水制备）、废反渗透膜 0.2 0.2 0 其他废水污泥 15.0 15.0 0 小计 16.822 16.8301、22 0 危险废物 废酸液 5.120 5.120 0 含氟废液 0.775 0.775 0 废光刻胶、聚酰亚胺（kg/a）15.75 15.75 0 废显影液 0.191 0.191 0 废丙酮、异丙醇、乙醇 0.225 0.225 0 其他废有机溶剂 0.395 0.395 0 废镀金液 0.072 0.072 0 研磨废液 9.026 9.026 0 废化学品容器 0.5 0.5 0 含砷废吸附材料 2.842 2.842 0 有机废气废活性炭 4.2 4.2 0 酸洗废水污泥 0.9 0.9 0 废机油 0.1 0.1 0 废抹布/手套 0.3 0.3 0 小计 24.662 24.6302、62 0 高性能激光器项目环境影响报告书 xxxx环境建设有限公司 85 xx市xx区上塘路 329 号 生活垃圾 4.25 4.25 0 二期 工程 后全 厂 废气 粉尘（kg/a）26.0 24.60 1.40 砷化氢（kg/a）3.28 3.12 0.16 磷化氢（kg/a）103.74 98.55 5.19 硫酸雾（kg/a）86.18 65.5 20.68 氯化氢（kg/a）153.6 116.74 36.86 磷酸雾（kg/a）7.2 3.42 3.78 氟化物（kg/a）1566.24 1247.46 318.78 溴化氢（kg/a）86.18 65.5 20.68 氯气（kg/303、a）1421.59 1137.27 284.32 硅烷（kg/a）0.05 0.04 0.01 NOX（kg/a）33.90 30.51 3.39 氨（kg/a）20.26 18.87 1.39 有机废气 非甲烷总烃（kg/a）674.61 572.29 102.32 其中 NMP（kg/a）128.4 109.78 18.62 甲醇（kg/a）47.4 40.53 6.87 异丙醇（kg/a）184 157.32 26.68 DMF（kg/a）11.28 9.64 1.64 丁酮（kg/a）31.2 26.68 4.52 丙酮（kg/a）134.4 114.91 19.49 乙酸（kg/a）304、12.6 5.98 6.62 乙烯（kg/a）0.47 0.42 0.05 甲烷（kg/a）10.09 9.59 0.50 合计 VOCS（kg/a）684.70 581.88 102.82 废水 废水量（m3/a）19564 0.0 19564 CODCr 3.710 2.732 0.978 SS 2.102 1.906 0.196 氟化物 2.139 1.925 0.214 TP 0.075 0.065 0.010 TN 0.116 0.014 0.102 NH3-N 0.080 0.031 0.049 固废 一般工业固废 废衬片（kg/a）61.15 61.15 0 MOCVD 室反应沉305、积物（kg/a）3.22 3.22 0 废金属箔（kg/a）3.05 3.05 0 废靶材（kg/a）0.375 0.375 0 一般废包装物 5.1 5.1 0 废离子交换树脂 0.3 0.3 0 废过滤芯、废活性炭（纯水制备）、废反渗透膜 0.8 0.8 0 其他废水污泥 45.5 45.5 0 小计 51.757 51.757 0 危险废废酸液 17.067 17.067 0 含氟废液 2.583 2.583 0 废光刻胶、聚酰亚胺（kg/a）52.50 52.50 0 高性能激光器项目环境影响报告书 xxxx环境建设有限公司 86 xx市xx区上塘路 329 号 物 废显影液 0.63306、5 0.635 0 废丙酮、异丙醇、乙醇 0.751 0.751 0 其他废有机溶剂 1.316 1.316 0 废镀金液 0.24 0.24 0 研磨废液 30.085 30.085 0 废化学品容器 1.7 1.7 0 含砷废吸附材料 8.538 8.538 0 有机废气废活性炭 13.6 13.6 0 酸洗废水污泥 3.1 3.1 0 废机油 0.3 0.3 0 废抹布/手套 1.0 1.0 0 小计 80.968 80.968 0 生活垃圾 10.0 10.0 0 2.本本项项目目污染源强核算结果及相污染源强核算结果及相关参数关参数 根据污染源源强核算技术指南 准则（HJ884-201307、8）要求，本项目废气、废水、噪声、固废污染源源强核算结果及相关参数进行汇总，具体汇总见表 3.2-31表 3.2-34。