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半导体先端部品前工程生产设备扩建项目复测建设项目竣工环境保护验收监测报告(57页)
半导体先端部品前工程生产设备扩建项目复测建设项目竣工环境保护验收监测报告(57页).doc
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工程报告
上传人:故事 编号:584521 2022-09-15 57页 3.04MB
1、建设项目竣工环境保护验收监测报告项目名称: xx半导体元器件(苏州)有限公司 半导体先端部品前工程生产设备扩建项目复测 目 录1 前言12 验收监测依据23 建设项目工程概况33.1工程基本情况33.2生产工艺简介63.3 环评结论及环评批复的要求94 污染物的排放及防治措施114.1 废水排放及防治措施114.2 废气排放及防治措施144.3 噪声排放及防治措施164.4 固体废物产生及其处置165 验收监测评价标准175.1 废水排放标准175.2 废气排放标准185.3 厂界环境噪声标准195.4总量控制指标196 验收监测的内容216.1废水监测216.2废气监测226.3噪声监测222、7 监测分析方法与质量保证238监测结果与评价258.1 监测期间工况258.2废水监测结果与评价268.3 废气监测结果与评价339 污染物总量核算4110环境管理检查4411.1结论4711.2 建议471 前言xx半导体元器件(苏州)有限公司原名苏州xx电波电子有限公司,位于苏州市国家高新技术产业开发区内,是日本独资企业,成立于1997年,一期工程主要生产并销售气密元器件、半导体专用材料、电子器件及相关产品。为了开拓市场,该公司在原厂内扩建半导体先端部品前工程生产设备(以下简称二期工程)。 该扩建项目于2004年4月由南京大学环境科学研究所完成环境影响报告书,2004年7月通过江苏省环境3、保护厅的审批,2005年7月竣工后经省厅批准投入试生产(运行)。2005年11月委托江苏省环境监测中心进行了验收监测,江苏省环境监测中心于2006年1月编制了竣工环保验收监测报告(环监字(2006)第(012)号)。二期工程完成竣工环保验收监测后企业一直未申请环保验收,现数据已经不能代表目前实际情况,根据江苏省环监局要求,企业于2014年3月申请对该项目重新进行竣工环保验收监测。现项目主体工程及环保治理设施已投入运行,生产能力达到设计规模的75%,具备建设项目竣工环境保护验收监测的条件。根据国家环保总局第13号令建设项目竣工环境保护验收管理办法和38号文关于建设项目环境保护设施竣工验收监测管理4、有关问题的通知等文件的要求,受xx半导体元器件(苏州)有限公司委托,江苏省环境监测中心于2014年4月对该项目中废气、废水、噪声、固体废物等污染源排放现状和各类环保治理设施的处理能力进行了现场监测,根据监测结果及现场环境检查情况,编制了本竣工验收监测复测报告,为该项目的竣工验收及环境管理提供科学依据。132 验收监测依据2.1建设项目竣工环境保护验收管理办法(国家环保总局第13号令,2001年12月);2.2关于建设项目环境保护设施竣工验收监测管理有关问题的通知(国家环保总局,环发200038号);2.3江苏省排污口设置及规范化整治管理办法(江苏省环保局, 苏环控97122号文);2.4江苏省5、排放污染物总量控制暂行规定(江苏省政府1993第38号令);2.5苏州xx电波电子有限公司半导体先端部品前工程生产设备扩建项目环境影响报告书(南京大学环境科学研究所,2004年4月);2.6关于对苏州xx电波电子有限公司半导体先端部品前工程生产设备扩建项目环境影响报告书的预审意见(苏州市环保局,苏环建2004503号,2004年6月);2.7关于对苏州xx电波电子有限公司半导体先端部品前工程生产设备扩建项目环境影响报告书的审批意见(江苏省环境保护厅,苏环管2004124号,2004年7月);2.8本项目环保验收重新监测申请及原试生产核准通知。3 建设项目工程概况3.1工程基本情况本项目位于苏州6、新区何山路360号。具体地理位置见图3-1,公司平面布置见图3-2。本验收项目具体工程建设情况见表3-1,建设项目生产规模见表3-2。生产设备及辅助设施见表3-3。东泰化工厂表3-1 验收项目建设情况表序号项目执行情况1立项由苏州高新区经济发展局于2004年3月以苏高新经项2004298号同意立项 2环评 2004年4月由南京大学环境科学研究所完成环境影响报告书3环评批复江苏省环境保护厅于2004年7月以苏环管2004124号文批复4本次验收项目建设规模项目占地410平方米,总投资7200万元,其中环保投资2161万元,占总投资比例30。 5本验收项目破土动工及建成时间2004年9月开始动工兴7、建;2005年3月建设完工。6试生产批准时间江苏省环境保护厅于2005年7月同意该项目试生产运行。没有重新申请试生产。7工程实际建设情况环保设施已经建成并投入运行,生产负荷达设计规模的75以上。项目所在地图3-1 项目地理位置图枫 津 河Z4Q11北雨水口N危险品库危废堆场一般固废堆场仓库Q5气密锅炉1#楼 (1期厂房)原动房金属锅炉(备用)污水处理设施(2、3期)废水应急池新和机械竹本油脂冷却塔污水处理设施(一期)门卫总接管口南雨水口绿地Z3Z52#楼(办公、检验、食堂)3#楼(本项目厂房)(3期厂房) 洗涤塔 图3-2 建设项目厂区平面布置及监测点位示意图Q12雨水应急池消防池总接管口南雨8、水口应急池-废水-噪声-废气-无组织废水应急池东北风Q13Q14Z1 Z2 何山路明 基 集 团 宿 舍表3-2 验收项目生产规模表序号产品类型环评中产品方案 (千个/年)实际建设情况(2013年)(千个/年)2005年2006年2007年1表面封装用半导体专用材料72000090000012000000变更情况见备注2表面封装LED用半导体专用材料1020000135600016730004125603Dis半导体表面封着二极管底座9073000103600001232400004线框架(镀Ni+Pd+Au)60800264000360000359824备注:本期验收工程中“(1)表面封装用9、半导体专用材料”、“(2)表面封装LED用半导体专用材料”及“(3)Dis 半导体表面封着二极管底座”实际产量变更原因:公司2007年建成三期工程,三期环评中将二期工程中该三种产品由单纯日本进口半成品进行冲压、成形,转变为在公司自行进行冲压、镀金、成形。(1)技改为三期工程的“切片发光二极管框架”;(3)技改为三期工程的“零部件用线框架”;(2)一部分已改到三期工程生产,本期产量减少。表3-3 本项目主要生产设备及辅助设施一览表序号设备名称环评中设计内容(台套)本项目实际建设情况(2013年)2005年2006年2007年1主要生产设备线框架表面处理设备1 1 1 12冲压机5 6 6 63成10、形机14 16 16 164主要辅助设施 燃油锅炉1 1 1 1用1备5废水处理设备1 1 1 16排气处理设备2 2 2 23.2生产工艺简介该项目主要生产工艺流程见图3-3图3-4。主要原辅材料消耗见表3-4。液化 树脂 材料 包装 剪切 成型 树脂废料 废料 图3-3 表面封装LED用半导体专用材料生产工艺 纯水氢氧化钾碱电解洗涤剂噪声 碱洗涤剂材料铜合金 冲压 碱脱脂 碱电解水洗排水碱废液碱废液废油 废料 纯水水洗纯水废气(硫酸雾)碱废液废水废气(HCl)水洗Ni电镀活性化(盐酸)废水酸废液 噪声废气(HCN)废气(NH3)纯水废水 废液纯水 Pd电镀 水洗Au电镀剪割包装水洗固废废液11、(回收)废水图3-4 电镀线框架生产工艺流程表3-4 主要原辅材料消耗表代号名称环评中消耗量(kg/a)实际情况(2013年)kg/a 2005年2006年2007年1Fe+Ni(42%)11040316569020359302Fe合金365206465998612698746853铜系材料(制Dis)2825643477704409975234394黄铜系材料(制线框架)25203654038192805碱洗涤剂/19218546碱电解洗涤液/38428407氢氧化钾/38415008Gas防止剂/6.009盐酸/1170968110氨基磺酸镍/3768300011硼酸/43230012氨基12、磺酸/1346.5257013Handy镍S/5504.598014金属基本液/250.0015金属补充液A/540832.516金属补充液B/54077.717金属比重调整盐/21.1300L18氨水/1541.9360019氰化金钾/34.835.120支柱上光添加剂/243.640021支柱上光建浴剂/6.010022次氯酸钠/2400019800523氢氧化钠/3600029897724亚硫酸钠/150001742725盐酸(35%)/5000021337626三氯化铁/300011123227消石灰/300008124528高分子凝聚剂/7203256*该数据为公司二期工程及三期工程13、所使用的总原辅料。3.3 环评结论及环评批复的要求3.3.1环评结论与建议3.3.1.1环评结论 扩建项目与总体规划(含环保规划)相容,选址合理;产品符合国家产业政策和清洁生产要求;拟采用的污染防治措施切实可行,能确保达标排放;扩建项目厂址周围的环境现状质量较好,若各项环保设施能如期建成并运转正常,扩建项目对环境影响不明显;扩建项目环保投资很大,各种污染物的排放量均较小,经新区环境保护局协调可满足总量平衡;公众大多数人对扩建项目持支持的态度。从环保角度考虑,该扩建项目是可行的。