1、xxxx半导体有限公司高性能激光器项目环境影响报告书（报批稿）xxxx环境建设有限公司二二三年一月高性能激光器项目环境影响报告书 目 录1 概述 11.1 建设项目特点11.2 环境影响评价的工作过程31.3 分析判定相关情况41.4 本环评关注的主要环境问题71.5 环境影响评价的主要结论72 总则 82.1 编制依据82.2 环境影响因素识别与评价因子筛选132.3 评价标准142.4 评价工作等级252.5 评价范围及环境敏感区292.6 相关规划及政策符合性分析323 建设项目概况及工程分析493.1 基本概况493.2 项目工程分析543.3 清洁生产水平944 环境质量现状调查与评2、价974.1 自然环境概况974.2 环境质量现状与评价994.3 区域污染源调查1145 环境影响预测与评价1155.1 施工期影响分析1155.2 大气环境影响分析1165.3 地表水环境影响分析1275.4 地下水环境影响分析1325.5 声环境影响分析1395.6 固体废物影响分析1435.7 土壤环境影响分析1465.8 生态环境影响分析150xxxx环境建设有限公司Ixx市xx区上塘路 329 号5.9 环境风险影响评价1516 环境保护措施及其可行性分析1646.1 废气污染防治措施及可行性分析1646.2 地表水污染防治措施及可行性分析1726.3 地下水污染防治措施1766.3、4 噪声污染防治措施及可行性分析1776.5 固废污染防治措施及可行性分析1786.6 土壤保护措施1816.7 环境事故风险防范措施和应急管理要求1816.8 污染防治措施汇总1887 环境影响经济损益分析1907.1 xx设施投资估算 1907.2 经济效益分析1907.3 社会效益分析1907.4 环境损益分析1907.5 小结1918 环境管理、监测计划与总量控制1928.1 环境管理1928.2 总量控制和排污许可1938.3 排污口设置及规范化管理1968.4 环境监测计划1978.5 污染物排放清单1999 结论与建议 2049.1 基本结论2049.2 建设项目环境可行性分析24、119.3 公众意见采纳情况2159.4 建议和要求2169.5 总结论216附图：附图 1 项目所在地地理位置示意图附图 2 项目周围环境概况xxxx环境建设有限公司IIxx市xx区上塘路 329 号附图 3 项目周边实景图附图 4 项目生产车间布置图附图 5 xx区地表水环境功能区划图附图 6 xx市“三线一单”图集 -xx市市辖区环境管控单元分类图附图 7 xx大xx产业集聚区分区规划结构附图 8 xx大xx产业集聚区远期（ 2030 年）土地利用规划图附图 9 xxxx新区战略规划 -土地利用规划图附图 10- 1 项目环境空气、地表水环境监测点位示意图附图 10-2 项目环境噪声、土5、壤环境监测点位示意图附件：附件 1 xx省企业投资项目备案（赋码） 信息表附件 2 营业执照和名称变更通知书附件 3 土地证和厂房租赁合同附件 4 关于“高性能激光器项目室外附属工程”的协议附件 5 环境检测报告附件 6 纳管排放承诺书附件 7 危险废物处置承诺书附件 8 建设项目环境保护承诺书附件 9 环评文件确认书附件 10 授权委托书xxxx环境建设有限公司IIIxx市xx区上塘路 329 号附件 11 附件 12 附件 13附件 14附表：附表 1报告书信息公开说明材料审批前全文信息公开截图报告书评审会评审意见和修改反馈单专家复核意见和修改反馈单建设项目环境影响报告书审批基础信息表高性6、能激光器项目环境影响报告书 1 概述1.1 建设项目特点1.1.1 项目由来xxxx半导体有限公司成立于 2021 年 06 月 29 日， 注册地位于xx省xx市钱塘新区河庄街道青西二路 1099 号综合楼 602-69 号，经营范围包括一般项目：电子元 器件制造，光电子器件销售，电子专用材料制造，半导体器件专用设备制造，技术服 务、技术开发、技术咨询、技术交流、技术转让、技术推广， 软件开发， 5G 通信技术 服务（除依法须经批准的项目外，凭营业执照依法自主开展经营活动）。公司曾用名为xx集成电路（xx）有限公司， 于 2021 年 8 月 27 日办理了变更登记（见附件 2）。光电子技术7、是信息技术的核心技术之一，是继微电子技术之后迅猛发展的又一高 新技术。光电子技术几乎覆盖了信息的采集（成像）、信息的传输和显示、信息的存 储和处理等信息产业的所有功能， 具有强大的生命力和潜力。发展光有源器件，特别是高端激光器芯片，对于我国光通信的发展具有重要的意义。为了市场需要， xxxx半导体有限公司拟投资 10 亿元人民币， 租赁xx大xx地产开发有限公司坐落在xx大xx产业集聚区xx片区的厂房为生产场所，具体地址为xx市xx区东围路 599 号博潮城 6 幢北一层、二层，建设高性能激光器项目， 进行高性能激光器芯片的生产。项目分期实施，其中一期年产高性能激光器芯片 300 万颗， 二期8、年产高性能激光器芯片 700 万颗，共计 1000 万颗。本项目两期工程内容同步建设，二期增加少量生产设备，增加劳动人员，调整工作制度即可。本项目目前已在xx新区行政审批局进行备案赋码，项目代码 2106-330155-89-02-337432（见附件 1）。根据中华人民共和国环境影响评价法、建设项目环境保护管理条例、浙江省建设项目环境保护管理办法（2021 年修订） 中的有关规定， 本项目应进行环境影响评价，从xx角度论证项目建设的可行性。因此， xxxx半导体有限公司委托xxxx环境建设有限公司进行该项目的环境影响评价工作。本项目从事激光器芯片的生产，涉及到中间产品外延片的加工，外延片、激9、光器 芯片分别属于国民经济行业分类（GB/T4754-2017）中的 C 制造业中 C3985 电子 专用材料制造和 C3976 光电子器件制造。 项目生产工艺涉及到化学镀， 对照建设项目环境影响评价分类管理名录（2021 年版），本项目属于“三十六、计算机、通信xxxx环境建设有限公司1xx市xx区上塘路 329 号高性能激光器项目环境影响报告书 和其他电子设备制造业 39”“81 电子元件及电子专用材料制造 398”中的“半导体材 料制造”和“80 电子器件制造 397”及“三十、金属制品业 33 ”“67、金属表面处理及热处理加工”的“有电镀工艺的” 。按从严规定，判定为报告书。依据xx10、xx新区“区域环评 +环境标准”改革实施方案（xx管办发 201954 号） ，实施范围为原xx大xx产业集聚区（大xx新区） 分区规划环境影响报告书评价范围和大创小镇，未列入环评审批简化管理负面清单且满足环境准入要求的建设项目按照改革方案执行。xx管办发 201954 号文件改革不适用以下重污染、高环境风险的行业（负面 清单）：（1）环评审批权限在生态环境部、 xx省生态环境厅的项目；（ 2）编制环 境影响报告书的电磁类项目和核技术利用项目； （3）新建、扩建省生态环境厅确定的 重污染、高环境风险以及严重影响生态的项目；新建、 扩建环境功能区划中列入三类 工业（含工段） 的项目； （4）重点11、污染物（化学需氧量、氨氮、二氧化硫、氮氧化物、 挥发性有机物）排放量 0.5 吨/年及以上的项目；（5）涉及重金属项目；（6）生活垃圾处置项目、危险废物处置项目。本项目位于大xx产业集聚区（大xx新区）评价范围内，生产过程中使用到砷化氢，会产生类重金属砷及其化合物；且根据后文计算，本项目二期实施后重点污染物化学需氧量排放量0.5t/a。因此，本报告不作降级处理。我公司接受委托后， 组织人员在对项目建设地及其周边进行了现场踏勘、 监测和 调查等工作的基础上， 根据工程项目的环境影响特点，按照相关规范要求，编制了本项目的环境影响报告书（送审稿） 。2022 年 8 月 19 日，因疫情原因， xx12、省环境影响评价与环境监理行业协会以视频会议的形式，组织召开了本报告的技术评审会，后 环评单位根据技术评审会专家组意见对报告进行了修改完善，形成了报批稿。敬请报批。1.1.2 项目特点本项目主要特点有：（1）本项目主要从事高速激光器芯片的生产， 最终产品为芯片， 生产芯片所用的砷化镓外延片为自行生产，涉及到半导体材料加工。（2）本项目为新建项目，租赁已建成厂房进行生产， 只需对租赁厂房进行改造， 对甲类库、危废暂存库、一般固废仓库和废水处理设施建设，施工量较少，施工期影响主要为装修过程对环境的影响。xxxx环境建设有限公司2xx市xx区上塘路 329 号高性能激光器项目环境影响报告书 （3）本项13、目主要生产工艺有外延、沉积、金属蒸镀、化学镀金、镀透光膜、湿法 蚀刻、干法蚀刻、有机溶剂清洗等， 产生的废气包括工艺尾气（外延废气、沉积废气）、 酸性废气、有机废气，产生的生产废水包括酸洗废水、有机废水、研磨废液、切割清洗 废水、纯水制备装置废水、循环冷却系统定期排污水、废气洗涤塔排水等，固体废物主要包括危险废物及其他一般工业固体废物。（4）本项目各项污染物通过采取本环评建议的处理措施处理后，均可做到稳定达标排放，周围环境影响较小。1.2 环境影响评价的工作过程1、第一阶段：（1）按照建设项目环境影响评价技术导则-总纲（HJ2.1-2016）要求， 在接受 企业委托后， 研究国家和地方有关环境14、保护的法律法规、政策、标准及相关规划等，确定项目环境影响评价文件类型。（2）根据项目特点， 研究相关技术文件和其他有关文件， 明确本项目的评价重点， 识别环境影响因素、筛选评价因子， 对项目进行初步工程分析。对项目选址地进行实 地踏勘，对厂区及周围地区气象、水文、项目所在地周围污染源分布情况进行了调查分析，确定项目环境保护目标、环评工作等级、评价范围和标准。（3）制定工作方案2、第二阶段：（1）收集项目所在区域环境质量公报， 对项目所在区域环境现状资料进行收集和补充监测，并进行分析。（2）根据企业建设内容、同类型企业污染源调查情况， 建设单位提供的相关资料，完成建设项目工程分析章节，确定项目总15、量控制指标。（3）收集项目所在地环境特征资料包括自然环境、区域污染源情况， 完成环境现状调查与评价章节。（4）根据工程分析， 完成大气环境、水环境、声环境、地下水环境、土壤环境等环境要素影响分析、固废影响分析、环境风险分析等章节。3、第三阶段：（1）根据工程分析，完成环境保护措施及可行性论证章节。（2）根据建设项目环境影响情况， 完成环境影响经济损益分析、环境管理与监测计划章节的撰写。xxxx环境建设有限公司3xx市xx区上塘路 329 号高性能激光器项目环境影响报告书 第一阶段第二阶段第三阶段（3）完成环境影响评价书的编制工作。具体工作流程图见图 1.2- 1。环境影响评价委托 依据相关规定16、确定环境影响评价文件类型1 研究相关技术文件和其他有关文件 2 进行初步工程分析3 开展初步的环境现状调查1 环境影响识别和评价因子筛选2 明确评价重点和环境保护目标3 确定工作等级、评价范围和评价标准制定工作方案环境现状调查建设项目监测与评价工程分析1 各环境要素环境影响预测与评价 2 各专题环境影响分析与评价1 提出环境保护措施，进行技术经济论证 2 给出污染物排放清单3 给出建设项目环境影响评价结论编制环境影响报告书图 1.2-1 环评工作流程1.3 分析判定相关情况1.3.1 产业政策符合性判定本项目从事高速激光器芯片生产， 属于 C3976 光电子器件。对照产业结构调整 指导目录（217、019 年本）及其 2021 修改决定，属于“二十八、 信息产业 ”-“22、半导 体、光电子器件、新型电子元器件（片式元器件、电力电子器件、光电子器件、敏感 元器件及传感器、新型机电元件、高频微波印制电路板、高速通信电路板、柔性电路 板、高性能覆铜板等） 等电子产品用材料” ，为鼓励类产业； 对照外商投资准入特别管理措施（负面清单）（2021 年版）（发展改革委 商务部令 2021 年第 47 号），xxxx环境建设有限公司4xx市xx区上塘路 329 号高性能激光器项目环境影响报告书 本项目不属于负面清单项； 对照xx市产业发展导向目录与产业平台布局指引（2019） 年本和xx区产业发展导18、向目录与产业平台布局指引（钱政办发 20226 号）， 本项目属于“电子信息产品制造产业”中“电子专用设备仪器、新型元器件、新型显 示器件、电力电子器件、高性能电池、新型传感器、信息功能材料与器件、光电子器件、光机电组件、现代科学仪器设备、变流装置等电子器件的研发和产业化”，为鼓励类；对照xx大xx产业集聚区产业指导目录（试行） （大xx管 201432号），本项目不属于限制类、淘汰类。综上，本项目建设符合国家、 xx市相关产业政策要求。1.3.2 城市规划和土地规划分析判定情况本项目位于xx大xx产业集聚区xx片区，隶属于义蓬组团，规划为大型综合性工业发展基地， 根据企业提供的不动产权证书显19、示，所在地块用地性质为工业用地。因此本项目建设符合xx市城市总体规划要求。本项目从事高性能激光器芯片的生产，属于光电子器件制造，涉及到半导体的应用。项目选址位于xxxx新区战略规划 中的四组团的xx半导体与未来产业组团内，位于五大制造集群的半导体集群内。因此项目建设符合xxxx新区战略规划的要求。1.3.3 xx大xx产业集聚区（大xx新区）规划及规划环评分析判定情况本项目拟建于xx市xx区东围路 599 号博潮城，对照规划环评（调整报告）中环境准入条件区块图， 属于空间准入标准要求中七区块，根据环境准入条件清单表对 照。 本项目从事高速激光器芯片的生产，属于电子工业，不属于禁止准入类和限制准20、 入类项目；项目将采用先进的设计理念和生产装备，按照密闭化、自动化、信息化、 管道化要求进行设计、安装和生产， 并配套完善的“三废”治理设施；本项目能够落 实规划环评提出的主要环境影响减缓对策和措施，实施清洁生产，控制废气污染物排放，废水经预处理达标后纳入xx污水处理厂，危险固废无害化处置不外排，严格落实地下水污染防治措施，以减少项目实施对周边环境的影响，符合环境标准清单。因此，本项目建设总体符合xx大xx产业集聚区（大xx新区）分区规划环境影响报告书（调整报告） 相应要求。1.3.4 “三线一单”符合性判定1.生态保护红线本项目位于xx大xx产业集聚区xx片区，具体地址为xx市xx区东围路x21、xxx环境建设有限公司5xx市xx区上塘路 329 号高性能激光器项目环境影响报告书 599 号（坐标： 东经 120 28 48.41 ，北纬 30 21 20.98 ），此片区原属于xx区大xx产业集居区（大xx新区） ，该区域位于xx区大xx产业集聚重点管控单元 2（编码： ZH33010920013），周边不涉及自然保护区、风景名胜区、森林公园、湿 地公园、地质遗迹保护区、饮用水源保护地等各类保护地及其他河湖滨岸带、生态公 益林等生态功能极重要、生态功能极敏感的区域，也不涉及风景资源外围保护区、森 林公园缓冲区域、饮用水水源外围缓冲保护区、历史文化保护小区、生态保障区、水 源涵养与水土22、保持区、湿地保护区、环境绿带生态保障区、洪水调蓄保障区、江河滨岸带生态保障区等区域的一般生态空间，未触及xx省人民政府关于发布xx省生态保护红线的通知（浙政发201830 号）划定的生态保护红线。2.环境质量底线本项目所在区域的环境质量底线为：环境空气质量目标为环境空气质量标准 （GB3095-2012）二级标准及修改清单，水环境质量目标为地表水环境质量标准（GB3838-2002）类标准，土壤环境质量达到相应的土壤环境功能区要求。根据项目区域环境质量现状调查和现状监测数据分析：项目所在区域属于空气质 量不达标区， 超标因子为臭氧， 其他基本污染因子和特征因子满足相应环境标准要求； 项目所在区23、域地表水环境质量现状可以满足类水质标准要求，水环境质量较好；土 壤环境质量满足相应土壤环境功能区要求。本项目废水、废气经处理后均能达到相关 污染物排放标准，区域环境质量可维持现状， 不会明显改变项目所在区域环境功能区质量。因此，本项目的建设不会突破当地环境质量底线。3.资源利用上线本项目位于已建成工业园区内，生产、生活过程用水、用电等均能通过周边公共 设施供应，消耗的水资源相对较小； 企业通过内部管理、设备选择、原辅材料的选用 和管理、废物回收利用、污染治理等多方面采取合理可行的防治措施，以“节能、降 耗、减污”为目标，有效地控制污染；本项目单位产品的排水量一期为 3.07m3/片， 二 期建24、成后为 2.93m3/片， 满足电子工业水污染物排放标准（GB39731-2020）中单 位电子产品基准排水量中“6 英寸及以下芯片单位产品的基准排水量为 3.2m3/片”基准排水量指标的要求，因此本项目建设符合能源和水资源利用上线要求。4.生态环境准入清单本 项 目 所 在 地 属 于 “ 萧 山 区 大 江 东 产 业 集 聚 重 点 管 控 单 元 2 （编 码：ZH33010920013）”，项目从事高性能激光器芯片生产，对照xx省“三线一单”xxxx环境建设有限公司6xx市xx区上塘路 329 号高性能激光器项目环境影响报告书 生态环境分区管控方案， 属于二类工业项目，不属于市场准入25、负面清单（2022 年版）禁止准入类项目，也不属于xx大xx产业集聚区产业指导目录（试行）中禁止类及限制类项目，因此本项目符合区域生态环境准入清单。因此，本项目建设符合“三线一单”的准入要求。1.4 本环评关注的主要环境问题根据本项目的内容及方案，可以确定本项目关注的主要环境问题为：1.废气方面：主要关注项目各类废气的污染因子、污染源强及治理措施，评价污染物排放对区域环境尤其是周边敏感点的影响程度。2.废水方面：主要关注项目生产废水水量、水质及相应的废水收集系统、处理系统，评价生产废水污水处理厂可行性和对污水处理厂的负荷冲击。3.噪声方面：主要关注项目运营后园区厂界噪声达标可行性，以及对评价范26、围内声环境影响程度。4.固废方面：主要关注项目各类固废的处置措施和暂存区设置。5.地下水、土壤方面：主要关注项目不同区域的防渗措施和要求，避免废水、废液进入地下水系统，保护地下水、土壤环境不受影响。6.污染防治措施方面：对本项目拟设xx措施进行经济技术论证，确保污染物达标排放并满足总量控制要求。7.针对项目建设运行情况，对可能发生的事故风险进行环境影响情况分析，提出突发性事故防范对策和环境风险应急预案要求。1.5 环境影响评价的主要结论xxxx半导体有限公司高性能激光器项目拟建于xx市xx区东围路 599 号，租用已建厂房进行生产经营。项目选址符合xx市城市总体规划、 xx大xx产业集聚区（大27、xx新区）规划及规划环评的要求，符合自然生态红线、环境质量底线、资源利用上线及生态环境准入清单要求。项目的建设符合国家及地方产业政策，污染物 排放符合国家、省规定的排放标准及重点污染物排放总量控制指标， 符合环境风险防 范措施的要求。通过预测，项目实施后能维持当地的环境质量现状。同时，本项目的 建设，具有较好的经济效益、环境效益和社会效益。根据建设单位编制的公众参与说明材料，本项目环评期间未收到相关意见及建议。因此，从环境保护角度看，本项目的建设是可行的。xxxx环境建设有限公司7xx市xx区上塘路 329 号高性能激光器项目环境影响报告书2 总则2.1 编制依据2.1.1 国家相关的法律法规28、及文件（1） 中华人民共和国环境保护法 （2014 年修订， 2015 年 1 月 1 日施行）；（2） 中华人民共和国环境影响评价法 （2018 年第二次修正， 2018 年 12 月29 日起施行）；（3）中华人民共和国水污染防治法（2017 年修订， 2018 年 1 月 1 日起施行）；（4） 中华人民共和国大气污染防治法（2018 年 10 月 26 日第三次修正并施行）；（5） 中华人民共和国噪声污染防治法（2022 年 6 月 5 日施行）；（6） 中华人民共和国固体废物污染环境防治法（2020 年第二次修订，2020年 9 月 1 日施行） ；（7）中华人民共和国清洁生产促进法29、（2012 年修订， 2012 年 7 月 1 日施行）；（8） 中华人民共和国节约能源法（2018 年第二次修正， 2018 年 10 月 26 日施行）；（9） 中华人民共和国循环经济促进法（2018 年修订， 2018 年 10 月 26 日施行）；（10）危险化学品安全管理条例（2013 第二次修订， 2013 年 12 月 7 日施行）；（12） 建设项目环境保护管理条例（2017 年修订， 2017 年 10 月 1 日施行）；（13）排污许可管理条例（2021 年 3 月 1 日施行）；（14）国务院关于印发大气污染防治行动计划的通知（国发201337 号，2013 年 9 月 30、10 日施行）；（15）国务院关于印发水污染防治行动计划的通知（国发201517 号，2015年 4 月 2 日施行）；（16） 国务院关于印发土壤污染防治行动计划的通知（国发201631 号，2016 年 5 月 28 日施行）；（17） 国务院办公厅关于印发控制污染物排放许可制实施方案的通知（国办发201681 号，2016 年 11 月 10 日）；（18）工矿用地土壤环境管理办法（生态环境部令 第 3 号， 2018 年 8 月 1xx市xx区上塘路329 号8xxxx环境建设有限公司高性能激光器项目环境影响报告书日）；（19）环境影响评价公众参与暂行办法（生态环境部令 第 4 号， 31、2019 年 1月 1 日起施行）（20） 建设项目环境影响评价分类管理名录（生态xx部令第 16 号，2021年 1 月 1 日施行） ；（21） 关于进一步加强环境影响评价管理防范环境风险的通知（环发201277 号，2012 年 7 月 3 日）；（22） 关于切实加强风险防范严格环境影响评价管理的通知（环发201298 号，2012 年 8 月 7 日）；（23） 关于印发 的通知（环发2014197 号，2014 年 12 月 30 日）；（24） 关于印发的通知（环发20154 号， 2015 年 1 月 8 日）；（25）关于以改善环境质量为核心加强环境影响评价管理的通知（环环评32、2016150 号，2016 年 10 月 26 日）；（26） 关于落实实施区域差别化环境准入的指导意见（环环评2016190 号，2016 年 12 月 27 日）；（27）生态环境部关于加强高耗能、高排放建设项目生态环境源头防控的指导意见（环环评202145 号，2021 年 5 月 31 日）；（28）关于印发 的通知（环大气201953 号，2019 年 6 月 26 日）；（29） 危险废物转移管理办法（生态环境部 公安部 交通运输部 部令 第 23号 2022 年 1 月 1 日）；（30）推动长江经济带发展领导小组关于引发 的通知（推动长江经济带发展领导小组办公室文件， 长江办33、20227 号， 2022 年 1 月 19 日）。