1、 1 一、建设项目基本情况建设项目名称xx(xx)光电科技有限公司化合物半导体外延材料的产业化项目项目代码建设单位联系人联系方式建设地点地理坐标国民经济行业类别C3985 电子专用材料制造建设项目行业类别三十六、计算机、通信和其他电子设备制造业 39-81、电子元件及电子专用材料制造 398建设性质新建（迁建）改建扩建技术改造建设项目申报情形首次申报项目不予批准后再次申报项目超五年重新审核项目重大变动重新报批项目项目审批（核准/备案）部门（选填）xx市xx区发展和改革局目审批（核准/备案）文号（选填）集发展备案【2022】811 号总投资（万元）43000环保投资（万元）70环保投资占比（%）2、0.16施工工期4 个月是否开工建设否是：未批先建项目填写已建设内容，处罚及执行情况用地（用海）面积（m2）3017.24专项评价设置情况无，依据见下表1-1。2 表表 1-1 专项评价设置理由专项评价设置理由专项评价专项评价的类别的类别设置原则设置原则本项目情况本项目情况设置情况设置情况大气排放废气含有毒有害污染物1、二噁英、苯并a芘、氰化物、氯气且厂界外500米范围内有环境空气保护目标2的建设项目本项目不涉及相关废气污染物不设置地表水新增工业废水直排建设项目（槽罐车外送污水处理厂的除外）；新增废水直排的污水集中处理厂本项目工艺废液（有机废液、酸性废液、碱性废液、含砷废液）作危废处置，不外排3、；纯水制备机废水及氮化物（硅衬底外延片、碳化硅衬底外延片）纯水冲洗废水经综合污水处理站处理后由市政污水管网纳入后溪工业组团污水处理站处理；含砷废水经含砷废水处理设施处理后接入综合污水处理站总排放口后由市政污水管网纳入后溪工业组团污水处理站处理；生活污水经三级化粪池处理后由市政污水管网纳入后溪工业组团污水处理站处理。属于间接排放。不设置环境风险有毒有害和易燃易爆危险物质存储量超过临量3的建设项目项目Q值为0.07，危险物质存储量不超过临量不设置生态取水口下游500米范围内有重要水生生物的自然产卵场、索饵场、越冬场和洄游通道的新增河道取水的污染类建设项目不涉及不设置海洋直接向海排放污染物的海洋工程4、建设项目不涉及不设置土壤不开展专项评价/不设置声环境不开展专项评价/不设置地下水地下水原则上不开展专项评价，涉及集中式饮用水水源和热水、矿泉水、温泉等特殊地下水资源保护区的开展地下水专项评价工作不涉及不设置注：1.废气中有毒有污染物指纳入有毒有害大气污染物名录的污染物（不包括无排放标准的污染物）：二氯甲烷、甲醛、三氯甲烷、三氯乙烯、四氯乙烯、乙醛、镉及其化合物、铬及其化合物、汞及其化合物、铅及其化合物、砷及其化合物。2.环境空气保护目标指自然保护区、风景名胜区、居住区、文化区和农村地区中人群较集中的区域。3.临界量及其计算方法可参考建设项目环境风险评价技术导则（HJ169-2018）附录B、附5、录C。规划规划名称：xx市产业空间布局指引；审批机关：xx市发展改革委、xx市工业和信息化局、xx市自然资源和规 3 情况划局；审批文件名称及文号：xx市发展改革委xx市工业和信息化局xx市自然资源和规划局关于印发xx市产业空间布局指引(2021年本)的通知（厦发改产业2021451号）。规划名称：xx市工业用地控制线方案；审批机关：xx市人民政府；审批文件名称及文号：xx市人民政府关于全市工业用地控制线方案的批复（厦府2018304号）。规划名称：xx区全域空间规划一张蓝图；审批机关：xx市自然资源和规划局；审批文件名称及文号：无。规划环境影响评价情况规划环境影响评价文件名称：xx市xx区区6、域发展规划环境影响报告书；召集审查机关：原xx市环境保护局；审查文件名称及文号：xx市xx区区域发展规划环境影响报告书审查意见的函（厦环函201524号），详见附件附件1。规划环境影响评价文件名称：xx市后溪工业组团规划调整环境影响评价报告书召集审查机关：xx市环境保护局（现xx市生态环境局）审查文件名称及文号：xx省生态环境厅关于xx市后溪工业组团规划调整环境影响评价报告书审查小组意见的函（厦环评20196号）规划及规划环境影响评价符1.1 土地利用规划的符合性土地利用规划的符合性本项目为xx(xx)光电科技有限公司（营业执照复印件见附件附件 2，负责人身份证复印件见附件附件 3）拟使用xx7、市xx区国有资产投资有限公司位于xx市xx区金岭北路 159-3、159-4 号 101 单元（xx区模具产业园一期）的工业厂房建设项目（建设用地“四小证”及总平图见附件附件 4，厂房租赁意向合同见附件附件 5，地理位置见附图附图 1）。根据相关用地资料，厂房用途为“工业”，核对xx市产业空间布局图（见附图附图 2）及xx市工业用地控制线方案（见附附图图 3），项目所在地属于工业用地；对照xx市xx区空间布局规划(2017)4 合性分析（xx区全域空间规划一张蓝图见附图附图 4），项目所在位置位于机械工业集中区（后溪片区）内。由此可见，项目选址符合xx市城市总体规划、xx市集美区空间布局规划的8、要求。1.2 与与相关相关规划符合性分析规划符合性分析xx市xx区区域发展规划划定范围以远期城市空间拓展范围为依据划定规划区范围，北至xx与同安行政边界、xx北部山体南麓，东至环东海域，南以西海域为界，西至新 324 国道、xx与xx行政边界，含杏林湾等水域用地总面积为 132km2。功能定位：以教育、科研和旅游为特色的岛外重要新城区。其中，xx北部工业区的主导产业为电子、机械、服装、食品；后溪工业区的主导产业为机械、电子；杏林、xx（xx）机械工业集中区的主导产业为机械、电子、化工、轻纺；灌口工业区的主导产业为机械。本项目位于xx市xx区金岭北路 159-3、159-4 号 101 单元（x9、x区模具产业园一期），属于机械工业集中区（后溪片区）内，本项目为电子专用半导体外延材料生产加工，属于xx（xx）机械工业集中区主导的电子产业。因此，本项目与xx（xx）机械工业集中区产业定位相符。1.3 与与规划环境影响评价结论及审查意见的规划环境影响评价结论及审查意见的符合性分析符合性分析本项目所在地属机械工业集中区（后溪片区），根据xx市后溪工业组团规划调整环境影响评价报告书及审查意见（厦环评20196 号），后溪工业组团功能定位为以机械工业为主，机械配套及电子产业为辅。本项目从事电子专用半导体外延材料生产加工，建设符合后溪工业组团规划环境影响评价结论及审查意见要求，详见表表 1-2、表表10、 1-3。表表 1-2 与后溪工业组团规划环境影响评价结论及审查意见符合性分析与后溪工业组团规划环境影响评价结论及审查意见符合性分析序号后溪工业组团特别限制措施本项目情况符合性1禁止引进含冶炼（再生冶炼）、铸造、锻造（不含冷锻）、电镀、含有机溶剂的喷漆、化学热处理、阳极氧化工艺的企业不涉及符合2禁止引进石化、化工与印染等高污染、高耗能行业不涉及符合 5 表表 1-3 xx区xx区后溪工业组团后溪工业组团环境准入特别限制措施一览表（摘录）环境准入特别限制措施一览表（摘录）序号行业类别类别准入要求或禁止原因本项目情况符合性139计算机、通信和其他电子设备制造业鼓励 产业结构调整指导目录（2011 11、年本）（2013年修正）和xx省相关产业政策、负面清单中关于机械装备制造的限制类或禁止类项目禁止准入；禁止引进含冶炼（含再生冶炼）、铸造、锻造（不含冷煅）、电镀、化学热处理、阳极氧化工序的企业。禁止采用有机溶剂的喷漆工艺（水性漆与粉末喷涂除外）。计算机、通信和其他电子设备制造业中仅限无铅焊接、机加工、组装等工艺，不得有电路板生产、电镀、喷漆等工艺。项目从事电子专用半导体外延材料生产加工，不涉及相关禁止入驻的工艺类型及行业符合其他符合性分析1.4 产业政策符合性分析产业政策符合性分析（1）本项目为电子专用半导体外延材料生产加工项目，核对部分工业行业淘汰落后生产工艺装备和产品指导目录（2010 年12、本，项目不存在该目录中提及的应淘汰落后的工艺装备。（2）查阅 限制用地项目目录（2012 年本）和 禁止用地项目目录（2012年本）内容，项目不属于所在用地类型限制或禁止入驻项目，故本项目用地符合国家政策。（3）核对产业结构调整指导目录（2019 年本）、国家发展改革委关于修改的决定相关内容，本项目属于“二十八、信息产业”中的“22、半导体、光电子器件、新型电子元器件（片式元器件、电力电子器件、光电子器件、敏感元器件及传感器、新型机电元件、高频微波印制电路板、高速通信电路板、柔性电路板、高性能覆铜板等）等电子产品用材料”，因此本项目属于“鼓励类”项目。（4）项目不属于市场准入负面清单（202213、 版）中禁止准入类和未获得许可不得从事的项目类型。综上所述，本项目符合国家当前产业政策。1.5 与周边环境相容性分析与周边环境相容性分析本项目拟建于xx市xx区金岭北路 159-3、159-4 号 101 单元（xx区模具产业园一期），位于机械工业集中区（后溪片区）内，系xx市xx区国有 6 资产投资有限公司的现有厂房，所在厂房为一栋六层现浇混凝土框架结构厂房，本项目位于所在建筑一层，除本项目外，项目所在建筑及厂区暂无其他企业入驻。项目所在厂区东侧为山仔社，南侧为从事饰品生产加工的xx姚明织带饰品有限公司，西侧为从事制冷设备制造的xx艾思珂冷链科技有限公司，北侧为规划工业用地。项目周边无从事食14、品、药品生产等对环境质量要求较高的企业，周边敏感目标主要为距项目东侧约 160m 的山仔社，距项目东南侧270m 的新村白领里，距项目西南侧 138m 的土楼社。项目地理位置见附图附图 1，周边环境情况见附图附图 5，项目四周现状照片见附图附图 6。本项目工艺废液（有机废液、酸性废液、碱性废液、含砷废液）作危废处置，不外排；纯水制备机废水及氮化物（硅衬底外延片、碳化硅衬底外延片）纯水冲洗废水经综合污水处理站处理后由市政污水管网纳入后溪工业组团污水处理站处理；含砷废水经含砷废水处理设施处理后接入综合污水处理站总排放口后由市政污水管网纳入后溪工业组团污水处理站处理；生活污水经三级化粪池处理后由市政15、污水管网纳入后溪工业组团污水处理站处理。项目溶液配制、衬底清洗、托盘清洗及腐蚀测试在负压的通风橱柜中进行，腔体擦拭采用可移动的集气罩收集，产生的无机废气由“集气系统+SDG 活性炭吸附装置+一根 41m 高排气筒 DA001”达标后排放，有机废气由“集气系统+蜂窝活性炭吸附装置+一根 41m 高排气筒 DA002”达标后排放。项目废气得到有效处理后可达标排放，排气筒布置于远离敏感目标，废气排放对区域大气环境质量产生的影响较小。由噪声环境影响章节预测可知，项目噪声经采取相关措施治理后可达标排放，对周围环境影响在可接受范围内。项目各类固废分类收集、规范储存、妥善处置，不直接排放，不会对外环境造成二16、次污染，对周边环境影响不大。此外，项目交通便利，区域水、电、通信、排污等市政设施齐备，因此项目地块与周边环境相容。从环境可容性分析，项目选址基本合理。1.6“三线一单三线一单”符合性分析符合性分析“三线一单”指的是生态保护红线、环境质量底线、资源利用上线以及生态环境准入清单。（1）生态保护红线 7 xx区生态保护红线包括自然与人文景观保护红线、生态公益林保护红线、集中式饮用水水源地保护红线、重要湿地保护红线、水土流失敏感区保护红线等 5 个类型，总面积 91.76km2，占国土面积的比例 39.42%，其中一级管控区面积 30.14km2，占国土面积的比例为 10.98%，二级管控区面积 6117、.62km2，占国土面积的比例为 22.44%。本项目不属于xx区生态保护红线范围，符合集美区生态红线保护的要求。xx市生态控制线划分图见附图附图 7，xx市生态环境管控单元图见附图附图 8，xx市xx区生态保护红线分布见附图附图 9。（2）环境质量底线距离项目最近的地表水为苎溪（详见附图附图 10 xx市地表水环境功能区划图），项目产生的废水不直接排入地表水体，不会对周边地表水水质造成影响。项目所在地区环境空气质量为二级，环境空气质量目标为 环境空气质量标准（GB3095-2012）及其 2018 年修改单二级标准（详见附图附图 11 xx市环境空气质量功能区划图）；项目位于工业区内，位于三18、级声环境功能区，声环境质量目标为声环境质量标准（GB3096-2008）3 类标准（详见附图附图 12 xx市声环境功能区划图）。根据本报告表“三、区域环境质量现状、环境保护目标及评价标准”章节分析，项目区域水环境质量、大气环境质量、声环境质量现状良好，具有一定的环境容量。本项目产生的污染物经采取切实有效的防治措施后达标排放，对周边环境质量产生的影响小，不会超出区域环境质量底线。（3）资源利用上线本项目利用现有工业厂房，不新占土地；项目生活用水、生产用水取自自来水，由区域供水系统提供；项目使用能源为电能，电能由市政供应系统提供。项目运营过程中会消耗一定量的水（7040.625t/a）、电（6019、0 万 kWh/a），资源消耗量占区域资源利用总量少，没有突破区域资源利用上线。（4）生态环境准入条件符合性分析对照xx市生态环境准入清单（2021 年）附图：xx市生态环境管控单元图（见附图附图 8），本项目所在地属机械工业集中区（后溪片区）（ZH35021120005）。根据xx市生态环境准入清单（2021 年）内容，本 8 项目总体准入符合性分析见表表 1-2，区域准入符合性分析见表表 1-3，行业准入符合性分析见表表 1-4。9 其他符合性分析表表 1-2 与xx市生态环境总体准入要求要求符合性分析一览表与xx市生态环境总体准入要求要求符合性分析一览表适用适用范围范围准入要求准入要求本20、项目情况本项目情况符合符合性性厦厦门门市市陆陆域域空空间间布布局局约约束束（重重点点管管控控区区域域）1.思明区禁止新建有大气、水污染物排放的工业生产项目，改、扩建项目不得新增排放因子和排放总量，已建项目进行整合升级并引导逐步退出。本项目位于xx区，不涉及符合2.湖里区禁止新建涉及重金属排放的工业生产项目，改、扩建项目不得新增重点重金属排放。本项目位于xx区，不涉及符合3.先锋电镀集控区禁止扩大园区规模，原则上禁止在先锋电镀集控区之外区域新(扩)建专业电镀项目，涉及重点重金属废水污染物排放的须确保指标调剂来源后方可准入。本项目位于机械工业集中区（后溪片区），且不涉及电镀工序。符合4.对省、市级21、重点重大产业项目，省、市级“高技术、高成长、高附加值”重点企业增资扩产项目，规划发展的电子产业、新材料、新能源和节能环保产业重点项目确需配套电镀工艺等涉及重点重金属废水排放的须确保重点重金属污染物排放指标调剂来源，确需配套的关键性、短流程化工工序和单纯混合、分装、物理提纯的，在落实污染防治和风险防控的前提下，可予准入。本项目不涉及电镀工序；项目属于半导体行业，废水污染物主要为 COD、BOD5、SS、氨氮、总砷，其中总砷来自砷磷化物（pHEMT 外延片、APD 外延片），不属于专门的重金属排放工业，项目采取的废水处理措施可做到总砷低于电子工业水污染物排放标准（GB39731-2020）表 1 22、间接排放标准限值，项目生产不会增加区域重金属排放量。符合5.全市禁止准入新、扩建火电、石化、煤化工、基础化学原料制造（物理提纯、单纯混合分装除外）、钢铁、有色金属冶炼(铜、铅、锌、镍、钴、铝、镁、硅等冶炼)、建材（含水泥、石灰石膏、粘土砖瓦、平板玻璃、建筑陶瓷、石材）、橡胶和塑料制品业（轮胎、再生橡胶、运动场地塑胶等制造）等高耗能、高排放项目；改建项目应符合减污降碳等政策、法律法规、法定规划要求。高污染燃料禁燃区禁止加工销售和使用煤炭及其制品、石油焦、油页岩、原油、重油、渣油、煤焦油、生物质成型燃料等高污染燃料项目。本项目为新建项目，主要从事半导体外延材料生产加工，不使用燃料，不属于所列的高耗23、能、高排放、高污染项目符合6.禁止准入生产和使用高 VOCs 含量的溶剂型涂料、油墨、胶黏剂和洗涤剂的新、本项目不使用高 VOCs 含量符合 10 扩建项目。的溶剂型涂料、油墨、胶黏剂和洗涤剂，产品为半导体外延材料，不属于高 VOCs含量产品，不涉及7.合理规划和布局集中污水处理和集中垃圾处置等环保设施建设。本项目工艺废液（有机废液、酸性废液、碱性废液、含砷废液）作危废处置，不外排；纯水制备机废水及氮化物（硅衬底外延片、碳化硅衬底外延片）纯水冲洗废水经综合污水处理站处理后由市政污水管网纳入后溪工业组团污水处理站处理；含砷废水经含砷废水处理设施处理后接入厂区综合污水处理设施总排放口后由市政污水管24、网纳入后溪工业组团污水处理站处理；生活污水经三级化粪池处理后由市政污水管网纳入后溪工业组团污水处理站处理。废气处理设施合理放置，设置危废间和一般固废暂存间，环保设施规划和布局合理符合8.对于工业控制线范围之外的区域内（包括除生态红线以外的生态控制线范围）具有合法用地权属的工业用地，仍保留工业用地使用的，应符合如下要求：(1)生态控制线范围的既有工业用地，采取如下处理原则：国有土地上经出让取得用地的合法建设项目，符合环保要求的，允许按土地出让合同建设或保留，不得改扩建，到期按规定予以收回；其他按规定予以征收。国有土地上经划拨取得用地的合法建设项目，符合环保要求的，允许保留，不得改扩建；其他按规定25、予以征收。集体土地上具有合法土地使用权属证明的建设项目，符合环保要求的，允许保留，本项目位于机械工业集中区（后溪片区），属于工业控制线范围之内的区域内。符合 11 不得改扩建；其他按规定予以征收。(2)生态控制线范围以外既有合法用地权属的工业用地，原则上不得新建、扩建以下项目：可能造成重大环境影响、按照建设项目环境影响评价分类管理名录编制环境影响报告书的建设项目；饲料及其添加剂、树脂工艺品、含熔铸（铸造、锻造）工艺的合金及金属制品、含表面处理（磷化、钝化、电镀、化学镀、喷漆等工序中的一项或多项）工艺的金属或非金属制品制造项目；排放污水不具备纳入公共污水处理系统，需设置入河或者入海排污口的建设项26、目；使用煤、燃料油等高污染燃料或生物质（含颗粒）燃料的建设项目；选址临近居住区、学校等环境敏感目标而可能引发噪声、粉尘、臭气污染扰民的建材、废弃资源综合利用、固体废物收集贮存与处置及利用项目；排放重金属和持久性有机污染物并纳入土壤污染重点管控行业的建设项目；需要设置大气环境防护距离或卫生防护距离并且防护距离超越项目用地红线边界的建设项目；对照建设项目环境风险评价技术导则（HJ/T169）和危险化学品重大危险源辨识（GB18218）构成较大、重大危险源的建设项目；可准入的新、扩建项目，应符合本准入清单“3 分行业生态环境准入要求”表 3-1、表 3-2 中对应的有关生产工艺和生态环境准入要求，符27、合产业政策（鼓励类）和清洁生产先进水平要求，确保污染物排放符合相应环境功能区标准要求。9.对于不能入驻工业园区或者因行业特点需要因地制宜选址建设的畜禽养殖、建筑砂石开采、建筑材料加工制造（商品混凝土搅拌站、沥青搅拌站、干粉砂浆搅拌站、砼构件、砂石砖瓦），在项目用地不涉及自然保护区、饮用水源保护区、风景名胜区、森林公园、生态公益林及其他生态保护红线，而且选址周边（大气环境防护距离与卫生防护距离范围内）没有居住区等环境敏感目标的前提下，根据相关专项规划、行业建设计划或者点状供地规定等有关依据进行选址。其中，市场化规模化生产经营的建筑材料加工制造项目应选址于工业类建设用地，避开农业生产用地和规划的居28、住用地，防止土壤污染风险。本项目从事半导体外延材料的生产加工，不涉及符合10.在现有和规划的集中居住区（包括村庄、住宅小区）、学校等敏感目标外围 100m范围1内，禁止准入增加排放有机废气污染物、恶臭（异味）污染物2及其他列入有毒有害大气污染物名录污染物的新(改、扩)建工业生产项目，主要禁止以下项目位置距离最近的敏感目标距离为 138m，从事半导体外延材料的加工，不属符合 12 项目类型：(1)化学原料和化学制品制造业、医药制造业类项目（不使用挥发性有机溶剂原料、异味物料的单纯物理分离、物理提纯、混合、分装、药品复配的项目经环评论证可行的可准入）。(2)制革，人造革，发泡胶，塑料再生（包括改性29、），制浆造纸（含废纸），轮胎制造，橡胶再生，含炼化及硫化工艺的橡胶制品（硅橡胶制品项目经环评论证可行的可准入）。(3)化纤制造（单纯纺丝除外），制鞋，含染整、染色、印花工艺的服装、纤维、塑料纺织品生产项目。(4)饲料及其添加剂，树脂工艺品，沥青制品，玻璃钢制品制造项目。(5)香辛料调味品，发酵制品，屠宰，含发酵工艺的食品、饮料、调味品加工项目。(6)含有喷漆（工业涂装）工序的项目（使用电泳、水性涂料、粉末涂料、固化涂料的项目经环评论证可行的，方可准入）。(7)丝印，包装印刷项目（使用水性油墨的印刷项目经环评论证可行的，方可准入）。(8)含金属、合金高温熔炼、熔铸（铸造）工艺的，含 PVC、尼龙30、再生塑料加热成型或塑料涂覆工艺的项目。(9)其他使用挥发性有机溶剂、稀释剂原辅材料年使用总量 2 吨以上的，或者 2 吨以下但需要设置大气环境防护距离的建设项目（2 吨及以下的项目经环评论证可行的，方可准入）。于所列的禁止准入行业，不涉及禁止的丝印、包装印刷、金属熔炼及熔铸、塑料加热和涂覆等工艺11.在城市建成区、主城区等以行政办公、居住生活为主的城市发展功能区内，优化城市空间布局：(1)禁止新建有大气、水污染物排放的工业生产项目，改、扩建项目不得新增排放因子和排放总量，不断提升改造。(2)新建、扩xx卫、市政基础设施项目应符合相应专项规划，新建产生恶臭废气的污水集中处理设施的，与居民、学校31、等敏感目标的距离应满足大气环境防护距离与卫生防护距离要求，避免对敏感目标产生恶臭污染影响。(3)禁止在人口聚集区新建涉及化学品和危险废物仓储的项目。(4)列入建设用地土壤污染风险管控和修复名录的地块，不得作为住宅、公共管理与公共服务用地。(5)不得在禁止区域内露天烧烤食品或者为露天烧烤食品提供场地。(6)片区应当根据城市功能需要，在商业服务区内集中规划建设餐饮业经营场。禁止在住宅楼、未配套设立专用烟道的商住楼以及商住楼内与居住层相邻的商业楼层本项目位于机械工业集中区（后溪片区），不涉及符合 13 内新建、改建、扩建产生油烟、异味、废气的餐饮服务项目。(7)片区内应当根据城市功能需要，规划和建设32、可能影响生活环境的五金加工、建材加工、汽车维修和服务、废品回收等行业集中经营场所。禁止在城市建成区的住宅楼（包括商住楼的住宅部分）从事产生噪声、振动的生产经营活动。禁止在商住楼新设可能产生噪声、振动超标的五金加工、建材加工、汽车维修和服务、娱乐业以及可能影响生活环境的废品回收等项目。(8)新立项的政府投融资项目、安置房、保障性住房，以招拍挂、协议出让等方式新获得建设用地的民用建筑，翻改建的民用建筑（个人危旧房改造除外）全面执行绿色建筑标准；从 2016 年 1 月 1 日起办理施工许可证的所有存量土地的民用建筑项目，全面执行绿色建筑标准；切实推进绿色工业建筑建设。12.各片区规划实施过程中，考33、虑生态优先和生态系统服务功能的需要，优化片区开发方案，产城融合区域注意防范“邻避”问题。本项目位于机械工业集中区（后溪片区），不涉及符合生生态态保保护护修修复复1.东西溪流域、官浔溪流域、埭头溪流域、龙东溪流域、深青溪和瑶山溪流域等重点生态修复区域，重点保障北部山体生态屏障功能，水源涵养、水土保持、灾害预防、生物多样性保护等山体重要生态服务功能持续优化。修复策略以封禁、禁采和少量人工促进更新措施为主。应优先强调自然修复，在自然修复无法达到修复目标情况下，再采取人工修复。本项目不属于所列区域，不涉及符合2.九溪流域、过芸溪流域等提升区域，主要提升景观生态功能和生态空间联通性，减少水土流失和恢复受34、损植被。本项目不属于所列区域，不涉及符合3.禁止猎捕、杀害栗喉蜂虎、紫水鸡等国家重点保护野生动物。建设工程应当采取措施，预防、控制可能对野生动物造成的危害。不涉及符合污污染染物物排排放放管管控控1.省级及以上工业园区(xxxx台商投资区、xxxx保税港区、xxxx高技术产业开发区、xx台商投资区、杏林台商投资区、xxxx翔安工业园区、xx厦门同安工业园区)工业企业新增主要污染物(化学需氧量、氨氮、二氧化硫、氮氧化物)排放量的，按等量替代进行交易；省级及以上工业园区外的工业企业新增主要污染物排放量按不低于 1.2 倍交易。排放重金属废水污染物项目投资强度或产值应满足xx市涉重金属项目强度限值要求35、。重点重金属废水污染物排放执行“等量置换”或“减量置换”，其中省市重点项目实行“等量置换”，其他项目实行 1.1 倍“减量置换”（电镀行业不低于 1.2 倍）。本项目位于机械工业集中区（后溪片区）。本项目属于半导体行业，废水污染物主要为 COD、BOD5、SS、氨氮、总砷，其中总砷来自砷磷化物（pHEMT 外延片、APD 外延片），不属于专门的重金属排放工业，项目采取的废水处理措施可做到总砷低于电子工业水污染物排放标准（GB符合 14 39731-2020）表 1 间接排放标准限值，项目生产不会增加区域重金属排放量。2.涉新增 VOCs 项目，应实行 VOCs 区域内倍量削减替代，其中xx区新36、阳片区内工业园区企业的区域有效削减量3与新增排放量比例不小于 2 倍；全市除新阳片区外的其他工业园区不低于 1.5 倍，其中省、市重点重大项目不低于 1.2 倍。不涉及符合3.现有及新建项目根据所排放的污染物，按照行业排放标准、地方排放标准、综合排放标准等标准的适用范围、原则，从严执行。本项目污染物排放标准按规则从严执行：外排生产废水排入市政污水管网前水质执行电子工业水污染物排放标准（GB39731-2020）表 1 间接排放标准；生活污水排入市政污水管网前水质执行污水综合排放标准（GB8978-1996）表 4 三级标准（NH3-N 执行GB/T31962-2015污水排入城镇下水道水质标准37、中的B 等级标准）；氨排放执行恶臭污染物排放标准（GB14554-93）表 2 排放标准，氮氧化物、氯化氢、硫酸雾及氟化物排放执行DB35/323-2018 xx市大气污染物排放标准表 1 相关标准；厂界噪声执行GB12348-2008 工业企业厂界环境噪声排放标准3 类标准符合4.燃煤火电机组执行燃气轮机组排放限值要求，不得新建燃煤锅炉项目，改、扩建燃煤锅炉应执行大气污染物特别排放限值。不涉及符合 15 5.在城市建成区等以行政办公、居住生活为主的城市发展功能区内，污染物排放管控应执行以下要求：(1)对现状企业进行整合或升级改造，全面提升污染治理水平。(2)通过实施清洁柴油车（机）、清洁运输38、和清洁油品行动，发展绿色交通、推广新能源汽车、强化城市扬尘污染管控和对加油站、储油库、油罐车等油气回收设施运行监管等措施减少城市交通源、扬尘源。(3)餐饮业经营场所应当设置专用烟道。对餐饮服务项目：可能产生油烟污染的，应满足：a.安装油烟净化设施并保持正常使用，油烟通过餐饮业专用烟道排放，不得排入下水管道，专用烟道的排放口高度和位置不得影响周围居民生活、工作环境；b.现有油烟排放口应符合xx市大气污染物排放标准(DB35/323-2018)规定，新建项目按 GB18483、HJ554 执行；c.油烟排放应执行 GB18483 规定。噪声、振动排放应符合规定标准。设置油水分离设施，污水经隔油预处39、理后排入市政污水管网，废油脂交由有资质的单位处置。(4)服装干洗、机动车维修等服务活动项目，应当按照国家有关标准等要求设置异味和废气处理装置等污染防治设施并保持正常使用。(5)严格控制新建、改建、扩建建筑物采用玻璃幕墙等反光材料。建筑外立面采用反光材料的，不得采用镜面玻璃或者抛光金属板等材料。项目位于规划的工业区，位于城市发展功能区外，不涉及符合资资源源利利用用率率1.执行最严格水资源管理制度。(1)严格用水总量控制，对取用水总量达到或超过控制指标的区域，停止审批建设项目新增取水，建设项目新增用水通过中水、海水等非常规水源解决；对取用水总量接近控制指标的区域，优先保障低消耗、低排放和高效益的产40、业发展，严格限制高耗水、高污染、低效益的项目。(2)落实建设项目水资源论证制度，除取水许可和水资源费征收管理条例第四条规定的情形外，对直接从江河、湖泊或者从地下取水的建设项目必须进行水资源论证。加强对重点用水户、特殊用水行业用水户的监督管理。以区为单元，全面开展节水型社会达标建设。(3)从严控制高污染、高耗水等行业新增取水。禁止准入不符合国家产业政策或列入国家产业结构调整指导目录中淘汰类或限制类的、产品不符合行业用水定额标准的项目。(4)提高用水效率。加强节约用水管理，加快推广和普及高效、节水、降耗和环保的水资源利用新技术、新工艺、新产品，鼓励发展中水回用、雨水、海水等非常规水源开发利用；加快41、推进节水技术改造，高耗水企业加强节水工艺改造，加快淘汰本项目水资源取自自来水，由市政供水管网统一供给，总用水量为 7040.625t/a，水资源消耗不大，属于鼓励类项目；废水排放量6832.38t/a，排放低，不属于高耗水、高污染、低效益的项目。符合 16 落后生产工艺和设备，提高企业水循环利用率；实行计划用水与管理，强化企业用水过程的监控管理，用水大户应开展水平衡测试，挖掘企业节水潜力，降低单位产品用水量。2.能源消费总量和强度双控指标。(1)推进能源总量管理、科学配置、全面节约，推动能源清洁低碳安全高效利用，倒逼产业结构、能源结构调整，助力实现碳达峰、碳中和目标。(2)差别化分解能耗双控目42、标，鼓励可再生能源使用，重点控制化石能源消费。提高非化石能源在终端能源消费比重，把发展清洁低碳能源作为调整能源结构的主攻方向。(3)完善能源消费总量和强度双控指标管理。从各区域发展定位、产业结构和布局、能源消费现状、节能潜力、能源资源禀赋、环境质量状况、能源基础设施建设和规划布局，合理确定能耗强度降低和能源消费总量目标。(4)调整优化产业结构，严控高耗能高排放行业能耗增长，加快发展低能耗低排放产业，充分运用先进适用技术和现代信息技术，改造提升传统产业，重点支持对传统产业升级带动作用大的重点项目。