电子工业洁净厂房设计规范 (2)(5页).docx
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电子工业洁净厂房设计规范 (2)(5页).docx
1、电子工业洁净厂房设计规范3.2.5 单向流和混合流洁净室（区）的的噪声级（空态）不应大于 65dB（A） ，非单向流洁净室（区）的噪声级（空态）不应大于 60dB（A） 。1 按火灾危险性分类，甲、乙类的房间与相邻的生产区段或房间之间，或有防火分隔要求时，应设隔墙；5.4.2 物料净化用室与洁净室（区）之间应设置气闸室或传递窗。5.5.6洁净室（区）内设置真空泵时，应符合下列规定：1 使用油润滑的真空泵应设置除油装置，除油后尾气应排入排气系统；2 对传输含有可燃气体的真空泵，可燃气体浓度超过爆炸下限的 20%时，应设尾气处理装置，在排入排气系统前应去除或稀释可燃气体组分；3 传输易燃、自燃化学
2、品或高浓度氧气的真空泵，应采用不燃泵油，并应配置氮气吹扫。氮气吹扫控制阀应与生产工艺设备操作系统联锁。6.2.1 洁净厂房的耐火等级不应低于二级。6.2.6 在综合性厂房的一个防火分区内，净生产区域与一般生产区域之间应设置不燃烧体隔断设施。不燃烧体隔断设施应符合现行国家标准洁净厂房设计规范GB 50073 的有关规定。6.2.7 洁净厂房的安全出口的设置，应符合下列规定;1每一生产层、每个防火分区或每一洁净室的安全出口数目,应符合现行国家标准洁净厂房设计规范GB 50073 的有关规定2安全出口应分散布置,并应设有明显的疏散标志;安全疏散距离应符合现行国家标准建筑设计防火规范GB 50016
3、的有关规定。安全疏散用门应向疏散方向开启,并应设观察玻璃窗;3丙类生产的电子工业洁净厂房,在关键生产设备自带火灾报警和灭火装置以及回风气流中设有灵敏度严于 0.01%obs/m 的高灵敏度早期火灾报警探测系统后,安全疏散距离可按工艺需要确定,但不得大于本条第 2 款规定的安全疏散距离的 1.5 倍。注：对于玻璃基板尺寸大于 1500mm1850mm 的 TFT-LCD 厂房，且洁净生产区人员密度小于 0.02 人/，其疏散距离应按工艺需要确定，但不得大于 120m。6.2.8 洁净厂房的洁净区各层外墙应设置专用消防口，并应符合下列规定：1 洁净区各层专用消防口的设计，应符合现行国家标准洁净厂房设计规范GB 50073的有关规定；2 洁净厂房外墙上的吊门、电控自动门以及装有栅栏的窗，均不应作为专用消防口。6.2.9 洁净厂房内有爆炸危险的房间应靠建筑外墙布置，且不得与疏散安全口（楼梯间）贴邻
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