2.1.2 地方相关的法律法规及文件（1）xx省水污染防治条例（ 2020 年 11 月 27 日修正）；（2）xx省大气污防治条例（ 2020 年 11 月 27 日修正）；（3）xx省固体废物污染环境防治条例（ 2022 年 9 月 29 日修订， 2023 年 1xx市xx区上塘路329 号9xxxx环境建设有限公司高性能激光器项目环境影响报告书月 1 日施行）；（4）xx省建设项目环境保护管理办法（省政府令 388 号第三次修改， 2021年 2 月 10 日施行）；（5）xx省生态环境保护条例（ 2022 年 8 月 1 日起施行）34、；（6）xx省人民政府关于发布xx省生态保护红线的通知（浙政发 201830 号， 2018 年 7 月 20 日）；（7）xx省人民政府办公厅关于印发xx省排污许可证管理实施方案的通知（浙政办发201779 号， 2017 年 7 月 28 日）；（8）xx省生态环境厅关于发布 的通知（浙环发201922 号，2019 年 12 月20 日）；（9）xx省生态环境厅关于印发 的通知（浙环发20207 号， 2020 年 5 月 23 日）；（10）关于印发xx省 “十四五”挥发性有机物综合治理方案的通知（浙环发202110 号， 2021 年 8 月 17 日）；（11）xx省生态环境厅 关35、于印发xx省重金属污染防控工作方案的通知（浙环发202214 号， 2022 年 6 月 17 日）；（12） 关于印发 的通知（浙环函2011247 号， 2011 年 5 月 13 日）；（13）省发展改革委 省生态环境厅 关于印发 的通知（浙发改规划2021204 号， 2021 年 5 月 31 日印发）；（14）省发展改革委 省生态环境厅关于印发 的通知（浙发改规划2021215 号， 2021 年 5 月 31 日印发）；（15）省发展改革委 省生态环境厅关于印发 的通知（浙发改规划2021215 号， 2021 年 5 月 31 日印发）；（16）xx省推动长江经济带发展领导小组36、办公室 xx省实施细则（浙长江办 20226 号， 2022 年 3 月 31日）；（17）xx市人民政府关于印发xx市打赢蓝天保卫战行动计划的通知（杭政函2018103 号， 2018 年 11 月 28 日）；xx市xx区上塘路 329 号10xxxx环境建设有限公司高性能激光器项目环境影响报告书（18）关于印发 的通知（杭环发2015143 号， 2015 年 9 月 17 日）；（19）xx市生态环境局关于印发 的通知（杭环发202056 号， 2020 年 8 月 18 日）；（20）xx市生态环境局 xx市发展和改革委员会关于印发 的通知（杭环发202166 号， 2021 年 137、1 月 5 日）；（21）xx市生态环境局关于明确建设项目环评审批及规划环评审查分工的通知（杭环发202173 号， 2021 年 12 月 13 日）；（22）xx市生态环境局关于加强低效挥发性有机物治理设施改造升级工作的通知（杭环便函2022192 号）；（23）xx大xx产业集聚区管理委员会办公室关于印发 的通知（大xx管办发 201838 号）。2.1.3 产业政策及相关区域规划1、产业政策（1）产业结构调整指导目录（2019 年本）（中华人民共和国国家发展和改革委员会令第 29 号，2020 年 1 月 1 日起施行）；（2） 国家发展改革委关于修改 的决定（中华人民共和国国家发展和38、改革委员会令第 49 号， 2021 年 12 月 30 日起施行）；（3）国家危险废物名录（2021 年版）（部令 第 15 号， 2021 年 1 月 1 日起施行）；（4）市场准入负面清单（2022 年版）（发改体改规2022397 号， 2022年 3 月 12 日）；（5）xx市产业发展导向目录与产业平台布局指引（2019 年本）（杭发改产业2019330 号， 2019 年 7 月）；（6）xx区产业发展导向目录与产业平台布局指引（钱政办发20226 号，2022 年 3 月 3 日）；（7）xx大xx产业集聚区产业指导目录（试行）（大xx管201432号， 2014 年 12 月39、 31 日）。2、区域规划（1）xx省环境空气质量功能区划分方案（xx环境保护局、 xx省环境监xxxx环境建设有限公司11xx市xx区 上塘路 329 号高性能激光器项目环境影响报告书测中心站）；（2）xx省人民政府关于xx省水功能区水环境功能区划分方案（ 2015）的批复（浙政函201571 号， 2015 年 6 月 29 日）；（3）xx大xx产业集聚区（大xx新区）分区规划（ 2015-2030 年） ；（4）xx大xx产业集聚区（大xx新区）分区规划环境影响报告书；（5）xx大xx产业集聚区（大xx新区） 分区规划环境影响报告书“六张清单”调整报告（备案稿）。2.1.4 技术导则与40、规范（1） 建设项目环境影响评价技术导则 总纲（HJ2.1-2016）；（2） 环境影响评价技术导则 大气环境（HJ2.2-2018）；（3） 环境影响评价技术导则 地表水环境（HJ2.3-2018）；（4） 环境影响评价技术导则 声环境（HJ2.4-2021）；（5） 环境影响评价技术导则 生态影响（HJ19-2022）；（6） 环境影响评价技术导则 地下水环境 （HJ610-2016）；（7） 建设项目环境风险评价技术导则（HJ169-2018）；（8）环境影响评价技术导则 土壤环境（试行）（HJ964-2018）；（9） 建设项目危险废物环境影响评价指南（xx部公告 2017 年 第 841、1 号）；（10） 环境空气质量评价技术规范（试行）（HJ663-2013）；（11） 环境空气质量监测点位布设技术规范（试行）（HJ664-2013）；（12）污染源源强核算技术指南 准则（HJ884-2018）；（13）排污许可证申请与核发技术规范 总则 （HJ942-2018）；（14）排污许可证申请与核发技术规范 电子工业（HJ1031-2019）；（15）排污许可证申请与核发技术规范 工业固体废物（试行）（HJ1200-2021）；（16）排污单位自行监测技术指南 总则（HJ819-2017）；（17）工业企业土壤和地下水自行监测技术指南（试行）（HJ1209-2021）；（18） 42、固体废物鉴别标准 通则（GB34330-2017）；（19）一般工业固体废物贮存和填埋污染控制标准（GB18599-2020）；（20） 危险废物收集 贮存 运输技术规范（HJ2025-2012）；（21）危险废物鉴别标准 通则（GB5085.7-2019）。2.1.5 项目技术文件及其它xx市xx区上塘路 329 号12xxxx环境建设有限公司高性能激光器项目环境影响报告书（1）xx新区行政审批局xx省企业投资项目备案（赋码） 信息表（代码：2106-330155-89-02-337432）；（2）生产废水处理设施、废气处理设施设计方案；（3）xxxx半导体有限公司提供的其它相关资料；（4）43、xxxx半导体有限公司委托xxxx环境建设有限公司编制本报告的技术委托合同。2.2 环境影响因素识别与评价因子筛选2.2.1 环境影响因素识别项目利用已租赁车间、场地内进行实施，施工期仅为设备安装和生产废水处理设 施施工安装， 施工量较小， 对环境基本不产生影响，因此本环评只对营运期的生产进行识别，利用矩阵法进行环境影响要素识别，具体见表 2.2- 1。表 2.2-1 环境影响因素识别表影响类型影响阶段及环境要素影响性质影响范围影响程度有 利不 利可 逆不可逆短 期长 期直 接间 接累 积非累积小中大较 小般明 显营运期环境影响环境空气地表水地下水声环境土壤事故风险2.2.2 评价因子识别根据44、项目污染源特点及周边区域环境特征的分析，确定各环境影响要素的评价因子见表 2.2-2。表 2.2-2 评价因子一览表环境要素现状评价因子影响评价因子大气环境基本污染物： SO2 、NO2 、PM10 、PM2.5 、CO 、O3；其他污染物：砷、氟化物、氯化氢、氯、硫酸、非甲烷 总烃粉尘、砷及其化合物、非 甲烷总烃、硫酸雾、氯化 氢、磷酸雾、氟化物、氯 气、氮氧化物、氨、甲醇、 异丙醇、DMF、丙酮地表水环境pH、溶解氧、CODMn 、CODCr 、BOD5 、氨氮、石油类、 氟化物、总磷CODCr、SS、氟化物、TP、 TN 、NH3-N地下水环境基本因子： pH、氨氮、硝酸盐、亚硝酸盐、挥45、发酚、氰化物、砷、汞、铬（六价）、总硬度、溶解性总固体、 铅、氟化物、镉、铁、锰、耗氧量、硫酸盐、氯化物、 总大肠菌群、细菌总数；八大阴阳离子： K+ 、Na+ 、Ca2+ 、Mg2+ 、CO32- 、HCO3-、CODMn 、氟化物xx市xx区上塘路 329 号13xxxx环境建设有限公司高性能激光器项目环境影响报告书Cl- 、SO42-声环境等效连续声级 Leq（A）等效连续声级 Leq（A）固体废物-危险废物、 一般固废土壤环境建设用地：重金属和无机物： 砷、镉、铬（六价）、铜、 铅、汞、镍；挥发性有机污物：四氯化碳、氯仿、氯甲烷、1,1-二氯乙 烷、1,2-二氯乙烷、1,1-二氯乙烯、46、顺- 1,2-二氯乙烯、反 - 1,2-二氯乙烯、二氯甲烷、1,2-二氯丙烷、1,1,1,2- 四氯乙 烷、1,1,2,2- 四氯乙烷、四氯乙烯、1,1,1-三氯乙烷、1,1,2- 三氯乙烷、三氯乙烯、1,2,3-三氯丙烷、氯乙烯、苯、氯 苯、1,2-二氯苯、1,4-二氯苯、乙苯、苯乙烯、甲苯、间 二甲苯+对二甲苯、邻二甲苯；半挥发性有机物：硝基苯、苯胺、2-氯酚、苯并a蒽、 苯并a芘、苯并b荧、苯并k荧蒽、二苯并a,h蒽、 茚并1,2,3-cd芘、萘；特征因子： pH、石油烃、氟化物。砷农用地：pH 、镉、汞、砷、铅、铬、铜、 镍、锌2.3 评价标准2.3.1 环境功能区划（1）空气环境质量47、功能区划根据xx省环境空气质量功能区划分， 本环评区域环境空气质量为二类功能区， 执行环境空气质量标准（GB3095-2012）二级标准和关于发布（GB3095-2012）修改单的公告（生态环境部公告 2018 年 第 29 号）要求。（2）水环境质量功能区划地表水本项目附近水体为钱江直河，根据xx省水功能区水环境功能区划分方案（2015），钱江直河未进行水环境功能区划分，周边地表水为四工段直河、永丰河和 六工段直河、头蓬直河、生产湾，属于xx江水系（见附图 5），水功能区为萧绍河网xx工业、农业用水区， 水环境功能区为工业、农业用水区，目标水质为类。本项目废水纳入xx污水处理厂， xx污水处48、理厂尾水排入xx江；相邻xx江水系为xx 191；根据关于印发xx省近岸海域环境功能区划（调整）的通知，该排放口位置属于xx江口三类区（ C02) , 该功能区的海水水质保护目标为三类水质标准。地下水本项目位于xx大xx产业集聚区东片区 ，为河口围涂而成，地下水为冲积海积层孔隙潜水，水质为微咸水，没有利用价值。项目区域地下水尚未划分功能区，xx市xx区上塘路 329 号14xxxx环境建设有限公司高性能激光器项目环境影响报告书参照使用功能进行评价， 地下水质量标准执行地下水质量标准（GB/T14848-2017）中的类环境功能区。（3）声环境质量功能区划本项目所在地声功能未作划分。项目位于工业49、区内。根据规划环评，工业园区属于声环境质量标准 （GB3096-2008）中 3 类声环境功能区。2.3.2 环境质量标准和污染物排放标准1.环境质量标准（1）环境空气根据环境空气质量功能区划，评价范围内的六项常规污染物以及氮氧化物、砷、 氟化物环境空气质量执行环境空气质量标准（GB3095-2012）中的二级标准；非 甲烷总烃采用大气污染物综合排放标准详解中规定的一次值浓度；其他特征污染 物氨、丙酮、甲醇、硫酸、氯、氯化氢、五氧化二磷环境空气质量执行环境影响评 价技术导则大气环境（HJ2.2-2018）附录 D 其他污染物空气质量浓度参考限值。详见下表 2.3- 1。表 2.3-1 环境空气50、质量标准序号污染因子平均时间浓度限值单位标准来源1二氧化硫（SO2）年平均60g/m3环境空气质量标准（GB3095-2012）二级标准24 小时平均1501 小时平均5002二氧化氮（NO2）年平均4024 小时平均801 小时平均2003一氧化碳（CO）24 小时平均4mg/m31 小时平均104臭氧（O3）日最大 8 小时平均160g/m31 小时平均2005颗粒物（粒径小于 等于 10m、PM10）年平均7024 小时平均1506颗粒物（粒径小于 等于2.5m、PM2.5）年平均3524 小时平均757氮氧化物（NOX）年平均5024 小时平均1001 小时平均2508砷（As）年平均51、0.0069氟化物（F）1 小时平均2024 小时平均7月平均1.8/3.0g/（dm3xx市xx区上塘路 329 号15xxxx环境建设有限公司高性能激光器项目环境影响报告书植物生长季平均1.2/2.0d）10非甲烷总烃一次值2.0mg/m3大气污染物综合排放 标准详解11氨1 小时平均200g/m3环境影响评价技术导 则大气环境（HJ2.2-2018）附录 D12丙酮1 小时平均80013甲醇1 小时平均3000日均值100014硫酸1 小时平均30015氯1 小时平均100日均值3016氯化氢1 小时平均50日均值1517五氧化二磷1 小时平均150日均值5018DMF一次值0.03mg52、/m3前苏联 CH245-71昼夜均值0.0319异丙醇一次值0.6昼夜均值0.6注： 适用于牧业区和以牧业为主的半农半牧区， 蚕桑区；适用于农业和林业区。（2）水环境地表水根据xx省水功能区水环境功能区划分方案（ 2015），该区域地表水执行地表水环境质量标准（GB3838-2002）类水质标准， 具体标准值见表 2.3-2。表 2.3-2 地表水环境质量标准（单位： mg/L ，pH 为无量纲）序号项目I 类II 类III 类类类1pH（无量纲）692DO 饱和率90%（或 7.5）65323高锰酸钾指数 24610154化学需氧量（COD） 15152030405五日生化需氧量（BOD553、 ） 3344106氨氮（NH3-N） 0.150.51.01.52.07总磷（以 P 计） 0.02（湖、 库 0.01）0.1（湖、 库 0.025）0.2（湖、库0.05）0.3（湖、 库 0.1）0.4（湖、 库 0.2）8总氮（湖、库， 以 N 计） 0.20.51.01.52.09氟化物（以 F- 计） 1.01.01.01.51.510石油类 0.050.050.050.51.0近岸海域依据xx省近岸海域环境功能区划（调整） （ 2001 年） ，xx污水处理厂污水排放口所处xx湾区域为三类环境功能区， 执行海水水质标准（ GB3097- 1997）xx市xx区上塘路 329 号54、16xxxx环境建设有限公司高性能激光器项目环境影响报告书第三类标准，具体见表 2.3-3。表 2.3-3 海水水质标准（单位： mg/L ，pH 为无量纲）序号项目第一类第二类第三类第四类1pH（无量纲）7.88.5 同时不超过该海域正常变动范围的 0.2pH单位6.88.8 同时不超过该海域 正常变动范围的 0.5pH 单位2DO 65433化学需氧量（COD） 23454生化需氧量（BOD5 ） 13455无机氮 （以 N 计） 0.200.300.400.506非离子氨（以 N 计） 0.0207活性磷酸盐（以 P 计） 0.0150.0300.0458石油类 0.050.300.5055、地下水本项目所在区域地下水尚未划分功能区，参考规划环评， 参照执行地下水质量标准（GB/T14848-2017）类标准，具体见表 2.3-4。表 2.3-4 地下水质量标准序号指标类类类类类1pH（无量纲）6.5pH8.55.5pH6.5 8.5pH9.0pH9.02总硬度（以 CaCO3 计）/（mg/L）1503004506506503溶解性总固体/（mg/L）3005001000200020004硫酸盐/（mg/L）501502503503505氯化物/（mg/L）501502503503506铁/（mg/L）0.10.20.32.02.07锰/（mg/L）0.050.050.101.556、01.508挥发性酚类（以苯酚计）/（mg/L）0.0010.0010.0020.010.019耗氧量（CODMn 法，以 O2 计）/（mg/L）1.02.03.010.010.010氨氮（以 N 计） /（mg/L）0.020.100.501.501.5011亚硝酸盐（以 N 计） /（mg/L）0.010.101.004.804.8012硝酸盐（以 N 计） /（mg/L）2.05.020.030.030.013氰化物/（mg/L）0.0010.010.050.10.114氟化物/（mg/L）1.01.01.02.02.015砷/（mg/L）0.0010.0010.010.050.05157、6汞/（mg/L）0.00010.00010.0010.0020.00217铬（六价） /（mg/L）0.0050.010.050.100.1018铅/（mg/L）0.0050.0050.010.100.1019镉/（mg/L）0.00010.0010.0050.010.0120总大肠菌群/（MPN/100mL 或 CPU/100mL）3.03.03.010010021菌落总数（CPU/mL）10010010010001000（4）声环境xx市xx区上塘路 329 号17xxxx环境建设有限公司高性能激光器项目环境影响报告书项目所在区域声环境执行声环境质量标准 （GB3096-2008）中 358、 类声环境功能区标准。 具体指标见表 2.3-5。表 2.3-5 声环境质量标准 单位： dB（A）时段声环境功能区类别昼间夜间3 类6555（5）土壤环境本项目评价范围用地涉及建设用地和农用地，其中建设用地主要是工业用地， 土 壤环境质量执行土壤环境质量 建设用地土壤污染风险管控标准（试行） （GB36600-2018）第二类用地筛选值标准； 农用地土壤环境质量执行土壤环境质量 农用地土壤污染风险管控标准（试行） （GB15618-2018）中的风险筛选值，具体指标见表 2.3-6 和表 2.3-7。表 2.3-6 土壤环境质量标准值 （单位： mg/kg）GB36600-2018序号污染物59、项目CAS 编号筛选值管制值第一类用地第二类用地第一类用地第二类用地重金属和无机物1砷7440-38-220601201402镉7440-43-92065471723铬（六价）18540-29-93.05.730784铜7440-50-82000180008000360005铅7439-92- 140080080025006汞7439-97-683833827镍7440-02-01509006002000挥发性有机物8四氯化碳56-23-50.92.89369氯仿67-66-30.30.951010氯甲烷74-87-3123721120111,1-二氯乙烷75-34-33920100121,260、-二氯乙烷107-06-20.525621131,1-二氯乙烯75-35-412664020014顺- 1,2-二氯乙烯156-59-266596200200015反- 1,2-二氯乙烯156-60-510543116316二氯甲烷75-09-2946163002000171,2-二氯丙烷78-87-515547181,1,1,2- 四氯乙烷630-20-62.61026100191,1,2,2- 四氯乙烷79-34-51.66.8145020四氯乙烯127- 18-4115334183211,1,1-三氯乙烷71-55-6701840840840221,1,2-三氯乙烷79-00-50.6261、.8515xx市xx区上塘路 329 号18xxxx环境建设有限公司高性能激光器项目环境影响报告书23三氯乙烯79-01-60.72.8720241,2,3-三氯丙烷96- 18-40.050.50.5525氯乙烯75-01-40.120.431.24.326苯71-43-214104027氯苯108-90-7682702001000281,2-二氯苯95-50- 1560560560560291,4-二氯苯106-46-75.6205620030乙苯100-41-47.2287228031苯乙烯100-42-5129012901290129032甲苯108-88-3120012001200162、20033间二甲苯+对二甲苯108-38-3,106-42-316357050057034邻二甲苯95-47-6222640640640半挥发性有机物35硝基苯98-95-3347619076036苯胺62-53-392260211663372-氯酚95-57-82502256500450038苯并a蒽56-55-35.5155515139苯并a芘50-32-80.551.55.51540苯并b荧蒽205-99-25.5155515141苯并k荧蒽207-08-955151550150042218-01-9490129349001290043二苯并a, h蒽53-70-30.551.55.5163、544茚并1,2,3-cd芘193-39-55.5155515145萘91-20-32570255700石油烃类1石油烃（C10-C40）-826450050009000注： 具体地块土壤中污染物检测含量超过筛选值，但等于或者低于土壤环境背景值（见3.6）水 平的，不纳入污染地块管理。土壤环境背景值可参见附录A。表 2.3-7 农用地土壤污染风险筛选值（基本项目） （单位： mg/kg，pH 为无量纲）序号项目风险筛选值pH5.55.5 pH6.56.57.51镉水田0.30.40.60.8其他0.30.30.30.62汞水田0.50.50.61.0其他1.31.82.43.43砷水田303064、2520其他404030254铅水田80100140240其他70901201705铬水田250250300350其他1501502002506铜果园150150200200其他5050100100xx市xx区上塘路 329 号19xxxx环境建设有限公司高性能激光器项目环境影响报告书7镍60701001908锌2002002503002.污染物排放标准（1）废气根据企业提供设计资料，企业生产车间所在建筑楼层高度约 27m，外延废气通过 30m 高排气筒 DA001 排放； 酸性废气（包括干法蚀刻废气、湿法蚀刻废气、酸液清洗 废气、化学镀金废气） 、沉积废气通过 35m 高排气筒 DA002 65、排放； 有机废气通过 35m高排气筒 DA003 排放；一般废气通过 35m 高排气筒 DA004 排放。外延废气排气筒（DA001）外延废气主要污染物为颗粒物（粉尘）、非甲烷总烃、砷化氢、硫化氢，其中粉 尘、非甲烷总烃执行大气污染物综合排放标准（GB16297- 1996）中“表 2 新污染 源大气污染物排放限值”二级排放限值要求； 砷化氢、溴化氢排放浓度参照执行上 海大气污染物综合排放标准（DB31/933-2015）中“表 1 大气污染物项目排放限值”和“附录 A 固定源大气污染物名录及有组织排放限值”。酸性废气、沉积废气排气筒（DA002）酸性废气主要污染物有硫酸雾、氯化氢、氟化物、 66、NOX 、氯气、粉尘、磷酸雾、溴化氢、 乙酸、 乙烯、硅烷、氨等。本项目属于电子工业，设有化学镀工序，化学镀工序废气并入酸性废气处理装置中进行处理，电子工业无废气行业排放标准。根据电镀污染物排放标准（GB21900-2008），其适用范围为“电镀企业和拥 有电镀设施企业”，因此酸性废气中的硫酸雾、氯化氢、氟化物、 NOX 排放浓度执行 电镀污染物排放标准（GB21900-2008）中“表 5 新建企业大气污染物排放限值”， 排放速率参照执行大气污染物综合排放标准（GB16297- 1996）中“表 2 新污染源大气污染物排放限值”二级排放限值要求。非甲烷总烃、 氯气、粉尘执行大气污染物综合排放67、标准（GB16297- 1996）中 “表 2 新污染源大气污染物排放限值”二级排放限值要求； 磷酸雾、溴化氢、乙酸、 乙烯参照执行上海大气污染物综合排放标准（DB31/933-2015）中“表 1 大气污 染物项目排放限值”和“附录 A 固定源大气污染物名录及有组织排放限值”；硅烷的 排放浓度参照执行荷兰排放导则；氨、臭气浓度执行恶臭污染物排放标准（GB14554-93）中二级标准。xx市xx区上塘路 329 号20xxxx环境建设有限公司高性能激光器项目环境影响报告书有机废气排气筒（DA003）有机废气主要污染物为非甲烷总烃、甲醇、 NMP、丙酮、异丙醇、 DMF、丁酮、氨等。