1、目目录录1建设项目基本情况建设项目基本情况.12建设项目工程分析建设项目工程分析.292.1项目概况.292.2工艺流程和产污环节.932.3现有工程回顾性分析.1113 3区域环境质量现状、环境保护目标及评价标准区域环境质量现状、环境保护目标及评价标准.1473.1环境功能区划及环境质量标准.1473.2区域环境质量现状.1503.3环境保护目标.1613.4污染物排放控制标准.1623.5总量控制指标.1654 4主要环境影响和保护措施主要环境影响和保护措施.1694.1大气环境影响和污染防治措施.1694.2地表水环境影响和污染防治措施地表水环境影响和污染防治措施.1704.3声环境影响2、和污染防治措施.1844.4固体废物环境影响和污染防治措施.1874.5地下水环境影响和污染防治措施.2004.6土壤环境影响分析和污染防治措施.2044.7环境风险影响分析.2094.8电磁辐射.2154.9环保投资.2154.10项目主要污染物排放情况汇总.2155环境保护措施监督检查清单环境保护措施监督检查清单.2175.1环境管理.2195.2排污口规范化管理.2205.3排污许可申报.2215.4竣工环境保护验收.2216结论结论.223附表附表.224建设项目污染物排放量汇总表.224附图附图附图 1地理位置图附图 2xx市城市总体规划-城市建设用地规划图附图 3xx区空间发展战略3、规划土地利用规划图附图 4xx区临港 05-12 土地利用规划图附图 5xx省近岸海域环境功能区划图附图 6环境空气质量功能区划图附图 7声环境质量功能区划图附图 8xx市生态控制线规划图附图 9xx市xx区生态保护红线分布图附图 10 xx市生态环境管控单元图附图 11xx市产业空间布局图附图 12项目周边环境保护目标图附图 13周边环境示意图附图 14现状噪声、土壤、地下水、大气监测点位图附图 15厂区现场及周边环境现状照片附图 16厂区总平面布置图附图 17扩建后 12 英吋厂房 1F平面布置图附图 18厂区废气排气筒布置图附图 19厂区雨水管线平面布置图附图 20厂区给水、污水综合管线4、平面布置图附图 21厂区外排废水排放走向图附图 22项目区水文地质图附图 23项目危险单位分布图附图 24预测结果轮廓线图附件附件附件 1委托书附件 2营业执照及法人身份证附件 3投资项目备案证明（编号：厦海工信投备（2023）38 号）附件 4不动产权证（闽（2018）xx市不动产权第 0107162 号）附件 512 吋特色工艺半导体芯片制造生产线建设项目环境影响报告表批复（厦环审201933 号）附件 612 吋特色工艺半导体芯片制造生产线建设项目 110kV 变电站环境影响报告表批复（厦环审202070号）附件 712 吋特色工艺半导体芯片制造生产线建设项目外延及表面处理技改项目环境影5、响报告表批复（厦海环审202110号）附件 8新增年产 24 万片 12 英寸高压集成电路和功率器件芯片技术提升及扩产项目环境影响报告表的批复（厦海环审202189号）附件 912 英寸高压集成电路和功率器件芯片提升及改造项目环境影响报告表的批复（厦环审202221号）附件 10排水证附件 11排污许可证附件 12xx省排污权指标交易凭证附件 13企业环境应急预案备案表附件 14主要原辅材料理化性质一览表附件 15危险废物委托协议（储鑫、xx、吉福）附件 16一般固废处置协议及生活垃圾委托处置协议附件 17近期废水、地下水、废气、噪声验收检测报告（报告编号：JAT230214E-LLH01-06、1）附件 18环境质量现状监测报告（报告编号：JAT230214E-LLH01-02）11建建设设项项目目基基本本情情况况建设项目名称新增年产 30 万片 IGBT 功率器件芯片扩产项目项目代码建设单位联系人联系方式建设地点地理坐标国民经济行业类别C3973 集成电路制造建设项目行业类别三十六、计算机、通信和其他电子设备制造业 80 电子器件制造 397 显示器件制造；集集成成电电路路制制造造；使用有机溶剂的；有酸洗的，以上均不含仅分割、焊接、组装的建设性质新建（迁建）改建扩建技术改造建设项目申报情形首次申报项目不予批准后再次申报项目超五年重新审核项目重大变动重新报批项目项目审批（核准/备案）7、部门（选填）xx市xx区工业和信息化局项目审批（核准/备案）文号（选填）厦海工信投备（2023）38 号总投资（万元）300000环保投资（万元）1400.0环保投资占比（%）0.47施工工期20是否开工建设否是：用地（用海）面积（m2）28789.7专项评价设置情况本项目设置大气、环境风险专项评价，设置理由见表1-1。表表1-1 专专项项评评价价设设置置理理由由专专项项评评价价类类别别设设置置原原则则本本项项目目情情况况设设置置情情况况大气排放废气含有毒有害污染物1、二噁英、苯并a芘、氰化物、氯气且厂界外500米范围内有环境空气保护目标2的建设项目本项目排放废气含有氯气、砷烷，且500m范围8、内有雍厝公寓和温厝社区等环境保护目标设置地表水新增工业废水直排建设项目（槽罐车外送污水处理厂的除外）；新增废水直排的污水集中处理厂本项目废水排入xx水质净化厂深度处理，属于间接排放不设置环境风险有毒有害和易燃易爆危险物质存储量超过临界量3的建设项目本项目有毒有害和易燃易爆危险物质存储量超过临界量，Q=71.5196设置2生态取水口下游 500 米范围内有重要水生生物的自然产卵场、索饵场、越冬场和洄游通道的新增河道取水的污染类建设项目不涉及不设置海洋直接向海排放污染物的海洋工程建设项目不涉及不设置土壤不开展专项评价/不设置声环境不开展专项评价/不设置地下水原则上不开展专项评价，涉及集中式饮用水水9、源和热水、矿泉水、温泉等特殊地下水资源保护区的开展地下水专项评价工作项目所在区域不涉及集中式饮用水水源和热水、矿泉水、温泉等特殊地下水资源保护区不设置注：1.废气中有毒有害污染物指纳入有毒有害大气污染物名录的污染物（不包括无排放标准的污染物）。2.环境空气保护目标指自然保护区、风景名胜区、居住区、文化区和农村地区中人群较集中的区域。3.临界量及其计算方法可参考建设项目环境风险评价技术导则（HJ169）附录B、附录C。规划情况规划名称：xx市xx区临港（05-12）编制单元控制性详细规划审批文件：xx市人民政府关于xx市xx区临港（05-12）编制单元控制性详细规划的批复（厦府2018175号）10、审批机关：xx市人民政府规划环境影响评价情况规划环境影响评价文件名称：xx市xx区临港（05-12）编制单元控制性详细规划环境影响报告书召集审查机关：原xx市环境保护局（现xx市生态环境局）审查文件名称及文号：xx市环境保护局关于xx市xx区临港（05-12）编制单元控制性详细规划环境影响报告书审查意见的函（厦环评201824号）规划及规划环境影响评价符合性分析项目选址于xx区临港05-12编制单元北区，根据xx市xx区临港（05-12）编制单元控制性详细规划环境影响报告书，临港集成电路产业及综合配套区的产业定位为：以xxxx集电产业区建设为契机，着力发展集成电路产业的设计、封装、测试环节，打11、造“智造”片区，形成500亿以上产值规模，3成为xx区产业转型的新引擎。本项目为集成电路制造产业，符合规划要求。对照xx区临港05-12土地利用规划（附图4），本项目所在地块属于工业用地，用地符合规划要求。其他符合性分析一、一、产业政策符合性分析产业政策符合性分析本项目为集成电路产业，对照产业结构调整指导目录（2019 年本）及修改单可知，本项目属于第一类“鼓励类”条目的“二十八信息产业”中“19、集成电路设计，线宽线宽 0.8 微米以微米以下集成电路制造下集成电路制造，及球栅阵列封装（BGA）、插针网格阵列封装（PGA）、芯片规模封装（CSP）、多芯片封装（MCM)、栅格阵列封装（LGA）、12、系统级封装（SIP）、倒装封装（FC）、晶圆级封装（WLP）、传感器封装（MEMS）等先进封装与测试”。项目建设符合国家的产业政策。根据xx市重点发展产业指导目录（2021 年本），本项目属于“三、半导体与集成电路 3.8 英寸及以上 IGBT、MOSFET 等功率器件、MEMS 器件制造”，属于xx市重点发展产业。项目所在厂房为工业用地，用地不在限制用地项目目录（2012 年本）和禁止用地项目目录（2012 年本）中的禁止、限制之列。项目生产工艺装备和产品不属于部分工业行业淘汰落后生产工艺装备和产品指导目录（2010 年本）（工产业2010第 122 号）中的淘汰之列。对照市场准入负面清单（13、2022 年版）（发改体改规2022397 号），本项目不属于其中规定的禁止或许可事项，不属于“与市场准入相关的禁止性规定”。对照环境保护综合名录(2021 年版)，项目产品及使用的原辅材料不属于该名录中“高污染、高环境风险”类。4对照重点管控新污染物清单(2023 年版)，本项目不涉及重点管控新污染物。综上分析，项目建设符合国家当前相关产业政策要求。二、二、xx市产业空间布局符合性分析xx市产业空间布局符合性分析本项目从事集成电路产业，对照xx市产业空间布局指引（2021年本）附件1“xx市产业功能区一览表（2021年本），本项目属于电子信息制造，属于先进制造业，项目位于xx集成电路集中区，14、主导产业为“电子信息、机械装备”，细分领域为“半导体和集成电路、机械装备”。本项目与xx市产业空间布局要求相符。xx市产业空间布局图见附图11。三、选址符合性分析三、选址符合性分析1、土地利用规划符合性分析土地利用规划符合性分析项目位于xx区临港 05-12编制单元北区，根据建设单位提供的不动产权证（闽（2018）xx市不动产权第0107162 号）（附件 4），本地块用途为：工业用地（计算机、通信和其他电子设备制造业*电子器件制造）。本项目建设符合该地块的用地要求，与xx区临港（05-12）编制单元控制性详细规划相符合。对照“xx市城市总体规划-城市建设用地规划图”（附图2）、“xx市xx区15、空间发展战略土地利用规划图”（附图3），项目用地属于二类工业用地，本项目符合xx市用地规划和xx区土地利用规划。2、与环境功能区规划符合性分析与环境功能区规划符合性分析本项目位于xx水质净化厂服务范围，项目所在区域配套管网铺设齐全。本项目废水经厂区废水处理站处理达标后，通过周边市政污水管网最终排入xx水质净化厂处理，不会对海沧水质净化厂造成影响。项目选址符合水环境功能区划要求。本项目所在区域规划为二类大气环境功能区，执行环境5空气质量标准（GB3095-2012）及修改单二级标准。根据2021 xx市生态环境质量公报可知，xx市属于大气质量环境达标区。设备噪声经减振隔声措施、距离衰减后对周边环16、境影响不大，厂界噪声符合工业企业厂界环境噪声排放标准（GB12348-2008）3 类、4a 类标准要求，本项目与声环境功能区划相适应。xx省近岸海域环境功能区划图见附图5，xx市环境空气功能区划图见附图6，xx市声环境功能区划图见附图7。3、环境相容性分析、环境相容性分析项目位于xx区临港05-12编制单元北区。项目东侧为xx士兰明镓化合物半导体有限公司、北侧为芯舟科技（xx）有限公司公司（待建）和xx公司预留用地，西侧为规划集成电路类科研用地，南侧为规划工业用地，周边企业主要为集成电路制造产业，与本项目产业类型一致，其产生污染物主要为废气、废水、噪声、固废。项目所在位置周边主要的敏感点为距17、离项目东侧300m处的温厝社区，西侧380m处的雍厝公寓。项目酸性废气、有机废气、颗粒物等经处理达标排放，废气经大气扩散后对周边大气环境影响不大；项目新增生产废水经厂区污水处理站处理，生活污水经三级化粪池处理，项目外排废水处理达标后排入市政污水管道排入xx水质净化厂深度处理；厂界噪声经隔声、减震、降噪后达标排放；固体废物分类收集，委托相关有资质单位处置，不会产生二次污染。项目产生的污染物经采取切实有效的防治措施后达标排放，对周边敏感点的影响在可接受范围内，项目建设与周边环境相容。三、三、“三线一单三线一单”符合性分析符合性分析1、生态保护红线、生态保护红线符合性分析符合性分析6对照xx市人民政18、府关于印发xx市生态控制线管理实施规定的通知（厦府2016346号），本项目位于xx区临港05-12编制单元北区，为工业用地；项目周边无“生态公益林地、基本农田、水系、水源保护区、自然保护区、水源涵养区、水土流失重点预防区、风景名胜区，以及其他为维护生态系统完整性需要进行严格保护控制的区域”，不在生态控制线区域之内，符合xx市生态控制线规划要求和xx市xx区生态保护红线要求。xx市生态控制线规划图见附图8，xx市xx区生态保护红线分布图见附图9。2、环境质量底线、环境质量底线符合性分析符合性分析根据2021年xx市生态环境质量公报及现状声环境、环境空气、地下水、土壤补充监测结果，项目所在区域空19、气质量可达环境空气质量标准(GB3095-2012)中二级标准，声环境质量可达声环境质量标准（GB3096-2008）3类标准，地下水环境质量符合地下水质量标准（GB/T4848-2017）中III标准限值，土壤环境质量符合土壤环境质量 建设用地土壤污染风险管控标准（试行）（GB36600-2018）表1、表2第二类用地标准筛选值。项目所在区域环境质量现状较好。项目污水经厂区污水处理站处理后达标后纳入xx水质净化厂进行深度处理，对周边环境影响很小；产生的废气经收集处理达标后排放，废气经大气扩散后对周边大气环境影响不大；项目产生的噪声经基础减震、消声、厂房隔声、距离衰减后对周边声环境贡献值小，厂20、界噪声可达到3类、4a类标准要求；项目固体废物分类收集，一般固废由相关物质部门回收处理，危险废物委托有资质单位处置，不会产生二次污染。在采取上述防治措施后，本项目对周围环境影响较小，不会对区域环境质量底线造成冲击。3、资源利用上线、资源利用上线符合性分析符合性分析7本项目在现有厂区内实施，没有新增用地。项目建设过程主要利用资源为水资源和电，均为清洁能源。项目运营后通过内部管理、设备选择、原辅材料的选用管理和污染治理等多方面采取合理可行的防治措施，以“节能、降耗、减污”为目标，有效的控制污染。项目的水、电等资源利用不会突破区域的资源利用上线。4、与xx市生态环境准入清单（、与xx市生态环境准入清21、单（2021版）符合性分析版）符合性分析根据xx市生态环境局印发xx市生态环境准入清单(2021版)(厦环规20211号)，本项目选址位于xx区临港05-12编制单元北区，即位于xx南部产业区（xx区临港05-12编制单元）ZH35020520003，项目与“厦门市总体准入要求”、“xx市环境管控单元准入要求-xx市xx区生态环境准入要求”、“xx市重点发展产业生态环境准入要求”符合性分析见表1-2、表1-3、表1-4。项目产生的污染物经采取切实有效的防治措施后均达标排放，对周边环境影响在可接受范围内。项目位于xx南部产业区（xx区临港05-12编制单元）ZH35020520003，属于行业允22、许准入项目。xx市生态环境管控单元图见附图10，xx市产业空间布局图见附图11。四四、与xx市涉重金属污染物排放建设项目环境准入指导意、与xx市涉重金属污染物排放建设项目环境准入指导意见和负面清单（见和负面清单（2018版）符合性分析版）符合性分析本项目含化学镀工艺，根据xx市涉重金属污染物排放建设项目环境准入指导意见和负面清单（2018年版），本扩建项目与其符合性详见表1-5。五五、与xx市生态环境局、与xx市生态环境局 2020 年挥发性有机物治理攻坚实施年挥发性有机物治理攻坚实施方案符合性分析方案符合性分析xx市生态环境局于 2020 年 8 月 25 日印发xx市生态环境局 2020 23、年挥发性有机物治理攻坚实施方案（厦环大气8202039 号），本扩建项目生产过程中会产生挥发性有机废气，项目建设与该实施方案相关要求符合性分析见表 1-6。六六、与xx市生态环境局关于加强年挥发性有机物污染防治、与xx市生态环境局关于加强年挥发性有机物污染防治工作的通知符合性分析工作的通知符合性分析xx市生态环境局于 2022 年 3 月 28 日印发xx市生态环境局关于加强挥发性有机物污染防治工作的通知（厦环大气202215 号），对照本扩建项目生产过程中会产生挥发性有机废气，项目建设与该通知相关要求符合性分析见表 1-7。企业在日常自查工作参照该通知附表 1自查表落实执行。七、与七、与挥发24、性有机物无组织排放控制标准（挥发性有机物无组织排放控制标准（GB37822-2019）的排放标准和相符性分析）的排放标准和相符性分析对照挥发性有机物无组织排放控制标准（GB37822-2019），本项目可符合 GB37822-2019 排放标准和相关要求，详见表 1-8。综上所述，项目建设符合相关环保政策及相关规划，符合“三线一单”管控要求。9其他符合性分析表表 1-2与与“xx市生态环境总体准入要求xx市生态环境总体准入要求”符合性分析一览表符合性分析一览表准入要求准入要求拟建项目情况拟建项目情况符合性符合性空间布局约束（重点管控区域）1.思明区禁止新建有大气、水污染物排放的工业生产项目，改25、扩建项目不得新增排放因子和排放总量，已建项目进行整合升级并引导逐步退出。本项目不位于思明区/2.湖里区禁止新建涉及重金属排放的工业生产项目，改、扩建项目不得新增重点重金属排放。本项目不位于湖里区/3.先锋电镀集控区禁止扩大园区规模，原则上禁止在先锋电镀集控区之外区域新(扩)建专业电镀项目，涉及重点重金属废水污染物排放的须确保指标调剂来源后方可准入。不涉及/4.对省、市级重点重大产业项目，省、市级“高技术、高成长、高附加值”重点企业增资扩产项目，规划发展的电子产业、新材料、新能源和节能环保产业重点项目确需配套电镀工艺等涉及重点重金属废水排放的须确保重点重金属污染物排放指标调剂来源，确需配套的关26、键性、短流程化工工序和单纯混合、分装、物理提纯的，在落实污染防治和风险防控的前提下，可予准入。本项目属于市级“高技术、高成长、高附加值”重点企业增资扩产项目，属于规划发展的电子产业，配套的电镀工艺等不涉及重点重金属废水排放。符合5.全市禁止准入新、扩建火电、石化、煤化工、基础化学原料制造(物理提纯、单纯混合分装除外)、钢铁、有色金属冶炼(铜、铅、锌、镍、钴、铝、镁、硅等冶炼)、建材(含水泥、石灰石膏、粘土砖瓦、平板玻璃、建筑陶瓷、石材)、橡胶和塑料制品业(轮胎、再生橡胶、运动场地塑胶等制造)等高耗能、高排放项目；改建项目应符合减污降碳等政策、法律法规、法定规划要求。高污染燃料禁燃区禁止加工销售27、和使用煤炭及其制品、石油焦、油页岩、原油、重油、渣油、煤焦油、生物质成型燃料等高污染燃料项目。不涉及/6.禁止准入生产和使用高 VOCs 含量的溶剂型涂料、油墨、胶黏剂和洗涤剂的新、扩建项目。不涉及/7.合理规划和布局集中污水处理和集中垃圾处置等环保设施建设。项目自建生产废水处理站、化粪池，厂区自建危废间、一般固废暂存间，环保设施规划和布局合理。符合8.在现有和规划的集中居住区（包括村庄、住宅小区）、学校等敏感目标外围100m范围1内，禁止准入增加排放有机废气污染物、恶臭（异味）污染物2及其本项目周边 100m范围内无集中居住区、学校等敏感目标。符合10其他符合性分析他列入有毒有害大气污染物名28、录污染物的新(改、扩)建工业生产项目，主要禁止以下项目类型：(1)化学原料和化学制品制造业、医药制造业类项目（不使用挥发性有机溶剂原料、异味物料的单纯物理分离、物理提纯、混合、分装、药品复配的项目经环评论证可行的可准入）。(2)制革，人造革，发泡胶，塑料再生（包括改性），制浆造纸（含废纸），轮胎制造，橡胶再生，含炼化及硫化工艺的橡胶制品（硅橡胶制品项目经环评论证可行的可准）。(3)化纤制造（单纯纺丝除外），制鞋，含染整、染色、印花工艺的服装、纤维、塑料纺织品生产项目。(4)饲料及其添加剂，树脂工艺品，沥青制品，玻璃钢制品制造项目。(5)香辛料调味品，发酵制品，屠宰，含发酵工艺的食品、饮料、调味29、品加工项目。(6)含有喷漆（工业涂装）工序的项目（使用电泳、水性涂料、粉末涂料、固化涂料的项目经环评论证可行的，方可准入）。(7)丝印，包装印刷项目（使用水性油墨的印刷项目经环评论证可行的，方可准入）。(8)含金属、合金高温熔炼、熔铸（铸造）工艺的，含 PVC、尼龙、再生塑料加热成型或塑料涂覆工艺的项目。(9)其他使用挥发性有机溶剂、稀释剂原辅材料年使用总量 2 吨以上的，或者 2 吨以下但需要设置大气环境防护距离的建设项目（2 吨及以下的项目经环评论证可行的，方可准入）。污染物排放管控1.省级及以上工业园区(xxxx台商投资区、xxxx保税港区、xx火炬高技术产业开发区、xx台商投资区、杏林30、台商投资区、xxxxxx工业园区、福建xx同安工业园区)工业企业新增主要污染物(化学需氧量、氨氮、二氧化硫、氮氧化物)排放量的，按等量替代进行交易；省级及以上工业园区外的工业企业新增主要污染物排放量按不低于 1.2 倍交易。排放重金属废水污染物项目投资强度或产值应满足xx市涉重金属项目强度限值要求。重点重金属废水污染物排放执行“等量置换”或“减量置换”，其中省市重点项目实行“等量置换”，其他项目实行 1.1 倍“减量置换”(电镀行业不低于 1.2 倍)。项目所在xx区临港 05-12 编制单元北区属于xxxx台商投资区，属于省级及以上工业园区，新增主要污染物排放量按等量替代进行交易。新增排放重31、金属废水污染物项目投资强度满足xx市涉重金属项目强度限值要求。项目不涉及重点重金属废水污染物排放。符合2.涉新增 VOCs 项目，应实行 VOCs 区域内倍量削减替代，其中xx区新阳片区内工业园区企业的区域有效削减量3与新增排放量比例不小于 2 倍；全市除新阳片区外的其他工业园区不低于 1.5 倍，其中省、市重点重大项目不低于 1.2 倍。项目属于重点重大项目，新增VOCs 排放实行 1.2 倍量替代。符合3.现有及新建项目根据所排放的污染物，按照行业排放标准、地方排放标准、综合排放标准等标准的适用范围、原则，从严执行。本项目排放污染物按照行业排放标准、地方排放标准、综合排放标准等标准的适用范32、围、原则，从严执符合11其他符合性分析行4.燃煤火电机组执行燃气轮机组排放限值要求，不得新建燃煤锅炉项目，改、扩建燃煤锅炉应执行大气污染物特别排放限值。不涉及/资源利用效率1.执行最严格水资源管理制度。(1)严格用水总量控制，对取用水总量达到或超过控制指标的区域，停止审批建设项目新增取水，建设项目新增用水通过中水、海水等非常规水源解决；对取用水总量接近控制指标的区域，优先保障低消耗、低排放和高效益的产业发展，严格限制高耗水、高污染、低效益的项目。(2)落实建设项目水资源论证制度，除取水许可和水资源费征收管理条例第四条规定的情形外，对直接从江河、湖泊或者从地下取水的建设项目必须进行水资源论证。加33、强对重点用水户、特殊用水行业用水户的监督管理。以区为单元，全面开展节水型社会达标建设。(3)从严控制高污染、高耗水等行业新增取水。禁止准入不符合国家产业政策或列入国家产业结构调整指导目录中淘汰类或限制类的、产品不符合行业用水定额标准的项目。(4)提高用水效率。加强节约用水管理，加快推广和普及高效、节水、降耗和环保的水资源利用新技术、新工艺、新产品，鼓励发展中水回用、雨水、海水等非常规水源开发利用；加快推进节水技术改造，高耗水企业加强节水工艺改造，加快淘汰落后生产工艺和设备，提高企业水循环利用率；实行计划用水与管理，强化企业用水过程的监控管理，用水大户应开展水平衡测试，挖掘企业节水潜力，降低单位34、产品用水量。本项目水资源取自市政自来水，由区域供水系统提供。本项目通过中水回用，部分生产废水治理后回用于生产工序，通过加强管理，节水控制，项目不属于高耗水、高污染、低效益的项目。符合12其他符合性分析2.能源消费总量和强度双控指标。(1)推进能源总量管理、科学配置、全面节约，推动能源清洁低碳安全高效利用，倒逼产业结构、能源结构调整，助力实现碳达峰、碳中和目标。(2)差别化分解能耗双控目标，鼓励可再生能源使用，重点控制化石能源消费。提高非化石能源在终端能源消费比重，把发展清洁低碳能源作为调整能源结构的主攻方向。(3)完善能源消费总量和强度双控指标管理。从各区域发展定位、产业结构和布局、能源消费现35、状、节能潜力、能源资源禀赋、环境质量状况、能源基础设施建设和规划布局，合理确定能耗强度降低和能源消费总量目标。(4)调整优化产业结构，严控高耗能高排放行业能耗增长，加快发展低能耗低排放产业，充分运用先进适用技术和现代信息技术，改造提升传统产业，重点支持对传统产业升级带动作用大的重点项目。本项目使用能源为电能，属于清洁能源符合3.严格执行土地使用标准，科学合理用地，提高土地节约集约利用水平。(1)建设用地资源：加强建设用地污染防控工作，实行建设用地总量强度双控，推进城镇低效用地改造，推进城市国土空间“三维开发”。(2)农用地资源：严守耕地保护红线，切实提高耕地质量，确保耕地占补平衡。本项目在现有36、厂区用地范围建设，不新增占地。符合注：1本清单所列关于 100 米的距离，系指环境敏感目标与建设项目排放挥发性有机废气（或恶臭（异味）污染物，或有毒有害大气污染物名录中污染物）的生产车间、生产场所等生产单元边界之间的最短距离，对于采用全密闭负压设计的洁净车间，则为环境敏感目标与废气排放口之间的距离。2本清单所指恶臭污染物，系指一切刺激嗅觉器官引起人们不愉快及损害生活环境的气体物质，按 GB 14544-1993 并参考上海市地方标准恶臭（异味）污染物排放标准(DB31/1025-2016)和天津市地方标准恶臭污染物排放标准(DB12/059-2018)，主要包括氨、硫化氢、甲硫醇、甲硫醚、二甲37、二硫、二硫化碳、苯乙烯、乙苯、丙醛、丁醛、戊醛、甲基乙基酮、甲基异丁基酮、丙烯酸、丙烯酸甲酯、丙烯酸乙酯、甲基丙烯酸甲酯、一甲胺、二甲胺、三甲胺、乙酸乙酯、乙酸丁酯、2-丁酮等污染物。异味若无上述明确污染物表征的，按 GB 14544-1993 臭气浓度大于 10 的情形。13其他符合性分析表表 1-3 项目与项目与“xx市xx区生态环境准入要求xx市xx区生态环境准入要求”符合性分析一览表符合性分析一览表序号序号单元名称及编码单元名称及编码范围范围功能定位功能定位/主导主导产业产业管控要求管控要求本项目情况本项目情况符合符合性性（3）xx南部产业区（xx区临港05-12 编 制 单 元）ZH38、35020520003至蔡尖尾山，南至角嵩路，西至厦漳边界，东至海景路，16.66km2，包括2个产业片区：(1)xx集成电路集中区，含xx集成电路产业园(北区和南区)，为马青路、海新路、角嵩路、南海路围合区域；中沧工业组团位于马青路以北，海新路两侧片区；嘉诚工业组团，位于马青路以北，青年水库南侧。(2)翔鹭工业组团，马青路、南海路、南海三路、海景路围合区域(1)xx集成电路集中区：主导电子信息(半导体和集成电路)、机械装备产业(2)翔鹭工业组团：现状为化工，未来作为战略预留区空间布局约束xx集成电路产业园北区（5-12地块北区）：1.禁止准入除集成电路产业外其他所有产业；本项目属于集成电路制39、造，属于集成电路产业符合2.