3.3.1.2环评建议(1)一旦有无氰金电镀的成熟工艺可运用于半导体专用材料生产中,必须立即代替现工艺。同时公司积极进14、行研发,加速使用无氰化物代替研究;(2)为减少对外环境噪声影响,冷却塔应采用低噪声设备,其声压级应小于70dB(A);对洗涤塔引风机加装消声器或隔声罩,洗涤水泵安装隔声罩,使洗涤塔设施噪声降至70 dB(A)以下;(3)生产原材料在厂内贮存保管时,将按材料特性进行分类管理,并按有关部门要求,设置明显的标识牌;(4)加强职工的安全教育,提高事故防范意识。经常进行消防训练、事故预防及事故应急方案的演习,在发生意外事故时能及时采取有效措施,将事故危害降至最低程度。(5)厂区内应建立绿化带,厂界处设置绿化隔离带;(6)定期保养、维修,及时发现有可能引起的事故异常运行苗头,消除事故隐患。按要求开展厂内环15、境和污染源监测。3.3.2环评批复的要求江苏省环境保护厅及苏州市环保局对该项目环境影响报告书的批复和审批意见见附件。4 污染物的排放及防治措施4.1 废水排放及防治措施本项目产生的废水主要为生活污水、线框架(镀Ni+Pd+Au)生产过程中的金属表面处理废水、电镀废水、纯水制造排污水、冷却排污水等。具体废水排放及处理措施情况见表4-1;全厂废水排放走向及监测点位见图4-1。表4-1 废水排放及治理措施生产设施/ 排放源环评设计排水量(m3/d)污染物排放方式处理设施环评/初步设计的要求实际建设金属表面处理废水130.08pH值、化学需氧量(COD)、总磷 、悬浮物(SS)、五日生化需氧量(BOD16、5)连续酸碱中和装置处理后进入公司新建污水预处理装置预处理后的废水和生活污水、冷却水一起混合后排入新区污水处理厂处理进入公司中水回用装置电镀废水69.12pH值、COD、SS、石油类、镍、铜、氰化物、总磷、BOD5连续含氰废水、含镍废水单独预处理后进入公司新建污水预处理装置和3期电镀废水一起预处理后接管排放纯水制造排污10.6COD、SS连续进入公司新建污水预处理装置处理进入公司中水回用装置冷却水排污29COD、SS连续/接管排放电镀废气洗涤水1000L/次,1次/2周pH值、COD、总磷、SS、石油类间歇进入公司新建污水预处理装置处理进入公司中水回用装置公司生活污水/COD、SS、动植物油、17、总磷、氨氮(NH3-N)连续/接管排放S22期、3期镀Ni废水S1树脂吸附预处理 S6苏州新区污水处理厂2期、3期含HCN废水S3预处理 备用S4树脂吸附2期、3期含铜废水S5预处理 S9浓水2期、3期其他废水回用于生产中水回用装置S7公司生活污水公司冷却塔排水S81期处理后生产废水S10南雨水口市政雨水管网-废水测点(2期为本次验收项目)S11枫津河北雨水口图4-1 全厂废水排放走向及测点示意图 含氰废水预处理装置 含镍废水预处理 应急水槽 废水处理重金属吸附用树脂装置 3期中水回用装置 2期中水回用装置2、3期含铜废水处理装置15 4.2 废气排放及防治措施该项目产生的废气包括酸碱废气、含18、氰废气和燃油锅炉排放的烟气,结合全公司废气产生及排放情况,见表4-2。表4-2 全公司废气排放及处理措施处理设施/排放源环评废气量(万m3/m)污染物名称排放规律处理工艺环评/初步设计的要求实际建设本次验收项目活化工序100氯化氢、硫酸雾、氨、氟化物连续经过酸碱废气洗涤塔后通过25米高空排放和3期工程合同氨洗涤塔+ FQ000403酸碱废气洗涤塔处理后通过30米高空排放镀镍工序镀工序含氰电镀60氰化氢连续经过含氰废气洗涤塔后通过25米高空排放和3期工程合用FQ000404含氰废气洗涤塔后通过30米高空排放燃油锅炉/二氧化硫、烟尘、氮氧化物、烟气黑度连续废气通过25米高的排气筒排放废气通过15米19、高的排气筒排放1期原有项目酸性废气/氯化氢、硫酸雾、氟化物连续经过酸碱废气洗涤塔后通过15米高空排放FQ000401、FQ000402酸碱废气洗涤塔含氰废气/氰化氢连续经过含氰废气洗涤塔后通过15米高空排放FQ000408含氰废气洗涤塔 氨气单独预处理洗涤塔Q16洗涤塔 Q153#楼FQ000403酸性废气洗涤塔Q1Q230米高排气筒酸碱洗涤塔 3#楼FQ000404含氰废气洗涤塔Q3Q430米高排气筒洗涤塔 3#楼FQ000405条纹银电镀洗涤塔(3期新增)Q5Q630米高排气筒洗涤塔Q7气密锅炉(轻柴油)15米高排气筒15米高排气筒金属锅炉(轻柴油)(备用)1#楼FQ000401酸系废气洗20、涤塔 (1期)Q815米高排气筒洗涤塔 1#楼FQ000408含氰废气洗涤塔(1期)Q915米高排气筒洗涤塔 Q101#楼FQ000402酸系废气洗涤塔(1期)15米高排气筒洗涤塔-废气测点图4-2 全公司废气走向及测点示意图4.3 噪声排放及防治措施该项目主要噪声源处理和排放情况见表4-3。表4-3 工业噪声排放及处理措施编号噪声源名称噪声声级dB(A)排放规律降噪措施1冷却塔72连续置于室内减震、隔声、降噪、合理布局2真空泵87连续3空压机90连续4废气净化塔6577连续5废水处理设施85连续水处理设施连续备用发电机105连续4.4 固体废物产生及其处置 全公司固体废物的处理、处置情况见表21、4-4。表4-4 固体废物产生及处置情况 序号废弃物名称产生工序环评产生量(t/a)类别环评处理方式实际情况实际产生量(t/a)1废金属冲压、切割277.674/委托新区环保服务中心处理伟宏物资回收公司272.41(全公司)2液晶树脂树脂成形247.84/伟宏物资回收公司238.57(全公司)3废油洗净、冲压5.4/新区环保服务中心处理6.851(全公司)4次品各工段19/伟宏物资回收公司17(全公司)5污水处理污泥废水处理128.4HW46苏州新区环保服务中心有限公司142(全公司)6d废液电镀4.661kg/a/送日本回收上海朝日浦力环境科技有限公司13.964kg/a(回收率提高)7u废22、液电镀2.3768kg/aHW33苏州同和资源综合利用有限公司0(现场金液不再废弃,只在镀金液量低时及时补充新金液)8废有机溶剂IPA一期/HW42/苏州新区环保服务中心有限公司41.317(一期)9废滤芯一期/HW49/苏州新区环保服务中心有限公司1.615(一期)10废灯管全公司/HW29/苏州伟翔电子废弃物处理技术有限公司0.2(全公司)11含酸废水(镍、盐酸)一期/HW34/苏州博瑞水处理有限公司115.685(一期)5 验收监测评价标准5.1 废水排放标准 根据环评批复要求,含镍、含铜废水预处理出口总镍、总铜浓度执行污水综合排放标准表1和表4一级标准;其余废水浓度执行苏州高新污水处理23、有限公司接管协议要求。本项目废水预处理设施出口总氰化物、总镍和单位产品基准排水量参照执行电镀污染物排放标准(GB21900-2008)中表3水污染物特别排放限值。详见表5-1 。表5-1 废水排放标准限值 单位:mg/L,pH值无量纲序号污染物标准值标准依据执行标准公司接管口pH值69苏州高新污水处理有限公司接管协议要求悬浮物(SS)400化学需氧量(COD)500石油类5动植物油100氨氮35总磷8总铜0.5氟化物10总氰化物1.0预处理设施出口总镍1.0污水综合排放标准(GB8978-1996)表标准. 总铜0.5批复要求污水综合排放标准(GB8978-1996)表4中的一级标准. 参照标24、准预处理设施出口总镍0.1电镀污染物排放标准(GB21900-2008)中表3水污染物特别排放限值总氰化物0.2单位产品基准排水量L/m2(镀件、镀层)多层镀250电镀污染物排放标准(GB21900-2008)中表3水污染物特别排放限值5.2 废气排放标准5.2 废气排放标准燃油锅炉烟气排放执行锅炉大气污染物排放标准(GB13271-2001)表1和表2 二类区时段标准;废气排放的氯化氢、硫酸雾、氰化氢、氟化物执行大气污染物综合排放标准(GB16297-1996)表2中二级标准;氨排放速率执行恶臭污染物排放标准(GB14554-93)中表2 标准。废气排放的氯化氢、硫酸雾、氰化氢、氟化物参照执25、行电镀污染物排放标准(GB21900-2008)表5标准。标准限值详见表5-2。电镀生产线单位产品基准排气量参照执行电镀污染物排放标准(GB21900-2008)表6标准,详见表5-3。无组织排放的氯化氢、硫酸雾、氰化物、氟化物、总悬浮颗粒物浓度执行大气污染物综合排放标准(GB16297-1996)表2无组织排放监控浓度限值;氨浓度执行恶臭污染物排放标准(GB14554-93)中表1二级新扩改建标准。标准限值详见表5-4。表5-2 废气排放标准限值污染物排气筒高度(m)排放浓度(mg/m3)排放速率(kg/h)依据标准执行标准本期验收项目废气洗涤塔氰化氢301.90.26大气污染物综合排放标准26、(GB16297-1996)表2中二级标准氯化氢1001.4硫酸雾458.8氟化物9.00.59氨/20恶臭污染物排放标准(GB14554-93)中表2 标准参照标准氰化氢0.5/电镀污染物排放标准(GB21900-2008)表5标准氯化氢30/硫酸雾30/氟化物7/执行标准燃油锅炉烟尘15100/锅炉大气污染物排放标准(GB13271-2001)表1和表2 二类区时段标准氮氧化物400/烟气黑度1级/二氧化硫500/表5-3 电镀生产线基准排气量(参照)工艺种类基准排气量m3/m2 镀件镀层排放量计量位置依据其它镀件(浸锌、镀镍、金等)37.3车间或生产设施排气筒电镀污染物排放标准(GB2127、900-2008)表6标准表5-4 无组织排放标准限值污染物标准限值(mg/m3)依据标准氰化氢0.024大气污染物综合排放标准(GB16297-1996)表2无组织排放监控浓度限值HCl0.20硫酸雾1.2氟化物0.020颗粒物1.0氨1.5恶臭污染物排放标准(GB14554-93)中表1二级新扩改建标准5.3 厂界环境噪声标准厂界环境噪声评价标准执行工业企业厂界环境噪声排放标准(GB12348-2008)中3类标准,详见表5-5。