非甲烷总烃、68、甲醇执行大气污染物综合排放标准（GB16297- 1996）中“表 2 新 污染源大气污染物排放限值”二级排放限值要求； NMP、丙酮、异丙醇、 DMF、丁酮 参照执行上海大气污染物综合排放标准（DB31/933-2015）中“表 1 大气污染物 项目排放限值”和“附录 A 固定源大气污染物名录及有组织排放限值”；氨、臭气浓度执行恶臭污染物排放标准（GB14554-93）中二级标准。一般废气排气筒（DA004）本项目部分设备抽风过程中可能存在微量废气经过管道、接口等泄漏至生产车间， 该部分泄漏的废气经整体车间空调换风系统收集后， 与一般排风系统收集的一般废气、 高温排气一起经风管引至楼顶由排气69、筒（DA004）高空排放，主要污染物为硫酸雾、 氯化氢、磷酸雾、氟化物、 溴化氢、乙酸、乙烯、甲醇、NMP、丙酮、异丙醇、DMF、 丁酮、非甲烷总烃、氨等， 其中硫酸雾、氯化氢、氟化物执行电镀污染物排放标准 （GB21900-2008）中“表 5 新建企业大气污染物排放限值”；磷酸雾、溴化氢、乙酸、 乙烯参照执行上海大气污染物综合排放标准（DB31/933-2015）中“表 1 大气污 染物项目排放限值”和“附录 A 固定源大气污染物名录及有组织排放限值”；非甲烷 总烃、甲醇执行大气污染物综合排放标准（GB16297- 1996）中“表 2 新污染源大 气污染物排放限值”二级排放限值要求； N70、MP 、丙酮、异丙醇、 DMF、丁酮参照执行 上海大气污染物综合排放标准（DB31/933-2015）中“表 1 大气污染物项目排放 限值”和“附录 A 固定源大气污染物名录及有组织排放限值”；氨、臭气浓度执行恶臭污染物排放标准（GB14554-93）中二级标准。本项目各大气污染物有组织排放标准见表 2.3-8。表 2.3-8 本项目大气污染物有组织排放标准排气筒编号污染物最高允许 排放浓度 （mg/m3）最高允许排放速率标准来源排气筒（m）排放速率 （kg/h）DA001颗粒物（粉尘）1203023大气污染物综合排放标准（GB16297- 1996）非甲烷总烃1203053砷化氢1.0-0.71、0036上海大气污染物综合排放 标准（DB31/933-2015）磷化氢1.0-0.022DA002氮氧化物200356.0排放浓度：电镀污染物排放 标准（GB21900-2008）；氟化物7350.80xx市xx区上塘路 329 号21xxxx环境建设有限公司高性能激光器项目环境影响报告书硫酸雾303511.9排放速率：大气污染物综合 排放标准（GB16297- 1996）氯化氢30352.0氯气65351.89大气污染物综合排放标准（GB16297- 1996）颗粒物（粉尘）1203531非甲烷总烃1203577磷酸雾5.0-0.55上海大气污染物综合排放 标准（DB31/933-201572、）溴化氢5.0-0.144乙酸80-乙烯20-硅烷5.0-荷兰排放导则氨气-3527恶臭污染物排放标准（GB14554-93）臭气浓度 （无量纲）-3515000DA003非甲烷总烃1203577大气污染物综合排放标准（GB16297- 1996）甲醇1903540NMP80-上海大气污染物综合排放 标准（DB31/933-2015）丙酮80-异丙醇80-DMF20-2-丁酮80-氨气-3527恶臭污染物排放标准（GB14554-93）臭气浓度 （无量纲）-3515000DA004氟化物7350.80排放浓度：电镀污染物排放 标准（GB21900-2008）；排放速率：大气污染物综合 排放标准73、（GB16297- 1996）硫酸雾303511.9氯化氢30352.0非甲烷总烃1203577大气污染物综合排放标准（GB16297- 1996）甲醇1903540磷酸雾5.0-0.55上海大气污染物综合排放 标准（DB31/933-2015）溴化氢5.0-0.144乙酸80-NMP80-丙酮80-异丙醇80-DMF20-2-丁酮80-氨气-3527恶臭污染物排放标准（GB14554-93）臭气浓度 （无量纲）-3515000注： GB16297- 1996 中 30m 高排气筒排放速率通过内插法计算得出。本项目厂界无组织污染物执行大气污染物综合排放标准（GB16297- 1996）中 “表74、 2 新污染源大气污染物排放限值 ”有关“无组织排放监控浓度限值 ”和恶臭污染物排放标准（GB14554-93）中“表 1 恶臭污染物厂界标准值 ”的二级新扩改建标xx市xx区上塘路 329 号22xxxx环境建设有限公司高性能激光器项目环境影响报告书xx市xx区上塘路 329 号23xxxx环境建设有限公司准，具体排放标准见表 2.3-9。表 2.3-9本项目大气污染物无组织排放标准污染物无组织排放监控浓度限值标准来源监控点浓度（mg/m3）氮氧化物周界外浓度最高点0.12大气污染物综合排放 标准（GB16297- 1996）颗粒物（粉尘）1.0硫酸雾1.2氟化物20g/m3氯气0.40氯化75、氢0.20甲醇12非甲烷总烃4.0氨1.5恶臭污染物排放标准（GB14554-93）臭气浓度（无量纲）20厂区内 VOCs 无组织排放监控点浓度应符合挥发性有机物无组织排放控制标准 （GB37822-2019）附录 A 表 A.1 厂区内 VOCs 无组织排放限值中特别排放限值的要求。具体见表 2.3- 10。表 2.3-10 厂区内 VOCs 无组织排放限值（单位：mg/m3）污染项目排放限值特别排放限值限值含义无组织排放监控位置NMHC106监控点处 1h 平均浓度值在厂房外设置监控点3020监控点处任意一次浓度值（2）废水本项目排水系统采用雨污分流制， 雨水汇集后直接排入附近的雨水管网。76、企业生 产废水经自建生产废水处理设施处理后、生活污水经园方隔油池、化粪池预处理后，一并接入管网送xx污水处理厂处理。 厂区内生活污水和生产废水完全隔绝。根据生态环境部关于行业标准中生活污水执行问题的回复：“ 橡胶制品工 业污染物排放标准（GB27632-2011）和电池工业污染物排放标准（GB 30484-2013） 均在“排水量”定义中明确外排废水包括厂区生活污水， 主要考虑是防范与生产相关的 厂区生活污水中混入行业特征污染物，以及生产废水经由生活污水排水管道排放等情 况的发生。为此，相关企业的厂区生活污水原则上应当按行业排放标准进行管控。若 生活与生产废水完全隔绝，且采取了有效措施防止二者77、混排等风险， 这类生活污水可 按一般生活污水管理 ”，因此本项目生产废水纳管标准执行电子工业水污染物排放标准（GB39731-2020） “表 1 水污染物排放限值”中半导体器件的间接标准和xx污水处理厂的纳管标准中较严者； 生活污水执行xx污水处理厂的纳管标准。临 江 污 水 处 理 厂 出 水 水 质 执 行 城 镇 污 水 处 理 厂 污 染 物 排 放 标准高性能激光器项目环境影响报告书（GB18918-2002）中的一级 A 标准要求。具体见表 2.3- 11表 2.3- 12。表 2.3-11 本项目生产废水接管标准（单位： mg/L ，pH 为无量纲）污染物名称电子工业水污染物排78、放标准（GB39731-2020）xx污水处理厂企业进 管控制标准最终确定本项目生 产废水接管标准值pH6.09.061069SS400400400石油类202520CODCr500500500BOD5-B/C0.25-NH3-N453535TN707070TP8.08.08.0氟化物202020注： xx污水处理厂企业纳管控制标准根据萧水务 201020号关于同意实施xx东部地区 排污企业并网要求的批复。氨氮和总磷的纳管标准参照工业废水氮、磷污染物间接排放限值（DB33/887-2013）中 的限值。总氮执行污水排入城镇下水道水质标准（GB/T31962-2015）中70 mg/L。表 2.79、3-12 xx污水处理厂进管标准和排放标准 （单位： mg/L ，pH 为无量纲）污染物名称进管标准排放标准城镇污水处理厂污染物排放标准（GB18918-2002）中的一级 A 标准要求pH61069CODCr50050NH3-N352.5*TN7015TP8.00.5SS40010石油类251BOD5B/C0.2510注： *根据相关管理部门的要求，xx污水处理厂氨氮最终出水水质标准为： 氨氮 2.5mg/L。本项目单位产品基准排水量执行电子工业水污染物排放标准（GB39731-2020）中表 2 的相关要求，见表 2.3- 13。表 2.3-13 电子工业水污染物排放标准（GB39731-80、2020）表 2适用企业产品规格单位产品基准排水量半导体器件6 英寸及以下芯片3.2m3/片（3）噪声本项目施工期场界噪声执行建筑施工场界环境噪声排放标准（GB12523-2011）中的标准，具体标准限值见表 2.3- 14。xx市xx区上塘路 329 号24xxxx环境建设有限公司高性能激光器项目环境影响报告书表 2.3-14 建筑施工场界环境噪声排放标准（单位：dB（A）昼间夜间7055本 项 目 营 运 期 园 区 厂 界 噪 声 执 行 工 业 企 业 厂 界 环 境 噪 声 排 放 标准 （GB12348-2008）中的 3 类标准。详见表 2.3- 15。表 2.3-15 工业企业81、厂界环境噪声排放标准 单位：dB（A）时段厂界外声环境功能区类别昼间夜间3 类6555（4）固废本项目一般工业固体废物采用库房、包装工具（罐、桶、包装袋等）贮存，按照 中华人民共和国固体废物污染环境防治法的工业固体废物管理条款要求执行，其贮存场所应满足防渗漏、防雨淋、防扬尘等环境保护要求，不得形成二次污染。固体废物根据固体废物鉴别标准 通则（GB34330-2017）进行判定，危险废 物分类执行国家危险废物名录（2021 版） ， 收集、贮存、运输等过程应符合危 险废物贮存污染控制标准（GB18597-2001）及其修改单（环境保护部公告 2013 年 第 36 号）、危险废物收集贮存运输技术82、规范（HJ2025-2012）等标准要求，并符 合xx省危险废物产生和经营单位 “双达标”创建工作方案（浙环发201219 号） 要求； 一般工业固废贮存场应参照执行一般工业固体废物贮存和填埋污染控制标准（GB18599-2020）中的相关规定。2.4 评价工作等级1.大气环境根据环境影响评价技术导则大气环境（HJ2.2-2018）计算其最大落地浓度占标率 Pi（下标 i 为第 i 个污染物）， Pi 的定义为：Pi = 根 100%式中： Pi第 i 个污染物的最大地面空气质量浓度占标率， %；Ci采用估算模型计算出的第 i 个污染物的最大 1h 地面空气质量浓度，g/m3；C0i第 i 个83、污染物的环境空气质量浓度标准， g/m3 。一般选用 GB 3095 中 1h 平均质量浓度的二级浓度限值，如项目位于一类环境空气功能区，应选择相应的一级 浓度限值； 对该标准中未包含的污染物，使用 5.2 确定的各评价因子 1h 平均质量浓度限值。对仅有 8h 平均质量浓度限值、日平均质量浓度限值或年平均质量浓度限值的，xx市xx区上塘路 329 号25xxxx环境建设有限公司高性能激光器项目环境影响报告书可分别按 2 倍、 3 倍、 6 倍折算为 1h 平均质量浓度限值。大气环境影响评价工作等级的划分判据见表 2.4- 1。表 2.4-1 评价工作级别评价工作等级评价工作分级判据一级评价P84、max10%二级评价1%Pmax10%三级评价Pmax1%（1）评价因子和评价标准筛选评价因子和评价标准表见表 2.4-2。表 2.4-2 评价因子和评价标准表序号评价因子平均时段标准值(g/m3）标准来源1PM101 小时平均450按 GB3095-2012 二级标准值中 24 小时平均值的 3 倍取2砷0.036按 GB3095-2012 二级标准值中年 均值的 6 倍取3氟化物20GB3095-2012 二级标准值中 1 小 时平均值4氨200HJ2.2-2018 附录 D5丙酮8006甲醇30007硫酸3008氯1009氯化氢5010磷酸雾150参照 HJ2.2-2018 附录 D 中85、五氧化 二磷 1 小时平均取11非甲烷总烃2000大气污染物综合排放标准详解12DMF30前苏联 CH245-7113异丙醇600（2）估算模型参数估算模型参数表见表 2.4-3。表 2.4-3 估算模型参数表参数取值城市/农村选项城市/农村城市（规划区）人口数（城市选项时）76.9 万人（xx区人口）最高环境温度/k310最低环境温度/k250土地利用类型城市区域湿度条件湿是否考虑地形考虑地形是 否地形数据分辨率/ m90是否考虑岸线熏烟考虑岸线熏烟是 否岸线距离/km2.24xx市xx区上塘路 329 号26xxxx环境建设有限公司岸线方向/ 79（3）计算结果本项目分期建设， 部分工序二86、期建成后全厂污染物排放速率较一期时大，本环评以二期建成后全厂废气污染物源强进行预测。本环评采用三捷公司 AERSCREEN 估算模式对本项目外排主要污染物进行评价等级判定，估算模型预测结果见下表。表 2.4-4 本项目废气污染源估算模型计算结果表排放源污染物排放速率 （kg/h）下风向最大 质量浓度 (g/m3）占标率（%）最大落地 浓度点 （m）D10%最 远距离 （m）评价 等级DA001粉尘（按 PM10）0.00020.0049.86E-0436-三砷及其化合物（含砷粉尘、砷化氢）0.000160.0038.56E+00-二非甲烷总烃（乙烷）0.000020.00041.93E-05-87、三DA002硫酸雾0.0060.0692.30E-0244-三氯化氢0.0050.0571.15E-01-三磷酸雾0.0010.0117.64E-03-三氟化物0.0520.5942.97E+00-二氯气0.0470.5405.40E-01-三NOX （笑气）0.00060.0072.75E-03-三非甲烷总烃（乙烯、乙酸）0.0010.0115.73E-04-三氨0.00020.0021.00E-03-三粉尘0.000030.00037.63E-05-三DA003非甲烷总烃0.0140.2421.21E-0239-三甲醇0.0040.0692.30E-03-三异丙醇0.0030.0528.688、3E-03-三DMF0.0040.0692.30E-01-三丙酮0.0090.1551.94E-02-三氨0.00040.0073.45E-03-三DA004硫酸雾0.0020.0186.00E-0347-三氯化氢0.0010.0142.80E-02-三磷酸雾0.00010.0016.67E-04-三氟化物0.0010.0136.50E-02-三非甲烷总烃0.0070.0733.65E-03-三甲醇0.0020.0206.67E-04-三异丙醇0.0020.0162.67E-03-三DMF0.0020.0206.67E-02-三丙酮0.0040.0475.88E-03-三氨0.00020.0089、21.00E-03-三（4）评价等级确定由上表可知， 项目 DA001 排气筒排放的砷及其化合物 Pi 值最大， 为 8.56%。对照xx市xx区上塘路 329 号27xxxx环境建设有限公司高性能激光器项目环境影响报告书环境影响评价技术导则 大气环境（HJ2.2-2008）中“表 1 评价工作等级”的分级判据，确定本项目大气评价等级为二级。2.地表水环境本项目营运后外排污水经预处理达标后， 纳管排入城市污水处理厂，属于间接排 放。根据环境影响评价技术导则 地表水环境（HJ2.3-2018）评价等级判定表规定，确定本项目地表水评价等级为三级 B。3.地下水环境对照环境影响评价技术导则-地下水环90、境（HJ 610-2016）附录 A，本项目涉及 到“K 机械、电子”类中“80、电子真空器件、集成电路、半导体分立器件制造、光电 子器件及其他电子器件制造”和“I 金属制品”类中“51 、表面处理及热处理加工”，地下水环境影响评价项目类别最高为类。根据现场勘查及收集资料， 项目拟建区域不存在集中式饮用水水源准保护区及补 给径流区、分散式饮用水水源地、特殊的地下水资源保护区、国家或地方政府设定的其他保护区等敏感区，地下水环境敏感程度分级为“不敏感”。因此，确定本项目地下水环境影响评价等级为三级。4.声环境根据环境影响评价技术导则-声环境（HJ2.4-2021）评价等级：建设项目所处 的声环境功91、能区为 GB3096 规定的 3 类、4 类地区，或建设项目建设前后评价范围内 声环境保护目标噪声级增高量在 3dB(A)以下不含 3dB(A)，或受影响人口数量变化不大，按三级评价。本项目处于 3 类声环境功能区， 200m 评价范围内没有声环境保护目标。根据环 境影响评价技术导则声环境（HJ2.4-2021）规定，确定本项目噪声评价等级为三级。5.土壤环境根据环境影响评价技术导则土壤环境（试行）（HJ 964-2018）附录 A.1 土壤环境影响评价项目类别，项目属于电子工业，环评从影响途径、影响源、影响因 子选取相似类别“金属表面处理及热处理加工的、使用有机涂层的”，项目类别 为类；项目92、占地规模按出租方园区计，出租方园区占地面积约 119470m2 ，为中型 （550hm2 ）；项目位于工业园区， 周边有农田， 环境敏感。 对照导则中“表 4 污染影响型评价工作等级划分表” （具体见下表） ，本项目土壤环境评价等级为一级。xx市xx区上塘路 329 号28xxxx环境建设有限公司高性能激光器项目环境影响报告书表 2.4-5 污染影响型建设项目评价等级判定表土地规模 评价工作等级类类类敏感程度大中小大中小大中小敏感一级一级一级二级二级二级三级三级三级较敏感一级一级二级二级二级三级三级三级-不敏感一级二级二级二级三级三级三级-注：“-”表示可不开展土壤环境影响评价工作6.生态环境93、根据环境影响评价技术导则 生态影响（HJ19-2022）中评价等级判定：符合 生态环境分区管控要求且位于原厂界（或永久用地） 范围内的污染影响类改扩建项目， 位于已批准规划环评的产业园区内且符合规划环评要求、不涉及生态敏感区的污染影响类建设项目，可不确定评价等级，直接进行生态影响简单分析。本项目租赁已建工业区厂房进行建设，项目选址位于已批准规划环评的产业园区 内且符合规划环评要求，因此本环评可不确定生态环境评价等级，直接进行生态环境影响简单分析即可，不开展具体的生态现状调查、影响预测与评价。7.环境风险本项目涉及风险物质较多， 但用量较少。按照建设项目环境风险评价技术导则 （HJ169-20194、8）附录 B 计算得出，本项目危险物质数量与临界值比值 Q 值为 0.909，小于 1，判断出该项目环境风险潜势为。根据建设项目环境风险评价技术导则 （HJ169-2018）“表 1 评价工作等级划 分 ”（具体见下表），本项目环境风险仅进行简单分析，在描述危险物质、环境影响途径、环境危害后果、风险防范措施等方面给出定性的说明即可。表 2.4-6 评价工作等级划分环境风险潜势+ 、评价工作等级一二三简单分析注：相对于详细评价工作内容而言，在描述危险物质、 环境影响途径、 环境危害后果、风险 防范措施等方面给出定性的说明。2.5 评价范围及环境敏感区2.5.1 评价范围根据各环境要素确定的评价等95、级，结合区域自然环境特征，本项目环境影响评价范围具体见表 2.5- 1。xx市xx区上塘路 329 号29xxxx环境建设有限公司高性能激光器项目环境影响报告书表 2.5-1 本项目环境影响评价范围环境要素评价等级评价范围环境空气二级以租赁园区为中心， 边长为 5km 的矩形范围，见图 2.5- 1。地表水环境三级 B-地下水环境三级以租赁园区为中心， 面积 6km2 的区域声环境三级租赁园区厂界外 200m 的范围内，见图 2.5-2。生态环境影响分析-土壤环境三级租赁园区占地范围内和占地范围外 1000m范围内，见图 2.5-2。环境风险简单分析不设评价范围。2.5.2 环境敏感区根据建设96、项目区域环境功能特征及地理位置和性质，结合建设项目所在片区总体规划，确定受本项目影响主要保护目标如下：（1）环境空气： 项目所在区域为环境空气质量二类区， 执行环境空气质量标准 （GB3095-2012）及 2018 年修改单中的二级标准，应维护区域环境空气质量现状， 不因本项目建设导致环境空气质量等级下降。（2 ）地表 水环境 ： 本 项 目纳污 水体钱 塘江 水质满足 海 水 水质标准 （GB3097- 1997）第三类标准，不得因本项目建设导致其水环境质量等级下降。（3）声环境： 本项目租赁园区厂界 200m 范围内无保护目标。（4）土壤环境： 本项目租赁园区厂界外 1000m 范围内有97、农田等土壤环境敏感点，不得因本项目建设导致其土壤环境质量等级下降。（5）地下水环境：评价范围内无地下水保护目标。（6）生态保护环境： 本项目位于工业区内， 周边农田均为临时农田， 规划为工业用地，无桑蚕养殖区，周边无生态保护目标。根据xxxx新区战略规划中土地利用规划图（见附图 9），项目周边 2.5km范围内规划敏感点有规划居住区和规划教育科研区。本项目主要保护目标情况见表 2.5-2表 2.3-4。大气环境影响评价范围及保护目标分布见图 2.5- 1，声环境、土壤环境评价范围及保护目标分布见图 2.5-2。表 2.5-2 本项目主要保护目标分布情况一览表（环境空气）序号敏感目标名称坐标（598、1R）（m）保护对 象保护内容相对 厂址 方位与厂界 距离 （）环境功能区保护要 求xy1现有敏感点新江村2562543360657居住区约 580 户 /2090 人西1365m环境 空气 功能 区二GB3095 -2012 及 2018 年 修改单2xx村2562283359565约 560 户 /2200 人西南1730mxx市xx区上塘路 329 号30xxxx环境建设有限公司高性能激光器项目环境影响报告书3春雷村2600363359208约 530 户 /2000 人东南2600m类区中二级 标准4河庄xx幼儿园2553733359488文化区师生200 人西南2520m5xx市英才99、 高级中学2553553358443-西南3120m6规划敏感点规划居住区2582783360492居住区-东420m7规划教育科 研区2590913360225文化区-东1160m注： 表中的“方位” 以拟建厂址为基准点， “距离”是指保护目标与园区厂界的最近距离。各环境保护目标与厂界距离从天地图中测量得出。表 2.5-3 本项目主要保护目标分布情况一览表（地表水）环境要 素名称方位与厂界距离（）保护对象规模功能特点保护要求地表水小河南20m河流小河工业、农业 用水区地表水环境质量标准 （GB3838-2002）类标准钱江直河东340m河流小河xx江北2130m河流大河景观娱乐、 渔业用水区100、地表水环境质量标准 （GB3838-2002）类标准大气评价范围2130m租赁园区范围项目位置340m1365m420m规划居住区2600m春雷村xx市英才高级中学规划教育科研用地2520m1730m新江村xx幼儿园xx村3120m1160m图 2.5-1 大气环境影响评价范围及保护目标分布图xx市xx区上塘路 329 号31xxxx环境建设有限公司高性能激光器项目环境影响报告书表 2.5-4 本项目主要保护目标分布情况一览表（土壤环境）环境要素名称方位距离厂界环境特性保护要求土壤环境农田北40m现状为农田，规划为工业 用地土壤环境质量 农用地 土壤污染风险管控标准（试行）（GB15618-2101、018）风险筛选值标准东390m西南370m西800m南600m现状为农田，规划为工业 用地、居住用地土壤环境评 价范围农田（规划工业用地）农田（规划工业用地）农田（规划 工业用地）200m 声环境评价范围农田（规划工业用地）农田（规划工业用地、居住用地）xx村租赁园区厂界新江村1000m图 2.5-2 声环境、土壤环境评价范围及保护目标分布图2.6 相关规划及政策符合性分析2.6.1xx市城市总体规划（ 2001-2020）（2016 年修订）根据xx市城市总体规划（ 2001-2020 年）（2016 年修订），坚持“城市东 扩、旅游西进，沿江开发、跨江发展”的空间策略。