半导体用碳化硅制品项目环境影响评价报告书(155页).pdf
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2024-01-25
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1、I半导体用碳化硅半导体用碳化硅/化学气相沉积化学气相沉积碳化硅制品项目碳化硅制品项目环境影响报告书环境影响报告书建设单位:建设单位:xxxxxxxx科技有限公司科技有限公司编制单位:编制单位:xxxx环保科技有限公司xxxx环保科技有限公司2023 年年 11 月月xxxx科技有限公司半导体用碳化硅/化学气相沉积碳化硅制品项目环境影响报告书1目目录录概概 述述.51、项目由来及项目特点.52、环境影响评价工作过程.53、相关情况判定.74、关注的主要环境问题及环境影响.75、环境影响评价的主要结论.7第第 1 章章 总总 则则.91.1 编制依据.91.2 环境影响要素识别和评价因子筛选.122、1.3 环境功能区划.131.4 评价标准.141.5 评价工作等级及评价范围.201.6 环境保护目标.26第第 2 章章 工程分析工程分析.272.1 项目概况.272.2 拟建项目影响因素分析.332.3 平衡分析.362.4 污染源强核算.39第第 3 章章 环境现状调查与评价环境现状调查与评价.503.1 自然环境概况.503.2 园区概况.563.3 环境空气质量现状调查与评价.633.4 地表水环境质量现状评价.653.5 地下水质量现状评价.663.6 声环境质量评价.703.7 土壤环境质量评价.713.8 生态环境质量现状.74第第 4 章章 环境影响预测与评价环境影响预测3、与评价.75xxxx科技有限公司半导体用碳化硅/化学气相沉积碳化硅制品项目环境影响报告书24.1 大气环境影响预测与评价.754.2 地表水环境影响预测评价.844.3 声环境影响分析.864.4 固体废物环境影响分析.894.5 土壤环境影响评价.90第第 5 章章 环境环境风险评价风险评价.94第第 6 章章 环境保护措施及其可行性论证环境保护措施及其可行性论证.1026.1 大气污染防治措施及可行性分析.1026.2 地表水污染防治措施及可行性分析.1036.3 土壤和地下水污染防治措施.1046.4 噪声污染防治措施及可行性分析.1066.5 固废处理处置措施及可行性分析.106第第 4、7 章章 环境经济损益分析及总量控制环境经济损益分析及总量控制.1097.1 环境效益分析.1097.2 工程经济效益与社会效益分析.1107.3 总量控制.110第第 8 章章 环境管理与环境监测计划环境管理与环境监测计划.1118.1 环境管理.1118.2 环境监测.1138.3 排污许可与信息公开.1168.4 竣工环保验收内容.117第第 9 章章 产业政策符合性、环境可行性产业政策符合性、环境可行性.1199.1 产业政策符合性.1199.2 政策文件、规划符合性.1199.3 选址合理性分析.1269.4 平面布局合理性分析.1279.5“三线一单”相符性.128第第 10 章章5、 环境影响评价结论环境影响评价结论.13210.1 项目基本情况.13210.2 环境质量现状评价结论.132xxxx科技有限公司半导体用碳化硅/化学气相沉积碳化硅制品项目环境影响报告书310.3 环境影响及环保措施.13310.4 公众参与.13510.5 环境影响经济损益分析.13510.6 环境管理与环境监测计划.13510.7 总量控制.13510.8 建设项目合理合法性结论.13510.9 综合结论.136xxxx科技有限公司半导体用碳化硅/化学气相沉积碳化硅制品项目环境影响报告书4附图:附图:附图 1:项目地理位置图附图 2:现场及四周照片图附图 3:敏感目标分布图附图 4:项目监6、测布点图附图 5:项目总平面布置图附图 6:厂房平面布局图附图 7:xx经济开发区规划图附图 8:西创智能制造产业园雨污分流路线图附件:附件:附件 1:环境影响评价委托书附件 2:营业执照附件 3:入园协议附件 4:租赁合同附件 5:环境现状质量检测报告附件 6:备案证明附件 7:规划环评批复附件 8:跟踪评价意见附表:附表:表 1 项目大气环境影响评价自查表表 2 声环境影响评价自查表表 3 土壤环境影响评价自查表表 4 地表水环境影响自查表表 5 建设项目环境风险简单分析内容表建设项目环评审批基础信息表建设项目环评审批基础信息表xxxx科技有限公司半导体用碳化硅/化学气相沉积碳化硅制品项目7、环境影响报告书5概概 述述1、项目、项目由来由来及项目特点及项目特点碳化硅材料是第三代半导体材料,在军事、高铁、新能源汽车、光伏、电力装备、工业电源、5G 通信等领域广泛应用,具有明确且可观的市场前景。本项目碳化硅涂层衬底材料,技术成熟且符合现有第三代半导体材料主流市场需求。xxxx科技有限公司(以下简称xx科技)成立于 2023 年 3 月,其主要经营范围涵盖了石墨及碳素制品制造制造、高性能纤维及复合材料制造等。本次为积极响应第三代半导体材料主流市场需求以及公司自身运营规划,租赁xx碳基材料科技发展有限公司生产厂房建设半导体用碳化硅/化学气相沉积碳化硅制品项目,厂房位置位于xx市xx区南洲镇8、湘渌村经济开发区西创智能制造产业园内 12 栋。建设规划用地总占地面积为 2700m2,总建筑面积为 3300m2(其中生产车间面积2400m2,办公室面积 900m2),主要建设内容为建设 6 个 CVD 化学气相沉积炉和 3 个纯化炉,安装 1 台 1600KVA 变压器。主要生产工艺为纯化、清洗、化学气相沉积、成品检测、包装等。项目建成后,实现年产 6000 套半导体用碳化硅制品的生产规模。2023 年 5 月 10 日,xx区发展和改革局对本项目进行了备案,文号为渌发改备202366 号。2、环境影响评价工作过程、环境影响评价工作过程遵照中华人民共和国环境保护法、建设项目环境保护管理条9、例和中华人民共和国环境影响评价法等法律法规要求,本项目需进行环境影响评价,对项目建设和生产运营过程中所产生的环境影响做出系统分析和评价,论证项目所采取的环保措施和实施的环境可行性,为项目工程设计、环境保护和环境管理提供科学依据。依据建设项目环境影响评价分类管理名录(2021 年版)(生态环境部令第 16 号),xxxx科技有限公司半导体用碳化硅/化学气相沉积碳化硅制品项目(以下简称为本项目或项目)属于其中“三十六、计算机、通信和其他电子设备制造业”中的“81 电子元件及电子专用材料制造 398”类项目中的半导体材料制造,应当编制环境影响报告书。2023 年 9 月,xxxx科技有限公司根据国家10、环境保护相关规定委托xxxx环保科技有限公司承担该项目环境影响评价工作(见附件 1)。接受委托后,编制单位立即成立了项目环评工作组,按照建设项目环境影响评价技术导则 总纲(HJ2.1-2016)等要求,进行了现场踏勘和资料搜集等调研工作,对工程生产工艺、环境影响因素及污染源xxxx科技有限公司半导体用碳化硅/化学气相沉积碳化硅制品项目环境影响报告书6强进行了核算,本次环境影响评价工作分三个阶段。具体工作过程如下:图 1 项目环评工作程序图xxxx科技有限公司半导体用碳化硅/化学气相沉积碳化硅制品项目环境影响报告书73、相关情况相关情况判定判定本项目主要产品为半导体用碳化硅制品(C3985 电子11、专用材料制造)。根据产业结构调整指导目录(2019 年本)及其 2021 年修改单,本项目生产的半导体用碳化硅制品属于“第一类鼓励类”的“第二十八、信息产业”中第 22 类“半导体、光电子器件、新型电子元器件(片式元器件、电力电子器件、光电子器件、敏感元器件及传感器、新型机电元件、高频微波印制电路板、高速通信电路板、柔性电路板、高性能覆铜板等)等电子产品用材料”,属于鼓励类项目”。符合国家产业政策。本项目拟建于xxxx经济开发区内,项目建设符合该区域“三线一单”控制要求,符合xx经济开发区(扩区)控制性详细规划、规划环评审查意见等区域规划文件的相关要求;项目选址符合xx省湘江保护条例、湘发改园12、区2022601 号文相关要求;项目建设、生产运营过程中采取的污染防控措施及污染物排放情况能够满足大气污染防治行动计划、水污染防治行动计划、xx省“两高”项目管理目录、xx省xx经济带发展负面清单实施细则(试行,2022 年版)等相关文件要求。本项目建设平面布局合理,按生产流程顺序、按功能分区,同类型设备适当集中布置,便于管理,有利于改善厂房内生产环境,满足规范要求;环境影响预测表明项目废气排放正常工况时项目对周边环境敏感点影响很小;风险影响分析结论表明在事故风险情况下,通过采取相应的环境风险防范措施可确保项目环境风险可控,不存在明显环境制约因素。4、关注的主要环境问题及环境影响、关注的主要环13、境问题及环境影响本次评价根据建设项目的特点,关注的主要环境问题及环境影响为:(1)项目排放的氯化氢、氟化物、颗粒物等污染物能否稳定达到大气污染物排放限值要求,环境影响是否在可接受范围内;(2)项目环境风险防范措施及环境风险是否可接受;(3)项目生产废水的回用可行性;(4)项目生产过程对区域声环境、土壤、地下水环境造成的影响是否可以接受。5、环境影响评价的主要结论、环境影响评价的主要结论xxxx科技有限公司半导体用碳化硅/化学气相沉积碳化硅制品项目符合国家产业政策要求,项目符合“三线一单”生态环境分区管控要求和当地规划,选址可行。项目在建设和运营中将产生一定的废气、废水、噪声及固体废物污染,在认14、真落实报告书提xxxx科技有限公司半导体用碳化硅/化学气相沉积碳化硅制品项目环境影响报告书8出的各项污染防治措施的前提下,污染物可做到达标排放,固废能得到妥善处理,噪声不会出现扰民现象,环境风险可控,项目对周边环境影响较小,可以实现其经济效益、社会效益和环境效益的协调发展。因此因此,本项目在在落实各项协议及承诺的前提下本项目在在落实各项协议及承诺的前提下,本本次评价认为,从环保角度出发,项目的建设是可行的。次评价认为,从环保角度出发,项目的建设是可行的。xxxx科技有限公司半导体用碳化硅/化学气相沉积碳化硅制品项目环境影响报告书9第第 1 章章总总 则则1.1编制依据编制依据1.1.1 有关法15、律法规及规章有关法律法规及规章(1)中华人民共和国环境保护法,2015 年 1 月 1 日施行;(2)中华人民共和国环境影响评价法,2018 年 12 月 29 日修正施行;(3)中华人民共和国水污染防治法,2018 年 1 月 1 日修正施行;(4)中华人民共和国大气污染防治法,2018 年 10 月 26 日修订施行;(5)中华人民共和国环境噪声污染防治法,2022 年 6 月 5 日实施;(6)中华人民共和国固体废物污染环境防治法,2020 年 9 月 1 日施行;(7)中华人民共和国xx保护法,2021 年 3 月 1 日实施;(8)中华人民共和国环境保护税法,2018 年 1 月 116、 日起施行;(9)中华人民共和国土壤污染防治法,2019 年 1 月 1 日起施行;(10)中华人民共和国清洁生产促进法,2012 年 7 月 1 日修改施行;(11)中华人民共和国循环经济促进法,2018 年 10 月 26 日修订施行;(12)中华人民共和国安全生产法,2014 年 12 月 1 日起施行;(13)建设项目环境保护管理条例,国务院第 682 号令;(14)排污许可管理条例,国令第 736 号;(15)大气污染防治行动计划(国发201337 号);(16)水污染防治行动计划(国发201517 号);(17)土壤污染防治行动计划(国发201631 号);(18)全国主体功能区规17、划(国发202046 号);(19)产业结构调整指导目录(2019 年本)及其 2021 年修改单;(20)环境保护综合名录(2021 年版);(21)国家危险废物名录(2021 年版);(22)建设项目环境影响评价分类管理名录(2021 年版);(23)关于进一步加强环境影响评价管理防范环境风险的通知(环发201277 号);(24)关于切实加强风险防范严格环境影响评价管理的通知(环发(2012)98 号文);(25)关于以改善环境质量为核心加强环境影响评价管理的通知(环环评2016150 号);xxxx科技有限公司半导体用碳化硅/化学气相沉积碳化硅制品项目环境影响报告书10(26)关于做好18、环境影响评价制度与排污许可制衔接相关工作的通知(环办环评201784 号);(27)排污许可管理办法(试行),2018 年 1 月 10 日;(28)关于发布计算污染物排放量的排污系数和物料衡算方法的公告(环境保护部公告2017 年 第 81 号);(29)关于发布环境空气质量标准(GB 3095-2012)修改单的公告(生态环境部公告2018 年 第 29 号);(30)关于发布计算污染物排放量的排污系数和物料衡算方法的公告(环境保护 部公告 2017 年第 81 号);(31)环境影响评价公众参与办法,生态环境部令第 4 号。1.1.2 地方有关法规及相关政策文件地方有关法规及相关政策文件19、(1)xx省环境保护条例(2019 年 9 月 28 修订);(2)xx省建设项目环境保护管理办法(自 2007 年 10 月 1 日起施行);(3)xx省“十四五”生态环境保护规划(湘政办发202161 号);(4)xx省重点固体废物环境管理“十四五”规划的通知(湘环发202152 号);(5)xx省主体功能区规划(湘政发 2012 年 39 号);(6)xx省人民政府关于印发xx省生态保护红线的通知(湘政发201820号);(7)xx省大气污染防治条例,2017 年 6 月 1 日起施行;(8)xx省人民政府关于公布xx省县级以上地表水集中式饮用水水源保护区划定方案的通知(湘政函2016 20、176 号);(9)xx省主要水系地表水环境功能区划(DB43/03-2005);(10)xx省生态环境厅关于执行污染物特别排放限值(第一批)的公告;(11)xx省人民政府关于实施“三线一单”生态环境分区管控的意见(湘政发(2020)12号);(12)2022 年xx市生态环境状况公报;(13)xx市人民政府关于实施“三线一单”生态环境分区管控的意见(株政发20204 号);(14)xx市水环境功能区划,株政发20038 号,2003 年 6 月 4 日。xxxx科技有限公司半导体用碳化硅/化学气相沉积碳化硅制品项目环境影响报告书111.1.3 导则及有关技术规范导则及有关技术规范(1)建设项21、目环境影响评价技术导则总纲(HJ2.1-2016);(2)环境影响评价技术导则大气环境(HJ2.2-2018);(3)环境影响评价技术导则地表水环境(HJ2.3-2018);(4)环境影响评价技术导则声环境(HJ2.4-2021);(5)环境影响评价技术导则地下水环境(HJ610-2016);(6)环境影响评价技术导则生态影响(HJ19-2022);(7)建设项目环境风险评价技术导则(HJ169-2018);(8)环境影响评价技术导则 土壤环境(试行)(HJ 9642018);(9)固体废物鉴别标准通则(GB34330-2017);(10)一般固体废物分类与代码(GB/T38198-2020)22、;(11)建设项目危险废物环境影响评价指南(环保部公告 2017 年第 43 号);(12)环境空气质量评价技术规范(试行)(HJ 663-2013);(13)环境空气质量监测点位布设技术规范(试行)(HJ 664-2013);(14)排污单位自行监测技术指南 总则(HJ 819-2017);(15)污染源源强核算技术指南 准则(HJ884-2018);(16)排污许可证申请与核发技术规范 电子工业(HJ1031-2019);(17)电子工业水污染物排放标准(GB39731-2020)。1.1.4 其他有关技术文件其他有关技术文件(1)本项目环境影响评价委托书;(2)项目评价执行标准函;(3)23、建设单位提供的其它资料。xxxx科技有限公司半导体用碳化硅/化学气相沉积碳化硅制品项目环境影响报告书121.2 环境影响要素识别和评价因子筛选环境影响要素识别和评价因子筛选1.2.1环境影响要素识别环境影响要素识别经过对项目建设、运行特点的初步分析,结合项目当地的环境特征,对可能受项目开发、运行影响的环境因素进行了识别,确定了项目建设、运营期对各方面环境可能带来的影响,详见下表。表 1.2-1 项目环境影响因素识别表项目阶项目阶段段影响分析环影响分析环境要素境要素短期短期影响影响长期影响长期影响直接影响直接影响间接影响间接影响可逆影响可逆影响不可逆影响不可逆影响运营期环境空气地表水环境地下水环24、境声环境生态环境人群健康1.2.2评价因子筛选评价因子筛选根据环境影响要素初步识别结果,结合各生产环节的排污特征,所排放污染物对环境危害的性质,对所识别的环境影响要素作进一步分析,将工程建设对环境的危害相对较大,对环境影响较为突出的污染因子作为评价因子。确定本项目评价因子见下表。表 1.2-2 项目评价因子表评价要素评价要素评价类型评价类型评价因子评价因子大气区域环境质量评价因子常规因子:SO2、NO2、PM10、PM2.5、CO、O3其他因子:TSP、氟化物、氯化氢污染源评价因子颗粒物、氟化物、氯化氢预测因子/地表水区域环境质量评价因子地表水渌江和湘江:水温、pH、溶解氧、高锰酸盐指数、CO25、D、BOD5、氨氮、总磷、总氮、铜、锌、氟化物、硒、砷、汞、镉、六价铬、铅、氰化物、挥发酚、石油类、LAS、硫化物、铊、叶绿素、透明度、高氯酸盐、锑、硝酸盐污染源评价因子/预测因子/地下水区域环境质量评价因子pH、总硬度、氨氮、高锰酸盐指数、挥发酚、汞、砷、镉、铅、铜、六价铬、溶解性总固体、氟化物、氯化物、氰化物、阴离子表面活性剂、硫酸盐、锌、总大肠菌群等污染源评价因子/预测因子/声环境区域环境质量评价因子等效连续 A 声级污染源评价因子等效连续 A 声级xxxx科技有限公司半导体用碳化硅/化学气相沉积碳化硅制品项目环境影响报告书13评价要素评价要素评价类型评价类型评价因子评价因子预测因子等效26、连续 A 声级固体废物产生因子危险固废、一般工业固废、生活垃圾评价因子危险固废、一般工业固废、生活垃圾土壤环境区域环境质量评价因子重金属和无机物:砷、镉、铬、铜、铅、汞、镍挥发性有机物:四氯化碳、氯仿、氯甲烷、1,1-二氯乙烷、顺-1,1 二氯乙烯、反-1,1 二氯乙烯、二氯乙烷、1,2-二氯丙烷、1,1,1,2-四氯乙烷、1,1,2,2,-四氯乙烷、四氯乙烯、1,1,1-三氯乙烷、1,1,2-三氯乙烷、四氯乙烯、1,1,1-三氯乙烷、1,1,2-三氯乙烷、三氯乙烯、1,2,3-三氯丙烷、氯乙烯、苯、氯苯、苯乙烯、甲苯、间二甲苯+对二甲苯、邻二甲苯半挥发性有机物:硝基苯、苯胺、2-氯酚、苯并a27、蒽、苯并a芘、苯并b荧蒽、苯并k荧蒽、二苯并a、h蒽、茚并1,2,3-cd芘、萘影响类型大气沉降预测因子/环境风险风险源甲基三氯硅烷储罐、氢气瓶区风险类型泄漏、火灾、事故排放风险预测因子/1.3环境功能区划环境功能区划本项目位于xxxx市xx区南洲镇湘渌村西创智能制造产业园内。本项目环境功能区划如下:1.3.1环境空气功能区划环境空气功能区划项目所在区域环境空气质量执行环境空气质量标准(GB3095-2012)中二类区标准。1.3.2地表水功能区划地表水功能区划湘江干流段执行地表水环境质量标准(GB3838-2002)中 III 类标准;项目所在地北侧渌水河属于湘江的支流,执行 地表水环境质量28、标准(GB3838-2002)中 III 类标准。1.3.3地下水环境功能区划地下水环境功能区划项目所在区域属于湘江和渌水河水域,地下水环境执行地下水质量标准(GB/T14848-2017)中类标准。1.3.4声环境功能区划声环境功能区划项目所在区域声环境执行声环境质量标准(GB3096-2008)的 3 类区标准。xxxx科技有限公司半导体用碳化硅/化学气相沉积碳化硅制品项目环境影响报告书14项目区各环境功能属性见下表。表 1.3-1项目所在区域环境功能属性一览表编号编号环境功能区名称环境功能区名称评价区域所属类别评价区域所属类别1是否在“饮用水源保护区”内否2水环境功能区地表水湘江:执行地29、表水环境质量标准(GB3838-2002)中 III类标准渌水河:执行地表水环境质量标准(GB3838-2002)中III 类标准地下水项目区为非饮用水源地区,执行地下水质量标准(GB/T14848-2017)III 类标准3环境空气功能区二类区,执行环境空气质量标准(GB3095-2012)及修改单中二级标准4环境噪声功能区声环境质量标准(GB3096-2008)中 3 类区5是否总氮、总磷控制区否6基本农田保护区否7自然保护区、风景名胜保护区否8是否位于生态功能保护区否9是否位于生态保护红线内否1.4 评价标准评价标准1.4.1 环境质量标准环境质量标准1、环境空气、环境空气项目所在区域环30、境空气基本污染物 SO2、NO2、PM10、PM2.5、CO、O3、氟化物参照执行环境空气质量标准(GB3095-2012)及其修改单中的二级标准,氯化氢参考环境影响评价技术导则大气环境(HJ2.2-2018)附录 D 中的标准限值。具体标准限值见下表:表 1.4-1环境空气质量标准污染物项目污染物项目平均时间平均时间浓度限值浓度限值标准来源标准来源SO2年平均24 小时平均1 小时平均60g/m3150g/m3500g/m3环境空气质量标准(GB3095-2012)及其修改单中的二级标准NO2年平均24 小时平均1 小时平均40g/m380g/m3200g/m3PM10年平均24 小时平均731、0g/m3150g/m3xxxx科技有限公司半导体用碳化硅/化学气相沉积碳化硅制品项目环境影响报告书15污染物项目污染物项目平均时间平均时间浓度限值浓度限值标准来源标准来源PM2.5年平均24 小时平均35g/m375g/m3一氧化碳(CO)24 小时平均1 小时平均4mg/m310mg/m3臭氧(O3)日最大 8 小时平均1 小时平均160g/m3200g/m3氟化物24 小时平均1 小时平均7g/m320g/m3氯化氢24 小时平均1 小时平均15g/m350g/m3环境影响评价技术导则 大气环境(HJ2.2-2018)附录 D2、地表水、地表水本项目废水为生产废水和生活污水。生产废水主要32、为废气吸收废水和清洗废水,废气吸收废水经中和处理后与清洗废水一起排入市政污水管网;生活污水经化粪池预处理后通过园区污水管网进入市政污水管网,进南洲污水处理厂处理。雨水经自流进入渌水河,渌水河执行地表水环境质量标准(GB3838-2002)中 III 类标准,详见下表。表 1.4-2地表水环境质量标准单位:mg/L,pH 值无量纲序号项目类标准值(mg/L)1pH 值692溶解氧53高锰酸盐指数64化学需氧量(COD)205五日生化需氧量(BOD5)46氨氮(NH3-N)1.07总磷(以 P 计)0.2(湖、库 0.05)8总氮1.09锌1.010氟化物1.011铅0.0512挥发酚0.005133、3石油类0.0514阴离子表面活性剂0.215粪大肠菌群(个/L)10000 xxxx科技有限公司半导体用碳化硅/化学气相沉积碳化硅制品项目环境影响报告书163、地下水环境、地下水环境项目所在区域地下水执行地下水质量标准(GB/T14848-2017)中类标准,具体标准值见下表。表 1.4-3 地下水环境质量标准 单位:mg/L,pH 值无量纲序号项目标准值序号项目标准值1pH 值6.5-8.513铅0.012氨氮0.514镉0.0053高锰酸盐指数3.015铜1.04挥发酚0.00216锌1.05溶解性总固体100017铁0.36总硬度45018氟化物1.07亚硝酸盐氮1.0019硫酸盐2534、08硝酸盐氮2020氯化物2509氰化物0.0521阴离子洗涤剂0.310砷0.0522总大肠菌群(个/L)3.011汞0.00123镍0.0512六价铬0.0524总硬度4504、声环境、声环境本项目位于xx市xx区南洲镇湘渌村西创智能制造产业园内,项目区声环境执行声环境质量标准(GB3096-2008)中的 3 类标准,见下表:表 1.4-4声环境质量标准dB(A)类类别别昼昼夜夜夜夜间间3 类65555、土壤环境、土壤环境本项目厂区内和厂区外 50m 范围内建设用地执行土壤环境质量 建设用地土壤污染风险管控标准(试行)(GB36600-2018)中的第二类用地风险筛选值。各标准值见下表:35、表 1.4-5建设用地土壤环境质量标准单位:mg/kg序号序号污染物项目污染物项目筛选值筛选值标准来源标准来源重金属和无机物土壤环境质量 建设用地土壤污染风险管控标准(试行)(GB36600-2018)中第二类用地风险筛选值(基本项目)1砷602镉653铬(六价)5.74铜180005铅800 xxxx科技有限公司半导体用碳化硅/化学气相沉积碳化硅制品项目环境影响报告书17序号序号污染物项目污染物项目筛选值筛选值标准来源标准来源6汞387镍900挥发性有机物8四氯化碳2.89氯仿0.910氯甲烷37111,1-二氯乙烷9121,2-二氯乙烷5131,1-二氯乙烯6614顺-1,2-二氯乙烯5936、615反-1,2-二氯乙烯5416二氯甲烷616171,2-二氯丙烷5181,1,1,2-四氯乙烷10191,1,2,2-四氯乙烷6.820四氯乙烯53211,1,1-三氯乙烷840221,1,2 三氯乙烷2.823三氯乙烯2.8241,2,3-三氯丙烷0.525氯乙烯0.4326苯427氯苯270281,2-二氯苯560291,4-二氯苯2030乙苯2831苯乙烯129032甲苯120033间二甲苯+对二甲苯57034邻二甲苯640半挥发性有机物35硝基苯7636苯胺260372-氯酚225638苯并a蒽1539苯并a芘1.540苯并b荧蒽1541苯并k荧蒽151xxxx科技有限公司半导体用37、碳化硅/化学气相沉积碳化硅制品项目环境影响报告书18序号序号污染物项目污染物项目筛选值筛选值标准来源标准来源42129343二苯并a,h蒽1.544茚并1,2,3-cd芘1545萘701.4.2 污染物排放标准污染物排放标准1、废气排放标准、废气排放标准项目有组织排放废气中 HCl、氟化物执行大气污染物综合排放标准(GB16297-1996)表 2 新污染源大气污染物排放限值;企业边界颗粒物执行大气污染物综合排放标准(GB 16297-1996)表 2 新污染源大气污染物排放限值。具体标准限值见下表。表 1.4-6 大气污染物有组织排放限值排气筒编号污染物项目标准值执行标准浓度 mg/m排放速38、率(kg/h)DA001排气筒(15m)氟化物9.00.05大气污染物综合排放标准(GB 16297-1996)表 2,其中排放速率严格 50%执行(200m 范围内最高建筑物高 32m)DA002排气筒(15m)氯化氢1000.13备注:表 1.4-7 厂界无组织大气污染物浓度限值序号序号污染物项目污染物项目污染物浓度限值污染物浓度限值(mg/m)标准值来源标准值来源1颗粒物1.0大气污染物综合排放标准(GB 16297-1996)表 2xxxx科技有限公司半导体用碳化硅/化学气相沉积碳化硅制品项目环境影响报告书192、废水排放标准、废水排放标准本项目废水为生产废水和生活污水,废水中不含重金39、属污染物,通过园区污水管网进入市政污水管网,进南洲污水处理厂处理。本项目废水执行电子工业水污染物排放标准(GB39731-2020)中表 1 电子专用材料水污染物排放限值。具体标准限值见下表。表 1.4-8 电子工业水污染物排放标准单位:mg/L(pH 无量纲)序号控制项目电子专用材料1pH 值6.0-9.02SS4003石油类204CODcr5005TOC2006氨氮457总氮708总磷8.09阴离子表面活性剂2010氟化物203、噪声排放标准、噪声排放标准项目施工期噪声执行建筑施工场界环境噪声排放标准(GB12523-2011);运营期执行工业企业厂界环境噪声排放标准(GB12348-2040、08)中的 3 类标准限值。表 1.4-9 噪声排放标准dB(A)阶段阶段昼昼夜夜夜夜间间施工期7055运营期65554、固体废物、固体废物一般工业固体废物执行一般工业固体废物贮存和填埋污染控制标准(GB18599-2020);危险废物执行危险废物贮存污染控制标准(GB 18597-2023)和危险废物收集贮存运输技术规范(HJ 2025-2012)相关标准。xxxx科技有限公司半导体用碳化硅/化学气相沉积碳化硅制品项目环境影响报告书201.5评价工作等级及评价范围评价工作等级及评价范围1.5.1 大气评价工作等级及评价范围大气评价工作等级及评价范围1、评价工作等级、评价工作等级根据环境影响评41、价技术导则-大气环境(HJ2.2-2018)的规定,选择项目污染源正常排放的主要污染物及排放参数,采用附录 A推荐模型中的估算模型 AERSCREEN分别计算项目污染源的最大环境影响,然后按评价工作分级判据进行分级。根据项目污染源初步调查结果,分别计算项目排放的主要污染物的最大地面空气质量浓度占标率 Pi及第 i 个污染物的地面空气质量浓度达到标准值的 10%时所对应的最远距离 D10%。其中,最大地面质量浓度占标率 Pi计算公式如下:Pi=CiC0i 100%式中:Pi第 i 个污染物的最大地面质量浓度占标率,%;Ci采用估算模式计算出的第 i 个污染物的最大 1h 地面空气质量浓度,g/m42、3;Coi第 i 个污染物的环境空气质量浓度标准,g/m3。大气评价等级按下表的分级判据进行划分。表 1.5-1大气评价等级判别表评价工作等级评价工作分级判据一级评价Pmax 10%二级评价1%Pmax 10%三级评价Pmax 1%本项目估算模型参数见下表。