1、新能源硅片加工车间半自动超声波清洗作业指导书编 制： 审 核： 批 准： 版 本 号: ESZAQDGF001 编 制： 审 核: 批 准： 发 布： 二XX年X月一、目的: 本工序是将脱胶完成装进花篮的硅片进行表面超声波清洗，以去掉硅片表面的油污。二、适用范围：本文件只适合xx光科新能源硅片加工车间半自动超声波清洗工序。三、物料需求： 1、装进花篮待清洗的硅片；四、工艺流程： 装片 鼓泡（超声） 超声波清洗 纯水清洗 甩干五、工艺步骤：5.1 打开纯水阀门，分别给机器清洗槽内加水（水槽内全是15M纯水），三、四.五槽内水位加至110L；5.2 打开“电源”、“加热”、“超声”开关，检查设备运2、行状态是否正常；5.3 将半自动清洗机的水槽内加入清洗剂802#或JH-15型。方法如下： 四五JH-15A2400ml2400mlB1200ml1200ml注意；在添加清洗液时戴好手套，将桶口察干净，以免有杂质影响清洗质量。5.4将插好片的花篮并排放进清洗机的提篮内，每提篮内放六个花篮（见图一）， 图一5.5等清洗机水温升至设定温度后，把一、二、六、七槽的溢流打开，使槽内水保持清洁，然后将提篮放入第一个清洗槽内，启动“摆动”开关和“超声波”开关，并打开一、二槽“鼓泡”开关（三至七槽不开鼓泡），第一槽时间结束后将提篮移至第二槽，第二槽结束后，将提篮移至第三槽；重复以上动作直到七个清洗槽全部洗完3、毕； 注意：硅片从一个清洗槽移至另一个清洗槽要垂直提取、垂直轻放，避免碰碎或造成裂片。5.6清洗完成后将硅片连同插片花篮横向放置装入甩干机内，花篮摆放必须保证平衡，要求对称放置；（见图二） 图二5.7双手同时按控制面板两边的红色“关门”按钮，待门完全关闭后，按绿色“启动”按钮甩干，甩干过程为260秒，温度1205；待控制面板上的时间归零，按开盖按钮；5.8开盖后将花篮拿出；将甩干后的硅片整齐地摆放到硅片周转台上待检，用完的花篮、提篮整齐摆放在指定区域； 5.9每次更换清洗液后，用温度计测量升温后的水槽内温度是否与设定值一致，温差范围在2； 5.10 工艺参数设置表：第一槽第二槽第三槽第四槽第五槽第六槽第七槽甩干机半 自 动温度455505505505505455505120时间360秒360秒360秒360秒360秒360秒360秒260秒 注意： 整个清洗过程中，严禁花篮、提篮摆放在地上。六、技术规格和标准：环境要求： 1 .湿度55%RH；2 .温度233；附件： 无要求；