延续“一主三副六组102、团六条生态 带”的空间结构，按照尊重现有行政区划、实现规划建设管理城乡全覆盖的原则，加 强生态用地和乡镇用地管理，对主城、副城、组团的范围和内涵进行了优化调整，撤 消塘栖组团、 新设瓶窑组团，将组团的范围由原来的集中城市化地区扩展到城乡统筹 的行政区域。 提升主城创新、高端服务等功能，健全副城、组团生活生产功能，结合创新发展、产业转型提升优化产业、居住等用地布局。“一主三副”：即主城和江南城、临平城、 xx城三个副城； “双心”：即湖滨、xx市xx区上塘路 329 号32xxxx环境建设有限公司高性能激光器项目环境影响报告书武林广场的旅游商业文化服务中心和xx地区钱江北岸城市新中心和钱江南岸城103、市商 务中心；“双轴”：为东西向以xx江为城市生态轴，南北向以主城江南城为城 市发展轴；“六大组团”： 即xx组团（未来科技城）、良渚组团、瓶窑组团、义蓬 组团（大xx新城）、瓜沥组团和临浦组团； “六条生态带”：西南部生态带、西北部生态带、北部生态带、南部生态带、东南部生态带以及东部生态带。义蓬组团（大xx新城）是城市东部大型综合性工业发展基地，东部和东南部为工业区，西部和西南部为居住生活区，北部和东部xx地区为生态旅游区。符合性分析：本项目位于xx大xx产业集聚区xx片区，隶属于义蓬组团，规划为大型综合性工业发展基地， 根据企业提供的不动产权证书显示（见附件 3）， 所在地块用地性质为工业104、用地。因此本项目建设符合xx市城市总体规划要求。2.6.2xxxx新区战略规划1.规划简述（1）规划范围xxxx新区包括原xx大xx产业集聚区和xx经济技术开发区，即江干区的xx、白杨两个街道， xx区的河庄、义蓬、新湾、 xx、前进 5 个街道，以及原杭州大xx产业集聚区规划控制范围内的其他区域（不含党湾镇所辖接壤区域的行政村），总面积 531.7 平方公里，常住人口 106 万人。（2）规划期限规划期限至 2035 年。其中近期至 2025 年，远期至 2035 年，远景展望至 2050 年。（3）目标定位世界级智能制造产业集群；长三角地区产城融合发展示范区；全省标志性战略性改革开放大平台105、； xx湾数字经济与高端制造融合创新发展引领区。（4）规划结构江滩绿谷一江双城四组团。其中四组团为： xx生命健康产业组团、 xx半导体与未来产业组团、前进智能交通装备产业组团和xx新材料产业组团。（5）建设高质量发展的创新圈塑造品牌，建设五大制造集群，探索产业未来布局。xx市xx区上塘路 329 号33xxxx环境建设有限公司高性能激光器项目环境影响报告书五大制造集群为： 半导体、 生命健康、智能汽车及智能装备、航空航天、新材料。符合性分析：本项目拟建于xx市xx区东围路 599 号博潮城，项目选址与xxxx新区战略规划的空间布局位置关系见附图 9。本项目从事高性能激光器芯片的生产，属于光电106、子器件制造，涉及到半导体的应用。项目选址位于四组团的xx半导体与未来产业组团内，位于五大制造集群的半导体集群内。因此项目建设符合xxxx新区战略规划的要求。2.6.3 xx大xx产业集聚区（大xx新区）分区规划、规划环评及符合性分析1.xx大xx产业集聚区（大xx新区）分区规划（ 2015-2030 年） （1）规划范围xx大xx产业集聚区（大xx新区）分区规划范围：东、西、 北均以xx江界线为界，南至红十五线、十二棣横河及绍兴县接壤的北侧河道，西南至xxxx工业园区与xx空港经济开发区的边界线。规划总面积 427 平方千米，其中陆域面积 348 平方千米， xx江水域面积 79 平方千米。地107、域范围覆盖河庄、义蓬、新湾、 xx、前进 5 个街道的行政管辖区域及党湾镇部分用地。（2）产业空间布局引导大xx产业集聚区形成“一城三园， 一心三带”的总体结构。规划依据产业特色、园区规模、配套要求等，形成“四片多园”的工业用地格局。项目所在地属于四片区（xx产业片区、前进产业片区、 xx产业片区和临空产业片区）中的xx产业片区，属于“ 7+X”产业园的轨道交通产业园。xx产业片区：重点发展xx先进装备制造园、 xx战略新兴产业园等 2 处特色 产业园区， 1 处公铁联运物流园，智慧服务园、总部经济园、花园研发园等 3 处创新单元，职教小镇、高教科研园等 3 处创新策源地。轨道交通产业园：以电108、气设备制造为特色， 打造长三角轨道交通技术研发中心。近期围绕汽车产业园周边进行布局；远期以关键零部件为主加快产业集聚。（3）环境保护规划环境重点准入区：禁止新、 扩建限制类项目，禁止新、改、扩建禁止（淘汰） 类 项目，严控三类工业项目数量和排污总量；禁止畜禽养殖； 禁止新建入河排污口，现 有的入河排污口应限期纳管；合理规划生活区与工业区，在居住区和工业园、工业企业之间设置隔离带，确保人居环境安全和群众身体健康；最大限度保留区内原有自然xx市xx区上塘路 329 号34xxxx环境建设有限公司高性能激光器项目环境影响报告书生态系统，保护好河湖湿地生境，严格限制非生态型河湖岸工程建设范围。符合性分109、析：本项目位于xx产业片区的轨道交通产业园（见附图 7），本项目从事高性能激光器芯片生产， 属于二类工业项目， 不属于xx大xx产业集聚区产业指导目录（试行） 中禁止类及限制类项目，同时项目生产废水、生活污水全部纳管，不新增入河排污口， 满足“xx区大xx产业集聚重点管控单元 2（编码： ZH33010920013）”的相关要求。因此本项目符合xx大xx产业集聚区（大xx新区）分区规划要求。2.规划环评2018 年由xx省环境科技有限公司编制完成了xx大xx产业集聚区（大xx新区）分区规划环境影响报告书， 并通过xx省生态环境厅的审批（批文号：浙环函2018533 号）。 2021 年， xx110、市生态环境局xx分局委托xx省环境科技有限公司承担编制xx大xx产业集聚区（大xx新区）分区规划环境影响报告书结论清单调整报告，对 6 张清单中与“三线一单”管控要求不相符的内容，作适当调整和完善。 2021 年 5 月 28 日， xx市生态环境局xx分局在xx组织召开xx大江东产业集聚区（大xx新区）分区规划环境影响报告书“六张清单”调整报告技术咨询会，并形成了备案稿。本评价引用xx大xx产业集聚区（大xx新区）分区规划环境影响报告书以及xx大xx产业集聚区（大xx新区） 分区规划环境影响报告书“六张清单”调整报告（备案稿）中结论清单，对本项目与规划环评的符合性情况进行分析。规划环评综合结111、论：xx大xx产业集聚区经过多年的发展现形成化纤、化工、纺织等传统产业为主，汽车、先进装备制造、新能源、新材料、现代物流等新兴战略性产业迅速崛起的产业发展新格局， 产业结构不断优化，产业链条逐步延伸，集聚效应日益明显。xx大江东产业集聚区于 2015 年实体化运作以来， 作为经济增长快、市场容量大的区域， 提出实现“智慧大xx、魅力生态城”的战略目标。 xx大xx产业集聚区（大xx新区）分区符合国家、xx省和xx市总体发展战略要求，有利于促进区域成为全省经济转型升级的引领区， xx先进制造业主引擎，实现“再造一个xx新城，再造一个xx工业”的目标，也与xx省及xx省主体功能区划、 xx市城市总112、体规划、 xx市萧山区土地利用总体规划、xx市国民经济和社会发展第十三个五年规划、 xx市十三五环境保护规划等上位规划相一致。xx市xx区上塘路 329 号35xxxx环境建设有限公司本次规划土地资源、 水资源和能源供应能够得到保障； 环境容量存在短板，通过 区域消减可以满足环境质量底线和污染排总量要求。规划实施后对重要环境敏感目标的影响总体不大。立足于xx大xx产业集聚区经济社会发展和资源环境承载，本次规划确定的规划定位、发展目标和产业规划结构较为合理； 规划布局总体合理，但xx区块部分需要进一步优化，防止工业区包围居住区；同时分区规划在后期修编过程中应充分考虑与大xx产业聚集环境功能区划的113、衔接，并给予调整。评价认为， xx大xx产业集聚区（大xx新区）分区在一步优化规划布局、完善生态环境建设规划、强化空间、 总量和环境准入、严格执行资源保护和环境影响缓解措施、落实现有问题解决方案后， 该规划的实施不会降低区域环境质量。本项目为新建性质， 属于工业类建设项目。结合本项目情况，节选规划环评中与 本项目有关的部分清单， 具体为清单 1 生态空间清单、清单 5 环境准入条件清单（部分）进行对照分析。生态空间清单详见表 2.6- 1，环境准入条件清单详见表 2.6-2。规划环评符合性：本项目拟建于xx市xx区东围路 599 号博潮城，对照规划环评（调整报告）xx境准入条件区块图，属于空间114、准入标准要求中七区块，根据环境准入条件清单表对照（表 2.6-2）。 本项目从事高速激光器芯片的生产，设有电镀、酸 洗等工艺， 属于电子工业；参考区域已审批同类项目至芯半导体（xx）有限公司（批文号： 杭环钱环评批202081 号）、xx中欣晶圆半导体股份有限公司（批文号：杭环钱环评批202242 号）等，本项目不属于禁止准入类和限制准入类项目；项目 将采用先进的设计理念和生产装备， 按照密闭化、自动化、信息化、管道化要求进行 设计、安装和生产，并配套完善的“三废”治理设施；本项目能够落实规划环评提出 的主要环境影响减缓对策和措施，实施清洁生产，控制废气污染物排放， 废水经预处理达标后纳入xx115、污水处理厂，危险固废无害化处置不外排，严格落实地下水污染防治措施，以减少项目实施对周边环境的影响，符合环境标准清单。因此，本项目建设总体符合xx大xx产业集聚区（大xx新区）分区规划环境影响报告书（调整报告）相应要求 。xx市xx区上塘路 329 号36xxxx环境建设有限公司高性能激光器项目环境影响报告书表 2.6-1 生态空间清单（节选）开发区内规划 区块生态空间名称 编号区块范围示意图管控要求xx区大xx产业集聚重点 管控单元 2ZH330109200131.根据产业集聚区块的功能定位，建立分区差别化的产业准入条件；2.合理规划居住区与工业功能区，在居住区和工业区、工业企业之间设 置防护116、绿地、生活绿地等隔离带；3.严格实施污染物总量控制制度，根据区域环境质量改善目标，削减污 染物排放总量；4.所有企业实现雨污分流；5.强化工业集聚区企业环境风险防范设施设备建设和正常运行监管，加 强重点环境风险管控企业应急预案制定，建立常态化的企业隐患排查整 治监管机制，加强风险防控体系建设。表 2.6-2 环境准入条件清单（节选）区块与三线一单管控分区叠加分析示意图及说 明本次调整修改后的准入条件分类行业清单工艺清单产品清 单区块七说明：该区块规划重点发展汽车及零部件、智能机械，本次涉及xx区大xx产业集聚 重点管控单元 2（ZH33010920013）禁止准入 类产业新建、扩建火力发电（燃117、煤）； 49、饲料添加剂、食品添 加剂制造；75、轮胎制造、再生橡胶制造、橡胶加工、橡 胶制品制造及翻新； 111、纺织品制造（有染整工段的）； 114 、原油加工、天然气加工、油母页岩提炼原油、煤制原 油、生物制油及其他石油制品； 117、基本化学原料制造； 农药制造；涂料、染料、颜料、油墨及其类似产品制造； 合成材料制造； 专用化学品制造； 炸药、火工及焰火产品 制造；水处理剂等制造；（单纯混合或分装外的） ；118、 肥料制造：化学肥料制造（单纯混合和分装外的） ；119、 日用化学品制造（单纯混合或分装的除外）； 120、化学药 品制造； 121、化学纤维制造（单纯纺丝除外）； 123118、轮 胎制造、再生橡胶制造、橡胶加工、橡胶制品制造及翻新 （轮胎制造；有炼化及硫化工艺的） ；131 、铁合金制造； 132 、有色金属冶炼（含再生有色金属冶炼）；133 、有色 金属合金制造；135、金属制品表面处理及热处理加工（有电镀工艺的； 有钝化工艺的热镀锌） 。-xxxx环境建设有限公司37xx市xx区上塘路 329 号高性能激光器项目环境影响报告书-涉及电镀、酸洗、磷化、电化学镀、铸造工艺金属制品制造-单纯的表面喷涂项目；87、黑色金属压延加工；89、有 色金属压延加工-55、含湿法印花、染色、水 洗工艺的服装制造-距离居住区规划边界 200 米范围内布置溶剂型油漆喷涂项目-禁止危119、化品货物分拨中心和仓库建设；危险化学品/危险废 物仓储（企业配套原料或产品库除外）-废旧资源（含生物质） 加工再生、利用等-57、制鞋业制造（使用有机溶剂的） ；-限制准入 类产业-现有氨纶、锦纶等三类项目 技改不得增加产能，且污染 物削减量不低于区域减排目标。-xxxx环境建设有限公司38xx市xx区上塘路 329 号高性能激光器项目环境影响报告书2.6.4 xx市“三线一单”生态环境分区管控方案本项目位于xx大xx产业集聚区xx片区，具体地址为xx市xx区东围路599 号，此片区原属于xx区大xx产业集居区（大xx新区） 。对照xx市“三线一单”生态环境分区管控方案（杭环发202056 号120、） ，项目所在地位于xx区大xx产业集聚重点管控单元 2（编码： ZH33010920013）内，具体详见附图 6。本项目分区管控符合性分析详见下表。表 2.6-3 “三线一单”生态环境分区管控符合性分析管控单元 编码、名称管控要求本项目对照分析是否 符合ZH33010920013xx区大xx产业集聚重点管控单元 2空间布局约束： 根据产业集聚区块的 功能定位， 建立分区差别化的产业准 入条件。合理规划居住区与工业功能 区，在居住区和工业区、工业企业之 间设置防护绿地、生活绿地等隔离带。项目选址于xx区东围路 599 号，该区 块以先进制造业为主体，本项目从事电 子元件-高速激光器芯片生产，不121、属于 禁止、淘汰类项目，符合该区域的功能定位。项目所在地为工业区，与居住区 距离较远， 中间隔有农田等用地。符合污染物排放管控：严格实施污染物总 量控制制度，根据区域环境质量改善 目标， 削减污染物排放总量。所有企业实现雨污分流。本项目实施后，将实行雨污分流、污污 分流， 严格落实污染物总量控制制度， 项目废水、废气经处理达标后排放， 固 体废物实现资源化、无害化处理处置。符合环境风险管控：强化工业集聚区企业 环境风险防范设施设备建设和正常运 行监管，加强重点环境风险管控企业 应急预案制定， 建立常态化的企业隐 患排查整治监管机制，加强风险防控体系建设。本项目拟建地不属于沿江河湖库区域， 项目122、实施后，按要求编制突发环境事件 应急预案并交主管部门备案，建立常态 化的企业隐患排查整治监管机制，加强 风险防控体系建设，项目建设符合环境风险防控要求。符合资源开发效率要求。本项目在工业园区内，用电用水供给充裕，消耗的水资源相对较小，在区域资 源利用上线的承受范围之内。符合重点管控对象： 大xx产业集聚 区/从上表可以看出，项目建设符合xx市“三线一单”生态环境分区管控方案要求。2.6.5xx省“十四五”挥发性有机物综合治理方案符合性分析2021 年 8 月 17 日xx省生态环境厅、xx省发展和改革委员会、xx省经济和信息化厅、xx省住房和城乡建设厅、xx省交通运输厅、 xx省市场监督管理局123、国家税务总局xx省税务局联合发布了xx省“十四五”挥发性有机物综合治理方案（浙环发202110 号），结合本项目特点，对照该方案符合性分析见下表。表2.6-4 本项目与xx省“十四五”挥发性有机物综合治理方案符合性分析内容项目情况是否 符合优化产业结构。引导石化、化工、工业涂装、包装印刷、合成 革、化纤、纺织印染等重点行业合理布局，限制高 VOCs 排放本项目从事高速激光器芯片 的生产，属于电子工业， 不符合xxxx环境建设有限公司39xx市xx区上塘路 329 号高性能激光器项目环境影响报告书化工类建设项目，禁止建设生产和使用 VOCs 含量限值不符合 国家标准的涂料、油墨、胶粘剂、清洗剂124、等项目。贯彻落实产 业结构调整指导目录国家鼓励的有毒有害原料（产品）替 代品目录， 依法依规淘汰涉 VOCs 排放工艺和装备， 加大引 导退出限制类工艺和装备力度，从源头减少涉 VOCs 污染物产 生。涉及使用 VOCs含量限值不 符合国家标准的清洗剂、胶 粘剂。根据产业结构调整 指导目录（2019 年） 等文 件，本项目不涉及产业禁止 或限制的工艺和装备，符合 产业政策要求。严格环境准入。严格执行“三线一单”为核心的生态环境分区管 控体系，制（修） 订纺织印染（数码喷印） 等行业绿色准入指 导意见。严格执行建设项目新增 VOCs 排放量区域削减替代规 定，削减措施原则上应优先来源于纳入排污许125、可管理的排污单 位采取的治理措施， 并与建设项目位于同一设区市。xx年度 环境空气质量达标的区域，对石化等行业的建设项目 VOCs 排 放量实行等量削减； xx年度环境空气质量不达标的区域，对石化等行业的建设项目 VOCs 排放量实行 2 倍量削减，直至达 标后的下一年再恢复等量削减。经对照，本项目所在地属萧 山区大xx产业集聚重点管控单元 2（编码：ZH33010920013），符合xx市 “三线一单”生态环境分区管控方案中 的相关管控要求。本项目属 于电子工业，新增 VOCs 按 1:2 的比例削减替代。符合大力推进低 VOCs 含量原辅材料的源头替代。全面排查使用溶 剂型工业涂料、油墨、126、胶粘剂、清洗剂等原辅材料的企业，各 地应结合本地产业特点和本方案指导目录，制定低 VOCs 含量 原辅材料源头替代实施计划， 明确分行业源头替代时间表，按 照“可替尽替、应代尽代” 的原则，实施一批替代溶剂型原辅材 料的项目。加快低 VOCs 含量原辅材料研发、生产和应用，在 更多技术成熟领域逐渐推广使用低 VOCs 含量原辅材料， 到 2025 年， 溶剂型工业涂料、油墨、胶粘剂等使用量下降比例 达到国家要求。本项目从事高速激光器芯片 的生产，属于电子工业，不 涉及溶剂型工业涂料、油墨、 胶粘剂。项目所属工艺和原 材料使用等方面都不断更新 迭代， 项目清洗、光刻等工 序涉及有机溶剂，工艺、原127、 材料和废气处理设施均为行 业内先进。符合严格控制无组织排放。在保证安全前提下，加强含 VOCs 物料 全方位、全链条、全环节密闭管理， 做好 VOCs 物料储存、转 移和输送、设备与管线组件泄漏、敞开液面逸散以及工艺过程 等无组织排放环节的管理。生产应优先采用密闭设备、在密闭 空间中操作或采用全密闭集气罩收集方式，原则上应保持微负 压状态，并根据相关规范合理设置通风量；采用局部集气罩的， 距集气罩开口面最远处的 VOCs 无组织排放位置控制风速应 不低于 0.3 米/秒。对 VOCs 物料储罐和污水集输、储存、处理 设施开展排查， 督促企业按要求开展专项治理。本项目生产车间为洁净车间， 整个128、生产车间实行全封 闭。生产车间内根据生产工 序不同分为几个相应独立操 作间，相关工艺设备分别采 用密闭隔离，隔离操作间内 抽风， 保持操作间内处于负 压状态，只有在往设备中添 加溶剂时才会短时间打开隔 板； 同时生产所需的化学溶 剂以瓶装或桶装形式储存于 厂区甲类库中， 待有需要时 转运至车间设备前加注或更 换。因此， 由于本项目生产 厂房整体呈微负压状态运行，基本可消除生产车间的 无组织排放情况。符合建设适宜高效的治理设施。企业新建治理设施或对现有治理设 施实施改造，应结合排放 VOCs 产生特征、生产工况等合理选 择治理技术，对治理难度大、单一治理工艺难以稳定达标的， 要采用多种技术的组合129、工艺。采用活性炭吸附技术的， 吸附装 置和活性炭应符合相关技术要求，并按要求足量添加、定期更 换活性炭。组织开展使用光催化、光氧化、低温等离子、 一次 性活性炭或上述组合技术等 VOCs 治理设施排查，对达不到要 求的， 应当更换或升级改造， 实现稳定达标排放。到 2025 年， 完成 5000 家低效 VOCs 治理设施改造升级，石化行业的 VOCs项目有机废气处理设施采用 “水喷淋+ 除雾器+活性炭吸 附 ”组合工艺， 及时更换喷 淋用水和活性炭，以确保有 机废气能稳定达标排放。符合xxxx环境建设有限公司40xx市xx区上塘路 329 号综合去除效率达到 70%以上， 化工、工业涂装、包130、装印刷、合 成革等行业的 VOCs 综合去除效率达到 60%以上。加强治理设施运行管理。按照治理设施较生产设备“先启后停” 的原则提升治理设施投运率。根据处理工艺要求， 在治理设施 达到正常运行条件后方可启动生产设备， 在生产设备停止、残 留 VOCs 收集处理完毕后，方可停运治理设施。 VOCs 治理设 施发生故障或检修时，对应生产设备应停止运行， 待检修完毕 后投入使用；因安全等因素生产设备不能停止或不能及时停止 运行的，应设置废气应急处理设施或采取其他替代措施。企业按照治理设施较生产设 备“先启后停” 的原则提升治 理设施投运率。VOCs 治理设 施发生故障或检修时，对应 生产设备应停止131、运行，待检 修完毕后投入使用。符合由上表可知，本项目建设符合xx省“十四五”挥发性有机物综合治理方案相关要求。2.6.6xx省实施细则符合性分析2022 年 3 月 31 日xx省推动长江经济带发展领导小组办公室发布了关于印发 xx省实施细则的通知（浙长江办20226 号），与本项目有关的条目对照情况见下表。表2.6-6 本项目与长江经济带发展负面清单指南（试行， 2022年版）xx省实施细则（摘抄）符合性分析条款文件要求项目情况是否 符合第十 五条禁止在合规园区外新建、扩建钢铁、石化、 化工、焦化、建材、有色、制浆造纸等高污 染项目。高污染项目清单参照生态环境部 环境保护综合目录中的高污染产132、品目录执行。本项目位于xx市xx区东围路 599 号 博潮城，选址属于xx产业片区的轨道交通产业园，属于xx省长江经济带合 规园区清单中的xxxx工业园区；本项目从事高速激光器芯片的生产，属于光电子器件制造，不属于环境保护综合名录（2021 年版）中所列高污染产品名录符合第十 七条禁止新建、扩建法律法规和相关政策明令禁 止的落后产能项目，对列入产业结构调整 指导目录淘汰类中的落后生产工艺装备、 落后产品投资项目，列入外商投资准入特 别管理措施（负面清单）的外商投资项目， 一律不得核准、备案。禁止向落后产能项目和严重过剩产能行业项目供应土地。本项目属于产业结构调整指导目录 （2019 年本） （133、修正） 鼓励类产业， 所用生产设备不属于淘汰类中的落后生 产工艺装备；本项目不属于外商投资 准入特别管理措施（负面清单） （2021 年版） 中的负面清单内容，且项目已 在xx新区行政审批局进行备案赋码。符合第十 八条禁止新建、扩建不符合国家产能置换要求的严重过剩产能行业的项目。部门、机构禁止办理相关的土地（海域） 供应、能评、环评 审批和新增授信支持等业务。本项目不属于严重过剩产能行业项目符合第十 九条禁止新建、扩建不符合要求的高耗能高排放 项目。本项目不属于高耗能高排放项目符合符合性分析：本项目从事高速激光器芯片的生产，项目不属于国家、省、市等落后产能的限制类、淘汰类项目，不属于严重过剩产134、能行业， 产品未列入环境保护综xxxx环境建设有限公司41xx市xx区上塘路 329 号高性能激光器项目环境影响报告书合目录（2021 年版） 的高污染、高环境风险产品目录。本项目拟建于xx产业片区 的轨道交通产业园内， 属于xx省长江经济带合规园区。综上， 本项目的建设符合 xx省实施细则要求。2.6.7挥发性有机物无组织排放控制标准符合性分析2019 年 5 月 4 日，生态环境部发布了挥发性有机物无组织排放控制标准（GB37822-2019），与本项目有关的条目对照情况见下表。