高性能激光器项目环境影响报告书 xxxx环境建设有限公司 87 xx市xx区上塘路 329 号 表表3.2-31 本项目主要废气污染源强核算结果及相关参数一览表本项目主要废气污染源强核算结果及相关参数一览表 工序工序/生产生产线线 装置装置 污污染染源源 污染物污染物 污染物产生污染物产生 治理措施治理措施 污染物排放污染物排放 排放排放 时间时间(h)核算核算 方法方法 废气产废气产 生量生量(m3/h)产生产生 浓度浓度(mg/m3)产生量产生量(kg/a)产生产生 速率308、速率(kg/h)工艺工艺 效率效率(%)核算核算 方法方法 废气排废气排放放量量(m3/h)排放排放 浓度浓度(mg/m3)排放量排放量(kg/a)排放速排放速率率(kg/h)一期生产过程 MOCVD DA001排气筒 粉尘 物料衡算法 2000 0.16 7.73 0.002 二级专用活性炭吸附装置 95 物料衡算法 2000 0.06 0.39 0.0001 3350 砷化氢 0.15 0.98 0.0003 0.01 0.05 0.00001 磷化氢 4.65 31.12 0.009 0.23 1.56 0.0005 非甲烷总烃 0.12 0.83 0.0002 0.01 0.04 0.309、00001 甲烷 0.45 3.03 0.001 0.02 0.15 0.00005 酸液清洗机、湿法蚀刻机、干法蚀刻机、PCVD DA002排气筒 硫酸雾 物料衡算法、产污系数法 10000 3.16 25.76 0.032 干法蚀刻废气水洗、沉积废气电热水洗+酸性废气二级碱液喷淋 80 物料衡算法 10000 0.63 5.15 0.006 1800 氯化氢 2.43 43.78 0.024 80 0.49 8.76 0.005 磷酸雾 0.11 2.05 0.001 50 0.06 1.03 0.001 氟化物 25.99 467.80 0.260 80 5.20 93.56 0.052310、 溴化氢 0.23 4.16 0.002 50 0.12 2.08 0.001 非甲烷总烃 0.21 3.73 0.002 51 0.10 1.81 0.001 其中 乙酸 0.20 3.59 0.002 50 0.10 1.80 0.001 乙烯 0.01 0.14 0.0001 90 0.001 0.01 0.00001 氯气 23.69 426.48 0.237 80 4.74 85.30 0.047 硅烷 0.001 0.02 0.00001 90 0.0001 0.002 0.000001 NOX 0.64 10.17 0.006 90 0.06 1.02 0.001 氨 0.31 311、4.89 0.003 95 0.02 0.24 0.0002 粉尘 0.004 0.07 0.00004 50 0.003 0.05 0.00003 光刻车间、有机溶剂清洗机 DA003排气筒 非甲烷总烃 产污系数法 3000 46.34 187.75 0.139 水喷淋+除雾器+活性炭吸附 90 物料衡算法 3000 4.63 18.78 0.014 1800 其中 NMP 11.82 36.59 0.035 90 1.18 3.66 0.004 甲醇 11.82 13.51 0.035 90 1.18 1.35 0.004 异丙醇 9.71 52.44 0.029 90 0.97 5.24312、 0.003 高性能激光器项目环境影响报告书 xxxx环境建设有限公司 88 xx市xx区上塘路 329 号 DMF 11.91 3.21 0.036 90 1.19 0.32 0.004 丁酮 11.76 8.89 0.035 90 1.18 0.89 0.004 丙酮 28.37 38.30 0.085 90 2.84 3.83 0.009 氨气 1.26 1.13 0.004 90 0.13 0.11 0.0004 酸液清洗机、湿法蚀刻机、光刻车间、有机溶剂清洗机 DA004排气筒 硫酸雾 产污系数法 12000 0.14 1.36 0.002-0 物料衡算法 12000 0.14 1.313、36 0.002 2000 氯化氢 0.11 2.30 0.001 0 0.11 2.30 0.001 磷酸雾 0.005 0.11 0.0001 0 0.01 0.11 0.0001 氟化物 0.10 2.07 0.001 0 0.10 2.07 0.001 溴化氢 0.01 0.22 0.0001 0 0.01 0.22 0.0001 非甲烷总烃 0.62 10.07 0.007 0 0.62 10.07 0.007 其中 NMP 0.16 1.93 0.002 0 0.16 1.93 0.002 甲醇 0.16 0.71 0.002 0 0.16 0.71 0.002 异丙醇 0.13 314、2.76 0.002 0 0.13 2.76 0.002 DMF 0.16 0.17 0.002 0 0.16 0.17 0.002 