表5-5 厂界噪声评价标准 单位:Leq dB(A)时段标准值依据标准昼间65工业企业厂界环境噪声排放标准(GB12348-2008)中3类标准夜间555.4总量28、控制指标由于公司所有废水通过一个接管口排放,无法单独核算本项目总量,故本次对全公司废水总量进行核算;本项目废气污染物和三期工程废气污染物合并处理排放,无法单独核算本项目废气排放总量,本次对全公司废气污染物总量进行核算,总量控制指标以三期工程建成后核准的全公司废气总量控制指标来核算。详见表5-6和表5-7。表5-6 废水污染物总量控制指标废水污染物全公司总量控制指标(吨/年)备注废水量571056.8全公司2013年江苏省排污许可证总量核准指标(附件15)COD28.55氨氮2.855总磷0.285总镍0.2287总铜0.0883总氰化物0.1466总银0.0003石油类1.4269本项目环评批29、复的全厂总量指标(3期没有新增加)总铅0.0022表5-7 废气污染物总量控制指标 废气污染物全公司总量控制指标(吨/年)备注二氧化硫0.309全公司2013年江苏省排污许可证总量核准指标(附件15)硫酸雾0.4602氨0.0251氰化氢(0.1252+0.0495)=0.1747本项目环评批复的全厂总量指标+3期工程建成后申请增加的总量控制指标(附件17)氯化氢(0.0426+0.6)=0.6426本项目环评批复的全厂总量指标+3期总量控制指标(附件16)226 验收监测的内容由于本项目污染物年排放总量无法单独核算,需要以全公司年排放总量来核算,故本次对全公司废水、废气污染物和噪声排放情况进30、行监测。6.1废水监测废水监测点位、项目和频次见表6-1。具体监测点位见图4-2。表6- 废水监测点位、项目和频次污染源名称监测点位监测项目监测频次含镍废水预处理进出口(S1、S2)总镍、水量4次/天 连续2天(按规范采样)含氰废水预处理进出口(S3、S4)总氰化物、水量含铜废水预处理进口(S5)总铜、总氰化物、水量树脂吸附装置出口S6水量、pH、CODCr、SS、石油类、BOD5、氨氮、TP、总镍、总铜、总氰化物、总铅、总银生活污水排口(S7)水量、pH、CODCr、SS、石油类、BOD5、动植物油、氨氮、TP一期废水设施排口(S8)水量、pH、CODCr、SS、石油类、BOD5、氨氮、TP31、总镍、总铜、总氰化物、总铅、氟化物公司总接管口(S9)水量、pH、CODCr、SS、石油类、BOD5、动植物油、氨氮、TP、总镍、总铜、总氰化物、总铅、氟化物、总银南雨水口(S10)水量、pH、CODCr、SS、石油类、BOD5、动植物油、氨氮、TP、总镍、总铜、总氰化物、总铅、氟化物、总银北雨水口(S11)水量、pH、CODCr、SS、石油类、BOD5、动植物油、氨氮、TP、总镍、总铜、总氰化物、总铅、氟化物、总银备注:雨水口有流动水时采样。*总银、总铅为三期工程特征因子,氟化物为一期工程特征因子。 6.2废气监测废气监测点位、项目和频次见表6-2。具体监测点位见图4-3。表6-2 废气监32、测点位、项目和频次污染源名称出入口内径(m)监测点位监测项目监测频次3#楼FQ000404酸碱废气洗涤塔0.6进、出口(Q1、Q2)废气参数,HF、氯化氢、硫酸雾、氨排放浓度、排放速率和去除效率3次/天 连续2个生产周期(按规范采样)新增氨单独洗涤塔0.4进出口(Q15、Q16)废气参数,氨排放浓度、排放速率和去除效率3#楼FQ000404氰化氢废气洗涤塔0.6进、出口(Q3、Q4)废气参数,氰化氢排放浓度、排放速率和去除效率3#楼FQ000405新增条纹镀银线洗涤塔0.6进出口(Q5、Q6)废气参数,氰化氢排放浓度、排放速率和去除效率燃油锅炉0.4出口(Q7)废气参数,烟尘、二氧化硫、氮氧化33、物排放浓度、排放速率,烟气黑度1#楼 FQ000401酸系洗涤塔10.6出口(Q8)废气参数,HF、氯化氢、硫酸雾排放浓度、排放速率和去除效率1#楼FQ000402新增酸系洗涤塔 0.6出口(Q9)废气参数,HF、氯化氢、硫酸雾排放浓度、排放速率和去除效率1#楼 FQ000408氰化氢 洗涤塔0.6出口(Q10)废气参数,氰化氢排放浓度、排放速率和去除效率无组织厂界上风向布设1个参照点Q11,下风向扇形布设3个监控点(Q12-Q14)废气参数,氯化氢、硫酸雾、氨、HF、氰化氢浓度6.3噪声监测 本项目厂界东侧为竹本油脂公司,西边为新和机械公司,北边为枫津河,南边为何山路,路南侧为明基集团宿舍。34、本次验收监测拟在厂界南侧布设2个噪声监测点位(Z1Z2),其余厂界各布设1个噪声监测点位(Z3Z5),监测2天,每天昼夜各1次,具体噪声监测点位见图3-2。7 监测分析方法与质量保证本次监测的质量保证按照江苏省环境监测中心编制的质量手册的要求,实施全过程质量控制,按质控要求废水样品增加20%的平行样和10%加标回收样或带标样。监测人员均经过考核并持有合格证书,所有监测仪器均经过计量部门检定并在有效期内,现场监测仪器使用前经过校准。监测数据实行三级审核。废水监测方法见表7-1,废气及噪声监测方法见表7-2,质量控制情况见表7-3。表 7-1 废水监测分析方法序号项目名称分析方法1pH值水质 pH35、值的测定 玻璃电极法 GB/T 6920-19862化学需氧量水质 化学需氧量的测定 重铬酸盐法 GB/T 11914-19893悬浮物水质 悬浮物的测定 重量法GB/T 11901-19894五日生化需氧量水质 五日生化需氧量(BOD5)的测定 稀释与接种法 HJ 505-20095动植物油、石油类水质 石油类和动植物油类的测定 红外分光光度法 HJ 637-20126氨氮水质 氨氮的测定 纳氏试剂分光光度法 HJ 535-20097总磷水质 总磷的测定 钼酸铵分光光度法GB/T 11893-19898总镍镍 电感耦合等离子发射光谱法水和废水监测分析方法(第四版)国家环境保护总局(2002年36、)9总铜水质 铜 电感耦合等离子发射光谱法)水和废水监测分析方法(第四版) 国家环境保护总局(2002年)10总氰化物水质 氰化物的测定 容量法和分光光度法(异烟酸-吡唑啉酮分光光度法)HJ 484-200911氟化物水质 氟化物的测定 离子选择电极法 GB/T 7484-198712总银水质 银的测定 火焰原子吸收分光光度法GB/T 11907-198913总铅铅 电感耦合等离子发射光谱法水和废水监测分析方法(第四版)国家环境保护总局(2002年)表7-2 废气、噪声监测分析方法类别监测项目分析方法废气氯化氢环境空气和废气 氯化氢的测定 离子色谱法(暂行)HJ 549-2009硫酸雾固定污染37、源废气 硫酸雾的测定 离子色谱法(暂行)HJ 544-2009氰化氢固定污染源排气中氰化氢的测定 异烟酸-吡唑啉酮分光光度法 HJ/T 28-1999氨环境空气和废气 氨的测定 纳氏试剂分光光度法 HJ 533-2009氮氧化物污染源废气 氮氧化物 定电位电解法空气和废气监测分析方法(第四版)国家环境保护总局(2003年)烟尘锅炉烟尘测试方法GB/T 5468-1991二氧化硫固定污染源排气中二氧化硫的测定 定电位电解法HJ/T 57-2000烟气黑度固定污染源排放烟气黑度的测定 林格曼烟气黑度图法HJ/T 398-2007氟化氢环境空气 氟化物的测定 滤膜采样氟离子选择电极法 HJ 480-38、2009大气固定污染源 氟化物的测定 离子选择电极法HJ/T 67-2001噪声 厂界噪声工业企业厂界环境噪声排放标准GB 12348-2008表7-3 质量控制情况表分析项目样品数量平行样加标回收标样检查数检查率%合格数合格率%检查数检查率%合格数合格率%检查数合格数氨氮32825.08100.0 412.5 4100.0 /动植物油164/11氟化物16743.87100.0 318.83100.0 11化学需氧量32928.1 9100.0 /44镍40922.5 9100.0 512.5 5100.0 /铅24937.5 9100.0 520.8 5100.0 /石油类324/11铜339、2928.1 9100.0 515.6 5100.0 /BOD532825.0 8100.0 /11银16637.56100.0 212.5 2100.0 /总磷32825.08100.0 412.5 4100.0 /总氰化物481020.810100.0 612.5 6100.0 /8监测结果与评价8.1 监测期间工况监测期间生产工况详见表8-1,满足验收监测生产负荷达到设计生产能力75%以上的要求。 表8-1 监测期间工况 产品监测日期全厂设计日生产量(千个/天)实际日生产量(千个/天)生产负荷(%)本期工程表面封装LED用半导体专用材料2014.4.224647(1451)136094%40、2014.4.23126987%2014.4.24110776%2014.4.25128589%线框架(镀Ni+Pd+Au)2014.4.22100091291%2014.4.2392292%2014.4.2490490%2014.4.2585485%一期工程气密端子2014.4.22136691067%2014.4.23122389%2014.4.24106278%2014.4.25110881%三期工程切片发光二极管框架2014.4.224000382196%2014.4.233988100%2014.4.24381795%2014.4.25387997%零部件用线框架2014.4.22341、33332967189%2014.4.233256698%2014.4.243216797%2014.4.253216797%备注:(1)本期工程中,“表面封装用半导体专用材料”、 “Dis 半导体表面封着二极管底座”已经不再生产,产品变更为三期工程的 “切片发光二极管框架”和“零部件用线框架”。