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年产200t单晶硅及1200万片单晶硅切片生产线项目可研报告(77页)
年产200t单晶硅及1200万片单晶硅切片生产线项目可研报告(77页).doc
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上传人:正*** 编号:817291 2023-11-22 73页 3.27MB
1、XXXXXXXXXXXXX有限公司农业综合开发项目可行性研究报告XX工程咨询有限公司二零XX年XX月XX项目可行性研究报告建设单位:XX建筑工程有限公司建设地点:XX省XX市编制单位:XX工程咨询有限公司20XX年XX月73可行性研究报告编制单位及编制人员名单项目编制单位:XX工程咨询有限公司资格等级: 级证书编号:(发证机关:中华人民共和国住房和城乡建设部制)编制人员: XXX高级工程师XXX高级工程师XXX高级工程师XXXX有限公司二XX年XX月XX日 目 录第一章 总论.1第二章 企业基本情况. 8第三章 市场预测和产品方案.10第四章 物料供应及生产协作.20第五章 工程技术方案.212、第六章 建设条件、厂址方案及公用设施.35第七章 环境保护、职业安全卫生及消防.45第八章 节能. 56第九章 企业组织和劳动定员. 58第十章 项目实施进度建议.59第十一章 投资估算及资金筹措.60第十二章 财务评价.63第一章 总 论1.1项目概况项目名称:*有限公司年产200t单晶硅及1200万片单晶硅切片生产线项目新建企业名称:*有限公司项目负责人:*项目建设地点:*1.2项目提出的背景硅是地球上储藏最丰富的材料之一,从19世纪科学家们发现了晶体硅的半导体特性后,它几乎改变了一切,甚至人类的思维。直到上世纪60年代开始,硅材料就取代了原有锗材料。硅材料因其具有耐高温和抗辐射性能较好,3、特别适宜制作大功率器件的特性而成为应用最多的一种半导体材料,目前的集成电路半导体器件大多数是用硅材料制造的。现在,我们的生活中处处可见“硅”的身影和作用,晶体硅太阳能电池是近15年来形成产业化最快的。熔融的单质硅在凝固时硅原子以金刚石晶格排列成许多晶核,如果这些晶核长成晶面取向相同的晶粒,则这些晶粒平行结合起来便结晶成单晶硅。单晶硅的制法通常是先制得多晶硅或无定形硅,然后用直拉法或悬浮区熔法从熔体中生长出棒状单晶硅。 单晶硅棒是生产单晶硅片的原材料,随着国内和国际市场对单晶硅片需求量的快速增加,单晶硅棒的市场需求也呈快速增长的趋势。单晶硅圆片按其直径分为6英寸、8英寸、12英寸(300毫米)及4、18英寸(450毫米)等。直径越大的圆片,所能刻制的集成电路越多,芯片的成本也就越低。但大尺寸晶片对材料和技术的要求也越高。单晶硅按晶体生长方法的不同,分为直拉法(CZ)、区熔法(FZ)和外延法。直拉法、区熔法生长单晶硅棒材,外延法生长单晶硅薄膜。直拉法生长的单晶硅主要用于半导体集成电路、二极管、外延片衬底、太阳能电池。目前晶体直径可控制在38英寸。区熔法单晶主要用于高压大功率可控整流器件领域,广泛用于大功率输变电、电力机车、整流、变频、机电一体化、节能灯、电视机等系列产品。目前晶体直径可控制在36英寸。外延片主要用于集成电路领域。 由于成本和性能的原因,直拉法(CZ)单晶硅材料应用最广。在I5、C工业中所用的材料主要是CZ抛光片和外延片。存储器电路通常使用CZ抛光片,因成本较低。逻辑电路一般使用价格较高的外延片,因其在IC制造中有更好的适用性并具有消除Latchup的能力。单晶硅也称硅单晶,是电子信息材料中最基础性材料,属半导体材料类。单晶硅已渗透到国民经济和国防科技中各个领域,当今全球超过2000亿美元的电子通信半导体市场中95%以上的半导体器件及99%以上的集成电路用硅。高纯的单晶硅棒是单晶硅太阳电池的原料,硅纯度要求99.999。单晶硅太阳电池是当前开发得最快的一种太阳电池,它的构和生产工艺已定型,产品已广泛用于空间和地面。为了降低生产成本,现在地面应用的太阳电池等采用太阳能级6、的单晶硅棒,材料性能指标有所放宽。有的也可使用半导体器件加工的头尾料和废次单晶硅材料,经过复拉制成太阳电池专用的单晶硅棒。 单晶硅是转化太阳能、电能的主要材料。在日常生活里,单晶硅可以说无处不在,电视、电脑、冰箱、电话、汽车等等,处处离不开单晶硅材料;在高科技领域,航天飞机、宇宙飞船、人造卫星的制造,单晶硅同样是必不可少的原材料。在科学技术飞速发展的今天,利用单晶硅所生产的太阳能电池可以直接把太阳能转化为光能,实现了迈向绿色能源革命的开始。现在,国外的太阳能光伏电站已经到了理论成熟阶段,正在向实际应用阶段过渡,太阳能单晶硅的利用将普及到全世界范围,市场需求量不言而喻。1.3可行性研究依据及范围7、1.3.1 研究依据(1)*有限公司委托知名工程设计研究院进行该项目可行性研究的合同。 (2)*有限公司提供的有关基础资料。其中包括:企业基本情况、项目工艺流程、引进及国产设备情况、财务核算依据、项目建设地基本情况等。(3)国家信息产业相关政策。1.3.2 研究范围 根据上述文件要求,本报告对*有限公司年产200t单晶硅及1200万片单晶硅切片生产线项目进行分析研究,内容包括产品方案、生产规模、市场需求、工程技术方案、环境保护、投资估算和资金筹措、经济效益分析等。1.4项目的目标和主要内容1.4.1项目的目标 项目将形成年产200t单晶硅及1200万片单晶硅切片的生产规模。达产后,年销售收入68、6000万元;增值税2247万元,所得税1742万元,利润总额为6970万元。1.4.2 项目的主要内容 (1)项目将根据年产200t单晶硅及1200万片单晶硅切片的生产规模,利用已有厂房及公用辅助设施,引进具有国际先进水平的切片机、切方机及硅片检测设备;购置热场、碳毡、石英坩锅、直拉式单晶炉、单晶硅带锯床等国产设备。(2)厂区内供电、供水等公用配套设施和生活设施的改造及建设。(3)贯彻环境保护“三同时”、职业安全卫生和节能原则。1.5 总投资及资金来源固定资产总投资:本次投资固定资产总额为10500万元,其中;设备及安装工程: 9559万元(540万美元);建设期利息 120万元;其他费用:9、821万元。项目总投资:13000万元(含铺底流动资金2500万元)。流动资金:8000万元(含铺底流动资金2500万元)。资金来源:固定资产投资由企业自筹6000万元,或银行贷款4500万元。流动资金银行贷款5500万元,企业自筹2500万元。1.6 研究的主要结果经可行性研究其结论性结果为:(1)在国务院批转国家发改委产业结构调整指导目录(2005年本)鼓励类第二十四条中信息产业第38条为:6英寸及以上单晶硅、多晶硅及晶片制造。充分说明本项目是国家产业政策重点支持和鼓励发展的。(2)本项目拟引进的切片机、切方机及硅片检测设备技术先进、自动化程度高、监测手段完备,是目前国际上最先进的单晶硅片10、制造设备。国产设备选用也以先进、高效、环保、节能为原则。(3)项目产品单晶硅片是光伏产业的关键材料,国内外市场潜力巨大。 (4)本项目将根据年产200t单晶硅及1200万片单晶硅切片的生产规模,利用已有厂房进行工艺设备布置,使工艺流程合理、物流通畅,可做到上马快,见效快。(5)项目重视环境保护,拟投入适量资金建造环保设施对三废进行处理,经处理后的废水、废气将达到排放标准。项目劳动安全卫生、消防等问题将通过恰当措施得以妥善解决。(6)项目总投资为13000万元,其中固定资产投资10500万元,铺底流动资金2500万元。达产后将形成年产200t单晶硅及1200万片单晶硅切片的生产能力。(7)项目建11、设期12个月,达产后,年新增销售收入66000万元,增值税为2247万元,销售税金及附加为180万元,利润总额为6970万元。(8)项目实施后,企业实力将显著增强,经济分析表明: 内部收益率为:36.42% (所得税后) 投资回收期为:4.08年(所得税后) 投资利润率为:37.68% 投资利税率为:50.80% 由上可见,无论是从产品还是市场来看,本项目设备较先进,其产品技术含量较高、企业利润率高、市场销售良好、盈利能力强,具有良好的社会效益及一定的抗风险能力,因而项目是可行的。 1.7主要技术经济指标表主要数据1、生产纲领年产200t单晶硅及1200万片单晶硅切片 2、产品方案年产200t12、单晶硅及1200万片单晶硅切片3、原辅材料多晶硅料192t免清洗单晶硅料288t其他辅料1378t4、新增主要生产设备697台套5、公用工程用水量20104吨/a用电量3200万度/a6、人员(新增)300人7、全年生产天数300天8、项目实施地建筑面积(m)302369、固定资产投资(万元)1050010、销售收入及税金销售收入(万元)66000增值税(万元)2247销售税金附加(万元)180利润总额(万元)6970所得税(万元)1742财务评价1、全部投资财务内部收益率(税后)36.62%2、投资利润率37.68%3、投资利税率50.80%4、投资回收期(税后)4.08年第二章 企业基本情13、况2.l 企业概况 *有限公司于2008年5月,由*有限公司及*有限公司共同出资成立。公司位于*工业区。公司注册资本3800万元,总投资13000万元,是一家集研发、生产、销售为一体的高新技术硅材料生产加工企业,主要从事单晶硅棒、单晶硅片的研究、制造、销售和服务。*有限公司聘请国内最早从事半导体材料生产的国家级研究所著名专家,并且引进了一支专业技术队伍,公司现有员工100余人。公司拟引进瑞士、日本等国的切片机、切方机及硅片检测设备11台套,购置国产单晶炉、单晶硅带锯床等生产检测设备686台套,实施单晶硅及晶片生产项目。