1、大宗气体施工方案施工程序1基本要求1.1工作场所准则不同之施工程序皆有其适用场所，吾等须至指定之合格场所施工。表4-1为不同之施工程序之工作场所分类限制：No.ITEMClass GradeRemark1Gowning Area10000/10002Material Staging Area10000/1000With a 50/50 IPA/DI for wiping3Cutting Area10000/or Better4Welding and Cleaning Area1000/1005Assembly, Final Integeration, and Final Test100/1062、Common PleumsSeperated with floor-to ceiling hard or soft walls, have separate return air grilles, and be positively pressurized to a minimum of 1.3 mm H2O表4-1 施工场所分类表1.2安卫要求任何之施工程序皆须使用安全锥、护栏、等为隔离作业区及警示装置用。施工前必须先观察周围遭各式阀件，按钮及其它机器位置，以免碰触。施工前必须先就核定之施工图面，进行现场研判施工方式。须时时保持洁净施工原则及施工环境之清洁。并定期依据附表之净洁施工自动检查表3、进行抽查。已通气管路因工程需要进行修改时。施工承商须会同本公司人员及业主进行相关确认程序后，始准予施工。预配之管路就定位后，须保持以封盖塞住，不得开放管路两端。1.3物料搬运施工承商须依工程进度安排，依核发之施工单及领料单向物料管理人员领取所需物料。物料之包装及拆除均须在前述之洁净环境内进行。任何施工物料于离开储存区或于施工区域内搬移前，皆需予以封住进出口两端。任何施工物料不得任意置之于地板或地面上。2管件施工2.1焊接施工150A 之PIPE 一律使用可移动式自动轨道氩焊或手工氩弧技术施工。 150A 之PIPE 可使用移动式手动氩弧设备技术施工。焊接人员须认证许可后，始能执行焊接。且焊接人4、员之认证须定期举行。2.2基本要求所有焊接设备须合符洁净施工要求，且确保其设备运转良好性及施工精准度。焊接使用之钨棒，须保持其端面洁净及品质。量测钨棒间距时，须使用高精密准确度之工具，确保其精密度在0.002 in 内。每次之焊接参数（purge time、orifice size、purge rates and internal pressure）调整皆须予以记录。吹扫管路与焊接原件接触时之管路皆须为SUS管路。15A之管路可采管件先行点焊方式施工。惟点焊时，须保持施工管路为正压Purge状态且须以Arc焊机进行点焊。焊接方式须采内压焊接法。2.3焊道特性要求焊接时，焊道不可重复烧焊，烧焊失5、败时需切除后重新施作。施工承商每焊结一口时即应填写于附件之焊接记录表，并于焊道处标示签名。同一条管路，若开始进行焊接，即须于当日内完成，不可延至隔日。焊道规格要求请参见附表4-6。No.DiscontinulyBulk GasesSpecialty Gas3/8”1/2”3/4”NA1穿透要求完全穿透完全穿透完全穿透完全穿透1内焊道宽度要求1.5 t1.5 t1.5 t1.5 t1Concavity20%t10%tNA2Convexity20%t10%tNA3Misalignment20%t3tNA5Discoloration(Inner)NANANANA5Discoloration(Oute6、r)Light Blue HaloLight Brown HaloNANA6Bead Meander20% of bead width20% of bead width20% of bead widthNA表4-6焊道规格要求2.4焊样制作施工承商需于工程开始前于现场制作二份各种不同管径之标准焊道样品，以供未来现场目视检察比对之标准。因每次焊接条件诸如：电源、管材材质、批号等，皆会影响焊接品质。故必须于施工条件更换后，欲再进行焊接前，制作Sample Coupons。Sample Coupons 需外观整齐，焊道大小适中，内部不可有氧化现象，焊道需均匀且微凸，不可凹陷。附表4-7为Sample7、 Coupons之要求时机。No.要求时机规格1每日焊接开始前Tube to Tube2每日焊接结束Tube to Tube3Purge 量不足Bend on Tube4钨棒更换Bend on Tube5焊接未持续(中断超过1hr)Bend on Tube6焊接管径变更Tube to Tube7Purge Gas 管路变更Bend on Tube8电源更替Bend on Tube表4-7 Sample Coupons要求时机表3管路Purge配管焊接时，所有临时管路须为SUS 级。Purge 管路的设置，须保持焊接管路及组件之充分purge，未有dead space 状态。Pre-Purgin8、g 的时间应充分的使管路焊接区域内之H2O及O2 100 ppb。焊接程序后应立即执行Post-Purging，使焊接区内之温度降至200以下。焊接完成后应立即以铁刷刷除外焊道之微氧化层，施作时，应避免其施作不当，反产生工作区域内之微粒子污染。4施工检视4.1焊道检视所有之焊道皆须100%外观检视，视其是否合符前述表4-6之焊道规格。至少须有20%以上之焊道，以内视镜方式检视其焊道，且使用工具须避免伤害其管件内面。4.2尺寸及参数检视尺寸及参数检视须依据下述执行? 检视区域须与管件组装区域相同洁净等级内进行。? 检视其施工图面与完成管件是否符合，不合者须退回处理。? 利用各式合格工具检视其尺寸9、角度等施作品质是否合格。? 检视所有焊道之外观及尽可能使用内视镜检视内焊道品质，若因客观环境无法执行时，须以采样方式切下焊道检视其是否合符要求。? 合格之预置管件须予以标示或包装。? 不合格品须立即改善，且封闭系统若必要采取切管动作时，须双边purge。5其它施工规则管路标示贴纸其方向、字体、种类需正确不可马虎了事。各式SWG及VCR接头不可先行锁紧，仅需稍加施力，以免破坏管材。机台及Take-Off点所附之管塞接头，请放置于现场不得收之。管路施工，水平垂直误差应小于5%，如有不符，即需重新施作。不慎掉于地上之Gasket须立即予以拋弃之。No.SizeDistance150A4m表4-8管路支撑及标示