1、1 一、建设项目基本情况 建设项目名称 xx科技化合物半导体外延/芯片项目一期 项目代码 建设单位联系人 联系方式 建设地点 地理坐标 国民经济 行业类别 C3973 集成电路制造 建设项目 行业类别 三十六、计算机、通信和其他电子设备制造业 39 80、电子器件制造 397 建设性质 新建（迁建）改建 扩建 技术改造 建设项目 申报情形 首次申报项目 不予批准后再次申报项目 超五年重新审核项目 重大变动重新报批项目 项目审批（核准/备案）部门（选填）xx火炬高技术产业开发区管理委员会 项目审批（核准/备案）文号（选填）厦高管经备 2023026 总投资（万元）11000 环保投资（万元）582、.0 环保投资占比（%）0.53 施工工期 6 个月 是否开工建设 否 是：用地（用海）面积（m2）总租赁面积：7477.03 本项目拟使用所租赁厂房第一层、第二层的全部及第三层的东北角，使用面积合计：2964.70 专项评价设置情况 不设专项评价，具体情况见表1-1。表表 1-1 专项评价设置情况专项评价设置情况 专项评价的类别 设置原则 本项目情况 是否设置 专项评价 大气 排放废气含有毒有害污染物1、二噁英、苯并a芘、氰化物、氯气且厂界外 500 米范围内有环境空气保护目标2的建设项目 本项目生产过程所排放的废气不含纳入有毒有害大气污染物名录的有毒有害污染物、二噁英、苯并a芘、氰化物、氯3、气 否 地表水 新增工业废水直排建设项目（槽罐车外送污水处理厂的除外）；新增废水直排的污水集中处理厂 本项目运营期产生的生产废水及生活污水分别经处理后，排入园区污水管网，经由园区总排污口，排入布塘北路市政污水管网，近期纳入布塘再生水处理站处理，中远期纳入洪塘水质净化厂（即洪塘污水处理厂）处理，不属于新增工业废水直排建设项目。同时，本项目不属于新增废水直排的污水集中处理厂 否 环境风险 有毒有害和易燃易爆危险物质存储量超过临界量3的建设项目 本项目有毒有害和易燃易爆危险物质存储量未超过临界量，具体见“4.2.7 环境风险分析”章节 否 生态 取水口下游 500 米范围内有重要水生生物的自然产卵场4、索饵场、越冬场和洄游通道的新增河道取水的污染类建设项目 本项目运营期用水由市政自来水供应，不属于新增河道取水的污染类建设项目 否 2 海洋 直接向海排放污染物的海洋工程建设项目 本项目不属于直接向海排放污染物的海洋工程建设项目 否 注：1.废气中有毒有害污染物指纳入有毒有害大气污染物名录的污染物（不包括无排放标准的污染物）。2.环境空气保护目标指自然保护区、风景名胜区、居住区、文化区和农村地区中人群较集中的区域。3.临界量及其计算方法可参考建设项目环境风险评价技术导则（HJ169）附录B、附录C。规划情况 1、规划名称：xx市城市总体规划（2011-2020年）审批机关：国务院；审批文件名称5、及文号：国务院关于xx市城市总体规划的批复（国函201635号）2、规划名称：同安区空间发展战略规划（2016-2020年）审批机关：xx市规划委员会；审批文件名称及文号：/4、规划名称：xx市同翔高新技术产业基地（同安片区）提升规划 审批机关：xx市人民政府；审批文件名称及文号：/规划环境影响 评价情况 规划环评名称：xx市同翔高新技术产业基地（同安片区）提升规划环境影响报告书 召集审查机关：xx市生态环境局；审查文件名称及文号：xx市生态环境局关于xx市同翔高新技术产业基地（同安片区）提升规划环境影响报告书审查意见的通知（厦环评20219号）3 1.1 规划及规划环境影响评价符合性分析规划6、及规划环境影响评价符合性分析 1.1.1 与xx市城市总体规划（与xx市城市总体规划（2011-2020 年）符合性分析年）符合性分析 本项目位于xx市同安区xx火炬高新区石墨烯新材料产业园五显路866-6号（第一层、第二层的全部及第三层的东北角）（项目地理位置见附图 1），位于xx市同翔高新技术产业基地（同安片区）内，根据xx市城市总体规划（2011-2020 年）（见附图 2），项目所在地块规划为工业用地。因此，本项目符合xx市城市总体规划要求。1.1.2 与同安区空间发展战略规划（与同安区空间发展战略规划（2016-2020 年）符合性分析年）符合性分析 根据同安区空间发展战略规划（207、16-2020 年），同安区发展定位为：市域生态屏障区、都市农业基地；丰富多样的旅游休闲度假基地；基于传统面向未来的制造业基地；新兴现代服务和商贸物流基地；发展共享、百姓安居乐业的家园。同安区规划空间结构为：一圈、一轴、双核、两区。“一圈”：同安北部生态圈；“一轴”：同安山海生态发展轴；“双核”：南部新城区和同安老城区两个区域发展核心；“两区”：同安工业集中区和同翔高新技术产业园区两大产业平台。本项目位于xx市同安区xx火炬高新区石墨烯新材料产业园五显路866-6号（第一层、第二层的全部及第三层的东北角），属于同安区规划的“两区”中的同翔高新技术产业园区内（同安区空间规划一张蓝图见附图 3）。8、因此，本项目符合同安区空间发展战略规划（2016-2020 年）要求。1.1.3 与与xx市同翔高新技术产业基地（同安片区）提升xx市同翔高新技术产业基地（同安片区）提升规划规划符合性分析符合性分析 同翔高新技术产业基地（同安片区）是xx火炬高新区“一区多园”的组成之一，是火炬高新区空间拓展的重要方向，该园区与临近的火炬（xx）产业区和同翔高新技术产业基地（xx片区）一同组成了xx火炬高新区布局在岛外东部的产业发展要地。同翔高新技术产业基地（同安片区）位于xx市东北部，毗邻火炬（xx）产业园，是xx火炬高新区东北部产业集聚区的重要组成部分。同翔高新技术产业基地规划范围以同翔大道为界，分成东西两9、片（同安五显洪塘片区和xx东寮片区），规划总用地面积为35.03km2，其中同安五显洪塘片区规划范围为北至同新路，南至新 324 国道，西至同安东路，东至同翔大道，用地面积 18.7km2；xx东寮片区规划范围北至同新路，南至新324 国道，西至同翔大道，东至xx东路，用地面积16.33km2。发展目标与功能定位：运用产城融合发展理念，重点围绕平板显示、计算机与通讯设备、机械装备、新材料、半导体和集成电路产业等高新技术产业形成千亿产业链群，打造上下游产业链完备、配套服务设施完善的高新技术产业集聚区。本项目位于xx市同安区xx火炬高新区石墨烯新材料产业园五显路866-6号（第一层、第二层的全部及10、第三层的东北角），属于xx市同翔高新技术产业基地（同安片区）提升规划中同翔高新技术产业基地（同安片区）的五显产业组团（见附图 4），所在地块属于规划及规划环境影响评价符合性分 析 4 工业用地。本项目主要从事化合物半导体外延片的加工，属于 C3973 集成电路制造，符合同翔高新技术产业基地（同安片区）的发展目标与功能定位。因此，本项目符合xx市同翔高新技术产业基地（同安片区）提升规划要求。1.1.4 与与xx市同翔高新技术产业基地（同安片区）提升规划环境影响报告书xx市同翔高新技术产业基地（同安片区）提升规划环境影响报告书结论及结论及审审查意见查意见的的符合性分析符合性分析 根据xx市同翔高新11、技术产业基地（同安片区）提升规划环境影响报告书（xx大学城乡规划设计研究院有限公司，2021 年 6 月）中的“表 13.12 各管控单元生态环境准入清单”和“表 13.13 四大产业组团的分行业生态环境准入负面清单建议一览表”，摘录其中与本项目相关的条款进行符合性分析，具体见表 1-2。表表 1-2 本项目与xx市同翔高新技术产业基地（同安片区）提升规划环境影响报告书本项目与xx市同翔高新技术产业基地（同安片区）提升规划环境影响报告书中管控单元生态环境准入清单（节选）、分行业生态环境准入清单建议（节选）符合性分析中管控单元生态环境准入清单（节选）、分行业生态环境准入清单建议（节选）符合性分析12、 序号 项目 内容及要求 本项目情况 符合性 分析 1 管控单元：五显产业组团 1.1 主导功能 建议主导发展计算机与通讯设备、机械装备、新材料 本项目主要从事化合物半导体外延片的加工，属于计算机、通信和其他电子设备制造业，符合主导功能定位 符合 1.2 空间布局约束（1）新批地块内，原则上与片区功能定位不一致的产业项目不得入驻，可以引进产业链相关配套或关联企业项目。已建厂房内的项目更替，原则上以该项目投资备案的相关主管部门（发改、经信或火炬管委会等）的意见为主要依据并符合“低能耗、低污染、低风险”要求，并经具体项目环评论证可行后再予准入；具体产业准入管控要求见“分行业准入建议及限制条件”本项13、目主要从事化合物半导体外延片的加工，与片区功能定位一致。并且本项目已通过xx火炬高技术产业开发区管理委员会备案，符合“低能耗、低污染、低风险”要求，对周边环境的影响可以接受 符合（2）禁止准入熔炼、药品生产，及专业专门对外（允许企业自用）开展表面处理、喷漆、电镀、热处理（热源用电除外）的项目 本项目不涉及该禁止条款 不受限（3）片区产业用地大部分已开发，且部分企业已投产，急需加快工业用地周边村庄的搬迁安置，避免诱发工业企业与居住区间的邻避投诉问题，也为产业的进一步建设整理出更多发展用地空间 本项目不涉及该条款 不受限（4）产业项目布局入驻时，注意避免对未搬迁村庄及西南侧规划居住区等敏感目标产生14、污染或环境风险影响，在上述敏感目标周边100 米范围内，严格项目准入，不得布局可能产生异味、粉尘、挥发性有机废气排放及高噪声源等生产单元（企业如可通过厂区总平面布局优化满足该条件的，经论证可行后可准入）本项目与周边敏感目标距离均较远（最近的下欧坑村及规划居住区与项目边界最近距离为 180m），不在村庄及规划居住区周边 100 米范围内 符合（5）加快片区污水管网建设进度，在洪塘污水处理厂尚不能服务本片区而片区污水量又超出布塘污水处理厂处理能力时，应尽快启动布塘污水厂二期工程建设，确保本片区废（污）水得到有效处理 本项目运营期产生的生产废水及生活污水分别经处理后，经由园区总排污口，排入布塘北路市15、政污水管网，近期纳入布塘再生水处理站处理，中远期纳入洪塘水质净化厂（即洪塘污水处理厂）处理。本项目废水排放量约 7.9m3/d，布塘再生水处符合 5 理站目前尚有约 7000m3/d 的处理余量，有足够的余量接纳本项目排放的废水。1.3 污染物排放管控（1）统筹片区内企业需求，必要时可在本片区考虑建设集中喷涂工程中心，配备高效治污设施，替代企业独立喷涂工序；突出抓好VOCs 排放行业等企业的治理。本项目不涉及喷涂工序。项目运营期产生的有机废气主要来自衬底准备工序使用蘸有乙醇的抹布对操作台面擦拭过程，项目拟将各有机废气产污点均设在密闭车间内，设集气罩抽风收集后，汇入 1 套活性炭吸附装置处理，而16、后通至项目所在厂房楼顶经1根不低于36m高的排气筒有组织排放 符合（2）新建、扩建项目，实行区域内二氧化硫、氮氧化物等量替代、VOC 倍量替代。结合xx市生态环境准入清单（2021年）要求，本项目实行区域内氮氧化物1.2 倍量替代，VOC1.5 倍量替代 符合（3）建立区域重点 VOCs 排放企业污染管理台账，深化 VOCs 治理技术改造，推进原辅材料的水性化改造或低挥发性有机物含量原辅材料的使用 本项目运营期将按规范要求建立VOCs污染管理台账。鉴于生产工艺需要，本项目原辅材料尽可能选择环保型低挥发性有机物含量的原辅材料 符合（4）洪塘污水处理厂执行xx市水污染物排放标准（DB35/322-17、2018）中表 2 中 A 级相关排放限值 本项目运营期产生的生产废水及生活污水分别经处理后，经由园区总排污口，排入布塘北路市政污水管网，近期纳入布塘再生水处理站处理，中远期纳入洪塘水质净化厂处理。洪塘水质净化厂执行xx市水污染物排放标准（DB35/322-2018）中表 2 中 A 级相关排放限值 符合 1.4 环境风险管控（1）规范配套应急池，建设企业、集中污水处理厂和周边水系三级环境风险防控工程和在线监控系统，确保有效拦截、降污和导流，防止事故废水直接排入水体 本项目运营期将采取各项环境风险防控措施，确保有效拦截、降污和导流。依托所在园区、集中污水处理厂和周边水系环境风险防控工程和在线监18、控系统。符合（2）对单元内具有潜在土壤污染环境风险的企业应加强管理，实施项目环评、设计建设、拆除设施、终止经营全生命周期土壤和地下水污染防治，建立土壤和地下水污染隐患排查治理制度、风险防控体系和长效监管机制。制定环境风险应急预案，建设突发事件应急物资储备库，成立应急组织机构 本项目将加强土壤污染环境风险管理，实施项目环评、设计建设、拆除设施、终止经营全生命周期土壤和地下水污染防治，建立土壤和地下水污染隐患排查治理制度、风险防控体系和长效监管机制。制定环境风险应急预案，建设突发事件应急物资储备库，成立应急组织机构 符合 分行业分行业 准入建议及准入建议及限制条件限制条件 本项目情况本项目情况 符19、合性符合性分析分析 三十六、计算机、通信和其他电子设备制造业（1）禁止引进平板显示、半导体和集成电路产业中的高耗水、高排水项目；本项目用水量约 9.6m3/d（2894.0m3/a），废水排放量约 7.9m3/d（2378.9m3/a），不属于高耗水、高排水项目 符合（2）半导体产业，禁止引进半导体前工序生产（含硅片及上游产业）；本项目不属于半导体前工序生产（含硅片及上游产业）项目 不受限（3）集成电路产业应符合：集成电路制造产业：限制建设小尺寸（6 吋及以下）的硅基集成电路芯片制造企业；封测产业：禁止铅电镀工艺和使用含铅球植球工艺。本项目不属于硅基集成电路芯片制造企业，不属于封测产业 不受限20、（4）电子终端产品组装制造应采用无铅焊接技术，如采用 Sn/Ag/Cu 或 Sn/Cu 等合金的无铅焊料；本项目不涉及电子终端产品组装制造 不受限（5）电路板组装清洗禁止使用四氯化碳、全氯氟烃、哈龙等 ODS 溶剂（消耗臭氧物质），可采用非 ODS 型溶剂清洗型（乙醇、丙酮、异丙醇等）、半水清洗型（乳化剂或皂化剂：水/表面活性剂，适用于松香/树脂基型焊剂的清洗）、全水清洗型（添加有机溶剂如乙醇、本项目不涉及电路板组装清洗 不受限 6 增洁剂、皂化剂、抑制剂、乳化剂、pH 缓冲剂和消泡剂等，适用于水基型助焊剂）和免清洗型等方式；（6）线路板组装优先采用免清洗工艺，包括采用免清洗型助焊剂（含有机酸21、有机碱、有机卤化物及它们的衍生物）、水溶性助焊剂（含有机酸、有机胺、表面活性剂、醇类）等。免清洗助焊剂中的溶剂可使用目前较为常用的醇类溶剂（乙醇、异丙醇等），采用喷雾式波峰焊机；本项目不涉及线路板组装 不受限（7）表面涂装，新、改扩建电子设备制造涉及的表面涂装，禁止使用以二甲苯等挥发性有机物为主溶剂的油漆涂料，可使用不含有机溶剂或低含量有机溶剂涂料，如粉末涂装工艺。智能消费设备的表面涂装喷漆工艺采用静电喷漆等先进工艺替代空气喷漆工艺 本项目不涉及表面涂装 不受限 根据“xx市生态环境局关于xx市同翔高新技术产业基地（同安片区）提升规划环境影响报告书审查意见的通知”（厦环评20219 号），本22、项目符合性分析见表 1-3。表表 1-3 本项目本项目与与xx市同翔高新技术产业基地（同安片区）提升规划环境影响报告书xx市同翔高新技术产业基地（同安片区）提升规划环境影响报告书审查意见符合性分析审查意见符合性分析 序号 内容及要求 本项目情况 符合性 分析 1 加强规划引导，坚持生态优先、绿色发展，做好与区域国土空间规划和“三线一单”的衔接。以环境质量改善为目标，加强地表水体、生态公益林等重要生态系统的保护。本项目符合同翔高新技术产业基地（同安片区）五显产业组团的主导功能定位，符合区域国土空间规划，符合“三线一单”要求，具体见“1.2.1与“三线一单”的符合性分析”章节。符合 2 合理产业结23、构与布局。规划的高新产业，严格遵守行业准入条件、产业政策和清洁生产要求。统筹工业用地、生活居住、配套设施等的合理布局，工业区与居住区之间应设置合理的环保控制带。本项目主要从事化合物半导体外延片的加工，属于 C3973 集成电路制造，属于规划的高新产业，项目严格遵守行业准入条件、产业政策和清洁生产要求。项目选址位于规划的工业区内，与现有和规划的集中居住区（包括村庄、住宅小区）、学校等敏感目标距离均较远，最近的下欧坑村及规划居住区与项目边界最近距离为 180m 符合 3 集约节约利用土地资源。结合规划区工业、公用、仓储、基础设施用地分类，优化人口和居住用地规模，优化工业用地比例，保证绿地、环保设施24、用地的建设，确保规划区土地资源承载力。本项目拟租赁xx高新技术创业中心有限公司位于xx市同安区xx火炬高新区石墨烯新材料产业园五显路 866-6 号的工业厂房进行生产（本项目拟使用该工业厂房第一层、第二层的全部及第三层的东北角），不涉及新增用地 符合 4 加快环保基础设施建设。加快雨污水管网工程、污水处理设施和再生水利用规划的实施。严格控制重金属排放总量、强化挥发性有机物的管控。入驻企业应按照行业规范要求做好地下水污染防渗设施建设。加强固废的回收和综合利用，按规范做好各类固废的处理处置工作。本项目依托所租赁厂房园区已建雨污水管网及分流系统，运营期生产废水及生活污水分别经处理后，满足相关排放标准25、后，排入布塘北路市政污水管网，近期纳入布塘再生水处理站处理，中远期纳入洪塘水质净化厂处理。运营期将严格控制重金属排放总量、强化挥发性有机物的管控。并按照行业规范要求做好地下水污染防渗设施建设。加强固废的回收和综合利用，按规范做好各类固废的处理处置工作。符合 5 有效控制区域环境风险。对规划引进的产业，应做好危险化学品储运及使用过程的管控，制定园区级环境风险防范应急预案，废水事故排放实施企业、园区、区域“三级”管控措施，有效防止突发性事故状况下次生环境本项目有毒有害和易燃易爆危险物质存储量未超过临界量，具体见“4.2.7 环境风险分析”章节。项目运营期将按规范要求做好危险化学品储运及使用过程的管26、控，并根据项目风险特点，编制突发环境事件应急预案并报生态环境主管部符合 7 影响。门备案，并进行定期演练，有效防止突发性事故状况下次生环境影响。依托园区、区域应急管控措施。6 加强环境管理能力建设。建立环境监测体系；根据规划实施情况，适时开展环境影响跟踪评价，掌握环境质量变化情况；规划重大调整或修订时应重新或补充进行环境影响评价。本项目运营期将加强环境管理能力建设，按照环境监测计划定期委托监测。符合 根据上述分析得出，本项目符合xx市同翔高新技术产业基地（同安片区）提升规划环境影响报告书结论及其审查意见要求。8 1.2 其他符合性其他符合性分析分析 1.2.1 与“三线一单”的符合性分析与“三27、线一单”的符合性分析 1.2.1.1 与生态保护红线的符合性分析与生态保护红线的符合性分析 根据xx省生态保护红线划定成果-xx市生态保护红线，xx市同安区生态保护红线包括自然与人文景观保护红线、生态公益林保护红线、集中式饮用水水源地保护红线、重要湿地保护红线、水土流失敏感区保护红线等 5 个类型，总面积 265.64km2，占国土面积的比例为 39.65%，其中一级管控区面积 51.21km2，占国土面积的比例为 7.64%，二级管控区面积 214.43km2，占国土面积的比例为 32.01%。本项目选址位于xx市同安区xx火炬高新区石墨烯新材料产业园五显路866-6 号（第一层、第二层的全28、部及第三层的东北角），根据xx市同安区空间发展战略规划，本项目所在地规划为工业用地，项目选址不在xx市同安区生态保护红线已划定的自然与人文景观保护红线、生态公益林保护红线、集中式饮用水水源地保护红线、重要湿地保护红线、水土流失敏感区保护红线范围内，不属于一级管控区、二级管控区范围，具体见xx市同安区生态保护红线分布图（附图 5）。因此，本项目选址符合生态保护红线的要求。1.2.1.2 与与环境质量底线环境质量底线的符合性分析的符合性分析 大气环境质量底线 项目所在区域规划为二类环境空气质量功能区。根据2021 年xx市生态环境质量公报，项目所在区域六项主要污染物（二氧化硫、二氧化氮、可吸入颗粒29、物、细颗粒物、一氧化碳、臭氧）均满足环境空气质量标准（GB3095-2012）及修改单中的二级标准要求。评价引用 xx市同翔高新技术产业基地（同安片区）提升规划环境影响报告书（报批稿）（xx大学城乡规划设计研究院有限公司，2021 年 6 月）于 2021 年 4 月 8 日4 月 14 日对项目所在区域环境空气质量现状中的硫酸雾、氯化氢、氨、非甲烷总烃的监测数据，共布设2 个监测点，分别为位于本项目东侧距离约 2030m 的布塘村、东南偏东方向距离约 1880m的龙泉村。监测因子为：硫酸雾、氯化氢、氨、非甲烷总烃。从监测结果可知，本项目周边各监测点的硫酸雾、氯化氢、氨、非甲烷总烃的 1 小时30、平均浓度值均能满足环境影响评价技术导则 大气环境（HJ 2.2-2018）中的“附录 D 其他污染物空气质量浓度参考限值”要求。因此，项目所在区域的环境空气质量良好。项目与周边大气环境保护目标的距离均较远（最近的下欧坑村及规划居住区与项目边界最近距离为 180m）。项目运营期产生的酸碱（恶臭）废气拟采用 1 套酸碱喷淋塔（一用一备）处理，通至项目所在厂房楼顶经 1 根不低于 36m 高的排气筒排放，所排废气中主要污染物排放强度为：硫酸雾最大排放浓度 0.1mg/m3（最大排放速率 0.0007614kg/h）、NOx 最大排放浓度 8.2mg/m3（最大排放速率 0.04909kg/h）、氯化31、氢最大排放浓度 1.1mg/m3（最大排放其他 符合 性分 析 9 速率 0.006705kg/h）、氨最大排放浓度 4.0mg/m3（最大排放速率 0.02420kg/h）、臭气浓度最大排放浓度 8（无量纲），排放方式为：间歇排放，其中酸性废气 88h/a、碱性（恶臭）废气600h/a。项目运营期产生的有机废气拟采用 1 套活性炭吸附装置（一用一备）处理，通至项目所在厂房楼顶经 1 根不低于 36m 高的排气筒排放，所排废气中主要污染物排放强度为：非甲烷总烃最大排放浓度 4.0mg/m3（最大排放速率 0.03958kg/h），排放方式为：间歇排放600h/a。本项目运营期所产生的各股废气分32、别经处理后，各废气污染物均能够实现达标排放，并且废气污染物排放强度低，对周围环境影响小。水环境质量底线 本项目运营期产生的生产废水及生活污水分别经处理后，排入园区污水管网，经由园区总排污口，排入布塘北路市政污水管网，近期纳入布塘再生水处理站深度处理，最终排入东溪，中远期纳入洪塘水质净化厂处理。东溪规划为地表水 V 类水体。评价引用xx市同翔高新技术产业基地（同安片区）提升规划环境影响报告书（报批稿）（xx大学城乡规划设计研究院有限公司，2021 年 6 月）于 2021 年 4 月 8 日对东溪的水质监测数据，共布设 3个监测断面，分别位于布塘再生水处理站入河排污口上游约 900m 处、下游 33、1.5km 处和下游3.0km 处。监测因子为：pH、溶解氧、高锰酸盐指数、BOD5、氨氮、总磷、总氮、氟化物、砷、汞、镉、铬（六价）、铅、氰化物、挥发酚、石油类、阴离子表面活性剂。从监测结果可知，排污口上游 900m、排污口下游 3.0km 断面的总氮出现超标现象，其余各监测断面各监测因子的监测结果均能够满足地表水环境质量标准（GB3838-2002）中的 V 类水质标准要求。两个监测断面的总氮超标可能与所测点位周边农业面源污染有一定关系。本项目废水经处理后，在含砷废水排放口处，所排废水中的总砷能够满足电子工业水污染物排放标准（GB39731-2020）表 1 中的“车间或生产设施排放口”标34、准以及xx市生态环境准入清单（2021 年）中的限值（0.2mg/L）要求；生产废水在生产废水排放口处、生活污水在所依托化粪池排放口处，所排废水中的 pH、CODcr、BOD5、SS 均能够满足污水综合排放标准（GB8978-1996）表 4 中的三级标准，氨氮均能够满足污水排入城镇下水道水质标准（GB/T31962-2015）表 1 中的 B 级标准要求。本项目所排废水能够满足布塘再生水处理站的进水水质要求，不会对布塘再生水处理站水质造成冲击。本项目运营期废水排放量约 7.9m3/d（2378.9m3/a），仅占布塘再生水处理站处理余量（7000m3/d）的 0.11%。项目废水排放量对布塘35、再生水处理站运行负荷影响很小，布塘再生水处理站有足够的余量接纳本项目排放的废水。中远期待城东中路市政污水管网接通运行后，布塘再生水处理站将改造为提升泵站，将其接纳的污水输送至洪塘水质净化厂（即洪塘污水处理厂）进行处理。本项目废水经处理达标后，能够满足洪塘水质净化厂的进水水质要求，并且本项目运营期废水排放量约 7.9m3/d（2378.9m3/a），仅占洪塘水质净化厂一期工程设计处理量（5 万 m3/d）的 0.016%，洪塘水10 质净化厂有足够的处理能力接纳本项目废水量，本项目经处理达标后的废水不会对洪塘水质净化厂的处理产生不利影响。综上分析，本项目废水近期纳入布塘再生水处理站处理，中远期纳36、入洪塘水质净化厂处理是可行的，项目运营期废水排放对周围水环境的影响在可接受的范围内。声环境质量底线 项目所在区域规划为 3 类声环境功能区。根据xxxx检测技术有限公司于 2023 年 4月 11 日对项目厂区四周厂界附近区域的声环境质量现状监测报告，共布设 4 个监测点，监测因子为：等效连续 A 声级。根据监测结果可知，项目各厂界附近区域昼、夜间声环境质量现状监测结果均能够满足声环境质量标准（GB3096-2008）中的 3 类区标准。因此，项目所在区域声环境质量良好。根据声环境影响预测结果，本项目运营期对项目各厂界噪声的贡献值在 40.0248.75dB(A)之间，能够满足工业企业厂界环境37、噪声排放标准（GB12348-2008）中的 3 类区标准，叠加现状监测值后，各厂界附近区域昼间噪声在 56.7957.58dB(A)之间，夜间噪声在 46.2050.43dB(A)之间，均能够满足声环境质量标准（GB3096-2008）中的 3 类区标准要求。因此，本项目噪声排放对周边声环境的影响在可接受范围内，不会导致项目所在区域声环境质量功能下降。1.2.1.3 与与资源利用上线资源利用上线的符合性分析的符合性分析 水资源利用上线 本项目运营期用水由市政自来水供应，依托所租赁厂房园区已建市政自来水管网，根据建设单位提供资料，本项目运营期新增用水量约9.6m3/d，由于项目新增用水量很小，38、市政自来水有充足的余量供应本项目用水。因此，本项目用水符合水资源利用上线的要求。土地资源利用上线 本项目拟租赁xx高新技术创业中心有限公司位于xx市同安区xx火炬高新区石墨烯新材料产业园五显路866-6号的工业厂房进行生产（本项目拟使用该工业厂房第一层、第二层的全部及第三层的东北角），不新增用地。因此，本项目符合土地资源利用上线的要求。能源利用上线 本项目运营期所使用的能源类型为电能。根据建设单位提供资料，项目运营期新增用电量约500万kWh/a，供电依托所租赁厂房园区已建供电系统，能够满足本项目用电需求。因此，本项目用电符合能源利用上线的要求。1.2.1.4 与与生态环境准入清单的生态环境准39、入清单的符合性分析符合性分析 根据xx市生态环境准入清单（2021年）（厦环规20211号），摘录其中与本项目相关的条款并进行符合性分析，具体见表1-4和附图6。11 表表 1-4 本项目本项目与与xx市生态环境准入清单（xx市生态环境准入清单（2021 年年）符合性分析符合性分析 序号 项目 内容及要求 本项目情况 符合性分析（一）表 1-1 xx市生态环境总体准入要求（摘录）1 xx市：陆域 1.1 空间布局约束 二、重点管控区域 4、对省、市级重点重大产业项目，省、市级“高技术、高成长、高附加值”重点企业增资扩产项目，规划发展的电子产业、新材料、新能源和节能环保产业重点项目确需配套电镀工40、艺等涉及重点重金属废水排放的须确保重点重金属污染物排放指标调剂来源，确需配套的关键性、短流程化工工序和单纯混合、分装、物理提纯的，在落实污染防治和风险防控的前提下，可予准入。本项目属于 C3973 集成电路制造，属于xx市规划发展的电子产业，属于高新技术产业。不属于xx市环境保护局关于印发xx市涉重金属污染物排放建设项目环境准入指导意见和负面清单（2018 年版）的通知（厦环法规20183 号）中规定的重有色金属矿采选业、重有色金属冶炼业、铅蓄电池制造业、皮革及其制品业、化学原料及化学制品制造业、电镀行业（金属表面处理加工）等六大重点行业，尚不需遵循重点重金属污染物排放“等量置换”或“减量置换41、”原则。本项目废水中总砷排放量约 0.0002t/a（0.2kg/a），满足厦环法规20183号文中规定的xx市涉重金属污染物建设项目投资强度限值要求（具体见 1.2.1.5 章节），建议作为本项目重金属排放总量控制指标（企业自控指标），在运营期严格执行重金属排放总量指标控制制度 符合 5、全市禁止准入新、扩建火电、石化、煤化工、基础化学原料制造（物理提纯、单纯混合分装除外）、钢铁、有色金属冶炼（铜、铅、锌、镍、钴、铝、镁、硅等冶炼）、建材（含水泥、石灰石膏、粘土砖瓦、平板玻璃、建筑陶瓷、石材）、橡胶和塑料制品业（轮胎、再生橡胶、运动场地塑胶等制造）等高耗能、高排放项目；改建项目应符合减污降碳42、等政策、法律法规、法定规划要求。高污染燃料禁燃区禁止加工销售和使用煤炭及其制品、石油焦、油页岩、原油、重油、渣油、煤焦油、生物质成型燃料等高污染燃料项目。本项目不涉及该禁止条款 不受限 6、禁止准入生产和使用高 VOCs 含量的溶剂型涂料、油墨、胶黏剂和洗涤剂的新、扩建项目。本项目使用乙醇主要是衬底准备工序使用蘸有乙醇的抹布对操作台面进行擦拭，用量很小（0.05t/a）。本项目不涉及使用高 VOCs 含量的溶剂型涂料、油墨、胶黏剂、洗涤剂。