表 1.5-2项目估算模型参数表参数取值取值依据城市/农村选项城市/农村城市项目位于西创智能制造产业园内,周边3km 半径范围内主要为城市人口数(城市选项时)35 万xx区人口数最高环境温度/40.520032022 年气象统计数据最低环境温度/-11.520032022 年气象统计数据土地利用类型建设用地项目位于西创智能制造产业园内,周边43、3km 半径范围内主要为建设用地区域湿度条件湿润中国干湿地区划分是否考虑地形考虑地形是否报告书,导则要求考虑xxxx科技有限公司半导体用碳化硅/化学气相沉积碳化硅制品项目环境影响报告书21参数取值取值依据地形数据分辨率/m90/是否考虑岸线熏烟考虑岸线熏烟是否3km 范围内无大型水体岸线距离/km/岸线方向/项目主要污染源估算模型计算结果见下表。表 1.5-3项目排放主要污染物估算模型计算结果表排放源污染物下风向最大浓度贡献值(g/m3)标准值(g/m3)最大地面浓度占标率 Pi(%)浓度占标准10%对应的距源最远距离D10%(m)最远距离无组织颗粒物0.038384500.0100DA00144、正常工况氟化物0.862204.3157.5153DA002正常工况氯化氢2.311504.6266.7155由估算模式的计算结果可知,正常情况下项目的颗粒物最大落地浓度为0.03838g/m3、占标率为 0.01%,氟化物的最大落地浓度为 0.862g/m3,占标率为 4.31%,氯化氢的最大落地浓度为 2.311g/m3,占标率为 4.62%;根据 环境影响评价技术导则 大气环境(HJ2.2-2018)规定,本项目大气评价等级为二级。2、评价范围、评价范围根据环境影响评价技术导则大气环境(HJ2.2-2018)5.4 评价范围确定,“二级评价项目大气环境影响评价范围边长取 5km,本次大气45、评价范围以项目厂址为中心,东西长 5.0km,南北长 5.0km 的矩形范围,面积 25km2。1.5.2 地表水评价工作等级及评价范围地表水评价工作等级及评价范围1、评价工作等级、评价工作等级根据环境影响评价技术导则-地表水环境(HJ2.3-2018)规定,地表水评价工作等级的划分是由建设项目的废水排放方式、排放量和水污染物当量数进行确定的,本项目地表水评价级别判据见下表。xxxx科技有限公司半导体用碳化硅/化学气相沉积碳化硅制品项目环境影响报告书22表 1.5-4水污染影响型建设项目地表水评价等级判定评价等级评价等级判定依据判定依据排放方式排放方式废水排放量废水排放量 Q/(m3/d);水46、污染物当量数水污染物当量数W/(无量纲无量纲)一级直接排放Q20000或W600000二级直接排放其他三级A直接排放Q200且W6000三级B间接排放-注 1:水污染物当量数等于该污染物的年排放量除以该污染物的污染当量值,计算排放污染物的污染物当量数,应区分第一类水污染物和其他类水污染物,统计第一类污染物当量数总和,然后与其他类污染物按照污染物当量数从大到小排序,取最大当量数作为建设项目评价等级确定的依据。注2:废水排放量按行业排放标准中规定的废水种类统计,没有相关行业排放标准要求的通过工程分析合理确定,应统数从大到小排序,取最大当量数作为建设项目评价等级确定的依据。计含热量大的冷却水的排放量47、,可不统计间接冷却水、循环水以及其他含污染物极少的清净下水的排放量。注3:厂区存在堆积物(露天堆放的原料、燃料、废渣等以及垃圾堆放场)、降尘污染的,应将初期雨污水纳入废水排放量,相应的主要污染物纳入水污染当量计算。注4:建设项目直接排放第一类污染物的,其评价等级为一级;建设项目直接排放的污染物为受纳水体超标因子的,评价等级不低于二级。注5:直接排放受纳水体影响范围涉及饮用水水源保护区、饮用水取水口、重点保护与珍稀水生生物的栖息 地、重要水的特征生生物的自然产卵场等保护目标时,评价等级不低于二级。注6:建设项目向河流、湖库排放温排水引起受纳水体水温变化超过水环境质量标准要求,且评价范围有水 温敏48、感目标段、入冲刻时,评价等级为一级。注7:建设项目利用海水作为调节温度介质,排水量500万m3/d,评价等级为一级;排水量99.90%,具有良好的导热性、耐温性、自润滑性、传导性、抗热震性、耐腐蚀性等性能,主要用途为制造单晶炉、金属连铸石墨结晶器、电火花加工用石墨电极、火箭喷嘴、石墨反应堆、反射材料。xxxx科技有限公司半导体用碳化硅/化学气相沉积碳化硅制品项目环境影响报告书30一甲基三氯硅烷(MTS):熔点-77,沸点 66-67,密度 1.270g/cm,闪点-10,外观为无色透明液体,常温下极易挥发,遇水易生成盐酸和白色粉末状物质。加热易分解,生成氯化氢。主要用途为生产有机硅化合物,生产49、防水剂、气相法白炭黑、甲基硅树脂和聚硅氧烷。氩气:熔点:-189.2;沸点:-185.9;相对密度(空气=1):1.66;无色无味的惰性气体;常压下无毒,高浓度时,使氧分压降低而发生窒息。氢气:熔点-259.2(14.01K),沸点-252.77(20.28K),密度 0.089g/L,无色透明、无臭无味难溶于水,相对分子质量最小的物质,还原性较强,工业上主要用于电子工业、航空航天等。氮气:沸点-196,密度 1.25g/L,外观为无色无味气体,不活泼,不燃,无毒;可令人窒息,钢瓶高热可爆,主要用途为某些惰性气氛中以进行金属处理。R14:学名是四氟化碳,又称四氟甲烷、Freon-14 及 R150、4,是一种卤代烃(化学式:CF4),是一种无色无臭不燃易压缩的气体。它既可以被视为一种卤代烃、卤代甲烷、全氟化碳,也可以被视为一种无机化合物。R14 作为一种特种超低温制冷剂,主要应用于要求温度非常低的深冷设备中(包括科研制冷、医用制冷),R14 同时也是超低温配合冷媒的重要组分。四氟化碳(R14)是目前微电子工业中用量最大的等离子蚀刻气体,其高纯气及四氟甲烷高纯气配高纯氧气的混合气,可广泛应用于硅、二氧化硅、磷硅玻璃及钨等薄膜材料的蚀刻,在电子器件表明清洗、太阳能电池的生产、激光技术、气相绝缘、印刷电路生产中的去污剂等方面也大量使用。氟利昂是饱和烃类(碳氢化合物)的卤族衍生物的总称。根据氟利51、昂制冷剂的分子结构可大致分为以下三类:a、氯氟烃类:简称 CFCl,主要包括 R11、R12、R113、R114、R115、R500、R502 等。被蒙特利尔议定书列为一类受控物质。此类物质目前已经禁止使用。b、氢氯氟烃:简称 HCFC,主要包括 R22、R123、R141b、R142b等。臭氧层破坏系数仅仅是 R11 的百分之几。在蒙特利尔议定书中 R22 生产被冻结在 2015 年水平,2040 年停止消费。c、氢氟烃类:简称 HFC,主要包括 R14、R125、R32、R407C、R410A、R152 等。在蒙特利尔议定书没有规定使用期限,在联合国气候变化框架公约京都议定书中定性为温室气52、体。R14 属于 HFC 类物质对臭氧层没有破坏,但存在温室效应,我国目前对于 R14制冷剂的生产、销售以及在新制冷设备上的初装、售后设备上的再添加均没有限制。xxxx科技有限公司半导体用碳化硅/化学气相沉积碳化硅制品项目环境影响报告书312.1.5 项目主要生产设备项目主要生产设备本项目所用主要生产设备见下表。表 2.1-4项目主要生产设备表序号设备名称单位数量位置备注1高温纯化炉台3纯化车间对石墨进行纯化;1 台用于粗纯化、2 台用于精纯化2精密加工机床台4CNC 车间加工碳化硅半成品3超声波清洗机台2厂房清洗车间清洗半成品和成品4烘干机台2厂房清洗车间烘干石墨5气相沉积炉台6CVD 碳化53、硅涂层车间进行碳化硅沉积;共计 5 条生产线使用,其中 1 条生产线需要2 台沉积炉用于一次、二次沉积6检验设备(三坐标测量仪、光学仪器)套3检验室检测产品合格性7空压机台2厂房东侧机房制备压缩空气8工艺冷却水系统套1对纯化和碳化硅CVD工艺进行冷却9冷水机组台2厂房南侧中央空调系统用10布袋除尘器(数控机床自带)台4数控机床旁对切割产生的粉尘进行收集处理11碱洗喷淋塔套2/对产生的 HCl、氟化物废气进行处理12纯水机台1清洗间制备去离子水13氮气储罐个1厂房北侧储罐区进行碳化硅涂层14一甲基三氯硅烷储罐个2一甲基三氯硅烷仓库 储存一甲基三氯硅烷15氩气储罐个1厂房东北侧/2.1.6 项目总54、平面布置项目总平面布置甲基三氯硅烷储罐位于车间内东北角,甲基三氯硅烷储罐以南依次为为4台CVD化学气相沉积炉、1 台纯化炉;车间东侧从北往南依次为 CVD 仓库、成品仓库、研磨室、清洗烘干室;车间西侧从北往南危废暂存间、一般固废暂存间、2 台 CVD 化学气相沉积炉、1 台纯化炉、包装车间、办公室。车间南侧为三层结构,一层为研发检验室及企业文化展厅,二、三层为办公区;车间西南侧为 CNC 车间和产品检测室。xxxx科技有限公司半导体用碳化硅/化学气相沉积碳化硅制品项目环境影响报告书32上述布置按生产流程顺序、按功能分区,同类型设备适当集中布置,便于管理,有利于改善厂房内生产环境,满足规范要求,55、总平面布置比较合理。项目厂区平面布置详见附图 3。2.1.7 公用工程公用工程2.1.7.1 给排水给排水1、新鲜水系统、新鲜水系统厂区内给水设施完善,本项目给水利用厂区现有给水系统,本项目新鲜水用量为1078.94t/a。2、排水系统、排水系统项目厂区实施雨污分流,雨水经雨水井排往园区雨水管网;生活污水经化粪池处理后进园区污水管网(厂区内设置多个化粪池,具体见附图),超声清洗废水经过滤后进园区污水管网,地面清洁废水经化粪池处理进园区污水管网,纯化废气碱喷淋废水、冷凝用水循环利用,不外排;沉积废气碱喷淋废水经调整 pH 值后外排。本项目外排废水经园区污水管网收集后经由市政污水管网排放至南洲污水56、处理厂,处理达标后排入渌江,最终汇入湘江。2.1.7.2 供电供电本项目供电利用园区现有厂房供电系统,需要额外安装 1 台1600KVA 变压器。xxxx科技有限公司半导体用碳化硅/化学气相沉积碳化硅制品项目环境影响报告书332.2 拟建项目影响因素分析拟建项目影响因素分析2.2.1施工期工程分析施工期工程分析本项目在已建成厂房内建设,主要施工内容为对园区内标准厂房进行适应性改造及设备安装,项目不新增用地。施工期工程内容简单,施工时间短,故不进行施工期的工程分析。2.2.2运营期运营期工艺流程及产排污节点工艺流程及产排污节点项目营运期生产工艺流程及产排污环节简介:纯化:将等静压石墨放入高温石墨57、纯化炉(使用能源为电能)内胆(挤压石墨材料)中,然后将高温石墨纯化炉关闭。经检查无误后,开动设备,废气处理设施与纯化炉相连,先开启废气处理设施将纯化炉内抽成负压(绝氧状态下)。然后,通过电阻加热,先升温至 1000,最后升温至 2000,升温速度为 5/min,在 1800保温 30 小时,同时将氩气通入炉内和炉壳间以保持隔绝空气,氩气导入速率约为 20L/min。随后,继续加热至 2200,同时通入氟利昂 R14,氟利昂 R14 遇高温裂解为氟气(CFCF242),导入氟利昂 R14 流量为 300L/h,通入氟利昂 R14约 40-80h 后保持温度在 2200停止通气,使氟气充分与杂质进58、行反应,石墨中的杂质与氟气反应生成氟化物和气体逸出,使石墨纯度得到提高,达到杂质含量为 5ppm以下的纯度(粗纯化+精纯化,先由 200ppm 达到 50ppm 以下,再到 5ppm 以下,本项目 1 台纯化炉用于粗纯化,2 台纯化炉用于精纯化),氟利昂最大用量约 9.65m3/炉(72炉每年,即 694.8m3/年)。最后,待石墨冷却至 1200时通入氩气进行保护,再冷却至 150左右,目的是对石墨产品进行冷却和保护,防止石墨产品在高温条件下与其他气体进行反应,另一方面是排空石墨孔中的残余气体,此过程仍然在绝氧环境中进行,通入惰性气体将反应成的气化物质和多余的氟气和氟化氢气体吹出石墨和石墨纯59、化炉,进入废气处理系统进行处理。氟化物经两级碱洗系统吸收后,产生氟化钙沉淀,未被吸收的氟化物经15m 排气筒有组织排放。待石墨冷却后开炉取出纯化石墨半成品,经过检验合格后再进入数控加工工序,经过纯化后,石墨产品杂质由 200ppm 降至 5ppm 以下(粗纯化+精纯化,先由 200ppm达到 50ppm 以下,再到 5ppm 以下)。整个纯化过程处于密闭真空状态,处理过程为xxxx科技有限公司半导体用碳化硅/化学气相沉积碳化硅制品项目环境影响报告书34自动化控制,生产工人仅负责上下料操作。在纯化过程中会产生氟化物废气、噪声和不合格产品,产生的废气在冷凝系统+两级碱洗系统处理后经 15m 排气筒60、有组织排放。数控加工:使用数控加工中心进行高精度尺寸加工。加工过程中设备会产生噪声、加工粉尘和不合格产品,机加工粉尘经设备自带布袋除尘器收集处理后在车间无组织排放。清洗和烘干:使用去离子水在超声波清洗机内对纯化半产品进行表面杂质清洗,清洗过程中不投加任何化学品,水循环使用。清洗过程中清洗设备会产生噪声,清洗杂质定期清理,清洗废水过滤后外排。表面清洗完成后,入烘干机完成表面水份烘干。烘干机(使用能源为电能)温度不超过 400,因此原材料不发生化学反应。烘干过程中只产生噪声。碳化硅 CVD 沉积:1)启动 CVD 沉积炉的加温箱,并达到温度;2)将石墨胚体(或称为基底)放入 CVD 沉积炉内的转盘61、上,然后带动石墨旋转;3)循环操作:将沉积炉内抽真空,再通入 Ar 气;4)启动沉积炉加热系统,对反应腔内进行加热,同时不断抽真空,达到预设沉积温度后,保温一段时间,再通入 Ar 气,使沉积炉内的压力达到指定压力,再抽真空;5)将 H2、Ar 和烷烃气体通入加温箱中,并通入甲基三氯硅烷,进而将混合气体通入到 CVD 反应炉腔内;整个沉积过程处于密闭真空状态,烷烃气体通入过程为自动化控制,从储罐到沉积炉均处理密闭链接状态,生产工人仅负责上下料操作。6)完成沉积后,停止通入 H2、氯硅烷以及烷烃,并保持Ar 的持续通入,对炉腔进行冲洗和降温,然后充气,打开炉体,取出带有碳化硅镀层的石墨胚体件。沉积62、过程中会产生氯化氢废气,产生的氯化氢废气经抽风机+喷淋塔+旋流塔处理后经 15m 排气筒有组织排放。人工研磨:沉积好 CVD-SiC 涂层后,使用手工打磨机对表面粗糙度、平整度进行深度加工。研磨过程中会产生粉尘和噪声。清洗和烘干:使用去离子水在清洗机内对沉积产品进行表面处理。清洗过程中会产生废水和噪声。检测:成品经显微镜、灰分炉、克重仪、密度仪等检测合格后方可打包,在此过程中会产生不合格的产品。包装:对合格的产品进行打包,暂存于厂房北侧成品仓库。在此过程中会产生xxxx科技有限公司半导体用碳化硅/化学气相沉积碳化硅制品项目环境影响报告书35废包装材料。石墨材料粗、精纯化人工打磨CVD 沉积清洗63、烘干数控加工S、G、N包装检测清洗、烘干氟利昂 R14、氩气去离子水一甲基三氯硅烷氮气、氢气、氩气S、G、NG、NS、N去离子水图例:图例:N-N-噪声噪声S-S-固废固废W-W-废水废水G-G-废气废气W、NSS、NW、N润滑油图 2.2-1营运期生产工艺流程及产排污环节图xxxx科技有限公司半导体用碳化硅/化学气相沉积碳化硅制品项目环境影响报告书362.3 平衡分析平衡分析2.3.1氟元素氟元素平衡平衡本项目年生产 72 炉高纯石墨半成品用于制造碳化硅产品,则每炉的氟元素平衡见表 2.3-1,72 炉的氟元素平衡见表 2.3-2。表 2.3-1每炉氟元素平衡表投入(kg/炉)产出(kg/64、炉)氟气中的氟25.34经碱液喷淋系统后进入废碱液的氟以氟化物形式存在的氟(吸收效率为90%22.81经碱液喷淋系统后以氟化物形式排入大气环境的氟(吸收效率为 90%)2.53合计25.34合计25.34表 2.3-2项目总氟元素平衡表投入(t/a)产出(t/a)氟气中的氟1.824经碱液喷淋系统后进入废碱液的氟以氟化物形式存在的氟(吸收效率为90%)1.642经碱液喷淋系统后以氟化物形式排入大气环境的氟(吸收效率为 90%)0.182合计1.824合计1.824本项目石墨提纯工艺会产生氟化物和氟气经碱洗喷淋塔吸收之后,大部分以氟化物溶液形式存在与废碱液中,产生量为 1.642t/a,小部分以65、氟化物或氟气形式经排气筒排放,排放量为 0.182t/a。xxxx科技有限公司半导体用碳化硅/化学气相沉积碳化硅制品项目环境影响报告书372.3.2水平衡水平衡本项目用水主要为员工生活用水和生产用水,生产用水为 HCl 吸收液用水、清洗用水、冷凝用水和配置石灰水及水洗用水。1)生活用水及排水根据xx省用水定额(DB43T388-2020)及项目地所在地的情况分析计算项目生活用水量,本项目拟设职工 40 人(均不在厂食宿),全年生产 300 天,员工用水量以 15m3/人.a 计算,则项目生活用水量为 600m3/a,耗散系数为 0.2,则本项目生活废水排水量为 480m3/a。2)生产用水及排66、水HCl 吸收液用水:本项目碳化硅沉积工艺会产生氯化氢气体,使用碱性喷淋塔对产生的氯化氢气体进行吸收,氯化氢极易溶于水,在 0时,1 体积的水大约能溶解 500 体积的氯化氢。根据建设单位提供的资料,喷淋塔流量约为 30m3/h,水流循环使用,喷淋塔补充水量为 0.1m3/d(30m3/a),喷淋废水(适时调节 pH 值)部分循环使用,定期外排部分,年排放量为 29.74t。超声清洗用水:本项目需要对机加工后的材料用去离子水进行清洗,清洗表面的粉尘,年工作 300 天,根据建设单位提供资料,设清洗槽 3 个,每个清洗槽容积为0.3m3,每天耗散系数为 0.1,损耗为 0.09m3/d(27m367、/a),每天添加新的去离子水(去离子水由去纯水机制备)。清洗用水循环使用,每 1 个月对残渣过滤后排水更换新水。则废水产生量约为 0.9*12*0.9=9.72m3/a。纯水机制备去离子去产出率为 50%,则制备去离子水需用水 54m3/a。冷凝用水:本项目 CVD 工艺和纯化工艺使用一套冷凝系统进行散热,根据建设单位提供资料,冷凝用水流量为 36m3/h,冷凝系统运行 300 天,日工作时间 24h,冷凝用水循环使用,损耗量为 1m3/d(300m3/a),根据损耗补充新鲜水。纯化废气吸收废水:本项目用石灰水对产生的氟化物和氟气进行处理,需配置石灰水以及对废气吸收过程中产生的氟化钙进行水洗。68、喷淋塔内石灰水水量为 2m3,该水循环使用,每天补充新鲜水,补充水量为 0.2m3/d(60m3/a)。地面清洁废水:车间地面每周清洗一次,采用半干拖把清洗,每次用水约 0.1m3,则一年用水量为 5.2m3,损耗系数为 0.2,则废水排放量为 4.16m3/a。3)水平衡图本项目水量平衡图见图 2.3-1,用水量及排水情况见表 2.3-3。xxxx科技有限公司半导体用碳化硅/化学气相沉积碳化硅制品项目环境影响报告书38表 2.3-3工程用水及排水情况一览表序号项目新鲜水量损耗量废水排放量m3/a废水排放量(m3/d)1生活用水6001204801.62HCl 吸收用水59.743029.7469、0.103超声清洗用水2717.289.720.03244冷凝用水300300005纯化废气吸收废水6060006地面清洁废水5.21.044.160.01397纯水制备浓水27/270.09合计1078.94528.32550.621.8354图 2.3-1项目水平衡图m3/axxxx科技有限公司半导体用碳化硅/化学气相沉积碳化硅制品项目环境影响报告书392.4 污染源强核算污染源强核算2.4.1废气污染源废气污染源本项目营运过程中,废气主要包括石墨纯化过程中产生氟化物和氟气等废气、机加工过程产生粉尘、碳化硅沉积过程中产生氯化氢废气、人工打磨产生的粉尘等。具体分析如下:1、石墨纯化产生废气根70、据建设单位提供资料,项目石墨需进行纯化,将石墨置于纯化炉进行提纯,利用氟利昂 R14 在高温条件下裂解产生氟气对石墨制品进行提纯,通过氟气对金属氧化物氟化后,形成氟化物或者金属氟化物从石墨中游离出来,在此过程中会产生氟化物和氟气。氟利昂 R14 使用量为 9.65m3/炉,一年生产 72 炉高纯石墨,因此 R14 年使用量为 694.8m3/年(气态),氟利昂在标况下气态密度为 3.04kg/m3(29.34kg/炉 R14,通入高温纯化炉进行裂解后生成 F2(25.34kg/炉 F2),折合氟元素量为 25.34kg/炉)。反应尾气经冷凝+两级碱洗塔处理(净化效率为 90%)后经排气筒引至楼71、顶(离地高度 15m)排放。其反应方程式如下:CFCF2422422i2iCOFSCFOS232323436l2COAlFCFOA232323e436e2COFFCFOF石墨提纯前(杂质含量 200ppm)、提纯后(杂质含量 5ppm)主要杂质含量及组分见表 2.4-1。表 2.4-1石墨提纯前、后主要杂质含量及组分(ppm)所含元素名称名称提纯前提纯后200ppm5ppmAg0.50.5Al100.02B100.04Ca250.02Co0.20.02Cr0.30.02Cu20.02Fe150.04xxxx科技有限公司半导体用碳化硅/化学气相沉积碳化硅制品项目环境影响报告书40Gd0.010.72、01Li0.050.05K21Mg50.02Mn0.30.02Mo0.20.1Na51Ni30.04P0.30.3S102Si251Sn0.10.1Ti100.02V100.04Zn0.10.1石墨中主要氧化物杂质的熔沸点见表 2.4-2。表 2.4-2石墨中主要氧化物杂质的熔沸点氧化物SiO2Al2O3Fe2O3CaOVO2MgOB2O3ZrO2熔点/。C1713205415652900154528004452700沸点/。C29502980/3500/360015004300主要氟化物杂质熔沸点见表 2.4-3。表 2.4-3主要氟化物杂质熔沸点氟化物SiF4AlF3FeF3CaF2VF373、MgF2BF3ZRF4熔点/。C-902501000140219.51261-126640沸点/。C-861291/250048.32260-100.3905根据表 4-1 石墨提纯前后杂质含量及组分,石墨中的杂质含量 200ppm(杂质含量为 0.02%),提纯后的杂质含量 5ppm(即杂质含量为 0.0005%),本项目等静压石墨使用量为 36t/a,故提纯前后参与反应和被提纯的杂质量为 7.02kg,石墨中的杂质主要为钙、钛、硼、铁、硅、钠、铝、镁等的硅酸盐和金属氧化物。石墨提纯过程中产生的废气中含有的主要污染物为氟化物和氟气。高温纯化炉为密闭环境,经氩气吹出的废气及气态杂质经导气管引致74、废气处理系统,因此纯化废气100%进入废气处理系统,废气处理系统由冷凝装置和水过滤装置(喷淋塔)组成。排气(真空)管路配置有间接冷却水装置,高温气体经冷却管冷却后,最终在经过冷凝器时xxxx科技有限公司半导体用碳化硅/化学气相沉积碳化硅制品项目环境影响报告书41金属氟化物已形成固态颗粒,再根据重力沉降原理收集。冷却后的废气再通过水过滤装置(喷淋塔),喷淋塔选用鲍尔环为填料,采用石灰水作为吸收剂,设置两层喷淋(喷淋流量为 25m3/h),喷淋塔顶端设置除雾器,氟化物和氟气的净化效率取 90%。根据物料平衡,氟气与石墨中的杂质反应后产生的氟化物、氟气(以氟计)为1.824t/a,0.317kg/h75、(一年生产 72 炉,每炉石墨 0.5t,每炉工艺运行 240h,每炉全年运行 240 天),经冷凝+两级碱洗系统处理后再由 15m 排气筒(2#)引至楼顶排放,废气治理系统风量为 5000m3/h,氟化物的设计净化效率为 90%,净化后氟化物的排放量为 0.1824t/a,0.0317kg/h,排放浓度为 6.33mg/m3。满足大气污染物综合排放标准(GB16297-1996)表 2 新污染源大气污染物排放限值中二级排放标准(氟化物最高允许排放浓度为 9.0mg/m3;最高允许排放速率为 0.05kg/h(0.1kg/h 严格 50%执行)。2、机加工产生粉尘根据建设单位提供的资料,项目数76、控加工中心设备均密闭加工,并自带布袋除尘设备,收集效率为 95%,除尘效率达 99%,布袋除尘设备处理后的颗粒物在车间内无组织排放,收集在设备布袋内的颗粒物定期清理。本次参照排放源统计调查产排污核算方法和系数手册-生态环境部公告 2021 年第 24 号中38 电气机械和器材制造业(不包括 384、3825 外)系数手册中机械加工工段,半导体材料切割、打孔废气颗粒物的产污系数为 3.596*10-1g/kg 原料,经计算,石墨基材料年用量为 36t,则颗粒物产生量为 12.95kg/a,无组织排放量为 0.77kg/a(其中,未收集的为 0.65kg,经布袋排出的为 0.12kg),布袋收集的77、颗粒物量为 12.18kg/a,沉积在布袋后定期做固废处理。3、碳化硅涂层产生氯化氢废气将石墨基体装炉,关炉后抽真空,升温到沉积温度 1150,依次通入 Ar、H2载一甲基三氯硅烷,完成涂层,涂层过程中会产生氯化氢废气。本项目工艺参考化学气相沉积工艺制备 SIC 涂层(国防科技大学航天与材料工程学院国防科技重点实验室长沙 410073),采用一甲基三氯硅烷(MTS)为先驱体原料,以氩气和氢气作为稀释气体,以氢气为载气通过鼓泡方式将 MTS 蒸汽带入混合罐中。经稀释混合的气体进入 CVD 真空沉积炉中,在等静压石墨基体上进行 CVD。该过程化学反应方程式为:)()(gl3iC(s)gli233H78、CSCSCHH项目使用一甲基三氯硅烷 8t/a,按一甲基三氯硅烷全部反应,则8*(3*36.5)/149.5=5.86t(HCl),产生速率为 2.035kg/h(沉积炉全年运行 240 天,排放废xxxx科技有限公司半导体用碳化硅/化学气相沉积碳化硅制品项目环境影响报告书42气时间取一半为 120 天),产生浓度为 203.46mg/m3。项目采用喷淋塔、旋流塔处理HCl 废气,本工序废气处理设施为抽风机通风管道喷淋塔+15m 排气筒(2#)。根据建设单位提供的资料,喷淋塔是由有国家环保资质认证的单位定制,废气收集效率 100%(HCl 废气如残存在 CVD 炉会引起爆炸,因此收集效率须达到79、 100%),废气处理效率可达到 95%,则废气中 HCl 的排放量为 0.293t,排放速率约为 0.1017kg/h,风机的风量为 10000m3/h,HCl 废气排放浓度为 10.17mg/m3。满足大气污染物综合排放标准(GB16297-1996)表 2 新污染源大气污染物排放限值中二级排放标准(氯化氢最高允许排放浓度 100mg/m3;最高允许排放速率 0.13kg/h(0.26kg/h 严格 50%执行)。根据方程式计算,碱洗装置中氯化氢的量为 5.86t-0.293t=5.567t,则中和反应的产物 NaCl 的产生量为 5.567/36.*58.5=8.922t,氯化钠为白色粉80、末,易溶于水(20时,其在水中的溶解度为 100g 水可溶解 36g 氯化钠,碱喷淋总循环水量为 2t,则水中溶解的氯化钠为 2*0.36=0.72t,为了防止氯化钠析出,需控制喷淋液中氯化钠的浓度低于饱和浓度,控制氯化钠溶液的浓度为 30%以下,此时放出 1t 喷淋废水,再加入 1t新鲜水。则氯化钠溶液的年排放量为 8.922/30%=29.742t,此部分废水污染物较少,主要含氯离子和钠离子。4、人工打磨粉尘废气沉积碳化硅后的石墨基材产品,需对表面进行打磨抛光,本次参照排放源统计调查产排污核算方法和系数手册-生态环境部公告 2021 年第 24 号中38 电气机械和器材制造业(不包括 3881、4、3825 外)系数手册中机械加工工段,半导体材料切割、打孔废气颗粒物的产污系数为3.596*10-1g/kg原料,经计算,石墨基材年用量约为36t,则颗粒物产生量为 12.95kg/a,粉尘废气收集后经布袋除尘器处理后在车间外无组织排放,废气收集效率约为 80%,布袋除尘器处理效率为 99%,无组织排放量 2.69kg/a(其中,未收集的为 2.59kg,经布袋排出的为 0.10kg),布袋收集的颗粒物量为 10.25kg/a,沉积在布袋后定期做固废处理。xxxx科技有限公司半导体用碳化硅/化学气相沉积碳化硅制品项目环境影响报告书43综上,本项目废气产排污情况见表 2.4-4。表 2.4-82、4 本项目废气污染物排放源一览表污染源污染物排放方式排放速率 kg/h排放浓度 mg/m3排放量(t/a)排放标准纯化废气氟化物、氟气有组织0.03176.330.1824GB16297-1996机加工粉尘颗粒物无组织/0.001GB16297-1996碳化硅涂层废气氯化氢有组织0.101710.170.293GB16297-1996打磨废气颗粒物无组织/0.003GB16297-19962.4.2非正常排放废气非正常排放废气事故工况指生产设施非正常工况或污染防治设施非正常工况,本项目非正常工况是指氟化物、氟气和氯化氢废气处理系统运转异常等工况;本项目污染防治措施非正常情况指碱液对氟化物和氟气83、的处理效率不足。本次项目评价废气非正常排放仅考虑废气处理系统不运转,对氟化物、氟气和氯化氢的处理效率为 0,事故状态年发生频次为 1 次,每次持续时间为 1h。则项目非正常情况下,氟化物和氟气产生量为 63.3mg/m3,0.317kg。氯化氢废气产生量为203.46mg/m3,2.035kg。xxxx科技有限公司半导体用碳化硅/化学气相沉积碳化硅制品项目环境影响报告书442.4.3废水污染源废水污染源本项目用水主要为员工生活用水和生产用水,生产用水为 HCl 吸收液用水、清洗用水、冷凝用水和配置石灰水及水洗用水。项目主要废水污染源强如下:1、生活用水及排水根据xx省用水定额(DB43T38884、-2020)及项目地所在地的情况分析计算项目生活用水量,本项目拟设职工 40 人(均不在厂食宿),全年生产 300 天,员工用水量以 15m3/人.a 计算,则项目生活用水量为 600m3/a,耗散系数为 0.2,则本项目生活废水排水量为 480m3/a。