“表面封装LED用半导体专用材料”一部分已移入三期工程。括号中1451千个为目前实际的生产设计量。 ()一期气密端子品种较多,有大有小,所以当日数量未达到要求,但是生产中机器稼动负荷已达到75%以上。三期电子技术更新较快,应客户要求进行技术革新,原材料在同等大小的前提下,单位面积生产更多的产品,0.642、5为新旧切换系数。8.2废水监测结果与评价监测期间废水排放量见表8-2,电镀废水排水量统计见表8-3。表8-2 监测期间废水排放量统计 单位:t/d类别日期1期废水排放量2期废水排放量3期废水排放量生活污水排水量全公司废水接管量废水4月22日283110(9 回收)308(66 回收)546804月23日295112(8 回收)252(45 回收)68674表8-3 电镀废水排水量统计序号多层镀件面积(m2/d)电镀工段排水量(m3/d) 单位产品排水量(L/m2)2014.04.22128311085.72014.04.23129711286.3单位产品基准排水量/m2(镀件、镀层) /2543、0达标情况/达标 废水监测结果见表8-4至表8-11。监测结果表明,验收监测期间:(1)含镍废水预处理设施出口S2总镍浓度达到污水综合排放标准(GB8978-1996)表1标准;同时满足参照标准电镀污染物排放标准(GB21900-2008)中表3水污染物特别排放限值。(2)含氰废水预处理设施出口总氰化物浓度达到参照标准电镀污染物排放标准(GB21900-2008)中表3水污染物特别排放限值。(3)含铜废水预处理设施出口总铜浓度达到污水综合排放标准(GB8978-1996)表4一级标准。总氰化物、总镍浓度达到参照标准电镀污染物排放标准(GB21900-2008)中表3水污染物特别排放限值。(4)44、公司污水总接管口所测指标pH值、悬浮物(SS)、化学需氧量(COD)、石油类、动植物油、氨氮、总磷、总铜、氟化物的浓度均达到苏州新区污水处理有限公司接管协议要求。(5)多层镀件单位产品基准排水量达到参照标准电镀污染物排放标准(GB21900-2008)中表3水污染物特别排放限值。(6)监测期间雨水口没有流动水,未监测。表8-4 含镍废水预处理设施进出口监测结果 单位: mg/L监测点位监测日期监测频次总镍含镍废水进口(S1)2014/04/22第一次11.5第二次11.7第三次16.9第四次15.9均值14.02014/04/23第一次10.2第二次13.8第三次11.8第四次9.42均值1145、.3含镍废水出口(S2)2014/04/22第一次0.010第二次0.010第三次0.009第四次0.017均值0.0122014/04/23第一次0.008第二次0.017第三次0.007第四次0.007均值0.010评价标准 1.0达标情况达标参照标准0.1达标情况达标表8-5 含氰废水预处理设施进出口监测结果 单位: mg/L监测点位监测日期监测频次总氰化物含氰废水进口(S3)2014/04/22第一次2.04第二次1.92第三次2.09第四次2.23均值 2.072014/04/23第一次10.7第二次9.52第三次10.6第四次10.0均值10.2含氰废水出口(S4)2014/04/46、22第一次0.056第二次0.044第三次0.061第四次0.054均值 0.0542014/04/23第一次0.036第二次0.042第三次0.034第四次0.039均值0.038参照标准0.2达标情况达标表8-6 含铜废水预处理设施进口监测结果 单位:mg/L监测点位监测日期监测频次铜总氰化物含铜废水进口(S5)2014/04/22第一次0.1180.017第二次0.1020.021第三次0.1140.020第四次0.4430.018均值0.1940.0192014/04/23第一次1.28ND第二次0.830ND第三次0.630ND第四次0.499ND均值0.810ND备注:浓度未检出以47、ND表示,总氰化物检出限0.004mg/L。表8-7 树脂吸附装置出口水质监测结果单位: pH无量纲,其余为mg/L监测点位监测日期监测频次pH氨氮化学需氧量镍铅石油类铜五日生化需氧量悬浮物银总磷总氰化物S62014/04/22第一次8.680.2724.30.019ND0.040.0046.420ND0.100.022第二次8.730.3125.10.016ND0.040.0035.429ND0.080.018第三次8.620.3024.70.005NDND0.0045.217ND0.070.014第四次8.820.3025.10.007ND0.060.0056.223ND0.060.01648、均值或范围8.628.820.3024.80.012ND0.04 0.0045.822 ND0.080.0182014/04/23第一次8.950.3523.10.017ND0.060.0082.4180.0050.120.010第二次8.780.3814.90.016ND0.070.0072.4140.0060.100.007第三次8.740.4117.70.011ND0.060.0042.7180.0040.090.008第四次8.850.3518.00.007ND0.090.0063.2160.0030.080.010均值或范围8.748.950.3718.4 0.013ND0.070.49、006 2.716 0.0040.100.009评价标准/0.5/达标情况/达标/参照标准/0.5/0.3达标情况/0.5/达标备注:浓度未检出以ND表示,石油类检出限0.04mg/L,总铅检出限0.01mg/L,总银检出限0.003mg/L。表8-8 生活污水水质监测结果统计 单位: pH无量纲,其余为mg/L 监测点位监测日期监测频次氨氮动植物油化学需氧量石油类五日生化需氧量悬浮物总磷 pHS72014/04/22 第一次9.592.281050.1626.2731.66 7.86第二次9.592.171170.1131.8571.707.85第三次10.12.541170.1242.0650、21.567.87第四次9.863.131120.2140.4651.627.84均值或范围9.78 2.531130.1535.1641.647.847.872014/04/23第一次13.72.1189.10.2335.8301.657.92第二次15.32.291050.3035.4391.647.91第三次13.02.5497.00.1933.2421.687.94第四次13.82.5099.00.2229.0401.697.93均值或范围14.02.3697.50.23533.4381.677.917.94表8-9 一期工程废水排放水质监测结果 单位: pH无量纲,其余为mg/L监测51、点位监测日期监测频次氨氮氟化物化学需氧量镍铅石油类铜五日生化需氧量悬浮物总磷总氰化物pHS82014/04/22第一次1.932.3440.60.010ND0.120.01414.1231.710.0087.80第二次1.882.6441.00.009ND0.180.01314.0201.740.0097.88第三次1.872.4442.20.010ND0.080.01711.6141.510.0107.70第四次1.882.4442.00.009ND0.080.01912.081.50.0087.77均值或范围1.892.4641.40.010ND0.120.01612.9161.620.052、097.707.882014/04/23第一次3.625.2047.90.012ND0.120.03114.1342.590.0107.66第二次3.535.2444.70.011ND0.170.02813.8322.450.0097.61第三次3.645.3043.50.013ND0.220.02913.6282.490.0097.54第四次3.585.4042.60.012ND0.140.02813.0262.470.0087.51均值或范围3.595.2844.70.012ND0.160.02913.6302.50.0097.517.66备注:浓度未检出以ND表示,总铅检出限0.01mg53、/L。表8-10 全公司废水接管口水质监测结果 单位: pH无量纲,其余为mg/L监测点位监测日期监测频次氨氮动植物油氟化物化学需氧量镍铅石油类铜五日生化需氧量悬浮物银总磷总氰化物pHS92014/04/22第一次0.58ND0.2126.30.002ND0.080.00410.916ND0.120.0267.89第二次0.58ND0.2224.90.002ND0.070.00410.418ND0.090.0307.80第三次0.60ND 0.2123.80.003ND0.090.00510.033ND0.120.0267.71第四次0.570.060.4623.90.005ND0.100.054、049.630ND0.110.0287.75均值或范围0.580.060.2824.70.003ND0.08 0.00410.224ND0.110.0287.717.892014/04/23第一次0.590.050.3333.30.002ND0.090.0046.4150.010.10ND7.17第二次0.620.070.3324.30.002ND0.120.0046.4150.010.10ND7.11第三次0.650.100.3224.70.004ND0.140.0046.6140.010.11ND7.23第四次0.640.130.3425.90.003ND0.160.0047.0190.055、10.10ND7.34均值或范围0.620.090.3327.0 0.003ND0.130.0046.6160.010.10ND7.117.34接管协议要求3510010500/50.5/400/81.069是否达到达到达到达到达到/达到达到/达到/达到达到达到备注:浓度未检出以ND表示,总铅检出限0.01mg/L,总银检出限0.003mg/L,总氰化物物检出限0.004mg/L,动植物油检出限0.04mg/L。