本项目使用能源主要为电能，属清洁能源，总用电量为 600 万 kwh/a，能源消耗低。符合3.严格执43、行土地使用标准，科学合理用地，提高土地节约集约利用水平。(1)建设用地资源：加强建设用地污染防控工作，实行建设用地总量强度双控，推进城镇低效用地改造，推进城市国土空间“三维开发”。(2)农用地资源：严守耕地保护红线，切实提高耕地质量，确保耕地占补平衡。本项目严格执行土地使用标准，科学合理用地，提高土地节约集约利用水平。符合表表 1-3 与项目所在区域准入要求符合性分析一览表与项目所在区域准入要求符合性分析一览表空间单元空间单元名称、范名称、范围、面积围、面积机械工业集中区机械工业集中区（后溪片区）（后溪片区）：新 324 国道、旧 324 国道、横一路、苏山路围合区，面积 598hm2功能定位44、功能定位具体内容具体内容本项目情况本项目情况符合符合性性汽车制造、工程机械、装备制造、新材料、轻工业本项目从事半导体外延材料的生产加工，属于定位的新材料行业符合/具体内容具体内容本项目情况本项目情况符合符合性性空间布局空间布局1.禁止引进石化、化工与印染等高能耗、高污染行业和落后生产工艺项目，入本项目从事半导体外延材料的符合 17 约束约束驻项目必须使用清洁能源。生产加工，不属于高能耗、高污染行业，不属于落后生产工艺项目，使用能用为电能。2.禁止准入与本产业园定位不符的“两高”产业，包括金属及金属合金冶炼、钢铁压延加工、电池制造、使用增塑剂制造儿童玩具、纤维板及刨花板制造等。本项目从事半导体外45、延材料的生产加工，与产业园定位相符，不涉及所列行业。符合3.禁止准入排放废水重点重金属污染物的工业项目。禁止准入包含电镀及化学镀、热浸镀等涉及废水重金属排放的表面处理工艺加工项目。本项目不涉及电镀及化学镀、热浸镀等工艺的表面处理加工。本项目属于半导体行业，废水污染物主要为 COD、BOD5、SS、氨氮、总砷，其中总砷来自砷磷化物（pHEMT 外延片、APD 外延片），不属于专门的重金属排放工业，项目采取的废水处理措施可做到总砷低于电子工业水污染物排放标准（GB39731-2020）表 1 间接排放标准限值，项目生产不会增加区域重金属排放量。符合4.禁止引进含冶炼(再生冶炼)、铸造、锻造(不含冷46、锻)、电镀及化学镀、热浸镀、含有机溶剂的喷漆、化学热处理、阳极氧化工艺的企业。本项目不含所列禁止准入的相关工艺符合5.计算机、通信和其他电子设备制造业中仅限无铅焊接、机加工、组装等工艺，不得有电路板生产、电镀、喷漆等工艺。本项目从事半导体外延材料的生产加工，不涉及电路板生产、电镀、喷漆等工艺符合6.纺织业、纺织服装、服饰业禁止有洗毛、脱胶工段及产生缫丝废水、精炼废水工序；对入园的纺织业配套印染工艺的项目，应满足工业废水回用率达到60%以上。本项目从事半导体外延材料的生产加工，不属于所列行业符合7.在已建成集中供热项目的供热范围内，不得新建、扩建燃煤、燃油和燃生物质燃料锅炉或工业窑炉，因集中供热47、确实不能满足具体生产工艺用热条件的项目仅允许建设清洁能源锅炉及工业窑炉，管网覆盖范围内的现有燃煤锅炉及工业窑炉应在集中供热项目建成后 6 个月内关停。本项目不涉及锅炉及工业炉窑使用符合 18 污染物排污染物排放管控放管控1.新(改、扩)建项目，立足于通过“以新带老”、削减存量，努力实现企业自身总量平衡，确需新增主要污染物(化学需氧量、氨氮、二氧化硫、氮氧化物)排放量的，新增部分等量替代；VOCs 实行倍量替代(区域有效削减量与新增排放量比例不小于 1.5 倍，省、市重点重大项目不小于 1.2 倍)，改建项目应通过提升改造生产工艺、处理设施控制 VOCs 排放量只减不增。本项目为新建项目，有机废48、气排放量 0.0331t/a，1.5 倍量为0.0497t/a，由政府收储的 VOCs削减量来调剂。符合2.产生 VOCs 的项目，废气收集处理设施应符合xx市关于挥发性有机污染整治的要求，采用的治理设施应符合重点行业挥发性有机物综合治理方案，不得采取低温等离子、光催化、光氧化等低效技术。本项目有机废气（非甲烷总烃）经集气系统+蜂窝活性炭吸附装置+一根 41m 高排气筒（DA001）排放符合3.建立区域重点 VOCs 排放企业污染管理台账，深化 VOCs 治理技术改造，推进原辅材料的水性化改造或低挥发性有机物含量原辅材料的使用。建设单位拟建立污染管理台账（记录废气污染治理设施名称、编号、规格参49、数、控制污染物因子及其排放情况、对应排放口情况等。记录活性炭填装量、更换周期、采购发票、设计风量、停留时间、吸附进气温度、排气温度、活性炭转移处置等）。符合4.单元内生产和生活污水实现 100%收集和处理，依托的后溪工业组团污水处理 厂(远 期 为 集 美 水 质 净 化 厂)执 行 厦 门 市 水 污 染 物 排 放 标 准（DB35/322-2018）中表 2 中的 A 级排放限值。本项目工艺废液（有机废液、酸性废液、碱性废液、含砷废液）作危废处置，不外排；纯水制备机废水及氮化物（硅衬底外延片、碳化硅衬底外延片）纯水冲洗废水经综合污水处理站处理后由市政污水管网纳入后溪工业组团污水处理站处理50、；含砷废水经含砷废水处理设施处理后接入厂区综合污水处理设施总排放口后由市政污水管网纳入后溪工业组团污水处理站处理；生活污水经三级化粪池处理后由市政污水管网纳入后溪工业组符合 19 团污水处理站处理。废水 100%收集和处理环境风险环境风险防控防控1.单元内具有潜在污染环境风险的企业，建立污染源头、过程处理和最终排放的“三级防控”机制。制定环境风险应急预案，建设突发事件应急物资储备库，成立应急组织机构。本项目将根据要求，建立污染源头、过程处理和最终排放的“三级防控”机制，制定环境风险应急预案，建设突发事件应急物资储备库，成立应急组织机构。符合2.对单元内具有潜在土壤污染环境风险的企业应加强管理，51、企业应实施项目环评、设计建设、拆除设施、终止经营全生命周期土壤和地下水污染防治。本项目严格按照相关要求对重点区域进行防渗处理，做好全生命周期土壤和地下水污染防治。符合表表 1-4 与项目所在区域准入要求符合性分析一览表与项目所在区域准入要求符合性分析一览表行业行业类别类别具体内容具体内容项目实际情况项目实际情况符合符合性性C3985电子电子专用专用材料材料制造制造管控管控单元单元准入准入指引指引(1)xx区：xx信息产业园(xx区临港 05-12 编制单元)(2)同安区：同翔高新技术产业基地(同安)、轻工电子工业区、同安城东工业区、xxxx高技术产业开发区(同安孵化一、二、三期)(3)翔安区：52、xx(翔安)产业区、同翔高新技术产业基地(翔安)、翔安市头工业集中区、翔安内厝工业区、航空工业园(翔安)(4)xx区：xx北部工业区(5)思明区：禁止准入(6)进入其它工业园区的，应在环境相容性论证可行的前提下予以准入本项目位于机械工业集中区（后溪片区）论证可行准入生产生产工艺工艺及生及生态环态环境准境准入要入要求求(1)禁止准入电子产业的上游专用材料制造业涉及到的单晶硅(片)棒、砷化镓、单晶锗、电子铜箔(含电解铜箔、压延铜箔、合金铜箔)等本项目不涉及单晶硅(片)棒、砷化镓、单晶锗、电子铜箔(含电解铜箔、压延铜箔、合金铜箔)等符合(2)xx、翔安、同安相关产业区可准入刚性覆铜板、柔性覆铜板、金53、属基覆铜板、印刷线路用粘结片等项目，其它区域原则上禁止准入本项目从事半导体外延材料的生产加工，不涉及所列产品符合(3)电子化工材料，禁止准入电子专用精细化工材料，包括电子电导浆料等(混合分装除外)，限制准入高分子材料，仅准入低污染类项目(以具体项目环评论证结论为准)半导体外延材料的生产加工，不属于电子化工材料制造符合 20(4)燃料采用天然气清洁能源。新建项目的焚化炉、热油炉采用天然气用炉头，改、扩建项目原采用柴油设备应通过“以新带老”进行燃气改造，更换炉头为天然气、柴油两用炉头本项目使用能源为电能，不涉及符合(5)新建项目的焚化炉应采用蓄热式(RTO)焚化炉，节省助燃燃油用量，提高废气回收率54、和废气单位热值。改、扩建项目通过“以新带老”将 TO 焚化炉改造为蓄热式焚化炉本项目使用能源为电能，不涉及符合(6)利用有机溶剂的沸点差，通过蒸发冷凝等技术，回收用量较大的丙酮等有机溶剂本项目有机溶剂在密闭的橱柜中进行操作，操作时间短，挥发性量较小，更换的废有机溶液定期委托给有处置资质单位进行处置，对周边环境基本不产生影响符合(7)高耗水、高排水项目引进前应开展用水资源和排水可行性论证，确保区域水资源和水环境有承载能力本项目用水量为 7040.625t/a，总排放水量为 6832.38t/a，不属于高耗水、高排水项目符合(8)各产业区涉及重金属产生和排放项目的生态环境准入要求同上本项目属于半导55、体行业，废水污染物主要为 COD、BOD5、SS、氨氮、总 砷，其中 总砷 来 自砷 磷化 物（pHEMT 外延片、APD 外延片），不属于专门的重金属排放工业，项目采取的废水处理措施可做到总砷低于 电子工业水污染物排放标准（GB 39731-2020）表 1 间接排放标准限值，项目生产不会增加区域重金属排放量。符合(9)半导体行业产生的废水主要有酸性废水、碱性废水、含氟废水、有机废水等，主要污染物 pH、悬浮物、CODCr、NH3-N、氰化物、氟化物、总砷、总铅、总镍、六价铬、总铬、总镉、总银、总铜、总锌等能够达到国外或国内同类行业污染物排放控制标准本项目工艺废液（有机废液、酸性废液、碱性废56、液、含砷废液）作危废处置，不外排；纯水制备机废水及氮化物（硅衬底外延片、碳化硅衬底外延片）纯水冲洗废水经综合污水处理站处理后由市政污水管网纳入后溪工业组团污水处理站符合 21 处理；含砷废水经含砷废水处理设施处理后接入厂区综合污水处理设施总排放口后由市政污水管网纳入后溪工业组团污水处理站处理；生活污水经三级化粪池处理后由市政污水管网纳入后溪工业组团污水处理站处理。(10)半导体产品制造过程中会排放酸性废气、碱性废气、含氟废气、有机废气、有毒废气等，主要污染物硫酸雾、氯化氢、氟化氢、异丙醇、氨、苯、甲苯、二甲苯、挥发性有机物等能达到国外或国内同类行业污染物排放控制标准根据预测分析结果可知，项目氨57、排放可达恶臭污染物排放标准（GB14554-93）表 2 排放标准；硝酸雾（氮氧化物）、氯化氢、硫酸雾、氟化物排放可达xx市大气污染物 排放标准（DB35/323-2018）表 1 标准；有机废气（非甲烷总烃）排放可达 厦门 市 大 气 污 染 物 排 放 标 准（DB35/323-2018）表 2 标准符合(11)禁止使用二氯甲烷等有毒液化品溶剂本项目不使用二氯甲烷等有毒液化品溶剂符合 22 其他符合性分析由表表 1-2、表表 1-3、表表 1-4 所述可知，本项目为半导体外延材料生产加工项目，位于机械工业集中区（后溪片区）；本项目未包含xx市生态环境准入清单（2021 年）禁止准入条件，不58、含清单中禁止准入生产工艺，故不属于其禁止准入项目，本项目与机械工业集中区（后溪片区）主导功能定位一致，但不属于可准入的工业区，为须经环境相容性论证可行的前提下予以准入的项目；项目采用符合要求的污染治理设施，项目生产过程污染物排放可控，不属于高污染、高能耗项目。因此本项目符合生态环境准入清单准入要求。1.7 清洁生产符合性分析清洁生产符合性分析清洁生产是指将综合预防的环境策略持续地应用于生产过程和产品中，以便减少对人类和环境的风险性。2003 年 1 月 1 日起实施的中华人民共和国清洁生产促进法，为在我国全面推行清洁生产提供了充分的法律保证，对新时期环保工作的开展具有重大的推动作用。清洁生产就59、是把控制工业污染的重点从原来的末端治理转移至全过程的污染控制，将综合预防的环境策略持续应用于生产过程和产品中，从而使污染物的产生量、排放量最小化，以便减少对人类和环境的风险。推行清洁生产可以达到“节能、降耗、减污、增效”的目的，是保护环境、实现经济可持续发展的必由之路，其实质是既讲经济效益、又讲环境效益、社会效益。清洁生产六项指标为生产工艺及装备要求（定性）、资源能源利用指标（定量）、产品指标（定量）、污染物产生指标（末端处理前）（定量）、废物回收利用指标（定量）、环境管理要求（定性）。清洁生产标准分为三个等级：一级为国际清洁生产水平、二级为国内清洁生产水平、三级为国内清洁生产基本水平。生产工60、艺及装备要求本项目主要从事半导体外延材料的生产加工，不属于产业结构调整指导目录(2019 年本)目录中淘汰的落后工艺，采用的都是通用的成熟生产工艺、设备。资源能源利用指标本项目实施后会消耗一定量的水（7040.625t/a）、电（600 万 kWh/a）资源，资源消耗量占区域资源利用总量少。项目资源能源利用指标符合清洁生产要求。产品指标 23 本项目主要从事半导体外延材料制造，使用较成熟工艺。根据同行业生产经验，在利用、合理处置的前提下几乎无报废产品，仅产生少量的实验废品，对环境的影响程度较小，符合清洁生产的要求。污染物产生指标本项目工艺废液（有机废液、酸性废液、碱性废液、含砷废液）作危废处置61、，不外排；纯水制备机废水及氮化物（硅衬底外延片、碳化硅衬底外延片）纯水冲洗废水经综合污水处理站处理后由市政污水管网纳入后溪工业组团污水处理站处理；含砷废水经含砷废水处理设施处理后接入厂区综合污水处理设施总排放口后由市政污水管网纳入后溪工业组团污水处理站处理；生活污水经三级化粪池处理后由市政污水管网纳入后溪工业组团污水处理站处理。项目溶液配制、衬底清洗、托盘清洗及腐蚀测试在负压的通风橱柜中进行，腔体擦拭采用可移动的集气罩收集，产生的无机废气由“集气系统+SDG 活性炭吸附装置+一根 41m高排气筒 DA001”达标后排放，有机废气由“集气系统+蜂窝活性炭吸附装置+一根 41m 高排气筒 DA0062、2”达标后排放。项目产生噪声经采取隔声、减震、降噪措施后，厂界噪声预测可达标排放；项目工业固体废物均得到妥善处置；生活垃圾委托环卫部门清运。因此，本项目污染物产生指标符合清洁生产要求。废物回收利用指标本项目产生的无危险性包装废弃物暂存在工业固体废物暂存场所，定期交相关有主体资格和技术能力的单位回收综合利用；产生的固体危险废物收集后暂存在危险废物暂存仓库内，酸性废液、碱性废液、含砷废水暂存在危险废物储存池中，有机废液暂存在有机废液收集间中，定期交由有资质的单位处置。项目工业固体废物严格执行一般工业固体废物贮存和填埋污染控制标准（GB18599-2020）相关标准，经妥善处置后，可得到无害化处置，63、不产生二次污染。危险废物严格执行危险废物贮存污染控制标准（GB18597-2001）及其2013 年修改单标准要求，固废同时执行中华人民共和国固体废物污染环境防治法要求。本项目废物回收利用指标符合清洁生产要求。环境管理要求建设单位设置专门的环境管理监督员，研究、制定有关环保事宜，统筹全厂 24 的环境管理工作；通过制定有效的环境管理制度，加大环境管理力度，把项目的环境影响降到最低限度，确保“三废”治理设施的正常运转。因此，本项目环境管理要求符合清洁生产要求。从上述分析，本项目从清洁生产六项指标方面，均努力按清洁生产工艺要求把污染预防、清洁生产的战略思想贯彻其中，达到了持续改进的目的，项目清洁生64、产水平可达到国内先进水平。建议建设单位导入 IS014001 的认证，以完善企业的各项规章制度，达到节能、降耗、减污、增效和持续改进的目的。综上，本项目符合国家当前产业政策、区域规划、“三线一单”要求、清洁生产要求，与周边环境相容，项目选址可行。1.8 与与xx市环境保护局关于加强挥发性有机物污染防治xx市环境保护局关于加强挥发性有机物污染防治（第三阶段第三阶段）的通告的通告符合性分析符合性分析xx市生态环境局于2022年3月29日印发xx市生态环境局关于加强挥发性有机物污染防治工作的通知（厦环大气202215号），本项目建设与该通知相关要求符合性分析见表表1-5。表表1-5 本项目建设与加强65、挥发性有机物污染防治工作的通知符合性情况一览表本项目建设与加强挥发性有机物污染防治工作的通知符合性情况一览表序号序号实施方案相关要求实施方案相关要求本项目拟建情况本项目拟建情况符合符合性性1、规范 台账 管理企业应规范建立台账并至少保持 3 年，记录包括但不限于以下内容：(1)建立原辅材料台账，所有含挥发性有机物(以下简称“VOCs”)物料(提取剂、涂料、稀释剂、固化剂、清洗剂等)需建立完整的购买、使用记录，记录内容必须包含物料名称、VOCs 含量、购入量、使用量、回收和处置量、计量单位、作业时间和记录人等(2)建立统计年报，含有 VOCs 物料使用的统计年报应该包含上年库存、本年度购入总量、66、本年度销售产品总量、本年度库存总量、产品和物料的 VOCs 含量、VOCs 排放量、污染控制设备处理效率、排放监测等数据(3)保存原始单据，如原辅材料说明书、检测报告、送货单、发票等(4)建立 VOCs 处理设施台账，涉及热力焚烧装置应记录燃料或电的消耗量、燃烧温度、烟气停留时间;涉及催化燃烧装置应记录催化剂种类、用量及更换日期，催化床本项目运营后，拟参照左列（1）、（2）、（3）、(4)台账管理要求，建立规范化台账，并保持 3 年以上符合 25 层进、出口温度；涉及吸附装置应记录吸附剂种类、用量及更换/再生日期，操作温度；涉及洗涤吸收装置应记录洗涤槽循环水量、pH 值、排放总量等；涉及其他污67、染控制设备应记录主要操作参数及保养维护事项，记录挥发性有机物污染防治设施、生产活动及工艺设施的运行时间、非正常工况情况等2、推进 源头 控制(1)企业事业单位和其他生产经营者应当按照国家和本省规定，限期淘汰严重污染大气环境的工艺、设备和产品(2)深化源头替代。通过使用水性、粉末、高固体分、无溶剂、辐射固化等低 VOCs含量的涂料，水性、辐射固化、植物基等。低 VOCs 含量的油墨，水基、热熔、无溶剂、辐射固化、改性、生物降解等低 VOCs含量的胶粘剂，以及低 VOCs 含量的清洗剂等，从源头减少 VOCs 产生(3)企业采用符合国家有关低 VOCs 含量产品规定的涂料、油墨、胶粘剂等，或使用的68、原辅材料 VOCs 含量(质量比)均低于10%，排放浓度稳定达标且排放速率满足相关规定的，可不要求建设末端治理设施本项目不涉及有严重污染大气环境的工艺、设备和产品；建设单位 Si/SiC 衬底有机清洗工序位于密闭的清洗设备中清洗，清洗设备位于密闭的车间内，Si/SiC 衬底有机清洗废气经收集后通过 1 套“集气设施+蜂窝活性炭吸附设施+一根 41m 高的排气筒（DA002）”排放符合3、提高 密闭 要求(1)所有涉及 VOCs 的原辅材料、中间产品、成品的储存、输送、转运、投加、生产、灌装、废弃、处置等过程应采取有效的密闭措施。与本项目有关的为危险废物。更换的含 VOCs 吸附剂的危险废物，产69、生后必须马上密闭或存放在不透气的容器、包装袋内，贮存、转移期间不得打开本项目的原辅材料常温下不涉及有 VOCs 挥发，更换的含 VOCs 废活性炭用密封袋封存，暂存于危废间符合(2)所有产生 VOCs 的生产车间（或生产设施）应找到密闭，禁止露天或敞开式作业。不能密闭的部位要设置风幕、软帘或双重门等阻隔设施，减少废气排放。正常生产状态下，密闭场所的门窗处于打开状态或破损视同未达到密闭要求，确实需要打开的，必须设置双重门。在生产车间及存储油墨印料、溶剂和稀释剂等有机材料的车间仓库安装排气装置的，应将工艺过程废气及逃逸有机废气送至 VOCs 回收或净化系统进行处理建设单位 Si/SiC 衬底有机清70、洗工序位于密闭的清洗设备中清洗，清洗设备位于密闭的车间内，Si/SiC 衬底有机清洗废气经收集后通过 1 套“集气设施+蜂窝活性炭吸附设施+一根 41m 高的排气筒（DA002）”排放符合(3)设备起停、检修与清洗时。载有含 VOCs物料的设备、管道在开停工(车)、检修、清洗时，应在退料阶段尽量将残存物料退净，用密闭容器盛接，并回收利用；采用水冲洗清洁，高浓度的清洗水优先排到溶剂回收系统；采用蒸汽或惰性气体清洗，以及吹扫、气体置换时，应将气体送至 VOCs本项目不涉及符合 26 回收或净化系统进行处理(4)密闭设施外任意一点非甲烷总烃、苯、甲苯、二甲苯中的任一种污染物瞬时排放浓度应低于无组织排71、放浓度标准值本项目投产后将委托有资质的第三方检测技术单位对密闭设施外进行采样检测，通过检测进一步检查车间密闭性，如未达到要求，将整改至符合的标准限值符合(5)除 2、(3)和 3、(5)情形外，所有可能产生 VOCs 的生产场所和工段均应设置废气收集系统，将废气收集到位并导入废气治理设施。集气管路应标明废气走向。设施设备的开关时间要求必须写入操作规程并明示公布Si/SiC 衬底有机清洗产生的有机废气（非甲烷总烃）经收集后通过 1 套“集气设施+蜂窝活性炭吸附设施+一根41m 高的排气筒（DA002）”排放。集气管道应标明废气走向，设施设备的开关时间要求必须写入操作规程并明示公布符合4、完善 治72、理 设施(1)应配置 VOCs 处理设施的企业，须根据其废气特性配套工艺成熟、技术可靠的治理设施进行治理，治理设施去除率不得低于 50%；收集的废气中 NMHC 初始排放速率2kg/h 的，治理设施去除效率不应低于80%，确保废气稳定达标排放。2020 年 8月 25 日前建成的低温等离子体法或光催化氧化法治理设施去除率按不低于 50%执行本项目活性炭吸附装置风机风量为 4000m3/h，填充量为0.8m3，经核算，项目 VOCs（非甲烷总烃）最大初始排放速率为 0.0131kg/h2kg/h；根据查阅 环境工程报 2016年第 34 卷增刊 工业源重点行业 VOCs 治理技术处理效果的研究苏73、伟健、徐绮坤、黎碧霞、罗建中，关于活性炭 吸 附 法 的 处 理 效 率 为73.11%，本项目活性炭吸附效率取 65%符合(2)企业应将污染治理设施的工艺流程、工艺参数、操作规程和维护制度在设施现场和操作场所明示公布。工艺流程公示内容应包括治理设施的工艺流程图、治理工艺总体介绍及主要技术参数。若采用以下技术治理的，公示的技术参数应至少包含以下内容：项目采用活性炭吸附法：活性炭填装量、更换周期、设计风量、停留时间、吸附进气温度、排气温度。吸附-催化燃烧法：吸附剂填装量、吸附剂更换周期、设计风量、催化剂用量、催化剂更换周期、吸附剂再生周期、脱附时长、进气温度、燃烧温度、排气温度、含氧量企业拟将污74、染治理设施的工艺流程、工艺参数、操作规程和维护制度在设施现场和操作场所明示公布。工艺流程公示内容应包括治理设施的公司流程图、治理工艺总体介绍及主要技术参数。项目采用活性炭吸附法，拟公布活性炭填装量、更换周期、设计风量、停留时间、吸附进气温度、排气温度符合 27(3)企业配置的 VOCs 治理设施，涉及以下处理工艺的，还应满足如下要求(与本项目相关的)：采用不具备脱附功能的吸附法治理废气的，每万立方米/小时设计风量的吸附剂装填量应不小于 1 立方米，废气停留时间不得低于 3 秒废气收集系统排风罩的设置应符合GB/T16758 的 规 定。排 风 罩 口 断 面 按GB/T16758 规定的方法测75、量吸入风速，应保证不低于 0.6 米/秒；采用局部集气罩的，距集气罩开口面最远处的 VOCs 无组织排放位置，控制风速不低于 0.3 米/秒采用燃烧法(含直接燃烧、催化燃烧和蓄热燃烧法等)治理 VOCs 废气的，每套燃烧设施允许设置一根 VOCs 排气筒。采用其他方法治理 VOCs 废气的，一个企业一栋建筑只允许设置一-根 VOCs 排气筒。新建项目环评文件中必须论述排气筒数量和高度设置的合理性排气筒应设置符合固定源监测技术规范（HJ/T397）要求的采样口和采样平台，并配备固定电源，设置固定安全人员通道本项目活性炭吸附装置风机风量为 40000m3/h，填充量为0.8m3，废气停留时间不得低76、于 3 秒；根据建设单位提供的材料，正常情况下，集气罩设置于产气点上方，在合理的距离内可保证距集气罩开口面最远处的 VOCs 无组织排放位置的控制风速不低于 0.3m/s；排气筒按照一企业一栋建筑物只允许一根VOCs 排气筒；排气筒设置符合 HJ/T397 要求的采样口和采样平台，并配套固定电源，设置固定安全人员通道符合 28 二、建设项目工程分析建设内容2.1 项目由来项目由来xx(xx)光电科技有限公司（以下简称建设单位）成立于 2021 年 08 月 10 日，企业成立至今暂未从事生产经营活动，注册地址为：xx市xx区后溪镇金岭北路 159-7号 102 室，法定代表人为倪健先生，经营范77、围“一般项目：新材料技术推广服务；半导体分立器件制造；半导体分立器件销售；新材料技术研发；电子元器件制造；集成电路设计；软件开发；货物进出口；进出口代理。（除依法须经批准的项目外，凭营业执照依法自主开展经营活动）”企业营业执照复印件见附件附件 2，法定代表人身份证复印件见附件附件 3。由于发展需要，建设单位拟租用xx市xx区国有资产投资有限公司位于xx市集美区金岭北路 159-3、159-4 号 101 单元（xx区模具产业园一期）的现有已建厂房建设xx(xx)光电科技有限公司化合物半导体外延材料的产业化项目（中华人民共和国不动产权证书、建设用地规划许可证、建设工程规划许可证、建筑工程施工许可78、证、建设工程竣工验收备案证明书、总平图见附件附件 4，厂房租赁意向合同见附件附件 5），拟建项目规模为：pHEMT 外延片 12000 片/年、APD 外延片 27000 片/年、硅衬底外延片 18000 片/年、碳化硅衬底外延片 25000 片/年,。建设单位拟建设的“xx(xx)光电科技有限公司化合物半导体外延材料的产业化项目”已在xx市行政服务中心工程建设项目网上办事大厅进行备案，备案证明见附件附件 6。建设单位于2022年05月委托环评技术单位xxxx环境科技有限公司承担本项目的环境影响评价工作，委托书见附件附件 7。评价单位接受委托后，派技术人员踏勘现场和收集有关资料，并依照相关环评79、技术规范编写成xx(xx)光电科技有限公司化合物半导体外延材料的产业化项目环境影响报告表，供建设单位报生态环境主管部门审批和作为落实环保“三同时”制度、配套建设污染防治设施的依据。2.2 环评分类环评分类本项目从事半导体外延材料的生产加工，项目不涉及半导体材料（元素半导体如硅（Si）、锗（Ge）等、化合物半导体如砷化镓（GaAs）等、掺杂或制成其它化合物半导体材料如硼（B）、磷（P）、锢（In）和锑（Sb）等）的制造，项目行业类别归属于 C3985电子专用材料制造业中的电子半导体材料：pHEMT 外延片、APD 外延片、硅衬底外延片、29 碳化硅衬底外延片，主要生产工艺为外延片清洗及外延生长。80、因此，根据中华人民共和国环境影响评价法、建设项目环境保护管理条例及建设项目环境影响评价分类管理名录（2021 年版），本项目属于“三十六、计算机、通信和其他电子设备制造业 39”中的：“81、电子元件及电子专用材料制造 398”，本项目属编制环境影响报告表范畴，见表表 2-1。表表 2-1 建设项目环境影响评价分类管理名录建设项目环境影响评价分类管理名录环评类别项目类别报告书报告表报告表登记表三十六、计算机、通信和其他电子设备制造业三十六、计算机、通信和其他电子设备制造业 3981、电子元件及电子专用材料制造 398半导体材料制造；电子化工材料制造印刷电路板制造印刷电路板制造；电子专用材料制造81、电子专用材料制造（电电子化工材料制造除外子化工材料制造除外）；使用有机溶剂的使用有机溶剂的；有酸洗的有酸洗的以上均不含仅分割、焊接、组装的以上均不含仅分割、焊接、组装的/2.3 新建工程概况新建工程概况（1）基本情况）基本情况项目名称：xx(xx)光电科技有限公司化合物半导体外延材料的产业化项目；建设单位：xx(xx)光电科技有限公司；项目地点：xx市xx区机械工业集中区（后溪片区）金岭北路 159-3、159-4 号 101单元（xx区模具产业园一期）项目性质：新建；工程投资：总投资 43000 万元人民币，其中环境保护设施投资约 70 万元人民币，环境保护设施投资约占总投资 0.16%；建82、筑面积：租赁厂房面积 3017.24m2；项目生产规模：pHEMT 外延片 12000 片/年、APD 外延片 27000 片/年、硅衬底外延片 18000 片/年、碳化硅衬底外延片 25000 片/年；工作制度：一天三班，每班 8h，一天工作 24h，年生产天数 300 天；员工人数：拟设员工 97 人，均不在厂区内食宿；预计投产时间：2023 年 08 月。（2）工程组成）工程组成项目工程主要组成见表表 2-2。30 表表2-2项目工程组成一览表项目工程组成一览表工程工程类别类别工程内容工程内容规模规模备注备注主体工程生产车间拆包区车间西侧，建筑面积约为85m2；新建氮化物外延间（主生产区83、）编号102，车间北侧，建筑面积约为587m2；新建砷、磷化合物外延间（主生产区）编号101，车间南侧，建筑面积约为450m2；新建氮化物清洗间(N5)编号104，车间中部靠西侧，建筑面积约为56m2；新建氮化物测试间（N5）编号112，车间中部靠西侧，建筑面积约为29m2；新建砷、磷&氮化物测试间一(N5)编号103，车间中部靠东侧，建筑面积约为52m2；新建砷、磷&氮化物测试间二（N6）编号106，车间中部靠东侧，建筑面积约为30m2；新建砷、磷化物清洗间编号123，车间中部靠东侧，建筑面积约为17m2；新建砷、磷化物清洗间二(N6)编号107，车间中部靠东侧，建筑面积约为17m2；新建测84、试中心公用区编号110，车间中部靠东侧，建筑面积约为42m2；新建缓冲间（N7）编号114，车间西侧，建筑面积约为18m2；新建配件清洗仓(N7)编号109，车间西侧，建筑面积约为15m2；新建辅助工程办公室位于车间东侧，建筑面积约 432m2新建，与生产车间隔开纯水间位于车间西侧，建筑面积约为72m2新建辅助设备配备 1 台纯水机，2 台空压机新建公用工程给水系统全厂用水量 7040.625t/a，其中：生活用水量为1455t/a、生产用水量为 5585.64t/a。