2、生产用水及排水HCl 吸收液用水:本项目碳化硅沉积工艺会产生氯化氢气体,使用碱性喷淋塔对产生的氯化氢气体进行吸收,氯化氢极易溶于水,在 0时,1 体积的水大约能溶解 500 体积的氯化氢。根据建设单位提供的资料,喷淋塔流量约为 30m3/h,水流循环使用,喷淋塔补充水量为 0.1m3/d(30m3/a),喷淋废水(适时调节 pH 值)部分85、循环使用,定期外排部分,年排放量为 29.74t。超声清洗用水:本项目需要对机加工后的材料用去离子水进行清洗,清洗表面的粉尘,年工作 300 天,根据建设单位提供资料,设清洗槽 3 个,每个清洗槽容积为0.3m3,每天耗散系数为 0.1,损耗为 0.09m3/d(27m3/a),每天添加新的去离子水(去离子水由去纯水机制备)。清洗用水循环使用,每 1 个月对残渣过滤后排水更换新水。则废水产生量约为 0.9*12*0.9=9.72m3/a。纯水机制备去离子去产出率为 50%,则制备去离子水需用水 54m3/a。冷凝用水:本项目 CVD 工艺和纯化工艺使用一套冷凝系统进行散热,根据建设单位提供资料86、,冷凝用水流量为 36m3/h,冷凝系统运行 300 天,日工作时间 24h,冷凝用水循环使用,损耗量为 1m3/d(300m3/a),根据损耗补充新鲜水。纯化废气吸收废水:本项目用石灰水对产生的氟化物和氟气进行处理,需配置石灰水以及对废气吸收过程中产生的氟化钙进行水洗。喷淋塔内石灰水水量为 2m3,该水循环使用,每天补充新鲜水,补充水量为 0.2m3/d(60m3/a)。地面清洁废水:车间地面每周清洗一次,采用半干拖把清洗,每次用水约 0.1m3,则一年用水量为 5.2m3,损耗系数为 0.2,则废水排放量为 4.16m3/a。xxxx科技有限公司半导体用碳化硅/化学气相沉积碳化硅制品项目环87、境影响报告书452.4.4噪声污染源噪声污染源本项目运营期噪声以设备噪声为主,主要噪声源为各种生产设备,通过采取安装减振垫、隔声、消声等措施减少对周围环境干扰。项目噪声源强和处理方式见下表。2.4-5工业企业噪声源强调查清单(室外声源)dB(A)序号声源名称空间相对位置声源源强(声压级/距离)声源控制措施运行时段XYZ1引风机-3831085/1基座减振24h2.4-6工业企业噪声源强调查清单(室内声源)dB(A)序号声源名称空间相对位置声源源强(声压级/距离 m)声源控制措施运行时段距室内边界距离(m)室内边界声压级建筑物插入损失建筑物室外噪声XYZ声压级距离(m)1纯水机-43-1710888、5/1隔声减振、厂房隔声4h2557.041047.0412数控机床-26-21180/1隔声减振、厂房隔声4h2552.041042.0413超声波清洗机-28-421080/1隔声减振、厂房隔声4h2552.041042.0414气相沉积炉-40-151085/1隔声减振、厂房隔声4h2557.041047.0415纯化炉-23-34580/1隔声减振、厂房隔声4h2552.041042.0416空压机-42-56585/1隔声减振、厂房隔声8h571.021061.021xxxx科技有限公司半导体用碳化硅/化学气相沉积碳化硅制品项目环境影响报告书467工艺冷却水系统95580/1隔声减振89、厂房隔声8h4047.961037.9618喷淋塔2213580/1隔声减振、厂房隔声8h4047.961037.961xxxx科技有限公司半导体用碳化硅/化学气相沉积碳化硅制品项目环境影响报告书472.4.5固体废物固体废物本项目在运行过程中,产生的固体废物主要为工作人员产生的生活垃圾、废弃包装材料、废润滑油。1、一般固废根据建设方提供资料,本项目废弃包装材料年产生为 0.2t,废弃包装材料属于一般固体废物分类与代码(GB/T39198-2020)中其他废物类别,类别代码为99。分类收集后全部外售。根据建设方提供资料,本项目在生产过程中会产生 2%的不合格产品,则不合格产品年产生量为 0.90、72t,不合格产品属于一般固体废物分类与代码(GB/T39198-2020)中其他废物类别,类别代码为 99。统一收集后委外处理。本项目切割、机加工工序中布袋除尘器收集的粉尘约为 0.95t/a,粉尘属一般固体废物分类与代码(GB/T 39198-2020)中工业粉尘,类别代码 66。本项目废碱液回收工艺中产生的氟化钙为 18.44t/a,氟化钙属于一般固体废物分类与代码(GB/T39198-2020)中其他废物类别,类别代码为 99。统一收集后委外处理。厂区设备维修会产生含油废抹布手套,年产生量约为 0.02t。2、危险废物项目数控加工设备日常维护使用润滑油的量约为 0.5t/a,类比同类工91、程损耗按 30%计算,则废润滑油产生量为 0.35t/a。废润滑油属于国家危险废物名录(2021 年版)中“HW08 废矿物油与含矿物油废物”,非特定行业,废物代码900-217-08。本项目会产生润滑油桶和废润滑油,收集暂存于危废暂存间,定期交由有资质的单位处理。3、生活垃圾项目投产后,劳动定员 40 人,全年运营 300 天。根据环境统计手册日常生活垃圾产生量平均 1kg/人d,则全年生活垃圾预计产生量为 12t,分类收集后由环卫部门统一处理。xxxx科技有限公司半导体用碳化硅/化学气相沉积碳化硅制品项目环境影响报告书48表 2.4-7项目固体废物产生与处置一览表固体废物固体废物名称名称固92、废类别固废类别产生量产生量(t/a)废物代码废物代码毒害成分毒害成分 形态形态 贮存方式贮存方式处置方式处置方式生活垃圾 生活垃圾12/固态垃圾桶集中收集后由环卫部门统一清运不合格品 一般固废0.7299/一般固废暂存间厂家回收利用废弃包装材料一般固废0.299/固态一般固废暂存间分类收集后外售布袋除尘器收集粉尘一般固废0.01266/固态一般固废暂存间厂家回收利用氟化物沉淀一般固废8.499/固态 即时运走 清理后委外处理含油抹布手套一般固废0.0599/固态一般固废暂存间厂家回收利用废润滑油 危险固废0.35HW08900-219-08 废矿物油 液态暂存在危废间委托有资质单位处理废润滑油93、桶危险固废0.1HW49900-041-09溶剂固态xxxx科技有限公司半导体用碳化硅/化学气相沉积碳化硅制品项目环境影响报告书492.4.6项目污染源汇总项目污染源汇总项目污染源汇总情况见下表。2.4-8项目污染源汇总表项目项目污染源污染源污染物污染物产生量产生量(t/a)削减量削减量(t/a)外排量外排量(t/a)排放去向排放去向废气纯化废气氟化物、氟气2.9372.790.1824大气碳化硅涂层废气氯化氢0.4770.4530.293大气无组织排放颗粒物2.8831.2871.596大气废水生活用水COD、氨氮480(水量)0480南洲污水处理厂HCl 吸收用水悬浮物、氯化钠29.74(94、水量)029.74超声清洗用水悬浮物9.72(水量)09.72冷凝用水-0-0纯化废气吸收废水-0-0地面清洁废水悬浮物、石油类4.16(水量)04.16纯水制备浓水悬浮物27(水量)027固废生活垃圾12012集中收集后由环卫部门统一清运不合格品0.7200.72厂家回收利用废弃包装材料0.200.2分类收集后外售布袋除尘器收集粉尘0.01200.012厂家回收利用氟化物沉淀8.408.4清理后委外处理含油抹布手套0.0500.05厂家回收利用废润滑油0.3500.35委托有资质单位处理废润滑油桶0.100.1xxxx科技有限公司半导体用碳化硅/化学气相沉积碳化硅制品项目环境影响报告书50第95、第 3 章章环境现状调查与评价环境现状调查与评价3.1自然环境概况自然环境概况3.1.1 地理位置地理位置xx市是我国南方重要的交通枢纽,铁路有京广、浙赣、湘黔三大干线在此交汇;道路四通八达,106、320 国道和京珠高速道路穿境而过;水路以湘江为主,通江达海,四季通航。xx市位于xx省东部,湘江中下游,罗宵山脉西麓,南岭山脉至江汉平原的倾斜地段上,地跨东经 125573011407 15、北纬260305280127,南北长 219.25km,东西宽 88.75km,地域总面积 11272km2,占全省总面积的 5.32%。xx区,隶属于xx省xx市,古称“漉浦”,别称“渌湘”,以地处渌水汇96、 注湘江水口得名。xx区位于xx省中部偏东,湘江中游,境内渌水东来,湘江 北去,东临醴陵市、xx区,南连衡阳市衡东县,西接湘潭县,北毗芦淞区、天元区。xx区位条件优越,自古为湘东门户,是中原通往广东沿海的咽喉,享有“湘东明珠”的美誉。位于长株潭城市群南缘,是xx市“一核一圈一廊”发展规划的重要组成部分。本项目位于xx市xx区经济开发区西创智能制造产业园内,厂区中心地理坐标为:113.129104E,27.667193N,项目地理位置详见附图 1。3.1.2 地形地貌地形地貌xx区地处湘东裂谷系北段,地层出露较齐全,褶皱、断裂构成发育,岩浆活动频繁。地处紫江盆地,第四纪地貌基本轮廓是:东北部与西97、南部隆起,构成两个相对起伏的倾斜面,向中部逐渐降低;渌水从东向西齐腰横切,呈现以山丘为主,山、丘、岗、平齐全的多样的地貌类型。拟建场地位于xx区南洲工业园渌湘大道西侧,交通便利。地貌单元属低缓丘陵区,原始地形相对高差约为 4 10m;勘察时现科创园均为标准厂房,场地现状地面标高为 65.771.5m。根据xx华升纺织科技有限公司地勘资料,该公司厂区位于科创园东面50m,地勘资料具有代表性。勘察钻探揭露,组成拟建场地勘察范围内的地层岩性为:第四系全新统杂填土、耕植土、淤泥质黏土,上更新统粉质黏土,白垩系泥质粉砂岩。各岩土层的岩性特征及分布情况自上而下依次概述如下:xxxx科技有限公司半导体用碳化98、硅/化学气相沉积碳化硅制品项目环境影响报告书511、第四系全新统(Q4)(1)素填土(Q4m1):褐黄、褐红、灰褐等色,松散-稍密状,稍湿,主要由黏性土、风化岩块组成,局部含少量建筑垃圾。该层场地大部分区域有分布,仅场地西北侧少部分区域未见有揭露,厚度 0.20-11.0m,平均厚度 5.13m。(2)耕植土(Q pd):灰褐、褐黄等色,软可塑状,局部表层含植物根系。该层仅分布于场地东侧,厚度 0.60-1.20m,平均厚度 0.88m。(3)淤泥质黏土(Q4h):灰黑、灰褐色,软塑状,含腐殖质,局部具腥 臭味。该层仅分布于场地东侧(原有水塘底部土层),厚度 0.80-2.10m,平均厚度 199、.37m。2、第四系上更新统(Q3)粉质黏土(Q3el+dl)褐红、褐黄色,硬塑状,干强度中等,韧性中等,切面稍有光泽,无摇震反应,局部含砾石,约占 15-25%,砾径 0.55cm 不等,砾石成分为石英、砂岩、灰岩等。3、白垩系(K)(1)全风化泥质粉砂岩1:褐红色,可见原岩结构,原岩已风化呈硬塑-坚硬土状,局部含少量强风化碎块。该层场地绝大部分有分布,该层层厚 0.4010.50m,平均厚度为 3.42m,层顶埋深为 0 15.50m,层顶标高为 54.4269.97m。(2)强风化泥质粉砂岩2:褐红色,节理裂隙极发育,岩体破碎,岩心呈块状、碎块状。该层场地大部分区域有揭露;该层层厚为 0100、.504.70m,平均厚度为 1.49m,层顶埋深为 0 17.30m,层顶标高为 52.7069.80m。(3)中风化泥质粉砂岩3:褐红色,泥砂质结构,中厚层状构造,节理裂隙发育,岩体完整,岩芯呈柱状,岩质软,岩体基本质量等级为级,岩石质量指标 RQD 约为 8086。该层层顶埋深为 0 17.80m,层顶标高为52.0169.55m。科创园地形起伏较小,周边无滑坡、岩溶、泥石流、岩溶等不良地质现象存在。3.1.3 水文资料水文资料1、地表水、地表水项目所在区域xx区内水系丰富,有湘江和渌江两条主要河流经过区域内。渌江干流发源于江西省萍乡市赤自挤白家源,它违背江水东流的自然规律,拐过九道十八101、湾流经萍乡、醴陵、xx区,在xx区xx镇向西流入湘江,是湘xxxx科技有限公司半导体用碳化硅/化学气相沉积碳化硅制品项目环境影响报告书52江的主要支流之一。渌江全长 160.8km,在xx区境内长 63.73km。渌江为接纳沿线城市污水和工业废水的纳污水体。近五年来,全市渌水平均流量为99.2m3/s,最小流量为 84.5m3/s;年平均径流量 31.30 亿 m3,年最小径流量26.72 亿 m3。湘江从衡东县的连家港流入区境,经荷包洲北流,由马家河出境,境内流程89.6km,湘江xx段江面宽 400800m,水深 5.59.5m,水力坡度 0.202最高水位 44.59m,最低水位 28.102、93m,平均水位为 34m。多年平均流量约 1800m3/s,历年最大流量 22250m3/s,历年最枯流量 374m3/s,平水期流量 1300m3/s,枯水期流量 500m3/s,90%保证率的年最枯流量 400m3/s。年平均流速 0.45m/s,平水期 流速 0.50 m/s,枯水期流速 0.24m/s,枯水期水面宽约 400m,水深约1.8m。年平均总径流量 644 亿 m3,河套弯曲曲率半径约 200m。项目生活污水排入渌江经济开发区南洲新区污水处理厂处理,南洲新区污水处理厂尾水经厂区东侧杨家港再排入渌江。杨家港至渌江水路长度约 0.6km,枯水期流量约为 0.5m3/s,水深为 103、0.5m,主要功能为区域排水及景观用水。2、地下水、地下水根据xx华升xx雪松有限公司高档生态时尚竺麻面料生产线升级改造项目(整体搬迁改造工程)细勘察阶段岩土工程勘察报告,场地地下水赋存条件,水理性质及水力特性分述如下:1、岩土含水性及地下水类型场地内杂填土、耕植土、淤泥质黏土含上层滞水;粉质黏土、全风化泥质粉砂岩1 为相对隔水层;强风化泥质粉砂岩2 中风化泥质粉砂岩3 含极微弱裂隙水。2、地下水补给迳流排泄条件场地处于丘坡、丘前坡地区,场地内现无地表水体,地势相对周边较高,是地下水的迳流区,地表水排泄条件较好,地下水迳流条件较好3、地下水位埋深勘探期间对钻孔内地下水位进行了观测,仅局部钻孔见104、初见地下水位,初见地下水位埋深为 7.90 11.10m,场地稳定地下水位埋深为 5.90 12.10m;场地地表水和地下水无污染源。4、周边地下水资源及其利用情况根据现场调查,项目周边区域尚未发现泉点出露,周边地下水水资源利用主要表现为水井,周边江边村、湘渌村等村庄设置有水井;随着xx区农村生活饮xxxx科技有限公司半导体用碳化硅/化学气相沉积碳化硅制品项目环境影响报告书53用水安全工程的实施,周边供水管网已接通,居民生活用水均采用自来水为主,其水井主要用途为居民冲厕、洗浴、浇灌等非饮用功能。3.1.4 气象资料气象资料xx市xx区属中亚热带季风湿润气候区,具有明显的季风气候,并有一定的大陆105、特征。气候湿润多雨,光热丰富,四季分明,表现为春温多变、夏多暑热、秋高气爽、冬少严寒、雨水充沛、热量丰富、涝重于旱。年平均气温为 19,月平均气温 1 月最低约 5、7 月最高约 29.8、极端最高气温达 40.5,极端 最低气温-11.5。年平均降雨量为 1409.5mm,日降雨量大于 0.1mm 的有 154.7 天,大于 50mm 的有 68.4 天,最大日降雨量 195.7 mm。降水主要集中在 46 月,7 10 月为旱季,干旱频率为 57%,洪涝频率为 73%。平均相对湿度 78%。年平 均气压 1006.6 hpa,冬季平均气压 1016.1 hpa,夏季平均气压 995.8hp106、a。年平均 日照时数为 1700h,无霜期为 282294 天,最大积雪深度 23cm。常年主导风向 为西北偏北风,频率为 16.6%。冬季主导风向西北偏北风,频率 24.1%,夏季主 导风向东南偏南风,频率 15.6%。静风频率 22.9%。年平均风速为 2.2m/s,月平 均风速 7 月最高达 2.5m/s,2 月最低,为 1.9m/s。按季而言,夏季平均风速为 2.3 m/s,冬季为 2.1 m/s。3.1.5 生态环境生态环境3.1.5.1 植被植被根据中国植被及xx植被相关记载,区域植被成分属华东植物区系,所在气候区的地带性植被为中亚热带常绿阔叶林,其次为亚热带松林、杉木林和竹林,再107、者为灌草丛。由于项目区域海拔较低,邻近城镇区域,属于工业园区,人类活动频繁,开发强度高,原生林已不复存在,而代之以次生林、次生灌草和人工植被。植被类型主要有:杉木林、油茶林、马尾松林、杂木灌丛、灌草丛、经济林和农业植被等;树种主要有:杉、马尾松、栎、樟、竹等,以及灌木和草本植被。油茶林:在评价区范围内分布广泛,与杂木灌丛共同组成评价区的两大优势植被,以评价区南部丘陵为主要分布地,延绵成片。其林冠稠密,高度在 2 米左右,郁闭度多在 0.70.9 之间,林象成深绿色,下部灌、草发育。该群落目前发育良好,种群较为稳定、生活力较强。杂木灌丛:主要分布于已有道路及人类活动频繁区域附近的山坡地带,建群x108、xxx科技有限公司半导体用碳化硅/化学气相沉积碳化硅制品项目环境影响报告书54种以阔叶树种为主,阔叶树种与马尾松林和杉木林下层树木相近,群落郁闭度在0.30.8 左右。灌草丛:主要分布在道路两侧的荒地间和农灌渠两侧及一些低丘岗地,成条状和块状分布,以茅草等禾草类为优势种,多混生大量的竹,夹杂一些零星的灌木树种,高度在 1m 以下,为人类强烈干扰衍生的植被。经济林:主要分布于工程所在地房前屋后、主要为油茶、柑橘等。农作物植被:粮食作物以水稻、红薯、玉米为主,经济作物以蔬菜为主。总体上,区域范围内植被简单,自然植被以较密集的杉木、马尾松、油茶、竹为主,人工植被以农作物植被为主。群落外观以葱绿为主,109、季相变化不大,四季常绿。区域范围内主要为水田、菜地,植被主要为农作物,如水稻、玉米、蔬菜。评价区域内未发现古大树及珍稀植物的分布。3.1.5.2 动物动物区域的生态地理区属亚热带林灌、农田动物群。由于人类活动较频繁,区域对土地资源的利用已达到很高的程度,大型野生动物已经绝迹。人类长期活动的地方,野生动物的生存环境基本上已经遭到破坏。野生动物多为适应耕地和居民点的种类,林栖鸟类较少见,而以盗食谷物的鼠类和鸟类居多,生活于耕地区捕食昆虫、鼠类的两栖类、爬行类动物较多,主要野生动物有蛙、野兔、田鼠、蝙蝠、蛇、野鸡等。本地常见家畜、家禽主要有猪、牛、羊、兔、鸡、鸭、鹅等。水生动物主要为青鱼、鲤鱼、草鱼110、鲫鱼、黄鳝、螃蟹、蚌等。3.1.5.3 湘江xx段鲴鱼国家级水产种质资源保护区湘江xx段鲴鱼国家级水产种质资源保护区项目所在地西侧 1.4km 湘江段,为xx段鲴鱼国家级水产种质资源保护区,为 2012 年农业部批准的第六批国家级水产种质资源保护区;该保护区位于xx省xx区境内,总面积 2080ha,其中核心区面积 1200ha,实验区面积 880ha,核心区特别保护期为每年 3 月 10 日至 6 月 30 日。保护范围自湘江干流自十万(11301 15E,272326N)至xx象石(11306 15E,274628 N),长 51km;支流渌水自仙井乡(113 1252 E,274108111、N)至xx镇关口(1130724E,xxxx科技有限公司半导体用碳化硅/化学气相沉积碳化硅制品项目环境影响报告书55274137 N),长 11 km,总长度 62 km。其中:核心区湘江干流自洲坪(1130756E,273333 N)至xx象石(11306 15 E,274628 N),面积1200ha,长度 18 km;实验区湘江干流自王十万(11301 15E,272326N)至洲坪(1130756E,273333 N),长度 33 km,渌水自仙井乡(113 1252E,274108 N)至xx镇 关口(1130724E,274137 N),长度 11km。保护区渌江段距本项目北部最近112、 约 2.9km,湘江段距本项目西部最近约 1.4km。保护对象:该保护区主要保护对象为细鳞斜颌鲴、黄尾鯝、长春鳊、xx航电枢纽坝下聚集的“四大家鱼”亲鱼,同时对翘嘴鲌、翘嘴鳜等鱼类进行保护。保护区“三场”分布保护区湘江干流自王十万乡至xx镇象石,支流渌水自仙井乡至渌水河口,其中,干流洲坪象石段为核心区,分布有规模较大的鲴类、鳊鲌类等短距离洄游性鱼类产卵场 1 个,主要经济鱼类索饵场、越冬场各 1 个,以及 1 个坝下亲鱼聚集区等重要栖息地;实验区为湘江干流王十万洲坪段及渌水仙井乡以下江段;湘江干流保护区江段为“四大家鱼”生殖洄游通道。因此,保护区江段是鲴类、鳊鲌类等主要保护对象的功能区江段,113、同时还是“四大家鱼”重要的生殖洄游通道和鱼卵孵化通道江段。产卵场:江湾、洲滩岸边浅水区水草及砾石处,水流或迟缓或湍急,多为粘性鱼类产卵场,其产卵群体有两种生态类型,一类是鲤、鲫、鲶、黄颡鱼等定居性鱼类,在静水或微流水中产粘性卵,受精卵粘附于浸没的水草等附着物上孵化,为定居性鱼类产卵场;另一类是流程较短的洄游性鱼类,其发情产卵要有流水刺激,在湍流环境中产卵,其受精卵粘性,粘附于石头等附着物上孵化,为短距离 洄游性鱼类产卵场,如团头鲂、三角鲂、大鳍鳠、黄尾鲴、翘嘴鲌、蒙古鲌、大 口鲶等鱼类,或产浮性卵,卵具油球,漂浮漂流孵化,如鳜类等。坝上(坝前)江段水位较深,无集中的鱼类产卵场,评价江段有规模较114、大的粘性卵鱼类产卵场 3处,分别位于空洲岛下游、空洲岛上游浅水区和渌水入口附近。索饵场:主要经济鱼类索饵场一般分布在粘性卵鱼类产卵场、支流入口处附近,其分布面积较产卵场大,但有规模较大的主要经济鱼类索饵场 1 处,位于坝前江段坪洲江段。越冬场:湘江每年 11 月份后,随着气温下降,水量减少,水位降低,鱼类活动减少,少数鱼类从支流或浅水区进入饵料资源相对较为丰富,温度较为稳定xxxx科技有限公司半导体用碳化硅/化学气相沉积碳化硅制品项目环境影响报告书56的深水潭中越冬,筑坝后坝前水位加深,已演变成一个大型的越冬场所。洄游通道:保护区上游衡阳常宁大渔湾江段为“四大家鱼”等漂流性卵鱼类产卵场,下游洞115、庭湖及河湾回水区为“四大家鱼”等主要经济鱼类索饵场,江中深潭处则为鱼类越冬场,每年春节过后的 3-6 月为鱼类生殖洄游和产卵繁殖季节,成熟亲鱼从下游、深潭洄游到江河上游产卵繁殖,受精卵则随水漂流孵化,至xx以下江段,直到长沙江段,鱼苗才能平游。因此,保护区江段处于“四大家鱼”等鱼类洄游通道和鱼卵孵化通道上,经监测,每年繁殖季节,坝下(核心区)有大量亲鱼骤集,因此,鱼类洄游通道,特别是坝下鱼类骤集区也是保护区的重要保护对象。3.1.6 土壤环境土壤环境土壤类型分自成土和运积土两大类,自成土以砂壤和第四纪红壤为主,广泛分布于丘岗地;运积土由河流冲积、沟流冲积而成,经人工培育成水稻田和菜土,分布于沿116、江一带。本项目所在地主要土壤类型为自成土,土壤组成为粘土、亚粘土及砂砾层为主。3.1.7 杨得志故居杨得志故居杨得志故居位于本项目东南面 1370m;杨得志将军故居位于xx区南洲镇原三旺冲村(现渌湘村),已有百年历史,为xx区爱国主义教育基地之一,省级文物保护单位。杨得志故居现为全国红军小学爱国主义教育基地、国家 3A 级旅游景区、xx省级文物保护单位、xx省爱国主义教育基地,是博物馆与风景名胜为一体的旅游目的地,xx对外宣传、接待的重要人文窗口。3.2 园区概况园区概况xxxxxx经济开发区(原名xx县xx经济开发区)成立于 1994 年,1994年经xx省人民政府批准为省级开发区(湘政函1117、9945 号)。2006 年国家发改委第8 号公告,xx县xx经济开发区为第三批通过审核公告的省级开发区,并更名为湖南xxxx经济开发区,当时园区范围仅包括湾塘工业园。2007 年,原xx县人民政府启动南洲新区建设,原xx县人民政府常务会议讨论通过了南洲新区控制性详细规划(株常纪发201712 号),原xx县人民代表大会常务委员会批准了xxxxxx经济开发区南洲新区控制性详细规划(株县常发200726 号),由此株洲xx经开区包含两个片区:湾塘工业园和南洲新区。根据xx省发展和改革委员会、xx省自然资源厅关于发布xxxx经济开xxxx科技有限公司半导体用碳化硅/化学气相沉积碳化硅制品项目环境影118、响报告书57发区边界面积及四至范围的通知(湘发改园区2022601 号),核定xxxx经济开发区面积共 467.49 公顷,包含三个区块:区块一,263.95 公顷,东至xx镇杨梅村、南至漉浦大道,西至京广铁路,北至芦淞区枫溪街道栗塘村;区块二:157.81公顷,东至湘渌村,南至花石路,西至湘东村,北至南洲新区 1 号道路;区块三,45.73 公顷,东至黄竹村,南至雷公塘,西至姜家嘴,北至 Y056 乡道。根据文件中提供的四至范围及边界范围图可以判断,区块一即湾塘工业园,面积与 2018 年审核公告面积一致,均在规划环评范围内;区块二即南洲新区,均位于规划环评范围内,不在 2018 年审核公告119、核准范围内;区块三为xx水泥(xx)有限公司(下文简称“xx水泥区块”),不在规划环评和 2018 年审核公告核准范围内。本项目位于xx市xx区经济开发区西创智能制造产业园内,厂区中心地理坐标为:113.129104E,27.667193N。经核定本项目位于xxxx经开区南洲新区规划范围,位于湘发改园区2022601 号文核定的区块二内。3.2.1 南洲新区概况南洲新区概况xxxx经济开发区南洲新区位于xx区南阳桥乡和洲坪乡(现南阳桥乡和洲坪乡合并为南洲镇),渌江南面规划 1 号道路以南,省道 S313 以北,湘江东岸,规划的京珠高速东线以西 1.3 公里处,总规划范围面积 8.77 平方公里120、,规划范围涉及江边、城塘、大坝桥、菜花桥、三望冲等五个村庄(现江边村、菜花桥村合并为江边村,大坝桥村和三望冲村合并为湘渌村,城塘村和竹基村合并为湘东村)。采用分期建设,以工业用地为主,辅以商业金融用地,逐步纵深推进发展。3.2.2 规划布局规划布局南洲新区作为xxxxxx经济开发区的一块新增规划用地,主要功能为工业发展用地和商业金融业用地,土地利用规划详见表 3.2-1。表 3.2-1南洲新区规划用地规模与类型序号序号类别代码类别代码类别名称类别名称用地面积用地面积(hm2)所占比例(所占比例(%)备注备注1C公共设施用地61.046.96主要包括行政办公用地和商业金融用地2M产业用地540.121、3361.61主要包括一类工业、二类工业用地3W仓储用地33.113.784S交通用地103.311.78主要包括对外交通用地和广场用地5U市政设施用地21.222.42公共设施用地xxxx科技有限公司半导体用碳化硅/化学气相沉积碳化硅制品项目环境影响报告书586G绿地11813.45合计877100注:各指标视不同地块位置按其范围控制。3.2.3 产业定位产业定位规划定位:南洲新区建设成交通方便、公共设施配套、市政设施齐全、建设 标准适当、居住环境舒适优美、工作环境清新宜人、市场经济繁荣的现代化新型城区。产业规划确定南洲新区产业片区的主导产业为机械装备制造业、服装等轻工业和电子信息业,辅以食122、品加工业等产业。3.2.4 新区规划新区规划总体规划南洲新区规划在注重生产、生活和生态平衡发展,强调功能混合使用的综合性与多样性的前提下,将南洲新区规划为产业集中区。产业集中区由园区管理中心、四个产业组团组成。公共服务设施用地:规划行政办公用地主要为南洲新区产业片区管理中心。规划商业金融用地分两级布置:一级为新区商贸中心,主要为新区、城区服务,位于和谐大道以南,南洲大道南侧;规划会展中心结合产业片区管理中心布置,其它娱乐用地结合商业设施沿主要道路布置。工业用地:规划结合新区主导产业、自然条件(地形、主导风向等)和路网结构划分四个产业组团,从北往南依次为食品加工区、服装等轻工加工区、电子信息区、123、机械制造区。规划产业用地总规模约为 540.33 公顷,其中:一类工业用地为329.86 公顷,二类工业用地为 210.47 公顷。仓储用地:规划结合湘江货运码头布置一处仓储用地,为产业片区服务,规划用地约 33.11 公顷。绿地:规划布置一处公园和多处小游园。规划公园即南洲新区中心公园,位 01号道路;小游园均结合居住组团布置;其它公共绿地、街头绿地和防护绿地分别沿城坝路、南桥南路、城望路、滨水路、保留水系和京广铁路线、高压走廊布置。规划绿地面积为 118.00 公顷。公共市政设施用地:规划市政设施用地主要有污水处理厂、排渍站、变电站、加油站(加气站)、公交始末站、消防站、给水加压泵站、燃气124、储气站、邮政电信局等,总用地 21.22 公顷。对外交通用地:规划在和谐大道与南洲大道交叉口以南布xxxx科技有限公司半导体用碳化硅/化学气相沉积碳化硅制品项目环境影响报告书59置新区长途汽车站,用地约为 103.33 公顷。道路交通规划规划新区道路结合城市道路分为三级,即主干道、次干道和支路。规划以渌湘大道和南洲大道(S211)为纵向主干道,和谐大道、01 号道路、02 号道路和 03 号道路(S313)为横向主干道,形成规划区“两纵四横”的方格网式道路结构,其它次干道和支路基本平行主干道。规划产业片区内布置有三个广场。工程管线规划南洲新区统一安排给水、污水、雨水、电力、电信管线,管线均采用125、地下敷设方式,与南洲新区建设同步进行,不能同步建设的预留位置。水源及供水:规划南洲新区近期给水水源为县城现状水厂,远期新建 10 万 m3/d的自来水厂一个,取水口和净水厂设置在xx航电枢纽上游和省道 S313 以南约1.5km 处,结合取水口布置,规划用地约 10 公顷(规划区外围)。供水管网系统排水管网系统:规划采用雨污分流制排水体制。规划区内的生活污水和工业污水经城市污水管网收集后统一送至新区规划污水处理厂处理达标后排入湘江。雨水管按重力自流管建设,管道走向与道路坡度方向一致。