符合 10、在现有和规划的集中居住区（包括村庄、住宅小区）、学校等敏感目标外围 100m 范围内，禁止准入增加排放有机废气污染物、恶臭（异味）污染物及其他列43、入有毒有害大气污染物名录污染物的新（改、扩）建工业生产项目。本项目与现有和规划的集中居住区（包括村庄、住宅小区）、学校等敏感目标距离均较远，最近的下欧坑村及规划居住区与项目边界最近距离为 180m，本项目不在敏感目标外围 100m 范围内 符合 1.2 污染物排放管控 1、省级及以上工业园区（xxxx台商投资区、xxxx保税港区、xx火炬高技术产业开发区、xx台商投资区、杏林台商投资区、xxxxxx工业园区、xxxx同安工业园区）工业企业新增主要污染物（化学需氧量、本项目新增化学需氧量、氨氮、氮氧化物实行 1.2 倍替代。本项目废水中总砷排放量约 0.0002t/a（0.2kg/a），项目不涉44、及其他重金属排放，项目总投资约 1.1 亿元，投符合 12 氨氮、二氧化硫、氮氧化物）排放量的，按等量替代进行交易；省级及以上工业园区外的工业企业新增主要污染物排放量按不低于 1.2 倍交易。排放重金属废水污染物项目投资强度或产值应满足xx市涉重金属项目强度限值要求。重点重金属废水污染物排放执行“等量置换”或“减量置换”，其中省市重点项目实行“等量置换”，其他项目实行 1.1 倍“减量置换”（电镀行业不低于 1.2 倍）。资强度为 1.1 亿元/0.2kg 砷=5.5 亿元/千克砷，满足xx市环境保护局关于印发xx市涉重金属污染物排放建设项目环境准入指导意见和负面清单（2018 年版）的通知（45、厦环法规20183 号）中的 A 级（砷：不低于 1 亿元/千克）的投资强度限值要求。本项目属于 C3973 集成电路制造，不属于厦环法规20183号文中规定的重有色金属矿采选业、重有色金属冶炼业、铅蓄电池制造业、皮革及其制品业、化学原料及化学制品制造业、电镀行业（金属表面处理加工）等六大重点行业，尚不需遵循重点重金属污染物排放“等量置换”或“减量置换”原则，具体见 1.2.1.5 章节。2、涉新增 VOCs 项目，应实行 VOCs 区域内倍量削减替代，其中xx区新阳片区内工业园区企业的区域有效削减量与新增排放量比例不小于 2 倍；全市除新阳片区外的其他工业园区不低于 1.5 倍，其中省、市重46、点重大项目不低于 1.2 倍。本项目新增 VOCs 实行 1.5 倍替代 符合 3、现有及新建项目根据所排放的污染物，按照行业排放标准、地方排放标准、综合排放标准等标准的适用范围、原则，从严执行。本项目根据所排放的污染物，按照行业排放标准、地方排放标准、综合排放标准等标准的适用范围、原则，从严执行。含砷废水排放口总砷排放浓度按 0.2mg/L 控制 符合（二）表 2-5 xx市同安区生态环境准入要求 1 同安区：同翔高新城（同安片区）ZH35021220010 1.1 功能定位/主导产业 电子信息（平板显示、计算机与通讯设备、半导体和集成电路）、高端装备制造、新能源、新材料 本项目主要从事化合47、物半导体外延片的加工，属于 C3973 集成电路制造，符合功能定位/主导产业要求 符合 1.2 空间布局约束 1、项目引进应符合市场准入负面清单要求，不得违背法律、法规、国务院决定等明确设立且与市场准入相关的禁止性规定。对照市场准入负面清单（2022 年版），本项目不属于该清单中禁止准入类 符合 2、禁止准入国家产业政策明令淘汰和限制的产品、技术、工艺、设备及行为。禁止准入 产业结构调整指导目录中的淘汰类与限制类项目。本项目不涉及国家产业政策明令淘汰和限制的产品、技术、工艺、设备及行为，不属于产业结构调整指导目录（2019 年本）及“国家发展改革委关于修改产业结构调整指导目录（2019 年本）48、的决定（国家发展和改革委员会令第 49号，2021 年 12 月 30 日）”中的淘汰类与限制类项目 符合 3、禁止准入不符合主体功能区建设要求的各类开发活动，即禁止准入地方国家重点生态功能区产业准入负面清单（或禁止限制目录）、农产品主产区产业准入负面清单（或禁止限制目录）所列事项。本项目属于 C3973 集成电路制造，符合主体功能区建设要求 符合 4、禁止准入存在重大环境安全隐患的工业项目。本项目有毒有害和易燃易爆危险物质存储量未超过临界量，具体见“4.2.7 环境风险分析”章节，不属于存在重大环境安全隐患的工业项目 符合 5、禁止准入高能耗、高污染、落后生产工艺 本项目符合清洁生产要求，属49、于高符合 13 项目。新技术产业，不属于高能耗、高污染、落后生产工艺项目 6、禁止准入污染因素难以确定和控制、污染控制困难和易引起污染纠纷的工业项目。本项目污染因素均可以得到确定和有效控制，在落实本报告表提出的环保措施的情况下，产生污染纠纷的几率很小 符合 7、禁止准入国外已确定的污染严重以及禁止在本国生产的工艺、产品、技术，即不得接收国外带有污染转移性质的项目入区。本项目不涉及该禁止条款 不受限 8、严格限制可能排放剧毒物质和持久性有机污染物的工业项目。本项目不涉及排放剧毒物质和持久性有机污染物 符合 9、严格限制水资源消耗大、污水排放量大的工业项目。本项目用水量约 9.6m3/d（289450、.0m3/a），污水排放量约7.9m3/d（2378.9m3/a），不属于水资源消耗大、污水排放量大的工业项目 符合 10、禁止冶金、专业电镀、化工、印染、原料药制造等排放含重金属或难以生化降解废水的工业项目准入，属于省、市级重点重大项目，省、市级“三高”重点企业增资扩产项目，工业园区规划定位中主导发展的新材料、新能源和节能环保产业重点项目的则按xx市总体准入要求执行。本项目不属于冶金、专业电镀、化工、印染、原料药制造。本项目属于工业园区规划定位中主导发展的产业，符合xx市总体准入要求 符合 11、洪塘产业组团内洪塘石材园：加快洪塘园区石材、建材传统产业结构调整、整合提升，逐步引导其向省内相关51、产业集聚地集中发展，不得新（扩）建石材、建材及建筑渣土再利用项目，过渡期内现有企业应持续提升污染治理水平，促进粉尘等主要污染物持续削减，减少噪声、粉尘扰民。本项目位于五显产业组团内，不属于洪塘产业组团，且洪塘石材园现已拆除 不受限 12、在现有和规划的集中居住区（包括村庄、拆迁安置区）等敏感目标外围 100m 范围内，严格项目准入，不得准入产生异味、粉尘、挥发性有机废气排放及其他列入有毒有害大气污染物名录污染物或高噪声源等生产单元（企业如可通过厂区总平面布局优化满足该条件的，经论证可行后可准入）。本项目与现有和规划的集中居住区（包括村庄、拆迁安置区）等敏感目标距离均较远，最近的下欧坑村及规划居52、住区与项目边界最近距离为 180m，本项目不在敏感目标外围100m 范围内 符合 13、银鹭北产业组团禁止准入涉及有毒有害及危险品的仓储物流项目。本项目位于五显产业组团内，不属于银鹭北产业组团 不受限 1.3 污染物排放管控 1、新（改、扩）建项目，立足于通过“以新带老”、削减存量，努力实现企业自身总量平衡，确需新增主要污染物（化学需氧量、氨氮、二氧化硫、氮氧化物）排放量的，新增部分倍量替代（区域有效削减量与新增排放量比例不小于 1.2 倍）；VOCs 实行倍量替代（区域有效削减量与新增排放量比例不小于 1.5 倍，省、市重点重大项目不小于 1.2 倍），改建项目应通过提升改造生产工艺、处理设53、施控制 VOCs 排放量只减不增。本项目新增化学需氧量、氨氮、氮氧化物实行 1.2 倍替代；新增 VOCs实行 1.5 倍替代 符合 2、产生 VOCs 的项目，废气收集处理设施应符合xx市关于挥发性有机污染整治的要求，采用的治理设施应符合重点行业挥发性有机物综合治理方案，不得采取低温等离子、光催化、光氧化等低效技术。本项目拟将各有机废气产污点均设在密闭车间内，设集气罩抽风收集后，汇入 1 套活性炭吸附装置处理，而后通至项目所在厂房楼顶经 1 根不低于 36m 高的排气筒排放。本项目有机废气的收集处理设施符合厦门市关于挥发性有机污染整治的要求，采用的治理设施符合重点行符合 14 业挥发性有机物54、综合治理方案，不采取低温等离子、光催化、光氧化等低效技术 3、推进建设集中喷涂工程中心，配备高效治污设施，替代企业独立喷涂工序；突出抓好VOCs 排放行业等企业的治理。本项目不涉及喷涂工序 不受限 4、建立区域重点 VOCs 排放企业污染管理台账，深化 VOCs 治理技术改造，推进原辅材料的水性化改造或低挥发性有机物含量原辅材料的使用。本项目运营期将按规范要求建立VOCs 污染管理台账。鉴于生产工艺需要，本项目原辅材料尽可能选择环保型低挥发性有机物含量的原辅材料 符合 5、电子行业废水污染物排放应执行电子工业水污染物排放标准（GB39731-2020）和 厦门市水污染物排放标准（DB35/3255、2-2018）。本项目废水排放严格按照电子工业水污染物排放标准（GB39731-2020）和xx市水污染物排放标准（DB35/322-2018）的要求执行 符合 6、其他生产废水、生活污水实现 100%收集，根据污水特性进行适当预处理，达到xx市水污染物排放标准（DB35/322-2018）相应标准后排入市政污水管网，依托待建洪塘污水厂执 行 厦 门 市 水 污 染 物 排 放 标 准（DB35/322-2018）中表 2 中的 A 级排放限值。本项目生产废水、生活污水均可实现 100%全部收集，经处理或预处理后，满足相关排放标准后，排入布塘北路市政污水管网，近期纳入布塘再生水处理站处理，中远56、期纳入洪塘水质净化厂处理，洪塘水质净化厂执行xx市水污染物排放标准（DB35/322-2018）中表 2 中的 A 级排放限值 符合 1.4 环境风险管控 1、建设企业、集中污水处理厂和周边水系三级环境风险防控工程和在线监控系统，确保有效拦截、降污和导流，防止事故废水直接排入水体。本项目运营期将严格按照规范及本次评价提出的要求，落实各项环境风险防控措施，确保有效拦截、降污和导流。依托集中污水处理厂和周边水系环境风险防控工程和在线监控系统。符合 2、对单元内具有潜在土壤污染环境风险的企业应加强管理，实施项目环评、设计建设、拆除设施、终止经营全生命周期土壤和地下水污染防治。本项目将加强土壤污染环境57、风险管理，实施项目环评、设计建设、拆除设施、终止经营全生命周期土壤和地下水污染防治 符合（三）表 3-1 xx市重点发展产业生态环境准入要求 1 C3973 集成电路制造 1.1 管控单元准入指引（1）xx区：xx信息产业园（xx区临港05-12 编制单元）；东孚工业区和新阳工业区可引进半导体照明器件制造（2）同安区：同翔高新技术产业基地（同安）、轻工电子工业园、同安城东工业区、xx火炬高技术产业开发区（同安孵化一、二、三期）（3）xx区：火炬（xx）产业区、同翔高新技术产业基地（xx）、xx市头工业集中区、xx内厝工业区、航空工业园（xx）（4）xx区：xx北部工业区（5）湖里区：xx火炬高58、技术产业开发区（6）思明区：禁止准入（7）进入其它工业园区的，应在环境相容性论证可行的前提下予以准入 本项目位于同翔高新技术产业基地（同安片区）内，符合要求 符合 1.2 生产工艺及生态环境准入要电子器件制造为电子工业中游的电子基础产品产业，生态环境准入控制条件有：（1）提高工艺的清洁生产水平，半导体器件制造中采用单片清洗以减少化学清洗剂用量，尽可能减少多片清洗工艺 本项目属于 C3973 集成电路制造，符合清洁生产要求。不涉及半导体器件制造中的单片清洗或多片清洗 符合（2）对用量较多的化学品（有机溶剂、酸碱本项目化学品用量均较少（氨水符合 15 求 等）和产生大量废水的，应在产生源头采取分类59、收集与再回用技术；如显示器件生产中用到有机溶剂中的 PGMEA（丙二醇单甲醚醋酸酯），针对其挥发性高的特点，在排气端加装冷凝设备，将冷凝得到的有机成分用于设备涂胶过程的擦洗。酸性刻蚀后的刻蚀液混合酸进行提纯后可作为工业酸降级使用。有机玻璃废液通过真空蒸馏后回用（35%）用量约 10t/a、双氧水（30%）用量约 10t/a、硫酸（96%）用量约0.2t/a、硝酸（70%）用量约 0.12t/a、盐酸（37%）用量约 0.12t/a、乙醇用量约 0.05t/a），废水产生量较小（约 7.9m3/d）。不涉及显示器件生产中的 PGMEA（丙二醇单甲醚醋酸酯）、酸性刻蚀、有机玻璃废液等原料、工艺或废60、物（3）应提高水重复利用率，减少新鲜水耗，显示器件、光电子器件和集成电路等高耗水行业，对工艺中产生的多类型废水（酸碱、有机、含氟、含磷、含氮、彩膜等废水）进行分质收集、分别处理和分质回用，结合末端废水深度处理（反渗透、离子交换等膜技术）本项目通过采取逆流清洗等方式提高水重复利用率（约 74.3%），减少新鲜水耗。本项目属于 C3973 集成电路制造，用水量约 9.6m3/d（2894.0m3/a），污水排放量约7.9m3/d（2378.9m3/a），项目耗水量低，项目所产生的生产废水分质收集、分别处理，满足相关排放标准后，排入布塘北路市政污水管网，近期纳入布塘再生水处理站处理，中远期纳入洪塘水61、质净化厂处理 符合（4）应采用逆向多级清洗，针对不同清洗水水质要求，对清洗水进行逆向多级清洗，节约清洗水用量 本项目采用逆向清洗方式，节约清洗水用量 符合（5）提高节能降耗力度，洁净车间所需大量冷热负荷，推广“自由冷却”等节能技术。厂区所有照明灯应都采用 LED 节能灯 本项目拟利用液氮尾气冷能为机台和空调进行降温冷却，从而达到节能的效果。厂内所有照明灯均采用LED 节能灯 符合（6）不再批准除市重点发展的先进电子、电气、新材料产业中因特殊工艺、功能需要、无法分离、确需配套电镀工艺的项目以外的其他新建电镀项目 本项目不涉及电镀 不受限（7）近五年内发生重金属污染物严重超标排放等涉重金属违法犯罪62、的企业，不予审批其涉重金属污染物排放新建、扩建项目 本项目不涉及该条款 不受限（8）新建、改建、扩建涉重金属行业项目必须严格执行重金属排放总量指标控制制度。重金属重点行业项目必须遵循重点重金属污染物排放“等量置换”或“减量置换”的原则，应有明确的具体的重点重金属污染物排放指标来源 本项目运营期将严格执行重金属排放总量指标控制制度，严格按照废水中总砷排放量不超过 0.0002t/a（0.2kg/a）进行指标管控。本项目属于 C3973 集成电路制造，不属于xx市环境保护局关于印发xx市涉重金属污染物排放建设项目环境准入指导意见和负面清单（2018年版）的通知（厦环法规20183号）中规定的重有色63、金属矿采选业、重有色金属冶炼业、铅蓄电池制造业、皮革及其制品业、化学原料及化学制品制造业、电镀行业（金属表面处理加工）等六大重点行业，尚不需遵循重点重金属污染物排放“等量置换”或“减量置换”原则，具体见 1.2.1.5 章节 符合（9）全市可供调剂的总量指标优先支持省市重点项目、鼓励发展产业项目建设，其他新建项目原则上不予调剂重点重金属污染物排放指标 本项目属于 C3973 集成电路制造，不属于xx市环境保护局关于印发xx市涉重金属污染物排放建设项目环境准入指导意见和负面清单（2018 年版）的通知（厦环法规20183 号）中规定的重有色金属矿符合 16 采选业、重有色金属冶炼业、铅蓄电池制造64、业、皮革及其制品业、化学原料及化学制品制造业、电镀行业（金属表面处理加工）等六大重点行业，尚不需遵循重点重金属污染物排放“等量置换”或“减量置换”原则，具体见 1.2.1.5 章节（10）省市重点项目按规定需调剂重点重金属污染物排放指标来源的，指标按“等量置换”原则调剂。其他符合准入条件的项目所需指标来源按“减量置换”原则调剂，调剂方削减量与新增的排放量比值不低于 1.1，其中，电镀行业项目不低于 1.2 本项目属于 C3973 集成电路制造，不属于xx市环境保护局关于印发xx市涉重金属污染物排放建设项目环境准入指导意见和负面清单（2018 年版）的通知（厦环法规20183 号）中规定的重有色65、金属矿采选业、重有色金属冶炼业、铅蓄电池制造业、皮革及其制品业、化学原料及化学制品制造业、电镀行业（金属表面处理加工）等六大重点行业，尚不需遵循重点重金属污染物排放“等量置换”或“减量置换”原则，具体见 1.2.1.5 章节 符合（11）排放重金属污染物的建设项目的投资强度或产值强度应满足xx市重金属负面清单中的各档强度限值要求 本项目总投资约 1.1 亿元，属于总投资 50 亿元以下的建设项目。项目废水中总砷排放量约 0.0002t/a（0.2kg/a），项目不涉及其他重金属排放，投资强度为 1.1 亿元/0.2kg砷=5.5 亿元/千克砷，满足xx市环境保护局关于印发xx市涉重金属污染物排66、放建设项目环境准入指导意见和负面清单（2018 年版）的通知（厦环法规20183 号）中的A 级（砷：不低于 1 亿元/千克）的投资强度限值要求，具体见 1.2.1.5章节。符合（12）重金属污染物排放指标严格按照国家和行业有关控制标准、技术导则从严核算。原则上排放限值不高于按照国内先进清洁生产水平核定的排水量、最严排放标准核算值的75%，执行特别排放标准的项目除外。集成电路项目总砷排放总量不得高于按含砷废水排放口浓度 0.2mg/L 核定的限值 本项目属于 C3973 集成电路制造，含砷废水排放口总砷排放浓度按0.2mg/L 控制，总砷排放总量按0.2mg/L 进行核定 符合（13）集成电路67、显示器件等高耗水产业项目引进前应开展用水资源和排水可行性论证，确保区域水资源和水环境有承载能力 本项目属于 C3973 集成电路制造，用水量约 9.6m3/d（2894.0m3/a），用水量较小，可确保区域水资源和水环境有承载能力 符合（14）其他电子器件，应针对具体产品、工艺进行资源能源消耗、污染特性分析，鼓励引进无污染或轻污染、低风险项目，严格限制高消耗、高污染、高风险项目的准入 本项目符合清洁生产要求，不属于高消耗、高污染、高风险项目 符合 从上表分析得出，本项目不属于xx市生态环境准入清单（2021 年）所禁止及限制准入范畴。因此，本项目不属于环境准入清单里的限制内容，符合国家产业政68、策。1.2.1.5 与相关生态环境保护法与相关生态环境保护法律法规政策符合性分析律法规政策符合性分析（1）与xx市环境保护局关于印发xx市涉重金属污染物排放建设项目环境准入指导意）与xx市环境保护局关于印发xx市涉重金属污染物排放建设项目环境准入指导意见和负面清单（见和负面清单（2018 年版）的通知（厦环法规年版）的通知（厦环法规20183 号）符合性分析号）符合性分析 17 根据xx市环境保护局关于印发xx市涉重金属污染物排放建设项目环境准入指导意见和负面清单（2018 年版）的通知（厦环法规20183 号，xx市环境保护局2018 年 8 月29 日发布施行），本项目符合性分析见表 1-69、5。表表 1-5 本项目本项目与与xx市环境保护局关于印发xx市涉重金属污染物排放建设项目环境准xx市环境保护局关于印发xx市涉重金属污染物排放建设项目环境准入指导意见和负面清单（入指导意见和负面清单（2018 年年版）的通知（厦环法规版）的通知（厦环法规20183 号）号）符合性分析符合性分析 序号 内容及要求 本项目情况 符合性分析 一 总体要求 全面贯彻落实党的十九大精神，树立和践行绿水青山就是金山银山的绿色发展观，推进生态环境质量总体改善，预防环境污染和生态破坏；坚持节约资源和促进涉重金属行业产业结构调整，优化营商环境，推动高质量发展；遵循等量、减量置换原则，落实重点行业重点重金属污染70、物总量控制和排减目标要求；全面加强重金属污染防治和风险防控措施，坚决打好重金属污染防治攻坚战。本项目属于C3973集成电路制造，属于高新技术产业，不属于本文件中规定的重有色金属矿采选业、重有色金属冶炼业、铅蓄电池制造业、皮革及其制品业、化学原料及化学制品制造业、电镀行业（金属表面处理加工）等六大重点行业，尚不需遵循重点重金属污染物排放“等量置换”或“减量置换”原则。本项目废水中总砷排放量约0.0002t/a（0.2kg/a），满足本文件中规定的xx市涉重金属污染物建设项目的投资强度限值要求（具体见本表第三条中（三）中的第3项），建议作为本项目重金属排放总量控制指标（企业自控指标）在运营期严格执71、行重金属排放总量指标控制制度。符合 二 指导原则 坚持全面监管与重点管控的原则，严格重点行业、重点区域、重点污染物的准入条件和管控要求。尽管本项目不属于本文件中规定的六大重点行业，但考虑到本项目涉及废水中重点重金属类金属总砷的排放，在坚持全面监管与重点管控的原则基础上，本项目将严格执行准入条件和管控要求。符合（一）加强重金属污染物排放管控。建立铅、汞、镉、铬、类金属砷、银、镍、铜、锌、锰、铁、钴、锡全口径重金属污染物管控责任清单，落实企业防治污染主体责任；按照重点行业重点重金属污染物总量只减不增的原则，从严控制铅、汞、镉、铬、类金属砷五项重点重金属污染物的排放指标。本项目运营期将加强重金属污染72、物排放管控，建立类金属砷全口径重金属污染物管控责任清单，落实本企业防治污染主体责任。本项目属于C3973集成电路制造，不属于本文件中规定的重有色金属矿采选业、重有色金属冶炼业、铅蓄电池制造业、皮革及其制品业、化学原料及化学制品制造业、电镀行业（金属表面处理加工）等六大重点行业。符合（二）加强重点行业总量管控。建立健全重有色金属矿采选业、重有色金属冶炼业、铅蓄电池制造业、皮革及其制品业、化学原料及化学制品制造业、电镀行业（金属表面处理加工）等六大重点行业重金属排放总量减排制度。严格新建项目环境准入管控。现有重点行业企业要采用新技术、新工艺，全面实施减排措施和工程，削减并腾出重金属污染物排放量，支73、持市支柱产业、鼓励发展行业项目和省市重点项目建设。本项目属于C3973集成电路制造，不属于重有色金属矿采选业、重有色金属冶炼业、铅蓄电池制造业、皮革及其制品业、化学原料及化学制品制造业、电镀行业（金属表面处理加工）等六大重点行业。不受限（三）加强重点区域风险管控。建立系统性分区管控体系，推行负面清单管理，严格空间准入管制。严禁在全市生态控制线内建设任何排放重金属污染物的项目，已建的项目应责令关闭退出。除产业规划及规划环评认可的重点产业集中区外，其他工业园区不得新建、扩建排放重点重金属污染物的项目。本项目符合xx市生态环境准入清单（2021年）的准入要求，具体见1.2.1.4章节。项目选址位于同74、翔高新技术产业基地（同安片区）内，不在全市生态控制线内。符合xx市同翔高新技术产业基地（同安片区）提升规划及规划环评要求，具体见1.1.3及1.1.4章节 符合 三 准入要求 据我市重金属污染物总量控制目标、污染防治 本项目将根据xx市重金属污染物总量控符合 18 和风险管控原则要求，在建设项目环评文件审批管理中严格执行以下环境准入要求、限制条件和特别管理措施：制目标、污染防治和风险管控原则要求，严格执行以下环境准入要求、限制条件和特别管理措施。（一）严格空间准入。所有涉及重金属污染物排放的建设项目应符合园区规划及规划环评要求。本项目符合xx市同翔高新技术产业基地（同安片区）提升规划及规划环评75、要求，具体见1.1.3及1.1.4章节 符合 1 不得在工业用地控制线范围以外区域新建、扩建排放重金属污染物的项目，原已建的应加强监管，引导逐步搬迁、转产、转型。本项目选址位于同翔高新技术产业基地（同安片区）内，项目所在地块规划为工业用地，不在工业用地控制线范围以外区域 不受限 2 推进xx电镀集控区整合提升，淘汰低水平落后电镀线，不再批准新增电镀项目入驻。其他区域不再新建、扩建专业电镀项目或以电镀工艺为主的配套电镀项目。本项目不属于xx电镀集控区内。本项目不涉及电镀 不受限 3 除xx集成电路产业园和同安xx高新技术产业基地的部分园区外，其他工业园区不予审批新增重点重金属污染物排放的工业项目76、。本项目位于同翔高新技术产业基地（同安片区）内，符合相关要求 符合 4 禁止在土壤重金属质量超标区域、群众反映强烈的重金属污染区域、土壤污染防治目标责任书有关重金属减排任务考核不合格区域建设增加重金属污染物排放的项目。本项目不涉及该禁止条款 不受限（二）严格行业准入。涉重金属污染物排放的建设项目必须符合国家产业政策、产业准入和清洁生产要求。本项目符合xx市生态环境准入清单（2021年）的准入要求，符合同翔高新技术产业基地（同安片区）功能定位/主导产业要求，具体见1.2.1.4章节。根据产业结构调整指导目录（2019年本）及“国家发展改革委关于修改 产业结构调整指导目录（2019年本）的决定（国77、家发展和改革委员会令第49号，2021年12月30日）”，本项目属于鼓励类，符合国家产业政策。本项目符合清洁生产要求。符合 1 必须采用国内外先进的生产工艺和技术设备，原材料指标及单位产品的物耗、能耗、水耗、资源综合利用和污染物产生量等指标应达到国内、国际先进水平。推进使用全密闭、全自动生产工艺，厂区不得出现含重金属原料、废水、废液、废物泄漏、渗漏、滴漏和工艺废气无组织排放问题。本项目所采用的分子束外延（MBE）技术是近十几年来新发展起来的一项外延制膜新技术，未来规划与之配套的纳米压印光刻技术，属于国际先进技术。本项目生产过程均在全密闭的洁净车间内进行，采用全自动生产工艺，厂区严格杜绝出现含重78、金属原料、废水、废液、废物泄漏、渗漏、滴漏和工艺废气无组织排放问题。符合 2 必须采用先进、可靠、安全的处理工艺和治理技术，严格落实需配套的污水处理设施、废气处理设施、废物分类处理措施、厂区土壤及地下水污染防治措施、环境风险防范措施、排污监测监控设施，确保重金属污染物达标排放和符合总量控制的要求。本项目运营期产生的含砷浓度较高的废液及废水经收集后全部作为危险废物委托有资质的单位安全处理处置。微量含砷的生产废水拟采用“pH调节+反应沉淀”工艺处理，其中，反应沉淀属于 排污许可证申请与核发技术规范 电子工业（HJ1031-2019）推荐的处理废水中总砷的可行技术（化学沉淀法），属于先进、可靠、安全79、的处理工艺和治理技术。运营期项目将严格落实需配套的污水处理设施、废气处理设施、废物分类处理措施、厂区土壤及地下水污染防治措施、环境风险防范措施、排污监测监控设施，以确保重金属污染物达标排放和符合总量控制的要求 符合 3 根据重点产业发展规划，原则上不再审批铅蓄电池制造业、皮革及其制品业、化学原料及化学制品制造业和有色金属冶炼业上游产业等重金属重点行业的新建项目。本项目不属于铅蓄电池制造业、皮革及其制品业、化学原料及化学制品制造业和有色金属冶炼业上游产业等重金属重点行业 不受限 4 不再批准除市重点发展的先进电子、电气、新本项目不涉及电镀 不受限 19 材料产业中因特殊工艺、功能需要、无法分离、80、确需配套电镀工艺的项目以外的其他新建电镀项目；不再批准现有专业电镀、以电镀工艺为主的配套电镀项目和无特殊功能、工艺要求的表面处理项目扩建电镀产能、规模和镀种。扩建、改建、技术改造项目应全面调查、评价已有工程存在的环保问题，治理与项目有关的原有环境污染和生态破坏，并落实重金属排放减量化方案。推进现有电镀生产企业实施优化整合、提升改造和污染减排工程，腾出重金属污染物排放总量指标。5 近五年内发生重金属污染物严重超标排放等涉重金属违法犯罪的企业，不予审批其涉重金属污染物排放的新建、扩建项目。本项目不涉及该条款 不受限（三）严格指标管控。新建、改建、扩建涉重金属行业项目必须严格执行重金属排放总量指标控81、制制度。重金属重点行业项目必须遵循重点重金属污染物排放“等量置换”或“减量置换”的原则，应有明确的具体的重点重金属污染物排放指标来源。排放指标在符合总量控制要求的条件下，应当集约、高效利用。本项目运营期将严格执行重金属排放总量指标控制制度，严格按照废水中总砷排放量不超过0.0002t/a（0.2kg/a）进行指标管控。本项目属于C3973集成电路制造，不属于本文件中规定的重有色金属矿采选业、重有色金属冶炼业、铅蓄电池制造业、皮革及其制品业、化学原料及化学制品制造业、电镀行业（金属表面处理加工）等六大重点行业，尚不需遵循重点重金属污染物排放“等量置换”或“减量置换”原则。符合 1 新增排放铅、汞82、镉、铬、砷五项重点重金属污染物的建设项目，需要调剂指标来源的，应符合重点重金属污染物总量控制方案要求。全市可供调剂的总量指标优先支持省市重点项目、鼓励发展产业项目建设，其他新建项目原则上不予调剂重点重金属污染物排放指标。本项目属于C3973集成电路制造，不属于本文件中规定的重有色金属矿采选业、重有色金属冶炼业、铅蓄电池制造业、皮革及其制品业、化学原料及化学制品制造业、电镀行业（金属表面处理加工）等六大重点行业，尚不需遵循重点重金属污染物排放“等量置换”或“减量置换”原则。符合 2 省市重点项目按规定需调剂重点重金属污染物排放指标来源的，指标按“等量置换”原则调剂。其他符合准入条件的项目所需指83、标来源按“减量置换”原则调剂，调剂方削减量与新增的排放量比值不低于1.1，其中，电镀行业项目不低于1.2。本项目属于C3973集成电路制造，不属于本文件中规定的重有色金属矿采选业、重有色金属冶炼业、铅蓄电池制造业、皮革及其制品业、化学原料及化学制品制造业、电镀行业（金属表面处理加工）等六大重点行业，尚不需遵循重点重金属污染物排放“等量置换”或“减量置换”原则。符合 3 设定排放重金属污染物的建设项目的投资强度或产值强度（取项目总投资或产值数值高者为分子，重金属排放量为分母；分期建设项目按各期累计的总投资、产值和排放量计）：级（铅、汞、镉、铬、砷排放量之和）不低于亿元/千克；级（镍、银、铜、钴排84、放量之和）不低于1000万元/千克；级（锌、锰、铁、锡排放量之和）不低于500万元/千克。总投资50亿元以下排放重金属污染物的建设项目，应符合上述强度要求。排放以上多种重金属污染物的，应同时满足各档强度限值。总投资50亿元以上（含50亿元）的建设项目可参照上述指标，进行深入评价，严格限制高能耗、高物耗、高排放项目建设。