依托市政、厂区给水管网排水系统雨污分流；生活污水、雨水在厂区收集后通过不同管道分别排入市政管网依托市政、厂区排水管网供电系统用85、电量 600 万 kWh/年、UPS2 台市政供电系统消防系统厂房内配备消防栓、灭火器等，依托园区仓储工程原辅物料仓库位于车间东侧，UPS 室西侧，建筑面积约为25m2新建化学品仓库车间北侧靠西，建筑面积约 10m2新建外延设备配件仓(N6)编号108，车间中部靠东侧，建筑面积约为18m2；新建 31 成品出货仓编号 113，洗片、打包及成品存放间，位于车间东侧，更衣室西侧，建筑面积约为 35m2新建液氮罐车间外北侧，液氮罐单个 50m3，拟设置 3 个液氮罐新建环保工程废水处理生活废水依托园区三级化粪池依托园区含砷废水含砷废水处理设施（“过滤器+强碱性阴离子树脂交换器”），处理能力为 5t/86、d新建纯水制备机废水及纯水冲洗废水厂区综合污水处理设施（“酸碱中和”）处理能力为 15t/d新建废气处理无机废气1 套设施，风机风量8000m3/h+集气系统+SDG活性炭吸附装置+一根 41m 高排气筒 DA001（DA001）新建有机废气1 套设施，风机风量4000m3/h+集气系统+蜂窝活性炭吸附装置+一根 41m 高排气筒 DA002（DA002）新建噪声防治生产噪声基础减震、风机隔声罩、设备减震垫新建固废处置工业固体废物暂存场所设于厂区西南侧，拆包区内，建筑面积约 10m2新建危险废物暂存仓库位于车间外北侧，用于存储固态危险废物，建筑面积约 9m2新建液体危险废物在项目厂房外北侧设置87、 3 个废液密闭的储存池：碱性废液储存池 1#、酸性废液储存池 2#、含砷废水池 4#，容积均为 1m3，用于存储液态危险废物；有机废液储存间 3#、位于车间内北侧化学品仓库旁，容积均为 1m3，用于存储液态危险废物。新建（3）项目产品方案）项目产品方案项目主要从事半导体外延材料的生产加工，产品用于微波射频器件、光电器件领域、5G 光通信的核心光接收芯片，四种产品生产工艺一致，主要工艺为溶液配制、衬底清洗、外延生长、测试等。具体产品方案见表表 2-3。表表 2-3 主要产品方案一览表主要产品方案一览表产品名称产品名称主要生产主要生产工艺工艺使用领域使用领域产品照片产品照片产量产量尺寸尺寸pHE88、MT 外延片溶液配制、衬底清洗、生长前清洗、外延生长、测试电子专用材料（微波射频器件、光电器件领域、5G 光通信的核心光接收芯片）12000 片/年4 寸APD 外延片27000 片/年6 寸硅衬底外延片18000 片/年4 寸、6 寸碳化硅衬底外延片25000 片/年6 寸、8 寸 32（4）项目项目主要生产设备与原辅材料主要生产设备与原辅材料1）项目主要生产设备）项目主要生产设备项目主要生产设备见表表 2-4。表表 2-4 项目主要设施设备一览表项目主要设施设备一览表序号序号设备名称设备名称数量数量噪声源强噪声源强(dB)型号型号使用工序使用工序一、一、砷磷化物（砷磷化物（pHEMT 外延89、片、外延片、APD 外延片）外延片）1MBE 分子束外延设备6 台60-65P1200外延生长2衬底清洗甩干设备1 台60-65SEMITOOL衬底清洗3表面颗粒度测试仪1 台-测试4退火炉1 台-测试5霍尔测试仪1 台-测试6腐蚀层流台1 台-测试7电化学 CV 测试仪1 台-ECV Pro测试8光学显微镜1 台-测试9光致发光测试仪1 台-RPMBLUEFS System测试10方阻测试仪1 台-LEI-1510EC测试11原子力显微镜1 台-测试12冷藏柜4 台60-65-原料存储13纯水机1 台65-70-制纯水14空压机1 台75-85ds辅助二、二、氮化物（硅衬底外延片、碳化硅衬底90、外延片）氮化物（硅衬底外延片、碳化硅衬底外延片）15DCA 氮化物 MBE 设备8 台60-65Nitride 3x8外延生长16氨气纯化器1 台-17氮气纯化器1 台-18含氨废气处理炉1 台-协微19移动真空泵组2 台-20强光灯1 台-外延片测试（非破坏型）21表面颗粒度测试仪1 台-KLA 620022非接触式方阻测试仪1 台-LEI-1510EC23光学显微镜1 台-Olymbus24X 射线衍射仪1 台-马尔文帕纳科25原子力显微镜1 台-Park26PL 谱扫描成像仪1 台-Etamax Pluto 33 27汞探针 CV 测试仪1 台-MCV-53028霍尔测试仪1 台-HL591、500外延片测试（破坏型）29退火炉1 台-30有机清洗台1 台-衬底清洗31酸碱清洗台1 台-32衬底甩干机1 台65-70-33衬底托盘清洗台1 台-设备维护34氮气烘烤箱1 台65-70文生35吸尘器1 台60-65-36空压机1 台75-85ds辅助三、废气处理37废气处理设施2 套7585-废气处理38风机2 台75-85-废气收集、输送2）项目原辅材料消耗及理化性质）项目原辅材料消耗及理化性质本项目原辅材料使用情况见表表 2-5 所示。表表 2-5 项目主要原辅材料消耗及能耗一览表项目主要原辅材料消耗及能耗一览表序号原料名称单位消耗量规格、形态、浓度厂区最大存在量1GaAs 衬底 92、6”片/年12100真空或氮气包装7200 片2InP 衬底 4”片/年27200真空或氮气包装16200 片3碳化硅衬底片/年250004 寸、6 寸8000 片4硅衬底片/年180006 寸、8 寸5000 片5单质 Ga 源t/a0.155真空包装0.0775t6单质 In 源t/a0.127真空包装0.0635t7单质 Al 源t/a0.019真空包装0.0095t8单质 As 源t/a0.24真空包装0.12t9单质 P 源t/a0.024真空包装0.012t10单质 Si 源t/a0.001175真空包装0.0005875t11单质 Be 源t/a0.00003真空包装0.000093、511015t12单质 Mg 源t/a0.000035真空包装0.0000175t14硫酸 H2SO4L/a212404L/瓶，浓度为 97%880L15双氧水 H2O2L/a14673.14L/瓶，浓度为 31%600L16盐酸 HClL/a4119.34L/瓶，浓度为 36%160L17BOE 溶液L/a7500标准 BOE 溶液（34%NH4F、7%HF、59%H2O）300L 34 18氨水 NH4OHL/a9108.84L/瓶，浓度为25-28%320L19氢氧化钾L/a9004L/瓶，浓度为 95%72L20丙酮L/a40004L/瓶，浓度为 99.5%208L21无水酒精L/a494、0004L/瓶208L22异丙醇L/a40004L/瓶，浓度为 99.8%208L23硝酸L/a4050.5L/瓶，浓度为 68%16L24磷酸 H3PO4L/a3004L/瓶，浓度为85-86%16L25柠檬酸L/a20.5L/瓶，浓度为99.8%2L26液氮t/a7860罐装，罐容积 50m3150m327高纯氨气t/a1.1250kg/罐250kg，一罐28高纯氢气t/a1.147L/瓶47L，一瓶29水t/a7040.625/市政供水30电kWh/a600 万/市政供电本项目各清洗工序使用的配置液及配比情况见表表 2-6 所示。表表 2-6本项目各清洗工序使用的配置液及配比本项目各清洗95、工序使用的配置液及配比一览表一览表工艺工艺工艺流程工艺流程配置液名称配置液名称配置液配比配置液配比配置液配置液使用量使用量（L/年年）纯水量纯水量（t/a）砷磷化物（砷磷化物（pHEMT 外延片、外延片、APD 外延片）配比外延片）配比GaAs/InP 衬底清洗GaAs/InP 衬 底 清洗衬底清洗液27%氨水、30%双氧水、超纯水（4:1:9）18666.712衬底纯水冲洗纯水超纯水/1020部件清洗第一道托盘浸泡托盘浸泡液 I超纯水、30%双氧水、95%硫酸（3:1:2）7200.36第二道托盘浸泡托盘浸泡液 II超纯水、36%盐酸、70%硝酸（2:1:1）7200.36托盘纯水浸泡纯水超96、纯水/7.2托盘纯水冲洗纯水超纯水/7.2腔体擦拭腔体擦拭液 I超纯水、27%氨水、30%双氧水（10:1:1）2880.24腔体冲洗纯水超纯水/0.6外延片测试第一种腐蚀测腐蚀液 I超纯水、30%双氧水、柠檬酸（50:15:1）660.1第二种腐蚀测腐蚀液 II超纯水、30%双氧水、磷酸（5:1:3）900 L0.5氮化物（硅衬底外延片、碳化硅衬底外延片）配比氮化物（硅衬底外延片、碳化硅衬底外延片）配比 35 Si/SiC 衬底清洗第一道衬底有机清洗衬底有机清洗液 I丙酮4000 L0第二道衬底有机清洗衬底有机清洗液 II无水乙醇4000 L0第三道衬底有机清洗衬底有机清洗液 III异丙醇497、000 L0衬底纯水冲洗纯水超纯水/750第一道衬底酸清洗衬底酸清洗液 I95%硫酸、30%双氧水（4:1）26000 L0第二道衬底酸清洗衬底酸清洗液II36%盐酸、30%双氧水、超纯水（1:1:5）26000 L18.55衬底纯水冲洗超纯水超纯水/750BOE 清洗标准 BOE 溶液标准 BOE 溶液（34%NH4F、7%HF、59%H2O）7500 L0衬底碱清洗衬底碱清洗液 I27%氨水、30%双氧水、超纯水（1:1:5）26000 L18.55衬底纯水冲洗超纯水超纯水/750外延片测试腐蚀性测试腐蚀液 III45%氢氧化钾、超纯水（10:1）90 L0.008霍尔测试退火保护气95%98、氮气+5%氢气9 kg0设备维护腔体清洗腔体擦拭液 II（碱清洗 I）27%氨水、30%双氧水、超纯水（1:1:10）450 L0.375腔体纯水冲洗纯水超纯水/1第一道托盘清洗托盘氮气清洗高纯氮气0第三道托盘清洗*托盘碱清洗液 II45%氢氧化钾、超纯水（10:1）900 L0.082托盘纯水冲洗*纯水超纯水/6第三道托盘清洗*托盘酸清洗液IV36%盐酸、70%硝酸、超纯水（1:1:2）900 L0.045托盘纯水冲洗*纯水超纯水/6氨气尾气处理自来水自来水/0备注：氨水（密度为 0.88g/cm3）、双氧水（密度为 1.14353g/cm3）、硫酸（密度为 1.8148g/cm3）、盐酸（99、密度为 1.18g/cm3）、硝酸（密度为 1.34g/cm3）、柠檬酸（密度为 1.53116g/cm3）、磷酸（密度为 1.75164g/cm3）、氢氧化钾（密度为 2.044g/cm3）；*第三道衬底托盘清洗根据托盘情况选择碱清或或酸洗，清洗后再用纯水清洗。质量=体积 x 物体密度（m=V）本项目原辅材料原辅材料理化性质见表表 2-7 所示。原辅材料 MSDS 见附件附件 9-附附件件20。36 表表 2-7 原辅材料理化性质原辅材料理化性质一览表一览表原料名称原料名称理化性质理化性质单质 Ga 源镓，元素符号 Ga，原子量 69.723。淡蓝色金属，在 29.76时变为银白色液体。液态100、镓很容易过冷即冷却至 0而不固化。微溶于汞，形成镓汞齐。镓能浸润玻璃，故不宜使用玻璃容器存放。电子排布Ar3d104s24p1，位于第四周期第A 族。在潮湿空气中氧化，加热至 500时着火。室温时跟水反应缓慢，跟沸水反应剧烈生成氢氧化镓放出氢气。加热时溶于无机酸或苛性碱溶液。能跟卤素、硫、磷、砷、锑等反应。镓在干燥空气中较稳定并生成氧化物薄膜阻止继续氧化，在潮湿空气中失去光泽。与碱反应放出氢气，生成镓酸盐。能被冷浓盐酸浸蚀，对热硝酸显钝性，高温时能与多数非金属反应；溶于酸和碱中，镓在化学反应中存在+1、+2 和+3 化合价，其中+3 为其主要化合价。镓的活动性与锌相似，却比铝低。镓是两性金属，101、既能溶于酸（产生 Ga3+）也能溶于碱。镓在常温下，表面产生致密的氧化膜阻止进一步氧化。加热时和卤素、硫迅速反应，和硫的反应按计量比不同产生不同的硫化物。生理学：还没有发现镓有生理微量元素的功能。和铝一样，它只通过肠道很微量的吸收。镓的毒性是和生物的种类相关的。在服用浓度高于750mg/kg 时才会表现出对人肾脏的毒性。对老鼠的实验表明，镓会导致镓，钙和磷酸盐在肾中的沉积，这会堵塞肾腔。单质 In 源铟，是一种金属元素，元素符号为 In，原子序数为 49，位于元素周期表第五周期 IIIA族。其单质是一种银白色并略带淡蓝色的金属，质地非常软，能用指甲刻痕。可塑性强，有延展性，可压成片。金属铟主要102、用于制造低熔合金、轴承合金、半导体、电光源等的原料。熔点 156.61。沸点 2060。密度 7.30g/cm3。液态铟能浸润玻璃，并且会粘附在接触过的表面上留下黑色的痕迹。铟有微弱的放射性，天然铟有两种主要同位素，其中 In-113 为稳定核素，In-115 为-衰变。因此，在使用中尽可能避免直接接触。从常温到熔点之间，铟与空气中的氧作用缓慢，表面形成极薄的氧化膜（In2O3），温度更高时，与活泼非金属作用。大块金属铟不与沸水和碱溶液反应，但粉末状的铟可与水缓慢的作用，生成氢氧化铟。铟与冷的稀酸作用缓慢，易溶于浓热的无机酸和乙酸、草酸。铟能与许多金属形成合金（尤其是铁，粘有铁的铟会显著的被氧103、化）。铟的主要氧化态为+1 和+3，主要化合物有 In2O3、In（OH）3、InCl3，与卤素化合时，能分别形成一卤化物和三卤化物。单质 Al 源铝，是一种金属元素，元素符号为 Al，原子序数为 13。其单质是一种银白色轻金属。有延展性。商品常制成棒状、片状、箔状、粉状、带状和丝状。在潮湿空气中能形成一层防止金属腐蚀的氧化膜。铝粉在空气中加热能猛烈燃烧，并发出眩目的白色火焰。易溶于稀硫酸、硝酸、盐酸、氢氧化钠和氢氧化钾溶液，难溶于水。相对密度 2.70，熔点 660，沸点 2327。单质 As 源砷，俗称砒，元素符号 As，是一种非金属元素，在化学元素周期表中位于第 4 周期、第 VA 族，104、原子序数 33，原子量为 74.9216。单质以灰砷、黑砷和黄砷这三种同素异形体的形式存在。砷元素广泛地存在于自然界，共有数百种的砷矿物已被发现。砷与其化合物被运用在农药、除草剂、杀虫剂，与许多种的合金中。其化合物三氧化二砷被称为砒霜，是种毒性很强的物质。单质 P 源磷，是第 15 号化学元素，符号 P，处于元素周期表的第三周期、第A 族。单质磷有几种同素异形体。其中，白磷或黄磷是无色或淡黄色的透明结晶固体，密度 1.82g/cm3，熔点 44.1，沸点 280，着火点是 40，放于暗处有磷光发出，有恶臭，剧毒。白磷几乎不溶于水，易溶解于二硫化碳溶剂中在高压下加热会变为黑磷。黑磷是黑色有金属光105、泽的晶体，密度 2.70g/cm3，略显金属性，在磷的同素异形体中反应活性最弱，在空气中不会点燃，化学结构类似石墨，因此可导电。半导体行业使用的是黑磷。单质 Si 源硅，原子序数 14，相对原子质量 28.0855，有无定形硅和晶体硅两种同素异形体，属于元素周期表上第三周期，IVA 族的类金属元素。晶体硅为灰黑色，无定形硅为黑色，密度 2.32-2.34g/cm3，熔点 1410，沸点 2355，晶体硅属于原子晶体，不溶于水、37 硝酸和盐酸，溶于氢氟酸和碱液，硬而有金属光泽。原子核外电子排布：1s2s2p3s3p。硅原子有特殊的性质：最外层的 4 个价电子让硅原子处于亚稳定结构，这些价电子使106、硅原子相互之间以共价键结合，由于共价键比较结实，硅具有较高的熔点和密度；化学性质比较稳定，常温下很难与其他物质（除氟化氢和碱液以外）发生反应；硅晶体中没有明显的自由电子，能导电，但导电率不及金属，且随温度升高而增加，具有半导体性质。单质 Be 源铍，第二周期第二主族元素，原子序数为 4，是一种灰白色的碱土金属，属六方晶系，质硬，有展性，铍及其化合物都有剧毒。铍既能溶于酸也能溶于碱液，是两性金属。熔点 1278，沸点 2970，密度 1.85g/cm3，电子排布 1s22s2。铍的化合物毒性较大，而金属铍的毒性相对比较小些。铍是全身性毒物。毒性的大小，取决于入体途径、不同铍化合物的理化性质及实验107、动物的种类。一般而言，可溶性铍的毒性大，难溶性的毒性小；静脉注入时毒性最大，呼吸道次之，经口及经皮毒性最小。铍进入人体后，难溶的氧化铍主要储存在肺部，可引起肺炎。可溶性的铍化合物主要储存在骨骼、肝脏、肾脏和淋巴结等处，它们可与血浆蛋白作用，生成蛋白复合物，引起脏器或组织的病变而致癌。铍从人体组织中排泄出去的速度极其缓慢。盐酸 HCl盐酸是氯化氢的水溶液，属于一元无机强酸，工业用途广泛。盐酸的性状为无色透明的液体，有强烈的刺鼻气味，具有较高的腐蚀性。浓盐酸（质量分数约为 37%）具有极强的挥发性，因此盛有浓盐酸的容器打开后氯化氢气体会挥发，与空气中的水蒸气结合产生盐酸小液滴，使瓶口上方出现酸雾。108、熔点-27.32（38%溶液），沸点 48（38%溶液）。半导体行业使用的是 MOS 级（金属-氧化物-半导体电路专用特纯试剂）试剂。硫酸H2SO4硫酸是一种无机化合物，化学式是 H2SO4，是硫的最重要的含氧酸。纯硫酸一般为无色油状液体，密度 1.84g/cm3，沸点 337，能与水以任意比例互溶，同时放出大量的热，使水沸腾。无水硫酸体现酸性是给出质子的能力，纯硫酸仍然具有很强的酸性。半导体行业使用的是 MOS 级（金属-氧化物-半导体电路专用特纯试剂）试剂。双氧水H2O2又名双氧水，是一种无机化合物，纯双氧水是淡蓝色的黏稠液体，溶于水、醇、乙醚，不溶于苯、石油醚，可任意比例与水混溶，是一种109、强氧化剂。分子量 34.01，熔点-0.43C，沸点 150.2C，纯的双氧水其分子构型会改变，所以熔沸点也会发生变化。凝固点时固体密度为 1.71g/cm3，密度随温度升高而减小，常温下约为 1.463g/cm3，。半导体行业使用的是 MOS 级（金属-氧化物-半导体电路专用特纯试剂）试剂。毒理性：LD50：4060mg/kg（大鼠经皮）；LC50：2000mg/m3，4 小时（大鼠吸入），高浓度双氧水有强烈的腐蚀性。氨水NH4OH氨水，指氨的水溶液，有强烈刺鼻气味，具弱碱性。氨水中，氨气分子发生微弱水解生成氢氧根离子及铵根离子。易挥发出氨气，随温度升高和放置时间延长而挥发率增加，且随浓度的110、增大挥发量增加。有一定的腐蚀作用，对铜的腐蚀比较强，钢铁比较差，对水泥腐蚀不大，对木材也有一定腐蚀作用。与 Ag+、Cu2+、Cr3+、Zn2+等发生络合反应。见光受热易分解成 NH3和水。实验室氨水应密封在棕色或深色试剂瓶中，并放在冷暗处。半导体行业使用的是 MOS 级（金属-氧化物-半导体电路专用特纯试剂）试剂。磷酸H3PO4是一种常见的无机酸，为透明无色液体，是中强酸，不易挥发，不易分解，几乎没有氧化性，具有酸的通性，是三元弱酸，其酸性比盐酸、硫酸、硝酸弱，但比醋酸、硼酸等强。分子量 97.994，熔点 42，沸点 261（分解），密度 1.874g/mL。磷酸无强氧化性，无强腐蚀性，属111、于较为安全的酸，属低毒类，有刺激性。半导体行业使用的是 MOS 级（金属-氧化物-半导体电路专用特纯试剂）试剂。硝酸纯品为无色透明发烟液体，有酸味，相对密度（水=1）1.5（无水），沸点：83（无水），熔点-42（无水），具有强腐蚀性，LC50130mg/m3（4 小时，大鼠吸入）67ppm（4 小时，小鼠吸入）物理和化学危险：易溶于水，强氧化剂。能与多种物质如金属粉末、电石、硫化氢、松节油等猛烈反应，甚至发生爆炸。与还原剂、可燃物如糖、纤维素、木屑、棉花、稻草或废纱头等接触，引起燃烧并散发 38 出剧毒的棕色烟雾。健康危害：其蒸汽有刺激作用，引起眼和上呼吸道刺激症状，如流泪、咽喉刺激感、呛咳112、，并伴有头痛、头晕、胸闷等。口服引起腹部剧痛，严重者可有胃穿孔、腹膜炎、喉痉挛、肾损害、休克以及窒息，皮肤接触引起灼伤。慢性影响长期接触可引起牙齿酸蚀症。柠檬酸又名枸橼酸，是一种重要的有机酸，分子量 192.13，为无色晶体，无臭，有很强的酸味，易溶于水，是天然防腐剂和食品添加剂。在室温下，柠檬酸为白色结晶性粉末，无臭、味极酸，密度 1.542g/cm3，熔点 153-159，175以上分解释放出水及二氧化碳。柠檬酸易溶于水，20时溶解度为 59%，其 2%水溶液的 pH 为 2.1。半导体行业使用的是 MOS 级（金属-氧化物-半导体电路专用特纯试剂）试剂。液氮液氮是指液态的氮气，沸点-19113、6，熔点：-210。液氮是惰性，无色，无臭，无腐蚀性，不可燃，温度极低的液体，汽化时大量吸热接触造成冻伤。1 立方米的液氮可以膨胀至 696 立方米的纯气态氮（21）。高纯氨气高纯氨气是强腐蚀性有毒物质，对皮肤和眼睛有强烈腐蚀作用，产生严重疼痛性灼伤。刺激性无色气体。纯度 99.999%。熔点(101.325kPa)：-77.7。沸点(101.325kPa)：-33.4，相对密度(气体，空气=1.25，101.325kPa)：0.597。高纯氮气氮气，化学式为 N，通常状况下是一种无色无味的气体，而且一般氮气比空气密度小。氮气占大气总量的 78.08%(体积分数)，是空气的主要成份。在标准大气114、压下，冷却至-195.8时，变成没有颜色的液体，冷却至-209.8时，液态氮变成雪状的固体。氮气的化学性质不活泼，常温下很难跟其他物质发生反应，所以常被用来制作防腐剂。但在高温、高能量条件下可与某些物质发生化学变化，用来制取对人类有用的新物质。标准 BOE溶液标准 BOE 溶液，缓冲氧化物刻蚀液。可用作化学试剂、玻璃蚀刻剂(参与氢氟酸并用)、发酵工业消毒剂和防腐剂、由氧化铍制金属铍的溶剂以及硅钢板的表面处理剂，还用于制造陶瓷、镁合金，锅炉给水系统和蒸气发生系统的清洗脱垢，以及油田砂石的酸处理，也用作烷基化、异构化催化剂组分。氢氧化钾氢氧化钾(化学式：KOH，式量：56.11)白色粉末或片状固体115、。熔点 360406，沸点13201324，相对密度 2.044g/cm，闪点 52F，折射率 n20/D1.421，蒸汽压1mmHg(719)。具强碱性及腐蚀性。极易吸收空气中水分而潮解，吸收二氧化碳而成碳酸钾。溶于约 0.6 份热水、0.9 份冷水、3 份乙醇、2.5 份甘油。当溶解于水、醇或用酸处理时产生大量热量。0.1mol/L 溶液的 pH 为 13.5。中等毒，半数致死量(大鼠，经口)1230mg/kg。溶于乙醇，微溶于醚。有极强的碱性和腐蚀性，其性质与烧碱相似。丙酮丙酮，又名二甲基酮，为最简单的饱和酮。是一种无色透明液体，有特殊的辛辣气味。易溶于水和甲醇、乙醇、乙醚、氯仿、吡啶等116、有机溶剂。易燃、易挥发，化学性质较活泼。目前世界上丙酮的工业生产以异丙苯法为主。丙酮在工业上主要作为溶剂用于炸药、塑料、橡胶、纤维、制革、油脂、喷漆等行业中，也可作为合成烯酮、醋酐、碘仿、聚异戊二烯橡胶、甲基丙烯酸甲酯、氯仿、环氧树脂等物质的重要原料。无水酒精乙醇酒精同指一种物质(CH3CH2OH)是纯净物。而无水酒精是纯度较高的乙醇水溶液，99.5%的叫无水酒精。无水酒精不是纯净物如果还要去掉这残留的少量的水，可以加入金属镁来处理，可得 100%乙醇，叫做绝对酒精。普通酒精含乙醇 95.57%(质量)和水 4.43%，这是恒沸点混合物，它的沸点是 78.15，比纯乙醇的沸点(78.5)低。把117、这种混合物蒸馏时，气相和液相的组成是相同的，即乙醇和水始终以这个混合比率蒸出，不能用蒸馏法制得无水酒精。二、物理性质:外观:无色透明液体，有特殊的芳香味。异丙醇一种有机化合物，正丙醇的同分异构体，别名二甲基甲醇、2-丙醇，行业中也作 IPA。它是无色透明液体，有似乙醇和丙酮混合物的气味。溶于水，也溶于醇、醚、苯、氯仿等多数有机溶剂。异丙醇是重要的化工产品和原料。氮气氮气，化学式为 N，通常状况下是一种无色无味的气体，而且一般氮气比空气密度小。氮气占大气总量的 78.08%(体积分数)，是空气的主要成份。在标准大气压下，冷却至-195.8时，变成没有颜色的液体，冷却至-209.8时，液态氮变成雪118、状的固体。氮气 39 的化学性质不活泼，常温下很难跟其他物质发生反应，所以常被用来制作防腐剂。但在高温、高能量条件下可与某些物质发生化学变化，用来制取对人类有用的新物质。氢气气(H)，常温常压下，氢气是一种极易燃烧，无色透明、无臭无味的气体。熔点-259.2，沸点-252.77 20.38 K。本项目有机溶剂主要有丙酮、酒精、异丙醇。根据建设单位提供的 MSDS，主要组分性质见表表 2-8。表表 2-8组分性质组分性质序号序号主要成分主要成分CAS 号号浓度浓度组分性质组分性质1丙酮67-64-199.5%丙酮，又名二甲基酮，为最简单的饱和酮。是一种无色透明液体，有特殊的辛辣气味。易溶于水和甲119、醇、乙醇、乙醚、氯仿、吡啶等有机溶剂。易燃、易挥发，化学性质较活泼。目前世界上丙酮的工业生产以异丙苯法为主。丙酮在工业上主要作为溶剂用于炸药、塑料、橡胶、纤维、制革、油脂、喷漆等行业中，也可作为合成烯酮、醋酐、碘仿、聚异戊二烯橡胶、甲基丙烯酸甲酯、氯仿、环氧树脂等物质的重要原料。2无水酒精（乙醇）64-17-599.5%乙醇是醇类的一种，是酒的主要成份，所以又称酒精，有些地方俗称火酒，是可再生物质。乙醇易燃,是常用的燃料、溶剂和消毒剂，也用于制取其他化合物。3异丙醇67-63-099.8%一种有机化合物，正丙醇的同分异构体，别名二甲基甲醇、2-丙醇，行业中也作 IPA。它是无色透明液体，有似乙120、醇和丙酮混合物的气味。溶于水，也溶于醇、醚、苯、氯仿等多数有机溶剂。异丙醇是重要的化工产品和原料。40 表表 2-9项目原辅材料中易挥发组分汇总项目原辅材料中易挥发组分汇总原辅材原辅材料名称料名称用量用量（t/a）使用过使用过程挥发程挥发的量的量（t/a）有机废有机废液液（t/a）有毒有有毒有害成分害成分比例比例易挥发易挥发组分组分最大最大比例比例污染物污染物控制指标控制指标挥发量挥发量（t/a）丙酮3.1520.03153.1205丙酮（挥发）100%100%100%非甲烷总烃0.0315乙醇3.1560.03163.1244工业乙醇（挥发）100%100%100%非甲烷总烃0.0316异丙121、醇3.1420.03143.1106异丙醇（挥发）100%100%100%非甲烷总烃0.0314合计0.09459.3555/0.0945备注：丙酮（密度为 0.788g/cm3）：4000L/a=3.152t/a乙醇（密度为 0.789g/cm3）：4000L/a=3.156t/a异丙醇（密度为 0.7855g/cm3）：4000L/a=3.142t/a根据业主提供资料显示，项目使用有机清洗剂是在深桶容器里使用，晶圆在清洗剂里浸泡，其挥发也只在深桶表面发生，并且时间少于 10 分钟，晶圆从深桶取出时，表面基本上没有清洗剂，承载晶圆的架子是特氟龙的材料，从深桶取出时，基本上不会沾上清洗剂。并且122、，清洗设备是密闭负压，故丙酮、无水乙醇、异丙醇在使用过程中挥发量约占溶剂使用量的 1%，项目在有机清洗工序会定期更换有机溶剂。集气效率约为 100%，蜂窝活性炭吸附装置对有机废气的处理效率约 65%。本项目 VOCs（以非甲烷总烃计）物料平衡图见图图 2-1。图图 2-1VOCs（以非甲烷总烃计）物料平衡图非甲烷总烃计）物料平衡图2.4 气体供气系统气体供气系统根据需求，本项目设置了 3 个 50m3液氮储罐，以及 1 台氮气纯化器。项目液氮外购，然后储存于液氮储罐中，经气化器气化后进入氮气管网，补充供应给所需工序，具体工艺流程见图图 2-2。有机废气0.0945t/a非甲烷总烃 0.0945123、t/a非甲烷总烃无组织排放量 0非甲烷总烃处理量0.0614t/a非甲烷总烃有组织排 放 量0.0331t/a集气系统+蜂窝活性炭吸附装置+一根 41m 高排气筒 DA002（0.0945t/a）41 图图 2-2项目项目液氮液氮储存储存系统系统工艺流程图工艺流程图2.5 项目物料平衡项目物料平衡项目四种产品使用的原辅材料中各类化学不进入产品，不参与物料平衡计算。项目物料平衡见图图 2-3。GaAs 衬底 6”12100 片 0.3122t/aInP 衬底 4”27200 片 0.69177t/a碳化硅衬底 25000 片 0.3377t/a硅衬底 18000 片 0.2279t/a单质 Ga124、 源0.155t/a单质 In 源0.127t/a单质 Al 源0.019t/a单质 As 源0.24t/a单质 P 源0.024t/a单质 Si 源0.001175t/a单质 Be 源0.00003t/a单质 Mg 源0.000035t/apHEMT 外延片 12000 片 0.30348 t/a实验废弃外延片 300 片 0.54667t/a=原料 100（%）+损耗 27.5（%）成品 72.5（%）APD 外延片 27000 片 0.68283t/a硅衬底外延片 18000 片0.21924t/a清洗及腐蚀溶液中损耗量 0.03482t/a碳化硅衬底外延片 25000 片0.3292t125、/a图图 2-3 项目生产系统物料平衡图项目生产系统物料平衡图2.6 项目给排水项目给排水（1）给水）给水项目由厂区市政给水管网供水，主要为生产用水及员工生活用水。（2）排水）排水项目实行雨、污分流设计，本项目工艺废液（有机废液、酸性废液、碱性废液、含砷废液）作危废处置，不外排；纯水制备机废水及氮化物（硅衬底外延片、碳化硅衬底外延片）纯水冲洗废水经综合污水处理站处理后由市政污水管网纳入后溪工业组团污水处理站处理；含砷废水经含砷废水处理设施处理后接入厂区综合污水处理设施总排放口后由市政污水管网纳入后溪工业组团污水处理站处理；生活污水经三级化粪池处理后由市政污水管网纳入后溪工业组团污水处理站处理。126、雨水经厂区雨水管网及雨水井收集后，纳入市政雨水管网。液氮气化液氮储罐外购液氮氮气纯化器氮气管道各工序 42（3）用排水平衡）用排水平衡项目正常运营时的用水为生产用水及员工生活用水。