1、硅材料科技发展公司HCT开方机生产作业指导书编 制： 审 核： 批 准： 版 本 号: ESZAQDGF001 编 制： 审 核: 批 准： 发 布： 二XX年X月目 录1 范围- 1 -2 引用标准- 1 -3 定义- 1 -4 工作职责- 1 -5 操作程序- 1 -6 其它事项- 3 -7 检查与考核- 4 -8 表格与记录- 4 -9 附录- 4 -附加说明- 4 -1 范围 本标准规定了XX硅材料科技发展有限公司(以下简称“XX硅材料公司”) HCT开方机操作的要求、程序、内容和表达形式等。 本标准适用于XX硅材料公司开方车间HCT开方机的操作工作。2 引用标准 无3 定义 无4 工2、作职责4.1 本岗位操作员负责本规程全部具体内容操作执行、事项注意或处理工作4.2 本岗位班长负责本规程全部具体内容操作执行、事项注意或处理的监督和管理工作。4.3 开方专工岗位负责本规程全部内容操作指挥、事项注意或处理的领导和管理工作。5操作程序5.1工序流程图OK热机砂浆搅拌砂浆灌装、及砂浆缸连接抽线、出锭切割确认切割条件清理砂帘粘锭装锭、调锭、设定高度机床准备外部条件准备高度复位线槽、直线、线长核对线网建立张力臂、排线轮复位线轮安装 NGNG下道工序清洗、送检非合格品、边角料入库检验OKOKOKNGNG开机5.2使用机器、设备名 称厂 家型 号使 用 目 的电动升降车、电动叉车手动插车隔3、膜泵HCT开方机把多晶方锭切割成硅块。5.3使用原物料名 称名 称名 称使 用 目 的电动升降车、电动叉车手动插车隔膜泵钢直尺直角尺铁锨（平板）小铁铲30钢撬设备自带工具一套橡胶手套口罩橡胶垫防护眼镜披肩帽辅助设备及物料，满足切割条件，所切产品各项技术要求。5.4.各工序生产作业操作规程 具体见附录A HCT开方机流程图6 其它事项6.1 注意事项 硅块在清洗及送检过程中要轻拿轻放，杜绝因为操作而早成崩边。 粘硅块时，硅块较重，有砸伤危险，在操作时注意安全。 布线网时、配制砂浆时要带好相应的防护、劳保用品。6.2 配合事项6.2.1导轮安装时，两人同时将导轮拿起，在安装导轮基准侧时，另一侧安装4、人务必不能转动导轮。6.2.2 当切割线痕大于20um时，要做磨面处理，磨面后若出现轻微偏小，可轻微酸腐。7 检查与考核7.1 检查岗位的正岗、班组长、分管专工、车间主任等不定期的对本规程的实施和执行进行检查，对其不正确的操作或处理立即进行纠正，对其过错行为采取纠正措施，并实施验证。 开方岗位的上下游正岗、班组长、分管专工在重要操作中或后对本岗位操作的符合性进行检查，并对其不正确的操作或处理立即进行纠正，并报本岗位的正岗、班组长、分管专工或车间主任。 安全、环保专责岗位定期或不定期的对本岗位安全、环保实施检查，并对该岗位的安全、环保作出评价或考核。7.2 考核7.2.1 各级考核部门按本规程的5、内容和要求对本岗位实施考核，对其过错行为采取纠正措施，并实施验证。8 表格与记录8.1 多晶硅切割加工随工单 Q/GCL-WF40421/BG-018.2 XX/HCT开方点检表 Q/GCL-WF 40421/BG-039 附录无 附加说明本标准由XX硅材料公司标准化管理机构负责提出。本标准由XX硅材料公司技术部部门负责起草或修改。本标准主要起草、修订人：XX 审 核：XX审 定：XX、XX批 准：XX本标准由XX硅材料公司技术部部门负责解释。本标准于二一年四月二十九第二次发布，二一年四月二十九实施。