项目达产后,产品产量为:8英寸单晶硅200t/a(切割能力约1200万片/a14、)。2.2投资方情况介绍*有限公司*有限公司于2001年开始投产,现拥有*名职工,多条生产流水线。公司占地面积80000平方米,建筑面积35000平方米,固定资产7000多万元,2007年度*有限公司总产值为1.1亿元。 公司主要生产*等产品,年产量数件产品,产品远销日本、欧洲、美国等国家和地区,公司配备各类进口设备*套,配套了专用的*设备及*系统,并形成了以*产品的生产、后期加工为特色的一条龙服务。 公司一向贯彻“务实创新、信誉至上”的宗旨, 本着客户至上的理念,不断加强管理,改良设备,提高生产技术,以高标准、严要求把好各项质量关口,始终把客户的满意率作为我们最终目标。*有限公司*有限公司,15、注册地址为*。公司现有设备*台,职工*人,年产*万件,生产总值*万元,实现利税*万元。2.3 企业承办条件及优势 企业承办本项目的优势主要体现在以下几个方面:(1)主要股东方是*地区的成功企业家,能很好地组织社会资源和自然资源,运用成功的企业管理经验为企业新业务项目的运营提供可靠的支持和保证,为地方经济的发展添采。(2)节能减排、资源环保是国家的百年大计,有*地方政府对项目的鼎立支持和关爱,为企业项目把握方向。(3)技术人才优势*有限公司聘请国内最早从事半导体材料生产的国家级研究所著名专家,并且引进了一支专业技术队伍,使公司在单晶硅棒、单晶硅片的研究、制造等方面均有一定的优势;引进人才在单晶硅16、棒、单晶硅片规模生产的生产线建设、设备采购、工艺流程、成本控制、原材料采购及产品销售等方面均拥有成熟的经验,产品的利润率较高。因此,*有限公司实施本项目,技术有保证、市场前境广阔。第三章 市场预测和产品方案3.1 国内外太阳能光伏组件市场概况3.1.1 国外光伏组件概况(1)太阳能光伏发电世界光伏组件在过去15年快速增长,21世纪初,发展更加迅速,最近三年平均年增长率超过20%。2006年光伏组件生产达到1282MW。在产业方面,各国一直通过扩大规模、提高自动化程度,改进技术水平、开拓市场等措施降低成本,并取得了巨大进展。商品化电池效率从10-13%提高到16-17.5%。单条生产线生产规模从17、1-5MW/年发展到5-35MW/年,并正在向50MW甚至100MW扩大;光伏组件的生产成本降到3美元/瓦以下。(2)21世纪世界光伏发电的发展将具有以下特点:产业将继续以高增长速率发展。多年来光伏产业一直是世界增长速度最高和最稳定的领域之一。预测今后10年光伏组件的生产将以20-30%甚至更高的递增速度发展。光伏发电的未来前景已经被愈来愈多的国家政府和金融界(如世界银行)所认识。许多发达国家和地区纷纷制定光伏发展规划,如到2010年,美国计划累计安装4.6GW(含百万屋顶计划);欧盟计划安装3.7GW(可再生能源白皮书);日本计划累计安装5GW(NEDO日本新阳光计划),预计其他发展中国家118、.5GW(估计约10%),预计世界总累计安装14-15GW。到下世纪中叶,光伏发电成为人类的基础能源之一。世界光伏市场和产业在政策法规和各种措施的强力推动下呈快速、增速发展。 最近10年的平均年增长率为28.6% (从1996年的105MW增加到2006年的1282MW)。最近5年的年平均增长率为36.8 (从2001年的261MW增加到2006年的1282MW)。随着太阳能光伏组件的成本逐渐下降,光伏发电系统安装成本每年以5%速率降低。降低成本可通过扩大规模、提高自动化程度和技术水平、提高电池效率等技术途径实现。因此今后太阳电池组件成本逐渐降低是必然的趋势。光伏产业向百兆瓦级规模和更高技术水19、平发展。目前光伏组件的生产规模在520MW/年。许多公司在计划扩建和新建年产50100MW级光伏组件生产厂。同时自动化程度、技术水平也将大大提高、电池效率将由现在的水平(单晶硅15%-17%,多晶硅13%-15%)向更高水平(单晶硅18%-20%,多晶硅16%-18%)发展。太阳能光伏建筑集成及并网发电的快速发展。建筑光伏集成具有多功能和可持续发展的特征,建筑物的外壳能为光伏系统提供足够的面积,不需要占用昂贵的土地,省去光伏系统的支撑结构;光伏阵列可以代替常规建筑材料,从而节省安装和材料费用,例如常规外墙包覆装修成本与光伏组件成本相当;光伏系统的安装可集成到建筑施工过程,降低施工成本;在用电地20、点发电,避免传输和配电损失(5-10%),降低了电力传输和配电的投资和维修成本;集成设计使建筑更加洁净、完美,更使人赏心悦目,更容易被专业建筑师、用户和公众接受。太阳能光伏系统和建筑的完美结合体现了可持续发展的理想范例,国际社会十分重视,许多国家相继制定了本国的屋顶计划。3.1.2 国内光伏组件概况2002年以来,随着尚德、英利等新建规模企业的陆续投产和原有企业的产能扩张,中国光伏组件生产规模年均增长300以上。尽管2003年底以来硅片的短缺多少影响了中国光伏产量的进一步放大。 截止2007年底中国光伏电池总产能超过800MW,组件总产能超过1200 MW,并且仍然不断有企业新进投资光伏产业。21、中国光伏组件的生产能力已经跻身世界前三行列。中国光伏产业的高速增长是在世界光伏市场需求急剧增长情况下取得的,由于国际上光伏最大市场的并网应用在国内仍然处于零星示范论证阶段,中国光伏生产规模的增量大部分用于出口市场。未来中国光伏市场的持续增长仍然需要政府出台相关支持政策。我国光伏组件生产逐年增加,成本不断降低,市场不断扩大,装机容量逐年增加。应用领域包括农村电气化、交通、通讯、石油、气象、国防等。特别是光伏电源系统解决了许多农村学校、医疗所、家庭照明、电视等用电,对发展边远贫困地区的社会经济和文化发挥了十分重要的作用。20年来我国光伏产业已经形成了较好的基础,但在总体水平上我国同国外相比还有很大22、差距。根据光伏工业自身的发展经验,生产量和规模每增加一倍,成本下降约20%。我国政府于04年4月在德国柏林召开的全球可再生能源发展会议上对外承诺,至2010年中国可再生能源将达到总发电装机容量的10,其中光伏系统为450MW。至2020年中国可再生能源将达到总发电装机容量的20,以此推算,光伏系统的安装容量将达到48GW。光伏的发电成本在2020年估计在每千瓦时0.51.0元,在相当大的市场上开始具有竞争力,在2030年左右,则在几乎整个电力市场上都具有竞争力。 3.2太阳能单晶硅及切片市场预测3.2.1我国太阳能单晶硅发展现状我国太阳能电池的产量最近几年持续保持高速增长,短短几年,从事光伏产23、业的企业已发展致500多家。2006年,我国太阳能电池产量达到370MW,生产能力达1200MW。由于太阳能电池的高速发展,国内太阳能电池单晶硅生产企业不断增多,目前规模最大的是河北宁晋单晶硅基地,2006年产量已达1170吨/年,销售额达到36亿元。其他有锦州新日硅/华日硅/华昌电子材料公司、江苏顺大半导体有限公司、常州天合光能有限公司等公司太阳能电池单晶硅的产量也很大。2006年我国太阳能用单晶硅产量已达3188吨,已占到全国单晶硅生产量的85%。表3-3为20012006年国内太阳能用单晶硅生产状况。表3-3 20012006年国内太阳能用单晶硅生产状况。年份2001200220032024、0420052006单晶硅总产量(t)561.9769.11191.41750.82564.53739.8太阳能级单晶硅产量(t)286.7403730.551154.2418873188.3太阳能级单晶硅产量年增长率(%)38.240.681.2857.9663.5268.96太阳能级单晶硅产量平均增长率(%)46.1 图3-1 国内单晶硅总产量及太阳能用单晶硅产量国内太阳能用单晶硅产量由2001年的207.4吨上升到2006年的3188吨,六年内增长了15倍。3.2.2我国太阳能单晶硅市场预测3.2.2.1 国际太阳电池市场概况.1.1 国际市场需求的增长近年来,太阳电池每年销售量在全球范25、围以每年25%的速度递增。最近的市场评估表明,目前全球太阳电池工业每年的产值己超过45亿美元。到2010年每年的销售金额将超过每年约110亿美元。可以预计在今后几年内太阳电池工业将高速发展。自90年代开始,太阳能在并网发电方面的应用增长迅速,主要是安装在居民住房屋顶、商业楼宇。许多国家政府为促进太阳电池的应用所实施的一系列新能源政策,包括一系列直接和间接的辅助计划。保护自然环境,尤其是抑制地球的温度上升己被许多国家政府列为国策。.1.2国外政府对太阳能能源产业的支持尽管人们意识到太阳电池的优越性,但由于其价格比传统发电贵得多,人们只能望而兴叹,而太阳电池生产商们却抱怨。如果电池的市场庞大,制造26、成本自然会下降,从而进一步促进市场需求,形成良性循环。为此,一些发达国家制定了一系列的资助措施,以促进市场的迅速发展,形成规模经济。如日本的“新阳光计划”、德国政府的“再生能源的法案”、美国政府的“一百万户屋顶计划”、澳洲政府的“一万个太阳能屋顶计划”等。 由此可见,西方各国政府已采用各种方式来重组能源结构,支持太阳电池“绿色能源”的推广和应用。表3-1为主要西方国家在太阳电池应用方面的发展计划,表3-2为美国太阳电池容量以及累计总安装数量一览表。国家计划目标年政府辅助日本新阳光计划5000MW20103350德国10万屋顶500MW200838意大利10万屋顶300MW20087580美国127、00万屋顶2500MW20103540澳大利亚10万屋顶200MW200850表31 主要西方国家在太阳电池应用方面的发展计划1999年2000年2005年2010年每年安装容量(MW)1555270610总安装容量(MW)25808202500表32 美国太阳电池容量以及累计总安装数量一览表3.2.