表2.6-7 挥发性有机物无组织排放控制标准（GB37822-2019）符合性分析类别标准要求本项目情况是否 符135、合5VOCs 物 料 储 存 无 组 织 排 放 控 制 要 求5.1 基 本 要 求5.1.1 VOCs 物料应储存于密闭的容器、包装袋、 储罐、储库、料仓中。本项目涉及VOCs 的物料均储存 于密闭的容器。符合5.1.2 盛装VOCs 物料的容器或包装袋应存放于 室内，或存放于设置有雨棚、遮阳和防渗设施 的专用场地。盛装 VOCs 物料的容器或包装袋 在非取用状态时应加盖、封口， 保持密闭。盛装VOCs 物料的容器存放于甲 类库、生产车间或危废暂存库 内，在非取用状态时封口保存， 保持密闭。符合5.1.1.3 VOCs 物料储罐应密封良好，其中挥发性 有机液体储罐应符合 5.2 条规定。本136、项目不涉及储罐。符合5.1.1.4 VOCs 物料储库、料仓应满足 3.6 条对密 闭空间的要求。甲类库、危废暂存库均按封闭式 建筑， 设置必要的通风口，门窗 随时保持关闭状态。符合6VOCs 物 料 转 移 和 输 送 无 组 织 排 放 控 制 要求6.1 基 本 要 求6.1.1 液态 VOCs 物料应采用密闭管道输送。采 用非管道输送方式转移液态 VOCs 物料时， 应 采用密闭容器、罐车。采用密闭容器转移液态 VOCs 物 料。符合6.1.2 粉状、粒状 VOCs 物料应采用气力输送设 备、管状带式输送机、螺旋输送机等密闭输送 方式，或者采用密闭的包装袋、容器或罐车进 行物料转移。本137、项目不涉及。-6.1.3 对挥发性有机液体进行装载时，应符合6.2 条规定。本项目不涉及。-7 工 艺 过 程VOCs 无 组 织 排 放 控 制 要 求7.2 含 VOCs 产 品 的 使 用 过 程：7.2.1 VOCs 质量占比大于等于 10%的含 VOCs 产品，其使用过程应采用密闭设备或在密闭空 间内操作， 废气应排至 VOCs 废气收集处理系 统；无法密闭的，应采取局部气体收集措施， 废气应排至 VOCs 废气收集处理系统。含 VOCs 产品的使用过程包括但不限于以下作业：g）清洗（浸洗、喷洗、淋洗、冲洗、擦洗等） 。本项目采用 NMP 、异丙醇、甲 醇、乙醇、DMF 、丁酮、丙酮138、等 有机溶剂清洗，清洗在密闭空间 内操作，废气通过抽风口引至有 机废气收集处理系统处理。符合7.3 其 他 要 求7.3.1 企业应建立台账， 记录含 VOCs 原辅材料 和含 VOCs 产品的名称、使用量、回收量、废 弃量、去向以及 VOCs 含量等信息。 台账保存 期限不少于 3 年。本项目实施后，按照要求建立台 账， 记录含 VOCs 原辅材料的名 称、使用量、废弃量、去向等信 息，台账保存期限不少于 3 年。符合xxxx环境建设有限公司42xx市xx区上塘路 329 号7.3.2 通风生产设备、操作工位、 车间厂房等应 在符合安全生产、职业卫生相关规定的前提下， 根据行业作业规程与标准139、工业建筑及洁净厂 房通风设计规范等的要求，采用合理的通风量。 根据计算， 项目有机废气需要风 机风量为 2937m3/h。项目拟设置 2 台风机风量为 3000m3/h 的变频 风机用于有机废气收集， 1 用 1 备， 可以满足相应生产线所需风 量要求，项目采用的通风量合 理。符合10VOCs 无 组 织 排 放 废 气 收 集 处 理 系 统 要 求10.1基 本 要求：10.1.1 针对VOCs 无组织排放设置的废气收集处 理系统应满足本章要求。企业VOCs 废气收集处理系统与 生产工艺设备同步运行；VOCs 废气收集处理系统发生故障或 检修时，对应的生产工艺设备应 停止运行，待检修完毕140、后同步投 入使用；生产工艺设备能够及时 停止运行。符合10.1.2 VOCs 废气收集处理系统应与生产工艺设 备同步运行。VOCs 废气收集处理系统发生故障 或检修时，对应的生产工艺设备应停止运行， 待检修完毕后同步投入使用；生产工艺设备不 能停止运行或不能及时停止运行的，应设置废 气应急处理设施或采取其他替代措施。10.2废 气 收 集 系 统 要求：10.2.1 企业应考虑生产工艺、操作方式、废气 性质、处理方法等因素， 对 VOCs 废气进行分 类收集。本项目有机废气主要来自光刻、 有机溶剂清洗等工序，光刻设 备、有机溶剂清洗和冶具清洗分 别设置在独立密闭操作区，全程 密闭操作，各清洗线141、废气通过操 作间抽风口分别抽取至相应支 风管。废气收集系统应在负压下 运行。符合10.2.2 废气收集系统排风罩（集气罩）的设置应 符合 GB/T16758 的规定。采用外部排风罩的， 应按 GB/T16758 、AQ/T4274 -2016 规定的方法 测量控制风速，测量点应选取在距排风罩开口 面最远处的 VOCs 无组织排放位置， 控制风速 不应低于 0.3m/s（行业相关规范有具体规定的， 按相关规定执行）。10.2.3 废气收集系统的输送管道应密闭。废气 收集系统应在负压下运行，若处于正压状态， 应对输送管道组件的密封点进行泄漏检测，泄 漏检测值不应超过 500mol/mol，亦不应有142、感官 可察觉泄漏。泄漏检测频次、修复与记录的要 求按照第 8 章规定执行。10.3VOCs 排 放 控 制 要求：10.3.1 VOCs 废气收集处理系统污染物排放应符 合 GB16297 或相关行业排放标准的规定。本项目VOCs 废气收集处理系统 污染物排放符合大气污染物综 合排放标准（GB16297- 1996） 和上海大气污染物综合排放标 准（DB31/933-2015）相应标 准。符合10.3.2 收集的废气中 NMHC 初始排放速率 3kg/h 时， 应配置 VOCs 处理设施， 处理效率 不应低于 80%；对于重点地区，收集的废气中 NMHC 初始排放速率2kg/h 时， 应配置 143、VOCs 处理设施，处理效率不应低于 80%；采用的原 辅材料符合国家有关低 VOCs 含量产品规定的 除外。 。本项目 NMHC 初始排放速率 2kg/h，采用“水喷淋+ 除雾器+ 活性炭吸附 ”处理措施。符合10.3.4 排气筒高度不低于 15m（因安全考虑或有 特殊工艺要求的除外），具体高度以及与周围 建筑物的相对高度关系应根据环境影响评价文 件确定。项目 有机 废 气 排 气 筒 高 度 为 35m。符合10.4记 录企业应建立台账，记录废气收集系统、VOCS 处理设施的主要运行和维护信息，如运行时间、本项目实施后，按照要求建立台 账， 记录废气收集系统、VOCS符合xxxx环境建设有144、限公司43xx市xx区上塘路 329 号要求废气处理量、操作温度、停留时间、吸附剂再 生/更换周期和更换量、 催化剂更换周期和更换 量、吸收液 pH 值等关键运行参数。台账保存期 限不少于 3 年。处理设施的主要运行和维护信 息，台账保存期限不少于 3 年。由上表可知， 本项目的建设符合挥发性有机物无组织排放控制标准相关要求。2.6.8xx省工业企业恶臭异味管控技术指南（试行）符合性分析为加强工业企业恶臭异味管控，改善群众身边的环境空气质量，xx省生态环境厅组织省环境科学学会和相关技术单位编制了xx省工业企业恶臭异味管控技术指南（试行） ，于 2021 年 11 月印发实施。该指南适用对象为x145、x省涉挥发性有机物（VOCs）企业、 农副食品企业、铸造企业、涉酸洗工序企业及其他涉异味企业。 本 项目涉及到挥发性有机物和酸洗工序，与本项目有关的异味管控措施条目对照情况见下表。表2.6-8 本项目与xx省工业企业恶臭异味管控技术指南（试行） 符合性分析类别标准要求本项目情况是否 符合5.1 一般 措施5.1.1 原辅料替代企业依据自身情况、行业特征、现有技术，对涉异味 的原辅材料开展源头替代，采用低挥发性、异味影响 较低的物料，从源头上减少自身异味排放。本项目采用低挥发性、异味影 响较低的物料，从源头上减少 自身异味排放。符合5.1.2 过程控制企业优先对储存、运输、生产设施等异味产生单元146、进 行密闭，封闭不必要的开口。由于生产工艺需求及安 全因素无法密闭的， 可采用局部集气措施，确保废气 收集风量最小化、处理效果最优化。有条件的企业可 通过废气循环化利用实现异味气体“减风增浓”。对 异味影响较大的污水处理系统实施加盖或密闭措施， 使用合理的废气管网设计，密闭区域实现微负压， 确 保异味气体不外泄。本项目所用涉及异味的物料 均储存于密闭的容器，清洗槽 设有独立密闭操作单元，密闭 区域采用微负压抽风，确保异 味气体不外泄；污水处理系统 实施加盖措施，减少异味气体 外泄。符合5.1.3 末端高效治理企业实现异味气体“分质分类”治理。氨、硫化氢、 酸雾等无机废气采用吸收等工艺处理，水溶147、性有机废 气采用氧化吸收、吸附等工艺处理， 非水溶性有机废 气采用冷凝、吸附、燃烧等工艺处理，实现废气末端 治理水平进一步提升。异味气体中酸雾采用碱液吸 收工艺，氨采用水吸收工艺， 有机废气采用水吸收+活性 炭吸附工艺。符合5.1.4 治理设施运行管理企业对废气治理设施进行有效的运行管理，定期检查 设施工作状态，吸收类治理设施需定期更换循环液并 添加药剂， 吸附类治理设施需定期更换或再生吸附 剂，燃烧类治理设施需设定有效的氧化温度和停留时 间，确保设施运行效果。重点企业运用在线监测系统、 视频监控等智慧化手段管理废气治理设施。项目实施后，要求对吸收用水 定期更换，对吸收用碱液定期 更换并添加新148、碱液，对活性炭 定期更换。符合5.1.5 排气筒设置企业合理设置异味气体排气筒的位置、高度等参数， 降低异味对周边区域影响。项目异味气体排气筒位于所 在厂房的楼顶， 高度约 35m， 可以降低异味对周边区域影符合xxxx环境建设有限公司44xx市xx区上塘路 329 号高性能激光器项目环境影响报告书响。5.1.6 异味管理措施企业设置专业xx管理人员， 并建立完善的xx管理 制度， 对产生异味的重点环节加强管理， 按照 HJ 944 、HJ 861 的要求建立台账。项目实施后，按要求执行。符合5.2 异味 管控重 点领域 及措施5.2.1 涉 VOCs 企业管控环节与措施涉 VOCs 企业为异149、味管控重点，其中各行业的重点管 控环节见表 3。涉 VOCs 企业符合xx省挥发性有 机物污染防治可行技术指南要求， 污水处理设施中 异味产生单元实施加盖或密闭措施，针对异味气体特 征进行分质分类处理，对臭气浓度较高的处理尾气可 增加深度除臭设施。废气应急排放旁路按规定配置治 理设施，非正常工况废气排放满足标准要求。石化、 化工企业定期开展泄漏检测与修复（LDAR）工作。 涉 VOCs 企业管控措施详见附录 D 中表 D.1D.11。本项目不属于附录 D 中表 D.1D.11 行业。本项目实施后，污水处理设施 中异味产生单元实施加盖措 施，针对异味气体特征进行分 质分类处理。符合5.2.4 涉150、酸洗工序企业管控措施涉酸洗工序企业为异味管控重点。企业优化生产工 艺， 使用酸雾抑制剂减少酸雾产生。对酸洗工序优先 采用区域全密闭的收集方式， 或采用集气罩、吹吸罩 兼全密闭的收集方式，确保密闭空间保持微负压， 提 高废气收集效率。治理设施需与生产设备“同启同 停”，所收集的酸雾采用化学吸收等工艺处理，安装 药剂自动添加装置， 确保吸收液定期更换。涉酸洗工 序企业管控措施详见附录 D 中表 D.14。项目酸洗工序采用区域全密 闭的收集方式，确保密闭空间 保持微负压，提高废气收集效 率。治理设施与生产设备“同启同 停”，所收集的酸雾采用二级 碱液喷淋工艺处理，并安装药 剂自动添加装置，确保吸收液151、 定期更换。项目实施后，按照附录 D 中 表 D.14 要求进行管控。符合由上表可知， 本项目的建设符合xx省工业企业恶臭异味管控技术指南（试行）相关要求。2.6.9 xx市生态环境局关于加强低效挥发性有机物治理设施改造升级工作的通知符合性分析经对照xx市生态环境局关于加强低效挥发性有机物治理设施改造升级工作的通知（杭环便函2022192 号），本项目符合该通知的相关要求，详见下表。表2.6-9 本项目与xx市生态环境局关于加强低效挥发性有机物治理设施改造升级工作的通知符合性分析类别内容具体措施本项目情况结 论规范 工程 治理严把治 理技术除恶臭异味治理外， 企业应淘汰原有单一或 组合工艺中的152、光催化、光氧化、低温等离子 等低效 VOCs 治理设施， 并参照xx省挥发性有机物污染防治（可行）技术指南（系 列），依据排放废气特征、VOCs 组分及浓 度、生产工况等，合理选择规范吸附装置或 升级高效 VOCs 治理设施，确保稳定达标排 放。原料 VOCs 浓度高、污染严重的生产工 艺原则上采用 RTO 、RCO 等高效处理方式； 采用活性炭吸附处理技术的，吸附装置和工本项目有机废气采用“水喷淋 + 除雾器+活性炭吸附 ”处理。符 合xxxx环境建设有限公司45xx市xx区上塘路 329 号高性能激光器项目环境影响报告书艺设计应符合HJ2026-2013 等技术规范要求， 废气中含颗粒物、153、油烟（油雾）、水分等影响 吸附过程物质的，应采取相应的预处理措施。 除恶臭异味治理外，一般不使用低温等离子、 光催化、光氧化等技术。严控无组织排放VOCs 物料储存、转移和输送、物料投加和 卸放、配料加工及含 VOCs 产品（质量占比 大于等于 10%）的使用等环节应采用密闭设 备或严格落实密闭空间操作，并合理选择废 气收集方式，规范设计吸风风量，保证废气 收集效率。本项目生产车间为洁净车间 设计， 针对涉及 VOCs 的环 节，严格落实密闭和废气收集 措施，设置合理的风量，确保 废气收集效率。VOCs 物料采 用小规格包装桶，储存过程仅 有极少量无组织排放。符 合规范 活性 炭吸 附运 行管154、 理严把活 性炭质 量关用于 VOCs 治理的活性炭采用煤质活性炭或 木质活性炭，活性炭结构应为颗粒活性炭。 活性炭技术指标应符合 LY/T3284 规定的优 级品颗粒活性炭技术要求，碘吸附值不低于 800mg/g 或四氯化碳化碳吸附率不低于 60%。本项目选用符合 LY/T3284 规 定的活性炭。符合严格填充量和更换时间原则上活性炭更换周期一般不应超过累计运 行 500 小时或 3 个月，用于吸附脱附燃烧废 气处理设施的活性炭使用寿命原则上不超过 6 个月。本项目正常情况下活性炭更 换周期为 500h。符合严格危 废管理产生活性炭企业每年都与有资质的单位签订 危废处置协议， 并建议在合同中155、明确活性炭 使用量及废活性炭产生量、处置量等。企业 应按要求做好活性炭吸附日常运行维护台账 记录， 包括开启时间、关停时间、更换时间 和装填数量，相关台账应保存 5 年以上。废活性炭纳入危险废物管理， 每年定时委托有资质单位清 运处理，废活性炭设有日常运 行维护台账记录，同时本环评 要求企业相关台账应保存 5 年以上。符 合由上表可知，项目符合xx市生态环境局关于加强低效挥发性有机物治理设施改造升级工作的通知（杭环便函2022192 号）相关要求。2.6.10 xx污水处理厂xx污水处理厂位于xx区东部围垦外十五工段， 采用 BOT 方式运行， 由上海大众公共事业（集团）股份有限公司和xxxx156、污水处理有限公司联合投资。 xx污水处理厂远期规划污水处理能力 100 万 m3/d ，一期工程规模为 30 万 m3/d，二期规模为20 万 m3/d。服务范围为： xx区xx新城 160.2km2 ，前进工业园区 40km2 ，xx新城150km2、空港新城 71km2 ，以及xx片 6 个乡镇和xx片 5 个乡镇，总服务面积 610km2。目前该污水处理厂提标改造已完成，提标改造完成后，该污水处理厂出水水质执行城镇污水处理厂污染物排放标准（GB18918-2002）中一级 A 标准。xx污水处理厂二期工程已于 2017 年底建成，目前已投入使用。xx污水处理厂提标改造后一期、二期处理工艺157、流程见图 2.6- 1 和图 2.6-2。xxxx环境建设有限公司46xx市xx区上塘路 329 号高性能激光器项目环境影响报告书提升泵房二期进水硝化液回流均质调节池好氧池进水出水排至 xx江稳流格栅井三相 催化 氧化 反应池折板絮凝池调节池AO 生 化 池二沉池提升水池初沉池高效澄清池调节池提升泵房三催氧反稳定塘高效沉淀池高效纤维滤池格网槽初沉池混凝反应池相 化 化 应池缺氧池二沉池污泥回流图 2.6-1 一期提标改造后污水处理工艺流程图UBF 水 解 池 稳 定 池紫外消毒池高效澄清池排海泵房厂内高位井出水排至xx 江 图 2.6-2 二期扩建工程污水处理工艺流程图xx污水处理厂属于工业污158、水处理厂，污水处理厂进水水质控制标准为： CODCr500mg/L、氨氮35mg/L 和 SS400mg/L。本次环评收集了xx省生态环境厅公开的xx污水处理厂 2022 年 5 月、8 月和 10月的监督性监测数据。 xx污水处理厂水质监测结果见下表 2.6- 10。表2.6-10 xx污水处理厂污水总排放口在线监控数据统计表监测项目排放浓度标准限值单位是否达标2022.5.172022.8.32022.10.18pH7.26.87.269无量纲达标COD28403750mg/L达标BOD52.43.94.210mg/L达标氨氮（NH3-N）1.210.5090.1482.5mg/L达标总氮159、（以 N 计）7.057.434.9715mg/L达标总磷（以 P 计）0.040.040.060.5mg/L达标悬浮物86910mg/L达标xxxx环境建设有限公司47xx市xx区上塘路 329 号石油类0.230.080.081mg/L达标阴离子表面活性剂（LAS）0.1780.210.210.5mg/L达标总砷0.00030.00030.00040.1mg/L达标总镍0.0070.0070.0070.05mg/L达标总铅0.001760.000480.000440.1mg/L达标总铬0.0080.0050.0120.1mg/L达标六价铬0.0040.0040.0040.05mg/L达标总160、汞0.000040.000140.000280.001mg/L达标总铜0.0310.0310.050.5mg/L达标总镉0.000170.000050.000050.01mg/L达标由上表可知，xx污水处理厂总排口主要污染因子均能满足城镇污水处理厂污染物排放标准（GB18918-2002）中的一级 A 标准要求， 其中氨氮满足 2.5mg/L 的标准。xxxx环境建设有限公司48xx市xx区上塘路 329 号高性能激光器项目环境影响报告书3 建设项目概况及工程分析3.1 基本概况3.1.1 项目基本概况项目名称：高性能激光器项目。建设单位：xxxx半导体有限公司。建设性质：新建项目。所属行业：161、C3976 光电子器件。建设地点：xx市xx区东围路 599 号博潮城 6 幢北一层、二层。总投资：10 亿元人民币。主要建设内容及规模：本项目租赁xx大xx地产开发有限公司坐落在xx大xx产业集聚区xx片区的厂房为生产场所， 具体地址为xx市xx区东围路 599 号博潮城 6 幢北一层、二层，租赁建筑面积约 5628.68m2 ，购置有机溶剂清洗、研磨、切割等工艺， 进行高性能激光器芯片的生产。本项目分期实施，其中一期年产高性能激光器芯片 300 万颗，二期年产高性能激光器芯片 700 万颗，共计 1000 万颗。 一期计划 2023 年投产，二期计划 2026 年投产。劳动定员：本项目拟定162、劳动定员一期 17 人， 一班 8 小时制，其中 MO-CVD 工段 为三班制； 二期增至 40 人， 所有工段均为三班制，年工作日 250 天。宿舍和食堂依托园区已有服务设施。3.1.2 工程内容本项目工程内容一次建设完成，二期仅增加少量生产设备，增加劳动人员，调整工作制度即可。本项目主要工程内容见表 3.1- 1。xxxx环境建设有限公司49xx市xx区上塘路 329 号高性能激光器项目环境影响报告书表3.1-1 本项目主要工程内容一览表项目名称建设内容主体 工程生产车间租赁园区已建成厂房（共四层， 建筑总高 27m）的北一层车间为生产车间， 建 筑面积约 2814.34m2 ，车间层高约163、 8.5m，车间内设置外延区、光刻区、干法蚀 刻、沉积、蒸镀区、 湿法作业区、化学镀金区和测试区。生产规模为一期年产高性能激光器芯片 300 万颗，二期增加 700 万颗，共计 1000 万颗。储运 工程甲类库位于租赁园区内南侧，占地面积约 86m2 ，用于化学品的存放。N2 站位于生产车间外东侧，设置 1 个 10m3 立式液氮储罐，用于外购成品液氮储存。N2 纯化间位于生产车间内东侧，占地面积约 15m2。供氢站位于生产车间外东侧，设置 10 组氢气集装格，用于外购成品氢气储存。H2 纯化间位于生产车间内东侧，占地面积约 20m2。气体储存间位于生产车间内东侧，分为有毒和腐蚀性气体间、易燃164、易爆气体间和惰性气体 间，占地面积分别约 20m2 、15m2 、20m2。原料仓库位于生产车间内，占地面积约 30m2。成品仓库位于生产车间内，占地面积约 40m2。辅助 工程办公区租赁已建成厂房的北二层车间为办公室， 车间层高约 6m。纯水制备 系统设置纯水制备系统 1 套， 位于生产车间内西侧，采用“三级过滤+两级 RO+EDI+UV-TOC+抛光树脂+微滤”工艺制备纯水， 设计处理能力为 7.5m3/h，产水 量为 5m3/h。冷却水系统位于生产车间南侧的综合动力站，冷却用水循环使用，定期排放。公用 工程供水系统生产用水、生活用水均由市政自来水管网供应。排水系统实行雨污分流， 雨水接入165、雨水管网。 生产废水、生活污水分别经预处理后， 一 并接入市政污水管网，进入xx污水处理厂， 处理达标后排入xx江。供电系统由市政电网提供。xx工程废气外延废气： 设置 1 套尾气处理设备； 生产设备密闭，废气经管道收集后采用二 级专用活性炭吸附装置处理后，经风管引至楼顶由 30m 高排气筒（DA001）排 放。干法蚀刻废气： 设置 1 套尾气处理装置； 生产设备密闭， 废气经管道经收集后 采用水洗处理后，接入楼顶酸性废气处理装置，采用二级碱液喷淋处理后， 通 过 35m 高排气筒（DA002）排放。沉积废气： 设置 1 套尾气处理装置； 生产设备密闭，废气经管道收集后采用电 热+水洗处理后，166、 接入楼顶酸性废气处理装置，采用二级碱液喷淋处理后，通过 35m 高排气筒（DA002）排放。酸性废气（干法蚀刻废气、湿法蚀刻废气、酸液清洗废气）： 设置 1 套废气处 理装置；湿法蚀刻机、酸液清洗机、镀金线和部件清洗机分别设置独立操作间， 密闭操作，废气经管道收集后通过风管引至楼顶酸性废气处理装置，与含经预 处理的干法蚀刻废气、沉积废气一并采用二级碱液喷淋处理后，通过 35m 高排 气筒（DA002）排放。有机废气： 设置 1 套处理设备；光刻设备、有机溶剂清洗机分别设置密闭操作 间， 废气经管道收集；废气收集后通过风管引至楼顶有机废气处理装置，经“水 喷淋+ 除雾器+活性炭吸附”处理后由 167、35m 高排气筒（DA003）排放。车间内泄漏的少量废气经整体车间空调新风系统收集后， 经风管引至楼顶由 35m 高排气筒（DA004）排放。废水生产废水经自建废水处理站处理后， 纳管排放；废水处理站位于园区内南侧， 设计处理规模为 72m3/d；生活污水经园区内隔油池+化粪池预处理后，纳管排 放。噪声采用低噪声型号设备、厂房隔声；高噪声设备设置减振基座； 针对风机、水泵、 空压机、冷水机组等高噪声设备采取减振、消声、 隔声等降噪措施。xxxx环境建设有限公司50xx市xx区上塘路 329 号高性能激光器项目环境影响报告书固废处置在甲类库东侧分别设置一般工业固废暂存库和危险废物暂存库，占地面积168、分别 约 14m2 ；一般工业固废外售综合利用；危险废物分类收集后，由有资质单位处 置；设置垃圾桶若干，生活垃圾收集后交由当地环卫部门统一清运处理。