348.3 废气监测结果与评价废气监测结果见表8-11表8-16,无组织排放监测结果见表8-17,无组织排放监测期间气象参数见表8-18。监测结果表明,验收监测期间,(1)二、三期合用56、FQ000403酸碱废气洗涤塔出口(Q2)氯化氢、硫酸雾、氟化物排放浓度和排放速率均达到大气污染物综合排放标准(GB16297-1996)表2中二级标准;排放浓度同时满足参照标准电镀污染物排放标准(GB21900-2008)表5标准。氨排放速率达到恶臭污染物排放标准(GB14554-93)中表2 标准;(2)二、三期合用FQ000404氰化氢洗涤塔出口(Q4)氰化氢排放浓度和排放速率均达到大气污染物综合排放标准(GB16297-1996)表2中二级标准;排放浓度同时满足参照标准电镀污染物排放标准(GB21900-2008)表5标准。(3)电镀生产线单位产品基准排气量达到参照标准电镀污染物排放标57、准(GB21900-2008)表6标准。(4)燃油锅炉烟气排口(Q7)烟尘、二氧化硫、氮氧化物浓度以及烟气黑度均达到锅炉大气污染物排放标准(GB13271-2001)表1和表2 二类区时段标准。 (5)厂界下风向无组织排放硫酸雾、氰化物、氟化物、氯化氢浓度均达到大气污染物综合排放标准(GB16297-1996)表2无组织排放监控浓度限值;氨浓度达到恶臭污染物排放标准(GB14554-93)中表1二级新扩改建标准。51表8-11 二、三期合用酸碱废气洗涤塔监测结果项 目单 位2014.4.222014.4.23评价标准达标情况参照标准 达标情况第一次第二次第三次第一次第二次第三次FQ00040358、酸碱废气洗涤塔进口 Q1标态气量104m3/h0.530.520.550.540.520.55/氨排放浓度mg/m30.170.190.212.941.631.07/氨排放速率kg/h0.00090.00100.00120.01590.00850.0059/氟化物排放浓度mg/m30.110.110.110.120.090.09/氟化物排放速率kg/h0.00060.00060.00060.00060.00050.0005/硫酸雾排放浓度mg/m30.08NDNDNDND0.24/硫酸雾排放速率kg/h0.0004未检出未检出未检出未检出0.0013/氯化氢排放浓度mg/m32.02.02.059、2.42.22.4/氯化氢排放速率kg/h0.0110.0100.0110.0130.0120.013/FQ000403酸碱废气洗涤塔出口 Q2标态气量104m3/h0.510.510.530.520.530.51/氨排放浓度mg/m30.120.140.10.30.240.21/氨排放速率kg/h0.00060.00070.00050.00160.00130.001120达标/氟化物排放浓度mg/m30.070.120.080.080.070.089.0达标7达标氟化物排放速率kg/h0.00040.00060.00040.00040.00040.00040.59达标/硫酸雾排放浓度mg/m60、3ND0.12NDNDNDND45达标30达标硫酸雾排放速率kg/h未检出0.0006未检出未检出未检出未检出8.8达标/氯化氢排放浓度mg/m32.01.62.03.60.91.5100达标30达标氯化氢排放速率kg/h0.0100.0080.0110.0190.0050.0081.4达标/备注:浓度未检出以“ND”表示, 硫酸雾检出限0.08mg/m3。表8-12 二、三期合用氰化氢废气洗涤塔监测结果项 目单 位2014.4.242014.4.25评价标准达标情况参照标准 达标情况第一次第二次第三次第一次第二次第三次FQ0004042期、3期合用氰化氢废气洗涤塔进口 Q3标态气量104m361、/h0.780.770.790.750.760.75/氰化氢排放浓度mg/m30.120.350.162.721.682.29/氰化氢排放速率kg/h0.0010.0030.0010.0200.0130.017/FQ0004042期、3期合用氰化氢废气洗涤塔出口 Q4标态气量104m3/h0.760.730.760.740.740.73/氰化氢排放浓度mg/m30.160.320.18ND0.12ND1.9达标0.5达标氰化氢排放速率kg/h0.0010.0020.001未检出0.001未检出0.26达标/备注:浓度未检出以“ND”表示, 氰化氢检出限0.09mg/m3。 表8-13燃油锅炉废62、气排放监测结果项 目单 位燃油锅炉出口 Q7评价标准达标情况2014.4.242014.4.25第一次第二次第三次第一次第二次第三次标态气量102m3/h3.33 3.07 3.20 2.91 3.18 3.43 /实测SO2浓度mg/m332 35 28 26 27 27 /SO2排放浓度mg/m326 29 23 21 22 22 500达标SO2排放速率kg/h0.01 0.01 0.01 0.01 0.01 0.01 /实测NOX浓度mg/m396 96 90 90 85 92 /NOX排放浓度mg/m377 80 73 72 68 74 400达标NOX排放速率kg/h0.03 0.63、03 0.03 0.03 0.03 0.03 /实测烟尘浓度mg/m35.0 3.5 1.1 0.8 7.4 1.6 /烟尘排放浓度mg/m34.0 2.9 0.9 0.7 5.9 1.3 100达标烟尘排放速率kg/h0.0017 0.0011 0.0003 0.0002 0.0024 0.0005 /烟气黑度林格曼级111达标 表8-14 1期酸碱废气洗涤塔监测结果项 目单 位2014.4.242014.4.25第一次第二次第三次第一次第二次第三次FQ0004011期1#酸碱废气洗涤塔出口Q8标态气量104m3/h0.860.840.870.840.830.88氟化物排放浓度mg/m30.64、090.090.090.080.060.07氟化物排放速率kg/h0.00080.00080.00080.00070.00050.0006硫酸雾排放浓度mg/m3ND0.11ND0.10.61ND硫酸雾排放速率kg/h未检出0.0009未检出0.00080.0051未检出氯化氢排放浓度mg/m32.52.62.42.22.92.2氯化氢排放速率kg/h0.0210.0220.0210.0180.0240.019FQ00040421期2#酸碱废气洗涤塔出口Q9标态气量104m3/h0.991.000.971.000.981.00氟化物排放浓度mg/m30.090.090.090.070.070.65、07氟化物排放速率kg/h0.00090.00090.00090.00070.00070.0007硫酸雾排放浓度mg/m30.110.100.110.210.180.57硫酸雾排放速率kg/h0.00110.00100.00110.00210.00180.0057氯化氢排放浓度mg/m33.12.21.82.42.01.8氯化氢排放速率kg/h0.0310.0220.0170.0240.0200.018备注 :由于公司一期 、三期工程已经通过竣工环保验收,表8-14表8-16废气监测结果只用于总量核算,不对浓度和速率进行评价。浓度未检出以“ND”表示, 硫酸雾检出限0.08mg/m3。表8-166、5一期氰化氢废气洗涤塔监测结果项 目单 位2014.4.242014.4.25第一次第二次第三次第一次第二次第三次FQ0004081期氰化氢废气洗涤塔出口 Q10标态气量104m3/h0.46 0.48 0.42 0.44 0.47 0.49 氰化氢排放浓度mg/m30.180.180.17NDNDND氰化氢排放速率kg/h0.0008 0.0009 0.0007 未检出未检出未检出备注:浓度未检出以“ND”表示, 氰化氢检出限0.09mg/m3。 表8-16 三期新增氰化氢废气洗涤塔监测结果项 目单 位2014.4.242014.4.25第一次第二次第三次第一次第二次第三次FQ000405367、期条纹镀银线氰化氢洗涤塔进口Q5标态气量104m3/h0.320.300.300.320.330.33氰化氢排放浓度mg/m30.760.361.967.889.549.99氰化氢排放速率kg/h0.002 0.001 0.0060.0250.0320.033 FQ0004053期条纹镀银线氰化氢洗涤塔出口Q6标态气量104m3/h0.320.320.310.320.320.33氰化氢排放浓度mg/m30.280.170.14NDNDND氰化氢排放速率kg/h0.00090.0005 0.0004 未检出未检出未检出备注:浓度未检出以“ND”表示, 氰化氢检出限0.09mg/m3。 