未来更为强劲的国际市场人们可能这样说:“目前的太阳电池市场的急剧扩张是在各国政府的资助下形成的,那么如果政府一旦取消资助,会不会造成市场需求急剧下降?”事实上政府的资助行为只是一个推动外因,人们对绿 色能源的渴求才是市场发展的真正内在动力。近年来西方国家通过一系列的能源非垄断改革措施,让消费者个人28、来决定是否愿意多付电费来支持绿色能源,结果在西方主要国家有约32%的消费者愿意使用比传统电力贵的再生能源。随着人们对环境保护意识的加强,消费者本身对再生能源的直接支持力量将会愈来愈强。随着太阳能技术和生产规模的扩大,成本将进一步降低。而随着成本的不断降低以及对独立发电系统和并网发电需求的增加,全球太阳电池工业将会不断发展和壮大。根据“半导体市场情报织”可靠分析与预测,到2010年在加速发展的情形下,每年太阳电池的销售量将为2100MW。在正常发展的情况下,每年太阳电池的销售量为 1100MW。而2000年288MW的销售量已远远超过在加速发展情况下的预测数据。因此到2010年,每年太阳电池的需29、求量将一定远远超过2100兆瓦。也就是说生产量必须增加十倍以上。鉴于以上对国际市场及生产状况的分析,目前世界太阳电池的市场与生产呈供销两旺的状况,且市场规模持续膨胀。因此,当前是进入太阳电池产业的一个最佳的时机。 国内太阳电池市场概况我国太阳电池工业处在发展阶段,生产逐渐扩大,到目前为止已形成规模较大并且成功在国外上市的公司有:无锡尚德、晶澳太阳能、启东林洋、江阴浚鑫、中电电气、浙江昱辉等公司,形成了大规模的商业化生产,有效地参与国际市场竞争。而在此同时,国内对太阳电池产品的需求正逐年增加。主要表现在以下几点。3.政府重视太阳电池的应用我国政府对发展边远地区太阳能发电的应用日益重视,西藏、青海30、和内蒙的牧民们远离国家电网,建立火力发电厂相当昂贵,相比之下太阳能(电池)发电便成为一种比较经济方便的手段。1998年以来由政府资助约6000万元在西藏自治区7个县城建成150KW的太阳能总发电量。从2003年开始我国政府将再筹集6000万元到8000万元为西藏自治区阿里地区的1万户藏民和近20个乡镇安装1个兆瓦以上的太阳能发电系统。最近我国政府还公布了在西北部地区资助居民安装太阳能发电系统的计划,每一个安装500W以上的用户可享受政府5000元左右的补贴。3.世界能源组织和世界银行大力支持中国应用太阳能发电系统世界能源组织和世界银行也在大力支持太阳能发电在中国的应用。由于太阳能发电在技术上还31、相对落后,以及人们对太阳能产品的认识不够,中国的市场还远未打开。因此,世界能源组织和世界银行也在资助和鼓励中国边远地区的居民使用太阳能以改善他们的日常生活。 可见,当前国内现有太阳能生产不能满足快速发展的国内市场。提供太阳电池并网发电产品的企业在中国甚至还是空白。太阳能单晶硅市场预测 长期以来太阳能电池的发展一直受限于原材料供应,业界预测,2008年及未来的时间内太阳能光伏产业仍受制于原材料供应。 结合太阳能电池和集成电路的需要,专家预测,到2008年,我国集成电路用多晶硅需求量1800吨,太阳能电池用量至少在13200吨以上,总需求量超过15000吨,届时可能达到的产量约3000吨,供需缺口32、大。 据不完全统计,国内拉单晶的企业有48家,单晶硅炉1900多台,年产能1.4万吨。全国共有线切设备380台,太阳能电池生产企业20多家,电池生产线50多条,生产能力达1300多兆瓦。目前晶龙集团电池生产能力175兆瓦,英利公司200兆瓦,无锡尚德公司为300兆瓦。全国太阳能电池组件厂300多家,其中江苏省就有约175家。位于浙江省平湖市新仓镇童车工业城的浙江鸿禧光伏科技股份有限公年产180MW的硅太阳能电池组件项目目前已付诸实施,项目达产后单晶硅切片的年需要量达6000万片,公司可就近为其提供单晶硅及切片。 由此可见,项目产品单晶硅及切片市场前景广阔。3.3产品方案及投资规模3.3.1产品33、方案年产200吨8英寸单晶硅(硅纯度为99.9999)及1200万片单晶硅切片,产品主要用于单晶硅太阳电池的制造,是单晶硅太阳电池的主要原料。3.3.2 投资规模 市场需求是决定生产规模的首要因素,鉴于对市场需求量的分析,再结合公司生产实际和今后发展方向,制定该项目的投资规模:年产200t单晶硅及1200万片单晶硅切片。3.3.3生产纲领本项目生产大纲为: 年产200t单晶硅及1200万片单晶硅切片。第四章 原料供应4.1原料消耗本项目原辅材料消耗按年产200t单晶硅计算,本项目的主要原材料是硅料及辅助材料。原辅材料供应见表41。表41 主要原辅材料供应一览表序号原辅材料名称包装规格单位消耗量34、1多晶硅料/t/a1922氢氟酸(55%)5kg/桶,塑料桶t/a963硝酸(65%)15kg/桶,塑料桶t/a1024片 碱50kg/袋,蛇皮袋t/a305冰醋酸(99%)15kg/桶,塑料桶t/a486双氧水(30%)15kg/桶,塑料桶t/a0.487氨 水(30%)15kg/桶,塑料桶t/a0.488无水乙醇1kg/瓶,玻璃瓶t/a0.729免清洗单晶硅料/t/a28810液氩/m3/a320011切割液200kg/桶,塑料桶t/a54012SiC粉末/t/a54013洗涤剂/t/a1414磨 液10kg/桶,塑料桶t/a3.215细 砂(喷砂用)/t/a3.216外购硅片/万片/a435、08.3动力消耗情况(1)电:3200104KWH(2)自来水:年用水量20万吨(3)纯水:纯水制备量 10吨/小时,水质18M(4)液氩: 3200m4.3 仓库及运输本项目在新建厂房中已考虑仓库。足够满足项目需要。本项目运输总量大,公司依靠外协来满足项目运输量的要求。第五章 工程技术方案5.1 设计原则(l)本项目将根据年产200t单晶硅及1200万片单晶硅切片的生产规模,利用已有厂房及公用辅助设施,引进具有国际先进水平的切片机、切方机及硅片检测设备;购置热场、碳毡、石英坩锅、直拉式单晶炉、单晶硅带锯床等国产设备。(2)生产辅助设备以节能、高效为原则。(3)重视环保,对各种污染源进行科学的36、处理,使三废经处理后达到排放标准。(4)配备完善的质量技术措施及产品质量监测和控制技术,保证产品质量达到相关标准,使产品在市场上有良好的竞争力。(5)贯彻环境保护“三同时”、工业职业安全卫生及节能原则。(6)全年工作天数:300天;每班作业时间:8小时。5.3 工艺流程单晶硅制造工艺流程本项目投产后,产品产量为:单晶硅200t/a(切割能力约1200万片/a)。其工艺包括前道硅料腐蚀,单晶硅生产,单晶硅切片,以下分别介绍各工艺:(1)硅料腐蚀工艺1)硅料酸洗腐蚀工艺图1 硅料酸洗腐蚀生产工艺流程图废硅料。主要为多晶硅料、头尾料和锅底料等不可直接利用的原料。分选、打磨/喷砂。即根据硅料的电阻率(37、利用电阻仪进行测试)不同进行分类(以电阻率0.1cm为界限,即0.1cm以上的硅料方可利用),同时去除表面肉眼可见的杂质,并将分类的废硅料进入下一道工序生产;若硅料表面较脏且人工无法去除,则采用打磨或喷砂的方式进行去除;部分硅料需利用无水乙醇进行擦拭,以去除其表面的少量油污。装篮、浸泡腐蚀、超声波清洗、冲洗。将需要酸洗的硅料放入塑料防腐蚀篮内,装入质量约3kg/个;若废硅料表面杂质较多,则需要进入氢氟酸(浓度为55%)腐蚀槽进行浸泡腐蚀,硅料放入后立即关闭腐蚀槽,操作条件为常温,时间约24h48h/批,主要去除硅料表面的SiO2杂质及金属杂质;若废硅料表面较清洁,则可将装篮的废硅料直接放入超声38、波清洗机内进行清洗去除硅料表面的少量油脂,主要加入一些洗涤剂(如无磷洗衣粉等),时间约1015min;经超声波清洗后将硅料用自来水进行冲洗(2遍)。酸洗、清洗、冲洗。将经氢氟酸浸泡或冲洗后的部分硅料放入酸洗槽内进行酸洗,硅料放入后浸泡23min后即酸洗完毕,主要去除硅料表面的SiO2杂质及金属杂质;少量硅料由于表面酸洗不彻底需对其利用1号清洗液(由双氧水33%、氨水30%及自来水按1:1:7的体积比进行配比)进行清洗处理;酸洗或清洗完毕后利用高纯水进行冲洗(共6道)以去除硅料表面残留的酸液。超声波清洗、高纯水浸泡。将冲洗后的硅料放入超声波清洗机内进行清洗,进一步去除硅料表面附着的残留酸液,使其39、表面无酸液附着;之后将清洗完毕的硅料放入高纯水中浸泡5min,用以去除硅料表面痕量的酸液,直至确定无酸液附着(主要测试高纯水电导率来确定,要求在0.8s/cm以下)。甩干、烘干、包装入库。经高纯水浸泡后的硅料放入甩干机内进行甩干以去除硅料表面残留的水分,之后送入烘箱(采用电加热)内进行烘干处理对硅料进行彻底干燥(烘干温度为115,时间约0.55h不等);经烘干后的硅料即可包装入库,以便进行后道加工。2)硅料碱腐蚀+酸洗工艺图2 硅料碱腐蚀+酸洗生产工艺流程图工艺流程说明:硅料、分选、装篮、浸泡腐蚀、超声波清洗、冲洗。其工序与前述酸洗腐蚀工艺一起完成,除酸洗腐蚀外的部分硅料,采用碱腐蚀+酸洗工艺40、。腐蚀、清洗、超声波清洗。将冲洗后的硅料放入碱腐蚀槽(1个,规格为1m1m)内进行腐蚀,硅料放入后腐蚀时间在30s10min不等,腐蚀温度约80,主要去除硅料表面的SiO2等非金属杂质;另外,腐蚀槽上方设置集气抽风装置,进出料时开启抽风装置,产生的碱雾进入废气处理设施处理;腐蚀完毕后的硅料利用高纯水进行清洗(共3道),以去除硅料表面残留的碱液;之后利用超声波清洗进一步去除硅料表面残留的痕量碱液。酸洗、浸泡。将超声波清洗完毕的硅料送入酸洗槽(0.20m2,1个)内进行酸洗,硅料放入后浸泡23min后即酸洗完毕,进一步去除硅料表面的SiO2杂质及金属杂质;酸洗完毕后将硅料放入氢氟酸(浓度为5%)浸41、泡槽(1个,面积为1.0m1.0m)内进行浸泡35min使硅料表面的金属非金属杂质基本上清除完毕(运作时间约为8h/d)。