1、建设项目环境影响报告表(污染影响类)项目名称创新实验室配套氯气供气间及蚀：刻设备建设单位(盖章):编制日期创新实验室：2022年12月24日1一、建设项目基本情况建设项目名称xx创新实验室配套氯气供气间及蚀刻设备项目代码建设单位联系人联系方式建设地点地理坐标国民经济行业类别M7320 工程和技术研究和试验发展建设项目行业类别四十五、研究和试验发展 98 专业实验室、研发（试验）基地中 其他（不产生实验废气、废水、危险废物的除外）建设性质新建（迁建）改建扩建（异地）技术改造建设项目申报情形首次申报项目不予批准后再次申报项目超五年重新审核项目重大变动重新报批项目项目审批（核准/备案）部门（选填）x2、x市xx区行政审批局项目审批（核准/备案）文号（选填）厦翔行审设备2022190 号总投资（万元）550环保投资（万元）42环保投资占比（%）7.6施工工期2 个月是否开工建设否是：用地（用海）面积（m2）总建筑面积 27.48m2专项评价设置情况设置大气专项评价，详见大气专项报告。专专项项评评价价类类别别设设置置原原则则项项目目情情况况专专项项设设置置情情况况大气排放废气含有毒有害污染物、二噁英、苯并a芘、氰化物、氯气且厂界外500米范围内有环境空气保护目标2的建设项目。项目主要从事半导体光电芯片蚀刻实验研发，蚀刻过程中有少量的氯气排放，且项目厂界外500m范围内有环境空气保护目标，需设置大3、气专项评价。已设置大气专项评价，详见大气专项报告。地表水新增工业废水直排的项目（槽车外送污水处理厂的除外）；新增废水直排的污水集中处理厂。项目废水主要为喷淋塔废水及生活污水，近期，废水进入校区东区污水处理站处理达标后，作为东园不设置2溪的生态补水；远期，待市政污水管网覆盖后，废水经校区东区污水处理站处理后进入澳头水质净化厂处理。环境风险有毒有害和易燃易爆危险物质存储量超过临界量。项目涉及的有毒有害物质为液氯及三氯化硼，液氯最大储存量为0.1t，临界量为1.0t；三氯化硼最大储存量为0.05t，临界量为2.5t，存储量均未超过临界量。不设置生态取水口下游500米范围内有重要水生生物的自然产卵场、4、索饵场、越冬场和洄游通道的新增河道取水的污染类建设项目。项目无取水口。不设置海洋直接向海排放污染物的海洋工程建设项目。项目不属于海洋工程项目。不设置规划情况文件名称：xx市xx分区规划修编（20102020年）审查机关：/审查文件名称及文号：/规划环境影响评价情况规划环境影响评价文件名称：xx新机场片区规划环境影响报告书；召集审查机关：xx市生态环境局；审查文件名称及文号：xx市生态环境局关于 xx新机场片区规划环境影响报告书的审查意见（厦环评202019号）。规划及规划环境影响评价符合性分析1.1.1 与xx市xx分区规划修编（与xx市xx分区规划修编（20102020 年）的符合性分析年）5、的符合性分析（1）规划性质：xx区将发展为城市副中心，岛外东部地区中心，以光电产业、商贸、居住、文教、风景旅游为主的辅城。xx区城市建设区包含了南北两大片。其中，北片依托马巷，城市定位为：光电、轻工、机械产业、商贸；南片依据新店，城区定位为：文教、居住、风景旅游。（2）规划布局：xx分区规划呈“一核三轴九片区”的城市形态。“一核”指位于南部的行政、文教、商业、金融核心区；“三轴”指以xx大道与xx东路为依托形成的南北向城市发展主轴（纵轴），北部依托xx北路，南部依托xx南路，形成2条东西向城市发展次轴（横轴）；“九片区”指北部的新圩片区，西部的下潭尾光电产业集中区、后莲片区、东部的内厝片区，中6、部的曾林片区、马巷片区、新店片区，南部的新城片区和东南部的xx大学xx校区。3（3）禁止国家明令禁止的“十五小”、“新五小”企业及工艺设备落后、污染严重，且污染物不能进行有效治理的项目。本项目选址于xx市xx区新店镇xx南路xx大学能源材料大楼1#楼，所属xx大学xx校区，且根据xx市xx空间布局规划图，项目所在地规划为教育科研用地，项目主要从事半导体光电芯片蚀刻实验研发，符合用地规划（附图附图1：地理位置图，附图：地理位置图，附图2：xx市xx空间布局规划图：xx市xx空间布局规划图）。1.1.2 与xx新机场片区规划环境影响报告书环评符合性分析与xx新机场片区规划环境影响报告书环评符合性分7、析xx新机场片区规划总面积约 36.8288km2，含 3 个片区，即：莲河片区（18.00km2）、蔡厝片区（6.3051km2）、xx机场北部片区（12.5237km2）。其中莲河片区规划面积 18.00km2，规划范围北至香山，南至滨海、西至溪东路、东至区界。新机场片区主要发展目标为围绕兴机场、强主业、树优势、铸链条、促集群，着力构建现代化、国际化、高端化的xx临空产业体系。xx新机场片区整体形成“一心三片区”的规划结构。项目位于xx市xx区新店镇xx南路xx大学能源材料大楼 1#楼，属于莲河片区，功能定位为打造以科教研发、航空工业、保税物流加工为主导产业，配套完善的综合型临空产业片区。8、本项目主要由xx创新实验室从事半导体光电芯片蚀刻实验研发及其配套设施建设，属于科教研发产业，符合莲河片区功能定位要求（附图附图 3：xx新机场片区莲河片区土地利用规划图：xx新机场片区莲河片区土地利用规划图）。本项目与xx新机场片区规划环境影响报告书 审查意见的符合性情况见表表 1.1.1。表表 1.1.1 与xx新机场片区规划环境影响报告书审查意见符合性分析与xx新机场片区规划环境影响报告书审查意见符合性分析序序号号环境影响评价结论及审查意见环境影响评价结论及审查意见项目情况项目情况符合符合性性1坚持绿色发展和协调发展理念，加强规划引到。坚持生态优先、高效集约发展，坚持以环境质量改善为核心，9、进一步优化规划布局、发展规模等，做好与国土空间规划和“三线一单”的协调性衔接。项目建设符合清洁生产要求，符合“三线一单”的要求。符合2强化生态保护与修护，做好文物古迹、名木古树、沿海防护林、九溪河口湿地及红树林的保护，按要求落实好海洋生态保护、恢复措施。不涉及/3做好机场噪声影响范围土地利用管控、落实片区内受影响村庄的拆迁安置。不涉及/4集约利用土地，合理确定人口和居住用地规不涉及/4模，保证绿地和环保基础设施用地等。5加快环保设施建设，完善规划区污水管网、雨水管网、再生水管网、污水处理厂等环保基础设施建设，落实尾水再生利用和生态补水措施；按规范做好各类固废的收集处置工作。不涉及/6做好环境风10、险防范保障，建立环境风险防控体系，提升环境风险防控与应急处置能力。项目拟设置氯气吸收装载、氯气泄漏检测报警器等环境风险防范措施。符合7严格遵守生态环境准入条件。严格遵守产业政策、环境准入清单，严格落实“三线一单”管控要求，规划应做好用地控制。禁止引入与规划区定位不一致的项目。项目建设符合生态环境准入条件，与规划区功能定位一致。符合8规划实施过程中，适时开展环境影响跟踪评价，若规划进行重大调整和修订，应重新或补充开展环境影响评价。不涉及/其他符合性分析1.2.1“三线一单三线一单”符合性分析符合性分析（1）生态保护红线）生态保护红线根据“生态保护红线、环境质量底线、资源利用上线和环境准入负面清单11、”编制技术指南（试行）（2017 年），生态保护红线是指在生态空间范围内具有特殊重要生态功能、必须强制性严格保护的区域，是保障和维护国家生态安全的底线和生命线，通常包括具有重要水源涵养、生物多样性维护、水土保持、防风固沙、海岸生态稳定等功能的生态功能重要区域，以及水土流失、土地沙化、石漠化、盐渍化等生态环境敏感脆弱区域。根据xx市生态环境准入清单（2021 版）（厦环规20211 号）中xx市生态环境管控单元图（附图附图 4：xx市生态环境管控单元图xx市生态环境管控单元图）可知，本项目位于xx市xx区新店镇xx南路xx大学能源材料大楼 1#楼，评价区域属于新兴服务业重点管控单元，不在xx市生12、态保护红线范围内。（2）环境质量底线）环境质量底线根据xx市环境质量公报（2021 年）可知，项目所在地区环境质量现状能够满足环境功能区划要求。项目产生的“三废”污染物经有效的治理后，能满足达标排放要求，对周围环境影响较小，项目建设不会突破当地环境质量5底线。（3）资源利用上线）资源利用上线项目运营过程中消耗一定的水、电等资源，项目资源消耗量占区域资源利用总量较少，未突破区域资源利用上线。（4）环境准入负面清单）环境准入负面清单根据xx市生态环境准入清单(2021 年)可知，凡涉及四十五、研究研究和试验发展，报告表的符合生态环境准入要求且不涉及铬、镉、汞、铅、砷等重点重金属排放和化工工艺过程的13、，实行告知承诺制。本项目属于四十五、研究研究和试验发展 98 专业实验室、研发（试验）基地，符合生态环境准入要求且不涉及铬、镉、汞、铅、砷等重点重金属排放和化工工艺过程的，因此项目可实行告知承诺制。