本项目总投资约1.1亿元，属于总投资50亿元以下的建设项目。项目废水中总砷排放量约0.0002t/a（0.2kg/a），项目不涉及其他重金属排放，投资强度为1.1亿元/0.2kg砷=5.5亿元/千克砷，满足本条款中A级（砷：不低于1亿元/千克）的投资强度限值要求。符合 4 重金属85、污染物排放指标严格按照国家和行业有关控制标准、技术导则从严核算。原则上排放限值不高于按照国内先进清洁生产水平核定的排水量、最严排放标准核算值的75%，执行特别排放标准的项目除外。集成电路项目总砷排本项目属于C3973集成电路制造，含砷废水排放口总砷排放浓度按0.2mg/L控制，总砷排放总量按0.2mg/L进行核定 符合 20 放 总 量 不 得 高 于 按含 砷 废水排放口浓度0.2mg/L核定的限值，重有色金属冶炼项目总砷排放总量不得高于按0.1mg/L核定的限值。四 加强事中事后监管 （一）压实企业环保主体责任。排放重金属污染物的企业是防治重金属污染的责任主体，必须遵守环境保护相关法律、法86、规、规章，严格按照国家和地方有关标准、规范及审批要求落实各项污染防治设施和管理措施，切实履行好防治重金属污染的主体责任。排污企业不得擅自以转包、租赁等不正当方式转移防治污染的主体责任。对擅自变更生产性质、扩大电镀生产规模、增加重金属排放量、种类等非法行为将从严依法查处。本项目运营期将严格遵守环境保护相关法律、法规、规章，严格按照国家和地方有关标准、规范及审批要求落实各项污染防治设施和管理措施，切实履行好防治重金属污染的主体责任。本项目运营期将加强环境管理，不擅自以转包、租赁等不正当方式转移防治污染的主体责任。符合（二）严格落实环保责任清单。建立全口径重金属污染物排放企业管控责任清单，标明生产性87、质、生产规模、产污装置数量、生产工艺、污染物种类、排放标准、排放总量、排污口设置、排污监测监控、污染信息公开等管理管控要求。责任清单经企业承诺后，向社会公开，接受公众监督。责任清单明确的事项企业必须履行到位，不得随意变更。责任清单履行情况纳入企业环保诚信管理体系。本项目运营期将严格落实环保责任清单。建立全口径重金属污染物排放企业管控责任清单，标明生产性质、生产规模、产污装置数量、生产工艺、污染物种类、排放标准、排放总量、排污口设置、排污监测监控、污染信息公开等管理管控要求。本项目针对责任清单进行承诺后，向社会公开，接受公众监督。本项目将对责任清单明确的事项严格履行到位，不得随意变更。责任清单履88、行情况纳入企业环保诚信管理体系。符合（三）全面推行环保在线监控。在排放重金属污染物企业污染处理设施、排污口等关键区位安装在线视频监控系统，并与环保部门联网。规范排污口设置，确保排污口醒目。全面落实重金属污染物处理设施和排放口在线监控、监测装置，并与环保部门监管平台联网。本项目运营期将严格按照生态环境主管部门要求，安装环保在线监控系统。在排放重金属污染物的污染处理设施、排污口等关键区位安装在线视频监控系统，并与环保部门联网。规范排污口设置，确保排污口醒目。在重金属污染物处理设施和排放口安装在线监控、监测装置，并与环保部门监管平台联网。符合（四）强化执法检查。所有排放重金属污染物的企业必须纳入重点89、污染源监管名单，强化双随机抽查比重。结合水污染防治攻坚战、土壤污染防治攻坚战、环保专项督查、环保专项执法行动等全面加强电镀企业执法检查。严厉打击企业不正常运行污染处理设施、私设暗管偷排、非法排放、倾倒、处置重金属污染物等环境违法犯罪行为。本项目运营期将加强环保设施运营及管理，确保重金属污染物及其他各项污染物稳定达标排放。积极配合生态环境主管部门的执法检查。符合（五）强化监督性监测。开展重金属污染物随机采样监测和交叉采样监测，监测采样时间地点不得事先通知。按照重点污染源监督性监测要求，对排放重金属污染物的各企业每年前三季度完成不少于次的全指标监测，第四季度完成不低于企业总数25%比例的抽测。严格90、依法查处重金属污染超标排放行为，严格核算重金属排放总量，严格依法处理超过重金属污染物排放总量的行为。本项目运营期将加强环保设施运营及管理，确保重金属污染物及其他各项污染物稳定达标排放。积极配合生态环境主管部门的监督性监测。符合（六）强制实施后评价制度。2019年起，所有投产5年以上的涉重金属排放的重点企业应按有关规定开展环境影响后评价，在此之后每3至5年左右结合排污许可证管理适时开展后评价。通过后评价，对企业生产性质、规模、工艺、污染防治设施运行、排污情况、土壤和地下水、自行监测、环境风险、环境累积影响、环境管理本项目运营期将严格按照生态环境主管部门要求，适时开展环境影响后评价。通过后评价，对91、企业生产性质、规模、工艺、污染防治设施运行、排污情况、土壤和地下水、自行监测、环境风险、环境累积影响、环境管理等进行全面的评估，主动查找分析存在问题，研究改进措施，及时进行整改完善。符合 21 等进行全面的评估，主动查找分析存在问题，研究改进措施，及时进行整改完善。企业开展后评价报告及落实整改情况应向辖区环保部门备案。对较好落实防治污染主体责任，积极主动改进环保工作的企业，环保可适当调整和减少执法检查和监测频率。开展后评价报告及落实整改情况及时向辖区环保部门备案。从上表分析得出，本项目符合xx市环境保护局关于印发xx市涉重金属污染物排放建设项目环境准入指导意见和负面清单（2018 年版）的通知92、（厦环法规20183 号）要求。本项目属于 C3973 集成电路制造，不属于该文件中规定的重有色金属矿采选业、重有色金属冶炼业、铅蓄电池制造业、皮革及其制品业、化学原料及化学制品制造业、电镀行业（金属表面处理加工）等六大重点行业，尚不需遵循重点重金属污染物排放“等量置换”或“减量置换”原则。本项目废水中总砷排放量约 0.0002t/a（0.2kg/a），满足该文件中规定的xx市涉重金属污染物建设项目的投资强度限值要求，建议作为本项目重金属排放总量控制指标（企业自控指标）在运营期严格执行重金属排放总量指标控制制度。（2）与xx市生态环境）与xx市生态环境 局关于加强挥发性有机物污染防治工作的通知93、（厦环大气局关于加强挥发性有机物污染防治工作的通知（厦环大气202215号）符合性分析号）符合性分析 根据xx市生态环境局关于加强挥发性有机物污染防治工作的通知（厦环大气202215 号，xx市生态环境局2022 年 3 月 28 日发布施行），摘录其中与本项目相关的条款并进行符合性分析，具体见表 1-6。表表 1-6 本项目本项目与与xx市生态环境局关于加强挥发性有机物污染防治工作的通知（厦环大xx市生态环境局关于加强挥发性有机物污染防治工作的通知（厦环大气气202215 号）号）符合性分析符合性分析 序号 内容及要求 本项目情况 符合性分析 一 规范台账管理 企业应规范建立台账并至少保持394、年，记录包括但不限于以下内容：本项目将严格按照规范要求建立台账并至少保持3年。符合（一）建立原辅材料台账，所有含挥发性有机物物料需建立完整的购买、使用记录，记录内容必须包含物料名称、VOCs含量、购入量、使用量、回收和处置量、计量单位、作业时间和记录人等。本项目将严格按照规范要求建立原辅材料台账，所有含挥发性有机物物料均建立完整的购买、使用记录，记录内容必须包含物料名称、VOCs含量、购入量、使用量、回收和处置量、计量单位、作业时间和记录人等。符合（二）建立统计年报，含有VOCs物料使用的统计年报应该包含上年库存、本年度购入总量、本年度销售产品总量、本年度库存总量、产品和物料的VOCs含量、V95、OCs排放量、污染控制设备处理效率、排放监测等数据。本项目将严格按照规范要求建立含有VOCs物料使用的统计年报，内容包含上年库存、本年度购入总量、本年度销售产品总量、本年度库存总量、产品和物料的VOCs含量、VOCs排放量、污染控制设备处理效率、排放监测等数据 符合（三）保存原始单据，如原辅材料说明书、检测报告、送货单、发票等。本项目将严格按照规范要求针对含VOCs的原辅材料均保存原始单据，如原辅材料说明书、检测报告、送货单、发票等。符合（四）建立VOCs处理设施台账，涉及吸附装置应记录吸附剂种类、用量及更换/再生日期，操作温度；涉及其他污染控制设备应记录主要操作参数及保养维护事项；记录挥发性96、有机物污染防治设施、生产活动及工艺设施的运行时间、非正常工况情况等。本项目将严格按规范要求建立VOCs处理设施台账，针对有机废气处理设施（1套活性炭吸附装置），记录吸附剂种类、用量及更换/再生日期，操作温度等。同时，记录污染防治设施、生产活动及工艺设施的运行时间、非正常工况情况等。符合 二 推进源头控制 22（一）企业应当按照国家和本省规定，限期淘汰严重污染大气环境的工艺、设备和产品。本项目不涉及国家和本省限期淘汰的严重污染大气环境的工艺、设备和产品。符合（二）深化源头替代。通过使用低VOCs含量的清洗剂等，从源头减少VOCs产生。鉴于生产工艺需要，本项目尽可能选择环保型低挥发性有机物含量的原97、辅材料 符合 三 提高密闭要求 （一）所有涉及VOCs的原辅材料、中间产品、成品的储存、输送、转运、投加、生产、灌装、废弃、处置等过程应采取有效的密闭措施。本项目运营期对所有涉及VOCs的原辅材料、中间产品、成品的储存、输送、转运、投加、生产、灌装、废弃、处置等过程均采取有效的密闭措施。符合 2 输送转运。采用非管道方式输送VOCs物料时，应采用密闭容器，容器的运输、装卸应采用专用设备，并在运输、装卸、储存和空置期间一直保持密闭，盛装VOCs物料的容器应存放于室内，或至少设置遮阳挡雨等设施；挥发性有机液体装卸应采取全密闭方式。本项目运营期VOCs物料的输送均采用密闭容器，容器的运输、装卸均采用98、专用设备，并在运输、装卸、储存和空置期间一直保持密闭，盛装VOCs物料的容器均存放于室内，装卸均采取全密闭的方式。符合 4 危险废物。盛装含VOCs废料（渣）的容器应密闭储存和存放。列入国家危险废物名录的含VOCs废料应以密闭容器收集，并按危险废物进行处理和处置。更换的VOCs吸附剂以及含VOCs物料的包装物、废弃物等含VOCs的危险废物，产生后必须马上密闭或存放在不透气的容器、包装袋内，贮存、转移期间不得打开。本项目运营期对所有涉及盛装含VOCs废料（渣）的容器均密闭储存和存放。列入国家危险废物名录的含VOCs废料均采用密闭容器收集，并按危险废物进行处理和处置。更换的废活性炭、含乙醇的废包装99、材料等含VOCs的危险废物，产生后马上密闭存放在不透气的容器内，贮存、转移期间均不打开。符合（二）所有产生VOCs的生产车间（或生产设施）应做到密闭，禁止露天或敞开式作业。不能密闭的部位要设置风幕、软帘或双重门等阻隔设施，减少废气排放。正常生产状态下，密闭场所的门窗处于打开状态或破损视同未达到密闭要求，确实需要打开的，必须设置双重门。本项目拟将各有机废气产污点均设在密闭车间内，设集气罩抽风收集后，汇入1套活性炭吸附装置处理，而后通至项目所在厂房楼顶经1根不低于36m高的排气筒排放。符合（三）设备起停、检修与清洗。载有含VOCs物料的设备、管道在开停工（车）、检修、清洗时，应在退料阶段尽量将残存100、物料退净，用密闭容器盛接，并回收利用。载有含VOCs物料的设备、管道在开停工（车）、检修、清洗时，在退料阶段尽可能将残存物料退净，并用密闭容器盛接，并回收利用。符合（五）密闭设施外任意一点非甲烷总烃的瞬时排放浓度值应低于无组织排放浓度标准值。本项目在竣工环保验收及日常运营过程中，将严格按照该条款要求执行，保证密闭设施外任意一点非甲烷总烃的瞬时排放浓度值低于无组织排放浓度标准值。符合（六）所有可能产生VOCs的生产场所和工段均应设置废气收集系统，将废气收集到位并导入废气治理设施。集气管路应标明废气走向。设施设备的开关时间要求必须写入操作规程并明示公布。所有可能产生VOCs的生产场所和工段均设置废101、气收集系统，将废气收集到位并导入废气治理设施。集气管路均标明废气走向。设施设备的开关时间要求均写入操作规程并明示公布。符合 四 完善治理设施 （一）应配置VOCs处理设施的企业，须根据其废气特性配套工艺成熟、技术可靠的治理设施进行治理，治理设施去除效率不得低于50%；收集的废气中NMHC初始排放速率2kg/h的，治理设施去除效率不应低于80%，确保废气稳定达标排放。本项目拟将各有机废气产污点均设在密闭车间内，设集气罩抽风收集后，汇入1套活性炭吸附装置处理，废气处理设施工艺成熟、技术可靠，净化效率不低于50%，并确保废气能够稳定达标排放。根据“4.2.1.1废气污染源源强核算”，本项目有机废气中102、NMHC初始排放速率约0.07917kg/h，远低于2kg/h。符合（二）企业应将污染治理设施的工艺流程、工艺参数、操作规程和维护制度在设施现场和操作场所明示公布。工艺流程公示内容应包括治理设施的工艺流程图、治理工艺总体介绍及主要技术参数。若采用以下技术治理的，公示的技术参数本项目运营期将各污染治理设施的工艺流程、工艺参数、操作规程和维护制度在各设施现场和操作场所明示公布。工艺流程公示内容包括治理设施的工艺流程图、治理工艺总体介绍及主要技术参数。采用的下列治理符合 23 应至少包含以下内容：技术，公示的技术参数包含以下内容：1 活性炭吸附法：活性炭填装量、更换周期、设计风量、停留时间、吸附进气103、温度、排气温度。公示的技术参数包括：活性炭填装量、更换周期、设计风量、停留时间、吸附进气温度、排气温度。符合（三）企业配置的VOCs治理设施，涉及以下处理工艺的，还应满足如下要求：3 采用不具备脱附功能的吸附法治理废气的，每万立方米/小时设计风量的吸附剂装填量应不小于1立方米，废气停留时间不得低于3秒。本项目采用不具备脱附功能的活性炭吸附装置治理废气，按每万立方米/小时设计风量的活性炭装填量2.1立方米，废气停留时间3秒进行设计。符合 6 废气收集系统排风罩的设置应符合GB/T16758的规定。排风罩口断面按GB/T16758规定的方法测量吸入风速，应保证不低于0.6米/秒；采用局部集气罩的，104、距集气罩开口面最远处的VOCs无组织排放位置，控制风速应不低于0.3米/秒。本项目废气收集系统排风罩的设置按照GB/T16758的规定执行。排风罩口断面吸入风速按不低于0.6m/s设计。符合 8 采用除燃烧法外的其他方法治理VOCs废气的，一个企业一栋建筑只允许设置一根VOCs排气筒。本项目拟将各有机废气产污点均设在密闭车间内，设集气罩抽风收集后，汇入1套活性炭吸附装置处理，而后通至项目所在厂房楼顶经1根不低于36m高的排气筒排放。本项目只设置一根VOCs排气筒。符合 9 排气筒应设置符合固定源监测技术规范（HJ/T397）要求的采样口和采样平台，并配备固定电源，设置固定安全的人员通道。本项目105、排气筒的设置严格按照 固定源监测技术规范（HJ/T397）的要求，设置采样口和采样平台，配备固定电源，设置固定安全的人员通道。符合 企业每个季度应对其环保设施运行情况进行自查，并将自查报告在互联网上公示。本项目运营期将严格按照规定，每个季度对各个环保设施运行情况进行自查，并将自查报告在互联网上公示。符合 从上表分析得出，本项目符合xx市生态环境局关于加强挥发性有机物污染防治工作的通知（厦环大气202215 号）要求。（3）与xx市生态环境局关于开展简易低效挥发性有机物治理设施清理整治的通知（厦）与xx市生态环境局关于开展简易低效挥发性有机物治理设施清理整治的通知（厦环大气环大气20236 号）106、符合性分析号）符合性分析 根据xx市生态环境局关于开展简易低效挥发性有机物治理设施清理整治的通知（厦环大气20236 号，xx市生态环境局2023 年 3 月 7 日发布施行），摘录其中与本项目相关的条款并进行符合性分析，具体见表 1-7。表表 1-7 本项目本项目与与xx市生态xx市生态环境局关于开展简易低效挥发性有机物治理设施清理整治的环境局关于开展简易低效挥发性有机物治理设施清理整治的通知（厦环大气通知（厦环大气20236 号号）符合）符合性分析性分析 内容及要求 本项目情况 符合性 分析 一、工作目标 大力推进源头替代，全面加强无组织排放控制，推进建设适宜高效的治污设施，深入实施精细化107、管控，加强监测监控，强化监督执法，进一步建立健全VOCs污染防治管理体系。本项目拟将各有机废气产污点均设在密闭车间内，设集气罩抽风收集后，汇入1套活性炭吸附装置处理。符合 二、整治要求 （一）对于采用活性炭吸附技术的企业，加强台账管理，督促足量添加、及时更换活性炭。本项目运营期将加强台账管理，足量添加、及时更换活性炭。符合（二）企业需做好涉挥发性有机物生产及使用工艺环节的全过程管控，同时提高VOCs收集效率和处理效率，规范环保处理设施运维，在确保稳定达标的基础上实现减量排放。本项目将严格按照要求做好涉挥发性有机物使用工艺环节的全过程管控，同时提高VOCs收集效率和处理效率，规范环保处理设施运维108、，在确保稳定符合 24 达标的基础上实现减量排放。附件：VOCs污染防治推荐技术 二、末端治理：2、活性炭吸附工艺 采用活性炭吸附工艺的企业，应根据废气排放特征，按照 吸 附 法 工 业 有 机 废 气 治 理 工 程 技 术 规 范（HJ2026-2013）设计净化工艺和设备。采用颗粒活性炭作为吸附剂时，其碘值不宜低于800mg/g；采用蜂窝活性炭作为吸附剂时，其碘值不宜低于650mg/g；采用活性炭纤维作为吸附剂时，其比表面积不低于1100m2/g（BET法）。企业应留存活性炭产品质量证明材料。本项目将严格按照吸附法工业有机废气治理工程技术规范（HJ2026-2013）设计活性炭吸附装置，109、拟采用碘值不低于650mg/g的蜂窝活性炭作为吸附剂，并留存活性炭产品质量证明材料。符合 采用活性炭吸附工艺的企业，治理工程的处理能力应根据废气的处理量确定，设计风量宜按照最大废气排放量的120%进行设计。设施入口废气应视情况进行除颗粒物、除湿、降温等预处理，确保废气颗粒物浓度低于1mg/m3，温度低于40，相对湿度低于80%。本项目活性炭吸附装置的处理能力按最大废气排放量的120%进行设计。由于本项目有机废气主要是由衬底准备工序使用蘸有乙醇的抹布对操作台面擦拭过程产生，不会产生颗粒物，且废气温度为常温，无需进行水喷淋等预处理，因此，活性炭吸附装置入口废气本身能够满足颗粒物浓度低于1mg/m3110、，温度低于40，相对湿度低于80%的相关要求。符合 采用颗粒状吸附剂时，气体流速应低于0.6m/s；采用纤维状吸附剂（活性炭纤维毡）时，气体流速应低于0.15m/s；采用蜂窝状吸附剂时，气体流速宜低于1.2m/s。废气在活性炭的停留时间不低于0.75s。其中，停留时间按下式计算。式1：t=VQ 3600 式中：t 为停留时间，单位 s；V 为活性炭实际装填体积，单位 m3；Q为废气处理设施设计风量，单位m3/h。本项目拟采用蜂窝活性炭作为吸附剂，气体流速按低于1.2m/s设计，废气在活性炭的停留时间按不低于0.75s设计。符合 活性炭动态吸附容量宜按10-15%计算。其中活性炭更换周期按下式计111、算。式2：T=V15%M 式中：T 为活性炭更换周期或再生周期，单位为月或天；V 为活性炭实际装填体积，单位 m3；为活性炭密度，取值 450kg/m3；M为每月或每天原辅材料中VOCs组分累计量，单位为kg。若每天涉VOCs原辅材料使用量少，采用每月使用量计。本项目运营期将严格按照该规范要求，及时更换活性炭。符合 从上表分析得出，本项目符合xx市生态环境局关于开展简易低效挥发性有机物治理设施清理整治的通知（厦环大气20236 号）要求。1.2.2 产业政策符合性分析产业政策符合性分析 本项目主要从事化合物半导体外延片的加工，属于 C3973 集成电路制造。建设单位后期规划引进配套的纳米压印光112、刻技术（在所租赁厂房二层的霍尔CV区东侧预留相应的隔间），拟用于制造集成电路（由于引进纳米压印光刻技术尚处于规划阶段，尚未确定具体的实施方案，不在本次评价范围内。后期确定方案后拟进行实施时，需进行环境影响评价并报批）。根据产业结构调整指导目录（2019 年本）及“国家发展改革委关于修改产业结构调整指导目录（2019 年本）的决定（国家发展和改革委员会令第 49 号，2021 年 12 月 30 日）”，本项目属于鼓励类“二十八 信息产业”中的“19、线宽 0.8 微米以下集成电路制造，”项目。对照市场准入负面清单（2022 年版），本项目不属于该清单中禁止准入类项目。25 因此，本项目符合国家113、产业政策要求。1.2.3 选址合理性分析选址合理性分析 本项目选址位于xx市同安区xx火炬高新区石墨烯新材料产业园五显路866-6 号（第一层、第二层的全部及第三层的东北角），根据所租赁厂房的不动产权证书（见附件 3），本项目所租赁厂房的批准土地用途为工业。同时，根据 同安区空间发展战略规划（2016-2020年）（附图 3），本项目所在地规划为工业用地。因此，本项目选址符合xx市 同安区发展规划要求。同时，本项目租赁石墨烯新材料产业园五显路 866-6 号（第一层、第二层的全部及第三层的东北角）进行生产，目前该工业厂房的其他层均为空置。项目所在厂房北侧为石墨烯新材料产业园内的五显路 866-114、5 号工业厂房，已入驻企业有xxxx科技有限公司等；东侧为石墨烯新材料产业园内的五显路 866-7 号工业厂房，已入驻企业有xx斯研新材料技术有限公司等；南侧为五显路 866-11 号北楼（石墨烯新材料产业园内的公寓楼），西侧为绿化隔离带，距离约 420m 为美珠堂村。项目周边主要为石墨烯新材料产业园内已入驻的工业企业，与项目最近的居民区为南侧距离约 180m 的下欧坑村。项目所在位置与周边环境相容性较强。因此，本项目选址合理。1.2.4 清洁生产分析清洁生产分析 清洁生产是将整体预防的环境战略持续应用于生产过程、产品和服务中，以增加生态效率和减少人类及环境的风险。开展清洁生产，在产品的整个生115、命周期的各个环节采取“预防”措施，将生产技术、生产过程、经营管理及产品等方面与物流、能量、信息等要素结合起来，并优化运行方式，从而实现最小的环境影响、最少的资源能源使用、最佳的管理模式以及最优化的经济增长水平。（1）本项目生产过程中使用的能源为电能，属于清洁能源。（2）本项目采用先进的设备和工艺，提高生产效率；项目通过采取逆流清洗等方式提高水重复利用率，减少新鲜水耗。（3）本项目中央空调系统使用R410A作为制冷剂，R410A是一种新型环保制冷剂，不破坏臭氧层，具有稳定、无毒、性能优越等特点。（4）本项目运营期产生的切开废弃的外延片、不合格外延片产品由衬底制造公司回收后重复利用，超纯水制备系统116、废离子交换树脂由供应商回收后再生重复利用，产品废包装材料、一般原料废包装材料、超纯水制备系统废活性炭出售给物资回收公司回收利用，可节约资源。从上述分析可知，本项目符合清洁生产要求，清洁生产水平较高。26 二、建设项目工程分析 2.1 建设内容建设内容 2.1.1 项目由来项目由来 xx科技（xx）股份有限公司成立于2022 年 5 月 23 日，属于股份有限公司（非上市、自然人投资或控股），法定代表人：蔡学彦，注册地址：xx火炬高新区（xx）产业区翔星路 100 号恒业楼 208-84 室，注册资金：11000 万元，经营范围：一般项目：技术服务、技术开发、技术咨询、技术交流、技术转让、技术推117、广；电子元器件制造；光电子器件制造；集成电路制造；电子测量仪器制造；电子专用材料制造；集成电路设计；电子元器件与机电组件设备销售；集成电路芯片及产品销售；光电子器件销售；电子测量仪器销售；电子专用材料销售；电子元器件批发；新材料技术推广服务；货物进出口（附件 1：企业营业执照及法人身份证复印件）。xx科技（xx）股份有限公司拟投资1.1 亿元，租赁xx高新技术创业中心有限公司位于xx市同安区xx火炬高新区石墨烯新材料产业园五显路866-6号的工业厂房进行生产，总租赁面积 7477.03m2，本项目拟使用该厂房第一层（1432.55m2）、第二层（1517.15m2）的全部及第三层的东北角（15118、m2），使用面积合计为 2964.70m2（其余面积拟作为企业预留发展使用），拟建设xx科技化合物半导体外延/芯片项目一期，建成后年加工化合物半导体外延片 60000 片（其中，以砷化镓为衬底的外延片 50000 片，以磷化铟为衬底的外延片 10000片）（附件 2：房屋租赁合同，附件 3：不动产权证书，附件 4：xx市企业投资项目备案证明）。说明：本项目可能涉及放射性的内容（如说明：本项目可能涉及放射性的内容（如 X 射线双晶衍射仪射线双晶衍射仪等），应单独进行环境影响等），应单独进行环境影响评价并报生态环境主管部门审批，评价并报生态环境主管部门审批，本次评价内容不包含放射性部分。本次评价内119、容不包含放射性部分。根据中华人民共和国环境影响评价法、建设项目环境保护管理条例及建设项目环境影响评价分类管理名录（2021 年版）等有关规定，本项目主要从事化合物半导体外延片的加工，属于 C3973 集成电路制造中的单片集成电路的制造，属于建设项目环境影响评价分类管理名录（2021 年版）中的“三十六、计算机、通信和其他电子设备制造业 39”中的“80、电子器件制造 397”中的“显示器件制造；集成电路制造；使用有机溶剂的；有酸洗的（以上均不含仅分割、焊接、组装的）”类，需实行环境影响报告表审批管理，具体见表 2-1，根据建设单位确认，后期规划引进配套的纳米压印光刻技术（在所租赁厂房二层的建设120、 内容 27 霍尔 CV 区东侧预留相应的隔间），拟用于制造第二代半导体集成电路，其中，砷化镓集成电路主要应用于通信卫星、电视卫星接收、移动通信、高清晰度电视、微波毫米波数字频率源、光通信、超高速率讯号处理、微型超级计算机、恶劣环境下用计算机和控制机、高性能仪器、微波传感等领域，磷化铟集成电路主要用于新的卫星及 60-90GHz 的陆面宽带系统等领域（说明：说明：集成电路是一种微小型化的电子电路，主要有半导体集成电路、薄膜集成电路、厚膜集成电路、混合集成电路等 4 类。其中半导体集成电路是依据固体的微观及宏观特性采用一系列掺杂工艺、细线条工艺、薄膜工艺等精密的微细加工工艺在单片半导体单晶材料上121、构成包含需要的晶体管、二极管、电阻、电容等元器件的微小型化电子电路。砷化镓集成电路是一种采用砷化镓做为半导体材料的半导体集成电路，具有高频率、高速度、高功率、低噪声和低功耗等优势；磷化铟集成电路具有高电子峰值漂移速度、高禁带宽度、高热导率等优点）。（由于引进纳米压印光刻技术尚处于规划阶段，尚未确定具体的实施方案，不在本次评价范围内。后期确定方案后拟进行实施时，需进行环境影响评价并报批）。因此，xx科技（xx）股份有限公司 委托xxxx科技咨询有限公司开展该项目的环境影响评价（附件5：委托书）。环评单位接受委托后，立即派技术人员进行现场调查和收集相关资料，依照 中华人民共和国环境影响评价法、xx122、市环境保护条例及相关法律法规的规定编制完成粒芯科技（xx）股份有限公司xx科技化合物半导体外延/芯片项目一期环境影响报告表，提交建设单位上报生态环境主管部门审批。表表 2-1 建设项目环境影响评价分类管理名录（节选）建设项目环境影响评价分类管理名录（节选）环评类别 项目类别 报告书 报告表 登记表 环评审批管理方式 三十六、计算机、通信和其他电子设备制造业 39 80 电子器件制造 397/显示器件制造；集成电路制造；使用有机溶剂的；有酸洗的 以上均不含仅分割、焊接、组装的/报告表：符合生态环境准入要求且不涉及铬、镉、汞、铅、砷等重点重金属排放和化工工艺过程的，实行告知承诺制。本项目涉及砷的排123、放，实行常规审批。本项目涉及砷的排放，实行常规审批。2.1.2 项目基本情况项目基本情况（1）项目名称：xx科技化合物半导体外延/芯片项目一期（2）建设单位：xx科技（xx）股份有限公司（3）建设地点：xx市同安区xx火炬高新区石墨烯新材料产业园五显路 866-6 号（第一层、第二层的全部及第三层的东北角）（项目地理位置见附图 1、项目区域布置情况见附图 7、项目所在厂区及周边环境现状照片见附图 8）28（4）建设性质：新建（5）建设规模：本项目拟租赁xx高新技术创业中心有限公司位于xx市同安区xx火炬高新区石墨烯新材料产业园五显路866-6号的工业厂房进行生产，总租赁面积7477.03m2，124、本项目拟使用该厂房第一层（1432.55m2）、第二层（1517.15m2）的全部及第三层的东北角（15m2），使用面积合计为 2964.70m2（其余面积拟作为企业预留发展使用），拟建设xx科技化合物半导体外延/芯片项目一期，建成后年加工化合物半导体外延片 60000 片（其中，以砷化镓为衬底的外延片 50000 片，以磷化铟为衬底的外延片 10000 片）（6）总投资：1.1 亿元（7）劳动定员及工作制度：本项目员工定员人数为 50 人，工作制度实行两班制，每班工作 12 小时，每天工作 24 小时，年生产 300 天，年工作时数 7200 小时。厂内不设员工宿舍及食堂 2.1.3 工程组125、成工程组成 根据建设单位提供资料，本项目工程组成情况见表 2-2。表表 2-2 本项目本项目工程组成工程组成情况情况一览表一览表 分类 名称 项目组成 主体 工程 生产车间 本项目涉及生产单元的车间主要有布置在第一层的MBE车间，布置在第二层的机台零部件清洗间、衬底清洗间、霍尔CV区、测试间、质检间、包装间等。