冲洗、超声波清洗、高纯水浸泡、甩干、烘干、包装入库。上述工序说明具体见前述酸洗腐蚀工艺流程说明。(2)单晶硅生产工艺图3 单晶硅生产工艺流程图工艺流程说明:硅料。单晶硅生产过程中使用的硅料,均为成品(无需再进行腐蚀、酸洗等处理;其中部分硅料由企业自身腐蚀、酸洗得到,其余均由外单位进行腐蚀加工)即可投炉加工。配比装炉、拉晶、冷炉拆炉。即将成品硅料根据要求与相应的母合金(主要是P、Be等元素含量多一点的硅片,加入量约为硅料加入量的百万分之一)进行混合装入单晶炉内拉晶(控制温度约42、为1420,时间约为3040h/批,每批生产量约为20kg/炉;拉晶过程中单晶炉内采用液氩作为保护气体;该过程主要是利用高温使高纯硅在单晶炉内熔融并使原子进行有序排列,待有序排列完毕后由单晶炉上方拉晶成柱状硅棒);硅棒生长完毕后对单晶炉进行冷却,之后将硅棒从单晶炉内卸下,以便后道加工处理。测试、分段。利用各类检测设备对成规则柱状硅棒进行电阻率、氧、碳等成分进行测试,经测试合格后(测试不合格的硅棒则送单晶炉或结晶炉作回炉重新拉晶处理)送入切断机内进行分段处理(一般直径为125mm,长度以3040cm不等)便得到成品硅棒,分段的目的主要是使硅棒能够顺利进入切片机内进行切片处理;分段过程采用自来水对43、设备进行冷却,经冷却后排入厂区内污水处理设施。(3)单晶硅片切割生产工艺图4 单晶硅片切割工艺流程图切片后的清洗过程包括以下步骤:硅片自来水洗纯水洗(2道)清洗剂清洗(3道)纯水洗(2道)离心甩干工艺流程说明:硅棒。去头尾、切方,即利用切断机对硅棒进行去头尾处理,之后利用切方机对其进行切方处理使其成为规则柱状;然后进行分段。其头尾切料及废硅料回炉利用。该过程采用自来水对设备进行冷却,经冷却后排入厂区内污水处理设施。切片。将分段的成品硅棒送入切片机内进行切片处理(每台切片机需加入250kg切割液及250kgSiC粉末作为冷却液,其在使用过程中经设备自带的过滤装置过滤后循环使用、定期排放;更换量约44、8.0t/d);切片得到的硅片厚度约为200m。清洗、离心甩干。对切好的硅片须进行清洗处理,主要包括自来水洗(时间约6min,控制温度为3040)、纯水洗(2道,每道控制条件为:时间约6min,温度为3040)、清洗剂清洗(共3道,其中前两道清洗剂浓度为5%,后道为12%,每道控制条件为:时间约6min,温度为65)、纯水洗(2道,每道控制条件为:时间约6min,温度为3040),经清洗后的硅片送入离心机内进行甩干处理以去除硅片表面残留的少量水分。检测、包装。对成品硅片进行检测(主要对其电阻率、氧、碳等成分及外观),经检测合格后即可包装出厂。(4)研磨硅片生产工艺图5 研磨硅片生产工艺流程图工45、艺流程说明:研磨硅片生产过程中使用的原料均为外购成品,之后将硅片依次放入硅片研磨机内(每次加工量为15片,该过程需加入磨液避免硅片在研磨过程中发生破裂并达到相应的研磨效果主要为硅片厚度及表面亮度);之后将研磨完毕的硅片放入超声波清洗机内进行清洗(共3道,采用高纯水,每道时间约6min,控制温度为3040);清洗完毕后在自然条件下风干即为成品,经包装后即可出厂。5.4 主要设备选型5.4.1 选型原则 (1)技术先进:设备性能先进。具有较高的性能费用比,功能完善,运行维护费用低,单位产品物耗、能耗低,加工程度和加工能力较高,技术水平先进,有较高的技术含量;装备水平先进,设备结构合理,制造精良,连46、续化、机械化和自动化程度较高,具有较高的安全性和卫生要求。 (2)可靠性高:设备成熟度高。采用已充分验证并经过使用的设备;生产稳定性高。5.4.2 引进设备5.4.2.1引进设备设备性能特点本项目关键生产和检测设备拟引进国际先进的仪器设备,公司将在认真调研的基础上以招标方式从日本、瑞士、德国、匈牙利等国家选择具有国际先进水平的切片机、切方机及硅片检测设备。拟选择的相关设备介绍如下:(1)切片机日本、瑞士所生产的高速多道线切割机是具有世界先进水平的切片机。日本NTC公司高速多道线切割机MWM442DM适用于裁切薄型太阳能电路板,小口径电路板、石英。MWM442DM型高速多道线切割机有非常高的成品47、率。MWM442DM型高速多道线切割机主体规格:最大工件尺寸:156mmL3002根裁切方式:工件下降方式钢丝行走方式:往返行走/单向行走主辊数:2根导棍数量:17钢丝张力操纵方式:扭矩马达最大钢丝速度:1000m/min主辊直径:20030mm钢丝储线容量:150300Km机械外形尺寸:2200W2550H1750L(mm)机械重量:6.0T以下(2)切方机日本、瑞士所生产的切方机具有世界先进水平。日本NTC公司生产的高速多道线切割机MBS1000适用于裁切光伏电池硅晶块MBS1000型高速多道线切割机具有材料损耗少、加工精度高、产量及生产效率高的特点。MBS1000型高速多道线切割机主体规48、格:最大工件尺寸:1000mmH500mm1根8”H50016根6”H50036根裁切方式:下行切割钢丝行走方式:往返行走/单向行走主辊数:4根主棍槽外径:250mm主棍间距:1500mm导棍数量:48个(200),27个(120)钢丝张力操纵方式:扭矩马达最大钢丝速度:1000m/min主辊直径:20030mm钢丝储线容量:0.32150Km机械外形尺寸:3000W3200H5700L(mm)(3)硅片检测设备-少子寿命测试仪匈牙利Semilab WT-1000B单点硅棒、块或硅片的少子寿命测试仪,提供快速、无接触、无损伤的少数载流子寿命测试。 主要特点: 适应低电阻率样片的测试需要 全自动49、操作及数据处理 能够灵活测试硅锭、硅棒以判断头尾位置 对硅棒进行分选 主要应用: 材料的质量控制(单晶硅棒的出厂、进厂检查)。(4)硅片检测设备-单点少子寿命、电阻率和厚度测试仪匈牙利Semilab WT-1000Res 单点硅片少子寿命、硅片厚度和电阻率测试仪,提供快速、无接触、无损伤的测试。该设备主要应用于硅片出厂、进厂检查,电池生产过程监控等。 主要应用: 硅片进(出)厂的质量控制 电池工艺过程质量控制5.4.3引进设备清单引进设备清单见表5-1(美元与人民币的比价为:1:7)。表5-1 引进设备清单 序号设备名称型号及规格数量单价(万美元)总价(万美元)总价(万元)产地1切片机MWM450、42DM946.5418.52929.5日本或瑞士2切方机MBS10001106.5106.5745.5日本或瑞士3硅棒检测设备Semilab:WT-1000B17749匈牙利4硅片检测设备Semilab:WT-1000RES18856匈牙利合计125403780 5.4.4国产设备国产设备选用工艺成熟、技术先进的设备,有的国产设备采用引进技术制造,核心部件国外采购,国产设备主要有:单晶生产炉、晶棒锯断机、晶棒破方机、超声波清洗机、硅片测试仪、硅片寿命仪、多晶硅超洗机等。(1)单晶炉NXRJ-CZ-8520单晶炉属软轴提拉式单晶炉,它是在惰性气体环境中,通过石墨电阻加热器将半导体材料加热并熔化51、,然后用直拉法生长无位错的单晶设备。该设备可以大规模生产集成电路、太阳能等行业所需的高质量的单晶硅。该设备可使用18或20的热系统,投料60-80kg,拉制6-8.5的单晶,此设备提供两对(四个)电极,可满足用户采用两温区加热的工艺要求。 主要技术参数:拉制晶体最大直径:8.5(215mm)最大熔料量95Kg (20坩埚)主炉室内径850mm加热方式石墨电阻加热籽晶拉速0.2-8mm/min籽晶转速0-20rpm坩埚升速0.02-1mm/min冷炉极限真空度3pa主变压器容量190KW外形尺寸(长宽高)550035006280mm质量7600Kg(2)单晶硅带锯床GF1046型单晶硅带锯床为单52、晶硅配料切割专用设备,适用于单晶硅配料的锯段和锯片。主要技术参数:切削单晶硅最大直径: 230mm 切削单晶硅最小厚度: 1mm 锯带轮直径: 460mm 锯带轮转速: 01200rpm 锯带轮电动机功率: 2.2kw 锯带规格:(长宽厚) 3230380.7mm 切割进给速度: 020mm/min 进给拖板最大行程: 360mm 送料拖板最大行程: 250mm 锯片张紧: 机械式、压力传感器保护 控制方式: 计算机控制,触摸屏操作 主带轮径向跳动: 0.06mm 切割导轨运动直线度: 0.02/100mm 送料导轨运动直线度: 0.02/100mm 切割断面表面粗糙度: Ra3.2um 工件53、的最大切缝宽度: 1.0mm 工件最大切割长度 420mm 总功率 6KW (3)滚圆机 滚圆机用于68单晶或多晶圆柱体的切方与外圆滚磨,是硅晶体专业生产的加工设备。特性介绍:整机布局合理,床身采用强度高、港型号、吸震性能优良的铸铁构件。选用高精度、告负载能力,高可靠性及绝佳运动特性的自润滑滚动直线导轨付及滚珠丝杠付,实现纵向、横向及垂直方向的运动。68三种规格的工作各有一组切方锯片组装零件,可方便快捷的变更工件规格变化时二锯片之间的距离。工件装夹方便灵活,加紧牢固。机床的整个工作过程由计算机程序控制系统控制,触摸式控制屏只管明了,操作简便。征集的防护与保护系统安全可靠。主要技术参数加大直径654、-8最大加工长度50mm-500mm切方对称度0.01切方平面度0.08mm/300mm滚磨圆度0.05mm/400mm滚磨圆柱度0.05mm/400mm方边垂直度0.1mm尺寸精度0.05mm表面粗糙度 Ra0.8外形尺寸(长宽高)325014002080mm总功率10.4KW (4)硅片超声波清洗机主要特点:全不锈钢结构,外型美观大方,结构紧凑合理。设置液位安全控制系统,确保设备正常工作。设置过滤系统,保证溶液清洁度。加热及自动恒温系统,恒温范围为20-90(可调)。