1、建设项目环境影响报告表（污染影响类）项目名称：xxxx科技有限公司年产 1500 套红外焦平面探测器项目建设单位（盖章）：xxxx科技有限公司编制日期：2023 年 3 月目录目录一、建设项目基本情况一、建设项目基本情况.1二、建设项目工程分析二、建设项目工程分析.19三、区域环境质量现状、环境保护目标及评价标准三、区域环境质量现状、环境保护目标及评价标准.41四、主要环境影响和保护措施四、主要环境影响和保护措施.52五、环境保护措施监督检查清单五、环境保护措施监督检查清单.105六、结论六、结论.109附表附表.110建设项目污染物排放量汇总表建设项目污染物排放量汇总表.110附图附图附图 2、1 项目地理位置图附图 2 项目周边环境图附图 3 项目周边环境照片附图 4 编制主持人现场踏勘照片附图 5 厂区总平面布置图附图 6 xx市环境管控单元分类图附图 7 xx市水环境功能区划图附图 8 长山河、长水塘水环境功能区范围示意图附图 9 xx经济开发区用地规划图附图 10 本项目污染区划分及防渗等级一览图附图 11 环境空气质量、地表水质量引用监测点位图附图 12 项目 500m 范围内环境敏感目标图（注：本项目 500m 范围内无敏感目标）附件附件附件 1 备案通知书附件 2 企业营业执照附件 3 不动产权证、租赁协议附件 4 废水委托处理协议附件 5 专家函审意见及修改说明附件 3、6 建设项目污染物总量平衡替代方案附件 7 危废委托处置承诺书附件 8 环评文件确认书1一、建设项目基本情况建设项目名称xxxx科技有限公司年产 1500 套红外焦平面探测器项目项目代码建设单位联系人*联系方式*建设地点地理坐标xx经济行业类别C3979 其他电子器件制造建设项目行业类别三十六、计算机、通信和其他电子设备制造业 3980、电子器件制造 397建设性质新建（迁建）改建扩建技术改造建设项目申报情形首次申报项目不予批准后再次申报项目超五年重新审核项目重大变动重新报批项目项目审批（核准/备案）部门（选填）xx市经济和信息化局项目审批（核准/备案）文号（选填）/总投资（万元）11000环4、保投资（万元）115环保投资占比（%）1.05%施工工期12 个月是否开工建设否是：用地（用海）面积（m2）2678专项评价设置情况无设置专项评价，具体判定见下表1-1。表表1-1 专专项项评评价价判判定定表表专专项项评评价价的的类类别别设设置置原原则则本本项项目目概概况况是是否否设设置置专专项项大气排放废气含有毒有害污染物1、二噁英、苯并a芘、氰化物、氯气且厂界外500米范围内有环境空气保护目标2的建设项目本项目废气虽涉及氯气排放，但是厂界外500米范围内无环境空气保护目标，最近环境空气保护目标距离厂界750m否地表水新增工业废水直排建设项目（槽罐车外送污水处理厂的除外）；新增废水直排的污水5、集中处理厂本项目生产废水依托园区污水处理站处理达标后纳管排放；生活污水依托园区化粪池预处理达标后纳管排放否环境风险有毒有害和易燃易爆危险物质存储量超过临界量3的建设项目本项目有毒有害和易燃易爆危险物质Q值1，存储量未超过临界量否生态取水口下游500米范围内有重本项目不涉及取水否2要水生生物的自然产卵场、索饵场、越冬场和洄游通道的新增河道取水的污染类建设项目海洋直接向海排放污染物的海洋工程建设项目本项目不属于海洋工程建设项目否注：1.废气中有毒有害污染物指纳入有毒有害大气污染物名录的污染物（不包括无排放标准的污染物）。2.环境空气保护目标指自然保护区、风景名胜区、居住区、文化区和农村地区中人群较6、集中的区域。3.临界量及其计算方法可参考建设项目环境风险评价技术导则（HJ 169）附录B、附录C。规划情况规划名称：xx经济开发区（中心区）总体规划修编（2017-2035）审批机关：/审批文件名称及文号：/规划环境影响评价情况规划环境影响评价文件名称：xx经济开发区（中心区）总体规划修编（2017-2035）环境影响报告书和xx经济开发区（中心区）总体规划修编（2017-2035）环境影响报告书6张清单修订稿召集审查机关：xx省生态环境厅审查文件名称及文号：xx省生态环境厅关于xx经济开发区（中心区）总体规划修编（2017-2035）环保意见的函（浙环函2019237号）规划及规划环境影响7、评价符合性分析（1）与）与xx经济开发区（中心区）总体规划xx经济开发区（中心区）总体规划 修编（修编（2017-2035）符合性分析符合性分析1规划概况规划概况xx省xx经济开发区成立于1992年8月，其前身是xxxx市经济开发区，于1997年12月被批准为省级开发区，后于2002年、2003年与西面的皮都开发区、袜业区进行了整合，并于2006年3月通过国务院审核，同年获长三角最具价值投资开发区第五位（综合实力第四位）。在2006年10 月举办的首届“长三角最具投资价值开发区”评选中荣获综合实力奖第4名。2007年5月，由中国城市规划设计研究院编制完成了xx经济开发区总体规划（2006-208、20），规划范围为xx经济开发区管辖范围，基本属于海昌街道行政区域范围，规划面积50.78km2，委托xx大学编制了xx省xx经济开发区规划环境影响报告书，该报告书于2008年12月通过由xx省环保厅组织的审查并形成会议纪要。2009年与国家级开发区上海漕河泾新兴技术3开发区全面合作，在区内设立上海漕河泾新兴技术开发区xx分区。2012年，被纺织工业联合会授予“时尚品牌产业基地”；20102013年，连续四年位列xx省省级经济开发区综合排名前十强，其中2013年跻身前三。为提高土地使用效率，体现土地使用集约原则，根据新一轮土地利用规划，xx经济开发区2012年起对开发区规划内容进行了适当调整，9、2012年8月，委托xx市城市规划设计研究院编制xx经济开发区总体规划修编（2013-2030），并于2013年4月召开了初稿征求意见会，2014年3月完成编制。为了适应新一轮的土地利用规划修编调整，2012年8月xx省xx经济开发区管理委员会曾委托编制海宁经济开发区总体规划修编（2013-2030）。为了促进xx经济开发区可持续协调发展，xx市人民政府于2017年12月向省厅上报了xx市长山河、长水塘和xx下河水环境功能区优化调整方案，并于2018年11月经省政府同意该调整要求（浙环便函2018951号）。为此，xx省xx经济开发区管理委员会于2018年根据调整后的长山河、长水塘水环境功能区10、划，以及有关饮用水源保护区范围，再次组织编制了xx经济开发区（中心区）总体规划修编（2017-2035），规划面积依据xxxx经济开发区整合提升工作方案（2012-2015）确定为50.448km2。地理位置及规划范围规划面积50.448km2，城市规划区范围调整为：xx经济开发区行政区范围和长山河以南由拳路以北的三角区块，四至范围：东至杭平申航道，南至长山河、沪杭铁路及由拳路，北至盐湖公路及杭平申航道，西至环西二路及市域西界”。东区四至范围为：东至欣旺小区，南至长山河，西至俞家桥路，北至盐湖公路和港口大道。西区：东、南至沪杭铁路，北至长山河，西至环西二路及市域西界。北区：东至沪杭铁路，南至长11、山河，西至环西二路，北至规划中的杭平申航道及盐湖公路。4图图 1-1 规划范围规划范围示意图示意图图图 1-2 用地规划图用地规划图规划期限规划以2017年为现状基准年；近期为20172022 年，远期为20232035年。5规划发展目标发展的总体目标是：规划到2035年，把xx经济开发区打造成xx省最具竞争力排名前列的产业集聚区和转型升级示范区；xx市北部生态宜居、环境优美、活力创新、可持续发展的综合型现代化城区。职能定位以皮革加工制造、纺织服装产业为特色，以电子信息、新能源、新材料、生物医药、装备机械等新兴产业为支柱的省级经济开发区；集商贸、金融、物流、居住、办公、休闲等城市功能于一体，以12、山、水、湿地景观为特色的宜居型、生态型、低碳型现代化城区。东区：以传统轻工业为主，包括服装、皮革、化工、机械等产业，集居住、商贸、生态休闲、港口物流于一体的现代化、综合化、生态化新型产业开发区。西区：以皮革产业为主导，集居住、商贸、服务于一体的现代化、综合型产业开发区。北区：皮革制造业、轻工机械、物流业基地、市场；漕河泾新兴技术开发区xx分区规划形成两条以机电装备业、新材料为主导，相关产业和生产性服务产业为配套的健全而成熟的产业链。2符合性分析符合性分析本项目位于xx经济开发区谷水路306号A16，用地性质为工业用地，符合用地性质要求，项目位于xx经济开发区（中心区）总体规划范围内的北区，所在13、区域是以电子信息、新能源、新材料、生物医药、装备机械等新兴产业为支柱的，漕河泾新兴技术开发区xx分区规划形成两条以机电装备业、新材料为主导，相关产业和生产性服务产业为配套的健全而成熟的产业链。本项目属于C3979其他电子器件制造，主要生产红外焦平面探测器，满足其支柱产业导向要求。因此，本项目建设符合 xx经济开发区（中心区）总体规划修编（2017-2035）要求。（2）与）与xx经济开发区（中心区）总体规划xx经济开发区（中心区）总体规划 修编（修编（2017-2035）环）环评符合性分析评符合性分析6根据xx经济开发区（中心区）总体规划修编（2017-2035）环境影响报告书（浙环函201914、237 号）及xx经济开发区（中心区）总体规划修编（2017-2035）环境影响报告书6张清单修订稿，摘录规划环评及6张清单修订主要成果如下：1规划环评结论符合性规划环评结论符合性根据规划环评，本项目与规划环评六张结论清单符合性对照如下：生态空间清单符合性表表1-2 生态空间清单符合性（摘自规划环评）生态空间清单符合性（摘自规划环评）规规划划区区域域生态空间名称及编生态空间名称及编号号生态空间生态空间范围范围示意图示意图空间布局约束空间布局约束管控要求管控要求产业集聚重点管控单元xx 市海昌街道产业集聚重点管控单元（ZH33048120001）-漕河泾区块1、优化产业布局和结构，实施分区差别化15、的产业准入条件。2、合理规划布局三类工业项目，控制三类工业项目布局范围和总体规模，鼓励对现有三类工业项目进行淘汰和提升改造。3、禁止新增钢铁、铸造、水泥和平板玻璃等行业产能，严格执行相关污染物排放量削减替代管理要求和产能置换实施办法；提高电力、化工、印染、造纸、化纤等重点行业环保准入门槛，控制新增污染物排放量。4、严格限制新、扩建医药、印染、化纤、合成革、工业涂装、包装印刷、塑料和橡1、严格实施污染物总量控制制度，根据区域环境质量改善目标，削减污染物排放总量。2、新建二类、三类工业项目污染物排放水平要达到同行业国内先进水平。3、加快落实污水处理厂建设及提升改造项目，推进工业园区（工业企业）“污16、水零直排区”建设，所有企业实现雨污分流。4、加强土壤和地下水污染防治与修复。5、定期评估沿江河湖库工业企业、工业集聚区环7胶等涉VOCs重污染项目，新建涉VOCs排放的工业企业全部进入工业功能区，严格执行相关污染物排放量削减替代管理要求。5、所有改、扩建耗煤项目，严格执行相关新增燃煤和污染物排放减量替代管理要求，且排污强度、能效和碳排放水平必须达到国内先进水平。6、合理规划居住区 与 工 业 功 能区，在居住区和工业区、工业企业之间设置防护绿地、生态绿地等隔离带。7、饮用水水源准保护区按照中华人民共和国水污染防治法、xx省饮用水水源保护条例、饮用水水源保护区污染防治管理规定等相关法律法规实施管17、理。境和健康风险。6、强化工业集聚区企业环境风险防范设施设备建设和正常运行监管，加强重点环境风险管控企业应急预案制定，建立常态化的企业隐患排查整治监管机制，加强风险防控体系建设。7、推进工业集聚区生态化改造，强化企业清洁生产改造，推进节水型企业、节水型工业园区建设，落实煤炭消费减量替代要求，提高资源能源利用效率。符合性分析：符合性分析：本项目位于xx经济开发区谷水路 306 号 A16，为工业用地，本项目属于 C3979 其他电子器件制造，主要生产红外焦平面探测器，属于二类工业项目，位于工业园区内，符合规划主导产业及发展方向，本项目不属于禁止新增产能的钢铁、铸造、水泥和平板玻璃等行业，项目污染18、物排放符合总量控制要求，污染物排放水平达到同行业国内先进水平；本项目废水经处理后纳管排放，实现雨污分流；项目污染物不涉及重金属和持久性有机物等，地面均硬化，加强了土壤和地下水污染防治措施。本项目所在地与周边的居住8区之间设置了一定的防护隔离带，能够确保人居环境安全和群众身体健康。此外，本项目所在区域不属于饮用水水源保护区和饮用水水源准保护区。综上，本项目符合生态空间清单要求。环境准入条件清单符合性表表1-3 环境准入条件清单符合性（摘自规划环评）环境准入条件清单符合性（摘自规划环评）区域区域分类分类清单清单制定依据制定依据产业集聚重点管控单元（漕河 泾 区块）禁 止 准 入 产业（一）禁止新增19、钢铁、铸造、水泥和平板玻璃等行业产能。（二）耗煤项目。（三）焦化、电解铝、造纸行业。（四）在饮用水水源准保护区内，禁止下列行为：新建、扩建水上加油站、油库、规模化畜禽养殖场等严重污染水体的建设项目，或者改建增加排污量的建设项目。设置装卸垃圾、粪便、油类和有毒物品的码头。运输剧毒物品、危险废物以及国家规定禁止通过内河运输的其他危险化学品。其他法律、法规禁止污染水体的行为。xx市“三线一单”生态环境分区管控方案（2020）、浙江省饮用水水源保护条例限 制 准 入 类产业严格限制新、扩建医药、印染、化纤、合成革、工业涂装、包装印刷、塑料和橡胶等涉 VOCs重污染项目，新建涉 VOCs 排放的工业企业20、全部进入工业功能区，严格执行相关污染物排放量削减替代管理要求。其他（一）合理规划布局三类工业项目，控制三类工业项目布局范围和总体规模。（二）提高电力、化工、印染、造纸、化纤等重点行业环保准入门槛，控制新增污染物排放量。（三）合理规划居住区与工业功能区，在居住区和工业区、工业企业之间设置防护绿地、生态绿地等隔离带。符合性分析：符合性分析：本项目位于xx经济开发区谷水路306号A16，为工业用地，本项目属于C3979其他电子器件制造，主要生产红外焦平面探测器，本项目不属于新增钢铁、铸造、水泥和平板玻璃等行业产能的项目，不属于耗煤项目，不属于焦化、电解铝、造纸行业。本项目所在区域不属于饮用水水源保护21、区和饮用水水源准保护区。因此，本项目不涉及禁止准入产业。本项目不属于严格限制新、扩建的医药、印染、化纤、合成革、工业涂装、包装印刷、塑料和橡胶等涉VOCs 重污染项目，但本项目涉及排放VOCs，且本项目位于工业9园区内，因此，本项目不涉及限制准入产业。本项目所在地与周边的居住区之间设置了一定的防护隔离带，能够确保人居环境安全和群众身体健康。综上，本项目符合环境准入条件清单的要求。此外，经对照本项目符合规划环评其他“四张清单”要求。综上，本项目总体符合规划环评“六张清单”要求2与规划环境影响评价审查意见符合性分析与规划环境影响评价审查意见符合性分析根据审查意见中“加强规划环评与项目环评的联动：开22、发区（中心区）内所包含的近期建设项目，在开展环境影响评价时，应遵循报告书主要结论和提出的环保对策措施，需特别注意环境基础设施支撑、环境污染物排放总量及环境功能区相符性等问题，强化污染防治和环境风险防范等措施的落实。对符合规划环评结论清单的建设项目，可结合环境管理的要求，简化项目环评内容”，本项目符合报告书中的生态空间清单、环境准入条件清单、污染物排放总量管控限值清单等6张清单要求，本项目符合规划环境影响评价审查意见和结论。其他符合性分析（1）xx省建设项目环境保护管理办法xx省建设项目环境保护管理办法（xx省人民政府令第xx省人民政府令第388号）符合性分析号）符合性分析1建设项目应当符合生态23、保护红线、环境质量底线、资源利用上线和建设项目应当符合生态保护红线、环境质量底线、资源利用上线和生态环境准入清单管控的要求生态环境准入清单管控的要求本项目“三线一单”符合性情况分析如下表1-4。表表1-4“三线一单三线一单”符合性分析汇总符合性分析汇总“三线一单三线一单”符合性符合性分析分析是否符合是否符合生态保护红线根据xx省人民政府关于发布xx省生态保护红线的通知（浙政发201830 号文），本项目位于xx经济开发区谷水路 306 号 A16，不在生态红线范围内。符合环境质量底线本项目消耗的能源、资源较小，不新增用地，不会突破地区能源、水、土地等资源消耗上线，不触及资源利用上线。符合资源利24、用上线本项目所在区域环境空气、声环境质量和地表水环境质量能达到环境质量目标，区域环境质量现状良好。根据环境影响分析，若能依照本环评要求的措施合理处置各项污染物，则本项目各项污染物不会改变项目所在区域环境质量等级，不触及环境质量底线。符合生态环境准入清单管控的要求经对照xx市“三线一单”生态环境分区管控方案，本项目符合xx市“三线一单”生态环境分区管控方案中xx市海昌街道产业集聚重点管控单元（ZH33048120001）-漕河泾区块的管控要求，具体对照见下文。符合10 xx市xx市“三线一单三线一单”生态环境分区管控方案生态环境分区管控方案符合性分析符合性分析：对照xx市“三线一单”生态环境分区25、管控方案，本项目属于xx市海昌街道产业集聚重点管控单元（ZH33048120001）-漕河泾区块。符合性对照见表1-5。表表1-5 xx市xx市“三线一单三线一单”生态环境分区管控方案符合性分析生态环境分区管控方案符合性分析类别类别管控要求管控要求本项目本项目结论结论空间布局约束1、优化产业布局和结构，实施分区差别化的产业准入条件。2、合理规划布局三类工业项目，控制三类工业项目布局范围和总体规模，鼓励对现有三类工业项目进行淘汰和提升改造。3、禁止新增钢铁、铸造、水泥和平板玻璃等行业产能，严格执行相关污染物排放量削减替代管理要求和产能置换实施办法；提高电力、化工、印染、造纸、化纤等重点行业环保准26、入门槛，控制新增污染物排放量。4、严格限制新、扩建医药、印染、化纤、合成革、工业涂装、包装印刷、塑料和橡胶等涉 VOCs 重污染项目，新建涉 VOCs 排放的工业企业全部进入工业功能区，严格执行相关污染物排放量削减替代管理要求。5、所有改、扩建耗煤项目，严格执行相关新增燃煤和污染物排放减量替代管理要求，且排污强度、能效和碳排放水平必须达到国内先进水平。6、合理规划居住区与工业功能区，在居住区和工业区、工业企业之间设置防护绿地、生态绿地等隔离带。7、饮用水水源准保护区按照中华人民共和国水污染防治法、xx省饮用水水源保护条例、饮用水水源保护区污染防治管理规定等相关法律法规实施管理。本项目位于xx经27、济开发区谷水路 306 号 A16，为工业用地，项目属于C3979 其他电子器件制造，主要生产红外焦平面探测器，为二类工业项目，本项目已取得xx市经济和信息化局，项目符合规划及规划环评产业准入要求。本项目不属于医药、印染、化纤、合成革、工业涂装、包装印刷、塑料和橡胶等涉 VOCs重污染项目，项目涉及VOCs 排放，项目所在区域属于工业区，污染物排放符合总量控制要求。本项目为新建项目，不涉及使用煤炭等，本项目所在地与周边的居住区之间设置了一定的防护隔离带，能够确保人居环境安全和群众身体健康。此外，本项目与饮用水水源准保护区最近 760m，距离 水 源 二 级 保 护 区 约2640m，不属于饮用28、水水源保护区内和饮用水水源准保护区内。符合污染物排放管控1、严格实施污染物总量控制制度，根据区域环境质量改善目标，削减污染物排放总量。2、新建二类、三类工业项目污染物排放水平要达到同行业国内先进水平。3、加快落实污水处理厂建设及提升改造项目，推进工业园区（工业企业）“污水零直排区”建设，所有企业实现雨污分流。4、加强土壤和地下水污染防治与修复。本项目新增污染物严格实行区域替代削减，符合总量控制，项目污染物排放水平达到同行业国内先进水平，项目雨污分流，污水纳管。符合11环境风险防控1、定期评估沿江河湖库工业企业、工业集聚区环境和健康风险。2、强化工业集聚区企业环境风险防范设施设备建设和正常运行监29、管，加强重点环境风险管控企业应急预案制定，建立常态化的企业隐患排查整治监管机制，加强风险防控体系建设。根据分析，企业 Q1，虽风险较小，但要求企业加强企业隐患排查，加强环境风险防范设施的正常运行监管。符合资源开发效率推进工业集聚区生态化改造，强化企业清洁生产改造，推进节水型企业、节水型工业园区建设，落实煤炭消费减量替代要求，提高资源能源利用效率。本项目不新增土地指标，用水、用电量不大。/综上，本项目符合xx市“三线一单”生态环境分区管控方案xx市海昌街道产业集聚重点管控单元的管控要求。2排放污染物应当符合国家、省规定的污染物排放标准排放污染物应当符合国家、省规定的污染物排放标准本项目在落实本评30、价提出的各项环保措施后，废水、废气和噪声均能达标排放，固废都得到妥善处置，对周围环境影响不会造成不利影响。3排放污染物符合国家、省规定的主要污染物排放总量控制指标排放污染物符合国家、省规定的主要污染物排放总量控制指标企业全厂污染物总量控制因子为CODCr、NH3-N、VOCs和NOx。本项目新增污染物进行区域替代削减，污染物排放符合总量控制要求。4建设项目符合国土空间规划建设项目符合国土空间规划的要求的要求本项目位于xx经济开发区谷水路306号A16，地类（用途）为工业用地，属于工业区，同时本项目属于C3979其他电子器件制造，主要生产红外焦平面探测器，符合相关国土空间规划的要求。5建设项目符31、合国家和省产业政策的要求建设项目符合国家和省产业政策的要求根据国家发展改革委关于修改的决定（2021年第49号令），项目不属于限制类和淘汰类，属于“鼓励类二十八、信息产业新型电子元器件、光电子器件”，符合国家发展改革委关于修改的决定（2021年第49号令）要求。对照市场准入负面清单（2022年版），本项目属于市场准入负面清单以外的领域，可依法平等进入。因此，该项目的建设符合国家和地方产业政策要求。（2）建设项目环境保护管理条例）建设项目环境保护管理条例（国务院令第国务院令第682号号）“四性五不四性五不12批批”相符性分析相符性分析根据国务院第682号令建设项目环境保护管理条例（2017年1032、月1日施行），主管部门审批报告需审查以下“四性五不批”要求。具体见表1-6。表表1-6“四性五不批四性五不批”相符性分析相符性分析审批要求审批要求符合性分析符合性分析是否符是否符合要求合要求四性建设项目的环境可行性本项目符合土地利用总体规划的要求，不触及生态保护红线、环境质量底线、资源利用上线，不在负面清单内，因此符合建设项目的环境可行性。符合环境影响分析预测评估的可靠性本项目使用技术和方法均较为成熟，环境影响分析预测评估可靠。符合环境保护措施的有效性本项目产生的污染物有较为成熟的技术进行处理，从技术上分析，只要切实落实本报告提出的污染防治措施，本项目废气、废水、噪声可做到达标排放，固废可实现33、零排放。符合环境影响评价结论的科学性本环评结论客观、过程公开、评价公正，并综合考虑建设项目实施后对各种环境因素可能造成的影响，环评结论是科学的。符合五不批建设项目类型及其选址、布局、规模等不符合环境保护法律法规和相关法定规划项目选址和布局符合当地总体规划，符合国家、地方产业政策，项目营运过程中各类污染源均可得到有效控制并能做到达标排放，符合总量控制和达标排放的原则，对环境影响不大，项目实施不会改变所在地的环境质量水平和环境功能，可实现经济效益、社会效益、环境效益的统一，符合环境保护法律法规和相关法定规划。不属于不予批准的情形所在区域环境质量未达到国家或者地方环境质量标准，且建设项目拟采取的措施34、不能满足区域环境质量改善目标管理要求本项目所在区域环境空气质量和地表水环境质量能达到环境质量目标，区域环境质量现状良好。根据环境影响分析，若能依照本环评要求的措施合理处置各项污染物，则本项目各项污染物不会改变项目所在区域环境质量等级，不触及环境质量底线。