根据xx市生态环境准入清单（2021 年）（厦环规20211 号），项目符合性分析如下：表表 1.2.1 与xx市生态环境准入清单（与xx市生态环境准入清单（2021 年）要求符合性分析一览表年）要求符合性分析一览表适用范围适用范围准入要求准入要求项目项目情况情况符合性符合性厦门市陆域空间布局约束5.全市禁止准入新、扩建火电、石化、煤化工、基础化学原料制造（物理提纯、单纯混合分装除外）、钢铁、有色金14、属冶炼(铜、铅、锌、镍、钴、铝、镁、硅等冶炼)、建材（含水泥、石灰石膏、粘土砖瓦、平板玻璃、建筑陶瓷、石材）、橡胶和塑料制品业（轮胎、再生橡胶、运动场地塑胶等制造）等高耗能、高排放项目；改建项目应符合减污降碳 等政策、法律法规、法定规划要求。高污染燃料禁燃区禁止加工销售和使用煤炭及其制品、石油焦、油页岩、原油、重油、渣油、煤焦油、生物质成型 燃料等高污染燃料项目。不涉及不涉及6.禁止准入生产和使用高 VOCs 含量的溶剂型涂料、油墨、胶黏剂和洗涤剂的新、扩建项目。不涉及不涉及7.合理规划和布局集中污水处理和集中垃圾处置等环保设施建设。不涉及不涉及10.在现有和规划的集中居住区（包括村庄、住宅小15、区）、学校等敏感目标外围 100m 范围1内，禁止准入增加排放有机废气污染物、恶臭（异味）污染物及其他列入有毒有害大气污染物名本项目主要从事半导体光电芯片蚀刻不涉及6录污染物的新(改、扩)建工业生产项目，主要禁止以下项目类型：(1)化学原料和化学制品制造业、医药制造业类项目（不使用挥发性有机溶剂原料、异味物料的单纯物理分离、物理提纯、混合、分装、药品复配的项目经环评论证可行的可准入）。(2)制革，人造革，发泡胶，塑料再生（包括改性），制浆造纸（含废纸），轮胎制造，橡胶再生，含炼化及硫化工艺的橡胶制品（硅橡胶制品项目经环评论证可行的可准多项）工艺的金属或非金属制品制造项目；(3)化纤制造（单纯纺16、丝除外），制鞋，含染整、染色、印花工艺的服装、纤维、塑料纺织品生产项目。(4)饲料及其添加剂，树脂工艺品，沥青制品，玻璃 钢制品制造项目。(5)香辛料调味品，发酵制品，屠宰，含发酵工艺的 食品、饮料、调味品加工项目。(6)含有喷漆（工业涂装）工序的项目（使用电泳、水性涂料、粉末涂料、固化涂料的项目经环评论证 可行的，方可准入）。(7)丝印，包装印刷项目（使用水性油墨的印刷项目经环评论证可行的，方可准入）。(8)含金属、合金高温熔炼、熔铸（铸造）工艺的，含 PVC、尼龙、再生塑料加热成型或塑料涂覆工艺 的项目。(9)其他使用挥发性有机溶剂、稀释剂原辅材料年使用总量 2 吨以上的，或者 2 吨以下17、但需要设置大气 环境防护距离的建设项目（2 吨及以下的项目经环评论证可行的，方可准入）。实验研发，不属于工业生产项目，不涉及禁止准入的项目。生态保护修复1.东西溪流域、官浔溪流域、埭头溪流域、龙东溪流域、深青溪和瑶山溪流域等重点生态修复区域，重点保障北部山体生态屏障功能，水源涵养、水土保持、灾害预防、生物多样性保护等山体重要生态服务功能持续优化。修复策略以封禁、禁采和少量人工促进更新措施为主。应优先强调自然修复，在自然修复无法达到修复目标情况下，再采取人工修 复。不涉及不涉及7污染物排放管控1.省级及以上工业园区(xx海沧台商投资区、厦门海沧保税港区、xxxx高技术产业开发区、集美台商投资区、18、杏林台商投资区、xxxx翔安工业园区、xxxx同安工业园区)工业企业新增主要污染物(化学需氧量、氨氮、二氧化硫、氮氧化物)排放量的，按等量替代进行交易；省级及以上工业园区外的工业企业新增主要污染物排放量按不低于 1.2 倍交易。排放重金属废水污染物项目投资强度或产值应满足xx市涉重金属项目强度限值要求。重点重金属废水污染物排放执行“等量置换”或“减量置换”，其中省市重点项目实行“等量置换”，其他项目实行1.1 倍“减量置换”（电镀行业不低于 1.2 倍）。本项目外排废水为喷淋塔废水及生活污水，废水处理后近期作为东园溪生态补水，远期纳入污水厂处理，本项目不属于工业生产项目，不需要核定废水排污权。19、符合2.涉新增 VOCs 项目，应实行 VOCs 区域内倍量削减替代，其中海沧区新阳片区内工业园区企业的区域有效削减量与新增排放量比例不小于 2倍；全市除新阳片区外的其他工业园区不低于1.5 倍，其中省、市重点重大项目不低于 1.2 倍。不涉及不涉及3.现有及新建项目根据所排放的污染物，按照行业 排放标准、地方排放标准、综合排放标准等标准的 适用范围、原则，从严执行。本项目外排废水为喷淋塔废水和生活污水，废水处理后近期作为东园溪生态补水，远期纳入污水厂处理，废水执行厦门地标排放限值。符合8资源利用效率1.执行最严格水资源管理制度。(1)严格用水总量控制，对取用水总量达到或超过控制指标的区域，停20、止审批建设项目新增取水，建设项目新增用水通过中水、海水等非常规水源解决；对取用水总量接近控制指标的区域，优先保障低消耗、低排放和高效益的产业发展，严格限制高耗水、高污染、低效益的项目。(2)落实建设项目水资源论证制度，除 取水许可和水资源费征收管理条例第四条规定的情形外，对 直接从江河、湖泊或者从地下取水的建设项目必须 进行水资源论证。加强对重点用水户、特殊用水行 业用水户的监督管理。以区为单元，全面开展节水型社会达标建设。(3)从严控制高污染、高耗水等行业新增取水。禁止准入不符合国家产业政策或列入国家产业结构调整指导目录中淘汰类或限制类的、产品不符合行业用水定额标准的项目。(4)提高用水效率21、。加强节约用水管理，加快推广和普及高效、节水、降耗和环保的水资源利用新技术、新工艺、新产品，鼓励发展中水回用、雨水、海水等非常规水源开发利用；加快推进节水技术改造，高耗水企业加强节水工艺改造，加快淘汰落后生产工艺和设备，提高企业水循环利用率；实行计划用水与管理，强化企业用水过程的监控管理，用水大户应开展水平衡测试，挖掘企业节水潜力，降低单位产品用水量。项目用水主要为喷淋塔补充用水及员工生活用水，用水量少，不属于高耗水、高污染、低效益的项目。符合2.能源消费总量和强度双控指标。(1)推进能源总量管理、科学配置、全面节约，推动能源清洁低碳安全高效利用，倒逼产业结构、能源结构调整，助力实现碳达峰、碳22、中和目标。(2)差别化分解能耗双控目标，鼓励可再生能源使用，重点控制化石能源消费。提高非化石能源在终端能源消费比重，把发展清洁低碳能源作为调整能源结构的主攻方向。(3)完善能源消费总量和强度双控指标管理。从各区域发展定位、产业结构和布局、能源消费现状、节能潜力、能源资源禀赋、环境质量状况、能源基础设施建设和规划布局，合理确定能耗强度降低和能源消费总量目标。项目生产设备主要利用电能；不属于高耗能产业。符合9(4)调整优化产业结构，严控高耗能高排放行业能耗增长，加快发展低能耗低排放产业，充分运用先进适用技术和现代信息技术，改造提升传统产业，重点支持对传统产业升级带动作用大的重点项目。3.严格执行土23、地使用标准，科学合理用地，提高土地节约集约利用水平。(1)建设用地资源：加强建设用地污染防控工作，实行建设用地总量强度双控，推进城镇低效用地改造，推进城市国土空间“三维开发”。(2)农用地资源：严守耕地保护红线，切实提高耕地质量，确保耕地占补平衡。项目不涉及新增土地。不涉及表表 1.2.2 xx市环境管控单元准入要求xx市环境管控单元准入要求单元名单元名称及编称及编码码范围范围功能定位功能定位/主导产业及管控要主导产业及管控要求求本项目建本项目建设情况设情况符合符合性性xx新机场片区ZH35021320013规划总面积约3682.88hm2，含 3 个片区，（1）莲莲河片区：河片区：西至溪东路24、，东至xx市界，北至香山，南至海域，1800hm2；包含xx科学城莲河片区688hm2，即xx大学及厦大科技园片区。功能定位/主导产业打造以科教研发、航空工业、保税物流加工为主导产业，配套完善的综合型临空产业片区；包含xx科学城莲河片区，其主导产业为基础研究和应用基础研究（高能级创新资源）、科技研发、科技服务、未来产业培育等；项目主要从事半导体光电芯片蚀刻实验研发，属于研发产业。符合空间布局约束(1)禁止引入有毒有害及危险品的仓储与物流项目。不涉及符合(2)区内禁止引进专业电镀企业，严格限制需配套电镀工序企业的电镀废水排放，企业自行处理至相应标准后排入不涉及左侧所列禁止项目。符合10（2）蔡厝25、片区：北至翔安南路，西至xx东路，东至九溪，南至大嶝海域，630.51hm2；包含蔡厝临空现代服务产业区106hm2，即xx东路、梁厝路、滨海旅游路、望嶝路的围合区域。（3）xx机场北部片区：南以空港横路-大嶝中路-机场北路为界，东、西、北至滨海岸线，1252.37hm2污水处理厂。