以水剂加热适量清洗剂作为清洗溶液,成本低,工艺成熟。独特的锯齿溢水口设计,保证有足够水位,且不断把浮在水面上的脏物溢出。国产55、设备清单见表5-2表5-2 国产设备清单 单位(万元)序号设备名称型号及规格数量单价总价生产厂家1热场20寸36台12432上海东洋碳素有限公司2碳毡1mX10mX10mm1套7070上海东洋碳素有限公司3石英坩锅20寸540个02108宁波宝斯达坩埚保温制品有限公司4纯水设备18兆水质,10吨/小时1套120120深圳市纯水一号水处理科技有限公司5酸雾净化塔系列净化塔1套8080常州市武进常运净化设备有限公司6硅料清洗设备SG-05浸泡槽;SGPE硅料清洗机1套3030张家港市超声电气有限公司7烘箱GDS-500F1套1010江苏安特急科技有限公司8单晶硅带锯床2台23469水循环系统(水管56、,阀门,水泵等)DN200;口径200mm,延程40m.1套200上海环球泵业有限公司10专线电路供电系统1万KVI1套500500平湖市供电局11硅片清洗设备SGR硅片超声清洗机5套1470张家港市超声电气有限公司12滚圆机GF1048型816128常州华盛天龙机械有限公司13直拉式单晶炉NXRJ-CZ952450台95.84790宁夏日晶电子科技有限公司14硅片清洗设备SGR-7槽1000片/8小时2台1428张家港市超声电气有限公司15冷却塔CLF-2004台4.518常州常菱玻璃钢有限公司16板式换热器4台1560上海饮技机械有限公司17压气罐20M3/0.8MPa1套3838常州旺源57、气体有限公司18消谐柜DJXX-1-1-55363108江苏春申电控设备有限公司19空气压缩机50Hz SSR 55KW33090嘉兴市三川机械有限公司20冷冻机150KW24080上海台佳实业有限公司合计 第六章 建设条件、厂址方案及公用设施6.1 总图6.1.1 设计依据、设计原则6.1.1.1 设计依据(1)*有限公司提供的厂区平面布置图;(2)*有限公司及本设计组其它专业提供的有关本项目的基础资料。6.1.1.2 设计原则(1)本项目实施地点为*工业区,将根据年产200t单晶硅及1200万片单晶硅切片的生产规模,利用已有厂房,适应性改造公用辅助设施,布置所购设备进行生产。 (2)厂区平58、面布置首先考虑满足工艺要求,满足消防、安全、卫生等规范要求。(3)充分考虑物流与非物流因素,根据各活动区(车间或部门)间综合关系密切程度确定相互间的位置,力求做到总平面功能区划分明确,工艺、物流路线合理,减少工艺过程及运输中不必要的迂回往返,并方便管理。6.1.2 厂区位置及现状6.1.2.1建设场地地理、人文、经济及社会环境本项目位于*境内。*市地处中国经济最具活力的长江三角洲地区,位于*部,东邻中国经济、金融、信息中心-上海市,南濒杭州湾。全市陆地面积*平方公里,海域面积*平方公里,海岸线长*公里。总人口*万。江南有名的鱼米之乡,素有美誉。随着经济的迅猛发展,正日益成为海内外商贾竞相投资的59、热土。 浙江改革开放以来,经济发展迅速。1988年被国务院列为沿海经济开放区,1992年跨入全国前行列,1995年被省委、省政府命名为首批小康县(市)。据国家统计部门评价,2006年,全市实现生产总值*亿元,比2002年增加*亿元,年均增长*%;财政总收入*亿元,其中地方财政收入*亿元,分别比2002年增加*亿元和*亿元,年均分别增长*%和*%。“十五”期间,全市生产总值翻了一番,财政总收入翻了近两番,地方财政收入翻了两番多,在全国百强县(市)的排名由2000年的第*位前移到2005年的第*位。2006年,城市居民人均可支配收入*元,农村居民人均纯收入*元,城乡居民人均储蓄存款余额*万元,年均60、分别增长*%、*%和*%。居民消费结构进一步改善,城市和农村恩格尔系数分别由*%、*%下降到*%、*%。 近年来,工业经济增势强劲。累计完成工业生产性投资*亿元,年均增长*%;服装、造纸和箱包等传统产业得到巩固,光机电成为我市第二个销售超*亿元产业,荣获中国出口*制造名城和国家火炬计划*产业基地称号;净增规模企业*家,全市累计达到*家,其中销售收入超*亿元企业*家、超亿元企业*家;新增省级以上名牌产品*个、著名商标*个、国家免检产品*个,*品牌成为中国名牌。建筑业发展取得新进展,新增总承包二级资质企业*家、专业承包一级资质企业*家。区域发展活力不断增强。利用外资、外贸出口连续多年排名全省前列,61、入围首届“长三角最具投资价值县市”。累计实现合同利用外资*亿美元,实际利用外资*亿美元,引进市外内资*亿元。*地处中国经济最具活力的长江三角洲地区,位于*省东北部,距市区*km。面积*km2,人口约*万人。公路穿境而过,是江南有名的“丝绸之府,鱼米之乡”。改革开放以来,*经济发展迅速。近年来,*人民在邓小平理论和江总书记 “三个代表” 重要思想指导下,解放思想,实事求是,与时俱进,不断开创*镇现代化建设新局面。2007年全镇实现国内生产总值*亿元;财政总收入*万元,其中地方财政收入*万元;农民人均纯收入超万元;居民储蓄余额*元。近年来相继获得市绿化工作先进乡镇、市文明镇、市、市科技进步先进乡镇62、等荣誉称号。6.1.2.2建设场地及建设环境本项目实施地地处*工业区,交通便利,公用设施齐全。*市交通便利,区位优势得天独厚,位于长江三角洲中心地带,地处上海、杭州、苏州、宁波四大城市组成的菱形对角连接点,相距均在*公里左右。周边有上海虹桥、浦东以及杭州萧山3个国际机场,车程均在1小时左右。沪杭甬高速公路在我市有出入口,杭浦高速公路设有出入口。境内有进出口海港和国家一类对外开放口岸港,现已建成万吨级以上深水泊位、千吨级泊位,综合通过能力达*万吨/年。拥有海河联运航线-*吨级航道,与上海黄埔江、京杭大运河相通,海河联运便捷。*电力供应充足,由华东电网直接供电,具有多电源供电的优势。装机容量*万千63、瓦的发电厂座落在本市境内,一期工程*万千瓦并网发电,二期工程*万千瓦正在建设中。全市集中供热一期工程进展顺利,供热能力将满足供热范围内用汽企业*年的发展需要。邮政通信便捷,是省第*个电话县(市),现已建成电信、广电两个宽带网络。 6.1.2.3自然环境(1)地理位置*市位于*省东北部边缘,南濒杭州湾,东北及东部同上海市毗邻,西接*,西南与*接壤,西北与*市相邻,南北宽*km,东西长*km,总面积*km2。*市区西距*市*km,东距上海市区*km。(2)地形地貌*市地处长江三角洲杭嘉湖平原,地形平坦,地势略呈东南向北倾斜。境内土地以平原为主,南部杭州湾沿岸一线有少量低山、岛礁分布。全市出露地层绝64、大部分为新生界第四系全新统沉积层,新生界以前的地层,仅在杭州湾沿岸山丘,见有古生界寒武系杨柳岗组,泥盆系中、下泥盆统唐家坞组及中生界侏罗系上侏罗统岩石出露。(3)气候特征*市地处亚热带季风区,气候温和湿润,四季分明,日照充足,雨量充沛,夏季炎热多雨,冬季低温干燥。根据*气象站最近20年资料统计,本地区年平均气温15.8,年平均相对湿度83%,多年平均降水量1302.3mm。该区域夏季盛行SE风,其中79月为热带风暴季节,冬季寒潮来临时盛行NNW风,全年以ESE风和NNW风为主,多年平均风速3.4m/s。(4)水文特征*市内河道纵横,水网密布,呈不规则网状结构,全市河道总长* km,平均*km河65、道/km2,河湖塘面积合计*km2,占土地总面积的*%,常年平均水位*m。河网水源主要来自西面,即通过塘和塘汇入,然后通过东北流入上海市的黄浦江,其它河道均为上述水系的网枝。另外该河网受黄浦江潮汐有一定的影响。(5)土壤与植被*市的土壤共分为4个土类、9个亚类、17个土属、40个土种,由于开发历史悠久,土壤熟化程度高,质地为重壤到轻粘,土壤养分丰富,近年的动态监测表明,土壤养分发生了局部变化,氮素偏高,钾素亏缺。目前植被资源以人工栽培作物为主,人工植被大体分为农田、园林和水生三类,仅沿海滩涂、低丘和农隙地尚保留一些自然植被。6.1.2.2 总图(1)总平面布置本项目实施地点为*工业区,厂区占地66、面积*m2,建筑面积*m2,厂区充分考虑场地环境(道路等)和地形;考虑厂内外物流流畅短捷,布置集中紧凑。厂区主要规划分为:主厂房区、办公区等。主厂房区是总体布局的核心,其它部分围绕该核心进行布置。 (2)道路 *有限公司厂区内道路系统完善,道路为水泥混凝土路面,路面宽69米,内缘转弯半径大于9米。整个厂区道路除能满足物流外,还可满足消防通道要求。(3)绿化 *有限公司是一个具有时代气息的现代化工业厂区,建筑物周围、道路两侧等均种植花草树木.建筑物周围绿化带宽度3m。(4)建筑本项目总建筑面积30236,其中生产厂房建筑面积26939,办公区及其它辅助区建筑面积3297。厂房整改按符合电子产品的67、生产要求进行。主要建筑物组成见表6-1:表6-1 主要建筑物及构筑物组成表序号名称建筑占地面积(m)建筑面积(m)层数总高度(m)1单晶车间4412.5868529.82切片车间1859.27500.84183组装车间2151.6510753.255224办公楼651.663258.35225门卫38.938.914.56.1.3 物流根据拟选择厂址地形条件,依据工艺流程的要求,遵循“适用,经济”的原则,利用原有交通运输条件、取水条件和供电条件,合理经济地进行布局。根据厂区地形条件,总图规划考虑人流和物流分开。全厂主要原料、辅料及成品采用汽车运输。原辅料由购入地汽车运至本厂。产品由汽车直接外运68、。6.2 公用设施6.2.1电气6.2.1.1设计依据(l)10kv及以下变配电所设计规范GB50053-94;(2)供配电系统设计规范GB50062-95;(3)低压配电设计规范GB50054-95。6.2.1.2设计范围本项目变配电所及项目用动力与照明配电系统的设计。