不属于不予批准的情形建设项目采取的污染防治措施无法确保污染物排放达到国家和地方排放标准，或者未采取要措施预防和控制生态破坏本项目采取的污染防治措施能确保污染物排放达到国家和地方排放标准要求，符合环境保护措施的有效性。不属于不予批准的情形改建、扩建和技术改造项目，未针对项目原有环境污染和生态破坏提出有效防治措施本项目为新建项目，无原有环境污染和生35、态破坏。不属于不予批准的情形建设项目的环境影响报告书、环境影响报本环评报告基于建设单位提供的相关资料、设计等资料编制，符合审批要求。不属于不予批13告表的基础资料数据明显不实，内容存在重大缺陷、遗漏，或者环境影响评价结论不明确、不合理准的情形（3）与与xx省xx省实施细则符合性实施细则符合性为进一步完善负面清单管理制度体系，根据长江经济带发展负面清单指南（试行，2022 年版），制定xx省实施细则。本项目对照该细则要求进行符合性分析，见表 1-7。表表 1-7 细则符合性分析细则符合性分析序号序号要求要求项目实际情况项目实际情况结论结论1港口码头项目建设必须严格遵守中华人民共和国港口法、交通运36、输部港口规划管理规定、港口工程建设管理规定以及xx省港口管理条例的规定。本项目不涉及港口、码头建设内容。符合2禁止建设不符合全国沿海港口布局规划、全国内河航道与港口布局规划、xx省沿海港口布局规划、xx省内河航运发展规划以及项目所在地港口总体规划、国土空间规划的港口码头项目。经国务院或国家发展改革委审批、核准的港口码头项目，军事和渔业港口码头项目，按照国家有关规定执行。城市休闲旅游配套码头、陆岛交通码头等涉及民生的港口码头项目，结合国土空间规划和督导交通专项规划等另行研究执行。本项目不涉及港口、码头建设内容。符合3禁止在自然保护地的岸线和河段范围内投资建设不符合xx省自然保护地建设项目准入负面37、清单（试行）的项目。禁止在自然保护地的岸线和河段范围内采石、采砂、采土、砍伐及其他严重改变地形地貌、破坏自然生态、影响自然景观的开发利用行为。禁止在 I 级林地、一级国家级公益林内建设项目。自然保护地由省林业局会同相关管理机构界定。本项目为xx经济开发区内，不涉及自然保护地、I级林地、一级国家级公益林。符合4禁止在饮用水水源一级保护区、二级保护区、准保护区的岸线和河段范围内投资建设不符合xx省饮用水源保护条例的项目。饮用水水源一级保护区、二级保护区、准保护区由省生态环境厅会同相关管理机构界定。本项目不涉及饮用水水源一级保护区、二级保护区、准保护区的岸线和河段。符合145禁止在水产种质资源保护区38、的岸线和河段范围内新建围湖造田、围海造地或围填海等投资建设项目。水产种质资源保护区由省农业农村厅会同相关管理机构界定。本项目不涉及水产种质资源保护区。符合6在国家湿地公园的岸线和河段范围内：（一）禁止挖沙、采矿；（二）禁止任何不符合主体功能定位的投资建设项目；（三）禁止开（围）垦、填埋或者排干湿地；（四）禁止截断湿地水源；（五）禁止倾倒有毒有害物质、废弃物、垃圾；（六）禁止破坏野生动物栖息地和迁徙通道、鱼类洄游通道，禁止滥采滥捕野生动植物；（七）禁止引入外来物种；（八）禁止擅自放牧、捕捞、取土、取水、排污、放生；（九）禁止其他破坏湿地及其生态功能的活动。国家湿地公园由省林业局会同相关管理机构界39、定。本项目属于xx经济开发区，不涉及国家湿地公园。符合7禁止违法利用、占用长江流域河湖岸线。本项目位于xx经济开发区内，不涉及利用、占用长江流域河湖岸线。符合8禁止在长江岸线保护和开发利用总体规划划定的岸线保护区和保留区内投资建设除事关公共安全及公众利益的防洪护岸、河道治理、供水、生态环境保护、国家重要基础设施以外的项目。本项目不在长江岸线保护和开发利用总体规划 划定的岸线保护区和岸线保留区内。符合9禁止在全国重要江河湖泊水功能区划划定的河段及湖泊保护区、保留区内投资建设不利于水资源及自然生态保护的项目。本项目不涉及全国重要江河湖泊水功能区划划定的河段及湖泊保护区、保留区。符合10禁止未经许可40、在长江支流及湖泊新设、改设或扩大排污口。本项目废水纳管排放，不涉及设、改设或扩大排污口。符合11禁止在长江支流、太湖等重要岸线一公里范围内新建、扩建化工园区和化工项目。本项目不属于长江支流、太湖等重要岸线一公里范围内，且本项目不属于新建、扩建化工园区和化工项目。符合12禁止在长江重要支流岸线一公里范围内新建、改建、扩建尾矿库、冶炼渣库和磷石膏库，以提升安全、生态环境保护水平为目的的改扩建除外。本项目不属在长江重要支流岸线一公里范围内，且不属于新建、改建、扩建尾矿库、冶炼渣库和磷石膏库项符合15目。13禁止在合规园区外新建、扩建钢铁、石化、化工、焦化、建材、有色、制浆造纸等高污染项目。高污染项目41、清单参照生态环境部环境保护综合目录中的高污染产品目录执行。本项目位于xx经济开发区内，该开发区属于合规园区，且已经通过规划环评审批，且本项目不属于钢铁、石化、化工、焦化、建材、有色、制浆造纸等高污染项目，此外，对照环境保护综合目录，本项目不属于目录中的高污染产品。符合14禁止新建、扩建不符合国家石化、现代煤化工等产业布局规划的项目。本项目不属于石化、现代煤化工项目。符合15禁止新建、扩建法律法规和相关政策明令禁止的落后产能项目，对列入 产业结构调整指导目录淘汰类中的落后生产工艺装备、落后产品投资项目，列入 外商投资准入特别管理措施（负面清单）的外商投资项目，一律不得核准、备案。禁止向落后产能项42、目和严重过剩产能行业项目供应土地。本项目不属于落后产能项目，不属于产业结构调整指导目录淘汰类中的落后生产工艺装备、落后产品投资项目，不属于外商投资项目，本项目属于不属于落后产能项目和严重过剩产能行业。符合16禁止新建、扩建不符合国家产能置换要求的严重过剩产能行业的项目。部门、机构禁止办理相关的土地（海域）供应、能评、环评审批和新增授信支持等业务。本项目不属于严重过剩产能项目，无需进行产能置换。符合17禁止新建、扩建不符合要求的高耗能高排放项目。本项目不属于高耗能高排放项目。符合18禁止在水库和河湖等水利工程管理范围内堆放物料，倾倒土、石、矿渣、垃圾等物质。本项目用地不涉及在水库和河湖等水利工程43、管理范围内。符合由上表可知，本项目的建设符合xx省实施细则中的相关要求。（5）与xx省空气质量改善）与xx省空气质量改善“十四五十四五”规划符合性规划符合性本项目对照xx省空气质量改善“十四五”规划进行符合性分析，具体见表 1-8。表表 1-8 与xx省空气质量改善与xx省空气质量改善“十四五十四五”规划符合性分析（摘选）规划符合性分析（摘选）要求要求项目实际情况项目实际情况结论结论严控“两高”行业产能。严格执行质量、环保、耗能、安全等法规标准和产业结构调整指导目录。严禁新增钢铁、焦化、铸造、水泥、平板玻璃等产能，严格执行产能置换实施办法。禁止建设生产 VOCs 含量限值不符合国家标准的涂料、44、油墨、胶粘剂、清洗剂等项目。加大钢铁、水泥熟料、烧结砖瓦、化工、印染、炼化等行业本项目属于 C3979 其他电子器件制造，不涉及新增钢铁、焦化、铸造、水泥、平板玻璃等产能。本项目不涉及生产涂料、油墨、胶粘剂、清洗剂等。符合16落后产能淘汰和过剩产能压减力度，严格控制化纤、制革、橡胶、塑料等行业产能。加快城市建成区重污染企业搬迁改造、兼并重组、转型升级或退出。大力推进 VOCs 源头替代。全面推行工业涂装企业使用低 VOCs 含量原辅材料，加大非溶剂型低VOCs 含量原辅材料替代溶剂型原辅材料的力度，引导技术和工艺创新，促进源头减排。全面排查使用涂料、油墨、胶粘剂、清洗剂等原辅材料的企业，按照“45、可替尽替、应代尽代”的原则，实施一批源头替代项目。到 2025 年，溶剂型工业涂料、油墨、胶粘剂等使用量下降比例达到国家要求。本项目不属于工业涂装企业，企业使用溶剂型清洗剂，要求企业尽量实施源头替代，降低溶剂型清洗剂的用量。符合有序开展超低排放改造。持续推进钢铁、水泥行业超低排放改造，有效提高废气收集率和治理水平，提升清洁运输水平。有组织废气坚持源头减排、过程控制、末端治理并重，统筹实现全流程多污染物协同控制，严格控制生产工艺过程及相关物料储存、输送等无组织排放，实施大宗物料清洁运输。本项目不涉及钢铁、水泥行业超低排放改造。符合全面推进深度治理。全面推进砖瓦、玻璃、石灰、耐火材料、建筑陶瓷、铸46、造、有色金属冶炼等行业深度治理，对标先进治理技术，形成一批深度治理先进示范项目。稳步推进使用煤、煤矸石、石油焦等高污染燃料的砖瓦烧结窑、玻璃熔窑、石灰窑等污染治理设施转型升级，配套高效末端治理设施。严格控制生产工艺过程及相关物料储存、输送等环节无组织排放。到 2022 年，平板玻璃、建筑陶瓷企业实现全部取消脱硫脱硝烟气旁路或设置备用脱硫脱硝等设施。本项目不涉及工业炉窑。符合大力推行清洁低碳改造。深挖工业炉窑用能清洁低碳化潜力，使用煤、石油焦、渣油、重油等高污染燃料的工业炉窑，加快用能转型。坚持增气减煤、以电代煤、充分利用工厂余热、电厂热力等进行替代。到 2025 年，全面淘汰 10 吨及以下铸47、造行业冲天炉，基本完成以煤为燃料的工业炉窑清洁燃料替代改造。本项目不涉及燃料使用。符合综上，本项目符合xx省空气质量改善“十四五”规划相关内容。（6）与与 xx省xx省“十四五十四五”挥发性有机物综合治理方案挥发性有机物综合治理方案（浙环发浙环发 202110 号）符合性分析号）符合性分析对照xx省“十四五”挥发性有机物综合治理方案（浙环发202110 号），本项目与其符合性分析具体见表 1-9。表表1-9 本项目与浙环发本项目与浙环发202110号符合性分析（摘选）号符合性分析（摘选）序号序号文件要求文件要求本项目情况本项目情况是否符是否符合合171禁止建设生产和使用 VOCs 含量限值不符48、合国家标准的涂料、油墨、胶粘剂、清洗剂等项目。贯彻落实 产业结构调整指导目录国家鼓励的有毒有害原料（产品）替代品目录，依法依规淘汰涉VOCs 排放工艺和装备，加大引导退出限制类工艺和装备力度，从源头减少涉 VOCs 污染物产生。本项目不涉及涂料、油墨、胶粘剂的使用，使用溶剂型清洗剂符合国家标准。本项目不属于产业结构调整指导目录（2019 年本）（2021 年版）中的限制类和淘汰类，也不属于xx市当前限制和禁止发展产业目录中的所列项目。符合2严格执行“三线一单”为核心的生态环境分区管控体系，制（修）订纺织印染（数码喷印）等行业绿色准入指导意见。严格执行建设项目新增 VOCs 排放量区域削减替代规49、定，削减措施原则上应优先来源于纳入排污许可管理的排污单位采取的治理措施，并与建设项目位于同一设区市。根据关于以改善环境质量为核心加强环境影响评价管理的通知（环环评2016150 号）中“三线一单”以及 xx市“三线一单”生态环境分区管控方案符合性分析，本项目的建设符合生态保护红线、环境质量底线、资源利用上线和生态环境准入清单管控的要求。本项目新增 VOCs 总量进行区域平衡替代削减。符合3大力推进低 VOCs 含量原辅材料的源头替代。全面排查使用溶剂型工业涂料、油墨、胶粘剂、清洗剂等原辅材料的企业，各地应结合本地产业特点和本方案指导目录，制定低 VOCs 含量原辅材料源头替代实施计划，明确分行50、业源头替代时间表，按照“可替尽替、应代尽代”的原则，实施一批替代溶剂型原辅材料的项目。加快低 VOCs含量原辅材料研发、生产和应用，在更多技术成熟领域逐渐推广使用低VOCs含量原辅材料，到2025年，溶剂型工业涂料、油墨、胶粘剂等使用量下降比例达到国家要求。本项目不涉及涂料、油墨、胶粘剂的使用，使用溶剂型清洗剂符合国家标准。要求企业制定低 VOCs 含量原辅材料源头替代实施计划，按照“可替尽替、应代尽代”的原则，尽量实施溶剂型原辅材料。符合4严格控制无组织排放。在保证安全前提下，加强含 VOCs 物料全方位、全链条、全环节密闭管理，做好 VOCs 物料储存、转移和输送、设备与管线组件泄漏、敞开51、液面逸散以及工艺过程等无组织排放环节的管理。生产应优先采用密闭设备、在密闭空间中操作或采用全密闭集气罩收集方式，原则上应保持微负压状态，并根据相关规范合理设置通风量；采用局部集气罩的，距集气罩开口面最远处的 VOCs无组织排放位置控制风速应不低企业车间全密闭，有效减少有机废气的无组织排放。符合18于 0.3 米/秒。对 VOCs 物料储罐和污水集输、储存、处理设施开展排查，督促企业按要求开展专项治理。5建设适宜高效的治理设施。企业新建治理设施或对现有治理设施实施改造，应结合排放 VOCs 产生特征、生产工况等合理选择治理技术，对治理难度大、单一治理工艺难以稳定达标的，要采用多种技术的组合工艺。52、采用活性炭吸附技术的，吸附装置和活性炭应符合相关技术要求，并按要求足量添加、定期更换活性炭。组织开展使用光催化、光氧化、低温等离子、一次性活性炭或上述组合技术等 VOCs治理设施排查，对达不到要求的，应当更换或升级改造，实现稳定达标排放。对收集后的有机废气经活性炭吸附处理后高空排放。要求企业定期更换废活性炭，保证废气稳定达标排放。符合6加强治理设施运行管理。按照治理设施较生产设备“先启后停”的原则提升治理设施投运率。根据处理工艺要求，在治理设施达到正常运行条件后方可启动生产设备，在生产设备停止、残留 VOCs 收集处理完毕后，方可停运治理设施。VOCs治理设施发生故障或检修时，对应生产设备应停53、止运行，待检修完毕后投入使用；因安全等因素生产设备不能停止或不能及时停止运行的，应设置废气应急处理设施或采取其他替代措施。本项目按照治理设施较生产设备“先启后停”的原则提升治理设施投运率。在治理设施达到正常运行条件后方可启动生产设备，在生产设备停止、残留VOCs 收集处理完毕后，方可停运治理设施。VOCs 治理设施发生故障或检修时，对应生产设备应停止运行，待检修完毕后投入使用。符合由上表可知，本项目符合xx省“十四五”挥发性有机物综合治理方案（浙环发202110 号）的相关要求。19二、建设项目工程分析2.1 建设内容建设内容为适应市场需求，xxxx科技有限公司拟投资 11000 万元，租赁x54、x经开产业园区开发建设有限公司位于xx经济开发区谷水路 306 号 A16 的部分空置厂房，新购置各类生产和辅助设备，实施红外焦平面探测器的生产。本项目实施后将形成年产1500 套红外焦平面探测器的生产能力。目前该项目已于 2021 年 10 月 22 日由xx市经济和信息化局备案，取得xx省工业企业“零土地”技术改造项目备案通知书，项目代码 2110-330481-07-02-428828。根据中华人民共和国环境影响评价法及建设项目环境保护管理条例（中华人民共和国国务院令第 682 号）中有关规定，该建设项目应进行环境影响评价。本项目属于 C3979 其他电子器件制造，综合判定环评类别为“环55、境影响报告表”，具体见表 2-1。表表 2-1 建设项目环境影响评价分类管理名录建设项目环境影响评价分类管理名录项目类别项目类别环评类别环评类别报告书报告书报告表报告表登记表登记表三十六、计算机、通信和其他电子设备制造业三十六、计算机、通信和其他电子设备制造业 39电子器件制造 397/显示器件制造；集成电路制造；使用有机溶剂的；有酸洗的以上均不含仅分割、焊接、组装的/此外，依据关于要求批准的请示的规定，xx经济开发区（中心区）制定环评审批负面清单如下：1、环评审批权限在生态环境部的项目；2、需编制报告书的电磁类和核技术利用项目；3、有化学合成反应的石化、化工、医药项目；4、涉及涂层、定型、复56、合、烫金、印花等工艺的高浓度VOC排放项目；5、生活垃圾焚烧发电等高污染、高环境风险建设项目；6、一般工业固体废物（含污泥）处置及综合利用；7、xx市环境功能区划规定的三类工业项目；8、其它重污染、高风险及可能严重影响生态的项目。20根据xx市生态环境局关于发布xx市重污染、高环境风险以及严重影响生态的建设项目清单（2021 年本）的通知（嘉环发（2021）55号），本项目不属于嘉兴市重污染、高风险及可能严重影响生态的项目；本项目不涉及涂层、定型、复合、烫金、印花等工艺，但本项目涉及VOCs排放，经与当地环保主管部门沟通，本项目从严，不进行降级，仍编制环境影响报告表。此外，根据固定污染源排污许57、可分类管理名录（2019 年版），本项目属于电子器件制造 397 中的其他（本项目为新建项目，暂未纳入重点排污单位名录，也不使用 10 吨及以上溶剂型涂料及稀释剂），管理类别暂定为“登记管理”。因本项目为新建项目，待企业建成后，如纳入重点排污单位名录的，需要进行重点管理；如不纳入重点排污单位名录的，需要进行登记管理。后续如有重大调整，则应按属地管理要求适时变更排污许可证。2.1.1 工程组成工程组成本项目主要工程组成见表 2-2。表表 2-2 本项目主要工程组成本项目主要工程组成工程名称工程名称建设内容和建设内容和规模规模主体工程红外焦平面探测器的生产企业拟投资 11000 万元，租赁xx经开58、产业园区开发建设有限公司位于xx经济开发区谷水路 306 号 A16 的部分空置厂房，新购置各类生产和辅助设备，实施红外焦平面探测器的生产。本项目实施后将形成年产 1500 套红外焦平面探测器的生产能力。辅助工程/公用工程给水生活用水由当地自来水厂供给，纯水由园区供应排水雨污分流，雨水接入雨水管网后排入市政雨水管网。划片清洗废水经自备废水处理装置处理后回用于划片清洗工序，不外排；软水制备废水直接纳管；其他生产废水经园区工业废水处理站处理达标后纳管；生活污水经园区化粪池预处理达标后纳管。供热/供电由当地供电部门供应污水处理厂纳管废水进入xx污水处理厂集中处理后达城镇污水处理厂污染物排放标准（GB59、18918-2002）一级 A 标准后排至钱塘江环保工程废气有机废气：两级活性炭吸附装置 1 套；酸碱和工艺废气：碱喷淋装置 1 套、POU 净化装置（干式吸附）1套废水划片清洗废水经自备废水处理装置处理后回用于划片清洗工序，不外排；软水制备废水直接纳管；其他生产废水经园区工业废水处理站处理达标后纳管；生活污水经园区化粪池预处理达标后纳管固体废物一般固废仓库（位于生产车间南侧，占地约 20m2）21危废仓库（位于生产车间北侧，占地约 20m2）噪声减振垫、消声器等储运工程储存本项目一般原辅料储存于仓库内，危化品原辅料储存在园区的危化品仓库，气体钢瓶不设厂内储存，在用完之前直接由厂商更换钢瓶运输60、汽车输送依托工程/园区污水处理站、化粪池、园区氮气系统、园区纯水系统、园区冷却水系统、危化品仓库、事故应急池（245m3）2.1.2 产品及产能产品及产能本项目为红外焦平面探测器建设项目，具体产品方案见表 2-3。表表 2-3 本项目本项目产品方案产品方案序号序号产品名称产品名称设计年生产设计年生产时间（时间（d）产品计量单位产品计量单位本项目生本项目生产能力产能力其他其他1红外焦平面探测器300套/年15000.53kg/套，合重 795kg/a，包括探测器芯片、读出电路、金属杜瓦、制冷机2.1.3 生产单元、工艺、生产设施及设施参数生产单元、工艺、生产设施及设施参数本项目主要生产单元、工艺61、生产设施及设施参数见表 2-4。表表 2-4 本项目本项目设备清单设备清单序序号号主要生主要生产单元产单元主要工主要工艺名称艺名称生产设施生产设施名称名称设施设施型号型号设施参数设施参数单位单位数量数量位置位置设计设计参数参数计量计量单位单位主要产污设施主要产污设施1清洗、吹干有机清洗、吹干有机清洗设备/清洗剂量50L/h台5清洗抛光间2光刻涂布、烤胶匀烤胶机/涂胶速度4 片/h台1光刻间HMDS涂布、烤胶HMDS 涂胶机/涂胶速度4 片/h台1光刻间曝光光刻机/光刻速度4 片/h台3光刻间显影显影机/显影速度4 片/h台1光刻间4光刻板有机擦拭光刻板有机擦拭有机操作台/台1光刻间3刻蚀干法62、刻蚀干法刻蚀机（ICP）/刻蚀速度1 片/h台2操作区4去胶、剥离去胶、剥离去胶剥离机/清洗剂量50L/h台1清洗抛光间5清洗、吹干酸碱清洗、吹干酸碱清洗设备/清洗剂量50L/h台3清洗抛光间6化学气相沉积侧壁钝化ICPECVD等离子体化学气相/镀膜速度2 片/h台1操作区22沉积系统7物理气相沉积电极生长PVD 磁控溅射镀膜机/镀膜速度2 片/h台1操作区电子束蒸发（钛、铂、金）/镀膜速度2 片/h台1操作区铟生长热蒸发（铟）/镀膜速度2 片/h台1操作区增透膜生长热蒸发（ZnS）/镀膜速度2 片/h台1操作区8划片划片划片机/5 片/h台2划片间9倒焊倒焊倒装机/台2倒焊间10点胶点胶自动63、点胶机/台2倒焊间11点胶后烘干点胶后烘干烘箱/台2倒焊间12减薄减薄减薄机/台1减薄间13贴片、取片有机擦拭贴片、取片有机擦拭有机操作台台1减薄间14抛光抛光抛光机/台1清洗抛光间15清洗超声波清洗超声波清洗机/台2清洗抛光间16清洗后烘干清洗后烘干烘箱/台2清洗抛光间17整机封装整机封装激光焊/台1封装间钎焊/台2封装间17测试测试台阶仪/速度1 片/h台1测试区IV 测试仪/速度1 片/h台1测试区探针台/速度1 片/h台1测试区光谱测试/速度1 片/h台1测试区金相显微镜/速度1 片/h台2测试区SEM/速度1 片/h台1测试区其他设施其他设施18封装封装真空除气炉电热运行频次1 次/64、2 天台6封装间19封装封装大视场投影仪/速度12 片/h台2封装间20封装封装球楔一体机/台2封装间21软水软水软水设备/1t/h台1/2322环保废气处理有机废气处理装置/处理量12500m3/h套2楼顶（一用一备）碱喷淋装置/处理量11000m3/h套2楼顶（一用一备）干式化学吸附装置/处理量30m3/h套1设备灰区废水处理划片废水处理装置/处理量4t/d套1清洗抛光间2.1.4 主要原辅材料及燃料的种类和用量主要原辅材料及燃料的种类和用量本项目主要原辅材料及燃料的种类和用量见表 2-5。表表 2-5 本项目原辅材料及燃料的种类和用量本项目原辅材料及燃料的种类和用量生产单元生产单元种类种65、类名称名称原辅料计量原辅料计量单位单位设计年使用设计年使用量量其他其他有机清洗原料外购外延片kg/a2.209GaSb 锑化镓外延片，约 400 片，单片规格直径 2 英寸（约 5cm），厚0.05cm辅料丙酮kg/a500/乙醇kg/a500/异丙醇kg/a700/纯水t/a900园区直供涂布辅料HMDSkg/a2100%六甲基二硅氮烷光刻胶kg/a3770%乳酸乙酯、20%乙酸正丁酯、5%酚醛树脂多元醇、5%萘醌衍生物光刻板有机擦拭辅料丙酮kg/a90/显影辅料显影液kg/a80浓度 2.38%四甲基氢氧化铵水溶液干法刻蚀辅料氢气kg/a150罐装甲烷kg/a30罐装三氯化硼kg/a15罐66、装氯气kg/a15罐装六氟化硫kg/a15罐装三氟甲烷kg/a20罐装四氟化碳kg/a15罐装氩气kg/a100罐装氦气kg/a80罐装24氧气kg/a100罐装氮气t/a100园区直供去胶辅料NMPkg/a350100%N-甲基吡咯烷酮酸碱清洗辅料磷酸kg/a4085%质量浓度柠檬酸kg/a50固体氨水kg/a6025%质量浓度盐酸kg/a10038%质量浓度，和纯水以 1:10 稀释后使用双氧水kg/a4030%质量浓度硫酸kg/a4098%质量浓度BOE（氢氟酸和氟化铵溶液）kg/a100氢氟酸和氟化铵质量比为 1:6，40%质量浓度硝酸kg/a2570%质量浓度，和纯水以 1:10 稀67、释后使用纯水t/a540清洗用，园区直供纯水t/a1.25盐酸和硝酸稀释用，园区直供侧壁钝化辅料硅烷kg/a15罐装氨气kg/a5罐装笑气kg/a10罐装四氟化碳kg/a50罐装氧气kg/a80罐装氩气kg/a80罐装氮气t/a100园区直供电极生长原料电路板片/a108 寸钛kg/a0.8/铂kg/a0.8/金kg/a0.8/辅料氧气kg/a100罐装氩气kg/a100罐装氮气t/a100园区直供铟生长原料铟kg/a4/剥离辅料丙酮kg/a200/乙醇kg/a200/划片辅料纯水t/a150园区直供倒焊辅料甲酸kg/a0.5/25点胶辅料环氧树脂胶kg/a0.2/减薄辅料切削液kg/a40/68、贴片取片有机擦拭辅料乙醇kg/a30/抛光辅料纯水t/a1园区直供氧化硅抛光粉kg/a5/增透膜生长原料硫化锌kg/a8/超声波清洗原料不锈钢材料kg/a20.36/钛合金材料kg/a37.4/陶瓷基板kg/a2250pcs制冷机kg/a720单套 0.48kg辅料丙酮kg/a300/乙醇kg/a300/异丙醇kg/a300/纯水t/a138园区直供整机封装原料钎料kg/a7.5Ag72%、Cu28%生活、废气处理、空调加湿水软化辅料自来水t/a6994自来水管网/燃料/注：根据物料平衡，400 片 GaSb 锑化镓外延片合重 2.209kg，可以满足年产 1500 套红外焦平面探测器的能力。