半导体FAB生产厂房各个系统材料材质表.xls

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半导体FAB生产厂房各个系统材料材质表.xls

1、序序号号系系统统数数量量单单位位设设计计院院推推荐荐材材料料室室外外埋埋地地2CentralCentral UtilitiesUtilities 中中央央工工艺艺City Water(自來水)大于或同50mm用钢丝网骨架增强PE复合管（PN=1MPa),小于50mm用内筋嵌入式衬塑钢管（内衬PP-R，PN=1.25MPa）卡环连接PCW製程冷卻水系統)CDA(製程高壓空氣系統)Process Vacuum(製程真空系統)House Vacuum(2)(清潔真空系統)NA冷却塔中温冷水（12oC/18OC)冷冻水（5oC/12oC)）（空调冰水主机）热水（80o/70oC（锅炉）排水用铸铁管，承

2、插接口中温水（37oC/27OC)天然气给锅炉无缝钢管地埋燃油罐3 3洁洁净净室室 Make-up Air(MUA)(新风)Supporting-Area(支援區)Recirculation（循环）空调冷凝水排水PVC-U重力流空调冷凝水回收3ExhaustExhaust（排排风风）General(一般排氣)Acid(酸排氣)Solvent(溶劑排氣)4UltraUltra PurePure WaterWater（超超高高纯纯净净水水）UPW超高纯净水R.OUPW冷冻纯净水Reclaim DI(回收系統)5BulkBulk GasGas（大大众众气气体体）气体站进纯化间管路（普通氮气）气体站进

3、纯化间管路（其它）General N2普通氮气CDAProcess N2(2+1)纯净氮气Process O2(1+1)纯净氧气Process ArProcess H2(1+1)纯净氢气Process He6SpecialSpecial GasGas特特别别气气体体 Inert(惰性氣體)Corrosive(腐蝕性氣體)Flammable(揮發性氣體)Toxic(毒性氣體)7ChemicalChemical化化学学物物品品 Acid(酸)Base(碱)有机类显影液8WasteWaste WaterWater废废水水 Neutralization Fluoride Others Total9D

4、rainDrain SystemSystem排排废废系系统统 DR-R(回收)PP DR-W(一般酸鹼)PP DR-HF(濃)PP DR-DHF(稀)PP DR-S溶劑SS304Total10CentralCentral MonitoringMonitoring&ControlControlSystemSystem 中中央央检检测测及及控控制制系系统统11OthersOthers其其他他12FireFire FightingFighting SystemSystem消消防防系系统统1室外消防栓2室内消防栓3消防喷淋4灭火器1414FireFire DetectionDetection Syst

5、emSystem消消防防报报警警系系统统1烟感应2排烟3Vesda System 消防空气检测系统1515CleanroomCleanroom ControlControl SystemSystem 洁洁净净室室控控制制系系统统1616ProductionProduction areaarea 生生产产区区内内装装二次钢结构吨天花 1.2 x 1.2mm2盲板m2高架地板600 x 600mmm2墙版m2门及配件1800 x 2100个门及配件1800 x 2100个窗密封胶m2环氧树脂m2风淋室个暖暖通通 FFU 1.2 x 1.2m个FFU 1.2 x 0.6m个超高效过滤器1.2 x 1

6、.2m个超高效过滤器1.2 x 0.6m新风机干盘管（DCC）个保温棉热水保温电电气气设备配电箱照明配电箱桥架控制桥架IT桥架防静电控控制制湿度控制器温度控制器控制阀控制风阀平衡阀过滤风机排烟消消防防系系统统消防栓箱及管道空气采样管道备备注注室室外外室室内内埋埋的的/穿穿墙墙/穿穿楼楼板板室室内内PP-RPP-R SS304SS304SS304SS304干燥器前 SS304,干燥器后 SS 304Sch 80 UPVCSch 80 UPVCNANANA用焊接钢管及螺旋埋弧焊钢管用焊接钢管及螺旋埋弧焊钢管用焊接钢管及螺旋埋弧焊钢管用焊接钢管及螺旋埋弧焊钢管用焊接钢管及螺旋埋弧焊钢管用焊接钢管及螺

7、旋埋弧焊钢管用焊接钢管及螺旋埋弧焊钢管用焊接钢管及螺旋埋弧焊钢管用焊接钢管及螺旋埋弧焊钢管用焊接钢管及螺旋埋弧焊钢管用焊接钢管及螺旋埋弧焊钢管用焊接钢管及螺旋埋弧焊钢管排水用铸铁管，承插接口用焊接钢管及螺旋埋弧焊钢管用焊接钢管及螺旋埋弧焊钢管用焊接钢管及螺旋埋弧焊钢管无缝钢管无缝钢管无缝钢管用无缝钢管镀锌铁皮镀锌铁皮镀锌铁皮镀锌铁皮PVC-UPVC-UPVC-UPVC-UPVC-U镀锌圆管PP风管SS304圆管回水用PP-H，PN=1MPa设设计计院院推推荐荐材材料料到MAU加湿用Sch40PVCClean PVCClean PVCClean PVCClean PVCClean PVCClea

8、n PVCSS304-APSS304-BASS304-APSS304-APSS304-APSS304-APSS316L-EPSS316L-EPSS316L-EPSS316L-EPSS316L-EPSS316L-EPSS316L-EPSS316L-EPSS316L-EPSS316L-EPSS316L-EPSS316L-EPSS316L-EPSS316L-EPSS316L-EPSS316L-EPSS316L-EPSS316L-EPPFA+透明PVCPFA+透明PVCSS316L-BASS316L-BAPN=1MPaPN=1MPaPN=1MPaPPPPPPPN=1MPaPPPPPPPN=1MPaPP

9、PPPPPN=1MPaPPPPPPPN=1MPaSS304SS304SS304PN=1MPa双壁热镀锌管双壁热镀锌管双壁热镀锌管双壁热镀锌管小于100mm螺纹连接，大于100mm卡环连接双壁热镀锌管双壁热镀锌管小于100mm螺纹连接，大于100mm卡环连接镀锌铁皮ABS系统要包括起管道及线铝合金12MM夹心彩钢板压铸铝合金大于20%的开孔率岩棉夹心防静电铁板中性镀锌框交流直流待定镀锌框交流直流待定铜管，铝翅片B1级橡塑+PVCB1级橡塑+PVC带铝箔的玻璃棉，外包铝皮带铝箔的玻璃棉烤漆钢板箱体，双层门（内门活动）铝合金（200及以上T型，200以下槽式）镀锌扁铁，洁净室内用铜线普通铝合金ABS