6.2.1.3供电电源厂区供电电源从广陈镇变电所10KV专线引入。6.2.1.4供电设计(1)负荷等级本工程生产设备用电为二级负荷;照明负荷为三级负荷;消防设备负荷为二级负荷(室外消火栓水量为7OL/S)。(2)装机容量及计算负荷、年耗电量、供电方案本项目实施后,设备安装容量新增4500KW,根据负荷计算(其中设备电气负荷采用69、需要系数法计算,车间内配电采用二项式法计算)并考虑今后发展,在已建变电所内安装2500KVA变压器二台,配置高低压配电设施以满足本项目用电。(3)继电保护厂区供电系统10kV进线采用定时限速断保护,出线采用返时限速断保护,电能计量采用高供高计,动力和照明分开计量。(4)功率因数补偿方式采用在低压配电室设置集中自动无功功率补偿电容器柜,补偿后的功率因数为0.92。6.2.1.5电力设计(1)配电系统变电所至各建筑物采用放射式配电系统,线路敷设方式主要采用电缆桥架。(2)变配电设备厂区供电系统变压器采用节能的SCB9型系列变压器,高压配电柜采用HXGN系列,低压配电柜采用GCK型,动力配电采用QG70、BD安全型配电柜,照明配电采用安全型PZ30配电箱。车间内照明采用新光源和节能灯具。6.2.1.6电气安全保护及接地方式项目低压配电系统采用三相五线制,TN-S制接地保护系统,所有用电设备及金属管道均采用接地保护。建筑物的基础作为防雷接地装置,利用三类防雷措施设防。接地电阻小于10欧,1OKV变压器中性点接地,采用独立的接地装置,接地电阻小于4欧。6.2.1.7电讯厂区综合楼内设有电话总接箱、有线数据交接箱。车间内设电话和电脑,满足电话、数据传输需要。6.2.1.8火灾自动报警系统本项目在电机车间设置火灾探测器及报警按钮。在传达室设置消防控制室,内设区域报警控制器。有确认的火灾时,根据火情、消71、防控制室发出信号,并切断相关区域内的非消防用电设备电源。通过直线电话向公安消防部门报警。6.2.1.9供电系统投资供电系统投资主要用于购置SCB9型系列变压器、HXGN系列高压配电柜、GCK型低压配电柜、QGBD安全型动力配电柜、PZ30安全型配电箱及各种电线、电缆,供电系统投资额为500万元。6.2.2 给排水(1)给水系统公司自来水水源由*市自来水厂供水管网统一供给,水压为0.40MPa,水质符合生活饮用水卫生标准。引入厂区的两条给水管管径为DN150,满足全厂供水要求。本项目总用水量为20万m3/a,生产用水量约为19万m3/a,职工生活用水量约为1万m3/a。生产用纯水用量10m/h,72、18M-cm。设纯水装置1套,制水能力12m/h。消防给水系统:车间消防设消火栓系统,室外消防水量70L/s,室内消防水量40 L/s,同一时间火灾次数按一次考虑。(2)排水系统厂区采用雨污、清污分流制,雨水就近排入周边水体。根据当地污水管网规划及环保部门的要求,本项目废水经厂区内预处理达到GB8978-1996中的三级排放标准后,汇同周边的*有限公司的废水、*有限公司的废水以及*镇上的废水一起铺设管网,接入到东片污水处理工程1#泵站处,纳入东片污水处理厂,经处理达到GB8978-1996中的二级排放标准。另外,生活污水经厂内简单处理后可与生产废水一起接入管网中,接入到东片污水处理工程,经处理73、达标后排入杭州湾。6.2.3 净化、空调和通风 根据产品生产工艺要求,本项目生产区分设净化和空调,空调参数为温度222,湿度5510 % 。本项目生产区选用中央集中空调系统。对产生高热、酸气、粉尘等有害气体的设备设局部排风。第七章 环境保护、职业安全卫生及消防7.1 环境保护7.1.1 设计原则(1)严格执行国家环境保护法,认真执行“三同时”原则。(2)对生产过程中产生的废气、废水、噪声采取综合治理。7.1.2 设计采用的环境保护标准及规定(1)环境空气质量标准(GB3095-1996 )。(2)大气污染物综合排放标准(GB16297-1996 )。(3)工业企业厂界噪声标准 ( GB634874、-1990 )。(4)污水综合排放标准(GB8978-1996 )。 7.1.3 污染治理7.1.3.1主要污染源及处理措施(1)噪声 本项目噪声主要来源于风机、水泵、冷却塔以及硅料切割设备等,其中风机、水泵、冷却塔设置于车间外,其余设备基本上设置于车间内,车间内的噪声源强约为75.085.0dB,车间外噪声监测值约为65.876.1dB。为确保本项目建成投产后本项目四周厂界处噪声达标,进一步做好环境保护工作,采取以下防治措施:注意设备选型及安装。设计中尽量选用加工精度高、运行噪声低的设备。在安装时,对风机、水泵、真空泵、空压机、切片机等高噪声设备须采取减震、隔震措施;对风机、水泵、真空泵、空75、压机等设备安装时采用消声措施,并分别设置于专用的辅助用房内,对上述辅助用房的四周墙壁采用吸声材料进行铺设,同时少设门窗,设备工作时应保持门窗关闭;冷却水循环系统安装时建议在其内部设置适量的软体材料,尽量减少水流落差造成的低频噪声。车间四周墙壁上窗户均使用双层隔声窗,生产时尽量少开启门窗,采用换气扇进行通风换气。重视整体设计。尽量将高噪声设备尽量布置在生产车间的中部,而主要生产车间布置在整个厂区的中部。根据高噪声设备的分布,在设备上方安装吸声吊顶。平时生产中加强对各设备的维修保养,对其主要磨损部位及时加添润滑油,必要时应及时更换。在南北侧厂界设置2m高的非镂空围墙,厂界内侧设置宽约5m的绿化隔离76、带,种植乔木为主,辅以灌木等。预计采取上述措施后及车间墙壁的阻隔,本项目噪声不会对周边声环境造成不利影响。(2)废水本项目废水包括生产废水和生活污水。其中生产废水又分为含氟废水和不含氟废水:其中含氟废水包括单晶硅腐蚀工艺废水(包括超声波清洗、清洗、高纯水浸泡废水、甩干废水),酸雾及碱雾吸收废水,以废水形式排放的废酸及废碱(主要包括碱腐蚀+酸洗工艺中产生的废碱及后道浸泡废水);不含氟废水包括单晶硅棒去头尾、切方设备冷却水及切片后的清洗废水,在硅片研磨生产过程中产生的研磨、清洗废水,高纯水制备过程中产生的RO浓水及反冲洗酸碱废水,设备间接冷却水。这部分废水中设备间接冷却水为清洁水,可直接排放。根据77、本项目废水产生情况,公司在厂区内设置两套污水处理设施。其中一套主要用于处理产生的切方、切片设备冷却水及硅片后道清洗废水,硅片研磨、清洗废水,反冲洗酸碱废水。处理规模为300m3/d,处理工艺为:另一套主要用于处理含氟废水,包括腐蚀工艺废水,酸雾及碱雾吸收废水,以废水形式排放的废碱及废酸。处理规模为150m3/d,处理工艺为:根据当地污水管网规划及环保部门的要求,本项目废水经厂区内预处理达到GB8978-1996中的三级排放标准后,汇同周边的*有限公司的废水、*有限公司的废水以及镇上的废水一起铺设管网,接入到东片污水处理工程镇1#泵站处(距离本项目约7200m),纳入东片污水处理厂,经处理达标后78、排入杭州湾。另外,本项目生活污水,经厂内简单处理后可与生产废水一起接入管网中,接入到东片污水处理工程镇1#泵站处,经处理达标后排入杭州湾。采取上述措施后,预计对附近水体水质影响不大。(3)固体废弃物 本项目固废主要包括:生产废料;硅粉及打磨喷砂粉尘;含氟废水处理产生的污泥;废液;生产垃圾;职工生活垃圾。生产废料。主要包括生产过程中的废硅料,喷砂产生的废粉等。其中废硅料产生量约为120t/a,经厂区内集中收集后部分由腐蚀工艺重新进行加工回用于生产过程中,其余部分由原料供应厂家回收利用;喷砂废粉产生量约为3.2t/a,经集中收集后均由原料供应厂家回收利用。硅粉及打磨喷砂粉尘。硅粉主要包括研磨、切割79、废水沉淀过滤得到的硅粉及切片机的冷却液过滤装置得到的硅粉,产生量约为24t/a,经集中收集后均由原料供应厂家回收利用;打磨喷砂粉尘主要来源于打磨喷砂过程中除尘系统收集的粉尘,产生量为80t/a,主要为一些金属杂质和少量硅粉,可与污泥一并送至当地砖瓦厂进行综合利用。含氟废水处理产生的污泥。该污泥主要含有氟化钙、硫酸钙等无机盐,产生量约为160t/a。经厂区内压滤处理后送至当地砖瓦厂进行综合利用。废液。主要来源有二:一是来自腐蚀槽、酸洗槽内更换下来的浓度较低的废酸;二是切片过程中更换的废冷却液。(1)废酸。硅料浸泡、酸洗过程中使用的酸液使用一段时间后由于浓度达不到工艺要求,需定期更换(更换频率根据80、硅料杂质多少而定),废酸产生量约为240t/a,主要含有各类金属离子、非金属杂质及HF、HNO3、HAc等物质。属危险废物,经厂区内集中收集后均由原料供应厂家回收利用。(2)废冷却液。切片过程中采用由SiC粉末及切割液混合而成的乳化液作为冷却液,其在使用过程中循环使用、定期更换,更换量约为1200t/a。属危险废物,经厂区内集中收集后由切割液供应厂家回收利用。生产垃圾。主要包括盛放各种化学原料的包装桶、包装袋及操作工破旧工作服、手套、口罩等。其中废包装桶、包装袋产生量约20t/a,集中收集后均由原料供应商回收利用;操作工破损工作服、手套、口罩等产生量约3.2t/a,集中收集后汇同生活垃圾一道由81、镇环卫部门清运并作卫生填埋处理。生活垃圾。本项目生活垃圾产生量为40t/a,经厂区内加盖垃圾桶收集后由镇环卫部门统一清运并作卫生填埋处理。综上,本项目固废均落实处置途径,最终排放量均为0。(4)废气本项目废气主要有六:一是腐蚀过程中会产生酸雾、碱雾;二是硅棒去头尾、切方及切片过程中产生的粉尘;三是硅料打磨、喷砂过程中产生的粉尘;四是硅料、硅片清洗过程中(主要为清洗剂清洗)产生的少量有机废气;五是硅料表面清洁时产生的乙醇废气;六是酸洗后少量硅料清洗产生的NH3。酸雾、碱雾。主要产生于硅料浸泡腐蚀、酸洗及碱腐蚀工艺中的后道浸泡过程中。(1)硅料腐蚀浸泡产生的氢氟酸雾。