69、本项目主要原辅料理化性质说明：异丙醇密度：0.7855g/cm3，熔点：-89.5，沸点：82.5，闪点：11.7（CC），临界温度：235，临界压力：4.76MPa，引燃温度：456，爆炸上限（V/V）：12.7，爆炸下限（V/V）：2.0，外观：无色透明液体，溶解性：溶于水、乙醇、乙醚、苯、氯仿等多数有机溶剂。NMP性状：无色透明油状液体，微有胺的气味，密度：1.028g/cm3，熔点：-24，沸点：202，折射率：1.470，黏度：1.65mPas，闪点：86.1，燃点：346，燃烧热：3010kJ/mol，临界温度：445，临界压力：4.76MPa，电导率：(12)10-8s/m，溶解70、性：易溶于水、乙醇、乙醚、丙酮、乙酸乙酯、氯仿和苯，能溶解于大多数有机与无机化合物、极性气体、天然及合成高分子化合物。丙酮26外观与性状：无色透明易流动液体，有微香气味，极易挥发，熔点：-94.9，沸点：56.5，密度：0.7899g/cm3，饱和蒸气压：24kPa（20），临界温度：235.5，临界压力：4.72MPa，辛醇/水分配系数的对数值：-0.24，引燃温度：465，爆炸下限（V/V）：2.2%，爆炸上限（V/V）：13.0%，溶解性：与水混溶，可混溶于乙醇、乙醚、氯仿、油类、烃类等多数有机溶剂。硅烷熔点：-185，沸点：-112，密度：1.114g/cm3，临界温度：-3.5，临界71、压力：4.864MPa，临界密度：247kg/m3，外观：无色气体，有大蒜气味，溶解性：溶于水，几乎不溶于乙醇、乙醚、苯、氯仿、硅氯仿和四氯化硅。氢氟酸是氟化氢气体的水溶液，清澈、无色、发烟的腐蚀性液体，有剧烈刺激性气味。氢氟酸是一种弱酸，具有极强的腐蚀性，能强烈地腐蚀金属、玻璃和含硅的物体。氯气氯气是一种气体单质，化学式为 Cl2。常温常压下为黄绿色，有强烈刺激性气味的剧毒气体，具有窒息性，密度比空气大。可溶于水和碱溶液，易溶于有机溶剂（如四氯化碳），难溶于饱和食盐水。易压缩，可液化为黄绿色的油状液氯，是氯碱工业的主要产品之一，可用作为强氧化剂。环氧树脂胶通用双组份环氧树脂胶粘剂，为常温固化72、型、透明蜜蜂状的，它可低温或常温固化，固化速度适中；固化后粘接部位粘接强度高、抗冲击，耐震动，硬度较好，有较好的韧性；固化物耐酸碱性能好，防潮防水、防油防尘性能佳，耐湿热和大气老化；固化物具有良好的绝缘、抗压、粘接强度高等电气及物理特性。A 组分：双酚 A 型环氧树脂；B 组分：三甲基六亚甲基二胺。2.1.5 主要原辅料中与污染排放有关的物质或元素主要原辅料中与污染排放有关的物质或元素本项目在清洗、刻蚀、光刻等工序中均使用酸性、碱性溶液及各类有机溶剂，因此，有必要对其中较敏感的原辅料进行物料衡算，以便了解其去向和进入环境中的量级。本项目主要原辅料中存在与污染排放有关的物质主要为氯、氨、氟化物、73、丙酮、异丙醇等，主要物料平衡图见下图 2-12-4 所示，主要物料平衡表见表 2-6 和表 2-7。27本项目氯平衡图见下图 2-1。图图 2-1 本项目本项目氯平衡图（单位：氯平衡图（单位：t/a）28本项目氟平衡图见下图 2-2。图图 2-2 本项目本项目氟平衡图（单位：氟平衡图（单位：t/a）29本项目氮平衡图见下图 2-3。图图 2-3 本项目本项目氮平衡图（单位：氮平衡图（单位：t/a）30本项目有机物平衡图见下图 2-4。图图 2-4 本项目本项目有机物平衡图（单位：有机物平衡图（单位：t/a）31表表 2-6 主要主要元素元素物料平衡物料平衡表表氯氯投入（t/a）产出（t/a）种74、类投入量含量氯种类产出量含量氯盐酸0.10038%0.037进入酸碱清洗 HCl 废气0.0076100%0.0074氯气0.015100%0.015进入干法刻蚀 HCl 废气0.006100%0.0058三氯化硼0.015100%0.014干法刻蚀未反应氯气0.012100%0.012干法刻蚀未反应三氯化硼0.012100%0.011进入酸碱清洗废液0.0285100%0.028进入酸碱清洗废水0.0019100%0.002合计0.066合计0.066异丙醇异丙醇投入（t/a）产出（t/a）种类投入量含量异丙醇种类产出量含量异丙醇异丙醇1.000100%1.000进入有机废气0.40010075、%0.400进入有机异丙醇废液0.550100%0.550进入有机清洗废水0.050100%0.050合计1.000合计1.000丙酮丙酮投入（t/a）产出（t/a）种类投入量含量丙酮种类产出量含量丙酮丙酮1.090100%1.090进入有机废气0.490100%0.490进入有机丙酮废液0.560100%0.560进入有机清洗废水0.040100%0.040合计1.090合计1.090氟化物氟化物投入（t/a）产出（t/a）种类投入量含量氟化物种类产出量含量氟化物六氟化硫0.015100%0.012进入干法刻蚀废气0.041100%0.041三氟甲烷0.020100%0.016进入侧壁钝0.76、043100%0.04332化废气四氟化碳0.065100%0.056进入酸碱清洗废气0.0046100%0.0046BOE（氢氟酸和氟化铵溶液）0.10040%0.023进入酸性清洗氢氟酸废液0.0173100%0.0173进入酸碱清洗废水0.0012100%0.0012合计0.107合计0.107氮氮投入（t/a）产出（t/a）种类投入量含量氮种类产出量含量氮氨水0.06025%0.0124进入酸碱清洗废气 NH30.0030100%0.0025氨气0.005100%0.0041进入酸碱清洗氨水废液0.0113100%0.0093笑气0.010100%0.0064进入氨水酸碱清洗废水0.077、0075100%0.0006四甲基氢氧化铵0.002100%0.0003进入侧壁钝化废气 NH30.004100%0.003六甲基二硅氮烷0.002100%0.0002进入侧壁钝化废气 NO20.017100%0.005硝酸0.02570%0.0039进入产品钝化层0.001100%0.0010.002100%0.001进入显影废液0.0020100%0.0003进入有机废气0.002100%0.0002进入酸碱清洗硝酸废液0.016625100%0.0037进入硝酸酸碱清洗废水0.000875100%0.0002合计0.027合计0.027备注：该表中产出一栏的产出量为对应废水或废液中纯物质78、含量如 NH3含量，因此含量一栏对应为 100%。磷磷投入（t/a）产出（t/a）种类投入量含量磷种类产出量含量磷磷酸0.04085%0.011进入酸性清洗磷酸废液0.03885%0.0102进入酸碱清洗废水0.002100%0.0006合计0.011合计0.01133NMP投入产出种类投入量含量NMP种类产出量含量NMPNMP0.350100%0.350进入有机废气0.140100%0.140进入危废0.210100%0.210合计0.350合计0.350乙醇乙醇投入（t/a）产出（t/a）种类投入量含量乙醇种类产出量含量乙醇乙醇1.030100%1.030进入有机废气0.430100%0.79、430进入有机乙醇废液0.560100%0.560进入有机清洗废水0.040100%0.040合计1.030合计1.030锑锑投入（kg/a）产出（kg/a）种类投入量含量锑种类产出量含量锑锑化镓2.209100%1.405进入划片废水污泥*10.141100%0.090进入干法刻蚀废气*2微量微量微量进入酸碱废液*3微量微量微量进入产品2.068100%1.315合计1.405合计1.405注：1、根据划片工艺参数，一年 400 片锑化镓外延片大概需划 10000 刀，每刀产生外延片渣的尺寸约长 5cm*宽 0.01cm*厚 0.05cm，计算得到年废渣体积约 25cm3，锑化镓密度约 5.80、62g/cm3，则得到废锑化镓渣重量约 141g。2、本项目锑化镓晶圆上参与刻蚀反应的面积约占外延片面积 0.8m2（直径 5cm，年 400 片，则面积约 0.8m2）的 0.5%，为 0.004m2，刻蚀厚度以 50m 计，则参与反应的锑化镓体积约为 210-7m3，结合锑化镓密度 5.62t/m3和分子量，计算可知废气中锑的产生量约 0.00071kg/a，且经喷淋洗涤后绝大部分进入喷淋废水，废气中锑排放很小可忽略不计，本次环评不作定量分析。3、根据酸碱清洗工序，酸碱湿法清洗对锑化镓腐蚀厚度为几十纳米，本环评按照 50nm 考虑，外延片面积（0.8m2），则腐蚀的锑化镓体积约为 410-81、8m3，结合锑化镓密度 5.62t/m3，计算可知腐蚀掉锑化镓量约 0.00022kg/a，且绝大部分进入酸碱废液中，后道纯水清洗废水中近乎没有，本次环评不作定量分析。产品生产过程主要物料平衡见下表 2-7。表表 2-7 产品生产过程主要物料平衡产品生产过程主要物料平衡表表投入，投入，kg/a产出，产出，kg/a外购外延片2.209产品79534不锈钢材料20.36不合格芯片1.33钛合金材料37.4污泥中锑化镓0.141陶瓷基板2钛0.8铂0.8金0.8铟4硫化锌8制冷机720电路板0.1合计796.47合计796.472.1.6 水平衡水平衡本项目水平衡见图 2-5。图图 2-5 本项目水82、平衡图本项目水平衡图 单位单位 t/a352.1.7 劳动定员及工作制度劳动定员及工作制度本项目配备职工 100 人，年工作天数 300 天，三班制，不设食堂、不设宿舍。2.1.8 平面布置平面布置本项目位于xx市经济开发区谷水路 306 号 A16 一层。A16 为一幢二层建筑，高22m，本项目租用一层，二层为租赁方空置车间。车间由北至南布置有会议室、休息室、光刻间、清洗抛光间、减薄间、倒焊间、封装间、操作区、划片间。本项目不设危化品仓库，依托园区的危化品仓库。车间内设有一般固废仓库（位于车间南侧，占地约 20m2）和危险废物仓库（位于车间北侧，占地约 20m2）。有机废气处理装置、酸性废气83、处理装置和排气筒位于楼顶中部。POU 净化装置（干式吸附）位于设备灰区。废水处理依托园区污水处理站。本项目布局总体功能分布明确，布置较为合理。平面布置见附图。2.1.9 环保投资估算环保投资估算本项目环保工程投资为 115 万元，约占总投资（11000 万元）的 1.05%，车间洁净系统纳入工程内容投资。具体概算见表 2-8。表表 2-8 本项目污染治理投资估算本项目污染治理投资估算污染源污染源环保环保设施名称设施名称投资（投资（万万元元）运营期废水化粪池（依托园区）、污水处理站（依托园区）、划片废水处理设施5废气废气处理装置、废气管道、排气筒100噪声减振垫、消音器等2固废一般固废暂存间、危84、废仓库3环境风险地面防腐防渗等、事故应急池（依托园区）5合计1152.2 工艺流程和产排污环节工艺流程和产排污环节本项目主要为红外焦平面探测器的生产，主要工艺流程图及产污环节如下图 2-6所示。36图图 2-6 本项目本项目生产生产工艺流程图及产污环节工艺流程图及产污环节37工艺流程及产排污说明：（1）有机清洗：外购外延片在有机清洗设备操作台内依次放入不同的培养皿中进行浸泡清洗（丙酮、乙醇、异丙醇，浸泡 3-5min），最后用纯水进行冲洗，清洗后经氮气吹干。丙酮、乙醇、异丙醇浸泡废液经收集后委托有资质的单位处置，纯水清洗废水收集后进入园区污水站处理，清洗和吹干过程产生有机废气。（2）涂布、烤胶85、光刻曝光、显影：基片先经匀胶机涂上光刻胶，或在 HMDS涂胶机上涂上 HMDS，即用离心力使滴在基片上的胶液均匀地涂覆在基片上，后加热烘干，再经光刻机内曝光和显影机内显影（显影液为四甲基氢氧化铵），最后经匀胶机内的热板（电加热）烘干。废光刻胶和废显影液经收集后委托有资质的单位处置。涂布和烤胶过程产生有机废气。（3）干法刻蚀：基片在干法刻蚀机（感应耦合等离子增强刻蚀设备 ICP）中通过不同的气体进行干法刻蚀，反应气体：氢气、甲烷、三氯化硼、氯气、氩气、氦气、六氟化硫、氧气、氮气、三氟甲烷、四氟化碳。刻蚀过程产生刻蚀废气，主要为氯气、氟化物、氯化氢。干法刻蚀是用等离子体进行薄膜刻蚀的技术。当气体86、以等离子体形式存在时，它具备两个特点：一方面等离子体中的这些气体化学活性比常态下时要强很多，根据被刻蚀材料的不同，选择合适的气体，就可以更快地与材料进行反应，实现刻蚀去除的目的；另一方面，还可以利用电场对等离子体进行引导和加速，使其具备一定能量，当其轰击被刻蚀物的表面时，会将被刻蚀物材料的原子击出，从而达到利用物理上的能量转移来实现刻蚀的目的。（4）去胶：在去胶剥离机内将基片采用 NMP 试剂去除光刻胶，该过程产生废光刻胶和有机废气，废光刻胶收集后委托有资质的单位处置。（5）酸碱清洗：基片依次放入不同的培养皿中进行浸泡清洗（磷酸、柠檬酸、氨水、盐酸、双氧水、硫酸、BOE、硝酸，浸泡 3-5mi87、n），最后用纯水进行冲洗，酸碱浸泡产生的酸碱废液经收集后委托有资质的单位处置，纯水清洗产生的清洗废水收集后进入园区污水站处理，清洗过程产生酸碱废气。清洗后采用氮气吹干。（6）侧壁钝化：基片在化学气相沉积台中通过两种以上的气体离化后在器件表面发生化学反应形成钝化薄膜，气体为硅烷、氧气、氨气、四氟化碳、氩气、笑气、38氮气，产生一定量的废气，主要污染因子为硅烷、氨、NOx、氟化物。（7）电极生长、剥离：基片放入电子束蒸发或者 PVD 磁控溅射中生长电极金属，电子束蒸发通过高速电子让金属材料（钛、铂、金）蒸发，喷射到基片上（钛靶、金靶、铂靶），然后用丙酮、酒精在去胶剥离机内进行剥离，产生一定量的有机88、废液和有机废气，有机废液经收集后委托有资质的单位处置。（8）铟生长、剥离：基片放入热蒸发设备中，通过加热铟，使铟形成蒸汽喷射到基片上，完成生长，然后用丙酮、酒精在有去胶剥离机内进行剥离，产生一定量的有机废液和有机废气，有机废液经收集后委托有资质的单位处置。（9）划片：划片工艺采用机械砂轮刀切割的方法，把需要切片的器件放入划片机，通入纯水后，开始砂轮刀高速旋转，把制备好的器件按照需求的尺寸进行切割，该工序产生一定量的划片清洗废水，收集后经自备的划片清洗废水处理设施处理后回用于划片清洗工序。（10）倒焊：在芯片是涂上甲酸，让芯片和电路板在倒焊机施加的压力下结合在一起（甲酸气体回流烧结焊料的颗粒均匀89、性明显好于在空气中直接烧结的焊料），产生微量甲酸废气。（11）点胶：点胶是常温下在芯片和电路的缝隙中填上环氧树脂胶，使其更稳定，后经烘箱烘干（电加热），产生微量的有机废气。（12）减薄：是通过机械的方法，削减掉多余的衬底，在减薄机中进行，加入切削液，产生废切削液，委托有资质的危废单位处置。（13）抛光：是通过化学研磨使减薄后的基片更平整，加入氧化硅抛光粉和纯水，产生废液委托有资质的危废单位处置。（14）增透膜生长：通过热蒸发生长 ZnS（原理和铟生长相同）。（15）超声波清洗：外购不锈钢材料、钛合金材料、陶瓷基板经超声波清洗后用于整机封装，在超声波清洗机内依次采用丙酮、乙醇、异丙醇、纯水进行清90、洗，产生有机废液和清洗废水。有机废液委托有资质单位处置，清洗废水收集后纳入园区污水处理站。清洗后经烘箱烘干（电加热）。（16）整机封装：测试合格的芯片、电机和清洗后的封装材料通过激光焊和钎焊封装，产生微量的焊接烟尘。39（17）包装入库：测试合格后成品包装入库。运营期的主要污染因子详见表 2-9。表表 2-9 建设项目主要污染因子建设项目主要污染因子类别类别生产单元生产单元污染源污染源/工艺名称工艺名称主要污染因子主要污染因子去向去向废气废气清洗、吹干有机清洗、吹干非甲烷总烃两级活性炭吸附系统，排气筒 1#光刻涂布非甲烷总烃烤胶非甲烷总烃去胶去胶非甲烷总烃剥离剥离非甲烷总烃清洗超声波清洗非甲烷91、总烃光刻板丙酮擦拭光刻板丙酮擦拭非甲烷总烃贴片取片酒精擦拭贴片取片酒精擦拭非甲烷总烃刻蚀干法刻蚀氯气、氟化物POU 净化装置（干式吸附）+碱喷淋，排气筒 2#化学气相沉积CVD 侧壁钝化硅烷、氨、NOx、氟化物清洗酸碱清洗硫酸雾、盐酸雾、氨直接进入碱喷淋系统，排气筒 2#倒焊倒焊甲酸各生产过程各生产过程臭气浓度进入以上废气处理系统废水废水清洗有机清洗pH、CODCr、SS园区有机废水处理系统+酸碱废水处理系统清洗酸碱清洗pH、CODCr、氨氮、SS、氟化物、总磷、总氮园区含氟废水处理系统+酸碱废水处理系统划片划片pH、CODCr、SS自备划片废水处理装置清洗超声波清洗pH、CODCr、SS园区92、有机废水处理系统+酸碱废水处理系统废气处理碱喷淋pH、CODCr、氨氮、SS、氟化物、总氮含氟废水处理系统+酸碱废水处理系统软水制备软水制备CODCr、SS、直接纳管噪声噪声各类生产过程各类生产过程Leq（A）/固体废固体废物物清洗有机清洗、剥离、超声波清洗有机废液委托危废单位处置光刻涂布、去胶废光刻胶委托危废单位处置光刻显影废显影液委托危废单位处置清洗酸碱清洗酸碱废液委托危废单位处置减薄减薄废切削液委托危废单位处置抛光抛光抛光废液委托危废单位处置40废气处理废气处理废活性炭委托危废单位处置危化品使用危化品使用废危化品包装材料委托危废单位处置测试测试不合格芯片委托危废单位处置划片清洗废水处理划93、片清洗废水处理污泥委托危废单位处置划片清洗废水处理划片清洗废水处理废过滤材料委托危废单位处置生产过程生产过程废擦拭布和无尘纸委托危废单位处置废气处理废气处理POU 装置废吸附剂委托危废单位处置软水制备软水制备废离子交换树脂出售给物资单位包装包装废包装材料出售给物资单位职工活动职工活动生活垃圾环卫清运2.3 与项目有关的原有环境污染问题与项目有关的原有环境污染问题本项目为新建项目，利用租赁方空置厂房并实施生产，该厂房以前未有过生产活动，因此不存在与项目有关的原有环境污染问题。41三、区域环境质量现状、环境保护目标及评价标准3.1 区域环境质量现状区域环境质量现状3.1.1 大气环境大气环境1项目94、所在区域的环境功能及环境质量标准项目所在区域的环境功能及环境质量标准本项目所在区域环境空气为二类功能区，因此该区域环境空气执行环境空气质量标准（GB3095-2012）中的二级标准以及关于发布环境空气质量标准（GB3095-2012）修改单的公告（生态环境部公告 公告 2018 年第 29 号）要求。丙酮、氯化氢、氯和氨环境质量标准执行环境影响评价技术导则 大气环境（HJ2.2-2018）附录 D 标准值、非甲烷总烃执行大气污染物综合排放标准详解一次值。详见表3-1。表表 3-1 环境空气质量标准环境空气质量标准污染因子污染因子取值时取值时单位单位二级浓度限值二级浓度限值标准标准来源来源二氧化95、硫SO2年平均g/m360环境空气质量标准（GB3095-2012）及其修改单24 小时平均g/m3151 小时平均g/m3500二氧化氮NO2年平均g/m34024 小时平均g/m3801 小时平均g/m3200PM10年平均g/m37024 小时平均g/m3150PM2.5年平均g/m33524 小时平均g/m375一氧化碳CO24 小时平mg/m341 小时平均mg/m310臭氧O3日最大 8 小时平均g/m31601 小时平均g/m3200TSP年平均g/m320024 小时平均g/m3300氮氧化物（NOx）年平均g/m35024 小时平均g/m31001 小时平均g/m3250氟化96、物（F）1 小时平均g/m32024 小时平均g/m3742丙酮1 小时平均g/m3800环境影响评价技术导则 大气环境（HJ2.2-2018）附录 D氯化氢1 小时平均g/m35024 小时平均g/m315氯1 小时平均g/m310024 小时平均g/m330NH31 小时平均g/m3200非甲烷总烃一次值g/m32000大气污染物综合排放标准详解2达标区的判定达标区的判定为了了解评价基准年（2021 年）项目所在区域环境质量情况，本次评价收集了2021 年xx市自动监测站连续一年的常规监测数据，并根据 H2.2-2018环境影响评价技术导则 大气环境 有关要求，按照 HJ663-2013 97、环境空气质量评价技术规范（试行）中规定的方法进行了统计，具体见下表 3-2。表表 3-2 区域空气质量现状评价表区域空气质量现状评价表污染物污染物年年评评价指标价指标现状浓现状浓度度ug/m3标准标准值值ug/m3占标率占标率达标达标情况情况SO2年平均浓度5608.3%达标98 百分位日均浓度141509.3%达标NO2年平均浓度264065.0%达标98 百分位日均浓度688085.0%达标PM10年平均浓度527074.3%达标95 百分位日均浓度11015073.3%达标PM2.5年平均浓度293582.9%达标95 百分位日均浓度647585.3%达标CO年平均浓度556/第 95 98、百分位日平均800400020.0%达标O3年平均浓度99/第 90 百分位 8h 平均15016093.8%达标同时，根据xx市生态环境状况公报（2021 年度），xx市 2021 年空气质量综合指数 3.44，空气质量六项指标连续两年达到国家二级标准，空气质量优良率为90.4%，中度及以上污染天气零发生，PM2.5年平均浓度 29ug/m3，xx市 2021 年属于环境空气质量达标区域。3特征因子补充监测特征因子补充监测为了解本项目大气特征污染物在项目拟建地大气环境中的质量现状，本环评引用43xx精瓷半导体有限责任公司半导体高功率元器件生产和研发项目环境影响报告表中xxxx环境检测有限公司99、对项目所在地附近的环境空气质量进行监测的数据（报告编号：xx环检（2022）检字第 2022010017 号、xx环检（2022）检字第2022010018 号）。具体如下：监测因子：氮氧化物、氟化物采样时间：2021-12-092021-12-15监测布点：项目北侧 1200 米处三建村，具体见附图 10频次：连续测 7 天，每天测 4 次，测 24 小时平均值现状监测和评价结果见表 3-3。表表 3-3 环境空气其他污染因子监测结果环境空气其他污染因子监测结果监测因子监测因子取值时间取值时间浓度限浓度限值值ug/m3浓度范浓度范围围ug/m3最大监测最大监测值值 ug/m3最大占标最大占标100、率（率（%）最大超标最大超标倍数倍数氮氧化物24 小时平均10016-18181801 小时平均25031-363614.40氟化物24 小时平均70.03*0.030.4301 小时平均200.25*0.251.250注*：环境空气质量监测规范（试行）若样品浓度低于监测方法检出限时，则该监测数据应标明未检出，并以 1/2 最低检出限报出，同时用该数值参加统计计算。根据上述监测结果可知，相应监测期间内，具有国家环境质量标准的氮氧化物、氟化物均可达到环境空气质量标准（GB3095-2012）其修改单标准，项目所在区域环境空气良好。