表8-1768、 新增氨洗涤塔监测结果项 目单 位2014.4.222014.4.23第一次第二次第三次第一次第二次第三次新增氨洗涤塔进口Q15标态气量102m3/h2.20 2.29 2.29 2.28 2.28 2.20 氨排放浓度mg/m35644495653.712.92.78氨排放速率kg/h0.124 0.1030.129 0.001 0.0010.001新增氨洗涤塔出口Q16标态气量102m3/h2.26 2.33 2.18 2.33 2.32 2.25 氨排放浓度mg/m30.170.170.160.180.350.31氨排放速率kg/h3.8310- 53.9710- 53.4810- 5 69、4.1910- 58.12 10- 56.96 10- 5表8-18 (2、3期)电镀生产线排气量统计监测日期镀件面积(m2/h)电镀工段排气量(m3/h)基准排气量m3/m2镀件镀层标准限值其它镀件(浸锌、镀镍、金等)基准排气量m3/m2 镀件镀层达标情况电镀2014.04.243891070027.537.3达标2014.04.253511060030.2达标表8-19无组织排放监测结果与评价单位:mg/m3监测点位监测日期监测频次氨氟化物(ug/m3)氯化氢氰化氢硫酸雾上风向Q112014/04/22第一次0.14ND0.005NDND2014/04/22第二次0.04ND0.004ND70、ND2014/04/22第三次0.03ND0.004NDND2014/04/23第一次0.02ND0.072NDND2014/04/23第二次0.03ND0.026NDND2014/04/23第三次0.08ND0.023NDND下风向Q122014/04/22第一次0.05ND0.006NDND2014/04/22第二次0.04NDNDNDND2014/04/22第三次0.07ND0.115NDND2014/04/23第一次0.04ND0.054NDND2014/04/23第二次0.03ND0.009NDND2014/04/23第三次0.07ND0.004NDND下风向Q132014/04/271、2第一次0.07ND0.041NDND2014/04/22第二次0.02ND0.111NDND2014/04/22第三次0.11ND0.037NDND2014/04/23第一次0.04ND0.036NDND2014/04/23第二次0.03ND0.020NDND2014/04/23第三次0.05ND0.014NDND下风向Q142014/04/22第一次0.04ND0.007NDND2014/04/22第二次0.07ND0.194NDND2014/04/22第三次0.06ND0.027NDND2014/04/23第一次0.05ND0.005NDND2014/04/23第二次0.02NDNDND72、ND2014/04/23第三次0.04ND0.005NDND下风向最大值0.11ND0.194NDND评价标准1.5200.200.0241.2达标情况达标达标达标达标达标备注:浓度未检出以“ND”表示,氯化氢检出限0.003 mg/m3,氟化物检出限0.9 ug/m3, 氰化氢检出限0.002mg/m3。硫酸雾检出限0.01mg/m3。表8-20 无组织排放监测气象参数统计表监测日期监测频次天气气压(KPa)气温(K)湿度(%)风向风速(m/s)2014.4.22第一次晴101.928782.0东北2.0第二次晴101.928971.0东北1.0第三次晴101.829248.0东北1.22073、14.4.23第一次晴101.829345.0东北0.8第二次晴101.829430.4东北1.7第三次晴101.729637.8东北2.08.4 厂界环境噪声监测结果与评价厂界环境噪声监测结果见表8-21。监测结果表明,验收监测期间厂界5个噪声监测点昼、夜间噪声等效声级均达到工业企业厂界环境噪声排放标准(GB12348-2008)中3类标准的要求。 表8-21 厂界环境噪声监测结果 单位: LeqdB(A)测点2014.4.222014.4.23昼间夜间昼间夜间Z157.253.559.354.5Z255.552.658.752.1Z356.654.157.454.9Z457.054.26374、.053.6Z556.053.555.351.2标准65556555达标情况达标达标达标达标备注:监测期间天气晴,风速1.52.0m/s。9 污染物总量核算由于公司所有废水通过一个接管口排放,无法单独核算本期总量,故本次对全公司废水总量进行核算,核算结果详见表9-1和表9-2,核算结果表明,该公司废水量和废水污染物COD、氨氮、总镍、总铜、总铅、总氰化物、石油类、总磷、总银排放总量达到了全公司总量控制指标要求。本项目废气污染物和三期工程废气污染物合并处理排放,无法单独核算本期废气排放总量,本次只对全公司废气污染物总量进行核算,核算结果详见表9-3和9-4,核算结果表明,全公司废气污染物二氧化硫75、硫酸雾、氯化氢、氨、氰化氢的排放总量均达到了全公司总量控制指标要求。表9-1 全公司废水污染物排放总量核算废水污染物日均排放浓度(mg/L)水量(t/d)年运行时间(天数)年排放总量(吨/年)废水量S9/677360243720COD25.96.312 氨氮0.600.146 总磷0.1050.0256总铜0.0040.00097总氰化物0.0150.00366石油类0.1080.02632 总镍S60.01253273600.0052S80.011289360总铅S6ND3273600总银S60.00283273600.0003表9-2 全公司废水污染物排放总量核算废水污染物年排放总量(吨76、/年)全公司总量控制指标*(吨/年)是否达到总量控制指标要求废水量243720571056.8是COD6.312 28.55是氨氮0.146 2.855是总磷0.02560.285是总铜0.00097 0.0883是总氰化物0.003660.1466是石油类0.02632 1.4269是总镍0.00520.2287是总铅00.0022是总银0.00030.0003是*备注:总量控制指标以2013年江苏省排污许可证核准的全公司总量控制指标来核算(见附件),许可证上没有核准的总铅、石油类以环评批复的总量控制指标来核算。表9-3 全公司废气污染物排放总量核算废气污染物平均排放速率(kg/h)年运行时77、间(小时)年排放总量(吨/年)二氧化硫Q70.0186400.0864氯化氢Q20.0100.08640.4579Q80.0210.1814Q90.0220.1901硫酸雾Q20.00010.00090.0268Q80.0010.0086 Q90.0020.0173氨Q20.0010.00864氰化氢Q40.0010.0086 0.0147Q60.00030.0026 Q100.00040.0035表9-4全公司废气污染物排放总量核算废气污染物年排放量(吨/年)全公司总量控制指标*(吨/年)是否达到总量控制指标要求二氧化硫0.08640.309是氯化氢0.4579(0.0426+0.6)=0.78、6426是硫酸雾0.02680.4602是氨0.008640.0251是氰化氢0.0147(0.1252+0.0495)=0.1747是*备注:总量控制指标以2013年江苏省排污许可证核准的全公司总量控制指标来核算(见附件),氯化氢、氰化氢以环评批复核准的总量指标加上三期工程建成后申请增加的总量控制指标来核算。10环境管理检查表10-1 环境管理检查序号检查内容执行情况1“三同时”制度执行情况本项目已按国家有关建设项目环境管理法规要求,进行了环境影响评价,工程相应的环保设施与主体工程同时设计、同时施工、同时投入使用 。2公司环境管理体系、制度、机构建设情况该公司环保设施有专门的负责人员和经过严79、格培训的操作工人;制定了较为完善的环境保护管理制度。公司于2003年通过了ISO14001认证工作。3污染处理设施建设管理及运行情况各环保治理设施操作严格按照操作规章进行,详细记录运行情况。4排污口规范化整治情况该公司废水排放口设置了标志牌和流量计。废气排口有标志牌,有安全监测平台和可采样的监测孔。5绿化情况公司占地面积32780平方米,绿化面积7800平方米,绿化率 23.8 。 锅炉排气筒标志牌 废水接管口在线仪器室及标志牌 废水在线仪器数据传输系统 厂区绿化表10-2 环评批复要求落实情况序号检查内容执行情况1公司应积极寻找和开发无氰替代工艺,一旦有成熟的无氰电镀技术必须立即无条件采用。80、并应加强对含氰电镀工艺的生产管理,强化对含氰废气、废水的处理措施,各种含氰化合物的运输、存贮和使用必须严格按国家规定办理有关手续。目前公司生产采用微氰电镀。公司对含氰电镀工艺生产管理的相关手续见附件14。 2按“雨污分流、清污分流、一水多用”以及含重金属废水“单独收集、单独处理”的原则规划建设厂区给、排水管网。含镍、铜废水必须分别单独处理达到污水综合排放标准表1和表4中一级 排放标准后再与其他废水混合一并纳入苏州高新区污水处理厂集中处理,并建设废水事故排放收集池,制定相应的应急预案,杜绝事故发生。厂区给、排水管网已经按计划设计。经过监测,含镍、含铜废水单独处理达到了污水综合排放标准表1标准和表81、4中一级标准;同时预处理出口总镍、总氰化物浓度达到了电镀污染物排放标准(GB21900-2008)标准;公司接管口水质达到苏州高新区污水处理厂接管协议要求。公司在废水处理站建有废水事故排放收集池(含重金属废水150m3、含氰废水100m3),雨水南排口建有事故排放收集池(300m3),废水总排口建有事故排放收集池(50m3)。并制定了相应的应急预案。预案备案证明见附件11。 3各类工艺废气的治理方案应在设计阶段进一步优化,以确保达到报告书中提出的设计指标和国家排放标准。