腐蚀车间和实验室各配有1套酸雾82、处理装置分别对上述两处产生的酸雾进行分别处理,处理装置采用二级塔串联的还原性碱液进行吸收处理,即用NaOH中和酸性气体,通过喷淋塔中液体逆相流进行中和并溶解于其中达到净化的目的。腐蚀槽上方设置的风机风量为4000m3/h,由于进出料时间较短(约20min/d)且腐蚀阶段均封闭腐蚀槽,故集气罩集气效率可达98%,碱液吸收处理效率以98计,经处理后由15m高的排气筒排放。可以达到大气污染物综合排放标准(GB16297-1996)表2中的二级标准。(2)酸洗过程中产生的氢氟酸雾、硝酸雾及冰醋酸雾。本项目硅料酸洗产生的酸雾源强分别为:氢氟酸雾,硝酸雾,冰醋酸雾。针对酸洗酸雾配有专门的处理装置(与前述腐83、蚀车间及实验室酸雾处理装置相关处理方法及原理相同),设置的风机风量为3000m3/h,由于酸洗过程均在通风柜内进行,且操作时抽风装置均处于开启状态,集气效率可达90%,碱液吸收处理效率以98计,处理后由15m高的排气筒排放。可以达到大气污染物综合排放标准(GB16297-1996)表2中的二级标准。(3)碱腐蚀后道浸泡产生的氢氟酸雾。本项目硅料碱腐蚀后道浸泡产生的氢氟酸雾。在浸泡槽上方设置集气罩(高于浸泡槽约0.5m)对产生的酸雾进行抽风集气,经集气后纳入酸洗车间酸雾处理装置处理(相关处理方法及原理同上,出口风量为5000m3/h);集气效率以70%计,碱液吸收处理效率以98计;可以达到大气污84、染物综合排放标准(GB16297-1996)表2中的二级标准。(4)硅料腐蚀产生的碱雾。本项目针对碱雾,在腐蚀槽上方设置相应的集气抽风装置(集气罩与腐蚀槽距离约30cm,抽风量为5000m3/h),经收集的碱雾采用一级吸收塔对其进行吸收(吸收液为自来水,循环槽体积为2.0m3;吸收液循环使用、每周排放一次),吸收后的碱液以废水形式排放。集气罩集气效率约80%,碱液吸收处理效率以95计,之后由15m高的排气筒排放。硅粉尘。由于在去头尾、切方、分段等过程中均使用冷却水对设备进行冷却,产生的粉尘均随冷却水一起以废水形式排放;切片过程中产生的硅粉尘由冷却液一同带出,经过滤装置过滤后残留在过滤装置内;故85、硅粉尘排放量为0。打磨、喷砂粉尘。产生于硅料前道打磨、喷砂过程中。(1)打磨粉尘。本项目打磨粉尘约有90%左右经通风柜抽风装置收集至布袋除尘装置(除尘效率可达99%)除尘后排放(排气筒高度约1m,即除尘后就地排放),由于排气筒高度较低,为无组织排放。喷砂粉尘。本项目喷砂粉尘约有99%左右经喷砂机吸砂装置回收(4级旋风除尘,除尘效率可达99%以上)后排放(排气筒高度约4m,位于车间内);由于排气筒高度较低,本评价视其为在车间内无组织排放。有机废气。产生于硅料、硅片清洗过程中,由于该过程中需添加一定浓度的清洗剂,在清洗过程中会有少量的有机废气产生,均以无组织形式排放。在超声波清洗机上方设置集气抽风86、装置,部分有机废气经抽风集气后由车间外排气筒排放,其余均以无组织形式在车间内排放。乙醇废气。部分硅料需利用无水乙醇进行擦拭,以去除其表面的少量油污,本项目无水乙醇在擦拭过程中均以无组织形式挥发至车间内。NH3。产生的NH3汇同酸洗车间酸雾处理装置一同进入处理塔处理,风机风量为3000m3/h,由于清洗过程均在通风柜内进行,且操作时抽风装置均处于开启状态,集气效率可达90%,吸收处理效率以90计,经处理后由15m高的排气筒排放。另外,根据制定地方大气污染物排放标准的技术方法(GB/T13201-91)中的规定,对无组织排放的有毒有害气体可通过设置卫生防护距离来解决,故对各车间无组织排放的氢氟酸雾87、硝酸雾、冰醋酸雾、碱雾、粉尘、乙醇、NH3及少量有机废气,在整个硅料清洗厂房(包括打磨喷砂、浸泡、酸洗、碱洗车间)四周设定卫生防护距离加以防护。7.1.3.2绿化绿化在美化环境、净化空气及减小污染方面起着重要作用。公司已在厂区道路两房及建筑物之间的空地上种植有树木、花卉、草皮等,本工程设计在原有的基础上添平补齐,新增绿化面积。7.1.4建设项目达标分析本工程对废水等采取治理措施,可满足相关污染物排放标准要求,对周围环境的影响较小。7.1.5环保、消防工程投资概算环保工程投资概算210万元见表7-1表7-1 环保工程投资序号项目内容单位数量单价金额(万元)1废水处理套235702酸雾处理设施 88、套320603碱雾处理设施套120204固废收集处理140405绿化、降噪处理2020合计2107.2 工业职业安全卫生7.2.1 设计采用的劳动安全标准 (1)机械防护安全距离(GB6265-90 ) ; (2)生产过程安全卫生要求总则(GB6801-91 ) ; (3)用电安全导则(GB/T13869-82 ) ; (4)机械工业职业安全卫生设计规范(JBJIS-2000 ) ; (5)工业企业噪声控制设计规范(GBJ87-85 ) ; (6)工业企业照明设计标准( GB50034-92 )。(7)工厂安全卫生规程及国发(1983)85号文件的有关规定。7.2.2 设计原则 (1)严格按照89、国家有关的工业卫生设计标准、规范、规定进行工程设计,以防为主,尽量把不安全因素、事故隐患消灭在设计过程中,从根本上保障工人的安全与健康。 (2)在经济合理的条件下,尽量采用不产生或少产生危害安全与卫生的新工艺、新技术、新设备、新材料,减轻工人劳动强度,改善工人劳动条件。(3)遵照国务院关于加强防尘防毒工作的决定的规定,解决尘危害和安全生产问题,坚持尘毒治理和安全设施必须与产体工程实行“三同时”的原则。7.2.2 建设项目生产过程中职业危害分析(1)工艺过程有少量有害性气体:酸、碱性气体、腐蚀性气体;有害液体:酸、碱液体等有害液体。(2)各车间楼梯、平台可能发生人体跌落;(3)机械伤害;(4)电90、动设备运行过程中产生噪声;(5)电动设备引起的不安全因素。7.2.3 保证劳动安全卫生的技术措施(1)对于有危险性因素,如化学品等,设专门的堆放场地,并由专人负责保管;废水治理后达标排放排放及治理措施。对产生有害气体、废热气、灰尘的工艺设备设局部排风。同时,加强厂房内通风,对有毒有害气体集中净化处理。(2)有关工艺设备及管道采用耐腐蚀材料制造,凡有腐蚀性物料存在场地及建、构筑物均需满足防腐的规定。(3)在装置中,根据各岗位接触到有毒有害物料的特性,配备必要的安全劳动保护用品,如橡胶手套、胶靴、防护衣、眼镜、防毒面具、洗眼器等。(4)投资项目采用先进的工艺及设备,提高了机械自动化程序,新增设备均91、按安全规范布置和安装,留有足够的安全运输通道,运输作业按安全程序进行,确保安全生产,定期对职工进行安全操作知识培训,使职工养成按安全规范进行操作的习惯。(5)对生产中可能产生的污染均采取了治理措施,确保生产环境清洁。 (6)电气及照明均按照有关规定设计。车间内新增的所有用电设备,均采用安全绝缘接地保护和漏电保护措施,保障安全生产。(7)建筑物均有可靠防雷接地。 (8)车间内设有通风设施,以改善工人劳动条件。 (9)新招收的生产工人必须经操作技术培训和安全教育,经考核合格后方可上岗独立操作。 (10)发放劳动防护用品。(11)企业己有劳动安全及工业卫生制度及措施,仍可执行。7.3 消防7.3.192、 设计依据 (1)建筑设计防火规范(GBJ16-87)1997版; (2)建筑灭火器配置设计规范(GBJ140-1990);(3)建筑物防雷设计规范(GB50057-1994)。7.3.2消防措施(1) 厂区内现有道路为城市型混凝土路面,环绕主要生产车间布置,厂区道路宽度及最小转弯半径按有关规范设置;新增道路最小宽度为6m,可以满足厂内运输和消防要求。(2)本工程生产场地防火等级属丙类,厂区、生产场地等按照消防规范设置消火栓。同时,建筑单位内按建筑灭火器配置设计规范(GBJ140-90)配置MF4型手提式干粉灭火器。并配置一定数量的移动式灭火器。(3)全厂设置消防组织,配备专职安全员、生产场地93、内配备兼职安全员。加强职工安全防火宣传教育培训工作,并实行持证上岗。第八章 节 能8.1节能本项目主要消耗能源是电、新水、软水、压缩空气、氩气等。8.2依据国务院1986年1月12日发布的节约能源管理暂行条例中规定,“新建改扩建工程项目,必须采用合理的使用能源的先进工艺和设备,其能源消耗不应高于国内先进指标,工程项目的可行性研究和初步设计必须有合理能源的专题论证”。8.3项目能源消耗根据项目年产200t单晶硅的目标,生产过程各种消耗指标,折算本项目能源消耗见表7-1。表7-1 综合能耗表 序号名称单位年度消耗实物量折算标煤量(吨)百分比1电kwh32001292897.01%2新水m3200094、0048.580.36%3其它3502.63%4合计13326.58100.00%5总综合能耗13326.58吨标煤6项目万元GTP增加值综合能耗0.202吨标煤7项目吨产品综合能耗66.6吨标煤8.4节能措施(1)加强能源管理,建立健全能源消耗统计系统。对车间用电、用水安装计量仪表,单独进行经济核算,以节约用能。(2)技术进步是企业节能降耗的根本出路,设计中重视采用成熟的先进工艺,生产设备和公用系统设备、设施均选用节能高效产品。(3)厂区及生产场地内工艺平面布置综合考虑物流和非物流因素,使其物流顺畅,减少搬运能耗。(4)提高设备负荷率,本设计考虑平均负荷率达87%左右。(5)供电系统采用电容95、器补偿,补偿后功率因数为0.92,减少电能损失。(6)加强检测手段,减少产品不合格率,避免由于产品缺陷返修造成能源浪费。(7)照明采用高光效光源或节能灯照明,以减少照明耗电量。 (8)合理配置变压器的容量,根据生产负荷,调整变压器的使用。(9)5KW及以上功率马达,配置变频节能装置。(10)合理设计高纯水制备工艺,设计原水池与200m3的集水池,充分利用谷电制取高纯水。(11)合理设计配置电器,确保电器用电三相平衡。