集成电路制造产业：限制准入小尺寸(6寸及以下)的硅基集成电路芯片制造企业(不包括化合物生产企业)。本项目产品规格为12英寸，不属于小尺寸芯片符合3.集成电路制造产业：禁止准入涉及汞、铬、镉、铅4类废水重金属污染物排放的项目；涉及砷排放的企业，含砷废水车间排放口浓度按0.2mg/L执行，待新的标准实施时，则执行新标准且不低于0.2mg/L。本项目不涉及汞、铬、镉、铅、砷等废水重金属污染物排放。符合4.封测产业：禁止准入PDIP、PLCC、SOP、SSOP、SOJ、TSSOP、TSOP、QFP、TQFP、LQFP等产品的封测工艺类项目。不涉及/5.封测产业：禁止准入导线40、架(LeadFrame)制造项目。不涉及/6.封测产业：禁止准入含有铅电镀工艺和使用含铅球植球工艺的项目。不涉及/7.集成电路北区西侧工业用地，即海新路东侧的工业用地应优化企业厂区总平面布置，尽可能将生产区往厂区东侧方向布置，确保生产车间与周边规划环境敏感区留有200m的防护距离。不涉及/14其他符合性分析污染物排放管控1.新(改、扩)建项目，立足于通过“以新带老”、削减存量，努力实现企业自身总量平衡，确需新增主要污染物(化学需氧量、氨氮、二氧化硫、氮氧化物)排放量的，新增部分等量替代；VOCs实行倍量替代(区域有效削减量与新增排放量比例不小于1.5倍，省、市重点重大项目不小于1.2倍)，改建41、项目应通过提升改造生产工艺、处理设施控制VOCs排放量只减不增。项目新增主要污染物(化学需氧量、氨氮、二氧化硫、氮氧化物)排放量实行等量替代；VOCs实行1.2倍量替代。符合2.产生VOCs的项目，废气收集处理设施应符合xx市关于挥发性有机污染整治的要求，采用的治理设施应符合重点行业挥发性有机物综合治理方案，不得采取低温等离子、光催化、光氧化等低效技术。项目废气涉及VOCs排放，废气收集处理设施符合厦门市关于挥发性有机污染整治的要求，采用的治理设施符合重点行业挥发性有机物综合治理方案，采用转轮浓缩+焚烧工艺技术。符合3.集成电路企业主要废气产生环节应为密闭操作，其中表面处理工作槽设盖板密闭工作42、，槽边设吸风管路收集（箱式表面处理槽、三面包围、有盖板），涂胶、固化、边胶清洗、胶剥离、烘干的设备均为密闭工作，设备自带排气管路。洁净车间在洁净区内，操作间内部的空气（含尘）被抽出后经过初、中、高效空气净化系统过滤后再循环到车间内。项目生产车间密闭，表面处理生产线槽体设置盖板密闭，槽边设吸风管路收集，涂胶、固化、边胶清洗、胶剥离、烘干的设备均为密闭工作，设备自带排气管路。项目生产车间均为洁净车间，操作间内部的空气（含尘）被抽出后经过初、中、高效空气净化系统过滤后再循环到车间内。符合15其他符合性分析4.电子行业废水污染物排放应执行电子工业水污染物排放标准（GB39731-2020）和xx市水污43、染物排放标准（DB35/322-2018），涉及砷排放的企业其含砷废水车间排放口浓度按0.2mg/L执行。项目外排电子行业废水污染物执行电子工业水污染物排放标准（GB39731-2020）标准，本项目不涉及含砷废水排放。符合5.其他生产废水、生活污水实现100%收集，根据污水特性进行适当预处理，达到xx市水污染物排放标准（DB35/322-2018）相应标准后排入市政污水管网，依托的xx水质净化厂排水要满足DB35/322-2018中表2C级排放限值。项目生产废水、生活污水实现100%收集，预处理达标后，排入市政污水管网，最终纳入xx水质净化厂深度处理，符合要求。符合环境风险防1.针对集成电路44、企业可能使用较多腐蚀品和氧化剂、易燃气体和液体、有毒气体，企业应建立严格、规范的危险化学品使用流程，建立事故废水“三级防控”机制，制定环境风险应急预案，建设突发事件应急物资储备库，区域公共应急物资库服务范围应覆盖本区。项目已建立严格、规范的危险化学品使用流程，建立事故废水“三级防控”机制，制定了环境风险应急预案，建设了突发事件应急物资储备库。符合2.对单元内具有潜在土壤污染环境风险的企业应加强管理，企业应实施项目环评、设计建设、拆除设施、终止经营全生命周期土壤和地下水污染防治。项目厂房以硬化水泥为基础，对厂房地面、裙脚、导流渠、收集池等进行防渗处理，危废暂存库防渗工程采取耐腐蚀环氧自流坪施工工45、艺，有效防止土壤和地下水污染。符合16其他符合性分析表表 1-4 项目与项目与“xx市重点发展产业生态环境准入要求xx市重点发展产业生态环境准入要求”符合性分析一览表符合性分析一览表国民经济行业分国民经济行业分类类(GB/T 4754-2017)建设项目环境影建设项目环境影响评价分类管理名响评价分类管理名录中的对应类别录中的对应类别管控单元准入管控单元准入指引指引本项目符本项目符合性合性生产工艺及生态环境准入生产工艺及生态环境准入要求要求本项目符合性分析本项目符合性分析代码代码类别名称类别名称中类中类 小类小类代码代码类别名称类别名称C39计算机、通信和其他电子设备制造业三十六计算机、通信和其46、他电子设备制造业3973973集成电路制造80电子器件制造(1)xx区：xx信息产业园(xx区临港05-12 编制单元)；东孚工业区和新阳工业区可引进半导体照明器件制造本项目位于xx信息产业园(xx区临港 05-12编制单元)，符合管控单元准入指引(1)提高工艺的清洁生产水平，半导体器件制造中采用单片清洗以减少化学清洗剂用量，尽可能减少多片清洗工艺不涉及(2)对用量较多的化学品(有机溶剂、酸碱等)和产生大量废水的，应在产生源头采取分类收集与再回用技术；如显示器件生产中用到有机溶剂中的 PGMEA(丙二醇单甲醚醋酸酯)，针对其挥发性高的特点，在排气端加装冷凝设备，将冷凝得到的有机成分用于设备涂胶47、过程的擦洗。酸性刻蚀后的刻蚀液混合酸进行提纯后可作为工业酸降级使用。有机玻璃废液通过真空蒸馏后回用项目生产废水采取分类收集，部分处理后回用于生产，符合要求。(3)应提高水重复利用率，减少新鲜水耗，显示器件、光电子器件和集成电路等高耗水行业，对工艺中产生的多类型废水(酸碱、有机、含氟、含磷、含氮、彩膜等废水)进行分项目生产废水分质收集、分别处理和分质回用，结合末端废水深度处理(反渗透、离17其他符合性分析质收集、分别处理和分质回用，结合末端废水深度处理(反渗透、离子交换等膜技术子交换等膜技术。符合要求。(4)应采用逆向多级清洗，针对不同清洗水水质要求，对清洗水进行逆向多级清洗，节约清洗水用量项目48、清洗工序采用逆向多级清洗。符合要求。(5)提高节能降耗力度，洁净车间所需大量冷热负荷，推广“自由冷却”等节能技术。厂区所有照明灯应都采用 LED 节能灯项目厂区所有照明灯应都采用 LED 节能灯。符合要求。(6)不再批准除市重点发展的先进电子、电气、新材料产业中因特殊工艺、功能需要、无法分离、确需配套电镀工艺的项目以外的其他新建电镀项目本工程化学镀工艺属于先进电子行业因特殊工艺、功能需要、无法分离，确需配套的工艺。符合要求。(7)近五年内发生重金属污染物严重超标排放等涉重金属违法犯罪的企业，不予审批其涉重金属污染物排放新建、扩建项目xx公司近五年未发生重金属污染物严重超标排放情况。符合要求。(49、8)新建、改建、扩建涉重金属行业项目必须严格执行重金属排放总量指标控制制度。重金属重点行业项目必须遵循重点重金属污染物排放“等量置换”或“减量置换”的原则，应有明确的具体的重点重金属污染物排放指标来源本工程增加的铜、镍、锌等重金属严格执行重金属排放总量指标控制制度。符合要求。(9)全市可供调剂的总量指标优先支持省市重点项目、鼓励发展产业项目建设，其他新建项目原则上不予调剂重点重金属污染物排放指标本项目不涉及重点重金属排放。符合要求。(10)省市重点项目按规定需调剂重点重金属污染物排放指标来源的，指标按“等量置换”原则调剂。其他符合准入条件的项目所需指本项目不涉及重点重金属排放。符合要求。18其50、他符合性分析标来源按“减量置换”原则调剂，调剂方削减量与新增的排放量比值不低于 1.1，其中，电镀行业项目不低于 1.2(11)排放重金属污染物的建设项目的投资强或产值强度应满足xx市重金属负面清单中的各档强度限值要求本项目新增排放铜、镍、锌等重金属污染物的产值强度满足厦门市重金属负面清单中的各档强度限值要求。符合要求。(12)重金属污染物排放指标严格按照国家和行业有关控制标准、技术导则从严核算。原则上排放限值不高于按照国内先进清洁生产水平核定的排水量、最严排放标准核算值的75%，执行特别排放标准的项目除外。集成电路项目总砷排放总量不得高于按含砷废水排放口浓度 0.2mg/L 核定的限值项目重51、金属污染物排放指标严格按照国家和行业有关控制标准、技术导则从严核算。符合要求。(13)集成电路、显示器件等高耗水产业项目引进前应开展用水资源和排水可行性论证，确保区域水资源和水环境有承载能力区域已开展用水资源和排水可行性论证。符合要求。(14)其他电子器件，应针对具体产品、工艺进行资源能源消耗、污染特性分析，鼓励引进无污染或轻污染、低风险项目，严格限制高消耗、高污染、高风险项目的准入不涉及表表 1-5 涉重涉重金属金属负面清单符合性对照表负面清单符合性对照表xx市涉重金属污染物排放建设项目环境准入指导意见和负面清单（xx市涉重金属污染物排放建设项目环境准入指导意见和负面清单（2018 年年版）52、版）本项目情况本项目情况符合性符合性特别管理措施特别管理措施（1）禁止建设除集成电路产业外的其他排放重金属的产业项目。（1）本项目属于集成电路产业。（2）本项目不涉及排放汞、铬、镉、铅4种重符合19其他符合性分析（2）禁止建设涉及汞、铬、镉、铅4种重点金属污染物排放的工业项目。（3）禁止建设铅电镀工艺和使用含铅球植球工艺的封测产业的项目。点金属污染物。（3）本项目不涉及铅电镀和含铅球植球工艺的封测工艺。空间准入空间准入（1）除xx集成电路产业园和火炬xx同安高新产业区外，其他工业园区不予审批新增重点重金属污染排放的工业项目。（2）禁止在土壤重金属质量超标区域、群众反映强烈的重金属污染区域、土壤53、污染防治目标责任书有关重金属减排任务考核不合格区域建设增加重金属污染物排放的项目。（1）本项目在xx公司厂区内，位于海沧集成电路产业园内。（2）根据土壤环境质量现状监测结果，项目所在区域土壤重金属质量达标，不属于重金属污染区域。符合行业准入行业准入涉重金属污染物排放的建设项目必须符合国家产业政策、产业准入和清洁生产要求。（1）必须采用国内外先进的生产工艺和技术设备，原材料指标及单位产品的物耗、能耗、水耗、资源综合利用和污染物产生量等指标应达到国内、国际先进水平。推进使用全密闭、全自动生产工艺，厂区不得出现含重金属原料、废水、废液、废物泄漏、渗漏、滴漏和工艺废气无组织排放问题。（2）必须采用先进54、可靠、安全的处理工艺和治理技术，严格落实需配套的污水处理设施、废气处理设施、废物分类处理措施、厂区土壤及地下水污染防治措施、环境风险防范措施、排污监测监控设施，确保重金属污染物达标排放和符合总量控制的要求。（1）本项目采用国内先进生产工艺，原材料指标及单位产品的物耗、能耗、水耗、资源综合利用和污染物产生量等指标达到国内先进水平。（2）本项目废水、废气处理采用先进、可靠、安全的处理工艺和治理技术，废物分类处理，厂区做好各设施的防腐防渗措施、环境风险防范措施、排污监测监控设施，确保重金属污染物达标排放。符合指标管控指标管控（1）设定排放重点重金属污染物的建设项目的投资强度或产值强度（取项目总投资55、额或产值数值高者为分子，重金属排放量为分母；分期建设项目按各期累计的总投资、产值和排放量计）：A级（铅、汞、镉、铬、砷排放量之和）不低于亿元/千克；B级（镍、银、铜、钴排放量之和）不低于1000万元/千克；C级（锌、锰、铁、锡排放量之和）不低于500万元/千克。（2）集成电路项目总砷排放总量不得高于按含砷废水排放口浓度0.2mg/L核定的限值。（1）本项目新增投资300000万元。根据估算，本项目投产后，全厂铜排放量为20千克，镍排放量为4千克，锌排放量为77千克，投资强度约2970万元/千克，大于1000万元/千克，达到B级和C级指标管控要求；（2）本项目无新增废水总砷排放。符合20其他符合56、性分析表表 1-6 本项目与xx市生态环境局本项目与xx市生态环境局 2020 年挥发性有机物治理攻坚实施方案符合性一览表年挥发性有机物治理攻坚实施方案符合性一览表序号文件内容项目情况符合性逐步推进源头替代，促进行业绿色发展1贯彻落实国家 VOCs 产品含量限值标准。2020年 7 月 1 日起，督促生产企业提前做好油墨、胶粘剂、清洗剂及木器、车辆、建筑用外墙、工业防护涂料等有害物质限量标准实施准备工作，在标准正式生效前有序完成切换。本项目使用有机溶剂均为符合国家 VOCs产品含量限值标准产品。符合2推进低(无)VOCs 含量原辅材料替代。采用符合国家有关低 VOCs 含量产品规定的涂料、油墨57、胶粘剂等，或使用的原辅材料 VOCs 含量(质量比)物低于10%的工序，排放浓度稳定达标且排放速率满足相关规定的，相应生产工序可不要求建设末端治理设施。本项目不涉及涂料、油墨、胶粘剂。/切实落实应收尽收，加强无组织排放控制3在保证安全的前提下，加强含 VOCs 物料全环节密闭管理。储存环节应采用密闭容器、包装袋，高效密封储罐，封闭式储库、料仓等。装卸、转移和输送环节应采用密闭管道或密闭容器、罐车等。生产和使用环节应采用密闭设备，或在密闭空间中操作并有效收集废气，或进行局部气体收集；非取用状态时容器应密闭。处置环节应将盛装过 VOCs 物料的包装容器、含 VOCs 废料(渣、液)、废吸附剂等通58、过加盖、封装等方式密闭，妥善存放。落实企业主体责任。各有关企业要严格按照xx市挥发性有机物污染企业自查表58 项要求开展企业自查与自行监测工作。本项目储存、装卸、转移和输送环节均采用密闭容器。生产和使用环节在密闭空间操作并有效收集废气；非取用状态时容器保持密闭。处置环节将盛装过VOCs 物料的包装容器、含 VOCs 废料(渣、液)、废吸附剂等通过加盖、封装等方式密闭，妥善存放。企业将落实主题责任，严格按照xx市挥发性有机物污染企业自查表58 项要求开展企业自查与自行监测工作。符合4企业设有 VOCs 溶剂储罐，且年装载量500m3应按标准要求设置气相平衡系统或废气处理设施。化工、储油库等单位或59、企业应梳理统计密封点数量，大于等于 2000 个的按标准要求于 9 月底前开展一轮泄漏检测与修复(LDAR)工作。对于采用局部集气罩的，应根据废气排放特点合理选择收集点位，距集气罩开口面最远处的 VOCs 无组织排放位置，控制风速不低于 0.3米/秒，达项目不涉及 VOCs 溶剂储罐，不属于化工、储油库行业。符合21其他符合性分析不到要求的通过更换大功率风机、增设烟道风机、增加垂帘等方式及时改造。5按照“应收尽收”的原则提升废气收集率。推动取消废气排放系统旁路，因安全生产等原因必须保留的，应将保留务路清单报当地生态环境部门，旁路在非紧急情况下保持关闭，并通过铅封、安装自动监控设施、流量计等方式60、加强监管，开启后应及时向当地生态环境部门报告，做好台账记录。减少非正常工况 VOCs 排放。引导化工企业合理安排停检修计划，在确保安全的前提下，尽可能不在 8-10 月期间安排全厂开停车、装置整体停工检修和储罐清洗作业等；确实不能调整的，要加强启停机期问以及清洗、退料、吹扫、放空、晾干等环节 VOCs 排放管控，确保满足标准要求。本项目未设计废气排放系统旁路。符合提升末端治理水平，推进建设适宜高效的处理设施6鼓励企业采用多种技术的组合工艺，提高 VOCs 处理效率。低浓度、大风量的废气，宜采用沸石转轮吸附、活性炭吸附、减风增浓等浓缩技术；高浓度废气，优先进行溶剂回收，难以回收的，宜采用高温焚烧61、催化燃烧等技术。非水溶性的 VOCs 废气禁止采用水或水溶液喷淋吸收处理。除恶臭异味治理外，新改扩建的企业项目不得使用低温等离子、光催化、光氧化等副产臭氧的 VOCs 处理技术，已投用该类型的治理工艺将逐步退出。本项目有机废气依托现有工程有机废气材料系统处理，采用 2 套转轮浓缩+焚烧工艺，备用 1 套活性炭吸附装置处理，不属于禁止的 VOCs 处理技术。符合7按照与生产设备“同启同停”的原则提升治理设施运行率。根据处理工艺要求，在处理设施达到正常运行条件后方可启动生产设备，在生产设备停止、残留 VOCs 废气收集处理完毕后，方可停运处理设施。VOCs 废气处理系统发生故障或检修时，对应生产62、工艺设备应停止运行，待检修完毕后同步投入使用；因安全等因素生产工艺设备不能停止或不能及时停止运行的，应设置废气应急处理设施或采取其他替代措施。本项目按照处理工艺要求，在处理设施达到正常运行条件后方启动生产设备，在生产设备停止、残留 VOCs 废气收集处理完毕后，方停运处理设施。VOCs 废气处理系统发生故障或检修时，对应生产工艺设备停止运行，待检修完毕后同步投入使用。符合8加强废气治理设施运维情况核查，采用一次性活性炭吸附的，核查10000m3/h 风量活性炭装填量是否大于 1m3，活性炭更换频次是否符合设计要求，能否匹配企业年 VOCs 产生量；采用活性炭+蓄热催化燃烧/蓄热燃烧/催化燃烧，63、核查是否合理设置活性炭的再生周期，保障燃烧室温度，催化燃烧装置温度不低于 250，蓄热燃烧装置温度不低于 760。组织企业对现项目有机废气处理系统采用 2 套转轮浓缩+焚烧工艺，备用 1 套活性炭吸附装置处理，备用活性炭吸附装置满足 1 万 m风量活性炭填装量大于 1m，项目轮转浓缩+焚烧工艺按设计要求设置合理的再符合22其他符合性分析有 VOCs 废气去除率开展自查，重点企业或 VOCs 初始排放速率2kg/h 的，去除率不得低于 80%加强测管联动，关注采用光氧化、光催化、低温等离子、一次性活性炭吸附、喷淋吸收等工艺的治理设施，对达不到要求的VOCs 治理设施推动进行更换或升级改造，确保实64、现达标排放。生周期，保证燃烧室温。类比现有工程验收检测结果，VOCs 去除效率达到 90%以上，满足要求。表表 1-7 本项目与xx市生态环境局关于加强挥发性有机物污染防治工作的通知符合性一览表本项目与xx市生态环境局关于加强挥发性有机物污染防治工作的通知符合性一览表序号序号文件内容文件内容项目情况项目情况符合性符合性一规范台账管理/企业应规范建立台账并至少保持 3 年项目已建立台账，台账保持 3年以上，今后严格落实台账制度。符合1建立原辅材料台账，所含挥发性有机物（以下简称“VOCs”）物料（提取剂、涂料、稀释剂、固化剂、清洗剂等）需建立完整的购买、使用记录，记录内容必须包括物料名称、VOC65、s 含量、购入量、使用量、回收和处置量、计量单位、作业时间和记录人等。项目已建立原辅材料台账，有完整的购买、使用记录等。符合2建立统计年报，含有 VOCs 物料使用的统计年报应该包含上年库存、本年度购入总量、本年度销售产品总量、本年度库存总量、产品和物料的 VOCs 含量、VOCs 排放量、污染控制设备处理效率、排放监测等数据。项目已建立统计年报，今后按通知要求规范完善年报数据。符合3保存原始单据，如原辅材料说明书、检测报告、送货单、发票等。项目已落实保存原始单据。符合4建立 VOCs 处理设施台账，涉及热力焚烧装置应记录燃料或电的消耗量、燃烧温度、烟气停留时间；涉及催化燃烧装置应记录催化剂种66、类、用量及更换日期，催化床进、出口温度；涉及吸附装置应记录吸附剂种类、用量及更换/再生日期，操作温度；涉及洗涤吸收装置应记录洗涤槽循环水量、pH值、排放总量等；涉及其他污染控制设备应记录主要操作参数及保养维护事项；记录挥发性有机物污染防治设施、生产活动及工艺设施的运行时间、非正常工况等。项目已建立 VOCs 处理设施台账，并做好相应记录，今后将严格按照通知要求规范记录台账。符合二推进源头控制1企业事业单位和其他生产经营者应当按照国家和本省规定，限期淘汰严重污染大气环境的工艺、设备和产品。本项目不涉及应淘汰的严重污染大气环境的工艺、设备和产符合23其他符合性分析品。2深化源头替代。通过使用水性、67、粉末、高固体分、无溶剂、辐射固化等低 VOCs 含量的涂料，水性、辐射固化、植物基等低 VOCs 含量的油墨，水基、热熔、无溶剂、辐射固化、改性、生物降解等低 VOCs 含量的胶粘剂，以及低 VOCs 含量的清洗剂等，从源头减少VOCs 产生。本项目不涉及左列原辅材料/3企业采用符合国家有关低 VOCs 含量产品规定的涂料、油墨、胶粘剂等，或使用的原辅材料 VOCs 含量（质量比）均低于 10%，排放浓度稳定达标且排放速率满足相关规定的，可不要求建设末端治理设施。项目有关 VOCs 废气采取 2 套转轮浓缩+焚烧工艺，备用 1套活性炭吸附装置处理。符合三提高密闭要求（一）所有涉及 VOCs 的68、原辅材料、中间产品、成品的储存、输送、转运、投加、生产、灌装、废气、处置等过程应采取有效的密闭措施。本项目所有涉及 VOCs 的原辅材料、成品的储存、输送、转运、投加、生产、废气、处置等过程应采取有效的密闭措施。符合1储存。液体有机化学原料、中间产品、成品等含 VOCs 物料应采用专用储罐储存，所有储罐应设置呼吸阀系统，呼吸废气应设置蒸汽平衡装置或收集处理。沸点低于 150的有机物料储罐应设置保温并配置氮封装置或安装密闭排气系统进行净化处理；对于实际蒸汽压大于 2.8 千帕、容积大于 100 立方米的有机液体储罐，必须采用高效密封方式的浮顶罐或安装密闭排气系统进行净化处理。本项目不涉及储罐/269、输送转运。所有含 VOCs 物料应优先允许采用管道密闭方式输送转运，直接进入原料储罐、下一步工序或中间储罐、产品储罐；采用非管道方式输送 VOCs 物料时，应采用密闭容器、容器的运输、装卸应采用专用设备，并在输送、装卸、储存和空置期间一直保持密闭，盛装 VOCs 物料的容器应存放于室内，或至少设置遮阳挡雨等设施；挥发性有机液体装卸应采取顶部浸没式、全密闭、液下装载等方式，严禁喷溅式装载；无法做到密闭转移和卸放的，应在转移或卸放口部位采取局部集气措施，收集的废气应送至 VOCs 回收或净化系统进行处理。本项目不涉及储罐，涉及VOCs 物料采用密闭容器，输送、装卸、储存和空置期间一直保持密闭，盛装70、 VOCs 物料的容器存放于室内。项目VOCs 经集气收集后，采用 2套转轮浓缩+焚烧工艺，备用 1套活性炭吸附装置处理。符合3投加方式。含 VOCs 液体物料的投加应采用高位槽或计量泵投加方式，不得采用人工敞口倾倒方式；含 VOCs 固体（粉末）物料的投加应采用密闭式自动计量和投料系统；采用气力输送投加固体（粉体）物料时，应收集用于输送物料的气体；采用移动式密闭投料罐投符合24其他符合性分析料时，投料罐的装填应在固定的封闭区域内进行，该区域废气应进行收集，如该区域无法密闭时，应设置废气收集系统，所有收集的废气应送至 VOCs 回收或净化系统进行处理。若釜、罐、槽等容器中已含有 VOCs 物料71、，则所有物料投加过程均按照 VOCs 固体（粉末）物料的投加要求进行。在投加物料期间，含 VOCs 物料的釜、罐、槽等容器（除气体放空管外）均应保持密闭状态，置换气体应从放空管排出，容器间转移物料时应配置蒸汽平衡系统，放空管废气应收集送至 VOCs 回收或净化系统进行处理。4危险废物。盛装含 VOCs 废料（渣）的容器应密闭储存和存放。列入国家危险废物名录的含 VOCs 废料应以密闭容器收集，并按危险废物进行处理和处置。更换的 VOCs 吸附剂以及含油墨、有机溶剂、清洗剂的包装物、废弃物等含 VOCs 的危险废物，产生后必须马上密闭或存放在不透气的容器、包装袋内，贮存、转移期间不得打开。项目盛72、装含 VOCs 废料（渣）的容器保持密闭储存，存放暂存在资源回收站和废液收集区，且一直保持密闭。符合二所有产生 VOCs 的生产车间（或生产设施）应做到密闭，禁止露天或敞开式作业。不能密闭的部位要设置风幕、软帘或双重门等阻隔设施，减少废气排放。正常生产状态下，密闭场所的门窗处于打开状态或破损视同未达到密闭要求，确实需要打开的，必须设置双重门。在生产车间及存储油墨印料、溶剂和稀释剂等有机材料的车间仓库安装排气装置的，应将工艺过程废气及逃逸性有机废气送至 VOCs 回收或净化系统进行处理。项目生产车间为密闭车间。符合（三）设备起停、检修与清洗。载有含 VOCs 物料的设备、管道在开停工（车）、检修73、清洗时，应在退料阶段尽量将残存物料退净，用密闭容器盛接，并回收利用；采用水冲洗清洁，高浓度的清洗水优先排到溶剂回收系统；采用蒸汽和/或惰性气体清洗，以及吹扫、气体置换时，应将气体送至 VOCs 回收或净化系统进行处理。本项目设备起停、检修与清洗时，做到含 VOCs 物料的设备将残存物料退净，用密闭容器盛装。符合（四）污水处理站的处理构筑物应加盖密封，废气应送至 VOCs 净化系统进行处理，或设置局部处理设施。项目现有工程生化废水处理系统已采取加盖密闭，废气采用喷淋塔处理。符合（五）密闭设施外任意一点非甲烷总烃、苯、甲苯、二甲苯中任一种污染物瞬时排放浓度值应低于无组织排放浓度标准值。项目现有工74、程生产车间外任意一点非甲烷总烃瞬时排放浓度值低于无组织排放浓度标准值。符合（六）除二、（三）和三、（五）情形外，所有可能产生 VOCs 的生产场所和工段均应设置废气收集系统，将废气收集到位并导入废气治理设施。集气管路应标明废气走向。设施设备的开关时间要求必须写入操作规程并明示公布。项目现有工程及本扩建工程所有可能产生 VOCs 的生产场所和工段均设置废气收集系统，并导入有机废气治理设施处符合25其他符合性分析理。管路标明废气走向。设施设备的开关时间写入操作规程并明示公布。四完善治理设施（一）应配置 VOCs 处理设施的企业，须根据废气特性配套工艺成熟、技术可靠的治理设施进行治理设施进行治理，治75、理设施去除率不得低于 50%；收集的废气中 NMHC 初始排放速率2kg/h 的，治理设施去除效率不应低于 80%，确保废气稳定达标排放。项目现有工程采用 2 套转轮浓缩+焚烧工艺，备用 1 套活性炭吸附装置处理有机废气，均为工艺成熟，技术可靠治理设施。类比现有工程验收检测报告，项目 VOCs 去除效率可达到 90%以上，符合要求。符合（二）企业应将污染治理设施的工艺流程、工艺参数、操作规程和维护制度在设施现场和操作场所明示公示。工艺流程公示内容包括治理设施的工艺流程图、治理工艺总体介绍及主要技术参数。若采用以下技术治理的，公示的技术参数应至少包括以下内容：1活性炭吸附法：活性炭填装量、更换周76、期、设计风量、停留时间、吸附进气温度、排气温度。本项目采用 2 套转轮浓缩+焚烧工艺，备用 1 套活性炭吸附装置处理有机废气，并按通知要求公示相关技术参数。符合3蓄热式直接燃烧法：进气温度、燃烧温度、排气温度、设计风量、燃烧室停留时间、含氧量。符合（三）企业配置的 VOCs 治理设施，涉及以下处理工艺的，还应满足如下要求：1废气进入活性炭吸附设施前应经过除湿处理，及时记录除湿剂更换周期、装填量、采购发票、转移处置时间及数量等。项目备用活性炭吸附装置前已设置除湿处理，并做好相应记录符合2喷漆工艺废气有应用活性炭吸附工艺的，进入活性炭处理设施前应去除颗粒物，同时记录并公示去除装置的装填量、装填日期77、更换周期。不涉及/3采用不具备脱附功能的吸附法治理废气的，每万立方米/小时设计风量的吸附剂装填量应不小于 1 立方米，废气停留时间不得低于 3 秒。