其他进行分区防渗、防腐。依托 工程宿舍、食堂依托园区已有服务设施。生活污水处 理设施依托园区已有生活污水收集管线、隔油池、化粪池和排放口3.1.3 产品方案本项目主要从事高速激光器芯片的生产加工，无封装加工。项目分期实施，具体产品方案见表 3.1-2。表3.1-2 本项目产品方案产品名称单位产能备注一期二期合计高速激光器芯片万颗/年30070010003 英寸，无封装加工3.1.4 主要生产设备和产能匹配性分析1.主要生产设备本项目主要设备清单见下169、表。（涉及商业秘密，不予公示）2.产能匹配性分析（涉及商业秘密，不予公示）3.1.5 主要原辅料及能（资） 源情况1.项目主要原辅料及能（资）源本项目主要原辅料及能（资）源消耗情况见下表。（涉及商业秘密，不予公示）2.主要原辅料理化性质本项目部分原辅料理化性质见下表。（涉及商业秘密，不予公示）3.1.6 厂区总平面布置图及合理性分析由企业提供资料可知， 项目租赁博潮城 6 幢北侧的一、二层作为生产经营场所，其中一层为生产车间，二层为办公区。生产车间呈东西走向，生产区布置在车间中部，车间东侧设有特气间和气体纯化间，南侧设置综合动力站，西侧设置原料仓库、成品仓库、纯水站。生产车间外东侧设置供气站，170、分为氮气站和供氢站，距离园区次出入较近，便于xxxx环境建设有限公司51xx市xx区上塘路 329 号高性能激光器项目环境影响报告书气体运输。因受项目生产车间和园区内空间限制，项目生产废水处理站、 甲类库、危险废物 暂存库等辅助设施布置于园区南侧， 远离园区综合楼（布置有倒班宿舍、食堂、园区 办公区等）和项目办公区。当地主导风向为西南风，综合楼位于项目辅助设施的侧风向，也可最大限度降低项目对园区综合楼的影响。根据园区平面布置图，项目甲类库、危险废物暂存库选址在园区内南侧，距离厂区内道路、周边厂房建筑均能满足建筑设计防火规范（GB50016-2014）要求。因项目生产废水处理站、甲类库、危险废物171、暂存库等辅助设施距离生产车间有一 定距离， 要求企业加强生产废水收集、管道防渗以及危化品、危险废物安全转移工作，避免对园区内的影响。综上分析，项目厂区平面布置基本合理。本项目生产车间布置见附图 4，园区平面布置见附图 2。3.1.7 辅助工程1.循环冷却水系统本项目采用风冷式冷水机组提供设备冷却用水， 设置 11 台冷水机组， 位于车间南侧综合动力站内。冷水机组采用板式换热器进行换热冷却，用于等生产设备冷却用水。 满负荷生产时， 一期冷水机组循环水量 7.5m3/h ，年运行约 4300h，二期建成后循环水量 10m3/h ，年运行 6000h。为确保冷却效果和循环水水质，循环冷却水需要定期排172、入废水处理站，与其他经预处理的生产废水一起纳管排放。2.纯水系统本项目设置 1 套纯水制备系统，制备的纯水主要用于生产过程中各阶段芯片清洗工序、湿法蚀刻工序、酸液稀释用水等。本项目采用“三级过滤+两级 RO+EDI（连续电除盐）+UV-TOC（紫外线除有机碳）+抛光树脂+微滤”工艺制备纯水，制备流程见图 3.1- 1。根据设计方案， 此套纯水设备设计处理能力为 7.5m3/h，产水率为 70%，产生的浓 水部分用于酸性废气喷淋塔、有机废气水洗塔补充水，多余部分与其他经预处理的生 产废水一起纳管排放； 定期对抛光树脂进行再生，产生少量再生废水，进入自建废水处理站处理达标后纳管排放；定期更换的废 173、RO 膜、废滤芯、废活性炭和废离子树脂xxxx环境建设有限公司52xx市xx区上塘路 329 号高性能激光器项目环境影响报告书市政自来水一 级反渗 透原水箱石英砂过滤器活性炭过滤器二级反渗透反渗透产水箱精密过滤器EDI反渗透产水箱精密过滤器热交换器抛光树脂超滤水箱 用水点N2等废物，属于一般工业固废，由生产厂商定期更换回收，不在厂区内暂存。絮凝剂pH调节还原剂、阻垢剂保安过滤器浓水（含反冲洗水）UV-TOC图 3.1-1 本项目纯水制备流程图3.供气系统项目供气系统设有一套完整的气体监控系统。包括：监控工作站、服务器、可程控器、网络界面、电脑周边设备、现场监控组件、警报显示系统等。（1）供氢站174、在生产厂房东侧设置供氢站， 设置集装格用于外购成品氢气气瓶储存，共设置 10组氢气集装格， 5 用 5 备，单组氢气集装格存放 16 个钢瓶，单瓶容量 47L。（2）供氮站在生产厂房东侧设置氮气站， 设置 1 个 10m3 液氮储罐，用于外购液成品液氮贮存，配置 2 套空温式汽化器。使用时，氮气经气化后，由管道输送至生产车间纯化设备纯化处理后，再输送至车间各用气单元。（3）特气间包括有毒和腐蚀性气体间、易燃易爆气体间和惰性气体间，除大宗气体氮气和氢 气外，其他气体以气瓶柜方式设置， 并分类储存，气瓶柜具有自动关闭，自动上锁功 能。各气柜及气柜间均设有安全防爆防泄漏等装置。 特气间内设置一般排风175、兼事故排风系统。xxxx环境建设有限公司53xx市xx区上塘路 329 号高性能激光器项目环境影响报告书企业拟成立特气专业团队对全厂特气购买、运输、使用、废弃等各方面进行全过程管理。4.储运系统本项目原辅材料涉及到一般物质、MO 源、酸碱化学品、有机化学品、特种气体、 大宗气体等。各类原辅材料均由专业公司车运送至厂区后， 按性质分别置于甲类库、气站或厂房内储存间暂存，并做好安全防护措施。本项目在租赁的厂区南侧设置 1 座甲类库，用于酸碱化学品、有机化学品等化学品的存放。 甲类库由专人看管，并设置安全防范措施。3.2 项目工程分析3.2.1 工艺流程与产污环节1.工艺流程本项目从事高性能激光器芯176、片生产加工，先对原料衬片进行外延片加工，然后进 行晶圆芯片制作，再进行芯片测试，最后包装入库。项目总体工艺流程图架构图见图3.2- 1 。具体工艺流程详图见图 3.2-2 和图 3.2-3。（涉及商业秘密，不予公示）图 3.2-1 项目总体工艺流程架构图（涉及商业秘密，不予公示）图 3.2-2 外延片加工工艺流程和产污环节图（涉及商业秘密，不予公示）图 3.2-3 芯片加工工艺流程和产污环节图xxxx环境建设有限公司54xx市xx区上塘路 329 号高性能激光器项目环境影响报告书3.2.2 污染工序及污染因子本项目营运期主要污染因子具体见表 3.2- 1。表 3.2-1 本项目营运期污染工序及177、污染因子汇总序号类别产生工序污染源 编号主要污染因子1废气G1外延废气（粉尘、砷化氢、磷化氢、乙烷、甲烷）2G2酸雾（硫酸雾、氯化氢、氟化氢）3G3有机废气（非甲烷总烃）4G4干法蚀刻废气（氯气、氟化物）5G5湿法蚀刻废气（硫酸雾、氯化氢、磷酸雾、氟化 氢、溴化氢、乙酸）6G6有机废气（NMP、甲醇、乙醇、异丙醇、DMF、丁酮、丙酮）7G7沉积废气（SiH4 、NOX 、C2H4 、SiO2）8G8沉积废气（SiH4 、NH3 、Si3N4）9G9灰化废气（CO 、CO2）10废水W1一般酸性废水（pH 、CODCr 、SS）11W2含氟废水（pH 、CODCr 、SS、氟化物、总氮、氨氮）1178、2W3含磷废水（pH 、CODCr 、SS 、总磷）13W4有机废水（pH 、CODCr 、SS 、总氮、 氨氮）14W5切割废水（SS）15W6浓水、离子树脂再生水（CODCr 、SS）16W7排污水（CODCr 、SS）17W8酸性废气喷淋塔排水（pH 、CODCr 、SS、总氮、氨氮、 总磷、氟化物）18W9水洗塔排水（pH、氟化物）19W10电热水洗装置排水（pH 、SS）20W11喷淋塔排水（pH 、COD 、TN 、NH3-N）21W12CODCr 、SS 、NH3-N22噪声/Leq(A)23固废S1废衬底片24S2反应沉积物25S3废酸液26S4含氟废液27S5废光刻胶、聚酰亚179、胺28S6废显影液29S7废次品30S8有机废液31S9废金属箔xxxx环境建设有限公司55xx市xx区上塘路 329 号32S10废镀金液33S11研磨废液34S12废靶材35S13废化学品容器、 一般废包装物36S14RO 膜、 废滤芯、废活性炭37S15废离子树脂38S16含砷废吸附材料39S17有机废气废活性炭40S18一般污泥41S19危废污泥42S20废机油43S21废抹布/手套44S22生活垃圾3.2.3 物料平衡和水平衡1.物料平衡（涉及商业秘密，不予公示）2.有毒有害物料及元素平衡（1）砷平衡（涉及商业秘密，不予公示）（2）磷平衡（涉及商业秘密，不予公示）（3）氟平衡（涉及商180、业秘密，不予公示）（4）氨平衡（涉及商业秘密，不予公示）（5）有机溶剂平衡（涉及商业秘密，不予公示）3.水平衡图（涉及商业秘密，不予公示）xxxx环境建设有限公司56xx市xx区上塘路 329 号高性能激光器项目环境影响报告书3.2.4 污染源强分析3.2.4.1 废气本项目产生的废气主要为工艺尾气（外延废气、沉积废气）、酸性废气（酸洗废气、湿法蚀刻废气、干法蚀刻废气）和有机废气。根据电子企业生产车间的洁净度要求， 整个生产车间实行全封闭。生产车间内根 据生产工序不同分为几个相应独立操作间，相关工艺设备分别采用密闭隔离、 隔离操 作间内抽风，保持操作间内处于负压状态， 只有在往设备中添加溶剂时181、才会短时间打 开隔板；同时生产所需的化学溶剂以瓶装或桶装形式储存于厂区甲类库中，待有需要时转运至车间设备前加注或更换。本项目外延废气、 干法蚀刻废气、沉积废气通过与设备相连的管道收集；其他废 气通过独立相应密闭间抽风口收集，少量废气会在产品进出密闭间时逸散至生产车间， 该部分废气经整体车间空调换风系统收集后， 与一般排风系统收集的一般废气、高温排气一起经风管引至楼顶由排气筒高空排放。1.外延废气（G1）本项目整个 MOCVD 反应过程在富 As、富 P 的环境下进行。经与建设单位核实， 外延炉砷烷、磷烷仅有部分与 MO 源反应，反应过程中， MO 源完全反应生成 GaAs 、 InP、AlAs182、 、InZnP3 等粉尘， 其中一部分 GaAs、InP、AlAs、InZnP3 附着在基片上形成 外延片，另一部分则在高温排气冷却时以细小颗粒物形式排放。外延炉工艺尾气经与 外延炉相连的管道密闭收集后， 通过本地 LSC 尾气处理装置（采用二级干式吸附工艺）处理后， 引至建筑物楼顶通过 1 根 30m 高排气筒（DA001）排放。本项目生产在超洁净室内进行， 所使用的外延炉为密封式，外延废气捕集效率按 100%计； 根据废气设计方案和企业提供资料， 干式吸附剂对粉尘、砷烷、磷烷处理效 率99.5%；本项目采用二级专用活性炭吸附装置，保守考虑，本环评按处理效率为 95%计。根据设备工艺参数， 183、排气筒 DA001 一期风机风量 2000m3/h，二期建成后风机风量为 4000m3/h。经计算，本项目外延废气产生和排放情况见下表。表3.2-8 本项目外延废气产生和排放源强一览表工评价时污染物名称产生情况有组织排放情况xxxx环境建设有限公司57xx市xx区上塘路 329 号序段产生浓度 （mg/m3）产生速率 (kg/h)产生量 (kg/a)排放浓度 （mg/m3）排放速率 (kg/h)排放量 (kg/a)外延一期粉尘1.160.0027.730.060.00010.39其中含砷粉尘0.650.0014.340.030.00010.22砷化氢0.150.00030.980.010.00184、0010.05磷化氢4.650.00931.120.230.00051.56非甲烷总烃0.120.00020.830.010.000010.04甲烷0.450.0013.030.020.000050.15二期工程后全厂粉尘1.160.00525.780.060.00021.29其中含砷粉尘0.650.00314.460.030.00010.72砷化氢0.150.00063.280.010.000030.16磷化氢4.650.019103.740.230.00095.19非甲烷总烃0.120.00052.760.010.000020.14甲烷0.450.00210.090.020.00010.5185、0注： 根据 MO-CVD 生产能力和设备台数核算， 一期工程外延加工时间约为 3350h；二期工程，外延 加工时间约为 6000h；乙烷按非甲烷总烃计。2.酸性废气（G2 酸洗酸雾、G4 干法蚀刻废气、G5 湿法蚀刻废气）、沉积废气（G7、G8）（1）酸洗、湿法蚀刻（G2 酸洗酸雾、G5 湿法蚀刻废气）项目外延片清洗、湿法蚀刻使用到硫酸、磷酸、盐酸、硝酸、 氢氟酸、BOE 蚀刻液、双氧水、碘酸、氢溴酸、乙酸等。酸性液体使用过程中会挥发少量酸雾。根据企业提供资料，硝酸用量较少，酸雾产生量较少，本环评不予以定量计算。硫酸雾、氯化氢、磷酸雾废气产生系数参照污染源强核算技术指南 电镀 （HJ984-186、2018）、简明通风设计手册（孙一坚主编 xx建筑工业出版社 1997 年） 等资料， 硫酸雾 25.2g/m2 h、氯化氢 80g/m2 h、磷酸雾 5g/m2 h、氟化物 72g/m2 h。因上述资料无溴化氢产生系数，溴化氢按下式计算：G=M（0.000352+0.000786V）PF式中： G酸雾量， kg/h；M液体的分子量；V酸液表面上的空气流速，无条件实测时一般取 0.2-0.5m/s，本项目槽液清洗在密闭设备内进行，取 0.35m/s；P相应于酸液温度下的空气中的蒸汽分压力 mmHg 柱；溴化氢的蒸汽分压力从化工物性算图手册中查询得出。F酸液蒸发面表面积，m2。计算出本项目酸性废187、气产生源强情况见表 3.2-9表 3.2- 11。xxxx环境建设有限公司58xx市xx区上塘路 329 号高性能激光器项目环境影响报告书表3.2-9 本项目酸性废气产生源强一览表（1）工 序槽名称污染物名称散发率 g/(hm 2)单个槽表面积(m2)槽个数(个)产生速 率(kg/h)一期产生量(kg/a)全厂产生量(kg/a)清 洗、 湿法 蚀刻硫酸+双氧水槽硫酸雾25.20.0480.00814.5248.38硫酸槽*110.02512.6037.80盐酸槽氯化氢800.0420.00611.5238.40盐酸+磷酸槽氯化氢800.0460.01934.56115.20磷酸雾50.0460188、.0012.167.20氢氟酸+BOE 蚀刻液槽氯化氢750.0480.02341.47138.24注： * 硫酸槽用于部分设备零件清洗， 一期工程清洗时长约 2h/d，二期建成后清洗时长约 6h/d。表3.2-10 本项目酸性废气产生源强一览表（2）工序槽名称污染物名称分子量蒸汽分压力(mmHg 柱)单个槽表面积(m2)槽个数 (个)产生速 率(kg/h)一期产生量(kg/a)全厂产生量(kg/a)湿法蚀 刻氢溴酸+ 乙酸槽溴化氢80.90.60.0420.0014.3814.61表3.2-11 本项目酸性废气产生源强一览表（3）工序槽名称污染物名称产污系数产生速率(kg/h)一期产生量(k189、g/a)全厂产生量(kg/a)湿法蚀刻乙酸乙酸10%0.0023.7812.60（2）干法蚀刻（G4 干法蚀刻废气）本项目用于干法蚀刻的气体主要有 Cl2 、CF4 、SF6 、SiCl4 、CHF3 、HBr 、HI 等。 干法蚀刻原理是在射频作用下，刻蚀气体产生高能等离子体，同 GaAs 反应达到蚀刻 效果。此干法蚀刻产生的大气污染物主要为氟化物、未参加反应的 Cl2 以及 SiCl4 分解 产生的 Cl2 等。本着最不利原则， 产生废气按 100%氯气及氟化物考虑（HBr、HI 用量较少，忽略不计）。本项目干法蚀刻废气产生情况见下表。表3.2-12 本项目干法蚀刻废气产排放源强一览表工序190、污染物名称产生情况产生速率(kg/h)一期产生量(kg/a)全厂产生量(kg/a)干法蚀刻氯气0.237426.481421.59氟化物0.238428.401428.00（3）沉积废气（G7 、G8）SiO2 、Si3N4 沉积反应过程中，反应气 SiH4 和 N2O 反应生成 SiO2 ，Si(OC2H5)4 分 解反应生成 SiO2 和 C2H4 ，SiH4 和 NH3 反应生成 Si3N4 ，反应气体中 N2O 、NH3 过量， 硅烷 SiH4 基本完全反应， 仅有少量未反应（按 10%考虑） 。Si(OC2H5)4 用量很少， 按 完全反应考虑。沉积废气主要为未反应完的 SiH4 、191、反应剩余的 N2O 、NH3 、反应生成的 C2H4 、未沉积的 SiO2 和 Si3N4 粉尘（按 20%计）。xxxx环境建设有限公司59xx市xx区上塘路 329 号高性能激光器项目环境影响报告书本项目沉积废气产生情况见下表。表3.2-13 本项目沉积废气产排放源强一览表工序污染物名称产生情况产生速率(kg/h)一期产生量(kg/a)全厂产生量(kg/a)SiO2 、Si3N4 沉积硅烷0.000010.020.05NOX0.006410.1733.90乙烯0.00010.140.47氨0.00314.8916.29粉尘0.000040.070.22本项目生产厂房为洁净室，各生产工段均布192、置在独立密闭无尘间内，且各湿法蚀 刻、酸液清洗线、部件清洗线均设置独立密闭操作区，全程密闭操作，各清洗线废气 通过密闭间内抽风口分别抽取至相应支风管， 通过各支风管引至主风管，经过酸性废 气处理装置处理后排放；配料在通风操作柜内进行，操作保持负压； 干法蚀刻废气经 与蚀刻机相连的管道密闭收集后， 通过 LSC 尾气处理装置（水洗法） 处理后，收集的 废气引至主风管； 沉积废气经与沉积设备相连的管道密闭收集后， 通过本地 POU 尾气 处理装置（采用电热+水洗措施）处理后， 引至建筑物楼顶，一并经酸性废气处理装置，最终通过 1 根 35m 高排气筒（DA002）排放。干法蚀刻废气、沉积废气通过与193、设备相连的管道收集， 废气捕集率 100%；各湿法 蚀刻、酸液清洗线、 部件清洗线废气在产品进出密闭间时， 会有少量废气逸散至生产 车间， 废气收集效率按 95%计；未被收集的废气经整体车间空调换风系统收集后，与 一般排风系统收集的一般废气、高温排气一起经风管引至楼顶由排气筒 DA004 高空排放。酸性废气处理装置为二级碱液喷淋系统，处理效率可以达到 80%以上（针对部分 磷酸雾、溴化氢、乙酸等污染物产生量较低，处理效率按 50%计）；沉积废气“电热 +水洗”措施综合处理效率可以到 95%以上，参考同类企业同类废气处理效率， 保守 考虑，本环评针对沉积废气中可燃或者高温分解的气体（硅烷、笑气、194、 C2H4 、NH3 ） 按燃烧净化效率为 90%，针对废气中的粉尘（包括废气燃烧产生的粉尘）、燃烧残留的 NH3 液体喷淋净化效率 50%计。根据设计方案， 排气筒 DA002 风机总量为 10000m3/h，排气筒 DA004 风机总量为12000m3/h。本项目酸性废气、沉积废气产生和排放情况汇总见下表。xxxx环境建设有限公司60xx市xx区上塘路 329 号高性能激光器项目环境影响报告书表3.2-14 本项目酸性废气、沉积废气产排放源强一览表工序评价 时段污染物名 称产生情况经 DA002 排放情况经 DA004 排放情况产生速率 (kg/h)产生量 (kg/a)排放浓度 (mg/m195、3)排放速率 (kg/h)排放量 (kg/a)排放浓度(mg/m3)排放速 率(kg/h)排放量 (kg/a)酸液 清 洗、 湿法 蚀 刻、 干法 蚀 刻、 沉积一期硫酸雾0.03327.120.630.0065.150.140.0021.36氯化氢0.02646.080.490.0058.760.110.0012.30磷酸雾0.0012.160.060.0011.030.010.00010.11氟化物0.261469.875.200.05293.560.100.0012.07溴化氢0.0024.380.120.0012.080.010.00010.22非甲烷总烃0.0023.9210.100196、.0011.810.010.00010.19其 中乙酸0.0023.900.100.0011.800.010.00010.19乙烯0.00010.140.0010.000010.01-氯气0.237426.484.740.04785.30-硅烷0.000010.020.00010.0000010.002-NOX0.00610.170.060.0011.02-氨0.0034.890.020.00020.24-粉尘0.000040.070.0030.000030.05-二期工程后全厂硫酸雾0.03386.180.630.00616.370.140.0027.68氯化氢0.026153.600.49197、0.00529.180.110.0010.36磷酸雾0.0017.200.060.0013.420.010.00016.91氟化物0.2611566.245.200.052311.870.100.0010.73溴化氢0.00214.610.120.0016.940.010.00017.68非甲烷总烃0.00213.0690.100.0016.030.010.00010.63其 中乙酸0.00212.60.100.0015.990.010.00010.63乙烯0.00010.470.0010.000010.05-氯气0.2371421.594.740.047284.32-硅烷0.000010.0198、50.00010.0000010.01-NOX0.00633.900.060.0013.39-氨0.00316.290.020.00020.81-粉尘0.000040.220.0030.000030.11-注： 表格中粉尘排放情况包括硅烷燃烧产生的粉尘（SiO2）的量。表格中非甲烷总烃包括乙酸、 乙烯。3.有机废气（G3 有机废气、 G6 有机废气）本项目有机废气主要来自光刻、有机溶剂清洗等工序。（1）光刻（G3 有机废气、氨气）本项目光刻工序使用到六甲基二硅氮烷、光刻胶、苯甲醚、聚酰亚胺、二丙二醇 甲醚、 丙二醇甲醚醋酸酯等，物料中有机溶剂挥发产生有机废气（以非甲烷总烃计） ， 按有机溶剂全199、部挥发考虑， 一期工程非甲烷总烃产生量为 34.95kg/a ，二期建成后非甲烷总烃产生量为 116.50kg/a，产生速率为 0.019kg/h。另外光刻工序使用到显影液，主要成分为四甲基氢氧化铵 3%，四甲基氢氧化铵会xxxx环境建设有限公司61xx市xx区上塘路 329 号高性能激光器项目环境影响报告书有氨产生，氨产生量按照最大值计算，根据物料平衡计算得一期工程氨气产生量为1.19kg/a ，二期建成后氨气产生量为 3.97kg/a，产生速率为 0.004kg/h。（2）有机溶剂清洗（G6 有机废气）主要为清洗去胶、剥离过程， 上述过程使用到的主要有机溶剂为 NMP、甲醇、乙 醇、异丙醇200、 DMF、丁酮等， 有机溶剂使用过程中会有部分挥发， 形成有机废气。参考同类项目，各类有机溶剂挥发量按使用量的 10%计。另外治具清洗使用丙酮，丙酮挥发量按使用量的 20%考虑。 一期工程冶具清洗时长约 2h/d ，二期建成后冶具清洗时长约 6h/d。则本项目有机溶剂清洗废气产生情况见下表。表3.2-15 本项目有机溶剂清洗废气产生源强一览表工序污染物名称产生情况产生速率(kg/h)一期产生量(kg/a)全厂产生量(kg/a)清洗去胶NMP0.03738.52128.4甲醇0.03714.2247.4乙醇0.0371.685.6DMF0.03155.2184丁酮0.0383.38411.28201、剥离异丙醇0.0379.3631.2治具清洗丙酮0.09040.32134.40注： 清洗去胶使用单一的有机溶剂清洗，故排放速率按相应有机溶剂用量除以相应工作时间得出。