项目建成后年加工化合物半导体外延片60000片（其中，以砷化镓为衬底的外延片50000片，以磷化铟为衬底的外延片10000片）辅助 工程 品质校正区（超净区）位于第二层中部偏东区域，主要用于储存外购的砷化镓衬底、磷化铟衬底 化学品间1#位于第二层北侧偏西区域，主要用于储存氢氮混合气体 化126、学品间2#位于第二层北侧中部区域，主要用于储存乙醇 化学品间3#位于第二层北侧中部区域，主要用于储存高纯金属镓、高纯砷、高纯金属铝、高纯金属铟、高纯红磷 化学品间4#位于第二层北侧偏东区域，主要用于储存硫酸（96%）、硝酸（70%）、盐酸（37%）化学品间5#位于第二层北侧偏东区域，主要用于储存双氧水（30%）化学品间6#位于第二层北侧偏东区域，主要用于储存氨水（35%）液氮储罐区 位于第一层外围北侧中部区域，设有2个50m3液氮储罐、1个20m3液氮储罐 中控室 位于第二层中部偏东北区域 发货区 位于第二层南侧偏东区域 配件库、维修间 位于第一层西侧偏北区域 UPS室 位于第二层南侧偏西区域127、 更衣室、物淋室 位于第一层中部偏东区域以及第二层中部偏东区域 公用 工程 给水系统 由市政自来水供应，依托项目所在园区及厂房已建市政供水管网 排水系统 雨污分流，雨水依托项目所在园区已建雨水管网。本项目运营期产生的含砷浓度较高的废液及废水（包括：硫酸双氧水浸洗废液及水洗废水、硝酸盐酸浸洗废液及水洗废水、氨水浸洗废液、氨水双氧水浸洗废液、实验废液及器具初次清洗废水）经收集后全部作为危险废物委托有资质的单位安全处理处置。微量含砷的生产废水（包括：氨水浸洗后水洗废水、氨水双氧水浸洗后水洗废水、破坏性电学特性测量实验器具后续清洗废水）拟采用“pH调节+反应沉淀”工艺处理后，经由含砷废水排放口，排入生128、产废水混合池，与超纯水制备系统浓排水混合后，经由生产废水排放口，排入园区污水管网；生活污水依托所租赁厂房已建三级化粪池预处理后，排入园区污水管网；上述废水经由园区总排污口，排入布塘北路市政污水管网，29 近期纳入布塘再生水处理站处理，中远期纳入洪塘水质净化厂处理 超纯水制备系统 项目拟设1套1.0t/h的超纯水制备系统，布置在第二层中部偏西区域的超纯水间内，为化合物半导体外延片的生产配套提供所需的超纯水。超纯水制备工艺为：原水箱原水泵多介质过滤活性炭过滤精密过滤器一级高压泵一级RO膜组一级RO水箱二级高压泵二级RO膜组二级RO氮封水箱EDI增压UV灭菌精密过滤EDI模块UV光氧脱气装置抛光树脂129、氮封水箱增压泵二次UV二次脱气二次抛光0.1m精密过滤超纯水箱至各超纯水用水点，超纯水收率约60%（超纯水制备系统产生的废离子交换树脂由供应商回收后再生重复利用，本项目不在厂内进行树脂再生）供电系统 依托项目所在园区及厂房已建市政供电系统。备用柴油发电机 设1台备用柴油发电机作为紧急电源，在紧急停电情况下维持正常照明供电，配1m3柴油储槽，布置在第一层外围西侧备用柴油发电机房内。空压机 项目拟设1台空压机，使用中压8.5kg/cm2压缩空气，空压机房布置在第二层中部偏西区域。中央空调系统 项目使用中央空调系统进行空气调节，配套空调冷水机3台、冷却泵8台、风冷式冷却塔3台，均布置在厂房楼顶，使用130、新型环保冷媒R410A作为制冷剂。洁净车间 空调机组包含新风粗效过滤段、新回风中效过滤段、表冷段、二次回风段、加热段、加湿段、风机段、均流段、高中效过滤段、送风段等，经过净化空调机组内的粗效、中效、高中效三级过滤和温湿度处理后，再经吊顶上的高效过滤器风口送入洁净室，室内回风经回风夹道下部的单层百叶回风口回风。室内正压用余压阀控制。设有百级、千级、万级洁净室。洁净室内温湿度：tn=232，n=505%。项目外延片加工过程均在洁净室内进行。环保 工程 废水 处理 生产废水 本项目运营期产生的含砷浓度较高的废液及废水（包括：硫酸双氧水浸洗废液及水洗废水、硝酸盐酸浸洗废液及水洗废水、氨水浸洗废液、氨水131、双氧水浸洗废液、实验废液及器具初次清洗废水）经收集后全部作为危险废物委托有资质的单位安全处理处置。微量含砷的生产废水（包括：氨水浸洗后水洗废水、氨水双氧水浸洗后水洗废水、破坏性电学特性测量实验器具后续清洗废水）拟采用“pH调节+反应沉淀”工艺处理后，经由含砷废水排放口，排入生产废水混合池，与超纯水制备系统浓排水混合后，经由生产废水排放口，排入园区污水管网，经由园区总排污口，排入布塘北路市政污水管网，近期纳入布塘再生水处理站处理，中远期纳入洪塘水质净化厂处理。微量含砷生产废水处理系统设计处理规模为5.0m3/d。生活污水 员工生活污水依托所租赁厂房已建三级化粪池预处理后，排入园区污水管网，经由园132、区总排污口，排入布塘北路市政污水管网，近期纳入布塘再生水处理站处理，中远期纳入洪塘水质净化厂处理 废气处理 酸碱（恶臭）废气：在各酸性废气及碱性废气产污点设集气罩抽风收集后，汇入1套酸碱喷淋塔处理，而后通至项目所在厂房楼顶经1根不低于36m高的排气筒排放（排气筒编号为：DA001）有机废气：设在密闭车间内，在各有机废气产污点设集气罩抽风收集后，汇入1套活性炭吸附装置处理，而后通至项目所在厂房楼顶经1根不低于36m高的排气筒排放（排气筒编号为：DA002）固废处置 危险废物 拟建3座危险废物暂存间（1#、2#、3#），其中，危险废物暂存间1#位于所租赁厂房第一层外围西侧，建筑面积约20m2，主要133、用于暂存各类废液；危险废物暂存间2#位于所租赁厂房第二层北侧中部区域，紧邻化学品间4#的西侧，建筑面积约4.0m2，主要用于暂存含磷废料；危险废物暂存间3#位于所租赁厂房第三层的东北角，建筑面积约15m2，主要用于暂存其他各类危险废物 一般工业固体废物 拟建1座一般工业固体废物暂存间，位于所租赁厂房第一层外围南侧西部区域，建筑面积约20m2 环境风险防范措施 在可能发生液态危险物质泄漏或渗漏的区域（如机台零部件清洗过程、衬底清洗过程、破坏性电学特性测量实验过程、各化学品间、各危险废物暂存间、备用柴油发电机房等）均采取防淋溶、防腐蚀、防渗漏、防流失措施；在可能发生火灾、爆炸的区域（如衬底准备工序134、乙醇擦拭的操作台面附近、化学品间、危险废物暂存间、备用柴油发电机房等）严格按照相关安全规范要求设置相应的防火、防爆、防雷、防静电、火灾报警、可燃气体报警等安全装置和设施；生产废水处理站采取防渗漏、防腐蚀措施等。30 2.1.4 主要产品及产能主要产品及产能 本项目设计加工化合物半导体外延片60000片/年，其中，以砷化镓为衬底的外延片50000片/年，以磷化铟为衬底的外延片 10000 片/年，主要用于后续制造集成电路。本项目主要产品及产能见表 2-3。表表 2-3 本项目本项目主要产品及产主要产品及产能能 序号 主要产品名称 单位 主要产品产能 1 化合物半导体外延片 片/年 60000 其135、中 以砷化镓为衬底的外延片 片/年 50000 以磷化铟为衬底的外延片 片/年 10000 2.1.5 主要生产单元主要生产单元 本项目主要涉及的生产单元有：MBE 车间、机台零部件清洗间、衬底清洗间、霍尔 CV区、测试间、质检间、包装间。2.1.6 主要工艺主要工艺 本项目主要涉及的生产工艺有：衬底和源材料采购、机台维护和源材料装填（包括机台零部件清洗）、衬底准备（包括衬底清洗）、校准及批量生长、生长后测量（包括破坏性电学特性测量）、质量终检、包装入库。2.1.7 主要设备主要设备 本项目主要生产设备见表 2-4。表表 2-4 本项目主要生产本项目主要生产设备设备一览表一览表 序号 设备名称136、 型号 单位 数量 1 MBE 机台 Riber6000 台 11 2 真空泵 与 MBE 机台配套 台 11 3 衬底清洗设备 套 1 4 机台零部件清洗设备 套 1 5 无接触面电阻测试仪 NC-80MAP 台 1 6 室温光荧光测量仪 RPMBlue-FS-M 台 1 7 霍尔效应测量仪 HL9900 台 1 8 电化学测量仪 ECVPro-WL 台 1 9 表面缺陷形貌测试仪 KLA-Tencor6220 台 1 10 X 射线双晶衍射仪 XPERT3 MRD 台 1 11 空压机 台 1 12 超纯水制备系统 1t/h 套 1 13 中央空调 台 3 14 风冷式冷却塔 台 3 15137、 各类机泵 台 20 16 各类风机 循环风机等（包括 2 台废气风机）台 15 17 备用柴油发电机 配 1m3柴油储槽 台 1 2.1.8 主要原辅材料、水及能源消耗情况主要原辅材料、水及能源消耗情况 本项目主要原辅材料、水及能源消耗情况见表 2-5。31 表表 2-5 本项目本项目主要原辅材料主要原辅材料、水、水及能源消耗情况及能源消耗情况 序号 项目 规格 单位 消耗量 一 原辅材料原辅材料 1 砷化镓衬底 6英寸：64g/片 片/a 50750 2 磷化铟衬底 4英寸：24g/片 片/a 10150 3 高纯金属镓 kg/a 64.0 4 高纯砷 kg/a 168.0 5 高纯金属铝138、 kg/a 6.4 6 高纯金属铟 kg/a 8.0 7 高纯红磷 kg/a 4.8 8 氨水 35%t/a 10 9 双氧水 30%t/a 10 10 硫酸 96%t/a 0.2 11 硝酸 70%t/a 0.12 12 盐酸 37%t/a 0.12 13 乙醇 t/a 0.05 14 氢氮混合气体 体积：H2占5%、N2占95%t/a 0.1 15 液氮 压力：0.3MPa，温度：-197 t/a 8500.0 二 水及水及能源能源 1 水 m3/a 2894.0 2 电 万kWh/a 500.0 根据建设单位提供的主要原辅材料安全技术说明书（MSDS，见附件 6），本项目生产过程所涉及的139、主要原辅材料理化性质及危险特性如下：（1）砷化镓）砷化镓 分子式：GaAs，分子量：144.64，CAS 号：1303-00-0，危险性类别：根据危险化学品分类信息表（2022 调整版），砷化镓的危险性类别为：致癌性，类别 1A；特异性靶器官毒性-反复接触，类别 1。外观与性状：黑灰色固体。密度：5.31g/cm3，熔点：1238，沸点：无资料，燃烧性：可燃，闪点：无资料，自燃点或引燃温度：无资料，爆炸极限：无资料，急性毒性：LD50：4700mg/kg（小鼠腹腔），LC50：无资料。健康危害：吸入该物质可能会引起对健康有害的影响或呼吸道不适。意外食入本品可能对个体健康有害。通过割伤、擦伤或病140、变处进入血液，可能产生全身损伤的有害作用。眼睛直接接触本品可导致暂时不适。危险特性：本品可燃，燃烧产生有毒砷化物烟雾。燃爆危险：本品可燃。（2）磷化铟磷化铟 分子式：InP，分子量：145.77，CAS 号：22398-80-7，危险性类别：未列入危险化学品分类信息表（2022 调整版）。外观与性状：银灰色单晶。密度：4.787g/cm3，熔点：1070，沸点：无资料，燃烧性：可燃，闪点：无资料，自燃点或引燃温度：无资料，爆炸极限：无资料，急性毒性：LD50：5000mg/kg（小鼠经口），LC50：无资料。健康危害：可能致癌。怀疑对生育能力或胎儿造成伤害。长期或反复接触可致器官损害。危险特性141、：本品可燃，燃烧产生有毒磷的氧化物烟雾。燃爆危险：本品可燃。（3）镓）镓 分子式：Ga，分子量：69.72，CAS 号：7440-55-3，危险性类别：根据危险化学品分32 类信息表（2022 调整版），镓的危险性类别为：皮肤腐蚀/刺激，类别 1；严重眼损伤/眼刺激，类别 1。外观与性状：淡蓝色金属，在 29.76时变为银白色液体。密度：5.904g/cm3，熔点：29.76，沸点：2403，燃烧性：不燃，闪点：无意义，自燃点或引燃温度：无意义，爆炸极限：无意义，急性毒性：LD50：300mg/kg（大鼠经口），LC50：无资料。健康危害：本品具有腐蚀性，暴露会刺激和灼伤眼、鼻和咽喉；反复或高142、浓度暴露引起恶心、呕吐、皮疥和肾损伤。危险特性：本品不燃，遇火会产生刺激性、毒性或腐蚀性的气体。燃爆危险：本品不燃。（4）砷）砷 分子式：As，分子量：74.92，CAS 号：7440-38-2，危险性类别：根据危险化学品分类信息表（2022 调整版），砷的危险性类别为：急性毒性-经口，类别 3*；急性毒性-吸入，类别 3*；致癌性，类别 1A；危害水生环境-急性危害，类别 1；危害水生环境-长期危害，类别 1。外观与性状：银灰色发亮的块状固体，质硬而脆。密度：5.727g/cm3，熔点：817（3650kPa），沸点：613（升华），燃烧性：可燃，闪点：无资料，自燃点或引燃温度：无资料，爆炸143、极限：无资料，急性毒性：LD50：763mg/kg（大鼠经口），LC50：无资料。健康危害：元素砷不溶于水，基本无毒性。口服砷化合物引起急性胃肠炎、休克、周围神经病、中毒性心肌炎、肝炎以及抽搐、昏迷等，甚至死亡。大量吸入亦可引起急性中毒，但消化道症状较轻。慢性中毒：长期接触砷化物引起消化系统症状、肝肾损害，皮肤色素沉着、角化过度或疣状增生，多发性周围神经炎。危险特性：燃烧时产生白色的有毒氧化砷烟雾。燃爆危险：本品可燃，有毒。（5）铝）铝 分子式：Al，分子量：26.98，CAS 号：7429-90-5，危险性类别：根据危险化学品分类信息表（2022 调整版），铝粉的危险性类别为：（1）有涂层：144、易燃固体，类别 1；（2）无涂层：遇水放出易燃气体的物质和混合物，类别 2。外观与性状：银白色轻金属，有延展性，商品常制成柱状、棒状、片状、箔状、粉状、带状和丝状。密度：2.70g/cm3，熔点：660，沸点：2327，燃烧性：遇湿易燃，闪点：无资料，引燃温度：645，爆炸极限：爆炸下限：3750mg/m3，爆炸上限：无资料，急性毒性：LD50：无资料，LC50：无资料。健康危害：长期吸入可致铝尘肺。表现为消瘦、极易疲劳、呼吸困难、咳嗽、咳痰等。溅入眼内，可发生局灶性坏死，角膜色素沉着，晶体膜改变及玻璃体混浊。对鼻、口、性器官粘膜有刺激性，甚至发生溃疡。可引起痤疮、湿疹、皮炎。危险特性：大量粉145、尘遇潮湿、水蒸气能自燃。与氧化剂混合能形成爆炸性混合物。与氟、氯等接触会发生剧烈的化学反应。与酸类或与强碱接触也能产生氢气，引起燃烧爆炸。粉体与空气可形成爆炸性混合物，当达到一定浓度时，遇火星会发生爆炸。燃爆危险：本品遇湿易燃，具刺激性。（6）铟）铟 33 分子式：In，分子量：114.8，CAS号：7440-74-6，危险性类别：未列入危险化学品分类信息表（2022调整版）。外观与性状：银灰色，质地极软的易熔金属。密度：7.30g/cm3，熔点：156.61，沸点：2060，燃烧性：可燃，闪点：无资料，自燃点或引燃温度：无资料，爆炸极限：无资料，急性毒性：LD50：4200mg/kg（大鼠经146、口），LC50：无资料。健康危害：目前尚未见职业中毒报道。有资料报道，铟具有刺激作用，接触可引起肝、心、肾的损害。危险特性：粉体遇明火、高热可燃。粉体与空气可形成爆炸性混合物，当达到一定浓度时，遇火星会发生爆炸。燃爆危险：本品可燃，具刺激性。（7）红磷）红磷 分子式：P，分子量：30.97，CAS 号：7723-14-0，危险性类别：根据危险化学品分类信息表（2022 调整版），红磷的危险性类别为：易燃固体，类别 1；危害水生环境-长期危害，类别 3。外观与性状：紫红色无定形粉末。密度：2.34g/cm3，熔点：590（4357kPa），沸点：无资料，燃烧性：易燃，闪点：无资料，引燃温度：26147、0，爆炸极限：爆炸下限：4864mg/m3，爆炸上限：无资料，急性毒性：LD50：2000mg/kg（大鼠经口），LC50：无资料。健康危害：经常吸入此种粉尘，可引起慢性磷中毒。可致皮炎。危险特性：遇明火、高热、摩擦、撞击有引起燃烧的危险。与溴混合能发生燃烧。与大多数氧化剂如氯酸盐、硝酸盐、高氯酸盐或高锰酸盐等组成爆炸性能十分敏感的化合物。燃烧时放出有毒的刺激性烟雾。燃爆危险：本品易燃。（8）氨水（）氨水（35%）分子式：NH3 H2O，分子量：35.05，CAS 号：1336-21-6，危险性类别：根据危险化学品分类信息表（2022 调整版），氨溶液（含氨10%）（别名：氨水）的危险性类别为148、：皮肤腐蚀/刺激，类别 1B；严重眼损伤/眼刺激，类别 1；特异性靶器官毒性-一次接触，类别3（呼吸道刺激），危害水生环境-急性危害，类别 1。外观与性状：无色透明液体，有强烈的刺激性臭味。相对密度（水=1）：0.8785（35%，20），熔点：-58（25%），沸点：38（25%），相对蒸气密度（空气=1）：0.61.2，饱和蒸气压：648.14mmHg（86411.6Pa）（35%，20），燃烧性：不燃，闪点：无意义，自燃点或引燃温度：无意义，爆炸极限：16%28%（氨，体积）。急性毒性：LD50：350mg/kg（大鼠经口）；LC50：1390mg/m3（大鼠吸入，4小时）。健康危害：吸149、入后对鼻、喉和肺有刺激性，引起咳嗽、气短和哮喘等；重者发生喉头水肿、肺水肿及心、肝、肾损害。溅入眼内可造成灼伤。皮肤接触可致灼伤。口服灼伤消化道。慢性影响：反复低浓度接触，可引起支气管炎；可致皮炎。危险特性：易分解放出氨气，温度越高，分解速度越快，可形成爆炸性气氛。若遇高热，容器内压增大，有开裂和爆炸的危险。与强氧化剂和酸剧烈反应。与卤素、氧化汞、氧化银接触会形成对震动敏感的化34 合物。燃爆危险：本品不燃，具腐蚀性、刺激性，可致人体灼伤。（9）双氧水（）双氧水（30%）分子式：H2O2，分子量：34.016，CAS 号：7722-84-1，危险性类别：根据危险化学品分类信息表（2022 调整150、版），20%含量60%的过氧化氢溶液的危险性类别为：氧化性液体，类别 2；皮肤腐蚀/刺激，类别 1A；严重眼损伤/眼刺激，类别 1；特异性靶器官毒性-一次接触，类别 3（呼吸道刺激）。外观与性状：无色透明液体，有微弱的特殊气味。相对密度（水=1）：1.1112（30%，20），熔点：-0.43（无水），沸点：150.2（无水，分解），相对蒸气密度（空气=1）：1.17，饱和蒸气压（kPa）：0.13（15.3），燃烧性：助燃，闪点：无意义，自燃点或引燃温度：无意义，爆炸极限：无意义。急性毒性：LD50：376mg/kg（大鼠经口，浓度 90%）；1200mg/kg（大鼠经口，浓度 35%）；L151、C50：无资料。急性水生毒性：LC50：37.4mg/L（96h）（鲶鱼），16.4mg/L（96h）（黑头呆鱼），属于化学品分类和标签规范 第 28 部分：对水生环境的危害（GB30000.28-2013）“表 1 危害水生环境物质的分类标准”中“a）急性（短期）水生危害”中的“类别 3”：“96h LC50（鱼类）10mg/L 且100mg/L”。健康危害：吸入本品蒸气或雾对呼吸道有强烈刺激性。眼直接接触液体可致不可逆损伤甚至失明。口服中毒出现腹痛、胸口痛、呼吸困难、呕吐、一时性运动和感觉障碍、体温升高等。个别病例出现视力障碍、癫痫样痉挛、轻瘫。长期接触本品可致接触性皮炎。危险特性：爆炸性152、强氧化剂。过氧化氢本身不燃，但能与可燃物反应放出大量热量和氧气而引起着火爆炸。过氧化氢在 pH 值为 3.54.5 时最稳定，在碱性溶液中极易分解，在遇强光，特别是短波射线照射时也能发生分解。当加热到 100以上时，开始急剧分解。它与许多有机物如糖、淀粉、醇类、石油产品等形成爆炸性混合物，在撞击、受热或电火花作用下能发生爆炸。过氧化氢与许多无机化合物或杂质接触后会迅速分解而导致爆炸，放出大量的热量、氧和水蒸气。大多数重金属（如铁、铜、银、铅、汞、锌、钴、镍、铬、锰等）及其氧化物和盐类都是活性催化剂，尘土、香烟灰、碳粉、铁锈等也能加速分解。燃爆危险：本品助燃，具强刺激性。（10）硫酸（）硫酸（9153、6%）分子式：H2SO4，分子量：98.076，CAS 号：7664-93-9，危险性类别：根据危险化学品分类信息表（2022 调整版），硫酸的危险性类别为：皮肤腐蚀/刺激，类别 1A；严重眼损伤/眼刺激，类别 1。外观与性状：纯品为无色透明油状液体，无臭。相对密度（水=1）：1.8355（96%），熔点：10.5，沸点：330.0，相对蒸气密度（空气=1）：3.4，饱和蒸气压：0.13kPa35（145.8），燃烧性：助燃，闪点：无意义，自燃点或引燃温度：无意义，爆炸极限：无意义，急性毒性：LD50：2140mg/kg（大鼠经口）；LC50：510mg/m3，2 小时（大鼠吸入）；320mg154、/m3，2 小时（小鼠吸入）。健康危害：对皮肤、粘膜等组织有强烈的刺激和腐蚀作用。蒸气或雾可引起结膜炎、结膜水肿、角膜混浊，以致失明；引起呼吸道刺激，重者发生呼吸困难和肺水肿；高浓度引起喉痉挛或声门水肿而窒息死亡。口服后引起消化道烧伤以致溃疡形成；严重者可能有胃穿孔、腹膜炎、肾损害、休克等。皮肤灼伤轻者出现红斑、重者形成溃疡，愈后斑痕收缩影响功能。溅入眼内可造成灼伤，甚至角膜穿孔，全眼炎以至失明。慢性影响：牙齿酸蚀症、慢性支气管炎、肺气肿和肺硬化。危险特性：遇水大量放热，可发生沸溅。与易燃物（如苯）和有机物（如糖、纤维素等）接触会发生剧烈反应，甚至引起燃烧。遇电石、高氯酸盐、雷酸盐、硝酸盐、苦155、味酸盐、金属粉末等猛烈反应，发生爆炸或燃烧。有强烈的腐蚀性和吸水性。燃爆危险：本品助燃，具强腐蚀性、强刺激性，可致人体灼伤。（11）硝酸（）硝酸（70%）分子式：HNO3，分子量：63.018，CAS 号：7697-37-2，危险性类别：根据危险化学品分类信息表（2022 调整版），硝酸的危险性类别为：氧化性液体，类别 3；皮肤腐蚀/刺激，类别 1A；严重眼损伤/眼刺激，类别 1。外观与性状：微黄色液体，刺激性气味。相对密度（水=1）：1.4134（70%，20），熔点：-42（无水），沸点：86（无水），相对蒸气密度（空气=1）：2.17，饱和蒸气压：3.00mmHg（400.0Pa）（70156、%，20），燃烧性：助燃，闪点：无意义，自燃点或引燃温度：无意义，爆炸极限：无意义。急性毒性：LDLo：430mg/kg（人类，吞食）；LC50：130mg/m3（大鼠吸入，4 小时）；67ppm（小鼠吸入，4 小时）。健康危害：其蒸气有刺激作用，引起眼和上呼吸道刺激症状，如流泪、咽喉刺激感、呛咳，并伴有头痛、头晕、胸闷等。口服引起上消化道剧痛、烧灼伤以至形成溃疡；严重者可有胃穿孔、腹膜炎、喉痉挛、肾损害、休克以至窒息等。皮肤接触引起灼伤。慢性影响：长期接触可引起牙齿酸蚀症。危险特性：强氧化剂。能与多种物质如金属粉末、电石、硫化氢、松节油等猛烈反应，甚至发生爆炸。与还原剂、可燃物如糖、纤维素、157、木屑、棉花、稻草或废纱头等接触，引起燃烧并散发出剧毒的棕色烟雾。具有强腐蚀性。燃爆危险：本品助燃，具强腐蚀性、强刺激性，可致人体灼伤。（12）盐酸（）盐酸（37%）分子式：HCl，分子量：36.458，CAS 号：7647-01-0，危险性类别：根据危险化学品36 分类信息表（2022 调整版），盐酸的危险性类别为：皮肤腐蚀/刺激，类别 1B；严重眼损伤/眼刺激，类别 1；特异性靶器官毒性-一次接触，类别 3（呼吸道刺激）；危害水生环境-急性危害，类别 2。外观与性状：无色透明的液体，具有刺激性气味。相对密度（水=1）：1.19（37%），熔点：-27.32（38%），沸点：110（20.2%158、）、48（38%），相对蒸气密度（空气=1）：1.26，饱和蒸气压：30.66kPa（21），燃烧性：不燃，闪点：无意义，自燃点或引燃温度：无意义，爆炸极限：无意义，急性毒性：LD50：900mg/kg（兔经口，浓盐酸），LC50：4600mg/m3（大鼠吸入，1 小时）。健康危害：接触其蒸气或烟雾，可引起急性中毒，出现眼结膜炎，鼻及口腔粘膜有烧灼感，鼻衄、齿龈出血，气管炎等。误服可引起消化道灼伤、溃疡形成，有可能引起胃穿孔、腹膜炎等。眼和皮肤接触可致灼伤。慢性影响：长期接触，引起慢性鼻炎、慢性支气管炎、牙齿酸蚀症及皮肤损害。危险特性：能与一些活性金属粉末发生反应，放出氢气。遇氰化物能产生剧毒159、的氰化氢气体。与碱发生中和反应，并放出大量的热。具有较强的腐蚀性。燃爆危险：本品不燃，具强腐蚀性、强刺激性，可致人体灼伤。（13）乙醇）乙醇 分子式：CH3CH2OH，分子量：46.068，CAS 号：64-17-5，危险性类别：根据危险化学品分类信息表（2022 调整版），乙醇（无水）的危险性类别为：易燃液体，类别 2。外观与性状：无色液体，有酒香。相对密度（水=1）：0.79，熔点：-114.1，沸点：78.3，相对蒸气密度（空气=1）：1.59，饱和蒸气压（kPa）：5.33（19），燃烧性：易燃，闪点：12，引燃温度：363，爆炸极限：3.3%19.0%，急性毒性：LD50：7060m160、g/kg（兔经口），7430mg/kg（兔经皮），LC50：37620mg/m3，10 小时（大鼠吸入）。健康危害：本品为中枢神经系统抑制剂。首先引起兴奋，随后抑制。急性中毒：急性中毒多发生于口服。一般可分为兴奋、催眠、麻醉、窒息四阶段。患者进入第三或第四阶段，出现意识丧失、瞳孔扩大、呼吸不规律、休克、心力衰竭及呼吸停止。慢性影响：在生产中长期接触高浓度本品可引起鼻、眼、粘膜刺激症状，以及头痛、头晕、疲乏、易激动、震颤、恶心等。长期酗酒可引起多发性神经病、慢性胃炎、脂肪肝、肝硬化、心肌损害及器质性精神病等。皮肤长期接触可引起干燥、脱屑、皲裂和皮炎。危险特性：易燃，其蒸气与空气可形成爆炸性混合物161、，遇明火、高热能引起燃烧爆炸。与氧化剂接触发生化学反应或引起燃烧。在火场中，受热的容器有爆炸危险。燃爆危害：本品易燃，具刺激性。（14）氢氮混合气体氢氮混合气体 37 根据建设单位提供资料，氢氮混合气体中，H2约占5%（体积比）、N2约占95%。其中，氢气理化性质及危险特性如下：氢气：分子式：H2，分子量：2.016，CAS号：1333-74-0，危险性类别：根据危险化学品分类信息表（2022调整版），氢气的危险性类别为：易燃气体，类别1；加压气体。外观与性状：无色无臭气体。相对密度（水=1）：0.07（-252），熔点：-259.2，沸点：-252.8，相对蒸气密度（空气=1）：0.07，燃162、烧性：易燃，闪点：无意义，引燃温度：400，爆炸极限：4.075.6%，急性毒性：LD50：无资料，LC50：无资料。健康危害：本品在生理学上是惰性气体，仅在高浓度时，由于空气中氧分压降低才引起窒息。在很高的分压下，氢气可呈现出麻醉作用。危险特性：与空气混合能形成爆炸性混合物，遇热或明火即爆炸。气体比空气轻，在室内使用和储存时，漏气上升滞留屋顶不易排出，遇火星会引起爆炸。氢气与氟、氯、溴等卤素会剧烈反应。燃爆危险：本品易燃。2.1.9 物料储存及运输情况物料储存及运输情况 本项目主要物料储存及运输情况见表 2-6。表表 2-6 本项目主要物料储存及运输情况表本项目主要物料储存及运输情况表 序 163、号 名称 形态 规格及包装 用量 t/a 最大储存量 t 周转频次（次/年）储存位置 运输 方式 1 砷化镓衬底 固态 25片盒装 3.248 0.128 26 二层超净区 汽运 2 磷化铟衬底 固态 25片盒装 0.2436 0.0096 26 二层超净区 汽运 3 高纯金属镓 固态 2kg盒装 0.064 0.004 16 化学品间3#汽运 4 高纯砷 固态 10kg盒装 0.168 0.02 9 化学品间3#汽运 5 高纯金属铝 固态 2kg盒装 0.0064 0.004 2 化学品间3#汽运 6 高纯金属铟 固态 2kg盒装 0.008 0.004 2 化学品间3#汽运 7 高纯红磷 164、固态 2kg盒装 0.0048 0.004 2 化学品间3#汽运 8 氨水（35%）液态 25L桶装 10.0 0.220 46 化学品间6#汽运 9 双氧水（30%）液态 25L桶装 10.0 0.139 72 化学品间5#汽运 10 硫酸（96%）液态 25L桶装 0.2 0.092 3 化学品间4#汽运 11 硝酸（70%）液态 25L桶装 0.12 0.071 2 化学品间4#汽运 12 盐酸（37%）液态 25L桶装 0.12 0.060 2 化学品间4#汽运 13 乙醇 液态 25L桶装 0.05 0.040 2 化学品间2#汽运 14 氢氮混合气体（H2占5%、N2占95%）气态165、 7kg瓶装 0.1 0.014 8 化学品间1#汽运 15 液氮（0.3MPa、-197）液态 2个50m3储罐、1个20m3储罐 8500.0 96.8 88 液氮储罐区 汽运 注：液氮密度按 0.807kg/cm3计。砷化镓衬底质量约 64g/片，则 50750 片/a 砷化镓衬底折重约 3.248t/a，磷化铟衬底质量约 24g/片，则 10150 片/a 磷化铟衬底折重约 0.2436t/a。2.1.10 物料平衡分析物料平衡分析 考虑到本项目生产过程中产生的主要污染物由砷、氨水等导致，本次评价主要针对砷、38 氨进行物料平衡分析，以明确所关注的各主要污染物的平衡及去向。（1）砷的物166、料平衡）砷的物料平衡 根据建设单位提供资料，外购砷化镓衬底规格为 6 英寸，质量约 64g/片，则 50750 片/a砷化镓衬底折重约 3.248t/a，磷化铟衬底规格为 4 英寸，质量约 24g/片，则 10150 片/a 磷化铟衬底折重约 0.2436t/a。切开废弃的外延片按 1 片/天计，约 300 片/a（其中，砷化镓衬底外延片 250 片、磷化铟衬底外延片 50 片，折重合计 0.0172t/a）；不合格外延片产品按产品产量的 1%估算，约 600 片/a（其中，砷化镓衬底外延片 500 片、磷化铟衬底外延片 100 片，折重合计 0.0344t/a）。在机台清理过程中，用刮刀刮下167、的源材料量按沉积量的 95%估算，则在机台零部件清洗过程中进入废液及废水的源材料量约占沉积量的 5%。根据上述情况，各高纯源材料在化合物半导体外延片加工过程中的去向见表 2-7。表表 2-7 各高纯源材料在各高纯源材料在加加工过程中的去向工过程中的去向 衬底 所使用的源材料 在衬底上生长的源材料 沉积在机台零部件上的源材料 名称 用量 t/a 比例 数量t/a 总量 t/a 机台清理过程刮刀刮下 的量（约95%）t/a 机台零部件清洗过程进入 废液及废水的量（约5%）t/a 砷化镓 衬底 高纯金属镓 高纯砷 高纯金属铝 小计 磷化铟 衬底 高纯金属铟 高纯红磷 小计 合计 根据建设单位提供资料168、，衬底清洗过程中，约 60%的砷化镓衬底需进行清洗，进入清洗废液及废水的砷化镓量不超过清洗衬底重量的 0.5%。