3.1.2 地表水环境地表水环境根据xx市水环境功能区划图和xx省101、水功能区水环境功能区划分方案（2015），本项目所在地周边主要水体为长山河，编号“杭嘉湖 92”，目标水质为III类，为III类水环境功能区。根据xx市人民政府关于要求转报xx市长山河、长水塘和xx下河水环境功能区划分方案的请示（海政2017164 号），xx市人民政府已主动建设饮用水水源保护区湿地，长山河水源地取水口已调整至长水塘，经xx省生态环境厅 浙江省水利厅 关于xx市xx下河、长山河和长水塘（杭嘉湖 88、92 和 97）水功能区水环境功能区划分调整方案的复函（浙环便函2018951 号）同意xx市的调整要44求。对照浙环便函2018951 号附件，本项目所在区域距离长水塘xx饮用水102、源保护区较远，本项目与饮用水水源准保护区最近距离约 760m，距离水源二级保护区约2640m，距离长水塘取水口约 4270m，不属于饮用水水源保护区内和饮用水水源准保护区内。图图 3-1调整后水环境功能区划图调整后水环境功能区划图为了解评价区域内地表水环境质量现状，本环评引用xx（中国）泛半导体产业园一期xx区块污水治理排放及专用仓库配建技术改造项目环境影响报告表中浙江xx 检测有限公司对项目附近的地表水环境进行监测数据（报告编号：SL22030035）。（1）监测时间2022 年 3 月 21 日3 月 23 日连续三天，每天一次。（2）监测断面在项目西侧 225m 罗秋港设 1 个地表水监103、测断面，具体见附图 10。（3）监测项目项目所在地项目所在地2640m760m4270m45pH、DO、CODMn、CODCr、BOD5、NH3-N、总磷、铜、锌、氟化物、砷、汞、镉、六价铬、铅、挥发酚、石油类、LAS、硫化物。（4）监测结果与分析表表 3-4地表水水质监测结果地表水水质监测结果单位：除单位：除 pH 外，均为外，均为 mg/L测点测点 监测项目监测项目单位单位监测时间监测时间类类标标准值准值平均值平均值标准指标准指数数2022.3.212022.3.222022.3.23罗秋港pH 值无量纲7.17.27.2697.20.08BOD5mg/L3.63.43.443.50.87104、石油类mg/L0.010.010.010.050.010.10CODCrmg/L13171320140.72氨氮mg/L0.7130.7070.71010.710.71总磷mg/L0.020.040.030.20.030.15CODMnmg/L3.23.03.063.10.51铜mg/L0.0010.0010.00110.00050.001锌mg/L0.050.050.0510.0250.03铅mg/L0.010.010.010.050.0050.10镉mg/L0.0010.0010.0010.0050.00050.10汞g/L0.040.040.040.10.020.20砷g/L0.30.3105、0.3500.150.003氟化物mg/L0.360.370.3810.370.37六价铬mg/L0.0040.0040.0040.050.0020.04挥发酚mg/L0.00030.00030.00030.0050.000.03LASmg/L0.0650.0670.0600.20.0640.32硫化物mg/L0.010.010.010.20.0050.03DOmg/L7.897.948.0557.960.51从现状监测统计结果可以看出，项目所在区域地表水水质能达到地表水环境质量标准（GB3838-2002）类标准，本项目所在区域属于地表水环境质量达标区，该区域地表水环境有一定的容量。3.1.106、3 声环境声环境企业位于xx经济开发区，所在地块属于工业用地，声环境属 3 类声功能区。项目所在区域声环境执行声环境质量标准（GB3096-2008）中的 3 类标准。项目厂界外 50 米范围内不存在声环境保护目标。根据建设项目环境影响报告表编制技术指南（污染影响类）（试行），无需监测声环境质量现状。463.1.4 生态环境生态环境项目位于xx经济开发区谷水路 306 号 A16，位于产业园区内，不属于产业园区外的建设项目，根据 建设项目环境影响报告表编制技术指南（污染影响类）（试行）无需进行生态现状调查。3.1.5 电磁辐射电磁辐射本项目不涉及电磁辐射相关内容。3.1.6 地下水、土壤环境地107、下水、土壤环境根据建设项目环境影响报告表编制技术指南（污染影响类）（试行），项目运行过程中不涉及对地下水和土壤环境产生污染的重金属和持久性有机污染物，且危废仓库地面做好防腐防渗，项目废水纳管排放，不存在土壤或地下水污染途径。原则上不开展地下水和土壤环境环境质量现状调查。3.2 环境保护目标环境保护目标3.2.1 大气环境大气环境本项目厂界外 500 米范围内不存在大气环境保护目标，500m 范围内无规划居住用地。具体见附图 11。3.2.2 声环境声环境本项目厂界外 50 米范围内不存在声环境保护目标。具体见附图 11。3.2.3 地下水环境地下水环境本项目厂界外 500 米范围内不存在地下水108、集中式饮用水水源和热水、矿泉水、温泉等特殊地下水资源。3.2.4 生态环境生态环境项目位于xx经济开发区谷水路 306 号 A16，位于产业园区内，不属于产业园区外的建设项目。现场为已建空置生产车间，不涉及生态环境保护目标。3.3 污染物排放控制标准污染物排放控制标准3.3.1 废水排放标准废水排放标准本项目划片清洗废水经自备废水处理装置处理后回用于划片清洗工序，不外排；软水制备废水直接经 DW001 纳管，纳管标准执行电子工业水污染物排放标准47（GB39731-2020）表 1 水污染物排放限值。具体见表 3-5。表表 3-5 电子工业水污染物排放标准（电子工业水污染物排放标准（GB397109、31-2020）表）表 1单位单位：mg/L，除，除 pH 外外序号序号污染物项目污染物项目间接排放限值间接排放限值*1污染物排放污染物排放监控位置监控位置1pH 值6.0-9.0废水总排放口2悬浮物（SS）4003石油类204CODCr5005总有机碳（TOC）2006氨氮457总氮708总磷8.09LAS2010氟化物2011总铜20*2注：（1）当企业废水排向城镇污水集中处理设施时，执行本表规定的间接排放限值。（2）适用于有电镀、化学镀工艺的电子终端产品生产企业（本项目不涉及）。其他生产废水达到经园区污水处理站进水指标要求后进入园区污水处理站处理达标后经 DW001 纳管，园区污水处理站110、进水指标具体见表 3-6。根据园区污水站环评xx（中国）泛半导体产业园一期xx区块污水治理排放及专用仓库配建技术改造项目环评影响报告表批复的纳管废水标准，园区污水处理站出水纳管标准执行电子工业水污染物排放标准（GB39731-2020）表 1 水污染物排放限值，具体见表 3-5。表表 3-6 园区污水站协议进水指标园区污水站协议进水指标接收废水类别接收废水类别pHSSCODCrNH3-NTPFTN/mg/Lmg/Lmg/Lmg/Lmg/Lmg/L含氟废水27200100355080070有机废水4143001500100/150根据污水站环评，园区污水站服务对象为xx泛半导体产业园一期xx区块111、范围内企业，只接收区块内生产废水，不包括园区生活污水、企业生产废液，生产废液须由各企业单独收集暂存并按照危废管理、委外处置；后续各入驻企业需要利用该污水站的，应根据具体涉及的废水种类以及水质情况与污水站各系统进水水质限值要求进行对匹配。本项目废水污染物中不涉及关于发布的公告中污染物，不涉及污水综合排放标准（GB8978-1996）中明确的一类污染物，也不涉及铅、汞、镉、铬、砷、铊和锑等有毒有害污染物排放，不含园区污水站无法处理的废水种类。生活污水经园区独立的生活污水收集系统收集后经园区化粪池预处理达标后经DW002 纳管，生活污水纳管标准执行污水综合排放标准（GB8978-1996）三级标准。112、具体见表 3-7。表表 3-7污水综合排放标准污水综合排放标准单位：除单位：除 pH 外，外，mg/L序号序号污染物污染物三级标准三级标准1pH692化学需氧量（CODCr）5003悬浮物（SS）4004氨氮355总磷86生化需氧量（BOD5）3007石油类20注：NH3-N、总磷纳管执行工业企业废水氮、磷污染物间接排放限值（DB33/887-2013）中其它企业标准限值。此外，本项目还执行电子工业水污染物排放标准（GB39731-2020）表 2 单位产品基准排水量，本项目中间产品为 2 英寸芯片，参照执行半导体器件中 6 英寸及以下芯片，具体见表 3-8。表表 3-8 电子工业水污染物排放113、标准（电子工业水污染物排放标准（GB39731-2020）表）表 2适用企业适用企业产品规格产品规格单位单位单位产品基单位产品基准排水量准排水量排水量计量排水量计量单位单位半导体器件6 英寸及以下芯片英寸及以下芯片m3/片片3.2与污染物排放监控位置一致8 英寸芯片m3/片6.012 英寸掩膜层数 35 层及以下m3/片11掩膜层数 35 层及以上20封装产品传统封装产品m3/千块产品2.0圆片级封装产品m3/片11分立器件m3/万块产品3.5纳管废水最终由xx污水处理厂集中处理达城镇污水处理厂污染物排放标准（GB18918-2002）中一级 A 标准后排入环境。主要水污染物排放标准见表 3-114、9。表表 3-9 城镇污水处理厂污染物排放标准（城镇污水处理厂污染物排放标准（GB18918-2002）单位：除单位：除 pH 外，外，mg/L序序号号基本控制项目基本控制项目一级一级 A 标准标准491pH692化学需氧量（CODCr）503生化需氧量（BOD5）104悬浮物（SS）105氨氮5（8）6总磷0.5注：括号外数值为水温12时的控制指标，括号内数值为水温12时的控制指标。3.3.2 废气排放标准废气排放标准本项目运营期生产过程的氯气、氟化物、HCl、NOx、硫酸、非甲烷总烃执行大气污染物综合排放标准（GB 16297-1996）表 2 中的二级标准。丙酮排放浓度参照执行上海市地方115、标准大气污染物综合排放标准（DB31/933-2015）中附录 A。具体见下表 3-10。表表 3-10 大气污染物综合排放标准（大气污染物综合排放标准（GB16297-1996）污染物污染物最高允许排最高允许排放浓度放浓度（mg/m3）最高允许排放速最高允许排放速(kg/h)无组织排放监控浓度限值无组织排放监控浓度限值排气筒排气筒(m)二级二级监控点监控点浓度（浓度（mg/m3）氯气65270.7周界外浓度最高点0.40氟化物9.00.520HCl1001.10.20非甲烷总烃12042.24.0硫酸456.91.2NOx2403.50.12丙酮*8017.73.2*注：允许排放速率依据制定116、地方大气污染物排放标准的技术方案（GB/T13201-91）中第 6节所推荐公式计算：Q=CmRKe式中：Q为排气筒允许排放速率；Cm为环境质量一次值；R为排放系数，排气筒为15m、20m、30m及40m时，xx二类功能区为6、12、32、58；本项目排气筒27m，R系数取值26。Ke为地区性经济技术参数，取值0.51.5，取0.85；根据大气污染物综合排放标准详解无组织监控点浓度取环境质量标准的 4 倍。氨、臭气浓度排放执行恶臭污染物排放标准（GB14554-93）表 2 标准，见下表 3-11。表表 3-11 恶臭污染物排放标准（恶臭污染物排放标准（GB14554-93）污染物污染物排放标117、准值排放标准值厂界标准值厂界标准值排气筒高度排气筒高度，m排放量，排放量，kg/h新扩改建，新扩改建，mg/m3NH327141.5臭气浓度276000（无量纲）20（无量纲）企业厂区内 VOCs 无组织排放监控点浓度执行挥发性有机物无组织排放控制标50准（GB3782-2019）附录 A 中表 A.1 特别排放限值，具体标准详见下表 3-12。表表 3-12 挥发性有机物无组织排放控制标准（挥发性有机物无组织排放控制标准（GB3782-2019）单位：单位：mg/m3污染物项目污染物项目特别排放限值特别排放限值限值含义限值含义无组织排放监控位置无组织排放监控位置NMHC6监控点处 1h 平均118、浓度值在厂房外设置监控点20监控点处任意一次浓度值3.3.3 噪声排放标准噪声排放标准本项目运营期厂界噪声控制标准执行工业企业厂界环境噪声排放标准（GB12348-2008）中的 3 类标准。详见表 3-13。表表 3-13 工业企业厂界环境噪声排放标准（工业企业厂界环境噪声排放标准（GB12348-2008）单位：单位：dB（A）标准类别标准类别昼间昼间夜间夜间3 类65553.3.4 固废污染控制标准固废污染控制标准固废按照中华人民共和国固体废物污染环境防治法和xx省固体废物污染环境防治条例 中的有关规定执行。危险废物参照执行 危险废物贮存污染控制标准（GB18597-2001）及（原）环119、保部公告 2013 年第 36 号修改单。根据一般工业固体废物贮存和填埋污染控制标准（GB18599-2020），采用库房、包装工具（罐、桶、包装袋等）贮存一般工业固体废物过程的污染控制，应满足相应防渗漏、防雨淋、防扬尘等环境保护要求。3.4 总量控制指标总量控制指标根据xx省现有总量控制要求，主要污染物总量控制种类包括：化学需氧量、氨氮、二氧化硫、氮氧化物、工业烟粉尘、挥发性有机物和重点重金属。根据工程分析，本项目污染物总量控制因子为 CODCr、NH3-N、NOx 和 VOCs。建设项目总量指标削减替代比例要求为：建设项目总量指标削减替代比例要求为：根据关于印发xx省“十四五”挥发性有机物120、综合治理方案的通知（浙环发202110 号），严格执行建设项目新增 VOCs 排放量区域削减替代规定，削减措施原则上应优先来源于纳入排污许可管理的排污单位采取的治理措施，并与建设项目位于同一设区市。上一年度环境空气质量达标的区域，对石化等行业的建设项目 VOCs排放量实行等量削减；上一年度环境空气质量不达标的区域，对石化等行业的建设项目 VOCs 排放量实行 2 倍量削减，直至达标后的下一年再恢复等量削减。51根据xx市生态环境局关于印发护航经济稳进提质助力企业纾困解难若干措施的通知（嘉环发202236 号），对上一年度环境空气质量年平均浓度达标、水环境质量达到要求的区域，CODCr、NH3-121、N 和 VOCs 等三项污染物排放总量控制指标按所需替代总量指标的 1:1 进行削减替代，不达标区按 1:2 进行削减替代。xx市 2022 年为大气不达标区，地表水为达标区，因此 CODCr、NH3-N 按 1:1 进行削减替代，VOCs按照 1:2 进行削减替代。NOx 根据当地总量控制要求，按照 1:2 进行削减替代。本项目实施后污染物排放量为废水量 4440t/a、CODCr0.222t/a、NH3-N0.022t/a、VOCs0.371t/a、NOx0.001t/a。具体见表 3-14。表表 3-14总量控制值总量控制值 单位单位 t/a类型类型指标指标本项目排放量本项目排放量区域内122、替代削减区域内替代削减比例比例区域内替代削减区域内替代削减值值总量控制建议总量控制建议值值企业排放增减企业排放增减量量废水废水量4440/4440+4440CODCr0.2221:10.2220.222+0.222NH3-N0.0221:10.0220.022+0.022废气VOCs0.3711:20.7420.371+0.371NOx0.0011:20.0020.001+0.001综上，本项目污染物排放符合总量控制要求。52四、主要环境影响和保护措施4.1 施工期环境保护措施施工期环境保护措施本项目施工期主要为设备安装，不涉及厂房建设，施工期对环境影响不大。4.2 运营期环境影响和保护措施运123、营期环境影响和保护措施4.2.1 废气废气（1）源强及达标排放情况源强及达标排放情况废气源强核算情况见表 4-1。表表 4-1 废气源强核算情况表废气源强核算情况表序号序号 工序工序/生产线生产线装置装置污染污染源源污染物污染物污染物产生污染物产生治理措施治理措施污染物排放污染物排放排放排放时间时间/h核算核算方法方法产生浓产生浓度度mg/m3产生量产生量收集收集方式方式收集收集效率效率%工艺工艺是否是否可行可行技术技术治理治理效率效率%行业行业整治整治规范规范符合符合性性排放浓排放浓度度mg/m3排放量排放量kg/ht/akg/ht/a1有机清洗、吹干、涂布、烤胶、去胶、剥离、超声波清洗、丙124、酮擦拭、酒精擦拭有机清洗设备、烘箱、匀胶机、超声波清洗机等有组织丙酮物料平衡法6.1820.1360.490洁净车间，通过不断向室内引入洁净空气来增强100两级活性炭吸附是75符合2.7200.0340.1233600非甲烷总烃12.545 0.2760.992100是75符合5.5200.0690.24836002干法刻蚀干法刻蚀机有组织氯气物料平衡法/0.0030.012100POU 净化装置（干式吸附）+碱喷淋是93.8符合/0.0002 0.0007 3600氟化物/0.0110.041100是93.8符合/0.0007 0.0025 3600三氯化硼/0.0030.012100是93125、.8符合/0.0002 0.0007 360053室内的气压，保持室内微正压，并通过对设备设置密闭负压收集柜或通过设备管道密闭连接收集废气至主管道，可实现车间内废气密闭收集HCl/0.0020.006100是93.8符合/0.0001 0.0004 3600侧壁钝化等离子体化学气相沉积系统有组织氨/0.0010.004100是93.8符合/0.0001 0.0002 3600NOx/0.0050.017100是93.8符合/0.0003 0.0011 3600氟化物/0.0120.043100是93.8符合/0.0008 0.0027 3600干法刻蚀和侧壁钝化（以上汇总）干法刻蚀机、等离子体126、化学气相沉积系统有组织氯气1000.0030.012100是93.8符合/0.0002 0.0007 3600氟化物7670.0230.084100是93.8符合/0.0014 0.0052 3600三氯化硼1000.0030.012100是93.8符合/0.0002 0.0007 3600HCl670.0020.006100是93.8符合/0.0001 0.0004 3600氨330.0010.004100是93.8符合/0.0001 0.0002 3600NOx1670.0050.017100是93.8符合/0.0003 0.0011 3600酸碱清洗、倒焊酸碱清洗机、倒装机有组织氨/0.127、0010.003100碱喷淋是75符合/0.0002 0.0008 3600HCl/0.0020.0076100是75符合/0.0005 0.0019 3600氟化物/0.0010.005100是75符合/0.0004 0.0013 3600干法刻蚀、侧壁钝化、酸碱清洗、倒焊（以上汇总）干法刻蚀机、等离子体化学气相沉积系统、酸碱清洗机、倒装机有组织氯气/0.0030.012100干法刻蚀和侧壁钝化废气先经本地POU 净化装置（干式吸附）处理后再和其他废气一起经碱喷淋装置处理是93.8符合0.0180.0002 0.0007 3600氟化物/0.0250.089100是92.7符合0.1640.128、0018 0.0065 3600三氯化硼0.0030.012100是93.8符合0.0180.0002 0.0007 3600HCl/0.0040.014100是83.6符合0.9090.0010.0023 3600氨/0.0020.007100是85.7符合0.0270.0003 0.0010 3600NOx/0.0050.017100是93.8符合0.0270.0003 0.0011 360054具体核算过程如下所示：（1）有机废气有机清洗和吹干废气光刻前，企业采用丙酮、乙醇、异丙醇在有机清洗设备上浸泡清洗，清洗后采用氮气吹干，产生一定量的有机清洗废气、吹干有机废气，其中乙醇和异丙醇以非甲129、烷总烃计。根据物料平衡，考虑丙酮、乙醇、异丙醇约 55%进入有机废液作为危废，5%残留在表面，经后续纯水清洗进入废水，40%进入废气。该工序丙酮、乙醇、异丙醇年用量分别为 0.5t/a、0.5t/a、0.7t/a，则丙酮和非甲烷总烃（乙醇、异丙醇）产生量分别为 0.200t/a 和 0.480t/a。涂布、烤胶废气企业采用 HMDS 和光刻胶对基片进行涂布，涂布和烤胶过程产生一定量的涂布和烤胶废气。HMDS 为六甲基二硅氮烷，考虑全部挥发进入废气，以非甲烷总烃计；光刻胶中含 70%乳酸乙酯、20%乙酸正丁酯、5%酚醛树脂多元醇、5%萘醌衍生物，考虑光刻胶中的乳酸乙酯和乙酸正丁酯全部挥发形成废气130、，量很少，以非甲烷总烃计。本项目 HMDS 年用量 2kg/a、光刻胶年用量为 37kg/a，光刻胶约 30%进入废光刻胶，约 10%进入废显影液，则涂胶和烤废气中非甲烷总烃产生量为 0.022t/a。去胶废气企业干法刻蚀后采用 NMP 在去胶剥离机内对基片进行去胶，NMP（N-甲基吡咯烷酮）年用量为 0.350t/a，考虑约 60%和废光刻胶一起作为危废，则进入废气量约 40%，量很少，以非甲烷总烃计，则去胶废气中非甲烷总烃产生量为 0.140t/a。剥离废气企业采用丙酮、酒精进行剥离，产生一定量的有机废气，以非甲烷总烃计。考虑丙酮、酒精约 60%进入有机废液作为危废，则进入废气量约 40%131、。丙酮和酒精年用量分别为 0.2t/a 和 0.2t/a，酒精以非甲烷总烃计，则剥离废气中丙酮和非甲烷总烃产生量分别为 0.080t/a 和 0.080t/a。超声波清洗废气企业采用丙酮、乙醇、异丙醇在超声波清洗机中进行清洗，产生一定量的有机清55洗废气，乙醇和异丙醇以非甲烷总烃计。考虑丙酮、乙醇、异丙醇约 55%进入有机废液作为危废，5%残留在表面，经后续纯水清洗进入废水，则进入废气量约 40%。丙酮、乙醇、异丙醇年用量分别为 0.3t/a、0.3t/a、0.3t/a，则丙酮和非甲烷总烃产生量约0.120t/a 和 0.240t/a。有机擦拭废气光刻板丙酮擦拭和贴片取片过程采用酒精擦拭产生一132、定量的有机废气，丙酮用量为 0.09t/a，乙醇用量为 0.03t/a，考虑全部进入有机废气，则丙酮和非甲烷总烃产生量约 0.09t/a 和 0.03t/a。表表 4-2有机废气收集及处理方式有机废气收集及处理方式废气种类废气种类对应设备对应设备设备位置设备位置集气方式集气方式处理方处理方式式有机清洗废气有 机 清 洗设备*5清洗抛光间密闭负压收集柜*5洁净车间，通过不断向室内引入洁净空气来增强室内的气压，保持室内微正压，并通过对设备设置密闭负压收集柜或通过设备管道密闭连接收集废气至主管道，可实现车间内废气密闭收 集，集 气 风 量12500m3/h经两级活性炭吸附处理经离地 27m排气筒DA133、001高空排放去胶废气、剥离废气去 胶 剥 离机*1密闭负压收集柜*1超声波清洗废气超 声 波 清洗机*2密闭负压收集柜*1涂布烤胶废气匀 烤 胶 机*1光刻间设备管道密闭连接HMDS涂胶机*1设备管道密闭连接光刻板酒精擦拭有 机 操 作台*1密闭负压收集柜*1贴片取片丙酮擦拭废气有 机 操 作台*1减薄间密闭负压收集柜*1（2）酸碱废气和工艺废气干法刻蚀废气干法刻蚀工艺主要通过不同的气体对基片进行干法刻蚀，根据企业提供的资料，干法刻蚀工艺所用的各类气体为氢、甲烷、三氯化硼 BCl3、氯气 Cl2、六氟化硫 SF6、三氟甲烷 CHF3、四氟化碳 CF4、氩气、氦气、氧气、氮气。干法刻蚀废气也属134、于酸性废气，主要是干法刻蚀过程中未反应完的 CF4、CHF3、SF6、BCl3、Cl2等特种气体。根据类比调查，其废气的反应率约为 20%，其余 80%的气体不参与反应。