1）生活用水建设单位招职工 97 人，均不在厂内食宿。根据给水排水标准规范实施手册，一般员工每天生活用水量按 50L/人，年工作日 300 天，则项目的生活用水量约为 1455t/a（4.85t/a），污水产生系数按 0.9 计，生活污水的产生量约为 1309.5t/a（4.365t/d）。2）生产用水生产用水主要用于衬底清洗液配制、衬底冲洗水、外延设备托盘清洗液配制、托盘浸泡、托盘冲洗水、外延设备腔体清洗、腐蚀性测127、试等，生产用水使用自来水和纯水，纯水由自建纯水机制备，纯水制备工艺为“原水-盘式过滤-超滤-RO 反渗透-EDI-树脂抛光-紫外线杀菌”，制备规模为 1m3/h，纯水制备得水率约为 60%。项目生产用水情况如下：砷磷化物（砷磷化物（pHEMT 外延片、外延片、APD 外延片）：外延片）：GaAs/InP 衬底清洗：6L/次，2000 次/a。GaAs/InP 衬底清洗液使用纯水、27%氨水（密度为 0.88g/cm3）、30%双氧水（密度为 1.14353g/cm3）按照 9:4:1 的比例进行配置，单次配制用纯水 6L，全年预计配制 2000 次，则纯水用量为 12000L/a（12t/a）128、（0.04d/a）、氨水用量约为 5333L/a（4.693t/a）、双氧水用量约为 1333L/a（1.5243t/a）。此道清洗液量配置量为 18.2173t/a，清洗后附着在 GaAs/InP 衬底表面的清洗液约占 10%（1.8217t/a），通过下一道冲洗去除，则 GaAs/InP 衬底清洗废液量为 16.3956t/a。衬底纯水冲洗：170L/次，6000 次/a。衬底经清洗液清洗后表面会残留浓度较高的清洗液，需要使用纯水进行冲洗，单次用纯水量为 170L，年冲洗 6000 次，衬底冲洗纯水用量为 1020t/a，衬底清洗前后附着在衬底表面的清洗液相同，不计损耗，则衬底冲洗废水产生129、量为 1020t/a。第一道托盘浸泡：30L/次，12 次/a。第一道托盘浸泡液采用纯水、30%双氧水（密度为 1.14353g/cm3）与95%硫酸（密度为 1.8148g/cm3）按照 3:1:2 的比例进行配置，全年预计配置 12 次，单次纯水用量为 30L，则预计纯水用量为 360L/a（0.36t/a）、双氧水用量为 120L/a（0.1372t/a）、硫酸用量为 240L/a（0.4356t/a），此道浸泡液产生量为 0.9478t/a（包含腐蚀的金属量约 0.015t/a），第一道托盘浸泡后附着在托盘表面的清洗液约占 10%（0.09478t/a），进入下一道浸泡，则第一道托盘浸130、泡废液量为 0.85302t/a。第二道托盘浸泡：30L/次，12 次/a。第二道托盘浸泡液采用纯水、盐酸（密度为 43 1.18g/cm3）与硝酸（密度为 1.34g/cm3）按照 2:1:1 的比例进行配置，全年预计配置 12 次，单次纯水用量为 30L，则预计纯水用量为 360L/a（0.36t/a）、盐酸用量为 180L/a（0.2124t/a）、硝酸用量为 180L/a（0.2412t/a），此道浸泡废液产生量为 0.8286t/a（包含腐蚀的金属量约0.015t/a），第二道托盘浸泡后前后附着在托盘表面的浸泡液相同，不计损耗，则第二道托盘浸泡废液量为 0.8286t/a。托盘纯水浸131、泡：600L/次，12 次/a。托盘经浸泡后表面会残留浸泡液，需要再用纯水进行浸泡清洗，单次浸泡纯水用量为 600L，全年浸泡清洗托盘 12 次，则预计纯水用量为 7200L/a（7.2t/a），纯水浸泡清洗前后附着在托盘表面的浸泡液相同，不计损耗，则托盘纯水浸泡废水产生量为 7.2t/a。托盘纯水冲洗：600L/次，12 次/a。经纯水浸泡清洗后的托盘须再进行一道纯水冲洗，单次冲洗纯水用量为 600L，全年冲洗托盘 12 次，则预计纯水用量为 7200L/a（7.2t/a），纯水冲洗前后附着在托盘表面的水量相同，不计损耗，则托盘纯水冲洗废水产生量为7.2t/a。腔体擦拭清洗：20L/次，12132、 次/a。设备腔体需要定期进行擦拭，擦拭液采用纯水、27%氨水（密度为 0.88g/cm3）、30%双氧水（密度为 1.14353g/cm3）按照 10:1:1 的比例进行配置，单次配置使用纯水量为20L，全年预计配置12次，则腔体擦拭液用纯水量为240L/a（0.24t/a）、氨水用量为 24L/a（0.0211t/a）、双氧水用量为 24L/a（0.0274t/a），腔体擦拭废液量为 0.29177t/a（包含金属量约 0.00327t/a），项目腔体表面面积较大，擦拭时间长，擦拭液用量较少，擦拭过程废液全部蒸发损耗，无排放。腔体纯水冲洗：50L/次，12 次/a。设备腔体经擦拭液擦拭后，133、再使用纯水冲洗，腔体冲洗单次纯水用量为 50L，每年冲洗 12 次，则腔体冲洗纯水用量为 600L/a（0.6t/a），纯水冲洗后附着在腔体表面的水量大约占 10%（0.06t/a），则腔体纯水冲洗废水产生量为0.54t/a。第一种腐蚀测试：2L/次，50 次/a。第一种腐蚀测试腐蚀液采用纯水、双氧水（密度为 1.14353g/cm3）、柠檬酸（密度为 1.53116g/cm3）按照 50:15:1 的比例配置，单次纯水用量为 2L，每年配置 50 次，则第一种腐蚀液中纯水用量为 100L/a（0.1t/a）、双氧水用量为 30L/a（0.0343t/a）、柠檬酸用量为 2L/a（0.0031134、t/a）。第一种腐蚀液产生量为 0.13814t/a（包含腐蚀的金属量 0.00074t/a），腐蚀后的废外延片表面会沾染少量的液体，第一种腐蚀共产生 50 片废外延片，以每片沾染 11g 计算，腐蚀液损失量为 0.00055t/a，腐蚀废液产 44 生量为 0.13759t/a。第二种腐蚀测试：2L/次，250 次/a。第二种腐蚀测试腐蚀液采用纯水、双氧水（密度为 1.14353g/cm3）、磷酸（密度为 1.75164g/cm3）按照 5:1:3 的比例配置，单次纯水用量为 2L，每年配置 250 次，则腐蚀液中纯水用量为 500L/a（0.5t/a）、双氧水用量为 100L/a（0.05135、9680254t/a）、磷酸用量为 300L/a（0.5255t/a），项目腐蚀液产生量为 1.14292t/a（包含腐蚀的金属量 0.00302t/a），腐蚀后的废外延片表面会沾染少量的液体，项目共产生 260片废外延片，以每片沾染 11g 计算，腐蚀液损失量为 0.00286t/a，腐蚀废液产生量为1.14006t/a。氮化物（硅衬底外延片、碳化硅衬底外延片）：氮化物（硅衬底外延片、碳化硅衬底外延片）：衬底纯水冲洗：50L/次，15000 次/a。衬底经有机清洗液清洗后表面会残留浓度较高的清洗液，需要使用纯水进行冲洗，单次用纯水量为 50L，年冲洗 15000 次，衬底冲洗纯水用量为 75136、0t/a，衬底清洗前后附着在衬底表面的清洗液相同，不计损耗，则衬底冲洗废水产生量为 750t/a。第二道衬底酸清洗：5.3L/次，3500 次/a。第二道衬底酸清洗液采用 36%盐酸（密度为 1.18g/cm3）、30%双氧水（密度为 1.14353g/cm3）、超纯水按照 1:1:5 的比例进行配置，全年预计配置 3500 次，单次纯水用量为 5.3L，则预计纯水用量为 18550L/a（18.55t/a）、盐酸用量为 3710L/a（4.3778t/a）、双氧水用量为 3710L/a（4.2425t/a），此道浸泡液产生量为 27.1703t/a，第二道采衬底酸清洗后附着在托盘表面的清洗液137、约占 10%（2.71703t/a），通过下一道冲洗去除，则第二道采衬底酸清洗废液量为 24.4533t/a。衬底纯水冲洗：50L/次，15000 次/a。衬底经第二道采衬底酸清洗液清洗后表面会残留浓度较高的清洗液，需要使用纯水进行冲洗，单次用纯水量为 50L，年冲洗 15000次，衬底冲洗纯水用量为 750t/a，衬底清洗前后附着在衬底表面的清洗液相同，不计损耗，则衬底冲洗废水产生量为 750t/a。衬底碱清洗：0.53L/次，3500 次/a。衬底碱清洗液采用 27%氨水（密度为 0.88g/cm3）、30%双氧水（密度为 1.14353g/cm3）、超纯水按照 1:1:5 的比例进行配置138、，全年预计配置3500 次，单次纯水用量为 5.3L，则预计纯水用量为 18550L/a（18.55t/a）、氨水用量为 3710L/a（3.2648t/a）、双氧水用量为 3710L/a（4.2425t/a），此道浸泡液产生量为 26.0573t/a，衬底碱清洗后附着在托盘表面的清洗液约占 10%（2.6057t/a），通过下一道冲洗去除，则衬底碱清洗废液量为 23.4516t/a。45 衬底纯水冲洗：50L/次，15000 次/a。衬底经碱清洗清洗后表面会残留浓度较高的清洗液，需要使用纯水进行冲洗，单次用纯水量为 50L，年冲洗 15000 次，衬底冲洗纯水用量为 750t/a，衬底清洗前139、后附着在衬底表面的清洗液相同，不计损耗，则衬底冲洗废水产生量为 750t/a。腐蚀性测试：0.4L/次，20 次/a。腐蚀测试腐蚀液 III 采用 45%氢氧化钾（密度为2.044g/cm3）、超纯水按照 10:1 的比例配置，单次纯水用量为 0.4L，每年配置 20 次，则预计纯水用量为 8L/a（0.008t/a）、氢氧化钾用量为 80L/a（0.16352t/a）。腐蚀液产生量为 0.17207t/a（包含腐蚀的金属量 0.00055t/a），腐蚀后的废外延片表面会沾染少量的液体，腐蚀共产生 50 片废外延片，以每片沾染 11g 计算，腐蚀液损失量为 0.00055t/a，腐蚀废液产生量140、为 0.17152t/a。腔体清洗：18.75L/次，20 次/a。设备腔体需要定期进行擦拭，擦拭液采用 27%氨水（密度为 0.88g/cm3）、30%双氧水（密度为 1.14353g/cm3）、超纯水按照 1:1:10 的比例进行配置，单次配置使用纯水量为 18.75L，全年预计配置 20 次，则腔体擦拭液用纯水量为 375L/a（0.375t/a）、氨水用量为 37.5L/a（0.033t/a）、双氧水用量为 37.5L/a（0.04288t/a），腔体擦拭废液量为 0.45415t/a（包含金属量约 0.00327t/a），项目腔体表面面积较大，擦拭时间长，擦拭液用量较少，擦拭过程废液141、全部蒸发损耗，无排放。腔体纯水冲洗：50L/次，20 次/a。腔体经碱清洗后表面会残留浓度较高的清洗液，需要使用纯水进行冲洗，单次用纯水量为 50L，年冲洗 20 次，衬底冲洗纯水用量为 1t/a，衬底清洗前后附着在衬底表面的清洗液相同，不计损耗，则衬底冲洗废水产生量为 1t/a。第二道衬底托盘清洗*：4.1L/次，20 次/a。第二道衬底托盘清洗用的托盘碱清洗液II 采用 45%氢氧化钾（密度为 2.044g/cm3）、超纯水按照 10:1 的比例进行配置，全年预计配置 20 次，单次纯水用量为 4.1L，则预计纯水用量为 82L/a（0.082t/a）、氢氧化钾的用量为 820L/a（1.142、67608t/a），此道清洗液产生量为 1.77308t/a（包含腐蚀的金属量约0.015t/a），第二道托盘浸泡后附着在托盘表面的清洗液约占 10%（0.17731t/a），进入下一道纯水冲洗，则第二道托盘浸泡废液量为 1.59577t/a。托盘纯水冲洗*：300L/次，20 次/a。经底托盘清洗后的托盘须再进行一道纯水冲洗，单次冲洗纯水用量为 300L，全年冲洗托盘 20 次，则预计纯水用量为 6000L/a（6t/a），纯水冲洗前后附着在托盘表面的水量相同，不计损耗，则托盘纯水冲洗废水产生量为 6t/a。第三道衬底托盘清洗*：22.5L/次，20 次/a。第三道衬底托盘清洗用的托盘酸清洗143、液 46 IV 采用 36%盐酸（密度为 1.18g/cm3）、70%硝酸（密度为 1.34g/cm3）、超纯水按照 1:1:2的比例进行配置，全年预计配置 20 次，单次纯水用量为 22.5L，则预计纯水用量为 450L/a（0.45t/a）、盐酸的用量为 225L/a（0.2655t/a）、硝酸的用量为 225L/a（0.3015t/a），此道清洗液产生量为 1.032t/a（包含腐蚀的金属量约 0.015t/a），第三道衬底托盘清洗后附着在托盘表面的清洗液约占 10%（0.1032t/a），进入下一道纯水冲洗，则第三道托盘浸泡废液量为 0.9288t/a。托盘纯水冲洗*：300L/次，2144、0 次/a。经底托盘清洗后的托盘须再进行一道纯水冲洗，单次冲洗纯水用量为 300L，全年冲洗托盘 20 次，则预计纯水用量为 6000L/a（6t/a），纯水冲洗前后附着在托盘表面的水量相同，不计损耗，则托盘纯水冲洗废水产生量为 6t/a。氨气尾气处理：10L/次，300 次/a。设备自带氨气尾气处理设施，单次使用自来水用量为 10L，全年使用 300 次，则预计自来水用量为 3000L/a（3t/a），损耗 10%，则氨气尾气处理废水产生量为 2.7t/a。综上生产用水情况所述，本项目生产过程纯水用量约为 3349.575t/a（约 11.1653t/d），根据纯水制水得率（60%）可计算得145、出生产用自来水用量约为 5582.625t/a（约 18.6088t/d），纯水制备废水产生量为 2233.05t/a（约 7.4435t/d）。综合生活用水及生产用水情况可知，项目总用水量为 7040.625t/a（约 23.4588t/d），其中生活用水量为 1455t/a（4.85t/a），生产用水量为 5585.625t/a（约 18.6088t/d）。项目有机废液为 9.3555t/a（0.0312t/d），项目酸性废液为 25.38t/a（0.0846t/d），项目碱性废液为 25.26t/a（0.0842t/d），含砷废液为 19.32t/a（0.0644t/d），故项目工艺废液146、为 79.3155t/a（约 0.2644t/d）作危废处置，不外排。外排废水主要为纯水制备废水 2233.05t/a（约7.4435t/d）、含砷废水 1034.94t/a（约 3.4498t/d）、纯水冲洗废水为 2254.89t/a（约 7.5163t/d）及生活污水 1309.5t/a（4.365t/d），故外排废水合计为 6832.38t/a（22.7746t/d），外排废水经市政污水管道纳入后溪工业组团污水处理站继续处理。项目具体生产用水情况详见表表2-8，给排水平衡图见图图 2-4。表表 2-8给排水情况一览表给排水情况一览表项目项目参数参数给予量（给予量（t/a）损损耗耗系系数147、数损耗量（损耗量（t/a）排放量排放量（t/a）300d/a新鲜水新鲜水纯水纯水溶液溶液金属金属新鲜新鲜水水溶液溶液生活97 人，14550000.1145.501309.5 47 用水50L/(d人)纯水制备纯水得水率为 60%5582.6250001002233.05砷磷化物（砷磷化物（pHEMT 外延片、外延片、APD 外延片）外延片）GaAs/InP衬底清洗6L/次，2000 次/a0126.217301018.21730衬底纯水冲洗170L/次，6000 次/a01020001010201020第一道托盘浸泡30L/次，12次/a00.360.57280.015100.94780第二148、道托盘浸泡30L/次，12次/a00.360.45360.015100.82860托盘纯水浸泡600L/次，12 次/a07.200107.27.2托盘纯水冲洗600L/次，12 次/a07.200107.27.2腔体擦拭20L/次，12次/a00.240.04850.00327100.291770腔体冲洗50L/次，12次/a00.600100.60.54第一种腐蚀测试2L/次，50次/a00.10.03740.00074100.138140第二种腐蚀测试2L/次，250次/a00.50.63990.00302101.142920氮化物（硅衬底外延片、碳化硅衬底外延片）氮化物（硅衬底外延片、149、碳化硅衬底外延片）衬底纯水冲洗50L/次，15000次/a07500010750750第二道衬底酸清洗5.3L/次，3500 次/a018.558.620301027.17030衬底纯水冲洗50L/次，15000次/a07500010750750衬底碱清洗0.53L/次，3500 次/a018.557.507301026.05730衬底纯水冲洗50L/次，15000次/a07500010750750腐蚀性测试0.4L/次，20 次/a00.0080.163520.00055100.172070腔体清洗18.75L/次，20 次/a00.3750.075880.00327100.454150腔体150、纯水冲洗50L/次，20次/a01001011 48 第二道衬底托盘清洗*4.1L/次，20 次/a00.0821.676080.015101.773080托盘纯水冲洗*300L/次，20 次/a06001060.6第三道衬底托盘清洗*22.5L/次，20 次/a00.450.5670.015101.0320托盘纯水冲洗*300L/次，20 次/a06001060.6氨气尾气处理10L/次，300 次/a30000.1302.7合计/7040.6253349.57526.579580.07085/783376.22546832.38 49 4.85职工生活用水后溪工业组团污水处理站三级化粪池损151、耗 0.3954.365新鲜水纯水制备18.6088市政污水管网22.7746制备废水7.44353.4损耗 0.0060.06440.04配置液 0.02073.40.00280.00120.00270.0240.0240.0240.0018GaAs/InP 衬底清洗0.00040.0038衬底纯水冲洗损耗 0.0003第一道托盘浸泡0.0012配置液 0.0019第二道托盘浸泡配置液 0.0015托盘纯水浸泡托盘纯水冲洗损耗 0.0010.0008配置液 0.0002损耗 0.0002腔体纯水冲洗0.002第一种腐蚀测试0.0003配置液 0.0001损耗 0.00000953第二种腐蚀测152、试配置液 0.0021损耗 0.000006830.002衬底纯水冲洗第二道衬底酸清洗衬底碱清洗衬底纯水冲洗腐蚀性测试腔体清洗腔体纯水冲洗第二道衬底托盘清洗第三道衬底托盘清洗氨气尾气处理0.084211.16537.44354.3650.0240.00172.52.50.0618损耗 0.00900.0815配置液 0.0287衬底纯水冲洗2.52.50.0618损耗 0.0087配置液 0.0250.07822.50.000032.50.00057173配置液 0.000545070.00125损耗 0.0087配置液 0.0002529300.00330.00027配置液 0.00496损153、耗 0.00060.00494托盘纯水冲洗0.002损耗 0.00030.00150.003096配置液 0.001890.002托盘纯水冲洗0.0020.01损耗 0.0010.009碱性废液储存池 1#酸性废液储存池 2#厂区综合污水设施0.0033委托有处置资质的单位18.40960.084623.4588含 砷 废 液池 4#0.0644腔体擦拭清洗含砷废水处理设施3.4498图图 2-4项目用排水平衡图项目用排水平衡图单位：单位：t/d 50 2.7 项目总平面布置合理性分析项目总平面布置合理性分析xx(xx)光电科技有限公司xx(xx)光电科技有限公司化合物半导体外延材料的产业化项154、目位于xx市xx区金岭北路 159-3、159-4 号 101 单元（xx区模具产业园一期）的已建厂房，项目车间平面布置图见附图附图 13。功能分区布局：项目办公区与生产区分开布置，车间东侧主要作为办公使用。拆包区位于车间西南侧，生产区主要位于车间北侧和南侧，主生产车间呈“凹”型，原辅物料仓库位于车间东侧，车间中部主要为外延设备配件仓、洗片间、测试间、打包间、清洗仓等各类辅助生产及测试功能区。项目化学品仓库设置在车间北侧靠西部，在厂房外北侧布置液氮储存罐。本项目生产平面布置充分考虑了各生产单元之间的物料互供，主生产区周边均为通道，方便物料运输及参观，生产及辅助生产装置间布置紧密，工艺流程合理，155、做到了人流、物流合理。做到了生产区和辅助区功能分区明确，节约了用地。因此，本项目厂区平面布置合理。交通流畅性：本项目所在园区内道路设置顺畅，厂区物料可顺利运输，不易出现阻滞，外部交通便利，车间位于厂房一层，进出交通方便，方便物料输送，项目交通流畅便利。环保设施设置：本项目工艺废液（有机废液、酸性废液、碱性废液、含砷废液）作危废处置，不外排；纯水制备机废水及氮化物（硅衬底外延片、碳化硅衬底外延片）纯水冲洗废水经综合污水处理站处理后由市政污水管网纳入后溪工业组团污水处理站处理；含砷废水经含砷废水处理设施处理后接入厂区综合污水处理设施总排放口后由市政污水管网纳入后溪工业组团污水处理站处理；生活污水经156、三级化粪池处理后由市政污水管网纳入后溪工业组团污水处理站处理；项目无机废气经“集气系统+SDG 活性炭吸附装置+一根 41m 高排气筒 DA001（DA001）”达标排放，排气筒位于厂区西侧，项目有机废气经“集气系统+蜂窝活性炭吸附装置+一根 41m 高排气筒 DA002（DA002）”达标排放，排气筒位于厂区西侧，远离周边敏感目标布置；项目生产设备均设置在室内，高噪声设备采取减震、隔声措施；一般工业固废暂存于一般固废暂存区（厂区西南侧），危险废物暂存车间北侧中部的危废暂存间（车间北侧），在厂房外北侧设置地下液体危险废物储存池，产生的废液经管道自流进入底下储存池，待收集一定量后委托有处置资质单157、位进行处置。项目环保设施 51 齐全且布置合理。综上分析，项目总平面布置功能区划明确，设施设备布置合理，交通便利、顺畅。本项目平面布局从环保方面分析基本合理。52 工艺流程和产排污环节2.7 项目工艺流程项目工艺流程项目以分子束外延（MBE）生长技术开展赝高电子迁移率晶体管外延片的生产。分子束外延（MBE）最早出现在 20 世纪 60 年代，随着技术的发展成熟，已成为一种主流的材料外延手段。MBE 技术具有超高真空的生长环境，分子或原子束由高纯度的固态源或液态源蒸发得到并可精确控制流量，具有低生长速率，生长时原子在薄膜表面有足够时间迁移，可获得原子级平滑的表面，其生长模式不是通过热力学调控，而158、是由表面原子动力学调控，生长过程中设备源炉挡板开关速度快，可迅速从一种源切换到另一种源，获得陡峭突变且平整的材料表面。MBE 是一种非平衡生长技术，与 MOCVD 等技术相比具有更高的晶体生长动力，在 MBE 生长室中，为了使分子或原子束从源炉喷射到衬底上且不受残余杂质气体分子的影响，平均分子自由程需要远大于源炉孔到衬底的距离，因此需要保持超高真空的生长环境。晶体生长所需的源分子或原子由固态或气态蒸发源生成，以固定的角度近乎直线的发射到衬底表面。分子或原子在衬底上通过加热提供的结晶能在表面迁移并结晶为高质量的晶体。原子（分子）束在衬底表面同时存在吸附和脱附两种热力学行为，被吸附的原子（分子）在159、表面会发生迁移，合并入晶格或者从晶格中分解。MBE 技术生长材料过程中原子在表面的各种行为过程如如图图 2-5。图图 2-5 半导体外延材料半导体外延材料生产工艺流程及产污环节生产工艺流程及产污环节 53（一）（一）pHEMT 外延片、外延片、APD 外延片外延片本项目赝高电子迁移率晶体管外延片以 MBE 生长技术作为外延片生长技术，根据研发的外延片的不同用途，使用高纯度的不同固态源作为外延生长材料，外延生长材料主要包括高纯度单质 Ga 源、In 源、Al 源、As 源、P 源、Si 源、Be 源。外延生长测试包装入库部件清洗废气、固废包装物含砷废水、氨气、固废衬底清洗氨气、碱性废液、固废单质160、 Ga 源、In 源、Al 源、As 源、P 源、Si 源、Be 源含砷废液、含砷废水、酸性废液、酸性废液图图 2-6pHEMT 外延片、外延片、APD 外延片生产工艺流程及产污环节外延片生产工艺流程及产污环节（1）衬底清洗GaAs/InP 衬底清洗：在负压的通风橱柜中将氨水、双氧水、超纯水按一定比例（4:1:9）进行配制，配置结束后在密闭的衬底清洗甩干设备内对外购的半导体衬底GaAs/InP 进行清洗，清洗方式为浸泡清洗，备用于下一工序。该过程会产生清洗废液，衬底清洗在密闭的清洗机中进行，但在溶液配置及清洗结束后的开盖时会挥发废气，废气主要成分为氨气；氨水、双氧水使用后会产生包装废弃物。（2161、）外延生长：将清洗好备用半导体衬底送入分子束外延设备的生长腔室，并在源炉中放入准备外延生长的高纯源材料。同时生长腔室、源炉进行升温除气，使腔室、源炉升温至控制温度，腔室中形成并维持高真空条件以备外延生长，控制温度根据不同生长材料结构进行设定，真空度维持在 10-9Torr 以上。源炉中的高纯源材料在控制温度下发生蒸发或升华，以分子或原子的形式发射到半导体衬底上，进行沉积，从而完成外延生长。高纯源材料设定温度一是与不同材料的蒸发或升华温度相关，二是与生长速度相关，一般情况下 Ga、In、Al、Si 和 Be 控制在 7001000，As 控制在 350500，P 控制在 60120。分子束外延设162、备采用电能对生长腔室、源炉进行升温，高纯源经蒸发或升华后直接发射沉积在半导体衬底上，外延生长后降温取出外延片，外延生长过程无废气、废水产生。（3）部件清洗：外延生长过程中高纯源材料的升华沉积过程中除了沉积在衬底 54 上以外，还会沉积在外延设备的腔体和衬底托盘上，此时需要对托盘、腔体等进行清洗。托盘的清洗方式是清洗液及纯水浸泡，浸泡后使用纯水冲洗。浸泡溶液配制和浸泡清洗在密闭的通风橱柜进行，清洗过程中清洗机密闭。浸泡共分为三道，第一道浸泡液采用纯水、双氧水、硫酸按照 3:1:2 的比例配置；第二道浸泡采用纯水、盐酸、硝酸 2:1:1 的比例配置；第三道采用纯水浸泡，浸泡过后再使用纯水进行一次冲163、洗。该过程会产生浸泡废液及废水，托盘清洗在密闭的清洗机中进行，但在溶液配置及清洗结束后的开盖时会挥发废气，废气主要成分为硫酸雾、氯化氢、硝酸雾（氮氧化物）；硫酸、双氧水、盐酸、硝酸使用后会产生包装废弃物。腔体的清洗方式为清洗液擦拭，擦拭后用纯水进行冲洗。擦拭液采用纯水、氨水、双氧水按照 10:1:1 的比例进行配置。腔体擦拭废气主要成分为氨气，采用可移动的集气罩进行收集；腔体擦拭时间较长，擦拭液全部蒸发、挥发，此过程会产生擦拭废布；氨水、双氧水使用后会产生包装废弃物。（4）测试：对外延沉积后的产品进行测试，主要测试产品的电学特性和光学特性，主要的测试内容包括外延片结晶质量、发光波长、表面方阻、164、表面缺陷密度、载流子迁移率和浓度等。测试后形成测试报告，用于对产品的技术状态进行分析，查找技术问题和控制难点，便于完善工艺流程、工艺参数等。由于测试中部分试验需要对外延片产品进行腐蚀，以便于测定各沉积层的指标，腐蚀液配置及腐蚀过程在负压的通风橱柜中进行，腐蚀液共分为两种，第一种腐蚀液为使用纯水、双氧水、柠檬酸按照 50:15:1 的比例配制而成；第二种腐蚀液由纯水、双氧水、磷酸按照 5:1:3 的比例配制而成。测试过程主要产生废腐蚀液、测试后的废弃外延片以及双氧水、磷酸、柠檬酸使用后产生的包装废弃物.（二）硅衬底外延片、碳化硅衬底外延片（二）硅衬底外延片、碳化硅衬底外延片氮化物 MBE 外延生165、长所用到的固体高纯源材料，是在 MBE 设备外延生长室处于破真空状态下，在氮气环境中预先填充进外延生长室的。根据外延生长的实际需求，将足够量的固体源材料放置在合适的坩埚中，再将坩埚装载进源炉，随后一同装载至外延生长室。装载完毕后，通过真空泵将外延生长室抽至超高真空。根据需求，使用的坩埚材质包括：pBN、石墨、氧化铝、钼、钽等。55 需要预先填充的固体源材料包括：高纯 Al、高纯 Ga、高纯 In、高纯 Mg、高纯Si（不涉及 As 源及砷及其化合物）。图图 2-7硅衬底外延片、碳化硅衬底外延片硅衬底外延片、碳化硅衬底外延片生产工艺流程及产污环节生产工艺流程及产污环节（1）设备烘烤与除气为使外延166、生长室达到超高真空，需对生长室进行检漏。方法是在所有可能出现漏点的接口或焊口处注入少量氦气，并在设备上配备的残余气体分析仪（RGA）上观察是否有氦气信号。确认无漏点后，通过烘烤加热器将外延生长室加热至 200，并维持一段时间，使生长室内壁吸附的少量气体分子充分脱附，降温后生长室可达到超高真空。（2）衬底清洗根据外延产品需求，氮化物 MBE 外延使用的衬底包括：Si、SiC。一般衬底采购时规格要求为 Epi-ready，即无需进行进一步清洗可直接用于外延生长使用。但实际工艺流程中，由于外延产品对衬底表面的洁净度与平整度有要求，部分 Si 和 SiC衬底在外延生长前仍需进行清洗。主要清洗步骤如下：167、1）有机清洗该步骤目的在于去除衬底表面的有机杂质。衬底依次经过丙酮无水乙醇异丙醇纯水超声清洗，丙酮、无水乙醇、异丙醇及纯水分别放置在有机清洗台专用超声容器内。清洗过程中有机废液收集有机废液收集间统一处理。有机清洗废水经排水进入废水站。清洗过程均在负压的通风橱中进行，挥发的有机废气通过专用管道进入有机排风管。56 2）一般酸碱清洗该步骤目的在于去除衬底表面的颗粒物杂质和氧化层。