项目备用活性炭吸附装置吸附剂装填量为 7m，单台风机风量 70000m/h，满足每万立方米/小时设计风量的吸附剂装填量应不小于 1 立方米。符合26其他符合性分析6废气收集系统排风罩的设置应符合 GB/T16758 的规定。排风罩口断面按 GB/T16758 规定的方法测量吸入风速，应保证不低于 0.6 米/秒；采用局部集气罩的，距集气罩开口面最远处的 VOCs 无组织排放位置，控制风速应不低于 0.3 米/秒项目废气收集系统排风罩按GB/T1678、758的规定要求设置。符合7采用焚烧（含热氧化）方式处理的必须对焚烧温度实施在线监控，温度记录至少保存 3年。项目已对焚烧温度实施在线监控，温度记录将保存 3 年以上。符合8采用燃烧法（含直接燃烧、催化燃烧和蓄热燃烧法等）治理 VOCs 废气的，每套燃烧设施允许设置一根 VOCs 排气筒。采用其他方法治理 VOCs 废气的，一个企业一栋建筑只允许设置一根 VOCs 排气筒。新建项目环评文件中必须论述排气筒数量和高度设置的合理性。本项目 VOCs 采用燃烧法处理，扩建后共设置 2 根有机废气排气筒，高度 40m，满足要求。符合9排气筒应设置符合固定源监测技术规范（HJ/T397）要求的采样口和采79、样平台，并配备固定电源，设置固定安全的人员通道。本项目现有工程已设置符合要求的采样口和采样平台，并配备固定电源，设置固定安全的人员通道。符合10各企业每个季度应对其环保设施运行情况进行自查，并将自查报告在互联网上公示。企业日常自查工作参考使用xx市挥发性有机物污染防治企业自查表企业将按要求进行自查，并进行公示。符合表表 1-8 本项目与挥发性有机物无组织排放控制标准符合性分析本项目与挥发性有机物无组织排放控制标准符合性分析GB37822-2019 相关内容相关内容企业情况企业情况符合性符合性VOCs 物料储存无组织排放控制要求基本要求1.VOCs 物料应储存于密闭的容器、包装袋、储罐、储库、料80、仓中。项目使用的有机溶剂等均储存于密闭桶内，原料外购进厂后整桶密封暂存于化学品仓库，即用即取，非使用状态时随手密封，原料采用密封的包装容器进行转移，可从源头减少废气的无组织排放符合2.盛装 VOCs 物料的容器或包装袋应存放于室内，或存放于设置有雨棚、遮阳和防渗设施的专用场地。盛装 VOCs 物料的容器或包装袋在非取用状态时应加盖、封口，保持密闭。VOCs 物料转移和输送无组织排放控制要求基本要求1.液态 VOCs 物料应采用密闭管道输送。采用非管道输送方式转移液态 VOCs 物料时，应采用密闭容器、罐车。本项目液态 VOCs 采用密闭桶装，及密闭管道输送转移物料。符合27其他符合性分析工艺过81、程VOCs 无组织排放控制要求含 VOCs产品的使用过程1.VOCs 质量占比大于等于 10%的含 VOCs 产品，其使用过程应采用密闭设备或在密闭空间内操作，废气应排至 VOCs 废气收集处理系统；无法密闭的，应采取局部气体收集措施，废气应排至VOCs 废气收集处理系统。项目生产车间为密闭洁净车间，设备密闭，VOCs 废气经设备连接密闭管道收集排至厂房屋面净化处理。符合2.有机聚合物产品用于制品生产的过程，在混合/混炼、塑炼/塑化/熔化、加工成型（挤出、注射、压制、压延、发泡、纺丝等）等作业中应采用密闭设备或在密闭空间内操作，废气应排至 VOCs废气收集处理系统；无法密闭的，应采取局部气体收82、集措施，废气应排至 VOCs 废气收集处理系统。符合其他要求1.企业应建立台账，记录含 VOCs 原辅材料和含 VOCs 产品的名称、使用量、回收量、废弃量、去向以及 VOCs 含量等信息。台账保存期限不少于 3 年。项目现有工程已按要求建立环境管理制度和台账记录制度，含 VOCs 原辅料使用情况的台账，内容涵盖使用量、废弃量、去向以及VOCs 含量等信息，台账保存期限不少于 3年。符合2.通风生产设备、操作工位、车间厂房等应在符合安全生产、职业卫生相关规定的前提下，根据行业作业规程与标准、工业建筑及洁净厂房通风设计规范等的要求，采用合理的通风量。项目通风生产设备、操作工位、车间厂房拟按行业作83、业规程和相关规范要求做好通风。符合3.工艺过程产生的含 VOCs 废料（渣、液）应按照第 5 章、第 6章的要求进行储存、转移和输送。盛装过 VOCs 物料的废包装容器应加盖密闭。项目工艺过程产生的 VOCs 废液通过密闭管道输送至收集桶，收集桶加盖密闭。符合VOCs 无组织排放废气收集处理系统要求基本要求1.VOCs 废气收集处理系统应与生产工艺设备同步运行。VOCs 废气收集处理系统发生故障或检修时，对应的生产工艺设备应停止运行，待检修完毕后同步投入使用；生产工艺设备不能停止运行或不能及时停止运行的，应设置废气应急处理设施或采取其他替代措施。项目有机废气收集处理系统与生产工艺设备同步运行。84、VOCs 废气收集处理系统发生故障或检修时，对应的生产工艺设备应停止运行，待检修完毕后同步投入使用。符合废气收集系统要求1.废气收集系统排风罩（集气罩）的设置应符合 GB/T16758 的规定。采用外部排风罩的，应按 GB/T16758、AQ/T42742016规定的方法测量控制风速，测量点应选取在距排风罩开口面最远处的VOCs 无组织排放位置，控制风速不应低于 0.3m/s（行业相关规范有具体规定的，按相关规定执行）。项目有机废气通过设备通过密闭连通管道引至废气处理系统处理。符合28其他符合性分析2.废气收集系统的输送管道应密闭。项目废气采用密闭输送管道收集引至废气处理系统处理，废气收集管道85、均为密闭状态，不存在漏气点位，可符合要求。符合VOCs 排放控制要求1.收集的废气中 NMHC 初始排放速率3kg/h 时，应配置 VOCs 处理设施，处理效率不应低于 80%；对于重点地区，收集的废气中NMHC 初始排放速率2kg/h 时，应配置 VOCs 处理设施，处理效率不应低于 80%；采用的原辅材料符合国家有关低 VOCs 含量产品规定的除外。类比现有工程验收检测报告，项目 VOCs 处理效率课达到 90%以上，符合要求。符合2.吸附、吸收、冷凝、生物、膜分离等其他 VOCs 处理设施，以实测质量浓度作为达标判定依据，不得稀释排放。本项目采取燃烧法处理 VOCs，属于成熟工艺，可以做86、到达标排放。符合3.排气筒高度不低于 15m项目有机废气排气筒高度 40m。符合记录要求企业应建立台账，记录废气收集系统、VOCs 处理设施的主要运行和维护信息，如运行时间、废气处理量、操作温度、停留时间、吸附剂再生/更换周期和更换量、催化剂更换周期和更换量、吸收液 H 值等关键运行参数。台账保存期限不少于 3 年。项目已按要求建立台账，记录废气收集系统、VOCs 处理设施的主要运行和维护信息，如运行时间、废气处理量、停留时间、更换周期和更换量等关键运行参数。台账保存期限不少于 3 年。符合企业厂区内及周边污染监控要求1.企业边界及周边 VOCs 监控要求执行 GB16297 或相关行业排放标87、准的规定。项目厂界及车间外 VOCs 监控点无组织排放按 GB16297 和 DB35/323-2018 要求落实。符合292建设项目工程分析建设项目工程分析建设内容2.1 项目概况项目概况2.1.1项目由来项目由来xxxx电子有限公司（下文简称“xx公司”）（附件 2：营业执照）是由杭州xx电子股份有限公司与xx半导体投资集团有限公司共同投资建设的有限责任公司，成立于 2018 年 2 月 1 日，厂址位于xx市海沧区兰英路 89 号（1175942.420，242859.860，地理位置见附图1），主要从事 12 英寸集成电路芯片制造，产品主要应用于汽车电子、工业控制、计算机、家用电器等领88、域。根据市场的业务增长需求和技术提升发展，xx公司拟在现有 12 英寸厂房内增加设备投资 300000 万元，在现有芯片生产线及配套设施的基础上，通过购置光刻机、外延炉、注入机、快速热退火炉等生产设备进行产能扩充，投资建设“新增年产 30 万片 IGBT 功率器件芯片扩产项目”。该项目已取得xx市xx区工业和信息化局“xx市企业投资项目备案证明”（编号：厦海工信投备(2023)38 号）（附件 3）。该项目建成后，xx公司总产能为：年产 102 万片 12英寸半导体芯片。对照建设项目环境影响评价分类管理名录（2021 年版），本项目应编制环境影响报告表（详见表 2.1-1）。表表 2.1-1 89、建设项目环境影响评价分类管理名录（摘录）建设项目环境影响评价分类管理名录（摘录）环评类别环评类别项目类别项目类别报告书报告书报告表报告表登记表登记表三十六、计算机、通信和其他电子设备制造业 3980电子器件制造 397/显示器件制造；集成电路制造；使集成电路制造；使用有机溶剂的；有酸洗的用有机溶剂的；有酸洗的以上均不含仅分割、焊接、组装的/2.1.2环评审批管理方式环评审批管理方式根据“xx市生态环境准入清单（2021 年），C3971C3976、C3979行业环评审批管理方式为：“报告表：符合生态环境准入要求且不涉及铬、镉、汞、铅、砷等重点重金属排放和化工工艺过程的，实行告知承诺制”。30本90、项目属于 C3973 集成电路制造，准入xx信息产业园（xx区临港 05-12 编制单元）管控单元，符合xx市生态环境准入要求，本项目涉及废气排放砷，属于重点重金属排放，应实行审批制。2.1.3项目概况项目概况（1）项目名称：新增年产 30万片 IGBT 功率器件芯片扩产项目（2）建设单位：xxxx电子有限公司（3）建设性质：扩建（4）建设地点：xx市xx区兰英路 89号（5）工程投资：新增投资 300000万元，其中新增环保投资 1400万元（6）员工人数：新增员工 310人，扩建后全厂共有职工 1510人（7）工作制度：生产车间工作制度为 7 天24 小时连续运转方式，其中制造现场及设备运91、维人员班制为三班两运转，每班工作 12小时生产设备：实行连续运转工作制，全年工作 355 天，每天工作 24 小时，设备年时基数 7670 小时（考虑约 10%的年时基数损耗）（8）建设工期：20 个月（2023年 5月2024年 12月）2.1.4产品方案及主要建设内容产品方案及主要建设内容1、产品方案本项目是在现有芯片生产线及配套设施的基础上产品方案的基础上进行扩建，本次扩建产品规模为 30 万片 IGBT 功率器件芯片。扩建后全厂产品总规模为年产 102 万片 12 英寸半导体芯片，其中中低压 T-LV、SGT-MOSFET 产品系列 34 万片/年、高压 T-DPMOSFET 产品系列92、 26 万片/年、T-IGBT 功率器件芯片 36 万片/年、高压 HVIC 产品系列 6 万片/年。项目产品方案见表 2.1-2、表面处理方案见表 2.1-3。31建设内容建设内容表表 2.1-2 本项目产品方案一览表本项目产品方案一览表序号序号产品名称产品名称现有工程产能现有工程产能本扩建项目产能本扩建项目产能扩建后总产能扩建后总产能产品规格产品规格（线宽）（线宽）12英吋芯英吋芯片片镀铜镀铜化镀化镀12 英吋芯英吋芯片片镀铜镀铜化镀化镀12 英吋芯英吋芯片片镀铜镀铜化镀化镀1中低压 T-LV、SGT-MOSFET 产品系列3413.216.8/3417.42112英吋9065nm 线宽293、高压 T-DPMOSFET产品系列26/263T-IGBT 产品系列6304.24.2364高压 HVIC 产品系列6/6/合计7213.216.8304.24.210217.421/表表 2.1-3 本项目表面处理方案一览表本项目表面处理方案一览表表面处理工序表面处理工序产品指标产品指标(规格型规格型号号)规模规模（万片（万片/年）年）本扩建工程镀层情况本扩建工程镀层情况现有工程现有工程 本扩建工程本扩建工程总工程总工程金属镀金属镀层层镀层厚度镀层厚度(m)镀层表面积镀层表面积(m2/年年)尺寸尺寸镀层表面积镀层表面积(m2/万片万片)电镀铜正面，50%镀 Cu13.24.217.4铜20194、236.37512inch294.375背面，100%镀 Cu铜202472.7512inch588.75化学镀单面镀16.84.221镍32077.1112inch494.55钯0.3金0.052、本项目主要建设内容本扩建项目辅助工程、公用工程、储运工程均依托现有工程；新建部分废气处理设施；现有工程生产厂房中其他工艺布置不变。本扩建工程项目组成见表 2.1-4。32建建设设内内容容33建建设设内内容容3435363738394041建设内容3、主要建设内容、主要建设内容（1）主体工程）主体工程项目厂区生产厂房为一栋三层楼厂房12 英吋厂房 FAB1，生产厂房分为核心生产区、后道生产区、技术支95、持区及生产辅助用房四部分。核心生产区为洁净生产区，位于厂房三层平面的中央部位。一层为核心生产区，其防微振及洁净度要求较高。二层为回风下夹层，三层为工艺核心生产区。本扩建工程生产车间位于 12英吋厂房 FAB1 三层核心生产区。支持区主要位于厂房一层，主要布置变配电室、空调机房、纯水抛光间、废液回收间、维修间、特气间、气体纯化间、化学品供应间、真空泵房、更衣室及其他工艺辅助房间等。辅助动力设备布置 1F，变配电布置在 2F 边跨，空调机房位于生产厂房 4F边跨。研发实验楼区域为 6 层，一层为更衣室、办公室、展厅等，二层为研发中心，三层为接待室、办公室，四六层为研发中心。（2）辅助工程）辅助工程96、本项目纯水站、冷冻站、空压站部分均依托现有工程，部分在预留用地上新增设备，均设于综合动力站内。综合动力站一层为纯水制备区、消防水池、生产水池、办公维修用房；二层为冷冻站、泵维修间、备泵存放间；三层为变配电所、后处理区域、空压站、备用间。项目纯水制备设备、冷冻站设备情况见表 2.3-3。现有工程已配备 7 套纯水制备系统，总纯水制备能力 90m/h5+45m/h2（备用），本扩建工程启用 2 套备用系统，并新增 1 套 90m/h 制纯水设备。项目纯水制备工艺流程：市政自来水多介质过滤器活性炭过滤器离子交换反渗透（RO）系统初级纯水箱混床（MB）超纯水箱抛光混床（MBP）用水点。纯水制备过程中的97、过滤器反洗排水、离子交换再生废水排入废水处理站进行处理。RO系统的浓水再经过 RO系统处理，处理水回用至纯水制备系统中，再次浓缩水可以供废气处理塔补水、冷却塔补水、冲厕用水等，42节约用水。纯水使用后的末道清洗排水，分不同水质回收处理，处理后用于纯水制备或是供废气处理塔补水、冷却塔补水、冲厕用水等杂用水。（3）储运工程）储运工程本扩建工程储运工程均依托现有工程。项目厂区设有特气站、仓库1、仓库 2、大宗气站和资源回收站，均为 1 层建筑；在厂房一层内设有特气间、气体纯化间、化学品供应间。特气站为一层建筑，主要设置有可燃气体间、氨气（NH3）气体间、惰性气体间、四氟化碳（CF4）气体间、三氟甲烷98、（CHF3）气体间、六氟化硫（SF6）气体间、特气配电室、氯气供应间等。仓库 1为一层建筑，主要储存甲类 1，2，5，6 项物质。设有甲类气瓶间、双氧水间、有机溶剂间、剧毒品间。仓库 2为一层建筑，主要储存乙类 1，3，4 项物质。设有乙类有机溶剂间、酸间、碱间、研磨液间、乙类气瓶间、冷库。资源回收站为一层建筑，设有一般固废区（126m2）、危险固废区（42m2）、有机空桶间（84m2）、酸空桶间（42m2）、碱空桶间（42m2）、废液存放间（100m2）。大宗气站厂区大宗气体GN2、PN2、PO2、PH2由大宗气体站供给管道气，并于厂区内大宗气体纯化间过滤纯化后，提供满足用气点需求的气体，送99、至工艺生产区的下夹层。氮气、氧气、氩气及氦气均为外购后纯化即可。（4）公用工程）公用工程给水43项目用水依托现有工程，用水来自工业园区的市政给水管网，在厂区内形成环网，保证厂区用水。项目生产中所需的纯水由厂区纯水站提供。a.市政自来水系统供水方式：利用市政水直接供给。供水压力：市政压力不小于 0.20MPa。供给范围：生活、生产、消防水池的补水；各建筑一层及以下的生活用水；中水系统应急补水。b.加压生活给水系统供水方式：采用低位生活水箱+变频供水机组供给的方式。供水范围：各建筑二层及以上的生活用水，紧急洗眼器用水以及屋面洗气塔备用补水、高位消防水箱补水。c.生活热水系统供水范围：宿舍淋浴、食堂100、生活热水。供水方式：集中式供应，食堂采用燃气热水器供应；公寓采用太阳能+空气源热泵的方式。管路敷设：室内架空敷设。饮用水：分散设置桶装水，同时在茶水间集中设置电开水器d.生产水系统生产水池位于综合动力站一层，存储 11340m3水量，设置两组供水机组，分别供纯水制备用水和工艺生产用水、冷却塔及废气处理塔备用补水。e.回用水供水系统水源：纯水制备系统内部回收水、部分制程回收水，经过处理后的公寓楼屋面雨水。供水范围：供给建筑物冲厕用水、废气处理塔补水、冷却塔补水、室外绿化用水、水景补水等。供给方式：水池+采用变频供水机组供给。设备及回用水池位于综合动力站一层内，备用水源采用自来水。44f.冷凝水回101、收系统水源：生产厂房内的空调机房冷凝水。收集方式：采用重力方式将冷凝水收集到空调凝结水箱，再加压提升至综合动力站，供冷却塔补水使用。g.冷冻机循环冷却水系统为冷冻机及空压机配置降温用冷却循环水，采用开式冷却塔降温，位于综合动力站屋面，冷却塔补水优先采用中水，不足部分采用市政自来水补充。冷却塔主要设计参数为：进水温度 38，出水温度 32，湿球温度 29。排水本项目全厂排水系统采用雨污分流制。a.雨水项目雨水收集后排入厂区雨水管道，然后排入市政雨水管网。项目生产区和生活区单独设置雨水排放口，其中生活区设 2个，生产区设 4个。本项目生产区已设置 4 个雨水排放口，在每个排放口附近均设置事故雨水收102、集池，每个收集池容积 100m3，总有效容积 500m3，可满足初期雨水收集要求。另外，项目在特气站南侧室外设置有效容积 1500m3的地下消防废水收集池。b.废水生活污水：项目生产区生活污水进入废水站有机废水处理系统内处理；生活区生活污水经化粪池处理后进入市政污水管网，其中食堂含油废水先经隔油处理后再进入化粪池。生产废水：本项目生产废水包括酸碱废水、含氟废水、含氨废水、有机废水、研磨废水、含铜废水、含镍废水、含钯金废水。各类废水经厂区内废水处理站分质处理达标后通过厂区废水总排口排放。项目生产区废水经处理达标后由废水站总排口排入市政污水管网，生活区生活污水经化粪池处理后，进入xx污水处理厂处理103、。45项目雨水管线综合平面布置见附图 19；给水、污水管线综合平面布置见附图 20。供电本工程电源类型包括：市电电源、应急电源和不间断电源。本扩建工程供电系统均依托现有工程。本工程市供电电源由产业园区不同的变电站引来两路 110kV 电源，厂区内建一座专用 110/10kV 总降压站。工厂配电电压为 10kV，10kV 系统采用分段单母线形式，以放射式电缆线路向各配变电所供电。为确保重要生产工艺负荷及消防负荷的用电要求，综合动力站配变电所内设置柴油发电机组作为应急电源。为保证特别重要生产工艺设备及其控制系统的连续供电，重要生产和管理数据不会丢失，在生产厂房设置有静态不间断电源 UPS 及 DC104、-BANK装置。工厂低压配电网络包括 208/120V、380/220V 和 480V，均采用三相四线制，接地型式为 TN-S 系统。根据负荷估算，本工程总用电量为 40000kW。用电负荷使用电压等级：208/120V、380/220V、480V、10kV。其中工艺生产设备按 208/120V和 480V考虑；冷冻机、空压机按 10kV考虑；其它用电设备均按 380/220V考虑。供气a.大宗气体本扩建工程使用的大宗气体种类与现有工程相同，包括氮气、氢气、氧气、氩气、氦气，项目大宗气体供应依托现有工程。供应方式为：氮气由制氮装置制备后，通过管道直接输送到到各使用点；氢气、氦气由鱼雷车通过管道105、直接输送到各使用点；液氧、液氩、液氮由槽车运输至厂区内，再由气化器转换成气态后经管路供应到生产车间机台使用点。b.特殊气体46生产用特种气体见表2.1-5，气体由专业气体公司供应，存放于特气站、仓库相应的贮存点，再经专用管道送至生产车间工艺使用点。表表 2.1-5生产使用的特殊气体生产使用的特殊气体序号序号种类种类气体名称气体名称1自燃/易燃性气体硅烷(SiH4)、氨气(NH3)、磷烷（PH3）、砷烷（AsH3）、氢气(H2)2腐蚀性/毒性气体二氯硅烷(SiH2Cl2)、氯化氢（HCl）、三氟化氮（NF3）、一氟甲烷(CH3F)、二氟甲烷（CH2F2）、三氟甲烷(CHF3)、溴化氢（HBr）、106、氯气(Cl2)、三氯化硼（BCl3）、3不燃性气体（惰性气体）氦气、四氟化碳(CF4)、六氟化硫（SF6）、八氟环丁烷（C4F8）、笑气（N2O）、六氟乙烷（C2F6）、磷烷/氮混合气（PH3/N2）、厂房内特种气体的供应方式是将气瓶柜的特种气体经管道传输至分布在净化厂房下夹层的歧管阀门箱/歧管阀门盘（VMB/VMPs），然后由分配管送至使用点。c.天然气本扩建项目废气焚烧设施使用的天然气依托现有工程，由市政燃气管网引至厂区内天然气调压站，经调压计量后用管道送给各使用点，厂区内不设置天然气储罐。项目天然气主要使用点为生产区废气燃烧和生活区的员工食堂。净化空调系统本工程所在生产车间为全密闭洁净厂107、房，采用FFU（Fan Filter Unit，风机过滤机组）进行净化。项目车间生产层核心净化区净化级别大多为1000级（部分100级）。空气净化是通过过滤来实现的。通过大型鼓风机，将经滤网多级过滤的洁净空气源源不断地打入洁净室中，室内的空气通过回风口导出，这样不断循环，用洁净的空气“置换”污染的空气，可保证室内空气的洁净。洁净等级主要由单位时间内的换气次数决定。洁净室净化流程如下图：47空调系统冷、热源本扩建项目空调冷源依托现有工程，空调冷源采用两种：612的低温冷冻水，1319的中温冷冻水。洁净室新风机组MAU的二级冷水盘管采用612的低温冷水。办公区空调、全新风直流空调系统采用612的低108、温冷水。洁净区内干式冷盘管（DDC）、新风机组一级冷盘管、洁净室循环机组的冷盘管采用1319的中温冷水。配变电间、UPS室空调系统的冷盘管采用1319的中温冷水。热源为36/28的热水，由压缩空气机组压缩热回收、冷水机组热回收及热水机组组成提供，为洁净室新风机组MAU及一般空调机组提供加热热源。空调加湿：洁净室新风机组MAU采用淋水方式加湿，水源为RO水，常年使用。消防系统本扩建项目消防系统依托现有工程。a.消防水源及供水系统本项目消防水源为市政自来水，所有消防用水储存在消防水池内。设置独立的室内、外消火栓给水系统，环网管径为DN250。设置独立的自动喷水灭火系统，主环网管径为DN250。在综109、合动力站设置消防水池及消防泵房，消防水池有效容积为1270m3，分两座，存储室内外消火栓用水及自动喷淋用水。泵房内设置室内外消火栓消防水泵、自动喷洒系统消防水泵各两台（一用一备）。48高位消防水箱采用拼装式不锈钢水箱，有效容积18m3，位于宿舍楼屋顶。高位消防水箱旁设置消火栓稳压泵及自喷稳压泵各两台（一用一备）。b.室内、外消火栓系统室内外消火栓供水系统，环状管网管径为DN250，在环网上设置室外消火栓间距不大于100m。室外消火栓设计水量为：40L/s；室内消火栓设计水量为：30L/s；室内消火栓布置保证有两支水枪的充实水柱同时到达室内任何部位。火灾初期水量由高位消防水箱保证。c.自动喷水灭110、火系统厂房采用湿式系统；研发试验楼、活动中心、办公区、餐厅采用湿式系统。自喷系统火灾延续设计为：1小时。设置有效容积为18m3的消防高位水箱（与消火栓系统合用）及自喷稳压装置一套。自喷系统消防泵流量Q=80L/s，H=0.90MPa。d.喷淋-泡沫灭火系统化学品配送区域的有机溶剂室、化学品库的有机溶剂存储间，采用泡沫-预作用喷淋灭火系统。泡沫采用AFFF抗溶性泡沫。水成膜泡沫浓度按3%考虑，泡沫液供给强度按8L/（minm2）考虑。泡沫灭火系统作用面积按照465m2设计，当防护区房间面积小于465m2时以实际面积确定e.气体灭火系统通信和网络机房设置气体灭火系统，七氟丙烷气体灭火。气体消防系统111、均设自动、手动和机械应急操作三种启动方式。f.灭火器按建筑灭火器配置设计规范设置手提式灭火器。洁净区域、电气房间采用CO2手提式灭火器，其他区域采用磷酸铵盐灭火器。（5）环保工程）环保工程废气本扩建工程工艺废气处理系统包括：酸性废气处理系统、有机废气处49理系统、碱性废气处理系统、工艺废气处理系统（含磷烷、氟化物等）、工艺废气处理系统（含砷烷废气）、氢酸排废气以及废水处理站臭气处理系统，均依托现有工程。其中工艺废气处理系统（含磷烷、氟化物等废气）经设备自带的POU系统处理后再进入屋面酸性废气处理系统；工艺废气（含砷烷）经设备自带的POU系统处理后再经袋式除尘处理后排放。xx废气来源、组成及处理112、设施情况见表4.1-1。废水项目厂区已配套建设一个3层的废水处理站，其中一层：卸泥区、无机废水调节池、有机废水调节池、药剂区、应急池等；二层：污泥脱水间、无机废水处理区域、有机废水处理区域泵维修间、有机污泥浓缩池、无机污泥浓缩池等；三层：化验室&控制间、含氨废水处理间、配电间、鼓风机房、含铜废水、含镍废水、含钯金废水处理间等。本扩建工程产生废水依托现有工程废水处理站处理。厂区内的废水处理站设计总处理规模为17790m3/d，其中酸碱废水6700m3/d，含氟废水6240m3/d，有机废水1800m3/d（包括含氨、含氟废水处理量），研磨废水1100m3/d，含氨废水1200m3/d，含铜废水2113、40m/d，EPI含砷废水360m/d，含镍废水120m/d，含钯金废水30m/d。本扩建项目生产废水种类包括酸碱废水、含氟废水、有机废水、含氨废水、研磨废水、含铜废水、含镍废水、含钯金废水，以及公辅及环保设施排放废水等，其中含氟废水扩建540m/d的处理能力，其他均依托现有工程。酸碱废水：收集处理清洗过程排水、废气处理系统的排水、纯水制备系统废水、工艺冷却排水、动力设备排水等，采用“一级沉淀物化+三级酸碱中和反应”处理工艺。含氟废水：收集处理生产工序产生的含氟废水，采用“二级化学沉淀法”处理。含氨废水：收集处理生产工序产生的含氨废水，采用“吹脱+硫酸吸水法”处理，由于含氨废水主要污染物为氟化114、铵，因此含氨废水经氨吹脱除氨后进入含氟处理系统二级除氟后尾水排至废水总排口。50有机废水：收集处理清洗过程中产生的有机废水，采用“二级生化法”处理。研磨废水：收集处理工艺中研磨废水，采用“混凝沉淀法”处理。含铜废水：收集处理镀铜工序产生的含铜废水，采用“化学混凝沉淀处理系统”进行处理。含镍废水：收集处理化学镀镍工序产生的含镍废水，采用“两级化混法+回收系统处理”进行处理。含钯金废水：收集处理化学镀钯金工序产生的含钯金废水，采用“两级树脂吸附法处理”进行处理。回收水：项目生产过程中有部分废水较清洁，可收集处理后回用于初纯水系统，采用“活性炭过滤+RO 反渗透装置”工艺，处理后的尾水进入酸碱废水处115、理系统。废水站内设置应急水池，容积按照废水处理站设计处理量的 8h 水量考虑，约 3200m3。（3）废液本扩建工程废液收集依托现有工程。