(3)禁止准入新建、扩建主导产业以外需要编制环境影响报告书的项目，其他轻污染类项目应经项目环评论证可行后方可准入。本项目不涉及负面清单所列事项。符合(4)对商业、商贸服务业、教育、文化、卫生、体育服务业类项目，参考蔡厝片区准入条件。(3)对教育、文化、卫生、体育服务业：机构养老设施规模控制在 500 床以下。)不涉26、及不涉及污染物排放管控1.强化机场储油库、油罐车等油气回收设施运行监管。不涉及不涉及2.推广使用新能源设备和车辆。除消防、救护、加油设备/车辆及无新能源产品设备/车辆外，新增或更新场内设备/车辆使用新能源占比不低于 50%，并完善场内充电设施服务体系建设。不涉及不涉及3.建设施工过程强化扬尘和燃油机械作业大气污染管控，并同步规划、设计、建设远机位 APU替代设施及场内充电设施服务体系。不涉及不涉及11表表 1.2.3 xx市重点发展产业生态环境准入要求xx市重点发展产业生态环境准入要求国民国民经济经济行业行业分类分类类类别别名名称称管理名录管理名录管控单元准入指引管控单元准入指引/生产生产工艺27、及生态环境准入要工艺及生态环境准入要求求本项目情况本项目情况符符合合性性代代码码类别类别名称名称M 73研究和实验发展四十五研究和实验发展全市严格限制准入。项目位于xx市xx区新店镇翔安南路xx大学能源材料大楼 1#楼，属于限制准入区域，但建设位严格执行环境影响评价和“三同时”制度，未获环保审批前不会投产。符合(1)禁止在住宅楼内设立。本项目位于xx大学xx校区内的研发实验楼，不属于住宅楼。符合(2)禁止在基本生态控制线内设立与生态环境保护无关的科研设施。本项目不在生态红线控制范围内。符合(3)P3、P4 生物安全实验室、转基因实验室严格限制准入，应符合xx市医疗卫生设施规划（2020-20328、5 年）等专项规划，并经项目环评论证和实验室生物安全风险评估可行后许可准入。本项目不属于P3、P4 生物安全实验室、转基因实验室。符合(4)实验室产生的废液按危险废物管理，设置规范的危废暂存场所，委托有资质处置单位安全处理。本项目运营期间不产生废液。符合(5)含医药、化工类等专业中试内容的限制准入；市、区政府出台的行业鼓励政策范围之外的能源、本项目不涉及该限制和禁止条款。符合12化工等高污染和安全风险类研究项目原则上禁止准入，个别难以归类但又与园区主导产业密切相关的项目通过具体技术论证后可行后可以准入。综上，项目的建设符合环保政策及相关规划，符合“三线一单”管控要求。1.2.2 产业政策符合性29、分析产业政策符合性分析项目主要从事半导体光电芯片蚀刻实验研发。符合国家相关法律、法规和政策规划，属于产业结构调整指导目录（2019 年本）中的鼓励类二十八、信息产业，10 基于 IPv6 的下一代互联网技术研发及服务，网络设备、芯片、系统以及相关测试设备的研发和生产，符合国家的产业政策。13二、建设项目工程分析建设内容2.1.1 项目由来项目由来xx创新实验室（xx能源材料科学与技术创新实验室）于 2019 年 9 月由xx省政府批准设立，是xx首批四家省创新实验室之一。实验室依托xx大学建设，是第一个冠有厦大校主陈xx先生名字的实体实验室，是xx市政府与xx大学第一家共同举办的事业单位，也是30、近年来xx投入最多、体量最大、定位最高、体制最活的创新平台，力争打造能源材料领域的国家级战略科技力量（附件附件 1：事业单位企业法人证书事业单位企业法人证书）。为突破半导体光电芯片蚀刻工艺技术，xx创新实验室投资 550 万元在xx市xx区新店镇xx南路xx大学能源材料大楼 1#楼建设xx创新实验室配套氯气供气间及蚀刻设备项目，主要建设内容为建设 1 间芯片蚀刻实验室及配套建设 1 间氯气供气间，本项目建成后年约研发蚀刻氮化镓外延片 240 片，进一步的测试、实验等均委外。项目员工 5 人，工作制度为年工作 300 天，8 小时工作制。同时，项目已于完成投资备案（附件（附件 2：xx市企业投资31、项目备案证明）。：xx市企业投资项目备案证明）。2.1.2 项目研发方案及项目组成项目研发方案及项目组成（1）建设内容）建设内容主体工程主体工程主体工程包括 1 间实验室（10m2）和 1 间氯气供气间（17.48m2）。实验室内设 1 台电感耦合等离子蚀刻系统；氯气供气间设置 1 个氯气供气柜。具体建设内容详见项目组成一览表。辅助工程辅助工程气瓶贮存区，用于三氯化硼（设有特气柜）、氩气、氦气、氧气气瓶的贮存。公用工程公用工程项目给水系统主要使用自来水，市政供水系统统一供水。供电由市政供电系统统一供应。环保工程环保工程项目设置一套碱液喷淋塔设施用于处理蚀刻尾气（主要污染物为氯气、三氯化硼等），32、设计风量为 3000m/h。（2）研发方案）研发方案项目研发方案见表表 2.1.1。14表表2.1.1 项目项目研发方案研发方案一览表一览表研发方向研发方向研发原理研发原理研发目的研发目的研发规模研发规模干法蚀刻技术氯气、三氯化硼在电感耦合高能高频电磁场的作用下辉光放电，产生活性 Cl 自由基，Cl 自由基与芯片上的氮化镓（GaN）反应。蚀刻出芯片结构所需的图形的条件。年约蚀刻芯片 240片（2）项目组成）项目组成项目组成见表表 2.1.2。表表2.1.2 项目组成一览表项目组成一览表分类分类建设规模及建设规模及内容内容主体工程实验室建筑面积10m2位于 1#楼实验室内实验室 1 的西南角，设33、有 1 台电感耦合等离子蚀刻系统，用于半导体光电芯片蚀刻实验研发。氯气供气间建筑面积17.48m2位于 1#楼外西北角，设置 1 个氯气特气柜（内含液氯瓶加热系统、压力调节系统等）及储存 1 瓶氮气。辅助工程气瓶贮存区位于项目实验室 1 的西南角，用于三氯化硼（设有特气柜）、氩气、氦气、氧气气瓶的贮存。公用工程供电由市政电网供应供水由市政供水管网供应环保工程废水处理设施生活污水近期，生活污水经化粪池处理后进入校区东区污水处理站处理达标后，作为东园溪的生态补水；远期，待市政污水管网覆盖后，生活污水经化粪池处理后进入校区东区污水处理站处理后进入澳头水质净化厂处理废气处理设施蚀刻尾气实验室密闭+管道34、收集+碱液喷淋塔+1 根 25m 高排气筒（编号：DA001）环境风险1、液氯、三氯化硼设置于特气柜内；2、实验室 1 内设有一套湿式处理装置，用于蚀刻设备隔间内蚀刻设备中氯气、三氯化硼泄漏应急处理，配套 1 台事故风机（事故风机有效风量为 300Nm/h）；3、供气间设一套氯气吸收装置（配套 3 台风机，其中2 台（一用一备）作为氯气间日常通风（常开，有效风量为 200Nm/h），1 台事故排放用（常关，连锁报警器，事故状态开启，有效风机风量为 400Nm/h）；4、实验室内、供气间及特气柜内均设置有毒气体浓度检测报警仪。噪声防治措施隔声、减振等15固废处置措施生活垃圾由环卫部分统一清运2.35、1.3 原辅材料原辅材料项目主要原辅材料消耗见表表 2.1.3，化学品理化性质表表 2.1.4。表表2.1.3 项目主要原辅材料消耗情况一览表项目主要原辅材料消耗情况一览表原辅材料原辅材料名称名称成分成分年年用用量量最大贮最大贮存量存量包装包装规格规格贮存贮存位置位置用途用途氮化镓外延片GaN240 片10 片/实验室内实验基材液氯99.99%氯100kg100kg瓶装，50kg/瓶氯气供气间主要反应气体氮气99.99%氮100kg50kg瓶装，50kg/瓶破真空及反应腔吹扫三氯化硼99.99%三氯化硼25kg50kg瓶装，50kg/瓶气瓶贮存区主要反应气体氧气99.99%氧50kg50kg瓶36、装，50kg/瓶反应腔清洁氩气99.99%氩50kg50kg瓶装，50kg/瓶辅助反应氦气99.99%氦50kg50kg瓶装，50kg/瓶反应腔冷却氢氧化钠溶液30%NaOH2.0t/废气处理注：氢氧化钠溶液由废气设备设计单位定期上门更换，建设单位不贮存。表表 2.1.4 理化性质一览表理化性质一览表化学品名化学品名称称CAS 号号理化性质理化性质危险性危险性毒性毒性液氯（Cl2）7782-50-5外观与性状外观与性状：液态氯，为黄绿色液体。理化特性理化特性：熔点（）：-101；沸点（）：-34.5；相对密度（水=1）：1.4685（0）、1.557（-34.6）。溶解性：溶解性：易溶于水、碱37、液。危险性类别：危险性类别：剧毒燃爆危险：燃爆危险：在日光下与其它易燃气体混合时发生燃烧和爆炸。健康危害：健康危害：对眼、呼吸道粘膜有刺激作用。环境危害：环境危害：该物质对环境有严重危害，应特别注意对水体的污染和对植物的损害，对鱼类LD50：无资料；LC50：80m/m，1小时（大鼠吸入）16和动物也应给予特别注意。三氯化硼（BCl）10294-34-5外观与性状：无色气体，有强烈气味。