根据衬底不同，有以下几种标准清洗溶液：a)酸清洗 I：95%硫酸、30%双氧水、超纯水，按一定比例配置；b)酸清洗 II：36%盐酸、30%双氧水、超纯水，按一定比例配置；c)BOE 清洗：标准 BOE 溶液（34%NH4168、F、7%HF、59%H2O）d)碱清洗 I：27%氨水、30%双氧水、超纯水，按一定比例配置；e)碱清洗 II：45%氢氧化钾、超纯水、按一定比例配置；根据衬底的状态，选择以上几种清洗方式的组合。每步清洗完成后，通过纯水冲洗，最后通过甩干机甩干或使用氮气烘干。清洗液配制及清洗过程均在负压的通风橱柜中进行，清洗过程会产生清洗废液、废水、挥发酸碱废气以及清洗用包装废弃物。清洗过程中酸性或碱性废液收集在酸废液槽和碱废液槽中统一处理。酸性废气主要成分为硫酸雾、盐酸雾、氟化物，碱性废气主要为氨气，通过专用管道进入酸碱风管处理。废液清洗废水经排水管进入废水站处理。（3）外延生长外延生长是氮化物外延片生产最169、核心、关键的工艺步骤。其基本原理是：外延生长时，生长室通过液氮冷屏、冷凝泵、离子泵、涡轮分子泵，始终维持超高真空状态（气压 10e-5 torr）。装载多片衬底的衬底托盘置于衬底加热台上加热，最高生长温度可达 1200。通过源炉加热（已填的固态高纯源材料）或气体注入源（NH3、N2）控制流量，一定束流的源材料分子或原子扩散至衬底表面，部分分子或原子在衬底表面沉积形成外延层薄膜，最终成为外延片的组成部分。未参与反应或反应后脱附的原子或分子最终吸附在液氮冷屏、冷凝泵或离子泵上，或通过涡轮分子泵直接从生长室抽离，通过专用管道进入尾气处理系统。根据外延片产品的需求，主要分为以下几个步骤：1）MBE 设170、备进样室与其它设备腔室通过闸板阀隔离，进样室通入氮气破真空，随后将清洗完成的衬底装载至衬底托盘上，衬底托盘通过机械手臂传至进样室。进样室抽真空后，通过加热丝将衬底托盘与衬底加热至 200，维持半个小时。这一步骤的作用主要是去除衬底托盘与衬底上的水气。进样室达到一定真空度后，通过机械手臂，将衬底托盘与衬底依次传至除气室，加热至 57 600-800，维持两个小时。完成后依次传至存样室，等待进入外延生长室进行外延生长。这一步的作用是去除衬底表面的部分氧化层以及杂质。2）以 Al、Ga、In 高纯单质为 III 族源，以 NH3、N2为氮源，以 Mg、Si 单质在衬底上形成 AlGaN、InGaN、171、AlN、GaN 等外延层薄膜。更具体的：Al、Ga、In、Mg、Si 高纯单质，通过热蒸发源炉加热蒸发后形成原子束，原子束束流可通过调节蒸发源温度精确控制。Al、Ga、In、Mg、Si 原子束扩散至高温衬底表面后，参与外延生长。未参与外延生长的 Al、Ga、In、Mg、Si 沉积在外延生长室内部，需待设备维护时进行清理。NH3经过纯化后通过气体注入源，控制流量，进入外延生长室。进入外延生长室的 NH3扩散至高温表面发生裂解，形成化学活性更强 NH2分子与 H 原子。根据实际生长情况和相关研究成果参数，外延生长时，NH3的裂解效率在 4%，亦即有 96%的 NH3未发生裂解，最终被液氮冷屏、冷凝172、泵吸附或通过涡轮分子泵抽至尾气处理系统。NH2与 III 族原子参与外延生长。N2经过纯化后通过气体注入源，控制流量，进入外延生长室。由于 N2化学活性不高，进入外延生长室的 N2分子需通过射频信号激发，形成活性更高的 N 等离子态。N 等离子体扩散至高温衬底表面后，参与外延生长，外延生长完成后，通过机械手臂将衬底托盘从外延生长室传送至进样室，取出外延片，进行后续的测试。（4）外延片测试外延片测试分为破坏性或非破坏性测试。破坏性测试对外延片进行不可逆的分割或腐蚀，过程产生的外延片碎片与废片，以固废处理。此外，腐蚀性测试用到的化学试剂包括 45%氢氧化钾溶液。霍尔测试使用氮氢混合气体（95%氮气173、+5%氢气）作为电极退火保护气。经过非破坏性测试但不符合要求的外延片以废片处理。（6）设备维护当固体源材料耗尽，或外延生长室达到需要维护的标准时，需要对外延生长室进行开腔维护。通过通入氮气，将外延生长室破真空。根据需求，对外延生长室的各配件进行维护。主要的步骤如下：1）Al、Ga、In、Mg、Si 热蒸发源中未用尽的固体源材料，若无法继续使用则 58 作为固废处理。承载坩埚若出现损坏，无法继续使用的，亦作为固废处理，更换新的坩埚。2）外延生长的过程中，腔室内壁、配件上会沉积较多未参与外延生长的固体材料，开腔后需对腔室以及配件进行清洗。具体步骤如下：a)腔室清洗首先使用专用吸尘器将腔室内沉积的固174、体颗粒状物、碎片等进行清理，固体残渣统一作为固废处理。无明显固体颗粒后，再使用清洗液擦拭，最后用纯水进行冲洗。擦拭液采用衬底清洗流程中的碱清洗 I（27%氨水、30%双氧水、超纯水，按一定比例配置）。腔体擦拭废气主要成分为挥发的氨气，采用可移动的集气罩进行收集。腔体擦拭时间较长，擦拭液全部蒸发、挥发，此过程会产生擦拭废布，氨水、双氧水使用后会产生包装废弃物。b)衬底托盘清洗：i.氮气清洗：衬底托盘放置于高温烤盘炉内，抽真空，通入高纯氮气，利用热脱附去除衬底托盘表面附着的颗粒物，氮气清洁产生的废气主要为包含颗粒物的氮气，通过专用管道进入无机排风管。ii.碱清洗：部分衬底托盘采用强碱浸泡清洗，方法175、同衬底清洗中的碱清洗 II（40%氢氧化钾与超纯水按一定比例配置），加热到一定温度，浸泡一段时间，将衬底托盘表面的残留物腐蚀净。清洗液配制及清洗过程均在负压的通风橱柜中进行，清洗过程会产生清洗废液、废水、挥发碱性废气以及清洗用包装废弃物。清洗过程中碱性废液收集在碱废液槽中统一处理。废液清洗废水经排水管进入废水站处理。iii.酸清洗：部分衬底托盘采用强酸浸泡清洗，使用的溶液为酸清洗 IV（盐酸、硝酸、超纯水按一定比例配置）。浸泡一段时间，将衬底托盘表面的残留物腐蚀净。清洗液配制及清洗过程均在负压的通风橱柜中进行，清洗过程会产生清洗废液、废水、挥发酸性废气以 59 及清洗用包装废弃物。清洗过程中酸176、性废液收集在酸废液槽中待收集一定量后委托有处置资质单位进行处置。酸性废气主要成分为盐酸雾、硝酸雾，通过专用管道进入酸碱风管处理。废液清洗废水经排水管进入废水站处理。2.8 项目产排污环节汇总项目产排污环节汇总本项目产排污汇总见表表 2-8。表表 2-8 项目产污环节汇总表项目产污环节汇总表类型类型污染源污染源主要污染物主要污染物采取措施及排放去向采取措施及排放去向废水生活污水pH、COD、BOD5、SS、氨氮三级化粪池市政污水管网后溪工业组团污水处理站含砷废水总砷含砷废水处理设施企业废水总排放口市政污水管网后溪工业组团污水处理站纯水制备机废水及纯水冲洗废水pH、COD、BOD5、SS、氨氮、总177、磷厂内综合污水处理设施市政污水管网后溪工业组团污水处理站工艺废液（有机废液、酸性废液、碱性废液、含砷废液）pH、NH4+、F+、Ga、In、Al、Si、Be、As、P委托有相应资质的单位处置废气GaAs/InP 衬底清洗、配置废气氨气1 套设施，风机风量 8000m3/h+集气系统+SDG 活性炭吸附装置+一根 41m 高排气筒 DA001（DA001）Si/SiC 衬底清洗、配置废气硫酸雾、氯化氢、氟化物、氨气托盘清洗、配置废气硫酸雾、氯化氢、硝酸雾（氮氧化物）腔体擦拭、配置废气氨气Si/SiC 衬底清洗非甲烷总烃1 套设施，风机风量 4000m3/h+集气系统+蜂窝活性炭吸附装置+一根 4178、1m 高排气筒 DA002（DA002）噪声设备运行噪声墙体隔声、减震垫、空间距离衰减，风机设隔声罩固废拆包、包装无危险性包装废弃物相关有主体资格和技术能力的单位回收利用含砷废渣总砷委托有相关资质的单位处置砷磷化物（pHEMT外延片、APD 外延片）腔体擦拭废布总砷、氨水、双氧水砷磷化物（pHEMT外延片、APD 外延片）废弃外延片总砷、残留废酸废化学品包装物沾染氨水、双氧水、盐酸、硫酸、硝酸、磷酸等化学品 60 氮化物（硅衬底外延片、碳化硅衬底外延片）腔体擦拭废布氨水、双氧水氮化物（硅衬底外延片、碳化硅衬底外延片）废弃外延片残留废碱废 SDG 活性炭无机废气废蜂窝活性炭有机废气职工办公生活生179、活垃圾环卫部门清运 61 三、区域环境质量现状、环境保护目标及评价标准区域环境质量现状3.1 环境功能区划及环境质量标准环境功能区划及环境质量标准本项目区域环境功能区划一览表见表表 3-1。表表 3-1 本项目环境功能区划一览表本项目环境功能区划一览表项目项目功能区划功能区划依据依据图件图件地表水V 类（苎溪）xx市环境功能区划（第四次修订）（厦府2018280 号）附图附图 10环境空气二类xx市环境功能区划（第四次修订）（厦府2018280 号）附图附图 11声环境3 类xx市环境功能区划（第四次修订）（厦府2018280 号）附图附图 12地表水环境：后溪工业组团污水处理站处理后的再生回180、用水主要用于工业企业用水、公建冲厕、绿化、道路浇洒、车辆冲洗用水及水景补水等，剩余再生水排入拐仔溪，拐仔溪主导功能为农业、景观，执行地表水环境质量标准（GB3838-2002）V 类标准。距离项目最近的地表水为苎溪，执行地表水环境质量标准（GB3838-2002）V 类标准。地下水环境：评价区地下水环境执行 地下水质量标准(GB/T 14848-2017)III类标准。环境空气：项目所在区域为二类环境空气质量功能区，SO2、NO2、PM10、PM2.5、CO、O3、TSP 等执行环境空气质量标准（GB3095-2012）二级标准及其修改单。氯化氢、硫酸雾、氨参照执行环境影响评价技术导则 大气导181、则（HJ2.2-2018）附录 D 参考限值，氟化物执行 环境空气质量标准（GB3095-2012）附录 A 中标准限值。非甲烷总烃污染物参照执行 大气污染物综合排放标准详解（中国环境科学出版社、国家环境保护局科技标准司）244 页中的限值要求。声环境：本项目所在工业区声环境执行声环境质量标准（GB3096-2008）3类功能区标准，项目周边声环境敏感目标执行 声环境质量标准（GB3096-2008）2 类功能区标准。综上，项目所在区域执行的环境质量标准值见表表 3-2。62 表表 3-2 环境质量标准值环境质量标准值环境要环境要素素污染物名污染物名称称标准值标准值单位单位标准来源标准来源地表182、水环境（苎溪）pH 值69无量纲地表水环境质量标准（GB3838-2002）中类；SS 标准参照 地表水资源质量标准（SL63-94）中第五级质量标准SS150mg/LCODCr40BOD510总磷0.4NH3-N2.0石油类1.0地下水环境pH 值6.58.5无量纲地下水质量标准(GB/T14848-2017)III 类标准耗氧量3.0mg/LNH3-N0.5锌1.0铝0.01汞0.001砷0.01镉0.005六价铬0.05环境空气SO2年平均60g/m3环境空气质量标准（GB3095-2012）二级标准及其修改单24 小时平均1501 小时平均500NO2年平均4024 小时平均801 小183、时平均200PM10年平均7024 小时平均150PM2.5年平均3524 小时平均75CO24 小时平均4mg/m31 小时平均10O3日最大 8 小时平均160g/m31 小时平均200TSP24 小时平均300氨1 小时平均200环境影响评价技术导则 63 大气导则（HJ2.2-2018）附录 D硫酸1 小时平均30024 小时平均100氯化氢1 小时平均5024 小时平均15氟化物1 小时平均20环境空气质量标准（GB3095-2012）附录 A24 小时平均7非甲烷总烃一次值2.0mg/m3大气污染物综合排放标准详解（中国环境科学出版社、国家环境保护局科技标准司）244 页中的限值要184、求声环境厂界四周Leq（A）昼间65dB(A)声环境质量标准（GB3096-2008）3 类区标准夜间55周边敏感目标 Leq（A）昼间60dB(A)声环境质量标准（GB3096-2008）2 类区标准夜间503.2 水环境质量现状水环境质量现状本项目工艺废液（有机废液、酸性废液、碱性废液、含砷废液）作危废处置，不外排；纯水制备机废水及氮化物（硅衬底外延片、碳化硅衬底外延片）纯水冲洗废水经综合污水处理站处理后由市政污水管网纳入后溪工业组团污水处理站处理；含砷废水经含砷废水处理设施处理后接入厂区综合污水处理设施总排放口后由市政污水管网纳入后溪工业组团污水处理站处理；生活污水经三级化粪池处理后由市185、政污水管网纳入后溪工业组团污水处理站处理，生产废水和生活污水不进入周边地表水环境，不会对周边地表水体造成影响。3.3 环境空气质量现状环境空气质量现状基本污染物根据厦府2018280 号文批复实施的xx市环境功能区划（第四次修订文本），项目所在区域的大气环境功能区划为为二类，见附图附图 11。根据xx市生态环境局 2022 年 6 月 2 日在其网站上公布的2021 年xx市生态环境质量公报。2021 年，全市环境空气质量综合指数 2.62。空气质量优的天数为 203 天，良的天数为 161 天，轻度污染的天数 1 天（首要污染物为臭氧 1天）。空气质量优良率为 99.7%、优级率为 55.6186、%，优良率同比持平，优级率下 64 降 2.6 个百分点。全市国控评价点位六项主要污染物年均浓度分别为：二氧化硫（SO2）5 微克/立方米、二氧化氮（NO2）19 微克/立方米、可吸入颗粒物(PM10）36 微克/立方米、细颗粒物（PM2.5）20 微克/立方米、一氧化碳（CO）0.7 毫克/立方米、臭氧（O3）128 微克/立方米。按照 环境空气质量标准（GB3095-2012）评价，SO2、NO2、CO、PM10年均浓度符合一级标准；PM2.5、O3年均浓度符合二级标准。与 2020 年相比，六项主要污染物“一降两平三升”，SO2浓度下降 16.7%，NO2、CO 浓度持平，O3、PM10187、PM2.5浓度分别上升 1.6%、9.1%、11.1%。项目所在区域大气基本污染因子浓度能符合环境空气质量标准（GB3095-2012）二级标准及其修改单要求。项目所在区域的环境空气质量良好，项目所在区域属于达标区，具有一定的大气环境容量。其他污染物本项目其他污染因子非甲烷总烃现状评价引用xx姚明织带饰品有限公司织带饰品新建项目（后溪厂）环境影响报告书中“大气环境质量现状”章节内容。监测当时至今环境空气质量现状无重大变化，本项目距离监测点xx姚明织带饰品有限公司厂区和田埔村距离分别为 112m、625m，监测点位xx姚明织带饰品有限公司厂区和田埔村在项目评价范围内，本项目选 用的监测点位在 188、5km 的范围内，监测时间为 2021 年 5 月 10 日5 月 16 日，且所引用数据为三年有效监测时间内，为有效引用监测数据，符合 建设项目环境影响报告表编制技术指南（污染影响类）（试行）的要求，因此引用该环境空气质量现状监测数据从时间和空间上均可行。监测时间：2021 年 5 月 10 日5 月 16 日监测点位：田埔村（距离本项目约 112m）、xx姚明织带饰品有限公司（距离本项目约 625m）具体监测点位见图图 3-1、监测结果见表表 3-3。表表 3-3评价区域环境空气质量引用的监测数据一览表评价区域环境空气质量引用的监测数据一览表监测点位监测点位污染物污染物平均时间平均时间评评189、价价标标准准/（g/m)）监测浓度范围监测浓度范围（g/m)）超标率超标率/%达标情况达标情况xx姚明织带饰品非甲烷总烃小时值2000110-320/达标 65 有限公司G1田埔村 G2非甲烷总烃小时值2000110-290/达标图图 3-1 引用的环境空气质量监测点位图引用的环境空气质量监测点位图根据上表表 3-3 引用的xx姚明织带饰品有限公司厂区和田埔村非甲烷总烃现状监测数据可知，项目所在区域非甲烷总烃污染物指标现状浓度能满足大气污染物综合排放标准详解（中国环境科学出版社国家环境保护局科技标准司）小时平均浓度限值要求，评价区域环境空气质量现状良好，具有一定的大气环境容量。3.4 声环境质190、量现状声环境质量现状本项目位于xx市xx区金岭北路 159-3、159-4 号 101 单元（xx区模具产业园一期），为进一步了解项目周围声环境质量现状，建设单位委托中测通标（厦门）检测技术有限公司对本项目周边噪声情况作现状监测，监测报告见附件附件 8，具体监测结果详见表表 3-4。表表 3-4各监测点位噪声监测值一览表各监测点位噪声监测值一览表监测监测点位点位测点位置测点位置时段时段监测结果（监测结果（dB(A)）标准值标准值（dB（A）主要声源主要声源声环境质量声环境质量1#厂界东侧昼间55.6昼间65环境噪声达标图例图例项目位置大气监测点 66 夜间47.4夜间55达标2#厂界南侧昼间5191、3.1昼间65环境噪声达标夜间48.8夜间55达标3#厂界西侧昼间54.6昼间65环境噪声达标夜间43.3夜间55达标4#厂界北侧昼间57.7昼间65环境噪声达标夜间48.1夜间55达标备注：企业建成后运营期昼夜均有生产根据现场监测，本项目厂界四周监测点昼间噪声现状值 53.1-57.7dB（A）之间，夜间噪声现状值 43.3-48.8dB（A）之间，厂界四周均可符合声环境质量标准（GB3096-2008）中的 3 类区标准（昼间65dB（A），夜间55dB（A）。项目所在区域声环境质量现状较好。3.5 生态环境生态环境本建设项目不新增用地且用地范围内无生态环境保护目标，不进行生态现状调查。3192、.6 电磁辐射电磁辐射本建设项目不属于电磁辐射类项目，无需开展电磁辐射现状监测与评价。3.7 地下水及土壤环境质量现状地下水及土壤环境质量现状本项目租用已建厂房进行建设，本项目工艺废液（有机废液、酸性废液、碱性废液、含砷废液）作危废处置，不外排；纯水制备机废水及氮化物（硅衬底外延片、碳化硅衬底外延片）纯水冲洗废水经综合污水处理站处理后由市政污水管网纳入后溪工业组团污水处理站处理；含砷废水经含砷废水处理设施处理后接入厂区综合污水处理设施总排放口后由市政污水管网纳入后溪工业组团污水处理站处理；生活污水经三级化粪池处理后由市政污水管网纳入后溪工业组团污水处理站处理。项目地块不涉及集中式饮用水水源和热193、水、矿泉水、温泉等特殊地下水资源保护区，厂房地面均已硬化，化学品仓库、危险废物暂存仓库、化学品使用车间设置防渗涂层，液体危险废物储存池及输送管道严格按照相关规定要求，设置硬化及多层防渗措施，不存在土壤、地下水环境污染途径，无需开展地下水、土壤环境质量现状调查。67 环境保护目标3.9 环境保护目标环境保护目标1、大气环境、大气环境经现场踏勘：本项目厂界外 500m 范围内的大气环境保护目标为山仔社、新村白领里、土楼社。2、声环境、声环境本项目厂界外 50m 声环境保护目标范围内无敏感点。3、地下水环境、地下水环境本项目厂界外500米范围内不存在地下水集中式饮用水水源和热水、矿泉水、温泉等特殊地194、下水资源。4、生态环境、生态环境项目用地范围内无生态环境保护目标。项目周边主要环境保护目标详见表表 3-5，环境保护目标分布图见附图附图 5。表表 3-5 主要环境保护目标主要环境保护目标一览表一览表名称名称坐标坐标/m保护对象保护对象保护内容保护内容环境功能区环境功能区相对厂相对厂址方位址方位相对厂址相对厂址距离距离/mXY环境空气1600山仔社居住区GB3095-2012二类功能区E160264-48新村白领里居住区SE270-45-127土楼社居住区SW138声环境1600山仔社居住区GB3096-20082 类功能区E160备注：以项目所在厂房东南角为坐标原点（0，0）污染物排放控制标195、准3.10 污染物排放控制标准污染物排放控制标准1、废水污染物排放标准、废水污染物排放标准本项目工艺废液（有机废液、酸性废液、碱性废液、含砷废液）作危废处置，不外排；纯水制备机废水及氮化物（硅衬底外延片、碳化硅衬底外延片）纯水冲洗废水经综合污水处理站处理后由市政污水管网纳入后溪工业组团污水处理站处理；含砷废水经含砷废水处理设施处理后接入厂区综合污水处理设施总排放口后由市政污水管网纳入后溪工业组团污水处理站处理；生活污水经三级化粪池处理后由市政污水管网纳入后溪工业组团污水处理站处理。根据xx市水污染物排放标准（DB35/322-2018）中第 5.2.2 章节“出水排入建成运行的区域污水处 68196、 理站的排污单位，应当进行预处理并达到国家或xx省有关规定，其污染物的排放控制要求可以由排污单位与区域污水处理站根据其污水处理能力商定执行相应排放限值，并报xx市或驻区环境保护主管部门备案”。从严执行，外排生产废水排入市政污水管网前水质执行电子工业水污染物排放标准（GB39731-2020）表 1 间接排放标准；生活污水排入市政污水管网前水质执行污水综合排放标准（GB8978-1996）表 4 三级标准（NH3-N 执行 GB/T31962-2015污水排入城镇下水道水质标准中的 B 等级标准）。后溪工业组团污水处理站排放执行厦门市水污染物排放标准（DB35/322-2018）表 2 中 A 197、级排放标准。2、废气污染物排放标准、废气污染物排放标准项目废气：项目生产过程中产生的氮氧化物、氯化氢、硫酸雾、氟化物执行xx市大气污染物排放标准（DB35/323-2018）表 1 排放限值；氨排放执行恶臭污染物排放标准（GB14554-93）表 2 排放标准污染物排放标准；非甲烷总烃执行xx市大气污染物排放标准（DB35/323-2018）表 2 和表 3 排放限值。3、噪声物排放标准、噪声物排放标准项 目 营 运 期 厂 界 噪 声 执 行 工 业 企 业 厂 界 环 境 噪 声 排 放 标 准（GB12348-2008）3 类标准限值。4、固废排放标准、固废排放标准项目营运期工业固体废物198、在厂区内暂存执行 一般工业固体废物贮存和填埋污染控制标准（GB18599-2020）；危险废物在厂区内暂存执行 GB18597-2001危险废物贮存污染控制标准 及其 2013 年修改单要求。生活垃圾处置执行 中华人民共和国固体废物污染环境防治法（2020 年 9 月 1 日起实施）的“第四章生活垃圾”之规定。固废同时执行 2020 年 4 月 29 日修订的中华人民共和国固体废物污染环境防治法要求。综上，污染物排放标准值见表表 3-6。69 表表 3-6 污染物排放标准值污染物排放标准值类类别别污染源污染源污染物污染物标准值标准值单位单位标准来源标准来源废水生活污水pH69无量纲xx市水污染199、物排放标准（DB35/322-2018）污染物排放要求及有关规定（间接排放）污水综合排放标准（GB8978-1996）表 4 三级排放标准CODCr500mg/LBOD5300mg/LSS400mg/LNH3-N45mg/L污水排入城镇下水道水质标准（GB/T31962-2015）表 1 中 B 级标准生产废水pH69无量纲企业废水总排放口电子工业水污染物排放标准（GB39731-2020）表 1间接排放标准（其中 BOD5 执行 污水综合排放标准（GB8978-1996）表 4 三级排放标准）CODCr500mg/LBOD5300mg/LSS400mg/LNH3-N45mg/L总磷8.0阴离200、子表面活性剂 LAS20总砷0.5mg/L车间或生产设施排放口废气生产废气氮氧化物有组织最高允许排放浓度200mg/m3xx市大气污染物排放标准（DB35/323-2018）表 1 标准有组织最高允许排放速率0.62kg/h排气筒高度15m封闭设施外无组织排放监控浓度限值0.24mg/m3单位周界无组织排放监控浓度限值0.12mg/m3氯化氢有组织最高允许排放浓度30mg/m3xx市大气污染物排放标准（DB35/323-2018）表 1 标准有组织最高允许排放速率0.20kg/h排气筒高度15m 70 封闭设施外无组织排放监控浓度限值0.4mg/m3单位周界无组织排放监控浓度限值0.2mg/m201、3硫酸雾有组织最高允许排放浓度10mg/m3xx市大气污染物排放标准（DB35/323-2018）表 1 标准有组织最高允许排放速率1.2kg/h排气筒高度15m封闭设施外无组织排放监控浓度限值1.2mg/m3单位周界无组织排放监控浓度限值0.6mg/m3氟化物有组织最高允许排放浓度5mg/m3xx市大气污染物排放标准（DB35/323-2018）表 1 标准有组织最高允许排放速率0.08kg/h排气筒高度15m封闭设施外无组织排放监控浓度限值0.04mg/m3单位周界无组织排放监控浓度限值0.02mg/m3氨有组织最高允许排放速率37kg/h恶臭污染物排放标准（GB14554-93）表 2 202、排放标准排气筒高度41m非甲烷总烃有组织最高允许排放浓度60mg/m3xx市大气污染物排放标准（DB35/323-2018）表 2 标准与表 3 排放限值标准有组织最高允许排放速率1.8kg/h排气筒高度15m封闭设施外无组织排放监控浓度限值2.0mg/m3单位周界无组织排放监控浓度限值4.0mg/m3噪声厂界四周噪声昼间 65dB(A)夜间 55dB(A)工业企业厂界环境噪声排放标准(GB12348-2008)3 类标准固体废物一般固体废物中华人民共和国固体废物污染环境防治法要求，在厂区内暂存执行 一般工业固体废物贮存和填埋污染控制标准（GB18599-2020）要求。危险废物中华人民共和国203、固体废物污染环境防治法要求，在厂区内暂存执行 GB18597-2001危险废物贮存污染控制标准及其 2013 年修改单要求。71 生活垃圾中华人民共和国固体废物污染环境防治法（2020 年 9 月 1 日起实施）的“第四章生活垃圾”之规定总量控制指标3.11 总量控制指标总量控制指标1、总量控制因子按照国务院关于印发“十三五”生态环境保护规划的通知（国发201665号）通知，“十三五”期间，国家对总量控制规划进行了调整，将“化学需氧量（COD）和氨氮（NH3-N）、二氧化硫（SO2）、氮氧化物（NOx）等 4 种主要污染物实行排放总量控制计划管理，在重点地区、重点行业推进挥发性有机物总量控制，204、对沿海 56 个城市及 29 个富营养化湖库实施总氮总量控制，总磷超标的控制单元以及上游相关地区实施总磷总量控制”。根据项目污染物实际排放情况，项目固体废物不自行处理，所以不设置固体废物总量控制指标，确定本项目总量控制因子如下：废水污染物：化学需氧量、氨氮；废气污染物：硝酸雾（氮氧化物）、盐酸雾（氯化氢）、硫酸雾、氟化物、氨、非甲烷总烃。2、排污权核定根据xx市主要污染物排放权指标核实管理办法（试行）、xx市排污权有偿使用和交易管理办法（2018 年 10 月 13 日修订）和xx省环保厅关于进一步明确排污权工作有关问题的通知（闽环保财201722 号）等文件：排污权是指排污单位按照国家或者地205、方规定的现行污染物排放标准，以及污染物排放总量控制要求，在一定期限内允许排放的主要污染物的种类和数量；初始排污权是指依法建成投产或通过环境影响评价审批的工业排污单位通过核定分配或交易取得的主要污染物总量控制指标；新增排污权是指xx省人民政府关于推进排污权有偿使用和交易工作的意见（试行）实施后（2014 年 5 月 23 日实施）新（改、扩）建项目需取得的主要污染物总量控制指标；可交易排污权是指工业排污单位和集中式水污染治理单位可用于出让的主要污染物总量控制指标；现阶段实施排污权有偿使用和交易的污染物为 COD、NH3-N、SO2、NOx。本项目为新建项目，无初始或后续获得的排污权。72 3、总206、量控制指标项目总量控制指标见表表 3-7，项目的总量以本环境影响报告表报批生态环境主管部门批复的总量为准。表表 3-7项目污染物排放总量指标项目污染物排放总量指标废水污染物名称污水总量（t/a）企业出厂排放口达标排放要求水质净化厂达标排放要求新增出厂控制指标(t/a)新增排污权指标(t/a)浓度(mg/L)排放量(t/a)浓度(mg/L)排放量(t/a)生活污水COD1309.55000.6548300.03930.6548/NH3-N450.05891.50.00490.0589/含砷废水、纯水制备废水、纯水冲洗废水COD3289.835001.6449300.09871.64490.098207、7NH3-N450.1481.50.00490.1480.0049废气污染物名称排放控制标准（mg/m3）排放量（t/a）新增控制总量（t/a）新增交易总量（t/a）氮氧化物有组织2000.0000004990.000000499/氯化氢有组织300.00000001830.0000000183/硫酸雾有组织100.00000002520.0000000252/氟化物有组织50.01265706150.0126570615/非甲烷总烃有组织600.03310.0331/氨有组织/0.0000979050.000097905/无组织/0.00000083350.0000008335/合计/0.0208、0009873850.0000008335/根据xx市排污权有偿使用和交易管理办法（试行）的实施细则（厦环规(2017)5 号）：政府委托xx股权交易中心设立排污权交易平台，实施交易管理。本项目生产废水和生活污水分别处理后各自进入市政污水管网，分开排放。73 新增的废水污染物指标为化学需氧量（COD）和氨氮（NH3-N）总量指标；新增的废气污染物为硝酸雾（氮氧化物）、盐酸雾（氯化氢）、硫酸雾、氟化物、氨、非甲烷总烃，无二氧化硫（SO2）、氮氧化物（NOx）总量指标。根据xx市生态环境局关于印发xx市生态环境总体准入要求的通知（厦环评【2021】10 号）和关于加强xx区新阳片区排放 VOCs 209、建设项目环境监管的工作方案的通知（厦环评【2021】1 号）：“涉新增 VOCs 项目，应实行 VOCs 区域内倍量削减替代，其中xx区新阳片区内工业园区企业的区域有效削减量3与新增排放量比例不小于 2 倍；全市除新阳片区外的其他工业园区不低于 1.5 倍，其中省、市重点重大项目不低于 1.2 倍”。