锅炉使用燃料油的含硫量须低于0.5%。酸碱废气洗涤塔出口氯化氢、硫酸雾、氟化物、氰化氢浓度均达到大气污染物综合排放标准(GB182、6297-1996)表2中二级标准和参照标准电镀污染物排放标准(GB21900-2008)表5标准,氨排放速率达到恶臭污染物排放标准(GB14554-93)中表2 标准;燃油锅炉废气排放浓度均达到相关标准要求。根据企业提供燃料油含硫量检测报告,含硫量低于0.5%(附件12)。4落实各类固体废物综合利用和安全处置措施。厂区内危险废物的贮存必须符合国家危险废物贮存污染控制标准(GB18597-2001)的要求。危险废物安全处置方案要按规定办理专项审批手续,并严格执行危险废物转移联单制度。该公司固废和危废均委托新区环保服务中心处理。相关协议和资质、转移联单见附件8。公司建有密闭的危废暂存场所,采用混83、凝土硬化地面,有地沟收集系统,存放废液的场所有钢制托盘。5选用低噪声设备,高噪声的设备应远离厂界布置,并采取有效隔声降噪措施,确保厂界噪声达到环境功能区要求。已采取相应的隔声降噪措施。监测结果表明,验收监测期间各厂界噪声均达标。6按江苏省排污口设置及规范化整治管理办法(苏环控1997122号)的要求设置各类排污口和固废堆放场。各排污口和固废堆放场均安装了标志牌。废水总排口安装了在线仪器并与苏州新区环保局联网。 北雨水口初期雨水切换阀门 南雨水口初期雨水切换阀门 危废堆场截流沟 危废堆场标志牌 冷却塔 雨水应急池 总排口紧急关闭阀门及事故池 含氰废水事故池11结论与建议11.1结论表11 监测结84、论类别污染物达标情况总量控制情况废水监测结果表明,验收监测期间:(1)含镍废水预处理设施出口S2总镍浓度达到污水综合排放标准(GB8978-1996)表1标准;同时满足参照标准电镀污染物排放标准(GB21900-2008)中表3水污染物特别排放限值。(2)含氰废水预处理设施出口总氰化物浓度达到参照标准电镀污染物排放标准(GB21900-2008)中表3水污染物特别排放限值。(3)含铜废水预处理设施出口总铜浓度达到污水综合排放标准(GB8978-1996)表4一级标准。总氰化物、总镍浓度达到参照标准电镀污染物排放标准(GB21900-2008)中表3水污染物特别排放限值。(4)公司污水总接管口所85、测指标pH值、悬浮物(SS)、化学需氧量(COD)、石油类、动植物油、氨氮、总磷、总铜、氟化物的浓度均达到苏州新区污水处理有限公司接管协议要求。(5)多层镀件单位产品基准排水量达到参照标准电镀污染物排放标准(GB21900-2008)中表3水污染物特别排放限值。核算结果表明,该公司废水量和废水污染物COD、氨氮、总镍、总铜、总铅、总氰化物、石油类、总磷、总银排放总量达到了总量控制指标要求。废气验收监测期间(1)二、三期合用FQ000403酸碱废气洗涤塔出口(Q2)氯化氢、硫酸雾、氟化物排放浓度和排放速率均达到大气污染物综合排放标准(GB16297-1996)表2中二级标准;排放浓度同时满足参照86、标准电镀污染物排放标准(GB21900-2008)表5标准。氨排放速率达到恶臭污染物排放标准(GB14554-93)中表2 标准;(2)二、三期合用FQ000404氰化氢洗涤塔出口(Q4)氰化氢排放浓度和排放速率均达到大气污染物综合排放标准(GB16297-1996)表2中二级标准;排放浓度同时满足参照标准电镀污染物排放标准(GB21900-2008)表5标准。(3)电镀生产线单位产品基准排气量达到参照标准电镀污染物排放标准(GB21900-2008)表6标准。(4)燃油锅炉烟气排口(Q7)烟尘、二氧化硫、氮氧化物浓度以及烟气黑度均达到锅炉大气污染物排放标准(GB13271-2001)表1和表87、2 二类区时段标准。 (5)厂界下风向无组织排放硫酸雾、氰化物、氟化物、氯化氢浓度均达到大气污染物综合排放标准(GB16297-1996)表2无组织排放监控浓度限值;氨浓度达到恶臭污染物排放标准(GB14554-93)中表1二级新扩改建标准。核算结果表明,全公司废气污染物二氧化硫、硫酸雾、氯化氢、氨和氰化氢的排放总量达到了总量控制指标要求。固体废物/零排放厂界噪声监测结果表明,验收监测期间厂界5个噪声监测点昼、夜间噪声等效声级均达到工业企业厂界环境噪声排放标准(GB12348-2008)中3类标准的要求。/验收监测总结论验收监测期间,该项目各类环保治理设施运行正常。本项目所测的废水、废气、噪声88、各类污染物均达标排放,固废零排放。公司产生的各类污染物排放总量均满足全公司总量控制指标要求;环评批复中的各项要求基本落实。11.2 建议 (1)进一步优化各类废气废水的治理措施,以提高去除效率,确保各类污染物稳定达标排放;(2)继续加强事故应急预案完善和演练,避免环境污染事故发生。附件1 表1 建设项目环境保护“三同时”竣工验收登记表建设单位排污申报登记号: 编号: 审批经办人:建设项目名称xx半导体元器件(苏州)有限公司半导体先端部品前工程生产设备扩建项目建设地点苏州新区何山路360号建设单位xx半导体元器件(苏州)有限公司邮编电话021-50460508行业类别电子项目性质扩建设计生产能力89、建设项目开工日期2004.9.1实际生产能力投入试运行日期2005.7.21报告书审批部门江苏省环保厅文号苏环管2004124号时间04.7 立项审批部门苏州高新区经济开发局文号苏高新经项2004时间04.3环保验收审批部门江苏省环保厅文号时间报告书编制单位南京大学环境科学研究所投资总概算7200万元环保设施设计单位苏州整水综合水处理有限公司环保投资概算2173万元比例30.1%环保设施施工单位苏州整水综合水处理有限公司实际总投资7200万元环保验收监测单位江苏省环境监测中心环保投资2161万元比例30%新增废水处理设施能力/新增废气处理设施能力/一、废水、废气污染物控制指标控制项目原有排放量90、(1)新建部分产生量(2)新建部分处理削减量(3)以新带老削减量(4)排放增减量(5)排放总量(6)允许排放量(7)区域削减量(8)处理前浓度(9)实测排放浓度(10)允许排放浓度(11)废水量243720571056.8COD 6.312 28.55氨氮0.146 2.855总磷0.02560.285总镍0.0052 0.2287总铜0.00097 0.0883总铅00.0022总氰化物0.003660.1466石油类0.02632 1.4269总银0.0003 0.0003二氧化硫0.08640.309氯化氢0.45790.6426硫酸雾0.02680.4602氨0.008640.025191、氰化氢0.01470.1747 附件2 废气监测结果(1) 项 目单 位Q1Q22014.4.222014.4.232014.4.222014.4.23第一次第二次第三次第一次第二次第三次第一次第二次第三次第一次第二次第三次大气压Pa101900101900101900101700101700101700101900101900101900101700101700101700烟温191918191919171817171818烟气静压Pa-500-540-530-500-480-50030502020020烟气密度kg/m31.2537 1.2532 1.2577 1.2513 1.2515 92、1.2513 1.2690 1.2649 1.2688 1.2664 1.2618 1.2620 kp/0.840.840.840.840.840.840.840.840.840.840.840.84动压值Pa313033323033303033313230烟气流速m/s5.9 5.8 6.1 6.0 5.8 6.1 5.8 5.8 6.1 5.9 6.0 5.8 烟道截面积 m20.2827 0.2827 0.2827 0.2827 0.2827 0.2827 0.2827 0.2827 0.2827 0.2827 0.2827 0.2827 测态气量104m3/h0.60 0.59 0.693、2 0.61 0.59 0.62 0.59 0.59 0.62 0.60 0.61 0.59 含湿量%5.25.25.25.45.45.48.68.68.68.38.38.3标态气量104m3/h0.53 0.52 0.55 0.54 0.52 0.55 0.51 0.51 0.53 0.52 0.53 0.51 氨排放浓度mg/m30.170.190.212.941.631.070.120.140.10.30.240.21氨排放速率kg/h0.00090.00100.00120.01590.00850.00590.00060.00070.00050.00160.00130.0011氟化物排放94、浓度mg/m30.110.110.110.120.090.090.070.120.080.080.070.08氟化物排放速率kg/h0.00060.00060.00060.00060.00050.00050.00040.00060.00040.00040.00040.0004硫酸雾排放浓度mg/m30.08NDNDNDND0.24ND0.12NDNDNDND硫酸雾排放速率kg/h0.0004未检出未检出未检出未检出0.0013未检出0.0006未检出未检出未检出未检出氯化氢排放浓度mg/m32.02.02.02.42.22.42.01.62.03.60.91.5氯化氢排放速率kg/h0.01195、0.0100.0110.0130.0120.0130.0100.0080.0110.0190.0050.008 废气监测结果(2)项 目单 