CF4、CHF3、SF6等气体刻蚀晶圆表面后生成 SiF4，连同未反应完的 CF4、CHF3、SF6根据物料守恒计算氟化物产生量。56三氯化硼 BCl3、氯气 Cl2刻蚀反应后生成 SiCl4和 GaCl3、SbCl3（SiCl4、BCl3、GaCl3和 SbCl3等遇水极易反应生成 HCl，统计时按照全部反应成 HCl 计），和未反应完的 Cl2经独立的本地 POU 净化装置（干式吸附）后再经碱喷淋塔装置处理后排放。另根据工135、艺技术测算，本项目锑化镓晶圆上参与刻蚀反应的面积约占外延片面积0.8m2（直径 5cm，年 400 片，则面积约 0.8m2）的 0.5%，为 0.004m2，刻蚀厚度以 50m 计，则参与反应的锑化镓体积约为 210-7m3，结合锑化镓密度 5.62t/m3和分子量，计算可知废气中锑的产生量约 0.00071kg/a，且经喷淋洗涤后绝大部分进入喷淋废水，废气中锑排放很小可忽略不计，本次环评不作定量分析。综上，各污染物产生量为氯气 0.012t/a、氟化物 0.089t/a、氯化氢 0.014t/a、三氯化硼产生量约 0.012t/a。考虑三氯化硼无相关排放标准和环境质量标准，本环评不对其进行136、评价分析，仅列出源强。干法刻蚀废气先经独立的本地 POU 处理装置（干式化学吸附处理）后再和其他废气一起经酸碱喷淋装置处理。侧壁钝化废气侧壁钝化工艺是通过两种以上气体理化后在基片表面发生化学反应形成钝化膜，根据类比调查，其气体的反应率约为 20%，其余 80%的气体不参与反应。根据企业提供的资料其侧壁钝化工艺所用的各类气体年用量为硅烷 15kg/a、氨气 5kg/a、笑气10kg/a、四氟化碳 50kg/a、氧气 80kg/a、氩气 80kg/a、氮气 100kg/a，则各污染物产生量为：硅烷 0.012t/a、氨气 0.004t/a，氮氧化物（以 NO2计）0.017t/a，氟化物 0.04137、3t/a。该股未反应完的硅烷和生成的颗粒物、H2排放量很小，再经过独立的本地 POU净化装置（干式吸附）和碱喷淋处理后排放量更小，对环境基本无影响，可以忽略不计，因此本次环评对侧壁钝化废气中硅烷、颗粒物和 H2源强不做定量分析。综上，侧壁钝化废气中各污染物产生量约氨气 0.004t/a，氮氧化物 0.017t/a，氟化物 0.043t/a。酸碱清洗废气企业采用 98%硫酸、85%磷酸、38%盐酸、BOE 溶液（40%，氢氟酸和氟化铵 1:6）、70%硝酸进行酸碱清洗产生一定量的湿法清洗酸性废气，主要污染物为氯化氢、氟化57物（氟化氢）等。企业采用氨水进行酸碱清洗产生一定量的酸碱清洗碱性废气，主138、要污染物为 NH3。本项目所用硫酸质量浓度为 98%，饱和蒸气压很低，硫酸雾挥发极少，且硫酸用量少，约 40kg/a，常温下操作，约 95%进入酸碱废液，5%进入废水，废气不作定量分析，仅在监测计划中作达标排放要求。磷酸质量浓度为 85%，不易挥发，用量少，约 40kg/a，常温下操作，约 95%进入酸碱废液，5%进入废水，本环评废气不作定量分析。硝酸质量浓度为 70%，用量少，约 25kg/a，和纯水以 1:10 稀释后使用，由于清洗时间短，常温下操作，且稀释后的稀硝酸不易挥发，70%硝酸稀释时候少量硝酸挥发形成的 NOx 本环评不对其进行定量分析，总体考虑约 95%进入酸碱废液，5%进入废139、水。本项目 38%质量浓度盐酸溶液用量 100kg/a、40%质量浓度 BOE 溶液（氢氟酸和氟化铵 1:6）溶液用量 100kg/a、25%质量浓度氨水用量 60kg/a，酸碱挥发废气量根据操作时间、质量浓度不一样差距较大，难以计算，本项目盐酸和氢氟酸用量较少，常温下操作，企业操作时间短，类比同类企业酸雾和氨挥发量约 20%，75%进入酸碱废液，5%进入废水，则各污染物产生量为氯化氢 0.0076t/a、氟化物 0.0046t/a、氨气0.003t/a。倒焊废气在芯片是涂上甲酸，让芯片和电流在倒焊机施加的压力下结合在一起，产生甲酸废气。甲酸用量 0.5kg/a，用量极少，甲酸考虑全部挥发，挥140、发产生的废气量极少，本环评不对废气进行定量分析，倒焊不使用焊接材料，不考虑焊接烟尘的产生。废气经管道密闭收集后进入楼顶碱喷淋塔处理。点胶废气点胶是在芯片和电路的缝隙中填上环氧树脂胶，使其更稳定，产生微量的有机废气，以非甲烷总烃计。环氧树脂胶用量 0.2kg/a，用量极少，点胶过程环氧树脂常温下操作，点胶后在烘箱中烘干，烘干废气通过管道密闭收集后排至室外，挥发产生的废气量极少，本环评不对该废气进行定量分析。58封装废气封装采用激光焊、钎焊进行，激光焊不使用焊接材料。钎焊为使用钎料（AgCu），一台整机只需要焊三次，单台钎料（AgCu）用量 5g，年焊接 1500 套，则年用量 7.5kg/a。钎141、料用量很少，钎焊操作温度为 850，银熔点为 961，沸点为 2213，铜熔点为1083，沸点 2595，钎焊是利用熔点比母材低的金属作为钎料，加热后，钎料熔化，焊件不熔化，利用液态钎料润湿母材，填充接头间隙并与母材相互扩散，实现连接的焊接，烟尘产生量很少，本环评不对该废气进行定量分析。表表 4-3酸碱和工艺废气收集及处理方式酸碱和工艺废气收集及处理方式废气种类废气种类对应设备对应设备设备位置设备位置集气方式集气方式处理方式处理方式干法刻蚀废气干法刻蚀机*2操作区设备管道密闭连接洁净车间，通过不断向室内引入洁净空气来增强室内的气压，保持室内微正压，并通过对设备设置密闭负压收集柜或通过设备管道密142、闭连接收集废气至主管道，可实现车间内废气密闭收集，POU 净化装置风量约30m3/h，总体集气风量11000m3/h干法刻蚀和侧壁钝化废气先经独立的本地 POU 净化装置（干式吸附）处理后，再和其他废气一起经碱喷淋装置处理后经离地27m 排气筒 DA002高空排放侧壁钝化废气等离子体化学气相沉积系统*1设备管道密闭连接酸碱清洗废气酸碱清洗设备*3清洗抛光间密闭负压收集柜*3倒焊废气倒装机倒焊间设备管道密闭连接（2）非正常排放情况非正常排放情况表表 4-4 非正常排放源强表非正常排放源强表序序号号非正常排非正常排放源放源非正常排放原非正常排放原因因污染物污染物非正常排非正常排放浓度放浓度/(mg143、/m3)非正常排非正常排放速率放速率/(kg/h）单次单次持续持续时间时间年发年发生频生频次次/次次应对应对措施措施1有机清洗、吹干、涂布、烤胶、去胶、剥离、超声波清洗、有机擦拭废气装置故障，效率降为50%丙酮5.440.0680.51检修非甲烷总烃11.040.1382干法刻蚀、侧壁钝化、酸碱清洗、倒焊废气装置故障，效率降为50%氯气0.1820.0020.51检修氟化物1.1820.013HCl1.8180.002氨0.0910.001NOx0.2730.003非正常工况下，本项目污染物排放浓度和排放速率均有提升，企业须立即停止生59产，通知设施方进行维修，平时生产过程中需加强管理，确保废144、气处理设施正常运行，废气稳定达标排放，杜绝非正常工况的发生。（3）污染治理措施及可行性污染治理措施及可行性本项目废气治理设施工艺流程见下图 4-1。图图 4-1废气处理工艺废气处理工艺流程流程图图根据排污许可证申请与核发技术规范 电子工业（HJ1031-2019）“表 B.1 电子工业排污单位废气防治可行技术参考表”，本项目废气治理措施可行。具体见下表。表表 4-5 废气处理设施可行性对照分析废气处理设施可行性对照分析主要生产单元主要生产单元污染物项目污染物项目可行技术可行技术本项目本项目是否可行是否可行有机清洗、吹干、涂布、烤胶、去胶、剥挥发性有机物活性炭吸附法、燃烧法、浓缩+两级活性炭吸附145、法是60离、超声波清洗、丙酮和酒精擦拭燃烧法干法刻蚀、侧壁钝化、酸碱清洗等氟化物、氯化氢、氨、硫酸雾等本地处理系统（POU）、酸碱喷淋洗涤吸收法干法刻蚀和侧壁钝化废气先经独立的本地 POU 净化装置（干式吸附）处理后，再和其他废气一起经碱喷淋装置处理是本地本地 POU 处理装置（干式化学吸附处理装置（干式化学吸附装置装置）干式化学吸附装置（Dry Scrubber）是一种可以根据工艺气体来专门配比处理的尾气设备。该设备使用化学吸附剂吸附气体来实现去除烷类气体、酸性气体、碱性气体的目的。该设备可用于使用多种气体（诸如：Cl2、SiH4、HF、HCl、NOx 等）的工艺流程。尤其在小流量气体的场合146、下，本设备可使气体净化的能耗效率最优化。特长及特点：a.吸附式更换费用低廉吸附剂直接开发b.Gas 处理效率最大化高效的吸附能力c.ByPass Canister 设置有害 Gas 正常设置d.Canister 内部温度监控内部加热反应监控e.有效力的压力管理Inlet 压力 Warning，Alarm，Interlock 装置f.Compactly Design安装空间占用小面积g.System 简易化售后服务容易化化学吸附剂为大比表面积多孔性分子结构，采用无机物材质按配比混合成型，原料选型安全环保无二次污染，化学反应安全沉降有毒有害气体。设备上安装气体传感器,持续测试方案，数据达到 TLV147、 排放标准数据时，吸附剂饱和。61图图 4-2 干式化学吸附装置（干式化学吸附装置（Dry Scrubber）系统系统图图设备为密闭设备，有毒气体的进程，从进入该设备，到排出该设备，都是在密封的环境中进行的。表表 4-6 干式吸附装置（干式吸附装置（Dry Scrubber）吸附材料主要成分吸附材料主要成分废气种类废气种类污染因子污染因子吸附材料主要成分吸附材料主要成分吸附容量吸附容量侧壁钝化和干法刻蚀废气氯气、氟化物、HCl氢氧化钙30L/L 吸附材料氨硫酸铜60L/L 吸附材料NOx氧化锰-氧化铜23L/L 吸附材料硅烷氧化铝、氧化铜20L/L 吸附材料三氯化硼氢氧化锶25L/L 吸附材料148、干式吸附装置吸附材料形态照片见下图 4-3。62图图 4-3 干式吸附装置吸附材料形态照片干式吸附装置吸附材料形态照片干式吸附装置吸附材料吸附机理干式吸附装置吸附材料吸附机理氧化铝和氧化铜吸附硅烷：目前市面上处理硅烷气体主要是硅烷喷淋燃烧塔与吸附剂。燃烧喷淋处理系统一是只能处理浓度高的硅烷气体且容易结晶容易造成危险，二是当硅烷气体浓度较低时硅烷燃烧喷淋塔处理系统无法处理，在处理过程当中内部容易形成结晶堵塞喷淋口且有废水产生，此外该系统需要密闭燃烧室，而且燃烧过程当中产生大量的热量，若反应过程当中发生泄露容易发生爆炸等危险。本项目根据硅烷（SiH4）气体强还原性采用选用活性金属氧化物（氧化铜和氧149、化铝）对其氧化分解，氧化铜和硅烷反应生成硅化铜、氧化铝和硅烷反应生成硅化铝。废气碱喷淋塔装置废气碱喷淋塔装置废气处理设施主要有以下几部分组成：废气喷淋洗涤塔、自动加药箱、玻璃钢离心风机、玻璃钢风管、排气烟囱、电气控制柜等组成。废气在进入废气喷淋洗涤塔后，与喷淋循环液进行接触反应，循环液成分主要为63碱液。碱液经喷淋系统喷洒而下，与废气中的酸性气体发生中和反应从而起到净化效果，碱性废气极易溶于水起到净化效果（大部分经前道吸附装置处理）。最终处理后的废气经排放烟囱达标排入大气，废气喷淋废水定期排入厂区污水处理站。为了提高净化塔的净化效率，本项目废气洗涤塔填料采用特殊 PP 海胆型保尔环以增大气液接150、触面积。为了使中和液处于一个最佳的吸收浓度并减少人力操作，采用自动加药系统对洗涤塔进行中和液的药剂添加补充，每套系统包括加药箱、pH 计及计量泵，pH 计根据净化塔箱体内吸收液的 pH 值来控制计量泵的开关，从而实现自动加药；同时加药系统也可实现人工手动加药，从而确保系统的可靠性。排污系统采用电导率控制电动排污阀，同时配套手动阀的旁通，这样即可以节省人力，又可以做到系统的稳定。表表 4-7大气排放口基本信息表大气排放口基本信息表排放排放口编口编号号排放排放口名口名称称污染物污染物种类种类排放口地理坐标排放口地理坐标排气排气筒高筒高度度 m排气排气筒出筒出口内口内径径 m排气温排气温度度排放排放151、口类口类别别排放标准排放标准其他其他经度经度纬度纬度1#有机废气排气筒丙酮120.66101130.57392270.925一般排放口上海市地方标准 大气污染物综合排放标准（DB31/933-2015）中附录 A（参照）/非甲烷总烃大气污染物综合排放标准(GB16297-1996)表 2 中的二级标准2#酸碱和工艺废气排气筒氯气120.6610030.57388270.825一般排放口大气污染物综合排放标准(GB16297-1996)表 2 中的二级标准/氟化物HClNOx氨恶臭污染物排放标准(GB14554-93)表 2标准臭气浓度注：由于有机废气排气筒风机设计风量为 22000m3/h，实152、际运行风量为 12500m3/h，酸碱和工艺废气排气筒风机设计风量为 18000m3/h，实际运行风量为 11000m3/h，企业排气筒内径根据设计风量设置的，所以实际运行时出口流速稍微偏小，分别约 5.5m/s 和 6.1m/s，但不影响废气排放。（4）监测要求监测要求表表 4-8监测情况表监测情况表监测点位监测点位监测因子监测因子监测频次监测频次执行标准执行标准DA001 排气筒非甲烷总烃1 次/年 大 气 污 染 物 综 合 排 放 标 准 (GB16297-1996)表 2 中的二级标准64丙酮1 次/年参照上海大气污染物综合排放标准（DB31-933-2015）中附录 ADA002 153、排气筒氯气、氟化物、HCl、NOx、硫酸1 次/年 大 气 污 染 物 综 合 排 放 标 准 (GB16297-1996)表 2 中的二级标准氨、臭气浓度1 次/年恶臭污染物排放标准(GB14554-93)表2 标准厂界非甲烷总烃、丙酮、氯气、氟化物、HCl、NOx、硫酸1 次/年 大 气 污 染 物 综 合 排 放 标 准（GB16297-1996）表 2、恶臭污染物排放标准(GB14554-93)表 1 标准厂区非甲烷总烃1 次/年挥发性有机物无组织排放控制标准（GB 37822-2019）（5）废气排放对环境的影响废气排放对环境的影响本项目污染物均能达标排放，厂界外 500 米范围内不154、存在大气环境保护目标，项目周边最近敏感点为厂界南侧 750m 的许家汇，距离较远，项目污染物排放量不大，本项目的实施不会改变项目所在区域大气环境质量等级，不触及大气环境质量底线。654.2.2 废水废水（1）源强及达标排放情况源强及达标排放情况表表 4-9 废水源强核算情况表废水源强核算情况表工序工序/生产线生产线装置装置污染污染源源废水产废水产生生量量m3/a污染物产生污染物产生治理措施治理措施污染物排放（纳管）污染物排放（纳管）废水废水排放排放量量m3/a排放排放时间时间 h污染物污染物核算方核算方法法产生浓产生浓度度 mg/L产生产生量量t/a处理工艺处理工艺处理能力处理能力 t/a是否155、是否可行可行技术技术效率效率核算核算方法方法排放浓排放浓度度mg/L排放排放量量t/a有机清洗有机清洗设备有机清洗废水934CODCr物料平衡法、类比法4000.374缺氧+好氧+沉淀+pH 调节（依托园区有机废水处理系统+酸碱废水处理系统）105000（360t/d）是85%产污系数法600.0569343600SS500.04750%250.023酸碱清洗酸碱清洗设备酸碱清洗废水486CODCr物料平衡法、类比法800.039絮凝+沉淀+pH 调节（依托园区含氟废水处理系统+酸碱废水处理系统）63600（212t/d）是/4863600氨氮200.01SS200.01氟化物2.50.001156、2总磷120.006废气喷淋碱喷淋装置废气喷淋废水450CODCr物料平衡法、类比法800.0364503600氨氮100.005氟化物450.02SS1000.045进入含氟废水处理系统废水合计936CODCr/900.08410%产污系数法810.0769363600氨氮150.0140%150.014SS580.05450%290.027氟化物230.02298%0.460.000总磷60.00696%0.240.000266软水系统软水设备软水制备废水20CODCr类比法600.0012直接纳管/是/产污系数法600.0012203600SS200.0004/200.0004划片清洗划157、片机划片清洗废水850CODCr类比法800.068 自备废水处理装置（沉淀+过滤）1200（4t/d）是10.0%产污系数法/0（回用于划片清洗）3600氨氮150.01310.0%/SS200.01730.0%/职工活动/生活污水2550CODCr类比法3500.893依托园区化粪池30000（100t/d）是0产污系数法3500.89325503600氨氮350.0890350.089SS2000.5102000.51具体核算过程如下所示：（1）有机清洗废水外购外延片有机清洗最后一道需要用纯水清洗产生有机清洗废水。外购不锈钢材、钛合金材料、陶瓷基板超声波清洗最后一道需要用纯水清洗产生有机158、清洗废水。根据企业提供资料，有机清洗设备清洗用水量为 50L/h，共 5 台，按照日清洗 12h，则外延片有机清洗纯水用量约 900t/a。超声波清洗机水池容积为 0.5m*0.5m*0.5m，清洗水用量为容积的 90%，清洗水一天更换两次，全部更换，清洗机共 2 台，年工作 300 天，则超声波清洗纯水用量为 138t/a。有机清洗总纯水用量为 1038t/a，产污系数取 90%，则废水产生量为 934t/a。根据物料平衡，进入有机清洗废水的溶剂量约 0.13t/a，则有机清洗废水中各污染物产生浓度为 CODCr400mg/L、SS50mg/L，污染物产生量为 CODCr0.374t/a、S159、S0.047t/a。废水收集后经园区的有机废水处理系统（设计处理能力 210t/d）+酸碱废水处理系统（设计处理能力 480t/d）处理后纳管排放。67（2）酸碱清洗废水酸碱清洗最后一道需要用纯水清洗产生一定量的酸碱清洗废水，主要为含氟酸碱废水。根据企业提供资料，酸碱清洗机清洗用水量为 50L/h，共 3 台，按照日清洗 12h，则酸碱清洗纯水用量约 540t/a，产污系数取 90%，则废水产生量为 486t/a。根据物料平衡，酸碱清洗废水中 N 含量为 0.0008t/a、氟含量为 0.0012t/a、磷含量0.0006t/a，则酸碱清洗废水中各污染物产生浓度为 CODCr80mg/L、NH160、3-N20mg/L、SS20mg/L、氟化物 2.5mg/L、总磷 12mg/L，污染物产生量为 CODCr0.039t/a、NH3-N0.010t/a、SS0.010t/a、氟化物 0.0012t/a、总磷 0.006t/a。废水收集后经园区的含氟废水处理系统（设计处理能力 212t/d）+酸碱废水处理系统处理（设计处理能力480t/d）后纳管排放。（3）划片清洗废水划片机采用纯水清洗，产生一定量的划片废水。根据企业提供资料，划片工序用水量约 1000t/a（纯水用量为 150t/a，其余为回用水），产污系数取 85%，则废水产生量为 850t/a。类比同类企业，划片废水一般水质较好，较为洁161、净，废水各污染物产生浓度为 CODCr80mg/L、NH3-N15mg/L、SS20mg/L，污染物产生量为 CODCr0.068t/a、NH3-N0.013t/a、SS0.017t/a。废水收集后经企业自备的划片废水处理系统沉淀过滤处理后全部回用于划片清洗用水，不外排。（4）喷淋废水本项目干法刻蚀废气先经独立废气先经独立本地 POU 净化装置（干式吸附）处理，再和其他废气一起经楼顶碱喷淋装置处理。喷淋水循环使用，定期补充和更换。碱喷淋塔废气处理风量 11000m3/h，液气比约 2.5L/m3，即循环量约为 28t/h，则年总循环量约 201600t，循环过程损耗率以 1.5%计，则喷淋过程162、损耗量 3024t/a。喷淋塔水箱容积为 5m3，喷淋水约每三天更换一次，单次更换废水产生量约为水箱容积的90%，即单套喷淋装置废水产生量约 4.5t/次，则总排水量 450t/a。喷淋废水主要污染因子为 pH，其中 CODCr浓度不高，根据物料衡算，喷淋废水中氮含量约 0.002t/a、氟含量约 0.004t/a，喷淋废水中各污染物浓度为 CODCr80mg/L、NH3-N10mg/L、氟化物45mg/L、SS100mg/L，则污染物产生量为 CODCr0.036t/a、NH3-N0.005t/a、氟化物680.020t/a、SS0.045t/a。废水收集后经园区含氟废水处理系统（设计处理能163、力 212t/d）+酸碱废水处理系统处理（设计处理能力 480t/d）处理后纳管排放。（5）软水制备废水本项目设有一套空调加湿水软水设备，空调加湿水软水用量约 500t/a，软水制备废水产生量约软水用量的 4%，软水制备废水产生量约 20t/a。软水制备废水中各污染物浓度为 CODCr60mg/L、SS20mg/L，则污染物产生量为 CODCr0.0012t/a、SS0.0004t/a。该股废水比较洁净，企业收集后直接纳管排放。（5）生活污水本项目配备职工 100 人，年工作天数 300 天，每人每天的生活用水量按 100L 计，年工作 300 天，生活用水量为 3000t/a，生活污水产生量164、按用水量的 85%计，则本项目员工的生活污水产生量为 2550t/a。生活污水中水质按 CODCr350mg/L、NH3-N35mg/L、SS200 mg/L 计，则生活污水污染物产生量为：CODCr0.893t/a、NH3-N0.089t/a、SS0.510t/a。废水收集后经园区的化粪池处理后纳管排放。（6）综合本项目全厂废水（包括生产废水和生活污水）产生总量为 5290t/a。划片清洗废水（850t/a）经自备废水处理装置处理后回用于划片清洗工序，不外排；软水制备废水直接经纳管口 DW001 排放，其他生产废水经园区工业废水处理设施处理达标后经纳管口 DW001 排放，生活污水经园区化粪165、池预处理后经纳管口 DW002 排放，全厂纳管水量为 4440t/a，其中 DW001 纳管水量约 1890t/a，DW002 纳管水量约 2550t/a。本项目年产 1500 片 2 英寸芯片，全厂单位产品废水排放量为 2.96t/片，生产废水纳管口 DW001 单位产品废水排放量为 1.26t/片,生产废水纳管浓度和单位产品废水排放量满足电子工业水污染物排放标准（GB39731-2020）；生活污水经园区化粪池预处理达标后纳管，纳管量为 2550t/a，生活污水纳管浓度满足污水综合排放标准（GB8978-1996）三级标准。全厂纳管废水（包括生产废水和生活污水）最后由xx污水处理厂集中处理166、后达城镇污水处理厂污染物排放标准（GB18918-2002）一级 A 标准后排入环境。CODCr和 NH3-N 的排环境浓度分别为 50mg/L 和 5mg/L，则 CODCr和 NH3-N 的最终排环境69量分别为 0.222t/a 和 0.022t/a。本项目电极生长、铟生长、增透膜生长工序利用 PVD 磁控溅射镀膜机、电子束蒸发（钛、铂、金）、热蒸发（铟）、热蒸发（ZnS）进行蒸镀，蒸镀的金属为钛、铂、金、铟。根据企业提供资料，约 50%的金属入射到芯片表面，剩余 50%金属会附着在设备上，因此项目所用钛、铂、金、铟金属物料不会进入废水中。根据废气章节分析，本项目锑化镓晶圆上参与刻蚀反应167、的面积约占外延片面积0.8m2（直径 5cm，年 400 片，则面积约 0.8m2）的 0.5%，为 0.004m2，刻蚀厚度以 50m 计，则参与反应的锑化镓体积约为 210-7m3，结合锑化镓密度 5.62t/m3和分子量，计算可知废气中锑的产生量约 0.00071kg/a，进入喷淋废水中含量极少，本环评不作定量分析。