HCT开方机作业指导书 XX硅材料科技发展有限公司受控状态实施日期2010年4月29日适用部门6、开方车间受控实施责任者车间主管作业流程注意事项、自互检要求作业内容1. 开机，将电源旋转至ON状态，等待机床系统启动，此过程请不要在机床确认前做任何操作，机床启动后双击设备复位键，确认复位。 2. 检查机床水连接。打开设备冷却界面，点击冷却水开关，检查冷却水流量，进水温度，确认冷却水能达到切割要求。3. 检查机床气连接。打开进气阀门使机床供气，拔起气动调节阀， 右旋转，使之达到切割要求，确定后按下调节阀。 4. 检查安装滑轮。确定滑轮是否符合切割要求，判断标准为切深不超过1mm，左右切偏各不超过15，确定符合切割要求后，安装注：本文件的更改，应由建议者提出申请，经批准后方可变更。编制审核会审批7、准变更内容：XXXXXX、XXXX编号版本号总13页Q/GCL-WF 404232010a第1页HCT开方机作业指导书 XX硅材料科技发展有限公司受控状态实施日期2010年4月29日适用部门开方车间受控实施责任者车间主管作业流程注意事项、自互检要求作业内容至滑轮铝套上，确定后转动滑轮观察滑轮是否有偏转情况，并确定是否符合安装要求。5. 检查安装导轮。确定滑轮是否符合切割要求，检查导轮槽及导轮片。导轮槽的判断标准为槽深10.02mm，角度800.5，导轮片的判断标准为布好线网，快速走线时钢线无明显摆动。将固定螺丝带进导轮螺丝孔，两人协同作业，一人将导轮安装至轴套基准侧，另一人将导轮安装至轴转动侧8、。轻微晃动导轮，使导轮能和轴台吻合，确定后先将导轮基准侧用螺丝锁紧，然后轻微拔出转动侧轴套，将半月夹具用螺丝锁紧。6. 确认张力臂复位。方法为用手拉动左张力至张力臂左限位，确定后点击左张力臂左电压复位键，确定后再将左张力臂拉动至右限位，点击左张力臂右电压复位键。确定后观察左右张力臂电压绝对值偏差，确定电压绝对值偏差不超过0.3伏。确定符合切割要求后，按照此方法对右张力臂进行复位。 7. 左排线轮、右排线轮复位。点击左排线轮、右排线轮复位键对左排线轮、右排线轮进行复位。8. 安装放线轮。打开放线轮制动阀，转动放线轮，制动放线轮。选取1有砸伤风险，注意安全!注：本文件的更改，应由建议者提出申请，经9、批准后方可变更。编制审核会审批准变更内容：XXXXXX、XXXX编号版本号总13页Q/GCL-WF 404232010a第2页HCT开方机作业指导书 XX硅材料科技发展有限公司受控状态实施日期2010年4月29日适用部门开方车间受控实施责任者车间主管作业流程注意事项、自互检要求作业内容符合切割标准的钢线筒，将钢线筒装于电动升降车上，推动绕线室门至绕线室左边，推动电动升降车至绕线室旁，调节叉头高低，使电动车插孔和放线轮轴孔相连，确定后将钢线筒轻推至放线轮轴上，拉走电动升降车，轻微旋转钢线筒，使钢线筒和放线轮轴台吻合。将压紧盘擦拭干净，并在接触面及轴套涂少量润滑脂，完毕后将压紧盘套进放线轮轴。擦拭10、干净锁紧螺丝，涂少量润滑脂，将锁紧螺丝装进螺丝孔，选取250NM扭力扳手并安装上套筒，调节扭力至180NM，用扭力扳手将螺丝锁紧，当扭力扳手发出“咔咔”声时停止锁紧。打开制动阀，转动放线轮并让制动阀制动放线轮另一个制动口，用同样的方法扭紧。擦拭干净护罩，并锁紧护罩螺丝，打开放线轮制动阀。确定后转动放线轮，观察放线轮转动有无晃动。 9. 安装收线轮。打开收线轮制动阀，转动收线轮，使收线轮制动。