项目在厂房一层车间内设置废液收集区，主要收集车间内产生的废显影液、废去胶液、废IPA，相应位置设置槽车充装区。厂房三层化学品废液重力流至室外废液收集区，一层化学品废液在设备端加压排至室外废液收集区。废液由槽车外运，委托有资质单位处理。化学品回收系统管路采用支状管方式布置。在资源回收站设有废液存放间，主要暂存收集于桶内的废液。2.1.5主要原辅材料使用情况主要原辅材料使用情况本项目扩建前后全厂原辅材料使用情况见表 2.1-6。本工程涉及到的主要原辅材料理化性质116、及毒理学资料见附件 14。2.1.6主要生产设备一览表主要生产设备一览表本扩建项目新增主要生产设备及扩建后全厂设备情况见表 2.1-7；辅助51工程设备详见表 2.3-3。52535455565758596061626364656667建设内容2.1.7物物料料平平衡衡项目生产过程中使用的原辅材料种类较多，化学品主要有酸（氢氟酸、盐酸、硝酸、硫酸、磷酸等），碱（氨水、显影液等），有机品（光刻胶、异丙醇、去胶液等），镀铜和化学镀化学品（硫酸铜、硫酸镍、醋酸镍等）；气体主要有氯气、氟基气体、磷烷、砷烷、氨、氯化氢、硫基气体等。各类化学品中的作用主要是清洗、湿法刻蚀、去胶等，在使用过程中部分作为废液117、收集交由有资质的公司统一处置，部分挥发进入废气处理系统（大部分经吸收处理后纳入废水处理系统处理），部分在超纯水清洗过程中进入清洗废水，经生产废水处理系统处理外排，不会残留在最终产品上。各类气体在干法刻蚀、淀积、CVD 等工序中绝大部分将参与化学反应形成固态产物沉积在硅片上，这些固态产物在后续的刻蚀等工序后大部分将进入废水或废液中，剩余未反应的特殊气体作为工艺废气进入废气处理系统。为了解主要原辅材料中主要有毒有害物质，本次环评对其中具有代表性的物料（用量较大或者毒性较大的物料元素），如氟、氨、硫、氮、砷、磷、氯、铜、镍等元素和物质进行物料平衡分析。686970717273747576777879118、808182建设内容2.1.8水水平平衡衡分分析析2.1.8.1用用水水83建设内容本扩建项目新增用水主要为各生产点新增用水、新增职工生活用水等。本项目新增新鲜水量为 3677.8m3/d。本扩建项目用水依托现有工程 2处供水源点，分别为自来水管网和纯水系统。1、生产用水（1）生产工艺用水纯水制备本工程依托现有工程制纯水设备，并启用备用纯水设备和增加 1 套 90m/h 制纯水系统，则扩建后共配套 8 套制纯水设备，包括超纯水系统和初纯水系统，纯水制备能力 90m3/h6+45m/h2，本次扩建工程需新增超纯水用量 3088.6m/d，扩建后全厂超纯水用量 14167.1m/d（590.3m/119、h）。类比现有工程，项目制纯水系统初纯水制水率按 87%计，超纯水制水率按 75.1%计，则本项目制纯水系统新增新鲜水用量为 3582.6m/d。光刻、镀膜等清洗用水本工程光刻、镀膜采用超纯水清洗。根据建设单位技术人员提供资料以及类比现有工程用水情况，本工程增加工艺用超纯水量合计为 3070.2m/d，其中新增含氨清洗用水量 239.4m/d，有机清洗用水量 245.7m/d，含氟用水量 1121.7m/d，酸碱清洗用水量 691.8m/d，研磨清洗用水量 182.7m/d，回收水系统 551.2m/d，光刻工序用水 0.3m/d。电镀铜用水项目电镀铜生产线用水均采用超纯水，来自厂区纯水站。镀120、铜生产线各槽体用水情况见表 2.1-20。84建设内容化学镀用水本扩建工程化学镀生产线用水采用超纯水，来自厂区纯水站。新增超纯水用量69.3m/d（其中回用水量 21.8m/d），其中酸碱用水量 9.2m/d、含氟用水量 9.2m/d、含镍用水量 43.9m/d、含钯金用水量 7m/d。化学镀生产线各槽体补充水量计算表见表 2.1-21、表 2.1-22。85（2）公建设施用水项目现有工程公建设施空调加湿用水、动力设备补水均已考虑全厂生产所需，本扩建项目新增冷却塔 5 台。冷却塔循环水量 515m/h，损失水量约占循环水量的0.8%（494.4m/d），冷却塔排污量占循环水量的 0.02%（1121、2.4m/d），则冷却塔需补充新鲜水量 506.8m/d（其中回用水量 436.1m/d）。（3）环保设施用水本工程冷冻站新建 2 套中温热回收机组，类比现有工程，中温热回收机组新增耗水量 32m/d，来源于初纯水。项目新建配套动力设备，类比现有工程，动力设备补水量约 16.7m/d，来源于初纯水。本工程新建 2 套酸性废气喷淋塔，类比现有工程，酸性废气喷淋塔新增耗水量86建设内容50m/d，来源于回用水。废水处理站配药用水：类比现有工程，废水处理站配药需新增消耗新鲜水量约10m3/d，来源于回用水。2、生活用水项目新增职工 310 人，无新增住厂人数，生活用水主要分为生活区生活用水和生产区生122、活用水，生活区生活用水主要是来源于员工食堂；生产区生活用水主要来源于生产区办公区、各卫生间用水。生活区生活用水生活区生活用水：生活区无新增住厂职工，仅增加食堂用水。本工程新增用人用餐人数按 300 人次/天餐，一天按 2 餐计，根据xx市主要工业及生活用水定额（DB3502/Z5016-2016），非营业餐饮用水定额取 15L/人次，则新增职工食堂用水量 9m/d，来源于自来水。生产区生活用水生产区生活用水：生产区生活用水主要为生产区职工生活用水。生产区新增职工人数为 310人，根据室外排水设计规范，生产区不住厂职工生活用水量取 50L/d人，新增职工生活用水量 15.5m/d。现有工程已取消123、厂区内清洗工作服，全部委外清洗，本项目不再计算工作服清洗废水用量。则本项目新增生产区生活用水量15.5m/d。综上所述，本工程新增生活用水量为 24.5m/d。2.1.8.2排水排水厂区排水按照生产区和生活区两区域废水分流，雨污分流原则设计。1、生产区排放废水本项目新增生产区排放废水包括生产工艺排放废水、公用及辅助设施排放废水、环保设施排放废水以及生活污水。（1）生产工艺排放废水新增生产工艺排水包括含氨废水、有机废水、含氟废水、酸碱废水、研磨废水、含铜废水、含镍废水、含钯金废水等；废水站配药增加量及配药用水均进入废水处理系统，不单独计算废水量。本项目新增生产工艺排水分治分流，排入厂区废水站处理124、后，经废水站总排放口进入市政污水管网。87建设内容根据建设单位提供资料，本工程生产工艺废水损耗量按 1%计，则新增生产工艺废水产生量约 3084.5m/d（其中含氨废水 237m/d、有机废水 243.2m/d、含氟废水1119.6m/d、酸碱废水 694m/d、研磨废水 180.9m/d、回收水系统排水 551.2m/d、含铜废水 8.2m/d、含镍废水 43.5m/d、含钯金废水 6.9m/d），另外因废水处理增加化学药品量约 2t/a，以及配药用水量 10m/d。（2）公用及辅助设施排水本工程冷冻站新建 2 套中温热回收机组，类比现有工程，中温热回收机组新增排水量 31.4m/d。项目新125、建配套动力设备，类比现有工程，动力设备新增排放废水量 15.9m/d。项目制纯水系统初纯水制水率约 87%，超纯水制水率 75.2%，则本项目新增制纯水废水产生量为 980.6m/d，回用 535.3m/d，新增排放量 445.3m/d。项目新增冷却塔 5台，冷却塔循环水量 515m/h，冷却塔定期排放少量废水，废水量约占循环水量的 0.02%，即冷却塔排放废水量=5152450.8%=12.4m/d。（3）生产区排放生活污水生产区生活污水主要来自办公室、卫生间废水，损耗量按 10%计，则生产区生活污水排放量为 13.9m/d。2、生活区生活污水项目生活区新增生活污水经依托现有隔油池+化粪池处126、理后，经生活区污水排放口进入市政污水管网。生活污水损耗量按 10%计，则新增生活区生活污水排放量约8.1m/d。3、总排水情况本工程新增废水排放总量为 3153.1m/d。本项目给排水平衡见表 2.1-23 和图2.1-11；扩建后全厂水平衡表见表 2.1-24 和图 2.1-12。4、回用率根据水平衡计算可知，项目扩建后全厂生产废水处理量为 19843.3m3/d，处理后回用的水量为 4880m3/d，则项目工业废水回用率为 25%，可满足规划要求的不低于25%的要求。88建设内容根据水平衡计算，本项目扩建后全厂单位产品排水量=15582.6m/d355d1020000 片=5.4m/片，符127、合电子工业水污染物排放标准（GB39731-2020）表 2单位产品基准排水量要求，即 12 英寸芯片掩膜层数 35 层以下单位产品基准排水量11m/片。8990919293建设内容2.1.9厂区总平面布置厂区总平面布置项目厂区呈长方形，东侧设 1 个物流出入口，南侧设 2 个办公出入口，西侧设 1 个生活出入口。厂区从东至西分为三大区域，东侧为动力支持区域，主要为变电站、仓库、特气站、大宗气站、废水处理站、综合动力站等储运、动力配套建筑；中部为 12 英吋厂房，厂房南部为研发办公楼；西侧为预留厂房和生活配套区（公寓、食堂生活区）。本次扩建工程依托现有工程，新增生产设备布置在 12 英吋厂房 128、1F、3F 的西北侧区域。项目厂区总平面图布置图见附图 16，12 英吋厂房 3F 平面布置图见附图 17，厂区废气去排气筒布置图见附图 18，厂区雨水管线平面布置图见附图 19，厂区给水、污水管线综合平面布置图见附图 20。工艺流程和产污环节2.2 工艺流程和产污环节工艺流程和产污环节本扩建工程产品为 IGBT 功率器件芯片，与现有工程 IGBT 功率器件芯片生产工艺流程相同。IGBT 芯片产品采用沟槽工艺（简称：T-IGBT）。IGBT 是绝缘栅双极型晶体管，是近年来最令人瞩目而且发展很快的一种新型电力电子器件。IGBT器件具有栅极高输入阻抗、开通和关断时具有较宽的安全工作区等特性，因此 129、IGBT 器件在工业焊机、工业缝纫机、白色家电、UPS、IH 感应加热、电机驱动等方面有很广泛的应用。传统的沟槽栅型 IGBT 器件是通过减少沟槽之间的间距提升沟槽密度的方式来降低 IGBT 器件的饱和压降，但随着沟槽密度的不断增加，目前的沟槽型IGBT 器件的电容大幅度增加，导致了不容易驱动以及 miller 电容增加，器件工作频率降低等问题。另外，由于传统的沟槽型 IGBT 器件在短路状态下，栅极电压容易受到位移电流的干扰，出现栅压波形振荡现象，大量的空穴电流会在沟槽栅极的底部聚集，拉升沟槽底部氧化层的电场强度，引起沟槽底部的氧化层隧穿失效，从而导致沟槽型 IGBT 器件的鲁棒性能也较差。130、全新元胞设计结构的沟槽栅 IGBT 器件，如图 2.2-1 所示，相比于传统的沟槽型 IGBT 器件，增加了第二沟槽栅结构、第三沟槽栅结构以及类发射区，94并通过调整不同电位沟槽栅的位置以及距离等方式，实现改善器件饱和压降、降低输入电容等功能，同时优化 miller电容与输入电容比例关系和增加与发射区电极相短接的沟槽栅结构，进而分别实现改善器件的稳定性和鲁棒性能可调等功能，具体优势如下：在器件结构中增加了第二沟槽栅结构、第三沟槽栅结构以及类发射区，且类发射区位于第二沟槽栅结构的一侧或两侧，第二沟槽栅结构、第三沟槽栅结构以及类发射区与第一沟槽栅结构电性连接，从而减少了有效元胞的面积，减少了与外部131、栅极驱动相连的栅极数量，从而有效地降低了输入电容。在第三沟槽栅结构之间的区域形成了电压浮置的待用伪元胞结构，该电压浮置的待用伪元胞结构在 IGBT 器件导通时提供载流子注入增强效应，该载流子增强效应可以提高沟槽栅型 IGBT 器件的元胞底部附近的载流子浓度，从而改善了器件的导通损耗。在第二沟槽栅结构与相邻的第三沟槽栅结构之间的区域形成了与发射极电性连接的待用伪元胞结构，该与发射极电性连接的待用伪元胞结构使得 IGBT 器件的发射极与集电极之间的电容 Cce 增大，能够有效地改善沟槽栅型 IGBT 器件在短路状态下的稳定性，有利于增强器件的鲁棒性。图图 2.2-1 沟槽沟槽 IGBT 器件结构示132、意图器件结构示意图通过调节电压浮置的待用伪元胞结构以及发射极电性连接的待用伪元胞结构的宽度以及两种待用伪元胞结构之间的数量比例，实现了在鲁棒性和导通损耗之间进行调节和折中，从而适用于各种不同的应用场景。而且，通过调节第一沟槽栅结构与第四沟槽栅结构之间的间距，有效改善了 IGBT 器件的导通损耗以及降低芯片面积，节约成本。IGBT 功率器件芯片具体工艺流程见图 2.2-2。95工艺流程和产污环节图图 2.2-2 IGBT 功功率率器器件件芯芯片片生生产产工工艺艺流流程程图图和和产产污污环环节节示示意意图图96工工艺艺流流程程和和产产污污环环节节2.2.1IGBT 功功率率器器件件芯芯片片工工艺艺133、说说明明和和产产污污环环节节工工艺艺说说明明：9798工工艺艺流流程程和和产产污污环环节节99工工艺艺流流程程和和产产污污环环节节100工工艺艺流流程程和和产产污污环环节节101工工艺艺流流程程和和产产污污环环节节102工工艺艺流流程程和和产产污污环环节节103工工艺艺流流程程和和产产污污环环节节104工工艺艺流流程程和和产产污污环环节节105工工艺艺流流程程和和产产污污环环节节106图图 2.2-3 镀镀铜铜工工艺艺流流程程图图（38）化学镀化学镀工艺工艺流程和产污环节示意图见图 2.2-4。107工工艺艺流流程程和和产产污污环环节节图图 2.2-4 化化学学镀镀工工艺艺流流程程及及产产污污134、环环节节示示意意图图化化学学镀镀工工艺艺条条件件及及产产污污环环节节见见表表 2.2-2：1082.2.2产产污污环环节节生产工艺产污环节见表 2.2-3。表表 2.2-3 生生产产工工艺艺产产污污环环节节类类别别编编号号污污染染来来源源主主要要污污染染物物收收集集方方式式、治治理理措措施施及及去去向向备备注注废水酸碱废水W1各项使用酸液清洗、化学镀除油及水洗pH、COD、SS、氨氮、氟化物、总磷、总氮从设备配套的专用排水管酸碱废水收集罐（生产厂房内）经提升泵废水站酸碱废水处理系统（pH调节中和）最终 PH调节池废水总排口依托现有工程含氟废水W2各项使用 HF 酸清洗、硅腐蚀后的清洗、化学镀微135、蚀及水洗pH、COD、SS、氨氮、氟化物、总磷、总氮从设备配套的专用排水管含氟废水收集罐（生产厂房内）经提升泵废水站含氟废水处理系统（混凝沉淀）最终 pH调节池废水总排口扩建540m/d处理能力有机废水W3湿法刻蚀、去胶等后的清洗、镀铜工艺中NMP清洗pH、COD、SS、氨氮、氟化物、总磷、总氮从设备配套的专用排水管有机废水收集罐（生产厂房内）经提升泵有机废水处理系统（生化处理）最终 pH调节池废水总排口依托现有工程含氨废水W4各项使用含氨水的清洗pH、COD、SS、氨氮、氟化物、总磷、总氮从设备配套的专用排水管含氨废水收集罐（生产厂房内）经提升泵含氨处理系统有机废水处理系统（生化处理）最终 136、pH调节池废水总排口研磨废水W5背面减薄COD、SS从设备配套的专用排水管研磨废水收集罐（生产厂房内）经提升泵研磨废水处理系统（混凝沉淀）最终 pH调节池废水总排口生活污水W6生产区、生活区COD、BOD5、SS、NH3-N、动植物油生产区：化粪池有机废水处理系统（生化处理）生活区：隔油池、化粪池市政污水管网含铜废水W8镀铜工艺中润湿、镀铜后清洗、刻蚀后清洗COD、总铜从设备配套的专用排水管化学混凝沉淀系统废水总排口含镍废水W9化学镀工艺中沉锌、化学镀镍清洗、酸褪除pH、总镍、总锌从设备配套的专用排水管含镍废水处理系统废水总排口含钯金废水W10化学镀工艺镀钯、镀金清洗pH、总钯从设备配套的专用137、排水管含钯金废水处理系统酸碱废水处理系统109工艺流程和产污环节工艺流程和产污环节废水总排口废气酸性废气G1酸洗、腐蚀、干法刻蚀、栅氧化、金属腐蚀，镀铜、酸褪除硫酸雾、氮氧化物、氯化氢、氯气、氟化物设备配置专用气管碱液喷淋塔（排气筒 5根：FQ-478201、FQ-480301、FQ-480302、FQ-202251-1、DA001）部分依托现有工程，部分新建废气处理设施有机废气G2湿法刻蚀、干法刻蚀、去胶、栅氧化、淀积、镀铜工艺中光刻、刻蚀工序非甲烷总烃、二氧化硫、氮氧化物、烟尘设备配置专用气管转轮浓缩+焚烧（排气筒 2根：FQ-478203、DA002）工艺废气G3多晶硅淀积、BPSG淀积138、刻蚀硅烷、磷烷、氟化物、二氧化硫、氮氧化物设备自带 POU处理后，再引入酸性废气处理系统处理离子注入砷烷含砷烷废气：设备自带 POU干式吸附袋式过滤排气筒（排气筒 2 根：FQ-478207、DA003）碱性废气G4氨水清洗、钝化层淀积NH3设备配置专用气管酸液喷淋塔（排气筒 2根：FQ-478206FQ-480303）氢酸排废气G5外延炉 CVD生长氟化物、氯化氢、氮氧化物外延炉氢酸排废气经自带 localscrubber 燃烧+喷淋处理后，再进入碱洗喷淋洗涤塔（排气筒 1 根：FQ-202251-2）废水站臭气G7生化处理、污泥池等氨、硫化氢集气收集管喷淋除臭塔（排气筒 1 根：FQ-4139、78208）噪声设备噪声N1各风机、动力设备等运行产生的噪声减震降噪/固体废物危险废物废有机溶液S1异丙醇委托有资质单位处理依托现有工程废显影液排入有机废水处理系统处理废去胶液委托有资质单位处理其他有机废液委托有资质单位处理废酸S2废 BOE 蚀刻液、氟化铵腐蚀液等无机含氟废物部分排入含氟废水处理系统处理，部分委托有资质单位处理废酸液（废磷酸、硫酸、盐酸等）委托有资质单位处理化学品废包装物S5废化学品包装桶、包装袋委托有资质单位处理含砷废物S8废含砷滤芯、布袋委托有资质单位处理废活性炭S10过滤废活性炭委托有资质单位处理含铜废液S19镀铜含镍废液S11沉锌、化学镀镍废槽液含钯废液S12镀钯废槽140、液含金废液S13镀金废槽液含铜污泥S14含铜废水处理污泥含镍污泥S15含镍废水处理污泥废树脂S16废液、废水回收树脂废润滑油S20设备维护一般废物废 UV膜、废研磨垫S3废 UV膜、废研磨垫废品外卖依托现有工程不合格品S4废芯片委外处理其它S6废塑料、废纸等废品外卖废水站污泥S13一般废水处理委托相关单位处理110工艺流程和产污环节工艺流程和产污环节废水站硫酸铵S17废水站硫酸铵委托相关单位利用废制纯水树脂S18制纯水系统委托相关单位处理111与与项项目目有有关关的的原原有有环环境境污污染染问问题题2.3 现现有有工工程程回回顾顾性性分分析析2.3.1现现有有工工程程建建设设历历程程厦 门 x141、 x 电 子 有 限 公 司 厂 址 位 于 厦 门 市 海 沧 区 兰 英 路 89 号（242859.86N，1175942.42E）（项 目 地 理 位 置 见 附 图 1），用 地 面 积127273.378，总建筑面积 229401.80m2，主要从事 12 吋特色工艺半导体芯片制造。士兰集科公司建设历程及基本情况见表 2.3-1。112与与项项目目有有关关的的原原有有环环境境污污染染问问题题2.3.2现现有有工工程程排排污污许许可可手手续续情情况况xx公司已取得排污许可证（证书编号：91350200MA31GA8Q1C001U）（附件 11）及排水证明（证书编号：厦排证字第 418142、7 号、厦排证字第 3255 号）（附件 10）。2.3.3现现有有工工程程基基本本情情况况（1）厂区规模：用地面积 127273.378m2，总建筑面积 229401.80m2；（2）产能：12 英吋 9065nm 的特色工艺芯片 72 万片/年（6 万片/月），其中镀铜工艺产能约 13.2万片/年，化学镀工艺 16.8万片/年；（3）职工人数：职工约 1200人，其中住厂人数约 700人；（4）工作制度：生产车间工作制度为 7 天24 小时连续运转方式，其中制造现场及设备运维人员班制为三班两运转，每班工作 12 小时，保证制造现场及设备 24小时生产年时基数 1820小时。生产设备：实行连143、续运转工作制，全年工作 355 天，每天工作 24 小时，设备年时基数 7670小时（考虑约 10%的年时基数损耗）。办公、材料库、化学品库等实行单班制。值班、动力及辅助部门按生产车间工作制度配套。113与与项项目目有有关关的的原原有有环环境境污污染染问问题题2.3.4现现有有工工程程产产品品方方案案表表 2.3-2 产产品品方方案案一一览览表表单单位位：万万片片/年年序序号号产产品品名名称称现现有有工工程程产产能能备备注注12 英英吋吋芯芯片片镀镀铜铜化化镀镀1中低压 T-LV、SGT-MOSFET 产品系列3413.216.8年产 72 万片 12 英吋芯片中的外延 EPI 工艺尚未建设；144、16.8 万片/年的化学镀工艺暂未建设2高压 T-DPMOSFET、T-IGBT 产品系列323高压 HVIC 产品系列6/合计7213.216.82.3.5现现有有工工程程项项目目组组成成项目现有工程项目组成见表 2.1-2。2.3.6现现有有工工程程主主要要设设备备及及主主要要原原辅辅材材料料现有工程主要生产设备数量见表 2.1-7，现有工程主要辅助设备详见表 2.3-3，主要原辅材料消耗量见表 2.1-6。1142.3.7现现有有工工程程生生产产工工艺艺流流程程及及产产污污情情况况本项目现有工程产品主要为各类功率器件芯片，包括高压产品 IGBT 和 T-DPMOSFET 系列产品、HVI145、C 系列产品，中低压产品 T-LV 和 SGT MOSFET 产品系列。各类功率半导体器件芯片生产工艺流程基本相似，现有工程生产工艺流程图详见图 2.3-1、图 2.3-2，产污环节情况见表 2.3-4。其中现有工程 EPI 外延工序和化学镀工序暂未建设。115与项目有关的原有环境污染问题图图 2.3-1 IGBT、T-DPMOSFET、SGT MOSFET 产产品品系系列列生生产产工工艺艺流流程程图图和和产产污污环环节节示示意意图图W5116图图 2.3-2 HVIC 产产品品系系列列生生产产工工艺艺流流程程图图和和产产污污环环节节示示意意图图117与项目有关的原有环境污染问题与项目有关的原146、有环境污染问题表表 2.3-4 生产工艺产污环节生产工艺产污环节类别类别编编号号污染来源污染来源主要污染物主要污染物收集方式、治理措施及去向收集方式、治理措施及去向废水酸碱废水W1各项使用酸液清洗、化学镀除油及水洗pH、COD、SS、氨氮、氟化物、总磷、总氮从设备配套的专用排水管酸碱废水收集罐（生产厂房内）经提升泵废水站酸碱废水处理系统（pH调节中和）最终 PH调节池废水总排口含氟废水W2各项使用 HF 酸清洗、硅腐蚀后的清洗、化学镀微蚀及水洗pH、COD、SS、氨氮、氟化物、总磷、总氮从设备配套的专用排水管含氟废水收集罐（生产厂房内）经提升泵废水站含氟废水处理系统（混凝沉淀）最终 pH调节池147、废水总排口有机废水W3湿法刻蚀、去胶等后的清洗、镀铜工艺中NMP 清洗pH、COD、SS、氨氮、氟化物、总磷、总氮从设备配套的专用排水管有机废水收集罐（生产厂房内）经提升泵有机废水处理系统（生化处理）最终 pH调节池废水总排口含氨废水W4各项使用含氨水的清洗pH、COD、SS、氨氮、氟化物、总磷、总氮从设备配套的专用排水管含氨废水收集罐（生产厂房内）经提升泵含氨处理系统最终 pH调节池废水总排口研磨废水W5背面减薄COD、SS从设备配套的专用排水管研磨废水收集罐（生产厂房内）经提升泵研磨废水处理系统（混凝沉淀）最终 pH调节池废水总排口生活污水W6生产区、生活区COD、BOD5、SS、NH3-148、N、动植物油生产区：化粪池有机废水处理系统（生化处理）生活区：隔油池、化粪池市政污水管网含砷废水W7EPI工艺废气localscrubber喷淋清洗、EPI设备清洗pH、总砷从设备配套的专用排水管含砷废水沉淀蒸发系统蒸发消耗（无含砷废水外排、沉淀浓缩物作为危废处置）含铜废水W8镀铜工艺中润湿、镀铜后清洗、刻蚀后清洗pH、COD、总铜从设备配套的专用排水管化学混凝沉淀系统废水总排口含镍废水W9化学镀工艺中沉锌、化学镀镍清洗、酸褪除pH、总镍、总锌从设备配套的专用排水管含镍废水处理系统含氟废水处理系统废水总排口含钯金废水W10化学镀工艺镀钯、镀金清洗pH、总钯从设备配套的专用排水管含钯金废水处理系149、统酸碱废水处理系统废水总排口废气酸性废气G1酸洗、腐蚀、干法刻蚀、栅氧化、金属腐蚀，镀铜、酸褪除硫酸雾、氮氧化物、氯化氢、氯气、氟化物、二氧化硫设备配置的专用气管碱液喷淋塔（排气筒 4 根：FQ-478201、FQ-480301、FQ-480302、FQ-202251-1）有机废气G2湿法刻蚀、干法刻蚀、去胶、栅氧化、淀积、镀铜工艺中光刻、刻蚀工序非甲烷总烃、二氧化硫、氮氧化物、烟尘设备配置的专用气管沸石浓缩转轮焚烧（排气筒 1 根：FQ-478203）工艺废气G3多晶硅淀积、BPSG淀积、刻蚀硅烷、磷烷、氟化物不含砷废气：设备自带 POU酸性废气处理系统离子注入砷烷含砷烷废气：设备自带的 l150、ocal scrubber 燃烧+喷淋“POU干式吸附+袋式过滤”排气筒（排气筒 1 根：FQ-478207）碱性废气G4氨水清洗、钝化层淀积NH3设备配置的专用气管酸液喷淋塔（排气筒 2 根：FQ-478206、FQ-480303）EPI 工艺废气G5EPI磷烷、砷烷、硼烷、HCl 等设备自带的 local scrubber 燃烧+喷淋工艺废气的“POU 干式吸附+袋式过滤”排118与项目有关的原有环境污染问题与项目有关的原有环境污染问题气筒排放（排气筒 1 根：FQ-478207）氢酸排废气G6外延炉 CVD生长氯化氢、氟化物、氮氧化物设备自带 local scrubber 燃烧+喷淋碱液151、喷淋塔（排气筒 1 根：FQ-202251-2）废水站臭气G7生化处理、污泥池等氨、硫化氢集气收集管喷淋除臭塔（排气筒 1 根：FQ-478208）噪声设备噪声N1各风机、动力设备等运行产生的噪声减震降噪固体废物危险废物废有机溶液S1异丙醇委托有资质单位处理废显影液排入有机废水处理系统处理废去胶液委托有资质单位处理其他有机废液委托有资质单位处理废酸S2废 BOE 蚀刻液、氟化铵腐蚀液等无机含氟废物部分排入含氟废水处理系统处理，部分委托有资质单位处理废酸液（废磷酸、硫酸、盐酸等）委托有资质单位处理化学品废包装物S5废化学品包装桶、包装袋委托有资质单位处理含铜废液S7表面镀铜含砷废物S8废含砷滤芯152、布袋废活性炭S10过滤废活性炭委托有资质单位处理含镍废液S11沉锌、化学镀镍废槽液含钯废液S12镀钯废槽液含金废液S13镀金废槽液含镍污泥S14含镍废水处理污泥含铜污泥S15含铜废水处理污泥废树脂S16废液、废水回收树脂含砷废物S19含砷废水处理废汞灯S20含汞光源废润滑油S21设备维护化学品废液S22废弃化学品一般废物废 UV 膜、废研磨垫S3废 UV膜、废研磨垫废品外卖不合格品S4废芯片委外处理其它S6废塑料、废纸等废品外卖废水站污泥S13一般废水处理委托相关单位处理废水站硫酸铵 S17废水站硫酸铵委托相关单位利用废制纯水树脂 S18制纯水系统委托相关单位处理2.3.8现有工程污染源分析153、及污染防治措施现有工程污染源分析及污染防治措施1、废水、废水（1）废水来源及产排情况）废水来源及产排情况xx现有工程废水量见表2.3-5。