根据上述数据计算，本项目砷的物料平衡分析见表 2-8 和图 2-1。39 表表 2-8 本项目砷本项目砷的物料的物料平衡表平衡表 砷砷的物料的物料平衡平衡 序 号 投入（t/a）输出（t/a）物料名称 数量 折元素砷 物料名称 数量 1 砷化镓衬底 进入以砷化镓为衬底的外延片产品 2 高纯砷 进入外排的废水 3 进入 固废 含砷污泥 4 生产机台清理的含砷废料 5 硫酸双氧水浸洗废液及水洗废水、硝酸盐酸浸洗废液及水洗废水、氨水浸洗废液、氨水双氧水浸洗废液等废液 6 切开废弃的外延片（169、0.0172t/a，其中砷化镓 250 片，折砷 0.0083t/a）7 不合格外延片产品（0.0344t/a，其中砷化镓 500 片，折砷 0.0166t/a）8 合计 注：各物质的分子量：GaAs：144.64；As：74.92。进入系统进入系统：1.8504 排出系统：排出系统：1.8504 图图 2-1 本项目砷的物料平衡图本项目砷的物料平衡图 单位：t/a （2）氨的）氨的物料物料平衡平衡 根据建设单位提供资料，本项目氨的物料平衡分析见表 2-9 和图 2-2。本 项 目 生 产 加 工 过 程 进入固废（硫酸双氧水浸洗废液及水洗废水、硝酸盐酸浸洗废液及水洗废水、氨水浸洗废液、氨水双170、氧水浸洗废液等废液）：0.0126 砷化镓衬底中的砷 1.6824 高纯砷 0.168 进入固废（含砷污泥）：0.0003 进入固废（不合格外延片产品）：0.0166 进入固废（切开废弃的外延片）：0.0083 进入以砷化镓为衬底的外延片产品：1.6575 进入外排的废水：0.0002 进入固废（生产机台清理的含砷废料）：0.1549 40 表表 2-9 本项目本项目氨的物料氨的物料平衡表平衡表 氨的物料氨的物料平衡平衡 序 号 投入（t/a）输出（t/a）物料名称 数量 含氨 物料名称 数量 1 氨水（35%）10.0 3.5 随经处理后的酸碱（恶臭）废气排入大气的氨 0.0145 2 无组171、织排放的氨 0.0076 3 进入废水（氨水浸洗后水洗废水、氨水双氧水浸洗后水洗废水）中的氨1 0.0533 4 与双氧水反应消耗掉的氨（生成 N2排入大气）2 0.9515 5 进入固废（氨水浸洗废液、氨水双氧水浸洗废液）中的氨 2.3424 6 进入固废（酸碱（恶臭）废气酸碱喷淋塔排污）中的氨 0.1307 7 合计 3.5 3.5 注：1进入废水（氨水浸洗后水洗废水、氨水双氧水浸洗后水洗废水）中的氨氮（以 N 计）量为0.0219+0.0219=0.0438t/a，折合氨的量约 0.043814.0117.034=0.0533t/a。其中，各物质分子量：NH3：17.034；N：14.0172、1。2根据建设单位提供资料，氨水双氧水浸洗过程需使用的双氧水（30%）量约 9.5t/a，在氨水双氧水浸洗过程中，氨与双氧水发生反应的方程式为：2NH3+3H2O2=6H2O+N2，则与双氧水反应而消耗掉的氨量约 9.530%（334.016）（217.034）=0.9515t/a。其中，H2O2的分子量：34.016。进入系统：进入系统：3.5 排出系统：排出系统：3.5 图图 2-2 本项目氨的物料平衡图本项目氨的物料平衡图 单位：t/a 2.1.11 用排水平衡分析用排水平衡分析 根据建设单位提供资料，本项目运营期用排水平衡情况见表 2-10 和图 2-3。本 项 目 生 产 加 工 过173、 程 进入固废（酸碱(恶臭)废气酸碱喷淋塔排污）中的氨：0.1307 氨水（35%）中的氨 3.5 随经处理后的酸碱（恶臭）废气排入大气的氨：0.0145 与双氧水反应消耗掉的氨（生成 N2排入大气）：0.9515 无组织排放的氨：0.0076 进入固废（氨水浸洗废液、氨水双氧水浸洗废液）中的氨：2.3424 进入废水（氨水浸洗后水洗废水、氨水双氧水浸洗后水洗废水）中的氨：0.0533 41 表表 2-10 本项目用排水平衡表本项目用排水平衡表 单位：m3/a 序 号 工序 进入系统 串级 用水 循环 水 排出系统 备注 新鲜 水 超纯 水 物料 带入水 作为危废处置的作为危废处置的 各类废液174、及废水 其他生 产废水 清净 下水 生活 污水 损耗 1 超纯水制备系统 1916.0 766.4 产超纯水 1149.6 2 衬底 清洗 氨水浸洗 19.4 3.3 20.4 2.3 3 氨水浸洗后 超纯水洗 540.0 486.0 54.0 1 道清洗 4 氨水双氧水浸洗 12.8 9.9 20.4 2.3 5 氨水双氧水 浸洗后超纯水洗 540.0 486.0 54.0 1 道清洗 6 机台 零部件 清洗 硫酸双氧水浸洗 2.7 0.4 2.8 0.3 7 硫酸双氧水 浸洗后超纯水洗 13.2 13.2 11.9 1.3 2 道逆流 清洗 8 硝酸盐酸浸洗 3.0 0.1 2.8 0.3175、 9 硝酸盐酸 浸洗后超纯水洗 13.2 13.2 11.9 1.3 2 道逆流 清洗 10 破坏性电学特性 测量实验 5.3 1.8 3.0 0.5 11 酸碱(恶臭)废气 酸碱喷淋塔 228.0 7200.0 12.0 216.0 12 员工工作与生活 750.0 637.5 112.5 13 合计 2894.0 1149.6 13.7 26.4 7200.0 84.0 975.0 766.4 637.5 444.8 42 新鲜水1916.0超纯水1149.6超纯水制备系统浓排水766.4氨水浸洗氨水双氧水浸洗2.319.4540.012.8氨水双氧水浸洗后水洗废水486.0氨水双氧水浸洗176、废液20.4氨水浸洗废液20.4氨水浸洗后水洗废水486.07200.0酸碱（恶臭）废气酸碱喷淋塔排污12.0216.0员工工作与生活生活污水637.5112.5228.0750.0975.01741.4540.0超纯水超纯水制备系统54.054.0依托所租赁厂房已建三级化粪池硫酸双氧水浸洗13.2硝酸盐酸浸洗13.22.713.23.00.3硫酸双氧水浸洗废液2.8硫酸双氧水浸洗后水洗废水11.913.21.31.3衬底清洗衬底清洗机台零部件清洗机台零部件清洗0.3氨水浸洗后超纯水洗2.3实验废液及器具初次清洗废水1.80.55.3氨水双氧水浸洗后超纯水洗84.0收集后作为危险废物委托有资质177、的单位安全处理处置生产废水处理站生产废水排放口生产废水排放口含砷废水排放口含砷废水排放口硫酸双氧水浸洗后超纯水洗硝酸盐酸浸洗废液2.8硝酸盐酸浸洗后水洗废水11.9破坏性电学特性测量实验实验器具后续清洗废水3.0污水作为危废的废液及废水新鲜水2894.0酸碱（恶臭）废气酸碱喷淋塔637.5975.0975.02378.9项目所在园区总排放口硝酸盐酸浸洗后超纯水洗物料带入水3.3物料带入水9.9物料带入水0.4物料带入水0.1 图图 2-3 本项目用排水平衡图本项目用排水平衡图 单位：m3/a 从上述用排水平衡可以看出，本项目总用水量为 11270.0m3/a，其中新鲜水用量为2894.0m3/178、a，重复用水量为 8376.0m3/a，水的重复利用率为 74.3%。2.1.12 总平面布置及其合理性分析总平面布置及其合理性分析 本项目拟租赁xx高新技术创业中心有限公司位于xx市同安区xx火炬高新区石墨烯新材料产业园五显路 866-6 号的工业厂房进行生产（本项目拟使用该厂房第一层43（1432.55m2）、第二层（1517.15m2）的全部及第三层的东北角（15m2），使用面积合计为2964.70m2）。其中，第一层内自西向东依次布置有配件库、维修间、MBE 车间、更衣室、物淋室、卫生间、IT 机房等，第一层外围西侧布置有危险废物暂存间 1#、备用柴油发电机房、生产废水处理站，北侧中部179、区域布置有液氮储罐区，南侧西部区域布置有一般工业固废暂存间；第二层自西向东依次布置有：变配电室、报警阀间、UPS 室、空压机房、化学品间1#、超纯水间、机台零部件清洗间、衬底清洗间、霍尔 CV 区、测试间、化学品间 2#、化学品间 3#、品质校正区（超净区）、质检间、危险废物暂存间 2#、化学品间 4#、包装间、更衣室、发货区、化学品间 5#、化学品间 6#、中控室、物淋室、卫生间、IT 机房等；第三层的东北角布置有危险废物暂存间 3#。酸碱（恶臭）废气排气筒、有机废气排气筒均布置在厂房楼顶北侧远离周围敏感点的位置。项目所租赁厂房各层平面布置情况见附图 9。从项目平面布置图上可以看出，项目各区180、域分区明确、物流顺畅，污染防治措施均布置在远离周围敏感目标的位置，平面布置基本合理。44 2.2 工艺流程和产排污环节工艺流程和产排污环节 本项目主要从事化合物半导体外延片的加工，设计年加工化合物半导体外延片 60000 片（其中，以砷化镓为衬底的外延片 50000 片，以磷化铟为衬底的外延片 10000 片）。根据建设单位提供资料，化合物半导体外延片的加工采用分子束外延（MBE）技术，以砷化镓为衬底的外延片使用的源材料（用作源炉中蒸发源的材料）为高纯金属镓、高纯砷、高纯金属铝，以磷化铟为衬底的外延片使用的源材料为高纯金属铟、高纯红磷；同时，根据客户需求，以砷化镓为衬底的外延片约 60%需在“181、衬底准备”阶段进行衬底清洗，以磷化铟为衬底的外延片无需衬底清洗步骤；除此之外，两种外延片的加工工艺基本相同。本项目化合物半导体外延片的生产工艺流程及产污环节见图 2-4。校准及批量生长很少量，每天不超过1片高纯金属镓高纯砷高纯金属铝高纯金属铟高纯红磷衬底和源材料采购机台维护和源材料装填机台零部件清洗砷化镓衬底磷化铟衬底乙醇包装入库衬底准备生长后测量采用分子束外延采用分子束外延（MBE）技术制备外延片具体步骤技术制备外延片具体步骤：每3个月一次S1、S2硫酸双氧水溶液、硝酸盐酸溶液、超纯水G1G2氨水溶液、氨水双氧水溶液、超纯水G3S3衬底清洗约60%砷化镓衬底W5、W6、W7、W8S4、W9、182、W10硫酸、盐酸、双氧水等化学试剂破坏性电学特性测量G4质量终检S5外延片成品W1、W2、W3、W4 图图 2-4 化合物半导体外延片生产工艺流程及产污环节图化合物半导体外延片生产工艺流程及产污环节图 生产生产工艺流程及产污环节说明：工艺流程及产污环节说明：工艺流程和产排污环节 45 分子束外延（分子束外延（MBE）技术：）技术：本项目化合物半导体外延片的加工采用分子束外延（MBE）技术，该项技术是近十几年来新发展起来的一项外延制膜（在晶体基片上生长高质量的晶体薄膜）新技术，也是一种特殊的真空镀膜工艺。在超高真空条件下，由装有各种所需组分（源材料）的炉子加热而产生的蒸气，经小孔准直后形成的分子183、束或原子束，直接喷射到适当温度的晶体基片上，同时控制分子束或原子束对衬底扫描，就可以使分子或原子按晶体排列一层层地“长”在基片上形成薄膜。该项技术所使用的 MBE 机台，主要由样品进/出样室、预处理分析室和生长室等组成，配套超高真空系统。各室窜间用真空隔离阀隔开，以确保生长室的超高真空与清洁。样品进/出样室的真空度控制在 1.3310-61.3310-8Pa 之间，预处理分析室的真空度为 1.3310-8Pa，生长室的真空度为 1.3310-9Pa。该项技术主要有以下特点：由于该项技术是在超高真空下进行，可保持极清洁的表面，在外延过程中可避免沾污，因而能生长出质量极好的外延膜层；外延膜的生长速184、度极慢，约 1m/小时，相当于每秒生长一个单原子层，因而有利于实现精确控制膜层厚度、结构、成分及形成陡峭的异质结构等，属于一种原子级的加工技术；生长温度低，如生长 GaAs 只需 500600，从而降低了界面上热膨胀引入的晶格失配效应和衬底杂质对外延层的自掺杂扩散影响；MBE 是一个动力学过程，即将入射的中性粒子（分子或原子）一个一个地堆积在衬底上进行生长，而不是热力学过程，因此它可以生长出按普通热平衡生长方法难以生长的薄膜，可获得大面积的表面和界面有原子级平整度的外延生长膜；MBE 是超高真空下的物理沉积过程，既不需要考虑中间化学反应，又不受质量传输的影响，可利用快门对生长和中断进行瞬时控制185、，因而膜的组分可随源的变化而迅速调整。采用分子束外延（MBE）技术加工化合物半导体外延片的具体步骤如下：（1）衬底和源材料采购衬底和源材料采购：砷化镓衬底、磷化铟衬底自外部采购入厂后，存放在二层千级超净区货架上；高纯金属镓、高纯砷、高纯金属铝、高纯金属铟、高纯红磷等高纯源材料自外部采购入厂后，存放在二层化学品间 3#内。（2）机台维护和源材料装填机台维护和源材料装填：在进行分子束外延（MBE）制膜之前，需先将采购的高46 纯源材料，装填进各自源炉中，当某些源材料消耗完后，需打开生长室重新装填源材料。因生长室在打开之前处于超高真空状态，打开时只会使空气进入生长室，该过程不会产生废气。由于在分子束186、外延（MBE）制膜过程中，整个生长周期内，会有较多源材料沉积在生长室壁、源炉挡板及部分零部件上，每个 MBE 机台一般每 3 个月需对其进行清理一次，使用刮刀将沉积的源材料刮下，从而会产生一定量的含砷废料 S1（以砷化镓为衬底的外延片加工过程产生）及含磷废料 S2（以磷化铟为衬底的外延片加工过程产生），而后需对源炉挡板及机台零部件进行清洗，清洗过程在二层专设的机台零部件清洗间内进行，机台零部件清洗过程工艺流程及产污环节见图 2-5。需进行清洗的源炉挡板、机台零部件16%硫酸5%双氧水硫酸双氧水浸洗酸性废气G1超纯水洗(2道逆流)超纯水硝酸盐酸浸洗酸性废气G1源炉挡板、机台零部件重新安装回机台内187、超纯水洗(2道逆流)超纯水烘干17.5%硝酸18.5%盐酸硫酸双氧水浸洗后水洗废水W2（作为危险废物安全处理处置）硝酸盐酸浸洗后水洗废水W4（作为危险废物安全处理处置）硫酸双氧水浸洗废液W1（作为危险废物安全处理处置）硝酸盐酸浸洗废液W3（作为危险废物安全处理处置）图图 2-5 机台零部件清洗过程工艺流程及产污环节图机台零部件清洗过程工艺流程及产污环节图 需进行清洗的源炉挡板、机台零部件首先进入硫酸双氧水浸洗槽，在 16%的硫酸、5%的双氧水溶液中进行浸洗，去除零部件上沉积的源材料，而后采用 2 道超纯水洗（逆流水洗、溢流排放）后，进入硝酸盐酸浸洗槽，在 17.5%的硝酸、18.5%的盐酸（即188、稀王水）溶液中进行浸洗，进一步去除零部件上残留的源材料，而后经 2 道超纯水洗（逆流水洗、溢流排放）、烘干后，将源炉挡板、机台零部件重新安装回机台内。逆流水洗、溢流排放流程示意图见图2-6。硫酸双氧水浸洗槽的槽液需定期更换，会产生硫酸双氧水浸洗废液 W1，与硫酸双氧水浸洗后超纯水洗产生的废水 W2 一并作为危险废物委托有资质的单位安全处理处置；硝酸盐酸浸洗槽的槽液需定期更换，会产生硝酸盐酸浸洗废液 W3，与硝酸盐酸浸洗后超纯水洗产生的废水 W4 一并作为危险废物委托有资质的单位安全处理处置。硫酸双氧水浸洗过程、硝酸盐酸浸洗过程会因硫酸、硝酸、盐酸的挥发产生一定量的酸性废气 G1。图图 2-6 189、逆流水洗逆流水洗、溢流排放、溢流排放流程示意图（流程示意图（2 道水洗）道水洗）（3）衬底准备：）衬底准备：在将衬底装入 MBE 机台之前，需进行衬底准备工作，首先需使用蘸有乙醇（酒精）的抹布对操作台面进行擦拭，该过程会因乙醇的挥发产生少量有机废气 G2，1#逆流水洗槽 2#逆流水洗槽 超纯水 工件清洗顺序 废水 47 以及擦拭废抹布 S3。而后将外购的衬底进行拆盒。根据客户需求，以砷化镓为衬底的外延片约 60%需进行衬底清洗，清洗过程在二层清洗间内进行（使用 1 套衬底清洗设备进行清洗），衬底清洗过程工艺流程及产污环节见图 2-7。需进行清洗的砷化镓衬底超纯水洗超纯水洗10.5%氨水10.5190、%氨水3%双氧水超纯水超纯水烘干去下一道工序碱性(恶臭)废气G3氨水浸洗氨水浸洗后水洗废水W6氨水双氧水浸洗氨水双氧水浸洗后水洗废水W8碱性(恶臭)废气G3氨水浸洗废液W5（作为危险废物安全处理处置）氨水双氧水浸洗废液W7（作为危险废物安全处理处置）图图 2-7 衬底衬底清洗过程清洗过程工艺流程及产污环节图工艺流程及产污环节图 需进行清洗的砷化镓衬底首先进入氨水浸洗槽，在 10.5%的氨水溶液中进行浸洗，去除砷化镓表面的氧化物及杂质，而后经 1 道超纯水洗后，进入氨水双氧水浸洗槽，在 10.5%的氨水、3%的双氧水溶液中进行浸洗，进一步去除砷化镓表面残留的氧化物及杂质，而后经 1道超纯水洗、烘191、干后，去下一道工序。氨水浸洗槽、氨水双氧水浸洗槽的槽液需定期更换，会产生氨水浸洗废液 W5、氨水双氧水浸洗废液 W7，均作为危险废物委托有资质的单位安全处理处置。氨水浸洗后的超纯水洗会产生氨水浸洗后水洗废水 W6，氨水双氧水浸洗后的超纯水洗会产生氨水双氧水浸洗后水洗废水 W8，去生产废水处理站处理达标后外排。氨水浸洗过程、氨水双氧水浸洗过程会因氨的挥发产生一定量的碱性（恶臭）废气 G3。（4）校准）校准及及批量生长：批量生长：将准备好的衬底放入 MBE 机台的样品进/出样室内，依次传输进入预处理分析室、生长室，在生长室内通过源炉的温度调整和生长厚度测量校准生长速率和组分，进行批量生长，生长完成192、的外延片从生长室传输至样品进/出样室后取出。分子束外延（MBE）是一项基于超高真空技术的外延过程，其超高真空确保材料的高纯度。生长室里有装填不同源材料的源炉、源炉挡板及样品架。衬底传递进入生长室后放在样品架上，加热到 500600，此时各源炉也加热至各自所需的温度，其中，镓炉约 800、铝炉约 1100、砷炉约 400500、铟炉约 750900、磷炉约 70。当一个源炉的挡板打开时，其源材料就会从源炉喷射到衬底表面，当到达衬底表面的各种源材料配比适当时，就开始一层层的晶体生长过程。外延生长速率通过源炉的温度进行调整，源材料的组分则通过源炉挡板的开关控制，整个生长过程均由计算机程序控制。一般砷193、化镓的生长速率约为每小时 1 微米，一个典型的 PHEMT 结构（是对高电子迁移率晶体管 HEMT 的一种改进结构）生长约需一个半小时。除生长室外，MBE 机台还设有样品进/出样室和预处理分析室，样品进/出样室用于装入衬底及取出生长完成的外延片，预处理分析室用于装入衬底的预去气以及真空隔离，减少外部带入生长室的污染。由于抽真空过程均在 MBE 机台生产之前进行，营造出相应的超高真空环境后，方进行48 样品的传输以及后续的批量生长，液氮主要用于该过程的制冷，项目生产过程不使用含污染物的气体，预处理分析室、生长室在批量生长过程中均处于全密闭状态，因此，抽真空尾气中不会有污染物产生。（5）生长后测量194、：）生长后测量：生长完成的外延片从样品进/出样室取出后，需在测试间进行无损测量，如表面形貌、表面荧光、面电阻、生长层厚度及组分等（使用的仪器有表面缺陷形貌测试仪、室温光荧光测量仪、无接触面电阻测试仪、X 射线双晶衍射仪等）。很少量外延片（平均每天不超过 1 片）需进行抽样破坏性电学特性测量，破坏性测量在二层霍尔 CV 区进行（使用的仪器有霍尔效应测量仪（需使用氢氮混合气体作为具有还原性的惰性保护气体氛围）、电化学测量仪等），会产生很少量切开废弃的外延片 S4（收集后由衬底制造公司回收后重复利用），同时，破坏性电学特性测量的实验过程会使用到很少量的硫酸、盐酸、双氧水等化学试剂（全部化学试剂所配制195、的溶液总用量不会超过 1L/天），实验过程会产生很少量的酸性废气 G4、实验废液及器具初次清洗废水 W9（作为危险废物委托有资质的单位安全处理处置）、器具后续清洗废水 W10（经收集后去生产废水处理站处理达标后外排）。（6）质量终检：）质量终检：检查外延片所有测试结果，淘汰不合格的外延片。该过程会产生一定量的不合格外延片产品 S5，收集后由衬底制造公司回收后重复利用。（7）包装）包装入库：入库：在超净室将外延片包装进晶片盒中并用袋子密封，再装入纸箱后入库，成为成品。根据上述分析，本项目生产过程产污环节见表 2-11。49 表表 2-11 本项目本项目生产过程产污环节生产过程产污环节一览表一览表196、 类别 名称 产污工序 主要污染因子 相应环保措施、排放方式与去向 废气 酸性废气G1 机台维护和源材料装填工序机台零部件清洗过程的硫酸双氧水浸洗、硝酸盐酸浸洗 硫酸雾、NOx、HCl 设集气罩抽风收集，与G3、G4汇入1套酸碱喷淋塔（一用一备）处理；排放方式：间歇88h/a；排放去向：经1根36m高排气筒排入大气 有机废气G2 衬底准备工序使用蘸有乙醇的抹布对操作台面擦拭过程 非甲烷总烃 设在密闭车间内，设集气罩抽风收集，采用1套活性炭吸附装置（一用一备）处理；排放方式：间歇600h/a；排放去向：经1根36m高排气筒排入大气 碱性（恶臭）废气G3 衬底准备工序衬底清洗过程的氨水浸洗、氨水双197、氧水浸洗 氨、臭气浓度 设集气罩抽风收集，与G1、G4汇入1套酸碱喷淋塔（一用一备）处理；排放方式：间歇600h/a；排放去向：经1根36m高排气筒排入大气 酸性废气G4 生长后测量工序破坏性电学特性测量的实验过程 硫酸雾、HCl 实验过程设在通风厨内进行，使用通风厨对废气进行收集，与G1、G3汇入1套酸碱喷淋塔（一用一备）处理；排放方式：间歇（不定量计算）；排放去向：经1根36m高排气筒排入大气 废水 本项目运营期产生的含砷浓度较高的废液及废水（包括：硫酸双氧水浸洗废液及水洗废水（本项目运营期产生的含砷浓度较高的废液及废水（包括：硫酸双氧水浸洗废液及水洗废水（W1、W2）、硝酸盐酸）、硝酸盐198、酸浸洗废液及水洗废水（浸洗废液及水洗废水（W3、W4）、氨水浸洗废液（）、氨水浸洗废液（W5）、氨水双氧水浸洗废液（）、氨水双氧水浸洗废液（W7）、实验废液及器具初次清）、实验废液及器具初次清洗废水（洗废水（W9）以及酸碱（恶臭）废气酸碱喷淋塔排污，经收集后全部作为危险废物委托有资质的单位安全处理）以及酸碱（恶臭）废气酸碱喷淋塔排污，经收集后全部作为危险废物委托有资质的单位安全处理处处置，均置，均统计统计在本表下在本表下一类别“固体废物”一类别“固体废物”中中的“危险废物”的“危险废物”行列行列内内。氨水浸洗后水洗废水W6 衬底准备工序衬底清洗过程氨水浸洗后的超纯水洗 pH、总砷、氨氮、SS 199、采用“pH调节+反应沉淀”的工艺处理，设计处理规模为5.0m3/d。排放方式：间歇。排放去向：含砷废水排放口生产废水排放口园区总排污口布塘再生水处理站 氨水双氧水浸洗后水洗废水W8 衬底准备工序衬底清洗过程氨水双氧水浸洗后的超纯水洗 pH、总砷、氨氮、SS 实验器具后续清洗废水W10 生长后测量工序破坏性电学特性测量的实验过程 pH、总砷 超纯水制备系统浓排水 超纯水制备系统 少量可溶性盐类 排至生产废水混合池，与其他经处理后的生产废水混合后外排。排放方式：间歇。排放去向：生产废水排放口园区总排污口布塘再生水处理站 生活污水 员工工作、生活 CODcr、BOD5、SS、NH3-N 依托所租赁厂200、房已建三级化粪池预处理。排放方式：间歇。排放去向：所依托化粪池排放口园区总排污口布塘再生水处理站 固 危含砷废料S1 机台维护和源材料装填工序MBE机台清理废砷、镓、铝等源材料 经分类收集后，分类暂存于拟建的3座危险废50 体 废物 险废物 过程 物暂存间内（1#、2#、3#），其中，硫酸双氧水浸洗废液及水洗废水、硝酸盐酸浸洗废液及水洗废水、氨水浸洗废液、氨水双氧水浸洗废液、实验废液及器具初次清洗废水、酸碱（恶臭）废气酸碱喷淋塔排污等废液分类暂存于危险废物暂存间1#内；含磷废料暂存于危险废物暂存间2#内；其余危险废物分类暂存于危险废物暂存间3#内。切开废弃的外延片、不合格外延片产品由衬底制造公201、司回收后重复利用，其他危险废物均委托有资质的单位安全处理处置。含磷废料S2 机台维护和源材料装填工序MBE机台清理过程 废磷、铟等源材料 硫酸双氧水浸洗废液及水洗废水W1、W2（作为危险废物安全处理处置）机台维护和源材料装填工序机台零部件清洗过程的硫酸双氧水浸洗及后续的超纯水洗 废硫酸、双氧水以及砷、镓、铝、磷、铟等的化合物 硝酸盐酸浸洗废液及水洗废水W3、W4（作为危险废物安全处理处置）机台维护和源材料装填工序机台零部件清洗过程的硝酸盐酸浸洗及后续的超纯水洗 废硝酸、盐酸以及砷、镓、铝、磷、铟等的化合物 擦拭废抹布S3 衬底准备工序使用蘸有乙醇的抹布对操作台面擦拭过程 粘有乙醇、台面油脂、杂202、质等的废抹布 氨水浸洗废液W5（作为危险废物安全处理处置）衬底准备工序衬底清洗过程的氨水浸洗 废氨水以及砷、镓等的化合物 氨水双氧水浸洗废液W7（作为危险废物安全处理处置）衬底准备工序衬底清洗过程的氨水双氧水浸洗 废氨水、双氧水以及砷、镓等的化合物 切开废弃的外延片S4 生长后测量工序破坏性电学特性测量 切开废弃的砷化镓外延片、磷化铟外延片 实验废液及器具初次清洗废水W9（作为危险废物安全处理处置）生长后测量工序破坏性电学特性测量的实验过程 废硫酸、盐酸、双氧水以及砷、镓、铝、磷、铟等的化合物 不合格外延片产品S5 质量终检工序 不合格的砷化镓外延片、磷化铟外延片 危险化学品废包装材料 危险化203、学品的使用 沾有相应危险化学品的废包装材料 废机油及容器 各机械设备使用及维护 废机油及粘有废机油的容器 废油抹布 各机械设备使用、维护及擦拭 粘有废机油的抹布 有机废气处理产生的废活性炭 有机废气采用的活性炭吸附装置 吸附有机污染物的饱和废活性炭 酸碱（恶臭）废气酸碱喷淋塔排污（作为危险废物安全处理处置）酸碱（恶臭）废气采用的酸碱喷淋塔处理装置 硫酸、氢氧化钠、铵盐、杂质等 含砷污泥 生产废水处理站 含砷沉淀污泥 超纯水制备系统废UV灯管 超纯水制备系统 废UV灯管 一般工产品废包装材料 包装入库工序 废纸、塑料等废包装材料 经分类收集后，分类暂存于拟建的1座一般工业固废暂存间内。超纯水制备204、系统废离子交换树脂由供应商回收后再生重复利用，其他一般一般原料废包装材料 一般原料的使用 废纸、塑料等废包装材料 超纯水制备系统废活性炭 超纯水制备系统 吸附有杂质的饱和废活性炭 51 业固废 超纯水制备系统废离子交换树脂 超纯水制备系统 吸附杂质的废离子交换树脂 工业固体废物出售给物资回收公司回收利用 超纯水制备系统废膜组件 超纯水制备系统 废膜组件 生活垃圾 员工工作、生活 废纸、塑料等生活垃圾 经分类收集后，暂存于生活垃圾桶，交由环卫部门清运处理 噪声 设备噪声 高噪声设备运行 等效连续A声级 减振、降振、消声、隔声等 52 2.3 与项目有关的原有环境污染问题与项目有关的原有环境污染问205、题 本项目为新建项目，不涉及原有环境污染问题。与项目有关的原有环境污染问题 53 三、区域环境质量现状、环境保护目标及评价标准 3.1 区域环境质量现状区域环境质量现状 3.1.1 大气环境大气环境 3.1.1.1 环境功能区划环境功能区划 根据厦府2018280 号文批复实施的xx市环境功能区划（第四次修订），项目所在区域规划为二类环境空气质量功能区，具体见附图 10。3.1.1.2 环境质量标准环境质量标准 项目所在区域环境空气中的 PM10、PM2.5、SO2、NO2、CO、O3执行环境空气质量标准（GB3095-2012）及修改单中的二级标准，硫酸、氯化氢、氨、非甲烷总烃参照执行环境影206、响评价技术导则 大气环境（HJ 2.2-2018）中的“附录 D 其他污染物空气质量浓度参考限值”（非甲烷总烃参照总挥发性有机物 TVOC），具体标准限值见表 3-1。表表 3-1 项目所在区域应执行的环境空气质量标准限值项目所在区域应执行的环境空气质量标准限值 序号 污染物 平均时间 单位 浓度限值 标准来源 1 PM10 年平均 mg/m3 0.07 GB3095-2012 及修改单中的二级标准 24小时平均 0.15 2 PM2.5 年平均 mg/m3 0.035 24小时平均 0.075 3 SO2 年平均 mg/m3 0.06 24小时平均 0.15 1小时平均 0.50 4 NO2207、 年平均 mg/m3 0.04 24小时平均 0.08 1小时平均 0.20 5 CO 24小时平均 mg/m3 4 1小时平均 10 6 O3 日最大8小时平均 mg/m3 0.16 1小时平均 0.20 7 硫酸 24小时平均 mg/m3 0.1 HJ2.2-2018中的附录D 1小时平均 0.3 8 氯化氢 24小时平均 mg/m3 0.015 1小时平均 0.05 9 氨 1小时平均 mg/m3 0.2 10 非甲烷总烃 8小时平均 mg/m3 0.6 1小时平均*1.2 注：*参照环境影响评价技术导则 大气环境（HJ 2.2-2018），非甲烷总烃的 1 小时平均质量浓度限值按 8 208、小时平均质量浓度限值的 2 倍折算，即 0.6mg/m3的 2 倍：1.2mg/m3。3.1.1.3 环境质量现状环境质量现状（1）达标区判定 根据2021 年xx市生态环境质量公报，2021 年xx市全市环境空气质量综合指数在全国 168 个重点城市中排名第 6，六项主要污染物浓度均优于国家环境空气质量二级标准，区域环境质量现状 54 其中二氧化硫（SO2）、二氧化氮（NO2）、一氧化碳（CO）、可吸入颗粒物（PM10）符合一级标准，细颗粒物（PM2.5）浓度 20g/m3全省并列第 1。2021 年全市环境空气质量综合指数 2.62。空气质量优的天数为 203 天，良的天数为 161天，轻209、度污染的天数 1 天（首要污染物为臭氧 1 天）。空气质量优良率为 99.7%，优级率为55.6%，优良率同比持平，优级率下降 2.6 个百分点。全市国控评价点位六项主要污染物年均浓度分别为：二氧化硫（SO2）5g/m3、二氧化氮（NO2）19g/m3、可吸入颗粒物（PM10）36g/m3、细颗粒物（PM2.5）20g/m3、一氧化碳（CO）0.7mg/m3、臭氧（O3）128g/m3。