规划结合现状水系和竖向规划将规划区分为 2 个排水分区:1 区内有三条排水干渠,分别为杨家咀干渠、杨家港南干渠和126、杨家港北干渠,由东向西排入湘江,规划在杨家咀干渠、杨家港南干渠入江口处设置涵闸,杨家港北干渠入江口处设置排渍站,洪水位高于场地排水要求时,杨家咀干渠、杨家港南干渠的雨水通过滨水路干管接入杨家港北干渠至排渍站抽排至湘江;2 区雨水通过管道收集雨水至李子港排渍站,洪水位高于场地排水要求时,抽排至湘江;污水管网规划结合用地布局和竖向规划将规划区划分为 2个污水分区:1 区规划沿滨水南路、05 号道路、16 号道路、32 号道路、34 号道路敷设污水干管,汇集该区域污水至污水处理厂,处理达标后排入渌江;2 区规划沿南洲大道、07 号道路,汇集该区域污水至污水处理厂,处理达标后排入湘江。规划在 28 号127、道 路与 29 号道路之间设置污水处理厂,日处理能力为 6 万吨/天,用地规模 8.05 公顷,外围预留 50 米宽的绿化防护带。规划在 11 号道路与 08 号道路交叉口处 设置污水提升泵站,用地约 0.06 公顷。生活污水按用水量的 80%预测,生活污水量为 0.272 万吨/日;规划工业污水按工业用水量的 30%预测,大约为 3.16万吨/日,污水总量为 3.432 万吨/日。工业污水由生产企业自行处理达标后排入城市污水管道,经园区规划的污水处理厂处理达标后排入渌江。xxxx科技有限公司半导体用碳化硅/化学气相沉积碳化硅制品项目环境影响报告书60 xxxx污水处理有限公司(原名xx县xx128、经开区水质净化中心、简称南洲新区污水处理厂)位于南洲新区南洲镇湘东村、南岸村,北临渌江,南靠和谐大道,西靠规划 08 号道路及京广铁路,东靠规划 26 号道路,属于工业污水处理厂。项目用地面积40000.7m2(约 60 亩),总投资 14183.05 万元,建设规模为2.0 104 m3/d,服务范围为xx区南洲新区,位于xx区南洲镇,渌江以南,省道 S313 以北,湘江东岸,总面积约 21.43 平方公里,包括南洲新区范围内的生活废水和经预处理达标的工业废水。南洲新区污水处理厂与 2017 年开始建设,目前已投产运行。出水水质达到城镇污水处理厂污染物排放标准(GB18918-2002)一级129、 A 标准,处理达标后经厂区东侧杨家港排入渌江。根据xx省水产科学研究所对xx县xx经开区水质净化中心项目对湘江株洲段鲴鱼国家级水产种质资源保护区影响专题论证报告,南洲新区污水处理厂未在保护区及岸线范围内,其对保护区的影响主要为运行时处理厂出水经由杨家港后,再排入保护区水域,对排水口排水线及其扩散区水域、渌水口鲴鱼等粘性卵鱼类产卵场、索饵场可能产生的影响,其他产卵场、索饵场、越冬场等鱼类重要栖息地均距离排水口较远,工程运行对保护区主要保护对象的整体影响较小。工程营运对保护区保护对象的影响较小。南洲新区污水管网规划结合用地布局和竖向规划将规划区划分为 2 个污水分区:1 区规划沿滨水南路、05 130、号道路、16 号道路、32 号道路、34 号道路敷设污水干管,汇集该区域污水至南洲新区污水处理厂,处理达标后排入排水渠;2 区规划沿南洲大道、07 号道路,汇集该区域污水至南洲新区污水处理厂,处理达标后排入排水渠。根据规划,本项目所在区域的污水由 2#提升泵站排入渌湘大道污水管网,最终经和谐大道排水管网流入南洲新区污水处理厂,目前该排水管网均已经建成。供电:规划区电力负荷预测是在xx县县城总体规划基础上进行的,根据规划所确定的用地功能,参照城市电力规划规范(GB50293-99),采用分类用电综合指标法,对规划区内不同性质的用地,逐一进行了负荷预测,预测规划区总用电负荷约为 34 万 kw。电131、信:电信电缆由市政电信网络直接接入。燃气:南洲新区规划主要气源为天然气。规划在规划区外围布置两个储气站,用于用气日调峰。规划南岸储气站位于和谐大道向东延伸约 2.5 千米处,储气量为两座 3000m3的球罐,用地约 2.0 公顷;三望冲储气站位于南洲大道以东 3.5 千米,02 号道路(S313)南侧,储气量为两座 3000m3的球罐,用地约 2.0 公顷。规划中 压xxxx科技有限公司半导体用碳化硅/化学气相沉积碳化硅制品项目环境影响报告书61管道管径采用 DN300mm、DN200mm、DN150mm 系列。中压管网沿新区主、次、支路呈环状布置,低压管网在下一层次规划再作考虑。管线设置的一132、般方位及顺序:南北向道路:东侧为电力、给水等,西侧为电 信、有线电视、燃气等;东西向道路:南侧为电力、给水等,北侧为电信、有线电视、燃气等。3.2.5 准入条件准入条件根据开发区的产业定位,结合产业结构调整目录的相关规定,以及国家对工业企业建设的生产工艺、生产设备、污染物排放要求的相关规定,确定南洲新区的企业引进的准入条件。已引进的物理混合日化品项目将保留,县城整合的污染 较轻的轻工业(含化学反应过程)企业可以搬迁至南洲新区,不得新引进污染严重的化工行业。规划严格控制入园企业排污标准,严格控制严重水污染企业进驻。对有少量工业污水的企业应自行设置污水处理设施,初级处理后排入城市污水管道,统一接入133、园区污水处理厂,处理达标后再排入渌江。废气污染企业应自行处理,达标排放。严重污染的八类工业严禁入园,即轻工业类的制浆造纸,制革(含合成革),合成脂肪酸,纤维板制造,酿造业;纺织工业类的毛纺织染整,棉、化纤及其混纺染整,麻纺织业中的脱胶、浸解染整,粘胶、维纶、涤纶、晴纶纤维制造等;建材工业类的水泥、石棉、玻璃纤维制造等;机械工业类的专业热处理、电镀线生产项目,火、炸药制造等;黑色冶炼工业类;有色金属冶炼工业类;化学、石化工业类;火电工业类。具体见下表。表 3.2-2南洲新区产业结构准入条件一览表行业行业类别类别入区相关要求入区相关要求机械制造业加工优先发展轨道交通装备及配件、航空动力机械、汽车零134、部件、摩托车及配件以及其他 专用设备等企业。适当发展符合产业结构调整指导目录(2011 年本)中的机械制造 鼓励类行业。限制上传规模不达产业政策的机械制造项目;限制发展矿用搅拌、浓缩、过滤设备制 造项目;限制发展三轮汽车、低速载货车项目;普通剪板机折弯机、弯管机、普通高 速钢钻机、锨刀等制造项目;等各种属于限制上传的机械制造项目。禁止高能耗、高污染、机械铸造和电镀等企业入园。服装等轻工业优先发展一批服料和拉链、扣子等配件企业。适当发展符合产业结构调整指导目录(2011 年本)中的纺织、轻工鼓励类行业。限制单线产能小于 10 万吨/年的常规聚酯(PET)连续聚合生产装置等 产业机构调整 指导目录135、(2011 年本)中的纺织、轻工限制类行业(现为 2019 年本,下同)。禁止发展产业结构调整指导目录(2011 年本)纺织、轻工行业淘汰类的企业。电子信息优先发展电子信息产业中的硬件生产(线路板等涉重金属及水污染严重的项目除外)等符合产业结构调整指导目录(2011 年本)中的信息产业鼓励类行业。xxxx科技有限公司半导体用碳化硅/化学气相沉积碳化硅制品项目环境影响报告书62业限制激光视盘机生产线(VCD 系列整机产品)等产业结构调整指导目录(2011 年本)中的信息类限制类行业。禁止高能耗、高污染等电子信息业产业结构调整指导目录(2011 年本)中的信息类 限制类行业。食品加工优先发展无公害136、食品的深加工、饮料、果汁,营养性健康大米、小麦粉及制品的开发 生产,传统主食工业化生产;杂粮加工专用设备的研究生产;粮油加工副产物综合利 用关键技术的开发应用;其他符合产业结构调整指导目录(2011 年本)中的食品加 工鼓励类行业。限制糖精等化学合成甜味剂生产线等产业结构调整指导目录(2011 年本)中的食品加工类限制类行业。禁止发展产业结构调整指导目录(2011 年本)食品加工类淘汰类企业。3.2.6 南洲新区环境保护规划南洲新区环境保护规划(1)水环境保护规划排水拟采用雨污分流排水体制。规划区内的工业污水由各工业企业自行处理达标后排入污水管道。(2)环境空气、声环境保护规划燃烧燃料全部使用137、天燃气,实行严格的排放控制标准,从根本上控制大气污染源。严格控制开发区交通和环境噪声,在声环境质量标准(GB3096-2008)声环境功能区分类基础上实行噪声分区控制。铁路、高速公路等交通干线设置适当的绿化防护屏障消噪降噪。(3)固体废物处置规划推行固体废物减量化、资源化和无害化政策,工业废渣与生活垃圾分类收集,生活垃圾及时清运送;工业废渣按分类收集,按一般工业固体废物贮存、处置场污染控制标准、危险废物贮存污染控制标准相关规定进行处理处置。(4)生态景观环境保护规划概况生态环境保护拟在土地开发时,利用自然山体及水域,建设新区中心公园、片区游园、临湘江和渌江滨水绿化带、城市休闲公共绿地,实施新区138、“绿色工程”,形成点、线、面相结合,以线型绿化为主体的绿化体系;商业服务业用地绿地率 不低于15%,住宅用地绿地率不低于 30%,产业用地绿地率控制在 10%20%之间,其它用地绿地率均不得低于 30%。严禁侵占防护绿地和公共绿地,进一步保护自然植被,加强道路绿化的美化作用。严格控制地块中的绿地指标,地块绿地建设必须与地块建设同步完工。利用建筑后退道路距离形成绿化景观带。保护新区周边林地,确保园区生态系统。xxxx科技有限公司半导体用碳化硅/化学气相沉积碳化硅制品项目环境影响报告书633.3 环境空气质量现状调查与评价环境空气质量现状调查与评价3.3.1 空气质量达标区判定空气质量达标区判定根139、据环境影响评价技术导则-大气环境(HJ2.2-2018)中“6.2.1 项目所在区域达标判定,优先采用国家或地方生态环境主管部门公开发布的评价基准年环境质量公告或环境质量报告中数据或结论”。本次评价引用xx市生态环境局 2023 年6 月发布的2022 年xx市生态环境状况公报结论进行达标区判定,判定因子为 环境影响评价技术导则大气环境(HJ2.2-2018)6.4.1.1 规定的六项污染物:SO2、NO2、PM10、PM2.5、CO、O3。3.3.2 基本污染物环境质量现状基本污染物环境质量现状评价评价xx区常规监测点xx市生态环境局xx分局(监测点位坐标:X:3066484,Y:71160140、5),监测结果见下表。表 3.3-12022 年区域空气质量现状评价表监测项目监测项目年评价指标年评价指标现状浓度现状浓度(g/m3)标准值标准值(g/m3)占标率占标率(%)达标情况达标情况PM10年平均质量浓度487068.6达标PM2.5年平均质量浓度303585.7达标SO2年平均质量浓度5608.3达标NO2年平均质量浓度174042.5达标CO日均值第95百分位数1200400030.0达标O3日最大 8 小时平均第90 百分位数15516096.9达标由上表可知,2022 年xx区大气环境质量主要指标中 PM2.5、SO2、NO2、PM10年平均质量浓度、CO 24 小时平均第 141、95 百分位数浓度、O38 小时平均第 90 百分位数浓度均能满足环境空气质量标准(GB3095-2012)中二级标准要求,属于环境空气质量达标区。3.3.3 其他污染物环境质量现状其他污染物环境质量现状根据环境影响评价技术导则大气环境(HJ2.22018)中“6.2.2”相关内容,由于评价范围内没有环境空气质量监测网数据,也没有公开发布的环境空气质量现状数据的,可以收集评价范围内近 3 年与项目排放的其他污染物有关的历史监测资料。对于没有可引用监测点位的,应按照“6.3 补充监测”内容,监测布点要求为以近 20 年统计的当地主导风向为轴向,在厂址及主导风向下风向 5km 范围内xxxx科技有142、限公司半导体用碳化硅/化学气相沉积碳化硅制品项目环境影响报告书64设置 1-2 个监测点。本项目特征污染物区域无可引用的监测点位,建设单位委托xx宇昂检测技术有限公司于 2023 年 9 月 6 日12 日对项目区进行了监测。监测布点情况详细如下:表 3.3-2其他污染物补充监测点位基本信息监测点名称监测点名称监测因子监测因子监测时段监测时段监测频次监测频次 相对厂区方位相对厂区方位相对生厂区距相对生厂区距离离/mG1:厂界内氯化氢小时值监测 7 天厂址-氟化物日均值G2:厂界东南面 310m满坡岭居民点处氯化氢小时值东南310氟化物日均值(2)监测项目:氟化物、氯化氢。(3)监测时间和频次:143、监测 7 天。(4)分析方法:分析方法均按照国家相关环境监测技术规范进行。(5)评价标准:氟化物执行环境空气质量标准(GB3095-2012)及其修改单中的二级标准,氯化氢执行环境影响评价技术导则 大气环境(HJ2.2-2018)附录D 要求限值。(6)评价方法采用占标率法进行评价。(7)监测结果:监测结果统计见下表。表 3.3-3其他污染物环境质量现状(监测结果)表采样采样日期日期采样点位采样点位检测结果检测结果(mg/m3)氯化氢氯化氢氟化物(氟化物(g/m3)2023.09.06G1厂界内ND0.662023.09.07ND0.602023.09.08ND0.732023.09.09ND144、0.952023.09.10ND0.702023.09.11ND0.752023.09.12ND0.86xxxx科技有限公司半导体用碳化硅/化学气相沉积碳化硅制品项目环境影响报告书652023.09.06G2厂界东南面310m 满坡岭居民点ND0.842023.09.07ND0.992023.09.08ND0.792023.09.09ND0.792023.09.10ND0.602023.09.11ND0.752023.09.12ND0.71标准限值0.057执行标准环境空气质量标准(GB3095-2012)中二级标准限值,氯化氢执行环境影响评价技术导则 大气环境(HJ2.2-2018)附录 D145、 中标准限值根据上表可知,氟化物的日均值能满足环境空气质量标准(GB3095-2012)二级标准要求,氯化氢的小时值值能满足环境影响评价技术导则 大气环境(HJ2.2-2018)中附录 D 表 D.1 相关参考限值。3.4 地表水环境质量现状评价地表水环境质量现状评价项目营运期产生的废水经园区污水管网排入南洲污水处理厂,处理达标后排入渌江,最终汇入湘江。为了解项目纳污河段水质现状,本次评价引用xx市生态环境保护委员会办公室发布的株生环委办20233 号文件 关于 2022 年 12 月及全年全市环境空气质量、地表水环境质量状况的通报中的结论中的附件 11,引用数据如表 3.4-1。表 3.4-146、1地表水水质监测结果一览表水体监测断面名称与本项目的位置关系检测结果执行标准渌江渌江入河口断面渌江入湘江口上游0.2km,本项目北面约3.0km地表水环境质量标准(GB3838-2002)类标准地表水环境质量标准(GB3838-2002)类标准湘江菜码头渡口断面渌江入湘江口湘江下游1.5km,本项目北面约5.2km地表水环境质量标准(GB3838-2002)类标准地表水环境质量标准(GB3838-2002)类标准从上表可知,2022 年,渌江入河口断面和菜码头渡口断面各水质监测因子均符合地表水环境质量标准(GB3838-2002)类标准。本项目所在区域地表水环境质量较好。xxxx科技有限公司半147、导体用碳化硅/化学气相沉积碳化硅制品项目环境影响报告书663.5 地下水质量现状评价地下水质量现状评价为了了解拟建地区域地下水质量现状,本次评价期间收集了高档生态时尚苎麻面料生产线升级改造工程变更环境影响报告书中监测数据。xx云天检测技术有限公司于 2021 年 5 月 68 日对华升纺织周边地下水环境进行了现状监测;本项目距离华升纺织厂界直线距离约 250m,距离项目厂房约 480m,监测数据具有代表性。该项目地下水环境现状监测共设置了 5 个监测点位,符合环境影响评价技术导则地下水环境(HJ610-2016)中二级评价项目潜水含水层的水质监测点应不少于 5 个的要求;二级要求要求掌握一期水148、位监测,引用数据有 10 个点位的水位数据,可以代表说明一期水位监测数据。监测点位为周边居民住在附近的水井,井水水深在 3 10m。(1)监测点位、监测因子情况监测点位、监测日期详见表 3.5-1。表 3.5-1地下水监测点情况一览表编号监测点位坐标方位稳定水深m监测因子监测日期D1113.127810224E27.665804935N科创园东侧50m 华升纺织上游3.40pH、总硬度、氨氮、高锰酸盐指数、挥发酚、汞、砷、镉、铅、铜、六价铬、溶解性总固体、氟化物、氯化物、氰化物、阴离子表面活性剂、硫酸盐、锌、总大肠菌群、细菌总数、硝酸盐氮、亚硝酸盐氮、铁、锰、锑、镍、苯胺、硫化物、总磷、总氮,149、八大离子:K+、Na+、Ca2+、Mg2+、CO2-、HCO-、Cl-、SO32-2021 年5月6日5 月8日D2113.129687770E27.666695429N科创园东侧华升 纺织3.93D3113.129286100E27.663794444N科创园区域7.46D4113.130653366E27.666051699N科创园东侧50m 华升纺织下游0.5D5113.131801351E27.667800499N科创园东侧50m 华升纺织下游-表 3.5-2项目区域水位数据编号监测点位坐标稳定水深m编号监测点位坐标稳定水深mD6X=3061536.14Y=499410.618.90D150、9X=3061355.59Y=499521.516.50D7X=3061355.70Y=499431.508.30D10X=3061250.74Y=499550.279.50D8X=3061493.74Y=499520.767.30D11X=3061448.24Y=499669.269.2xxxx科技有限公司半导体用碳化硅/化学气相沉积碳化硅制品项目环境影响报告书67(4)监测与评价结果地下水监测各点位的监测及评价结果分别见表3.5-3 和表3.5-4。表 3.5-3地下水环境质量监测结果检测项目检测结果标准值(以类水 为标准值)地下水D1地下水 D2地下水 D3地下水 D4地下水 D5性状描151、述黄色无气味 有杂质液体浅黄色无气味 有杂质液体黄色无气味 有杂质液体黄色无气味 有杂质液体无色无气味 有杂质液体-pH6.876.847.237.466.606.5-8.5氯化物mg/L8.385.120.007L9.022.35250氟化物mg/L0.1560.1450.006L0.6730.031.0硝酸盐氮mg/L0.3980.016L0.016L1.661.4120.0亚硝酸盐氮mg/L0.016L0.016L0.016L0.016L0.016L1.00硫酸盐mg/L15.111.80.018L9.431.54250苯胺g/L0.057L0.057L0.057L0.057L0.057152、L-总硬度(以CaCO3计)mg/L38241831012243.3450总大肠菌群 MPN/100mL未检出未检出未检出未检出未检出3.0细菌总数CFU/mL831未检出未检出38100氰化物mg/L0.004L0.004L0.004L0.004L0.004L0.05总磷mg/L0.070.020.040.050.03-六价铬mg/L0.004L0.004L0.004L0.004L0.004L0.05高锰酸盐指数2.80.61.20.60.63.0挥发酚mg/L0.0003L0.0003L0.0003L0.0003L0.0003L0.002溶解性总固体 mg/L460210340388260153、1000氨氮(以N 计)mg/L0.4580.0350.4070.0430.0430.5总氮mg/L1.101.471.151.630.24-硫化物mg/L0.005L0.005L0.005L0.005L0.005L0.02阴离子表面活 性剂mg/L0.05L0.05L0.05L0.05L0.05L0.3碳酸盐(CO32-)mmol/L0.00.00.00.00.0-重碳酸盐(HCO3-)mmol/L6.346.006.306.036.19-xxxx科技有限公司半导体用碳化硅/化学气相沉积碳化硅制品项目环境影响报告书68钾mg/L5.072.704.511.300.54-镍mg/L0.0095154、00.01350.001850.003040.004460.02铜mg/L0.003770.007170.01420.002980.006251.00锌mg/L0.008420.01600.03760.005990.01441.00砷mg/L0.008480.008910.000560.007140.009060.01镉mg/L0.000280.000220.000170.00005L0.000180.005锑mg/L0.000920.001440.001010.000830.001190.005铅mg/L0.002070.002710.001060.001450.002870.01汞mg/L155、0.00004L0.00004L0.000090.00004L0.00004L0.001钠mg/L5.096.193.937.551.96200镁mg/L15.818.25.197.091.81-钙mg/L13415459.543.98.76-铁mg/L5.082.675.471.320.5380.3锰mg/L10.70.1330.03130.05650.02170.10有机卤素g/L15L15L15L15L15L-备注:检出限L表示为检测结果低于分析方法检出限。表 3.5-4地下水环境质量评价结果检测项目地下水D1地下水 D2地下水 D3地下水 D4地下水D5氯化物0.030.020.010156、.040.01氟化物0.160.150.010.670.03硝酸盐氮0.020.000.010.080.07亚硝酸盐氮0.020.020.020.020.02硫酸盐0.060.050.000.040.01总硬度(以 CaCO3计)0.850.930.690.270.10总大肠菌群0.10.10.10.10.1细菌总数 CFU/m0.080.310.10.10.38氰化物0.080.080.080.080.08六价铬0.080.080.080.080.08高锰酸盐指数0.930.200.400.200.20挥发酚0.150.150.150.150.15溶解性总固体0.460.210.340.39157、0.26氨氮(以N 计)0.920.070.810.090.09硫化物0.250.250.250.250.25阴离子表面活性剂0.170.170.170.170.17xxxx科技有限公司半导体用碳化硅/化学气相沉积碳化硅制品项目环境影响报告书69镍0.480.680.090.150.22铜0.000.010.010.000.01锌0.010.020.040.010.01砷0.850.890.060.710.91镉0.060.040.030.010.04锑0.180.290.200.170.24铅0.210.270.110.150.29汞0.040.040.090.040.04钠0.030.03158、0.020.040.01铁16.938.9018.234.401.79锰107.001.330.310.570.22由上表可知,各监测点位中除铁、Mn 外,其他监测因子均能达到 III 级标准要求。铁出现超标现象,最大超标倍数为 16.93 倍,锰出现超标的监测点 D1、D2 点,最大超标倍数为 107 倍。该监测点位主要是利用华升纺织周围新建地下水监测井和周边居民住在附近的水井,地下水水文较浅水深在 310m;项目周边企业废水大多以生活污水为主,且全部进入了南洲新区污水处理厂处理,可见工业污染源对周边地下水的影响不大。铁、锰指标出现超标可能是局部地区天然地球化学地质背景值偏高的缘故,因为白垩159、系泥质粉砂岩本身就有高锰(呈紫红色)特点,在低氧化还原电位背景下就可能出现铁锰超标。根据现场调查,周边江边村、湘渌等村庄居民设置有水井,但由于由于周边供水管网已接通,居民生活用水均采用自来水,现有的水井主要用途为浇地、洗衣等非饮用功能。xxxx科技有限公司半导体用碳化硅/化学气相沉积碳化硅制品项目环境影响报告书703.6 声环境质量评价声环境质量评价为了解项目区域声环境质量现状,建设单位委托xx宇昂检测技术有限公司于 2023 年 9 月 6 日、7 日对项目区域声环境进行了监测,具体情况如下。(1)监测点位具体监测点位详见下表。表 3.6-1声环境监测点位编号编号监测点位置监测点位置N1东侧160、场界外 1mN2南侧场界外 1mN3西侧场界外 1mN4北侧场界外 1mN5厂界东北侧 160m 茶坡里居民点窗前 1m 处(2)监测项目等效连续 A 声级 Leq(A)。(3)监测时间与频次监测时间为2023年9月6日7日昼、夜间各测1次,每次监测不少于20min。(4)评价标准项目厂区四周声环境执行 声环境质量标准(GB3096-2008)中的3类标准;居民点声环境执行声环境质量标准(GB3096-2008)中的2类标准。(5)监测与评价结果监测结果见下表。表 3.6-2厂界声环境现状监测统计结果单位:dB(A)检测点位检测点位检测日期检测日期检测结果(检测结果(Leq:dB(A)标准限值161、标准限值昼间昼间夜间夜间昼间昼间夜间夜间N1厂界东侧外1m处2023.09.0650.240.26555N2厂界南侧外1m处51.141.16555N3厂界西侧外1m处49.639.86555N4厂界北侧外1m处51.240.76555气象参数天气:阴;气温:27.0;大气压:100.2kPa;风向:北;风速:1.0m/sN1厂界东侧外1m处2023.09.0750.739.86555N2厂界南侧外1m处51.640.66555N3厂界西侧外1m处50.439.66555N4厂界北侧外1m处51.540.46555xxxx科技有限公司半导体用碳化硅/化学气相沉积碳化硅制品项目环境影响报告书71162、气象参数天气:多云;气温:30.0;大气压:100.0kPa;风向:东;风速:1.2m/s执行标准声环境质量标准GB 3096-2008 中 3 类标准限值表 3.6-3环境噪声检测结果检测点位检测点位检测日期检测日期检测结果(检测结果(Leq:dB(A)标准限值标准限值昼间昼间夜间夜间昼间昼间夜间夜间N5 厂界东北侧160m 茶坡里居民点2023.09.0652.241.260502023.09.0751.741.76050执行标准声环境质量标准GB 3096-2008 中 2 类标准限值根据监测结果,项目区厂界和周边敏感点各监测点昼夜声环境均能声满足 声环境质量标准(GB 3096-200163、8)中的相应标准要求。3.7 土壤环境质量评价土壤环境质量评价本次评价委托xx宇昂检测技术有限公司于2023年9月6日对本项目评价区域的土壤环境质量进行现状监测。(1)监测点位根据环境影响评价技术导则土壤环境(HJ964-2018),本项目需再占地范围内设置 3 个柱状样点,1 个表层样点,在占地范围外设置 2 个表层样点。根据生态环境部 2020 年 8 月 10 号的回复“根据建设项目实际情况,如果项目场地已经做了防腐防渗(包括硬化)处理无法取样,可不取样监测,但需要详细说明无法取样原因”。因项目购买已建成的标准厂房,厂房车间地面均为整体的混凝土结构,若在占地范围内进行采样,将破坏其防渗性164、能。所以本次环评不在占地范围内进行采样。且厂房外已建设水泥路面,仅预留有厂房外绿化带空地,主要在厂房外北、东、南侧空地(预留绿地)进行采样。xxxx科技有限公司半导体用碳化硅/化学气相沉积碳化硅制品项目环境影响报告书72图图 4.7-1关于土壤现状监测点位如何选择的回复截图关于土壤现状监测点位如何选择的回复截图为了解厂房外土壤环境质量,在厂房外侧设置 3 个表层监测点位,在厂房北侧外、东侧外、南侧外进行采样;监测点位见表 4.7-1。表表 4.7-1土壤监测点土壤监测点编号表层样点位T1厂房东侧外侧土壤随机一点T2厂房南侧外侧土壤随机一点T3厂房北侧外土壤随机一点(2)监测因子监测点 T1、T165、3:pH、镉、汞、砷、铅、总铬、铜、镍、锌。监测点 T2:pH、砷、镉、六价铬、铜、铅、汞、镍、四氯化碳、氯仿、氯 甲烷、1,1 二氯乙烷、1,2 二氯乙烷、1,1-二氯乙烯、顺-1,2-二氯乙烯、反-1,2-二 氯乙烯、二氯甲烷、1,2-二氯丙烷、1,1,1,2-四氯乙烷、1,1,2,2-四氯乙烷、四氯乙 烯、1,1,1-三氯乙烷、1,1,2-三氯乙烷、三氯乙烯、1,2,3-三氯丙烷、氯乙烯、苯、氯苯、1,2-二氯苯、1,4-二氯苯、乙苯、苯乙烯、甲苯、间,对二甲苯、邻二甲苯、硝基苯、苯胺、2-氯酚、苯并a蒽、苯并a芘、苯并b荧蒽、苯并k荧蒽、二苯并a,h蒽、茚并1,2,3-cd芘、萘。(3166、)监测时间与频次监测时间:2023 年 9 月 6 日,一次监测。xxxx科技有限公司半导体用碳化硅/化学气相沉积碳化硅制品项目环境影响报告书73(4)评价标准项目占地属于工业用地,评价执行 土壤环境质量建设用地土壤污染风险管控标准(GB36600-2018)中的第二类用地筛选值,标准限值见表 2.3-8。(5)监测结果统计分析监测结果统计分析见表 4.7-2、4.7-3。