选取无损伤的收线轮，将收线轮装于电动升降车上，推动绕线室门至绕线室右边，推动电动升降车至绕线室旁，调节高低，使电动车插孔和收线轮轴孔相连，确定后将收线轮轻推至收线轮轴上，拉走电动升降车，轻微旋转收线轮，使收11、线轮和收线轮轴台吻合。将压紧注：本文件的更改，应由建议者提出申请，经批准后方可变更。编制审核会审批准变更内容：XXXXXX、XXXX编号版本号总13页Q/GCL-WF 404232010a第3页HCT开方机作业指导书 XX硅材料科技发展有限公司受控状态实施日期2010年4月29日适用部门开方车间受控实施责任者车间主管作业流程注意事项、自互检要求作业内容盘擦拭干净，并在接触面及轴套涂少量润滑脂，完毕后将压紧盘套进放线轮轴。擦拭干净锁紧螺丝，涂少量润滑脂，将锁紧螺丝装进螺丝孔，选取250NM扭力扳手并安装上套筒，调节扭力至150NM，用扭力扳手将螺丝锁紧，当扭力扳手发出“咔咔”声时停止锁紧。打开收12、线轮制动阀。确定后转动放线轮，观察放线轮转动是否有晃动。10. 安装滚筒。员工站于踏台上，打开绕线室门，用13#扳手将滚筒锁紧片拧下，擦拭干净滚筒轴，将滚筒套进，锁紧锁紧片。放线轮收线轮滚筒 11. 布线网准备。撕去放线轮上的包装纸，用线砣固定线头，然后按照线的走向方式，将线固定在第一个线位槽里。打开布线模式，启动小张力（10N），然后启动右张力（WINDER /RIGHT/ON），启动马达（MAIN），启动（MAIN+SPEED）布线网。 12. 布线网。用线杆拉住线砣按线的走向方式开始布线，在此要注意高线位和低线位的布线方式，布低线位要绕过高线位。到机床上部时，要将钢线放进滑轮槽中。1.注13、意钢线包装纸箭头方为顺时针方向。2.注意法兰在电动升降车里侧。注：本文件的更改，应由建议者提出申请，经批准后方可变更。编制审核会审批准变更内容：XXXXXX、XXXX编号版本号总13页Q/GCL-WF 404232010a第4页HCT开方机作业指导书 XX硅材料科技发展有限公司受控状态实施日期2010年4月29日适用部门开方车间受控实施责任者车间主管作业流程注意事项、自互检要求作业内容13. 固定线头。切割室织好线网后拉动线砣到绕线室，先把钢线用线砣固定在绕线室，用内六角扳手扭开固定螺丝，把线头固定于固定螺丝上，并把线位螺丝锁紧。转动收线轮，使后一圈钢线能够压紧前一圈钢线，绕线约10圈后停止。14、14. 小张力走线。关闭布线模式，关闭马达（MAIN/OFF），启动左张力（WINDER/LIFT/ON），待张力完全启动后，启动马达（MAIN/ON）启 动马达加速（MAIN+SPEED），缓慢加速达到2m/s，使线走动50 米让张力均匀的分布于线网上。小张力 15. 核对线槽。关闭马达（MAIN/OFF），用右手转动导轮片，左手调整线的位置，使线按照线槽的要求把线置于指定的线槽（在此注意，面向设备操作面，靠近观察着的两导轮，第一槽到第十槽是从右往左数，背离观察着的两导轮第一槽到第十槽是从左往右数）。16. 调直线。用扳手扭松滑轮托架螺丝，将滑轮托架移动至所要切割槽正上方，尽量使从滑轮出来的15、钢线能与进入导轮槽的钢线形成垂线，确定后将滑轮托架螺丝扭紧。扭松滑轮架定位螺丝对钢线位置进行微调，使从滑轮出来的钢线与进入导轮槽的钢线形成垂线。确3要求两人对线槽，确认后要进行互检。注：本文件的更改，应由建议者提出申请，经批准后方可变更。编制审核会审批准变更内容：XXXXXX、XXXX编号版本号总13页Q/GCL-WF 404232010a第5页HCT开方机作业指导书 XX硅材料科技发展有限公司受控状态实施日期2010年4月29日适用部门开方车间受控实施责任者车间主管作业流程注意事项、自互检要求作业内容定后，用用手托起滑轮架，然后将滑轮架定位螺丝扭紧，依此方法对所有滑轮进行调整。