位Q3Q42014.4.242014.4.252014.4.242014.4.25第一次第二次第三次第一次第二次第三次第一次第二次第三次第一次第二次第三次大气压Pa101600101600101600101800101800101800101600101600101600101800101800101800烟温202020212121222222212121烟气静压Pa-550-540-500-530-580-510-20-3002030-10烟气密度kg96、/m31.2451 1.2453 1.2457 1.2436 1.2430 1.2438 1.2432 1.2431 1.2434 1.2504 1.2505 1.2500 kp/0.840.840.840.840.840.840.840.840.840.840.840.84动压值Pa656366616260676368646562烟气流速m/s8.6 8.4 8.6 8.3 8.4 8.2 8.7 8.5 8.8 8.5 8.6 8.4 烟道截面积 m20.2827 0.2827 0.2827 0.2827 0.2827 0.2827 0.2827 0.2827 0.2827 0.2827 97、0.2827 0.2827 测态气量104m3/h0.87 0.86 0.88 0.85 0.85 0.84 0.89 0.86 0.89 0.86 0.87 0.85 含湿量%4444.34.34.38.18.18.18.48.48.4标态气量104m3/h0.78 0.77 0.79 0.75 0.76 0.75 0.76 0.73 0.76 0.74 0.74 0.73 氰化氢排放浓度mg/m30.120.350.162.721.682.290.760.730.760.740.740.73氰化氢排放速率kg/h0.0010.0030.0010.0200.0130.0170.160.32098、.18ND0.12ND 废气监测结果(3)项 目单 位Q5Q62014.4.242014.4.252014.4.242014.4.25第一次第二次第三次第一次第二次第三次第一次第二次第三次第一次第二次第三次大气压Pa101600101600101600101800101800101800101600101600101600101800101800101800烟温222222212121202020222222烟气静压Pa-1450-1540-1500-1500-1520-15101020003010烟气密度kg/m31.2257 1.2246 1.2251 1.2317 1.2314 1.2399、16 1.2520 1.2522 1.2519 1.2459 1.2462 1.2460 kp/0.840.840.840.840.840.840.840.840.840.840.840.84动压值Pa111010111212121211121213烟气流速m/s3.6 3.4 3.4 3.5 3.7 3.7 3.7 3.7 3.5 3.7 3.7 3.8 烟道截面积 m20.2827 0.2827 0.2827 0.2827 0.2827 0.2827 0.2827 0.2827 0.2827 0.2827 0.2827 0.2827 测态气量104m3/h0.36 0.35 0.35 0.100、36 0.38 0.38 0.37 0.37 0.36 0.38 0.38 0.39 含湿量%4.44.44.44.74.74.78.18.18.18.48.48.4标态气量104m3/h0.32 0.30 0.30 0.32 0.33 0.33 0.32 0.32 0.31 0.32 0.32 0.33 氰化氢排放浓度mg/m30.760.361.967.889.549.990.280.170.14NDNDND氰化氢排放速率kg/h0.002 0.001 0.0060.0250.0320.033 0.00090.0005 0.0004 未检出未检出未检出 废气监测结果(4)项 目单 位Q8Q101、92014.4.242014.4.252014.4.242014.4.25第一次第二次第三次第一次第二次第三次第一次第二次第三次第一次第二次第三次大气压Pa101600101600101600101800101800101800101600101600101600101800101800101800烟温181919181817191818181918烟气静压Pa30203030201020102020020烟气密度kg/m31.2609 1.2564 1.2566 1.2634 1.2632 1.2675 1.2564 1.2606 1.2608 1.2632 1.2587 1.2632 kp102、/0.840.840.840.840.840.840.840.840.840.840.840.84动压值Pa181175189171169188116118110119113118烟气流速m/s14.2 14.0 14.6 13.8 13.7 14.5 11.4 11.5 11.1 11.5 11.3 11.5 烟道截面积 m20.1962 0.1962 0.1962 0.1962 0.1962 0.1962 0.2827 0.2827 0.2827 0.2827 0.2827 0.2827 测态气量104m3/h1.01 0.99 1.03 0.98 0.97 1.02 1.16 1.17 103、1.13 1.17 1.15 1.17 含湿量%9.49.49.49.19.19.18.98.98.99.29.29.2标态气量104m3/h0.86 0.84 0.87 0.84 0.83 0.88 0.99 1.00 0.97 1.00 0.98 1.00 氟化物排放浓度mg/m30.090.090.090.080.060.070.090.090.090.070.070.07氟化物排放速率kg/h0.00080.00080.00080.00070.00050.00060.00090.00090.00090.00070.00070.0007硫酸雾排放浓度mg/m3ND0.11ND0.10.6104、1ND0.110.100.110.210.180.57硫酸雾排放速率kg/h未检出0.0009未检出0.00080.0051未检出0.00110.00100.00110.00210.00180.0057氯化氢排放浓度mg/m32.52.62.42.22.92.23.12.21.82.42.01.8氯化氢排放速率kg/h0.0210.0220.0210.0180.0240.0190.0310.0220.0170.0240.0200.018 废气监测结果(5)项 目单 位Q102014.4.242014.4.25第一次第二次第三次第一次第二次第三次大气压Pa10160010160010160010105、1800101800101800烟温191919181818烟气静压Pa20201002030烟气密度kg/m31.2564 1.2564 1.2563 1.2630 1.2632 1.2634 kp/0.840.840.840.840.840.84动压值Pa252720222628烟气流速m/s5.3 5.5 4.7 5.0 5.4 5.6 烟道截面积 m20.2827 0.2827 0.2827 0.2827 0.2827 0.2827 测态气量104m3/h0.54 0.56 0.48 0.50 0.55 0.57 含湿量%8.28.28.28.48.48.4标态气量104m3/h0.4106、6 0.48 0.42 0.44 0.47 0.49 氰化氢排放浓度mg/m30.180.180.17NDNDND氰化氢排放速率kg/h0.0008 0.0009 0.0007 未检出未检出未检出 废气监测结果(6)项 目单 位锅炉出口Q72014.4.242014.4.25第一次第二次第三次第一次第二次第三次大气压Pa101600101600101600101800101800101800烟温121120122121123125烟气静压Pa-20-30010-200烟气密度kg/m30.93080.93310.92860.93290.92790.9234kp/0.840.840.840.84107、0.840.84动压值Pa131112101214烟气流速m/s4.444.084.273.894.274.62烟道截面积m20.03140.03140.03140.03140.03140.0314测态气量102m3/h5.024.614.834.404.835.23含湿量%4.44.44.44.94.94.9标态气量102m3/h3.333.073.202.913.183.43含氧量%7.37.87.57.37.27.3空气过剩系数/1.531.591.561.531.521.53实测SO2浓度mg/m3323528262727SO2排放浓度mg/m3262923212222SO2排放速率kg/h0.010.010.010.010.010.01实测NOX浓度mg/m3969690908592NOX排放浓度mg/m3778073726874NOX排放速率kg/h0.030.030.030.030.030.03实测烟尘浓度mg/m35.03.51.10.87.41.6烟尘排放浓度mg/m34.02.90.90.75.91.3烟尘排放速率kg/h0.00170.00110.00030.00020.00240.0005烟气黑度林格曼级11111157
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