119与与项项目目有有关关的的原原有有环环境境污污染染问问题题（2）现现有有工工程程废废水水污污染染源源源源强强生产区废水：项目生产区废水包括生产废水和生产区生活污水；其中生活污水经化粪池处理后进入废水站有机废水处理系统。生产废水采取分质分流收集处理，排放废水主要分为含氟废水（含氨废水）、酸碱废水、有机废水、研磨废水、含铜废水、公辅及环保设施排水。项目生产废水由各工序机台产生后，根据各机台废水的性质和成分，直接通过管道输送进入相应的废水收集池内，生产废水排入154、厂区自建污水处理站分质分流处理后，排入xx水质净化厂深度处理。生活区污水：本项目生活区污水主要是生活污水，经隔油池+三级化粪池处理后排入市政污水管网纳入xx水质净化厂深度处理。本评价根据近期“验收检测报告”（JAT230214E-LLH01-01）（附件17），确定项目废水污染物源强及排放情况。项目现有工程废水污染物排放情况见表2.3-6。121与与项项目目有有关关的的原原有有环环境境污污染染问问题题122与与项项目目有有关关的的原原有有环环境境污污染染问问题题123与与项项目目有有关关的的原原有有环环境境污污染染问问题题（3）现有工程废水治理措施及达标排放情况生产区废水：项目现有工程已建设生155、产废水处理系统一套，规模为 17250m/d，根据近期废水站统计水量，目前xx公司全厂废水总排放量约为 12372.03m/d，全厂生产废水回用量为 3967m/d，生产废水回用率为 25%。项目生产废水处理系统采用分质分流预处理后再排入综合废水系统。项目各废水处理工艺详见4.2.2。生活区污水：食堂废水经隔油池处理，与其他生活污水排入三级化粪池处理。124与与项项目目有有关关的的原原有有环环境境污污染染问问题题项目废水经处理达标后，经总排放口排入市政污水管网，再排入xx水质净化厂深度处理。根据“验收检测报告”（JAT230214E-LLH01-01）（附件 17）士兰集科现有工程废水经处理后156、，厂区污水处理站总排口 pH：7.5-7.8、COD14-25mg/L、BOD51.9-3.4mg/L、氨氮 7.71-8.03mg/L、SS4mg/L、氟化物 9.15-9.90mg/L、总磷1.41-1.47mg/L、总氮 26.2-40.8mg/L、总铜0.010mg/L、石油类 0.48-0.52mg/L、阴离子表面活性剂0.11mg/L。pH、COD、氨氮、SS、氟化物、总磷、总氮、石油类、阴离子表面活性剂、总铜排放浓度满足电子工业水污染物排放标准（GB39731-2020）表 1 半导体器件间接排放限值要求，BOD5排放浓度满足污水综合排放标准（GB8978-1996）表 4 三级157、标准要求。生活污水总排口 COD314-379mg/L、BOD569.9-84.5mg/L、氨氮 42.7-44.5mg/L、SS30-40mg/L、动植物油 0.53-0.60mg/L。COD、BOD5、SS、动植物油排放浓度满足污水综合排放标准（GB8978-1996）表 4 三级标准要求，氨氮排放浓度满足污水排入城镇下水道水质标准（GB/T31962-2015）标准要求。项目采取的废水治理措施可行。2、废废气气（1）废废气气来来源源及及采采取取的的治治理理措措施施项目废气污染源主要有酸性废气、有机废气、碱性废气、工艺废气（含硅烷、磷烷、含氟废气）、工艺废气（含砷废气）、氢酸排废气、一般排158、风（废热）、废水处理站废气、辅助工程产生的废气、生活区食堂油烟以及 EPI 工艺废气（目前尚未建设）。xx现有工程废气来源、组成及处理设施情况见表 2.3-7，项目现有工程废气处理设施现状照片见附图 15。125（2）废废气气达达标标排排放放情情况况有组织废气达标排放情况本评价根据现有工程“验收检测报告”（JAT230214E-LLH01-01）(附件 17)，确定项目废气污染物达标排放情况，见表 2.3-8，现有工程废气监测点位图见附图附图 18。126127与与项项目目有有关关的的原原有有环环境境污污染染问问题题128与与项项目目有有关关的的原原有有环环境境污污染染问问题题129与与项项目159、目有有关关的的原原有有环环境境污污染染问问题题130与与项项目目有有关关的的原原有有环环境境污污染染问问题题从表 2.3-8 可以看出，本项目 1#楼酸性废气处理设施 FQ-478201 二氧化硫、氮氧化物有组织排放浓度均为3mg/m3，氯气有组织排放浓度为0.2mg/m3，氯化氢有组织排放浓度为0.9mg/m3，硫酸雾有组织排放浓度为0.2-0.4mg/m3、排放速率为0.0442-0.0608kg/h，氟化物有组织排放浓度为 0.45-0.67mg/m3、排放速率为 0.0741-0.0794kg/h；1#楼酸性废气处理设施 FQ-480301 二氧化硫、氮氧化物有组织排放浓度131与项目160、有关的原有环境污染问题与项目有关的原有环境污染问题均为3mg/m3，氯气有组织排放浓度为0.2mg/m3，氯化氢有组织排放浓度为0.9mg/m3，硫酸雾有组织排放浓度为0.2-0.6mg/m3、排放速率为0.0904kg/h，氟化物有组织排放浓度为 0.49-0.77mg/m3、排放速率为 0.0732-0.0788kg/h；1#楼酸性废气处理设施 FQ-480302 二氧化硫、氮氧化物有组织排放浓度均为3mg/m3，氯气有组织排放浓度为0.2mg/m3，氯化氢有组织排放浓度为0.9mg/m3，硫酸雾有组织排放浓度为0.2-0.4mg/m3、排放速率为0.0411-0.0851kg/h，氟化物161、有组织排放浓度为 0.28-0.33mg/m3、排放速率为 0.0349-0.0762kg/h；1#楼酸性废气处理设施 FQ-202251-1 二氧化硫、氮氧化物有组织排放浓度均为3mg/m3，氯气有组织排放浓度为0.2mg/m3，氯化氢有组织排放浓度为0.9mg/m3，硫酸雾有组织排放浓度为0.2-0.6mg/m3、排放速率为 0.0273-0.0707kg/h，氟化物有组织排放浓度为 0.65-0.73mg/m3、排放速率为 0.0601-0.0758kg/h；1#楼氢酸排 FQ-202251-2 氟化物有组织排放浓度为 0.62-0.76mg/m3、排放速率为 0.0258-0.0321162、kg/h，氯化氢有组织排放浓度为 1.0-1.3mg/m3、排放速率为 0.0428-0.0540kg/h；1#楼有机废气处理设施 FQ-478203二氧化硫、氮氧化物有组织排放浓度均为3mg/m3，颗粒物有组织排放浓度为20mg/m3，非甲烷总烃有组织排放浓度为 8.75-10.6mg/m3，排放速率为 0.481-0.627kg/h；1#楼碱性废气处理设施 FQ-478206 氨气有组织排放浓度为 2.34-3.07mg/m3，排放速率为 0.100-0.135kg/h；1#楼碱性废气处理设施 FQ-480303 氨气有组织排放浓度为 2.15-3.10mg/m3，排放速率为 0.128-163、0.235kg/h；污水处理站废气氨气有组织排放浓度为 1.72-2.14mg/m3、排放速率为 0.0320-0.0408kg/h，硫化氢有组织排放浓度均为0.01mg/m3，臭气浓度最大值为 113。项目生产废气二氧化硫、氮氧化物、氯气、氯化氢、硫酸雾、氟化物、颗粒物、非甲烷总烃等均满足xx市大气污染物排放标准(DB35/323-2018)表 1、表 2 标准要求，工艺中排放的氨和废水处理站排放的氨、硫化氢、臭气浓度均满足恶臭污染物排放标准（GB14554-93）要求，项目采取的废气治理措施可行。无组织排放废气情况根据现有工程“验收检测报告”（JAT230214E-LLH01-01）（附件164、 17），项目现有工程废气污染物无组织排放监控点浓度情况见表 2.3-9、表 2.3-10。现有工程厂界132与与项项目目有有关关的的原原有有环环境境污污染染问问题题及厂房外无组织排放监测点位图见附图 18。点位情况133与与项项目目有有关关的的原原有有环环境境污污染染问问题题134与与项项目目有有关关的的原原有有环环境境污污染染问问题题135与与项项目目有有关关的的原原有有环环境境污污染染问问题题从表 2.3-9、表 2.3-10 可以看出：氟化物、非甲烷总烃、氮氧化物、氯气、氯化氢、硫酸雾厂界无组织最大排放浓度 分 别 为 0.0029mg/m3、0.99mg/m3、0.032mg/m3、165、0.09mg/m3、0.05mg/m3、0.020mg/m3，氨气、硫化氢、臭气浓度（无量纲）厂界无组织最大排放浓度分别为0.11mg/m3、0.003mg/m3、12，项目氟化物、非甲烷总烃、氮氧化物、氯气、氯化氢、硫酸雾等厂界无组织排放监控点浓度均可符合xx市大气污染物排放标准（DB35/323-2018）表 1、表 3 标准要求，氨、硫化氢、臭气浓度厂界无组织排放监控点浓度满足恶臭污染物排放标准（GB14554-93）要求。非甲烷总烃、氮氧化物、氟化物、氯化氢、硫酸雾、氯气厂房外无组织最大排放浓度分别为 1.16mg/m3、0.031mg/m3、0.0019mg/m3、0.05mg/m3166、1，表明该水质因子已超过了规定的水质标准。监测及平均结果监测结果见表 3.2-6，评价结果见表 3.2-7。155区区域域环环境境质质量量现现状状表表 3.2-7地地下下水水质质量量评评价价结结果果检检测测点点位位标标准准指指数数pH氨氨氮氮硝硝酸酸盐盐亚亚硝硝酸酸盐盐耗耗氧氧量量硫硫酸酸盐盐氯氯化化物物厂区地水监控井0.590.20.2050.0100.4570.5840.0952温厝0.35/0.480.0030.3600.1460.148禾山兜0.8/0.3450.0020.523/0.1428检检测测点点位位标标准准指指数数氟氟化化物物六六价价铬铬铜铜锌锌砷砷镍镍厂区地下水监控井0.167、4/0.00190.0054/温厝/0.0106/禾山兜0.3/0.0099/注：低于检出限本评价不再对其进行计算。从表 3.2-7 可以看出，项目所在区域温厝、禾山兜和厂区地下水监控井各项监测指标均可符合地下水质量标准（GB/T4848-2017）中 III 标准限值，区域地下水水质较好。4、土土壤壤环环境境质质量量现现状状为了解项目所在区域土壤环境质量现状，本评价单位委托xxxx检测技术有限公司对项目所在厂区土壤环境质量现状进行监测。监测单位：xxxx检测技术有限公司监测时间和频次：2023 年 2月 21日，1期 1 次。监测点位和监测因子本次土壤调查共在厂区范围内布设 3 个监测点位，168、监测点位和监测项目详见表 3.2-8，监测点位见附图 14。表表 3.2-8土土壤壤质质量量现现状状监监测测情情况况一一览览表表序号名称坐标采样种类监测项目数据来源1研发办公楼旁 01N242853.29E1175944.09表层样基本项目：45 项、总锌、石油烃JAT230214E-LLH01-02（附件 18）156区域环境质量现状区域环境质量现状2污水处理站旁 02N242857.89E1175949.37表层样 铜、砷、镍、总锌、石油烃3化学品仓库旁 03N24290.29E1175949.59表层样 铜、砷、镍、总锌、石油烃分析方法土壤监测因子分析方法见表 3.2-9。表表 3.2-169、9土壤污染物监测分析方法及检出限土壤污染物监测分析方法及检出限检测项目检测项目检测方法检测方法检出限检出限单位单位汞土壤质量 总汞的测定原子荧光法GB/T 22105.1-20080.002mg/kg砷土壤质量 总砷的测定 原子荧光法GB/T 22105.2-20080.01mg/kg铜土壤和沉积物 铜、锌、铅、镍、铬的测定火焰原子吸收分光光度法 HJ 491-20191mg/kg铅土壤质量 铅、镉的测定石墨炉原子吸收分光光度法 GB/T 17141-19970.1mg/kg镍土壤和沉积物 铜、锌、铅、镍、铬的测定火焰原子吸收分光光度法 HJ 491-20193mg/kg镉土壤质量 铅、镉的测170、定石墨炉原子吸收分光光度法 GB/T 17141-19970.01mg/kg六价铬土壤和沉积物 六价铬的测定 碱溶液提取-火焰原子吸收分光光度法 HJ 1082-20190.5mg/kg苯土壤和沉积物 挥发性有机物的测定吹扫捕集-气相色谱-质谱法 HJ 605-20111.9g/kg甲苯土壤和沉积物 挥发性有机物的测定吹扫捕集-气相色谱-质谱法 HJ 605-20111.3g/kg乙苯土壤和沉积物 挥发性有机物的测定吹扫捕集-气相色谱-质谱法 HJ 605-20111.2g/kg间,对-二甲苯土壤和沉积物 挥发性有机物的测定吹扫捕集-气相色谱-质谱法 HJ 605-20111.2g/kg苯乙烯171、土壤和沉积物 挥发性有机物的测定吹扫捕集-气相色谱-质谱法 HJ 605-20111.1g/kg邻-二甲苯土壤和沉积物 挥发性有机物的测定吹扫捕集-气相色谱-质谱法 HJ 605-20111.2g/kg1,2-二氯丙烷土壤和沉积物 挥发性有机物的测定吹扫捕集-气相色谱-质谱法 HJ 605-20111.1g/kg氯甲烷土壤和沉积物 挥发性有机物的测定吹扫捕集-气相色谱-质谱法 HJ 605-20111.0g/kg氯乙烯土壤和沉积物 挥发性有机物的测定吹扫捕集-气相色谱-质谱法 HJ 605-20111.0g/kg1,1-二氯乙烯土壤和沉积物 挥发性有机物的测定吹扫捕集-气相色谱-质谱法 HJ 172、605-20111.0g/kg二氯甲烷土壤和沉积物 挥发性有机物的测定吹扫捕集-气相色谱-质谱法 HJ 605-20111.5g/kg反式-1,2-二氯乙烯土壤和沉积物 挥发性有机物的测定吹扫捕集-气相色谱-质谱法 HJ 605-20111.4g/kg1,1-二氯乙烷土壤和沉积物 挥发性有机物的测定吹扫捕集-气相色谱-质谱法 HJ 605-20111.2g/kg157区域环境质量现状区域环境质量现状顺式-1,2-二氯乙烯土壤和沉积物 挥发性有机物的测定吹扫捕集-气相色谱-质谱法 HJ 605-20111.3g/kg1,1,1-三氯乙烷土壤和沉积物 挥发性有机物的测定吹扫捕集-气相色谱-质谱法 173、HJ 605-20111.3g/kg四氯化碳土壤和沉积物 挥发性有机物的测定吹扫捕集-气相色谱-质谱法 HJ 605-20111.3g/kg1,2-二氯乙烷土壤和沉积物 挥发性有机物的测定吹扫捕集-气相色谱-质谱法 HJ 605-20111.3g/kg三氯乙烯土壤和沉积物 挥发性有机物的测定吹扫捕集-气相色谱-质谱法 HJ 605-20111.2g/kg1,1,2-三氯乙烷土壤和沉积物 挥发性有机物的测定吹扫捕集-气相色谱-质谱法 HJ 605-20111.2g/kg四氯乙烯土壤和沉积物 挥发性有机物的测定吹扫捕集-气相色谱-质谱法 HJ 605-20111.4g/kg1,1,1,2-四氯乙烷174、土壤和沉积物 挥发性有机物的测定吹扫捕集-气相色谱-质谱法 HJ 605-20111.2g/kg1,1,2,2-四氯乙烷土壤和沉积物 挥发性有机物的测定吹扫捕集-气相色谱-质谱法 HJ 605-20111.2g/kg1,2,3-三氯丙烷土壤和沉积物 挥发性有机物的测定吹扫捕集-气相色谱-质谱法 HJ 605-20111.2g/kg氯苯土壤和沉积物 挥发性有机物的测定吹扫捕集-气相色谱-质谱法 HJ 605-20111.2g/kg1,4-二氯苯土壤和沉积物 挥发性有机物的测定吹扫捕集-气相色谱-质谱法 HJ 605-20111.5g/kg1,2-二氯苯土壤和沉积物 挥发性有机物的测定吹扫捕集-气175、相色谱-质谱法 HJ 605-20111.5g/kg氯仿土壤和沉积物 挥发性有机物的测定吹扫捕集-气相色谱-质谱法 HJ 605-20111.1g/kg2-氯苯酚土壤和沉积物 半挥发性有机物的测定气相色谱-质谱法 HJ 834-20170.06mg/kg萘土壤和沉积物 半挥发性有机物的测定气相色谱-质谱法 HJ 834-20170.09mg/kg苯并(a)蒽土壤和沉积物 半挥发性有机物的测定气相色谱-质谱法 HJ 834-20170.1mg/kg土壤和沉积物 半挥发性有机物的测定气相色谱-质谱法 HJ 834-20170.1mg/kg苯并(b)荧蒽土壤和沉积物 半挥发性有机物的测定气相色谱-质176、谱法 HJ 834-20170.2mg/kg苯并(k)荧蒽土壤和沉积物 半挥发性有机物的测定气相色谱-质谱法 HJ 834-20170.1mg/kg苯并(a)芘土壤和沉积物 半挥发性有机物的测定气相色谱-质谱法 HJ 834-20170.1mg/kg茚并(1,2,3-cd)芘土壤和沉积物 半挥发性有机物的测定气相色谱-质谱法 HJ 834-20170.1mg/kg二苯并(a,h)蒽土壤和沉积物 半挥发性有机物的测定气相色谱-质谱法 HJ 834-20170.1mg/kg硝基苯土壤和沉积物 半挥发性有机物的测定气相色谱-质谱法 HJ 834-20170.09mg/kg苯胺土壤和沉积物 半挥发性有177、机物的测定气相色谱-质谱法 HJ 834-20170.06mg/kg石油烃土壤和沉积物 石油烃(C10-C40)的测定 HJ1021-20196mg/kg158区区域域环环境境质质量量现现状状评价标准本项目区工业用地执行土壤环境质量 建设用地土壤污染风险管控标准（试行）（GB36600-2018）表 1、表 2第二类用地标准筛选值。土壤环境现状评价本评价采用单因子指数的方法及与标准限值直接比较的方法进行评价。单因子指数法：=/式中：Pi土壤中污染物 i 的单因子污染指数；Ci监测点位土壤中污染物 i 的实测浓度，单位与 Si 一致；农用地采用表层土壤污染物含量数据，建设用地若有分层土壤数据应分178、层分别计算 Pi；Si污染物 i 的评价标准值或参考值。单因子污染指数1，表明该土壤因子已超过了规定的标准。检测结果及评价结果159区区域域环环境境质质量量现现状状表表 3.2-11 建建设设用用地地土土壤壤环环境境现现状状评评价价单单因因子子指指数数一一览览表表序序号号检检测测项项目目第第二二类类用用地地筛筛选选值值(mg/kg)1#单单因因子子指指数数结结果果2#单单因因子子指指数数结结果果3#单单因因子子指指数数结结果果一一重重金金属属和和无无机机物物1砷600.19670.11630.15322镉65/-3铬(六价)5.7/-4铜180000.00030.00070.00105铅800179、0.0023-6汞380.0041-7镍9000.00890.00670.0089二二挥挥发发性性有有机机物物8四氯化碳2.8/-9氯仿0.9/-10氯甲烷37/-111,1-二氯乙烷9/-121,2-二氯乙烷5/-131,1-二氯乙烯66/-160区域环境质量现状区域环境质量现状14顺 1,2-二氯乙烯596/-15反 1,2-二氯乙烯54/-16二氯甲烷616/-171,2-二氯丙烷5/-181,1,1,2-四氯乙烷10/-191,1,2,2-四氯乙烷6.8/-20四氯乙烯53/-211,1,1-三氯乙烷840/-221,1,2-三氯乙烷2.8/-23三氯乙烯2.8/-241,2,3-三氯180、丙烷0.5/-25氯乙烯0.43/-26苯4/-27氯苯270/-281,2-二氯苯560/-291,4-二氯苯20/-30乙苯28/-31苯乙烯1290/-32甲苯1200/-33间,对二甲苯570/-34邻二甲苯640/-三三半挥发性有机物半挥发性有机物35硝基苯76/-36苯胺260/-372-氯酚2256/-38苯并a蒽15/-39苯并a芘1.5/-40苯并b荧蒽15/-41苯并k荧蒽151/-421293/-43二苯并（a,h）蒽1.5/-44茚并（1,2,3-cd）芘15/-45萘70/-四四石油烃类石油烃类46石油烃(C10-C40)45000.03510.02730.0262其181、它其它47锌/注：低于检出限不计算。从表 3.2-11 评价结果看，各点位各检测项目均能满足土壤环境质量 建设用地土壤污染风险管控标准（试行）（GB36600-2018）中表 1、表 2 中的第二类用地筛选值限值要求。项目所在地块土壤环境质量状况尚好，未受到污染。3.2.3电磁辐射电磁辐射本建设项目不属于电磁辐射类项目，无需开展电磁辐射现状监测与评价。161环境保护目标3.3 环境保护目标环境保护目标1、环境空气和环境风险主要保护目标见表 3.3-1，项目周边环境保护目标图见附图 12、附图 13。表表 3.3-1环境环境保护目标保护目标环境环境要素要素环境敏感环境敏感目标名称目标名称坐标坐标182、保护对象保护对象保护保护内容内容规模规模环境环境功能功能相对厂相对厂址方位址方位相对距相对距离离/mXY环境空气/环境风险青礁院前-243338居住区人群824 人二类区NW2433青礁-3385-1027居住区人群4394 人SW3537青礁小学-3033-704学校师生461师生SW3114古楼农场古楼-17281018居住区人群827 人NW1870上瑶-15481294居住区人群NW1692囷瑶石囷-1567-304居住区人群1419 人SW1451后山尾(待拆迁)-282-646居住区人群407 人SW556囷瑶-2014-998居住区人群1300 人SW1433xx农场禾山兜(待拆183、迁)-2341313居住区人群150 人NW862温厝村(待拆迁)889-322居住区人群1891 人SE350渐美村芦坑(待拆迁)2013980居住区人群870 人NE1580渐美村2535476居住区人群1748 人NE1867临港新城-987162居住区人群2100 人NW880保障性住房雍厝公寓-558106居住区人群/NW380锦里村锦里村-72-1606居住区人群3060 人SW1392锦里小学-63-1198学校师生546师生SW1265xx村-1348-2177居住区人群69000 人SW2376后井村-25-2577居住区人群4180 人SW2412兴港花园24501180居184、住区人群6720 人NE2650环境空气/环境风险圣地亚哥-3775229居住区人群5000 人二类区NW3651钟山村钟山村27451636居住区人群2000 人NE2458钟山小学28401722学校师生661师生NE2460天湖城3154410居住区人群10980 人NE2600水岸名筑2983-304居住区人群5000 人SE2470禹州尊府3744-1074居住区人群5000 人SE3221162未来海岸3878-1606居住区人群30000 人SE3404海达社区35921951居住区人群15 万人SE3230华师大xx附中-1425-304学校师生2200师生SW1601华师大x185、x附小-1281-513学校师生2000师生SW1380 xx外国语学校 2450580学校师生4240师生NE1884北师大xx附属学校3383-789学校师生3000师生SE3050水环境九龙江河口区/海域/三类海域控制S3440 xx水质净化厂 3370-1550 进水水质水质/SE3270项目及周边地下水项目所在区下游无地下水敏感目标注：以厂区西南角为坐标原点（0，0）。2、声环境经现场踏勘：项目厂界外 50m范围内无声环境保护目标。3、地下水环境经现场踏勘：项目选址厂界外 500 米范围内不存在地下水集中饮用水水源和热水、矿泉水、温泉等特殊地下水资源环境保护目标。4、生态环境本项目在186、xx公司现有厂区范围内进行，无新增用地，因此无生态环境保护目标。污染物排放控制标准3.4 污染物排放控制标准污染物排放控制标准3.4.1废水废水xx公司属xx水质净化厂服务范围，厂区达标外排废水经南海三路市政污水管网进入xx水质净化厂。根据xx市水污染物排放标准（DB35/322-2018）第 5.2.3 要求“出水排入建成运行的城镇污水处理厂（站）的排污单位，其间接排放限值按照现行国家或xx省的相关标准执行。本项目生活区废水排放执行污水综合排放标准（GB8978-1996）表 4 三级排放限值，其中氨氮、总氮、总磷执行污水排放城镇下水道水质标准（GB/T31962-2015）表 1 中 B 187、级标准；生产区废水执163行电子工业水污染物排放标准（GB39731-2020）。具体指标见表 3.4-1、表3.4-2。xx 水质净化厂出水水质执行城镇污水处理厂污染物排放标准（GB18918-2002）一级 A 标准及xx市水污染物排放标准（DB35/322-2018）表 2C 级标准，具体指标见表 3.4-3。表表 3.4-1项目水污染物排放标准项目水污染物排放标准序号序号项目项目三级标准三级标准（mg/L）标准来源标准来源污染物排放监污染物排放监控位置控位置1pH（无量纲）6-9污水综合排放标准（GB8978-1996）表 4 三级生活区污水排放口2化学需氧量5003生化需氧量3004188、悬浮物4005动植物油1006氨氮45污水排放城镇下水道水质标准（GB/T31962-2015）表 1 中 B 级标准7总氮708总磷8表表 3.4-2电子工业水污染物排放标准（电子工业水污染物排放标准（GB39731-2020）(摘录摘录)污染物污染物间接排放限值（间接排放限值（mg/L）污染物排放监控位置污染物排放监控位置半导体器件半导体器件pH值（无量纲）6.0-9.0企业废水总排口悬浮物（SS）400化学需氧量（CODCr）500石油类20氨氮45总氮70总磷8.0阴离子表面活性剂（LAS）20氟化物20总铜2.0总锌1.5总镍0.5车间或生产设施排放口单位产品基准排水量12 英寸芯片189、掩膜层数 35 层及以下11m3/片与污染物排放监控位置一致掩膜层数 35 层以上20m3/片表表 3.4-3xx市水污染物排放标准xx市水污染物排放标准(DBDB35/322-201835/322-2018)基本控制项目基本控制项目单位单位C 级标准级标准化学需氧量（CODCr）mg/L50悬浮物（SS）mg/L10164动植物油mg/L1.0总氮（以 N 计）mg/L15氨氮（以 N 计）mg/L5.0总磷（以 P 计）mg/L0.53.4.2废气废气根据xx市大气污染物排放标准(DB35/323-2018)中 4.3 说明：以非甲烷总烃作为排气筒和无组织挥发性有机物排放的综合控制指标，因190、此，生产过程中产生的有机废气按“非甲烷总烃”指标控制，即厂区生产废气“非甲烷总烃、二氧化硫、氮氧化物、烟尘、氯化氢、硫酸雾、氯气、氟化物”执行xx市大气污染物排放标准(DB35/323-2018)表 1、表 2、表 3 标准；砷烷和磷烷参考上海市地方标准大气污染物综合排放标准（DB31/933-2015）中排放限值，具体见表 3.4-4。工艺中排放的氨和废水处理站排放的氨、硫化氢、臭气浓度执行恶臭污染物排放标准（GB14554-93）。具体见表 3.4-5。