本项目为新建项目，位于xx区模具产业园一期内，参照文件执行，本项目削减量与新增排放量替代比值不小于 1.5 倍。废气污染物 VOCs 排放量为 0.0331t/a，区域削减量应为新建设项目 0.0331t/a 排放量的 1.5 倍即 0.0497t/a，由审批部门在政府收储的 VOCs 削减量调剂210、。表表 3-8 项目废气排放情况一览表项目废气排放情况一览表污染物污染物排放量（排放量（t/a）削减替代倍削减替代倍数数区域调剂总量（区域调剂总量（t/a）VOCS0.03311.50.0497表表 3-9涉涉 VOCs 建设项目排放总量控制情况自查表建设项目排放总量控制情况自查表地区地区xx市xx区项项目目基基本本信信息息企业名称企业名称xx(xx)光电科技有限公司地址地址xx市xx区金岭北路 159-3、159-4 号 101 单元（xx区模具产业园一期）建设项目名称建设项目名称xx(xx)光电科技有限公司化合物半导体外延材料的产业化项目建设性质建设性质新建环评类别环评类别报告表本工程本工211、程 VOCS 产生量产生量0.0945t/a废气处理设施工艺废气处理设施工艺蜂窝活性炭吸附处理设备废气处理设施效率废气处理设施效率65%本工程本工程 VOCS 削减量削减量0.0614t/a本工程本工程 VOCS 排放量排放量（有组织）（有组织）0.0331t/a本工程本工程 VOCS 排放量排放量（无组织）（无组织）/74 四、主要环境影响和保护措施施工期环境保护措施本项目为租赁已建现有厂房，施工期主要为简单的装修后进行设备安装和调试，无土建施工。施工期的主要污染源及采取的措施有：废水为施工人员生活污水，依托现有厂房内卫生间，不会对周边环境造成污染影响。废气主要为装修过程中的粉尘和装修涂料废212、气，企业施工期拟采取的措施有：禁止散装类建筑材料无包装进场；装修产生的建筑垃圾及时清理；存放时加盖防尘网，适时洒水抑尘；使用环保型涂料，确保室内的通风换气；涂料空桶由原材料厂家回收再利用。固废主要为施工人员生活垃圾，依托厂区内生活垃圾桶收集，委托环卫部门每天清运；建筑垃圾堆放在指定位置，按照 xx市建筑废土管理办法（2015年 12 月 31 日修正）中相关规定交由有资质单位外运处置。噪声：严格执行建筑施工场界环境噪声排放标准（GB12523-2011）相关规定，合理安排施工时间，严禁午间、夜间施工，合理布局施工现场，物料进场仅在白天进行，选用低噪声设备进行施工，安装过程中采取基础减振、设备隔213、声等综合降噪措施。综上，施工期间，企业建设单位加强施工过程中的粉尘、噪声、振动、废水和建筑垃圾等管理，通过采取上述合理的措施后，施工过程基本不会对周边环境造成不良影响，且项目施工期较短，上述污染随着施工期的结束而消失。75 运营期环境影响和保护措施1、废水、废水1.1 废水达标情况分析废水达标情况分析（1）废水污染源强分析）废水污染源强分析项目运营期间废水来源于生产废水和职工生活污水。全厂生产废水主要为：工艺废液、纯水制备机废水、氮化物（硅衬底外延片、碳化硅衬底外延片）纯水冲洗废水、含砷废水。项目工艺废液（有机废液、酸性废液、碱性废液、含砷废液）作危废处置，不外排；纯水制备机废水及氮化物（硅衬214、底外延片、碳化硅衬底外延片）纯水冲洗废水经综合污水处理站处理后由市政污水管网纳入后溪工业组团污水处理站处理；含砷废水经含砷废水处理设施处理后接入厂区综合污水处理设施总排放口后由市政污水管网纳入后溪工业组团污水处理站处理；生活污水经三级化粪池处理后由市政污水管网纳入后溪工业组团污水处理站处理。纯水制备废水纯水制备废水中污染物以 TDS 为主，基本不含其它污染物，自来水中 TDS含量约为90mg/L，根据纯水制备率推测纯水制备废水的TDS含量约为225mg/L，制备废水产生量为 2233.05t/a（约 7.4435t/d）；项目纯水制备机废水及氮化物纯水冲洗废水经综合污水处理站处理后由市政污水管215、网纳入后溪工业组团污水处理站处理。含砷废水含砷废水 1034.94t/a（约 3.4498t/d）。本项目拟设计及建设含砷废水处理设施（工艺：“过滤器+强碱性阴离子树脂交换器”；处理能力：5t/d），对照排污许可证申请与核发技术规范电子工业（HJ1031-2019）表 B.2 电子行业排污单位废水污染防治推荐可行技术参考表，含砷废水采用的“过滤器+强碱性阴离子树脂交换器”属于“离子交换法”，是可行技术。类比新磊半导体科技（苏州）股份有限公司新增年产 9 万片化合物半导体外延晶片的生产技术改造项目环境影响报告书（2022 年）（主要从事化合物半导体外延晶片的生产加工）中的现有项目监测报告（苏州康216、恒检测技术有限公司，报告编号：KH-H2202022，监测时间：2022 年 2 月 10 日）中纯水冲洗废水的进水水质，本项目生产废水水 76 质为 pH：8.4mg/L、CODcr：210mg/L、SS：65mg/L、氨氮：9.48mg/L、总磷：0.139mg/L、总砷 0.0000068mg/L。根据业主建设单位提供的信息，本项目拟建的含砷废水处理设施设计日处理水量为 5t，满足环评日处理 3.4498t/d 的要求。根据类比同行业，“离子交换法”处理工艺对废水污染物的 CODcr、SS、氨氮、总磷的处理效率分别为 70%、54%、38%、10%，项目含砷废水产排情况详见表表4-1，含217、砷废水处理后达电子工业水污染物排放标准（GB 39731-2020）表 1间接排放标准（其中 BOD5执行污水综合排放标准（GB8978-1996）表 4 三级标准）后，通过市政污水管网纳入后溪工业组团污水处理站进行处理，后溪工业组团污水处理站处理达到xx市水污染物排放标准（DB35/322-2018）表 2 中 A 级排放标准。氮化物（硅衬底外延片、碳化硅衬底外延片）纯水冲洗废水纯水冲洗废水为 2254.89t/a（约 7.5163t/d）。本项目拟设计及建设厂区综合污水处理设施（工艺：“酸碱中和”；处理能力：15t/d），对照排污许可证申请与核发技术规范电子工业（HJ1031-2019）表218、 B.2 电子行业排污单位废水污染防治推荐可行技术参考表，废水采用“中和调节法”是可行技术。类比新磊半导体科技（苏州）股份有限公司新增年产 9 万片化合物半导体外延晶片的生产技术改造项目环境影响报告书（2022 年）（主要从事化合物半导体外延晶片的生产加工）中的现有项目监测报告（苏州康恒检测技术有限公司，报告编号：KH-H2202022，监测时间：2022 年 2 月 10 日）中纯水冲洗废水的进水水质，本项目生产废水水质为 pH：8.4mg/L、CODcr：210mg/L、SS：65mg/L、氨氮：9.48mg/L。项目纯水制备机废水及纯水冲洗废水经综合污水处理站处理后由市政污水管网纳入后溪219、工业组团污水处理站处理。根据建设单位提供资料，本项目拟建的厂区综合污水设施设计日处理水量为 15t，满足环评日处理纯水制备机废水及纯水冲洗废水 14.9598t/d 的要求。根据类比同行业，“酸碱中和”处理工艺对废水污染物的 CODcr、BOD5、SS、氨氮的处理效率分别为 68%、54%、38%、37%，项目纯水冲洗废水产排情况详见表表 4-1，项目纯水制备机废水及纯水冲洗废水处理后达电子工业水污染物排放标准（GB 39731-2020）表 1 间接排放标准（其中 BOD5执行污水综合排放标准（GB8978-1996）表 4 三级标准）后，通过市政污水管网纳入后溪工业组团污水处理站进行处理，220、后溪工 77 业组团污水处理站处理达到xx市水污染物排放标准（DB35/322-2018）表2 中 A 级排放标准。生活污水项目运营期职工生活污水产生量为 1309.5t/a（4.365t/d），经厂房配套的三级化粪池预处理后排入市政污水管网纳入后溪工业组团污水处理站处理。查阅第一次全国污染源普查城镇生活源产排污系数手册，生活污水水质情况大体为：CODcr：500mg/L、BOD5：250mg/L、SS：400mg/L、NH3-N：40mg/L。项目生活污水排入三级化粪池处理，可预测进入化粪池的废水污染物浓度为：CODcr：245.4474mg/L、BOD5：122.7237mg/L、SS：1221、96.3579mg/L、NH3-N：19.6358mg/L、TDS：114.5487mg/L，化粪池对 CODcr、BOD5、SS、氨氮的去除率为 20.3%、21.2%、47%、3.1%；参照刘毅梁发表的武汉市住宅小区化粪池污染物去除效果调查与分析中得出的结论，化粪池对 SS 的去除率为 47%，项目生活污水经化粪池预处理须达 GB8978-1996污水综合排放标准表 4 三级标准，氨氮排放浓度参照 污水排入城镇下水道水质标准（GB/T31962-2015）表 1B 级标准后，通过市政污水管网纳入后溪工业组团污水处理站进行处理，后溪工业组团污水处理站处理达到 xx市水污染物排放标准（DB35222、/322-2018）表 2 中 A 级排放标准。本项目废水排放状况见表表 4-1。表表 4-1 项目废水污染物产生量和排放量情况一览表项目废水污染物产生量和排放量情况一览表类型项目废水量t/aCODBOD5SSNH3-NTDS总磷总砷废水源强工艺废液产生量（t/a）79.3155作危废处置，不外排生活污水产生浓度（mg/L）-245.4474122.7237196.357919.6358/产生量（t/a）1309.50.32140.16070.25710.0257/含砷废水产生浓度（mg/L）-210/659.48/1.39/产生量（t/a）1034.94 0.2173/0.06730.009223、8/0.0014ND纯水制备废水及纯产生浓度（mg/L）-210/659.48/1.39/产生量2254.89 0.6909/0.21450.0313/78 水冲洗废水（t/a）生活污水处理后外排标准排放标准（mg/L）-50030040045/控制排放量（t/a）1309.50.65480.39290.52380.0589/预测化粪池处理后处理效率-20.3%21.2%47%3.1%/排放浓度（mg/L）-195.621896.7063104.069719.0271/排放量（t/a）1309.50.25260.12660.13630.0249/是否达标-达标达标达标达标/含砷废水“过滤器+强224、碱性阴离子树脂交换器”处理效率-70%/54%38%/10%/排放浓度（mg/L）-63/29.95.8776/1.251 0.0000068排放量（t/a）1034.94 0.0652/0.03090.0061/0.0013ND是否达标-达标/达标达标/纯水制备废水及纯水冲洗废水“酸碱中和”处理效率-68%/38%37%/排放浓度（mg/L）-67.2/40.35.9724/ND排放量（t/a）2254.89 0.2211/0.13260.0196/是否达标-达标达标达标达标/达标/水质净化厂尾水生活污水排放浓度（mg/L）-306101.5/排放量（t/a）1309.50.03930.00225、790.01310.002/含砷废水纯水制备废水及纯水冲洗废水排放浓度（mg/L）-306101.5/ND排放量（t/a）3289.83 0.09870.01970.03290.0049/ND 79 80 运营期环境影响和保护措施（2）废水类别、污染物种类、污染防治设施及排放口基本情况）废水类别、污染物种类、污染防治设施及排放口基本情况项目废水类别、污染物种类、污染防治设施及排放口基本情况一览表见表表 4-2。表表 4-2 废水类别、污染物种类、污染防治设施及排放口基本情况一览表废水类别、污染物种类、污染防治设施及排放口基本情况一览表废水废水类别类别污染物种污染物种类类排放标准排放标准污染治理226、设施污染治理设施排放口基本情况排放口基本情况污染治理设施污染治理设施名称及工艺名称及工艺是否为可是否为可行技术行技术排放口排放口编号编号排放口排放口名称名称地理坐标地理坐标废水排放废水排放量量/（万万 t/a）排放去排放去向向排放规律排放规律排放口排放口类型类型经度经度纬度纬度生活污水pH、COD、BOD5、SS、氨氮、TDS污水综合排放标准（GB8978-1996）表 4 三级标准（NH3-N 执行GB/T31962-2015 污水排入城镇下水道水质标准中的 B 等级标准）三级化粪池（厌氧生物处理）是否DW001生活污水排放口118 度 0 分52.704 秒24度39分12.888 秒0.227、13095后溪工业组团污水处理站间歇排放，流量不稳定，但有规律，且不属于周期性规律一般排放口含砷废水总砷电子工业水污染物排放标准（GB39731-2020）表 1 间接排放标准含砷废水处理设施是否DW002含砷废水排放口（车间排放口）118 度 0 分52.465 秒24度38分46.159 秒0.103494后溪工业组团污水处理站间歇排放，流量不稳定，但有规律，且不属于周期性规律一般排放口纯水制备废水及纯水冲洗废水pH、COD、BOD5、SS、氨氮、总磷电子工业水污染物排放标准（GB39731-2020）表 1 间接排放标准（其中 BOD5 执行污水综合排放标准（GB8978-1996）表 228、4 三级排放标准）厂内综合污水处理设施是否DW003企业废水总排放口118 度 0 分52.861 秒24度38分13.584 秒0.225489后溪工业组团污水处理站间歇排放，流量不稳定，但有规律，且不属于周期性规律一般排放口 81（3）监测要求）监测要求建设单位应根据排污单位自行监测技术指南总则（HJ819-2017）要求制定，运营期水环境监测计划，详见表表 4-3。表表 4-3 运营期水环境监测计划一览表运营期水环境监测计划一览表序号序号类别类别污染源或处理设施污染源或处理设施监测因子监测因子排放标准值排放标准值监测点位监测点位监测频次监测频次1生活污水纯水制备废水及生活污水依托园区现有229、三级化粪池处理达标后经市政污水管网纳入后溪工业组团污水处理站处理2含砷废水含砷废水处理设施（“过滤器+强碱性阴离子树脂交换器”），处理能力为5t/d总砷电子工业水污染物排放标准（GB39731-2020）表1间接排放标准含砷废水排放口1次/季度3纯水制备废水、纯水冲洗废水厂内综合污水处理设施（“酸碱中和”），处理能力为15t/dpH、COD、BOD5、SS、氨氮、总磷电子工业水污染物排放标准（GB39731-2020）表1间接排放标准（其中BOD5执行污水综合排放标准（GB8978-1996）表4三级排放标准）企业废水总排放口1次/年 82 运营期环境影响和保护措施1.2 废水处理措施可行性废230、水处理措施可行性1、生产废水生产废水治理治理工艺工艺（1）含砷废水项目含砷废水 1034.94t/a（约 3.4498t/d）。本项目拟设计及建设含砷废水处理设施（工艺：“过滤器+强碱性阴离子树脂交换器”；处理能力：5t/d），含砷废水经含砷废水处理设施处理后接入厂区综合污水处理设施总排放口后由市政污水管网纳入后溪工业组团污水处理站处理。项目含砷废水处理设施处理能力可满足项目废水处理需求。项目含砷废水采取处理工艺流程见图图 4-1。图图 4-1废水处理工艺流程图废水处理工艺流程图过滤器：本项目废水处理工艺中过滤器采用 PP 棉，可有效过滤废水中的大颗粒悬浮物。强碱性阴离子树脂交换器：离子交换树231、脂是带有官能团（有交换离子的活性基团）、具有网状结构、不溶性的高分子化合物。通常是球形颗粒物。离子交换树脂分类属酸性的应在名称前加“阳”，分类属碱性的，在名称前加“阴”。本项目采用强碱性阴离子树脂。这类树脂含有强碱性基团，如季胺基（亦称四级胺基）NR3OH（R 为碳氢基团），能在水中离解出 OH-而呈强碱性。这种树脂的正电基团能与溶液中的阴离子吸附结合，从而产生阴离子交换作用。这种树脂的含砷废水过滤器强碱性阴离子树脂交换器含砷废水排放口（车间排放口）企业总排放口 83 离解性很强，在不同 pH 下都能正常工作。它可用强碱（如 NaOH）进行再生。高价离子通常被优先吸附，而低价离子的吸附较弱。在232、同价的同类离子中，直径较大的离子的被吸附较强。离子交换树脂大量运用于水处理领域，用于水中的各种阴阳离子的去除。目前，离子交换树脂主要应用于火力发电厂、原子能、半导体、电子工业等。（2）纯水制备废水及纯水冲洗废水项目制备废水产生量为 2233.05t/a（约 7.4435t/d），纯水冲洗废水为 2254.89t/a（约 7.5163t/d），合计 4487.94（约 14.9598t/d），本项目拟设计及建设综合污水处理设施（工艺：“酸碱中和”；处理能力：15t/d），纯水制备机废水及纯水冲洗废水经综合污水处理站处理后由市政污水管网纳入后溪工业组团污水处理站处理。项目厂区综合污水设施处理能力可233、满足项目废水处理需求。项目生产废水采取处理工艺流程见图图 4-2。图图 4-2 废水处理工艺流程图废水处理工艺流程图废水经过格栅拦截大分子悬浮物进入调节池，调节水量水质，之后用泵提升进入加药混凝池，调节 PH 后去除大部分金属物。中间水池沉淀后出水经过精密过滤器及吸附塔活性炭的吸附后，使废水达标出水。酸/碱液调节池清洗废水PH 调整池中间水池砂滤罐标准排放口 84（3）生活污水项目纯水制备废水主要污染物为 TDS，产生的纯水制备废水及生活污水通过三级化粪池进行预处理，依托厂区三级化粪池对 CODcr、BOD5、氨氮的去除率为20.3%、21.2%、3.1%；参照刘毅梁发表的武汉市住宅小区化粪池234、污染物去除效果调查与分析中得出的结论，化粪池对 SS 的去除率为 47%，纯水制备废水与生活污水共同排入化粪池后得到稀释，经化粪池处理的水质情况大体为 CODcr：195.6216mg/L、BOD5：96.7063mg/L、SS：104.0697mg/L、NH3-N：19.0271mg/L、TDS：114.5487mg/L。项目生活污水经三级化粪池预处理后达污水综合排放标准（GB8978-1996）表 4 三级排放标准，氨氮排放浓度参照污水排入城镇下水道水质标准（GB/T31962-2015）表 1B 级标准后，通过市政污水管网纳入后溪工业组团污水处理站。2、废水处理工艺可行性分析、废水处理工235、艺可行性分析对照排污许可证申请与核发技术规范电子工业（HJ1031-2019）表 B.3 电子行业排污单位废水污染防治推荐可行技术参考表，本项目采用的废水处理工艺均属于可行技术，详见表表 4-4。表表 4-4 生产生产废水污染防治可行性技术对照表废水污染防治可行性技术对照表废水名称废水名称污染物项目污染物项目可行技术可行技术本项目拟采取治理工艺本项目拟采取治理工艺技术技术可行性可行性含重金属生产废水总砷化学还原法，电解法，化学沉淀法，离子交换法，反渗透法离子交换法可行厂区综合污水（生产废水处理设施出水、生活污水处理设施出水）化学需氧量、氨氮、总磷生化法，中和调节法中和调节法可行根据废水处理工艺236、设计单位提供资料，本项目采用的废水处理工艺污染物去除效率见表表 4-5。表表 4-5 废水处理设施去除效率一览表废水处理设施去除效率一览表序序号号名称名称 项目项目 COD(mg/L)BOD5(mg/L)SS(mg/L)氨氮氨氮(mg/L)TDS(mg/L)总磷总磷(mg/L)总砷总砷(mg/L)1三级化粪池进水245.4474122.7237196.357919.6358/出水195.621896.7063104.069719.0271/处理效率20.3%21.2%47%3.1%/85 2过滤器+强碱性阴离子树脂交换器进水210/659.48/1.39/出水63/29.95.8776/1.2237、510.0000068去除效率70%/54%38%/10%/3酸碱中和进水210/659.48/1.39/出水67.2/40.35.9724/ND去除效率68%/38%37%/4生活污水排放标准50030040045/5生产废水排放标准50030040045/8.00.5综上所述，本项目生产废水处理方案技术上可行。3、依托后溪工业组团污水处理站处理可行性依托后溪工业组团污水处理站处理可行性（1）项目废水排放及接管情况）项目废水排放及接管情况后溪工业组团污水处理站服务范围是：xx区后溪工业组团内的工业企业废水及生活污水，后溪工业组团范围：东北至新 324 国道、西抵规划横一路、东南至后溪大道。本238、项目位于后溪工业组团内，在后溪工业组团污水处理站服务范围，后溪工业组团污水汇水划分示意图见图图 4-3。86 图图 4-3 后溪工业组团污水汇水划分示意图后溪工业组团污水汇水划分示意图（2）xx后溪工业组团规划调整环境影响报告书（）xx后溪工业组团规划调整环境影响报告书（2018.10）中后溪工）中后溪工业组团污水处理站排放预测结论业组团污水处理站排放预测结论根据xx后溪工业组团规划调整环境影响报告书（2018.10）“地表水环境影响预测与评价”预测结果：“各规划情景下后溪工业组团周边水体因受水质本底影响，许溪和后溪的水质均无法满足地表水类标准的要求。情景一虽然污水处理站尾水达标排放，但排放的239、污染物浓度值仍高于地表水环境质量标准（GB3838-2002）中类水域标准，排放口下游的拐仔溪、许溪和后溪河段水质较规划实施前有所恶化。情景二、情景三由于污水排放标准提高至城市污水再生利用城市杂用水水质（GB/T18920-2002）、城市污水再生利用景观环境用水水质（GB/T18921-2002）、城镇污水处理厂污染物排放标准（GB18918-2002）一级 A 标准以及地表水环境质量标准（GB3838-2002）类的较严者（砷按 0.1mg/L 控制），污水处理站尾水符合水环境功能区要求。因此，从减缓规划调整方案对周边水体的环境影响角度出发，本评价建议近期后溪本项目位置本项目污水走向 87240、 污水处理站应进行升级改造，污水排放标准应提高至城市污水再生利用城市杂用水水质（GB/T18920-2002）、城市污水再生利用景观环境用水水质（GB/T18921-2002）、城镇污水处理厂污染物排放标准（GB18918-2002）一级 A 标准以及 地表水环境质量标准（GB3838-2002）类的较严者（砷按 0.1mg/L控制），远期结合区域中水管网的建设，推进再生水利用，减少水资源消耗和入河污染负荷，缓解周边水污染物超标问题。与此同时，xx区应加快推进拐仔溪、许溪和后溪等河道的环境综合整治工作，使上述河流水质满足地表水环境质量标准（GB3838-2002）类标准要求。”评价结论：“规划241、调整方案实施后，规划区内的工业企业和生活污水经后溪污水处理站处理后，部分回用于区内华电后溪能源站、路面清洗及苎溪景观水补给等，剩余尾水就近排入拐仔溪。在污水处理量上，后溪污水处理站可以满足规划区的废水处理需求。在污水水质上，后溪污水处理站现有工程已考虑工业废水和生活污水的处理需求，可确保规划区废水排放不会对后溪污水处理站的处理工艺产生冲击影响。排污方案不会加剧后溪工业组团周边地表水的污染负荷和水环境影响。考虑规划区周边的许溪和后溪水质现状不能满足地表水环境质量标准（GB3838-2002）类标准的要求，且再生水利用设施未建设等制约因素，本评价推荐如下排水方案：近期，后溪污水处理站应进行升级改造242、，污水排放标准应提高至城市污水再生利用城市杂用水水质（GB/T18920-2002）、城市污水再生利用景观环境用水水质（GB/T18921-2002）、城镇污水处理厂污染物排放标准（GB18918-2002）一级 A 标准以及地表水环境质量标准（GB3838-2002）类的较严者（砷按 0.1mg/L 控制），远期结合区域再生水利用设施和中水管网的建设，推进再生水利用，规划区绿地、道路浇洒用水和华电后溪能源站等可采用后溪污水处理站提供的中水，区域再生水利用率不得低于20%，进一步减少水资源消耗和入河污染负荷，缓解周边水污染物超标问题。与此同时，xx区应加快推进拐仔溪、许溪和后溪等河道的环境综合243、整治工作，使上述河流水质满足地表水环境质量标准（GB3838-2002）类保准要求。”（3）水量影响分析水量影响分析 88 从水量上分析，后溪工业组团污水处理站设计污水处理量为 2.0 万 t/d，项目排放量仅约 9.6935t/d，占后溪工业组团污水处理站总处理量的 0.0346%，本项目建成后，废水经厂区污水处理设施处理达标后，排入后溪工业组团污水处理站不会对其造成水力冲击负荷。（4）水质、水质、处理工艺分析处理工艺分析后溪工业组团主导产业为机械装备、零部件制造、金属制品加工、电子产品设计与研发、电子元器件及组件制造等，主要污染因子 COD、BOD5、SS、pH、TP 等；后溪工业组团污水244、处理站处理工艺选用“良型序批式活性污泥法（MSBR）+滤布滤池处理系统”处理工艺，主要处理设施（酸化水解池、厌氧缺氧池、SBR池及滤布滤池等）分别配套 24 套，可灵活运营管理。后溪工业组团污水处理站处理工艺流程见图图 4-4。根据后溪工业组团污水处理站近期检测报告（报告编号：TJT21010607），后溪工业组团近期废水出水水质见表表4-6，其出水水质已达到地表水类IV类标准。表表 4-6 后溪工业组团污水处理站后溪工业组团污水处理站废水废水出水水质检测结果出水水质检测结果序号序号检测项目检测项目出口出口地表水地表水 IV 类标准类标准采样采样日期日期数据来源数据来源1pH(无量纲)7.48245、6-92021.1.13报 告 编 号：TJT21010607）2色度(倍)2153悬浮物5104化学需氧量15305五日生化需氧量3.866氨氮1.321.57总磷0.060.38总氮8.48109阴离子表面活性剂ND-0.0610.310动植物油类ND/11石油类ND0.512粪大肠菌群ND1000注：标准来源：xx后溪工业组团规划修编环境影响报告书（2018 年）要求：城市污水再生利用城市杂用水水质（GB/T18920-2020）、城市污水再生利用景观环境用水水质（GB/T18921-2019）、xx市水污染物排放标准（GB35/322-2018）表 2A 级排放限值及 地表水环境质量标246、准（GB3838-2002）中类标准（砷按 0.1mg/L 控制）的较严值。查阅xx省污染源监测信息综合发布平台于2020年10月27日发布的xx省2020年第三季度重点污染源执法监测废水数据表可知，后溪工业组团污水处理站尾水排放各项污染物指标均能达标排放，处理效果保持优良。后溪工业组团污水处理站出水水质情况截图见下图。89 本项目工艺废液（有机废液、酸性废液、碱性废液、含砷废液）作危废处置，不外排；纯水制备机废水及氮化物（硅衬底外延片、碳化硅衬底外延片）纯水冲洗废水经综合污水处理站处理后由市政污水管网纳入后溪工业组团污水处理站处理；含砷废水经含砷废水处理设施处理后接入厂区综合污水处理设施总排247、放口后由市政污水管网纳入后溪工业组团污水处理站处理；生活污水经三级化粪池处理后由市政污水管网纳入后溪工业组团污水处理站处理，废水主要污染物为 pH、CODcr、BOD5、SS、NH3-N、TDS，成分较简单，可符合后溪工业组团污水处理站的进水要求，不会对后溪工业组团污水处理站运行负荷和处理工艺产生影响，也不会对城市污水管道产生腐蚀影响，不会影响水质净化厂的正常运行和处理效果。废水依托后溪工业组团污水处理站进行处理可。90 机械粗格栅机械细格栅曝气沉砂池集水井泵污泥脱水外运20000m3/d生物除臭系统达标排放改良型 SBR消毒池滤布滤池预留再生水接口污泥池鼓风机投加碱液紫外线消毒次氯酸钠标准排248、放口再生水池达标排放气浮池混凝反应池园区污水泵除磷药剂栅渣、砂外运图图4-4后溪后溪工业组团污水处理站处理工艺工业组团污水处理站处理工艺2、废气、废气2.1 废气达标情况分析废气达标情况分析 91 2.1.1 废气污染源强分析废气污染源强分析根据项目工艺流程分析，生产过程中有少量挥发废气，主要为使用无机试剂(硫酸、盐酸、硝酸等)过程中产生的无机废气，使用有机试剂过程中产生的有机废气，以非甲烷总烃作为评价指标。项目拟设置通风橱和万向管收集废气，经废气处理设施处理后高空排放。根据业主提供资料，项目各废气产生环节为分开进行，无重叠现象。各环节清洗结束后，废液经密封管道流入废液储存池，废液存储过程无废249、气外逸。项目废气产生情况采用环境统计手册（四川科学技术出版社，1989 年）中推荐的统计公式计算：Gz=M（0.000352+0.000786V）PF式中：Gz污染物量，kg/h；M液体分子量，HCl 为 36.5、HF 为 20、氨为 17、硫酸为 98、硝酸为 63；V蒸发液体表面上的空气流速，（m/s），通风橱柜中取 4.5m/s（本项目无机废气通风橱柜内共设置 9 个收集口，加上管道损耗等，收集口风量约为 508m3/h，截面积 0.0314m2）；腔体擦拭工序取 0.6m/s（风量为 1000m3/h，集气罩截面积 0.16m2）；P相应于液体温度下空气中的饱和蒸汽分压力（mmHg）250、。项目工作温度为 20；F蒸发面的面积，m2。项目清洗机液面为 0.09m2，腔体擦拭面面积取 0.09m2。项目衬底及托盘清洗过程中清洗机密闭，无废气外逸，废气主要来源于溶液配制及清洗后开盖取件过程。除使用硫酸工序外，其余工序溶液配制时间很短，液体浓度以配置完成后浓度计算。硫酸配制过程随浓度降低不再挥发酸雾，每道衬底及托盘清洗废气单次排放时间以 0.05h（3min）计。1、砷磷化物（、砷磷化物（pHEMT 外延片、外延片、APD 外延片）外延片）：（1）GaAs/InP 衬底清洗、配制废气GaAs/InP 衬底清洗液采用27%氨水、30%双氧水、超纯水按一定比例（4:1:9）92 进行配制251、，产生的废气污染物为氨，使用的氨水浓度为 27%，配制后溶液中氨浓度为 8%，液体表面蒸汽分压为 0.08024mmHg。