根据酸碱清洗工序，酸碱湿法清洗对锑化镓腐蚀厚度为几十纳米，本环评按照50nm 考虑，外延片面积（0.8m2），则腐蚀的锑化镓体积约为 410-8m3，结合锑化镓密度 5.62t/m3，计算可知腐蚀掉锑化镓量约 0.00022kg/a，且绝大部分进入酸碱废液中，后道纯水清洗废水168、中含量极少，本次环评不作定量分析。（2）排放口情况、污染治理措施及可行性排放口情况、污染治理措施及可行性本项目划片清洗废水经自备废水处理装置处理后回用于划片清洗工序，不外排；其他生产废水经园区工业废水处理站处理达标后纳管；生活污水经园区化粪池预处理达标后纳管。表表 4-10排放口情况、污染治理措施及可行性一览表排放口情况、污染治理措施及可行性一览表工工序序/生生产产线线装装置置污污染染源源类类别别污染污染物种物种类类排排放放方方式式排排放放去去向向排排放放规规律律排放口排放口编号编号排排放放口口名名称称地理坐标地理坐标治理设施治理设施经度经度纬度纬度处处理理工工艺艺处理能处理能力力处理处理效率169、效率是是否否为为可可行行技技术术可行性技术依据可行性技术依据有机清洗、酸碱清洗、废气酸碱清洗设备、有机清洗设酸碱清洗废水、有机清洗废CODCr分流制纳管间歇DW001生产废水纳管口1203930 303428物化+生化处理2100t/d见表4-13是排污许可证申请与核发技术规范 电子工业（HJ1031-2019）及下文分析NH3-N氟化物70喷淋备、废气喷淋装置统水、喷淋废水软水系统软水系统软水制备废水CODCr分流制纳管间歇/是/职工活动卫生间生活污水CODCr分流制纳管间歇DW002生活污水纳管口1203928303419化粪池100t/d0是/NH3-N本项目生产废水依托园区污水处理站可170、行性分析：本项目生产废水依托园区污水处理站可行性分析：园区污水处理站概况园区污水处理站概况2019 年、2020 年，xx瑞美科技有限公司（现为泛半导体产业园一期xx区块内污水站运营单位）分别通过xx市生态环境局xx分局审批了xx瑞美科技有限公司年产 12 万片频率元器件（声表面波滤波器）芯片生产线建设项目环境影响报告表（嘉环海建201963 号）、xx瑞美科技有限公司 SiC 功率器件及模组产业化项目环境影响报告表（嘉环海建2020178 号）。该企业原计划在xx区块内及区块南侧地块建设电子材料和半导体产品类生产项目，并在xx区块内建设污水处理站、危化品仓库、超纯水站等配套设施，前期已委托江171、苏中电创新环境科技有限公司等单位完成设计与建设污水处理站、危化品仓库、超纯水站主体建构筑物，其中，污水处理站已根据电子工业企业类型设计包括含氟废水、含铜废水、研磨废水、有机废水、酸碱废水系统等，污水处理站实际建设地点与原审批时一致，实际处理规模较原审批时有扩大（由 751m3/d 扩大至 2100m3/d）。但后期因企业自身发展规划原因，公司实施转型，原审批的具体生产内容未实施，已建配套设施转给xx经济开发区下属国资企业xx经开产业园区开发建设有限公司。有关各配套设施的收尾、安装、调试、环境影响评价审批等工作等均由xx经开产业园区开发建设有限公司继续落实并承担主体责任，同时委托瑞美科技公司作为172、污水站后续的运营管理单位。712022 年，xx经开产业园区开发建设有限公司在xx（中国）泛半导体产业园一期xx区块内部统一建设、运营配套的污水处理站、超纯水站及专用仓库，其中，污水站处理能力 2100m3/d（污水站不接收园区生活污水、企业生产废液），超纯水站设计供水能力为 1200m3/d（纯水站浓水约 500m3/d 直接通过污水站排放口排放），专用仓库设计各类危化品合计储量10 吨，实施xx（中国）泛半导体产业园一期xx区块污水治理排放及专用仓库配建技术改造项目。该项目已于 2022 年 9 月 13 日通过嘉兴市生态环境局审批（嘉环海建（2022）111 号）。图图 4-4园区废水处173、理站和本项目位置关系图园区废水处理站和本项目位置关系图表表 4-11园区废水处理站主要建构筑物一览表园区废水处理站主要建构筑物一览表序号序号建构筑物建构筑物主要尺寸主要尺寸（LBH）结构形式结构形式主要参数主要参数数量数量（座）（座）1 含氟废水处理系统含氟废水处理系统1.1含氟废水调节池4.5m2.55m5.0m半 地下 式钢 砼结 构+FRP 玻璃钢防腐水力停留时间：6.4h11.2含氟废水反1.3m1.3m1.8m地面式碳钢结构+FRP水力停留时间：17.2min672应池1/2/3/4/5/6玻璃钢防腐1.3含氟废水沉淀池 1/22.3m5.0m地面式碳钢结构+环氧煤沥青防腐表面水力负174、荷：2.0m3/m2h21.4含氟废水中继池5m3地面式 PE水力停留时间：34min12 含铜废水处理系统含铜废水处理系统2.1含铜废水调节池1.9m1.0m5.0m半 地下 式钢 砼结 构+FRP 玻璃钢防腐水力停留时间：4.75h12.2含 铜 废 水pH 调节池1.0m1.0m1.4m地面式碳钢结构+FRP玻璃钢防腐水力停留时间：30min12.3含铜废水反应池 1/2/31.0m1.0m1.4m地面式碳钢结构+FRP玻璃钢防腐水力停留时间：30min32.4含铜废水斜板沉淀池2.0m1.0m3.0m地面式碳钢结构+环氧煤沥青防腐表面水力负荷：1.0m3/m2h12.5含铜废水中继池1175、m3地面式 PE水力停留时间：30min13 研磨废水处理系统研磨废水处理系统3.1研磨废水调节池4.5m2.5m5.0m半 地下 式钢 砼结 构+FRP 玻璃钢防腐水力停留时间：8.4h13.2研 磨 废 水pH 调节池1.3m1.3m1.8m地面式碳钢结构+FRP玻璃钢防腐水力停留时间：25min13.3研磨废水混凝池1.3m1.3m1.8m地面式碳钢结构+FRP玻璃钢防腐水力停留时间：25min13.4研磨废水絮凝池1.3m1.3m1.8m地面式碳钢结构+FRP玻璃钢防腐水力停留时间：25min13.5研磨废水沉淀池2.6m5.0m地面式碳钢结构+环氧煤沥青防腐表面水力负荷：1.2m3/176、m2h13.6研磨废水中继池1.3m1.3m1.8m地面式碳钢结构+环氧煤沥青防腐水力停留时间：25min14 有机废水处理系统有机废水处理系统4.1有机废水调节池4.5m2.3m5.0m半 地下 式钢 砼结 构+FRP 玻璃钢防腐水力停留时间：3.4h14.2缺氧池8.0m3.2m5.0m半地下式钢砼结构缺氧池水力停留时间：7.7hMLVSS 浓度：3000mg/LCOD负 荷：1.0kgCOD/md14.3好氧池10.5m8.3m5.0m半地下式钢砼结构14.4有机废水沉4.3m5.0m半地下式钢砼结构表面水力负荷：1.0m3/m2h173淀池5 划片清洗水处理系统划片清洗水处理系统5.1177、划片清洗水调节池4.5m10.0m5.0m半 地下 式钢 砼结 构+FRP 玻璃钢防腐水力停留时间：5.4h15.2MMF1.8m1.85m地面式碳钢结构+环氧煤沥青防腐砾石、石英砂、无烟煤25.3ACF1.3m1.9m地面式碳钢结构+碳钢衬胶防腐石英砂、活性炭25.4ACF 产水箱15m3玻璃钢 FRP 防腐水力停留时间：40min26 酸碱废水处理系统酸碱废水处理系统6.1酸碱废水调节池4.5m4.75m5.0m半 地下 式钢 砼结 构+FRP 玻璃钢防腐水力停留时间：5.2h16.2pH 调节池-1/23.4m2.8m3.3m地面式钢砼结构+FRP玻璃钢防腐水力停留时间：20min26.178、3放流水池4.3m2.5m5.0m半地下式钢砼结构水力停留时间：36.8min17事故池事故池245m3地面式钢砼结构+FRP玻璃钢防腐大一股事故水量的水力停留时间：5.8h18 污泥处理系统污泥处理系统8.1含氟污泥浓缩池2.5m5.0m地面式碳钢结构+环氧煤沥青防腐全自动厢式隔膜压榨脱水机污泥量：626.4kg-DSS/d(脱水后含水率约65%)18.2生化污泥浓缩池3.2m3.2m5.0m半地下式碳钢结构+环氧煤沥青防腐叠螺脱水机，剩余污泥：161.3kg-DSS/d(脱水后含水率约80%)18.3含铜污泥浓缩池1m3地面式 PE普通厢式脱水机污泥量：8.3kg-DSS/d(脱水后含水率179、约 65%)19 污水处理药剂区污水处理药剂区9.1液碱加药箱15m3地面 FRP 玻璃钢防腐15m319.2H2SO4加药箱8m3地面 FRP 玻璃钢防腐8m319.3H2O2去 除剂加药箱120L地面 PE120L1749.4重捕剂加药箱100L地面 PE100L19.5氯化钙加药箱8m3地面 FRP 玻璃钢防腐8m319.6PAC 加药箱3m3地面 PE3m319.7阴离子PAM 自动泡药机/地面 PP/19.8阳离子PAM 自动泡药机/地面 PE/19.9FeCl3加药箱200L地面 PE200L110风机房风机房5.91m2.73m一层钢砼框架结构环氧树脂防腐地坪/111实验室、仪实180、验室、仪表间表间3.71m2.73m一层钢砼框架结构环氧树脂防腐地坪/112中控室中控室5.8m3.56m一层钢砼框架结构环氧树脂防腐地坪/113废水提升站废水提升站系统系统LB=44.65m3.25mH=3.4m4.0m地下钢砼结构+FRP玻璃钢防腐/113.1含氟废水收集槽2.0m1.9m1.2m钢砼结构+FRP 玻璃钢防腐4.5 m3113.2含铜废水收集槽1.0m1.6m1.74m钢砼结构+FRP 玻璃钢防腐2.7m3113.3含氨清洗水收集槽1.0m1.9m1.2m钢砼结构+FRP 玻璃钢防腐2.2m3113.4划片清洗水收集槽5.25m1.6m1.74m钢砼结构+FRP 玻璃钢防腐181、14.6m3113.5研磨废水收集槽1.65m1.6m1.74m钢砼结构+FRP 玻璃钢防腐4.5m3113.6有机废水收集槽1.45m1.9m1.2m钢砼结构+FRP 玻璃钢防腐3.3m3113.7酸碱废水收集槽4.25m1.6m1.74m钢砼结构+FRP 玻璃钢防腐11.8m3113.8含磷废水收集槽1.0m1.9m1.2m钢砼结构+FRP 玻璃钢防腐2.2m3113.9备用收集槽1.55m1.6m1.74m钢砼结构+FRP 玻璃钢防腐4.3m31表表 4-12 依托的园区废水处理站设计处理废水种类及处理能力一览表依托的园区废水处理站设计处理废水种类及处理能力一览表接收废水类接收废水类别别182、废水设废水设计接收计接收设计废设计废水处水处进入废进入废水系统水系统设施处设施处理能理能pHSSCODCrNH3-N TPFCuTN/mg/L mg/L mg/L mg/L mg/L mg/L mg/L75量量(m3/d)理能力理能力(m3/d)力力(m3/d)废气处理排水（本地）101212含氟废水212320010/100/含磷清洗水4337/50/含氟废水68251001003550800/70电化学沉积废水4848含铜废水4851150500/20/研磨废水150150研磨废水有机废水150510 1500400/抛光有机废水115210有机废水360（含研磨系统出水）51050020183、0050/70含氨废水（含H2O2）20415/300/350稀有机清洗水758105030050/70划片冷却清洗水10001000划片废水1000510201550/一般酸碱废水480480酸碱废水1100（含有机、含氟、含铜系统出水）311500100/40超纯水站浓水5000放流池0/050/合计26002100/2870/*注：研磨废水系统出水须进入有机废水系统处理后再经过酸碱废水系统调节 pH 后纳管排放；划片废水系统出水直接通过污水站放流池纳管排放；含氟废水系统、含铜废水系统、有机废水系统出水经过酸碱废水系统调节 pH 后再纳管排放；超纯水站浓水直接通过污水站放流池与其它废水系统184、处理尾水一起排入管网，浓水水量按超纯水站满负荷运行产生量。污水站设施合计处理能力中部分废水系统有重叠，实际设计处理能力为 2100m3/d。76图图 4-5 污水处理站处理工艺流程图污水处理站处理工艺流程图废水处理站主要包括六个废水处理系统：含氟废水、含铜废水、研磨废水、有机废水（含有机抛光废水、含氨废水等）、划片清洗水和一般酸碱废水，含氟废水采用两级“钙法化混沉淀”工艺，含铜废水采用“碱法沉铜+重捕剂”工艺，研磨废水采用“化混沉淀”工艺，有机废水采用“A/O+沉淀”工艺，划片清洗水采用“MMF+ACF”工艺。其中，MMF+ACF 处理设施为备用设施，区块内拟入驻企业无 ACF 产水使用需求，185、划片清洗水进水在满足纳管限值条件下日常直接纳管排放。废水处理方案已根据环境工程技术规范-工程设计文件等规范进行设计，废水污染物中不涉及关于发布的公告中污染物，不涉及污水综合排放标准（GB8978-1996）中明确的一类污染物，也不涉及铅、汞、镉、铬、砷、铊和锑等有毒有害污染物排放，各废水处理系统均采用较为成熟的技术工艺，该方案已经专家评审通过，污水站处理工艺基本合理，设计方案总体可行。针对六种废水的处理工艺分别是：含氟废水：含氟废水：含氟废水主要包括半导体企业废气处理排水、含氟废水（含 H2O2）以及少量的含77磷清洗水，主要污染物为 F 和 P，采用化学混凝沉淀工艺进行处理。含氟废水经含氟废186、水调节池调节水量均匀水质后由泵输送至反应池 1，在反应池1 中调节 pH 的同时投加 H2O2去除剂去除 H2O2后，自流进入反应池 2，在反应池 2 中精调 pH 值且投加氯化钙与氟离子反应，生成氟化钙沉淀后，自流至反应池 3，在混凝池、絮凝池中分别投加 PAC、PAM，使废水中的 F 离子以 CaF2矾花的形式析出，并形成易于沉淀的大颗粒，而后进入沉淀池进行固液分离，沉淀池中设有氟离子在线检测仪，若氟离子达标，则上清液自动切换至含氟中继池排放，如不达标，则自流至二级沉淀反应槽。沉淀下来的污泥由泵输送至氟污泥池浓缩后，再由污泥泵送至压滤机进行脱水。含铜废水：含铜废水：含铜废水主要为集成板块电187、化学沉积废水，主要污染物为 Cu，采用碱性条件下铁铜共沉淀法处理。含铜废水经含铜废水调节池调节水量均匀水质后由泵输送至含铜废水 pH 调节池，调节 pH 至铜离子反应沉淀的最佳 pH 范围，后自流至含铜废水反应池 1，反应池 1 中投加氯化铁，铁铜共沉淀，使废水中的铜离子以氢氧化铜的形式析出，后自流至含铜废水反应池 2，池中投加液碱和重捕剂，捕捉细小的含铜絮体，在含铜废水反应池 3 中形成易于沉淀的大颗粒，而后进入沉淀池进行固液分离，上清液由泵输送至中继池，若出水合格，则由泵提升至研磨废水调节池进行后续的生化去处 COD 工艺。沉淀下来的污泥由泵输送至铜污泥池浓缩后，再由污泥泵送至压滤机进行脱188、水。研磨废水：研磨废水：研磨废水主要为集成板块研磨废水，主要污染物为 SS，因此先采用化混预处理，再进入有机废水系统 A/O 生物活性污泥法处理。研磨废水经研磨废水调节池调节水量均匀水质后由泵输送至研磨废水 pH 调节池，在化混预处理阶段，去除绝大部分的 SS 后，进入缺氧池进行生化处理。有机废水（主要含抛光废水）：有机废水（主要含抛光废水）：有机废水主要为集成板块抛光机废水、含氨废水（含 H2O2）、稀有机清洗水，主要污染物为有机物，并含有一定浓度的 H2O2，因此采用 A/O 生物活性污泥法处理。78缺氧池中，大分子有机物水解为小分子有机物，提高废水 B/C 比，为后续好氧微生物将水中的小189、分子有机物进入细菌细胞内进一步降解。经过缺氧池的废水进入好氧池，接用鼓风机在水池底部曝气充氧，空气能自下而上，夹带待处理的废水，具有处理时间短、体积小、净化效果好、出水水质好而稳定，降解 COD 的同时脱除氨氮，出水流入沉淀池进行泥水分离，上清液进入 pH 调节池-1。沉淀后的污泥一部分回流至缺氧池，一部分进入生化污泥池。划片清洗水：划片清洗水：划片清洗水来自部分企业封装工艺中切割冷却清洗水，一般水质较好，污染物COD 浓度低于纳管标准，选择多介质过滤器 MMF+活性炭 ACF 工艺组合降低浊度去除微量 COD，该处理设施为备用设施，划片清洗水进水在满足纳管限值条件下日常直接纳管排放。划片清洗190、水经调节池匀质匀量后，输送到多介质过滤器，过滤一般是指以石英砂等为滤料的粒状过滤层进一步截留水中微小的悬浮杂质，从而使水澄清的过程。过滤机理包括拦截、沉淀、惯性、扩散、粘附、水动力等。过滤是截住水中微小杂质的过程，但截留杂质逐渐增加时，滤速逐渐减小，产水量也降低，滤料达到饱和，出水水质恶化故需要反洗，把截留杂质冲洗干净，再进行过滤，循环往复进行。反洗前，可先进行气洗，使被压实的滤料层松动与膨胀以达到流动状态，利用气-水擦洗滤料表面，以提高反洗效率。反洗时，反洗径流从滤料层下端引入，在水流剪切力与滤料颗粒间碰撞摩擦力的双重作用下，粘附在滤料表面的悬浮物与胶体逐步脱落，并随反洗径流从滤料层上端排出191、，以达到清洗滤料的目的。反洗后，滤料层呈疏松状态，滤料层顶部或中部尚未形成污物滤饼及混凝体层，无法截留污染物，因此需持续一定时间的正洗过程。反洗水排入本系统研磨废水调节池，若实际运行中反洗水 SS 可达标，可直接排至放流池。经多介质后的处理水，排入活性炭过滤器。活性碳吸附过滤器采用水力模拟长径设计，并采用粒径合理，比表面积大于 1000m2/g 的高效活性碳，使其既有上层特效过滤又有下层高效吸附等功能，大大提高产水净化程度和碳的使用寿命。对水体中异味、有机物、胶体、铁及余氯等去除性能卓著，可以降低水体的浊度、色度，净化水质，确保冷却用水的 COD 达标。79一般酸碱废水：一般酸碱废水：一般酸碱192、废水来源于集成板块酸碱废水。酸碱废水经调节池调节水量均匀水质后由泵输送至 pH 调节池-1，在 pH 调节池-1 中混合含氟、含铜和有机系统预处理出水，再自流至 pH 调节池-2 再次调节 pH 值。经过调节 pH 后，进入放流池，放流池设置检测仪表，各项检测指标检测合格后，排入市政管网，若有不合格参数，排入事故池再进行后续处理。划片清洗水系统出水、纯水站浓水排水后汇总进入放流池，一并排入市政管网。本项目废水治理措施本项目废水治理措施本项目废水防治措施工艺流程如下图所示。图图 4-6本项目本项目废水废水处理工艺处理工艺流程流程图图本项目生产废水（除划片清洗废水外）依托园区废水处理站可行性分析：193、80管网方面：园区统一规划建设，本项目生产车间废水管道已和园区污水处理站连通，废水纳入园区污水站处理可行。水质方面：园区污水站为入驻半导体产业园的企业配套污水处理。目前尚未接纳园区内企业的废水。污水站主要处理电子工业生产废水，设计进水包括含氟废水、含铜废水、研磨废水、划片清洗废水、有机清洗废水和酸碱废水。本项目废水种类为含氟废水、划片清洗废水、有机清洗废水和酸碱废水，废水污染物中不涉及关于发布的公告中污染物，不涉及污水综合排放标准（GB8978-1996）中明确的一类污染物，也不涉及铅、汞、镉、铬、砷、铊和锑等有毒有害污染物排放，不含园区污水站无法处理的废水种类，根据表 4-13，本项目废水水194、质均可满足设计进水水质要求，因此均可纳入园区污水站处理。水量方面：园区有机废水处理系统统设计处理能力为 360t/d，本项目稀有机废水产生量约 3.1t/d；含氟废水处理系统设计处理能力为 212t/d，本项目含氟酸碱废水（酸碱清洗废水、喷淋废水）产生量为 3.1t/d；园区酸碱废水处理系统设计处理能力为480t/d，本项目无单独进入酸碱废水处理系统的废水，本项目进入酸碱系统废水为经处理后的含氟废水和有机废水，废水量为 6.2t/d；综上，园区污水站废水处理能力可以满足本项目废水量。工艺和达标方面：园区污水站已经环评批复，前尚未进行三同时验收，未进行纳管口水质监测，根据污水站环评及设计方案，园195、区工业废水经处理后可以满足电子工业水污染物排放标准（GB 39731-2020）标准。同时，园区污水站废水处理工艺属于排污许可证申请与核发技术规范 电子工业（HJ1031-2019）中推荐的可行性技术，因此废水处理工艺可行，可以实现达标排放。同时，根据表 4-13，本项目废水水质均可满足设计进水水质要求，废水水量在设计处理量范围内，因此本项目生产废水经园区污水处理站处理后可达标纳管。本项目应在园区污水站“三同时”环保验收合格并正常营运后，方能进行生产并排水进入园区污水站处理。根据污水站环评，园区污水站服务对象为xx泛半导体产业园一期xx区块范围内企业，只接收区块内生产废水，不包括园区生活污水、196、企业生产废液，生产废液须81由各企业单独收集暂存并按照危废管理、委外处置；后续各入驻企业需要利用该污水站的，应根据具体涉及的废水种类以及水质情况与污水站各系统进水水质限值要求进行对匹配。本项目废水污染物中不涉及关于发布的公告中污染物，不涉及污水综合排放标准（GB8978-1996）中明确的一类污染物，也不涉及铅、汞、镉、铬、砷、铊和锑等有毒有害污染物排放，不含园区污水站无法处理的废水种类，生活污水不进入园区污水站，根据污水站环评中设计处理废水种类及处理能力以及污水委托处理协议的进水指标要求，本项目与污水站水质水量匹配见表 4-13。表表 4-13（1）本项目废水与本项目废水与设计处理废水种类及197、处理能力设计处理废水种类及处理能力对比表对比表序号序号类别类别接收废水类别接收废水类别废水量废水量(m3/d)pHSSCODCrNH3-NTPFTN/mg/L mg/Lmg/L mg/L mg/L mg/L含氟废水处理系统设计本地废气处理排水101320010/100/含磷清洗水4337/50/含氟废水6825100100355080070委托处理协议约定含氟废水21227200100355080070本项目湿法清洗废水、喷淋废水3.12558801562312是否满足设计进水要求是是是是是是是是有机废水处理系统设计抛光有机废水115510500200050/70含氨废水20414/300/3198、50稀有机清洗水758105030050/70委托处理协议约定有机废水2104143001500100/150本项目有机清洗水3.181050400/是否满足设计进水要求是是是是/表表 4-13（2）依托园区污水处理站依托园区污水处理站各系统废水去除率表各系统废水去除率表废水处理废水处理系统系统废水设计废水设计处理量处理量t/d本项目本项目废水量废水量t/d主要污染物主要污染物预计处理预计处理前前（mg/L）预计处理预计处理后后（mg/L）预计处预计处理效率理效率（%）本项目废本项目废水水质水水质本项目本项目废水水废水水量是否量是否满足设满足设计要求计要求本项目本项目废水水废水水质是否质是否满199、足设满足设计要求计要求含氟废水处理系统2123.1pH（无量纲）2467-24是是COD1009010%90SS1005050%58氨氮20200%15TP25196%6氟化物8001098%23含铜废水48本项目 pH（无量纲）511910-/82处理系统不涉及COD50040020%/SS504020%/总铜20195%/研磨废水处理系统150本项目不涉及pH（无量纲）51069-/COD40036010%/SS150010093%/有机废水处理系统2103.1pH（无量纲）51069-510COD100015085%400SS20010050%50氨氮603542%/总氮977027%/200、酸碱废水480本项目无单独进入酸碱废水处理系统的废水，本项目进入酸碱系统废水为经处理后的含氟废水和有机废水pH（无量纲）2369-/COD1001000%/SS50500%/总氮40400%/划片清洗水1000本项目划片清洗水单独自行处理COD151033%/SS20480%/超纯水站浓水500本项目不涉及COD50500%/*注：为划片清洗水处理设施运行情况下效率。超纯水站浓水直接通过污水站放流池与其它废水系统处理尾水一起排入市政污水管网。