表表 3.4-4 项目执行的大气污染物排放标准项目执行的大气污染物排放标准序序号号污染物名污染物名称称最高允许最高允许排放浓度排放浓度（m191、g/m3）最高允许排放最高允许排放速率（排气筒速率（排气筒高度高度15m）(kg/h)封闭设施无封闭设施无组织排放监组织排放监控浓度限值控浓度限值（mg/m3）单位周界无组单位周界无组织排放监控浓织排放监控浓度限值度限值（mg/m3）标准来源标准来源1二氧化硫2002.10.80.4xx市大气污染物排放标准（DB35/323-2018）2氮氧化物2000.620.240.123烟尘302.81.00.54氯化氢300.200.40.25硫酸雾a101.21.20.66氟化物b50.080.040.027氯气250.4c0.80.48非甲烷总烃601.84.02.09砷烷d1.00.0036kg192、/h（最高允许排放速率）参考上海市地方标准大气污染物综合排放标准（DB31/933-2015）10磷烷d1.00.022 kg/h（最高允许排放速率）注：a 火药厂除外的其他工业。b普钙工业除外的其他工业。c氯气以排气筒为 25m时的排放速率。d待国家污染物监测方法标准发布后实施。165表表 3.4-5恶臭污染物排放标准（恶臭污染物排放标准（GB14554-93）指标）指标污染物名称污染物名称与排气筒高度对应的大气污染物与排气筒高度对应的大气污染物最高允许排放速率最高允许排放速率(kg/h)厂界标准值厂界标准值（mg/m3）标准来源标准来源排气筒高度：排气筒高度：30m 排气筒高度：排气筒高度193、：40m氨20351.5GB14554-93硫化氢1.3/0.06臭气浓度（无量纲）1050020000203.4.3噪声噪声项目厂界噪声执行工业企业厂界环境噪声排放标准（GB12348-2008）中的 3 类标准，项目北侧临近次干道南海三路，即项目北侧执行 4 类标准，见表 3.4-6。表表 3.4-6 工业企业厂界环境噪声排放标准工业企业厂界环境噪声排放标准(GB12348-2008)摘录摘录级别级别时段时段标准限值（标准限值（dB）3 类昼间65夜间554 类昼间70夜间553.4.4固体废物固体废物生活垃圾处置执行中华人民共和国固体废物污染环境防治法（2020 年修订）“第四章 生活垃194、圾”相关规定要求。项目一般工业固体废物贮存、处置执行一般工业固体废物贮存和填埋污染控制标准（GB18599-2020），一般固体废物分类与代码（GB/T9198-2020）。危险废物在厂区内暂存执行危险废物贮存污染控制标准（GB18597-2023）相关规定。总量控制指标3.5 总量控制指标总量控制指标3.5.1水污染物排放总量控制指标水污染物排放总量控制指标1661、水污染物排放总量控制指标及来源分析厂区外排废水按厂区可分为生产区废水（包括生产废水和生产区生活污水）和生活区污水（为生活区生活污水）。项目生产区废水经废水站处理达标后经废水站总排口排入市政污水管网；生活区污水经隔油池+化粪池处理195、后经生活污水总排口排入市政污水管网。厂区内废水经市政污水管网，最终纳入xx水质净化厂处理。xx水质净化厂出水水质执行xx市水污染物排放标准（DB35/322-2018）表 2C 级标准。项目建成后废水总量控制指标见表 3.5-1。根据“xx省排污权指标交易凭证”（附件 12），xx公司已购买的废水排污权指标和新增排污权情况见表 3.5-1，新增排污权量需通过排污权交易获得。表表 3.5-1 项目废水总量控制指标项目废水总量控制指标 单位：单位：t/a项目项目现有工程已现有工程已批总量批总量本次新增总本次新增总量量扩建后全厂扩建后全厂总量总量已购买总量已购买总量拟新增购买拟新增购买总量总量来源来196、源COD214.745855.8238270.5696214.745855.8238海峡股权交易中心购买氨氮21.47465.582427.05721.47465.5824注：废水量以生产区排放废水量计。2、重金属排放总量符合性分析项目总铜、总镍、总锌排放量以达标排放进行控制。根据xx市环境保护局关于印发xx市涉及重金属污染物排放建设项目环境准入指导意见和负面清单（2018年版）的通知（厦环法规20183 号），第三项准入要求，第（三）条严格指标管控，第 3点设定排放重金属污染物的建设项目的投资强度或产值强度：A级（铅、汞、镉、铬、砷排放量之和）不低于 1亿元/千克，B级（镍、银、铜、钴排放量197、之和）不低于 1000万元/千克，级（锌、锰、铁、锡排放量之和）不低于 500万元/千克。本扩建项目新增总铜、总镍排放总量=20+4=24kg，总锌排放总量=77kg。重金属污染物产值强度 241000+77500=62500万元，本项目总投资 300000万元，可满足厦环法规20183号的控制要求。3.5.2废气排放总量控制指标废气排放总量控制指标167本项目新增二氧化硫、氮氧化物排放量见表 3.5-2。根据“xx省排污权指标交易凭证”（附件 12），xx公司已购买的废气排污权指标和新增排污权情况见表 3.5-2，新增排污权量需通过排污权交易获得，其它废气按达标排放要求控制。表表 3.5-2198、项目废气总量控制指标项目废气总量控制指标 单位：单位：t/a项目项目现有工程已现有工程已批总量批总量本次新增总本次新增总量量扩建后全厂扩建后全厂总量总量已购买总量已购买总量拟新增购买拟新增购买总量总量来源来源二氧化硫1.7143.23844.95241.7143.2384海峡股权交易中心购买氮氧化物8.1925.860114.05218.1925.86013.5.3VOCs 总量控制指标总量控制指标本项目主要从事集成电路和功率器件芯片生产，本次扩建工程产排为 12 英寸 IGBT，属于xx市重点发展产业指导目录（2021 年本）中的“三、半导体与集成电路 3.8 英寸及以上 IGBT、MOSF199、ET 等功率器件、MEMS 器件制造”属于xx市重点发展产业。参照执行关于加强xx区新阳片区排放 VOCs 建设项目环境监管的工作方案（厦环评20211 号），重点发展的产业、鼓励发展类产业、环评管理实施方式为审批告知承诺制的建设项目，由审批部门在政府收储的 VOCs 削减量调剂，无需获得 VOCs 总量来源。根据xx市生态环境准入清单（2021年）“xx市生态环境总体准入要xx市生态环境总体准入要求求”污染物排放管控中污染物排放管控中“涉新增 VOCs 项目，应实行 VOCs 区域内倍量削减替代，其中xx区新阳片区内工业园区企业的区域有效削减量与新增排放量比例不小于 2倍；全市除新阳片区外的200、其他工业园区不低于 1.5倍，其中省、市重点重大项目不低于 1.2倍。”本项目属于重点项目，项目新增 VOCs（以非甲烷总烃计）排放量为 2.4303t/a，区域削减量应为 1.2倍，即 2.9164t/a，由审批部门在政府收储的 VOCs 削减量调剂，详见表 3.5-3。涉 VOCs 建设项目排放总量控制情况自查表见表 3.5-4。168表表 3.5-3VOCs 削减情况一览表削减情况一览表污染物污染物本项目排放量（本项目排放量（t/a）削减替代倍数削减替代倍数区域削减量（区域削减量（t/a）非甲烷总烃2.43031.2 倍2.9164表表 3.5-4涉涉 VOCs 建设项目排放总量控制情况201、自查表建设项目排放总量控制情况自查表序号1地区xx市xx区项目基本信息企业名称xxxx电子有限公司地址xx省xx市xx区兰英路 89 号建设项目名称新增年产 30 万片 IGBT 功率器件芯片扩产项目建设性质扩建项目环境影响评价类别报告表国民经济行业类别C3973 集成电路制造环评审批文号/环评审批时间/本项目 VOCs 排放量2.4303总体工程预测排放总量6.4923（原环评及环评批复允许排放量，4.062）总体工程排放增减量+2.43031.2 倍消减替代量2.9164备注/说明：1.该表格按审批的建设项目环评文件填报（包括告知承诺制项目），数量单位按吨/年。4、固体废弃物排放总量控制指202、标本项目固体废物不自行处理排放，不设置固体废物总量控制指标。1694 4主要环境影响和保护措施主要环境影响和保护措施施工期环境保护措施本项目利用现有工程生产厂房生产，环保设施依托现有工程，仅增加含镍废水处理系统，施工期主要进行设备安装、管道、电力等施工，对环境影响轻微，本评价不再对施工期进行评价。运营期环境影响和保护措施本项目 IGBT 系列产品的生产工艺流程与现有工程相似，本报告污染源强分析主要采用产污系数法、类比法、物料衡算法进行分析确定。4.1 大气环境影响和污染防治措施大气环境影响和污染防治措施根据工程分析可知，本项目新增大气污染源主要为 G1 酸性废气、G2 有机废气、G3 工艺废气203、(不含砷废气)、G3工艺废气（含砷废气）、G4 碱性废气、G6 氢酸排废气、G7 废水处理站废气。酸性废气经密闭管道收集后引至厂房屋面采用碱性喷淋洗涤塔（10套，9用 1备）处理后由 5根 40m 排气筒排放；有机废气经密闭管道收集后引至厂房屋面，采用 2套转轮浓缩+焚烧系统处理后由 2根 40m 排气筒排放；工艺废气（不含砷废气）经车间设备自带尾气处理装置（POU处理器）处理后，尾气引入酸性废气处理系统处理后排放；工艺废气（含砷废气）经设备自带 POU干式吸附装置（2套）处理后，再经袋式过滤处理后，由 2根 35m 排气筒排放；碱性废气经密闭管道收集后，引至厂房屋面，采用酸液喷淋洗涤塔（4套204、，3用 1备）处理后，由 2根40m 排气筒排放；外延炉氢酸排废气经设备自带 local scrubber 燃烧+喷淋处理后，再进入喷淋洗涤塔（2套，1用 1备）处理后，由 1根 35m 排气筒排放；废水处理站废气采用 1套两级喷淋除臭装置处理后，由 1根 30m 排气筒排放。各污染物排放浓度和排放速率均可以满足xx市大气污染物排放标准（DB35/323-2018）及恶臭污染物排放标准(GB14554-93)表 2二级标准。因此项目采取的大气环境保护措施可行，在当前大气环境质量达标的情况下排放大气污染物不会改变区域环境空气质量等级，对敏感点的影响很小。项目大气环境影响和保护措施具体见大气环境影205、响专项评价。170运运营营期期环环境境影影响响和和保保护护措措施施4.2 地地表表水水环环境境影影响响和和污污染染防防治治措措施施4.2.1废废水水污污染染源源源源强强核核算算项目废水分质分流收集处理，排放废水主要分为含氟废水、含氨废水、酸碱废水、有机废水、研磨废水、含铜废水、含镍废水、含钯金废水、回收系统废水、公辅设施及环保设施排放废水等，以及职工生活污水。项目生产废水由各工序机台产生后，根据废水性质和成分，直接通过管道输送进入现有工程已建的废水收集池内；生产废水做到完全收集、分类处置。一一、废废水水污污染染源源产产生生情情况况根据水平衡表 2.1-23 和水平衡图 2.1-8，本工程各股生206、产废水源强如下：1、含氨废水本项目含氨废水主要是使用氨水清洗后排放的废水，新增产生量约为237.8m3/d。类比现有工程验收监测资料，本评价含氨废水水质情况见下表：含氨废水从设备配套的专用排水管排出，经含氨废水收集罐（生产厂房内）收集后，经提升泵送至厂区废水处理站的含氨废水处理系统，采用“吹脱+硫酸吸水法”处理后，尾水进入有机废水处理系统，污泥经浓缩、脱水后外运。2、含氟废水本项目含氟废水主要是使用氢氟酸清洗、蚀刻后清洗后排放废水的含氟废水，新增产生量约为 1123.4m3/d。类比现有工程验收监测资料，本评价含氟废水水质情况171运运营营期期环环境境影影响响和和保保护护措措施施见下表：含氟废207、水从设备配套的专用排水管排出，经含氟废水收集罐（生产厂房内）收集后，经提升泵送至厂区废水处理站的含氟废水处理系统，采用“二级化学沉淀法”处理后，进入有机废水处理系统，污泥经浓缩、脱水后外运。3、有机废水项目有机废水主要来自光刻、去胶等有机物质清洗后的排水，另外经化粪池处理后的生产区生活污水，工艺冷却水循环系统排水也进入有机废水处理系统，新增有机废水量为 244.4m3/d。类比现有工程监测资料，本评价有机废水水质情况见下表：项目有机废水从设备配套的专用排水管排出，经有机废水收集罐（生产厂房内）收集后，经提升泵送至厂区废水处理站的有机废水处理系统，采用“二级生化”处理后，进入废水总排放口，污泥经208、浓缩、脱水后外运。4、酸碱废水本项目酸碱废水主要来自生产工艺排放的新增酸洗清洗废水 694m/d。另外纯水系统排水、冷却塔排水、洗涤塔排水、回用水处理系统的排水（560.3m/d）也进入172运运营营期期环环境境影影响响和和保保护护措措施施酸碱废水处理系统处理等，新增进入酸碱废水处理系统废水量约 1259.9m3/d。类比现有工程验收监测资料，本评价酸碱废水水质情况见下表：项目酸碱废水从设备配套的专用排水管排出，经酸碱废水收集罐（生产厂房内）收集后，经提升泵送至厂区废水处理站的酸碱废水处理系统，采用“二级酸碱中和反应”处理后，进入废水总排放口，污泥经浓缩、脱水后外运。5、研磨废水本项目减薄工序209、研磨废水新增产生量为 181.5m3/d，主要污染物是 SS、COD。类比现有工程监测资料，本评价研磨废水水质情况见下表：项目研磨废水从设备配套的专用排水管排出，经研磨废水收集罐（生产厂房内）收集后，经提升泵送至厂区废水处理站的研磨废水处理系统，采用“混凝沉淀”处理后，进入废水总排放口，污泥经浓缩、脱水后外运。6、回收水系统本项目厂房生产过程中可回收约 551.2m3/d 废水，经回用水处理系统采用“活性炭过滤+RO 反渗透装置”处理后，约 496.1m3/d 回用于纯水制备初纯水系统，约55.1m3/d进入酸碱废水处理系统处理。173运营期环境影响和保护措施运营期环境影响和保护措施7、含铜废210、水本项目含铜废水主要来自电镀铜工序，根据水平衡分析，项目新增含铜废水产生量约 8.2m/d。根据物料平衡，进入废水中的总铜的量 19.8kg/a，则废水中总铜平均浓度约为 6.8mg/L。含铜废水采用“两级化学混凝法”工艺处理。项目含铜废水从设备配套的专用排水管排出，经含铜废水收集罐（生产厂房内）收集后，经提升泵送至厂区废水处理站的含铜废水处理系统，采用“两级化学混凝沉淀”处理后，进入废水总排放口，污泥经浓缩、脱水后外运。8、含镍废水本项目含镍废水主要来自化学镀工艺的沉锌、化镀镍、镀金、酸褪除工序，新增含镍废水产生量约 43.5m/d。含镍废水采用“两级化混法+回收系统”工艺处理。根据物料平衡211、计算，进入废水中总镍的量 129.86kg/a，则废水中总镍平均浓度约为 8.4mg/L。项目化学镍工艺新增使用醋酸锌的量 1313L/a（5-10%），其中锌的量为 30.8-61.6kg/a（计算取最大值），按最不利情况锌全部进入废水计，则废水中锌的平均浓度为 3.2mg/L（计算取 5mg/L）。9、含钯金废水本项目含钯金废水主要来自化学镀工艺的镀钯工序，新增含钯金废水产生量约6.9m/d。含钯金废水采用“两级树脂吸附法”工艺处理。项目化学镍工艺新增使用硫酸钯盐的量 517L/a（1-2.5%），其中钯的量为 2.7-6.8kg/a（计算取最大值），按最不利情况即钯全部进入废水计，则废水212、中钯的平均浓度为 2.8mg/L（计算取 5mg/L）。10、生活污水项目生活污水包括生产区生活污水和生活区生活污水，生产区生活污水新增产生量为 13.9m/d，生活区生活污水新增产生量为 8.1m3/d，其中生产区生活污水经化粪池预处理后，排入有机废水处理系统处理。根据中华人民共和国生态环境部 2021年 6 月 1 日在其官网发布的排放源统计调查产排污核算方法和系数手册中的生活污染源产排污系数手册章节可知，xx属于第四区较发达城市市区，城镇174运运营营期期环环境境影影响响和和保保护护措措施施生活污水中各污染物浓度大致为：COD：340mg/L、BOD5：200mg/L、SS：400mg/213、L、NH3-N：32.6mg/L，（其中 BOD5参照第二次全国污染源普查生活污染源产排污系数手册（试用版）（生态环境部华南环境科学研究所，2019年 4月）第一分册表 6-4，SS参照第一次全国污染源普查生活污染源产排污系数手册）。本评价考虑保守取值为 COD：500mg/L、BOD5：300mg/L、NH3-N：45mg/L、SS：400mg/L、动植物油：10mg/L。项目废水污染源产生情况见表 4.2-1。175运运营营期期环环境境影影响响和和保保护护措措施施176运营期环境影响和保护措施图图4.2-1 酸酸碱碱废废水水处处理理工工艺艺流流程程图图图图4.2-2 含含氨氨废废水水处处理214、理工工艺艺流流程程图图177图图4.2-3 含含氟氟废废水水处处理理工工艺艺流流程程图图图图4.2-4 有有机机废废水水处处理理工工艺艺流流程程图图178图图4.2-5 研研磨磨废废水水处处理理工工艺艺流流程程图图图图4.2-6 回回收收水水系系统统处处理理工工艺艺流流程程图图179图图4.2-7 含含镍镍废废水水系系统统处处理理工工艺艺流流程程图图图图4.2-8 含含钯钯金金废废水水系系统统处处理理工工艺艺流流程程图图180运营期环境影响和保护措施运营期环境影响和保护措施3、废水处理工艺技术可行性分析、废水处理工艺技术可行性分析项目生产废水采取分质分流的处理方式，根据设计，本次扩建工程新增含215、氟废水处理能力 540m/d，其他设施均依托现有工程，扩建后废水站处理规模可满足全厂废水处理能力需求。对照排污许可证申请与核发技术规范 电子工业（HJ1021-2019）附录 B 表B.2 电子工业排污单位废水防治可行技术参考表，本项目采取的含氨废水、含氟废水、有机废水、含镍废水防治措施均为可行技术，详见表 4.2-2。表表 4.2-2项目废水防治措施可行技术对照表项目废水防治措施可行技术对照表废水名称废水名称污染物项目污染物项目HJ1021-2019）附录）附录 B 表表B.2 可行技术可行技术本项目采取防治措施本项目采取防治措施 是否可行技术是否可行技术含氨废水氨氮、氟化物吹脱法，生化法吹216、脱+硫酸吸水法是含氟废水氟化物化学沉淀法二级混凝、絮凝、沉淀是有机废水化学需氧量、氨氮生化法，酸析法+Fenton氧化法，酸析法+微电解法、膜法二级生化法是含镍废水总镍化学还原法、电解法；化学沉淀法、离子交换 法、反渗透法、其他化学沉淀法、反渗透法是总锌化学沉淀法、其他化学沉淀法、反渗透法是生活污水化学需氧量、氨氮等隔油池+化粪池隔油池+三级化粪池是项目酸碱废水采用“二级酸碱中和反应”处理工艺处理，研磨废水采用混凝沉淀处理工艺。根据现有工程近期验收监测报告，项目生产废水经处理后，废水总排放口出水水质情况：pH：7.5-7.8（6，9）、COD14-25mg/L、BOD51.9-3.4mg/L、217、氨氮 7.71-8.03mg/L、SS4mg/L、氟化物 9.15-9.90mg/L、总磷 1.41-1.47mg/L、总氮26.2-40.8mg/L、总铜 0.010mg/L、石油类 0.48-0.52mg/L、阴离子 表面活性剂0.11mg/L。pH、COD、氨氮、SS、氟化物、总磷、总氮、石油类、阴离子表面活性剂、总铜排放浓度满足电子工业水污染物排放标准（GB39731-2020）表 1 半导体器件间接排放限值要求，BOD5排放浓度满足污水综合排放标准（GB8978-1996）表 4 三 级 标 准 要 求。生 活 污 水 总 排 口 COD314-379mg/L、BOD569.9-18218、1运营期环境影响和保护措施运营期环境影响和保护措施84.5mg/L、氨氮 42.7-44.5mg/L、SS30-40mg/L、动植物油 0.53-0.60mg/L。COD、BOD5、SS、动植物油排放浓度满足污水综合排放标准（GB8978-1996）表 4 三级标准要求，氨氮排放浓度满足污水排入城镇下水道水质标准（GB/T31962-2015）标准要求。综上所述，项目采取的废水防治措施技术可行。4、项目废水依托xx水质净化厂可行性分析、项目废水依托xx水质净化厂可行性分析（1）xx水质净化厂运行情况xx水质净化厂位于xx市西部xx台商投资区，一期工程处理能力 10 万m3/d，远期规划处理规模219、为 40 万 m3/d，一期工程于 2000 年 6 月竣工通水；2018 年xx水质净化厂进行提标改造，经提标改造后xx水质净化厂排放废水执行xx市水污染物排放标准（DB35/322-2018）表 2A 级标准。2020 年xx水质净化厂进行扩建，扩建后总处理能力为 20 万 m/d，技改和扩建工程已建成并已通过竣工环境保护验收。xx水质净化厂采用“预处理+AAO+深度处理+消毒”的污水处理工艺，设计出水质达城镇污水处理厂污染物排放标准一级 A标准和xx市水污染物排放标准（DB35/322-2018）表 2C 级标准。xx水质净化厂处理工艺流程图见图 4.2-9。图图 4.2-9 xx水质净220、化厂处理工艺流程图xx水质净化厂处理工艺流程图（2）纳管可行性分析xx水质净化厂主要承担xx新阳工业区、南部工业区、生活新市区、港区四大功能区及东孚镇的工业废水和生活污水的处理。本项目在xx水质净化厂服务范182运营期环境影响和保护措施运营期环境影响和保护措施围，项目现有工程已取得排水证（附件 9），废水可排入xx水质净化厂。项目生产废水经厂区配套的废水处理站处理达到电子工业水污染物排放标准（GB39731-2020），生活区生活污水处理达到污水综合排放标准（GB8978-1996）表 4 三级和污水排放城镇下水道水质标准（GB/T31962-2015）表 1 中 B 级标准，处理达标废水经总221、排放口排入南海三路市政污水管中，项目污水经南海三路海新路囷瑶泵站角嵩路最终进入xx水质净化厂（详见附图 21 厂区外排废水排放走向图），项目污水经xx水质净化厂处理达标后排放。（3）本项目污水进入xx水质净化厂的可行性分析经查阅xx省污染源监测信息综合发布平台发布的 2023 年一季度企业监测数据，xx水质净化厂 2023 年第一季度工况负荷为 85%，尚有余量 30000m/d。本项目建成后新增废水排放量为 3153.1m/d，占xx水质净化厂总处理能力（20 万m3/d）的 1.58%，占xx水质净化厂剩余处理能力的 10.51%。从水量上分析，本扩建项目废水经处理达标后排放，不会对xx水222、质净化厂水量造成水力冲击负荷。本扩建项目与现有工程废水类型相同，主要污染物为 pH、COD、BOD5、氨氮、氟化物、总磷、总氮、总铜、总镍、总锌等，与现有工程水质相近。从xx省污染源监测信息综合发布平台发布的 2023 年一季度企业监测数据可知，2023年第一季度，xx水质净化厂各项检测指标均达到排放标准要求。本扩建项目废水经处理达标后，排入xx水质净化厂，不会对其现有水质造成冲击负荷。本项目在废水处理站设置了废水应急池，由于项目生产废水采取分流分治的方法，不同废水处理系统相对独立，而全部处理系统同时发生故障的可能性极小，建设单位在废水处理站设置 2 座废水事故应急池，总有效容积为 3200m223、3（3000m+200m），用于废水事故排放时紧急储存。而对于易损设备，厂区内应备有备份，另外，厂内配置设备基本故障维修人员。若遇大故障不能及时解决的，则建设单位应当停止生产，待废水处理设施正常运行后，再投入生产。因此，废水处理站发生事故时，本项目废水中特征污染物不会未经处理直接排放至xx水质净化厂，不会对xx水质净化厂的正常运行产生冲击。183运营期环境影响和保护措施运营期环境影响和保护措施本扩建项目废水排入xx水质净化厂处理可行。184运营期环境影响和保护措施4.3 声环境影响和污染防治措施声环境影响和污染防治措施4.3.1噪声噪声源强源强本扩建工程新增的生产设备均置于密闭的生产车间内，不224、会对厂区噪声产生明显影响。本工程新增 5 套废气处理系统及 5台冷却塔系统，均布置在 12 英吋厂房屋面。本项目生产车间在密闭的洁净室内，密封性较好，无尘室外噪声级小于 50dB(A)，本评价主要分析室外噪声污染源源强的影响。本项目室外噪声污染源源强核算结果及相关参数见表 4.3-1。表表 4.3-1 工业企业噪声源强调查清单（室外声源）工业企业噪声源强调查清单（室外声源）序号序号声源名称声源名称空间相对位置空间相对位置/m声源源强声源源强声源控制措施声源控制措施运行时段运行时段XYZ声功率级/dB(A)1冷却塔 1-9912713.280基础减振、安装落水消能降噪材料、距离衰减昼间、夜间2冷225、却塔 2-9212513.280昼间、夜间3冷却塔 3-7710513.280昼间、夜间4冷却塔 4-7010313.280昼间、夜间5冷却塔 5-6310213.280昼间、夜间6酸性废气处理设施 1-11228613.285基础减振、风机排气口安装降噪设备，并带有内置降噪插件，安装风机隔音罩等昼间、夜间7酸性废气处理设施 2-11029213.285昼间、夜间8有机废气处理设施-13421013.285昼间、夜间9碱性废气处理设施-12125713.285昼间、夜间10含砷废气处理设施-15815113.285昼间、夜间注：采取设减振基础声源控制措施后，降噪量以 10dB(A)计。注：项目226、以厂界东南角为坐标原点（0，0，0），东西方向为 X 轴、南北方向为 Y 轴。185运营期环境影响和保护措施4.3.2降噪措施降噪措施结合现场踏勘和项目平面布置图，建设单位拟采取适当的降噪措施，具体如下：A.选购低噪声设备，合理布置噪声源，根据项目车间平面布置图，生产设备全部位于密闭洁净车间内西北侧，通过车间墙体阻挡噪声传播。B.室外主要噪声源上安装基础减振垫减振处理。C.风机安装减震器、风机排气口安装降噪设备，并带有内置降噪插件，安装风机隔音罩等。D.冷却塔采取基础减振、安装落水消能降噪材料，再通过距离衰减，减少对周边环境产生影响。E.加强对所有设备的维护和日常维护管理，维持设备处于良好的运227、转状态，避免因设备不正常运转而产生的高噪声现象。经过以上处理再加上距离衰减后，噪声排放可符合工业企业厂界环境噪声排放标准（GB12348-2008）表 1 中 3 类、4a 类标准。因此，本项目噪声治理措施技术可行。4.3.3声环境影响分析声环境影响分析本评价采用环境影响评价技术导则 声环境(HJ2.4.2021)附录 A（规范性附录）户外声传播的衰减和附录 B（规范性附录）中“B.1 工业噪声预测计算模型”。对室外噪声源主要考虑噪声的几何发散衰减及环境因素衰减：L2=L1-20lg(r2/r1)-L式中：L2点声源在预测点产生的声压级，dB(A)；L1点声源在参考点产生的声压级，dB(A)；228、r2预测点距声源的距离，m；r1参考点距声源的距离，m；L各种因素引起的衰减量（包括声屏障、空气吸收等引起的衰减186运营期环境影响和保护措施量），dB(A)。设第 i 个室外声源在预测点产生的 A 声级为 LAi，在 T 时间内该声源工作时间为 ti；第 j 个等效室外声源在预测点产生的 A 声级为 LAj，在 T 时间内该声源工作时间为 tj，则拟建工程声源对预测点产生的贡献值（Leqg）为：式中：Leqg建设项目声源在预测点产生的噪声贡献值，dB；T用于计算等效声级的时间，s；N室外声源隔声；ti在 T 时间内 i声源工作时间，s；M等效室外声源个数；tj在 T 时间内 j声源工作时间，229、s。对各个噪声源至预测点的声压级进行叠加，按声压级定义合成的声压级为：式中：LA多个噪声源叠加的综合噪声声级，dB(A)；Li第 i 个噪声源的声级，dB(A)；N噪声源的个数。