理化特性：熔点（）：-107；沸点（）：12.5；相对密度（水=1）：1.43；相对蒸气密度（空气=1）：4.03。溶解性：溶于苯、二硫化碳。燃爆危险：燃爆危险：本品不燃、具强腐蚀性、强刺激性，可致人体灼伤。健38、康危害：健康危害：吸入、口服或经皮肤吸收对身体有害。可引起化学灼伤。对眼睛、皮肤、粘膜和上呼吸道有强烈的腐蚀作用。吸入后可因喉、支气管的痉挛、水肿、化学性肺炎、肺水肿而致死。LD50：无资料；LC50：12171mg/m，1 小时（大鼠吸入）氢氧化钠溶液（NaOH）1310-73-2外观与性状外观与性状：无色或略带暗红色的粘稠液体。溶解性：溶解性：易溶于水、乙醇、甘油；理化性质：理化性质：熔点（）：318.4；沸点（）：1390。健康危害：健康危害：本品具有强烈腐蚀性和刺激性。直接接触皮肤和眼可引起灼伤；误食可造成消化道灼伤，粘膜糜烂、出血和休克。燃爆危险：燃爆危险：与酸发生中和反应并放热。腐39、蚀某些塑料、橡胶或涂层。在潮湿空气中，腐蚀金属铝、锌、锡和铅，生成易燃易爆的氢气。具有强腐蚀性。无资料2.1.4 生产设备生产设备主要设备一览表详见表表 2.1.5。表表2.1.5 项目主要设备一览表项目主要设备一览表序序号号设备名称设备名称使用工序使用工序数量数量（台（台）噪声源强噪声源强（dB）备注备注1电感耦合等离子蚀刻系统蚀刻160-70/2有毒气体浓度检测报警仪液氯、三氯化硼泄漏报警3/分别位于特气柜内、实验室内、供气间内3特气柜液氯、三氯化硼储存2/4碱液喷淋塔废气处理1/日常蚀刻尾气处理5湿式处理装置应急处理1/用于实验室内液氯泄漏应急处理6氯气吸收装置应急处理1/用于供气间内氯40、气泄漏及特气柜中三氯化17硼泄漏应急处理7风机废气处理260-70位于实验室设备隔离间内，1 台日常使用（废气处理），1 台事故使用（泄露应急处置）8风机170-80碱液喷淋塔配套，位于楼顶9风机氯气吸收装置370-80氯气吸收装置配套，2台日常使用（1 用 1备），1 台事故时使用2.1.5 水平衡水平衡项目用水主要为生活用水及喷淋塔用水，项目水平衡图见图图 2.1.1。图图 2.1.1 水平衡图水平衡图2.1.6 项目周边环境及平面布置合理性分析项目周边环境及平面布置合理性分析（1）周边环境）周边环境项目位于xx市xx区新店镇xx南路xx大学能源材料大楼 1#楼，1#楼北侧为嘉庚创新实验室41、 2#楼、东侧隔校道 68m 为教学楼-希平楼、南侧隔校道 70m 为教学楼-南存钿楼，西侧隔沙美路 180m 为居民区-特房芙蓉书院。项目地理位置详见附图附图 1，周边关系详见附图附图 5。（2）平面布置图）平面布置图项目位于xx市xx区新店镇xx南路xx大学能源材料大楼 1#楼，总建筑面积27.48m2。项目实验室位于 1#楼内实验室 1 中的西南角，实验室内设置 1 台电感耦合等离子蚀刻系统，实验室配套的湿式处理装置位于实验室 1 中的东南角；氯气供气间位于 1#楼外18西北侧，设有 1 个氯气柜和 1 套氯气吸附装置；三氯化硼、氩气、氮气、氦气、氧气等气瓶储存于气瓶暂存区；碱液喷淋塔位42、于 1#楼楼顶。项目功能分区明确，总平面布置基本合理。项目平面布置图见附图附图 5。工艺流程和产排污环节2.2.1 研发工研发工艺艺项目研发采用电感耦合等离子体刻蚀法对氮化镓外延片进行干法刻蚀，干法刻蚀是指利用等离子体激活的化学反应或者是利用高能离子束轰击去除物质的方法，因为在刻蚀中并不使用溶液，所以称之为干法刻蚀。干法刻蚀因其原理不同可分为两种，一种是利用辉光放电产生的活性粒子与需要刻蚀的材料发生化学反应形成挥发性产物完成刻蚀，也称为等离子体刻蚀。第二种是通过高能离子轰击需要刻蚀的材料表面，使材料表面产生损伤并去除损伤的物理过程完成刻蚀，这种刻蚀是通过溅射过程完成的，也成为溅射蚀刻，本项目属43、于等离子刻蚀。感应耦合等离子刻蚀系统（ICPE）刻蚀的基本原理：感应耦合等离子刻蚀机（Inductively CoupledPlasma Etch，简称 ICPE）是化学过程和物理过程共同作用的结果。它的基本原理是在真空低气压下，ICP 射频电源产生的射频输出到环形耦合线圈，以一定比例的混合刻蚀气体经耦合辉光放电，产生高密度的等离子体，在下电极的 RF 射频作用下，这些等离子体对基片表面进行轰击，基片图形区域的半导体材料的化学键被打断，与刻蚀气体生成挥发性物质，以气体形式脱离基片，从真空管路被抽走。ICP 设备结构见图图 2.2.1。项目研发流程见图图 2.2.2。图图 2.2.1 ICP 设44、备结构示意图设备结构示意图19图图 2.2.2 研发流程图研发流程图研发流程说明：研发流程说明：项目购入已去胶清洗的氮化镓外延片，无需再进行清洗，氮化镓外延片进入预真空室后由机械臂抓取进出刻蚀腔体，供气系统通入的气体由上电极下表面布满均匀小孔通入反应气体使用电感耦合等离子体辉光放电将其分解（氯气是由氯气特气柜内液氯采用加热模块进行加热产生，氯气供气流程见图图 2.2.3），产生的具有强化学活性的等离子体在电场的加速作用下移动到样品表面，对样品表面既进行化学反应生成挥发性气体，又有一定的物理刻蚀作用。因为等离子体源与射频加速源分离，所以等离子体密度可以更高，加速能力也可以加强，以获得更高的刻蚀速45、率，以及更好的各向异性刻蚀。GaN 的 ICP 等离子刻蚀是一个复杂的物理、化学过程，其大概机理如下所述：ICP 等离子刻蚀的化学过程：Cl2/BCl3在电感耦合高能高频电磁场的作用下辉光放电，产生活性 Cl 自由基，Cl 自由基与 GaN 反应，生成挥发性的气体，在高真空的情况下被泵抽走。该过程的反应方程式大致如下：Cl22ClBCl3BClx+Cl（x=0，1，2）Cl+GaNGaCly+N2（y=1，2，3）ICP 刻蚀的物理过程：离子在加速电场的作用下对基片表面进行轰击，一方面打断GaN 的化学键，另一方面，加快副产物被带走的速率，两方面都加快化学反应。同时物理轰击具有一定的方向性，可46、以实现较优的图形轮廓。蚀刻过程中蚀刻过程中相关参数范围：相关参数范围：20a.气体流量：0200sccmb.压力：01Tc.时间：030mind.温度：015021工艺流程和产排污环节图图 2.2.3 氯气供气流程氯气供气流程及氯气泄漏处置及氯气泄漏处置图图22工艺流程和产排污环节2.2.2 产污环节产污环节项目产污环节及污染源收集处理情况汇总见表表 2.2.1。表表 2.2.1 项目产污环节一览表项目产污环节一览表类别类别污染来源污染来源主要污染物主要污染物去向去向废水生活污水员工日常生活pH、COD、BOD5、SS、氨氮近期，生活污水经化粪池处理后进入校区东区污水处理站处理达标后，作为东园47、溪的生态补水；远期，待市政污水管网覆盖后，生活污水经化粪池处理后进入校区东区污水处理站处理后进入澳头水质净化厂处理。喷淋废水废气处理pH、COD、SS、氨氮近期，排入校区东区污水处理站处理达标后，作为东园溪的生态补水；远期，待市政污水管网覆盖后，排入校区东区污水处理站处理后进入澳头水质净化厂处理。废气蚀刻尾气蚀刻Cl2、BCl3等实验室密闭+设备密闭+管道收集+碱液喷淋塔+25m 高排气筒（DA001）噪声生产噪声设备、风机等/固废生活垃圾日常生活生活垃圾环卫部门统一清运注：项目气瓶使用完后由供应商回收，根据 固体废物鉴别标 通则（GB 34330-2017）中 6.1 规定：任何不需要修复和48、加工即可用于其原始用途的物质，或者在产生点经过修复和加工后满足国家、地方制定或行业通行的产品质量标准并且用于其原始用途的物质不作为固体废物管理，项目仅进行蚀刻，蚀刻蚀刻后委外进行检验及实验，检验及实验产生的废芯片实验单位处置。与项目有关的原有环境污染问题无23三、区域环境质量现状、环境保护目标及评价标准区域环境质量现状3.1.1 水环境质量现状水环境质量现状项目废水主要为喷淋塔废水和生活污水，近期，废水经校区东区污水处理站处理达标后，作为东园溪的生态补水；远期，待市政污水管网覆盖后，废水经校区东区污水处理站处理后进入澳头水质净化厂处理，废水不直接排入地表水体，本评价不赘述地表水和海域水质现状。49、3.1.2 大气环境质量现状大气环境质量现状1、区域环境空气质量现状、区域环境空气质量现状根据 2021 年xx市生态环境质量状况公报，全市国控评价点位的二氧化硫（SO2）、二氧化氮（NO2）、可吸入颗粒物（PM10）、细颗粒物（PM2.5）年平均浓度值分别为0.005mg/m、0.019mg/m、0.036mg/m、0.020mg/m，一氧化碳（CO）95 百分位浓度值、臭氧（O3）90 百分位浓度值分别为 0.7mg/m、0.128mg/m。