在同一垂线1716、. 大张力走线。启动大张力，启动马达（MAIN/ON），在走线模式下设定走线距离并走线。18. 设置线长。关闭马达（MAIN/OFF）、右张力，（WINDER RIGHT/OFF），左张力（WINDER/LIFT/OFF），打开线位页面，设置高线位为135KM（放线轮有线140KM，若购买钢线为150KM时，则设定钢线长度为145KM）并按线长复位键，确定后启动右张力（WINDER RIGHT/ON）启动左张力（WINDER/LIFT/ON）。完毕后走线30-60米。19. 高度复位（在每次机床断电后重新启动机床时一定要复位，或者在机床长期切割没有复位情况下可复位）。点击工作台复位键，使机床高17、度复位。至此机床已具备切割必要条件。（为防止机床自动关闭左张力WINDER/LIFT、右张力WINDER /RIGHT，可打开马达MAIN/ON）4. 一般走线30-60米，若收线轮为空轮时要求设置为200米，并启动走线模式，让张力均匀的分布于线网注：本文件的更改，应由建议者提出申请，经批准后方可变更。编制审核会审批准变更内容：XXXXXX、XXXX编号版本号总13页Q/GCL-WF 404232010a第6页HCT开方机作业指导书 XX硅材料科技发展有限公司受控状态实施日期2010年4月29日适用部门开方车间受控实施责任者车间主管作业流程注意事项、自互检要求作业内容20. 粘锭。清理干净工作18、台，清理将要粘取的硅锭，在工件板4个角分别 放一块橡胶垫片。然后用夹具夹住硅锭并用龙门吊将硅锭吊起。用手动叉车将工作台叉至硅锭正下方，拉走叉车，放下龙门吊上的硅锭，使硅锭垂直的放置于工作台。打开并移走夹具，放置好后，调节硅锭在工作台上的分布位置使硅锭均匀的分布于工作台中间，然后插好工作台护栏，等待约3小时让泡沫胶风干，等达到切割要求强度时准备切割。 21. 砂浆配制。砂浆配制按砂浆配制作业指导书严格执行。22. 砂浆缸准备及连接。打开砂浆室，按下电源连接帽并取下电源插头，将电源插座用连接帽连接，同时将电源插头和砂浆缸连接电源帽连接。打开砂浆缸刹车，将砂浆缸拉出，用水清洗并吹干，用蘸满酒精的布擦19、拭干净砂浆缸。将砂浆缸拉至砂浆搅拌桶旁，将隔膜泵吸切割液油管的一端放入砂浆搅拌桶，另一端放置于砂浆缸里，连接好气管。抓好油管打开气阀，将配制好的砂浆打入砂浆缸里，确定后，将砂浆缸推进砂浆室，并使砂浆缸感应器感应到砂浆缸（感应器红灯亮）。打开电源插头及电源插座，并按数字对应的原则连接电源插头及电源5第一次使用工作台时要用蘸满酒精的布对工6要求左右上下偏差不超过3mm7在切片时，砂浆要求密度较低，开方时密度要求相对较高，故，砂浆配制时，炭化硅：切割液=1.13KG：1.25KG8清晰时杜绝水溅入马达注：本文件的更改，应由建议者提出申请，经批准后方可变更。编制审核会审批准变更内容：XXXXXX、XX20、XX编号版本号总13页Q/GCL-WF 404232010a第7页HCT开方机作业指导书 XX硅材料科技发展有限公司受控状态实施日期2010年4月29日适用部门开方车间受控实施责任者车间主管作业流程注意事项、自互检要求作业内容插座，确定后盖好电源帽并按下卡锁。转动砂浆接嘴，使砂浆接嘴和砂浆缸相连，确定后关闭砂浆室。电源座 砂浆缸 砂浆回流缸注：本文件的更改，应由建议者提出申请，经批准后方可变更。