项目厂界噪声预测结果与达标分析见表 4.3-1。表表 4.3-1 厂界厂界噪声预测结果与达标分析表噪声预测结果与达标分析表预测方位预测方位空间相对位置空间相对位置/m时段时段预测值预测值（dB(A)）标准限值标准限值（dB(A)）达标情达标情况况XYZ东侧厂界471381.2昼间36.165达标夜间36.155南侧厂界-190551.2昼间37.265达标夜间37.255西侧厂界-3852701.2昼间30.665达标230、夜间30.655北侧厂界-1343371.2昼间40.370达标夜间40.355注：项目以厂界东南角为坐标原点（0，0，0），东西方向为 X 轴、南北方向为 Y 轴。187运营期环境影响和保护措施由表 4.3-1 可知，项目生产设备及辅助合并设备噪声对各厂界噪声的贡献值为30.640.3dB（A）。项目在采取隔声、减振、降噪措施后，厂区北侧厂界噪声可满足工业企业厂界环境噪声排放标准（GB12348-2008）中的 4 类标准，东、南、西侧厂界噪声可满足工业企业厂界环境噪声排放标准（GB12348-2008）中的 3类标准。4.3.4监测计划监测计划根据排污单位自行监测技术指南 总则（HJ819231、-2017），项目噪声监测计划如下：表表 4.3-1噪声噪声监测计划一览表监测计划一览表序号序号类型类型监测位置监测位置监测项目监测项目监测频次监测频次备注备注1厂界噪声厂界四周等效昼间/夜间连续 A 声级季度委托监测4.4 固体废物环境影响和污染防治措施固体废物环境影响和污染防治措施4.4.1固体废物产生情况固体废物产生情况本项目生产过程主要固体废物是一般固废、危险固废和生活垃圾。（1）生活垃圾）生活垃圾本项目新增员 310 工人，员工按产垃圾 0.5kg/人d 计算，每年工作时间 355天，则员工生活垃圾约 55.025t/a；另外还有新增员工食堂厨余垃圾产生量约 220t/a。（2）一般232、工业固废）一般工业固废废包装材料项目一般工业固废主要是为废纸类、废塑料类等废包装物，类比现有工程，这部分废纸、废塑料等废包装物产生量约 157.5t/a。废水处理系统污泥工业废水处理沉淀污泥产生量计算公式：321i10100()(100）XpCCQVi式中：Vi沉淀池沉淀污泥量，m3/d；188运营期环境影响和保护措施Q废水流量，m3/d；C1、C2进水、出水的悬浮物浓度，kg/m3；X污泥含水率，80%；Pi污泥密度，t/m3，取 1.3t/m3。根据水平衡可知，本项目进入废水站处理的新增生产废水约 3166.8m3/d，进水悬 浮 物 浓 度 按 最 大 300mg/L（0.30kg/m3233、），设 计 出 水 悬 浮 物 浓 度 250mg/L（0.25kg/m3）估算，污泥含水率取 80%，则项目新增污泥产生量约为 1.03m3/d，约365.7t/a。废 UV膜、废研磨垫项目使用的 UV 膜、研磨垫最终均以废物的形式收集，类比现有工程，废 UV膜、废研磨垫新增产生量约 262.5t/a。废硫酸铵项目含氨废水采用“吹脱+硫酸吸水法”，处理过程中会产生饱和的硫酸铵溶液，类比现有工程，废硫酸铵新增产生量约 686t/a。废制纯水树脂项目纯水制备有采用离子交换树脂，定期更换，类比现有工程，废制纯水树脂新增产生量约 2.5t/a。废芯片项目检验工序会产生废芯片，类比现有工程，废芯片产生234、量约 0.6t/a。（3）危险固废）危险固废废有机溶剂：主要为芯片光刻、去胶、有机清洗等工序使用的光刻胶、去胶液、异丙醇等有机溶剂产生的废有机溶剂，属于危险废物，危废类别为 HW06（废有机溶剂与含有机溶剂废物）。根据类比现有工程，废有机溶剂中废异丙醇新增产生量 80t/a，代码为 900-402-06；废去胶液等有机废液新增产生量 378.1t/a，代码为900-404-06；其他有机废液新增产生量 330t/a，代码为 900-404-06。废有机溶剂委托有资质的单位处理。189运营期环境影响和保护措施废酸液：项目刻蚀工序使用 811 硅腐蚀液、硫酸、磷酸、Al 腐蚀液等，其主要成份为硫酸235、磷酸、硝酸、乙酸等；根据类比现有工程，这部分废酸也新增产生量约 1160t/a。属于危险废物，危废类别为 HW34（废酸），代码为 398-007-34，委托有资质的单位处理。废 BOE 蚀刻液、氟化铵腐蚀液等无机含氟废酸液：项目湿法刻蚀用到 BOE蚀刻液、腐蚀液、氟化铵腐蚀液，类比现有工程这部分废液新增产生量约 10t/a。属于危险废物，危废类别为 HW32（无机氟化物废物），代码 900-026-32，部分排入含氟废水处理系统处理，部分委托有资质单位处置。废显影液：主要来自生产中的光刻工序，类比现有工程，废显影液新增产生量约 5t/a，属于危险废物，危废类别为 HW16（感光材料废物），236、代码 398-001-16，排入有机废水处理系统处理。化学品废包装物：项目化学品废包装物主要为光刻胶、显影液、去胶液等有机物和各类酸的包装桶，类比现有工程，化学品废包装物新增产生量约 55t/a，属于危险废物，危废类别为 HW49（其他废物），代码 900-041-49，委托有资质的单位处置。废含砷滤芯和布袋项目含砷废气采用干式吸附+袋式过滤处理工艺，干式吸附的滤芯定期更换，类比现有工程，废含砷滤芯和布袋新增产生量约 1.2t/a。属于危险废物，危废类别为HW49（其他废物），代码 900-041-49，委托有资质的单位处置。表面处理废物（含镍废物）含镍废液和含镍污泥项目化学镀镍、沉锌工序会产237、生含镍废液，根据建设单位提供资料及化学镀生产线槽液更换频次估算含镍废液新增产生量约 28.81t/a。项目含镍废水处理，含镍废水经处理产生的污泥，经压滤机脱水（含水率约 80%）。参考污染源源强核算技术指南 电镀（HJ984-2018）第 8 条固体废物源强核算方法 8.3 款物料衡算法。当采用化学法处理电镀废水时，废水中的污泥产生量按下式计算：190运营期环境影响和保护措施M=（1.7c3q3+c4q4）10-3式中：M单位时间内污泥产生量（绝干量），kg/dc3废水中除铁和铬离子以外的金属离子质量浓度总和，mg/Lc4废水中悬浮物质量浓度，mg/Lq3、q4对应于相应污染物的处理水量，m/238、d项目含镍污泥的产生量约为 33.6t/a。则项目表面处理废物（含镍废物）产生量约 54.535t/a，危废类别为 HW17（表面处理废物），代码 336-055-17，委托有资质的单位处置。含钯废液项目化学镀生产线镀钯工序会产生含钯废液，根据建设单位提供资料及化学镀生产线槽液更换频次估算含钯废液新增产生量约 0.935t/a，属于危险废物，危废类别为 HW17（表面处理废物），代码 336-063-17，委托有资质的单位处置。含金废液项目化学镀生产线镀金工序会产生含金废液，根据建设单位提供资料及化学镀生产线槽液更换频次估算含金废液新增产生量约 0.935t/a，属于危险废物，危废类别为 HW239、17（表面处理废物），代码 336-063-17，委托有资质的单位处置。吸附树脂项目含钯金废水采用树脂吸附处理，树脂 180 天更换一次，更换下的树脂产生量约 6t/a，属于危险废物，危废类别为 HW13（有机树脂类废物），代码 900-015-13，委托有资质的单位处置。废活性炭项目在有机废气处理设备检修时启用备用的一套活性炭吸附装置，该活性炭装置定期更换活性炭，类比现有工程，废活性炭产生量约 16.2t/a，属于危险废物，危废类别为 HW49（其他废物），代码 900-039-49，委托有资质的单位处置。废汞灯项目生产使用含汞荧光灯管和含汞电光源，类比现有工程，废弃的含汞荧光灯191运营期240、环境影响和保护措施管和含汞电光源产生量约 0.5t/a，属于危险废物，危废类别为 HW29（含汞废物），代码 900-023-29，委托有资质的单位处置。废润滑油项目设备维护会产生少量废润滑油，类比现有工程，废润滑油产生量 0.5t/a，属于危险废物，危废类别为 HW08（废矿物油与含矿物油废物），代码 900-214-08，委托有资质的单位处置。根据国家危险废物名录(2021 年版)，本项目危险废物详情具体见表 4.4-1。项目全厂固体废物污染源源强核算结果见表 4.4-2。192193194运运营营期期环环境境影影响响和和保保护护措措施施1954.4.2环环境境管管理理要要求求1、生活垃圾241、管理要求项目生活垃圾管理依托现有工程。依法履行生活垃圾源头减量和分类投放义务，承担生活垃圾产生者责任。依法在指定的地点分类投放生活垃圾。禁止随意倾倒、抛撒、堆放或者焚烧生活垃圾。2、一般固废管理要求项目一般固废管理依托现有工程，具体如下：（1）建立健全工业固体废物产生、收集、贮存、运输、利用、处置全过程的污染环境防治责任制度，建立工业固体废物管理台账，如实记录产生工业固体废物的种类、数量、流向、贮存、利用、处置等信息，实现工业固体废物可追溯、可查询，并采取防治工业固体废物污染环境的措施。（2）禁止向生活垃圾收集设施中投放工业固体废物。（3）委托他人运输、利用、处置工业固体废物的，应当对受托方的242、主体资格和技术能力进行核实，依法签订书面合同，在合同中约定污染防治要求。（4）应当取得排污许可证。产生工业固体废物的单位应当向所在地生态环境主管部门提供工业固体废物的种类、数量、流向、贮存、利用、处置等有关资料，以及减少工业固体废物产生、促进综合利用的具体措施，并执行排污许可管理制度的相关规定。196运营期环境影响和保护措施运营期环境影响和保护措施（5）不相容的一般工业固体废物需设置不同的分区进行贮存。危险废物和生活垃圾不得进入一般工业固体废物贮存场及填埋场。（6）贮存场的环境保护图形标志需符合 GB15562.2 的规定，并定期检查和维护。3、危险废物管理要求项目危险废物管理依托现有工程，危243、废暂存点环境管理要求如下：（1）贮存设施运行环境管理要求危险废物存入贮存设施前应对危险废物类别和特性与危险废物标签等危险废物识别标志的一致性进行核验，不一致的或类别、特性不明的不应存入。应定期检查危险废物的贮存状况，及时清理贮存设施地面，更换破损泄漏的危险废物贮存容器 和包装物，保证堆存危险废物的防雨、防风、防扬尘等设施功能完好。作业设备及车辆等结束作业离开贮存设施时，应对其残留的危险废物进行清理，清理的废物或 清洗废水应收集处理。贮存设施运行期间，应按国家有关标准和规定建立危险废物管理台账并保存。贮存设施所有者或运营者应建立贮存设施环境管理制度、管理人员岗位职责制度、设施运行操作制度、人员岗244、位培训制度等。贮存设施所有者或运营者应依据国家土壤和地下水污染防治的有关规定，结合贮存设施特点建 立土壤和地下水污染隐患排查制度，并定期开展隐患排查；发现隐患应及时采取措施消除隐患，并建立档案。贮存设施所有者或运营者应建立贮存设施全部档案，包括设计、施工、验收、运行、监测和环境应急等，应按国家有关档案管理的法律法规进行整理和归档。（2）贮存点环境管理要求贮存点应具有固定的区域边界，并应采取与其他区域进行隔离的措施。贮存点应采取防风、防雨、防晒和防止危险废物流失、扬散等措施。197运营期环境影响和保护措施运营期环境影响和保护措施贮存点贮存的危险废物应置于容器或包装物中，不应直接散堆。贮存点应根据245、危险废物的形态、物理化学性质、包装形式等，采取防渗、防漏等污染防治措施或采用具有相应功能的装置。贮存点应及时清运贮存的危险废物，实时贮存量不应超过 3 吨。4.4.3固体废物处置措施固体废物处置措施1、固体废物处置原则固体废物处置原则根据中华人民共和国固体废物污染环境防治法、一般工业固体废物贮存和填埋污染控制标准（GB18599-2020）和危险废物贮存污染控制标准（GB18597-2023）（2023 年 7 月 1 日实施）有关规定，采取措施减少固体废物产生量，促进固体废物的综合利用，降低固体废物危害性，避免造成二次污染。2、生活垃圾、生活垃圾职工生活垃圾分类收集后统一交由环卫部门清运处置246、，食堂餐厨垃圾收集后委托有资质单位处理。3、一般工业固体废物一般工业固体废物处置措施处置措施项目一般工业固废主要是为可回收废包装物、废 UV 膜、废研磨垫、废芯片、废水处理污泥等，收集后定期外售给相应回收厂家回收处理。本项目厂区设置 1 间一般固废暂存点设于资源回收站内，面积约 157m2，采取如下措施：（1）贮存区设分隔设施，不同类型的固体废物分开贮存。禁止向生活垃圾收集设施中投放工业固体废物。（2）一般工业固体废物暂放区避免雨水冲刷。（3）一般工业固体废物暂放区为密封车间，地面应采用 46cm 厚水泥防渗。（4）贮存、处置场所地应按环境保护图形标志-固体废物贮存（处置）场所（GB15562247、.2-1995）设置环境保护图形标志。（5）建立健全工业固体废物产生、收集、贮存、运输、利用、处置全过程的污染环境防治责任制度，建立工业固体废物管理台账，如实记录产生工业固体废物的198运运营营期期环环境境影影响响和和保保护护措措施施种类、数量、流向、贮存、利用、处置等信息，实现工业固体废物可追溯、可查询。（6）一般工业固废委托有资质的单位运输、利用、处置，应当对受托方的主体资格和技术能力进行核实，依法签订书面合同，在合同中约定污染防治要求。4、危危险险废废物物处处置置措措施施项目产生的危险废物均委托有资质单位处理，一般 1 周2 周处理 1 次。项目资源回收站分为一般固废储存区（157m2）248、危险固废储存区（314m2），在厂房内设有废液收集区，面积约 720m2，主要收集车间内产生废显影液、废去胶液、废 IPA；项目资源回收站设有危险固废收集区（分为废液间、空桶间、其它危废间等），面积约 314m2，主要暂存厂区内产生的除废液收集区外的其它危险固废。项目各类危险固废的产生量、贮存期限见表 4.4-3，项目危险废物各贮存场所（设施）可满足项目危废的贮存要求。199运营期环境影响和保护措施运营期环境影响和保护措施（1）危险废物分别装入密闭容器后，暂存库内的危险废物采取分类堆放，并设有隔离间隔断。每个部分都有防漏裙脚，防漏裙脚的材料与危险废物相容，并分别设置警示标识。每个堆间留有搬运249、通道。（2）危废品暂存间防风防雨防晒，地面按危险废物贮存污染控制标准（GB18597-2023）中要求进行防腐防渗，并设置堵截渗漏的裙脚。（3）危险废物分类装入容器，容器及材质要满足相应的强度要求，装载危险废物的容器完好无损。盛装危险废物的容器上粘贴清晰表明危险废物名称、种类、数量等的标签。对于在常温常压下不水解、不挥发的固体危险废物可在暂贮库分别堆放，无法装入常用容器的危险废物可用防漏胶袋等盛装。（4）禁止将不相容（相互反应）的危险废物在同一容器内混装。危险废物暂存库内清理出来的泄漏物，一律按危险废物处理。（5）危险废物暂存库管理员作好危险废物情况的记录，记录上注明危险废物的名称、来源、数量250、特性和包装容器的类别、入库日期、存放库位、废物出库日期及委托处置接收单位名称。危险废物的记录和货单在危险废物回取后继续保留三年。（6）项目危废品暂存场所设置要求做好封闭管理，专人管理，设置警示标识，设置围堰、地面采取防腐防渗措施，做到防扬散、防流失、防渗漏。（7）危险废物贮存设施必须按危险废物识别标志设置技术规范（HJ1276-2022）的规定设置警示标志。危险废物贮存设施周围设置围墙或其它防护栅栏。危险废物贮存设施配备通讯设备、照明设施、安全防护服装及工具，并设有应急防护设施。危险废物贮存设施内清理出来的泄漏物，一律按危险废物处理。（8）生产过程中产生的危险固废收集于密闭罐或密闭桶内，均暂251、存于废液收集区或资源回收站内的危险固废暂存间内。资源回收站具有防风、防雨、防腐、防渗功能，危险废物在贮存过程中对环境空气、地表水、地下水、土壤影响较小。5、运输过程的污染防治措施、运输过程的污染防治措施200运营期环境影响和保护措施运营期环境影响和保护措施（1）厂区内的运输生产车间内产生的废液经管道输送至废液收集区内，在厂区内需运输的危险固废，如桶装废液等应储于密闭的包装桶内，防止运输过程中洒落。厂区内转运由专人负责，持证上岗。厂区内应规划好危险固废的转运路线，确保危废的转运线路在厂区内安全、便捷。（2）厂外内的运输项目应对受委托处置单位的转移和处置进行全过程跟踪，并严格按危险废物转移联单管理252、办法执行。对危险固废的运输路线应事先规划，选择安全、便捷路线，并尽量偏离居民聚居点。对运输单位进行管理，采取了危废运输三联单位制进行相应的考核，确保危险固废得到妥善处理，避免对环境造成二次污染。若发现运输车车辆偏离指定路线时或因车辆故障倾倒在半路上，工作人员马上利用 GPS 掌握车辆运输的行踪，会同运输单位负责人到现场处理转运清理事项，确保危废固废运输到指定地点。4.5 地下水环境影响和污染防治措施地下水环境影响和污染防治措施1、场地地下水水文地质条件、场地地下水水文地质条件根据项目所在厂区的12 吋特色工艺半导体芯片制造生产线建设项目岩土工程勘察报告书，项目地块地下水相关资料如下：（1）地下253、水类型及埋藏条件根据项目场地的岩土层分布情况及地质环境条件分析，拟建场地地下水主要赋存和运移于残积砂质粘性土及基岩风化层的孔隙网状裂隙中，其次为填土层的孔隙中。该场地的粉质粘土在局部地段零星分布，并且根据土层特征及工程经验，粉质粘土与残积土的透水性能无明显突变，该场地的地下水类型属潜水。根据各岩土层特征判断：素填土-1 属弱透水层，杂填土-2 及填石-3 属强201运营期环境影响和保护措施运营期环境影响和保护措施透水层，勘察时-1 层及-2 层大多位于地下水位以上，填石-3 仅局部分布，厚度小，故该三层土的富水性较差；粉质粘土属微弱透水层，富水性差较差；残积砂质粘性土、全风化花岗岩、散体状强风254、化花岗岩-1 的透水性能为弱透水透水，透水性及富水性较差一般，呈渐变过渡状态，无明显分界线；碎块状强风化花岗岩-2 与中风化花岗岩的透水性和富水性受裂隙的发育和性质（裂隙宽度及充填情况）的控制和影响，具各向异性。根据钻探揭露，场地内的基岩风化层裂隙多呈闭合状，导水性较差，地下水量不会太大，但不排除局部存在破碎带，导水性较好而致水量较大的可能。总之，该场地地下水量不会太大，但不排除局部存在基岩破碎带，导水性较好而致水量较大的可能。（2）地下水腐蚀性评价该场地地下水对混凝土结构具微腐蚀性；对钢筋混凝土结构中的钢筋：在长期浸水或干湿交夫条件下均具微腐蚀性；根据省标岩土工程勘察规范（DBJ13-84-255、2006）12.8.6条判定，其对钢结构具弱腐蚀性。（3）地下水补给、排泄和渗流状态该场地地下水主要受大气降雨垂直下渗补给及相邻含水层内地下水的侧向径流补给；地下水通过蒸发及地下侧向径流等方式排泄。根据勘察期间统一量测的地下水稳定水位标高，结合场地的地形地貌与周边的排水条件，地下水由东向西排泄（渗流）.（4）地下水水位勘察期间经历过降雨，但地下水位的观测在雨后水位恢复常态后进行，故可认为测得的水位为平水期的常水位。通过逐孔量测，场地内地下水初见水位埋深0.204.31m，高程 8.5213.18m；稳定水位埋深 0.204.04m，高程 8.8113.22m。据了解，该场地东侧原地势较高的地段256、所在区域的地下水的历史最高水位约为14.5m，近 35 年最高水位约为 13.5m；西面无专门的地下水位观测资料。目前，该场地所在区域已进行了大规模的场平施工及道路建设，地坪标高也发生了很大变202运营期环境影响和保护措施运营期环境影响和保护措施化。由于地下水位受地形控制，故现在场平后的地下水位的埋深态势较原始地貌也产生了较大变化。根据场地所处位置、区域的气候特征、周边排水条件，参考区域水文地质资料，估计该场地在场平后的地下水位年变化幅度约 12m。该场地的最高地下水位按设计室外地坪标高下 0.5m考虑。项目水文地质图见附图 22项目区水文地质图。2、地下水开采现状、地下水开采现状区域上，村庄257、居民生活用水多采用自来水作为生产生活用水，区域上无地下水集中开采水源地。项目区水文地质单元内的地下水、地表水未作为引用水源。总之，该区域地下水仅零星开采，开采量小且分散，对地下水水位、水资源量影响甚微。3、场地地下水环境质量现状、场地地下水环境质量现状根据表 3.2-6 地下水监测结果，项目所在区域温厝、禾山兜和厂区地下水监控井各项监测指标均可符合地下水质量标准（GB/T4848-2017）中 III 标准限值，区域地下水水质较好。3、地下水环境影响分析、地下水环境影响分析项目可能对地下水产生污染的途径为：废水收集、排放管道，废水处理站、化学品库，危险废物贮存间等，若没有采取防渗措施或防渗建设258、不理想，导致物料中有害成分或废水渗漏到地下含水层，而污染地下水。（1）项目生活用水均采用自来水，不取用地下水，不会对区域地下水的水位、水量产生影响。（2）项目废气均可达标排放，各污染物最大地面浓度占标率较小，对区域环境空气贡献值较小，在降雨过程中，随着雨水的降落后，对地下水环境的影响很小。（3）厂区内的废水管道、废水处理站各建构筑物、化学品库，危险废物贮存间等均采用混凝土防渗，且厂区道路均铺设水泥硬化地面。（4）一般固废暂存点场地按照一般工业固体废物贮存和填埋污染控制标准（GB18599-2020）设计，地面进行硬化，确保做到三防；项目危险废物贮存间按203运营期环境影响和保护措施运营期环境影259、响和保护措施危险废物贮存污染控制标准（GB18597-2023）进行设计，且具有防雨、防渗、防风、防日晒的功能。本项目所在区域不属于地下水供排水区，附近居民全部使用市政自来水，不会影响周围居民饮用水。采取上述防腐防渗措施后，可基本消除可能对地下水造成的影响，项目正常运营对周边地下水环境影响是可控的。4、地下水污染防治措施、地下水污染防治措施（1）项目可能污染地下水的途径项目建设对地下水环境的影响主要体现在项目危险化学品发生泄漏、废水站池体发生泄漏，酸、碱、氟化物、有机、铜、镍、锌等污染因子进入地下水，从而污染地下水。（2）项目地下水污染防治分区及措施重点污染防治区重点污染防治区：指位于地下或半260、地下的生产功能单元，污染地下水环境的物料泄漏后，不容易被及时发现和处理的区域；以及泄漏可能对区域地下造成较大的影响的单元。结合项目工程特征，本项目地下水重点污染防治区主要包括：厂房一层生产区和废水处理站、仓库、废液收集区、资源回收站、事故池及初期雨水池、生活污水管和生产废水管等。防渗要求：重点污染区基础必须采取防渗措施，参考石油化工工程防渗技术规范(GB/T50934-2013)进行防渗设计，防渗层的防渗性能不应低于等效黏土防渗层Mb6.0m，K110-7cm/s 的防渗性能。防渗措施：各单元应采取混凝土地面三油二布或五油三布环氧树脂防腐地面，防渗系数达到 10-10cm/s 则可满足要求。一261、般污染防治区一般污染防治区：指裸露于地面的生产功能单元，污染地下水环境的物料泄漏204运营期环境影响和保护措施运营期环境影响和保护措施后，容易被及时发现和处理的区域。结合项目工程特征，本项目地下水一般污染防治区主要包括：综合动力站、特气站等。防渗要求：一般污染防治区基础必须采用防渗措施，参考石油化工工程防渗技术规范(GB/T50934-2013)，防渗层的防渗性能不应低于等效黏土防渗层 Mb1.5m，K110-7cm/s的防渗性能。防渗措施：各单元地面采用地面硬化、三布五油环氧树脂防腐地面，通过在抗渗钢筋混凝土面层中掺水泥基防水剂，其下垫砂石基层，原土夯实达到防渗的目的。非污染防治区非污染防治262、区：指不会对地下水环境造成污染的区域。本项目地下水非污染防治区除了重点及一般防护区外的区域，本项目主要是厂房内辅助办公区、厂区道路等。防渗要求：对于基本上不产生污染的非污染防治区，不采取专门针对地下水污染的防治措施。若污染事故发生或发现监控井地下水受到污染时，应及时报告项目环境管理机构负责人，由其采取必要的应急处置措施及防治措施，当事故发展事态继续发展，厂区应急措施及防治措施无法控制事故事态时，及时上报生态环境主管部门请求援助。4、跟踪监测计划、跟踪监测计划xx公司已建立厂区地下水环境监控体系。包括建立地下水污染监控点和环境管理体系，将地下水监测纳入年度监测计划，以便及时发现问题，及时采取措施263、。本项目已设有一个地下水长期监测井。依托企业现有工程的地下水跟踪监测计划实施。4.6 土壤环境影响分析和污染防治措施土壤环境影响分析和污染防治措施205运营期环境影响和保护措施运营期环境影响和保护措施1、土壤环境影响类型与途径识别、土壤环境影响类型与途径识别本项目对土壤造成的污染影响途径主要为地面漫流、垂直入渗、大气沉降。大气沉降：项目运营阶段排放的大气污染物中主要为酸性气体、碱性气体、有机废气等，进入大气中，通过大气颗粒的物理运动过程控制，在外界条件改变时，通过大气传输沉降作用到地表，因此本项目废气污染物的排放可能会随着大气沉降等进入土壤，对土壤环境产生影响。地面漫流：本项目运营过程会产生酸264、碱废水、含氟废水、含氨废水、有机废气、含铜废水等生产废水，生产废水处理设施池体均采取防渗处理，正常情况下不会对土壤造成影响。事故情况下废水会发生漫流，可能对土壤环境产生影响。项目厂区地面硬化，且有雨污排水截留收集设施；生产车间地面采取防渗和收集措施；危废暂存间按相关要求进行防渗，液态危险废物配套托盘或围堰设施。企业设置废水防控系统，保证可能受污染的雨水截留至雨水沟，最终进入事故应急池。全面防控事故废水和可能受污染的雨水发生地面漫流，进入土壤。在全面落实三级防控措施的情况下，项目物料或污染物的地面漫流对土壤影响较小。垂直入渗：本项目运营过程生产废水、危险废物、化学品原辅材料等在事故情况下，会造成265、废水/废液、溶液等泄漏，通过垂直入渗途径污染土壤。本项目生产设施、危险废物仓库和化学品原辅材料仓库均为地上，位于室内，且地面硬化并采取防渗措施，并设有围堰和导流沟等收集设施。在全面落实分区防渗措施的情况下，营运期污染物的垂直入渗对土壤影响较小。本项目土壤环境影响类型和影响途径见表 4.6-1，土壤环境影响源及影响因子识别见表 4.6-2。表表 4.6-1 建设项目土壤环境影响类型和影响途径表建设项目土壤环境影响类型和影响途径表不同时段不同时段大气沉降大气沉降地面漫流地面漫流垂直入渗垂直入渗其他其他建设期-运营期-注：在可能产生的土壤影响类型处打“”，列表未涵盖可以自己设计。206运营期环境影响266、和保护措施运营期环境影响和保护措施表表 4.6-2建设项目土壤环境影响源及影响因子识别表建设项目土壤环境影响源及影响因子识别表污染源污染源工艺流程工艺流程/产生节点产生节点污染途径污染途径污染因子污染因子备注备注危险化学品危险化学品暂存垂直入渗酸碱、氟化物、有机物等事故废水站废水处理地面漫流pH、COD、氨氮、氟化物、总铜、总镍、总锌、总磷、总氮等事故废气处理设施废气处理大气沉降HCl、硫酸雾、氯气、氟化物、NOx、非甲烷总烃、砷烷、磷烷、氨等连续、正常废液收集区废液贮存垂直入渗酸碱、氟化物、有机物等事故资源回收站危废贮存垂直入渗酸碱、氟化物、有机物、铜、镍砷等事故2、土壤环境影响分析、土壤环267、境影响分析（1）酸污染对土壤的影响分析酸渗入土壤后，土壤酸化，使土壤中的 Ca、Mg、Fe 等阳离子迅速损失，破坏土壤的营养结构，从而使土壤变得贫瘠，影响植物的生长和发育。