按照环境空气质量标准（GB3095-2012）评价，SO2、NO2、CO 符合一级标准要求；O3、PM10、PM2.5符合二级标准要求。2、其它污染物50、补充监测其它污染物补充监测项目废气主要污染物为氯气和三氯化硼，由于 环境空气质量标准（GB3095-2012）中无三氯化硼相关的环境质量标准，因此项目不对三氯化硼环境质量现状进行评价，氯气监测结果详见“xx创新实验室配套氯气供气间及蚀刻设备大气环境影响评价专项报告”。3.1.3 土壤、地下水环境质量现状土壤、地下水环境质量现状1、土壤、土壤根据环境影响评价技术导则-土壤环境（试行）（HJ 964-2018）附录 A 土壤环境影响评价项目类别可知，项目行业类别为“其他行业-全部”，土壤环境影响评价项目类别为类，项目可不开展土壤环境影响评价工作。2、地下水、地下水根据环境影响评价技术导则-地下水环51、境（HJ 610-2016）附录 A 地下水环境影响评价行业分类表可知，项目涉及行业为“V 社会事业与服务业，163、专业实验室”，地下水环境影响评价项目类别为 IV 类（报告表），IV 类项目不开展地下水环境影响评价。24环境保护目标3.2.1 大气环境大气环境本项目厂界外 500m 范围内的大气环境保护目标见表表 3.2.1。表表 3.2.1 大气环境敏感保护目标一览表大气环境敏感保护目标一览表名称名称坐标坐标保护保护对象对象环境功环境功能区能区相对厂址相对厂址方位方位相对厂界相对厂界距离（距离（m）经度经度纬度纬度南存钿楼118.31898924.604515教学楼大气环境二类区S70希52、平楼118.31773724.605503教学楼W68周隆泉楼118.31580824.605402教学楼W220学武楼118.31393824.605423教学楼W450和木楼118.31761924.606639教学楼NW145环境与生态学院118.31570124.606685教学楼NW300特房芙蓉书院118.32093924.605904居民区NE180沙美村118.32112824.608505村庄NE355海晟大学府118.32221324.605916居民区NE350 xx正荣府118.32077324.604236居民区SE1853.2.2 声环境声环境项目厂界外 50m 范53、围内主要为xx创新实验室其他研发实验楼，3.2.3 地下水环境地下水环境项目厂界外 500mm 范围内无地下水集中式饮用水水源和热水、矿泉水、温泉等特殊地下水资源。3.2.4 生态环境生态环境项目无新增用地，无生态环境保护目标。污染物排放控制标准3.3.1 废水废水项目废水主要为喷淋塔废水和生活污水，近期，废水经校区东区污水处理站处理达标后，作为东园溪的生态补水；远期，待市政污水管网覆盖后，废水经校区东区污水处理站处理后进入澳头水质净化厂处理，废水不直接排入地表水体，本评价不赘述地表水和海域水质现状。根据xx市水污染物排放标准（DB35/322-2018）的 5.2.3 条，排入建成运行的城镇54、污水处理厂（站）的排污单位，其间接排放限值按照现行国家或xx省的相关标准执行。因此本项目废水经处理达到污水综合排放标准（GB8978-1996）表 4 三级标25准和污水排入城镇下水道水质标准（GB/T31962-2015）表 1 中 B 等级标准（从严）后排放。具体标准限值见表表 3.3.1。表表 3.3.1 废水排放标准废水排放标准 单位：单位：mg/L污染物污染物最高允许排放浓度最高允许排放浓度从严从严取值取值污染物排放监污染物排放监控位置控位置GB/T31962-2015GB18978-1996pH6.59.56969污水排放口COD500500500BOD5350300300SS4055、0400400氨氮45/453.3.2 废气废气项目废气主要为蚀刻尾气，其中主要污染物为氯气、三氯化硼，由于大气综合排放标准、电子工业水污染物排放标准等国家、地方或行业标准中无三氯化硼相关污染物排放标准，因此此处仅列出氯气排放标准，氯气执行xx市大气污染物排放标准（DB35/323-2018）表 1 排放限值，详见表表 3.3.2。表表 3.3.2 大气污染物排放标准一览表大气污染物排放标准一览表污染污染物物最高允许最高允许排放浓度排放浓度，mg/m排气排气筒高筒高度度，m最高允许最高允许排放速排放速率，率，kg/h封闭设施外无组封闭设施外无组织排放监控浓度织排放监控浓度限值，限值，mg/m单56、位周界无组单位周界无组织排放监控浓织排放监控浓度限值度限值，mg/m标准标准氯气25250.40.80.4（DB35/323-2018）表 13.3.3 噪声噪声项目营运期厂界噪声执行工业企业厂界环境噪声排放标准(GB12348-2008)中 1类标准，详见表表 3.3.3。表表 3.3.3 工业企业厂界环境噪声排放标准工业企业厂界环境噪声排放标准(GB12348-2008)单位：单位：dB(A)类别类别昼间昼间夜间夜间155453.3.4 固体废物固体废物（1）一般工业固废）一般工业固废一般工业固体废物贮存标准执行 一般工业固体废物贮存和填埋污染控制标准(GB18599-2020)中的相关规57、定。26总量控制指标根据本项目的排污特点，确定本项目的污染物总量控制因子为：废水污染物：COD、氨氮；废气污染物：氯气。本项目主要污染物排放总量控制指标见表表 3.4.1。表表 3.4.1 废水总量控制一览表废水总量控制一览表废水废水项目项目产生量，产生量，t/a污染物污染物名称名称项目排放口排放要求项目排放口排放要求污水厂排放口要求污水厂排放口要求排放浓度，排放浓度，mg/L 排放量，排放量，t/a 排放浓度，排放浓度，mg/L 排放量，排放量，t/a生活污水60.0COD5000.0300500.0030NH3-N450.002750.0003喷淋塔废水12.0COD5000.00605058、0.0006NH3-N450.0005450.00006废气废气污染物名称污染物名称排放量排放量（t/a)氯气0.003企业排放口排放要求排放总量以 污水综合排放标准（GB8978-1996）表 4 三级标准和 污水排入城市下水道水质标准（GB/T31962-2015）表 1 中 B 等级标准进行核算。根据xx市排污权有偿使用和交易管理办法（试行）文件中第三条“现阶段实施排污权有偿使用与交易的污染物为化学需氧量、氨氮、二氧化硫、氮氧化物，实施对象包括工业排污单位和集中式污染治理单位”。本项目属研发性质，不属于工业生产项目，不需核定排污权。项目的污染物排放总量控制指标以本次核算结果为基础，由建设59、单位上报生态环境主管部门核定总量为准。27四、主要环境影响和保护措施施工期环境保护措施项目位于xx市xx区新店镇xx南路xx大学能源材料大楼 1#楼，实验室已完成建设，不需要进行建筑施工，施工期主要环境影响为机台设备安装，设备安装主要会产生噪声及废包装材料，由于项目需安装的时间短，产生的噪声为暂时性，随着安装的结束而结束，其对周围环境的影响也随之消失；废包装材料集中收集后交由回收公司处置。综上所述，项目施工期的影响具有暂时性，随着施工期的结束，其对周围环境的影响也随之消失。在施工期间，项目若能采取以上措施，其对周围环境的影响是可以接受。运营期环境影响和保护措施4.2.1 废气废气实验过程需通入60、氯气、三氯化硼以及其他惰性气体，由于蚀刻反应完成后将产生蚀刻尾气，主要为未反应的惰性气体、含氯化合物和少量未反应的氯气、三氯化硼。由于氯气属于有毒有害气体，且有相应的污染物控制标准，因此，将蚀刻尾气中的氯气作为主要污染指标进行控制。根据建设单位提供资料，通入的氯气中未反应气体约为 30%，因此，氯气产生量为 0.03t/a。项目实验室密闭，研发设备密闭，设有废气收集管道，废气经管道收集后经碱液喷淋塔处理后通过 25m 高排气筒排放，碱液喷淋塔废气处理设施的处理效率以 90%计，经计算氯气的排放量为 0.003t/a。本评价已设置大气环境影响专项评价，本章节仅简单叙述氯气的产生及排放情况，具体详61、见“xx创新实验室配套氯气供气间及蚀刻设备大气环境影响评价专项报告”。4.2.2 废水废水1、废水产排污核实废水产排污核实（1）产污环节产污环节项目用水主要为生活用水及喷淋用水。生活污水生活污水：项目员工 5 人，均不住厂，根据建筑给水排水设计规范（GB50015-2003），不住厂职工生活用水定额取 50L/（人天），则生活用水总量为 0.25t/d（75.0t/a）；污水排放量按 80%计算，则生活污水排放量为 0.20t/d（60.0t/a），近期，生活污水经化粪池处理后进入校区东区污水处理站处理达标后，作为东园溪的生态补水；远期，待市政污水管网覆盖后，生活污水经化粪池处理后进入校区东区62、污水处理站处理后进入澳头水质净化厂处理。