丁酮 0.15 0.47 0.002 0 0.15 0.47 0.002 丙酮 0.37 2.02 0.004 0 0.37 2.02 0.004 乙酸 0.01 0.19 0.0001 0 0.01 0.19 0.0001 氨气 0.02 0.06 0.0002 0 0.02 0.06 0.0002 二期建成后全厂生产过程 MOCVD DA001排气筒 粉尘 物料衡算法 4000 0.16 25.78 0.005 二级干式吸附法 97 物料衡算法 4000 0315、.06 1.29 0.0002 6000 砷化氢 0.15 3.28 0.0006 0.01 0.16 0.00003 磷化氢 4.65 103.74 0.019 0.23 5.19 0.0009 非甲烷总烃 0.12 2.76 0.0005 0.01 0.14 0.00002 甲烷 0.45 10.09 0.002 0.02 0.50 0.0001 酸液清洗机、湿法蚀刻机、干法蚀刻机、DA002排气筒 硫酸雾 物料衡算法、产污系数10000 3.16 81.87 0.032 干法蚀刻废气水洗、沉积废气电热水洗+酸80 物料衡算法 10000 0.63 16.37 0.006 6000 氯化氢316、 2.43 145.92 0.024 80 0.49 29.18 0.005 磷酸雾 0.11 6.84 0.001 50 0.06 3.42 0.001 氟化物 25.99 1559.33 0.260 80 5.20 311.87 0.052 溴化氢 0.23 13.88 0.002 50 0.12 6.94 0.001 高性能激光器项目环境影响报告书 xxxx环境建设有限公司 89 xx市xx区上塘路 329 号 化学镀金后清洗、PCVD 非甲烷总烃 法 0.21 12.44 0.002 性废气二级碱液喷淋 51 0.10 6.03 0.001 其 中 乙酸 0.20 11.97 0.00317、2 50 0.10 5.99 0.001 乙烯 0.01 0.47 0.0001 90 0.001 0.05 0.00001 氯气 23.69 1421.59 0.237 80 4.74 284.32 0.047 硅烷 0.001 0.05 0.00001 90 0.0001 0.01 0.000001 NOX 0.64 33.90 0.006 90 0.06 3.39 0.0001 氨 0.31 16.29 0.003 95 0.02 0.81 0.0002 粉尘 0.004 0.22 0.00004 50 0.003 0.11 0.00003 光刻车间、有机溶剂清洗机 DA003排气筒 非318、甲烷总烃 产污系数法 3000 46.34 187.75 0.139 水喷淋+活性炭吸附 90 物料衡算法 3000 4.63 18.78 0.014 6000 其中 NMP 11.82 36.59 0.035 90 1.18 3.66 0.004 甲醇 11.82 13.51 0.035 90 1.18 1.35 0.004 异丙醇 9.71 52.44 0.029 90 0.97 5.24 0.003 DMF 11.91 3.21 0.036 90 1.19 0.32 0.004 丁酮 11.76 8.89 0.035 90 1.18 0.89 0.004 丙酮 28.37 38.30 0319、.085 90 2.84 3.83 0.009 氨 1.26 1.13 0.004 90 0.13 0.11 0.0004 酸液清洗机、湿法蚀刻机、光刻车间、有机溶剂清洗机 DA004排气筒 硫酸雾 产污系数法 12000 0.14 7.68 0.002-0 物料衡算法 12000 0.14 7.68 0.002 6000 氯化氢 0.11 0.36 0.001 0 0.11 0.36 0.001 磷酸雾 0.005 6.91 0.0001 0 0.01 6.91 0.0001 氟化物 0.10 0.73 0.001 0 0.10 0.73 0.001 溴化氢 0.01 7.68 0.0001320、 0 0.01 7.68 0.0001 非甲烷总烃 0.62 33.57 0.007 0 0.62 33.57 0.007 其 中 NMP 0.16 6.42 0.002 0 0.16 6.42 0.002 甲醇 0.16 2.37 0.002 0 0.16 2.37 0.002 异丙醇 0.13 9.20 0.002 0 0.13 9.20 0.002 DMF 0.16 0.56 0.002 0 0.16 0.56 0.002 丁酮 0.15 1.56 0.002 0 0.15 1.56 0.002 丙酮 0.37 6.72 0.004 0 0.37 