表表 4.7-2T1、T3 土壤监测结果一览表(土壤监测结果一览表(mg/kg)采样采样日期日期采样点位采样点位检测结果检测结果(mg/kg,pH:无量纲):无量纲)pH铬铬铜铜锌锌砷砷汞汞铅铅镉镉镍镍2023.09.06T167、1厂界东面外侧土壤5.6738165613.00.165180.2922T3厂界北面外侧土壤5.7430185611.20.178120.3019标准限值/18000/603880065900执行标准土壤环境质量 建设用地土壤污染风险管控标准(试行)(GB36600-2018)第二类用地筛选值表表 4.7-3T2 土壤监测结果一览表(土壤监测结果一览表(mg/kg)检测点位检测点位检测项目检测项目检测结果检测结果参考限值参考限值是否达标是否达标T1铬38/达标铜1518000达标砷11.460达标汞0.13238达标铅15800达标镉0.2965达标镍25900达标四氯化碳未检出2.8达标氯仿168、未检出0.9达标氯甲烷未检出37达标1,1-二氯乙烷未检出9达标1,2-二氯乙烷未检出5达标1,1-二氯乙烯未检出66达标顺1,2-二氯乙烯未检出596达标反1,1-二氯乙烯未检出54达标二氯甲烷未检出616达标1,2-二氯丙烷未检出5达标1,1,1,2-四氯乙烷未检出10达标1,1,2,2-四氯乙烷未检出6.8达标xxxx科技有限公司半导体用碳化硅/化学气相沉积碳化硅制品项目环境影响报告书74四氯乙烯未检出53达标1,1,1-三氯乙烷未检出840达标1,1,2-三氯乙烷未检出2.8达标三氯乙烯未检出2.8达标1,2,3-三氯丙烷未检出0.5达标氯乙烯未检出0.43达标苯未检出4达标氯苯未检出169、270达标1,2-二氯苯未检出560达标1,4-二氯苯未检出20达标乙苯未检出28达标苯乙烯未检出1290达标甲苯未检出1200达标间二甲苯+对二甲苯未检出570达标邻二甲苯未检出640达标硝基苯未检出76达标苯胺未检出260达标2-氯酚未检出2256达标苯并a蒽未检出15达标苯并a芘未检出1.5达标苯并a荧蒽未检出15达标苯并k荧蒽未检出151达标未检出1293达标二苯并a、h蒽未检出1.5达标茚并1,2,3-cd芘未检出15达标萘未检出70达标由监测可知,共布设了 3 个土壤现状监测点,T2 完成了 45 项指标的测试,各指标均未超过 土壤环境质量标准建设用地土壤污染风险管控标准(试行)(170、GB36600-2018)中第二类用地筛选值标准。3.8 生态环境质量现状生态环境质量现状根据现状勘察,项目所在区域为工业开发区,周边区域受的人类活动干扰,动植物数量锐减,分布的植被以城市绿化带的植被为主,动物以常见的小型动物为主。周边未开发的区域内分布的植被多为松散的灌丛,间有马尾松、杉木、油茶、柑桔、茶树等疏林地及蔬菜等农作物。周边近距离范围内均为工业厂房,在道路沿线将种植有绿化植被。据调査项目评价区域内无珍稀、濒危植物及国家法规保护的植物资源。xxxx科技有限公司半导体用碳化硅/化学气相沉积碳化硅制品项目环境影响报告书75第第 4 章章环境影响预测与评价环境影响预测与评价本项目在已建成厂171、区内,施工内容主要为设备安装、地面清洁等,项目不新增用地。施工期工程内容简单,施工时间短,项目施工期对环境影响相对较小,本评价不具体对施工期环境影响进行分析,主要考虑运营期工程影响及污染源情况。4.1 大气环境影响预测与评价大气环境影响预测与评价4.1.1 气象气象资料调查资料调查分析分析本项目位于xx市xx区南洲镇湘渌村经济开发区西创智能制造产业园内 12 栋,本评价地面气象数据采用xx市荷塘铺朝阳山(郊外山顶),观测场海拔高度 73.6m,北纬 27o52,东经 113o10,距项目地约 22km。与本项目区地理特征相似,可以用作本项目气象资料使用。1、地面常规气象资料、地面常规气象资料x172、x市属中亚热带季风湿润气候区,具有四季分明、雨量充沛、气候温和、光热条件好的特征,表现为春温多变,夏多暑热,秋高气爽、冬少严寒。多年平均气温 17.5,月年平均降雨量 1409.5mm,年平均相对湿度 78%,年平均气压 1006.7hpa。常年主导风向为 NNW,频率为 16;夏季主导风向为 SSE,频率为 24.5;冬季主导风为 NW,频率为 20.5;静风频率为 20.5;年平均风速 2.2m/s。2、风向、风向风频风频近 20 年资料分析的风向玫瑰图下图所示,评价区域常年主导风向为 N(NNW),风频为 16%,夏季盛行 S 风,六、七月南风频率分别为 15%,22%;除六、七月外,本173、区域基本受北风系统所控制,八月至来年五月十个月,东北至西北五个方位的风向频率在 4068%之间,全年东北至西北五个方位的风向频率为 53%;本区域静风频率较高,全年静风频率为 22%。表 4.1-1近 20 年(2002-2021)风向频率统计表NNNENEENEEESESESSESSSW SW WSWWWNW NW NNWC17.311.35.12.32.52.52.43.95.74.22.51.31.44.19.911.511.9xxxx科技有限公司半导体用碳化硅/化学气相沉积碳化硅制品项目环境影响报告书76图 4.1-1近 20 年(2002-2021)风向频率玫瑰图xxxx科技有限公司174、半导体用碳化硅/化学气相沉积碳化硅制品项目环境影响报告书77表 4.1-2近 20 年(2002-2021)月风向频率统计表频率频率月份月份NNNE NE ENEEESE SE SSESSSW SW WSW W WNW NW NNWC120114221111111151516172201062121232212514141431812522222432224913144151142333486421481112514942332686322499136131042334813941235511766323361318125212447813953455676422588892016743322175、22211410119102516622211111114121510112214732211111115111514122213732111111115121714xxxx科技有限公司半导体用碳化硅/化学气相沉积碳化硅制品项目环境影响报告书78图 4.1-2近 20 年(2002-2021)月风向频率玫瑰图xxxx科技有限公司半导体用碳化硅/化学气相沉积碳化硅制品项目环境影响报告书794.1.2 地形数据地形数据评价区土地利用类型主要为丘陵,地表湿度主要为中等湿度气候,按季计算评价区地面特征参数。评价范围内的地形数据采用外部 DEM 文件,并采用 Aermap 运行计算得出评价范围内各网格及176、敏感点的地形数据。4.1.3 污染源和污染物参数污染源和污染物参数本项目营运过程中,废气主要包括石墨纯化过程中产生氟化物和氟气等废气、机加工过程产生粉尘、碳化硅沉积过程中产生氯化氢废气、人工打磨产生的粉尘等;主要污染因子为有组织及无组织排放的颗粒物、氟化物、氯化氢。本次评价采用环境影响评价技术导则-大气环境(HJ2.2-2018)推荐的模式预测污染源正常排放排放工况下的大气环境影响,项目污染源参数见表 4.1-3、表 4.1-4。表 4.1-3点源预测参数表污染源名称排气筒底部坐标中心排气筒底部海拔高度(m)排气筒参数污染物名称经度纬度高度(m)内径(m)温度()排气筒(1#)113.1294177、1027.66732065.00150.440氟化物排气筒(2#)113.12941027.66745865.00150.540氯化氢表 4.1-4面源预测参数表编号污染源名称面源起点坐标(o)面源海拔高度(m)面源长度(m)面源宽度(m)面源有效排放高度(m)年排放小时数/h排放工况污染物名称排放速率(kg/h)经度纬度1厂区 113.129104 27.6671936590.030.015.02400正常工况颗粒物 0.0016根据项目废气排放特征,结合所在区域环境标准值、评价区环境空气质量现状,污染物评价标准见表 4.1-5。表 4.1-5污染物评价标准污染物名称功能区取值时间标准值(g178、/m3)标准来源颗粒物二类区1h 平均450按 GB3095-2012 中 PM10 的 24 小时平均浓度的二级标准限值的 3 倍折算氟化物二类区1h 平均20氯化氢二类区1h 平均50(HJ2.2-2018)附录 D根据环境影响评价技术导则-大气环境(HJ2.2-2018),结合本项目的初 步工程分析结果,本项目采用估算模式计算各污染物的最大影响程度和最远影响范围,xxxx科技有限公司半导体用碳化硅/化学气相沉积碳化硅制品项目环境影响报告书80然后按评价工作分级判据进行分级,估算模式参数表见表 4.1-6。表 4.1-6估算模型参数表参数取值城市农村/选项城市/农村城市人口数(城市人口数)179、26.0 万最高环境温度40.5C最低环境温度-11.5C土地利用类型城市区域湿度条件潮湿气候是否考虑地形考虑地形是地形数据分辨率/m90是否考虑岸线 熏烟考虑岸线熏烟否4.1.4 预测结果预测结果按照环境影响评价技术导则 大气环境(HJ 2.2-2018)中对评价采用AERSCREEN 估算模式就行正常情况下及非正常情况下预测,预测结果见表 4.1-7。表 4.1-7本项目环境影响预测结果排放源污染物下风向最大浓度贡献值(g/m3)标准值(g/m3)最大地面浓度占标率 Pi(%)浓度占标准10%对应的距源最远距离D10%(m)最远距离无组织颗粒物0.038384500.0100DA001正常180、工况氟化物0.862204.3157.5153DA002正常工况氯化氢2.311504.6266.7155通过上表预测结果可知,正常情况下项目的颗粒物最大落地浓度为0.03838g/m3、占标率为 0.01%,氟化物的最大落地浓度为 0.862g/m3,占标率为 4.31%,氯化氢的最大落地浓度为 2.311g/m3,占标率为 4.62%;根据环境影响评价技术导则 大气环境(HJ2.2-2018)规定,本项目大气评价等级为二级,不再进行进一步预测评价,从估算结果可以看出,项目对周边环境空气中的贡献率不高,对周围环境空气不会造成明显影响。xxxx科技有限公司半导体用碳化硅/化学气相沉积碳化硅制品181、项目环境影响报告书814.1.5 大气污染物对敏感点影响分析大气污染物对敏感点影响分析本项目位于科创产业园内,最近主要环境保护目标为厂界西北面 400m 的刘山冲居民点,现已规划为工业用地。根据 环境影响评价技术导则大气环境(HJ2.2-2018)附录 A 推荐模型中的 AERSCREEN 模式预测结果可知,本项目所排放的颗粒物、氟化物、氯化氢最大落地浓度预测值在最不利情况下叠加背景值后均小于环境空气质量标准(GB3095-2012)二级标准和环境影响评价技术导则 大气环境(HJ 2.22018)附录 D 中表 D.1 的限值要求,预测值未超标,在可接受范围内;同时周边各敏感点均不在各点源和面182、源最大落地浓度距离范围内。因此,本项目生产经营过程中产生的废气不会对项目周边居民日常生活产生明显影响,不会影响敏感点大气环境功能现状。4.1.6 大气污染物排放量核算大气污染物排放量核算项目有组织废气汇总本项目为电子专用材料制造及石墨及碳素制品制造工业排污单位,根据排污许可证申请与核发技术规范 电子工业(HJ 10312019)和排污许可证申请与核发技术规范 石墨及其他非金属矿物制品制造(HJ1119-2020)废气排放口类型可知,本项目各废气排放口均为一般排放口。有组织排放核算表见表 4.1-8。表 4.1-8大气污染物有组织排放量核算表序号排放口编号污染物核算排放浓度(g/m3)核算排放速183、率(kg/h)核算年排放量(t/a)一般排放口1DA001氟化物63300.03170.18242DA002HCI101700.10170.293主要排放口合计氟化物0.1824HCI0.293有组织排放总计有组织排放总计氟化物0.1824HCI0.293xxxx科技有限公司半导体用碳化硅/化学气相沉积碳化硅制品项目环境影响报告书82项目无组织废气汇总项目无组织排放源强及排放量核算见表 4.1-9。表 4.1-9大气污染物无组织排放量核算表污染源污染物排放量面源面积(长宽高)kg/ht/ammm机加工颗粒物/0.00190308打磨颗粒物/0.00390308无组织合计颗粒物/0.004/大气184、污染物年排放量本项目大气污染物排放量包括项目各有组织排放源和无组织排放源在正常排放条件下的排放量之和。本项目大气污染物排放量见表 4.1-10。表 4.1-10大气污染物年排放量核算表序号污染物年排放量(t/a)1颗粒物0.0042氟化物0.18243HCI0.2934.1.7 环境防护距离环境防护距离根据环境影响评价技术导则大气环境(HJ2.2-2018),对于项目厂界浓度满足大气污染物厂界浓度限值,但厂界外大气污染物短期浓度贡献值超过环境质量浓度限值的,可以自厂界向外设置一定范围的大气环境防护区域,以确保大气环境防护区域外的污染物贡献浓度满足环境质量标准。通过预测厂界浓度,本项目厂界外无超185、过环境质量标准浓度限值的网格点,因此无需设置环境防护距离。4.1.8 大气污染物非正常排放量核算大气污染物非正常排放量核算本项目非正常工况是指氟化物、氟气和氯化氢废气处理系统运转异常等工况;本项目污染防治措施非正常情况指碱液对氟化物和氟气的处理效率不足。本次项目评价废气非正常排放仅考虑废气处理系统不运转,对氟化物、氟气和氯化氢的处理效率为 0,事故状态年发生频次为 1 次,每次持续时间为 1h。则项目非正常情况下,氟化物和氟气产生量为 63.3mg/m3,0.317kg。氯化氢废气产生量为203.46mg/m3,2.035kg。本项目废气非正常排放产生次数概率低,外排污染物量较大,排放浓度不满186、足 大气污染物综合排放标准(GB16297-1996)表 2 新污染源大气污染物排放限值,对周围xxxx科技有限公司半导体用碳化硅/化学气相沉积碳化硅制品项目环境影响报告书83环境有一定的影响。所以建设单位必须加强废气处理,对废气处理设施的管理和维护,定期检查废气处理系统,减少事故发生的几率;一旦设备处理效率大幅降低或者失效,生产车间应立即停车检修,检修满足要求后再重新启动;加强厂区监测,落实监测计划,加强设备管理,尽量避免非正常工况下非正常排污情况发生,确保达标排放。xxxx科技有限公司半导体用碳化硅/化学气相沉积碳化硅制品项目环境影响报告书844.2 地表水环境影响预测评价地表水环境影响预187、测评价根据工程分析,本项目生活污水经化粪池处理后进园区污水管网,超声清洗废水经过滤后进园区污水管网,地面清洁废水经化粪池处理进园区污水管网,纯化废气碱喷淋废水、冷凝用水循环利用,不外排;沉积废气碱喷淋废水经调整 pH 值后外排。本项目外排废水经园区污水管网收集后经由市政污水管网排放至南洲污水处理厂,处理达标后排入渌江,最终汇入湘江。根据环境影响评价技术导则地表水环境(HJ2.3-2018),本项目地表水环境影响评价等级为三级 B,可不进行水环境影响预测。主要评价内容包括:水污染控制和水环境影响减缓措施有效性评价;依托污水处理设施的环境可行性评价,详见地表水污染防治措施及其可行性论证章节。本项目188、废水类别、污染物及污染治理措施见表表 4.2-1。表表 4.2-1本项目废水类别、污染物及污染治理措施信息表本项目废水类别、污染物及污染治理措施信息表序号废水类别污染物种类排放去向排放规律污染治理设施排放口编号排放口设置是否符合要求排放口类型污染治理设施编号污染治理设施名称污染治理设施工艺1综合废水CODcr、BOD5、SS、氨氮进入城市污水处理厂连续排放,流量稳定01化粪池生化DW001是企业总排口本项目废水排放口基本情况见表表 4.2-2。表表 4.2-2项目废水间接排放口基本情况表项目废水间接排放口基本情况表名称排放口编号排放口地理坐标废水排放量/(万t/a)排放去向 排放规律间歇排放时189、段受纳污水处理厂信息经度纬度名称污染物种类国家或地方污染物排放标准浓度限值生活污水DW001113.12786127.66756 0.055进入城市污水处理厂连续排放,流量稳定/南洲污水处理厂CODcr60BOD520氨氮15xxxx科技有限公司半导体用碳化硅/化学气相沉积碳化硅制品项目环境影响报告书85表表 4.2-3项目废水污染物排放执行情况表项目废水污染物排放执行情况表序号排放口编号污染物种类国家或地方污染物排放标准及其他按规定商定的排放协议名称浓度限值/(mg/L)1W1CODCr电子工业水污染物排放标准(GB39731-2020)中表 1 电子专用材料水污染物排放限值500BOD53190、00氨氮45SS400氟化物20表表 4.2-4废水污染物排放信息表废水污染物排放信息表序号排放口编号污染物种类排放浓度/(mg/L)日排放量/(t/d)年排放量/(t/a)1W1CODCr5000.000920.276BOD53000.000550.165氨氮450.0000830.0249SS4000.000740.222氟化物200.0000370.0111全场排放口合计CODCr0.276BOD50.165氨氮0.0249SS0.222氟化物0.0111综上所述,项目废水经过上述措施处理后,可实现达标排放,同时对周围水体环境影响很小。xxxx科技有限公司半导体用碳化硅/化学气相沉积碳化191、硅制品项目环境影响报告书864.3声环境影响分析声环境影响分析本项目位于xx市xx区经济开发区西创智能制造产业园内,项目区为 3 类声环境功能区。经过现场调查,项目周围最近的声环境敏感点为东北面 180 的茶坡里居民。4.3.1 项目主要噪声源项目主要噪声源本项目主要噪声源主要为引风机、数控机床、空压机等,单台设备噪声源强约7090dB(A),项目主要噪声源及源强情况见工程分析章节表 2.4-5、2.4-6。4.3.2预测因子与内容预测因子与内容1、预测因子:等效连续 A 声级。2、预测内容:主要噪声源对厂界外环境的影响。4.3.3评价标准评价标准营运期厂界四周噪声执行工业企业厂界环境噪声排放192、标准(GB12348-2008)中 3 类区标准,即昼间 65dB(A),夜间 55dB(A)。4.3.4预测模式预测模式1、预测范围、预测范围声环境影响预测范围与评价范围一致,即项目厂界外 200m 范围内。2、预测点、预测点预测点选为厂界四周。3、预测方法、预测方法本项目预测方法采用 环境影响评价技术导则 声环境(HJ2.4-2021)附录 C 推荐的典型建设项目噪声影响预测及防治对策措施。4、预测模式、预测模式从噪声源到受声点的噪声总衰减量,是由噪声源到受声点的距离、墙体隔声量、空气吸收及建筑屏障的衰减综合而成,本次预测只考虑距离的衰减和建筑墙体的隔声量,空气吸收因本建设项目噪声源离预测193、点较近而忽略不计。项目噪声源主要来自生产厂房内,均为室内声源,评价中对室内声源以每一厂房为一单元来计算室内声源效室外声源声功率等级,在此基础上,考虑到室内声源等效室外声源的距离,再将等效室外噪声源简化为点声源处理。具体预测模式如下:(1)室内声源等效室外声源声功率等级计算xxxx科技有限公司半导体用碳化硅/化学气相沉积碳化硅制品项目环境影响报告书87Lp2=Lp1-(TL+6)式中:TL 隔墙的隔声量,dB。RrQLLWp44lg1021式中:Lw声源的声功率等级,dB;r离声源的距离,m;R房间常数,室内平均吸声系数;S室内总表面积,m;Q指向性因数,取值为 1、2、4、8。用下式计算出中心194、位置位于透声面积(S)处的等效室外声源的声功率等级。STLLpWlg10)(2(2)单个室外的点声源在预测点产生的声压级的预测(只考虑距离的衰减)Lp=Lw-Ad+Dc式中:DC指向性指数,dB(A);Ad几何发散引起的衰减,dB(A);(3)声级的计算建设项目声源在预测点产生的等效声级贡献值:iLAiieqgtTL1.0101lg10式中:Leqg建设项目声源在预测点的等效声级贡献值,dB(A);LAii 声源在预测点产生的 A 声级,dB(A);T预测计算的时间段,S;Tii 声源在 T 时段内的运行时间。预测点的预测等效声级计算eqbeqgLLeqL1.01.01010lg10式中:Le195、qg建设项目声源在预测点的等效声级贡献值,dB(A);Leqb预测点的背景值,dB(A)。5、预测和评价内容、预测和评价内容(1)预测和评价建设项目运营期声环境保护目标处的噪声贡献值和预测值,评价其超标和达标情况;xxxx科技有限公司半导体用碳化硅/化学气相沉积碳化硅制品项目环境影响报告书88(2)预测和评价建设项目运营期厂界噪声贡献值,评价其超标和达标情况;(3)选取项目建成投产后的第二年(2024 年)作为评价水平年。4.3.5预测结果与评价预测结果与评价项目噪声源对厂界及声环境保护目标处的贡献值与现有项目背景值叠加得出项目各噪声源在厂界和环保目标处的预测值见下表。表 4.3-1工业企业声196、环境保护目标噪声预测结果与达标分析表(2024 年)单位:dB(A)预测点主要噪声源距离厂界的距离预测贡献值标准超标情况昼间夜间昼夜昼夜N1E10m53.352.56555达标达标N2S45m51.848.56555达标达标N3W30m52.752.46555达标达标N4N40m52.352.46555达标达标N5NE260m52.946.76050达标达标根据上表可知,项目各设备在采取减振降噪措施隔声后,叠加厂界现状背景值后,东、南、西、北侧厂界噪声符合声环境质量标准(GB3096-2008)3 类标准限值;周边 200m 处居民点能满足声环境质量标准(GB3096-2008)2 类标准限值197、,因此项目建设对周围声环境影响可接受。xxxx科技有限公司半导体用碳化硅/化学气相沉积碳化硅制品项目环境影响报告书894.4 固体废物环境影响分析固体废物环境影响分析本项目在运行过程中,产生的固体废物主要为工作人员产生的生活垃圾、废弃包装材料、废润滑油。本项目废弃包装材料属于一般固体废物分类与代码(GB/T39198-2020)中其他废物类别,类别代码为 99,分类收集后全部外售;本项目在生产过程中产生的不合格产品属于一般固体废物分类与代码(GB/T39198-2020)中其他废物类别,类别代码为 99,统一收集后委外处理;本项目切割、机加工工序中布袋除尘器收集的粉尘属一般固体废物分类与代码(198、GB/T 39198-2020)中工业粉尘,类别代码 66,以及废碱液回收工艺中产生的氟化钙属于一般固体废物分类与代码(GB/T39198-2020)中其他废物类别,类别代码为 99,统一收集后委外处理。本项目生产设备使用和维护过程中使用的废润滑油属于危险废物中的 HW08 废矿物油与含矿物油废物(900-217-08),收集暂存后交有资质单位处置。项目拟建设一个 16.4m2的一般固废暂存间,一般固废贮存间的建设应满足 一般工业固体废物贮存和填埋污染控制标准(GB18599-2020)相关要求。项目拟建设一个 14m2的危废暂存间。根据 xx市危险废物暂存间规范管理指南(试行),企业危废产生199、量小于 10t/a,采用三级管理规范。管理要求如下:1、危险废物暂存间建设要求危险废物暂存间的建设必须符合危险废物贮存污染控制标准要求,必须搂要求张贴(悬挂)危险废物警示标识,按统一规范要求建立危险废物贮存管理责任制度并在暂存间公示,必须制定环境突发事故应急处理措施,并上墙公示。每 3 年不少于 1 次应急演练,并存档备查。2、危险废物暂存要求危险废物分区分类贮存,并按要求张贴电子标签以及危险废物标签,禁止贮存除危险废物和应急物资以外的物品,具有特殊管理要求的危险废物的包装、贮存必须符合其特殊标准(如含汞灯管、废弃危险化学品等),涉危企业必须按危险废物出入库批次,记录并建立危险废物贮存台账;台200、账应包含危险废物来源、种类、出入库数量及时间(具体到小时),并且每批次必须责任人签字。3.企业内部管理要求企业必须设置专岗,建立门禁制度,防止无关人员进出危废暂存间,需明确专人负xxxx科技有限公司半导体用碳化硅/化学气相沉积碳化硅制品项目环境影响报告书90责,明确主管领导并在暂存间公示,按照排污许可证要求,需要开展自行监测的,必须按要求定期开展自行监测,并存档,每年开展一次涉危生产人员、管理人员业务培训。项目固体废物外运主要采用公路运输,在运输过程中严格管理,固体废物的外运处置由相应的协议单位负责运输环节,运输过程中安全管理和处置均由该单位负责;承担危险废物运输的单位应获得交通运输部门颁发的201、危险货物运输资质,危险废物公路运输应严格执行道路危险货物运输管理规定(交通部令2005 年第 9 号)相关标准。通过以上措施可避免固体废物在外运中洒落、泄漏,造成大气环境、土壤甚至地下水污染。采取以上措施后,严格按照国家有关固废,特别是危险废物要求管理、储存、处置的前提下,不会对周边环境产生不良影响。4.5土壤环境影响评价土壤环境影响评价4.5.1评价等级确定评价等级确定根据环境影响评价技术导则土壤环境(试行)(HJ 964-2018)附录 A,本项目属于建设项目环境影响评价分类管理名录(2021 年版)中的“398半导体材料制造”,土壤环境影响评价项目类别为 II 类;且项目占地面积远小于 202、5hm2,规模属于小型;项目位于工业园区内,用地周边 200 米范围内无耕地、园地、牧草地、饮用水水源地或居民区、学校、医院、疗养院、养老院等土壤环境敏感目标,土壤环境敏感程度为不敏感。因此确定本项目土壤环境评价工作等级为三级,项目评价范围为厂区内和厂界外扩 50m 范围。4.5.2土壤污染途径识别土壤污染途径识别根据现场踏勘及工程分析,建设项目土壤环境影响类型与影响途径见下表4.5-1建设项目土壤环境影响类型与影响途径表不同时段不同时段污染影响型污染影响型大气沉降大气沉降地面漫流地面漫流垂直入渗垂直入渗其他其他建设期/运营期/服务期满后/通过上表可知,本项目的土壤环境影响类型为污染影响型,主203、要是项目运营期污染物通过大气沉降途径对土壤环境产生影响。污染影响型建设项目土壤环境影响源及影响因子识别见下表:xxxx科技有限公司半导体用碳化硅/化学气相沉积碳化硅制品项目环境影响报告书914.5-2污染影响型建设项目土壤环境影响源及影响因子识别表工艺流程/节点污染途径全部污染物指标特征因子纯化废气、沉积废气大气沉降氟化物、氯化氢氟化物、氯化氢4.5.3土壤环境影响预测分析土壤环境影响预测分析(1)预测与评价因子的确定根据项目土壤环境影响源及影响因子识别,选取氟化物、氯化氢作为预测评价因子。(2)预测评价时段根据对本项目土壤环境影响识别结果可知,本项目重点预测时段为项目运营期。因此本项目选取营204、运30年作为重点预测时段。本次预测时段包括污染发生后1d、10d、100d、1a、2a、4a、10a、20a、30a。(3)预测情景简单混合模型,不考虑污染物在土壤中的转化、迁移与反应,考虑最不利情况,将污染物与表层土壤采用简单物理混合的模式进行处理。(4)预测与评价方法本环评采用环境影响评价技术导则土壤环境(试行)(HJ00964-2018)附录E土壤环境影响预测方法中的方法一,对项目以大气沉降方式进入土壤的氟化物、氯化氢进行土壤环境影响预测。单位质量土壤中某种物质的增量可用下式计算:式中:S单位质量表层土壤中某种物质的增量,g/kg;IS预测评价范围内单位年份表层土壤中某种物质的输入量,g205、。LS预测评价范围内单位年份表层土壤中某种物质经淋溶排出的量,g;本环评不考虑淋溶排出的量。RS预测评价范围内单位年份表层土壤中某种物质经径流排出的量,g;本环评不考虑经径流排出的量。b表层土壤容重,kg/m3;根据监测结果,本项目土壤容重取 1.30g/cm3,折合1330kg/m3。xxxx科技有限公司半导体用碳化硅/化学气相沉积碳化硅制品项目环境影响报告书92A预测评价范围,m2;评价范围为占地范围全部及占地范围外 50m,合计约24700m2。D表层土壤深度,一般取 0.2m,本环评取 0.2m;n持续年份,a。土壤的重金属的输入量可通过单位面积沉降量进行计算:Is=CVAT式中:C预206、测点的地面年均浓度,本评价按大气预测中氟化物、氯化氢的最大地面年均浓度进行考虑,分别为 0.862g/m3,2.311g/m3。V:粒子沉降速率,m/s;A:预测评价范围,m2,约 24700 m2;T:沉降时间(1 年取 8760h,31536000s)。干沉降粒子的沉降速度可应用斯托克斯定律求出:V=gd2(1-2)/18u式中:V:表示沉降速度,m/s;g:重力加速度,m/s2;d:粒子直径(直径取 10m)m;1,2:密度和空气密度,kg/m3;u:空气的粘度,Pas(20时空气粘度约为 1.810-4Pas)。由上可得出,V 氟化物=2.62E-03m/s,V 氯化氢=3.43E-0207、3m/s。则评价范围内土壤重金属年输入量见下表。4.5-3土壤中污染物年输入量污染物污染物C(g/m3)V(m/s)A(m2)T(s)Is(mg)氟化物0.8622.62E-03247003153600063927.57氯化氢2.3113.43E-0324700315360005948.95xxxx科技有限公司半导体用碳化硅/化学气相沉积碳化硅制品项目环境影响报告书93(4)预测结果及分析项目通过大气沉降进入土壤预测结果详见下表:4.5-4土壤环境影响预测结果一览表污染物持续年份(年)预测结果S(mg/kg)氟化物10.000850.0041100.0082150.0123200.016430208、0.0246氯化氢10.000150.0004100.0008150.0011200.0015300.0023由上表的预测结果可以看出,在 30 年的预测期内,单位质量土壤中氟化物的增量为0.0246mg/kg,氯化氢的增量为 0.0023mg/kg,对周边区域土壤环境影响小。4.5.4土壤环境保护措施与政策土壤环境保护措施与政策为进一步降低项目运行过程对土壤环境的影响,环评要求建设单位做好以下几点:(1)加强原料管控,规范操作,确保设备处于良好的运行状态,做到源头控制,减少颗粒物的排放。(2)在厂区绿化带内种植具有较强吸附能力的绿色植物。(3)制定跟踪监测计划,建立土壤环境质量跟踪监测制度。209、xxxx科技有限公司半导体用碳化硅/化学气相沉积碳化硅制品项目环境影响报告书94第第 5 章章环境环境风险评价风险评价环境风险评价是环境影响评价领域中的一个重要组成部分,伴随着人们对环境危险及其灾害的认识日益增强和环境影响评价工作的深入开展,人们已经逐渐从正常事件转移到对偶然事件发生可能性的环境影响进行风险研究。