此道清洗液配置次数为 2000 次/a，则排放时间为 100h/a，计算可得氨在通风橱柜中的产生速率为 0.000477442kg/h，产生量为 0.0000477442t/a。（2）第一道托盘浸泡清洗、配制废气第一道托盘浸泡液采用纯水、30%双氧水、95%硫酸按照 3:1:2 的比例配置，产生的废气污染物为硫酸雾，使用的硫酸浓度为 95%，液体表面蒸汽分压为0.000187mmHg。此道清洗液配置次数为 12 次/a，则排放时间为 0.6h/a，计算可得硫酸雾在通风橱柜中252、的产生速率为 0.0000063333kg/h，产生量为 0.0000000038t/a。（3）第二道托盘浸泡清洗、配制废气第二道托盘浸泡液采用纯水、36%盐酸、70%硝酸按照 2:1:1 的比例配置，产生的污染物为氯化氢及硝酸雾（氮氧化物）。使用的盐酸浓度为 36%，配制后溶液中盐酸浓度为 9%，液体表面蒸汽分压为 0.004mmHg。使用的硝酸浓度为 70%，配制后溶液中氨浓度为 17%，液体表面蒸汽分压为 0.09mmHg。此道清洗液配置次数为 12 次/a，则排放时间为 0.6h/a，计算可得氯化氢的产生速率为0.0000511015kg/h，产生量为 0.0000000307t/a；253、氮氧化物在通风橱柜中的产生速率为 0.00138604kg/h，产生量为 0.0000008316t/a。（4）腔体擦拭废气擦拭液采用纯水、27%氨水、30%双氧水按照 10:1:1 的比例进行配置，产生的废气污染物为氨，使用的氨水浓度为 27%。项目腔体擦拭时间为 8h/次，擦拭频率为12次/a，由于擦拭时间较长，氨气视为全部挥发，此道工序氨水用量为24L/a（0.0211t/a），则氨产生量为 0.0000000097t/a，产生速率为 0.000101111kg/h。2、氮化物（硅衬底外延片、碳化硅衬底外延片）：氮化物（硅衬底外延片、碳化硅衬底外延片）：（1）Si/SiC 衬底第一道衬底254、有机清洗、第二道衬底有机清洗、第三道衬底有机清洗废气有机清洗是将衬底依次经过丙酮无水乙醇异丙醇，丙酮、无水乙醇、异丙醇分别放置在有机清洗台专用超声容器内。清洗过程均在负压的通风橱中进行，挥发的有机废气通过专用管道进入有机排风管。93 由表表 2-9 可知，项目有机废气（以非甲烷总烃计）总产生量共为 0.0945t/a。有 机 清 洗 过 程 非 甲 烷 总 烃 产 生 速 率 为 0.0131kg/h，产 生 浓 度 约 为3.2813mg/m3。（2）第一道衬底酸清洗、配制废气第一道衬底酸清洗：20L/次，250 次/a。第一道衬底酸清洗采用 95%硫酸、30%双氧水（4:1）的比例配置，产255、生的废气污染物为硫酸雾，使用的硫酸浓度为 95%，液体表面蒸汽分压为 0.000187mmHg。此道清洗液配置次数为 250 次/a，则排放时间为 12.5h/a，计算可得硫酸雾在通风橱柜中的产生速率为 0.0000064143kg/h，产生量为 0.0000000802t/a。（3）第二道衬底酸清洗、配制废气第二道衬底酸清洗：5.3L/次，3500 次/a。第二道采衬底酸清洗液采用 36%盐酸、30%双氧水、超纯水按照 1:1:5 的比例进行配置。使用的盐酸浓度为 36%，液体表面蒸汽分压为 0.004mmHg。此道清洗液配置次数为 3500 次/a，则排放时间为175h/a，计算可得氯化氢256、在通风橱柜中的产生速率为 0.0000511015kg/h，产生量为0.0000089428t/a。（4）BOE 清洗、配制废气BOE 清洗：20L/次，250 次/a。BOE 清洗液采用标准 BOE 溶液（34%NH4F、7%HF、59%H2O），产生的废气污染物为氟化物，使用的氢氟酸浓度为 7%，配制后溶液中氢氟酸浓度为 7%，液体表面蒸汽分压为 34.44mmHg。此道清洗液配置次数为 250 次/a，则排放时间为 12.5h/a，计算可得氢氟酸在通风橱柜中的产生速率为 0.241086888kg/h，产生量为 0.042190205t/a。（5）衬底碱清洗、配制废气衬底碱清洗：0.53257、L/次，3500 次/a。衬底碱清洗液采用 27%氨水、30%双氧水、超纯水按照 1:1:5 的比例进行配置，产生的废气污染物为氨，使用的氨水浓度为27%，配制后溶液中氨浓度为 8%，液体表面蒸汽分压为 0.08024mmHg。此道清洗液配置次数为 3500 次/a，则排放时间为 175h/a，计算可得氨在通风橱柜中的产生速率为 0.000477442kg/h，产生量为 0.0000835523t/a。（6）腔体清洗、配制废气 94 腔体清洗：18.75L/次，20 次/a。擦拭液采用 27%氨水、30%双氧水、超纯水（1:1:10）的比例进行配置，产生的废气污染物为氨，使用的氨水浓度为 27258、%。项目腔体擦拭时间为 8h/次，擦拭频率为 20 次/a，由于擦拭时间较长，氨气视为全部挥发，此道工序氨水用量为氨水用量为 37.5L/a（0.033t/a），则氨产生量为0.003570102t/a，产生速率为 0.000571216kg/h。（7）第三道托盘清洗*（托盘酸清洗液 IV）、配制废气第三道衬底托盘清洗*：22.5L/次，20 次/a。第三道托盘酸清洗液采用纯水、36%盐酸、70%硝酸按照 2:1:1 的比例配置，产生的污染物为氯化氢及硝酸雾（氮氧化物）。使用的盐酸浓度为 36%，配制后溶液中氨浓度为 9%，液体表面蒸汽分压为 0.004mmHg。使用的硝酸浓度为 70%，配制259、后溶液中氨浓度为 17%，液体表面蒸汽分压为 0.09mmHg。此道清洗液配置次数为 20 次/a，则排放时间为 0.6h/a，计算可得氯化氢的产生速率为 0.0000506814kg/h，产生量为 0.0000000304t/a；氮氧化物在通风橱柜中的产生速率为 0.00138604kg/h，产生量为 0.0000008316t/a。本项目衬底清洗、托盘清洗过程均在负压的通风橱柜中进行，废气收集效率取 100%；腔体擦拭采用可移动的集气罩收集，收集效率取 80%，未收集部分无组织排放。无机废气经集气设施收集导入 SDG 活性炭吸附装置处理达标后通过一根41m 高的排气筒（DA001）排放，拟260、设风机总风量为 8000m3/h，其中腐蚀测试及清洗工序各自通风橱柜风量为 500m3/h，腔体擦拭集气罩风量为 1000m3/h。项目所用的活性炭内含 SGD-2 型吸附剂，SGD-2 型吸附剂对酸性废气的吸附效率约为70%-90%，本项目废气吸附效率取 70%。有机废气经集气设施收集导入蜂窝活性炭吸附装置处理达标后通过一根 41m高的排气筒（DA002）排放，拟设风机总风量为 4000m3/h，参考资源节约与环保2020 年第 1 期工业固定源挥发性有机物治理技术效果研究（蒋卫兵），采用活性炭吸附处理 VOCs 处理效率最高为 76.4%，考虑到实际过程中处理效率的衰减情况，本评价活性炭吸261、附装置处理效率保守按 65%计。本项目废气产排情况见表表 4-7。95 运营期环境影响和保护措施表表 4-7 项目废气产排情况一览表项目废气产排情况一览表产生工序产生工序污染物种污染物种类类产生情况（产生情况（t/a）处理前处理前处理后处理后产生量（产生量（t/a）产生速率产生速率（kg/h）产生浓度产生浓度（mg/m3）排放量排放量（t/a）排放速率排放速率（kg/h）排放浓度排放浓度（mg/m3）一、砷磷化物（一、砷磷化物（pHEMT 外延片、外延片、APD 外延片）外延片）GaAs/InP 衬底清洗、配制氨0.0000477442 有组织 0.0000477442 0.000477442262、0.059680250.000014320.000143233 0.017904125第一道托盘浸泡清洗、配制硫酸雾0.0000000038 有组织 0.00000000380.00000633330.0007916667 0.0000000011 0.0000018333 0.000229167第二道托盘浸泡清洗、配制氯化氢0.0000000307 有组织 0.00000003070.00005110150.0063958333 0.0000000092 0.0000153333 0.001916667氮氧化物 0.0000008316 有组织 0.0000008316 0.00138604263、0.17330.0000002495 0.0004158333 0.051979167腔体擦拭氨0.0000000097有组织 0.00000000780.0000000812 0.000101042 0.0000000023 0.000000024 0.0000029948无组织 0.00000000190.0000000198/0.0000000019 0.0000000198/二、二、氮化物（硅衬底外延片、碳化硅衬底外延片）氮化物（硅衬底外延片、碳化硅衬底外延片）Si/SiC 衬底第一道衬底有机清洗、第二道衬底有机清洗、第三道衬底有机清洗非甲烷总烃0.0945有组织0.09450.013264、13.28130.03310.00461.15第一道衬底酸清洗、配制硫酸雾0.0000000802 有组织 0.00000008020.00000641430.0008020.0000000241 0.0000019280.000241第二道衬底酸清洗、配制氯化氢0.0000089428 有组织 0.00000894280.00005110150.0063877143 0.0000026828 0.0000153303 0.0019162857BOE 清洗、配制氟化物0.042190205有组织0.042190205 0.24108688830.13590.0126570615 0.07232265、606574.0408衬底碱清洗、配制氨0.0000835523 有组织 0.0000835523 0.000477442 0.05968021430.000025065690.0001432326 0.0179040714腔体清洗、配制氨0.003570102有组织 0.0028560816 0.017850512.23130.0008568245 0.0053551531 0.6693941406无组织0.000714020.0045/0.0007140204 0.0044626275/第三道托盘清洗*（托盘酸清洗液 IV）、配制氯化氢0.0000000304 有组织 0.00000003266、040.00005068140.0063333333 0.0000000091 0.0000151667 0.0018958333氮氧化物 0.0000008316 有组织 0.0000008316 0.001386040.173250.0000002495 0.0004158333 0.0519791667 96（2）源强核算结果及相关参数）源强核算结果及相关参数根据污染源源强核算技术指南准则（HJ8842018），本项目废气污染源源强核算结果及相关参数详见表表 4-8。表表 4-8 废气污染源源强核算结果及相关参数一览表废气污染源源强核算结果及相关参数一览表工序工序装置装置污染污染源源污染267、物污染物污染物产生污染物产生治理措施治理措施污染物排放污染物排放排放排放时间时间h核算核算方法方法产生浓度产生浓度（mg/m3）产生量（产生量（t/a）工艺工艺效率效率%排放量（排放量（t/a）废气排废气排放量放量（m3/h）排放浓度排放浓度（mg/m3）排放速率排放速率（kg/h）收收集集处处理理GaAs/InP 衬底清洗、配制清洗机DA001排气筒氨经验系数法0.05968025 0.0000477442集气系统+SDG 活性炭吸附装置+一根41m 高排气筒DA001100 700.0000143280000.017904125 0.000143233 100第一道托盘浸泡清洗、配制清洗机268、DA001排气筒硫酸雾经验系数法0.00079166670.0000000038100 70 0.000000001180000.000229167 0.0000018333 0.6第二道托盘浸泡清洗、配制清洗机DA001排气筒氯化氢经验系数法0.00639583330.0000000307100 70 0.000000009280000.001916667 0.0000153333 0.6GaAs/InP 衬底清洗、配清洗机DA001排气筒氮氧化物经验系数法0.17330.0000008316100 70 0.000000249580000.051979167 0.0004158333 0.269、6腔体擦拭腔体DA001排气筒氨经验系数法0.000101042 0.000000007880 70 0.0000000023480000.0000029948 0.00000002496腔体无组织氨经验系数法/0.0000000019/0.0000000019/0.0000000198 96Si/SiC 衬底第一道衬底有机清洗、第二道衬底有机清洗、第三道衬底有机清洗清洗机DA002排气筒非甲烷总烃经验系数法3.28130.0945集气系统+蜂窝活性炭吸附装置+一根41m 高排气筒DA002100 650.033140001.150.00467200 97 第一道衬底酸清洗、配制清洗机DA00270、1排气筒氯化氢经验系数法0.0008020.0000000802集气系统+SDG 活性炭吸附装置+一根41m 高排气筒DA001100 70 0.000000080280000.0002410.000001928 12.5第二道衬底酸清洗、配制清洗机DA001排气筒氯化氢经验系数法0.00638771430.0000089428100 70 0.000008942880000.00191628570.0000153303 175BOE 清洗、配制清洗机DA001排气筒氟化物经验系数法30.13590.042190205100 700.04219020580004.04080.072326065271、7 12.5衬底碱清洗、配制清洗机DA001排气筒氨经验系数法0.05968021430.0000835523100 70 0.000083552380000.01790407140.0001432326 175第三道托盘清洗*（托盘酸清洗液IV）、配制清洗机DA001排气筒氯化氢经验系数法2.23130.0028560816100 70 0.002856081680000.66939414060.00535515310.6清洗机DA001排气筒氮氧化物经验系数法/0.00071402100 700.000714028000/0.0044626275腔体清洗、配制腔体DA001排气筒氨经验系数272、法0.00633333330.000000030480 70 0.000000030480000.00189583330.0000151667160腔体无组织氨经验系数法0.173250.0000008316/0.0000008316/0.05197916670.0004158333（3）废气类别、污染物种类、污染防治设施及排放口基本情况）废气类别、污染物种类、污染防治设施及排放口基本情况项目废气类别、污染物种类、污染防治设施及排放口基本情况一览表见表表 4-9。表表 4-9 废气类别、污染物种类、污染防治设施及排放口基本情况一览表废气类别、污染物种类、污染防治设施及排放口基本情况一览表废气废273、气类别类别污染物污染物种类种类排放标准排放标准污染治理设施污染治理设施排放口基本情况排放口基本情况污染治理设施名污染治理设施名 是否为可是否为可排放口排放口排放口排放口地理坐标地理坐标高度高度内径内径温度温度排放口类排放口类 98 称及工艺称及工艺行技术行技术编号编号名称名称（m）（m）（）型型经度经度纬度纬度恶臭氨恶臭污染物排放标准（GB14554-93）表 2 排放标准集气系统+SDG活性炭吸附装置+一根 41m 高排气筒（DA001）是否DA001无机废气排放口118 度 1 分6.001 秒24度39分5.912 秒410.5常温一般排放口无机废气氯化氢xx市大气污染物排放标准（DB3274、5/323-2018）表 1标准是否硫酸雾是否氟化物是否氮氧化物是否有机废气非甲烷总烃xx市大气污染物排放标准（DB35/323-2018）表 2标准与表 3 排放限值标准集气系统+蜂窝活性炭吸附装置+一根 41m 高排气筒（DA002）是否DA002有机废气排放口118 度 1 分6.041 秒24度39分5.993 秒410.5常温一般排放口（4）监测要求）监测要求建设单位应根据排污单位自行监测技术指南总则（HJ819-2017）要求制定，运营期环境空气监测计划，详见表表 4-10。表表 4-10 运营期环境空气监测计划一览表运营期环境空气监测计划一览表序号序号类别类别污染源或处理设施污染275、源或处理设施监测因子监测因子排放标准值排放标准值监测点位监测点位监测频次监测频次1恶臭污染物集气系统+SDG活性炭吸附装置+一根41m高排气筒（DA001）氨恶臭污染物排放标准（GB14554-93）表 2 排放标准有组织最高允许排放速率 37kg/hDA001 排气筒出口1次/年2无机废气盐酸雾（氯化氢）xx市大气污染物排放标准（DB35/323-2018）表1 标准有组织最高允许排放浓度 30mg/m3DA001 排气筒出口1次/年最高允许排放速率 0.20kg/h密闭设施外无组织监控点浓度限值 0.4mg/m3通风橱柜旁 99 企业边界监控点浓度限值 0.2mg/m3厂界3硫酸雾xx市大276、气污染物排放标准（DB35/323-2018）表1 标准有组织最高允许排放浓度 10mg/m3DA001 排气筒出口1次/年最高允许排放速率 1.2kg/h密闭设施外无组织监控点浓度限值 1.2mg/m3通风橱柜旁企业边界监控点浓度限值 0.6mg/m3单位周界上下风向4氟化物xx市大气污染物排放标准（DB35/323-2018）表1 标准有组织最高允许排放浓度 5mg/m3DA001 排气筒出口1次/年最高允许排放速率 0.08kg/h密闭设施外无组织监控点浓度限值 0.04mg/m3通风橱柜旁企业边界监控点浓度限值 0.02mg/m3厂界5硝酸雾（氮氧化物）xx市大气污染物排放标准（DB3277、5/323-2018）表1 标准有组织最高允许排放浓度 200mg/m3DA001 排气筒出口1次/年最高允许排放速率 0.62kg/h密闭设施外无组织监控点浓度限值 0.24mg/m3通风橱柜旁企业边界监控点浓度限值 0.12mg/m3厂界6有机废气集气系统+蜂窝活性炭吸附装置+一根41m高排气筒（DA001）非甲烷总烃xx市大气污染物排放标准（DB35/323-2018）表2、3 标准有组织最高允许排放浓度 60mg/m3DA002 排气筒出口1次/年最高允许排放速率 1.8kg/h密闭设施外无组织监控点浓度限值 2.0mg/m3通风橱柜旁企业边界监控点浓度限值 4.0mg/m3厂界注：当278、环保设施运转异常或发生污染事故时，应及时进行有关监测。100 运营期环境影响和保护措施2.2 废气处理措施可行性废气处理措施可行性（1）废气收集方式合理性分析）废气收集方式合理性分析无机废气处理设施合理性分析项目溶液配制、衬底清洗、托盘清洗、腐蚀测试等工序均在负压的通风橱柜中进行，废气由通风橱柜收集经管道导入 SDG 活性炭吸附装置；腔体擦拭过程产生的废气通过集气罩收集导入 SDG 活性炭吸附装置，吸附材料为弱碱性的 SDG-2 型吸附剂，处理设施风机风量 8000m3/h，废气经 SDG 活性炭吸附设施处理达标后通过一根 41m 高的排气筒（DA001）高空排放。废气处理工艺流程见图图 4-279、5。集气系统SDG 活性炭吸附一根 41m 高排气筒 DA001无机废气图图 4-5 无无机废气机废气治理工艺流程图治理工艺流程图通过上述措施后废气可得到有效收集，项目废气收集措施可行。有机废气处理设施合理性分析本项目有机废气包括有机清洗时用有机试剂产生的 VOCs 有机废气。项目产生的 VOCs 有机废气统一以“非甲烷总烃”作为综合控制指标。项目设置通风橱及万向排气罩。项目使用的清洗液会挥发 VOCs 有机废气，以上集气设施收集有机废气后通过管道和风机引至屋顶通过一根 41m 高的排气筒（DA002）排放。排气总管风机风量约为 4000m3/h。经污染源分析，项目非甲烷总烃排放速率、排放浓度280、可符合xx市大气污染物排放标准（DB35/3232018）中的表 2 排放限值标准要求。因此本项目废气处理措施基本可行，其废气治理工艺流程图见图图 4-6。集气系统蜂窝活性炭吸附一根 41m 高排气筒 DA002有机废气图图 4-6 有有机废气机废气治理工艺流程图治理工艺流程图通过上述措施后废气可得到有效收集，项目废气收集措施可行。101（2）设计处理参数）设计处理参数废气处理设施主要设计参数见表表 4-11。表表 4-11 废气处理设施主要设计参数一览表废气处理设施主要设计参数一览表序序号号废气类别废气类别设施名称设施名称参数名称参数名称参数内容参数内容1无机废气集气设施+SDG活性炭吸附装281、置+一根41m高的排气筒（DA001）引风机风量8000m3/h收集方式集气罩、通风橱柜SDG 吸附活性炭充填量3tSDG 吸附活性炭更换周期1 年去除效率70%进气温度常温出气温度常温排气筒一根，高 41m，编号为 DA0012有机废气集气设施+蜂窝活性炭吸附装置+一根41m 高的排气筒（DA002）引风机风量4000m3/h收集方式集气罩、通风橱柜吸附活性炭充填量0.8m3吸附活性炭更换周期1 年去除效率65%进气温度常温出气温度常温排气筒一根，高 41m，编号为 DA002（3）废气设施设计风量）废气设施设计风量无机废气设施设计风量项目无机废气收集系统配置 1 台引风机，风量为 8000282、m3/h，项目通风橱柜为负压设置，其中腐蚀测试及清洗工序各自通风橱柜风量为 500m3/h。项目腔体擦拭拟设的集气风量为 1000m3/h，拟设置的集气罩半径为 0.3m，可计算截面风速为 0.983m/s，可有效对废气进行收集，因此项目配置的风机设计风量能满足收集要求。有机废气设施设计风量项目有机废气收集系统配置 1 台引风机，风量为 4000m3/h，项目通风橱柜为负压设置，其中清洗工序各自通风橱柜风量为 500m3/h，拟设置的集气罩半径为0.3m，可计算截面风速为 1.795m/s，可有效对废气进行收集，因此项目配置的风机设计风量能满足收集要求。102（4）废气治理设施处理原理）废气治283、理设施处理原理SDG 活性炭吸附活性炭吸附原理原理：SDG 吸附剂是无机物，主要用于吸附各种酸性气体，如盐酸、硫酸、磷酸等，属于酸碱中和反应，属于化学吸附剂。这种物质的比表面积比较大，其对酸性气体及氨气具有较好的吸附效果。当酸气在净化气中的扩散达到 SDG 吸附剂表面的吸附力场时，固定在 SDG 吸附剂表面，然后与活性成分反应形成新的中性盐物质，储存在 SDG 吸附剂结构中，SGD-2型吸附剂对酸性废气的吸附效率约为 70%-90%。图图 4-7SDG 吸附剂吸附剂图图蜂窝活性炭吸附蜂窝活性炭吸附原理原理：活性炭是一种很细小的炭粒有很大的表面积，而且炭粒中还有更细小的孔毛细管。这种毛细管具有很284、强的吸附能力，由于炭粒的表面积很大，所以能与气体（杂质）充分接触。当废气由风机提供动力，负压进入吸附箱后进入活性炭吸附层，由于活性炭吸附剂表面上存在着未平衡和未饱和的分子引力或化学键力，因此当活性炭吸附剂的表面与气体接触时，就能吸引气体分子，使其浓聚并保持在活性炭表面，此现象称为吸附。利用活性炭吸附剂表面的吸附能力，使废气与大表面的多孔性活性炭吸附剂相接触，废气中的污染物被吸附在活性炭表面上，使其与气体混合物分离，净化后的气体通过废气设施出口，在风机作用下通过连接的排气筒高空排放。活性炭吸附箱是一种干式废气处理设备，由箱体和填装在箱体内的吸附单元组成，活性炭吸附介质使用一段时间后会达到饱和，需285、定期进行更换活性炭。103 图图 4-8 蜂窝活性炭蜂窝活性炭图图图图 4-9 活性炭吸附原理活性炭吸附原理图图 4-10活性炭吸附装置机构图活性炭吸附装置机构图 104 排气筒设置合理性根据xx市大气污染物排放标准（DB35/323-2018）6.1 排气筒与排放速率要求内容：“6.1.2 其他大气污染物排气筒高度不应低于 15m”。本项目共设置2 根废气排气筒，其中 1 根为无机废气排气筒（DA001），1 根为有机废气排气筒（DA002），排气筒高度均为 41m，可满足排气筒高度不小于 15m 的要求。（4）废气无组织排放控制措施）废气无组织排放控制措施项目溶液配制、衬底清洗、托盘清洗、286、腐蚀测试等工序均在负压的通风橱柜中进行，无废气外逸；腔体擦拭过程产生的废气通过可移动的集气罩收集，集气设施尽量贴近产生源头，加强废气收集效率。建设单位运营期加强废气处理设施的巡检维护，当生产设备开机生产时提前开启废气处理设施，生产设备关机后待废气收集处理完成再关闭废气处理设施，尽量减少人员进出车间，可减少废气无组织向外环境逸散，从源头上控制了废气污染物的无组织排放。因此，项目无组织排放控制措施可行。（5）废气排放影响分析）废气排放影响分析由表表 4-5 可知，正常排放下，本项目排气筒 DA001 排放口中氨的排放速率符合恶臭污染物排放标准（GB14554-93）表 2 排放标准，氮氧化物、氯化287、氢、硫酸雾、氟化物排放浓度及速率符合厦门市大气污染物排放标准（DB35/323-2018）表 1 中排放限值要求；排气筒 DA002 排放口非甲烷总烃的排放浓度及速率符合xx市大气污染物排放标准（DB35/323-2018）表 2 中排放限值要求。项目通风橱柜为负压状态，产生的废气可得到有效收集；腔体较大，采用可移动式集气罩收集，废气可得到有效收集；通过减少人员进出车间，加强设备维护，严格废气治理设施先开后关等措施后，可有效降低废气无组织排放。项目废气均经有效处理后达标排放，排气筒布置于远离敏感目标的车间西侧，根据预测，各项污染物排放浓度及速率远低于排放标准限值，大部分废气产生工序生产时间很短288、，项目入驻对东侧山仔社影响很小。综上，本项目投入运营后，产生的废气可得到有效收集，废气污染物均能达标排放，对区域环境空气质量及周边敏感目标产生的影响小。105（6）非正常排放情况下废气排放影响分析）非正常排放情况下废气排放影响分析当 SDG 活性炭吸附装置和蜂窝活性炭吸附装置发生故障导致废气未经进一步处理直接排放，对大气环境造成的影响较大，项目非正常排放污染物排放量核算见表表 4-12。表表 4-12 项目废气非正常排放排放量核算表项目废气非正常排放排放量核算表污染源非正常排放原因污染物非正常排放浓度/(mg/m3)非正常排放速率/(kg/h)单次持续时间/h年发生频次/次应对措施GaAs/I289、nP 衬底清洗、配制SDG活性炭吸附器失效氨0.0004774420.0004774420.0510-9定期对处理设备进行巡检维护，做好废气处理设施的管理台账第一道托盘浸泡清洗、配制硫酸雾0.00000633330.00000633330.0510-9第二道托盘浸泡清洗、配制氯化氢0.00005110150.00005110150.0510-9GaAs/InP 衬底清洗、配制氮氧化物0.001386040.001386040.0510-9腔体擦拭氨0.00000641430.00000008120.0510-9第一道衬底酸清洗、配制硫酸雾0.00000641430.00000641430.05290、10-9第二道衬底酸清洗、配制氯化氢0.00005110150.00005110150.0510-9BOE 清洗、配制氟化物0.2410868880.2410868880.0510-9衬底碱清洗、配制氨0.0004774420.0004774420.0510-9第三道托盘清洗*（托盘酸清洗液 IV）、配制氯化氢0.017850510.017850510.0510-9氮氧化物0.00633333330.00005068140.0510-9腔体清洗、配制氨0.173250.001386040.0510-9Si/SiC 衬底第一道衬底有机清洗、第二道衬底有机清洗、第三道衬底有机清洗蜂窝活性炭吸附器失291、效非甲烷总烃3.28130.01310.0510-9由表表 4-9 预测结果可知，非正常排放情况下（SDG 活性炭吸附装置和蜂窝活性炭吸附装置失效）废气污染物排放速率明显升高，污染物超标排放不但会给企 106 业带来大面额的超标排污税，还会对周边环境空气质量造成较大影响，因此，建设单位应对废气处理设施进行定期巡检和维护，定期更换吸附剂，做好污染防治设施台账记录，杜绝非正常排放情况的发生。3、噪声、噪声3.1 噪声污染源强分析噪声污染源强分析本项目的噪声源包括室外声源和室内声源。噪声污染源主要为设备运行时产生的机械噪声，采取设置减震垫、隔声等措施进行降噪，本项目室外噪声源见表表4-13，室内噪声292、源见表表 4-14。