喷淋用水喷淋用水：项目蚀刻过程中产生的蚀刻尾气拟收集后采用 1 套碱液喷淋塔处理，喷淋塔循环喷淋水量约为 1t，当碱液喷淋水碱度下降时定时补充碱液，喷淋塔在运行过程中会有少量的水挥发，因此需定期补充新鲜水，补充水量约为喷淋水量的 1%，则喷淋塔补充水量约为 0.01t/d（3.0t/a）。喷淋塔废水约 1 个月排放 1 次，喷淋废水排放量约为 0.04t/d（12.0t/a），喷淋废水28近期排入校区东区污水处理站处理达标后，作为东园溪的生态补水；远期，待市政污水管网覆盖后，排入校区东区污水处理站处理后进入澳头水质净化厂处理。（2）废水主要污染物产排放情63、况废水主要污染物产排放情况近期，生活污水经化粪池处理后进入校区东区污水处理站处理达标后，作为东园溪的生态补水；远期，待市政污水管网覆盖后，生活污水经化粪池处理后进入校区东区污水处理站处理后进入澳头水质净化厂处理。生活污水水质大体为 COD：450mg/L、SS：400mg/L、NH3-N：35mg/L、BOD5：350mg/L。近期，喷淋塔废水排入校区东区污水处理站处理达标后，作为东园溪的生态补水；远期，待市政污水管网覆盖后，喷淋塔废水排入校区东区污水处理站处理后进入澳头水质净化厂处理喷淋废水类比相似项目污染物浓度约为 COD：250mg/L、SS120mg/L、氨氮 4.5mg/L，项目废水64、及污染物排放情况见表表 4.2.1。表表 4.2.1 项目废水及污染物排放情况项目废水及污染物排放情况废水废水类型类型废水量废水量（t/a）污染污染物物产生浓度产生浓度（mg/L）产生量产生量（t/a）治理治理措施措施允许排放浓度允许排放浓度（t/a）允许排放量允许排放量（t/a）生活污水60.0COD4500.0270三级化粪池+校区东区污水处理站5000.0300BOD53500.02103000.0180SS4000.02404000.0240氨氮350.0021450.0027喷淋塔废水12.0COD2500.0030校区东区污水处理站5000.0060SS1200.00144000.65、0048氨氮4.50.000054450.000542、措施可行性分析及影响分析措施可行性分析及影响分析项目废水主要为生活污水及喷淋塔废水，近期，废水排入校区东区污水处理站处理后达到xx市水污染物排放标准（DB35/322-2018）的相关要求后作为东园溪的生态补水；远期，待市政水质净化厂污水管网覆盖后，废水排入校区东区污水处理站处理后达到xx市水污染物排放标准（DB35/322-2018）的相关要求后进入澳头水质净化厂处理。东区污水处理站主要接纳南强西路以东片区学院师生生活污水处理，东区污水处理站于2011 年 1 月开工建设，2016 年 11 月取得xx市生态环境局xx分局(原xx市环境66、保护局翔安分局)竣工环境保护验收的批复(厦环翔验2016077 号)，设计总规模 8000m/d，现状污水处理规模为 4000m/d，其中粗格栅及进水泵房、细格栅、调节池、中水池、接触消毒池均按照远期规模 8000m/d 建设，并联 AO 生物池、斜板沉淀池、砂滤池、炭滤池按照近期规模 4000m29/d 建设，2021 年 12 月，学校站启动污水处理站的提标改造，目前已完成提标改造，处于调试期间，提升改造后东区污水处理站处理工艺如下图。项目外排废水主要为生活污水和喷淋塔废水，生活污水产生量为 0.2t/d，喷淋塔废水产生量为 0.04t/d，合计废水产生量为 0.24t/d，废水排放量仅占67、东区污水处理站 0.4 万 t/d 处理能力的 0.006%。项目生活污水水质简单，对污水处理站不会造成污染负荷冲击；项目喷淋塔废水量较小，主要污染物为 pH，废水经东区污水处理站中和池处理后，不会对污水处理站不会造成污染负荷冲击。图图 4.2.1 东区污水处理站废水处理工艺流程图东区污水处理站废水处理工艺流程图为了积极响应国务院水污染防治行动计划，消灭黑恶水体，xx市提出了污水厂尾水处理至类 IV 类地表水质标准，再以再生水作为生态补水，是xx市水环境整治的重要手段。根据xx大学xx校区配套污水站提升改造项目(含入河排污口论证)报告表，东园溪校区流量较小，年需要生态需水量 136 万 m，补68、水量 120.86 万 m。受校区下游农业面源污水排放等影响，校区下游营养盐超标严重。本项目生活污水经化粪池处理后排入校区东区污水处理站，废水最终均经校区东区污水处理站深度处理达到 IV 类地表水质标准后回用，可在一定程度上改善区域水环境质量。4.2.3 噪声噪声（1）源强分析）源强分析项目噪声污染源主要来自生产设备、风机，其噪声源的源强为 7080dB(A)。项目产生噪声的噪声源强调查清单见表表 4.2.2、表表 4.2.3。30运营期环境影响和保护措施表表 4.2.2 工业企业噪声源强调查清单（室内声源）工业企业噪声源强调查清单（室内声源）声源声源名称名称数数量量/台台声源声源源强源强/d69、B(A)声源声源控制控制措施措施空间相对位置空间相对位置/m距室内边界距离距室内边界距离/m 噪声级噪声级室内边界声级室内边界声级/dB(A)运运行行时时段段建筑物建筑物插入损插入损失失/dB(A)降噪后源强降噪后源强XYZ东侧东侧西侧西侧南侧南侧北侧北侧东侧东侧西侧西侧南侧南侧北侧北侧声压级声压级/dB(A)建筑物建筑物外距离外距离/m东侧东侧西侧西侧南侧南侧北侧北侧电感耦合等离子蚀刻系统170厂房隔声、基础减振54011052550.056.064.056.0昼间2030.036.044.036.01风机（实验室内废气处理）28054011052560.066.074.066.02040.70、046.054.046.01风机（氯气吸收装置）38034391333370.570.570.570.52050.550.550.550.51合计50.951.955.951.9/注：1、以本项目所在 1#楼西南角为坐标原点(0，0，0)，东西方向为 X 轴、南北方向为 Y 轴；2、实验室内电感耦合等离子蚀刻系统隔离间内设有 2 台风机，1 台用于日常使用，1 台用于事故使用，事故时关闭日常使用的风机，打开事故风机，因此实验室内风机源强以 1 台风机统计。3、氯气吸收装置共配套 3 台风机，其中 2 台用于日常使用（1 用 1 备），1 台用于事故使用，事故时关闭日常使用的风机，打开事故风机，71、因此氯气吸收装置风机源强以 1 台风机统计。表表 4.2.3 工业企业噪声源强调查清单（室外声源）工业企业噪声源强调查清单（室外声源）声源声源名称名称数量数量/台台声源源强声源源强/dB(A)声源控制措施声源控制措施空间相对位置空间相对位置/m运行时段运行时段XYZ风机（废气处理，楼顶）180设减振基础183120昼31运营期环境影响和保护措施（2）影响分析）影响分析根据项目建设内容及环境影响评价技术导则声环境（HJ2.4-2021）的要求，项目环评采用的模型为环境影响评价技术导则 声环境(HJ2.4.2021)附录 A（规范性附录）户外声传播的衰减和附录 B（规范性附录）中“B.1 工业噪声72、预测计算模型”。对室外噪声源主要考虑噪声的几何发散衰减及环境因素衰减：对室外噪声源主要考虑噪声的几何发散衰减及环境因素衰减：L2=L1-20lg(r2/r1)-L式中：L2点声源在预测点产生的声压级，dB(A)；L1点声源在参考点产生的声压级，dB(A)；r2预测点距声源的距离，m；r1参考点距声源的距离，m；L各种因素引起的衰减量（包括声屏障、空气吸收等引起的衰减量），dB(A)。对室内噪声源采用室内声源噪声模式并换算成等效的室外声源：对室内噪声源采用室内声源噪声模式并换算成等效的室外声源：声源位于室内，室内声源可采用等效室外声源声功率级法进行计算。设靠近开口处(或窗户)室内、室外某倍频带的73、声压级分别为 Lp1 和 Lp2。若声源所在室内声场为近似扩散声场，则室内的倍频带声压级可按下式近似求出：Lp2=Lp1-（TL+6）式中：TL-隔墙(或窗户)倍频带的隔声量，dB。图图 4.2.2 室内声源等效室外声源图例室内声源等效室外声源图例设第设第 i 个室外声源在预测点产生的个室外声源在预测点产生的 A 声级为声级为 LAi，在在 T 时间内该声源工作时间为时间内该声源工作时间为 ti；第第j 个等效室外声源在预测点产生的个等效室外声源在预测点产生的 A 声级为声级为 LAj，在，在 T 时间内该声源工作时间为时间内该声源工作时间为 tj，则拟建工，则拟建工程声源对预测点产生的贡献值74、（程声源对预测点产生的贡献值（Leqg）为：）为：式中：Leqg-建设项目声源在预测点产生的噪声贡献值，dB；T-用于计算等效声级的时间，s；32N-室外声源隔声；ti-在 T 时间内 i 声源工作时间，s；M-等效室外声源个数；tj-在 T 时间内 j 声源工作时间，s。