环境风险评价的目的是分析和预测建设项目存在的潜在危险、有害因素,建设项目建设和运行期间可能产生的突发性事件或事故(一般不包括人为破坏及自然灾害),引起有毒有害和易燃易爆等物质泄漏,所造成的人身安全与环境影响和损害程度,提出合理可行的防范、应急减缓措施,以使建设项目的事故率、损失和环境影210、响降低到可接受水平。本次评价根据国家原环保部文件关于进一步加强环境影响评价管理防范环境风险的通知(环发201277 号)、关于切实加强风险防范严格环境影响评价管理的通知(环发201298 号)精神,依据建设项目环境风险评价技术导则(HJ169-2018)进行环境风险评价。5.1 环境风险评价等级判定环境风险评价等级判定依据建设项目环境风险评价技术导则(HJ169-2018)和危险化学品重大危险源辨识标准(GB18218-2018)中规定的易燃易爆和有毒物质的临界量限值。根据建设项目环境风险评价技术导则(HJ169-2018),建设项目环境风险潜势划分为 I、II、III、IV/IV+级。根据建211、设项目涉及的物质和工艺系统的危险性及其所在地的环境敏感程度,结合事故情形下环境影响途径,对建设项目潜在环境危害程度进行概化分析,按照表 5.1-1 确定环境风险潜势。表表 5.1-1建设项目环境风险潜势划分建设项目环境风险潜势划分环境敏感程度(E)危险物质及工艺系统危险性(P)极高危害(P1)高度危害(P2)中度危害(P3)轻度危害(P4)环境高度敏感区(E1)IV+IVIIIIII环境高度敏感区(E1)IVIIIIIIII环境高度敏感区(E1)IIIIIIIII注:IV+为极高环境风险根据上表可知,风险潜势由危险物质及工艺系统危险性(P)与环境敏感程度(E)共同确定,而 P 的分级由危险物质212、数量与临界量的比值(Q)和所属行业及生产工艺特点(M)共同确定。xxxx科技有限公司半导体用碳化硅/化学气相沉积碳化硅制品项目环境影响报告书95危险物质数量与临界量比值(Q)为每种危险物质在厂界内的最大存在总量与其在建设项目环境风险评价技术导则(HJ169-2018)附录 B 中对应临界量的比值 Q,当只涉及一种危险物质时,计算该物质的总量与其临界量比值,即为 Q;当存在多种危险物质时,则按照下式计算物质总量与其临界量比值(Q):Q=11+22+式中:q1,q2,qn每种危险物质的最大存在量,t;Q1,Q2,Qn每种危险物质的临界量,t。当 Q1 时,该项目风险潜势为 I;当 Q1 时,将 Q213、 值划分为:(1)1Q10;(2)10Q100;(3)Q100。风险源识别和潜势分析本项目使用的主要原辅材料主要成分为等静压石墨,根据建设项目环境风险评价技术导则(HJ/T169-2018)附录 B 和危险化学品重大危险源辩识(GB18218-2018)进行风险调查可知,等静压石墨不属于危险化学品,本项目主要风险物质为一甲基三氯硅烷和氢气。一甲基三氯硅烷的 CAS 号为 75-79-6,临界量为 2.5t,氢气的 CAS 号为 1333-74-0,临界量为 5t。本项目涉及的危险物质及储存位置见表 5.1-2。表表 5.1-2风险物质与临界量比值计算结果风险物质与临界量比值计算结果物料名称风险214、判定储存场所是否属于重大危险源最大暂存量(t)临界量(t)q/Q一甲基三氯硅烷2.1762.50.8704MTS 储罐否氢气0.0450.008氢气瓶棚否废润滑油0.3525000.00014危废间否合计0.8785/由上表可知,本项目危险物质的储存量/临界量为 Q=0.87851,根据建设项目环境风险评价技术导则(HJ169-2018)中评价等级划分,结合本项目环境风险潜势为 I,本项目环境风险评价等级定为简要分析。5.2 原辅材料和产品危险特性分析原辅材料和产品危险特性分析根据建设项目环境风险评价技术导则(附录 A1 表 1表 4)、危险化学品重大危险源辨识(GB18218-2009)、职215、业性接触毒物危害程度分析(GB50844-85)、等相关标准,对公司运输、储运物质的有毒有害性、易燃易爆性进行识别。xxxx科技有限公司半导体用碳化硅/化学气相沉积碳化硅制品项目环境影响报告书96主要原辅材料理化性质风险分析如下:表表 5.2-1甲基三氯硅烷理化性质表甲基三氯硅烷理化性质表化学品中文名称:甲基三氯硅烷化学品英文名称:MethyltrichlorosilaneCAS 号:75-79-6溶解性:溶于苯、醚熔点():-90相对密度(水=1):1.28沸点():66.5相对蒸气密度(空气=1):5.2闪点():-9爆炸上限%(V/V):20爆炸下限%(V/V):7.6引燃温度():49216、0毒理学数据LD50:无资料LC50:2740mg/m3(大鼠吸入,4h)吸入:迅速脱离现场至空气新鲜处。保持呼吸道通畅。如呼吸困难,给输氧。如呼吸停止,立即进行人工呼吸。就医。食入:用水漱口,给饮牛奶或蛋清。就医。危险特性:易燃,遇明火、高热或与氧化剂接触,有引起燃烧爆炸的危险。受热或遇水分解放热,放出有毒的腐蚀性烟气。具有腐蚀性。有害燃烧产物:一氧化碳、二氧化碳、氧化硅、氯化氢。灭火方法:消防人员必须佩戴空气呼吸器、穿全身防火防毒服,在上风向灭火,用二氧化碳、干粉、砂土等灭火剂灭火,禁止用水和泡沫灭火。尽量切断泄漏的着火源。尽可能将着火容器从火场移至空旷处。处在火场中的容器若已变色或从安全217、泄压装备中产生声音,必须马上撤离应急处理:根据泄漏物流动的区域划定警戒区,迅速撤离泄漏污染区人员至上风处,并进行隔离,严格限制出入。切断火源。建议应急处理人员戴自给正压式呼吸器,穿全身防火防毒服。不要直接接触泄漏物。尽可能切断泄漏源。防止流入下水道、排洪沟等限制性空间。操作注意事项:密闭操作,局部排风。操作人员必须经过专门培训,严格遵守操作规程。建议操作人员佩戴自吸过滤式防毒面具(全面罩),穿胶布防毒衣,戴橡胶耐油手套。远离火种、热源,工作场所严禁吸烟。使用防爆型的通风系统和设备。避免产生烟雾。防止烟雾和蒸气释放到工作场所空气中。避免与氧化剂、酸类、碱类接触。尤其要注意避免与水接触。在氮气中操218、作处置。搬运时要轻装轻卸,防止包装及容器损坏。配备相应品种和数量的消防器材及泄漏应急处理设备。倒空的容器可能残留有害物。储存注意事项:储存于阴凉、通风的库房。远离火种、热源。库温不宜超过 30。包装要求密封,不可与空气接触。应与氧化剂、酸类、碱类等分开存放,切忌混储。采用防爆型照明、通风设施。禁止使用易产生火花的机械设备和工具。储区应备有泄漏应急处理设备和合适的收容材料。xxxx科技有限公司半导体用碳化硅/化学气相沉积碳化硅制品项目环境影响报告书97表表 5.2-2氢气理化性质表氢气理化性质表标识中文名:氢;氢气英文名:hydrogen分子式:H2分子量:2.01CAS 号:1333-74-0219、危规号:21001理化性质性状:无色无臭气体溶解性:不溶于水,不溶于乙醇、乙醚熔点():-259.2沸点():-252.8相对密度(水1):0.07(-252)临界温度():-240临界压力(MPa):1.30相对密度(空气1):0.07燃烧热(KJ/mol):241.0最小点火能(mJ):0.019饱和蒸汽压(KPa):13.33(-257.9)燃烧爆炸危险性燃烧性:易燃燃烧分解产物:水闪点():无意义聚合危害:不聚合爆炸下限():4.1稳定性:稳定爆炸上限():74.1最大爆炸压力(MPa):0.720引燃温度():400禁忌物:强氧化剂、卤素危险特性:与空气混合能形成爆炸性混合物,遇热或220、明火即会发生爆炸。气体比空气轻,在室内使用和储存时,漏气上升滞留屋顶不易排出,遇火星会引起爆炸。氢气与氟、氯、溴等卤素会剧烈反应。消防措施:切断气源。若不能立即切断气源,则不允许熄灭正在燃烧的气体。喷水冷却容器,可能的话将容器从火场移至空旷处。灭火剂:雾状水、泡沫、二氧化碳、干粉。毒性接触限值:中国 MAC(mg/m3)未制定标准;前苏联 MAC(mg/m3)未制定标准美国 TVL-TWAACGIH 窒息性气体美国 TLVSTEL 未制定标准对人体危害侵入途径:吸入健康危害:本品在生理学上是惰性气体,仅在高浓度时,由于空气中氧分压降低才引起窒息。在很高的分压下,氢气可呈现出麻痹作用。急救吸入:221、迅速脱离现场至空气新鲜处,保持呼吸道通畅。如呼吸困难,给输氧。如呼吸停止,立即进行人工呼吸。就医。防护工程防护:密闭系统,通风,防爆电器与照明。个人防护:一般不需要特殊防护,高浓度接触时可佩戴空气呼吸器。穿防静电工作服。戴一般作业防护手套。其他:工作现场严禁吸烟。避免高浓度吸入。进入罐、限制性空间或其它高浓度区作业,须有人监护。泄漏处理迅速撤离泄漏污染区人员至上风处,并进行隔离,严格限制出入。切断火源。建议应急处理人员戴自给正压式呼吸器,穿消防防护服。尽可能切断泄漏源。合理通风,加速扩散。如有可能,将漏出气用排风机送至空旷地方或装设适当喷头烧掉。漏气容器要妥善处理,修复、检验后再用。贮运包装标222、志:4UN 编号:1049包装分类:包装方法:钢质气瓶储运条件:易燃压缩气体。储存于阴凉、通风仓间内。仓内温度不宜超过 30。远离火种、热源。防止阳光直射。应与氧气、压缩空气、卤素(氟、氯、溴)、氧化剂等分开存放。切忌混储混运。储存间内的照明、通风等设施应采用防爆型,开关设在仓外。配备相应品种和数量的消防器材。禁止使用易产生火花的机械设备和工具。验收时要注意品名,注意验瓶日期先进仓的先发用。搬运时轻装轻卸,防止钢瓶及附件破损。xxxx科技有限公司半导体用碳化硅/化学气相沉积碳化硅制品项目环境影响报告书985.3 环境敏感目标概况环境敏感目标概况根据现场踏勘,并结合相关资料分析,项目周边不涉及自223、然保护区、风景名胜区、文物保护单位等环境敏感目标和环境敏感区,也不涉及军事禁区、军事管理区、国家相关保密区域。敏感目标主要为周边居民,详见前文 1.6 章节。5.4 环境风险事故影响分析环境风险事故影响分析建设单位风险物质影响途径为:风险物质一甲基三氯硅烷泄漏进入水体及土壤环境中,造成地表水环境、土壤环境和地下水环境污染;氟利昂 R14 泄露可能导致人缺氧窒息和冻伤,氟利昂位于纯化车间内,其周边为纯化炉和碱洗喷淋塔;因火灾而产生的伴生环境污染问题:如一甲基三氯硅烷燃烧会产生一氧化碳、二氧化碳和氯化氢,造成周边的大气环境污染;氢气瓶遇明火或者高热有可能会燃烧产生爆炸,危害环境和人的身体健康。环保224、设备故障会造成大量氟化物、氯化氢等废气进入大气环境,造成大气污染;消防废水进入地表水体造成水环境污染;建设单位应采取以下风险防范措施:1)对于危险废物暂存间进行重点防渗处理,做到防雨、防漏、防渗透,在危险废物暂存间内设置收集沟收集井,做好导流沟。对于已破损的材料包装下放防治托盘,粘贴好标示标牌,责任告知牌,责任到人。2)加强原材料贮存管理,制定严格的设备操作制度,工作人员应培训上岗,使操作人员能应付突发事故的发生,员工操作时均要求穿戴防冻手套。3)一甲基三氯硅烷储罐设置相对独立不易接触明火的区域,做好“勿近火、勿沾油蜡、勿暴晒、勿重击、无撞击”,并在储存点设置醒目的禁火标志,储罐地面做好防渗措225、施,储罐四周设有事故收集沟和 2.0m3的收集池;收集方式为自流式,以确保原料发生泄露后能自流进入收集沟和收集井。在储罐区和各储罐间建立防火堤,堤内地面防腐防渗,且储罐区和生产场所之间需设置隔水围堰(高 1m)。配备消火栓、干粉灭火器、二氧化碳灭火器,并在一甲基三氯硅烷储罐区外建设一组干砂库(一甲基三氯硅烷着火后不能直接用水灭火),用于扑灭一甲基三氯硅烷着火。4)瓶体堆放区应遵照国家质量技术监督局气瓶安全监察规程的规定,气瓶充气的压力不得超过规定压力。安全帽随时装上,保护气阀,气瓶每三年检验一次(特殊情况例外)做外表检查及水压试验,试验合格后方可继续使用,检验在充气单位进行。5)本项目氩气和氮226、气采用液氩站和液氮站,罐体容积分别为 5m3和 13m3,R14 设备工程采用 470LY 瓶液 R14 罐和全自动气瓶架供气,2 用 1 备全自动供应及切换,保证不xxxx科技有限公司半导体用碳化硅/化学气相沉积碳化硅制品项目环境影响报告书99间断供气,且有自动吹扫,自动切边,紧急切断。本项目气体运输均采用管道输送方式,由供气系统输送到生产车间,需在供气点和用气点处均安装报警系统,所有运输气体的管道均采用双层套管,套管内采用负压报警系统,若内层套管发生泄露,由于有外层套管的保护,避免气体泄露到空气中,同时管道内负压报警系统将发出警报。需加强管理,每天对所有气体管道进行检查,排除外层套管破裂而227、不能保护内层管道。6)本项目低温高压气体(氩气、氟利昂 R14)储存地按照建筑设计防火规范(GB50016-2006)、常用化学危险品储存通则 等国家安全标准,保持储存地内干燥通风、密封避光,安装通风设施,夏季高温时采取如喷淋降温、遮阳和防高温隔绝等涂料等措施。根据压缩、液化气体产品生产许可证实施细则、最新气体产品生产加工与安全储运及质量检验检测技术标准实施手册等相关规定,要求企业在氩气、氟利昂气站配有相应的操作维护保养指导书、区域安全责任制和管理制度、压力管路定期泄露检查制度、气站泄露应急处理预案,同时在氩气、氟利昂气站外设有围栏和安全警示标志、MSDS,任何人员的出入均有设备人员的陪同和监228、管,气站的围栏钥匙由专人保管,所有罐体上均有明显的压力充装上下限液位和压力标识。氩气、氟利昂气站内的压力仪表、安全阀由专人定期负责进行委外效验。7)R14 储存于阴凉、通风的库房,远离火种、热源,应与易燃物、氧化剂分开存放、切忌混储,储区应备有泄露应急处理设备。在 R14 泄露时,需迅速撤离泄露污染人员至上风处,并进行隔离,严格限值出入。建议应急处置人员带自给正压式呼吸机,穿一般作业工作服,尽可能切断泄漏源,在贮存低温高压气体车间需要预留足够的强制通风口设施,合理通风,加速扩散。泄露容器妥善处理,修复、检验后再使用。8)加强消防设施的建设与管理,提高发现和扑灭初起火灾的能力,加强工作人员消防安229、全培训,提高人员消防安全意识。5.5 环境风险应急预案环境风险应急预案制定风险事故应急预案的目的是为了预防突发性重大事故发生,并在发生风险事故时,能以最快的速度有序地开展救援工作,最大努力的减少事故的危害和损失,在本项目投入运行前,企业应根据xx省环境保护厅关于印发xx省突发环境事件应急预案管理办法的通知(湘政办发20182 号)有关要求,参照企业突发环境事件风险评估指南(试行)的有关内容,自行或者委托专业机构编制突发环境事件应急预案,并送相关环保部门进行备案。xxxx科技有限公司半导体用碳化硅/化学气相沉积碳化硅制品项目环境影响报告书1005.6 分析结论分析结论建设单位通过加强风险防范措施230、,设置环境风险应急预案,基本能够满足当前风险防范的要求,可以有效的防范风险事故的发生,使该公司发生的环境风险可以控制在较低的水平,项目的环境事故风险可控。根据建设项目环境风险评价技术导则(HJ/T169-2018)附录 A 中表 A.1 的内容填写下表 5.6-1。表表 5.6-1建设项目环境风险简单分析内容表建设项目环境风险简单分析内容表建设项目名称xxxx科技有限公司半导体用碳化硅/化学气相沉积碳化硅制品项目建设地点xx省xx市xx区西创智能制造产业园地理坐标113.129104E,27.667193N主要危险物质及分布风险物质:一甲基三氯硅烷、氢气分布情况:生产车间、氢气瓶棚、危废间环境231、影响途径及危害后果(大气、地表水、地下水等)发生火灾爆炸造成的次生环境风险事件,产生大量浓烟及有害气体,污染大气环境,消防废水污染水环境;储罐罐体破裂,导致地下水和土壤环境造成污染。风险防范措施要求对于危险废物暂存间进行重点防渗处理,做到防雨、防漏、防渗透,在危险废物暂存间内设置收集沟收集井,做好导流沟。对于已破损的材料包装下放防治托盘,粘贴好标示标牌,责任告知牌,责任到人。加强原材料贮存管理,制定严格的设备操作制度,工作人员应培训上岗,使操作人员能应付突发事故的发生,员工操作时均要求穿戴防冻手套。一甲基三氯硅烷储罐设置相对独立不易接触明火的区域,做好“勿近火、勿沾油蜡、勿暴晒、勿重击、无撞击232、”,并在储存点设置醒目的禁火标志,储罐地面做好防渗措施,储罐四周设有事故收集沟和收集井;收集方式为自流式,以确保原料发生泄露后能自流进入收集沟和收集井。在储罐区和各储罐间建立防火堤,堤内地面防腐防渗,且储罐区和生产场所之间需设置隔水围堰(高 1m)。配备消火栓、干粉灭火器、二氧化碳灭火器,并在一甲基三氯硅烷储罐区外建设一组干砂库(一甲基三氯硅烷着火后不能直接用水灭火),用于扑灭一甲基三氯硅烷着火。瓶体堆放区应遵照国家质量技术监督局 气瓶安全监察规程 的规定,气瓶充气的压力不得超过规定压力。安全帽随时装上,保护气阀,气瓶每三年检验一次(特殊情况例外)做外表检查及水压试验,试验合格后方可继续使用,233、检验在充气单位进行。本项目氮气采用液氮站和液氩站,罐体容积分别为 5m3 和 13m3,R14设备工程采用 470LY 瓶液 R14 罐和全自动气瓶架供气,2 用 1 备全自动供应及切换,保证不间断供气,且有自动吹扫,自动切边,紧急切断。本项目气体运输均采用管道输送方式,由供气系统输送到生产车间,需在供气点和用气点处均安装报警系统,所有运输气体的管道均采用双层套管,套管内采用负压报警系统,若内层套管发生泄露,由于有外层套管的保护,避免气体泄露到空气中,同时管道内负压报警系统将发出警报。需加强管理,每天对所有气体管道进行检查,排除外层套管破裂而不能保护内层管道。本项目低温高压气体(氩气、氟利昂 234、R14)储存地按照建筑设计防火xxxx科技有限公司半导体用碳化硅/化学气相沉积碳化硅制品项目环境影响报告书101规范(GB50016-2006)、常用化学危险品储存通则等国家安全标准,保持储存地内干燥通风、密封避光,安装通风设施,夏季高温时采取如喷淋降温、遮阳和防高温隔绝等涂料等措施。根据压缩、液化气体产品生产许可证实施细则、最新气体产品生产加工与安全储运及质量检验检测技术标准实施手册等相关规定,要求企业在氩气、氟利昂气站配有相应的 操作维护保养指导书、区域安全责任制和管理制度、压力管路定期泄露检查制度、气站泄露应急处理预案,同时在氩气、氟利昂气站外设有围栏和安全警示标志、MSDS,任何人员的235、出入均有设备人员的陪同和监管,气站的围栏钥匙由专人保管,所有罐体上均有明显的压力充装上下限液位和压力标识。氩气、氟利昂气站内的压力仪表、安全阀由专人定期负责进行委外效验。R14 储存于阴凉、通风的库房,远离火种、热源,应与易燃物、氧化剂分开存放、切忌混储,储区应备有泄露应急处理设备。在 R14 泄露时,需迅速撤离泄露污染人员至上风处,并进行隔离,严格限值出入。建议应急处置人员带自给正压式呼吸机,穿一般作业工作服,尽可能切断泄漏源,在贮存低温高压气体车间需要预留足够的强制通风口设施,合理通风,加速扩散。泄露容器妥善处理,修复、检验后再使用。加强消防设施的建设与管理,提高发现和扑灭初起火灾的能力,236、加强工作人员消防安全培训,提高人员消防安全意识。填表说明(列出项目相关信息及评价说明)本项目的环境风险物质主要是一甲基三氯硅烷、氢气、润滑油,根据前文的分析,项目 Q 值为 0.8785,属于 Q1,故判别本项目的环境风险潜势为级,进行简单分析。只要建设单位及时落实本表中提出的风险防范措施要求,本项目的环境风险可控。xxxx科技有限公司半导体用碳化硅/化学气相沉积碳化硅制品项目环境影响报告书102第第 6 章章环境保护措施及其可行性论证环境保护措施及其可行性论证本项目施工内容主要包括设备安装等,施工期较为简单,项目施工期对环境影响相对较小,本评价不具体对施工期环境影响进行分析,主要考虑运营期工237、程影响及污染源情况。6.1 大气污染防治措施及可行性分析大气污染防治措施及可行性分析6.1.1项目拟采取的环境污染防治措施项目拟采取的环境污染防治措施项目产生的主要废气为:污泥恶臭、破碎、筛分粉尘及窑炉废气。主要废气污染防治措施见下表。6.1-1项目废气污染防治措施表项目废气污染防治措施表生产单元产污环节生产设施排放形式排污许可污染防治可行性技术排放口类型本项目采用污染防治技术是否可行纯化纯化纯化炉有组织碱液喷淋洗涤吸收法一般排口冷凝+两级碱洗系统+15m 排气筒(1#)是机加工机加工数控机床无组织含尘废气处理系统设备自带布袋除尘装置是CVDCVD沉积CVD沉积炉有组织碱液喷淋洗涤吸收法一般排238、口碱喷淋塔+15m 排气筒在(2#);是打磨人工打磨手工打工机无组织含尘废气处理系统收集后经布袋除尘器处理后车间外无组织排放是6.1.2拟采取的废气污染防治措施的可行性拟采取的废气污染防治措施的可行性1、石墨纯化产生废气石墨提纯过程中产生的废气中含有的主要污染物为氟化物和氟气。高温纯化炉为密闭环境,经氩气吹出的废气及气态杂质经导气管引致废气处理系统,因此纯化废气 100%进入废气处理系统,废气处理系统由冷凝装置和水过滤装置(喷淋塔)组成。排气(真空)管路配置有间接冷却水装置,高温气体经冷却管冷却后,最终在经过冷凝器时金属氟化物已形成固态颗粒,再根据重力沉降原理收集。冷却后的废气再通过水过滤装置239、(喷淋塔),喷淋塔选用鲍尔环为填料,采用石灰水作为吸收剂,设置两层喷淋(喷淋流量为25m3/h),喷淋塔顶端设置除雾器。参考排污许可证申请与核发技术规范 电子工业(HJ1031-2019)、排污许可证申请与核发技术规范 总则(HJ942-2018),本项目采取的“冷凝+两级碱洗系统+15m 排气筒”处理措施符合其推荐的污染防治可行性技术“碱液喷淋洗涤吸收法”。xxxx科技有限公司半导体用碳化硅/化学气相沉积碳化硅制品项目环境影响报告书1032、碳化硅涂层产生氯化氢废气本项目涂层过程中会产生氯化氢废气,采用喷淋塔、旋流塔处理 HCl 废气。本工序废气处理设施为抽风机通风管道喷淋塔+15m 排气筒240、(2#)。根据建设单位提供的资料,喷淋塔是由有国家环保资质认证的单位定制,废气收集效率 100%(HCl废气如残存在 CVD 炉会引起爆炸,因此收集效率须达到 100%),废气处理效率可达到95%。综上所述,本项目针对各类废气采取的相应治理措施有效可行。6.2 地表水污染防治措施及可行性分析地表水污染防治措施及可行性分析根据工程分析,本项目生活污水经化粪池处理后进园区污水管网,超声清洗废水经过滤后进园区污水管网,地面清洁废水经化粪池处理进园区污水管网,纯化废气碱喷淋废水、冷凝用水循环利用,不外排;沉积废气碱喷淋废水经调整 pH 值后外排。6.2.1生活污水处置措施可行性分析生活污水处置措施可行241、性分析本项目厂址位于xx市xx区经济开发区西创智能制造产业园内 12 栋,园区污水排往南洲污水处理厂。经处理后 COD、SS、NH3-N 浓度分别为 160mg/L、240mg/L、20mg/L,pH 值为 6-9,石油类为 5mg/L。污水电子工业水污染物排放标准(GB39731-2020)中表 1 水污染物排放限值,同时满足南洲新区污水处理厂进水水质标准,可做到达标排放。西创智能制造产业园每栋标准厂房已敷设好污水管网,排水方便可行。在落实环保措施后,对地表水环境不会产生明显影响。经总排口排入汇入南洲新区污水处理厂深度处理,经处理达到 城镇污水处理厂污染物排放标准 一级 A 标准后,最终经杨242、家港排入渌江,最后汇入湘江,对地表水环境影响可接受。6.2.2进入南洲新区污水处理厂可行性分析进入南洲新区污水处理厂可行性分析本项目生活污水排入园区内污水管网,再经科创产业园总排口排入渌湘大道污水管网后,经 2#污水提升泵站提升流经和谐大道排至南洲新区污水处理厂进行处理,经处理达到城镇污水处理厂污染物排放标准一级 A 标准后,经杨家港排入渌江。xxxx污水处理有限公司(原名xx县xx经开区水质净化中心、简称南洲新区污水处理厂)位于南洲新区南洲镇湘东村、南岸村,北临渌江,南靠和谐大道,西靠规划 08 号道路及京广铁路,东靠规划 26 号道路,属于工业污水处理厂。项目用地面积40000.7m2(约243、 60 亩),总投 14183.05 万元,建设规模为 2.0 104m3/d,服务范围为南xxxx科技有限公司半导体用碳化硅/化学气相沉积碳化硅制品项目环境影响报告书104洲新区,位于xx区南洲镇,渌江以南,省道 S313 以北,湘江东岸,总面积约 21.43平方公里,包括南洲新区范围内的生活废水和经 预处理达标的工业废水。南洲新区污水处理厂与 2017 年开始建设,目前已投产运行。处理工艺为:污水粗格栅间及提升泵站细格栅间及旋流沉砂池隔油 调节池水解酸化池改良 A2/O 池二沉池高效沉淀池深床滤池消毒池 出水;出水水质达到城镇污水处理厂污染物排放标准(GB18918-2002)一级 A 标244、准,处理达标后经厂区东侧杨家港排入渌江。本项目所在的科创产业园属南洲新区污水处理厂规划服务范围,其污水管网已建成投入使用,所在区域园区污水已汇入园区污水管网送南洲新区污水处理厂。本项目污水平均排放量约 1.84m3/d,仅占目前南洲新区污水处理厂日处理能力的 0.92,从处理规模和现状分析,南洲新区污水处理厂可以接纳本项目产生的污水。同时,本项目外排污水满足南洲新区污水处理厂设计进水水质要求。因此,南洲新区污水处理厂具备接纳项目污水处理能力,能确保污水经处理达到城镇污水处理厂污染物排放标准(GB18918-2002)一级 A 标准。综上所述,项目依托措施可行,措施有效,对地表水环境影响较小,对245、杨家港、渌江水环境影响可接受。6.3 土壤和土壤和地下水污染防治措施地下水污染防治措施6.3.1地下水地下水源头及分区防渗措施源头及分区防渗措施根据本项目的特点及运营期间主要污染源,制定土壤和地下水环境保护措施,进行环境管理。本项目土壤和地下水污染防治措施按照“源头控制、分区防治、污染监控、应急响应”相结合的原则,从污染物的产生、入渗、扩散、应急响应进行控制。1、源头控制措施加强清洁生产工作,从源头上减少“三废”产生量,减少环境负担。2、分区控制渗透污染是导致土壤和地下水污染的主要方式,主要来自事故排放和工程防渗透措施不规范,企业土壤和地下水污染防治主要以预防为主,防治结合,需做好以下几方面工246、作:做好事故安全工作,将污染物泄漏环境风险事故降到最低。做好风险事故(如泄漏、火灾、爆炸等)状态下的物料、消防废水等截留措施,设置规范的初期雨水池和事故应急池。3、加强厂区及地面的防渗漏措施xxxx科技有限公司半导体用碳化硅/化学气相沉积碳化硅制品项目环境影响报告书105加强管道接口的严密性(特别是污水收集管路),杜绝“跑、冒、滴、漏”现象;做好固废堆场的防雨、防渗措施;防止地面积水,在易积水的地面,按防渗透地面要求设计;排水沟要采用钢筋混凝土结构建设;加强检查,防水设施及地面管道要定期检查,防渗漏地面、排水沟和雨水沟要定期检查,防治出现地面裂痕,并及时修补;制定相关的防水、防渗漏设施及地面的247、维护管理制度;地下水污染防渗区防渗要求见表全厂防腐、防渗等防止土壤和地下水污染预防措施见表 6.3-1。表表 6.3-1项目分区防渗措施一览表项目分区防渗措施一览表序号防渗区分区装置/区域名称防渗区域防渗技术要求1重点防渗区危废暂存间、MTS 储罐区、化学品仓库地面、墙角等效黏土防渗层 Mb6.0m,K10-7cm/s;或参照危险废物 填 埋 污 染 控 制 标 准(GB18598-2001)执行2一般防渗区一般固废暂存间地面等效黏土防渗层 Mb1.5m,K10-7cm/s;或参照生活垃圾 填 埋场 污 染 控 制标 准(GB16889-2008)执行机加工车间地面纯化车间地面沉积车间池底、池248、壁化粪池池底、池壁3简单防渗区办公会议室地面一般地面硬化总之,企业要加强污染源头控制措施,切实做好建设项目的事故风险防范措施,做好厂内的地面硬化、防渗并加强维护,特别是对污泥收集池等的防渗工作,则对土壤和地下水环境影响不大。6.3.2应急响应措施应急响应措施当发生异常情况时,需要马上采取紧急措施。应采取阻漏措施,控制污染物向土壤包气带和地下水中扩散。制定土壤与地下水污染应急响应方案,降低污染危害。制定应急预案,设置应急设施,一旦发现土壤与地下水受到影响,立即启动应急设施控制影响。土壤与地下水污染事故的应急预案应在制定的安全管理体制的基础上,与其他应急预案相协调,并制定企业、地方、县市三级应急预249、案。应急预案是土壤与地下水污染事故应急的重要措施。xxxx科技有限公司半导体用碳化硅/化学气相沉积碳化硅制品项目环境影响报告书1066.4噪声污染防治措施及可行性分析噪声污染防治措施及可行性分析本项目运营期噪声以设备噪声为主,主要噪声源为各种生产设备,单台设备噪声源强约 7090dB(A),本评价将针对其影响采取一定的降噪措施,具体如下:1、降低噪声源,在满足特性参数的情况下优选低噪声设备,采用基础减振措施。2、正确安装设备,校准设备中心,以保证设备的动平衡,同时加强设备的日常维护,确保设备处于良好的运转状态,杜绝因设备不正常运转时产生的高噪声现象。3、在风机出口安装消声器,泵下方加垫减振。4250、高噪声设备尽量布置在车间内,从在平面布局考虑,高噪设备布置时应充分考虑强噪设备与厂界的距离及厂界噪声限值,布置位置尽可能远离厂界。通过采取上述降噪措施后,噪声对周围环境的影响有限,项目拟采取的噪声控制措施具有较好的降噪效果,可减轻项目噪声源对厂界环境的影响。根据预测结果,项目厂界噪声值与背景值叠加后虽有小幅上升,但项目厂界噪声符合声环境质量标准(GB3096-2008)3 类标准限值;周边 200m 处居民点能满足声环境质量标准(GB3096-2008)2 类标准限值。以上处理措施在各行业噪声防治中广泛应用,处理效果较好,对于本工程是可行的。