8.5节水措施(1)鉴于部分清洗用水为25-35的温水,改进单晶炉冷却水管路,设计冷却回水回收用于硅片加工过程中的清洗。达到节约用水与回收热能(节能)的目的。(2)合理设计硅片清洗96、的程序,实行清洗水套用的清洗操作工艺规程,严格执行。第九章 企业组织和劳动定员9.1 企业组织公司实行董事会领导下的总经理负责制,设有总裁办公室、研发中心、营销中心、计划财务部、采购管理部、人力资源部及生产部等职能部门,建立了安全生产委员会及人力资源委员会。完全按现代企业管理制度运作。9.2 劳动定员本项目一期员工人数为300人,各类人员数量见下表:人员分类人数所占比例管理人员3612技术人员3010工人19264辅助生产人员4214合计300100公司的技术骨干和管理骨干由股东方选派,项目投产后随着生产的扩大,公司人员逐步增加。新招募人员的培训可有一期生产线和选派的技术、管理骨干。8.3工作97、制度全年工作日300天,三班四运转,每班工作8 小时。技术管理人员按一班制工作。8.4 人员培训项目需新增各类人员共300人。企业将对人员进行有计划的教育培训,使其掌握操作使用技能,以提高人员素质。第十章 项目实施进度建议10.1项目建设的基本要求和总安排本项目由*科技有限公司投资建设。要求在稳妥、可靠的前提下,尽可能加快项目实施进度。根据各项工作所需时间,参考同类项目的实施进度,总的项目建设周期安排为12个月(*-*)。建设周期共分三个阶段,分别为:(1)前期准备阶段,时间为2个月。(2)工程建设阶段,时间为8个月。(3)工程验收阶段, 时间为2个月。前期准备阶段包括:编制项目建议书和可行性98、研究报告,可行性研究报告的评审等。工程建设阶段包括施工图设计、土建设计、设备安装及调试。工程验收阶段包括工程验收、试生产。10.2项目实施进度安排本项目建设期为12个月,具体实施进度如下:(1)项目报批:20*年8月至20*年9月(2)设备购置:20*年9月至20*年4月(3)设备安装、调试:20*年4月至20*年5月(4)验收、试生产:20*年5月至20*年6月第十一章 投资估算及资金筹措11.1 概述本项目为*有限公司年产200t单晶硅及1200万片切片生产线项目可行性研究报告,项目总投资为13000万元,其中固定资产投资10500万元,铺底流动资金2500万元。11.2 编制方法 工程按99、有关概算指标进行估算。 设备购置费根据设备现行价格估算,设备运杂费、安装费按照机械工业工程建设概预算编制办法及规定进行编制。 勘察设计费、职工培训费、预备费等按有关规定计取。项目引进设备价格根据外商报价结合市场调研确定,价格以CIF价计取,美元和人民币比价为1: 7,所需外汇由企业购汇解决。11.3投资估算11.3.1 固定资产投资 本项目固定资产10500万元,设备及安装工程为9559万元(含美元540万美元),建设期利息120万元,其他费用为821万元。详见投资估算表(表10-1)。本项目投资构成分析见下表:序号项目名称金额(万元)比例(% )1设备、安装工程955991.04%2其他费用100、合计(含建设期利息)9418.96%合计10500100%表10-l 投 资 估 算 表 单位:万元序号项 目设备购置费安装工程费其他费用合计其中外汇(万美元)一、工程费用1进口设备工艺投资3780 113 3893 540 2国产配套设备工艺投资4596 230 4826 3电气系统投资500 40 540 4环保投资210 15 225 5给排水系统投资50 5 55 6消防20 20 小计9156 403 9559 二、工程建设其他费用1勘测设计费50 50 2生产准备费20 20 3职工培训费20 20 小计90 90 三、引进设备附属费用1银行财务费19 19 2海关监管费11 11101、 3引进设备商检费19 19 4外贸手续费30 30 5国内运杂费38 38 小计117 117 四、预备费基本预备费614 614 五、建设期利息建设期利息120 120 固定资产投资合计9156 403 941 10500 540 所占百分比87.20%3.84%8.96%100.00%11.4流动资金估算流动资金占用参照企业目前的实际情况,并考虑经营管理水平提高等因素,采用详细分项估算法估算,本项目流动资金8000万元,其中铺底流动资金2500万元。流动资金估算详见流动资金估算表(表10-2)。11.5 资金筹措及使用计划11.5.1 项目总投资及资金筹措本项目总投资为13000万元(含102、铺底流动资金2500万元),固定资产投资由企业自筹6000万元,银行贷款4500万元。流动资金8000万元(含铺底流动资金2500万元),流动资金银行贷款5000万元,企业自筹3000万元。11.5.2 投资使用计划 本项目建设期为12个月,各年资金来源及使用计划详见表10-3 。第十二章 财务评价12.1 生产纲领项目达产后,可形成年产200t单晶硅及1200万片切片的生产能力。12.2 固定资产、无形及递延资产项目实施后,企业将新增固定资产10500万元,固定资产、递延资产情况详见表11-1。12.3 产品成本测算(1)原材料、外购件及燃料动力费用根据产品物料消耗及材料价格进行估算。 (2103、)工资及福利费。 项目所需定员300人,年人均工资及福利费按每年3万元计,全年工资及福利费总额为900万元。(3)折旧费:投资折旧按9.5的折旧率计算。(4)修理费按年折旧额的30计算。 (5)财务费用:按财务制度规定,将生产经营期发生的长期贷款利息、流动资金借款利息以财务费用的形式计入总成本。 (6)其他费用:为了便于项目的评价,将制造费用、管理费用、销售费用等作了适当归并,将职工工资及福利费、折旧单独列出后,均计入其他费用。(7)总成本本项目正常年的总成本费用为48647万元,其中固定成本为6423万元,可变成本为42224万元,经营成本为46923万元。成本测算详见总成本表(表11-2)104、。12.4 销售收入、销售税金及附加,利润及分配12.4.1销售收入项目年产200t单晶硅及1200万片切片,销售价格按现行市场价格计取,正常年销售收入为66000万元。产品销售收入详见表(表11-3)12.4.2 销售税金及附加产品、城市维护建设税、教育费附加按国家有关规定计算,其中增值税为17%,城市维护建设税、教育费附加按增值税的5%和3%计取,经计算正常年份增值税为1742万元,销售税金附加为180万元。详见表(表11-3)12.4.3 利润及分配项目达产后,正常生产年份新增利润总额6970万元。按25%的税率交纳所得税为1742万元,税后利润提取15%盈余公积金。详见表(表11-4)105、12.5财务盈利能力分析12.5.1投资利润率和新增投资利税率投资利润率投资利税率 12.5.2 财务现金流量分析全部投资现金流量分析详见表11-5评价结果见下表:序号项目名称单位指 标所得税后所得税前1财务内部收益率FIRR36.62%46.69%2财务净现值FNPV (i=10 %)万元23988.07 33749.28 3投资回收期Pt年4.08 3.53 12.6 盈亏平衡分析新增生产能力的盈亏平衡计算如下: 计算结果表明,企业新增生产能力只要达到46.55时,项目即可保本。12.7 主要数据及评价指标见表11-612.8 经济分析结论根据上述分析,项目实施后,新增销售收入66000万106、元;新增增值税为2247万元;销售税金附加为180万元;新增利润总额为6970万元。投资利润率、投资利税率、财务内部收益率分别为37.68、50.8、36.62% (全部投资所得税后),因此本项目在经济上是可行的。 引进设备清单 (美元与人民币的比价为:1:7) 单位(万元)序号设备名称型号及规格数量单价(万美元)总价(万美元)总价(万元)产地1切片机MWM442DM946.5418.52929.5日本或瑞士2切方机MBS10001106.5106.5745.5日本或瑞士3硅棒检测设备Semilab:WT-1000B17749匈牙利4硅片检测设备Semilab:WT-1000RES18856匈107、牙利合计125403780国产设备清单 单位(万元) 序号设备名称型号及规格数量单价总价生产厂家1热场20寸36台12432上海东洋碳素有限公司2碳毡1mX10mX10mm1套7070上海东洋碳素有限公司3石英坩锅20寸540个02108宁波宝斯达坩埚保温制品有限公司4纯水设备18兆水质,10吨/小时1套120120深圳市纯水一号水处理科技有限公司5酸雾净化塔系列净化塔1套8080常州市武进常运净化设备有限公司6硅料清洗设备SG-05浸泡槽;SGPE硅料清洗机1套3030张家港市超声电气有限公司7烘箱GDS-500F1套1010江苏安特急科技有限公司8单晶硅带锯床2台23469水循环系统(水管108、,阀门,水泵等)DN200;口径200mm,延程40m.1套200上海环球泵业有限公司10专线电路供电系统1万KVI1套500500平湖市供电局11硅片清洗设备SGR硅片超声清洗机5套1470张家港市超声电气有限公司12滚圆机GF1048型816128常州华盛天龙机械有限公司13直拉式单晶炉NXRJ-CZ852040台883420宁夏日晶电子科技有限公司14硅片清洗设备SGR-7槽1000片/8小时2台1428张家港市超声电气有限公司15冷却塔CLF-2004台4.518常州常菱玻璃钢有限公司16板式换热器4台1560上海饮技机械有限公司17压气罐20M3/0.8MPa1套3838常州旺源气体有限公司18消谐柜DJXX-1-1-55363108江苏春申电控设备有限公司19空气压缩机50Hz SSR 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