预测点的贡献值和背景值按能量叠加方法计算得到的声级预测点的贡献值和背景值按能量叠加方法计算得到的声级。噪声预测值噪声预测值（Leq）计算公计算公式为：式为：式中：Leq-预测点的噪声预测值，dB；Leqg-建设项目声源在预测点产生的噪声贡献值，dB；Leqb-预测点的背景噪声值，dB。项目厂界噪声预测结果与达标分析见表表 475、.2.4。表表 4.2.4 噪声预测结果一览表噪声预测结果一览表单位：单位：dB（A）位置位置与厂界距离（与厂界距离（m）时段时段贡献值贡献值 dB（A）标准值标准值 dB（A）达标情况达标情况厂界东侧4昼38.8昼间55达标厂界西侧636.3达标厂界南侧2727.2达标厂界北侧634.9达标注：1、厂界为 1#楼外 1m 处。项目采取隔声、减振等降噪措施后，厂界噪声均满足工业企业厂界环境噪声排放标准（GB12348-2008）的 1 类标准要求，项目周边无村庄、居民区等声敏感目标，项目噪声排放对周边环境影响不大。（3）监测要求）监测要求根据排污单位自行监测技术指南总则（HJ 819-201776、）监测要求可知，项目自行监测计划见表表 4.2.5。表表 4.2.5 噪声污染源监测一览表噪声污染源监测一览表监测项目监测项目监测点位监测点位监测项目监测项目执行标准执行标准最低监测频率最低监测频率噪声厂界等效昼、夜连续 A 声级（GB12348-2008）1 类标准1 次/季度4.2.4 固体废物固体废物331、固体废弃物固体废弃物产生产生情况情况项目员工 5 人，均不住厂，生活垃圾按不住厂每人每天 0.5kg，则年产生量约为 0.75t/a，生活垃圾由环卫部门集中处理。项目固废产生量及分类汇总见表表 4.2.6。表表 4.2.6 项目各类固废产生量及分类汇总项目各类固废产生量及分类汇总单位77、：单位：t/a固体废物名称固体废物名称产生量产生量代码代码物理物理状态状态环境危险环境危险特性特性处置去向处置去向生活垃圾0.75/由环卫部门集中处理2、管理要求管理要求（1）一般工业固废）一般工业固废一般工业固废的收集、贮存、处理处置及日常管理等应严格执行一般工业固体废物贮存和填埋污染控制标准(GB 18599-2020)中的相关规定。4.2.5 环境风险环境风险1、风险调查、风险调查对照危险化学品重大危险源辨识（GB18218-2009）和建设项目环境风险评价技术导则（HJ169-2018）附录 B，项目危险物质储存量见表表 4.2.7。表表 4.2.7 项目危险物质一览表项目危险物质一览78、表名称名称CAS 号号危险性危险性包装规格包装规格最大储存量最大储存量（t）临界量（临界量（t）液氯7782-50-5有毒50kg/瓶0.11.0三氯化硼10294-34-5有毒50kg/瓶0.052.52、风险潜势初判、风险潜势初判计算所涉及的每种危险物质在厂界内的最大存在总量与其在 建设项目环境风险评价技术导则（HJ169-2018）附录 B 中对应临界量的比值 Q。在不同厂区的同一种物 质，按其在厂界内的最大存在总量计算。当企业只涉及一种风险物质时，该物质的数量与其临界量的比值，即为 Q。当企业存在多种化学物质时，则按下式计算物质总量与其临界量比值（Q）：式中：q1，q2，qn每种风险物79、质的最大存在总量，t；Q1，Q2，Qn各事故环境风险物质相对应的临界量，t。当 Q1 时，该项目环境风险潜势为；34当 Q1 时，将 Q 值划分为：（1）1Q10；（2）10Q100；（3）Q100；表表 4.2.8 项目危险物质数量与临界量表项目危险物质数量与临界量表危险物质名称危险物质名称CAS号号最大储存总量最大储存总量q（t）临界量临界量Q（t）qn/Qnqn/Qn液氯7782-50-50.11.00.10.12三氯化硼10294-34-50.052.50.02综上所述，项目 Q1，项目环境风险潜势为。3、评价等级、评价等级由上述分析可知，项目环境风险潜势为。本项目环境风险评价工作不定80、等级，仅根据“导则”附录 A 开展简单分析。建设单位按照特种气体系统工程技术标准设计氯气间，建设单位编制了安全设计专篇件，并通过评审（附件附件 5：专家组审查意见：专家组审查意见）。根据安评方案和氯气间设计方案，建设项目环境风险简单分析内容详见表表 4.2.9。表表 4.2.9 建设项目环境风险简单分析内容表建设项目环境风险简单分析内容表建设项目名称xx创新实验室配套氯气供气间及蚀刻设备建设地点（xx）省（xx）市（xx）区新店镇xx南路xx大学能源材料大楼1#楼地理坐标经度117597.374纬度243059.905环境影响途径及危害后果环境影响途径：1.重装重卸过程中操作不当造成泄漏；2.81、供气间中容器破损，气体输送管道破损或密封不好造成泄漏。危害后果：当液氯、三氯化硼泄漏时会造成泄漏点附近人员中毒危险，对周围人群及大气环境产生影响。风险防范措施要求1.氯气、三氯化硼等气体采用瓶装输送，车辆运输钢瓶时,瓶口一律朝向车辆行驶方向的右方，堆放高度不得超过车辆的防护栏板，并用三角木垫卡牢，防止滚动。不准同车混装有抵触性质的物品和让无关人员搭车。运输途中远离火种，不准在有明火地点或人多地段停车，停车时要有人看管。发生泄漏或火灾时要把车开到安全地方进行灭火或堵漏。2.氯气特气柜内液氯采用加热模块进行加热产生氯气，温度控制在40以下，配备温度检测设施，超温时联锁关闭加热模块。3.实验室内电感82、耦合等离子蚀刻系统独立隔离设置，液氯、三氯化硼分别直立储存在特气柜中，气瓶与外部隔离起来。4.气化后的氯气经过调压系统减压后，输送至实验室内的电感耦合等离子蚀刻系统。减压后的管路上配备压力表和泄压设施，超压泄放的氯气经过氯气柜气体收集总管，排放至漏氯吸收中和装置。355.本项目氯气输送管道采用1/4”SS316EP+1/2”SS304AP双层管，管道采用焊接连接，管道与特气柜、阀门分配柜、氯气蚀刻设备采用卡压式连接；双层管夹层内抽真空，并配备压力表，当压力表由负压变xx压时，说明有气体泄漏，可及时发现。6.特气柜及阀门分配柜应选择质量好的阀门和管件，保护装置长期安全运行。氯气管道上的阀门应逐只83、进行耐压试验，并定期进行更换。7.氯气供气间内特气柜及三氯化硼特气柜和实验室内的阀门分配柜，均配备紧急切断设施，事故状态下，可一键切断。8.特气柜、阀门分配柜、氯气蚀刻设备均采用负压工作环境，发生泄漏事故时，可有效降低泄漏气体浓度。9.三氯化硼特气柜内均配备气体泄漏检测设施，同时与项目实验室内的事故风机联锁，当泄漏的危险化学品浓度达到设定值时，触发声光报警，并联锁启动事故排风，将泄漏的三氯化硼输送至室外的漏氯吸收中和装置。10.氯气供气间（氯气柜外）内设置氯气泄漏检测设施，当泄漏的危险化学浓度达到设定值时，出发声光报警；联锁启动漏氯吸收中和装置中的事故风机，将室内泄漏的氯气抽排至漏氯吸收中和装84、置进行处理，漏氯吸收中和装置配备三台风机，其中两台（一用一备）作为氯气供气间的日常通风用（有效风量为200Nm/h），另一台为事故排风用（有效风机风量为400Nm/h，项目液氯直立储存在氯气特气柜内，根据建设项目环境风险评价技术导则（HJ 169-2018）中8.2.2.1规定：设置紧急隔离系统的单元，泄漏时间可设定为10min，项目气体流量为0200sccm（1sccm=610-5m/h），事故状态流量按最大值取200sccm（1.210-2m/h），则氯气最大泄漏量取2.010-3m，事故风机风量满足事故状态下的使用需求）。11.项目实验室内的电感耦合等离子蚀刻系统设置在隔离间内，内配置日85、常风机和事故风机，事故风机联锁隔离间内的毒气检测设施，事故时开启，将废气引至实验室1 内的湿式处理装置中进行处置。填表说明（列出项目相关信息及评价说明）：根据建设项目环境风险评价技术导则（HJ 169-2018）附录B，本项目危险物质数量与临界量比值结果为：q/Q=0.121，当Q1时，该项目环境风险潜势为。4、应急、应急处置处置氯气供气间漏氯应急处置氯气供气间漏氯应急处置漏氯吸收中和装置内的吸收装置处于常开状态，采用双塔式多级吸收结构，内设填料，有效吸收高度超过 6 米，能充分保证了含氯气体在吸收塔内的停留时间，吸收效率高，反应更充分吸收更彻底。吸收塔顶装有汽水分离装置，可以充分实现汽水分离86、，使尾气管不喷液。运作时，风机将含氯气体由下往上压入吸收塔，泵抽取吸收液进行雾化喷淋，含氯气体在吸收塔内接触反应，反应结束后，尾气直排大气，反应后的液体回流到溶液箱，经过再生后又被抽到吸收塔内进行反应，不断循环使用。为满足氯气供气间的日常通排风及事故排风要求，在氯气供气间的东南角上面，设置一个36吸风口，并配备吸风用的自垂百叶。