6.5固废处理处置措施及可行性分析固废处理处置措施251、及可行性分析本项目产生的各类固体废物采取分类收集、分区存放、分别处置的处理方案,建设单位建立全厂统一的固体废物分类制度,建设固定固体废物分区存放场地,并严格按照各类固体的废物的性质外委处置。本项目主要危险固体废物为生产设备使用和维护过程中使用的废润滑油属于危险废物中的 HW08 废矿物油与含矿物油废物(900-217-08);生活垃圾,由环卫部门定期清运,统一处理;废弃包装材料分类收集后全部外售,生产过程中产生的不合格产品统一收集后委外处理,切割、机加工工序中布袋除尘器收集的粉尘以及废碱液回收工艺中产生的氟化钙统一收集后委外处理。1、分类收集危废暂存场所需做到“四防”(防风、防雨、防晒、防渗漏252、),各类危废应采用专门容器分类收集,分类存放,在危废暂存场进出口设置围堰,危废暂存间周围设置导流沟等,门口设置警示标识。建设单位制定全厂统一的固体废物分类制度,负责监督检查生产过程中固废的分类收集情况,确定固废存放地点、分类种类,并对其进行标识和日常分类、xxxx科技有限公司半导体用碳化硅/化学气相沉积碳化硅制品项目环境影响报告书107存放设施维护、员工培训、记录填写等情况进行监督。2、分区存放厂区内拟建设建设一个 14m2的危废暂存间,用于暂存外委处置的危险废物,危废暂存间建设和管理按照危险废物污染防治技术政策、危险废物贮存污染控制标准(GB18597-2001)及 2013 修改单要求进行253、设计建造,危险废物的收集、存放及转运严格遵守生态环境部、公安部、交通运输部联合发布的危险废物转移管理办法执行。3、分别处置本项目危险废物废润滑油及其沾染物委托有资质单位进行处置。本项目各危险废物在厂内转运时,应遵照危险废物转移管理办法的规定执行,禁止在转移过程中将危险废物随处倾倒而严重污染环境,应建立危险废物管理制度和分类管理档案,对危险废物的处理和收运都应由指定的专业人员负责,做好宣传教育工作,严禁任何人随意排放固体废弃物。4、落实“四专”管理专门危废暂存库、专门识别标志、建立专业档案、实行专人负责、制度上墙、信息联网,通过xx省固体废物管理信息平台申报危险废物的种类、产生量、流向贮存、利用254、处置等有关资料,每年自查不少于 1 次。严格执行危险废物转移联单制度,并记录台账。根据xx市危险废物暂存间规范管理指南(试行),企业危废产生量小于 10t/a,采用三级管理规范。管理要求如下:1、危险废物暂存间建设要求危险废物暂存间的建设必须符合危险废物贮存污染控制标准要求,必须搂要求张贴(悬挂)危险废物警示标识,按统一规范要求建立危险废物贮存管理责任制度并在暂存间公示,必须制定环境突发事故应急处理措施,并上墙公示。每 3 年不少于 1 次应急演练,并存档备查。2、危险废物暂存要求危险废物分区分类贮存,并按要求张贴电子标签以及危险废物标签,禁止贮存除危险废物和应急物资以外的物品,具有特殊管理255、要求的危险废物的包装、贮存必须符合其特殊标准(如含汞灯管、废弃危险化学品等),涉危企业必须按危险废物出入库批次,记录并建立危险废物贮存台账;台账应包含危险废物来源、种类、出入库数量及时间(具体到小时),并且每批次必须责任人签字。xxxx科技有限公司半导体用碳化硅/化学气相沉积碳化硅制品项目环境影响报告书1083.企业内部管理要求企业必须设置专岗,建立门禁制度,防止无关人员进出危废暂存间,需明确专人负责,明确主管领导并在暂存间公示,按照排污许可证要求,需要开展自行监测的,必须按要求定期开展自行监测,并存档,每年开展一次涉危生产人员、管理人员业务培训。项目危险废物暂存间基本情况见下表。表表 6.5256、-1危险废物暂存间基本情况表危险废物暂存间基本情况表序号贮存场所名称危险废物名称危险废物类别危险废物代码位置占地面积m2贮存方式贮存能力 t贮存周期1危险废物暂存间废润滑油HW08900-217-08危废暂存间14桶装2年2废润滑油桶HW49900-041-0914箱装2年由上表可知,根据危险废物产生情况及贮存周期,危废暂存间能满足项目危废暂存要求。危险废物须依法委托有危废处理资质的单位处置,并执行危险废物转移联单制度,报环保部门批准或备案,登记危险废物的的转出单位、数量、类型、最终处置单位等,并且在项目投入运营前须与有相应危险废物处理的单位签订合同。危险废物贮存前应进行检验,确保同预定接收的257、危险废物一致,并注册登记,作好记录,记录上须注明危险废物的名称、来源、数量、特性和包装容器的类别、入库日期、存放库位、废物出库日期及接受单位名称。危险废物由危废处理单位用专用危废运输车进行运输,严格按照危险货物运输的管理规定进行,减少运输过程中的二次污染和可能造成的环境风险。建立档案制度,详细记录入场的固体废物的种类和数量等信息,长期保存,供随时查阅。xxxx科技有限公司半导体用碳化硅/化学气相沉积碳化硅制品项目环境影响报告书109第第 7 章章环境经济损益分析及总量控制环境经济损益分析及总量控制环境影响经济损益分析主要是根据项目的特性、总投资及生产规模,分析评价建设项目实施后对环境造成的损失258、和采用各种环保治理措施带来的社会、经济和环境效益。并进一步估算项目的环保投资,分析环保投入所能产生的经济效益。从经济效益、社会效益和环境效益协调统一的角度来讨论项目建设的意义。7.1环境效益分析环境效益分析7.1.1环保投资估算环保投资估算本项目总投资约为12000万元,环保投资约为240万元,占总投资的2.0%,项目环保投资估算详见下表。7.1-1环保措施投资估算环保措施投资估算序号类别环保设施总投资1废气纯化产生废气冷凝系统+两级碱洗系统+15m 排气筒(1#)60机加工废气设备自带布袋除尘装置(4 套)25打磨废气收集后经布袋除尘处理在车间外无组织排放10碳化硅涂层产生氯化氢废气抽风机+259、碱洗喷淋塔+15m 排气筒(2#)502废水清洗机清洗废水过滤处理103噪声厂房隔声、设备基础减震254固体废物危险废物设置危险废物暂存间,面积为 14m212一般固废设置工业垃圾收集站,面积为 16.4m285地面防渗处理、消防设施、所有储罐区设置围堰40合计2407.1.2环境保护效益分析环境保护效益分析本项目环保治理环境收益主要表现在废气、废水等能够达标排放,固废也能得到有效处置利用,避免外排到环境中。本项目排放废气采取相应的环保措施后能够实现达标排放;本项目产生的废润滑油等危废暂存后交有资质单位处置;项目的设备噪声通过安装消声器、减振及隔声等措施控制;通过分区防渗、地面硬化等措施控制环260、境风险和对地下水的影响。工程对废气、废水、固体废物以及噪声采取的污染防治措施一方面减少了污染物xxxx科技有限公司半导体用碳化硅/化学气相沉积碳化硅制品项目环境影响报告书110排放对环境的危害,体现了较好的环境效益。7.2工程经济效益与社会效益分析工程经济效益与社会效益分析项目投产后能带动当地经济发展,增加地方财政收入;另一方面带动了当地各行业生产的发展,例如服务业、运输业,繁荣了当地经济,促进了当地工农商业的发展。本项目的建设对稳定当地正常的社会环境、促进经济的发展有一定作用。因此,工程的建设具有一定的社会效益。综上所述,本项目建设具有较好的经济效益、社会效益,环保投资效益明显,环保投资可行261、。7.3总量控制总量控制根据国家对实施污染物排放总量控制的要求及本项目污染物排放特点,项目涉及到的总量控制因子为 COD、NH3-N。1、废气本项目外排废气主要为氟化物和氯化氢气体,不需要设置总量控制指标。2、水污染物生活污水、清洗废水、沉积废气碱喷淋废水、纯水制备浓水经化粪池处理后达到电子工业水污染物排放标准(GB39731-2020)中表 1 水污染物排放限值后通过园区污水管网进入南洲污水处理厂处理。废水总排放量为 550.62t/a,经南洲污水处理厂处理达标后进入湘江,尾水排放执行 城镇污水处理厂污染物排放标准(GB18918-2002)中一级 A 标准:NH3-N 限值为 5mg/L,262、COD 限值为 50mg/L。NH3-N 排放量=5mg/L550.62m3/a=0.003t/a;COD 排放量=50mg/L550.62m3/a=0.030t/a。表表 7.3-1总量控制指标总量控制指标污染物按最终进入纳污水体的排放标准核算量(t/a)建议总量控制指标(t/a)NH3-N0.0030.01COD0.0260.03建设单位需申购的总量指标为COD:0.03t、NH3-N:0.01t。本次所需总量指标由建设单位向当地环保部门申请确认,并通过排污权交易的方式获得。xxxx科技有限公司半导体用碳化硅/化学气相沉积碳化硅制品项目环境影响报告书111第第 8 章章环境管理与环境监测计263、划环境管理与环境监测计划环境管理和监测是以防止工程建设对环境造成污染为主要目的的。在工程项目的施工和营运过程中将对周围环境产生一定的污染影响,将通过采用环境污染控制措施减轻污染影响,环境管理和监控计划的实行将监督和评价工程项目实施过程中的污染控制水平,随时对污染控制措施的实施提出要求,确保环境保护目标的实现。8.1环境管理环境管理8.1.1环境管理基本任务环境管理基本任务为了控制污染物的排放,需要加强计划、生产、技术、质量、设备、劳动、财务等方面的管理,把环境管理渗透到整个企业管理中,将环境管理融合在一起,以减少从生产过程中各环节排出的污染物。项目应该将环境管理作为工业企业管理的重要组成部分,264、建立环境污染管理系统、制度、环境规划、协调发展生产保护环境的关系,使生产管理系统、制度、环境污染规划协调生产与保护环境的关系,使生产目标与环境目标统一起来,经济效益与环境效益统一起来。8.1.2环境管理机构及其职责环境管理机构及其职责环境管理机构的设置,是为了贯彻执行中华人民共和国环境保护法的有关法律、法规,全面落实国务院关于环境保护若干问题的决定的有关规定,对项目“三废”排放实行监控,确保建设项目的经济、环境和社会效益协调发展;协调环保主管部门的工作,为企业的生产管理和环境管理提供保证,针对项目的具体情况,为加强严格管理,企业应设置相应的环境管理机构,并设置 12 名专职安环管理人员,同时应265、加强对管理人员的环保培训。环境保护管理机构的职责(1)环境管理部门除负责公司内有关环保工作外,还应接受环境保护行政主管部门的领导检查与监督;(2)贯彻执行各项环保法规和各项标准;(3)组织制定和修改企业的环境污染保护管理体制规章制度,并监督执行;(4)制定并组织实施环境保护规划和标准;(5)检查企业环境保护规划和计划;(6)建立资料库,管理污染源监测数据及资料的收集与存档;xxxx科技有限公司半导体用碳化硅/化学气相沉积碳化硅制品项目环境影响报告书112(7)加强对污染防治设施的监督管理,安排专人负责设施的具体运作,确保设施正常运行,保证污染物达标排放;(8)防范风险事故发生,协助环境保护行政266、主管部门、企业内的应急反应中心或生产安全部门处理各种事故;(9)开展环保知识教育,组织开展本企业的环保技术培训,提高员工的素质水平;领导和组织本企业的环境监测工作。8.1.3环保管理制度环保管理制度(1)报告制度要定期向当地环保部门报告污染治理设施运行情况、污染物排放情况以及污染事故、污染纠纷等情况。若企业排污发生重大变化、污染治理设施改变或企业改、扩建等都必须向当地环保部门申报。(2)污染治理设施的管理、监控制度项目建成后,必须确保污染治理设施长期、稳定、有效地运行,不得擅自拆除或者闲置废气和废水处理设备,不得故意不正常使用污染治理设施。污染治理设施的管理必须与公司的生产经营活动一起纳入到公267、司日常管理工作的范畴,落实责任人、操作人员、维修人员、运行经费、设备的备品备件和其它原辅材料。同时要建立健全岗位责任制,制定正确的操作规程、建立污染治理设施的管理台帐。(3)环保奖惩制度各级管理人员都应树立保护环境的思想,企业也应设置环境保护奖惩条例。对爱护废水处理和废气处理设施等环保治理设施、节省原料、改善生产车间的工作环境者实行奖励;对于环保观念淡薄,不按环保要求管理,造成环保设施损坏、环境污染及原材料消耗者予以重罚。8.1.4项目运营过程环境管理措施项目运营过程环境管理措施1、日常生产管理(1)具有经过培训的管理人员、技术人员和相应数量的操作人员:(2)具有完备的保障危险废物安全处理、处268、置的规章制度;(3)具有负责危险废物处置效果检测、评价工作的机构和人员。xxxx科技有限公司半导体用碳化硅/化学气相沉积碳化硅制品项目环境影响报告书113(4)人员培训:应对管理人员、技术人员和操作人员进行相关法律法规和专业技术、安全防护、紧急处理等理论知识和操作技能培训。(5)交接班制度:为保证生产活动安全有序进行,必须建立严格的交接班制度,包括:生产设施、设备、工具及生产辅助材料的交接;运行记录的交接;上下班交接人员应在现场进行实物交接;运行记录交接前,交接班人员应共同巡视现场:交接班程序未能顺利完成时,应及时向生产管理负责人报告;接班人员应对实物及运行记录核实确定后签字确认。(6)运行登269、记制度:应当详细记载每日收集、贮存、利用危险废物的类别、数量、危险废物的最终去向、有无事故或其他异常情况等,并按危险废物转移联单的有关规定,存档转移联单。2、建立风险故防范与应急制度应对生产过程中每一个环节可能发生风险事故的原因、类型及其危害进行识别,采取各种有效措施防范风险事故的发生,并制订和演练风险事故应急预案。3、建立污染处理设施管理制度。项目运营过程中,必须确保污染治理设施长期、稳定、有效地运行,不得擅自拆除或者闲置污染防治设施,不得故意不正常使用污染治理设施。污染治理设施的管理必须与公司的生产经营活动一起纳入到公司日常管理工作的范畴,落实责任人、操作人员、维修人员、运行经费、设备的备270、品备件和其他原辅材料。同时要建立健全岗位责任制、制定正确的操作规程、建立管理台帐。4、排污定期报告制度。定期向xx市生态环境局xx区分局报告污染治理设施运行情况、污染物排放情况以及污染事故、污染纠纷等情况。8.2 环境监测环境监测8.2.1监测要求和内容监测要求和内容环境监测是环境保护的基本手段,也是掌握环境污染状况,制定环境质量的重要手段。因此负责环境管理人员的另一项任务是负责环境监测工作,主要负责与环保管理部门联系,安排监测时间、监测项目、统计监测结果,分析污染物排放变化规律,研究降低污染对策等,作为企业防治环境污染和治理措施提供必要的依据,同时也是企业环境保护资料统计上报、查阅、管理等必271、须做的工作内容之一。xxxx科技有限公司半导体用碳化硅/化学气相沉积碳化硅制品项目环境影响报告书1148.2.2环境监测计划环境监测计划参照排污单位自行监测技术指南 总则(HJ819-2017)、排污单位自行监测技术指南 电子工业(HJ1253-2022)、排污许可证申请与核发技术规范 电子工业(HJ 1031-2019)、排污许可证申请与核发技术规范 总则(HJ 942-2018)等文件中自行监测管理要求,建设单位应对本项目排放的废气、废水、厂界噪声进行自行监测。采样口及采样平台应按固定污染源排气中颗粒物测定与气态污染物采样方法(GB/T16157-1996)及固定源废气监测技术规范(HJ/272、T397-2007)等标准规范要求进行;无组织排放源监测按照大气污染物无组织排放监测技术导则(HJ/T55-2000)中的相关要求进行设置。本监测计划详见下表。表 8.2-1自行监测方案污染源监测因子监测点监测频次执行标准废气HCl排气筒(2#)1 年 1 次大气污染物综合排放标准(GB16297-1996)表 2 新污染源大气污染物排放限值,其中排放速率严格 50%执行氟化物排气筒(1#)1 年 1 次颗粒物厂界1 年 1 次废水COD、pH、SS、氨氮、石油类废水总排口1 年 1 次电子工业水污染物排放标准(GB39731-2020)中表 1 水污染物排放限值噪声噪声厂界四周1 季度 1 273、次工业企业厂界环境噪声排放标准(GB 12348-2008)中 3 类标准8.2.3排污口规范化设置排污口规范化设置排污口规范化根据关于开展排放口规范化整治工作的通知(国家环境保护总局环发199924 号)文件的要求,一切新建、改建的排污单位以及限期治理的排污单位,必须在建设污染治理设施的同时,建设规范化排污口。因此,建设单位在投产时,各类排污口必须规范化建设和管理,而且规范化工作应于污染治理同步实施,即治理设施完工时,规范化工作必须同时完成,并列入污染物治理设施的验收内容。同时要求按照国家环保总局制定的环境保护图形标志实施细则(试行)的规定,设置与排污口相应的图形标志牌。(1)废水排放口xx274、xx科技有限公司半导体用碳化硅/化学气相沉积碳化硅制品项目环境影响报告书115排污单位的废水排放口应按照污染源监测技术规范设置规范的、便于测量流量的测流段和采样点。(2)废气排放口废气排气筒应设置便于采样、监测的采样口和采样监测平台。当采样平台设置在离地面高度超过 5m 的位置时,应有通往平台的 Z 字梯/旋梯/升降梯;采样孔、点数目和位置应按固定污染源排气中颗粒物测定与气态污染物采样方法(GB/T161571996)的规定设置;当采样位置无法满足规范要求时,其位置应由当地环境监测部门确认。废气排气筒附近地面醒目处应设置环境保护图形标志牌。(3)固定噪声源按规定对固定噪声源进行治理,并在对外界275、影响最大处设置标志牌。(4)固体废物储存场一般固体废物、危险废物应设置专用贮存、堆放场地,并符合国家标准的要求,采取防止二次扬尘措施。(5)设置标志牌要求排放一般污染物排污口(源),设置提示式标志牌,排放有毒有害等污染物的排污口设置警告式标志牌。标志牌设置位置在排污口(采样点)附近且醒目处,高度为标志牌上缘离地面 2m。排污口附近 1m 范围内有建筑物的,设平面式标志牌,无建筑物的设立式标志牌。规范化排污口的有关设置(如图形标志牌、计量装置、监控装置等)属环保设施,排污单位必须负责日常的维护保养,任何单位和个人不得擅自拆除,如需变更的须报xx市环境监测部门同意并办理变更手续。环境保护图形符号见276、表 8.2-2,环境保护图形标志的形状及颜色见表 8.2-3。xxxx科技有限公司半导体用碳化硅/化学气相沉积碳化硅制品项目环境影响报告书116表 8.2-2环境保护图形符号一览表序号序号提示图形符号提示图形符号警告图形符号警告图形符号名名 称称功功 能能1废水排放口表示废水向水体排放2废气排放口表示废气向大气环境排放3噪声排放源表示噪声向外环境排放4一般固体废物表示一般固体废物贮存、处置场5危险废物表示危险废物贮存、处置场表 8.2-3环境保护图形标志的形状及颜色表标志名称形状背景颜色图形颜色警告标志三角形边框黄色黑色提示标志正方形边框绿色白色8.3 排污许可与信息公开排污许可与信息公开8.277、3.1排污许可制度排污许可制度国务院办公厅关于印发控制污染物排放许可制实施方案的通知(国办发201681 号)明确将排污许可制建设成为固定污染源环境管理的核心制度,作为企业守法、部门执法、社会监督的依据,为提高环境管理效能和改善环境质量奠定坚实基础。项目应严格按照国家和地方排污许可制度的要求,推进排污及污染源“一证式”管理工作,并作为建设单位在生产运营期接受环境监管和环境保护部门实施监管的主要法律文书,单位依法变更排污许可证,按证排污,自证守法。环境影响评价技术文件及批复中与污染物排放相关的主要内容应当纳入排污许可证,项目建设内容、产品方案、建设规模,采用的工艺流程、工艺技术方案,xxxx科技278、有限公司半导体用碳化硅/化学气相沉积碳化硅制品项目环境影响报告书117污染预防和清洁生产措施,环保设施和治理措施,各类污染物排放总量,自行监测要求,环境风险防范体系等,将生产装置、产排污设施载入排污许可证,具体内容见报告书各章节。根据固定污染源排污许可分类管理名录(2019 年版),本项目属于三十四、计算机、通信和其他电子设备制造业 39电子原件及电子专用材料制造 398其他,登记管理。建设单位向国家排污许可系统提交固定污染源排污登记表,取得固定污染源排污登记回执。8.3.2信息公开制度信息公开制度排污许可要求企业应对相关信息予以公开,相关要求如下:1、公布方式:企业通过对外网站或报纸、广播、279、电视、厂区外的电子屏幕等便于公众知晓的方式公开自行监测信息。2、公开内容:企业名称、法人代表、所属行业、地理位置、生产周期、联系方式等。8.4 竣工环保验收内容竣工环保验收内容本项目竣工环保验收主要内容见下表。表8.4-1建设项目竣工环保验收一览表类别验收项目监测点位监测项目环境保护措施执行标准及验收要求废气纯化废气排气筒氟化物冷凝系统+两级碱洗系统+15m 排气筒(1#)大气污染物综合排放标准(GB16297-1996)表 2 新污染源大气污染物排放限值,排放速率严格 50%执行机加工粉尘厂界颗粒物设备自带布袋除尘装置处理在车间内无组织排放大气污染物综合排放标准(GB16297-1996)表280、 2 新污染源大气污染物排放限值碳化硅涂层产生氯化氢废气排气筒HCl抽风机+喷淋塔、旋流塔+15m 排气筒(2#)大气污染物综合排放标准(GB16297-1996)表 2 新污染源大气污染物排放限值废水生活污水废水总排口COD、pH、SS、氨氮、石油类化粪池电子工业水污染物排放标准(GB39731-2020)中表 1 水污染物排放限值超声清洗废废水总排口SS过滤处理xxxx科技有限公司半导体用碳化硅/化学气相沉积碳化硅制品项目环境影响报告书118水沉积废气吸收废水废水总排口SS化粪池地面清洁废水废水总排口SS化粪池噪声噪声厂界四周噪声低噪声设备、隔声减振措施工业企业厂界环境噪声排放标准(GB1281、2348-2008)中的3类标准固体废物危险废物废润滑油、废桶危险废物贮存污染控制准(GB18597-2023)一般固废项目产生的废弃包装材料,分类收集外售一般工业固体废物贮存和填埋污染控制标准(GB18599-2020)项目产生的不合格产品统一收集委外处理项目产生的氟化钙统一收集委外处理,用于水泥厂制水泥生活垃圾生活垃圾经垃圾桶分类收集,由园区环卫部门清运xxxx科技有限公司半导体用碳化硅/化学气相沉积碳化硅制品项目环境影响报告书119第第 9 章章产业政策符合性、环境可行性产业政策符合性、环境可行性9.1产业政策符合性产业政策符合性本项目行业类别为 C3985 电子专用材料制造,根据产业结282、构调整指导目录(2019 年本)及其 2021 年修改单,本项目生产的半导体用碳化硅制品属于“第一类鼓励类”的“第二十八、信息产业”中第 22 类“半导体、光电子器件、新型电子元器件(片式元器件、电力电子器件、光电子器件、敏感元器件及传感器、新型机电元件、高频微波印制电路板、高速通信电路板、柔性电路板、高性能覆铜板等)等电子产品用材料”,属于鼓励类项目。根据市场准入负面清(2022 年版),项目不在负面清单规定的范畴。根据部分工业行业淘汰落后生产工艺装备和产品指导目录(2010 年本),项目未使用淘汰落后的生产工艺装备,未生产淘汰落后的产品。因此,本项目的建设符合国家产业政策要求。9.2政策文283、件、规划符合性政策文件、规划符合性9.2.1与xx经济开发区规划相符性与xx经济开发区规划相符性根据xx经济开发区(扩区)控制性详细规划:规划区北至龙城路,西至26 号道路,南至雷洲路(S313),东至 24 号道路、25 号道路。规划用地面积为 247.33公顷。规划形成“一带三区”的总体空间结构。“一带”是指沿渌湘大道两侧形成的产业发展带。“三区”分别为产业转移导入区、动能转换升级区、新兴产业培育区。产业转移导入区:以新材料及装备制造类企业为核心,重点发展高性能纤维及复合材料;动能转换升级区:以创新型项目为核心,重点开展技术研究;新兴产业培育区:以退二进三及产业转移类项目为核心,重点发展电284、子信息及汽车零部件加工。本项目选址于西创智能制造产业园内,位于新兴产业培育区。本项目为半导体用碳化硅制品项目,属于电子专用材料行业,符合园区产业定位。9.2.2与园区准入条件的符合性分析与园区准入条件的符合性分析根据xx省生态环境厅下发的关于xxxxxx经济开发区环境影响报告书的批复(湘环评2013116 号):规划总控制面积为 11.74km2,由湾塘工业园(2.97km2)和南洲新区(8.77km2)两个片区组成。湾塘工业园主导产业为机械、电子xxxx科技有限公司半导体用碳化硅/化学气相沉积碳化硅制品项目环境影响报告书120行业,南洲新区以机械装备制造业、服装加工业和电子信息业为主导、辅以285、食品加工行业。根据xx省生态环境厅下发的关于xxxxxx经济开发区规划环境影响跟踪评价工作意见的函(湘环评函202310 号),南洲新区产业片区的主导产业为机械装备制造业、服 装等轻工业和电子信息业,辅以食品加工业等产业。本项目为电子专用材料产业,符合xx经济开发区发展定位,同时不属于国家禁止发展和淘汰的能耗物耗高、环境污染严重、不符合产业政策、不符合准入条件的建设项目;无重金属废水、持久性有机污染物排放,因此,本项目的建设符合规划环评审查意见要求。表9.2-1南洲新区产业结构准入条件一览表行业类别入区相关要求机械制造业加工优先发展轨道交通装备及配件、航空动力机械、汽车零部件、摩托车及配件以及286、其他专用设备等企业。适当发展符合产业结构调整指导目(2011年本)中的机械制造鼓励类行业。限制上传规模不达产业政策的机械制造项目;限制发展矿用搅拌、浓缩、过滤设备制造项目;限制发展三轮汽车、低速载货车项目;普通剪板机折弯机、弯管机、普通高速钢钻机、锨刀等制造项目;等各种属于限制上传的机械制 造项目。禁止高能耗、高污染、机械铸造和电镀等企业入园。服装等轻工业优先发展一批服料和拉链、扣子等配件企业。适当发展符合产业结构调整 指导目录(2011 年本)中的纺织、轻工鼓励类行业。限制单线产能小于10万吨/年的常规聚酯(PET)连续聚合生产装置等产业机构调整指导目录(2011 年本)中的纺织、轻工限制类287、行业。禁止发展产业结构调整指导目录(2011 年本)纺织、轻工行业淘汰类的企业。电子信息业优先发展电子信息产业中的硬件生产(线路板等涉重金属及水污染严重的项目除外)等符合产业结构调整指导目录(2011 年本)中的信息产业鼓励 类行业。限制激光视盘机生产线(VCD 系列整机产品)等产业结构调整指导目录(2011 年本)中的信息类限制类行业。禁止高能耗、高污染等电子信息业产业结构调整指导目录(2011 年本)中的信息类限制类行业。食品加工优先发展无公害食品的深加工、饮料、果汁,营养性健康大米、小麦粉及制 品的开发生产,传统主食工业化生产;杂粮加工专用设备的研究生产;粮油 加工副产物综合利用关键技术288、的开发应用;其他符合产业结构调整指导目 录(2011 年本)中的食品加工鼓励类行业。限制糖精等化学合成甜味剂生产线等产业结构调整指导目录(2011 年本)中的食品加工类限制类行业。禁止发展产业结构调整指导目录(2011 年本)食品加工类淘汰类企业。xxxx科技有限公司半导体用碳化硅/化学气相沉积碳化硅制品项目环境影响报告书1219.2.3 与xx省与xx省“两高两高”项目管理目录符合性分析项目管理目录符合性分析根据xx省“两高”项目管理目录(湘发改环资2021968 号)的对照核查,本项目不属于“两高”项目。本项目为电子专用材料产业,符合xx经济开发区发展定位;生产方法、生产工艺、生产设备符合289、国家相应产业政策要求,均能达到国内同行业清洁生产先进水平;本项目为低能耗、低污染的建设项目,废水、废气、噪声及固废均有完善、成熟的污染防治技术。9.2.4与xx省大气污染防治条例符合性分析与xx省大气污染防治条例符合性分析根据 xx省大气污染防治条例 第二十七条,省人民政府环境保护主管部 门应当会同大气污染防治重点区域的设区的市、自治州人民政府按照 中华人民 共和国大气污染防治法规定实施大气污染联合防治。在大气污染重点区域城市 建成区内禁止新建、扩建钢铁、水泥、有色金属、石油、化工等重污染企业以及 新增产能项目。省人民政府应当在长沙市、xx市、湘潭市和其他大气污染防治重点区域提前执行国家大气污290、染物排放标准中排放限值。本项目为电子专用材料产业,不是重污染项目;项目位于xx市xx区经济开发区西创智能制造产业园内,符合xx省大气污染防治条例的相关规定。9.2.5与xx经济带发展负面清单指南相符性分析与xx经济带发展负面清单指南相符性分析根据xx经济带发展负面清单指南(试行,2022 年版):1.禁止建设不符合全国和省级港口布局规划以及港口总体规划的码头项目,禁止建设不符合xx干线过江通道布局规划的过xx通道项目。2.禁止在自然保护区核心区、缓冲区的岸线和河段范围内投资建设旅游和生产经营项目。禁止在风景名胜区核心景区的岸线和河段范围内投资建设与风景名胜资源保护无关的项目。3.禁止在饮用水水291、源一级保护区的岸线和河段范围内新建、改建、扩建与供水设施和保护水源无关的项目,以及网箱养殖、放养畜禽、旅游等可能污染饮用水水体的投资建设项目。禁止在饮用水水源二级保护区的岸线和河段范围内新建、改建、扩建排放污染物的投资建设项目。8.禁止在xx干支流、重要湖泊岸线一公里范围内新建、扩建化工园区和化工项目。禁止在xx干流岸线三公里范围内和重要支流岸线一公里范围内新建、改建、扩建尾矿库、冶炼渣库和磷石膏库,以提升安全、生态环境保护水平为目的的改建除外。9.禁止在合规园区外新建、扩建钢铁、石化、化工、焦化、xxxx科技有限公司半导体用碳化硅/化学气相沉积碳化硅制品项目环境影响报告书122建材、有色、制292、浆造纸等高污染项目。10.禁止新建、扩建法律法规和相关政策明令禁止的落后产能项目。禁止新建、扩建不符合国家产能置换要求的严重过剩产能行业的项目。禁止新建、扩建不符合要求的“两高”项目。本项目位于xx市xx区经济开发区西创智能制造产业园内,不与园区准入条件相违背,不涉及相关敏感点,不属于xx经济带发展负面清单指南(试行,2022 年版)中禁止建设项目,符合其要求。