（3）监测要求监测要求本项目废水委托园区集中处理，本项目无需监测。园区纳管口需监测内容如下：表表 4-14监测情况表监测情况表监测点位监测点位监测因子监测201、因子监测频次监测频次执行标准执行标准生产废水纳管口 DW001pH、CODCr、氨氮、SS、氟化物、总磷、总氮等1 次/年电子工业水污染物排放标准中间接排放限值生活污水纳管口 DW002pH、CODCr、氨氮、SS 等1 次/年污水综合排放标准（GB8978-1996）三级标准（4）依托集中污水处理厂可行性依托集中污水处理厂可行性83xx污水处理厂为xx市中部区域污水集中处理设施，服务范围为海州街道、硖石街道、海昌街道、马桥街道以及xx镇、xx镇范围内的工业和生活污水，其中斜桥、xx两镇和马桥街道主要以工业废水为主，现状纳管废水中工业废水占比约 75%。该污水处理厂位于xx大道与老 01 省道202、交叉口，厂区北侧为老 01 省道，南侧为钱塘江，现有工程共分四期建设。（1）一二三期工程xx污水处理厂一二三期由xx首创水务有限责任公司负责运营管理。一期工程规模为 5 万 t/d，于 2001 年建成并试运行；二期工程规模为 5 万 t/d，于 2005 年 6 月建成并试运行。一二期工程于 2008 年 12 月同步通过竣工环保验收，污水处理均采用SBR 池工艺，出水水质执行城镇污水处理厂污染物排放标准(GB18918-2002)中的二级标准。2010 年开始针对一二期工程实施提标改造，并于 2013 年改造完成，提标改造后采用“曝气沉砂池+初沉+水解+SBR+脱氮滤池+混凝沉淀”工艺，出203、水水质执行 城镇污水处理厂污染物排放标准(GB18918-2002)中的一级 B 标准。三期工程规模为 5 万 t/d，于 2014 年 8 月建成并试运行，2016 年 4 月通过竣工环保验收，污水处理采用“初沉+厌氧水解+A2O+混凝沉淀+消毒”工艺，出水水质执行城镇污水处理厂污染物排放标准(GB18918-2002)中的一级 B 标准。同时，2015 年开始针对一二三期工程进行整体提标改造，提标后全厂出水水质执行城镇污水处理厂污染物排放标准(GB18918-2002)中的一级 A 标准，尾水经新建的深床滤池及消毒接触池(15 万 t/d)后由厂区高位井排至钱塘江。提标后一二期工艺流程图见204、图 4-7，三期工艺流程图见图 4-8。84图图 4-7 xx污水处理厂一二期工艺流程图xx污水处理厂一二期工艺流程图(清洁排放技术改造前清洁排放技术改造前)图图 4-8 xx污水处理厂三期工艺流程图xx污水处理厂三期工艺流程图(清洁排放技术改造前清洁排放技术改造前)2019 年底，一二三期工程开始进行新一轮的清洁排放技术改造，改造规模 15 万t/d，该项目现已全面进入竣工验收阶段，并于 2021 年 3 月 26 日顺利通过了竣工验收的初验。该工程新建日处理能力 15 万吨的臭氧高级氧化池及臭氧发生间和液氧站各一座，通过臭氧+非均相催化氧化处理工艺，强化对化学需氧量、氨氮、总磷、总氮等主要205、水污染物指标的管控。改造后设计出水执行 城镇污水处理厂污染物排放标准(GB18918-2002)中一级 A 排放标准，主要水污染物排放(COD、氨氮、总氮、总磷等)达到xx省地方标准 城镇污水处理厂主要水污染物排放标准(DB33/2169-2018)表 1限值标准(改(扩)建城镇污水处理厂)，实现准四类水排放。（2）四期工程xx污水处理厂四期由xxxx环保有限公司投资建设，由xx公司下属全资子公司xx紫光水务有限公司负责运营管理。85四期项目选址于xx污水处理厂三期东侧，用地面积约 47086m2。新建日处理能力 5 万吨污水处理厂一座，于 2017 年 12 月正式动工，主要新建细格栅、曝气206、沉砂池、调节池、初沉发酵池、生化池、MBR 膜池、中控楼、机修间等构筑物，采用 MBR 处理工艺，出水水质达到城镇污水处理厂污染物排放控制标准(GB18918-2002)中的一级 A 标准。目前四期工程已建成投运，xx污水处理厂总处理能力达到 20 万 t/d，四期尾水及一二三期尾水与xx污水处理厂(设计规模 3 万 t/d)共用一个排放口，位于钱塘江北岸xxxx 50 号坝下游侧附近，该排放口按照 25 万 t/d 规模建设。四期工艺流程图如下图所示。R图图 4-9xx污水处理厂四期工艺流程图xx污水处理厂四期工艺流程图达标排放方面本报告收集了xx污水处理厂一二三期 2020 年 1 月12207、 月以及四期 2021 年1 月6 月的自动监测数据，具体统计结果分别见表 4-15 和表 4-16。表表 4-15 xx污水处理厂一二三期xx污水处理厂一二三期 2020 年年 1 月月12 月出厂水质月报表月出厂水质月报表监测项目监测项目监测数据监测数据pH化学需氧量化学需氧量氨氮氨氮总磷总磷总氮总氮无量纲无量纲mg/Lmg/Lmg/Lmg/L2020.016.86-7.1619.690.160.078.462020.026.88-7.6214.450.190.0610.482020.036.97-7.1325.220.130.068.702020.046.99-7.1322.580.10208、0.0710.102020.056.98-7.1322.200.110.088.542020.066.98-7.1919.190.080.066.02862020.076.96-7.1719.040.090.056.322020.087.02-7.1723.160.160.059.172020.096.88-7.2222.880.110.058.442020.106.83-725.730.150.0510.182020.116.86-7.0626.780.160.0510.152020.126.97-7.2925.400.210.0410.46出水标准69505(8)0.515达标情况达标达标209、达标达标达标表表 4-16 xx污水处理厂四期xx污水处理厂四期 2021 年年 1 月月6 月出厂水质月报表月出厂水质月报表监测项目监测项目监测数据监测数据pH化学需氧量化学需氧量氨氮氨氮总磷总磷总氮总氮无量纲无量纲mg/Lmg/Lmg/Lmg/L2021.016.73-6.9127.310.080.279.702021.026.75-6.9820.190.420.259.592021.036.80-7.0327.570.040.246.722021.046.97-7.0530.370.050.278.732021.056.71-7.0030.460.050.328.912021.066.8210、2-7.0031.520.040.288.98出水标准69505(8)0.515达标情况达标达标达标达标达标根据污水厂废水排放口在线监测结果统计分析可知，xx污水处理厂一二三期总排口及四期排放口现状出水中 pH、COD、氨氮、总磷、总氮等主要水污染物浓度均符合城镇污水处理厂污染物排放标准(GB18918-2002)中的一级 A 标准。因此，xx污水处理厂在加强监管力度，确保各污水处理设施正常运行的基础上，可实现达标排放。依托可行性a.水量方面xx市xx污水处理厂已建工程总处理规模为 20 万 m3/d，其中一二三期工程规模 15 万 m3/d，四期工程规模 5 万 m3/d。xx污水处理厂一二211、三期工程现状日处理水量约11.2万m3/d，四期工程现状日处理水量约2.5万m3/d，目前实际运行负荷为68.5%，87尚有 6.3 万 m3/d 的处理余量。本项目纳管污水量每日约 14.8t/d，占污水站处理能力极小，本项目产生的废水不会对xx污水处理厂正常运行带来影响和较大的冲击负荷。b.水质方面根据xx污水处理厂2020年1月2021年6月在线监测数据及xx省污染源自动监控信息管理平台发布的 2021 年 1 月4 月监督性监测数据统计分析，xx污水处理厂一二三期总排口及四期排放口现状出水水质均能达标排放因此xx污水处理厂处理厂在加强监管力度，确保各污水处理设施正常运行的基础上，可实现212、达标排放。本项目纳管污水量每日约 14.8t/d，废水经园区污水处理站处理后纳管，纳管废水水质可以达到纳管标准要求。c.管网方面本项目污水可接入市政管网，属于xx污水处理厂纳管范围内，本项目正式投产后能确保污水纳管。综上，本项目废水不会改变项目所在区域地表水环境质量等级，不触及水环境质量底线。4.2.3 噪声噪声（1）源强及排放情况源强及排放情况预测模型根据项目建设内容及环境影响评价技术导则声环境（HJ2.4-2021）的要求，项目环评噪声预测釆用xx Noise System 标准版环境噪声预测评价模拟软件系统。该软件计算工业噪声时采用的模型为环境影响评价技术导则 声环境（HJ2.4.202213、1）附录 B（规范性附录）中“B.1 工业噪声预测计算模型”。基础数据项目噪声环境影响预测基础数据见表 4-17。表表 4-17 项目噪声环境影响预测基础数据表项目噪声环境影响预测基础数据表序号序号名称名称单位单位数据数据备注备注1年平均风速m/s2.10/2主导风向/E/3年平均气温16.1/884年平均相对湿度%81/5大气压强Pa101641/噪声源强项目在生产过程中产生的噪声主要源自各类风机、生产设备等，这些设备产生的噪声声级一般在 75dB 以上。噪声源分布见图 4-10。项目产生噪声的噪声源强调查清单见表 4-18、表 4-19。图图 4-10 噪声源分布图噪声源分布图表表 4-1214、8工业企业噪声源强调查清单（室外声源）工业企业噪声源强调查清单（室外声源）序序号号声源名称声源名称型号型号空间相对位置空间相对位置/m声源源强声源源强（声功声功率级率级/dB(A)）声源控制措施声源控制措施运行运行时段时段XYZ1 有机废气处理装置风机/-18.86-31.332385设置消声器和减振垫昼夜2 碱喷淋塔处理装置风机/-20.56-42.122385昼夜表表 4-19 工业企业噪声源强调查清单（室内声源）工业企业噪声源强调查清单（室内声源）序序号号建筑建筑物名物名称称声源名称声源名称 型号型号声源源声源源强强（声功声功率级率级/dB(A)）声源声源控制控制措施措施空间相对位置空间215、相对位置/m距室内透距室内透声墙体边声墙体边界距离界距离/m室内室内透声透声墙体墙体边界边界声级声级/dB(A)运运行行时时段段建筑建筑物插物插入损入损失失/dB(A)建筑物外建筑物外噪声噪声XYZ声压声压级级/dB(A)建建筑筑物物外外距距离离1生产车间有机清洗设备/80设置密闭房,设-1455.711东 101.59 53.51昼夜1538.51南 154.48 53.50昼2033.5189置减振垫夜西67.66 53.53昼夜2033.51北40.96 53.59昼夜1538.61酸碱清洗机/803.2351.791东83.92 53.52昼夜1538.51南 154.68 53.5昼216、夜2033.51西85.33 53.52昼夜2033.51北41.01 53.59昼夜1538.61匀胶机/75-58.05 64.661东146.548.5昼夜1533.51南 152.91 48.5昼夜2028.51西22.73 48.79昼夜2028.81北41.87 48.58昼夜1533.61光刻机/75-44.42 61.821东 132.59 48.51昼夜1533.51南 153.33 48.5昼夜2028.51西36.65 48.61昼夜2028.61北41.66 48.59昼夜1533.61划片机/8548.73 19.791东32.06 58.64昼夜1543.61南 1217、34.16 58.51昼夜2038.51西 136.89 58.51昼夜2038.51北62.27 58.54昼夜1543.51减薄机/8562.9339.11东22.92 58.78昼夜1543.81南 156.25 58.5昼夜2038.51西 146.36 58.5昼夜2038.51北40.32 58.59昼夜1543.61抛光机/85-10.34 41.941东94.72 58.51昼1543.5190夜南 141.94 58.5昼夜2038.51西74.34 58.52昼夜2038.51北53.59 58.55昼夜1543.61超声波清洗机/8037.37 20.931东43.36 218、53.58昼夜1538.61南 132.62 53.51昼夜2033.51西 125.57 53.51昼夜2033.51北63.64 53.53昼夜1538.51真空除气炉电热85-77.93-34.171东 142.02 58.5昼夜1543.51南52.17 58.55昼夜2038.61西25.71 58.72昼夜2038.71北 142.66 58.5昼夜1543.51干法刻蚀机/80-6.36 18.651东85.26 53.52昼夜1538.51南 120.22 53.51昼夜2033.51西83.48 53.52昼夜2033.51北75.45 53.52昼夜1538.51ICPEC219、VD等离子体化学气相沉积系统/80-16.59-18.271东86.31 53.52昼夜1538.51南81.93 53.52昼夜2033.51西81.87 53.52昼夜2033.51北 113.71 53.51昼夜1538.51物理气相沉积装置/856.13-23.381东63.03 58.54昼夜1543.51南82.25 58.52昼夜2038.51西 105.15 58.51昼夜2038.51北 113.72 58.51昼1543.5191夜焊机/80-67.71 22.631东 145.77 53.5昼夜1538.51南 109.79 53.51昼夜2033.51西22.82 53220、.78昼夜2033.81北8553.52昼夜1538.51预测结果通过预测模型计算，项目厂界噪声预测结果与达标分析见表 4-20。项目厂界外50m 无声环境保护目标。表表 4-20 厂界厂界噪声预测结果与达标分析表噪声预测结果与达标分析表预测预测方方位位空间相对位置空间相对位置/m时段时段预测值预测值（dB(A)）标准限值标准限值（dB(A)）达标情况达标情况XYZ东侧77.70-22.811.2昼间45.165达标南侧22.6090.791.249.8达标西侧-41.58-101.201.242.5达标北侧-95.5421.491.241.5达标东侧77.70-22.811.2夜间45.15221、5达标南侧22.6090.791.249.8达标西侧-41.58-101.201.242.5达标北侧-95.5421.491.241.5达标由上表可知，正常工况下，项目厂界噪声贡献值能满足工业企业厂界环境噪声排放标准（GB12348-2008）3 类标准。综上所述，本项目噪声经治理后可以做到稳定达标排放，厂界外能维持现有的环境质量等级，不触及声环境质量底线。项目正常工况声环境影响预测等值线见图 4-11。92图图 4-11正常工况正常工况昼夜昼夜等声级线图等声级线图（3）监测要求监测要求表表 4-21监测情况表监测情况表监测点位监测点位监测因子监测因子监测频次监测频次执行标准执行标准厂界LAe222、q1 次/季 工 业 企 业 厂 界 环 境 噪 声 排 放 标 准（GB12348-2008）中的 3 类标准934.2.4 固体废物固体废物（1）源强源强表表 4-22 固废源强及处置情况一览表固废源强及处置情况一览表工序工序/生产生产线线装置装置固体固体废物废物名称名称产生产生工序工序物理物理性状性状主要主要成分成分固体废物代固体废物代码码危险特危险特性性产废产废周期周期产生情况产生情况处置措施处置措施最终最终去向去向核算方法核算方法产生产生量量t/a贮存方式贮存方式利用处置利用处置方式方式处置处置量量t/a一般工业固体废物一般工业固体废物原辅料包装和使用/废一般包装材料原辅料包装和使用223、固态塑料等/每天类比法5分类贮存出售给物资单位5物资单位制备软水软水设备废离子交换树脂制备软水固态阳离子交换树脂/三年类比法1t/3a分类贮存出售给物资单位1t/3a物资单位危险废物危险废物有机清洗、超声波清洗、剥离有机清洗设备、超声波清洗机有机废液有机清洗、超声波清洗、剥离液态丙酮、乙醇等HW06900-404-06T，I，R 每天物料衡算法1.67密闭贮存委托危废单位处置1.67危废单位涂布、去胶匀胶机废光刻胶涂布液态光刻胶HW06900-404-06T，I，R 每天物料衡算法0.223密闭贮存委托危废单位处置0.223危废单位显影显影机废显影液显影液态显影液HW16900-019-16T224、每天物料衡算法0.084密闭贮存委托危废单位处置0.084危废单位酸碱酸碱酸碱酸碱液态硫酸HW34C,T每天物料衡算法1.545密闭贮存委托危废1.545危废单位94清洗清洗机废液清洗等900-349-34单位处置减薄减薄机切削液减薄液态切削液HW09900-007-09T每天物料衡算法0.032密闭贮存委托危废单位处置0.032危废单位抛光抛光机抛光废液抛光液态硅、钛等HW49900-041-49T/C/I/R每天物料衡算法1密闭贮存委托危废单位处置1危废单位废气处理活性炭吸附装置废活性炭废气处理固态活性炭、丙酮等HW49900-039-49T/In6 个月计算法6.37密闭贮存委托危废单位225、处置6.37危废单位危化品使用/废危化品包装材料危化品使用固态塑料、溶剂等HW49900-041-49T/C/I/R每天计算法0.13密闭贮存委托危废单位处置0.13危废单位检验/不合格芯片检验固态硅、钛等HW49900-045-49T每天物料衡算法0.0013密闭贮存委托危废单位处置0.0013危废单位划片清洗废水处理/污泥划片清洗废水处理半固态锑化镓HW49900-041-49T/In半年物料衡算法0.005密闭贮存委托危废单位处置0.005危废单位划片清洗废水处理/废过滤材料划片清洗废水处理固态锑化镓HW49900-041-49T/In一年资料分析法0.2密闭贮存委托危废单位处置0.2危226、废单位生产过程/废擦拭布和无尘纸生产过程固态有机溶剂HW49900-041-49T/C/I/R每天资料分析法0.15密闭贮存委托危废单位处置0.15危废单位95废气处理/POU装置废吸附剂废气处理固态氟化物等HW49900-041-49T/C/I/R根据吸附量资料分析法2.5密闭贮存委托危废单位处置2.5危废单位生活垃圾生活垃圾职工活动/生活垃圾职工活动固态塑料等/每天类比法15分类贮存环卫部门15环卫部门属性待鉴定固体废物属性待鉴定固体废物/96具体核算过程如下所示：a.废一般包装材料本项目原辅料使用过程产生一定量的废一般包装材料，不涉及危化品使用，本项目相关钢瓶储罐循环使用，不报废。根据企227、业提供资料，年产生量约 5t/a，企业收集后出售给物资单位。b.有机废液有机清洗和超声波清洗、剥离过程中产生一定量的有机废液，主要成分为丙酮、乙醇等。根据物料衡算，有机废液产生量为 1.67t/a。根据国家危险废物名录（2021年版），其属于危险废物，废物类别为“HW06”，危废代码为“HW06 900-404-06”。企业收集后委托有资质单位处置。c.废光刻胶涂布、去胶工序产生一定量的废光刻胶，根据物料衡算，废光刻胶产生量约为0.223t/a。根据国家危险废物名录（2021 年版），其属于危险废物，废物类别为“HW06”，危废代码为“900-404-06”。企业收集后委托有资质单位处置。d.228、废显影液显影工序产生一定量的废显影液，其中光刻胶中约 10%（0.004t/a）进入废显影液，显影液用量 0.08t/a，则废显影液中产生量约为 0.084t/a。根据国家危险废物名录（2021 年版），其属于危险废物，废物类别为“HW16”，危废代码为“900-019-16”。企业收集后委托有资质单位处置。e.酸碱废液酸碱清洗工序产生一定量的酸碱废液。根据物料衡算，酸碱废液产生量约为1.545t/a（包括硝酸和盐酸稀释用纯水进入废液）。根据国家危险废物名录（2021年版），其属于危险废物，废物类别为“HW34”，危废代码为“HW34 900-349-34”。企业收集后委托有资质单位处置。f.229、废切削液减薄过程产生一定量的废切削液。根据物料衡算，切削液用量 40kg/a，约 20%产品带走，则废切削液产生量约 0.032t/a。根据国家危险废物名录（2021 年版），97其属于危险废物，废物类别为“HW09”，危废代码为“HW09 900-007-09”。企业收集后委托有资质单位处置。g.抛光废液抛光过程产生一定量的抛光废液。根据物料衡算，抛光过程纯水用量 1t/a，同时考虑硅材料和抛光粉进入抛光液，量很少，则废抛光液产生量约 1t/a。根据国家危险废物名录（2021 年版），其属于危险废物，废物类别为“HW49”，危废代码为“HW49 900-041-49”。企业收集后委托有资质单230、位处置。f.废活性炭两级活性炭吸附装置中活性炭需定期更换，产生废活性炭。根据工程分析，活性炭吸附装置有机废气吸附量约 0.367t/a。根据涂装技术实用手册，除低沸点的碱性气体外，活性炭对有机废气吸附容量大约在 10%40%范围内，本项目取 15%，通过计算，废活性炭（含 VOCs）产生量约 3t/a。此外，根据xx省生态环境厅发布的 xx省分散吸附-集中再生活性炭法挥发性有机物治理体系建设技术指南（试行）（2021.11）中附录 A 废气收集参数和最少活性炭装填量参考表，本项目废气处理风量为 12500m3/h，VOCs 初始浓度为0-200mg/m3，活性炭最少装填量（按 500h 使用时231、间计）为 1.5t，年运行 3600h，由于废气产生浓度较低，考虑 6 个月更换一次，则年废活性炭（含 VOCs）产生量 6.37t/a。综上，废活性炭产生量按照二者计算值取高者为 6.37t/a。根据国家危险废物名录（2021 年），废活性炭属于危险废物，废物类别为“HW39”，废物代码为“HW49900-039-49”，收集后委托相关资质单位进行处置。g.废危化品包装材料危化品使用过程产生一定量的废危化品包装材料。钢瓶厂家回收，不产生废钢瓶。丙酮、乙醇、异丙醇，HMDS、光刻胶、显影液、磷酸、氨水、盐酸、双氧水、硫酸、氢氟酸溶液、甲酸、切削液、钛等危化品使用产生废危化品包装材料。包装桶规格232、按50kg/瓶，危化品年总用量为 3260kg/a，则年产生废包装桶个数为 65 个/a。单桶重约2kg，则废危化品包装桶年产生量为 0.13t/a。钛年用量 0.8kg/a，废包装材料重约 0.1kg/a。综上，合计废危化品包装材料年产生量约 0.13t/a。根据国家危险废物名录（202198年版），其属于危险废物，废物类别为“HW49”，危废代码为“900-041-49”。企业收集后委托有资质单位处置。h.不合格芯片检验测试过程产生一定量的不合格芯片。根据物料平衡，芯片不合格品率约为60%，企业外购外延片约 2.209kg/a，则不合格品芯片产生量约为 0.0013t/a。根据国家危险废物233、名录（2021 年版），其属于危险废物，废物类别为“HW49”，危废代码为“900-045-49”。企业收集后委托有资质单位处置。i.划片废水污泥划片废水处理装置采用沉淀+过滤处理工艺，沉淀池定期清渣产生一定量的污泥，根据划片工艺参数，一年 400 片锑化镓外延片大概需划 10000 刀，每刀产生外延片渣的尺寸约长 5cm*宽 0.01cm*厚 0.05cm，计算得到年废渣体积约 25cm3，锑化镓密度约5.62g/cm3，则得到废锑化镓渣重量约 141g。考虑到其他杂质一同进入污泥，以及一定量的含水量，则污泥重量约 5kg/a。根据国家危险废物名录（2021 年版），其属于危险废物，废物类别234、为“HW49”，危废代码为“900-041-49”。