实验室内漏氯应急处置实验室内漏氯应急处置实验室内蚀刻设备自带排风设施，工作状态下常开，将抽排的气体引至楼顶的碱液喷淋塔进行处理。本项目实验室内的氯气蚀刻设备采用独立隔离设置，在隔离间内配备机械排风用风机和事故风机，其中事故风机联锁隔离间内的有毒气体检测设施，事故时开启。87、机械排风和事故排风的气体均引至实验室内的湿式处理装置进行处理。三氯化硼泄漏应急处置三氯化硼泄漏应急处置三氯化硼特气柜中设有气体泄漏报警装置，并与项目实验室内的事故风机联锁，当三氯化硼发生泄漏时，实验室内配备的事故风机将开启，将泄漏的三氯化硼输送至室外的漏氯吸收中和装置。碱液碱液喷淋喷淋塔故障下应急措施塔故障下应急措施项目实验室内的电感耦合等离子蚀刻系统设置在隔离间内，内配置日常风机和事故风机，事故风机联锁隔离间内的毒气检测设施，当碱液喷淋塔发生故障等事故时，事故风机将自动打开，将废气引至氯气吸收装置处理。5、结论结论为防止环境风险事故造成大气环境影响，企业应加强风险防范措施。项目主要事故风险类88、型为物料泄漏、废气治理事故及火灾事故，本项目只要完善本评价提出的风险防范措施，并严格按所提措施及要求进行生产管理，达到安全生产的目的，本项目生产营运所造成的环境风险是可接受的。37五、环境保护措施监督检查清单内容要素排放口(编号、名称)/污染源污染物项目环境保护措施执行标准大气环境DA001氯气收集后经碱液喷淋塔处理后通过 25m 高排气筒（DA001）排放xx市大气污染物排放标准（DB35/323-2018）表 1封闭设施外氯气实验室密闭、设备密闭、特气柜等xx市大气污染物排放标准（DB35/323-2018）表 1地表水环境TW001pH近期，生活污水经化粪池处理后进入校区东区污水处理站处89、理达标后，作为东园溪的生态补水；远期，待市政污水管网覆盖后，生活污水经化粪池处理后进入校区东区污水处理站处理后进入澳头水质净化厂处理xx市水污染物排放标准（DB35/322-2018）CODBOD5SS氨氮声环境/噪声隔声、减振工业企业厂界环境噪声排放标准(GB12348-2008)1 类标准电磁辐射/固体废物生活垃圾由环卫部门统一清运。土壤及地下水污染防治措施/生态保护措施/环境风险防范措施1.氯气、三氯化硼等气体采用瓶装输送，车辆运输钢瓶时,瓶口一律朝向车辆行驶方向的右方，堆放高度不得超过车辆的防护栏板，并用三角木垫卡牢，防止滚动。不准同车混装有抵触性质的物品和让无关人员搭车。运输途中远离90、火种，不准在有明火地点或人多地段停车，停车时要有人看管。发生泄漏或火灾时要把车开到安全地方进行灭火或堵漏。382.氯气特气柜内液氯采用加热模块进行加热产生氯气，温度控制在40以下，配备温度检测设施，超温时联锁关闭加热模块。3.实验室内电感耦合等离子蚀刻系统独立隔离设置，液氯、三氯化硼分别直立储存在特气柜中，气瓶与外部隔离起来。4.气化后的氯气经过调压系统减压后，输送至实验室内的电感耦合等离子蚀刻系统。减压后的管路上配备压力表和泄压设施，超压泄放的氯气经过氯气柜气体收集总管，排放至漏氯吸收中和装置。5.本项目氯气输送管道采用1/4”SS316EP+1/2”SS304AP双层管，管道采用焊接连接，91、管道与特气柜、阀门分配柜、氯气蚀刻设备采用卡压式连接；双层管夹层内抽真空，并配备压力表，当压力表由负压变xx压时，说明有气体泄漏，可及时发现。6.特气柜及阀门分配柜应选择质量好的阀门和管件，保护装置长期安全运行。氯气管道上的阀门应逐只进行耐压试验，并定期进行更换。7.氯气供气间内特气柜及三氯化硼特气柜和实验室内的阀门分配柜，均配备紧急切断设施，事故状态下，可一键切断。8.特气柜、阀门分配柜、氯气蚀刻设备均采用负压工作环境，发生泄漏事故时，可有效降低泄漏气体浓度。9.三氯化硼特气柜内均配备气体泄漏检测设施，并与项目实验室内的事故风机联锁，当泄漏的危险化学品浓度达到设定值时，触发声光报警，并联锁启92、动事故排风，将泄漏的三氯化硼输送至室外的漏氯吸收中和装置。10.氯气供气间（氯气柜外）内设置氯气泄漏检测设施，当泄漏的危险化学浓度达到设定值时，出发声光报警；联锁启动漏氯吸收中和装置中的事故风机，将室内泄漏的氯气抽排至漏氯吸收中和装置进行处理，漏氯吸收中和装置配备三台风机，其中两台（一用一备）作为氯气供气间的日常通风用（有效风量为200Nm/h），另一台为事故排风用（有效风机风量为400Nm/h，项目液氯直立储存在氯气特气柜内，根据建设项目环境风险评价技术导则（HJ169-2018）中8.2.2.1规定：设置紧急隔离系统的单元，泄漏时间可设定为10min，项目气体流量为0200sccm（1sc93、cm=610-5m/h），事故状态流量按最大值取200sccm（1.210-2m/h），则氯气最大泄漏量取2.010-3m，事故风机风量满足事故状态下的使用需求）。11.项目实验室内的电感耦合等离子蚀刻系统设置在隔离间内，内配置日常风机和事故风机，事故风机联锁隔离间内的毒气检测设施，事故时开启，将废气引至实验室 1 内的湿式处理装置中进行处置。其他环境管理要求1、应根据项目实际情况，设置专门的环境管理机构或设兼职环境监督员，研究、制定有关环保事宜，统筹全厂的环境管理工作。2、建立环境管理台帐。环境管理台帐应当载明环境保护设施运行和维护的情况及相应的主要参数、污染物排放情况及相关监测数据，原始记94、录应清晰，及时归档并妥善管理。3、应根据建设项目环境影响评价信息公开机制方案要求，并依据企事39业单位环境信息公开办法，向社会公开相关环保信息。4、建设单位应按照固定污染源排污许可分类管理名录（2019 年版）相关规定领取排污许可证，并按排污许可证相关要求持证排污，禁止无证排污或不按证排污。5、根据建设项目竣工环境保护验收暂行办法（国环规环评20174 号），“建设单位是建设项目竣工环境保护验收的责任主体，应当按照本办法规定的程序和标准，组织对配套建设的环境保护设施进行验收，编制验收报告，公开相关信息，接受社会监督，确保建设项目需要配套建设的环境保护设施与主体工程同时投产或者使用，并对验收内容95、结论和所公开信息的真实性、准确性和完整性 负责，不得在验收过程中弄虚作假”。6、各污染源排放口应设置专项图标，环保图形标志必须符合原国家环境保护局和国家技术监督局发布的环境保护图形标志排污口(源)（GB15562.1-1995）和环境保护图形标志固体废物贮存（处置）场（GB15562.2-1995）的要求，见表表 5.1.1。表表 5.1.1 各排污口（源）标志牌设置示意图各排污口（源）标志牌设置示意图排放部位排放部位项目项目污水排放口污水排放口废气排放口废气排放口噪声排放源噪声排放源一般固体废物一般固体废物图形符号形状正方形正方形正方形正方形背景颜色绿色绿色绿色绿色图形颜色白色白色白色白色96、40六、结论综上所述，xx创新实验室xx创新实验室配套氯气供气间及蚀刻设备项目建设符合国家相关规划环评及其审查意见，符合“三线一单”管控要求。项目的建成，只要严格执行环保“三同时”制度，认真落实本报告表中提出的污染防治措施并保证其正常运行、落实环境管理要求及监测计划，项目产生的污染物均可达标排放；对周边的水、大气、噪声环境的影响较小；项目运营期能满足区域水、大气、声环境质量目标要求，从环境保护的角度分析，项目的建设是可行。xxxx省省xxxx检检测测评评有有限限公公司司2022 年年 12 月月 20 日日41附表建设项目污染物排放量汇总表项目分类污染物名称现有工程排放量（固体废物产生量）现有97、工程许可排放量在建工程排放量（固体废物产生量）本项目排放量（固体废物产生量）以新带老削减量（新建项目不填）本项目建成后全厂排放量（固体废物产生量）变化量废气氯气/0.003t/a0.003t/a+0.003t/a废水COD/0.0360t/a0.0360t/a+0.0360t/a氨氮/0.00324t/a0.00324t/a+0.00324t/a注：=+-；=-42附图附图 1：地理位置图：地理位置图本项目本项目43附图附图 2：xx市xx区空间布局规划图xx市xx区空间布局规划图本项目本项目44附图附图 3：xx新机场片区莲河片区土地利用规划图：xx新机场片区莲河片区土地利用规划图本项目本项目45附图附图 4：xx市生态环境管控单元图xx市生态环境管控单元图本项目本项目46附图附图 5：周边环境关系图：周边环境关系图47附图附图 6：平面布置图：平面布置图48附图附图 7：xx市水环境功能区划图xx市水环境功能区划图纳污水体纳污水体49附图附图 8：xx市大气环境功能区划图：xx市大气环境功能区划图项目所在地项目所在地50附图附图 9：xx市声环境功能区划：xx市声环境功能区划项目所在地项目所在地