编制审核会审批准变更内容：XXXXXX、XXXX编号版本号总13页Q/GCL-WF 404232010a第8页HCT开方机作业指导书 XX硅材料科技发展有限公司受控状态实施日期2010年4月29日适用部21、门开方车间受控实施责任者车间主管作业流程注意事项、自互检要求作业内容23. 砂浆搅拌。点击砂浆界面，点击砂浆搅拌，杜绝砂浆在砂浆缸沉淀。24. 装锭。点击工作台升起键将工作台升起，将粘好的硅锭用电动叉车叉于工作台叉孔中，升高电动叉车上，将粘好锭的工作台平放于切割室承重台上。工作台和承重台相连 25. 调锭。双击切割台下降键（ TABLE/DOWN），待钢线和硅锭即将接触时停止进给。通过进给螺丝，顶动工作台。用线砣固定一根约30cm的钢线，固定钢线，观察工作台偏向，调整进给螺丝，使钢线均匀的分布于工作台钢线槽里。确保切割时钢线切不到工作台。四边确定无误后，扭动进给螺丝，使螺丝能够轻微顶到工作台上22、。取出工作台夹具，在主马达侧将长夹具安装至工作台左侧，长夹具安装至工作台右侧。在辅马达侧将长夹具安装至工作台右侧，长夹具安装至工作台左侧，并将锁紧螺丝锁紧。26. 设定切割高度。将切割台下降至高线位钢线离硅锭有1-3mm处停止进给，观察各钢线是否与硅锭的最高点接触，若钢线和硅锭有接触，点击切割台升起键，使钢线和硅锭的最高处不接触。确定后，点击高度设定界面，点击切割距离复位键并点击编辑命令键，使机床自注：本文件的更改，应由建议者提出申请，经批准后方可变更。编制审核会审批准变更内容：XXXXXX、XXXX编号版本号总13页Q/GCL-WF 404232010a第9页HCT开方机作业指导书 XX硅材23、料科技发展有限公司受控状态实施日期2010年4月29日适用部门开方车间受控实施责任者车间主管作业流程注意事项、自互检要求作业内容动生成切割程序。27. 清理砂帘。关闭切割室门，打开砂浆流量模式，确认砂浆密度（1.670左右，密度不够可在切割室内加一定量砂，砂加半袋以上要砂浆循环1.5小时以上），待砂浆流动稳定后，打开切割室门，将刀片放进砂帘口，用刀片划去砂帘里的杂物，让砂浆能均匀的喷出。依此方法对4个砂帘进行清理。 28. 关门热机。关闭切割室、绕线室门，确认后点击门锁键。点击热机键，设置热机时间（10分钟左右）然后点击确认，在预览键里查找是否符合切条件，如果一切符合切割条件则关闭安全旁路（D24、OORS/SAFEBY-PASS）。等待切割图标，待状态图标浮起后点击开始键。此时机床开始热机，但工作台不下降。29. 核对切割条件。等待机床热机完毕后机床自动开始切割，此时暂停切割，打开安全旁路（DOORS/SAFEBY-PASS），点击门锁键，打开切割室门核对线槽。再次确定线槽无误后，再次对砂帘进行清理，确定符合切割条件后，关闭切割室门、绕线室门，点击门锁键，确定无误后点击预览确认切割条件，切割条件具备后关闭安全旁路。（DOORS/SAFEBY-PASS）30. 开始切割。一切无误后点击开始切割键，此时机床开始切割，工作台下降。确认切割后，用湿布擦拭干净机床。31. 填写切割记录单。机床开25、始切割后，利用空闲时间按照要求对设备运行的记录单据进行填写。确保记录单据真实、有效、干净、整洁、及时。9.点击暂停键，此时砂浆不停止，若点击了停止键，砂浆会自动关闭。10.在开始切割前有任何疑问或者感觉没做到位的状况下都要找到班组长或者技术人员确认切割条件，杜绝切割出现错误注：本文件的更改，应由建议者提出申请，经批准后方可变更。