6.72 0.004 高性能激光器项目环321、境影响报告书 xxxx环境建设有限公司 90 xx市xx区上塘路 329 号 乙酸 0.01 0.63 0.0001 0 0.01 0.63 0.0001 氨 0.02 0.20 0.0002 0 0.02 0.20 0.0002 表表3.2-32 本项目废水污染源强核本项目废水污染源强核算结果及相关算结果及相关参数一览参数一览表表 工序工序/生生产产线线 装置装置 污污染染物物 污染物产生污染物产生 治理措施治理措施 污染物排放污染物排放 排放排放 时间时间（d）核算核算 方法方法 产生废产生废 水量水量（m3/d）产生浓度产生浓度（mg/L）产生量产生量（kg/d）工艺工艺 效率效率（%）322、核算核算 方法方法 排放废排放废 水量水量（m3/d）纳管纳管排放排放浓浓度度（mg/L）纳管纳管排排放量放量（kg/d）一期生产、员工生活 生产线、废气处理装置 CODCr 物料衡算法+类比法 19.58 192 3.757 化学中和、化学沉淀、絮凝沉淀 20.0 物料衡算法 19.58 154 3.006 250 SS 121 2.375 20.0 97 1.900 氟化物 145 2.839 90.0 14 0.284 TP 4 0.087 20.0 4 0.069 TN 5 0.090 22.1 4 0.070 NH3-N 4 0.084 47.4 2 0.044 纯水制备、循环冷却系323、统 CODCr 4.69 100 0.469 -4.69 100 0.469 250 SS 50 0.235 -50 0.235 员工生活 CODCr 物料衡算法+类比法 1.7 350 0.595 隔油池+化粪池 30 物料衡算法 1.7 245 0.417 250 NH3-N 35 0.060 5 33 0.057 TN 45 0.077 0 45 0.077 TP 5 0.009 0 5 0.009 二期建成后全厂生产、员工生活 生产线、废气处理装置 CODCr 类比法 61.80 197 12.175 化学中和、化学沉淀、絮凝沉淀 20.0 物料衡算法 61.80 158 9.740 324、250 SS 126 7.790 20.0 101 6.232 氟化物 138 8.558 90.0 14 0.856 TP 5 0.280 20.0 4 0.224 TN 5 0.292 22.7 4 0.225 NH3-N 4 0.275 48.1 2 0.143 纯水制备、循环冷却系统 CODCr 13.24 100 1.324 -13.25 100 1.324 250 SS 50 0.662-50 0.662 员工生活 CODCr 产污4.1 350 1.435 隔油池+化粪30 物料4.1 245 1.005 250 高性能激光器项目环境影响报告书 xxxx环境建设有限公司 91 x325、x市xx区上塘路 329 号 NH3-N 系数 35 0.144 池 5 衡算法 33 0.136 TN 45 0.185 0 45 0.185 TP 5 0.021 0 5 0.021 表表3.2-33 本项目噪声污染本项目噪声污染源强核算结源强核算结果及相关参数一览表果及相关参数一览表 工序工序/生产生产线线 装置装置 噪声源噪声源 声源类声源类型型 噪声源强噪声源强 降噪措施降噪措施 噪声排放值噪声排放值 持续时间（持续时间（h）核算核算方法方法 噪声值噪声值（dB(A)）工艺工艺 降噪效果降噪效果（dB(A)）核算方核算方法法 噪声值噪声值（dB(A)）干法蚀刻 干法蚀刻机 真空泵 频326、发 类比法 7585 隔声、减振 2535 类比法 5060 一期2000，二期后全厂 6000 沉积 等离子化学气相沉积系统 真空泵 频发 7585 5060 一期2000，二期后全厂 6000 镀膜 磁控溅射镀膜机 真空泵 频发 7585 5060 一期1600，二期后全厂 5336 辅助工程 冷水机组 冷水机组 频发 8085 5560 一期4278，二期后全厂 6000 冷却水泵 冷却水泵 频发 7585 5060 空压机 空压机 频发 8595 6070 xx工程 废气处理装置 风机 频发 7585 隔声、减振、消声 30 4555 一期4278，二期后全厂 6000 水泵 频发 7327、585 隔声、减振 20 5060 一期2000，二期后全厂 6000 废水处理装置 水泵 频发 7585 5565 表表3.2-34 本项目固体废物污染源强核算结本项目固体废物污染源强核算结果及相关参数果及相关参数一览表一览表 工序工序/生生产线产线 装置装置 固体废物名称固体废物名称 固废固废属性属性 产生情况产生情况 处置措处置措施施 最终去最终去向向 核算方核算方法法 