9.2.6与xx省湘江保护条例符合性分析与xx省湘江保护条例符合性分析根据xx湘江保护条例(2018修订版),同时结合xx省第十四届人民代表大会常务委员会公告中xx省人民代表大会常务委员会关于废止、修改部分地方性法规的决定,对xx省湘江293、保护条例作出修改:将第四十九条第二款改为第二款、第三款,修改为:“禁止在湘江干流岸线一公里范围内新建、扩建化工园区和化工项目。“禁止在湘江干流岸线一公里范围内新建、改建、扩建尾矿库;但是以提升安全、生态环境保护水平为目的的改建除外。”本项目位于湘江干流沿岸,距离湘江最近约 1.8km。本项目属于电子专用材料产业,不属于新建、扩建化工园区和化工项目。因此,项目建设符合xx省湘江保护条例要求。xxxx科技有限公司半导体用碳化硅/化学气相沉积碳化硅制品项目环境影响报告书1239.2.7与xx省与xx省“十四五十四五”生态环境保护规划符合性分析生态环境保护规划符合性分析根据xx省“十四五”生态环境保护294、规划(湘政办发202161 号),推动产业结构绿色转型。加快建设绿色制造体系,持续推进工业新兴优势产业和“3+3+2”重点产业领域建设,围绕碳达峰、碳中和目标,在污染治理、资源综合利用、先进储能、燃料电池、碳捕集利用封存等方面突破一批关键技术。利用综合标准依法依规淘汰落后产能,严禁未经批准新增煤炭、钢铁、水泥、电解铝、平板玻璃等行业产能。坚决遏制“两高”项目盲目发展,全面梳理排查在建“两高”项目,科学有序推进拟建项目,严格落实污染物排放区域削减要求,对不符合规定的项目坚决停批、停建。在煤电、石化、化工、钢铁、有色冶炼、建材等行业,开展减污降碳综合治理。制定全省清洁生产审核实施方案,深入推进能源295、冶金、焦化、建材、有色、化工、印染、造纸、原料药、电镀、农副食品加工、工业涂装、包装印刷等行业强制性清洁生产审核,到 2025 年,全部落实强制性清洁生产审核方案要求,推动重点行业完成限制类产能装备的升级改造。积极推进建材、化工、铸造、印染、电镀、加工制造等产业集群提升改造,提高产业集约化、绿色化发展水平,积极探索工业园区和企业集群清洁生产审核试点。加强xx干支流系统治理。按照xx省沿江化工企业搬迁改造实施方案要求,沿江岸线1公里范围内严禁新建、扩建化工园区、化工生产项目;严禁现有合规化工园区在沿江岸线1公里范围内靠江扩建;安全环保达标的化工生产企业因生产需要可向背江一面逐步搬迁,2025年296、底前完成沿江化工企业搬迁改造任务。本项目位于xxxx经济开发区南洲新区科创产业园D9栋102号西侧距离湘江直线距离1.8km,不与xx省“十四五”生态环境保护规划相违背。9.2.8 xx省xx经济带发展负面清单实施细则符合性分析xx省xx经济带发展负面清单实施细则符合性分析根据xx省xx经济带发展负面清单实施细则(试行,2022年版)xx省推动xx经济带发展领导小组办公室文件;第九条,禁止在水产种质资源保护区的岸线和河段范围内新建排污口、实施非法围垦河道和围湖造田地等投资建设项目;第十五条,禁止在xxxx段和洞庭湖、湘江、资江、沅江、澧水干流岸线一公里范围内新建、扩建化工园区和化工项目。禁止在297、xxxx段岸线三公里范围内和湘江、资江、沅江、澧水岸线一公里范围内新建、改建、扩建尾矿库、冶炼渣库和磷石膏库,以提升安全、生态环境保护水平目的的改建除外。第十六条,禁止在合规园区外新建、扩建钢铁、石化、化工、焦化、建材、有色、制浆xxxx科技有限公司半导体用碳化硅/化学气相沉积碳化硅制品项目环境影响报告书124造纸等高污染项目。高污染项目严格按照生态环境部环境保护综合名录(2021年版)有关要求执行。第十七条,禁止新建、扩建不符合国家石化、现代煤化工等产业布局规划的项目。未通过认定的化工园区,不得新建、改扩建化工项目(安全、环保、节能和智能化改造项目除外)。第十八条,禁止新建、扩建法律法规和相298、关政策命令禁止的落实产能项目;对不符合要求的落后产能存量项目依法依规退出。禁止新建、扩建不符合国家产能置换要求的严重过剩产能行业(钢铁、水泥、电解铝、平板玻璃、船舶等行业)的项目。对确有必要新建、扩建的,必须严格执行产能置换实施办法,实施减量或等量置换,依法依规办理有关手续。禁止新建、扩建不符合要求的高耗能高排放项目。本项目位于xxxx经济开发区南洲新区科创产业园D9栋102号,该园区属于合规园区,西侧距离湘江直线距离1.8km;无生产废水外排,生活污水进入南洲新区污水处理厂,为间接排放。根据xxxxxx经济开发区环境影响报告书(报批稿)(湘环评2013 116号):“已引进的物理混合日化品项299、目将保留,县城整合的污染较轻的轻工业(含化学反应过程)企业可以搬迁至南洲新区,不得新引进污染严重的化工行业;对于xx县整合现已存在的污染较轻的医药和化工企业,已入园的物理混合日化品的项目和污染较轻的医药企业予以保留,不得新引进与产业定位不相符合的精细化工企业”。本项目属于半导体用碳化硅制品行业,生产工艺较简单,污染物主要为少量的颗粒物、氟化物和氯化氢,不属于园区规划环评明确禁止引入的污染严重的化工行业及精细化工行业。综上所述,本项目不与xx省xx经济带发展负面清单实施细则(试行,2022年版)相违背。xxxx科技有限公司半导体用碳化硅/化学气相沉积碳化硅制品项目环境影响报告书1259.2.9与300、土壤污染防治政策符合性分析与土壤污染防治政策符合性分析本项目与 土壤污染防治行动计划(国发201631号)符合性分析详见表9.2-2。表9.2-2项目与土壤污染防治行动计划符合性分析一览表序号相关要求项目情况符合情况1各地要将符合条件的优先保护类耕地划为永久基本农田,实行严格保护,确保其面积不减少、土壤环境质量不下降,除法律规定的重点建设项目选址确实无法避让外,其他任何建设不得占用。项 目 土 地 利 用性 质 为 二 类 工业用地,购买标准厂房符合2严格用地准入。将建设用地土壤环境管理要求纳入城市规划和供地管理,土地开发利用必须符合土壤环境质量要求。地方各级国土资源、城乡规划等部门在编制土地301、利用总体规划、城市总体规划、控制性详细规划等相关规划时,应 充分考虑污染地块的环境风险,合理确定土地用途。项目用地属于二类工业用地,符合土壤环境质量要求符合3防范建设用地新增污染。排放重点污染物的建设项目,在 开展环境影响评价时,要增加对土壤环境影响的评价内容,并提出防范土壤污染的具体措施;需要建设的土壤污染防 治设施,要与主体工程同时设计、同时施工、同时投产使 用;有关环境保护部门要做好有关措施落实情况的监督管 理工作。自 2017年起,有关地方人民政府要与重点行业 企业签订土壤污染防治责任书,明确相关措施和责任,责 任书向社会公开。项 目 评 价 报 告中 设 置 了 对 土壤 环 境 影302、 响 的评 价 内 容 及 明确 了 防 范 土 壤污染措施符合4强化空间布局管控。加强规划区划和建设项目布局论证,根据土壤等环境承载能力,合理确定区域功能定位、空间布局。鼓励工业企业集聚发展,提高土地节约集约利用水平,减少土壤污染。严格执行相关行业企业布局选址要求,禁止在居民区、学校、医疗和养老机构等周边新建有色金属冶炼、焦化等行业企业;结合推进新型城镇化、产业结构调整和化解过剩产能等,有序搬迁或依法关闭对土壤造成严重污染的现有企业。结合区域功能定位和土壤污染防治需要,科学布局生活垃圾处理、危险废物处置、废旧资源再生利用等设施和场所,合理确定畜禽养殖布局和规模。项 目 不 属 于 有色金属冶303、炼、焦化等行业企业符合5加强工业废物处理处置。全面整治尾矿、煤矸石、工业副产石膏、粉煤灰、冶炼渣、电石渣、铬渣、砷渣以及脱硫、脱硝、除尘产生固体废物的堆存场所,完善防扬散、防流失、防渗漏等设施,制定整治方案并有序实施。加强工业固体废物综合利用。对电子废物、废轮胎、废塑料等再生利用活动进行清理整顿,引导有关企业采用先进适用加工工艺、集聚发展,集中建设和运营污染治理设施,防止污染土壤和地下水。自2017年起,在京津冀、长三角、珠三角等地区的部分城市开展污水与污泥、废气与废渣协同 治理试点。项目产生的固体废物在厂区内的暂存符合规范要求,能够得到合理处置。符合xxxx科技有限公司半导体用碳化硅/化学气304、相沉积碳化硅制品项目环境影响报告书1269.3选址合理性分析选址合理性分析9.3.1与周边环境的相容性与周边环境的相容性本项目位于xx市xx区经济开发区西创智能制造产业园内,同区域引入的企业主要有污染较轻的机械加工、硬质合金类企业,无重污染企业,且产业园建筑风格同周边工业厂房建筑基本无异。建议招商引资时,本项目周边 100m 范围禁止引入对气型污染物敏感企业,如南洲新区准入条件食品加工业,减少项目气型污染对食品安全的影响。科创产业园现已入驻的企业及后期入驻企业,均无对本公司生产经营造成重大影响的排放气型污染物的企业,本项目建设过程中及园区招商引资过程中注重环境保护和可持续发展,可实现与周围环境305、相协调。9.3.2环境功能符合性分析环境功能符合性分析由工程分析章节可知,本项目通过实施一系列“三废”治理措施,在采取有效污染治理措施后,气型、水型污染物可以做到达标排放,固体废物做到了综合利用和妥善处置。本项目所在地的环境空气属于二类功能区、水环境功能区划为类水质,噪声属于3类功能区。本项目生活污水经处理达标后排入市政污水管网,再进入南洲新区污水处理进行处理,最后经杨家港排入渌江,对地表水影响小;经预测分析可知,本项目投入生产后厂界噪声符合3类功能区要求,评价范围内声环境敏感点符合2类声功能区要求。本项目实施后废气的排放量较小,对环境的影响较小,外界环境质量基本可维持现状,可满足环境空气质量306、二类标准要求。在正常生产情况下,本项目对周围环境的贡献量较小,其增加量远低于环境质量相应标准,对周边环境及其环境保护目标影响较小,区域环境质量不会恶化,环境功能不会改变,当地环境质量仍能基本维持现状。9.3.3建设条件可行性分析建设条件可行性分析本项目厂址位于xx市xx区经济开发区西创智能制造产业园内,东、南、北侧紧邻园区内部道路,靠近渌湘大道、和谐大道、省道 S320 及在建的醴娄高速,项目地交通较便捷。建设地地质稳定,符合用地要求;区域水、电、交通、通讯等基础设施较完善;项目区域生态环境一般,周边近距离无特殊敏感点,且xxxx科技有限公司半导体用碳化硅/化学气相沉积碳化硅制品项目环境影响报307、告书127无文物和自然保护地带,无明显制约因素。项目营运期产生的各类污染物经采取合理措施后,都能实现达标排放和得到有效控制。9.3.4项目制约性分析项目制约性分析本项目选址无明显的环境制约因素。9.3.5选址合理性结论选址合理性结论综上所述,本项目建设符合国家产业政策,符合xx区土地利用规划及南洲新区的土地利用规划要求,项目用地范围内基础设施较完善,在落实本评价提出的环境保护措施的前提下本项目建设对周边环境影响较小。本项目选址合理。9.4平面布局合理性分析平面布局合理性分析(1)交通布局合理性本项目位于xx市xx区经济开发区西创智能制造产业园内,在厂房南部、东部、北部设有出入口,与产业园内部道308、路相通,交通较便捷;生产车间、仓储区均有车间内通道相通,交通组织合理,可满足项目的生产的需要。(2)厂区布局合理性建设项目根据生产工艺流程、运输、防火、环保等方面的需要进行厂区总体布置,本项目生产车间位于厂区中部、北部,仓库位于厂区南部、办公区位于厂房南部,有利于保护厂区外环境,远离办公生活区,并满足防火间距的要求。根据车间生产过程中火灾等级及毒物危害程度分级进行分类、分区布置。合理划分管理区、工艺生产区、辅助生产区及储运设施区,各区按其危害程度采取相应的安全防范措施进行管理。车间内设备按照工艺流程呈线性布置,形成流水线操作,工艺衔接流畅。整个生产过程从原料到产品物料输送顺畅便利,物流短捷,人309、流、物流互不交叉干扰,有利于减少物料输送的距离,节约能耗,有利于生产过程中的劳动保护和环境管理。项目车间总平面布局综合考虑防火、降噪和卫生等要求,满足使用功能及生产工艺要求。各建筑单体与相邻的建筑物的防火间距与安全间距满足 建筑设计防火规 范的要求,建筑单体周围形成环形通道,满足消防车的通行,消防车道设计符合 建筑设计防火规范的要求。(3)设施设备设置合理性甲基三氯硅烷储罐位于车间内东北角,甲基三氯硅烷储罐以南依次为为 4 台xxxx科技有限公司半导体用碳化硅/化学气相沉积碳化硅制品项目环境影响报告书128CVD 化学气相沉积炉、1 台纯化炉;车间东侧从北往南依次为 CVD 仓库、成品仓库、研310、磨室、清洗烘干室;车间西侧从北往南危废暂存间、一般固废暂存间、2台 CVD 化学气相沉积炉、1 台纯化炉、包装车间、办公室;车间南侧为三层结构,一层为研发检验室及企业文化展厅,二、三层为办公区;车间西南侧为 CNC 车间和产品检测室。上述布置按生产流程顺序、按功能分区,同类型设备适当集中布置,便于管理,有利于改善厂房内生产环境,满足规范要求,总平面布置比较合理。9.5“三线一单三线一单”相符性相符性9.5.1生态保护红线生态保护红线本项目位于xx市xx区经济开发区西创智能制造产业园内,区域属于国家层面重点开发区,不属于xx省生态保护红线划定方案中的重点生态功能区生态保护红线、生态敏感区生态保护311、红线、国家级和省级禁止开发区生态保护红线、其他各类保护地生态保护红线,不会导致评价范围内生态服务功能下降,符合xx省生态保护红线划定方案要求。9.5.2环境质量底线环境质量底线大气评价因子评价指数均小于 1,说明大气质量较好,有一定环境容量;根据地表水(环境)功能区划,各监测因子评价指数均小于 1,达到类水质,满足水质功能区划要求;昼夜间厂界噪声均符合 声环境质量标准(GB3096-2008)中 3 类标准;地下水除锰、铁超标,其余各监测因子均能达到地下水质量标准(GB/T14848-2017)中的类标准要求;所在区域内的土壤监测项目均能满足 土壤环境质量建设用地土壤污染风险管控标准(GB36312、600-2018)中的第二类用地筛选值,该区域内的土壤质量较好,未受污染。经过预测分析可知,运营期产生的污染物均能达标排放,污染物贡献浓度低,不会突破环境质量底线。9.5.3资源利用上线资源利用上线能源:项目营运过程中生活、生产用能采用电能,属于清洁能源,不涉及水资源利用上线。水资源:项目营运过程中消耗一定量的水资源等,其中水资源消耗全部来源于市政供水管网,用水量较少;且冷却水循环使用;不会突破区域的水资源利用上线。xxxx科技有限公司半导体用碳化硅/化学气相沉积碳化硅制品项目环境影响报告书129土地资源:本项目用地现为二类工业用地,不会园区土地利用现状;建设单位购买标准厂房进行项目建设,提高313、土地资源利用效率,不会对土地资源产生明显影响。9.5.4生态环境准入清单生态环境准入清单本项目位于xx市xx区经济开发区西创智能制造产业园内,项目不与园区准入条件相违背。且不在市场准入负面清单(2019 年版)内;同时,根据湖南省新增 19 个国家重点生态功能区产业准入负面清单(试行),本项目不与之相违背,环评预计项目各污染物能做到达标排放。因此,本项目不在该功能区负面清单内。xx市人民政府关于实施“三线一单”生态环境分区管控的意见(株政发20204 号)不含省级以上的园区。根据xx省“三线单”生态环境总体管控要求暨省级以上产业园区生态环境准入清单(湘环函2020 142 号)相关要求,本项目314、不与省级以上产业园区生态环境总体管控要求(四大片区)相违背;本项目与(湘环函2020 142 号)xxxxxx经济开发区的管控要求分析对比见表 9.5-1。xxxx科技有限公司半导体用碳化硅/化学气相沉积碳化硅制品项目环境影响报告书130表9.5-1本项目与xxxx经济开发区管控要求分析对比管控要求本项目判定空间布局约束(1.1)园区限制发展重气型污染源和排水量大企业,禁止外排水污染物涉及重金属的项目和涉及一类污染物、持久性有机物的水型污染企业进入。(1.1)本项目外排废水不涉及重金属项目、一类污染物、持久性有机物。符合污染物排放管控(2.1)废水:经开区排水实施雨污分流。南洲新区:工业企业排315、放工业废水须经预处理达 标后进入污水处理厂进行深度处理。禁止重金属 废水排入污水处理厂。污水处理厂处理后尾水通 过污水管排入东侧排水渠,随后排入渌江。加强 工业集聚区废水治理。加强重点行业废水污染源 治理,完成印染纺织等行业清洁化改造工作。(2.2)废气:加强企业管理,入区企业的废气 须经处理达到国家、地方排放标准;采取有效措 施,减少企业废气的无组织排放。全面完成表面 涂装、家具制造、印刷行业的达标改造,完成工 业企业的无组织排放环境治理。(2.3)固废:做好经开区工业固体废物和生活 垃圾的分类收集、转运、综合利用和无害化处理,建立统一的固废收集、贮存、运输、综合利用和 安全处置的运营管理体316、系。(2.4)园区内涉锅炉大气污染物排放应满足湖南省生态环境厅关于执行污染物特别排放限值(第一批)的公告中的要求。(2.1)项目外排污水处理达到污水综合排放标准(GB8978-1996)三级标准后进入园区污水处理厂进行深度处理。项目不涉及禁止重金属废水。(2.2)项目废气经处理可达到国家、地方相应排放标准;采取了车间封闭、排气筒等有效措施,减少企业废气的无组织排放。(2.3)项目固体废物和生活垃圾均得到妥善处置。(2.4)项目不涉及锅炉。符合环境风险防控(3.1)园区应建立健全环境风险防控体系,严 格落实 xxxxxx经济开发区突发环境事件 应急预案 的相关要求,严防环境突发事件发生,提高应急317、处置能力。(3.2)园区可能发生突发环境事件的污染物排放企业,生产、储存、运输、使用危险化学品的 企业,产生、收集、贮存、运输、利用、处置危 险废物的企业等应当编制和实施环境应急预案;鼓励其他企业制定单独的环境应急预案,或在突 发事件应急预案中制定环境应急预案专章,并备案。(3.3)建设用地土壤风险防控:建立污染地块名录及其开发利用负面清单,开展污染地块土壤 环境状况调查评估,符合相应规划用地质量要求 的地块,进入用地程序,不符合利用要求的,进 行管控。建立土壤污染重点监管企业名单,加强 重点监管企业与工业园区的监管;规范工业废物 处理处置活动。(3.4)加大涉重金属行业污染防控力度。加大涉重318、企业治污与清洁生产改造力度;规划企 业无组织排放与物料、固体废物堆场堆存,稳步推进重点重金属减排工作。(3.1)项目将按照园区和 湖南xxxx经济开发区突发环境事件应急预案 的相关要求,严防环境突发事件发生,提高应急处置能力。(3.2)项目建成后,将编制 突发环境事件应急预案。(3.3)本项目不在污染地块名录及其开发利用负面清单。(3.4)本项目不涉重金属污染。符合xxxx科技有限公司半导体用碳化硅/化学气相沉积碳化硅制品项目环境影响报告书131资源开发效率要求(4.1)能源:管委会应积极推广清洁能源,不得引入和建设燃煤企业及排放工艺废气量大或复杂的企业。限于开发区企业引入的同步性难,热用户少319、,采用分散供热方式,各种锅炉须采取燃气和电锅炉,严禁燃煤锅炉上马。禁燃区按xx县人民政府办公室关于划定我县禁止使用高污染燃料范围的通知 禁止使用高污染燃料。园区2020年综合能耗为14.07万吨标煤,单位GDP能耗为0.4272吨标煤/万元;2025年综合能源消费量预测为18.71万吨标煤,单位GDP能耗为 0.355吨标煤/万元。(4.2)水资源:加强用水定额管理,推广先进的节水技术和污水处理技术,提高工业用水重复利用率。实行清洁、低耗、低排生产,限制高耗水、高污染型工业项目建设。xx区到2020年万元工业增加值用水量比2015年下降25%。(4.3)土地资源:强化土地集约利用,严格执行土地320、使用标准,加强土地开发利用动态监管。制定发布不同产业园区不同项目的用地投资定额标准,确保省级产业园区不低于200万元/亩。(4.1)能源:项目不涉及燃煤,采用电能,不属于xx县人民政府办公室关于划定我县禁止使用高污染燃料范围的通知 禁止使用高污染燃料。(4.2)水资源:项目加强用水定额管理,冷却水循环使用不外排。(4.3)土地资源:项目投资12000万元,占地约4.05亩,合计2962.96万元/亩,符合规范要求。符合综上,项目符合“三线一单”相关要求。xxxx科技有限公司半导体用碳化硅/化学气相沉积碳化硅制品项目环境影响报告书132第第 10 章章 环境影响评价结论环境影响评价结论10.1 321、项目项目基本情况基本情况项目名称:项目名称:半导体用碳化硅/化学气相沉积碳化硅制品项目建设单位:建设单位:xxxx科技有限公司建设地点:建设地点:xx市xx区经济开发区西创智能制造产业园内(中心经纬度:113.129104E,27.667193N),项目地理位置图见附图 1建设性质:建设性质:新建行业代码行业代码:C3985 电子专用材料制造项目投资:项目投资:项目总投资 12000 万元,其中环保投资 240 万元,占项目总投资的2%。劳动定员及工作制劳动定员及工作制度度:项目劳动定员 40 人,生产车间实行三班制,每班 8 小时。办公室实行单班制,每班 8 小时。每年工作 300 天。不设322、食堂和宿舍。10.2 环境质量现状环境质量现状评价结论评价结论1、环境空气、环境空气根据xx市生态环境局发布的2022 年xx市生态环境状况公报,2022 年渌口区大气环境质量主要指标中 PM2.5、SO2、NO2、PM10年平均质量浓度、CO 24 小时平均第 95 百分位数浓度、O38 小时平均第 90 百分位数浓度均能满足 环境空气质量标准(GB3095-2012)中二级标准要求,属于环境空气质量达标区。其他污染物氟化物的日均值能满足环境空气质量标准(GB3095-2012)二级标准要求,氯化氢的小时值能满足环境影响评价技术导则 大气环境(HJ2.2-2018)中附录 D 表 D.1 相323、关参考限值。2、地表水环境、地表水环境渌江入河口断面和菜码头渡口断面各水质监测因子均符合 地表水环境质量标准(GB3838-2002)类标准。本项目所在区域地表水环境质量较好。3、地下水环境、地下水环境项目区域地下水评价范围内的 5 个监测点,除铁、Mn 外,其他监测因子均能达到 III 级标准要求。铁出现超标现象,最大超标倍数为 16.93 倍,锰出现超标的监测点 D1、D2 点,最大超标倍数为 107 倍。xxxx科技有限公司半导体用碳化硅/化学气相沉积碳化硅制品项目环境影响报告书133铁、锰指标出现超标可能是局部地区天然地球化学地质背景值偏高的缘故,因为白垩系泥质粉砂岩本身就有高锰(呈紫324、红色)特点,在低氧化还原电位背景下就可能出现铁锰超标。4、声环境质量现状、声环境质量现状项目厂界各监测点昼夜声环境均能满足声环境质量标准(GB 3096-2008)中的3类标准要求;项目200m范围内声环境敏感点能满足 声环境质量标准(GB 3096-2008)中的2类标准要求。5、土壤环境质量现状、土壤环境质量现状本项目共布设了3个土壤现状监测点,T2完成了45项指标的测试,各指标均未超过土壤环境质量标准建设用地土壤污染风险管控标准(试行)(GB36600-2018)中第二类用地筛选值标准。10.3 环境影响及环保措施环境影响及环保措施1、大气环境、大气环境本项目营运过程中,废气主要包括石墨325、纯化过程中产生氟化物和氟气等废气、机加工过程产生粉尘、碳化硅沉积过程中产生氯化氢废气、人工打磨产生的粉尘等。本项目采用“冷凝系统+两级碱洗系统+15m 排气筒(1#)”的措施处理纯化废气,采用“抽风机+喷淋塔、旋流塔+15m 排气筒(2#)”的措施处理碳化硅涂层废气,利用设备自带布袋除尘装置处理机加工粉尘;参考排污许可证申请与核发技术规范电子工业(HJ1031-2019)、排污许可证申请与核发技术规范 总则(HJ942-2018)推荐的污染防治可行性技术,本项目采取的各类废气污染防治措施均属于可行技术。通过预测结果可知,正常情况下项目的颗粒物最大落地浓度为 0.03838g/m3、占标率为 0326、.01%,氟化物的最大落地浓度为 0.862g/m3,占标率为 4.31%,氯化氢的最大落地浓度为 2.311g/m3,占标率为 4.62%;根据 环境影响评价技术导则 大气环境(HJ2.2-2018)规定,本项目大气评价等级为二级,不再进行进一步预测评价,从估算结果可以看出,项目对周边环境空气中的贡献率不高,对周围环境空气不会造成明显影响。xxxx科技有限公司半导体用碳化硅/化学气相沉积碳化硅制品项目环境影响报告书1342、地表水环境、地表水环境本项目生活污水经化粪池处理后进园区污水管网,超声清洗废水经过滤后进园区污水管网,地面清洁废水经化粪池处理进园区污水管网,纯化废气碱喷淋废水、冷凝用水327、循环利用,不外排;沉积废气碱喷淋废水经调整 pH 值后外排。本项目外排废水经园区污水管网收集后经由市政污水管网排放至南洲污水处理厂,处理达标后排入渌江,最终汇入湘江。经分析可知,南洲新区污水处理厂具备接纳项目污水处理能力,能确保污水经处理达到城镇污水处理厂污染物排放标准(GB18918-2002)一级 A 标准。项目依托措施可行,措施有效,对地表水环境影响较小,对杨家港、渌江水环境影响可接受。3、地下水、地下水在运营期内的正常状况下,本项目不会对地下水环境产生影响。项目在严格落实废气处理设施、污泥池、危废暂存间等的防渗防腐措施,加强生产管理,杜绝生产中的物料泄漏或跑冒滴漏的前提条件下,对地下水328、环境影响可接受。4、声环境、声环境建设项目正常营运时,在采取隔声、消声、减振等措施处理后,噪声贡献值较小,厂界噪声满足工业企业厂界环境噪声排放标准(GB12348-2008)3类标准要求,周边200m处居民点能满足声环境质量标准(GB3096-2008)2类标准限值。项目的建设不会对附近声环境质量产生明显不利影响。5、固体废物、固体废物本项目产生的各类固体废物采取分类收集、分区存放、分别处置的处理方案,建设单位建立全厂统一的固体废物分类制度,建设固定固体废物分区存放场地,并严格按照各类固体的废物的性质外委处置。项目的固体废物处理与处置得当,对周围环境影响不大,环境影响可以接受。6、土壤环境、土329、壤环境本项目主要考虑大气沉降对土壤的影响。根据预测,本项目外排废气中氟化物、氯化氢的沉降对土壤环境影响很小,土壤环境影响可以接受。7、环境风险评价结论、环境风险评价结论项目虽然存在发生环境风险事故的可能性,但在严格落实报告书提出的环境风险防范措施前提下,项目环境风险可防控。当发生事故时,建设单位应严格按照应急预xxxx科技有限公司半导体用碳化硅/化学气相沉积碳化硅制品项目环境影响报告书135案要求采取必要的风险防范措施,在采取各项风险防范及管理措施后,项目环境风险可控。10.4公众参与公众参与本项目建设于xx市xx区经济开发区西创智能制造产业园内,按照环境影响评价公众参与办法 生态环境部令 第330、 4 号第三十一条要求“对依法批准设立的产业园区内的建设项目,若该产业园区已依法开展了规划环境影响评价公众参与且该建设项目性质、规模等符合经生态环境主管部门组织审查通过的规划环境影响报告书和审查意见,建设单位开展建设项目环境影响评价公众参与时,可以按照以下方式予以简化:(一)免予开展本办法第九条规定的公开程序,相关应当公开的内容纳入本办法第十条规定的公开内容一并公开”。本项目在环评互联网网站、报纸、建设项目所在地进行此项目公示,公示是时间为:2023 年 10 月 7 日。在公示期间未收到公众反馈的建设项目环境影响评价公众意见表,说明评价范围内的公众均默认本项目的建设。建设方应加强环保力度,保331、证污染物达标排放。10.5 环境影响经济损益分析环境影响经济损益分析本项目的综合效益较为明显,项目运营所产生的环境影响在可接受范围内,在做好污染防治措施和风险防范措施的前提下,本项目从环境经济效益分析上是可行的。10.6环境管理与环境监测计划环境管理与环境监测计划项目应建立健全环保监督、管理制度和管理机构。建设单位应根据本报告提出的环境监测计划结合项目实际情况完善、落实监测计划。10.7 总量控制总量控制建设单位需申购的总量指标为COD:0.03t、NH3-N:0.01t。本次所需总量指标由建设单位向当地环保部门申请确认,并通过排污权交易的方式获得。10.8 建设项目合理合法性结论建设项目合理332、合法性结论本项目主要产品为半导体用碳化硅制品(C3985 电子专用材料制造)。根据产业结构调整指导目录(2019 年本)及其 2021 年修改单,本项目生产的半导体用碳化硅制品属于“第一类鼓励类”的“第二十八、信息产业”中第 22 类“半导体、光电子器件、xxxx科技有限公司半导体用碳化硅/化学气相沉积碳化硅制品项目环境影响报告书136新型电子元器件(片式元器件、电力电子器件、光电子器件、敏感元器件及传感器、新型机电元件、高频微波印制电路板、高速通信电路板、柔性电路板、高性能覆铜板等)等电子产品用材料”,属于鼓励类项目”。符合国家产业政策。本项目拟建于xxxx经济开发区内,项目建设符合该区域“333、三线一单”控制要求,符合xx经济开发区(扩区)控制性详细规划、规划环评审查意见等区域规划文件的相关要求;项目选址符合xx省湘江保护条例、湘发改园区2022601 号文相关要求;项目建设、生产运营过程中采取的污染防控措施及污染物排放情况能够满足大气污染防治行动计划、水污染防治行动计划、xx省“两高”项目管理目录、xx省xx经济带发展负面清单实施细则(试行,2022 年版)等相关文件要求。本项目建设平面布局合理,按生产流程顺序、按功能分区,同类型设备适当集中布置,便于管理,有利于改善厂房内生产环境,满足规范要求;环境影响预测表明项目废气排放正常工况时项目对周边环境敏感点影响很小;风险影响分析结论表明在事故风险情况下,通过采取相应的环境风险防范措施可确保项目环境风险可控,不存在明显环境制约因素。10.9 综合结论综合结论xxxx科技有限公司半导体用碳化硅/化学气相沉积碳化硅制品项目符合国家产业政