编制审核会审批准变更内容：XXXXXX、XXXX编号版本号总13页Q/GCL-WF 404232010a第10页HCT开方机作业指导书 XX硅材料科技发展有限公司受控状态实施日期2010年4月29日适用部门开方车间受控实施责任者车间主管作业流程注意事项、自互检要求作业内26、容32. 结束切割。切割结束时机床会自动停止并发出报警声。打开安全旁路（DOORS/SAFEBY-PASS），点击门锁，打开切割室门观察硅锭是否被切透。33. 抽线。若硅锭已切透，则关闭左张力（WINDER/LIFT/OFF），关闭右张力（WINDER RIGHT/OFF）剪断从马达导轮上的钢线以及绕线室里的线，在主马达导轮处抽出切割钢线。34. 升起工作台。双击切割台上升键（ TABLE/UP）让切割台升起。35. 出锭。用扳手取下夹具，然后扭松调锭螺丝（螺丝和螺口相平即可），将电叉车插至工作台插口，缓慢升起叉车，使工作台脱离切割室承重台。倒动叉车，使工作台移出切割室。 36. 洗锭。将装锭27、的叉车开至系锭室并放置于清洗台上。用小铲铲去硅锭上面残留的砂浆，并将废砂浆倒至垃圾桶。打开自来水水阀，用水冲洗干净硅锭表面及侧面残留的砂浆，然后用压缩空气吹干硅锭表面。然后用记号笔标注好硅块编号、长晶方向等。(如下图)11工作台进给和砂浆和马达自动停止，但张力不会自动关闭。注：本文件的更改，应由建议者提出申请，经批准后方可变更。编制审核会审批准变更内容：XXXXXX、XXXX编号版本号总13页Q/GCL-WF 404232010a第11页HCT开方机作业指导书 XX硅材料科技发展有限公司受控状态实施日期2010年4月29日适用部门开方车间受控实施责任者车间主管作业流程注意事项、自互检要求作业内28、容TC0102 0304 05 06 07 08 09 10 11 12 13 14 15 16 17 18 19 20 21 22 23 24 25 37. 清洗边料。取下工作台上的护栏。然后依次取下边角料，对齐并铲去残留的泡沫胶，用水冲洗干净，并用压缩空气吹干，然后置于边角料回收箱，在回收箱上标明硅锭号，重量等数据，以做入库。38. 清洗硅块。清洗硅块时用手按住硅块靠边的一角，从四个角开始取下硅块，方向为两边的对角线，依次按照此方法取下所有硅块，置于工作台，然后一手按住硅块，另一手握住小铲，用小铲铲去硅块尾部的泡沫胶，依次清理所有硅块。用水清洗干净所有硅块，并用压缩空气吹干后放于小车上。 29、（清洗时硅块受力方向图）12注意不要将边角料摔碎，护栏放置于专用的塑料箱内。注：本文件的更改，应由建议者提出申请，经批准后方可变更。编制审核会审批准变更内容：XXXXXX、XXXX编号版本号总13页Q/GCL-WF 404232010a第12页HCT开方机作业指导书 XX硅材料科技发展有限公司受控状态实施日期2010年4月29日适用部门开方车间受控实施责任者车间主管作业流程注意事项、自互检要求作业内容39. 送检。将小车上的硅块做好编号，并在硅块侧面标明锭号及头尾。将边料箱放到小车底层一起拉至检测室做品质检测。40. 清洗工作台。用铁锨铲去工作台上的泡沫胶，并用钢撬撬起落于工作台中间的泡沫胶，然后用小铲铲掉工作台表面的泡沫胶，用水冲洗干净工作台上的砂浆、泡沫胶，清理干净后，用叉车插走工作台，并放置于定点区域。注：本文件的更改，应由建议者提出申请，经批准后方可变更。编制审核会审批准变更内容：XXXXXX、XXXX编号版本号总13页Q/GCL-WF 404232010a第13页