企业收集后委托有资质单位处置。其他废水依托园区处理，污泥已在依托园区废水站的环评中考虑，本环评不再考虑其污泥产生量。j.废过滤材料划片废水处理装置采用沉淀+过滤处理工艺，过滤材料定期更换产生一定量的废过滤材料，根据企业提供资料，过滤材料约 1 年更换一次，一次更换量约 0.2t。根据国家危险废物名录（2021 年版），其属于危险废物，废物类别为“HW49”，危废代码为“900-041-49”。企业收集后委托有资质单位处置。k.废擦拭布和无尘纸企业生产过程中产生一定量的沾染危化品的废擦拭布和无尘纸，年产生量约0.15t/a。根据 国家危险废物名235、录（2021 年版），其属于危险废物，废物类别为“HW49”，危废代码为“900-041-49”。企业收集后委托有资质单位处置。l.POU 装置废吸附剂POU 装置吸附材料吸附饱和后需要定期更换，产生一定量的废吸附剂，具体核算99见下表。根据下表，吸附材料年更换量约 2360L/a，按照密度 1g/cm3估算，则年产生POU 装置废吸附剂约 2.5t/a（包括吸附量）。表表 4-23 干式吸附装置（干式吸附装置（Dry Scrubber）吸附材料装填量和更换次数吸附材料装填量和更换次数吸附物质情况吸附物质情况吸附材料情况吸附材料情况污染污染物物产生产生量量 t/a吸附吸附效率效率吸附吸附量量 236、t/a密密度度g/L吸附体吸附体积积 L/a吸附材料吸附材料成分成分年吸附年吸附量量 L吸附能力吸附能力 L/L吸附材料吸附材料材料单次装材料单次装填量填量 L吸附能吸附能力力 L年更换年更换次数次数氯气 0.012 75%0.009 3.172839氢氧化钙 4214830120360012氟化物0.084 75%0.063 1.6937278HCl0.004575%0.003 1.4772031氨0.004 75%0.003 0.773896硫酸铜3896602012003NOx 0.017 75%0.013 2.056341氧化锰-氧化铜6341232046014硅烷 0.012 75%237、0.009 1.426338氧化铝、氧化铜6338202040016三氯化硼0.012 75%0.009 1.436294氢氧化锶 6294252050013m.废离子交换树脂本项目空调加湿水的软水设备离子交换树脂约三年更换一次，产生废离子交换树脂，一次更换量约 1t/a，属于一般固废，企业收集后出售给物资单位。n.生活垃圾本项目劳动定员 100 人，全年工作 300 天，生活垃圾产生量按 0.5kg/人d 计算，则年产生活垃圾 15t/a。生活垃圾定点收集后由环卫部门清运。（2）环境管理要求环境管理要求项目设有一般固废仓库（位于生产车间南侧，占地约 20m2）和危险废物仓库（位于生产车间南侧238、，占地约 10m2）。项目一般固废储存贮存过程应满足相应防渗漏、防雨淋、防扬尘等环境保护要求。危险废物的存储应按照 危险废物贮存污染控制标准（GB18597-2001）的规定：设置警示标志，并做好出入登记，由有资质单位回收处理。危险废物等由有资质单位回收处置，规范转移，做好台帐，做到无害化。项目固体废弃物的污染防治及其监督管理严格执行xx省固体废物污染环境防治条例。项目产生的固体废物的处理、处置均应满足中华人民共和国固体废物污染环境防治法中的有关规定要求。100企业应建立比较全面的固体废弃物管理制度和管理程序，固体废弃物按照性质分类收集，并有专人管理，进行监督登记。根据危险废物污染防治技术政策239、（GB7665-2001）和危险废物贮存污染控制标准GB18597-2001（2013 年修订），对危险废物暂存设施提出如下要求：危险废物的转移应遵从危险废物转移联单管理办法及其他有关规定；为防止雨水径流进入贮存场内，避免渗滤液量增加，贮存场周边建议设置导流渠。为加强管理，贮存场应按设置环境保护图形标志要求设置指示牌；项目方应建立检查维护制度，定期检查维护导流渠等设施，发现有损坏可能或异常，应及时采取必要措施，以保障正常运行；项目方应建立档案制度，应将入场的危险废物的种类和数量以及相应资料详细记录在案，长期保存。4.2.5 地下水、土壤地下水、土壤项目不涉及对地下水和土壤环境产生污染的重金属和240、持久性有机污染物，且地面做好防腐防渗，项目废水纳管排放，废水水质简单，不存在土壤或地下水污染途径。本项目污染区划分及防渗等级见表 4-24。本项目污染区划分及防渗等级一览图见附图 9。表表 4-24 本项目污染区划分及防渗等级一览表本项目污染区划分及防渗等级一览表分区分区定义定义厂内分区厂内分区防渗等级防渗等级非污染区除污染区外的其他区域会议室、休息室、展区、更衣室等不需设置防渗等级，一般地面硬化污染区一般污染区无毒性或毒性小的生产装置区、室外区一般固废仓库、生产区等进行地面硬化，参照环境影响评价 技 术 导 则 地 下 水 环 境（HJ610-2016）要求进行完善，防渗系数达 1.010-241、7cm/s。重点污染区危害性大、毒性较大的生产装置区、物料储存区、危化品房、危险废物暂存区等危废仓库按照 GB18597-2001危险废物贮存污染控制标准进行完善，防渗系数达 1.010-10cm/s。4.2.6 生态生态项目位于xx经济开发区谷水路 306 号 A16，位于产业园区内，不属于产业园区外的建设项目。现场为已建空置生产车间，不涉及生态环境保护目标。4.2.7 环境风险环境风险101（1）危险物质和风险源分布情况危险物质和风险源分布情况根据企业提供原辅材料情况，对照危险化学品目录（2018 版）（2022 年修订）、建设项目环境风险评价技术导则（HJ169-2018），全厂存在环境242、风险物质为丙酮、乙醇、异丙醇、HMDS、光刻胶（70%乳酸乙酯）、显影液（2.38%四甲基氢氧化铵）、磷酸、氨水（25%）、盐酸（38%）、双氧水（30%）、硫酸（98%）、氢氟酸溶液（40%）、甲酸、切削液、氢气、三氯化硼、氯气、六氟化硫、三氟甲烷、氩气、氦气、氨气、笑气、钛、硝酸和危险废物。主要分布在危化品仓库和危废仓库。危险物质数量与临界量比值（Q）：当 Q1 时，该项目环境风险潜势为 I；当 Q1 时，将 Q 值划分为：（1）1Q10 时；（2）10Q100；（3）100Q。根据建设项目环境风险评价技术导则附录 B，本项目风险物质与临界值比值（Q）见表 4-25。表表 4-25 风险物243、质数量与临界量比值（风险物质数量与临界量比值（Q）序序号号危险物质危险物质名称名称生产单元生产单元名称名称所在位所在位置置CAS 号号最大存最大存在总量在总量 t折纯折纯量量t临界临界量量 t危险物质危险物质 Q值值1丙酮有机清洗、剥离、超声波清洗、有机擦拭危化品仓库67-64-10.10.1100.012乙醇有机清洗、剥离、有机擦拭危化品仓库64-17-50.10.1/03异丙醇有机清洗、剥离、超声波清洗危化品仓库67-63-00.10.1100.014HMDS涂布危化品仓库999-97-30.0020.002/5光刻胶（70%乳酸乙酯）涂布危化品仓库97-64-30.040.28/6显影液244、（2.38%四甲基氢氧化铵）显影危化品仓库75-59-20.080.08500.00161027磷酸酸碱清洗危化品仓库7664-38-20.010.01100.0018氨水（25%）酸碱清洗危化品仓库1336-21-60.050.05100.0059盐酸（38%）酸碱清洗危化品仓库7647-01-00.10.17.50.013310双氧水（30%）酸碱清洗危化品仓库7722-84-10.050.05/11硫酸（98%）酸碱清洗危化品仓库7664-93-90.040.039100.003912氢氟酸溶液（40%）酸碱清洗危化品仓库7664-39-30.20.0810.0813甲酸倒焊危化品仓库6245、4-18-60.0010.001100.000114切削液减薄危化品仓库/0.040.04500.000815氢气干法刻蚀生产车间1333-74-00.010.01/16三氯化硼干法刻蚀生产车间10294-34-50.010.012.50.00417氯气干法刻蚀生产车间7782-50-50.010.0110.0118六氟化硫干法刻蚀生产车间2551-62-40.010.01/19三氟甲烷干法刻蚀生产车间75-46-70.010.01/20氩气干法刻蚀生产车间7440-37-10.010.01/21氦气干法刻蚀生产车间7440-59-70.010.01/22氨气侧壁钝化生产车间7664-41-7246、0.010.0150.00223笑气侧壁钝化生产车间10024-97-20.010.01/24钛电极生长危化品仓库7440-32-60.0010.001500.0000225硝酸（70%）酸碱清洗危化品仓库7440-32-60.0060.0077.50.0005626危险废物清洗等危废仓库/99500.18(qn/Qn)0.322注：1、根据危化品名录，乙醇、HMDS、光刻胶、氢气、六氟化硫、三氟甲烷、氩气、氦气均属于危险化学品，但不属于建设项目环境风险评价技术导则（HJ169-2018）附录 B 中的风险物质，不列入 Q 值计算，只作为风险物质列出。乙醇 LD50=5628mg/kg，96h247、LC50（鱼类）=13480mg/L，不属于表 B.2 健康危险急性毒性物质（类别 1,2,3）和危害水环境物质（急性毒性类别 1）；103HMDS LD50=850mg/kg，96hLC50（鱼类）=88mg/L，不属于表 B.2 健康危险急性毒性物质（类别1,2,3）和危害水环境物质（急性毒性类别 1）；光刻胶（70%乳酸乙酯）LD50=2500mg/kg，96hLC50（鱼类）=320mg/L，不属于表 B.2 健康危险急性毒性物质（类别 1,2,3）和危害水环境物质（急性毒性类别 1）；双氧水 LD50=376mg/kg，96hLC50（鱼类）=37.4mg/L，不属于表 B.2 健康248、危险急性毒性物质（类别 1,2,3）和危害水环境物质（急性毒性类别 1）；同上，氢气、六氟化硫、三氟甲烷、氩气、氦气不属于表 B.2 健康危险急性毒性物质（类别 1,2,3）和危害水环境物质（急性毒性类别 1）。2、显影液（2.38%四甲基氢氧化铵)LD50=19mg/kg，96hLC50（鱼类）大于 1mg/L，属于表 B.2 健康危险急性毒性物质（类别 2）；钛粉 LD50=56mg/kg，属于表 B.2 健康危险急性毒性物质（类别2）；切削液和危险废物参照健康危险急性毒性物质（类别 2，类别 3）。由上表可知，项目 Q1。（2）影响途径影响途径环境风险物质在储存过程中泄漏导致环境空气、地249、表水环境等污染。本项目所在区域距离长水塘xx饮用水源保护区较远，本项目与饮用水水源准保护区最近距离约 760m，距离水源二级保护区约 2640m，距离长水塘取水口约 4270m，不属于饮用水水源保护区内和饮用水水源准保护区内，本项目做好地面防腐防渗以及事故废水截流设施（依托园区事故应急池（245m3）的情况下，不会对饮用水水源造成影响。（3）环境风险防范措施环境风险防范措施气体钢瓶暂存在钢瓶间。钢瓶间应满足以下风险防范措施：a.配套泄漏气体处理设施，特别是氯气，地面做好防腐防渗。b.项目方应建立检查维护制度，定期检查维护配套泄漏气体处理设施，发现有损坏可能或异常，应及时采取必要措施，以保障泄漏250、状态下正常处置；c.项目方应建立档案制度，应将入场的气瓶数量以及相应资料详细记录在案，长期保存。危化品暂存在危化品仓库。危化品仓库应满足以下风险防范措施：a.危化品库周边建议设置导流渠，地面防腐防渗。b.项目方应建立检查维护制度，定期检查维护导流渠等设施，发现有损坏可能或异常，应及时采取必要措施，以保障正常运行；c.项目方应建立档案制度，应将入场的危化品种类和数量以及相应资料详细记录在案，长期保存。危险废物暂存于危废仓库。危废仓库应满足以下风险防范措施：a.危险废物的转移应遵从危险废物转移联单管理办法及其他有关规定；b.为104防止雨水径流进入贮存场内，避免渗滤液量增加，贮存场周边建议设置导流251、渠，并做好地面防腐防渗。为加强管理，贮存场应按设置环境保护图形标志要求设置指示牌；c.项目方应建立检查维护制度，定期检查维护导流渠等设施，发现有损坏可能或异常，应及时采取必要措施，以保障正常运行；d.项目方应建立档案制度，应将入场的危废种类和数量以及相应资料详细记录在案，长期保存。编制突发环境事件应急预案a.建立环境风险管理制度，编制突发环境事件应急预案，建立应急救援队伍和物资储备，并报当地生态环境主管部门备案。b.项目建成后要求全面开展预案演练。c.设置环境应急监测与预警制度，定期排查环境安全隐患并及时治理。d.在应急处置与救援阶段，及时启动应急响应，采取有效处置措施，防止次生环境污染事件。252、105五、环境保护措施监督检查清单内容内容要素要素排放口排放口(编编号、名称号、名称)/污污染源染源污染物项目污染物项目环境保护措施环境保护措施执行标准执行标准大气环境DA001非甲烷总烃废气密闭收集后经两级 活性炭吸附处理后经离地 27m 排气筒高空排放大气污染物综合排放标准(GB16297-1996)表 2中的二级标准丙酮参照上海市地方标准 大气污染物综合排放标准（DB31/933-2015）中附录 ADA002氯气、氟化物、HCl、NOx、硫酸雾干法刻蚀废气、侧壁钝化废气先 经 独 立 的POU 净化装置（干式吸附）处理，再和其他废气一起经碱喷淋装置处理后经离地 27m 排气筒高空排放大253、气污染物综合排放标准(GB16297-1996)表 2中的二级标准氨、臭气浓度恶臭污染物排放标准（GB14554-93）表 2 标准地表水环境生产废水污水量CODCr、NH3-N、SS、氟化物、总磷等软水制备废水直接纳管；其他生产废水达到经园区污水处理站进水指标要求后进入园区污水处理站处理达标后经DW001 纳管电子工业污水污染物排放标准（GB39731-2020）和污水站进水指标生活污水污水量CODCr、NH3-N生活污水经园区独立的生活污水收集系统收集后经园区化粪池预处理达标后经DW002 纳管污水综合排放标准（GB8978-1996）三级声环境运营过程噪声选用低噪声满足 工业企业厂106254、设备，合理布局设备，较高噪声设备安置在隔声房内，安装防震垫、消声器（罩）以及包扎消声材料等。建筑物通风换气设备采用低噪声轴流风机，进出风管采用软连接。加强设备日常检修和维护，以保证各设备正常运转，以免由于设备故障原因产生较大噪声；同时加强生产管理，教育员工文明生产，减少人为因素造成的噪声，合理安排生产，生产时关闭门窗。界环境噪声排放标准（GB12348-2008）3 类标准电磁辐射不涉及固体废物有机废液、废光刻胶、废显影液、酸碱废液、切削液、抛光废液、废活性炭、废危化品包装材料、不合格芯片、污泥、废过滤材料、POU 装置废吸附剂、废擦拭抹布和无尘纸收集后委托有资质单位处置，废一般包装材料和废离255、子交换树脂出售给物资公司，生活垃圾委托环卫清运。一般工业固废根据一般工业固体废物贮存和填埋污染控制标准（GB18599-2020），采用库房、包装工具（罐、桶、包装袋等）贮存一般工业固体废物过程的污染控制，应满足相应防渗漏、防雨淋、防扬尘等环境保护要求，加强监督管理。危险废物的存储应按照危险废物贮存污染控制标准（GB18597-2001）的规定：设置警示标志，并做好出入登记，由有资质单位回收处理。危险废物等由有资质单位回收处置，规范转移，做好台帐，做到无害化。土壤及地下水污染防治措施钢瓶间和危化品仓库地面防腐防渗，废水纳管排放，废水处理设施和管道衔接装置等按照相关规范要求要求做好防漏、防渗措施256、，定期检查管道，禁止在管道上放置重物。107生态保护措施/环境风险防范措施（1）气体钢瓶暂存在钢瓶间。钢瓶间应满足以下风险防范措施：a.配套泄漏气体处理设施，特别是氯气，地面做好防腐防渗。b.项目方应建立检查维护制度，定期检查维护配套泄漏气体处理设施，发现有损坏可能或异常，应及时采取必要措施，以保障泄漏状态下正常处置；c.项目方应建立档案制度，应将入场的气瓶数量以及相应资料详细记录在案，长期保存。（2）其他危化品暂存在危化品仓库。危化品仓库应满足以下风险防范措施：a.危化品库周边建议设置导流渠，地面防腐防渗。b.项目方应建立检查维护制度，定期检查维护导流渠等设施，发现有损坏可能或异常，应及时采257、取必要措施，以保障正常运行；c.项目方应建立档案制度，应将入场的危化品种类和数量以及相应资料详细记录在案，长期保存。（3）危险废物暂存于危废仓库。危废仓库应满足以下风险防范措施：a.危险废物的转移应遵从危险废物转移联单管理办法及其他有关规定；b.为防止雨水径流进入贮存场内，避免渗滤液量增加，贮存场周边建议设置导流渠，并做好地面防腐防渗。为加强管理，贮存场应按设置环境保护图形标志要求设置指示牌；c.项目方应建立检查维护制度，定期检查维护导流渠等设施，发现有损坏可能或异常，应及时采取必要措施，以保障正常运行；d.项目方应建立档案制度，应将入场的危废种类和数量以及相应资料详细记录在案，长期保存。其他258、环境管理要求根据建设项目环境保护管理条例（国务院令第 682 号），对建设阶段要求如下：（1）建设项目需要配套建设的环境保护设施，必须与主体工程同时设计、同时施工、同时投产使用。（2）建设项目的初步设计，应当按照环境保护设计规范的要求，编制环境保护篇章，落实防治环境污染和生态破坏的措施以及环境保护设施投资概算。建设单位应当将环境保护设施建设纳入施工合同，保证环境保护设施建设进度和资金，并在项目建设过程中同时组织实施环境影响报告书及其审批部门审批决定中提出的环境保护对策措施。（3）建设项目竣工后，建设单位应当按照国务院环境保护行政主管部门规定的标准和程序，对配套建设的环境保护设施进行验收，编制验259、收报告。根据xx省排污许可证管理实施方案（浙政办发201779号），要求严格落实企事业单位环境保护责任，对企业环境管理108要求如下：（1）落实按证排污责任。纳入排污许可管理的所有企事业单位必须按期持证排污、按证排污，不得无证排污。企事业单位应及时申领排污许可证，对申请材料的真实性、准确性和完整性承担法律责任，承诺按照排污许可证的规定排污并严格执行；落实污染物排放控制措施和其他各项环境管理要求，确保污染物排放种类、浓度、排放量等达到许可要求；明确单位负责人和相关人员环境保护责任，不断提高污染治理水平和环境管理水平，自觉接受监督检查。（2）实行自行监测和定期报告。企事业单位应依法开展自行监测，安260、装或使用监测设备应符合国家有关环境监测、计量认证规定和技术规范，保障数据合法有效，保证设备正常运行，妥善保存原始记录，建立准确完整的环境管理台账。企事业单位应如实向生态环境部门报告排污许可证执行情况，依法向社会公开污染物排放数据并对数据真实性负责。排放情况与排污许可证要求不符的，应及时向生态环境部门报告。根据建设项目竣工环境保护验收暂行办法（国环规环评2017)4 号），对企业自主开展相关验收工作要求如下：建设单位是建设项目竣工环境保护验收的责任主体，应当按照本办法规定的程序和标准，组织对配套建设的环境保护设施进行验收，编制验收报告，公开相关信息，接受社会监督，确保建设项目需要配套建设的环境保261、护设施与主体工程同时投产或者使用，并对验收内容、结论和所公开信息的真实性、准确性和完整性负责，不得在验收过程中弄虚作假。环境监测是环境管理最重要的手段之一，通过环境监测可正确、迅速、完整地为建设项目日常管理提供必要依据。根据项目特点，医院监测部门需定期对废水进行监测，对废气医院可委托已经取得资质的环境监测单位执行营运期的监测计划。受委托机构同时承担突发性污染事故对环境影响的应急监测工作，一方面可发挥现有环境监测单位专业人员齐备、监测设备完善的优势；另一方面，项目管理机构可节省监测设备投资和人员开支。109六、结论xxxx科技有限公司年产 1500 套红外焦平面探测器项目符合国家有关产业政策，符262、合生态保护红线、环境质量底线、资源利用上线的控制要求，且不在环境准入负面清单之列。项目符合“三线一单”及“四性五不批”要求，符合xx省建设项目环境保护管理办法（xx省人民政府令第 388 号）中规定的审批原则。该项目符合当地的国土空间规划；采取相应措施后，排放的污染物可以做到达标排放，建成后能维持当地环境质量现状，环境风险事故的发生对环境的影响在可接受水平之内；项目建设有利于促进地方经济的健康持续发展。因此，从环保角度而言，本项目只要落实本次环评提出的各项治理措施，严格执行“三同时”制定，加强环保管理，项目的实施可行。110附表建设项目污染物排放量汇总表项目项目分类分类污染物名称污染物名称现有263、工程现有工程排放量排放量（固体废物产固体废物产生量）生量）现有工程现有工程许可排放量许可排放量在建工程在建工程排放量（固体废物排放量（固体废物产生量）产生量）本项目本项目排放量排放量（固体废物固体废物产生量）产生量）以新带老削减量以新带老削减量（新建项目不填）（新建项目不填）本项目建成后本项目建成后全厂排放量全厂排放量（固体废物固体废物产生量）产生量）变化量变化量废气VOCs0000.37100.3710.371NOx0000.00100.0010.001废水废水量0004440044404440CODCr0000.22200.2220.222氨氮0000.02200.0220.022一般工业264、固体废物废一般包装材料0005055废离子交换树脂0001t/3a01t/3a1t/3a危险废物有机废液0001.6701.671.67废光刻胶0000.22300.2230.223废显影液0000.08400.0840.084酸碱废液0000.29500.2950.295切削液0000.03200.0320.032抛光废液0001011废活性炭0006.3706.376.37废危化品包装材料0000.1300.130.13111不合格芯片0000.001300.00130.0013污泥0000.00500.0050.005废过滤材料0000.200.20.2废擦拭布和无尘纸0000.1500265、.150.15POU 装置废吸附剂0002.502.52.5注：=+-；=-附图附图 1 项目地理位置图项目地理位置图项目所在地项目所在地附图附图 2 项目周边环境图项目周边环境图租赁方租赁方 A18 厂房厂房麦格纳照明麦格纳照明租赁方租赁方 A16 厂房厂房本项目本项目欣晖半导体产业园欣晖半导体产业园在建厂房在建厂房生活污水纳管口生产废水纳管口（依托园区污水站）项目所在xx园区项目东侧项目东侧项目南侧项目南侧项目西侧项目西侧项目北侧项目北侧附图附图 3 项目周边环境照片项目周边环境照片附图附图 4 厂区总平面布置图厂区总平面布置图附图附图 5-1xx市环境管控单元分类图（xx市环境管控单元分266、类图（1）项目所在地项目所在地附图附图 5-2xx市环境管控单元分类图（xx市环境管控单元分类图（2）项目所在地项目所在地附图附图 6xx市水环境功能区划图xx市水环境功能区划图项目所在地项目所在地附图附图 7长山河、长水塘水环境功能区范围示意图长山河、长水塘水环境功能区范围示意图项目所在地项目所在地附图附图 8 xx经济开发区用地规划图xx经济开发区用地规划图项目所在地项目所在地附图附图 9 本项目污染区划分及防渗等级一览图本项目污染区划分及防渗等级一览图附图附图 10 环境空气质量、地表水质量引用监测点位图环境空气质量、地表水质量引用监测点位图1200m225m本项目附图附图 11 项目项目 500m 范围内环境敏感目标图（范围内环境敏感目标图（500m 范围内无敏感目标）范围内无敏感目标）许家汇荷花池910m750m500m 范围线