按照环境空气质量标准（GB3095-2012）评价，SO2、NO2、CO、PM10年均浓度符合一级标准；PM2.5、O3年均浓度符合二级标准。与 2020 年相比，六项主要污染物“一降两平三升”，SO2浓度下降210、 16.7%，NO2、CO浓度持平，O3、PM10、PM2.5浓度分别上升 1.6%、9.1%、11.1%。因此，项目所在xx市的大气环境质量现状符合环境空气质量标准（GB3095-2012）及修改单中的二级标准要求，城市环境空气质量达标，为达标区。（2）区域基本污染物环境空气质量现状 2021 年区域环境空气质量现状评价见表 3-2。表表 3-2 区域环境空气质量现状评价表区域环境空气质量现状评价表 序号 污染物 年评价指标 现状浓度（mg/m3）标准值（mg/m3）占标率（%）达标情况 1 SO2 年平均浓度值 0.005 0.06 8.3 达标 2 NO2 0.019 0.04 47.5211、 达标 3 PM10 0.036 0.07 51.4 达标 4 PM2.5 0.020 0.035 57.1 达标 5 CO 95百分位浓度值 0.7 4 17.5 达标 6 O3 90百分位浓度值 0.128 0.16 80.0 达标 从上表数据可知，项目所在区域环境空气质量良好，区域基本污染物符合环境空气质量标准（GB3095-2012）及修改单中的二级标准要求。（3）区域特征污染物环境空气质量现状 本次评价引用 xx市同翔高新技术产业基地（同安片区）提升规划环境影响报告书（报批稿）（xx大学城乡规划设计研究院有限公司，2021 年 6 月）于 2021 年 4 月 8 日4月 14 日对212、项目所在区域环境空气质量现状中的硫酸雾、氯化氢、氨、非甲烷总烃的监测数据。该现状监测共布设 2 个监测点，分别为位于本项目东侧距离约 2030m 的布塘村、东南偏东方向距离约 1880m 的龙泉村。根据建设项目环境影响报告表编制技术指南（污染影响类）（试行）中关于“区域环境质量现状”的相关规定：“1、大气环境。排放国家、地方环境空气质量标准中有标准限值要求的特征污染物时，引用建设项目周边 5 千米范围内近 3 年的现有监测数据”。考虑到布塘村、龙泉村与本项目的距离均小于 5 千米，本次评价引用其 2021 年 4 月 8 日4 月 14 日的环境空气质量现状监测数据能够符合建设项目环境影响报告213、表编制技术指南（污染影响类）（试行）的相关要求。55 i）监测布点：共布设 2 个监测点位，分别为布塘村（1#）、龙泉村（2#），环境空气质量现状监测布点情况分别见表 3-3 和附图 11。表表 3-3 环境空气质量现状监测布点环境空气质量现状监测布点 编号 监测点名称 方位 与本项目距离 m 性质 监测因子 1#布塘村 E 2030 居民区 硫酸雾、氯化氢、氨、非甲烷总烃 2#龙泉村 ESE 1880 居民区 ii）监测因子：硫酸雾、氯化氢、氨、非甲烷总烃 iii）监测内容及监测频次：连续监测 7 天。各监测因子均监测 1 小时平均浓度，每天监测时段至少获取当地时间 02、08、14、20 214、时 4 个小时质量浓度值，每小时至少有 45 分钟的采样时间。iv）监测结果及分析：监测结果及分析见表 3-4。表表 3-4 环境空气质量现状监测结果及分析环境空气质量现状监测结果及分析 单位：mg/m3 监测点 监测项目 1 小时平均浓度监测结果 浓度范围 标准值 超标率%最大超标倍数 布塘村 1#硫酸雾 0.005L 0.3 0 0 氯化氢 0.02L 0.05 0 0 氨 0.010.08 0.2 0 0 非甲烷总烃 0.120.50 1.2 0 0 龙泉村 2#硫酸雾 0.005L 0.3 0 0 氯化氢 0.02L 0.05 0 0 氨 0.010.08 0.2 0 0 非甲烷总烃 215、0.080.56 1.2 0 0 从上表监测结果可以看出，本项目周边各监测点的硫酸雾、氯化氢、氨、非甲烷总烃的1 小时平均浓度值均能满足环境影响评价技术导则 大气环境（HJ 2.2-2018）中的“附录 D 其他污染物空气质量浓度参考限值”要求。因此，项目所在区域的环境空气质量良好，评价区监测点特征污染物的监测结果均未超标。3.1.2 地表水环境地表水环境 3.1.2.1 环境功能区划环境功能区划 本项目运营期产生的生产废水及生活污水分别经处理后，排入园区污水管网，经由园区总排污口，排入布塘北路市政污水管网，近期纳入布塘再生水处理站处理，最终排入东溪。东溪规划为地表水 V 类水体，主导功能为养216、殖、灌溉、一般景观水体，具体见附图 12。3.1.2.2 环境质量标准环境质量标准 东溪执行地表水环境质量标准（GB3838-2002）中的 V 类标准，具体标准限值见表3-5。56 表表 3-5 东溪应执行的环境质量标准部分限值东溪应执行的环境质量标准部分限值 单位：mg/L，pH：无量纲 序号 项目 标准值（V类）1 pH 69 2 溶解氧 2 3 高锰酸盐指数 15 4 BOD5 10 5 氨氮 2.0 6 总磷 0.4 7 总氮 2.0 8 氟化物 1.5 9 砷 0.1 10 汞 0.001 11 镉 0.01 12 铬（六价）0.1 13 铅 0.1 14 氰化物 0.2 15 挥217、发酚 0.1 16 石油类 1.0 17 阴离子表面活性剂 0.3 3.1.2.3 环境质量现状环境质量现状 根据2021 年xx市生态环境质量公报，2021 年全市饮用水水源地水质全优，主要湖库水质良好。xx近岸海域水质有所改善，海域功能区达标率为81.0%，同比上升 11%。海滨浴场水质良好。主要流域国控断面和省考断面 I-III 类水质比例均达 100%。东溪发源于xx市北部汀溪镇西格山，流经店仔、安炉、五显宫、五甲，至双溪口汇入西溪。为了解东溪水质现状，本次评价引用xx市同翔高新技术产业基地（同安片区）提升规划环境影响报告书（报批稿）（xx大学城乡规划设计研究院有限公司，2021 年 218、6 月）于 2021 年 4 月 8 日对东溪的水质监测数据，其在东溪共布设 3 个监测断面，分别位于布塘再生水处理站入河排污口上游约 900m 处、下游 1.5km 处和下游 3.0km 处，监测断面布点及监测因子见表 3-6 和附图 13，监测结果及分析见表 3-7。表表 3-6 东溪地表水质量现状监测布点东溪地表水质量现状监测布点 编号 监测点位 监测断面布设位置 监测因子 W1 排污口上游900m 布塘再生水处理站入河排污口上游约900m处 pH、溶解氧、高锰酸盐指数、BOD5、氨氮、总磷、总氮、氟化物、砷、汞、镉、铬（六价）、铅、氰化物、挥发酚、石油类、阴离子表面活性剂 W2 排污口219、下游 1.5km 布塘再生水处理站入河排污口下游 1.5km 处 W3 排污口下游 3.0km 布塘再生水处理站入河排污口下游 3.0km 处 57 表表 3-7 东溪地表水环境质量监测结果及分析东溪地表水环境质量监测结果及分析 单位：mg/L，pH：无量纲 监测时间 项目 排污口上游 900m（W1）排污口下游 1.5km（W2）排污口下游 3.0km（W3）监测结果 标准值 达标情况 超标倍数 监测结果 标准值 达标情况 超标倍数 监测结果 标准值 达标情况 超标倍数 2021.4.8 pH 8.60 69 达标/7.92 69 达标/8.52 69 达标/溶解氧 4.55 2 达标/5.220、71 2 达标/2.41 2 达标/高锰酸盐指数 1.5 15 达标/1.3 15 达标/1.7 15 达标/BOD5 5.9 10 达标/2.3 10 达标/6.0 10 达标/氨氮 0.377 2.0 达标/0.109 2.0 达标/0.645 2.0 达标/总磷 0.20 0.4 达标/0.08 0.4 达标/0.03 0.4 达标/总氮 6.66 2.0 超标超标 2.33 1.08 2.0 达标/2.65 2.0 超标超标 0.325 氟化物 0.26 1.5 达标/0.23 1.5 达标/0.23 1.5 达标/砷 0.0011 0.1 达标/0.0006 0.1 达标/0.000221、5 0.1 达标/汞 0.00045 0.001 达标/0.00078 0.001 达标/0.00088 0.001 达标/镉 0.0005 0.01 达标/0.0008 0.01 达标/0.0001 0.01 达标/铬（六价）0.004L 0.1 达标/0.004L 0.1 达标/0.004L 0.1 达标/铅 0.0072 0.1 达标/0.0068 0.1 达标/0.0078 0.1 达标/氰化物 0.004L 0.2 达标/0.004L 0.2 达标/0.004L 0.2 达标/挥发酚 0.0041 0.1 达标/0.0045 0.1 达标/0.0030 0.1 达标/石油类 0.02222、 1.0 达标/0.02 1.0 达标/0.01 1.0 达标/阴离子表面活性剂 0.07 0.3 达标/0.05 0.3 达标/0.07 0.3 达标/58 从上表监测结果可以看出，排污口上游 900m（W1）、排污口下游 3.0km（W3）断面的总氮出现超标现象，其余各监测断面各监测因子的监测结果均能够满足地表水环境质量标准（GB3838-2002）中的 V 类水质标准要求。两个监测断面的总氮超标可能与所测点位周边农业面源污染有一定关系。3.1.3 声环境声环境 3.1.3.1 环境功能区划环境功能区划 根据厦环大气202228 号文批复实施的xx市声环境功能区划，项目所在区域规划为 3 223、类声环境功能区，具体见附图 14。3.1.3.2 环境质量标准环境质量标准 项目所在区域声环境执行声环境质量标准（GB3096-2008）中的 3 类区标准，即：昼间65dB（A），夜间55dB（A）。3.1.3.3 环境质量现状环境质量现状 评价时，本项目尚未进行建设及生产。根据建设单位于 2023 年 4 月 11 日委托xxxx检测技术有限公司对项目厂区四周厂界附近区域的声环境质量现状监测报告（见附件 7），监测点位见附图 7，监测结果及分析见表 3-8。表表 3-8 声环境质量现状监测结果及分析声环境质量现状监测结果及分析 单位：dB（A）监测时间 监测点位 声环境质量现状监测结果 评224、价标准 达标情况 昼间 夜间 昼间 夜间 昼间 夜间 2023.4.11 东侧厂界附近区域 56.7 45.0 65 55 达标 达标 南侧厂界附近区域 57.1 45.9 65 55 达标 达标 西侧厂界附近区域 57.4 45.2 65 55 达标 达标 北侧厂界附近区域 56.3 45.5 65 55 达标 达标 从上表监测结果可以看出，项目各厂界附近区域昼、夜间声环境质量现状监测结果均能够满足声环境质量标准（GB3096-2008）中的 3 类区标准。因此，项目所在区域声环境质量良好。3.1.4 生态环境生态环境 根据厦府200548 号文批复实施的xx市生态功能区划，项目所在区域属于225、同安城市与生态农业协调建设型生态功能小区（530320012），其主导功能为：城市商贸生活、农业生态环境；辅助功能为：工业生态环境、旅游生态环境。具体见附图 15。本项目拟租赁五显路 866-6 号工业厂房进行生产，不涉及新增用地。根据现场勘查，项目所在石墨烯新材料产业园区内已进行绿化等植被修复措施，项目所在厂房西侧为园区绿化隔离带，项目周边的绿化措施均为人工植被，主要采用与原生植被相适应的草坪、灌木、乔木相结合的绿化方式。59 3.2 环境保护目标环境保护目标 本次评价主要调查项目厂界外 500m 范围内的大气环境保护目标。项目厂界外 50m 范围内无声环境保护目标，500m 范围内无地下水226、集中式饮用水水源和热水、矿泉水、温泉等特殊地下水资源，并且，本项目不涉及新增用地，不涉及生态环境保护目标。根据现场踏勘，项目所在区域主要环境保护目标见表 3-9 及附图 7。表表 3-9 主要环境保护目标一览表主要环境保护目标一览表 名称 坐标*（m）保护对象 保护内容（户）环境功能区 相对厂址方位 与项目厂界 距离（m）x y 上峰村 259 372 居住区 400 二类环境空气 质量功能区 NE 400 新泉村 428-40 100 E 370 顶欧坑村 390-293 200 SE 440 下欧坑村 97-173 300 S 180 规划居住区 66-175/S 180 美珠堂村-420227、 0 300 W 420 五显中心小学-303 467 学校/NW 500 东溪/地表水/地表水 V 类水体 N 930 注：*以本项目所租赁厂房西南角为坐标原点 x，y（0,0）。环境保护目标 60 3.3 污染物排放控制标准污染物排放控制标准 3.3.1 废气废气 本项目运营期酸碱（恶臭）废气中的硫酸雾、NOx、氯化氢执行xx市大气污染物排放标准（DB35/323-2018）中“表 1 生产工艺废气中无机气态污染物、颗粒物排放限值”，氨、臭气浓度执行 恶臭污染物排放标准（GB14554-93）中“表 1 恶臭污染物厂界标准值”中的“新扩改建”二级标准以及“表 2 恶臭污染物排放标准值”；有228、机废气中的非甲烷总烃执行xx市大气污染物排放标准（DB35/323-2018）中“表 2 生产工艺废气中有机气态污染物（排气筒）排放限值”中的“其他行业”标准以及“表 3 生产工艺废气中有机气态污染物无组织排放监控浓度限值”，具体标准限值见表 3-10。表表 3-10 项目废气污染物应执行的排放标准限值项目废气污染物应执行的排放标准限值 污染物 最高允许 排放浓度（mg/m）最高允许排放速率 无组织排放监控浓度限值（mg/m）标准来源 排气筒高度（m）排放速率（kg/h）封闭设施外 单位周界 硫酸雾 10 36 1.2 1.2 0.6 DB35/323-2018 中的表1 NOx 200 36229、 0.62 0.24 0.12 氯化氢 30 36 0.20 0.4 0.2 氨/35 27/1.5 GB14554-93 中的表1、表2 36 28.6 40 35 臭气浓度/35 15000（无量纲）/20（无量纲）36 16000（无量纲）40 20000（无量纲）非甲烷总烃 60 36 1.8 4.0 2.0 DB35/323-2018 中的表2、表3 3.3.2 废水废水 本项目运营期产生的含砷浓度较高的废液及废水经收集后全部作为危险废物委托有资质的单位安全处理处置。微量含砷的生产废水经生产废水处理站处理后，经由含砷废水排放口，排入生产废水混合池，与超纯水制备系统浓排水混合后，经由生230、产废水排放口，排入园区污水管网；员工生活污水依托所租赁厂房已建三级化粪池预处理后，排入园区污水管网。上述废水经由项目所在园区总排污口，排入布塘北路市政污水管网，近期纳入布塘再生水处理站处理，中远期纳入洪塘水质净化厂处理。在含砷废水排放口处，项目所排废水中的总砷应执行 电子工业水污染物排放标准（GB39731-2020）表 1 中的“车间或生产设施排放口”标准，同时根据xx市生态环境准入清单（2021 年）（厦环规20211 号）“表 3-1 厦门市重点发展产业生态环境准入要求”中“C3973 集成电路制造”中的“生产工艺及生态环境准入要求”：“（12）集成电路项目总砷排放总量不得高于按含砷废水231、排放口浓度 0.2mg/L核定的限值”，含砷废水排放口处总砷排放浓度按 0.2mg/L 控制；在生产废水排放口及生活污水所依托化粪池排放口处，所排废水中的 pH、CODcr、BOD5、SS 应执行污水综合排放标准（GB8978-1996）表 4 中的三级标准要求，氨氮参照执行污水排入城镇下水道水质污染物排放控制标准 61 标准（GB/T31962-2015）表 1 中的 B 等级标准要求。具体标准限值见表 3-11。表表 3-11 本项目废水排放应执行的标准限值本项目废水排放应执行的标准限值 单位：mg/L，pH：无量纲 序号 污染物 标准限值 监控位置 执行标准 1 总砷 0.2 设施排口（232、含砷废水排放口）GB39731-2020表1中的“车间或生产设施排放口”标准 xx市生态环境准入清单（2021年）2 pH 69 生产废水排放口、生活污水所依托化粪池排放口 GB8978-1996表4中的三级标准 3 CODcr 500 4 BOD5 300 5 SS 400 6 氨氮 45 GB/T31962-2015表1中的B等级标准 3.3.3 噪声噪声 本项目拟租赁xx高新技术创业中心有限公司位于xx市同安区xx火炬高新区石墨烯新材料产业园五显路 866-6 号的工业厂房进行生产（本项目拟使用该工业厂房第一层、第二层的全部及第三层的东北角），所租赁厂房已建成，本次评价不再讨论施工期噪声233、问题。项目运营期四周厂界执行工业企业厂界环境噪声排放标准（GB12348-2008）中的 3类区标准，即：昼间65dB（A）、夜间55dB（A）。3.3.4 固体废物固体废物 项目运营期产生的一般工业固体废物临时贮存执行 一般工业固体废物贮存和填埋污染控制标准（GB18599-2020）的相关要求；危险废物临时贮存执行危险废物贮存污染控制标准（GB18597-2023）、危险废物识别标志设置技术规范（HJ1276-2022）的相关要求。62 3.4 总量控制指标总量控制指标 根据 中华人民共和国国民经济和社会发展第十四个五年规划纲要，“十四五”期间，根据质量改善需求，继续实施全国二氧化硫、氮氧234、化物、化学需氧量、氨氮排放总量控制。根据xx市环境保护局关于印发xx市涉重金属污染物排放建设项目环境准入指导意见和负面清单（2018 年版）的通知（厦环法规20183 号）以及xx市生态环境准入清单（2021年）（厦环规20211 号）的相关要求：“新建、改建、扩建涉重金属行业项目必须严格执行重金属排放总量指标控制制度。”根据工程分析，本项目主要污染物排放情况见表 3-12。表表 3-12 本项目主要污染物排放情况本项目主要污染物排放情况 序号 污染物名称 单位 产生量 削减量 排放量 出厂排放量 排入外环境量 1 废气量 万m3/a 1012.8 0 1012.8 1012.8 2 有组织排235、放 硫酸雾 t/a 0.00067 0.0006 0.00007 0.00007 3 NOx t/a 0.0216 0.0173 0.0043 0.0043 4 氯化氢 t/a 0.0059 0.0053 0.0006 0.0006 5 氨 t/a 0.1452 0.1307 0.0145 0.0145 6 非甲烷总烃 t/a 0.0475 0.0237 0.0238 0.0238 7 无组织排放 硫酸雾 t/a 0.00003 0 0.00003 0.00003 8 NOx t/a 0.0011 0 0.0011 0.0011 9 氯化氢 t/a 0.0003 0 0.0003 0.0003236、 10 氨 t/a 0.0076 0 0.0076 0.0076 11 非甲烷总烃 t/a 0.0025 0 0.0025 0.0025 12 生产废水量 m3/a 1741.4 0 1741.4 1741.4 13 生产废水排放 总砷 t/a 0.0005 0.0003 0.0002 0.0002 14 CODcr t/a 0.0871 0 0.0871 0.0522 15 BOD5 t/a 0.0348 0 0.0348 0.0104 16 SS t/a 0.5091 0.3403 0.1688 0.0174 17 氨氮 t/a 0.0448 0 0.0448 0.0026 18 生活污水237、量 m3/a 637.5 0 637.5 637.5 19 生活污水排放 CODcr t/a 0.3506 0.0318 0.3188 0.0191 20 BOD5 t/a 0.2231 0.0318 0.1913 0.0038 21 SS t/a 0.2869 0.0319 0.2550 0.0064 22 氨氮 t/a 0.0287 0 0.0287 0.0010 23 固体废物 t/a 90.9815 90.9815 0 0 其中 危险废物 t/a 88.5815 88.5815 0 0 一般工业固废 t/a 0.9 0.9 0 0 生活垃圾 t/a 1.5 1.5 0 0 根据xx省人238、民政府关于推进排污权有偿使用和交易工作的意见（试行）（闽政201424 号）、xx省主要污染物排污权指标核定管理办法（试行）（闽环发201412号）、xx省环保厅关于进一步加快推进排污权有偿使用和交易工作的意见（闽环发20156总量控制指标 63 号）、xx市主要污染物排污权指标核定管理办法（试行）（厦环总量201514 号），对于工业废水单独排放的企业，排污权交易的水污染物仅核定工业废水部分；对于工业废水与生活污水混合排放的企业，排污权交易的水污染物需核定工业废水与生活污水的总量。本项目属于工业废水单独排放的企业，排污权交易的水污染物仅核定工业废水部分。本项目工业废水需增加的废水污染物排放总239、量核算见表 3-13。表表 3-13 本项目工业废水需增加的废水污染物排放总量核算本项目工业废水需增加的废水污染物排放总量核算 序号 污染物 排放浓度mg/L 排入外环境量t/a 本项目 需增加量 1 废水量 1741.4 1741.4 2 CODcr 30 0.0522 0.0522 3 氨氮 1.5 0.0026 0.0026 根据上述分析，本项目需增加的主要污染物总量指标为：废气中有组织及无组织排放的硫酸雾：0.0001t/a（有组织排放与无组织排放合计量），NOx：0.0054t/a，氯化氢：0.0009t/a，非甲烷总烃：0.0263t/a；工业废水排放量：1741.4t/a，总砷：240、0.0002t/a，工业废水经布塘再生水处理站处理后排入外环境的 CODcr：0.0522t/a，NH3-N：0.0026t/a；生活污水排放量637.5t/a，生活污水经布塘再生水处理站处理后排入外环境的 CODcr：0.0191t/a，NH3-N：0.0010t/a。上述总量指标中，废气中的 NOx 总量指标、工业废水中的 CODcr、NH3-N 总量指标应按照xx市生态环境准入清单（2021 年）（厦环规20211 号）相关要求，按不低于 1.2倍交易（各总量指标的 1.2 倍分别为：NOx：0.0065t/a，CODcr：0.0626t/a，NH3-N：0.0031t/a），并根据 x241、x省人民政府关于推进排污权有偿使用和交易工作的意见（试行）（闽政201424号）、xx省主要污染物排污权指标核定管理办法（试行）（闽环发201412 号）、xx省环保厅关于进一步加快推进排污权有偿使用和交易工作的意见（闽环发20156 号）等文件的相关规定，经由海峡交易平台购买相应总量获得。根据xx市生态环境准入清单（2021 年）（厦环规20211 号）中“表 2-5 xx市同安区生态环境准入要求”中的“同安区：同翔高新城（同安片区）ZH35021220010”中的污染物排放管控要求：“1、新（改、扩）建项目，VOCs 实行倍量替代（区域有效削减量与新增排放量比例不小于 1.5 倍，省、市重242、点重大项目不小于 1.2 倍）。”根据上述分析，本项目需新增非甲烷总烃排放量为 0.0263t/a（有组织排放与无组织排放合计量），按削减替代倍数 1.5 倍计算，需申请调配总量为 0.0395t/a，考虑到本项目主要从事化合物半导体外延片的加工，属于 C3973 集成电路制造，属于规划的高新产业，本次评价建议以本次环评核算结果为基础，由建设单位上报生态环境主管部门核定总量为准。根据 xx市环境保护局关于印发xx市涉重金属污染物排放建设项目环境准入指导意见和负面清单（2018 年版）的通知（厦环法规20183 号）中“三、准入要求”中的“（三）严格指标管控。新建、改建、扩建涉重金属行业项目必须243、严格执行重金属排放总量指标控制64 制度。重金属重点行业项目必须遵循重点重金属污染物排放“等量置换”或“减量置换”的原则，应有明确的具体的重点重金属污染物排放指标来源。”及其中的“3、设定排放重金属污染物的建设项目的投资强度或产值强度（取项目总投资或产值数值高者为分子，重金属排放量为分母；分期建设项目按各期累计的总投资、产值和排放量计）：级（铅、汞、镉、铬、砷排放量之和）不低于亿元/千克；级（镍、银、铜、钴排放量之和）不低于 1000万元/千克；级（锌、锰、铁、锡排放量之和）不低于 500 万元/千克。总投资 50 亿元以下排放重金属污染物的建设项目，应符合上述强度要求。排放以上多种重金属污染244、物的，应同时满足各档强度限值。总投资 50 亿元以上（含 50 亿元）的建设项目可参照上述指标，进行深入评价，严格限制高能耗、高物耗、高排放项目建设。”本项目属于 C3973 集成电路制造，不属于厦环法规20183 号文中规定的重有色金属矿采选业、重有色金属冶炼业、铅蓄电池制造业、皮革及其制品业、化学原料及化学制品制造业、电镀行业（金属表面处理加工）等六大重点行业，尚不需遵循重点重金属污染物排放“等量置换”或“减量置换”原则。本项目总投资约1.1亿元，属于总投资50亿元以下的建设项目。项目废水中总砷排放量约0.0002t/a（0.2kg/a），项目不涉及其他重金属排放，投资强度为 1.1 亿元245、/0.2kg 砷=5.5 亿元/千克砷，满足上述条款中 A 级（砷：不低于 1 亿元/千克）的投资强度限值要求。因此，本项目工业废水中总砷的总量指标：0.0002t/a，建议以本次环评核算结果为基础，由建设单位上报生态环境主管部门核定总量为准，作为本项目重金属排放总量控制指标（企业自控指标），在运营期严格执行重金属排放总量指标控制制度。生活污水中的 CODcr、NH3-N 以生活污水经布塘再生水处理站处理后排入外环境的总量作为本项目生活污水中废水污染物的总量控制指标，建议由布塘再生水处理站已批复总量中调配。废气中有组织及无组织排放的硫酸雾：0.0001t/a，氯化氢：0.0009t/a，建议以246、本次环评核算结果为基础，由建设单位上报生态环境主管部门核定总量为准。65 四、主要环境影响和保护措施 4.1 施工期环境保护措施施工期环境保护措施 本项目拟租赁xx高新技术创业中心有限公司位于xx市同安区xx火炬高新区石墨烯新材料产业园五显路 866-6 号的工业厂房进行生产（本项目拟使用该厂房第一层、第二层的全部及第三层的东北角），由于所租赁厂房目前已建成，本次评价不再讨论施工期环境影响问题。施工期环境保护措施 66 4.2 运营期环境影响和保护措施运营期环境影响和保护措施 4.2.1 废气废气 4.2.1.1 废气污染源源强核算废气污染源源强核算（1）有组织排放废气）有组织排放废气 本项目247、运营期产生的废气主要有机台维护和源材料装填工序机台零部件清洗过程的硫酸双氧水浸洗、硝酸盐酸浸洗产生的酸性废气 G1，衬底准备工序使用蘸有乙醇的抹布对操作台面擦拭过程产生的有机废气 G2，衬底准备工序衬底清洗过程的氨水浸洗、氨水双氧水浸洗产生的碱性（恶臭）废气 G3，生长后测量工序破坏性电学特性测量的实验过程产生的酸性废气 G4。为便于收集、集中处理及排放，项目拟根据各股废气特征污染因子的不同，分为酸碱（恶臭）废气、有机废气进行分别收集、处理及排放。具体如下：酸碱（恶臭）废气 主要包括机台维护和源材料装填工序机台零部件清洗过程的硫酸双氧水浸洗、硝酸盐酸浸洗产生的酸性废气 G1，衬底准备工序衬底清248、洗过程的氨水浸洗、氨水双氧水浸洗产生的碱性（恶臭）废气 G3，生长后测量工序破坏性电学特性测量的实验过程产生的酸性废气 G4。项目拟在各酸性废气、碱性（恶臭）废气产污点均设集气罩抽风收集后（其中，生长后测量工序破坏性电学特性测量的实验过程产生的酸性废气 G4，其实验过程拟设在通风厨内进行，使用通风厨对该股酸性废气进行收集），汇入 1 套酸碱喷淋塔（一用一备）处理，而后通至项目所在厂房楼顶经 1 根不低于 36m 高的排气筒排放（排气筒编号为：DA001），设计废气风机抽风量为 6000m3/h。a、机台维护和源材料装填工序机台零部件清洗过程的硫酸双氧水浸洗、硝酸盐酸浸洗产生的酸性废气 G1 考249、虑到机台零部件清洗过程的硫酸双氧水浸洗、硝酸盐酸浸洗均属于表面处理过程，参考污染源源强核算技术指南 电镀（HJ984-2018）中“附录 B 电镀主要废气污染物产污系数”中“表 B.1 单位镀槽液面面积单位时间废气污染物产污系数”中的部分相关参数，具体见表 4-1。运营期环境影响和保护措施 67 表表 4-1 单位镀单位镀槽液面面积单位时间废气污染物产污系数（节选）槽液面面积单位时间废气污染物产污系数（节选）序 号 污染物 名称 产生量（g/m2 h）适用范围 1 氯化氢 107.3643.6 在中等或浓盐酸中，不添加酸雾抑制剂、不加热：氯化氢质量百分浓度10%15%，取 107.3；16%2250、0%，取 220.0；氯化氢质量百分浓度 21%25%，取 370.7；氯化氢质量百分浓度 26%31%，取 643.6 2 硫酸雾 25.2 在质量浓度大于 100g/L 的硫酸中浸蚀、抛光，硫酸阳极氧化，在稀而热的硫酸中浸蚀、抛光，在浓硫酸中退镍、退铜、退银等 3 氮氧化物 8003000 铜及合金酸洗、光亮酸洗，铝及铝合金碱腐蚀后酸洗出光、化学抛光，随温度高低（常温、45、60）及硝酸含量高低（硝酸质量百分浓度141-211g/L、423-564g/L、700g/L）分取上、中、下限 根据上表数据，结合建设单位提供资料，机台零部件清洗过程的硫酸双氧水浸洗，硫酸浓度为 16%，操作温度为常251、温，硫酸雾产生量系数取 25.2g/m2 h；硝酸盐酸浸洗过程，硝酸浓度为 17.5%，操作温度为常温，氮氧化物产生量系数取 800g/m2 h，盐酸浓度为 18.5%，操作温度为常温，氯化氢产生量系数取 220.0g/m2 h。