本项目生产厂房为洁净室，各生产工段均布置在独立密闭无尘间内，且光刻设备、 有机溶剂清洗线、冶具清洗线均设置独立密闭操作区， 全程密闭操作，各工序有机废 气通过抽风口分别抽取至相应支风管，通过各支风管引至主风管，经过有机废气处理装置处理后，最终通过 1 根 35m 高排气筒（DA003）排放。在产品进出密闭间时，会有少量废气逸散至生产车间， 废气收集效率按 95%计； 未被收集的废气经整体车间空调换风系统收集后，与一般排风系统收集202、的一般废气、 高温排气一起经风管引至楼顶由排气筒 DA004 高空排放。有机废气处理装置采用“水喷淋+除雾器+活性炭吸附”处理工艺，废气处理效率可以达到 90%以上。根据设计方案，排气筒 DA003 风机总量为 3000m3/h ，排气筒 DA004 风机总量为12000m3/h。本项目有机废气产生和排放情况汇总见下表。xxxx环境建设有限公司62xx市xx区上塘路 329 号高性能激光器项目环境影响报告书表3.2-16 本项目有机废气产生和排放源强一览表工序评 价 时 段污染物名称产生情况经 DA003 排放情况经 DA004 排放情况产生 速率 (kg/h)产生量 (kg/a)排放浓度(m203、g/m3)排放速 率(kg/h)排放量(kg/a)排放浓度(mg/m3)排放速 率(kg/h)排放量 (kg/a)光 刻、 有机 溶剂 清洗期非甲烷总烃0.146197.634.630.01418.780.610.0079.88其中NMP0.03738.521.180.0043.660.160.0021.93甲醇0.03714.221.180.0041.350.160.0020.71异丙醇0.03155.200.970.0035.240.130.0022.76DMF0.0383.381.190.0040.320.160.0020.17丁酮0.0379.361.180.0040.890.150.204、0020.47丙酮0.09040.322.840.0093.830.370.0042.02氨气0.0041.190.130.00040.110.020.00020.06二 期 工 程 后 全 厂非甲烷总烃0.146658.784.630.01462.580.610.00732.94其中NMP0.037128.401.180.00412.200.160.0026.42甲醇0.03747.401.180.0044.500.160.0022.37异丙醇0.031184.000.970.00317.480.130.0029.20DMF0.03811.281.190.0041.070.160.0020.205、56丁酮0.03731.201.180.0042.960.150.0021.56丙酮0.090134.42.840.00912.770.370.0046.72氨气0.0043.970.130.00040.380.020.00020.20注：此表格中非甲烷总烃包含乙醇、 NMP、甲醇、异丙醇、DMF、丁酮、丙酮。4.灰化废气（G9）本项目针对干法蚀刻后，基片上可能残存碳化的光刻胶， 采用氧气灰化机灰化处 理， 届时会产生少量废气， 主要成分为 O2、N2 、CO 、CO2 。因加工量较少， 废气产生 量也少， 本环评不定量分析。为确保生产车间内环境，建议设置废气收集系统，将此部分废气引出车间排放206、。5.化学品库废气本项目特殊气体和化学品根据生产需要由供应商负责储存、运输、供货。特殊气 体采用钢质高压容器， 工艺中所使用化学品的储存，全部采用不锈钢或不锈钢聚已烯 内胆或锰钢等钢质桶、罐密封后用车运的方式运输入厂， 然后根据其不同的用途和性 质分别储存在甲类库和特气柜内。本项目涉及的特殊气体及其他化学品的全部采用密闭式小包装，在储存过程中仅有极少量无组织排放现象。本项目化学品使用时，转运至生产厂房内的专用化学品供应间，供应间均为洁净 车间，化学品容器仅在开启时有少量无组织废气产生，通过供应间排风系统接至相应的废气排气筒后有组织排放，可消除生产车间的无组织排放情况。6.汇总xxxx环境建设有207、限公司63xx市xx区上塘路 329 号高性能激光器项目环境影响报告书本项目各废气污染物产生和排放情况见表 3.2- 17。表3.2-17 本项目各废气污染物产生和排放情况汇总表（单位： kg/a）污染物一期工程二期工程后全厂产生量削减量排放量产生量削减量排放量粉尘7.807.370.4326.024.601.40砷化氢0.980.930.053.283.120.16磷化氢31.1229.561.56103.7498.555.19甲烷3.032.880.1510.099.590.50硫酸雾27.1220.616.5186.1865.520.68氯化氢46.0835.0211.06153.611208、6.7436.86磷酸雾2.161.031.137.23.423.78氟化物469.87374.2495.631566.241247.46318.78溴化氢4.382.082.314.616.947.67氯气426.48341.1885.31421.591137.27284.32硅烷0.020.0180.0020.050.040.01NOX10.179.151.0233.9030.513.39氨6.085.660.4220.2618.871.39非甲烷总烃202.38171.68030.70674.61572.29102.32其中NMP38.5232.9215.599128.4109.7818209、.62甲醇14.2212.162.0647.440.536.87异丙醇55.0247.028.00184157.3226.68DMF3.382.890.4911.289.641.64丁酮9.3681.3631.226.684.52丙酮40.3234.475.85134.4114.9119.49乙酸3.781.81.9812.65.986.62乙烯0.140.130.010.470.420.05VOCS205.41176.4930.85684.70588.28102.82注：此表格中非甲烷总烃包含乙烷、 乙醇、NMP、甲醇、异丙醇、 DMF、丁酮、丙酮、乙酸、乙 烯和其他非甲烷总烃；VOCS 包210、含甲烷、非甲烷总烃。3.2.4.2 废水本项目在营运期所产生的废水包括生产废水和职工办公生活污水，1.生产废水本项目生产废水包括酸洗废水（包括一般酸性废水、含氟废水、含磷废水）、有 机废水、 研磨废液、 切割清洗废水、纯水制备装置废水、循环冷却系统定期排污水、废气洗涤塔排水等，具体分析如下：（1）酸洗废水项目酸洗废水主要来自于外延后清洗、湿法蚀刻后清洗、镀金后清洗。酸性废液委外处置，清洗产生的废水则分类收集进入厂区内污水中和处理设施进行处理。根据所用酸洗液不同，酸洗废水分为一般酸性废水、含氟废水、 含磷废水。xxxx环境建设有限公司64xx市xx区上塘路 329 号高性能激光器项目环境影响报告211、书一般酸性废水（W1）： 包括硫酸+双氧水、盐酸、 硫酸、乙酸+氢溴酸/碘酸等 酸液清洗后的废水和镀金线清洗废水，均为连续排放；另外部件酸洗后清洗废水为间歇排放。 此类废水不含氟、氮、磷。根据企业提供工艺参数和水平衡图分析，工艺xx般酸性废水一期工程产生量为5.96m3/d（1490m3/a）， 二期工程建成后全厂产生量为 19.87m3/d（4968m3/a）；部件 酸性废水一期工程产生量为 0.03m3/d（6m3/a），二期工程建成后全厂产生量为 0.08m3/d（18m3/a）。废水主要污染因子为 pH、CODCr、SS，进入酸性废水处理系统进行处理。含氟废水（W2 ）：为硝酸+氢氟酸212、+BOE 蚀刻液等酸液清洗后的废水，为连续排放。根据企业提供工艺参数和水平衡图分析，此股废水一期工程产生量为 3.97m3/d （994m3/a），全厂产生量为 13.25m3/d（3312m3/a），废水主要污染因子为 pH、CODCr、SS、氟化物、TN 、NH3-N，进入含氟废水处理系统处理。含磷废水（W3 ）：为盐酸+磷酸等酸液清洗后的废水，为连续排放。根据企业提供工艺参数和水平衡图分析，此股废水一期工程产生量为 2.98m3/d （745m3/a），二期工程建成后全厂产生量为 9.94m3/d（2484m3/a），废水主要污染因子为 pH 、CODCr 、SS 、TP，进入含氮、 磷213、废水处理系统处理。（2）有机废水（W4）本项目光刻工艺使用的显影液、光刻胶等有机溶剂， 清洗去胶和剥离使用的 NMP、 甲醇、乙醇、异丙醇、 DMF、丁酮等有机溶剂，残留在基片上的有机溶剂经清洗后进入废水，形成有机废水，为连续排放。根据企业提供工艺参数和水平衡图分析，此类清洗废水一期工程产生量为 1.86m3/d（464m3/a）， 二期工程建成后全厂产生量为 6.19m3/d（1548m3/a）。此股废水主要污染因子为 pH 、COD 、SS、氨氮、总氮，进入含氮、磷废水处理系统处理。（3）研磨废液主要来源于研磨抛光工序中产生的含 SiO2 磨料废水， 据企业提供工艺参数，一期 工程研磨用水214、量为 0.04m3/d（10m3/a），二期工程建成后全厂研磨用水量为 0.13m3/d （33.3m3/a），按损耗 10%计，一期工程研磨废液（含研磨料，下同）产生量为 9.026m3/a， 全厂研磨废液产生量为 30.085m3/a，废水主要污染因子为 pH、COD 、SS、石油类。根 据研磨蜡、研磨液消耗量估算， 此类废水 COD 约 1500mg/L，相对项目其他生产废水，此类废水有机物浓度较高，企业拟将此股废水单独收集，作为危险废物委托有资质单xxxx环境建设有限公司65xx市xx区上塘路 329 号高性能激光器项目环境影响报告书位处理。（4）切割清洗废水（W5）芯片切割过程产生一215、定量的清洗废水，据企业提供工艺参数，一期工程切割清洗 用水量为 0.1m3/d （25m3/a） ，二期工程建成后全厂切割清洗用水量为 0.33m3/d （83.3m3/a），按损耗 10%计， 一期工程切割清洗废水产生量为 0.09m3/d（22.5m3/a）， 全厂切割清洗废水产生量为 0.3m3/d（75m3/a），废水主要污染因子为 COD 、SS，进入含氮、 磷废水处理系统处理。（5）纯水制备装置废水（W6）本项目纯水站首先通过过滤等方式对自来水原水进行预处理， 再用反渗透法（RO） 先制得初纯水，进一步使用离子交换和紫外线杀菌等方法来制取高纯水。纯水制备过程将产生浓水（含反洗废水）216、和酸碱再生废水。根据设计，本项目纯水站制水率为 70%，根据水平衡计算， 一期工程浓水产生量 约 6.23m3/d 、1559m3/a，再生废水产生量约 12m3/a；二期工程建成后全厂浓水产生量 约 20.78m3/d 、5194m3/a，再生废水产生量约 36m3/a。此类废水主要污染物为 CODCr、 SS 。浓水部分用于废气水洗塔/喷淋塔补充水， 多余部分直接排入废水处理站混合池；再生废水进入酸性废水处理系统进行处理。根据水量平衡计算， 浓水排入混合池量一期约 2.89m3/d（723m3/a），二期建成后全厂约 10.84m3/d（2711m3/a）。（6）循环冷却系统定期排污水（W217、7）本项目采用风冷式冷水机组提供设备冷却用水，用于设备的间接冷却，为确保冷 却效果和循环水水质，循环冷却水需要每天排放一部分，形成排污水。排污水按循环 水量 1%计， 根据企业设备运行情况计算，则一期时冷却水循环量为 180m3/d、排污水 约 1.8m3/d（322.5m3/a），二期时全厂冷却水循环量为 240m3/d、排污水约 2.4m3/d （600m3/a）。此类废水主要污染物为 CODCr 、SS。此类废水污染物较低， 直接排入废水处理站混合池。（7）废气洗涤塔排水酸性废气洗涤塔废水（W8 ）、干法蚀刻废气水洗塔废水（W9）本项目酸液清洗、湿法蚀刻、干法蚀刻过程中产生的硫酸雾、HC218、l、磷酸雾、HF、 溴化氢、Cl2、氟化物等酸性废气经二级碱液喷淋吸收塔吸收处理后排放， 排放的废水为吸收塔中多次循环使用的吸收废水， 平均 8h 更换一次。根据企业提供废气设计方案，xxxx环境建设有限公司66xx市xx区上塘路 329 号高性能激光器项目环境影响报告书单个吸收塔初次装水量约 0.8m3。考虑 5%的损耗， 则单次废水排放量约为 1.52m3 ，则 一期排放量约 1.52m3/d（380m3/a），二期建成后排放量约 4.56m3/d（1140m3/a）。主要污染物为 pH、氟化物、总磷等。另外干法蚀刻废气采用水洗预处理，再接入碱液喷淋吸收塔。水洗塔用水定期更 换，形成废水。219、根据企业提供设计资料，水洗塔用水量约 0.3L，平均 2h 更换一次。 则此股废水产生量一期约 1.2m3/d、300m3/a，二期约 3.6m3/d、900m3/a，主要污染物为pH 、氟化物等。上述废水进入含氟废水处理系统进行预处理。沉积废气电热水洗装置废水（W10）项目沉积废气采用电热+水洗处理， 水洗塔用水定期更换， 形成废水。根据企业提 供设计资料，此装置水洗塔用水量约 0.1L，平均 2h 更换一次。则此股废水产生量一 期约 0.4m3/d 、90m3/a，二期约 1.2m3/d 、300m3/a，主要污染物为 pH 、SS、氨氮、总氮等。此股废水进入含氮、磷废水处理系统进行预处理220、。有机废气水洗塔装置废水（W11）本项目有机废气采用“水喷淋+除雾器+活性炭吸附”处理后排放，排放的废水为水 洗塔中多次循环使用的吸收废水，平均 8h 更换一次。根据企业提供废气设计方案， 吸 收塔初次装水量约 0.4m3。考虑 5%的损耗， 则单次废水排放量约为 0.38m3 ，则一期排 放量约 0.38m3/d（95m3/a），二期建成后排放量约 1.14m3/d（285m3/a）。此股废水主要污染因子为 pH 、COD 、SS、氨氮、总氮，进入含氮、 磷废水处理系统处理。（8）酸液配置用水项目部分酸液使用时， 需要添加一定比例的纯水稀释后使用， 根据企业提供资料， 一期工程需要纯水约 3221、.3m3/a，二期建成后需要纯水约 10.9m3/a。此部分用水除部分蒸发损耗外，其余与更换的酸液一起成为废酸液，作为危险废物处理。2.生活污水（W12）本项目分期建设， 一期劳动定员 17 人，二期增加至 40 人， 全年生产 250 天，宿 舍和食堂依托园区已有服务设施，人均用水按 120L/d 计， 生活污水的产生量按用水量 的 85%计， 则一期员工生活用水量为 2.0m3/d（510m3/a），生活污水产生量为 1.7m3/d （434m3/a）；二期员工生活用水量 4.8m3/d（1200m3/a），生活污水产生量为 4.1m3/d （1020m3/a）。生活污水主要污染因子为 C222、OD、氨氮、总氮、总磷，进入园区生活污水处理系统。xxxx环境建设有限公司67xx市xx区上塘路 329 号高性能激光器项目环境影响报告书3.生产废水、生活污水处理和排放情况本项目废水处理和排放情况见下表。表3.2-18 本项目废水排放及处理情况表序 号废水预处理 系统废水种类主要污染物废水产生量处理工 艺处理后废水 去向一生产废水1酸性废水预处理系统一般酸性废水（W1）pH 、CODCr、 SS一期 15747m3/a， 全厂 5153m3/a化学中和+絮凝沉淀混合池+总 排口离子树脂再生废 水（W6）一期 12m3a ，全厂 36m3/a2含氟废水预处理系统含氟废水（W2）pH 、CODC223、r、 SS、氟化物、 TN 、NH3-N一期 994m3/a，全 厂 3312m3/a化学沉 淀pH 回调池酸性废气洗涤塔 废水（W8）pH、氟化物、 TP一期 380m3/a，全 厂 1140m3/a干法蚀刻废气水 洗塔废水（W9）pH、氟化物一期 300m3/a，全 厂 900m3/a3含氮、磷废水预处理系统含磷废水（W4）pH 、CODCr、 SS 、TP一期 745m3/a，全 厂 2484m3/a化学沉 淀pH 回调池有机废水（W3）pH 、COD、 SS 、TN、NH3-N一期 464m3/a，全 厂 1548m3/a切割清洗废水（W5）COD 、SS一期 22.5m3/a，全 厂224、 75m3/a沉积废气电热水洗装置废水（W10）pH、SS、TN、 NH3-N一期 90m3/a，全厂 300m3/a有机废气水洗塔 装置废水（W11）pH 、COD、 TN 、NH3-N一期 95m3/a，全厂 285m3/a4pH 回调池-一期 4508.5m3/a， 全 14729m3/a化学中 和混合池+总 排口二清洁排水纯水制备装置浓 水（W6）CODCr 、SS一期 723m3/a，全 厂 2711m3/a-混合池+总 排口循环冷却系统定 期排污水（W7）CODCr 、SS一期 322.5m3/a， 全厂 600m3/a-三生活污水员工生活污水（W12）CODCr 、SS、 NH3225、-N一期 434m3/a，全 厂 1020m3/a隔油池+ 化粪池总排口合计一期 6139m3/a，全 厂 19564m3/a-园区总排口本项目外排废水主要为生产废水和员工生活污水， 一期工程废水产生量为6139m3/a，二期工程建成后全厂废水产生量为 19564m3/a。生产废水经厂区污水预处理设施处理后纳管； 生活污水经化粪池预处理后纳管，最终送xxxx污水处理厂统一处理达标后排放。根据本项目建设方案，采用类比国内同类型企业的废水源强和结合本项目物料衡算的方法， 得出项目各类废水的源强，见下表。xxxx环境建设有限公司68xx市xx区上塘路 329 号表3.2-19 本项目各类废水污染物和226、浓度情况一览表序号废水名称污染物浓度（mg/L）pH（无量纲）CODCr氨氮总氮总磷氟化物SS1一般酸性废水46200-1502含氟废水34200510-301503含磷废水34100-20-1504有机废水69500-20-1505切割废水-200-4006纯水制备废水-100-507循环冷却系统排污水-100-508酸性废气洗涤塔排水、干法 蚀刻废气水洗塔废水910-510001009沉积废气电热水洗装置废水69200510-10010有机废气水洗塔装置废水-8003570-11生活污水-35035455-注： 生活污水污染物浓度参考排放源统计调查产排污核算方法和系数手册中生活污 染源产排227、系数手册。 项目涉及到砷元素的工艺为外延工艺，外延废气采用干式吸附法处理、 管路和设备反应腔采用气体清洁， 不涉及废水， 无砷元素进入废水，故本项目生产废水不含砷元素。本项目一期和二期建成后全厂废水处理情况见表 3.2-20表 3.2-21。表3.2-20 一期工程废水处理情况一览表废水种类废水量 （m3/a）主要污染物处理前处理后处理效 率（%）浓度 （mg/L）产生量 （t/a）浓度 （mg/L）排放量 （t/a）一、酸性废水处理系统： 化学中和+絮凝沉淀后排入混合池一般酸性废水（W1）1547pH46-CODCr200-SS1500.309-离子树脂再生废水（W6）12pH690.232228、-CODCr100-SS500.001-小计1559pH-0.00169-CODCr-1590.24820SS-0.3111190.18620二、含氟废水处理系统:化学沉淀后排入 pH 回调池含氟废水（W2）994pH34-CODCr2000.199-SS1500.149-氟化物300.030-TN50.005-NH3-N100.010-酸性废气洗涤塔废680pH910-xxxx环境建设有限公司69xx市xx区上塘路 329 号高性能激光器项目环境影响报告书水（W8）、干法蚀刻废气水洗塔废水（W9）氟化物10000.680-TP100.007-小计1670pH-CODCr1190.199950229、.15920SS890.149710.11920氟化物4240.710420.07190TN30.00520.00420NH3-N60.01050.00820TP40.00730.00520三、含氮、 磷废水处理系统：化学沉淀后排入 pH 回调池含磷废水（W4）745pH34-CODCr1000.075-SS1500.112-TP200.015-有机废水（W3）464pH69-CODCr5000.232-SS1500.070-TN200.009-切割清洗废水（W5）22.5CODCr2000.005-SS4000.009-沉积废气电热水洗 装置废水（W10）100pH69-CODCr2000.230、020-SS1000.010-TN100.001-NH3-N50.001-有机废气水洗塔装 置废水（W11）95pH69-CODCr8000.076-TN700.007-NH3-N350.003-小计1426.5pH-CODCr2850.4072280.32620SS1400.2001120.16020TN120.01790.01420NH3-N30.00420.00320TP100.01580.01220四、 pH 回调池：化学中和后排入混合池pH 回调池3100.5pH-CODCr1560.4851560.485-SS900.280900.280-氟化物230.071230.071-TP6231、0.01760.017-TN60.01860.018-NH3-N40.01140.011-xxxx环境建设有限公司70xx市xx区上塘路 329 号五、清洁排水纯水制备装置浓水（W6）723CODCr1000.072-SS500.036-循环冷却系统定期 排污水（W7）322.5CODCr1000.032-SS500.016-小计1045.5CODCr1000.1051000.105-SS500.052500.052-六、混合池： 经处理后的生产废水与清洁排水混合后排放混合池5705pH-CODCr1470.8381470.838-SS910.518910.518-氟化物120.071120.232、071-TP30.01730.017-TN30.01830.018-NH3-N20.01120.011-七、生活污水处理系统：隔油池+化粪池生活污水434CODCr3500.1522450.10630NH3-N350.015330.0145TN450.020450.0200TP50.00250.0020表3.2-21 二期建成后全厂废水处理情况一览表废水种类废水量 （m3/a）主要污染物处理前处理后处理效 率（%）浓度 （mg/L）产生量 （t/a）浓度 （mg/L）排放量 （t/a）一、酸性废水处理系统： 化学中和+絮凝沉淀后排入混合池一般酸性废水（W1）5153pH46-CODCr2001233、.031-SS1500.773-离子树脂再生废水（W6）36pH69-CODCr1000.004-SS500.002-小计5189pH-69-CODCr-1.0341590.82720SS-0.7751190.62020二、含氟废水处理系统:化学沉淀后排入 pH 回调池含氟废水（W2）3312pH34-CODCr2000.662-SS1500.497-氟化物300.099-TN50.017-NH3-N100.033-酸性废气洗涤塔废水 （W8）、干法蚀刻废 气水洗塔废水（W9）2040pH910-氟化物10002.040-TP100.020-xxxx环境建设有限公司71xx市xx区上塘路 32234、9 号小计5352pH-CODCr1240.662990.53020SS930.497740.39720氟化物4002.139400.21490TN30.01720.01320NH3-N60.03350.02620TP40.02030.01620三、含氮、磷废水处理系统：化学沉淀后排入 pH 回调池含磷废水（W4）2484pH34-CODCr1000.248-SS1500.373-TP200.050-有机废水（W3）1548pH69-CODCr5000.774-SS1500.232-TN200.031-切割清洗废水（W5）75CODCr2000.015-SS4000.030-沉积废气电热水洗装235、 置废水（W10）300pH69-CODCr2000.060-SS1000.030-TN100.003-NH3-N50.002-有机废气水洗塔装置 废水（W11）285pH69-CODCr8000.228-TN700.020-NH3-N350.010-小计4692pH-CODCr2821.3252261.06020SS1420.6651130.53220TN110.05490.04320NH3-N20.01120.00920TP110.05080.04020四、 pH 回调池：化学中和后排入混合池pH 回调池10044pH-69-CODCr1581.5901581.590-SS930.9299236、30.929-氟化物210.214210.214-TP60.05660.056-TN60.05660.056-NH3-N40.03640.036-五、清洁排水纯水制备装置浓水（W6）2711CODCr1000.271-SS500.136-xxxx环境建设有限公司72xx市xx区上塘路 329 号高性能激光器项目环境影响报告书循环冷却系统定期排 污水（W7）600CODCr1000.060-SS500.030-小计3311CODCr1000.3311000.331-SS500.166500.166-六、 混合池： 经处理后的生产废水与清洁排水混合后排放混合池18544pH69-69-CODCr1237、482.7491482.749-SS921.715921.715-氟化物120.214120.214-TP30.05630.056-TN30.05630.056-NH3-N20.03620.036-七、生活污水处理系统： 隔油池+化粪池生活污水1020CODCr3500.3572450.25030NH3-N350.036330.0345TN450.046450.0460TP50.00550.0050本项目一期和二期建成后全厂废水产生和排放情况见表 3.2-22。