一期一期产生产生量量 二期后全二期后全厂产生量厂产生量 工艺工艺 一期一期处置处置量量 二期后全二期后全厂处置量厂处置量 生产线 检测设备、划片机、裂片机等 废衬片、废次品 一般工业固废 产污系数法 19.54kg/a 328、65.15kg/a 综合利用 19.54kg/a 65.15kg/a 专业厂家 MO-CVD MOCVD 室反应沉积物 物料衡算法 0.97kg/a 3.22kg/a 0.97kg/a 3.22kg/a 蒸镀机 废金属箔 0.915kg/a 3.05kg/a 0.915kg/a 3.05kg/a 镀膜机 废靶材 0.113kg/a 0.375kg/a 0.113kg/a 0.375kg/a 酸液清洗、湿法蚀刻、部件清洗 废酸液 危险废物 5.120t/a 17.067t/a 委托有资质单位安5.120t/a 17.067t/a 有资质的单位 高性能激光器项目环境影响报告书 xxxx环境建设有限329、公司 92 xx市xx区上塘路 329 号 酸液清洗、湿法蚀刻 含氟废液 0.775t/a 2.583t/a 全处置 0.775t/a 2.583t/a 涂布机、光刻机、显影机 废光刻胶、聚酰亚胺 15.75kg/a 52.50kg/a 15.75kg/a 52.50kg/a 废显影液 0.191t/a 0.635t/a 0.191t/a 0.635t/a 清洗去胶、剥离、治具丙酮清洗 废丙酮、异丙醇、乙醇 0.225t/a 0.751t/a 0.225t/a 0.751t/a 清洗去胶 其他废有机溶剂 0.395t/a 1.316t/a 0.395t/a 1.316t/a 镀金机 废镀金液 330、0.072t/a 0.240t/a 0.072t/a 0.240t/a 研磨机 研磨废液 9.026t/a 30.085t/a 9.026t/a 30.085t/a 拆包装-废化学品容器 1.5t/a 5.1t/a 1.5t/a 5.1t/a-一般废包装物 一般工业固废 类比法 0.5t/a 1.7t/a 综合利用 0.5t/a 1.7t/a 专业厂家 设备维修保养-废机油 危险废物 0.1t/a 0.3t/a 委托有资质单位安全处置 0.1t/a 0.3t/a 有资质的单位 设备维修保养、生产过程-废抹布/手套 0.3t/a 1.0t/a 0.3t/a 1.0t/a 辅助设备 纯水制备 废离331、子交换树脂 一般工业固废 类比法 0.1t/a 0.3t/a 更换回收 0.1t/a 0.3t/a 生产厂商 废过滤芯、废活性炭、废反渗透膜 0.2t/a 0.8t/a 0.2t/a 0.8t/a xx工程 外延废气处理装置 含砷废吸附材料 危险废物 物料衡算法 2.842t/a 8.538t/a 委托有资质单位安全处置 2.842t/a 8.538t/a 有资质的单位 有机废气处理装置 有机废气废活性炭 4.2t/a 13.6t/a 4.2t/a 13.6t/a 酸洗废水处理系统 酸洗废水污泥 0.9t/a 3.1t/a 0.9t/a 3.1t/a 其余生产废水处理系统 其他废水污泥 一般工332、业固废 产污系数法 15.0t/a 45.5t/a 安全处置 15.0t/a 45.5t/a 相关处理单位 职工生活-生活垃圾 生活垃圾 产污系数法 4.25t/a 10.0t/a 环卫部门清运 4.25t/a 10.0t/a 环卫部门 高性能激光器项目环境影响报告书 xxxx环境建设有限公司 93 xx市xx区上塘路 329 号 3.2.4.6 非正常工况下非正常工况下污染源强核算污染源强核算 1、废气 项目非正常工况可能性主要为各废气处理装置发生故障，当废气处理装置发生故障时，相当于废气收集后直接由排气筒排出，考虑最不利情况，废气处理效率以 0 计。非正常工况下废气排放情况详见表 3.2-333、35。表表3.2-35 本项目非正常工况下本项目非正常工况下废气废气污染物排放情况污染物排放情况 污染污染源源 非正常非正常排排放放原原因因 时段时段 污染物污染物 非正常非正常工况工况 单次持单次持续时间续时间（h）年发生年发生频频次次（次（次）应对应对措施措施 排放浓度排放浓度(mg/m3)排放速排放速率率(kg/h)排放量排放量(kg/a)DA001 吸附剂饱和 一期工程 粉尘 1.16 0.002 0.002 1 1 外延工段停止生产 其中 含砷粉尘 0.65 0.001 0.001 砷化氢 0.15 0.0003 0.0003 磷化氢 4.65 0.009 0.009 非甲烷总烃 0.12 0.0002 0.0002 甲烷 0.45 0.001 0.001 二期 工程 后全 厂 粉尘 1.16 0.005 0.005 其中 含砷粉尘 0.65 0.003 0.003 砷化氢 0.