每个 MBE 机台一般每 3 个月需对机台零部件清洗一次，每次清洗过程历时约 2 小时，则机台零部件清洗过程的总历时为 2h4 次/（机台 a）11 机台=88h/a。硫酸双氧水浸洗槽、硝酸盐酸浸洗槽的尺寸均为 650495250mm（长宽高）。根据上述资料可计算得出机台零部件清洗过程的硫酸双氧水浸洗、硝酸盐酸浸洗所产生的酸性废气中的污染物产生情况，具体见表 4-2。252、表表 4-2 机台零部件清洗过程酸性废气中污染物产生情况机台零部件清洗过程酸性废气中污染物产生情况 序 号 工段 溶液浓度 操作 参数 槽体尺寸（长宽高）mm 槽体液面 面积m2 废气 污染物 产污系数（g/m2 h）最大产生 速率 kg/h 作业 时间 h/a 产生量 t/a 1 硫酸双氧水 浸洗 16%硫酸、5%双氧水 常温、常压 650495250 0.32175 硫酸雾 25.2 0.008108 88 0.0007 2 硝酸盐酸 浸洗 17.5%硝酸、18.5%盐酸 常温、常压 650495250 0.32175 NOx 800 0.2574 88 0.0227 氯化氢 220.0 253、0.07079 88 0.0062 b、衬底准备工序衬底清洗过程的氨水浸洗、氨水双氧水浸洗产生的碱性（恶臭）废气G3 参考建设项目环境风险评价技术导则（HJ169-2018）附录 F 中推荐的质量蒸发估算公式，质量蒸发速率 Q3按下式计算：nnnnruTRMpaQ2/42/203/式中：Q3质量蒸发速率，kg/s；p液体表面蒸气压，Pa；据资料，10.5%的氨水中，氨的饱和蒸汽分压为68 107.79mmHg（14370.8Pa）（25）；R气体常数，J/（mol K）；为 8.314J/（mol K）；T0环境温度，K；取 298.15K；M物质的摩尔质量，kg/mol；氨为 0.01703254、4kg/mol；u风速，m/s；根据建设单位提供的设计资料，氨水浸洗槽、氨水双氧水浸洗槽的液面风速按不超过 0.6m/s 设计；r液池半径，m；根据建设单位提供的设计资料，氨水浸洗槽、氨水双氧水浸洗槽的尺寸均为 530500320mm（长宽高），则氨水浸洗槽、氨水双氧水浸洗槽的液池半径均为（0.530.503.14159）1/2=0.29m；，n大气稳定度系数，取值见表 4-3；取稳定度为 F，则 为 5.28510-3，n为 0.3。表表 4-3 液池蒸发模式参数液池蒸发模式参数 大气稳定度 n 不稳定（A，B）0.2 3.84610-3 中性（D）0.25 4.68510-3 稳定（E，F255、）0.3 5.28510-3 根据上述公式可计算得出，氨水浸洗槽、氨水双氧水浸洗槽中氨的质量蒸发速率均为3.536210-5kg/s（约 0.1273kg/h），则衬底清洗过程的氨水浸洗、氨水双氧水浸洗产生的碱性（恶臭）废气中，氨的最大产生速率为 0.2546kg/h。根据建设单位提供资料，衬底准备工序衬底清洗过程每批次历时约 30min，每天清洗 4 批次，则衬底清洗过程的总历时为 0.5h/次4 次/d300d/a=600h/a，衬底清洗过程碱性（恶臭）废气中氨的产生量约 0.2546kg/h600h/a10-3t/kg0.1528t/a。c、生长后测量工序破坏性电学特性测量的实验过程产生256、的酸性废气 G4 生长后测量工序有很少量的外延片（平均每天不超过 1 片）需进行抽样破坏性电学特性测量，测量实验过程会使用到很少量的硫酸、盐酸、双氧水等化学试剂（全部化学试剂所配制的溶液总用量不会超过 1L/天），考虑到破坏性电学特性测量的实验过程属于间歇式操作，且所使用的硫酸、盐酸等化学试剂的量非常小，难以定量计算，本次评价主要针对该股酸性废气，提出相应的环保措施：破坏性电学特性测量实验过程应设置在通风厨内进行，采用通风厨抽风收集后，应与上述两股酸碱（恶臭）废气混合后，一并汇入 1 套酸碱喷淋塔（一用一备）处理，而后通至项目所在厂房楼顶经 1 根不低于 36m 高的排气筒有组织排放。本次评价257、不再针对该股实验废气进行定量评价。69 上述各股酸性废气及碱性（恶臭）废气，在各产污点设集气罩进行抽风收集，参照袋式除尘工程通用技术规范（HJ2020-2012）中“6.2.8 集气罩应能实现对烟气（尘）的捕集效果，捕集率不低于：a）密闭罩 100%；b）半密闭罩 95%；c）吹吸罩 90%”，考虑到本项目各股酸性废气及碱性（恶臭）废气产污点，均设在接近于半密闭罩的空间内（同类装置照片见图 4-1），且机台零部件清洗、衬底清洗、破坏性电学特性测量实验等过程均在百级或千级洁净室内进行，本次评价酸碱（恶臭）废气抽风系统参照半密闭罩，按收集效率不低于95%进行估算，约有 5%的废气污染物呈无组织排放258、逸散。可计算得出酸碱（恶臭）废气中有组织收集及无组织排放情况见表 4-4。衬底清洗设备 机台零部件清洗设备 图图 4-1 同类衬底清洗、机台零部件清洗装置照片同类衬底清洗、机台零部件清洗装置照片 表表 4-4 酸碱（恶臭）废气中有组织收集及无组织排放情况酸碱（恶臭）废气中有组织收集及无组织排放情况 序号 污染物 产生量 t/a 有组织收集量（95%）t/a 无组织排放量（5%）t/a 1 硫酸雾 0.0007 0.00067 0.00003 2 NOx 0.0227 0.0216 0.0011 3 氯化氢 0.0062 0.0059 0.0003 4 氨 0.1528 0.1452 0.007259、6 项目拟采用 1 台 6000m3/h 的风机对酸碱（恶臭）废气进行抽风收集，则有组织收集废气中各污染物的产生情况为：硫酸雾最大产生浓度 1.3mg/m3、平均产生浓度 0.016mg/m3（最大产生速率 0.007614kg/h、平均产生速率 0.00009306kg/h、产生量 0.00067t/a。说明：说明：最大产生浓度及产生速率按该工序作业时间计（机台零部件清洗为 88h/a、衬底清洗为 600h/a），平均产生浓度及产生速率按年工作时数 7200h 折算），NOx 最大产生浓度 40.9mg/m3、平均产生浓度 0.5mg/m3（最大产生速率 0.2455kg/h、平均产生速率 260、0.003kg/h、产生量 0.0216t/a），氯化氢最大产生浓度 11.2mg/m3、平均产生浓度 0.14mg/m3（最大产生速率 0.06705kg/h、平均产生速率 0.0008194kg/h、产生量 0.0059t/a），氨最大产生浓度 40.3mg/m3、平均产生浓度70 3.4mg/m3（最大产生速率 0.2420kg/h、平均产生速率 0.02017kg/h、产生量 0.1452t/a），臭气浓度最大产生浓度 81（无量纲，据资料，人对氨的嗅阈值为 0.51.0mg/m3，臭气浓度按氨嗅阈值为 0.5mg/m3保守估算）、平均产生浓度 7（无量纲）。采用 1 套酸碱喷淋塔（一261、用一备）处理，对废气中硫酸雾、氯化氢去除效率按不低于 90%估算，对 NOx 去除效率按不低于 80%估算，对氨、臭气浓度去除效率按不低于 90%估算，则所排废气中各污染物的排放情况为：硫酸雾最大排放浓度 0.1mg/m3、平均排放浓度 0.0016mg/m3（最大排放速率 0.0007614kg/h、平均排放速率 0.000009306kg/h、排放量 0.00007t/a），NOx 最大排放浓度 8.2mg/m3、平均排放浓度 0.1mg/m3（最大排放速率 0.04909kg/h、平均排放速率 0.0006kg/h、排放量 0.0043t/a），氯化氢最大排放浓度 1.1mg/m3、平均262、排放浓度 0.014mg/m3（最大排放速率 0.006705kg/h、平均排放速率 0.00008194kg/h、排放量 0.0006t/a），氨最大排放浓度 4.0mg/m3、平均排放浓度0.3mg/m3（最大排放速率 0.02420kg/h、平均排放速率 0.002017kg/h、排放量 0.0145t/a），臭气浓度最大排放浓度 8（无量纲）、平均排放浓度 1（无量纲），通至项目所在厂房楼顶经 1根不低于 36m 高的排气筒排放，废气中硫酸雾、NOx、氯化氢的排放能够满足xx市大气污染物排放标准（DB35/323-2018）中“表 1 生产工艺废气中无机气态污染物、颗粒物排放限值”要求263、（36m 排气筒：硫酸雾最高允许排放浓度 10mg/m3、最高允许排放速率 1.2kg/h，NOx 最高允许排放浓度 200mg/m3、最高允许排放速率 0.62kg/h，氯化氢最高允许排放浓度30mg/m3、最高允许排放速率 0.20kg/h），氨、臭气浓度的排放能够满足恶臭污染物排放标准（GB14554-93）中“表 2 恶臭污染物排放标准值”要求（36m 排气筒：氨最高允许排放速率 28.6kg/h，臭气浓度最高允许排放浓度 16000（无量纲）。有机废气 主要为衬底准备工序使用蘸有乙醇的抹布对操作台面擦拭过程产生的有机废气 G2，项目拟将各有机废气产污点均设在密闭车间内，设集气罩抽风收264、集后，汇入 1 套活性炭吸附装置处理（一用一备），而后通至项目所在厂房楼顶经 1 根不低于 36m 高的排气筒排放（排气筒编号为：DA002），设计废气风机抽风量为 10000m3/h。根据建设单位提供资料，操作台面擦拭过程乙醇用量约 0.05t/a，按乙醇全部挥发进入废气保守估算，以非甲烷总烃进行表征，操作台面擦拭过程因乙醇挥发而产生的非甲烷总烃量约 0.05t/a。参照袋式除尘工程通用技术规范（HJ2020-2012）中“6.2.8 集气罩应能实现对烟气（尘）的捕集效果，捕集率不低于：a）密闭罩 100%；b）半密闭罩 95%；c）吹吸罩90%”，考虑到本项目各有机废气产污点均设在密闭车间265、内，并设集气罩进行抽风收集，其71 捕集效果接近于半密闭罩，本次评价有机废气抽风系统收集效率按不低于 95%进行估算，约有 5%的废气污染物呈无组织排放逸散。可计算得出有机废气中有组织收集及无组织排放情况见表 4-5。表表 4-5 有机有机废气中有组织收集及无组织排放情况废气中有组织收集及无组织排放情况 污染物 产生量 t/a 有组织收集量（95%）t/a 无组织排放量（5%）t/a 非甲烷总烃 0.05 0.0475 0.0025 根据建设单位提供资料，每个操作台面上方拟设置集气罩的尺寸为 0.85m0.4m，各集气罩口断面风速均按不低于 0.6m/s 设计，项目衬底准备工序共有 11 个操266、作台面，则所需最小抽风量为 0.85m0.4m11 个0.6m/s3600s/h=8078.4m3/h，设计风量按最大废气排放量的 120%进行设计，为 8078.4m3/h120%=9694.1m3/h，考虑到气阻、风量分配等因素，项目拟采用 1 台 10000m3/h 的风机对有机废气进行抽风收集，则有组织收集的有机废气中非甲烷总烃最大产生浓度 7.9mg/m3、平均产生浓度 0.7mg/m3（最大产生速率 0.07917kg/h、平均产生速率 0.006597kg/h、产生量 0.0475t/a。说明：说明：最大产生浓度及产生速率按该工序作业时间计，根据建设单位确认，操作台面擦拭及乙醇挥267、发过程每天累计不超过 2h，每年作业时间约 600h，平均产生浓度及产生速率按年工作时数 7200h 折算），采用 1 套活性炭吸附装置处理，对废气中非甲烷总烃的去除效率按不低于 50%估算，则所排废气中非甲烷总烃最大排放浓度 4.0mg/m3、平均排放浓度 0.3mg/m3（最大排放速率 0.03958kg/h、平均排放速率0.003299kg/h、排放量 0.0238t/a），通至项目所在厂房楼顶经 1 根不低于 36m 高的排气筒排放，能够满足xx市大气污染物排放标准（DB35/323-2018）中“表 2 生产工艺废气中有机气态污染物（排气筒）排放限值”中的“其他行业”要求（36m 排268、气筒：非甲烷总烃最高允许排放浓度 60mg/m3、最高允许排放速率 1.8kg/h）。根据上述分析，本项目运营期有组织排放废气产生、处理及排放情况见表 4-6。72 表表 4-6 本项目本项目运营期有组织运营期有组织排放排放废气产生、处理及排放情况废气产生、处理及排放情况 废气名称 及排气筒编号 废气量 m3/h 主要 污染物 产生情况 治理措施 去除 效率%排放情况 排放 方式 排气筒 参数(D/H/T)排放标准 是否 达标 浓度mg/m3 速率kg/h 产生量 t/a 浓度mg/m3 速率kg/h 排放量 t/a 浓度 mg/m3 速率 kg/h 最大 平均 最大 平均 最大 平均 最大 269、平均 酸碱(恶臭)废气（DA001）6000 硫酸雾 1.3 0.016 0.007614 0.00009306 0.00067 1套酸碱 喷淋塔 90 0.1 0.0016 0.0007614 0.000009306 0.00007 间歇 酸性废气 88h/a 碱性废气 600h/a 1根 0.4/36/25 10 1.2 达标 NOx 40.9 0.5 0.2455 0.003 0.0216 80 8.2 0.1 0.04909 0.0006 0.0043 200 0.62 达标 氯化氢 11.2 0.14 0.06705 0.0008194 0.0059 90 1.1 0.014 0.0270、06705 0.00008194 0.0006 30 0.20 达标 氨 40.3 3.4 0.2420 0.02017 0.1452 90 4.0 0.3 0.02420 0.002017 0.0145 28.6 达标 臭气浓度 81 无量纲 7 无量纲 90 8 无量纲 1 无量纲 16000 无量纲 达标 有机废气（DA002）10000 非甲烷总烃 7.9 0.7 0.07917 0.006597 0.0475 密闭车间、1套活性炭 吸附装置 50 4.0 0.3 0.03958 0.003299 0.0238 间歇2h/d 600h/a 1根 0.5/36/25 60 1.8 达标 271、73 从上表数据可以看出，本项目酸碱（恶臭）废气、有机废气分别经处理后，所排废气均能够满足xx市大气污染物排放标准（DB35/323-2018）表 1、表 2 中相关标准以及恶臭污染物排放标准（GB14554-93）中表 2 标准要求。因此，项目废气能够实现达标排放。（2）无组织排放废气）无组织排放废气 本项目无组织排放废气主要来自酸碱（恶臭）废气、有机废气抽风收集系统难以达到100%的收集效率。根据上文“（1）有组织排放废气”中的分析，本项目酸碱（恶臭）废气及有机废气的抽风收集系统收集效率均按不低于 95%估算，约有 5%的废气污染物呈无组织排放逸散，可计算得出本项目无组织排放情况见表 4-272、7。表表 4-7 本项目本项目无组织排放一览表无组织排放一览表 位置 污染物 有效面积 m2 工作时间 h/a 无组织排放量 kg/h t/a 项目所在厂房二层 硫酸雾 57.7 26.3 88 0.000341 0.00003 NOx 88 0.0125 0.0011 氯化氢 88 0.00341 0.0003 氨 600 0.01267 0.0076 项目所在厂房一层 非甲烷总烃 57.7 26.3 600 0.00417 0.0025 （3）非正常工况废气污染源源强核算）非正常工况废气污染源源强核算 项目非正常工况排放主要分为两类，一类是在正常开、停车、工艺设备故障或部分设备检修时会有较273、大量的污染物排出，另一类是环保设施达不到设计规定的指标运行而使正常排放的污染物经过不完全处理或不经过处理直接排放而导致的超标排放。本项目所涉及的化合物半导体外延片加工过程在正常开、停车、设备故障或检修过程中不会产生大量的额外污染物。项目非正常工况的排污主要来自环保设施处理不达标时的情况。本项目废气处理措施可能出现的故障见表 4-8。表表 4-8 本项目本项目废气处理措施可能出现的故障废气处理措施可能出现的故障 排气筒编号 废气名称 废气处理设施 可能出现的故障 故障原因分析 DA001 酸碱（恶臭）废气 1 套酸碱喷淋塔 酸碱喷淋处理效率降低（按最不利处理效率 0%计）循环泵故障、加药系统故障274、 DA002 有机废气 1 套活性炭吸附装置 活性炭吸附处理效率降低（按最不利处理效率 0%计）活性炭吸附饱和 根据上表分析，评价取最不利情况进行估算，即处理设施出现故障，废气未经处理直接排放。本项目废气污染物非正常工况下的排放情况见表 4-9。74 表表 4-9 本项目本项目废气污染物废气污染物非正常非正常工况排放情况工况排放情况 排气筒 编号 废气名称 非正常 排放原因 污染物 非正常 排放浓度（mg/m3）非正常 排放速率（kg/h）单次持续 时间/h 年发生 频次/次 应对措施 DA001 酸碱（恶臭）废气 循环泵故障、加药系统故障 硫酸雾 1.3 0.007614 0.1 1 启用备275、用系统；对发生故障的循环泵、加药系统进行检修 NOx 40.9 0.2455 氯化氢 11.2 0.06705 氨 40.3 0.2420 臭气浓度 81 无量纲 DA002 有机废气 活性炭吸附饱和 非甲烷总烃 7.9 0.07917 0.1 1 启用备用系统；更换活性炭 4.2.1.2 废气治理措施及废气治理措施及其可行性分析其可行性分析 本项目运营期产生的废气根据其收集、处理及排放情况，分为酸碱（恶臭）废气、有机废气。（1）酸碱（恶臭）废气 主要包括机台维护和源材料装填工序机台零部件清洗过程的硫酸双氧水浸洗、硝酸盐酸浸洗产生的酸性废气，衬底准备工序衬底清洗过程的氨水浸洗、氨水双氧水浸洗产276、生的碱性（恶臭）废气，生长后测量工序破坏性电学特性测量的实验过程产生的酸性废气。项目拟在各酸性废气、碱性（恶臭）废气产污点均设集气罩抽风收集后（其中，生长后测量工序破坏性电学特性测量的实验过程产生的酸性废气，其实验过程拟设在通风厨内进行，使用通风厨对该股酸性废气进行收集），汇入 1 套酸碱喷淋塔（一用一备）处理，而后通至项目所在厂房楼顶经 1 根不低于 36m 高的排气筒排放。酸碱酸碱喷淋塔：喷淋塔：也称为洗涤塔，是气液反应净化系统中常用的湿式净化设备，其工作时废气与吸收液逆向接触，经过洗涤使得气体得到净化、降温等作用，目前广泛应用于工业酸碱废气处理中。工业酸碱废气在风机的作用下进入喷淋塔，在277、喷淋塔的喷淋层，喷头喷出吸收液均匀分布在填料上，废气与吸收液在填料表面充分接触，发生反应。废气中易溶于水的硫酸雾、HCl、硝酸雾（NOx）等酸性物质以及 NH3等碱性物质，充分溶解在吸收液里，并与吸收液反应，生成盐类和水，从而达到净化废气的目的。根据建设单位提供的废气治理措施设计方案，考虑到酸碱（恶臭）废气中既有机台零部件清洗过程硫酸双氧水浸洗、硝酸盐酸浸洗以及破坏性电学特性测量实验过程产生的硫酸雾、HCl、硝酸雾（NOx），又有衬底清洗过程氨水浸洗、氨水双氧水浸洗等产生的 NH3，具有酸75 碱性，本项目立式酸碱喷淋塔配置一套酸碱自动加药系统，当 pH 检测仪通过 pH 值探头检测数值反馈给278、pH控制器，酸碱加药泵根据pH的值以及参数设定可以自动加酸液或者碱液，使喷淋塔的循环水箱 pH 值上升或者下降，从而满足酸性废气或碱性废气的处理要求。具体工作原理见图 4-2。图图 4-2 本项目本项目酸碱酸碱喷淋塔喷淋塔酸碱自动加药系统工作原理酸碱自动加药系统工作原理示意图示意图 类比同类型装置，采用酸碱喷淋塔处理，对废气中的硫酸雾、氯化氢的去除效率一般不低于 90%，对 NOx（以硝酸雾为主）的去除效率一般不低于 80%，对氨、臭气浓度（由氨产生）的去除效率一般不低于 90%。对照排污许可证申请与核发技术规范 电子工业（HJ1031-2019）“附录 B 废气和废水防治可行技术参考表”中“279、表 B.1 电子工业排污单位废气防治可行技术参考表”，处理废气中氯化氢、氨、硫酸雾等污染物的可行技术有：酸碱喷淋洗涤吸收法。本项目采用酸碱喷淋塔对酸碱（恶臭）废气进行处理，属于可行技术。本项目酸碱（恶臭）废气抽风量为 6000m3/h，采用 1 套酸碱喷淋塔（一用一备）处理，对废气中硫酸雾、氯化氢去除效率按不低于 90%估算，对 NOx 去除效率按不低于 80%估算，对氨、臭气浓度去除效率按不低于 90%估算，则所排废气中各污染物的排放情况为：硫酸雾最大排放浓度 0.1mg/m3、平均排放浓度 0.0016mg/m3（最大排放速率 0.0007614kg/h、平均排放速率 0.00000930280、6kg/h、排放量 0.00007t/a），NOx 最大排放浓度 8.2mg/m3、平均排放浓度0.1mg/m3（最大排放速率 0.04909kg/h、平均排放速率 0.0006kg/h、排放量 0.0043t/a），氯化氢最大排放浓度 1.1mg/m3、平均排放浓度 0.014mg/m3（最大排放速率 0.006705kg/h、平均排放速率0.00008194kg/h、排放量0.0006t/a），氨最大排放浓度4.0mg/m3、平均排放浓度0.3mg/m3（最大排放速率 0.02420kg/h、平均排放速率 0.002017kg/h、排放量 0.0145t/a），臭气浓度最76 大排放浓度 281、8（无量纲）、平均排放浓度 1（无量纲），通至项目所在厂房楼顶经 1 根不低于36m 高的排气筒排放，废气中硫酸雾、NOx、氯化氢的排放能够满足xx市大气污染物排放标准（DB35/323-2018）中“表 1 生产工艺废气中无机气态污染物、颗粒物排放限值”要求（36m 排气筒：硫酸雾最高允许排放浓度 10mg/m3、最高允许排放速率 1.2kg/h，NOx最高允许排放浓度 200mg/m3、最高允许排放速率 0.62kg/h，氯化氢最高允许排放浓度30mg/m3、最高允许排放速率 0.20kg/h），氨、臭气浓度的排放能够满足恶臭污染物排放标准（GB14554-93）中“表 2 恶臭污染物排放282、标准值”要求（36m 排气筒：氨最高允许排放速率 28.6kg/h，臭气浓度最高允许排放浓度 16000（无量纲）。（2）有机废气 主要为衬底准备工序使用蘸有乙醇的抹布对操作台面擦拭过程产生的有机废气，项目拟将各有机废气产污点均设在密闭车间内，设集气罩抽风收集后，汇入 1 套活性炭吸附装置（一用一备）处理，而后通至项目所在厂房楼顶经 1 根不低于 36m 高的排气筒排放。活性炭吸附装置：活性炭吸附装置：采用活性炭吸附装置处理有机废气是工业中应用广泛的成熟技术。其原理为利用活性炭具有巨大的孔隙率和比表面积而具备优良的吸附能力，有机废气通过活性炭吸附系统，与活性炭接触，废气中的有机污染物被活性炭的283、大量微孔所吸附，进而从气流中脱离出来。参考“吸附浓缩-催化燃烧法处理有机废气”环境工程（1997 年 8 月，第 15卷第 4 期，何滢滢、潘涌璋），该文献列举了广州某船厂集装箱分厂喷漆车间有机废气采用“活性炭吸附+脱附催化燃烧”装置处理的实例，其有机废气中非甲烷总烃产生浓度约300mg/m3，经活性炭吸附处理后的排放浓度均不高于 55.18mg/m3，去除效率不低于 81.6%。类比武汉艾森曼涂装机械有限公司应用“活性炭吸附+脱附催化燃烧”的实例，其实际生产过程中活性炭吸附装置对有机污染物的净化效率在 84.788.5%之间。考虑到本项目有机废气中非甲烷总烃的产生浓度较低（约 7.9mg/m284、3），单位废气量与单位活性炭在吸附装置内接触时，活性炭与废气中的非甲烷总烃的接触几率相对较低，从而使得活性炭的吸附效率会略有下降。使用活性炭吸附装置对有机废气进行处理，对废气中非甲烷总烃的去除效率按不低于 50%设计，是可行的。对照排污许可证申请与核发技术规范 电子工业（HJ1031-2019）“附录 B 废气和废水防治可行技术参考表”中“表 B.1 电子工业排污单位废气防治可行技术参考表”，处理废气中挥发性有机物的可行技术有：活性炭吸附法、燃烧法、浓缩+燃烧法。本项目采用活性炭吸附装置对有机废气进行处理，属于可行技术。77 本项目有机废气抽风量为 10000m3/h，采用 1 套活性炭吸附装285、置（一用一备）处理，对废气中非甲烷总烃的去除效率按不低于 50%估算，则所排废气中非甲烷总烃最大排放浓度4.0mg/m3、平均排放浓度 0.3mg/m3（最大排放速率 0.03958kg/h、平均排放速率 0.003299kg/h、排放量 0.0238t/a），通至项目所在厂房楼顶经 1 根不低于 36m 高的排气筒排放，能够满足 厦门市大气污染物排放标准（DB35/323-2018）中“表 2 生产工艺废气中有机气态污染物（排气筒）排放限值”中的“其他行业”要求（36m 排气筒：非甲烷总烃最高允许排放浓度 60mg/m3、最高允许排放速率 1.8kg/h）。根据建设单位提供的废气治理措施设计286、方案，项目拟设的 1 套活性炭吸附装置（一用一备），风机设计风量为 10000m3/h，活性炭填装量为：2.1m3，更换周期：约每年更换一次，设计停留时间：3s，吸附进气温度：25，排气温度：25。说明：说明：活性炭填装量活性炭填装量：按照xx市生态环境局关于开展简易低效挥发性有机物治理设施清理整治的通知（厦环大气20236 号）“附件：VOCs 污染防治推荐技术”中“2.活性炭吸附工艺”中的第（3）条进行设计：“废气在活性炭的停留时间不低于 0.75s。其中，停留时间按下式计算。式 1：t=VQ 3600 式中：t 为停留时间，单位 s；V 为活性炭实际装填体积，单位 m3；Q 为废气处理设287、施设计风量，单位 m3/h。”根据上述公式 1 可计算得出活性炭填装量 V 为：0.75s3600s/h10000m3/h=2.08m3（本次设计取 2.1m3）。更换周期更换周期：设计更换周期按照xx市生态环境局关于开展简易低效挥发性有机物治理设施清理整治的通知（厦环大气20236 号）“附件：VOCs 污染防治推荐技术”中“2.活性炭吸附工艺”中的第（4）条进行设计：“活性炭动态吸附容量宜按 10-15%计算。其中活性炭更换周期按下式计算。式 2：T=V15%M 式中：T 为活性炭更换周期或再生周期，单位为月或天；V 为活性炭实际装填体积，单位 m3；为活性炭密度，取值 450kg/m3；288、M 为每月或每天原辅材料中 VOCs 组分累计量，单位为 kg。若每天涉 VOCs 原辅材料使用量少，采用每月使用量计。”本项目所使用的含 VOCs 原辅材料只有乙醇，设计年使用量为 0.05t，根据上述公式 2可计算得出活性炭更换周期 T 为：2.1m3450kg/m310-3t/kg15%0.05t/a=2.84 年。为督78 促企业足量添加、及时更换活性炭，本次评价活性炭更换周期设计为每年更换一次。同时，本项目有机废气的治理应严格按照xx市生态环境局关于加强挥发性有机物污染防治工作的通知（厦环大气202215 号）及xx市生态环境局关于开展简易低效挥发性有机物治理设施清理整治的通知（厦环289、大气20236 号）的相关规定执行。本次评价摘录上述各项文件中与本项目相关的条款具体如下：a、规范台账管理 企业应规范建立台账并至少保持 3 年，记录包括但不限于以下内容：建立原辅材料台账，所有含挥发性有机物物料需建立完整的购买、使用记录，记录内容必须包含物料名称、VOCs 含量、购入量、使用量、回收和处置量、计量单位、作业时间和记录人等。建立统计年报，含有VOCs物料使用的统计年报应该包含上年库存、本年度购入总量、本年度销售产品总量、本年度库存总量、产品和物料的 VOCs 含量、VOCs 排放量、污染控制设备处理效率、排放监测等数据。保存原始单据，如原辅材料说明书、检测报告、送货单、发票等。290、建立 VOCs 处理设施台账，涉及吸附装置应记录吸附剂种类、用量及更换/再生日期，操作温度；涉及其他污染控制设备应记录主要操作参数及保养维护事项；记录挥发性有机物污染防治设施、生产活动及工艺设施的运行时间、非正常工况情况等。b、推进源头控制 企业应当按照国家和本省规定，限期淘汰严重污染大气环境的工艺、设备和产品。深化源头替代。通过使用低 VOCs 含量的清洗剂等，从源头减少 VOCs 产生。大力推进源头替代，全面加强无组织排放控制，推进建设适宜高效的治污设施，深入实施精细化管控，加强监测监控，强化监督执法，进一步建立健全 VOCs 污染防治管理体系。c、提高密闭要求 所有涉及 VOCs 的原辅291、材料、中间产品、成品的储存、输送、转运、投加、生产、灌装、废弃、处置等过程应采取有效的密闭措施。（i）输送转运。采用非管道方式输送 VOCs 物料时，应采用密闭容器，容器的运输、装卸应采用专用设备，并在运输、装卸、储存和空置期间一直保持密闭，盛装 VOCs 物料的容器应存放于室内，或至少设置遮阳挡雨等设施；挥发性有机液体装卸应采取全密闭方式。（ii）危险废物。盛装含 VOCs 废料（渣）的容器应密闭储存和存放。列入国家危险废物名录 的含 VOCs 废料应以密闭容器收集，并按危险废物进行处理和处置。更换的 VOCs吸附剂以及含 VOCs 物料的包装物、废弃物等含 VOCs 的危险废物，产生后必须292、马上密闭或存放在不透气的容器、包装袋内，贮存、转移期间不得打开。79 所有产生 VOCs 的生产车间（或生产设施）应做到密闭，禁止露天或敞开式作业。不能密闭的部位要设置风幕、软帘或双重门等阻隔设施，减少废气排放。正常生产状态下，密闭场所的门窗处于打开状态或破损视同未达到密闭要求，确实需要打开的，必须设置双重门。设备起停、检修与清洗。载有含 VOCs 物料的设备、管道在开停工（车）、检修、清洗时，应在退料阶段尽量将残存物料退净，用密闭容器盛接，并回收利用。