表3.2-22 本项目废水产生和排放情况一览表实施 阶段废水 类别废水量 （m3/a）名称pHCODCrSS氟化物总磷总氮氨氮一期 工238、程生产 废水5705产生量（t/a）-1.0210.6340.7100.0170.0220.014生产废水处理设 施排放浓度（mg/L）691479112332纳管标准（mg/L）695004002087035达标情况达标达标达标达标达标达标达标生活 污水434产生量（t/a）-0.152-0.0020.0200.015化粪池排放浓度（mg/L）-245-54533纳管标准（mg/L）69500-87035达标情况达标达标-达标达标达标综合 废水6139外排环境浓度（mg/L）695010200.5152.5外排环境量（t/a）-0.3070.0610.0710.0030.0370.015二期239、 建成 后全 厂生产 废水18544产生量（t/a）-3.3532.1022.1390.0560.0670.034生产废水处理设 施排放浓度（mg/L）691489212332纳管标准（mg/L）695004002087035达标情况达标达标达标达标达标达标达标生活 污水1020产生量（t/a）-0.357-0.0050.0460.036化粪池排放浓度（mg/L）-245-54533纳管标准（mg/L）69500-87035xxxx环境建设有限公司73xx市xx区上塘路 329 号高性能激光器项目环境影响报告书达标情况达标达标达标达标达标达标达标综合 废水19564外排环境浓度（mg/L）69240、5010200.5152.5外排环境量（t/a）-0.9780.1960.2140.0100.1020.049注：城镇污水处理厂污染物排放标准（GB18918-2002）中无氟化物指标，参照电子 工业水污染物排放标准（GB39731-2020）表 1 水污染物排放限值中半导体器件的间接标准要求执行；废水处理站总排口排放浓度低于外排环境浓度， 排放量按纳管量计。本项目废水污染物产生及排放量统计见下表。表3.2-23 本项目废水污染物产生及排放情况表类别污染物产生量削减量排放量一期废水量（m3/a）61390.06139CODCr（t/a）1.1730.8660.307SS（t/a）0.6340.241、5730.061氟化物（t/a）0.7100.6390.071TP（t/a）0.0240.0210.003TN（t/a）0.0410.0040.037NH3-N（t/a）0.0290.0140.015二期建成后全 厂废水量（m3/a）195640.019564CODCr（t/a）3.7102.7320.978SS（t/a）2.1021.9060.196氟化物（t/a）2.1391.9250.214TP（t/a）0.0750.0650.010TN（t/a）0.1160.0140.102NH3-N（t/a）0.0800.0310.0493.2.4.3 噪声本项目噪声源可分为两个部分： 一是生产厂房242、内设备噪声污染源， 另一个为动力 设施噪声污染源。本项目除空压机、冷水机组、冷却水泵、部分风机和生产废水处理设施设置于室外， 其他生产设施均布置在生产厂房内。本项目属于电子工业，工艺设备均为密闭式设备，且对环境微振动要求极高， 均 安装在洁净室内， 噪声源强均小于 70dB（A），再经建筑隔声、基础减震等有效的降噪措施，可大大降低其噪声对周围环境的影响。本项目主要噪声设备为空压机、 冷水机组、各类水泵、风机等， 类比调查，各噪声设备声压级见表 3.2-24。表3.2-24 本项目主要噪声源强一览表序 号噪声源数量（台）源强（dB）设施布置位置声源特 性一期二期增加1真空泵1027585生产车间243、内测量点 距设备2水泵507585xxxx环境建设有限公司74xx市xx区上塘路 329 号3冷水机组1108085综合动力站1m 处4冷却水泵11075855空压机1085957风机407585生产厂房建筑物 楼顶8水泵3075859水泵1007585废水处理站3.2.4.4 固废1.副产物产生情况本项目实施后各类副产物分析如下：（1）废衬片（S1）、废次品（S7）根据企业原辅料消耗情况和物料平衡，计算得一期工程废衬片、废次品产生量为 19.54kg/a，二期工程后全厂废衬片、废次品产生量 65.15kg/a。废衬片、废次品属于一般工业固废，外售综合利用。（2）MOCVD 室反应沉积物（S2244、）主要来自外延工序， 为沉积在管路和 MOCVD 反应腔壁内沉积物， 经气体清洁后 收集。 根据企业提供资料和物料平衡计算， 一期工程反应沉积物产生量约 0.97kg/a； 二期工程后全厂产生量为 3.22kg/a。此类废物属于一般工业固废，由专业厂家回收综合利用。（3）废酸液（S3）主要来自硫酸+双氧水、盐酸+磷酸、乙酸+氢溴酸/碘酸等酸液清洗、湿法蚀刻和 部件硫酸清洗等工序， 根据企业提供资料和物料平衡、水平衡计算， 一期工程废酸液 产生量约 5.12t/a；二期工程后全厂产生量为 17.067t/a。此类废物属于危险废物，经收集后储存于危险废物暂存库，交由有资质单位统一处理。（4）含氟废245、液（S4）主要来自硝酸+氟化氢+BOE 蚀刻液等酸液清洗以及湿法蚀刻工序， 根据企业提供 资料和物料平衡计算，一期工程含氟废液产生量约 0.775t/a；二期工程后全厂产生量为 2.583t/a。此类废物属于危险废物， 经收集后储存于危险废物暂存库， 交由有资质单位统一处理。（5）废光刻胶、聚酰亚胺（S5）主要来自光刻工序， 根据企业提供资料和物料平衡计算， 一期工程废光刻胶、聚酰亚胺产生量约 15.75kg/a；二期工程后全厂产生量为 52.50kg/a。此类废物属于危险废xxxx环境建设有限公司75xx市xx区上塘路 329 号高性能激光器项目环境影响报告书物，经收集后储存于危险废物暂存库246、，交由有资质单位统一处理。（6）废显影液（S6）主要来自光刻工序， 根据企业提供资料和物料平衡计算， 一期工程废显影液产生 量约 0.191t/a；二期工程后全厂产生量为 0.635t/a。此类废物属于危险废物，经收集后储存于危险废物暂存库，交由有资质单位统一处理。（7）有机废液（S8）主要来自有机溶剂清洗去胶、剥离和治具丙酮清洗工序， 根据企业提供资料和物 料平衡计算，一期工程废有机溶剂产生量约 0.798t/a（其中废丙酮、异丙醇、乙醇产生 量约 0.225t/a）； 二期工程后全厂产生量为 2.067t/a（其中废丙酮、 异丙醇、乙醇产生 量约 0.751t/a）。此类废物属于危险废物，247、 经收集后储存于危险废物暂存库， 交由有资质单位统一处理。（8）废金属箔（S9）主要来自金属蒸镀工序， 一期工程废金属箔产生量约 0.915kg/a；二期工程后全厂产生量为 3.05kg/a 。此类废物属于一般工业固废，由专业厂家回收综合利用。（9）废镀金液（S10）主要来自化学镀金工序，根据企业提供资料和物料平衡计算， 一期工程废镀金液 产生量约 0.072t/a；二期工程后全厂产生量为 0.240t/a。此类废物属于危险废物，经收集后储存于危险废物暂存库，交由有资质单位统一处理。（10）研磨废液（S11）根据前文分析，一期工程研磨废液产生量为 9.026t/a；二期工程后全厂研磨废液产生量248、为 30.085t/a 。经收集后储存于危险废物储存间，交由有资质单位统一处理。（11）废靶材（S12）主要来自镀透光膜工序，根据企业提供资料和物料平衡计算， 一期工程废镀金液 产生量约 0.113kg/a；二期工程后全厂产生量为 0.375kg/a。此类废物属于一般工业固废，由专业厂家回收综合利用。（12）废包装物（S13）本项目使用原辅料较多，会产生一定量的废包装物，可分为废化学品容器和一般 废包装物两类；其中废化学品容器为沾有危化品的包装物， 一般废包装物为除沾有危 化品的包装物以外的其他原辅料废包装纸、塑料、木材等。根据企业所用化学品量、包装品规格， 一期废化学品容器产生量约 0.5t249、/a ，一般废包装物产生量约 1.5t/a；二期xxxx环境建设有限公司76xx市xx区上塘路 329 号高性能激光器项目环境影响报告书工程后全厂废化学品容器产生量约 1.7t/a ，一般废包装物产生量约 5.1t/a。废化学品容 器属于危险废物， 经收集后储存于危险废物暂存库，交由有资质单位统一处理； 一般废包装物属于一般工业固废，外售综合利用。（13）纯水制备过程产生的废 RO 膜、废滤芯、废活性炭（S14）、废离子树脂（S15）纯水制备设备会产生一定量的废 RO 膜、废滤芯、废活性炭和废离子树脂等，类 比同类企业，核算一期工程废 RO 膜、废滤芯、废活性炭产生量约 0.2t/a；二期工程250、后全厂产生量约 0.8t/a ，一期工程废离子交换树脂产生量约 0.1t/a、全厂产生量约 0.3t/a。上述废物属于一般工业固废，由生产厂商定期更换回收，不在厂区内暂存。（14）含砷废吸附材料（S16）本项目外延废气采用二级干式吸附法处理， 会产生含砷废吸附材料，根据企业提 供废气方案，吸附材料一次填充量约 1.4t ，为确保吸附材料吸附效率，一期工程拟半 年更换一次， 二期工程实施后两个月更换一次。根据前文计算， 一期工程外延废气削 减量为 41.51kg/a，二期工程后全厂削减量为 138.36kg/a，则一期工程含砷废吸附材料产生量约 2.842t/a、全厂产生量约 8.538t/a。251、此类废物属于危险废物，更换后， 吸附桶入口和出口端均封锁后， 收集储存于危险废物暂存库专区，交由有资质单位统一处理。（15）有机废气废活性炭（S17）本项目有机废气采用“水喷淋+除雾器+活性炭吸附”处理措施， 活性炭定期更换，形成废活性炭。参考xx省工业涂装工序挥发性有机物排放量计算暂行方法 （浙环发 2017 30 号） ，一般活性炭对有机溶剂的吸附量为 0.15t/t 活性炭。根据前文计算，一期工程 有机废气削减量为 169kg/a，二期工程后全厂削减量为 563kg/a，按最不利考虑，即有 机废气全部由活性炭吸附削减，则一期工程需要活性炭约 1.13t/a、二期工程后全厂需要活性炭约 3252、.76t/a。根据xx市生态环境局关于加强低效挥发性有机物治理设施改造升级工作的通知（杭环便函2022192 号）要求：原则上活性炭更换周期一般不应超过累计运 行 500 小时或 3 个月。根据企业提供废气方案，活性炭一次填充量约 1.0t ，按更换周 期为 500h 考虑， 则一期工程平均 62 天更换一次， 需要活性炭 4t/a；二期工程平均 20天更换一次，需要活性炭 13t/a。故本环评按活性炭用量较大计算废活性炭产生量，一期工程废活性炭产生量为xxxx环境建设有限公司77xx市xx区上塘路 329 号高性能激光器项目环境影响报告书4.2t/a，二期工程全厂废活性炭产生量为 13.6t253、/a。此类废物属于危险废物，经收集后储存于危险废物暂存库，交由有资质单位统一处理。（16）生产废水处理站污泥（S18 、S19）本项目拟自建生产废水处理站，用于处理生产过程中工艺废水及废气处理中喷淋废水等，生产废水处理中会有污泥产生。项目生产废水分质处理，其中酸性废水处理系统涉及到化学镀金工序排水，此系 统产生污泥含有少量金元素，属于危险废物； 其余生产废水处理单元产生的污泥主要成分为氟化钙和有机物，属于一般工业固废。本项目污泥产生量按集中式污染治理设施产排污系数手册（环境保护部华南 环境科学研究所），其他工业废水集中处理设施单位含水污泥（含水率 80%）产生系数为 6.0t/万 t-废水处理254、量计算，同时一般污泥考虑氟化物去除量。根据前文废水产排放计算， 进入酸性废水处理系统水量一期工程为 1559t/a、二期 建成后全厂为 5189t/a，则一期工程危废污泥产生量为 0.9t/a，二期建成后全厂污泥产生量为 3.1t/a。此部分污泥委托有资质单位处置。进入其余生产废水处理单元水量一期工程为 3100.5t/a、二期建成后全厂为 10044t/a，则一期工程一般污泥产生量为 15.0t/a，二期建成后全厂一般污泥产生量为45.5t/a。此部分污泥委托相关处理单位处置。（17）废机油（S20）本项目生产设备和辅助生产设备维修保养会产生少量废机油，一期产生量约 0.1t/a ，二期产生255、量约 0.3t/a。此类废物属于危险废物， 经收集后储存于危险废物暂存库，交由有资质单位统一处理。（18）废抹布/手套（S21）本项目设备维修维修保养和生产过程中， 会产生一定量沾染机油或化学品的抹布、 手套等劳保用品， 一期产生量约 0.3t/a，全厂产生量约 1.0t/a。此类废物属于危险废物，经收集后储存于危险废物暂存库，交由有资质单位统一处理。（19）生活垃圾（S22）本项目一期定员 17 人，二期建成后， 全厂定员 40 人，生活垃圾产生量以 1.0kg/pd 计， 则一期生活垃圾产生量约 4.25t/a，二期建厂后全厂生活垃圾产生量为 10t/a。生活垃圾收集后，委托当地环卫部门清256、运。xxxx环境建设有限公司78xx市xx区上塘路 329 号高性能激光器项目环境影响报告书本项目副产物产生情况统计见下表。表3.2-25 本项目副产物产生情况统计表序号副产物名称产生工序形态主要成分预计产生量计算依 据一期二期后全 厂1废衬片、废次品检验、 分选、 划片成条、测试等固态衬片、芯片19.54kg/a65.15kg/a产污系数法2MOCVD 室反应 沉积物外延固态GaAs 、InP 、AlAs、 InZnP3 等0.97kg/a3.22kg/a物料衡算法3废酸液酸液清洗、湿法蚀刻、部件清洗液态硫酸、磷酸、双氧水、盐酸、碘酸、氢溴酸、乙酸等5. 120t/a17.067t/a4含氟257、废液酸液清洗、湿 法蚀刻液态氟化氢、 BOE 蚀刻 液、硝酸0.775t/a2.583t/a5废光刻胶、聚酰 亚胺光刻液态光刻胶、聚酰亚胺15.75kg/a52.50kg/a6废显影液液态显影液0.191t/a0.635t/a7废丙酮、 异丙醇、 乙醇清洗去胶、剥离、治具丙酮清洗液态丙酮、异丙醇、乙醇0.225t/a0.751t/a8其他废有机溶剂清洗去胶液态NMP、DMF、甲醇、 丁酮0.395t/a1.316t/a9废金属箔蒸镀固态钛、铂、金、镍、锗0.915kg/a3.05kg/a10废镀金液化学镀金液态亚硫酸金钠0.072t/a0.240t/a11研磨废液背面减薄液态研磨蜡9.026t258、/a30.085t/a12废靶材镀透光膜固态硅、二氧化硅、五氧 化二钽0.113kg/a0.375kg/a13一般废包装物原料包装固态包装纸、塑料、木材1.5t/a5.1t/a14废化学品容器固态玻璃/塑料、 酸液、 有机溶剂等0.5t/a1.7t/a15废离子交换树脂纯水制备固态离子树脂0.1t/a0.3t/a类比法16废过滤芯、废活性炭、废反渗透膜固态过滤芯、活性炭、反 渗透膜0.2t/a0.8t/a17含砷废吸附材料外延废气处 理装置固态活性炭、金属、砷化 物2.842t/a8.538t/a物料衡算法18有机废气废活性 炭有机废气处 理装置固态活性炭、有机溶剂4.2t/a13.6t/a1259、9酸洗废水污泥酸洗废水处 理系统半固态金属、 有机物0.9t/a3. 1t/a产污系数法20其他废水污泥其余生产废 水处理系统半固态氟化钙、有机物15.0t/a45.5t/a21废机油设备维修保 养液态矿物油0.1t/a0.3t/a类比法22废抹布/手套设备维修保 养、生产过程固态布纤维、矿物油、有 机溶剂等0.3t/a1.0t/a类比法23生活垃圾员工办公固态塑料， 有机质等4.25t/a10.0t/a产污系数法xxxx环境建设有限公司79xx市xx区上塘路 329 号2.副产物属性判定（1）固体废物属性根据固体废物鉴别标准 通则 （GB34330-2017），对本项目各类副产物进行属性判定260、，判定结果如下表。表3.2-26 本项目固体废物属性判定表序 号副产物名称产生工序形态主要成分是否属 于固废判断 依据1废衬片、废次品检验、 分选、 划片成条、测试等固态衬片、芯片是4.22MOCVD 室反应沉积物外延固态GaAs 、InP 、AlAs 、InZnP3 等是4.23废酸液酸液清洗、湿法蚀刻、部件清洗液态硫酸、磷酸、双氧水、盐酸、 硝酸、碘酸、氢溴酸、乙酸等是4.24含氟废液酸液清洗、湿 法蚀刻液态氟化氢、 BOE 蚀刻液、硝酸是4.25废光刻胶、聚酰亚胺光刻液态光刻胶、聚酰亚胺是4.26废显影液液态显影液是4.27废丙酮、异丙醇、乙醇清洗去胶、 剥离、 治具丙酮清洗液态丙酮、异261、丙醇、乙醇是4.28其他废有机溶剂清洗去胶液态NMP、DMF、甲醇、丁酮是4.29废金属箔蒸镀固态钛、铂、金、镍、锗是4.210废镀金液化学镀金液态亚硫酸金钠、柠檬酸是4.211研磨废液背面减薄液态研磨蜡是4.212废靶材镀透光膜固态硅、二氧化硅、五氧化二钽是4.213一般废包装物原料包装固态包装纸、塑料、木材是4.114废化学品容器固态玻璃/塑料、酸液、有机溶剂 等是4.115废离子交换树脂纯水制备固态离子树脂是4.316废过滤芯、废活性炭、 废反渗透膜固态过滤芯、活性炭、反渗透膜是4.317含砷废吸附材料外延废气处理 装置固态活性炭、金属、砷化物是4.318有机废气废活性炭有机废气处理 装262、置固态活性炭、有机溶剂是4.319酸洗废水污泥酸洗废水处理 系统半固态金属、 有机物是4.320其他废水污泥其余生产废水 处理系统半固态氟化钙、有机物是4.321废机油设备维修保养液态矿物油是4.122废抹布/手套设备维修保 养、生产过程固态布纤维、矿物油、有机溶剂等是4.123生活垃圾员工办公固态塑料， 有机质等是4.1（2）危险废物属性xxxx环境建设有限公司80xx市xx区上塘路 329 号高性能激光器项目环境影响报告书根据危险废物鉴别标准 （GB5085.7-2007）和国家危险废物名录（2021 年版） ，对本项目产生的固体废物进行危险废物属性判定，判定结果如下表所示。表3.2-27263、 本项目危险废物属性判定序号副产物名称产生工序是否属于危废危废代码1废衬片、废次品检验、分选、划片成条、测 试等否-2MOCVD 室反应沉积物外延否-3废酸液酸液清洗、湿法蚀刻、部件 清洗是HW34 900-300-344含氟废液酸液清洗、湿法蚀刻是HW32 900-026-325废光刻胶、聚酰亚胺光刻是HW16 398-001- 166废显影液是HW16 398-001- 167废丙酮、异丙醇、乙醇清洗去胶、剥离、治具丙酮 清洗是HW06 900-402-068其他废有机溶剂清洗去胶是HW06 900-404-069废金属箔蒸镀否-10废镀金液化学镀金是HW17 336-057- 1711研264、磨废液背面减薄是HW08 900-200-0812废靶材镀透光膜否-13一般废包装物原料包装否-14废化学品容器是HW49 900-041-4915废离子交换树脂纯水制备否-16废过滤芯、废活性炭、 废反渗透膜否-17含砷废吸附材料外延废气处理装置是HW24 261- 139-2418有机废气废活性炭有机废气处理装置是HW39 900-041-3919酸洗废水污泥酸洗废水处理系统是HW17 336-057- 1720其他废水污泥其余生产废水处理系统否-21废机油设备维修保养是HW08 900-217-0822废抹布/手套设备维修保养、生产过程是HW49 900-041-4923生活垃圾员工办公265、否-根据建设项目危险废物环境影响评价指南（2017）要求， 明确危险废物收集、 贮存、运输、利用、处置环节应采取的污染防治措施， 并说明危险废物的名称、数量、类别、形态、危险特性和污染防治措施等内容，详见表 3.2-28。表3.2-28 本项目危险废物汇总样表序号危险废 物名称危险废 物类别危险废物代码产生量产生工序 及装置形态主要成分有害成分产废 周期危险 特性污染防治 措施一期二期后全厂1废酸液HW34900-300-345.120t/a17.067t/a酸液清洗、湿法蚀刻、部件清洗液 态硫酸、磷 酸、双氧 水、 盐酸、 碘酸、氢溴 酸、乙酸等硫酸、磷 酸、双氧 水、盐酸、 碘酸、氢溴 酸266、乙酸等每天C,T各危险废 物采用防 渗容器盛 装；贮存 于自产危xxxx环境建设有限公司81xx市xx区上塘路 329 号高性能激光器项目环境影响报告书2含氟废 液HW32900-026-320.775t/a2.583t/a酸液清洗、湿法蚀刻液态氟化氢、 BOE 蚀刻 液、硝酸氟化氢、氟 化铵、硝酸每天C,T废暂存场 所（污泥 存放于污 泥间）， 并分类、分区堆 放， 做好 防渗漏、 防晒、防 风措施； 最终委托 有危废处 理资质的 单位处置3废光刻胶、聚酰亚胺HW16398-001- 1615.75kg/a52.50kg/a光刻液 态光刻胶、 PI光刻胶、 PI每天T4废显影 液HW163267、98-001- 160.191t/a0.635t/a液态显影液显影液每天T5废丙酮、 异丙醇、 乙醇HW06900-402-060.225t/a0.751t/a清洗去胶、剥离、治具丙酮清洗液态丙酮、异丙 醇、乙醇丙酮、异丙 醇、乙醇每天T,I,R6其他废有机溶剂HW06900-404-060.395t/a1.316t/a清洗去胶液态NMP、DMF、甲 醇、丁酮NMP、DMF、甲 醇、丁酮每天7废镀金 液HW17336-057- 170.072t/a0.240t/a化学镀金液 态亚硫酸金 钠金每天T8研磨废 液HW08900-200-089.026t/a30.085t/a背面减薄液态研磨蜡矿物油每天T,I9废化学 品容器HW49900-041-490.5t/a1.7t/a原料包装固 态玻璃/塑料、酸液、有机溶剂等酸液、有机