107 表表 4-13 本项目室外本项目室外噪声源一览表噪声源一览表序号噪声源台数声源源强声源控制措施空间相对位置/m运行时段（声压级/距声源距离）/（dB（A）/m）XYZ1空压机1 台80/1减震垫6781昼间注：以项目车间的东南角为坐标原点 x，y，z（0,0,0）表表 4-14 本本项目室内噪声项目室内噪声源源源强核算结果及相关参数一览表源强核算结果及相关参数一览表序序号号建筑建筑物名物名称称噪声源噪声源台台数数声源源强声源源强声源控声源控制措施制措施空间相对位置空间相对位置/m方位方位距室内距室内边界距边界距离离/m室内边界室内边界声级声级/dB(A)运行时段运行293、时段建筑物建筑物插入损插入损失失/dB(A)建筑物外噪声建筑物外噪声（声压级（声压级/距声源距距声源距离）离）/（dB（A）/m）XYZ声压级声压级/dB(A)建筑物外建筑物外距离距离/m1生产车间MBE 分子束外延设备6 台65/1减震垫318223028303212121521111111N545.98昼间1535.981S4043.3733.371W835.1525.151E3535.5625.561281N344.40昼间1534.401S3043.3733.401W1535.1525.151E1635.5625.5618121N337.92昼间1527.921S2835.5625.5294、61W3035.1525.151E5235.5625.561481N436.89昼间1526.891S2835.5625.561W1235.1525.151E1535.5625.561251N1335.98昼间1525.981S2535.5625.561W2137.9227.921E2335.5625.5616101N635.15昼间1525.151S2535.5625.561 108 W2535.9825.981E2335.5625.5612DCA 氮化物MBE 设备8 台65/1减震垫16211N2045.98昼间1530.981S2743.3728.371W2444.4029.401E2295、743.3728.37120211N1637.92昼间1522.921S2135.5620.561W1836.8921.891E2135.5620.56124211N2035.98昼间1520.981S2135.5620.561W2235.1520.151E2135.5620.56126211N2434.40昼间1519.401S2135.5620.561W2643.7028.701E2145.5630.56120141N3042.46昼间1527.461S2145.5630.561W2040.9825.981E1444.0829.08120101N2838.06昼间1523.061S553.296、0238.021W2035.9820.981E1042.0027.00130211N2045.98昼间1530.981S2444.4029.401W2843.0628.061E2444.3629.36130211N2050.98昼间1535.981S1851.8936.891W2449.4034.401E1255.4240.421 109 2衬底清洗甩干设备1 台70/1减震垫24212N434.40昼间1524.401S2535.5625.561W1235.1525.151E1435.5625.5613纯水机1 台70/1减震垫26210.1N343.70昼间1533.701S2545.56297、35.561W3135.1525.151E3235.5625.5614衬底甩干机1 台70/1减震垫30211.8N142.46昼间1532.461S2145.5635.561W2534.4024.401E3035.5625.5615氮气烘烤箱1 台70/1减震垫13181N136.89昼间1526.891S2635.5625.561W2035.1525.151E2635.5625.561注：以项目车间的中心为坐标原点 x，y，z（0,0,0）。110 运营期环境影响和保护措施3.2 噪声预测步骤噪声预测步骤建立坐标系，确定各声源坐标和预测点坐标，并根据声源性质以及预测点与声源之间的距离等情况298、，把声源简化成点声源。根据已获得的声源源强的数据和各声源到预测点的声波传播条件资料，计算出噪声从各声源传播到预测点的声衰减量，由此计算出各声源单独作用在预测点时产生的 A 声级（LAi）。将 LAi 按下式计算叠加，得到建设项目声源在预测点产生的等效声级贡献值（Leqg）：式中：Leqg建设项目声源在预测点的等效声级贡献值，dB(A)；LAii 声源在预测点产生的 A 声级，dB(A)；T预测计算的时间段，s；tii 声源在 T 时段内的运行时间，s。将计算结果与预测点的背景值叠加，叠加后的值为预测点的预测等效声级：)1010lg(100.10.1eqbeqgLLeqL式中：Leqg建设项目声299、源在预测点的等效声级贡献值，dB(A)；Leqb预测点的背景值，dB(A)。3.3 噪声预测模式噪声预测模式本评价采用环境影响评价技术导则声环境（HJ2.4-2021）中推荐的工业噪声预测计算模式，预测本项目各声源对预测点的影响规律和影响程度。工业声源有室外和室内两种声源，本工程噪声源位于室内和楼顶，室内声源可采用等效室外声源声功率级法进行计算。计算某一室内声源靠近围护结构处产生的倍频带声压级：RrQLLWp44lg10211式中：Lp1某一室内声源在靠近围护结构处产生的倍频带声压级，dB；Lw点声源声功率（A 计权或倍频带），dB；111 Q指向性因数；通常对无指向性声源，当声源放在房间中心300、时，Q=1；当放在一面墙的中心时，Q=2；当放在两面墙夹角处时，Q=4；当放在三面墙夹角处时，Q=8；R房间常数；R=S/(1)，S 为房间内表面面积，m2；为平均吸声系数；r声源到靠近围护结构某点处的距离，m。图 4-1室内声源等效为室外声源图例计算所有室内声源在围护结构处产生的 i 倍频带叠加声压级：NjLipijpTL11.01110lg10)(式中：LP1i(T)靠近围护结构处室内 N 个声源 i 倍频带的叠加声压级，dB；LP1ij室内 j 声源 i 倍频带的声压级，dB；N室内声源总数。在室内近似为扩散声场时，按下式计算出靠近室外围护结构处的声压级：)6()()(12iipipTL301、TLTL式中：LP2i(T)靠近围护结构处室外 N 个声源 i 倍频带的叠加声压级，dB；TLi围护结构 i 倍频带的隔声量，dB；然后将室外声源的声压级和透过面积换算成等效的室外声源，计算出中心位置位于透声面积（S）处的等效声源的倍频带声功率级。STLLpwlg10)(2按室外声源预测方法计算预测点处的 A 声级：在不能取得声源倍频带声功率级或倍频带声压级，只能获得 A 声功率级或某点的 A 声级时，可按下式作近似计算：ArLrLAA)()(0 112 miscbargratmdivAAAAAAA 可选择对 A 声级影响最大的倍频带计算，一般可选中心频率为 500Hz 的倍频带作估算。式中：302、A倍频带衰减，dB；Adiv几何发散引起的倍频带衰减，dB；Aatm大气吸收引起的倍频带衰减，dB；Agr地面效应引起的倍频带衰减，dB；Abar 声屏障引起的倍频带衰减，dB；Amisc其他多方面效应引起的倍频带衰减，dB。3.4 噪声排放影响分析噪声排放影响分析项目厂界噪声预测结果列入表表 4-15。表表 4-15 噪声衰减预测结果噪声衰减预测结果名称名称主要噪声主要噪声源与厂界源与厂界距离距离 m预测贡献预测贡献值值 dB(A)时段时段本底本底值值dB(A)叠加叠加值值dB(A)标准标准值值dB(A)达标达标情况情况厂界东侧13.549.69昼间57.0/65达标夜间48.2/55达标厂303、界南侧854.23昼间56.4/65达标夜间48.0/55达标厂界西侧1847.19昼间58.0/65达标夜间48.5/55达标厂界北侧1151.46昼间57.3/65达标夜间47.6/55达标项目运营期夜间不生产，根据上表预测结果可知，项目若在采取减震、车间墙体、空间距离衰减的情况下，运营期间厂界噪声可达工业企业厂界环境噪声排放标准（GB12348-2008）中的 3 类区标准限值要求。3.5 防治措施防治措施本项目拟采取的降噪措施有：（1）从声源上控制）从声源上控制根据本项目噪声源特征，优先选用低噪声或有采取隔声、消音的设备，从声源上降低设备本身的噪声。（2）从传播途径上降噪）从传播途径上304、降噪 113 生产时车间门窗尽量关闭，减少传播途径。设备安装时设置减震垫，空压机加装隔声罩，风机加装减震垫与隔声罩。加强设备维护，确保设备处于良好的运转状态，杜绝因设备不正常运转时产生的高噪声现象。（3）从平面布置上降噪）从平面布置上降噪合理布置生产设备，高噪声设备尽量远离厂界，生产工序远离敏感点布置。由预测结果可知，项目噪声采取以上防治措施后，再经建筑物阻隔、空间距离衰减，项目厂界噪声可达到 GB12348-2008工业企业厂界环境噪声排放标准3 类标准（昼间65dB(A)，夜间55dB(A)）排放。因此，项目采取的噪声污染防治措施有效、可行。（4）噪声噪声监测要求监测要求参照 HJ 819305、-20排污单位自行监测技术指南 总则制定项目噪声监测计划，详见表表 4-16。表表 4-16 运营期运营期声声环境监测计划一览表环境监测计划一览表序号序号类别类别污染源或处理设污染源或处理设施施监测因子监测因子排放标准值排放标准值监测点监测点位位监测频监测频次次1噪声减震垫、隔声罩等Leq(A)GB12348-2008工业企业厂界环境噪声排放标准3类标准限值昼间65dB(A)夜间55dB(A)厂界四周1次/季度4、固体废物、固体废物4.1 固体废物污染源分析固体废物污染源分析项目生产过程中产生的固体废物主要包括工业固体废物、危险废物和生活垃圾。（1）工业固体废物项目原料拆装及产品包装过程中会产306、生无危险性的包装废弃物，属于一般固体废物分类与代码（GB/T39198-2020）中 07 废复合包装类废物，代码为398-005-07，预计产生量为 1t/a，无危险性包装废弃物交由相关有主体资格和技术能力的单位回收利用。（2）危险废物 114 项目危险废物主要为有机废液、酸性废液、碱性废液、含砷废液、含砷废渣、废化学品包装物、擦拭抹布、废外延片、废 SDG 活性炭、废蜂窝活性炭。项目氮化物衬底有机清洗会产生有机废液，产生量约为 9.3555t/a，有机废液属于国家危险废物名录（2021 版）中“HW06 废有机溶剂与含有机溶剂废物”类危险废物，废物代码为 900-402-06。项目氮化物外307、延片酸清洗过程会产生酸性废液，酸性废液产生量为25.38t/a，酸性废液（水）属于国家危险废物名录（2021 版）中“HW34 废酸”类危险废物，废物代码为 398-005-34。项目腔体擦拭清洗、腐蚀性测试、碱性清洗、托盘清洗过程会产生碱性废液，碱性废液产生量为 25.26t/a，碱性废液（水）属于 国家危险废物名录（2021版）中“HW35 废碱”类危险废物，废物代码为 900-352-35。项目 GaAs/InP 衬底清洗、托盘浸泡、腐蚀性测试产生的废液为含砷废液，产生量约为 19.32t/a，含砷废液属于国家危险废物名录（2021 版）中“HW24含砷废物”类危险废物，废物代码为 26308、1-139-24。项目腔体清洗方式采用物理刮拭过程会产生含砷废渣，产生量约为 0.08t/a，含砷废渣属于国家危险废物名录（2021 版）中“HW49 其他废物”类危险废物，废物代码为 900-041-49。项目盐酸、硫酸、双氧水、氨水、硝酸、磷酸等化学品使用后产生的包装物属于危险废物，废化学品包装物属于 国家危险废物名录（2021 版）中“HW49其他废物”类危险废物，废物代码为 900-041-49，产生量为 0.63704t/a。化学品包装规格、包装物重量及产生情况见表表 4-17。表表 4-17 项目项目化学品包装物产生情况化学品包装物产生情况一览表一览表化学品名称使用量（L/a）包装309、规格（L/瓶）包装物重量（kg/个）包装物产生数量（个）包装物产生量（t/a）盐酸 HCl18040.26450.0117硫酸 H2SO444040.261100.0286双氧水 H2O2200740.265020.13052氨水 NH4OH535740.2613340.34684磷酸30040.26750.0195硝酸1800.50.253600.09合计/24640.63704项目腔体擦拭过程会产生沾染化学品的擦拭废布，其中砷磷化物（pHEMT 115 外延片、APD 外延片）腔体擦拭废布属于国家危险废物名录（2021 版）中“HW49 其他废物”类危险废物，废物代码为 900-041-4310、9，产生量约为 0.002t/a。氮化物（硅衬底外延片、碳化硅衬底外延片）腔体擦拭废布属于国家危险废物名录（2021 版）中“HW49 其他废物”类危险废物，废物代码为 900-041-49，产生量约为 0.004t/a。项目腐蚀测试后会产生表面沾染化学药品的废外延片，其中砷磷化物（pHEMT 外延片、APD 外延片）废弃外延片属于国家危险废物名录（2021版）中“HW49 其他废物”类危险废物，废物代码为 900-041-49，每年产生约100 片，产生量约为 0.0025t/a。氮化物（硅衬底外延片、碳化硅衬底外延片）废弃外延片属于国家危险废物名录（2021 版）中“HW49 其他废物”类311、危险废物，废物代码为 900-047-49，每年产生约 210 片，产生量约为 0.0053t/a。由废气治理章节分析可知，项目各项污染物产生量很小，但考虑 SDG 活性炭吸附效率会随着吸附物的增加而降低，故建议建设单位一年更换 1 次活性炭，则废活性炭产生量为 3.0035t/a（3t/a 活性炭+0.0035t/a 废气污染物），废活性炭属于国家危险废物名录（2021 版）中“HW49 其他废物”类危险废物，废物代码为 900-041-49。蜂窝活性炭吸附装置更换出的废活性炭属于国家危险废物名录（2021 版）中“HW49 其他废物”类危险废物，废物代码为 900-039-49。根据xx市312、环境保护局关于加强挥发性有机物污染防治（第三阶段）的通告（厦环控201826 号）可知：采用不具备脱附功能的吸法治理废气，每万 m3/h 设计风量的吸附剂填量应不小于 1m3。项目风机风量为 4000m3/h，则填量应不小于 0.4m3，本项目拟设置填装量为 0.8m3的活性炭吸附设备，活性炭密度一般为 0.5t/m3，则项目活性炭用量为 0.4t。项目有机废气的去除量约为 0.0614t/a，项目年工作日为 300d，则活性炭吸附量（理论计算）为 0.2047kg/d（0.0614t/a1000300d=0.2047kg/d）。根据杨芬、刘品华活性炭纤维在挥发性有机废气处理中应用的试验结果表313、明，每公斤活性炭可吸附 0.220.25kg 的有机废气，本项目取吸附值 0.25kg，则活性炭大约吸附488d 即可达到饱和（0.4t10000.250.2047kg/d=488d），即活性炭的饱和周期约为 488d，则大约每 488d 需要更换 1 次活性炭（每次更换 0.4t，体积 0.8m3，活性 116 炭密度约为 0.5t/m3），为确保达标排放，则建设单位一年至少更换 1 次。因此，项目废活性炭总量为 0.4614t/a（活性炭量 0.4614t/a=0.4t/a+废气量 0.0614t/a）。综上，项目危险废物产生情况见表表 4-18。表表 4-18 项目危险废物汇总一览表项目314、危险废物汇总一览表序序号号危险废危险废物名称物名称危险废危险废物类别物类别危险废物危险废物代码代码产生量产生量产生工产生工序及装序及装置置形形态态有害有害成分成分产产废废周周期期危危险险特特性性污染污染防治防治措施措施1有机废液HW06废有机溶剂与含有机溶剂废物900-402-069.3555有机清洗液体有机物每天C，T废碱、废酸、含砷废液、含砷废渣暂存于废液储存池，有机废液暂存于有机废液收集间，委托有相关资质的单位处置2碱性废液HW35废碱900-352-3525.26腔体擦拭清洗、衬底及托 盘 碱洗、腐蚀性测试液体氨水每天C，T3酸性废液HW34废酸398-005-3425.38Si 衬底315、及托盘清洗、腐蚀液体废酸每天C，T4含砷废液HW24含砷废物261-139-2419.32GaAs/InP衬底清洗液体总砷每天C，T5含砷废渣HW49其他废物900-041-490.08腔体清洗方式采用物理刮拭固体总砷每天C，T6砷磷化物（pHEMT外延片、APD 外延片）腔HW49其他废物900-041-490.002腔体擦拭固体总砷、残留双氧水、氨水每天C，T暂存于危废暂存仓库，117 体擦拭废布委托有相关资质的单位处置砷磷化物（pHEMT外延片、APD 外延片）废弃外延片HW49其他废物900-041-490.0025测试固体总砷、残留酸、碱每天T，C，R6氮化物（硅衬底外延片、碳化硅衬316、底外延片）腔体擦拭废布HW49其他废物900-041-490.004腔体擦拭固体残留双氧水、氨水1个月T7氮化物（硅衬底外延片、碳化硅衬底外延片）废弃外延片HW49其他废物900-041-490.0053测试固体总砷、残留酸、碱每天T，C，R8废化学品包装物HW49其他废物900-041-490.63704化学品使用固体残留酸、碱等每天T9废 SDG活性炭HW49其他废物900-041-493.0035废气处理固体无机废气、氨气1年T10废蜂窝活性炭HW49其他废物900-041-490.4614废气处理固体有机废气、氨气1年T注：危险特性 C 为腐蚀性、T 为毒性、I 为易燃性、R 为反应性317、In 为感染性。（3）生活垃圾生活垃圾的产生量由下式得出：GKN式中：G-生活垃圾产量（kg/d)；K-人均排放系数（kg/人天）；N-人口数（人）118 依照我国生活污染物排放系数，不住厂员工取 K=0.50kg/人d，项目职工 97人，不提供食宿，年工作 300d，则年产生量约为 14.55t/a，生活垃圾收集后统一交由环卫部门清运处置。项目固体废物的产生和处置情况详见表表 4-19。表表 4-19 项目固体废物产生量与处置措施一览表项目固体废物产生量与处置措施一览表序序号号污染物污染物产生量产生量（t/a）处置措施处置措施类别类别1无危险性包装废弃物1相关有主体资格和技术能力的单位回收318、利用工业固体废物2有机废液9.3555废碱、废酸、含砷废液、含砷废渣暂存于废液储存池，有机废液暂存于有机废液收集间，委托有相关资质的单位处置危险废物3废碱25.264废酸25.385含砷废液19.326含砷废渣0.08暂存于危废暂存仓库，委托有相关资质的单位处置7砷磷化物（pHEMT 外延片、APD 外延片）腔体擦拭废布0.0028氮化物（硅衬底外延片、碳化硅衬底外延片）腔体擦拭废布0.0049砷磷化物（pHEMT 外延片、APD 外延片）废弃外延片0.002510氮化物（硅衬底外延片、碳化硅衬底外延片）废弃外延片0.005311废化学品包装物0.6370412废 SDG 活性炭3.00351319、3废蜂窝活性炭0.461414生活垃圾14.55环卫部门统一收集清运生活垃圾合计99.0613/4.2 固废排放影响分析固废排放影响分析项目产生的工业固体废物的贮存和处理处置严格按照一般工业固体废物贮存和填埋污染控制标准（GB18599-2020）要求、危险废物贮存污染控制标准（GB18597-2001）及其修改单；生活垃圾集中分类收集后统一交由环卫部门清运处置。项目固体废物执行中华人民共和国固体废物污染环境防治法相关要求，项目固体废物均可得到无害化处置，不产生二次污染，对周围环境产生的影响很小。4.3 固废处理处置措施固废处理处置措施 119 本项目产生的无危险性包装废弃物交由相关有主体资格320、和技术能力的单位回收利用；项目危险废物存到一定量后委托有相关资质的单位处置；项目设置足够的垃圾桶收集生活垃圾，收集后的生活垃圾由环卫部门统一清运。项目工业固体废物的贮存和处理处置严格按照严格按照一般工业固体废物贮存和填埋污染控制标准（GB18599-2020）要求、危险废物贮存污染控制标准（GB18597-2001）及其修改单，固废同时执行中华人民共和国固体废物污染环境防治法相关要求。固体危险废物暂存在危险废物暂存间内，液体危险废物暂存于储存池内。项目液体储存池及废液收集管道相关防腐防渗措施要求如下：结构厚度不应小于 200mm。混凝土的抗渗等级不应低于 P8，且水池的内表面应涂刷水泥基渗透结321、晶型或喷涂聚脲等防水涂料，或在混凝土内掺加水泥基渗透结晶型防水剂。水泥基渗透结晶型防水涂料厚度不应小于 1.0mm。当混凝土内掺加水泥基渗透结晶型防水剂时，掺量宜为胶凝材料总量的1%2%。在涂刷防水涂料之前，水池应进行蓄水试验。项目危险废物暂存场所基本情况见表表 4-20，项目固体废物经妥善处理处置后，可得到无害化处置，不产生二次污染，对周围环境产生的影响很小。表表 4-20 项目危险废物贮存场所基本情况一览表项目危险废物贮存场所基本情况一览表序序号号贮存贮存场所场所名称名称危险废物危险废物名称名称危险废物类危险废物类别别危险废物危险废物代码代码位置位置设施设施规格规格贮存贮存方式方式贮存贮存322、能力能力贮贮存存周周期期1有机废液收集间有机废液HW06 废有机溶剂与含有机溶剂废物900-402-06车间内北侧化学品仓库旁1 个1m3密封罐装1t4 天2废液储存池碱性废液HW35 废碱900-352-35厂房北侧1 个1m3密封罐装1t4 天3酸性废液HW34 废酸398-005-341 个1m3密封罐装1t15天4含砷废液HW24 含砷废物261-139-241 个1m3密封罐装1t15天5危险含砷废渣HW49 其他废物900-041-49车间9m2密封桶装1t1 年 120 废物暂存仓库北侧中部6废化学品包装物HW49 其他废物900-041-49密封桶装1t1 年7砷磷化物（pHE323、MT外延片、APD 外延片）腔体擦拭废布HW49 其他废物900-041-49密封袋装1t1 年8氮化物（硅衬底外延片、碳化硅衬底外延片）腔体擦拭废布HW49 其他废物900-041-49密封袋装0.1t1 年9砷磷化物（pHEMT外延片、APD 外延片）废弃外延片HW49 其他废物900-047-49密封袋装0.1t1 年10氮化物（硅衬底外延片、碳化硅衬底外延片）废弃外延片HW49 其他废物900-041-49密封袋装0.1t1 年11废 SDG活性炭HW49 其他废物900-041-49密封袋装6t1 年12废蜂窝活性炭HW49 其他废物900-041-49密封袋装6t1 年根据 202324、0 年 4 月 29 日，十三届全国人大常委会第十七次会议审议通过修订，自 2020 年 9 月 1 日起施行的中华人民共和国固体废物污染环境防治法，建设单位需采取措施，减少固体废物的产生量，促进固体废物的综合利用，降低固体废物的危害性。（1）监督管理加强对相关设施、设备和场所的管理和维护，保证其正常运行和使用。采取防扬散、防流失、防渗漏或者其他防止污染环境的措施，不得擅自倾倒、堆放、丢弃、遗撒固体废物。禁止向江河、湖泊、运河、渠道、水库及其最高水位线以下的滩地和岸坡以及法律法规规定的其他地点倾倒、堆放、贮存固体废物。依法 121 及时公开固体废物污染环境防治信息，主动接受社会监督。（2）一般325、工业固体废物建立健全工业固体废物产生、收集、贮存、运输、利用、处置全过程的污染环境防治责任制度，建立工业固体废物管理台账，如实记录产生工业固体废物的种类、数量、流向、贮存、利用、处置等信息，实现工业固体废物可追溯、可查询，并采取防治工业固体废物污染环境的措施。禁止向生活垃圾收集设施中投放工业固体废物。委托他人运输、利用、处置工业固体废物的，应当对受托方的主体资格和技术能力进行核实，依法签订书面合同，在合同中约定污染防治要求。依法实施清洁生产审核，合理选择和利用原材料、能源和其他资源，采用先进的生产工艺和设备，减少工业固体废物的产生量，降低工业固体废物的危害性。依法取得排污许可证。根据经济、技术326、条件对工业固体废物加以利用；对暂时不利用或者不能利用的，需按照国务院生态环境等主管部门的规定建设贮存设施、场所，安全分类存放，或者采取无害化处置措施。（3）生活垃圾依法履行生活垃圾源头减量和分类投放义务，承担生活垃圾产生者责任。依法在指定的地点分类投放生活垃圾。禁止随意倾倒、抛撒、堆放或者焚烧生活垃圾。（4）危险废物项目危废仓库位于厂房的东南侧，危险废物堆放场所地板应进行防渗、防腐处理，并设置明显的危废标志牌。此外，还应采取如下措施进行管理：必须按照中华人民共和国固体废物污染环境防治法以及有关危险废物处置要求严格管理和安全处置。项目产生的各项危险废物，必须按照国家有关规定向环境保护主管部门申报327、登记。装运危险废物的容器应根据危险废物的不同特性而设计，不易破损、变形、老化，能有效地防止渗漏、扩散。装有危险废物的容器必须贴有标签，在标签上详细标明危险废物的名称、重量、成分、特性以及发生泄漏、扩散污染事故时应急措施和补救方法。122 贮存区地面铺设 20cm 厚水泥，表面并铺设三层环氧树脂防腐层，四周用围墙及屋顶隔离，防止雨水流入；贮存区外四周设雨水沟，防止雨水流入；设置门锁，平时均上锁，以免闲杂人等进入；区内设置紧急照明系统，坚持警报系统，及灭火器。委托有资质的专业处理公司处置。禁止将危险废物以任何形式转移给无许可证的单位，或转移到非危险废物贮存设施中。应严格按照危险废物贮存污染控制标准328、（GBl8597-2001）（2013 年修订）的要求，规范建设和维护厂区内的固体废物临时堆放场，必须做好该堆放场防雨、防风、防渗、防漏等措施，并制定好固体废物特别是危险废物转移运输途中的污染防范及事故应急措施。对危险废物实行应从产生、收集、运输到处理的全过程进行管理，加强废物运输过程中的事故风险防范，按照有关法律法规的要求，对危险废物的全过程管理且应当报当地环保行政主管部门批准。危险废物的运输应保证运输安全，防止非法转移和非法处置，保证危险废物的安全监控，防止危险废物污染事故发生。总之，本项目产生的各种污染物由于得到了有效的治理，污染物排放量较小，对周围环境影响也较小。图图 4-7危险废物转329、运五联单制度示意图危险废物转运五联单制度示意图4.4 危险废物的储存、运输、管理规定危险废物的储存、运输、管理规定（1）危险废物贮存场所（设施）环境影响分析危险废物暂存间单独密闭设置，并设置防雨、防火、防雷、防尘、防渗装置，123 不同危废设置分区区域。项目危险废物贮存过程中不会对环境空气、地表水、地下水、土壤造成影响。项目危废贮存间设于厂房的东南侧，高于地下水最高水位，防渗层为 2mm 厚高密度聚乙烯，或至少 2mm 厚的其它人工材料，等效黏土防渗层6.0m，渗透系数10-7cm/s，该危险废物暂存间选址符合危险废物贮存污染控制标准（GBl8597-2001）及 2013 修改单选址要求，选330、址可行。（2）危废运输过程的环境影响分析本项目危险废物产生点到危废暂存间的转移均在厂房内，发生散落和泄漏均可控制在车间内，对周边环境影响不大。本项目危废废物委托有资质单位进行运输处置，根据有关资料，每年因交通事故罐破损，危险物品大量溢出而对环境造成污染或人员伤害事故概率约为30%-40%，每年危险品储罐破损造成泄漏或人员伤害、环境污染或厂房设备腐蚀事故概率约为 50%，一旦运储系统出现事故，其影响范围和程度都较大。因此，危险废物外运过程中必须采取如下措施：危险废物处置单位的运输人员必须掌握危险化学品运输的安全知识，了解所载的危险化学品的性质、危害特性、包装容器的使用特性和发生意外时的应急措施。331、运输车辆必须具有车辆危险货物运输许可证。驾驶人员必须由取得驾驶执照的熟练人员担任。处置单位在运输危险废物时必须配备押运人员，并随时处于押运人员的监管之下，不得超装、超载，严格按照所在城市规定的行车时间和行车路线行驶，不得进入危险废物运输车辆禁止通行的区域。危险废物在运输途中若发生被盗、丢失、流散、泄漏等情况时，公司及押运人员必须立即向当地公安部门报告，并采取一切可能的警示措施。一旦发生危废泄漏事故，公司和危废处置单位都应积极协助有关部门采取必要的安全措施，减少事故损失，防止事故蔓延、扩大；针对事故对人体、动植物、土壤、水源、空气造成的现实危害和可能产生的危害，应迅速采取封闭、隔离、洗消等措施，332、并对事故造成的危害进行监测、处置，直至符合国家环境保护标准。124 综上所述，在加强管理，并落实好各项污染防治措施和固体废物安全处置措施的前提下，项目产生的固体废物对周围环境的影响较小。（3）委托有资质单位处置的环境影响分析根据项目的危险废物类别及项目周边有资质的危险废物处置单位的分布情况和处置能力，企业应委托有资质的单位处理。项目产生的危险废物委托有资质单位处置，为有效地降低危险废物对环境的潜在危害和影响，建设单位应对其进行有效合理的管理，将危害因素降到最低限度，特别是危险废物的处置。总之，本项目产生的各种污染物由于得到了有效的治理，污染物排放量较小，固废治理措施可行。（4）环境管理要求对项333、目一般固废、危险废物的收集、贮存、处置情况进行登记，并对其产生、收集、贮存和处置情况进行台账记录，台账保存期限不得少于 5 年。5、环境风险、环境风险环境风险就其发散成因可分为三类：火灾、爆炸和泄漏。环境风险主要考察风险事故对外环境的影响。而火灾和爆炸事故本身属于安全事故范畴，火灾和爆炸的次生、伴生污染如燃烧产物和消防废水则构成了火灾和爆炸事故的环境风险；有毒物质的泄漏事故属于环境风险的范畴。本项目风险评价主要参考建设项目环境风险评价技术导则（HJ 169-2018）。5.1 评价依据评价依据5.1.1 风险调查风险调查对照建设项目环境风险评价技术导则（HJ169-2018）附录 B 危险物质，物质的毒性参照 化学品毒性鉴定技术规范 附录 1-C“急性毒性分级标准”鉴定。本项目原辅材料及生产过程风险物质为盐酸、硫酸、双氧水、氨水、硝酸、磷酸、BOE 溶液、氢氧化钾、丙酮、酒精、异丙醇、液氮