密闭设施外任意一点非甲烷总烃的瞬时排放浓度值应低于无组织排放浓度标准值。所有可能产生 VOCs 的生产场所和工段均应设置废气收集系统，将废气收293、集到位并导入废气治理设施。集气管路应标明废气走向。设施设备的开关时间要求必须写入操作规程并明示公布。d、完善治理设施 应配置 VOCs 处理设施的企业，须根据其废气特性配套工艺成熟、技术可靠的治理设施进行治理，治理设施去除效率不得低于 50%；收集的废气中 NMHC 初始排放速率2kg/h的，治理设施去除效率不应低于 80%，确保废气稳定达标排放。企业应将污染治理设施的工艺流程、工艺参数、操作规程和维护制度在设施现场和操作场所明示公布。工艺流程公示内容应包括治理设施的工艺流程图、治理工艺总体介绍及主要技术参数。若采用以下技术治理的，公示的技术参数应至少包含以下内容：（i）活性炭吸附法：活性炭填294、装量、更换周期、设计风量、停留时间、吸附进气温度、排气温度。企业配置的 VOCs 治理设施，涉及以下处理工艺的，还应满足如下要求：（i）采用不具备脱附功能的吸附法治理废气的，每万立方米/小时设计风量的吸附剂装填量应不小于 1 立方米，废气停留时间不得低于 3 秒。（ii）废气收集系统排风罩的设置应符合 GB/T16758 的规定。排风罩口断面按 GB/T16758规定的方法测量吸入风速，应保证不低于 0.6 米/秒；采用局部集气罩的，距集气罩开口面最远处的 VOCs 无组织排放位置，控制风速应不低于 0.3 米/秒。（iii）采用除燃烧法外的其他方法治理 VOCs 废气的，一个企业一栋建筑只允295、许设置一根 VOCs 排气筒。（iv）排气筒应设置符合 固定源监测技术规范（HJ/T397）要求的采样口和采样平台，并配备固定电源，设置固定安全的人员通道。对采用活性炭吸附技术的企业，加强台账管理，督促足量添加、及时更换活性炭，同时，还应满足如下要求：（i）采用活性炭吸附工艺的企业，应根据废气排放特征，按照吸附法工业有机废气治理工程技术规范（HJ2026-2013）设计净化工艺和设备。采用颗粒活性炭作为吸附剂时，其碘值不宜低于 800mg/g；采用蜂窝活性炭作为吸附剂时，其碘值不宜低于 650mg/g；采用80 活性炭纤维作为吸附剂时，其比表面积不低于 1100m2/g（BET 法）。企业应留296、存活性炭产品质量证明材料。（ii）采用活性炭吸附工艺的企业，治理工程的处理能力应根据废气的处理量确定，设计风量宜按照最大废气排放量的 120%进行设计。设施入口废气应视情况进行除颗粒物、除湿、降温等预处理，确保废气颗粒物浓度低于 1mg/m3，温度低于 40，相对湿度低于 80%。（iii）采用颗粒状吸附剂时，气体流速应低于 0.6m/s；采用纤维状吸附剂（活性炭纤维毡）时，气体流速应低于 0.15m/s；采用蜂窝状吸附剂时，气体流速宜低于 1.2m/s。废气在活性炭的停留时间不低于 0.75s。其中，停留时间按下式计算。式 1：t=VQ 3600 式中：t 为停留时间，单位 s；V 为活性炭297、实际装填体积，单位 m3；Q 为废气处理设施设计风量，单位 m3/h。（iv）活性炭动态吸附容量宜按 10-15%计算。其中活性炭更换周期按下式计算。式 2：T=V15%M 式中：T 为活性炭更换周期或再生周期，单位为月或天；V 为活性炭实际装填体积，单位 m3；为活性炭密度，取值 450kg/m3；M 为每月或每天原辅材料中 VOCs 组分累计量，单位为 kg。若每天涉 VOCs 原辅材料使用量少，采用每月使用量计。企业需做好涉挥发性有机物生产及使用工艺环节的全过程管控，同时提高 VOCs 收集效率和处理效率，规范环保处理设施运维，在确保稳定达标的基础上实现减量排放。e、企业每个季度应对其环298、保设施运行情况进行自查，并将自查报告在互联网上公示。根据xx市大气污染物排放标准（DB35/323-2018）中“6.1 排气筒与排放速率要求”中的“6.1.1 采用燃烧法（含直接燃烧、催化燃烧和蓄热燃烧法等）处理废气中挥发性有机物的，每套燃烧设施允许设置一根排气筒；采用其他方法处理废气中挥发性有机物的，一个企业一栋建筑只允许设置一根排气筒；禁止设置其他任何排放口及出风口。”及“6.1.2 锅炉烟囱高度执行 GB13271 的规定；生活垃圾焚烧炉烟囱高度执行 GB18485 的规定；生产工艺排放氯气的排气筒不得低于 25m；其他大气污染物的排气筒高度不应低于 15m。”本项目所租赁厂房总高度约299、 30.8m，项目酸碱（恶臭）废气、有机废气分别经处理后，分别通至厂房楼顶，分别经 1 根不低于 36m 高的排气筒排放。并且，全厂只设置一根挥发性有机物的排气筒。本项目排气筒设置及高度符合相关要求。综上所述，在采取上述措施的基础上，本项目废气均能够实现达标排放，废气污染防治81 措施可行。4.2.1.3 排放口基本情况排放口基本情况 本项目废气污染源产排污环节、污染物种类、污染物产生量和浓度、排放形式、污染物排放浓度（速率）、污染物排放量等情况见表 4-10，废气治理设施设置情况见表 4-11，废气排放口基本情况及排放标准见表 4-12。表表 4-10 废气污染源废气污染源产排污产排污等等情300、况情况 废气 污染源 产排污环节 污染物种类 排放形式 产生情况 排放情况 产生量（t/a）产生速率（kg/h）产生浓度（mg/m3）排放量（t/a）排放速率（kg/h）排放浓度（mg/m3）酸碱（恶臭）废气 机台零部件清洗、衬底清洗、破坏性电学特性测量实验 硫酸雾 有组织 0.00067 0.007614 1.3 0.00007 0.0007614 0.1 NOx 0.0216 0.2455 40.9 0.0043 0.04909 8.2 氯化氢 0.0059 0.06705 11.2 0.0006 0.006705 1.1 氨 0.1452 0.2420 40.3 0.0145 0.024301、20 4.0 臭气浓度 81 无量纲 8 无量纲 有机废气 使用乙醇进行操作台面擦拭 非甲烷总烃 有组织 0.0475 0.07917 7.9 0.0238 0.03958 4.0 项目所在厂房二层无组织排放废气 机台零部件清洗、衬底清洗、破坏性电学特性测量实验 硫酸雾 无组织 0.00003 0.000341/0.00003 0.000341/NOx 0.0011 0.0125/0.0011 0.0125/氯化氢 0.0003 0.00341/0.0003 0.00341/氨 0.0076 0.01267/0.0076 0.01267/项目所在厂房一层无组织排放废气 使用乙醇进行操作台面擦拭302、 非甲烷总烃 无组织 0.0025 0.00417/0.0025 0.00417/表表 4-11 废气废气治理设施治理设施设置情况设置情况 废气污染源 污染物种类 治理设施设置情况 处理工艺 处理能力（Nm3/h）收集效率（%）治理工艺去除率（%）是否为可 行技术 酸碱（恶臭）废气 硫酸雾、NOx、氯化氢、氨、臭气浓度 设集气罩抽风收集后，汇入 1 套酸碱喷淋塔处理，而后通至项目所在厂房楼顶经 1 根不低于 36m 高的排气筒排放 6000 95 硫酸雾：90%NOx：80%氯化氢：90%氨：90%臭气浓度：90%是 有机废气 非甲烷总烃 将各有机废气产污点均设在密闭车间内，设集气罩抽风收集后303、，汇入 1 套活性炭吸附装置处理，而后通至项目所在厂房楼顶经 1 根不低于 36m 高的排气筒排放 10000 95 50 是 82 表表 4-12 废气废气排放口排放口基本情况基本情况及及排放排放标准标准 废气 污染源 污染物 种类 排放口基本情况 排放标准 排气筒高度 排气筒 内径 出口温度 编号及名称 类型 地理坐标 酸碱（恶臭）废气 硫酸雾、NOx、氯化氢、氨、臭气浓度 36m 0.4m 25 DA001 酸碱（恶臭）废气排放口 一般排放口 118.18162411E，24.73991007N xx市大气污染物排放标准（DB35/323-2018）恶臭污染物排放标准（GB14554-9304、3）有机 废气 非甲烷总烃 36m 0.5m 25 DA002 有机废气排放口 一般排放口 118.18151146E，24.73991275N xx市大气污染物排放标准（DB35/323-2018）4.2.1.4 废气监测要求废气监测要求 参考环境监测技术规范、排污单位自行监测技术指南 总则（HJ819-2017），本项目运营期废气监测要求见表 4-13。表表 4-13 项目项目废气监测要求废气监测要求 污染源名称 监测点位 监测因子 监测机构 监测频次 酸碱（恶臭）废气（有组织排放）酸碱（恶臭）废气排气筒出口 废气量、硫酸雾、NOx、氯化氢、氨、臭气浓度 委托有资质的单位监测 1 次/年 305、有机废气（有组织排放）有机废气排气筒出口 废气量、非甲烷总烃 无组织排放废气 厂界无组织排放 硫酸雾、NOx、氯化氢、氨、臭气浓度、非甲烷总烃 4.2.1.5 大气环境影响分析大气环境影响分析 本项目所在区域环境空气质量现状能够满足环境空气质量标准（GB3095-2012）及修改单中的二级标准以及环境影响评价技术导则 大气环境（HJ 2.2-2018）中的“附录D 其他污染物空气质量浓度参考限值”要求，为达标区，环境空气质量良好。项目与周边大气环境保护目标的距离均较远（最近的下欧坑村及规划居住区与项目边界最近距离为 180m）。项目运营期产生的酸碱（恶臭）废气拟采用 1 套酸碱喷淋塔（一用一备306、）处理，通至项目所在厂房楼顶经 1 根不低于 36m 高的排气筒排放，所排废气中主要污染物排放强度为：硫酸雾最大排放浓度 0.1mg/m3（最大排放速率 0.0007614kg/h）、NOx 最大排放浓度 8.2mg/m3（最大排放速率 0.04909kg/h）、氯化氢最大排放浓度 1.1mg/m3（最大排放速率 0.006705kg/h）、氨最大排放浓度 4.0mg/m3（最大排放速率 0.02420kg/h）、臭气浓度最大排放浓度 8（无量纲），排放方式为：间歇排放，其中酸性废气 88h/a、碱性（恶臭）废气 600h/a。项目运营期产生的有机废气拟采用 1 套活性炭吸附装置（一用一备）处307、理，通至项目所在厂房楼顶经 1 根不低于 36m 高的排气筒排放，所排废气中主要污染物排放强度为：非甲烷总烃最大排放浓度83 4.0mg/m3（最大排放速率 0.03958kg/h），排放方式为：间歇排放 600h/a。根据上述分析，本项目运营期所产生的各股废气分别经处理后，各废气污染物均能够实现达标排放，并且废气污染物排放强度低，对周围环境影响小。4.2.2 废水废水 4.2.2.1 废水污染源源强核算废水污染源源强核算 本项目运营期产生的废水主要有机台维护和源材料装填工序机台零部件清洗过程产生的硫酸双氧水浸洗废液 W1、硫酸双氧水浸洗后水洗废水 W2、硝酸盐酸浸洗废液 W3、硝酸盐酸浸洗后308、水洗废水 W4，衬底准备工序衬底清洗过程产生的氨水浸洗废液 W5、氨水浸洗后水洗废水 W6、氨水双氧水浸洗废液 W7、氨水双氧水浸洗后水洗废水 W8，生长后测量工序破坏性电学特性测量的实验过程产生的实验废液及器具初次清洗废水 W9、实验器具后续清洗废水 W10、酸碱（恶臭）废气酸碱喷淋塔排污、超纯水制备系统浓排水、员工生活污水等。根据建设单位提供资料，项目运营期用水及排水情况如下。（1）机台零部件清洗过程）机台零部件清洗过程 根据建设单位提供资料，机台维护和源材料装填工序每个 MBE 机台一般每 3 个月需对机台零部件清洗一次，本项目共设置 11 台 MBE 机台，则每年进行的机台零部件清洗次309、数为4 次/（机台 a）11 机台=44 次/a。每次机台零部件清洗后，硫酸双氧水浸洗槽、硝酸盐酸浸洗槽均需更换槽液，两个槽的槽体尺寸均为 650495250mm（长宽高），盛装系数按 0.8 计，则每次机台零部件清洗后，更换槽液产生的硫酸双氧水浸洗废液（W1）量为 0.65m0.495m0.25m0.8=0.06435m3（约 2.8m3/a、44 次/a），每次机台零部件清洗过程硫酸双氧水浸洗后的超纯水洗用水量约 0.3m3（约 13.2m3/a、44 次/a），排污系数按 0.9 计，硫酸双氧水浸洗后水洗废水（W2）产生量约 0.27m3（约 11.9m3/a），则硫酸双氧水浸洗废液及水310、洗废水（W1、W2）总产生量约 14.7m3/a。同样计算得出，硝酸盐酸浸洗废液（W3）量为 0.06435m3（约 2.8m3/a、44 次/a），硝酸盐酸浸洗后的超纯水洗用水量约 0.3m3（约 13.2m3/a、44 次/a），硝酸盐酸浸洗后水洗废水（W4）产生量约 0.27m3（约 11.9m3/a），硝酸盐酸浸洗废液及水洗废水（W3、W4）总产生量约 14.7m3/a。硫酸双氧水浸洗废液及水洗废水（W1、W2）、硝酸盐酸浸洗废液及水洗废水（W3、W4）经分类收集后作为危险废物委托有资质的单位安全处理处置。（2）衬底清洗过程）衬底清洗过程 根据建设单位提供资料，衬底准备工序衬底清洗过程311、氨水浸洗槽、氨水双氧水浸洗槽需每天更换槽液，两个槽的槽体尺寸均为 530500320mm（长宽高），盛装系数按 0.8计，则每天更换槽液产生的氨水浸洗废液（W5）量为 0.53m0.50m0.32m0.8=0.06784m3（约 20.4m3/a），氨水双氧水浸洗废液（W7）量为 0.06784m3（约 20.4m3/a），氨水浸洗废液84（W5）以及氨水双氧水浸洗废液（W7）经分类收集后作为危险废物委托有资质的单位安全处理处置。氨水浸洗后的超纯水洗用水量约 1.8m3/d（540.0m3/a），排污系数按 0.9 计，则氨水浸洗后水洗废水（W6）产生量约 1.6m3/d（486.0m3/a）312、；氨水双氧水浸洗后的超纯水洗用水量约1.8m3/d（540.0m3/a），氨水双氧水浸洗后水洗废水（W8）产生量约1.6m3/d（486.0m3/a）。根据建设单位提供资料，在氨水浸洗过程及氨水双氧水浸洗过程中，砷化镓衬底表面残留的很少量砷的氧化物会与氨水发生反应，生成砷酸铵或亚砷酸铵从而进入废水，类比同类型装置，清洗废水中总砷的产生浓度不高于 0.5mg/L，氨氮的产生浓度不高于 45mg/L。则这两股废水中主要污染物及产生浓度为：pH约912、总砷0.5mg/L、氨氮45mg/L、SS约500mg/L。（3）破坏性电学特性测量破坏性电学特性测量实验过程实验过程 根据建设单位提供资料，生长后313、测量工序很少量外延片（平均每天不超过 1 片）需进行抽样破坏性电学特性测量，破坏性电学特性测量的实验过程会使用到很少量的硫酸、盐酸、双氧水等化学试剂（全部化学试剂所配制的溶液总用量不会超过 1L/天）。因此，破坏性电学特性测量实验过程产生的实验废液不超过 1L/天（约 0.3m3/a），实验器具初期清洗废水不超过 5L/天（约 1.5m3/a），则实验废液及器具初次清洗废水（W9）总产生量约 1.8m3/a，经收集后作为危险废物委托有资质的单位安全处理处置。实验器具的清洗过程按总共清洗 3 次计，则实验器具后续清洗废水（W10）产生量约 10L/天（即 0.01m3/d、约 3.0m3/a），314、该股废水中主要污染物及产生浓度为：pH 约 36、总砷0.5mg/L。破坏性电学特性测量实验及清洗过程均使用超纯水，排污系数按 0.9 计，则超纯水用水量约 5.3m3/a。（4）酸碱（恶臭）废气）酸碱（恶臭）废气酸碱酸碱喷淋塔喷淋塔 根据建设单位提供资料，酸碱（恶臭）废气采用 1 套酸碱喷淋塔进行处理，喷淋塔的循环水箱需每半个月定期排放一次，会产生酸碱（恶臭）废气酸碱喷淋塔排污，每次排放量约0.5m3，则酸碱（恶臭）废气酸碱喷淋塔排污的产生量约 12.0m3/a，经收集后作为危险废物委托有资质的单位安全处理处置。（5）超纯水制备系统）超纯水制备系统 本项目拟设置 1 套 1.0m3/h 的超315、纯水制备系统，布置在第二层中部偏西区域的超纯水间内，为衬底清洗、机台零部件清洗、破坏性电学特性测量实验过程提供所需的超纯水。超纯水制备工艺为：原水箱原水泵多介质过滤活性炭过滤精密过滤器一级高压泵一级 RO 膜组一级 RO 水箱二级高压泵二级 RO 膜组二级 RO 氮封水箱EDI 增压UV 灭菌精密过滤EDI 模块UV 光氧脱气装置抛光树脂氮封水箱增压泵二次 UV二次脱气二次抛光0.1m 精密过滤超纯水箱至各超纯水用水点。根据建设单位提供的用排水平衡资料（具体见“2.1.11 用排水平衡分析”章节），本项目超纯水用量约1149.6m3/a（约 3.8m3/d），超纯水制备系统收率约 60%，则超316、纯水制备系统新鲜水用量约1916.0m3/a（约 6.4m3/d），浓排水产生量约 766.4m3/a（约 2.6m3/d），该股废水相当于自来水85 的浓缩水，其水质情况为：pH 约 7.08.2、CODcr50mg/L、BOD520mg/L、SS30mg/L、氨氮1.5mg/L，污染物浓度很小，主要含有一定量的可溶性盐类。（6）员工生活）员工生活用用水及水及排水排水 本项目员工定员人数为 50 人，厂内不设员工宿舍及食堂。员工工作与生活用水系数按50L/（人 d）估算，员工生活用水量为 50 人50L/（人 d）10-3m3/L=2.5m3/d（750.0m3/a），排污系数按 85%计，317、则生活污水产生量约 2.1m3/d（637.5m3/a），生活污水中主要污染物及产生浓度为：CODcr 约 550mg/L、BOD5约 350mg/L、SS 约 450mg/L、NH3-N 约 45mg/L。4.2.2.2 废水处理措施及其可行性分析废水处理措施及其可行性分析 本项目运营期产生的含砷浓度较高的废液及废水（包括：硫酸双氧水浸洗废液及水洗废水（W1、W2）、硝酸盐酸浸洗废液及水洗废水（W3、W4）、氨水浸洗废液（W5）、氨水双氧水浸洗废液（W7）、实验废液及器具初次清洗废水（W9）以及酸碱（恶臭）废气酸碱喷淋塔排污，经收集后全部作为危险废物委托有资质的单位安全处理处置。项目拟建 1318、 座生产废水处理站，对微量含砷的废水（包括：氨水浸洗后水洗废水 W6、氨水双氧水浸洗后水洗废水 W8、实验器具后续清洗废水 W10）进行收集后，拟采用“pH 调节+反应沉淀”的工艺处理，设计处理规模为 5.0m3/d，而后经由单独设置的含砷废水排放口，排入生产废水混合池，与超纯水制备系统浓排水混合后，再经由单独设置的生产废水排放口，排入园区污水管网；员工生活污水依托所租赁厂房已建三级化粪池预处理后，排入园区污水管网。上述废水经由项目所在园区总排污口，排入布塘北路市政污水管网，近期纳入布塘再生水处理站处理，中远期纳入洪塘水质净化厂处理。项目运营期废水处理工艺流程见图 4-3。86 pH调节池反应319、沉淀池微量含砷的废水微量含砷的废水，包括：氨水浸洗后水洗废水氨水双氧水浸洗后水洗废水实验器具后续清洗废水含砷废水排放口含砷废水排放口生产废水混合池生产废水排放口生产废水排放口超纯水制备系统浓排水员工生活污水项目所在园区总排放口依托所租赁厂房已建三级化粪池含砷污泥：委托有资质单位安全处理处置含砷浓度较高的废液及废水含砷浓度较高的废液及废水（包括：硫酸双氧水浸洗废液及水洗废水、硝酸盐酸浸洗废液及水洗废水、氨水浸洗废液、氨水双氧水浸洗废液、实验废液及器具初次清洗废水）以及酸碱以及酸碱（恶臭恶臭）废气水喷淋塔排污废气水喷淋塔排污布塘再生水处理站作为危险废物委托有资质的单位安全处理处置各废液收集桶板框压320、滤机Ca(OH)2、PAMH2SO4、NaOH 图图 4-3 本项目废水处理工艺流程图本项目废水处理工艺流程图 根据上文分析，本项目微量含砷的废水总产生量约 3.3m3/d（975.0m3/a），生产废水处理站的处理规模拟按 5.0m3/d 设计，能够满足项目生产废水的处理需求。本项目废水处理所采用的主要工艺单元工作原理如下：pH 调节池：用以调节进、出水流量的构筑物，主要起对废水水量和水质的调节作用，以避免废水水量、水质的较大波动对后续处理设施产生不利影响。同时，通过加入 H2SO4或 NaOH，将废水中的 pH 值调至 69。反应沉淀池：在微量含砷废水中，加入 Ca(OH)2，与废水中的砷321、酸根、亚砷酸根发生反应，生成砷酸钙沉淀、亚砷酸钙沉淀而被去除。反应方程式如下：3Ca2+2AsO43-Ca3(AsO4)2 3Ca2+2AsO33-Ca3(AsO3)2 在反应沉淀过程中，废水中总砷的去除主要取决于砷酸钙及亚砷酸钙的溶解度、Ca(OH)2的加入量（即所调节的 pH 值）以及加入聚丙烯酰胺（PAM）进行絮凝沉淀过程对砷酸钙沉淀及亚砷酸钙沉淀的去除是否彻底等因素。参考“砷酸钙化合物的溶解度及其稳定性随 pH值的变化”环境科学学报（2005 年 12 月，第 25 卷第 12 期，朱义年等）：“砷酸钙盐在溶87 液中溶解平衡时能够达到的最低溶解度为 0.01mg/L”。絮凝沉淀是废水322、处理中去除悬浮物的一种常用方法。通过向水中投加絮凝剂（如：PAM 聚丙烯酰胺等），使水中难以沉淀的颗粒能互相聚合而形成胶体，然后与水体中的杂质结合形成更大的絮凝体。絮凝体具有强大吸附力，不仅能吸附悬浮物，还能吸附部分细菌和溶解性物质。絮凝体通过吸附，体积增大而下沉。进而水体得到净化。与其他物理化学方法相比具有出水水质好、工艺运行稳定可靠、经济实用、操作简便等优点。因此，本项目拟通过加入 Ca(OH)2、絮凝剂 PAM，将出水的总砷控制在 0.2mg/L 以下是可行的，对废水中总砷的去除效率不低于 60%。对照排污许可证申请与核发技术规范 电子工业（HJ1031-2019）“附录 B 废气和废水323、防治可行技术参考表”中“表 B.2 电子工业排污单位废水防治可行技术参考表”，处理废水中总砷的可行技术有：化学还原法、电解法、化学沉淀法、离子交换法、反渗透法。本项目采用化学反应沉淀工艺对废水中的总砷进行处理，属于可行技术。根据建设单位确认，本项目超纯水制备系统产生的废离子交换树脂由供应商回收后再生重复利用，本项目不在厂内进行树脂再生，不会产生树脂再生酸碱废水。因此，超纯水制备系统产生的浓排水主要为 RO 膜过滤系统产生的浓水，相当于自来水的浓缩水，类比同类型装置，该部分浓排水的污染物浓度很小，可满足污水综合排放标准（GB8978-1996）表 4中的三级标准以及污水排入城镇下水道水质标准（G324、B/T31962-2015）表 1 中的 B 级标准要求，拟直接排入生产废水混合池，与其他经处理后的生产废水混合后达标外排。化粪池：一种利用沉淀和厌氧发酵的原理，去除生活污水中悬浮性有机物的处理设施，属于初级的过渡性生活污水处理构筑物。类比同类装置，化粪池对生活污水中 CODcr 的去除效率一般在 15%左右。根据上述废水产生、处理情况，本项目运营期废水经处理后的排放情况见表 4-14。表表 4-14 本项目运营期废水产生、处理及排放情况本项目运营期废水产生、处理及排放情况 单位：mg/L，pH：无量纲 序 号 类型 项目 废水量 m3/a pH 总砷 CODcr BOD5 SS 氨氮 1 氨325、水浸洗后 水洗废水 产生情况 486.0 912 0.5 50 20 500 45 产生量（t/a）486.0 0.0002 0.0243 0.0097 0.2430 0.0219 2 氨水双氧水浸洗后 水洗废水 产生情况 486.0 912 0.5 50 20 500 45 产生量（t/a）486.0 0.0002 0.0243 0.0097 0.2430 0.0219 3 实验器具 后续清洗废水 产生情况 3.0 36 0.5 50 20 30 0.5 产生量（t/a）3.0 0.0000 0.0002 0.0001 0.0001 0.0000 4 上述 1、2、3 号 废水混合后 产生情326、况 975.0 912 0.5 50 20 498.6 44.9 产生量（t/a）975.0 0.0005 0.0488 0.0195 0.4861 0.0437 5 经“pH 调节+反应沉淀”处理后，在含砷废水排放口含砷废水排放口 排放情况 975.0 69 0.2 50 20 149.5 44.9 去除效率（%）60.0/70.0/排放标准 0.2 88 处排放情况 是否达标 达标 排放量（t/a）975.0 0.0002 0.0488 0.0195 0.1458 0.0437 6 超纯水制备系统浓排水 产生情况 766.4 7.08.2 50 20 30 1.5 产生量（t/a）766.327、4 0.0383 0.0153 0.0230 0.0011 7 上述 5、6 号废水混合后 在生产废水排放口生产废水排放口 处排放情况 排放情况 1741.4 69 0.11 50.0 20.0 96.9 25.7 排放标准 69 500 300 400 45 是否达标 达标 达标 达标 达标 达标 排放量（t/a）1741.4 0.0002 0.0871 0.0348 0.1688 0.0448 8 员工生活污水 产生情况 637.5 69 550 350 450 45 产生量（t/a）637.5 0.3506 0.2231 0.2869 0.0287 9 依托所租赁厂房 已建三级化粪池预处328、理后 在化粪池排放口化粪池排放口处 排放情况 排放情况 637.5 69 500 300 400 45 去除效率（%）9.1 14.3 11.1/排放标准 69 500 300 400 45 是否达标 达标 达标 达标 达标 达标 排放量（t/a）637.5 0.3188 0.1913 0.2550 0.0287 10 本项目废水在 园区总排放口处 混合后排放情况 排放情况 2378.9 69 0.08 170.6 95.0 178.1 30.9 排放标准 69 500 300 400 45 是否达标 达标 达标 达标 达标 达标 排放量（t/a）2378.9 0.0002 0.4059 0.329、2261 0.4238 0.0735 11 本项目废水污染物 产排情况汇总 产生量（t/a）2378.9 0.0005 0.4377 0.2579 0.7960 0.0735 削减量（t/a）0 0.0003 0.0318 0.0318 0.3722 0 排放量（t/a）2378.9 0.0002 0.4059 0.2261 0.4238 0.0735 12 经布塘再生水处理站 处理后排放情况 排放情况 2378.9 30 6 10 1.5 排放量（t/a）2378.9 0.0714 0.0143 0.0238 0.0036 根据上表分析，本项目微量含砷的生产废水经处理后，在含砷废水排放口处，330、所排废水中的总砷能够满足电子工业水污染物排放标准（GB39731-2020）表 1 中的“车间或生产设施排放口”标准以及xx市生态环境准入清单（2021 年）中的限值（0.2mg/L）要求；生产废水在生产废水排放口处、生活污水在所依托化粪池排放口处，所排废水中的 pH、CODcr、BOD5、SS 均能够满足污水综合排放标准（GB8978-1996）表 4 中的三级标准，氨氮均能够满足污水排入城镇下水道水质标准（GB/T31962-2015）表 1 中的 B 级标准要求。因此，项目废水能够实现达标排放，所采取的废水处理措施可行。4.2.2.3 排放口基本情况排放口基本情况 本项目废水污染源产排污331、环节、类别、污染物种类、污染物产生浓度和产生量、废水排放量、污染物排放量和浓度、排放方式（直接排放、间接排放）、排放去向、排放规律等情况见表 4-15，废水治理设施设置情况见表 4-16，废水排放口基本情况及排放标准见表 4-17。89 表表 4-15 废水污染源产排污环节等情况废水污染源产排污环节等情况 废水污染源 产排污环节 类别 废水排放量m3/a 污染物种类 产生情况 排放情况 排放方式 排放去向 排放规律 产生浓度 mg/L 产生量t/a 排放浓度 mg/L 排放量t/a 微量含砷的生产废水 衬底清洗、破坏性电学特性测量实验 生产废水 975.0 pH 912 69 间接排放 布塘再332、生水处理站 间歇排放 总砷 0.5 0.0005 0.2 0.0002 CODcr 50 0.0488 50 0.0488 BOD5 20 0.0195 20 0.0195 SS 498.6 0.4861 149.5 0.1458 NH3-N 44.9 0.0437 44.9 0.0437 超纯水制备系统浓排水 超纯水制备系统 清净下水 766.4 pH 7.08.2 7.08.2 间接排放 布塘再生水处理站 间歇排放 CODcr 50 0.0383 50 0.0383 BOD5 20 0.0153 20 0.0153 SS 30 0.0230 30 0.0230 NH3-N 1.5 0.00333、11 1.5 0.0011 生活污水 员工工作及生活 生活污水 637.5 pH 69 69 间接排放 布塘再生水处理站 间歇排放 CODcr 550 0.3506 500 0.3188 BOD5 350 0.2231 300 0.1913 SS 450 0.2869 400 0.2550 NH3-N 45 0.0287 45 0.0287 表表 4-16 废水废水治理设施设置情况治理设施设置情况 废水污染源 治理设施名称 治理设施编号 设计处理水量（m3/h）污染治理设施工艺 治理效率 是否为可行技术 微量含砷的生产废水 生产废水处理站 TW001 0.5 pH 调节+反应沉淀 pH 调节至 69 是 总砷 60.0%SS 70.0%生活污水 三级化粪池 TW002 3.0 依托所租赁厂房已建三级化粪池预处理 CODcr 9.1%是 BOD5 14.3%SS 11.1%NH3-N/表表