同时也会使土壤中的微量重金属溶出，如 Ni、Al、Hg、Cd、Pb、Cu、Zn 等，在植物体内积累或进入水体造成污染，加快重金属的迁移。酸渗入土壤会造成土壤微生物分解有机物的能力下降，影响土壤微生物的氨化、硝化、固氮等作用，直接抑制由微生物参与的氮素分解、同化与固定，最终降低土壤养分供应力，影响植物的营养代谢。（2）重金属对土壤及植物的影响土壤中重金属元素存在形式：重金属元素在土壤溶液中呈胶体状态，主要发生在湿润气候地区和富268、含有机质的酸性条件下，土壤中存在的有机和无机胶体对金属离子的吸附固定，它是许多金属离子和分子从不饱和溶液中转入固相的主要途径，是重金属在土壤积累而被污染的重要原因。土壤酸碱度与重金属迁移转化：在碱性条件下，进入土壤的重金属多呈难溶态的氢氧化物，也可能以碳酸盐和磷酸盐的形态存在。它们的溶解度都比较小，因此土壤溶液中重金属的离子浓度也较低。土壤胶体的吸附作用与重金属迁移转化：土壤中含有丰富的无机和有机胶体。对进入土壤中的重金属元素具有明显的固定作207运营期环境影响和保护措施运营期环境影响和保护措施用。土壤中重金属的络合螯合作用：重金属元素在土壤中除了吸附作用以外，还存在着络合、螯合作用。一般认为269、，当金属离子浓度高时，以吸附交换作用为主，而土壤溶液中重金属离子浓度低时，则以络合-螯合作用为主。重金属对植物的影响植物对重金属的吸收与积累，决定于环境中重金属的浓度、土壤条件、植物的叶片大小和形状等。一般情况下，植物吸收的重金属主要累积在根部，只有少数才转移到地上部分。积累在根、茎和叶内的铅，可影响植物的生长发育，使植物受害。重金属对植物的危害表现为叶绿素下降，阻碍植物的呼吸及光合作用。（3）有机物对土壤影响分析有机物进入土壤的数量和速度超过了土壤的净化作用的速度，破坏了自然动态平衡，使污染物的积累过程逐渐占据优势，从而导致土壤自然正常功能失调，土壤质量下降，并影响到作物的生长发育，以及产量270、和质量下降。有机物污染进入土壤后，可危及农作物生长和土壤生物的生存，如稻田因施用含有二苯醚的污泥造成稻苗大面积死亡，泥鳅、鳝鱼绝迹。人体接触污染土壤后，手脚出现红色皮疹，并有恶心，头晕现象。3、土壤环境保护与污染防控措施、土壤环境保护与污染防控措施源头控制措施从原料和产品储存、装卸、运输、生产过程、污染处理装置等全过程控制各种有毒有害原辅材料、中间材料、产品泄漏（含跑冒滴漏），同时对有害物质可能泄漏到地面的区域采取防渗措施，阻止进入土壤中，即从源头到末端全方位采取控制措施，防止项目建设对土壤造成污染。过程控制措施涉及地面入渗影响的需要分区防渗，分为重点污染防治区、一般污染防治区、非污染防治区。271、项目厂区内各重点防治区进行防腐防渗处理，达到防渗要求后，可避免液态污染物下渗至土层。208运营期环境影响和保护措施运营期环境影响和保护措施项目运行过程中，加大对各类废气的治理力度，确保各类废气治理设施的正常运行，减少大气污染物的排放量。废水站、化学品车间及危险废物暂存间等重点污染区内地面及排水明沟做防渗漏处理。设置风险事故应急池，对事故状态下的消防废水进行收集，防治由于消防废水的下渗对土壤环境造成影响。建设单位还应通过加强环境管理措施来降低对土壤环境的影响，具体如下：加强内部管理，将土壤污染防治纳入项目环境风险防控体系，严格依法依规建设和运行污染治理设施，确保重点污染物稳定达标排放；另外，提供272、企业员工污染隐患和环境风险防范意识，并定期开展培训。设置专门管理制度，加强对原辅材料及危险废物的规范化管理，定期巡查维护环保设施的运行情况，及时处理非正常运行情况；按照环境保护主管部门的规定和监测规范，对其用地及周边土壤环境至少每 5年开展一次监测，监测结果如实向环保主管部门备案；建立相应制度，对运行期项目可能造成的土壤污染问题承担相应的责任并进行修复，将其列入企业内部的环保管理规定中。综上所述，加强项目运行过程中环境管理，确保厂区废水、废气处理设施正常运行并达标排放的情况下，项目实施对厂区及周边土壤环境的影响可控。风险控制措施一级防控：设置托盘、防溢门槛，设有收集沟和收集井；二级防控：依托现273、有工程事故应急池，全部事故废水全部进入事故应急池；三级防控：依托现有工程厂区雨水总排放口设置的切断装置，防止事故状态下物料经雨水管进入地表水体。4、跟踪监测计划、跟踪监测计划依托企业现有工程的土壤跟踪监测计划实施。209运营期环境影响和保护措施运营期环境影响和保护措施4.7 环境风险影响分析环境风险影响分析4.7.1环境风险影响分析环境风险影响分析项目环境风险影响分析具体见本项目“环境风险评价专项”。根据环境风险评价专项分析，项目发生环境风险的影响如下：（1）砷烷泄漏根据“环境风险评价专项”表 5.1-2 及轮廓线图可知，砷烷单瓶泄漏时，周边敏感目标均不在相应考量指标浓度范围内。（2）氯气泄漏274、根据表“环境风险评价专项”5.1-3 及轮廓线图可知，氯气单瓶泄漏时，在 D 稳定度，风速（2.6m/s）下，预测时刻 5min 时，保障性住房雍厝公寓在毒性终点浓度-2 范围内；保障性住房雍厝公寓东侧边界在毒性终点浓度-1 范围内；预测时刻 10min时，临港新城在毒性终点浓度-2 范围内；其它敏感目标均不在相应考量指标浓度范围内。在 F 稳定度，风速（1.5m/s）下，预测时刻 10min 时，规划居住区（H2016P03 地块）东侧边界在毒性终点浓度-2 范围内；预测时刻 30min 时，距离特气站临港新城在毒性终点浓度-2 范围内；其它敏感目标均不在相应考量指标浓度范围内。（3）氨气泄275、漏根据表“环境风险评价专项”5.1-4 及轮廓线图可知，氨气单瓶泄漏时，在 F 稳定度，风速（1.5m/s）预测时刻 10min 时，保障性住房雍厝公寓在毒性终点浓度-2范围内，其它各敏感目标均不在相应考量指标浓度范围内。（4）火灾伴生 CO排放根据表“环境风险评价专项”5.2-2 可知，项目仓库 1 中二氯乙烷 DCE 燃烧发生火灾产生 CO排放，周边敏感目标均不在相应考量指标浓度范围内。可见，项目应做好风险防范措施，避免化学品发生泄漏事故。210运运营营期期环环境境影影响响和和保保护护措措施施4.7.2环环境境风风险险防防范范措措施施及及应应急急预预案案1、突突发发环环境境事事件件应应急急276、预预案案与与应应急急物物质质装装备备情情况况xx公司已组织编制了xxxx电子有限公司突发环境事件应急预案 公司已按生态环境部企业事业单位突发环境事件应急预案备案管理办法（试行）（环发20154号），xx省环保厅转发环保部关于印发企业事业单位突发环境事件应急预案备案管理办法（试行）的通知(闽环保应急20152号)、企2、危危险险化化学学品品管管理理要要求求本项目所有化学品存储均依托现有工程，厂区设置专门的化学品库、化学品供应间，用于储存化学品原料和供应生产等。项目化学品仓库已按照危险化学品仓库储存通则（GB15603-2022）、腐蚀性商品贮藏养护技术条件（GB17815-1999）、毒害性商品277、贮藏养护技术条件（GB17916-1999）等规定设置，并在贮存、使用危险化学品中已落实各项规定要求业突发环境事件风险评估指南(试行)等要求，备齐应急物质装备，并且每年开展环境突发事件应急演练，一旦发生风险事故，尽量控制和减轻事故的危害。根据现场调查，项目厂区内已做好各类风险单元的防范措施，且已编制应急预案，运行至今未发生环境风险事故，厂区采取的环境风险防范措施可行，厂区内的环境风险是可控的。3、化化学学品品泄泄漏漏应应急急处处理理措措施施（1）供应系统发生泄漏，漏液侦测器监测到漏液信号，关断化学品供应，停泵。（2）车间设备发生泄漏，联动关断阀门，设备宕机。（3）车间供应管路发生泄漏，地面的漏278、液侦测带报警，专业人员入厂排查处置。211运营期环境影响和保护措施运营期环境影响和保护措施4、特气泄漏应急处理措施特气泄漏应急处理措施（1）公司在有毒有害气体储存、使用相关位置安装有报警仪器，具体见表 6.2-1，各气体报警值见表 6.2-2。报警信号传至报警监控中心，能在荧光屏上直观显示出具体故障位置，以便作迅速排除处理。监控报警中心设专人 24 小时值班。报警仪器每年校正一次，2年进行更换，可以维持在有效的准确度。（2）特气发生泄漏，特气泄漏报警器发出预报警，控制室声光报警，通知报警区域人员穿戴好防护用品，排查现场情况一段报警；（3）控制室、现场灯光闪烁，通知报警区域人员穿戴好防护用品，排279、查现场情况二段报警；（4）控制室、现场声光报警，报警区域人员疏散，专业人员入厂处置。（5）仓库存放气体泄漏，侦测器联动开启事故排风，喷淋洗涤。（6）特气供应间发生泄漏，侦测器联动开启事故排风，喷淋洗涤，同时气瓶联动关闭阀门防止大量泄漏。（7）车间设备发生特气泄漏，联动关闭气体供应系统阀门，设备宕机。5、火灾、爆炸风险防范措施、火灾、爆炸风险防范措施为了防范火灾风险，企业严格执行建筑设计防火规范（GB50016-2014）（2018 年版）有关规定，按照消防部门的要求，进一步落实和加强消防设施建设，杜绝任何火灾事故的发生。厂区已设置消防控制室，对火警及联动信息进行管理。6、危险废物风险防范措施、280、危险废物风险防范措施（1）根据不同类别危险废物，分区储藏，并放置于适当的环境条件中保存。（2）危险废物贮存场所有明显警示标识，设有围堰，地面及围堰均做防渗、防腐处理等防范措施，危险废物周边设有导流渠和收集池。（3）建立危险废物管理台账，出入库前均按要求进行检查验收、登记，记录上须注明危险废物的名称、来源、数量、特性和包装容器的类别、入库日期、存放库位、废物出库日期及接收单位名称，经核对后方可入库、出库。（4）专人定期巡查险废物储存场所，做到一日两检，并做好检查记录发现泄漏212运营期环境影响和保护措施运营期环境影响和保护措施问题及时解决，并做好记录。（5）危险废物交由有资质单位处理处置，落实联281、单登记制度。（6）根据危险废物特性和仓库条件，配备有相应的消防设备、设施和灭火剂，如干粉、砂土等，并配备经过培训的消防人员。7、废水事故排放风险防范措施、废水事故排放风险防范措施（1）废水处理站建有 2 座事故应急池，总有效容积 3200m3（3000m+200m），废水处理系统一旦发生故障，所有未处理的废水全部收集至废水处理站设有的废水事故收集池，室外排水沟也作防渗处理。（2）废水处理系统配备备用设备或配件，一旦设备出现故障或出水水质不稳定，能及时更换处理设备或配件。电源配备应急发电机，应急发电机能在断电后 20秒内启动，确保设备不断电。（3）在废水总排口安装在线监测系统，可测 pH、COD282、氨氮、氟化物、总磷，当出水浓度超过设计值时，会自动报警，提醒工作人员作出相应调整。（4）废水处理站内的处理工艺、加药系统和流量控制系统均安装在线自动化检测仪器，发生故障时，可及时报警并停止向外排放废水。（5）值班人员每日对废水系统进行巡检，发现系统异常或缺失及时报告工程师，对每日废水日常事务的处理情况进行记录，并做好交接。（6）保养人员按照文件规定的保养内容及保养周期进行设备的维护保养，并做好保养点检记录，工程师对保养工作执行情况进行检查确认，并对未按计划完成的保养内容进行追踪跟进，确保维护保养工作有序有效地进行，确保系统稳定运行。（7）若发生在废水站内不可控事故，生产车间可立即停止生产，杜283、绝废水增量。8、废气事故排放风险防范措施、废气事故排放风险防范措施（1）企业在车间开工时，首先运行所有的废气处理装置、除害装置，然后再开启车间的工艺流程，使在生产中所使用的各类化学品所产生的废气都能得到处理。（2）车间停工时，所有的废气处理装置、除害装置继续运转，待工艺中的废气213运营期环境影响和保护措施运营期环境影响和保护措施完全排出之后才逐台关闭。（3）如果全厂停电，停止生产，无污染物产生。为确保安全，含砷废气系统风机仍然继续运转（采用 UPS）。（4）废气处理系统和排风机均设有保安电源，系统设有备用风机（N+1）配置。（5）设备每年检修一次，基本上能保证无故障运行。日常运行中，若出现故284、障，检修人员可立即到现场进行维修，一般操作在 30 分钟内基本上可以完成，预计最长不会超过 60分钟。（6）当某一废气处理设施出现故障时，联动启用备用设施，必要时停止生产原料的供给。9、消防废水和初期雨水收集与处理措施、消防废水和初期雨水收集与处理措施厂区设有消防废水收集池，有效容积为 1500m3，根据估算，项目厂区内最大消防水量约 936m3，可满足需求；厂区四周配套建设有总有效容积为 400m3的初期雨水收集池（4100m3），根据估算，项目生产区需收集的初期雨水量约 135.3m3（不包括进入雨水回收池的量），可满足需求。根据厂区的管线综合图，生产区在每个雨水排放口附近均设置事故雨水收285、集池（有效容积 100m3），生产区内的雨水管线可与该应急池相衔接，并且雨水管线与应急池、厂区雨水总排口均设有电动闸板阀，下雨初期或发生消防事故、泄漏事故时将关闭雨水管与市政雨水管的电动闸板阀，开启与应急池的电动闸板阀，初期雨水或事故废水经管道进入收集池内；下雨后期则关闭初期雨水管进入收集池的阀门，开启与市政雨水管网的电动闸板阀，雨水进入市政雨水管网内。收集于应急池内的消防废水或初期雨水分流限量进入厂区废水处理站处理。1 10 0、事故工况下包络线范围内的管控要求、事故工况下包络线范围内的管控要求根据分析可知，项目砷烷、氯气、氨气单瓶泄漏时对周边环境有一定影响，但主要还是在厂区范围内。因此一旦286、发生事故时，应及时疏散厂区及周边民众，参与抢险的人员应做好人员防护。214运营期环境影响和保护措施运营期环境影响和保护措施（1）现场抢险人员采取个人防护措施。（2）根据事故情况，在安全区外设立警戒区域。（3）保护突发环境事件现场，禁止无关人员进入警戒区域，维护现场秩序。（4）事故现场周边道路禁止任何车辆和人员进入，并负责指明道路绕行方向。（5）人员紧急疏散、撤离措施厂区内人员的撤离厂区内人员自行撤离到上风口处，各车间组长组织本车间人员有秩序地疏散，疏散顺序从最危险地段人员先开始，相互兼顾照应，并根据风向指明集合地点。周边区域的单位、社区人员疏散的方式、方法当事故危及周边企业时，由厂区应急指挥中287、心向政府以及周边单位书面发送警报。事态严重紧急时，通过厂区应急指挥中心直接联系政府以及周边单位负责人，提出要求组织撤离疏散或者请求援助。人员疏散、撤离必须是有组织，有秩序进行，避免发生踩踏等二次事故。10、三级环境风险防控措施、三级环境风险防控措施为了阻断事故泄漏液和消防水进入外环境，本项目设置“单元厂区园区”三级环境风险防控体系。（1）一级防控措施第一级防控为仓储单元、生产单元。项目内生产车间、仓库及厂房化学品供应间均设置防溢堤，废液收集区设置围堰，用于收集各单元产生的泄漏物料，为一级防控体系。（2）二级防控措施第二级防控为厂区内事故应急池。项目废水处理站设置 2 个废水事故应急池，总有效容288、积 3200m（3000m+200m）；特气站南侧设一个有效容积 1500m3的消防废水收集池；厂区南侧、北侧各设 2个事故雨水收集池，总有效容积 400m3；在生产区内还设有 4 个雨水收集回用池（总有效容积 2350m3），在事故状态下，可作为应急池使用，为二级防控体系。一旦发215运营期环境影响和保护措施运营期环境影响和保护措施生火灾或下雨初期，关闭通向市政雨水管道的总阀门，开启通向消防应急池和初期雨水池的阀门，使消防事故排水、初期雨水排入事故收集池，然后采取限流的方式抽至厂区污水处理站处理达标后排放，可防止消防废水进入外环境。（3）三级防控措施第三级防控为园区应急设施。目前，园区没有设289、置园区应急事故池，建议园区设置事故应急设施，作为各企业第三级环境风险防控体系。4.8 电磁辐射电磁辐射本项目不涉及电磁辐射污染，本次评价不开展电磁辐射环境影响评价。4.9 环保投资环保投资本项目环保工程均依托现有工程，部分改造和新增环保工程环保投资见表 4.9-1，项目新增环保投资 1400万元，占总投资（300000万元）的 0.47%。表表 4.9-1 环保投资估算一览表环保投资估算一览表 单位单位:万元万元项目项目名称名称措施主要内容措施主要内容投资投资备注备注废水含氟废水扩建处理能力 540m/d，废水管道收集系统200新增其他废水废水管道收集系统废气酸性废气新增 2 套喷淋洗涤塔及 290、1 根排气筒1200新增有机废气新增 1 套转轮浓缩+焚烧系统及 1 根排气筒新增工艺废气（含砷烷废气）新增 1 套“POU 干式吸附+袋式过滤”系统及 1 根排气筒新增碱性废气新增 1 套喷淋洗涤塔及 1 根排气筒新增一般排气新增 4 套车间一般热气排风系统及 4 根排气筒新增噪声设备噪声基础减振、隔声等综合降噪措施/依托现有工程合计/1400/4.10 项目主要污染物排放项目主要污染物排放情况汇总情况汇总2175环境保护措施监督检查清单环境保护措施监督检查清单内容要素排放口(编号、名称)/污染源污染物项目环境保护措施执行标准大气境酸性废气排放口（FQ-478201、FQ-480301、FQ291、-480302、FQ-202251-1、DA001）/酸洗、腐蚀、干法刻蚀、栅氧化、酸褪除、工艺废气(不含砷废气)硫酸雾、HCl、Cl2、NOx、氟化物、磷烷(待国家污染物监测方法标准发布后实施监测)、SO2碱液喷淋塔（工艺废气先经设备自带 POU 装置预处理）xx市大气污染物排放标准(DB35/323-2018)表 1；磷烷参考上海市地方标准大气污染物综合排放标准（DB31/933-2015）氢酸排废气排放口（FQ-202251-2）/CVD外延HCl、NOx、氟化物自带 local scrubber燃烧+喷淋+喷淋洗涤塔xx市大气污染物排放标准(DB35/323-2018)表 1有机废气排292、放口（FQ-478203、DA002）/湿法刻蚀、干法刻蚀、去胶、栅氧化、多晶硅淀积、钝化层淀积、光刻非甲烷总烃、SO2、NOx、PM10转轮浓缩+焚烧xx市大气污染物排放标准(DB35/323-2018)表 1、表 2碱性废气排放口（FQ-478206、FQ-480303）/氨水清洗、钝化层淀积氨酸液喷淋塔恶臭污染物排放标准（GB14554-93）表 2工艺废气（含砷）排放口（FQ-478207、DA003）/离子注入砷烷(待国家污染物监测方法标准发布后实施监测)设备自带 POU干式吸附+袋式过滤参考上海市地方标准大气污染物综合排放标准（DB31/933-2015）废水站恶臭气体排放口（FQ293、-478208）/废水处理氨、硫化氢喷淋除臭恶臭污染物排放标准（GB14554-93）表 2厂界硫酸雾、HCl、Cl2、NOx、氟化物、SO2、非甲烷总烃、氨、硫化氢、臭气浓度/xx市大气污染物排放标准(DB35/323-2018)表 1、表 3；恶臭污染物排放标准（GB14554-93）表 1地表水环境废水站排放口（DW001）/生产废水pH、COD、氨氮、SS、氟化物、总磷、总氮、总铜、总锌分质分流电子工业水污染物排放标准（GB39731-2020）表 1218含镍废水排放口（DW003）/生产废水总镍两级化混法+回收系统处理，尾水含氟废水处理系统电子工业水污染物排放标准（GB39731-294、2020）表 1生活污水排放口（DW002）/生活污水pH、COD、氨氮、SS隔油池+三级化粪池污水综合排放标准（GB8978-1996）表 4三级排放限值、污水排放城镇下水道水质标准（GB/T31962-2015）表 1 中 B 级标准声环境厂界噪声基础减震、厂房隔声工业企业厂界环境噪声排放标准（GB12348-2008）3 类、4 类标准电磁辐射/固体废物/生活垃圾收集后由环卫部门统一清运处置/一般工业固废一般固废暂存点设于资源回收站内，面积约 157m2一般工业固体废物贮存和填埋污染控制标准（GB18599-2020）/危险废物车间内设有废液收集区，面积约720m2，主要收集废去胶液、I295、PA废液、废显影液、废去胶液，以槽罐收集；资源回收站内也设有废液收集区，主要收集桶装废液，面积约 104m2；其他危险废物仓库设于资源回收站内，面积约 314m2危险废物贮存污染控制标准（GB18597-2023）土壤及地下水污染防治措施厂区地面硬化、防渗、防腐，三级防控生态保护措施/环境风险防范措施项目内生产车间、仓库及厂房化学品供应间均设置防溢堤，废液收集区设置围堰；项目废水处理站设置 2个废水事故应急池，总有效容积 3200m3219（3000m+200m）；特气站南侧设一个有效容积 1500m3的消防废水收集池；厂区南侧、北侧各设 2个事故雨水收集池，总有效容积400m3；在生产区内还296、设有 4个雨水收集回用池（总有效容积2350m3），雨水排放口设置阀门。配备消防及泄露应急物资及应急设备；设有毒/可燃气体报警系统 1套。其他环境管理要求5.1 环境管理环境管理（1）依托现有工程，设置专门的环境管理机构，研究、制定有关环保事宜，统筹全厂的环境管理工作。企业环境管理机构或的环境监督员主要职责：协助领导组织推动本企业的环境保护工作，贯彻执行环境保护的法律、法规、规章、标准及其他要求；组织和协助相关部门制定或修订相关的环境保护规章制度和操作规程，并对其贯彻执行情况进行监督检查；落实固体废物的临时堆放场所、利用单位和处置单位，落实各项噪声污染防治措施，保证所有的环保设施都处于良好的运297、行状态。负责环境监控计划的实施和参加污染事故的调查，并根据实际情况提出防范、应急措施；详细记录各种监测数据、污染事故及事故原因，建立企业的污染源档案，进行环境统计和上报工作。（2）建立环境管理台帐。环境管理台帐应当载明环境保护设施运行和维护的情况及相应的主要参数、污染物排放情况及相关监测数据，原始记录应清晰，及时归档并妥善管理。（3）企业应明确一定的环保投资，确保各项环保设施和措施建设、运行及维护费能得到有效保障。（4）建设单位应根据建设项目环境影响评价信息公开机制方案要求，并依据企事业单位环保信息分开办法，向社会公开相关环保信息。主要公开内容有：基础信息，包括单位名称、组220织机构代码、法298、定代表人、生产地址、联系方式，以及生产经营和管理服务的主要内容、产品及规模；排污信息，包括主要污染物及特征污染物的名称、排放方式、排放口数量和分布情况、排放浓度和总量、超标情况，以及执行的污染物排放标准、核定的排放总量；防治污染设施的建设和运行情况等。可通过企业网站、企业事业单位环境信息公开平台或者当地报刊等便于公众知晓的方式公开环境信息。（5）根据中华人民共和国环境保护税法（2017 年 4 月 17日）和中华人民共和国环境保护税法实施条例（2018 年 1 月 1日），在中华人民共和国领域和中华人民共和国管辖的其他海域，直接向环境排放应税污染物的企业事业单位和其他生产经营者为环境保护税的纳299、税人，应当依照本法规定缴纳环境保护税。（6）退役期管理要求建设单位应对退役时产生的废弃设备、固废进行分类处置，妥善处理剩余原辅材料，减少对环境的影响。5.2 排污口规范化管理排污口规范化管理排污者应当按照规定建设具备采样和测流条件、符合技术规范的排污口。排污者不得通过该排污口以外的其他途径排放污染物。排污者排放污水应当实行雨水污水分流，不得向雨水管网排放污染物。各污染源排放口应设置专项图标，环保图形标志必须符合原国家环境保护局和国家技术监督局发布的环境保护图形标志排污口(源)(GB4562.1-1995)和环境保护图形标志固体废物贮存(处置)场(GB4562.2-1995)、危险废物识别标志设300、置技术规范（HJ1276-2022）的要求，见表 5-1。废气采样口的设置应符合污染源监测技术规范要求并便于采样监测。标志牌应设在与之功能相应的醒目处，保持清晰、完整。221表表 5-1 各排污口（源）标志牌设置示意图各排污口（源）标志牌设置示意图名名称称废水排放口废水排放口废气排放口废气排放口噪声排放源噪声排放源一般固体废一般固体废物物危险废物危险废物提示图形符号功能表示污水向水体排放表示废气向大气环境排放表示噪声向外环境排放表示一般固体废物贮存、处置场表示危险废物贮存、处置场5.3 排污许可申报排污许可申报根据固定污染源排污许可分类管理名录（2019 年版），本项目应实行排污许可重点管理。301、建设单位应按照排污许可管理办法（试行）（2019 年修订）和固定源排污许可分类管理名录（2019 年）等相关规定申领排污许可证。表表 5-2 固定污染源排污许可分类管理名录（摘录）固定污染源排污许可分类管理名录（摘录）序号序号行业类别行业类别重点管理重点管理简化管理简化管理登记管理登记管理三十四、计算机、通信和其他电子设备制造业三十四、计算机、通信和其他电子设备制造业 3989计算机制造 391，电子器件制造 397，电子元件及电子专用材料制造 398，其 他电子设备制造 399纳入纳入重点排重点排污单位名录污单位名录的的除重点管理以外的年使用10 吨及以 上溶剂型涂料（含稀释剂）的其他5.4302、 竣工环境保护验收竣工环境保护验收根据国务院令第 682 号国务院关于修改建设项目环境保护管理条例的决定，建设项目竣工环境保护设施验收由行政许可事项变为建设单位自主负责事项，自 2017 年 10 月 1 日起施行。根据环保部发布的建设项目竣工环境保护验收暂行办法（国环规环评20174号），建设单位应做好以下工作：一、编制环境影响报告书（表）的建设项目竣工后，建设单 位222或者其委托的技术机构应当依照国家有关法律法规、建设项目竣工环境保护验收技术规范、建设项目环境影响报告书（表）和审批决定等要求，如实查验、监测、记载建设项目环境保护设施的建设和调试情况，同时还应如实记载其他环境保护对策措施“303、三同时”落实情况，编制竣工环境保护验收报告。验收报告编制人员对其编制的验收报告结论终身负责，不得弄虚作假。环境保护设施是指防治环境污染和生态破坏所需的装置、设备、监测手段和工程设施等。二、验收报告编制完成后，建设单位应组织成立验收工作组。验收工作组由建设单位、设计单位、施工单位、环境影响报告书（表）编制机构、验收报告编制机构等单位代表和专业技术专家组成。验收工作组应当严格依照国家有关法律法规、建设项目竣工环境保护验收技术规范、建设项目环境影响报告书（表）和审批决定等要求对建设项目配套建设的环境保护设施进行验收，形成验收意见。验收意见应当包括工程建设基本情况，工程变更情况，环境保护设施落实情况，304、环境保护设施调试效果和工程建设对环境的影响，验收存在的主要问题，验收结论和后续要求。验收工作组现场检查可以参照环保部关于印发建设项目竣工环境保护验收现场检查及审查要点的通知（环办2015113 号）执行。建设单位应当对验收工作组提出的问题进行整改，合格后方可出具验收合格的意见。建设项目配套建设的环境保护设施经验收合格后，其主体工程才可以投入生产或者使用。三、建设项目竣工环境保护验收应当在建设项目竣工后 3 个月内完成。建设项目环境保护设施需要调试的，验收可适当延期，但总期限最长不得超过 12 个月。四、除按照国家需要保密的情形外，建设单位应当在验收报告编制完成后 5 个工作日内，公开验收报告，公示的期限不得少于 20个工作日。建设单位公开上述信息的同时，应当向所在地县级以上生态环境主管部门报送相关信息，并接受监督检查。